JP7581938B2

JP7581938B2 - Tilt stages, optical devices and laser interferometers

Info

Publication number: JP7581938B2
Application number: JP2021018822A
Authority: JP
Inventors: 潤北川
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2021-02-09
Filing date: 2021-02-09
Publication date: 2024-11-13
Anticipated expiration: 2041-02-09
Also published as: JP2022121864A

Description

本発明は、傾斜ステージ、光学デバイスおよびレーザー干渉計に関するものである。 The present invention relates to a tilt stage, an optical device, and a laser interferometer.

特許文献１には、光学部品の位置や角度方向を精密に制御する光学ステージが開示されている。この光学ステージは、２つの部品と、これらの部品間の距離を調整する調整ネジと、を備えている。一方の部品は、レンズや鏡等の光学部品を支持しており、調整ネジのねじこみによって部品間の距離が変化するように構成されている。これにより、光学部品の位置や角度方向を微調整することができる。また、他方の部品には、内部を貫通する曲管が設けられており、その中に調整ネジの力を伝達する球状部品が配置されている。これにより、歯車を用いることなく、調整ネジをねじこむ方向と、光学部品を移動させる方向と、を異ならせることができる。その結果、構造が簡単で、かつ、光学部品の調整作業がしやすい光学ステージが実現される。 Patent Document 1 discloses an optical stage that precisely controls the position and angular orientation of optical components. This optical stage includes two components and an adjustment screw that adjusts the distance between these components. One component supports optical components such as lenses and mirrors, and is configured so that the distance between the components changes when the adjustment screw is screwed in. This allows fine adjustment of the position and angular orientation of the optical components. The other component is provided with a curved tube that passes through the inside, and a spherical component that transmits the force of the adjustment screw is disposed within it. This allows the direction in which the adjustment screw is screwed in to differ from the direction in which the optical components are moved, without using gears. As a result, an optical stage with a simple structure and easy adjustment of optical components is realized.

特開２００４－３４１４６３号公報JP 2004-341463 A

しかしながら、特許文献１に記載の光学ステージでは、調整ネジをねじ込む方向と、光学部品を移動させる方向と、を異ならせるため、部品の内部を貫通する曲管を設ける必要があり、構造の複雑化が避けられない。このため、光学ステージの小型化には限界がある。 However, in the optical stage described in Patent Document 1, in order to make the direction in which the adjustment screw is screwed different from the direction in which the optical component is moved, it is necessary to provide a curved tube that penetrates the inside of the component, which inevitably makes the structure more complicated. For this reason, there is a limit to how small the optical stage can be made.

本発明の適用例に係る傾斜ステージは、
載置面、ならびに、前記載置面を貫通する貫通孔、前記載置面を貫通する第１ネジ孔および前記載置面を貫通する第２ネジ孔、を有するステージ部と、
前記ステージ部に対向する対向面、および、前記対向面に開口する第３ネジ孔、を有するベース部と、
第１先端部および第１基端部を有する第１調整ネジと、
第２先端部および第２基端部を有する第２調整ネジと、
第３先端部および第３基端部を有する支柱ネジと、
を備え、
前記第１調整ネジは、前記第１基端部が前記第１ネジ孔に螺合し、かつ、前記第１先端部が前記対向面に当接し、
前記第２調整ネジは、前記第２基端部が前記第２ネジ孔に螺合し、かつ、前記第２先端部が前記対向面に当接し、
前記支柱ネジは、前記第３基端部が前記貫通孔に挿通され、かつ、前記第３先端部が前記第３ネジ孔に螺合し、
前記貫通孔の内径は、前記第３基端部の外径より大きいことを特徴とする。 The tilt stage according to the application example of the present invention includes:
a stage portion having a mounting surface, a through hole penetrating the mounting surface, a first screw hole penetrating the mounting surface, and a second screw hole penetrating the mounting surface;
a base portion having an opposing surface facing the stage portion and a third screw hole opening in the opposing surface;
a first adjustment screw having a first distal end and a first proximal end;
a second adjustment screw having a second distal end and a second proximal end;
a strut screw having a third distal end and a third proximal end;
Equipped with
The first adjusting screw has a first base end portion that is screwed into the first screw hole and a first tip end portion that is in contact with the opposing surface,
The second adjusting screw has a second base end portion that is screwed into the second screw hole and a second tip end portion that is in contact with the opposing surface,
The support screw has a third base end portion inserted into the through hole and a third tip end portion screwed into the third screw hole,
The inner diameter of the through hole is larger than the outer diameter of the third base end.

本発明の適用例に係る光学デバイスは、
本発明の適用例に係る傾斜ステージと、
前記載置面に載置されている光学部品と、
を備えることを特徴とする。 The optical device according to the application example of the present invention includes:
A tilt stage according to an application example of the present invention;
An optical component placed on the placement surface;
The present invention is characterized by comprising:

本発明の適用例に係るレーザー干渉計は、
レーザー光を射出する光源部と、
本発明の適用例に係る光学デバイスと、
を備えることを特徴とする。 A laser interferometer according to an application example of the present invention includes:
A light source unit that emits laser light;
An optical device according to an application example of the present invention;
The present invention is characterized by comprising:

第１実施形態に係る傾斜ステージを示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a tilt stage according to the first embodiment. 図１に示す傾斜ステージの断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the tilt stage shown in FIG. 図２に示すステージ部の載置面を、Ｘ軸マイナス側に傾けた状態を示す断面図である。3 is a cross-sectional view showing a state in which the mounting surface of the stage portion shown in FIG. 2 is tilted toward the negative side of the X-axis. 支柱ネジのねじ込み量を、図３に比べて大きくした状態を示す断面図である。4 is a cross-sectional view showing a state in which the screw-in amount of the post screw is increased compared to that in FIG. 3 . 図２の部分拡大図である。FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 2 . 第１実施形態の変形例に係る傾斜ステージを示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view showing a tilt stage according to a modified example of the first embodiment. 第２実施形態に係る傾斜ステージを示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a tilt stage according to a second embodiment. 図７に示す傾斜ステージの断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view of the tilt stage shown in FIG. 7 . 第４実施形態に係るレーザー干渉計を示す模式図である。FIG. 13 is a schematic diagram showing a laser interferometer according to a fourth embodiment.

以下、本発明に係る傾斜ステージ、光学デバイスおよびレーザー干渉計の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。 Embodiments of the tilt stage, optical device, and laser interferometer according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

１．第１実施形態
まず、第１実施形態に係る傾斜ステージについて説明する。 1. First Embodiment First, a tilt stage according to a first embodiment will be described.

図１は、第１実施形態に係る傾斜ステージを示す斜視図である。図２は、図１に示す傾斜ステージの断面図である。なお、本願の各図では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を設定している。各軸を矢印で表し、矢印の先端側を「プラス」、矢印の基端側を「マイナス」とする。また、以下の説明では、Ｚ軸プラス側を「上」、Ｚ軸マイナス側を「下」として説明している。さらに、以下の説明では、ネジの頭部からネジの先端に向かって進む方向をネジの「進行方向」という。 Figure 1 is a perspective view showing a tilt stage according to the first embodiment. Figure 2 is a cross-sectional view of the tilt stage shown in Figure 1. In each figure of the present application, an X-axis, a Y-axis, and a Z-axis are set as three mutually orthogonal axes. Each axis is represented by an arrow, with the tip of the arrow being "plus" and the base of the arrow being "minus." In the following explanation, the plus side of the Z-axis is explained as "up" and the minus side of the Z-axis is explained as "down." In the following explanation, the direction from the head of the screw to the tip of the screw is referred to as the "progress direction" of the screw.

１．１．傾斜ステージの構造の概要
図１に示す傾斜ステージ１は、ステージ部２と、ベース部３と、を備える。傾斜ステージ１は、ベース部３を例えば図示しない架台等に固定された状態で使用される。また、ステージ部２で例えば光学部品等の物体を支持する。そして、ベース部３に対してステージ部２を微動させることにより、物体の傾斜方向や傾斜角度を調整する。 1.1. Overview of the Structure of the Tilt Stage The tilt stage 1 shown in Fig. 1 comprises a stage section 2 and a base section 3. The tilt stage 1 is used with the base section 3 fixed to, for example, a stand (not shown). The stage section 2 supports an object such as an optical component. The tilt direction and tilt angle of the object are adjusted by slightly moving the stage section 2 relative to the base section 3.

１．１．１．ステージ部
ステージ部２は、載置面２１および裏面２２を有する板状部材である。載置面２１および裏面２２は、互いに非平行であってもよいが、本実施形態では互いに平行である。載置面２１および裏面２２は、それぞれＸ－Ｙ面に広がっている。 1.1.1 Stage The stage 2 is a plate-like member having a mounting surface 21 and a back surface 22. The mounting surface 21 and the back surface 22 may be non-parallel to each other, but are parallel to each other in this embodiment. The mounting surface 21 and the back surface 22 each extend in the XY plane.

載置面２１を平面視したとき、図１に示す載置面２１の形状は、四角形である。なお、この形状は、特に限定されず、円形であっても、四角形以外の多角形であっても、その他の形状であってもよい。 When the support surface 21 is viewed in plan, the shape of the support surface 21 shown in FIG. 1 is a rectangle. Note that this shape is not particularly limited, and it may be a circle, a polygon other than a rectangle, or another shape.

ステージ部２は、貫通孔２４と、ステージネジ孔２５（第１ネジ孔）と、ステージネジ孔２６と、ステージネジ孔２７（第２ネジ孔）と、ステージネジ孔２８と、を備える。これらの孔は、いずれも載置面２１と裏面２２の双方に開口している。つまり、これらの孔は、ステージ部２を貫通している。また、ステージネジ孔２５～２８の内周面にはネジ溝が設けられている。 The stage section 2 has a through hole 24, a stage screw hole 25 (first screw hole), a stage screw hole 26, a stage screw hole 27 (second screw hole), and a stage screw hole 28. All of these holes open on both the mounting surface 21 and the back surface 22. In other words, these holes penetrate the stage section 2. In addition, threads are provided on the inner surfaces of the stage screw holes 25 to 28.

