JP7606744B2

JP7606744B2 - Ball screw shaft support structure and actuator

Info

Publication number: JP7606744B2
Application number: JP2021064344A
Authority: JP
Inventors: 玄一郎伊藤
Original assignee: IAI Corp
Current assignee: IAI Corp
Priority date: 2021-04-05
Filing date: 2021-04-05
Publication date: 2024-12-26
Anticipated expiration: 2041-04-05
Also published as: JP2022159885A

Description

本発明は、ボールねじ軸サポート構造とアクチュエータに係り、特に、複数のスライダが設けられている場合において、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止することができ、振動や騒音を抑制して高速化に対応することができるように工夫したものに関する。 The present invention relates to a ball screw shaft support structure and actuator, and in particular to a simple and compact configuration that can prevent deflection of the ball screw shaft when multiple sliders are provided, and is designed to suppress vibration and noise and accommodate higher speeds.

従来のボールねじ軸サポート構造やアクチュエータの構成を開示するものとして、例えば、特許文献１と特許文献２がある。
特許文献１に記載された送りねじ装置には、送りねじ軸によって移動される角型ナットと、上記角型ナットと連結板によって連結され上記角型ナットと連動して移動されるサブブロックがある。また、上記角型ナットとサブブロックは直線案内機構によって案内される。また、上記サブブロックは上記送りねじ軸によって貫通されているが、上記サブブロックの送りねじ軸挿通孔は上記送りねじの径よりも大きく、上記サブブロックと上記送りねじ軸が接触しないようになっている。 Conventional ball screw shaft support structures and actuator configurations are disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-233699 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-233699.
The feed screw device described in Patent Document 1 includes a square nut that is moved by a feed screw shaft, and a sub-block that is connected to the square nut by a connecting plate and moves in conjunction with the square nut. The square nut and sub-block are guided by a linear guide mechanism. The feed screw shaft penetrates the sub-block, but the feed screw shaft insertion hole of the sub-block is larger in diameter than the feed screw, so that the sub-block and the feed screw shaft do not come into contact with each other.

特許文献２に記載されたアクチュエータは、ボールネジによって駆動されるスライダと、上記スライダと連動して移動される２つのサポートブラケットがある。上記サポートブラケットは上記スライダの前後方向両側のそれぞれに設置されている。また、上記サポートブラケットには上記ボールネジと摺接されるサポートブッシュが設置されていて、上記ボールネジを支持するようになっている。また、上記サポートブラケットにはプーリーが設置され、上記プーリーにベルトが巻回される。上記ベルトの両端は上記スライダに連結され、上記ベルトの中央は基台に固定される。このような構成により、上記スライダと上記サポートブラケットが連動して移動されるようになっている。 The actuator described in Patent Document 2 has a slider driven by a ball screw and two support brackets that move in conjunction with the slider. The support brackets are installed on both sides of the slider in the forward and backward directions. The support brackets are also equipped with support bushes that come into sliding contact with the ball screw and support the ball screw. A pulley is also installed on the support bracket, and a belt is wound around the pulley. Both ends of the belt are connected to the slider, and the center of the belt is fixed to a base. With this configuration, the slider and support brackets are moved in conjunction with each other.

実公平１－６４３３９号公報Publication number 1-64339 特許第３２２１８０４号公報Patent No. 3221804

しかしながら、上記従来の構成では次のような問題があった。
すなわち、特許文献１に記載された送りねじ装置は、角型ナットとサブブロックに別々の対象物を載せたり、上記角型ナットと上記サブブロックに跨って大きな対象物を積載したりすることができるようになっているが、送りねじ軸を長尺にすると、送りねじ軸に撓みが発生するため、角型ナットとサブブロックを高速で駆動させることができなかった。そこで、高速で駆動させる方法として、特許文献２に記載されたサポートブラケットを適用することが考えられる。
しかし、特許文献１に記載された送りねじ装置に特許文献２に記載されたサポートブラケットを適用すると、送りねじ軸上には、角型ナットとサブブロックと複数のサポートブラケットが配置されることとなり、搬送対象物の可動範囲が制限されてしまうという問題があった。更に、角型ナットとサブブロックの移動に連動してサポートブラケットを移動させるプーリーとベルトによる機構が必要となり、構成が複雑化してしまうという問題もあった。 However, the above conventional configuration has the following problems.
That is, the feed screw device described in Patent Document 1 is capable of loading separate objects on the square nut and the sub-block, or loading a large object across the square nut and the sub-block, but if the feed screw shaft is made long, it will bend, making it impossible to drive the square nut and the sub-block at high speed. Therefore, it is possible to apply the support bracket described in Patent Document 2 as a method for driving at high speed.
However, when the support bracket described in Patent Document 2 is applied to the feed screw device described in Patent Document 1, a square nut, a sub-block, and multiple support brackets are arranged on the feed screw shaft, which limits the range of movement of the transported object.Furthermore, a mechanism using pulleys and belts is required to move the support bracket in conjunction with the movement of the square nut and the sub-block, which causes a problem of a complicated configuration.

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、複数のスライダが設けられている場合において、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止することができ、振動や騒音を抑制して高速化に対応することができるボールねじ軸サポート構造とアクチュエータを提供することにある。 The present invention was made based on these points, and its purpose is to provide a ball screw shaft support structure and actuator that can prevent deflection of the ball screw shaft with a simple and compact configuration when multiple sliders are provided, suppress vibration and noise, and accommodate higher speeds.

上記課題を解決するべく本願発明の請求項１によるボールねじ軸サポート構造は、ボールねじ軸と、上記ボールねじ軸によって駆動される駆動スライダと、上記駆動スライダと連動して移動されるフリースライダと、上記ボールねじ軸に離接可能に設置され弾性手段により上記ボールねじ軸に圧接されているとともに上記駆動スライダ又は上記フリースライダの接近により上記弾性手段の付勢力に抗して上記ボールねじ軸から離間されるサポート部材と、を具備し、上記駆動スライダと上記フリースライダは共通するスライダ本体が設けられていて、上記駆動スライダのスライダ本体にボールねじナットが設置され、上記フリースライダのスライダ本体には上記ボールねじ軸を支持するフリースライダ側サポート部材が設置されることを特徴とするものである。
又、請求項２によるボールねじ軸サポート構造は、請求項1記載のボールねじ軸サポート構造において、上記フリースライダ側サポート部材は上記ボールねじ軸によって貫通されるブッシュであることを特徴とするものである。
又、請求項３によるボールねじ軸サポート構造は、ボールねじ軸と、上記ボールねじ軸によって駆動される駆動スライダと、上記駆動スライダと連動して移動されるフリースライダと、上記ボールねじ軸に離接可能に設置され弾性手段により上記ボールねじ軸に圧接されているとともに上記駆動スライダの接近により上記弾性手段の付勢力に抗して上記ボールねじ軸から離間されるサポート部材と、を具備し、上記フリースライダには上記サポート部材に接近した際に上記サポート部材が通過するサポート部材通過用凹部が設けられていることを特徴とするものである。
又、請求項４によるアクチュエータは、請求項1～請求項３記載のボールねじ軸サポート構造が設けられたことを特徴とするものである。 In order to solve the above problems, the ball screw shaft support structure according to claim 1 of the present invention comprises a ball screw shaft, a drive slider driven by the ball screw shaft, a free slider moved in conjunction with the drive slider, and a support member installed so as to be able to come into contact with and be separated from the ball screw shaft, pressed against the ball screw shaft by an elastic means, and moved away from the ball screw shaft against the biasing force of the elastic means when the drive slider or the free slider approaches, wherein a common slider body is provided for the drive slider and the free slider, a ball screw nut is installed on the slider body of the drive slider, and a free slider side support member supporting the ball screw shaft is installed on the slider body of the free slider .
The ball screw shaft support structure according to claim 2 is the ball screw shaft support structure according to claim 1, characterized in that the free slider side support member is a bushing penetrated by the ball screw shaft .
Further, the ball screw shaft support structure according to claim 3 comprises a ball screw shaft, a drive slider driven by the ball screw shaft, a free slider moved in conjunction with the drive slider, and a support member installed so as to be able to be brought into contact with and separated from the ball screw shaft, pressed against the ball screw shaft by elastic means, and moved away from the ball screw shaft against the biasing force of the elastic means as the drive slider approaches, and is characterized in that the free slider is provided with a support member passing recess through which the support member passes when it approaches the support member .
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an actuator comprising the ball screw shaft support structure according to any one of the first to third aspects of the present invention.

以上述べたように、本願発明の請求項１記載のボールねじ軸サポート構造によると、ボールねじ軸と、上記ボールねじ軸によって駆動される駆動スライダと、上記駆動スライダと連動して移動されるフリースライダと、上記ボールねじ軸に離接可能に設置され弾性手段により上記ボールねじ軸に圧接されているとともに上記駆動スライダ又は上記フリースライダの接近により上記弾性手段の付勢力に抗して上記ボールねじ軸から離間されるサポート部材と、を具備したので、複数のスライダが設けられている場合において、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作できる。
又、請求項２記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項１記載のボールねじ軸サポート構造において、上記フリースライダには上記ボールねじ軸を支持するフリースライダ側サポート部材が設置されているので、確実にボールねじ軸の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作できる。
又、請求項３記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項２記載のボールねじ軸サポート構造において、上記駆動スライダと上記フリースライダは共通するスライダ本体が設けられていて、上記駆動スライダのスライダ本体にボールねじナットが設置され、上記フリースライダのスライダ本体に上記フリースライダ側サポート部材が設置されるので、より構成を簡略化できる。
又、請求項４記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項１記載のボールねじ軸サポート構造において、上記フリースライダ側サポート部材は上記ボールねじ軸によって貫通されるブッシュであるので、構成をより簡略化できる。
又、請求項５記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項１記載のボールねじ軸サポート構造において、上記フリースライダには上記サポート部材に接近した際に上記サポート部材が通過するサポート部材通過用凹部が設けられているので、構成をより簡略化できる。
又、請求項６記載のアクチュエータによると、請求項１～請求項５記載のボールねじ軸サポート構造が設けられたので、複数のスライダが設けられている場合において、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作できる。 As described above, the ball screw shaft support structure of the present invention as defined in claim 1 comprises a ball screw shaft, a drive slider driven by the ball screw shaft, a free slider moved in conjunction with the drive slider, and a support member that is installed so as to be able to be brought into contact with and separated from the ball screw shaft, is pressed against the ball screw shaft by elastic means, and is moved away from the ball screw shaft against the biasing force of the elastic means as the drive slider or the free slider approaches. Therefore, when a plurality of sliders are provided, a simple and compact configuration can be achieved to prevent bending of the ball screw shaft, suppress vibration and noise, and enable high-speed operation.
According to the ball screw shaft support structure of claim 2, in the ball screw shaft support structure of claim 1, a free slider side support member that supports the ball screw shaft is provided on the free slider, so that bending of the ball screw shaft is reliably prevented, vibration and noise are suppressed, and high-speed operation can be achieved.
According to the ball screw shaft support structure of claim 3, in the ball screw shaft support structure of claim 2, a common slider body is provided for the drive slider and the free slider, a ball screw nut is mounted on the slider body of the drive slider, and the free slider side support member is mounted on the slider body of the free slider, thereby further simplifying the configuration.
According to the ball screw shaft support structure of claim 4, since in the ball screw shaft support structure of claim 1, the free slider side support member is a bushing penetrated by the ball screw shaft, the structure can be further simplified.
Furthermore, according to the ball screw shaft support structure of claim 5, in the ball screw shaft support structure of claim 1, the free slider is provided with a support member passing recess through which the support member passes when it approaches the support member, thereby further simplifying the configuration.
Furthermore, according to the actuator of claim 6, the ball screw shaft support structure of claims 1 to 5 is provided, so that when multiple sliders are provided, the simple and compact configuration prevents bending of the ball screw shaft, suppresses vibration and noise, and enables high-speed operation.

