JP7632664B2 - 光ファイバセンシング装置及び方法 - Google Patents

Description

本開示は、光ファイバセンシング技術分野に関する。

光ファイバセンサは、光ファイバをセンサ媒体として温度や歪み等の物理量変化を光強度、周波数又は位相の変化に対応付けてセンシングするシステム及び測定技術の総称である。光ファイバセンサの一つに、干渉計型光ファイバセンサがある。干渉計型光ファイバセンサは、マッハツェンダ干渉計の一方の光路をセンサ部とし、温度や歪みによるセンサ部の光路長変化により干渉信号強度が変化する現象を利用してセンシングを行う。

また、複数の干渉計型光ファイバセンサをつないで個々のセンサの信号を分離検出する多点干渉計型光ファイバセンサも開発されている。多点干渉計型光ファイバセンサは、複数のセンサ信号の分割多重方式の違いにより、時間領域分割多重方式、波長領域分割多重方式、コヒーレンス領域分割多重方式がある。中でもコヒーレンス領域分割多重方式は、各センサ信号の常時モニタリングが可能であり、波長分割光カプラのような特殊な光デバイスを用いることなくセンサ多点化が可能という特徴がある。

コヒーレンス領域分割多重方式による多点干渉計型光ファイバセンサの概要は非特許文献１で述べられているとおりである。具体的には、複数のマッハツェンダ干渉計が連結されたセンサ部に低コヒーレンス光を入射し、透過光を光分岐して個々のセンサ部に対応する受光用マッハツェンダ干渉計で信号を分離検出する。このとき、センサ部に用いられる複数の干渉計の光路間伝搬遅延時間差は互いに異なるように設計し、受光用の干渉計の光路間伝搬遅延時間差は対応するセンサ部の干渉計の光路間伝搬遅延時間差と等しくなるように設計する。

センサ部の数をＮ（Ｎは自然数）、低コヒーレンス光源からの出射光の複素電界振幅をＥ_０（ｔ）、ｉ番目（ｉ＝１～Ｎ）のセンサ部の透過光の複素電界振幅をＥ_ｉ（ｔ）とすると、ｊ番目（ｊ＝１～Ｎ）の受光器で検出される光強度の時間平均＜Ｉ_ｊ（ｔ）＞は次式で表される。

ここでτ_ｊは受信部におけるｊ番目の干渉計における光路間の伝搬遅延時間差である。

ｉ番目のセンサ部における伝搬遅延時間と温度又は歪みの変化による光位相変化をそれぞれτ_ｉ、Δθ_ｉとすると、Ｅ_ｉ（ｔ）及び＜Ｉ_ｊ（ｔ）＞は次式のように記述できる。

ここでａ_ｉはｉ番目のセンサ部を通る光振幅に係る定数である。Γ（τ）はＥ_０（ｔ）の自己相関関数であり、次式で定義される。

ここで添字＊は複素共役である。

とり得るτの値に対してＥ_０（ｔ）のコヒーレンス時間が十分短い場合、Γ（τ）は次式のようにみなせる。

式（３）に式（５）を代入すると、τ＞０の領域では＜Ｉ_ｊ（ｔ）＞は次式のようになる。

したがって、ｊ番目の受光器で検出される光強度の時間平均＜Ｉ_ｊ（ｔ）＞は、干渉計の伝搬遅延時間差が一致するセンサ部における光位相変化Δθ_ｊのみに依存して変化する。つまり、個々のセンサ部の信号を受光器毎に分離検出することが可能となる。Δθ_ｊは、ｊ番目のセンサ部における温度変化ΔＴ_ｊと歪み変化Δε_ｊに対して次式の関係にある。

ここでＣ_ＴとＣ_εはそれぞれ温度変化と歪み変化に対する比例定数である。事前に比例定数Ｃ_ＴもしくはＣ_εを求めておき、式（７）を式（６）に代入することで、対応するセンサ部における温度及び歪みの変化を測定できる。

Ｊ．Ｌ．Ｂｒｏｏｋｓ，Ｒ．Ｈ．Ｗｅｎｔｗｏｒｔｈ，Ｒ．Ｃ．Ｙｏｕｎｇｑｕｉｓｔ，Ｍ．Ｔｕｒ，Ｂ．Ｙ．Ｋｉｍ，ａｎｄ Ｈ．Ｊ．Ｓｈａｗ，"Ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ ｏｆ Ｆｉｂｅｒ－Ｏｐｔｉｃ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｒｉｃ Ｓｅｎｓｏｒｓ，"Ｊ．Ｌｉｇｈｔｗ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．，Ｖｏｌ．ＬＴ－３，Ｎｏ．５，ｐｐ．１０６２－１０７２，１９８５．