載置面２１を平面視したとき、貫通孔２４は、載置面２１の中央部に位置している。中央部とは、載置面２１に引いた２本の対角線の交点近傍を指す。また、ステージネジ孔２５およびステージネジ孔２７は、貫通孔２４を挟んで、Ｘ軸方向の互いに反対側に位置している。さらに、ステージネジ孔２６およびステージネジ孔２８は、貫通孔２４を挟んで、Ｙ軸方向の互いに反対側に位置している。なお、貫通孔２４の位置は、中央部に限定されない。 When the mounting surface 21 is viewed from above, the through hole 24 is located in the center of the mounting surface 21. The center refers to the vicinity of the intersection of two diagonal lines drawn on the mounting surface 21. Furthermore, the stage screw hole 25 and the stage screw hole 27 are located on opposite sides of the X-axis direction, sandwiching the through hole 24. Furthermore, the stage screw hole 26 and the stage screw hole 28 are located on opposite sides of the Y-axis direction, sandwiching the through hole 24. Note that the position of the through hole 24 is not limited to the center.

ステージ部２の構成材料としては、剛性の高い材料であれば特に限定されず、例えば金属材料、セラミックス材料等が挙げられる。 The material that the stage portion 2 is made of is not particularly limited as long as it is a material with high rigidity, and examples of such materials include metal materials and ceramic materials.

１．１．２．ベース部
ベース部３は、対向面３１および裏面３２を有する部材である。対向面３１を平面視したとき、図１に示す対向面３１の形状は、四角形である。なお、この形状は、特に限定されず、円形であっても、四角形以外の多角形であっても、その他の形状であってもよい。また、本実施形態では、対向面３１が、前述した載置面２１とほぼ同じ大きさと同じ形状をなしているが、対向面３１の大きさや形状は、載置面２１と異なっていてもよい。 1.1.2. Base The base 3 is a member having an opposing surface 31 and a back surface 32. When the opposing surface 31 is viewed in plan, the shape of the opposing surface 31 shown in FIG. 1 is a rectangle. This shape is not particularly limited, and may be a circle, a polygon other than a rectangle, or another shape. In this embodiment, the opposing surface 31 has approximately the same size and shape as the mounting surface 21 described above, but the size and shape of the opposing surface 31 may be different from those of the mounting surface 21.

ベース部３は、ベースネジ孔３４（第３ネジ孔）を備える。図２に示すベースネジ孔３４は、対向面３１のみに開口している。なお、ベースネジ孔３４は、裏面３２にも開口していてもよい。ベースネジ孔３４の内周面にはネジ溝が設けられている。 The base portion 3 has a base screw hole 34 (third screw hole). The base screw hole 34 shown in FIG. 2 is open only to the opposing surface 31. The base screw hole 34 may also be open to the back surface 32. A screw groove is provided on the inner peripheral surface of the base screw hole 34.

対向面３１を平面視したとき、ベースネジ孔３４は、対向面３１の中央部に位置している。 When the opposing surface 31 is viewed in plan, the base screw hole 34 is located in the center of the opposing surface 31.

ベース部３の構成材料としては、剛性の高い材料であれば特に限定されず、例えば金属材料、セラミックス材料等が挙げられる。 The material from which the base portion 3 is made is not particularly limited as long as it is a material with high rigidity, and examples of such materials include metal materials and ceramic materials.

１．１．３．ネジ類、ばね等
図１に示す傾斜ステージ１は、支柱ネジ４１、調整ネジ５１（第１調整ネジ）、調整ネジ５２、調整ネジ５３（第２調整ネジ）、および、調整ネジ５４を備える。 1 includes a support screw 41, an adjustment screw 51 (first adjustment screw), an adjustment screw 52, an adjustment screw 53 (second adjustment screw), and an adjustment screw 54.

支柱ネジ４１は、頭部４１２と、基端部４１４および先端部４１６を含む本体部と、を備える。頭部４１２は、工具を差し込むための凹みを備え、本体部よりも外径が大きい部位である。本体部は、長尺の円柱状をなし、先端部４１６の外周面にはネジ溝が設けられている。先端部４１６が有するネジ溝は、ベースネジ孔３４に設けられたネジ溝に螺合するようになっている。なお、基端部４１４の外周面にもネジ溝が設けられていてもよい。 The pillar screw 41 has a head 412 and a body including a base end 414 and a tip end 416. The head 412 has a recess for inserting a tool and has a larger outer diameter than the body. The body is a long cylinder, and the tip end 416 has a thread groove on its outer circumferential surface. The tip end 416 has a thread groove that screws into the thread groove in the base screw hole 34. The base end 414 may also have a thread groove on its outer circumferential surface.

支柱ネジ４１では、頭部４１２、基端部４１４および先端部４１６がこの順で並んでいれば、各部の長さや比は特に限定されない。 As long as the head portion 412, base portion 414, and tip portion 416 of the post screw 41 are arranged in this order, there are no particular limitations on the length or ratio of each portion.

また、前述した貫通孔２４は、支柱ネジ４１の本体部が挿通可能になっている。このため、貫通孔２４の内径は、支柱ネジ４１の本体部の外径より大きくなっている。これにより、支柱ネジ４１と貫通孔２４の内周面との間には隙間ができる。その結果、支柱ネジ４１を緩めたとき、ステージ部２は、支柱ネジ４１に対してＺ軸まわりに回転することができ、かつ、ベース部３の対向面３１に対し、載置面２１を傾けることができる。また、隙間の大きさに応じて、載置面２１の傾斜角度の調整範囲を設定することができる。なお、貫通孔２４の上部は、下部に比べて内径が大きくなっている。これにより、貫通孔２４内に頭部４１２を収容することができる。 The through hole 24 described above is designed to allow the main body of the support screw 41 to be inserted. Therefore, the inner diameter of the through hole 24 is larger than the outer diameter of the main body of the support screw 41. This creates a gap between the support screw 41 and the inner peripheral surface of the through hole 24. As a result, when the support screw 41 is loosened, the stage unit 2 can rotate around the Z axis relative to the support screw 41, and the mounting surface 21 can be tilted relative to the opposing surface 31 of the base unit 3. In addition, the adjustment range of the tilt angle of the mounting surface 21 can be set according to the size of the gap. The upper part of the through hole 24 has a larger inner diameter than the lower part. This allows the head 412 to be accommodated in the through hole 24.

調整ネジ５１は、頭部５１２と、基端部５１４および先端部５１６を含む本体部と、を備える。調整ネジ５２は、頭部５２２と、基端部５２４および先端部５２６を含む本体部と、を備える。調整ネジ５３は、頭部５３２と、基端部５３４および先端部５３６を含む本体部と、を備える。調整ネジ５４は、頭部５４２と、基端部５４４および先端部５４６を含む本体部と、を備える。 The adjustment screw 51 has a head 512 and a body portion including a base end 514 and a tip end 516. The adjustment screw 52 has a head 522 and a body portion including a base end 524 and a tip end 526. The adjustment screw 53 has a head 532 and a body portion including a base end 534 and a tip end 536. The adjustment screw 54 has a head 542 and a body portion including a base end 544 and a tip end 546.

調整ネジ５１では、頭部５１２、基端部５１４および先端部５１６がこの順で並んでいれば、各部の長さや比は特に限定されない。調整ネジ５２～５４でも同様である。 As long as the head portion 512, base portion 514, and tip portion 516 of the adjustment screw 51 are arranged in this order, there are no particular limitations on the length or ratio of each portion. The same is true for the adjustment screws 52 to 54.

頭部５１２、５２２、５３２、５４２は、それぞれ工具を差し込むための凹みを備え、本体部よりも外径が大きい部位である。本体部は、長尺の円柱状をなし、基端部５１４、５２４、５３４、５４４の各外周面にはネジ溝が設けられている。基端部５１４、５２４、５３４、５４４に設けられたネジ溝は、ステージネジ孔２５～２８に設けられたネジ溝に螺合するようになっている。なお、図示しているように、先端部５１６、５２６、５３６、５４６の外周面にもネジ溝が設けられていてもよい。また、ステージネジ孔２５～２８の各上部は、各下部に比べて内径が大きくなっている。これにより、ステージネジ孔２５～２８内に頭部５１２、５２２、５３２、５４２を収容することができる。 The heads 512, 522, 532, and 542 each have a recess for inserting a tool, and have a larger outer diameter than the main body. The main body is a long cylinder, and the base ends 514, 524, 534, and 544 each have a screw groove on their outer periphery. The screw grooves on the base ends 514, 524, 534, and 544 are adapted to screw into the screw grooves on the stage screw holes 25 to 28. As shown in the figure, the tip ends 516, 526, 536, and 546 may also have screw grooves on their outer periphery. The upper parts of the stage screw holes 25 to 28 each have a larger inner diameter than the lower parts. This allows the heads 512, 522, 532, and 542 to be accommodated in the stage screw holes 25 to 28.

図１に示す傾斜ステージ１は、ワッシャー４２およびコイルばね４３を備える。ワッシャー４２およびコイルばね４３は、それぞれ支柱ネジ４１が挿通された状態で用いられる。つまり、支柱ネジ４１は、ワッシャー４２、コイルばね４３およびステージ部２を、この順に挿通する。そして、支柱ネジ４１の先端部４１６をベース部３のベースネジ孔３４に挿入することにより、ワッシャー４２およびコイルばね４３が、支柱ネジ４１とステージ部２との間に挟まれた状態になる。 The tilt stage 1 shown in FIG. 1 includes a washer 42 and a coil spring 43. The washer 42 and the coil spring 43 are used with the support screw 41 inserted therethrough. That is, the support screw 41 passes through the washer 42, the coil spring 43, and the stage part 2 in this order. Then, by inserting the tip 416 of the support screw 41 into the base screw hole 34 of the base part 3, the washer 42 and the coil spring 43 are sandwiched between the support screw 41 and the stage part 2.

なお、ベースネジ孔３４の深さは、支柱ネジ４１が挿入されるのに十分な深さに設定される。つまり、ベースネジ孔３４に支柱ネジ４１を挿入したとき、支柱ネジ４１がベースネジ孔３４の底に達することがない程度に、十分な深さを確保しておくのが好ましい。これにより、支柱ネジ４１のねじ込み量に応じて、ステージ部２をベース部３に押し付ける押付力を大きくすることができる。 The depth of the base screw hole 34 is set to a depth sufficient for the support screw 41 to be inserted. In other words, it is preferable to ensure a sufficient depth so that the support screw 41 does not reach the bottom of the base screw hole 34 when the support screw 41 is inserted into the base screw hole 34. This makes it possible to increase the pressing force that presses the stage part 2 against the base part 3 according to the amount of screwing of the support screw 41.

