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JP7610370B2 - Sheet-shaped heat pipe manufacturing method and sheet-shaped heat pipe - Google Patents
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JP7610370B2 - Sheet-shaped heat pipe manufacturing method and sheet-shaped heat pipe - Google Patents

Sheet-shaped heat pipe manufacturing method and sheet-shaped heat pipe Download PDF

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Description

本発明は、スマートフォンやタブレット端末などの携帯機器に搭載可能であり、小型でありながら十分な熱輸送量が得られるシート状ヒートパイプの製造方法及びシート状ヒートパイプに関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a sheet-shaped heat pipe that can be mounted on a mobile device such as a smartphone or tablet terminal, and that is small yet provides sufficient heat transport capacity, and the sheet-shaped heat pipe.

従来、スマートフォンやタブレット端末などの携帯機器に搭載されるCPUの発熱を拡散させるために、例えば特許文献1~4に示すような、シート状ヒートパイプを組み込んだ放熱構造が提案されている。こうしたシート状ヒートパイプは、2枚以上の金属箔からなるシート体を重ね合わせて接合することにより、水などの液相の作動流体を収容する密閉した容器が形成されており、容器の内部に設けたウィックによる毛細管力を利用して、シート状ヒートパイプの受熱部と放熱部との間で作動流体を還流させ、受熱部に熱接続するCPUからの熱を放熱部に輸送して、携帯機器の外部に放散させる、というものである。そして、薄型化が進む携帯機器の内部にシート状ヒートパイプを無理なく搭載するには、シート状ヒートパイプも熱拡散性能を損なわずに薄型化を図ることが望まれていた。 Conventionally, in order to dissipate heat generated by a CPU mounted on a mobile device such as a smartphone or tablet terminal, a heat dissipation structure incorporating a sheet-shaped heat pipe has been proposed, as shown in Patent Documents 1 to 4, for example. In such a sheet-shaped heat pipe, a sealed container is formed by overlapping and bonding two or more sheets made of metal foil, and a wick is provided inside the container to circulate the working fluid between the heat receiving part and the heat dissipation part of the sheet-shaped heat pipe, and the heat from the CPU thermally connected to the heat receiving part is transported to the heat dissipation part and dissipated to the outside of the mobile device. In order to easily mount a sheet-shaped heat pipe inside a mobile device that is becoming thinner, it has been desired to make the sheet-shaped heat pipe thinner without impairing its heat diffusion performance.

特開2016-050682号公報JP 2016-050682 A 特開2016-017702号公報JP 2016-017702 A 特開2018-204841号公報JP 2018-204841 A 特開2018-189320号公報JP 2018-189320 A

しかし、従来のシート状ヒートパイプでは、作動液が封入される容器内部の空間を形成するために、シート状の金属箔に対してエッチング加工を行なっており、部品加工に技術を要しコスト上昇を招いていた。また、シート状ヒートパイプとして十分な熱拡散性能を得るためには、容器内部の空間容積をある程度確保する必要があり、こうした十分な熱拡散性能を保持しつつも、製造方法を簡素化させることが困難であった。 However, in conventional sheet-type heat pipes, etching is performed on sheet-type metal foil to form the space inside the container in which the working fluid is sealed, which requires technical skills for processing the parts and leads to increased costs. Also, in order to obtain sufficient thermal diffusion performance as a sheet-type heat pipe, it is necessary to ensure a certain amount of spatial volume inside the container, and it has been difficult to simplify the manufacturing method while maintaining sufficient thermal diffusion performance.

そこで、本発明は上記の課題を解決して、十分な熱拡散性能を有し、且つ製造方法を簡素化したリーズナブルなシート状ヒートパイプの製造方法及びシート状ヒートパイプを提供することを目的とする。 The present invention aims to solve the above problems and provide a manufacturing method and sheet-shaped heat pipe that has sufficient thermal diffusion performance and is reasonably simple in manufacturing.

本発明に係るシート状ヒートパイプの製造方法は、肉厚0.1mm未満であって、材質がステンレス若しくはそれを主成分とする合金金属である金属箔をプレス加工により成形し、この成形品を含む2枚以上の前記金属箔を積み重ねて、幅が2mm未満のフランジ部をレーザー溶接により接合することにより、作動流体が封入される中空の容器を形成し、前記容器の内部に厚みが01mm以下であって、銅、ステンレス、若しくはチタンのいずれかの金属を含んでなる平板のウィックを設け、前記金属箔の少なくとも一方に、プレス絞り加工により前記金属箔の表面部側を凹ませて柱を形成し、前記柱で前記ウィックを押さえ、総厚みを0.4mm未満としたことを特徴とする。また、本発明に係るシート状ヒートパイプは、肉厚0.1mm未満であって、材質がステンレス若しくはそれを主成分とする合金金属である金属箔をプレス加工により成形し、この成形品を含む2枚以上の前記金属箔を積み重ねて、幅が2mm未満のフランジ部をレーザー溶接により接合することにより、作動流体が封入される中空の容器を有するシート状ヒートパイプであって、前記容器の内部に厚みが01mm以下であって、銅、ステンレス、若しくはチタンのいずれかの金属を含んでなる平板のウィックが設けられ、前記金属箔の少なくとも一方に、プレス絞り加工により前記金属箔の表面部側を凹ませて形成した柱を有し、前記柱で前記ウィックを押さえ、総厚みを0.4mm未満であることを特徴とする。 The manufacturing method of the sheet-like heat pipe according to the present invention is characterized in that a metal foil having a thickness of less than 0.1 mm and made of stainless steel or an alloy metal mainly composed of stainless steel is formed by pressing, two or more sheets of the metal foil including the formed product are stacked, and a flange part having a width of less than 2 mm is joined by laser welding to form a hollow container in which a working fluid is sealed, and a flat wick having a thickness of 0.1 mm or less and made of any metal of copper, stainless steel, or titanium is provided inside the container, and a pillar is formed by recessing the surface side of the metal foil on at least one of the metal foils by press drawing, and the wick is pressed by the pillar, so that the total thickness is less than 0.4 mm. Also, the sheet - like heat pipe according to the present invention is a sheet-like heat pipe having a thickness of less than 0.1 mm and made of stainless steel or an alloy metal mainly composed of stainless steel is formed by pressing, and two or more sheets of the metal foil including the formed product are stacked, and a flange part having a width of less than 2 mm is joined by laser welding to form a hollow container in which a working fluid is sealed, and a flat wick having a thickness of 0.1 mm or less and made of any metal of copper, stainless steel, or titanium is provided inside the container, and a pillar is formed by pressing the surface side of the metal foil on at least one of the metal foils by press drawing, and the wick is pressed by the pillar, so that the total thickness is less than 0.4 mm . The wick is characterized in that it has a flat wick having a thickness of 1 mm or less and made of any of the metals copper, stainless steel, or titanium , at least one of the metal foils has a pillar formed by recessing the surface side of the metal foil by press drawing, the pillar holds down the wick, and the total thickness is less than 0.4 mm.

本発明によれば、肉厚0.1mm未満であって、材質がステンレス若しくはそれを主成分とする合金金属であるプレス加工で成形された金属箔を利用して、2枚以上の金属箔を積み重ね、容器の内容積を極力増やすために、幅が2mm未満に形成されたフランジ部をレーザー溶接により接合して、作動流体が循環する中空の容器を形成し、容器の内部に厚みが01mm以下であって平板のウィックを設け、金属箔の少なくとも一方に、プレス絞り加工により金属箔の表面部側を凹ませて柱を形成し、柱でウィックを押さえ、総厚みを0.4mm未満とすることで、十分な熱拡散性能を有し、且つ製造方法を簡素化したリーズナブルなエッチングレスのシート状ヒートパイプを提供できる。 According to the present invention, a metal foil having a thickness of less than 0.1 mm and made of stainless steel or an alloy metal mainly composed of stainless steel is used, and two or more sheets of the metal foil are stacked, and in order to maximize the internal volume of the container, a flange portion formed to a width of less than 2 mm is joined by laser welding to form a hollow container in which a working fluid circulates . A flat wick having a thickness of 0.1 mm or less is provided inside the container, and a pillar is formed by recessing the surface side of the metal foil on at least one side of the metal foil by press drawing, and the wick is held down by the pillar, making the total thickness less than 0.4 mm, thereby providing an etching-less sheet-like heat pipe that has sufficient thermal diffusion performance and is manufactured using a simplified method.

本発明の第1実施形態におけるシート状ヒートパイプの要部縦断面図である。1 is a longitudinal sectional view of a main portion of a sheet-shaped heat pipe according to a first embodiment of the present invention; 同、接合前の第1シート体の平面図である。FIG. 4 is a plan view of the first sheet body before joining according to the first embodiment. 同、図2の要部拡大斜視図である。FIG. 3 is an enlarged perspective view of a main portion of FIG. 2 according to the first embodiment. 同、別な形状のシート状ヒートパイプにおいて、接合前の第1シート体の平面図である。FIG. 11 is a plan view of a first sheet body before bonding in a sheet-shaped heat pipe of another shape according to the first embodiment; 同、別な形状のシート状ヒートパイプにおいて、容器に放熱部品と発熱部品を熱接続したシート状ヒートパイプの正面図である。FIG. 13 is a front view of a sheet-shaped heat pipe having a different shape, in which a heat dissipation component and a heat generating component are thermally connected to a container. 同、別な形状のシート状ヒートパイプにおいて、ノズル先端部を切り離す前のシート状ヒートパイプの平面図である。FIG. 11 is a plan view of the sheet-shaped heat pipe of the second embodiment before the nozzle tip is cut off. 同、隣り合う2つの柱の縦断面図である。FIG. 11 is a vertical cross-sectional view of two adjacent columns. 同、一例となる柱の縦断面図である。FIG. 11 is a vertical cross-sectional view of an example pillar. 同、別な例となる柱の縦断面図である。FIG. 11 is a vertical cross-sectional view of another example of a pillar according to the same embodiment. 同、さらに別な例となる柱の縦断面図である。FIG. 11 is a vertical cross-sectional view of yet another example of a pillar according to the same embodiment. 同、プレス加工された1枚の成形品と、プレス加工されていない1枚の非成形品とを積み重ねたシート状ヒートパイプの要部縦断面図である。FIG. 11 is a longitudinal cross-sectional view of a main portion of a sheet-shaped heat pipe in which one pressed molded piece and one non-pressed non-molded piece are stacked together. 同、プレス加工された2枚の成形品を積み重ねたシート状ヒートパイプの要部縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of a main portion of a sheet-shaped heat pipe formed by stacking two pressed molded pieces. 同、放熱部側に柱を配置したシート状ヒートパイプの要部縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of a main portion of a sheet-shaped heat pipe having a pillar disposed on the heat dissipation side according to the first embodiment. 同、受熱部側に柱を配置したシート状ヒートパイプの要部縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of a main portion of a sheet-shaped heat pipe in which a pillar is arranged on the heat receiving portion side of the sheet-shaped heat pipe of the first embodiment. 同、放熱部側と受熱部側の両方に柱を配置したシート状ヒートパイプの要部縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal cross-sectional view of a main portion of a sheet-shaped heat pipe having pillars on both the heat dissipation side and the heat reception side. 同、メッシュによるウィックの部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of the mesh wick of the same embodiment. 同、金属箔によるウィックの平面図である。FIG. 4 is a plan view of the metal foil wick of the same embodiment. 同、金属箔によるウィックの右側面図である。FIG. 2 is a right side view of the metal foil wick of the same embodiment. 同、金属箔によるウィックの底面図である。FIG. 4 is a bottom view of the metal foil wick of the same embodiment. 同、図17のX-X線断面図である。17. This is a cross-sectional view taken along the line XX in FIG. 同、金属線を焼結した後の不織布によるウィックを示す写真である。13 is a photograph showing a wick made of nonwoven fabric after sintering a metal wire. 同、図21に示す不織布の(A)ウェブ繊維側と(B)直線繊維側の各表面を部分的に拡大した写真である。22A and 22B are partially enlarged photographs of the surfaces of the nonwoven fabric shown in FIG. 21 on the web fiber side and on the straight fiber side, respectively. 同、図2及び図3で示した第1シート体の写真である。4 is a photograph of the first sheet body shown in FIG. 2 and FIG. 3. 同、図23の第1シート体を利用して完成したシート状ヒートパイプについて、実験結果となる各部の温度分布を示す図である。FIG. 24 shows the temperature distribution at each part of a sheet-shaped heat pipe completed using the first sheet body of FIG. 23, which is an experimental result. 同、本発明の第2実施形態におけるシート状ヒートパイプの要部縦断面図である。FIG. 6 is a longitudinal sectional view of a main portion of a sheet-shaped heat pipe according to a second embodiment of the present invention. 同、ウィック収納部に複数枚重ねて収納したウィックの写真である。This is a photo of multiple wicks stacked and stored in the wick storage compartment.

