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JP7634345B2 - CURABLE RESIN COMPOSITION, DRY FILM, CURED PRODUCT, AND PRINTED WIRING BOARD - Google Patents
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CURABLE RESIN COMPOSITION, DRY FILM, CURED PRODUCT, AND PRINTED WIRING BOARD Download PDF

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Description

本発明は硬化性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物、およびプリント配線板に関する。 The present invention relates to a curable resin composition, a dry film, a cured product, and a printed wiring board.

プリント配線板の製造においては一般にソルダーレジスト等の永久被膜の形成に、硬化性樹脂組成物が採用されており、そのような硬化性樹脂組成物としてドライフィルム型の組成物や液状の組成物が開発されている。これらの中でも、環境問題への配慮から、現像液として希アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像型の硬化性樹脂組成物が主流になっており、従来、幾つかの組成系が提案されている(例えば特許文献1)。 In the manufacture of printed wiring boards, curable resin compositions are generally used to form permanent coatings such as solder resists, and dry film-type compositions and liquid compositions have been developed as such curable resin compositions. Among these, alkaline development-type curable resin compositions that use a dilute alkaline aqueous solution as a developer have become mainstream due to environmental considerations, and several composition systems have been proposed in the past (for example, Patent Document 1).

近年、半導体部品の急速な進歩により、電子機器は軽薄短小化、高性能化、多機能化される傾向にある。この傾向に追従して半導体パッケージの小型化、多ピン化が実用化されている。具体的には、QFP(クワッド・フラットパック・パッケージ)、SOP(スモール・アウトライン・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージに代わって、BGA(ボール・グリッド・アレイ)、CSP(チップ・スケール・パッケージ)等と呼ばれるICパッケージが使用されている。また、近年では、さらに高密度化されたICパッケージとして、FC-BGA(フリップチップ・ボール・グリッド・アレイ)も実用化されている。このようなICパッケージに用いられるプリント配線板(パッケージ基板ともいう。)に形成するソルダーレジスト等の永久被膜には、より一層の薄膜化が求められている。
また、ソルダーレジストは、隠蔽性やデザイン性の観点から、黒色のものを求められることがあり、そのためにソルダーレジストに用いられる硬化性樹脂組成物に関し、着色剤として黒色を示すカーボンブラックを含有するものや、黒色以外の複数色の顔料を組み合わせて含有することにより黒色を示すものがあった。
In recent years, due to the rapid progress of semiconductor parts, electronic devices tend to become lighter, thinner, shorter, smaller, more powerful, and more multifunctional. Following this trend, miniaturization and increased pin count of semiconductor packages have been put into practical use. Specifically, IC packages called BGA (ball grid array), CSP (chip scale package), etc. have been used instead of IC packages called QFP (quad flat pack package), SOP (small outline package), etc. In addition, in recent years, FC-BGA (flip chip ball grid array) has also been put into practical use as an IC package with even higher density. There is a demand for even thinner permanent coatings such as solder resist formed on printed wiring boards (also called package substrates) used in such IC packages.
Furthermore, from the viewpoints of hiding power and design, solder resists are sometimes required to be black in color. For this reason, curable resin compositions used in solder resists include those that contain carbon black, which exhibits a black color, as a colorant, and those that exhibit a black color by containing a combination of pigments of multiple colors other than black.

特開昭61-243869号公報 (特許請求の範囲)JP 61-243869 A (Claims)

現在のソルダーレジストは光硬化で画像形成され、最終的に熱硬化処理が施されることが多い。この熱硬化処理により銅回路が酸化により変色することがある。また、基板上にマーキングインキを施す場合にはソルダーレジストの硬化後、さらにマーキングを印刷し熱硬化させるため、銅回路の変色は加速され得る。更に、ソルダーレジストの熱硬化の際に生じる基板の反りの補正のため圧力と熱をかける場合もあり、同様に回路が変色され得る。この変色を、従来の黒色硬化性樹脂組成物では隠蔽しきれず、基板の見た目が悪くなることがあった。また、銅回路の銅色との組み合わせにより黒色を示すように青色着色料を含む従来の硬化性樹脂組成物においても隠蔽性は十分でなく、特に、銅表面を粗化して密着性を高めるための処理であるCZ処理を行った銅回路に対する隠蔽性は、今なお改良の余地があった。
また、ソルダーレジストは、着色剤の配合によって解像度が低下することは極力避けなければならず、隠蔽性と解像性を高レベルで両立することが求められているところ、従来は色調以外の成分を変更する必要があり、かつ、解像性を重視した場合には隠蔽性を担保していた黒色顔料の添加量を下げる必要があり、この場合は硬化条件によっては銅回路の酸化によって色調が変化してしまう。
Current solder resists are often photocured to form an image, and then heat cured. This heat curing process may cause the copper circuit to discolor due to oxidation. In addition, when marking ink is applied to a substrate, the marking is printed and heat cured after the solder resist is cured, so the discoloration of the copper circuit may be accelerated. Furthermore, pressure and heat may be applied to correct the warping of the substrate that occurs during the heat curing of the solder resist, and the circuit may also be discolored. This discoloration could not be completely concealed by conventional black curable resin compositions, and the appearance of the substrate may be deteriorated. In addition, even in conventional curable resin compositions that contain a blue colorant to show black in combination with the copper color of the copper circuit, the concealment is not sufficient, and in particular, there is still room for improvement in the concealment of copper circuits that have been subjected to CZ treatment, which is a treatment for roughening the copper surface and increasing adhesion.
Furthermore, solder resist must avoid, wherever possible, any reduction in resolution due to the incorporation of colorants, and is required to achieve both high levels of hiding power and resolution. In the past, however, it was necessary to change components other than the color tone, and when prioritizing resolution, it was necessary to reduce the amount of black pigment added, which ensured hiding power. In this case, depending on the curing conditions, the color tone would change due to oxidation of the copper circuit.