このようにして支柱ネジ４１をベース部３に固定すると、ベース部３に固定された支柱ネジ４１と、ステージ部２と、の間に隙間があるため、支柱ネジ４１を基準にして、載置面２１を様々な方向に傾けることができる。 When the support screw 41 is fixed to the base portion 3 in this manner, a gap is created between the support screw 41 fixed to the base portion 3 and the stage portion 2, so the support surface 21 can be tilted in various directions based on the support screw 41.

図３は、一例として、図２に示すステージ部２の載置面２１を、Ｘ軸マイナス側に傾けた状態を示す断面図である。 Figure 3 is a cross-sectional view showing, as an example, the state in which the support surface 21 of the stage unit 2 shown in Figure 2 is tilted toward the negative side of the X-axis.

図３に示すように、支柱ネジ４１と貫通孔２４の内周面との隙間は、ステージ部２を傾けるために必要なスペースになっている。そして、ベース部３の対向面３１に対する載置面２１の傾斜角度は、調整ネジ５１、５３のねじ込み量に応じて微調整することができる。 As shown in FIG. 3, the gap between the support screw 41 and the inner circumferential surface of the through hole 24 is the space required to tilt the stage unit 2. The inclination angle of the mounting surface 21 relative to the opposing surface 31 of the base unit 3 can be finely adjusted according to the amount of screwing in of the adjustment screws 51 and 53.

図３は、図２の状態に比べて、調整ネジ５１をその進行方向とは反対方向に進むように回し、一方、調整ネジ５３をその進行方向に進むように回した後の状態を示している。調整ネジ５１、５３のような螺旋のネジ溝を持つネジ部材は、それぞれ簡単な構造であるにもかかわらず、ねじ込み量を連続的に変化させることが容易である。このため、調整ネジ５１、５３を用いて載置面２１の傾斜角度を変更する機構を設けることにより、載置面２１が支持する光学部品等の傾斜角度を無段階に調整することができるので、微調整が容易な傾斜ステージ１を実現することができる。 Compared to the state in FIG. 2, FIG. 3 shows the state after adjustment screw 51 has been rotated to move in the opposite direction to its direction of travel, while adjustment screw 53 has been rotated to move in its direction of travel. Screw members with helical threads such as adjustment screws 51 and 53 are easy to continuously change the amount of screwing, despite their simple structure. For this reason, by providing a mechanism for changing the inclination angle of mounting surface 21 using adjustment screws 51 and 53, the inclination angle of optical components supported by mounting surface 21 can be adjusted steplessly, thereby realizing a tilt stage 1 that allows easy fine adjustment.

なお、図３では、支柱ネジ４１を緩めているので、支柱ネジ４１の頭部４１２とワッシャー４２との間には隙間がある。このため、図３に示すコイルばね４３は、自然状態にある。そして、この状態では、支柱ネジ４１およびコイルばね４３は、それぞれ、ステージ部２に対してほとんど作用していない。 In FIG. 3, the support screw 41 is loosened, so there is a gap between the head 412 of the support screw 41 and the washer 42. Therefore, the coil spring 43 shown in FIG. 3 is in its natural state. In this state, the support screw 41 and the coil spring 43 each exert almost no force on the stage portion 2.

図４は、支柱ネジ４１のねじ込み量を、図３に比べて大きくした状態を示す断面図である。 Figure 4 is a cross-sectional view showing the state in which the amount of screwing of the post screw 41 has been increased compared to Figure 3.

図４に示すコイルばね４３は、ワッシャー４２を介して、支柱ネジ４１の頭部４１２とステージ部２との間に挟まれている。そして、図４に示すコイルばね４３は、Ｚ軸方向に圧縮されている。その結果、圧縮状態にあるコイルばね４３は、支柱ネジ４１がステージ部２をベース部３に押し付ける押付力と、ステージ部２から支柱ネジ４１が受ける抗力と、を仲介することができる。つまり、Ｚ軸方向において、支柱ネジ４１の頭部４１２とステージ部２との間にスペースがあっても、そのスペースをコイルばね４３が埋めることによって、コイルばね４３の反力を、ステージ部２に対する押付力として付与することができ、かつ、支柱ネジ４１に対する抗力として付与することができる。その結果、Ｚ軸方向で、押付力と抗力とが釣り合い、ステージ部２を強力に固定することができる。 The coil spring 43 shown in FIG. 4 is sandwiched between the head 412 of the support screw 41 and the stage part 2 via the washer 42. The coil spring 43 shown in FIG. 4 is compressed in the Z-axis direction. As a result, the coil spring 43 in the compressed state can mediate between the pressing force of the support screw 41 pressing the stage part 2 against the base part 3 and the resistance force that the support screw 41 receives from the stage part 2. In other words, even if there is a space between the head 412 of the support screw 41 and the stage part 2 in the Z-axis direction, the coil spring 43 fills the space, so that the reaction force of the coil spring 43 can be applied as a pressing force against the stage part 2 and can also be applied as a resistance force against the support screw 41. As a result, the pressing force and the resistance force are balanced in the Z-axis direction, and the stage part 2 can be firmly fixed.

また、コイルばね４３は、例えば図４の支柱ネジ４１を挟んだＸ軸方向の両側で、隙間の大きさが異なっていても、コイルピッチの変化によって追従することができる。このため、コイルばね４３を設けることにより、図４の支柱ネジ４１を挟んだＸ軸方向の両側で、ステージ部２に対して押付力を付与することができ、かつ、支柱ネジ４１に対する抗力を付与することができる。その結果、載置面２１が傾いていても、ステージ部２をバランスよく固定することができる。また、圧縮されたコイルばね４３が反力を発生し続けることにより、支柱ネジ４１の緩みが抑制される。 In addition, the coil spring 43 can follow the gap by changing the coil pitch, even if the size of the gap is different on both sides of the support screw 41 in FIG. 4 in the X-axis direction. Therefore, by providing the coil spring 43, a pressing force can be applied to the stage part 2 on both sides of the support screw 41 in FIG. 4 in the X-axis direction, and a resistance force can be applied to the support screw 41. As a result, even if the mounting surface 21 is tilted, the stage part 2 can be fixed in a balanced manner. In addition, the compressed coil spring 43 continues to generate a reaction force, which prevents the support screw 41 from loosening.

なお、コイルばね４３は、各種弾性体で代替可能である。弾性体としては、コイルばね４３の他、渦巻きばね、板ばね等の各種ばね、ゴムやエラストマー、発泡樹脂等の各種樹脂部品等が挙げられる。 The coil spring 43 can be replaced by various elastic bodies. In addition to the coil spring 43, examples of the elastic body include various springs such as spiral springs and leaf springs, and various resin parts such as rubber, elastomers, and foamed resin.

ただし、弾性体にはコイルばね４３が好ましく用いられる。コイルばね４３は、内部に支柱ネジ４１を挿通させやすい構造を有し、伸縮しても外径や内径が変化しにくい。このため、傾斜ステージ１に用いられる弾性体として特に有用である。 However, a coil spring 43 is preferably used as the elastic body. The coil spring 43 has a structure that allows the support screw 41 to be easily inserted therein, and the outer and inner diameters are unlikely to change even when it expands or contracts. For this reason, it is particularly useful as an elastic body to be used in the tilt stage 1.

コイルばね４３は、素線を螺旋状に巻いた圧縮コイルばねで構成されるが、素線の断面形状は、円形であっても、四角形であっても、その他の形状であってもよい。ただし、圧縮されたときの形状安定性等の観点から、素線の断面形状が四角形である角ばねが好ましく用いられる。角ばねをコイルばね４３として用いることにより、支柱ネジ４１の締結後、ステージ部２の固定状態をより安定して維持することができる。 The coil spring 43 is composed of a compression coil spring in which wire is wound in a spiral shape, and the cross-sectional shape of the wire may be circular, rectangular, or any other shape. However, from the viewpoint of shape stability when compressed, a square spring in which the cross-sectional shape of the wire is square is preferably used. By using a square spring as the coil spring 43, the fixed state of the stage section 2 can be more stably maintained after the support screw 41 is tightened.

また、コイルばね４３、すなわち弾性体は、必要に応じて設けられればよく、省略されてもよい。コイルばね４３が省略された場合でも、支柱ネジ４１がステージ部２に対して直接押付力を付与することができるので、ステージ部２を固定することができる。ワッシャー４２も、必要に応じて設けられればよく、省略されてもよい。 The coil spring 43, i.e., the elastic body, may be provided as needed, and may be omitted. Even if the coil spring 43 is omitted, the support screw 41 can directly apply a pressing force to the stage portion 2, and therefore the stage portion 2 can be fixed. The washer 42 may also be provided as needed, and may be omitted.

また、載置面２１の傾斜角度の調整範囲は、前述したように、支柱ネジ４１と貫通孔２４の内周面との隙間に応じて決まる。具体的には、支柱ネジ４１の外周面と貫通孔２４の内周面とが接触していない状態から、載置面２１の傾斜角度を徐々に大きくしていくと、所定の角度で、支柱ネジ４１の外周面と貫通孔２４の内周面とが接触する。そうすると、それ以上、載置面２１の傾斜角度を大きくすることはできなくなる。 As described above, the adjustment range of the tilt angle of the mounting surface 21 is determined by the gap between the support screw 41 and the inner peripheral surface of the through hole 24. Specifically, when the tilt angle of the mounting surface 21 is gradually increased from a state in which the outer peripheral surface of the support screw 41 and the inner peripheral surface of the through hole 24 are not in contact, the outer peripheral surface of the support screw 41 and the inner peripheral surface of the through hole 24 come into contact at a predetermined angle. When this happens, the tilt angle of the mounting surface 21 cannot be increased any further.

図５は、図２の部分拡大図である。
図５では、支柱ネジ４１の基端部４１４の外径をφ４１４とし、貫通孔２４の内径をφ２４とする。基端部４１４の外径φ４１４は、貫通孔２４の内径φ２４よりも小さければよいが、好ましくは内径φ２４の９８％以下とされ、より好ましくは５０％以上９５％以下とされ、さらに好ましくは６０％以上９０％以下とされる。これにより、載置面２１の傾斜角度の調整範囲を十分に確保することができ、かつ、ステージ部２が不安定になるまで傾斜角度が大きくなるのを防止することができる。 FIG. 5 is a partially enlarged view of FIG.
5, the outer diameter of the base end 414 of the support screw 41 is φ414, and the inner diameter of the through hole 24 is φ24. The outer diameter φ414 of the base end 414 may be smaller than the inner diameter φ24 of the through hole 24, but is preferably 98% or less of the inner diameter φ24, more preferably 50% or more and 95% or less, and even more preferably 60% or more and 90% or less. This makes it possible to sufficiently secure the adjustment range of the tilt angle of the mounting surface 21, and to prevent the tilt angle from becoming large enough to make the stage portion 2 unstable.

