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JP7621751B2 - Protective film and photosensitive resin composition for obtaining same - Google Patents
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Description

本発明は、ディスプレイ、配線板等のパネルの構成部材としての保護膜、例えばカラーフィルターのRGB画素形成後等に、平坦化等次工程を実施するための条件整備の目的も必要に応じて具備することが可能な保護膜及びそれを得るための感光性樹脂組成物に関する。本発明の保護膜は特にフレキシブルディスプレイ等、使用時に曲げることのある用途に用いる場合に有効である。 The present invention relates to a protective film as a component of a panel such as a display or wiring board, for example, a protective film that can also be used as a condition setting for carrying out a subsequent process such as flattening after forming RGB pixels of a color filter, as necessary, and a photosensitive resin composition for obtaining the same. The protective film of the present invention is particularly effective when used in applications that involve bending during use, such as flexible displays.

従来から、液晶表示装置、有機EL装置等、タッチパネル等の表示装置は、テレビのような大型ディスプレイや、携帯電話、パソコン、スマートフォンなどの小型ディスプレイをはじめ、各種のディスプレイの構成部材として使用される。これらの構成部材は、ガラス基板上にTFT、電極、発光層等、各種の機能層を形成した積層体である。このガラス基板を樹脂基板へと置き換えることにより、従来のガラス基板を用いた構成部材を、薄型化・軽量化・フレキシブル化することができる。これを利用して、フレキシブルディスプレイ等のフレキシブルデバイスを得ることが期待される。 Conventionally, display devices such as liquid crystal display devices, organic EL devices, and touch panels have been used as components of various displays, including large displays such as televisions and small displays such as mobile phones, personal computers, and smartphones. These components are laminates in which various functional layers such as TFTs, electrodes, and light-emitting layers are formed on a glass substrate. By replacing this glass substrate with a resin substrate, components that use conventional glass substrates can be made thinner, lighter, and more flexible. It is expected that this can be used to obtain flexible devices such as flexible displays.

また、表示装置やディスプレイの用途のみならず、透明性フィルム、レンズの表面保護やハードコートを目的に形成される保護膜等にも、広く適用することが可能であり、薄型化、軽量化に加え、フレキシブル化の要求がなされている中で、各種保護膜が曲げに対して耐性を有することへの要求が高まってきている。 The film can be widely used not only in display devices and displays, but also in transparent films and protective films formed for the purpose of surface protection and hard coating of lenses. As demand for thinner, lighter, and more flexible films grows, there is an increasing demand for various protective films to be resistant to bending.

ここで、従来から使用されてきたガラスに代えて樹脂の採用が進められているが、樹脂はガラスと比較して寸法安定性、透明性、耐熱性、耐湿性、フィルムの強度等が劣るため、種々の検討がなされている。こうした樹脂材料としては、これまで、耐熱性や寸法安定性に優れることからポリイミドが多く検討されている(特許文献1~3を参照)。 Here, the use of resins has been promoted in place of the glass that has been used traditionally, but resins are inferior to glass in terms of dimensional stability, transparency, heat resistance, moisture resistance, film strength, etc., and various studies are being conducted. As such a resin material, polyimide has been widely studied so far due to its excellent heat resistance and dimensional stability (see Patent Documents 1 to 3).

特許第6640223号公報Patent No. 6640223 特許第6648076号公報Patent No. 6648076 特開2018-193569号公報JP 2018-193569 A

ところで、従来から、半導体装置の製造の分野において、フォトリソグラフィー法によりレジストや遮光膜を形成するに際して、感光性樹脂としてフルオレン骨格を有するアルカリ可溶性樹脂が採用されている。このようなフルオレン骨格を有するアルカリ可溶性樹脂は、耐熱性、低発ガス性、耐薬品性、現像性特に細線形成性に優れた感光性樹脂組成物を提供してきているが、当該組成物の硬化物としては比較的柔軟性には乏しく、フレキシブルディスプレイのカラーフィルターやタッチパネル等の柔軟性や靭性が求められる用途向けには、感光性樹脂組成物の配合を工夫することが必要であることがわかっている。 In the field of semiconductor device manufacturing, alkali-soluble resins having a fluorene skeleton have been used as photosensitive resins when forming resists or light-shielding films by photolithography. Such alkali-soluble resins having a fluorene skeleton have provided photosensitive resin compositions that are excellent in heat resistance, low gas generation, chemical resistance, and developability, particularly fine line formability. However, the cured product of the composition is relatively poor in flexibility, and it has been found that it is necessary to devise a photosensitive resin composition for applications requiring flexibility and toughness, such as color filters and touch panels for flexible displays.

本発明は、このようなフルオレン骨格を有するアルカリ可溶性樹脂の有利な点を利用しながらも、柔軟性などの比較的不利な点を改善するような組成として、例えば、フレキブルディスプレイのカラーフィルターやタッチパネル等の保護膜としても適用可能な伸度や靭性を発現できる保護膜を形成できることを新たに知見して、完成されたものである。 The present invention was completed based on the new discovery that it is possible to form a protective film that exhibits elongation and toughness suitable for use as a protective film for color filters and touch panels of flexible displays, for example, by utilizing the advantages of alkali-soluble resins having a fluorene skeleton while improving their relatively disadvantageous points such as flexibility.

すなわち、本発明の要旨は以下の通りである。
〔1〕以下の(A-1)および/又は(A-2)を5質量%以上含有し、伸度が1.5%以上であることを特徴とする保護膜。
〔ここで、(A-1)は、下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物に、(メタ)アクリル酸、下記一般式(2)で表される化合物又は下記一般式(3)で表される化合物を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート化合物であり、(A-2)は、当該エポキシ(メタ)アクリレート化合物に、さらに多価カルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物である。〕

Figure 0007621751000001
Figure 0007621751000002
Figure 0007621751000003
(ここで、R、R、R及びRは、独立に、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基である。Rは炭素数2~20の2価の脂肪族又は芳香族の炭化水素基であり、Rは炭素数2~22の2価のアルキレン基又はアルキルアリーレン基であり、Rは水素原子又はメチル基である。pは0~60の数である。Xは9,9-フルオレンジイル基であり、mは0~10の数である。)
〔2〕膜厚が0.1~100μmであることを特徴とする〔1〕に記載の保護膜。
〔3〕前記〔1〕又は〔2〕に記載の保護膜であって、2個の重合性不飽和基を有する光重合性モノマーを10質量%以上含有し、伸度が2%以上であることを特徴とする保護膜。
〔4〕伸度が1.5%以上の保護膜を形成するための感光性樹脂組成物であって、
(A)以下の(A-1)および/又は(A-2)を10~88質量%〔ここで、(A-1)は、下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物に、(メタ)アクリル酸、下記一般式(2)で表される化合物又は下記一般式(3)で表される化合物を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート化合物であり、(A-2)は、当該エポキシ(メタ)アクリレート化合物に、さらに多価カルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物である。〕、
(B)2個の重合性不飽和基を有する光重合性モノマーを10~88質量%、及び
(C)光重合開始剤を含有し、
前記A成分とB成分との合計量100質量部に対して、C成分が1~60質量部含有されることを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 0007621751000004
Figure 0007621751000005
Figure 0007621751000006
(ここで、R、R、R及びRは、独立に、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基である。Rは炭素数2~20の2価の脂肪族又は芳香族の炭化水素基であり、Rは炭素数2~22の2価のアルキレン基又はアルキルアリーレン基であり、Rは水素原子又はメチル基である。pは0~60の数である。Xは9,9-フルオレンジイル基であり、mは0~10の数である。)
〔5〕前記〔4〕に記載の感光性樹脂組成物を硬化させた保護膜を含む表示装置。 That is, the gist of the present invention is as follows.
[1] A protective film containing 5 mass % or more of the following (A-1) and/or (A-2) and having an elongation of 1.5% or more.
[Here, (A-1) is an epoxy (meth)acrylate compound obtained by reacting an epoxy compound represented by the following general formula (1) with (meth)acrylic acid, a compound represented by the following general formula (2) or a compound represented by the following general formula (3), and (A-2) is an epoxy (meth)acrylate acid adduct obtained by further reacting the epoxy (meth)acrylate compound with a polyvalent carboxylic acid or its acid anhydride.]
Figure 0007621751000001
Figure 0007621751000002
Figure 0007621751000003
(wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a halogen atom or a phenyl group; R 5 is a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms; R 6 is a divalent alkylene group or alkylarylene group having 2 to 22 carbon atoms; R 7 is a hydrogen atom or a methyl group; p is a number from 0 to 60; X is a 9,9-fluorenediyl group; and m is a number from 0 to 10.)
[2] The protective film according to [1], characterized in that the film thickness is 0.1 to 100 μm.
[3] The protective film according to [1] or [2], characterized in that it contains 10% by mass or more of a photopolymerizable monomer having two polymerizable unsaturated groups and has an elongation of 2% or more.
[4] A photosensitive resin composition for forming a protective film having an elongation of 1.5% or more,
(A) 10 to 88 mass % of the following (A-1) and/or (A-2) (wherein (A-1) is an epoxy (meth)acrylate compound obtained by reacting an epoxy compound represented by the following general formula (1) with (meth)acrylic acid, a compound represented by the following general formula (2) or a compound represented by the following general formula (3), and (A-2) is an epoxy (meth)acrylate acid adduct obtained by further reacting the epoxy (meth)acrylate compound with a polyvalent carboxylic acid or an acid anhydride thereof),
(B) 10 to 88% by mass of a photopolymerizable monomer having two polymerizable unsaturated groups, and (C) a photopolymerization initiator;
A photosensitive resin composition comprising 1 to 60 parts by mass of component C relative to 100 parts by mass of the total amount of components A and B.
Figure 0007621751000004
Figure 0007621751000005
Figure 0007621751000006
(wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a halogen atom or a phenyl group; R 5 is a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms; R 6 is a divalent alkylene group or alkylarylene group having 2 to 22 carbon atoms; R 7 is a hydrogen atom or a methyl group; p is a number from 0 to 60; X is a 9,9-fluorenediyl group; and m is a number from 0 to 10.)
[5] A display device comprising a protective film formed by curing the photosensitive resin composition according to [4] above.

本発明は、耐熱性、低発ガス性、耐薬品性、現像性を備えるとともに、柔軟性及び靭性にも優れた保護膜を与え、例えば、フレキブルディスプレイのカラーフィルターやタッチパネルの保護膜として適用できることはもちろんのこと、特に柔軟性が要求される表示装置に対して適用することも可能である。更には、透明性や耐熱性、柔軟性及び靭性等の特性が要求される光学部材、オプトデバイス部材、電気・電子部品等各種構成部材を構成する構成要素として、幅広い用途に広く用いられる。 The present invention provides a protective film that is heat-resistant, low-gassing, chemical-resistant, and developable, as well as being flexible and tough. For example, it can be used as a protective film for color filters and touch panels of flexible displays, and can also be used for display devices that require flexibility. Furthermore, it can be used in a wide range of applications as a component of various components such as optical members, optical device members, and electric and electronic parts that require properties such as transparency, heat resistance, flexibility, and toughness.

〔保護膜〕
本発明の保護膜は、特に限定されるものではないが、液晶表示装置、有機EL装置等、タッチパネル等の表示装置において、ディスプレイ、配線板等のパネルの下地を保護し、高い透明性から光学的には影響することのない保護膜として使用されることが好ましいが、当該保護の用途のみならず、例えば、フレキシブルフィルム、プラスチックレンズ等のハードコート等を目的とする保護コーティングなどの用途としても用いることができる。
[Protective Film]
The protective film of the present invention is not particularly limited, but is preferably used as a protective film that protects the base of a panel such as a display or a wiring board in a display device such as a liquid crystal display device, an organic EL device, or a touch panel, and has high transparency and does not have an optical effect. In addition to this protective application, the film can also be used for applications such as protective coatings for the purpose of hard coatings on flexible films, plastic lenses, etc.

