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JP7609665B2 - Surface grinding equipment - Google Patents
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Description

本発明は、平面研削装置に関し、特に、ワークの被加工面の位置を正確に検出することができるセンサ機構を備えた平面研削装置に関する。 The present invention relates to a surface grinding device, and in particular to a surface grinding device equipped with a sensor mechanism that can accurately detect the position of the workpiece surface to be machined.

ワークテーブルの上面に沿って略水平方向に延在するといし軸に支持された研削といしで、ワークテーブルに載置されたワークの上面を研削する平面研削装置において、ワーク等の表面に接触して位置検出を行う接触式の検出センサを備えたものがある。 In surface grinding devices that use a grinding wheel supported by a wheel spindle that extends in a roughly horizontal direction along the top surface of the worktable to grind the top surface of a workpiece placed on the worktable, some devices are equipped with a contact-type detection sensor that detects the position by contacting the surface of the workpiece.

例えば、特許文献1には、左右方向に往復移動可能なワークテーブルと、前後方向に移動可能なといしと、を有する平面研削装置であって、といし軸頭の側面に、タッチプローブを備えるセンサユニットが取り付けられた平面研削装置が開示されている。 For example, Patent Document 1 discloses a surface grinding machine having a work table that can move back and forth in the left-right direction and a grinding wheel that can move in the front-back direction, in which a sensor unit equipped with a touch probe is attached to the side of the grinding wheel head.

同文献に開示されたタッチプローブは、先端のスタイラスが、ワークテーブル上に設けられた基準ブロックの上面及びワークの上面に接触する。これにより、ワークテーブルから基準ブロックの上面及びワークの上面までの高さが検出され、研削する取り代量が演算手段によって算出される。 The touch probe disclosed in the document has a stylus at the tip that contacts the top surface of a reference block placed on the work table and the top surface of the workpiece. This allows the height from the work table to the top surface of the reference block and the top surface of the workpiece to be detected, and the amount of stock removal to be performed is calculated by a calculation means.

また例えば、特許文献2には、ワークの切り込み方向及び送り方向の位置を検出する接触式のセンサを有し、該センサによって検出される位置情報に基づいて、といし及びテーブルを相対移動させる範囲を演算し、といしによる加工を自動で開始する自動研削装置が開示されている。 For example, Patent Document 2 discloses an automatic grinding device that has a contact sensor that detects the position of the workpiece in the cutting direction and feed direction, calculates the range of relative movement of the grinding wheel and table based on the position information detected by the sensor, and automatically starts machining with the grinding wheel.

同文献に開示された検出センサは、といしカバーの側方または前面に設けられ、下方向に突出するプローブと、該プローブの下端に設けられた略球状の接触子と、を有する。接触子がワークやテーブルに接触することにより、検出センサは、ワークやテーブルの位置を検出する。 The detection sensor disclosed in the document has a probe that is attached to the side or front of the wheel cover and protrudes downward, and a roughly spherical contactor attached to the lower end of the probe. The detection sensor detects the position of the workpiece or table when the contactor comes into contact with the workpiece or table.

特開2002-52444号公報JP 2002-52444 A 特開2020-110893号公報JP 2020-110893 A

しかしながら、上記した従来技術の平面研削装置は、研削加工の精度を高めるために、検出センサによるワークの測定について改善すべき点があった。 However, the surface grinding device of the above-mentioned conventional technology had some areas that needed improvement in terms of measuring the workpiece using the detection sensor in order to improve the accuracy of the grinding process.

具体的には、従来技術の平面研削装置では、ワークの位置情報を検出するタッチプローブ等のセンサを研削といしの近傍に設けても、検出センサによる計測点は、研削といしによるワークの研削点から離れた位置にあった。 Specifically, in conventional surface grinding devices, even if a sensor such as a touch probe that detects the position information of the workpiece is installed near the grinding wheel, the measurement point measured by the detection sensor is located away from the point where the workpiece is ground by the grinding wheel.

即ち、検出センサを研削といしの近傍、例えば、特許文献1及び特許文献2に開示された従来技術のようにといし軸頭の側方等に設けて、検出センサを上下方向に送っても、検出センサの接触子とワークとの接触位置は、研削といしとワークとの接触位置から離れた位置となる。 In other words, even if the detection sensor is provided near the grinding wheel, for example, on the side of the wheel head as in the conventional technology disclosed in Patent Documents 1 and 2, and the detection sensor is moved up and down, the contact position between the contact of the detection sensor and the workpiece will be away from the contact position between the grinding wheel and the workpiece.

そのため、従来技術の平面研削装置では、検出センサによる測定点と研削といしによる研削点が離れていることに起因して測定の誤差が大きくなることがあり、検出センサによる測定の精度を高めることが難しかった。 Therefore, in conventional surface grinding devices, the measurement error can be large due to the distance between the measurement point by the detection sensor and the grinding point by the grinding wheel, making it difficult to improve the accuracy of measurements by the detection sensor.

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、検出センサによるワーク表面の測定精度が高く、ワークを高精度に研削加工することができる平面研削装置を提供することにある。 The present invention was made in consideration of the above circumstances, and its purpose is to provide a surface grinding device that can measure the work surface with high accuracy using a detection sensor and grind the workpiece with high precision.

本発明の平面研削装置は、ワークを保持するワークテーブルと、前記ワークテーブルに保持された前記ワークを回転しながら研削する研削といしと、前記研削といしを支持するといし軸が設けられたといし軸頭と、前記ワークの被加工面の位置を検出する検出センサと、前記といし軸頭に設けられ前記検出センサを移動自在に支持するセンサ支持機構と、を備え、前記センサ支持機構は、前記ワークテーブルの前記ワークを保持する保持面に向かって延在して軸心の方向に往復動自在且つ前記軸心を中心として回動自在な旋回カム軸と、前記旋回カム軸に設けられ前記軸心から径方向にオフセットした位置に前記検出センサを支持するアーム部材と、を有し、前記検出センサは、前記軸心に沿った方向に移動しながら前記軸心を中心として旋回して前記ワークテーブルに接近及び離間し、前記軸心を中心として回動して前記研削といしに接近した位置において前記被加工面を検出することを特徴とする。 The surface grinding apparatus of the present invention comprises a work table for holding a workpiece, a grinding wheel for grinding the workpiece held on the worktable while rotating it, a wheel spindle head having a wheel shaft for supporting the grinding wheel, a detection sensor for detecting the position of the machined surface of the workpiece, and a sensor support mechanism provided on the wheel spindle head for movably supporting the detection sensor, wherein the sensor support mechanism comprises a swivel cam shaft extending toward the holding surface of the worktable for holding the workpiece and capable of reciprocating in the direction of its axis and rotatable about its axis, and an arm member provided on the swivel cam shaft for supporting the detection sensor at a position radially offset from the axis, wherein the detection sensor moves in a direction along the axis, rotates about the axis to approach and move away from the worktable , and rotates about the axis to detect the machined surface at a position close to the grinding wheel .

