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JP7599183B2 - Support - Google Patents
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Description

本開示は、担持体、及び担持体の製造方法に関する。 This disclosure relates to a carrier and a method for manufacturing the carrier.

燃料電池の電極触媒として白金(Pt)が広く利用されている。ところが、Ptは非常に高価な貴金属である。しかも、Ptは埋蔵量が十分ではない。よって、燃料電池のコスト低減、及び燃料電池の普及を実現するためには、触媒活性を向上させて、Ptの使用量を低減することが重要である。
これまでに、所定のデンドリマー(樹状高分子)に包含されているPtナノ微粒子等を多孔質炭素材料に担持して、これを触媒として利用する技術が開示されている(特許文献1参照)。
Platinum (Pt) is widely used as an electrode catalyst for fuel cells. However, Pt is a very expensive precious metal. Moreover, Pt reserves are insufficient. Therefore, in order to reduce the cost of fuel cells and to realize the widespread use of fuel cells, it is important to improve the catalytic activity and reduce the amount of Pt used.
A technique has been disclosed in which Pt nanoparticles or the like encapsulated in a specific dendrimer (dendritic polymer) are supported on a porous carbon material and used as a catalyst (see Patent Document 1).

特開2013-159588号公報JP 2013-159588 A

しかし、上記技術で得られる担持体では、以下の3点において工業的に不利であった。
すなわち、
(1)デンドリマーの合成のために各種試薬(有機溶媒を含む)が必要であり、工業的に不利である。
(2)そもそもデンドリマーの量産化技術は、未だに確立されていない。
(3)合成後のPt粒子と、炭素材料を組み合わせる工程が別途必要であり、煩雑である。
本開示は、上記実情に鑑みてなされたものであり、工業的に量産可能な、クラスターを担体に担持した担持体を提供することを目的とする。なお、本発明は、幅広い分野での応用が期待される。
本開示は、以下の形態として実現することが可能である。
However, the supports obtained by the above techniques have the following three disadvantages from an industrial perspective.
That is,
(1) The synthesis of dendrimers requires various reagents (including organic solvents), which is industrially disadvantageous.
(2) In the first place, mass production technology for dendrimers has not yet been established.
(3) A separate step of combining the synthesized Pt particles with a carbon material is required, which is complicated.
The present disclosure has been made in view of the above-mentioned circumstances, and aims to provide a support in which clusters are supported on a support, which can be mass-produced industrially. The present invention is expected to be applied in a wide range of fields.
The present disclosure can be realized in the following forms.

〔1〕PtとNiとを含んだ合金のクラスターを担体に担持した担持体であって、
Ptの担持量が1×10-14ng/cm以上1×10ng/cm以下である、担持体。
[1] A support having clusters of an alloy containing Pt and Ni supported on a support,
A support having a Pt loading of 1×10 −14 ng/cm 2 or more and 1×10 5 ng/cm 2 or less.

〔2〕前記担体は、導電性材料からなる〔1〕に記載の担持体。 [2] The carrier according to [1], wherein the carrier is made of a conductive material.

〔3〕前記クラスターの組成が、PtNi、PtNi、PtNi、及びPtNiからなる群より選ばれる1種以上である、〔1〕又は〔2〕に記載の担持体。 [3] The support according to [1] or [2], wherein the composition of the cluster is one or more selected from the group consisting of Pt 3 Ni, Pt 4 Ni, Pt 6 Ni, and Pt 6 Ni 2 .

〔4〕〔1〕から〔3〕のいずれか一項に記載の担持体を製造する製造方法であって、
前記クラスターを生成する生成工程と、
前記クラスターを前記担体にランディングして担持する担持工程と、
を備えた、担持体の製造方法。
[4] A method for producing the support according to any one of [1] to [3],
A generating step of generating the clusters;
a supporting step of landing the clusters on the carrier and supporting the clusters;
The method for producing a support comprising the steps of:

〔5〕前記クラスターのうち特定範囲の質量を有する特定質量クラスターを選別する選別工程を備え、
前記担持工程では、前記特定質量クラスターを前記担体にランディングする〔4〕に記載の担持体の製造方法。
[5] A selection step of selecting specific mass clusters having a mass within a specific range from the clusters,
The method for producing a support according to [4], wherein in the supporting step, the specific mass clusters are landed on the support.

本開示の担持体は、比較的容易に製造できるため、工業的に量産できる。
本開示の担持体の製造方法は、従来法に比べて容易であり、工業的な量産に適している。
The support of the present disclosure can be produced relatively easily and therefore can be mass-produced industrially.
The method for producing the support of the present disclosure is easier than conventional methods and is suitable for industrial mass production.