本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an actuator according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、サポート部材付近を拡大した図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, and is a partial vertical cross-sectional view of an actuator, with an enlarged view of the vicinity of a support member. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 2, showing the first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータのサポート部材付近を拡大した一部斜視図である。FIG. 2 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, and is a partial perspective view showing an enlarged view of the vicinity of a support member of an actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図５（ａ）は駆動スライダの分解斜視図であり、図５（ｂ）はフリースライダの分解斜視図である。5A and 5B are diagrams showing a first embodiment of the present invention, in which FIG. 5A is an exploded perspective view of a drive slider, and FIG. 5B is an exploded perspective view of a free slider. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、ボールねじ軸サポート構造の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a ball screw shaft support structure according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、フリースライダがサポート部材に接近したときのサポート部材付近の拡大図である。FIG. 2 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, a partial vertical cross-sectional view of the actuator, and an enlarged view of the vicinity of the support member when the free slider approaches the support member. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部を除去した状態の一部斜視図であり、フリースライダがサポート部材に接近したときのサポート部材付近の拡大図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, a partial perspective view in a state where a part of an actuator is removed, and an enlarged view of the vicinity of a support member when a free slider approaches the support member. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、フリースライダのローラがサポート部材側の傾斜面に乗り上げて、上記サポート部材がボールねじ軸から離れ始めたときのサポート部材付近の拡大図である。FIG. 1 shows the first embodiment of the present invention, and is a partial longitudinal cross-sectional view of the actuator, and is an enlarged view of the vicinity of the support member when the roller of the free slider rides up onto the inclined surface on the support member side and the support member begins to move away from the ball screw shaft. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、上記サポート部材がボールねじ軸から離れ、受け部材とフリースライダの下面側に設けられた下面側摺動部材が摺接している状態のサポート部材付近の拡大図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, a partial longitudinal cross-sectional view of the actuator, and an enlarged view of the vicinity of the support member in a state where the support member is separated from the ball screw shaft and the receiving member and the lower surface side sliding member provided on the lower surface side of the free slider are in sliding contact with each other. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、フリースライダのローラと駆動スライダのローラがサポート部材側の前後両方の傾斜面に乗り上げて、上記サポート部材がボールねじ軸から離れたときのサポート部材付近の拡大図である。FIG. 1 shows the first embodiment of the present invention, and is a partial longitudinal cross-sectional view of the actuator, and is an enlarged view of the vicinity of the support member when the rollers of the free slider and the rollers of the drive slider ride up onto both the front and rear inclined surfaces on the support member side, causing the support member to separate from the ball screw shaft. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、上記サポート部材がボールねじ軸から離れ、受け部材と駆動スライダの下面側に設けられた下面側摺動部材が摺接している状態のサポート部材付近の拡大図である。FIG. 1 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, a partial longitudinal cross-sectional view of the actuator, and an enlarged view of the vicinity of the support member in a state where the support member is separated from the ball screw shaft and the receiving member and the lower surface side sliding member provided on the lower surface side of the drive slider are in sliding contact with each other. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、スライダがサポート部材を通過した直後の状態のサポート部材付近の拡大図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, a partial vertical cross-sectional view of an actuator, and an enlarged view of the vicinity of a support member in a state immediately after a slider has passed the support member. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、図１４（ａ）はアクチュエータの一部を除去した状態の一部斜視図であり、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＸＩＶｂ－ＸＩＶｂ断面図である。14A is a partial perspective view showing a state in which a part of an actuator is removed, and FIG. 14B is a cross-sectional view taken along line XIVb-XIVb of FIG. 14A, showing a second embodiment of the present invention. 本発明の第３の実施の形態を示す図で、図１５（ａ）はアクチュエータの一部を除去した状態の一部斜視図であり、図１５（ｂ）は図１５（ａ）のＸＶｂ－ＸＶｂ断面図である。15A is a partial perspective view showing a state in which a part of an actuator is removed, and FIG. 15B is a cross-sectional view taken along line XVb-XVb of FIG. 15A, showing a third embodiment of the present invention. 本発明の第４の実施の形態を示す図で、図１６（ａ）はボールねじ軸サポート構造の斜視図、図１６（ｂ）はボールねじ軸サポート構造の一部を除去した図、図１６（ｃ）は図１６（ａ）のＸＶＩｃ－ＸＶＩｃ断面図である。16(a) is a perspective view of a ball screw shaft support structure, FIG. 16(b) is a view of the ball screw shaft support structure with a portion thereof removed, and FIG. 16(c) is a cross-sectional view taken along line XVIc-XVIc of FIG. 16(a) showing a fourth embodiment of the present invention. 本発明の第５の実施の形態を示す図で、図１７（ａ）はボールねじ軸サポート構造の斜視図、図１７（ｂ）は図１７（ａ）のＸＶＩＩｂ－ＸＶＩＩｂ断面図である。17A and 17B are diagrams showing a fifth embodiment of the present invention, and FIG. 17A is a perspective view of a ball screw shaft support structure, and FIG. 17B is a cross-sectional view taken along line XVIIb-XVIIb of FIG. 17A. 本発明の第６の実施の形態を示す図で、図１８（ａ）はボールねじ軸サポート構造の斜視図、図１８（ｂ）は図１８（ａ）のＸＶＩＩＩｂ－ＸＶＩＩＩｂ断面図である。18A is a perspective view of a ball screw shaft support structure according to a sixth embodiment of the present invention, and FIG. 18B is a cross-sectional view taken along line XVIIIb-XVIIIb of FIG. 18A. 本発明の第７の実施の形態を示す図で、アクチュエータの斜視図である。FIG. 13 is a perspective view of an actuator according to a seventh embodiment of the present invention. 本発明の第８の実施の形態を示す図で、アクチュエータの横断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view of an actuator according to an eighth embodiment of the present invention.

以下、図１乃至図１３を参照しながら、本発明の第１の実施の形態について説明する。図１はこの第１の実施の形態によるアクチュエータ１の全体構成を示す斜視図であり、図２は要部縦断面図、図３は図２のＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。図１～図３に示すように、略Ｕ字型の断面形状を成すベース３がある。上記ベース３の左右両内側面にはガイドレール５、５が設置されている。上記ガイドレール５、５にはガイド溝７、７がそれぞれ形成されている。 The first embodiment of the present invention will be described below with reference to Figs. 1 to 13. Fig. 1 is a perspective view showing the overall configuration of an actuator 1 according to this first embodiment, Fig. 2 is a longitudinal cross-sectional view of the main parts, and Fig. 3 is a cross-sectional view taken along III-III in Fig. 2. As shown in Figs. 1 to 3, there is a base 3 having a substantially U-shaped cross-section. Guide rails 5, 5 are provided on both the left and right inner surfaces of the base 3. Guide grooves 7, 7 are formed in the guide rails 5, 5, respectively.

また、上記ベース３内にはボールねじ軸９が内装されている。また、図１に示すように、上記ベース３の前端側（図１中左下側）には軸受部８ａがあり、上記ベース３の後端側（図２中右上側）には軸受部８ｂがある。上記ボールねじ軸９はこれら軸受部８ａ、８ｂによって軸支されている。上記ボールねじ軸９には螺旋溝９ａが形成されている。 A ball screw shaft 9 is mounted inside the base 3. As shown in FIG. 1, the base 3 has a bearing 8a at its front end (lower left in FIG. 1) and a bearing 8b at its rear end (upper right in FIG. 2). The ball screw shaft 9 is supported by the bearings 8a and 8b. The ball screw shaft 9 has a spiral groove 9a formed therein.

図１、図２に示すように、上記ベース３には駆動スライダ１１とフリースライダ１３が連動して左右方向に移動可能に設置されている。上記駆動スライダ１１及び上記フリースライダ１３にはスライダ本体１４がある。上記駆動スライダ１１のスライダ本体１４と上記フリースライダ１３のスライダ本体１４は連結部材１６によって連結されていて、これにより上記駆動スライダ１１が移動すると、上記フリースライダ３も連動して移動されるようになっている。上記連結部材１６は、上記駆動スライダ１１のスライダ本体１４と上記フリースライダ１３のスライダ本体１４の幅方向（図１中左上から右下に向かう方向）両側に跨って設置され、図示しない固定ボルトで上記駆動スライダ１１のスライダ本体１４と上記フリースライダ１３のスライダ本体１４に固定されている。 As shown in Figs. 1 and 2, the drive slider 11 and the free slider 13 are installed on the base 3 so that they can move in the left-right direction in conjunction with each other. The drive slider 11 and the free slider 13 each have a slider body 14. The slider body 14 of the drive slider 11 and the slider body 14 of the free slider 13 are connected by a connecting member 16, so that when the drive slider 11 moves, the free slider 3 also moves in conjunction with each other. The connecting member 16 is installed across both sides of the slider body 14 of the drive slider 11 and the slider body 14 of the free slider 13 in the width direction (from the upper left to the lower right in Fig. 1), and is fixed to the slider body 14 of the drive slider 11 and the slider body 14 of the free slider 13 by a fixing bolt (not shown).