本発明の保護膜は、その伸度が1.5%以上である。好ましくは2.0%以上である。このような伸度特性を有することから、本発明の保護膜は、特にフレキシブルディスプレイにおいて、カラーフィルターやタッチパネル等の構成要素である保護膜等として有用である。伸度については、後述の実施例でも例示しているように、引張試験から測定される伸度のことを指し、例えば、JISK7161に準拠した方法で測定されることが好ましい。また、保護膜の厚みについては、用途、構造部材の設計により各構造要素の膜厚等が異なるが、本発明の保護膜は膜厚0.1~100μmで用いることができる。本発明の保護膜については、少なくとも、膜厚50μm換算において上記の伸度特性を備えるものであることが好ましい。 The protective film of the present invention has an elongation of 1.5% or more. Preferably, it is 2.0% or more. Because of such elongation characteristics, the protective film of the present invention is useful as a protective film that is a component of a color filter, a touch panel, etc., particularly in a flexible display. The elongation refers to the elongation measured by a tensile test, as exemplified in the examples described later, and is preferably measured by a method conforming to JIS K7161, for example. In addition, the thickness of the protective film varies depending on the application and the design of the structural member, but the protective film of the present invention can be used at a thickness of 0.1 to 100 μm. It is preferable that the protective film of the present invention has the above-mentioned elongation characteristics at least when converted into a thickness of 50 μm.

本発明の保護膜は、後述する感光性樹脂組成物を用いて形成されるものであるが、特に、(A)成分として、フルオレン骨格を有する所定のエポキシ(メタ)アクリレート化合物(A-1)及び/又はエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(A-2)(以下、これらをまとめて「フルオレン型樹脂(A)」などと呼ぶ。)を含有するものであり、当該フルオレン型樹脂(A)を、当該保護膜中の固形分中に5質量%以上含有する。好ましくは、当該フルオレン型樹脂(A)を保護膜中に10質量%以上である。当該フルオレン型樹脂(A)の上限は、90質量%以下が好ましく、より好ましくは80質量%以下である。これらの成分の保護膜中に5質量%以上有することにより、耐熱性等の当該フルオレン型樹脂(A)の特性を発現させることができる。 The protective film of the present invention is formed using a photosensitive resin composition described later, and in particular contains, as component (A), a specific epoxy (meth)acrylate compound (A-1) and/or an epoxy (meth)acrylate acid adduct (A-2) having a fluorene skeleton (hereinafter collectively referred to as "fluorene type resin (A)" or the like), and the fluorene type resin (A) is contained in an amount of 5 mass% or more in the solid content of the protective film. Preferably, the fluorene type resin (A) is contained in the protective film in an amount of 10 mass% or more. The upper limit of the fluorene type resin (A) is preferably 90 mass% or less, more preferably 80 mass% or less. By containing 5 mass% or more of these components in the protective film, the properties of the fluorene type resin (A), such as heat resistance, can be expressed.

ここで、上記のフルオレン型樹脂(A)は、以下のように製造されるものである。すなわち、ビスフェノール類とエピクロロヒドリン等との反応で得られる2個のグリシジルエーテル基を有する下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物に、(メタ)アクリル酸か、下記一般式(2)で表される(メタ)アクリル酸誘導体か、又は下記一般式(3)で表される(メタ)アクリル酸誘導体を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート化合物(A-1)であるか、この得られたエポキシ(メタ)アクリレート化合物にさらに多価カルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(A-2)であって、これらの化合物の一方又は両方が含まれる。

Figure 0007621751000007
Figure 0007621751000008
Figure 0007621751000009
Here, the above fluorene type resin (A) is produced as follows: That is, it is an epoxy (meth)acrylate compound (A-1) obtained by reacting an epoxy compound represented by the following general formula (1) having two glycidyl ether groups obtained by reacting a bisphenol with epichlorohydrin or the like with (meth)acrylic acid, a (meth)acrylic acid derivative represented by the following general formula (2), or a (meth)acrylic acid derivative represented by the following general formula (3), or it is an epoxy (meth)acrylate acid adduct (A-2) obtained by further reacting the obtained epoxy (meth)acrylate compound with a polyvalent carboxylic acid or its acid anhydride, and one or both of these compounds are included.
Figure 0007621751000007
Figure 0007621751000008
Figure 0007621751000009

ここで、上記の一般式(1)において、R、R、R及びRは、独立に、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基であるが、好ましくは水素原子、炭素数1~6のアルキル基又はフェニル基であり、さらに好ましくは水素原子である。また、Xは9,9-フルオレンジイル基であり、mは0~10の数である。さらに、一般式(2)~(3)において、Rは炭素数2~20の2価の脂肪族又は芳香族の炭化水素基であり、Rは炭素数2~22の2価のアルキレン基又はアルキルアリーレン基であり、Rは水素原子又はメチル基である。pは0~60の数を表す。 In the above general formula (1), R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a halogen atom or a phenyl group, preferably a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms or a phenyl group, more preferably a hydrogen atom. X is a 9,9-fluorenediyl group, and m is a number from 0 to 10. Furthermore, in the general formulae (2) and (3), R 5 is a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms, R 6 is a divalent alkylene group or alkylarylene group having 2 to 22 carbon atoms, and R 7 is a hydrogen atom or a methyl group. p represents a number from 0 to 60.

このようなエポキシ化合物と、(メタ)アクリル酸又は(メタ)アクリル酸誘導体との反応は、公知の方法を使用することができ、例えばエポキシ化合物1モルに対し、約2モルの(メタ)アクリル酸又は(メタ)アクリル酸誘導体を使用して行われることが製造上、有利である。この反応で得られるエポキシ(メタ)アクリレート化合物(A-1)は次の一般式(4)で表されるものであることが好ましい。

Figure 0007621751000010
ここで、R、R、R及びR、X、並びにmは、上記の記述と同様である。Gは、(メタ)アクリル酸残基であるか、又は以下の一般式(2’)若しくは(3’)で表される置換基である。
Figure 0007621751000011
Figure 0007621751000012
The reaction of such an epoxy compound with (meth)acrylic acid or a (meth)acrylic acid derivative can be carried out by a known method, and for example, it is advantageous in terms of production to use about 2 moles of (meth)acrylic acid or a (meth)acrylic acid derivative per mole of the epoxy compound. The epoxy (meth)acrylate compound (A-1) obtained by this reaction is preferably represented by the following general formula (4).
Figure 0007621751000010
Here, R 1 , R 2 , R 3 and R 4 , X, and m are the same as those described above. G is a (meth)acrylic acid residue or a substituent represented by the following general formula (2′) or (3′).
Figure 0007621751000011
Figure 0007621751000012

一般式(1)のエポキシ化合物を与える好ましいビスフェノール類としては、9,9-フルオレニル基を有する9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-メチルフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-クロロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-ブロモフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3-フルオロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジメチルフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジクロロフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-ヒドロキシ-3,5-ジブロモフェニル)フルオレン等が好ましく挙げられる。 Preferred examples of bisphenols that give the epoxy compound of general formula (1) include 9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene having a 9,9-fluorenyl group, 9,9-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-bromophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3-fluorophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)fluorene, 9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)fluorene, and 9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)fluorene.

前記フルオレン型樹脂(A)のうちのエポキシ(メタ)アクリレート化合物(A-1)については、このようなビスフェノール類から誘導されるエポキシ化合物から得ることができる。ここで、一般式(1)におけるmの平均値は0~10、好ましくは0~2の範囲であれば、本発明の性能に問題はない。 The epoxy (meth)acrylate compound (A-1) of the fluorene-type resin (A) can be obtained from an epoxy compound derived from such a bisphenol. Here, there is no problem with the performance of the present invention as long as the average value of m in the general formula (1) is in the range of 0 to 10, preferably 0 to 2.

つぎに、一般式(1)のエポキシ化合物に反応させる化合物のうち、上記一般式(2)及び(3)で表される(メタ)アクリル酸誘導体並びにそれらによる一般式(2’)及び(3’)の置換基について説明する。
これらは重合性不飽和基と少なくとも1つ以上のエステル結合を有し、まず、Rは炭素数2~22のアルキレン基又はアルキルアリーレン基を示す。アルキレン基に関しては直鎖又は分岐のいずれでもよく、エチレン、プロピレン、イソプロピレン、n-ブチレン、イソブチレン、sec-ブチレン、t-ブチレン、ペンチレン、ヘキシレン、へプチレン、オクチレン、ノネン、デシレン、ウンデシレン、ドデシレン、トリデシレン、テトラデシレン、ペンタデシレン、ヘキサデシレン、ヘプタデシレン、オクタデシレン、ノナデシレン、ジデシル、ヘンイコシレン、ドコシレン基などが挙げられる。アルキルアリーレン基に関しては炭素数の範囲内であれば無置換アリーレン基でもよく、例えば、-Ph-Ph-(2,2`-ビフェニレン基)、-Ph-Ph-Ph-(トリフェニレン基)、-Ph-C(CH-Ph-(ビスフェノールA様な残基など)[Phはフェニレン基を示す]、o,m,p-フェニレン置換されたトルイレン、クレジレン、エチルフェニレン、n-プロピルフェニレン、イソプロピルフェニレン、直鎖又は分岐したブチルフェニレン、ペンチルフェニレン、ヘキシルフェニレン、ヘプチルフェニル、オクチルフェニレン、ノニルフェニレン、デシルフェニレン、ウンデシルフェニレン、ドデシルフェニレン、トリデシルフェニレン、テトラデシルフェニレン、ヘプタデシルフェニレン、ヘキサデシルフェニレン基などが挙げられる。さらに前述したアルキルアリーレン基については、炭素数の範囲を超えない限り2~4置換されていてもよく、またさらにアルキレン部位は不飽和結合、エーテル結合、エステル結合、アミド結合又はウレタン結合により中断されていてもよい。
Next, among the compounds to be reacted with the epoxy compound of general formula (1), the (meth)acrylic acid derivatives represented by the above general formulas (2) and (3) and the substituents of general formulas (2') and (3') due to them will be described.
These have a polymerizable unsaturated group and at least one or more ester bonds, and first, R6 represents an alkylene group or an alkylarylene group having 2 to 22 carbon atoms. The alkylene group may be either linear or branched, and examples thereof include ethylene, propylene, isopropylene, n-butylene, isobutylene, sec-butylene, t-butylene, pentylene, hexylene, heptylene, octylene, nonene, decylene, undecylene, dodecylene, tridecylene, tetradecylene, pentadecylene, hexadecylene, heptadecylene, octadecylene, nonadecylene, didecyl, henikosilene, and docosilene groups. The alkylarylene group may be an unsubstituted arylene group as long as it is within the range of the carbon number, and examples thereof include -Ph-Ph- (2,2'-biphenylene group), -Ph-Ph-Ph- (triphenylene group), -Ph-C( CH3 ) 2 -Ph- (residue such as bisphenol A) [Ph represents a phenylene group], o-, m-, or p-phenylene-substituted toluylene, cresylene, ethylphenylene, n-propylphenylene, isopropylphenylene, linear or branched butylphenylene, pentylphenylene, hexylphenylene, heptylphenyl, octylphenylene, nonylphenylene, decylphenylene, undecylphenylene, dodecylphenylene, tridecylphenylene, tetradecylphenylene, heptadecylphenylene, and hexadecylphenylene groups. Furthermore, the aforementioned alkylarylene group may be substituted di- to tetra-ally as long as the number of carbon atoms does not exceed the range, and the alkylene moiety may be interrupted by an unsaturated bond, an ether bond, an ester bond, an amide bond or a urethane bond.

