JP7601588B2 - Work holding device - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 78
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 11
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 8
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 8
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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Description
本発明は、ロボットハンド、ワーク保持装置及び搬送装置に関する。 The present invention relates to a robot hand, a workpiece holding device, and a transport device.
製造ラインにおいて、ワークを搬送する装置としてロボット装置が広く活用されている。ロボット装置には搬送するワークに応じたハンドが装着されている。例えば、板状のワークを搬送するハンドとしては、板状のワークを2本の指状部に載置するようにして搬送するハンドが知られている(例えば、特許文献1)。しかし、特許文献1に開示されているハンドは、ワークを指状部に載置しているため、ワークの投入口が狭く、指状部が挿入できない場合には、使用することができない。一方、板状のワークの基端部を把持して搬送するハンドを使用した場合には、ワークを片持ちで保持しているために、空気抵抗や自重によりワークの先端が撓んでしまい、狭いワーク投入口への挿入位置が定まらないといった問題が発生する。そのため、空気抵抗や自重によるワークの先端の撓みを抑えるために、ワークの搬送速度や搬送姿勢が限定的にならざるを得ない。 Robot devices are widely used in manufacturing lines as devices for transporting workpieces. Robot devices are equipped with hands that correspond to the workpieces to be transported. For example, as a hand for transporting a plate-shaped workpiece, a hand that transports the plate-shaped workpiece by placing it on two finger-like parts is known (for example, Patent Document 1). However, since the hand disclosed in Patent Document 1 places the workpiece on the finger-like parts, it cannot be used when the workpiece insertion opening is narrow and the finger-like parts cannot be inserted. On the other hand, when a hand is used to transport a plate-shaped workpiece by gripping its base end, since the workpiece is held at one end, the tip of the workpiece is deflected due to air resistance or its own weight, and the insertion position into the narrow workpiece insertion opening cannot be determined. Therefore, the transport speed and transport posture of the workpiece must be limited in order to suppress the deflection of the tip of the workpiece due to air resistance or its own weight.
特に、板状の薄いワークを搬送する際に、搬送姿勢の自由度が高く、搬送速度の低下を抑えられ、狭いワーク投入口にワークを投入することができることが望まれている。 In particular, when transporting thin plate-shaped workpieces, it is desirable to have a high degree of freedom in the transport posture, to prevent a decrease in transport speed, and to be able to feed the workpieces into a narrow workpiece feed opening.
本開示の一態様に係るワーク保持装置は、ベース板と、ワークをその後端側において把持する把持機構と、把持機構をベース板の前後方向に沿って移動する移動機構と、ベース板の前端に設けられ、把持されたワークをその前端側において吸着するための少なくとも一の吸着パッドと、を具備する。 A workpiece holding device according to one aspect of the present disclosure includes a base plate, a gripping mechanism that grips the workpiece at its rear end, a moving mechanism that moves the gripping mechanism along the front-to-rear direction of the base plate, and at least one suction pad provided at the front end of the base plate for suctioning the gripped workpiece at its front end.
搬送姿勢の自由度が高く、搬送速度の低下を抑えられ、狭いワーク投入口にワークを投入することができる。 There is a high degree of freedom in the conveying position, the conveying speed does not decrease, and workpieces can be inserted into narrow workpiece openings.
以下、図面を参照しながら本実施形態に係るワーク保持装置を説明する。以下の説明において、略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付し、重複説明は必要な場合にのみ行う。 The workpiece holding device according to this embodiment will be described below with reference to the drawings. In the following description, components having substantially the same functions and configurations will be given the same reference numerals, and repeated explanations will be given only when necessary.
図1に示すように、本実施形態に係るワーク保持装置6は矩形板状の薄いワークWのピッキング作業に適した装置である。ワーク保持装置6は、ロボットアーム機構7などの移動装置に取り付けられるロボットハンド1と、ロボットハンド1が有する吸着パッドの内部を加減圧するための加減圧装置8と、ロボットハンド1の動作を制御するハンド制御装置と、を有する。本実施形態では、ロボットアーム機構7を制御するロボット制御装置9が、ハンド制御装置の機能を有するものとして説明する。なお、ハンド制御装置は、ロボット制御装置9と別体であってもよい。 As shown in FIG. 1, the work holding device 6 according to this embodiment is a device suitable for picking a thin rectangular plate-shaped workpiece W. The work holding device 6 has a robot hand 1 attached to a moving device such as a robot arm mechanism 7, a pressurizing/depressurizing device 8 for pressurizing and depressurizing the inside of the suction pad of the robot hand 1, and a hand control device that controls the operation of the robot hand 1. In this embodiment, the robot control device 9 that controls the robot arm mechanism 7 will be described as having the functions of a hand control device. Note that the hand control device may be separate from the robot control device 9.
ロボット制御装置9は、ロボットアーム機構7及びロボットハンド1による一連の動作が記述されたタスクプログラムが記憶されたHDD等の記憶装置、記憶装置に記憶されたプログラムを実行するCPU等の演算処理装置などを備える。演算処理装置によりタスクプログラムが実行されることで、ロボットアーム機構7及びロボットハンド1は、タスクプログラムで規定されたシーケンスに従って動作し、ベルトコンベア100により所定の位置に搬送されたワークWをピックアップし、ベルトコンベア100からラック200まで搬送し、ラック200の所定位置にリリースすることができる。 The robot control device 9 includes a storage device such as an HDD that stores a task program describing a series of operations to be performed by the robot arm mechanism 7 and the robot hand 1, and an arithmetic processing device such as a CPU that executes the program stored in the storage device. When the arithmetic processing device executes the task program, the robot arm mechanism 7 and the robot hand 1 operate according to the sequence defined in the task program, and can pick up the workpiece W transported to a predetermined position by the belt conveyor 100, transport it from the belt conveyor 100 to the rack 200, and release it to a predetermined position on the rack 200.
