JP7604716B2 - 流量制御弁 - Google Patents

Description

本開示は、例えば、建設機械の油圧回路に設けられ、油圧ポンプからアクチュエータに供給される作動油の流量を制御する流量制御弁に関する。

油圧ショベル、油圧クレーン、ホイールローダ等の建設機械の油圧回路には、流量制御機能を有するシート弁型の流量制御弁が設けられている。例えば、特許文献１には、チェック弁（主弁）を備えたスプール弁が記載されている。

特開２００６－０１７２７３号公報（特許第4463028号公報）

ところで、図２４は、比較例による流量制御弁１０１を示している。この比較例による流量制御弁１０１は、例えば、後述の図２に示すような制御弁装置２１に組込まれる。なお、後述の図２に示す制御弁装置２１は、第１の実施の形態の流量制御弁３３（主弁４３）が組込まれている。ここでは、図２の制御弁装置２１に、図２中の第１の実施の形態の流量制御弁３３（主弁４３）ではなく、図２４中の比較例による流量制御弁１０１（主弁１０２）が組込まれている場合を、比較例として説明する。比較例による流量制御弁１０１は、パイロット弁５５（図２参照）に設けられたパイロット絞り５６（図２参照）の開口量を可変に制御することで、主弁１０２に設けられたフィードバック絞り１０３の開口量がパイロット絞り５６（図２参照）の開口量と対応するように主弁１０２の変位量が制御される。これにより、主弁１０２に設けられた主弁絞り１０４の開口量が可変に制御され、入口側流路１０５から出口側流路１０６への流量を所望の値に制御することができる。

例えば、パイロット絞り５６（図２参照）の開口量が小さくなる側にパイロット弁５５（図２参照）が変化した場合、主弁１０２の背圧室１０７の圧力（背圧）は、入口側流路１０５の圧力に近づく。このため、背圧の上昇によって主弁１０２には閉弁方向の力が与えられ、主弁１０２は閉弁方向に変位する。一方、主弁１０２の閉弁方向の変位に伴って、フィードバック絞り１０３の開口量は減少するため、背圧室１０７の圧力（背圧）は出口側流路１０６の圧力に近づき、背圧の減少によって主弁１０２には開弁方向の力が与えられる。この位置フィードバック作用の結果、主弁１０２は、「入口側流路１０５と出口側流路１０６の圧力による開弁方向の力」と「背圧とばね１０８による閉弁方向の力」とが釣合う位置にて停止する。

図２５は、「パイロット弁５５の変位量」と「フィードバック絞り１０３の開口量、パイロット絞り５６の開口量、主弁１０２の変位量および主弁絞り１０４の開口量」との関係の一例を示す特性線図である。図２５に示すように、パイロット弁５５の変位量が「０」から「変位Ａ」まで変化すると、パイロット絞り５６の開口量は減少し、それに伴って主弁１０２の変位量も主弁絞り１０４の開口量も減少し、主弁絞り１０４の開口量は「０」に達する。次いで、パイロット弁５５の変位量が「変位Ａ」から「変位Ｂ」まで変化すると、パイロット絞り５６の開口量はさらに減少し、それに伴って主弁１０２の変位量も減少して「０」に達する。図２４は、パイロット弁５５の変位量が「変位Ｂ」における主弁１０２の状態を示している。

ここで、入口側流路１０５から出口側流路１０６への流量を０にするまで、即ち、入口側流路１０５と出口側流路１０６とが主弁１０２によって遮断される（主弁絞り１０４の開口量が０になる）まで制御できる構成とする場合、２つの問題が生じていた。以下、この点について説明する。

先ず、第１の問題は、パイロット絞り５６の開口量の比例制御範囲に、主弁絞り１０４の開口量を比例制御できない範囲（図２５の「変位Ａ」と「変位Ｂ」との間）が含まれていることである。この範囲は、主弁絞り１０４の開口量の比例制御範囲を拡大して比例制御性を向上させることに活用することができない。即ち、主弁１０２には、シート部１０２Ａと円筒部１０２Ｂとが設けられているが、その間には工具逃げ溝１０２Ｃが設けられている。これは、シート部１０２Ａと円筒部１０２Ｂの寸法精度および表面粗さを確保するために、ものづくり上必要な部位である。しかし、この範囲は、主弁１０２の変位を比例制御しても主弁絞り１０４の開口部１０４Ａは遮断されているため、開口制御に対しては無駄な制御範囲となっている。これに対して、比例制御範囲を拡大すべく、開弁方向の最大変位量を増加させることが考えられる。しかし、この場合は、部品の大型化およびコスト増加を招いてしまう。

次に、第２の問題は、主弁絞り１０４の開口部１０４Ａの開口・遮断が切換わる主弁１０２の変位近傍において、流体力により主弁１０２の変位が振動的な挙動となることである。即ち、主弁絞り１０４の開口量が「０」に近付くにつれて、主弁絞り１０４を通過する噴流の向きは主弁１０２の軸方向に近付く。これにより、主弁絞り１０４の開口量が「０」に近付くにつれて、主弁１０２の軸方向に作用する流体力が増大し、振動的な挙動を引き起こし易くなる。これに対して、振動的な挙動を抑制すべく、主弁１０２を大型化し、主弁１０２に作用する圧力に対する流体力の大きさを相対的に小さくすることが考えられる。しかし、この場合も、部品の大型化およびコスト増加を招いてしまう。

本発明の目的は、パイロット絞りの開口量の比例制御範囲に対して主弁絞りの開口量を比例制御できる範囲を拡大し、かつ、主弁絞りの開口部の開口・遮断が切換わる主弁の変位近傍において流体力による主弁の変位の振動的な挙動を抑制し、高精度な流量制御を実現する流量制御弁を提供することにある。

本発明は、ハウジングと、前記ハウジングに設けられた主弁室と、前記主弁室に摺動可能に設けられ、弁部を有する主弁と、前記主弁室の一端側に設けられ、前記主弁の弁部が離着座することで作動流体を連通、遮断する主弁座と、前記主弁に対して前記主弁座から離れる方向の圧力を与えると共に、前記主弁室の外部から前記主弁室の内部に作動流体を導入する入口側流路と、前記主弁が前記主弁座から離れたときに前記主弁室の内部から前記主弁室の外部に作動流体を導出すると共に、前記主弁に対して前記主弁座から離れる方向の圧力を与える出口側流路と、前記主弁室の他端側に設けられ、前記主弁に対して前記主弁座に近付く方向の圧力を与える背圧室と、前記主弁に設けられ、前記入口側流路と前記背圧室とを連通するフィードバック流路と、前記ハウジングに設けられ、前記背圧室と前記出口側流路とを連通するパイロット流路と、前記主弁に設けられ、前記主弁の前記主弁座から離れる方向の変位に伴って前記入口側流路と前記出口側流路との間の開口量を増大させる主弁絞りと、前記フィードバック流路と前記背圧室との間に設けられ、前記主弁の前記主弁座から離れる方向の変位に伴って前記フィードバック流路と前記背圧室との間の開口量を増大させるフィードバック絞りと、前記ハウジングに摺動可能に設けられたパイロット弁と、前記パイロット弁に設けられ、前記パイロット弁の変位に伴って前記パイロット流路の開口量を減少または増大させるパイロット絞りと、を備え、前記パイロット絞りの開口量に応じて前記主弁の変位量を制御することにより、前記入口側流路から前記出口側流路への流量を可変に制御する流量制御機能を有する流量制御弁において、前記フィードバック絞りは、前記主弁の前記主弁座に近付く方向の変位に対する前記フィードバック絞りの開口量の変化率が小さい側に変化するように前記フィードバック絞りの開口量の変化区間を分ける境界部を少なくとも１つ以上有し、前記境界部のうち少なくとも１つは、前記主弁の前記主弁座に近付く方向の変位に対して、前記主弁絞りの開口部が遮断される位置に対応する前記主弁の変位領域内に存在するか、またはこれよりも前記主弁の前記主弁座に近い変位区間に存在する。

本発明によれば、パイロット絞りの開口量の比例制御範囲に対して主弁絞りの開口量を比例制御できる範囲を拡大し、かつ、主弁絞りの開口部の開口・遮断が切換わる主弁の変位近傍において流体力による主弁の変位の振動的な挙動を抑制し、高精度な流量制御を実現できる。

第１の実施の形態による流量制御弁を油圧ショベルの油圧回路に適用した場合を示す全体構成図である。 図１中の流量制御弁および方向制御弁を示す縦断面図である。 図２中の（III）部を拡大して示す縦断面図である。 フィードバック絞りの開口量の変化率が変化する境界部まで開弁した状態の主弁を示す図３と同様位置の縦断面図である。 最大開弁位置の主弁を示す図３と同様位置の縦断面図である。 主弁（弁部材）を示す斜視図である。 主弁（弁部材）を示す平面図である。 図７の状態から周方向に９０度回転させた状態の主弁（弁部材）を示す平面図である。 図７中の矢示IX－IX方向から見た主弁（弁部材）の縦断面図である。 図８中の矢示Ｘ－Ｘ方向から見た主弁（弁部材）の縦断面図である。 図１０中の矢示XI－XI方向から見た主弁（弁部材）の横断面図である。 第１の実施の形態によるパイロット弁変位量とフィードバック絞り開口量とパイロット絞り開口量と主弁変位量と主弁絞り開口量との関係の一例を示す特性線図である。 主弁変位量と主弁絞り開口量とフィードバック絞り開口量との関係の一例を示す特性線図である。 第２の実施の形態による主弁（弁部材）を示す斜視図である。 第２の実施の形態による主弁（弁部材）を示す平面図である。 図１５中の矢示XVI－XVI方向から見た主弁（弁部材）の縦断面図である。 第２の実施の形態によるフィードバック絞りを切断して示す斜視図である。 第１の変形例による主弁（弁部材）を示す斜視図である。 第１の変形例による主弁（弁部材）を示す平面図である。 図１９中の矢示XX－XX方向から見た主弁（弁部材）の縦断面図である。 第２の変形例による主弁（弁部材）を示す斜視図である。 第２の変形例による主弁（弁部材）を示す平面図である。 図２２中の矢示XXIII－XXIII方向から見た主弁（弁部材）の縦断面図である。 比較例による流量制御弁を示す縦断面図である。 比較例によるパイロット弁変位量とフィードバック絞り開口量とパイロット絞り開口量と主弁変位量と主弁絞り開口量との関係の一例を示す特性線図である。

