JP7631794B2 - 検査方法および検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、検査方法および検査装置に関する。

例えば、印刷物において、真贋判定の基準となる基準画像と、比較対象である比較画像と、が一致しているか否かを判定する識別装置が知られている。例えば、特許文献１に記載されている印刷物画像識別装置では、全体積分処理と、ブロック積分処理と、ブロック微分処理と、判定段階と、を順次実行する。

全体積分処理は、比較対象となる画像全体の画素の画素値を色成分ごとに加算することによって全体積分値を算出する処理である。ブロック積分処理は、画像全体を複数のブロックに分割し、分割されたそれぞれのブロックごとにブロック内の各画素の画素値の色成分ごとに加算することによってブロック積分値を算出する処理である。ブロック微分処理は、分割されたそれぞれのブロックごとにブロック内の隣り合う画素間の差分を算出して、該差分の平均値を演算することによってブロック微分値を算出する処理である。判定段階は、基準画像と披検画像の全体積分値、ブロック積分値、ブロック微分値をそれぞれ比較することによって、基準画像と比較画像が一致しているか否かを判定する処理である。

特開２０１０－１８３４７１号公報

しかしながら、特許文献１に記載されている識別装置では、比較画像を撮像する際に測定対象の位置固定を前提としている。このため、測定対象の向きが、基準画像における測定対象の向きと異なっている場合には、本来であれば一致していると判定する場合において、一致していないと判定しまうおそれがある。

本発明の検査方法は、基準画像の基準画像データと、撮像画像の撮像画像データと、が一致しているか否かを検査する検査方法であって、
前記基準画像が分割された複数の第１分割領域のそれぞれに、基準色に対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第１取得ステップと、
前記撮像画像が分割された複数の第２分割領域のそれぞれに、前記基準色に対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第２取得ステップと、
前記各第１分割領域の色差の情報と、対応する前記各第２分割領域の色差の情報と、を比較する第１比較ステップと、
前記各第１分割領域の色差の情報と、前記各第２分割領域の色差の情報と、を、前記第１比較ステップで比較した組み合わせとは異なる組み合わせで比較する第２比較ステップと、を有し、
前記第１比較ステップで得られた第１比較結果と、前記第２比較ステップで得られた第２比較結果と、に基づいて、前記基準画像データと前記撮像画像データとが一致しているか否かを判定することを特徴とする。

本発明の検査装置は、基準画像の基準画像データと、撮像画像の撮像画像データと、が一致しているか否かを検査する制御部を備える検査装置であって、
前記制御部は、
前記基準画像が分割された複数の第１分割領域のそれぞれに、基準色に対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第１取得ステップと、
前記撮像画像が分割された複数の第２分割領域のそれぞれに、前記基準色に対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第２取得ステップと、
前記各第１分割領域の色差の情報と、対応する前記各第２分割領域の色差の情報と、を比較する第１比較ステップと、
前記各第１分割領域の色差の情報と、前記各第２分割領域の色差の情報と、を、前記第１比較ステップで比較した組み合わせとは異なる組み合わせで比較する第２比較ステップと、を実行し、
前記第１比較ステップで得られた第１比較結果と、前記第２比較ステップで得られた第２比較結果と、に基づいて、前記基準画像データと前記撮像画像データとが一致しているか否かを判定することを特徴とする。

図１は、本発明の検査装置の第１実施形態の機能ブロック図である。 図２は、図１に示す分光部の断面図である。 図３は、本発明の検査方法の第１実施形態の一例を説明するためのフローチャートである。 図４は、本発明の検査方法の第１実施形態の一例を説明するためのフローチャートである。 図５は、基準画像に第１分割領域を設定した状態を示す図である。 図６は、各第１分割領域と基準色とを比較している状態を示す図である。 図７は、各第１分割領域の色差を示す波形を示すグラフである。 図８は、撮像画像に第２分割領域を設定した状態を示す図である。 図９は、各第２分割領域と基準色とを比較している状態を示す図である。 図１０は、各第２分割領域の色差を示す波形を示すグラフである。 図１１は、回転させた状態の撮像画像に第２分割領域を設定した状態を示す図である。 図１２は、各第２分割領域と基準色とを比較している状態を示す図である。 図１３は、各第２分割領域の色差を示す波形を示すグラフである。 図１４は、本発明の検査方法の第２実施形態において、各第１分割領域を基準として各第１分割領域の色差を示す波形を示すグラフである。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の検査装置の第１実施形態の機能ブロック図である。図２は、図１に示す分光部の断面図である。図３は、本発明の検査方法の第１実施形態の一例を説明するためのフローチャートである。図４は、本発明の検査方法の第１実施形態の一例を説明するためのフローチャートである。図５は、基準画像に第１分割領域を設定した状態を示す図である。図６は、各第１分割領域と基準色とを比較している状態を示す図である。図７は、各第１分割領域の色差を示す波形を示すグラフである。図８は、撮像画像に第２分割領域を設定した状態を示す図である。図９は、各第２分割領域と基準色とを比較している状態を示す図である。図１０は、各第２分割領域の色差を示す波形を示すグラフである。図１１は、回転させた状態の撮像画像に第２分割領域を設定した状態を示す図である。図１２は、各第２分割領域と基準色とを比較している状態を示す図である。図１３は、各第２分割領域の色差を示す波形を示すグラフである。

以下、本発明の検査方法および検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。

１．検査装置
図１に示す検査装置１は、本発明の検査方法を実行する装置であり、撮像対象Ｘの画像である撮像画像Ｐｘが、基準画像Ｐｓと一致しているか否かを検査する装置である。具体的には、撮像対象Ｘで反射した反射光を分光し、複数の波長の光に基づく分光画像、および、分光画像から求められるスペクトルを生成し、これらの情報に基づいて、上記検査を行う装置である。撮像対象Ｘとしては、特に限定されず、例えば、紙に印刷されたパターンや、模様ある布地やタイル等が挙げられる。

検査装置１は、分光計測部１０と、制御部６０と、表示部１５と、入力部１６と、記憶部１７と、を備えている。以下、各部について順次説明する。

１．１．分光計測部
分光計測部１０は、光源３１と、撮像素子２１と、分光部４１と、を有している。

光源３１は、撮像対象Ｘに光を照射する素子である。撮像対象Ｘに照射され、反射した光は、反射光として後述する分光部４１を経て撮像素子２１に入射する。なお、光源３１は、検査装置１とは別に設けられていてもよい。