本開示について、本発明による典型的な実施形態の非限定的な例を挙げ、言及された複数の図面を参照しつつ以下の詳細な記述にて更に説明する。
クラスター担持体の製造方法を実施する装置の一例を示す概念図である。
The present disclosure is further explained in the following detailed description, giving non-limiting examples of exemplary embodiments according to the invention, with reference to the mentioned drawings, in which:
FIG. 1 is a conceptual diagram showing an example of an apparatus for carrying out a method for producing a cluster support.

ここで示される事項は例示的なもの及び本発明の実施形態を例示的に説明するためのものであり、本発明の原理と概念的な特徴とを最も有効に且つ難なく理解できる説明であると思われるものを提供する目的で述べたものである。この点で、本発明の根本的な理解のために必要である程度以上に本発明の構造的な詳細を示すことを意図してはおらず、図面と合わせた説明によって本発明の幾つかの形態が実際にどのように具現化されるかを当業者に明らかにするものである。 The matters set forth herein are illustrative and are intended to provide an illustrative description of the embodiments of the present invention, with the objective of providing what is believed to be the most effective and easily understood explanation of the principles and conceptual features of the present invention. In this regard, it is not intended to provide structural details of the present invention beyond the extent necessary for a fundamental understanding of the present invention, and the description, taken together with the drawings, will make clear to those skilled in the art how some forms of the present invention may be embodied in practice.

以下、本開示を詳しく説明する。なお、本明細書において、数値範囲について「~」を用いた記載では、特に断りがない限り、下限値及び上限値を含むものとする。例えば、「10~20」という記載では、下限値である「10」、上限値である「20」のいずれも含むものとする。すなわち、「10~20」は、「10以上20以下」と同じ意味である。 The present disclosure is described in detail below. In this specification, when a numerical range is described using "to" it is intended to include the lower limit and the upper limit unless otherwise specified. For example, the description "10 to 20" is intended to include both the lower limit "10" and the upper limit "20". In other words, "10 to 20" has the same meaning as "10 or more and 20 or less".

1.担持体
担持体は、PtとNiとを含んだ合金のクラスターを担体に担持してなる。Ptの担持量は、1×10-14ng/cm以上1×10ng/cm以下である。
1. Support The support is made by supporting clusters of an alloy containing Pt and Ni on a carrier. The amount of Pt supported is 1×10 −14 ng/cm 2 or more and 1×10 5 ng/cm 2 or less.

(1)クラスターを構成する元素
クラスターは、実用性の観点から、Pt(白金)及びNi(ニッケル)を含む合金からなる。合金は、Pt、Ni以外のその他の元素として、導電性材料を構成し得る元素を含んでいてもよい。その他の元素は、例えば、Au(金)、Ag(銀)、Pd(パラジウム)、Si(ケイ素)、Ge(ゲルマニウム)、Sn(スズ)、In(インジウム)、Cd(カドミウム)、Zn(亜鉛)、W(タングステン)、Ta(タンタル)、Cu(銅)、Ru(ルテニウム)、Co(コバルト)、Ir(イリジウム)、Cr(クロム)、Fe(鉄)、V(バナジウム)、Mn(マンガン)、Y(イットリウム)、Tc(テクネチウム)、Ga(ガリウム)、Nb(ニオブ)、Mo(モリブデン)、Zr(ジルコニウム)、Rh(ロジウム)、Os(オスミウム)、Re(レニウム)、Al(アルミニウム)、及びTi(チタン)からなる群より選ばれる1種以上を好適に例示できる。
(1) Elements Constituting the Cluster From the viewpoint of practicality, the cluster is made of an alloy containing Pt (platinum) and Ni (nickel). The alloy may contain elements other than Pt and Ni that can constitute a conductive material. Suitable examples of the other elements include one or more elements selected from the group consisting of Au (gold), Ag (silver), Pd (palladium), Si (silicon), Ge (germanium), Sn (tin), In (indium), Cd (cadmium), Zn (zinc), W (tungsten), Ta (tantalum), Cu (copper), Ru (ruthenium), Co (cobalt), Ir (iridium), Cr (chromium), Fe (iron), V (vanadium), Mn (manganese), Y (yttrium), Tc (technetium), Ga (gallium), Nb (niobium), Mo (molybdenum), Zr (zirconium), Rh (rhodium), Os (osmium), Re (rhenium), Al (aluminum), and Ti (titanium).

(2)クラスターの組成
クラスターの組成は、Pt(白金)及びNi(ニッケル)を含有していれば、特に限定されない。クラスターの組成は、質量活性が高いという観点から、好ましくは、PtNi、PtNi、PtNi、及びPtNiからなる群より選ばれる1種以上である。
なお、本開示におけるクラスターは、ナノクラスター又はサブナノクラスターである。クラスターの形態は、特に限定されないが、例えば、Pt原子、Ni原子が上記組成に応じた比率で集合した形態とされる。
(2) Composition of the cluster The composition of the cluster is not particularly limited as long as it contains Pt (platinum) and Ni (nickel). From the viewpoint of high mass activity, the composition of the cluster is preferably one or more selected from the group consisting of Pt 3 Ni, Pt 4 Ni, Pt 6 Ni, and Pt 6 Ni 2 .
The cluster in the present disclosure is a nanocluster or sub-nanocluster. The form of the cluster is not particularly limited, but may be, for example, a form in which Pt atoms and Ni atoms are assembled in a ratio according to the above composition.

