JP7576564B2 - 複数の製造物体のインライン寸法制御のための方法及び設備 - Google Patents
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Description
複数の製造物体のシリーズを選択することと、ここで、複数の物体のそれぞれは、1つ又は複数の異なる部分からなり、部分の数は既知であって、かつ、各部分は、物体の部分の任意の点において均一な既知の減衰係数を有する材料で作られており、
輸送装置を用いて、搬送平面における直線軌道に沿った移動方向に複数の物体を輸送することと、ここで、これらの物体は、移動中に搬送体積を生成し、
搬送体積の外側に、X線発生管の少なくとも1つの焦点を配置することと、ここで、各焦点は、直線軌道に沿った移動方向に平行な同一の基準直線上に配列され、
搬送体積の外側に、関連付けられた焦点に由来する複数のX線に曝されかつ感度を持つ1つ又は複数のイメージセンサを配置することと、ここで、これらのX線は、少なくとも検査対象領域を通り抜けて、投射方向に沿った検査対象領域の放射線投射を各イメージセンサ上に生成し、
1つ又は複数のイメージセンサ(Ci,Cik)を使用して、移動中の各物体について、複数の一次元処理用放射線画像のセットを取得することと、ここで、各一次元処理用放射線画像は、基準直線を含む断面平面(Pk)に沿った物体の断面の投射を含み、
ここで、上記セットは、
基準直線を含むいくつか(NK)の異なる断面平面(Pk)についての一次元処理用放射線画像と、
異なる各断面平面(Pk)についての、検査対象領域のいくつか(NP)の一次元処理用放射線画像(Spk)と、ここで、一次元処理用放射線画像(Spk)は、上記断面平面における少なくとも3つの異なる投射方向(Dijk)に沿って得られ、
を含み、
各測定対象物体について、かつ、異なる各断面平面(Pk)について、コンピュータシステムを使用して、検査対象領域の複数の一次元処理用放射線画像(Spk)から、検討された断面平面(Pk)における物体の描写を特定することと、ここで、上記描写は、上記断面平面における少なくとも3つの異なる投射方向(Dijk)に沿って得られ、
測定対象物体について、異なる各断面平面における物体の複数の描写から、測定対象物体の検査対象領域の直線寸法の少なくとも1つの測定値を特定することと、
を備える。
第1反復ランクの計算された描写として、断面平面における物体の推測的描写を検討することと、
その後、反復的に、
断面平面における物体の所定の反復ランクの計算された描写から、検査対象領域の少なくとも3に等しい数のシミュレートされた一次元放射線画像を計算することと、ここで、上記計算は、断面平面における複数の一次元処理用放射線画像の取得に使用された少なくとも3つの異なる投射方向に沿った断面平面においてなされ、
複数のシミュレートされた一次元放射線画像を上記複数の一次元処理用放射線画像と比較することと、
上記複数のシミュレートされた一次元放射線画像の上記複数の一次元処理用放射線画像との比較が予め定義された最適化基準に達するまで、上記比較に応じて、計算された描写をより高い反復ランクの計算された描写へ修正することと、
を含む。
複数のイメージセンサを使用して、移動中の各物体について、検査対象領域の少なくとも3に等しい数の二次元放射線画像を取得することと、ここで、二次元放射線画像のそれぞれは異なる投射方向に沿って得られ、
上記複数の二次元放射線画像において、複数の一次元処理用放射線画像を抽出して、複数の一次元放射線画像のセットを形成することと、
を含みうる。
それぞれが物体の検査対象領域の境界表面に属する空間内の複数の三次元点、
及び/又は検査対象領域の少なくとも1つの三次元表面、
を備える。
上記シリーズの複数の物体のコンピュータ支援設計デジタルモデルによって、
及び/又は測定装置による同じシリーズの1つ又は複数の物体の測定から、
及び/又はコンピュータシステムのマンマシンインターフェース上のオペレータによって入力された値及び/又は作成された図面及び/又は選択された形状から、
得られうる。
上記シリーズの複数の物体のコンピュータ支援設計デジタルモデル、
及び/又は測定装置による同じシリーズの1つ又は複数の物体の測定から得られたデジタル幾何モデル、
及び/又はコンピュータシステムのマンマシンインターフェース上のオペレータによって入力された値及び/又は作成された図面及び/又は選択された形状からコンピュータシステムによって生成されたデジタル幾何モデル、
によって得られうる。
これらの物理センサ要素のそれぞれの少なくともm個の感応素子が、焦点に由来するX線ビームによって検査対象領域の放射線投射を受け取り、
