JP7601049B2 - Resin composition - Google Patents
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Description
本発明は、樹脂組成物、並びに、当該樹脂組成物を用いたシート状積層材料、樹脂シート、回路基板、半導体チップパッケージ及び半導体装置に関する。 The present invention relates to a resin composition, and a sheet-like laminate material, a resin sheet, a circuit board, a semiconductor chip package, and a semiconductor device that use the resin composition.
回路基板及び半導体チップパッケージには、一般に、絶縁層が設けられる。例えば、回路基板の一種としてのプリント配線板には、絶縁層として層間絶縁層が設けられることがある。また、例えば、半導体チップパッケージには、絶縁層として再配線形成層が設けられることがある。これらの絶縁層は、樹脂組成物を硬化させて得られる硬化物によって形成されることが通常である。 Circuit boards and semiconductor chip packages are generally provided with an insulating layer. For example, a printed wiring board, which is a type of circuit board, may be provided with an interlayer insulating layer as an insulating layer. Also, for example, a semiconductor chip package may be provided with a rewiring formation layer as an insulating layer. These insulating layers are usually formed from a cured product obtained by curing a resin composition.
近年、回路基板及び半導体チップパッケージの配線の高密度化の進行に伴い、絶縁層のクラック耐性を向上させることが求められている。本発明者は、クラック耐性の向上のために、有機充填材を用いることを試みた。適切な有機充填材を含む樹脂組成物の硬化物では、有機充填材が応力を緩和できる成分(応力緩和成分)として働くので、クラック耐性を向上させることが期待できる。 In recent years, with the increasing density of wiring in circuit boards and semiconductor chip packages, there is a demand for improving the crack resistance of insulating layers. The present inventors have attempted to use an organic filler to improve crack resistance. In a cured product of a resin composition containing an appropriate organic filler, the organic filler acts as a component that can relieve stress (stress relaxation component), and it is expected that the crack resistance will be improved.
ところが、本発明者が検討を進めたところ、有機充填材を含む樹脂組成物において、下記の第一の課題及び第二の課題が見出された。 However, as the inventors of the present invention continued their research, they discovered the following first and second problems with resin compositions containing organic fillers.
第一に、応力緩和成分として従来の有機充填材を用いる場合、硬化物の誘電正接が高くなり、伝送損失が大きくなることがある。また、ポリスチレン粒子等の一部の有機充填材は、クラック耐性の改善及び誘電正接の低減は可能であるが、リフロープロセスにおいてブリスターが発生しやすい傾向があった。ここで、ブリスターとは、リフロー時に導体層が盛り上がって膨れる現象をいう。 First, when conventional organic fillers are used as stress relaxation components, the dielectric tangent of the cured product increases, which can lead to large transmission losses. In addition, some organic fillers, such as polystyrene particles, can improve crack resistance and reduce the dielectric tangent, but tend to cause blisters during the reflow process. Here, blistering refers to the phenomenon in which the conductor layer rises and swells during reflow.
よって、本発明の第一の課題は、誘電正接が低く、クラック耐性及びブリスター耐性に優れる絶縁層を得ることができる樹脂組成物;当該樹脂組成物を含むシート状積層材料及び樹脂シート;当該樹脂組成物の硬化物を含む回路基板、半導体チップパッケージ及び半導体装置;を提供することを目的とする。 The first object of the present invention is to provide a resin composition capable of producing an insulating layer having a low dielectric tangent and excellent crack resistance and blister resistance; a sheet-like laminate material and a resin sheet containing the resin composition; and a circuit board, a semiconductor chip package, and a semiconductor device containing a cured product of the resin composition.
第二に、応力緩和成分として従来の有機充填材を用いる場合、樹脂組成物の硬化物の誘電正接が高温での温度安定性に劣る傾向がある。具体的には、常温環境における硬化物の誘電正接に比べて、高温環境における硬化物の誘電正接が大きく上昇する傾向がある。一般に、回路基板及び半導体チップパッケージは使用時に発熱する。よって、前記のように高温環境で誘電正接が大きく上昇する硬化物を使用した場合には、高温環境において伝送損失が大きくなることがある。また、従来の有機充填材を用いる場合、絶縁層の絶縁信頼性に劣る傾向があった。 Secondly, when a conventional organic filler is used as a stress relaxation component, the dielectric tangent of the cured product of the resin composition tends to have poor temperature stability at high temperatures. Specifically, the dielectric tangent of the cured product in a high-temperature environment tends to increase significantly compared to the dielectric tangent of the cured product in a normal temperature environment. In general, circuit boards and semiconductor chip packages generate heat during use. Therefore, when a cured product whose dielectric tangent increases significantly in a high-temperature environment is used as described above, the transmission loss may increase in a high-temperature environment. In addition, when a conventional organic filler is used, the insulating reliability of the insulating layer tends to be poor.
よって、本発明の第二の課題は、クラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性に優れる絶縁層を得ることができる樹脂組成物;当該樹脂組成物を含むシート状積層材料及び樹脂シート;当該樹脂組成物の硬化物を含む回路基板、半導体チップパッケージ及び半導体装置;を提供することを目的とする。 The second object of the present invention is to provide a resin composition capable of obtaining an insulating layer having excellent crack resistance, temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and insulation reliability; a sheet-like laminate material and a resin sheet containing the resin composition; and a circuit board, a semiconductor chip package, and a semiconductor device containing a cured product of the resin composition.
本発明者は、前記の課題を解決するべく鋭意検討した。その結果、本発明者は、(A)特定の繰り返し単位を含有するポリマーを含む有機充填材と、(B)硬化性樹脂と、を含む樹脂組成物であって、(A)有機充填材の平均粒径が特定範囲にあるものが、前記の課題を解決できることを見い出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、下記のものを含む。
The present inventors have conducted extensive research to solve the above-mentioned problems, and as a result, have found that a resin composition containing (A) an organic filler containing a polymer containing a specific repeating unit and (B) a curable resin, in which the average particle size of the organic filler (A) is within a specific range, can solve the above-mentioned problems, and have completed the present invention.
That is, the present invention includes the following.
<1> (A)下記式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマーを含む有機充填材と、(B)硬化性樹脂と、を含み、
(A)有機充填材の平均粒径が、5μm以下である、樹脂組成物。
Raは、それぞれ独立に、水素原子又は1価の飽和炭化水素基を表し、
Rbは、水素原子、又は、置換基を有していてもよい1価の炭化水素基を表す。)
<2> (C)無機充填材を更に含む、<1>に記載の樹脂組成物。
<3> (B)硬化性樹脂が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂、(メタ)アクリル樹脂、スチリル樹脂、プロペニル樹脂、及び、マレイミド樹脂、からなる群より選ばれる1種類以上を含む、<1>又は<2>に記載の樹脂組成物。
<4> (A)有機充填材の粒子が、当該(A)有機充填材の粒子の表面に露出したシェル部を含み、
前記シェル部が、前記式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマーを含む、<1>~<3>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<5> (A)有機充填材の平均粒径が、1μm以下である、<1>~<4>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<6> (B)硬化性樹脂が、活性エステル樹脂を含む、<1>~<5>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<7> Df(25℃)に対するDf(100℃)の上昇率が、20%未満であり、
Df(25℃)は、樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の25℃での誘電正接を表し、
Df(100℃)は、樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の100℃での誘電正接を表す、<1>~<6>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<8> (A)有機充填材の量が、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、0.2質量%以上5質量%以下である、<1>~<7>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<9> 絶縁層形成用である、<1>~<8>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<10> <1>~<9>の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物。
<11> <1>~<9>の何れか1項に記載の樹脂組成物を含む、シート状積層材料。
<12> 支持体と、当該支持体上に形成された樹脂組成物層と、を備え、
樹脂組成物層が、<1>~<9>の何れか1項に記載の樹脂組成物を含む、樹脂シート。
<13> <1>~<9>の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物を含む、回路基板。
<14> <1>~<9>の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物を含む、半導体チップパッケージ。
<15> <13>に記載の回路基板を備える、半導体装置。
<16> <14>に記載の半導体チップパッケージを備える、半導体装置。
<1> (A) an organic filler including a polymer containing a repeating unit represented by the following formula (1), and (B) a curable resin,
(A) A resin composition, wherein the average particle size of the organic filler is 5 μm or less.
Each R a independently represents a hydrogen atom or a monovalent saturated hydrocarbon group;
R b represents a hydrogen atom or a monovalent hydrocarbon group which may have a substituent.
<2> The resin composition according to <1>, further comprising (C) an inorganic filler.
<3> The resin composition according to <1> or <2>, wherein the curable resin (B) is at least one selected from the group consisting of an epoxy resin, a phenolic resin, an active ester resin, a cyanate resin, a (meth)acrylic resin, a styryl resin, a propenyl resin, and a maleimide resin.
<4> (A) a particle of the organic filler includes a shell portion exposed on a surface of the particle of the organic filler,
The resin composition according to any one of <1> to <3>, wherein the shell portion contains a polymer containing a repeating unit represented by formula (1).
<5> The resin composition according to any one of <1> to <4>, in which the organic filler (A) has an average particle size of 1 μm or less.
<6> The resin composition according to any one of <1> to <5>, wherein the curable resin (B) contains an active ester resin.
<7> The rate of increase of Df(100°C) relative to Df(25°C) is less than 20%,
Df (25°C) represents the dielectric tangent at 25°C of a cured product obtained by heat-treating a resin composition at 200°C for 90 minutes,
Df (100 ° C.) represents a dielectric loss tangent at 100 ° C. of a cured product obtained by heat-treating the resin composition at 200 ° C. for 90 minutes. The resin composition according to any one of <1> to <6>.
<8> The resin composition according to any one of <1> to <7>, wherein the amount of the organic filler (A) is 0.2 mass% or more and 5 mass% or less, based on 100 mass% of the non-volatile components of the resin composition.
<9> The resin composition according to any one of <1> to <8>, which is for forming an insulating layer.
<10> A cured product of the resin composition according to any one of <1> to <9>.
<11> A sheet-like laminate material comprising the resin composition according to any one of <1> to <9>.
<12> A support and a resin composition layer formed on the support,
A resin sheet, wherein the resin composition layer contains the resin composition according to any one of <1> to <9>.
<13> A circuit board comprising a cured product of the resin composition according to any one of <1> to <9>.
<14> A semiconductor chip package comprising a cured product of the resin composition according to any one of <1> to <9>.
<15> A semiconductor device comprising the circuit board according to <13>.
<16> A semiconductor device comprising the semiconductor chip package according to <14>.
特に、第一の課題を解決する観点では、下記のものが望ましい。
<I-1> (A)前記式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマーを含む有機充填材と、(B)硬化性樹脂と、を含み、
(A)有機充填材の平均粒径が、5μm以下である、樹脂組成物。
<I-2> (C)無機充填材を更に含む、<I-1>に記載の樹脂組成物。
<I-3> (B)硬化性樹脂が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂、(メタ)アクリル樹脂、スチリル樹脂、プロペニル樹脂、及び、マレイミド樹脂、からなる群より選ばれる1種類以上を含む、<I-1>又は<I-2>に記載の樹脂組成物。
<I-4> (A)有機充填材の粒子が、当該(A)有機充填材の粒子の表面に露出したシェル部を含み、
前記シェル部が、前記式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマーを含む、<I-1>~<I-3>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<I-5> (A)有機充填材の平均粒径が、1μm以下である、<I-1>~<I-4>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<I-6> 絶縁層形成用である、<I-1>~<I-5>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<I-7> <I-1>~<I-6>の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物。
<I-8> <I-1>~<I-6>の何れか1項に記載の樹脂組成物を含む、シート状積層材料。
<I-9> 支持体と、当該支持体上に形成された樹脂組成物層と、を備え、
樹脂組成物層が、<I-1>~<I-6>の何れか1項に記載の樹脂組成物を含む、樹脂シート。
<I-10> <I-1>~<I-6>の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物を含む、回路基板。
<I-11> <I-1>~<I-6>の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物を含む、半導体チップパッケージ。
<I-12> <I-10>に記載の回路基板又は<I-11>に記載の半導体チップパッケージを備える、半導体装置。
In particular, from the viewpoint of solving the first problem, the following is desirable.
<I-1> (A) an organic filler containing a polymer containing a repeating unit represented by formula (1) and (B) a curable resin,
(A) A resin composition, wherein the average particle size of the organic filler is 5 μm or less.
<I-2> The resin composition according to <I-1>, further comprising (C) an inorganic filler.
<I-3> The resin composition according to <I-1> or <I-2>, in which the curable resin (B) includes at least one resin selected from the group consisting of an epoxy resin, a phenol resin, an active ester resin, a cyanate resin, a (meth)acrylic resin, a styryl resin, a propenyl resin, and a maleimide resin.
<I-4> (A) a particle of an organic filler material includes a shell portion exposed on a surface of the particle of the organic filler material (A),
The resin composition according to any one of <I-1> to <I-3>, wherein the shell portion contains a polymer containing a repeating unit represented by formula (1).
<I-5> The resin composition according to any one of <I-1> to <I-4>, in which the average particle size of the organic filler (A) is 1 μm or less.
<I-6> The resin composition according to any one of <I-1> to <I-5>, which is for forming an insulating layer.
<I-7> A cured product of the resin composition according to any one of <I-1> to <I-6>.
<I-8> A sheet-like laminate material comprising the resin composition according to any one of <I-1> to <I-6>.
<I-9> A support and a resin composition layer formed on the support,
A resin sheet, wherein the resin composition layer contains the resin composition according to any one of <I-1> to <I-6>.
<I-10> A circuit board comprising a cured product of the resin composition according to any one of <I-1> to <I-6>.
<I-11> A semiconductor chip package comprising a cured product of the resin composition according to any one of <I-1> to <I-6>.
<I-12> A semiconductor device comprising the circuit board according to <I-10> or the semiconductor chip package according to <I-11>.
また、特に第二の課題を解決する観点では、下記のものが好ましい。
<II-1> (A)前記式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマーを含む有機充填材と、(B)硬化性樹脂と、を含み、
(A)有機充填材の平均粒径が、5μm以下である、樹脂組成物。
<II-2> (C)無機充填材を更に含む、<II-1>に記載の樹脂組成物。
<II-3> (B)硬化性樹脂が、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂、(メタ)アクリル樹脂、スチリル樹脂、プロペニル樹脂、及び、マレイミド樹脂、からなる群より選ばれる1種類以上を含む、<II-1>又は<II-2>に記載の樹脂組成物。
<II-4> (A)有機充填材の粒子が、当該(A)有機充填材の粒子の表面に露出したシェル部を含み、
前記シェル部が、前記式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマーを含む、<II-1>~<II-3>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<II-5> (B)硬化性樹脂が、活性エステル樹脂を含む、<II-1>~<II-4>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<II-6> Df(25℃)に対するDf(100℃)の上昇率が、20%未満であり、
Df(25℃)は、樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の25℃での誘電正接を表し、
Df(100℃)は、樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の100℃での誘電正接を表す、<II-1>~<II-5>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<II-7> (A)有機充填材の量が、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、0.2質量%以上5質量%以下である、<II-1>~<II-6>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<II-8> 絶縁層形成用である、<II-1>~<II-7>のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
<II-9> <II-1>~<II-8>の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物。
<II-10> <II-1>~<II-8>の何れか1項に記載の樹脂組成物を含有する、シート状積層材料。
<II-11> 支持体と、当該支持体上に形成された樹脂組成物層と、を備え、
樹脂組成物層が、<II-1>~<II-8>の何れか1項に記載の樹脂組成物を含む、樹脂シート。
<II-12> <II-1>~<II-8>の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物を含む、回路基板。
<II-13> <II-1>~<II-8>の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物を含む、半導体チップパッケージ。
<II-14> <II-12>に記載の回路基板又は<II-13>に記載の半導体チップパッケージを備える、半導体装置。
In particular, from the viewpoint of solving the second problem, the following is preferable.
<II-1> (A) an organic filler containing a polymer containing a repeating unit represented by the formula (1) and (B) a curable resin,
(A) A resin composition, wherein the average particle size of the organic filler is 5 μm or less.
<II-2> The resin composition according to <II-1>, further comprising (C) an inorganic filler.
<II-3> The resin composition according to <II-1> or <II-2>, in which the curable resin (B) includes at least one selected from the group consisting of an epoxy resin, a phenolic resin, an active ester resin, a cyanate resin, a (meth)acrylic resin, a styryl resin, a propenyl resin, and a maleimide resin.
<II-4> (A) Particles of an organic filler material include a shell portion exposed on the surface of the particles of the organic filler material (A),
The resin composition according to any one of <II-1> to <II-3>, wherein the shell portion contains a polymer containing a repeating unit represented by formula (1).
<II-5> The resin composition according to any one of <II-1> to <II-4>, in which the curable resin (B) contains an active ester resin.
<II-6> The increase rate of Df(100 ° C) relative to Df(25 ° C) is less than 20%,
Df (25°C) represents the dielectric tangent at 25°C of a cured product obtained by heat-treating a resin composition at 200°C for 90 minutes,
Df (100 ° C.) represents the dielectric tangent at 100 ° C. of a cured product obtained by heat-treating the resin composition at 200 ° C. for 90 minutes. The resin composition according to any one of <II-1> to <II-5>.
<II-7> The resin composition according to any one of <II-1> to <II-6>, wherein the amount of the organic filler (A) is 0.2 mass% or more and 5 mass% or less, based on 100 mass% of the non-volatile components of the resin composition.
<II-8> The resin composition according to any one of <II-1> to <II-7>, which is for forming an insulating layer.
<II-9> A cured product of the resin composition according to any one of <II-1> to <II-8>.
<II-10> A sheet-like laminate material containing the resin composition according to any one of <II-1> to <II-8>.
<II-11> A support and a resin composition layer formed on the support,
A resin sheet, wherein the resin composition layer contains the resin composition according to any one of <II-1> to <II-8>.
<II-12> A circuit board comprising a cured product of the resin composition according to any one of <II-1> to <II-8>.
<II-13> A semiconductor chip package comprising a cured product of the resin composition according to any one of <II-1> to <II-8>.
<II-14> A semiconductor device comprising the circuit board according to <II-12> or the semiconductor chip package according to <II-13>.
本発明の樹脂組成物によれば、下記の第一の効果及び第二の効果の少なくともいずれかが得られる。
第一に、本発明によれば、誘電正接が低く、クラック耐性及びブリスター耐性に優れる絶縁層を得ることができる樹脂組成物;当該樹脂組成物を含むシート状積層材料及び樹脂シート;当該樹脂組成物の硬化物を含む回路基板、半導体チップパッケージ及び半導体装置;を提供できる。
第二に、本発明によれば、クラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性に優れる絶縁層を得ることができる樹脂組成物;当該樹脂組成物を含むシート状積層材料及び樹脂シート;当該樹脂組成物の硬化物を含む回路基板、半導体チップパッケージ及び半導体装置;を提供できる。
According to the resin composition of the present invention, at least one of the following first and second effects can be obtained.
First, the present invention can provide a resin composition capable of obtaining an insulating layer having a low dielectric tangent and excellent crack resistance and blister resistance; a sheet-like laminate material and a resin sheet containing the resin composition; and a circuit board, a semiconductor chip package, and a semiconductor device each containing a cured product of the resin composition.
Secondly, according to the present invention, there can be provided a resin composition capable of obtaining an insulating layer excellent in crack resistance, temperature stability of dielectric tangent at high temperatures, and insulation reliability; a sheet-like laminate material and a resin sheet containing the resin composition; and a circuit board, a semiconductor chip package, and a semiconductor device each containing a cured product of the resin composition.
以下、本発明について実施形態及び例示物を示して説明する。ただし、本発明は、下記に示す実施形態及び例示物に限定されるものではなく、特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施されうる。 The present invention will be described below with reference to embodiments and examples. However, the present invention is not limited to the embodiments and examples shown below, and may be modified as desired without departing from the scope of the claims and their equivalents.
以下の説明において、用語「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸、メタクリル案及びその組み合わせを包含する。また、用語「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート、メタクリレート及びその組み合わせを包含する。 In the following description, the term "(meth)acrylic acid" includes acrylic acid, methacrylic acid, and combinations thereof. Also, the term "(meth)acrylate" includes acrylate, methacrylate, and combinations thereof.
以下の説明において、用語「誘電率」は、別に断らない限り比誘電率を表す。 In the following description, the term "dielectric constant" refers to the relative dielectric constant unless otherwise specified.
<第一実施形態に係る樹脂組成物の概要>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、(A)有機充填材と(B)硬化性樹脂とを組み合わせて含む。(A)有機充填材は、下記式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマーを含む。そして、(A)有機充填材は、特定範囲の平均粒径を有する。以下、式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマーを、適宜「ポリマー(1)」ということがある。
<Overview of resin composition according to the first embodiment>
The resin composition according to the first embodiment of the present invention contains a combination of an organic filler (A) and a curable resin (B). The organic filler (A) contains a polymer containing a repeating unit represented by the following formula (1). The organic filler (A) has an average particle size within a specific range. Hereinafter, the polymer containing the repeating unit represented by formula (1) may be appropriately referred to as "polymer (1)".
Raは、それぞれ独立に、水素原子又は1価の飽和炭化水素基を表し、
Rbは、水素原子、又は、置換基を有していてもよい1価の炭化水素基を表す。)
Each R a independently represents a hydrogen atom or a monovalent saturated hydrocarbon group;
R b represents a hydrogen atom or a monovalent hydrocarbon group which may have a substituent.
第一実施形態に係る樹脂組成物によれば、誘電正接が低く、クラック耐性及びブリスター耐性に優れる絶縁層を得ることができる。また、この絶縁層は、通常、低い比誘電率を有することができる。 The resin composition according to the first embodiment can provide an insulating layer that has a low dielectric tangent and excellent crack resistance and blister resistance. In addition, this insulating layer can usually have a low relative dielectric constant.
<第一実施形態に係る(A)有機充填材>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、(A)成分としての(A)有機充填材を含む。この(A)有機充填材は、樹脂組成物中に粒子状の形態で存在し、通常は、その粒子状の形態を維持したまま硬化物に含まれる。
<(A) Organic Filler According to the First Embodiment>
The resin composition according to the first embodiment of the present invention contains an organic filler (A) as component (A). This organic filler (A) is present in the resin composition in particulate form, and is usually included in the cured product while maintaining the particulate form.
(A)有機充填材は、式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマー(1)を含む。ポリマー(1)を含む(A)有機充填材は、通常、樹脂組成物の硬化物において応力を緩和させる作用を発揮できるので、硬化物のクラック耐性を向上させることができる。また、その硬化物は、通常、低い極性を有することができるので、誘電正接等の誘電特性を低くすることができる。 The (A) organic filler contains a polymer (1) containing a repeating unit represented by formula (1). The (A) organic filler containing the polymer (1) can usually exert an effect of relieving stress in the cured product of the resin composition, and therefore can improve the crack resistance of the cured product. In addition, the cured product can usually have low polarity, and therefore can have low dielectric properties such as dielectric loss tangent.
式(1)において、Raは、それぞれ独立に、水素原子又は1価の飽和炭化水素基を表す。1価の飽和炭化水素基は、環構造を含まない鎖状炭化水素基であってもよく、環構造を含む環状炭化水素基であってもよい。中でも、1価の飽和炭化水素基は、アルキル基が好ましい。また、Raとしての1価の飽和炭化水素基の炭素原子数は、通常1以上であり、通常12以下、好ましくは8以下、特に好ましくは6以下である。好ましい1価の飽和炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基;シクロヘキシル基等のシクロアルキル基;が挙げられる。中でも、Raは、水素原子が好ましい。 In formula (1), each R a independently represents a hydrogen atom or a monovalent saturated hydrocarbon group. The monovalent saturated hydrocarbon group may be a chain-like hydrocarbon group that does not include a ring structure, or may be a cyclic hydrocarbon group that includes a ring structure. Among these, the monovalent saturated hydrocarbon group is preferably an alkyl group. The number of carbon atoms of the monovalent saturated hydrocarbon group represented by R a is usually 1 or more, and usually 12 or less, preferably 8 or less, and particularly preferably 6 or less. Preferred examples of the monovalent saturated hydrocarbon group include alkyl groups such as methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, and hexyl groups; and cycloalkyl groups such as cyclohexyl groups. Among these, R a is preferably a hydrogen atom.
式(1)において、Rbは、水素原子、又は、置換基を有していてもよい1価の炭化水素基を表す。1価の炭化水素基は、環構造を含まない鎖状炭化水素基であってもよく、環構造を含む環状炭化水素基であってもよい。また、1価の炭化水素基は、飽和炭化水素基であってもよく、不飽和炭化水素基であってもよい。さらに、1価の炭化水素基は、脂肪族炭化水素基であってもよく、芳香族炭化水素基であってもよい。Rbとしての1価の炭化水素基の炭素原子数は、通常1以上であり、通常18以下、好ましくは12以下、より好ましくは8以下、特に好ましくは6以下である。好ましい1価の炭化水素基としては、例えば、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等のアルキル基;ビニル基等のアルケニル基;シクロヘキシル基等のシクロアルキル基;フェニル基、ナフチル基等のアリール基;メチルフェニル基、エチルフェニル基等のアルキルアリール基;が挙げられる。 In formula (1), R b represents a hydrogen atom or a monovalent hydrocarbon group which may have a substituent. The monovalent hydrocarbon group may be a chain-like hydrocarbon group which does not contain a ring structure, or may be a cyclic hydrocarbon group which contains a ring structure. The monovalent hydrocarbon group may be a saturated hydrocarbon group or an unsaturated hydrocarbon group. The monovalent hydrocarbon group may be an aliphatic hydrocarbon group or an aromatic hydrocarbon group. The number of carbon atoms of the monovalent hydrocarbon group represented by R b is usually 1 or more, and usually 18 or less, preferably 12 or less, more preferably 8 or less, and particularly preferably 6 or less. Preferred examples of the monovalent hydrocarbon group include alkyl groups such as methyl, ethyl, propyl, butyl, pentyl, and hexyl groups; alkenyl groups such as vinyl groups; cycloalkyl groups such as cyclohexyl groups; aryl groups such as phenyl and naphthyl groups; and alkylaryl groups such as methylphenyl and ethylphenyl groups.
Rbの1価の炭化水素基は、置換基を有していてもよい。炭化水素基が「置換基を有していてもよい」という用語は、別に断らない限り、炭化水素基の水素原子が置換基で置換されていない場合、及び、該炭化水素基の水素原子の一部又は全部が置換基で置換されている場合の双方を意味する。置換基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、シクロアルキルオキシ基、アリールオキシ基、アリールアルコキシ基、1価の複素環基、アミノ基、シリル基、アシル基、アシルオキシ基、カルボキシ基、スルホ基、シアノ基、ニトロ基、ヒドロキシ基、メルカプト基及びオキソ基などが挙げられる。中でも、ヒドロキシ基及びカルボキシ基が好ましく、カルボキシ基が特に好ましい。 The monovalent hydrocarbon group of R b may have a substituent. The term "optionally substituted" of the hydrocarbon group means both the case where the hydrogen atoms of the hydrocarbon group are not substituted with a substituent and the case where some or all of the hydrogen atoms of the hydrocarbon group are substituted with a substituent, unless otherwise specified. Examples of the substituent include a halogen atom, an alkoxy group, a cycloalkyloxy group, an aryloxy group, an arylalkoxy group, a monovalent heterocyclic group, an amino group, a silyl group, an acyl group, an acyloxy group, a carboxy group, a sulfo group, a cyano group, a nitro group, a hydroxy group, a mercapto group, and an oxo group. Among them, a hydroxy group and a carboxy group are preferred, and a carboxy group is particularly preferred.
前記の中でも、Rbは、置換基を有していてもよい1価の環状炭化水素基が好ましく、ヒドロキシ基、カルボキシ基又はアルキル基を有していてもよいアリール基がより好ましく、ヒドロキシ基又はカルボキシ基を有していてもよいアリール基が更に好ましく、カルボキシ基を有していてもよいアリール基が更に好ましく、無置換のアリール基が更に好ましく、フェニル基が特に好ましい。 Among the above, R b is preferably a monovalent cyclic hydrocarbon group which may have a substituent, more preferably an aryl group which may have a hydroxy group, a carboxy group, or an alkyl group, still more preferably an aryl group which may have a hydroxy group or a carboxy group, still more preferably an aryl group which may have a carboxy group, still more preferably an unsubstituted aryl group, and particularly preferably a phenyl group.
式(1)で表される繰り返し単位の例としては、下記の式(1-1)~式(1-5)で表されるものが挙げられる。中でも、式(1-1)で表される繰り返し単位及び式(1-5)で表される繰り返し単位が好ましい。 Examples of the repeating unit represented by formula (1) include those represented by the following formulas (1-1) to (1-5). Among these, the repeating unit represented by formula (1-1) and the repeating unit represented by formula (1-5) are preferred.
ポリマー(1)は、式(1)で表される繰り返し単位を多く含有することが好ましく、式(1)で表される繰り返し単位のみを含有していてもよい。式(1)で表される繰り返し単位の量は、ポリマー(1)の全質量100質量%に対して、好ましくは30質量%以上、より好ましくは50質量%以上、更に好ましくは70質量%以上、特に好ましくは90質量%以上であり、通常100質量%以下である。 Polymer (1) preferably contains a large amount of repeating units represented by formula (1), and may contain only repeating units represented by formula (1). The amount of repeating units represented by formula (1) is preferably 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, even more preferably 70% by mass or more, particularly preferably 90% by mass or more, and is usually 100% by mass or less, based on the total mass (100% by mass) of polymer (1).
ポリマー(1)は、単独重合体であってもよく、共重合体であってもよい。よって、ポリマー(1)は、式(1)で表される1の繰り返し単位のみを含有する単独重合体であってもよく、式(1)で表される2以上の繰り返し単位を含有する共重合体であってもよい。さらに、ポリマー(1)は、式(1)で表される繰り返し単位と、式(1)で表されない任意の繰り返し単位とを組み合わせて含有する共重合体であってもよい。 Polymer (1) may be a homopolymer or a copolymer. Thus, polymer (1) may be a homopolymer containing only one repeating unit represented by formula (1), or a copolymer containing two or more repeating units represented by formula (1). Furthermore, polymer (1) may be a copolymer containing a combination of a repeating unit represented by formula (1) and any repeating unit not represented by formula (1).
ポリマー(1)が任意の繰り返し単位を含有する共重合体である場合、任意の繰り返し単位は、任意の単量体を重合して形成される構造を有しうる。任意の単量体としては、例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸オクチル、(メタ)アクリル酸グリシジル等の(メタ)アクリル酸エステル;(メタ)アクリル酸;N-メチルマレイミド、N-フェニルマレイミド等のN-置換マレイミド;マレイミド;マレイン酸、イタコン酸等のα,β-不飽和カルボン酸;などが挙げられる。任意の単量体は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。よって、ポリマー(1)は、任意の繰り返し単位を、1種類のみ含んでいてもよく、2種類以上を組み合わせて含んでいてもよい。 When the polymer (1) is a copolymer containing an optional repeating unit, the optional repeating unit may have a structure formed by polymerizing an optional monomer. Examples of the optional monomer include (meth)acrylic acid esters such as methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, octyl (meth)acrylate, and glycidyl (meth)acrylate; (meth)acrylic acid; N-substituted maleimides such as N-methylmaleimide and N-phenylmaleimide; maleimide; α,β-unsaturated carboxylic acids such as maleic acid and itaconic acid; and the like. The optional monomer may be used alone or in combination of two or more types. Thus, the polymer (1) may contain only one type of the optional repeating unit, or in combination of two or more types.
ポリマー(1)における任意の繰り返し単位の量は少ないことが好ましい。任意の繰り返し単位の量は、ポリマー(1)の全質量100質量%に対して、好ましくは70質量%以下、より好ましくは50質量%以下、更に好ましくは30質量%以下、特に好ましくは10質量%以下であり、0質量%であってもよい。 It is preferable that the amount of optional repeating units in polymer (1) is small. The amount of optional repeating units is preferably 70% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, even more preferably 30% by mass or less, particularly preferably 10% by mass or less, relative to the total mass of polymer (1) (100% by mass), and may be 0% by mass.
ポリマー(1)のガラス転移温度は、好ましくは20℃以上、より好ましくは50℃以上、特に好ましくは80℃以上であり、好ましくは180℃以下、より好ましくは150℃以下、特に好ましくは120℃以下である。ポリマー(1)のガラス転移温度は、DSC(示差走査熱量測定)により昇温速度10℃/分で測定でできる。 The glass transition temperature of polymer (1) is preferably 20°C or higher, more preferably 50°C or higher, particularly preferably 80°C or higher, and is preferably 180°C or lower, more preferably 150°C or lower, particularly preferably 120°C or lower. The glass transition temperature of polymer (1) can be measured by DSC (differential scanning calorimetry) at a heating rate of 10°C/min.
(A)有機充填材は、ポリマー(1)を多く含むことが好ましく、ポリマー(1)のみを含んでいてもよい。ポリマー(1)の量は、(A)有機充填材100質量%に対して、好ましくは30質量%以上、より好ましくは50質量%以上、更に好ましくは70質量%以上、特に好ましくは90質量%以上であり、通常100質量%以下である。 The organic filler (A) preferably contains a large amount of polymer (1), and may contain only polymer (1). The amount of polymer (1) is preferably 30% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, even more preferably 70% by mass or more, particularly preferably 90% by mass or more, and is usually 100% by mass or less, based on 100% by mass of the organic filler (A).
(A)有機充填材は、ポリマー(1)に組み合わせて、任意の成分を含んでいてもよい。(A)有機充填材が含みうるポリマー(1)以外の任意の成分としては、例えば、任意のポリマーが挙げられる。任意のポリマーとしては、例えば、ポリ(メタ)アクリル酸メチル、ポリ(メタ)アクリル酸エチル、ポリ(メタ)アクリル酸プロピル、ポリ(メタ)アクリル酸ブチル、ポリ(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、ポリ(メタ)アクリル酸オクチル等のアクリル系ポリマー;ポリジメチルシロキサン等のシリコーン系ポリマー;が挙げられる。任意の成分は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 The (A) organic filler may contain an optional component in combination with the polymer (1). Examples of optional components other than the polymer (1) that the (A) organic filler may contain include optional polymers. Examples of optional polymers include acrylic polymers such as polymethyl(meth)acrylate, polyethyl(meth)acrylate, polypropyl(meth)acrylate, polybutyl(meth)acrylate, polycyclohexyl(meth)acrylate, and polyoctyl(meth)acrylate; and silicone polymers such as polydimethylsiloxane. One type of optional component may be used alone, or two or more types may be used in combination.
(A)有機充填材における任意の成分の量は少ないことが好ましい。(A)有機充填材が含みうる任意の成分の量は、(A)有機充填材100質量%に対して、好ましくは70質量%以下、より好ましくは50質量%以下、更に好ましくは30質量%以下、特に好ましくは10質量%以下であり、0質量%であってもよい。 The amount of optional components in the (A) organic filler is preferably small. The amount of optional components that the (A) organic filler may contain is preferably 70% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, even more preferably 30% by mass or less, particularly preferably 10% by mass or less, relative to 100% by mass of the (A) organic filler, and may even be 0% by mass.
