Deprecated: The each() function is deprecated. This message will be suppressed on further calls in /home/zhenxiangba/zhenxiangba.com/public_html/phproxy-improved-master/index.php on line 456
JP7625924B2 - Release film and its manufacturing method - Google Patents
[go: Go Back, main page]

JP7625924B2 - Release film and its manufacturing method - Google Patents

Release film and its manufacturing method Download PDF

Info

Publication number
JP7625924B2
JP7625924B2 JP2021051894A JP2021051894A JP7625924B2 JP 7625924 B2 JP7625924 B2 JP 7625924B2 JP 2021051894 A JP2021051894 A JP 2021051894A JP 2021051894 A JP2021051894 A JP 2021051894A JP 7625924 B2 JP7625924 B2 JP 7625924B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
release
film
release film
release layer
insulating layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2021051894A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2022149646A (en
Inventor
公典 西山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyobo Co Ltd
Original Assignee
Toyobo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyobo Co Ltd filed Critical Toyobo Co Ltd
Priority to JP2021051894A priority Critical patent/JP7625924B2/en
Publication of JP2022149646A publication Critical patent/JP2022149646A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7625924B2 publication Critical patent/JP7625924B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Description

本発明は、離型フィルム、およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a release film and a method for producing the same.

多層プリント配線板は、表面導体層を含めた複数の層(たとえば3層以上)に導体パターンがあるプリント配線板である。多層プリント配線板は、内層基板に絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ法で製造される。 A multilayer printed wiring board is a printed wiring board that has conductor patterns on multiple layers (e.g., three or more layers), including a surface conductor layer. Multilayer printed wiring boards are manufactured using the build-up method, in which insulating layers and conductor layers are alternately stacked on an inner layer substrate.

多層プリント配線板を製造するためのビルドアップ法では、たとえば、絶縁層と、絶縁層を支持する離型フィルムとを備えるビルドアップ用フィルムを被着体(たとえば導体層)に積層し、絶縁層を熱硬化させる、という手順を踏むことがある(たとえば特許文献1参照)。ビルドアップ法では、絶縁層に穴(すなわちバイアまたはビアホール)を形成する目的で、離型フィルム越しに絶縁層にレーザーを照射することもある。 In the build-up method for manufacturing multilayer printed wiring boards, for example, a build-up film having an insulating layer and a release film supporting the insulating layer may be laminated onto an adherend (e.g., a conductor layer), and the insulating layer may be thermally cured (see, for example, Patent Document 1). In the build-up method, a laser may be irradiated onto the insulating layer through the release film in order to form holes (i.e., vias or via holes) in the insulating layer.

ところで、特許文献2にはプリプレグ保護用フィルムが記載されている。このプリプレグ保護用フィルムは、ポリエチレンナフタレートフィルムと離型層とを備える。このプリプレグ保護用フィルムは、プリプレグの表面に異物が付着することを防止するために、プリプレグに貼り合わせるものである。なお、プリプレグとは、ガラス布などの補強材に樹脂を含浸させたうえで、Bステージまで硬化させたシート状の材料である。 Incidentally, Patent Document 2 describes a prepreg protective film. This prepreg protective film comprises a polyethylene naphthalate film and a release layer. This prepreg protective film is attached to the prepreg to prevent foreign matter from adhering to the surface of the prepreg. Note that prepreg is a sheet-like material made by impregnating a reinforcing material such as glass cloth with resin and curing it to the B stage.

プリプレグ保護用フィルムへの要求特性と、ビルドアップ法向け離型フィルムへの要求特性とは同じではない。なぜなら、これらの用途が異なるためである。実際、ビルドアップ法向け離型フィルムは、プリプレグ保護用フィルムに比べて高度な平面性が求められる傾向がある。 The required characteristics for prepreg protective films are not the same as those for release films for the build-up method, because their applications are different. In fact, release films for the build-up method tend to require a higher degree of flatness than prepreg protective films.

特開2008-37957号公報JP 2008-37957 A 特開2001-205763号公報JP 2001-205763 A

それはさておき、ビルドアップ法では、絶縁層の熱硬化によって絶縁層の浮き(すなわち、絶縁層が離型フィルムから部分的に分離すること)が生じることがある。絶縁層の浮きは抑制することが望ましい。 Regardless, in the build-up method, the thermal curing of the insulating layer can cause the insulating layer to lift (i.e., the insulating layer becomes partially separated from the release film). It is desirable to prevent this from happening.

これに加えて、絶縁層から離型フィルムを剥離する際の剥離力は強過ぎないことが望ましい。なぜなら、この剥離力が過度に強いと、絶縁層の破れや、絶縁層の部分的な残留(具体的には、絶縁層が離型層に部分的に残留すること)が生じることがあるためである。 In addition, it is desirable that the peeling force used to peel the release film from the insulating layer is not too strong, because if the peeling force is too strong, the insulating layer may break or remain partially on the release layer (specifically, part of the insulating layer may remain on the release layer).

本発明は、絶縁層の浮きを抑制することができ、しかも、絶縁層から離型フィルムを剥離する際の剥離力が過度に強くなることを回避することができる離型フィルム、およびその製造方法を提供することを目的とする。 The present invention aims to provide a release film that can suppress the lifting of the insulating layer and can also prevent the peeling force from becoming excessively strong when peeling the release film from the insulating layer, and a method for producing the same.

この課題を解決するために、本発明は、下記項1の構成を備える。 To solve this problem, the present invention has the following configuration:

項1
ポリエステルフィルムと、
前記ポリエステルフィルムの少なくとも一方の面に設けられた離型層とを備え、
前記離型層の算術平均粗さRaが20nm以下であり、前記離型層の十点平均粗さRzが300nm以下であり、
前記離型層の表面自由エネルギーが20dyne/cm~32dyne/cmであり、
熱収縮率が、長手方向で1.5%以下であり、幅方向で0.0%~0.5%である、
離型フィルム。
ここで、熱収縮率は、離型フィルム(これは、離型フィルムから切り出したフィルムサンプルであり得る)を、150℃で30分間加熱したときの熱収縮率である。熱収縮率は、次の式で算出される。
熱収縮率=(ΔL/L)×100
ここで、Lは、加熱前の標点間距離である。ΔLは、加熱による寸法変化量である。ΔLは、加熱前の標点間距離(L)から加熱後の標点間距離(L)を引くことによって求められる。
Item 1
A polyester film;
A release layer is provided on at least one surface of the polyester film,
The release layer has an arithmetic mean roughness Ra of 20 nm or less, and a ten-point mean roughness Rz of 300 nm or less,
The surface free energy of the release layer is 20 dyne/cm to 32 dyne/cm;
The thermal shrinkage rate is 1.5% or less in the longitudinal direction and 0.0% to 0.5% in the transverse direction.
Release film.
Here, the heat shrinkage rate is the heat shrinkage rate when a release film (which may be a film sample cut out from the release film) is heated at 150° C. for 30 minutes. The heat shrinkage rate is calculated by the following formula.
Heat shrinkage rate = (ΔL/L 0 ) x 100
Here, L0 is the gauge length before heating, and ΔL is the amount of dimensional change due to heating. ΔL is calculated by subtracting the gauge length after heating (L) from the gauge length before heating ( L0 ).

項1によれば、離型フィルムがポリエステルフィルムを備えるため、絶縁層(具体的には、多層プリント配線板を製造するための絶縁層)を支持することができる。それに加えて、ポリエステルフィルムのため、剛性や耐熱性が優れている。 According to item 1, since the release film comprises a polyester film, it can support an insulating layer (specifically, an insulating layer for manufacturing a multilayer printed wiring board). In addition, since it is a polyester film, it has excellent rigidity and heat resistance.

しかも、離型フィルムが離型層を備えるため、絶縁層から離型フィルムを容易に剥離することができる。 In addition, since the release film has a release layer, the release film can be easily peeled off from the insulating layer.

そのうえ、離型層の算術平均粗さRaが20nm以下であり、離型層の十点平均粗さRzが300nm以下であるため、絶縁層の表面(具体的には、離型層と接していた表面)が過度に粗くなることを防止でき、その結果、絶縁層上への配線の形成(たとえば微細配線の形成)が可能となる。 Furthermore, since the arithmetic mean roughness Ra of the release layer is 20 nm or less and the ten-point mean roughness Rz of the release layer is 300 nm or less, the surface of the insulating layer (specifically, the surface that was in contact with the release layer) can be prevented from becoming excessively rough, making it possible to form wiring (for example, fine wiring) on the insulating layer.

さらに、離型層の表面自由エネルギーが32dyne/cm以下であるため、離型フィルムを絶縁層から剥離する際の剥離力が過度に強くなることを回避することができる。よって、絶縁層の部分的な残留(具体的には、絶縁層が離型層に部分的に残留すること)や、絶縁層の破れを抑制または低減することができる。 Furthermore, because the surface free energy of the release layer is 32 dyne/cm or less, it is possible to prevent the peeling force from becoming excessively strong when peeling the release film from the insulating layer. This makes it possible to suppress or reduce partial residue of the insulating layer (specifically, partial residue of the insulating layer on the release layer) and breakage of the insulating layer.

さらに、離型層の表面自由エネルギーが20dyne/cm以上であるため、離型層と絶縁層との密着力が過度に低くなることを防止でき、その結果、絶縁層の浮きを抑制することができる。 Furthermore, since the surface free energy of the release layer is 20 dyne/cm or more, it is possible to prevent the adhesion between the release layer and the insulating layer from becoming excessively weak, and as a result, it is possible to suppress the floating of the insulating layer.

さらに、熱収縮率が、幅方向で0.0%以上であるため、絶縁層を熱硬化させる際に離型フィルムの幅方向の熱膨張が実質的に生じず、その結果、絶縁層の浮きを抑制することができる。 Furthermore, since the thermal shrinkage rate is 0.0% or more in the width direction, there is essentially no thermal expansion of the release film in the width direction when the insulating layer is thermally cured, and as a result, lifting of the insulating layer can be suppressed.

さらに、熱収縮率が、長手方向で1.5%以下であり、幅方向で0.5%以下であるため、絶縁層を熱硬化させる際に生じ得る離型フィルムの熱収縮を抑制することができ、その結果、絶縁層の厚みのばらつきを抑えることができる。 Furthermore, since the thermal shrinkage rate is 1.5% or less in the longitudinal direction and 0.5% or less in the width direction, it is possible to suppress the thermal shrinkage of the release film that may occur when the insulating layer is thermally cured, and as a result, it is possible to suppress the variation in the thickness of the insulating layer.