図2に示すように、ロボットハンド1は、ベース2と、ワークWをその後端側において把持する把持機構3と、把持機構3をベース2の前後方向に沿って移動させる移動機構4と、把持機構3により把持されたワークWをその前端側において吸着する吸着部5と、を有する。本実施形態では、ワークWは矩形板であるため、把持機構3はワークWをその後端側の2つの角部にできるだけ近い2箇所においてそれぞれ把持できるように構成され、吸着部5はワークWをその前端側の2つの角部にできるだけ近い2箇所においてそれぞれ吸着できるように構成される。 As shown in FIG. 2, the robot hand 1 has a base 2, a gripping mechanism 3 that grips the workpiece W at its rear end, a moving mechanism 4 that moves the gripping mechanism 3 along the front-to-rear direction of the base 2, and an adsorption unit 5 that adsorbs the workpiece W gripped by the gripping mechanism 3 at its front end. In this embodiment, since the workpiece W is a rectangular plate, the gripping mechanism 3 is configured to grip the workpiece W at two points as close as possible to each of the two corners on the rear end side, and the adsorption unit 5 is configured to adsorb the workpiece W at two points as close as possible to each of the two corners on the front end side.
典型的には、ベース2は、ワークWよりも長く、ワークWと同一の幅を有する矩形状のベース板21と、ベース板21の後端に垂直に接続された矩形状の接続板23とを有する。接続板23の外面にはアダプタ25が取り付けられる。ロボットハンド1は、アダプタ25を介して、ロボットアーム機構7のハンド取付部71に装着される。本実施形態の説明で使用される直交3軸は以下のように定義される。すなわち、接続板23の外面に直交する軸をX軸、ベース板21の内面に直交する軸をZ軸、X軸とZ軸とに直交する軸をY軸と定義する。X軸方向はロボットハンド1の前後方向(長さ方向)、Z軸方向はロボットハンド1の上下方向(厚み方向)、Y軸方向はロボットハンド1の左右方向(幅方向)に対応する。また、ベース板21の幅中央を通り、X軸と平行な直線をベース中心線と定義する。 Typically, the base 2 has a rectangular base plate 21 that is longer than the workpiece W and has the same width as the workpiece W, and a rectangular connection plate 23 that is connected perpendicularly to the rear end of the base plate 21. An adapter 25 is attached to the outer surface of the connection plate 23. The robot hand 1 is attached to the hand attachment portion 71 of the robot arm mechanism 7 via the adapter 25. The three orthogonal axes used in the description of this embodiment are defined as follows. That is, the axis perpendicular to the outer surface of the connection plate 23 is defined as the X-axis, the axis perpendicular to the inner surface of the base plate 21 is defined as the Z-axis, and the axis perpendicular to the X-axis and Z-axis is defined as the Y-axis. The X-axis direction corresponds to the front-rear direction (length direction) of the robot hand 1, the Z-axis direction corresponds to the up-down direction (thickness direction) of the robot hand 1, and the Y-axis direction corresponds to the left-right direction (width direction) of the robot hand 1. In addition, a straight line that passes through the center of the width of the base plate 21 and is parallel to the X-axis is defined as the base center line.
移動機構4は、把持機構3をベース板21の前後方向に沿って移動自在に支持する支持機構と、把持機構3の移動を駆動する図示しない駆動部とから構成される。支持機構は、ベース板21上にその前後方向と平行に設置されるレール41と、レール41に移動自在に係合される矩形板状のスライダブロック43とから構成される。駆動部としては、例えば、ボールネジ及びナットからなるボールネジ機構と、ボールネジを回転駆動するためのサーボモータとから構成される。スライダブロック43には把持機構3が設置され、ナットはスライダブロック43に接続されており、ボールネジの回転に従って把持機構3はベース板21の前後方向に沿って移動する。なお、ボールネジ機構は支持機構を兼用するものであってもよい。 The moving mechanism 4 is composed of a support mechanism that supports the gripping mechanism 3 so that it can move freely along the front-rear direction of the base plate 21, and a drive unit (not shown) that drives the movement of the gripping mechanism 3. The support mechanism is composed of a rail 41 that is installed on the base plate 21 parallel to the front-rear direction, and a rectangular plate-shaped slider block 43 that is movably engaged with the rail 41. The drive unit is composed of, for example, a ball screw mechanism consisting of a ball screw and a nut, and a servo motor for rotating the ball screw. The gripping mechanism 3 is installed on the slider block 43, and the nut is connected to the slider block 43, and the gripping mechanism 3 moves along the front-rear direction of the base plate 21 as the ball screw rotates. The ball screw mechanism may also serve as the support mechanism.
把持機構3は、一対のチャック機構31,32と、一対のチャック機構31,32の開閉を駆動するチャック駆動機構(図示しない)と、を有する。一対のチャック機構31,32は、ベース中心線を挟んで左右両側の、ベース中心線から等距離の位置にそれぞれ配置されるように、スライダブロック43にそれぞれ固定されている。一方のチャック機構31は接近・離反自在に設けられた一対のフィンガ311,312を有し、フィンガ311,312の開閉方向が上下方向と平行になり、且つフィンガ311,312の先端が前方を向くようにスライダブロック43に取り付けられている。同様に、他方のチャック機構32は接近・離反自在に設けられた一対のフィンガ321、322を有し、一対のフィンガ321,322の開閉方向が上下方向と平行になり、且つフィンガ321,322の先端が前方を向くようにスライダブロック43に取り付けられている。 The gripping mechanism 3 has a pair of chuck mechanisms 31, 32 and a chuck drive mechanism (not shown) that drives the pair of chuck mechanisms 31, 32 to open and close. The pair of chuck mechanisms 31, 32 are fixed to the slider block 43 so that they are disposed at equidistant positions from the base centerline on both the left and right sides of the base centerline. One chuck mechanism 31 has a pair of fingers 311, 312 that can move toward and away from each other, and is attached to the slider block 43 so that the opening and closing direction of the fingers 311, 312 is parallel to the vertical direction and the tips of the fingers 311, 312 face forward. Similarly, the other chuck mechanism 32 has a pair of fingers 321, 322 that can move toward and away from each other, and is attached to the slider block 43 so that the opening and closing direction of the pair of fingers 321, 322 is parallel to the vertical direction and the tips of the fingers 321, 322 face forward.