上記スライダ本体１４の幅方向の一方側（図１中左上側）であって前後方向（図１中左下から右上に向かう方向）両端にはそれぞれエンドキャップ１５、１５が設置されている。また、上記駆動スライダ１１のスライダ本体１４の幅方向の他方側（図１中右下側）であって前後方向（図１中左下から右上に向かう方向）両端にはそれぞれエンドキャップ１７、１７が設置されている（後端側のエンドキャップは図示せず。）。上記エンドキャップ１５、１７内には図示しないリターン路が形成されている。上記駆動スライダ１１のスライダ本体１４内の幅方向（図１中左上から右下に向かう方向）両側にはそれぞれ図示しない無負荷循環路が形成されている。また、上記駆動スライダ１１の幅方向（図１中左上から右下に向かう方向）両側面には図示しないガイド溝が形成されている。 End caps 15, 15 are installed on both ends of the front-rear direction (direction from lower left to upper right in FIG. 1) on one side of the width direction of the slider body 14 (upper left side in FIG. 1). End caps 17, 17 are installed on both ends of the front-rear direction (direction from lower left to upper right in FIG. 1) on the other side of the width direction of the slider body 14 of the driving slider 11 (lower right side in FIG. 1) (the end cap on the rear end side is not shown). A return path (not shown) is formed in the end caps 15, 17. Unloaded circulation paths (not shown) are formed on both sides of the width direction (direction from upper left to lower right in FIG. 1) in the slider body 14 of the driving slider 11. Also, guide grooves (not shown) are formed on both sides of the width direction (direction from upper left to lower right in FIG. 1) of the driving slider 11.

上記駆動スライダ１１のスライダ本体１４内の図示しない一方の無負荷循環路と、上記一方のエンドキャップ１５のリターン路、上記他方のエンドキャップ１５のリターン路、及び、上記一方のガイドレール５のガイド溝７と上記駆動スライダ１１のスライダ本体１４の図示しない一方のガイド溝の間の空間には、図示しない鋼球が転動・循環されている。また、上記駆動スライダ１１のスライダ本体１４内の図示しない他方の無負荷循環路と、上記一方のエンドキャップ１７のリターン路、上記他方のエンドキャップ１７のリターン路、及び、上記他方のガイドレール５のガイド溝７と上記駆動スライダ１１のスライダ本体１４の図示しない他方のガイド溝の間の空間にも、図示しない鋼球が転動・循環されている。このような構成により、上記駆動スライダ１１は上記ベース３に対して移動可能となっている。 Steel balls (not shown) roll and circulate in the space between the one unloaded circulation path (not shown) in the slider body 14 of the driving slider 11, the return path of the one end cap 15, the return path of the other end cap 15, and the guide groove 7 of the one guide rail 5 and the one guide groove (not shown) of the slider body 14 of the driving slider 11. Steel balls (not shown) roll and circulate in the space between the other unloaded circulation path (not shown) in the slider body 14 of the driving slider 11, the return path of the one end cap 17, the return path of the other end cap 17, and the space between the guide groove 7 of the other guide rail 5 and the other guide groove (not shown) of the slider body 14 of the driving slider 11. With this configuration, the driving slider 11 is movable relative to the base 3.

また、図２に示すように、上記駆動スライダ１１のスライダ本体１４にはボールねじナット収容凹部２７が形成されていて、上記ボールねじナット収容凹部２７内にはボールねじナット３１が収容されている。上記ボールねじナット３１にはボールねじナット本体３３と、前端側（図２中左側）のエンドキャップ３５と、後端側（図２中右側）のエンドキャップ３７がある。上記ボールねじ軸９は上記ボールねじナット３１を貫通している。上記ボールねじナット本体３３の内周面には螺旋溝３９が形成されている。また、上記ボールねじナット本体３３内には図示しない無負荷循環路が形成されていて、上記エンドキャップ３５、３７内には図示しないリターン路が形成されている。 As shown in FIG. 2, a ball screw nut accommodating recess 27 is formed in the slider body 14 of the drive slider 11, and a ball screw nut 31 is accommodated in the ball screw nut accommodating recess 27. The ball screw nut 31 has a ball screw nut body 33, an end cap 35 on the front end side (left side in FIG. 2), and an end cap 37 on the rear end side (right side in FIG. 2). The ball screw shaft 9 penetrates the ball screw nut 31. A spiral groove 39 is formed on the inner peripheral surface of the ball screw nut body 33. In addition, an unloaded circulation path (not shown) is formed in the ball screw nut body 33, and a return path (not shown) is formed in the end caps 35 and 37.

上記ボールねじナット本体３３の図示しない無負荷循環路内、上記エンドキャップ３５、３７の図示しないリターン路、及び、上記ボールねじナット本体３３の螺旋溝３９と上記ボールねじ軸９の螺旋溝９ａの間の空間には鋼球４１が転動・循環されている。
また、上記ボールねじナット本体３３には取付用フランジ部３４が設けられている。上記ボールねじナット３１は、図５（ａ）に示すように、固定ねじ３６を上記取付用フランジ部３４に貫通させて、上記スライダ本体１４に螺合させることで固定されている。
また、図１に示すように、上記ベース３の後端側（図１中右上側）にはモータ４３が設置されている。このモータ４３によって、上記ボールねじ軸９が回転・駆動される。上記ボールねじ軸９が回転・駆動されると、上記駆動スライダ１１が前後方向（図２中左右方向）に移動される。 Steel balls 41 roll and circulate in an unloaded circulation path (not shown) of the ball screw nut body 33, in a return path (not shown) of the end caps 35, 37, and in the space between the spiral groove 39 of the ball screw nut body 33 and the spiral groove 9a of the ball screw shaft 9.
Further, the ball screw nut body 33 is provided with an attachment flange portion 34. The ball screw nut 31 is fixed by passing a fixing screw 36 through the attachment flange portion 34 and screwing it into the slider body 14, as shown in Fig. 5(a) .
1, a motor 43 is provided on the rear end side (upper right side in FIG. 1) of the base 3. The ball screw shaft 9 is rotated and driven by the motor 43. When the ball screw shaft 9 is rotated and driven, the drive slider 11 is moved in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 2).

また、図２に示すように、上記駆動スライダ１１の下側の前端側（図２中左側）の幅方向両側（図２中紙面方向両側）にはボールねじナット側ローラとして樹脂製の前方ローラ２１、２１が回転可能に設置されている（図２中手前側の前方ローラ２１は図示せず。）。また、上記駆動スライダ１１の下側の後端側（図２中右側）の幅方向両側（図２中紙面方向両側）にはボールねじナット側ローラとして樹脂製の後方ローラ２３、２３が回転可能に設置されている（図２中手前側の後方ローラ２３は図示せず。）。また、上記駆動スライダ１１の下側の幅方向両端側（図２中紙面方向両側）には、板状の下面側摺動部材２５、２５が設置されている（図２中手前側の下面側摺動部材２５は図示せず。）。 As shown in FIG. 2, resin front rollers 21, 21 are rotatably installed as ball screw nut side rollers on both sides in the width direction (both sides in the paper direction in FIG. 2) of the lower front end side (left side in FIG. 2) of the driving slider 11 (the front roller 21 on the front side in FIG. 2 is not shown). Resin rear rollers 23, 23 are rotatably installed as ball screw nut side rollers on both sides in the width direction (both sides in the paper direction in FIG. 2) of the lower rear end side (right side in FIG. 2) of the driving slider 11 (the rear roller 23 on the front side in FIG. 2 is not shown). Plate-shaped lower surface side sliding members 25, 25 are installed on both sides in the width direction (both sides in the paper direction in FIG. 2) of the lower side of the driving slider 11 (the lower surface side sliding member 25 on the front side in FIG. 2 is not shown).

また、上記フリースライダ１３は、前記した駆動スライダ１１と略同様の構成であるが、ボールねじナット３１の代わりにフリースライダ側サポート部材としてのブッシュ４５が設置されている。上記ブッシュ４５は略筒状の部材で、中央には、ボールねじ軸９が貫通して配置される貫通孔４６が形成されている。上記ブッシュ４５は、例えば、図５（ｂ）に示すように、上記ボールねじナット収容凹部２７内に収容される。上記ブッシュ４５はブッシュ固定部材４７と固定ねじ４８によって上記スライダ本体１４に固定される。上記ブッシュ固定部材４７には、上記ボールねじナット収容凹部２７内に収容される略円筒形状の挿入部４９と上記ボールねじナット収容凹部２７の入り口の外側に配置されるフランジ部５０とから構成される。上記ブッシュ４５の径は、上記ボールねじナット収容凹部２７の径より小さく設定されていて、上記ブッシュ４５と上記ボールねじナット収容凹部２７との間の隙間に上記ブッシュ固定部材４７の挿入部４９が挿入される。上記ブッシュ固定部材４７は、上記固定ねじ４８を上記フランジ部５０に貫通させ、上記スライダ本体１４に螺合させることで固定されている。 The free slider 13 has a configuration substantially similar to that of the drive slider 11 described above, but instead of the ball screw nut 31, a bush 45 is installed as a free slider side support member. The bush 45 is a substantially cylindrical member, and a through hole 46 through which the ball screw shaft 9 is inserted is formed in the center. The bush 45 is accommodated in the ball screw nut accommodating recess 27, for example, as shown in FIG. 5(b). The bush 45 is fixed to the slider body 14 by a bush fixing member 47 and a fixing screw 48. The bush fixing member 47 is composed of an approximately cylindrical insert portion 49 accommodated in the ball screw nut accommodating recess 27 and a flange portion 50 arranged outside the entrance of the ball screw nut accommodating recess 27. The diameter of the bush 45 is set smaller than the diameter of the ball screw nut accommodating recess 27, and the insert portion 49 of the bush fixing member 47 is inserted into the gap between the bush 45 and the ball screw nut accommodating recess 27. The bush fixing member 47 is fixed by passing the fixing screw 48 through the flange portion 50 and screwing it into the slider body 14.

また、例えば、図２、図４に示すように、上記ベース３にはサポート部材収容凹部５１が形成されている。このサポート部材収容凹部５１内には、ボールねじ軸サポート構造５２が設置されている。上記ボールねじ軸サポート構造５２には、まず、サポート部材支持部材５３がある。このサポート部材支持部材５３にはサポート部材用ベース５４がある。上記サポート部材用ベース５４の前後両端側にはサポート部材用ベース取付板５５、５５が固着されている。上記サポート部材用ベース取付板５５の両端には貫通孔５６、５６が形成されている。上記サポート部材用ベース取付板５５、５５は固定用ねじ５７によって上記サポート部材用ベース５４に固定されている。上記サポート部材支持部材５３にはサポート部材ガイド用支柱５８、５８がある。上記サポート部材ガイド用支柱５８、５８は、上記サポート部材用ベース５４の前後方向（図２中左右方向）両端に立設されている。上記サポート部材ガイド用支柱５８、５８は固定用ねじ５９、５９によって上記サポート部材用ベース５４に固定されている。 Also, as shown in, for example, FIG. 2 and FIG. 4, the base 3 is formed with a support member accommodating recess 51. A ball screw shaft support structure 52 is installed in the support member accommodating recess 51. The ball screw shaft support structure 52 includes a support member support member 53. The support member support member 53 includes a support member base 54. Support member base mounting plates 55, 55 are fixed to both front and rear ends of the support member base 54. Through holes 56, 56 are formed at both ends of the support member base mounting plate 55. The support member base mounting plates 55, 55 are fixed to the support member base 54 by fixing screws 57. The support member support member 53 includes support member guide pillars 58, 58. The support member guide pillars 58, 58 are erected at both ends of the support member base 54 in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 2). The support member guide posts 58, 58 are fixed to the support member base 54 by fixing screws 59, 59.