従来のコヒーレンス領域分割多重方式に基づく多点干渉計型光ファイバセンサでは、センサ部の数だけ受光部にマッハツェンダ干渉計と受光器を用意する必要があるため、センサ部の多点化に伴い装置構成が複雑化・高コスト化してしまうという課題がある。また、受光部に用意される干渉計の光路間伝搬遅延時間差は対応するセンサ部の干渉計の光路間伝搬遅延時間差と一致するように設計する必要があり、これは必ずしも容易なことではない。

本開示は上記事情を鑑みてなされたものであり、その目的はコヒーレンス領域分割多重方式に基づく多点干渉計型光ファイバセンサにおいて、装置構成及び設計を複雑化させることなくセンサ多点化を可能とする技術を提供することにある。

本開示の光ファイバセンシング装置は、
連続光を出力する光源と、
前記連続光を分岐する光カプラと、
前記光カプラで分岐された連続光が入射され、所定の伝搬遅延時間差τ_ｒｅｆを当該連続光に生じさせる参照用干渉計と、
前記光カプラで分岐された連続光が入射され、前記所定の伝搬遅延時間差τ_ｒｅｆの整数倍に相当しかつ互いに異なる伝搬遅延時間差を当該連続光に生じさせる複数のマッハツェンダ干渉計が接続され、前記マッハツェンダ干渉計の光路の一方がセンサ部として機能する、センサ用干渉計と、
前記センサ用干渉計の透過光を受光した受光信号Ｉ（ｔ）と前記参照用干渉計の透過光を受光した参照信号Ｉ_{ｒｅｆ－１}（ｔ）を用いて信号処理を行う信号処理部と、
を備え、
前記信号処理部は、
前記参照信号Ｉ_{ｒｅｆ－１}（ｔ）を用いて、ｊ番目（ｊは自然数）の前記センサ部に対応する参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―ｊ}（ｔ）を算出し、
前記受光信号Ｉ（ｔ）と前記参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―ｊ}（ｔ）の相互相関Ｒ_ｊを算出し、
前記相互相関Ｒ_ｊの変化を用いて、ｊ番目の前記センサ部の変化を検出する。

本開示の光ファイバセンシング方法は、
光源からの連続光を分岐し、
所定の伝搬遅延時間差τ_ｒｅｆを当該連続光に生じさせる参照用干渉計に、前記分岐された連続光を入射し、
前記所定の伝搬遅延時間差τ_ｒｅｆの整数倍に相当しかつ互いに異なる伝搬遅延時間差を当該連続光に生じさせる複数のマッハツェンダ干渉計が接続され、前記マッハツェンダ干渉計の光路の一方がセンサ部として機能する、センサ用干渉計に、前記分岐された連続光を入射し、
信号処理部が、前記センサ用干渉計の透過光を受光した受光信号Ｉ（ｔ）と前記参照用干渉計の透過光を受光した参照信号Ｉ_{ｒｅｆ－１}（ｔ）を用いて、前記センサ部の変化を検出する光ファイバセンシング方法であって、
前記信号処理部は、
前記参照信号Ｉ_{ｒｅｆ－１}（ｔ）を用いて、ｊ番目のセンサ部に対応する参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―ｊ}（ｔ）を算出し、
前記受光信号Ｉ（ｔ）と前記参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―ｊ}（ｔ）の相互相関Ｒ_ｊを算出し、
前記相互相関Ｒ_ｊの変化を用いて、ｊ番目の前記センサ部の変化を検出する。

本開示によれば、受光側に干渉計を用いることなくセンサ部を多点化することができ、センサ部の数に関わらず単一の装置構成で多点センシングが可能となる。このため、本開示は、コヒーレンス領域分割多重方式に基づく多点干渉計型光ファイバセンサにおいて、装置構成及び設計を複雑化させることなくセンサ多点化を可能とすることができる。

本開示における参照信号の位相Ｘ_Ｍｊ（ｔ）の算出の概念図である。 本開示の実施形態１における装置構成を示すブロック図である。 本開示の実施形態１及び２における実施手順を示すフローチャートである。 本開示の実施形態２における装置構成を示すブロック図である。