(3)Pt(白金)の担持量
Ptの担持量は、1×10-14ng/cm以上1×10ng/cm以下である。担持量がこの範囲内であると、担持体を触媒として用いた場合の活性が高い傾向にある
Pt(白金)の担持量が1×10-14ng/cm以上1×10ng/cm以下の場合に質量活性が高い理由は、小サイズ化による比表面積の増加による寄与があるものと推測される。なお、「質量活性」とは、酸素還元反応(ORR:Oxygen Reduction Reaction)に対する質量活性(Pt 1gあたりの酸素還元電流密度)を意味する(以下同じ)。
(3) Amount of Pt (platinum) supported The amount of Pt supported is 1×10 −14 ng/cm 2 or more and 1×10 5 ng/cm 2 or less. When the amount supported is within this range, the activity tends to be high when the support is used as a catalyst. It is presumed that the reason for the high mass activity when the amount of Pt (platinum) supported is 1×10 −14 ng/cm 2 or more and 1×10 5 ng/cm 2 or less is due to the contribution of the increase in the specific surface area due to the small size. Note that "mass activity" means mass activity (oxygen reduction current density per 1 g of Pt) for oxygen reduction reaction (ORR) (the same applies below).

(4)質量活性
合金のクラスターを担体に担持した担持体の質量活性は200A/gよりも大きいことが好ましく、300A/g以上がより好ましく、400A/g以上が更に好ましい。なお、通常、質量活性の上限値は、2×10A/gである。
質量活性が、この範囲であると、燃料電極等の電極触媒として有用である。
(4) Mass Activity The mass activity of the support in which the alloy clusters are supported on a support is preferably greater than 200 A/g, more preferably 300 A/g or more, and even more preferably 400 A/g or more. The upper limit of the mass activity is usually 2×10 4 A/g.
When the mass activity is in this range, the catalyst is useful as an electrode catalyst for a fuel electrode or the like.

(5)担体
担体は、特に限定されない。例えば、カーボン、酸化チタン、ビスマステルル、ビスマスセレン、アルミニウム、コンスタンタン、金、銀、銅、黄銅、白金、ニクロム、鉄、チタン、タングステン、酸化タングステン、酸化インジウムスズ、チタン酸ストロンチウム、モリブデン、亜鉛、ニッケル、スズ、鉛、シリコン、炭化ケイ素、ステンレス、マグネシウム、コバルト、リチウム、クロム、マンガニン、ポリアニリン、ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)-ポリ(スチレンスルホナート)〔PEDOT/PSS〕、ポリアセチレン、ポリチオフェン、ポリピロール、ポリフェニレンビニレン、ポリチエニレンビニレン、イオン液体等が例示される。また、これらの例示のうち、他の元素をドーピング可能なものについては、他の元素をドーピングしたものも含まれる。
(5) Support The support is not particularly limited. For example, carbon, titanium oxide, bismuth tellurium, bismuth selenium, aluminum, constantan, gold, silver, copper, brass, platinum, nichrome, iron, titanium, tungsten, tungsten oxide, indium tin oxide, strontium titanate, molybdenum, zinc, nickel, tin, lead, silicon, silicon carbide, stainless steel, magnesium, cobalt, lithium, chromium, manganin, polyaniline, poly(3,4-ethylenedioxythiophene)-poly(styrenesulfonate) [PEDOT/PSS], polyacetylene, polythiophene, polypyrrole, polyphenylenevinylene, polythienylenevinylene, ionic liquid, etc. are exemplified. In addition, among these examples, those that can be doped with other elements also include those doped with other elements.

2.担持体の製造方法
担持体の製造方法は、特に限定されない。ここでは、担持体の好適な製造方法を説明する。
この担持体の製造方法は、クラスターを生成する生成工程と、クラスターを担体にランディングして担持する担持工程と、を備える。
2. Method for Producing the Support The method for producing the support is not particularly limited. Here, a preferred method for producing the support will be described.
The method for producing the support includes a generating step of generating clusters, and a supporting step of landing the clusters on a support and supporting the clusters.