また、図５では、ワッシャー４２の内径をφ４２とし、コイルばね４３の外径をφ４３とする。コイルばね４３の外径φ４３は、貫通孔２４の内径φ２４およびワッシャー４２の内径φ４２の双方より大きいことが好ましい。これにより、コイルばね４３がワッシャー４２や貫通孔２４に嵌るのを防止して、コイルばね４３に対して確実に押付力を付与することができる。 In addition, in FIG. 5, the inner diameter of the washer 42 is φ42, and the outer diameter of the coil spring 43 is φ43. It is preferable that the outer diameter φ43 of the coil spring 43 is larger than both the inner diameter φ24 of the through hole 24 and the inner diameter φ42 of the washer 42. This prevents the coil spring 43 from getting stuck in the washer 42 or the through hole 24, and ensures that a pressing force is applied to the coil spring 43.

なお、コイルばね４３の外径φ４３は、ワッシャー４２の内径φ４２より大きければよいが、好ましくは内径φ４２の１０２％以上とされ、より好ましくは１０５％以上２００％以下とされ、さらに好ましくは１１０％以上１５０％以下とされる。これにより、コイルばね４３がワッシャー４２に嵌りにくくなり、かつ、コイルばね４３の剛性が高くなりすぎるのを防止してステージ部２の傾きに対するコイルばね４３の追従性を確保することができる。 The outer diameter φ43 of the coil spring 43 may be larger than the inner diameter φ42 of the washer 42, but is preferably 102% or more of the inner diameter φ42, more preferably 105% or more and 200% or less, and even more preferably 110% or more and 150% or less. This makes it difficult for the coil spring 43 to fit into the washer 42, and prevents the stiffness of the coil spring 43 from becoming too high, ensuring the ability of the coil spring 43 to follow the inclination of the stage portion 2.

また、図５では、支柱ネジ４１の頭部４１２の外径をφ４１２とする。支柱ネジ４１の頭部４１２の外径φ４１２は、貫通孔２４の内径φ２４よりも大きい。そして、頭部４１２とステージ部２との間に弾性体であるコイルばね４３が設けられている。これにより、コイルばね４３は、頭部４１２とステージ部２との間で安定して圧縮される。その結果、コイルばね４３は、支柱ネジ４１がステージ部２をベース部３に押し付ける押付力と、ステージ部２から支柱ネジ４１が受ける抗力と、をより安定して仲介することができる。 In addition, in FIG. 5, the outer diameter of the head 412 of the support screw 41 is φ412. The outer diameter φ412 of the head 412 of the support screw 41 is larger than the inner diameter φ24 of the through hole 24. A coil spring 43, which is an elastic body, is provided between the head 412 and the stage portion 2. This allows the coil spring 43 to be stably compressed between the head 412 and the stage portion 2. As a result, the coil spring 43 can more stably mediate between the pressing force of the support screw 41 pressing the stage portion 2 against the base portion 3 and the resistance force that the support screw 41 receives from the stage portion 2.

Ｘ軸方向における載置面２１の傾斜角度は、前述したように、調整ネジ５１、５３のねじ込み量で調整することができる。具体的には、載置面２１を平面視したとき、貫通孔２４は、ステージネジ孔２５（第１ネジ孔）とステージネジ孔２７（第２ネジ孔）との間に設けられている。このため、調整ネジ５１と調整ネジ５３との間に支柱ネジ４１が配置されることになる。その結果、傾斜ステージ１では、調整ネジ５１、５３のねじ込み量によって、載置面２１をＸ軸プラス側に傾けることも、Ｘ軸マイナス側に傾けることもできる。これにより、傾斜ステージ１は、載置面２１の傾斜方向をＸ軸の両方向に変更可能であるという高い自由度を、少なくとも３本のネジによって実現することができる。したがって、傾斜ステージ１では、特に、高機能と小型化とが両立している。 As described above, the inclination angle of the mounting surface 21 in the X-axis direction can be adjusted by the screwing amount of the adjustment screws 51 and 53. Specifically, when the mounting surface 21 is viewed in a plan view, the through hole 24 is provided between the stage screw hole 25 (first screw hole) and the stage screw hole 27 (second screw hole). Therefore, the support screw 41 is disposed between the adjustment screw 51 and the adjustment screw 53. As a result, in the tilt stage 1, the mounting surface 21 can be tilted to the positive side of the X-axis or to the negative side of the X-axis depending on the screwing amount of the adjustment screws 51 and 53. This allows the tilt stage 1 to realize a high degree of freedom in that the tilt direction of the mounting surface 21 can be changed in both directions of the X-axis with at least three screws. Therefore, the tilt stage 1 is particularly compatible with high functionality and compactness.

また、調整ネジ５１、５３による調整量を等しくすれば、載置面２１の傾斜角度を維持しながら、載置面２１をＺ軸に沿って並進させることもできる。したがって、傾斜ステージ１は、いわゆるＺ軸ステージとして用いることもできる。 In addition, if the adjustment amounts made by the adjustment screws 51 and 53 are made equal, the mounting surface 21 can be translated along the Z axis while maintaining the inclination angle of the mounting surface 21. Therefore, the tilt stage 1 can also be used as a so-called Z-axis stage.

一方、図１に示す傾斜ステージ１では、Ｙ軸方向における載置面２１の傾斜角度を、調整ネジ５２、５４のねじ込み量で調整することができる。したがって、傾斜ステージ１では、４本の調整ネジ５１～５４のねじ込み量を調整することにより、Ｚ軸まわりの全方向に向けて載置面２１を傾けることができ、かつ、その傾斜角度を微調整することができる。 On the other hand, in the tilt stage 1 shown in FIG. 1, the tilt angle of the mounting surface 21 in the Y-axis direction can be adjusted by the amount of screwing in the adjustment screws 52 and 54. Therefore, in the tilt stage 1, by adjusting the amount of screwing in the four adjustment screws 51 to 54, the mounting surface 21 can be tilted in all directions around the Z-axis, and the tilt angle can be fine-tuned.

なお、載置面２１を平面視し、貫通孔２４を対称の中心としたとき、ステージネジ孔２５（第１ネジ孔）およびステージネジ孔２７（第２ネジ孔）は、貫通孔２４に対して互いに点対称な位置にあるのが好ましい。つまり、ステージネジ孔２５、貫通孔２４およびステージネジ孔２７は、同一の直線上に位置しており、ステージネジ孔２５と貫通孔２４との距離と、ステージネジ孔２７と貫通孔２４との距離と、は等しくなっているのが好ましい。 When the mounting surface 21 is viewed in plan and the through hole 24 is the center of symmetry, it is preferable that the stage screw hole 25 (first screw hole) and the stage screw hole 27 (second screw hole) are positioned point-symmetrically with respect to the through hole 24. In other words, it is preferable that the stage screw hole 25, the through hole 24, and the stage screw hole 27 are positioned on the same straight line, and the distance between the stage screw hole 25 and the through hole 24 and the distance between the stage screw hole 27 and the through hole 24 are equal.

このような構成によれば、調整ネジ５１の単位ねじ込み量で調整される傾斜角度と、調整ネジ５３の単位ねじ込み量で調整される傾斜角度と、を等しくすることができる。これにより、光学部品等の傾斜角度を調整するときの傾斜ステージ１の操作性を高めることができる。 With this configuration, the tilt angle adjusted by the unit screwing amount of the adjustment screw 51 can be made equal to the tilt angle adjusted by the unit screwing amount of the adjustment screw 53. This improves the operability of the tilt stage 1 when adjusting the tilt angle of an optical component, etc.

同様に、貫通孔２４を対称の中心としたとき、ステージネジ孔２６およびステージネジ孔２８も、互いに点対称な位置にあるのが好ましい。 Similarly, when the through hole 24 is the center of symmetry, it is preferable that the stage screw hole 26 and the stage screw hole 28 are also located at positions that are point symmetrical to each other.

なお、調整ネジ５１～５４は、少なくとも２本あればよいが、図１に示すように３本以上設けることにより、載置面２１の傾斜方向および傾斜角度をより安定して保持することができる。 Although at least two adjustment screws 51-54 are required, providing three or more as shown in FIG. 1 allows the tilt direction and tilt angle of the support surface 21 to be more stably maintained.

また、調整ネジ５１～５４では、先端部５１６、５２６、５３６、５４６がベース部３の対向面３１に当接している。「当接」とは、単に接している状態を指す。先端部５１６、５２６、５３６、５４６がベース部３の対向面３１に当接することで、ベース部３に対するステージ部２の支持点を増やすことができる。これにより、ステージ部２を安定して固定することができる。また、調整ネジ５１～５４は、対向面３１に拘束されることがなく、対向面３１内の任意の位置に移動可能である。したがって、ステージ部２は、支柱ネジ４１を回転軸として、ベース部３に対して相対的に回転することもできる。これにより、傾斜ステージ１では、Ｚ軸まわりの全方向に向けて載置面２１を傾ける微動に加え、Ｚ軸まわりに載置面２１を回転させる移動が可能になる。 In addition, the tip portions 516, 526, 536, and 546 of the adjustment screws 51 to 54 abut against the opposing surface 31 of the base portion 3. "Abutting" simply refers to a state of being in contact. The tip portions 516, 526, 536, and 546 abut against the opposing surface 31 of the base portion 3, thereby increasing the number of support points of the stage portion 2 relative to the base portion 3. This allows the stage portion 2 to be stably fixed. In addition, the adjustment screws 51 to 54 are not constrained by the opposing surface 31 and can be moved to any position within the opposing surface 31. Therefore, the stage portion 2 can also rotate relatively to the base portion 3, with the support screw 41 as the rotation axis. As a result, the tilt stage 1 can move to rotate the mounting surface 21 around the Z axis in addition to fine movement to tilt the mounting surface 21 in all directions around the Z axis.