以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本開示は、以下に示す実施形態に限定されるものではない。これらの実施の例は例示に過ぎず、本開示は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。

本開示では、センサ部の干渉計を透過した光信号については受光側に干渉計を用いずに受光する。具体的には、本開示の光ファイバセンシング装置は、センサ部の干渉計とは別の光経路を通る参照用干渉計を別途用意し、参照用干渉計から取得される信号を用いた信号処理により各センサ部の温度及び歪みの変化前の信号を疑似的に生成する。本開示では、この疑似的に生成した信号を参照信号と称する。本開示の光ファイバセンシング装置は、この参照信号とセンサ部の干渉計から取得される受光信号の相互相関を計算することにより、装置構成を複雑化させることなく多点干渉計型光ファイバセンサを実現する。

受光部に干渉計を用いない場合、Ｎ個（Ｎは自然数）のセンサ部を通る光経路について取得される受光信号Ｉ（ｔ）は次式のように表される。

ここで、Ｅ_０（ｔ）はＮ個のセンサ部に入射する前の連続光の複素電界振幅、Ｅ_ｉ（ｔ）はｉ番目（ｉ＝１～Ｎ）のセンサ部の透過光の複素電界振幅である。本実施形態では、光源からの連続光をＮ個のセンサ部に入射する例について説明する。

式（８）に式（２）を代入すると、受光信号Ｉ（ｔ）は次式のように表される。

ここで、τ_ｉはｉ番目のセンサ部における伝搬遅延時間であり、Δθ_ｉはｉ番目のセンサ部における光位相変化であり、ａ_ｉはｉ番目のセンサ部を通る光振幅に係る定数である。

なお、ここでθ（ｔ）は光源からの連続光の位相であり、式（９）の２行目では直流成分の記述は省略した。また、各センサ部を透過する光強度はセンサ部を透過しない光強度に対して十分弱く（ａ_ｉ＜＜１）、センサ部の透過光同士の干渉成分は無視できることとした。

一方、参照用干渉計の透過光から得られる参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―１}（ｔ）は次式のように表される。

ここでτ_ｒｅｆは参照用干渉計における光路間の伝搬遅延時間差である。

次に、Ｉ_{ｒｅｆ―１}（ｔ）を用いてｊ番目のセンサ部に関する温度及び歪みの変化前の参照信号を数値計算により疑似的に生成する。ｊ番目のセンサ部の光経路に与える遅延時間τ_ｊをτ_ｊ＝Ｍ_ｊτ_ｒｅｆ（Ｍ_ｊは自然数）となるように設計すると、θ（ｔ）－θ（ｔ－Ｍ_ｊτ_ｒｅｆ）を位相成分とする余弦波の信号を生成できればよい。ここで、Ｍ_ｊ＝１の場合の位相Ｘ_１（ｔ）、及びＭ_ｊの場合の位相Ｘ_Ｍｊ（ｔ）を次式のように定義する。

Ｘ_Ｍｊ（ｔ）は、Ｘ_１（ｔ）を用いて次式により算出することができる。

図１はＭ_ｊ＞１の場合における式（１３）によるＸ_Ｍｊ（ｔ）の算出のイメージである。Ｘ_Ｍｊ（ｔ）はＭ_ｊ個のＸ_１（ｔ）を時間軸上でτ_ｒｅｆずつずらした波形を足し合わせていくことで算出される。Ｘ_Ｍｊ（ｔ）を用いて、ｊ番目のセンサ部に関する疑似的な参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―Ｍｊ}（ｔ）を次式により生成する。

次に、Ｉ（ｔ）とＩ_{ｒｅｆ―Ｍｊ}（ｔ）の余弦波における相互相関Ｒ_Ｍｊを計算する。Ｒ_Ｍｊは次式により計算される。

ここで、光源からの連続光のコヒーレンス時間がτ_ｒｅｆに比べて十分短く、複数のセンサ部の伝搬遅延時間が互いに重複しないこととすると、次式が成り立つ。

式（１６）を式（１５）に代入すると、Ｒ_Ｍｊは次式のようになる。

したがって、τ_ｊ＝Ｍ_ｊτ_ｒｅｆを満たすＭ_ｊについて計算される相互相関Ｒ_Ｍｊの大きさはｊ番目のセンサ部の温度及び歪みなどによる変化に依存して変化するため、Ｒ_Ｍｊの変化をモニタリングすることでｊ番目のセンサ部の温度及び歪みの変化をセンシングできる。同様に、ｊ番目以外の任意のｉ番目のセンサ部についてもτ_ｉ＝Ｍ_ｉτ_ｒｅｆを満たすＭ_ｉについて計算される相互相関Ｒ_Ｍｉをモニタリングすることで温度及び歪みの変化をセンシングできる。