(1)生成工程
生成工程では、クラスターを生成(発生)する生成方法であれば、特に限定されず、幅広い方法を採用できる。例えば、マグネトロンスパッタリング法、イオンスパッタリング法、イオンビームスパッタ法、レーザ蒸発法等を利用できる。この中でも、イオン量およびその安定性の観点からマグネトロンスパッタリング法が好適に利用される。
生成工程で生成するクラスターは、効率的な触媒反応の観点から、好ましくは原子数が2以上100以下であり、より好ましくは3以上80以下である。
(1) Generation process In the generation process, there is no particular limitation as long as it is a generation method that generates (generates) clusters, and a wide variety of methods can be used. For example, magnetron sputtering, ion sputtering, ion beam sputtering, laser evaporation, etc. can be used. Among these, magnetron sputtering is preferably used from the viewpoint of the amount of ions and their stability.
From the viewpoint of efficient catalytic reaction, the clusters generated in the generating step preferably have an atomic number of 2 or more and 100 or less, more preferably 3 or more and 80 or less.

クラスターイオンを構成する元素は、少なくともPt(白金)及びNi(ニッケル)を含む。クラスターイオンを構成するその他の元素として、導電性材料を構成し得る元素を含んでいてもよい。その他の元素は、直流マグネトロンスパッタリング法ではターゲットの導電性があることが好ましく、例えば、Au(金)、Ag(銀)、Pd(パラジウム)、Si(ケイ素)、Ge(ゲルマニウム)、Sn(スズ)、In(インジウム)、Cd(カドミウム)、Zn(亜鉛)、W(タングステン)、Ta(タンタル)、Cu(銅)、Ru(ルテニウム)、Co(コバルト)、Ir(イリジウム)、Cr(クロム)、Fe(鉄)、V(バナジウム)、Mn(マンガン)、Y(イットリウム)、Tc(テクネチウム)、Ga(ガリウム)、Nb(ニオブ)、Mo(モリブデン)、Zr(ジルコニウム)、Rh(ロジウム)、Os(オスミウム)、Re(レニウム)、Al(アルミニウム)、及びTi(チタン)からなる群より選ばれる1種以上を好適に例示できる。なお、レーザー蒸発法や高周波マグネトロンスパッタリング法では、ターゲットの導電性の有無によらず、クラスターイオンを生成することが可能である。 The elements constituting the cluster ions include at least Pt (platinum) and Ni (nickel). Other elements constituting the cluster ions may include elements that can form a conductive material. The other elements preferably have a conductive property as a target in the DC magnetron sputtering method, and suitable examples thereof include one or more elements selected from the group consisting of Au (gold), Ag (silver), Pd (palladium), Si (silicon), Ge (germanium), Sn (tin), In (indium), Cd (cadmium), Zn (zinc), W (tungsten), Ta (tantalum), Cu (copper), Ru (ruthenium), Co (cobalt), Ir (iridium), Cr (chromium), Fe (iron), V (vanadium), Mn (manganese), Y (yttrium), Tc (technetium), Ga (gallium), Nb (niobium), Mo (molybdenum), Zr (zirconium), Rh (rhodium), Os (osmium), Re (rhenium), Al (aluminum), and Ti (titanium). In addition, with the laser vaporization method and the radio-frequency magnetron sputtering method, it is possible to generate cluster ions regardless of whether the target is conductive or not.

(2)担持工程
担持工程では、クラスターを担体にランディングして担持する。
クラスターを担持する担体については、上述の「1.(5)担体」の記載を、そのまま適用することができる。
クラスターの担体へのランディングは、いわゆるソフトランディングが採用される。すなわち、衝突エネルギーが1eV/原子以下が好ましい。このように、クラスターをソフトランディングさせることで、クラスターが破壊されることを抑制できる。
(2) Supporting Step In the supporting step, the clusters are landed on a carrier and supported thereon.
Regarding the carrier for carrying the clusters, the description in "1. (5) Carrier" above can be applied as is.
The landing of the clusters on the support is performed by a so-called soft landing. That is, the collision energy is preferably 1 eV/atom or less. By performing the soft landing of the clusters in this way, the destruction of the clusters can be suppressed.

(3)その他の工程
担持体の製造方法では、クラスターのうち特定範囲の質量を有する特定質量クラスターを選別する選別工程を備えることができる。選別工程を備えることで、特定質量クラスターが担体にランディングすることになる。この選別工程により、担持体には特定質量クラスターが担持され、担持体の利用価値が向上する。
(3) Other steps The method for producing a support may include a selection step for selecting specific mass clusters having a mass within a specific range from among the clusters. By including the selection step, the specific mass clusters land on the carrier. This selection step allows the specific mass clusters to be supported on the support, improving the utility value of the support.

選別工程は、特に限定されない。選別工程は、イオン偏向器及び四重極質量分析器を用いることが好ましい。イオン偏向器を用いて特定の電荷状態のイオンを選別し、更に、四重極質量分析器を用いて特定サイズのクラスターを選別できる。 The selection process is not particularly limited. It is preferable that the selection process uses an ion deflector and a quadrupole mass analyzer. The ion deflector can be used to select ions of a specific charge state, and the quadrupole mass analyzer can be used to further select clusters of a specific size.