上記サポート部材収容凹部５１の底部には、図２に示すように、サポート部材用ベース収容孔６０が形成されていて、上記サポート部材用ベース５４は上記サポート部材用ベース収容孔６０内に設置されている。
固定用ねじ６１を上記サポート部材用ベース取付板５５の貫通孔５６に貫通させて上記ベース３に螺合させることで、上記サポート部材用ベース５４、ひいては、上記サポート部材支持部材５３が上記ベース３に固定されている。これにより、上記ボールねじ軸サポート構造５２は１つのユニットとして上記サポート部材収容凹部５１に着脱できる構造となっている。
また、上記サポート部材支持部材５３には弾性手段としてのコイルバネ６２がある。上記コイルバネ６２は、後述するサポート部材６４と上記サポート部材用ベース５４との間に張置されている。
また、上記サポート部材用ベース５４の前後方向（図２中左右方向）中央には後述する緩衝機構の一部であるＵ字型の板バネ６３が設置されている。 As shown in FIG. 2, a support member base accommodating hole 60 is formed in the bottom of the support member accommodating recess 51, and the support member base 54 is placed in the support member base accommodating hole 60.
The support member base 54, and therefore the support member support member 53, are fixed to the base 3 by passing a fixing screw 61 through the through hole 56 of the support member base mounting plate 55 and screwing it into the base 3. This allows the ball screw shaft support structure 52 to be attached to and detached from the support member accommodating recess 51 as a single unit.
Further, the support member supporting member 53 has a coil spring 62 as an elastic means. The coil spring 62 is stretched between a support member 64 (to be described later) and the support member base 54.
Further, a U-shaped leaf spring 63 which is part of a shock-absorbing mechanism to be described later is provided at the center of the support member base 54 in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 2).

上記ボールねじ軸サポート構造５２にはサポート部材６４がある。上記サポート部材６４は、上記サポート部材収容凹部５１内であって上記サポート部材用ベース５４の上側に設置されている。図６に示すように、上記サポート部材６４にサポート部材本体６５があり、上記サポート部材本体６５の前後方向（図６中左下から右上に向かう方向）両端側には、ガイド用貫通孔６６、６６が形成されている。上記ガイド用貫通孔６６、６６には滑り軸受６７、６７が圧入されていて、上記サポート部材ガイド用支柱５８、５８はこれら滑り軸受６７、６７を貫通するように配置され、上記滑り軸受６７、６７と摺接するようになっている。上記サポート部材６４は上記サポート部材ガイド用支柱５８、５８に沿って上下方向に移動可能になっている。また、図２に示すように、上記サポート部材６４と上記サポート部材用ベース５４の間には、前記した弾性手段としてのコイルバネ６２が張設されている。上記コイルバネ６２により上記サポート部材６４は上記ボールねじ軸９側（図２中上側）に常時押圧・付勢されている。
上記のように、上記サポート部材支持部材５３は上記サポート部材用ベース５４と上記サポート部材用ベース５４に固着される上記サポート部材用ベース取付板５５、５５と上記サポート部材ガイド用支柱５８、５８と上記サポート部材本体６５を弾性支持しているコイルバネ６２により構成されている。 The ball screw shaft support structure 52 includes a support member 64. The support member 64 is installed in the support member accommodating recess 51 and above the support member base 54. As shown in FIG. 6, the support member 64 includes a support member body 65, and guide through holes 66, 66 are formed on both ends of the support member body 65 in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 6). Slide bearings 67, 67 are press-fitted into the guide through holes 66, 66, and the support member guide columns 58, 58 are arranged to pass through these slide bearings 67, 67 and are in sliding contact with the slide bearings 67, 67. The support member 64 is movable in the up-down direction along the support member guide columns 58, 58. In addition, as shown in FIG. 2, a coil spring 62 is stretched between the support member 64 and the support member base 54 as the elastic means. The support member 64 is constantly pressed and urged toward the ball screw shaft 9 (upper side in FIG. 2) by the coil spring 62 .
As described above, the support member support member 53 is composed of the support member base 54, the support member base mounting plates 55, 55 fixed to the support member base 54, the support member guide pillars 58, 58, and the coil spring 62 which elastically supports the support member main body 65.

上記サポート部材本体６５の上面側の前方（図６中左下）の幅方向（図６中左上から右下に向かう方向）両側にはサポート部材側傾斜面としての前方側傾斜面７１、７１が形成されていて、上記サポート部材本体６５の上面側の後方（図６中右上）の幅方向（図６中左上から右下に向かう方向）両側にはサポート部材側傾斜面としての後方側傾斜面７３、７３が形成されている。上記サポート部材６４には、サポート部材側傾斜面用緩衝材として、例えば、低反発のゴム製の前方側緩衝材７５、７５と後方側緩衝材７７、７７がある。上記前方側緩衝材７５、７５は上記前方側傾斜面７１、７１に設置されていて、上記後方側緩衝材７７、７７は上記後方側傾斜面７３、７３に設置されている。 Front inclined surfaces 71, 71 are formed on both sides of the front (lower left in FIG. 6) of the upper surface of the support member main body 65 in the width direction (direction from upper left to lower right in FIG. 6) as support member side inclined surfaces, and rear inclined surfaces 73, 73 are formed on both sides of the rear (upper right in FIG. 6) of the upper surface of the support member main body 65 in the width direction (direction from upper left to lower right in FIG. 6) as support member side inclined surfaces. The support member 64 has, for example, front side cushioning materials 75, 75 and rear side cushioning materials 77, 77 made of low-resilience rubber as cushioning materials for the support member side inclined surfaces. The front side cushioning materials 75, 75 are installed on the front side inclined surfaces 71, 71, and the rear side cushioning materials 77, 77 are installed on the rear side inclined surfaces 73, 73.

図７に示すように、上記駆動スライダ１１と上記フリースライダ１３が上記サポート部材６４側（図７中左側）へ移動して、上記フリースライダ１３の前方ローラ２１、２１が上記後方側傾斜面７３、７３の後方側緩衝材７７、７７に転動していくと、上記サポート部材６４が上記コイルバネ６２の弾性力に抗して図７中下側に押圧・付勢される。また、上記駆動スライダ１１と上記フリースライダ１３が図７に示す方向とは反対側から上記サポート部材６４側へ移動して、上記駆動スライダ１１の後方ローラ２３、２３が上記前方側傾斜面７１、７１の前方側緩衝材７５、７５に転動していく場合も、上記サポート部材６４が上記コイルバネ６２の弾性力に抗して図７中下側に押圧され付勢される。 As shown in FIG. 7, when the driving slider 11 and the free slider 13 move toward the support member 64 (left side in FIG. 7) and the front rollers 21, 21 of the free slider 13 roll against the rear cushioning materials 77, 77 of the rear inclined surfaces 73, 73, the support member 64 is pressed and urged downward in FIG. 7 against the elastic force of the coil spring 62. Also, when the driving slider 11 and the free slider 13 move toward the support member 64 from the opposite side to the direction shown in FIG. 7 and the rear rollers 23, 23 of the driving slider 11 roll against the front cushioning materials 75, 75 of the front inclined surfaces 71, 71, the support member 64 is pressed and urged downward in FIG. 7 against the elastic force of the coil spring 62.

また、上記サポート部材６４にはサポート部８１がある。上記サポート部材本体６５の上面側の中央にはサポート部用凹部７９が形成されていて、上記サポート部８１はこのサポート部用凹部７９に設置されている。上記サポート部８１には、例えば、ＰＯＭ（ポリオキシメチレン）製の受け部材８３と、例えば、フェルト製の受け部材用緩衝材８７がある。上記受け部材８３は上面側に配置されていて上記ボールねじ軸９を受けるようになっている。上記受け部材８３は上記受け部材用緩衝材８７を介して上記サポート部用凹部７９内に着脱可能に設置されている。 The support member 64 also has a support section 81. A support section recess 79 is formed in the center of the upper surface side of the support member main body 65, and the support section 81 is installed in this support section recess 79. The support section 81 has a receiving member 83 made of, for example, POM (polyoxymethylene) and a receiving member cushioning material 87 made of, for example, felt. The receiving member 83 is disposed on the upper surface side and is adapted to receive the ball screw shaft 9. The receiving member 83 is detachably installed in the support section recess 79 via the receiving member cushioning material 87.

上記受け部材８３には座グリ付きの貫通孔８８、８８が形成されていて、上記受け部材８３はボルト８９、８９を上記貫通孔８８、８８に貫通させて上記サポート部用凹部７９に形成された雌ねじ部６８、６８に螺合させることで上記サポート部材本体６５に固定されている。上記受け部材用緩衝材８７は上記ボルト８９、８９により、上記受け部材８３と共締め固定されている。また、上記サポート部用凹部７９に形成された雌ねじ部６８、６８の上記サポート部材本体６５の下面側からセットスクリュー８４、８４を螺合させており、上記セットスクリュー８４、８４の螺合位置を調整することで、上記受け部材用緩衝材８７の必要以上のつぶれを防止するとともに、上記受け部材８３の高さを調整している。 Through holes 88, 88 with counterbores are formed in the receiving member 83, and the receiving member 83 is fixed to the support member body 65 by passing bolts 89, 89 through the through holes 88, 88 and screwing them into the female threads 68, 68 formed in the support part recess 79. The receiving member cushioning material 87 is fastened and fixed together with the receiving member 83 by the bolts 89, 89. In addition, set screws 84, 84 are screwed from the underside of the support member body 65 to the female threads 68, 68 formed in the support part recess 79, and the screwing position of the set screws 84, 84 is adjusted to prevent the receiving member cushioning material 87 from being crushed more than necessary and to adjust the height of the receiving member 83.