以下、本発明の好ましい幾つかの実施形態について、スマートフォンやタブレット端末などの携帯機器に搭載されるシート状ヒートパイプ(以下、「SHP」という)を例にして説明する。各実施形態の説明で、共通する箇所には共通する符号を付し、共通する部分の説明は重複を避けるため極力省略する。 Below, several preferred embodiments of the present invention will be described, taking as an example a sheet-shaped heat pipe (hereinafter referred to as "SHP") mounted on a mobile device such as a smartphone or tablet terminal. In the description of each embodiment, common parts are given common reference numerals, and descriptions of common parts will be omitted as much as possible to avoid duplication.

図1~図4は、本発明の第1実施形態におけるSHP1の外観構成を示している。これらの各図において、SHP1は、2枚の金属箔である第1シート体11と第2シート体12を重ね合わせて接合した容器15により構成される。SHP1の外郭をなすシート体11,12は、金属としてある程度の熱伝導性を有し、且つ完成したSHP1を図示しない携帯機器の筐体に組み込むまでに、SHP1が容易に変形せずに取扱いがしやすい硬さ(剛性)を有する材質の金属箔から、所望する形状に形成される。こうした要求に合う金属箔の材質は、例えばステンレス、チタン、銅、若しくはそれらを主成分とする合金金属の何れかとするのが好ましい。また、2枚以上の例えば3枚の金属箔を積み重ねて接合することにより、中空の容器15を構成してもよい。シート体11,12となるそれぞれの金属箔の厚さすなわち肉厚t1,t2は、何れも携帯機器の薄型化に対応して0.1mm未満とするのが好ましい。 1 to 4 show the external configuration of the SHP1 in the first embodiment of the present invention. In each of these figures, the SHP1 is composed of a container 15 formed by stacking and bonding two sheets of metal foil, a first sheet 11 and a second sheet 12. The sheets 11 and 12 forming the outer shell of the SHP1 are formed into a desired shape from metal foil that has a certain degree of thermal conductivity as a metal and has a hardness (rigidity) that makes the SHP1 easy to handle and not easily deform before the completed SHP1 is incorporated into the housing of a mobile device (not shown). The material of the metal foil that meets these requirements is preferably, for example, stainless steel, titanium, copper, or an alloy metal containing these as its main component. In addition, two or more sheets of metal foil, for example, three sheets of metal foil, may be stacked and bonded to form a hollow container 15. The thicknesses of the metal foils that form the sheets 11 and 12, i.e., wall thicknesses t1 and t2, are preferably less than 0.1 mm in order to accommodate the thinning of mobile devices.

図2や図4に示すように、容器15の内部に真空状態で純水などの液相の作動流体(図示せず)を封入収容するために、容器15には筒状のノズル17が延設される。また、図2では図示していないが、ノズル17は容器15の内外を連通させる開口部17Aを有し、最終的に開口部17Aを塞ぐことで、密閉された容器15ひいてはSHP1の厚さT0が、携帯機器の薄型化に対応して0.4mm未満に形成される。この厚さT0は、2枚以上の金属箔を積み重ねたSHP1全体の総厚みに相当する。開口部17Aが塞がれた後に、ノズル17は基端部を残して先端部17Bが切り離され、容器15を密閉したままのSHP1が完成する。完成状態のSHP1は、スマートフォンやタブレット端末などの携帯機器の筐体内部形状に合せた外形を有し、例えば図2や図4に示すような第1シート体11の形状では、平面視で略矩形平板状のSHP1となるが、図示しない別な形状の第1シート体11から、平面視で多角形平板状のSHP1を完成させてもよい。 2 and 4, a cylindrical nozzle 17 is extended from the container 15 in order to seal and store a liquid-phase working fluid (not shown) such as pure water inside the container 15 under vacuum. Although not shown in FIG. 2, the nozzle 17 has an opening 17A that connects the inside and outside of the container 15, and by finally closing the opening 17A, the thickness T0 of the sealed container 15 and therefore the SHP1 is made less than 0.4 mm in response to the trend toward thinner mobile devices. This thickness T0 corresponds to the total thickness of the entire SHP1, which is made up of two or more stacked metal foils. After the opening 17A is closed, the tip 17B of the nozzle 17 is cut off, leaving only the base end, and the SHP1 is completed with the container 15 still sealed. The completed SHP1 has an outer shape that matches the internal shape of the housing of a mobile device such as a smartphone or tablet terminal. For example, when the first sheet body 11 has a shape such as that shown in FIG. 2 or FIG. 4, the SHP1 has a substantially rectangular flat plate shape in plan view. However, the SHP1 may also have a polygonal flat plate shape in plan view from a first sheet body 11 of a different shape (not shown).

前述のように、完成したSHP1はそのまま単体で携帯機器の筐体内部に設置される。このとき、携帯機器の熱源(例えばCPU)と熱接触するSHP1の表面部分が受熱部(図示せず)として形成され、受熱部とは別な部位で、携帯機器の熱拡散部材(例えばタッチパネルや背面カバー)と熱接触するSHP1の表面部分が放熱部(図示せず)として形成される。熱源からの熱を受け入れる受熱部や、熱拡散部材に熱を受け渡す放熱部が、SHP1の表面部分のどの部位に形成されるのかは、携帯機器の内部構成に依存する。 As mentioned above, the completed SHP1 is placed as is inside the housing of the mobile device. At this time, the surface portion of the SHP1 that is in thermal contact with the heat source of the mobile device (e.g., the CPU) is formed as a heat receiving portion (not shown), and a portion of the surface of the SHP1 that is in thermal contact with the thermal diffusion member of the mobile device (e.g., a touch panel or a back cover) is formed as a heat dissipation portion (not shown) at a location separate from the heat receiving portion. Which portion of the surface portion of the SHP1 is formed as the heat receiving portion that receives heat from the heat source or the heat dissipation portion that transfers heat to the thermal diffusion member depends on the internal configuration of the mobile device.

SHP1の一側部を形成する第1シート体11は、袋状の容器15の外郭一側面を形成する凹状のシート面部11Aと、平面視でシート面部11Aの周囲全体に形成される枠状のフランジ部11Bと、シート面部11Aより内側に向けてスポット状に突出して形成される複数の支柱11Cと、により構成される。この中で、シート面部11Aと支柱11Cは、加工前の凹凸がない平坦な金属箔から、プレス加工の一種であるプレス絞り加工により所望の形状に絞り成形されたものである。これらのシート面部11Aや支柱11Cを成形するのと同時に、ノズル17の開口部17Aとなる溝部を成形することもできる。 The first sheet body 11 forming one side of the SHP1 is composed of a concave sheet surface portion 11A forming one side of the outer shell of the bag-shaped container 15, a frame-shaped flange portion 11B formed around the entire periphery of the sheet surface portion 11A in a plan view, and a number of supports 11C formed in spots protruding inward from the sheet surface portion 11A. Among these, the sheet surface portion 11A and the supports 11C are formed by drawing a flat metal foil without any unevenness before processing into the desired shape by press drawing, a type of press processing. At the same time as forming the sheet surface portion 11A and the supports 11C, a groove portion that becomes the opening 17A of the nozzle 17 can also be formed.

SHP1の他側部を形成する第2シート体12は、容器15の外郭他側面を形成する平坦なシート面部12Aと、平面視でシート面部12Aの周囲全体に形成される枠状のフランジ部12Bと、により構成される。図1に示す第2シート体12は、加工前の凹凸がない平坦な金属箔を、そのまま加工せずに第1シート体11と積み重ねて使用したものである。この場合、第1シート体11のシート面部11Aに対向する部位が第2シート体12のシート面部12Aとなり、第1シート体11のフランジ部11Bに対向し当接する部位が第2シート体12のフランジ部12Bとなる。 The second sheet body 12 forming the other side of the SHP1 is composed of a flat sheet surface portion 12A forming the other outer side surface of the container 15, and a frame-shaped flange portion 12B formed around the entire periphery of the sheet surface portion 12A in a plan view. The second sheet body 12 shown in FIG. 1 is a flat metal foil without any unevenness before processing, which is stacked on the first sheet body 11 without processing. In this case, the portion facing the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11 becomes the sheet surface portion 12A of the second sheet body 12, and the portion facing and abutting the flange portion 11B of the first sheet body 11 becomes the flange portion 12B of the second sheet body 12.

本実施形態では、第1シート体11のシート面部11Aの開口を第2シート体12のシート面部12Aで塞ぐように、第1シート体11と第2シート体12を積み重ねることで、作動流体が封入される容器15の内部に、主に気相の作動流体を流通させる凹状の蒸気通路21と、主に液相の作動流体を流通させるウィック31を収納するためのウィック収納部22がそれぞれ形成される。これらの蒸気通路21とウィック収納部22は、上述した金属箔に凹状のシート面部11Aを成形するプレス絞り加工により形成されたものである。ウィック収納部22は、容器15の内部に配置されるウィック31の外形に対応した部位に相当し、それ以外の容器15の内部部位が蒸気通路21となる。 In this embodiment, the first sheet body 11 and the second sheet body 12 are stacked so that the opening of the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11 is closed by the sheet surface portion 12A of the second sheet body 12, and a concave steam passage 21 for circulating the working fluid mainly in the gas phase and a wick storage portion 22 for storing the wick 31 for circulating the working fluid mainly in the liquid phase are formed inside the container 15 in which the working fluid is sealed. These steam passage 21 and wick storage portion 22 are formed by press drawing to form the concave sheet surface portion 11A in the above-mentioned metal foil. The wick storage portion 22 corresponds to the portion corresponding to the outer shape of the wick 31 placed inside the container 15, and the other internal portions of the container 15 become the steam passage 21.

フランジ部11B,12Bは、シート体11,12の内面どうしを向かい合わせたときにお互いが接して重なる位置にあり、これらをロウ付け、レーザー溶接、拡散接合の何れかを用いて隙間なく接合することにより、SHP1の容器15を取り囲む外周部16が形成される。 The flanges 11B and 12B are positioned so that they come into contact with each other and overlap when the inner surfaces of the sheets 11 and 12 are placed facing each other, and are joined without gaps using brazing, laser welding, or diffusion bonding to form the outer periphery 16 that surrounds the container 15 of the SHP1.

容器15の内部には、作動流体が封入される脱気状態の密閉室が形成される。この密閉室は、受熱部で蒸発した気相の作動流体を放熱部に輸送するための蒸気通路21と、放熱部で凝縮した液相の作動流体を受熱部に戻すためのシート状のウィック31を具備したウィック収納部22とにより構成される。ウィック31は、例えば厚みが0.1mm以下のシートで、容器15とは別体でウィック収納部22に内封され、液相の作動流体に強い毛細管力を生じさせるために、銅、ステンレス、若しくはチタンなどの金属による粉体焼結を含む多孔質体からなり、微細な孔となる隙間32を全体に満遍なく有して構成される。本実施形態では、容器15が大気圧に押されて潰れないようにするために、第1シート体11にのみ、第2シート体12のシート面部12Aに向けて、ウィック収納部22に配置されたウィック31に当接する支柱11Cが、同じ高さで多数形成される。なお、ウィック31や支柱11Cの具体的な構成については、後ほど詳しく説明する。 Inside the container 15, a sealed chamber in a degassed state in which the working fluid is sealed is formed. This sealed chamber is composed of a vapor passage 21 for transporting the gas phase working fluid evaporated in the heat receiving section to the heat dissipation section, and a wick storage section 22 equipped with a sheet-like wick 31 for returning the liquid phase working fluid condensed in the heat dissipation section to the heat receiving section. The wick 31 is, for example, a sheet having a thickness of 0.1 mm or less, and is enclosed in the wick storage section 22 separately from the container 15. In order to generate a strong capillary force in the liquid phase working fluid, the wick 31 is made of a porous body including powder sintered from metals such as copper, stainless steel, or titanium, and is configured to have fine pores 32 evenly throughout the entire wick. In this embodiment, in order to prevent the container 15 from being crushed by atmospheric pressure, a large number of supports 11C are formed at the same height only in the first sheet body 11 toward the sheet surface section 12A of the second sheet body 12, which abut against the wick 31 arranged in the wick storage section 22. The specific configuration of the wick 31 and support 11C will be explained in more detail later.

そして本実施形態では、先ず厚さが何れも0.1mm未満の平坦な2枚の金属箔を用意し、一方の金属箔については、その金属箔をプレス絞り加工により成形し、第1シート体11として第1シート面部11Aや支柱11Cを形成した凹凸状の成形品に仕上げ、他方の金属箔については、そのまま非成形品として第2シート体12にする。 In this embodiment, first, two flat sheets of metal foil, each with a thickness of less than 0.1 mm, are prepared. One of the metal foils is shaped by press drawing to form the first sheet body 11 with an uneven shape that includes the first sheet surface portion 11A and the support pillars 11C, while the other metal foil is left as is as a non-shaped product to form the second sheet body 12.

次いで、第2シート体12の内面側でウィック収納部22に相当する部位に平板状のウィック31を載せ、このウィック31を挟み込むように、平面視で外形形状が同じ2枚の金属箔から得られたシート体11,12を、それぞれの内面を内側にしてシート面部11A,11Bが向い合うように積み重ねる。そして、ここから内部を空洞にした袋状の容器15が構成されるように、シート体11,12のフランジ部11B,12Bを接合して、SHP1を製造する。その際、SHP1の外周部となるフランジ部11B,12Bを接合し、次に容器15の内部と連通するノズル17を利用して、液相の作動流体の注入と脱気(真空引き)を行なった後、ノズル17を閉塞してSHP1の内部を密閉することで、容器15としての機能が得られ、ノズル17の先端部17Bを切り離すことで、最終的なSHP1の製造が完了する。したがって完成状態のSHP1には、容器15の内部を密封状態に維持するための封止部18(図6を参照)が、ノズル17の開口部17Aを塞ぐ痕跡として当該ノズル17の基端部に設けられる。 Next, a flat wick 31 is placed on the inner surface of the second sheet body 12 at a portion corresponding to the wick storage section 22, and the sheet bodies 11 and 12 made of two metal foils having the same outer shape in a planar view are stacked so that the inner surfaces of the sheets face inward and the sheet surface portions 11A and 11B face each other, sandwiching the wick 31. Then, the flange portions 11B and 12B of the sheet bodies 11 and 12 are joined so that a bag-shaped container 15 with a hollow interior is formed, and the SHP1 is manufactured. At this time, the flange portions 11B and 12B that form the outer periphery of the SHP1 are joined, and then the nozzle 17 that communicates with the interior of the container 15 is used to inject a liquid phase working fluid and degas (evacuate), and then the nozzle 17 is closed to seal the interior of the SHP1, thereby obtaining the function of the container 15, and the tip portion 17B of the nozzle 17 is cut off to complete the final manufacture of the SHP1. Therefore, in the completed SHP1, a sealing portion 18 (see FIG. 6) for keeping the inside of the container 15 sealed is provided at the base end of the nozzle 17 as a trace for sealing the opening 17A of the nozzle 17.

なお完成状態のSHP1は、平面視で略矩形平板状や多角形平板状以外に、携帯機器の筐体内部形状に合せた任意の形状とすることができる。また、図1に示すSHP1は、容器15の柱11Cを設けた以外のどの部位であっても、その厚さT0が均一で好ましくは0.4mm未満に形成されるが、プレス絞り加工の利点を活かして、SHP1の厚さT0を段階的及び/又は連続的に変化させてもよい。 The completed SHP1 can be in any shape that matches the internal shape of the housing of the portable device, other than a substantially rectangular or polygonal plate shape in plan view. The SHP1 shown in FIG. 1 is formed to have a uniform thickness T0, preferably less than 0.4 mm, in all areas other than where the pillars 11C of the container 15 are provided, but the thickness T0 of the SHP1 may be changed in stages and/or continuously by taking advantage of the advantages of press drawing.

例えば、図5に示すSHP1では、携帯機器の筐体43内で発熱部品となる熱源41と放熱部品となる熱拡散部材42が、異なる高さに配置されている場合に、同じく携帯機器の筐体43内に設置されるSHP1が、これらの熱源41や熱拡散部材42と密着して熱接続できるように、熱源41に接触する受熱部44側の容器15の厚さT0aと、熱拡散部材42に接触する放熱部45側の容器15の厚さT0bが異なっている(T0a<T0b)。また、SHP1の受熱部44から放熱部45に向かうにしたがい、容器15の厚さTocは次第に大きくなるように連続的に変化している。こうした容器15の厚さは、一定の厚さを有する金属箔からプレス絞り加工で第1シート体11を成形する際に、凹状のシート面部11Aの深さを図示しないプレス機械で適宜調整するだけで簡単に得られる。従来のエッチング加工では、一定の厚さを有する金属箔から、図5に示すような容器15の形状を得ることはできない。 For example, in the SHP1 shown in FIG. 5, when the heat source 41, which is a heat generating component, and the heat diffusion member 42, which is a heat dissipating component, are arranged at different heights in the housing 43 of the portable device, the SHP1, which is also installed in the housing 43 of the portable device, can be thermally connected in close contact with the heat source 41 and the heat diffusion member 42. In this way, the thickness T0a of the container 15 on the heat receiving portion 44 side that contacts the heat source 41 is different from the thickness T0b of the container 15 on the heat dissipating portion 45 side that contacts the heat diffusion member 42 (T0a<T0b). In addition, the thickness Toc of the container 15 changes continuously so that it gradually becomes larger from the heat receiving portion 44 to the heat dissipating portion 45 of the SHP1. The thickness of the container 15 can be easily obtained by appropriately adjusting the depth of the concave sheet surface portion 11A with a press machine (not shown) when forming the first sheet body 11 from a metal foil having a certain thickness by press drawing. Conventional etching processes cannot produce the shape of container 15 shown in Figure 5 from metal foil with a constant thickness.

また図6は、SHP1の製造工程において、ノズル17の先端部17Bを切り離す前のSHP1を示しているが、ノズル17は、1つの容器15の任意の位置に2つ以上具備してもよい。図6に示す例では、平面視で容器15の異なる辺となる一側短辺と他側短辺に、同一形状のノズル17がそれぞれ設けられている。また、ノズル17の先端部17Bは、SHP1の製造工程で作動液の注入や真空引きを容易に行なえるように、容器15の短辺から外方に突出した筒状に形成される。前述したノズル17の開口部17Aは、先端部17Bにも延びて容器15の内外を連通させており、先端部17Bの根元は例えば切込みが形成されているなどして、比較的簡単に切り離せる構成となっている。 FIG. 6 shows the SHP1 before the tip 17B of the nozzle 17 is cut off during the manufacturing process of the SHP1, but two or more nozzles 17 may be provided at any position on one container 15. In the example shown in FIG. 6, nozzles 17 of the same shape are provided on one short side and the other short side, which are different sides of the container 15 in a plan view. Furthermore, the tip 17B of the nozzle 17 is formed in a cylindrical shape that protrudes outward from the short side of the container 15 so that the injection of the working fluid and the vacuum can be easily performed during the manufacturing process of the SHP1. The opening 17A of the nozzle 17 described above also extends to the tip 17B to communicate the inside and outside of the container 15, and the base of the tip 17B is configured to be relatively easily cut off, for example by forming a notch at the base.

そして本実施形態では、容器15の内部への作動液の注入や、容器15の内部からの真空引きを、容器15の同じ箇所だけでなく、異なる複数の箇所からも任意に行なうことが可能になる。また、容器15の内面に濡れ性を向上させる酸化膜を付着させる場合、容器15の一つの箇所でノズル17から酸化膜材料を注入すると、そのノズル17の周辺にのみ酸化膜が付着して付きムラが生じてしまうが、容器15の複数の箇所でノズル17から酸化膜材料を注入すれば、容器15内面における酸化膜の付きムラを改善できる。こうした作業が終了した後は、ノズル17の開口部17Aを封止部18で塞いで先端部17Bを根元から切り離せば、製造工程が終了した製品状態のSHP1において、ノズル17の部分を容器15から突出させないようにすることができ、それぞれのノズル17に設けた封
止部18が、容器15の内部を密閉状態に維持する。
In this embodiment, the injection of the working fluid into the container 15 and the evacuation of the container 15 can be performed not only from the same place in the container 15 but also from a plurality of different places. When an oxide film for improving wettability is applied to the inner surface of the container 15, if the oxide film material is injected from the nozzle 17 at one place in the container 15, the oxide film is applied only around the nozzle 17, resulting in uneven application. However, if the oxide film material is injected from the nozzle 17 at a plurality of places in the container 15, the uneven application of the oxide film on the inner surface of the container 15 can be improved. After such operations are completed, the opening 17A of the nozzle 17 is closed with the sealing part 18 and the tip 17B is cut off from its base, so that the nozzle 17 does not protrude from the container 15 in the SHP 1 in the product state after the manufacturing process is completed, and the sealing parts 18 provided on each nozzle 17 keep the inside of the container 15 sealed.

上述したSHP1の製造方法では、フランジ部11B,12Bを拡散接合する代わりに、ロウ付けやレーザー溶接で接合してもよい。例えば、シート体11,12となる金属箔の材質がステンレスであれば、レーザー溶接を採用するとフランジ部11B,12Bの密着性が向上し、金属箔の材質が銅であれば、ロウ付けを採用するとフランジ部11B,12Bの密着性が向上する。このようにフランジ部11B,12Bを接合する際に、金属箔の材質に応じた任意の接合方法で、フランジ部11,12の密着性を高める要求に合わせることが可能になる。 In the manufacturing method of SHP1 described above, instead of diffusion bonding, flange portions 11B, 12B may be joined by brazing or laser welding. For example, if the material of the metal foil that forms sheet bodies 11, 12 is stainless steel, laser welding will improve the adhesion of flange portions 11B, 12B, and if the material of the metal foil is copper, brazing will improve the adhesion of flange portions 11B, 12B. In this way, when joining flange portions 11B, 12B, any joining method according to the material of the metal foil can be used to meet the demand for increased adhesion of flange portions 11, 12.

また、2枚のシート体11,12を重ね合わせたときに、容器15を取り囲む外周部16としてのフランジ部11B,12Bの幅dは、2mm未満の寸法で例えば1.5mm以上に形成される。これにより完成したSHP1の状態で、容器15に必要な密閉度を確保しつつ、容器15の内容積を極力増やすことができる。 When the two sheets 11, 12 are stacked together, the width d of the flanges 11B, 12B as the outer periphery 16 surrounding the container 15 is formed to a dimension of less than 2 mm, for example, 1.5 mm or more. This makes it possible to maximize the internal volume of the container 15 while ensuring the required airtightness for the container 15 in the completed SHP1 state.

プレス絞り加工では、容器15の内部に凹状の蒸気通路21やウィック収納部22を設けるために、シート体11に形成されるシート面部11Aの深さを容易に調整することができるが、携帯機器の筐体43の薄型化に対応して、シート体11,12となるそれぞれの金属箔の肉厚t1,t2を0.1mm未満とし、且つ完成状態でのSHP1の厚さT0を最大で0.4mm未満に形成する。シート体11,12の肉厚t1,t2は、必ずしも同一寸法でなくてもよく、例えばプレス絞り加工を行なってシート体11となる金属箔の肉厚t1の寸法を、プレス絞り加工を行なわずにシート体12となる金属箔の肉厚t2の寸法よりも大きくすることで、シート体11に形成されるシート面部11Aや支柱11Cが変形しにくくなり、SHP1としての取り扱いが容易になる。 In the press drawing process, the depth of the sheet surface portion 11A formed on the sheet body 11 can be easily adjusted to provide a concave steam passage 21 and a wick storage portion 22 inside the container 15, but in order to accommodate the thinning of the housing 43 of the portable device, the thicknesses t1 and t2 of the metal foils that become the sheet bodies 11 and 12 are made less than 0.1 mm, and the thickness T0 of the SHP1 in the completed state is made less than 0.4 mm at most. The thicknesses t1 and t2 of the sheet bodies 11 and 12 do not necessarily have to be the same dimension. For example, by making the dimension of the thickness t1 of the metal foil that becomes the sheet body 11 by the press drawing process larger than the dimension of the thickness t2 of the metal foil that becomes the sheet body 12 without the press drawing process, the sheet surface portion 11A and the support 11C formed on the sheet body 11 are less likely to deform, and the handling of the SHP1 becomes easier.

こうして本実施形態では、一連の製造工程でエッチング加工を一切行なうことなく、プレス絞り加工で成形された金属箔の成形品を第1シート体11として利用し、この第1シート体11の他に別な第2シート体12を含む2枚以上の金属箔を積み重ねた後に、幅dが2mm未満に形成されたフランジ部11B,12Bを接合して、作動流体が循環する中空の容器15を形成することで、容器15の内容積を極力増やした十分な熱拡散性能を有するSHP1を、リーズナブルなエッチングレスの製造方法で簡単に得ることができる。また、エッチングレスで厚さT0が0.4mm未満でありながら、気相の作動流体が通過する凹状の蒸気通路21と、シート状のウィック31を収納するウィック収納部22とを備えた薄型のSHP1を提供できる。 In this embodiment, no etching is performed in the series of manufacturing steps. Instead, a metal foil formed by press drawing is used as the first sheet 11. After stacking two or more sheets of metal foil including a second sheet 12 in addition to the first sheet 11, the flanges 11B and 12B with a width d of less than 2 mm are joined to form a hollow container 15 through which the working fluid circulates. This makes it possible to easily obtain an SHP1 with sufficient thermal diffusion performance by increasing the internal volume of the container 15 as much as possible using a reasonable etching-less manufacturing method. In addition, a thin SHP1 can be provided that has a concave steam passage 21 through which the gas-phase working fluid passes and a wick storage section 22 that stores a sheet-like wick 31, even though it is etching-less and has a thickness T0 of less than 0.4 mm.

本実施形態では、容器15が大気圧で潰れる現象を確実に防ぐために、第1シート体11のシート面部11A内側の蒸気通路21となる領域から、第2シート体12のウィック収納部22に収納されたウィック31の表面に向けて、複数の支柱11Cを縦横等間隔に配置する。図7に示すように、各々の支柱11Cは同一状で、縦横に隣り合う支柱11C,11Cどうしの、一方の支柱11Cの基端から他方の支柱11Cの基端までの最短距離となる隙間Lが5mm以下となるように、シート面部11Aと一体的に形成されている。支柱11C,11Cどうしの隙間L1を5mm以下とすることで、容器15が大気圧で潰れないように、支柱11Cの全体で第1シート体11のシート面部11Aを支えながら、容器15の内部で気相の作動流体を十分に通過させる蒸気通路21を確保できる。 In this embodiment, in order to reliably prevent the container 15 from collapsing due to atmospheric pressure, a plurality of supports 11C are arranged at equal intervals vertically and horizontally from the area that becomes the steam passage 21 inside the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11 toward the surface of the wick 31 stored in the wick storage portion 22 of the second sheet body 12. As shown in FIG. 7, each support 11C is identical and is formed integrally with the sheet surface portion 11A so that the gap L, which is the shortest distance from the base end of one support 11C to the base end of the other support 11C between adjacent supports 11C vertically and horizontally, is 5 mm or less. By making the gap L1 between the supports 11C, 11C 5 mm or less, the entire support 11C supports the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11 so that the container 15 does not collapse due to atmospheric pressure, while ensuring a steam passage 21 that allows sufficient passage of the gas-phase working fluid inside the container 15.

図8~図10は、プレス絞り加工により第1シート体11に形成される支柱11Cの好適な断面形状を示している。図8は外形が半球状の支柱11Cであり、図9は外形が円柱状の支柱11Cであり、図10は外形が擂り鉢状の支柱11Cである。これらの支柱11Cは、何れも第1シート体11のシート面部11Aから容器15の内側に向けて凸状に形成される。図1に示す球状の支柱11Cや、図8~図10に示す支柱11Cを含めて、様々な異なる形状の支柱11Cを、プレス絞り加工により第1シート体11に一度の作業で形成してもよい。その場合も、支柱11C,11Cどうしの隙間Lが5mm以下となるように、それぞれの支柱11Cが間隔を置いて配置される。 Figures 8 to 10 show suitable cross-sectional shapes of the support 11C formed in the first sheet body 11 by press drawing. Figure 8 shows a support 11C with a hemispherical outer shape, Figure 9 shows a support 11C with a cylindrical outer shape, and Figure 10 shows a support 11C with a mortar-shaped outer shape. All of these supports 11C are formed in a convex shape from the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11 toward the inside of the container 15. Supports 11C of various different shapes, including the spherical support 11C shown in Figure 1 and the supports 11C shown in Figures 8 to 10, may be formed in the first sheet body 11 in a single operation by press drawing. In this case, the respective supports 11C are arranged at intervals so that the gap L between the supports 11C, 11C is 5 mm or less.

第2シート体12は、ウィック収納部22に収納されている平板状のウィック31が、シート面部12Aの変形を防ぐ補強部材として効果的に機能する。そのため、第2シート体12の肉厚t2を、第1シート体11の肉厚t1よりも薄く形成しても(すなわち、t2<t1であっても)、第2シート12のシート面部12A側での容器15の潰れを回避できる。またその分、SHP1の厚さT0も薄く形成でき、携帯機器の筐体43の薄型化に対応した好ましい厚さT0を有するSHP1を提供できる。 The flat wick 31 stored in the wick storage section 22 of the second sheet body 12 effectively functions as a reinforcing member that prevents deformation of the sheet surface portion 12A. Therefore, even if the thickness t2 of the second sheet body 12 is formed thinner than the thickness t1 of the first sheet body 11 (i.e., even if t2<t1), crushing of the container 15 on the sheet surface portion 12A side of the second sheet 12 can be avoided. In addition, the thickness T0 of the SHP1 can be formed thinner accordingly, and an SHP1 having a preferable thickness T0 corresponding to the thinning of the housing 43 of the portable device can be provided.

また図11に示すように、SHP1として厚さT0をできるだけ薄くしたいという要求に合わせるには、金属箔の片側一方をプレス絞り加工された成形品となる第1シート体11とし、金属箔の片側もう一方をプレス絞り加工されていない平板の非成形品となる第2シート体12として、これらを積み重ねてSHP1を製造するのが好ましい。代わりに、図12に示すように、金属箔の片側一方をプレス絞り加工された成形品となる第1シート体11とし、金属箔の片側もう一方もプレス絞り加工された成形品となる第2シート体12として、これらを積み重ねてSHP1を製造すれば、SHP1としてもう少し厚さT0を厚くできる要求に合わせることができる。この場合、第2シート体12にはプレス絞り加工により、平坦状ではなく凹状のシート面部12Aが形成され、このシート面部12Aが第1シート体11に同じく凹状に形成されたシート面部11Aと向かい合うことにより、容器15の内部に凹状の蒸気通路21と、ウィック31を収納するためのウィック収納部22がそれぞれ形成される。図12では、第2シート体12のシート面部12A側にウィック収納部22が設けられており、ここに収納されるシート状のウィック31は、第1シート体11のシート面部11Aから突出する支柱11Cにより押さえられているが、第1シート体11のシート面部11A側にウィック収納部22を設け、ここに収納されるシート状のウィック31を、第2シート体12のシート面部12Aから突出する支柱(ここでは図示せず)により押さえるようにしてもよい。 As shown in Fig. 11, in order to meet the requirement of making thickness T0 of SHP1 as thin as possible, it is preferable to stack one side of the metal foil as a first sheet 11 that will be a pressed and drawn product, and the other side of the metal foil as a second sheet 12 that will be a flat, non-pressed, non-pressed product, to manufacture SHP1. Alternatively, as shown in Fig. 12, if one side of the metal foil is the first sheet 11 that will be a pressed and drawn product, and the other side of the metal foil is the second sheet 12 that will be a pressed and drawn product, to manufacture SHP1, it is possible to meet the requirement of making thickness T0 of SHP1 a little thicker. In this case, the second sheet body 12 is formed with a sheet surface portion 12A that is not flat but concave by press drawing, and this sheet surface portion 12A faces the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11 that is also formed with a concave shape, thereby forming a concave steam passage 21 and a wick storage portion 22 for storing the wick 31 inside the container 15. In FIG. 12, the wick storage portion 22 is provided on the sheet surface portion 12A side of the second sheet body 12, and the sheet-like wick 31 stored therein is held down by a support 11C protruding from the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11, but the wick storage portion 22 may be provided on the sheet surface portion 11A side of the first sheet body 11, and the sheet-like wick 31 stored therein may be held down by a support (not shown here) protruding from the sheet surface portion 12A of the second sheet body 12.

容器15の内側に向けて突出する柱(支柱11C)は、SHP1の使用条件によって放熱側、受熱側、若しくは放熱側と受熱側の両方に配置され、SHP1の外郭となる容器15が潰れるのを防止したり、容器15内部のウィック収納部22に配置されたウィック31を押さえたりする機能を有する。例えば、図13に示すSHP1では、前述の熱拡散部材42(ここでは図示せず)に接触する放熱部45側で、第1シート体11のシート面部11Aから支柱11Cが配置され、この支柱11Cの先端部がウィック31に接触することにより、容器15の潰れ防止と、容器15の内部でウィック31が動かないようにウィック31を押さえている。ウィック31が載せられる第2シート体12のシート面部12Aは、前述の熱源41(ここでは図示せず)に接触する受熱部44として機能するが、支柱11Cは受熱部44側にではなく、放熱部45側にだけ配置される。 The pillars (supports 11C) protruding toward the inside of the container 15 are arranged on the heat dissipation side, the heat receiving side, or both the heat dissipation side and the heat receiving side depending on the conditions of use of the SHP1, and have the function of preventing the container 15, which is the outer shell of the SHP1, from collapsing and holding down the wick 31 arranged in the wick storage section 22 inside the container 15. For example, in the SHP1 shown in FIG. 13, support 11C is arranged from the sheet surface section 11A of the first sheet body 11 on the heat dissipation section 45 side that contacts the aforementioned heat diffusion member 42 (not shown here), and the tip of this support 11C comes into contact with the wick 31, thereby preventing the container 15 from collapsing and holding down the wick 31 so that it does not move inside the container 15. The sheet surface portion 12A of the second sheet body 12 on which the wick 31 is placed functions as the heat receiving portion 44 that contacts the heat source 41 (not shown here) described above, but the support 11C is positioned only on the heat dissipation portion 45 side, not on the heat receiving portion 44 side.

別な例として、図14に示すSHP1は、金属箔の片側一方をプレス絞り加工された成形品となる第2シート体12とし、金属箔の片側もう一方をプレス絞り加工されていない平板の非成形品となる第2シート体11として、これらを積み重ね、プレス絞り加工により第2シート体12に形成された凹状のシート面部12Aを受熱部44として、ここから第1シート体11のシート面部11Aに向けて複数の支柱12Cが配置される。また、第2シート体12のシート面部12Aの開口を第1シート体11のシート面部11Aで塞ぐように、第1シート体11と第2シート体12を積み重ねることで、作動流体が封入される容器15の内部に、気相の作動流体を流通させる蒸気通路21と、液相の作動流体を流通させるウィック31を収納するためのウィック収納部22がそれぞれ形成される。ウィック31には、支柱12Cが挿通する孔33を設けてあり、これにより支柱12Cの先端部が第1シート体11のシート面部11A内面に直接接触して、容器15の潰れを防止している。またウィック31の孔33に支柱12Cが挿通することで、ウィック31は支柱12Cに押さえられないものの、ウィック収納部22からのある程度の動きが規制されて位置決めされる。ウィック31が載せられる第2シート体12のシート面部12Aは受熱部44として機能し、支柱12Cの先端部が当接する第1シート体11のシート面部11Aは放熱部として機能するが、支柱12Cは放熱部45側にではなく、受熱部44側にだけ配置される。 14 shows another example of SHP1, in which one side of the metal foil is a second sheet body 12 that is a pressed and drawn molded product, and the other side of the metal foil is a second sheet body 11 that is a flat, non-press-drawn, non-formed product, which is a non-press-drawn plate, stacked together, and a concave sheet surface portion 12A formed in the second sheet body 12 by the press drawing is used as a heat receiving portion 44, from which a plurality of supports 12C are arranged toward the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11. In addition, by stacking the first sheet body 11 and the second sheet body 12 so that the opening of the sheet surface portion 12A of the second sheet body 12 is blocked by the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11, a steam passage 21 for circulating the gas phase working fluid and a wick storage portion 22 for storing the wick 31 for circulating the liquid phase working fluid are formed inside the container 15 in which the working fluid is sealed. The wick 31 has holes 33 through which the support 12C passes, so that the tip of the support 12C comes into direct contact with the inner surface of the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11, preventing the container 15 from being crushed. Furthermore, by inserting the support 12C into the hole 33 of the wick 31, the wick 31 is not held down by the support 12C, but is positioned by restricting some movement from the wick storage portion 22. The sheet surface portion 12A of the second sheet body 12 on which the wick 31 is placed functions as a heat receiving portion 44, and the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11 against which the tip of the support 12C abuts functions as a heat dissipation portion, but the support 12C is only positioned on the heat receiving portion 44 side, not on the heat dissipation portion 45 side.

図15に示すSHP1は、金属箔の片側一方をプレス絞り加工された成形品となる第1シート体11とし、金属箔の片側もう一方もプレス絞り加工された成形品となる第2シート体12として、これらを積み重ね、プレス絞り加工により第1シート体11に形成された凹状のシート面部11Aを放熱部45として、ここから第2シート体12のシート面部12Aに向けて複数の支柱11Cが配置され、プレス絞り加工により第2シート体12に形成された凹状のシート面部12Aを受熱部44として、ここから第1シート体11のシート面部11Aに向けて複数の支柱12Cが配置される。また、第1シート体11のシート面部11Aに第2シート体12のシート面部12Aを向かい合わせて、第1シート体11と第2シート体12を積み重ねることで、作動流体が封入される容器15の内部に、気相の作動流体を流通させる蒸気通路21と、液相の作動流体を流通させるウィック31を収納するためのウィック収納部22がそれぞれ形成される。ウィック31には、第2シート体12の支柱12Cが挿通する孔33を設けてあり、これにより支柱12Cの先端部が、第1シート体11の向かい合う支柱11Cの先端部に直接接触して、容器15の潰れを防止している。またウィック31の孔33に支柱12Cが挿通することで、ウィック31は支柱12Cに押さえられないものの、ウィック収納部22からのある程度の動きが規制されて位置決めされる。ここでは、放熱部45側と受熱部44側の両方に支柱11C,12Cが配置される。 The SHP1 shown in Figure 15 has a first sheet body 11 in which one side of the metal foil is a molded product obtained by press drawing, and a second sheet body 12 in which the other side of the metal foil is also a molded product obtained by press drawing, stacked together, with a concave sheet surface portion 11A formed in the first sheet body 11 by press drawing serving as a heat dissipation portion 45, from which a plurality of pillars 11C are arranged toward the sheet surface portion 12A of the second sheet body 12, and a concave sheet surface portion 12A formed in the second sheet body 12 by press drawing serving as a heat receiving portion 44, from which a plurality of pillars 12C are arranged toward the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11. Moreover, by stacking the first sheet body 11 and the second sheet body 12 with the sheet surface portion 12A of the second sheet body 12 facing the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11, a steam passage 21 for circulating the gas phase working fluid and a wick storage portion 22 for storing the wick 31 for circulating the liquid phase working fluid are formed inside the container 15 in which the working fluid is sealed. The wick 31 is provided with a hole 33 through which the support 12C of the second sheet body 12 is inserted, so that the tip of the support 12C directly contacts the tip of the opposing support 11C of the first sheet body 11, preventing the container 15 from being crushed. Furthermore, by inserting the support 12C into the hole 33 of the wick 31, the wick 31 is not held down by the support 12C, but is positioned by restricting a certain degree of movement from the wick storage portion 22. Here, supports 11C and 12C are placed on both the heat dissipation section 45 side and the heat reception section 44 side.

次に、ウィック31の様々な構成について、添付の図面を参照しながら詳しく説明する。 Next, various configurations of the wick 31 will be explained in detail with reference to the attached drawings.

図16は、メッシュ51によるウィック31を拡大して示したものである。同図において、ここでのウィック31は、0.05mm以下の直径D1を有し、銅、ステンレス、若しくはチタンなどの金属線52を縦横に整列配置して、開き目H1が200um以下となるように編み込んだ平板状のメッシュ51により構成される。メッシュ51の構成要素となる金属線52の直径D1を0.05mm以下に細径化することで、これをウィック31として利用した場合に強い毛細管力を得ることができ、併せてSHP1の厚みT0を0.4mm未満に薄型化しても、ウィック31を無理なくウィック収納部22に収納できる。また開き目H1は、隣り合う一方の金属線52の内端から他方の金属線52の内端までの距離であり、開き目H1を200um以下とすることで、金属線52の間に形成された隙間32による強い毛細管力を発揮させることができる。 Figure 16 shows an enlarged view of the wick 31 made of mesh 51. In this figure, the wick 31 is composed of a flat mesh 51 having a diameter D1 of 0.05 mm or less, in which metal wires 52 such as copper, stainless steel, or titanium are aligned vertically and horizontally, and woven so that the mesh size H1 is 200 um or less. By reducing the diameter D1 of the metal wires 52 that are components of the mesh 51 to 0.05 mm or less, a strong capillary force can be obtained when used as the wick 31, and even if the thickness T0 of the SHP1 is reduced to less than 0.4 mm, the wick 31 can be stored in the wick storage section 22 without difficulty. The mesh size H1 is the distance from the inner end of one adjacent metal wire 52 to the inner end of the other metal wire 52, and by making the mesh size H1 200 um or less, a strong capillary force can be exerted by the gaps 32 formed between the metal wires 52.

図17~図20は、金属箔61によるウィック31を各々示したものである。これらの各図において、ウィック31は0.1mm以下の厚みT2を有し、その表面に毛細管力を生じる微細な縦横に交差した溝62と、溝62の適所に等間隔で配置される孔63とを有する平板状の銅、ステンレス、若しくはチタンなどからなる金属箔61で構成される。凹状の溝62は、金属箔61の表面にのみ格子状に整列して設けられているが、毛細管力を増すために、金属箔61の裏面にも同様に設けて構わない。金属箔61の表面と裏面とを貫通する孔63は、ウィック31の隙間32に相当するもので、毛細管力で溝62に沿って流動する液相の作動流体を、さらに強い毛細管力で孔63に導き、金属箔61の裏面側から全体に拡散させることが可能となり、溝62と孔63との組み合わせによる強い毛細管力を発揮させることができる。また、金属箔61の厚みT2を0.1mm以下にすることで、SHP1の厚みT0を0.4mm未満に薄型化しても、ウィック31を無理なくウィック収納部22に収納できる。 Figures 17 to 20 each show a wick 31 made of a metal foil 61. In each of these figures, the wick 31 has a thickness T2 of 0.1 mm or less and is composed of a flat metal foil 61 made of copper, stainless steel, titanium, or the like, having fine grooves 62 that cross vertically and horizontally on its surface and generate capillary forces, and holes 63 that are arranged at appropriate positions in the grooves 62 at equal intervals. The concave grooves 62 are arranged in a lattice pattern only on the surface of the metal foil 61, but they may also be similarly arranged on the back surface of the metal foil 61 to increase the capillary force. The holes 63 that penetrate the front and back surfaces of the metal foil 61 correspond to the gaps 32 of the wick 31, and the liquid phase working fluid that flows along the grooves 62 by capillary forces can be guided to the holes 63 by even stronger capillary forces and diffused throughout the entire back surface of the metal foil 61, and a strong capillary force can be exerted by the combination of the grooves 62 and the holes 63. Furthermore, by making the thickness T2 of the metal foil 61 0.1 mm or less, the wick 31 can be stored in the wick storage section 22 without difficulty even if the thickness T0 of the SHP 1 is reduced to less than 0.4 mm.

図21および図22は、不織布71によるウィック31を各々示したものである。同図において、ここでのウィック31は、0.03mm以下の直径D2を有する金属線72,73を、100g/m2~350g/m2の密度で配置した不織布71により構成される。不織布71は、ほぼ一方向に均一に並ぶ長い直線繊維としての金属線72と、この金属線72よりも短く、ランダムな方向に配置されるウェブ繊維としての金属線73をほぼ均一に重ね合せ、これらの金属線72,73を編むのではなく、絡み合わることでシート状に形成される。これは、網状に縦の金属線52と横の金属線52を編むメッシュ51とは異なる。また、金属線72,73を単に絡み合わせただけでは、ウェブ繊維の金属線73が直線繊維の金属線72から外れやすいので、金属線72,73を焼結により互いに接合させた不織布71としてもよい。不織布71の構成要素となる金属線72,73の直径D2を、何れも0.03mm以下に細径化することで、これをウィック31として利用した場合に強い毛細管力を得ることができ、併せてSHP1の厚みT0を0.4mm未満に薄型化しても、ウィック31を無理なくウィック収納部22に収納できる。また、金属線72,73を組み合わせた不織布71には、金属線72,73の密度に応じた適切な範囲の大きさの隙間32が形成されるので、毛細管力で金属線72,73の間に沿って流動する液相の作動流体を、さらに強い毛細管力で隙間32に導いて、不織布71の全体に拡散させることが可能となり、ウィック31として強い毛細管力を発揮させることができる。 Figures 21 and 22 each show a wick 31 made of a nonwoven fabric 71. In the figures, the wick 31 here is composed of a nonwoven fabric 71 in which metal wires 72, 73 with a diameter D2 of 0.03 mm or less are arranged at a density of 100 g/m2 to 350 g/m2. The nonwoven fabric 71 is formed by overlapping metal wires 72 as long straight fibers arranged uniformly in almost one direction and metal wires 73 as web fibers that are shorter than the metal wires 72 and arranged in random directions almost uniformly, and by intertwining these metal wires 72, 73 rather than weaving them into a sheet shape. This is different from the mesh 51 in which vertical metal wires 52 and horizontal metal wires 52 are woven into a net shape. In addition, since the metal wires 72, 73 are simply intertwined, the metal wires 73 of the web fibers are likely to come off the metal wires 72 of the straight fibers, the nonwoven fabric 71 may be formed by bonding the metal wires 72, 73 to each other by sintering. By reducing the diameter D2 of the metal wires 72, 73 that are components of the nonwoven fabric 71 to 0.03 mm or less, a strong capillary force can be obtained when used as the wick 31, and even if the thickness T0 of the SHP1 is reduced to less than 0.4 mm, the wick 31 can be easily stored in the wick storage section 22. In addition, the nonwoven fabric 71 that combines the metal wires 72, 73 has gaps 32 of an appropriate size range according to the density of the metal wires 72, 73, so that the liquid phase working fluid that flows between the metal wires 72, 73 by capillary force can be guided to the gaps 32 by even stronger capillary force and diffused throughout the nonwoven fabric 71, allowing the wick 31 to exert a strong capillary force.

次に、上記構成のSHP1を、薄型の携帯機器に実装した場合の作用効果について説明する。本実施形態のSHP1は、図5で示した携帯機器の筐体43の内部形状に合せた外形を有しており、そのまま単体で筐体43の内部に設置される。このとき、SHP1の一側面は、その一部が受熱部44として、筐体43の内部に設置したCPUなどの熱源41と接触して熱接続され、熱源となるCPUから離れた部位(SHP1の一側面の別な一部や、他側面)で、放熱部45が形成される。そして、筐体43の内部で熱源41が発熱して温度が上昇すると、その熱源41からSHP1の受熱部44に熱が伝わり、受熱部44では液相の作動流体が蒸発して、容器15の内部に形成された中空の蒸気通路21を通して、受熱部から温度の低い放熱部に向かって気相の作動流体となる蒸気が流れ、SHP1の内部で熱輸送が行われる。この放熱部45に輸送された熱は放熱部45に接触して熱接続する熱拡散部材42に熱拡散され、そこから筐体43の外部に放熱される。これにより携帯機器は、CPUなどの熱源41から発生する熱を熱拡散部材42に効率よく熱拡散することができるため、携帯機器の外郭表面に生ずるヒートスポットが緩和され、CPUなどの熱源41の温度上昇も抑制することができる。 Next, the effect of the SHP1 having the above configuration when mounted on a thin mobile device will be described. The SHP1 of this embodiment has an outer shape that matches the internal shape of the housing 43 of the mobile device shown in FIG. 5, and is installed as a single unit inside the housing 43. At this time, one side of the SHP1 is thermally connected to a heat source 41 such as a CPU installed inside the housing 43, with a part of it being a heat receiving part 44, and a heat dissipation part 45 is formed at a part away from the CPU that is the heat source (another part of one side of the SHP1 or the other side). Then, when the heat source 41 generates heat inside the housing 43 and the temperature rises, heat is transferred from the heat source 41 to the heat receiving part 44 of the SHP1, and the liquid phase working fluid evaporates in the heat receiving part 44, and the vapor that becomes the gas phase working fluid flows from the heat receiving part to the low temperature heat dissipation part through the hollow steam passage 21 formed inside the container 15, and heat transport is performed inside the SHP1. The heat transported to the heat dissipation section 45 is thermally diffused to the heat diffusion member 42 that is in contact with and thermally connected to the heat dissipation section 45, and is then dissipated to the outside of the housing 43. This allows the portable device to efficiently diffuse heat generated from a heat source 41, such as a CPU, to the heat diffusion member 42, thereby mitigating heat spots that occur on the outer surface of the portable device and suppressing the temperature rise of the heat source 41, such as a CPU.

一方、SHP1の放熱部45では、容器15の内部で蒸気が凝縮して液相の作動流体が溜まるが、蒸気通路21に対向配置されたウィック31の強い毛細管力により、液相の作動流体が放熱部45から受熱部44へと戻される。微細な隙間32を有するウィック31は、上述した多孔質体、メッシュ51、金属箔61、不織布71のいずれの構成であっても、強い毛細管力で液相の作動流体を放熱部45から受熱部44へと円滑に流動させるため、薄型のウィック31でありながら高い毛細管力が得られ、SHP1として高い熱拡散性能が確保される。したがって、受熱部44で液相の作動流体が無くなることはなく、ここで液相の作動流体が再び蒸発して蒸気通路21を伝わり、放熱部45に導かれることで熱輸送が継続し、SHP1としての本来の性能が発揮される。 On the other hand, in the heat dissipation section 45 of the SHP1, the vapor condenses inside the container 15 and the liquid phase working fluid accumulates, but the strong capillary force of the wick 31 arranged opposite the vapor passage 21 returns the liquid phase working fluid from the heat dissipation section 45 to the heat receiving section 44. The wick 31 with the fine gaps 32 smoothly flows the liquid phase working fluid from the heat dissipation section 45 to the heat receiving section 44 with strong capillary force, regardless of whether it is the porous body, mesh 51, metal foil 61, or nonwoven fabric 71 described above, so that a high capillary force is obtained even with a thin wick 31, and high thermal diffusion performance of the SHP1 is ensured. Therefore, the liquid phase working fluid does not disappear in the heat receiving section 44, and the liquid phase working fluid evaporates again here and travels through the vapor passage 21 and is led to the heat dissipation section 45, continuing heat transport and demonstrating the original performance of the SHP1.

図23は、図2及び図3で示した第1シート体11の実物を平面視で撮影したものである。また図24は、図23における第1シート体11を利用して完成したSHP1について、実験で熱源41を熱接続したときの温度分布を示したものである。この実験では、プレス絞り加工により成形された第1シート体11を含めて、2枚のシート体11,12を積み重ねて上述のように製造した完成状態のSHP1を用意し、SHP1の一側面右部「a」に熱源41を取り付けて、その熱源41からの発熱でSHP1の各部がどのような温度になるのかを測定した。 Figure 23 is a plan view of the actual first sheet 11 shown in Figures 2 and 3. Figure 24 shows the temperature distribution when a heat source 41 was thermally connected in an experiment to an SHP1 completed using the first sheet 11 in Figure 23. In this experiment, a completed SHP1 was prepared by stacking two sheets 11 and 12, including the first sheet 11 formed by press drawing, and manufactured as described above. A heat source 41 was attached to the right part "a" on one side of the SHP1, and the temperature of each part of the SHP1 due to the heat generated by the heat source 41 was measured.

その結果、熱源41を装着したSHP1の一側面右部「a」の温度が66.0℃であったのに対して、SHP1の一側面中央部「b」の温度は65.7℃となり、SHP1の一側面左部「c」の温度は65.5℃となった。つまりSHP1の全体で、表面の温度差は0.5℃程度に止まり、本実施形態のSHP1において十分な熱拡散性能が発揮されることが確認できた。 As a result, the temperature of the right side "a" of the SHP1 to which the heat source 41 was attached was 66.0°C, while the temperature of the center part "b" of the SHP1's side was 65.7°C, and the temperature of the left side "c" of the SHP1 was 65.5°C. In other words, the surface temperature difference over the entire SHP1 was only about 0.5°C, and it was confirmed that the SHP1 of this embodiment exhibits sufficient thermal diffusion performance.

以上のように本実施形態では、金属箔をプレス絞り加工のようなプレス加工により成形し、この成形品を含む2枚以上の金属箔として、例えば2枚の第1シート体11と第2シート体12を積み重ねて、幅dが2mm未満のフランジ部11B,12Bを接合することにより、液相の作動流体が封入される中空の容器15を形成するSHP1の製造方法を提供している。 As described above, in this embodiment, a method for manufacturing an SHP1 is provided in which a metal foil is formed by pressing such as press drawing, and two or more sheets of metal foil including this formed product, for example, two sheets of a first sheet body 11 and a second sheet body 12, are stacked, and flange portions 11B, 12B having a width d of less than 2 mm are joined to form a hollow container 15 in which a liquid-phase working fluid is sealed.

この場合、プレス加工で成形された金属箔を利用して、2枚以上の金属箔となる第1シート体11と第2シート体12を積み重ね、容器15の内容積を極力増やすために、幅dが2mm未満に形成されたフランジ部11B,12Bを接合して、作動流体が循環する中空の容器15を形成するだけで、十分な熱拡散性能を有し、且つ製造方法を簡素化したリーズナブルなエッチングレスのSHP1を提供できる。 In this case, by stacking the first sheet 11 and the second sheet 12, which are two or more sheets of metal foil formed by pressing, and joining the flanges 11B and 12B, which are formed with a width d of less than 2 mm to maximize the internal volume of the container 15, a hollow container 15 through which the working fluid circulates can be formed, providing an affordable etching-less SHP1 with sufficient thermal diffusion performance and a simplified manufacturing method.

また本実施形態では、金属箔となるシート体11,12の肉厚t1,t2を何れも0.1mm未満とし、プレス加工により容器15の内部に凹状の蒸気通路21及びウィック収納部22を形成し、ウィック収納部22には微細な隙間32を有するシート状のウィック31を具備し、SHP1の総厚みとなる厚さT0を、携帯機器の薄型化に対応して0.4mm未満としたSHP1の製造方法を提供している。 In addition, in this embodiment, the thicknesses t1, t2 of the metal foil sheets 11, 12 are both less than 0.1 mm, a concave steam passage 21 and wick storage section 22 are formed inside the container 15 by pressing, the wick storage section 22 is provided with a sheet-like wick 31 having minute gaps 32, and a manufacturing method for the SHP1 is provided in which the total thickness T0 of the SHP1 is less than 0.4 mm in response to the trend toward thinner mobile devices.

この場合、エッチングレスで厚さT0が0.4mm未満でありながら、気相の作動流体が通過する凹状の蒸気通路21と、シート状のウィック31を収納するウィック収納部22とを備えた薄型のSHP1を提供できる。また、容器15内部のウィック収納部22に、毛細管力を生じさせる微細な隙間32を有するシート状のウィック31を収納することで、ウィック31と蒸気通路21との間で、液相と気相の作動流体を円滑に還流させることが可能になり、十分な熱拡散性能が得られるSHP1を提供できる。 In this case, a thin SHP1 can be provided that is etch-free and has a thickness T0 of less than 0.4 mm, yet includes a concave vapor passage 21 through which the gas-phase working fluid passes, and a wick storage section 22 that stores a sheet-like wick 31. In addition, by storing a sheet-like wick 31 having fine gaps 32 that generate capillary forces in the wick storage section 22 inside the container 15, it becomes possible to smoothly circulate the liquid and gas-phase working fluid between the wick 31 and the vapor passage 21, and an SHP1 that has sufficient thermal diffusion performance can be provided.

また本実施形態では、プレス加工により容器15の内部に凹状の蒸気通路21が形成され、蒸気通路21となる領域には、容器15が大気圧に押されて潰れないようにするために、プレス加工により半球状や円柱状、擂り鉢状などの凸状の柱となる支柱11Cが形成され、支柱11C,11Cどうしの間となる隙間Lが、5mm以下の間隔をあけて配置されるSHP1の製造方法を提供している。 In addition, in this embodiment, a concave steam passage 21 is formed inside the container 15 by pressing, and in the area that will become the steam passage 21, supports 11C that are convex pillars such as hemispherical, cylindrical, or mortar-shaped are formed by pressing to prevent the container 15 from being crushed by atmospheric pressure, and a manufacturing method for SHP1 is provided in which the gap L between the supports 11C, 11C is arranged at an interval of 5 mm or less.

このようにして、容器15の潰れを防止する支柱11Cを設けることで、容器15が大気圧で押されていても、容器15の内部で気相の作動流体を十分に通過させる蒸気通路21を確保できる。 In this way, by providing a support 11C that prevents the container 15 from collapsing, a steam passage 21 that allows sufficient passage of gas-phase working fluid inside the container 15 can be secured even when the container 15 is pressed by atmospheric pressure.

また、本実施形態のSHP1の製造方法において、容器15には、製造工程で作動流体の注入や真空引きを行なうために、容器15の内部と連通するノズル17が任意の位置に2つ以上具備されており、これらのノズル17には、容器15を密封状態にするための封止部18が設けられている。 In addition, in the manufacturing method of the SHP1 of this embodiment, the container 15 is provided with two or more nozzles 17 at any position that communicate with the inside of the container 15 in order to inject the working fluid and perform vacuum drawing during the manufacturing process, and these nozzles 17 are provided with sealing parts 18 for sealing the container 15.

この場合、SHP1の製造工程において、容器15の異なる複数の箇所で、容器15の内部に作動流体を注入したり、容器15の内部を真空に引いたりすることが可能になる。また、SHP1の製造工程が終了した製品状態では、それぞれのノズル17に封止部18を設けることで、容器15の内部を密閉状態に維持して、薄型でも高い熱拡散性能を確保できる。 In this case, during the manufacturing process of SHP1, it becomes possible to inject the working fluid into the inside of the container 15 or to evacuate the inside of the container 15 at multiple different points of the container 15. Furthermore, in the product state after the manufacturing process of SHP1 is completed, by providing sealing parts 18 on each nozzle 17, the inside of the container 15 can be kept sealed, ensuring high thermal diffusion performance even in a thin type.

また、本実施形態のSHP1の製造方法において、シート体11,12のフランジ部11B,12Bは、ロウ付け、レーザー溶接、拡散接合の何れかを用いて接合される。 In addition, in the manufacturing method of the SHP1 of this embodiment, the flange portions 11B, 12B of the sheet bodies 11, 12 are joined using either brazing, laser welding, or diffusion bonding.

これにより、シート体11,12のフランジ部11B,12Bを接合する際に、例えばシート体11,12の材質に基づく任意の接合方法で要求に合わせることができ、SHP1としての設計の自由度を上げることが可能になる。 As a result, when joining the flange portions 11B, 12B of the sheet bodies 11, 12, any joining method can be used to meet requirements, for example, based on the material of the sheet bodies 11, 12, allowing for greater freedom in the design of the SHP1.

また、本実施形態のSHP1の製造方法において、例えば図11に示すように、積み重ねた金属箔の一方はプレス加工された成形品としての第1シート体11とし、金属箔のもう一方は平板となる非成形品としての第2シート体12としてもよい。 In addition, in the manufacturing method of the SHP1 of this embodiment, for example, as shown in FIG. 11, one of the stacked metal foils may be a first sheet body 11 that is a pressed molded product, and the other metal foil may be a second sheet body 12 that is a non-molded product that becomes a flat plate.

この場合、積み重ねた金属箔の一方をプレス加工された成形品となる第1シート体11とし、金属箔のもう一方を平板となる第2シート体12とすることで、SHP1としての厚さ要求に合わせた設計が可能となり、設計の自由度を上げることができる。 In this case, one of the stacked metal foils is made into a first sheet 11 that is a pressed molded product, and the other metal foil is made into a second sheet 12 that is a flat plate, making it possible to design according to the thickness requirements of the SHP1, and increasing the degree of design freedom.

代わりに、例えば図12に示すように、積み重ねた金属箔の一方ともう一方が、何れもプレス加工された成形品としての第1シート体11と第2シート体12であってもよい。 Alternatively, as shown in FIG. 12, one side of the stacked metal foils may be a first sheet body 11 and the other side may be a second sheet body 12, both of which are press-formed molded products.

この場合、積み重ねた金属箔の一方ともう一方を、何れもプレス加工された成形品となる第1シート体11と第2シート体12とすることで、SHP1としての厚さ要求に合わせた設計が可能となり、設計の自由度を上げることができる。 In this case, by making one side of the stacked metal foil into a first sheet body 11 and the other into a second sheet body 12, both of which are press-formed molded products, it becomes possible to design according to the thickness requirements of the SHP1, thereby increasing the degree of design freedom.

