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JP7599166B2 - WORK SYSTEM, DRIVE SYSTEM, PARAMETER SETTING METHOD, AND PROGRAM - Google Patents
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JP7599166B2 - WORK SYSTEM, DRIVE SYSTEM, PARAMETER SETTING METHOD, AND PROGRAM - Google Patents

WORK SYSTEM, DRIVE SYSTEM, PARAMETER SETTING METHOD, AND PROGRAM Download PDF

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Description

本開示は、作業システム、駆動システム、パラメータ設定方法、及びプログラムに関する。 The present disclosure relates to an operating system, a drive system, a parameter setting method, and a program.

特許文献1の部品実装機は、部品を保持する部品保持手段をモータにより移動させて基板上に部品を実装する。部品保持手段はモータからの加速度を伴って動くために、部品保持手段が停止する際には部品保持手段に残留振動が発生する。この残留振動は部品実装機の実装精度に大きな影響を及ぼす要因の一つとなっている。The component mounter in Patent Document 1 uses a motor to move the component holding means that holds the components, and mounts the components on the board. Because the component holding means moves with acceleration from the motor, residual vibrations are generated in the component holding means when the component holding means stops. This residual vibration is one of the factors that significantly affects the mounting accuracy of the component mounter.

特許文献1には、このような残留振動を低減するための処理を行う部品実装機が開示されており、部品保持手段に発生する残留振動を計測する手段としてレーザビーム計測器を用いている。そして、部品保持手段をレーザビーム計測器のレーザビームが照射される位置まで移動させることで、部品保持手段に発生する残留振動を計測する。残留振動値が許容値を超える場合には、残留振動値が許容値以下となるように部品保持手段の移動時間を変更する。 Patent Document 1 discloses a component mounter that performs processing to reduce such residual vibrations, and uses a laser beam measuring instrument as a means for measuring the residual vibrations occurring in the component holding means. The component holding means is then moved to a position where it is irradiated with the laser beam of the laser beam measuring instrument, thereby measuring the residual vibrations occurring in the component holding means. If the residual vibration value exceeds an allowable value, the movement time of the component holding means is changed so that the residual vibration value is equal to or less than the allowable value.

しかしながら、特許文献1の部品実装機のような作業システムでは、ヘッド部(部品保持手段)の移動の方向及びストロークなどが変化するとヘッド部に発生する振動は変化する。そのため、レーザ測長器(レーザビーム計測器)によりヘッド部に発生する振動が計測される計測箇所以外の位置にヘッド部を移動する場合に、ヘッド部に発生する振動を低減するようにヘッド部の移動を制御することは容易にできないという問題がある。However, in a work system such as the component mounter of Patent Document 1, the vibration generated in the head unit changes when the direction and stroke of movement of the head unit (component holding means) change. Therefore, when the head unit is moved to a position other than the measurement location where the vibration generated in the head unit is measured by a laser length measuring device (laser beam measuring device), there is a problem in that it is not easy to control the movement of the head unit so as to reduce the vibration generated in the head unit.

特開2006-303032号公報JP 2006-303032 A

本開示の目的とするところは、制御パラメータを適切に設定することでヘッド部に発生する振動を抑制し、ヘッド部の移動範囲で高精度な作業を可能とする作業システム、駆動システム、パラメータ設定方法、及びプログラムを提供することにある。 The object of the present disclosure is to provide a work system, drive system, parameter setting method, and program that suppresses vibrations generated in the head unit by appropriately setting control parameters, enabling high-precision work within the range of movement of the head unit.

本開示の一態様に係る作業システムは、ヘッド部と、変位検出部と、パラメータ設定部と、を備える。前記ヘッド部は、駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施す。前記変位検出部は、前記ヘッド部とともに移動し、前記ヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位の変位を検出する。前記パラメータ設定部は、移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定する。前記変位検出部は、前記検出対象部位を撮像する撮像部を含む。
本開示の別の一態様に係る作業システムは、ヘッド部と、変位検出部と、パラメータ設定部と、を備える。前記ヘッド部は、駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施す。前記変位検出部は、前記ヘッド部とともに移動し、前記ヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位の変位を検出する。前記パラメータ設定部は、移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定する。前記制御パラメータは、前記駆動部の応答性に関するゲインである。
A work system according to one aspect of the present disclosure includes a head unit, a displacement detection unit, and a parameter setting unit. The head unit moves toward a work target by a driving force applied from a driving unit, and performs work on the work target. The displacement detection unit moves together with the head unit, and detects the displacement of a detection target portion that is at least a part of the head unit. The parameter setting unit sets a control parameter for controlling the movement of the head unit by the driving unit, based on a detection result of the displacement when the moving head unit stops. The displacement detection unit includes an imaging unit that images the detection target portion.
A work system according to another aspect of the present disclosure includes a head unit, a displacement detection unit, and a parameter setting unit. The head unit moves toward a work object by a driving force applied from a driving unit, and performs work on the work object. The displacement detection unit moves together with the head unit, and detects the displacement of a detection target portion that is at least a part of the head unit. The parameter setting unit sets a control parameter for controlling the movement of the head unit by the driving unit, based on a detection result of the displacement when the moving head unit stops. The control parameter is a gain related to the responsiveness of the driving unit.

本開示の一態様に係る作業システムは、ヘッド部と、パラメータ設定部と、を備える。前記ヘッド部は、駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施す。前記パラメータ設定部は、前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定する。前記パラメータ設定部は、前記ヘッド部とともに移動し前記ヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位を撮像する撮像部を含む変位検出部から、前記検出対象部位の変位の検出結果を取得し、移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記制御パラメータを設定する。
本開示の別の一態様に係る作業システムは、ヘッド部と、パラメータ設定部と、を備える。前記ヘッド部は、駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施す。前記パラメータ設定部は、前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定する。前記パラメータ設定部は、前記ヘッド部とともに移動する変位検出部から、前記ヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位の変位の検出結果を取得し、移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記制御パラメータを設定する。前記制御パラメータは、前記駆動部の応答性に関するゲインである。
A work system according to one aspect of the present disclosure includes a head unit and a parameter setting unit. The head unit moves toward a work target by a driving force applied from a driving unit and performs work on the work target. The parameter setting unit sets a control parameter for controlling the movement of the head unit by the driving unit. The parameter setting unit acquires a detection result of a displacement of a detection target portion from a displacement detection unit including an imaging unit that moves together with the head unit and images a detection target portion that is at least a part of the head unit, and sets the control parameter based on the detection result of the displacement when the moving head unit stops.
A work system according to another aspect of the present disclosure includes a head unit and a parameter setting unit. The head unit moves toward a work target by a driving force applied from a driving unit, and performs work on the work target. The parameter setting unit sets a control parameter for controlling the movement of the head unit by the driving unit. The parameter setting unit acquires a detection result of the displacement of a detection target portion that is at least a part of the head unit from a displacement detection unit that moves together with the head unit, and sets the control parameter based on the detection result of the displacement when the moving head unit stops. The control parameter is a gain related to the responsiveness of the driving unit.

本開示の一態様に係る駆動システムは、上述の作業システムと、前記駆動部と、を備える。A drive system according to one embodiment of the present disclosure comprises the above-mentioned working system and the drive unit.

本開示の一態様に係るパラメータ設定方法は、変位検出ステップと、パラメータ設定ステップと、を含む。前記変位検出ステップは、駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施すヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位の変位を、前記ヘッド部とともに移動する変位検出部を用いて検出する。前記パラメータ設定ステップは、移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定する。前記変位検出部は、前記検出対象部位を撮像する撮像部を含む。
本開示の別の一態様に係るパラメータ設定方法は、変位検出ステップと、パラメータ設定ステップと、を含む。前記変位検出ステップは、駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施すヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位の変位を、前記ヘッド部とともに移動する変位検出部を用いて検出する。前記パラメータ設定ステップは、移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定する。前記制御パラメータは、前記駆動部の応答性に関するゲインである。
A parameter setting method according to one aspect of the present disclosure includes a displacement detection step and a parameter setting step. The displacement detection step detects the displacement of a detection target portion, which is at least a part of a head unit that moves toward a work target by a driving force applied from a driving unit and performs work on the work target, using a displacement detection unit that moves together with the head unit. The parameter setting step sets a control parameter for controlling the movement of the head unit by the driving unit based on a detection result of the displacement when the moving head unit stops. The displacement detection unit includes an imaging unit that images the detection target portion.
A parameter setting method according to another aspect of the present disclosure includes a displacement detection step and a parameter setting step. The displacement detection step detects the displacement of a detection target portion, which is at least a part of a head unit that moves toward a work target by a driving force applied from a driving unit and performs work on the work target, using a displacement detection unit that moves together with the head unit. The parameter setting step sets a control parameter for controlling the movement of the head unit by the driving unit based on a detection result of the displacement when the moving head unit stops. The control parameter is a gain related to the responsiveness of the driving unit.

本開示の一態様に係るプログラムは、コンピュータに、上述のパラメータ設定方法の前記パラメータ設定ステップを実行させる。A program according to one aspect of the present disclosure causes a computer to execute the parameter setting step of the above-mentioned parameter setting method.

図1は、実施形態の作業システムを備える駆動システムを示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a drive system including a working system according to an embodiment. 図2は、同上の作業システムの要部を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a main part of the above-mentioned working system. 図3は、同上の作業システムの撮像部を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing an imaging unit of the above working system. 図4は、同上の作業システムのヘッド部の振動を示す概略の側面図である。FIG. 4 is a schematic side view showing vibration of the head portion of the above working system. 図5は、同上の作業システムの制御パラメータ設定方法を示すフローチャートである。FIG. 5 is a flowchart showing a control parameter setting method for the above-mentioned operating system. 図6は、同上の作業システムの第2変形例を示すブロック図である。FIG. 6 is a block diagram showing a second modified example of the above working system.

以下の実施形態は、一般に、作業システム、駆動システム、パラメータ設定方法、及びプログラムに関する。より詳細には、作業対象に向かって移動し、作業対象に作業を施すヘッド部を備える作業システム、及び駆動システム、並びにそのパラメータ設定方法、及びプログラムに関する。The following embodiments generally relate to a work system, a drive system, a parameter setting method, and a program. More specifically, the present invention relates to a work system having a head unit that moves toward a work object and performs work on the work object, a drive system, and a parameter setting method and program thereof.

以下、実施形態に係る作業システム、駆動システム、パラメータ設定方法、及びプログラムについて、図1~図5を参照して詳細に説明する。ただし、下記の実施形態において説明する各図は模式的な図であり、各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。なお、以下の実施形態で説明する構成は本開示の一例にすぎない。本開示は、以下の実施形態に限定されず、本開示の効果を奏することができれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。 Below, the working system, drive system, parameter setting method, and program according to the embodiments will be described in detail with reference to Figures 1 to 5. However, each figure described in the following embodiments is a schematic diagram, and the ratio of the size and thickness of each component does not necessarily reflect the actual dimensional ratio. Note that the configuration described in the following embodiments is merely one example of the present disclosure. The present disclosure is not limited to the following embodiments, and various modifications are possible depending on the design, etc., as long as the effects of the present disclosure can be achieved.

(1)駆動システムの概要
以下、本実施形態に係る駆動システム1の概要について説明する。
(1) Overview of the Drive System Hereinafter, an overview of the drive system 1 according to this embodiment will be described.

図1は、駆動システム1のブロック構成を示す。 Figure 1 shows the block configuration of the drive system 1.

図1に示す駆動システム1は、作業対象8に作業を施すシステムであり、例えば、工場、研究所、事務所及び教育施設等の施設において、電子機器、自動車、衣料品、食料品、医薬品及び工芸品等の種々の製品の製造のための作業に用いられる。作業は、作業対象8に対して施される装着、検査、塗布、ボンディング、及び移載などである。装着は、作業対象8に部品を装着(実装)する作業である。検査は、作業対象8の外観(形状、大きさ、キズ、位置など)、又は内部(クラック、空洞など)を検査する作業である。塗布は、作業対象8にはんだ、接着剤、及びフラックスなどの液剤を塗布する作業である。ボンディングは、作業対象8にボンディングを施す作業である。移載は、作業対象8を移動させる作業である。 The drive system 1 shown in FIG. 1 is a system that performs work on a work object 8, and is used, for example, in facilities such as factories, laboratories, offices, and educational facilities for the manufacture of various products such as electronic devices, automobiles, clothing, food, medicines, and crafts. The work includes mounting, inspection, coating, bonding, and transfer performed on the work object 8. Mounting is the work of mounting (implementing) a component on the work object 8. Inspection is the work of inspecting the appearance (shape, size, scratches, position, etc.) or interior (cracks, cavities, etc.) of the work object 8. Coating is the work of applying a liquid such as solder, adhesive, and flux to the work object 8. Bonding is the work of performing bonding on the work object 8. Transferring is the work of moving the work object 8.