そこで本発明の目的は、CZ処理後の銅上に形成された塗膜が、隠蔽性に優れることにより加熱後に色味の変化が少なく、かつ、解像性に優れたアルカリ現像可能な硬化性樹脂組成物、該組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、該組成物または該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、および、該硬化物を有するプリント配線板を提供することにある。 The object of the present invention is to provide an alkali-developable curable resin composition that has excellent resolution and exhibits little color change after heating due to excellent hiding properties in the coating film formed on copper after CZ treatment, a dry film having a resin layer obtained from the composition, a cured product of the composition or the resin layer of the dry film, and a printed wiring board having the cured product.

本発明者等は上記を鑑み鋭意検討した結果、特定試験条件における透過率が所定の範囲にある硬化性樹脂組成物は、CZ処理後の銅上に形成された塗膜が、隠蔽性に優れることにより加熱後に色味の変化が少なく、かつ、解像性に優れることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive research conducted by the inventors in light of the above, they discovered that a curable resin composition having a transmittance within a specified range under specific test conditions results in a coating film formed on copper after CZ treatment that has excellent hiding properties, resulting in little change in color after heating and excellent resolution, and thus they have completed the present invention.

すなわち、本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)熱硬化性樹脂、および(D)着色剤を含有し、表面をCZ処理した銅上に形成される硬化性樹脂組成物であって、
厚さ2mmのガラス基板上に形成した前記硬化性樹脂組成物の乾燥塗膜(膜厚20μm)の透過率が、波長430nmにて30~50%、波長530nmにて28~45%であることを特徴とするものである。
That is, the curable resin composition of the present invention contains (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a thermosetting resin, and (D) a colorant, and is formed on copper having a CZ-treated surface,
The curable resin composition is characterized in that the dry coating film (film thickness 20 μm) formed on a glass substrate having a thickness of 2 mm has a transmittance of 30 to 50% at a wavelength of 430 nm and 28 to 45% at a wavelength of 530 nm.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記乾燥塗膜の透過率が、波長720nmにて12%以下であることが好ましい。 The curable resin composition of the present invention preferably has a transmittance of the dried coating film of 12% or less at a wavelength of 720 nm.

本発明の硬化性樹脂組成物は、前記乾燥塗膜の透過率が、波長365nmにて5%以上であることが好ましい。 The curable resin composition of the present invention preferably has a transmittance of 5% or more at a wavelength of 365 nm through the dried coating film.

本発明のドライフィルムは、前記硬化性樹脂組成物から得られる樹脂層を有することを特徴とするものである。 The dry film of the present invention is characterized by having a resin layer obtained from the curable resin composition.

本発明の硬化物は、前記硬化性樹脂組成物または前記ドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とするものである。 The cured product of the present invention is characterized by being obtained by curing the curable resin composition or the resin layer of the dry film.

本発明のプリント配線板は、前記硬化物を有することを特徴とするものである。 The printed wiring board of the present invention is characterized by having the above-mentioned cured product.

本発明によれば、CZ処理後の銅上に形成された塗膜が、隠蔽性に優れることにより加熱後に色味の変化が少なく、かつ、解像性に優れたアルカリ現像可能な硬化性樹脂組成物、該組成物から得られる樹脂層を有するドライフィルム、該組成物または該ドライフィルムの樹脂層の硬化物、および、該硬化物を有するプリント配線板を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an alkali-developable curable resin composition that has excellent resolution and shows little color change after heating due to excellent hiding properties in the coating film formed on copper after CZ treatment, a dry film having a resin layer obtained from the composition, a cured product of the composition or the resin layer of the dry film, and a printed wiring board having the cured product.

本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)熱硬化性樹脂、および(D)着色剤を含有し、表面をCZ処理した銅上に形成される硬化性樹脂組成物であって、
厚さ2mmのガラス基板上に形成した前記硬化性樹脂組成物の乾燥塗膜(膜厚20μm)の透過率が、波長430nmにて30~50%、波長530nmにて28~45%であることを特徴とするものである。一例では硬化性樹脂組成物中の赤色着色剤、黄色着色剤、青色着色剤および黒色着色剤の配合を調整して、厚さ2mmのガラス基板上で試験される塗膜の透過率が波長430nmにて30~50%、波長530nmにて28~45%であるように調整する。かかる透過率を有する硬化性樹脂組成物は従来の黒色硬化性樹脂組成物でもなく、従来の青色硬化性樹脂組成物でもなく、新規な硬化性樹脂組成物であるが、着色剤の配合割合で特定することは困難である反面、厚さ2mmのガラス基板上に形成した前記硬化性樹脂組成物の乾燥塗膜(膜厚20μm)の透過率が波長430nmにて30~50%、波長530nmにて28~45%であるものは、本発明で所期した隠蔽性および解像性を兼ね備える。したがって、本発明の硬化性樹脂組成物は特定試験条件における透過率が所定の範囲にあることを特定している。
透過率の測定は、硬化性樹脂組成物を厚さ2mmのガラス基板上にアプリケーターで80℃30分乾燥後に20μmの厚みとなるように乾燥塗膜を形成するか、厚さ20μmのドライフィルムを厚さ2mmのガラス基板にラミネートし、キャリアフィルムを剥離して形成する。紫外線可視近赤外分光光度計V-670(日本分光社製)で測定する。
好ましくは乾燥塗膜の透過率が、波長720nmにて12%以下であり、これにより、加熱処理後の色味の変化を極力抑制することができる。
また好ましくは、乾燥塗膜の透過率が、波長365nmにて5%以上であり、これにより、解像性を向上させることができる。
The curable resin composition of the present invention contains (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a thermosetting resin, and (D) a colorant, and is formed on copper having a CZ-treated surface,
The transmittance of a dry coating film (film thickness 20 μm) of the curable resin composition formed on a glass substrate having a thickness of 2 mm is 30 to 50% at a wavelength of 430 nm and 28 to 45% at a wavelength of 530 nm. In one example, the blending ratio of the red colorant, yellow colorant, blue colorant, and black colorant in the curable resin composition is adjusted so that the transmittance of the coating film tested on a glass substrate having a thickness of 2 mm is 30 to 50% at a wavelength of 430 nm and 28 to 45% at a wavelength of 530 nm. A curable resin composition having such a transmittance is neither a conventional black curable resin composition nor a conventional blue curable resin composition, but a novel curable resin composition, and although it is difficult to specify it by the blending ratio of the colorant, a dry coating film (film thickness 20 μm) of the curable resin composition formed on a glass substrate having a thickness of 2 mm has a transmittance of 30 to 50% at a wavelength of 430 nm and 28 to 45% at a wavelength of 530 nm, and has both the hiding power and resolution desired in the present invention. Therefore, the curable resin composition of the present invention is specified to have a transmittance in a predetermined range under specific test conditions.
The transmittance is measured by forming a dry coating film of the curable resin composition on a 2 mm thick glass substrate with an applicator so that the film has a thickness of 20 μm after drying at 80° C. for 30 minutes, or by laminating a 20 μm thick dry film on a 2 mm thick glass substrate and peeling off the carrier film. The transmittance is measured with a UV-Visible-Near-Infrared Spectrophotometer V-670 (manufactured by JASCO Corporation).
Preferably, the transmittance of the dried coating film is 12% or less at a wavelength of 720 nm, which makes it possible to minimize changes in color tone after heat treatment.
Also preferably, the transmittance of the dried coating film is 5% or more at a wavelength of 365 nm, which can improve the resolution.