異なる複数の物理センサ要素についての複数の投射平面が互いに異なり、かつ、搬送平面に平行ではなく、
少なくとも3つのリニア物理センサ要素のそれぞれを使用して、軌道に沿った各物体の増分変位毎に、検査対象領域の複数の一次元放射線画像が、各物体について、検査対象領域の全体が、複数の一次元放射線画像のセットに完全に表されるように選択された数に従って取得され、
検査対象領域の複数の一次元放射線画像の少なくとも3セットが各物体について分析される、
ように配置されている。
搬送平面における直線軌道に沿って、変位ベクトルによって具体化された方向に複数の物体を輸送するための装置と、ここで、複数の物体は、移動方向に延びる搬送体積を通って走行し、
通過された体積の外側に配置されたX線発生管の少なくとも1つの焦点であって、物体の少なくとも1つの検査対象領域を通り抜けるように向けられた発散X線ビームを生成する焦点と、ここで、各焦点は、直線軌道に沿った移動方向に平行な同一の基準直線上に配列され、
関連付けられた焦点に由来する複数のX線を受け取るように搬送体積の外側に配置された複数のイメージセンサと、ここで、1つ又は複数の焦点及び複数のイメージセンサは、焦点に由来する複数のX線によって、物体がこれらのX線を通り抜けるとき、各イメージセンサが検査対象領域の放射線投射を受け取るように配置されており、これらの放射線投射の投射方向は互いに異なっており、
移動中の各物体について、複数の一次元処理用放射線画像のセットを取得するように、複数のイメージセンサに接続された取得システムと、
ここで、上記セットは、
基準直線を含むいくつかの異なる断面平面についての複数の一次処理用放射線画像と、
異なる各断面平面についての、検査対象領域のいくつかの一次元処理用放射線画像と、ここで、これらの一次元処理用放射線画像は、断面平面における少なくとも3つの異なる投射方向に沿って得られ、
を含み、
異なる各断面平面について、少なくとも3つの一次元処理用放射線画像から、検討された断面平面における物体の描写を特定するように構成された、コンピュータシステムと、
を備える。
各焦点が、少なくとも前記検査対象領域を通り抜けて少なくとも1つの関連付けられたセンサに到達するように、そのビームを放出し、
各センサが、焦点に関連付けられ、かつ、その焦点に由来して検査対象領域を通り抜けた後の複数のX線を受け取る、
ように配置されている。
これらの物理センサ要素のそれぞれの少なくともm個の感応素子が、関連付けられた焦点に由来するX線ビームによって検査対象領域の放射線投射を受け取り、
異なる複数のセンサについての複数の投射平面が互いに異なり、かつ、搬送平面に平行ではない、
ように配置されている。
それぞれが検査対象領域の境界表面に属し、かつ投射方向Dji、Djikに直交する平面に位置せず、かつ、移動方向Tと平行な平面に位置しない、空間内の少なくとも2つの三次元点、
及び/又は、投射方向Dji、Djikに直交する平面に属さず、かつ、移動方向Tに平行な平面に属さない複数の点を含む、検査対象領域の少なくとも1つの三次元表面、
及び/又は、投射方向Dji、Djikに直交する平面と異なり、かつ、上記移動方向に平行な平面と異なる平面に沿った、検査対象領域の少なくとも1つの断面、
から構成される。
複数の放射線画像から、材料のない空の画像空間の複数の領域における減衰量を、そこでは減衰量はゼロとみなされるため、推測的にモデル化しないこと、
及び/又は、
複数の放射線画像から、寸法の測定が行われるべき複数の表面のみを、モデル化すること、
及び/又は、
複数の放射線画像からモデル化された複数の表面と、複数の理論上の理想表面との間の偏差のみを特定すること、
が可能となる。
基準直線を含むNK個の異なる断面平面Pkについてのそのような複数の一次元処理用放射線画像と、
異なる各断面平面Pkについて、断面平面Pkにおいて少なくとも3つの異なる投射方向Djikに沿って得られた、検査対象領域のNP個のそのような一次元処理用放射線画像Spk、Sp’k、Sp’’k、・・・と、
を含む。
それぞれが物体の検査対象領域の境界表面に属する空間内の複数の三次元点、
及び/又は検査対象領域の少なくとも1つの三次元表面、
を含む。
複数の物体を輸送すること(TRANS OBJ)と、
この輸送中、1つ又は複数のイメージセンサCi、Cikを使用して、移動中の各物体について、複数の一次元処理用放射線画像の1セットを取得すること(ACQUIMAGE)と、ここで、上記セットは、
基準直線を含むNK個の異なる断面平面Pkについての複数の一次元処理用放射線画像と、
