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JP7595325B2 - Surface Inspection Equipment - Google Patents
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JP7595325B2 - Surface Inspection Equipment - Google Patents

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JP7595325B2 JP2021081462A JP2021081462A JP7595325B2 JP 7595325 B2 JP7595325 B2 JP 7595325B2 JP 2021081462 A JP2021081462 A JP 2021081462A JP 2021081462 A JP2021081462 A JP 2021081462A JP 7595325 B2 JP7595325 B2 JP 7595325B2
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Description

本発明は表面検査装置に関し、例えば、棒状の被検査体の表面の不具合を検査する表面検査装置に関するものである。 The present invention relates to a surface inspection device, for example, a surface inspection device that inspects the surface of a rod-shaped object for defects.

物を生産する場合、生産物の表面の傷やくすみ等の外観上の欠陥を検査する検査工程がある。このような表面検査に関する技術が特許文献1に記載されている。 When manufacturing products, there is an inspection process to check the surface of the product for defects in appearance, such as scratches or dullness. Technology related to such surface inspection is described in Patent Document 1.

特許文献1に記載の表面検査装置は、円柱状または円筒状の被検査体を周方向に回転させる回転機構と、周方向に回転している前記被検査体の周表面を抑える抑え機構と、を備えており、前記抑え機構は、前記周表面に光を照射する光源部と、前記光が照射された前記周表面を撮像して画像を取得する撮像部と、前記周表面を抑えている前記抑え機構を、周方向に回転している前記被検査体の軸方向に沿って移動させる移動体と、を備える。 The surface inspection device described in Patent Document 1 includes a rotation mechanism that rotates a cylindrical or cylindrical object to be inspected in a circumferential direction, and a holding mechanism that holds down the circumferential surface of the object to be inspected rotating in the circumferential direction. The holding mechanism includes a light source unit that irradiates light onto the circumferential surface, an imaging unit that captures an image of the circumferential surface irradiated with the light, and a moving body that moves the holding mechanism that holds down the circumferential surface along the axial direction of the object to be inspected rotating in the circumferential direction.

特開2018-179563号公報JP 2018-179563 A

しかしながら、特許文献1に記載の技術では、被検査体が屈曲部を有している場合には回転機構により被検査体を回転させることができず、屈曲部を有する被検査体に対応できない問題がある。 However, the technology described in Patent Document 1 has a problem in that if the test object has a bent portion, the test object cannot be rotated by the rotation mechanism, and it cannot be used for test objects with bent portions.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、屈曲部を有する被検査体の表面検査を行うことをを目的とするものである。 The present invention was made in consideration of the above circumstances, and aims to perform surface inspection of an object to be inspected that has a bent portion.

本発明にかかる表面検査装置の一態様は、屈曲部を有する棒状の被検査体の一方の端部から続く第1の直線部を保持する保持具と、前記被検査体の他方の端部又は前記他方の端部から続く第2の直線部を保持して、前記第1の直線部の軸中心を回転中心軸として前記被検査体を回転させる回転駆動部と、前記第1の直線部を撮影する撮影ユニットと、前記撮影ユニットで撮影された画像に基づき前記被検査体の欠陥を検出する欠陥検出処理部と、を有し、前記保持具は、前記第1の直線部を保持する円筒の一部に欠けた部分を形成し、当該欠けた部分を観察窓とし、前記撮影ユニットは、前記観察窓の部分を含む前記被検査体の表面の前記画像を撮影する。 One aspect of the surface inspection device according to the present invention includes a holder that holds a first straight portion continuing from one end of a rod-shaped object to be inspected having a bent portion, a rotation drive unit that holds the other end of the object to be inspected or a second straight portion continuing from the other end and rotates the object to be inspected about the axis center of the first straight portion as the rotation center axis, a photographing unit that photographs the first straight portion, and a defect detection processing unit that detects defects in the object to be inspected based on the image photographed by the photographing unit, the holder forms a missing portion in a part of a cylinder that holds the first straight portion, and the missing portion serves as an observation window, and the photographing unit photographs the image of the surface of the object to be inspected including the observation window portion.

本発明にかかる表面検査装置によれば、屈曲部を有する被検査体の表面検査を行うことができる。 The surface inspection device of the present invention can perform surface inspection of an object to be inspected that has a bent portion.

実施の形態1にかかる表面検査装置の全体の外観図である。1 is an overall external view of a surface inspection device according to a first embodiment; 実施の形態1にかかる表面検査装置の検査ボックスと制御ボックスの構成を説明する図である。2 is a diagram for explaining the configuration of an inspection box and a control box of the surface inspection apparatus according to the first embodiment; FIG. 実施の形態1にかかる検査ボックス内に設けられる被検査体保持ユニット、カメラ及び照明の構成を説明する図である。2 is a diagram for explaining the configuration of an inspection subject holding unit, a camera, and lighting provided in an inspection box according to the first embodiment. FIG. 実施の形態1にかかる表面検査装置のブロック図である。1 is a block diagram of a surface inspection device according to a first embodiment. 実施の形態1にかかる表面検査装置の表面検査方法を説明する図である。1 is a diagram for explaining a surface inspection method of the surface inspection device according to the first embodiment; 実施の形態1にかかる表面検査装置の遮蔽板による映り込み防止範囲を説明する図である。4 is a diagram for explaining a reflection prevention range by a shielding plate of the surface inspection device according to the first embodiment; FIG. 実施の形態1にかかる表面検査装置における検査時の被検査体の動かし方を説明する図である。5A to 5C are diagrams for explaining how to move an object to be inspected during inspection in the surface inspection apparatus according to the first embodiment.