光源３１としては、例えば、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）素子、有機ＥＬ（Electro Luminescence）素子、キセノンランプ、ハロゲンランプ等が挙げられる。また、光源３１には、後述する分光部４１において分光可能な波長域全体に光強度を有する光源が好ましく用いられ、具体的には、可視光領域の全体に光強度を有する白色光を出射可能な光源が好ましく用いられる。また、光源３１は、白色光以外の波長域の光、例えば赤外光等の可視光以外の光を照射可能な素子であってもよい。

撮像素子２１は、撮像対象Ｘで反射した反射光を撮像する素子である。撮像素子２１としては、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）、ＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等が挙げられる。

分光部４１は、入射光から特定波長領域の光を選択的に出射（透過）させる機能を有する光学素子である。分光部４１から出射した光は、撮像素子２１に入射する。図２に示す分光部４１は、出射する光の波長領域、つまり特定波長領域を変更可能な波長可変干渉フィルターである。

波長可変干渉フィルターとしては、例えば、波長可変型のファブリーペローエタロンフィルター、音響光学チューナブルフィルター（ＡＯＴＦ）、リニアバリアブルフィルター（ＬＶＦ）、液晶チューナブルフィルター（ＬＣＴＦ）等が挙げられる。このうち、波長可変干渉フィルターとしては、波長可変型のファブリーペローエタロンフィルターが好ましく用いられる。波長可変型のファブリーペローエタロンフィルターでは、後述する静電アクチュエーター４５等により２つのフィルター（ミラー）間のギャップの大きさを調整することができる。これにより、特定波長領域を変更することができる。

また、ファブリーペローエタロンフィルターは、２つのフィルターによる多重干渉を利用して、特定波長領域の光を取り出す。各フィルターは薄くすることが可能であるため、ファブリーペローエタロンフィルターが適用された分光部４１は、十分に薄くすることができる。具体的には、分光部４１の厚さを、２．０ｍｍ以下に設定することが可能となる。そのため、分光部４１、ひいては検査装置１の小型化を図ることができる。

図２には、波長可変干渉フィルターとして波長可変型のファブリーペローエタロンフィルターが適用された分光部４１を示している。

図２に示す分光部４１は、図２の上下に延在する光軸ＯＡを有し、光軸ＯＡに対して交差する方向に広がる板状の部材である。このような分光部４１は、固定基板４１０と、可動基板４２０と、固定反射膜４１１と、可動反射膜４２１と、固定電極４１２と可動電極４２２と、接合膜４１４と、を備えている。固定基板４１０および可動基板４２０は、互いに積層された状態で、接合膜４１４を介して一体的に接合されている。

固定基板４１０は、光軸ＯＡ上の位置からの平面視において、中央部に位置する反射膜設置部４１５と、その周りを取り囲む溝４１３と、を有している。固定基板４１０のうち、反射膜設置部４１５に対応する部分の光軸ＯＡに沿った長さ、つまり厚さは、溝４１３に対応する部分よりも厚くなっている。反射膜設置部４１５の可動基板４２０側の面には、固定反射膜４１１が設けられている。固定反射膜４１１は、ファブリーペローエタロンフィルターの光学要素の１つである固定光学ミラーとして機能する。

可動基板４２０は、光軸ＯＡ上の位置からの平面視において、中央部に位置する反射膜設置部４２５と、その周りを取り囲む溝４２３と、を有している。可動基板４２０のうち、反射膜設置部４２５に対応する部分の光軸ＯＡに沿った長さ、つまり厚さは、溝４２３に対応する部分よりも厚くなっている。そして、反射膜設置部４２５の固定基板４１０側の面には、可動反射膜４２１が設けられている。可動反射膜４２１も、ファブリーペローエタロンフィルターの光学要素の１つである可動光学ミラーとして機能する。

固定基板４１０が有する溝４１３の可動基板４２０側の面には、固定電極４１２が設けられている。また、可動基板４２０が有する溝４２３の固定基板４１０側の面には、可動電極４２２が設けられている。固定電極４１２および可動電極４２２は、これらの間に電圧が印加されることにより、静電引力を生じさせ、固定反射膜４１１と可動反射膜４２１との間のギャップの大きさを調整する。これにより、固定電極４１２および可動電極４２２は、静電アクチュエーター４５を構成する。また、可動電極４２２が溝４２３に対応する位置に設けられているため、静電引力が生じたときの可動反射膜４２１の変位量を大きくすることができる。

なお、固定基板４１０の厚さおよび可動基板４２０の厚さは、０．１ｍｍ以上１．０ｍｍ以下程度であるのが好ましい。このような厚さであれば、分光部４１全体の厚さを２．０ｍｍ以下に抑えることが可能である。これにより、分光計測部１０の小型化を実現することができる。

ここで、固定反射膜４１１と可動反射膜４２１との間は、ギャップを介して対向配置されている。また、固定電極４１２と可動電極４２２との間も、ギャップを介して対向配置されている。前述したように、固定電極４１２および可動電極４２２は、固定反射膜４１１と可動反射膜４２１との間のギャップの大きさを調整する静電アクチュエーター４５を構成する。具体的には、固定電極４１２と可動電極４２２との間に電圧を印加すると、静電引力が生じ、可動基板４２０に撓みが生じる。その結果、固定反射膜４１１と可動反射膜４２１との間のギャップの大きさ、すなわち距離を変化させることができる。そして、このギャップの大きさを適宜設定することにより、光軸ＯＡに沿って分光部４１を透過する光の波長領域を選択することができる。つまり、特定波長領域を変更することができる。また、固定反射膜４１１および可動反射膜４２１の構成を変えることにより、透過する光の半値幅、すなわちファブリーペローエタロンフィルターの分解能を制御することもできる。

固定基板４１０および可動基板４２０の各構成材料としては、例えば、ソーダガラス、結晶性ガラス、石英ガラス、鉛ガラス、カリウムガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等の各種ガラス、水晶等が挙げられる。