また、Rは炭素数2~20の脂肪族又は芳香族の炭化水素基を示し、例えば、脂肪族炭化水素基は直鎖又は分岐のいずれでもよく、エチレン、プロピレン、イソプロピレン、n-ブチレン、イソブチレン、sec-ブチレン、t-ブチレン、ペンチレン、ヘキシレン、へプチレン、オクチレン、ノネン、デシレン、ウンデシレン、ドデシレン、トリデシレン、テトラデシレン、ペンタデシレン、ヘキサデシレン、ヘプタデシレン、オクタデシレン、ノナデシレン、ジデシル基などが挙げられる。芳香族炭化水素基は炭素数の範囲内であれば無置換体でもよく、例えば、-Ph-Ph-(2,2`-ビフェニレン基)、-Ph-Ph-Ph-(トリフェニレン基)、-Ph-C(CH-Ph-(ビスフェノールA様な残基など)、o,m,p-フェニレン置換されたトルイレン、クレジレン、エチルフェニレン、n-プロピルフェニレン、イソプロピルフェニレン、直鎖又は分岐したブチルフェニレン、ペンチルフェニレン、ヘキシルフェニレン、ヘプチルフェニル、オクチルフェニレン、ノニルフェニレン、デシルフェニレン、ウンデシルフェニレン、ドデシルフェニレン、トリデシルフェニレン、テトラデシルフェニレン基などが挙げられるが、炭素数の範囲を超えない限り2~4置換されていてもよく、またさらにアルキレン部位は不飽和結合、エーテル結合、エステル結合、アミド結合又はウレタン結合により中断されていてもよい。 Furthermore, R5 represents an aliphatic or aromatic hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms. For example, the aliphatic hydrocarbon group may be either linear or branched, and examples thereof include ethylene, propylene, isopropylene, n-butylene, isobutylene, sec-butylene, t-butylene, pentylene, hexylene, heptylene, octylene, nonene, decylene, undecylene, dodecylene, tridecylene, tetradecylene, pentadecylene, hexadecylene, heptadecylene, octadecylene, nonadecylene, and didecyl groups. The aromatic hydrocarbon group may be unsubstituted within the range of the carbon number, and examples thereof include -Ph-Ph- (2,2'-biphenylene group), -Ph-Ph-Ph- (triphenylene group), -Ph-C( CH3 ) 2 -Ph- (residues such as bisphenol A), o-, m-, or p-phenylene-substituted toluylene, cresylene, ethylphenylene, n-propylphenylene, isopropylphenylene, linear or branched butylphenylene, pentylphenylene, hexylphenylene, heptylphenylene, octylphenylene, nonylphenylene, decylphenylene, undecylphenylene, dodecylphenylene, tridecylphenylene, and tetradecylphenylene groups, but may be 2-4 substituted as long as the range of the carbon number is not exceeded, and the alkylene moiety may be interrupted by an unsaturated bond, an ether bond, an ester bond, an amide bond, or a urethane bond.

また、pは0~60の数を示しているが、化合物によっては分布が広範囲になることで樹脂性能を低下させる又は硬化物として十分な硬化が付与できないことが懸念され、好ましくは0~40、より好ましくは0~20の範囲であれば本発明の樹脂としての性能が保持されるため好ましい。 In addition, p represents a number between 0 and 60, but depending on the compound, there is concern that the distribution may be so wide that it may reduce the resin performance or may not provide sufficient hardening as a cured product, so a range of 0 to 40 is preferable, and 0 to 20 is even more preferable, as this will maintain the performance of the resin of the present invention.

また、得られたエポキシ(メタ)アクリレート化合物(A-1)に反応させる多価カルボン酸又はその酸無水物としては、エポキシ(メタ)アクリレート化合物(A-1)中の水酸基と反応し得るテトラカルボン酸又はその酸二無水物(a)や、ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はそれらの酸一無水物(b)を使用するのがよい。これらの酸成分は飽和又は不飽和のどちらでも効果的である。 As the polyvalent carboxylic acid or its anhydride to be reacted with the obtained epoxy (meth)acrylate compound (A-1), it is preferable to use a tetracarboxylic acid or its dianhydride (a), or a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their monoanhydride (b), which can react with the hydroxyl group in the epoxy (meth)acrylate compound (A-1). These acid components are effective whether they are saturated or unsaturated.

ここで、テトラカルボン酸又はその酸二無水物(a)としては、鎖式炭化水素テトラカルボン酸又はその酸二無水物や脂環式テトラカルボン酸又はその酸二無水物、又は、芳香族多価カルボン酸又はその酸二無水物が使用される。鎖式炭化水素テトラカルボン酸又はその酸二無水物としては、例えば、ブタンテトラカルボン酸、ペンタンテトラカルボン酸、ヘキサンテトラカルボン酸等があり、更には任意の置換基が導入された鎖式炭化水素テトラカルボン酸又はその酸二無水物でもよい。また、脂環式テトラカルボン酸又はその酸二無水物としては、例えば、シクロブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、シクロへプタンテトラカルボン酸、ノルボルナンテトラカルボン酸等があり、更には任意の置換基の導入された脂環式テトラカルボン酸又はその酸二無水物でもよい。更に、芳香族テトラカルボン酸やその酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸又はその酸二無水物が挙げられ、更には任意の置換基の導入された芳香族テトラカルボン酸又はその酸二無水物でもよい。これらテトラカルボン酸又はその酸二無水物(a)は、2種以上を併せて使用することもできる。 Here, as the tetracarboxylic acid or its dianhydride (a), a chain-type hydrocarbon tetracarboxylic acid or its dianhydride, an alicyclic tetracarboxylic acid or its dianhydride, or an aromatic polyvalent carboxylic acid or its dianhydride is used. Examples of the chain-type hydrocarbon tetracarboxylic acid or its dianhydride include butane tetracarboxylic acid, pentane tetracarboxylic acid, hexane tetracarboxylic acid, etc., and may further include a chain-type hydrocarbon tetracarboxylic acid or its dianhydride having an arbitrary substituent introduced therein. Examples of the alicyclic tetracarboxylic acid or its dianhydride include cyclobutane tetracarboxylic acid, cyclopentane tetracarboxylic acid, cyclohexane tetracarboxylic acid, cycloheptane tetracarboxylic acid, norbornane tetracarboxylic acid, etc., and may further include an alicyclic tetracarboxylic acid or its dianhydride having an arbitrary substituent introduced therein. Examples of the aromatic tetracarboxylic acid or its dianhydride include pyromellitic acid, benzophenone tetracarboxylic acid, biphenyl tetracarboxylic acid, biphenyl ether tetracarboxylic acid, or its dianhydride, and may further include an aromatic tetracarboxylic acid or its dianhydride having an arbitrary substituent introduced therein. Two or more of these tetracarboxylic acids or their dianhydrides (a) can also be used in combination.

また、ジカルボン酸、トリカルボン酸又はそれらの酸一無水物(b)としては、鎖式炭化水素ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物や、脂環式ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物や、芳香族ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物が使用される。ここで、鎖式炭化水素ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物としては、例えば、コハク酸、アセチルコハク酸、マレイン酸、アジピン酸、イタコン酸、アゼライン酸、シトラリンゴ酸、マロン酸、グルタル酸、クエン酸、酒石酸、オキソグルタル酸、ピメリン酸、セバシン酸、スベリン酸、ジグリコール酸等の化合物があり、更には任意の置換基が導入された鎖式炭化水素ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物でもよい。また、脂環式ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物としては、例えば、シクロブタンジカルボン酸、シクロペンタンジカルボン酸、ヘキサヒドロフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ノルボルナンジカルボン酸等の化合物があり、更には任意の置換基が導入された脂環式ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物でもよい。更に、芳香族ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物としては、例えばフタル酸、イソフタル酸、トリメリット酸等の化合物があり、更には任意の置換基が導入された芳香族ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物でもよい。これらジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物(b)は、2種以上を併せて使用することもできる。 As the dicarboxylic acid, tricarboxylic acid or their monoanhydrides (b), chain hydrocarbon dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their monoanhydrides, alicyclic dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their monoanhydrides, or aromatic dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their monoanhydrides are used. Examples of the chain hydrocarbon dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their monoanhydrides include succinic acid, acetylsuccinic acid, maleic acid, adipic acid, itaconic acid, azelaic acid, citramalic acid, malonic acid, glutaric acid, citric acid, tartaric acid, oxoglutaric acid, pimelic acid, sebacic acid, suberic acid, and diglycolic acid, and may further include chain hydrocarbon dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their monoanhydrides having any substituent introduced therein. In addition, the alicyclic dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or its monoanhydride may be, for example, a compound such as cyclobutanedicarboxylic acid, cyclopentanedicarboxylic acid, hexahydrophthalic acid, tetrahydrophthalic acid, or norbornanedicarboxylic acid, and may further be an alicyclic dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or its monoanhydride having an arbitrary substituent introduced therein. In addition, the aromatic dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or its monoanhydride may be, for example, a compound such as phthalic acid, isophthalic acid, or trimellitic acid, and may further be an aromatic dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or its monoanhydride having an arbitrary substituent introduced therein. These dicarboxylic acids or tricarboxylic acids or their monoanhydrides (b) may be used in combination of two or more kinds.

このようなエポキシ(メタ)アクリレート化合物(A-1)と多価カルボン酸又はその酸無水物との反応の方法については、特に限定されるものでなく、例えば、反応温度が90~140℃で反応させるような公知の方法を採用することができる。好ましくは、化合物の末端がカルボン酸基となるように、エポキシ(メタ)アクリレート化合物(A-1)、テトラカルボン酸又はその酸二無水物(a)、ジカルボン酸若しくはトリカルボン酸又はその酸一無水物(b)とのモル比が(A-1):(a):(b)=1:0.1~0.5:0.001~1.0となるように定量的に反応させることが望ましい。ここで、(A-1)/[(a)+(b)]=1~5、(a)/(b)=1~40となるように定量的に反応させることがより好ましい。(I)/[(a)+(b)]を1以上にすることによりエポキシ(メタ)アクリレート化合物の末端が酸無水物となることなく、また、未反応酸無水物が残存して異物となることもないので樹脂の期待される性能を発現することができる。また、(A-1)/[(a)+(b)]を5以下にすることにより、未反応のエポキシ(メタ)アクリレート化合物(A-1)により経時安定性の低下することがない。また、(a)/(b)=1~40にすることにより、樹脂の分子量を適正な範囲にすることができる。ここで、反応温度としては、90~130℃で仕込み原料を均一に溶解させると共に反応を行い、引き続いて40~80℃で反応及び熟成を行うことが好ましい。 The method of reacting such an epoxy (meth)acrylate compound (A-1) with a polyvalent carboxylic acid or its acid anhydride is not particularly limited, and for example, a known method can be adopted in which the reaction is carried out at a reaction temperature of 90 to 140°C. It is preferable to quantitatively react the epoxy (meth)acrylate compound (A-1), tetracarboxylic acid or its acid dianhydride (a), dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or its acid monoanhydride (b) so that the terminal of the compound is a carboxylic acid group, and the molar ratio of (A-1):(a):(b) is 1:0.1 to 0.5:0.001 to 1.0. It is more preferable to quantitatively react (A-1)/[(a)+(b)]=1 to 5, (a)/(b)=1 to 40. By making (I)/[(a)+(b)] 1 or more, the terminals of the epoxy (meth)acrylate compound do not become acid anhydrides, and unreacted acid anhydrides do not remain and become foreign matter, so that the resin can exhibit the expected performance. In addition, by making (A-1)/[(a)+(b)] 5 or less, the stability over time is not reduced by unreacted epoxy (meth)acrylate compound (A-1). In addition, by making (a)/(b) = 1 to 40, the molecular weight of the resin can be set in an appropriate range. Here, it is preferable that the reaction temperature is 90 to 130°C to uniformly dissolve the charged raw materials and react, and then react and mature at 40 to 80°C.