異なる各断面平面Pkについての検査対象領域のNP個の一次元処理用放射線画像Spkと、ここで、一次元処理用放射線画像Spkは、断面平面における少なくとも3つの異なる投射方向Dijkに沿って得られ、
を含み、
各測定対象物体について、かつ、異なる各断面平面Pkについて、コンピュータシステムを使用して、検査対象領域の少なくとも3つの一次元処理用放射線画像Spkから、検討された断面平面Pkにおける物体の描写DLkを特定すること(CALC DLk)と、ここで、上記描写は、断面平面における少なくとも3つの異なる投射方向Dijkに沿って得られ、
測定対象物体について、異なる各断面平面における物体の複数の描写から、測定対象物体の検査対象領域の少なくとも1つの直線寸法測定値を特定すること(MES)と、
を提供する。
Claims (33)
- 1シリーズの複数の製造物体(2)の複数の直線寸法を自動的に測定する方法であって、
複数の製造物体(2)の1シリーズを選択することと、ここで、前記複数の物体のそれぞれは、1つ又は複数の異なる部分からなり、前記部分の数は既知であって、かつ、各部分は、前記物体の前記部分の任意の点において均一な既知の減衰係数を有する材料で作られており、
輸送装置を用いて、搬送平面(PC)における直線軌道に沿った移動方向(T)に前記複数の物体を輸送することと、ここで、これらの物体は、移動中に搬送体積(Vt)を生成し、
前記搬送体積(Vt)の外側に、X線発生管の少なくとも1つの焦点(Fj)を配置することと、ここで、各焦点は、前記直線軌道に沿った前記移動方向(T)に平行な同一の基準直線上に配列され、
前記搬送体積(Vt)の外側に、関連付けられた焦点(Fj)に由来する複数のX線に曝されかつ感度を持つ1つ又は複数のイメージセンサ(Ci)を配置することと、ここで、これらのX線は、少なくとも検査対象領域を通り抜けて、投射方向(Dji,Djik)に沿った前記検査対象領域の放射線投射を各イメージセンサ上に生成し、
前記1つ又は複数のイメージセンサ(Ci)を使用して、移動中の各物体について、複数の一次元処理用放射線画像のセットを取得することと、ここで、各一次元処理用放射線画像は、前記基準直線を含む断面平面(Pk)に沿った前記物体の断面の投射を含み、ここで、前記セットは、
前記基準直線を含むいくつか(NK)の異なる断面平面(Pk)についての前記複数の一次元処理用放射線画像と、
異なる各断面平面(Pk)についての、前記検査対象領域のいくつか(NP)の前記一次元処理用放射線画像(Spk)と、ここで、前記一次元処理用放射線画像(Spk)は、前記断面平面における少なくとも3つの異なる投射方向(Dijk)に沿って得られ、
を含み、
各測定対象物体について、かつ、異なる各断面平面(Pk)について、コンピュータシステムを使用して、前記検査対象領域の前記複数の一次元処理用放射線画像(Spk)から、前記断面平面(Pk)における前記物体の描写を特定することと、ここで、前記描写は、前記断面平面における少なくとも3つの異なる投射方向(Dijk)に沿って得られ、
測定対象物体について、異なる各断面平面における前記物体の複数の前記描写から、前記測定対象物体の前記検査対象領域の前記直線寸法の少なくとも1つの測定値を特定することと、
を備える、
方法。 - 前記物体の描写は、前記物体の複数の境界表面の前記断面平面との交差部分を表す曲線又は複数の曲線のセットを含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記物体の前記描写の前記曲線又は各曲線は、パラメトリックシステムによってモデル化された平面曲線である、ことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記断面平面における前記物体の描写の前記特定は、前記断面平面における前記物体の推測的描写からのカーブフィッティングアルゴリズムを含む、ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記断面平面における前記物体の描写の前記特定は、非線形回帰型のカーブフィッティングアルゴリズムを含む、ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記断面平面における前記物体の描写の前記特定は、反復的カーブフィッティングアルゴリズムを含み、前記反復的カーブフィッティングアルゴリズムは、
第1反復ランクの計算された描写として、前記断面平面における前記物体の推測的描写を検討することと、
その後、反復的に、