本発明の平面研削装置によれば、ワークの被加工面の位置を検出する検出センサと、といし軸頭に設けられ検出センサを移動自在に支持するセンサ支持機構と、を備え、センサ支持機構は、ワークテーブルのワークを保持する保持面に向かって延在して軸心の方向に往復動自在且つ軸心を中心として回動自在な旋回カム軸と、旋回カム軸に設けられ軸心から径方向にオフセットした位置に検出センサを支持するアーム部材と、を有し、検出センサは、軸心に沿った方向に移動しながら軸心を中心として旋回してワークテーブルに接近及び離間する。このような構成により、平面研削装置は、検出センサによる計測点を研削といしによるワークの研削点に近づけて、検出センサによるワーク表面の測定精度を高くすることができ、ワークを高精度に研削加工することができる。 According to the surface grinding device of the present invention, a detection sensor that detects the position of the workpiece surface to be machined and a sensor support mechanism that is provided on the wheel head and movably supports the detection sensor, the sensor support mechanism having a swivel cam shaft that extends toward the holding surface that holds the workpiece on the worktable and is reciprocable in the direction of the axis and rotatable about the axis, and an arm member that is provided on the swivel cam shaft and supports the detection sensor at a position radially offset from the axis, the detection sensor moves in a direction along the axis while rotating about the axis to approach and move away from the worktable. With this configuration, the surface grinding device can bring the measurement point of the detection sensor closer to the grinding point of the workpiece by the grinding wheel, thereby increasing the measurement accuracy of the workpiece surface by the detection sensor, and grinding the workpiece with high precision.

また、本発明の平面研削装置によれば、前記センサ支持機構は、前記旋回カム軸を前記軸心の方向に送る駆動手段と、前記旋回カム軸を移動自在に支持するローラを有するカムフォロアと、前記旋回カム軸に形成され前記ローラが嵌められて前記カムフォロアに支持されるカム溝と、を有し、前記カム溝は、前記軸心の方向に延在し上端近傍において斜め円周方向に傾斜している。このような構成により、センサ支持機構は、検出センサを、ワークから離れてワークの計測を行わない退避位置から、ワークの計測を行う検出位置まで、またはその逆方向に、好適に送ることができる。 According to the surface grinding device of the present invention, the sensor support mechanism includes a drive means for feeding the swivel cam shaft in the direction of the axis, a cam follower having a roller for movably supporting the swivel cam shaft, and a cam groove formed on the swivel cam shaft in which the roller is fitted and supported by the cam follower, the cam groove extending in the direction of the axis and inclining obliquely in the circumferential direction near the upper end. With this configuration, the sensor support mechanism can suitably feed the detection sensor from a retracted position away from the workpiece where the workpiece is not measured to a detection position where the workpiece is measured, or in the opposite direction.

例えば、退避位置から検出位置までの移動では、検出センサは、駆動手段に押され、旋回カム軸の軸心の方向に送られてワークに接近する。そして、検出センサは、ワークに近づいたところで旋回カム軸の軸心を中心として旋回してワークの研削点に接近する。よって、検出センサは、といし軸頭等に衝突することのない好適な軌跡で退避位置からワークの研削点に近い検出位置まで移動する。そして、ワークの研削点の近傍において、検出センサによる高精度な測定が行われる。 For example, when moving from the retracted position to the detection position, the detection sensor is pushed by the drive means and sent in the direction of the axis of the swivel cam shaft to approach the workpiece. Then, when the detection sensor approaches the workpiece, it rotates around the axis of the swivel cam shaft to approach the grinding point of the workpiece. Therefore, the detection sensor moves from the retracted position to the detection position close to the grinding point of the workpiece on an appropriate trajectory that does not collide with the wheel head, etc. Then, highly accurate measurements are performed by the detection sensor near the grinding point of the workpiece.

また、本発明の平面研削装置によれば、前記駆動手段は、前記旋回カム軸に連結されたピストンロッドで前記旋回カム軸を送るエアシリンダであっても良い。このような構成により、検出センサは、エアシリンダに供給される空圧を動力源として、旋回カム軸の軸心の方向に送られてワークに接近すると共に、旋回カム軸の軸心を中心として旋回し、ワークの研削点に接近する。よって、空気の圧力を利用して検出センサの高精度且つ高効率な移動が行われる。 According to the surface grinding device of the present invention, the driving means may be an air cylinder that drives the swivel camshaft with a piston rod connected to the swivel camshaft. With this configuration, the detection sensor is driven by air pressure supplied to the air cylinder, and is sent in the direction of the axis of the swivel camshaft to approach the workpiece, and also rotates around the axis of the swivel camshaft to approach the grinding point of the workpiece. Thus, the detection sensor is moved with high precision and efficiency by using the air pressure.

また、本発明の平面研削装置によれば、前記カムフォロアは、前記旋回カム軸を中心として対向するよう一対設けられ、前記カム溝は、前記カムフォロアに対応するよう前記旋回カム軸の外周に一対形成されても良い。これにより、検出センサの高精度且つ高効率な直動旋回送りが可能となる。 In addition, according to the surface grinding device of the present invention, the cam followers may be provided in pairs facing each other with the swivel cam shaft at the center, and the cam grooves may be formed in pairs on the outer periphery of the swivel cam shaft to correspond to the cam followers. This enables highly accurate and efficient linear swivel feed of the detection sensor.

また、本発明の平面研削装置によれば、前記検出センサは、前記軸心を中心として回動して前記研削といしに接近した位置において前記被加工面を検出する。これにより、誤差が小さい高精度な測定が行われる。 In addition, according to the surface grinding device of the present invention, the detection sensor rotates around the axis and detects the workpiece surface at a position close to the grinding wheel. This allows for highly accurate measurements with small errors.

また、本発明の平面研削装置によれば、前記検出センサは、前記被加工面に接触して位置を検出するタッチプローブであっても良い。これにより、検出センサの接触子がワークの被加工面に接触することにより、ワークの位置を高精度に検出することができる。 In addition, according to the surface grinding device of the present invention, the detection sensor may be a touch probe that contacts the workpiece surface to detect the position. This allows the position of the workpiece to be detected with high accuracy by contacting the contact of the detection sensor with the workpiece surface.