(A)有機充填材の粒子は、粒子全体が均一な組成を有していてもよく、当該粒子が不均一な組成を有していてもよい。(A)有機充填材の粒子に含まれる部分を組成によって区分した場合、当該粒子は、通常、粒子の表面に露出したシェル部を含む。このシェル部は、(A)有機充填材の粒子の最外層部分に該当する。よって、均一な組成を有する(A)有機充填材の粒子は、当該粒子全体がシェル部によって形成されていると理解できる。また、不均一な組成を有する(A)有機充填材の粒子は、シェル部と、このシェル部内に形成されたコア部とを有していてもよい。この際、(A)有機充填材の粒子は、コア部内に更に任意の部分を含んでいてもよく、シェル部とコア部との間に任意の部分を含んでいてもよい。ここで、シェル部とコア部とが明確に区別できなくてもよく、シェル部とコア部との境界は不明瞭であってよい。さらに、コア部はシェル部によって被覆されていてもよく、完全には被覆されていなくてもよい。さらに、(A)有機充填材の粒子は、シェル部内に中空部を有していてもよい。 The particles of the (A) organic filler may have a uniform composition throughout the particle, or the particles may have a non-uniform composition. When the portions contained in the particles of the (A) organic filler are divided according to composition, the particles usually include a shell portion exposed on the surface of the particle. This shell portion corresponds to the outermost layer portion of the particles of the (A) organic filler. Therefore, it can be understood that the particles of the (A) organic filler having a uniform composition are formed entirely by the shell portion. Furthermore, the particles of the (A) organic filler having a non-uniform composition may have a shell portion and a core portion formed within the shell portion. In this case, the particles of the (A) organic filler may further include an arbitrary portion within the core portion, or may include an arbitrary portion between the shell portion and the core portion. Here, the shell portion and the core portion may not be clearly distinguishable, and the boundary between the shell portion and the core portion may be unclear. Furthermore, the core portion may be covered by the shell portion, or may not be completely covered. Furthermore, the particles of the (A) organic filler may have a hollow portion within the shell portion.
本発明の効果を顕著に発揮する観点では、前記のシェル部が、ポリマー(1)が含むことが好ましい。シェル部は、ポリマー(1)を多く含むことが好ましく、ポリマー(1)のみを含んでいてもよい。シェル部100質量%に対するポリマー(1)の量の範囲は、上述した(A)有機充填材100質量%に対するポリマー(1)の量の範囲と同じであってもよい。シェル部がポリマー(1)を含む場合、(A)有機充填材の粒子の凝集を効果的に抑制できるので、(A)有機充填材による作用を有効に発揮できる。また、特に(A)有機充填材の粒子がシェル部とコア部とを組み合わせて含む場合、シェル部によって覆われるコア部の組成の自由度を高めることができる。 From the viewpoint of exerting the effect of the present invention remarkably, it is preferable that the shell portion contains polymer (1). It is preferable that the shell portion contains a large amount of polymer (1), and it may contain only polymer (1). The range of the amount of polymer (1) relative to 100% by mass of the shell portion may be the same as the range of the amount of polymer (1) relative to 100% by mass of the (A) organic filler described above. When the shell portion contains polymer (1), the aggregation of the particles of the (A) organic filler can be effectively suppressed, so that the effect of the (A) organic filler can be effectively exerted. In particular, when the particles of the (A) organic filler contain a combination of a shell portion and a core portion, the degree of freedom of the composition of the core portion covered by the shell portion can be increased.
上述したポリマー(1)を含む市販の(A)有機充填材としては、例えば、平均粒径が1μm以下の有機充填材として、根上工業社製の「SEP-03T3」、「SEP-03T3A」、「SSD-001T」、「SEP-03T4」、「SEP-03T3AB」、「SEP-03T3AC」、「SEP-03T3AD」;積水化成品工業社製の「XX-6283Z」、「XX-6288Z」、「XX-6145Z」、「XX-6229Z」、「XX-6283Z」、「XX-6214Z(中空ポリスチレン)」、「XX-6430Z(中空ポリスチレン)」;アイカ工業社製の「PS-050-1」、「PS-050-2」;森本ケミカル社製の「SB-25N」;が挙げられる。また、例えば、平均粒径が1μmより大きい有機充填材として、アイカ工業社製の「GS-0305」(平均粒径3μm);森本ケミカル社製の「SB-25」(平均粒径2.5μm);綜研化学社製の「SX-130H」(平均粒径1.3μm);などが挙げられる。 Examples of commercially available (A) organic fillers containing the above-mentioned polymer (1) include organic fillers having an average particle size of 1 μm or less, such as "SEP-03T3", "SEP-03T3A", "SSD-001T", "SEP-03T4", "SEP-03T3AB", "SEP-03T3AC", and "SEP-03T3AD" manufactured by Negami Chemical Industry Co., Ltd.; "XX-6283Z", "XX-6288Z", "XX-6145Z", "XX-6229Z", "XX-6283Z", "XX-6214Z (hollow polystyrene)", and "XX-6430Z (hollow polystyrene)" manufactured by Sekisui Plastics Co., Ltd.; "PS-050-1" and "PS-050-2" manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd.; and "SB-25N" manufactured by Morimoto Chemical Co., Ltd. Examples of organic fillers with an average particle size greater than 1 μm include "GS-0305" (average particle size 3 μm) manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd.; "SB-25" (average particle size 2.5 μm) manufactured by Morimoto Chemical Co., Ltd.; and "SX-130H" (average particle size 1.3 μm) manufactured by Soken Chemical & Engineering Co., Ltd.
(A)有機充填材は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 (A) The organic filler may be used alone or in combination of two or more types.
(A)有機充填材は、特定範囲の平均粒径を有する。具体的には、(A)有機充填材の平均粒径は、通常5μm以下、好ましくは3μm以下、特に好ましくは1μm以下である。(A)有機充填材の粒子の平均粒径が前記のように小さい場合、誘電正接及びクラック耐性だけでなくブリスター耐性の改善が可能である。詳細には、以下の通りである。ポリマー(1)を含有する有機充填材を含む硬化物は、従来、絶縁層の下地としての導体層との密着性が低い傾向があった。よって、従来は、硬化物によって形成された絶縁層上に導体層を形成してリフロー処理を施した場合に、下地としての導体層から絶縁層が剥がれて当該絶縁層上の導体層が容易に盛り上がるので、ブリスターが生じやすかった。これに対し、本発明の第一実施形態においては、特定範囲の平均粒径を有する(A)有機充填材を用いたことにより、優れたクラック耐性及び誘電特性を有しながら、ブリスターを抑制することを達成した。(A)有機充填材の平均粒径を制御することによってブリスターが抑制できることは、本発明者が初めて発見した効果であり、従来の技術常識からすれば意外な効果といえる。(A)有機充填材の平均粒径の下限は、特段の制限はなく、例えば、0.01μm以上、0.05μm以上、0.1μm以上などでありうる。 (A) The organic filler has an average particle size in a specific range. Specifically, the average particle size of the organic filler (A) is usually 5 μm or less, preferably 3 μm or less, and particularly preferably 1 μm or less. When the average particle size of the particles of the organic filler (A) is small as described above, it is possible to improve not only the dielectric tangent and crack resistance but also the blister resistance. In detail, it is as follows. Conventionally, a cured product containing an organic filler containing a polymer (1) has tended to have low adhesion to a conductor layer as a base of an insulating layer. Therefore, conventionally, when a conductor layer is formed on an insulating layer formed by a cured product and a reflow treatment is performed, the insulating layer peels off from the conductor layer as a base and the conductor layer on the insulating layer easily rises, so that blisters are likely to occur. In contrast, in the first embodiment of the present invention, by using an organic filler (A) having an average particle size in a specific range, it has been achieved to suppress blisters while having excellent crack resistance and dielectric properties. (A) The fact that blisters can be suppressed by controlling the average particle size of the organic filler was an effect discovered for the first time by the present inventor, and is an unexpected effect given conventional technical common sense. (A) There is no particular lower limit to the average particle size of the organic filler, and it can be, for example, 0.01 μm or more, 0.05 μm or more, or 0.1 μm or more.
(A)有機充填材の平均粒径は、レーザー回折式粒径分布測定装置(例えば、島津製作所社製「SALD-2100」)を用いて測定できる。前記の測定装置によれば、(A)有機充填材の平均粒径として体積平均粒径を測定しうる。測定は、(A)有機充填材を溶解しない有機溶媒に(A)有機充填材を分散させて行いうる。有機溶媒としては、(A)有機充填材の凝集を抑制するため、通常は低極性溶剤又は中極性溶剤を用い、好ましくはトルエン又はテトラヒドロフラン(THF)を用いる。 The average particle size of the (A) organic filler can be measured using a laser diffraction particle size distribution measuring device (e.g., "SALD-2100" manufactured by Shimadzu Corporation). With this measuring device, the volume average particle size can be measured as the average particle size of the (A) organic filler. The measurement can be performed by dispersing the (A) organic filler in an organic solvent that does not dissolve the (A) organic filler. As the organic solvent, a low polarity solvent or a medium polarity solvent is usually used, preferably toluene or tetrahydrofuran (THF), in order to suppress aggregation of the (A) organic filler.
(A)有機充填材は、表面処理剤で処理されていなくてもよく、表面処理剤で処理されていてもよい。(A)有機充填材のための表面処理剤としては、例えば、塩酸、硝酸、硫酸等の無機酸;酢酸、プロピオン酸、酪酸、アクリル酸等のカルボン酸、p-トルエンスルホン酸、エチルスルホン酸、ドデシルベンゼンスルホン酸等のスルホン酸、ポリオキシエチレンアルキルエーテルリン酸等のリン酸、ホスホン酸、ホスフィン酸等の有機酸;テトラエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、3-(メタ)アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、8-(メタ)アクリロキシオクチルトリメトキシシラン等のシランカップリング剤;エチルイソシアネート等のイソシアネート系化合物等が挙げられる。表面処理剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 (A) The organic filler may not be treated with a surface treatment agent, or may be treated with a surface treatment agent. Examples of surface treatment agents for the organic filler (A) include inorganic acids such as hydrochloric acid, nitric acid, and sulfuric acid; carboxylic acids such as acetic acid, propionic acid, butyric acid, and acrylic acid; sulfonic acids such as p-toluenesulfonic acid, ethylsulfonic acid, and dodecylbenzenesulfonic acid; phosphoric acids such as polyoxyethylene alkyl ether phosphoric acid; organic acids such as phosphonic acid and phosphinic acid; silane coupling agents such as tetraethoxysilane, methyltrimethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, 3-(meth)acryloxypropyltrimethoxysilane, and 8-(meth)acryloxyoctyltrimethoxysilane; and isocyanate compounds such as ethyl isocyanate. One type of surface treatment agent may be used alone, or two or more types may be used in combination.
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(A)有機充填材の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.2質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、好ましくは20質量%以下、より好ましくは10質量%以下、特に好ましくは5質量%以下である。(A)有機充填材の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of (A) organic filler contained in the resin composition according to the first embodiment of the present invention is preferably 0.2% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and preferably 20% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, particularly preferably 5% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of (A) organic filler is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, usually, the relative dielectric constant of the insulating layer can be reduced.
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(A)有機充填材の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは0.2質量%以上、より好ましくは1質量%以上、特に好ましくは2質量%以上であり、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、特に好ましくは20質量%以下である。樹脂組成物の樹脂成分とは、樹脂組成物の不揮発成分のうち、(C)無機充填材を除いた成分を表す。(A)有機充填材の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of (A) organic filler contained in the resin composition according to the first embodiment of the present invention is preferably 0.2% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, particularly preferably 2% by mass or more, and preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, particularly preferably 20% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. The resin components of the resin composition refer to the non-volatile components of the resin composition excluding (C) inorganic filler. When the amount of (A) organic filler is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, usually, the relative dielectric constant of the insulating layer can be reduced.
<第一実施形態に係る(B)硬化性樹脂>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、(B)成分としての(B)硬化性樹脂を含む。(B)硬化性樹脂には、上述した(A)成分に該当するものは含めない。(B)硬化性樹脂は、熱硬化性樹脂であってもよく、光硬化性樹脂であってもよく、これらの組み合わせであってもよい。また、硬化性樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
<(B) Curable resin according to the first embodiment>
The resin composition according to the first embodiment of the present invention includes a curable resin (B) as the component (B). The curable resin (B) does not include those corresponding to the above-mentioned component (A). The curable resin (B) may be a thermosetting resin, a photocurable resin, or a combination thereof. In addition, the curable resin may be used alone or in combination of two or more types.
硬化性樹脂の例としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂、カルボジイミド樹脂、酸無水物樹脂、アミン樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、チオール樹脂、及び、ラジカル重合性樹脂などが挙げられる。硬化性樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of curable resins include epoxy resins, phenolic resins, active ester resins, cyanate resins, carbodiimide resins, acid anhydride resins, amine resins, benzoxazine resins, thiol resins, and radical polymerizable resins. One type of curable resin may be used alone, or two or more types may be used in combination.
特に、本発明の効果を顕著に得る観点からは、エポキシ樹脂と、そのエポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させうる樹脂とを組み合わせて用いることが好ましい。エポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させうる樹脂を、以下「硬化剤」と呼ぶことがある。硬化剤としては、例えば、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂、カルボジイミド樹脂、酸無水物樹脂、アミン樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、チオール樹脂などが挙げられる。硬化剤の中でも、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂及びカルボジイミド樹脂が好ましい。また、硬化剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 In particular, from the viewpoint of obtaining the effects of the present invention more significantly, it is preferable to use a combination of an epoxy resin and a resin capable of reacting with the epoxy resin to cure the resin composition. Hereinafter, the resin capable of reacting with the epoxy resin to cure the resin composition may be referred to as a "curing agent". Examples of the curing agent include phenolic resin, active ester resin, cyanate resin, carbodiimide resin, acid anhydride resin, amine resin, benzoxazine resin, and thiol resin. Among the curing agents, phenolic resin, active ester resin, cyanate resin, and carbodiimide resin are preferable. In addition, the curing agent may be used alone or in combination of two or more types.
エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する硬化性樹脂である。エポキシ樹脂としては、例えば、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂、イソシアヌラート型エポキシ樹脂、フェノールフタルイミジン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Epoxy resin is a curable resin that contains epoxy groups. Examples of the epoxy resin include bixylenol type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, phenol aralkyl type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having a butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring-containing epoxy resin, cyclohexane type epoxy resin, cyclohexane dimethanol type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, trimethylol type epoxy resin, tetraphenylethane type epoxy resin, isocyanurate type epoxy resin, phenolphthalimidine type epoxy resin, and the like. The epoxy resin may be used alone or in combination of two or more types.
エポキシ樹脂は、耐熱性に優れる硬化物を得る観点から、芳香族構造を含有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。芳香族構造とは、一般に芳香族と定義される化学構造であり、多環芳香族及び芳香族複素環をも含む。芳香族構造を含有するエポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビシキレノール型エポキシ樹脂、芳香族構造を有するグリシジルアミン型エポキシ樹脂、芳香族構造を有するグリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、芳香族構造を有する線状脂肪族エポキシ樹脂、芳香族構造を有するブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、芳香族構造を有する脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、芳香族構造を有するスピロ環含有エポキシ樹脂、芳香族構造を有するシクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、芳香族構造を有するトリメチロール型エポキシ樹脂、芳香族構造を有するテトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。 From the viewpoint of obtaining a cured product with excellent heat resistance, it is preferable that the epoxy resin contains an aromatic structure. An aromatic structure is a chemical structure generally defined as aromatic, and includes polycyclic aromatic rings and aromatic heterocycles. Examples of epoxy resins containing an aromatic structure include bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, trisphenol type epoxy resins, naphthol novolac type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, tert-butyl-catechol type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, naphthol type epoxy resins, anthracene type epoxy resins, bisxylenol type epoxy resins, glycidylamine type epoxy resins having an aromatic structure, glycidyl ester type epoxy resins having an aromatic structure, cresol novolac type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, linear aliphatic epoxy resins having an aromatic structure, epoxy resins having a butadiene structure having an aromatic structure, alicyclic epoxy resins having an aromatic structure, heterocyclic epoxy resins, spiro ring-containing epoxy resins having an aromatic structure, cyclohexane dimethanol type epoxy resins having an aromatic structure, naphthylene ether type epoxy resins, trimethylol type epoxy resins having an aromatic structure, and tetraphenylethane type epoxy resins having an aromatic structure.
(B)硬化性樹脂は、エポキシ樹脂として、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。エポキシ樹脂の不揮発成分100質量%に対して、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂の割合は、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、特に好ましくは70質量%以上である。 (B) The curable resin preferably contains, as an epoxy resin, an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. The proportion of the epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule relative to 100% by mass of the non-volatile components of the epoxy resin is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and particularly preferably 70% by mass or more.
エポキシ樹脂には、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」ということがある。)と、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」ということがある。)とがある。樹脂組成物は、エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、或いは固体状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、或いは液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて含んでいてもよい。 Epoxy resins include epoxy resins that are liquid at a temperature of 20°C (hereinafter sometimes referred to as "liquid epoxy resins") and epoxy resins that are solid at a temperature of 20°C (hereinafter sometimes referred to as "solid epoxy resins"). The resin composition may contain only liquid epoxy resins as the epoxy resin, or may contain only solid epoxy resins, or may contain a combination of liquid epoxy resins and solid epoxy resins.
液状エポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂が好ましい。 Preferably, the liquid epoxy resin has two or more epoxy groups in one molecule.
液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましい。 Preferred liquid epoxy resins are bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, glycidyl ester type epoxy resins, glycidyl amine type epoxy resins, phenol novolac type epoxy resins, alicyclic epoxy resins having an ester skeleton, cyclohexane type epoxy resins, cyclohexane dimethanol type epoxy resins, and epoxy resins having a butadiene structure.
液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「828US」、「828EL」、「jER828EL」、「825」、「エピコート828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER807」、「1750」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「630」、「630LSD」、「604」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂);ADEKA社製の「ED-523T」(グリシロール型エポキシ樹脂);ADEKA社製の「EP-3950L」、「EP-3980S」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂);ADEKA社製の「EP-4088S」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル化学社製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品);ナガセケムテックス社製の「EX-721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂);ダイセル社製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂);ダイセル社製の「PB-3600」、日本曹達社製の「JP-100」、「JP-200」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4-グリシジルシクロヘキサン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of liquid epoxy resins include DIC's "HP4032", "HP4032D", and "HP4032SS" (naphthalene type epoxy resins); Mitsubishi Chemical's "828US", "828EL", "jER828EL", "825", and "Epicoat 828EL" (bisphenol A type epoxy resins); Mitsubishi Chemical's "jER807" and "1750" (bisphenol F type epoxy resins); Mitsubishi Chemical's "jER152" (phenol novolac type epoxy resin); Mitsubishi Chemical's "630", "630LSD", and "604" (glycidylamine type epoxy resins); ADEKA's "ED-523T" (glycilol type epoxy resin); ADEKA's "EP-3950L", "EP-3980S" ( glycidylamine type epoxy resin); ADEKA's "EP-4088S" (dicyclopentadiene type epoxy resin); Nippon Steel Chemical & Material Chemical's "ZX1059" (mixture of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin); Nagase Chemtex's "EX-721" (glycidyl ester type epoxy resin); Daicel's "Celloxide 2021P" (alicyclic epoxy resin with ester structure); Daicel's "PB-3600", Nippon Soda's "JP-100" and "JP-200" (epoxy resin with butadiene structure); Nippon Steel Chemical & Material's "ZX1658" and "ZX1658GS" (liquid 1,4-glycidylcyclohexane type epoxy resin). These may be used alone or in combination of two or more.
固体状エポキシ樹脂としては、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する固体状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する芳香族系の固体状エポキシ樹脂がより好ましい。 As the solid epoxy resin, a solid epoxy resin having three or more epoxy groups in one molecule is preferable, and an aromatic solid epoxy resin having three or more epoxy groups in one molecule is more preferable.
固体状エポキシ樹脂としては、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂、フェノールフタルイミジン型エポキシ樹脂が好ましい。 Preferred solid epoxy resins are bixylenol type epoxy resins, naphthalene type epoxy resins, naphthalene type tetrafunctional epoxy resins, naphthol novolac type epoxy resins, cresol novolac type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, trisphenol type epoxy resins, naphthol type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resins, anthracene type epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, phenol aralkyl type epoxy resins, tetraphenylethane type epoxy resins, and phenolphthalimidine type epoxy resins.
固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-4700」、「HP-4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂);DIC社製の「N-690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「N-695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-7200」、「HP-7200HH」、「HP-7200H」、「HP-7200L」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂);DIC社製の「EXA-7311」、「EXA-7311-G3」、「EXA-7311-G4」、「EXA-7311-G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「EPPN-502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3000FH」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ESN475V」、「ESN4100V」(ナフタレン型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ESN485」(ナフトール型エポキシ樹脂);日鉄ケミカル&マテリアル社製の「ESN375」(ジヒドロキシナフタレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000H」、「YX4000」、「YX4000HK」、「YL7890」(ビキシレノール型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX7700」(フェノールアラルキル型エポキシ樹脂);大阪ガスケミカル社製の「PG-100」、「CG-500」;三菱ケミカル社製の「YX7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1010」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「WHR991S」(フェノールフタルイミジン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of solid epoxy resins include DIC's "HP4032H" (naphthalene type epoxy resin); DIC's "HP-4700" and "HP-4710" (naphthalene type tetrafunctional epoxy resin); DIC's "N-690" (cresol novolac type epoxy resin); DIC's "N-695" (cresol novolac type epoxy resin); DIC's "HP-7200", "HP-7200HH", "HP-7200H", and "HP-7200L" (dicyclopentadiene type epoxy resin); and DIC's "EXA-7311". , "EXA-7311-G3", "EXA-7311-G4", "EXA-7311-G4S", "HP6000" (naphthylene ether type epoxy resin); "EPPN-502H" (trisphenol type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; "NC7000L" (naphthol novolac type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; "NC3000H", "NC3000", "NC3000L", "NC3000FH", "NC3100" (biphenyl type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.; "ESN475V", "ESN4 100V (naphthalene type epoxy resin); "ESN485" (naphthol type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.; "ESN375" (dihydroxynaphthalene type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.; "YX4000H", "YX4000", "YX4000HK", and "YL7890" (bixylenol type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.; "YL6121" (biphenyl type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.; "YX8800" (anthracene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.; "Y Examples of such epoxy resins include "X7700" (phenol aralkyl type epoxy resin); "PG-100" and "CG-500" manufactured by Osaka Gas Chemicals; "YX7760" (bisphenol AF type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; "YL7800" (fluorene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; "jER1010" (bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; "jER1031S" (tetraphenylethane type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; and "WHR991S" (phenolphthalimidine type epoxy resin) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. These may be used alone or in combination of two or more types.
エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いる場合、それらの質量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、好ましくは20:1~1:20、より好ましくは10:1~1:10、特に好ましくは7:1~1:7である。 When a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, the mass ratio between them (liquid epoxy resin:solid epoxy resin) is preferably 20:1 to 1:20, more preferably 10:1 to 1:10, and particularly preferably 7:1 to 1:7.
エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50g/eq.~5,000g/eq.、より好ましくは60g/eq.~3,000g/eq.、さらに好ましくは80g/eq.~2,000g/eq.、特に好ましくは110g/eq.~1,000g/eq.である。エポキシ当量は、エポキシ基1当量あたりの樹脂の質量を表す。このエポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができる。 The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 50 g/eq. to 5,000 g/eq., more preferably 60 g/eq. to 3,000 g/eq., even more preferably 80 g/eq. to 2,000 g/eq., and particularly preferably 110 g/eq. to 1,000 g/eq. The epoxy equivalent represents the mass of the resin per equivalent of epoxy groups. This epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236.
エポキシ樹脂の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは100~5,000、より好ましくは250~3,000、さらに好ましくは400~1,500である。エポキシ樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値として測定できる。 The weight average molecular weight (Mw) of the epoxy resin is preferably 100 to 5,000, more preferably 250 to 3,000, and even more preferably 400 to 1,500. The weight average molecular weight of the epoxy resin can be measured as a polystyrene-equivalent value by gel permeation chromatography (GPC).
樹脂組成物中のエポキシ樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは2質量%以上、特に好ましくは5質量%以上であり、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、特に好ましくは30質量%以下である。エポキシ樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of epoxy resin in the resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, particularly preferably 5% by mass or more, and is preferably 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, particularly preferably 30% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of epoxy resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
樹脂組成物中のエポキシ樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、特に好ましくは20質量%以上であり、好ましくは80質量%以下、より好ましくは70質量%以下、特に好ましくは60質量%以下である。エポキシ樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of epoxy resin in the resin composition is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, particularly preferably 20% by mass or more, and is preferably 80% by mass or less, more preferably 70% by mass or less, particularly preferably 60% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of epoxy resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
フェノール樹脂としては、ベンゼン環、ナフタレン環等の芳香環に結合した水酸基を1分子中に1個以上、好ましくは2個以上有する化合物を用いうる。フェノール樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させうるので、「フェノール系硬化剤」ということがある。耐熱性及び耐水性の観点からは、ノボラック構造を有するフェノール樹脂が好ましい。また、密着性の観点からは、含窒素フェノール樹脂が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール樹脂がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び密着性を高度に満足させる観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック樹脂が好ましい。フェノール樹脂の具体例としては、例えば、明和化成社製の「MEH-7700」、「MEH-7810」、「MEH-7851」、日本化薬社製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、日鉄ケミカル&マテリアル社製の「SN-170」、「SN-180」、「SN-190」、「SN-475」、「SN-485」、「SN-495」、「SN-375」、「SN-395」、DIC社製の「LA-7052」、「LA-7054」、「LA-3018」、「LA-3018-50P」、「LA-1356」、「TD2090」、「TD-2090-60M」等が挙げられる。 As the phenolic resin, a compound having one or more, preferably two or more, hydroxyl groups bonded to an aromatic ring such as a benzene ring or a naphthalene ring in one molecule can be used. When combined with an epoxy resin, a phenolic resin can react with the epoxy resin to harden the resin composition, and is therefore sometimes called a "phenolic hardener." From the viewpoint of heat resistance and water resistance, a phenolic resin having a novolac structure is preferred. From the viewpoint of adhesion, a nitrogen-containing phenolic resin is preferred, and a triazine skeleton-containing phenolic resin is more preferred. Among these, a triazine skeleton-containing phenolic novolac resin is preferred from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion. Specific examples of phenolic resins include "MEH-7700", "MEH-7810", and "MEH-7851" manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., "NHN", "CBN", and "GPH" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., "SN-170", "SN-180", "SN-190", "SN-475", "SN-485", "SN-495", "SN-375", and "SN-395" manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd., and "LA-7052", "LA-7054", "LA-3018", "LA-3018-50P", "LA-1356", "TD2090", and "TD-2090-60M" manufactured by DIC Corporation.
樹脂組成物中のフェノール樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、特に好ましくは30質量%以下である。フェノール樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of phenolic resin in the resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and is preferably 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, particularly preferably 30% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of phenolic resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
樹脂組成物中のフェノール樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは2質量%以上、特に好ましくは3質量%以上であり、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。フェノール樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of phenolic resin in the resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, particularly preferably 3% by mass or more, and is preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, particularly preferably 50% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of phenolic resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
活性エステル樹脂としては、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N-ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の、反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。活性エステル樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させうるので、「活性エステル系硬化剤」ということがある。当該活性エステル樹脂は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル樹脂が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル樹脂がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、カテコール、α-ナフトール、β-ナフトール、1,5-ジヒドロキシナフタレン、1,6-ジヒドロキシナフタレン、2,6-ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。 As the active ester resin, generally, compounds having two or more highly reactive ester groups in one molecule, such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, and esters of heterocyclic hydroxy compounds, are preferably used. When combined with an epoxy resin, active ester resins can react with the epoxy resin to harden the resin composition, and are therefore sometimes called "active ester-based hardeners." The active ester resin is preferably one obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and/or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and/or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, active ester resins obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound are preferred, and active ester resins obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and/or a naphthol compound are more preferred. Examples of carboxylic acid compounds include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of phenol compounds or naphthol compounds include hydroquinone, resorcin, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthaline, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m-cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucin, benzenetriol, dicyclopentadiene-type diphenol compounds, and phenol novolak. Here, "dicyclopentadiene-type diphenol compounds" refer to diphenol compounds obtained by condensing one molecule of dicyclopentadiene with two molecules of phenol.
具体的には、活性エステル樹脂としては、ジシクロペンタジエン型活性エステル樹脂、ナフタレン構造を含むナフタレン型活性エステル樹脂、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル樹脂、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル樹脂が好ましく、中でもジシクロペンタジエン型活性エステル樹脂、及びナフタレン型活性エステル樹脂から選ばれる少なくとも1種であることがより好ましい。ジシクロペンタジエン型活性エステル樹脂としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル樹脂が好ましい。 Specifically, the active ester resin is preferably a dicyclopentadiene type active ester resin, a naphthalene type active ester resin containing a naphthalene structure, an active ester resin containing an acetylated product of phenol novolac, or an active ester resin containing a benzoylated product of phenol novolac, and among these, at least one selected from a dicyclopentadiene type active ester resin and a naphthalene type active ester resin is more preferable. As the dicyclopentadiene type active ester resin, an active ester resin containing a dicyclopentadiene type diphenol structure is preferable.
活性エステル樹脂の市販品としては、例えば、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル樹脂として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「EXB-8000L」、「EXB-8000L-65M」、「EXB-8000L-65TM」、「HPC-8000L-65TM」、「HPC-8000」、「HPC-8000-65T」、「HPC-8000H」、「HPC-8000H-65TM」(DIC社製);ナフタレン構造を含む活性エステル樹脂として「HP-B-8151-62T」、「EXB-8100L-65T」、「EXB-8150-60T」、「EXB-8150-62T」、「EXB-9416-70BK」、「HPC-8150-60T」、「HPC-8150-62T」、「EXB-8」(DIC社製);りん含有活性エステル樹脂として、「EXB9401」(DIC社製);フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル樹脂として「DC808」(三菱ケミカル社製);フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル樹脂として「YLH1026」、「YLH1030」、「YLH1048」(三菱ケミカル社製);スチリル基及びナフタレン構造を含む活性エステル樹脂として「PC1300-02-65MA」(エア・ウォーター社製)等が挙げられる。 Commercially available active ester resins include, for example, active ester resins containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure such as "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", "EXB-8000L", "EXB-8000L-65M", "EXB-8000L-65TM", "HPC-8000L-65TM", "HPC-8000", "HPC-8000-65T", "HPC-8000H", and "HPC-8000H-65TM" (manufactured by DIC Corporation); active ester resins containing a naphthalene structure such as "HP-B-8151-62T", "EXB-8100L-65T", "EXB-8150-60T", and "EXB-815 0-62T", "EXB-9416-70BK", "HPC-8150-60T", "HPC-8150-62T", "EXB-8" (manufactured by DIC Corporation); as a phosphorus-containing active ester resin, "EXB9401" (manufactured by DIC Corporation); as an active ester resin which is an acetylated product of phenol novolac, "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation); as an active ester resin which is a benzoylated product of phenol novolac, "YLH1026", "YLH1030", "YLH1048" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation); as an active ester resin containing a styryl group and a naphthalene structure, "PC1300-02-65MA" (manufactured by Air Water Inc.) and the like can be mentioned.
樹脂組成物中の活性エステル樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上、特に好ましくは5質量%以上であり、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、特に好ましくは20質量%以下である。活性エステル樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of active ester resin in the resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, particularly preferably 5% by mass or more, and is preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, particularly preferably 20% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of active ester resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
樹脂組成物中の活性エステル樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、特に好ましくは10質量%以上であり、好ましくは80質量%以下、より好ましくは70質量%以下、特に好ましくは60質量%以下である。活性エステル樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of active ester resin in the resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, particularly preferably 10% by mass or more, and is preferably 80% by mass or less, more preferably 70% by mass or less, particularly preferably 60% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of active ester resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
シアネート樹脂としては、1分子内中に1個以上、好ましくは2個以上のシアネート基を有する化合物を用いうる。シアネート樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させうるので、「シアネート系硬化剤」ということがある。シアネート樹脂としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3-メチレン-1,5-フェニレンシアネート))、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルフェニルシアネート)、4,4’-エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2-ビス(4-シアネート)フェニルプロパン、1,1-ビス(4-シアネートフェニルメタン)、ビス(4-シアネート-3,5-ジメチルフェニル)メタン、1,3-ビス(4-シアネートフェニル-1-(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4-シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4-シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネート樹脂の具体例としては、ロンザジャパン社製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネート樹脂)、「BA230」、「BA230S75」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。 As the cyanate resin, a compound having one or more, preferably two or more, cyanate groups in one molecule can be used. When combined with an epoxy resin, the cyanate resin reacts with the epoxy resin to harden the resin composition, and is therefore sometimes called a "cyanate-based hardener." Examples of the cyanate resin include bifunctional cyanate resins such as bisphenol A dicyanate, polyphenol cyanate (oligo(3-methylene-1,5-phenylene cyanate)), 4,4'-methylenebis(2,6-dimethylphenyl cyanate), 4,4'-ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis(4-cyanate)phenylpropane, 1,1-bis(4-cyanate phenylmethane), bis(4-cyanate-3,5-dimethylphenyl)methane, 1,3-bis(4-cyanate phenyl-1-(methylethylidene))benzene, bis(4-cyanate phenyl)thioether, and bis(4-cyanate phenyl)ether; polyfunctional cyanate resins derived from phenol novolac and cresol novolac; and prepolymers in which these cyanate resins are partially converted to triazine. Specific examples of cyanate resins include Lonza Japan's "PT30" and "PT60" (both of which are phenol novolac-type multifunctional cyanate resins), "BA230" and "BA230S75" (prepolymers in which part or all of bisphenol A dicyanate has been converted to triazine and turned into a trimer).
樹脂組成物中のシアネート樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上、特に好ましくは5質量%以上であり、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、特に好ましくは20質量%以下である。シアネート樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of cyanate resin in the resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, particularly preferably 5% by mass or more, and is preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, particularly preferably 20% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of cyanate resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
樹脂組成物中のシアネート樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、特に好ましくは10質量%以上であり、好ましくは60質量%以下、より好ましくは50質量%以下、特に好ましくは40質量%以下である。シアネート樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of cyanate resin in the resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, particularly preferably 10% by mass or more, and is preferably 60% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, particularly preferably 40% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of cyanate resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
カルボジイミド樹脂としては、1分子内中に1個以上、好ましくは2個以上のカルボジイミド構造を有する化合物を用いうる。カルボジイミド樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させうるので、「カルボジイミド系硬化剤」ということがある。カルボジイミド樹脂の具体例としては、テトラメチレン-ビス(t-ブチルカルボジイミド)、シクロヘキサンビス(メチレン-t-ブチルカルボジイミド)等の脂肪族ビスカルボジイミド;フェニレン-ビス(キシリルカルボジイミド)等の芳香族ビスカルボジイミド等のビスカルボジイミド;ポリヘキサメチレンカルボジイミド、ポリトリメチルヘキサメチレンカルボジイミド、ポリシクロヘキシレンカルボジイミド、ポリ(メチレンビスシクロヘキシレンカルボジイミド)、ポリ(イソホロンカルボジイミド)等の脂肪族ポリカルボジイミド;ポリ(フェニレンカルボジイミド)、ポリ(ナフチレンカルボジイミド)、ポリ(トリレンカルボジイミド)、ポリ(メチルジイソプロピルフェニレンカルボジイミド)、ポリ(トリエチルフェニレンカルボジイミド)、ポリ(ジエチルフェニレンカルボジイミド)、ポリ(トリイソプロピルフェニレンカルボジイミド)、ポリ(ジイソプロピルフェニレンカルボジイミド)、ポリ(キシリレンカルボジイミド)、ポリ(テトラメチルキシリレンカルボジイミド)、ポリ(メチレンジフェニレンカルボジイミド)、ポリ[メチレンビス(メチルフェニレン)カルボジイミド]等の芳香族ポリカルボジイミド等のポリカルボジイミドが挙げられる。カルボジイミド樹脂の市販品としては、例えば、日清紡ケミカル社製の「カルボジライトV-02B」、「カルボジライトV-03」、「カルボジライトV-04K」、「カルボジライトV-07」及び「カルボジライトV-09」;ラインケミー社製の「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、「ハイカジル510」等が挙げられる。 As the carbodiimide resin, a compound having one or more, preferably two or more, carbodiimide structures in one molecule can be used. When combined with an epoxy resin, the carbodiimide resin reacts with the epoxy resin to harden the resin composition, and is therefore sometimes called a "carbodiimide-based hardener." Specific examples of carbodiimide resins include aliphatic biscarbodiimides such as tetramethylene-bis(t-butylcarbodiimide) and cyclohexane-bis(methylene-t-butylcarbodiimide); aromatic biscarbodiimides such as phenylene-bis(xylylcarbodiimide); aliphatic polycarbodiimides such as polyhexamethylenecarbodiimide, polytrimethylhexamethylenecarbodiimide, polycyclohexylenecarbodiimide, poly(methylenebiscyclohexylenecarbodiimide), and poly(isophoronecarbodiimide); poly(phenylenecarbodiimide), poly(naphthalenecarbodiimide), and poly(phenylenecarbodiimide). Examples of polycarbodiimides include aromatic polycarbodiimides such as poly(methylenebis(methylphenylene)carbodiimide), poly(tolylenecarbodiimide), poly(methyldiisopropylphenylenecarbodiimide), poly(triethylphenylenecarbodiimide), poly(diethylphenylenecarbodiimide), poly(triisopropylphenylenecarbodiimide), poly(diisopropylphenylenecarbodiimide), poly(xylylenecarbodiimide), poly(tetramethylxylylenecarbodiimide), poly(methylenediphenylenecarbodiimide), and poly[methylenebis(methylphenylene)carbodiimide]. Commercially available carbodiimide resins include, for example, "Carbodilite V-02B," "Carbodilite V-03," "Carbodilite V-04K," "Carbodilite V-07," and "Carbodilite V-09" manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd.; and "Stavaxol P," "Stavaxol P400," and "Hi-Kasil 510" manufactured by Rhein Chemie.