接合膜４１４は、固定基板４１０と可動基板４２０とを接合している。接合膜４１４としては、特に限定されないが、一例として、シロキサンを主材料とするプラズマ重合膜が挙げられる。

固定反射膜４１１および可動反射膜４２１としては、それぞれ、例えば、Ａｇ、Ａｇ合金等の金属膜の他、高屈折層と低屈折層とを備える誘電体多層膜等が挙げられる。

固定電極４１２および可動電極４２２の各構成材料としては、例えば、各種導電性材料が挙げられる。

図１に示す分光計測部１０は、さらに、分光部側光学系８１および撮像素子側光学系８３を有している。

分光部側光学系８１は、撮像対象Ｘと分光部４１との間に配置されている。図１に示す分光部側光学系８１は、入射光学系としての入射レンズ８１１と、投射レンズ８１２と、を備えている。このような分光部側光学系８１は、撮像対象Ｘで反射した反射光を分光部４１に導く。

撮像素子側光学系８３は、分光部４１と撮像素子２１との間に配置されている。図１に示す撮像素子側光学系８３は、入出射レンズ８３１を備えている。このような撮像素子側光学系８３は、分光部４１から出射した出射光を撮像素子２１に導く。

このような分光部側光学系８１および撮像素子側光学系８３のうちの少なくとも１つを分光計測部１０に設けることにより、撮像対象Ｘで反射した反射光の、撮像素子２１による集光率を高めることができる。

なお、分光部側光学系８１および撮像素子側光学系８３の少なくとも一方は、撮像素子２１による集光率に応じて省略されていてもよい。

また、分光部側光学系８１は、図１に示す位置の他、分光部４１と撮像素子側光学系８３との間に配置されていてもよい。

以上、分光計測部１０について説明したが、分光部４１の位置は図１に示す位置に限定されない。具体的には、図１に示す分光計測部１０では、撮像対象Ｘと撮像素子２１との間に分光部４１が配置されているが、分光部４１は、撮像対象Ｘと光源３１との間に配置されていてもよい。

１．２．表示部
表示部１５は、撮像素子２１で撮像された分光画像を可視化した画像、および、その他の任意の情報を表示する。表示部１５としては、例えば、液晶表示素子、有機ＥＬ表示素子等が用いられる。

１．３．入力部
入力部１６は、検査装置１のユーザーにより、制御部６０の作動に必要なデータの入力を受け付ける。

入力部１６としては、例えば、タッチパネル、スライドパッド、キーボード、マウス等が用いられる。なお、入力部１６は、表示部１５と組み合わされ、表示部１５と一体になっていてもよい。

１．４．記憶部
記憶部１７は、制御部６０の各機能部の作動に必要なプログラムおよびデータ、分光計測部１０で取得されたデータ、表示部１５の表示に必要なデータ、入力部１６で入力されたデータ等の各種情報を記憶する。

記憶部１７には、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等のメモリーが用いられる。

１．５．制御部
図１に示す制御部６０は、光源制御部６０１と、分光制御部６０２と、画像生成部６０３と、表示制御部６０５と、判定部６１０と、を有している。これらの各機能部の作動は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなプロセッサー、メモリーおよび外部インターフェース等のハードウェアの組み合わせにより実現される。例えば、制御部６０は、記憶部１７に記憶されているプログラムを読み出して実行することにより、各機能部を作動させ、その機能を実現する。

光源制御部６０１は、入力部１６に入力された情報、記憶部１７に記憶されている情報等に基づいて、光源３１の点灯、消灯、出射光の波長、強度等を制御する。

分光制御部６０２は、記憶部１７に記憶されている情報に基づき、分光部４１から出射される光の特定波長領域に対応する駆動電圧を取得する。そして、取得した駆動電圧を分光部４１の静電アクチュエーター４５に印加させるための制御信号を出力する。これにより、分光制御部６０２は、分光部４１の作動を制御して、分光部４１から出射される光の特定波長領域を制御することができる。

画像生成部６０３は、分光計測部１０の作動を制御し、分光部４１を介して撮像素子２１に入射する光を撮像させる。そして、撮像素子２１から得られた撮像データに基づいて分光画像を生成する。また、生成した分光画像を、記憶部１７に記憶させる。分光画像は撮像対象Ｘで反射した反射光から、複数の波長が選択され、各波長における撮像画像を含んでいる。なお、画像生成部６０３は、分光画像を記憶部１７に記憶させる際に、かかる分光画像が生成されたときの特定波長領域も、併せて記憶部１７に記憶させる。

なお、画像生成部６０３は、分光画像とともに、分光画像を可視化してなる可視化画像を記憶部１７に記憶させるようにしてもよいし、そのまま表示部１５に表示させるようにしてもよい。

表示制御部６０５は、分光画像や各種情報等を可視化画像として表示部１５に表示させる。

判定部６１０は、分割部６１１と、基準値決定部６１２と、スペクトル生成部６１３と、色彩値算出部６１４と、色差算出部６１５と、判定部６１６と、を有している。

分割部６１１は、後に詳述するが、基準画像Ｐｓを分割して、複数の第１分割領域を複数生成するとともに、撮像対象Ｘの画像である撮像画像Ｐｘを分割して、複数の第２分割領域を複数生成する。

このような分割部６１１は、後述するステップＳ１０２およびステップＳ２０２を実行する。

基準値決定部６１２は、後述の第２実施形態において、第１分割領域および第２分割領域の色差を求めるための基準値を決定する。

スペクトル生成部６１３は、記憶部１７に記憶された、撮像対象Ｘの分光画像および特定波長領域から、各画素の分光スペクトルを生成する。分光スペクトルは、波長ごとの光強度の分布であり、分光画像からは画素ごとの分光スペクトルを生成することが可能である。したがって、スペクトル生成部６１３では、測定対象エリア全体の平均分光スペクトルである「全体スペクトル」、および、分割部６１１によって生成された各領域の平均分光スペクトルである「領域スペクトル」を算出することもできる。

また、本実施形態では、分光スペクトルを、４以上の波長帯域で光強度を計測して得られたスペクトルとする。さらに、本実施形態に係る分光スペクトルは、１６以上の波長帯域で光強度を計測して得られたスペクトルであるのが好ましい。