本発明は、下記項2以降の構成をさらに備えることが好ましい。 The present invention preferably further comprises the configurations described in items 2 and onward below.

項2
前記ポリエステルフィルムがポリエチレンナフタレートフィルムである、項1に記載の離型フィルム。
Item 2
Item 2. The release film according to item 1, wherein the polyester film is a polyethylene naphthalate film.

項2によれば、ポリエステルフィルムがポリエチレンナフタレートフィルムであるため、離型フィルムの剛性や耐熱性を高めることができる。その結果、たとえば、穴を形成する目的で離型フィルム越しに絶縁層にレーザーを照射した際の穴形状の均一性を高めることができる。 According to item 2, since the polyester film is a polyethylene naphthalate film, the rigidity and heat resistance of the release film can be increased. As a result, for example, the uniformity of the hole shape can be improved when a laser is irradiated onto the insulating layer through the release film to form a hole.

項3
前記離型層が離型剤を含有し、前記離型剤が長鎖アルキル基含有化合物であり、
前記離型層が硬化されている、
項1または2に記載の離型フィルム。
Item 3
the release layer contains a release agent, the release agent being a compound containing a long-chain alkyl group;
The release layer is cured.
Item 3. The release film according to item 1 or 2.

仮に、離型層が、離型剤としてシリコーン系剥離剤を含有したとすると、絶縁層の表面(具体的には、離型層と接していた表面)にシリコーン系剥離剤が残留するおそれがある。シリコーン系剥離剤の残留は、不具合の原因となり得る。 If the release layer contains a silicone-based release agent as a release agent, the silicone-based release agent may remain on the surface of the insulating layer (specifically, the surface that was in contact with the release layer). Residual silicone-based release agent may cause defects.

これに対して、項3によれば、離型層が、離型剤として、シリコーン系剥離剤ではなく長鎖アルキル基含有化合物を含有するため、絶縁層の表面に、離型層に由来し得たシリコーン系剥離剤が残留するということがない。よって、シリコーン系剥離剤の残留に起因する不具合を回避することができる。 In contrast, according to item 3, the release layer contains a long-chain alkyl group-containing compound as the release agent, rather than a silicone-based release agent, so that the silicone-based release agent that may have originated from the release layer does not remain on the surface of the insulating layer. This makes it possible to avoid problems caused by residual silicone-based release agent.

しかも、離型層が硬化されているため、離型層の耐熱性を高めることができる。 In addition, because the release layer is hardened, the heat resistance of the release layer can be improved.

項4
前記長手方向のヤング率、および前記幅方向のヤング率の合計が11.0GPa以上である、項1~3のいずれかに記載の離型フィルム。
Item 4
Item 4. The release film according to any one of items 1 to 3, wherein the sum of the Young's modulus in the longitudinal direction and the Young's modulus in the width direction is 11.0 GPa or more.

項4によれば、長手方向のヤング率、および幅方向のヤング率の合計が11.0GPa以上であるため、つまり剛性に優れるため、穴を形成する目的で離型フィルム越しに絶縁層にレーザーを照射した際の穴形状の均一性を高めることができる。 According to item 4, the sum of the Young's modulus in the longitudinal direction and the Young's modulus in the width direction is 11.0 GPa or more, i.e., the rigidity is excellent, so the uniformity of the hole shape can be improved when a laser is irradiated onto the insulating layer through a release film to form a hole.

項5
項1~4のいずれかに記載の離型フィルムを製造する方法であって、
前記離型層を形成するための塗工液を前記ポリエステルフィルムに塗る工程と、
前記ポリエステルフィルム上の前記塗工液を、前記ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移点以下の温度で乾燥させる工程とを含む、
離型フィルムの製造方法。
Item 5
A method for producing a release film according to any one of items 1 to 4,
applying a coating liquid for forming the release layer onto the polyester film;
and drying the coating liquid on the polyester film at a temperature equal to or lower than the glass transition point of the polyester resin constituting the polyester film.
A method for producing a release film.

項5によれば、塗工液を、ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移点以下の温度で乾燥させるため、ポリエステルフィルムに加わる熱に起因するしわ(以下、「熱しわ」と言う。)の発生を抑制することができる。よって、離型フィルムの平面性を向上することができる。 According to item 5, the coating liquid is dried at a temperature below the glass transition point of the polyester resin that constitutes the polyester film, so that the occurrence of wrinkles caused by heat applied to the polyester film (hereinafter referred to as "thermal wrinkles") can be suppressed. Therefore, the flatness of the release film can be improved.

項6
前記塗工液を乾燥させる前記工程によって形成された塗膜を光硬化させる工程をさらに含む、項5に記載の離型フィルムの製造方法。
Item 6
Item 6. The method for producing a release film according to item 5, further comprising a step of photocuring the coating film formed by the step of drying the coating liquid.

項6によれば、塗膜を光硬化させるため、熱硬化にくらべて、ポリエステルフィルムに加わる熱を低減することができ、その結果、熱しわの発生をいっそう抑制することができる。よって、離型フィルムの平面性を向上することができる。 According to item 6, since the coating film is photocured, the heat applied to the polyester film can be reduced compared to heat curing, and as a result, the occurrence of thermal wrinkles can be further suppressed. Therefore, the flatness of the release film can be improved.

項7
前記離型フィルムが、多層プリント配線板を製造するための離型フィルムである、項1~6のいずれかに記載の離型フィルム、および/またはその製造方法。
ここで、「多層プリント配線板を製造するための離型フィルム」は、多層プリント配線板を製造するための絶縁層などの部材を支持するための離型フィルムを意味する。
Item 7
Item 7. The release film according to any one of items 1 to 6, wherein the release film is a release film for producing a multilayer printed wiring board, and/or the method for producing the release film.
Here, the term "release film for producing a multilayer printed wiring board" refers to a release film for supporting members such as an insulating layer for producing a multilayer printed wiring board.

項8
前記離型フィルムが、セラミックグリーンシート製造用離型フィルムである、項1~7のいずれかに記載の離型フィルム、および/またはその製造方法。
Item 8
Item 8. The release film according to any one of items 1 to 7, wherein the release film is a release film for producing a ceramic green sheet, and/or the method for producing the release film.

項8によれば、離型フィルム(具体的には、離型フィルムの離型層)に、セラミックグリーンシートを形成するためのセラミックスラリーを塗布し、乾燥する、という手順でセラミックグリーンシートを製造することができる。項8によれば、上述の項1~項7の説明で登場した「絶縁層」を、セラミックグリーンシートまたはセラミックスラリーに読み替えた課題を解決することができる。また、項8によれば、上述の項1~項7の説明で登場した「絶縁層」を、セラミックグリーンシートまたはセラミックスラリーに読み替えた効果を奏することができる。 According to item 8, a ceramic green sheet can be manufactured by applying a ceramic slurry for forming a ceramic green sheet to a release film (specifically, a release layer of the release film) and drying the sheet. According to item 8, the problem of replacing the "insulating layer" in the above description of items 1 to 7 with a ceramic green sheet or ceramic slurry can be solved. Also, according to item 8, the effect of replacing the "insulating layer" in the above description of items 1 to 7 with a ceramic green sheet or ceramic slurry can be achieved.

本発明の離型フィルムによれば、絶縁層の浮きを抑制することができ、しかも、絶縁層から離型フィルムを剥離する際の剥離力が過度に強くなることを回避することができる。 The release film of the present invention can suppress lifting of the insulating layer and also prevent the peeling force from becoming excessively strong when peeling the release film from the insulating layer.

以下、本発明の実施形態について説明する。 The following describes an embodiment of the present invention.

<1.離型フィルム>
本実施形態の離型フィルムは、多層プリント配線板を製造するために好適に使用することができる。具体的には、多層プリント配線板を製造するための絶縁層を支持するための支持フィルムとして好適に使用することができる。より具体的には、本実施形態の離型フィルムは、ビルドアップ法で多層プリント配線板を製造する際に絶縁層を支持するための支持フィルムとして好適に使用することができる。
<1. Release film>
The release film of the present embodiment can be suitably used for producing a multilayer printed wiring board. Specifically, it can be suitably used as a support film for supporting an insulating layer for producing a multilayer printed wiring board. More specifically, the release film of the present embodiment can be suitably used as a support film for supporting an insulating layer when producing a multilayer printed wiring board by a build-up method.

本実施形態の離型フィルムは、ポリエステルフィルムと離型層とを備える。具体的には、本実施形態の離型フィルムは、ポリエステルフィルムと、ポリエステルフィルムの少なくとも一方の面に設けられた離型層とを備える。 The release film of this embodiment includes a polyester film and a release layer. Specifically, the release film of this embodiment includes a polyester film and a release layer provided on at least one surface of the polyester film.

<1.1.ポリエステルフィルム> <1.1. Polyester film>

ポリエステルフィルムはポリエステル樹脂を含有する。ポリエステル樹脂は、多価カルボン酸成分と、ポリアルコール成分とで構成されることができる。つまり、ポリエステル樹脂は、多価カルボン酸とポリアルコールとが脱水縮合した構造を有することができる。なお、これは、ポリエステル樹脂の構造を説明する記載に過ぎず、ポリエステル樹脂の製法を脱水縮合に限定する意図を有さない。なお、多価カルボン酸は、カルボキシ基を複数有する化合物を意味する。ポリアルコールは、アルコール性ヒドロキシ基を複数有する化合物を意味する。 The polyester film contains a polyester resin. The polyester resin can be composed of a polycarboxylic acid component and a polyalcohol component. In other words, the polyester resin can have a structure in which a polycarboxylic acid and a polyalcohol are dehydrated and condensed. Note that this is merely a description of the structure of the polyester resin, and is not intended to limit the manufacturing method of the polyester resin to dehydration and condensation. Note that a polycarboxylic acid refers to a compound having multiple carboxyl groups. A polyalcohol refers to a compound having multiple alcoholic hydroxyl groups.

ポリエステル樹脂は、たとえば、ジカルボン酸成分とジオール成分とで構成されることができる。つまり、ポリエステル樹脂は、ジカルボン酸とジオールとが脱水縮合した構造を有することができる。なお、これは、ポリエステル樹脂の構造を説明する記載に過ぎず、ポリエステル樹脂の製法を脱水縮合に限定する意図を有さない。 The polyester resin can be composed of, for example, a dicarboxylic acid component and a diol component. In other words, the polyester resin can have a structure in which a dicarboxylic acid and a diol are dehydrated and condensed. Note that this is merely a description of the structure of the polyester resin, and is not intended to limit the manufacturing method of the polyester resin to dehydrated and condensed.