前記断面平面における前記物体の所定の反復ランクの計算された描写から、前記検査対象領域の少なくとも3に等しい数(NP)のシミュレートされた一次元放射線画像(SSpk)を計算することと、ここで、前記計算は、前記断面平面における前記複数の一次元処理用放射線画像(Spk)の取得に使用された少なくとも3つの異なる投射方向(Dijk)に沿った前記断面平面においてなされ、
前記複数のシミュレートされた一次元放射線画像(SSpk)を前記複数の一次元処理用放射線画像(Spk)と比較することと、
前記複数のシミュレートされた一次元放射線画像(SSpk)の前記複数の一次元処理用放射線画像(Spk)との前記比較が予め定義された最適化基準に達するまで、前記比較に応じて、前記計算された描写をより高い反復ランクの計算された描写へ修正することと、
を含む、
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。 - 前記複数のイメージセンサ(Ci)を使用して、移動中の各物体について、前記検査対象領域の少なくとも3に等しい数(NP)の二次元放射線画像(Ri)を取得することと、ここで、前記二次元放射線画像のそれぞれは異なる投射方向に沿って得られ、
前記複数の二次元放射線画像(Ri)において、前記複数の一次元処理用放射線画像(Spk)を抽出して、複数の一次元放射線画像の前記セットを形成することと、
を含む、
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の方法。 - 物体の一次元処理用放射線画像(Spk)は、前記焦点とポイントイメージセンサ(Cik)との間の前記物体の移動の継続時間に対応するスキャン継続時間中に、前記ポイントイメージセンサを使用して取得された点像のサンプリングによって形成される、ことを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の方法。
- 測定対象物体について、コンピュータシステムを使用して、かつ、前記異なる複数の断面平面(Pk)のそれぞれにおける前記物体の前記複数の描写から、前記検査対象領域の三次元デジタル幾何モデルを構築することを含み、前記三次元デジタル幾何モデルは、
それぞれが前記物体の前記検査対象領域の境界表面に属する空間内の複数の三次元点、
及び/又は前記検査対象領域の少なくとも1つの三次元表面、
を備える、
ことを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の方法。 - 測定対象物体について、異なる各断面平面における前記物体の前記複数の描写から、前記測定対象物体の前記検査対象領域の少なくとも1つの前記直線寸法の測定を特定することは、前記検査対象領域の前記三次元デジタル幾何モデルの少なくとも2つの三次元点の間の距離を特定することを含む、ことを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 各断面平面について、前記断面平面における前記物体の推測的描写を前記コンピュータシステムへ提供すること含む、ことを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記複数の推測的描写は、
前記シリーズの前記複数の物体のコンピュータ支援設計デジタルモデルによって、
及び/又は測定装置による同じシリーズの1つ又は複数の物体の前記測定から、
及び/又はコンピュータシステムのマンマシンインターフェース上のオペレータによって入力された値及び/又は作成された図面及び/又は選択された形状から、
得られる、
ことを特徴とする請求項11に記載の方法。 - 前記シリーズの前記検査対象領域の推測的三次元幾何モデルを前記コンピュータシステムへ提供することを含み、前記推測的三次元幾何モデルは、
前記シリーズの前記複数の物体のコンピュータ支援設計デジタルモデル、
及び/又は測定装置による同じシリーズの1つ又は複数の物体の前記測定から得られたデジタル幾何モデル、
及び/又はコンピュータシステムのマンマシンインターフェース上のオペレータによって入力された値及び/又は作成された図面及び/又は選択された形状から前記コンピュータシステムによって生成されたデジタル幾何モデル、
によって得られる、
ことを特徴とする請求項1から12のいずれか1項に記載の方法。 - 前記搬送平面(PC)に1つ又は複数の前記焦点を配置することを含む、ことを特徴とする請求項1から13のいずれか1項に記載の方法。
- 前記1つ又は複数のイメージセンサ(Ci)を使用して、移動中の前記シリーズの物体について、かつ、前記物体の各断面平面について、前記断面平面において45°以上90°以下、有利には60°以上90°以下の有効角度(α)を定義する複数の投射方向(Djik)に対応する前記検査対象領域の少なくとも2つの一次元処理用放射線画像を取得することを含む、ことを特徴とする請求項1から14のいずれか1項に記載の方法。