樹脂組成物中のカルボジイミド樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、好ましくは10質量%以下、より好ましくは8質量%以下、特に好ましくは5質量%以下である。カルボジイミド樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of carbodiimide resin in the resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and preferably 10% by mass or less, more preferably 8% by mass or less, particularly preferably 5% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of carbodiimide resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, usually, the relative dielectric constant of the insulating layer can be reduced.
樹脂組成物中のカルボジイミド樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1質量%以上、特に好ましくは2質量%以上であり、好ましくは20質量%以下、より好ましくは15質量%以下、特に好ましくは10質量%以下である。カルボジイミド樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of carbodiimide resin in the resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, particularly preferably 2% by mass or more, and preferably 20% by mass or less, more preferably 15% by mass or less, particularly preferably 10% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of carbodiimide resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
酸無水物樹脂としては、1分子内中に1個以上、好ましくは2個以上の酸無水物基を有する化合物を用いうる。酸無水物樹脂は、エポキシ基と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させうるので、「酸無水物系硬化剤」ということがある。酸無水物樹脂の具体例としては、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルナジック酸無水物、水素化メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ドデセニル無水コハク酸、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロ-3-フラニル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンソフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、3,3’-4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b-ヘキサヒドロ-5-(テトラヒドロ-2,5-ジオキソ-3-フラニル)-ナフト[1,2-C]フラン-1,3-ジオン、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)、スチレンとマレイン酸とが共重合したスチレン・マレイン酸樹脂などのポリマー型の酸無水物などが挙げられる。酸無水物樹脂の市販品としては、例えば、新日本理化社製の「HNA-100」、「MH-700」、「MTA-15」、「DDSA」、「OSA」;三菱ケミカル社製の「YH-306」、「YH-307」;日立化成社製の「HN-2200」、「HN-5500」;クレイバレイ社製「EF-30」、「EF-40」「EF-60」、「EF-80」等が挙げられる。 As the acid anhydride resin, a compound having one or more, preferably two or more, acid anhydride groups in one molecule can be used. When combined with an epoxy group, an acid anhydride resin can react with the epoxy resin to harden the resin composition, and is therefore sometimes called an "acid anhydride-based curing agent." Specific examples of acid anhydride resins include phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methylnadic anhydride, hydrogenated methylnadic anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, dodecenyl succinic anhydride, 5-(2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl)-3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, and benzophenone tetracarboxylic dianhydride. Examples of the acid anhydride include polymeric acid anhydrides such as water, biphenyltetracarboxylic dianhydride, naphthalenetetracarboxylic dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, 3,3'-4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1,3,3a,4,5,9b-hexahydro-5-(tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl)-naphtho[1,2-C]furan-1,3-dione, ethylene glycol bis(anhydrotrimellitate), and styrene-maleic acid resins in which styrene and maleic acid are copolymerized. Examples of commercially available acid anhydride resins include "HNA-100", "MH-700", "MTA-15", "DDSA", and "OSA" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.; "YH-306" and "YH-307" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "HN-2200" and "HN-5500" manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.; and "EF-30", "EF-40", "EF-60", and "EF-80" manufactured by Clay Valley.
アミン樹脂としては、1分子内中に1個以上、好ましくは2個以上のアミノ基を有する化合物を用いうる。アミン樹脂は、エポキシ基と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させうるので、「アミン系硬化剤」ということがある。アミン樹脂としては、例えば、脂肪族アミン類、ポリエーテルアミン類、脂環式アミン類、芳香族アミン類等が挙げられ、中でも、芳香族アミン類が好ましい。アミン樹脂は、第1級アミン又は第2級アミンが好ましく、第1級アミンがより好ましい。アミン樹脂の具体例としては、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルアニリン)、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、m-フェニレンジアミン、m-キシリレンジアミン、ジエチルトルエンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジヒドロキシベンジジン、2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)プロパン、3,3-ジメチル-5,5-ジエチル-4,4-ジフェニルメタンジアミン、2,2-ビス(4-アミノフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-(4-アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス(4-(4-アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、ビス(4-(3-アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、等が挙げられる。アミン樹脂の市販品としては、例えば、セイカ社製「SEIKACURE-S」;日本化薬社製の「KAYABOND C-200S」、「KAYABOND C-100」、「カヤハードA-A」、「カヤハードA-B」、「カヤハードA-S」;三菱ケミカル社製の「エピキュアW」;住友精化社製「DTDA」等が挙げられる。 As the amine resin, a compound having one or more, preferably two or more, amino groups in one molecule can be used. When combined with an epoxy group, the amine resin reacts with the epoxy resin to harden the resin composition, and is therefore sometimes called an "amine-based hardener." Examples of the amine resin include aliphatic amines, polyether amines, alicyclic amines, and aromatic amines, and among these, aromatic amines are preferred. The amine resin is preferably a primary amine or secondary amine, and more preferably a primary amine. Specific examples of amine resins include 4,4'-methylenebis(2,6-dimethylaniline), 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylsulfone, m-phenylenediamine, m-xylylenediamine, diethyltoluenediamine, 4,4'-diaminodiphenylether, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dihydroxybenzidine, and 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)propionate. Pan, 3,3-dimethyl-5,5-diethyl-4,4-diphenylmethanediamine, 2,2-bis(4-aminophenyl)propane, 2,2-bis(4-(4-aminophenoxy)phenyl)propane, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, bis(4-(4-aminophenoxy)phenyl)sulfone, bis(4-(3-aminophenoxy)phenyl)sulfone, and the like. Commercially available amine resins include, for example, "SEIKACURE-S" manufactured by Seika Corporation; "KAYABOND C-200S", "KAYABOND C-100", "KAYAHARD A-A", "KAYAHARD A-B", and "KAYAHARD A-S" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; "Epicure W" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; and "DTDA" manufactured by Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd.
ベンゾオキサジン樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させうるので、「ベンゾオキサジン系硬化剤」ということがある。ベンゾオキサジン樹脂の具体例としては、JFEケミカル社製の「JBZ-OP100D」、「ODA-BOZ」;昭和高分子社製の「HFB2006M」;四国化成工業社製の「P-d」、「F-a」などが挙げられる。 When benzoxazine resins are combined with epoxy resins, they react with the epoxy resin to harden the resin composition, and are therefore sometimes called "benzoxazine-based hardeners." Specific examples of benzoxazine resins include "JBZ-OP100D" and "ODA-BOZ" manufactured by JFE Chemical Corporation; "HFB2006M" manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.; and "P-d" and "F-a" manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.
チオール樹脂は、エポキシ樹脂と組み合わせた場合にエポキシ樹脂と反応して樹脂組成物を硬化させうるので、「チオール系硬化剤」ということがある。チオール樹脂としては、例えば、トリメチロールプロパントリス(3-メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)、トリス(3-メルカプトプロピル)イソシアヌレート等が挙げられる。 When combined with an epoxy resin, thiol resins react with the epoxy resin to harden the resin composition, and are therefore sometimes called "thiol-based hardeners." Examples of thiol resins include trimethylolpropane tris(3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis(3-mercaptobutyrate), and tris(3-mercaptopropyl)isocyanurate.
硬化剤の活性基当量は、好ましくは50g/eq.~3000g/eq.、より好ましくは100g/eq.~1000g/eq.、さらに好ましくは100g/eq.~500g/eq.、特に好ましくは100g/eq.~300g/eq.である。活性基当量は、活性基1当量あたりの硬化剤の質量である。 The active group equivalent of the curing agent is preferably 50 g/eq. to 3000 g/eq., more preferably 100 g/eq. to 1000 g/eq., even more preferably 100 g/eq. to 500 g/eq., and particularly preferably 100 g/eq. to 300 g/eq. The active group equivalent is the mass of the curing agent per equivalent of active group.
エポキシ樹脂のエポキシ基数を1とした場合、硬化剤の活性基数は、好ましくは0.1以上、より好ましくは0.2以上、更に好ましくは0.5以上であり、好ましくは5.0以下、より好ましくは4.0以下、特に好ましくは3.0以下である。「エポキシ樹脂のエポキシ基数」とは、樹脂組成物中に存在するエポキシ樹脂の不揮発成分の質量をエポキシ当量で割り算した値を全て合計した値を表す。また、「硬化剤の活性基数」とは、樹脂組成物中に存在する硬化剤の不揮発成分の質量を活性基当量で割り算した値を全て合計した値を表す。 When the number of epoxy groups in the epoxy resin is taken as 1, the number of active groups in the curing agent is preferably 0.1 or more, more preferably 0.2 or more, even more preferably 0.5 or more, and preferably 5.0 or less, more preferably 4.0 or less, and particularly preferably 3.0 or less. The "number of epoxy groups in the epoxy resin" refers to the total value obtained by dividing the mass of the non-volatile components of the epoxy resin present in the resin composition by the epoxy equivalent. The "number of active groups in the curing agent" refers to the total value obtained by dividing the mass of the non-volatile components of the curing agent present in the resin composition by the active group equivalent.
樹脂組成物中の硬化剤の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、特に好ましくは10質量%以上であり、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、特に好ましくは30質量%以下である。硬化剤の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of the curing agent in the resin composition is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, particularly preferably 10% by mass or more, and is preferably 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, particularly preferably 30% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of the curing agent is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
樹脂組成物中の硬化剤の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、特に好ましくは20質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは80質量%以下、特に好ましくは70質量%以下である。硬化剤の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of the curing agent in the resin composition is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, particularly preferably 20% by mass or more, and is preferably 90% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, particularly preferably 70% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of the curing agent is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
ラジカル重合性樹脂としては、エチレン性不飽和結合を有する化合物を用いうる。よって、ラジカル重合性樹脂は、エチレン性不飽和結合を含むラジカル重合性基を有しうる。ラジカル重合性基としては、例えば、ビニル基、アリル基、1-プロペニル基、3-シクロヘキセニル基、3-シクロペンテニル基、2-ビニルフェニル基、3-ビニルフェニル基、4-ビニルフェニル基等の不飽和炭化水素基;アクリロイル基、メタクリロイル基、マレイミド基(2,5-ジヒドロ-2,5-ジオキソ-1H-ピロール-1-イル基)等のα,β-不飽和カルボニル基等が挙げられる。ラジカル重合性樹脂が1分子内中に含むラジカル重合性基の数は、1個でもよいが、2個以上が好ましい。ラジカル重合性樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。好ましいラジカル重合性樹脂としては、(メタ)アクリル樹脂、スチリル樹脂、プロペニル樹脂、及び、マレイミド樹が挙げられる。 As the radical polymerizable resin, a compound having an ethylenically unsaturated bond can be used. Thus, the radical polymerizable resin can have a radical polymerizable group containing an ethylenically unsaturated bond. Examples of the radical polymerizable group include unsaturated hydrocarbon groups such as vinyl groups, allyl groups, 1-propenyl groups, 3-cyclohexenyl groups, 3-cyclopentenyl groups, 2-vinylphenyl groups, 3-vinylphenyl groups, and 4-vinylphenyl groups; and α,β-unsaturated carbonyl groups such as acryloyl groups, methacryloyl groups, and maleimide groups (2,5-dihydro-2,5-dioxo-1H-pyrrol-1-yl groups). The number of radical polymerizable groups contained in one molecule of the radical polymerizable resin may be one, but is preferably two or more. One type of radical polymerizable resin may be used alone, or two or more types may be used in combination. Preferred radical polymerizable resins include (meth)acrylic resins, styryl resins, propenyl resins, and maleimide resins.
(メタ)アクリル樹脂は、1分子中に1個以上、好ましくは2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物でありうる。(メタ)アクリル樹脂は、モノマーであってもよく、オリゴマーであってもよい。「(メタ)アクリロイル基」という用語は、アクリロイル基、メタクリロイル基及びそれらの組み合わせを包含しうる。(メタ)アクリル樹脂としては、例えば、シクロヘキサン-1,4-ジメタノールジ(メタ)アクリレート、シクロヘキサン-1,3-ジメタノールジ(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,8-オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10-デカンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート等の低分子量(分子量1000未満)の脂肪族(メタ)アクリル酸エステル化合物;ジオキサングリコールジ(メタ)アクリレート、3,6-ジオキサ-1,8-オクタンジオールジ(メタ)アクリレート、3,6,9-トリオキサウンデカン-1,11-ジオールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、9,9-ビス[4-(2-アクリロイルオキシエトキシ)フェニル]フルオレン、エトキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート等の低分子量(分子量1000未満)のエーテル含有(メタ)アクリル酸エステル化合物;トリス(3-ヒドロキシプロピル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、トリス(2-ヒドロキシエチル)イソシアヌレートトリ(メタ)アクリレート、エトキシ化イソシアヌル酸トリ(メタ)アクリレート等の低分子量(分子量1000未満)のイソシアヌレート含有(メタ)アクリル酸エステル化合物;(メタ)アクリル変性ポリフェニレンエーテル樹脂等の高分子量(分子量1000以上)のアクリル酸エステル化合物等が挙げられる。また、市販の(メタ)アクリル樹脂としては、例えば、新中村化学工業社製の「A-DOG」;共栄社化学社製の「DCP」、「DCP-A」;日本化薬社製の「NPDGA」、「FM-400」、「R-604」、「R-684」、「R-687」、「THE-330」、「PET-30」、「DPHA」;SABICイノベーティブプラスチックス社製の「SA9000」、「SA9000-111」等が挙げられる。 The (meth)acrylic resin may be a compound having one or more, preferably two or more, (meth)acryloyl groups in one molecule. The (meth)acrylic resin may be a monomer or an oligomer. The term "(meth)acryloyl group" may include acryloyl groups, methacryloyl groups, and combinations thereof. Examples of the (meth)acrylic resin include cyclohexane-1,4-dimethanol di(meth)acrylate, cyclohexane-1,3-dimethanol di(meth)acrylate, tricyclodecane dimethanol di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, 1,4-butanediol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, 1,8-octanediol di(meth)acrylate, 1,9-nonanediol di(meth)acrylate, and the like. aliphatic (meth)acrylic acid ester compounds having a low molecular weight (molecular weight less than 1000) such as di(meth)acrylate, 1,10-decanediol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, trimethylolethane tri(meth)acrylate, glycerin tri(meth)acrylate, and pentaerythritol tetra(meth)acrylate; Examples of the ether-containing (meth)acrylic acid ester compound include low molecular weight (molecular weight less than 1000) ether-containing (meth)acrylic acid ester compounds such as acrylate, 3,6,9-trioxaundecane-1,11-diol di(meth)acrylate, polyethylene glycol di(meth)acrylate, polypropylene glycol di(meth)acrylate, 9,9-bis[4-(2-acryloyloxyethoxy)phenyl]fluorene, ethoxylated bisphenol A di(meth)acrylate, and propoxylated bisphenol A di(meth)acrylate; low molecular weight (molecular weight less than 1000) isocyanurate-containing (meth)acrylic acid ester compounds such as tris(3-hydroxypropyl)isocyanurate tri(meth)acrylate, tris(2-hydroxyethyl)isocyanurate tri(meth)acrylate, and ethoxylated isocyanuric acid tri(meth)acrylate; and high molecular weight (molecular weight 1000 or more) acrylic acid ester compounds such as (meth)acrylic-modified polyphenylene ether resins. Examples of commercially available (meth)acrylic resins include "A-DOG" manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.; "DCP" and "DCP-A" manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.; "NPDGA", "FM-400", "R-604", "R-684", "R-687", "THE-330", "PET-30", and "DPHA" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.; and "SA9000" and "SA9000-111" manufactured by SABIC Innovative Plastics.
スチリル樹脂は、1分子中に1個以上、好ましくは2個以上のスチリル基又はビニルフェニル基を有する化合物でありうる。スチリル樹脂は、モノマーであってもよく、オリゴマーであってもよい。スチリル樹脂としては、例えば、ジビニルベンゼン、2,4-ジビニルトルエン、2,6-ジビニルナフタレン、1,4-ジビニルナフタレン、4,4’-ジビニルビフェニル、1,2-ビス(4-ビニルフェニル)エタン、2,2-ビス(4-ビニルフェニル)プロパン、ビス(4-ビニルフェニル)エーテル等の低分子量(分子量1000未満)のスチレン系化合物;ビニルベンジル変性ポリフェニレンエーテル樹脂、スチレン-ジビニルベンゼン共重合体等の高分子量(分子量1000以上)のスチレン系化合物等が挙げられる。また、市販のスチリル樹脂としては、例えば、三菱ガス化学社製の「OPE-2St」、「OPE-2St 1200」、「OPE-2St 2200」等が挙げられる。 The styryl resin may be a compound having one or more, preferably two or more, styryl groups or vinylphenyl groups in one molecule. The styryl resin may be a monomer or an oligomer. Examples of the styryl resin include low molecular weight (molecular weight less than 1000) styrene-based compounds such as divinylbenzene, 2,4-divinyltoluene, 2,6-divinylnaphthalene, 1,4-divinylnaphthalene, 4,4'-divinylbiphenyl, 1,2-bis(4-vinylphenyl)ethane, 2,2-bis(4-vinylphenyl)propane, and bis(4-vinylphenyl)ether; high molecular weight (molecular weight 1000 or more) styrene-based compounds such as vinylbenzyl-modified polyphenylene ether resin and styrene-divinylbenzene copolymer. Examples of commercially available styryl resins include "OPE-2St", "OPE-2St 1200", and "OPE-2St 2200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd.
プロペニル樹脂は、1分子中に1個以上、好ましくは2個以上のプロペニル基を有する化合物でありうる。プロペニル樹脂は、モノマーであってもよく、オリゴマーであってもよい。前記のプロペニル基は、1-プロペニル基、2-プロペニル基(即ち、アリル基)及びそれらの組み合わせを包含しうる。プロペニル樹脂としては、例えば、ジフェン酸ジアリル、トリメリット酸トリアリル、フタル酸ジアリル、イソフタル酸ジアリル、テレフタル酸ジアリル、2,6-ナフタレンジカルボン酸ジアリル、2,3-ナフタレンカルボン酸ジアリル等の芳香族カルボン酸アリルエステル化合物;1,3,5-トリアリルイソシアヌレート、1,3-ジアリル-5-グリシジルイソシアヌレート等のイソシアヌル酸アリルエステル化合物;2,2-ビス[3-アリル-4-(グリシジルオキシ)フェニル]プロパン等のエポキシ含有芳香族アリル化合物;ビス[3-アリル-4-(3,4-ジヒドロ-2H-1,3-ベンゾオキサジン-3-イル)フェニル]メタン等のベンゾオキサジン含有芳香族アリル化合物;1,3,5-トリアリルエーテルベンゼン等のエーテル含有芳香族アリル化合物;ジアリルジフェニルシラン等のアリルシラン化合物等が挙げられる。市販のプロペニル樹脂としては、例えば、日本化成社製の「TAIC」(1,3,5-トリアリルイソシアヌレート)、日触テクノファインケミカル社製の「DAD」(ジフェン酸ジアリル)、和光純薬工業社製の「TRIAM-705」(トリメリット酸トリアリル)、日本蒸留工業社製の「DAND」(2,3-ナフタレンカルボン酸ジアリル)、四国化成工業社製「ALP-d」(ビス[3-アリル-4-(3,4-ジヒドロ-2H-1,3-ベンゾオキサジン-3-イル)フェニル]メタン)、日本化薬社製の「RE-810NM」(2,2-ビス[3-アリル-4-(グリシジルオキシ)フェニル]プロパン)、四国化成社製の「DA-MGIC」(1,3-ジアリル-5-グリシジルイソシアヌレート)等が挙げられる。また、プロペニル樹脂として、芳香環に結合した水酸基を含有する樹脂を用いてもよく、例えば、下記式(b1)に示す樹脂を用いてもよい。このように芳香環に結合した水酸基を含有するプロペニル樹脂は、ラジカル重合性樹脂としてだけでなく、フェノール系硬化剤としても機能できる。 The propenyl resin may be a compound having one or more, preferably two or more, propenyl groups in one molecule. The propenyl resin may be a monomer or an oligomer. The propenyl group may include a 1-propenyl group, a 2-propenyl group (i.e., an allyl group), and combinations thereof. Examples of the propenyl resin include aromatic carboxylic acid allyl ester compounds such as diallyl diphenate, triallyl trimellitate, diallyl phthalate, diallyl isophthalate, diallyl terephthalate, diallyl 2,6-naphthalenedicarboxylate, and diallyl 2,3-naphthalenecarboxylate; isocyanuric acid allyl ester compounds such as 1,3,5-triallyl isocyanurate and 1,3-diallyl-5-glycidyl isocyanurate; epoxy-containing aromatic allyl compounds such as 2,2-bis[3-allyl-4-(glycidyloxy)phenyl]propane; benzoxazine-containing aromatic allyl compounds such as bis[3-allyl-4-(3,4-dihydro-2H-1,3-benzoxazin-3-yl)phenyl]methane; ether-containing aromatic allyl compounds such as 1,3,5-triallyl ether benzene; and allyl silane compounds such as diallyl diphenyl silane. Examples of commercially available propenyl resins include "TAIC" (1,3,5-triallyl isocyanurate) manufactured by Nippon Kasei Chemical Industry Co., Ltd., "DAD" (diallyl diphenate) manufactured by Nisshoku Techno Fine Chemical Co., Ltd., "TRIAM-705" (triallyl trimellitate) manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., "DAND" (2,3-diallyl naphthalene carboxylate) manufactured by Nippon Distillation Industry Co., Ltd., "ALP-d" (bis[3-allyl-4-(3,4-dihydro-2H-1,3-benzoxazin-3-yl)phenyl]methane manufactured by Shikoku Kasei Corporation, "RE-810NM" (2,2-bis[3-allyl-4-(glycidyloxy)phenyl]propane) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., and "DA-MGIC" (1,3-diallyl-5-glycidyl isocyanurate) manufactured by Shikoku Kasei Corporation. In addition, a resin containing a hydroxyl group bonded to an aromatic ring may be used as the propenyl resin, for example, a resin shown in the following formula (b1) may be used. Such a propenyl resin containing a hydroxyl group bonded to an aromatic ring can function not only as a radical polymerizable resin but also as a phenol-based curing agent.
マレイミド樹脂は、1分子中に1個以上、好ましくは2個以上のマレイミド基(2,5-ジヒドロ-2,5-ジオキソ-1H-ピロール-1-イル基)を有する化合物でありうる。マレイミド樹脂は、モノマーであってもよく、オリゴマーであってもよい。市販のマレイミド樹脂としては、例えば、「BMI-3000J」、「BMI-5000」、「BMI-1400」、「BMI-1500」、「BMI-1700」、「BMI-689」(いずれもデジクナーモレキュールズ社製)などの、ダイマージアミン由来の炭素原子数36の脂肪族骨格を含むマレイミド樹脂;発明協会公開技報公技番号2020-500211号に記載される、インダン骨格を含むマレイミド樹脂;「MIR-3000-70MT」(日本化薬社製)、「BMI-4000」(大和化成社製)、「BMI-80」(ケイアイ化成社製)などの、マレイミド基の窒素原子と直接結合している芳香環骨格を含むマレイミド樹脂が挙げられる。 The maleimide resin may be a compound having one or more, preferably two or more, maleimide groups (2,5-dihydro-2,5-dioxo-1H-pyrrol-1-yl groups) in one molecule. The maleimide resin may be a monomer or an oligomer. Examples of commercially available maleimide resins include maleimide resins containing an aliphatic skeleton with 36 carbon atoms derived from dimer diamine, such as "BMI-3000J", "BMI-5000", "BMI-1400", "BMI-1500", "BMI-1700", and "BMI-689" (all manufactured by DigiCner Molecules); maleimide resins containing an indane skeleton, as described in Japan Institute of Invention and Innovation Disclosure Technical Bulletin No. 2020-500211; and maleimide resins containing an aromatic ring skeleton directly bonded to the nitrogen atom of the maleimide group, such as "MIR-3000-70MT" (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), "BMI-4000" (manufactured by Daiwa Kasei Co., Ltd.), and "BMI-80" (manufactured by Keiai Kasei Co., Ltd.).
ラジカル重合性樹脂のエチレン性不飽和結合当量は、好ましくは20g/eq.~3000g/eq.、より好ましくは50g/eq.~2500g/eq.、さらに好ましくは70g/eq.~2000g/eq.、特に好ましくは90g/eq.~1500g/eq.である。エチレン性不飽和結合当量は、エチレン性不飽和結合1当量あたりのラジカル重合性樹脂の質量を表す。 The ethylenically unsaturated bond equivalent of the radical polymerizable resin is preferably 20 g/eq. to 3000 g/eq., more preferably 50 g/eq. to 2500 g/eq., even more preferably 70 g/eq. to 2000 g/eq., and particularly preferably 90 g/eq. to 1500 g/eq. The ethylenically unsaturated bond equivalent represents the mass of the radical polymerizable resin per equivalent of ethylenically unsaturated bonds.
ラジカル重合性樹脂の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは40000以下、より好ましくは10000以下、さらに好ましくは5000以下、特に好ましくは3000以下である。下限は、特に限定されるものではないが、例えば、150以上でありうる。ラジカル重合性樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値として測定できる。 The weight average molecular weight (Mw) of the radical polymerizable resin is preferably 40,000 or less, more preferably 10,000 or less, even more preferably 5,000 or less, and particularly preferably 3,000 or less. The lower limit is not particularly limited, but may be, for example, 150 or more. The weight average molecular weight of the radical polymerizable resin can be measured as a polystyrene-equivalent value by gel permeation chromatography (GPC).
樹脂組成物中のラジカル重合性樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、特に好ましくは0.5質量%以上であり、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、特に好ましくは1質量%以下である。ラジカル重合性樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of the radically polymerizable resin in the resin composition is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.1% by mass or more, particularly preferably 0.5% by mass or more, and is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, particularly preferably 1% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of the radically polymerizable resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
樹脂組成物中のラジカル重合性樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、好ましくは20質量%以下、より好ましくは10質量%以下、特に好ましくは5質量%以下である。ラジカル重合性樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of the radically polymerizable resin in the resin composition is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and is preferably 20% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, particularly preferably 5% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of the radically polymerizable resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, usually, the relative dielectric constant of the insulating layer can be reduced.
上述したものの中でも、(B)硬化性樹脂は、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂、(メタ)アクリル樹脂、スチリル樹脂、プロペニル樹脂、及び、マレイミド樹脂、からなる群より選ばれる1種類以上を含むことが好ましい。このとき、前記の群から選ばれる樹脂の合計量は、(B)硬化性樹脂100質量%に対して、好ましくは50質量%以上、より好ましくは70質量%以上、特に好ましくは90質量%以上であり、通常100質量%以下である。このような好ましい樹脂を(B)硬化性樹脂が含む場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 Among the above, it is preferable that the (B) curable resin contains one or more resins selected from the group consisting of epoxy resins, phenolic resins, active ester resins, cyanate resins, (meth)acrylic resins, styryl resins, propenyl resins, and maleimide resins. In this case, the total amount of resins selected from the above group is preferably 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, and particularly preferably 90% by mass or more, and usually 100% by mass or less, relative to 100% by mass of the (B) curable resin. When the (B) curable resin contains such a preferable resin, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, the relative dielectric constant of the insulating layer can usually be reduced.
樹脂組成物中の(B)硬化性樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、特に好ましくは20質量%以上であり、好ましくは80質量%以下、より好ましくは60質量%以下、特に好ましくは50質量%以下である。(B)硬化性樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of (B) curable resin in the resin composition is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, particularly preferably 20% by mass or more, and is preferably 80% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, particularly preferably 50% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of (B) curable resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, usually, the relative dielectric constant of the insulating layer can be reduced.
樹脂組成物中の(B)硬化性樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、特に好ましくは70質量%以上であり、好ましくは98質量%以下、より好ましくは96質量%以下、特に好ましくは94質量%以下である。(B)硬化性樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of (B) curable resin in the resin composition is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, particularly preferably 70% by mass or more, and is preferably 98% by mass or less, more preferably 96% by mass or less, particularly preferably 94% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of (B) curable resin is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, usually, the relative dielectric constant of the insulating layer can be reduced.
<第一実施形態に係る(C)無機充填材>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、任意の成分として、(C)無機充填材を更に含んでいてもよい。(C)成分としての(C)無機充填材には、上述した(A)~(B)成分に該当するものは含めない。(C)無機充填材は、通常、粒子の状態で樹脂組成物に含まれる。
<(C) Inorganic filler according to the first embodiment>
The resin composition according to the first embodiment of the present invention may further contain an inorganic filler (C) as an optional component. The inorganic filler (C) as the component (C) does not include those corresponding to the above-mentioned components (A) and (B). The inorganic filler (C) is usually contained in the resin composition in the form of particles.
(C)無機充填材の材料としては、無機化合物を用いる。(C)無機充填材の材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられる。これらの中でもシリカ、アルミナが好適であり、シリカが特に好適である。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられる。また、シリカとしては球形シリカが好ましい。(C)無機充填材は、1種類単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 (C) An inorganic compound is used as the material for the inorganic filler. (C) Examples of the material for the inorganic filler include silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Among these, silica and alumina are preferred, and silica is particularly preferred. Examples of silica include amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, and hollow silica. In addition, spherical silica is preferred as the silica. (C) The inorganic filler may be used alone or in combination of two or more types.
(C)無機充填材は、内部に空孔を有する中空無機充填材と、内部に空孔を有さない中実無機充填材とに分類できる。(C)無機充填材としては、中空無機充填材のみを用いてもよく、中実無機充填材のみを用いてもよく、中空無機充填材と中実無機充填材とを組み合わせて用いてもよい。中空無機充填材を用いる場合、通常は、樹脂組成物の硬化物の比誘電率を低くできる。 (C) Inorganic fillers can be classified into hollow inorganic fillers that have internal voids and solid inorganic fillers that do not have internal voids. As the (C) inorganic filler, only hollow inorganic fillers may be used, only solid inorganic fillers may be used, or hollow inorganic fillers and solid inorganic fillers may be used in combination. When hollow inorganic fillers are used, the relative dielectric constant of the cured product of the resin composition can usually be reduced.
中空無機充填材は、空孔を有するので、通常、0体積%より大きい空孔率を有する。樹脂組成物の硬化物を含む絶縁層の比誘電率を低くする観点から、中空無機充填材の空孔率は、好ましくは5体積%以上、より好ましくは10体積%以上、特に好ましくは15体積%以上である。また、樹脂組成物の硬化物の機械的強度の観点から、中空無機充填材の空孔率は、好ましくは95体積%以下、より好ましくは90体積%以下、特に好ましくは85体積%以下である。 Since the hollow inorganic filler has pores, it usually has a porosity of more than 0 volume percent. From the viewpoint of lowering the relative dielectric constant of the insulating layer containing the cured product of the resin composition, the porosity of the hollow inorganic filler is preferably 5 volume percent or more, more preferably 10 volume percent or more, and particularly preferably 15 volume percent or more. Also, from the viewpoint of the mechanical strength of the cured product of the resin composition, the porosity of the hollow inorganic filler is preferably 95 volume percent or less, more preferably 90 volume percent or less, and particularly preferably 85 volume percent or less.
粒子の空孔率P(体積%)は、粒子の外面を基準とした粒子全体の体積に対する粒子内部に1個又は2個以上存在する空孔の合計体積の体積基準割合(空孔の合計体積/粒子の体積)として定義される。この空孔率Pは、粒子の実際の密度の測定値DM(g/cm3)、及び、粒子を形成する材料の物質密度の理論値DT(g/cm3)を用いて、下記式(X1)により算出できる。 The porosity P (volume %) of a particle is defined as the volume ratio of the total volume of one or more pores present inside the particle to the total volume of the particle based on the outer surface of the particle (total volume of pores/volume of particle). This porosity P can be calculated by the following formula (X1) using the measured value D M (g/cm 3 ) of the actual density of the particle and the theoretical value D T (g/cm 3 ) of the material density of the material forming the particle.
中空無機充填材は、例えば、特許第5940188号公報及び特許第5864299号公報に記載の方法又はこれに準ずる方法により製造してもよい。 The hollow inorganic filler may be produced, for example, by the methods described in Japanese Patent No. 5940188 and Japanese Patent No. 5864299 or methods equivalent thereto.
(C)無機充填材の市販品としては、例えば、日鉄ケミカル&マテリアル社製の「SP60-05」、「SP507-05」;アドマテックス社製の「YC100C」、「YA050C」、「YA050C-MJE」、「YA010C」、「SC2500SQ」、「SO-C4」、「SO-C2」、「SO-C1」;デンカ社製の「UFP-30」、「DAW-03」、「FB-105FD」;トクヤマ社製の「シルフィルNSS-3N」、「シルフィルNSS-4N」、「シルフィルNSS-5N」;太平洋セメント社製「セルフィアーズ」;日揮触媒化成社製「エスフェリーク」などが挙げられる。 (C) Commercially available inorganic fillers include, for example, "SP60-05" and "SP507-05" manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd.; "YC100C", "YA050C", "YA050C-MJE", "YA010C", "SC2500SQ", "SO-C4", "SO-C2", and "SO-C1" manufactured by Admatechs Co., Ltd.; "UFP-30", "DAW-03", and "FB-105FD" manufactured by Denka Co., Ltd.; "Silfil NSS-3N", "Silfil NSS-4N", and "Silfil NSS-5N" manufactured by Tokuyama Corporation; "Cellpheares" manufactured by Taiheiyo Cement Corporation; and "Sfereek" manufactured by JGC Catalysts and Chemicals Co., Ltd.
(C)無機充填材の平均粒径は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.05μm以上、さらに好ましくは0.1μm以上であり、好ましくは10μm以下、より好ましくは5μm以下、さらに好ましくは3μm以下である。 The average particle size of the inorganic filler (C) is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.05 μm or more, and even more preferably 0.1 μm or more, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention, and is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, and even more preferably 3 μm or less.
(C)無機充填材の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的には、レーザー回折散乱式粒径分布測定装置により、無機充填材の粒径分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材100mg、メチルエチルケトン10gをバイアル瓶に秤取り、超音波にて10分間分散させたものを使用することができる。測定サンプルを、レーザー回折式粒径分布測定装置を使用して、使用光源波長を青色及び赤色とし、フローセル方式で無機充填材の体積基準の粒径分布を測定し、得られた粒径分布からメディアン径として平均粒径を算出しうる。レーザー回折式粒径分布測定装置としては、例えば堀場製作所社製「LA-960」等が挙げられる。 (C) The average particle size of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction/scattering method based on the Mie scattering theory. Specifically, a particle size distribution of the inorganic filler is created on a volume basis using a laser diffraction/scattering particle size distribution measuring device, and the median diameter is used as the average particle size. The measurement sample can be prepared by weighing 100 mg of inorganic filler and 10 g of methyl ethyl ketone into a vial and dispersing the mixture by ultrasonic waves for 10 minutes. The measurement sample is measured using a laser diffraction particle size distribution measuring device with blue and red light source wavelengths, and the volume-based particle size distribution of the inorganic filler is measured using a flow cell method, and the average particle size can be calculated as the median diameter from the particle size distribution obtained. An example of a laser diffraction particle size distribution measuring device is the "LA-960" manufactured by Horiba, Ltd.