ポリエステルフィルムとして、たとえば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルムなどを挙げることができる。なかでも、ポリエチレンナフタレートフィルムが好ましい。ポリエステルフィルムがポリエチレンナフタレートフィルムであると、離型フィルムの剛性や耐熱性を高めることができる。その結果、たとえば、穴を形成する目的で離型フィルム越しに絶縁層にレーザーを照射した際の穴形状の均一性を高めることができる。 Examples of polyester films include polyethylene terephthalate (PET) films and polyethylene naphthalate (PEN) films. Of these, polyethylene naphthalate films are preferred. When the polyester film is a polyethylene naphthalate film, the rigidity and heat resistance of the release film can be increased. As a result, for example, the uniformity of the hole shape can be improved when a laser is irradiated onto the insulating layer through the release film to form a hole.

ポリエチレンナフタレートフィルムを構成するポリマー(具体的にはポリエステル樹脂)の主成分がポリエチレン-2,6-ナフタレートであることが好ましい。「主成分がポリエチレン-2,6-ナフタレートである」は、ポリマー全繰り返し単位の少なくとも90モル%がエチレン-2,6-ナフタレート残基であることを意味する。すなわち、ポリエステル樹脂を構成する全繰り返し単位の90モル%以上がエチレン-2,6-ナフタレート残基であることを意味する。このように、ポリエチレンナフタレートフィルムを構成するポリマーは、最大で10モル%の共重合成分を含んでいてもよい。共重合成分について、ジカルボン酸としては、たとえば、テレフタル酸、イソフタル酸、2,7-ナフタレンジカルボン酸、アジピン酸、セバシン酸などを挙げることができる。なかでもテレフタル酸が好ましい。いっぽう、ジオールとしては、たとえば、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコールなどを挙げることができる。 It is preferable that the main component of the polymer (specifically, polyester resin) constituting the polyethylene naphthalate film is polyethylene-2,6-naphthalate. "The main component is polyethylene-2,6-naphthalate" means that at least 90 mol% of all repeating units of the polymer are ethylene-2,6-naphthalate residues. In other words, it means that 90 mol% or more of all repeating units constituting the polyester resin are ethylene-2,6-naphthalate residues. In this way, the polymer constituting the polyethylene naphthalate film may contain a maximum of 10 mol% of a copolymerization component. Regarding the copolymerization component, examples of dicarboxylic acids include terephthalic acid, isophthalic acid, 2,7-naphthalenedicarboxylic acid, adipic acid, and sebacic acid. Among them, terephthalic acid is preferable. On the other hand, examples of diols include trimethylene glycol, tetramethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, and tetraethylene glycol.

ポリマー全繰り返し単位の95モル%以上がエチレン-2,6-ナフタレート残基であることが好ましい。すなわち、ポリエステル樹脂を構成する全繰り返し単位の95モル%以上がエチレン-2,6-ナフタレート残基であることが好ましい。なぜなら、エチレン-2,6-ナフタレート残基の割合が高いほど、ガラス転移点を高めることができるとともに、離型フィルムの剛性や耐熱性を高めることができるためである。 It is preferable that 95 mol% or more of all repeating units of the polymer are ethylene-2,6-naphthalate residues. In other words, it is preferable that 95 mol% or more of all repeating units constituting the polyester resin are ethylene-2,6-naphthalate residues. This is because the higher the proportion of ethylene-2,6-naphthalate residues, the higher the glass transition point can be, and the higher the rigidity and heat resistance of the release film can be.

ポリマー全繰り返し単位の100モル%がエチレン-2,6-ナフタレート残基であることがより好ましい。つまり、ポリエチレンナフタレートフィルムを構成するポリマーがポリエチレン-2,6-ナフタレートのホモポリマーであることが好ましい。 It is more preferable that 100 mol % of all repeating units of the polymer are ethylene-2,6-naphthalate residues. In other words, it is preferable that the polymer constituting the polyethylene naphthalate film is a homopolymer of polyethylene-2,6-naphthalate.

ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移点は100℃以上が好ましく、105℃以上がより好ましく、110℃以上がさらに好ましく、115℃以上がさらに好ましい。他方、ガラス転移点の上限は、たとえば150℃、140℃、130℃などを挙げることができる。 The glass transition point of the polyester resin constituting the polyester film is preferably 100°C or higher, more preferably 105°C or higher, even more preferably 110°C or higher, and even more preferably 115°C or higher. On the other hand, the upper limit of the glass transition point can be, for example, 150°C, 140°C, or 130°C.

ポリエステルフィルムは不活性粒子を含有することが好ましい。ポリエステルフィルムが不活性粒子を含有することによって、工程内でのハンドリング性や、巻取り性を向上することができる。 It is preferable that the polyester film contains inactive particles. By containing inactive particles in the polyester film, it is possible to improve the handling properties and winding properties during the process.

不活性粒子としては、たとえば、シリカ、アルミナ、カオリン、炭酸カルシウム、酸化チタン、硫酸バリウム、カーボンブラックなどの無機粒子を挙げることができ、架橋アクリル樹脂、架橋ポリスチレン樹脂、メラミン樹脂、架橋シリコーン樹脂などの有機粒子を挙げることもできる。なかでも、球状シリカ粒子、多孔質シリカ粒子が好ましい。 Examples of inactive particles include inorganic particles such as silica, alumina, kaolin, calcium carbonate, titanium oxide, barium sulfate, and carbon black, and organic particles such as cross-linked acrylic resin, cross-linked polystyrene resin, melamine resin, and cross-linked silicone resin. Of these, spherical silica particles and porous silica particles are preferred.

球状シリカ粒子としては、長径を短径で割った比(すなわち、長径/短径)が1.0~1.2であり、かつ、平均粒径が0.05μm~5μmであるものが好ましい。平均粒径は、0.1μm以上が好ましく、0.3μm以上がより好ましい。他方、平均粒径は、3μm以下が好ましく、2μm以下がより好ましく、1μm以下がさらに好ましい。球状シリカ粒子は、たとえば、オルトケイ酸エチル[Si(OC]の加水分解から含水シリカ[Si(OH)]単分散球をつくり、この単分散球を脱水化処理してシリカ結合[Si-O-Si]を三次元的に成長させることで製造できることが、日本化学会誌(’81,No.9,1503頁)に記載されている。 The spherical silica particles preferably have a ratio of the major axis divided by the minor axis (i.e., major axis/minor axis) of 1.0 to 1.2 and an average particle size of 0.05 μm to 5 μm. The average particle size is preferably 0.1 μm or more, more preferably 0.3 μm or more. On the other hand, the average particle size is preferably 3 μm or less, more preferably 2 μm or less, and even more preferably 1 μm or less. It is described in the Journal of the Chemical Society of Japan ('81, No. 9, p. 1503) that spherical silica particles can be produced, for example, by hydrolyzing ethyl orthosilicate [Si(OC 2 H 5 ) 4 ] to produce monodispersed spheres of hydrated silica [Si(OH) 4 ], and then dehydrating the monodispersed spheres to grow silica bonds [Si-O-Si] three-dimensionally.

多孔質シリカ粒子は、一次粒子の凝集体の形態をとる凝集粒子である。多孔質シリカ粒子の平均粒径、具体的には凝集粒子としての平均粒径は、0.1μm~5μmが好ましく、0.3μm~3μmがより好ましい。多孔質シリカ粒子を構成する一次粒子の平均粒径は0.005μm~0.1μmが好ましい。一次粒子の平均粒径が0.005μm以上であると、スラリー段階での多孔質シリカ粒子の解砕を低減できるので、再凝集(具体的には、解砕後の再凝集)を抑制できる。一次粒子の平均粒径が0.1μm以下であると、多孔質シリカ粒子の多孔質性が優れるため、ポリマーとの親和性に優れる。その結果、ボイドを低減することができるので、ボイドに起因したポリエステルフィルムの透明性の低下を抑制することができる。これに加えて、スラリー段階での多孔質シリカ粒子の解砕を低減できるので、再凝集(具体的には、解砕後の再凝集)を抑制できる。ところで、多孔質シリカ粒子の細孔容積は、0.5ml/g~2.0ml/gが好ましく、0.6ml/g~1.8ml/gがより好ましい。0.5ml/g以上であると、多孔質シリカ粒子の多孔質性が優れるため、ポリマー(すなわちポリエステル樹脂)との親和性に優れる。その結果、ボイドを低減することができるので、ボイドに起因したポリエステルフィルムの透明性の低下を抑制することができる。2.0ml/g以下であると、多孔質シリカ粒子の解砕を低減できるので、再凝集(具体的には、解砕後の再凝集)を抑制できる。その結果、多孔質シリカ粒子の大きさのばらつきが過度に大きくなることを防止できる。 Porous silica particles are aggregated particles in the form of aggregates of primary particles. The average particle size of the porous silica particles, specifically the average particle size as aggregated particles, is preferably 0.1 μm to 5 μm, more preferably 0.3 μm to 3 μm. The average particle size of the primary particles constituting the porous silica particles is preferably 0.005 μm to 0.1 μm. If the average particle size of the primary particles is 0.005 μm or more, the disintegration of the porous silica particles at the slurry stage can be reduced, so that reagglomeration (specifically, reagglomeration after disintegration) can be suppressed. If the average particle size of the primary particles is 0.1 μm or less, the porous silica particles have excellent porosity and therefore excellent affinity with polymers. As a result, voids can be reduced, so that the decrease in transparency of the polyester film caused by voids can be suppressed. In addition, the disintegration of the porous silica particles at the slurry stage can be reduced, so that reagglomeration (specifically, reagglomeration after disintegration) can be suppressed. The pore volume of the porous silica particles is preferably 0.5 ml/g to 2.0 ml/g, and more preferably 0.6 ml/g to 1.8 ml/g. If the pore volume is 0.5 ml/g or more, the porous silica particles have excellent porosity and therefore excellent affinity with the polymer (i.e., polyester resin). As a result, voids can be reduced, and the decrease in transparency of the polyester film caused by voids can be suppressed. If the pore volume is 2.0 ml/g or less, the disintegration of the porous silica particles can be reduced, and reagglomeration (specifically, reagglomeration after disintegration) can be suppressed. As a result, the variation in size of the porous silica particles can be prevented from becoming excessively large.