吸着部5は、一対の吸着パッド51,52を有する。一対の吸着パッド51,52は、ベース板21の前端に配置される。吸着パッド51,52各々は、円錐形状の弾性樹脂製の吸盤51a,52aを有する。吸盤51a,52aは円筒体51b,52bにそれぞれ連結され、典型的には一体成形される。吸盤51a,52aの底部には孔が開けられ、吸盤51a,52aの内部は円筒体51b,52bの内部に連通されている。円筒体51b,52bは吸盤51a,52aと同じく弾性樹脂製であり、吸盤51a,52aがワークWを吸着するとき適宜変形して、ワークWに加わる過度な圧力を吸収する。 The suction unit 5 has a pair of suction pads 51, 52. The pair of suction pads 51, 52 are arranged at the front end of the base plate 21. The suction pads 51, 52 each have a cone-shaped suction cup 51a, 52a made of elastic resin. The suction cups 51a, 52a are connected to cylindrical bodies 51b, 52b, respectively, and are typically molded as a single unit. A hole is drilled in the bottom of the suction cups 51a, 52a, and the inside of the suction cups 51a, 52a is connected to the inside of the cylindrical bodies 51b, 52b. The cylindrical bodies 51b, 52b are made of elastic resin like the suction cups 51a, 52a, and deform appropriately when the suction cups 51a, 52a suction the workpiece W, absorbing excessive pressure applied to the workpiece W.
ベース板21の前端の両側にはポール53,54がそれぞれ立設される。ポール53,54の先端には吸着パッド51,52がそれぞれ設置される。ポール53,54の長さは、ベース板21を基準にして吸着パッド51,52の接面の高さがフィンガ311,312(321,322)の開閉中心の高さに一致するように設定されている。それにより、把持機構3によりワークWの後端側が把持され、吸着パッド51,52によりワークWの前端側が吸着されている状態において、ワークWを平らな状態で維持することができ、ワークWが変形する事態、ワークWに折り目が付く事態を回避することができる。なお、一対の吸着パッド51,52の接面に一致するXY平面をロボットハンド1のワーク保持面と定義する。 Poles 53 and 54 are erected on both sides of the front end of the base plate 21. Suction pads 51 and 52 are installed on the tips of the poles 53 and 54. The length of the poles 53 and 54 is set so that the height of the contact surface of the suction pads 51 and 52 matches the height of the opening and closing center of the fingers 311 and 312 (321 and 322) with respect to the base plate 21. As a result, when the rear end side of the workpiece W is gripped by the gripping mechanism 3 and the front end side of the workpiece W is sucked by the suction pads 51 and 52, the workpiece W can be maintained in a flat state, and deformation of the workpiece W and creases in the workpiece W can be prevented. The XY plane that matches the contact surfaces of the pair of suction pads 51 and 52 is defined as the workpiece holding surface of the robot hand 1.
ポール53,54には、上下に貫通する配管が形成されている。ポール53,54の配管の先端は円筒体51b,52bにそれぞれ接続される。ポール53,54の配管はベース板21を通過してそれら後端はベース板21の下面から少し突出しており、ベース板21の配管の後端には加減圧装置8から延びるエアチューブが接続される。加減圧装置8から吸着パッド51,52まで、エアチューブおよびポール53,54の配管によりエア流路が形成される。 Pipes are formed in the poles 53 and 54, penetrating them vertically. The tips of the pipes of the poles 53 and 54 are connected to the cylinders 51b and 52b, respectively. The pipes of the poles 53 and 54 pass through the base plate 21, with their rear ends protruding slightly from the underside of the base plate 21, and an air tube extending from the pressure regulator 8 is connected to the rear end of the pipe of the base plate 21. An air flow path is formed from the pressure regulator 8 to the suction pads 51 and 52 by the air tube and the pipes of the poles 53 and 54.
加減圧装置8は、ポンプ、吸着部5にポンプを接続するエアチューブ、ポンプの吸引口と排気口とをエアチューブに対して切り替える電磁弁からなる。電磁弁の駆動制御により、吸着パッド51,52に対するエアの吸引と給気とが切り替えられる。ポンプの吸引口がエアチューブに接続されるとき、吸着パッド51,52の内部は減圧され、吸着パッド51,52はワークWを吸着する。ポンプの排気口がエアチューブに接続されるとき、吸着パッド51,52の内部は加圧され、吸着パッド51,52はワークWを吸着しない。吸着パッド51,52に給気されるとき、ワークWが少し浮上し、平滑に移動することができる。なお、吸着パッド51,52に給気(給気)されず、吸引(減圧)もされないとき、吸着パッド51,52の内部は大気圧に等価な状態になるが、その状態であっても、ワークWは吸着パッド51,52上を摺動しながら平滑に移動することができるように、吸着パッド51,52は自己潤滑性樹脂で形成されることが好ましい。 The pressurizing and depressurizing device 8 consists of a pump, an air tube that connects the pump to the suction section 5, and a solenoid valve that switches the suction port and exhaust port of the pump to the air tube. The solenoid valve is driven and controlled to switch between suction and supply of air to the suction pads 51 and 52. When the suction port of the pump is connected to the air tube, the inside of the suction pads 51 and 52 is depressurized, and the suction pads 51 and 52 adsorb the workpiece W. When the exhaust port of the pump is connected to the air tube, the inside of the suction pads 51 and 52 is pressurized, and the suction pads 51 and 52 do not adsorb the workpiece W. When air is supplied to the suction pads 51 and 52, the workpiece W floats slightly and can move smoothly. When air is not supplied to the suction pads 51, 52 and no suction (reduced pressure) is applied, the inside of the suction pads 51, 52 is at atmospheric pressure. However, even in this state, the suction pads 51, 52 are preferably made of a self-lubricating resin so that the workpiece W can move smoothly while sliding on the suction pads 51, 52.