本実施形態では、駆動システム1が、工場での電子機器の製造に用いられる場合について説明する。一般的な電子機器は、例えば、電源回路及び制御回路等の各種の回路ブロックを有している。これらの回路ブロックの製造にあたっては、一例として、はんだ塗布工程、実装工程、及びはんだ付け工程が、この順で行われる。はんだ塗布工程では、基板(プリント配線板を含む)にクリーム状はんだが塗布(又は印刷)される。実装工程では、基板に部品(電子部品を含む)が装着される。はんだ付け工程では、例えば、部品が装着された状態の基板を、リフロー炉にて加熱することにより、クリーム状はんだを溶かしてはんだ付けが行われる。駆動システム1は、実装工程において、作業対象8である基板81(図2及び図3参照)に対して、部品9(図2及び図3参照)を装着する装着作業を行う。In this embodiment, the drive system 1 is used in the manufacture of electronic devices in a factory. A typical electronic device has various circuit blocks, such as a power supply circuit and a control circuit. In the manufacture of these circuit blocks, as an example, a solder application process, a mounting process, and a soldering process are performed in this order. In the solder application process, cream solder is applied (or printed) to a board (including a printed wiring board). In the mounting process, components (including electronic components) are mounted on the board. In the soldering process, for example, the board with the components mounted is heated in a reflow furnace to melt the cream solder and perform soldering. In the mounting process, the drive system 1 performs a mounting operation to mount components 9 (see Figures 2 and 3) on a board 81 (see Figures 2 and 3), which is the work object 8.

装着作業では、ヘッド部の吸着ノズルが部品9を部品供給部から吸着し、基板81の上面に装着する。このとき、ヘッド部の位置制御は、高い位置決め精度を要する。そこで、ヘッド部を移動させる駆動部のアクチュエータとして主にサーボモータが採用されている。サーボモータの制御には、指令(制御目標)と実動作との偏差を小さくするフィードバック制御という技術が用いられる。そして、サーボモータのフィードバック制御を高精度に行うためには、ゲインなどの制御パラメータを適切に設定することが必要になる。 In the mounting operation, the suction nozzle of the head picks up the component 9 from the component supply unit and mounts it on the top surface of the board 81. At this time, high positioning accuracy is required for controlling the position of the head. For this reason, a servo motor is mainly used as the actuator of the drive unit that moves the head. A technique called feedback control is used to control the servo motor, which reduces the deviation between the command (control target) and the actual operation. To perform feedback control of the servo motor with high accuracy, it is necessary to appropriately set control parameters such as gain.

サーボモータの制御パラメータ設定を行う設定作業では、ヘッド部の実動作を把握する手段として、据え置き型のレーザ測長器による吸着ノズルの振動(ノズル振れ)の測定結果を用いることが考えられる。装着作業では、ヘッド部が部品供給部から基板上へ移動し基板81上で停止したり、ヘッド部が基板81上の次の装着位置に移動して停止したりするときに、ヘッド部に振動が発生する。レーザ測長器は、ヘッド部の停止時にヘッド部の吸着ノズルに発生する振動(ノズル振れ)をレーザ測定する。そして、ノズル振れの測定結果から、ヘッド部の実動作を把握し、指令と実動作との偏差が小さくなるように制御パラメータを設定する。 In the setting work for setting the control parameters of the servo motor, it is possible to use the results of measurement of the vibration (nozzle runout) of the suction nozzle by a stationary laser length measuring device as a means of grasping the actual operation of the head. During mounting work, vibrations occur in the head when the head moves from the component supply unit onto the board 81 and stops on the board 81, or when the head moves to the next mounting position on the board 81 and stops there. The laser length measuring device uses a laser to measure the vibration (nozzle runout) that occurs in the suction nozzle of the head when the head stops. The actual operation of the head is then grasped from the results of the nozzle runout measurement, and the control parameters are set so that the deviation between the command and the actual operation is reduced.

ここで、ヘッド部がX軸及びY軸(図2参照)の各方向に移動するとして、ノズル振れは、移動しているヘッド部が停止するXY平面(X軸及びY軸で定義される平面)上の位置によって異なる。そこで、移動しているヘッド部が停止するXY平面上の位置を動作ポジションとし、複数の動作ポジションのそれぞれでノズル振れが測定される。具体的には、指定された始点からヘッド部がY軸(図2参照)方向に移動するという条件下で、ヘッド部が移動する距離を示すストロークを可変にしてストローク毎にノズル振れが測定される。また、始点をX軸(図2参照)方向において異なる複数の位置にそれぞれ設定し、X軸方向において互いに異なる位置の各始点からストローク毎のノズル振れが測定される。しかし、動作ポジションを変えてノズル振れを測定するには、動作ポジション毎にレーザ測長器の設置が必要となり、動作ポジションを変更する度にレーザ測長器の再設置を行わなければならない。この結果、装着作業中にヘッド部が指定された第1点から第2点まで移動する際の制御パラメータを適切に設定するためには、少なくともノズル振れが測定される動作ポジションの数を増やすことが考えられるが、多くの時間と手間が必要になってしまう。すなわち、ヘッド部の移動範囲で高精度な作業を可能とするために、制御パラメータを適切に設定するには、多くの時間と手間が必要であった。Here, the head part moves in the directions of the X-axis and the Y-axis (see FIG. 2), and the nozzle runout differs depending on the position on the XY plane (plane defined by the X-axis and the Y-axis) where the moving head part stops. Therefore, the position on the XY plane where the moving head part stops is set as the operating position, and the nozzle runout is measured at each of the multiple operating positions. Specifically, under the condition that the head part moves in the Y-axis (see FIG. 2) direction from the specified starting point, the stroke indicating the distance the head part moves is made variable, and the nozzle runout is measured for each stroke. In addition, the starting point is set at multiple different positions in the X-axis (see FIG. 2) direction, and the nozzle runout for each stroke is measured from each starting point at a different position in the X-axis direction. However, in order to change the operating position and measure the nozzle runout, a laser length measuring device must be installed for each operating position, and the laser length measuring device must be reinstalled every time the operating position is changed. As a result, in order to appropriately set the control parameters when the head unit moves from the specified first point to the second point during the mounting operation, it is possible to at least increase the number of operating positions where the nozzle runout is measured, but this would require a lot of time and effort.In other words, a lot of time and effort was required to appropriately set the control parameters to enable high-precision work within the movement range of the head unit.

また、据え置き型のレーザ測長器によるノズル振れの測定結果を用いた制御パラメータ設定は、駆動システムの開発時に開発機を用いて行われており、駆動システムの量産機毎には実施されていない。すなわち、駆動システムの個体差を考慮した制御パラメータ設定は行われていない。また、量産機毎に、据え置き型のレーザ測長器を用いて、ヘッド部の移動範囲で高精度な作業を可能とするために制御パラメータを適切に設定することは困難であった。 In addition, control parameter settings using the results of nozzle runout measurements made with a stationary laser length measuring device were performed on a development machine during the development of the drive system, and were not performed for each mass-produced machine of the drive system. In other words, control parameter settings were not performed that took into account individual differences in the drive system. In addition, it was difficult to appropriately set control parameters for each mass-produced machine using a stationary laser length measuring device to enable high-precision work within the moving range of the head unit.

また、据え置き型のレーザ測長器を用いた場合、設備内部の吸着ノズルの振動を測定するためには、設備外部に設置したレーザ測長器が設備内部の吸着ノズルにレーザを照射する。しかし、設備の構造によっては、レーザを照射できる設備内の範囲が限定されてしまう。この場合、設備内部の吸着ノズルの振動を測定すること自体が困難であった。 Furthermore, when using a stationary laser length measuring device, in order to measure the vibration of the suction nozzle inside the equipment, the laser length measuring device installed outside the equipment irradiates a laser onto the suction nozzle inside the equipment. However, depending on the structure of the equipment, the area within the equipment that can be irradiated with the laser is limited. In this case, it was difficult to measure the vibration of the suction nozzle inside the equipment.

そこで、本実施形態の駆動システム1は、図1に示す作業システム2、及び駆動部6を備えている。作業システム2は、ヘッド部3、変位検出部4、及び制御部5を備えている。 The drive system 1 of this embodiment includes a working system 2 and a driving unit 6 shown in Figure 1. The working system 2 includes a head unit 3, a displacement detection unit 4, and a control unit 5.

ヘッド部3と制御部5との間、変位検出部4と制御部5との間、及び駆動部6と制御部5との間は、無線経路又は有線経路を介して互いに通信可能にそれぞれ接続されている。無線通信は、無線LAN、Bluetooth(登録商標)、又はZigBee(登録商標)などの規格に準拠することが好ましい。有線通信は、イーサネット(Ethernet)(登録商標)などの有線LAN(Local Area Network)の規格に準拠していることが好ましい。なお、無線通信及び有線通信は、専用の通信規格であってもよい。The head unit 3 and the control unit 5, the displacement detection unit 4 and the control unit 5, and the drive unit 6 and the control unit 5 are connected to each other via a wireless path or a wired path so that they can communicate with each other. The wireless communication preferably complies with standards such as wireless LAN, Bluetooth (registered trademark), or ZigBee (registered trademark). The wired communication preferably complies with standards for wired LAN (Local Area Network) such as Ethernet (registered trademark). The wireless communication and the wired communication may be of a dedicated communication standard.

ヘッド部3は、駆動部6から付与される駆動力によって作業対象8に向かって移動し、作業対象8に作業を施す。変位検出部4は、ヘッド部3とともに移動し、ヘッド部3の少なくとも一部である検出対象部位3aの変位を検出する。制御部5のパラメータ設定部52は、移動しているヘッド部3が停止するときの変位の検出結果に基づいて、駆動部6によるヘッド部3の移動を制御するための制御パラメータを設定する。したがって、駆動システム1及び作業システム2は、制御パラメータを適切に設定することでヘッド部3に発生する振動を抑制し、ヘッド部3の移動範囲で高精度な作業を可能とする。The head unit 3 moves towards the work target 8 by the driving force applied by the drive unit 6, and performs work on the work target 8. The displacement detection unit 4 moves with the head unit 3, and detects the displacement of the detection target portion 3a, which is at least a part of the head unit 3. The parameter setting unit 52 of the control unit 5 sets control parameters for controlling the movement of the head unit 3 by the drive unit 6, based on the displacement detection result when the moving head unit 3 stops. Therefore, the drive system 1 and the work system 2 appropriately set the control parameters to suppress vibrations generated in the head unit 3, enabling high-precision work within the movement range of the head unit 3.

(2)詳細
(2.1)前提
本実施形態では一例として、表面実装技術(SMT:Surface Mount Technology)による部品9の装着に、駆動システム1が用いられる場合について説明する。つまり、部品9は、表面実装用の部品(SMD:Surface Mount Device)であって、基板81の実装面811(図2及び図3参照)上に配置されることをもって装着される。
(2) Details (2.1) Premise In this embodiment, as an example, a case will be described in which the drive system 1 is used to mount the component 9 by surface mount technology (SMT). That is, the component 9 is a surface mount device (SMD), and is mounted by being placed on the mounting surface 811 of the substrate 81 (see FIGS. 2 and 3).