以上のように、本実施形態に係る傾斜ステージ１は、ステージ部２と、ベース部３と、調整ネジ５１（第１調整ネジ）と、調整ネジ５３（第２調整ネジ）と、支柱ネジ４１と、を備える。ステージ部２は、載置面２１、ならびに、載置面２１に開口し、貫通する貫通孔２４、載置面２１に開口し、貫通するステージネジ孔２５（第１ネジ孔）および載置面２１に開口し、貫通するステージネジ孔２７（第２ネジ孔）を有する。ベース部３は、ステージ部２に対向する対向面３１、および、対向面３１に開口するベースネジ孔３４（第３ネジ孔）を有する。調整ネジ５１は、先端部５１６（第１先端部）および基端部５１４（第１基端部）を有する。調整ネジ５３は、先端部５３６（第２先端部）および基端部５３４（第２基端部）を有する。支柱ネジ４１は、先端部４１６（第３先端部）および基端部４１４（第３基端部）を有する。 As described above, the tilt stage 1 according to this embodiment includes the stage portion 2, the base portion 3, the adjustment screw 51 (first adjustment screw), the adjustment screw 53 (second adjustment screw), and the support screw 41. The stage portion 2 has a mounting surface 21, a through hole 24 that opens into the mounting surface 21 and penetrates it, a stage screw hole 25 (first screw hole) that opens into the mounting surface 21 and penetrates it, and a stage screw hole 27 (second screw hole) that opens into the mounting surface 21 and penetrates it. The base portion 3 has an opposing surface 31 that faces the stage portion 2, and a base screw hole 34 (third screw hole) that opens into the opposing surface 31. The adjustment screw 51 has a tip portion 516 (first tip portion) and a base end portion 514 (first base end portion). The adjustment screw 53 has a tip portion 536 (second tip portion) and a base end portion 534 (second base end portion). The pillar screw 41 has a tip portion 416 (third tip portion) and a base portion 414 (third base portion).

そして、調整ネジ５１では、基端部５１４がステージネジ孔２５に螺合し、かつ、先端部５１６が対向面３１に当接している。調整ネジ５３では、基端部５３４がステージネジ孔２７に螺合し、かつ、先端部５３６が対向面３１に当接している。支柱ネジ４１では、基端部４１４が貫通孔２４に挿通され、かつ、先端部４１６がベースネジ孔３４に螺合している。また、貫通孔２４の内径φ２４は、基端部４１４の外径φ４１４より大きい。 The adjustment screw 51 has a base end 514 that is threaded into the stage screw hole 25 and a tip end 516 that abuts against the opposing surface 31. The adjustment screw 53 has a base end 534 that is threaded into the stage screw hole 27 and a tip end 536 that abuts against the opposing surface 31. The support screw 41 has a base end 414 that is inserted into the through hole 24 and a tip end 416 that is threaded into the base screw hole 34. The inner diameter φ24 of the through hole 24 is larger than the outer diameter φ414 of the base end 414.

このような構成によれば、支柱ネジ４１がステージ部２を傾けるための支柱（基軸）として機能し、かつ、ステージ部２を固定する機能も有するため、傾斜ステージ１では、構造の簡素化が図られている。したがって、傾斜ステージ１は、小型化が容易である。 With this configuration, the support screw 41 functions as a support (base axis) for tilting the stage part 2 and also has the function of fixing the stage part 2, so the structure of the tilt stage 1 is simplified. Therefore, the tilt stage 1 can be easily miniaturized.

また、調整ネジ５１、５３のねじ込み量によってステージ部２の傾斜方向および傾斜角度を調整することができる。このため、傾斜ステージ１によれば、載置面２１に載置されている光学部品等の物体を、調整ネジ５１、５３の各進行方向とは異なる方向に移動させることができる。これにより、傾斜ステージ１が狭いスペースに置かれた場合でも、例えば載置面２１側からＺ軸方向に沿って作業者が手を伸ばし、調整ネジ５１、５３に対する作業を行うことができ、かつ、手を伸ばす方向とは異なる方向、例えばＸ軸方向やＹ軸方向に光学部品等を傾けることができる。その結果、光学部品等の物体を精度よく微動させることができ、かつ、小型で作業性に優れた傾斜ステージ１を実現することができる。 The tilt direction and tilt angle of the stage section 2 can be adjusted by the amount of screwing in the adjustment screws 51 and 53. Therefore, with the tilt stage 1, an object such as an optical component placed on the mounting surface 21 can be moved in a direction different from the direction of movement of the adjustment screws 51 and 53. As a result, even if the tilt stage 1 is placed in a narrow space, an operator can reach out from the mounting surface 21 along the Z-axis direction to work on the adjustment screws 51 and 53, and can tilt the optical component in a direction different from the reaching direction, such as the X-axis or Y-axis direction. As a result, an inclined stage 1 can be realized that can precisely move an object such as an optical component, and is small and easy to use.

また、傾斜ステージ１では、ベース部３とステージ部２との間で、接触面積が少なく抑えられている。具体的には、図１に示す傾斜ステージ１の場合、１本の支柱ネジ４１および４本の調整ネジ５１～５４のみが、接触部であるため、対向面３１の面積に比べて接触面積を非常に小さくすることができる。これにより、ベース部３とステージ部２との間の熱抵抗を大きくすることができる。その結果、例えば光学部品のような熱に対する感受性が高い物体を載置面２１に載置した場合でも、ベース部３からステージ部２への熱伝達を小さく抑えることができ、光学部品の熱による歪み等を少なくすることができる。 In addition, in the tilt stage 1, the contact area between the base portion 3 and the stage portion 2 is kept small. Specifically, in the case of the tilt stage 1 shown in FIG. 1, only one support screw 41 and four adjustment screws 51 to 54 are in contact, so the contact area can be made very small compared to the area of the opposing surface 31. This makes it possible to increase the thermal resistance between the base portion 3 and the stage portion 2. As a result, even if an object that is highly sensitive to heat, such as an optical component, is placed on the mounting surface 21, the heat transfer from the base portion 3 to the stage portion 2 can be kept small, and distortion of the optical component due to heat can be reduced.

なお、熱抵抗を大きくするという観点では、支柱ネジ４１および調整ネジ５１～５４の構成材料を、熱伝導率の低い材料にするのが好ましい。熱伝導率の低い材料としては、例えば、セラミックス材料、ガラス材料、樹脂材料等が挙げられる。 From the viewpoint of increasing the thermal resistance, it is preferable to use a material with low thermal conductivity for the constituent materials of the support screw 41 and the adjustment screws 51 to 54. Examples of materials with low thermal conductivity include ceramic materials, glass materials, and resin materials.

同様に、ワッシャー４２の構成材料に、熱伝導率の低い材料を用いることで、熱抵抗を大きくすることができる。 Similarly, the thermal resistance can be increased by using a material with low thermal conductivity as the constituent material of the washer 42.

なお、傾斜ステージ１は、載置面２１を傾ける目的のみで使用される必要はなく、例えば、前述したようにＺ軸に沿って並進するＺ軸ステージとして用いられてもよいし、Ｚ軸まわりに回転する回転ステージとして用いられてもよい。 The tilt stage 1 does not have to be used only for the purpose of tilting the support surface 21, but may be used, for example, as a Z-axis stage that translates along the Z-axis as described above, or as a rotation stage that rotates around the Z-axis.

１．２．傾斜ステージの使用方法
次に、傾斜ステージ１の使用方法について説明する。 1.2 Method of Using the Tilt Stage Next, a method of using the tilt stage 1 will be described.

まず、ユーザーは、図２に示すように、支柱ネジ４１を緩める。これにより、ステージ部２を、Ｚ軸まわりのいずれかの方向に向けて載置面２１を傾けたり、Ｚ軸に沿って並進させたり、Ｚ軸まわりに回転させたりすることが可能になる。 First, the user loosens the support screw 41 as shown in FIG. 2. This makes it possible to tilt the mounting surface 21 of the stage unit 2 in any direction around the Z axis, translate it along the Z axis, or rotate it around the Z axis.

載置面２１を傾ける場合には、調整ネジ５１～５４のねじ込み量を変えることにより、載置面２１の傾斜方向と傾斜角度を調整する。 When tilting the support surface 21, the tilt direction and angle of the support surface 21 are adjusted by changing the amount of screwing in the adjustment screws 51 to 54.

載置面２１の傾斜方向および傾斜角度が決まったら、支柱ネジ４１を締める。これにより、コイルばね４３が圧縮され、それに伴って、載置面２１の姿勢を維持しながら、ステージ部２がベース部３に対して固定される。なお、支柱ネジ４１は、コイルばね４３の素線同士が互いに接触する状態になるまで締め付けることが好ましい。これにより、コイルばね４３の状態が特に安定するとともに、コイルばね４３が実質的に管体とみなすことができる状態になる。その結果、支柱ネジ４１による押付力をほぼそのまま、ステージ部２の固定に利用することができ、特に安定した固定が可能になる。 Once the tilt direction and tilt angle of the mounting surface 21 have been determined, the support screw 41 is tightened. This compresses the coil spring 43, and the stage section 2 is fixed to the base section 3 while maintaining the position of the mounting surface 21. It is preferable to tighten the support screw 41 until the wires of the coil spring 43 come into contact with each other. This makes the state of the coil spring 43 particularly stable, and the coil spring 43 can essentially be considered as a tube. As a result, the pressing force of the support screw 41 can be used almost as it is to fix the stage section 2, allowing for particularly stable fixation.

１．３．変形例
次に、第１実施形態の変形例に係る傾斜ステージについて説明する。
図６は、第１実施形態の変形例に係る傾斜ステージを示す断面図である。 1.3 Modifications Next, a tilt stage according to a modification of the first embodiment will be described.
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a tilt stage according to a modified example of the first embodiment.

以下、変形例について説明するが、以下の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。なお、図６において、第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付している。 The following describes the modified example, but in the following description, the differences from the first embodiment will be mainly described, and the description of similar points will be omitted. Note that in FIG. 6, the same reference numerals are used for configurations similar to those in the first embodiment.

図６に示す傾斜ステージ１は、ナット６１、６３およびコイルばね４４が追加されていること以外、第１実施形態と同様である。 The tilt stage 1 shown in FIG. 6 is similar to that of the first embodiment, except that nuts 61, 63 and a coil spring 44 are added.