以下、実施の形態による流量制御弁を、油圧ショベルの油圧回路に適用した場合を例に挙げ、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。

図１ないし図１３は、第１の実施の形態を示している。図１において、建設機械の代表例である油圧ショベル１は、自走可能なクローラ式の下部走行体２と、下部走行体２上に旋回可能に搭載された上部旋回体３と、上部旋回体３の前部側に俯仰の動作が可能に設けられ掘削作業等を行う多関節構造の作業装置４とを含んで構成されている。この場合、下部走行体２と上部旋回体３は、油圧ショベル１の車体を構成している。

作業機またはフロントとも呼ばれる作業装置４は、例えば、ブーム５、アーム６、作業具としてのバケット７を含んで構成されている。また、作業装置４は、ブーム５を駆動する油圧アクチュエータ（液圧アクチュエータ）としてのブームシリンダ８、アーム６を駆動する油圧アクチュエータとしてのアームシリンダ９、バケット７を駆動する油圧アクチュエータとしてのバケットシリンダ１０（作業具シリンダ）を含んで構成されている。作業装置４は、油圧ポンプ１１からの圧油の供給に基づいて、油圧シリンダであるシリンダ８，９，１０が伸長または縮小することにより、俯仰の動作をする。なお、図１では、図面が複雑になることを避けるために、主としてブームシリンダ８とアームシリンダ９に関する油圧回路を示している。

油圧ショベル１の上部旋回体３に搭載されたメインの油圧ポンプ１１は、タンク１２と共に油圧源を構成している。油圧ポンプ１１は、例えば、ディーゼルエンジン等の原動機（図示せず）により回転駆動される。油圧ポンプ１１は、タンク１２内の作動油を吸込んでポンプ管路１３およびセンタバイパス管路１４に向けて圧油を吐出（供給）する。ポンプ管路１３およびセンタバイパス管路１４に吐出した圧油は、ブーム用方向制御弁１６を介してブームシリンダ８に供給され、アーム用方向制御弁１８を介してアームシリンダ９に供給される。また、ブーム用方向制御弁１６およびアーム用方向制御弁１８とタンク１２との間には、例えばブームシリンダ８およびアームシリンダ９からの戻り油をタンク１２側に還流させるためのタンク管路１５が設けられている。

ここで、ポンプ管路１３の途中には、分岐管路１３Ａ，１３Ｂが設けられている。一方の分岐管路１３Ａは、後述の流量制御弁３３を介してアーム用方向制御弁１８の高圧側ポート（即ち、図２中に示す後述の出口側流路２７）に接続されている。他方の分岐管路１３Ｂは、後述するブーム用方向制御弁１６の高圧側ポートに接続されている。なお、ポンプ管路１３とタンク管路１５は、別の分岐管路、別の方向制御弁（いずれも図示せず）等を介してバケットシリンダ１０等にも接続されている。

ブームシリンダ８用の方向制御弁であるブーム用方向制御弁１６（以下、ブーム用制御弁１６という）は、左，右の油圧パイロット部１６Ａ，１６Ｂを有しており、常時は中立位置（イ）に保持される。ブーム用制御弁１６は、左，右の油圧パイロット部１６Ａ，１６Ｂに対して、例えば油圧パイロット式の操作弁であるブーム用レバー操作装置（図示せず）からパイロット圧が供給されることにより、中立位置（イ）から切換位置（ロ），（ハ）に切換えられる。

一対のアクチュエータ管路１７Ａ，１７Ｂは、ブームシリンダ８とブーム用制御弁１６との間に設けられている。一方のアクチュエータ管路１７Ａは、ブームシリンダ８のボトム側油室（図示せず）をブーム用制御弁１６の一方の圧油流出入ポートに接続する。他方のアクチュエータ管路１７Ｂは、ブームシリンダ８のロッド側油室（図示せず）をブーム用制御弁１６の他方の圧油流出入ポートに接続する。

アームシリンダ９用の方向制御弁であるアーム用方向制御弁１８(以下、アーム用制御弁１８という）は、左，右の油圧パイロット部１８Ａ，１８Ｂを有しており、常時は中立位置（イ）に保持される。アーム用制御弁１８は、左，右の油圧パイロット部１８Ａ，１８Ｂに対して、例えば油圧パイロット式の操作弁であるアーム用レバー操作装置（図示せず）からパイロット圧が供給されることにより、中立位置（イ）から切換位置（ロ），（ハ）に切換えられる。

一対のアクチュエータ管路１９Ａ，１９Ｂは、アームシリンダ９とアーム用制御弁１８との間に設けられている。一方のアクチュエータ管路１９Ａは、アームシリンダ９のボトム側油室（図示せず）をアーム用制御弁１８の一方の圧油流出入ポート（即ち、図２中に示す流出入通路２８Ｂ）に接続する。他方のアクチュエータ管路１９Ｂは、アームシリンダ９のロッド側油室（図示せず）をアーム用制御弁１８の他方の圧油流出入ポート（即ち、図２中に示す流出入通路２８Ａ）に接続する。

アーム用制御弁１８が中立位置（イ）から切換位置（ロ）に切換えられたときには、油圧ポンプ１１からの圧油が分岐管路１３Ａ、後述の流量制御弁３３、アーム用制御弁１８、アクチュエータ管路１９Ａを介してアームシリンダ９のボトム側油室に供給される。ロッド側油室内の圧油は、アクチュエータ管路１９Ｂ、アーム用制御弁１８、タンク管路１５を介してタンク１２に排出される。これにより、アームシリンダ９は、ボトム側油室に供給された圧油により伸長し、アーム６を下向きに回動する。

アーム用制御弁１８が中立位置（イ）から切換位置（ハ）に切換えられたときには、油圧ポンプ１１からの圧油が分岐管路１３Ａ、流量制御弁３３、アーム用制御弁１８、アクチュエータ管路１９Ｂを介してアームシリンダ９のロッド側油室に供給される。ボトム側油室内の圧油は、アクチュエータ管路１９Ａ、アーム用制御弁１８、タンク管路１５を介してタンク１２に排出される。これにより、アームシリンダ９は、ロッド側油室に供給された圧油により縮小し、アーム６を上向きに回動する。

リリーフ弁２０は、設定圧可変式のリリーフ弁である。リリーフ弁２０は、ポンプ管路１３およびセンタバイパス管路１４とタンク管路１５との間に設けられている。リリーフ弁２０は、例えば、ポンプ管路１３内の圧力が設定圧以上に上昇すると開弁し、このときの過剰圧をタンク管路１５側にリリーフする。リリーフ弁２０は、圧力設定用ばね２０Ａおよびパイロット油室２０Ｂ等を有しており、外部からパイロット油室２０Ｂに供給されるパイロット圧に従って圧力設定用ばね２０Ａの設定圧力が変化する。これにより、リリーフ弁２０は、リリーフ設定圧が低圧設定と高圧設定との間で２段階または３段以上の多段階に調整可能な構成となっている。

制御弁装置２１は、アーム用制御弁１８と後述の流量制御弁３３とを含んで構成されている。図２に示すように、制御弁装置２１は、アーム用制御弁１８と流量制御弁３３とに共通したハウジング２２を有している。この場合、ハウジング２２は、アーム用制御弁１８のスプール２９および流量制御弁３３の主弁４３を収容するメインハウジング２３と、流量制御弁３３の主弁４３およびパイロット弁５５を収容するパイロットハウジング３６とを含んで構成されている。これらメインハウジング２３とパイロットハウジング３６は、それぞれ別部品として別々に形成されている。そして、メインハウジング２３にパイロットハウジング３６を取付けることにより、一つのハウジング２２を構成している。

次に、制御弁装置２１のアーム用制御弁１８について説明する。なお、図２では、中立位置（イ）の状態のアーム用制御弁１８を示している。

アーム用制御弁１８は、油圧ポンプ１１からアームシリンダ９に供給される圧油の方向を制御するスプール弁装置である。アーム用制御弁１８は、メインハウジング２３と、スプール摺動穴２４と、入口側流路２５と、出口側流路２７と、一対の流出入通路２８Ａ，２８Ｂと、スプール２９と、左，右の蓋体３０Ａ，３０Ｂと、ストッパ３１と、ばね３２とを含んで構成されている。メインハウジング２３は、パイロットハウジング３６と共に制御弁装置２１のハウジング２２を構成している。メインハウジング２３には、スプール摺動穴２４、入口側流路２５、出口側流路２７、一対の流出入通路２８Ａ，２８Ｂが形成されている。