そしてこのように、エポキシ(メタ)アクリレート化合物(A-1)と多価カルボン酸又はその酸無水物との反応により得られるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(A-2)については、好ましくは、以下の一般式(5)で表すことができる。

Figure 0007621751000013
(ここで、Wは下記一般式(1’)で表されるビスフェノール類誘導体を示し、Yは4価のカルボン酸残基を示す。Gは(メタ)アクリル酸残基であるか又は上記一般式(2’)若しくは(3’)で表される置換基を示し、Zは水素原子または一般式(6)で表される置換基である。nは1~20の数を表す。)
Figure 0007621751000014
(ここで、R、R、R及びR、X、並びにmは、上記の記述と同様である。)
Figure 0007621751000015
(ここで、Lは2又は3価のカルボン酸残基、qは1又は2である。) The epoxy (meth)acrylate acid adduct (A-2) obtained by reacting the epoxy (meth)acrylate compound (A-1) with a polyvalent carboxylic acid or an acid anhydride thereof can be preferably represented by the following general formula (5).
Figure 0007621751000013
(W represents a bisphenol derivative represented by the following general formula (1'), Y represents a tetravalent carboxylic acid residue, G represents a (meth)acrylic acid residue or a substituent represented by the above general formula (2') or (3'), Z is a hydrogen atom or a substituent represented by the general formula (6), and n represents a number from 1 to 20.)
Figure 0007621751000014
(wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 , X, and m are as defined above.)
Figure 0007621751000015
(wherein L is a di- or tri-carboxylic acid residue, and q is 1 or 2.)

また、得られるエポキシ(メタ)アクリレート化合物(A-1)や、エポキシ(メタ)アクリレート酸付加物(A-2)については、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)測定によるポリスチレン換算の数平均分子量は、1000以上が好ましい。分子量がこれより小さい場合においては製膜が適正にできなかったり、(A-2)を用いた感光性樹脂組成物の耐アルカリ性が十分でなく、光硬化に続くアルカリ現像によってパターンが欠け、細線パターンの再現性が著しく低下する。さらに、重量平均分子量(Mw)については、2000~50000の範囲であることが好ましく、2000~7000の間であることがより好ましい。重量平均分子量(Mw)が2000に満たないと製膜が適正にできなかったり、(A-2)を用いた感光性樹脂組成物の現像時のパターンの密着性が維持できず、パターン剥がれが生じ、また、重量平均分子量(Mw)が50000を超えると現像時に未露光部の残膜が残り易くなる。更に、(A-2)については、その酸価が30~200mgKOH/gの範囲であることが望ましい。この値が30mgKOH/gより小さいとこれらを使用した感光性樹脂組成物のアルカリ現像がうまくできないか、強アルカリ等の特殊な現像条件が必要となり、200mgKOH/gを超えるとこれらを使用した感光性樹脂組成物へのアルカリ現像液の浸透が早くなり過ぎ、剥離現像が起きるので、何れも好ましくない。なお、この(A-1)及び(A-2)成分については、その1種のみを使用しても、2種以上の混合物を使用することもできる。 In addition, the number average molecular weight of the resulting epoxy (meth)acrylate compound (A-1) or epoxy (meth)acrylate acid adduct (A-2) in terms of polystyrene, as measured by gel permeation chromatography (GPC), is preferably 1000 or more. If the molecular weight is smaller than this, film formation cannot be performed properly, the alkali resistance of the photosensitive resin composition using (A-2) is insufficient, the pattern is chipped by alkaline development following photocuring, and the reproducibility of the fine line pattern is significantly reduced. Furthermore, the weight average molecular weight (Mw) is preferably in the range of 2000 to 50,000, and more preferably between 2000 and 7000. If the weight average molecular weight (Mw) is less than 2000, film formation cannot be performed properly, the adhesion of the pattern during development of the photosensitive resin composition using (A-2) cannot be maintained, and pattern peeling occurs, and if the weight average molecular weight (Mw) exceeds 50,000, the remaining film in the unexposed area is likely to remain during development. Furthermore, it is desirable for the acid value of (A-2) to be in the range of 30 to 200 mgKOH/g. If this value is less than 30 mgKOH/g, the alkaline development of the photosensitive resin composition using these compounds will not go well, or special development conditions such as strong alkali will be required, while if it exceeds 200 mgKOH/g, the penetration of the alkaline developer into the photosensitive resin composition using these compounds will be too rapid, causing peeling development, so neither is preferable. Note that the (A-1) and (A-2) components can be used alone or in a mixture of two or more.

また、本発明の保護膜は、上記のようなフルオレン型樹脂(A)に加えて、2個の重合性不飽和基を有する光重合性モノマー(B)(以下、単に「光重合性モノマー(B)」などと呼ぶ。)を含有することが好ましい。より好ましくは、当該光重合性モノマー(B)が芳香族基又は脂環式炭化水素基を有する場合である。その場合の光重合性モノマー(B)の含有量は、固形分中に10質量%以上含有することが好ましい。このような光重合性モノマー(B)を所定量含有することにより、保護膜の伸度を向上させることができる点で好ましい。その場合の伸度は2.0%以上となることが好ましい。 In addition to the above-mentioned fluorene-type resin (A), the protective film of the present invention preferably contains a photopolymerizable monomer (B) having two polymerizable unsaturated groups (hereinafter simply referred to as "photopolymerizable monomer (B)"). More preferably, the photopolymerizable monomer (B) has an aromatic group or an alicyclic hydrocarbon group. In this case, the content of the photopolymerizable monomer (B) in the solid content is preferably 10% by mass or more. By containing a predetermined amount of such photopolymerizable monomer (B), it is preferable that the elongation of the protective film can be improved. In this case, the elongation is preferably 2.0% or more.

このような光重合性モノマー(B)の例としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ノナエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、グリセロールジ(メタ)アクリレート、ジプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,5-ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールプロピレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、水添ビスフェノールAエチレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、水添ビスフェノールAプロピレンオキサイド付加物のジ(メタ)アクリレート、トリシクロ[5.2.1.02,6]デカンジメタノールジ(メタ)アクリレート、1,3-アダマンタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3,5-アダマンタントリオールジ(メタ)アクリレート等を例示することができる。これらの中でも、芳香族基又は脂環式基を有する化合物を好ましく用いることができる。
また、保護膜に要求される特性に応じて上記光重合性モノマー(B)に加えて、アクリロイル基及びメタクリロイル基からなる群から選ばれる基のいずれか一方又は両方を合計3個以上有す多官能モノマーを加えることもできる。例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、1,3,5-アダマンタントリオールトリ(メタ)アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類、エチレン性二重結合を有する化合物として(メタ)アクリル基を有する樹枝状ポリマー等が含まれる。これらの多官能モノマーを1種類併用してもよく、2種以上を併用してもよい。なお、当該(B)成分及び多官能モノマーは遊離のカルボキシ基を有しない。
Examples of such photopolymerizable monomers (B) include ethylene glycol di(meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, triethylene glycol di(meth)acrylate, tetraethylene glycol di(meth)acrylate, nonaethylene glycol di(meth)acrylate, tetramethylene glycol di(meth)acrylate, glycerol di(meth)acrylate, dipropylene glycol di(meth)acrylate, tripropylene glycol di(meth)acrylate, tetrapropylene glycol di(meth)acrylate, 1,4-butanediol di(meth)acrylate, and 1,5-pentanediol di(meth)acrylate. Examples of the di(meth)acrylate include 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, 1,9-nonanediol di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, di(meth)acrylate of neopentyl glycol ethylene oxide adduct, di(meth)acrylate of neopentyl glycol propylene oxide adduct, di(meth)acrylate of ethylene oxide adduct of bisphenol A, di(meth)acrylate of propylene oxide adduct of bisphenol A, di(meth)acrylate of ethylene oxide adduct of hydrogenated bisphenol A, di(meth)acrylate of propylene oxide adduct of hydrogenated bisphenol A, tricyclo[5.2.1.0 2,6 ]decanedimethanol di(meth)acrylate, 1,3-adamantanediol di(meth)acrylate, 1,3,5-adamantanetriol di(meth)acrylate, etc. Among these, compounds having an aromatic group or an alicyclic group can be preferably used.
Depending on the properties required for the protective film, a polyfunctional monomer having a total of three or more groups selected from the group consisting of acryloyl groups and/or methacryloyl groups can be added in addition to the photopolymerizable monomer (B). For example, (meth)acrylic acid esters such as trimethylolpropane tri(meth)acrylate, trimethylolethane tri(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, glycerol tri(meth)acrylate, sorbitol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, sorbitol hexa(meth)acrylate, 1,3,5-adamantanetriol tri(meth)acrylate, alkylene oxide-modified hexa(meth)acrylate of phosphazene, and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, and dendritic polymers having a (meth)acrylic group as a compound having an ethylenic double bond are included. These polyfunctional monomers may be used alone or in combination of two or more thereof. Note that the component (B) and the polyfunctional monomer do not have a free carboxy group.

エチレン性二重結合を有する化合物として(メタ)アクリル基を有する樹枝状ポリマーの例としては、多官能(メタ)アクリレート化合物の(メタ)アクリレート基の中の炭素-炭素二重結合の一部に多価メルカプト化合物を付加して得られる樹枝状ポリマーを例示することができる。具体的には、一般式(7)の多官能(メタ)アクリレート化合物の(メタ)アクリレートと一般式(8)の多価メルカプト化合物を反応させて得られる樹枝状ポリマーなどが含まれる。 An example of a dendritic polymer having a (meth)acrylic group as a compound having an ethylenic double bond is a dendritic polymer obtained by adding a polyvalent mercapto compound to a part of the carbon-carbon double bond in the (meth)acrylate group of a polyfunctional (meth)acrylate compound. Specifically, it includes a dendritic polymer obtained by reacting the (meth)acrylate of a polyfunctional (meth)acrylate compound of general formula (7) with a polyvalent mercapto compound of general formula (8).

Figure 0007621751000016
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ここで、R10は水素原子またはメチル基を表し、R11はR(OH)のs個のヒドロキシル基のうち1個のヒドロキシル基を式中のエステル結合に供与した残り部分を表し、好ましいR(OH)としては、炭素数2~8の非芳香族の直鎖又は分枝鎖の炭化水素骨格に基づく多価アルコールであるか、当該多価アルコールの複数分子がアルコールの脱水縮合によりエーテル結合を介して連結してなる多価アルコールエーテルであるか、又はこれらの多価アルコール又は多価アルコールエーテルとヒドロキシ酸とのエステルである。sおよびtは独立に2~20の整数を表すが、s≧tである。 Here, R 10 represents a hydrogen atom or a methyl group, R 11 represents the remaining portion of R 8 (OH) s where one of the s hydroxyl groups is donated to the ester bond in the formula, and preferred R 8 (OH) s is a polyhydric alcohol based on a non-aromatic linear or branched hydrocarbon skeleton having 2 to 8 carbon atoms, a polyhydric alcohol ether formed by linking multiple molecules of the polyhydric alcohol via ether bonds by dehydration condensation of the alcohol, or an ester of such a polyhydric alcohol or polyhydric alcohol ether with a hydroxy acid. s and t independently represent integers of 2 to 20, provided that s is greater than or equal to t.

Figure 0007621751000017
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ここで、Rは単結合又は2~6価のC1~C6の炭化水素基であり、rはRが単結合であるときは2であり、Rが2~6価の基であるときは2~6の整数を表す。 Here, R 9 is a single bond or a divalent to hexavalent C1 to C6 hydrocarbon group, r is 2 when R 9 is a single bond, and r is an integer from 2 to 6 when R 9 is a divalent to hexavalent group.