以下に、本発明の硬化性樹脂組成物の各成分について説明する。なお、本明細書において、(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語であり、他の類似の表現についても同様である。 Each component of the curable resin composition of the present invention will be described below. In this specification, (meth)acrylate is a general term for acrylate, methacrylate, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.

[(A)アルカリ可溶性樹脂]
(A)アルカリ可溶性樹脂としては、例えば、フェノール性水酸基を2個以上有する化合物、カルボキシル基含有樹脂、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有する化合物、チオール基を2個以上有する化合物が挙げられる。中でも、アルカリ可溶性樹脂がカルボキシル基含有樹脂またはフェノール樹脂であると、下地との密着性が向上するため好ましい。特に、現像性に優れるため、アルカリ可溶性樹脂はカルボキシル基含有樹脂であることがより好ましい。カルボキシル基含有樹脂は、エチレン性不飽和二重結合を有するカルボキシル基含有感光性樹脂であることが好ましいが、エチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂でもよい。
[(A) Alkali-soluble resin]
(A) Examples of the alkali-soluble resin include a compound having two or more phenolic hydroxyl groups, a carboxyl group-containing resin, a compound having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group, and a compound having two or more thiol groups. Among them, it is preferable that the alkali-soluble resin is a carboxyl group-containing resin or a phenolic resin, since the adhesion to the base is improved. In particular, it is more preferable that the alkali-soluble resin is a carboxyl group-containing resin, since it has excellent developability. The carboxyl group-containing resin is preferably a carboxyl group-containing photosensitive resin having an ethylenically unsaturated double bond, but it may be a carboxyl group-containing resin without an ethylenically unsaturated double bond.

カルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマーおよびポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。 Specific examples of carboxyl group-containing resins include the compounds (which may be either oligomers or polymers) listed below.

(1)(メタ)アクリル酸等の不飽和カルボン酸と、スチレン、α-メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレン等の不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有樹脂。 (1) A carboxyl group-containing resin obtained by copolymerizing an unsaturated carboxylic acid such as (meth)acrylic acid with an unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth)acrylate, or isobutylene.

(2)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物およびポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (2) Carboxyl group-containing urethane resins obtained by polyaddition reaction of diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates with carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, and diol compounds such as polycarbonate polyols, polyether polyols, polyester polyols, polyolefin polyols, acrylic polyols, bisphenol A alkylene oxide adduct diols, and compounds having phenolic hydroxyl groups and alcoholic hydroxyl groups.

(3)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (3) A urethane resin containing terminal carboxyl groups, which is obtained by reacting an acid anhydride with the terminal of a urethane resin obtained by polyaddition reaction of a diisocyanate compound such as an aliphatic diisocyanate, a branched aliphatic diisocyanate, an alicyclic diisocyanate, or an aromatic diisocyanate with a diol compound such as a polycarbonate polyol, a polyether polyol, a polyester polyol, a polyolefin polyol, an acrylic polyol, a bisphenol A alkylene oxide adduct diol, or a compound having a phenolic hydroxyl group or an alcoholic hydroxyl group.

(4)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物およびジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (4) Carboxyl group-containing urethane resins obtained by polyaddition reaction of diisocyanates with (meth)acrylates of bifunctional epoxy resins such as bisphenol A type epoxy resins, hydrogenated bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, bixylenol type epoxy resins, and biphenol type epoxy resins, or their partial acid anhydride modifications, carboxyl group-containing dialcohol compounds, and diol compounds.

(5)上記(2)または(4)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (5) A carboxyl group-containing urethane resin that is (meth)acrylated at the terminal by adding a compound having one hydroxyl group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule, such as hydroxyalkyl (meth)acrylate, during the synthesis of the resin (2) or (4) above.

(6)上記(2)または(4)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物等、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (6) A carboxyl group-containing urethane resin that is (meth)acrylated at the terminal by adding a compound having one isocyanate group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule, such as an equimolar reactant of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate, during the synthesis of the resin (2) or (4) above.

(7)多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有樹脂。 (7) A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a multifunctional epoxy resin with (meth)acrylic acid and adding a dibasic acid anhydride such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, or hexahydrophthalic anhydride to the hydroxyl groups present in the side chains.