スプール摺動穴２４は、メインハウジング２３の左，右方向（図２の左，右方向、後述のスプール２９が摺動する軸方向）に貫通して直線上に延びている。スプール摺動穴２４の周壁側には、第１の環状油溝２４Ａ，２４Ｂ、第２の環状油溝２４Ｃ，２４Ｄ、および、第３の環状油溝２４Ｅ，２４Ｆが形成されている。第１の環状油溝２４Ａ，２４Ｂは、スプール摺動穴２４の軸方向の中央側に、互いに左，右方向に離間して設けられている。第２の環状油溝２４Ｃ，２４Ｄは、第１の環状油溝２４Ａ，２４Ｂよりもスプール摺動穴２４の軸方向外側の位置に、互いに左，右方向に離間して設けられている。第３の環状油溝２４Ｅ，２４Ｆは、第２の環状油溝２４Ｃ，２４Ｄよりもスプール摺動穴２４の軸方向外側の位置に、互いに左，右方向に離間して設けられている。

第１の環状油溝２４Ａ，２４Ｂは、全体として逆Ｕ字状に形成された出口側流路２７により互いに連通している。第１の環状油溝２４Ａ，２４Ｂは、スプール２９が図２に示す中立位置から左，右方向に変位したときに、第２の環状油溝２４Ｃ，２４Ｄに対して連通、遮断される。第２の環状油溝２４Ｃ，２４Ｄは、左，右の流出入通路２８Ａ，２８Ｂを介して一対のアクチュエータ管路１９Ａ，１９Ｂに常時連通している。第３の環状油溝２４Ｅ，２４Ｆは、各タンク管路１５を介してタンク１２に常時連通している。第３の環状油溝２４Ｅ，２４Ｆは、スプール２９が図２に示す中立位置から左，右方向に変位したときに、第２の環状油溝２４Ｃ，２４Ｄに対して連通、遮断される。

入口側流路２５は、スプール摺動穴２４から径方向に離間した位置に設けられている。この場合、入口側流路２５は、スプール摺動穴２４と直交する方向（図２の表，裏方向）に沿って延びている。入口側流路２５は、ポンプ管路１３（より具体的には、分岐管路１３Ａ）を介して油圧ポンプ１１と接続されている。出口側流路２７は、入口側流路２５と連通穴２６の位置で交差しており、全体として逆Ｕ字状に延びている。出口側流路２７は、互いに離間して設けられた第１の環状油溝２４Ａ，２４Ｂを連通している。

連通穴２６は、出口側流路２７を挟んで後述の弁体摺動穴３４と対向する位置に配置されている。連通穴２６は、入口側流路２５を出口側流路２７に対して交差するように連通させる。連通穴２６は、弁体摺動穴３４およびパイロットハウジング３６の凹部３７と共に主弁室４２を構成している。そして、出口側流路２７と連通穴２６との交差部位には、後述の主弁４３が離着座する環状弁座としてのテーパ状の主弁座４６が設けられている。

一対の流出入通路２８Ａ，２８Ｂは、出口側流路２７および弁体摺動穴３４を挟むように、メインハウジング２３の左，右方向に離間して設けられている。一対の流出入通路２８Ａ，２８Ｂは、アーム用制御弁１８の圧油流出入ポートを構成している。即ち、一対の流出入通路２８Ａ，２８Ｂは、アクチュエータ管路１９Ａ，１９Ｂを介してアームシリンダ９（のロッド側油室、ボトム側油室）に接続されている。

スプール２９は、メインハウジング２３のスプール摺動穴２４内に挿嵌されている。スプール２９は、外部から油圧パイロット部１８Ａ，１８Ｂに供給されたパイロット圧に従ってスプール摺動穴２４内を左，右方向に摺動変位する。これにより、図１に示すアーム用制御弁１８は、中立位置（イ）から左，右の切換位置（ロ），（ハ）に切換わる。

図２に示すように、スプール２９は、第２の環状油溝２４Ｃ，２４Ｄを第１の環状油溝２４Ａ，２４Ｂと第３の環状油溝２４Ｅ，２４Ｆとのいずれか一方に選択的に連通、遮断させる切換ランド２９Ａ，２９Ｂを有している。切換ランド２９Ａ，２９Ｂには、圧油の流量を微調整するためのノッチ２９Ａ１，２９Ｂ１がそれぞれ複数個、周方向に離間して形成されている。

ここで、スプール２９が図２の左方向に摺動変位したときは、スプール２９の切換ランド２９Ａが第１の環状油溝２４Ａを第２の環状油溝２４Ｃに連通させる。これと共に、スプール２９の切換ランド２９Ｂは、第１の環状油溝２４Ｂを第２の環状油溝２４Ｄに対して遮断すると共に、第２の環状油溝２４Ｄを第３の環状油溝２４Ｆに連通させる。これにより、アーム用制御弁１８は、図１に示す中立位置（イ）から右側の切換位置（ハ）に切換わる。

一方、スプール２９が図２中の右方向に摺動変位したときは、スプール２９の切換ランド２９Ｂが第１の環状油溝２４Ｂを第２の環状油溝２４Ｄに連通させる。これと共に、スプール２９の切換ランド２９Ａは、第１の環状油溝２４Ａを第２の環状油溝２４Ｃに対して遮断すると共に、第２の環状油溝２４Ｃを第３の環状油溝２４Ｅに連通させる。これにより、アーム用制御弁１８は、図１に示す中立位置（イ）から左側の切換位置（ロ）に切換わる。

左，右の蓋体３０Ａ，３０Ｂは、スプール２９と共にアーム用制御弁１８を構成している。蓋体３０Ａ，３０Ｂは、スプール摺動穴２４の軸方向（左，右方向）両側に位置してメインハウジング２３に取付けられている。蓋体３０Ａ，３０Ｂは、スプール摺動穴２４の両端側を閉塞する。右側の蓋体３０Ｂは、左側の蓋体３０Ａよりも長尺に形成され、この右側の蓋体３０Ｂ内には、センタリング用のばね３２が設けられている。蓋体３０Ａ，３０Ｂの内側には油圧パイロット部１８Ａ，１８Ｂが設けられている。油圧パイロット部１８Ａ，１８Ｂには、操作弁（レバー操作装置）からパイロット圧が供給される。アーム用制御弁１８のスプール２９は、このときのパイロット圧に従って、スプール摺動穴２４内を図２の左，右方向に摺動変位される。

ストッパ３１は、スプール２９の右側にこのスプール２９と一体的に設けられている。ストッパ３１は、蓋体３０Ｂ内に変位可能に配置され、蓋体３０Ｂ内を軸方向に延びる軸部３１Ａを有している。ストッパ３１は、スプール２９が図２の右方向に変位したときに、スプール２９のストロークエンドを規制する。

ばね３２は、スプール２９を中立位置に保持するためのセンタリング用のばねである。ばね３２は、ストッパ３１の軸部３１Ａの外周側に位置してスプール２９の端面とストッパ３１との間に予め初期荷重を与えた状態で配設されている。ばね３２は、油圧パイロット部１８Ａ，１８Ｂからのパイロット圧がタンク圧レベルまで低下したときに、スプール２９を中立位置に保持する。

次に、制御弁装置２１の流量制御弁３３について説明する。なお、図２および図３は、主弁４３が閉弁した状態を示しており、図４および図５は、主弁４３が開弁した状態を示している。また、図５は、主弁４３が最も開弁した最大流量の状態を示している。

流量制御弁３３は、アームシリンダ９に供給される圧油の流量の調整を行うポペット弁装置である。第１の実施の形態の流量制御弁３３は、シート弁型流量制御弁である。流量制御弁３３は、ハウジング２２と、主弁室４２と、主弁４３と、主弁座４６と、入口側流路２５と、出口側流路２７と、背圧室４７と、フィードバック流路４９と、パイロット流路５０と、主弁絞り５３と、フィードバック絞り５４と、パイロット弁５５と、パイロット絞り５６とを備えている。

ハウジング２２は、メインハウジング２３とパイロットハウジング３６とにより構成されている。即ち、メインハウジング２３は、パイロットハウジング３６と共に、流量制御弁３３のハウジング２２を構成している。メインハウジング２３には、入口側流路２５、連通穴２６、出口側流路２７に加えて、弁体摺動穴３４、分岐通路３５が形成されている。

弁体摺動穴３４は、連通穴２６および出口側流路２７を挟んで入口側流路２５とは反対側に配置されており、段付穴として形成されている。弁体摺動穴３４は、パイロットハウジング３６と出口側流路２７との間を、スプール摺動穴２４と直交する方向（図２の上，下方向）に延びている。弁体摺動穴３４は、連通穴２６およびパイロットハウジング３６の凹部３７と共に、主弁室４２を構成している。そして、主弁室４２内には、主弁４３が変位可能に挿嵌（嵌合）されている。

分岐通路３５は、出口側流路２７の途中から分岐した油路である。分岐通路３５は、パイロットハウジング３６側の第２の通路４０と常時連通している。分岐通路３５は、第２の通路４０、および、パイロットハウジング３６に設けられた別の通路である第１の通路３９と共に、パイロット流路５０を構成している。

パイロットハウジング３６は、メインハウジング２３と共に、流量制御弁３３のハウジング２２を構成している。パイロットハウジング３６は、メインハウジング２３の弁体摺動穴３４を外側から閉塞するようにメインハウジング２３の外側面に設けられている。パイロットハウジング３６には、後述の主弁４３および弁ばね４８が収容される凹部３７と、後述のパイロット弁５５等が収容される弁収容穴３８と、この弁収容穴３８と凹部３７との間を連通する第１の通路３９と、メインハウジング２３の分岐通路３５と弁収容穴３８との間を斜めに傾斜して延びパイロット弁５５により第１の通路３９に対して連通、遮断される第２の通路４０と、パイロット圧の給排ポート４１とが設けられている。給排ポート４１は、弁収容穴３８の内面とパイロット弁５５とにより画成された後述のパイロット室５７に接続されている。

