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JP7595264B2 - Component crimping device and component crimping method - Google Patents
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JP7595264B2 - Component crimping device and component crimping method - Google Patents

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Description

本開示は、基板に部品を圧着する部品圧着装置などに関する。 This disclosure relates to a component crimping device that crimps components onto a substrate.

従来、液晶パネルなどの基板に電子部品(以下、単に「部品」と呼称する)を圧着する部品圧着装置が電子部品実装装置として提供されている(特許文献1参照)。この部品圧着装置は、フィルムキャリアから部品を打ち抜く打ち抜き装置を備え、一定のピッチでフィルムキャリアを送りながら打ち抜かれた部品を液晶パネルに圧着している。これにより、部品が圧着された基板である実装基板が生産される。 Conventionally, a component bonding device that bonds electronic components (hereinafter simply referred to as "components") to a substrate such as a liquid crystal panel has been provided as an electronic component mounting device (see Patent Document 1). This component bonding device is equipped with a punching device that punches out components from a film carrier, and while feeding the film carrier at a constant pitch, it bonds the punched components to the liquid crystal panel. This produces a mounted substrate, which is a substrate to which components are bonded.

特開平7-106796号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 7-106796

しかしながら、上記特許文献1の部品圧着装置では、実装精度が低下する可能性があるという課題がある。 However, the component bonding device in Patent Document 1 has the problem that mounting accuracy may decrease.

そこで、本開示では、実装精度の向上を図ることができる部品圧着装置などを提供する。 Therefore, this disclosure provides a component crimping device that can improve mounting accuracy.

本開示の一態様に係る部品圧着装置は、第1のアライメントマークが形成されている基板を保持して前記基板を移動させる基板移動機構と、第2のアライメントマークが形成されている部品を保持して前記基板に圧着する圧着ツールと、撮像範囲に含まれる被写体を撮像する撮像部と、前記撮像部の撮像範囲を移動させる撮像移動機構と、制御部とを備え、前記制御部は、前記圧着ツールに保持されている前記部品の端縁が前記撮像範囲に収まるように前記撮像範囲の移動を前記撮像移動機構に実行させ、前記撮像範囲に含まれる前記部品の端縁を前記被写体として前記撮像部に撮像させ、前記第2のアライメントマークが前記撮像範囲に含まれていない場合には、前記部品の端縁の撮像後に、前記第2のアライメントマークが前記撮像範囲に収まるように前記撮像範囲の移動を前記撮像移動機構に実行させ、前記撮像範囲に含まれる前記第2のアライメントマークを前記被写体として前記撮像部に撮像させ、前記部品の端縁および前記第2のアライメントマークのそれぞれの撮像結果に基づいて、前記部品の端縁と前記第2のアライメントマークとの位置関係を示す関係情報を生成して出力し、前記第1のアライメントマークが前記撮像範囲に収まるように前記基板の移動を前記基板移動機構に実行させ、前記撮像範囲に含まれる前記第1のアライメントマークを前記被写体として前記撮像部に撮像させ、前記第1のアライメントマークおよび前記第2のアライメントマークのそれぞれの撮像結果に基づいて、前記基板移動機構および前記圧着ツールによる前記部品の前記基板への圧着を制御する。 A component crimping device according to one aspect of the present disclosure includes a substrate moving mechanism that holds a substrate on which a first alignment mark is formed and moves the substrate, a crimping tool that holds a component on which a second alignment mark is formed and crimps the substrate to the substrate, an imaging unit that captures an image of a subject included in an imaging range, an imaging movement mechanism that moves the imaging range of the imaging unit, and a control unit, and the control unit causes the imaging movement mechanism to move the imaging range so that an edge of the component held by the crimping tool falls within the imaging range, causes the imaging unit to capture an image of the edge of the component included in the imaging range as the subject, and if the second alignment mark is not included in the imaging range, causes the imaging unit to capture an image of the edge of the component so that the second alignment mark falls within the imaging range after the edge of the component is captured. The imaging movement mechanism is caused to move the imaging range as described above, the second alignment mark included in the imaging range is imaged by the imaging unit as the subject, relationship information indicating the positional relationship between the edge of the component and the second alignment mark is generated and output based on the respective imaging results of the edge of the component and the second alignment mark, the substrate movement mechanism is caused to move the substrate so that the first alignment mark falls within the imaging range, the first alignment mark included in the imaging range is imaged by the imaging unit as the subject, and the bonding of the component to the substrate by the substrate movement mechanism and the bonding tool is controlled based on the respective imaging results of the first alignment mark and the second alignment mark.

なお、これらの包括的または具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムまたはコンピュータ読み取り可能なCD-ROMなどの記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラムおよび記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。また、記録媒体は、非一時的な記録媒体であってもよい。 These comprehensive or specific aspects may be realized by a system, a method, an integrated circuit, a computer program, or a recording medium such as a computer-readable CD-ROM, or may be realized by any combination of a system, a method, an integrated circuit, a computer program, and a recording medium. The recording medium may also be a non-transitory recording medium.

本開示の部品圧着装置は、実装精度の向上を図ることができる。 The component crimping device disclosed herein can improve mounting accuracy.

本開示の一態様における更なる利点および効果は、明細書および図面から明らかにされる。かかる利点および/または効果は、いくつかの実施の形態並びに明細書および図面に記載された特徴によってそれぞれ提供されるが、1つまたはそれ以上の同一の特徴を得るために必ずしも全てが提供される必要はない。 Further advantages and benefits of certain aspects of the present disclosure will become apparent from the specification and drawings. Such advantages and/or benefits may be provided by some of the embodiments and features described in the specification and drawings, respectively, but not necessarily all of them need be provided to obtain one or more identical features.

図1は、実施の形態における部品実装ラインの概略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a component mounting line according to an embodiment. 図2は、実施の形態における部品実装ラインの平面図である。FIG. 2 is a plan view of a component mounting line according to the embodiment. 図3は、実施の形態における部品実装ラインに備えらえている、コンピュータと、そのコンピュータによって制御される各構成要素とを示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a computer provided in a component mounting line according to the embodiment and each of the components controlled by the computer. 図4は、実施の形態における部品圧着装置の構成を示すブロック図である。FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a component crimping device according to an embodiment of the present invention. 図5は、実施の形態における複数の部品が設けられているテープ部材と、基板の一部とのそれぞれの一例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing an example of a tape member on which a plurality of components are provided and a part of a substrate according to the embodiment. 図6は、実施の形態における部品供給部の打ち抜き部の構成例を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration example of a punching unit of a component supply unit according to an embodiment. 図7は、実施の形態における部品供給部から部品移動部を介して圧着ツールに供給される部品の流れを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the flow of components supplied from a component supply unit to a crimping tool via a component movement unit in the embodiment. 図8は、実施の形態における圧着ツールおよび基板移動機構のステージによる部品の圧着の手順の一例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing an example of a procedure for crimping components using a crimping tool and a stage of a substrate moving mechanism according to an embodiment. 図9は、実施の形態における関係情報の一例を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating an example of relationship information according to the embodiment. 図10は、実施の形態における撮像部に含まれる第1のカメラおよび第2のカメラと撮像移動機構とのそれぞれの一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing an example of a first camera, a second camera, and an imaging movement mechanism included in the imaging unit according to the embodiment. 図11は、実施の形態における、部品が撮像されるときの第1のカメラと部品とをX軸方向から見た状態を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a state in which the first camera and a component are viewed from the X-axis direction when an image of the component is captured in the embodiment. 図12Aは、実施の形態における第1のカメラの撮像例を示す図である。FIG. 12A is a diagram illustrating an example of imaging by the first camera according to the embodiment. 図12Bは、実施の形態における第2のカメラの撮像例を示す図である。FIG. 12B is a diagram illustrating an example of imaging by the second camera in the embodiment. 図13Aは、実施の形態における、部品の端縁を被写体とした撮像の一例を示す図である。FIG. 13A is a diagram showing an example of imaging an edge of a component as a subject in the embodiment. 図13Bは、実施の形態における、第2のアライメントマークを被写体とした撮像の一例を示す図である。FIG. 13B is a diagram showing an example of imaging of a second alignment mark as a subject in the embodiment. 図14Aは、実施の形態における、部品の端縁を被写体とした撮像の他の例を示す図である。FIG. 14A is a diagram showing another example of imaging an edge of a component as a subject in the embodiment. 図14Bは、実施の形態における、第2のアライメントマークを被写体とした撮像の他の例を示す図である。FIG. 14B is a diagram showing another example of imaging the second alignment mark as a subject in the embodiment. 図15は、実施の形態における部品圧着装置の全体的な処理工程を示すフローチャートである。FIG. 15 is a flow chart showing the overall process steps of the component crimping device according to the embodiment. 図16は、図15のステップS13における位置関係特定処理の詳細を示すフローチャートである。FIG. 16 is a flowchart showing details of the positional relationship specifying process in step S13 of FIG. 図17は、実施の形態における撮像部および撮像範囲が動くタイミングを説明するための図である。FIG. 17 is a diagram for explaining timing at which the imaging unit and the imaging range move in the embodiment. 図18は、実施の形態の変形例における撮像移動機構の一部の構成例を示す図である。FIG. 18 is a diagram showing a configuration example of a part of an image pickup moving mechanism in a modified example of the embodiment.

(本開示の基礎となった知見)
本発明者は、「背景技術」の欄において記載した特許文献1の部品圧着装置に関し、以下の問題が生じることを見出した。
(Findings that formed the basis of this disclosure)
The present inventors have found that the component crimping device of Patent Document 1 described in the "Background Art" section has the following problems.

昨今の液晶パネルの狭額縁化に伴い、部品の打ち抜き精度を高くすることが要求される。なお、打ち抜き精度は、フィルムキャリアから打ち抜かれた部品の位置を含むその部品の状態の精度である。しかしながら、特許文献1のように、打ち抜き装置の機械的精度だけでは要求される精度を維持することは困難である。また、打ち抜き精度を維持するために、打ち抜き装置に打ち抜き状態確認用のセンサを設けると、打ち抜き装置が大型化してしまう可能性がある。そこで、部品と基板との位置合わせに用いられるカメラを、その打ち抜き状態確認用のセンサとして利用すれば、打ち抜き装置の大型化を抑制することができる。しかし、その場合には、部品と基板との位置合わせのためにカメラの移動が必要なときがある。その結果、カメラの移動によって、部品と基板との位置合わせの精度が十分に得られず、実装精度が低下する可能性がある。 As the frame of liquid crystal panels becomes narrower these days, there is a demand for higher punching accuracy for components. The punching accuracy is the accuracy of the state of the components, including the position of the components punched from the film carrier. However, as in Patent Document 1, it is difficult to maintain the required accuracy with only the mechanical accuracy of the punching device. In addition, if a sensor for checking the punching state is provided in the punching device to maintain the punching accuracy, the punching device may become larger. Therefore, if the camera used for aligning the components and the board is used as the sensor for checking the punching state, the size of the punching device can be suppressed. However, in that case, it may be necessary to move the camera to align the components and the board. As a result, the movement of the camera may result in insufficient accuracy in aligning the components and the board, and the mounting accuracy may decrease.

このような課題を解決するために、本開示の一態様に係る部品圧着装置は、第1のアライメントマークが形成されている基板を保持して前記基板を移動させる基板移動機構と、第2のアライメントマークが形成されている部品を保持して前記基板に圧着する圧着ツールと、撮像範囲に含まれる被写体を撮像する撮像部と、前記撮像部の撮像範囲を移動させる撮像移動機構と、制御部とを備え、前記制御部は、前記圧着ツールに保持されている前記部品の端縁が前記撮像範囲に収まるように前記撮像範囲の移動を前記撮像移動機構に実行させ、前記撮像範囲に含まれる前記部品の端縁を前記被写体として前記撮像部に撮像させ、前記第2のアライメントマークが前記撮像範囲に含まれていない場合には、前記部品の端縁の撮像後に、前記第2のアライメントマークが前記撮像範囲に収まるように前記撮像範囲の移動を前記撮像移動機構に実行させ、前記撮像範囲に含まれる前記第2のアライメントマークを前記被写体として前記撮像部に撮像させ、前記部品の端縁および前記第2のアライメントマークのそれぞれの撮像結果に基づいて、前記部品の端縁と前記第2のアライメントマークとの位置関係を示す関係情報を生成して出力し、前記第1のアライメントマークが前記撮像範囲に収まるように前記基板の移動を前記基板移動機構に実行させ、前記撮像範囲に含まれる前記第1のアライメントマークを前記被写体として前記撮像部に撮像させ、前記第1のアライメントマークおよび前記第2のアライメントマークのそれぞれの撮像結果に基づいて、前記基板移動機構および前記圧着ツールによる前記部品の前記基板への圧着を制御する。例えば、前記部品圧着装置は、さらに、複数の部品が設けられているテープ部材から、前記複数の部品のそれぞれを順次打ち抜く打ち抜き部を備え、前記圧着ツールは、前記打ち抜き部によって打ち抜かれた部品を保持して前記基板に圧着してもよい。 In order to solve such problems, a component crimping device according to one aspect of the present disclosure includes a substrate moving mechanism that holds a substrate on which a first alignment mark is formed and moves the substrate, a crimping tool that holds a component on which a second alignment mark is formed and crimps the component onto the substrate, an imaging unit that images a subject included in an imaging range, an imaging movement mechanism that moves the imaging range of the imaging unit, and a control unit, and the control unit causes the imaging movement mechanism to move the imaging range so that an edge of the component held by the crimping tool falls within the imaging range, causes the imaging unit to image the edge of the component included in the imaging range as the subject, and if the second alignment mark is not included in the imaging range, after imaging the edge of the component, causes the second alignment mark to be moved to the position indicated by the imaging unit. The imaging moving mechanism moves the imaging range so that the imaging range fits within the imaging range, the imaging unit captures the second alignment mark included in the imaging range as the subject, and based on the imaging results of the edge of the component and the second alignment mark, relationship information indicating the positional relationship between the edge of the component and the second alignment mark is generated and output, the substrate moving mechanism moves the substrate so that the first alignment mark fits within the imaging range, the imaging unit captures the first alignment mark included in the imaging range as the subject, and based on the imaging results of the first alignment mark and the second alignment mark, the substrate moving mechanism and the pressure bonding of the component to the substrate by the pressure bonding tool are controlled. For example, the component pressure bonding device may further include a punching unit that sequentially punches out each of the multiple components from a tape member on which multiple components are provided, and the pressure bonding tool may hold the components punched out by the punching unit and pressure bond them to the substrate.

これにより、部品の打ち抜き状態確認用のセンサを、打ち抜き部に設ける必要がなく、その打ち抜き部の大型化を抑制することができる。つまり、本開示の一態様に係る部品圧着装置では、撮像部を部品の打ち抜き状態確認用のセンサとしても利用することができるため、打ち抜き部の大型化を抑制することができる。具体的には、撮像部は、基板移動機構および圧着ツールによる部品の基板への圧着を制御するために用いられる。例えば部品と基板との位置合わせを制御するための第1のアライメントマークおよび第2のアライメントマークの撮像に、撮像部が用いられる。本開示の一態様に係る部品圧着装置では、このような撮像部に部品の端縁も撮像させて、関係情報の生成および出力が行われることによって、その撮像部を部品の打ち抜き状態確認用のセンサとしても利用することができる。したがって、部品の打ち抜き状態確認用のセンサを打ち抜き部にわざわざ設けなくてもよいため、打ち抜き部の大型化を抑制することができる。 This eliminates the need to provide a sensor for checking the punching state of the component in the punching section, and the size of the punching section can be suppressed. In other words, in the component crimping device according to one aspect of the present disclosure, the imaging section can also be used as a sensor for checking the punching state of the component, and the size of the punching section can be suppressed. Specifically, the imaging section is used to control the crimping of the component to the substrate by the substrate moving mechanism and the crimping tool. For example, the imaging section is used to capture images of the first alignment mark and the second alignment mark for controlling the alignment of the component and the substrate. In the component crimping device according to one aspect of the present disclosure, the imaging section can also be used as a sensor for checking the punching state of the component by causing the imaging section to capture images of the edge of the component and generating and outputting related information. Therefore, it is not necessary to provide a sensor for checking the punching state of the component in the punching section, and the size of the punching section can be suppressed.