(8)2官能エポキシ樹脂の水酸基をさらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有樹脂。 (8) A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polyfunctional epoxy resin in which the hydroxyl groups of a bifunctional epoxy resin have been further epoxidized with epichlorohydrin with (meth)acrylic acid, and then adding a dibasic acid anhydride to the resulting hydroxyl groups.

(9)多官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。 (9) A carboxyl group-containing polyester resin obtained by reacting a polyfunctional oxetane resin with a dicarboxylic acid and adding a dibasic acid anhydride to the resulting primary hydroxyl groups.

(10)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシド等のアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (10) A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a compound having multiple phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide, reacting the reaction product obtained with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid, and reacting the resulting reaction product with a polybasic acid anhydride.

(11)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等の環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (11) A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a compound having multiple phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate, reacting the reaction product obtained with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid, and then reacting the resulting reaction product with a polybasic acid anhydride.

(12)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p-ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸等の不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、無水アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (12) A carboxyl group-containing resin obtained by reacting an epoxy compound having multiple epoxy groups in one molecule with a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule, such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and an unsaturated group-containing monocarboxylic acid, such as (meth)acrylic acid, and then reacting the alcoholic hydroxyl group of the resulting reaction product with a polybasic acid anhydride, such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, or adipic anhydride.

(13)上記(1)~(12)等に記載のカルボキシル基含有樹脂にさらにグリシジル(メタ)アクリレート、α-メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有樹脂。 (13) A carboxyl group-containing resin obtained by further adding a compound having one epoxy group and one or more (meth)acryloyl groups in the molecule, such as glycidyl (meth)acrylate, α-methylglycidyl (meth)acrylate, etc., to the carboxyl group-containing resin described in (1) to (12) above.

上記カルボキシル基含有樹脂のうち、(1)、(7)、(8)、(10)~(13)に記載のカルボキシル基含有樹脂が好ましい。 Among the above carboxyl group-containing resins, the carboxyl group-containing resins described in (1), (7), (8), and (10) to (13) are preferred.

フェノール性水酸基を有する化合物としては、例えば、ビフェニル骨格若しくはフェニレン骨格またはその両方の骨格を有する化合物や、フェノール、オルソクレゾール、パラクレゾール、メタクレゾール、2,3-キシレノール、2,4-キシレノール、2,5-キシレノール、2,6-キシレノール、3,4-キシレノール、3,5-キシレノール、カテコール、レゾルシノール、ハイドロキノン、メチルハイドロキノン、2,6-ジメチルハイドロキノン、トリメチルハイドロキノン、ピロガロール、フロログルシノール等を用いて合成した、様々な骨格を有するフェノール樹脂が挙げられる。 Examples of compounds having a phenolic hydroxyl group include compounds having a biphenyl skeleton or a phenylene skeleton, or both skeletons, and phenol resins having various skeletons synthesized using phenol, orthocresol, paracresol, metacresol, 2,3-xylenol, 2,4-xylenol, 2,5-xylenol, 2,6-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, catechol, resorcinol, hydroquinone, methylhydroquinone, 2,6-dimethylhydroquinone, trimethylhydroquinone, pyrogallol, phloroglucinol, etc.

また、フェノール性水酸基を有する化合物としては、例えば、フェノールノボラック樹脂、アルキルフェノールボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、Xylok型フェノール樹脂、テルペン変性フェノール樹脂、ポリビニルフェノール類、ビスフェノールF、ビスフェノールS型フェノール樹脂、ポリ-p-ヒドロキシスチレン、ナフトールとアルデヒド類の縮合物、ジヒドロキシナフタレンとアルデヒド類との縮合物などの公知慣用のフェノール樹脂が挙げられる。 Examples of compounds having a phenolic hydroxyl group include well-known and commonly used phenolic resins such as phenol novolac resin, alkylphenol volac resin, bisphenol A novolac resin, dicyclopentadiene type phenolic resin, Xylok type phenolic resin, terpene modified phenolic resin, polyvinylphenols, bisphenol F, bisphenol S type phenolic resin, poly-p-hydroxystyrene, condensation products of naphthol and aldehydes, and condensation products of dihydroxynaphthalene and aldehydes.

フェノール樹脂の市販品としては、例えば、HF1H60(明和化成社製)、フェノライトTD-2090、フェノライトTD-2131(DIC社製)、ベスモールCZ-256-A(DIC社製)、ショウノールBRG-555、ショウノールBRG-556(アイカ工業社製)、ポリビニルフェノールのCST70、CST90、S-1P、S-2P(丸善石油社製)が挙げられる。 Commercially available phenolic resins include, for example, HF1H60 (manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), Phenolite TD-2090, Phenolite TD-2131 (manufactured by DIC Corporation), Besumor CZ-256-A (manufactured by DIC Corporation), Shounol BRG-555, Shounol BRG-556 (manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd.), and polyvinylphenols CST70, CST90, S-1P, and S-2P (manufactured by Maruzen Oil Co., Ltd.).

(A)アルカリ可溶性樹脂の酸価は、40~200mgKOH/gの範囲が適当であり、より好ましくは45~120mgKOH/gの範囲である。アルカリ可溶性樹脂の酸価が40mgKOH/g以上であるとアルカリ現像が容易となり、一方、200mgKOH/g以下であると正常なレジストパターンの描画が容易となるので好ましい。 (A) The acid value of the alkali-soluble resin is preferably in the range of 40 to 200 mgKOH/g, and more preferably in the range of 45 to 120 mgKOH/g. If the acid value of the alkali-soluble resin is 40 mgKOH/g or more, alkaline development becomes easy, while if it is 200 mgKOH/g or less, it becomes easy to draw a normal resist pattern, and this is preferable.