主弁室４２は、ハウジング２２に設けられている。即ち、主弁室４２は、メインハウジング２３の弁体摺動穴３４および連通穴２６とパイロットハウジング３６の凹部３７とにより構成され、内部に主弁４３を収容している。これにより、主弁室４２は、メインハウジング２３とパイロットハウジング３６との両方にわたって設けられている。

主弁４３は、主弁室４２に摺動可能に設けられている。主弁４３は、流量制御弁３３の弁体であり、弁部としてのシート部４４Ｄを有している。この場合、主弁４３は、弁体摺動穴３４内に挿嵌された段付の弁部材４４と、弁部材４４の軸方向一側に螺合して設けられ後述のチェック弁６２を弁部材４４との間で変位可能に保持する弁保持部材４５とを含んで構成されている。弁保持部材４５は、弁ばね４８をパイロットハウジング３６の凹部３７（の底部）との間で縮装状態に支持するばね受部４５Ａと、有底筒状に形成され弁部材４４（後述の段付穴部４４Ｇの上部側）内に螺入した状態で内側にチェック弁６２を変位可能に保持する保持筒部４５Ｂとを含んで構成されている。保持筒部４５Ｂの内側には、チェック弁６２とばね６３とが収納されている。弁保持部材４５は、チェック弁６２とばね６３を収納した状態で、主弁４３の弁部材４４に螺合により取付けられている。

弁部材４４は、弁体摺動穴３４内に摺動可能に挿嵌された大径部４４Ａと、該大径部４４Ａの軸方向一側に設けられた小径筒部４４Ｂと、大径部４４Ａの軸方向他側に小径な縮径部４４Ｃを介して一体に形成され外周側がメインハウジング２３の主弁座４６に離着座するシート部４４Ｄと、該シート部４４Ｄの他側(先端側）から入口側流路２５に向けて軸方向に突出した円筒部４４Ｅとを含んで構成されている。この場合、弁部であるシート部４４Ｄは、主弁４３（弁部材４４）に設けられている。シート部４４Ｄは、主弁座４６に接触（着座）することで、入口側流路２５と出口側流路２７との間の作動流体の流れを遮断する。

また、弁部材４４には、円筒部４４Ｅの内周側から縮径部４４Ｃ、大径部４４Ａ、小径筒部４４Ｂ内へと軸方向一側(上側)に向けて延び途中部位にチェック弁６２用の弁座４４Ｆが形成された段付穴部４４Ｇと、該段付穴部４４Ｇの径方向に延びた径方向穴４４Ｈと、後述のフィードバック絞り５４とが設けられている。段付穴部４４Ｇは、円筒部４４Ｅの内周側を介して入口側流路２５と連通している。径方向穴４４Ｈは、フィードバック絞り５４を介して後述の背圧室４７と連通する。これにより、段付穴部４４Ｇおよび径方向穴４４Ｈは、フィードバック流路４９を構成している。また、弁部材４４の円筒部４４Ｅには、後述する主弁絞り５３が設けられている。

主弁座４６は、主弁室４２の一端側（入口側流路２５側）に設けられている。即ち、主弁座４６は、メインハウジング２３のうち出口側流路２７と連通穴２６との交差部位に設けられており、テーパ状の環状弁座として構成されている。主弁座４６は、主弁４３のシート部４４Ｄが離着座することで作動流体を連通、遮断する。

入口側流路２５は、メインハウジング２３に設けられており、油圧ポンプ１１の吐出側と接続されている。入口側流路２５は、油圧ポンプ１１から供給される圧油（作動流体）に基づいて、主弁４３に対して主弁座４６から離れる方向（開弁方向）の圧力を与える。これと共に、入口側流路２５は、主弁室４２の外部（油圧ポンプ１１側）から主弁室４２の内部に作動流体を導入する。入口側流路２５は、主弁座４６に面している。

出口側流路２７は、メインハウジング２３に設けられており、アーム用制御弁１８のスプール摺動穴２４に接続されている。出口側流路２７は、主弁４３が主弁座４６から離れたときに主弁室４２の内部（連通穴２６側）から主弁室４２の外部（アーム用制御弁１８のスプール摺動穴２４側、より詳しくは、アームシリンダ９側）に作動流体を導出する。これと共に、出口側流路２７は、主弁４３に対して主弁座４６から離れる方向（開弁方向）の圧力を与える。出口側流路２７も、主弁座４６に面している。入口側流路２５と出口側流路２７は、主弁４３に対して開弁方向の圧力を与えている。

背圧室４７は、主弁室４２の他端側（入口側流路２５とは反対側）に設けられている。背圧室４７は、主弁４３に対して主弁座４６に近付く方向（閉弁方向）の圧力を与える。即ち、背圧室４７は、主弁４３の変位量（リフト量）を可変に制御する制御圧室であり、パイロットハウジング３６の凹部３７と主弁４３との間に形成されている。そして、背圧室４７は、パイロットハウジング３６の第１の通路３９に常時連通している。

弁ばね４８は、背圧室４７内に設けられている。即ち、弁ばね４８は、背圧室４７内に位置して主弁４３（の弁保持部材４５）とパイロットハウジング３６の凹部３７（の底部）との間に配設されている。弁ばね４８は、コイルスプリング等を用いて構成され、弁保持部材４５を介して弁部材４４を閉弁方向に付勢する。即ち、弁ばね４８は、主弁４３（弁保持部材４５）を常時閉弁方向に付勢している。主弁４３は、背圧室４７内に発生する背圧（制御圧）によっても閉弁方向に押圧される。

フィードバック流路４９は、主弁４３の内部に設けられている。即ち、フィードバック流路４９は、主弁４３（弁部材４４）の段付穴部４４Ｇと径方向穴４４Ｈとにより構成されている。この場合、径方向穴４４Ｈは、フィードバック絞り５４を介して背圧室４７と連通している。これにより、フィードバック流路４９は、入口側流路２５と背圧室４７とを連通している。

パイロット流路５０は、ハウジング２２（メインハウジング２３およびパイロットハウジング３６）に設けられている。即ち、パイロット流路５０は、メインハウジング２３の分岐通路３５と、パイロットハウジング３６の第１の通路３９および第２の通路４０とにより構成されている。これにより、パイロット流路５０は、背圧室４７と出口側流路２７とを連通している。この場合、第１の通路３９は、パイロット絞り５６の上流側の管路となるパイロット絞り上流管路５１を構成している。第２の通路４０および分岐通路３５は、パイロット絞り５６の下流側の管路となるパイロット絞り下流管路５２を構成している。

主弁絞り５３は、主弁４３（より具体的には、弁部材４４）の先端側（入口側流路２５側）に設けられている。後述するように、主弁絞り５３は、横穴５３Ａと、固定絞り５３Ｂとにより構成されている。主弁絞り５３は、主弁４３の主弁座４６から離れる方向の変位（図２ないし図５の上，下方向の上側への変位）に伴って、入口側流路２５と出口側流路２７との間の開口量を増大させる。

フィードバック絞り５４は、フィードバック流路４９と背圧室４７との間に設けられている。フィードバック絞り５４は、主弁４３（弁部材４４の大径部４４Ａ）の外周面側に可変絞りとして設けられている。フィードバック絞り５４は、主弁４３の主弁座４６から離れる方向（開弁方向）の変位に伴って、フィードバック流路４９と背圧室４７との間の開口量を増大させる。

図２に示すように、パイロット弁５５は、ハウジング２２（パイロットハウジング３６）に摺動可能に設けられている。即ち、パイロット弁５５は、パイロットハウジング３６の弁収容穴３８内に摺動可能に挿嵌（嵌合）して設けられている。パイロット弁５５は、パイロット絞り５６を有するスプール弁体として構成されている。パイロット弁５５は、パイロット室５７に作動流体を導入して加圧することで変位する。また、パイロット弁５５の変位に伴って、後述のドレン室５９の内部の作動流体は、ドレンポート５９Ａより排出される。パイロット室５７およびドレン室５９は、パイロットハウジング３６に設けられている。

パイロット絞り５６は、パイロット弁５５に設けられている。即ち、パイロット絞り５６は、パイロット弁５５の外周面側に可変絞りとして設けられている。パイロット絞り５６は、パイロット弁５５の変位に伴って、パイロット流路５０の開口量を減少させる。即ち、パイロット絞り５６は、パイロット室５７への圧油（パイロット圧）の供給に伴って、パイロット弁５５が軸方向の一側（図２の左，右方向の右側に）に進む程、パイロット流路５０の開口量を減少させる。この場合、パイロット絞り５６は、軸方向の一側に進む程（パイロット室５７から離れる程）、深さが深くなる切欠きとして構成されている。なお、パイロット絞りは、例えば、深さが一定の切欠きとして構成してもよい。

蓋体５８は、弁収容穴３８の軸方向の一側に位置してパイロットハウジング３６に螺合により取付けられている。蓋体５８は、弁収容穴３８の一側を閉塞することにより、パイロット弁５５の一側にドレン室（ばね室）５９を画成している。そして、蓋体５８とパイロット弁５５との間には、縮装状態でスプリング６０が設けられている。スプリング６０は、ワッシャ６１を介してパイロット弁５５を開弁方向に付勢する。即ち、ドレン室５９には、パイロット弁５５と接触するワッシャ６１と、ワッシャ６１を介してパイロット弁５５を開弁方向に付勢するスプリング６０とが設けられている。パイロットハウジング３６に螺合する蓋体５８は、スプリング６０を付勢するように構成されている。

パイロット弁５５は、スプリング６０により図１中に示す連通位置（ａ）に配置されるときに、パイロット流路５０である第１，第２の通路３９，４０間をパイロット絞り５６を介して連通させる。このとき、主弁４３の背圧室４７は、第１，第２の通路３９，４０およびメインハウジング２３側の分岐通路３５を介して出口側流路２７と連通し、出口側流路２７と等しい圧力に保たれる。これにより、主弁４３は、全開位置まで開弁される。