- 前記1つ又は複数のイメージセンサ(Ci)を使用して、移動中の前記シリーズの物体について、かつ、前記物体の各断面平面について、前記移動方向(T)に対して10°から60°をなす開き角度(β)を有し、前記搬送平面(PC)に投射をもたらす投射方向(Djik)に対応する前記検査対象領域の少なくとも1つの放射線画像を取得することを含む、ことを特徴とする請求項1から15のいずれか1項に記載の方法。
- 前記1つ又は複数のイメージセンサ(Ci)を使用して、移動中の前記シリーズの各物体について、前記移動方向(T)に対して10°未満をなす開き角度(β)を有する投射方向(Dji,Djik)に対応する前記検査対象領域の放射線画像を取得することを含まない、ことを特徴とする請求項1から16のいずれか1項に記載の方法。
- 1つ又は複数の前記焦点に由来し、かつ、前記複数のイメージセンサ(Ci)に到達する複数のX線が別の物体を通り抜けないように、物体の前記検査対象領域の放射線投射を実行すること及び取得することを含む、ことを特徴とする請求項1から17のいずれか1項に記載の方法。
- 移動中の前記シリーズの各物体について、かつ、各断面について、異なる複数の投射方向の前記検査対象領域の3から40の範囲の放射線投射に由来し、好ましくは、異なる複数の投射方向の前記検査対象領域の4から15の範囲の放射線投射に由来する、前記複数の一次元処理用放射線画像を取得することを含む、ことを特徴とする請求項1から18のいずれか1項に記載の方法。
- 前記複数のイメージセンサ(Ci)は、少なくとも3つの物理センサ要素(CCi)の一部を構成しており、前記少なくとも3つの物理センサ要素のそれぞれは支持直線(Li)に沿って分布した複数のX線感応素子の直線配列を含み、焦点(Fj)とともに前記投射方向(Dji,Djik)を含む投射平面(PPji)を定義し、これらのイメージセンサは、
これらの物理センサ要素のそれぞれの少なくともm個の感応素子が、焦点(Fj)に由来するX線ビームによって前記検査対象領域の放射線投射を受け取り、
異なる複数の前記物理センサ要素についての複数の前記投射平面(PPji)が互いに異なり、かつ、前記搬送平面(PC)に平行ではなく、
前記少なくとも3つの物理センサ要素のそれぞれを使用して、前記移動方向(T)に沿った各物体の増分変位毎に、前記検査対象領域の複数の一次元放射線画像が、各物体について、前記検査対象領域の全体が、複数の一次元放射線画像のセットに完全に表されるように選択された数に従って取得され、
前記検査対象領域の複数の一次元放射線画像の少なくとも3セットが各物体について分析される、
ように配置されている、
ことを特徴とする請求項1から19のいずれか1項に記載の方法。 - 1シリーズの複数の製造物体の少なくとも1つの検査対象領域の複数の直線寸法を自動的に測定するための設備であって、
搬送平面(PC)における直線軌道に沿って、変位ベクトルによって具体化された移動方向(T)に前記複数の物体を輸送するための装置と、ここで、前記複数の物体は、前記移動方向(T)に延びる搬送体積(Vt)を通って走行し、
通過された前記体積(Vt)の外側に配置されたX線発生管の少なくとも1つの焦点(Fj)であって、前記物体の少なくとも1つの検査対象領域を通り抜けるように向けられた発散X線ビームを生成する焦点と、ここで、各焦点は、直線軌道に沿った前記移動方向(T)に平行な同一の基準直線上に配列され、
関連付けられた焦点(Fj)に由来する複数のX線を受け取るように前記搬送体積(Vt)の外側に配置された複数のイメージセンサ(Ci,Cik)と、ここで、1つ又は複数の前記焦点(Fj)及び前記複数のイメージセンサ(Ci)は、前記焦点(Fj)に由来する複数のX線によって、前記物体がこれらのX線を通り抜けるとき、各イメージセンサが前記検査対象領域の放射線投射を受け取るように配置されており、これらの放射線投射の投射方向は互いに異なっており、
移動中の各物体について、複数の一次元処理用放射線画像のセットを取得するように、前記複数のイメージセンサ(Ci,Cik)に接続された取得システムと、ここで、前記セットは、
前記基準直線を含むいくつか(NK)の異なる断面平面(Pk)についての前記複数の一次処理用放射線画像と、
異なる各断面平面(Pk)についての、前記検査対象領域のいくつか(NP)の前記一次元処理用放射線画像(Spk)と、ここで、前記一次元処理用放射線画像(Spk)は、前記断面平面における少なくとも3つの異なる投射方向(Dijk)に沿って得られ、
を含み、