不活性粒子の含有量は、ポリエステルフィルムを100質量%としたとき(すなわち、ポリエステルフィルムを構成する組成物を100質量%としたとき)、0.005質量%以上が好ましく、0.05質量%以上がより好ましく、0.1質量%以上がさらに好ましい。不活性粒子の含有量は、ポリエステルフィルムを100質量%としたとき、5質量%以下が好ましく、2質量%以下がより好ましく、1質量%以下がさらに好ましい。 The content of the inactive particles is preferably 0.005% by mass or more, more preferably 0.05% by mass or more, and even more preferably 0.1% by mass or more, when the polyester film is taken as 100% by mass (i.e., when the composition constituting the polyester film is taken as 100% by mass). The content of the inactive particles is preferably 5% by mass or less, more preferably 2% by mass or less, and even more preferably 1% by mass or less, when the polyester film is taken as 100% by mass.

ポリエステルフィルムは、ほかの添加剤を含有していてもよい。添加剤としては、たとえば、安定剤、紫外線吸収剤、難燃剤、帯電防止剤、染料または顔料などを挙げることができる。 The polyester film may contain other additives, such as stabilizers, UV absorbers, flame retardants, antistatic agents, dyes or pigments.

ポリエステルフィルムには表面処理が施されていてもよい。表面処理としては、たとえばコロナ放電処理を挙げることができる。もちろん、ポリエステルフィルムには表面処理が施されていなくてもよい。 The polyester film may be surface-treated. An example of the surface treatment is corona discharge treatment. Of course, the polyester film does not have to be surface-treated.

ポリエステルフィルムの厚みは、3μm以上が好ましく、5μm以上がより好ましく、10μm以上がさらに好ましい。ポリエステルフィルムの厚みは、250μm以下が好ましく、100μm以下がより好ましく、50μm以下がさらに好ましい。なお、ポリエステルフィルムは、単層構成であってもよく、複層構成であってもよい。 The thickness of the polyester film is preferably 3 μm or more, more preferably 5 μm or more, and even more preferably 10 μm or more. The thickness of the polyester film is preferably 250 μm or less, more preferably 100 μm or less, and even more preferably 50 μm or less. The polyester film may have a single layer structure or a multilayer structure.

ポリエステルフィルムは二軸延伸ポリエステルフィルムであることが好ましい。このようなポリエステルフィルムは、たとえば、ポリマーを冷却したうえで粒状(たとえばペレット状)にし、これを乾燥した後に押出機に供給し、ダイからシートを溶融押出しし、次いで、このシートを回転冷却ドラムで急冷し、二軸延伸し、熱固定するという手順で作製することができる。二軸延伸は、縦横同時二軸延伸であってもよく、逐次二軸延伸であってもよい。なかでも、逐次二軸延伸が好ましい。逐次二軸延伸では、たとえば、回転冷却ドラムを経たシートを、縦方向すなわちMachine Direction(以下、「MD」と言う。)方向に延伸し、MD方向延伸後のシートを、横方向すなわちTransverse Direction(以下、「TD」と言う。)方向に延伸することが好ましい。必要に応じて、熱弛緩処理を施してもよい。熱弛緩処理によって、離型フィルムの加熱寸法変化を低減することができる。なお、必要に応じて、逐次二軸延伸後に、縦方向または横方向のいずれか、または両方向に再延伸してもよい。 The polyester film is preferably a biaxially stretched polyester film. Such a polyester film can be produced, for example, by cooling the polymer, forming it into granules (e.g., pellets), drying it, feeding it to an extruder, melt-extruding a sheet from a die, then quenching the sheet with a rotating cooling drum, biaxially stretching it, and heat fixing it. The biaxial stretching may be simultaneous longitudinal and transverse biaxial stretching, or may be sequential biaxial stretching. Of these, sequential biaxial stretching is preferred. In sequential biaxial stretching, for example, it is preferred to stretch a sheet that has passed through a rotating cooling drum in the longitudinal direction, i.e., the Machine Direction (hereinafter referred to as "MD") direction, and stretch the sheet after MD stretching in the transverse direction, i.e., the Transverse Direction (hereinafter referred to as "TD") direction. If necessary, a heat relaxation treatment may be performed. The heat relaxation treatment can reduce the dimensional change of the release film due to heating. If necessary, after sequential biaxial stretching, the film may be stretched again in either the longitudinal direction or the transverse direction, or in both directions.

好ましい延伸条件(たとえば延伸温度、延伸倍率)は次の通りある。延伸温度について、第1段目の延伸温度(たとえば縦方向の延伸温度。以下、「T1」と言う。)は、(Tg-10)℃~(Tg+45)℃であり、第2段目の延伸温度(たとえば横方向の延伸温度。以下、「T2」と言う。)が、(T1-15)℃~(T1+40)℃であることが好ましい。Tgは、ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移点である。延伸倍率については、一軸方向(すなわち、縦方向または横方向のどちらか一方)における延伸倍率が、2.5倍以上が好ましく、3倍~5倍がより好ましい。面積倍率は、8倍以上が好ましく、10倍~16倍がより好ましい。熱固定温度は、180℃~250℃であることが好ましく、230℃~250℃であることがより好ましい。 Preferred stretching conditions (e.g. stretching temperature, stretching ratio) are as follows. Regarding the stretching temperature, the first-stage stretching temperature (e.g., the longitudinal stretching temperature, hereinafter referred to as "T1") is preferably (Tg-10)°C to (Tg+45)°C, and the second-stage stretching temperature (e.g., the transverse stretching temperature, hereinafter referred to as "T2") is preferably (T1-15)°C to (T1+40)°C. Tg is the glass transition point of the polyester resin constituting the polyester film. Regarding the stretching ratio, the stretching ratio in one axial direction (i.e., either the longitudinal or transverse direction) is preferably 2.5 times or more, more preferably 3 times to 5 times. The area ratio is preferably 8 times or more, more preferably 10 times to 16 times. The heat setting temperature is preferably 180°C to 250°C, more preferably 230°C to 250°C.

<1.2.離型層>
離型層は、硬化性樹脂を含有する組成物を硬化した層であることが好ましい。硬化性樹脂としては、たとえば、フッ素樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、アクリル樹脂などを挙げることができる。なかでも、メラミン樹脂、アクリル樹脂が好ましく、アクリル樹脂がより好ましい。
<1.2. Release layer>
The release layer is preferably a layer obtained by curing a composition containing a curable resin. Examples of the curable resin include fluororesin, epoxy resin, melamine resin, alkyd resin, and acrylic resin. Among them, melamine resin and acrylic resin are preferable, and acrylic resin is more preferable.

硬化性樹脂は、たとえば、光硬化性樹脂(たとえば紫外線硬化性樹脂)であってもよく、熱硬化性樹脂であってもよい。これらの例として、たとえば、光硬化性アクリル樹脂、熱硬化性メラミン樹脂などを挙げることができる。 The curable resin may be, for example, a photocurable resin (e.g., an ultraviolet-curable resin) or a thermosetting resin. Examples of such a resin include a photocurable acrylic resin and a thermosetting melamine resin.

硬化性樹脂としては光硬化性樹脂が好ましい。光硬化性アクリル樹脂がより好ましく、紫外線硬化性アクリル樹脂がさらに好ましい。 As the curable resin, a photocurable resin is preferable. A photocurable acrylic resin is more preferable, and an ultraviolet-curable acrylic resin is even more preferable.

すなわち、離型層は、光硬化性樹脂を含有する組成物を硬化した層であることが好ましい。つまり、離型層は光硬化されていることが好ましい。離型層が光硬化されていると、離型層の耐熱性を高めることができる。これに加えて、離型層が光硬化されていると、離型フィルムの平面性を向上することができる。これについて説明する。離型層が光硬化されている、という構成によれば、離型層を形成する際に、離型層を、ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移点以下の温度で硬化することが可能である。その場合(具体的には、ポリエステル樹脂のガラス転移点以下の温度で離型層を硬化する場合)には、ポリエステルフィルムに加わる熱に起因するしわ(すなわち、熱しわ)の発生を抑制することができる。よって、離型フィルムの平面性を向上することができる。なお、離型層は紫外線硬化されていることがより好ましい。 That is, the release layer is preferably a layer obtained by curing a composition containing a photocurable resin. That is, the release layer is preferably photocured. When the release layer is photocured, the heat resistance of the release layer can be increased. In addition, when the release layer is photocured, the flatness of the release film can be improved. This will be explained. According to the configuration in which the release layer is photocured, when the release layer is formed, it is possible to cure the release layer at a temperature below the glass transition point of the polyester resin constituting the polyester film. In that case (specifically, when the release layer is cured at a temperature below the glass transition point of the polyester resin), it is possible to suppress the occurrence of wrinkles (i.e., heat wrinkles) caused by heat applied to the polyester film. Therefore, the flatness of the release film can be improved. It is more preferable that the release layer is UV cured.

離型層は離型剤を含有することが好ましい。すなわち、上述の組成物(具体的には、硬化性樹脂を含有する組成物)は離型剤を含有することが好ましい。離型剤としては、たとえば、長鎖アルキル系離型剤、シリコーン系剥離剤などを挙げることができる。なかでも長鎖アルキル系離型剤が好ましい。すなわち、離型層は、離型剤として長鎖アルキル基含有化合物を含有することが好ましい。離型層が、離型剤として、シリコーン系剥離剤ではなく長鎖アルキル基含有化合物を含有すると、絶縁層の表面に、離型層に由来し得たシリコーン系剥離剤が残留するということがない。よって、シリコーン系剥離剤の残留に起因する不具合を回避することができる。 It is preferable that the release layer contains a release agent. That is, it is preferable that the above-mentioned composition (specifically, the composition containing the curable resin) contains a release agent. Examples of the release agent include long-chain alkyl release agents and silicone-based release agents. Among them, long-chain alkyl release agents are preferable. That is, it is preferable that the release layer contains a long-chain alkyl group-containing compound as a release agent. When the release layer contains a long-chain alkyl group-containing compound as a release agent instead of a silicone-based release agent, the silicone-based release agent derived from the release layer does not remain on the surface of the insulating layer. Therefore, it is possible to avoid problems caused by the remaining silicone-based release agent.

長鎖アルキル基含有化合物について、長鎖アルキル基は、炭素数8以上のアルキル基であることが好ましい。炭素数は10以上であってもよく、12以上であってもよい。長鎖アルキル基は、炭素数30以下のアルキル基であることが好ましい。炭素数は28以下であってもよく、26以下であってもよい。なお、長鎖アルキル基含有化合物は、長鎖アルキル基を側鎖に有することが好ましい。 For the long-chain alkyl group-containing compound, the long-chain alkyl group is preferably an alkyl group having 8 or more carbon atoms. The number of carbon atoms may be 10 or more, or 12 or more. The long-chain alkyl group is preferably an alkyl group having 30 or less carbon atoms. The number of carbon atoms may be 28 or less, or 26 or less. It is preferable that the long-chain alkyl group-containing compound has a long-chain alkyl group on the side chain.