説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略、及び簡略化がなされている。また、様々な処理を行う機能ブロックとして図面に記載される各要素は、ハードウェア的には、CPU(Central Processing Unit)、メモリ、その他の回路で構成することができ、ソフトウェア的には、メモリにロードされたプログラムなどによって実現される。したがって、これらの機能ブロックがハードウェアのみ、ソフトウェアのみ、またはそれらの組合せによっていろいろな形で実現できることは、当業者には理解されるところであり、いずれかに限定されるものではない。なお、各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略されている。 For clarity of explanation, the following description and drawings have been omitted and simplified as appropriate. Furthermore, each element shown in the drawings as a functional block performing various processes can be configured in hardware with a CPU (Central Processing Unit), memory, and other circuits, and in software, can be realized by programs loaded into memory. Therefore, those skilled in the art will understand that these functional blocks can be realized in various forms using only hardware, only software, or a combination of both, and are not limited to any of these. Furthermore, in each drawing, the same elements are given the same reference numerals, and duplicate explanations are omitted as necessary.

また、上述したプログラムは、様々なタイプの非一時的なコンピュータ可読媒体を用いて格納され、コンピュータに供給することができる。非一時的なコンピュータ可読媒体は、様々なタイプの実体のある記録媒体を含む。非一時的なコンピュータ可読媒体の例は、磁気記録媒体(例えばフレキシブルディスク、磁気テープ、ハードディスクドライブ)、光磁気記録媒体(例えば光磁気ディスク)、CD-ROM(Read Only Memory)、CD-R、CD-R/W、半導体メモリ(例えば、マスクROM、PROM(Programmable ROM)、EPROM(Erasable PROM)、フラッシュROM、RAM(Random Access Memory))を含む。また、プログラムは、様々なタイプの一時的なコンピュータ可読媒体によってコンピュータに供給されてもよい。一時的なコンピュータ可読媒体の例は、電気信号、光信号、及び電磁波を含む。一時的なコンピュータ可読媒体は、電線及び光ファイバ等の有線通信路、又は無線通信路を介して、プログラムをコンピュータに供給できる。 The above-mentioned program can be stored and supplied to a computer using various types of non-transitory computer-readable media. Non-transitory computer-readable media include various types of tangible recording media. Examples of non-transitory computer-readable media include magnetic recording media (e.g., flexible disks, magnetic tapes, hard disk drives), magneto-optical recording media (e.g., magneto-optical disks), CD-ROMs (Read Only Memory), CD-Rs, CD-R/Ws, and semiconductor memories (e.g., mask ROMs, PROMs (Programmable ROMs), EPROMs (Erasable PROMs), flash ROMs, and RAMs (Random Access Memory)). The program may also be supplied to a computer by various types of temporary computer-readable media. Examples of temporary computer-readable media include electrical signals, optical signals, and electromagnetic waves. The temporary computer-readable media can supply the program to a computer via wired communication paths such as electric wires and optical fibers, or wireless communication paths.

実施の形態1
以下の説明では、被検査体の表面欠陥を検出する表面検査装置について説明する。図1に実施の形態1にかかる表面検査装置の全体の外観図を示す。図1では、表面検査装置1を前方から見た斜視図と、後方から見た斜視図とを示した。図1に示すように、実施の形態1にかかる表面検査装置1は、検査ボックス10、制御ボックス20、ディスプレイ30が一体になった筐体を有する。検査ボックス10には、蓋11が設けられる。そして、表面検査装置1は、蓋11を明けた状態で検査ボックス10に被検査体の出し入れを行い、蓋11を閉めた状態で被検査体の表面検査を行う。また、検査ボックス10の前面には操作インタフェース31として複数のボタンインタフェースが設けられる。操作インタフェース31に設けるボタンは、機械的スイッチでも、タッチパネル機能を有する画面上に表示されるソフトウェア的に実装されたボタンであっても良い。
First embodiment
In the following description, a surface inspection device for detecting surface defects of an object to be inspected will be described. FIG. 1 shows an overall external view of the surface inspection device according to the first embodiment. FIG. 1 shows a perspective view of the surface inspection device 1 as seen from the front and as seen from the rear. As shown in FIG. 1, the surface inspection device 1 according to the first embodiment has a housing in which an inspection box 10, a control box 20, and a display 30 are integrated. The inspection box 10 is provided with a lid 11. The surface inspection device 1 loads and unloads an object to be inspected into and from the inspection box 10 with the lid 11 open, and performs surface inspection of the object to be inspected with the lid 11 closed. In addition, a plurality of button interfaces are provided on the front surface of the inspection box 10 as an operation interface 31. The buttons provided on the operation interface 31 may be mechanical switches or software-implemented buttons displayed on a screen having a touch panel function.

制御ボックス20には、操作インタフェース31から与えられた指示に基づき検査ボックス10内の検査構造を動作させ、検査結果をディスプレイ30に表示するための機構及び演算装置が設けられる。 The control box 20 is provided with a mechanism and a computing device for operating the inspection structure in the inspection box 10 based on instructions given from the operation interface 31 and displaying the inspection results on the display 30.

ここで、検査ボックス10の内部構造について説明する。図2に実施の形態1にかかる表面検査装置1の検査ボックス10と制御ボックスの構成を説明する図に示す。図2は、検査ボックス10及び制御ボックス20の内部構造を図示した物である。なお、図2では、検査ユニット駆動部21及び回転位置検出センサ22以外の構造及び演算装置として設けられる演算装置については図示を省略した。 The internal structure of the inspection box 10 will now be described. Figure 2 is a diagram illustrating the configuration of the inspection box 10 and control box of the surface inspection device 1 according to the first embodiment. Figure 2 illustrates the internal structures of the inspection box 10 and control box 20. Note that in Figure 2, structures other than the inspection unit drive section 21 and the rotational position detection sensor 22 and the calculation device provided as the calculation device are omitted from the illustration.