上記受け部材８３の上面側には上記ボールねじ軸９を受けるための凹部８５が形成されている。上記受け部材８３の上記凹部８５の幅方向両側（図６中）は平面状の摺動部８６、８６となっている。図２に示すように、上記サポート部材６４が上記コイルバネ６２の弾性力により図２中上側に押圧・付勢されると、上記サポート部８１の受け部材８３の凹部８５によって上記ボールねじ軸９の中央付近が支持されて、上記ボールねじ軸９の撓みが防止される。
また、上記受け部材８３の前方には上記サポート部材本体６５の前方側傾斜面７１、７１と略連続する前方側傾斜面８２ａが形成されていて、上記受け部材８３の後方には上記サポート部材本体６５の後方側傾斜面７３、７３と略連続する後方側傾斜面８２ｂが形成されている。 A recess 85 for receiving the ball screw shaft 9 is formed on the upper surface side of the receiving member 83. Both sides in the width direction (in FIG. 6) of the recess 85 of the receiving member 83 are planar sliding portions 86, 86. As shown in FIG. 2, when the support member 64 is pressed and urged upward in FIG. 2 by the elastic force of the coil spring 62, the recess 85 of the receiving member 83 of the support portion 81 supports the vicinity of the center of the ball screw shaft 9, preventing the ball screw shaft 9 from bending.
In addition, a front side inclined surface 82a that is approximately continuous with the front side inclined surfaces 71, 71 of the support member main body 65 is formed in front of the receiving member 83, and a rear side inclined surface 82b that is approximately continuous with the rear side inclined surfaces 73, 73 of the support member main body 65 is formed in rear of the receiving member 83.

上記フェルト製の受け部材用緩衝材８７は上記受け部材８３の上記ボールねじ軸９への衝突時の衝撃を緩和させるためのものであり、また、上記サポート部材本体６５の下面側にも、例えば、低反発のゴム製のサポート部材用緩衝材９１、９１が設置されている。これらサポート部材用緩衝材９１、９１によって、上記サポート部材６４が上記サポート部材用ベース５４に衝突する際の衝撃を緩和する。
上記のように、上記サポート部材６４は上記サポート部材本体６５と上記サポート部材本体６５に設置される上記サポート部８１と上記サポート部材本体６５の上記前方側傾斜面７１、７１および上記後方側傾斜面７３、７３に設置される上記前方側緩衝材７５、７５と上記後方側緩衝材７７、７７により構成されている。 The felt cushioning material 87 for receiving member is intended to reduce the impact when the receiving member 83 collides with the ball screw shaft 9, and also, for example, cushioning materials 91, 91 for supporting member made of low-resilience rubber are provided on the lower surface side of the support member main body 65. These cushioning materials 91, 91 for supporting member reduce the impact when the support member 64 collides with the support member base 54.
As described above, the support member 64 is composed of the support member main body 65, the support portion 81 installed on the support member main body 65, and the front side cushioning materials 75, 75 and rear side cushioning materials 77, 77 installed on the front side inclined surfaces 71, 71 and the rear side inclined surfaces 73, 73 of the support member main body 65.

また、図２に示すように、上記サポート部材用ベース５４の前後方向（図２中左右方向）中央には後述する緩衝機構の一部であるＵ字型の板バネ６３が設置され、固定用ねじ９６、９６によって上記サポート部材用ベース５４に固定されている。また、図３、図６に示すように、上記サポート部材６４の幅方向（図３中左右方向）両側には、後述する緩衝機構の一部である当接部材９３、９３が固着されている。上記サポート部材６４は上記当接部材９３、９３を介して上記板バネ６３の両端の間に介挿されている。上記板バネ６３と上記当接部材９３、９３によって緩衝機構９５が構成されている。上記緩衝機構９５によって上記サポート部材６４の上方向の移動、すなわち、上記ボールねじ軸９に接近する動作が緩衝される。 As shown in FIG. 2, a U-shaped leaf spring 63, which is part of a cushioning mechanism described later, is installed in the center of the support member base 54 in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 2), and is fixed to the support member base 54 by fixing screws 96, 96. As shown in FIG. 3 and FIG. 6, abutment members 93, 93, which are part of a cushioning mechanism described later, are fixed to both sides of the support member 64 in the width direction (left-right direction in FIG. 3). The support member 64 is inserted between both ends of the leaf spring 63 via the abutment members 93, 93. The leaf spring 63 and the abutment members 93, 93 form a cushioning mechanism 95. The cushioning mechanism 95 cushions the upward movement of the support member 64, i.e., the movement of the support member 64 toward the ball screw shaft 9.

次に、この第１の実施の形態による作用について説明する。
使用形態としては、駆動スライダ１１とフリースライダ１３に図示しない大きな一つの積載対象物が跨って積載される場合や、上記駆動スライダ１１と上記フリースライダ１３に別々の図示しない積載対象物が積載される場合が考えられる。また、上記駆動スライダ１１と上記フリースライダ１３は連結部材１６によって連結されているため、負荷が分散される。 Next, the operation of the first embodiment will be described.
Possible usage patterns include a case where one large load object (not shown) is straddled and loaded across the driving slider 11 and the free slider 13, and a case where separate load objects (not shown) are loaded across the driving slider 11 and the free slider 13. In addition, since the driving slider 11 and the free slider 13 are connected by a connecting member 16, the load is distributed.

次に、動作について説明する。
モータ４３によってボールねじ軸９が回転・駆動されると、駆動スライダ１１が前後方向に進退され、上記駆動スライダ１１と連結部材１６で連結されたフリースライダ１３も同方向に移動される。上記駆動スライダ１１及び上記フリースライダ１３がサポート部材６４と離間している状態では、図２に示すように、上記サポート部材６４はコイルバネ６２の弾性力により図２中上側に押圧・付勢されていて、サポート部８１の受け部材８３の凹部８５によって上記ボールねじ軸９の中央付近が支持されて、上記ボールねじ軸９の撓みが防止されている。 Next, the operation will be described.
When the ball screw shaft 9 is rotated and driven by the motor 43, the drive slider 11 is advanced and retreated in the front-rear direction, and the free slider 13 connected to the drive slider 11 by the connecting member 16 is also moved in the same direction. In a state in which the drive slider 11 and the free slider 13 are separated from the support member 64, as shown in Fig. 2, the support member 64 is pressed and urged upward in Fig. 2 by the elastic force of the coil spring 62, and the vicinity of the center of the ball screw shaft 9 is supported by the recess 85 of the receiving member 83 of the support part 81, thereby preventing the ball screw shaft 9 from bending.

図７、図８に示すように、上記フリースライダ１３が図７中右側から上記サポート部材６４に接近すると、上記フリースライダ１３の前方ローラ２１、２１が上記後方側傾斜面７３、７３の後方側緩衝材７７、７７に当接して転動し始める。それによって、上記サポート部材６４は上記コイルバネ６２の弾性力に抗して反ボールねじ軸９側（図７中下側）に押圧・付勢され、上記受け部材８３の凹部８５による上記ボールねじ軸９の支持は解除される。上記前方ローラ２１、２１が上記後方側緩衝材７７、７７に衝突する際の衝撃は上記後方側緩衝材７７、７７によって緩和される。図９は上記フリースライダ１３がさらに上記サポート部材６４側に接近した状態を示しており、上記サポート部材６４が反ボールねじ軸９側（図９中下側）にさらに押圧・付勢されている。
上記フリースライダ１３が更に図９中左側に移動すると、上記前方ローラ２１、２１は上記受け部材８３の後方側傾斜面８２ｂ、８２ｂに当接して転動し、その後上記受け部材８３の摺動部８６、８６に当接して転動し、更に上記受け部材８３の前方側傾斜面８２ａ、８２ａに当接して転動する。 As shown in Figures 7 and 8, when the free slider 13 approaches the support member 64 from the right side in Figure 7, the front rollers 21, 21 of the free slider 13 come into contact with the rear buffer materials 77, 77 of the rear inclined surfaces 73, 73 and start rolling. As a result, the support member 64 is pressed and urged toward the anti-ball screw shaft 9 side (lower side in Figure 7) against the elastic force of the coil spring 62, and the support of the ball screw shaft 9 by the recess 85 of the receiving member 83 is released. The impact when the front rollers 21, 21 collide with the rear buffer materials 77, 77 is mitigated by the rear buffer materials 77, 77. Figure 9 shows a state in which the free slider 13 approaches further toward the support member 64, and the support member 64 is further pressed and urged toward the anti-ball screw shaft 9 side (lower side in Figure 9).
When the free slider 13 moves further to the left in Figure 9, the front rollers 21, 21 abut against the rear inclined surfaces 82b, 82b of the receiving member 83 and roll, then abut against the sliding portions 86, 86 of the receiving member 83 and roll, and further abut against the front inclined surfaces 82a, 82a of the receiving member 83 and roll.

図１０に示すように、上記フリースライダ１３が上記サポート部材６４の真上に移動すると、上記前方ローラ２１、２１は上記受け部材８３から離れるが、上記サポート部材６４の受け部材８３の摺動部８６、８６が、上記フリースライダ１３の下面側摺動部材２５、２５に摺接される。このとき、上記サポート部材６４は最も下側に押圧・付勢されている。上記サポート部材６４が上記サポート部材用ベース５４に衝突する際の衝撃はサポート部材用緩衝材９１、９１によって緩和される。 As shown in FIG. 10, when the free slider 13 moves directly above the support member 64, the front rollers 21, 21 move away from the receiving member 83, but the sliding parts 86, 86 of the receiving member 83 of the support member 64 slide against the lower side sliding members 25, 25 of the free slider 13. At this time, the support member 64 is pressed and urged to the lowest side. The impact when the support member 64 collides with the support member base 54 is mitigated by the support member cushioning materials 91, 91.

次に、上記フリースライダ１３が上記サポート部材６４の上側を通過していき、上記フリースライダ１３の後方ローラ２３、２３が、上記受け部材８３の後方側傾斜面８２ｂ、８２ｂ、摺動部８６、８６、及び、前方側傾斜面８２ａ、８２ａに当接して転動された後、前方側傾斜面７１、７１の前方側緩衝材７５、７５を介して上記サポート部材６４を上記コイルバネ６２の弾性力に抗して反ボールねじ軸９側（図１０中下側）に押圧・付勢した状態になり、その後、図１１に示すように、上記フリースライダ１３の後方ローラ２３、２３が前方側傾斜面７１、７１の前方側緩衝材７５、７５に当接するとともに上記駆動スライダ１１の前方ローラ２１、２１が上記後方側傾斜面７３、７３の後方側緩衝材７７、７７に当接する状態になる。 Next, the free slider 13 passes above the support member 64, and the rear rollers 23, 23 of the free slider 13 roll against the rear inclined surfaces 82b, 82b, sliding parts 86, 86, and front inclined surfaces 82a, 82a of the receiving member 83, and then the support member 64 is pressed and urged against the elastic force of the coil spring 62 toward the opposite side of the ball screw shaft 9 (the lower side in FIG. 10) via the front buffer materials 75, 75 of the front inclined surfaces 71, 71. Then, as shown in FIG. 11, the rear rollers 23, 23 of the free slider 13 come into contact with the front buffer materials 75, 75 of the front inclined surfaces 71, 71, and the front rollers 21, 21 of the drive slider 11 come into contact with the rear buffer materials 77, 77 of the rear inclined surfaces 73, 73.