（本開示の効果）
本開示を用いることにより、多点干渉計型光ファイバセンサに関して受光部の干渉計や受光器を追加することなくセンサ部を多点化することができる。また、従来はセンサ部の干渉計と受光部の干渉計で光路間伝搬遅延時間差が等しくなるように設計する必要があったのに対し、本開示を用いることで受光部の干渉計が不要となるため、受光部の設計を簡素化することができる。これにより、センサ部の数に関わらず単一の装置構成で多点センシングが可能となるため、従来よりも低コストかつ拡張性の高い光ファイバセンシングが実現できる。

添付の図面を参照して本開示の実施形態を説明する。ここではセンサ部の構成の異なる２種類の実施形態について述べる。

（実施形態１）
図２は本実施形態における装置構成を示すブロック図である。光源には低コヒーレンス光源１１を用い、低コヒーレンス光源１１から出力される連続光を光カプラ１６で分岐してセンサ用干渉計２０と参照用干渉計３０に入射する。センサ用干渉計２０はＮ個のセンサ部２１＃１～２１＃Ｎを備える。受光器１３Ｓはセンサ用干渉計２０からの光を受光する。受光器１３Ｓは参照用干渉計３０からの光を受光する。

参照用干渉計３０は光路間伝搬遅延時間差をτ_ｒｅｆとするマッハツェンダ干渉計とする。センサ用干渉計２０の各マッハツェンダ干渉計の光路間伝搬遅延時間差τ_１～τ_Ｎはτ_ｒｅｆの整数倍とし、複数のマッハツェンダ干渉計で互いに重複しないようにする（Ｍ_ｊ≠Ｍ_ｉ（ｊ≠ｉ））。また、低コヒーレンス光源１１はコヒーレンス時間がτ_ｒｅｆよりも短いものを用いる。

本実施形態では、センサ用干渉計２０は光カプラ２２＃１～２２＃Ｎ及び２３＃１～２３＃Ｎを用いて複数のマッハツェンダ干渉計を直列に接続した鎖型の構成とし、センサ用干渉計２０の各マッハツェンダ干渉計の一方の光路をセンサ部２１＃１～２１＃Ｎとする。

図３は本実施形態における実施手順を示すフローチャートである。実施手順は光干渉信号取得ステップＳ１１、参照信号位相算出ステップＳ１２、位相連結ステップＳ１３、疑似信号生成ステップＳ１４、相互相関ステップＳ１５を備える。なお、ここでは複数のセンサ部２１＃１～２１＃Ｎのうちｊ番目のセンサ部２１＃ｉについてセンシングを実施する場合について述べる。

光干渉信号取得ステップＳ１１では、センサ用干渉計２０と参照用干渉計３０の２種類の光干渉計を用いてそれぞれの光干渉信号を取得する。具体的には、センサ用干渉計２０を透過した連続光と参照用干渉計３０を透過した連続光をそれぞれ個別の受光器１３Ｓ及び１３Ｒで受光し、電気信号に変換する。電気信号に変換した受光信号をそれぞれＡ／Ｄ変換器１４でデジタル信号に変換し、信号処理部１５に転送する。

信号処理部１５は、Ａ／Ｄ変換器１４からのデジタル信号を用いて、センサ用干渉計２０と参照用干渉計３０の光干渉信号をそれぞれ算出する。受光器１３Ｓから得られれたデジタル信号が受光信号Ｉ（ｔ）であり、受光器１３Ｒから得られたデジタル信号が受光信号Ｉ_{ｒｅｆ―１}（ｔ）である。

次に参照信号位相算出ステップＳ１２では、信号処理部１５が、光干渉信号取得ステップＳ１１で取得した２種類の光干渉信号のうち参照用干渉計３０に関して得られた受光信号Ｉ_{ｒｅｆ―１}（ｔ）を用いて、位相Ｘ_１（ｔ）を算出する。Ｘ_１（ｔ）は、参照用干渉計３０に関して得られた信号Ｉ_{ｒｅｆ―１}（ｔ）を用いて次式により算出することができる。