(C)無機充填材の比表面積は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.1m2/g以上、より好ましくは0.5m2/g以上、さらに好ましくは1m2/g以上、特に好ましくは3m2/g以上であり、好ましくは100m2/g以下、より好ましくは70m2/g以下、さらに好ましくは50m2/g以下、特に好ましくは40m2/g以下である。無機充填材の比表面積は、BET法に従って、比表面積測定装置(マウンテック社製Macsorb HM-1210)を使用して試料表面に窒素ガスを吸着させ、BET多点法を用いて比表面積を算出することで測定できる。 From the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention, the specific surface area of the inorganic filler (C) is preferably 0.1 m 2 /g or more, more preferably 0.5 m 2 /g or more, even more preferably 1 m 2 /g or more, particularly preferably 3 m 2 /g or more, and is preferably 100 m 2 /g or less, more preferably 70 m 2 /g or less, even more preferably 50 m 2 /g or less, particularly preferably 40 m 2 /g or less. The specific surface area of the inorganic filler can be measured according to the BET method by adsorbing nitrogen gas onto the sample surface using a specific surface area measuring device (Macsorb HM-1210 manufactured by Mountech Co., Ltd.) and calculating the specific surface area using the BET multipoint method.
(C)無機充填材は、耐湿性及び分散性を高める観点から、表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤としては、例えば、フッ素含有シランカップリング剤、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、アルコキシシラン、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等が挙げられる。表面処理剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を任意に組み合わせて用いてもよい。 (C) The inorganic filler is preferably treated with a surface treatment agent from the viewpoint of improving moisture resistance and dispersibility. Examples of the surface treatment agent include fluorine-containing silane coupling agents, aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, silane coupling agents, alkoxysilanes, organosilazane compounds, titanate coupling agents, etc. One type of surface treatment agent may be used alone, or two or more types may be used in any combination.
表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業社製「KBM403」(3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM803」(3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBE903」(3-アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM573」(N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「SZ-31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業社製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM-4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)、信越化学工業社製「KBM-7103」(3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン)等が挙げられる。 Examples of commercially available surface treatment agents include Shin-Etsu Chemical's "KBM403" (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical's "KBM803" (3-mercaptopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical's "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical's "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical's "SZ-31" (hexamethyldisilazane), Shin-Etsu Chemical's "KBM103" (phenyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical's "KBM-4803" (long-chain epoxy-type silane coupling agent), and Shin-Etsu Chemical's "KBM-7103" (3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane).
表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の分散性向上の観点から、特定の範囲に収まることが好ましい。具体的には、無機充填材100質量%は、0.2質量%~5質量%の表面処理剤で表面処理されていることが好ましく、0.2質量%~3質量%の表面処理剤で表面処理されていることがより好ましく、0.3質量%~2質量%の表面処理剤で表面処理されていることがさらに好ましい。 From the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler, it is preferable that the degree of surface treatment with the surface treatment agent falls within a specific range. Specifically, it is preferable that 100% by mass of the inorganic filler is surface-treated with 0.2% to 5% by mass of the surface treatment agent, more preferably with 0.2% to 3% by mass of the surface treatment agent, and even more preferably with 0.3% to 2% by mass of the surface treatment agent.
表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m2以上が好ましく、0.1mg/m2以上がより好ましく、0.2mg/m2以上がさらに好ましい。一方、樹脂組成物の溶融粘度の上昇を防止する観点から、1.0mg/m2以下が好ましく、0.8mg/m2以下がより好ましく、0.5mg/m2以下がさらに好ましい。 The degree of surface treatment by the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. From the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler is preferably 0.02 mg/m 2 or more, more preferably 0.1 mg/m 2 or more, and even more preferably 0.2 mg/m 2 or more. On the other hand, from the viewpoint of preventing an increase in the melt viscosity of the resin composition, it is preferably 1.0 mg/m 2 or less, more preferably 0.8 mg/m 2 or less, and even more preferably 0.5 mg/m 2 or less.
(C)無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所社製「EMIA-320V」等を使用することができる。 (C) The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (e.g., methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler that has been surface-treated with a surface treatment agent, and ultrasonic cleaning is performed at 25°C for 5 minutes. After removing the supernatant and drying the solids, the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured using a carbon analyzer. An example of a carbon analyzer that can be used is the "EMIA-320V" manufactured by Horiba, Ltd.
樹脂組成物中の(C)無機充填材の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、0質量%でもよく、0質量%より多くてもよく、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、特に好ましくは30質量%以上であり、好ましくは94質量%以下、より好ましくは90質量%以下、特に好ましくは80質量%以下である。(C)無機充填材の量が前記範囲にある場合、絶縁層の誘電正接、クラック耐性及びブリスター耐性を効果的に改善でき、更に通常は、絶縁層の比誘電率を低くできる。 The amount of (C) inorganic filler in the resin composition may be 0% by mass or more than 0% by mass, and is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, particularly preferably 30% by mass or more, and is preferably 94% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, particularly preferably 80% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of (C) inorganic filler is within the above range, the dielectric tangent, crack resistance, and blister resistance of the insulating layer can be effectively improved, and furthermore, usually, the relative dielectric constant of the insulating layer can be reduced.
<第一実施形態に係る(D)硬化促進剤>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、任意の成分として、(D)硬化促進剤を更に含んでいてもよい。(D)成分としての(D)硬化促進剤には、上述した(A)~(C)成分に該当するものは含めない。(D)硬化促進剤は、(B)硬化性樹脂の硬化を促進させる硬化触媒としての機能を有する。
<(D) Curing Accelerator According to the First Embodiment>
The resin composition according to the first embodiment of the present invention may further contain a curing accelerator (D) as an optional component. The curing accelerator (D) as the component (D) does not include those corresponding to the above-mentioned components (A) to (C). The curing accelerator (D) functions as a curing catalyst that accelerates the curing of the curable resin (B).
(D)硬化促進剤としては、(B)硬化性樹脂の種類に応じて適切なものを用いうる。例えば、(B)硬化性樹脂がエポキシ樹脂を含む場合、そのエポキシ樹脂の硬化を促進させうる(D)硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、ウレア系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤等が挙げられる。(D)硬化促進剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 As the (D) curing accelerator, an appropriate one may be used depending on the type of the (B) curable resin. For example, when the (B) curable resin contains an epoxy resin, examples of the (D) curing accelerator that can accelerate the curing of the epoxy resin include phosphorus-based curing accelerators, urea-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, metal-based curing accelerators, and amine-based curing accelerators. One type of (D) curing accelerator may be used alone, or two or more types may be used in combination.
リン系硬化促進剤としては、例えば、テトラブチルホスホニウムブロマイド、テトラブチルホスホニウムクロライド、テトラブチルホスホニウムアセテート、テトラブチルホスホニウムデカノエート、テトラブチルホスホニウムラウレート、ビス(テトラブチルホスホニウム)ピロメリテート、テトラブチルホスホニウムハイドロジェンヘキサヒドロフタレート、テトラブチルホスホニウム2,6-ビス[(2-ヒドロキシ-5-メチルフェニル)メチル]-4-メチルフェノラート、ジ-tert-ブチルジメチルホスホニウムテトラフェニルボレート等の脂肪族ホスホニウム塩;メチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、エチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、プロピルトリフェニルホスホニウムブロマイド、ブチルトリフェニルホスホニウムブロマイド、ベンジルトリフェニルホスホニウムクロライド、テトラフェニルホスホニウムブロマイド、p-トリルトリフェニルホスホニウムテトラ-p-トリルボレート、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニウムテトラp-トリルボレート、トリフェニルエチルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリス(3-メチルフェニル)エチルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリス(2-メトキシフェニル)エチルホスホニウムテトラフェニルボレート、(4-メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等の芳香族ホスホニウム塩;トリフェニルホスフィン・トリフェニルボラン等の芳香族ホスフィン・ボラン複合体;トリフェニルホスフィン・p-ベンゾキノン付加反応物等の芳香族ホスフィン・キノン付加反応物;トリブチルホスフィン、トリ-tert-ブチルホスフィン、トリオクチルホスフィン、ジ-tert-ブチル(2-ブテニル)ホスフィン、ジ-tert-ブチル(3-メチル-2-ブテニル)ホスフィン、トリシクロヘキシルホスフィン等の脂肪族ホスフィン;ジブチルフェニルホスフィン、ジ-tert-ブチルフェニルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、エチルジフェニルホスフィン、ブチルジフェニルホスフィン、ジフェニルシクロヘキシルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリ-o-トリルホスフィン、トリ-m-トリルホスフィン、トリ-p-トリルホスフィン、トリス(4-エチルフェニル)ホスフィン、トリス(4-プロピルフェニル)ホスフィン、トリス(4-イソプロピルフェニル)ホスフィン、トリス(4-ブチルフェニル)ホスフィン、トリス(4-tert-ブチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,4-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,5-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,6-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(3,5-ジメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,4,6-トリメチルフェニル)ホスフィン、トリス(2,6-ジメチル-4-エトキシフェニル)ホスフィン、トリス(2-メトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-メトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-エトキシフェニル)ホスフィン、トリス(4-tert-ブトキシフェニル)ホスフィン、ジフェニル-2-ピリジルホスフィン、1,2-ビス(ジフェニルホスフィノ)エタン、1,3-ビス(ジフェニルホスフィノ)プロパン、1,4-ビス(ジフェニルホスフィノ)ブタン、1,2-ビス(ジフェニルホスフィノ)アセチレン、2,2’-ビス(ジフェニルホスフィノ)ジフェニルエーテル等の芳香族ホスフィン等が挙げられる。 Examples of phosphorus-based curing accelerators include aliphatic phosphonium salts such as tetrabutylphosphonium bromide, tetrabutylphosphonium chloride, tetrabutylphosphonium acetate, tetrabutylphosphonium decanoate, tetrabutylphosphonium laurate, bis(tetrabutylphosphonium)pyromellitate, tetrabutylphosphonium hydrogenhexahydrophthalate, tetrabutylphosphonium 2,6-bis[(2-hydroxy-5-methylphenyl)methyl]-4-methylphenolate, and di-tert-butyldimethylphosphonium tetraphenylborate; methyltriphenylphosphonium bromide, ethyltriphenylphosphonium bromide, propyltriphenylphosphonium bromide, butyltriphenylphosphonium bromide, benzyltriphenylphosphonium chloride, tetraphenylphosphine aromatic phosphonium salts such as sulfonium bromide, p-tolyltriphenylphosphonium tetra-p-tolylborate, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, tetraphenylphosphonium tetra-p-tolylborate, triphenylethylphosphonium tetraphenylborate, tris(3-methylphenyl)ethylphosphonium tetraphenylborate, tris(2-methoxyphenyl)ethylphosphonium tetraphenylborate, (4-methylphenyl)triphenylphosphonium thiocyanate, tetraphenylphosphonium thiocyanate, and butyltriphenylphosphonium thiocyanate; aromatic phosphine-borane complexes such as triphenylphosphine-triphenylborane; aromatic phosphine-quinone addition products such as triphenylphosphine-p-benzoquinone addition products; tributylphosphine, tri-t Aliphatic phosphines such as tert-butylphosphine, trioctylphosphine, di-tert-butyl(2-butenyl)phosphine, di-tert-butyl(3-methyl-2-butenyl)phosphine, and tricyclohexylphosphine; dibutylphenylphosphine, di-tert-butylphenylphosphine, methyldiphenylphosphine, ethyldiphenylphosphine, butyldiphenylphosphine, diphenylcyclohexylphosphine, triphenylphosphine, tri-o-tolylphosphine, tri-m-tolylphosphine, tri-p-tolylphosphine, tris(4-ethylphenyl)phosphine, tris(4-propylphenyl)phosphine, tris(4-isopropylphenyl)phosphine, tris(4-butylphenyl)phosphine, tris(4-tert-butylphenyl)phosphine, tris(2,4-dimethylphenyl)phosphine, ) phosphine, tris(2,5-dimethylphenyl)phosphine, tris(2,6-dimethylphenyl)phosphine, tris(3,5-dimethylphenyl)phosphine, tris(2,4,6-trimethylphenyl)phosphine, tris(2,6-dimethyl-4-ethoxyphenyl)phosphine, tris(2-methoxyphenyl)phosphine, tris(4-methoxyphenyl)phosphine, tris(4-ethoxyphenyl)phosphine, tris(4-tert-butoxyphenyl)phosphine, diphenyl-2-pyridylphosphine, 1,2-bis(diphenylphosphino)ethane, 1,3-bis(diphenylphosphino)propane, 1,4-bis(diphenylphosphino)butane, 1,2-bis(diphenylphosphino)acetylene, 2,2'-bis(diphenylphosphino)diphenyl ether and other aromatic phosphines.
ウレア系硬化促進剤としては、例えば、1,1-ジメチル尿素;1,1,3-トリメチル尿素、3-エチル-1,1-ジメチル尿素、3-シクロヘキシル-1,1-ジメチル尿素、3-シクロオクチル-1,1-ジメチル尿素等の脂肪族ジメチルウレア;3-フェニル-1,1-ジメチル尿素、3-(4-クロロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3,4-ジクロロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3-クロロ-4-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(2-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-メチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(3,4-ジメチルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-イソプロピルフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-メトキシフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-(4-ニトロフェニル)-1,1-ジメチル尿素、3-[4-(4-メトキシフェノキシ)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、3-[4-(4-クロロフェノキシ)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、3-[3-(トリフルオロメチル)フェニル]-1,1-ジメチル尿素、N,N-(1,4-フェニレン)ビス(N’,N’-ジメチル尿素)、N,N-(4-メチル-1,3-フェニレン)ビス(N’,N’-ジメチル尿素)〔トルエンビスジメチルウレア〕等の芳香族ジメチルウレア等が挙げられる。 Examples of urea-based hardening accelerators include 1,1-dimethylurea; aliphatic dimethylureas such as 1,1,3-trimethylurea, 3-ethyl-1,1-dimethylurea, 3-cyclohexyl-1,1-dimethylurea, and 3-cyclooctyl-1,1-dimethylurea; 3-phenyl-1,1-dimethylurea, 3-(4-chlorophenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(3,4-dichlorophenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(3-chloro-4-methylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(2-methylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4-methylphenyl)-1,1-dimethylurea, and 3-(3,4-dimethylphenyl)-1,1-dimethylurea. aromatic dimethylureas such as 3-(4-isopropylphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4-methoxyphenyl)-1,1-dimethylurea, 3-(4-nitrophenyl)-1,1-dimethylurea, 3-[4-(4-methoxyphenoxy)phenyl]-1,1-dimethylurea, 3-[4-(4-chlorophenoxy)phenyl]-1,1-dimethylurea, 3-[3-(trifluoromethyl)phenyl]-1,1-dimethylurea, N,N-(1,4-phenylene)bis(N',N'-dimethylurea), and N,N-(4-methyl-1,3-phenylene)bis(N',N'-dimethylurea) [toluene bisdimethylurea].
グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1-メチルグアニジン、1-エチルグアニジン、1-シクロヘキシルグアニジン、1-フェニルグアニジン、1-(o-トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、1-メチルビグアニド、1-エチルビグアニド、1-n-ブチルビグアニド、1-n-オクタデシルビグアニド、1,1-ジメチルビグアニド、1,1-ジエチルビグアニド、1-シクロヘキシルビグアニド、1-アリルビグアニド、1-フェニルビグアニド、1-(o-トリル)ビグアニド等が挙げられる。 Examples of guanidine-based curing accelerators include dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1-(o-tolyl)guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, tetramethylguanidine, pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1,1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1-allylbiguanide, 1-phenylbiguanide, and 1-(o-tolyl)biguanide.
イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3-ジヒドロ-1H-ピロロ[1,2-a]ベンズイミダゾール、1-ドデシル-2-メチル-3-ベンジルイミダゾリウムクロライド、2-メチルイミダゾリン、2-フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられる。イミダゾール系硬化促進剤の市販品としては、例えば、四国化成工業社製の「1B2PZ」、「2E4MZ」、「2MZA-PW」、「2MZ-OK」、「2MA-OK」、「2MA-OK-PW」、「2PHZ」、「2PHZ-PW」、「Cl1Z」、「Cl1Z-CN」、「Cl1Z-CNS」、「C11Z-A」;三菱ケミカル社製の「P200-H50」等が挙げられる。 Examples of imidazole-based curing accelerators include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2- Phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl -(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct imidazole compounds such as 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline, and 2-phenylimidazoline, as well as adducts of imidazole compounds and epoxy resins. Commercially available imidazole curing accelerators include, for example, "1B2PZ", "2E4MZ", "2MZA-PW", "2MZ-OK", "2MA-OK", "2MA-OK-PW", "2PHZ", "2PHZ-PW", "Cl1Z", "Cl1Z-CN", "Cl1Z-CNS", and "C11Z-A" manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd.; and "P200-H50" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.
金属系硬化促進剤としては、例えば、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体等が挙げられる。有機金属塩としては、例えば、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛等が挙げられる。 Metal-based curing accelerators include, for example, organometallic complexes or organometallic salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin. Specific examples of organometallic complexes include organocobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate, organocopper complexes such as copper (II) acetylacetonate, organozinc complexes such as zinc (II) acetylacetonate, organoiron complexes such as iron (III) acetylacetonate, organonickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate, and organomanganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate. Organometallic salts include, for example, zinc octoate, tin octoate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate.
アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4-ジメチルアミノピリジン、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,-トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-ウンデセン等が挙げられる。アミン系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、味の素ファインテクノ社製の「MY-25」等が挙げられる。 Examples of amine-based curing accelerators include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine, benzyldimethylamine, 2,4,6-tris(dimethylaminomethyl)phenol, and 1,8-diazabicyclo(5,4,0)-undecene. Commercially available amine-based curing accelerators may be used, such as "MY-25" manufactured by Ajinomoto Fine-Techno Co., Ltd.
樹脂組成物中の(D)硬化促進剤の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、0質量%でもよく、0質量%より多くてもよく、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.02質量%以上、特に好ましくは0.05質量%以上であり、好ましくは1.0質量%以下、より好ましくは0.5質量%以下、特に好ましくは0.2質量%以下である。 The amount of (D) curing accelerator in the resin composition may be 0% by mass or more than 0% by mass, and is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.02% by mass or more, and particularly preferably 0.05% by mass or more, and is preferably 1.0% by mass or less, more preferably 0.5% by mass or less, and particularly preferably 0.2% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition.
樹脂組成物中の(D)硬化促進剤の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、0質量%でもよく、0質量%より多くてもよく、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.05質量%以上、特に好ましくは0.1質量%以上であり、好ましくは2.0質量%以下、より好ましくは1.0質量%以下、特に好ましくは0.5質量%以下である。 The amount of (D) curing accelerator in the resin composition may be 0% by mass or more than 0% by mass, and is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and particularly preferably 0.1% by mass or more, and is preferably 2.0% by mass or less, more preferably 1.0% by mass or less, and particularly preferably 0.5% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition.
<第一実施形態に係る(E)熱可塑性樹脂>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、任意の成分として、(E)熱可塑性樹脂を更に含んでいてもよい。(E)成分としての(E)熱可塑性樹脂には、上述した(A)~(D)成分に該当するものは含めない。
<Thermoplastic resin (E) according to the first embodiment>
The resin composition according to the first embodiment of the present invention may further contain a thermoplastic resin (E) as an optional component. The thermoplastic resin (E) as the component (E) does not include those corresponding to the above-mentioned components (A) to (D).
(E)熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられる。(E)熱可塑性樹脂は、1種類単独で用いてもよく、又は2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 (E) Examples of thermoplastic resins include phenoxy resins, polyimide resins, polyvinyl acetal resins, polyolefin resins, polybutadiene resins, polyamideimide resins, polyetherimide resins, polysulfone resins, polyethersulfone resins, polyphenylene ether resins, polycarbonate resins, polyetheretherketone resins, and polyester resins. (E) Thermoplastic resins may be used alone or in combination of two or more.
フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種類以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱ケミカル社製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「FX280」及び「FX293」;三菱ケミカル社製の「YL7500BH30」、「YX6954BH30」、「YX7553」、「YX7553BH30」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」、「YL7482」及び「YL7891BH30」;等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having one or more skeletons selected from the group consisting of bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, terpene skeleton, and trimethylcyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. Specific examples of phenoxy resins include "1256" and "4250" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (both phenoxy resins containing a bisphenol A skeleton); "YX8100" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (phenoxy resin containing a bisphenol S skeleton); "YX6954" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (phenoxy resin containing a bisphenol acetophenone skeleton); "FX280" and "FX293" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.; "YL7500BH30", "YX6954BH30", "YX7553", "YX7553BH30", "YL7769BH30", "YL6794", "YL7213", "YL7290", "YL7482" and "YL7891BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; and the like.
ポリイミド樹脂の具体例としては、信越化学工業社製「SLK-6100」、新日本理化社製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」等が挙げられる。 Specific examples of polyimide resins include "SLK-6100" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and "Rikacoat SN20" and "Rikacoat PN20" manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.
ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、電気化学工業社製の「電化ブチラール4000-2」、「電化ブチラール5000-A」、「電化ブチラール6000-C」、「電化ブチラール6000-EP」;積水化学工業社製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ(例えばBX-5Z)、KSシリーズ(例えばKS-1)、BLシリーズ、BMシリーズ;等が挙げられる。 Examples of polyvinyl acetal resins include polyvinyl formal resins and polyvinyl butyral resins, with polyvinyl butyral resins being preferred. Specific examples of polyvinyl acetal resins include Denka Butyral 4000-2, Denka Butyral 5000-A, Denka Butyral 6000-C, and Denka Butyral 6000-EP manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.; and S-LEC BH series, BX series (e.g. BX-5Z), KS series (e.g. KS-1), BL series, and BM series manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd.
ポリオレフィン樹脂としては、例えば低密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、エチレン-酢酸ビニル共重合体、エチレン-アクリル酸エチル共重合体、エチレン-アクリル酸メチル共重合体等のエチレン系共重合樹脂;ポリプロピレン、エチレン-プロピレンブロック共重合体等のポリオレフィン系重合体等が挙げられる。 Examples of polyolefin resins include ethylene-based copolymer resins such as low-density polyethylene, very low-density polyethylene, high-density polyethylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-ethyl acrylate copolymer, and ethylene-methyl acrylate copolymer; polyolefin-based polymers such as polypropylene and ethylene-propylene block copolymer.
ポリブタジエン樹脂としては、例えば、水素化ポリブタジエン骨格含有樹脂、ヒドロキシ基含有ポリブタジエン樹脂、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン樹脂、カルボキシ基含有ポリブタジエン樹脂、酸無水物基含有ポリブタジエン樹脂、エポキシ基含有ポリブタジエン樹脂、イソシアネート基含有ポリブタジエン樹脂、ウレタン基含有ポリブタジエン樹脂、ポリフェニレンエーテル-ポリブタジエン樹脂等が挙げられる。 Examples of polybutadiene resins include hydrogenated polybutadiene skeleton-containing resins, hydroxyl group-containing polybutadiene resins, phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene resins, carboxyl group-containing polybutadiene resins, acid anhydride group-containing polybutadiene resins, epoxy group-containing polybutadiene resins, isocyanate group-containing polybutadiene resins, urethane group-containing polybutadiene resins, polyphenylene ether-polybutadiene resins, etc.
ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡社製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成社製の「KS9100」、「KS9300」(ポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド)等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。 Specific examples of polyamide-imide resins include "Viromax HR11NN" and "Viromax HR16NN" manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of polyamide-imide resins include modified polyamide-imides such as "KS9100" and "KS9300" (polyamide-imide containing a polysiloxane skeleton) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.
ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学社製の「PES5003P」等が挙げられる。 An example of a polyethersulfone resin is "PES5003P" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.
ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ社製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。 Specific examples of polysulfone resins include polysulfones "P1700" and "P3500" manufactured by Solvay Advanced Polymers.
ポリフェニレンエーテル樹脂の具体例としては、SABIC製「NORYL SA90」等が挙げられる。ポリエーテルイミド樹脂の具体例としては、GE社製の「ウルテム」等が挙げられる。 A specific example of a polyphenylene ether resin is NORYL SA90 manufactured by SABIC. A specific example of a polyetherimide resin is ULTEM manufactured by GE.
ポリカーボネート樹脂としては、例えば、ヒドロキシ基含有カーボネート樹脂、フェノール性水酸基含有カーボネート樹脂、カルボキシ基含有カーボネート樹脂、酸無水物基含有カーボネート樹脂、イソシアネート基含有カーボネート樹脂、ウレタン基含有カーボネート樹脂等が挙げられる。ポリカーボネート樹脂の具体例としては、三菱瓦斯化学社製の「FPC0220」、旭化成ケミカルズ社製の「T6002」、「T6001」(ポリカーボネートジオール)、クラレ社製の「C-1090」、「C-2090」、「C-3090」(ポリカーボネートジオール)等が挙げられる。ポリエーテルエーテルケトン樹脂の具体例としては、住友化学社製の「スミプロイK」等が挙げられる。 Examples of polycarbonate resins include hydroxyl group-containing carbonate resins, phenolic hydroxyl group-containing carbonate resins, carboxyl group-containing carbonate resins, acid anhydride group-containing carbonate resins, isocyanate group-containing carbonate resins, and urethane group-containing carbonate resins. Specific examples of polycarbonate resins include "FPC0220" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., "T6002" and "T6001" (polycarbonate diols) manufactured by Asahi Kasei Chemicals Corporation, and "C-1090", "C-2090", and "C-3090" (polycarbonate diols) manufactured by Kuraray Co., Ltd. Specific examples of polyether ether ketone resins include "Sumiploy K" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.
ポリエステル樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリブチレンナフタレート樹脂、ポリトリメチレンテレフタレート樹脂、ポリトリメチレンナフタレート樹脂、ポリシクロヘキサンジメチルテレフタレート樹脂等が挙げられる。 Examples of polyester resins include polyethylene terephthalate resin, polyethylene naphthalate resin, polybutylene terephthalate resin, polybutylene naphthalate resin, polytrimethylene terephthalate resin, polytrimethylene naphthalate resin, and polycyclohexane dimethyl terephthalate resin.
(E)熱可塑性樹脂の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは5,000より大きく、より好ましくは8,000以上、さらに好ましくは10,000以上、特に好ましくは20,000以上であり、好ましくは100,000以下、より好ましくは70,000以下、さらに好ましくは60,000以下、特に好ましくは50,000以下である。(E)熱可塑性樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値として測定できる。 The weight average molecular weight (Mw) of the (E) thermoplastic resin is preferably greater than 5,000, more preferably 8,000 or more, even more preferably 10,000 or more, particularly preferably 20,000 or more, and is preferably 100,000 or less, more preferably 70,000 or less, even more preferably 60,000 or less, particularly preferably 50,000 or less. The weight average molecular weight of the (E) thermoplastic resin can be measured as a polystyrene-equivalent value by gel permeation chromatography (GPC).
樹脂組成物中の(E)熱可塑性樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、0質量%でもよく、0質量%より多くてもよく、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、特に好ましくは0.5質量%以上であり、好ましくは20質量%以下、より好ましくは10質量%以下、特に好ましくは5質量%以下である。 The amount of (E) thermoplastic resin in the resin composition may be 0% by mass or more than 0% by mass, and is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.1% by mass or more, and particularly preferably 0.5% by mass or more, and is preferably 20% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, and particularly preferably 5% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition.
樹脂組成物中の(E)熱可塑性樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、0質量%でもよく、0質量%より多くてもよく、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1質量%以上、特に好ましくは2質量%以上であり、好ましくは30質量%以下、より好ましくは20質量%以下、特に好ましくは10質量%以下である。 The amount of (E) thermoplastic resin in the resin composition may be 0% by mass or more than 0% by mass, and is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, and particularly preferably 2% by mass or more, and is preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and particularly preferably 10% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition.
<第一実施形態に係る(F)任意の添加剤>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、任意の不揮発成分として、(F)任意の添加剤を更に含んでいてもよい。(F)成分としての(F)任意の添加剤には、上述した(A)~(E)成分に該当するものは含めない。(F)任意の添加剤としては、例えば、過酸化物系ラジカル重合開始剤、アゾ系ラジカル重合開始剤等のラジカル重合開始剤;有機銅化合物、有機亜鉛化合物、有機コバルト化合物等の有機金属化合物;フタロシアニンブルー、フタロシアニングリーン、アイオディングリーン、ジアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック等の着色剤;ハイドロキノン、カテコール、ピロガロール、フェノチアジン等の重合禁止剤;シリコーン系レベリング剤、アクリルポリマー系レベリング剤等のレベリング剤;ベントン、モンモリロナイト等の増粘剤;シリコーン系消泡剤、アクリル系消泡剤、フッ素系消泡剤、ビニル樹脂系消泡剤等の消泡剤;ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤等の紫外線吸収剤;尿素シラン等の接着性向上剤;トリアゾール系密着性付与剤、テトラゾール系密着性付与剤、トリアジン系密着性付与剤等の密着性付与剤;ヒンダードフェノール系酸化防止剤等の酸化防止剤;スチルベン誘導体等の蛍光増白剤;フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等の界面活性剤;リン系難燃剤(例えばリン酸エステル化合物、ホスファゼン化合物、ホスフィン酸化合物、赤リン)、窒素系難燃剤(例えば硫酸メラミン)、ハロゲン系難燃剤、無機系難燃剤(例えば三酸化アンチモン)等の難燃剤;リン酸エステル系分散剤、ポリオキシアルキレン系分散剤、アセチレン系分散剤、シリコーン系分散剤、アニオン性分散剤、カチオン性分散剤等の分散剤;ボレート系安定剤、チタネート系安定剤、アルミネート系安定剤、ジルコネート系安定剤、イソシアネート系安定剤、カルボン酸系安定剤、カルボン酸無水物系安定剤等の安定剤;が挙げられる。(F)任意の添加剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<(F) Optional Additive According to the First Embodiment>
The resin composition according to the first embodiment of the present invention may further contain an optional additive (F) as an optional non-volatile component. The optional additive (F) as the component (F) does not include those corresponding to the above-mentioned components (A) to (E). Examples of the optional additives (F) include radical polymerization initiators such as peroxide-based radical polymerization initiators and azo-based radical polymerization initiators; organometallic compounds such as organic copper compounds, organic zinc compounds, and organic cobalt compounds; colorants such as phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodine green, diazo yellow, crystal violet, titanium oxide, and carbon black; polymerization inhibitors such as hydroquinone, catechol, pyrogallol, and phenothiazine; leveling agents such as silicone-based leveling agents and acrylic polymer-based leveling agents; thickeners such as bentone and montmorillonite; defoamers such as silicone-based defoamers, acrylic defoamers, fluorine-based defoamers, and vinyl resin-based defoamers; ultraviolet absorbers such as benzotriazole-based ultraviolet absorbers; adhesion improvers such as urea silane; triazole-based adhesion imparting agents, tetrazo Examples of the additives include adhesion imparting agents such as phenol-based adhesion imparting agents and triazine-based adhesion imparting agents; antioxidants such as hindered phenol-based antioxidants; fluorescent brighteners such as stilbene derivatives; surfactants such as fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants; flame retardants such as phosphorus-based flame retardants (e.g., phosphate ester compounds, phosphazene compounds, phosphinic acid compounds, red phosphorus), nitrogen-based flame retardants (e.g., melamine sulfate), halogen-based flame retardants, and inorganic flame retardants (e.g., antimony trioxide); dispersants such as phosphate ester-based dispersing agents, polyoxyalkylene-based dispersing agents, acetylene-based dispersing agents, silicone-based dispersing agents, anionic dispersing agents, and cationic dispersing agents; stabilizers such as borate-based stabilizers, titanate-based stabilizers, aluminate-based stabilizers, zirconate-based stabilizers, isocyanate-based stabilizers, carboxylic acid-based stabilizers, and carboxylic anhydride-based stabilizers. (F) The optional additives may be used alone or in combination of two or more.
<第一実施形態に係る(G)溶剤>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、上述した(A)~(F)成分といった不揮発成分に組み合わせて、更に任意の揮発性成分として、(G)溶剤を含んでいてもよい。(G)溶剤としては、通常、有機溶剤を用いる。有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、酢酸イソアミル、プロピオン酸メチル、プロピオン酸エチル、γ-ブチロラクトン等のエステル系溶剤;テトラヒドロピラン、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン、ジエチルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジフェニルエーテル、アニソール等のエーテル系溶剤;メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、エチレングリコール等のアルコール系溶剤;酢酸2-エトキシエチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチルジグリコールアセテート、γ-ブチロラクトン、メトキシプロピオン酸メチル等のエーテルエステル系溶剤;乳酸メチル、乳酸エチル、2-ヒドロキシイソ酪酸メチル等のエステルアルコール系溶剤;2-メトキシプロパノール、2-メトキシエタノール、2-エトキシエタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル(ブチルカルビトール)等のエーテルアルコール系溶剤;N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン等のアミド系溶剤;ジメチルスルホキシド等のスルホキシド系溶剤;アセトニトリル、プロピオニトリル等のニトリル系溶剤;ヘキサン、シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン等の脂肪族炭化水素系溶剤;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチルベンゼン等の芳香族炭化水素系溶剤等を挙げることができる。(G)溶剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
<Solvent (G) according to the first embodiment>
The resin composition according to the first embodiment of the present invention may further contain a (G) solvent as an optional volatile component in combination with the non-volatile components such as the above-mentioned components (A) to (F). As the (G) solvent, an organic solvent is usually used. Examples of the organic solvent include ketone-based solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; ester-based solvents such as methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, isobutyl acetate, isoamyl acetate, methyl propionate, ethyl propionate, and γ-butyrolactone; ether-based solvents such as tetrahydropyran, tetrahydrofuran, 1,4-dioxane, diethyl ether, diisopropyl ether, dibutyl ether, diphenyl ether, and anisole; alcohol-based solvents such as methanol, ethanol, propanol, butanol, and ethylene glycol; 2-ethoxyethyl acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, ethyl diglycol acetate, γ-butyrolactone, and methyl methoxypropionate. Examples of the solvent include ether ester solvents such as ethyl acetate, ester alcohol solvents such as methyl lactate, ethyl lactate, and methyl 2-hydroxyisobutyrate, ether alcohol solvents such as 2-methoxypropanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, propylene glycol monomethyl ether, and diethylene glycol monobutyl ether (butyl carbitol), amide solvents such as N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, and N-methyl-2-pyrrolidone, sulfoxide solvents such as dimethyl sulfoxide, nitrile solvents such as acetonitrile and propionitrile, aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane, cyclopentane, cyclohexane, and methylcyclohexane, and aromatic hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, xylene, ethylbenzene, and trimethylbenzene. The solvent (G) may be used alone or in combination of two or more.
(G)溶剤の量は、特に限定されるものではないが、樹脂組成物中の全成分を100質量%とした場合、例えば、60質量%以下、40質量%以下、30質量%以下、20質量%以下、15質量%以下、10質量%以下等でありえ、0質量%であってもよい。 (G) The amount of the solvent is not particularly limited, but when all components in the resin composition are taken as 100% by mass, it can be, for example, 60% by mass or less, 40% by mass or less, 30% by mass or less, 20% by mass or less, 15% by mass or less, 10% by mass or less, or it can be 0% by mass.
<第一実施形態に係る樹脂組成物の製造方法>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、例えば、樹脂組成物に含まれうる成分を混合することによって、製造することができる。上述した成分は、一部又は全部を同時に混合してもよく、順に混合してもよい。各成分を混合する過程で、温度を適宜設定してもよく、よって、一時的に又は終始にわたって、加熱及び/又は冷却してもよい。また、各成分を混合する過程において、撹拌又は振盪を行ってもよい。
<Method of producing resin composition according to the first embodiment>
The resin composition according to the first embodiment of the present invention can be produced, for example, by mixing components that can be included in the resin composition. The above-mentioned components may be mixed in part or in whole at the same time, or may be mixed in order. In the process of mixing each component, the temperature may be appropriately set, and thus heating and/or cooling may be performed temporarily or throughout. In addition, stirring or shaking may be performed in the process of mixing each component.