長鎖アルキル基含有化合物としては、たとえば、長鎖アルキル基含有ポリビニル樹脂、長鎖アルキル基含有アルキド樹脂、長鎖アルキル基含有アクリル樹脂、長鎖アルキル基含有ポリエステル樹脂などを挙げることができる。なかでも、長鎖アルキル基含有ポリビニル樹脂が好ましい。 Examples of compounds containing long-chain alkyl groups include polyvinyl resins containing long-chain alkyl groups, alkyd resins containing long-chain alkyl groups, acrylic resins containing long-chain alkyl groups, and polyester resins containing long-chain alkyl groups. Among these, polyvinyl resins containing long-chain alkyl groups are preferred.

離型層は添加剤を含有していてもよい。すなわち、上述の組成物(具体的には、硬化性樹脂を含有する組成物)は添加剤を含有していてもよい。添加剤としては、たとえば光重合開始剤、不活性粒子を挙げることができる。 The release layer may contain an additive. That is, the above-mentioned composition (specifically, the composition containing the curable resin) may contain an additive. Examples of additives include a photopolymerization initiator and inactive particles.

離型層は、添加剤として不活性粒子を含有していてもよい。すなわち、上述の組成物(具体的には、硬化性樹脂を含有する組成物)が不活性粒子を含有していてもよい。離型層が不活性粒子を含有することによって、離型フィルムのハンドリング性や、巻取り性を向上することができる。不活性粒子としては、たとえば、シリカ、アルミナ、カオリン、炭酸カルシウム、酸化チタン、硫酸バリウム、カーボンブラックなどの無機粒子を挙げることができ、架橋アクリル樹脂、架橋ポリスチレン樹脂、メラミン樹脂、架橋シリコーン樹脂などの有機粒子を挙げることもできる。なかでも、シリカ粒子が好ましい。後述の表面粗さ範囲(具体的には、算術平均粗さRa20nm以下、かつ十点平均粗さRz300nm以下)を考慮すると、不活性粒子としては微細なものが好ましい。具体的には、粒径50nm以下のものが好ましい。 The release layer may contain inactive particles as an additive. That is, the above-mentioned composition (specifically, the composition containing the curable resin) may contain inactive particles. By containing inactive particles in the release layer, the handling property and winding property of the release film can be improved. Examples of inactive particles include inorganic particles such as silica, alumina, kaolin, calcium carbonate, titanium oxide, barium sulfate, and carbon black, and organic particles such as crosslinked acrylic resin, crosslinked polystyrene resin, melamine resin, and crosslinked silicone resin. Among them, silica particles are preferable. Considering the surface roughness range described later (specifically, arithmetic mean roughness Ra 20 nm or less and ten-point mean roughness Rz 300 nm or less), fine inactive particles are preferable. Specifically, particles with a particle size of 50 nm or less are preferable.

離型層の算術平均粗さRaは20nm以下であり、離型層の十点平均粗さRzは300nm以下である。これによって、絶縁層の表面(具体的には、離型層と接していた表面)が過度に粗くなることを防止でき、その結果、絶縁層上への配線の形成(たとえば微細配線の形成)が可能となる。算術平均粗さRaは、15nm以下が好ましく、10nm以下がより好ましい。他方、十点平均粗さRzは、250nm以下が好ましく、150nm以下がより好ましい。これらの下限値は適宜設定できる。たとえば算術平均粗さRaは、1nm以上であってもよく、3nm以上であってもよく、5nm以上であってもよい。他方、十点平均粗さRzは、30nm以上であってもよく、50nm以上であってもよく、75nm以上であってもよい。算術平均粗さRaや十点平均粗さRzは、たとえば、ポリエステルフィルムに添加され得る粒子(たとえば不活性粒子)の大きさや、離型層の厚みによって調製することができる。算術平均粗さRaや十点平均粗さRzは、実施例に記載の方法で測定され、算出される値である。 The arithmetic mean roughness Ra of the release layer is 20 nm or less, and the ten-point mean roughness Rz of the release layer is 300 nm or less. This prevents the surface of the insulating layer (specifically, the surface that was in contact with the release layer) from becoming excessively rough, and as a result, it becomes possible to form wiring (for example, fine wiring) on the insulating layer. The arithmetic mean roughness Ra is preferably 15 nm or less, more preferably 10 nm or less. On the other hand, the ten-point mean roughness Rz is preferably 250 nm or less, more preferably 150 nm or less. These lower limits can be set appropriately. For example, the arithmetic mean roughness Ra may be 1 nm or more, 3 nm or more, or 5 nm or more. On the other hand, the ten-point mean roughness Rz may be 30 nm or more, 50 nm or more, or 75 nm or more. The arithmetic mean roughness Ra and the ten-point mean roughness Rz can be adjusted, for example, by the size of particles (for example, inactive particles) that can be added to the polyester film and the thickness of the release layer. The arithmetic mean roughness Ra and the ten-point mean roughness Rz are values measured and calculated using the method described in the Examples.

離型層の表面自由エネルギーは20dyne/cm~32dyne/cmである。32dyne/cm以下であるため、離型フィルムを絶縁層から剥離する際の剥離力が過度に強くなることを回避することができる。よって、絶縁層の部分的な残留(具体的には、絶縁層が離型層に部分的に残留すること)や、絶縁層の破れを抑制または低減することができる。20dyne/cm以上であるため、離型層と絶縁層との密着力が過度に低くなることを防止でき、その結果、絶縁層の浮きを抑制することができる。表面自由エネルギーは22dyne/cm以上が好ましく、24dyne/cm以上がより好ましい。表面自由エネルギーは、実施例に記載の方法で測定され、算出される値である。 The surface free energy of the release layer is 20 dyne/cm to 32 dyne/cm. Because it is 32 dyne/cm or less, it is possible to prevent the peeling force when peeling the release film from the insulating layer from becoming excessively strong. Therefore, it is possible to suppress or reduce partial residue of the insulating layer (specifically, partial residue of the insulating layer on the release layer) and tearing of the insulating layer. Because it is 20 dyne/cm or more, it is possible to prevent the adhesion force between the release layer and the insulating layer from becoming excessively low, and as a result, it is possible to suppress lifting of the insulating layer. The surface free energy is preferably 22 dyne/cm or more, and more preferably 24 dyne/cm or more. The surface free energy is a value measured and calculated by the method described in the examples.

離型層の厚みは、0.1μm以上が好ましく、0.3μm以上がより好ましく、0.5μm以上がさらに好ましい。離型層の厚みは、10μm以下が好ましく、5μm以下がより好ましく、3μm以下がさらに好ましく、2μm以下がさらに好ましい。 The thickness of the release layer is preferably 0.1 μm or more, more preferably 0.3 μm or more, and even more preferably 0.5 μm or more. The thickness of the release layer is preferably 10 μm or less, more preferably 5 μm or less, even more preferably 3 μm or less, and even more preferably 2 μm or less.

<1.3.離型フィルムの特性>
本実施形態の離型フィルムは、熱収縮率が、長手方向で1.5%以下であり、幅方向で0.5%以下である。これによって、絶縁層を熱硬化させる際に生じ得る離型フィルムの熱収縮を抑制することができ、その結果、絶縁層の厚みのばらつきを抑えることができる。なお、離型フィルムの長手方向の長さは、幅方向の長さよりも大きい。長手方向は、Machine Direction(MD)方向と言い換えることができる。いっぽう、幅方向は、Transverse Direction(TD)方向と言い換えることができる。
1.3. Characteristics of release film
The release film of this embodiment has a thermal shrinkage rate of 1.5% or less in the longitudinal direction and 0.5% or less in the width direction. This makes it possible to suppress the thermal shrinkage of the release film that may occur when the insulating layer is thermally cured, and as a result, it is possible to suppress the variation in the thickness of the insulating layer. The length of the release film in the longitudinal direction is greater than the length in the width direction. The longitudinal direction can be rephrased as the Machine Direction (MD) direction. On the other hand, the width direction can be rephrased as the Transverse Direction (TD) direction.

本実施形態の離型フィルムは、熱収縮率が、幅方向で0.0%以上である。これによって、絶縁層を熱硬化させる際に離型フィルムの幅方向の熱膨張が実質的に生じず、その結果、絶縁層の浮きを抑制することができる。 The release film of this embodiment has a thermal shrinkage rate of 0.0% or more in the width direction. This means that there is essentially no thermal expansion of the release film in the width direction when the insulating layer is thermally cured, and as a result, lifting of the insulating layer can be suppressed.

本実施形態の離型フィルムは、長手方向のヤング率、および幅方向のヤング率の合計が11.0GPa以上であることが好ましく、11.5GPa以上であることがより好ましい。この合計が11.0GPa以上であると、剛性に優れるため、穴を形成する目的で離型フィルム越しに絶縁層にレーザーを照射した際の穴形状の均一性を高めることができる。この合計は、たとえば13.0GPa以下であってもよい。 In the release film of this embodiment, the sum of the Young's modulus in the longitudinal direction and the Young's modulus in the width direction is preferably 11.0 GPa or more, and more preferably 11.5 GPa or more. When this sum is 11.0 GPa or more, the rigidity is excellent, and the uniformity of the hole shape can be improved when a laser is irradiated to the insulating layer through the release film to form a hole. This sum may be, for example, 13.0 GPa or less.

本実施形態の離型フィルムの離型層に粘着テープ(日東電工社製の「31Bテープ」)を貼り合わせ、剥離角度180°、剥離速度300mm/分で離型フィルムから粘着テープを剥離した際の剥離強度は、3.0N/25mm幅以下が好ましい。3.0N/25mm幅以下であると、絶縁層に対する密着力が過度に大きくならないため、絶縁層の部分的な残留(具体的には、絶縁層が離型層に部分的に残留すること)や、絶縁層の破れを抑制することができる。 When an adhesive tape ("31B tape" manufactured by Nitto Denko Corporation) is attached to the release layer of the release film of this embodiment and the adhesive tape is peeled off from the release film at a peel angle of 180° and a peel speed of 300 mm/min, the peel strength is preferably 3.0 N/25 mm width or less. If it is 3.0 N/25 mm width or less, the adhesive force to the insulating layer does not become excessively large, so partial residue of the insulating layer (specifically, partial residue of the insulating layer on the release layer) and tearing of the insulating layer can be suppressed.