ここで、部品の打ち抜き状態を確認するためには、部品の端縁と第2のアライメントマークとをそれぞれ撮像する必要があるが、それらを同時に撮像することができない場合には、撮像範囲を移動させてそれらを個別に撮像する必要がある。このような場合に、例えば、第2のアライメントマークが先に撮像され、その後に撮像範囲が移動し、部品の端縁が撮像されると、次に行われる部品と基板との位置合わせのために、さらに撮像範囲を移動させて元の位置に戻さなければならない。その位置合わせでは、第1のアライメントマークの撮像が必要とされ、第1のアライメントマークの撮像と、第2のアライメントマークの撮像とでは、その位置合わせの精度を確保するために、撮像範囲が同じ位置にあることが望ましい。しかし、撮像範囲を元の位置に戻しても、その位置の再現性が不十分であれば、部品と基板との位置合わせの精度が低下してしまう。 Here, in order to check the punched state of the component, it is necessary to image the edge of the component and the second alignment mark separately, but if they cannot be imaged simultaneously, it is necessary to move the imaging range and image them separately. In such a case, for example, if the second alignment mark is imaged first, and then the imaging range is moved and the edge of the component is imaged, the imaging range must be moved again to return to the original position for the next alignment between the component and the board. For this alignment, it is necessary to image the first alignment mark, and it is desirable that the imaging range be in the same position for the imaging of the first alignment mark and the imaging of the second alignment mark to ensure the accuracy of the alignment. However, even if the imaging range is returned to the original position, if the reproducibility of the position is insufficient, the accuracy of the alignment between the component and the board will decrease.

そこで本開示の一態様に係る部品圧着装置では、部品の端縁と第2のアライメントマークとを同時に撮像することができない場合には、部品の端縁が先に撮像され、次に、第2のアライメントマークが撮像される。その結果、第2のアライメントマークの撮像が行われたときの撮像範囲を移動させることなく、基板を移動させることによってその撮像範囲に基板の第1のアライメントマークを収めて、その第1のアライメントマークを撮像することができる。したがって、第1のアライメントマークの撮像と、第2のアライメントマークの撮像とで、撮像範囲の位置が等しいため、部品と基板との位置合わせの精度を十分に確保することができる。つまり、実装精度の向上を図ることができる。その結果、打ち抜き部の大型化を抑制しながら、部品の打ち抜き状態を確認することができるとともに、実装精度の向上を図ることができる。 In the component crimping device according to one aspect of the present disclosure, when the edge of the component and the second alignment mark cannot be imaged simultaneously, the edge of the component is imaged first, and then the second alignment mark is imaged. As a result, the first alignment mark of the substrate can be captured in the imaging range by moving the substrate without moving the imaging range when the second alignment mark is imaged. Therefore, since the imaging range is the same for the imaging of the first alignment mark and the imaging of the second alignment mark, the accuracy of alignment between the component and the substrate can be sufficiently ensured. In other words, the mounting accuracy can be improved. As a result, the punching state of the component can be confirmed while suppressing the increase in size of the punching section, and the mounting accuracy can be improved.

また、前記制御部は、さらに、前記関係情報の出力によって、前記打ち抜き部による前記テープ部材からの部品の打ち抜きを制御してもよい。 The control unit may further control the punching of parts from the tape member by the punching unit based on the output of the relationship information.

これにより、部品の端縁と第2のアライメントマークとの位置関係を自動的に一定に保つことができ、部品の打ち抜き精度の向上を簡単に図ることができる。 This allows the positional relationship between the edge of the part and the second alignment mark to be automatically kept constant, making it easy to improve the punching accuracy of the part.

また、前記制御部は、さらに、前記部品の端縁と前記第2のアライメントマークとの間の距離を前記位置関係として示す前記関係情報を生成し、前記距離が予め定められた許容範囲内にない場合には、前記打ち抜き部で不具合が発生していること報知してもよい。 The control unit may further generate the relationship information indicating the distance between the edge of the component and the second alignment mark as the positional relationship, and if the distance is not within a predetermined tolerance range, may report that a malfunction has occurred in the punching unit.

これにより、作業者に対して打ち抜き部の点検および修理を促し、打ち抜き精度を向上することができる。 This encourages workers to inspect and repair the punching area, improving punching accuracy.

また、前記撮像移動機構は、前記撮像部による前記第2のアライメントマークの撮像が行われてから前記第1のアライメントマークの撮像が行われるまでの間、前記撮像部の撮像範囲を移動させなくてもよい。 In addition, the imaging movement mechanism does not need to move the imaging range of the imaging unit between the time when the imaging unit captures an image of the second alignment mark and the time when the imaging unit captures an image of the first alignment mark.

これにより、第1のアライメントマークの撮像と、第2のアライメントマークの撮像とで、撮像範囲の位置が等しいため、部品と基板との位置合わせの精度を十分に確保することができる。つまり、実装精度の向上を図ることができる。 As a result, the position of the imaging range is the same when imaging the first alignment mark and when imaging the second alignment mark, so the accuracy of aligning the component and the board can be sufficiently ensured. In other words, mounting accuracy can be improved.

以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。 The following describes the embodiment in detail with reference to the drawings.

なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも包括的または具体的な例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、同じ構成部材については同じ符号を付している。また、以下の実施の形態において、略同じなどの表現を用いている。例えば、略同じは、完全に同じであることを意味するだけでなく、実質的に同じである、すなわち、例えば数%程度の誤差を含むことも意味する。また、略同じは、本開示による効果を奏し得る範囲において同じという意味である。他の「略」を用いた表現についても同様である。 Note that the embodiments described below are all comprehensive or specific examples. The numerical values, shapes, materials, components, the arrangement and connection of the components, steps, and the order of steps shown in the following embodiments are merely examples and are not intended to limit the present disclosure. Furthermore, among the components in the following embodiments, components that are not described in the independent claims that show the highest concept are described as optional components. Furthermore, each figure is a schematic diagram and is not necessarily illustrated precisely. Furthermore, the same components in each figure are given the same reference numerals. Furthermore, expressions such as "approximately the same" are used in the following embodiments. For example, "approximately the same" does not only mean completely the same, but also means substantially the same, that is, including an error of, for example, a few percent. Furthermore, "approximately the same" means the same within the scope in which the effects of the present disclosure can be achieved. The same applies to other expressions using "approximately".

(実施の形態)
[部品実装ラインの概略構成]
図1は、本実施の形態における部品実装ラインの概略構成を示す図である。
(Embodiment)
[Outline of component mounting line configuration]
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a component mounting line according to the present embodiment.

本実施の形態における部品実装ライン1は、液晶パネルや有機EL(Electro-Luminescence)パネルなどのディスプレイパネルである基板3に部品5を実装することによって実装基板を生産するシステムである。なお、部品5は、例えば駆動回路などの電子部品である。具体的には、部品実装ライン1は、図1に示すように、基板搬入部10と、貼着部20と、仮圧着部30と、本圧着部40と、基板搬出部50とを有する。基板搬入部10、貼着部20、仮圧着部30、本圧着部40、および基板搬出部50は、この順で連結されている。 The component mounting line 1 in this embodiment is a system that produces mounted boards by mounting components 5 on a board 3, which is a display panel such as a liquid crystal panel or an organic EL (Electro-Luminescence) panel. The components 5 are, for example, electronic components such as a drive circuit. Specifically, as shown in FIG. 1, the component mounting line 1 has a board carry-in section 10, a bonding section 20, a temporary pressure bonding section 30, a full pressure bonding section 40, and a board carry-out section 50. The board carry-in section 10, the bonding section 20, the temporary pressure bonding section 30, the full pressure bonding section 40, and the board carry-out section 50 are connected in this order.

基板搬入部10は、作業者または上流側の他の装置から搬入される矩形の基板3を受け取る。そして、その基板3は下流側の貼着部20に搬出される。 The board loading section 10 receives a rectangular board 3 that is loaded by a worker or from another device upstream. The board 3 is then loaded to the downstream attachment section 20.

貼着部20は、基板搬入部10から搬出された基板3を受け取り、その基板3の周縁にある複数の電極部4のそれぞれに接着部材を貼着する。そして、その接着部材が貼着された基板3は仮圧着部30に搬出される。なお、複数の電極部4のそれぞれは、例えば、複数の電極により構成されている。 The adhesion section 20 receives the substrate 3 carried out from the substrate carrying section 10 and adheres an adhesive material to each of the multiple electrode sections 4 on the periphery of the substrate 3. The substrate 3 with the adhesive material attached thereto is then carried out to the temporary pressure bonding section 30. Each of the multiple electrode sections 4 is, for example, composed of multiple electrodes.

仮圧着部30は、貼着部20から搬出された基板3を受け取り、その基板3の接着部材が貼着されている部位に部品5を搭載して圧着する。そして、その部品5が圧着された基板3は本圧着部40に搬出される。なお、仮圧着部30で実行される圧着は、仮圧着とも呼ばれる。 The temporary bonding unit 30 receives the substrate 3 removed from the attachment unit 20, and mounts and presses the component 5 on the portion of the substrate 3 to which the adhesive material is attached. The substrate 3 to which the component 5 is pressed is then removed to the full bonding unit 40. The pressing performed by the temporary bonding unit 30 is also called temporary pressing.

本圧着部40は、仮圧着部30から搬出された基板3を受け取り、その基板3に仮圧着された部品5に対して本圧着(熱圧着ともいう)を行う。そして、その本圧着が行われた基板3は基板搬出部50に搬出される。 The final bonding section 40 receives the board 3 that has been removed from the temporary bonding section 30, and performs final bonding (also called thermocompression bonding) on the components 5 that have been temporarily bonded to the board 3. The board 3 that has been subjected to the final bonding is then removed to the board removal section 50.

基板搬出部50は、本圧着部40から搬出された基板3を受け取る。基板搬出部50に受け取られた基板3は下流側に搬出される。 The substrate discharge section 50 receives the substrate 3 discharged from the main pressure bonding section 40. The substrate 3 received by the substrate discharge section 50 is discharged downstream.

このように、部品実装ライン1は、搬入された基板3の周縁に設けられた複数の電極部4のそれぞれに部品5を実装する部品実装作業を実行し、部品5が実装された基板3である実装基板を基板搬出部50から搬出する。 In this way, the component mounting line 1 performs the component mounting work of mounting components 5 to each of the multiple electrode portions 4 provided on the periphery of the board 3 that has been brought in, and then transports the mounted board, which is the board 3 on which the components 5 have been mounted, out of the board removal section 50.

[部品実装ラインの詳細構成]
図2は、本実施の形態における部品実装ライン1の平面図である。具体的には、図2は、部品実装ライン1を上方から見た構成を示す。なお、本実施の形態において、基板の搬送方向をX軸方向と称し、鉛直方向をZ軸方向と称し、X軸方向およびZ軸方向に垂直な方向、すなわち奥行き方向をY軸方向と称す。また、X軸方向の負側および正側は、基板の搬送方向の上流側および下流側にそれぞれ相当し、Z軸方向の負側および正側は、鉛直方向の下側および上側にそれぞれ相当し、Y軸方向の負側および正側は、奥行き方向の手前側および奥側、または、前側および後側にそれぞれ相当する。
[Detailed configuration of component mounting line]
2 is a plan view of the component mounting line 1 in this embodiment. Specifically, FIG. 2 shows the configuration of the component mounting line 1 seen from above. In this embodiment, the conveying direction of the board is referred to as the X-axis direction, the vertical direction is referred to as the Z-axis direction, and the direction perpendicular to the X-axis direction and the Z-axis direction, i.e., the depth direction, is referred to as the Y-axis direction. The negative side and the positive side in the X-axis direction correspond to the upstream side and the downstream side, respectively, of the conveying direction of the board, the negative side and the positive side in the Z-axis direction correspond to the lower side and the upper side, respectively, of the vertical direction, and the negative side and the positive side in the Y-axis direction correspond to the near side and the far side, or the front side and the rear side, respectively, of the depth direction.

基板搬入部10は、搬入される基板3を載置するための基台1aを備える。基板搬入部10の基台1aには、基板3が載置されるステージ11が設けられている。ステージ11は、基台1aに対してZ軸方向に昇降する。また、ステージ11の上面には、複数の吸着孔11aが設けられている。このようなステージ11は、作業者または上流側の他の装置から搬入されてステージ11上に載置された基板3を、図示しないポンプ等の吸引器によって吸着孔11aから真空吸着して保持する。 The substrate loading section 10 includes a base 1a on which the substrate 3 to be loaded is placed. The base 1a of the substrate loading section 10 includes a stage 11 on which the substrate 3 is placed. The stage 11 moves up and down in the Z-axis direction relative to the base 1a. The stage 11 also has a number of suction holes 11a on its top surface. The stage 11 holds the substrate 3, which has been loaded by a worker or from another device upstream and placed on the stage 11, by vacuum suction through the suction holes 11a using a suction device such as a pump (not shown).

貼着部20は、基板3の電極部4に接着部材であるACF(Anisotropic Conductive Film)を貼着する貼着作業(言い換えると、貼着工程)を行う機能を備える。なお、ACFは、異方性導電接着剤とも称され、基板3の電極部4と部品5とを電気的に導通させるための部材である。貼着部20は、基板移動機構21と、貼着機構22とを備える。 The adhesion unit 20 has a function of performing an adhesion operation (in other words, an adhesion process) of adhering an adhesive member, ACF (Anisotropic Conductive Film), to the electrode portion 4 of the substrate 3. The ACF is also called an anisotropic conductive adhesive, and is a member for electrically connecting the electrode portion 4 of the substrate 3 and the component 5. The adhesion unit 20 includes a substrate movement mechanism 21 and an adhesion mechanism 22.

基板移動機構21は、基板3を移動させる機構である。基板移動機構21は、例えば、X軸方向に可動なX軸テーブルと、Y軸方向に可動なY軸テーブルと、Z軸方向に可動なZ軸テーブルと、ステージ23とを備える。基板移動機構21には、基台1b上に下方から順に、X軸テーブルと、Y軸テーブルと、Z軸テーブルと、ステージ23とが重ねて設けられている。 The substrate moving mechanism 21 is a mechanism for moving the substrate 3. The substrate moving mechanism 21 includes, for example, an X-axis table movable in the X-axis direction, a Y-axis table movable in the Y-axis direction, a Z-axis table movable in the Z-axis direction, and a stage 23. The substrate moving mechanism 21 includes an X-axis table, a Y-axis table, a Z-axis table, and a stage 23 stacked on top of each other on the base 1b in this order from the bottom up.

Y軸テーブルは、Y軸方向に延びて設けられ、X軸テーブル上をX軸方向に自在に移動する。Z軸テーブルは、Y軸テーブル上をY軸方向に自在に移動し、上部に設けられたステージ23をZ軸方向に昇降するとともにZ軸回りに回転させる。 The Y-axis table extends in the Y-axis direction and moves freely in the X-axis direction on the X-axis table. The Z-axis table moves freely in the Y-axis direction on the Y-axis table, raising and lowering the stage 23 provided on the top in the Z-axis direction and rotating it around the Z axis.

また、ステージ23の上面には、複数の吸着孔23aが設けられており、ステージ23は、その上面に載置された基板3を真空吸着して保持する。このように、基板移動機構21は、基板3を吸着保持して水平面内(具体的には、X軸方向およびY軸方向)で移動させ、上下方向(具体的には、Z軸方向)に昇降させるとともにZ軸回りに回転させる。 In addition, the stage 23 has a number of suction holes 23a on its upper surface, and the stage 23 holds the substrate 3 placed on its upper surface by vacuum suction. In this way, the substrate moving mechanism 21 suctions and holds the substrate 3, moves it in a horizontal plane (specifically, in the X-axis and Y-axis directions), raises and lowers it in the vertical direction (specifically, in the Z-axis direction), and rotates it around the Z axis.

貼着機構22は、基台1bの上方に、X軸方向に並んだ例えば2つの貼着ヘッドを備えている。各貼着ヘッドは、ACFを供給する供給部と、ACFを基板3に貼着するための貼着ツールとを備えている。2つの貼着ヘッドのそれぞれは、基板3上の複数の電極部4に対応する位置にACFを貼着する。また、2つの貼着ヘッドのそれぞれに対応する下方の位置には、貼着支持台が備えられている。 The bonding mechanism 22 is provided with, for example, two bonding heads aligned in the X-axis direction above the base 1b. Each bonding head has a supply unit that supplies ACF and a bonding tool for bonding the ACF to the substrate 3. Each of the two bonding heads bonds the ACF to positions corresponding to the multiple electrode portions 4 on the substrate 3. In addition, a bonding support stand is provided at a position corresponding to each of the two bonding heads below.

仮圧着部30は、基板3のACFが貼着された領域(すなわち圧着対象部位)に部品5を搭載して仮圧着する仮圧着工程を実行する。仮圧着部30は、基板移動機構31と、部品搭載機構32と、部品供給部33と、部品移動部35とを備える。 The temporary bonding unit 30 performs a temporary bonding process in which a component 5 is mounted on the area of the substrate 3 where the ACF is attached (i.e., the area to be bonded) and temporarily bonded. The temporary bonding unit 30 includes a substrate moving mechanism 31, a component mounting mechanism 32, a component supply unit 33, and a component moving unit 35.