一方、パイロット弁５５は、外部指令用の遠隔操作弁（図示せず）から給排ポート４１を介してパイロット室５７に供給される外部指令圧としてのパイロット圧が予め決められた所定の圧力値以上まで上昇したときに、スプリング６０に抗して摺動変位し、第１，第２の通路３９，４０間を遮断する。これにより、パイロット弁５５は、図１中に示す連通位置（ａ）から遮断位置（ｂ）にスプリング６０に抗して切換わる。このとき、主弁４３の背圧室４７は、第２の通路４０（出口側流路２７）に対して最小の開口量で連通される。これにより、主弁４３は、最小開口位置となる。

チェック弁６２は、フィードバック流路４９に設けられている。即ち、チェック弁６２は、弁部材４４と弁保持部材４５との間に収容されている。チェック弁６２は、弁保持部材４５の保持筒部４５Ｂ内に摺動可能に挿嵌され、常時は弁部材４４の弁座４４Ｆに着座するようにばね６３により付勢されている。即ち、チェック弁用のばね６３は、チェック弁６２を閉弁方向に付勢する。チェック弁６２は、入口側流路２５から背圧室４７への作動流体の流れを許容し、これとは逆の流れを阻止（遮断）する。即ち、チェック弁６２は、弁部材４４の円筒部４４Ｅ側から入口側流路２５内の圧力が作用すると、ばね６３に抗して弁座４４Ｆから離座するように開弁する。

これにより、入口側流路２５内の圧油は、弁部材４４の段付穴部４４Ｇおよび径方向穴４４Ｈ、フィードバック絞り５４を介して背圧室４７に供給される。このように、チェック弁６２は、主弁４３内を入口側流路２５から背圧室４７に向けて圧油が流通するのを許し、逆向きの流れを阻止する。即ち、チェック弁６２は、背圧室４７内の油液が弁部材４４の径方向穴４４Ｈ等を介して段付穴部４４Ｇ、入口側流路２５に向け流通するのを阻止する。チェック弁６２は、出口側流路２７から入口側流路２５への逆流を主弁４３のシート部４４Ｄと共に遮断する。

このように構成される流量制御弁３３は、流量制御機能とロードチェック機能とを有している。即ち、流量制御弁３３は、パイロット絞り５６の開口量に応じて主弁４３の変位量（リフト量、即ち、開口面積）を制御することにより、入口側流路２５から出口側流路２７への流量（アーム用制御弁１８を流通する圧油の流量）を可変に制御する流量制御機能を有している。これと共に、流量制御弁３３は、出口側流路２７の圧力に対して入口側流路２５の圧力が低いときに、出口側流路２７から入口側流路２５への作動流体（油液）の流れを主弁４３とチェック弁６２とにより阻止するロードチェック機能を有している。

次に、主弁４３の円筒部４４Ｅについて説明する。

即ち、主弁４３には、先端側となる入口側流路２５側に位置して円筒部４４Ｅが設けられている。換言すれば、主弁４３の弁部材４４は、先端側が円筒部４４Ｅとなっている。円筒部４４Ｅには、主弁絞り５３が設けられている。また、円筒部４４Ｅの基端側（シート部４４Ｄ側）には、工具逃げ溝４４Ｊが設けられている。即ち、円筒部４４Ｅとシート部４４Ｄとの接続部、換言すれば、シート部４４Ｄと円筒部４４Ｅとの間には、工具逃げ溝４４Ｊが設けられている。工具逃げ溝４４Ｊは、シート部４４Ｄと円筒部４４Ｅとの寸法精度および表面粗さを確保するために必要な加工工具の逃げ溝として機能している。

主弁絞り５３は、主弁４３の軸方向の変位（図２ないし図５の上，下方向の変位）に伴って、入口側流路２５から連通穴２６を介して出口側流路２７へと流れる圧油の流量（出口側流路２７に対する連通穴２６の開口面積）を調整する。主弁絞り５３は、複数（例えば８個）の横穴５３Ａと、複数（例えば４個）の固定絞り５３Ｂとにより構成されている。

横穴５３Ａは、主弁４３の円筒部４４Ｅに設けられている。横穴５３Ａは、主弁４３の径方向（主弁４３の中心軸線に対して直交する方向）に延びている。即ち、横穴５３Ａは、円筒部４４Ｅの外周側と内周側との間を貫通する貫通孔として円筒部４４Ｅに形成されている。固定絞り５３Ｂは、横穴５３Ａよりもシート部４４Ｄ側に位置して主弁４３の円筒部４４Ｅに設けられている。固定絞り５３Ｂは、主弁４３の径方向（主弁４３の中心軸線に対して直交する方向）に延びており、横穴５３Ａよりも小径の絞り孔として円筒部４４Ｅに形成されている。

即ち、固定絞り５３Ｂも、横穴５３Ａと同様に、円筒部４４Ｅの外周側と内周側との間を貫通している。固定絞り５３Ｂは、工具逃げ溝４４Ｊと対応する位置に設けられている。これにより、固定絞り５３Ｂは、工具逃げ溝４４Ｊに開口している。横穴５３Ａおよび固定絞り５３Ｂは、主弁４３の内部（より具体的には、円筒部４４Ｅの内部）を介して入口側流路２５と出口側流路２７とを連通する。

次に、フィードバック絞り５４について説明する。

フィードバック絞り５４は、主弁４３の弁部材４４に設けられている。ここで、第１の実施の形態では、パイロット絞り５６の開口量の比例制御範囲に対して主弁絞り５３の開口量を比例制御できる範囲を拡大し、かつ、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）の開口・遮断が切換わる主弁４３の変位近傍において流体力による主弁４３の変位の振動的な挙動を抑制できるように構成している。このために、図２ないし図１１に示すように、フィードバック絞り５４は、主弁４３の変位量に対する開口量の変化率が小さい小変化絞り５４Ａと、開口量の変化率が大きい大変化絞り５４Ｂとにより構成されている。フィードバック絞り５４の詳しい構成については、後述する。

第１の実施の形態による流量制御弁３３を備えた制御弁装置２１は、上述の如き構成を有するもので、次に、その作動について説明する。

まず、油圧ポンプ１１から吐出された圧油は、ポンプ管路１３の分岐管路１３Ａからメインハウジング２３の入口側流路２５、流量制御弁３３の主弁４３と連通穴２６との間（主弁絞り５３）を流通して出口側流路２７に流れる。出口側流路２７に流れた圧油は、アーム用制御弁１８を中立位置（イ）から切換位置（ロ）または（ハ）に切換えることにより、一対のアクチュエータ管路１９Ａ，１９Ｂを介してアームシリンダ９に給排される。

アームシリンダ９に供給される圧油の流量は、流量制御弁３３の主弁４３における開口面積と、アーム用制御弁１８のスプール２９（切換ランド２９Ａ，２９Ｂ）による開口面積とによって決められる。また、メインハウジング２３の入口側流路２５から出口側流路２７に向けた圧油の流れを遮断する場合に、流量制御弁３３の主弁４３は、シート部４４Ｄをメインハウジング２３の主弁座４６に着座させることにより、両流路２５，２７間を遮断する。

ここで、入口側流路２５から出口側流路２７への流量を可変に制御する場合、パイロット弁５５のパイロット室５７にパイロット圧が供給されることによりパイロット室５７が加圧され、パイロット弁５５が図２の右方に向けて変位する。これにより、パイロット弁５５のパイロット絞り５６の開口量が可変に制御される。そして、例えば、出口側流路２７に対して入口側流路２５の圧力が高い場合、入口側流路２５から出口側流路２７に流れが生じる。このとき、入口側流路２５からチェック弁６２、フィードバック絞り５４、背圧室４７に流れが生じると共に、背圧室４７からパイロット絞り上流管路５１、パイロット絞り５６、パイロット絞り下流管路５２、出口側流路２７にも流れが生じる。

ここで、背圧室４７と出口側流路２７との間の開口量であるパイロット絞り５６の開口量に対して、主弁４３の開弁方向の変位量が大きい場合は、フィードバック絞り５４の開口量が大きいため、背圧室４７の圧力は入口側流路２５の圧力に近付く。これにより、主弁４３は、背圧室４７の圧力による閉弁方向の力を受けて閉弁方向に変位する。この結果、主弁４３の変位に伴って、フィードバック絞り５４の開口量が減少するため、背圧室４７の圧力は減圧され、主弁４３に作用する背圧室４７の圧力による閉弁方向の力が減少する。

この位置フィードバック作用の結果、主弁４３は、「入口側流路２５と出口側流路２７の圧力による開弁方向の力」と「背圧室４７の圧力と弁ばね４８による閉弁方向の力」とが釣り合う位置にて停止する。これにより、可変に制御されるパイロット絞り５６の開口量に、フィードバック絞り５４の開口量が対応するよう主弁４３の変位量が制御される。そして、これに伴って、主弁絞り５３の開口量が制御されることで、入口側流路２５から出口側流路２７への流量を可変に制御することができる。

一方、入口側流路２５から出口側流路２７への流量を最小に制御する場合、パイロット室５７は最大圧力に加圧され、パイロット弁５５が最大変位量まで変位し、パイロット絞り５６の開口量が最小に制御される。ここで、例えば、出口側流路２７に対して入口側流路２５の圧力が高い場合、入口側流路２５から出口側流路２７に流れが生じる。このとき、入口側流路２５からチェック弁６２、フィードバック絞り５４、背圧室４７に流れが生じると共に、背圧室４７からパイロット絞り上流管路５１、パイロット絞り５６、パイロット絞り下流管路５２、出口側流路２７にも流れが生じる。