ここでＨ［Ｉ_{ｒｅｆ―１}（ｔ）］はＩ_{ｒｅｆ―１}（ｔ）のヒルベルト変換であり、Ｉ_{ｒｅｆ―１}（ｔ）が式（１０）のように表されるとすると、Ｈ［Ｉ_{ｒｅｆ―１}（ｔ）］は次式のように表される。

次に位相連結ステップＳ１３では、Ｘ_１（ｔ）を用いて式（１３）によりＸ_Ｍｊ（ｔ）を求める。ここでＭ_ｊはｊ番目のセンサ部２１＃ｊの干渉計における光路間伝搬遅延時間差をτ_ｊとしてτ_ｊ＝Ｍ_ｊτ_ｒｅｆを満たす自然数である。

次に疑似信号生成ステップＳ１４では、式（１４）によりｊ番目のセンサ部２１＃ｊに関する疑似信号Ｉ_{ｒｅｆ―Ｍｊ}（ｔ）を算出する。

最後に相互相関ステップＳ１５において、センサ用干渉計２０に関して取得した光干渉信号Ｉ（ｔ）と疑似信号Ｉ_{ｒｅｆ―Ｍｊ}（ｔ）の相互相関Ｒ_Ｍｊを計算する。計算されるＲ_Ｍｊの大きさをモニタリングし、ｊ番目のセンサ部２１＃ｊにおける温度及び歪みの変化を検出する。

（実施形態２）
本実施形態は、実施手順は実施形態１と同一であり、用いられる装置構成が実施形態１と異なる。図４は本実施形態における装置構成を示すブロック図である。光源には低コヒーレンス光源１１を用い、低コヒーレンス光源１１から出力される連続光を光カプラ１６で分岐してセンサ用干渉計２０と参照用干渉計３０に入射する。

参照用干渉計３０は光路間伝搬遅延時間差をτ_ｒｅｆとするマッハツェンダ干渉計とする。センサ用干渉計２０は、並列に接続されている複数のセンサ部２１を備え、センサ用干渉計２０を透過する連続光の伝搬遅延時間τがセンサ部２１ごとに異なる。本実施形態では、センサ用干渉計２０は光カプラ２２＃１～２２＃Ｎ及び２３＃１～２３＃Ｎを用いて梯子型に光ファイバを接続した構成とし、梯子型の各段の光路をセンサ部２１＃１～２１＃Ｎとする。

図４のセンサ用干渉計２０において左端上の光カプラ２２＃０からの出射光が各センサ部２１＃１～２１＃Ｎを通り左端下の光カプラ２３＃０に入射されるまでの遅延時間はτ_ｒｅｆの整数倍とし、複数のセンサ部２１で互いに重複しないようにする（Ｍ_ｊ≠Ｍ_ｉ（ｊ≠ｉ））。センサ用干渉計２０を透過した連続光と参照用干渉計３０を透過した連続光をそれぞれ個別の受光器１３Ｓ及び１３Ｒで受光し、電気信号に変換する。電気信号に変換した受光信号をＡ／Ｄ変換器１４でデジタル信号に変換し、信号処理部１５に転送する。なお、本装置構成で用いられる低コヒーレンス光源１１はコヒーレンス時間がτ_ｒｅｆよりも短いものを用いる。

その他実施手順は、実施形態１と同様に図３のフローチャートに従って実施される。

本開示の信号処理部１５は、コンピュータとプログラムによっても実現でき、プログラムを記録媒体に記録することも、ネットワークを通して提供することも可能である。

本開示は情報通信産業に適用することができる。

１１：低コヒーレンス光源
１２：高コヒーレンス光源
１３：受光器
１４：Ａ／Ｄ変換器
１５：信号処理部
１６、２２＃０～２２＃Ｎ、２３＃０～２３＃Ｎ、３２、３３：光カプラ
２０：センサ用干渉計
３０：参照用干渉計

Claims (8)