なお、スペクトル生成部６１３は、記憶部１７を介することなく、画像生成部６０３から直接得た情報に基づいて、分光情報を生成するように構成されていてもよい。生成した分光情報は、記憶部１７に記憶される。

このようなスペクトル生成部６１３は、後述するステップＳ１０３およびステップＳ２０３を実行する。

色彩値算出部６１４は、例えば、分光スペクトルから各領域の三刺激値を算出し、さらに、求めた三刺激値から色彩値を算出する。この色彩値は、測定対象エリア全体の色彩や各領域の色彩を代表する値である。求めた色彩値は、測定対象エリア全体であることを特定する情報や各領域を識別する情報とともに、記憶部１７に記憶される。

このような色彩値算出部６１４は、後述するステップＳ１０４およびステップＳ２０４を実行する。

色差算出部６１５は、色彩値算出部６１４により求めた各領域の色彩値から、基準値との色差を算出する。色差算出部６１５は、後述するステップＳ１０５およびステップＳ２０５を実行する。

判定部６１６は、色差算出部６１５により求めた色差と閾値とを比較し、色差が許容範囲内か否かを判定する。判定結果は、記憶部１７に記憶されるとともに、必要に応じて表示部１５に表示される。判定部６１６は、後述するステップＳ１０６およびステップＳ２０６～ステップＳ２１２を実行する。

２．検査方法
次に、図３および図４に示すフローチャートに基づいて、本発明の検査方法の一例を説明する。
検査方法は、図３に示すように、基準画像Ｐｓの基準画像データＤＰｓを取得し、各種準備を行う第１ステップＳ１と、図４に示すように、検査を行う第２ステップＳ２と、を有する。

２．１．第１ステップＳ１
まず、ステップＳ１０１において、基準画像Ｐｓの基準画像データＤＰｓを取得する。
本ステップでは、分光計測部１０を用いて基準物を撮像して基準画像Ｐｓの基準画像データＤＰｓを取得する構成であってもよく、入力部１６から入力された基準画像Ｐｓの基準画像データＤＰｓを取得する構成であってもよく、予め記憶部１７に記憶されている基準画像Ｐｓの基準画像データＤＰｓを読み出して取得する構成であってもよい。

次いで、ステップＳ１０２において、縦と横の分割数を指定する。すなわち、基準画像Ｐｓをどのように分割して第１分割画像を設定するかを決定する。本実施形態では、図５に示すように、２行４列の計８個の第１分割領域を設定する。なお、以下の説明では、図中上段の４つの分割領域を図中左側から順に、第１分割領域Ｐｓ１、第１分割領域Ｐｓ２、第１分割領域Ｐｓ３および第１分割領域Ｐｓ４とし、図中下段の４つの分割領域を図中左側から順に、第１分割領域Ｐｓ５、第１分割領域Ｐｓ６、第１分割領域Ｐｓ７および第１分割領域Ｐｓ８とする。

次いで、ステップＳ１０３において、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の各々の分光画像の計測を行う、すなわち、分光スペクトルを得る。分光スペクトルの掃引波長範囲は、可視光領域のうちの任意の波長域、例えば、４００ｎｍ以上７００ｎｍ以下の波長域や、３８０ｎｍ以上７８０ｎｍ以下の波長域とすることができる。また、これらの波長域は、入力部１６を用いて設定可能な構成であってもよく、予め設定されていてもよい。また、測定間隔は、特に限定されず、例えば、５ｎｍ、１０ｎｍ、２０ｎｍとすることができる。これらの測定間隔は、入力部１６を用いて設定可能な構成であってもよく、予め設定されていてもよい。

次いで、ステップＳ１０４において、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色彩値を計算する。ここで言う色彩値とは、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の各々の平均の色彩値のことを言う。色彩値の算出方法としては、所定の色空間の規定により、全体ＸＹＺ値から算出する方法が挙げられる。所定の色空間としては、例えば、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系、ＬＣＨ表色系、マンセル表色系、Ｙｘｙ表色系等が挙げられる。印刷物やファブリック等の非発光体が検査対象の場合、色彩値は、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系の色空間の規定により求められるものであることが好ましい。

次いで、ステップＳ１０５において、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥを計算し、計算結果を記憶する。本実施形態では、色差ΔＥとは、基準色Ｃｓの色彩値との差のことを言う。すなわち、第１分割領域Ｐｓ１の色差ΔＥは、第１分割領域Ｐｓ１の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。同様に、第１分割領域Ｐｓ２の色差ΔＥは、第１分割領域Ｐｓ２の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。同様に、第１分割領域Ｐｓ３の色差ΔＥは、第１分割領域Ｐｓ３の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。同様に、第１分割領域Ｐｓ４の色差ΔＥは、第１分割領域Ｐｓ４の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。同様に、第１分割領域Ｐｓ５の色差ΔＥは、第１分割領域Ｐｓ５の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。同様に、第１分割領域Ｐｓ６の色差ΔＥは、第１分割領域Ｐｓ６の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。

色差の具体的な算出方法としては、特に限定されないが、公知の色差式を用いた方法が挙げられる。この色差式としては、例えば、ＣＩＥ７６色差式（ΔＥ７６）、ＣＩＥ９４色差式（ΔＥ９４）、ＣＭＣ色差式（ΔＥｃｍｃ）、ＣＩＥＤＥ２０００色差式（ΔＥ００）等が挙げられる。

次いで、ステップＳ１０６において、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥの波形情報、すなわち、ΔＥ波形を算出し、記憶する。ΔＥ波形は、図７に示すように、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥをプロットしたグラフで表すことができる。

以上のような第１ステップＳ１を経て、検査を行うに先立って、基準画像Ｐｓの基準画像データＤＰｓに対する準備が完了する。すなわち、第１ステップＳ１は、基準画像Ｐｓが分割された複数の第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８のそれぞれに、基準色Ｃｓに対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第１取得ステップである。

２．２．第２ステップＳ２
まず、ステップＳ２０１において、撮像画像Ｐｘの撮像画像データＤＰｘを取得する。本ステップでは、分光計測部１０を用いて撮像対象Ｘを撮像して撮像画像Ｐｘの撮像画像データＤＰｘを取得する。ただし、この構成に限定されず、入力部１６から入力された撮像画像Ｐｘの撮像画像データＤＰｘを取得する構成であってもよく、予め記憶部１７に記憶されている撮像画像Ｐｘの撮像画像データＤＰｘを読み出して取得する構成であってもよい。