一般式(7)で示される多官能(メタ)アクリレート化合物の具体例には、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エチレンオキサイド変性トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステルが含まれる。これらの化合物は、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Specific examples of polyfunctional (meth)acrylate compounds represented by general formula (7) include (meth)acrylic acid esters such as ethylene glycol di(meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, ethylene oxide modified trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, and caprolactone modified pentaerythritol tri(meth)acrylate. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

一般式(8)で示される多価メルカプト化合物の具体例には、トリメチロールプロパントリ(メルカプトアセテート)、トリメチロールプロパントリ(メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラ(メルカプトアセテート)、ペンタエリスリトールトリ(メルカプトアセテート)、ペンタエリスリトールテトラ(メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メルカプトアセテート)、ジペンタエリスリトールヘキサ(メルカプトプロピオネート)等が含まれる。これらの化合物は、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Specific examples of polyvalent mercapto compounds represented by general formula (8) include trimethylolpropane tri(mercaptoacetate), trimethylolpropane tri(mercaptopropionate), pentaerythritol tetra(mercaptoacetate), pentaerythritol tri(mercaptoacetate), pentaerythritol tetra(mercaptopropionate), dipentaerythritol hexa(mercaptoacetate), dipentaerythritol hexa(mercaptopropionate), etc. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

ここで、本発明の保護膜中においては、上記(A)成分と(B)成分との配合割合[(A)/(B)]については、100/0~5/95であることが好ましい。ここで、(A)成分の配合割合が少ないと、光硬化反応後の硬化物が脆くなり、また、現像する場合、未露光部において塗膜の酸価が低いためにアルカリ現像液に対する溶解性が低下し、パターンエッジががたつきシャープにならないといった問題が生じる。反対に、(A)成分の配合割合が上記範囲より多くなると、光反応成分((A)成分+(B)成分)に占める光反応性官能基の割合が少なく光硬化反応による架橋構造の形成が十分でなくなるおそれがある。 In the protective film of the present invention, the blending ratio of the above-mentioned (A) and (B) components [(A)/(B)] is preferably 100/0 to 5/95. If the blending ratio of the (A) component is low, the cured product after the photocuring reaction becomes brittle, and when developed, the acid value of the coating film in the unexposed areas is low, so that the solubility in an alkaline developer decreases, resulting in problems such as the pattern edges becoming loose and not sharp. Conversely, if the blending ratio of the (A) component is higher than the above range, the proportion of photoreactive functional groups in the photoreactive components ((A) component + (B) component) is low, and the formation of a crosslinked structure by the photocuring reaction may be insufficient.

本発明の保護膜は、好ましくは、以下のような成分及び含有量の感光性樹脂組成物により製造される。すなわち、
(A)上記のフルオレン型樹脂を10~88質量%、
(B)上記の光重合性モノマーを10~88質量%、及び
(C)光重合開始剤を、前記(A)成分と(B)成分との合計量100質量部に対して1~60質量部
を含有する。
The protective film of the present invention is preferably produced from a photosensitive resin composition having the following components and contents:
(A) 10 to 88% by mass of the above fluorene type resin,
(B) 10 to 88% by mass of the above-mentioned photopolymerizable monomer, and (C) 1 to 60 parts by mass of a photopolymerization initiator per 100 parts by mass of the total amount of the (A) component and the (B) component.

(C)光重合開始剤の例としては、アセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類;ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p'-ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類;2-メチル-1[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1等のα-アミノアルキルフェノン類;2-(o-クロロフェニル)-4,5-フェニルビイミダゾール、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)ビイミダゾール、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2,4,5-トリアリールビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物類;2-トリクロロメチル-5-スチリル-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-シアノスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-メトキシスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール等のハロメチルチアゾール化合物類;2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-クロロフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(3,4,5-トリメトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メチルチオスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン等のハロメチル-S-トリアジン系化合物類;1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-,2-(O-ベンゾイルオキシム)、1-(4-フェニルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-ベンゾアート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-アセタート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1-オンオキシム-O-アセタート等のO-アシルオキシム系化合物類;ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、2-クロロチオキサンソン、2,4-ジエチルチオキサンソン、2-メチルチオキサンソン、2-イソプロピルチオキサンソン等のイオウ化合物;2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類;アゾビスイソブチルニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物、2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物;トリエタノールアミン、トリエチルアミン等の第3級アミンなどが含まれる。これら光重合開始剤を1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。なお、本発明の光重合開始剤は、増感剤を含む。 (C) Examples of photopolymerization initiators include acetophenones such as acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, and p-tert-butylacetophenone; benzophenones such as benzophenone, 2-chlorobenzophenone, and p,p'-bisdimethylaminobenzophenone; benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether; α-aminoalkylphenones such as 2-methyl-1[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one and 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1; 2-(o-chlorophenyl)-4,5-phenylbiimidazole, 2-(o-chlorophenyl)-4,5-phenylbiimidazole, biimidazole compounds such as 2-(o-chlorophenyl)-4,5-diphenylbiimidazole, 2-(o-methoxyphenyl)-4,5-diphenylbiimidazole, 2-(o-methoxyphenyl)-4,5-diphenylbiimidazole, and 2,4,5-triarylbiimidazole; 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(p-cyanostyryl)-1,3, halomethylthiazole compounds such as 4-oxadiazole and 2-trichloromethyl-5-(p-methoxystyryl)-1,3,4-oxadiazole; 2,4,6-tris(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-methyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-chlorophenyl)-4,6-bis (trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxynaphthyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(3,4,5-trimethoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl) halomethyl-S-triazine compounds such as 2-(4-methylthiostyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl]-, 2-(O-benzoyloxime), 1-(4-phenylsulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxime-O-benzoate, 1-(4-methylsulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxime-O-benzoate, 1-(4-methylsulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxime-O-benzoate, O-acyloxime compounds such as 1-(4-methylsulfanylphenyl)butane-1-one oxime-O-acetate and 1-(4-methylsulfanylphenyl)butan-1-one oxime-O-acetate; sulfur compounds such as benzyl dimethyl ketal, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-methylthioxanthone, and 2-isopropylthioxanthone; anthraquinones such as 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, and 2,3-diphenylanthraquinone; organic peroxides such as azobisisobutylnitrile, benzoyl peroxide, and cumene peroxide, thiol compounds such as 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, and 2-mercaptobenzothiazole; and tertiary amines such as triethanolamine and triethylamine. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more. The photopolymerization initiator of the present invention contains a sensitizer.

〔その他の配合成分〕
本発明の保護膜を得るための感光性樹脂組成物には、必要に応じて、その他の任意の成分を含むことができる。例えばエポキシ化合物(エポキシ樹脂を含む)や、フィラーや、A成分、樹枝状ポリマーおよびエポキシ樹脂以外のその他の樹脂や、添加剤等を含有させることができる。ここで、フィラーとしてはシリカ、チタニア、ジルコニア等を、その他樹脂としてはビニル樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエーテル樹脂、メラミン樹脂等を、添加剤としては、分散剤、界面活性剤、シランカップリング剤、粘度調整剤、湿潤剤、消泡剤、重合禁止剤および酸化防止剤、紫外線吸収剤、熱ラジカル開始剤等をそれぞれ挙げることができる。これら任意の成分としては、公知の化合物を特に制限なく使用することができる。
[Other ingredients]
The photosensitive resin composition for obtaining the protective film of the present invention may contain other optional components as necessary. For example, epoxy compounds (including epoxy resins), fillers, resins other than component A, dendritic polymers and epoxy resins, additives, etc. may be contained. Here, examples of fillers include silica, titania, zirconia, etc., examples of other resins include vinyl resins, polyester resins, polyamide resins, polyimide resins, polyurethane resins, polyether resins, melamine resins, etc., and examples of additives include dispersants, surfactants, silane coupling agents, viscosity modifiers, wetting agents, defoamers, polymerization inhibitors and antioxidants, ultraviolet absorbers, thermal radical initiators, etc. As these optional components, known compounds can be used without any particular restrictions.

カップリング剤としては、例えば、シランカップリング剤(3-(グリシジルオキシ)プロピルトリメトキシシラン、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-イソシアナトプロピルトリエトキシシラン、および3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン等)、チタン系カップリング剤、ならびにアルミニウム系カップリング剤などを利用できる。熱ラジカル開始剤としては、2,2-アゾビスイソブチロニトリル、ジメチル2,2-アゾビス2-メチルプロピオネート、1,1’-アゾビス(1-アセトキシ-1-フェニルエタン)等のアゾ系開始剤や、ベンゾイルパーオキサイド等の過酸化物を例示することができる。 Examples of coupling agents that can be used include silane coupling agents (such as 3-(glycidyloxy)propyltrimethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 3-isocyanatopropyltriethoxysilane, and 3-ureidopropyltriethoxysilane), titanium-based coupling agents, and aluminum-based coupling agents. Examples of thermal radical initiators include azo-based initiators such as 2,2-azobisisobutyronitrile, dimethyl 2,2-azobis 2-methylpropionate, and 1,1'-azobis(1-acetoxy-1-phenylethane), and peroxides such as benzoyl peroxide.

また、界面活性剤(フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤等)等を使用してもよい。界面活性剤としては、シリコーン系、フッ素系等の公知の界面活性剤を特に限定なく使用することができる。シリコーン系界面活性剤の例には、側鎖変性ポリジメチルシロキサン、両末端変性ポリジメチルシロキサン、片末端変性ポリジメチルシロキサン、側鎖両末端変性ポリジメチルシロキサンなどが含まれる。フッ素系界面活性剤としては、パーフルオロアルキルスルホン酸化合物、パーフルオロアルキルカルボン酸化合物、パーフルオロアルキルリン酸エステル化合物、パーフルオロアルキルエチレンオキサイド付加物及びパーフルオロアルキルエーテル基を側鎖に有するポリオキシアルキレンエーテルポリマー化合物などが含まれる。また、これら界面活性剤を1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。界面活性剤は、例えば、感光性樹脂組成物の溶液を塗布する場合に、その表面張力を調整するために用い、その添加量範囲としては、感光性樹脂組成物中0.001~0.1質量%であり、界面活性剤の種類によっても添加量の範囲は異なり、シリコーン系界面活性剤の場合には0.001~0.01質量%、フッ素系界面活性剤であれば0.01~0.1質量%の範囲となる場合が通常である。 In addition, surfactants (fluorine-based surfactants, silicone-based surfactants, etc.) may be used. As the surfactant, known surfactants such as silicone-based and fluorine-based surfactants can be used without any particular limitation. Examples of silicone-based surfactants include side chain modified polydimethylsiloxane, both end modified polydimethylsiloxane, one end modified polydimethylsiloxane, side chain both end modified polydimethylsiloxane, etc. Examples of fluorine-based surfactants include perfluoroalkyl sulfonic acid compounds, perfluoroalkyl carboxylic acid compounds, perfluoroalkyl phosphate ester compounds, perfluoroalkyl ethylene oxide adducts, and polyoxyalkylene ether polymer compounds having perfluoroalkyl ether groups on the side chains. In addition, only one of these surfactants may be used alone, or two or more of them may be used in combination. Surfactants are used, for example, to adjust the surface tension when a solution of a photosensitive resin composition is applied, and the amount added ranges from 0.001 to 0.1% by mass in the photosensitive resin composition. The amount added varies depending on the type of surfactant, and is usually in the range of 0.001 to 0.01% by mass for silicone-based surfactants and 0.01 to 0.1% by mass for fluorine-based surfactants.