すなわち、図６に示す傾斜ステージ１は、ナット６１、６３およびコイルばね４４を備える。なお、図６は、支柱ネジ４１を未だ締め付けていない状態を図示している。 That is, the tilt stage 1 shown in FIG. 6 includes nuts 61, 63 and a coil spring 44. Note that FIG. 6 illustrates a state in which the support screw 41 has not yet been tightened.

ナット６１は、調整ネジ５１に螺合している。そして、ナット６１は、ステージ部２とベース部３との間に位置している。このナット６１は、調整ネジ５１のねじ込み量を調整した後、締め付けられる。これにより、調整ネジ５１の調整後のねじ込み量を固定することができる。その結果、ねじ込み量が意図せず変化してしまうのを抑制することができる。 The nut 61 is screwed onto the adjustment screw 51. The nut 61 is located between the stage portion 2 and the base portion 3. This nut 61 is tightened after adjusting the amount of screwing of the adjustment screw 51. This makes it possible to fix the amount of screwing of the adjustment screw 51 after adjustment. As a result, it is possible to prevent the amount of screwing from changing unintentionally.

同様に、ナット６３は、調整ネジ５３に螺合している。そして、ナット６３は、ステージ部２とベース部３との間に位置している。ナット６３を用いることにより、ナット６１と同様、調整ネジ５３の調整後のねじ込み量を固定することができる。その結果、ねじ込み量が意図せず変化してしまうのを抑制することができる。 Similarly, the nut 63 is screwed onto the adjustment screw 53. The nut 63 is located between the stage portion 2 and the base portion 3. By using the nut 63, like the nut 61, the amount of screwing of the adjustment screw 53 after adjustment can be fixed. As a result, unintended changes in the amount of screwing can be prevented.

その他、調整ネジ５２、５４にも、図示しないナットが設けられていてもよい。また、ナット６１、６３は、いずれか一方が省略されていてもよい。 In addition, the adjustment screws 52 and 54 may also be provided with nuts (not shown). Also, either the nuts 61 or 63 may be omitted.

コイルばね４４は、支柱ネジ４１に取り付けられている。そして、コイルばね４４は、ステージ部２とベース部３との間に位置している。このコイルばね４４は、ステージ部２とベース部３との間で反力を発生させ、ステージ部２を支柱ネジ４１に押し付けるように作用する。このため、コイルばね４３が圧縮し切った場合でも、さらに、ステージ部２の固定力を追加することができる。 The coil spring 44 is attached to the support screw 41. The coil spring 44 is located between the stage part 2 and the base part 3. This coil spring 44 generates a reaction force between the stage part 2 and the base part 3, and acts to press the stage part 2 against the support screw 41. Therefore, even if the coil spring 43 is fully compressed, it is possible to further add fixing force to the stage part 2.

以上のように、本変形例に係る傾斜ステージ１は、調整ネジ５１（第１調整ネジ）に螺合するナット６１（第１ナット）および調整ネジ５３（第２調整ネジ）に螺合するナット６３（第２ナット）の少なくとも一方を備える。これにより、調整ネジ５１、５３のねじ込み量をナット６１、６３によって固定することができる。その結果、ねじ込み量が意図せず変化してしまうのを抑制することができる。 As described above, the tilt stage 1 according to this modified example includes at least one of the nut 61 (first nut) that screws onto the adjustment screw 51 (first adjustment screw) and the nut 63 (second nut) that screws onto the adjustment screw 53 (second adjustment screw). This allows the screw-in amount of the adjustment screws 51, 53 to be fixed by the nuts 61, 63. As a result, unintentional changes in the screw-in amount can be suppressed.

なお、本変形例に係る傾斜ステージ１においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。 The tilt stage 1 according to this modified example also provides the same effects as those of the first embodiment.

２．第２実施形態
次に、第２実施形態に係る傾斜ステージについて説明する。 2. Second Embodiment Next, a tilt stage according to a second embodiment will be described.

図７は、第２実施形態に係る傾斜ステージを示す斜視図である。図８は、図７に示す傾斜ステージの断面図である。 Figure 7 is a perspective view showing a tilt stage according to the second embodiment. Figure 8 is a cross-sectional view of the tilt stage shown in Figure 7.

以下、第２実施形態について説明するが、以下の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。なお、図７および図８において、第１実施形態と同様の構成については、同一の符号を付している。 The second embodiment will be described below, focusing on the differences from the first embodiment and omitting a description of similar points. Note that in Figures 7 and 8, the same reference numerals are used for configurations similar to those of the first embodiment.

第２実施形態は、載置面２１における貫通孔やネジ孔の位置や数が異なること以外、第１実施形態と同様である。 The second embodiment is similar to the first embodiment, except that the positions and numbers of the through holes and screw holes in the mounting surface 21 are different.

図７および図８に示す傾斜ステージ１Ａは、ステージ部２Ａと、ベース部３Ａと、を備える。 The tilt stage 1A shown in Figures 7 and 8 comprises a stage portion 2A and a base portion 3A.

ステージ部２Ａは、載置面２１を平面視したとき、略四角形をなす板状の部材である。ステージ部２Ａは、貫通孔２４２、２４４、２４６を備える。これらの貫通孔２４２、２４４、２４６は、前述した貫通孔２４と同様、ステージ部２Ａを貫通している。そして、載置面２１が有する４つの角部のうち、Ｘ軸マイナス側でかつＹ軸プラス側に位置する角部には、貫通孔２４２が設けられている。また、Ｘ軸プラス側でかつＹ軸マイナス側に位置する角部には、貫通孔２４４、２４６が設けられている。 The stage section 2A is a plate-like member that is substantially rectangular when the mounting surface 21 is viewed from above. The stage section 2A has through holes 242, 244, and 246. These through holes 242, 244, and 246 penetrate the stage section 2A, similar to the through hole 24 described above. Of the four corners of the mounting surface 21, the corner located on the negative side of the X axis and the positive side of the Y axis has a through hole 242. In addition, the corners located on the positive side of the X axis and the negative side of the Y axis have through holes 244 and 246.

また、ステージ部２Ａは、ステージネジ孔２９２、２９４、２９６を備える。これらのステージネジ孔２９２、２９４、２９６は、前述したステージネジ孔２５～２８と同様、ステージ部２を貫通し、内周面にはネジ溝が設けられている。そして、載置面２１が有する４つの角部のうち、Ｘ軸マイナス側でかつＹ軸プラス側に位置する角部には、ステージネジ孔２９２、２９４が設けられている。また、Ｘ軸プラス側でかつＹ軸マイナス側に位置する角部には、ステージネジ孔２９６が設けられている。 The stage section 2A also has stage screw holes 292, 294, and 296. These stage screw holes 292, 294, and 296, like the previously described stage screw holes 25 to 28, penetrate the stage section 2 and have threaded grooves on their inner circumferential surfaces. Of the four corners of the mounting surface 21, the corner located on the negative side of the X-axis and the positive side of the Y-axis has stage screw holes 292 and 294. The corner located on the positive side of the X-axis and the negative side of the Y-axis has stage screw hole 296.

したがって、貫通孔２４２およびステージネジ孔２９２、２９４が設けられた角部と、貫通孔２４４、２４６およびステージネジ孔２９６が設けられた角部は、載置面２１に引かれた１本の対角線の両側に位置している。そして、これらの角部同士の間に、光学部品９３が載置されている。具体的には、ステージ部２Ａの載置面２１には、台座９１、ホルダー９２および光学部品９３が載置されている。台座９１は、ネジ９１２、９１４でステージ部２Ａに固定されている。ホルダー９２は、台座９１に接着されており、光学部品９３は、ホルダー９２に接着されている。これにより、光学部品９３がステージ部２Ａに固定されている。光学部品９３は、例えば反射面９３２を備えるミラーである。傾斜ステージ１Ａによれば、反射面９３２の向きを微調整することができる。 Therefore, the corner where the through hole 242 and the stage screw holes 292, 294 are provided and the corner where the through holes 244, 246 and the stage screw hole 296 are provided are located on both sides of a diagonal line drawn on the mounting surface 21. The optical component 93 is mounted between these corners. Specifically, the mounting surface 21 of the stage unit 2A has a pedestal 91, a holder 92, and an optical component 93 mounted thereon. The pedestal 91 is fixed to the stage unit 2A with screws 912, 914. The holder 92 is bonded to the pedestal 91, and the optical component 93 is bonded to the holder 92. In this way, the optical component 93 is fixed to the stage unit 2A. The optical component 93 is, for example, a mirror having a reflecting surface 932. The tilt stage 1A allows fine adjustment of the orientation of the reflecting surface 932.

ベース部３Ａは、ベースネジ孔３４２、３４４、３４６を備える。これらのベースネジ孔３４２、３４４、３４６は、前述したベースネジ孔３４と同様、対向面３１に開口し、内周面にはネジ溝が設けられている。 The base portion 3A has base screw holes 342, 344, and 346. Similar to the base screw hole 34 described above, these base screw holes 342, 344, and 346 open to the opposing surface 31 and have a screw groove on the inner peripheral surface.

図７に示す傾斜ステージ１Ａは、支柱ネジ４５、４６、４７、および、調整ネジ５５、５６、５７を備える。支柱ネジ４５～４７は、前述した支柱ネジ４１と同様の機能を有し、調整ネジ５５～５７は、前述した調整ネジ５１～５４と同様の機能を有する。 The tilt stage 1A shown in FIG. 7 includes support screws 45, 46, and 47, and adjustment screws 55, 56, and 57. The support screws 45 to 47 have the same function as the support screw 41 described above, and the adjustment screws 55 to 57 have the same function as the adjustment screws 51 to 54 described above.

支柱ネジ４５は、頭部４５２と、基端部４５４および先端部４５６を含む本体部と、を備える。支柱ネジ４６は、頭部４６２と、基端部４６４および先端部４６６を含む本体部と、を備える。支柱ネジ４７は、頭部４７２と、基端部４７４および先端部４７６を含む本体部と、を備える。先端部４５６、４６６、４７６の各外周面には、ネジ溝が設けられている。これにより、支柱ネジ４５、４６、４７は、ベースネジ孔３４２、３４４、３４６に螺合するようになっている。 The support screw 45 has a head 452 and a body portion including a base end 454 and a tip end 456. The support screw 46 has a head 462 and a body portion including a base end 464 and a tip end 466. The support screw 47 has a head 472 and a body portion including a base end 474 and a tip end 476. A thread groove is provided on the outer circumferential surface of each of the tip ends 456, 466, and 476. This allows the support screws 45, 46, and 47 to be screwed into the base screw holes 342, 344, and 346.