本発明の実施形態に係る平面研削装置の概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view showing a schematic configuration of a surface grinding device according to an embodiment of the present invention; 本発明の実施形態に係る平面研削装置の研削といし及びセンサ機構の近傍を示す正面図である。2 is a front view showing the vicinity of a grinding wheel and a sensor mechanism of the surface grinding device according to the embodiment of the present invention. FIG. 本発明の実施形態に係る平面研削装置の研削といし及びセンサ機構の近傍を示す側面図である。2 is a side view showing the vicinity of a grinding wheel and a sensor mechanism of the surface grinding device according to the embodiment of the present invention. FIG. 本発明の実施形態に係る平面研削装置のセンサ支持機構の概略構成を示す分解斜視図である。2 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of a sensor support mechanism of the surface grinding machine according to the embodiment of the present invention; FIG. 本発明の実施形態に係る平面研削装置のセンサ支持機構のカム溝近傍を示す図である。5 is a view showing the vicinity of a cam groove of a sensor support mechanism of the surface grinding machine according to the embodiment of the present invention. FIG. 本発明の実施形態に係る平面研削装置の検出センサが退避位置にある状態を示す(A)平面図、(B)側面図である。3A and 3B are plan and side views showing a state in which a detection sensor of the surface grinding device according to the embodiment of the present invention is in a retracted position. 本発明の実施形態に係る平面研削装置の検出センサが送られる状態を示す(A)平面図、(B)側面図である。3A and 3B are a plan view and a side view showing a state in which a detection sensor of the surface grinding device according to the embodiment of the present invention is fed. 本発明の実施形態に係る平面研削装置の検出センサが検出位置にある状態を示す(A)平面図、(B)側面図である。1A is a plan view showing a state in which a detection sensor of a surface grinding device according to an embodiment of the present invention is at a detection position, and FIG.

以下、本発明の実施形態に係る平面研削装置を図面に基づき詳細に説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る平面研削装置1の概略構成を示す斜視図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A surface grinding device according to an embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a surface grinding device 1 according to an embodiment of the present invention.

図1に示すように、平面研削装置1は、ワークWの被加工面を研削する工作機械である。平面研削装置1は、例えば、CNC(Computerized Numerical Control)研削盤であり、自動数値制御を行う図示しない操作盤を有する。 As shown in FIG. 1, the surface grinding device 1 is a machine tool that grinds the surface of a workpiece W. The surface grinding device 1 is, for example, a CNC (Computerized Numerical Control) grinding machine, and has an operation panel (not shown) that performs automatic numerical control.

平面研削装置1は、ワークWを研削する工具としての研削といし2と、ワークWを保持するワークテーブル4と、を有し、回転する研削といし2によってワークWの被加工面である表面が研削される。 The surface grinding device 1 has a grinding wheel 2 as a tool for grinding the workpiece W, and a work table 4 for holding the workpiece W. The rotating grinding wheel 2 grinds the surface of the workpiece W, which is the surface to be machined.

平面研削装置1は、例えば、ワークWの上面を平面研削するCNC平面研削盤でも良いし、複雑形状の研削が可能なCNC成形研削盤でも良い。また、平面研削装置1は、例えば門型研削盤でも良いし、その他形式の研削盤でも良い。 The surface grinding device 1 may be, for example, a CNC surface grinding machine that performs surface grinding on the top surface of the workpiece W, or a CNC form grinding machine that can grind complex shapes. The surface grinding device 1 may also be, for example, a gate-type grinding machine, or any other type of grinding machine.

ワークテーブル4は、正面から見て左右方向水平(以下、適宜「X方向」と言う。)に往復動自在である。研削といし2は、上下方向(以下、適宜「Y方向」と言う。)に往復動自在に構成されたといし軸頭3に設けられている。また、研削といし2を支持するといし軸頭3は、前後方向水平(以下、適宜「Z方向」と言う。)に往復動自在に構成されたサドル15に支持されている。 The work table 4 can move back and forth horizontally in the left-right direction when viewed from the front (hereinafter referred to as the "X direction" as appropriate). The grinding wheel 2 is mounted on a grinding wheel head 3 that is configured to move back and forth in the up-down direction (hereinafter referred to as the "Y direction" as appropriate). The grinding wheel head 3 that supports the grinding wheel 2 is supported by a saddle 15 that is configured to move back and forth horizontally in the front-to-back direction (hereinafter referred to as the "Z direction" as appropriate).

なお、平面研削装置1はコラム形式の平面研削盤でも良く、その場合には、といし軸頭3は、Z方向に往復動自在に構成されたコラムに支持されている。また、ワークテーブル4がZ方向に往復動自在に構成されても良い。 The surface grinding device 1 may be a column-type surface grinding machine, in which case the grinding wheel head 3 is supported by a column that is configured to be able to move back and forth in the Z direction. The work table 4 may also be configured to be able to move back and forth in the Z direction.

といし軸頭3には、研削といし2を支持する図示しないといし軸が回転自在に設けられている。そして、といし軸頭3に支持された研削といし2は、といし軸と共に回転し、といし軸頭3と共にY方向及びZ方向に移動する。 A wheel shaft (not shown) that supports the grinding wheel 2 is rotatably mounted on the wheel shaft head 3. The grinding wheel 2 supported by the wheel shaft head 3 rotates together with the wheel shaft and moves together with the wheel shaft head 3 in the Y and Z directions.

研削といし2は、略円板状に形成されている。平面研削装置1は、研削といし2を回転させる、例えば、モータ等の図示しない回転駆動手段を有する。研削といし2が回転しながらワークWの表面と接することにより、ワークWの表面が研削される。 The grinding wheel 2 is formed in a substantially circular disk shape. The surface grinding device 1 has a rotation drive means (not shown), such as a motor, for example, that rotates the grinding wheel 2. The grinding wheel 2 comes into contact with the surface of the workpiece W while rotating, thereby grinding the surface of the workpiece W.

また、研削といし2は、下方が開口するといしカバー16によって覆われている。前述の通り、研削といし2は、Y方向及びZ方向に移動するといし軸頭3に支持されている。よって、研削といし2は、といし軸頭3と連動して、ワークテーブル4に対してY方向及びZ方向に相対移動する。 The grinding wheel 2 is covered by a wheel cover 16 that is open downward. As described above, the grinding wheel 2 is supported by the wheel head 3 that moves in the Y and Z directions. Therefore, the grinding wheel 2 moves in conjunction with the wheel head 3 relative to the work table 4 in the Y and Z directions.

研削といし2の下方には、ワークWを載置するための支持手段となるワークテーブル4が設けられている。ワークテーブル4は、例えば、電磁石等を内部に備える電磁チャック等であり、磁力によって、載置されたワークWを移動しないように支持することができる。 Below the grinding wheel 2, a work table 4 is provided as a support means for placing the workpiece W. The work table 4 is, for example, an electromagnetic chuck with an electromagnet or the like inside, and can support the placed workpiece W by magnetic force so that it does not move.