異なる各断面平面(Pk)について、前記断面平面における少なくとも3つの異なる投射方向(Dijk)に沿って得られた前記複数の一次元処理用放射線画像(Spk)から、前記断面平面(Pk)における前記物体の描写を特定するように構成された、コンピュータシステムと、
を備える、
設備。 - 前記直線軌道に沿った移動方向(T)に平行な前記同一の基準直線上の2つの異なる位置に別々に配置された、少なくとも2つのX線発生焦点(F1,F2)、及び少なくとも3つのイメージセンサ(Ci)を含み、前記少なくとも3つのイメージセンサは、複数のX線に感度を持ち、かつ、
各焦点が、少なくとも前記検査対象領域を通り抜けて少なくとも1つの関連付けられたセンサ(Ci,Cik)に到達するように、そのビームを放出し、
各センサ(Ci)が、焦点に関連付けられ、かつ、前記焦点に由来して前記検査対象領域を通り抜けた後の複数のX線を受け取る、
ように配置されている、
ことを特徴とする請求項21に記載の設備。 - 90°以上の開きを持つ発散X線ビームが得られる少なくとも1つの焦点、又は開きの合計が90°以上であり、複数の発散X線ビームが得られる少なくとも2つの焦点を含む、ことを特徴とする請求項21又は22に記載の設備。
- 前記搬送平面(PC)に配置された少なくとも1つの焦点を含む、ことを特徴とする請求項21から23のいずれか1項に記載の設備。
- 少なくとも1つの焦点及び2つのイメージセンサは、それらが受け取る前記検査対象領域の複数の前記投射方向が、それらの間に45°以上90°以下、有利には60°以上90°以下の有効角度(α)を有するように配置されている、ことを特徴とする、請求項22、請求項22に従属する場合の請求項23、又は請求項22に従属する場合の請求項24のいずれか1項に記載の設備。
- 少なくとも1つの焦点及び1つのイメージセンサ(Ci)は、物体が前記複数のセンサの視野を通り抜けるとき、前記イメージセンサ(Cik,Ci)上の前記検査対象領域の前記投射方向(Dji,Djik)が、前記移動方向(T)に対して10°から60°をなす開き角度(β)を有するように配置されている、ことを特徴とする請求項21から25のいずれか1項に記載の設備。
- X線発生管の焦点(Fj)が通過された前記体積(Vt)に配置されておらず、かつ、イメージセンサ(Ci)が前記搬送体積(Vt)に配置されていないので、前記イメージセンサ(Ci)上の前記検査対象領域の前記投射方向(Dji,Djik)が、前記移動方向(T)で10°未満の開き角度(β)をなすことはない、ことを特徴とする請求項21から26のいずれか1項に記載の設備。
- 前記複数のイメージセンサ(Ci)及び複数の前記焦点(Fj)は、前記1つ又は複数の焦点に由来し、かつ、前記複数のイメージセンサ(Cik,Ci)に到達して前記物体の前記検査対象領域を通り抜ける前記複数のX線が、一度に別の物体を通り抜けないように配置されている、ことを特徴とする請求項21から27のいずれか1項に記載の設備。
- 前記1つ又は複数のX線発生管に由来する、1つから4つの焦点(Fj)を含む、ことを特徴とする請求項21から28のいずれか1項に記載の設備。
- 前記複数のイメージセンサ(Cik)の及び関連付けられた前記複数の焦点の数及び配置は、移動中の前記シリーズの各物体について、前記複数のイメージセンサ上の前記検査対象領域の前記複数の放射線投射が、3から40の範囲の異なる投射方向、好ましくは4から15の範囲の異なる投射方向を有するようになっている、ことを特徴とする請求項21から29のいずれか1項に記載の設備。
- 前記複数のイメージセンサ(Ci)は、リニアタイプの複数の物理センサ要素(CCi)の一部を構成し、各要素は、支持直線(Li)に沿って分布した複数のX線感応素子の直線配列を含み、関連付けられた焦点(Fj)で前記投射方向(Dji,Djik)を含む投射平面(PPji)を定義し、これらのイメージセンサは、
これらの物理センサ要素(CCi)のそれぞれの少なくともm個の感応素子が、前記関連付けられた焦点(Fj)に由来するX線ビームによって前記検査対象領域の前記放射線投射を受け取り、
前記異なる複数のセンサについての複数の前記投射平面(PPji)が互いに異なり、かつ、前記搬送平面(PC)に平行ではない、
ように配置されている、
ことを特徴とする請求項21から30のいずれか1項に記載の設備。 - 少なくとも3つのリニアイメージセンサ(Ci)の前記支持直線(Li)は、互いに平行である、ことを特徴とする請求項31に記載の設備。
- 少なくとも3つのリニア物理センサ要素(CCi)の前記支持直線(Li)は、前記搬送平面(PC)に直交している、ことを特徴とする請求項31又は32に記載の設備。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR1904491 | 2019-04-26 | ||