(4)クラスター担持体の製造方法を実施する装置の一例
ここで、上記製造方法を実施するクラスター担持体の製造装置7の一例を説明する(図1)。
クラスター担持体の製造装置7は、クラスター生成装置10を備えている。クラスター生成装置10は、真空引きされるチャンバ11と、チャンバ11内に設置されるクラスター成長セル12と、クラスター成長セル12内に設置されるスパッタ源13(マグネトロンスパッタ源)を備える。クラスター成長セル12は、その周囲を液体窒素ジャケット14で囲まれており、液体窒素ジャケット14内を液体窒素(N)が流通するように構成されている。クラスター生成装置10は、更に、制御システムの構成要素として、制御装置15、スパッタ源用パルス電源16を備える。
(4) An Example of an Apparatus for Carrying Out the Manufacturing Method of a Cluster Support Here, an example of an apparatus 7 for manufacturing a cluster support for carrying out the above manufacturing method will be described (FIG. 1).
The cluster support manufacturing apparatus 7 includes a cluster generating apparatus 10. The cluster generating apparatus 10 includes a chamber 11 that is evacuated, a cluster growth cell 12 installed in the chamber 11, and a sputtering source 13 (magnetron sputtering source) installed in the cluster growth cell 12. The cluster growth cell 12 is surrounded by a liquid nitrogen jacket 14, and liquid nitrogen (N 2 ) is configured to circulate through the liquid nitrogen jacket 14. The cluster generating apparatus 10 further includes a control device 15 and a pulsed power supply 16 for the sputtering source as components of a control system.

クラスター生成装置10は、第1不活性ガス供給パイプ17及び第2不活性ガス供給パイプ18を備える。第1不活性ガス供給パイプ17は、プラズマを発生させるための第1不活性ガス(例えば、アルゴンガス(Ar))をスパッタ源13に対して供給する。第2不活性ガス供給パイプ18は、スパッタ源13から発生した金属原子や金属イオンを冷却し凝集させ、クラスターとして成長させるための第2不活性ガス(例えばヘリウムガス(He))をクラスター成長セル12内へ供給する。第2不活性ガス供給パイプ18は、その主要部が、液体窒素ジャケット14内に格納され、液体窒素ジャケット14の内部を螺旋状に周回して、その端部が、クラスター成長セル12の内側に突出している。 The cluster generating device 10 includes a first inert gas supply pipe 17 and a second inert gas supply pipe 18. The first inert gas supply pipe 17 supplies a first inert gas (e.g., argon gas (Ar)) for generating plasma to the sputtering source 13. The second inert gas supply pipe 18 supplies a second inert gas (e.g., helium gas (He)) into the cluster growth cell 12 for cooling and agglomerating metal atoms and metal ions generated from the sputtering source 13 and growing them as clusters. The main part of the second inert gas supply pipe 18 is stored in the liquid nitrogen jacket 14, and it spirally circles inside the liquid nitrogen jacket 14, with its end protruding into the inside of the cluster growth cell 12.

こうして、液体窒素により冷却されたヘリウム等の第2不活性ガスをクラスター成長セル12内に導入することができる。クラスター成長セル12内の圧力が約10~40Paに維持されるようにする。なお、圧力制御のためにクラスター成長セル12に備えられる圧力計、ガス供給系に備えられるマスフローコントローラ等の装置については、図示を省略している。
クラスター生成装置10は、更にターボ分子ポンプ等からなる排気装置19を備え、この排気装置19により、チャンバ11内が所定の真空度(例えば10-1~10-4Pa)まで排気される。
In this way, the second inert gas, such as helium, cooled by liquid nitrogen can be introduced into the cluster growth cell 12. The pressure inside the cluster growth cell 12 is maintained at about 10 to 40 Pa. Note that devices such as a pressure gauge provided in the cluster growth cell 12 for pressure control and a mass flow controller provided in the gas supply system are not shown in the figure.
The cluster generating apparatus 10 further includes an exhaust device 19 consisting of a turbo molecular pump or the like, and the inside of the chamber 11 is evacuated to a predetermined vacuum level (for example, 10 −1 to 10 −4 Pa) by this exhaust device 19 .

スパッタ源13は、ターゲット131、アノード132、磁石ユニット133から構成され、ターゲット131はカソードとしてスパッタ源用パルス電源16に接続される。第1不活性ガス供給パイプ17からクラスター成長セル12内にArガスが供給され、スパッタ源用パルス電源16からパルス状の電力が供給されることにより、ターゲット131及びアノード132間にグロー放電が生じる。すなわち、ターゲット131とアノード132の間に高電圧がパルス状に印加されることにより、ターゲット131及びアノード132間にグロー放電が生じる。また、磁石ユニット133によりターゲット131の表面付近に磁場を印加することで、本実施形態のクラスター生成装置10はマグネトロンスパッタを行い、更に強いグロー放電を生成することが可能である。 The sputtering source 13 is composed of a target 131, an anode 132, and a magnet unit 133, and the target 131 is connected to the sputtering source pulse power supply 16 as a cathode. Ar gas is supplied into the cluster growth cell 12 from the first inert gas supply pipe 17, and pulsed power is supplied from the sputtering source pulse power supply 16, causing a glow discharge between the target 131 and the anode 132. That is, a high voltage is applied between the target 131 and the anode 132 in a pulsed manner, causing a glow discharge between the target 131 and the anode 132. In addition, by applying a magnetic field near the surface of the target 131 by the magnet unit 133, the cluster generation device 10 of this embodiment can perform magnetron sputtering and generate an even stronger glow discharge.