基板移動機構31は、貼着部20の基板移動機構21と同様の構造を有する。具体的には、基板移動機構31は、基板3を保持するステージ37を有する。ステージ37の上面には、複数の吸着孔37aが設けられている。基板移動機構31は、そのステージ37上に載置された基板3をその複数の吸着孔37aによって真空吸着して保持する。また、基板移動機構31は、基板3を吸着保持するステージ37を水平面内で移動させ、上下方向に昇降させるとともにZ軸回りに回転させる機能を備える。基板移動機構31は、そのステージ37の移動および回転によって、吸着保持されている基板3のACFが貼着された領域を、部品搭載機構32のバックアップステージである下受け部36の上方に位置させる。また、基板3には、後述の第1のアライメントマークが形成されている。つまり、本実施の形態における基板移動機構31は、第1のアライメントマークが形成されている基板3を保持してその基板3を移動させる。 The substrate moving mechanism 31 has a structure similar to that of the substrate moving mechanism 21 of the attachment unit 20. Specifically, the substrate moving mechanism 31 has a stage 37 that holds the substrate 3. The upper surface of the stage 37 is provided with a plurality of suction holes 37a. The substrate moving mechanism 31 holds the substrate 3 placed on the stage 37 by vacuum suction through the plurality of suction holes 37a. The substrate moving mechanism 31 also has a function of moving the stage 37 that suctions and holds the substrate 3 in a horizontal plane, raising and lowering it in the vertical direction, and rotating it around the Z axis. By moving and rotating the stage 37, the substrate moving mechanism 31 positions the area of the substrate 3, where the ACF is affixed, above the lower support unit 36, which is the backup stage of the component mounting mechanism 32. The substrate 3 also has a first alignment mark, which will be described later. That is, the substrate moving mechanism 31 in this embodiment holds the substrate 3 on which the first alignment mark is formed and moves the substrate 3.

部品供給部33は、部品搭載機構32の奥側方(すなわちY軸方向正側)に基台1bの後部から張り出して設けられている。例えば、部品供給部33は、TCP(Tape carrier package)などのテープ部材が巻き付けられた供給リール33aと、打ち抜き部33bと、可動ステージ33cと、レール33dとを備える。このような部品供給部33は、それらの構成要素の動きによってテープ部材から部品5を順次供給する。 The component supply unit 33 is provided protruding from the rear of the base 1b on the far side of the component mounting mechanism 32 (i.e., the positive side in the Y-axis direction). For example, the component supply unit 33 includes a supply reel 33a around which a tape material such as a TCP (Tape carrier package) is wound, a punching unit 33b, a movable stage 33c, and a rail 33d. Such a component supply unit 33 sequentially supplies components 5 from the tape material by the movement of these components.

部品移動部35は、部品供給部33から供給される部品5を保持して、部品搭載機構32に含まれる圧着ツール34側に移動させる。 The component moving unit 35 holds the component 5 supplied from the component supply unit 33 and moves it to the crimping tool 34 included in the component mounting mechanism 32.

部品搭載機構32は、基台1b上に設けられ、圧着ツール34と下受け部36とを備える。 The component mounting mechanism 32 is provided on the base 1b and includes a crimping tool 34 and a lower support portion 36.

下受け部36は、ステージ37に保持されている基板3における予め定められた部位である圧着対象部位を下方から支持する。なお、この圧着対象部位は、基板3の縁部においてACFが貼着されている部位である。つまり、下受け部36は、部品5が圧着される基板3の縁部を、その基板3の下方側から支持する。 The lower support 36 supports from below the area to be crimped, which is a predetermined area on the substrate 3 held by the stage 37. The area to be crimped is the area on the edge of the substrate 3 where the ACF is attached. In other words, the lower support 36 supports the edge of the substrate 3 to which the component 5 is crimped, from the lower side of the substrate 3.

圧着ツール34は、部品5を保持し、ステージ37に保持されている基板3に部品5を圧着する。この部品5には、後述の第2のアライメントマークが形成されている。つまり、本実施の形態における圧着ツール34は、第2のアライメントマークが形成されている部品5を保持して基板3に圧着する。具体的には、圧着ツール34は、Z軸方向に昇降し、部品移動部35によって移動された部品5を上方から吸着(つまり、ピックアップ)する。そして、圧着ツール34は、吸着した部品5をACF上に搭載して基板3ごと下受け部36に押し付けることで、基板3に部品5を仮圧着する。例えば、圧着ツール34は、約80℃に加熱された状態で、部品5を基板3に圧着する。なお、仮圧着部30は、基板移動機構31によって保持されている基板3の方向を90度回転させる機構を備えてもよい。 The bonding tool 34 holds the component 5 and presses the component 5 onto the substrate 3 held by the stage 37. The component 5 has a second alignment mark, which will be described later. That is, the bonding tool 34 in this embodiment holds the component 5 on which the second alignment mark is formed and presses it onto the substrate 3. Specifically, the bonding tool 34 moves up and down in the Z-axis direction and adsorbs (i.e., picks up) the component 5 moved by the component moving unit 35 from above. Then, the bonding tool 34 places the adsorbed component 5 on the ACF and presses it together with the substrate 3 against the lower support unit 36, thereby pre-pressing the component 5 onto the substrate 3. For example, the bonding tool 34 presses the component 5 onto the substrate 3 in a state where it is heated to about 80°C. The pre-pressing unit 30 may be provided with a mechanism for rotating the direction of the substrate 3 held by the substrate moving mechanism 31 by 90 degrees.

本圧着部40は、仮圧着部30によって基板3に仮圧着された部品5を基板3に本圧着(つまり、熱圧着)する本圧着工程(つまり、熱圧着工程)を実行する。こうすることで、基板3に形成された電極部4と部品5とはACFを介して電気的に接続される。このような本圧着部40は、基板移動機構41と、圧着機構42とを備える。 The final bonding unit 40 performs a final bonding process (i.e., a thermocompression process) in which the component 5, which has been temporarily bonded to the substrate 3 by the temporary bonding unit 30, is permanently bonded (i.e., thermocompressed) to the substrate 3. In this way, the electrode portion 4 formed on the substrate 3 and the component 5 are electrically connected via the ACF. Such a final bonding unit 40 includes a substrate moving mechanism 41 and a bonding mechanism 42.

基板移動機構41は、貼着部20の基板移動機構21と同様の構造を有する。具体的には、基板移動機構41は、ステージ49を有する。ステージ49の上面には、複数の吸着孔49aが設けられている。基板移動機構41は、そのステージ49上に載置された基板3をその複数の吸着孔49aによって真空吸着して保持する。また、基板移動機構41は、基板3を吸着保持するステージ49を水平面内で移動させ、上下方向に昇降させるとともにZ軸回りに回転させる機能を備える。基板移動機構41は、そのステージ49の移動および回転によって、吸着保持されている基板3の部品5が仮圧着された領域を、圧着機構42の下受け部46の上方に位置させる。 The substrate moving mechanism 41 has a structure similar to that of the substrate moving mechanism 21 of the bonding unit 20. Specifically, the substrate moving mechanism 41 has a stage 49. The upper surface of the stage 49 is provided with a number of suction holes 49a. The substrate moving mechanism 41 holds the substrate 3 placed on the stage 49 by vacuum suction through the number of suction holes 49a. The substrate moving mechanism 41 also has the function of moving the stage 49, which holds the substrate 3 by suction, in a horizontal plane, raising and lowering it in the vertical direction, and rotating it around the Z axis. By moving and rotating the stage 49, the substrate moving mechanism 41 positions the area where the component 5 of the substrate 3, which is held by suction and is temporarily pressure-bonded, above the lower support portion 46 of the pressure bonding mechanism 42.

圧着機構42は、基台1b上に設けられ、圧着ツール43と下受け部46とを備える。 The crimping mechanism 42 is provided on the base 1b and includes a crimping tool 43 and a lower support portion 46.

圧着ツール43は、加熱され、下受け部46によって支持されている基板3の部品5を下受け部46側に押圧する。例えば、圧着ツール43は、約200℃に加熱された状態で、部品5を押圧する。これにより、部品5は本圧着され、基板3に形成された電極部4と部品5とはACFを介して電気的に接続される。 The bonding tool 43 is heated and presses the component 5 of the substrate 3 supported by the support 46 toward the support 46. For example, the bonding tool 43 presses the component 5 while heated to approximately 200°C. This causes the component 5 to be fully bonded, and the electrode portion 4 formed on the substrate 3 and the component 5 are electrically connected via the ACF.

基板搬出部50は、本圧着部40から搬送された基板3をステージ51上に真空吸着して保持する機能を備える。基板搬出部50において保持された基板3は、下流側の他の装置に搬出されるか、作業者によってステージ51から取り出される。 The substrate unloading section 50 has the function of holding the substrate 3 transported from the main pressure bonding section 40 on the stage 51 by vacuum suction. The substrate 3 held in the substrate unloading section 50 is either unloaded to another device downstream or removed from the stage 51 by an operator.

ステージ51は、基台1cに対してZ軸方向に昇降する。また、ステージ51の上面には、複数の吸着孔51aが設けられており、ステージ51は、本圧着部40から移送された基板3をその上面で真空吸着して保持する。 The stage 51 moves up and down in the Z-axis direction relative to the base 1c. In addition, a number of suction holes 51a are provided on the top surface of the stage 51, and the stage 51 holds the substrate 3 transferred from the main pressure bonding unit 40 by vacuum suction on its top surface.

搬送部60は、基板3を搬送する装置である。具体的には、搬送部60は、基板搬入部10に搬入された基板3を、貼着部20、仮圧着部30、本圧着部40、および、基板搬出部50へこの順に受け渡す(移送する)機能を備える。搬送部60は、貼着部20、仮圧着部30、および本圧着部40の前方領域(すなわちY軸方向負側)に配置されている。 The transport unit 60 is a device that transports the substrate 3. Specifically, the transport unit 60 has a function of transferring (transporting) the substrate 3 that has been brought into the substrate carry-in unit 10 to the bonding unit 20, the temporary bonding unit 30, the full bonding unit 40, and the substrate carry-out unit 50 in that order. The transport unit 60 is disposed in the front area (i.e., on the negative side in the Y-axis direction) of the bonding unit 20, the temporary bonding unit 30, and the full bonding unit 40.

搬送部60は、基台1a、基台1b、および、基台1cにわたってX軸方向に延びた移動ベース61上に、上流側から順に配置されている、基板搬送機構62A、基板搬送機構62B、基板搬送機構62C、および、基板搬送機構62Dを備えている。 The transport section 60 includes a substrate transport mechanism 62A, a substrate transport mechanism 62B, a substrate transport mechanism 62C, and a substrate transport mechanism 62D, which are arranged in order from the upstream side on a moving base 61 that extends in the X-axis direction across bases 1a, 1b, and 1c.

基板搬送機構62A~62Dは、それぞれ基部63および1以上のアームユニット64を備える。本実施の形態では、基板搬送機構62A~62Dがそれぞれ2基のアームユニット64を備える場合を例示している。 Each of the substrate transport mechanisms 62A-62D includes a base 63 and one or more arm units 64. In this embodiment, an example is shown in which each of the substrate transport mechanisms 62A-62D includes two arm units 64.

基部63は、移動ベース61上に設けられ、X軸方向に自在に移動する。基部63上には、2基のアームユニット64がX軸方向に並んで設けられている。アームユニット64は、基板3を上方から真空吸着する。 The base 63 is mounted on a moving base 61 and is movable in the X-axis direction. Two arm units 64 are mounted side by side in the X-axis direction on the base 63. The arm units 64 vacuum-suck the substrate 3 from above.

基板搬送機構62A~62Dのそれぞれは、ステージ11、23、37、49、51が保持する基板3を上方から真空吸着する基板受け渡し位置に移動して、昇降するステージ11、23、37、49、51から基板3の受け取りまたは受け渡しを行う。例えば、基板搬送機構62Aは、基板搬入部10のステージ11に載置された基板3を受け取り、貼着部20のステージ23に受け渡す。また、例えば、基板搬送機構62Bは、貼着部20のステージ23から基板3を受け取り、仮圧着部30のステージ37に受け渡す。また、例えば、基板搬送機構62Cは、仮圧着部30のステージ37から基板3を受け取り、本圧着部40のステージ49に受け渡す。また、例えば、基板搬送機構62Dは、本圧着部40のステージ49から基板3を受け取り、基板搬出部50のステージ51に受け渡す。 Each of the substrate transport mechanisms 62A to 62D moves to a substrate transfer position where the substrate 3 held by the stage 11, 23, 37, 49, 51 is vacuum-sucked from above, and receives or transfers the substrate 3 from the rising and lowering stage 11, 23, 37, 49, 51. For example, the substrate transport mechanism 62A receives the substrate 3 placed on the stage 11 of the substrate carry-in section 10 and transfers it to the stage 23 of the bonding section 20. Also, for example, the substrate transport mechanism 62B receives the substrate 3 from the stage 23 of the bonding section 20 and transfers it to the stage 37 of the temporary pressure bonding section 30. Also, for example, the substrate transport mechanism 62C receives the substrate 3 from the stage 37 of the temporary pressure bonding section 30 and transfers it to the stage 49 of the main pressure bonding section 40. Also, for example, the substrate transport mechanism 62D receives the substrate 3 from the stage 49 of the main pressure bonding section 40 and transfers it to the stage 51 of the substrate carry-out section 50.

図3は、部品実装ライン1に備えらえている、コンピュータと、そのコンピュータによって制御される各構成要素とを示す図である。 Figure 3 shows the computer installed in component mounting line 1 and each component controlled by the computer.

部品実装ライン1は、図3に示すようにコンピュータ2を備える。このコンピュータ2は、例えば、貼着部20、仮圧着部30、本圧着部40、および搬送部60などと例えば制御線によって通信可能に接続され、これらの各部を制御する。コンピュータ2は、制御部2aと、記憶部2bと、表示部2cとを備える。 The component mounting line 1 includes a computer 2 as shown in FIG. 3. The computer 2 is communicatively connected to, for example, the bonding unit 20, the temporary bonding unit 30, the main bonding unit 40, and the transport unit 60 via, for example, a control line, and controls each of these units. The computer 2 includes a control unit 2a, a memory unit 2b, and a display unit 2c.

表示部2cは、画像および文字などを表示し、例えば液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機EL(Electro-Luminescence)ディスプレイなどで構成されている。なお、表示部2cは、これらのディスプレイに限定されることはない。 The display unit 2c displays images and characters, and is composed of, for example, a liquid crystal display, a plasma display, an organic EL (Electro-Luminescence) display, etc. Note that the display unit 2c is not limited to these displays.

記憶部2bは、基板3のサイズ、基板3に実装される部品5の種類、実装位置、実装方向、および、基板3を移送するタイミング等の部品実装作業に必要な各種データと、制御部2aが実行する制御プログラム等とを記憶する。記憶部2bは、例えばROM(Read Only Memory)またはRAM(Random Access Memory)等により実現される。 The memory unit 2b stores various data necessary for component mounting operations, such as the size of the board 3, the type of components 5 to be mounted on the board 3, the mounting position, the mounting direction, and the timing of moving the board 3, as well as control programs executed by the control unit 2a. The memory unit 2b is realized, for example, by a ROM (Read Only Memory) or a RAM (Random Access Memory).

制御部2aは、貼着部20の基板移動機構21、仮圧着部30の基板移動機構31、本圧着部40の基板移動機構41、および搬送部60を制御して、基板3を各部間で次の工程へ移送する基板移送作業を実行する。基板移送作業における上流側から下流側への基板3の移送は、各部間で同期して行われる。 The control unit 2a controls the substrate moving mechanism 21 of the bonding unit 20, the substrate moving mechanism 31 of the temporary bonding unit 30, the substrate moving mechanism 41 of the main bonding unit 40, and the transport unit 60 to perform a substrate transfer operation in which the substrate 3 is transferred between each unit to the next process. The transfer of the substrate 3 from the upstream side to the downstream side during the substrate transfer operation is performed synchronously between each unit.

例えば、制御部2aは、貼着部20を制御することで、基板移動機構21によって保持される基板3の向きおよび位置を変更し、ヘッド移動モータによって複数の貼着ヘッドの間隔を変更し、貼着機構22によって基板3にACFを貼着する貼着作業を貼着部20に実行させる。 For example, the control unit 2a controls the adhesion unit 20 to change the orientation and position of the substrate 3 held by the substrate movement mechanism 21, change the spacing between the multiple adhesion heads using the head movement motor, and cause the adhesion unit 20 to perform the adhesion task of adhering the ACF to the substrate 3 using the adhesion mechanism 22.

また、例えば、制御部2aは、仮圧着部30を制御する。つまり、制御部2aは、基板移動機構31によって保持される基板3の向きおよび位置を変更し、部品5の基板3への仮圧着を部品搭載機構32に実行させる。このとき、制御部2aは、仮圧着部30に備えられている撮像部39による撮像の結果に応じて基板3の位置を補正または変更してもよい。その撮像部39の撮像範囲は、撮像移動機構38によって移動される。また、制御部2aは、部品供給部33および部品移動部35を制御することによって、部品供給部33から供給される部品5を部品搭載機構32側に移動させる。 For example, the control unit 2a also controls the temporary bonding unit 30. That is, the control unit 2a changes the orientation and position of the substrate 3 held by the substrate movement mechanism 31, and causes the component mounting mechanism 32 to perform temporary bonding of the components 5 to the substrate 3. At this time, the control unit 2a may correct or change the position of the substrate 3 according to the results of imaging by the imaging unit 39 provided in the temporary bonding unit 30. The imaging range of the imaging unit 39 is moved by the imaging movement mechanism 38. The control unit 2a also controls the component supply unit 33 and the component movement unit 35 to move the components 5 supplied from the component supply unit 33 to the component mounting mechanism 32 side.