また、本開示でいう「撮像結果」は、撮像部41の撮像画像であって、静止画(静止画像)及び動画(動画像)を含む。さらに、「動画」は、コマ撮り等により得られる複数の静止画にて構成される撮像画像を含む。撮像部41の撮像画像は、撮像部41から出力されたデータそのものでなくてもよい。例えば、撮像部41の撮像画像は、必要に応じて適宜データの圧縮、他のデータ形式への変換、又は撮像部41の撮像画像から一部を切り出す加工、ピント調整、明度調整、若しくはコントラスト調整等の加工が施されていてもよい。本実施形態では一例として、撮像部41の撮像画像は、フルカラーの動画である。 Furthermore, the "imaging result" in this disclosure refers to an image captured by the imaging unit 41, and includes a still image (still image) and a video (moving image). Furthermore, "video" includes an image captured by the imaging unit 41 composed of multiple still images obtained by stop motion photography or the like. The image captured by the imaging unit 41 does not have to be the data itself output from the imaging unit 41. For example, the image captured by the imaging unit 41 may be appropriately compressed as necessary, converted to another data format, or processed to cut out a portion of the image captured by the imaging unit 41, or the like, adjusted in focus, brightness, or contrast. In this embodiment, as an example, the image captured by the imaging unit 41 is a full-color video.

以下では一例として、図2に示すように、互いに直交するX軸、Y軸及びZ軸の3軸を設定し、作業対象8である基板81の実装面811に平行な軸を「X軸」及び「Y軸」とし、基板81の厚み方向に平行な軸を「Z」軸とする。さらに、Z軸に沿う両方向のうち一方向を上方向とし、他方向を下方向とする。例えば、後述の捕捉部322が基板81の実装面811に対向しているとき、基板81は、捕捉部322の下方に位置する。なお、X軸、Y軸、及びZ軸は、いずれも仮想的な軸であり、図面中の「X」、「Y」、「Z」を示す矢印は、説明のために表記しているに過ぎず、いずれも実体を伴わない。また、これらの方向は駆動システム1の使用時の方向を限定する趣旨ではない。 In the following, as an example, as shown in FIG. 2, three mutually orthogonal axes, X-axis, Y-axis, and Z-axis, are set, and the axes parallel to the mounting surface 811 of the substrate 81, which is the work object 8, are set as the "X-axis" and "Y-axis", and the axis parallel to the thickness direction of the substrate 81 is set as the "Z" axis. Furthermore, one of the two directions along the Z axis is set as the upward direction, and the other direction is set as the downward direction. For example, when the capture section 322 described later faces the mounting surface 811 of the substrate 81, the substrate 81 is located below the capture section 322. Note that the X-axis, Y-axis, and Z-axis are all imaginary axes, and the arrows indicating "X", "Y", and "Z" in the drawings are merely indicated for the purpose of explanation, and none of them have any substance. Furthermore, these directions are not intended to limit the directions when the drive system 1 is used.

また、駆動システム1には、冷却水の循環用のパイプ、電力供給用のケーブル及び空圧(正圧及び真空を含む)供給用のパイプ等が接続されるが、本実施形態では、これらの図示を適宜省略する。 In addition, pipes for circulating cooling water, cables for supplying power, and pipes for supplying air pressure (including positive pressure and vacuum) are connected to the drive system 1, but in this embodiment, these are omitted from the illustration as appropriate.

(2.2)ヘッド部
ヘッド部3のより詳細な構成について、図1-図3を参照して説明する。
(2.2) Head Unit The configuration of the head unit 3 will be described in more detail with reference to FIGS.

ヘッド部3は、ヘッド本体31、及び作業部32を備える。The head unit 3 comprises a head body 31 and a working unit 32.

ヘッド本体31は、箱状に形成された筐体であり、作業部32を保持している。作業部32は、アクチュエータ321、及び捕捉部322を備える。本実施形態に係る駆動システム1では、1つのヘッド本体31に、アクチュエータ321及び捕捉部322を1つずつ設けている。これにより、ヘッド部3は、1つの部品9を捕捉可能である。The head body 31 is a box-shaped housing that holds the working unit 32. The working unit 32 includes an actuator 321 and a capture unit 322. In the drive system 1 according to this embodiment, one head body 31 is provided with one actuator 321 and one capture unit 322. This enables the head unit 3 to capture one component 9.

捕捉部322は、例えば、下端面に吸着口を有する吸着ノズルである。捕捉部322は、制御部5のヘッド制御部53にて制御され、部品9を下端面に捕捉(保持)する捕捉状態と、部品9を解放(捕捉を解除)する解放状態と、を切替可能である。ただし、捕捉部322は、吸着ノズルに限らず、例えば、ロボットハンドのように部品9を挟む(摘む)ことによって捕捉(保持)する構成でもよい。The capture unit 322 is, for example, a suction nozzle having a suction port on the lower end surface. The capture unit 322 is controlled by the head control unit 53 of the control unit 5, and can switch between a capture state in which the component 9 is captured (held) on the lower end surface, and a release state in which the component 9 is released (released from capture). However, the capture unit 322 is not limited to a suction nozzle, and may be configured to capture (hold) the component 9 by pinching (picking) it like a robot hand, for example.

捕捉部322による部品9の捕捉に関しては、ヘッド部3は、動力としての空圧(真空)の供給を受けて動作する。つまり、ヘッド部3は、捕捉部322に繋がる空圧(真空)の供給路上のバルブを開閉することによって、捕捉部322の捕捉状態と、解放状態と、を切り替える。 When the capturing unit 322 captures the part 9, the head unit 3 operates by receiving air pressure (vacuum) as a power source. In other words, the head unit 3 switches the capturing unit 322 between a captured state and a released state by opening and closing a valve on the air pressure (vacuum) supply path connected to the capturing unit 322.

アクチュエータ321は、捕捉部322をZ軸方向に直進移動させる。さらに、アクチュエータ321は、捕捉部322をZ軸方向に沿った軸線を中心とする回転方向(以下、「θ方向」という)に回転移動させる。本実施形態では一例として、Z軸方向への捕捉部322の移動に関しては、アクチュエータ321は、リニアモータで発生する駆動力にて駆動する。θ方向への捕捉部322の回転移動に関しては、アクチュエータ321は、回転型モータで発生する駆動力にて駆動する。また、ヘッド部3は、駆動部6から付与される駆動力によって、X軸方向及びY軸方向に直進移動する。したがって、ヘッド部3の捕捉部322は、駆動部6及びアクチュエータ321によって、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向及びθ方向に移動することが可能である。The actuator 321 moves the capture unit 322 linearly in the Z-axis direction. Furthermore, the actuator 321 rotates the capture unit 322 in a rotational direction (hereinafter referred to as the "θ direction") around an axis along the Z-axis direction. In this embodiment, as an example, the actuator 321 drives the capture unit 322 in the Z-axis direction by a driving force generated by a linear motor. The actuator 321 drives the capture unit 322 in the θ direction by a driving force generated by a rotary motor. Furthermore, the head unit 3 moves linearly in the X-axis and Y-axis directions by a driving force applied from the drive unit 6. Therefore, the capture unit 322 of the head unit 3 can move in the X-axis, Y-axis, Z-axis, and θ directions by the drive unit 6 and the actuator 321.

ヘッド本体31は、一例として、金属製であって直方体状に形成されている。ヘッド本体31にアクチュエータ321及び捕捉部322が組み付けられることによって、ヘッド本体31はアクチュエータ321及び捕捉部322を保持する。本実施形態では、捕捉部322は、Z軸方向及びθ方向への移動が可能な状態で、アクチュエータ321を介してヘッド本体31に間接的に保持される。ヘッド部3は、ヘッド本体31が駆動部6にてX-Y平面内で移動させられることによって、X-Y平面内を移動する。 As an example, the head body 31 is made of metal and formed into a rectangular parallelepiped shape. The actuator 321 and the capture portion 322 are assembled to the head body 31, so that the head body 31 holds the actuator 321 and the capture portion 322. In this embodiment, the capture portion 322 is indirectly held by the head body 31 via the actuator 321 in a state in which it can move in the Z-axis direction and the θ direction. The head unit 3 moves within the X-Y plane as the head body 31 is moved within the X-Y plane by the drive unit 6.

上述した構成によれば、図2及び図3に示すように、ヘッド部3は、捕捉部322にて部品9を捕捉した状態で、捕捉部322を作業対象8である基板81に近づけるように移動させる。そして、アクチュエータ321が、捕捉部322をZ軸に沿って上下方向に移動させることで、部品9を基板81の実装面811に装着することが可能となる。具体的に、ヘッド部3は、部品9を捕捉した状態の捕捉部322を下降させることで、部品9を基板81の実装面811に装着する。 According to the above-mentioned configuration, as shown in Figures 2 and 3, the head unit 3, with the component 9 captured by the capturing unit 322, moves the capturing unit 322 so as to approach the board 81, which is the work target 8. Then, the actuator 321 moves the capturing unit 322 in the vertical direction along the Z axis, thereby making it possible to mount the component 9 on the mounting surface 811 of the board 81. Specifically, the head unit 3 mounts the component 9 on the mounting surface 811 of the board 81 by lowering the capturing unit 322 with the component 9 captured.

(2.3)変位検出部
変位検出部4のより詳細な構成について、図1-図3を参照して説明する。
(2.3) Displacement Detection Section The configuration of the displacement detection section 4 will be described in more detail with reference to FIGS.

本実施形態の変位検出部4は、撮像部41を備えて、ヘッド部3のヘッド本体31の下面に取り付けられている。すなわち、変位検出部4はヘッド部3とともに移動する。The displacement detection unit 4 in this embodiment includes an imaging unit 41 and is attached to the underside of the head body 31 of the head unit 3. In other words, the displacement detection unit 4 moves together with the head unit 3.

撮像部41は、図2及び図3に示すように、2つのカメラ411、412を有している。カメラ411、412は、X軸方向に沿って並んで配置された、所謂ステレオカメラである。なお、カメラ411、412は、Y軸方向に沿って並んで配置されてもよい。2 and 3, the imaging unit 41 has two cameras 411 and 412. The cameras 411 and 412 are so-called stereo cameras arranged side by side along the X-axis direction. The cameras 411 and 412 may also be arranged side by side along the Y-axis direction.

カメラ411、412のそれぞれは、撮像素子及び光学系を有している。撮像素子は、例えば、CCD(Charge Coupled Devices)又はCMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)のようなイメージセンサである。撮像素子は、受光面に結像した画像を電気信号に変換して出力する。光学系は、1つ以上のレンズ及びミラー等を含んでいる。本実施形態では一例として、光学系は、複数のレンズの組み合わせ(レンズ群)にて実現される。光学系は、撮像領域からの光を撮像素子の受光面に結像させる。Each of the cameras 411 and 412 has an image sensor and an optical system. The image sensor is, for example, an image sensor such as a CCD (Charge Coupled Devices) or a CMOS (Complementary Metal-Oxide Semiconductor). The image sensor converts an image formed on the light receiving surface into an electrical signal and outputs it. The optical system includes one or more lenses and mirrors. In this embodiment, as an example, the optical system is realized by a combination of multiple lenses (lens group). The optical system forms an image of light from the imaging area on the light receiving surface of the image sensor.

カメラ411、412のそれぞれは、ヘッド部3の少なくとも一部である検出対象部位3aを撮像する。本実施形態では、検出対象部位3aは、作業部32の先端を含む。具体的に、作業部32の捕捉部322の下端(先端)が検出対象部位3aである。すなわち、カメラ411の撮像領域R1(図3参照)は検出対象部位3aを含み、カメラ412の撮像領域R2(図3参照)は検出対象部位3aを含む。Each of the cameras 411, 412 captures an image of the detection target portion 3a, which is at least a part of the head portion 3. In this embodiment, the detection target portion 3a includes the tip of the working unit 32. Specifically, the lower end (tip) of the capture portion 322 of the working unit 32 is the detection target portion 3a. That is, the imaging area R1 (see FIG. 3) of the camera 411 includes the detection target portion 3a, and the imaging area R2 (see FIG. 3) of the camera 412 includes the detection target portion 3a.

したがって、上述の2つのカメラ411、412を備える撮像部41は、検出対象部位3aを撮像部41の撮像領域に含んでおり、検出対象部位3aを撮像することができる。検出対象部位3aは、ヘッド部3の変位に相当するヘッド部3の振動が表れやすい部位であり、本実施形態では、捕捉部322の下端(先端)を検出対象部位3aとしている。Therefore, the imaging unit 41 equipped with the above-mentioned two cameras 411, 412 includes the detection target part 3a in the imaging area of the imaging unit 41, and can image the detection target part 3a. The detection target part 3a is a part where vibration of the head part 3 corresponding to the displacement of the head part 3 is likely to occur, and in this embodiment, the lower end (tip) of the capture part 322 is the detection target part 3a.