上述した位置フィードバック作用により、パイロット絞り５６の開口量にフィードバック絞り５４の開口量が対応するよう主弁４３の変位量が最小に制御される。そして、これに伴って、主弁絞り５３の開口量が最小に制御されることで、入口側流路２５から出口側流路２７への流量を最小に制御することができる。

また、ロードチェック機能に関して、出口側流路２７に対して入口側流路２５の圧力が低い場合、出口側流路２７から入口側流路２５に逆流が生じる傾向となる。このとき、出口側流路２７からパイロット絞り下流管路５２、パイロット絞り５６、パイロット絞り上流管路５１、背圧室４７、フィードバック絞り５４、チェック弁６２、入口側流路２５に流れが生じるが、この流れは、チェック弁６２によって遮断される。これにより、背圧室４７と出口側流路２７の圧力が等しくなるため、主弁４３には背圧室４７の圧力による閉弁方向の力が生じて主弁４３が閉弁方向に変位する。これにより、主弁４３のシート部４４Ｄが主弁座４６に着座し、出口側流路２７から主弁絞り５３、入口側流路２５への流れが遮断される。この結果、出口側流路２７から入口側流路２５への逆流が防止され、ロードチェック機能を果たすことができる。

ここで、図２ないし図１１に示すように、フィードバック絞り５４は、主弁４３の変位量に対する開口量の変化率が小さい小変化絞り５４Ａと、開口量の変化率が大きい大変化絞り５４Ｂとにより構成されている。小変化絞り５４Ａと大変化絞り５４Ｂは、主弁４３（弁部材４４）の外周面に別々に設けられている。この場合、小変化絞り５４Ａと大変化絞り５４Ｂは、主弁４３（弁部材４４）の周方向にそれぞれ９０度ずつ離間して交互に設けられている。即ち、小変化絞り５４Ａは、弁部材４４の外周面に周方向に１８０度離間して２つ設けられている。大変化絞り５４Ｂは、弁部材４４の外周面に周方向に１８０度離間して２つ設けられている。小変化絞り５４Ａは、大変化絞り５４Ｂに対して周方向に９０度ずれている。

小変化絞り５４Ａは、少なくとも主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断されている主弁４３の変位範囲（図６中の区間Ｌ１に相当）において、開口するように構成されている。この場合、図９に示すように、小変化絞り５４Ａは、主弁４３の軸方向に延び、かつ、深さが一定の切欠き（溝）として主弁４３（弁部材４４）に形成されている。また、小変化絞り５４Ａは、「主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断されている主弁４３の変位範囲（図６中の区間Ｌ１に相当）」と「主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が開口している主弁４３の変位範囲（図６中の区間Ｌ２に相当）」との両方にわたって主弁４３（弁部材４４）の軸方向に延びている。

一方、大変化絞り５４Ｂは、大変化絞り５４Ｂの開口部の開口・遮断が切換わる主弁４３の変位量が、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）の開口・遮断が切換わる主弁４３の変位量と一致するよう構成されている。即ち、大変化絞り５４Ｂは、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が開口している主弁４３の変位範囲（図６中の区間Ｌ２に相当）において、開口するように構成されている。この場合、図１０に示すように、大変化絞り５４Ｂは、主弁４３の軸方向に延び、かつ、深さが主弁４３の先端側に進む程深くなる溝（切欠き）として主弁４３（弁部材４４）に形成されている。また、大変化絞り５４Ｂは、「主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が開口している主弁４３の変位範囲（図６中の区間Ｌ２に相当）」にわたって主弁４３（弁部材４４）の軸方向に延びている。

これにより、第１の実施の形態では、フィードバック絞り５４は、主弁４３の主弁座４６に近付く方向の変位に対するフィードバック絞り５４の開口量の変化率が小さい側に変化するようにフィードバック絞り５４の開口量の変化区間を分ける境界部Ｋを有している。境界部Ｋは、変化率が異なる区間を分ける部分（変化部）に対応する。そして、境界部Ｋは、主弁４３の主弁座４６に近付く方向の変位に対して、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断される位置に対応する主弁４３の変位領域内に存在している。換言すれば、境界部Ｋは、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断される位置に対応する主弁４３の変位（変位領域）と一致する位置に存在している。この場合、フィードバック絞り５４は、主弁４３の変位に対するフィードバック絞り５４の開口量の変化率が小さい小変化区間Ｌ１と開口量の変化率が大きい大変化区間Ｌ２とを有している。

小変化区間Ｌ１は、小変化絞り５４Ａに対応する。小変化区間Ｌ１は、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）の開口・遮断が切換わる位置に対応する主弁４３の変位（変位領域）を境界として主弁４３の主弁座４６に近付く方向の区間に存在する。大変化区間Ｌ２は、大変化絞り５４Ｂおよび小変化絞り５４Ａに対応する。大変化区間Ｌ２は、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）の開口・遮断が切換わる位置に対応する主弁４３の変位（変位領域）を境界として主弁４３の主弁座４６から離れる方向の区間に存在する。第１の実施の形態では、フィードバック絞り５４は、主弁４３の変位に対して開口する位置（変位位置、変位領域）が異なる２種類の切欠き、即ち、小変化絞り５４Ａと大変化絞り５４Ｂとから構成されている。

なお、第１の実施の形態では、フィードバック絞り５４の開口量の変化率が変化する境界部Ｋ（即ち、大変化絞り５４Ｂの開口・遮断が切換わる境界部Ｋ）は、主弁４３の主弁座４６に近付く方向の変位に対して、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断される位置に対応する主弁４３の変位領域内に存在させている。換言すれば、境界部Ｋは、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断される位置に対応する主弁４３の変位（変位領域）と一致する位置に存在している。この場合に、「一致」は、「完全に一致」する場合だけでなく、例えば、製造誤差等に伴う不可避的なずれにより、完全に一致しない場合（実質的に一致する場合）も含む。また、例えば、主弁絞り５３の開口量を比例制御できる範囲を拡大でき、かつ、流体力による主弁４３の変位の振動的な挙動を抑制できる範囲でずれる場合も、「一致」に含む。例えば、主弁４３の変位量（最大開弁位置から最大閉弁位置までの軸方向の変位量）をＨとする。この場合、境界部Ｋは、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断される位置に対応する主弁４３の変位（変位領域）と「完全に一致」する位置から、例えば「±（１／３５～１／７０）Ｈ」程度ずれる場合も、「一致」に含む。即ち、「一致」は、「完全に一致」しない場合も許容される。

図１２および図１３は、第１の実施の形態の流量制御弁３３の特性を示している。図１２および図１３を用いてパイロット弁５５の変位量に応じた主弁４３の状態を説明する。パイロット弁５５の変位量が「０」の場合、パイロット絞り５６の開口量は最大となり、開弁方向の主弁４３の変位量も主弁絞り５３の開口量も最大となる。このときの主弁４３の状態は図５に対応する。

次に、図１２において、パイロット弁５５の変位量が「０」から「変位Ａ」まで変化すると、パイロット絞り５６の開口量は減少し、それに伴って主弁４３の変位量も主弁絞り５３の開口量も減少し、主弁絞り５３の開口量は「０」に達する。このとき、フィードバック絞り５４の開口量は、図１３に示すように、小変化絞り５４Ａと大変化絞り５４Ｂの開口量の合計値から構成される。また、パイロット弁５５の「変位Ａ」における主弁４３の状態は、図４に対応する。

次に、図１２において、パイロット弁５５の変位量が「変位Ａ」から「変位Ｂ」まで変化すると、パイロット絞り５６の開口量は減少し、それに伴って主弁４３の変位量も減少して「０」に達する。このとき、フィードバック絞り５４の開口量は、図１３に示すように、小変化絞り５４Ａの開口量のみで構成される。また、パイロット弁５５の「変位Ｂ」における主弁４３の状態は、図３に対応する。

このような第１の実施の形態では、パイロット絞り５６の開口量の比例制御範囲に対して主弁絞り５３の開口量を比例制御できる範囲を拡大できる。また、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）の開口・遮断が切換わる主弁４３の変位（変位領域）近傍において、流体力による主弁４３の変位の振動的な挙動を抑制でき、高精度な流量制御を行うことができる。この点について、第１の実施の形態の流量制御弁３３の特性と比較例の流量制御弁１０１（図２４）の特性とを比較しつつ説明する。

図１２および図１３は、第１の実施の形態の流量制御弁３３の特性を示している。これに対して、図１３中の破線（特性線１００）および図２５は、比較例の流量制御弁１０１（図２４）の特性を示している。第１の実施の形態では、図１３に示すように、比較例のフィードバック絞り１０３の最小開口量および最大開口量と一致させつつも、主弁絞り５３が開口している主弁４３の変位範囲（図６中の区間Ｌ２に相当）において、フィードバック絞り５４の開口量を小変化絞り５４Ａと大変化絞り５４Ｂの開口量の合計値から構成している。

このため、比較例のフィードバック絞り１０３の開口量の変化率に対して、第１の実施の形態のフィードバック絞り５４の開口量の変化率を大きくすることができる。これにより、図１２および図２５に示すように、第１の実施の形態の場合のパイロット弁の変位量「０」から「変位Ａ」の範囲を、比較例の場合のパイロット弁の変位量「０」から「変位Ａ」の範囲に対して広くすることができる。この結果、主弁絞り５３の開口量の比例制御範囲を拡大して比例制御性を向上させることができる。