1. 連続光を出力する光源と、
   前記連続光を分岐する光カプラと、
   前記光カプラで分岐された連続光が入射され、所定の伝搬遅延時間差τ_ｒｅｆを当該連続光に生じさせる参照用干渉計と、
   前記光カプラで分岐された連続光が入射され、前記所定の伝搬遅延時間差τ_ｒｅｆの整数倍に相当しかつ互いに異なる伝搬遅延時間差を当該連続光に生じさせる複数のマッハツェンダ干渉計が接続され、前記マッハツェンダ干渉計の光路の一方がセンサ部として機能する、センサ用干渉計と、
   前記センサ用干渉計の透過光を受光した受光信号Ｉ（ｔ）と前記参照用干渉計の透過光を受光した参照信号Ｉ_{ｒｅｆ－１}（ｔ）を用いて信号処理を行う信号処理部と、
   を備え、
   前記信号処理部は、
   前記参照信号Ｉ_{ｒｅｆ－１}（ｔ）を用いて、ｊ番目（ｊは自然数）の前記センサ部に対応する参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―ｊ}（ｔ）を算出し、
   前記受光信号Ｉ（ｔ）と前記参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―ｊ}（ｔ）の相互相関Ｒ_ｊを算出し、
   前記相互相関Ｒ_ｊの変化を用いて、ｊ番目の前記センサ部の変化を検出する、
   光ファイバセンシング装置。
2. 前記信号処理部は、
   前記参照信号Ｉ_{ｒｅｆ－１}（ｔ）を用いて、前記所定の伝搬遅延時間差τ_ｒｅｆのときの前記連続光の位相Ｘ_１（ｔ）を算出し、
   ｊ番目の前記センサ部における伝搬遅延時間差がτ_ｒｅｆのＭ_ｊ倍の場合、Ｍ_ｊ個のＸ_１（ｔ）をτ_ｒｅｆずつずらした波形を足し合わせることで、ｊ番目の前記センサ部に対応する位相Ｘ_Ｍｊ（ｔ）を算出し、
   前記位相Ｘ_Ｍｊ（ｔ）を用いて、ｊ番目の前記センサ部に対応する参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―ｊ}（ｔ）を算出する、
   請求項１に記載の光ファイバセンシング装置。
3. 前記信号処理部は、
   前記位相Ｘ_Ｍｊ（ｔ）を位相成分とする余弦波を、前記参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―ｊ}（ｔ）として算出し、
   前記余弦波を用いて、前記受光信号Ｉ（ｔ）と前記参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―ｊ}（ｔ）の相互相関Ｒ_ｊを算出する、
   請求項２に記載の光ファイバセンシング装置。
4. 前記参照用干渉計における前記所定の伝搬遅延時間差τ_ｒｅｆは、前記連続光のコヒーレンス時間よりも長いことを特徴とする、
   請求項１から３のいずれかに記載の光ファイバセンシング装置。
5. 前記センサ用干渉計は、複数のマッハツェンダ干渉計が直列に接続されており、
   前記センサ部は、前記マッハツェンダ干渉計内の光路の一方であり、
   前記複数のマッハツェンダ干渉計に備わる各センサ部の伝搬遅延時間差が互いに異なる、
   請求項１から４のいずれかに記載の光ファイバセンシング装置。
6. 前記センサ用干渉計は、並列に接続されている複数のセンサ部を備え、
   前記センサ用干渉計を透過する前記連続光の伝搬遅延時間が前記センサ部ごとに異なる、
   請求項１から５のいずれかに記載の光ファイバセンシング装置。
7. 前記センサ部の変化は、ｊ番目の前記センサ部の温度又は歪みの変化である、
   請求項１から６のいずれかに記載の光ファイバセンシング装置。
8. 光源からの連続光を分岐し、
   所定の伝搬遅延時間差τ_ｒｅｆを当該連続光に生じさせる参照用干渉計に、前記分岐された連続光を入射し、
   前記所定の伝搬遅延時間差τ_ｒｅｆの整数倍に相当しかつ互いに異なる伝搬遅延時間差を当該連続光に生じさせる複数のマッハツェンダ干渉計が接続され、前記マッハツェンダ干渉計の光路の一方がセンサ部として機能する、センサ用干渉計に、前記分岐された連続光を入射し、
   信号処理部が、前記センサ用干渉計の透過光を受光した受光信号Ｉ（ｔ）と前記参照用干渉計の透過光を受光した参照信号Ｉ_{ｒｅｆ－１}（ｔ）を用いて、前記センサ部の変化を検出する光ファイバセンシング方法であって、
   前記信号処理部は、
   前記参照信号Ｉ_{ｒｅｆ－１}（ｔ）を用いて、ｊ番目のセンサ部に対応する参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―ｊ}（ｔ）を算出し、
   前記受光信号Ｉ（ｔ）と前記参照信号Ｉ_{ｒｅｆ―ｊ}（ｔ）の相互相関Ｒ_ｊを算出し、
   前記相互相関Ｒ_ｊの変化を用いて、ｊ番目の前記センサ部の変化を検出する、
   光ファイバセンシング方法。

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