図2に示すように、検査ボックス10には、蓋11が設けられており、蓋11を開閉することで検査ボックス10内への被検査体WKの出し入れがなされる。検査ボックス10の内部には、カメラ12、面照明ユニット13、上側照明ユニット141、下側照明ユニット142、被検査体保持ユニット15が設けられる。また、被検査体保持ユニット15には、検査端保持ユニット151、回転駆動部152、遮蔽板153が設けられる。検査端保持ユニット151には、被検査体WKの保持に用いられる被検査端保持部154及び保持具155が備え付けられる。 As shown in FIG. 2, the inspection box 10 is provided with a lid 11, and the inspected object WK is inserted and removed from the inspection box 10 by opening and closing the lid 11. Inside the inspection box 10, a camera 12, a surface lighting unit 13, an upper lighting unit 141, a lower lighting unit 142, and an inspected object holding unit 15 are provided. The inspected object holding unit 15 is also provided with an inspection end holding unit 151, a rotation drive unit 152, and a shielding plate 153. The inspection end holding unit 151 is equipped with an inspected end holding part 154 and a holder 155 used to hold the inspected object WK.

また、図2に示すように、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、被検査体WKとして、屈曲部を有する棒状の被検査体WKを検査対象とする。より具体的には、被検査体WKは、L字形状であっても良く、U字形状であっても良いが、U字形状であることがより好ましい。また、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、被検査体WKの屈曲部に続く直線部の表面検査を行う。 As shown in FIG. 2, the surface inspection device 1 according to the first embodiment inspects a rod-shaped object WK to be inspected that has a bent portion. More specifically, the object WK to be inspected may be L-shaped or U-shaped, but is preferably U-shaped. The surface inspection device 1 according to the first embodiment inspects the surface of the straight portion following the bent portion of the object WK to be inspected.

カメラ12は、撮影ユニットであり、被検査体WKの傷等の不具合箇所を検出するための画像を得る。面照明ユニット13、上側照明ユニット141及び下側照明ユニット142は、検査時に被検査体WKに照射する光を発する発光ユニットである。被検査体保持ユニット15は、制御ボックス20に設けられた検査ユニット駆動部21により回転させられる。このとき被検査体保持ユニット15は、被検査体WKの軸のうち被検査端保持部154及び保持具155により保持される側の直線部の中心軸を中心に被検査体WKを回転させるように回転する。また、被検査体保持ユニット15の回転角は、ベルトにより回転位置が回転位置検出センサ22に伝えられる。回転位置検出センサ22は検出した被検査体保持ユニット15の回転角度情報を制御ボックス20に設けられる検査制御部に伝える。 The camera 12 is a photographing unit that obtains images for detecting defects such as scratches on the test object WK. The surface illumination unit 13, the upper illumination unit 141, and the lower illumination unit 142 are light-emitting units that emit light to irradiate the test object WK during inspection. The test object holding unit 15 is rotated by the inspection unit driving unit 21 provided in the control box 20. At this time, the test object holding unit 15 rotates so as to rotate the test object WK around the central axis of the straight part of the axis of the test object WK that is held by the test end holding unit 154 and the holder 155. In addition, the rotation angle of the test object holding unit 15 is transmitted to the rotation position detection sensor 22 by a belt. The rotation position detection sensor 22 transmits the detected rotation angle information of the test object holding unit 15 to the inspection control unit provided in the control box 20.

被検査体保持ユニット15には、検査端保持ユニット151及び回転駆動部152が設けられる。検査端保持ユニット151は、被検査体WKの回転中心となる側の直線部を保持する。より具体的には、検査端保持ユニット151には、被検査端保持部154及び保持具155が設けられる。被検査端保持部154は、検査端保持ユニット151が保持する被検査体WKの端部を回転可能に保持する。保持具155は、屈曲部を有する棒状の被検査体の一方の端部から続く第1の直線部を回転可能に保持する。 The inspected object holding unit 15 is provided with an inspected end holding unit 151 and a rotation drive unit 152. The inspected end holding unit 151 holds the straight portion of the inspected object WK on the side that is the center of rotation. More specifically, the inspected end holding unit 151 is provided with an inspected end holding portion 154 and a holder 155. The inspected end holding portion 154 rotatably holds the end of the inspected object WK held by the inspected end holding unit 151. The holder 155 rotatably holds a first straight portion continuing from one end of the rod-shaped inspected object having a bent portion.

回転駆動部152は、被検査体WKの他方の端部又は他方の端部から続く第2の直線部を保持して、第1の直線部の軸中心を回転中心軸として被検査体WKを回転させる。図2に示す例では、回転駆動部152は、被検査体WKの直線部のうち検査端保持ユニット151に保持されない側の直線部の端部を保持する。なお、被検査体WKにおいて他方の端部側の保持は、保持具155に保持されていない他方の端部に続く第2の直線部であっても良い。 The rotation drive unit 152 holds the other end of the test object WK or a second straight section continuing from the other end, and rotates the test object WK around the axis of the first straight section as the central axis of rotation. In the example shown in FIG. 2, the rotation drive unit 152 holds the end of the straight section of the test object WK that is not held by the inspection end holding unit 151. Note that the holding of the other end side of the test object WK may be the second straight section continuing from the other end that is not held by the holder 155.

遮蔽板153は、回転駆動部152に保持される第2の直線部及び第2の直線部に続く曲線部の少なくとも一部と、第1の直線部と、の間の見通しを遮蔽する。これにより、第2の直線部及び第2の直線部に続く屈曲部から発せられる反射光が、検査対象である第1の直線部の表面に映り込むことを防止する。遮蔽板153は、非反射部材であることが好ましい。また、遮蔽板153は、上下方向(例えば、第1の直線部の延在方向)に昇降できるように回転駆動部152に取り付けられる。このように遮蔽板153を上下方向に昇汞可能に取り付けることで、屈曲部の位置が様々な高さにある異なる被検査体WKに対応可能になる。また、遮蔽板153を回転駆動部152に取り付けることで被検査体保持ユニット15が回転した際に第2の直線部と遮蔽板の位置関係を一定に保つことが出来る。 The shielding plate 153 blocks the view between the first straight section and at least a part of the curved section following the second straight section held by the rotation drive unit 152. This prevents reflected light emitted from the second straight section and the bent section following the second straight section from being reflected on the surface of the first straight section to be inspected. The shielding plate 153 is preferably a non-reflective material. In addition, the shielding plate 153 is attached to the rotation drive unit 152 so that it can be raised and lowered in the vertical direction (for example, the extension direction of the first straight section). By attaching the shielding plate 153 so that it can be raised and lowered in the vertical direction in this way, it becomes possible to accommodate different test objects WK whose bent sections are located at various heights. In addition, by attaching the shielding plate 153 to the rotation drive unit 152, the positional relationship between the second straight section and the shielding plate can be kept constant when the test object holding unit 15 rotates.