| FR1904491A FR3095508B1 (fr) | 2019-04-26 | 2019-04-26 | Procede et installation de controle dimensionnel en ligne d’objets manufactures |
| PCT/FR2020/050712 WO2020217036A1 (fr) | 2019-04-26 | 2020-04-24 | Procede et installation de controle dimensionnel en ligne d'objets manufactures |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022532997A JP2022532997A (ja) | 2022-07-21 |
| JP7576564B2 true JP7576564B2 (ja) | 2024-10-31 |
Family
ID=67875611
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021563427A Active JP7576564B2 (ja) | 2019-04-26 | 2020-04-24 | 複数の製造物体のインライン寸法制御のための方法及び設備 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11954848B2 (ja) |
| EP (1) | EP3959685A1 (ja) |
| JP (1) | JP7576564B2 (ja) |
| CN (1) | CN113728358B (ja) |
| FR (1) | FR3095508B1 (ja) |
| MX (1) | MX2021012825A (ja) |
| WO (1) | WO2020217036A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102353996B1 (ko) * | 2020-01-16 | 2022-01-24 | 비엔엘바이오테크 주식회사 | 디지털 측정장치 및 측정방법 |
| CN113643428A (zh) * | 2021-08-17 | 2021-11-12 | 北京唯迈医疗设备有限公司 | 一种适用于多自由度锥形束ct的全参数几何校准方法 |
| CN114406809B (zh) * | 2022-03-03 | 2022-11-22 | 广州大学 | 一种智能设计超声研磨机加工腔体的方法 |
| FR3135524B1 (fr) * | 2022-05-12 | 2025-03-21 | Centre Nat Rech Scient | Procédé, système et programme d’ordinateur de contrôle d’une pièce par radiographie aux rayons X |
| CN117830305B (zh) * | 2024-03-04 | 2024-05-03 | 腾讯科技(深圳)有限公司 | 对象测量方法、装置、设备及介质 |
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| DE19756697A1 (de) | 1997-12-19 | 1999-07-01 | Manfred Dr Ing Pfeiler | Vorrichtung zur Stückgut-Röntgentomosynthese |
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| US7319737B2 (en) | 2006-04-07 | 2008-01-15 | Satpal Singh | Laminographic system for 3D imaging and inspection |
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| WO2013078344A1 (en) | 2011-11-22 | 2013-05-30 | Xinray Systems Inc | High speed, small footprint x-ray tomography inspection systems, devices, and methods |