離型フィルムの厚みを100%としたとき、離型層の厚みは10%以下が好ましく、8%以下がより好ましく、6%以下がより好ましく、5%以下がさらに好ましい。離型層の厚みは1%以上が好ましく、1.5%以上がより好ましい。 When the thickness of the release film is taken as 100%, the thickness of the release layer is preferably 10% or less, more preferably 8% or less, more preferably 6% or less, and even more preferably 5% or less. The thickness of the release layer is preferably 1% or more, and more preferably 1.5% or more.

本実施形態の離型フィルムの厚みは、3μm以上が好ましく、5μm以上がより好ましく、10μm以上がさらに好ましい。離型フィルムの厚みは、250μm以下が好ましく、100μm以下がより好ましく、50μm以下がさらに好ましい。 The thickness of the release film in this embodiment is preferably 3 μm or more, more preferably 5 μm or more, and even more preferably 10 μm or more. The thickness of the release film is preferably 250 μm or less, more preferably 100 μm or less, and even more preferably 50 μm or less.

<2.離型フィルムの製造方法>
本実施形態の離型フィルムの製造方法は、離型層を形成するための塗工液をポリエステルフィルムに塗る工程(以下、「工程A」と言う。)と、ポリエステルフィルム上の塗工液を、ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移点以下の温度で乾燥させる工程(以下、「工程B」と言う。)と、工程Bによって形成された塗膜を光硬化させる工程(以下、「工程C」と言う。)とを含む。
2. Method for producing release film
The method for producing a release film of this embodiment includes a step of applying a coating liquid for forming a release layer to a polyester film (hereinafter referred to as "step A"), a step of drying the coating liquid on the polyester film at a temperature below the glass transition point of the polyester resin constituting the polyester film (hereinafter referred to as "step B"), and a step of photocuring the coating film formed by step B (hereinafter referred to as "step C").

工程Aでは、ポリエステルフィルムに塗工液を塗る。塗工液は、離型層の含有可能成分(たとえば、上述した硬化性樹脂や離型剤)に加えて、たとえば溶剤などを含むことができる。溶剤として、たとえば、炭化水素系溶剤や水などを挙げることができる。塗工方法としては、たとえば、ブレードコート法、バーコーター法、グラビアコーター法またはリバースグラビアコーター法などを挙げることができる。 In step A, a coating liquid is applied to the polyester film. The coating liquid may contain, for example, a solvent in addition to the components that may be contained in the release layer (for example, the above-mentioned curable resin and release agent). Examples of the solvent include a hydrocarbon solvent and water. Examples of the coating method include a blade coat method, a bar coater method, a gravure coater method, and a reverse gravure coater method.

工程Bでは、ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移点以下の温度(以下、「乾燥温度」と言う。)で塗工液を乾燥させる。乾燥温度は、たとえば、(Tg-5)℃以下が好ましく、(Tg-10)℃以下がより好ましく、(Tg-15)℃以下がさらに好ましい。仮に、乾燥温度がTgを超えたとすると、ポリエステルフィルムが幅方向に収縮するため、長手方向に延びるしわ(つまり熱しわ)が発生し、その結果、絶縁層の厚みのばらつきが過度に大きくなる。これに対して、工程Bでは、塗工液を、ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移点以下の温度で乾燥させるため、熱しわの発生を抑制することができる。よって、離型フィルムの平面性を向上することができる。 In step B, the coating liquid is dried at a temperature (hereinafter referred to as the "drying temperature") below the glass transition point of the polyester resin constituting the polyester film. For example, the drying temperature is preferably (Tg-5)°C or lower, more preferably (Tg-10)°C or lower, and even more preferably (Tg-15)°C or lower. If the drying temperature exceeds Tg, the polyester film will shrink in the width direction, causing wrinkles (i.e., thermal wrinkles) extending in the longitudinal direction, resulting in excessively large variations in the thickness of the insulating layer. In contrast, in step B, the coating liquid is dried at a temperature below the glass transition point of the polyester resin constituting the polyester film, so the occurrence of thermal wrinkles can be suppressed. This can improve the flatness of the release film.

工程Bでは、ポリエステルフィルムに張力をかけた状態で塗工液を乾燥させることが好ましい。この張力は適宜設定できる。この張力が過度に大きいと、離型フィルムの熱収縮率が、幅方向で0.0%未満(つまりマイナス)になる傾向がある。 In step B, it is preferable to dry the coating liquid while applying tension to the polyester film. This tension can be set appropriately. If this tension is excessively high, the thermal shrinkage of the release film tends to be less than 0.0% (i.e., negative) in the width direction.

工程Cでは、工程Bによって形成された塗膜を光硬化させる。これによって、熱硬化にくらべて、ポリエステルフィルムに加わる熱を低減することができ、その結果、熱しわの発生を抑制することができる。よって、離型フィルムの平面性を向上することができる。工程Cでは、ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移点以下の温度で塗膜を硬化させることが好ましい。塗膜は紫外線硬化させることが好ましい。 In step C, the coating film formed in step B is photocured. This allows the amount of heat applied to the polyester film to be reduced compared to heat curing, and as a result, the occurrence of thermal wrinkles can be suppressed. This improves the flatness of the release film. In step C, it is preferable to cure the coating film at a temperature below the glass transition point of the polyester resin that constitutes the polyester film. It is preferable to cure the coating film with ultraviolet light.

このような手順で、塗膜の硬化物、すなわち離型層をポリエステルフィルム上に形成することができる。 By following this procedure, a cured coating, i.e., a release layer, can be formed on the polyester film.

<3.上述の実施形態には種々の変更を加えることができる>
上述の実施形態には、種々の変更を加えることができる。たとえば、以下の変形例から、一つまたは複数を選択して、上述の実施形態に変更を加えることができる。
3. Various modifications can be made to the above-described embodiment.
The above-described embodiment may be modified in various ways. For example, the above-described embodiment may be modified by selecting one or more of the following modifications.

上述の実施形態では、離型フィルムに絶縁層が積層された状態で絶縁層を熱硬化する、という構成を説明した。しかしながら、上述の実施形態は、この構成に限定されない。 In the above-described embodiment, a configuration has been described in which the insulating layer is thermally cured while being laminated on a release film. However, the above-described embodiment is not limited to this configuration.

上述の実施形態では、絶縁層に穴を形成するために、離型フィルム越しに絶縁層にレーザーを照射する、という構成を説明した。しかしながら、上述の実施形態は、この構成に限定されない。 In the above-described embodiment, a configuration has been described in which a laser is irradiated onto the insulating layer through a release film to form holes in the insulating layer. However, the above-described embodiment is not limited to this configuration.

上述の実施形態では、離型フィルムを、ビルドアップ法で多層プリント配線板を製造する際に絶縁層を支持するための支持フィルムとして使用する、という構成を説明した。しかしながら、上述の実施形態は、この構成に限定されない。たとえば、離型フィルムを、セラミックグリーンシートの製造のために使用してもよい。この目的で離型フィルムを使用する場合、離型フィルムの離型層に、セラミックグリーンシートを形成するためのセラミックスラリーを塗布し、乾燥する、という手順でセラミックグリーンシートを製造することができる。 In the above embodiment, a configuration has been described in which the release film is used as a support film for supporting an insulating layer when manufacturing a multilayer printed wiring board by a build-up method. However, the above embodiment is not limited to this configuration. For example, the release film may be used for manufacturing a ceramic green sheet. When using a release film for this purpose, a ceramic green sheet can be manufactured by applying a ceramic slurry for forming a ceramic green sheet to the release layer of the release film and drying it.

以下、実施例により本発明を詳述するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものではない。なお、実施例中の部および%は、特に断らない限り、それぞれ質量部および質量%を意味する。 The present invention will be described in detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. Note that parts and percentages in the examples refer to parts by mass and percentages by mass, respectively, unless otherwise specified.

<各特性の測定方法>
(1)表面自由エネルギー
離型フィルムから切り出したフィルムサンプルを、23℃、65%RHの条件下で、24時間調湿した。このフィルムサンプルの離型層の表面について、自動接触角測定装置(協和界面科学社製のDMo-501)を使用して、表面自由エネルギー成分が既知の液体試料3種、具体的には、水、エチレングリコール、ヨウ化メチレンの静的接触角を測定した。この測定は、液体試料それぞれについて5回ずつおこなった。その平均値を接触角とした。そのうえで、各液体試料の表面張力および表面張力成分値(表1参照)を用いて、下記式1のFowkesの拡張式より離型層表面の表面自由エネルギーを算出した。
γ=γ +γ +γ h・・・(式1)
式1中、γ は分散成分、γ は極性成分、γ は水素結合成分を表す。
<Method of measuring each characteristic>
(1) Surface Free Energy A film sample cut out from a release film was conditioned for 24 hours under conditions of 23°C and 65% RH. For the surface of the release layer of this film sample, an automatic contact angle measuring device (DMo-501 manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) was used to measure the static contact angles of three liquid samples with known surface free energy components, specifically, water, ethylene glycol, and methylene iodide. This measurement was performed five times for each liquid sample. The average value was taken as the contact angle. Then, using the surface tension and surface tension component values of each liquid sample (see Table 1), the surface free energy of the release layer surface was calculated from the Fowkes' extended formula of the following formula 1.
γ S = γ S d + γ S p + γ S h ... (Formula 1)
In formula 1, γ S d represents a dispersion component, γ S p represents a polar component, and γ S h represents a hydrogen bond component.

(2)熱収縮率
離型フィルムから切り出した30cm四方のフィルムサンプルに、長手方向(具体的には、離型フィルムの長手方向)および幅方向(具体的には、離型フィルムの幅方向)それぞれに二つの標点をつけた。このフィルムサンプルをギヤオーブン内に吊り下げ、150℃で30分間加熱した。これを、室温(具体的には23℃)に戻した後に標点間距離を測定した。各方向について、加熱前の標点間距離(L)から加熱後の標点間距離(L)を引くことによって、加熱による寸法変化量(ΔL)を求めた。次いで、式2にしたがって各方向の熱収縮率(%)を求めた。
熱収縮率=(ΔL/L)×100・・・(式2)
この測定は、サンプル数n=5でおこなった。その平均値を熱収縮率として表2に示す。
(2) Thermal shrinkage rate Two gauge marks were made on a 30 cm square film sample cut out from a release film in the longitudinal direction (specifically, the longitudinal direction of the release film) and the width direction (specifically, the width direction of the release film). The film sample was hung in a gear oven and heated at 150°C for 30 minutes. The gauge length was measured after returning the sample to room temperature (specifically, 23°C). The dimensional change (ΔL) due to heating was calculated by subtracting the gauge length (L) after heating from the gauge length (L 0 ) before heating for each direction. The thermal shrinkage rate (%) in each direction was then calculated according to Equation 2.
Heat shrinkage rate = (ΔL/L 0 ) x 100... (Formula 2)
This measurement was carried out on five samples, n = 5. The average value is shown in Table 2 as the heat shrinkage rate.