また、前述の通り、ワークテーブル4は、送り方向となるX方向に、研削といし2に対して相対移動可能に構成されている。これにより、ワークWを移動させて、研削といし2とワークWのX方向の相対位置を調節することができる。このように、ワークテーブル4及びといし軸頭3を相対移動させることにより、研削といし2とワークWとの相対位置を3軸方向、即ち、X方向、Y方向及びZ方向にそれぞれ変えることができる。 As mentioned above, the work table 4 is configured to be movable relative to the grinding wheel 2 in the X direction, which is the feed direction. This allows the work W to be moved to adjust the relative position of the grinding wheel 2 and the work W in the X direction. In this way, by moving the work table 4 and the wheel head 3 relative to each other, the relative position of the grinding wheel 2 and the work W can be changed in three axial directions, i.e., the X direction, Y direction, and Z direction.

研削といし2を支持するといし軸頭3及びワークWを支持するワークテーブル4は、図示しない操作盤に設けられた数値制御手段によって数値制御される図示しない送り手段によって送られて、前述の方向に相対的に往復移動する。 The grinding wheel 2 is supported by a grinding wheel head 3, and the work table 4 is supported by a feed means (not shown) that is numerically controlled by a numerical control means provided on an operation panel (not shown), and moves back and forth relative to each other in the aforementioned directions.

なお、研削といし2及びワークテーブル4が配置された研削加工領域は、図示しないハウジングによって覆われていても良い。ハウジングには、作業者がワークWのセット及び取り外し等を行うための開口部を有し、該開口部には、開閉自在な図示しない扉が設けられている。 The grinding area where the grinding wheel 2 and the work table 4 are arranged may be covered by a housing (not shown). The housing has an opening through which the worker can set and remove the work W, and the opening is provided with a door (not shown) that can be opened and closed.

平面研削装置1は、ワークWの被加工面の位置を検出するセンサ機構5を備えている。センサ機構5は、ワークWの被加工面の位置を検出する検出センサ10と、といし軸頭3に設けられ検出センサ10を移動自在に支持するセンサ支持機構20と、を有する。 The surface grinding device 1 is equipped with a sensor mechanism 5 that detects the position of the workpiece W's surface to be machined. The sensor mechanism 5 has a detection sensor 10 that detects the position of the workpiece W's surface to be machined, and a sensor support mechanism 20 that is provided on the grinding head 3 and movably supports the detection sensor 10.

検出センサ10は、研削といし2による切り込み方向、即ちY方向のワークWの位置を検出すると共に、切り込み方向に垂直な送り方向、即ちX方向及びZ方向のワークWの位置を検出する。例えば、検出センサ10は、下方向に突出するプローブ11及びその先端に設けられた接触子12を有する接触式のセンサである。 The detection sensor 10 detects the position of the workpiece W in the cutting direction of the grinding wheel 2, i.e., the Y direction, and also detects the position of the workpiece W in the feed direction perpendicular to the cutting direction, i.e., the X direction and Z direction. For example, the detection sensor 10 is a contact-type sensor that has a probe 11 that protrudes downward and a contact 12 provided at the tip of the probe 11.

このように、検出センサ10が被加工面に接触して位置を検出するタッチプローブであることにより、検出センサ10の接触子12がワークWの被加工面に接触して、ワークWの位置を高精度に検出することができる。 In this way, because the detection sensor 10 is a touch probe that contacts the workpiece surface to detect the position, the contact 12 of the detection sensor 10 contacts the workpiece surface of the workpiece W, allowing the position of the workpiece W to be detected with high accuracy.

なお、検出センサ10として、例えば、レーザ光等によってワークWの有無を検出する非接触式のセンサ、エアセンサ等の非接触式のセンサ、振動を検出する圧電素子等を有するAEセンサ等、その他の各種センサが採用されても良い。 In addition, various other sensors may be used as the detection sensor 10, such as a non-contact sensor that detects the presence or absence of the workpiece W using laser light or the like, a non-contact sensor such as an air sensor, an AE sensor having a piezoelectric element that detects vibrations, etc.

検出センサ10は、といし軸頭3に設けられているので、といし軸頭3と共にY方向及びZ方向に移動することになる。なお、検出センサ10が取り付けられる位置は、といしカバー16の後方であるが、といしカバー16の側面または前面等でも良い。 The detection sensor 10 is mounted on the wheel head 3, and therefore moves in the Y and Z directions together with the wheel head 3. The detection sensor 10 is attached to the rear of the wheel cover 16, but it may also be attached to the side or front of the wheel cover 16.

なお、ワークテーブル4の近傍には、検出センサ10でワークWの位置を測定する際に基準となる図示しない基準ブロックや基準プレート等が設けられても良い。また、基準ブロックの上面には、位置測定の基準となる略球状の基準球等が設けられても良い。 A reference block or reference plate (not shown) may be provided near the work table 4 to serve as a reference when the detection sensor 10 measures the position of the work W. A roughly spherical reference sphere or the like may also be provided on the top surface of the reference block to serve as a reference for position measurement.

図2は、平面研削装置1の研削といし2及びセンサ機構5の近傍を示す正面図である。
図2に示すように、本実施形態に係る平面研削装置1では、正面視で研削といし2の右側に、ワークWの位置を検出するセンサ機構5が設けられている。
なお、本実施形態ではセンサ機構5が研削といし2の右側に設けられる例を挙げているが、センサ機構5は、研削といし2の左側に設けられても良い。
FIG. 2 is a front view showing the grinding wheel 2 and the sensor mechanism 5 of the surface grinding device 1 and their vicinity.
As shown in FIG. 2, in the surface grinding machine 1 according to this embodiment, a sensor mechanism 5 for detecting the position of the workpiece W is provided on the right side of the grinding wheel 2 when viewed from the front.
In this embodiment, an example is given in which the sensor mechanism 5 is provided on the right side of the grinding wheel 2, but the sensor mechanism 5 may be provided on the left side of the grinding wheel 2.

図3は、平面研削装置1の研削といし2及びセンサ機構5の近傍を示す側面図である。
図3に示すように、センサ機構5は、研削といし2の背面側のといし軸頭3に設けられている。前述の通り、センサ機構5は、ワークWの被加工面の位置を検出する検出センサ10と、検出センサ10を移動自在に支持するセンサ支持機構20と、を有する。
FIG. 3 is a side view showing the grinding wheel 2 and the sensor mechanism 5 of the surface grinding device 1 .
3, the sensor mechanism 5 is provided on the wheel head 3 on the back side of the grinding wheel 2. As described above, the sensor mechanism 5 has the detection sensor 10 that detects the position of the processed surface of the workpiece W, and the sensor support mechanism 20 that movably supports the detection sensor 10.

図2及び図3を参照して、検出センサ10は、ワークWの計測を行わない退避位置13と、ワークWの計測を行う検出位置14と、の間を移動自在に支持されている。
具体的には、センサ支持機構20は、検出センサ10を回転自在に支持する旋回カム軸21を有する。旋回カム軸21は、ワークテーブル4のワークWを保持する保持面に向かって延在し、軸心の方向、即ちY方向、に往復動自在且つ軸心を中心として回動自在である。
2 and 3, the detection sensor 10 is supported so as to be movable between a retreat position 13 where the workpiece W is not measured and a detection position 14 where the workpiece W is measured.
Specifically, the sensor support mechanism 20 has a swivel cam shaft 21 that rotatably supports the detection sensor 10. The swivel cam shaft 21 extends toward the holding surface of the work table 4 that holds the workpiece W, and is capable of reciprocating in the direction of the axis, i.e., the Y direction, and of rotating about the axis.

旋回カム軸21の下端近傍には、旋回カム軸21の軸心から径方向にオフセットした位置に検出センサ10を支持するアーム部材27が設けられている。即ち、検出センサ10は、旋回カム軸21の軸心に沿ったY方向に移動しながら、旋回カム軸21の軸心を中心として旋回して、ワークテーブル4に接近及び離間する。 Near the lower end of the swivel camshaft 21, an arm member 27 is provided that supports the detection sensor 10 at a position radially offset from the axis of the swivel camshaft 21. That is, the detection sensor 10 moves in the Y direction along the axis of the swivel camshaft 21 while rotating around the axis of the swivel camshaft 21, approaching and moving away from the work table 4.

ワークWの検出を行わない検出センサ10の退避位置13は、研削といし2の研削点、即ち研削といし2の外周の最下部、よりも上方であり、且つ、研削点から後方に離れた位置にある。 The retracted position 13 of the detection sensor 10, which does not detect the workpiece W, is located above the grinding point of the grinding wheel 2, i.e., the lowest part of the outer circumference of the grinding wheel 2, and is located rearward away from the grinding point.

詳しくは、検出センサ10は、研削といし2の中心軸近傍まで上昇した位置にあり、且つ、旋回カム軸21の軸心を中心として後方に約180度旋回した位置にある。これにより、ワークW加工時に検出センサ10が邪魔にならない。 More specifically, the detection sensor 10 is located in a position raised close to the central axis of the grinding wheel 2, and rotated approximately 180 degrees rearward around the axis of the swivel cam shaft 21. This ensures that the detection sensor 10 does not get in the way when machining the workpiece W.

ワークWの被加工面を検出する検出センサ10の検出位置14は、プローブ11の先端に設けられた接触子12が研削といし2の研削点よりも下方であり、且つ、研削といし2の研削点に近接した位置にある。 The detection position 14 of the detection sensor 10 that detects the processed surface of the workpiece W is located at a position where the contact 12 at the tip of the probe 11 is lower than the grinding point of the grinding wheel 2 and close to the grinding point of the grinding wheel 2.

即ち、検出センサ10は、退避位置13から旋回カム軸21に沿ってY方向に下降すると共に、旋回カム軸21を中心としてアーム部材27と共に旋回し、研削といし2の研削点に近い検出位置14に移動する。 That is, the detection sensor 10 descends from the retracted position 13 in the Y direction along the swivel cam shaft 21 and rotates together with the arm member 27 around the swivel cam shaft 21 to move to the detection position 14 close to the grinding point of the grinding wheel 2.

このような構成により、平面研削装置1は、検出センサ10による計測点を研削といし2によるワークWの研削点に近づけて、検出センサ10によるワークW表面の測定精度を高くすることができ、ワークWを高精度に研削加工することができる。 With this configuration, the surface grinding device 1 can bring the measurement point of the detection sensor 10 closer to the grinding point of the workpiece W by the grinding wheel 2, thereby increasing the measurement accuracy of the surface of the workpiece W by the detection sensor 10, and enabling the workpiece W to be ground with high precision.

図4は、センサ支持機構20の概略構成を示す分解斜視図である。
図4を参照して、センサ支持機構20は、アーム部材27を有し検出センサ10をY方向に旋回移動自在に支持する旋回カム軸21と、検出センサ10を移動させる駆動手段としてのエアシリンダ30と、を有する。
旋回カム軸21は、Y方向に延在する略円柱状の形態を成し、前述の通り、軸心に沿って往復動自在且つ回動自在に設けられている。
FIG. 4 is an exploded perspective view showing a schematic configuration of the sensor support mechanism 20. As shown in FIG.
4, the sensor support mechanism 20 includes a rotating cam shaft 21 having an arm member 27 for supporting the detection sensor 10 so as to be rotatable in the Y direction, and an air cylinder 30 as a driving means for moving the detection sensor 10.
The turning cam shaft 21 has a generally cylindrical shape extending in the Y direction, and as described above, is provided so as to be capable of reciprocating and rotatable along its axis.

具体的には、旋回カム軸21は、上下一対の支持ブッシュ25に内嵌されている。支持ブッシュ25は、例えば、滑り軸受であり、旋回カム軸21を、軸心の方向に移動自在且つ軸心を中心として回動自在に支持する。旋回カム軸21を支持する一対の支持ブッシュ25は、支持部材26であるブッシュホルダによって、といし軸頭3(図1参照)の側面近傍に固定されている。 Specifically, the swivel camshaft 21 is fitted inside a pair of upper and lower support bushes 25. The support bushes 25 are, for example, sliding bearings, and support the swivel camshaft 21 so that it can move freely in the direction of the axis and rotate freely around the axis. The pair of support bushes 25 that support the swivel camshaft 21 are fixed near the side of the grinding axle head 3 (see Figure 1) by bush holders, which are support members 26.

旋回カム軸21の下端近傍には、アーム部材27が設けられており、旋回カム軸21から離れたアーム部材27の先端近傍には、検出センサ10が設けらえている。これにより、検出センサ10は、旋回カム軸21の軸心を中心として旋回自在となる。 An arm member 27 is provided near the lower end of the swivel cam shaft 21, and a detection sensor 10 is provided near the tip of the arm member 27 away from the swivel cam shaft 21. This allows the detection sensor 10 to rotate freely around the axis of the swivel cam shaft 21.

旋回カム軸21の上方には、空気の圧力によって旋回カム軸21をY方向に送るエアシリンダ30が設けられている。エアシリンダ30は、空気の圧力を利用してピストンロッド31を上下動させる複動式エアシリンダである。エアシリンダ30に内嵌されているピストンロッド31の下端近傍は、フローティングロータリージョインを介して回動自在に、旋回カム軸21の上端近傍に連結されている。 An air cylinder 30 is provided above the swivel camshaft 21, which uses air pressure to move the swivel camshaft 21 in the Y direction. The air cylinder 30 is a double-acting air cylinder that uses air pressure to move the piston rod 31 up and down. The vicinity of the lower end of the piston rod 31, which is fitted inside the air cylinder 30, is connected to the vicinity of the upper end of the swivel camshaft 21 via a floating rotary joint so that it can rotate freely.