<第一実施形態に係る樹脂組成物の特性>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物を硬化することにより、硬化物が得られる。前記の効果の際、通常は、樹脂組成物には熱が加えられる。よって、通常、樹脂組成物に含まれる成分のうち、(G)溶剤等の揮発成分は硬化時の熱によって揮発しうるが、(A)~(F)成分といった不揮発成分は、硬化時の熱によっては揮発しない。よって、樹脂組成物の硬化物は、樹脂組成物の不揮発成分又はその反応生成物を含みうる。
<Characteristics of resin composition according to the first embodiment>
A cured product is obtained by curing the resin composition according to the first embodiment of the present invention. When the above effect is obtained, heat is usually applied to the resin composition. Therefore, among the components contained in the resin composition, volatile components such as (G) solvent can be volatilized by heat during curing, but non-volatile components such as components (A) to (F) do not volatilize by heat during curing. Therefore, the cured product of the resin composition can contain the non-volatile components of the resin composition or their reaction products.
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物の硬化物は、低い誘電正接を有することができる。よって、この硬化物で絶縁層を形成した場合、誘電正接の低い絶縁層を得ることができる。樹脂組成物の硬化物の誘電正接は、好ましくは0.040以下、より好ましくは0.030以下、特に好ましくは0.020以下である。下限は、特段の制限はなく、例えば、0.0001以上でありうる。硬化物の誘電正接は、後述する実施例の<試験例I-1:比誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)の測定>に記載の方法で測定できる。 The cured product of the resin composition according to the first embodiment of the present invention can have a low dielectric tangent. Therefore, when an insulating layer is formed from this cured product, an insulating layer with a low dielectric tangent can be obtained. The dielectric tangent of the cured product of the resin composition is preferably 0.040 or less, more preferably 0.030 or less, and particularly preferably 0.020 or less. There is no particular limit to the lower limit, and it can be, for example, 0.0001 or more. The dielectric tangent of the cured product can be measured by the method described in <Test Example I-1: Measurement of relative dielectric constant (Dk) and dielectric tangent (Df)> in the examples described later.
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物の硬化物は、クラック耐性に優れる。よって、この硬化物で絶縁層を形成した場合、クラック耐性に優れる絶縁層を得ることができる。例えば、後述する実施例の<試験例I-2:クラック耐性の評価>で説明する方法でクラック耐性の評価を行った場合に、歩留まりを、好ましくは40%以上、より好ましくは60%以上、特に好ましくは80%以上にできる。通常、歩留まりの値が大きいほど、クラック耐性に優れることを表す。 The cured product of the resin composition according to the first embodiment of the present invention has excellent crack resistance. Therefore, when an insulating layer is formed from this cured product, an insulating layer with excellent crack resistance can be obtained. For example, when crack resistance is evaluated by the method described in <Test Example I-2: Evaluation of Crack Resistance> in the Examples below, the yield can be preferably 40% or more, more preferably 60% or more, and particularly preferably 80% or more. Generally, the higher the yield value, the better the crack resistance.
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物の硬化物は、ブリスター耐性に優れる。よって、この硬化物で絶縁層を形成した場合、リフロー時のブリスターを抑制できる。例えば、後述する実施例の<試験例I-3:ブリスター耐性の評価>で説明する方法で評価を行った場合、樹脂組成物の硬化物を含む絶縁層上に形成される導体層の膨れ等の異常を抑制できる。 The cured product of the resin composition according to the first embodiment of the present invention has excellent blister resistance. Therefore, when an insulating layer is formed using this cured product, blisters during reflow can be suppressed. For example, when evaluation is performed using the method described in <Test Example I-3: Evaluation of Blister Resistance> in the examples below, abnormalities such as swelling of the conductor layer formed on the insulating layer containing the cured product of the resin composition can be suppressed.
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物の硬化物は、通常、低い比誘電率を有することができる。よって、この硬化物で絶縁層を形成した場合、比誘電率の低い絶縁層を得ることができる。樹脂組成物の硬化物の比誘電率は、好ましくは4.0以下、より好ましくは3.8以下、特に好ましくは3.5以下である。下限は、特段の制限はなく、例えば、0.1以上でありうる。硬化物の誘電正接は、後述する実施例の<試験例I-1:比誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)の測定>に記載の方法で測定できる。 The cured product of the resin composition according to the first embodiment of the present invention can usually have a low dielectric constant. Therefore, when an insulating layer is formed with this cured product, an insulating layer with a low dielectric constant can be obtained. The dielectric constant of the cured product of the resin composition is preferably 4.0 or less, more preferably 3.8 or less, and particularly preferably 3.5 or less. There is no particular limit to the lower limit, and it can be, for example, 0.1 or more. The dielectric tangent of the cured product can be measured by the method described in <Test Example I-1: Measurement of Dielectric Constant (Dk) and Dielectric Tangent (Df)> in the Examples described later.
<第二実施形態に係る樹脂組成物の概要>
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物は、(A)有機充填材と(B)硬化性樹脂とを組み合わせて含む。(A)有機充填材は、式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマー(1)を含む。そして、(A)有機充填材が、特定範囲の平均粒径を有する。
<Outline of resin composition according to second embodiment>
The resin composition according to the second embodiment of the present invention includes a combination of an organic filler (A) and a curable resin (B). The organic filler (A) includes a polymer (1) containing a repeating unit represented by formula (1). The organic filler (A) has an average particle size in a specific range.
Raは、それぞれ独立に、水素原子又は1価の飽和炭化水素基を表し、
Rbは、水素原子、又は、置換基を有していてもよい1価の炭化水素基を表す。)
Each R a independently represents a hydrogen atom or a monovalent saturated hydrocarbon group;
R b represents a hydrogen atom or a monovalent hydrocarbon group which may have a substituent.
第二実施形態に係る樹脂組成物によれば、クラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性に優れる絶縁層を得ることができる。また、この絶縁層は、通常、比誘電率及び誘電正接等の誘電特性が低いものであることができる。 The resin composition according to the second embodiment can provide an insulating layer that is excellent in crack resistance, temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and insulation reliability. In addition, this insulating layer can usually have low dielectric properties such as the relative dielectric constant and the dielectric tangent.
<第二実施形態に係る(A)有機充填材>
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物は、(A)成分としての(A)有機充填材を含む。この(A)有機充填材は、樹脂組成物中に粒子状の形態で存在し、通常は、その粒子状の形態を維持したまま硬化物に含まれる。(A)有機充填材は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。第二実施形態に係る(A)有機充填材としては、第一実施形態で説明した(A)有機充填材と同じものを用いうる。したがって、第二実施形態に係る(A)有機充填材の範囲は、第一実施形態に係る(A)有機充填材の範囲と同じでありうる。
<(A) Organic Filler According to Second Embodiment>
The resin composition according to the second embodiment of the present invention contains an organic filler (A) as the component (A). This organic filler (A) is present in the resin composition in a particulate form, and is usually included in the cured product while maintaining its particulate form. The organic filler (A) may be used alone or in combination of two or more types. The organic filler (A) according to the second embodiment may be the same as the organic filler (A) described in the first embodiment. Therefore, the range of the organic filler (A) according to the second embodiment may be the same as the range of the organic filler (A) according to the first embodiment.
したがって、第二実施形態におけるポリマー(1)は、第一実施形態で説明したポリマー(1)と同じでありうる。また、第二実施形態に係る(A)有機充填材が含むポリマー(1)の量は、第一実施形態に係る(A)有機充填材が含むポリマー(1)の量と同じでありうる。さらに、第二実施形態に係る(A)有機充填材が含みうる任意の成分の種類及び量は、第一実施形態に係る(A)有機充填材が含みうる任意の成分の種類及び量と同じでありうる。また、第二実施形態に係る(A)有機充填材は、シェル部及びコア部等の部分を含んでいてもよい。第二実施形態に係る(A)有機充填材が含みうるシェル部及びコア部等の部分は、第一実施形態に係る(A)有機充填材が含みうるコア部及びシェル部等の部分と同じでありうる。さらに、第二実施形態に係る(A)有機充填材の平均粒径の範囲は、第一実施形態に係る(A)有機充填材の平均粒径の範囲と同じでありうる。また、第二実施形態に係る(A)有機充填材は、表面処理剤で処理されていてもよい。第二実施形態に係る(A)有機充填材の表面処理剤は、第一実施形態に係る(A)有機充填材の表面処理剤と同じでありうる。 Therefore, the polymer (1) in the second embodiment may be the same as the polymer (1) described in the first embodiment. The amount of the polymer (1) contained in the (A) organic filler according to the second embodiment may be the same as the amount of the polymer (1) contained in the (A) organic filler according to the first embodiment. Furthermore, the type and amount of any component that the (A) organic filler according to the second embodiment may be the same as the type and amount of any component that the (A) organic filler according to the first embodiment may contain. The (A) organic filler according to the second embodiment may also contain a shell portion and a core portion, etc. The shell portion and the core portion that the (A) organic filler according to the second embodiment may be the same as the core portion and the shell portion that the (A) organic filler according to the first embodiment may contain. Furthermore, the range of the average particle size of the (A) organic filler according to the second embodiment may be the same as the range of the average particle size of the (A) organic filler according to the first embodiment. The (A) organic filler according to the second embodiment may be treated with a surface treatment agent. The surface treatment agent for the (A) organic filler according to the second embodiment can be the same as the surface treatment agent for the (A) organic filler according to the first embodiment.
ポリマー(1)を含む(A)有機充填材は、通常、樹脂組成物の硬化物において応力を緩和させる作用を発揮できるので、硬化物のクラック耐性を向上させることができる。また、ポリマー(1)を含有する有機充填材を含む硬化物は、従来、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性に劣る傾向があった。これに対し、本発明の第二実施形態においては、特定範囲の平均粒径を有する(A)有機充填材を用いたことにより、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を改善することができた。そのため、第二実施形態に係る樹脂組成物の硬化物によって絶縁層を形成することにより、クラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性に優れる絶縁層を得ることができる。(A)有機充填材の平均粒径を制御した場合に、クラック耐性を高く維持しながら誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を改善できることは、本発明者が初めて発見した効果であり、従来の技術常識からすれば意外な効果といえる。また、その硬化物は、通常、低い極性を有することができるので、誘電正接等の誘電特性を低くすることができる。 The organic filler (A) containing the polymer (1) can usually exert the effect of relaxing stress in the cured product of the resin composition, and therefore can improve the crack resistance of the cured product. In addition, cured products containing an organic filler containing the polymer (1) have traditionally tended to have poor temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures and insulation reliability. In contrast, in the second embodiment of the present invention, the organic filler (A) having an average particle size in a specific range was used, and the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures and insulation reliability were improved. Therefore, by forming an insulating layer using the cured product of the resin composition according to the second embodiment, an insulating layer excellent in crack resistance, temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and insulation reliability can be obtained. When the average particle size of the organic filler (A) is controlled, the inventors first discovered that the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures and insulation reliability can be improved while maintaining high crack resistance, and this effect is unexpected from the perspective of conventional technical common sense. In addition, the cured product can usually have low polarity, and therefore the dielectric properties such as the dielectric tangent can be reduced.
第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(A)有機充填材の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(A)有機充填材の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 The range of the amount of the organic filler (A) contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the organic filler (A) contained in the resin composition according to the first embodiment.
特に望ましい態様において、本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(A)有機充填材の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.2質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、好ましくは5質量%以下、より好ましくは4.5質量%以下、特に好ましくは4質量%以下である。(A)有機充填材の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of (A) organic filler contained in the resin composition according to the second embodiment of the present invention is preferably 0.2% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and preferably 5% by mass or less, more preferably 4.5% by mass or less, particularly preferably 4% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of (A) organic filler is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
特に望ましい態様において、本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(A)有機充填材の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは0.5質量%以上、より好ましくは1質量%以上、特に好ましくは3質量%以上であり、好ましくは25質量%以下、より好ましくは20質量%以下、特に好ましくは15質量%以下である。樹脂組成物の樹脂成分とは、前述の通り、樹脂組成物の不揮発成分のうち、(C)無機充填材を除いた成分を表す。(A)有機充填材の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of (A) organic filler contained in the resin composition according to the second embodiment of the present invention is preferably 0.5% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, particularly preferably 3% by mass or more, and preferably 25% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, particularly preferably 15% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. As described above, the resin components of the resin composition refer to the non-volatile components of the resin composition excluding (C) inorganic filler. When the amount of (A) organic filler is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric loss tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, usually, the relative dielectric constant and dielectric loss tangent can be reduced.
<第二実施形態に係る(B)硬化性樹脂>
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物は、(B)成分としての(B)硬化性樹脂を含む。(B)硬化性樹脂には、上述した(A)成分に該当するものは含めない。(B)硬化性樹脂は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。第二実施形態に係る(B)硬化性樹脂としては、第一実施形態で説明した(B)硬化性樹脂と同じものを用いうる。したがって、第二実施形態に係る(B)硬化性樹脂の範囲は、第一実施形態に係る(B)硬化性樹脂の範囲と同じでありうる。
<(B) Curable resin according to the second embodiment>
The resin composition according to the second embodiment of the present invention includes a (B) curable resin as the (B) component. The (B) curable resin does not include those corresponding to the above-mentioned (A) component. The (B) curable resin may be used alone or in combination of two or more types. The (B) curable resin according to the second embodiment may be the same as the (B) curable resin described in the first embodiment. Therefore, the range of the (B) curable resin according to the second embodiment may be the same as the range of the (B) curable resin according to the first embodiment.
よって、第二実施形態に係る(B)硬化性樹脂は、エポキシ樹脂を含んでいてもよい。第二実施形態に係るエポキシ樹脂としては、第一実施形態に係るエポキシ樹脂と同じものを用いうる。第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれるエポキシ樹脂の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれるエポキシ樹脂の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 Therefore, the curable resin (B) according to the second embodiment may contain an epoxy resin. The epoxy resin according to the second embodiment may be the same as the epoxy resin according to the first embodiment. The range of the amount of the epoxy resin contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the epoxy resin contained in the resin composition according to the first embodiment.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中のエポキシ樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは2質量%以上、特に好ましくは5質量%以上であり、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、特に好ましくは20質量%以下である。エポキシ樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of epoxy resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, particularly preferably 5% by mass or more, and preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, particularly preferably 20% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of epoxy resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中のエポキシ樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、特に好ましくは20質量%以上であり、好ましくは60質量%以下、より好ましくは50質量%以下、特に好ましくは40質量%以下である。エポキシ樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of epoxy resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, particularly preferably 20% by mass or more, and preferably 60% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, particularly preferably 40% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of epoxy resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
また、第二実施形態に係る(B)硬化性樹脂は、フェノール樹脂を含んでいてもよい。第二実施形態に係るフェノール樹脂としては、第一実施形態に係るフェノール樹脂と同じものを用いうる。第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれるフェノール樹脂の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれるフェノール樹脂の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 The curable resin (B) according to the second embodiment may contain a phenolic resin. The phenolic resin according to the second embodiment may be the same as the phenolic resin according to the first embodiment. The range of the amount of the phenolic resin contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the phenolic resin contained in the resin composition according to the first embodiment.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中のフェノール樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、好ましくは30質量%以下、より好ましくは20質量%以下、特に好ましくは10質量%以下である。フェノール樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of phenolic resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, particularly preferably 10% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of phenolic resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中のフェノール樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは2質量%以上、特に好ましくは3質量%以上であり、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、特に好ましくは20質量%以下である。フェノール樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of phenolic resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more, particularly preferably 3% by mass or more, and preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, particularly preferably 20% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of phenolic resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
さらに、第二実施形態に係る(B)硬化性樹脂は、活性エステル樹脂を含んでいてもよい。第二実施形態に係る活性エステル樹脂としては、第一実施形態に係る活性エステル樹脂と同じものを用いうる。第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれる活性エステル樹脂の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれる活性エステル樹脂の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 Furthermore, the curable resin (B) according to the second embodiment may contain an active ester resin. The active ester resin according to the second embodiment may be the same as the active ester resin according to the first embodiment. The range of the amount of the active ester resin contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the active ester resin contained in the resin composition according to the first embodiment.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中の活性エステル樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、特に好ましくは10質量%以上であり、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、特に好ましくは20質量%以下である。活性エステル樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of active ester resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, particularly preferably 10% by mass or more, and preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, particularly preferably 20% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of active ester resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中の活性エステル樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは10質量%以上、より好ましくは20質量%以上、特に好ましくは30質量%以上であり、好ましくは80質量%以下、より好ましくは70質量%以下、特に好ましくは60質量%以下である。活性エステル樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of active ester resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 10% by mass or more, more preferably 20% by mass or more, particularly preferably 30% by mass or more, and preferably 80% by mass or less, more preferably 70% by mass or less, particularly preferably 60% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of active ester resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
また、第二実施形態に係る(B)硬化性樹脂は、シアネート樹脂を含んでいてもよい。第二実施形態に係るシアネート樹脂としては、第一実施形態に係るシアネート樹脂と同じものを用いうる。第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれるシアネート樹脂の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれるシアネート樹脂の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 The curable resin (B) according to the second embodiment may contain a cyanate resin. The cyanate resin according to the second embodiment may be the same as the cyanate resin according to the first embodiment. The range of the amount of the cyanate resin contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the cyanate resin contained in the resin composition according to the first embodiment.
さらに、第二実施形態に係る(B)硬化性樹脂は、カルボジイミド樹脂を含んでいてもよい。第二実施形態に係るカルボジイミド樹脂としては、第一実施形態に係るカルボジイミド樹脂と同じものを用いうる。第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれるカルボジイミド樹脂の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれるカルボジイミド樹脂の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 Furthermore, the curable resin (B) according to the second embodiment may contain a carbodiimide resin. The carbodiimide resin according to the second embodiment may be the same as the carbodiimide resin according to the first embodiment. The range of the amount of the carbodiimide resin contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the carbodiimide resin contained in the resin composition according to the first embodiment.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中のカルボジイミド樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、好ましくは10質量%以下、より好ましくは8質量%以下、特に好ましくは5質量%以下である。カルボジイミド樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of carbodiimide resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and preferably 10% by mass or less, more preferably 8% by mass or less, particularly preferably 5% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of carbodiimide resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中のカルボジイミド樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1質量%以上、特に好ましくは2質量%以上であり、好ましくは20質量%以下、より好ましくは15質量%以下、特に好ましくは10質量%以下である。カルボジイミド樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of carbodiimide resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, particularly preferably 2% by mass or more, and preferably 20% by mass or less, more preferably 15% by mass or less, particularly preferably 10% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of carbodiimide resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
また、第二実施形態に係る(B)硬化性樹脂は、上述した以外の硬化剤を含んでいてもよい。第二実施形態に係る硬化剤としては、第一実施形態に係る硬化剤と同じものを用いうる。エポキシ樹脂のエポキシ基数に対するフェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂、カルボジイミド樹脂、酸無水物樹脂、アミン樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、チオール樹脂等の硬化剤の活性基数の比は、第一実施形態と同じでありうる。すなわち、第二実施形態に係る樹脂組成物において、エポキシ樹脂のエポキシ基数を1とした場合の硬化剤の活性基数の範囲は、第一実施形態で説明したのと同じ範囲にありうる。 The curable resin (B) according to the second embodiment may contain a curing agent other than those described above. The curing agent according to the second embodiment may be the same as the curing agent according to the first embodiment. The ratio of the number of active groups of the curing agent, such as phenol resin, active ester resin, cyanate resin, carbodiimide resin, acid anhydride resin, amine resin, benzoxazine resin, thiol resin, etc., to the number of epoxy groups of the epoxy resin may be the same as that of the first embodiment. That is, in the resin composition according to the second embodiment, the range of the number of active groups of the curing agent when the number of epoxy groups of the epoxy resin is set to 1 may be the same as that described in the first embodiment.
第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれる硬化剤の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれる硬化剤の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 The range of the amount of the curing agent contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the curing agent contained in the resin composition according to the first embodiment.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中の硬化剤の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、特に好ましくは10質量%以上であり、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、特に好ましくは30質量%以下である。硬化剤の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of the curing agent in the resin composition according to the second embodiment is preferably 1% by mass or more, more preferably 5% by mass or more, particularly preferably 10% by mass or more, and preferably 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, particularly preferably 30% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of the curing agent is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulation reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中の硬化剤の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは10質量%以上、より好ましくは30質量%以上、特に好ましくは50質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは80質量%以下、特に好ましくは70質量%以下である。硬化剤の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of the curing agent in the resin composition according to the second embodiment is preferably 10% by mass or more, more preferably 30% by mass or more, particularly preferably 50% by mass or more, and preferably 90% by mass or less, more preferably 80% by mass or less, particularly preferably 70% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of the curing agent is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
さらに、第二実施形態に係る(B)硬化性樹脂は、ラジカル重合性樹脂を含んでいてもよい。第二実施形態に係るラジカル重合性樹脂としては、第一実施形態に係るラジカル重合性樹脂と同じものを用いうる。第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれるラジカル重合性樹脂の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれるラジカル重合性樹脂の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 Furthermore, the (B) curable resin according to the second embodiment may contain a radical polymerizable resin. The radical polymerizable resin according to the second embodiment may be the same as the radical polymerizable resin according to the first embodiment. The range of the amount of the radical polymerizable resin contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the radical polymerizable resin contained in the resin composition according to the first embodiment.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中のラジカル重合性樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、特に好ましくは0.3質量%以上であり、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、特に好ましくは1質量%以下である。ラジカル重合性樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of the radical polymerizable resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.1% by mass or more, particularly preferably 0.3% by mass or more, and preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, particularly preferably 1% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of the radical polymerizable resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中のラジカル重合性樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、特に好ましくは1質量%以上であり、好ましくは20質量%以下、より好ましくは10質量%以下、特に好ましくは5質量%以下である。ラジカル重合性樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of the radical polymerizable resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, particularly preferably 1% by mass or more, and preferably 20% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, particularly preferably 5% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of the radical polymerizable resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
上述したものの中でも、第二実施形態に係る(B)硬化性樹脂は、第一実施形態に係る(B)硬化性樹脂と同じく、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、活性エステル樹脂、シアネート樹脂、(メタ)アクリル樹脂、スチリル樹脂、プロペニル樹脂、及び、マレイミド樹脂、からなる群より選ばれる1種類以上を含むことが好ましい。このとき、前記の群から選ばれる樹脂の合計量の範囲は、第一実施形態で説明した範囲と同じでありうる。特に望ましい態様において、前記の群から選ばれる樹脂の合計量は、(B)硬化性樹脂100質量%に対して、好ましくは50質量%以上、より好ましくは70質量%以上、特に好ましくは90質量%以上であり、好ましくは100質量%以下、より好ましくは98質量%以下、特に好ましくは96質量%以下である。このような好ましい樹脂を(B)硬化性樹脂が含む場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 Among the above, the (B) curable resin according to the second embodiment preferably contains one or more selected from the group consisting of epoxy resin, phenol resin, active ester resin, cyanate resin, (meth)acrylic resin, styryl resin, propenyl resin, and maleimide resin, as in the (B) curable resin according to the first embodiment. In this case, the range of the total amount of the resins selected from the above group may be the same as the range described in the first embodiment. In a particularly desirable aspect, the total amount of the resins selected from the above group is preferably 50% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, and particularly preferably 90% by mass or more, and preferably 100% by mass or less, more preferably 98% by mass or less, and particularly preferably 96% by mass or less, relative to 100% by mass of the (B) curable resin. When the (B) curable resin contains such a preferable resin, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric loss tangent at high temperatures, and the insulation reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and the dielectric loss tangent can usually be reduced.
第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(B)硬化性樹脂の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(B)硬化性樹脂の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 The range of the amount of the (B) curable resin contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the (B) curable resin contained in the resin composition according to the first embodiment.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中の(B)硬化性樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、特に好ましくは20質量%以上であり、好ましくは60質量%以下、より好ましくは50質量%以下、特に好ましくは40質量%以下である。(B)硬化性樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of the (B) curable resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, particularly preferably 20% by mass or more, and preferably 60% by mass or less, more preferably 50% by mass or less, particularly preferably 40% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of the (B) curable resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and dielectric tangent can usually be reduced.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中の(B)硬化性樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、特に好ましくは70質量%以上であり、好ましくは98質量%以下、より好ましくは96質量%以下、特に好ましくは94質量%以下である。(B)硬化性樹脂の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 In a particularly desirable embodiment, the amount of (B) curable resin in the resin composition according to the second embodiment is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, particularly preferably 70% by mass or more, and preferably 98% by mass or less, more preferably 96% by mass or less, particularly preferably 94% by mass or less, based on 100% by mass of the resin components of the resin composition. When the amount of (B) curable resin is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulation reliability can be particularly improved, and furthermore, usually the relative dielectric constant and dielectric tangent can be reduced.
<第二実施形態に係る(C)無機充填材>
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物は、任意の成分として、(C)無機充填材を更に含んでいてもよい。(C)成分としての(C)無機充填材には、上述した(A)~(B)成分に該当するものは含めない。(C)無機充填材は、通常、粒子の状態で樹脂組成物に含まれる。(C)無機充填材は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。第二実施形態に係る(C)無機充填材としては、第一実施形態で説明した(C)無機充填材と同じものを用いうる。したがって、第二実施形態に係る(C)無機充填材の範囲は、第一実施形態に係る(C)無機充填材の範囲と同じでありうる。
<(C) Inorganic filler according to the second embodiment>
The resin composition according to the second embodiment of the present invention may further contain an inorganic filler (C) as an optional component. The inorganic filler (C) as the component (C) does not include those corresponding to the above-mentioned components (A) to (B). The inorganic filler (C) is usually contained in the resin composition in the form of particles. The inorganic filler (C) may be used alone or in combination of two or more types. The inorganic filler (C) according to the second embodiment may be the same as the inorganic filler (C) described in the first embodiment. Therefore, the range of the inorganic filler (C) according to the second embodiment may be the same as the range of the inorganic filler (C) according to the first embodiment.
第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(C)無機充填材の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(C)無機充填材の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中の(C)無機充填材の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、0質量%でもよく、0質量%より多くてもよく、好ましくは40質量%以上、より好ましくは50質量%以上、特に好ましくは60質量%以上であり、好ましくは94質量%以下、より好ましくは90質量%以下、特に好ましくは85質量%以下である。(C)無機充填材の量が前記範囲にある場合、絶縁層のクラック耐性、誘電正接の高温での温度安定性及び絶縁信頼性を特に良好にでき、更に通常は、比誘電率及び誘電正接を低減できる。 The range of the amount of the inorganic filler (C) contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the inorganic filler (C) contained in the resin composition according to the first embodiment. In a particularly desirable embodiment, the amount of the inorganic filler (C) in the resin composition according to the second embodiment may be 0% by mass, or may be more than 0% by mass, and is preferably 40% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, particularly preferably 60% by mass or more, and is preferably 94% by mass or less, more preferably 90% by mass or less, and particularly preferably 85% by mass or less, relative to 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition. When the amount of the inorganic filler (C) is within the above range, the crack resistance of the insulating layer, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures, and the insulating reliability can be particularly improved, and furthermore, the relative dielectric constant and the dielectric tangent can usually be reduced.
<第二実施形態に係る(D)硬化促進剤>
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物は、任意の成分として、(D)硬化促進剤を更に含んでいてもよい。(D)成分としての(D)硬化促進剤には、上述した(A)~(C)成分に該当するものは含めない。(D)硬化促進剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。第二実施形態に係る(D)硬化促進剤としては、第一実施形態で説明した(D)硬化促進剤と同じものを用いうる。したがって、第二実施形態に係る(D)硬化促進剤の範囲は、第一実施形態に係る(D)硬化促進剤の範囲と同じでありうる。
<(D) Curing Accelerator According to Second Embodiment>
The resin composition according to the second embodiment of the present invention may further contain a (D) curing accelerator as an optional component. The (D) curing accelerator as the (D) component does not include those corresponding to the above-mentioned (A) to (C) components. The (D) curing accelerator may be used alone or in combination of two or more types. The (D) curing accelerator according to the second embodiment may be the same as the (D) curing accelerator described in the first embodiment. Therefore, the range of the (D) curing accelerator according to the second embodiment may be the same as the range of the (D) curing accelerator according to the first embodiment.
第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(D)硬化促進剤の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(D)硬化促進剤の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 The range of the amount of the (D) curing accelerator contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the (D) curing accelerator contained in the resin composition according to the first embodiment.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中の(D)硬化促進剤の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、0質量%でもよく、0質量%より多くてもよく、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.02質量%以上、特に好ましくは0.03質量%以上であり、好ましくは1.0質量%以下、より好ましくは0.5質量%以下、特に好ましくは0.1質量%以下である。 In a particularly desirable embodiment, the amount of (D) curing accelerator in the resin composition according to the second embodiment may be 0% by mass or more than 0% by mass, and is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.02% by mass or more, and particularly preferably 0.03% by mass or more, and is preferably 1.0% by mass or less, more preferably 0.5% by mass or less, and particularly preferably 0.1% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中の(D)硬化促進剤の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、0質量%でもよく、0質量%より多くてもよく、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.05質量%以上、特に好ましくは0.1質量%以上であり、好ましくは2.0質量%以下、より好ましくは1.0質量%以下、特に好ましくは0.5質量%以下である。 In a particularly desirable embodiment, the amount of (D) curing accelerator in the resin composition according to the second embodiment may be 0% by mass or more than 0% by mass, and is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and particularly preferably 0.1% by mass or more, and is preferably 2.0% by mass or less, more preferably 1.0% by mass or less, and particularly preferably 0.5% by mass or less, relative to 100% by mass of the resin components of the resin composition.
<第二実施形態に係る(E)熱可塑性樹脂>
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物は、任意の成分として、(E)熱可塑性樹脂を更に含んでいてもよい。(E)成分としての(E)熱可塑性樹脂には、上述した(A)~(D)成分に該当するものは含めない。(E)熱可塑性樹脂は、1種類単独で用いてもよく、又は2種類以上を組み合わせて用いてもよい。第二実施形態に係る(E)熱可塑性樹脂としては、第一実施形態で説明した(E)熱可塑性樹脂と同じものを用いうる。したがって、第二実施形態に係る(E)熱可塑性樹脂の範囲は、第一実施形態に係る(E)熱可塑性樹脂の範囲と同じでありうる。
<Thermoplastic resin (E) according to the second embodiment>
The resin composition according to the second embodiment of the present invention may further contain a thermoplastic resin (E) as an optional component. The thermoplastic resin (E) as the component (E) does not include those corresponding to the above-mentioned components (A) to (D). The thermoplastic resin (E) may be used alone or in combination of two or more types. The thermoplastic resin (E) according to the second embodiment may be the same as the thermoplastic resin (E) described in the first embodiment. Therefore, the range of the thermoplastic resin (E) according to the second embodiment may be the same as the range of the thermoplastic resin (E) according to the first embodiment.
第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(E)熱可塑性樹脂の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(E)熱可塑性樹脂の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 The range of the amount of the (E) thermoplastic resin contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the (E) thermoplastic resin contained in the resin composition according to the first embodiment.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中の(E)熱可塑性樹脂の量は、樹脂組成物の不揮発成分100質量%に対して、0質量%でもよく、0質量%より多くてもよく、好ましくは0.01質量%以上、より好ましくは0.1質量%以上、特に好ましくは0.5質量%以上であり、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、特に好ましくは2質量%以下である。 In a particularly desirable embodiment, the amount of (E) thermoplastic resin in the resin composition according to the second embodiment may be 0% by mass or more than 0% by mass, and is preferably 0.01% by mass or more, more preferably 0.1% by mass or more, and particularly preferably 0.5% by mass or more, and is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, and particularly preferably 2% by mass or less, based on 100% by mass of the non-volatile components of the resin composition.
特に望ましい態様において、第二実施形態に係る樹脂組成物中の(E)熱可塑性樹脂の量は、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、0質量%でもよく、0質量%より多くてもよく、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1質量%以上、特に好ましくは2質量%以上であり、好ましくは30質量%以下、より好ましくは20質量%以下、特に好ましくは10質量%以下である。 In a particularly desirable embodiment, the amount of (E) thermoplastic resin in the resin composition according to the second embodiment may be 0% by mass or more than 0% by mass, and is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, and particularly preferably 2% by mass or more, and is preferably 30% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, and particularly preferably 10% by mass or less, relative to 100% by mass of the resin components of the resin composition.
<第二実施形態に係る(F)任意の添加剤>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、任意の不揮発成分として、(F)任意の添加剤を更に含んでいてもよい。(F)成分としての(F)任意の添加剤には、上述した(A)~(E)成分に該当するものは含めない。(F)任意の添加剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。第二実施形態に係る(F)任意の添加剤としては、第一実施形態で説明した(F)任意の添加剤と同じものを用いうる。したがって、第二実施形態に係る(F)任意の添加剤の範囲は、第一実施形態に係る(F)任意の添加剤の範囲と同じでありうる。
<(F) Optional Additive According to Second Embodiment>
The resin composition according to the first embodiment of the present invention may further contain an optional additive (F) as an optional non-volatile component. The optional additive (F) as the component (F) does not include those corresponding to the above-mentioned components (A) to (E). The optional additive (F) may be used alone or in combination of two or more. The optional additive (F) according to the second embodiment may be the same as the optional additive (F) described in the first embodiment. Therefore, the range of the optional additive (F) according to the second embodiment may be the same as the range of the optional additive (F) according to the first embodiment.
<第一実施形態に係る(G)溶剤>
本発明の第一実施形態に係る樹脂組成物は、上述した(A)~(F)成分といった不揮発成分に組み合わせて、更に任意の揮発性成分として、(G)溶剤を含んでいてもよい。(G)溶剤は、1種類を単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。第二実施形態に係る(G)溶剤としては、第一実施形態で説明した(G)溶剤と同じものを用いうる。したがって、第二実施形態に係る(G)溶剤の範囲は、第一実施形態に係る(G)溶剤の範囲と同じでありうる。
<Solvent (G) according to the first embodiment>
The resin composition according to the first embodiment of the present invention may further contain a (G) solvent as an optional volatile component in addition to the non-volatile components such as the above-mentioned (A) to (F) components. The (G) solvent may be used alone or in combination of two or more types. The (G) solvent according to the second embodiment may be the same as the (G) solvent described in the first embodiment. Therefore, the range of the (G) solvent according to the second embodiment may be the same as the range of the (G) solvent according to the first embodiment.
第二実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(G)溶剤の量の範囲は、第一実施形態に係る樹脂組成物に含まれる(G)溶剤の量の範囲と同じであってもよく、異なっていてもよい。 The range of the amount of the (G) solvent contained in the resin composition according to the second embodiment may be the same as or different from the range of the amount of the (G) solvent contained in the resin composition according to the first embodiment.
<第二実施形態に係る樹脂組成物の製造方法>
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物は、例えば、第一実施形態に係る樹脂組成物と同じく、当該樹脂組成物に含まれうる成分を混合することによって、製造することができる。
<Method of producing resin composition according to second embodiment>
The resin composition according to the second embodiment of the present invention can be produced, for example, in the same manner as the resin composition according to the first embodiment, by mixing components that can be contained in the resin composition.
<第二実施形態に係る樹脂組成物の特性>
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物を硬化することにより、硬化物が得られる。前記の硬化の際、通常は、樹脂組成物には熱が加えられる。よって、通常、樹脂組成物に含まれる成分のうち、(G)溶剤等の揮発成分は硬化時の熱によって揮発しうるが、(A)~(F)成分といった不揮発成分は、硬化時の熱によっては揮発しない。よって、樹脂組成物の硬化物は、樹脂組成物の不揮発成分又はその反応生成物を含みうる。
<Characteristics of resin composition according to the second embodiment>
A cured product is obtained by curing the resin composition according to the second embodiment of the present invention. During the curing, heat is usually applied to the resin composition. Thus, among the components contained in the resin composition, volatile components such as (G) solvent can be volatilized by the heat during curing, but non-volatile components such as components (A) to (F) do not volatilize by the heat during curing. Thus, the cured product of the resin composition can contain the non-volatile components of the resin composition or their reaction products.