(3)算術平均粗さRa、および十点平均粗さRz
非接触式三次元表面粗さ計(ZYGO社製のNew View7300)を用いて、測定倍率25倍、測定面積283μm×213μm(=0.0603mm)の条件でデータを取得した。このデータから、非接触式三次元表面粗さ計に内蔵された表面解析ソフトMetro Proを用いて算術平均粗さRa、および十点平均粗さRzを求めた。これは、測定箇所を変えて3回をおこなった。その平均値を、算術平均粗さRa、および十点平均粗さRzとして表2に示す。
(3) Arithmetic mean roughness Ra and ten-point mean roughness Rz
Data was acquired using a non-contact three-dimensional surface roughness meter (New View 7300 manufactured by ZYGO Corporation) at a measurement magnification of 25 times and a measurement area of 283 μm × 213 μm (=0.0603 mm 2 ). From this data, the arithmetic mean roughness Ra and ten-point mean roughness Rz were calculated using the surface analysis software Metro Pro built into the non-contact three-dimensional surface roughness meter. This was done three times at different measurement locations. The average values are shown in Table 2 as the arithmetic mean roughness Ra and ten-point mean roughness Rz.

(4)ヤング率
離型フィルムから切り出した幅10mm、長さ15cmの試験片を、室温(具体的には23℃)、チャック間100mm、引張速度10mm/分、チャート速度500mm/分で万能引張試験装置(東洋ボールドウィン製のテンシロン)で引っ張り、試験片にかかる力および伸びを測定した。この測定で得られた荷重―伸び曲線の立ち上がり部の接線からヤング率を計算した。長手方向のヤング率、および幅方向のヤング率の合計を表2に示す。
(4) Young's modulus A test piece with a width of 10 mm and a length of 15 cm cut out from a release film was pulled with a universal tensile tester (Tensilon manufactured by Toyo Baldwin) at room temperature (specifically 23°C), 100 mm between chucks, a tensile speed of 10 mm/min, and a chart speed of 500 mm/min, and the force and elongation applied to the test piece were measured. The Young's modulus was calculated from the tangent of the rising part of the load-elongation curve obtained by this measurement. The total Young's modulus in the longitudinal direction and the width direction is shown in Table 2.

(5)平面性
離型フィルムの幅方向中央部から切り出した幅1m×長さ10mのフィルムサンプルを、フィルムサンプルの幅方向と、細長い3波長蛍光灯の軸方向とが平行になるように3波長蛍光灯の下に置いたうえで、フィルムサンプルへの3波長蛍光灯の映り込みを目視で検査した。フィルムサンプルに映り込んだ3波長蛍光灯の像は、フィルムサンプルに熱しわがある場合、乱れたり、断続的になる。3波長蛍光灯の像が、ほぼ一直線であった場合を〇と判定し、この像が乱れていた、および/または断続的であった場合を×と判定した。
(5) Flatness A film sample with a width of 1 m and a length of 10 m cut from the center of the width direction of the release film was placed under a three-wavelength fluorescent lamp so that the width direction of the film sample was parallel to the axial direction of the elongated three-wavelength fluorescent lamp, and the reflection of the three-wavelength fluorescent lamp on the film sample was visually inspected. If the film sample had heat wrinkles, the image of the three-wavelength fluorescent lamp reflected on the film sample would be distorted or intermittent. If the image of the three-wavelength fluorescent lamp was almost a straight line, it was judged as ◯, and if the image was distorted and/or intermittent, it was judged as ×.

(6)穴形状(すなわちレーザー穴あけ性)
離型フィルムから切り出したフィルムサンプルに、炭酸ガスレーザー穴あけ装置(住友重機械工業社製のIMPACT-GS500)で、穴径100μmの貫通孔を20個形成した。各貫通孔について、レーザー入射側の最大孔径と最小孔径とを、顕微鏡観察で測定した。最大孔径の平均値と、最小孔径の平均値とが近いほど、穴形状の均一性が高い。最大孔径の平均値が、最小孔径の平均値の1.07倍以下であった場合を〇と判定し、1.07倍超えであった場合を×と判定した。
(6) Hole shape (i.e., laser drillability)
Twenty through holes with a diameter of 100 μm were formed in a film sample cut from a release film using a carbon dioxide laser drilling device (IMPACT-GS500 manufactured by Sumitomo Heavy Industries, Ltd.). The maximum and minimum hole diameters on the laser incident side of each through hole were measured by microscopic observation. The closer the average value of the maximum hole diameters is to the average value of the minimum hole diameters, the higher the uniformity of the hole shape. When the average value of the maximum hole diameters was 1.07 times or less the average value of the minimum hole diameters, it was judged as ◯, and when it was more than 1.07 times, it was judged as ×.

(7)絶縁層の浮き
ビスフェノール型エポキシ樹脂(三菱化学社製のjER828)100質量部、メチルHHPA主成分の酸無水物(新日本理化社製のリカシッド MH-700)90質量部、および硬化促進剤(酸アプロ社製のU-CAT18X)2質量部を混合することによってエポキシ樹脂組成物を作製した。このエポキシ樹脂組成物を、離型フィルムから切り出したフィルムサンプルの離型層に塗布した。この際、エポキシ樹脂組成物の厚みが20μmになるように塗布した。フィルムサンプルに塗布されたエポキシ樹脂組成物の表面が硝子板に接するように、これらを貼り合わせ、乾燥機にて160℃で30分間加熱した。この加熱の後に、エポキシ樹脂層(すなわち、エポキシ樹脂組成物からなる絶縁層)の浮きの有無を目視で確認した。浮きが発生しなかった場合を〇と判定し、浮きが発生した場合を×と判定した。
(7) Lifting of the insulating layer An epoxy resin composition was prepared by mixing 100 parts by mass of a bisphenol-type epoxy resin (jER828 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), 90 parts by mass of an acid anhydride mainly composed of methyl HHPA (RIKACID MH-700 manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd.), and 2 parts by mass of a curing accelerator (U-CAT18X manufactured by Acid Apro Co., Ltd.). This epoxy resin composition was applied to the release layer of a film sample cut out from a release film. At this time, the epoxy resin composition was applied so that the thickness of the epoxy resin composition was 20 μm. The film sample was laminated so that the surface of the epoxy resin composition applied to the film sample was in contact with a glass plate, and the two were heated in a dryer at 160° C. for 30 minutes. After this heating, the presence or absence of lifting of the epoxy resin layer (i.e., the insulating layer made of the epoxy resin composition) was visually confirmed. The case where no lifting occurred was judged as ◯, and the case where lifting occurred was judged as ×.

(8)剥離力
離型フィルムから切り出した試験片の離型層に粘着テープ(日東電工社製の「31Bテープ」)を貼り合わせ、剥離角度180°、剥離速度300mm/分で試験片から粘着テープを剥離した際の剥離強度を測定した。
(8) Peel Strength An adhesive tape ("31B tape" manufactured by Nitto Denko Corporation) was attached to the release layer of a test piece cut out from a release film, and the peel strength was measured when the adhesive tape was peeled off from the test piece at a peel angle of 180° and a peel speed of 300 mm/min.

(9)ガラス転移点(Tg)
ポリマーのガラス転移点(補外開始温度)は、DSC(TAインスツルメンツ社製のThermal Analyst2100)を用いて、試料量10mg、昇温速度20℃/minで測定した。
(9) Glass transition temperature (Tg)
The glass transition point (extrapolated onset temperature) of the polymer was measured using a DSC (Thermal Analyst 2100 manufactured by TA Instruments) with a sample weight of 10 mg and a heating rate of 20° C./min.

(10)固有粘度
ポリマーの固有粘度は、ポリマーをo-クロロフェノールに溶解して35℃で測定して求めた。
(10) Intrinsic Viscosity The intrinsic viscosity of a polymer was determined by dissolving the polymer in o-chlorophenol and measuring at 35°C.

<実施例1>
平均粒径0.5μmのシリカ粒子を0.2質量%含む、固有粘度(o-クロロフェノール、35℃)0.6dl/gのポリエチレン-2,6-ナフタレートホモポリマーを冷却してペレット状にしたものを、180℃で3時間乾燥した。これを押出機に投入し、溶融状態でダイスから押出し、これを、40℃に維持された回転冷却ドラムに制電密着法で密着させ(つまり急冷し)、未延伸フィルムを得た。この未延伸フィルムを140℃にて縦方向に3.6倍に延伸し、次いで130℃にて横方向に3.8倍に延伸し、240℃で熱固定処理をおこない、厚み25μmのポリエチレンナフタレートフィルム(PENフィルム)を得た。
Example 1
A polyethylene-2,6-naphthalate homopolymer containing 0.2% by mass of silica particles with an average particle size of 0.5 μm and having an intrinsic viscosity (o-chlorophenol, 35° C.) of 0.6 dl/g was cooled and pelletized, and then dried at 180° C. for 3 hours. The pellets were fed into an extruder, extruded from a die in a molten state, and adhered to a rotating cooling drum maintained at 40° C. by an antistatic adhesion method (i.e., quenched) to obtain an unstretched film. The unstretched film was stretched 3.6 times in the longitudinal direction at 140° C., then 3.8 times in the transverse direction at 130° C., and heat-set at 240° C. to obtain a polyethylene naphthalate film (PEN film) with a thickness of 25 μm.

いっぽう、紫外線硬化性樹脂(昭和電工マテリアルズ社製のHA7975)と、長鎖アルキルペンダントポリマー(ライオンスペシャリティケミカルズ社製のピーロイル1050)とを固形分比で85:15になるように混合することによって、離型層を形成するための塗工液を作製した。この塗工液をPENフィルムにリバースグラビア塗工法で、離型層の厚み(具体的には乾燥後の厚み)が1.0μmとなるように塗った。塗工液中の溶剤を100℃で揮発させた。つまり、塗工液を100℃で乾燥させた。なお、この乾燥は、PENフィルムに70N/mの張力をかけた状態でおこなった。乾燥後の塗膜に、1000mJ/cmの紫外線を照射することによって塗膜を硬化させた。このような手順で離型フィルムを得た。 On the other hand, a coating liquid for forming a release layer was prepared by mixing an ultraviolet-curable resin (HA7975 manufactured by Showa Denko Materials Co., Ltd.) and a long-chain alkyl pendant polymer (Peiroil 1050 manufactured by Lion Specialty Chemicals Co., Ltd.) in a solid content ratio of 85:15. This coating liquid was applied to a PEN film by reverse gravure coating so that the thickness of the release layer (specifically, the thickness after drying) was 1.0 μm. The solvent in the coating liquid was volatilized at 100° C. That is, the coating liquid was dried at 100° C. This drying was performed under a tension of 70 N/m on the PEN film. The coating film after drying was irradiated with ultraviolet light of 1000 mJ/cm 2 to harden the coating film. A release film was obtained by such a procedure.