そして、撮像部41は、ヘッド本体31の下面に取り付けられている。すなわち、ヘッド部3と撮像部41とは同時に移動する。言い換えると、撮像部41は、ヘッド部3とともに移動する。したがって、撮像部41は、ヘッド部3が移動して停止する位置に関わらず、検出対象部位3aを撮像できる。撮像部41の撮像結果は、動画であり、検出対象部位3aの変位の時間変動に関する情報を含む。すなわち、撮像部41は、検出対象部位3aの変位の検出結果を撮像画像として生成する。なお、撮像部41は、時系列に沿って撮像された複数の静止画像を、検出結果として生成してもよい。撮像部41により生成された撮像画像は、検出対象部位3aの変位を示す座標データに変換される。例えば、ヘッド部3が停止するときの検出対象部位3aの目標位置に対する検出対象部位3aの現在位置を示すデータに変換される。 The imaging unit 41 is attached to the underside of the head body 31. That is, the head unit 3 and the imaging unit 41 move simultaneously. In other words, the imaging unit 41 moves together with the head unit 3. Therefore, the imaging unit 41 can image the detection target part 3a regardless of the position to which the head unit 3 moves and stops. The imaging result of the imaging unit 41 is a video and includes information on the time variation of the displacement of the detection target part 3a. That is, the imaging unit 41 generates the detection result of the displacement of the detection target part 3a as an imaged image. The imaging unit 41 may generate a plurality of still images captured in a time series as the detection result. The imaged image generated by the imaging unit 41 is converted into coordinate data indicating the displacement of the detection target part 3a. For example, it is converted into data indicating the current position of the detection target part 3a relative to the target position of the detection target part 3a when the head unit 3 stops.

上述のように、変位検出部4は、ヘッド部3とともに移動し、ヘッド部3の少なくとも一部である検出対象部位3aの変位を検出することができる。As described above, the displacement detection unit 4 moves together with the head unit 3 and can detect the displacement of the detection target portion 3a, which is at least a part of the head unit 3.

(2.4)駆動部
駆動部6のより詳細な構成について、図1及び図2を参照して説明する。
(2.4) Driving Unit The configuration of the driving unit 6 will be described in more detail with reference to FIGS.

駆動部6は、図1に示すように、可動部61、及び位置検出部62を備える。As shown in Figure 1, the drive unit 6 has a movable unit 61 and a position detection unit 62.

可動部61は、制御部5の駆動制御部51にて制御され、ヘッド部3に駆動力を付与するために運動する。本実施形態の駆動部6は、リニアサーボモータを含み、直線運動するスライダを可動部61として有する。そして、駆動部6は、電力供給を受けてリニアサーボモータで発生する駆動力により可動部61を直線運動させる。可動部61にはヘッド部3が機械的に取り付けられており、可動部61が直線運動することで、ヘッド部3をX-Y平面内でリニアに移動させる。The movable part 61 is controlled by the drive control part 51 of the control part 5, and moves to apply a driving force to the head part 3. The drive part 6 in this embodiment includes a linear servo motor, and has a slider that moves linearly as the movable part 61. The drive part 6 receives a supply of power and causes the movable part 61 to move linearly by the driving force generated by the linear servo motor. The head part 3 is mechanically attached to the movable part 61, and the linear movement of the movable part 61 moves the head part 3 linearly within the X-Y plane.

位置検出部62は、可動部61の位置を検出する。具体的に、位置検出部62は、可動部61の直線運動の方向における位置を検出するエンコーダを備える。位置検出部62の検出結果は、可動部61の位置情報として制御部5に送信される。The position detection unit 62 detects the position of the movable part 61. Specifically, the position detection unit 62 includes an encoder that detects the position in the direction of linear motion of the movable part 61. The detection result of the position detection unit 62 is transmitted to the control unit 5 as position information of the movable part 61.

本実施形態では、図2に示すように、2つの駆動部6として、X軸駆動部6A、及びY軸駆動部6Bを有している。In this embodiment, as shown in Figure 2, there are two drive units 6, an X-axis drive unit 6A and a Y-axis drive unit 6B.

X軸駆動部6Aは、ヘッド部3をX軸方向に直進移動させるスライダを可動部61A(61)として備え、可動部61AのX軸方向の位置を検出するエンコーダを位置検出部62A(62)として備える。位置検出部62Aは、可動部61Aの位置の検出結果として、可動部61Aの位置情報を生成する。The X-axis driving unit 6A includes a slider as a movable unit 61A (61) that moves the head unit 3 linearly in the X-axis direction, and an encoder as a position detection unit 62A (62) that detects the position of the movable unit 61A in the X-axis direction. The position detection unit 62A generates position information of the movable unit 61A as a detection result of the position of the movable unit 61A.

Y軸駆動部6Bは、ヘッド部3をX軸駆動部6AとともにY軸方向に直進移動させるスライダを可動部61B(61)として備え、可動部61BのY軸方向の位置を検出するエンコーダを位置検出部62B(62)として備える。位置検出部62Bは、可動部61Bの位置の検出結果として、可動部61Bの位置情報を生成する。The Y-axis driving unit 6B includes a slider as a movable unit 61B (61) that moves the head unit 3 linearly in the Y-axis direction together with the X-axis driving unit 6A, and includes an encoder as a position detection unit 62B (62) that detects the position of the movable unit 61B in the Y-axis direction. The position detection unit 62B generates position information of the movable unit 61B as a result of detecting the position of the movable unit 61B.

(2.5)制御部
制御部5のより詳細な構成について、図1を参照して説明する。
(2.5) Control Unit The configuration of the control unit 5 will be described in more detail with reference to FIG.

制御部5は、駆動システム1の各部を制御する。 The control unit 5 controls each part of the drive system 1.

制御部5は、コンピュータを備えていることが好ましい。このコンピュータがプログラムを実行することによって、制御部5の一部又は全部の機能が実現される。コンピュータは、プログラムに従って動作するプロセッサを主なハードウェア構成として備える。プロセッサは、プログラムを実行することによって機能を実現することができれば、その種類は問わない。プロセッサは、半導体集積回路(IC)、又はLSI(Large Scale Integration)を含む一つ又は複数の電子回路で構成される。ここでは、ICやLSIと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムLSI、VLSI(Very Large Scale Integration)、若しくはULSI(Ultra Large Scale Integration) と呼ばれるものであってもよい。LSIの製造後にプログラムされる、フィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ(FPGA)、又はLSI内部の接合関係の再構成又はLSI内部の回路区画のセットアップができる再構成可能な論理デバイスも同じ目的で使うことができる。複数の電子回路は、一つのチップに集積されてもよいし、複数のチップに設けられてもよい。複数のチップは一つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に備えられていてもよい。プログラムは、コンピュータが読み取り可能なROM、光ディスク、ハードディスクドライブなどの非一時的記録媒体に記録される。プログラムは、記録媒体に予め格納されていてもよいし、インターネット等を含む広域通信網を介して記録媒体に供給されてもよい。また、制御部5の少なくとも一部は、クラウドコンピューティング技術によって実現されてもよい。 The control unit 5 is preferably equipped with a computer. The computer executes a program to realize some or all of the functions of the control unit 5. The computer has a processor that operates according to a program as its main hardware configuration. The type of processor is not important as long as it can realize the functions by executing the program. The processor is composed of one or more electronic circuits including a semiconductor integrated circuit (IC) or an LSI (Large Scale Integration). Here, it is called an IC or an LSI, but the name changes depending on the degree of integration, and it may be called a system LSI, a VLSI (Very Large Scale Integration), or an ULSI (Ultra Large Scale Integration). A field programmable gate array (FPGA) that is programmed after the LSI is manufactured, or a reconfigurable logic device that can reconfigure the connection relationship inside the LSI or set up the circuit partition inside the LSI, can also be used for the same purpose. Multiple electronic circuits may be integrated into one chip or provided on multiple chips. Multiple chips may be integrated into one device or provided on multiple devices. The program is recorded in a non-transitory recording medium such as a computer-readable ROM, an optical disk, a hard disk drive, etc. The program may be stored in the recording medium in advance, or may be supplied to the recording medium via a wide area communication network including the Internet, etc. Furthermore, at least a part of the control unit 5 may be realized by cloud computing technology.

制御部5は、ヘッド部3、変位検出部4、及び駆動部6の各々と通信可能に構成されている。制御部5は、ヘッド部3及び駆動部6に制御信号を出力し、捕捉部322にて捕捉した部品9を基板81の実装面811に装着するように、ヘッド部3及び駆動部6を制御する。また、制御部5は、変位検出部4の撮像部41に制御信号を出力して、撮像部41を制御したり、撮像部41の撮像画像を撮像部41から取得したりする。The control unit 5 is configured to be able to communicate with each of the head unit 3, the displacement detection unit 4, and the drive unit 6. The control unit 5 outputs a control signal to the head unit 3 and the drive unit 6, and controls the head unit 3 and the drive unit 6 so as to mount the component 9 captured by the capture unit 322 on the mounting surface 811 of the board 81. The control unit 5 also outputs a control signal to the imaging unit 41 of the displacement detection unit 4 to control the imaging unit 41 and to obtain the image captured by the imaging unit 41 from the imaging unit 41.

具体的に、制御部5は、駆動制御部51、パラメータ設定部52、及びヘッド制御部53を備える。Specifically, the control unit 5 includes a drive control unit 51, a parameter setting unit 52, and a head control unit 53.

駆動制御部51は、外部の図示しない管理システムから指令信号を受け取り、駆動部6の位置検出部62から可動部61の位置情報を受け取る。指令信号は、ヘッド部3の位置を指示する指令値のデータを含む信号である。また、駆動制御部51は、位置検出部62のエンコーダの出力を可動部61の位置情報として受け取り、可動部61の位置情報に基づいて、可動部61の位置を把握できる。そして、駆動制御部51は、可動部61の位置の検出結果(可動部61の位置)に基づいて、ヘッド部3の位置(現在位置)を示すヘッド部3の制御量を求める。The drive control unit 51 receives a command signal from an external management system (not shown), and receives position information of the movable part 61 from the position detection unit 62 of the drive unit 6. The command signal is a signal including command value data indicating the position of the head unit 3. The drive control unit 51 also receives the output of the encoder of the position detection unit 62 as position information of the movable part 61, and can grasp the position of the movable part 61 based on the position information of the movable part 61. The drive control unit 51 then determines the control amount of the head unit 3 indicating the position (current position) of the head unit 3 based on the detection result of the position of the movable part 61 (position of the movable part 61).

そして、駆動制御部51は、制御量が指令値に追従するように、可動部61のリニア運動を制御する。すなわち、駆動制御部51は、ヘッド部3の制御量(現在位置)が指令値(目標位置)に追従するように、可動部61の位置をフィードバック制御する。このとき、駆動制御部51は、上述の制御量を用いてフィードバック制御することで、フィードバック制御の精度を向上させることができる。 The drive control unit 51 then controls the linear motion of the movable unit 61 so that the control amount follows the command value. In other words, the drive control unit 51 feedback controls the position of the movable unit 61 so that the control amount (current position) of the head unit 3 follows the command value (target position). At this time, the drive control unit 51 performs feedback control using the above-mentioned control amount, thereby improving the accuracy of the feedback control.

駆動制御部51は、可動部61の位置制御を行うにあたって、制御パラメータを用いる。制御パラメータは、駆動部6によるヘッド部3の移動を制御するためのパラメータである。具体的に、制御パラメータは、フィードバック制御のゲイン、並びに移動速度、加速時間、及び減速時間などである。The drive control unit 51 uses control parameters to control the position of the movable unit 61. The control parameters are parameters for controlling the movement of the head unit 3 by the drive unit 6. Specifically, the control parameters include the feedback control gain, as well as the movement speed, acceleration time, and deceleration time.