また、例えば、制御部2aは、本圧着部40を制御することで、基板移動機構41によって保持される基板3の向きおよび位置を変更し、基板3に仮圧着された部品5を圧着機構42に本圧着させる。 For example, the control unit 2a also controls the final bonding unit 40 to change the orientation and position of the substrate 3 held by the substrate movement mechanism 41, and causes the component 5 temporarily bonded to the substrate 3 to be final bonded by the bonding mechanism 42.

また、制御部2aは、表示部2cを制御することによって、その表示部2cに画像および文字などを表示する。 The control unit 2a also controls the display unit 2c to display images, text, etc. on the display unit 2c.

このような制御部2aは、例えば、部品実装ライン1が有する各部および各機構を制御するための、記憶部2bに記憶されている制御プログラムと、その制御プログラムを実行するCPU(Central Processing Unit)などのプロセッサとにより実現される。 Such a control unit 2a is realized, for example, by a control program stored in the memory unit 2b for controlling each part and each mechanism of the component mounting line 1, and a processor such as a CPU (Central Processing Unit) that executes the control program.

[部品圧着装置の構成]
図4は、本実施の形態における部品圧着装置100の構成を示すブロック図である。
[Configuration of component crimping device]
FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of component crimping device 100 according to the present embodiment.

部品圧着装置100は、部品実装ライン1における仮圧着部30と、コンピュータ2の制御部2aとからなる。 The component crimping device 100 consists of a temporary crimping unit 30 in the component mounting line 1 and a control unit 2a of a computer 2.

具体的には、部品圧着装置100は、制御部2aと、部品供給部33と、部品移動部35と、圧着ツール34と、下受け部36と、基板移動機構31と、撮像移動機構38と、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rとを備える。 Specifically, the component crimping device 100 includes a control unit 2a, a component supply unit 33, a component movement unit 35, a crimping tool 34, a lower support unit 36, a board movement mechanism 31, an image capture movement mechanism 38, a first camera 39L, and a second camera 39R.

上述の撮像部39は、その第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rからなる。第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれは、撮像範囲に含まれる被写体を撮像する。撮像移動機構38は、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれの撮像範囲を移動させる。撮像移動機構38は、この第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれの撮像範囲を移動させることによって、それらの撮像範囲間の距離を調整する。さらに、撮像移動機構38は、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれの撮像範囲をY軸方向に沿って移動させる。なお、それらの撮像範囲間の距離は、光学系ピッチまたはカメラピッチとも呼ばれる。例えば、本実施の形態における撮像移動機構38は、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rを移動させることによって、それらの撮像範囲を移動させる。 The imaging unit 39 described above is composed of the first camera 39L and the second camera 39R. Each of the first camera 39L and the second camera 39R captures an image of a subject included in the imaging range. The imaging movement mechanism 38 moves the imaging ranges of the first camera 39L and the second camera 39R. The imaging movement mechanism 38 adjusts the distance between the imaging ranges of the first camera 39L and the second camera 39R by moving the imaging ranges of the first camera 39L and the second camera 39R. Furthermore, the imaging movement mechanism 38 moves the imaging ranges of the first camera 39L and the second camera 39R along the Y-axis direction. The distance between the imaging ranges is also called the optical system pitch or camera pitch. For example, the imaging movement mechanism 38 in this embodiment moves the imaging ranges of the first camera 39L and the second camera 39R.

制御部2aは、基板移動機構31と、部品供給部33と、圧着ツール34と、部品移動部35と、撮像移動機構38と、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rとを制御する。 The control unit 2a controls the board moving mechanism 31, the component supply unit 33, the crimping tool 34, the component moving unit 35, the imaging moving mechanism 38, the first camera 39L, and the second camera 39R.

[部品の供給]
図5は、複数の部品5が設けられているテープ部材と、基板3の一部とのそれぞれの一例を示す図である。
[Parts supply]
FIG. 5 is a diagram showing an example of a tape member on which a plurality of components 5 are provided and a portion of a substrate 3. As shown in FIG.

テープ部材70は、図5の(a)に示すように、複数の部品5を含んでいる。これらの複数の部品5は、テープ部材70の長手方向に沿って配列され、互いに所定の間隔だけ離れた位置に設けられている。このようなテープ部材70は、柔軟性を備えた樹脂製フィルムに複数の部品5が搭載された部材であって、フィルムキャリアとも呼ばれる。例えば、テープ部材70は、TCPである。このテープ部材70から、個片状態のTCPまたはCOF(Chip on Film)が部品5として打ち抜かれる。このテープ部材70の幅方向両端のそれぞれには、そのテープ部材70の長手方向に沿って一列に配列された複数のスプロケットホール71が形成されている。 As shown in FIG. 5A, the tape member 70 includes a plurality of components 5. These components 5 are arranged along the longitudinal direction of the tape member 70, and are provided at positions spaced apart from each other by a predetermined distance. Such a tape member 70 is a member in which a plurality of components 5 are mounted on a flexible resin film, and is also called a film carrier. For example, the tape member 70 is a TCP. Individual TCPs or COFs (chip on film) are punched out as components 5 from this tape member 70. A plurality of sprocket holes 71 are formed on both ends of the width of the tape member 70, and are arranged in a row along the longitudinal direction of the tape member 70.

部品5には、複数の電極からなる電極部6と、一対の第2のアライメントマークMcとが形成されている。部品5を構成する材料は、特に限定されるものではないが、例えば、ポリイミドなどの樹脂である。 The component 5 has an electrode portion 6 formed of multiple electrodes and a pair of second alignment marks Mc. The material constituting the component 5 is not particularly limited, but is, for example, a resin such as polyimide.

電極部6に含まれる各電極は、部品5の表面に設けられた金属などの導電性の部材である。複数の電極は、例えばテープ部材70の幅方向に沿って並べて配置されている。 Each electrode included in the electrode section 6 is a conductive member such as a metal provided on the surface of the component 5. The multiple electrodes are arranged, for example, in a line along the width direction of the tape member 70.

一対の第2のアライメントマークMcのそれぞれは、基板3と部品5との位置関係を取得するためのマークである。例えば、一対の第2のアライメントマークMcのそれぞれは、十字状のマークであって、テープ部材70の幅方向に沿って電極部6を挟むように配置されている。 Each of the pair of second alignment marks Mc is a mark for obtaining the positional relationship between the substrate 3 and the component 5. For example, each of the pair of second alignment marks Mc is a cross-shaped mark and is arranged so as to sandwich the electrode portion 6 along the width direction of the tape member 70.

基板3には、図5の(b)に示すように、複数の電極からなる電極部4と、一対の第1のアライメントマークMbとが形成されている。電極部4に含まれる各電極は、基板3の表面に設けられた金属などの導電性の部材である。複数の電極は、例えばX軸方向に沿って並べて配置されている。 As shown in FIG. 5B, the substrate 3 is provided with an electrode section 4 consisting of multiple electrodes and a pair of first alignment marks Mb. Each electrode included in the electrode section 4 is a conductive member such as a metal provided on the surface of the substrate 3. The multiple electrodes are arranged side by side, for example, along the X-axis direction.

一対の第1のアライメントマークMbのそれぞれは、基板3と部品5との位置関係を取得するためのマークである。例えば、一対の第1のアライメントマークMbのそれぞれは、十字状のマークであって、X軸方向に沿って電極部4を挟むように配置されている。また、この電極部4には、上述のACF91が貼着されている。 Each of the pair of first alignment marks Mb is a mark for obtaining the positional relationship between the board 3 and the component 5. For example, each of the pair of first alignment marks Mb is a cross-shaped mark and is arranged to sandwich the electrode part 4 along the X-axis direction. In addition, the above-mentioned ACF 91 is attached to this electrode part 4.

図6は、部品供給部33の打ち抜き部33bの構成例を示す図である。打ち抜き部33bは、テープ部材70を一定のピッチで送りながら、そのテープ部材70から複数の部品5を順次打ち抜く。例えば、打ち抜き部33bは、テープ部材70に設けられたスプロケットホール71に係合するスプロケット331と、スプロケット331を回転駆動させるモータ332と、テープ部材70から部品5を打ち抜くパンチ333およびダイ334とを備えている。モータ332は、制御部2aによってコントロールされ、スプロケット331を回転駆動させることによって、テープ部材70を一定のピッチで送る。なお、モータ332は、テープ部材70の送り量を微調整することができる。打ち抜き部33bによりテープ部材70から打ち抜かれた部品5は、可動ステージ33cに載置される。 Figure 6 is a diagram showing an example of the configuration of the punching section 33b of the component supply section 33. The punching section 33b sequentially punches out a plurality of components 5 from the tape member 70 while feeding the tape member 70 at a constant pitch. For example, the punching section 33b includes a sprocket 331 that engages with a sprocket hole 71 provided in the tape member 70, a motor 332 that rotates and drives the sprocket 331, and a punch 333 and a die 334 that punch out the components 5 from the tape member 70. The motor 332 is controlled by the control section 2a, and feeds the tape member 70 at a constant pitch by rotating and driving the sprocket 331. The motor 332 can finely adjust the feed amount of the tape member 70. The components 5 punched out of the tape member 70 by the punching section 33b are placed on the movable stage 33c.

図7は、部品供給部33から部品移動部35を介して圧着ツール34に供給される部品5の流れを示す図である。 Figure 7 shows the flow of components 5 supplied from the component supply unit 33 to the crimping tool 34 via the component movement unit 35.

部品供給部33は、打ち抜き部33bと、供給リール33aと、カバーテープ回収部336と、巻取部335と、可動ステージ33cと、レール33dとを備えている。 The component supply unit 33 includes a punching unit 33b, a supply reel 33a, a cover tape recovery unit 336, a winding unit 335, a movable stage 33c, and a rail 33d.

供給リール33aには、テープ部材70が巻き付けられている。そのテープ部材70の先端側は、打ち抜き部33bによって供給リール33aから、たるむことなく引き出される。カバーテープ回収部336は、テープ部材70から剥がされたカバーテープ72を回収する。巻取部335は、テープ部材70の残り部分を巻き取って回収する。テープ部材70の残り部分は、テープ部材70からカバーテープ72が剥がされて部品5が打ち抜かれた残りの部分である。可動ステージ33cは、打ち抜き部33bにより打ち抜かれた部品5を、その打ち抜き部33bから受け取って保持し、レール33dに沿って移動する。 A tape member 70 is wound around the supply reel 33a. The leading end of the tape member 70 is pulled out from the supply reel 33a by the punching section 33b without slack. The cover tape recovery section 336 recovers the cover tape 72 peeled off from the tape member 70. The winding section 335 winds and recovers the remaining part of the tape member 70. The remaining part of the tape member 70 is the part remaining after the cover tape 72 has been peeled off from the tape member 70 and the part 5 has been punched out. The movable stage 33c receives and holds the part 5 punched out by the punching section 33b from the punching section 33b, and moves along the rail 33d.

部品移動部35は、移載ヘッド35aと、移載ステージ35bとを備えている。移載ヘッド35aは、レール33dに沿って移動した可動ステージ33cに保持されている部品5を、その可動ステージ33cから受け取る。そして、移載ヘッド35aは、その部品5を吸着保持しながら圧着ツール34側に移動する。移載ステージ35bは、圧着ツール34側に移動した移載ヘッド35aから、その移載ヘッド35aに吸着保持されている部品5を受け取る。部品5を受け取った移載ステージ35bは、圧着ツール34の下方まで移動する。 The component moving section 35 includes a transfer head 35a and a transfer stage 35b. The transfer head 35a receives the component 5 held by the movable stage 33c that has moved along the rail 33d from the movable stage 33c. The transfer head 35a then moves to the crimping tool 34 side while suction-holding the component 5. The transfer stage 35b receives the component 5 that has been suction-held by the transfer head 35a from the transfer head 35a that has moved to the crimping tool 34 side. The transfer stage 35b that has received the component 5 moves to below the crimping tool 34.

圧着ツール34は、その移載ステージ35bに載置されている部品5を吸着して保持する。ここで、上述の第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rからなる撮像部39は、圧着ツール34に保持されている部品5を、下受け部36を介して撮像する。さらに、撮像部39は、基板移動機構31のステージ37に保持されている基板3の縁部を、その下受け部36を介して撮像する。ステージ37は、部品5および基板3の縁部のそれぞれの撮像の結果に基づいて、部品5と基板3との位置合わせを行う。そして、圧着ツール34は、位置合わせされた基板3に対して部品5を圧着する。 The bonding tool 34 adsorbs and holds the component 5 placed on the transfer stage 35b. Here, the imaging unit 39 consisting of the above-mentioned first camera 39L and second camera 39R images the component 5 held by the bonding tool 34 via the under-receiving portion 36. Furthermore, the imaging unit 39 images the edge of the board 3 held on the stage 37 of the board moving mechanism 31 via the under-receiving portion 36. The stage 37 aligns the component 5 with the board 3 based on the results of imaging the component 5 and the edge of the board 3. Then, the bonding tool 34 crimps the component 5 onto the aligned board 3.

このように、本実施の形態における部品圧着装置100の部品供給部33は、複数の部品5が設けられているテープ部材70から、複数の部品5のそれぞれを順次打ち抜く打ち抜き部33bを備える。そして、圧着ツール34は、その打ち抜き部33bによって打ち抜かれた部品5を保持して基板3に圧着する。 In this manner, the component supply unit 33 of the component crimping device 100 in this embodiment includes a punching unit 33b that sequentially punches out each of the multiple components 5 from the tape member 70 on which the multiple components 5 are provided. The crimping tool 34 then holds the components 5 punched out by the punching unit 33b and crimps them onto the substrate 3.

[部品の圧着]
図8は、圧着ツール34および基板移動機構31のステージ37による部品5の圧着の手順の一例を示す図である。
[Crimping of parts]
FIG. 8 is a diagram showing an example of a procedure for crimping the component 5 by the crimping tool 34 and the stage 37 of the substrate moving mechanism 31.

まず、図8の(a)に示すように、移載ステージ35bは、圧着ツール34および下受け部36側に部品5を搬送する。次に、図8の(b)に示すように、移載ステージ35bは、圧着ツール34の下方、つまり圧着ツール34と下受け部36との間で停止する。次に、図8の(c)に示すように、圧着ツール34は、下降して部品5を保持する。これにより、部品5は、移載ステージ35bから圧着ツール34に受け渡される。そして、図8の(d)に示すように、圧着ツール34は、部品5を保持した状態で上昇する。 First, as shown in FIG. 8(a), the transfer stage 35b transports the component 5 to the crimping tool 34 and the lower support 36. Next, as shown in FIG. 8(b), the transfer stage 35b stops below the crimping tool 34, that is, between the crimping tool 34 and the lower support 36. Next, as shown in FIG. 8(c), the crimping tool 34 descends to hold the component 5. This transfers the component 5 from the transfer stage 35b to the crimping tool 34. Then, as shown in FIG. 8(d), the crimping tool 34 rises while holding the component 5.

次に、図8の(e)に示すように、部品5を受け渡した移載ステージ35bは、圧着ツール34の下方から退避する。そして、図8の(f)に示すように、撮像部39は、部品5を撮像する。この撮像では、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとが撮像される。その撮像結果は、打ち抜き部33bによる部品5の打ち抜き精度の確認のために用いられる。また、第2のアライメントマークMcの撮像結果は、部品5と基板3との位置合わせに用いられる。なお、圧着ツール34は、部品5を撮像部39の焦点位置またはその近傍まで下降させてもよい。また、撮像部39は焦点位置を変更してもよい。次に、図8の(g)に示すように、圧着ツール34が下降していた場合は、その圧着ツール34は上昇し、基板3を保持しているステージ37が移動する。図8の(h)に示すように、そのステージ37の移動によって、基板3の縁部が圧着ツール34の下方に到達すると、ステージ37は下降する。これによって、基板3の縁部は、下受け部36によって下方から支持される。このとき、撮像部39は、基板3に形成されている第1のアライメントマークMbを撮像する。そして、第1のアライメントマークMbおよび第2のアライメントマークMcのそれぞれの撮像結果に基づいて、ステージ37は、基板3の位置を調整する。つまり、部品5と基板3との位置合わせが行われる。 Next, as shown in (e) of FIG. 8, the transfer stage 35b that has handed over the component 5 retreats from below the crimping tool 34. Then, as shown in (f) of FIG. 8, the imaging unit 39 images the component 5. In this imaging, the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc are imaged. The imaging result is used to confirm the punching accuracy of the component 5 by the punching unit 33b. The imaging result of the second alignment mark Mc is also used to align the component 5 and the board 3. The crimping tool 34 may lower the component 5 to the focal position of the imaging unit 39 or nearby. The imaging unit 39 may also change the focal position. Next, as shown in (g) of FIG. 8, if the crimping tool 34 has been lowered, the crimping tool 34 rises and the stage 37 holding the board 3 moves. As shown in FIG. 8(h), when the movement of the stage 37 causes the edge of the substrate 3 to reach below the pressure bonding tool 34, the stage 37 descends. As a result, the edge of the substrate 3 is supported from below by the support 36. At this time, the imaging unit 39 captures an image of the first alignment mark Mb formed on the substrate 3. Then, based on the imaging results of the first alignment mark Mb and the second alignment mark Mc, the stage 37 adjusts the position of the substrate 3. In other words, the component 5 and the substrate 3 are aligned.