また、本ステップにおいて、撮像画像Ｐｘ中の測定対象Ｘの位置が、基準画像Ｐｓ中の測定対象Ｘの位置とずれていた場合、同じ位置に配置するようなトリミング等の処理を行ってもよい。また、この処理は、事前に行っていてもよい。

次いで、ステップＳ２０２において、縦と横の分割数を指定する。すなわち、撮像画像Ｐｘをどのように分割して第２分割画像を設定するかを決定する。本ステップでは、第１ステップＳ１のステップＳ１０２において設定した分割数と同じ分割数とする。このため、図８に示すように、２行４列の計８個の第１分割領域を設定する。なお、以下の説明では、図中上段の４つの分割領域を図中左側から順に、第２分割領域Ｐｘ１、第２分割領域Ｐｘ２、第２分割領域Ｐｘ３および第２分割領域Ｐｘ４とし、図中下段の４つの分割領域を図中左側から順に、第２分割領域Ｐｘ５、第２分割領域Ｐｘ６、第２分割領域Ｐｘ７および第２分割領域Ｐｘ８とする。

次いで、ステップＳ２０３において、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の各々の分光画像の計測を行う、すなわち、分光スペクトルを得る。本ステップでは、第１ステップＳ１のステップＳ１０３と同様にして分光スペクトルを得る。

次いで、ステップＳ２０４において、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色彩値を計算する。ここで言う色彩値とは、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の各々の平均の色彩値のことを言う。この算出方法に関しては、第１ステップＳ１のステップＳ１０３と同様である。

次いで、ステップＳ２０５において、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差ΔＥを計算し、計算結果を記憶する。図９に示すように、第２分割領域Ｐｘ１の色差ΔＥは、第２分割領域Ｐｘ１の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。同様に、第２分割領域Ｐｘ２の色差ΔＥは、第２分割領域Ｐｘ２の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。同様に、第２分割領域Ｐｘ３の色差ΔＥは、第２分割領域Ｐｘ３の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。同様に、第２分割領域Ｐｘ４の色差ΔＥは、第２分割領域Ｐｘ４の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。同様に、第２分割領域Ｐｘ５の色差ΔＥは、第２分割領域Ｐｘ５の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。同様に、第２分割領域Ｐｘ６の色差ΔＥは、第２分割領域Ｐｘ６の平均の色彩値と、基準色Ｃｓの色彩値との差を計算することにより求めることができる。
色差の具体的な算出方法としては、ステップＳ１０５の説明で述べた通りである。

次いで、ステップＳ２０６において、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差ΔＥの波形情報、すなわち、ΔＥ波形を算出し、記憶する。ΔＥ波形は、図１０に示すように、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差ΔＥをプロットしたグラフで表すことができる。

また、本ステップでは、図１１に示すように、撮像画像Ｐｘを１８０°回転させた撮像画像Ｐｘ’の撮像画像データＤＰｘ’を作成する。すなわち、図中上段の４つの分割領域を図中左側から順に、第２分割領域Ｐｘ８、第２分割領域Ｐｘ２、第２分割領域Ｐｘ６および第２分割領域Ｐｘ５とし、図中下段の４つの分割領域を図中左側から順に、第２分割領域Ｐｘ４、第２分割領域Ｐｘ３、第２分割領域Ｐｘ２および第２分割領域Ｐｘ１とする。

そして、図１２に示すように、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差ΔＥを計算し、ΔＥ波形を算出し、記憶する。ΔＥ波形は、図１３に示すように、第２分割領域Ｐｘ８～第２分割領域Ｐｘ２の色差ΔＥを左側から順にプロットしたグラフで表すことができる。

このようなステップＳ２０１～ステップＳ２０５が、撮像画像Ｐｘが分割された複数の第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８のそれぞれに、基準色Ｃｓに対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第２取得ステップである。

次いで、ステップＳ２０７において、図７に示すΔＥ波形と、ステップＳ２０６で算出した、図１０に示すΔＥ波形と、を比較し、一致しているか否かを判定する。本ステップにおける判定は、例えば、マハラノビス距離判定を用い、予め設定された閾値に基づいてなされる。すなわち、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥと、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差ΔＥとを、それぞれ決められた組み合わせで比較し、乖離が所定値以下であるか否かを判定する。

なお、本ステップでの比較は、以下のような組み合わせ１で比較を行うということができる。
組み合わせ１：
（第１分割領域Ｐｓ１の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ１の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ２の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ２の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ３の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ３の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ４の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ４の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ５の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ５の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ６の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ６の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ７の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ７の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ８の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ８の色差の情報）

このようなステップＳ２０７が、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差の情報と、対応する第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差の情報と、を比較する第１比較ステップである。また、本ステップでの比較結果が、第１比較結果である。

ステップＳ２０７において、一致していると判定した場合、ステップＳ２０９に移行する。一方、ステップＳ２０７において、一致していないと判定した場合、ステップＳ２０７において、図７に示すΔＥ波形と、ステップＳ２０６で算出した、図１３に示すΔＥ波形と、を比較し、一致しているか否かを判定する。本ステップにおける判定は、上記ステップＳ２０７と同様になされる。すなわち、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥと、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差ΔＥとを、それぞれ決められた組み合わせで比較し、乖離が所定値以下であるか否かを判定する。

なお、本ステップでの比較は、以下のような組み合わせ２で比較を行うということができる。
組み合わせ２：
（第１分割領域Ｐｓ１の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ８の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ２の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ７の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ３の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ６の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ４の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ５の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ５の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ４の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ６の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ３の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ７の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ２の色差の情報）
（第１分割領域Ｐｓ８の色差の情報および第２分割領域Ｐｘ１の色差の情報）

このようなステップＳ２０８が、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差の情報と、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差の情報と、を、第１比較ステップであるステップＳ２０７で比較した組み合わせとは異なる組み合わせで比較する第２比較ステップである。また、本ステップでの比較結果が、第２比較結果である。