(A)アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は、樹脂骨格により異なるが、1,500~150,000、さらには1,500~100,000の範囲が好ましい。重量平均分子量が1,500以上の場合、タックフリー性能が良好であり、露光後の塗膜の耐湿性が良好で、現像時の膜減りを抑制し、解像度の低下を抑制できる。一方、重量平均分子量が150,000以下の場合、現像性が良好で、貯蔵安定性にも優れる。 The weight-average molecular weight of (A) the alkali-soluble resin varies depending on the resin skeleton, but is preferably in the range of 1,500 to 150,000, and more preferably 1,500 to 100,000. When the weight-average molecular weight is 1,500 or more, the tack-free performance is good, the moisture resistance of the coating film after exposure is good, film loss during development is suppressed, and a decrease in resolution can be suppressed. On the other hand, when the weight-average molecular weight is 150,000 or less, the developability is good and the storage stability is also excellent.

(A)アルカリ可溶性樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることが
できる。
The alkali-soluble resin (A) can be used alone or in combination of two or more kinds.

[(B)光重合開始剤]
本発明の硬化性樹脂組成物は、(B)光重合開始剤として、光重合開始剤や光ラジカル発生剤として公知の光重合開始剤であれば、いずれのものを用いることもできる。(B)光重合開始剤としては、例えば、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-2,5-ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-4-プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジクロロベンゾイル)-1-ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,5-ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス-(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルフォスフィンオキサイド(IGM Resins社製Omnirad 819)等のビスアシルフォスフィンオキサイド類;2,6-ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6-ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6-トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、2-メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(IGM Resins社製Omnirad TPO H)等のモノアシルフォスフィンオキサイド類;1-ヒドロキシ-シクロヘキシルフェニルケトン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)-フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)-ベンジル]フェニル}-2-メチル-プロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン等のヒドロキシアセトフェノン類;ベンゾイン、ベンジル、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインn-プロピルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインn-ブチルエーテル等のベンゾイン類;ベンゾインアルキルエーテル類;ベンゾフェノン、p-メチルベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、メチルベンゾフェノン、4,4’-ジクロロベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;アセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2,2-ジエトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1,1-ジクロロアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノ-1-プロパノン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタノン-1、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル)-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン、N,N-ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類;チオキサントン、2-エチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類;アントラキノン、クロロアントラキノン、2-メチルアントラキノン、2-エチルアントラキノン、2-tert-ブチルアントラキノン、1-クロロアントラキノン、2-アミルアントラキノン、2-アミノアントラキノン等のアントラキノン類;アセトフェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール等のケタール類;エチル-4-ジメチルアミノベンゾエート、2-(ジメチルアミノ)エチルベンゾエート、p-ジメチル安息香酸エチルエステル等の安息香酸エステル類;1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)-,2-(O-ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;ビス(η5-2,4-シクロペンタジエン-1-イル)-ビス(2,6-ジフルオロ-3-(1H-ピロール-1-イル)フェニル)チタニウム、ビス(シクロペンタジエニル)-ビス[2,6-ジフルオロ-3-(2-(1-ピル-1-イル)エチル)フェニル]チタニウム等のチタノセン類;フェニルジスルフィド2-ニトロフルオレン、ブチロイン、アニソインエチルエーテル、アゾビスイソブチロニトリル、テトラメチルチウラムジスルフィド等を挙げることができる。光重合開始剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。中でもオキシムエステル類(以下、「オキシムエステル系光重合開始剤」とも言う)が好ましく、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム)がより好ましい。
(B)光重合開始剤の配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂の固形分100質量部に対し例えば、0.01~30質量部である。また、オキシムエステル系光重合開始剤の配合量が、光重合開始剤全量あたり、固形分換算で好ましくは8質量%以上であり、12質量%以上であることがより好ましい。8質量%以上含有することで高感度を容易に達成することができる。オキシムエステル系光重合開始剤は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。
[(B) Photopolymerization initiator]
In the curable resin composition of the present invention, as the photopolymerization initiator (B), any photopolymerization initiator known as a photopolymerization initiator or a photoradical generator can be used. Examples of the photopolymerization initiator (B) include bis-(2,6-dichlorobenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-4-propylphenylphosphine oxide, bis-(2,6-dichlorobenzoyl)-1-naphthylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)phenylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide, bis-(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,5-dimethylphenylphosphine oxide, and bis-(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide (Omnirad, manufactured by IGM Resins). 819), and other bisacylphosphine oxides; 2,6-dimethoxybenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,6-dichlorobenzoyldiphenylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoylphenylphosphine acid methyl ester, 2-methylbenzoyldiphenylphosphine oxide, pivaloylphenylphosphine acid isopropyl ester, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide (Omnirad TPO manufactured by IGM Resins), and other bisacylphosphine oxides; H) and other monoacylphosphine oxides; hydroxyacetophenones such as 1-hydroxy-cyclohexyl phenyl ketone, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)-phenyl]-2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 2-hydroxy-1-{4-[4-(2-hydroxy-2-methyl-propionyl)-benzyl]phenyl}-2-methyl-propan-1-one, and 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one; benzoins such as benzoin, benzil, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin n-propyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin n-butyl ether; benzoin alkyl ethers; benzophenone, p-methylbenzophenone, benzophenones such as benzophenone, Michler's ketone, methylbenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, and 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone; acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1, 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl)-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone, and N,N-dimethylaminoacetophenone; Nones; thioxanthones such as thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, and 2,4-diisopropylthioxanthone; anthraquinones such as anthraquinone, chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-amylanthraquinone, and 2-aminoanthraquinone; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal; benzoic acid esters such as ethyl-4-dimethylaminobenzoate, 2-(dimethylamino)ethyl benzoate, and p-dimethylbenzoic acid ethyl ester. oxime esters such as 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)-, 2-(O-benzoyloxime)], ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-, 1-(O-acetyloxime); titanocenes such as bis(η5-2,4-cyclopentadien-1-yl)-bis(2,6-difluoro-3-(1H-pyrrol-1-yl)phenyl)titanium and bis(cyclopentadienyl)-bis[2,6-difluoro-3-(2-(1-pyr-1-yl)ethyl)phenyl]titanium; phenyl disulfide 2-nitrofluorene, butyroin, anisoin ethyl ether, azobisisobutyronitrile, tetramethylthiuram disulfide, etc. The photopolymerization initiator may be used alone or in combination of two or more. Among these, oxime esters (hereinafter also referred to as "oxime ester photopolymerization initiators") are preferred, with ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]- and 1-(O-acetyloxime) being more preferred.
The amount of the (B) photopolymerization initiator is, for example, 0.01 to 30 parts by mass per 100 parts by mass of the solid content of the (A) alkali-soluble resin. The amount of the oxime ester photopolymerization initiator is preferably 8% by mass or more, more preferably 12% by mass or more, calculated as solid content based on the total amount of the photopolymerization initiator. By including 8% by mass or more, high sensitivity can be easily achieved. The oxime ester photopolymerization initiator can be used alone or in combination of two or more kinds.