次に、図8の(i)に示すように、圧着ツール34は、部品5を基板3の縁部に装着するために下降を開始する。そして、図8の(j)に示すように、圧着ツール34は、基板3の縁部に部品5を押し付ける。その結果、部品5は基板3に仮圧着され、基板3に取り付けられているACF91によって、部品5の電極部6は基板3の電極部4と電気的に導通する。その後、図8の(k)に示すように、圧着ツール34は上昇し、部品5が仮圧着された基板3は、ステージ37の移動によって搬出される。 8(i), the bonding tool 34 starts to descend in order to attach the component 5 to the edge of the substrate 3. Then, as shown in FIG. 8(j), the bonding tool 34 presses the component 5 against the edge of the substrate 3. As a result, the component 5 is temporarily bonded to the substrate 3, and the electrode portion 6 of the component 5 is electrically connected to the electrode portion 4 of the substrate 3 by the ACF 91 attached to the substrate 3. After that, as shown in FIG. 8(k), the bonding tool 34 rises, and the substrate 3 to which the component 5 has been temporarily bonded is carried out by the movement of the stage 37.

[関係情報]
本実施の形態における制御部2aは、図8の(f)に示す状況での撮像部39による部品5の撮像結果に基づいて、部品5の打ち抜き精度を示す関係情報を生成して出力する。
[Related information]
The control unit 2a in this embodiment generates and outputs relevant information indicating the punching accuracy of the component 5 based on the image of the component 5 captured by the imaging unit 39 in the situation shown in FIG. 8(f).

図9は、関係情報の一例を示す図である。 Figure 9 shows an example of relationship information.

関係情報は、一対の第2のアライメントマークMcのそれぞれについて、その第2のアライメントマークMcと、その第2のアライメントマークMcの周辺にある部品5の端縁との位置関係を、部品5の打ち抜き精度として示す。具体的には、関係情報は、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとの間の距離を位置関係として示す。より具体的には、関係情報は、X軸方向正側の第2のアライメントマークMcについての距離XLおよび距離YLと、X軸方向負側の第2のアライメントマークMcについての距離XRおよび距離YRとを示す。 The relationship information indicates, for each of a pair of second alignment marks Mc, the positional relationship between that second alignment mark Mc and the edge of the component 5 around that second alignment mark Mc as the punching accuracy of the component 5. Specifically, the relationship information indicates the distance between the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc as the positional relationship. More specifically, the relationship information indicates the distance XL and distance YL for the second alignment mark Mc on the positive side of the X-axis direction, and the distance XR and distance YR for the second alignment mark Mc on the negative side of the X-axis direction.

距離XLは、X軸方向正側の第2のアライメントマークMcと、その第2のアライメントマークMcに最も近いY軸方向に沿う部品5のカットラインとの間の距離である。距離YLは、X軸方向正側の第2のアライメントマークMcと、その第2のアライメントマークMcに最も近いX軸方向に沿う部品5のカットラインとの間の距離である。 Distance XL is the distance between the second alignment mark Mc on the positive side of the X-axis direction and the cut line of the component 5 along the Y-axis direction that is closest to the second alignment mark Mc. Distance YL is the distance between the second alignment mark Mc on the positive side of the X-axis direction and the cut line of the component 5 along the X-axis direction that is closest to the second alignment mark Mc.

なお、カットラインは、部品5の打ち抜き部33bによる打ち抜きによって生成されるその部品5の一辺である。また、X軸方向正側の第2のアライメントマークMcの周辺にある部品5の端縁は、Y軸方向負側にあってX軸方向に沿うカットラインと、X軸方向正側にあってY軸方向に沿うカットラインとからなる。 The cut line is one side of the part 5 that is generated by punching the part 5 with the punching section 33b. The edge of the part 5 around the second alignment mark Mc on the positive side of the X-axis direction consists of a cut line on the negative side of the Y-axis direction that runs along the X-axis direction, and a cut line on the positive side of the X-axis direction that runs along the Y-axis direction.

同様に、距離XRは、X軸方向負側の第2のアライメントマークMcと、その第2のアライメントマークMcに最も近いY軸方向に沿う部品5のカットラインとの間の距離である。距離YRは、X軸方向負側の第2のアライメントマークMcと、その第2のアライメントマークMcに最も近いX軸方向に沿う部品5のカットラインとの間の距離である。なお、X軸方向負側の第2のアライメントマークMcの周辺にある部品5の端縁は、Y軸方向負側にあってX軸方向に沿うカットラインと、X軸方向負側にあってY軸方向に沿うカットラインとからなる。 Similarly, the distance XR is the distance between the second alignment mark Mc on the negative side of the X-axis direction and the cut line of the component 5 along the Y-axis direction that is closest to the second alignment mark Mc. The distance YR is the distance between the second alignment mark Mc on the negative side of the X-axis direction and the cut line of the component 5 along the X-axis direction that is closest to the second alignment mark Mc. Note that the edge of the component 5 around the second alignment mark Mc on the negative side of the X-axis direction consists of a cut line on the negative side of the Y-axis direction that is along the X-axis direction, and a cut line on the negative side of the X-axis direction that is along the Y-axis direction.

このような関係情報は、例えば打ち抜き部33bにフィードバックされる。つまり、本実施の形態における制御部2aは、その関係情報の出力によって、打ち抜き部33bによるテープ部材70からの部品5の打ち抜きを制御する。 This relationship information is fed back to, for example, the punching unit 33b. In other words, in this embodiment, the control unit 2a controls the punching of the component 5 from the tape member 70 by the punching unit 33b by outputting the relationship information.

例えば、打ち抜き部33bは、距離YLおよび距離YRが基準距離から外れている場合には、それらの距離が基準距離に近づくように、部品5の打ち抜き位置をテープ部材70の長手方向にずらす。または、打ち抜き部33bは、部品5の打ち抜き間隔を調整する。また、打ち抜き部33bは、距離XLおよび距離XRのうちの何れか一方が基準距離よりも短く、他方が長い場合には、それらの距離が基準距離に近づくように、部品5の打ち抜き位置をテープ部材70の幅方向にずらす。 For example, when the distances YL and YR deviate from the reference distance, the punching unit 33b shifts the punching position of the component 5 in the longitudinal direction of the tape member 70 so that these distances approach the reference distance. Alternatively, the punching unit 33b adjusts the punching interval of the component 5. Furthermore, when one of the distances XL and XR is shorter than the reference distance and the other is longer, the punching unit 33b shifts the punching position of the component 5 in the width direction of the tape member 70 so that these distances approach the reference distance.

[撮像部による撮像の詳細]
図10は、本実施の形態における撮像部39に含まれる第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rと撮像移動機構38とのそれぞれの一例を示す図である。
[Details of imaging by imaging unit]
FIG. 10 is a diagram showing an example of each of the first camera 39L and the second camera 39R included in the imaging unit 39 and the imaging movement mechanism 38 in this embodiment.

第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rは、下受け部36の下側に配置され、Z軸方向上方を撮像する。また、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rは、X軸方向に配列されている。 The first camera 39L and the second camera 39R are disposed below the lower support 36 and capture images in the Z-axis direction. The first camera 39L and the second camera 39R are also arranged in the X-axis direction.

撮像移動機構38は、例えば第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれを移動させることによって、それらの撮像範囲を移動させる。撮像移動機構38は、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39RのそれぞれをX軸方向に沿って移動させることによって、それらカメラ間の距離、すなわちカメラピッチを変更する。さらに、撮像移動機構38は、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39RをY軸方向に沿って移動させる。 The imaging movement mechanism 38 moves the imaging range of the first camera 39L and the second camera 39R, for example, by moving each of them. The imaging movement mechanism 38 changes the distance between the cameras, i.e., the camera pitch, by moving each of the first camera 39L and the second camera 39R along the X-axis direction. Furthermore, the imaging movement mechanism 38 moves the first camera 39L and the second camera 39R along the Y-axis direction.

部品5が撮像されるときには、圧着ツール34は、部品5に形成されている複数の電極からなる電極部6と、その電極部6を挟むように配置される一対の第2のアライメントマークMcとが下方に向けられた状態で、その部品5を吸着保持している。そして、その一対の第2のアライメントマークMcは、下受け部36に対向するように配置される。 When the component 5 is imaged, the crimping tool 34 suctions and holds the component 5 with the electrode portion 6, which is made up of multiple electrodes formed on the component 5, and a pair of second alignment marks Mc, which are arranged to sandwich the electrode portion 6, facing downward. The pair of second alignment marks Mc are also arranged to face the lower support portion 36.

第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rは、下受け部36の2つの貫通部h1を介して、部品5の一対の第2のアライメントマークMcおよびその部品5の2つの端縁を下方側から撮像する。なお、2つの貫通部h1のそれぞれは、例えばX軸方向に沿って配列された、下受け部36の上面に開口を有する孔であって、その下受け部36をZ軸方向に沿って貫通している。第1のカメラ39Lは、X軸方向正側の貫通部h1を介して、部品5におけるX軸方向正側の第2のアライメントマークMcと、その第2のアライメントマークMcの周辺にある部品5の端縁とを撮像する。第2のカメラ39Rは、X軸方向負側の貫通部h1を介して、部品5におけるX軸方向負側の第2のアライメントマークMcと、その第2のアライメントマークMcの周辺にある部品5の端縁とを撮像する。なお、本実施の形態における貫通部h1は、孔であるが、Y軸方向正側に凹んだ溝であってもよく、透光性を有するガラスなどの部材から成っていてもよい。 The first camera 39L and the second camera 39R capture images of the pair of second alignment marks Mc of the component 5 and the two edges of the component 5 from below through the two through-holes h1 of the under-support 36. Each of the two through-holes h1 is a hole having an opening on the upper surface of the under-support 36 arranged, for example, along the X-axis direction, and penetrates the under-support 36 along the Z-axis direction. The first camera 39L captures images of the second alignment mark Mc on the positive side of the X-axis direction of the component 5 and the edges of the component 5 around the second alignment mark Mc through the through-hole h1 on the positive side of the X-axis direction. The second camera 39R captures images of the second alignment mark Mc on the negative side of the X-axis direction of the component 5 and the edges of the component 5 around the second alignment mark Mc through the through-hole h1 on the negative side of the X-axis direction. In this embodiment, the through portion h1 is a hole, but it may also be a groove recessed toward the positive side in the Y-axis direction, or may be made of a material such as glass that has translucency.

基板3が撮像されるときには、ステージ37に保持されている基板3の縁部は、下受け部36の上方に配置されている。また、その縁部の上面には、複数の電極からなる電極部4と、その電極部4を挟むように配置される一対の第1のアライメントマークMbとが形成されている。さらに、その縁部の上面には、ACF91が電極部4を覆うように貼り付けられている。 When the substrate 3 is imaged, the edge of the substrate 3 held by the stage 37 is positioned above the lower support 36. In addition, an electrode portion 4 consisting of multiple electrodes and a pair of first alignment marks Mb arranged to sandwich the electrode portion 4 are formed on the upper surface of the edge. Furthermore, ACF 91 is attached to the upper surface of the edge so as to cover the electrode portion 4.

第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rは、下受け部36の2つの貫通部h1を介して、基板3の一対の第1のアライメントマークMbを下方側から撮像する。なお、基板3における一対の第1のアライメントマークMbが形成されている部分は透光性を有する。したがって、基板3の上面に形成されている第1のアライメントマークMbは、その透光性を有する部分を介して撮像される。第1のカメラ39Lは、X軸方向正側の貫通部h1を介して、基板3におけるX軸方向正側の第1のアライメントマークMbを撮像する。第2のカメラ39Rは、X軸方向負側の貫通部h1を介して、基板3におけるX軸方向負側の第1のアライメントマークMbを撮像する。 The first camera 39L and the second camera 39R capture images of the pair of first alignment marks Mb on the substrate 3 from below through the two through holes h1 of the lower support 36. The portion of the substrate 3 on which the pair of first alignment marks Mb are formed is translucent. Therefore, the first alignment mark Mb formed on the upper surface of the substrate 3 is captured through the translucent portion. The first camera 39L captures the first alignment mark Mb on the positive side of the X-axis direction on the substrate 3 through the through hole h1 on the positive side of the X-axis direction. The second camera 39R captures the first alignment mark Mb on the negative side of the X-axis direction on the substrate 3 through the through hole h1 on the negative side of the X-axis direction.

図11は、部品5が撮像されるときの第1のカメラ39Lと部品5とをX軸方向から見た状態を示す図である。 Figure 11 shows the first camera 39L and part 5 as viewed from the X-axis direction when part 5 is imaged.

図11に示すように、第1のカメラ39Lは、下受け部36の下側から、その下受け部36の貫通部h1を介して、下受け部36の上方にある部品5を撮像する。第2のカメラ39Rも、同様に、下受け部36の貫通部h1を介して部品5を撮像する。 As shown in FIG. 11, the first camera 39L captures an image of the component 5 above the lower support 36 from below the lower support 36 through the through hole h1 of the lower support 36. The second camera 39R similarly captures an image of the component 5 through the through hole h1 of the lower support 36.

図12Aおよび図12Bは、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれの撮像例を示す図である。 Figures 12A and 12B show examples of images captured by the first camera 39L and the second camera 39R, respectively.

図12Aの(a)および(b)に示す例では、第1のカメラ39Lの撮像範囲DLには、部品5におけるX軸方向正側の第2のアライメントマークMcと、その第2のアライメントマークMcの周辺にある部品5の端縁とが含まれている。この場合、第1のカメラ39Lは、その第2のアライメントマークMcと部品5の端縁とを同時に撮像する。この撮像によって、第2のアライメントマークMcと部品5の端縁とが映し出された画像である撮像データが生成される。そして、制御部2aは、その撮像データから、図12Aの(a)に示すように、部品5の端縁の位置を認識し、さらに、図12Aの(b)に示すように、第2のアライメントマークMcの位置を認識する。 In the example shown in (a) and (b) of FIG. 12A, the imaging range DL of the first camera 39L includes the second alignment mark Mc on the positive side of the X-axis direction of the component 5 and the edge of the component 5 around the second alignment mark Mc. In this case, the first camera 39L simultaneously captures the second alignment mark Mc and the edge of the component 5. This capture generates imaging data that is an image showing the second alignment mark Mc and the edge of the component 5. The control unit 2a then recognizes the position of the edge of the component 5 from the imaging data, as shown in (a) of FIG. 12A, and further recognizes the position of the second alignment mark Mc, as shown in (b) of FIG. 12A.

同様に、図12Bの(a)および(b)に示す例では、第2のカメラ39Rの撮像範囲DRには、部品5におけるX軸方向負側の第2のアライメントマークMcと、その第2のアライメントマークMcの周辺にある部品5の端縁とが含まれている。この場合、第2のカメラ39Rは、その第2のアライメントマークMcと部品5の端縁とを同時に撮像する。この撮像によって、第2のアライメントマークMcと部品5の端縁とが映し出された画像である撮像データが生成される。そして、制御部2aは、その撮像データから、図12Bの(a)に示すように、部品5の端縁の位置を認識し、さらに、図12Bの(b)に示すように、第2のアライメントマークMcの位置を認識する。 Similarly, in the example shown in (a) and (b) of FIG. 12B, the imaging range DR of the second camera 39R includes the second alignment mark Mc on the negative side of the X-axis direction of the component 5 and the edge of the component 5 around the second alignment mark Mc. In this case, the second camera 39R simultaneously captures the second alignment mark Mc and the edge of the component 5. This capture generates imaging data that is an image showing the second alignment mark Mc and the edge of the component 5. The control unit 2a then recognizes the position of the edge of the component 5 from the imaging data, as shown in (a) of FIG. 12B, and further recognizes the position of the second alignment mark Mc, as shown in (b) of FIG. 12B.