<実施例2>
離型層の厚み(具体的には乾燥後の厚み)が0.5μmとなるように塗工液をPENフィルムに塗ったこと以外は、実施例1と同様の手順で離型フィルムを作製した。
Example 2
A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that the coating liquid was applied to the PEN film so that the thickness of the release layer (specifically, the thickness after drying) was 0.5 μm.

<実施例3>
紫外線硬化性樹脂(昭和電工マテリアルズ社製のHA7975)と、長鎖アルキルペンダントポリマー(ライオンスペシャリティケミカルズ社製のピーロイル1050)とを固形分比で90:10になるように混合することによって、塗工液を作製した以外は、実施例1と同様の手順で離型フィルムを作製した。
Example 3
A release film was prepared in the same manner as in Example 1, except that a coating liquid was prepared by mixing an ultraviolet-curable resin (HA7975 manufactured by Showa Denko Materials Co., Ltd.) and a long-chain alkyl pendant polymer (Peiroil 1050 manufactured by Lion Specialty Chemicals Co., Ltd.) in a solids ratio of 90:10.

<比較例1>
長鎖アルキルペンダントポリマーを使用せずに塗工液を作製した以外は、実施例1と同様の手順で離型フィルムを作製した。
<Comparative Example 1>
A release film was prepared in the same manner as in Example 1, except that the coating liquid was prepared without using the long-chain alkyl pendant polymer.

<比較例2>
紫外線硬化性樹脂(昭和電工マテリアルズ社製のHA7975)に代えて熱硬化性樹脂(DIC社製のアクリディック55-467)を使用したこと、PENフィルムに230N/mの張力をかけた状態において塗工液を150℃で乾燥させ硬化させたこと、および紫外線を照射しなかったこと以外は、実施例1と同様の手順で離型フィルムを作製した。
<Comparative Example 2>
A release film was produced in the same manner as in Example 1, except that a thermosetting resin (ACRYDIC 55-467 manufactured by DIC Corporation) was used instead of the ultraviolet-curing resin (HA7975 manufactured by Showa Denko Materials Co., Ltd.), the coating liquid was dried and cured at 150°C while applying a tension of 230 N/m to the PEN film, and ultraviolet light was not irradiated.

離型剤(具体的には長鎖アルキルペンダントポリマー)を使用しなかった比較例1の離型フィルムは、表面自由エネルギーが過度に大きく、その結果、剥離力が強くなり過ぎた。 The release film of Comparative Example 1, which did not use a release agent (specifically, a long-chain alkyl pendant polymer), had an excessively high surface free energy, and as a result, the peeling force was too strong.

PENフィルムに230N/mの張力をかけた状態において塗工液を150℃で乾燥させ硬化させた比較例2の離型フィルムでは熱しわが生じた。つまり、平面性が悪かった。これに加えて、絶縁層の浮きも生じた。これ(すなわち、絶縁層の浮きの発生)は、張力が過度に大きかった結果、塗工液を乾燥および硬化させる際に、離型フィルムの幅方向の熱膨張が生じたためだと考えられる。 In the release film of Comparative Example 2, in which the coating liquid was dried and cured at 150°C while applying a tension of 230 N/m to the PEN film, thermal wrinkles occurred. In other words, the flatness was poor. In addition, the insulating layer also lifted. This (i.e., the occurrence of the insulating layer lifting) is thought to be due to the thermal expansion of the release film in the width direction when the coating liquid was dried and cured as a result of excessively high tension.

これに対して、実施例1~3の離型フィルムは、剥離力が適度であり、しかも平面性に優れており、そのうえ絶縁層の浮きが生じなかった。
In contrast, the release films of Examples 1 to 3 had an appropriate peeling force, were excellent in planarity, and did not cause lifting of the insulating layer.

Claims (5)

ポリエステルフィルムと、
前記ポリエステルフィルムの少なくとも一方の面に設けられた離型層とを備え、
前記離型層の算術平均粗さRaが20nm以下であり、前記離型層の十点平均粗さRzが300nm以下であり、
前記離型層の表面自由エネルギーが20dyne/cm~32dyne/cmであり、
熱収縮率が、長手方向で1.5%以下であり、幅方向で0.0%~0.5%であ
前記離型層が離型剤を含有し、前記離型剤が長鎖アルキル基含有化合物であり、
前記ポリエステルフィルムがポリエチレンナフタレートフィルムである、
多層プリント配線板を製造するための離型フィルム。
A polyester film;
A release layer is provided on at least one surface of the polyester film,
The release layer has an arithmetic mean roughness Ra of 20 nm or less, and a ten-point mean roughness Rz of 300 nm or less,
The surface free energy of the release layer is 20 dyne/cm to 32 dyne/cm;
The thermal shrinkage rate is 1.5% or less in the longitudinal direction and 0.0% to 0.5% in the transverse direction;
the release layer contains a release agent, the release agent being a compound containing a long-chain alkyl group;
The polyester film is a polyethylene naphthalate film.
A release film for manufacturing multilayer printed wiring boards.
前記離型層が光硬化性樹脂を含有する、請求項1に記載の離型フィルム。 The release film according to claim 1 , wherein the release layer comprises a photocurable resin . 記離型層が硬化されている、請求項1または2に記載の離型フィルム。 The release film according to claim 1 or 2, wherein the release layer is cured. 請求項1~3のいずれかに記載の離型フィルムを製造する方法であって、
前記離型層を形成するための塗工液を前記ポリエステルフィルムに塗る工程と、
前記ポリエステルフィルム上の前記塗工液を、前記ポリエステルフィルムを構成するポリエステル樹脂のガラス転移点以下の温度で乾燥させる工程とを含む、
離型フィルムの製造方法。
A method for producing the release film according to any one of claims 1 to 3,
applying a coating liquid for forming the release layer onto the polyester film;
and drying the coating liquid on the polyester film at a temperature equal to or lower than the glass transition point of the polyester resin constituting the polyester film.
A method for producing a release film.
前記塗工液を乾燥させる前記工程によって形成された塗膜を光硬化させる工程をさらに含む、請求項4に記載の離型フィルムの製造方法。 The method for producing a release film according to claim 4, further comprising a step of photocuring the coating film formed by the step of drying the coating liquid.
JP2021051894A 2021-03-25 2021-03-25 Release film and its manufacturing method Active JP7625924B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021051894A JP7625924B2 (en) 2021-03-25 2021-03-25 Release film and its manufacturing method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021051894A JP7625924B2 (en) 2021-03-25 2021-03-25 Release film and its manufacturing method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022149646A JP2022149646A (en) 2022-10-07
JP7625924B2 true JP7625924B2 (en) 2025-02-04

Family

ID=83465144

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021051894A Active JP7625924B2 (en) 2021-03-25 2021-03-25 Release film and its manufacturing method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7625924B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2026029137A1 (en) * 2024-08-02 2026-02-05 三菱ケミカル株式会社 Polyester film and application thereof

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000117899A (en) 1998-10-15 2000-04-25 Teijin Ltd Release film
JP2001205763A (en) 2000-01-26 2001-07-31 Teijin Ltd Protective film for prepreg
WO2008123248A1 (en) 2007-03-29 2008-10-16 Sumitomo Bakelite Company, Ltd. Base-equipped insulating sheet, multi-layer printed circuit board, semiconductor device, and multi-layer printed circuit board manufacturing method
JP2017111855A (en) 2015-12-14 2017-06-22 中野冷機株式会社 Waterproof type lighting device
WO2019073737A1 (en) 2017-10-10 2019-04-18 東レ株式会社 Film
WO2020129962A1 (en) 2018-12-20 2020-06-25 東洋紡株式会社 Release film

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000117899A (en) 1998-10-15 2000-04-25 Teijin Ltd Release film
JP2001205763A (en) 2000-01-26 2001-07-31 Teijin Ltd Protective film for prepreg
WO2008123248A1 (en) 2007-03-29 2008-10-16 Sumitomo Bakelite Company, Ltd. Base-equipped insulating sheet, multi-layer printed circuit board, semiconductor device, and multi-layer printed circuit board manufacturing method
JP2017111855A (en) 2015-12-14 2017-06-22 中野冷機株式会社 Waterproof type lighting device
WO2019073737A1 (en) 2017-10-10 2019-04-18 東レ株式会社 Film
WO2020129962A1 (en) 2018-12-20 2020-06-25 東洋紡株式会社 Release film

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022149646A (en) 2022-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7000677B2 (en) Polyester film
JP4476423B2 (en) Release film
JP2000141568A (en) Release film
JP2012159548A (en) Mold-release polyester film for polarizing plate
JP2023026489A (en) the film
JP6340855B2 (en) Film laminate
WO2012090762A1 (en) Mold release film
JP2017002254A (en) Laminated polyester film
WO2000021752A1 (en) Release film
JP2022025703A (en) Laminated film
JP4521704B2 (en) Release film
JP7625924B2 (en) Release film and its manufacturing method
WO2018198720A1 (en) Film
JP5420454B2 (en) Release film for polarizing plate
JP2012137568A (en) Release polyester film for polarizing plate
JPH10286923A (en) Mold release film
JP4311008B2 (en) Release film roll for producing ceramic sheet, release film laminate roll for producing ceramic sheet, and method for producing ceramic sheet
JP2006051681A (en) Release film
KR100287237B1 (en) Photoresist layer supporting film and photoresist film laminate
JP2004115566A (en) Polyester film
JP6747072B2 (en) Laminated film
JPH10278203A (en) Release film
JP2010046898A (en) Heat-resistant composite film, and substrate film for flexible electronics device composed of the same
JP7753702B2 (en) Biaxially oriented laminated polyester film, release film, and method for producing biaxially oriented laminated polyester film
JP6481725B2 (en) Release film for green sheet molding

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20210413

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210414

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20231030

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20240617

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20240619

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20240813

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20241009

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20241224

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20250106

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7625924

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150