なお、吸着パッド51,52の内部を加圧状態、減圧状態及び大気圧状態にすることができるのであれば、配管の構成は本実施形態に限定されない。また、本実施形態では、ワーク保持装置6は、単一の加減圧装置8を有する構成としたが、空気を吸引する機能を有する吸引ポンプなどの装置と、空気を排出する機能を有するコンプレッサなどの装置との2つの独立した装置を有する構成としてもよい。 The piping configuration is not limited to this embodiment as long as the inside of the suction pads 51, 52 can be pressurized, depressurized, or atmospheric. In this embodiment, the workpiece holding device 6 has a single pressurizing/depressurizing device 8, but it may have two independent devices, a suction pump or other device that has the function of sucking in air, and a compressor or other device that has the function of exhausting air.
本実施形態に係るワーク保持装置6を用いた矩形板状の薄いワークWのピックアップ動作を説明する。最初に、図5を参照して、基準姿勢時におけるロボットハンド1によるワークWのピックアップ動作を説明する。なお、基準姿勢は、レール41の上に把持機構3が載置された姿勢(ベース板21の内面が上向きになる姿勢)をいう。 The pick-up operation of a thin rectangular plate-shaped workpiece W using the workpiece holding device 6 according to this embodiment will be described. First, with reference to FIG. 5, the pick-up operation of the workpiece W by the robot hand 1 in the reference position will be described. Note that the reference position refers to the position in which the gripping mechanism 3 is placed on the rail 41 (the position in which the inner surface of the base plate 21 faces upward).
図5(a)に示すように、ロボットハンド1のワーク保持面の高さがベルトコンベア100により所定の位置まで搬送されたワークWの厚み中央の位置の高さに一致するように、ロボットアーム機構7によりロボットハンド1が移動される。ロボットハンド1においては、移動機構4により把持機構3がベース2の後端側の待機位置から前端側の把持位置まで移動される。 As shown in FIG. 5(a), the robot arm mechanism 7 moves the robot hand 1 so that the height of the workpiece holding surface of the robot hand 1 matches the height of the center of the thickness of the workpiece W transported to a predetermined position by the belt conveyor 100. In the robot hand 1, the movement mechanism 4 moves the gripping mechanism 3 from a standby position on the rear end side of the base 2 to a gripping position on the front end side.
図5(b)に示すように、ロボットアーム機構7によりロボットハンド1が前方に移動される。それにより、一対のフィンガ311,312(321,322)の間にワークWが挿入される。その後、ロボットハンド1において、一対のフィンガ311,312(321,322)が閉められる。それにより、ワークWが、その後端側において一対のフィンガ311,312(321,322)により把持される。 As shown in FIG. 5(b), the robot arm mechanism 7 moves the robot hand 1 forward. As a result, the workpiece W is inserted between the pair of fingers 311, 312 (321, 322). After that, the pair of fingers 311, 312 (321, 322) of the robot hand 1 are closed. As a result, the workpiece W is gripped at its rear end by the pair of fingers 311, 312 (321, 322).
図5(c)に示すように、ワークWをその後端側において把持する把持機構3が移動機構4により、ベース2の前端側の把持位置から後端側の待機位置まで移動される。この間、吸着パッド51,52の内部が加圧状態になるように、加減圧装置8が制御される。それにより、図7に示すように、吸着パッド51,52からワークWに向けてエアが吐出することができ、吸着パッド51,52の先端縁に対してワークWが少し浮上させることができるか、又は吸着パッド51,52の先端縁にワークWが接触してしまう場合であっても、吸着パッド51,52の先端縁とワークWとの間に発生する摩擦力を抑え、自重によりワークWが吸着パッド51,52の先端縁を押圧しながら移動してしまう事態を回避できる。いずれにしても、吸着パッド51,52からワークWに向けてエアを吐出することで、吸着パッド51,52の先端縁がワークWにより擦れて摩耗するのを抑えられるとともに、ワークWに傷がつくのを抑えられる。ワークWを把持した把持機構3が移動機構4により待機位置まで移動された後、吸着パッド51,52の内部が加圧状態から減圧状態にするように、加減圧装置8が制御される。それにより、吸着パッド51,52は、ワークWをその前端側において吸着することができる。 As shown in FIG. 5(c), the gripping mechanism 3 that grips the workpiece W at its rear end is moved by the moving mechanism 4 from the gripping position at the front end of the base 2 to the standby position at the rear end. During this time, the pressurizing and depressurizing device 8 is controlled so that the inside of the suction pads 51, 52 is pressurized. As a result, as shown in FIG. 7, air can be discharged from the suction pads 51, 52 toward the workpiece W, and the workpiece W can be slightly raised relative to the leading edges of the suction pads 51, 52, or even if the workpiece W comes into contact with the leading edges of the suction pads 51, 52, the frictional force generated between the leading edges of the suction pads 51, 52 and the workpiece W can be suppressed, and a situation in which the workpiece W moves while pressing the leading edges of the suction pads 51, 52 due to its own weight can be avoided. In any case, by discharging air from the suction pads 51, 52 toward the workpiece W, the leading edges of the suction pads 51, 52 can be prevented from being rubbed and worn by the workpiece W, and the workpiece W can be prevented from being scratched. After the gripping mechanism 3 gripping the workpiece W is moved to the standby position by the moving mechanism 4, the pressurizing and depressurizing device 8 is controlled so that the inside of the suction pads 51 and 52 changes from a pressurized state to a depressurized state. This allows the suction pads 51 and 52 to suction the workpiece W at their front ends.