オキシムエステル系光重合開始剤としては、公知のオキシムエステル系光重合開始剤であれば、いずれのものを用いることもできる。市販品としては、BASFジャパン社製のIrgacure OXE01(1.2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)-,2-(O-ベンゾイルオキシム)])、Irgacure OXE02(エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(O-アセチルオキシム))、ADEKA社製N-1919、NCI-831、常州強力電子新材料有限公司社製のTR-PBG-304などが挙げられる。 As the oxime ester photopolymerization initiator, any known oxime ester photopolymerization initiator can be used. Commercially available products include Irgacure OXE01 (1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)-, 2-(O-benzoyloxime)]) and Irgacure OXE02 (ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-, 1-(O-acetyloxime)) manufactured by BASF Japan, N-1919 and NCI-831 manufactured by ADEKA, and TR-PBG-304 manufactured by Changzhou Strong Electronic New Materials Co., Ltd.

また、分子内に2個のオキシムエステル基を有する開始剤も好適に用いることができ、具体的には、下記一般式で表されるカルバゾール構造を有するオキシムエステル化合物が挙げられる。

Figure 0007634345000001
(式中、Xは、水素原子、炭素数1~17のアルキル基、炭素数1~8のアルコキシ基、フェニル基、フェニル基(炭素数1~17のアルキル基、炭素数1~8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1~8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1~17のアルキル基、炭素数1~8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1~8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)を表し、Y、Zはそれぞれ、水素原子、炭素数1~17のアルキル基、炭素数1~8のアルコキシ基、ハロゲン基、フェニル基、フェニル基(炭素数1~17のアルキル基、炭素数1~8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1~8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)、ナフチル基(炭素数1~17のアルキル基、炭素数1~8のアルコキシ基、アミノ基、炭素数1~8のアルキル基を持つアルキルアミノ基またはジアルキルアミノ基により置換されている)、アンスリル基、ピリジル基、ベンゾフリル基、ベンゾチエニル基を表し、Arは、結合か、炭素数1~10のアルキレン、ビニレン、フェニレン、ビフェニレン、ピリジレン、ナフチレン、チオフェン、アントリレン、チエニレン、フリレン、2,5-ピロール-ジイル、4,4’-スチルベン-ジイル、4,2’-スチレン-ジイルを表し、nは0か1の整数である。) In addition, an initiator having two oxime ester groups in the molecule can also be suitably used. Specific examples thereof include oxime ester compounds having a carbazole structure represented by the following general formula.
Figure 0007634345000001
(wherein X represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a phenyl group, a phenyl group (substituted with an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, an alkylamino group having 1 to 8 carbon atoms, or a dialkylamino group), a naphthyl group (substituted with an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, an amino group, an alkylamino group having 1 to 8 carbon atoms, or a dialkylamino group), and Y and Z each represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, a halogen group, a phenyl group, a phenyl group (substituted with an alkyl group having 1 to 17 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 8 carbon atoms, Ar represents a bond, an alkylene having 1 to 10 carbon atoms, vinylene, phenylene, biphenylene, pyridylene, naphthylene, thiophene, anthrylene, thienylene, furylene, 2,5-pyrrole-diyl, 4,4'-stilbene-diyl, or 4,2'-styrene-diyl; and n is an integer of 0 or 1.

特に、前記一般式中、X、Yが、それぞれメチル基またはエチル基であり、Zはメチル基またはフェニル基であり、nは0であり、Arは、結合か、フェニレン、ナフチレン、チオフェンまたはチエニレンであることが好ましい。 In particular, in the general formula, it is preferred that X and Y are methyl or ethyl, Z is methyl or phenyl, n is 0, and Ar is a bond, phenylene, naphthylene, thiophene, or thienylene.

また、好ましいカルバゾールオキシムエステル化合物として、下記一般式で表すことができる化合物を挙げることもできる。

Figure 0007634345000002
(式中、Rは、炭素原子数1~4のアルキル基、または、ニトロ基、ハロゲン原子もしくは炭素原子数1~4のアルキル基で置換されていてもよいフェニル基を表す。
は、炭素原子数1~4のアルキル基、炭素原子数1~4のアルコキシ基、または、炭素原子数1~4のアルキル基もしくはアルコキシ基で置換されていてもよいフェニル基を表す。
は、酸素原子または硫黄原子で連結されていてもよく、フェニル基で置換されていてもよい炭素原子数1~20のアルキル基、炭素原子数1~4のアルコキシ基で置換されていてもよいベンジル基を表す。
は、ニトロ基、または、X-C(=O)-で表されるアシル基を表す。Xは、炭素原子数1~4のアルキル基で置換されていてもよいアリール基、チエニル基、モルホリノ基、チオフェニル基、または、下記式で示される構造を表す。)
Figure 0007634345000003
Further, preferred carbazole oxime ester compounds include compounds represented by the following general formula:
Figure 0007634345000002
(In the formula, R 1 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, or a phenyl group which may be substituted with a nitro group, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
R2 represents an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms, or a phenyl group which may be substituted with an alkyl group or an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms.
R3 may be linked via an oxygen atom or a sulfur atom and represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms which may be substituted with a phenyl group, or a benzyl group which may be substituted with an alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms.
R4 represents a nitro group or an acyl group represented by X-C(=O)-. X represents an aryl group which may be substituted with an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a thienyl group, a morpholino group, a thiophenyl group, or a structure represented by the following formula:
Figure 0007634345000003

その他、特開2004-359639号公報、特開2005-097141号公報、特開2005-220097号公報、特開2006-160634号公報、特開2008-094770号公報、特表2008-509967号公報、特開2009-040762号公報、特開2011-80036号公報記載のカルバゾールオキシムエステル化合物等を挙げることができる。 Other examples include carbazole oxime ester compounds described in JP-A-2004-359639, JP-A-2005-097141, JP-A-2005-220097, JP-A-2006-160634, JP-A-2008-094770, JP-T-2008-509967, JP-T-2009-040762, and JP-T-2011-80036.

[(C)熱硬化性樹脂]
本発明の硬化性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂を含むことにより耐熱性が向上することが期待できる。熱硬化性樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。熱硬化性樹脂としては、公知のものをいずれも用いることができる。例えば、メラミン樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂、イソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物、シクロカーボネート化合物、エポキシ化合物、オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂、ビスマレイミド、カルボジイミド樹脂等の公知の熱硬化性樹脂を使用できる。特に好ましいのは、分子中に複数の環状エーテル基または環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基と略す)を有する熱硬化性樹脂である。
[(C) Thermosetting resin]
The curable resin composition of the present invention is expected to have improved heat resistance by including a thermosetting resin. The thermosetting resin can be used alone or in combination of two or more. Any known thermosetting resin can be used. For example, known thermosetting resins such as amino resins such as melamine resins, benzoguanamine resins, melamine derivatives, and benzoguanamine derivatives, isocyanate compounds, blocked isocyanate compounds, cyclocarbonate compounds, epoxy compounds, oxetane compounds, episulfide resins, bismaleimides, and carbodiimide resins can be used. Particularly preferred are thermosetting resins having multiple cyclic ether groups or cyclic thioether groups (hereinafter abbreviated as cyclic (thio)ether groups) in the molecule.

上記の分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性樹脂は、分子中に3、4または5員環の環状(チオ)エーテル基を複数有する化合物であり、例えば、分子内に複数のエポキシ基を有する化合物、すなわち多官能エポキシ化合物、分子内に複数のオキセタニル基を有する化合物、すなわち多官能オキセタン化合物、分子内に複数のチオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド樹脂等が挙げられる。 The thermosetting resin having multiple cyclic (thio)ether groups in the molecule is a compound having multiple 3-, 4-, or 5-membered cyclic (thio)ether groups in the molecule, and examples of such compounds include compounds having multiple epoxy groups in the molecule, i.e., polyfunctional epoxy compounds, compounds having multiple oxetanyl groups in the molecule, i.e., polyfunctional oxetane compounds, and compounds having multiple thioether groups in the molecule, i.e., episulfide resins.

多官能エポキシ化合物としては、エポキシ化植物油;ビスフェノールA型エポキシ樹脂;ハイドロキノン型エポキシ樹脂;ビスフェノール型エポキシ樹脂;チオエーテル型エポキシ樹脂;ブロム化エポキシ樹脂;ノボラック型エポキシ樹脂;ビフェノールノボラック型エポキシ樹脂;ビスフェノールF型エポキシ樹脂;水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂;グリシジルアミン型エポキシ樹脂;ヒダントイン型エポキシ樹脂;脂環式エポキシ樹脂;トリヒドロキシフェニルメタン型エポキシ樹脂;ビキシレノール型もしくはビフェノール型エポキシ樹脂またはそれらの混合物;ビスフェノールS型エポキシ樹脂;ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂;テトラフェニロールエタン型エポキシ樹脂;複素環式エポキシ樹脂;ジグリシジルフタレート樹脂;テトラグリシジルキシレノイルエタン樹脂;ナフタレン基含有エポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン骨格を有するエポキシ樹脂;グリシジルメタアクリレート共重合系エポキシ樹脂;シクロヘキシルマレイミドとグリシジルメタアクリレートの共重合エポキシ樹脂;エポキシ変性のポリブタジエンゴム誘導体;CTBN変性エポキシ樹脂等が挙げられるが、これらに限られるものではない。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらの中でも特にノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ビフェノールノボラック型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂またはそれらの混合物が好ましい。 Examples of polyfunctional epoxy compounds include epoxidized vegetable oils; bisphenol A type epoxy resins; hydroquinone type epoxy resins; bisphenol type epoxy resins; thioether type epoxy resins; brominated epoxy resins; novolac type epoxy resins; biphenol novolac type epoxy resins; bisphenol F type epoxy resins; hydrogenated bisphenol A type epoxy resins; glycidylamine type epoxy resins; hydantoin type epoxy resins; alicyclic epoxy resins; trihydroxyphenylmethane type epoxy resins; bixylenol type or biphenol type epoxy resins, or mixtures thereof. ; bisphenol S type epoxy resin; bisphenol A novolac type epoxy resin; tetraphenylolethane type epoxy resin; heterocyclic epoxy resin; diglycidyl phthalate resin; tetraglycidyl xylenoylethane resin; naphthalene group-containing epoxy resin; epoxy resin having a dicyclopentadiene skeleton; glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin; cyclohexylmaleimide and glycidyl methacrylate copolymer epoxy resin; epoxy-modified polybutadiene rubber derivative; CTBN-modified epoxy resin, etc., but are not limited thereto. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more. Among these, novolac type epoxy resin, bisphenol type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, biphenol novolac type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, or a mixture thereof is particularly preferred.