また、溶剤としては公知の化合物を利用できる。例えばエステル系溶剤(ブチルアセテート、およびシクロヘキシルアセテート等)、ケトン系溶剤(メチルイソブチルケトン、およびシクロヘキサノン等)、エーテル系溶剤(ジエチレングリコールジメチルエーテル、およびジエチレングリコールエチルメチルエーテル等)、アルコール系溶剤(3-メトキシブタノール、およびエチレングリコールモノ-t-ブチルエーテル等)、芳香族系溶剤(トルエン、およびキシレン等)、脂肪族系溶剤、アミン系溶剤、ならびにアミド系溶剤等を特に制限なく使用することができる。安全性の点からはプロピレングリコール骨格を有するエステル系やエーテル系の溶剤、例えばプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、およびプロピレングリコールジアセテート等が好ましい。また、これらに類似の構造を有する3-メトキシブチルアセテート、3-メトキシ-3-メチルブチルアセテート、および1,3-ブチレングリコールジアセテート等も好ましい。 In addition, known compounds can be used as the solvent. For example, ester-based solvents (butyl acetate, cyclohexyl acetate, etc.), ketone-based solvents (methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, etc.), ether-based solvents (diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, etc.), alcohol-based solvents (3-methoxybutanol, ethylene glycol mono-t-butyl ether, etc.), aromatic solvents (toluene, xylene, etc.), aliphatic solvents, amine-based solvents, and amide-based solvents can be used without particular restrictions. From the viewpoint of safety, ester-based and ether-based solvents having a propylene glycol skeleton, such as propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, and propylene glycol diacetate are preferred. Also preferred are 3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-3-methylbutyl acetate, and 1,3-butylene glycol diacetate, which have a similar structure.

エポキシ化合物は、保護膜の耐薬品性等の機能を向上させたいとき等に用いることができる。エポキシ化合物の例には、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフタレン骨格を含むフェノールノボラック化合物(例えば日本化薬社製「NC-7000L」)、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、トリスフェノールメタン型エポキシ化合物、テトラキスフェノールエタン型エポキシ化合物、多価アルコールのグリシジルエーテル、多価カルボン酸のグリシジルエステル、メタクリル酸とメタクリル酸グリシジルの共重合体に代表される(メタ)アクリル酸グリシジルをユニットとして含む(メタ)アクリル基を有するモノマーの共重合体、3’,4’-エポキシシクロヘキシルメチル3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレートに代表される脂環式エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン骨格を有する多官能エポキシ化合物(例えばDIC社製「HP-7200シリーズ」)、2,2-ビス(ヒドロキシメチル)-1-ブタノールの1,2-エポキシ-4-(2-オキシラニル)シクロヘキサン付加物(例えばダイセル社製「EHPE3150」)、エポキシ化ポリブタジエン(例えば日本曹達社製「NISSO-PB・JP-100」)、シリコーン骨格を有するエポキシ化合物等が含まれる。なお、エポキシ化合物は、1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
また、エポキシ化合物を配合する場合には、必要に応じて、多価カルボン酸、多価カルボン酸の無水物および多価カルボン酸の熱分解性エステルからなる群より選ばれるエポキシ化合物の硬化剤や、エポキシ化合物の硬化促進剤、硬化触媒または潜在性硬化剤等として知られる公知の硬化を促進する化合物を利用できる。
Epoxy compounds can be used when it is desired to improve the functions of the protective film, such as chemical resistance. Examples of epoxy compounds include bisphenol A type epoxy compounds, bisphenol F type epoxy compounds, bisphenol fluorene type epoxy compounds, phenol novolac type epoxy compounds, cresol novolac type epoxy compounds, phenol aralkyl type epoxy compounds, phenol novolac compounds containing a naphthalene skeleton (e.g., "NC-7000L" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), naphthol aralkyl type epoxy compounds, trisphenol methane type epoxy compounds, tetrakisphenol ethane type epoxy compounds, glycidyl ethers of polyhydric alcohols, glycidyl esters of polycarboxylic acids, and copolymers of methacrylic acid and glycidyl methacrylate (methacrylic acid copolymers). ) copolymers of monomers having a (meth)acrylic group containing glycidyl acrylate as a unit, alicyclic epoxy compounds represented by 3',4'-epoxycyclohexylmethyl 3,4-epoxycyclohexane carboxylate, polyfunctional epoxy compounds having a dicyclopentadiene skeleton (e.g., "HP-7200 series" manufactured by DIC Corporation), 1,2-epoxy-4-(2-oxiranyl)cyclohexane adduct of 2,2-bis(hydroxymethyl)-1-butanol (e.g., "EHPE3150" manufactured by Daicel Corporation), epoxidized polybutadiene (e.g., "NISSO-PB.JP-100" manufactured by Nippon Soda Co., Ltd.), epoxy compounds having a silicone skeleton, and the like. The epoxy compounds may be used alone or in combination of two or more kinds.
In addition, when an epoxy compound is blended, a curing agent for the epoxy compound selected from the group consisting of polycarboxylic acids, anhydrides of polycarboxylic acids, and thermally decomposable esters of polycarboxylic acids, or a known compound for promoting curing known as a curing accelerator, curing catalyst, or latent curing agent for the epoxy compound can be used as necessary.

また、本発明の感光性樹脂組成物で塗布製膜して用いる場合の溶液の固形分濃度については特に制限はないが、例えば、カラーフィルターの保護膜用途としては、溶剤以外の成分の合計量である固形分濃度が10~30質量%の範囲に調整されることが一般的である。また、カラーフィルターの保護膜の平坦性を高めるため、常圧における沸点が150℃未満の溶剤40~90質量%及び常圧における沸点が150℃以上の溶剤10~60質量%を併用して、感光性樹脂組成物の乾燥性を制御することが好ましい。また、溶剤を除いた固形分(固形分には硬化後に固形分となるモノマーを含む)中に、(A)~(C)成分が合計で80質量%、好ましくは90質量%以上含むことが望ましい。溶剤の量は、目標とする粘度によって変化するが、感光性樹脂組成物中に70~90質量%の範囲で含まれるようにするのがよい。 In addition, there is no particular restriction on the solid content concentration of the solution when the photosensitive resin composition of the present invention is used for coating and forming a film. For example, for use as a protective film for a color filter, the solid content concentration, which is the total amount of components other than the solvent, is generally adjusted to a range of 10 to 30 mass%. In addition, in order to improve the flatness of the protective film for the color filter, it is preferable to control the drying property of the photosensitive resin composition by using 40 to 90 mass% of a solvent having a boiling point of less than 150°C at normal pressure and 10 to 60 mass% of a solvent having a boiling point of 150°C or more at normal pressure in combination. In addition, it is desirable that the solid content excluding the solvent (solid content includes monomers that become solid content after curing) contains a total of 80 mass% of components (A) to (C), preferably 90 mass% or more. The amount of solvent varies depending on the target viscosity, but it is preferable that the amount of solvent is in the range of 70 to 90 mass% in the photosensitive resin composition.

本発明における保護膜は、上記の感光性樹脂組成物を以下のようなフォトリソグラフィー法により硬化させて形成することができる。先ず、感光性樹脂組成物をガラス基板、プラスチック基板等およびそれらの上にカラーフィルターの画素パターンやTFT等の画素駆動用の電極パターンを形成した基板の上に塗布し、次いで溶媒を乾燥させた(プリベーク)後、このようにして得られた皮膜の上にフォトマスクをあて、紫外線を照射して露光部を硬化させ、更にアルカリ水溶液を用いて未露光部を溶出させる現像を行ってパターンを形成し、更に後硬化としてポストベーク(熱焼成)を行う方法が挙げられる。 The protective film in the present invention can be formed by curing the above-mentioned photosensitive resin composition by the following photolithography method. First, the photosensitive resin composition is applied onto a glass substrate, a plastic substrate, or a substrate on which a pixel pattern of a color filter or an electrode pattern for pixel driving of a TFT or the like is formed, and then the solvent is dried (prebaked). After that, a photomask is placed on the film thus obtained, and the exposed parts are cured by irradiating with ultraviolet light. Development is then performed using an alkaline aqueous solution to dissolve the unexposed parts to form a pattern, and post-baking (thermal firing) is further performed as a post-curing method.

感光性樹脂組成物の溶液を塗布する透明基板としては、ガラス基板のほか、透明フィルム(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルフォン等)上にITOや金などの透明電極が蒸着あるいはパターニングされたものなどが例示できる。感光性樹脂組成物の溶液を塗布する方法としては、公知の溶液浸漬法、スプレー法の他、ローラーコーター機、ランドコーター機やスピナー機を用いる方法等の何れの方法をも採用することができる。これらの方法によって、所望の厚さに塗布した後、溶剤を除去する(プリベーク)ことにより、皮膜が形成される。プリベークはオーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。プリベークにおける加熱温度及び加熱時間は使用する溶剤に応じて適宜選択され、例えば60~110℃の温度で1~5分間行われる。 Examples of transparent substrates onto which the solution of the photosensitive resin composition is applied include glass substrates and transparent films (e.g., polycarbonate, polyethylene terephthalate, polyethersulfone, etc.) on which transparent electrodes such as ITO or gold are vapor-deposited or patterned. As a method for applying the solution of the photosensitive resin composition, any method such as the well-known solution immersion method, spray method, and methods using a roller coater, land coater, or spinner machine can be used. After applying the solution to the desired thickness by these methods, the solvent is removed (prebaking) to form a film. Prebaking is performed by heating in an oven, hot plate, etc. The heating temperature and heating time in prebaking are appropriately selected depending on the solvent used, and are performed for example at a temperature of 60 to 110°C for 1 to 5 minutes.

プリベーク後に行われる露光は、紫外線露光装置によって行なわれ、フォトマスクを介して露光することによりパターンに対応した部分のレジストのみを感光させる。露光装置及びその露光照射条件は適宜選択され、超高圧水銀灯、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、遠紫外線灯等の光源を用いて露光を行い、塗膜中の感光性樹脂組成物を光硬化させる。 The exposure performed after pre-baking is performed using an ultraviolet exposure device, and only the resist in the area corresponding to the pattern is exposed by exposing through a photomask. The exposure device and its exposure irradiation conditions are appropriately selected, and exposure is performed using a light source such as an ultra-high pressure mercury lamp, high pressure mercury lamp, metal halide lamp, or far ultraviolet lamp, to photocure the photosensitive resin composition in the coating film.

露光後のアルカリ現像は、露光されない部分のレジストを除去する目的で行われ、この現像によって所望のパターンが形成される。このアルカリ現像に適した現像液としては、例えばアルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩の水溶液、アルカリ金属の水酸化物の水溶液等を挙げることができるが、特に炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム等の炭酸塩を0.05~3質量%含有する弱アルカリ性水溶液を用いて23~28℃の温度で現像するのがよく、市販の現像機や超音波洗浄機等を用いて微細な画像を精密に形成することができる。 After exposure, alkaline development is carried out in order to remove the unexposed portions of the resist, and the desired pattern is formed by this development. Examples of developers suitable for this alkaline development include aqueous solutions of carbonates of alkali metals or alkaline earth metals, and aqueous solutions of hydroxides of alkali metals. In particular, it is preferable to use a weakly alkaline aqueous solution containing 0.05 to 3 mass % of carbonates such as sodium carbonate, potassium carbonate, or lithium carbonate at a temperature of 23 to 28°C, and fine images can be precisely formed using a commercially available developing machine or ultrasonic cleaner.

現像後、好ましくは80~250℃の温度(基板の耐熱温度を超えないように設定)及び20~90分の条件で熱処理(ポストベーク)が行われる。このポストベークは、パターニングされた樹脂膜と基板との密着性を高めるため等の目的で行われる。これはプリベークと同様に、オーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。ポストベークの熱処理条件のより好ましい範囲は、温度180~230℃、加熱時間30~60分である。本発明のパターニングされた樹脂膜は、以上のフォトリソグラフィー法による各工程を経て形成される。 After development, a heat treatment (post-baking) is preferably performed at a temperature of 80 to 250°C (set so as not to exceed the heat resistance temperature of the substrate) for 20 to 90 minutes. This post-baking is performed for the purpose of increasing the adhesion between the patterned resin film and the substrate. As with the pre-baking, this is performed by heating in an oven, hot plate, or the like. More preferred ranges for the heat treatment conditions for post-baking are a temperature of 180 to 230°C and a heating time of 30 to 60 minutes. The patterned resin film of the present invention is formed through each of the steps of the photolithography method described above.