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物の硬化物は、誘電正接の高温での温度安定性に優れる。したがって、高温環境における硬化物の誘電正接の上昇を抑制できる。よって、25℃における硬化物の誘電正接Df(25℃)に対する100℃における硬化物の誘電正接Df(100℃)の上昇率を小さくできる。前記の上昇率の範囲は、具体的には、通常0%以上であり、通常20%未満、好ましくは19%以下、より好ましくは18%以下である。このように高温における誘電正接の上昇率が低い硬化物で絶縁層を形成した場合、誘電正接の高温での温度安定性に優れる絶縁層を得ることができる。 The cured product of the resin composition according to the second embodiment of the present invention has excellent temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures. Therefore, the increase in the dielectric tangent of the cured product in a high-temperature environment can be suppressed. Therefore, the rate of increase of the dielectric tangent Df (100°C) of the cured product at 100°C relative to the dielectric tangent Df (25°C) of the cured product at 25°C can be reduced. Specifically, the range of the rate of increase is usually 0% or more, usually less than 20%, preferably 19% or less, and more preferably 18% or less. When an insulating layer is formed from a cured product having a low rate of increase in the dielectric tangent at high temperatures, an insulating layer having excellent temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures can be obtained.
硬化物の誘電正接の前記上昇率は、下記式(X)によって測定できる。
上昇率={Df(100℃)-Df(25℃)}/Df(25℃) (X)
(式(X)において、Df(25℃)は、樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の25℃での誘電正接を表し、Df(100℃)は、樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の100℃での誘電正接を表す。)
硬化物の誘電正接は、後述する実施例の<試験例II-1:比誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)の測定>に記載の方法で測定できる。
The increase rate of the dielectric tangent of the cured product can be measured by the following formula (X).
Rise rate = {Df (100°C) - Df (25°C)} / Df (25°C) (X)
(In formula (X), Df(25°C) represents the dielectric tangent at 25°C of a cured product obtained by heat-treating a resin composition at 200°C for 90 minutes, and Df(100°C) represents the dielectric tangent at 100°C of a cured product obtained by heat-treating a resin composition at 200°C for 90 minutes.)
The dielectric loss tangent of the cured product can be measured by the method described in <Test Example II-1: Measurement of relative dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df)> in the Examples described below.
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物の硬化物は、クラック耐性に優れる。よって、この硬化物で絶縁層を形成した場合、クラック耐性に優れる絶縁層を得ることができる。例えば、後述する実施例の<試験例I-2:クラック耐性の評価>で説明する方法でクラック耐性の評価を行った場合に、歩留まりを、好ましくは40%以上、より好ましくは60%以上、特に好ましくは80%以上にできる。通常、歩留まりの値が大きいほど、クラック耐性に優れることを表す。 The cured product of the resin composition according to the second embodiment of the present invention has excellent crack resistance. Therefore, when an insulating layer is formed from this cured product, an insulating layer with excellent crack resistance can be obtained. For example, when crack resistance is evaluated by the method described in <Test Example I-2: Evaluation of Crack Resistance> in the Examples below, the yield can be preferably 40% or more, more preferably 60% or more, and particularly preferably 80% or more. Usually, the higher the yield value, the better the crack resistance.
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物の硬化物は、絶縁信頼性に優れる。よって、この硬化物で絶縁層を形成した場合、絶縁信頼性に優れる絶縁層を得ることができる。例えば、後述する実施例の<試験例II-3:絶縁信頼性の評価>で説明する方法で絶縁信頼性の評価を行った場合に、初期抵抗値及びHAST後抵抗値がともに1.0×106Ω以上であるサンプルの数を、好ましくは5か所以上、より好ましくは6か所以上、特に好ましくは7か所にできる。 The cured product of the resin composition according to the second embodiment of the present invention has excellent insulation reliability. Therefore, when an insulating layer is formed from this cured product, an insulating layer having excellent insulation reliability can be obtained. For example, when the insulation reliability is evaluated by the method described in <Test Example II-3: Evaluation of Insulation Reliability> in the Examples described later, the number of samples having both an initial resistance value and a post-HAST resistance value of 1.0×10 6 Ω or more can be preferably 5 or more, more preferably 6 or more, and particularly preferably 7.
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物の硬化物は、通常、低い誘電正接を有することができる。よって、この硬化物で絶縁層を形成した場合、誘電正接の低い絶縁層を得ることができる。樹脂組成物の硬化物の25℃における誘電正接は、好ましくは0.040以下、より好ましくは0.035以下、特に好ましくは0.030以下である。下限は、特段の制限はなく、例えば、0.0001以上でありうる。また、樹脂組成物の硬化物の100℃における誘電正接は、好ましくは0.050以下、より好ましくは0.040以下、特に好ましくは0.035以下である。下限は、特段の制限はなく、例えば、0.0001以上でありうる。硬化物の誘電正接は、後述する実施例の<試験例II-1:比誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)の測定>に記載の方法で測定できる。 The cured product of the resin composition according to the second embodiment of the present invention can usually have a low dielectric loss tangent. Therefore, when an insulating layer is formed with this cured product, an insulating layer with a low dielectric loss tangent can be obtained. The dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition at 25°C is preferably 0.040 or less, more preferably 0.035 or less, and particularly preferably 0.030 or less. There is no particular limit to the lower limit, and it can be, for example, 0.0001 or more. The dielectric loss tangent of the cured product of the resin composition at 100°C is preferably 0.050 or less, more preferably 0.040 or less, and particularly preferably 0.035 or less. There is no particular limit to the lower limit, and it can be, for example, 0.0001 or more. The dielectric loss tangent of the cured product can be measured by the method described in <Test Example II-1: Measurement of relative dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df)> in the examples described later.
本発明の第二実施形態に係る樹脂組成物の硬化物は、通常、低い比誘電率を有することができる。よって、この硬化物で絶縁層を形成した場合、比誘電率の低い絶縁層を得ることができる。樹脂組成物の硬化物の25℃における比誘電率は、好ましくは4.0以下、より好ましくは3.8以下、特に好ましくは3.5以下である。下限は、特段の制限はなく、例えば、0.1以上でありうる。硬化物の誘電正接は、後述する実施例の<試験例II-1:比誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)の測定>に記載の方法で測定できる。 The cured product of the resin composition according to the second embodiment of the present invention can usually have a low dielectric constant. Therefore, when an insulating layer is formed with this cured product, an insulating layer with a low dielectric constant can be obtained. The dielectric constant of the cured product of the resin composition at 25°C is preferably 4.0 or less, more preferably 3.8 or less, and particularly preferably 3.5 or less. There is no particular limit to the lower limit, and it can be, for example, 0.1 or more. The dielectric loss tangent of the cured product can be measured by the method described in <Test Example II-1: Measurement of dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df)> in the examples described later.
<第一実施形態及び第二実施形態に係る樹脂組成物の用途>
以下の説明では、別に断らない限り、「樹脂組成物」とは、上述した第一実施形態に係る樹脂組成物及び第二実施形態に係る樹脂組成物の両方を包括して示す。樹脂組成物は、絶縁用途の樹脂組成物として使用でき、特に、絶縁層を形成するための樹脂組成物(絶縁層形成用の樹脂組成物)として好適に使用することができる。例えば、本実施形態に係る樹脂組成物は、半導体チップパッケージの絶縁層を形成するための樹脂組成物(半導体チップパッケージの絶縁層用の樹脂組成物)、及び、回路基板(プリント配線板を含む。)の絶縁層を形成するための樹脂組成物(回路基板の絶縁層用の樹脂組成物)として、好適に使用することができる。特に、樹脂組成物は、導体層と導体層との間に設けられる層間絶縁層を形成するために好適である。
<Uses of the resin compositions according to the first and second embodiments>
In the following description, unless otherwise specified, the term "resin composition" refers to both the resin composition according to the first embodiment and the resin composition according to the second embodiment. The resin composition can be used as a resin composition for insulating purposes, and can be particularly preferably used as a resin composition for forming an insulating layer (resin composition for forming an insulating layer). For example, the resin composition according to this embodiment can be preferably used as a resin composition for forming an insulating layer of a semiconductor chip package (resin composition for insulating layer of a semiconductor chip package) and a resin composition for forming an insulating layer of a circuit board (including a printed wiring board) (resin composition for insulating layer of a circuit board). In particular, the resin composition is suitable for forming an interlayer insulating layer provided between conductor layers.
半導体チップパッケージとしては、例えば、FC-CSP、MIS-BGAパッケージ、ETS-BGAパッケージ、Fan-out型WLP(Wafer Level Package)、Fan-in型WLP、Fan-out型PLP(Panel Level Package)、Fan-in型PLPが挙げられる。 Examples of semiconductor chip packages include FC-CSP, MIS-BGA package, ETS-BGA package, Fan-out type WLP (Wafer Level Package), Fan-in type WLP, Fan-out type PLP (Panel Level Package), and Fan-in type PLP.
また、前記の樹脂組成物は、アンダーフィル材として用いてもよく、例えば、半導体チップを基板に接続した後に用いるMUF(Molding Under Filling)の材料として用いてもよい。 The resin composition may also be used as an underfill material, for example, as a molding underfilling (MUF) material used after connecting a semiconductor chip to a substrate.
さらに、前記の樹脂組成物は、樹脂シート、プリプレグ等のシート状積層材料、ソルダーレジスト、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等、樹脂組成物が用いられる広範な用途に使用できる。 Furthermore, the resin composition can be used in a wide range of applications where resin compositions are used, such as resin sheets, sheet-like laminate materials such as prepregs, solder resists, die bonding materials, semiconductor encapsulation materials, hole-filling resins, and component embedding resins.
<シート状積層材料>
樹脂組成物は、ワニス状態で塗布して使用してもよいが、工業的には、該樹脂組成物を含むシート状積層材料の形態で用いることが好適である。
<Sheet-like laminate material>
The resin composition may be used by coating in the form of a varnish, but from an industrial perspective, it is preferable to use the resin composition in the form of a sheet-like laminate material containing the resin composition.
シート状積層材料としては、以下に示す樹脂シート、プリプレグが好ましい。 The following resin sheets and prepregs are preferred as sheet-like laminate materials.
一実施形態において、樹脂シートは、支持体と、該支持体上に設けられた樹脂組成物層と、を備える。樹脂組成物層は、上述した樹脂組成物で形成されている。よって、樹脂組成物層は、通常は樹脂組成物を含み、好ましくは樹脂組成物のみを含む。 In one embodiment, the resin sheet includes a support and a resin composition layer provided on the support. The resin composition layer is formed from the resin composition described above. Thus, the resin composition layer typically contains a resin composition, and preferably contains only a resin composition.
樹脂組成物層の厚さは、薄型化の観点、及び、樹脂組成物によって薄くても絶縁性に優れた硬化物を提供できるという観点から、好ましくは50μm以下、より好ましくは40μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、5μm以上、10μm以上等でありうる。 The thickness of the resin composition layer is preferably 50 μm or less, more preferably 40 μm or less, from the viewpoint of thinning and of being able to provide a cured product with excellent insulation properties even when thin, using the resin composition. The lower limit of the thickness of the resin composition layer is not particularly limited, but may be 5 μm or more, 10 μm or more, etc.
支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。 Examples of the support include films made of plastic materials, metal foils, and release paper, with films made of plastic materials and metal foils being preferred.
支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 When a film made of a plastic material is used as the support, examples of the plastic material include polyesters such as polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PET") and polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PEN"), polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as "PC"), acrylics such as polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefins, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether ketone, polyimide, etc. Among these, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferred, with inexpensive polyethylene terephthalate being particularly preferred.
支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When a metal foil is used as the support, examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil, with copper foil being preferred. As the copper foil, a foil made of a single metal, copper, or an alloy of copper and another metal (e.g., tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used.
支持体は、樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理、帯電防止処理を施してあってもよい。 The support may be subjected to a matte treatment, corona treatment, or antistatic treatment on the surface that is to be bonded to the resin composition layer.
支持体として、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック社製の「SK-1」、「AL-5」、「AL-7」、東レ社製の「ルミラーT60」、帝人社製の「ピューレックス」、ユニチカ社製の「ユニピール」等が挙げられる。 As the support, a support with a release layer having a release layer on the surface to be bonded to the resin composition layer may be used. Examples of the release agent used in the release layer of the support with a release layer include one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. The support with a release layer may be a commercially available product, such as "SK-1", "AL-5", and "AL-7" manufactured by Lintec Corporation, "Lumirror T60" manufactured by Toray Industries, "Purex" manufactured by Teijin Limited, and "Unipeel" manufactured by Unitika Limited, which are PET films having a release layer mainly composed of an alkyd resin-based release agent.
支持体の厚さは、特に限定されないが、5μm~75μmの範囲が好ましく、10μm~60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。 The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, and more preferably in the range of 10 μm to 60 μm. When using a support with a release layer, it is preferable that the thickness of the entire support with the release layer is in the above range.
一実施形態において、樹脂シートは、さらに必要に応じて、任意の層を含んでいてもよい。斯かる任意の層としては、例えば、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)に設けられた、支持体に準じた保護フィルム等が挙げられる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm~40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミの付着やキズを抑制することができる。 In one embodiment, the resin sheet may further include an optional layer as necessary. For example, such an optional layer may be a protective film similar to the support provided on the surface of the resin composition layer that is not bonded to the support (i.e., the surface opposite the support). The thickness of the protective film is not particularly limited, but is, for example, 1 μm to 40 μm. By laminating the protective film, it is possible to suppress adhesion of dirt and scratches on the surface of the resin composition layer.
樹脂シートは、例えば、液状(ワニス状)の樹脂組成物をそのまま、或いは溶剤に樹脂組成物を溶解して液状(ワニス状)の樹脂組成物を調製し、これを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。 The resin sheet can be produced, for example, by preparing a liquid (varnish-like) resin composition as is or by dissolving the resin composition in a solvent to prepare a liquid (varnish-like) resin composition, applying this onto a support using a die coater or the like, and then drying to form a resin composition layer.
溶剤としては、樹脂組成物の成分として説明した溶剤と同様のものが挙げられる。溶剤は1種類を単独で使用してもよく、2種類以上を組み合わせて使用してもよい。 Examples of the solvent include the same solvents as those described as components of the resin composition. One type of solvent may be used alone, or two or more types may be used in combination.
乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の方法により実施してよい。乾燥条件は、特に限定されないが、樹脂組成物層中の溶剤の含有量が通常10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂組成物中の溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%~60質量%の溶剤を含む樹脂組成物を用いる場合、50℃~150℃で3分間~10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。 Drying may be performed by heating, blowing hot air, or other methods. There are no particular limitations on the drying conditions, but drying is usually performed so that the solvent content in the resin composition layer is 10% by mass or less, and preferably 5% by mass or less. Although it varies depending on the boiling point of the solvent in the resin composition, for example, when using a resin composition containing 30% by mass to 60% by mass of solvent, the resin composition layer can be formed by drying at 50°C to 150°C for 3 to 10 minutes.
樹脂シートは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。樹脂シートが保護フィルムを有する場合、通常は、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。 The resin sheet can be stored in a roll. If the resin sheet has a protective film, it can usually be used by peeling off the protective film.
一実施形態において、プリプレグは、シート状繊維基材に本実施形態に係る樹脂組成物を含浸させて形成される。 In one embodiment, the prepreg is formed by impregnating a sheet-like fiber substrate with the resin composition according to this embodiment.
プリプレグに用いるシート状繊維基材は、例えば、ガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリマー不織布等のプリプレグ用基材として常用されているものを用いることができる。薄型化の観点から、シート状繊維基材の厚さは、好ましくは50μm以下、より好ましくは40μm以下、さらに好ましくは30μm以下、特に好ましくは20μm以下である。シート状繊維基材の厚さの下限は特に限定されず、通常10μm以上である。 The sheet-like fiber substrate used for the prepreg may be, for example, a commonly used substrate for prepregs, such as glass cloth, aramid nonwoven fabric, or liquid crystal polymer nonwoven fabric. From the viewpoint of thinning, the thickness of the sheet-like fiber substrate is preferably 50 μm or less, more preferably 40 μm or less, even more preferably 30 μm or less, and particularly preferably 20 μm or less. There is no particular lower limit for the thickness of the sheet-like fiber substrate, and it is usually 10 μm or more.
プリプレグは、ホットメルト法、ソルベント法等の方法により製造することができる。 Prepregs can be manufactured using methods such as the hot melt method and the solvent method.
プリプレグの厚さは、上述した樹脂シートにおける樹脂組成物層と同様の範囲でありうる。 The thickness of the prepreg can be in the same range as the resin composition layer in the resin sheet described above.
シート状積層材料は、例えば、半導体チップパッケージの製造において絶縁層を形成するため(半導体チップパッケージの絶縁用樹脂シート)に好適に使用できる。適用可能な半導体チップパッケージとしては、例えば、Fan-out型WLP、Fan-in型WLP、Fan-out型PLP、Fan-in型PLP等が挙げられる。また、シート状積層材料は、例えば、回路基板の絶縁層を形成するため(回路基板の絶縁層用樹脂シート)に使用できる。さらに、シート状積層材料は、半導体チップを基板に接続した後に用いるMUFの材料に用いてもよい。特に、シート状積層材料は、層間絶縁層を形成するために好適である。 The sheet-like laminate material can be suitably used, for example, to form an insulating layer in the manufacture of a semiconductor chip package (insulating resin sheet for a semiconductor chip package). Examples of applicable semiconductor chip packages include fan-out type WLP, fan-in type WLP, fan-out type PLP, and fan-in type PLP. The sheet-like laminate material can also be used, for example, to form an insulating layer for a circuit board (insulating layer resin sheet for a circuit board). Furthermore, the sheet-like laminate material may be used as a material for a MUF used after connecting a semiconductor chip to a board. In particular, the sheet-like laminate material is suitable for forming an interlayer insulating layer.
<回路基板>
本発明の一実施形態に係る回路基板は、樹脂組成物の硬化物を含む。通常、回路基板は、樹脂組成物の硬化物で形成された絶縁層を含む。絶縁層は、上述した樹脂組成物の硬化物を含み、好ましくは上述した樹脂組成物の硬化物のみを含む。この回路基板は、例えば、下記の工程(I)及び工程(II)を含む製造方法によって、製造できる。
(I)内層基板上に、樹脂組成物層を形成する工程。
(II)樹脂組成物層を硬化して、絶縁層を形成する工程。
<Circuit board>
A circuit board according to an embodiment of the present invention includes a cured product of a resin composition. Usually, the circuit board includes an insulating layer formed of the cured product of the resin composition. The insulating layer includes the cured product of the above-mentioned resin composition, and preferably includes only the cured product of the above-mentioned resin composition. This circuit board can be manufactured, for example, by a manufacturing method including the following steps (I) and (II).
(I) A step of forming a resin composition layer on an inner layer substrate.
(II) A step of curing the resin composition layer to form an insulating layer.
工程(I)で用いる「内層基板」とは、回路基板の基材となる部材であって、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。また、該基板は、その片面又は両面に導体層を有していてもよく、この導体層はパターン加工されていてもよい。基板の片面または両面に導体層(回路)が形成された内層基板は「内層回路基板」ということがある。また回路基板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物も、前記の「内層基板」に含まれる。回路基板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用してもよい。 The "inner layer substrate" used in step (I) is a member that serves as the base material of a circuit board, and examples thereof include glass epoxy substrates, metal substrates, polyester substrates, polyimide substrates, BT resin substrates, and thermosetting polyphenylene ether substrates. The substrate may have a conductor layer on one or both sides, and the conductor layer may be patterned. An inner layer substrate having a conductor layer (circuit) formed on one or both sides of the substrate may be called an "inner layer circuit substrate." In addition, intermediate products on which an insulating layer and/or a conductor layer is to be formed during the manufacture of a circuit substrate are also included in the above-mentioned "inner layer substrate." When the circuit substrate is a component-embedded circuit board, an inner layer substrate with a component embedded may be used.
内層基板が備える導体層がパターン加工されている場合、クラック耐性に優れるという利点を活用する観点から、その導体層の最小ライン/スペース比は、小さいことが好ましい。「ライン」とは、導体層の回路幅を表し、「スペース」とは回路間の間隔を表す。最小ライン/スペース比の範囲は、好ましくは好ましくは20/20μm以下(即ちピッチが40μm以下)、より好ましくは15/15μm以下、さらに好ましくは10/10μm以下である。下限は、例えば、0.5/0.5μm以上でありうる。ピッチは、導体層の全体にわたって均一でもよく、不均一でもよい。導体層の最小ピッチは、例えば、40μm以下、36μm以下、又は30μm以下であってもよい。 When the conductor layer of the inner layer substrate is patterned, it is preferable that the minimum line/space ratio of the conductor layer is small in order to utilize the advantage of excellent crack resistance. "Line" refers to the circuit width of the conductor layer, and "space" refers to the distance between the circuits. The range of the minimum line/space ratio is preferably 20/20 μm or less (i.e., pitch is 40 μm or less), more preferably 15/15 μm or less, and even more preferably 10/10 μm or less. The lower limit may be, for example, 0.5/0.5 μm or more. The pitch may be uniform or non-uniform throughout the conductor layer. The minimum pitch of the conductor layer may be, for example, 40 μm or less, 36 μm or less, or 30 μm or less.
内層基板上への樹脂組成物層の形成は、例えば、内層基板と樹脂シートとを積層することによって行いうる。内層基板と樹脂シートの積層は、例えば、支持体側から樹脂シートを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。樹脂シートを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を樹脂シートに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に樹脂シートが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。 The resin composition layer can be formed on the inner layer substrate by, for example, laminating the inner layer substrate and the resin sheet. The inner layer substrate and the resin sheet can be laminated by, for example, heat-pressing the resin sheet to the inner layer substrate from the support side. Examples of the member for heat-pressing the resin sheet to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as the "heat-pressing member") include a heated metal plate (such as a SUS panel) or a metal roll (SUS roll). It is preferable to press the heat-pressing member through an elastic material such as heat-resistant rubber so that the resin sheet can sufficiently follow the surface irregularities of the inner layer substrate, rather than directly pressing the resin sheet with the heat-pressing member.
内層基板と樹脂シートの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃~160℃、より好ましくは80℃~140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa~1.77MPa、より好ましくは0.29MPa~1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間~400秒間、より好ましくは30秒間~300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施される。 The lamination of the inner layer substrate and the resin sheet may be performed by a vacuum lamination method. In the vacuum lamination method, the heat-pressure bonding temperature is preferably in the range of 60°C to 160°C, more preferably in the range of 80°C to 140°C, the heat-pressure bonding pressure is preferably in the range of 0.098MPa to 1.77MPa, more preferably in the range of 0.29MPa to 1.47MPa, and the heat-pressure bonding time is preferably in the range of 20 seconds to 400 seconds, more preferably in the range of 30 seconds to 300 seconds. The lamination is preferably performed under reduced pressure conditions of 26.7hPa or less.
積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアップリケーター、バッチ式真空加圧ラミネーター等が挙げられる。 Lamination can be performed using a commercially available vacuum laminator. Examples of commercially available vacuum laminators include a vacuum pressure laminator manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., a vacuum applicator manufactured by Nikko Materials Co., Ltd., and a batch type vacuum pressure laminator.
積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された樹脂シートの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 After lamination, the laminated resin sheets may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example by pressing a heat-pressure bonding member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment may be the same as the heat-pressure bonding conditions for the lamination. The smoothing treatment may be performed using a commercially available laminator. Note that lamination and smoothing treatment may be performed consecutively using the commercially available vacuum laminator.
支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。 The support may be removed between steps (I) and (II), or after step (II).
工程(II)において、樹脂組成物層を硬化して、樹脂組成物の硬化物からなる絶縁層を形成する。樹脂組成物層の硬化は、熱硬化、光硬化等のように、樹脂組成物に適した方法で行いうる。樹脂組成物層の具体的な硬化条件は、回路基板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。 In step (II), the resin composition layer is cured to form an insulating layer made of a cured product of the resin composition. The resin composition layer can be cured by a method suitable for the resin composition, such as thermal curing or photocuring. The specific curing conditions for the resin composition layer may be the conditions normally used when forming an insulating layer for a circuit board.
熱硬化性の樹脂組成物を用いた場合、樹脂組成物の硬化は、熱硬化として進行しうる。よってこの場合、工程(II)は、樹脂組成物層を熱硬化させることを含みうる。樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類によっても異なりうる。例えば、硬化温度は、好ましくは120℃~240℃、より好ましくは150℃~220℃、さらに好ましくは170℃~210℃である。また、硬化時間は、好ましくは5分間~120分間、より好ましくは10分間~100分間、さらに好ましくは15分間~100分間でありうる。 When a thermosetting resin composition is used, the curing of the resin composition may proceed as a thermal curing process. Therefore, in this case, step (II) may include thermally curing the resin composition layer. The thermal curing conditions of the resin composition layer may vary depending on the type of resin composition. For example, the curing temperature is preferably 120°C to 240°C, more preferably 150°C to 220°C, and even more preferably 170°C to 210°C. The curing time may be preferably 5 minutes to 120 minutes, more preferably 10 minutes to 100 minutes, and even more preferably 15 minutes to 100 minutes.
また、樹脂組成物層を熱硬化させる場合には、回路基板の製造方法は、その熱硬化の前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱することを含むことが好ましい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、通常50℃~150℃、好ましくは60℃~140℃、より好ましくは70℃~130℃の温度にて、樹脂組成物層を通常5分間以上、好ましくは5分間~150分間、より好ましくは15分間~120分間、さらに好ましくは15分間~100分間予備加熱してもよい。 In addition, when the resin composition layer is thermally cured, the manufacturing method for the circuit board preferably includes preheating the resin composition layer at a temperature lower than the curing temperature before the thermal curing. For example, prior to thermally curing the resin composition layer, the resin composition layer may be preheated for typically 5 minutes or more, preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes, and even more preferably 15 minutes to 100 minutes, at a temperature typically of 50°C to 150°C, preferably 60°C to 140°C, and more preferably 70°C to 130°C.
他方、光硬化性の樹脂組成物を用いた場合、樹脂組成物の硬化は、光硬化として進行しうる。よってこの場合、工程(II)は、樹脂組成物層を光硬化させることを含みうる。樹脂組成物の光硬化条件は、樹脂組成物の種類によっても異なりうる。例えば、樹脂組成物層に活性光線を照射する露光処理によって、照射部の樹脂組成物層を光硬化させうる。活性光線としては、例えば、紫外線、可視光線、電子線、X線等が挙げられ、特に紫外線が好ましい。紫外線の照射量は、例えば、10mJ/cm2~1000mJ/cm2である。支持体を備える樹脂シートを用いた場合、支持体を通して露光を行ってもよく、支持体を剥離した後に露光を行ってもよい。 On the other hand, when a photocurable resin composition is used, the curing of the resin composition may proceed as photocuring. Therefore, in this case, step (II) may include photocuring the resin composition layer. The photocuring conditions of the resin composition may vary depending on the type of resin composition. For example, the resin composition layer may be photocured in the irradiated portion by an exposure process in which the resin composition layer is irradiated with active light. Examples of active light include ultraviolet light, visible light, electron beams, and X-rays, and ultraviolet light is particularly preferred. The amount of ultraviolet light irradiation is, for example, 10 mJ/cm 2 to 1000 mJ/cm 2. When a resin sheet having a support is used, exposure may be performed through the support, or exposure may be performed after peeling off the support.
露光処理では、パターンを形成されたマスクを通して樹脂組成物層に活性光線を照射してもよい。マスクを用いた露光方法には、マスクをワークに接触させて露光を行う接触露光法と、接触させずに平行光線を使用して露光を行う非接触露光法とがあり、どちらを用いてもよい。 In the exposure process, the resin composition layer may be irradiated with active light rays through a mask on which a pattern is formed. Exposure methods using a mask include contact exposure, in which exposure is performed by contacting the mask with the workpiece, and non-contact exposure, in which exposure is performed using parallel light rays without contact, and either method may be used.
工程(II)は、露光処理の後に、現像処理を行うことを含んでいてもよい。現像処理によれば、光硬化されていない部分(未露光部)を除去して、硬化体層にパターンを形成することができる。現像は、通常、ウェット現像により行う。ウェット現像において、現像液としては、例えば、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の、安全かつ安定であり操作性が良好な現像液が用いられる。なかでも、アルカリ水溶液による現像工程が好ましい。現像方法としては、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の方法が採用されうる。 Step (II) may include carrying out a development process after the exposure process. The development process can remove the non-photocured portion (unexposed portion) to form a pattern in the cured layer. The development is usually carried out by wet development. In wet development, a developer that is safe, stable, and easy to operate, such as an alkaline aqueous solution, a water-based developer, or an organic solvent, is used. Of these, a development process using an alkaline aqueous solution is preferred. Examples of development methods that can be used include spraying, rocking immersion, brushing, and scraping.
さらに、樹脂組成物層を光硬化させた場合には、光硬化及び現像の後で、必要に応じて、ポストベーク処理を行ってもよい。ポストベーク処理としては、例えば、高圧水銀ランプによる紫外線照射処理、クリーンオーブンを用いた加熱処理、などが挙げられる。紫外線照射処理は、例えば、0.05J/cm2~10J/cm2程度の照射量で行いうる。また、加熱処理は、例えば、好ましくは150℃~250℃で20分間~180分間の範囲、より好ましくは160℃~230℃で30分間~120分間の範囲で行いうる。 Furthermore, in the case where the resin composition layer is photocured, a post-baking treatment may be performed as necessary after photocuring and development. Examples of the post-baking treatment include ultraviolet irradiation treatment using a high-pressure mercury lamp and heat treatment using a clean oven. The ultraviolet irradiation treatment may be performed, for example, at an irradiation dose of about 0.05 J/cm 2 to 10 J/cm 2. The heat treatment may be performed, for example, at a temperature of preferably 150° C. to 250° C. for 20 minutes to 180 minutes, more preferably at a temperature of 160° C. to 230° C. for 30 minutes to 120 minutes.
回路基板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至工程(V)は、回路基板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。また、必要に応じて、工程(I)~工程(V)の絶縁層及び導体層の形成を繰り返して実施し、多層プリント配線板等の多層構造を有する回路基板を形成してもよい。 When manufacturing a circuit board, the steps of (III) drilling holes in the insulating layer, (IV) roughening the insulating layer, and (V) forming a conductor layer may be further carried out. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art that are used in manufacturing circuit boards. When the support is removed after step (II), the support may be removed between steps (II) and (III), between steps (III) and (IV), or between steps (IV) and (V). If necessary, the formation of the insulating layer and the conductor layer in steps (I) to (V) may be repeated to form a circuit board having a multilayer structure such as a multilayer printed wiring board.
他の実施形態において、回路基板は、上述のプリプレグを用いて製造することができる。製造方法は基本的に樹脂シートを用いる場合と同様でありうる。 In another embodiment, the circuit board can be manufactured using the prepreg described above. The manufacturing method can be basically the same as when a resin sheet is used.
工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法及び形状は、回路基板のデザインに応じて適宜決定してよい。 Step (III) is a step of drilling holes in the insulating layer, which allows holes such as via holes and through holes to be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, a laser, plasma, etc., depending on the composition of the resin composition used to form the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be appropriately determined depending on the design of the circuit board.
工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。通常、この工程(IV)において、スミアの除去も行われる。よって、前記の粗化処理は「デスミア処理」と呼ばれることがある。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、回路基板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。 Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. Usually, smears are also removed in this step (IV). Therefore, the roughening treatment is sometimes called "desmear treatment". The procedure and conditions of the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions that are usually used when forming an insulating layer of a circuit board can be adopted. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment using a swelling liquid, a roughening treatment using an oxidizing agent, and a neutralization treatment using a neutralizing liquid in this order.
粗化処理に用いる膨潤液としては、例えば、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液である。該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン社製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、例えば、30℃~90℃の膨潤液に絶縁層を1分間~20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃~80℃の膨潤液に絶縁層を5分間~15分間浸漬させることが好ましい。 Examples of the swelling liquid used in the roughening treatment include an alkaline solution, a surfactant solution, etc., and an alkaline solution is preferred. As the alkaline solution, a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution are more preferred. Examples of commercially available swelling liquids include "Swelling Dip Securigans P" and "Swelling Dip Securigans SBU" manufactured by Atotech Japan. The swelling treatment using a swelling liquid can be performed, for example, by immersing the insulating layer in a swelling liquid at 30°C to 90°C for 1 to 20 minutes. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the insulating layer in a swelling liquid at 40°C to 80°C for 5 to 15 minutes.
粗化処理に用いる酸化剤としては、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウム又は過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃~100℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間~30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は、5質量%~10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン社製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。 The oxidizing agent used in the roughening treatment may be, for example, an alkaline permanganate solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide. The roughening treatment using an oxidizing agent such as an alkaline permanganate solution is preferably carried out by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60°C to 100°C for 10 to 30 minutes. The concentration of permanganate in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Commercially available oxidizing agents include, for example, alkaline permanganate solutions such as "Concentrate Compact CP" and "Dosing Solution Securigans P" manufactured by Atotech Japan.
粗化処理に用いる中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン社製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃~80℃の中和液に5分間~30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃~70℃の中和液に5分間~20分間浸漬する方法が好ましい。 The neutralizing solution used in the roughening treatment is preferably an acidic aqueous solution, and a commercially available product is, for example, "Reduction Solution Securigant P" manufactured by Atotech Japan. Treatment with a neutralizing solution can be carried out by immersing the surface that has been roughened with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 30°C to 80°C for 5 to 30 minutes. From the standpoint of workability, etc., it is preferable to immerse the object that has been roughened with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40°C to 70°C for 5 to 20 minutes.
工程(V)は、導体層を形成する工程であり、絶縁層上に導体層を形成する。導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 Step (V) is a step of forming a conductor layer, and the conductor layer is formed on the insulating layer. The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer contains one or more metals selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer, and examples of the alloy layer include layers formed from alloys of two or more metals selected from the above group (e.g., nickel-chromium alloy, copper-nickel alloy and copper-titanium alloy). Among these, from the viewpoints of versatility in forming the conductor layer, cost, ease of patterning, etc., a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver, or copper, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy, a copper-nickel alloy, or a copper-titanium alloy is preferred, a single metal layer of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver, or copper, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy is more preferred, and a single metal layer of copper is even more preferred.
導体層は、単層構造であってもよく、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductor layer may be a single-layer structure, or a multi-layer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different types of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multi-layer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc, or titanium, or an alloy layer of a nickel-chromium alloy.
導体層の厚さは、所望の回路基板のデザインによるが、一般に3μm~35μm、好ましくは5μm~30μmである。 The thickness of the conductor layer depends on the desired circuit board design, but is generally between 3 μm and 35 μm, preferably between 5 μm and 30 μm.
一実施形態において、導体層は、メッキにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にメッキして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。製造の簡便性の観点から、セミアディティブ法が好ましい。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。 In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by plating the surface of the insulating layer using a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full-additive method. From the viewpoint of ease of production, the semi-additive method is preferred. Below, an example of forming a conductor layer by a semi-additive method is shown.
まず、絶縁層の表面に、無電解メッキによりメッキシード層を形成する。次いで、形成されたメッキシード層上に、所望の配線パターンに対応してメッキシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出したメッキシード層上に、電解メッキにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なメッキシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern is formed on the formed plating seed layer to expose a portion of the plating seed layer corresponding to the desired wiring pattern. A metal layer is formed on the exposed plating seed layer by electrolytic plating, and the mask pattern is then removed. Thereafter, unnecessary plating seed layer is removed by etching or the like, and a conductor layer having the desired wiring pattern can be formed.