エアシリンダ30は、支持具33、支柱34及び支持部材26等を介して、といし軸頭3に固定されている。即ち、支持部材26の上部には、旋回カム軸21に沿って上下方向、即ちY方向、に延在する複数の支柱34が設けられており、支柱34の上端近傍には、エアシリンダ30を支持する支持具33が固定されている。 The air cylinder 30 is fixed to the wheel head 3 via a support 33, a support pillar 34, a support member 26, etc. That is, a plurality of supports 34 extending in the vertical direction, i.e., the Y direction, along the swivel cam shaft 21 are provided on the upper part of the support member 26, and a support 33 that supports the air cylinder 30 is fixed near the upper end of the support pillar 34.

エアシリンダ30には、図示しない空気供給装置がエア配管32を介して接続されている。空気供給装置は、エアシリンダ30の内部を加減圧してピストンロッド31を上下動させる駆動源となる空気をエアシリンダ30の内部に送る。 An air supply device (not shown) is connected to the air cylinder 30 via air piping 32. The air supply device pressurizes and depressurizes the inside of the air cylinder 30, and sends air to the inside of the air cylinder 30, which serves as a driving source for moving the piston rod 31 up and down.

なお、センサ支持機構20の検出センサ10を上下動させるための駆動手段は、エアシリンダ30に限定されるものではない。センサ支持機構20の駆動手段は、油圧によって駆動する油圧シリンダや、モータ及びボールねじ等を有し電力によって駆動する電力アクチュエータ等、その他の駆動手段であっても良い。 The driving means for moving the detection sensor 10 of the sensor support mechanism 20 up and down is not limited to the air cylinder 30. The driving means of the sensor support mechanism 20 may be other driving means such as a hydraulic cylinder driven by hydraulic pressure, or an electric actuator having a motor and a ball screw, etc., and driven by electricity.

支持部材26の上部近傍には、旋回カム軸21を移動自在に支持するローラ29を有するカムフォロア28が設けられている。旋回カム軸21の外周には、ローラ29が嵌められるカム溝22が形成されている。 A cam follower 28 having a roller 29 that movably supports the rotating cam shaft 21 is provided near the upper portion of the support member 26. A cam groove 22 into which the roller 29 fits is formed on the outer periphery of the rotating cam shaft 21.

なお、カムフォロア28は、旋回カム軸21を中心として対向するよう一対設けられている。そしてカム溝22は、一対のカムフォロア28に対応するよう旋回カム軸21の外周に一対形成されている。即ち、カム溝22は、互いの位置が旋回カム軸21の外周の約180度反対の位置になるよう外周の両側に形成されている。 The cam followers 28 are provided in pairs, facing each other with the revolving camshaft 21 at the center. A pair of cam grooves 22 are formed on the outer periphery of the revolving camshaft 21 to correspond to the pair of cam followers 28. In other words, the cam grooves 22 are formed on both sides of the outer periphery of the revolving camshaft 21 so that their positions are approximately 180 degrees opposite each other on the outer periphery.

カムフォロア28は、支持部材26を介してといし軸頭3に固定されている。よって、カムフォロア28は、といし軸頭3に対して相対移動しない。旋回カム軸21は、カム溝22に嵌められたカムフォロア28のローラ29に支持され移動する。即ち、所定の固定位置にあるローラ29がカム溝22に沿うように旋回カム軸21が移動することになる。 The cam follower 28 is fixed to the grinding head 3 via the support member 26. Therefore, the cam follower 28 does not move relative to the grinding head 3. The swivel cam shaft 21 moves while being supported by the roller 29 of the cam follower 28 fitted in the cam groove 22. In other words, the swivel cam shaft 21 moves so that the roller 29, which is in a predetermined fixed position, follows the cam groove 22.

なお、支柱34の近傍外側には、支柱34及び旋回カム軸21を覆うような保護カバー35が設けられても良い。これにより、旋回カム軸21のカム溝22に研削屑等が付着することを防止することができる。 A protective cover 35 may be provided on the outside near the support 34 to cover the support 34 and the swivel cam shaft 21. This can prevent grinding debris and the like from adhering to the cam groove 22 of the swivel cam shaft 21.

図5は、センサ支持機構20のカム溝22近傍を示す図である。
図5に示すように、旋回カム軸21の外周に形成されたカム溝22には、軸心の方向、即ちY方向、に延在する直動溝部23が形成されている。また、旋回カム軸21の上端近傍において、カム溝22には、斜め円周方向に傾斜している旋回溝部24が形成されている。即ち、旋回溝部24は、旋回カム軸21の外周に略螺旋状に形成されている。
FIG. 5 is a diagram showing the vicinity of the cam groove 22 of the sensor support mechanism 20. As shown in FIG.
5, a linear groove portion 23 extending in the axial direction, i.e., in the Y direction, is formed in the cam groove 22 formed on the outer periphery of the revolving camshaft 21. Further, in the vicinity of the upper end of the revolving camshaft 21, a revolving groove portion 24 inclined in the oblique circumferential direction is formed in the cam groove 22. That is, the revolving groove portion 24 is formed in a substantially spiral shape on the outer periphery of the revolving camshaft 21.

図4及び図5を参照して、旋回カム軸21は、カムフォロア28のローラ29が直動溝部23を支持した状態で移動すると、Y方向に直動することになる。他方、旋回カム軸21は、カムフォロア28のローラ29が旋回溝部24を支持した状態で移動すると、ローラ29及びカム溝22にガイドされて、旋回しながらY方向に移動することになる。即ち、旋回カム軸21は、略螺旋状に旋回しながらY方向に移動することになる。 Referring to Figures 4 and 5, when the roller 29 of the cam follower 28 moves while supporting the linear groove portion 23, the swivel cam shaft 21 moves linearly in the Y direction. On the other hand, when the roller 29 of the cam follower 28 moves while supporting the swivel groove portion 24, the swivel cam shaft 21 is guided by the roller 29 and the cam groove 22 and moves in the Y direction while rotating. That is, the swivel cam shaft 21 moves in the Y direction while rotating in a generally spiral shape.

このような構成により、センサ支持機構20は、検出センサ10を、ワークWから離れてワークWの計測を行わない退避位置13から、ワークWの計測を行う検出位置14まで、またはその逆方向に、好適に送ることができる。 With this configuration, the sensor support mechanism 20 can suitably move the detection sensor 10 from the retracted position 13, where the sensor is away from the workpiece W and does not measure the workpiece W, to the detection position 14, where the sensor measures the workpiece W, or in the opposite direction.