また、図１３に示すように、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断されている主弁４３の変位範囲（図６中の区間Ｌ１に相当）において、フィードバック絞り５４の開口量を小変化絞り５４Ａのみから構成している。このため、比較例のフィードバック絞り１０３の開口量の変化率に対して、第１の実施の形態のフィードバック絞り５４の開口量の変化率を小さくすることができる。

これにより、図１２および図２５に示すように、第１の実施の形態の場合のパイロット弁の「変位Ａ」から「変位Ｂ」までの範囲を、比較例の場合のパイロット弁の「変位Ａ」から「変位Ｂ」までの範囲に対して狭くすることができる。このため、主弁４３の変位に対して位置フィードバック作用として機能する圧力による力を大きくすることができる。この結果、相対的に流体力が主弁４３の変位に与える影響を抑制することができ、流体力による主弁４３の変位の振動的な挙動を抑制することができる。

以上のように、第１の実施の形態によれば、フィードバック絞り５４は、主弁４３の主弁座４６に近付く方向の変位に対するフィードバック絞り５４の開口量の変化率が小さい側に変化するようにフィードバック絞り５４の開口量の変化区間を分ける境界部Ｋを有している。そして、境界部Ｋは、主弁４３の主弁座４６に近付く方向の変位に対して、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断される位置に対応する主弁４３の変位領域内に存在する。このため、パイロット絞り５６の開口量を徐々に減少させると、主弁４３は、フィードバック絞り５４の開口量が境界部Ｋに到達するまで変位し、この区間、即ち、「区間Ｌ２」において主弁絞り５３の開口量を比例制御することができる。

さらに、パイロット絞り５６の開口量が減少すると、主弁４３は、フィードバック絞り５４の開口量が対応する値になるまで変位するが、境界部Ｋを通過後は、フィードバック絞り５４の開口量の変化が小さくなる。このため、境界部Ｋの通過前と比較して、主弁４３の変位の変化率は大きくなり、主弁４３が主弁座４６に着座する。この区間、即ち、「区間Ｌ１」は、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断されており、かつ、主弁４３の変位の変化率が大きい。従って、パイロット絞り５６の開口量の比例制御範囲に対して主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断されている範囲を縮小し、主弁絞り５３が開口している範囲を拡大することができる。即ち、前述した第１の問題を解決することができる。

また、境界部Ｋを通過後の区間、即ち、「区間Ｌ１」において、主弁４３の変位の変化率が大きいということは、主弁４３の変位に対して位置フィードバック作用として機能する圧力による力が大きいということである。このため、相対的に流体力が主弁４３の変位に与える影響を抑制することができる。従って、流体力による主弁４３の変位の振動的な挙動を抑制することができる。即ち、前述した第２の問題も解決することができる。

第１の実施の形態によれば、フィードバック絞り５４は、小変化区間Ｌ１と大変化区間Ｌ２とを有している。そして、小変化区間Ｌ１は、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）の開口・遮断が切換わる主弁４３の位置に対応する変位位置（変位領域）を境界として主弁４３の主弁座４６に近付く方向の区間に存在する。また、大変化区間Ｌ２は、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）の開口・遮断が切換わる位置に対応する主弁４３の変位位置（変位領域）を境界として主弁４３の主弁座４６から離れる方向の区間に存在する。このため、小変化区間Ｌ１と大変化区間Ｌ２との境界を、フィードバック絞り５４の開口量の変化率が変化する境界部Ｋとすることができる。

第１の実施の形態によれば、フィードバック絞り５４は、主弁４３の変位に対して開口する変位位置（変位領域）が異なる２種類の切欠き、即ち、小変化絞り５４Ａと大変化絞り５４Ｂとから構成されている。このため、２種類の切欠きのうちの「一方の切欠き（小変化絞り５４Ａ）」と「他方の切欠き（大変化絞り５４Ｂ）」との境界を、フィードバック絞りの開口量の変化率が変化する境界部Ｋとすることができる。

次に、図１４ないし図１７は、第２の実施の形態を示している。第２の実施の形態の特徴は、フィードバック絞りを途中で幅および深さが異なる１種類の切欠きにより構成したことにある。なお、第２の実施の形態では、上述した第１の実施の形態と同一の構成要素に同一の符号を付し、その説明を省略する。

第２の実施の形態のフィードバック絞り７１は、主弁４３の変位量に対する開口量の変化率が小さい小変化絞り７１Ａと、開口量の変化率が大きい大変化絞り７１Ｂとが互いに連通するように構成されている。即ち、フィードバック絞り７１は、小変化絞り７１Ａと大変化絞り７１Ｂとが連通する１種類の絞りとして構成されている。フィードバック絞り７１は、主弁４３（弁部材４４）の周方向に１８０度離間して２つ設けられている。

小変化絞り７１Ａは、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断されている主弁４３の変位範囲（図１４中の区間Ｌ１に相当）において、開口するように構成されている。この場合、図１６および図１７に示すように、小変化絞り７１Ａは、主弁４３の軸方向に延び、かつ、深さが一定の切欠き（溝）として主弁４３（弁部材４４）に形成されている。

一方、大変化絞り７１Ｂは、小変化絞り７１Ａと接続されており、小変化絞り７１Ａから大変化絞り７１Ｂに切換わる主弁４３の変位量が、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）の開口・遮断が切換わる主弁４３の変位量と一致するよう構成されている。即ち、大変化絞り７１Ｂは、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が開口している主弁４３の変位範囲（図１４中の区間Ｌ２に相当）において、開口するように構成されている。この場合、図１６および図１７に示すように、大変化絞り７１Ｂは、主弁４３の軸方向に延び、かつ、深さが主弁４３の先端側に進む程深くなる溝（切欠き）として主弁４３（弁部材４４）に形成されている。大変化絞り７１Ｂは、小変化絞り７１Ａよりも幅が大きく、かつ、深さも深い。

これにより、第２の実施の形態も、第１の実施の形態と同様に、フィードバック絞り７１は、主弁４３の主弁座４６に近付く方向の変位に対するフィードバック絞り７１の開口量の変化率が小さい側に変化するようにフィードバック絞り７１の開口量の変化区間を分ける境界部Ｋを有している。そして、境界部Ｋは、主弁４３の主弁座４６に近付く方向の変位に対して、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断される位置に対応する主弁４３の変位領域内に存在している。この場合、フィードバック絞り７１は、主弁４３の変位に対するフィードバック絞り７１の開口量の変化率が小さい小変化区間Ｌ１と開口量の変化率が大きい大変化区間Ｌ２とを有している。

小変化区間Ｌ１は、小変化絞り７１Ａに対応する。小変化区間Ｌ１は、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）の開口・遮断が切換わる位置に対応する主弁４３の変位（変位位置、変位領域）を境界として主弁４３の主弁座４６に近付く方向の区間に存在する。大変化区間Ｌ２は、大変化絞り７１Ｂに対応する。大変化区間はＬ２、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）の開口・遮断が切換わる主弁４３の変位（変位位置、変位領域）を境界として主弁４３の主弁座４６から離れる方向の区間に存在する。第２の実施の形態では、フィードバック絞り７１は、幅と深さとが異なる組合せで構成された１種類の互いに連通する切欠き、即ち、小変化絞り７１Ａと大変化絞り７１Ｂとを互いに連通させた１種類の切欠き（溝）から構成されている。

第２の実施の形態は、上述の如き小変化絞り７１Ａと大変化絞り７１Ｂとによりフィードバック絞り７１を構成したもので、その基本的作用については、上述した第１の実施の形態によるものと格別差異はない。即ち、第２の実施の形態のフィードバック絞り７１も、図１３に示す開口特性を実現することができる。このため、第２の実施の形態も、第１の実施の形態と同様の効果を発揮することができる。特に、第２の実施の形態によれば、フィードバック絞り７１は、幅および深さが異なる組合せで構成された１種類の互いに連通する切欠き、即ち、小変化絞り７１Ａと大変化絞り７１Ｂとを互いに連通させた切欠きにより構成されている。このため、切欠きのうち幅および深さの異なる部位、即ち、小変化絞り７１Ａと大変化絞り７１Ｂとの接続部（境界）を、フィードバック絞り７１の開口量の変化率が変化する境界部Ｋとすることができる。

なお、上述した第２の実施の形態では、フィードバック絞り７１を、幅と深さとが異なる組合せで構成された１種類の互いに連通する切欠き、即ち、小変化絞り７１Ａと大変化絞り７１Ｂとを互いに連通させた切欠き（溝）により構成した場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、図１８ないし図２０に示す第１の変形例のように、フィードバック絞り７２を幅が同じで深さが異なる組合せで構成された１種類の互いに連通する切欠き、即ち、小変化絞り７２Ａと大変化絞り７２Ｂとを互いに連通させた切欠き（溝）により構成してもよい。

また、例えば、図２１ないし図２３に示す第２の変形例のように、フィードバック絞り７３を深さが同じで幅が異なる組合せで構成された１種類の互いに連通する切欠き、即ち、小変化絞り７３Ａと大変化絞り７３Ｂとを互いに連通させた切欠き（溝）により構成してもよい。また、図示は省略するが、フィードバック絞りは、幅または深さが異なる組合せで構成された２種類以上の互いに連通する切欠きにより構成してもよい。即ち、フィードバック絞りは、幅または深さが少なくとも１つ以上異なる組合せで構成された少なくとも１種類以上の互いに連通する切欠きから構成することができる。

上述した第１の実施の形態では、フィードバック絞り５４を主弁４３の変位に対して開口する位置（変位位置、変位領域）が異なる２種類の切欠き、即ち、小変化絞り５４Ａと大変化絞り５４Ｂとから構成した場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、主弁の変位に対して開口する位置（変位位置、変位領域）が異なる３種またはこれ以上の切欠きから構成してもよい。即ち、フィードバック絞りは、主弁の変位に対して開口する位置（変位位置、変位領域）が異なる少なくとも２種類以上の切欠きから構成することができる。