ここで、撮像範囲DLおよびDRのそれぞれには、第2のアライメントマークMcと部品5の端縁とが両方含まれていない場合がある。例えば、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとの間の距離が長い場合には、撮像範囲DLおよびDRのそれぞれに、第2のアライメントマークMcと部品5の端縁とを両方含めることができない。このような場合には、本実施の形態における撮像移動機構38は、第1のカメラ39Lの撮像範囲DLと第2のカメラ39Rの撮像範囲DRとを移動させる。そして、制御部2aは、先に、部品5の2つの端縁を第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rに撮像させ、次に、一対の第2のアライメントマークMcを第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rに撮像させる。 Here, each of the imaging ranges DL and DR may not include both the second alignment mark Mc and the edge of the component 5. For example, if the distance between the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc is long, each of the imaging ranges DL and DR may not include both the second alignment mark Mc and the edge of the component 5. In such a case, the imaging movement mechanism 38 in this embodiment moves the imaging range DL of the first camera 39L and the imaging range DR of the second camera 39R. Then, the control unit 2a first causes the first camera 39L and the second camera 39R to capture images of the two edges of the component 5, and then causes the first camera 39L and the second camera 39R to capture images of the pair of second alignment marks Mc.

図13Aは、部品5の端縁を被写体とした撮像の一例を示す図である。図13Bは、第2のアライメントマークMcを被写体とした撮像の一例を示す図である。 Figure 13A shows an example of imaging the edge of a component 5 as a subject. Figure 13B shows an example of imaging the second alignment mark Mc as a subject.

上述のように、第1のカメラ39Lの撮像範囲DLに、第2のアライメントマークMcと部品5の端縁とを両方含めることができない場合がある。このような場合には、まず、制御部2aは、撮像移動機構38を制御することによって、図13Aの(a)に示すように、撮像範囲DLに部品5の端縁が収まるように、その撮像範囲DLを移動させる。そして、図13Aの(b)に示すように、制御部2aは、第2のアライメントマークMcの撮像の前に、先に、部品5の端縁を第1のカメラ39Lに撮像させる。その結果、第1のカメラ39Lは、その部品5の端縁が映し出された画像である撮像データを生成する。 As described above, there are cases where the imaging range DL of the first camera 39L cannot include both the second alignment mark Mc and the edge of the component 5. In such a case, the control unit 2a first controls the imaging movement mechanism 38 to move the imaging range DL so that the edge of the component 5 falls within the imaging range DL, as shown in (a) of FIG. 13A. Then, as shown in (b) of FIG. 13A, the control unit 2a causes the first camera 39L to first capture an image of the edge of the component 5 before capturing an image of the second alignment mark Mc. As a result, the first camera 39L generates imaging data that is an image in which the edge of the component 5 is shown.

部品5の端縁が撮像された後に、制御部2aは、撮像移動機構38を制御することによって、図13Bの(a)に示すように、撮像範囲DLをX軸方向負側に移動させる。これにより、部品5の第2のアライメントマークMcが撮像範囲DLに含まれる。そして、制御部2aは、図13Bの(b)に示すように、第2のアライメントマークMcを第1のカメラ39Lに撮像させる。その結果、第1のカメラ39Lは、その第2のアライメントマークMcが映し出された画像である撮像データを生成する。 After the edge of the component 5 has been imaged, the control unit 2a controls the imaging movement mechanism 38 to move the imaging range DL to the negative side in the X-axis direction, as shown in (a) of FIG. 13B. As a result, the second alignment mark Mc of the component 5 is included in the imaging range DL. Then, the control unit 2a causes the first camera 39L to capture an image of the second alignment mark Mc, as shown in (b) of FIG. 13B. As a result, the first camera 39L generates imaging data that is an image showing the second alignment mark Mc.

制御部2aは、図13Aの(b)に示す部品5の端縁の撮像データから、撮像範囲DLにおける部品5の端縁の位置を認識する。さらに、制御部2aは、図13Bの(b)に示す第2のアライメントマークMcの撮像データから、撮像範囲DLにおける第2のアライメントマークMcの位置を認識する。そして、制御部2aは、部品5の端縁の位置と、第2のアライメントマークMcの位置と、撮像範囲DLの移動方向および移動距離とに基づいて、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとの位置関係を特定する。制御部2aは、その位置関係を示す関係情報(XL,YL)を生成する。 The control unit 2a recognizes the position of the edge of the component 5 in the imaging range DL from the imaging data of the edge of the component 5 shown in (b) of FIG. 13A. Furthermore, the control unit 2a recognizes the position of the second alignment mark Mc in the imaging range DL from the imaging data of the second alignment mark Mc shown in (b) of FIG. 13B. Then, the control unit 2a identifies the positional relationship between the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc based on the position of the edge of the component 5, the position of the second alignment mark Mc, and the movement direction and movement distance of the imaging range DL. The control unit 2a generates relationship information (XL, YL) that indicates this positional relationship.

制御部2aは、図13Aおよび図13Bに示す撮像に関する処理と同様の処理を、第2のカメラ39Rの撮像範囲DRに対しても実行する。これにより、関係情報(XR,YR)が生成される。 The control unit 2a also performs the same processing for the imaging range DR of the second camera 39R as the processing for imaging shown in Figures 13A and 13B. This generates relationship information (XR, YR).

図14Aは、部品5の端縁を被写体とした撮像の他の例を示す図である。図14Bは、第2のアライメントマークMcを被写体とした撮像の他の例を示す図である。 Figure 14A shows another example of imaging the edge of the component 5 as a subject. Figure 14B shows another example of imaging the second alignment mark Mc as a subject.

図13Aに示す例と同様、撮像範囲DLに、第2のアライメントマークMcと部品5の端縁とを両方含めることができない場合、まず、制御部2aは、図14Aの(a)に示すように、撮像範囲DLに部品5の端縁を収める。次に、図14Aの(b)に示すように、制御部2aは、部品5の端縁を第1のカメラ39Lに撮像させる。その結果、第1のカメラ39Lは、その部品5の端縁が映し出された画像である撮像データを生成する。 As in the example shown in FIG. 13A, when the imaging range DL cannot include both the second alignment mark Mc and the edge of the component 5, the control unit 2a first fits the edge of the component 5 within the imaging range DL, as shown in FIG. 14A (a). Next, as shown in FIG. 14A (b), the control unit 2a causes the first camera 39L to capture an image of the edge of the component 5. As a result, the first camera 39L generates imaging data that is an image showing the edge of the component 5.

部品5の端縁が撮像された後に、制御部2aは、撮像移動機構38を制御することによって、図14Bの(a)に示すように、撮像範囲DLをY軸方向正側に移動させる。これにより、部品5の第2のアライメントマークMcが撮像範囲DLに含まれる。そして、制御部2aは、図14Bの(b)に示すように、第2のアライメントマークMcを第1のカメラ39Lに撮像させる。その結果、第1のカメラ39Lは、その第2のアライメントマークMcが映し出された画像である撮像データを生成する。 After the edge of the component 5 has been imaged, the control unit 2a controls the imaging movement mechanism 38 to move the imaging range DL to the positive side in the Y-axis direction, as shown in (a) of FIG. 14B. As a result, the second alignment mark Mc of the component 5 is included in the imaging range DL. Then, the control unit 2a causes the first camera 39L to capture an image of the second alignment mark Mc, as shown in (b) of FIG. 14B. As a result, the first camera 39L generates imaging data that is an image showing the second alignment mark Mc.

[部品圧着装置の処理フロー]
図15は、本実施の形態における部品圧着装置100の全体的な処理工程を示すフローチャートである。
[Processing flow of component crimping device]
FIG. 15 is a flow chart showing the overall process steps of component crimping apparatus 100 in this embodiment.

部品圧着装置100の部品供給部33に含まれる打ち抜き部33bは、テープ部材70から部品5を打ち抜く打ち抜き処理を実行する(ステップS11)。この打ち抜かれた部品5は、部品移動部35によって圧着ツール34側に移動する。 The punching unit 33b included in the component supply unit 33 of the component crimping device 100 executes a punching process to punch the component 5 from the tape member 70 (step S11). The punched component 5 is moved to the crimping tool 34 side by the component moving unit 35.

次に、圧着ツール34は、その部品供給部33から供給された部品5を吸着して保持する(ステップS12)。そして、制御部2aは、その圧着ツール34に保持されている部品5を撮像部39に撮像させて、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとの位置関係を特定する位置関係特定処理を実行する(ステップS13)。このステップS13では、部品5の撮像部39による撮像によって、部品5に形成されている一対の第2のアライメントマークMcのそれぞれが映し出された撮像データが生成される。 Next, the crimping tool 34 adsorbs and holds the component 5 supplied from the component supply unit 33 (step S12). The control unit 2a then causes the imaging unit 39 to capture an image of the component 5 held by the crimping tool 34, and executes a positional relationship determination process to determine the positional relationship between the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc (step S13). In this step S13, imaging data is generated in which each of the pair of second alignment marks Mc formed on the component 5 is shown by imaging the component 5 by the imaging unit 39.

そして、制御部2aは、その位置関係が許容範囲内か否かを判定する(ステップS14)。ここで、制御部2aは、位置関係が許容範囲内であると判定すると(ステップS14のYes)、その位置関係を打ち抜き処理にフィードバックする(ステップS15)。つまり、制御部2aは、その位置関係を示す関係情報を、部品供給部33の打ち抜き部33bに出力することによって、打ち抜き部33bによる部品5の打ち抜きの位置をその打ち抜き部33bに調整させる。 Then, the control unit 2a judges whether or not the positional relationship is within the allowable range (step S14). If the control unit 2a judges that the positional relationship is within the allowable range (Yes in step S14), it feeds back the positional relationship to the punching process (step S15). In other words, the control unit 2a outputs relationship information indicating the positional relationship to the punching unit 33b of the part supply unit 33, thereby causing the punching unit 33b to adjust the position at which the part 5 is punched by the punching unit 33b.

そして、制御部2aは、ステップS13の処理の最後に設定された撮像部39の撮像範囲DLおよび撮像範囲DRの位置を変更することなく、基板移動機構31を制御することによって基板3を下受け部36側に移動させる。制御部2aは、その基板3の移動によって、基板3の一対の第1のアライメントマークMbを、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRにそれぞれ収める(ステップS16)。つまり、制御部2aは、一対の第1のアライメントマークMbが撮像範囲DLおよび撮像範囲DRにそれぞれ収まるように基板3の移動を基板移動機構31に実行させる。 Then, the control unit 2a controls the substrate moving mechanism 31 to move the substrate 3 toward the undersupport unit 36 without changing the positions of the imaging range DL and imaging range DR of the imaging unit 39 that were set at the end of the processing in step S13. By moving the substrate 3, the control unit 2a causes the pair of first alignment marks Mb of the substrate 3 to fall within the imaging range DL and imaging range DR, respectively (step S16). In other words, the control unit 2a causes the substrate moving mechanism 31 to move the substrate 3 so that the pair of first alignment marks Mb fall within the imaging range DL and imaging range DR, respectively.

次に、制御部2aは、それぞれ撮像範囲DLおよび撮像範囲DRに含まれる一対の第1のアライメントマークMbを被写体として撮像部39に撮像させる(ステップS17)。つまり、第1のカメラ39Lは、撮像範囲DLに含まれる第1のアライメントマークMbを撮像し、第2のカメラ39Rは、撮像範囲DRに含まれる第1のアライメントマークMbを撮像する。これにより、一対の第1のアライメントマークMbのそれぞれが映し出された撮像データが生成される。 Next, the control unit 2a causes the imaging unit 39 to capture an image of a pair of first alignment marks Mb included in the imaging range DL and the imaging range DR as subjects (step S17). That is, the first camera 39L captures an image of the first alignment mark Mb included in the imaging range DL, and the second camera 39R captures an image of the first alignment mark Mb included in the imaging range DR. This generates imaging data that shows each of the pair of first alignment marks Mb.

次に、制御部2aは、部品5の一対の第2のアライメントマークMcと、基板3の一対の第1のアライメントマークMbとに基づいて、基板3の位置調整を基板移動機構31に実行させる(ステップS18)。つまり、制御部2aは、第1のアライメントマークMbの撮像データから第1のアライメントマークMbの位置を認識し、第2のアライメントマークMcの撮像データから第2のアライメントマークMcの位置を認識する。そして、基板3を保持している基板移動機構31のステージ37は、制御部2aによる制御によって、一対の第2のアライメントマークMcと一対の第1のアライメントマークMbとが重なるように、基板3の位置を調整する。これにより、部品5と基板3との位置合わせが行われる。そして、制御部2aは、圧着ツール34を下降させることによって、下受け部36に支持されている基板3の縁部に部品5を圧着させる(ステップS19)。つまり、制御部2aは、一対の第1のアライメントマークMbおよび一対の第2のアライメントマークMcのそれぞれの撮像結果に基づいて、基板移動機構31および圧着ツール34による部品5の基板3への圧着を制御する。 Next, the control unit 2a causes the substrate moving mechanism 31 to adjust the position of the substrate 3 based on the pair of second alignment marks Mc of the component 5 and the pair of first alignment marks Mb of the substrate 3 (step S18). That is, the control unit 2a recognizes the position of the first alignment mark Mb from the imaging data of the first alignment mark Mb, and recognizes the position of the second alignment mark Mc from the imaging data of the second alignment mark Mc. Then, the stage 37 of the substrate moving mechanism 31 holding the substrate 3 adjusts the position of the substrate 3 under the control of the control unit 2a so that the pair of second alignment marks Mc and the pair of first alignment marks Mb overlap. This allows the component 5 and the substrate 3 to be aligned. Then, the control unit 2a lowers the pressure bonding tool 34 to pressure bond the component 5 to the edge of the substrate 3 supported by the lower support 36 (step S19). In other words, the control unit 2a controls the bonding of the component 5 to the substrate 3 by the substrate moving mechanism 31 and the bonding tool 34 based on the respective imaging results of the pair of first alignment marks Mb and the pair of second alignment marks Mc.

また、ステップS14において、位置関係が許容範囲内でないと判定すると(ステップS14のNo)、制御部2aは、圧着ツール34に保持されている部品5の基板3への圧着を禁止する(ステップS20)。このとき、制御部2aは、打ち抜き部33bによる部品5の打ち抜きを停止させてもよい。そして、制御部2aは、部品供給部33の打ち抜き部33bで不具合が発生していることを報知する(ステップS21)。例えば、制御部2aは、その不具合の発生を通知するメッセージまたは警告などを表示部2cに表示することによって、その不具合の発生を報知する。 Furthermore, if it is determined in step S14 that the positional relationship is not within the allowable range (No in step S14), the control unit 2a prohibits the component 5 held by the crimping tool 34 from being crimped onto the substrate 3 (step S20). At this time, the control unit 2a may stop the punching of the component 5 by the punching unit 33b. Then, the control unit 2a notifies the user that a malfunction has occurred in the punching unit 33b of the component supply unit 33 (step S21). For example, the control unit 2a notifies the user of the malfunction by displaying a message or warning notifying the user of the malfunction on the display unit 2c.

具体的には、制御部2aは、関係情報によって示される距離が予め定められた許容範囲内にない場合に、打ち抜き部33bで不具合が発生していること報知する。より具体的には、関係情報によって示される距離YLおよび距離YRが、許容範囲よりも短い場合、または、許容範囲よりも長い場合に、制御部2aは、不具合の発生を報知する。また、その距離YLおよび距離YRの差が許容範囲内にない場合に、制御部2aは、不具合の発生を報知してもよい。また、関係情報によって示される距離XLおよび距離XRの何れか一方が許容範囲よりも短く、他方が許容範囲よりも長い場合に、制御部2aは、不具合の発生を報知してもよい。 Specifically, the control unit 2a notifies the occurrence of a malfunction in the punching section 33b when the distance indicated by the relationship information is not within a predetermined tolerance range. More specifically, the control unit 2a notifies the occurrence of a malfunction when the distance YL and the distance YR indicated by the relationship information are shorter or longer than the tolerance range. The control unit 2a may also notify the occurrence of a malfunction when the difference between the distance YL and the distance YR is not within the tolerance range. The control unit 2a may also notify the occurrence of a malfunction when one of the distances XL and XR indicated by the relationship information is shorter and the other is longer than the tolerance range.

図16は、図15のステップS13における位置関係特定処理の詳細を示すフローチャートである。 Figure 16 is a flowchart showing the details of the positional relationship determination process in step S13 of Figure 15.

制御部2aは、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれに部品5を撮像させる(ステップS131)。これにより、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれで、部品5の撮像データが生成される。そして、制御部2aは、それらの撮像データに基づいて、第1のカメラ39Lの撮像範囲DLおよび第2のカメラ39Rの撮像範囲DRのそれぞれに、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcの両方が含まれているか否かを判定する(ステップS132)。 The control unit 2a causes each of the first camera 39L and the second camera 39R to capture an image of the component 5 (step S131). As a result, imaging data of the component 5 is generated by each of the first camera 39L and the second camera 39R. Then, based on the imaging data, the control unit 2a determines whether or not both the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc are included in each of the imaging range DL of the first camera 39L and the imaging range DR of the second camera 39R (step S132).