パラメータ設定部52は、駆動部6によるヘッド部3の移動を制御するための制御パラメータを設定する。具体的に、パラメータ設定部52は、撮像部41から検出対象部位3aの撮像画像を受け取る。パラメータ設定部52は、撮像部41の撮像画像に基づいて、ヘッド部3(捕捉部322)の検出対象部位3aの振動を検出できる。そして、パラメータ設定部52は、移動しているヘッド部3が停止するときの検出対象部位3aの振動に基づいて、制御パラメータを設定する。The parameter setting unit 52 sets control parameters for controlling the movement of the head unit 3 by the drive unit 6. Specifically, the parameter setting unit 52 receives an image of the detection target portion 3a from the imaging unit 41. The parameter setting unit 52 can detect vibrations of the detection target portion 3a of the head unit 3 (capture unit 322) based on the image captured by the imaging unit 41. Then, the parameter setting unit 52 sets control parameters based on the vibrations of the detection target portion 3a when the moving head unit 3 stops.

ヘッド制御部53は、アクチュエータ321及び捕捉部322を制御する。具体的に、ヘッド制御部53は、アクチュエータ321を制御することで、捕捉部322をZ軸方向及びθ方向に移動させる。また、ヘッド制御部53は、捕捉部322を制御することで、捕捉部322による部品9の捕捉状態と部品9の解放状態とを切り替える。The head control unit 53 controls the actuator 321 and the capture unit 322. Specifically, the head control unit 53 controls the actuator 321 to move the capture unit 322 in the Z-axis direction and the θ direction. The head control unit 53 also controls the capture unit 322 to switch between a capture state of the part 9 by the capture unit 322 and a release state of the part 9.

(2.6)制御パラメータ設定方法
上述の駆動システム1及び作業システム2は、捕捉部322が部品9を部品供給部から吸着し、基板81の実装面811に装着する装着作業を行う。具体的に、捕捉部322が部品9を吸着すると、ヘッド部3は、駆動部6によって、X-Y平面内を基板81の上方の動作ポジションに向かって移動し、動作ポジションで停止する。詳細には、捕捉部322が部品9を吸着すると、駆動制御部51は、指令値に応じた移動指令を駆動部6に出力し、ヘッド部3は駆動部6によって、目標位置に向かって移動する。単位時間あたりの移動量を示す移動指令が0、つまり停止指令が駆動制御部51から駆動部6に出力されたとき、ヘッド部3は目標位置に達しているのではなく、目標位置とヘッド部3の現在位置との間には偏差が存在する。すなわち、ヘッド部3の目標位置に相当する指令値とヘッド部3の現在位置に相当する制御量との間には偏差が存在する。そして、停止指令が出力された時点からの目標位置とヘッド部3の現在位置との間の偏差(指令値と制御量との間の偏差)が減衰しながら、ヘッド部3は目標位置に到達して、停止する。なお、「ヘッド部3が停止する」とは、駆動部6の駆動力がなくなることによって、駆動部6の駆動力によるヘッド部3の移動が停止する、ことを意味する。すなわち、ヘッド部3が停止している状態で、ヘッド部3が振動することはあり得る。
(2.6) Control Parameter Setting Method The drive system 1 and the working system 2 described above perform a mounting operation in which the capture unit 322 picks up the component 9 from the component supply unit and mounts it on the mounting surface 811 of the board 81. Specifically, when the capture unit 322 picks up the component 9, the head unit 3 is moved by the drive unit 6 in the XY plane toward an operating position above the board 81, and stops at the operating position. In detail, when the capture unit 322 picks up the component 9, the drive control unit 51 outputs a movement command corresponding to the command value to the drive unit 6, and the head unit 3 is moved toward the target position by the drive unit 6. When the movement command indicating the amount of movement per unit time is 0, that is, when a stop command is output from the drive control unit 51 to the drive unit 6, the head unit 3 does not reach the target position, and there is a deviation between the target position and the current position of the head unit 3. In other words, there is a deviation between the command value corresponding to the target position of the head unit 3 and the control amount corresponding to the current position of the head unit 3. Then, while the deviation between the target position from the time when the stop command was output and the current position of the head unit 3 (deviation between the command value and the control amount) is attenuated, the head unit 3 reaches the target position and stops. Note that "the head unit 3 stops" means that the driving force of the drive unit 6 is lost, and the movement of the head unit 3 caused by the driving force of the drive unit 6 stops. In other words, it is possible for the head unit 3 to vibrate when it is stopped.

しかし、移動しているヘッド部3が動作ポジションで停止するときに、ヘッド部3は慣性力によって振動する(図4参照)。特に、ヘッド部3の先端の検出対象部位3a(捕捉部322の下端)が大きく振動する。ヘッド部3が大きく振動していると、アクチュエータ321及び捕捉部322による装着精度が低下してしまう。あるいは、ヘッド部3の振動が収まるまで動作ポジションで待機させる待機時間が長くなり、装着作業の生産性が低下してしまう。However, when the moving head unit 3 stops at the operating position, the head unit 3 vibrates due to inertial forces (see Figure 4). In particular, the detection target portion 3a at the tip of the head unit 3 (the lower end of the capture unit 322) vibrates significantly. If the head unit 3 vibrates significantly, the mounting accuracy of the actuator 321 and the capture unit 322 decreases. Alternatively, the waiting time required to wait in the operating position until the vibration of the head unit 3 subsides becomes longer, reducing the productivity of the mounting work.

そこで、パラメータ設定部52が図5に示す制御パラメータ設定方法を実行する。この制御パラメータ設定方法は、駆動部6によるヘッド部3の移動を制御するための制御パラメータを設定することで、移動しているヘッド部3が動作ポジションで停止するときの振動(変位)を減少させる。Therefore, the parameter setting unit 52 executes the control parameter setting method shown in Fig. 5. This control parameter setting method reduces vibration (displacement) when the moving head unit 3 stops at the operating position by setting control parameters for controlling the movement of the head unit 3 by the drive unit 6.

ここで、「振動(変位)を減少させる」とは、以下の2つの概念を含む。
・ヘッド部3に発生する振動の振幅(振動の中心からの最大の変位)を減少させる。
・整定時間を短くする。
Here, "reducing vibration (displacement)" includes the following two concepts.
The amplitude of vibration (maximum displacement from the center of vibration) generated in the head portion 3 is reduced.
・Shorten the settling time.

ヘッド部3の位置制御には、フィードバック制御が用いられる。そして、ヘッド部3を停止させるときのフィードバック制御では、制御量(現在位置)と指令値(目標位置)との偏差が大きいと整定時間が長くなる。なお、整定時間とは、ヘッド部3の振動が許容値以内に収束するまでに要する時間である。例えば、調整対象となる制御パラメータを、フィードバック制御の応答性を設定するパラメータである「ゲイン」とする。この場合、ゲインが大きい程、フィードバック制御の応答性は向上するが、オーバシュートが発生しやすくなって、振動が増大する傾向になる。また、ゲインが小さい程、オーバシュートが発生し難く、振動は低減するが、整定時間が長くなることで、作業時間が長くなる。 Feedback control is used to control the position of the head unit 3. In feedback control when stopping the head unit 3, if the deviation between the control amount (current position) and the command value (target position) is large, the settling time becomes longer. The settling time is the time required for the vibration of the head unit 3 to converge within an allowable value. For example, the control parameter to be adjusted is "gain," which is a parameter that sets the responsiveness of the feedback control. In this case, the larger the gain, the better the responsiveness of the feedback control, but overshooting becomes more likely to occur and vibrations tend to increase. Also, the smaller the gain, the less likely overshooting occurs and vibrations are reduced, but the longer the settling time, the longer the working time.

上述のように、本実施形態では、移動しているヘッド部3が停止するときの検出対象部位3aの振動(変位)が減少するように制御パラメータを設定することで、装着精度の確保と作業時間の短縮とを両立させている。As described above, in this embodiment, the control parameters are set so as to reduce the vibration (displacement) of the detection target area 3a when the moving head unit 3 stops, thereby ensuring installation accuracy and reducing work time.

まず、捕捉部322が部品9を捕捉した後、ヘッド部3は、駆動部6によって、X-Y平面内を基板81の上方の動作ポジションに向かって移動する。そして、ヘッド部3が動作ポジションに到着すると、駆動部6はヘッド部3の移動を停止させる。First, after the capturing unit 322 captures the component 9, the head unit 3 is moved by the drive unit 6 within the XY plane toward the operating position above the substrate 81. Then, when the head unit 3 reaches the operating position, the drive unit 6 stops the movement of the head unit 3.

撮像部41は、少なくとも、移動しているヘッド部3が動作ポジションで停止する直前の検出対象部位3aを撮像することで、検出対象部位3aの振動(変位)を検出する(変位検出ステップS1)。なお、撮像部41は、常に撮像する構成であってもよい。また、撮像部41は、ヘッド部3の制御量と指令値との偏差が閾値以下になると撮像を開始する構成であってもよい。また、撮像部41は、駆動制御部51が駆動部6に対する移動指令を完了した時点(停止指令が出力された時点)で撮像を開始する構成であってもよい。また、撮像部41は、ヘッド部3の制御量が指令値に一致すると撮像を開始する構成であってもよい。The imaging unit 41 detects vibration (displacement) of the detection target part 3a by capturing an image of at least the detection target part 3a immediately before the moving head unit 3 stops at the operating position (displacement detection step S1). The imaging unit 41 may be configured to capture images at all times. The imaging unit 41 may also be configured to start capturing images when the deviation between the control amount of the head unit 3 and the command value becomes equal to or less than a threshold. The imaging unit 41 may also be configured to start capturing images when the drive control unit 51 completes the movement command to the drive unit 6 (when a stop command is output). The imaging unit 41 may also be configured to start capturing images when the control amount of the head unit 3 matches the command value.

パラメータ設定部52は、撮像部41の撮像画像のデータを受け取る。撮像画像は、動画又は時系列に沿って撮像された複数の静止画像であり、振動(変位)の時間変動の情報が含まれている。したがって、パラメータ設定部52は、撮像画像に基づいて、検出対象部位3aに発生した振動の振幅、周波数及び周期の少なくとも1つを振動情報として求めることができる。そして、パラメータ設定部52は、振動情報に基づいて制御パラメータを決定する(パラメータ設定ステップS2)。The parameter setting unit 52 receives data of the captured image from the imaging unit 41. The captured image is a video or a plurality of still images captured in a time series, and contains information on the time variation of the vibration (displacement). Therefore, the parameter setting unit 52 can determine at least one of the amplitude, frequency, and period of the vibration generated in the detection target area 3a as vibration information based on the captured image. The parameter setting unit 52 then determines the control parameters based on the vibration information (parameter setting step S2).

具体的に、パラメータ設定部52は、撮像画像に基づいて、振動の振幅及び周波数、及びそれらの時間変化を振動情報として求めることで、振動の過渡特性を解析する。パラメータ設定部52は、振動の過渡特性の解析結果に基づいて、フィードバック制御の整定時間が最小になる制御パラメータを求める。あるいは、パラメータ設定部52は、振動情報に基づいて、フィードバック制御の整定時間が閾値以下になる制御パラメータを求めてもよい。Specifically, the parameter setting unit 52 analyzes the transient characteristics of the vibration by determining the amplitude and frequency of the vibration and their changes over time as vibration information based on the captured image. Based on the analysis results of the transient characteristics of the vibration, the parameter setting unit 52 determines the control parameters that minimize the settling time of the feedback control. Alternatively, the parameter setting unit 52 may determine the control parameters that make the settling time of the feedback control equal to or less than a threshold value based on the vibration information.

駆動システム1及び作業システム2は、上述の変位検出ステップS1及びパラメータ設定ステップS2を含む制御パラメータ設定方法を、複数の動作ポジションのそれぞれにおいて実行する。この結果、パラメータ設定部52は、複数の動作ポジションのそれぞれにおいて、装着精度の確保と待機時間の短縮とを両立させることのできる制御パラメータを決定できる。そして、パラメータ設定部52は、複数の動作ポジションのそれぞれに個別に対応する複数の制御パラメータをフィードバック制御に設定する。この場合、駆動制御部51は、複数の動作ポジションのそれぞれに適した制御パラメータを用いてフィードバック制御を行うことができる。The drive system 1 and the working system 2 execute the control parameter setting method including the above-mentioned displacement detection step S1 and parameter setting step S2 for each of the multiple operating positions. As a result, the parameter setting unit 52 can determine control parameters that can ensure both mounting accuracy and shorten waiting time for each of the multiple operating positions. The parameter setting unit 52 then sets multiple control parameters for feedback control that individually correspond to each of the multiple operating positions. In this case, the drive control unit 51 can perform feedback control using control parameters suitable for each of the multiple operating positions.