ステップＳ２０８において、一致していないと判定した場合、ステップＳ２１２において、基準画像データＤＰｓと、撮像画像データＤＰｘと、が一致していないとみなす。なお、この判定結果を、必要に応じて表示部１５に表示してもよい。一方、ステップＳ２０８において、一致していると判定した場合、ステップＳ２０９に移行する。

このようなステップＳ２０７およびステップＳ２０８を経ることにより、次のような利点を得ることができる。例えば、撮像画像Ｐｘが１８０°回転した状態で取得し、１８０°回転した状態の撮像画像Ｐｘと、基準画像Ｐｓを比較した場合、本来であれば一致したと判定しなければいけないのに、一致していないと判定してしまうことがある。これは、従来のように、１回の比較、すなわち、撮像画像Ｐｘと基準画像Ｐｓとが同じ向きであることを前提として、１回しか比較を行わないことの弊害である。これに対し、本発明では、前述した第１比較ステップおよび第２比較ステップでの比較結果に基づいて、基準画像データＤＰｓと撮像画像データＤＰｘとが一致しているか否かを判定する従来のような誤判定を防止することができ、より正確な検査を行うことができる。

次いで、ステップＳ２０９では、色検査を行う。すなわち、基準画像Ｐｓと、撮像画像Ｐｘとの色彩値を比較し、乖離の程度が許容範囲内か否かを判定する。

本ステップは、例えば、基準画像Ｐｓ全体の平均の色彩値と、撮像画像Ｐｘ全体の色彩値との差が、閾値以下であるか否かを判定する構成であってもよく、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の各々の色彩値と、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の各々の色彩値と、を上記組み合わせ１または組み合わせ２で比較して、各領域間の色彩値の差が、閾値以下であるか否かを判定する構成であってもよい。後者の場合、組み合わせ１および組み合わせ２のうち、ステップＳ２０７またはステップＳ２０８で一致していると判定した組み合わせで比較する。

ステップＳ２０９において、基準画像Ｐｓの色彩値と、撮像画像Ｐｘの色彩値との差が、閾値以下であると判定した場合、ステップＳ２１１において、基準画像データＤＰｓと、撮像画像データＤＰｘと、が一致しているとみなす。なお、この判定結果を、必要に応じて表示部１５に表示してもよい。

ステップＳ２０９において、基準画像Ｐｓの色彩値と、撮像画像Ｐｘの色彩値との差が、閾値を超えていると判定した場合、ステップＳ２１２において、基準画像データＤＰｓと、撮像画像データＤＰｘと、が一致していないと判定する。

なお、ステップＳ２０９およびステップＳ２１０は、省略してもよい。また、ステップＳ２０９において、基準画像Ｐｓの色彩値と、撮像画像Ｐｘの色彩値との差が、閾値を超えていると判定した場合であっても、ステップＳ２１１に移行して、一致していると判定してもよい。ただし、この場合、基準画像データＤＰｓと、撮像画像データＤＰｘとが一致しているが、色味は一致していない旨を記憶することが好ましい。

このようなステップＳ２０９を経ることにより、色彩値まで一致している場合を、一致とみなすことができ、より正確な検査を行うことができる。

以上説明したように、本発明の検査方法は、基準画像Ｐｓの基準画像データＤＰｓと、撮像画像Ｐｘの撮像画像データＤＰｘと、が一致しているか否かを検査する検査方法であって、基準画像Ｐｓが分割された複数の第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８のそれぞれに、基準色Ｃｓに対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第１取得ステップと、撮像画像が分割された複数の第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８のそれぞれに、基準色Ｃｓに対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第２取得ステップと、各第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差の情報と、対応する第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差の情報と、を比較する第１比較ステップと、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差の情報と、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差の情報と、を、第１比較ステップで比較した組み合わせとは異なる組み合わせで比較する第２比較ステップと、を有し、第１比較ステップで得られた第１比較結果と、第２比較ステップで得られた第２比較結果と、に基づいて、基準画像データＤＰｓと撮像画像データＤＰｘとが一致しているか否かを判定する。このような本発明によれば、以下のような利点を得ることができる。例えば、撮像画像Ｐｘが１８０°回転した状態で取得し、１８０°回転した状態の撮像画像Ｐｘと、基準画像Ｐｓを比較した場合、本来であれば一致したと判定しなければいけないのに、一致していないと判定してしまうことがある。これは、従来のように、１回の比較、すなわち、撮像画像Ｐｘと基準画像Ｐｓとが同じ向きであることを前提として、１回しか比較を行わないことの弊害である。これに対し、本発明では、前述した第１比較ステップおよび第２比較ステップでの比較結果に基づいて、基準画像データＤＰｓと撮像画像データＤＰｘとが一致しているか否かを判定するため、従来のような誤判定を防止することができ、より正確な検査を行うことができる。

また、本発明の検査方法は、基準画像Ｐｓの基準画像データＤＰｓと、撮像画像Ｐｘの撮像画像データＤＰｘと、が一致しているか否かを検査する制御部６０を備え、制御部６０は、基準画像Ｐｓが分割された複数の第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８のそれぞれに、基準色Ｃｓに対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第１取得ステップと、撮像画像が分割された複数の第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８のそれぞれに、基準色Ｃｓに対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第２取得ステップと、各第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差の情報と、対応する第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差の情報と、を比較する第１比較ステップと、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差の情報と、第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差の情報と、を、第１比較ステップで比較した組み合わせとは異なる組み合わせで比較する第２比較ステップと、を有し、第１比較ステップで得られた第１比較結果と、第２比較ステップで得られた第２比較結果と、に基づいて、基準画像データＤＰｓと撮像画像データＤＰｘとが一致しているか否かを判定する。このような本発明によれば、前述したように、従来のような誤判定を防止することができ、より正確な検査を行うことができる。

また、本発明の検査方法では、第１比較結果および第２比較結果のうちの一方において、各第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差の情報と、前記各第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差の情報と、の乖離の度合いが閾値以下であった場合、基準画像データＤＰｓと撮像画像データＤＰｘとが一致していると判定し、第１比較結果および第２比較結果の双方において、各第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差の情報と、前記各第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差の情報と、の乖離の度合いが閾値超であった場合、基準画像データＤＰｓと撮像画像データＤＰｘとが一致していないと判定する。これにより、従来のような誤判定をより効果的に防止することができ、さらに正確な検査を行うことができる。