図6を参照して、反転姿勢時におけるロボットハンド1によるワークWの把持動作を説明する。なお、反転姿勢は、基準姿勢時のロボットハンド1をX軸周りに180度回転させ、レール41の下に把持機構3が吊り下げられた姿勢(ベース板21の内面が下向きになる姿勢)をいう。 The gripping operation of the workpiece W by the robot hand 1 in the inverted posture will be described with reference to Figure 6. Note that the inverted posture refers to a posture in which the robot hand 1 in the reference posture is rotated 180 degrees around the X-axis, and the gripping mechanism 3 is suspended below the rail 41 (a posture in which the inner surface of the base plate 21 faces downward).
図6(a)に示すように、ロボットハンド1のワーク保持面の高さがベルトコンベア100により所定の位置まで搬送されたワークWの厚み中央の位置の高さに一致するように、ロボットアーム機構7によりロボットハンド1が移動される。ロボットハンド1においては、移動機構4により把持機構3がベース2の後端側の待機位置から前端側の把持位置まで移動される。 As shown in FIG. 6(a), the robot arm mechanism 7 moves the robot hand 1 so that the height of the workpiece holding surface of the robot hand 1 matches the height of the center of the thickness of the workpiece W transported to a predetermined position by the belt conveyor 100. In the robot hand 1, the movement mechanism 4 moves the gripping mechanism 3 from a standby position on the rear end side of the base 2 to a gripping position on the front end side.
図6(b)に示すように、ロボットアーム機構7によりロボットハンド1が前方に移動される。それにより、一対のフィンガ311,312(321,322)の間にワークWが挿入される。その後、ロボットハンド1において、一対のフィンガ311,312(321,322)が閉められる。それにより、ワークWが、その後端側において一対のフィンガ311,312(321,322)により把持される。 As shown in FIG. 6(b), the robot arm mechanism 7 moves the robot hand 1 forward. As a result, the workpiece W is inserted between the pair of fingers 311, 312 (321, 322). After that, the pair of fingers 311, 312 (321, 322) of the robot hand 1 are closed. As a result, the workpiece W is gripped at its rear end by the pair of fingers 311, 312 (321, 322).
図6(c)に示すように、ベルトコンベア上のワークWの位置が変化しないように、ロボットアーム機構7によりロボットハンド1が前方に移動されるのと同時に、移動機構4によりワークWを把持する把持機構3がベース2の前端側の把持位置から後端側の待機位置まで移動される。この間、吸着パッド51,52の内部が加圧状態になるように、加減圧装置8が制御されてもよい。それにより、吸着パッド51,52からワークWに向けてエアを吐出し、ワークWの前端側をベルトコンベア100の載置面に押し付けることができるため、何かしらの理由によりワークWの前端側が動いてしまう事態を回避することができる。また、ワークWの吸着箇所についた粉塵をエアにより飛ばすことができる。これらは、吸着パッド51,52にワークWが接触して吸着パッド51,52が破損するリスクの低減に寄与するとともに、吸着パッド51,52によるワークWの吸着動作の確実性の向上にも寄与する。その後、吸着パッド51,52の内部が減圧状態になるように、加減圧装置8が制御される。それにより、吸着パッド51,52は、ワークWをその前端側において吸着することができる。 6(c), the robot arm mechanism 7 moves the robot hand 1 forward so that the position of the workpiece W on the belt conveyor does not change, and at the same time, the moving mechanism 4 moves the gripping mechanism 3 that grips the workpiece W from the gripping position on the front end side of the base 2 to the standby position on the rear end side. During this time, the pressure increase/reduction device 8 may be controlled so that the inside of the suction pads 51, 52 is pressurized. This allows air to be discharged from the suction pads 51, 52 toward the workpiece W, and the front end side of the workpiece W can be pressed against the placement surface of the belt conveyor 100, so that it is possible to avoid a situation in which the front end side of the workpiece W moves for some reason. In addition, dust attached to the suction point of the workpiece W can be blown away by the air. These contribute to reducing the risk of the suction pads 51, 52 being damaged by the workpiece W coming into contact with them, and also contribute to improving the reliability of the suction operation of the suction pads 51, 52 to suction the workpiece W. After that, the pressure increase/reduction device 8 is controlled so that the inside of the suction pads 51, 52 is reduced pressure. This allows the suction pads 51 and 52 to suction the workpiece W at its front end.