第1不活性ガス供給パイプ17の先端は、第1不活性ガスをスパッタ源13のターゲット131とアノード132との間の一箇所または複数の箇所から噴射するように構成されている。ただし、このような構成に限らず、第1不活性ガスを、ターゲット131に向かうように供給できる構成である限り、任意の構成を採用可能である。
スパッタ源13は、クラスター成長セル12内に、管軸方向に移動自在に収容される。これにより、クラスター成長領域の管軸方向の延伸距離を規定する。なお、管軸方向の延伸距離は、成長領域長、すなわち、ターゲット131面からビーム取出し口121までの距離を意味する。
The tip of the first inert gas supply pipe 17 is configured to inject the first inert gas from one or more locations between the target 131 and the anode 132 of the sputtering source 13. However, the present invention is not limited to such a configuration, and any configuration can be adopted as long as the first inert gas can be supplied toward the target 131.
The sputtering source 13 is accommodated in the cluster growth cell 12 so as to be movable in the tube axial direction. This defines the extension distance of the cluster growth region in the tube axial direction. The extension distance in the tube axial direction means the growth region length, i.e., the distance from the surface of the target 131 to the beam outlet 121.

クラスターを生成するためには、液体窒素温度に冷却された第2不活性ガスをクラスター成長セル12内に導入した状態で、スパッタ源13に第1不活性ガスを供給するとともに、スパッタ源用パルス電源16からパルス電力を供給する。パルス電力が供給されると、ターゲット131から第2不活性ガス中に、ターゲット131由来の中性原子及びイオン等のスパッタ粒子が集団として放出される。 To generate clusters, a second inert gas cooled to liquid nitrogen temperature is introduced into the cluster growth cell 12, and a first inert gas is supplied to the sputtering source 13 while pulsed power is supplied from the sputtering source pulsed power supply 16. When pulsed power is supplied, sputter particles such as neutral atoms and ions derived from the target 131 are emitted as a group from the target 131 into the second inert gas.

この集団は、スパッタ源13に印加されるパルス電力の繰り返し周波数の間隔で放出されて第2不活性ガスの流れに沿って移動する。このとき、集団を構成する中性の原子及びイオン等のスパッタ粒子は第2不活性ガス中において互いに結合して種々のサイズのクラスターを生成する。生成したクラスターはクラスター成長セル12のビーム取出し口121を通過した後、後段のイオン検出装置等へ進入する。 This cluster is released at intervals equal to the repetition frequency of the pulsed power applied to the sputtering source 13 and moves along the flow of the second inert gas. At this time, the sputtered particles, such as neutral atoms and ions, that make up the cluster combine with each other in the second inert gas to generate clusters of various sizes. The generated clusters pass through the beam outlet 121 of the cluster growth cell 12 and then enter a downstream ion detection device, etc.

イオン検出装置20は、クラスター成長セル12のビーム取出し口121の近傍外側にイオンガイド電極21を有し、これにより、クラスター成長セル12のビーム取出し口121から放出されるクラスターイオンをガイドする。図1に示すように、イオン検出装置20は、イオンガイド電極21のビーム取出し口側に設けられる四重極形イオン偏向器22を備える。四重極形イオン偏向器22は、クラスターの内の正イオン又は負イオンの一方のみを偏向させて取り出す。 The ion detection device 20 has an ion guide electrode 21 located near the outer side of the beam outlet 121 of the cluster growth cell 12, thereby guiding the cluster ions emitted from the beam outlet 121 of the cluster growth cell 12. As shown in FIG. 1, the ion detection device 20 has a quadrupole ion deflector 22 provided on the beam outlet side of the ion guide electrode 21. The quadrupole ion deflector 22 deflects and extracts only the positive ions or negative ions in the clusters.