その後、上記駆動スライダ１１が更に図１１中左側に移動すると、上記駆動スライダ１１の前方ローラ２１、２１は上記受け部材８３の後方側傾斜面８２ｂ、８２ｂに当接して転動し、その後上記受け部材８３の摺動部８６、８６に当接して転動し、更に上記受け部材８３の前方側傾斜面８２ａ、８２ａに当接して転動する。 After that, when the driving slider 11 moves further to the left in FIG. 11, the front rollers 21, 21 of the driving slider 11 roll against the rear inclined surfaces 82b, 82b of the receiving member 83, then roll against the sliding parts 86, 86 of the receiving member 83, and further roll against the front inclined surfaces 82a, 82a of the receiving member 83.

図１２に示すように、上記駆動スライダ１１が上記サポート部材６４の真上に移動すると、上記駆動スライダ１１の前方ローラ２１、２１は上記受け部材８３から離れるが、上記サポート部材６４の受け部材８３の摺動部８６、８６が、上記駆動スライダ１１の下面側摺動部材２５、２５に摺接される。このとき、上記サポート部材６４は最も下側に押圧・付勢されている。上記サポート部材６４が上記サポート部材用ベース５４に衝突する際の衝撃はサポート部材用緩衝材９１、９１によって緩和される。 As shown in FIG. 12, when the driving slider 11 moves directly above the support member 64, the front rollers 21, 21 of the driving slider 11 move away from the receiving member 83, but the sliding parts 86, 86 of the receiving member 83 of the support member 64 slide against the lower surface side sliding members 25, 25 of the driving slider 11. At this time, the support member 64 is pressed and urged to the lowest side. The impact when the support member 64 collides with the support member base 54 is mitigated by the support member cushioning materials 91, 91.

次に、上記駆動スライダ１１が上記サポート部材６４の上側を通過していくと、上記駆動スライダ１１の後方ローラ２３、２３が、上記受け部材８３の後方側傾斜面８２ｂ、８２ｂ、摺動部８６、８６、及び、前方側傾斜面８２ａ、８２ａに当接して転動された後、前方側傾斜面７１、７１の前方側緩衝材７５、７５を介して上記サポート部材６４を上記コイルバネ６２の弾性力に抗して反ボールねじ軸９側（図１３中下側）に押圧・付勢した状態になるが、上記駆動スライダ１１の移動によりその押圧・付勢は徐々に解除されていく。そして、図１３に示すように、上記駆動スライダ１１が図１３中左側に移動されると、再び上記サポート部材６４はコイルバネ６２の弾性力により図１３中上側に押圧・付勢され、サポート部８１の受け部材８３の凹部８５によって上記ボールねじ軸９の中央付近が支持されて、上記ボールねじ軸９の撓みが防止される状態となる。上記受け部材８３が上記ボールねじ軸９に再び当接される際の衝撃は受け部材用緩衝材８７によって緩衝される。
また、上記サポート部材６４が上側に復帰する際の急激な上昇は緩衝機構９５の上記板バネ６３と上記当接部材９３とが接触し抵抗となることによって緩和され、それによって騒音の発生を防止している。 Next, as the drive slider 11 passes above the support member 64, the rear rollers 23, 23 of the drive slider 11 roll against the rear inclined surfaces 82b, 82b, sliding portions 86, 86, and front inclined surfaces 82a, 82a of the receiving member 83, and then press and urge the support member 64 toward the anti-ball screw shaft 9 side (lower side in Figure 13) against the elastic force of the coil spring 62 via the front cushioning materials 75, 75 of the front inclined surfaces 71, 71. However, as the drive slider 11 moves, this pressing and urging is gradually released. 13, when the driving slider 11 is moved to the left in Fig. 13, the support member 64 is again pressed and urged upward in Fig. 13 by the elastic force of the coil spring 62, and the vicinity of the center of the ball screw shaft 9 is supported by the recess 85 of the receiving member 83 of the support portion 81, thereby preventing the ball screw shaft 9 from bending. The impact when the receiving member 83 comes into contact with the ball screw shaft 9 again is buffered by the receiving member buffer material 87.
Furthermore, the sudden rise of the support member 64 when it returns to the upper side is mitigated by the leaf spring 63 of the buffer mechanism 95 coming into contact with the abutment member 93 and providing resistance, thereby preventing the generation of noise.

また、駆動スライダ１１及びフリースライダ１３が図２に示す方向とは反対側からサポート部材６４に接近して通過していく場合も同様である。この場合には、駆動スライダ１１の後方ローラ２３、２３がサポート部材６４の前方側傾斜面７１、７１の前方側緩衝材７５、７５に当接して転動していくことによりサポート部材６４がコイルバネ６２の付勢力に抗して押し下げられることになる。
また、上記ボールねじ軸サポート構造５２は１つのユニットとして上記サポート部材収容凹部５１に着脱できる構造となっている。 The same applies to the case where the driving slider 11 and the free slider 13 approach and pass by the support member 64 from the opposite direction to the direction shown in Fig. 2. In this case, the rear rollers 23, 23 of the driving slider 11 come into contact with the front cushioning materials 75, 75 of the front inclined surfaces 71, 71 of the support member 64 and roll, so that the support member 64 is pressed down against the biasing force of the coil spring 62.
Moreover, the ball screw shaft support structure 52 is structured so as to be detachable from the support member accommodating recess 51 as a single unit.

また、連結部材１６の長さによって、上記駆動スライダ１１とフリースライダ１３の間の距離が設定される。上記駆動スライダ１１とフリースライダ１３の間の距離が大きければ、上記駆動スライダ１１とフリースライダ１３の何れか一方が上記サポート部材６４を通過した後に上記サポート部材６４がボールねじ軸９を支持する状態に復帰してから、上記駆動スライダ１１とフリースライダ１３の何れか他方が上記サポート部材６４を通過する場合もある。 The distance between the drive slider 11 and the free slider 13 is set by the length of the connecting member 16. If the distance between the drive slider 11 and the free slider 13 is large, it may happen that after one of the drive slider 11 and the free slider 13 passes through the support member 64, the support member 64 returns to a state in which it supports the ball screw shaft 9, and then the other of the drive slider 11 and the free slider 13 passes through the support member 64.

次に、この第１の実施の形態による効果について説明する。
まず、複数のスライダが設けられている場合において、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸９の撓みを防止することができ、振動や騒音を抑制して高速化に対応することができる。すなわち、駆動スライダ１１及びフリースライダ１３が設置されていて、ボールねじ軸９を支持する受け部材８３を備えたサポート部材６４をコイルバネ６２によって常時ボールねじ軸９側に付勢する構成とし、それを上記駆動スライダ１１及び上記フリースライダ１３の前方ローラ２１、２１及び後方ローラ２３、２３、上記サポート部材６４の前方側傾斜面７１、７１と後方側傾斜面７３、７３の協働によって適宜押し下げるように構成したからである。 Next, the effects of the first embodiment will be described.
First, in the case where a plurality of sliders are provided, the simple and compact configuration can prevent the ball screw shaft 9 from bending, and can suppress vibration and noise to accommodate higher speeds. That is, the drive slider 11 and free slider 13 are provided, and the support member 64 having the receiving member 83 for supporting the ball screw shaft 9 is constantly biased toward the ball screw shaft 9 by the coil spring 62, and is appropriately pressed down by the cooperation of the front rollers 21, 21 and rear rollers 23, 23 of the drive slider 11 and the free slider 13, and the front inclined surfaces 71, 71 and rear inclined surfaces 73, 73 of the support member 64.

また、上記フリースライダ１３にはフリースライダ側サポート部材としてのブッシュ４５が設置されているので、上記サポート部材６４が上記フリースライダ１３によって押し下げられていても確実に上記ボールねじ軸９の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作できる。
また、上記駆動スライダ１１と上記フリースライダ１３には共通の構成を有するスライダ本体１４があるため、構成がより簡略化されている。 Furthermore, since the free slider 13 is provided with a bush 45 as a free slider side support member, even if the support member 64 is pressed down by the free slider 13, the ball screw shaft 9 is reliably prevented from bending, vibration and noise are suppressed, and high speed operation is possible.
Furthermore, since the drive slider 11 and the free slider 13 have the slider body 14 having a common structure, the structure is further simplified.

また、上記受け部材８３とサポート部材本体６５との間には受け部材用緩衝材８７が介挿されているので、上記受け部材８３が上記ボールねじ軸９に衝突した際の衝撃を簡易な構成により緩和することができる。
また、上記受け部材８３は着脱可能に設置されているので、交換が容易である。
また、上記受け部材用緩衝材８７はフェルト製であるので構成は簡単でありその緩衝効果及び吸音効果も高い。 In addition, since a cushioning material 87 for the receiving member is interposed between the receiving member 83 and the support member main body 65, the impact when the receiving member 83 collides with the ball screw shaft 9 can be mitigated with a simple structure.
Moreover, since the receiving member 83 is detachably installed, it can be easily replaced.
Moreover, since the cushioning material 87 for the receiving member is made of felt, the structure is simple and the cushioning effect and sound absorbing effect are high.

また、上記サポート部材６４の下面側にも、サポート部材用緩衝材９１、９１が設置されているので、上記サポート部材６４が上記サポート部材用ベース５４に衝突する際の衝撃を緩和することができる。
また、前方ローラ２１、後方ローラ２３、上記前方側傾斜面７１、７１、後方側傾斜面７３、７３の協働によって上記サポート部材６４を昇降させるようにしているので、サポート部材６４の昇降動作を円滑なものとすることができる。 In addition, since support member cushioning materials 91, 91 are also provided on the lower surface side of the support member 64, it is possible to reduce the impact when the support member 64 collides with the support member base 54.
In addition, since the support member 64 is raised and lowered by cooperation of the front roller 21, the rear roller 23, the front inclined surfaces 71, 71, and the rear inclined surfaces 73, 73, the raising and lowering operation of the support member 64 can be made smooth.

また、上記前方側傾斜面７１、７１と後方側傾斜面７３、７３には、前方側緩衝材７５、７５と後方側緩衝材７７、７７が設置されているので、前方ローラ２１や後方ローラ２３が衝突した際の衝撃を緩和することができる。
上記サポート部材用緩衝材９１、９１、上記前方側緩衝材７５、７５、及び、後方側緩衝材７７、７７は、例えば低反発のゴム製であるので、簡単な構成で高い緩衝効果を得ることができる。 In addition, front cushioning materials 75, 75 and rear cushioning materials 77, 77 are provided on the front inclined surfaces 71, 71 and rear inclined surfaces 73, 73, so that the impact when the front roller 21 or the rear roller 23 collides can be mitigated.
The support member cushioning materials 91, 91, the front side cushioning materials 75, 75 and the rear side cushioning materials 77, 77 are made of, for example, low-resilience rubber, and therefore a high cushioning effect can be obtained with a simple structure.