なお、把持機構3の待機位置は、ワークWを把持した把持機構3が待機位置まで移動されたときに、ワークWの前端が、ベース2の前端よりも前方にわずかに突出するように決められている。それにより、後に説明するワークWのラック200への収容動作において、吸着パッド51,52がワークWを吸着した状態で、ラック200のワーク投入口にベース2の前端から突出したワークWの前端部分を挿し込むことができる。これは、ワークWの収容動作の確実性を向上させることに寄与する。また、把持機構3の把持位置は、把持機構3が把持位置に移動された状態で、一対のフィンガ311,312(321,322)の先端が、ベース2の前端よりも前方に突出するように決められている。それにより、一対のフィンガ311,312(321,322)をワークWに近づけていく動作中に、ベース2がベルトコンベア100などの周囲の装置や部材に衝突するリスクを低減することができる。 The waiting position of the gripping mechanism 3 is determined so that when the gripping mechanism 3 gripping the workpiece W is moved to the waiting position, the front end of the workpiece W protrudes slightly forward from the front end of the base 2. As a result, in the operation of storing the workpiece W in the rack 200 described later, the front end portion of the workpiece W protruding from the front end of the base 2 can be inserted into the work insertion port of the rack 200 with the suction pads 51 and 52 suctioning the workpiece W. This contributes to improving the reliability of the operation of storing the workpiece W. In addition, the gripping position of the gripping mechanism 3 is determined so that when the gripping mechanism 3 is moved to the gripping position, the tips of the pair of fingers 311, 312 (321, 322) protrude forward from the front end of the base 2. As a result, the risk of the base 2 colliding with surrounding devices and members such as the belt conveyor 100 during the operation of moving the pair of fingers 311, 312 (321, 322) closer to the workpiece W can be reduced.
次に、図8~図10を参照して、本実施形態に係るワーク保持装置6によるラック200へのワークWの収容動作を説明する。図8、図9に示すように、ロボットアーム機構7によりロボットハンド1が移動され、ロボットハンド1に保持されたワークWの前端部分がワーク投入口に挿し込まれる。その後、吸着パッド51,52の内部が減圧状態から大気圧状態に遷移するように、加減圧装置8が制御される。それにより、ワークWの前端側は自由となる。次に、図10に示すように、移動機構4により把持機構3がベース2の後端側の待機位置から前端位置まで移動される。この間、吸着パッド51,52の内部が大気圧状態から加圧状態に遷移するように、加減圧装置8が制御される。それにより、図7に示すように、吸着パッド51,52からワークWに向けてエアを吐出することができ、吸着パッド51,52の先端縁とワークWとの間に発生する摩擦力を抑え、自重によりワークWが吸着パッド51,52の先端縁に接触しながら移動することによる吸着パッド51,52の先端縁の摩耗を抑制するとともに、吸着パッドの51,52先端縁に接触することによってワークWに傷がついてしまう事態を回避することができる。その後、把持機構3の一対のフィンガ311,312(321,322)が開かれ、ワークWがラック200に収容される。 Next, referring to Figures 8 to 10, the operation of storing the workpiece W in the rack 200 by the workpiece holding device 6 according to this embodiment will be described. As shown in Figures 8 and 9, the robot arm mechanism 7 moves the robot hand 1, and the front end portion of the workpiece W held by the robot hand 1 is inserted into the workpiece insertion port. The pressurizing and depressurizing device 8 is then controlled so that the inside of the suction pads 51, 52 transitions from a reduced pressure state to an atmospheric pressure state. This frees the front end side of the workpiece W. Next, as shown in Figure 10, the moving mechanism 4 moves the gripping mechanism 3 from a standby position on the rear end side of the base 2 to the front end position. During this time, the pressurizing and depressurizing device 8 is controlled so that the inside of the suction pads 51, 52 transitions from an atmospheric pressure state to a pressurized state. As a result, as shown in FIG. 7, air can be discharged from the suction pads 51, 52 toward the workpiece W, suppressing the frictional force generated between the leading edges of the suction pads 51, 52 and the workpiece W, suppressing wear on the leading edges of the suction pads 51, 52 caused by the workpiece W moving while contacting the leading edges of the suction pads 51, 52 due to its own weight, and preventing the workpiece W from being scratched by contacting the leading edges of the suction pads 51, 52. After that, the pair of fingers 311, 312 (321, 322) of the gripping mechanism 3 is opened, and the workpiece W is stored in the rack 200.
以上説明した本実施形態に係るワーク保持装置6によれば、把持機構3はワークWをその後端側の左右両縁付近の2箇所において把持することができ、吸着パッド51,52はワークWをその前端側の左右両縁付近も2箇所において吸着することができる。その結果、ワーク保持装置6は、矩形板状のワークWの四隅を保持することができる。それにより、自重によりワークWの部分が撓む事態や搬送中の空気抵抗によりワークWが折れ曲がる事態を回避することができ、搬送速度の低下を抑えられる。また、ワーク保持装置6によりワークWがベース2に対して一時的に固定できるため、搬送時、収容時におけるロボットハンド1の姿勢の自由度を高くすることができる。それにより、ベルトコンベア100からのワークWのピックアップ時において、周辺環境に応じて、ロボットハンド1の姿勢を基準姿勢、反転姿勢から選択することができるだけではなく、ワーク投入口の向きが上向きであったり、上向きから少し傾斜していたりなど、ラック200のワーク投入口の向きに柔軟に対応することができる。また、搬送速度の低下を抑えられ、搬送中のロボットハンド1の姿勢が自由であることで、全体のタスク時間を短縮することができる。 According to the workpiece holding device 6 of the present embodiment described above, the gripping mechanism 3 can grip the workpiece W at two points near both the left and right edges on the rear end side, and the suction pads 51 and 52 can also suction the workpiece W at two points near both the left and right edges on the front end side. As a result, the workpiece holding device 6 can hold the four corners of the rectangular plate-shaped workpiece W. This makes it possible to avoid the workpiece W from bending due to its own weight or bending due to air resistance during transportation, thereby suppressing a decrease in the transportation speed. In addition, since the workpiece W can be temporarily fixed to the base 2 by the workpiece holding device 6, the degree of freedom of the posture of the robot hand 1 during transportation and storage can be increased. As a result, when picking up the workpiece W from the belt conveyor 100, not only can the posture of the robot hand 1 be selected from the standard posture and the inverted posture according to the surrounding environment, but it can also flexibly respond to the orientation of the workpiece input port of the rack 200, such as the orientation of the workpiece input port being upward or slightly inclined from the upward orientation. In addition, the overall task time can be shortened by preventing a decrease in transport speed and allowing the robot hand 1 to assume any position during transport.