他の実施形態において、導体層は、金属箔を使用して形成してよい。金属箔を使用して導体層を形成する場合、工程(V)は、工程(I)と工程(II)の間に実施することが好適である。例えば、工程(I)の後、支持体を除去し、露出した樹脂組成物層の表面に金属箔を積層する。樹脂組成物層と金属箔との積層は、真空ラミネート法により実施してよい。積層の条件は、工程(I)について説明した条件と同様としてよい。次いで、工程(II)を実施して絶縁層を形成する。その後、絶縁層上の金属箔を利用して、サブトラクティブ法、モディファイドセミアディティブ法等の従来の公知の技術により、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 In another embodiment, the conductor layer may be formed using a metal foil. When the conductor layer is formed using a metal foil, it is preferable to perform step (V) between steps (I) and (II). For example, after step (I), the support is removed, and a metal foil is laminated on the exposed surface of the resin composition layer. The lamination of the resin composition layer and the metal foil may be performed by a vacuum lamination method. The lamination conditions may be the same as those described for step (I). Next, step (II) is performed to form an insulating layer. Thereafter, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by a conventionally known technique such as a subtractive method or a modified semi-additive method using the metal foil on the insulating layer.
金属箔は、例えば、電解法、圧延法等の公知の方法により製造することができる。金属箔の市販品としては、例えば、JX日鉱日石金属社製のHLP箔、JXUT-III箔、三井金属鉱山社製の3EC-III箔、TP-III箔等が挙げられる。 Metal foils can be manufactured by known methods such as electrolysis and rolling. Commercially available metal foils include HLP foil and JXUT-III foil manufactured by JX Nippon Mining & Metals Corporation, and 3EC-III foil and TP-III foil manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.
<半導体チップパッケージ>
本発明の一実施形態に係る半導体チップパッケージは、樹脂組成物の硬化物を含む。通常、半導体チップパッケージは、樹脂組成物の硬化物で形成された絶縁層を含む。絶縁層は、上述した樹脂組成物の硬化物を含み、好ましくは上述した樹脂組成物の硬化物のみを含む。この半導体チップパッケージとしては、例えば、下記のものが挙げられる。
<Semiconductor chip package>
A semiconductor chip package according to an embodiment of the present invention includes a cured resin composition. Typically, the semiconductor chip package includes an insulating layer formed of the cured resin composition. The insulating layer includes the cured resin composition described above, and preferably includes only the cured resin composition described above. Examples of this semiconductor chip package include the following.
第一の例に係る半導体チップパッケージは、上述した回路基板と、この回路基板に搭載された半導体チップとを含む。この半導体チップパッケージは、回路基板に半導体チップを接合することにより、製造することができる。 The semiconductor chip package according to the first example includes the circuit board described above and a semiconductor chip mounted on the circuit board. This semiconductor chip package can be manufactured by joining the semiconductor chip to the circuit board.
回路基板と半導体チップとの接合条件は、半導体チップの端子電極と回路基板の回路配線とが導体接続できる任意の条件を採用できる。例えば、半導体チップのフリップチップ実装において使用される条件を採用できる。また、例えば、半導体チップと回路基板との間に、絶縁性の接着剤を介して接合してもよい。 The bonding conditions between the circuit board and the semiconductor chip can be any conditions that allow a conductive connection between the terminal electrodes of the semiconductor chip and the circuit wiring of the circuit board. For example, the conditions used in flip-chip mounting of the semiconductor chip can be used. Also, for example, the semiconductor chip and the circuit board can be bonded via an insulating adhesive.
接合方法の例としては、半導体チップを回路基板に圧着する方法が挙げられる。圧着条件としては、圧着温度は通常120℃~240℃の範囲(好ましくは130℃~200℃の範囲、より好ましくは140℃~180℃の範囲)、圧着時間は通常1秒間~60秒間の範囲(好ましくは5秒間~30秒間の範囲)である。 An example of a bonding method is a method in which a semiconductor chip is pressure-bonded to a circuit board. Pressure-bonding conditions include a pressure temperature that is usually in the range of 120°C to 240°C (preferably in the range of 130°C to 200°C, and more preferably in the range of 140°C to 180°C), and a pressure-bonding time that is usually in the range of 1 second to 60 seconds (preferably in the range of 5 seconds to 30 seconds).
また、接合方法の他の例としては、半導体チップを回路基板にリフローして接合する方法が挙げられる。リフロー条件は、120℃~300℃の範囲としてもよい。 Another example of a bonding method is to bond a semiconductor chip to a circuit board by reflow. Reflow conditions may be in the range of 120°C to 300°C.
半導体チップを回路基板に接合した後、半導体チップをモールドアンダーフィル材で充填してもよい。このモールドアンダーフィル材として、上述した樹脂組成物を用いてもよい。 After the semiconductor chip is bonded to the circuit board, the semiconductor chip may be filled with a molded underfill material. The above-mentioned resin composition may be used as the molded underfill material.
第二の例に係る半導体チップパッケージは、半導体チップと、樹脂組成物の硬化物で形成された絶縁層とを含む。第二の例に係る半導体チップパッケージとしては、例えば、Fan-out型WLP、Fan-out型PLP等が挙げられる。 The semiconductor chip package according to the second example includes a semiconductor chip and an insulating layer formed of a cured resin composition. Examples of the semiconductor chip package according to the second example include a fan-out type WLP and a fan-out type PLP.
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体チップパッケージの一例としてのFan-out型WLPを模式的に示す断面図である。Fan-out型WLPとしての半導体チップパッケージ100は、例えば、図1に示すように、半導体チップ110;半導体チップ110の周囲を覆うように形成された封止層120;半導体チップ110の封止層120とは反対側の面に設けられた、絶縁層としての再配線形成層130;導体層としての再配線層140;ソルダーレジスト層150;及び、バンプ160を備える。
Figure 1 is a cross-sectional view showing a schematic diagram of a fan-out type WLP as an example of a semiconductor chip package according to an embodiment of the present invention. As shown in Figure 1, a
このような半導体チップパッケージの製造方法は、
(A)基材に仮固定フィルムを積層する工程、
(B)半導体チップを、仮固定フィルム上に仮固定する工程、
(C)半導体チップ上に封止層を形成する工程、
(D)基材及び仮固定フィルムを半導体チップから剥離する工程、
(E)半導体チップの基材及び仮固定フィルムを剥離した面に再配線形成層を形成する工程、
(F)再配線形成層上に、導体層としての再配線層を形成する工程、並びに、
(G)再配線層上にソルダーレジスト層を形成する工程、
を含む。また、前記の半導体チップパッケージの製造方法は、
(H)複数の半導体チップパッケージを、個々の半導体チップパッケージにダイシングし、個片化する工程
を含んでいてもよい。
The method for manufacturing such a semiconductor chip package includes:
(A) a step of laminating a temporary fixing film on a substrate;
(B) a step of temporarily fixing a semiconductor chip on a temporary fixing film;
(C) forming an encapsulation layer on the semiconductor chip;
(D) peeling the substrate and the temporary fixing film from the semiconductor chip;
(E) forming a rewiring formation layer on the surface of the semiconductor chip from which the base material and the temporary fixing film have been peeled off;
(F) forming a redistribution layer as a conductor layer on the redistribution layer; and
(G) forming a solder resist layer on the rewiring layer;
The method for manufacturing the semiconductor chip package further comprises:
(H) dicing the plurality of semiconductor chip packages into individual semiconductor chip packages.
(工程(A))
工程(A)は、基材に仮固定フィルムを積層する工程である。基材と仮固定フィルムとの積層条件は、回路基板の製造方法における基材と樹脂シートとの積層条件と同様でありうる。
(Step (A))
Step (A) is a step of laminating a temporary fixing film on a substrate. The lamination conditions for the substrate and the temporary fixing film can be the same as the lamination conditions for the substrate and the resin sheet in the method for producing a circuit board.
基材としては、例えば、シリコンウエハ;ガラスウエハ;ガラス基板;銅、チタン、ステンレス、冷間圧延鋼板(SPCC)等の金属基板;FR-4基板等の、ガラス繊維にエポキシ樹脂等をしみこませ熱硬化処理した基板;BT樹脂等のビスマレイミドトリアジン樹脂からなる基板;などが挙げられる。 Examples of substrates include silicon wafers; glass wafers; glass substrates; metal substrates such as copper, titanium, stainless steel, and cold-rolled steel plate (SPCC); substrates such as FR-4 substrates in which glass fibers are impregnated with epoxy resin or the like and then heat-cured; and substrates made of bismaleimide triazine resins such as BT resin.
仮固定フィルムは、半導体チップから剥離でき、且つ、半導体チップを仮固定することができる任意の材料を用いうる。市販品としては、日東電工社製「リヴァアルファ」等が挙げられる。 The temporary fixing film can be made of any material that can be peeled off from the semiconductor chip and can temporarily fix the semiconductor chip. Commercially available products include "Riva Alpha" manufactured by Nitto Denko Corporation.
(工程(B))
工程(B)は、半導体チップを、仮固定フィルム上に仮固定する工程である。半導体チップの仮固定は、例えば、フリップチップボンダー、ダイボンダー等の装置を用いて行うことができる。半導体チップの配置のレイアウト及び配置数は、仮固定フィルムの形状、大きさ、目的とする半導体チップパッケージの生産数等に応じて適切に設定できる。例えば、複数行で、かつ複数列のマトリックス状に半導体チップを整列させて、仮固定してもよい。
(Step (B))
Step (B) is a step of temporarily fixing the semiconductor chip on the temporary fixing film. The temporary fixing of the semiconductor chip can be performed using, for example, a device such as a flip chip bonder or a die bonder. The layout and number of the semiconductor chips can be appropriately set depending on the shape and size of the temporary fixing film, the number of semiconductor chip packages to be produced, etc. For example, the semiconductor chips may be temporarily fixed by arranging them in a matrix shape of multiple rows and multiple columns.
(工程(C))
工程(C)は、半導体チップ上に封止層を形成する工程である。封止層は、例えば、感光性樹脂組成物又は熱硬化性樹脂組成物によって形成しうる。この封止層を、上述した実施形態に係る樹脂組成物の硬化物によって形成してもよい。封止層は、通常、半導体チップ上に樹脂組成物層を形成する工程と、この樹脂組成物層を硬化させて封止層を形成する工程とを含む方法で形成できる。
(Step (C))
Step (C) is a step of forming an encapsulating layer on the semiconductor chip. The encapsulating layer can be formed, for example, by a photosensitive resin composition or a thermosetting resin composition. This encapsulating layer may be formed by a cured product of the resin composition according to the above-mentioned embodiment. The encapsulating layer can usually be formed by a method including a step of forming a resin composition layer on the semiconductor chip and a step of curing the resin composition layer to form the encapsulating layer.
(工程(D))
工程(D)は、基材及び仮固定フィルムを半導体チップから剥離する工程である。剥離方法は、仮固定フィルムの材質に応じた適切な方法を採用することが望ましい。剥離方法としては、例えば、仮固定フィルムを加熱、発泡又は膨張させて剥離する方法が挙げられる。また、剥離方法としては、例えば、基材を通して仮固定フィルムに紫外線を照射して、仮固定フィルムの粘着力を低下させて剥離する方法が挙げられる。
(Step (D))
Step (D) is a step of peeling off the substrate and the temporary fixing film from the semiconductor chip. It is desirable to adopt an appropriate peeling method according to the material of the temporary fixing film. For example, the peeling method may be a method of heating, foaming or expanding the temporary fixing film to peel it off. In addition, for example, the peeling method may be a method of irradiating the temporary fixing film with ultraviolet light through the substrate to reduce the adhesive strength of the temporary fixing film to peel it off.
前記のように基材及び仮固定フィルムを半導体チップから剥離すると、封止層の面が露出する。半導体チップパッケージの製造方法は、この露出した封止層の面を研磨することを含んでいてもよい。研磨により、封止層の表面の平滑性を向上させることができる。 When the substrate and the temporary fixing film are peeled off from the semiconductor chip as described above, the surface of the sealing layer is exposed. The manufacturing method of the semiconductor chip package may include polishing the exposed surface of the sealing layer. Polishing can improve the smoothness of the surface of the sealing layer.
(工程(E))
工程(E)は、半導体チップの基材及び仮固定フィルムを剥離した面に、絶縁層としての再配線形成層を形成する工程である。通常、この再配線形成層は、半導体チップ及び封止層上に形成される。再配線形成層は、上述した実施形態に係る樹脂組成物の硬化物によって形成しうる。再配線形成層は、通常、半導体チップ上に樹脂組成物層を形成する工程と、この樹脂組成物層を硬化させて再配線形成層を形成する工程とを含む方法で形成できる。半導体チップ上への樹脂組成物層の形成は、例えば、内層基板の代わりに半導体チップを用いること以外は、前記の回路基板の製造方法で説明した内層基板上への樹脂組成物層の形成方法と同じ方法で行いうる。
(Step (E))
Step (E) is a step of forming a rewiring formation layer as an insulating layer on the surface of the semiconductor chip from which the base material and the temporary fixing film are peeled off. Usually, this rewiring formation layer is formed on the semiconductor chip and the sealing layer. The rewiring formation layer can be formed by a cured product of the resin composition according to the above-mentioned embodiment. Usually, the rewiring formation layer can be formed by a method including a step of forming a resin composition layer on the semiconductor chip and a step of curing the resin composition layer to form the rewiring formation layer. The formation of the resin composition layer on the semiconductor chip can be performed by the same method as the method of forming the resin composition layer on the inner layer substrate described in the above-mentioned method for producing a circuit board, except that a semiconductor chip is used instead of the inner layer substrate.
半導体チップ上に樹脂組成物層を形成した後で、この樹脂組成物層を硬化させて、樹脂組成物の硬化物を含む絶縁層としての再配線形成層を得る。樹脂組成物層の硬化条件は、回路基板の製造方法における樹脂組成物層の硬化条件と同じ条件を採用してもよい。樹脂組成物層を熱硬化させる場合には、その熱硬化の前に、樹脂組成物層に対して、硬化温度よりも低い温度で加熱する予備加熱処理を施してもよい。この予備加熱処理の処理条件は、回路基板の製造方法における予備加熱処理と同じ条件を採用してもよい。通常、再配線形成層を形成した後、半導体チップと再配線層とを接続するために、再配線形成層にホールを形成する。 After forming a resin composition layer on the semiconductor chip, the resin composition layer is cured to obtain a rewiring formation layer as an insulating layer containing a cured product of the resin composition. The curing conditions for the resin composition layer may be the same as those for the resin composition layer in the method for manufacturing a circuit board. When the resin composition layer is thermally cured, the resin composition layer may be subjected to a preheating treatment in which the layer is heated at a temperature lower than the curing temperature before the thermal curing. The treatment conditions for this preheating treatment may be the same as those for the preheating treatment in the method for manufacturing a circuit board. Usually, after forming the rewiring formation layer, holes are formed in the rewiring formation layer to connect the semiconductor chip and the rewiring layer.
(工程(F))
工程(F)は、再配線形成層上に、導体層としての再配線層を形成する工程である。再配線形成層上に再配線層を形成する方法は、回路基板の製造方法における絶縁層上への導体層の形成方法と同様でありうる。また、工程(E)及び工程(F)を繰り返し行い、再配線層及び再配線形成層を交互に積み上げて(ビルドアップ)もよい。
(Step (F))
Step (F) is a step of forming a rewiring layer as a conductor layer on the rewiring formation layer. The method of forming the rewiring layer on the rewiring formation layer can be the same as the method of forming a conductor layer on an insulating layer in the manufacturing method of a circuit board. In addition, steps (E) and (F) may be repeatedly performed to alternately stack the rewiring layers and the rewiring formation layers (build up).
(工程(G))
工程(G)は、再配線層上にソルダーレジスト層を形成する工程である。ソルダーレジスト層の材料は、絶縁性を有する任意の材料を用いることができる。中でも、半導体チップパッケージの製造のしやすさの観点から、感光性樹脂組成物及び熱硬化性樹脂組成物が好ましい。ソルダーレジスト層は、上述した実施形態に係る樹脂組成物の硬化物によって形成してもよい。
(Step (G))
Step (G) is a step of forming a solder resist layer on the rewiring layer. The material of the solder resist layer can be any material having insulating properties. Among them, from the viewpoint of ease of manufacturing the semiconductor chip package, a photosensitive resin composition and a thermosetting resin composition are preferred. The solder resist layer may be formed by a cured product of the resin composition according to the above-mentioned embodiment.
また、工程(G)では、必要に応じて、バンプを形成するバンピング加工を行ってもよい。バンピング加工は、半田ボール、半田めっきなどの方法で行うことができる。また、バンピング加工におけるビアホールの形成は、工程(E)と同様に行ってもよい。 In step (G), bumping processing may be performed to form bumps, if necessary. The bumping processing may be performed using a solder ball, solder plating, or the like. In addition, the formation of via holes in the bumping processing may be performed in the same manner as in step (E).
(工程(H))
半導体チップパッケージの製造方法は、工程(A)~(G)以外に、工程(H)を含んでいてもよい。工程(H)は、複数の半導体チップパッケージを個々の半導体チップパッケージにダイシングし、個片化する工程である。半導体チップパッケージを個々の半導体チップパッケージにダイシングする方法は特に限定されない。
(Step (H))
The method for manufacturing a semiconductor chip package may include a step (H) in addition to the steps (A) to (G). The step (H) is a step of dicing a plurality of semiconductor chip packages into individual semiconductor chip packages to separate them. The method for dicing the semiconductor chip packages into individual semiconductor chip packages is not particularly limited.
<半導体装置>
半導体装置は、上述した回路基板又は半導体チップパッケージを備える。半導体装置としては、例えば、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、スマートフォン、タブレット型デバイス、ウェラブルデバイス、デジタルカメラ、医療機器、及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。
<Semiconductor Device>
The semiconductor device includes the above-mentioned circuit board or semiconductor chip package. Examples of the semiconductor device include various semiconductor devices used in electrical products (e.g., computers, mobile phones, smartphones, tablet devices, wearable devices, digital cameras, medical devices, televisions, etc.) and vehicles (e.g., motorcycles, automobiles, trains, ships, aircraft, etc.).
以下、実施例を示して本発明について具体的に説明する。ただし、本発明は、以下の実施例に限定されるものではない。以下の説明において、量を表す「部」及び「%」は、別途明示のない限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。また、特に温度の指定が無い場合の温度条件及び圧力条件は、室温(25℃)及び大気圧(1atm)であった。以下の説明において「L/S」とは、別に断らない限り、配線パターンのライン/スペース比を表す。 The present invention will be specifically described below with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples. In the following description, "parts" and "%" representing amounts mean "parts by mass" and "% by mass", respectively, unless otherwise specified. Furthermore, unless otherwise specified, the temperature and pressure conditions were room temperature (25°C) and atmospheric pressure (1 atm). In the following description, "L/S" represents the line/space ratio of the wiring pattern, unless otherwise specified.
<合成例1>
温度計、撹拌機及び冷却管を備えた内容量1Lの反応容器に、メタノール410g、水酸化ナトリウム48.0g、及び、ビフェノールを205.0g仕込み、40℃で塩化アリル91.8gを発熱に注意しながら3時間かけて滴下した。その後、メタノールが還流する温度(約60℃)まで昇温し、アリルエーテル化反応を4時間行った。次いで、水洗で塩を除去後、180℃まで昇温し、10時間転移反応を行った。転移反応後、100℃まで温度を下げ、ブタノールを205.0g添加して樹脂を溶解させ、さらに水酸化カリウムを70.5g添加し、115℃で6時間プロペニル化反応を行った。その後、水洗し、濃縮して、前記の式(b1)で表されるプロペニル樹脂(ビフェノールのプロペニル体、水酸基当量133g/eq.)を得た。
<Synthesis Example 1>
In a reaction vessel with a capacity of 1 L equipped with a thermometer, a stirrer and a cooling tube, 410 g of methanol, 48.0 g of sodium hydroxide and 205.0 g of biphenol were charged, and 91.8 g of allyl chloride was dropped at 40 ° C. over 3 hours while paying attention to heat generation. Thereafter, the temperature was raised to the temperature at which methanol refluxes (about 60 ° C.), and an allyl etherification reaction was carried out for 4 hours. Next, after removing salt by washing with water, the temperature was raised to 180 ° C., and a transfer reaction was carried out for 10 hours. After the transfer reaction, the temperature was lowered to 100 ° C., 205.0 g of butanol was added to dissolve the resin, and 70.5 g of potassium hydroxide was added, and a propenylation reaction was carried out at 115 ° C. for 6 hours. Thereafter, the mixture was washed with water and concentrated to obtain a propenyl resin represented by the above formula (b1) (propenyl form of biphenol, hydroxyl equivalent 133 g / eq.).
<実施例群Iに係る説明>
<実施例I-1>
ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC3000L」、エポキシ当量約269g/eq.)20部と、ビスフェノール型エポキシ樹脂(日鉄ケミカル&マテリアル社製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品、エポキシ当量約169g/eq.)10部を、ソルベントナフサ25部に撹拌しながら加熱溶解させて、溶液を得た。この溶液を室温にまで冷却し、エポキシ樹脂の溶解組成物を調製した。
<Explanation of Example Group I>
<Example I-1>
20 parts of a biphenyl type epoxy resin ("NC3000L" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent of about 269 g/eq.) and 10 parts of a bisphenol type epoxy resin ("ZX1059" manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd., a 1:1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type, epoxy equivalent of about 169 g/eq.) were dissolved in 25 parts of solvent naphtha with stirring to obtain a solution. This solution was cooled to room temperature to prepare a dissolved composition of the epoxy resin.
このエポキシ樹脂の溶解組成物に、ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部、活性エステル化合物(DIC社製「HPC-8150-62T」、活性エステル基当量約220g/eq.、不揮発成分率62質量%のトルエン溶液)100部、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC社製「LA-3018-50P」、活性基当量約151g/eq.、不揮発成分率50%の2-メトキシプロパノール溶液)10部、カルボジイミド系硬化剤(日清紡ケミカル社製「V-03」、活性基当量約216g/eq.、不揮発成分率50%のトルエン溶液)15部、シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM-573」)で表面処理された球形シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm、比表面積5.8m2/g)300部、硬化促進剤(4-ジメチルアミノピリジン(DMAP))0.2部、フェノキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YX7553BH30」、不揮発分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)10部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂組成物を調製した。 To this epoxy resin solution, 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, average particle size 0.3 μm), 100 parts of an active ester compound ("HPC-8150-62T" manufactured by DIC Corporation, active ester group equivalent of about 220 g/eq., non-volatile content of 62% by mass in toluene solution), and 100 parts of a triazine skeleton-containing phenol-based hardener ("LA-3018-50P" manufactured by DIC Corporation, active group equivalent of about 151 g/eq., 2-methoxypropanol solution with non-volatile content of 50%), 15 parts of a carbodiimide curing agent (Nisshinbo Chemical Inc.'s "V-03", active group equivalent of about 216 g/eq., toluene solution with non-volatile content of 50%), 300 parts of spherical silica (Admatechs Co., Ltd.'s "SO-C2", average particle size 0.5 μm, specific surface area 5.8 m 2 /g) surface-treated with a silane coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM-573"), 0.2 parts of a curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP)), and 10 parts of a phenoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation's "YX7553BH30", a 1:1 solution of MEK and cyclohexanone with a non-volatile content of 30% by mass) were mixed and uniformly dispersed using a high-speed rotating mixer to prepare a resin composition.
<実施例I-2>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)の量を5部から20部に増量した。さらに、活性エステル化合物(DIC社製「HPC-8150-62T」、活性エステル基当量約220g/eq.、不揮発成分率62質量%のトルエン溶液)100部の代わりに活性エステル化合物(DIC社製「HPC-8000-65T」、活性エステル基当量約223g/eq.、不揮発成分率65%のトルエン溶液)100部を用いた。以上の事項以外は実施例I-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example I-2>
The amount of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, Ltd., average particle size 0.3 μm) was increased from 5 parts to 20 parts. Furthermore, instead of 100 parts of an active ester compound ("HPC-8150-62T" manufactured by DIC Corporation, active ester group equivalent of about 220 g/eq., toluene solution with non-volatile content of 62% by mass), 100 parts of an active ester compound ("HPC-8000-65T" manufactured by DIC Corporation, active ester group equivalent of about 223 g/eq., toluene solution with non-volatile content of 65%) was used. A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-1, except for the above items.
<実施例I-3>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、ポリスチレン/アクリル共重合微粒子(根上工業社製「SEP-03T3A」、平均粒径0.3μm)5部を用いた。また、シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM-573」)で表面処理された球形シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm、比表面積5.8m2/g)の量を300部から210部に減量した。さらに、樹脂組成物に更に中空アルミノシリケート粒子(太平洋セメント社製「MG-005」、中空無機充填材、平均粒径1.6μm、空孔率80体積%)を6部追加した。以上の事項以外は実施例I-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example I-3>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, average particle size 0.3 μm), 5 parts of polystyrene/acrylic copolymer fine particles ("SEP-03T3A" manufactured by Negami Chemical Industries, average particle size 0.3 μm) were used. In addition, the amount of spherical silica ("SO-C2" manufactured by Admatechs, average particle size 0.5 μm, specific surface area 5.8 m 2 /g) surface-treated with a silane coupling agent ("KBM-573" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was reduced from 300 parts to 210 parts. Furthermore, 6 parts of hollow aluminosilicate particles ("MG-005" manufactured by Taiheiyo Cement Corporation, hollow inorganic filler, average particle size 1.6 μm, porosity 80% by volume) were further added to the resin composition. A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-1 except for the above items.
<実施例I-4>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、ポリスチレン微粒子(積水化成工業社製「XX-6283Z」、平均粒径0.3μm)5部を用いた。以上の事項以外は実施例I-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example I-4>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, Ltd., average particle size 0.3 μm), 5 parts of polystyrene fine particles ("XX-6283Z" manufactured by Sekisui Chemical Industries, Ltd., average particle size 0.3 μm) were used. A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-1, except for the above points.
<実施例I-5>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、カルボキシ基が付与されたポリスチレン微粒子(積水化成工業社製「XX-6288Z」、平均粒径0.3μm)5部を用いた。以上の事項以外は実施例I-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example I-5>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, Ltd., average particle size 0.3 μm), 5 parts of polystyrene fine particles to which a carboxy group was added ("XX-6288Z" manufactured by Sekisui Chemical Industries, Ltd., average particle size 0.3 μm) were used. A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-1, except for the above points.
<実施例I-6>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、ポリスチレン微粒子(アイカ工業社製「GS-0305」、平均粒径3.0μm)5部を用いた。以上の事項以外は実施例I-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example I-6>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industrial Co., Ltd., average particle size 0.3 μm), 5 parts of polystyrene fine particles ("GS-0305" manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd., average particle size 3.0 μm) were used. A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-1, except for the above points.
<実施例I-7>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、ポリエチレン微粒子(森本ケミカル社製「SB-25」、平均粒径2.5μm)5部を用いた。以上の事項以外は、実施例I-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example I-7>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, Ltd., average particle size 0.3 μm), 5 parts of polyethylene fine particles ("SB-25" manufactured by Morimoto Chemical Co., Ltd., average particle size 2.5 μm) were used. Except for the above, a resin composition was prepared in the same manner as in Example I-1.
<実施例I-8>
ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC3000L」、エポキシ当量約269g/eq.)20部及びビスフェノール型エポキシ樹脂(日鉄ケミカル&マテリアル社製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品、エポキシ当量約169g/eq.)10部の代わりに、ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC社製「HP-4032-SS」、1,6-ビス(グリシジルオキシ)ナフタレン、エポキシ当量約145g/eq.)20部及びビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YX4000H」、エポキシ当量190g/eq.)10部を用いた。さらに、樹脂組成物に、ビフェニルアラルキルノボラック型マレイミド(日本化薬社製「MIR-3000-70MT」、不揮発成分率70%のMEK/トルエン混合溶液)を3部追加した。以上の事項以外は実施例I-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example I-8>
Instead of 20 parts of a biphenyl-type epoxy resin ("NC3000L" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent of about 269 g/eq.) and 10 parts of a bisphenol-type epoxy resin ("ZX1059" manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd., a 1:1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type, epoxy equivalent of about 169 g/eq.), 20 parts of a naphthalene-type epoxy resin ("HP-4032-SS" manufactured by DIC Corporation, 1,6-bis(glycidyloxy)naphthalene, epoxy equivalent of about 145 g/eq.) and 10 parts of a bixylenol-type epoxy resin ("YX4000H" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of 190 g/eq.) were used. Furthermore, 3 parts of biphenylaralkylnovolac-type maleimide ("MIR-3000-70MT" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., a MEK/toluene mixed solution with a non-volatile content of 70%) was added to the resin composition. A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-1 except for the above items.
<実施例I-9>
ビフェニルアラルキルノボラック型マレイミド(日本化薬社製「MIR-3000-70MT」、不揮発成分率70%のMEK/トルエン混合溶液)3部の代わりに、ビニルベンジル変性ポリフェニレンエーテル(三菱瓦斯化学社製「OPE-2St 2200」、不揮発成分率65%のトルエン溶液)5部を用いた。以上の事項以外は実施例I-8と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example I-9>
Instead of 3 parts of biphenylaralkyl novolac maleimide ("MIR-3000-70MT" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., a mixed solution of MEK/toluene with a non-volatile content of 70%), 5 parts of vinylbenzyl-modified polyphenylene ether ("OPE-2St 2200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., a toluene solution with a non-volatile content of 65%) was used. A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-8, except for the above points.
<実施例I-10>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、ポリスチレン/アクリル共重合微粒子(根上工業社製「SEP-03T3A」、平均粒径0.3μm)3部及びポリスチレン微粒子(積水化成工業社製「XX-6283Z」、平均粒径0.3μm)2部を用いた。また、ビフェニルアラルキルノボラック型マレイミド(日本化薬社製「MIR-3000-70MT」、不揮発成分率70%のMEK/トルエン混合溶液)を3部の代わりに、合成例1で得られたプロペニル樹脂を3部用いた。以上の事項以外は、実施例I-8と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example I-10>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, average particle size 0.3 μm), 3 parts of polystyrene/acrylic copolymer fine particles ("SEP-03T3A" manufactured by Negami Chemical Industries, average particle size 0.3 μm) and 2 parts of polystyrene fine particles ("XX-6283Z" manufactured by Sekisui Chemical Industries, average particle size 0.3 μm) were used. In addition, instead of 3 parts of biphenylaralkylnovolac type maleimide ("MIR-3000-70MT" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., MEK/toluene mixed solution with non-volatile content of 70%), 3 parts of the propenyl resin obtained in Synthesis Example 1 were used. Except for the above items, a resin composition was prepared in the same manner as in Example I-8.
<実施例I-11>
活性エステル化合物(DIC社製「HPC-8150-62T」、活性エステル基当量約220g/eq.、不揮発成分率62質量%のトルエン溶液)100部、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC社製「LA-3018-50P」、活性基当量約151g/eq.、不揮発成分率50%の2-メトキシプロパノール溶液)10部及びカルボジイミド系硬化剤(日清紡ケミカル社製「V-03」、活性基当量約216g/eq.、不揮発成分率50%のトルエン溶液)15部の代わりに、ノボラック型フェノール系硬化剤(DIC社製「TD-2090」、活性基当量約105g/eq.、不揮発成分率60%の溶液)40部を使用した。また、シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM-573」)で表面処理された球形シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm、比表面積5.8m2/g)の量を300部から50部に減量した。さらに、硬化促進剤(4-ジメチルアミノピリジン(DMAP))0.2部の代わりにイミダゾール系硬化促進剤(四国化成工業社製「1B2PZ」、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール)0.1部を使用した。以上の事項以外は実施例I-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example I-11>
Instead of 100 parts of an active ester compound (DIC Corporation's "HPC-8150-62T", active ester group equivalent of about 220 g/eq., toluene solution with non-volatile content of 62% by mass), 10 parts of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent (DIC Corporation's "LA-3018-50P", active group equivalent of about 151 g/eq., 2-methoxypropanol solution with non-volatile content of 50%) and 15 parts of a carbodiimide curing agent (Nisshinbo Chemical Corporation's "V-03", active group equivalent of about 216 g/eq., toluene solution with non-volatile content of 50%), 40 parts of a novolac-type phenolic curing agent (DIC Corporation's "TD-2090", active group equivalent of about 105 g/eq., solution with non-volatile content of 60%) was used. In addition, the amount of spherical silica ("SO-C2" manufactured by Admatechs, average particle size 0.5 μm, specific surface area 5.8 m 2 /g) surface-treated with a silane coupling agent ("KBM-573" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was reduced from 300 parts to 50 parts. Furthermore, 0.1 parts of an imidazole-based curing accelerator ("1B2PZ" manufactured by Shikoku Chemical Industry Co., Ltd., 1-benzyl-2-phenylimidazole) was used in place of 0.2 parts of the curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP)). A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-1, except for the above points.
<実施例I-12>
活性エステル化合物(DIC社製「HPC-8150-62T」、活性エステル基当量約220g/eq.、不揮発成分率62質量%のトルエン溶液)100部、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC社製「LA-3018-50P」、活性基当量約151g/eq.、不揮発成分率50%の2-メトキシプロパノール溶液)10部及びカルボジイミド系硬化剤(日清紡ケミカル社製「V-03」、活性基当量約216g/eq.、不揮発成分率50%のトルエン溶液)15部の代わりに、活性エステル化合物(DIC社製「HPC-8000-65T」、活性エステル基当量約223g/eq.、不揮発成分率65%のトルエン溶液)15部とビスフェノールAジシアネートのプレポリマー(ロンザジャパン社製「Primaset BA230S75」、シアネート当量約232g/eq.、不揮発成分75質量%のMEK溶液)20部を用いた。また、シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM-573」)で表面処理された球形シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm、比表面積5.8m2/g)の量を300部から60部に減量した。さらに、樹脂組成物にコバルト(III)アセチルアセトナート(東京化成社製、Co(III)AcAc)0.01部を追加した。以上の事項以外は実施例I-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example I-12>
100 parts of an active ester compound (DIC Corporation's "HPC-8150-62T", active ester group equivalent of about 220 g/eq., non-volatile content of 62% by mass in toluene solution), 10 parts of a triazine skeleton-containing phenol-based curing agent (DIC Corporation's "LA-3018-50P", active group equivalent of about 151 g/eq., non-volatile content of 50% in 2-methoxypropanol solution), and a carbodiimide-based curing agent Instead of 15 parts of "V-03" manufactured by Nisshinbo Chemical Inc., active group equivalent of about 216 g/eq., toluene solution with non-volatile content of 50%, 15 parts of an active ester compound ("HPC-8000-65T" manufactured by DIC Corporation, active ester group equivalent of about 223 g/eq., toluene solution with non-volatile content of 65%) and 20 parts of a prepolymer of bisphenol A dicyanate ("Primaset BA230S75" manufactured by Lonza Japan Ltd., cyanate equivalent of about 232 g/eq., MEK solution with non-volatile content of 75% by mass). In addition, the amount of spherical silica ("SO-C2" manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 0.5 μm, specific surface area 5.8 m 2 /g) surface-treated with a silane coupling agent ("KBM-573" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was reduced from 300 parts to 60 parts. Furthermore, 0.01 parts of cobalt (III) acetylacetonate (Co(III)AcAc, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) was added to the resin composition. Except for the above items, the resin composition was prepared in the same manner as in Example I-1.
<比較例I-1>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)を用いなかったこと以外は実施例I-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Comparative Example I-1>
A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-1, except that polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industrial Co., Ltd., average particle size 0.3 μm) were not used.
<比較例I-2>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、コアシェル構造ゴム粒子(アイカ工業社製「スタフィロイドAC3816N」、コア部がアクリル樹脂、シェル部がポリメタクリレート樹脂、平均粒径0.3μm)5部を用いた。ビフェニルアラルキルノボラック型マレイミド(日本化薬社製「MIR-3000-70MT」、不揮発成分率70%のMEK/トルエン混合溶液)を用いなかった。以上の事項以外は実施例I-8と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Comparative Example I-2>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles (Negami Chemical Industrial Co., Ltd.'s "SEP-03T3", average particle size 0.3 μm), 5 parts of core-shell structure rubber particles (Aica Kogyo Co., Ltd.'s "Staphyloid AC3816N", core part is acrylic resin, shell part is polymethacrylate resin, average particle size 0.3 μm) were used. Biphenyl aralkyl novolac type maleimide (Nippon Kayaku Co., Ltd.'s "MIR-3000-70MT", MEK/toluene mixed solution with non-volatile content of 70%) was not used. A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-8, except for the above points.