ここで、制御部2aは、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRのそれぞれに、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcの両方が含まれていると判定すると(ステップS132のYes)、上述の関係情報を生成する(ステップS133)。つまり、制御部2aは、第1のカメラ39Lの撮像データに映し出されている部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとの位置関係(XL,YL)を特定する。同様に、制御部2aは、第2のカメラ39Rの撮像データに映し出されている部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとの位置関係(XR,YR)を特定する。そして、制御部2aは、その特定された位置関係を示す関係情報(XL,YL),(XR,YR)を生成する。 Here, when the control unit 2a determines that both the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc are included in each of the imaging ranges DL and DR (Yes in step S132), it generates the above-mentioned relationship information (step S133). That is, the control unit 2a identifies the positional relationship (XL, YL) between the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc shown in the imaging data of the first camera 39L. Similarly, the control unit 2a identifies the positional relationship (XR, YR) between the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc shown in the imaging data of the second camera 39R. Then, the control unit 2a generates relationship information (XL, YL), (XR, YR) indicating the identified positional relationship.

一方、制御部2aは、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRのそれぞれに、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcの両方が含まれていないと判定すると(ステップS132のNo)、撮像移動機構38に撮像範囲DLおよび撮像範囲DRを移動させる(ステップS134)。つまり、制御部2aは、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRのそれぞれに、圧着ツール34に保持されている部品5の端縁が収まるように、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRの移動を撮像移動機構38に実行させる。そして、制御部2aは、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRのそれぞれに含まれる部品5の端縁を被写体として第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれに撮像させる(ステップS135)。これにより、部品5の端縁が映し出された撮像データが、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれで生成される。 On the other hand, when the control unit 2a determines that neither the edge of the component 5 nor the second alignment mark Mc is included in the imaging range DL and the imaging range DR (No in step S132), the control unit 2a causes the imaging movement mechanism 38 to move the imaging range DL and the imaging range DR (step S134). That is, the control unit 2a causes the imaging movement mechanism 38 to move the imaging range DL and the imaging range DR so that the edge of the component 5 held by the crimping tool 34 fits into each of the imaging range DL and the imaging range DR. Then, the control unit 2a causes the first camera 39L and the second camera 39R to capture images of the edge of the component 5 included in each of the imaging range DL and the imaging range DR as the subject (step S135). As a result, imaging data showing the edge of the component 5 is generated by each of the first camera 39L and the second camera 39R.

なお、ステップS134では、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれが撮像しながら、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRのそれぞれに部品5の端縁が収まるまで、それらの撮像範囲の移動が継続的に実行されてもよい。この場合には、ステップS134およびS135が同時に実行される。また、ステップS134の処理は、ステップS132で否定的な判定が行われたときに直ちに実行されるが、直ちに実行されなくてもよい。例えば、ステップS132で否定的な判定が行われたときには、制御部2aは、撮像移動機構38を制御することによって、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRを移動させて、ステップS131およびS132の処理を繰り返し実行する。そして、予め定められた回数だけステップS132が繰り返し実行されても、そのステップS132で肯定的な判定が行われなかったときに、ステップS134の処理が実行されてもよい。つまり、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRのそれぞれに、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcの両方を収めることができない場合に、ステップS134の処理が実行されてもよい。また、部品5、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rの仕様に基づき、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcを同時に撮像できないことが予め分かっている場合には、ステップS131およびS132の処理を行うことなくステップS134の処理が実行されてもよい。 In step S134, the first camera 39L and the second camera 39R may continuously move the imaging ranges DL and DR while capturing images of the first camera 39L and the second camera 39R, respectively, until the edge of the component 5 falls within the imaging range DL and the imaging range DR. In this case, steps S134 and S135 are executed simultaneously. In addition, the processing of step S134 is executed immediately when a negative determination is made in step S132, but it does not have to be executed immediately. For example, when a negative determination is made in step S132, the control unit 2a controls the imaging movement mechanism 38 to move the imaging range DL and the imaging range DR, and repeatedly executes the processing of steps S131 and S132. Then, even if step S132 is repeatedly executed a predetermined number of times, the processing of step S134 may be executed when a positive determination is not made in step S132. That is, the process of step S134 may be executed when both the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc cannot be captured in each of the imaging ranges DL and DR. Also, if it is known in advance that the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc cannot be captured simultaneously based on the specifications of the component 5, the first camera 39L, and the second camera 39R, the process of step S134 may be executed without executing the processes of steps S131 and S132.

次に、制御部2aは、撮像移動機構38に撮像範囲DLおよび撮像範囲DRを移動させる(ステップS137)。つまり、制御部2aは、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRのそれぞれに部品5の第2のアライメントマークMcが収まるように撮像範囲DLおよび撮像範囲DRを移動させる。言い換えれば、制御部2aは、一対の第2のアライメントマークMcが撮像範囲DLおよび撮像範囲DRにそれぞれ含まれていない場合には、部品5の端縁の撮像後に、一対の第2のアライメントマークMcが撮像範囲DLおよび撮像範囲DRにそれぞれ収まるように撮像範囲DLおよび撮像範囲DRの移動を撮像移動機構38に実行させる。そして、制御部2aは、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRのそれぞれに含まれる第2のアライメントマークMcを被写体として第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rに撮像させる(ステップS138)。これにより、第2のアライメントマークMcが映し出された撮像データが、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれで生成される。 Next, the control unit 2a causes the imaging movement mechanism 38 to move the imaging range DL and the imaging range DR (step S137). That is, the control unit 2a moves the imaging range DL and the imaging range DR so that the second alignment mark Mc of the part 5 falls within the imaging range DL and the imaging range DR, respectively. In other words, when the pair of second alignment marks Mc are not included in the imaging range DL and the imaging range DR, the control unit 2a causes the imaging movement mechanism 38 to move the imaging range DL and the imaging range DR so that the pair of second alignment marks Mc falls within the imaging range DL and the imaging range DR, respectively, after imaging the edge of the part 5. Then, the control unit 2a causes the first camera 39L and the second camera 39R to capture the second alignment mark Mc included in the imaging range DL and the imaging range DR, respectively, as a subject (step S138). As a result, imaging data showing the second alignment mark Mc is generated by each of the first camera 39L and the second camera 39R.

なお、ステップS137でも、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rのそれぞれが撮像しながら、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRのそれぞれに第2のアライメントマークMcが収まるまで、それらの撮像範囲の移動が継続的に実行されてもよい。この場合には、ステップS137およびS138が同時に実行される。 In step S137, the first camera 39L and the second camera 39R may continue to move their imaging ranges while capturing images until the second alignment mark Mc falls within the imaging range DL and the imaging range DR, respectively. In this case, steps S137 and S138 are executed simultaneously.

ステップS138の撮像後には、制御部2aは、上述の関係情報を生成する(ステップS133)。このときには、制御部2aは、ステップS135で生成された、部品5の端縁が映し出されている撮像データと、ステップS138で生成された、第2のアライメントマークMcが映し出されている撮像データとを用いる。例えば、制御部2aは、第1のカメラ39LによってステップS135で生成された撮像データに映し出されている部品5の端縁の位置、つまり撮像範囲DLにおける端縁の位置を認識する。さらに、制御部2aは、第1のカメラ39LによってステップS137で生成された撮像データに映し出されている第2のアライメントマークMcの位置、つまり撮像範囲DLにおける第2のアライメントマークMcの位置を認識する。そして、制御部2aは、その認識された部品5の端縁の位置と、第2のアライメントマークMcの位置と、ステップS137で移動された撮像範囲DLの移動距離および移動方向とに基づいて、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとの位置関係を特定する。 After the imaging in step S138, the control unit 2a generates the above-mentioned relationship information (step S133). At this time, the control unit 2a uses the imaging data generated in step S135 showing the edge of the component 5 and the imaging data generated in step S138 showing the second alignment mark Mc. For example, the control unit 2a recognizes the position of the edge of the component 5 shown in the imaging data generated in step S135 by the first camera 39L, that is, the position of the edge in the imaging range DL. Furthermore, the control unit 2a recognizes the position of the second alignment mark Mc shown in the imaging data generated in step S137 by the first camera 39L, that is, the position of the second alignment mark Mc in the imaging range DL. Then, the control unit 2a determines the positional relationship between the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc based on the position of the recognized edge of the component 5, the position of the second alignment mark Mc, and the movement distance and movement direction of the imaging range DL moved in step S137.

このように、ステップS133では、制御部2aは、部品5の端縁および第2のアライメントマークMcのそれぞれの撮像結果に基づいて、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとの位置関係を示す関係情報を生成して出力する。ステップS133において生成された関係情報は、例えば、打ち抜き部33bによる部品5の打ち抜きの位置のフィードバック制御、または、打ち抜き部33bの不具合の報知などに用いられる。 In this way, in step S133, the control unit 2a generates and outputs relationship information indicating the positional relationship between the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc based on the respective imaging results of the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc. The relationship information generated in step S133 is used, for example, for feedback control of the punching position of the component 5 by the punching unit 33b, or for reporting a malfunction of the punching unit 33b.

以上のように、本実施の形態では、部品5の打ち抜き状態確認用のセンサを、打ち抜き部33bに設ける必要がなく、その打ち抜き部33bの大型化を抑制することができる。つまり、本実施の形態における部品圧着装置100では、撮像部39を部品5の打ち抜き状態確認用のセンサとしても利用することができるため、打ち抜き部33bの大型化を抑制することができる。具体的には、撮像部39は、基板移動機構31および圧着ツール34による部品5の基板3への圧着を制御するために用いられる。例えば部品5と基板3との位置合わせを制御するための第1のアライメントマークMbおよび第2のアライメントマークMcの撮像に、撮像部39が用いられる。本実施の形態における部品圧着装置100では、このような撮像部39に部品5の端縁も撮像させて、関係情報の生成および出力が行われることによって、その撮像部39を部品5の打ち抜き状態確認用のセンサとしても利用することができる。したがって、部品5の打ち抜き状態確認用のセンサを打ち抜き部33bにわざわざ設けなくてもよいため、打ち抜き部33bの大型化を抑制することができる。 As described above, in this embodiment, it is not necessary to provide a sensor for checking the punching state of the component 5 in the punching section 33b, and the size of the punching section 33b can be suppressed. In other words, in the component crimping device 100 in this embodiment, the imaging section 39 can also be used as a sensor for checking the punching state of the component 5, so that the size of the punching section 33b can be suppressed. Specifically, the imaging section 39 is used to control the crimping of the component 5 to the board 3 by the board moving mechanism 31 and the crimping tool 34. For example, the imaging section 39 is used to image the first alignment mark Mb and the second alignment mark Mc for controlling the alignment of the component 5 and the board 3. In the component crimping device 100 in this embodiment, the imaging section 39 is also caused to image the edge of the component 5, and related information is generated and output, so that the imaging section 39 can also be used as a sensor for checking the punching state of the component 5. Therefore, there is no need to provide a sensor in the punching section 33b to check the punching state of the part 5, which helps prevent the punching section 33b from becoming too large.

ここで、部品5の打ち抜き状態を確認するためには、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとをそれぞれ撮像する必要があるが、それらを同時に撮像することができない場合には、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRを移動させてそれらを個別に撮像する必要がある。このような場合には、例えば、第2のアライメントマークMcが先に撮像され、その後に撮像範囲DLおよび撮像範囲DRが移動し、部品5の端縁が撮像される手順が想定される。しかし、その手順では、次に行われる部品5と基板3との位置合わせのために、さらに撮像範囲DLおよび撮像範囲DRを移動させて元の位置に戻さなければならない。その位置合わせでは、第1のアライメントマークMbの撮像が必要とされる。そして、第1のアライメントマークMbの撮像と、第2のアライメントマークMcの撮像とでは、その位置合わせの精度を確保するために、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRがそれぞれ同じ位置にあることが望ましい。しかし、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRのそれぞれを元の位置に戻しても、その位置の再現性が不十分であれば、部品5と基板3との位置合わせの精度が低下してしまう。 Here, in order to check the punched state of the component 5, it is necessary to image the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc, respectively. If they cannot be imaged simultaneously, it is necessary to move the imaging range DL and the imaging range DR to image them separately. In such a case, for example, a procedure is assumed in which the second alignment mark Mc is imaged first, and then the imaging range DL and the imaging range DR are moved to image the edge of the component 5. However, in this procedure, the imaging range DL and the imaging range DR must be further moved and returned to their original positions in order to align the component 5 with the board 3, which is performed next. For this alignment, it is necessary to image the first alignment mark Mb. In addition, in the imaging of the first alignment mark Mb and the imaging of the second alignment mark Mc, it is desirable that the imaging range DL and the imaging range DR are in the same position, respectively, in order to ensure the accuracy of the alignment. However, even if the imaging range DL and the imaging range DR are returned to their original positions, if the reproducibility of their positions is insufficient, the accuracy of the alignment between the component 5 and the board 3 will decrease.

しかし、本実施の形態における部品圧着装置100では、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとを同時に撮像することができない場合には、部品5の端縁が先に撮像され、次に、第2のアライメントマークMcが撮像される。 However, in the component crimping device 100 of this embodiment, if it is not possible to simultaneously image the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc, the edge of the component 5 is imaged first, and then the second alignment mark Mc is imaged.

図17は、本実施の形態の部品圧着装置100における撮像部39および撮像範囲が動くタイミングを説明するための図である。 Figure 17 is a diagram for explaining the timing of movement of the imaging unit 39 and the imaging range in the component crimping device 100 of this embodiment.

図17に示すように、本実施の形態における部品圧着装置100では、部品5の端縁が先に撮像され、次に、第2のアライメントマークMcが撮像される。これらの撮像の間には、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39R、すなわち撮像範囲DLおよび撮像範囲DRが移動する。しかし、その第2のアライメントマークMcの撮像と、第1のアライメントマークMbの撮像との間では、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rを移動させずに、部品5と基板3との位置合わせであるステージ37の位置調整を行うことができる。これは、部品5の端縁が第2のアライメントマークMcよりも先に撮像されているからである。つまり、本実施の形態では、第2のアライメントマークMcの撮像が行われたときの撮像範囲DLおよび撮像範囲DRを移動させることなく、第1のアライメントマークMbを撮像することができる。具体的には、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRを移動させることなく、基板3を移動させることによってそれらの撮像範囲に基板3の第1のアライメントマークMbを収めて、その第1のアライメントマークMbを撮像することができる。したがって、第1のアライメントマークMbの撮像と、第2のアライメントマークMcの撮像とでは、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRのそれぞれの位置が等しい。したがって、部品5と基板3との位置合わせの精度を十分に確保することができる。つまり、実装精度の向上を図ることができる。その結果、打ち抜き部33bの大型化を抑制しながら、部品5の打ち抜き状態を確認することができるとともに、実装精度の向上を図ることができる。 As shown in FIG. 17, in the component crimping device 100 in this embodiment, the edge of the component 5 is imaged first, and then the second alignment mark Mc is imaged. Between these images, the first camera 39L and the second camera 39R, i.e., the image capturing range DL and the image capturing range DR, move. However, between the image capturing of the second alignment mark Mc and the image capturing of the first alignment mark Mb, the position adjustment of the stage 37, which is the alignment between the component 5 and the board 3, can be performed without moving the first camera 39L and the second camera 39R. This is because the edge of the component 5 is imaged before the second alignment mark Mc. In other words, in this embodiment, the first alignment mark Mb can be imaged without moving the image capturing range DL and the image capturing range DR when the image capturing of the second alignment mark Mc is performed. Specifically, the first alignment mark Mb of the board 3 can be accommodated in the imaging range DL and the imaging range DR without moving the imaging range DL and the imaging range DR, and the first alignment mark Mb can be imaged. Therefore, the positions of the imaging range DL and the imaging range DR are the same in the imaging of the first alignment mark Mb and the imaging of the second alignment mark Mc. Therefore, the accuracy of aligning the component 5 and the board 3 can be sufficiently ensured. In other words, the mounting accuracy can be improved. As a result, the punching state of the component 5 can be confirmed while suppressing the increase in size of the punching portion 33b, and the mounting accuracy can be improved.

また、本実施の形態における制御部2aは、関係情報の出力によって、打ち抜き部33bによるテープ部材70からの部品5の打ち抜きを制御する。これにより、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとの位置関係を自動的に一定に保つことができ、部品5の打ち抜き精度の向上を簡単に図ることができる。 In addition, in this embodiment, the control unit 2a controls the punching of the component 5 from the tape member 70 by the punching unit 33b by outputting the related information. This makes it possible to automatically maintain a constant positional relationship between the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc, and easily improves the punching accuracy of the component 5.

また、本実施の形態における制御部2aは、部品5の端縁と第2のアライメントマークMcとの間の距離を位置関係として示す関係情報を生成し、その距離が閾値よりも長い場合には、打ち抜き部33bで不具合が発生していること報知する。これにより、作業者に対して打ち抜き部33bの点検および修理を促し、打ち抜き精度を向上することができる。 In addition, in this embodiment, the control unit 2a generates relationship information that indicates the distance between the edge of the component 5 and the second alignment mark Mc as a positional relationship, and if the distance is longer than a threshold value, notifies the operator that a malfunction has occurred in the punching unit 33b. This encourages the operator to inspect and repair the punching unit 33b, and improves the punching accuracy.

(変形例)
上記実施の形態では、撮像移動機構38は、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rを移動させることによって、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRを移動させる。しかし、撮像移動機構38は、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rを移動させることなく、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRを移動させてもよい。
(Modification)
In the above embodiment, the imaging moving mechanism 38 moves the imaging range DL and the imaging range DR by moving the first camera 39L and the second camera 39R. However, the imaging moving mechanism 38 may move the imaging range DL and the imaging range DR without moving the first camera 39L and the second camera 39R.

図18は、本変形例における撮像移動機構38の一部の構成例を示す図である。 Figure 18 shows an example of the configuration of part of the imaging movement mechanism 38 in this modified example.

本変形例における撮像移動機構38は、図18の(a)および(b)に示すように、レンズまたはミラーなどによって構成される光学部材38aを備える。撮像移動機構38は、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rを移動させることなく、例えば図18の(a)に示すように、光学部材38aを上方に移動させる。これによって、カメラピッチが広がるように、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRがX軸方向に移動する。あるいは、撮像移動機構38は、第1のカメラ39Lおよび第2のカメラ39Rを移動させることなく、例えば図18の(b)に示すように、光学部材38aを下方に移動させる。これによって、カメラピッチが狭まるように、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRがX軸方向に移動する。 As shown in (a) and (b) of FIG. 18, the imaging movement mechanism 38 in this modified example includes an optical member 38a composed of a lens or a mirror. The imaging movement mechanism 38 moves the optical member 38a upward, for example, as shown in (a) of FIG. 18, without moving the first camera 39L and the second camera 39R. This causes the imaging ranges DL and DR to move in the X-axis direction so that the camera pitch becomes wider. Alternatively, the imaging movement mechanism 38 moves the optical member 38a downward, for example, as shown in (b) of FIG. 18, without moving the first camera 39L and the second camera 39R. This causes the imaging ranges DL and DR to move in the X-axis direction so that the camera pitch becomes narrower.

このように本変形例では、光学部材38aの移動によって、撮像範囲DLおよび撮像範囲DRをX軸方向に沿って同時にかつ簡単に移動させることができる。 In this manner, in this modified example, the imaging range DL and the imaging range DR can be moved simultaneously and easily along the X-axis direction by moving the optical member 38a.

(その他の変形例)
以上、一つまたは複数の態様に係る部品圧着装置について、上記実施の形態およびその変形例に基づいて説明したが、本開示は、この実施の形態および変形例に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を上記実施の形態およびその変形例に施したものや、上記実施の形態およびその変形例における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本開示の範囲内に含まれてもよい。
(Other Modifications)
Although the component crimping device according to one or more aspects has been described based on the above embodiment and its modified examples, the present disclosure is not limited to the above embodiment and its modified examples. As long as it does not deviate from the spirit of the present disclosure, various modifications conceivable by a person skilled in the art to the above embodiment and its modified examples, and forms constructed by combining the components of the above embodiment and its modified examples may also be included within the scope of the present disclosure.

例えば、上記実施の形態およびその変形例では、第1のアライメントマークMbおよび第2のアライメントマークMcのそれぞれの形状は十字状であるが、この形状に限定されることなく、他の形状であってもよい。 For example, in the above embodiment and its modified examples, the shape of each of the first alignment mark Mb and the second alignment mark Mc is cross-shaped, but is not limited to this shape and may be other shapes.

また、上記実施の形態およびその変形例では、基板3はディスプレイパネルであって、そのディスプレイパネルに部品5が仮圧着および本圧着されるが、基板3はディスプレイパネル以外の基板であってもよい。 In addition, in the above embodiment and its modified examples, the substrate 3 is a display panel, and the component 5 is temporarily and permanently pressure-bonded to the display panel, but the substrate 3 may be a substrate other than a display panel.

また、上記実施の形態およびその変形例では、第2のアライメントマークMcが撮像された後に、第1のアライメントマークMbが撮像される。しかし、第1のアライメントマークMbと第2のアライメントマークMcとを同時に撮像してもよい。 In addition, in the above embodiment and its modified example, the first alignment mark Mb is imaged after the second alignment mark Mc. However, the first alignment mark Mb and the second alignment mark Mc may be imaged simultaneously.

また、上記実施の形態およびその変形例では、制御部2aは、不具合の発生を通知するメッセージまたは警告などを表示部2cに表示することによって、打ち抜き部33bの不具合の発生を報知する。このときには、制御部2aは、関係情報に示される距離XL、距離XR、距離YL、および距離YRを表示部2cに表示してもよく、それらの距離に応じて打ち抜き部33bを調整するための数値を表示部2cに表示してもよい。 In the above embodiment and its modified example, the control unit 2a notifies the occurrence of a malfunction in the punching portion 33b by displaying a message or warning notifying the occurrence of the malfunction on the display unit 2c. At this time, the control unit 2a may display the distances XL, XR, YL, and YR shown in the relationship information on the display unit 2c, and may display numerical values for adjusting the punching portion 33b according to these distances on the display unit 2c.

また、上記実施の形態およびその変形例では、コンピュータ2の構成要素の全部又は一部は、専用のハードウェアで構成されてもよく、或いは、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、CPU(Central Processing Unit)またはプロセッサ等のプログラム実行部が、HDD(Hard Disk Drive)又は半導体メモリ等の記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。例えば、プログラム実行部は、図15および図16に示すフローチャートに含まれる各ステップを仮圧着部30に実行させる。 In the above embodiment and its modified examples, all or some of the components of the computer 2 may be configured with dedicated hardware, or may be realized by executing a software program suitable for each component. Each component may be realized by a program execution unit such as a CPU (Central Processing Unit) or a processor reading and executing a software program recorded on a recording medium such as a HDD (Hard Disk Drive) or a semiconductor memory. For example, the program execution unit causes the temporary pressure bonding unit 30 to execute each step included in the flow charts shown in Figures 15 and 16.

また、コンピュータ2の構成要素は、1つ又は複数の電子回路で構成されてもよい。1つ又は複数の電子回路は、それぞれ、汎用的な回路でもよいし、専用の回路でもよい。1つ又は複数の電子回路には、例えば、半導体装置、IC(Integrated Circuit)又はLSI(Large Scale Integration)等が含まれてもよい。IC又はLSIは、1つのチップに集積されてもよく、複数のチップに集積されてもよい。ここでは、IC又はLSIと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムLSI、VLSI(Very Large Scale Integration)、又は、ULSI(Ultra Large Scale Integration)と呼ばれるかもしれない。また、LSIの製造後にプログラムされるFPGA(Field Programmable Gate Array)も同じ目的で使うことができる。 The components of the computer 2 may be composed of one or more electronic circuits. Each of the one or more electronic circuits may be a general-purpose circuit or a dedicated circuit. The one or more electronic circuits may include, for example, a semiconductor device, an IC (Integrated Circuit), or an LSI (Large Scale Integration). The IC or LSI may be integrated into one chip or into multiple chips. Here, the IC or LSI is referred to as an IC or LSI, but the name may change depending on the degree of integration, and may be called a system LSI, a VLSI (Very Large Scale Integration), or an ULSI (Ultra Large Scale Integration). A field programmable gate array (FPGA) that is programmed after the LSI is manufactured can also be used for the same purpose.

本開示は、例えばディスプレイパネルに部品を実装する部品実装ライン等が有する部品圧着装置に利用可能である。 This disclosure can be used, for example, in component crimping devices installed in component mounting lines that mount components on display panels.

1 部品実装ライン
2 コンピュータ
2a 制御部
2b 記憶部
2c 表示部
3 基板
4 電極部
5 部品
6 電極部
10 基板搬入部
20 貼着部
30 仮圧着部
31 基板移動機構
32 部品搭載機構
33 部品供給部
33a 供給リール
33b 打ち抜き部
33c 可動ステージ
33d レール
34 圧着ツール
35 部品移動部
35a 移載ヘッド
35b 移載ステージ
36 下受け部
37 ステージ
37a 吸着孔
38 撮像移動機構
38a 光学部材
39 撮像部
39L 第1のカメラ
39R 第2のカメラ
40 本圧着部
50 基板搬出部
60 搬送部
70 テープ部材
91 ACF
100 部品圧着装置
DL 撮像範囲
DR 撮像範囲
Mb 第1のアライメントマーク
Mc 第2のアライメントマーク
1 Component mounting line 2 Computer 2a Control unit 2b Memory unit 2c Display unit 3 Substrate 4 Electrode unit 5 Component 6 Electrode unit 10 Substrate loading unit 20 Adhesive unit 30 Pre-pressing unit 31 Substrate moving mechanism 32 Component mounting mechanism 33 Component supply unit 33a Supply reel 33b Punching unit 33c Movable stage 33d Rail 34 Pressing tool 35 Component moving unit 35a Transfer head 35b Transfer stage 36 Under-receiving unit 37 Stage 37a Suction hole 38 Imaging moving mechanism 38a Optical member 39 Imaging unit 39L First camera 39R Second camera 40 Main pressing unit 50 Substrate unloading unit 60 Transport unit 70 Tape member 91 ACF
100 Component pressure bonding device DL Imaging range DR Imaging range Mb First alignment mark Mc Second alignment mark

Claims (5)

第1のアライメントマークが形成されている基板を保持して前記基板を移動させる基板移動機構と、
第2のアライメントマークが形成されている部品を保持して前記基板に圧着する圧着ツールと、
撮像範囲に含まれる被写体を撮像する撮像部と、
前記撮像部の撮像範囲を移動させる撮像移動機構と、
制御部とを備え、
前記制御部は、
前記圧着ツールに保持されている前記部品の端縁が前記撮像範囲に収まるように前記撮像範囲の移動を前記撮像移動機構に実行させ、
前記撮像範囲に含まれる前記部品の端縁を前記被写体として前記撮像部に撮像させ、
前記第2のアライメントマークが前記撮像範囲に含まれていない場合には、
前記部品の端縁の撮像後に、前記第2のアライメントマークが前記撮像範囲に収まるように前記撮像範囲の移動を前記撮像移動機構に実行させ、
前記撮像範囲に含まれる前記第2のアライメントマークを前記被写体として前記撮像部に撮像させ、
前記部品の端縁および前記第2のアライメントマークのそれぞれの撮像結果に基づいて、前記部品の端縁と前記第2のアライメントマークとの位置関係を示す関係情報を生成して出力し、
前記第1のアライメントマークが前記撮像範囲に収まるように前記基板の移動を前記基板移動機構に実行させ、
前記撮像範囲に含まれる前記第1のアライメントマークを前記被写体として前記撮像部に撮像させ、
前記第1のアライメントマークおよび前記第2のアライメントマークのそれぞれの撮像結果に基づいて、前記基板移動機構および前記圧着ツールによる前記部品の前記基板への圧着を制御
前記撮像移動機構は、前記撮像部による前記第2のアライメントマークの撮像が行われてから前記第1のアライメントマークの撮像が行われるまでの間、前記撮像部の撮像範囲を移動させない、
部品圧着装置。
a substrate moving mechanism that holds a substrate on which a first alignment mark is formed and moves the substrate;
a compression tool that holds a component on which a second alignment mark is formed and compresses the component onto the substrate;
an imaging unit that captures an image of a subject included in an imaging range;
an imaging movement mechanism that moves an imaging range of the imaging unit;
A control unit.
The control unit is
causing the imaging moving mechanism to move the imaging range so that an edge of the component held by the crimping tool falls within the imaging range;
an image of an edge of the component included in the imaging range is captured by the imaging unit as the subject;
When the second alignment mark is not included in the imaging range,
after capturing an image of the edge of the component, causing the imaging movement mechanism to move the imaging range so that the second alignment mark falls within the imaging range;
The second alignment mark included in the imaging range is imaged by the imaging unit as the subject;
generating and outputting relationship information indicating a positional relationship between the edge of the component and the second alignment mark based on the respective imaging results of the edge of the component and the second alignment mark;
causing the substrate moving mechanism to move the substrate so that the first alignment mark falls within the imaging range;
The first alignment mark included in the imaging range is imaged by the imaging unit as the subject;
controlling the substrate moving mechanism and the bonding tool to bond the component to the substrate based on the imaging results of the first alignment mark and the second alignment mark;
the imaging moving mechanism does not move an imaging range of the imaging unit during a period from when the imaging unit captures an image of the second alignment mark to when the imaging unit captures an image of the first alignment mark;
Component crimping device.
前記部品圧着装置は、さらに、
複数の部品が設けられているテープ部材から、前記複数の部品のそれぞれを順次打ち抜く打ち抜き部を備え、
前記圧着ツールは、前記打ち抜き部によって打ち抜かれた部品を保持して前記基板に圧着する、
請求項1に記載の部品圧着装置。
The component crimping device further comprises:
a punching unit that sequentially punches out each of the plurality of components from a tape member on which the plurality of components are provided,
The crimping tool holds the component punched by the punching section and crimps it onto the substrate.
The component crimping device according to claim 1 .
前記制御部は、さらに、
前記関係情報の出力によって、前記打ち抜き部による前記テープ部材からの部品の打ち抜きを制御する、
請求項2に記載の部品圧着装置。
The control unit further includes:
and controlling the punching of the components from the tape member by the punching unit based on the output of the relationship information.
The component crimping device according to claim 2 .
前記制御部は、さらに、
前記部品の端縁と前記第2のアライメントマークとの間の距離を前記位置関係として示す前記関係情報を生成し、
前記距離が予め定められた許容範囲内にない場合には、前記打ち抜き部で不具合が発生していること報知する、
請求項2または3に記載の部品圧着装置。
The control unit further includes:
generating the relationship information indicating a distance between an edge of the component and the second alignment mark as the positional relationship;
If the distance is not within a predetermined tolerance, a malfunction is reported in the punching section.
4. The component crimping device according to claim 2 or 3.
部品圧着装置が部品を基板に圧着する部品圧着方法であって、
前記部品圧着装置は、
第1のアライメントマークが形成されている基板を保持して前記基板を移動させる基板移動機構と、
第2のアライメントマークが形成されている部品を保持して前記基板に圧着する圧着ツールと、
撮像範囲に含まれる被写体を撮像する撮像部と、
前記撮像部の撮像範囲を移動させる撮像移動機構と、
制御部とを備え、
前記部品圧着方法では、
前記部品の端縁が前記撮像範囲に収まるように前記撮像移動機構が前記撮像範囲を移動させ、
前記撮像範囲に含まれる前記部品の端縁を前記撮像部が前記被写体として撮像し、
前記第2のアライメントマークが前記撮像範囲に含まれていない場合には、
前記部品の端縁の撮像後に、前記第2のアライメントマークが前記撮像範囲に収まるように前記撮像移動機構が前記撮像範囲を移動させ、
前記撮像範囲に含まれる前記第2のアライメントマークを前記撮像部が前記被写体として撮像し、
前記部品の端縁および前記第2のアライメントマークのそれぞれの撮像結果に基づいて、前記部品の端縁と前記第2のアライメントマークとの位置関係を示す関係情報を前記制御部が生成して出力し、
前記第1のアライメントマークが前記撮像範囲に収まるように前記基板移動機構が前記基板を移動させ、
前記撮像範囲に含まれる前記第1のアライメントマークを前記撮像部が前記被写体として撮像し、
前記第1のアライメントマークおよび前記第2のアライメントマークのそれぞれの撮像結果に基づいて、前記基板移動機構および前記圧着ツールによる前記部品の前記基板への圧着を前記制御部が制御
前記撮像移動機構は、前記撮像部による前記第2のアライメントマークの撮像が行われてから前記第1のアライメントマークの撮像が行われるまでの間、前記撮像部の撮像範囲を移動させない、
部品圧着方法。
A component crimping method in which a component crimping device crimps a component onto a substrate, comprising:
The component crimping device includes:
a substrate moving mechanism that holds a substrate on which a first alignment mark is formed and moves the substrate;
a compression tool that holds a component on which a second alignment mark is formed and compresses the component onto the substrate;
an imaging unit that captures an image of a subject included in an imaging range;
an imaging movement mechanism that moves an imaging range of the imaging unit;
A control unit.
In the component crimping method,
the imaging movement mechanism moves the imaging range so that an edge of the component falls within the imaging range;
the imaging unit captures an image of an edge of the component included in the imaging range as the subject;
When the second alignment mark is not included in the imaging range,
after capturing an image of the edge of the component, the imaging moving mechanism moves the imaging range so that the second alignment mark falls within the imaging range;
The imaging unit images the second alignment mark included in the imaging range as the subject,
the control unit generates and outputs relationship information indicating a positional relationship between the edge of the component and the second alignment mark based on the imaging results of the edge of the component and the second alignment mark;
the substrate moving mechanism moves the substrate so that the first alignment mark falls within the imaging range;
The imaging unit captures an image of the first alignment mark included in the imaging range as the subject,
The control unit controls the substrate moving mechanism and the bonding tool to bond the component to the substrate based on the imaging results of the first alignment mark and the second alignment mark,
the imaging moving mechanism does not move an imaging range of the imaging unit during a period from when the imaging unit captures an image of the second alignment mark to when the imaging unit captures an image of the first alignment mark;
Part crimping method.
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