また、第２比較ステップでは、基準画像Ｐｓと撮像画像Ｐｘとを相対的に回転させた画像同士を重ねたときに、重なっている第１分割領域および第２分割領域同士の色差の情報を比較する。これにより、１８０°回転した状態の撮像画像Ｐｘを取得したとしても、従来のような誤判定をより効果的に防止することができる。

また、比較する色差の情報は、図７、図１０および図１３に示すように、色差と、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８および第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の位置と、の関係を示す波形情報である。これにより、波形情報を比較するという簡単な方法により、第１比較ステップおよび第２比較ステップを実行することができる。

また、基準色Ｃｓは、本実施形態では、予め定められた色である。これにより、簡単な制御によって、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８および第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色差の情報を算出することができる。

また、ステップＳ２０９およびステップＳ２１０で述べたように、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８および第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色彩値を加味して、基準画像データＤＰｓと撮像画像データＤＰｘとが一致しているか否かの判定を行う。これにより、さらに、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８および第２分割領域Ｐｘ１～第２分割領域Ｐｘ８の色彩値が一致している場合を、一致とみなすことができ、より正確な検査を行うことができる。

＜第２実施形態＞
図１４は、本発明の検査方法の第２実施形態において、基準色を決定する方法を説明するためのグラフである。

以下、第２実施形態について説明するが、以下の説明では、第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。

本実施形態では、ステップＳ１０５において、色差を算出する際の基準色Ｃｓの決定方法が第１実施形態とは異なっている。このため、基準色Ｃｓの決定方法のみを説明する。

まず、第１分割領域Ｐｓ１の平均の色彩値を仮の基準色として、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８との色差をそれぞれ算出する。色差の算出方法に関しては、前記第１実施形態で述べた通りである。そして、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥをプロットすることにより、図１４に示すように、波形ΔＥ１を得ることができる。

次いで、第２分割領域Ｐｘ３の平均の色彩値を仮の基準色として、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８との色差をそれぞれ算出する。そして、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥをプロットすることにより、図１４に示すように、波形ΔＥ３を得ることができる。

次いで、第２分割領域Ｐｘ４の平均の色彩値を仮の基準色として、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８との色差をそれぞれ算出する。そして、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥをプロットすることにより、図１４に示すように、波形ΔＥ４を得ることができる。

次いで、第２分割領域Ｐｘ５の平均の色彩値を仮の基準色として、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８との色差をそれぞれ算出する。そして、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥをプロットすることにより、図１４に示すように、波形ΔＥ５を得ることができる。

次いで、第２分割領域Ｐｘ６の平均の色彩値を仮の基準色として、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８との色差をそれぞれ算出する。そして、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥをプロットすることにより、図１４に示すように、波形ΔＥ６を得ることができる。

次いで、第２分割領域Ｐｘ７の平均の色彩値を仮の基準色として、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８との色差をそれぞれ算出する。そして、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥをプロットすることにより、図１４に示すように、波形ΔＥ７を得ることができる。

次いで、第２分割領域Ｐｘ８の平均の色彩値を仮の基準色として、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８との色差をそれぞれ算出する。そして、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８の色差ΔＥをプロットすることにより、図１４に示すように、波形ΔＥ８を得ることができる。

そして、波形ΔＥ１～波形ΔＥ８のうち、最大色差と最小色差との差が、最も大きい波形を選択する。図示の構成の場合、波形ΔＥ１において、第１分割領域Ｐｓ１の色差と、第１分割領域Ｐｓ２の色差との差が、最も大きいため、波形ΔＥ１を選択し、その際の仮の基準色、すなわち、第１分割領域Ｐｓ１の平均の色彩値を基準色Ｃｓに設定し、以降のステップにおいて、波形ΔＥ１を用いる。

このような方法によれば、波形同士を比較するに際し、波形の特徴が最も明確に表れる波形を用いるため、より正確な検査を行うことができる。

このように、本実施形態では、基準色Ｃｓは、各第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８のうちの１つの領域内の平均の色、すなわち、平均の色彩値である。これにより、別途基準色Ｃｓを予め設定しておく必要が無く、制御を簡素にすることができる。

また、本実施形態では、第１分割領域Ｐｓ１～第１分割領域Ｐｓ８を１つずつ順に選択し、選択した第１分割領域内の平均の色と、選択した第１分割領域以外の第１分割領域の内の平均の色と、の乖離の程度を順に算出し、すなわち、色差を順に算出し、色差が最も大きいものと、色差が最も小さいものとの差が最大となる第１分割領域の色を、基準色Ｃｓとする。このような構成によれば、その都度、最適な基準色Ｃｓを設定することができる。よって、さらに正確な検査を行うことができる。

なお、予め基準色Ｃｓを記憶しておき、さらに、本実施形態のような制御を行ってもよい。すなわち、図７に示す波形と、図１４に示す８つの波形の中から色差が最も大きいものと、色差が最も小さいものとの差が最大となる色を選択してもよい。

以上、本発明の検査方法および検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。また、検査方法および検査装置の各ステップ、各構造物は、同様の機能を発揮し得る任意のステップ、構造物と置換することができる。また、任意のステップ、構造物が付加されていてもよい。また、本発明は、各実施形態の特徴を組み合わせたものであってもよい。

また、第１比較ステップと第２比較ステップとは、この順で行ってもよく、逆順で行ってもよく、同時に行ってもよい。

なお、前記各実施形態では、色差の波形を比較する構成について説明したが、本発明ではこれに限定されず、例えば、さらに、分光スペクトル同士を比較する構成であってもよい。この場合、波形間の相関係数や、波形間の誤差の二乗和を用いて比較することができる。

また、前記各実施形態では、撮像画像を回転させて比較を行ったが、本発明ではこれに限定されず、基準画像を回転させて比較を行ってもよい。この場合、基準画像を予め回転させた基準画像データを生成しておくことが好ましい。

また、前記各実施形態では、基準画像および撮像画像が長方形で、かつ、２行４列の８分割で分割領域を設定したが、分割数、分割パターンは、本発明ではこれに限定されない。また、基準画像および撮像画像が正方形で、かつ、２行２列等、縦横の分割比が同じであった場合、９０°ずつ回転させた４つの画像を生成し、それぞれを比較することが好ましい。