続いて、図3を参照して、検査ボックス10内に設けられる構造についてさらに詳しく説明する。図3は、実施の形態1にかかる検査ボックス10内に設けられる被検査体保持ユニット15、カメラ12及び照明の構成を説明する図である。図3に示すように、検査ボックス10では、ベースプレート16上に設けられたフレームにカメラ12、面照明ユニット13上側照明ユニット141、下側照明ユニット142が設けられる。また、被検査体保持ユニット15は、ベースプレート16を挟むようにして検査ユニット駆動部21及び回転位置検出センサ22に連結される。 Next, the structure provided in the inspection box 10 will be described in more detail with reference to FIG. 3. FIG. 3 is a diagram illustrating the configuration of the inspection object holding unit 15, camera 12, and lighting provided in the inspection box 10 according to the first embodiment. As shown in FIG. 3, in the inspection box 10, the camera 12, surface lighting unit 13, upper lighting unit 141, and lower lighting unit 142 are provided on a frame provided on a base plate 16. In addition, the inspection object holding unit 15 is connected to the inspection unit drive unit 21 and rotational position detection sensor 22 so as to sandwich the base plate 16.

実施の形態1にかかる表面検査装置1では、カメラ12を覆うように面照明ユニット13が設けられる。面照明ユニット13には、カメラが露出するように穴が設けられており、この穴を介してカメラ12は、被検査体WKを撮影する。上側照明ユニット141及び下側照明ユニット142は、面照明ユニット13の上下に配置される。面照明ユニット13と上側照明ユニット141及び下側照明ユニット142とは、検査対象とする傷やシミ等の種類によって同時、或いは、片方のみが発行するように制御される。 In the surface inspection device 1 according to the first embodiment, a surface lighting unit 13 is provided to cover the camera 12. A hole is provided in the surface lighting unit 13 to expose the camera, and the camera 12 photographs the object WK to be inspected through this hole. The upper lighting unit 141 and the lower lighting unit 142 are disposed above and below the surface lighting unit 13. The surface lighting unit 13 and the upper lighting unit 141 and the lower lighting unit 142 are controlled to emit light simultaneously or only one of them depending on the type of scratches, stains, etc. to be inspected.

また、図3に示すように、遮蔽板153は、被検査体WKの検査対象である検査端保持ユニット151に保持される側の第1の直線部と、被検査対象となる第2の直線部との間の見通しを遮るように配置される。 Also, as shown in FIG. 3, the shielding plate 153 is positioned so as to block the view between the first straight portion of the test object WK that is held by the test end holding unit 151 and is the subject of inspection, and the second straight portion that is the subject of inspection.

ここで、実施の形態1にかかる表面検査装置1において、検査ボックス10及び制御ボックス20内に設けられる処理ブロックの接続関係について説明する。図4に実施の形態1にかかる表面検査装置1のブロック図を示す。なお、図4では説明のために、表面検査装置1と同時に用いられるロボットアーム40を追加して示している。 Here, the connection relationship between the processing blocks provided in the inspection box 10 and the control box 20 in the surface inspection device 1 according to the first embodiment will be described. Figure 4 shows a block diagram of the surface inspection device 1 according to the first embodiment. For the sake of explanation, Figure 4 additionally shows a robot arm 40 that is used simultaneously with the surface inspection device 1.

図4に示すように、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、制御ボックス20内に設けられる回転制御部23、検査制御部24を用いて、に設けられるカメラ12、被検査体保持ユニット15、ディスプレイ30を操作する。また、実施の形態1にかかる表面検査装置1は、カメラ12から得た画像に対して欠陥検出処理部25を用いて画像処理を行うことで被検査体WKの表面の傷やシミ等の不具合を検出する。表面検査装置1では、当該検出結果を結果表示部となるディスプレイ30に表示する。また、表面検査装置1は、装置のオペレータが操作インタフェース31を介して与える操作指示を検査制御部24が受信して動作する。 As shown in FIG. 4, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the rotation control unit 23 and the inspection control unit 24 provided in the control box 20 are used to operate the camera 12, the inspection object holding unit 15, and the display 30 provided in the control box 20. Furthermore, the surface inspection device 1 according to the first embodiment detects defects such as scratches and stains on the surface of the inspection object WK by performing image processing on the image obtained from the camera 12 using the defect detection processing unit 25. In the surface inspection device 1, the detection results are displayed on the display 30, which serves as a result display unit. Furthermore, the surface inspection device 1 operates by receiving operation instructions given by the operator of the device via the operation interface 31 via the inspection control unit 24.

検査制御部24は、操作インタフェース31を介してオペレータから与えられた指示に基づき予め設定された検査シーケンスを実行する。具体的には、検査制御部24は、ロボットアーム40に動作指示を与えて、被検査体保持ユニット15に被検査体WKを挿入する。そして、検査制御部24は、被検査体保持ユニット15に被検査体WKが保持されたことに応じて、蓋11(図4では不図示)を閉じて検査ボックス10内を暗室とする。 The inspection control unit 24 executes a preset inspection sequence based on instructions given by the operator via the operation interface 31. Specifically, the inspection control unit 24 gives an operation instruction to the robot arm 40 to insert the specimen WK into the specimen holding unit 15. Then, in response to the specimen WK being held in the specimen holding unit 15, the inspection control unit 24 closes the lid 11 (not shown in FIG. 4) to make the inside of the inspection box 10 a darkroom.