なお、カムフォロア28は、旋回カム軸21を中心として対向するよう一対設けられている。そしてカム溝22は、一対のカムフォロア28に対応するよう旋回カム軸21の外周に一対形成されている。これにより、検出センサ10の高精度且つ高効率な直動旋回送りが可能となる。 The cam followers 28 are provided in pairs facing each other with the swivel cam shaft 21 at the center. A pair of cam grooves 22 are formed on the outer periphery of the swivel cam shaft 21 to correspond to the pair of cam followers 28. This enables highly accurate and efficient linear swivel feed of the detection sensor 10.

次に、図6から図8を参照して、検出センサ10が退避位置13から検出位置14まで移動する工程について詳細に説明する。
図6(A)は、検出センサ10が退避位置13にある状態を示す平面図である。図6(B)は、検出センサ10が退避位置13にある状態を示す側面図である。
Next, a process in which the detection sensor 10 moves from the retracted position 13 to the detection position 14 will be described in detail with reference to FIGS.
Fig. 6A is a plan view showing a state in which the detection sensor 10 is in the retracted position 13. Fig. 6B is a side view showing a state in which the detection sensor 10 is in the retracted position 13.

図6(A)及び図6(B)を参照して、退避状態において、検出センサ10は、ワークテーブル4の保持面から上方に離れ、且つ、研削といし2から後方に離れた退避位置13にある。 Referring to Figures 6(A) and 6(B), in the retracted state, the detection sensor 10 is in a retracted position 13 that is above and away from the holding surface of the work table 4 and rearwardly away from the grinding wheel 2.

図7(A)は、検出センサ10が送られる状態を示す平面図である。図7(B)は、平面研削装置1の検出センサ10が送られる状態を示す側面図である。
図7(A)及び図7(B)を参照して、ワークWの検出を行う際には、検出センサ10は、ワークテーブル4の保持面に接近するよう、即ちワークWに接近するよう、退避位置13から移動する。
Fig. 7A is a plan view showing a state in which the detection sensor 10 is being fed, and Fig. 7B is a side view showing a state in which the detection sensor 10 of the surface grinding device 1 is being fed.
7(A) and 7(B), when detecting the workpiece W, the detection sensor 10 moves from the retracted position 13 to approach the holding surface of the worktable 4, i.e., to approach the workpiece W.

具体的には、エアシリンダ30に供給される空圧を動力源として、エアシリンダ30によって旋回カム軸21が下方に押され、旋回カム軸21及びアーム部材27と共に、検出センサ10が下方に移動する。 Specifically, the air pressure supplied to the air cylinder 30 is used as a power source to push the rotating cam shaft 21 downward by the air cylinder 30, and the detection sensor 10 moves downward together with the rotating cam shaft 21 and the arm member 27.

この時、旋回カム軸21は、軸心に沿って直線状に延在するカム溝22部の直動溝部23がカムフォロア28のローラ29によってガイドされるので、軸心に沿って上方から下方に略直線状に移動する。よって、アーム部材27の先端近傍に保持されている検出センサ10も、旋回カム軸21に沿って上方から下方に略直線状に移動する。 At this time, the rotating camshaft 21 moves in a substantially linear fashion from top to bottom along the axis, because the linear groove portion 23 of the cam groove 22, which extends linearly along the axis, is guided by the roller 29 of the cam follower 28. Therefore, the detection sensor 10 held near the tip of the arm member 27 also moves in a substantially linear fashion from top to bottom along the rotating camshaft 21.

図8(A)は、検出センサ10が検出位置14にある状態を示す平面図である。図8(B)は、検出センサ10が検出位置14にある状態を示す側面図である。
図8(A)及び図8(B)を参照して、旋回カム軸21が下降し、カム溝22の旋回溝部24がカムフォロア28のローラ29に達すると、螺旋状に形成された旋回溝部24がローラ29にガイドされることになる。
Fig. 8A is a plan view showing a state in which the detection sensor 10 is at the detection position 14. Fig. 8B is a side view showing a state in which the detection sensor 10 is at the detection position 14.
Referring to Figures 8 (A) and 8 (B), when the rotating cam shaft 21 descends and the rotating groove portion 24 of the cam groove 22 reaches the roller 29 of the cam follower 28, the spirally formed rotating groove portion 24 is guided by the roller 29.

そうすると、旋回カム軸21は、カム溝22の旋回溝部24がカムフォロア28のローラ29によってガイドされて、螺旋状に旋回しながら下方へ移動する。旋回カム軸21の下端近傍に設けられたアーム部材27は、旋回カム軸21の軸心を中心として旋回しながら下降することになる。よって、アーム部材27の先端近傍に設けられている検出センサ10は、旋回カム軸21を中心として旋回しながら下方に向かって螺旋状に移動することになる。 As a result, the swivel camshaft 21 moves downward while rotating in a spiral manner, with the swivel groove portion 24 of the cam groove 22 being guided by the roller 29 of the cam follower 28. The arm member 27 provided near the lower end of the swivel camshaft 21 moves downward while rotating around the axis of the swivel camshaft 21. Therefore, the detection sensor 10 provided near the tip of the arm member 27 moves downward in a spiral manner while rotating around the swivel camshaft 21.

そして、検出センサ10は、ワークテーブル4の保持面に更に接近しつつ、研削といし2に接近する。詳しくは、検出センサ10は、旋回下降して、研削といし2によるワークWの研削点に接近する。 Then, the detection sensor 10 approaches the grinding wheel 2 while moving closer to the holding surface of the work table 4. More specifically, the detection sensor 10 rotates downward and approaches the grinding point of the workpiece W by the grinding wheel 2.

このように検出センサ10は、直動的に下降してワークWに近づいたところで、旋回カム軸21を中心として旋回してワークWの研削点に接近する。
そして、検出センサ10は、研削といし2に接近し、研削点の近傍においてワークWの被加工面を検出する。これにより、誤差が小さい高精度な測定が行われる。
In this manner, the detection sensor 10 moves linearly downward and approaches the workpiece W, and then rotates about the rotating cam shaft 21 to approach the grinding point of the workpiece W.
Then, the detection sensor 10 approaches the grinding wheel 2 and detects the processed surface of the workpiece W in the vicinity of the grinding point, thereby performing highly accurate measurement with small error.

このように、本実施形態に係る平面研削装置1では、空気の圧力を利用して高精度且つ高効率な検出センサ10の移動が行われ、ワークWの研削点の近傍において、検出センサ10による高精度な測定が行われる。 In this way, in the surface grinding device 1 according to this embodiment, the detection sensor 10 is moved with high precision and efficiency using air pressure, and highly accurate measurements are performed by the detection sensor 10 near the grinding point of the workpiece W.