また、本実施形態のSHP1の製造方法において、プレス加工により容器15の内部に凹状の蒸気通路21及びウィック収納部22を形成し、ウィック収納部22には微細な隙間32を有するシート状のウィック31を具備し、例えば図13~図15に示すように、プレス加工により柱となる支柱11C,12Cを形成して、容器15の潰れ防止機能やウィック31を押える機能を有するように、支柱11C,12CがSHP1の放熱部45側、受熱部44側、若しくは放熱部45側と受熱部44側の両方に配置されている。 In addition, in the manufacturing method of the SHP1 of this embodiment, a concave steam passage 21 and a wick storage section 22 are formed inside the container 15 by pressing, and the wick storage section 22 is provided with a sheet-like wick 31 having fine gaps 32. For example, as shown in Figures 13 to 15, pillars 11C, 12C are formed by pressing, and the pillars 11C, 12C are arranged on the heat dissipation section 45 side, the heat receiving section 44 side, or both the heat dissipation section 45 side and the heat receiving section 44 side of the SHP1 so as to have a function of preventing the container 15 from being crushed and a function of holding down the wick 31.

このように、SHP1の放熱部45側、受熱部44側、若しくは放熱部45側と受熱部44側の両方に支柱11C,12Cを設け、必要に応じてその支柱11C,12Cに容器15の潰れ防止機能やウィック31を押さえる機能を持たせることで、SHP1としての性能要求に合わせた設計が可能となり、設計の自由度を上げることができる。また、容器15内部のウィック収納部22に、毛細管力を生じさせる微細な隙間32を有するシート状のウィック31を収納することで、ウィック31と蒸気通路21との間で、液相と気相の作動流体を円滑に還流させることが可能になり、十分な熱拡散性能が得られるSHP1を提供できる。 In this way, by providing the supports 11C, 12C on the heat dissipation section 45 side, the heat receiving section 44 side, or both the heat dissipation section 45 side and the heat receiving section 44 side of the SHP1, and by providing the supports 11C, 12C with a function to prevent the container 15 from collapsing or a function to hold down the wick 31 as necessary, it becomes possible to design the SHP1 according to the performance requirements, and the degree of design freedom can be increased. In addition, by storing a sheet-like wick 31 having fine gaps 32 that generate capillary forces in the wick storage section 22 inside the container 15, it becomes possible to smoothly circulate the liquid and gas phase working fluid between the wick 31 and the steam passage 21, and an SHP1 with sufficient thermal diffusion performance can be provided.

また、本実施形態のSHP1の製造方法において、シート体11,12となる金属箔の材質は、ステンレス、チタン、銅、若しくはそれらを主成分とする合金金属の何れかとするのが好ましい。 In addition, in the manufacturing method of the SHP1 of this embodiment, the material of the metal foil that becomes the sheets 11 and 12 is preferably stainless steel, titanium, copper, or an alloy metal containing these as the main components.

この場合、SHP1の外郭をなすシート体11,12となる金属箔について、任意の材質で要求に合わせることができ、設計の自由度を上げることが可能になる。 In this case, the metal foil that forms the sheets 11 and 12 that form the outer shell of the SHP 1 can be made of any material to meet requirements, allowing for greater design freedom.

また、本実施形態のSHP1の製造方法において、容器15の内部に設けられるウィック31は一例として、直径D1が0.05mm以下の銅、ステンレス、若しくはチタンなどの金属線52で、かつ開き目H1が200um以下で編まれたメッシュ51であることが好ましい。これにより、薄型のウィック31でありながらメッシュ51による高い毛細管力が得られ、SHP1として高い熱拡散性能を確保できる。 In addition, in the manufacturing method of the SHP1 of this embodiment, the wick 31 provided inside the container 15 is, for example, preferably a metal wire 52 of copper, stainless steel, titanium, or the like having a diameter D1 of 0.05 mm or less, and a mesh 51 woven with an opening H1 of 200 um or less. This allows the mesh 51 to provide a high capillary force even though the wick 31 is thin, ensuring high thermal diffusion performance for the SHP1.

代わりに本実施形態のウィック31は、厚みT2が0.1mm以下で、その表面に毛細管力を生じる微細な交差した溝62と孔63を有し、銅、ステンレス、若しくはチタンなどからなる金属箔61としてもよい。これにより、薄型のウィック31でありながら金属箔61による高い毛細管力が得られ、SHP1として高い熱拡散性能を確保できる。 Instead, the wick 31 of this embodiment may be a metal foil 61 made of copper, stainless steel, titanium, or the like, with a thickness T2 of 0.1 mm or less and fine intersecting grooves 62 and holes 63 on its surface that generate capillary force. This allows the wick 31 to be thin, yet still obtain high capillary force from the metal foil 61, ensuring high thermal diffusion performance as an SHP1.

代わりに本実施形態のウィック31は、銅、ステンレス、若しくはチタンなどの金属による粉体焼結を含む多孔質体からなる厚みが0.1mm以下のシートで、微細な孔としての隙間32を有するものでもよい。これにより、薄型のウィック31でありながら多孔質体による高い毛細管力が得られ、SHP1として高い熱拡散性能を確保できる。 Alternatively, the wick 31 of this embodiment may be a sheet of a porous material, including sintered powder of metal such as copper, stainless steel, or titanium, having a thickness of 0.1 mm or less and having gaps 32 as fine holes. This allows the wick 31 to be thin, yet obtain a high capillary force due to the porous material, ensuring high thermal diffusion performance for the SHP1.

さらに本実施形態のウィック31は、直径D2が何れも0.03mm以下の金属線72,73で、密度が100g/m2~350g/m2を有する不織布71としてもよい。これにより、薄型のウィック31でありながら不織布71による高い毛細管力が得られ、SHP1として高い熱拡散性能を確保できる。 Furthermore, the wick 31 of this embodiment may be made of metal wires 72, 73, each with a diameter D2 of 0.03 mm or less, and a nonwoven fabric 71 with a density of 100 g/m2 to 350 g/m2. This allows the wick 31 to be thin, yet still provide high capillary force from the nonwoven fabric 71, ensuring high thermal diffusion performance for the SHP1.

次に、本発明の第2実施形態におけるSHP1について、添付の図25を参照して詳しく説明する。同図において、本実施形態では容器15の内部において、第1実施形態で示した支柱11C,12Cに代わる複数の柱部材35が、ウィック31の表面から第1シート体11に形成された凹状のシート面部11Aに向けて縦横等間隔に配置されている。したがって、第1シート体11のシート面部11Aは、支柱11Cが設けられておらず凹凸のない平坦に形成される。これにより、特にSHP1の外郭表面となるシート面部11Aの外面に熱源41や熱拡散部材42を熱接続させたときの接触面積が増えて密着性が向上する。また、完成したSHP1を携帯機器の筐体43内に設置した後に、ユーザーが携帯機器の表示部に指などで圧力を加えたときに、その下に位置するSHP1の外郭表面が凹凸のない平坦面であれば、画面のゆがみを生じない利点もある。 Next, the SHP1 in the second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the attached FIG. 25. In the figure, in this embodiment, inside the container 15, a plurality of pillar members 35, which replace the pillars 11C and 12C shown in the first embodiment, are arranged at equal intervals vertically and horizontally from the surface of the wick 31 toward the concave sheet surface portion 11A formed on the first sheet body 11. Therefore, the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11 is formed flat without any unevenness without the pillars 11C. This increases the contact area and improves adhesion, particularly when the heat source 41 and the heat diffusion member 42 are thermally connected to the outer surface of the sheet surface portion 11A, which is the outer surface of the SHP1. In addition, after the completed SHP1 is installed in the housing 43 of the mobile device, if the user applies pressure with a finger or the like to the display portion of the mobile device, there is an advantage that the screen does not become distorted if the outer surface of the SHP1 located below is a flat surface without any unevenness.

SHP1に関するその他の構成や製造方法と、各部の寸法は第1実施形態と共通するが、本実施形態でもノズル17は図6で示したように、1つの容器15の任意の位置に2つ以上具備するのが好ましい。この場合も、各々のノズル17を利用して酸化膜および作動液の注入や真空引きを行ない、ノズル17の開口部17Aを封止部18で塞いだ後に、先端部17Bを根元から切り離せば、ノズル17の部分を容器15から突出させることなく、ノズル17に設けた封止部18により、容器15の内部を密閉状態に維持できる。 The other configurations and manufacturing methods of the SHP1, as well as the dimensions of each part, are the same as in the first embodiment, but in this embodiment, as shown in FIG. 6, it is preferable to provide two or more nozzles 17 at any position in one container 15. In this case, too, by using each nozzle 17 to inject oxide film and working fluid or to draw a vacuum, and then sealing the opening 17A of the nozzle 17 with the sealing part 18 and then cutting off the tip 17B from the base, the inside of the container 15 can be kept sealed by the sealing part 18 provided on the nozzle 17 without the nozzle 17 protruding from the container 15.

凸状の柱部材35は、熱伝導性に優れた材料として、例えば銅、鉄、ステンレス、銅又は鉄を主成分とする合金金属、の何れかからなる金属多孔質の粉体焼結品や、粉体焼結に限定されない別部品で構成される。各々の柱部材35は同じ円柱などの柱形状で、若しくは複数の柱形状の組み合わせで、ウィック31の表面に接合される。つまり、ウィック31と柱部材35は別部材なので、多数の多孔質柱35を任意の形状で、位置や高さも支柱11Cのような制約を受けることなく、シート状のウィック31に設けておくことが可能となる。また、隣り合う柱部材35,35の間の隙間を上述した支柱11C,12Cと同じ条件とすることで、容器15が大気圧で潰れないように、柱部材35の全体で第1シート体11のシート面部11Aを支えながら、容器15の内部で気相の作動流体を十分に通
過させる蒸気通路21を確保できる。
The convex columnar member 35 is made of a porous powder sintered product made of a material having excellent thermal conductivity, such as copper, iron, stainless steel, or an alloy metal mainly composed of copper or iron, or a separate part that is not limited to powder sintering. Each columnar member 35 is joined to the surface of the wick 31 in the same columnar shape such as a cylinder, or in a combination of multiple columnar shapes. In other words, since the wick 31 and the columnar member 35 are separate members, it is possible to provide a large number of porous columns 35 in any shape on the sheet-like wick 31 without being restricted in position or height by the support 11C. In addition, by setting the gap between the adjacent columnar members 35, 35 to the same conditions as the above-mentioned supports 11C and 12C, the entire columnar member 35 supports the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11 so that the container 15 does not collapse under atmospheric pressure, while securing a steam passage 21 that allows the gas-phase working fluid to pass sufficiently inside the container 15.

各々の柱部材35には、ウィック31の隙間32と同様に、毛細管力を生じる微細な空隙(図示せず)が多数形成される。したがって、ここでの柱部材35は単に容器15の潰れを防止する機能だけでなく、液相の作動流体を強い毛細管力で主に蒸気通路21に向けて流動させる機能も兼用する。ウィック31に複数の柱部材35が接合されているウィック構造体を容器15の内部に設けることで、ウィック構造体の高い毛細管力による十分な熱拡散性能が得られる。また、ウィック31は、上述の多孔質体やメッシュ51や金属箔61や不織布71をそのまま適用できる。 Each columnar member 35 has many fine gaps (not shown) that generate capillary forces, similar to the gaps 32 in the wick 31. Therefore, the columnar members 35 here not only function to prevent the container 15 from collapsing, but also function to cause the liquid phase working fluid to flow mainly toward the steam passage 21 with strong capillary forces. By providing a wick structure in which multiple columnar members 35 are joined to the wick 31 inside the container 15, sufficient heat diffusion performance can be obtained due to the strong capillary forces of the wick structure. In addition, the wick 31 can be made of the above-mentioned porous body, mesh 51, metal foil 61, or nonwoven fabric 71 as is.

図26は、ウィック収納部22に複数枚重ねて収納したウィック31の一例を示したものである。ここでのウィック31は、図16に示す2枚のメッシュ51A,51Bで構成される。図26では、複数枚のウィック31であることを示すために、あえてメッシュ51Aの一部を折り返しているが、実際には同一形状のメッシュ51A,51Bが折り返されることなく、完全に重なってウィック収納部22に配設される。2枚以上のウィック31は、ここで示すメッシュ51の他に、上述の多孔質体や金属箔61や不織布71の何れであってもよく、また柱部材35を備えた1枚のウィック31と、柱部材35を備えていない別な1枚乃至複数枚のウィック31の組み合わせとしてもよい。 Figure 26 shows an example of a wick 31 stored in a wick storage section 22 in a stacked manner. The wick 31 here is composed of two meshes 51A and 51B as shown in Figure 16. In Figure 26, part of the mesh 51A is folded back to show that there are multiple wicks 31, but in reality, the meshes 51A and 51B of the same shape are not folded back and are completely overlapped and arranged in the wick storage section 22. The two or more wicks 31 may be any of the above-mentioned porous bodies, metal foils 61, and nonwoven fabrics 71, in addition to the mesh 51 shown here, and may also be a combination of one wick 31 with a columnar member 35 and one or more other wicks 31 without a columnar member 35.

このように、ウィック収納部22にウィック31を複数枚重ねて収納すると、ウィック31の枚数に比例してウィック31が保持できる液相の作動流体の量(保液量)を増加させることができ、SHP1としての性能が向上する。特に、1枚のウィック31では保液量に限界があって、蒸気通路21の一部に液相の作動流体が液溜まりのように残ると、気相の作動流体の流通がそこで妨げられてSHP1の性能が著しく低下するが、ウィック31を複数枚とすることで、そうした液溜まりを解消して、蒸気通路21全体で気相の作動流体を円滑に流通させることが可能となる。 In this way, by storing multiple wicks 31 in a stack in the wick storage section 22, the amount of liquid-phase working fluid that the wick 31 can hold (liquid retention amount) can be increased in proportion to the number of wicks 31, improving the performance of the SHP1. In particular, there is a limit to the amount of liquid that a single wick 31 can hold, and if liquid-phase working fluid remains in a portion of the steam passage 21 like a liquid puddle, the flow of gas-phase working fluid is hindered there, significantly reducing the performance of the SHP1; however, by using multiple wicks 31, such liquid puddles can be eliminated, making it possible to smoothly circulate the gas-phase working fluid throughout the entire steam passage 21.

以上のように、本実施形態では容器15の内部にウィック31が設けられ、このウィック31には、容器15が大気圧に押されて潰れないようにするために、粉体焼結品または別部品による柱部材35が具備され、柱部材35に対向する金属箔の外郭表面として、第1シート体11のシート面部11Aの表面が平坦となるSHP1の製造方法を提供している。 As described above, in this embodiment, a wick 31 is provided inside the container 15, and this wick 31 is provided with a columnar member 35 made of a powder sintered product or a separate part to prevent the container 15 from being crushed by atmospheric pressure, and a manufacturing method for SHP1 is provided in which the surface of the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11 is flat as the outer surface of the metal foil facing the columnar member 35.

この場合、第1シート体11のシート面部11Aの表面が平坦になることで、放熱部品となる熱拡散部材42や発熱部品となる熱源41の密着性を上げることができ、SHP1として薄型でも高い性能を確保できる。 In this case, the surface of the sheet surface portion 11A of the first sheet body 11 is flattened, which improves the adhesion of the heat diffusion member 42, which serves as a heat dissipation component, and the heat source 41, which serves as a heat generating component, ensuring high performance even with a thin SHP1.

また本実施形態では、ウィック31を1枚ではなく複数枚備えたSHP1の製造方法を提供している。 In addition, this embodiment provides a method for manufacturing an SHP1 that has multiple wicks 31 instead of just one.

この場合、ウィック31の枚数を増やす程、ウィック31に保持される液相の作動流体の量が増加するので、容器15の内部で液相の作動流体の一部を局所的に留めることなく、ウィック31を通して液相の作動流体全体を余すことなく循環させて、SHP1としてさらに高い熱拡散性能を確保できる。 In this case, the more wicks 31 are used, the greater the amount of liquid-phase working fluid held in the wicks 31. This allows the entire liquid-phase working fluid to circulate through the wicks 31 without leaving any residue, without locally retaining a portion of the liquid-phase working fluid inside the container 15, ensuring even higher thermal diffusion performance for the SHP1.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更可能である。例えば、第1実施形態の支柱11C,12Cや第2実施形態の多孔質柱35は、SHP1の受熱部44や放熱部45の位置に合わせて、個々の形状や配置間隔を変えるように構成してもよい。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications are possible without departing from the spirit of the present invention. For example, the pillars 11C and 12C of the first embodiment and the porous pillars 35 of the second embodiment may be configured to have different shapes and spacing in accordance with the positions of the heat receiving portion 44 and the heat dissipating portion 45 of the SHP1.

1 シート状ヒートパイプ
11 第1シート体(金属箔)
11C,12C 支柱(柱)
12 第2シート体(金属箔)
15 容器
17 ノズル
18 封止部
21 蒸気通路
22 ウィック収納部
31 ウィック
1 Sheet-shaped heat pipe 11 First sheet body (metal foil)
11C, 12C Pillar
12 Second sheet body (metal foil)
15 container 17 nozzle 18 sealing part
21 Steam passage
22 Wick storage section 31 Wick

Claims (12)

肉厚0.1mm未満であって、材質がステンレス若しくはそれを主成分とする合金金属である金属箔をプレス加工により成形し、この成形品を含む2枚以上の前記金属箔を積み重ねて、幅が2mm未満のフランジ部をレーザー溶接により接合することにより、作動流体が封入される中空の容器を形成し、
前記容器の内部に厚みが0.1mm以下であって、銅、ステンレス、若しくはチタンのいずれかの金属を含んでなる平板のウィックを設け、
前記金属箔の少なくとも一方に、プレス絞り加工により前記金属箔の表面部側を凹ませて柱を形成し、前記柱で前記ウィックを押さえ、
総厚みを0.4mm未満としたことを特徴とするシート状ヒートパイプの製造方法。
A metal foil having a thickness of less than 0.1 mm and made of stainless steel or an alloy metal containing stainless steel as a main component is formed by pressing, two or more sheets of the metal foil including this formed product are stacked, and a flange portion having a width of less than 2 mm is joined by laser welding to form a hollow container in which a working fluid is sealed;
A flat wick having a thickness of 0.1 mm or less and containing any one of copper, stainless steel, and titanium is provided inside the container;
At least one of the metal foils is pressed by a press drawing process to form a pillar on the surface side of the metal foil, and the pillar holds the wick;
A method for manufacturing a sheet-shaped heat pipe, characterized in that the total thickness is less than 0.4 mm.
前記容器は、外周部分である前記フランジ部から内側方向に向かって厚みが連続的に増加して形成され、いずれか一方の前記金属箔を凹ませて前記ウィックを収納するためのウィック収納部と前記作動流体が流通する蒸気通路を形成し、前記総厚みは、前記2枚以上の金属箔の肉厚と、前記ウィック収納部と前記蒸気通路の凹み量であることを特徴とする請求項1に記載のシート状ヒートパイプの製造方法。 The method for manufacturing a sheet-type heat pipe as described in claim 1, characterized in that the container is formed with a thickness that continuously increases from the flange portion, which is the outer circumferential portion, toward the inside, and one of the metal foils is recessed to form a wick storage section for storing the wick and a steam passage through which the working fluid flows, and the total thickness is the thickness of the two or more metal foils and the amount of recession of the wick storage section and the steam passage . 前記柱が半球状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のシート状ヒートパイプの製造方法。 The method for manufacturing a sheet-shaped heat pipe according to claim 1, characterized in that the pillars are formed in a hemispherical shape. 積み重ねた前記金属箔の一方ともう一方が、何れも前記プレス加工された前記成形品であって、
一方に前記柱を形成し、もう一方に前記ウィックを収納するためのウィック収納部を設けたことを特徴とする請求項1~3の何れか一つに記載のシート状ヒートパイプの製造方法。
The molded product is one of the stacked metal foils and the other of the stacked metal foils, both of which are press-processed,
4. The method for manufacturing a sheet-shaped heat pipe according to claim 1, wherein the pillar is formed on one side, and a wick storage section for storing the wick is provided on the other side.
前記柱どうしの間が、5mm以下の間隔をあけて配置されていることを特徴とする請求項1記載のシート状ヒートパイプの製造方法。 The method for manufacturing a sheet-shaped heat pipe according to claim 1, characterized in that the pillars are spaced apart from each other with a distance of 5 mm or less. 前記容器の直線状の辺部には、作動流体の注入や真空引きを行なうために、前記容器の内部と連通するノズルが具備されており、
前記ノズルには、前記容器を密閉状態にする封止部が設けられていることを特徴とする請求項1~5の何れか一つに記載のシート状ヒートパイプの製造方法。
A nozzle is provided on a linear side of the container, the nozzle communicating with the inside of the container for injecting a working fluid or for drawing a vacuum;
6. The method for manufacturing a sheet-shaped heat pipe according to claim 1, wherein the nozzle is provided with a sealing portion for sealing the container.
肉厚0.1mm未満であって、材質がステンレス若しくはそれを主成分とする合金金属である金属箔をプレス加工により成形し、この成形品を含む2枚以上の前記金属箔を積み重ねて、幅が2mm未満のフランジ部をレーザー溶接により接合することにより、作動流体が封入される中空の容器を有するシート状ヒートパイプであって、
前記容器の内部に厚みが01mm以下であって、銅、ステンレス、若しくはチタンのいずれかの金属を含んでなる平板のウィックが設けられ、
前記金属箔の少なくとも一方に、プレス絞り加工により前記金属箔の表面部側を凹ませて形成した柱を有し、前記柱で前記ウィックを押さえ、
総厚みを0.4mm未満であることを特徴とするシート状ヒートパイプ。
A sheet-like heat pipe having a hollow vessel in which a working fluid is sealed, the hollow vessel being formed by pressing a metal foil having a thickness of less than 0.1 mm and made of stainless steel or an alloy metal mainly composed of stainless steel, stacking two or more sheets of the metal foil including the formed product, and joining a flange portion having a width of less than 2 mm by laser welding,
A flat wick having a thickness of 0.1 mm or less and containing any one of copper, stainless steel, and titanium is provided inside the container;
At least one of the metal foils has a pillar formed by recessing a surface side of the metal foil by press drawing, and the pillar holds the wick;
A sheet-like heat pipe having a total thickness of less than 0.4 mm.
前記容器は、前記フランジ部から厚みが連続的に増加して形成され、いずれか一方の前記金属箔を凹ませて前記ウィックを収納するためのウィック収納部と前記作動流体が流通する蒸気通路が形成され、前記総厚みは、前記2枚以上の金属箔の肉厚と、前記ウィック収納部と前記蒸気通路の凹み量であることを特徴とする請求項7に記載のシート状ヒートパイプ。 The sheet-type heat pipe of claim 7, characterized in that the container is formed with a thickness that increases continuously from the flange portion , and one of the metal foils is recessed to form a wick storage section for storing the wick and a steam passage through which the working fluid flows, and the total thickness is the thickness of the two or more metal foils and the amount of recession of the wick storage section and the steam passage . 前記柱が半球状に形成されていることを特徴とする請求項7に記載のシート状ヒートパイプ。 The sheet-shaped heat pipe according to claim 7, characterized in that the pillars are formed in a hemispherical shape. 積み重ねた前記金属箔の一方ともう一方が、何れも前記プレス加工された前記成形品であって、
一方に前記柱が形成され、もう一方に前記ウィックを収納するためのウィック収納部が設けられたことを特徴とする請求項7~9の何れか一つに記載のシート状ヒートパイプ。
The molded product is one of the stacked metal foils and the other of the stacked metal foils, both of which are press-processed,
10. The sheet-shaped heat pipe according to claim 7, wherein the pillars are formed on one side, and a wick storage section for storing the wick is provided on the other side.
前記柱どうしの間が、5mm以下の間隔をあけて配置されていることを特徴とする請求項7記載のシート状ヒートパイプ。 The sheet-shaped heat pipe according to claim 7, characterized in that the pillars are spaced apart from each other with a distance of 5 mm or less. 前記容器の直線状の辺部には、作動流体の注入や真空引きを行なうために、前記容器の内部と連通するノズルが具備されており、
前記ノズルには、前記容器を密閉状態にする封止部が設けられていることを特徴とする請求項7~11の何れか一つに記載のシート状ヒートパイプ。
A nozzle is provided on a linear side of the container, the nozzle communicating with the inside of the container for injecting a working fluid or for drawing a vacuum;
12. The sheet-shaped heat pipe according to claim 7, wherein the nozzle is provided with a sealing portion for sealing the container.
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