また、緩衝機構９５が設けられているので、上記サポート部材６４の急激な上昇を抑え、上記ボールねじ軸９への衝撃を緩和するとともに騒音を防止することができる。また、上記緩衝機構９５は上記板バネ６３と上記当接部材９３、９３によって構成されているので、その構成も簡単である。
また、アクチュエータ１には一つの上記サポート部材６４が設置されているので、その構成も簡単である。 In addition, since a buffer mechanism 95 is provided, it is possible to suppress a sudden rise of the support member 64, reduce the impact on the ball screw shaft 9, and prevent noise. In addition, since the buffer mechanism 95 is composed of the leaf spring 63 and the abutment members 93, 93, the configuration is also simple.
Furthermore, since the actuator 1 is provided with only one support member 64, the structure is simple.

次に、図１４を参照しながら、本発明の第２の実施の形態について説明する。
図１４に示すように、この第２の実施の形態によるアクチュエータ１０１には、前記した第１の実施の形態の場合と同様にボールねじ軸サポート構造５２が設けられているが、フリースライダ１３の下側には前方ローラ２１、２１の代わりに前方側傾斜面部材１０３、１０３が設けられていて、後方ローラ２３、２３の代わりに、後方側傾斜面部材１０５、１０５が設けられている。
また、図１４には図示されない駆動スライダ１１にも上記フリースライダ１３と同様に、前方側傾斜面部材１０３、１０３と後方側傾斜面部材１０５、１０５が設けられている。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 14, the actuator 101 according to the second embodiment is provided with a ball screw shaft support structure 52 similar to the first embodiment described above, but front inclined surface members 103, 103 are provided under the free slider 13 in place of the front rollers 21, 21, and rear inclined surface members 105, 105 are provided in place of the rear rollers 23, 23.
Similarly to the free slider 13, the driving slider 11 (not shown in FIG. 14) is also provided with front side inclined surface members 103, 103 and rear side inclined surface members 105, 105.

上記前方側傾斜面部材１０３は、例えば、図１４（ｂ）に示すように、サポート部材本体６５の後方側傾斜面７３と平行なボールねじナット側傾斜面１０７が設けられた部材である。また、上記後方側傾斜面部材１０５は、上記サポート部材本体６５の前方側傾斜面７１と平行なボールねじナット側傾斜面１０９が設けられた部材である。 The front side inclined surface member 103 is a member provided with a ball screw nut side inclined surface 107 that is parallel to the rear side inclined surface 73 of the support member main body 65, as shown in FIG. 14(b), for example. The rear side inclined surface member 105 is a member provided with a ball screw nut side inclined surface 109 that is parallel to the front side inclined surface 71 of the support member main body 65.

この第２の実施の形態の場合は、上記前方側傾斜面部材１０３のボールねじナット側傾斜面１０７が上記サポート部材本体６５の後方側傾斜面７３に当接する、または、上記後方側傾斜面部材１０５のボールねじナット側傾斜面１０９が上記サポート部材本体６５の前方側傾斜面７１に当接することで、サポート部材６４が下側に押し下げられる。
また、図６に示すように、上記サポート部材本体６５の上記前方側傾斜面７１と上記後方側傾斜面７３には前方側緩衝材７５と後方側緩衝材７７が設置されているが、上記傾斜面１０７や上記傾斜面１０９にも図示しない緩衝材を設置してもよい。
また、上記サポート部材本体６５の上記前方側傾斜面７１と上記後方側傾斜面７３に緩衝材を設置せず、上記傾斜面１０７や上記傾斜面１０９に図示しない緩衝材を設置する場合も考えられる。
なお、前記第１の実施の形態の場合と共通する構成には同一符号を付して示しその説明を省略する。 In the case of this second embodiment, the ball screw nut side inclined surface 107 of the front side inclined surface member 103 abuts against the rear side inclined surface 73 of the support member main body 65, or the ball screw nut side inclined surface 109 of the rear side inclined surface member 105 abuts against the front side inclined surface 71 of the support member main body 65, thereby pushing the support member 64 downward.
As shown in FIG. 6, a front cushioning material 75 and a rear cushioning material 77 are provided on the front inclined surface 71 and the rear inclined surface 73 of the support member main body 65, but cushioning materials (not shown) may also be provided on the inclined surface 107 and the inclined surface 109.
Further, it is also possible to consider a case where no cushioning material is provided on the front inclined surface 71 and the rear inclined surface 73 of the support member main body 65, but a cushioning material (not shown) is provided on the inclined surface 107 and the inclined surface 109.
The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

次に、図１５を参照しながら、本発明の第３の実施の形態について説明する。
図１５に示すように、アクチュエータ２０１は、前記した第２の実施の形態の場合と同様に、フリースライダ１３の下側に前方側傾斜面部材１０３、１０３と後方側傾斜面部材１０５、１０５が設置されているが、ベース３のサポート部材収容凹部５１内にはボールねじ軸サポート構造２０３が設置されている。
また、前記した第２の実施の形態の場合と同様に、図１５で図示しない駆動スライダ１１にも、前方側傾斜面部材１０３、１０３と後方側傾斜面部材１０５、１０５が設けられている。 Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in Figure 15, the actuator 201 has front side inclined surface members 103, 103 and rear side inclined surface members 105, 105 installed under the free slider 13, as in the case of the second embodiment described above, but a ball screw shaft support structure 203 is installed within the support member accommodating recess 51 of the base 3.
As in the second embodiment, the drive slider 11 (not shown in FIG. 15) is also provided with front inclined surface members 103, 103 and rear inclined surface members 105, 105.

上記ボールねじ軸サポート構造２０３には、サポート部材２０４とサポート部材支持部材５３がある。上記サポート部材２０４にはサポート部材本体２０５がある。上記サポート部材本体２０５の前後方向（図１５（ａ）中左下から右上に向かう方向）両端には、ガイド用貫通孔２０７、２０７が形成されている。上記ガイド用貫通孔２０７、２０７には滑り軸受２０９、２０９が圧入されていて、サポート部材ガイド用支柱５８、５８はこれら滑り軸受２０９、２０９を貫通するように配置され、上記滑り軸受２０９、２０９と摺接するようになっている。 The ball screw shaft support structure 203 includes a support member 204 and a support member support member 53. The support member 204 includes a support member body 205. Guide through holes 207, 207 are formed at both ends of the support member body 205 in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 15(a)). Slide bearings 209, 209 are pressed into the guide through holes 207, 207, and the support member guide pillars 58, 58 are arranged to pass through these slide bearings 209, 209 and are in sliding contact with the slide bearings 209, 209.

上記サポート部材本体２０５の幅方向（図１５（ａ）中左上から右下に向かう方向）両端にはサポート部材側ローラ２１１、２１１が回転可能に設置されている。この第３の実施の形態の場合は、上記サポート部材側ローラ２１１、２１１が上記フリースライダ１３に設置された前方側傾斜面部材１０３の傾斜面１０７や後方側傾斜面部材１０５の傾斜面１０９に当接して転動されることで、上記サポート部材２０４が下側に押圧され付勢されるようになっている。
また、上記傾斜面１０７や上記傾斜面１０９に図示しない緩衝材を設置する場合も考えられる。
なお、前記第１の実施の形態の場合と共通する構成には同一符号を付して示しその説明を省略する。 Support member side rollers 211, 211 are rotatably installed on both ends in the width direction (the direction from the upper left to the lower right in FIG. 15(a)) of the support member main body 205. In the case of the third embodiment, the support member side rollers 211, 211 abut against the inclined surface 107 of the front side inclined surface member 103 and the inclined surface 109 of the rear side inclined surface member 105 installed on the free slider 13 and roll, so that the support member 204 is pressed downward and urged.
Further, a buffer material (not shown) may be provided on the inclined surface 107 and the inclined surface 109 .
The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

次に、図１６を参照しながら、本発明の第４の実施の形態について説明する。
この第４の実施の形態では、図１６に示すようなボールねじ軸サポート構造３０１が用いられている。このボールねじ軸サポート構造３０１は、前記した第１の実施の形態や第２の実施の形態におけるボールねじ軸サポート構造５２と略同様の構成であるが、緩衝機構９５の代わりに緩衝機構３０３が設けられている。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the fourth embodiment, a ball screw shaft support structure 301 as shown in Fig. 16 is used. This ball screw shaft support structure 301 has a configuration substantially similar to the ball screw shaft support structure 52 in the first and second embodiments described above, but a buffer mechanism 303 is provided instead of the buffer mechanism 95.

上記緩衝機構３０３は、サポート部材用ベース５４に固定された略Ｕ字型の横断面形状を成す当接部材３０５と、サポート部材本体６５の幅方向（図１６（ｃ）中左右方向）両側に設置された板バネ３０７、３０７とから構成される。
例えば図１６（ａ）に示すようにサポート部材６４は上記当接部材３０５の内側に配置されていて、上記板バネ３０７、３０７の先端側は図１６（ｂ）や図１６（ｃ）に示すように上記当接部材３０５の内側の側面に当接して付勢している。 The buffer mechanism 303 is composed of a contact member 305 having an approximately U-shaped cross-sectional shape fixed to the support member base 54, and leaf springs 307, 307 installed on both sides of the width direction (left and right direction in Figure 16 (c)) of the support member main body 65.
For example, as shown in FIG. 16(a), the support member 64 is disposed inside the abutment member 305, and the tip sides of the leaf springs 307, 307 abut against the inner side surface of the abutment member 305 to bias it, as shown in FIG. 16(b) and FIG. 16(c).

上記緩衝機構３０３によると、前記した第１の実施の形態の場合の緩衝機構９５と同様、上記サポート部材６４の上方向の移動、すなわち、上記ボールねじ軸９に接近する動作が緩衝される。 The buffer mechanism 303, like the buffer mechanism 95 in the first embodiment described above, buffers the upward movement of the support member 64, i.e., the movement toward the ball screw shaft 9.

次に、図１７を参照しながら、本発明の第５の実施の形態について説明する。
この第５の実施の形態では、図１７に示すようなボールねじ軸サポート構造４０１が用いられている。このボールねじ軸サポート構造４０１は、前記した第１の実施の形態や第２の実施の形態におけるボールねじ軸サポート構造５２と略同様の構成であるが、サポート部材本体６５の幅方向（図１７（ｂ）中左右方向）両側に緩衝機構４０３、４０３が設けられている。 Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the fifth embodiment, a ball screw shaft support structure 401 as shown in Fig. 17 is used. This ball screw shaft support structure 401 has a configuration substantially similar to the ball screw shaft support structure 52 in the first and second embodiments described above, but buffer mechanisms 403, 403 are provided on both sides in the width direction (left and right direction in Fig. 17(b)) of the support member main body 65.