その後、検査制御部24は、面照明ユニット13、上側照明ユニット141及び下側照明ユニット142を操作して被検査体WKに光を照射する。また、検査制御部24は、回転制御部23に動作指示を与える。回転制御部23は、検査制御部24から与えられた動作指示に従って、被検査体保持ユニット15を回転させる。この時、検査制御部24は被検査体WKを停止せずに連続して回転させても良く、所定の間隔で停止させながら回転させても良い。所定の間隔で被検査体WKを停止させながら回転させる場合、検査制御部24は、図4では図示を省略した回転位置検出センサ22から被検査体保持ユニット15の回転角情報を得て、被検査体保持ユニット15が予め設定した角度で停止しながら1回転するように回転制御部23に動作指示を与える。なお、実施の形態1における被検査体WKの回転方法の詳細は後述する。 Then, the inspection control unit 24 operates the surface illumination unit 13, the upper illumination unit 141, and the lower illumination unit 142 to irradiate the object WK to be inspected. The inspection control unit 24 also gives an operation instruction to the rotation control unit 23. The rotation control unit 23 rotates the object holding unit 15 in accordance with the operation instruction given from the inspection control unit 24. At this time, the inspection control unit 24 may rotate the object WK to be inspected continuously without stopping, or may rotate the object WK while stopping it at a predetermined interval. When rotating the object WK to be inspected while stopping it at a predetermined interval, the inspection control unit 24 obtains rotation angle information of the object holding unit 15 from the rotation position detection sensor 22, which is omitted in FIG. 4, and gives an operation instruction to the rotation control unit 23 so that the object holding unit 15 rotates once while stopping at a preset angle. The details of the method of rotating the object WK to be inspected in the first embodiment will be described later.

また、カメラ12は、被検査体保持ユニット15が停止する毎に被検査体WKを撮影した画像を取得して欠陥検出処理部25に与える。欠陥検出処理部25は、カメラ12から受信した画像に所定のフィルタ処理を加えて被検査体WKに欠陥有りと判断した場合には、ディスプレイ30に検査NGを表示し、被検査体WKに欠陥がないと判断した場合は、ディスプレイ30に検査OKを表示する。 In addition, the camera 12 acquires an image of the object WK to be inspected each time the object holding unit 15 stops, and provides the image to the defect detection processing unit 25. The defect detection processing unit 25 applies a predetermined filter process to the image received from the camera 12, and if it determines that the object WK to be inspected has a defect, it displays "inspection NG" on the display 30, and if it determines that the object WK to be inspected has no defect, it displays "inspection OK" on the display 30.

続いて、実施の形態1にかかる表面検査装置1における被検査体の撮影範囲について説明する。そこで、図5に実施の形態1にかかる表面検査装置の表面検査方法を説明する図を示す。なお、図5を参照した説明において、図4以前で説明した内容については説明を省略する。図5では、カメラ12の撮影領域PAにハッチングを付した。カメラ12は、撮影領域PAの先にある第1の直線部WKmの撮影範囲WDの画像を取得する。 Next, the imaging range of the inspected object in the surface inspection device 1 according to the first embodiment will be explained. FIG. 5 shows a diagram for explaining the surface inspection method of the surface inspection device according to the first embodiment. Note that in the explanation with reference to FIG. 5, the contents explained in FIG. 4 and earlier will be omitted. In FIG. 5, the imaging area PA of the camera 12 is hatched. The camera 12 acquires an image of the imaging range WD of the first straight line portion WKm beyond the imaging area PA.

図5に示すように、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、保持具155が屈曲部を有する棒状の被検査体の一方の端部から続く第1の直線部WKmを保持する。このとき、保持具155は、第1の直線部WKmを回転可能なように隙間嵌合するように第1の直線部WKmを保持する。また、保持具155は、第1の直線部WKmを保持していない状態では爪が開き、第1の直線部WKmを保持している状態で爪を閉じる。さらに、保持具155は、第1の直線部WKmを保持する円筒の一部に欠けた部分を形成し、当該欠けた部分を観察窓WNとする。 As shown in FIG. 5, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the holder 155 holds the first straight section WKm continuing from one end of a rod-shaped inspection object having a bent section. At this time, the holder 155 holds the first straight section WKm so as to fit the first straight section WKm with a gap so that the first straight section WKm can rotate. Furthermore, the holder 155 opens its claws when it is not holding the first straight section WKm, and closes its claws when it is holding the first straight section WKm. Furthermore, the holder 155 forms a notched portion in part of the cylinder that holds the first straight section WKm, and the notched portion serves as an observation window WN.

そして、カメラ12は、観察窓WNを含む第1の直線部WKmの検査面を撮影範囲WDに設定し、当該撮影範囲WDを含む領域の撮影画像から切り出すことで、撮影範囲WDの画像を出力する。実施の形態1にかかる表面検査装置1では、この観察窓WNを設けることで、第1の直線部WKmを1回転させるのみで検査対象の全体を検査することが可能になる。 The camera 12 then sets the inspection surface of the first straight section WKm, including the observation window WN, as the shooting range WD, and outputs an image of the shooting range WD by cutting out the captured image of the area including the shooting range WD. In the surface inspection device 1 according to the first embodiment, by providing this observation window WN, it becomes possible to inspect the entire inspection object by simply rotating the first straight section WKm once.

また、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、遮蔽板153を設けるとことで、第2の直線部WKrの映り込み防止範囲MAの部分から発せられる反射光が撮影範囲WDに映り込むことを防止する。また、図5に示すように、遮蔽板153は、上側先端が他の部分より幅の広いしゃもじ形状を有する。被検査体WKは、屈曲部を有するため、第2の直線部WKr側の屈曲部で反射される反射光の映り込みを防止する為には、遮蔽板153の上側先端の幅を広くすることが好ましい。また、この屈曲部の屈曲角度は、被検査体WKにより様々である。そのため、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、遮蔽板153の上側先端の幅が他の部分より広く、かつ、遮蔽板153が上下に昇降可能な構造とすることで様々な形状の被検査体WKにおいて映り込みを防止することができる。 In addition, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the shielding plate 153 is provided to prevent the reflected light emitted from the anti-reflection area MA of the second straight section WKr from being reflected in the shooting range WD. As shown in FIG. 5, the shielding plate 153 has a spoon-like shape with a wider upper end than the other parts. Since the test object WK has a bent portion, it is preferable to widen the width of the upper end of the shielding plate 153 in order to prevent the reflection of the reflected light reflected at the bent portion on the second straight section WKr side. The bending angle of this bent portion varies depending on the test object WK. Therefore, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the width of the upper end of the shielding plate 153 is wider than the other parts, and the shielding plate 153 is structured to be movable up and down, so that it is possible to prevent reflection in test objects WK of various shapes.

ここで、遮蔽板153による映り込み防止範囲MAについて詳細に説明する。図6に、実施の形態1にかかる表面検査装置1の遮蔽板153による映り込み防止範囲を説明する図を示す。図6では、映り込み防止範囲MAとなる部分にハッチングを付した図6に示すように、第1の直線部WKmの撮影範囲WDから見て遮蔽板153により見通しが遮られる部分が映り込み防止範囲MAとなる。この時、映り込み防止範囲MAは、撮影領域PAを阻害しない範囲となるように遮蔽板153の幅及び高さを設定することが重要である。実施の形態1にかかる表面検査装置1では、遮蔽板153があることで映り込み防止範囲MAにある第2の直線部WKrからの反射光が第1の直線部WKmに映り込むことを防止する。 Here, the anti-reflection range MA by the shielding plate 153 will be described in detail. Figure 6 shows a diagram explaining the anti-reflection range by the shielding plate 153 of the surface inspection device 1 according to the first embodiment. In Figure 6, as shown in the hatched area that constitutes the anti-reflection range MA, the area where the view is blocked by the shielding plate 153 when viewed from the shooting range WD of the first straight section WKm becomes the anti-reflection range MA. At this time, it is important to set the width and height of the shielding plate 153 so that the anti-reflection range MA is within a range that does not obstruct the shooting area PA. In the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the shielding plate 153 prevents reflected light from the second straight section WKr in the anti-reflection range MA from being reflected on the first straight section WKm.

続いて、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、第1の直線部WKmの回転が第1の直線部WKmと屈曲部を介して繋がる第2の直線部WKr側の端部を回転駆動部152により回転させることで行われる。実施の形態1にかかる表面検査装置1では、被検査体WKを停止させずに連続して回転させながら表面画像を取得する方法と、被検査体WKを所定の間隔で停止させながら表面画像を取得する方法と、のいずれの回転方法をとることもできる。 Next, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the first straight section WKm is rotated by rotating the end of the second straight section WKr, which is connected to the first straight section WKm via a bent section, by the rotation drive unit 152. In the surface inspection device 1 according to the first embodiment, either of the following rotation methods can be used: a method of acquiring a surface image while continuously rotating the inspected object WK without stopping it, or a method of acquiring a surface image while stopping the inspected object WK at predetermined intervals.

連続して被検査体WKを回転させることで、検査時間を短縮することができる。また、連続して被検査体WKを回転させる場合、所定のサンプリングタイミング毎に被検査体WKの表面の画像を取得し、欠陥検出処理部25において、以下で説明する検査面の画像を撮影した複数の画像から取得する。このとき、欠陥検出処理部25は、回転位置検出センサ22で得られる角度情報を用いても良い。 By continuously rotating the object WK to be inspected, the inspection time can be shortened. Furthermore, when the object WK to be inspected is continuously rotated, an image of the surface of the object WK to be inspected is acquired at each predetermined sampling timing, and the defect detection processing unit 25 acquires an image of the inspection surface, which will be described below, from multiple captured images. At this time, the defect detection processing unit 25 may use angle information obtained by the rotational position detection sensor 22.

また、被検査体WKを停止させながら検査面の画像を取得する場合、検査面の鮮明な画像を取得できるため検査精度が向上する。この場合、欠陥検出処理部25は、取得した画像をそのまま利用して欠陥の解析を行う。 In addition, when an image of the inspection surface is acquired while the inspected object WK is stopped, a clear image of the inspection surface can be acquired, improving the inspection accuracy. In this case, the defect detection processing unit 25 uses the acquired image as is to analyze the defects.

図7に実施の形態1にかかる表面検査装置1における検査時の被検査体WKの動かし方を説明する図を示す。 Figure 7 shows a diagram explaining how to move the test object WK during inspection in the surface inspection device 1 according to the first embodiment.

図7に示すように、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、保持具155の観察窓WNの大きさと、第2の直線部WKrの回転ステップ角度との関係に特徴の1つを有する。具体的には、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、カメラ12が撮影範囲WDを撮影する際の空間を撮影領域PAとすると、カメラ12による撮影範囲WDの撮影タイミングに撮影領域PA内で第2の直線部WKrが停止しない制御、或いは、撮影画像から撮影領域PA内を第2の直線部WKrが横切る期間の画像の破棄が行われる。 As shown in FIG. 7, one of the features of the surface inspection device 1 according to the first embodiment is the relationship between the size of the observation window WN of the holder 155 and the rotation step angle of the second straight portion WKr. Specifically, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, if the space when the camera 12 captures the image of the image capture range WD is defined as the image capture area PA, the second straight portion WKr is controlled not to stop within the image capture area PA at the timing when the camera 12 captures the image capture range WD, or the image during the period when the second straight portion WKr crosses the image capture area PA is discarded from the captured image.

また、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、第1の直線部WKmが1回転する間に第1の直線部WKmの外周表面の全てが撮影されるように被検査体WKを回転させる。なお、被検査体WKを停止させながら回転させる場合は、表面検査装置1は、第1の直線部WKmの外周表面の全てが撮影されるように第1の直線部WKmの1ステップの回転角を設定する。 In addition, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the inspected object WK is rotated so that the entire outer peripheral surface of the first straight section WKm is photographed during one rotation of the first straight section WKm. When the inspected object WK is rotated while being stopped, the surface inspection device 1 sets the rotation angle of one step of the first straight section WKm so that the entire outer peripheral surface of the first straight section WKm is photographed.

より具体的には、観察窓WNの回転方向の端部の一方と第1の直線部WKmの回転中心軸とを結ぶ第1の窓設定線L1と、観察窓WNの回転方向の端部の他方と第1の直線部WKmの回転中心軸とを結ぶ第2の窓設定線L2のなす角を第1の角度θ1とする。そして、第2の直線部WKrの回転ステップの角度を第2の角度θ2とする。そして、実施の形態1では、第2の角度θ2を第1の角度θ1よりも小さく設定する。このような設定とすることで、図7に示す検査面A1~A8の幅は、それぞれ観察窓WNの開口幅よりも小さくなるように設定される。 More specifically, the angle between a first window setting line L1 connecting one end of the observation window WN in the rotation direction and the rotation center axis of the first straight line portion WKm, and a second window setting line L2 connecting the other end of the observation window WN in the rotation direction and the rotation center axis of the first straight line portion WKm is defined as a first angle θ1. The angle of the rotation step of the second straight line portion WKr is defined as a second angle θ2. In the first embodiment, the second angle θ2 is set smaller than the first angle θ1. By setting in this way, the widths of the inspection surfaces A1 to A8 shown in FIG. 7 are each set smaller than the opening width of the observation window WN.

そして、被検査体WKを停止させながら回転させる場合は、図7に示すように、撮影タイミングごとに第2の直線部WKrをP1~P8で停止させながら第1の直線部WKmを回転させることで検査面A1~A8が順次撮影される。一方、被検査体WKを連続して回転させる場合は、欠陥検出処理部25が撮影した複数の画像からこの検査面A1~A8の画像を抽出する。 When the object WK to be inspected is rotated while being stopped, as shown in FIG. 7, the first straight section WKm is rotated while the second straight section WKr is stopped at P1 to P8 for each shooting timing, thereby sequentially photographing the inspection surfaces A1 to A8. On the other hand, when the object WK to be inspected is rotated continuously, the defect detection processing section 25 extracts images of the inspection surfaces A1 to A8 from the multiple images captured.

上記説明より、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、保持具155が検査対象の第1の直線部WKmが所定の範囲でカメラ12に向かって露出する観察窓WNを有する。そして、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、図7の第2の角度θ2を第1の角度θ1よりも小さくなるように設定することで、第1の直線部WKmを1回転させるだけで第1の直線部WKmの外周面の全てを撮影する。 As explained above, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the holder 155 has an observation window WN through which the first straight section WKm of the inspection target is exposed to the camera 12 within a predetermined range. In the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the second angle θ2 in FIG. 7 is set to be smaller than the first angle θ1, so that the entire outer peripheral surface of the first straight section WKm is photographed by simply rotating the first straight section WKm once.

上記特徴により、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、被検査体が屈曲部を有していても、被検査体の直線部の表面検査を行うことができる。また、実施の形態1にかかる表面検査装置1は、屈曲部を有する被検査体であっても当該屈強部以外の部分を、単に被検査体を1回転させるだけで検査可能でる。つまり、実施の形態1にかかる表面検査装置1は、検査体或いは装置の動きとして少ない動きで検査を完了できるため、検査時間を短縮することができる。 Due to the above features, the surface inspection device 1 according to the first embodiment can inspect the surface of the straight parts of the object to be inspected, even if the object has bent parts. Furthermore, the surface inspection device 1 according to the first embodiment can inspect the parts other than the bent parts of the object to be inspected, even if the object has bent parts, simply by rotating the object once. In other words, the surface inspection device 1 according to the first embodiment can complete the inspection with minimal movement of the object or the device, thereby shortening the inspection time.

また、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、連続して被検査体WKを回転させることでも検査時間を短縮することができる。一方、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、被検査体WKを停止させながら回転させることで、鮮明な画像により検査精度を向上させることができる。 In addition, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the inspection time can be shortened by continuously rotating the object WK to be inspected. On the other hand, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the inspection accuracy can be improved by obtaining a clear image by rotating the object WK to be inspected while stopping it.

さらに、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、欠陥検出処理部25が複数のフィルタ処理を切り替えて画像処理を行うことで、表面の複数の欠陥形態の検出を1つの装置で実施することが可能になる。 Furthermore, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, the defect detection processing unit 25 switches between multiple filter processes to perform image processing, making it possible to detect multiple types of surface defects with a single device.

また、実施の形態1にかかる表面検査装置1では、遮蔽板153を設けることで、面照明ユニット13、上側照明ユニット141及び下側照明ユニット142が検査ボックス10内で発する光が第2の直線部WKrで反射して、当該反射光が第1の直線部WKmに映り込み本来傷やシミがない良品を不良品として誤判定することを防止することができる。 In addition, in the surface inspection device 1 according to the first embodiment, by providing a shielding plate 153, it is possible to prevent the light emitted by the surface lighting unit 13, the upper lighting unit 141, and the lower lighting unit 142 within the inspection box 10 from being reflected by the second straight section WKr, and the reflected light from being reflected by the first straight section WKm, resulting in the erroneous determination of a non-defective product that is actually free of scratches or blemishes as a defective product.

なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。 The present invention is not limited to the above embodiment, and can be modified as appropriate without departing from the spirit and scope of the invention.

1 表面検査装置
10 検査ボックス
11 蓋
12 カメラ
13 面照明ユニット
141 上側照明ユニット
142 下側照明ユニット
15 被検査体保持ユニット
151 検査端保持ユニット
152 回転駆動部
153 遮蔽板
154 被検査端保持部
155 保持具
16 ベースプレート
20 制御ボックス
21 検査ユニット駆動部
22 回転位置検出センサ
23 回転制御部
24 検査制御部
25 欠陥検出処理部
30 ディスプレイ
31 操作インタフェース
40 ロボットアーム
WK 被検査体
WKm 第1の直線部
WKr 第2の直線部
WN 観察窓
WD 撮影範囲
PA 撮影領域
MA 映り込み防止範囲
L1 第1の窓設定線
L2 第2の窓設定線
REFERENCE SIGNS LIST 1 Surface inspection device 10 Inspection box 11 Lid 12 Camera 13 Surface illumination unit 141 Upper illumination unit 142 Lower illumination unit 15 Inspected object holding unit 151 Inspection end holding unit 152 Rotation drive unit 153 Shielding plate 154 Inspected end holding unit 155 Holder 16 Base plate 20 Control box 21 Inspection unit drive unit 22 Rotation position detection sensor 23 Rotation control unit 24 Inspection control unit 25 Defect detection processing unit 30 Display 31 Operation interface 40 Robot arm WK Inspected object WKm First straight line portion WKr Second straight line portion WN Observation window WD Shooting range PA Shooting area MA Anti-reflection range L1 First window setting line L2 Second window setting line

Claims (8)

屈曲部を有する棒状の被検査体の一方の端部から続く第1の直線部を保持する保持具と、
前記被検査体の他方の端部又は前記他方の端部から続く第2の直線部を保持して、前記第1の直線部の軸中心を回転中心軸として前記被検査体を回転させる回転駆動部と、
前記第1の直線部を撮影する撮影ユニットと、
前記撮影ユニットで撮影された画像に基づき前記被検査体の欠陥を検出する欠陥検出処理部と、を有し、
前記保持具は、前記第1の直線部を保持する円筒の一部に欠けた部分を形成し、当該欠けた部分を観察窓とし、
前記撮影ユニットは、前記観察窓の部分を含む前記被検査体の表面の前記画像を撮影する表面検査装置。
a holder for holding a first straight portion continuing from one end of a rod-shaped test object having a bent portion;
a rotation drive unit that holds the other end of the object under test or a second straight portion continuing from the other end and rotates the object under test about the axis center of the first straight portion as a rotation center axis;
a photographing unit for photographing the first straight portion;
a defect detection processing unit that detects defects in the object to be inspected based on the image captured by the imaging unit,
the holder forms a notched portion in a part of a cylinder that holds the first straight portion, and the notched portion serves as an observation window;
The photographing unit is a surface inspection device that photographs the image of the surface of the object to be inspected including the portion of the observation window.
前記観察窓の前記被検査体の回転方向の一方の端部と前記回転中心軸を結ぶ第1の窓設定線と、前記観察窓の前記被検査体の回転方向の他方の端部と前記回転中心軸を結ぶ第2の窓設定線と、が成す角度を第1の角度とすると、
前記撮影ユニットは、前記第1の直線部を前記第1の角度よりも小さな第2の角度毎の画像が含まれる複数の画像を取得する請求項1に記載の表面検査装置。
If an angle formed by a first window setting line connecting one end of the observation window in the rotation direction of the test object and the rotation central axis and a second window setting line connecting the other end of the observation window in the rotation direction of the test object and the rotation central axis is defined as a first angle,
The surface inspection device according to claim 1 , wherein the photographing unit obtains a plurality of images including images of the first straight portion at second angles smaller than the first angle.
前記回転駆動部は、前記被検査体を停止させないように連続して回転させる請求項2に記載の表面検査装置。 The surface inspection device according to claim 2, wherein the rotation drive unit rotates the object to be inspected continuously without stopping. 前記回転駆動部は、前記第1の直線部を前記第1の角度よりも小さな第2の角度のステップで回転を止め、かつ、前記撮影ユニットが前記画像を取得する際に利用する撮影領域内で前記第2の直線部が停止しないように前記被検査体を回転させる請求項2に記載の表面検査装置。 The surface inspection device according to claim 2, wherein the rotation drive unit stops the rotation of the first straight section at a step of a second angle smaller than the first angle, and rotates the object to be inspected so that the second straight section does not stop within an imaging area used by the imaging unit to acquire the image. 前記被検査体は、U字形状を有する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の表面検査装置。 The surface inspection device according to any one of claims 1 to 4, wherein the object to be inspected has a U-shape. 前記欠陥検出処理部は、前記画像に対して異なるフィルタ効果を与える複数のフィルタ処理部を有し、検出したい欠陥に応じて前記画像に適用するフィルタ効果を切り替える請求項1乃至5のいずれか1項に記載の表面検査装置。 The surface inspection device according to any one of claims 1 to 5, wherein the defect detection processing unit has a plurality of filter processing units that apply different filter effects to the image, and the filter effect applied to the image is switched depending on the defect to be detected. 前記第2の直線部及び前記第2の直線部に続く曲線部の少なくとも一部と、前記第1の直線部と、の間の見通しを遮蔽する遮蔽板をさらに有する請求項1乃至6のいずれか1項に記載の表面検査装置。 The surface inspection device according to any one of claims 1 to 6, further comprising a shielding plate that blocks visibility between the first straight section and at least a portion of the second straight section and the curved section following the second straight section. 前記遮蔽板は、上下に昇降するように前記回転駆動部に取り付けられる請求項7に記載の表面検査装置。 The surface inspection device according to claim 7, wherein the shielding plate is attached to the rotary drive unit so that it can move up and down.
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