以下、実施例により本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。本発明の感光性樹脂組成物の調製例から説明し、当該感光性樹脂組成物を用いて形成した塗膜の評価結果を説明する。 The present invention will be described in more detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to these. We will start with a preparation example of the photosensitive resin composition of the present invention, and then explain the evaluation results of the coating film formed using the photosensitive resin composition.

先ず、フルオレン型樹脂(A)の合成例を示す。合成例における樹脂の評価は、以下の通りに行った。
[固形分濃度]
合成例中で得られた樹脂溶液1gをガラスフィルター〔重量:W(g)〕に含浸させて秤量し〔W(g)〕、160℃にて2時間加熱した後の重量〔W(g)〕から次式より求めた。
固形分濃度(重量%)=100×(W-W)/(W-W
First, a synthesis example of the fluorene-based resin (A) will be described. The resin in the synthesis example was evaluated as follows.
[Solid content]
1 g of the resin solution obtained in Synthesis Example was impregnated into a glass filter (weight: W0 (g)), weighed [ W1 (g)], and the weight after heating at 160°C for 2 hours [ W2 (g)] was calculated from the following formula.
Solid content concentration (wt%) = 100 x (W 2 - W 0 )/(W 1 - W 0 )

[酸価]
樹脂溶液をジオキサンに溶解させ、電位差滴定装置〔平沼産業株式会社製、商品名COM-1600〕を用いて1/10N-KOH水溶液で滴定して求めた。
[Acid value]
The resin solution was dissolved in dioxane and titrated with a 1/10N KOH aqueous solution using a potentiometric titrator (manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd., product name COM-1600) to determine the content.

[分子量]
ゲルパーミュエーションクロマトグラフィー(GPC)[東ソー株式会社製 商品名:HLC-8220GPC、溶媒:テトラヒドロフラン、カラム:TSKgelSuperH-2000(2本)+TSKgelSuperH-3000(1本)+TSKgelSuperH-4000(1本)+TSKgelSuper-H5000(1本)〔東ソー株式会社製〕、温度:40℃、速度:0.6ml/min]にて測定し、標準ポリスチレン〔東ソー株式会社製PS-オリゴマーキット〕換算値として重量平均分子量(Mw)を求めた。
[Molecular weight]
Measurement was performed using gel permeation chromatography (GPC) [manufactured by Tosoh Corporation, product name: HLC-8220GPC, solvent: tetrahydrofuran, columns: TSKgelSuperH-2000 (2 columns) + TSKgelSuperH-3000 (1 column) + TSKgelSuperH-4000 (1 column) + TSKgelSuper-H5000 (1 column) [manufactured by Tosoh Corporation], temperature: 40° C., rate: 0.6 ml/min], and the weight average molecular weight (Mw) was calculated as a value converted into a standard polystyrene [PS-oligomer kit manufactured by Tosoh Corporation].

また、合成例で使用する略号は次のとおりである。
BPFE:ビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物〔9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレンとクロロメチルオキシランとの反応物。エポキシ当量250g/eq〕
AA:アクリル酸
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
TEAB:臭化テトラエチルアンモニウム
BPDA:3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
THPA:テトラヒドロ無水フタル酸
MAA:メタクリル酸
MMA:メタクリル酸メチル
CHMA:メタクリル酸シクロヘキシル
AIBN:アゾビスイソブチロニトリル
GMA:グリシジルメタクリレート
TPP:トリフェニルホスフィン
TBPC:2,6-ジ-tert-ブチル-p-クレゾール
The abbreviations used in the synthesis examples are as follows.
BPFE: Bisphenol fluorene type epoxy compound [a reaction product of 9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene and chloromethyloxirane. Epoxy equivalent: 250 g/eq]
AA: Acrylic acid PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate TEAB: Tetraethylammonium bromide BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride THPA: Tetrahydrophthalic anhydride MAA: Methacrylic acid MMA: Methyl methacrylate CHMA: Cyclohexyl methacrylate AIBN: Azobisisobutyronitrile GMA: Glycidyl methacrylate TPP: Triphenylphosphine TBPC: 2,6-di-tert-butyl-p-cresol

<フルオレン型樹脂(A)の合成>
[合成例1]
還留冷却器付き500ml四つ口フラスコ中にBPFE 114.4g(0.23モル)、AA 33.2g(0.46モル)、PGMEA 157g及びTEAB 0.48gを仕込み、100~105℃で加熱下に20時間撹拌して反応させた。次いで、フラスコ内にBPDA 35.3g(0.12モル)、THPA 18.3g(0.12モル)を仕込み、120~125℃で6時間撹拌し、フルオレン型樹脂(A1)を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.1質量%、酸価(固形分換算)は103mgKOH/g、GPC分析によるMwは3600であった。
<Synthesis of fluorene-type resin (A)>
[Synthesis Example 1]
114.4g (0.23 mol) of BPFE, 33.2g (0.46 mol) of AA, 157g of PGMEA and 0.48g of TEAB were charged into a 500ml four-neck flask equipped with a reflux condenser, and the mixture was stirred for 20 hours under heating at 100 to 105 ° C. to react. Next, 35.3g (0.12 mol) of BPDA and 18.3g (0.12 mol) of THPA were charged into the flask and stirred for 6 hours at 120 to 125 ° C. to obtain a fluorene-type resin (A1). The solid content concentration of the obtained resin solution was 56.1% by mass, the acid value (solid content equivalent) was 103 mgKOH/g, and the Mw by GPC analysis was 3600.

[合成例2]
還留冷却器付き1Lの四つ口フラスコ中に、BPFE 219.9g(0.45モル)、AA64.9g(0.9モル)、TPP 0.45g、及びPGMEA 294gを仕込み、100~105℃の加熱下で12時間撹拌し、反応生成物を得た。
次いで、得られた反応生成物にBPDA 94.15g(0.32モル)及びTHPA 3.04g(0.02モル)を仕込み、115~120℃の加熱下で6時間撹拌し、フルオレン型樹脂(A2)を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.5質量%であり、酸価(固形分換算)は97mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは5500であった。
[Synthesis Example 2]
In a 1 L four-neck flask equipped with a reflux condenser, 219.9 g (0.45 mol) of BPFE, 64.9 g (0.9 mol) of AA, 0.45 g of TPP, and 294 g of PGMEA were charged and stirred for 12 hours under heating at 100 to 105° C. to obtain a reaction product.
Next, 94.15 g (0.32 mol) of BPDA and 3.04 g (0.02 mol) of THPA were added to the reaction product and stirred for 6 hours under heating at 115 to 120° C. to obtain a fluorene-type resin (A2). The solid content of the resulting resin solution was 56.5% by mass, the acid value (solid content equivalent) was 97 mgKOH/g, and the Mw by GPC analysis was 5,500.

<アクリルポリマーの合成>
[合成例3]
後述の比較例で用いるアクリルポリマーを以下の手順で合成した。
窒素導入管及び還流管付き1000ml四つ口フラスコ中にMAA51.65g(0.60モル)、MMA36.04g(0.36モル)、CHMA40.38g(0.24モル)、AIBN5.91g、及びPGMEA360gを仕込み、80~85℃で窒素気流下、8時間撹拌して重合させた。更に、フラスコ内にGMA61.41g(0.43モル)、TPP2.27g及びTBPC0.086gを仕込み、80~85℃で16時間撹拌し、樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は35.7質量%、酸価(固形分換算)は50mgKOH/g、GPC分析によるMwは19600であった。
<Synthesis of Acrylic Polymer>
[Synthesis Example 3]
The acrylic polymer used in the comparative examples described below was synthesized according to the following procedure.
In a 1000 ml four-neck flask equipped with a nitrogen inlet tube and a reflux condenser, 51.65 g (0.60 mol) of MAA, 36.04 g (0.36 mol) of MMA, 40.38 g (0.24 mol) of CHMA, 5.91 g of AIBN, and 360 g of PGMEA were charged, and the mixture was polymerized by stirring for 8 hours under a nitrogen stream at 80 to 85 ° C. Further, 61.41 g (0.43 mol) of GMA, 2.27 g of TPP, and 0.086 g of TBPC were charged in the flask, and the mixture was stirred for 16 hours at 80 to 85 ° C. to obtain a resin solution. The solid content concentration of the obtained resin solution was 35.7 mass%, the acid value (solid content equivalent) was 50 mg KOH / g, and the Mw by GPC analysis was 19600.

(感光性樹脂組成物の作製)
表1に示す組成によって配合を行い、室温で3時間攪拌混合して固形分成分を溶剤に溶解させ、感光性樹脂組成物を作製した。組成の数値は質量部である。
(Preparation of Photosensitive Resin Composition)
The components were mixed according to the composition shown in Table 1, and the solid components were dissolved in the solvent by stirring and mixing at room temperature for 3 hours to prepare photosensitive resin compositions. The numerical values of the compositions are parts by mass.

感光性樹脂組成物として、実施例、参考例および比較例の配合に使用した成分を以下に示す。
<(A)フルオレン型樹脂>
A1:合成例1で得られた樹脂
A2:合成例2で得られた樹脂
<アクリルポリマー>
合成例3で得られた樹脂
<(B)光重合性モノマー>
・B1:EO(エチレンオキサイド)変性ビスフェノールAジ(メタ)アクリレート(共栄社化学製 商品名:ライトアクリレートBP-4EAL)
・B2:トリシクロ[5.2.1.02,6]デカンジメタノールジアクリラート(共栄社化学製 商品名:ライトアクリレートDCP-A)
<多官能モノマー>
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとヘキサアクリレートとの混合物(日本化薬(株)製 商品名:KAYARAD DPHA)
<(C)光重合開始剤>
エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(0-アセチルオキシム)(BASFジャパン社製、製品名イルガキュアOXE02)
<カップリング剤>
KBE-585:3-ウレイドプロピルトリアルコキシシラン
<界面活性剤>
SH3775M:ポリエーテル変性シリコーン(ダウ・ケミカル社製)
<溶剤>
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
DMDG:ジエチレングリコールジメチルエーテル
EDM:ジエチレングリコールエチルメチルエーテル
The components used in the photosensitive resin compositions of the Examples , Reference Examples and Comparative Examples are shown below.
<(A) Fluorene-type resin>
A1: Resin obtained in Synthesis Example 1 A2: Resin obtained in Synthesis Example 2 <Acrylic polymer>
Resin obtained in Synthesis Example 3
<(B) Photopolymerizable Monomer>
B1: EO (ethylene oxide) modified bisphenol A di(meth)acrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd., product name: Light Acrylate BP-4EAL)
B2: Tricyclo[ 5.2.1.02,6 ]decane dimethanol diacrylate (manufactured by Kyoeisha Chemical, product name: Light Acrylate DCP-A)
<Polyfunctional Monomer>
Mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and hexaacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., product name: KAYARAD DPHA)
<(C) Photopolymerization initiator>
Ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-, 1-(0-acetyloxime) (BASF Japan, product name Irgacure OXE02)
<Coupling Agent>
KBE-585: 3-ureidopropyltrialkoxysilane <surfactant>
SH3775M: Polyether modified silicone (manufactured by The Dow Chemical Company)
<Solvent>
PGMEA: Propylene glycol monomethyl ether acetate DMDG: Diethylene glycol dimethyl ether EDM: Diethylene glycol ethyl methyl ether

Figure 0007621751000018
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評価は以下のように行った。
〔弾性率(ヤング率)および伸度〕
表1における各感光性樹脂組成物を無アルカリガラス基板(厚さ0.7mm)にスピンコーターを用いて塗布し、90℃のホットプレートで2分間乾燥させて試験片を作製した。このとき、膜厚50μmの硬化膜が得られるように塗布条件(スピン回転数)を調節した。次にi線照度30mW/cm2の超高圧水銀ランプで50mJ/cm2の紫外線を照射して、光硬化反応を行った。その後試験片を230℃の熱風オーブンで30分間焼成し、無アルカリガラス基板から剥がして、硬化膜を得た。この硬化膜8mm×80mmをサンプルとして、テンシロン万能試験機(A&D社製、商品名MCT-2150)を用い、引張速度10mm/minで引張試験を行い、弾性率(ヤング率)(MPa)および引張伸度(%)を求めた。結果を以下の表2に示す。
The evaluation was carried out as follows.
[Elastic modulus (Young's modulus) and elongation]
Each photosensitive resin composition in Table 1 was applied to an alkali-free glass substrate (thickness 0.7 mm) using a spin coater, and dried on a hot plate at 90 ° C for 2 minutes to prepare a test piece. At this time, the application conditions (spin rotation speed) were adjusted so that a cured film with a film thickness of 50 μm was obtained. Next, an ultra-high pressure mercury lamp with an i-line illuminance of 30 mW / cm 2 was irradiated with ultraviolet light of 50 mJ / cm 2 to perform a photocuring reaction. Thereafter, the test piece was baked in a hot air oven at 230 ° C for 30 minutes, and peeled off from the alkali-free glass substrate to obtain a cured film. Using this cured film 8 mm × 80 mm as a sample, a tensile test was performed at a tensile speed of 10 mm / min using a Tensilon universal testing machine (manufactured by A & D, product name MCT-2150), and the elastic modulus (Young's modulus) (MPa) and tensile elongation (%) were obtained. The results are shown in Table 2 below.