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| CN105681189B (zh) | 2016-01-21 | 2019-05-17 | 上海芃矽半导体技术有限公司 | 用于网格网络的数据转发方法及节点设备 |
| FR3052555B1 (fr) | 2016-06-09 | 2019-06-28 | Tiama | Procede pour determiner la capacite de recipients en verre |
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| FR3073043B1 (fr) | 2017-10-27 | 2019-11-15 | Tiama | Procede et installation de controle dimensionnel en ligne d'objets manufactures |
| FR3073044B1 (fr) | 2017-10-27 | 2020-10-02 | Tiama | Procede et dispositif de mesure de dimensions par rayons x, sur des recipients en verre vide defilant en ligne |
| FR3074907B1 (fr) | 2017-12-08 | 2019-12-27 | Tiama | Methode et machine pour controler un procede de formage |
-
2019
- 2019-04-26 FR FR1904491A patent/FR3095508B1/fr active Active
-
2020
- 2020-04-24 MX MX2021012825A patent/MX2021012825A/es unknown
- 2020-04-24 EP EP20731909.6A patent/EP3959685A1/fr active Pending
- 2020-04-24 JP JP2021563427A patent/JP7576564B2/ja active Active
- 2020-04-24 US US17/603,658 patent/US11954848B2/en active Active
- 2020-04-24 WO PCT/FR2020/050712 patent/WO2020217036A1/fr not_active Ceased
- 2020-04-24 CN CN202080031656.3A patent/CN113728358B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007139764A (ja) | 2005-11-21 | 2007-06-07 | Tsinghua Univ | 結像システム |
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| JP2017533414A (ja) | 2014-09-17 | 2017-11-09 | ボリュームグラフィックス ゲーエムベーハーVolume Graphics Gmbh | ボリューム・データから抽出されるサーフェスデータの局所品質を決定する方法およびシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2022532997A (ja) | 2022-07-21 |
| CN113728358B (zh) | 2026-01-30 |
| CN113728358A (zh) | 2021-11-30 |
| FR3095508B1 (fr) | 2021-05-14 |
| FR3095508A1 (fr) | 2020-10-30 |
| WO2020217036A1 (fr) | 2020-10-29 |
| EP3959685A1 (fr) | 2022-03-02 |
| US20220237761A1 (en) | 2022-07-28 |
| US11954848B2 (en) | 2024-04-09 |
| CA3129754A1 (fr) | 2020-10-29 |
| MX2021012825A (es) | 2021-11-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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