例えば、タッチプローブ等の検出センサ10により、ワークWの被加工面を高精度に検出することができる。検出センサ10による高精度な検出結果から、図示しない演算手段によって、ワークWの研削の取り代量が正確に算出される。 For example, the machining surface of the workpiece W can be detected with high precision by a detection sensor 10 such as a touch probe. From the highly accurate detection results by the detection sensor 10, the amount of grinding allowance of the workpiece W is accurately calculated by a calculation means (not shown).

本実施形態に係るセンサ機構5は、ワークWの表面形状を正確に確認する手段としても使用可能である。例えば、タッチプローブ等の検出センサ10による計測は、CADデータを利用してワークWの数値制御加工を実行する機械加工方法等に利用されても良い。 The sensor mechanism 5 according to this embodiment can also be used as a means for accurately checking the surface shape of the workpiece W. For example, measurements using a detection sensor 10 such as a touch probe may be used in a machining method that uses CAD data to perform numerically controlled machining of the workpiece W.

具体的には、CADデータを利用してワークWの被加工面の測定経路が生成され、その測定経路に沿って検出センサ10で被加工面の形状が測定されて点群データが取得され、その点群データから被加工面の形状データが生成されても良い。そして、取得されたワークWの被加工面の高精度な形状データに基づいて加工経路が演算され、その加工経路に沿って研削といし2及びワークWを相対移動させる加工プログラムによって、ワークWの加工が実行されても良い。 Specifically, a measurement path for the workpiece surface of the workpiece W may be generated using CAD data, the shape of the workpiece surface may be measured along the measurement path by the detection sensor 10 to obtain point cloud data, and shape data for the workpiece surface may be generated from the point cloud data. Then, a machining path may be calculated based on the obtained high-precision shape data for the workpiece surface of the workpiece W, and machining of the workpiece W may be performed by a machining program that moves the grinding wheel 2 and the workpiece W relatively along the machining path.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更実施が可能である。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible without departing from the spirit of the present invention.

1 平面研削装置
2 研削といし
3 といし軸頭
4 ワークテーブル
5 センサ機構
10 検出センサ
11 プローブ
12 接触子
13 退避位置
14 検出位置
15 サドル
16 といしカバー
20 センサ支持機構
21 旋回カム軸
22 カム溝
23 直動溝部
24 旋回溝部
25 支持ブッシュ
26 支持部材
27 アーム部材
28 カムフォロア
29 ローラ
30 エアシリンダ
31 ピストンロッド
32 エア配管
33 支持具
34 支柱
35 保護カバー
W ワーク
REFERENCE SIGNS LIST 1 Surface grinding device 2 Grinding wheel 3 Wheel spindle head 4 Work table 5 Sensor mechanism 10 Detection sensor 11 Probe 12 Contact 13 Retracted position 14 Detection position 15 Saddle 16 Wheel cover 20 Sensor support mechanism 21 Swivel cam shaft 22 Cam groove 23 Linear groove portion 24 Swivel groove portion 25 Support bush 26 Support member 27 Arm member 28 Cam follower 29 Roller 30 Air cylinder 31 Piston rod 32 Air piping 33 Support 34 Support 35 Protective cover W Work

Claims (5)

ワークを保持するワークテーブルと、
前記ワークテーブルに保持された前記ワークを回転しながら研削する研削といしと、
前記研削といしを支持するといし軸が設けられたといし軸頭と、
前記ワークの被加工面の位置を検出する検出センサと、
前記といし軸頭に設けられ前記検出センサを移動自在に支持するセンサ支持機構と、を備え、
前記センサ支持機構は、前記ワークテーブルの前記ワークを保持する保持面に向かって延在して軸心の方向に往復動自在且つ前記軸心を中心として回動自在な旋回カム軸と、
前記旋回カム軸に設けられ前記軸心から径方向にオフセットした位置に前記検出センサを支持するアーム部材と、を有し、
前記検出センサは、前記軸心に沿った方向に移動しながら前記軸心を中心として旋回して前記ワークテーブルに接近及び離間し、前記軸心を中心として回動して前記研削といしに接近した位置において前記被加工面を検出することを特徴とする平面研削装置。
A work table for holding a workpiece;
a grinding wheel for grinding the workpiece held on the work table while rotating the workpiece;
a grinding wheel head provided with a wheel shaft supporting the grinding wheel;
A detection sensor for detecting the position of the processed surface of the workpiece;
a sensor support mechanism that is provided on the wheel head and movably supports the detection sensor;
The sensor support mechanism includes a revolving cam shaft extending toward a holding surface of the work table that holds the workpiece, the revolving cam shaft being reciprocable in a direction of an axis and rotatable about the axis;
an arm member that is provided on the rotating cam shaft and supports the detection sensor at a position radially offset from the axis of the rotating cam shaft,
The surface grinding device is characterized in that the detection sensor moves in a direction along the axis, rotates around the axis to approach and move away from the work table , and detects the workpiece surface at a position close to the grinding wheel by rotating around the axis .
前記センサ支持機構は、前記旋回カム軸を前記軸心の方向に送る駆動手段と、
前記旋回カム軸を移動自在に支持するローラを有するカムフォロアと、
前記旋回カム軸に形成され前記ローラが嵌められて前記カムフォロアに支持されるカム溝と、を有し、
前記カム溝は、前記軸心の方向に延在し上端近傍において斜め円周方向に傾斜していることを特徴とする請求項1に記載の平面研削装置。
The sensor support mechanism includes a drive means for moving the rotating cam shaft in the direction of the axis of the rotating cam shaft;
a cam follower having a roller for movably supporting the rotating cam shaft;
a cam groove formed on the rotating cam shaft, the roller being fitted into the cam groove and supported by the cam follower;
2. The surface grinding device according to claim 1, wherein the cam groove extends in the direction of the axis and is inclined obliquely in the circumferential direction near an upper end thereof.
前記駆動手段は、前記旋回カム軸に連結されたピストンロッドで前記旋回カム軸を送るエアシリンダであることを特徴とする請求項2に記載の平面研削装置。 The surface grinding device according to claim 2, characterized in that the driving means is an air cylinder that drives the swivel camshaft with a piston rod connected to the swivel camshaft. 前記カムフォロアは、前記旋回カム軸を中心として対向するよう一対設けられ、
前記カム溝は、前記カムフォロアに対応するよう前記旋回カム軸の外周に一対形成されていることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の平面研削装置。
The cam followers are provided in a pair to face each other about the rotating cam shaft,
4. The surface grinding device according to claim 2, wherein a pair of said cam grooves are formed on an outer periphery of said swivel cam shaft so as to correspond to said cam followers.
前記検出センサは、前記被加工面に接触して位置を検出するタッチプローブであることを特徴とする請求項1ないし請求項4の何れか1項に記載の平面研削装置。 5. The surface grinding apparatus according to claim 1, wherein the detection sensor is a touch probe that detects the position of the workpiece by contacting the workpiece surface.
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