なお、前記各実施形態では、分光部を用いて撮像画像を取得する構成について説明したが、本発明ではこれに限定されず、分光部を省略した撮像部で撮像した画像を取得する構成であってもよい。

１…検査装置、１０…分光計測部、１５…表示部、１６…入力部、１７…記憶部、２１…撮像素子、３１…光源、４１…分光部、４５…静電アクチュエーター、６０…制御部、８１…分光部側光学系、８３…撮像素子側光学系、４１０…固定基板、４１１…固定反射膜、４１２…固定電極、４１３…溝、４１４…接合膜、４１５…反射膜設置部、４２０…可動基板、４２１…可動反射膜、４２２…可動電極、４２３…溝、４２５…反射膜設置部、６０１…光源制御部、６０２…分光制御部、６０３…画像生成部、６０５…表示制御部、６１０…判定部、６１１…分割部、６１２…基準値決定部、６１３…スペクトル生成部、６１４…色彩値算出部、６１５…色差算出部、６１６…判定部、８１１…入射レンズ、８１２…投射レンズ、８３１…入出射レンズ、Ｃｓ…基準色、ＤＰｓ…基準画像データ、ＤＰｘ…撮像画像データ、ＤＰｘ’…撮像画像データ、ＯＡ…光軸、Ｐｓ…基準画像、Ｐｓ１…第１分割領域、Ｐｓ２…第１分割領域、Ｐｓ３…第１分割領域、Ｐｓ４…第１分割領域、Ｐｓ５…第１分割領域、Ｐｓ６…第１分割領域、Ｐｓ７…第１分割領域、Ｐｓ８…第１分割領域、Ｐｘ…撮像画像、Ｐｘ’…撮像画像、Ｐｘ１…第２分割領域、Ｐｘ２…第２分割領域、Ｐｘ３…第２分割領域、Ｐｘ４…第２分割領域、Ｐｘ５…第２分割領域、Ｐｘ６…第２分割領域、Ｐｘ７…第２分割領域、Ｐｘ８…第２分割領域、Ｘ…撮像対象、ΔＥ１…波形、ΔＥ２…波形、ΔＥ３…波形、ΔＥ４…波形、ΔＥ５…波形、ΔＥ６…波形、ΔＥ７…波形、ΔＥ８…波形

Claims (9)

1. 基準画像の基準画像データと、撮像画像の撮像画像データと、が一致しているか否かを検査する検査方法であって、
   前記基準画像が分割された複数の第１分割領域のそれぞれに、基準色に対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第１取得ステップと、
   前記撮像画像が分割された複数の第２分割領域のそれぞれに、前記基準色に対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第２取得ステップと、
   前記各第１分割領域の色差の情報と、対応する前記各第２分割領域の色差の情報と、を比較する第１比較ステップと、
   前記各第１分割領域の色差の情報と、前記各第２分割領域の色差の情報と、を、前記第１比較ステップで比較した組み合わせとは異なる組み合わせで比較する第２比較ステップと、を有し、
   前記第１比較ステップで得られた第１比較結果と、前記第２比較ステップで得られた第２比較結果と、に基づいて、前記基準画像データと前記撮像画像データとが一致しているか否かを判定し、
   前記第２比較ステップでは、前記基準画像と前記撮像画像とを相対的に回転させた画像同士を重ねたときに、重なっている前記第１分割領域および前記第２分割領域同士の色差の情報を比較することを特徴とする検査方法。
2. 前記第１比較結果および前記第２比較結果のうちの一方において、前記各第１分割領域の色差の情報と、前記各第２分割領域の色差の情報と、の乖離の度合いが閾値以下であった場合、前記基準画像データと前記撮像画像データとが一致していると判定し、
   前記第１比較結果および前記第２比較結果の双方において、前記各第１分割領域の色差の情報と、前記各第２分割領域の色差の情報と、の乖離の度合いが閾値超であった場合、前記基準画像データと前記撮像画像データとが一致していないと判定する請求項１に記載の検査方法。
3. 前記色差の情報は、色差と、前記第１分割領域および前記第２分割領域の位置と、の関係を示す波形情報である請求項１または２に記載の検査方法。
4. 前記基準色は、予め定められた色である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の検査方法。
5. 前記基準色は、前記各第１分割領域のうちの１つの領域内の平均の色である請求項１ないし３のいずれか１項に記載の検査方法。
6. 前記各第１分割領域を１つずつ順に選択し、選択した前記第１分割領域内の平均の色と、選択した前記第１分割領域以外の前記第１分割領域の内の平均の色と、の乖離の程度を順に算出し、乖離の程度が最も大きいものと、乖離の程度が最も小さいものとの差が最大となる前記第１分割領域の色を、前記基準色とする請求項５に記載の検査方法。
7. 前記第１分割領域および前記第２分割領域の色彩値を加味して前記判定を行う請求項１ないし６のいずれか１項に記載の検査方法。
8. 前記撮像画像は、分光カメラで撮像された分光画像である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の検査方法。
9. 基準画像の基準画像データと、撮像画像の撮像画像データと、が一致しているか否かを検査する制御部を備える検査装置であって、
   前記制御部は、
   前記基準画像が分割された複数の第１分割領域のそれぞれに、基準色に対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第１取得ステップと、
   前記撮像画像が分割された複数の第２分割領域のそれぞれに、前記基準色に対する色差の情報が割り振られた情報を取得する第２取得ステップと、
   前記各第１分割領域の色差の情報と、対応する前記各第２分割領域の色差の情報と、を比較する第１比較ステップと、
   前記各第１分割領域の色差の情報と、前記各第２分割領域の色差の情報と、を、前記第１比較ステップで比較した組み合わせとは異なる組み合わせで比較する第２比較ステップと、を実行し、
   前記第１比較ステップで得られた第１比較結果と、前記第２比較ステップで得られた第２比較結果と、に基づいて、前記基準画像データと前記撮像画像データとが一致しているか否かを判定し、
   前記第２比較ステップでは、前記基準画像と前記撮像画像とを相対的に回転させた画像同士を重ねたときに、重なっている前記第１分割領域および前記第２分割領域同士の色差の情報を比較することを特徴とする検査装置。

Images