(耐屈曲性)
表1における各感光性樹脂組成物をカプトン100H(東レ・デュポン社製、厚さ25μm)にスピンコーターを用いて塗布し、90℃のホットプレートで2分間乾燥させて試験片を作製した。このとき、膜厚10μmの硬化膜が得られるように塗布条件(スピン回転数)を調節した。次にi線照度30mW/cm2の超高圧水銀ランプで50mJ/cm2の紫外線を照射して、光硬化反応を行った。その後試験片を230℃の熱風オーブンで30分間焼成し、硬化膜を得た。この硬化膜8mm×80mmをサンプルとして、直径3mmΦのSUS製の円筒に対して、サンプルのカプトン100H側が円筒に沿うように屈曲角が180度(U字状)となるまで巻き付け、塗布膜のクラックの発生状況を目視にて観察した。
○:クラックが発生しない
△:クラックが発生する
×:巻き付け中に割れ(大きなクラック)が発生する
(Flexibility)
Each photosensitive resin composition in Table 1 was applied to Kapton 100H (manufactured by Toray DuPont Co., Ltd., thickness 25 μm) using a spin coater, and dried on a hot plate at 90 ° C for 2 minutes to prepare a test piece. At this time, the coating conditions (spin rotation speed) were adjusted so that a cured film with a film thickness of 10 μm was obtained. Next, a photocuring reaction was performed by irradiating ultraviolet rays of 50 mJ / cm 2 from an ultra-high pressure mercury lamp with an i-line illuminance of 30 mW / cm 2. Thereafter, the test piece was baked in a hot air oven at 230 ° C for 30 minutes to obtain a cured film. This cured film 8 mm × 80 mm was used as a sample, and the Kapton 100H side of the sample was wrapped around a SUS cylinder with a diameter of 3 mm Φ until the bending angle became 180 degrees (U-shaped), and the occurrence of cracks in the coating film was visually observed.
○: No cracks occurred △: Cracks occurred ×: Cracks (large cracks) occurred during winding

(吸湿性)
上記弾性率の評価と同様にサンプル8mm×80mmを準備した。次にこのサンプルを恒温恒室装置(エスペック製 環境試験機SH-221)中、85℃、湿度85%RH環境下において24時間静置し吸湿させた。その後、この硬化膜を10mg削り取ってサンプリングし、これを窒素雰囲気下、室温から150℃まで10℃/分で昇温して150℃において20分保持した際の重量減少量を膜の吸湿による重量変化として、熱重量分析装置(商品名株式会社リガク社製 示差熱天秤 Thermo plus EVO2)にて測定し、次の基準により3段階評価を行った。
◎ :重量減少が0.5%未満
○ :重量減少が0.5%以上2%未満
△ :重量減少が2%以上3%未満
× :重量減少が3%以上
(Hygroscopicity)
A sample of 8 mm x 80 mm was prepared in the same manner as in the evaluation of the elastic modulus. Next, this sample was left to stand for 24 hours in a constant temperature chamber device (Espec environmental tester SH-221) at 85 ° C. and 85% RH for moisture absorption. Then, 10 mg of this cured film was scraped off and sampled, and the weight loss amount when this was heated from room temperature to 150 ° C. at 10 ° C./min in a nitrogen atmosphere and held at 150 ° C. for 20 minutes was measured as the weight change due to moisture absorption of the film using a thermogravimetric analyzer (product name: Rigaku Corporation differential thermobalance Thermo plus EVO2), and three-level evaluation was performed according to the following criteria.
◎: Weight loss is less than 0.5%. ○: Weight loss is 0.5% or more and less than 2%. △: Weight loss is 2% or more and less than 3%. ×: Weight loss is 3% or more.

(発ガス性)
上記弾性率の評価と同様に硬化膜を準備した。その硬化膜を10mg削り取ってサンプリングし、これを大気気流下、室温から120℃を10℃/分で昇温して120℃において30分保持後、120℃から230℃を10℃/分で230℃にて3時間保持した際の重量減少を、熱重量分析装置(商品名株式会社リガク社製 示差熱天秤 Thermo plus EVO2)で測定し、次の基準により3段階評価を行った。
◎ :重量減少が5%未満
○ :重量減少が5%以上7%未満
△ :重量減少が7%以上10%未満
× :重量減少が10%以上
(Gas generation)
A cured film was prepared in the same manner as in the evaluation of the elastic modulus. 10 mg of the cured film was scraped off to obtain a sample, which was heated from room temperature to 120° C. at a rate of 10° C./min under air flow, held at 120° C. for 30 minutes, and then heated from 120° C. to 230° C. at a rate of 10° C./min and held at 230° C. for 3 hours. The weight loss was measured using a thermogravimetric analyzer (product name: Thermo plus EVO2, differential thermobalance, manufactured by Rigaku Corporation), and evaluated in three stages according to the following criteria.
◎: Weight loss is less than 5%. ○: Weight loss is 5% or more but less than 7%. △: Weight loss is 7% or more but less than 10%. ×: Weight loss is 10% or more.

Figure 0007621751000019
Figure 0007621751000019

Claims (6)

固形分中に、以下の(A-1)および/又は(A-2)を9.78~88.06質量%と、2個の重合性不飽和基を有する光重合性モノマーを9.78~88.06質量%とを含有し、伸度が2.0%以上であることを特徴とする保護膜。
〔ここで、(A-1)は、下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物に、(メタ)アクリル酸、下記一般式(2)で表される化合物又は下記一般式(3)で表される化合物を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート化合物であり、(A-2)は、当該エポキシ(メタ)アクリレート化合物に、さらに多価カルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物である。〕
Figure 0007621751000020
Figure 0007621751000021
Figure 0007621751000022
(ここで、R、R、R及びRは、独立に、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基である。Rは炭素数2~20の2価の脂肪族又は芳香族の炭化水素基であり、Rは炭素数2~22の2価のアルキレン基又はアルキルアリーレン基であり、Rは水素原子又はメチル基である。pは0~60の数である。Xは9,9-フルオレンジイル基であり、mは0~10の数である。)
A protective film characterized in that it contains, in its solid content, 9.78 to 88.06 mass % of the following (A-1) and/or (A-2) and 9.78 to 88.06 mass % of a photopolymerizable monomer having two polymerizable unsaturated groups , and has an elongation of 2.0 % or more.
[Here, (A-1) is an epoxy (meth)acrylate compound obtained by reacting an epoxy compound represented by the following general formula (1) with (meth)acrylic acid, a compound represented by the following general formula (2) or a compound represented by the following general formula (3), and (A-2) is an epoxy (meth)acrylate acid adduct obtained by further reacting the epoxy (meth)acrylate compound with a polyvalent carboxylic acid or its acid anhydride.]
Figure 0007621751000020
Figure 0007621751000021
Figure 0007621751000022
(wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a halogen atom or a phenyl group; R 5 is a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms; R 6 is a divalent alkylene group or alkylarylene group having 2 to 22 carbon atoms; R 7 is a hydrogen atom or a methyl group; p is a number from 0 to 60; X is a 9,9-fluorenediyl group; and m is a number from 0 to 10.)
膜厚が0.1~100μmであることを特徴とする請求項1に記載の保護膜。 The protective film according to claim 1, characterized in that the film thickness is 0.1 to 100 μm. アクリロイル基及びメタクリロイル基からなる群から選ばれる基のいずれか一方又は両方を合計3個以上有する多官能モノマーを含有しないことを特徴とする請求項1又は2に記載の保護膜。3. The protective film according to claim 1, which does not contain a polyfunctional monomer having a total of three or more groups selected from the group consisting of acryloyl groups and/or methacryloyl groups. 固形分中に、前記(A-1)および/又は(A-2)を25質量%以上含有することを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の保護膜。4. The protective film according to claim 1, wherein the solid content of the protective film contains 25 mass % or more of the (A-1) and/or the (A-2). 伸度が2.0%以上の保護膜を形成するための感光性樹脂組成物であって、固形分中に、
(A)以下の(A-1)および/又は(A-2)を9.78~88.06質量%〔ここで、(A-1)は、下記一般式(1)で表されるエポキシ化合物に、(メタ)アクリル酸、下記一般式(2)で表される化合物又は下記一般式(3)で表される化合物を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート化合物であり、(A-2)は、当該エポキシ(メタ)アクリレート化合物に、さらに多価カルボン酸又はその酸無水物を反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物である。〕、
(B)2個の重合性不飽和基を有する光重合性モノマーを9.78~88.06質量%、及び
(C)光重合開始剤を含有し、
前記A成分とB成分との合計量100質量部に対して、C成分が1~60質量部含有されることを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 0007621751000023
Figure 0007621751000024
Figure 0007621751000025
(ここで、R、R、R及びRは、独立に、水素原子、炭素数1~6のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基である。Rは炭素数2~20の2価の脂肪族又は芳香族の炭化水素基であり、Rは炭素数2~22の2価のアルキレン基又はアルキルアリーレン基であり、Rは水素原子又はメチル基である。pは0~60の数である。Xは9,9-フルオレンジイル基であり、mは0~10の数である。)
A photosensitive resin composition for forming a protective film having an elongation of 2.0 % or more , comprising:
(A) 9.78 to 88.06 mass % of the following (A-1) and/or (A-2) (wherein (A-1) is an epoxy (meth)acrylate compound obtained by reacting an epoxy compound represented by the following general formula (1) with (meth)acrylic acid, a compound represented by the following general formula (2) or a compound represented by the following general formula (3), and (A-2) is an epoxy (meth)acrylate acid adduct obtained by further reacting the epoxy (meth)acrylate compound with a polyvalent carboxylic acid or an acid anhydride thereof),
(B) 9.78 to 88.06 % by mass of a photopolymerizable monomer having two polymerizable unsaturated groups, and (C) a photopolymerization initiator;
A photosensitive resin composition comprising 1 to 60 parts by mass of component C relative to 100 parts by mass of the total amount of components A and B.
Figure 0007621751000023
Figure 0007621751000024
Figure 0007621751000025
(wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a halogen atom or a phenyl group; R 5 is a divalent aliphatic or aromatic hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms; R 6 is a divalent alkylene group or alkylarylene group having 2 to 22 carbon atoms; R 7 is a hydrogen atom or a methyl group; p is a number from 0 to 60; X is a 9,9-fluorenediyl group; and m is a number from 0 to 10.)
請求項に記載の感光性樹脂組成物を硬化させた保護膜を含む表示装置。 A display device comprising a protective film formed by curing the photosensitive resin composition according to claim 5 .
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