イオン検出装置20は、取り出されたクラスターの質量を分析する四重極質量分析計23を有し、特定の質量のクラスターのみを取り出して、その生成量をバイアスの印加ができるイオン検出器24(ピコアンメーター)により測定する。例えば、イオン検出器24で測定された100pAの電流は、クラスター量としては、0.6×10個/秒(=1fmol/秒)に相当する。イオン検出器24の上に担体を配置して、特定の質量のクラスターのみを担体上に堆積させることができる。 The ion detection device 20 has a quadrupole mass spectrometer 23 that analyzes the mass of the extracted clusters, extracts only clusters of a specific mass, and measures the amount of clusters produced by an ion detector 24 (picoammeter) to which a bias can be applied. For example, a current of 100 pA measured by the ion detector 24 corresponds to a cluster amount of 0.6 x 109 clusters/sec (=1 fmol/sec). A carrier can be placed on the ion detector 24, and only clusters of a specific mass can be deposited on the carrier.

3.本実施形態の効果
本実施形態の担持体は、比較的容易に製造できるため、工業的に量産できる。
本実施形態の担持体の製造方法は、デンドリマーを用いた従来法に比べて容易であり、工業的な量産に適している。
3. Advantages of the Present Embodiment The support of the present embodiment can be manufactured relatively easily, and therefore can be mass-produced industrially.
The method for producing the support of this embodiment is easier than the conventional method using a dendrimer, and is suitable for industrial mass production.

以下、実施例により更に具体的に説明する。 The following provides a more detailed explanation using examples.

1.クラスター担持体の作製、及び評価方法
図1に記載のクラスター担持体の製造装置7を用いてクラスター担持体を作製した。
詳細には、クラスター生成装置10を用いて、マグネトロンスパッタリング法により、PtとNiとを含んだ合金のクラスターを生成した。装置諸元及び実験パラメータは以下のようである。

スパッタ源: Angstrom Sciences社製 ONYX-2
パルス電源: Zpulser社製 AXIA-150
ターゲット: Pt-Ni合金(直径2インチ、純度99.9%以上)
Arガス流量: 40-200sccm
Heガス流量: 60-400sccm
成長セル内圧力: 10-40Pa
成長セル内径: 110 mm
成長領域長さ: 190-290mm
ビーム取出し口径:12 mm
1. Method for producing and evaluating a cluster support A cluster support was produced using the cluster support production apparatus 7 shown in FIG.
In detail, clusters of an alloy containing Pt and Ni were generated by magnetron sputtering using the cluster generation device 10. The device specifications and experimental parameters are as follows.

Sputter source: Angstrom Sciences ONYX-2
Pulse power supply: Zpulser AXIA-150
Target: Pt-Ni alloy (diameter 2 inches, purity 99.9% or higher)
Ar gas flow rate: 40-200 sccm
He gas flow rate: 60-400 sccm
Pressure in growth cell: 10-40 Pa
Growth cell inner diameter: 110 mm
Growth area length: 190-290mm
Beam extraction aperture: 12 mm

合金のクラスターは、四重極形イオン偏向器22によって特定の電荷状態を選別し、四重極質量分析計23(四重極質量分析器)によってサイズを選別した。その後、合金のクラスターイオンを、グラッシーカーボン(ガラス状炭素)の電極(本発明の担体に相当)の上にランディングさせた。電極の直径は、5mmであった。なお、グラッシーカーボンの電極は、バフ上でアルミナ懸濁液(粒子径0.05μm)を用いて研磨し、研磨後に超純水中で超音波を照射して清浄化して、速やかに真空槽内に導入して、合金のクラスターを担持した。担持量は、イオン検出装置20によって測定された電流値から算出した。クラスター担持体におけるクラスターの質量活性(触媒活性)は、回転ディスク電極(RDE(rotating disk electrode))を用いて評価した。 The alloy clusters were sorted by a specific charge state using a quadrupole ion deflector 22, and by size using a quadrupole mass spectrometer 23. The alloy cluster ions were then landed on a glassy carbon electrode (corresponding to the carrier of the present invention). The electrode had a diameter of 5 mm. The glassy carbon electrode was polished on a buff using an alumina suspension (particle size 0.05 μm), and after polishing, it was cleaned by irradiating it with ultrasonic waves in ultrapure water and quickly introduced into a vacuum chamber to support the alloy clusters. The amount of support was calculated from the current value measured by the ion detector 20. The mass activity (catalytic activity) of the clusters in the cluster support was evaluated using a rotating disk electrode (RDE (rotating disk electrode)).

2.評価結果
表1,2に、合金のクラスターを担持した場合の結果を示す。なお、担持量(ng-Pt/cm)は、担持体に担持された合金中のPtの担持量を意味する。
表1,2の結果から、いずれの組成においても、質量活性は、標準触媒(TEC10E50E:田中貴金属工業(株)製)の質量活性299A/gを大きく上回る結果であった。これは、クラスターの小サイズ化による比表面積の増加の寄与があるものと推測される。また、いずれの組成においても、クラスター担持体は、マグネトロンスパッタリング法を用いたクラスター担持体の製造装置7により製造できるので、デンドリマーを用いる場合よりも工業的に有利に量産できる。
2. Evaluation Results The results when alloy clusters were supported are shown in Tables 1 and 2. The supported amount (ng-Pt/cm 2 ) means the amount of Pt supported in the alloy supported on the support.
From the results in Tables 1 and 2, the mass activity of any of the compositions was significantly higher than that of the standard catalyst (TEC10E50E: Tanaka Kikinzoku Kogyo Co., Ltd.), which has a mass activity of 299 A/g. This is presumably due to the contribution of an increase in the specific surface area caused by the smaller size of the clusters. Furthermore, in any of the compositions, the cluster support can be manufactured by a cluster support manufacturing apparatus 7 using a magnetron sputtering method, which allows for mass production that is more advantageous on an industrial scale than when dendrimers are used.