<比較例I-3>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、ポリスチレン粒子(根上工業社製「G-800T」、平均粒径6.0μm)5部を用いた。また、ビフェニルアラルキルノボラック型マレイミド(日本化薬社製「MIR-3000-70MT」、不揮発成分率70%のMEK/トルエン混合溶液)を用いなかった。以上の事項以外は実施例I-8と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Comparative Example I-3>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industrial Co., Ltd., average particle size 0.3 μm), 5 parts of polystyrene particles ("G-800T" manufactured by Negami Chemical Industrial Co., Ltd., average particle size 6.0 μm) were used. In addition, biphenylaralkylnovolac type maleimide ("MIR-3000-70MT" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., MEK/toluene mixed solution with non-volatile content of 70%) was not used. A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-8 except for the above points.
<比較例I-4>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)を用いなかったこと以外は実施例I-12と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Comparative Example I-4>
A resin composition was prepared in the same manner as in Example I-12, except that polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industrial Co., Ltd., average particle size 0.3 μm) were not used.
<樹脂シートの製造>
支持体として、離型層を備えたポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック社製「AL5」、厚さ38μm)を用意した。この支持体の離型層上に、上述した実施例及び比較例で得られた樹脂組成物を、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが40μmとなるように均一に塗布した。その後、樹脂組成物を80℃~100℃(平均90℃)で4分間乾燥させて、支持体及び樹脂組成物層を含む樹脂シートを得た。
<Production of Resin Sheet>
A polyethylene terephthalate film with a release layer ("AL5" manufactured by Lintec Corporation, thickness 38 μm) was prepared as a support. The resin compositions obtained in the above-mentioned Examples and Comparative Examples were uniformly applied onto the release layer of this support so that the thickness of the resin composition layer after drying was 40 μm. Thereafter, the resin composition was dried at 80° C. to 100° C. (average 90° C.) for 4 minutes to obtain a resin sheet including a support and a resin composition layer.
<試験例I-1:比誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)の測定>
前記の樹脂シートを200℃にて90分間加熱して樹脂組成物層を熱硬化させた後、支持体を剥離することで、樹脂組成物の硬化物で形成された硬化物フィルムを得た。硬化物フィルムを、幅2mm、長さ80mmに切り出し、評価用硬化物Aを得た。
<Test Example I-1: Measurement of relative dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df)>
The resin sheet was heated at 200° C. for 90 minutes to thermally cure the resin composition layer, and then the support was peeled off to obtain a cured film formed of the cured product of the resin composition. The cured film was cut into a piece having a width of 2 mm and a length of 80 mm to obtain a cured product A for evaluation.
得られた評価用硬化物Aについて、アジレントテクノロジーズ社製「HP8362B」を用いて、空洞共振摂動法により測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて比誘電率(Dk)と誘電正接(Df)を測定した。3本の試験片について測定を行い、平均値を算出した。 The dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df) of the obtained cured product A for evaluation were measured by the cavity resonance perturbation method using an Agilent Technologies HP8362B at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23°C. Measurements were performed on three test pieces, and the average values were calculated.
<試験例I-2:クラック耐性の評価>
(1)樹脂シートのラミネート:
L/S=8μm/8μmの配線パターンとして形成された回路導体(銅)を両面に有する内層基板(日立化成社製「MCL-E700G」、導体層の厚さ35μm、計0.4mm厚、残銅率40%)を用意した。この内層基板の両面に、樹脂組成物層が内層基板と接するように、樹脂シートをラミネートした。かかるラミネートは、真空加圧式ラミネーター(名機製作所社製「MVLP-500」)を用い、温度120℃にて30秒間真空吸引後、温度120℃、圧力7.0kg/cm2の条件で、支持体上から、耐熱ゴムを介して30秒間プレスすることにより行った。次に、大気圧下で、SUS鏡板を用いて、温度120℃、圧力5.5kg/cm2の条件で60秒間プレスを行った。
<Test Example I-2: Evaluation of crack resistance>
(1) Lamination of resin sheet:
An inner layer substrate (Hitachi Chemical's "MCL-E700G", conductor layer thickness 35 μm, total thickness 0.4 mm, residual copper ratio 40%) having circuit conductors (copper) formed as a wiring pattern of L/S = 8 μm/8 μm on both sides was prepared. A resin sheet was laminated on both sides of this inner layer substrate so that the resin composition layer was in contact with the inner layer substrate. This lamination was performed by using a vacuum pressure laminator (Meiki Seisakusho's "MVLP-500") to perform vacuum suction at a temperature of 120°C for 30 seconds, and then pressing from above the support via heat-resistant rubber at a temperature of 120°C and a pressure of 7.0 kg/ cm2 for 30 seconds. Next, pressing was performed for 60 seconds at atmospheric pressure using a SUS end plate at a temperature of 120°C and a pressure of 5.5 kg/ cm2 .
(2)樹脂組成物層の熱硬化:
130℃で30分間加熱し、次いで170℃で30分間加熱して、樹脂組成物層を熱硬化させて、樹脂組成物の硬化物からなる硬化物層としての絶縁層を得た。その後、支持体を剥離して、絶縁層/内層基板/絶縁層の層構成を有する試料基板を得た。
(2) Thermal curing of resin composition layer:
The resin composition layer was thermally cured by heating at 130° C. for 30 minutes and then at 170° C. for 30 minutes to obtain an insulating layer as a cured layer made of a cured product of the resin composition. The support was then peeled off to obtain a sample substrate having a layer structure of insulating layer/inner layer substrate/insulating layer.
(3)粗化処理:
試料基板の絶縁層に、粗化処理を施した。具体的には、試料基板を、膨潤液であるアトテックジャパン社製のスエリングディップ・セキュリガントPに60℃で10分間浸漬した。次に、粗化液であるアトテックジャパン社製のコンセントレート・コンパクトP(KMnO4:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に80℃で20分間浸漬した。最後に、中和液であるアトテックジャパン社製のリダクションソリューション・セキュリガントPに40℃で5分間浸漬した。
(3) Roughening treatment:
The insulating layer of the sample substrate was subjected to a roughening treatment. Specifically, the sample substrate was immersed in a swelling liquid, Swelling Dip Securigant P manufactured by Atotech Japan, at 60° C. for 10 minutes. Next, the sample substrate was immersed in a roughening liquid, Concentrate Compact P manufactured by Atotech Japan (aqueous solution of KMnO 4 : 60 g/L, NaOH: 40 g/L), at 80° C. for 20 minutes. Finally, the sample substrate was immersed in a neutralizing liquid, Reduction Solution Securigant P manufactured by Atotech Japan, at 40° C. for 5 minutes.
(4)クラックの評価:
粗化処理後の絶縁層表面のうち、内層基板の配線パターン上の部分を観察した。100個の内層基板のパターン形状に沿って絶縁層の表面にクラック(割れ)が発生しているか確認し、クラックの発生していないパターン上の部分の数の割合を数えた。この割合を「歩留まり」として算出した。また、算出した歩留まりを以下の基準で点数をつけた。
1点:0%以上20%未満。
2点:20%以上40%未満。
3点:40%以上60%未満。
4点:60%以上80%未満。
5点:80%以上。
5点以上を「○」、3~4点を「△」、2点以下を「×」として評価した。
(4) Crack evaluation:
The surface of the insulating layer after the roughening treatment was observed on the wiring pattern of the inner layer substrate. It was confirmed whether cracks had occurred on the surface of the insulating layer along the pattern shape of 100 inner layer substrates, and the percentage of the number of parts on the pattern where no cracks had occurred was counted. This percentage was calculated as the "yield". The calculated yield was also scored according to the following criteria.
1 point: 0% or more but less than 20%.
2 points: 20% or more but less than 40%.
3 points: 40% or more but less than 60%.
4 points: 60% or more but less than 80%.
5 points: 80% or above.
Five points or more was evaluated as "○", three to four points as "△", and two points or less as "×".
<試験例I-3:ブリスター耐性の評価>
(1)内装基板の下地処理:
内層基板として、表面に銅箔を有するガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.8mm、パナソニック社製「R1515A」)を用意した。この内層基板の表面の銅箔を、マイクロエッチング剤(メック社製「CZ8101」)を用いて、銅エッチング量1μmにてエッチングして、粗化処理を行った。その後、190℃にて30分乾燥を行った。
<Test Example I-3: Evaluation of blister resistance>
(1) Surface preparation for interior substrates:
As an inner layer substrate, a glass cloth-based epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.8 mm, Panasonic "R1515A") having copper foil on the surface was prepared. The copper foil on the surface of this inner layer substrate was etched with a microetching agent (Mech "CZ8101") to a copper etching amount of 1 μm, and roughening treatment was performed. Then, it was dried at 190° C. for 30 minutes.
(2)樹脂シートの積層・硬化:
樹脂シートを、バッチ式真空加圧ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製2ステージビルドアップラミネーター「CVP700」)を用いて、樹脂組成物層が前記の内層基板と接合するように、内層基板の両面にラミネートした。このラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、温度100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより、実施した。次いで、ラミネートされた樹脂シートを、大気圧下、100℃、圧力0.5MPaにて60秒間、熱プレスして平滑化した。
(2) Lamination and curing of resin sheets:
The resin sheet was laminated on both sides of the inner layer substrate using a batch type vacuum pressure laminator (Nikko Materials Co., Ltd. two-stage build-up laminator "CVP700") so that the resin composition layer was bonded to the inner layer substrate. This lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to 13 hPa or less, and then pressing at a temperature of 100°C and a pressure of 0.74 MPa for 30 seconds. The laminated resin sheet was then heat pressed at atmospheric pressure, 100°C, and a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds to smooth it.
130℃のオーブンに投入して30分間加熱し、次いで170℃のオーブンに移し替えて30分間加熱して樹脂組成物層を熱硬化させて、樹脂組成物の硬化物からなる硬化物層としての絶縁層を得た。その後、支持体を剥離して、絶縁層/内層基板/絶縁層の層構成を有する中間基板を得た。 The resin composition layer was thermally cured by placing it in a 130°C oven and heating for 30 minutes, and then transferred to a 170°C oven and heating for 30 minutes to obtain an insulating layer as a cured layer made of the cured resin composition. The support was then peeled off to obtain an intermediate substrate having a layer structure of insulating layer/inner layer substrate/insulating layer.
(3)粗化処理:
中間基板を、膨潤液であるアトテックジャパン社製のスエリングディップ・セキュリガントPに60℃で10分間浸漬した。次に、粗化液であるアトテックジャパン社製のコンセントレート・コンパクトP(KMnO4:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に80℃で20分間浸漬した。最後に、中和液であるアトテックジャパン社製のリダクションソリューション・セキュリガントPに40℃で5分間浸漬した。得られた中間基板を評価基板Aとした。
(3) Roughening treatment:
The intermediate substrate was immersed in a swelling liquid, Swelling Dip Securigant P, manufactured by Atotech Japan, for 10 minutes at 60° C. Next, it was immersed in a roughening liquid, Concentrate Compact P, manufactured by Atotech Japan (aqueous solution of KMnO 4 : 60 g/L, NaOH: 40 g/L), for 20 minutes at 80° C. Finally, it was immersed in a neutralizing liquid, Reduction Solution Securigant P, manufactured by Atotech Japan, for 5 minutes at 40° C. The obtained intermediate substrate was designated as evaluation substrate A.
(4)セミアディティブ工法によるメッキ:
絶縁層の表面に回路を形成するために、評価基板Aを、PdCl2を含む無電解メッキ用溶液に浸漬し、次に無電解銅メッキ液に浸漬した。150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによるパターン形成を行った。その後、硫酸銅電解メッキを行い、30±5μmの厚さで導体層を形成した。次に、アニール処理を180℃にて60分間行った。これにより、絶縁層上に導体層を備える回路基板としての評価基板Bを得た。
(4) Semi-additive plating:
In order to form a circuit on the surface of the insulating layer, the evaluation board A was immersed in an electroless plating solution containing PdCl2 , and then immersed in an electroless copper plating solution. After heating at 150 ° C for 30 minutes to perform an annealing treatment, an etching resist was formed, and a pattern was formed by etching. Then, copper sulfate electrolytic plating was performed to form a conductor layer with a thickness of 30 ± 5 μm. Next, an annealing treatment was performed at 180 ° C for 60 minutes. As a result, an evaluation board B was obtained as a circuit board having a conductor layer on an insulating layer.
(5)リフロー工程でのふくれ評価:
評価用基板Bを切断して、100mm×50mmの小片を得た。この小片を、ピーク温度260℃の半田リフロー温度を再現するリフロー装置(日本アントム社製「HAS-6116」)に5回通す試験を行った(リフロー温度プロファイルは、IPC/JEDEC J-STD-020Cに準拠)。前記の試験を5つの小片で行い、試験後の小片を目視観察した。目視観察の結果、3つ以上の小片において導体層にふくれ等の異常があるもののブリスター耐性を「×」と判定した。また、1~2つの小片で導体層にふくれ等の異常があるもののブリスター耐性を「△」と判定した。さらに、全ての小片で全く異常のないもののブリスター耐性を「○」と判定した。
(5) Evaluation of swelling during reflow process:
The evaluation board B was cut to obtain a small piece of 100 mm x 50 mm. The small piece was subjected to a test of passing through a reflow device ("HAS-6116" manufactured by Nippon Antom Co., Ltd.) five times to reproduce a solder reflow temperature of a peak temperature of 260 ° C. (the reflow temperature profile conforms to IPC / JEDEC J-STD-020C). The above test was performed on five small pieces, and the small pieces after the test were visually observed. As a result of the visual observation, the blister resistance was judged as "x" for three or more small pieces having abnormalities such as swelling in the conductor layer. In addition, the blister resistance was judged as "△" for one or two small pieces having abnormalities such as swelling in the conductor layer. Furthermore, the blister resistance was judged as "○" for all small pieces that had no abnormalities at all.
<実施例群Iに係る結果>
上述した実施例I-1からI-12及び比較例I-1からI-4の結果を、下記の表1~表3に示す。下記の表において、「化合物1」は、合成例1で製造したプロペニル樹脂を表す。
<Results for Example Group I>
The results of the above-mentioned Examples I-1 to I-12 and Comparative Examples I-1 to I-4 are shown in the following Tables 1 to 3. In the following tables, "Compound 1" represents the propenyl resin produced in Synthesis Example 1.
<実施例群IIに係る説明>
<実施例II-1>
ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC3000L」、エポキシ当量約269g/eq.)20部及びビスフェノール型エポキシ樹脂(日鉄ケミカル&マテリアル社製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品、エポキシ当量約169g/eq.)10部を、ソルベントナフサ25部に撹拌しながら加熱溶解させて、溶液を得た。この溶液を室温にまで冷却し、エポキシ樹脂の溶解組成物を調製した。
<Explanation of Example Group II>
<Example II-1>
20 parts of a biphenyl type epoxy resin ("NC3000L" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent of about 269 g/eq.) and 10 parts of a bisphenol type epoxy resin ("ZX1059" manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd., a 1:1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type, epoxy equivalent of about 169 g/eq.) were heated and dissolved in 25 parts of solvent naphtha with stirring to obtain a solution. This solution was cooled to room temperature to prepare a dissolved composition of the epoxy resin.
このエポキシ樹脂の溶解組成物に、ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部、活性エステル化合物(DIC社製「HPC-8150-62T」、活性エステル基当量約220g/eq.、不揮発成分率62質量%のトルエン溶液)100部、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC社製「LA-3018-50P」、活性基当量約151g/eq.、不揮発成分率50%の2-メトキシプロパノール溶液)10部、カルボジイミド系硬化剤(日清紡ケミカル社製「V-03」、活性基当量約216g/eq.、不揮発成分率50%のトルエン溶液)15部、シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM-573」)で表面処理された球形シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm、比表面積5.8m2/g)300部、硬化促進剤(4-ジメチルアミノピリジン(DMAP))0.2部、フェノキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YX7553BH30」、不揮発分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)10部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂組成物を調製した。 To this epoxy resin solution, 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, average particle size 0.3 μm), 100 parts of an active ester compound ("HPC-8150-62T" manufactured by DIC Corporation, active ester group equivalent of about 220 g/eq., non-volatile content of 62% by mass in toluene solution), and 100 parts of a triazine skeleton-containing phenol-based hardener ("LA-3018-50P" manufactured by DIC Corporation, active group equivalent of about 151 g/eq., 2-methoxypropanol solution with non-volatile content of 50%), 15 parts of a carbodiimide curing agent (Nisshinbo Chemical Inc.'s "V-03", active group equivalent of about 216 g/eq., toluene solution with non-volatile content of 50%), 300 parts of spherical silica (Admatechs Co., Ltd.'s "SO-C2", average particle size 0.5 μm, specific surface area 5.8 m 2 /g) surface-treated with a silane coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.'s "KBM-573"), 0.2 parts of a curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP)), and 10 parts of a phenoxy resin (Mitsubishi Chemical Corporation's "YX7553BH30", a 1:1 solution of MEK and cyclohexanone with a non-volatile content of 30% by mass) were mixed and uniformly dispersed using a high-speed rotating mixer to prepare a resin composition.
<実施例II-2>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)の量を5部から15部に増量した。さらに、活性エステル化合物(DIC社製「HPC-8150-62T」、活性エステル基当量約220g/eq.、不揮発成分率62質量%のトルエン溶液)100部の代わりに、活性エステル化合物(DIC社製「HPC-8000-65T」、活性エステル基当量約223g/eq.、不揮発成分率65%のトルエン溶液)100部を用いた。以上の事項以外は実施例II-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example II-2>
The amount of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, Ltd., average particle size 0.3 μm) was increased from 5 parts to 15 parts. Furthermore, instead of 100 parts of an active ester compound ("HPC-8150-62T" manufactured by DIC Corporation, active ester group equivalent of about 220 g/eq., toluene solution with non-volatile content of 62% by mass), 100 parts of an active ester compound ("HPC-8000-65T" manufactured by DIC Corporation, active ester group equivalent of about 223 g/eq., toluene solution with non-volatile content of 65%) was used. A resin composition was prepared in the same manner as in Example II-1, except for the above items.
<実施例II-3>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、ポリスチレン/アクリル共重合微粒子(根上工業社製「SEP-03T3A」、平均粒径0.3μm)5部を用いた。さらに、シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM-573」)で表面処理された球形シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm、比表面積5.8m2/g)の量を300部から210部に減量した。また、樹脂組成物に中空アルミノシリケート粒子(太平洋セメント社製「MG-005」、中空無機充填材、平均粒径1.6μm、空孔率80体積%)6部を追加した。以上の事項以外は実施例II-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example II-3>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, average particle size 0.3 μm), 5 parts of polystyrene/acrylic copolymer fine particles ("SEP-03T3A" manufactured by Negami Chemical Industries, average particle size 0.3 μm) were used. Furthermore, the amount of spherical silica ("SO-C2" manufactured by Admatechs, average particle size 0.5 μm, specific surface area 5.8 m 2 /g) surface-treated with a silane coupling agent ("KBM-573" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) was reduced from 300 parts to 210 parts. In addition, 6 parts of hollow aluminosilicate particles ("MG-005" manufactured by Taiheiyo Cement Corporation, hollow inorganic filler, average particle size 1.6 μm, porosity 80% by volume) were added to the resin composition. A resin composition was prepared in the same manner as in Example II-1 except for the above items.
<実施例II-4>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、カルボキシ基が付与されたポリスチレン微粒子(積水化成工業社製「XX-6288Z」、平均粒径0.3μm)5部を用いた。さらに、樹脂組成物にビフェニルアラルキルノボラック型マレイミド(日本化薬社製「MIR-3000-70MT」、不揮発成分率70%のMEK/トルエン混合溶液)を3部追加した。以上の事項以外は実施例II-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example II-4>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, average particle size 0.3 μm), 5 parts of polystyrene fine particles to which a carboxy group was added ("XX-6288Z" manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd., average particle size 0.3 μm) were used. Furthermore, 3 parts of biphenylaralkylnovolac type maleimide ("MIR-3000-70MT" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., MEK/toluene mixed solution with non-volatile content of 70%) was added to the resin composition. Aside from the above, a resin composition was prepared in the same manner as in Example II-1.
<実施例II-5>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、ポリスチレン微粒子(アイカ工業社製「GS-0305」、平均粒径3.0μm)5部を用いた。加えて、ビスフェノール型エポキシ樹脂(日鉄ケミカル&マテリアル社製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品、エポキシ当量約169g/eq.)10部の代わりに、ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC社製「HP-4032-SS」、1,6-ビス(グリシジルオキシ)ナフタレン、エポキシ当量約145g/eq.)10部を用いた。さらに、樹脂組成物に、ビニルベンジル変性ポリフェニレンエーテル(三菱瓦斯化学社製「OPE-2St 2200」、不揮発成分率65%のトルエン溶液)を5部追加した。以上の事項以外は実施例II-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example II-5>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industries, average particle size 0.3 μm), 5 parts of polystyrene fine particles ("GS-0305" manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd., average particle size 3.0 μm) were used. In addition, instead of 10 parts of bisphenol type epoxy resin ("ZX1059" manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd., 1:1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type, epoxy equivalent of about 169 g/eq.), 10 parts of naphthalene type epoxy resin ("HP-4032-SS" manufactured by DIC Corporation, 1,6-bis(glycidyloxy)naphthalene, epoxy equivalent of about 145 g/eq.) were used. Furthermore, 5 parts of vinylbenzyl modified polyphenylene ether ("OPE-2St 2200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., toluene solution with non-volatile content of 65%) were added to the resin composition. Except for the above, the resin composition was prepared in the same manner as in Example II-1.
<実施例II-6>
ポリスチレン微粒子(アイカ工業社製「GS-0305」、平均粒径3.0μm)5部の代わりに、ポリエチレン微粒子(森村ケミカル社製「SB-25」、平均粒径2.5μm)5部を用いた。また、ビニルベンジル変性ポリフェニレンエーテル(三菱瓦斯化学社製「OPE-2St 2200」、不揮発成分率65%のトルエン溶液)5部の代わりに、合成例1で得られたプロペニル樹脂を3部用いた。以上の事項以外は、実施例II-5と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example II-6>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles ("GS-0305" manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd., average particle size 3.0 μm), 5 parts of polyethylene fine particles ("SB-25" manufactured by Morimura Chemical Co., Ltd., average particle size 2.5 μm) were used. Also, instead of 5 parts of vinylbenzyl-modified polyphenylene ether ("OPE-2St 2200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., toluene solution with non-volatile content of 65%), 3 parts of the propenyl resin obtained in Synthesis Example 1 were used. Except for the above, a resin composition was prepared in the same manner as in Example II-5.
<実施例II-7>
ポリスチレン微粒子(アイカ工業社製「GS-0305」、平均粒径3.0μm)5部の代わりに、ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部を用いた。また、活性エステル化合物(DIC社製「HPC-8150-62T」、活性エステル基当量約220g/eq.、不揮発成分率62質量%のトルエン溶液)の量を100部から80部に減量した。さらに、シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM-573」)で表面処理された球形シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm、比表面積5.8m2/g)の量を300部から250部に減量した。以上の事項以外は実施例II-5と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Example II-7>
Instead of 5 parts of polystyrene fine particles (Aica Kogyo Co., Ltd. "GS-0305", average particle size 3.0 μm), 5 parts of polystyrene fine particles (Negami Chemical Industries Co., Ltd. "SEP-03T3", average particle size 0.3 μm) were used. In addition, the amount of active ester compound (DIC Corporation "HPC-8150-62T", active ester group equivalent of about 220 g/eq., toluene solution with non-volatile content of 62 mass%) was reduced from 100 parts to 80 parts. In addition, the amount of spherical silica (Admatechs Co., Ltd. "SO-C2", average particle size 0.5 μm, specific surface area 5.8 m 2 /g) surface-treated with a silane coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-573") was reduced from 300 parts to 250 parts. A resin composition was prepared in the same manner as in Example II-5 except for the above items.
<比較例II-1>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)を用いなかったこと以外は実施例II-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Comparative Example II-1>
A resin composition was prepared in the same manner as in Example II-1, except that polystyrene fine particles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industrial Co., Ltd., average particle size 0.3 μm) were not used.
<比較例II-2>
ポリスチレン微粒子(根上工業社製「SEP-03T3」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、コアシェル構造ゴム粒子(アイカ工業社製「スタフィロイドAC3816N」、コア部がアクリル樹脂、シェル部がポリメタクリレート樹脂、平均粒径0.3μm)5部を用いた。また、ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC3000L」、エポキシ当量約269g/eq.)20部及びビスフェノール型エポキシ樹脂(日鉄ケミカル&マテリアル社製「ZX1059」、ビスフェノールA型とビスフェノールF型の1:1混合品、エポキシ当量約169g/eq.)10部に代わりに、ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC社製「HP-4032-SS」、1,6-ビス(グリシジルオキシ)ナフタレン、エポキシ当量約145g/eq.)20部及びビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YX4000H」、エポキシ当量190g/eq.)10部を用いた。以上の事項以外は実施例II-1と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Comparative Example II-2>
Instead of 5 parts of polystyrene microparticles ("SEP-03T3" manufactured by Negami Chemical Industrial Co., Ltd., average particle size 0.3 μm), 5 parts of core-shell structure rubber particles ("Staphyloid AC3816N" manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd., core part is acrylic resin, shell part is polymethacrylate resin, average particle size 0.3 μm) were used. In addition, instead of 20 parts of biphenyl type epoxy resin ("NC3000L" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent of about 269 g/eq.) and 10 parts of bisphenol type epoxy resin ("ZX1059" manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd., 1:1 mixture of bisphenol A type and bisphenol F type, epoxy equivalent of about 169 g/eq.), 20 parts of naphthalene type epoxy resin ("HP-4032-SS" manufactured by DIC Corporation, 1,6-bis(glycidyloxy)naphthalene, epoxy equivalent of about 145 g/eq.) and 10 parts of bixylenol type epoxy resin ("YX4000H" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of 190 g/eq.) were used. A resin composition was prepared in the same manner as in Example II-1 except for the above items.
<比較例II-3>
ゴム粒子(アイカ工業社製「スタフィロイドAC3816N」、平均粒径0.3μm)5部の代わりに、ポリスチレン粒子(根上工業社製「G-800T」、平均粒径6.0μm)5部を用いた。以上の事項以外は、比較例II-2と同様にして、樹脂組成物を調製した。
<Comparative Example II-3>
Instead of 5 parts of rubber particles (Aica Kogyo Co., Ltd.'s "Staphyloid AC3816N", average particle size 0.3 μm), 5 parts of polystyrene particles (Negami Chemical Industries Co., Ltd.'s "G-800T", average particle size 6.0 μm) were used. Except for the above, a resin composition was prepared in the same manner as in Comparative Example II-2.
<樹脂シートの製造>
支持体として、離型層を備えたポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック社製「AL5」、厚さ38μm)を用意した。この支持体の離型層上に、上述した実施例及び比較例で得られた樹脂組成物を、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが40μmとなるように均一に塗布した。その後、樹脂組成物を80℃~100℃(平均90℃)で4分間乾燥させて、支持体及び樹脂組成物層を含む樹脂シートを得た。
<Production of Resin Sheet>
A polyethylene terephthalate film with a release layer ("AL5" manufactured by Lintec Corporation, thickness 38 μm) was prepared as a support. The resin compositions obtained in the above-mentioned Examples and Comparative Examples were uniformly applied onto the release layer of this support so that the thickness of the resin composition layer after drying was 40 μm. Thereafter, the resin composition was dried at 80° C. to 100° C. (average 90° C.) for 4 minutes to obtain a resin sheet including a support and a resin composition layer.
<試験例II-1:比誘電率(Dk)及び誘電正接(Df)の測定>
前記の樹脂シートを200℃にて90分間加熱して樹脂組成物層を熱硬化させた後、支持体を剥離することで、樹脂組成物の硬化物で形成された硬化物フィルムを得た。硬化物フィルムを、62mm×75mmに切り出し、評価用硬化物Aを得た。
<Test Example II-1: Measurement of relative dielectric constant (Dk) and dielectric loss tangent (Df)>
The resin sheet was heated at 200° C. for 90 minutes to thermally cure the resin composition layer, and then the support was peeled off to obtain a cured film formed of the cured product of the resin composition. The cured film was cut into a size of 62 mm×75 mm to obtain a cured product A for evaluation.
得られた評価用硬化物Aについて、EMラボ社製「CR-710」を用いて、スプリットシリンダ共振法により、測定周波数10GHzにて誘電正接及び比誘電率を測定した。誘電正接の測定は、25℃及び100℃で行った。また、比誘電率の測定は25℃で行った。 The dielectric loss tangent and relative dielectric constant of the obtained cured evaluation material A were measured at a measurement frequency of 10 GHz using the split cylinder resonance method with an EM Lab "CR-710." The dielectric loss tangent was measured at 25°C and 100°C. The relative dielectric constant was measured at 25°C.
25℃での誘電正接Df(25℃)に対する100℃での誘電正接Df(100℃)の上昇率{Df(100℃)-Df(25℃)}/Df(25℃)を計算した。この上昇率が20%未満にある場合に、誘電正接の高温での温度安定性を「〇」と判定した。また、上昇率が20%以上である場合に、誘電正接の高温での温度安定性を「×」と判定した。 The rate of increase of the dielectric tangent Df(100°C) at 100°C relative to the dielectric tangent Df(25°C) at 25°C was calculated as {Df(100°C) - Df(25°C)}/Df(25°C). If this rate of increase was less than 20%, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures was judged to be "Good." If the rate of increase was 20% or more, the temperature stability of the dielectric tangent at high temperatures was judged to be "Poor."
<試験例II-2:クラック耐性の評価>
実施例群Iに係る説明の<試験例I-2:クラック耐性の評価>において説明した方法によって、各実施例及び比較例で製造した樹脂組成物を用いた絶縁層の形成及びクラックの評価を行った。
<Test Example II-2: Evaluation of crack resistance>
According to the method described in <Test Example I-2: Evaluation of crack resistance> in the description of Example Group I, the formation of an insulating layer using the resin composition produced in each Example and Comparative Example and the evaluation of cracking were performed.
<試験例II-3:絶縁信頼性の評価>
樹脂シートをバッチ式真空ラミネーター(ニチゴーモートン社製「VP160」)を用いて、L/S=20μm/20μmのTABテープ(tape automated bondigに用いられるテープ)にラミネートした。支持体を剥離した後、バッチ式オーブンにて180℃、90分間加熱し、樹脂組成物層を硬化させて、TABテープ/絶縁層の層構成を有するサンプルを得た。絶縁層の抵抗値を7カ所で測定した。こうして測定された絶縁層の抵抗値を「初期抵抗値」という。
<Test Example II-3: Evaluation of insulation reliability>
The resin sheet was laminated onto a TAB tape (tape used for tape automated bonding) with L/S=20 μm/20 μm using a batch type vacuum laminator (VP160 manufactured by Nichigo Morton Co., Ltd.). After peeling off the support, the sample was heated at 180° C. for 90 minutes in a batch type oven to harden the resin composition layer, thereby obtaining a sample having a layer structure of TAB tape/insulating layer. The resistance value of the insulating layer was measured at seven points. The resistance value of the insulating layer measured in this manner is referred to as the "initial resistance value."
つづけて、サンプルをHAST試験機(楠本化成社製、「ETAC PM422」)中に130℃、85%Rhの条件下で100時間放置するHAST試験を行った。このHAST試験の後で、サンプルの絶縁層の抵抗値を7か所で測定した。こうして測定された絶縁層の抵抗値を「HAST後抵抗値」という。 Next, a HAST test was performed by leaving the sample in a HAST tester (Kusumoto Chemicals, "ETAC PM422") at 130°C and 85% Rh for 100 hours. After this HAST test, the resistance value of the insulating layer of the sample was measured at seven points. The resistance value of the insulating layer measured in this way is called the "resistance value after HAST."
絶縁性の判定基準は、抵抗値が1.0×106Ω以上を良好、1.0×106Ω未満を不良とした。そして、この基準に基づき、絶縁信頼性を下記の基準で評価した。
○:初期抵抗値及びHAST後抵抗値ともに、絶縁性良好なサンプルが6か所以上。
△:初期抵抗値及びHAST後抵抗値ともに、絶縁性良好なサンプルが5か所。
×:初期抵抗値及びHAST後抵抗値ともに、絶縁性良好なサンプルが5か所未満。
The insulation was judged based on the following criteria: a resistance value of 1.0×10 6 Ω or more was considered good, and a resistance value of less than 1.0×10 6 Ω was considered bad. Based on this criteria, the insulation reliability was evaluated according to the following criteria.
◯: Six or more samples had good insulation both in terms of the initial resistance value and the resistance value after HAST.
Δ: Five samples had good insulation both in terms of the initial resistance value and the resistance value after HAST.
×: Fewer than five samples had good insulation both in terms of the initial resistance value and the resistance value after HAST.
<実施例群IIに係る結果>
上述した実施例II-1からII-7及び比較例II-1からII-3の結果を、下記の表4及び表5に示す。
<Results for Example Group II>
The results of the above-mentioned Examples II-1 to II-7 and Comparative Examples II-1 to II-3 are shown in Tables 4 and 5 below.
100 半導体チップパッケージ
110 半導体チップ
120 封止層
130 再配線形成層
140 再配線層
150 ソルダーレジスト層
160 バンプ
REFERENCE SIGNS
Claims (15)
(A)有機充填材の平均粒径が、5μm以下であり、
(B)硬化性樹脂が、エポキシ樹脂及び活性エステル樹脂を含み、
(A)有機充填材の量が、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、0.2質量%以上40質量%以下であり、
エポキシ樹脂の量が、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、5質量%以上80質量%以下であり、
活性エステル樹脂の量が、樹脂組成物の樹脂成分100質量%に対して、1質量%以上80質量%以下である、樹脂組成物。
Raは、それぞれ独立に、水素原子又は1価の飽和炭化水素基を表し、
Rbは、置換基を有していてもよい1価の芳香族炭化水素基を表す。) (A) an organic filler including a polymer containing a repeating unit represented by the following formula (1), and (B) a curable resin,
(A) the average particle size of the organic filler is 5 μm or less;
(B) the curable resin contains an epoxy resin and an active ester resin;
(A) the amount of the organic filler is 0.2% by mass or more and 40% by mass or less, based on 100% by mass of the resin component of the resin composition;
The amount of the epoxy resin is 5% by mass or more and 80% by mass or less, based on 100% by mass of the resin component of the resin composition;
A resin composition , comprising an active ester resin in an amount of 1% by mass or more and 80% by mass or less, based on 100% by mass of the resin component of the resin composition .
Each R a independently represents a hydrogen atom or a monovalent saturated hydrocarbon group;
R b represents a monovalent aromatic hydrocarbon group which may have a substituent.
前記シェル部が、前記式(1)で表される繰り返し単位を含有するポリマーを含む、請求項1に記載の樹脂組成物。 (A) a particle of the organic filler includes a shell portion exposed on a surface of the particle of the organic filler,
The resin composition according to claim 1 , wherein the shell portion comprises a polymer containing a repeating unit represented by formula (1).
Df(25℃)は、樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の25℃での誘電正接を表し、
Df(100℃)は、樹脂組成物を200℃で90分間熱処理して得られる硬化物の100℃での誘電正接を表す、請求項1に記載の樹脂組成物。 The rate of increase of Df(100°C) relative to Df(25°C) is less than 20%,
Df (25°C) represents the dielectric tangent at 25°C of a cured product obtained by heat-treating a resin composition at 200°C for 90 minutes,
The resin composition according to claim 1, wherein Df (100°C) represents the dielectric tangent at 100°C of a cured product obtained by heat-treating the resin composition at 200°C for 90 minutes.
樹脂組成物層が、請求項1~8の何れか1項に記載の樹脂組成物を含む、樹脂シート。 A support and a resin composition layer formed on the support,
A resin sheet, wherein the resin composition layer comprises the resin composition according to any one of claims 1 to 8.
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