支柱ネジ４５では、頭部４５２、基端部４５４および先端部４５６がこの順で並んでいれば、各部の長さや比は特に限定されない。支柱ネジ４６、４７でも同様である。 In the strut screw 45, the length and ratio of each part are not particularly limited as long as the head part 452, the base part 454, and the tip part 456 are arranged in this order. The same applies to the strut screws 46 and 47.

また、前述した貫通孔２４２、２４４、２４６は、支柱ネジ４５、４６、４７の本体部が挿通可能になっている。このため、貫通孔２４２、２４４、２４６の内径は、支柱ネジ４５、４６、４７の本体部の外径より大きくなっている。これにより、支柱ネジ４５、４６、４７と貫通孔２４２、２４４、２４６との間には隙間ができ、隙間の分だけ、ステージ部２Ａの載置面２１をベース部３Ａの対向面３１に対して傾けることが可能になる。 The aforementioned through holes 242, 244, 246 are designed so that the main bodies of the support screws 45, 46, 47 can be inserted therethrough. Therefore, the inner diameter of the through holes 242, 244, 246 is larger than the outer diameter of the main bodies of the support screws 45, 46, 47. This creates a gap between the support screws 45, 46, 47 and the through holes 242, 244, 246, making it possible to tilt the mounting surface 21 of the stage section 2A relative to the opposing surface 31 of the base section 3A by the amount of the gap.

調整ネジ５５は、頭部５５２と、基端部５５４および先端部５５６を含む本体部と、を備える。調整ネジ５６は、頭部５６２と、基端部５６４および先端部５６６を含む本体部と、を備える。調整ネジ５７は、頭部５７２と、基端部５７４および先端部５７６を含む本体部と、を備える。基端部５５４、５６４、５７４の各外周面にはネジ溝が設けられている。これにより、調整ネジ５５、５６、５７は、ステージネジ孔２９２、２９４、２９６に螺合するようになっている。また、先端部５５６、５６６、５７６は、ベース部３Ａの対向面３１に当接している。 The adjustment screw 55 has a head 552 and a body portion including a base end 554 and a tip end 556. The adjustment screw 56 has a head 562 and a body portion including a base end 564 and a tip end 566. The adjustment screw 57 has a head 572 and a body portion including a base end 574 and a tip end 576. The outer periphery of each of the base ends 554, 564, and 574 is provided with a thread groove. This allows the adjustment screws 55, 56, and 57 to screw into the stage screw holes 292, 294, and 296. The tip ends 556, 566, and 576 abut against the opposing surface 31 of the base portion 3A.

調整ネジ５５では、頭部５５２、基端部５５４および先端部５５６がこの順で並んでいれば、各部の長さや比は特に限定されない。調整ネジ５６、５７でも同様である。 As long as the head portion 552, base portion 554, and tip portion 556 of the adjustment screw 55 are arranged in this order, the lengths and ratios of each portion are not particularly limited. The same is true for the adjustment screws 56 and 57.

傾斜ステージ１Ａでは、支柱ネジ４５、４６、４７を緩めることにより、ステージ部２Ａの載置面２１を傾けることができるようになる。そして、ベース部３Ａの対向面３１に対する載置面２１の傾斜方向および傾斜角度は、調整ネジ５５、５６、５７のねじ込み量に応じて微調整することができる。載置面２１の傾斜方向および傾斜角度が決まったら、支柱ネジ４５、４６、４７を締め付ける。これにより、ステージ部２Ａが固定される。 In the tilt stage 1A, the support surface 21 of the stage section 2A can be tilted by loosening the support screws 45, 46, and 47. The tilt direction and angle of the support surface 21 relative to the opposing surface 31 of the base section 3A can be fine-tuned according to the amount of screwing in of the adjustment screws 55, 56, and 57. Once the tilt direction and angle of the support surface 21 have been determined, the support screws 45, 46, and 47 are tightened. This fixes the stage section 2A.

図７に示す傾斜ステージ１Ａは、コイルばね４３２、４３４、４３６を備える。コイルばね４３２、４３４、４３６は、支柱ネジ４５、４６、４７に挿通された状態で用いられる。支柱ネジ４５、４６、４７の先端部４５６、４６６、４７６をベースネジ孔３４２、３４４、３４６に挿入することにより、コイルばね４３２、４３４、４３６が、支柱ネジ４５、４６、４７とステージ部２Ａとの間に挟まれた状態になる。このようなコイルばね４３２、４３４、４３６を設けることにより、支柱ネジ４５、４６、４７の頭部４５２、４６２、４７２とステージ部２Ａとの間にスペースがあっても、そのスペースをコイルばね４３２、４３４、４３６が埋めることによって、ステージ部２Ａを強力に固定することができる。また、載置面２１が傾いていても、コイルばね４３２、４３４、４３６が追従するので、ステージ部２Ａをバランスよく固定することができる。
なお、傾斜ステージ１Ａも、前述したワッシャー４２を備えていてもよい。 The tilt stage 1A shown in Fig. 7 includes coil springs 432, 434, and 436. The coil springs 432, 434, and 436 are used in a state where they are inserted through the support screws 45, 46, and 47. By inserting the tip portions 456, 466, and 476 of the support screws 45, 46, and 47 into the base screw holes 342, 344, and 346, the coil springs 432, 434, and 436 are sandwiched between the support screws 45, 46, and 47 and the stage portion 2A. By providing such coil springs 432, 434, and 436, even if there is a space between the head portions 452, 462, and 472 of the support screws 45, 46, and 47 and the stage portion 2A, the coil springs 432, 434, and 436 fill the space, so that the stage portion 2A can be firmly fixed. Furthermore, even if the mounting surface 21 is inclined, the coil springs 432, 434, 436 follow the tilt, so that the stage portion 2A can be fixed in a well-balanced manner.
The tilt stage 1A may also be provided with the washer 42 described above.

また、本実施形態では、載置面２１を平面視したとき、ステージネジ孔２９２、２９４、２９６を結ぶ線分が二等辺三角形を形成している。このような配置にすることで、例えば、調整ネジ５５、５６と調整ネジ５７との間のねじ込み量の差によって、載置面２１に対する反射面９３２の仰角または俯角を微調整することができる。この場合、載置面２１のうち、ステージネジ孔２９２が設けられている角部と、ステージネジ孔２９４、２９６が設けられている角部と、の間に光学部品９３が設けられているのが好ましい。これにより、載置面２１に対して反射面９３２の仰角を増やす方向にも、俯角を増やす方向にも、調整することが可能になる。 In addition, in this embodiment, when the mounting surface 21 is viewed in a plan view, the line segments connecting the stage screw holes 292, 294, and 296 form an isosceles triangle. With this arrangement, for example, the elevation angle or depression angle of the reflecting surface 932 with respect to the mounting surface 21 can be finely adjusted by the difference in the amount of screwing between the adjustment screws 55 and 56 and the adjustment screw 57. In this case, it is preferable that the optical component 93 is provided between the corner of the mounting surface 21 where the stage screw hole 292 is provided and the corner of the mounting surface 21 where the stage screw holes 294 and 296 are provided. This makes it possible to adjust both the elevation angle of the reflecting surface 932 with respect to the mounting surface 21 and the depression angle.

さらに、本実施形態では、複数本の支柱ネジ４５、４６、４７を備えることにより、第１実施形態に比べて、ステージ部２Ａを固定する部位を増やすことができる。これにより、ステージ部２Ａをより安定的に固定することができる。
以上のような第２実施形態においても、第１実施形態と同様の効果が得られる。 Furthermore, in this embodiment, by providing a plurality of support screws 45, 46, and 47, it is possible to increase the number of locations to which the stage portion 2A is fixed, compared to the first embodiment. This makes it possible to fix the stage portion 2A more stably.
In the second embodiment as described above, the same effects as in the first embodiment can be obtained.

３．第３実施形態
また、傾斜ステージ１Ａと、載置面２１に載置されている光学部品９３と、で光学デバイス１０が構成される。つまり、第３実施形態に係る光学デバイス１０は、傾斜ステージ１Ａと、光学部品９３と、を備える。このような光学デバイス１０は、光学部品９３の光軸を微調整する機能を有し、かつ、傾斜ステージ１Ａの構造が簡単であることから、光軸調整の作業性が良好で、かつ小型化が容易なものとなる。なお、光学部品９３は、いかなる機能を持つ光学部品であってもよい。 3. Third embodiment The optical device 10 is composed of the tilt stage 1A and the optical component 93 placed on the placement surface 21. That is, the optical device 10 according to the third embodiment includes the tilt stage 1A and the optical component 93. Such an optical device 10 has a function of finely adjusting the optical axis of the optical component 93, and since the structure of the tilt stage 1A is simple, the optical axis adjustment is easy to perform and the device can be easily miniaturized. The optical component 93 may be an optical component having any function.

４．第４実施形態
図９は、第４実施形態に係るレーザー干渉計を示す模式図である。 4. Fourth Embodiment FIG. 9 is a schematic diagram showing a laser interferometer according to a fourth embodiment.

図９に示すレーザー干渉計１００は、レーザー光源１０２（光源部）と、ビームスプリッター１０４、１０６、１０８と、ミラー１１０と、受光器１１２と、音響光学変調器ＡＯＭと、を備える。 The laser interferometer 100 shown in FIG. 9 includes a laser light source 102 (light source section), beam splitters 104, 106, and 108, a mirror 110, a photoreceiver 112, and an acousto-optical modulator (AOM).

レーザー光源１０２は、周波数ｆ_０のレーザー光である出射光Ｌ１を出射する。出射光Ｌ１は、ビームスプリッター１０４、１０６を透過して、被測定物１１４で反射する。この反射光である物体光Ｌ３は、被測定物１１４の振動速度Ｖに応じてドップラーシフトを受けている。このため、物体光Ｌ３の周波数は、ｆ_０±ｆ_Ｄとなる。この物体光Ｌ３は、ビームスプリッター１０６およびミラー１１０で順次反射し、ビームスプリッター１０８を透過して、受光器１１２で受光される。 Laser light source 102 emits output light L1, which is a laser light with a frequency _f0 . Output light L1 passes through beam splitters 104 and 106 and is reflected by object under test 114. This reflected light, object light L3, is Doppler shifted in accordance with the vibration velocity V of object under test 114. For this reason, the frequency of object light L3 becomes _f0 ± _fD . This object light L3 is reflected in turn by beam splitter 106 and mirror 110, passes through beam splitter 108, and is received by photoreceiver 112.