Figure 0007599183000001
Figure 0007599183000001

Figure 0007599183000002
Figure 0007599183000002

前述の例は単に説明を目的とするものでしかなく、本発明を限定するものと解釈されるものではない。本発明を典型的な実施形態の例を挙げて説明したが、本発明の記述及び図示において使用された文言は、限定的な文言ではなく説明的及び例示的なものであると理解される。ここで詳述したように、その形態において本発明の範囲又は本質から逸脱することなく、添付の特許請求の範囲内で変更が可能である。ここでは、本発明の詳述に特定の構造、材料及び実施例を参照したが、本発明をここにおける開示事項に限定することを意図するものではなく、むしろ、本発明は添付の特許請求の範囲内における、機能的に同等の構造、方法、使用の全てに及ぶものとする。 The foregoing examples are merely illustrative and are not to be construed as limiting the invention. While the invention has been described with reference to exemplary embodiments, it is understood that the words used in describing and illustrating the invention are descriptive and exemplary rather than limiting. As detailed herein, changes may be made within the scope of the appended claims without departing from the scope or spirit of the invention in its form. While the description of the invention has been made with reference to specific structures, materials and examples, it is not intended that the invention be limited to those disclosed herein, but rather that the invention extends to all functionally equivalent structures, methods and uses within the scope of the appended claims.

本開示は上記で詳述した実施形態に限定されず、本開示の請求項に示した範囲で様々な変形又は変更が可能である。 This disclosure is not limited to the embodiments detailed above, and various modifications and variations are possible within the scope of the claims of this disclosure.

本開示の担持体は、幅広い技術分野において広範な用途で使用できる。例えば、本開示の一例である担持体は、燃料電池電極触媒、有機合成反応触媒、排ガス触媒等に好適に使用できる。本開示の担持体は、触媒活性が高いため、Ptの使用量を削減でき、しかも量産可能であるためコストの削減効果が高く、広く普及させることができる。 The support of the present disclosure can be used in a wide range of applications in a wide range of technical fields. For example, the support of the present disclosure can be suitably used as a fuel cell electrode catalyst, an organic synthesis reaction catalyst, an exhaust gas catalyst, etc. The support of the present disclosure has high catalytic activity, so the amount of Pt used can be reduced, and since it can be mass-produced, it has a high cost reduction effect and can be widely used.

7 …クラスター担持体の製造装置
10 …クラスター生成装置
11 …チャンバ
12 …クラスター成長セル
13 …スパッタ源
14 …液体窒素ジャケット
15 …制御装置
16 …スパッタ源用パルス電源
17 …第1不活性ガス供給パイプ
18 …第2不活性ガス供給パイプ
19 …排気装置
20 …イオン検出装置
21 …イオンガイド電極
22 …四重極形イオン偏向器
23 …四重極質量分析計
24 …イオン検出器
121…ビーム取出し口
131…ターゲット
132…アノード
133…磁石ユニット
Reference Signs List 7 ...Cluster support manufacturing apparatus 10 ...Cluster generation apparatus 11 ...Chamber 12 ...Cluster growth cell 13 ...Sputtering source 14 ...Liquid nitrogen jacket 15 ...Control device 16 ...Pulse power supply for sputtering source 17 ...First inert gas supply pipe 18 ...Second inert gas supply pipe 19 ...Exhaust device 20 ...Ion detection device 21 ...Ion guide electrode 22 ...Quadrupole ion deflector 23 ...Quadrupole mass spectrometer 24 ...Ion detector 121 ...Beam outlet 131 ...Target 132 ...Anode 133 ...Magnet unit

Claims (1)

Pt Ni、Pt Ni、Pt Ni、及びPt Ni からなる群より選ばれる1種以上のクラスターを担体に担持した担持体であって、
Ptの担持量が1×10-14ng/cm以上1×10ng/cm以下であり、
前記担体は、導電性材料からなる、担持体。
A support having one or more clusters selected from the group consisting of Pt 3 Ni, Pt 4 Ni, Pt 6 Ni, and Pt 6 Ni 2 supported on a support,
The amount of Pt supported is 1×10 −14 ng/cm 2 or more and 1×10 5 ng/cm 2 or less ,
The carrier is made of a conductive material .
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