上記緩衝機構４０３にはダンパ取付部材４０５がある。図１７（ａ）にしめすように、ダンパ取付部材４０５の中央には段付き貫通孔４０７、４０７が設けられている。上記ダンパ取付部材４０５は、固定用ねじ４０９、４０９を上記段付き貫通孔４０７、４０７に貫通させてサポート部材本体６５に螺合させることで、上記サポート部材本体６５に固定されている。 The buffer mechanism 403 has a damper mounting member 405. As shown in FIG. 17(a), stepped through holes 407, 407 are provided in the center of the damper mounting member 405. The damper mounting member 405 is fixed to the support member main body 65 by passing fixing screws 409, 409 through the stepped through holes 407, 407 and screwing them into the support member main body 65.

また、図１７（ａ）にしめすように、上記ダンパ取付部材４０５の前後方向両端にはダンパ４１１、４１１が設置されている。上記ダンパ４１１にはシリンダ４１３とロッド４１５がある。上記シリンダ４１３内には図示しないオイルが封入されていて、上記ロッド４１５の上記シリンダ４１３内部側の端部には図示しないピストンが固着されている。上記ロッド４１５の図１７中下端は図示しないアクチュエータのベースに固着されている。よって、サポート部材６４が図１７中上下方向に移動されると、上記シリンダ４１３が上記ロッド４１５に対して相対的に移動されることになる。このとき、上記シリンダ４１３内の図示しないオイルの抵抗により上記シリンダ４１３、ひいては、上記サポート部材６４の移動が緩衝される。 As shown in FIG. 17(a), dampers 411, 411 are installed at both front and rear ends of the damper mounting member 405. The damper 411 has a cylinder 413 and a rod 415. Oil (not shown) is sealed in the cylinder 413, and a piston (not shown) is fixed to the end of the rod 415 on the inside side of the cylinder 413. The lower end of the rod 415 in FIG. 17 is fixed to the base of an actuator (not shown). Therefore, when the support member 64 is moved in the vertical direction in FIG. 17, the cylinder 413 is moved relative to the rod 415. At this time, the movement of the cylinder 413 and, by extension, the support member 64 is buffered by the resistance of the oil (not shown) in the cylinder 413.

次に、図１８を参照しながら、本発明の第６の実施の形態について説明する。
この第６の実施の形態では、図１８に示すようなボールねじ軸サポート構造５０１が用いられている。このボールねじ軸サポート構造５０１は、前記した第１の実施の形態や第２の実施の形態におけるボールねじ軸サポート構造５２と略同様の構成であるが、サポート部材用ベース５４に緩衝機構５０３が設置されている。 Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the sixth embodiment, a ball screw shaft support structure 501 as shown in Fig. 18 is used. This ball screw shaft support structure 501 has a configuration substantially similar to the ball screw shaft support structure 52 in the first and second embodiments described above, but a buffer mechanism 503 is provided on the support member base 54.

上記緩衝機構５０３には上記サポート部材用ベース５４に固着された長方形のプレート５０５がある。このプレート５０５の各角部にはダンパ５０７、５０７、５０７、５０７（図１８（ａ）中左端のダンパ５０７は図示されていない）が設置されている。上記ダンパ５０７は前記した第５の実施の形態のダンパ４１１と同様の構成であり、シリンダ５０９とロッド５１１がある。上記シリンダ５０９は上記プレート５０５に固着されており、上記ロッド５１１の図１８中上端がサポート部材本体６５の底面に固着されている。
上記ダンパ５０７によってサポート部材６４の図１８中上下方向の移動が緩衝される。 The buffer mechanism 503 has a rectangular plate 505 fixed to the support member base 54. Dampers 507, 507, 507, 507 (the damper 507 at the left end in FIG. 18A is not shown) are provided at each corner of this plate 505. The damper 507 has a similar structure to the damper 411 in the fifth embodiment described above, and has a cylinder 509 and a rod 511. The cylinder 509 is fixed to the plate 505, and the upper end of the rod 511 in FIG. 18 is fixed to the bottom surface of the support member main body 65.
The damper 507 damps the movement of the support member 64 in the vertical direction in FIG.

次に、図１９を参照しながら、本発明の第７の実施の形態について説明する。
前記第１の実施の形態の場合は、軸方向の中央一箇所に１個のボールねじ軸サポート構造５２が設けられた構成を例に挙げて説明したが、この第７の実施の形態によるアクチュエータ７０１の場合には、軸方向の二箇所にボールねじ軸サポート構造５２、５２をそれぞれ設置した構成になっている。
なお、その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであり、図中同一部分には同一符号を付して示しその説明を省略する。 Next, a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the first embodiment described above, a configuration was given in which one ball screw shaft support structure 52 was provided at one central location in the axial direction, but in the actuator 701 according to the seventh embodiment, ball screw shaft support structures 52, 52 are provided at two locations in the axial direction.
Other configurations are the same as those in the first embodiment, and the same parts in the drawings are given the same reference numerals and their explanation is omitted.

この第７の実施の形態の場合も前記第１の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏するが、この第７の実施の形態の場合では前記第１の実施の形態の場合よりも長いボールねじ軸９であっても、上記ボールねじ軸９の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作させることができる。 The seventh embodiment has the same action and effect as the first embodiment, but even if the ball screw shaft 9 is longer than in the first embodiment, the seventh embodiment prevents the ball screw shaft 9 from bending, suppresses vibration and noise, and allows high-speed operation.

次に、図２０を参照しながら、本発明の第８の実施の形態について説明する。
この第８の実施の形態によるアクチュエータ８０１には、フリースライダ８０３が設置されている。上記フリースライダ８０３は、前記した第１の実施の形態におけるフリースライダ１３と略同様の構成であるが、スライダ本体１４にサポート部材通過用凹部８０５が形成されていて、前方ローラ２１、２１及び後方ローラ２３、２３が設けられていない。上記フリースライダ８０３がサポート部材６４上を通過する際、上記サポート部材６４は押し下げられず、上記サポート部材通過用凹部８０５内を通過し、上記サポート部材６４によってボールねじ軸９を支持し続けるようになっている。
この第８の実施の形態の場合は、より簡易な構成とすることができる。 Next, an eighth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
An actuator 801 according to the eighth embodiment is provided with a free slider 803. The free slider 803 has a configuration substantially similar to that of the free slider 13 in the first embodiment described above, but a support member passing recess 805 is formed in the slider body 14, and the front rollers 21, 21 and the rear rollers 23, 23 are not provided. When the free slider 803 passes over the support member 64, the support member 64 is not pushed down, but passes through the support member passing recess 805, and the ball screw shaft 9 is continuously supported by the support member 64.
In the case of the eighth embodiment, a simpler configuration can be achieved.

なお、本発明は前記第１～第８の実施の形態に限定されない。
駆動スライダやフリースライダの数は様々な場合が考えられる。
また、フリースライダ側サポート部材として、ブッシュ以外にも、ボールねじ軸を支持できるものであれば様々な形態のものが考えられる。
まず、前記第１～第７の実施の形態の場合にはサポート部材を１個、２個設けた場合を説明したが、それに限定されるものではなく、３個以上設ける場合も考えられる。
また、受け部材の材質は、ＰＯＭの他に含油焼結材料等摺動性が良好な様々な場合が考えられる。
また、緩衝材の材質は、フェルトや低反発のゴムの他に、その他の布、ゴム、樹脂、ゲル状材料、スポンジ等の多孔質材料等様々な場合が考えられる。
また、ローラの材質は、樹脂の他にゴム、含油焼結材料等様々な場合が考えられる。
また、サポート部材用ベースをアクチュエータのベースと一体とし、サポート部材ガイド用支柱を直接ベースに固着することもできる。
その他、図示した構成はあくまで一例である。 The present invention is not limited to the first to eighth embodiments.
The number of drive sliders and free sliders may vary.
Moreover, the free slider side support member may be of various types other than a bush, as long as it can support the ball screw shaft.
First, in the first to seventh embodiments, the case where one or two support members are provided has been described, but the present invention is not limited to this, and three or more support members may also be provided.
Moreover, the material of the receiving member may be various other materials having good sliding properties, such as oil-impregnated sintered materials, in addition to POM.
The material of the cushioning material may be various, such as felt or low-resilience rubber, other cloth, rubber, resin, gel material, sponge or other porous material.
The roller may be made of various materials such as rubber, oil-impregnated sintered material, etc., in addition to resin.
Also, the support member base can be integrated with the actuator base, and the support member guide posts can be fixed directly to the base.
Additionally, the configurations shown in the drawings are merely examples.

本発明は、ボールねじ軸サポート構造とアクチュエータに係り、特に、複数のスライダが設けられている場合において、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作できるように工夫したものに関し、例えば、産業用ロボットに好適である。 The present invention relates to a ball screw shaft support structure and actuator, and in particular to a simple and compact structure that prevents the ball screw shaft from bending when multiple sliders are provided, suppresses vibration and noise, and enables high-speed operation, making it suitable for industrial robots, for example.

１アクチュエータ
９ボールねじ軸
１１駆動スライダ
１３フリースライダ
１４スライダ本体
１６連結部材
４５ブッシュ（フリースライダ側サポート部材）
６２コイルバネ（弾性手段）
６４サポート部材
７０１アクチュエータ
８０１アクチュエータ
８０５サポート部材通過用凹部 REFERENCE SIGNS LIST 1 actuator 9 ball screw shaft 11 drive slider 13 free slider 14 slider body 16 connecting member 45 bush (free slider side support member)
62 Coil spring (elastic means)
64 Support member 701 Actuator 801 Actuator 805 Recess for passing support member

Claims

A ball screw shaft,
a drive slider driven by the ball screw shaft;
a free slider that moves in conjunction with the drive slider;
a support member that is detachably installed on the ball screw shaft, that is pressed against the ball screw shaft by an elastic means, and that is moved away from the ball screw shaft against the biasing force of the elastic means when the drive slider or the free slider approaches;
Equipped with
The drive slider and the free slider are provided with a common slider body,
A ball screw nut is installed on the slider body of the driving slider,
A ball screw shaft support structure, characterized in that a free slider side support member for supporting the ball screw shaft is provided on a slider body of the free slider .

In the ball screw shaft support structure according to claim 1,
The ball screw shaft support structure is characterized in that the free slider side support member is a bushing through which the ball screw shaft passes .

A ball screw shaft,
a drive slider driven by the ball screw shaft;
a free slider that moves in conjunction with the drive slider;
a support member that is detachably disposed on the ball screw shaft, that is pressed against the ball screw shaft by an elastic means, and that is moved away from the ball screw shaft against the biasing force of the elastic means as the drive slider approaches;
Equipped with
a support member passing recess provided in the free slider, through which the support member passes when the free slider approaches the support member ;

An actuator comprising the ball screw shaft support structure according to any one of claims 1 to 3 .