また、出射光Ｌ１の一部は、ビームスプリッター１０４で分岐し、音響光学変調器ＡＯＭに入射する。音響光学変調器ＡＯＭでは、出射光Ｌ１を周波数変調させ、周波数ｆ_０＋ｆ_Ｍの参照光Ｌ２を生成する。参照光Ｌ２は、ビームスプリッター１０８で反射し、受光器１１２で受光される。 Furthermore, a portion of the output light L1 is split by the beam splitter 104 and enters the acousto-optic modulator AOM. The acousto-optic modulator AOM frequency-modulates the output light L1 to generate reference light L2 having a frequency f ₀ +f _M. The reference light L2 is reflected by the beam splitter 108 and received by the photodetector 112.

そして、受光器１１２では、物体光Ｌ３と参照光Ｌ２とを干渉させた、周波数ｆ_Ｍ±ｆ_Ｄの干渉光Ｌ４を受光し、うなり信号を得る。そして、うなり信号から検出回路でドップラーシフトの周波数情報を取り出し、復調回路によって速度情報（振動速度Ｖ）を求めることができる。 The photoreceiver 112 receives interference light L4 of frequency _fM ± _fD , which is produced by interference between the object light L3 and the reference light L2, and obtains a beat signal. A detection circuit extracts Doppler shift frequency information from the beat signal, and a demodulation circuit determines velocity information (vibration velocity V).

このようなレーザー干渉計１００では、一例として、ミラー１１０が光学デバイス１０で構成されている。これにより、ミラー１１０では、光学デバイス１０が奏する効果により、物体光Ｌ３の反射方向を容易に微調整することができる。したがって、光軸調整の作業性に優れたレーザー干渉計１００を実現することができる。また、光学デバイス１０は小型化が図られているため、レーザー干渉計１００の小型化を容易に図ることができる。 In such a laser interferometer 100, as an example, the mirror 110 is composed of the optical device 10. As a result, the mirror 110 can easily fine-tune the reflection direction of the object light L3 due to the effect of the optical device 10. Therefore, a laser interferometer 100 with excellent workability in adjusting the optical axis can be realized. In addition, since the optical device 10 is miniaturized, the laser interferometer 100 can be easily miniaturized.

なお、光学デバイス１０は、ミラー１１０以外の光学要素で用いられていてもよい。また、音響光学変調器ＡＯＭに代えて、圧電素子等の振動素子を備える振動子型光変調器を用いるようにしてもよい。 The optical device 10 may be used with optical elements other than the mirror 110. Also, instead of the acousto-optical modulator AOM, a vibrator-type optical modulator equipped with a vibrating element such as a piezoelectric element may be used.

以上のように、本実施形態に係るレーザー干渉計１００は、レーザー光を射出するレーザー光源１０２（光源部）と、光学デバイス１０と、を備える。このようなレーザー干渉計１００は、小型でかつメンテナンス性に優れる。 As described above, the laser interferometer 100 according to this embodiment includes a laser light source 102 (light source unit) that emits laser light, and an optical device 10. Such a laser interferometer 100 is small and has excellent maintainability.

以上、本発明の傾斜ステージ、光学デバイスおよびレーザー干渉計を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、例えば、前記実施形態の各部が同様の機能を有する任意の構成のものに置換されたものであってもよく、前記実施形態に任意の構成物が付加されたものであってもよい。 The tilt stage, optical device, and laser interferometer of the present invention have been described above based on the illustrated embodiments, but the present invention is not limited to the above embodiments. For example, each part of the above embodiments may be replaced with any configuration having a similar function, or any configuration may be added to the above embodiments.

１…傾斜ステージ、１Ａ…傾斜ステージ、２…ステージ部、２Ａ…ステージ部、３…ベース部、３Ａ…ベース部、１０…光学デバイス、２１…載置面、２２…裏面、２４…貫通孔、２５…ステージネジ孔、２６…ステージネジ孔、２７…ステージネジ孔、２８…ステージネジ孔、３１…対向面、３２…裏面、３４…ベースネジ孔、４１…支柱ネジ、４２…ワッシャー、４３…コイルばね、４４…コイルばね、４５…支柱ネジ、４６…支柱ネジ、４７…支柱ネジ、５１…調整ネジ、５２…調整ネジ、５３…調整ネジ、５４…調整ネジ、５５…調整ネジ、５６…調整ネジ、５７…調整ネジ、６１…ナット、６３…ナット、９１…台座、９２…ホルダー、９３…光学部品、１００…レーザー干渉計、１０２…レーザー光源、１０４…ビームスプリッター、１０６…ビームスプリッター、１０８…ビームスプリッター、１１０…ミラー、１１２…受光器、１１４…被測定物、２４２…貫通孔、２４４…貫通孔、２４６…貫通孔、２９２…ステージネジ孔、２９４…ステージネジ孔、２９６…ステージネジ孔、３４２…ベースネジ孔、３４４…ベースネジ孔、３４６…ベースネジ孔、４１２…頭部、４１４…基端部、４１６…先端部、４３２…コイルばね、４３４…コイルばね、４３６…コイルばね、４５２…頭部、４５４…基端部、４５６…先端部、４６２…頭部、４６４…基端部、４６６…先端部、４７２…頭部、４７４…基端部、４７６…先端部、５１２…頭部、５１４…基端部、５１６…先端部、５２２…頭部、５２４…基端部、５２６…先端部、５３２…頭部、５３４…基端部、５３６…先端部、５４２…頭部、５４４…基端部、５４６…先端部、５５２…頭部、５５４…基端部、５５６…先端部、５６２…頭部、５６４…基端部、５６６…先端部、５７２…頭部、５７４…基端部、５７６…先端部、９１２…ネジ、９１４…ネジ、９３２…反射面、ＡＯＭ…音響光学変調器、Ｌ１…出射光、Ｌ２…参照光、Ｌ３…物体光、Ｌ４…干渉光、Ｖ…振動速度、ｆ_０…周波数、ｆ_Ｄ…周波数、ｆ_Ｍ…周波数、φ２４…内径、φ４１２…外径、φ４１４…外径、φ４２…内径、φ４３…外径 Reference Signs List 1...tilt stage, 1A...tilt stage, 2...stage portion, 2A...stage portion, 3...base portion, 3A...base portion, 10...optical device, 21...mounting surface, 22...rear surface, 24...through hole, 25...stage screw hole, 26...stage screw hole, 27...stage screw hole, 28...stage screw hole, 31...opposing surface, 32...rear surface, 34...base screw hole, 41...support screw, 42...washer, 43...coil spring, 44...coil spring, 45...support screw, 46...support screw, 47...support screw, 5 1...adjustment screw, 52...adjustment screw, 53...adjustment screw, 54...adjustment screw, 55...adjustment screw, 56...adjustment screw, 57...adjustment screw, 61...nut, 63...nut, 91...base, 92...holder, 93...optical component, 100...laser interferometer, 102...laser light source, 104...beam splitter, 106...beam splitter, 108...beam splitter, 110...mirror, 112...photoreceiver, 114...object to be measured, 242...through hole, 244...through hole, 246...through hole, 292... Stage screw hole, 294...stage screw hole, 296...stage screw hole, 342...base screw hole, 344...base screw hole, 346...base screw hole, 412...head, 414...base end, 416...tip, 432...coil spring, 434...coil spring, 436...coil spring, 452...head, 454...base end, 456...tip, 462...head, 464...base end, 466...tip, 472...head, 474...base end, 476...tip, 512...head, 514...base end, 516...tip , 522...head, 524...base end, 526...tip, 532...head, 534...base end, 536...tip, 542...head, 544...base end, 546...tip, 552...head, 554...base end, 556...tip, 562...head, 564...base end, 566...tip, 572...head, 574...base end, 576...tip, 912...screw, 914...screw, 932...reflection surface, AOM...acousto-optic modulator, L1...emitted light, L2...reference light, L3...object light, L4...interference light, V...vibration velocity, f ₀ ...frequency, f _D ...frequency, f _M ...frequency, φ24...inner diameter, φ412...outer diameter, φ414...outer diameter, φ42...inner diameter, φ43...outer diameter

Claims

a stage portion having a mounting surface, a through hole penetrating the mounting surface, two first screw holes penetrating the mounting surface, and two second screw holes penetrating the mounting surface;
a base portion having an opposing surface facing the stage portion and a third screw hole opening in the opposing surface;
two first adjustment screws having a first distal end and a first proximal end;
two second adjustment screws having second distal ends and second proximal ends;
a post screw having a third distal end and a third proximal end;
The first adjusting screw has a first base end portion that is screwed into one of the first screw holes and a first tip end portion that is in contact with the opposing surface,
The second adjusting screw has a second base end portion that is screwed into one of the second screw holes and a second tip end portion that is in contact with the opposing surface,
the other first adjustment screw has the first base end portion screwed into the other first screw hole and the first tip end portion abutting against the opposing surface,
the other second adjusting screw has the second base end portion screwed into the other second screw hole and the second tip end portion abutting against the opposing surface,
The support screw has a third base end portion inserted into the through hole and a third tip end portion screwed into the third screw hole,
The inner diameter of the through hole is larger than the outer diameter of the third base end,
When the mounting surface is viewed in a plan view, the through hole is provided at an intersection of a first axis and a second axis intersecting the first axis,
On the first axis, the first screw hole and the second screw hole are positioned point-symmetrically with respect to the through hole,
A tilt stage, characterized in that , on the second axis, the other of the first screw hole and the other of the second screw hole are positioned point-symmetrically with respect to the through hole .

The post screw has a head having an outer diameter larger than the inner diameter of the through hole,
The tilt stage according to claim 1 , further comprising an elastic body provided between the head portion and the stage portion.

The tilt stage according to claim 2, wherein the elastic body is a coil spring.

4. The tilt stage according to claim 1, further comprising at least one of a first nut that screws onto the first adjustment screw and a second nut that screws onto the second adjustment screw.

A tilt stage according to any one of claims 1 to 4 ,
An optical component placed on the placement surface;
An optical device comprising:

A light source unit that emits laser light;
An optical device according to claim 5 ;
A laser interferometer comprising: