JP7616138B2 - Cleaning Equipment - Google Patents
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Description
本明細書が開示する技術は、洗浄装置に関し、特に、燃料電池の製造に用いられる搬送シートを洗浄する洗浄装置に関する。 The technology disclosed in this specification relates to a cleaning device, and in particular to a cleaning device that cleans conveying sheets used in the manufacture of fuel cells.
燃料電池の製造において、触媒インクを搬送シートに塗布して乾燥させた後、固体電解質膜に転写して、膜電極接合体(MEA:Membrane Electrode Assembly)を作製するといった方法が知られている。搬送シートを再利用するためには、燃料電池の製造後に搬送シートの表面に残存する付着物を除去する必要がある。 In the manufacture of fuel cells, a method is known in which a catalyst ink is applied to a transfer sheet, dried, and then transferred to a solid electrolyte membrane to produce a membrane electrode assembly (MEA). In order to reuse the transfer sheet, it is necessary to remove any deposits remaining on the surface of the transfer sheet after the fuel cell is manufactured.
上記の点に関して、特許文献1に、シート部材の表面に残存する付着物の除去装置が記載されている。この除去装置は、シート部材を支持する支持機構と、シート部材の表面に向けて高圧の空気を噴射する空気噴射機構とを備える。そのため、シート部材の表面に残存する付着物は、空気によって吹き飛ばされることにより、除去される。 In regard to the above point, Patent Document 1 describes a device for removing deposits remaining on the surface of a sheet member. This removal device includes a support mechanism for supporting the sheet member, and an air injection mechanism for injecting high-pressure air toward the surface of the sheet member. Therefore, any deposits remaining on the surface of the sheet member are removed by being blown away by the air.
燃料電池の製造に用いられる触媒インクには、スルホ基が含まれることがある。この場合、燃料電池の製造後の搬送シートの表面には、スルホ基を含む付着物が残存していると考えられる。この付着物はスルホ基によって、搬送シートに強固に接着しているため、上記した空気による清掃では除去することができない。あるいは、粘着テープ等を用いて、搬送シートから付着物を剥離させることも考えられるが、付着物を完全に除去しきれないという問題や、搬送シートの表面に損傷が発生する等の問題がある。 The catalyst ink used in the manufacture of fuel cells may contain sulfo groups. In this case, it is believed that a deposit containing sulfo groups remains on the surface of the conveying sheet after the fuel cell is manufactured. This deposit is firmly attached to the conveying sheet by the sulfo groups, and cannot be removed by the above-mentioned air cleaning. Alternatively, it is possible to peel the deposit from the conveying sheet using adhesive tape or the like, but this can lead to problems such as the deposit not being completely removed and damage being caused to the surface of the conveying sheet.
上記の実情を鑑み、本明細書は、搬送シートの表面に損傷を発生させることなく、搬送シートの表面に残存する付着物を除去するための技術を提供する。 In view of the above situation, this specification provides a technique for removing any remaining adhesions on the surface of a conveying sheet without causing any damage to the surface of the conveying sheet.
本明細書が開示する技術は、燃料電池の製造に用いられる搬送シートを洗浄する洗浄装置に具現化される。この洗浄装置は、N-メチル-2-ピロリドンを含む洗浄液を貯留している洗浄槽と、前記洗浄液内において、前記搬送シートを前記洗浄液の液面に対して平行に支持する支持機構と、前記支持機構の下方に配置されており、前記洗浄液の前記液面に向けて超音波を照射する超音波照射機構と、を備える。前記支持機構は、前記超音波照射機構と前記液面との間に形成される超音波定在波の腹の位置に、前記搬送シートを支持するように構成されている。 The technology disclosed in this specification is embodied in a cleaning device for cleaning a conveying sheet used in the manufacture of fuel cells. This cleaning device includes a cleaning tank that stores a cleaning liquid containing N-methyl-2-pyrrolidone, a support mechanism that supports the conveying sheet in the cleaning liquid parallel to the liquid surface of the cleaning liquid, and an ultrasonic irradiation mechanism that is disposed below the support mechanism and irradiates ultrasonic waves toward the liquid surface of the cleaning liquid. The support mechanism is configured to support the conveying sheet at the position of the antinode of an ultrasonic standing wave formed between the ultrasonic irradiation mechanism and the liquid surface.
上記した洗浄装置では、洗浄液として、スルホ基を溶解可能なN-メチル-2-ピロリドン(以下、NMPと称する)を含む溶媒が用いられる。しかしながら、NMPは疎水性が高いため、NMPは付着物の端部からしか浸透ができず、付着物内に浸透するには比較的に長い時間を要する。そこで、本技術では、超音波照射機構をさらに用いて、洗浄液の液面に向けて超音波を照射することにより、超音波照射機構と液面との間に超音波定在波を形成させる。そして、超音波定在波の腹の位置に、搬送シートを支持する。超音波定在波の腹の位置では、音圧が極大となることから、NMPを付着物内へ浸透させることができ、搬送シートの洗浄に要する時間を短縮することができる。また、NMPは、燃料電池の発電性能を著しく低下させる元素(例えば、硫黄、珪素、塩素)を含まないため、NMPが残存する搬送シートを用いて燃料電池を作製しても、その発電性能には大きく影響を与えないと考えられる。 In the above-mentioned cleaning device, a solvent containing N-methyl-2-pyrrolidone (hereinafter referred to as NMP), which can dissolve sulfo groups, is used as the cleaning liquid. However, since NMP is highly hydrophobic, NMP can only penetrate from the edge of the deposit, and it takes a relatively long time to penetrate into the deposit. Therefore, in this technology, an ultrasonic irradiation mechanism is further used to irradiate ultrasonic waves toward the liquid surface of the cleaning liquid, thereby forming an ultrasonic standing wave between the ultrasonic irradiation mechanism and the liquid surface. Then, a conveying sheet is supported at the position of the antinode of the ultrasonic standing wave. Since the sound pressure is maximized at the antinode position of the ultrasonic standing wave, NMP can be penetrated into the deposit, and the time required for cleaning the conveying sheet can be shortened. In addition, since NMP does not contain elements (e.g., sulfur, silicon, and chlorine) that significantly reduce the power generation performance of a fuel cell, it is considered that even if a fuel cell is manufactured using a conveying sheet on which NMP remains, the power generation performance will not be significantly affected.
本技術の一実施形態において、洗浄装置は、吸込口が洗浄槽の底面に接続されているととともに、排出口が洗浄槽の側面に接続されている濾過機構をさらに備えてもよい。この場合、洗浄槽の底面には、濾過機構の吸込口に向かって下方に傾斜が設けられていてもよい。このような構成によると、搬送シートから除去された付着物が洗浄槽の底面に滞留することを回避又は抑制することができる。さらに、濾過機構によって、洗浄液に含まれる付着物を除去することができるため、洗浄液の再利用が可能となる。また、濾過機構によって除去される付着物からは貴金属を回収することができる。 In one embodiment of the present technology, the cleaning device may further include a filtering mechanism having an inlet connected to the bottom surface of the cleaning tank and an outlet connected to the side surface of the cleaning tank. In this case, the bottom surface of the cleaning tank may be inclined downward toward the inlet of the filtering mechanism. With this configuration, it is possible to prevent or suppress adhesions removed from the conveying sheet from remaining on the bottom surface of the cleaning tank. Furthermore, since the filtering mechanism can remove adhesions contained in the cleaning liquid, it is possible to reuse the cleaning liquid. Furthermore, precious metals can be recovered from the adhesions removed by the filtering mechanism.
図面を参照して、実施例の洗浄装置10及びその被洗浄物である搬送シート100について説明する。搬送シート100は、燃料電池の製造工程において、膜電極接合体(MEA:Membrane Electrode Assembly)を製造するために用いられる。搬送シート100は、長尺のシート部材である。特に限定されないが、搬送シート100は、バルフロン(商標登録)ガラスクロス等のポリテトラフルオロエチレン(PTFE)を含む材料により構成されている。
The
図1に示すように、洗浄装置10は、洗浄槽12を備える。洗浄槽12は、上部に開口を有する容器であり、その内部には、洗浄液CSを貯留している。特に限定されないが、洗浄槽12は、中間壁12aを備える。中間壁12aは、複数の貫通孔を有する板状の部材であり、洗浄槽12の下部に設けられている。
As shown in FIG. 1, the
図1に示すように、洗浄装置10は、繰り出しローラ14と、複数の搬送ローラ16と、巻取りローラ18とをさらに備える。繰り出しローラ14には、その表面に付着物ADを有する状態の搬送シート100(即ち、洗浄前の搬送シート100)が環状に巻き取られたロール102がセットされており、洗浄前の搬送シート100を送り出すことができる。複数の搬送ローラ16は、繰り出しローラ14と巻取りローラ18との間に設けられており、搬送シート100が搬送される搬送経路を画定している。詳しくは後述するが、この搬送経路を通過する際に、搬送シート100の洗浄が実施され、搬送シート100の表面に残存する付着物ADが除去される。巻取りローラ18は、搬送経路を通過した搬送シート100(即ち、洗浄後の搬送シート100)を巻き取ることができる。そのため、巻取りローラ18には、洗浄後の搬送シート100が環状に巻き取られたロール104がセットされている。特に限定されないが、繰り出しローラ14、複数の搬送ローラ16、及び巻取りローラ18は、コントローラ(不図示)と通信可能に接続されており、コントローラによって動作が制御及び監視されている。
As shown in FIG. 1, the
複数の搬送ローラ16には、第1搬送ローラ16aと、第2搬送ローラ16bと、第3搬送ローラ16cと、第4搬送ローラ16dとが含まれる。第1搬送ローラ16aは、繰り出しローラ14と第2搬送ローラ16bとの間に設けられており、第2搬送ローラ16bは、第1搬送ローラ16aと第3搬送ローラ16cとの間に設けられており、第3搬送ローラ16cは、第2搬送ローラ16bと第4搬送ローラ16dとの間に設けられており、第4搬送ローラ16dは、第3搬送ローラ16cと巻取りローラ18との間に設けられている。第1搬送ローラ16a及び第4搬送ローラ16dは、洗浄槽12の外部に設けられている。第2搬送ローラ16b及び第3搬送ローラ16cは、洗浄液CSの液面LSよりも下方であって、洗浄槽12の中間壁12aよりも上方に設けられている。さらに、第2搬送ローラ16bは、第3搬送ローラ16cと等しい高さ位置に、所定の間隔を隔てて設けられている。
The plurality of
これにより、繰り出しローラ14によって送り出された搬送シート100は、第1搬送ローラ16a、第2搬送ローラ16b、第3搬送ローラ16c、及び第4搬送ローラ16dを順に通過して搬送され、巻取りローラ18に巻き取られていく(図1内の矢印参照)。詳しくは、搬送シート100は、第1搬送ローラ16aを通過した後に、洗浄液CS内に進入する。そして、搬送シート100は、洗浄液CS内において、第2搬送ローラ16b及び第3搬送ローラ16cを通過していく。このとき、第2搬送ローラ16bと第3搬送ローラ16cとの間に位置する搬送シート100は、二つの搬送ローラ16b、16cによって、洗浄液CSの液面LSに対して平行に支持される。その後、搬送シート100は、洗浄液CSから退出し、第4搬送ローラ16dを通過して、巻取りローラ18によって巻き取られていく。
As a result, the
図1に示すように、洗浄装置10は、超音波振動子20をさらに備える。超音波振動子20は、洗浄槽12内において、第2搬送ローラ16b及び第3搬送ローラ16cの下方に配置されている。一例ではあるが、超音波振動子20は、洗浄槽12の中間壁12a上に配置されている。超音波振動子20は、洗浄液CSの液面LSに向けて、洗浄槽12内の洗浄液CSに超音波を照射する。特に限定されないが、超音波振動子20の動作は、コントローラ(不図示)によって、制御及び監視される。ここで、本明細書における超音波振動子20は、本技術における超音波照射機構の一例である。なお、超音波振動子20は、必ずしも洗浄槽12の中間壁12a上に配置されている必要はない。例えば、他の実施形態として、超音波振動子20は、洗浄槽12の側面12cに設けられた支持部材等により支持されていてもよい。この場合、超音波振動子20は、その支持方法にかかわらず、洗浄槽12内において、第2搬送ローラ16b及び第3搬送ローラ16cの下方に配置されていればよい。
1, the
図2に示すように、超音波振動子20から照射された超音波は、洗浄液CSの液面LSに向かって(即ち、上方に)伝達される。そして、洗浄液CSの液面LSに到達した超音波は、液面LSで反射される。超音波振動子20から照射された超音波と、液面LSで反射された超音波の反射波とが互いに干渉することにより、超音波振動子20と洗浄液CSの液面LSとの間に超音波定在波SWが形成される。この超音波定在波SWは、三つの節S1、S2、S3と、二つの腹A1、A2とを有する。本実施例において、搬送シート100は、第2搬送ローラ16b及び第3搬送ローラ16cによって、超音波定在波SWの腹A1の位置と等しい高さ位置に支持されている。本明細書における第2搬送ローラ16b及び第3搬送ローラ16cは、本技術における支持機構の一例である。複数の搬送ローラ16の数及び位置は特に限定されず、洗浄液CS内において、搬送シート100を、超音波定在波SWの腹A1の位置と等しい高さ位置に支持する限り、洗浄液CSの液面LSに対して平行に支持するのに必要な数及び配置であればよい。また、本実施例のように、超音波定在波SWの腹A1、A2の位置が複数存在する場合には、そのうちの一つの腹A1、A2の位置と等しい高さ位置に、搬送シート100が支持されていればよい。
2, the ultrasonic waves emitted from the
上記した洗浄装置10では、洗浄液CSとして、スルホ基を溶解可能なNMPを含む溶媒が用いられる。しかしながら、NMPは疎水性が高いため、図3に示すように、NMPは付着物ADの端部からしか浸透ができず、付着物AD内に浸透するには比較的に長い時間を要する。そこで、本技術では、超音波振動子20をさらに用いて、洗浄液CSの液面LSに向けて超音波を照射することにより、超音波振動子20と液面LSとの間に超音波定在波SWを形成させる。そして、超音波定在波SWの腹A1の位置に、搬送シート100を支持する。超音波定在波SWの腹A1の位置では、音圧が極大となることから、図4に示すように、NMPを付着物AD内へ浸透させることができ、搬送シート100の洗浄に要する時間を短縮することができる。また、NMPは、燃料電池の発電性能を著しく低下させる元素(例えば、硫黄、珪素、塩素)を含まないため、NMPが残存する搬送シート100を用いて燃料電池を作製しても、その発電性能には大きく影響を与えないと考えられる。
In the above-mentioned
一例ではあるが、図1に示すように、洗浄装置10は、濾過ユニット22をさらに備える。濾過ユニット22は、循環経路24と、ポンプ26と、フィルタ装置28とを備える。循環経路24は、洗浄液CSが流通する経路である。循環経路24の吸込口24aは、洗浄槽12の底面12bに接続されており、循環経路24の排出口24bは、洗浄槽12の側面12cに接続されている。さらに、洗浄槽12の底面12bには、濾過ユニット22の吸込口24aに向かって下方に傾斜が設けられている。ポンプ26は、循環経路24に設けられており、循環経路24内を流通する洗浄液CSの流量を調整することができる。フィルタ装置28は、その内部にフィルタを有する。フィルタ装置28は、循環経路24に設けられており、フィルタ装置28を流通する洗浄液CSに含まれる付着物ADを除去することができる。特に限定されないが、フィルタ装置28のフィルタは、交換可能なフィルタであり、所定の期間毎に交換される。なお、本明細書における濾過ユニット22は、本技術における濾過機構の一例である。
1, the
上記の構成によると、搬送シート100から除去された付着物ADが洗浄槽12の底面12bに滞留することを回避又は抑制することができる。さらに、濾過ユニット22によって、洗浄液CSに含まれる付着物ADを除去することができるため、洗浄液CSの再利用が可能となる。また、濾過ユニット22によって除去される付着物ADからは貴金属を回収することができる。
The above configuration makes it possible to prevent or suppress the adhesion AD removed from the conveying
以上、いくつかの具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書又は図面に説明した技術要素は、単独であるいは組み合わせによって技術的有用性を発揮するものである。 Although several specific examples have been described in detail above, these are merely examples and do not limit the scope of the claims. The technology described in the claims includes various modifications and variations of the specific examples given above. The technical elements described in this specification or drawings have technical utility either alone or in combination.
10 :洗浄装置
12 :洗浄槽
12a :中間壁
12b :底面
12c :側面
14 :繰り出しローラ
16a-16d:搬送ローラ
18 :巻取りローラ
20 :超音波振動子
22 :濾過ユニット
24 :循環経路
24a :吸込口
24b :排出口
26 :ポンプ
28 :フィルタ装置
100 :搬送シート
102 :ロール
AD :付着物
CS :洗浄液
LS :液面
10: cleaning device 12:
Claims (2)
N-メチル-2-ピロリドンを含む洗浄液を貯留している洗浄槽と、
前記洗浄液内において、前記搬送シートを前記洗浄液の液面に対して平行に支持する支持機構と、
前記支持機構の下方に配置されており、前記洗浄液の前記液面に向けて超音波を照射する超音波照射機構と、
を備え、
前記支持機構は、前記超音波照射機構と前記液面との間に形成される超音波定在波の腹の位置に、前記搬送シートを支持するように構成されている、
洗浄装置。 A cleaning device for cleaning a conveying sheet used in the manufacture of a fuel cell, comprising:
A cleaning tank storing a cleaning solution containing N-methyl-2-pyrrolidone;
a support mechanism that supports the conveying sheet in the cleaning liquid so as to be parallel to a liquid surface of the cleaning liquid;
an ultrasonic irradiation mechanism disposed below the support mechanism and configured to irradiate ultrasonic waves toward the liquid surface of the cleaning liquid;
Equipped with
the support mechanism is configured to support the conveying sheet at a position of an antinode of an ultrasonic standing wave formed between the ultrasonic irradiation mechanism and the liquid surface.
Cleaning equipment.
前記洗浄槽の前記底面には、前記濾過機構の前記吸込口に向かって下方に傾斜が設けられている、請求項1に記載の洗浄装置。
The cleaning tank further includes a filtration mechanism having a suction port connected to a bottom surface of the cleaning tank and a discharge port connected to a side surface of the cleaning tank,
The cleaning device according to claim 1 , wherein the bottom surface of the cleaning tank is inclined downward toward the suction port of the filtering mechanism.
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000107710A (en) | 1998-09-30 | 2000-04-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Ultrasonic substrate treatment apparatus |
| JP2004009019A (en) | 2002-06-11 | 2004-01-15 | Toyota Motor Corp | Deburring cleaning method |
| JP2004311057A (en) | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Dainippon Printing Co Ltd | Paste composition for forming catalyst layer and transfer sheet for manufacturing catalyst layer-electrolyte membrane laminate |
| JP2005161190A (en) | 2003-12-02 | 2005-06-23 | Seiko Epson Corp | Cleaning method, cleaning device, and electro-optical device |
| JP2006509859A (en) | 2002-12-10 | 2006-03-23 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | Catalyst ink |
| JP2019003850A (en) | 2017-06-16 | 2019-01-10 | トヨタ自動車株式会社 | Catalyst layer manufacturing method and manufacturing apparatus thereof |
-
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000107710A (en) | 1998-09-30 | 2000-04-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Ultrasonic substrate treatment apparatus |
| JP2004009019A (en) | 2002-06-11 | 2004-01-15 | Toyota Motor Corp | Deburring cleaning method |
| JP2006509859A (en) | 2002-12-10 | 2006-03-23 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | Catalyst ink |
| JP2004311057A (en) | 2003-04-02 | 2004-11-04 | Dainippon Printing Co Ltd | Paste composition for forming catalyst layer and transfer sheet for manufacturing catalyst layer-electrolyte membrane laminate |
| JP2005161190A (en) | 2003-12-02 | 2005-06-23 | Seiko Epson Corp | Cleaning method, cleaning device, and electro-optical device |
| JP2019003850A (en) | 2017-06-16 | 2019-01-10 | トヨタ自動車株式会社 | Catalyst layer manufacturing method and manufacturing apparatus thereof |
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