また、パラメータ設定部52は、複数の動作ポジションのそれぞれに対応する制御パラメータの平均値、中央値、最大値、又は最小値を代表値とし、この代表値を複数の動作ポジションに共通の制御パラメータとして設定してもよい。あるいは、パラメータ設定部52は、複数の動作ポジションでヘッド部3に発生する振動を検出し、それらの検出結果から複数の動作ポジションに共通のゲインをフィードバック制御に設定してもよい。この場合、上述の変位検出ステップS1とパラメータ設定ステップS2との間に、全ての動作ポジションで変位検出ステップS1を行ったか否かを判定する判定ステップを設ける。例えば、パラメータ設定部52は、全ての動作ポジションにおける変位検出ステップS1の処理が完了するまで、変位検出ステップS1を繰り返す。パラメータ設定部52は、全ての動作ポジションにおける変位検出ステップS1の処理が完了すれば、全ての動作ポジションでの検出結果に基づいて、全ての動作ポジションに共通のゲインをフィードバック制御に設定する。 The parameter setting unit 52 may also set the average value, median value, maximum value, or minimum value of the control parameters corresponding to each of the multiple operating positions as a representative value, and set this representative value as a control parameter common to the multiple operating positions. Alternatively, the parameter setting unit 52 may detect vibrations occurring in the head unit 3 at multiple operating positions, and set a gain common to the multiple operating positions for feedback control based on the detection results. In this case, between the above-mentioned displacement detection step S1 and the parameter setting step S2, a determination step is provided for determining whether or not the displacement detection step S1 has been performed at all operating positions. For example, the parameter setting unit 52 repeats the displacement detection step S1 until the processing of the displacement detection step S1 at all operating positions is completed. When the processing of the displacement detection step S1 at all operating positions is completed, the parameter setting unit 52 sets a gain common to all operating positions for feedback control based on the detection results at all operating positions.

以降、駆動システム1及び作業システム2では、駆動制御部51は、パラメータ設定部52が設定した制御パラメータを用いてフィードバック制御を行う。なお、パラメータ設定部52によるパラメータ設定は、本システムの工場からの出荷前、現場での施工時、定期メンテナンスを行うとき、及び稼働中のうち、少なくとも1つのタイミングで行われる。 After that, in the drive system 1 and the work system 2, the drive control unit 51 performs feedback control using the control parameters set by the parameter setting unit 52. Note that the parameter setting by the parameter setting unit 52 is performed at least at one of the following times: before the system is shipped from the factory, during construction on-site, when performing regular maintenance, and during operation.

上述のように、駆動システム1及び作業システム2は、ヘッド部3とともに移動する撮像部41を用いて、複数の動作ポジションにおける検出対象部位3aの振動を検出する。そして、駆動システム1及び作業システム2は、複数の動作ポジションのそれぞれにおいてヘッド部3に発生する振動を低減できる適切な制御パラメータを決定する。この結果、駆動システム1及び作業システム2は、据え置き型のレーザ測長器を用いてヘッド部3の振動を検出する構成に比べて、複数の動作ポジションで振動を測定する手間を抑えて、適切なゲインの設定ができる。すなわち、駆動システム1及び作業システム2は、制御パラメータを適切に設定することでヘッド部3に発生する振動を抑制し、ヘッド部3の移動範囲で高精度な作業を可能とする。As described above, the drive system 1 and the work system 2 detect vibrations of the detection target part 3a in multiple operating positions using the imaging unit 41 that moves with the head unit 3. The drive system 1 and the work system 2 then determine appropriate control parameters that can reduce vibrations generated in the head unit 3 in each of the multiple operating positions. As a result, the drive system 1 and the work system 2 can set appropriate gains with less effort required to measure vibrations in multiple operating positions compared to a configuration that detects vibrations of the head unit 3 using a stationary laser length measuring device. In other words, the drive system 1 and the work system 2 suppress vibrations generated in the head unit 3 by appropriately setting the control parameters, enabling high-precision work within the movement range of the head unit 3.

また、駆動システム1及び作業システム2は、システムの量産機毎のパラメータ設定を容易に行うことができる。この結果、駆動システム1及び作業システム2は、システムの個体差を考慮したパラメータ設定を容易に行うことができる。 In addition, the drive system 1 and the work system 2 can easily set parameters for each mass-produced machine of the system. As a result, the drive system 1 and the work system 2 can easily set parameters that take into account the individual differences of the systems.

また、変位検出部4は、ヘッド部3に取り付けられている。この結果、駆動システム1及び作業システム2は、ヘッド部3が移動して停止する位置に関わらず、ヘッド部3の振動を検出することができる。 In addition, the displacement detection unit 4 is attached to the head unit 3. As a result, the drive system 1 and the work system 2 can detect the vibration of the head unit 3 regardless of the position to which the head unit 3 moves and stops.

また、パラメータ設定部52は、装着作業を行うために移動しているヘッド部3が停止するときの振動の検出結果に基づいて、制御パラメータを設定している。すなわち、駆動システム1及び作業システム2は、装着作業を実行しながらパラメータ設定を行うことができるので、パラメータ設定を行うための時間を装着作業の時間と別に準備する必要がなく、使い勝手が向上する。 The parameter setting unit 52 sets the control parameters based on the vibration detection results when the head unit 3 stops moving to perform the mounting work. In other words, the drive system 1 and the work system 2 can set parameters while performing the mounting work, so there is no need to set aside time for parameter setting in addition to the time for the mounting work, improving usability.

また、制御部5がコンピュータを備えていれば、このコンピュータが実行するプログラムは、コンピュータに上述のパラメータ設定ステップS2の動作を実行させる。 Furthermore, if the control unit 5 is equipped with a computer, the program executed by this computer causes the computer to perform the operation of the parameter setting step S2 described above.

(3)第1変形例
本変形例では、駆動制御部51は、可動部61の位置の検出結果及び検出対象部位3aの変位の検出結果に基づいて、ヘッド部3の位置を示す制御量を求め、制御量が指令値に追従するように、可動部61を運動させる。
(3) First Modified Example In this modified example, the drive control unit 51 calculates a control amount indicating the position of the head unit 3 based on the detection results of the position of the movable part 61 and the detection results of the displacement of the detection target part 3a, and moves the movable part 61 so that the control amount follows the command value.

具体的に、駆動制御部51は、位置検出部62のエンコーダの出力を可動部61の位置情報として受け取り、可動部61の位置情報に基づいて、可動部61の位置を把握できる。さらに、駆動制御部51は、撮像部41の撮像画像に基づいて、検出対象部位3aの振動の発生状況(振幅、周波数、周期、及びそれらの時間変化など)を把握できる。そこで、駆動制御部51は、可動部61の位置だけでなく、検出対象部位3aの振動の発生状況も用いて、ヘッド部3の位置(現在位置)を求め、このヘッド部3の位置を示す制御量を求める。すなわち、本変形例の駆動制御部51は、可動部61の位置の検出結果と検出対象部位3aの振動の検出結果とに基づいて、制御量を求める。この場合、駆動制御部51は、ヘッド部3の実際の振れを反映させたヘッド部3の現在位置を制御量として求めることができる。Specifically, the drive control unit 51 receives the output of the encoder of the position detection unit 62 as position information of the movable unit 61, and can grasp the position of the movable unit 61 based on the position information of the movable unit 61. Furthermore, the drive control unit 51 can grasp the occurrence status (amplitude, frequency, period, and their time changes, etc.) of the vibration of the detection target part 3a based on the image captured by the imaging unit 41. Therefore, the drive control unit 51 uses not only the position of the movable unit 61 but also the occurrence status of the vibration of the detection target part 3a to obtain the position (current position) of the head unit 3, and obtains a control amount indicating the position of the head unit 3. That is, the drive control unit 51 of this modified example obtains the control amount based on the detection result of the position of the movable unit 61 and the detection result of the vibration of the detection target part 3a. In this case, the drive control unit 51 can obtain the current position of the head unit 3 reflecting the actual vibration of the head unit 3 as the control amount.

したがって、駆動システム1は、ヘッド部3の振れを反映させた制御量を用いるので、ヘッド部3の位置決め精度を向上させることができる。 Therefore, since the drive system 1 uses a control amount that reflects the vibration of the head unit 3, the positioning accuracy of the head unit 3 can be improved.

また、本変形例の制御量を用いる駆動システム1においても、上述の実施形態と同様に制御パラメータを調整することで、ヘッド部3を動作ポジションに停止させるときに、ヘッド部3の振動の振幅を減少させることができる。 Furthermore, in the drive system 1 using the control amount of this modified example, by adjusting the control parameters in the same manner as in the above-described embodiment, the amplitude of vibration of the head unit 3 can be reduced when the head unit 3 is stopped in the operating position.

(4)第2変形例
図6は、作業システムの変形例として、作業システム2Aを示す。
(4) Second Modification FIG. 6 shows a work system 2A as a modification of the work system.

作業システム2Aは、変位検出部4を構成要件から外している。すなわち、変位検出部4は、作業システム2Aに含まれない。この場合、作業システム2Aの製造メーカと、変位検出部4の製造メーカとが異なっていても、駆動システム1を構成することができる。The work system 2A excludes the displacement detection unit 4 from its configuration requirements. In other words, the displacement detection unit 4 is not included in the work system 2A. In this case, the drive system 1 can be constructed even if the manufacturer of the work system 2A and the manufacturer of the displacement detection unit 4 are different.

(5)第3変形例
パラメータ設定部52が設定する制御パラメータはゲイン以外であってもよく、パラメータ設定部52は、2つ以上の制御パラメータを設定してもよい。すなわち、パラメータ設定部52は、ゲイン、移動速度、加速時間、及び減速時間などの少なくとも1つを制御パラメータとして設定すればよい。
(5) Third Modification The control parameter set by the parameter setting unit 52 may be a parameter other than the gain, and the parameter setting unit 52 may set two or more control parameters. That is, the parameter setting unit 52 may set at least one of the gain, the moving speed, the acceleration time, and the deceleration time as the control parameter.

変位検出部4は、ヘッド部3とともに移動し、ヘッド部3の検出対象部位3aの変位を検出する機能を有していればよく、撮像部41を備える構成に限定されない。例えば、変位検出部4は、レーザ装置、又は加速度センサなどを備える構成であってもよい。The displacement detection unit 4 is not limited to a configuration including an imaging unit 41 as long as it moves with the head unit 3 and has a function of detecting the displacement of the detection target portion 3a of the head unit 3. For example, the displacement detection unit 4 may be configured to include a laser device or an acceleration sensor.

また、変位検出部4は、ヘッド部3と別体に構成されてもよい。この場合、駆動システム又は作業システムは、変位検出部4をヘッド部3と同期させてヘッド部3とともに移動させる変位検出部用の駆動部を更に備える。In addition, the displacement detection unit 4 may be configured separately from the head unit 3. In this case, the drive system or the working system further includes a drive unit for the displacement detection unit that moves the displacement detection unit 4 together with the head unit 3 in synchronization with the head unit 3.

変位検出部4が備える撮像部41は、2つのカメラ411、412を備える構成に限定されない。撮像部41は、1つ又は3つ以上のカメラを有する構成であってもよい。The imaging unit 41 of the displacement detection unit 4 is not limited to a configuration including two cameras 411 and 412. The imaging unit 41 may be configured to include one camera or three or more cameras.

変位検出部4は、上述のようにヘッド部3が振動している場合の変位を検出するだけに限定されず、ヘッド部3が振動していない場合の変位を検出してもよい。つまり、パラメータ設定部52が実行する制御パラメータ設定方法は、移動しているヘッド部3が停止するときにヘッド部3が振動していない場合であっても、駆動部6によるヘッド部3の移動を制御するための制御パラメータを調整することで、ヘッド部3が停止するときの変位を減少させる。The displacement detection unit 4 is not limited to detecting the displacement when the head unit 3 is vibrating as described above, but may also detect the displacement when the head unit 3 is not vibrating. In other words, the control parameter setting method executed by the parameter setting unit 52 reduces the displacement when the head unit 3 stops by adjusting the control parameters for controlling the movement of the head unit 3 by the drive unit 6, even if the moving head unit 3 is not vibrating when it stops.

駆動部6の可動部61は、ヘッド部3に駆動力を付与するために運動する可動部であればよく、直線運動するスライダに限定されない。例えば、駆動部6は、回転サーボモータを含み、回転運動する回転子を可動部61として有してもよい。あるいは、駆動部6は平面サーボモータを含み、固定子の表面を自在に移動する可動子を可動部61として有してもよい。The movable part 61 of the drive unit 6 may be any movable part that moves to apply a driving force to the head unit 3, and is not limited to a slider that moves linearly. For example, the drive unit 6 may include a rotary servo motor, and have a rotor that rotates as the movable part 61. Alternatively, the drive unit 6 may include a planar servo motor, and have a mover that moves freely on the surface of a stator as the movable part 61.

駆動システム1及び作業システム2が作業対象8に施す作業は、装着に限定されない。作業は、例えば検査、塗布、ボンディング、又は移載などであってもよい。言い換えると、ヘッド部3の作業部32は、吸着ノズルを備える構成に限定されない。作業部32は、作業対象8の検査情報を収集する検査部を備える構成であってもよい。また、作業部32は、作業対象8に塗料を塗布する塗布部を備える構成であってもよい。また、作業部32は、作業対象8にボンディングを行うボンディング部を備える構成であってもよい。また、作業部32は、作業対象8を移動させる移載部を備える構成であってもよい。The work performed by the drive system 1 and the working system 2 on the work object 8 is not limited to attachment. The work may be, for example, inspection, coating, bonding, or transfer. In other words, the working unit 32 of the head unit 3 is not limited to a configuration including a suction nozzle. The working unit 32 may be configured to include an inspection unit that collects inspection information on the work object 8. The working unit 32 may also be configured to include a coating unit that applies paint to the work object 8. The working unit 32 may also be configured to include a bonding unit that bonds the work object 8. The working unit 32 may also be configured to include a transfer unit that moves the work object 8.

作業対象8は、基板81以外であってもよい。作業対象8は、例えば電子機器、電気機器、組立品、成形品、生成物、又はその他の製品などであってもよい。The work object 8 may be something other than the substrate 81. The work object 8 may be, for example, an electronic device, an electrical device, an assembly, a molded product, a finished product, or other product.

(6)まとめ
実施形態に係る第1の態様の作業システム(2)は、ヘッド部(3)と、変位検出部(4)と、パラメータ設定部(52)と、を備える。ヘッド部(3)は、駆動部(6)から付与される駆動力によって作業対象(8)に向かって移動し、作業対象(8)に作業を施す。変位検出部(4)は、ヘッド部(3)とともに移動し、ヘッド部(3)の少なくとも一部である検出対象部位(3a)の変位を検出する。パラメータ設定部(52)は、移動しているヘッド部(3)が停止するときの変位の検出結果に基づいて、駆動部(6)によるヘッド部(3)の移動を制御するための制御パラメータを設定する。
(6) Summary The work system (2) of the first aspect according to the embodiment includes a head unit (3), a displacement detection unit (4), and a parameter setting unit (52). The head unit (3) moves toward a work object (8) by a driving force applied from a driving unit (6) and performs work on the work object (8). The displacement detection unit (4) moves together with the head unit (3) and detects the displacement of a detection target portion (3a) which is at least a part of the head unit (3). The parameter setting unit (52) sets a control parameter for controlling the movement of the head unit (3) by the driving unit (6) based on the detection result of the displacement when the moving head unit (3) stops.

上述の作業システム(2)は、制御パラメータを適切に設定することでヘッド部(3)に発生する振動を抑制し、ヘッド部(3)の移動範囲で高精度な作業を可能とする。 The above-mentioned work system (2) suppresses vibrations generated in the head unit (3) by appropriately setting the control parameters, enabling high-precision work within the range of movement of the head unit (3).

実施形態に係る第2の態様の作業システム(2)では、第1の態様において、パラメータ設定部(52)は、移動しているヘッド部(3)が停止するときの変位が減少するように制御パラメータを設定することが好ましい。In the second aspect of the working system (2) according to the embodiment, in the first aspect, it is preferable that the parameter setting unit (52) sets the control parameters so that the displacement of the moving head unit (3) is reduced when it stops.

上述の作業システム(2)は、作業精度の確保と待機時間の短縮とを両立させることができる。 The above-mentioned work system (2) can ensure work accuracy while reducing waiting time.

実施形態に係る第3の態様の作業システム(2)では、第1又は第2の態様において、変位検出部(4)は、ヘッド部(3)に設けられていることが好ましい。In the third aspect of the working system (2) according to the embodiment, in the first or second aspect, it is preferable that the displacement detection unit (4) is provided in the head unit (3).

上述の作業システム(2)は、ヘッド部(3)が移動して停止する位置に関わらず、検出対象部位(3a)の変位を検出することができる。The above-mentioned work system (2) can detect the displacement of the detection target part (3a) regardless of the position to which the head part (3) moves and stops.

実施形態に係る第4の態様の作業システム(2)では、第1乃至第3の態様のいずれか1つにおいて、変位検出部(4)は、検出対象部位(3a)を撮像する撮像部(41)を含むことが好ましい。In the fourth aspect of the working system (2) according to the embodiment, in any one of the first to third aspects, it is preferable that the displacement detection unit (4) includes an imaging unit (41) that images the detection target area (3a).

上述の作業システム(2)は、検出対象部位(3a)の変位の検出結果を画像データとして生成でき、変位の解析処理が容易になる。The above-mentioned work system (2) can generate the detection results of the displacement of the detection target area (3a) as image data, making it easier to analyze the displacement.

実施形態に係る第5の態様の作業システム(2)では、第1乃至第4の態様のいずれか1つにおいて、ヘッド部(3)は、作業対象(8)に作業を施す作業部(32)と、作業部(32)が取付けられ、駆動部(6)によって移動するヘッド本体(31)と、を有する。検出対象部位(3a)は、作業部(32)の先端を含むことが好ましい。In the fifth aspect of the working system (2) according to the embodiment, in any one of the first to fourth aspects, the head unit (3) has a working unit (32) that performs work on the work target (8), and a head body (31) to which the working unit (32) is attached and which is moved by a drive unit (6). It is preferable that the detection target portion (3a) includes the tip of the working unit (32).

上述の作業システム(2)は、ヘッド部(3)のうち、ヘッド部(3)の変位が顕著に表れる部位を検出対象部位(3a)とすることで、検出対象部位(3a)の変位を容易に検出できる。The above-mentioned work system (2) can easily detect the displacement of the detection target part (3a) by designating a part of the head part (3) where the displacement of the head part (3) is noticeable as the detection target part (3a).

実施形態に係る第6の態様の作業システム(2)では、第1乃至第5の態様のいずれか1つにおいて、パラメータ設定部(52)は、変位の時間変動に基づいて、検出対象部位(3a)に発生した振動の振幅、周波数及び周期の少なくとも1つを振動情報として求めることが好ましい。パラメータ設定部(52)は、振動情報に基づいて制御パラメータを決定する。In the sixth aspect of the working system (2) according to the embodiment, in any one of the first to fifth aspects, the parameter setting unit (52) preferably determines, as vibration information, at least one of the amplitude, frequency, and period of the vibration generated in the detection target portion (3a) based on the time variation of the displacement. The parameter setting unit (52) determines the control parameters based on the vibration information.

上述の作業システム(2)は、振動を解析することで、制御パラメータをより適切に設定できる。 The above-mentioned work system (2) can more appropriately set control parameters by analyzing vibrations.

実施形態に係る第7の態様の作業システム(2)では、第1乃至第6の態様のいずれか1つにおいて、ヘッド部(3)は、部品(9)を捕捉する捕捉部(322)を備え、作業として、作業対象(8)に部品(9)を装着する装着作業を行うことが好ましい。In the seventh aspect of the working system (2) according to the embodiment, in any one of the first to sixth aspects, it is preferable that the head unit (3) is provided with a capture unit (322) that captures the part (9), and the work performed is an attachment work of attaching the part (9) to the work object (8).

上述の作業システム(2)は、装着作業を行うヘッド部(3)の制御に対して、適切な制御パラメータを容易に設定できるので、装着精度の向上と、装着に要する時間の短縮と、を両立させることができる。 The above-mentioned work system (2) allows for easy setting of appropriate control parameters for controlling the head unit (3) that performs the mounting work, thereby achieving both improved mounting accuracy and a reduction in the time required for mounting.

実施形態に係る第8の態様の作業システム(2)では、第7の態様において、パラメータ設定部(52)は、装着作業を行うために移動しているヘッド部(3)が停止するときの変位の検出結果に基づいて、制御パラメータを設定することが好ましい。In the eighth aspect of the working system (2) according to the embodiment, in the seventh aspect, it is preferable that the parameter setting unit (52) sets the control parameters based on the detection result of the displacement when the head unit (3) moving to perform the mounting work stops.

上述の作業システム(2)は、一連の装着作業を実行しながら制御パラメータの設定を行うことができるので、制御パラメータの設定を行うための時間を装着作業の時間と別に準備する必要がなく、使い勝手が向上する。The above-mentioned work system (2) allows the control parameters to be set while a series of installation tasks are being performed, eliminating the need to set aside time for setting the control parameters in addition to the time required for the installation tasks, thereby improving usability.

実施形態に係る第9の態様の作業システム(2)では、第1乃至第8の態様のいずれか1つにおいて、制御パラメータは、駆動部(6)の応答性に関するゲインであることが好ましい。In the work system (2) of the ninth aspect of the embodiment, in any one of the first to eighth aspects, it is preferable that the control parameter is a gain related to the responsiveness of the drive unit (6).

上述の作業システム(2)は、ゲインを設定することで、検出対象部位(3a)の変位を設定することができる。 The above-mentioned work system (2) can set the displacement of the detection target part (3a) by setting the gain.

実施形態に係る第10の態様の作業システム(2A)は、ヘッド部(3)と、パラメータ設定部(52)と、を備える。ヘッド部(3)は、駆動部(6)から付与される駆動力によって作業対象(8)に向かって移動し、作業対象(8)に作業を施す。パラメータ設定部(52)は、駆動部(6)によるヘッド部(3)の移動を制御するための制御パラメータを設定する。パラメータ設定部(52)は、ヘッド部(3)とともに移動する変位検出部(4)から、ヘッド部(3)の少なくとも一部である検出対象部位(3a)の変位の検出結果を取得する。パラメータ設定部(52)は、移動しているヘッド部(3)が停止するときの変位の検出結果に基づいて、制御パラメータを設定する。A work system (2A) according to a tenth aspect of the embodiment includes a head unit (3) and a parameter setting unit (52). The head unit (3) moves toward a work object (8) by a driving force applied from a driving unit (6) and performs work on the work object (8). The parameter setting unit (52) sets a control parameter for controlling the movement of the head unit (3) by the driving unit (6). The parameter setting unit (52) acquires a detection result of the displacement of a detection target portion (3a), which is at least a part of the head unit (3), from a displacement detection unit (4) that moves together with the head unit (3). The parameter setting unit (52) sets a control parameter based on the detection result of the displacement when the moving head unit (3) stops.

上述の作業システム(2A)は、制御パラメータを適切に設定することでヘッド部(3)に発生する振動を抑制し、ヘッド部(3)の移動範囲で高精度な作業を可能とする。 The above-mentioned work system (2A) suppresses vibrations generated in the head unit (3) by appropriately setting the control parameters, enabling high-precision work within the range of movement of the head unit (3).

実施形態に係る第11の態様の駆動システム(1)は、第1乃至第10の態様のいずれか1つ作業システム(2、2A)と、駆動部(6)と、を備える。The drive system (1) of the eleventh aspect of the embodiment comprises an operating system (2, 2A) of any one of the first to tenth aspects and a drive unit (6).

上述の駆動システム(1)は、制御パラメータを適切に設定することでヘッド部(3)に発生する振動を抑制し、ヘッド部(3)の移動範囲で高精度な作業を可能とする。 The above-mentioned drive system (1) suppresses vibrations generated in the head unit (3) by appropriately setting the control parameters, enabling high-precision work within the range of movement of the head unit (3).