また、図10に示すように、ワーク保持装置6によるラック200へのワークWの収容動作は、ロボットアーム機構7によりロボットハンド1がワーク投入口の外側に移動された後、ロボットハンド1の移動機構4を前方に移動させるだけでよい。ワーク投入口からラック200の内部にロボットハンド1を進入させる必要がないため、ラック200のワーク投入口がワークWの厚みとほぼ同じ高さしかないような狭い場合であっても、ワーク保持装置6を使用して、ワークWをラック200に収容することができる。 As shown in FIG. 10, the workpiece W can be stored in the rack 200 by the workpiece holding device 6 by simply moving the moving mechanism 4 of the robot hand 1 forward after the robot arm mechanism 7 has moved the robot hand 1 to the outside of the workpiece insertion opening. Since there is no need to insert the robot hand 1 into the rack 200 from the workpiece insertion opening, the workpiece W can be stored in the rack 200 by using the workpiece holding device 6 even if the workpiece insertion opening of the rack 200 is narrow and has a height approximately equal to the thickness of the workpiece W.
本実施形態では、ワークWが矩形状の薄い板としたため、ワークWの四隅を保持できるように一対の吸着パッド51,52と一対のチャック機構31,32を有する構成としたが、ワークWの形状、大きさ、重さなどに応じて、吸着パッドの数、チャック機構の数を任意に変更することができる。また、複数のチャック機構を左右方向だけでなく、前後方向にずらしてスライダブロック43に設けてもよい。また、複数の吸着パッドを左右方向だけでなく、前後方向にずらした位置に設けてもよい。また、一対のチャック機構31,32が単一の移動機構4で移動される構成ではなく、チャック機構それぞれが独立して移動できるように構成してもよい。また、単一のチャック機構に2組の一対のフィンガを開閉自在に設けるように構成してもよい。 In this embodiment, since the workpiece W is a thin rectangular plate, a pair of suction pads 51, 52 and a pair of chuck mechanisms 31, 32 are provided to hold the four corners of the workpiece W. However, the number of suction pads and the number of chuck mechanisms can be changed as desired depending on the shape, size, weight, etc. of the workpiece W. In addition, multiple chuck mechanisms may be provided on the slider block 43, shifted not only in the left-right direction but also in the front-back direction. In addition, multiple suction pads may be provided at positions shifted not only in the left-right direction but also in the front-back direction. In addition, instead of a configuration in which the pair of chuck mechanisms 31, 32 are moved by a single moving mechanism 4, each chuck mechanism may be configured to move independently. In addition, a single chuck mechanism may be configured to have two pairs of fingers that can be opened and closed freely.
ワークWを吸着できるのであれば、その吸着構造は本実施形態に限定されない。例えば、ワークWが磁性材料からなるものであれば、磁力によりワークWを吸着することができる電磁石を使うことができる。以下、本実施形態に係るワーク保持装置6における吸着パッド51,52を電磁石55,56に代替えした変形例に係るワーク保持装置60を説明する。図11に示すように、変形例に係るワーク保持装置60は、電磁石駆動部80を有する。電磁石駆動部80は、ロボット制御装置90の制御に従って、電磁石55,56に電流を供給し、電流供給を停止する。 The chucking structure is not limited to this embodiment, so long as it can chuck the workpiece W. For example, if the workpiece W is made of a magnetic material, an electromagnet can be used that can chuck the workpiece W by magnetic force. Below, a workpiece holding device 60 according to a modified example in which the suction pads 51, 52 in the workpiece holding device 6 according to this embodiment are replaced with electromagnets 55, 56 will be described. As shown in FIG. 11, the workpiece holding device 60 according to the modified example has an electromagnet drive unit 80. The electromagnet drive unit 80 supplies current to the electromagnets 55, 56 and stops the current supply according to the control of the robot control device 90.
図12に示すように、一対の電磁石55,56は、本実施形態における一対の吸着パッド51,52と同じ位置にそれぞれ設けられる。すなわち、ベース板21の前端の両側にはポール57、58がそれぞれ立設される。一対の電磁石55,56は、ポール57、58の先端にそれぞれ設置される。電磁石55,56の先端には、ワークWが電磁石55,56に擦れ傷つくのを抑えるためのパッドが装着されていてもよい。ポール57、58の長さは、ベース板21を基準にして電磁石55,56の接面の高さ又は電磁石55,56の先端に設けられたパッドの接面の高さフィンガ311,312(321、322)の開閉中心の高さに一致するように設定されている。 As shown in FIG. 12, the pair of electromagnets 55, 56 are provided at the same positions as the pair of suction pads 51, 52 in this embodiment. That is, poles 57, 58 are provided on both sides of the front end of the base plate 21. The pair of electromagnets 55, 56 are installed at the tips of the poles 57, 58. Pads may be attached to the tips of the electromagnets 55, 56 to prevent the workpiece W from being scratched by the electromagnets 55, 56. The length of the poles 57, 58 is set so that the height of the contact surface of the electromagnets 55, 56 or the height of the contact surface of the pads provided at the tips of the electromagnets 55, 56 is equal to the height of the opening and closing center of the fingers 311, 312 (321, 322) based on the base plate 21.
例えば、変形例に係るワーク保持装置60によるワークWのピックアップ動作は、図5(c)を参照して説明することができる。移動機構4によりワークWを把持する把持機構3がベース2の前端側の把持位置から後端側の待機位置まで移動された後、電磁石55,56は、電磁石駆動部80により帯磁される。それにより、電磁石55,56はワークWを引き寄せ、吸着することができる。変形例に係るワーク保持装置60によるワークWの収容動作は、図10を参照して説明することができる。移動機構4により把持機構3がベース2の後端側の待機位置から前端位置まで移動された後、電磁石55,56は、電磁石駆動部80により消磁され、それにより、ワークWがラック200に収容される。 For example, the pick-up operation of the workpiece W by the workpiece holding device 60 according to the modified example can be explained with reference to FIG. 5(c). After the gripping mechanism 3 that grips the workpiece W is moved by the moving mechanism 4 from the gripping position on the front end side of the base 2 to the standby position on the rear end side, the electromagnets 55 and 56 are magnetized by the electromagnet driving unit 80. As a result, the electromagnets 55 and 56 can attract and adsorb the workpiece W. The storage operation of the workpiece W by the workpiece holding device 60 according to the modified example can be explained with reference to FIG. 10. After the gripping mechanism 3 is moved by the moving mechanism 4 from the standby position on the rear end side of the base 2 to the front end position, the electromagnets 55 and 56 are demagnetized by the electromagnet driving unit 80, and the workpiece W is stored in the rack 200.
このように、吸着部5として電磁石55,56を採用した変形例に係るワーク保持装置60によれば、吸着部5として吸着パッド51,52を採用した本実施形態に係るワーク保持装置6と同様にワークWのピックアップ動作、搬送動作、収容動作を行うことができ、同様の効果を奏することができる。 In this way, the workpiece holding device 60 according to the modified example, which employs electromagnets 55, 56 as the suction unit 5, can pick up, transport, and store the workpiece W in the same manner as the workpiece holding device 6 according to the present embodiment, which employs suction pads 51, 52 as the suction unit 5, and can achieve the same effects.
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。 Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented as examples and are not intended to limit the scope of the invention. These embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, substitutions, and modifications can be made without departing from the gist of the invention. These embodiments and their modifications are within the scope of the invention and its equivalents as set forth in the claims, as well as the scope and gist of the invention.
1…ロボットハンド、2…ベース、21…ベース板、23…接続板、25…アダプタ、3…把持機構、31,32…チャック機構、311,312,321,322…フィンガ、4…移動機構、41…レール、43…スライダブロック、5…吸着部、51,52…吸着パッド、53,54…ポール。 1...robot hand, 2...base, 21...base plate, 23...connection plate, 25...adapter, 3...gripping mechanism, 31, 32...chuck mechanism, 311, 312, 321, 322...fingers, 4...movement mechanism, 41...rail, 43...slider block, 5...suction part, 51, 52...suction pad, 53, 54...pole.
Claims (6)
前記吸盤の内部を加減圧する加減圧部と、
前記吸盤の内部の減圧により前記把持されたワークを前記吸盤に吸着させるために前記加減圧部を制御し、前記吸盤の内部の加圧により前記吸盤から前記ワークに向けてエアを吐出させて前記ワークを浮上させながら前記把持されたワークを前後に移動させるために前記加減圧部と前記移動機構とを制御する制御部とを具備するワーク保持装置。 a robot hand including a base plate, a gripping mechanism that grips a plate-shaped workpiece at its rear end, a moving mechanism that is provided on the base plate and that moves the gripping mechanism along a front-rear direction of the base plate, and at least one suction pad that is provided on a front end of the base plate and has a suction cup for suctioning the gripped workpiece at its front end;
A pressure increasing/decreasing unit that increases/decreases the pressure inside the suction cup;
a control unit that controls the pressurization/depressurization unit to adsorb the gripped workpiece to the suction cup by reducing the pressure inside the suction cup, and controls the pressurization/depressurization unit and the moving mechanism to move the gripped workpiece back and forth while lifting it by ejecting air from the suction cup toward the workpiece by applying pressure inside the suction cup.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020156585A JP7601588B2 (en) | 2020-09-17 | 2020-09-17 | Work holding device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2020156585A JP7601588B2 (en) | 2020-09-17 | 2020-09-17 | Work holding device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022050150A JP2022050150A (en) | 2022-03-30 |
| JP7601588B2 true JP7601588B2 (en) | 2024-12-17 |
Family
ID=80854288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2020156585A Active JP7601588B2 (en) | 2020-09-17 | 2020-09-17 | Work holding device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7601588B2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN120674369B (en) * | 2025-08-20 | 2025-11-18 | 鑫业诚智能装备(无锡)有限公司 | A transmission mechanism and detection equipment |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001269737A (en) | 2000-03-24 | 2001-10-02 | Amada Co Ltd | Work clamp apparatus for work operating robot |
| JP2002231801A (en) | 2001-01-30 | 2002-08-16 | Kondo Seisakusho:Kk | Finger for transferring semiconductor substrate |
| JP2003527737A (en) | 1998-07-11 | 2003-09-16 | セミトゥール・インコーポレイテッド | Robot for handling microelectronic workpieces |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0624517A (en) * | 1992-07-13 | 1994-02-01 | Fujitsu Ltd | Robot hand for printed board |
| JPH06344034A (en) * | 1993-06-07 | 1994-12-20 | Komatsu Ltd | Press brake robot system, work discharge method and robot hand in the system |
-
2020
- 2020-09-17 JP JP2020156585A patent/JP7601588B2/en active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003527737A (en) | 1998-07-11 | 2003-09-16 | セミトゥール・インコーポレイテッド | Robot for handling microelectronic workpieces |
| JP2001269737A (en) | 2000-03-24 | 2001-10-02 | Amada Co Ltd | Work clamp apparatus for work operating robot |
| JP2002231801A (en) | 2001-01-30 | 2002-08-16 | Kondo Seisakusho:Kk | Finger for transferring semiconductor substrate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2022050150A (en) | 2022-03-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230711 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240820 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20241017 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20241105 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20241205 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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