第１の実施の形態では、フィードバック絞り５４の開口量の変化率が変化する境界部Ｋを、主弁４３の主弁座４６に近付く方向の変位に対して、主弁絞り５３の開口部（横穴５３Ａ）が遮断される位置に対応する主弁４３の変位領域内に存在する場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、図１３中に二点鎖線の特性線８１で示すように、フィードバック絞りの開口量の変化率が変化する境界部Ｋ′を、主弁の主弁座に近付く方向の変位に対して、主弁絞りの開口部が遮断される位置に対応する主弁の変位領域内よりも主弁の主弁座に近い変位区間内（例えば、図６の区間Ｌ１内）に存在するようにしてもよい。

この場合、境界部Ｋ′は、図１３中の点Ｐ１と点Ｐ２と点Ｐ３とにより囲まれた三角形の範囲内に位置させることができる。これにより、図１３中に破線で示す比較例の特性線１００よりも、主弁絞りの開口量を比例制御できる範囲を拡大し、かつ、主弁の振動的な挙動を抑制することができる。即ち、境界部は、主弁の主弁座に近付く方向の変位に対して、主弁絞りの開口部が遮断される位置に対応する主弁の変位領域内に存在するか、または、これよりも主弁の主弁座に近い変位区間に存在する構成とすることができる。

換言すれば、境界部は、「主弁絞りの開口部が遮断される位置に対応する主弁の変位領域」と「主弁の変位量が０となる位置（主弁が主弁座に着座する位置）」との間に設けることができる。この場合、境界部は、「主弁絞りの開口部が遮断される位置に対応する主弁の変位領域」に存在することが最も好ましい。また、境界部は、「主弁絞りの開口部が遮断される位置に対応する主弁の変位領域」に近い程より好ましい。このことは、第２の実施の形態、第１の変形例、第２の変形例についても同様である。

第１の実施の形態では、フィードバック絞り５４の開口量の変化率が変化する境界部Ｋを１つ有する構成とした場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、境界部は、２つ、３つ、さらにそれ以上等、複数有する構成としてもよい。この場合に、例えば、図１３中の直線Ｐ１－Ｐ２と直線Ｐ２－Ｐ３とに沿うように複数の境界部を連続させてもよい。即ち、フィードバック絞りは、主弁の主弁座に近付く方向の変位に対するフィードバック絞りの開口量の変化率が小さい側に変化するようにフィードバック絞りの開口量の変化区間を分ける境界部を少なくとも１つ以上有する構成とすることができる。そして、境界部のうち少なくとも１つは、主弁の主弁座に近付く方向の変位に対して、主弁絞りの開口部が遮断される位置に対応する主弁の変位領域内に存在するか、または、これよりも主弁の主弁座に近い変位区間に存在する構成とすることができる。このことは、第２の実施の形態、第１の変形例、第２の変形例についても同様である。

第１の実施の形態では、メインハウジング２３とパイロットハウジング３６とにより一つの（一体または共通）ケーシングを構成した場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、メインハウジングとパイロットハウジングとを分離して配置すると共に、これらメインハウジングとパイロットハウジングとの間に接続管路を設ける構成としてもよい。この場合、主弁室は、メインハウジングに設けられる。即ち、主弁室は、上述した実施の形態のようにメインハウジングとパイロットハウジングとにわたって設ける構成を採用することができる他、メインハウジングに設ける構成を採用することができる。要するに、主弁室は、ハウジング（より具体的には、メインハウジングとパイロットハウジングとのうちの少なくともメインハウジング）に設けられる。このことは、第２の実施の形態、第１の変形例、第２の変形例についても同様である。

第１の実施の形態では、パイロット弁５５のパイロット絞り５６を、パイロット弁５５の変位に伴ってパイロット流路５０の開口量を減少させる構成とした場合を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、パイロット弁のパイロット絞りを、パイロット弁の変位に伴ってパイロット流路の開口量を増大させる構成としてもよい。このことは、第２の実施の形態、第１の変形例、第２の変形例についても同様である。

第１の実施の形態では、アーム用制御弁１８からアームシリンダ９に向けて給排される圧油の流量を調整する流量制御弁３３を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、ブーム用制御弁１６からブームシリンダ８に給排する圧油の流量調整を行う場合の流量制御弁に適用してもよく、バケットシリンダまたはこれ以外の油圧アクチュエータに方向制御弁を通じて圧油を給排する場合の流量制御弁にも適用することができる。このことは、第２の実施の形態、第１の変形例、第２の変形例についても同様である。

上述した各実施の形態および各変形例では、建設機械として、油圧ショベル１を例に挙げて説明した。しかし、これに限らず、例えば、ホイールローダ、油圧クレーン、ブルドーザ等、各種の建設機械に広く適用することができる。また、流量制御弁３３は、主弁４３の変位量（リフト量）に応じて作動流体の流量を小流量から大流量へと可変に制御する構成であればよく、各種の産業機器、機械機器に用いる流量制御弁として広く適用することができる。

さらに、各実施の形態および各変形例は例示であり、各実施の形態および各変形例で示した構成の部分的な置換または組合せが可能であることは言うまでもない。

１：油圧ショベル（建設機械）
２１：制御弁装置
２２：ハウジング
２５：入口側流路
２７：出口側流路
３３：流量制御弁
３６：パイロットハウジング
４２：主弁室
４３：主弁
４４Ｄ：シート部（弁部）
４６：主弁座
４７：背圧室
４９：フィードバック流路
５０：パイロット流路
５３：主弁絞り
５４，７１，７２，７３：フィードバック絞り
５４Ａ：小変化絞り（切欠き、小変化区間、大変化区間）
５４Ｂ：大変化絞り（切欠き、大変化区間）
５５：パイロット弁
５６：パイロット絞り
７１Ａ，７２Ａ，７３Ａ：小変化絞り（切欠き、小変化区間）
７１Ｂ，７２Ｂ，７３Ｂ：大変化絞り（切欠き、大変化区間）
Ｋ，Ｋ′：境界部

Claims (4)

1. ハウジングと、
   前記ハウジングに設けられた主弁室と、
   前記主弁室に摺動可能に設けられ、弁部を有する主弁と、
   前記主弁室の一端側に設けられ、前記主弁の弁部が離着座することで作動流体を連通、遮断する主弁座と、
   前記主弁に対して前記主弁座から離れる方向の圧力を与えると共に、前記主弁室の外部から前記主弁室の内部に作動流体を導入する入口側流路と、
   前記主弁が前記主弁座から離れたときに前記主弁室の内部から前記主弁室の外部に作動流体を導出すると共に、前記主弁に対して前記主弁座から離れる方向の圧力を与える出口側流路と、
   前記主弁室の他端側に設けられ、前記主弁に対して前記主弁座に近付く方向の圧力を与える背圧室と、
   前記主弁に設けられ、前記入口側流路と前記背圧室とを連通するフィードバック流路と、
   前記ハウジングに設けられ、前記背圧室と前記出口側流路とを連通するパイロット流路と、
   前記主弁に設けられ、前記主弁の前記主弁座から離れる方向の変位に伴って前記入口側流路と前記出口側流路との間の開口量を増大させる主弁絞りと、
   前記フィードバック流路と前記背圧室との間に設けられ、前記主弁の前記主弁座から離れる方向の変位に伴って前記フィードバック流路と前記背圧室との間の開口量を増大させるフィードバック絞りと、
   前記ハウジングに摺動可能に設けられたパイロット弁と、
   前記パイロット弁に設けられ、前記パイロット弁の変位に伴って前記パイロット流路の開口量を減少または増大させるパイロット絞りと、を備え、
   前記パイロット絞りの開口量に応じて前記主弁の変位量を制御することにより、前記入口側流路から前記出口側流路への流量を可変に制御する流量制御機能を有する流量制御弁において、
   前記フィードバック絞りは、前記主弁の前記主弁座に近付く方向の変位に対する前記フィードバック絞りの開口量の変化率が小さい側に変化するように前記フィードバック絞りの開口量の変化区間を分ける境界部を少なくとも１つ以上有し、
   前記境界部のうち少なくとも１つは、前記主弁の前記主弁座に近付く方向の変位に対して、前記主弁絞りの開口部が遮断される位置に対応する前記主弁の変位領域内に存在するか、またはこれよりも前記主弁の前記主弁座に近い変位区間に存在する
   ことを特徴とする流量制御弁。
2. 請求項１に記載の流量制御弁において、
   前記フィードバック絞りは、前記主弁の変位に対する前記フィードバック絞りの開口量の変化率が小さい小変化区間と開口量の変化率が大きい大変化区間を有し、
   前記小変化区間は、前記主弁絞りの開口部の開口・遮断が切換わる位置に対応する前記主弁の変位領域を境界として前記主弁の前記主弁座に近付く方向の区間に存在し、
   前記大変化区間は、前記主弁絞りの開口部の開口・遮断が切換わる位置に対応する前記主弁の変位領域を境界として前記主弁の前記主弁座から離れる方向の区間に存在する
   ことを特徴とする流量制御弁。
3. 請求項１に記載の流量制御弁において、
   前記フィードバック絞りは、前記主弁の変位に対して開口する位置が異なる少なくとも２種類以上の切欠きから構成されている
   ことを特徴とする流量制御弁。
4. 請求項１に記載の流量制御弁において、
   前記フィードバック絞りは、幅または深さが少なくとも１つ以上異なる組合せで構成された少なくとも１種類以上の互いに連通する切欠きから構成されている
   ことを特徴とする流量制御弁。

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