実施形態に係る第12の態様の駆動システム(1)では、第11の態様において、駆動部(6)は、ヘッド部(3)に駆動力を付与するために運動する可動部(61)を有することが好ましい。駆動システム(1)は、位置検出部(62)と、駆動制御部(51)と、を更に備えることが好ましい。位置検出部(62)は、可動部(61)の位置を検出する。駆動制御部(51)は、ヘッド部(3)の位置を指示する指令値に基づいて可動部(61)を制御する。駆動制御部(51)は、変位の検出結果及び可動部(61)の位置の検出結果に基づいて、ヘッド部(3)の位置を示す制御量を求め、制御量が指令値に追従するように、可動部(61)を運動させる。In the drive system (1) of the twelfth aspect of the embodiment, in the eleventh aspect, it is preferable that the drive unit (6) has a movable unit (61) that moves to apply a driving force to the head unit (3). It is preferable that the drive system (1) further includes a position detection unit (62) and a drive control unit (51). The position detection unit (62) detects the position of the movable unit (61). The drive control unit (51) controls the movable unit (61) based on a command value that indicates the position of the head unit (3). The drive control unit (51) determines a control amount that indicates the position of the head unit (3) based on the detection result of the displacement and the detection result of the position of the movable unit (61), and moves the movable unit (61) so that the control amount follows the command value.

上述の駆動システム(1)は、フィードバック制御の精度を向上させることができる。 The above-mentioned drive system (1) can improve the accuracy of feedback control.

実施形態に係る第13の態様のパラメータ設定方法は、変位検出ステップ(S1)と、パラメータ設定ステップ(S2)と、を含む。変位検出ステップ(S1)は、駆動部(6)から付与される駆動力によって作業対象(8)に向かって移動し、作業対象(8)に作業を施すヘッド部(3)の少なくとも一部である検出対象部位(3a)の変位を、ヘッド部(3)とともに移動する変位検出部(4)を用いて検出する。パラメータ設定ステップ(S2)は、移動しているヘッド部(3)が停止するときの変位の検出結果に基づいて、駆動部(6)によるヘッド部(3)の移動を制御するための制御パラメータを設定する。The parameter setting method of the thirteenth aspect of the embodiment includes a displacement detection step (S1) and a parameter setting step (S2). The displacement detection step (S1) detects the displacement of a detection target portion (3a), which is at least a part of a head unit (3) that moves toward a work target (8) by a driving force applied from a drive unit (6) and performs work on the work target (8), using a displacement detection unit (4) that moves together with the head unit (3). The parameter setting step (S2) sets a control parameter for controlling the movement of the head unit (3) by the drive unit (6) based on the detection result of the displacement when the moving head unit (3) stops.

上述のパラメータ設定方法は、制御パラメータを適切に設定することでヘッド部(3)に発生する振動を抑制し、ヘッド部(3)の移動範囲で高精度な作業を可能とする。 The above-mentioned parameter setting method suppresses vibrations generated in the head unit (3) by appropriately setting the control parameters, enabling high-precision work within the range of movement of the head unit (3).

実施形態に係る第14の態様のプログラムは、コンピュータに、第13の態様のパラメータ設定方法のパラメータ設定ステップ(S2)を実行させる。 The program of the fourteenth aspect of the embodiment causes a computer to execute the parameter setting step (S2) of the parameter setting method of the thirteenth aspect.

上述のプログラムは、制御パラメータを適切に設定することでヘッド部(3)に発生する振動を抑制し、ヘッド部(3)の移動範囲で高精度な作業を可能とする。 The above-mentioned program suppresses vibrations generated in the head unit (3) by appropriately setting the control parameters, enabling high-precision work within the range of movement of the head unit (3).

1 駆動システム
2、2A 作業システム
3 ヘッド部
3a 検出対象部位
31 ヘッド本体
32 作業部
322 捕捉部
4 変位検出部
41 撮像部
51 駆動制御部
52 パラメータ設定部
6 駆動部
61 可動部
62 位置検出部
8 作業対象
9 部品
S1 変位検出ステップ
S2 パラメータ設定ステップ
REFERENCE SIGNS LIST 1 Drive system 2, 2A Work system 3 Head section 3a Detection target part 31 Head body 32 Work section 322 Capture section 4 Displacement detection section 41 Imaging section 51 Drive control section 52 Parameter setting section 6 Drive section 61 Movable section 62 Position detection section 8 Work target 9 Part S1 Displacement detection step S2 Parameter setting step

Claims (16)

駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施すヘッド部と、
前記ヘッド部とともに移動し、前記ヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位の変位を検出する変位検出部と、
移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定するパラメータ設定部と、を備え
前記変位検出部は、前記検出対象部位を撮像する撮像部を含む
作業システム。
a head unit that moves toward a work object by a driving force applied from a drive unit and performs a work on the work object;
a displacement detection unit that moves together with the head unit and detects a displacement of a detection target portion that is at least a part of the head unit;
a parameter setting unit that sets a control parameter for controlling the movement of the head unit by the drive unit based on a detection result of the displacement when the moving head unit stops ,
The displacement detection unit includes an imaging unit that images the detection target portion.
Working system.
前記パラメータ設定部は、移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位が減少するように前記制御パラメータを設定する
請求項1の作業システム。
The work system according to claim 1 , wherein the parameter setting unit sets the control parameters so that the displacement decreases when the moving head unit stops.
前記変位検出部は、前記ヘッド部に設けられている
請求項1又は2の作業システム。
The working system according to claim 1 or 2, wherein the displacement detection unit is provided in the head unit.
前記ヘッド部は、The head portion is
前記作業対象に前記作業を施す作業部と、A working unit that performs the work on the work object;
前記作業部が取付けられ、前記駆動部によって移動するヘッド本体と、を有し、a head body to which the working unit is attached and which is moved by the driving unit;
前記検出対象部位は、前記作業部の先端を含むThe detection target portion includes a tip of the working part.
請求項1乃至3のいずれか1つの作業システム。4. The operating system according to claim 1.
前記パラメータ設定部は、The parameter setting unit is
前記変位の時間変動に基づいて、前記検出対象部位に発生した振動の振幅、周波数及び周期の少なくとも1つを振動情報として求め、determining, as vibration information, at least one of an amplitude, a frequency, and a period of a vibration generated in the detection target portion based on a time variation of the displacement;
前記振動情報に基づいて前記制御パラメータを決定するdetermining the control parameters based on the vibration information
請求項1乃至4のいずれか1つの作業システム。5. The operating system according to claim 1.
前記ヘッド部は、The head portion is
部品を捕捉する捕捉部を備え、A catcher for capturing a part is provided,
前記作業として、前記作業対象に前記部品を装着する装着作業を行うAs the work, a mounting work is performed to mount the component on the work object.
請求項1乃至5のいずれか1つの作業システム。6. The operating system according to claim 1.
前記パラメータ設定部は、前記装着作業を行うために移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記制御パラメータを設定するThe parameter setting unit sets the control parameters based on a detection result of the displacement when the head unit, which is moving to perform the mounting operation, stops.
請求項6の作業システム。The operating system of claim 6.
前記制御パラメータは、前記駆動部の応答性に関するゲインであるThe control parameter is a gain related to the responsiveness of the drive unit.
請求項1乃至7のいずれか1つの作業システム。8. A working system according to any one of claims 1 to 7.
駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施すヘッド部と、
前記ヘッド部とともに移動し、前記ヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位の変位を検出する変位検出部と、
移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定するパラメータ設定部と、を備え、
前記制御パラメータは、前記駆動部の応答性に関するゲインである
業システム。
a head unit that moves toward a work object by a driving force applied from a drive unit and performs a work on the work object;
a displacement detection unit that moves together with the head unit and detects a displacement of a detection target portion that is at least a part of the head unit;
a parameter setting unit that sets a control parameter for controlling the movement of the head unit by the drive unit based on a detection result of the displacement when the moving head unit stops,
The control parameter is a gain related to the responsiveness of the drive unit.
Working system.
駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施すヘッド部と、
前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定するパラメータ設定部と、を備え、
前記パラメータ設定部は、
前記ヘッド部とともに移動し前記ヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位を撮像する撮像部を含む変位検出部から、前記検出対象部位の変位の検出結果を取得し、
移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記制御パラメータを設定する
作業システム。
a head unit that moves toward a work object by a driving force applied from a drive unit and performs a work on the work object;
a parameter setting unit that sets a control parameter for controlling the movement of the head unit by the drive unit,
The parameter setting unit is
acquiring a detection result of the displacement of the detection target portion from a displacement detection unit including an imaging unit that moves together with the head unit and images the detection target portion that is at least a part of the head unit;
The control parameters are set based on the detection result of the displacement when the moving head unit stops.
Working system.
駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施すヘッド部と、a head unit that moves toward a work object by a driving force applied from a drive unit and performs a work on the work object;
前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定するパラメータ設定部と、を備え、a parameter setting unit that sets a control parameter for controlling the movement of the head unit by the drive unit,
前記パラメータ設定部は、The parameter setting unit is
前記ヘッド部とともに移動する変位検出部から、前記ヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位の変位の検出結果を取得し、obtaining a detection result of a displacement of a detection target portion, which is at least a part of the head portion, from a displacement detection unit that moves together with the head portion;
移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記制御パラメータを設定し、setting the control parameters based on the detection result of the displacement when the moving head unit stops;
前記制御パラメータは、前記駆動部の応答性に関するゲインであるThe control parameter is a gain related to the responsiveness of the drive unit.
作業システム。Working system.
請求項1乃至11のいずれか1つの作業システムと、A working system according to any one of claims 1 to 11;
前記駆動部と、を備えるThe drive unit.
駆動システム。Drive system.
前記駆動部は、前記ヘッド部に前記駆動力を付与するために運動する可動部を有し、the driving unit has a movable part that moves to apply the driving force to the head unit,
前記可動部の位置を検出する位置検出部と、A position detection unit that detects a position of the movable unit;
前記ヘッド部の位置を指示する指令値に基づいて前記可動部を制御する駆動制御部と、を更に備え、a drive control unit that controls the movable unit based on a command value that indicates a position of the head unit,
前記駆動制御部は、The drive control unit is
前記変位の検出結果及び前記可動部の位置の検出結果に基づいて、前記ヘッド部の位置を示す制御量を求め、determining a control amount indicating a position of the head unit based on a detection result of the displacement and a detection result of the position of the movable unit;
前記制御量が前記指令値に追従するように、前記可動部を運動させるThe movable part is moved so that the controlled variable follows the command value.
請求項12の駆動システム。The drive system of claim 12.
駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施すヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位の変位を、前記ヘッド部とともに移動する変位検出部を用いて検出する変位検出ステップと、a displacement detection step of detecting a displacement of a detection target portion, which is at least a part of a head unit that moves toward a work target by a driving force applied from a drive unit and performs work on the work target, using a displacement detection unit that moves together with the head unit;
移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定するパラメータ設定ステップと、を含み、a parameter setting step of setting a control parameter for controlling the movement of the head unit by the drive unit based on a detection result of the displacement when the moving head unit stops,
前記変位検出部は、前記検出対象部位を撮像する撮像部を含むThe displacement detection unit includes an imaging unit that images the detection target portion.
パラメータ設定方法。How to set parameters.
駆動部から付与される駆動力によって作業対象に向かって移動し、前記作業対象に作業を施すヘッド部の少なくとも一部である検出対象部位の変位を、前記ヘッド部とともに移動する変位検出部を用いて検出する変位検出ステップと、a displacement detection step of detecting a displacement of a detection target portion, which is at least a part of a head unit that moves toward a work target by a driving force applied from a drive unit and performs work on the work target, using a displacement detection unit that moves together with the head unit;
移動している前記ヘッド部が停止するときの前記変位の検出結果に基づいて、前記駆動部による前記ヘッド部の移動を制御するための制御パラメータを設定するパラメータ設定ステップと、を含み、a parameter setting step of setting a control parameter for controlling the movement of the head unit by the drive unit based on a detection result of the displacement when the moving head unit stops,
前記制御パラメータは、前記駆動部の応答性に関するゲインであるThe control parameter is a gain related to the responsiveness of the drive unit.
パラメータ設定方法。How to set parameters.
コンピュータに、請求項14又は15のパラメータ設定方法の前記パラメータ設定ステップを実行させるA computer is caused to execute the parameter setting step of the parameter setting method according to claim 14 or 15.
プログラム。Program.
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