多官能オキセタン化合物としては、例えば、ビス[(3-メチル-3-オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、ビス[(3-エチル-3-オキセタニルメトキシ)メチル]エーテル、1,4-ビス[(3-メチル-3-オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、1,4-ビス[(3-エチル-3-オキセタニルメトキシ)メチル]ベンゼン、(3-メチル-3-オキセタニル)メチルアクリレート、(3-エチル-3-オキセタニル)メチルアクリレート、(3-メチル-3-オキセタニル)メチルメタクリレート、(3-エチル-3-オキセタニル)メチルメタクリレートやそれらのオリゴマーまたは共重合体等の多官能オキセタン類の他、オキセタンアルコールとノボラック樹脂、ポリ(p-ヒドロキシスチレン)、カルド型ビスフェノール類、カリックスアレーン類、カリックスレゾル
シンアレーン類、またはシルセスキオキサン等の水酸基を有する樹脂とのエーテル化物等が挙げられる。その他、オキセタン環を有する不飽和モノマーとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体等も挙げられる。
Examples of the polyfunctional oxetane compound include bis[(3-methyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]ether, bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]ether, 1,4-bis[(3-methyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]benzene, 1,4-bis[(3-ethyl-3-oxetanylmethoxy)methyl]benzene, (3-methyl-3-oxetanyl)methyl acrylate, and (3-ethyl-3-oxetanyl)methyl acrylate. Examples of the oxetane alcohol include polyfunctional oxetanes such as acrylate, (3-methyl-3-oxetanyl)methyl methacrylate, (3-ethyl-3-oxetanyl)methyl methacrylate, and oligomers or copolymers thereof, as well as ethers of oxetane alcohols and resins having a hydroxyl group such as novolak resins, poly(p-hydroxystyrene), cardo-type bisphenols, calixarenes, calixresorcinarenes, or silsesquioxane. Other examples include copolymers of unsaturated monomers having an oxetane ring and alkyl (meth)acrylates.

分子中に複数の環状チオエーテル基を有する化合物としては、ビスフェノールA型エピスルフィド樹脂等が挙げられる。また、同様の合成方法を用いて、ノボラック型エポキシ樹脂のエポキシ基の酸素原子を硫黄原子に置き換えたエピスルフィド樹脂なども用いることができる。このような分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性樹脂の配合量は、環状(チオ)エーテル基が(A)アルカリ可溶性樹脂のカルボキシル基やフェノール性水酸基等のアルカリ可溶性基1当量に対して、0.6~2.5当量であることが好ましく、より好ましくは、0.8~2.0当量である。 Examples of compounds having multiple cyclic thioether groups in the molecule include bisphenol A episulfide resins. Also, episulfide resins in which the oxygen atoms of the epoxy groups of novolac epoxy resins are replaced with sulfur atoms using a similar synthesis method can be used. The amount of such thermosetting resins having multiple cyclic (thio)ether groups in the molecule is preferably 0.6 to 2.5 equivalents of cyclic (thio)ether groups per equivalent of alkali-soluble groups such as carboxyl groups and phenolic hydroxyl groups of the alkali-soluble resin (A), and more preferably 0.8 to 2.0 equivalents.

メラミン誘導体、ベンゾグアナミン誘導体等のアミノ樹脂としては、メチロールメラミン化合物、メチロールベンゾグアナミン化合物、メチロールグリコールウリル化合物およびメチロール尿素化合物等が挙げられる。 Examples of amino resins such as melamine derivatives and benzoguanamine derivatives include methylol melamine compounds, methylol benzoguanamine compounds, methylol glycoluril compounds, and methylol urea compounds.

イソシアネート化合物として、ポリイソシアネート化合物を配合することができる。ポリイソシアネート化合物としては、4,4’-ジフェニルメタンジイソシアネート、2,4-トリレンジイソシアネート、2,6-トリレンジイソシアネート、ナフタレン-1,5-ジイソシアネート、o-キシリレンジイソシアネート、m-キシリレンジイソシアネートおよび2,4-トリレンダイマー等の芳香族ポリイソシアネート;テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、メチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、4,4-メチレンビス(シクロヘキシルイソシアネート)およびイソホロンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート;ビシクロヘプタントリイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネート;並びに先に挙げたイソシアネート化合物のアダクト体、ビューレット体およびイソシアヌレート体等が挙げられる。 As the isocyanate compound, a polyisocyanate compound can be blended. Examples of the polyisocyanate compound include aromatic polyisocyanates such as 4,4'-diphenylmethane diisocyanate, 2,4-tolylene diisocyanate, 2,6-tolylene diisocyanate, naphthalene-1,5-diisocyanate, o-xylylene diisocyanate, m-xylylene diisocyanate, and 2,4-tolylene dimer; aliphatic polyisocyanates such as tetramethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, methylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate, 4,4-methylenebis(cyclohexyl isocyanate), and isophorone diisocyanate; alicyclic polyisocyanates such as bicycloheptane triisocyanate; and adducts, biuret bodies, and isocyanurates of the isocyanate compounds listed above.

ブロックイソシアネート化合物としては、イソシアネート化合物とイソシアネートブロック剤との付加反応生成物を用いることができる。イソシアネートブロック剤と反応し得るイソシアネート化合物としては、例えば、上述のポリイソシアネート化合物等が挙げられる。イソシアネートブロック剤としては、例えば、フェノール系ブロック剤;ラクタム系ブロック剤;活性メチレン系ブロック剤;アルコール系ブロック剤;オキシム系ブロック剤;メルカプタン系ブロック剤;酸アミド系ブロック剤;イミド系ブロック剤;アミン系ブロック剤;イミダゾール系ブロック剤;イミン系ブロック剤等が挙げられる。 As the blocked isocyanate compound, an addition reaction product of an isocyanate compound and an isocyanate blocking agent can be used. As an isocyanate compound that can react with an isocyanate blocking agent, for example, the above-mentioned polyisocyanate compounds can be mentioned. As an isocyanate blocking agent, for example, phenol-based blocking agents, lactam-based blocking agents, active methylene-based blocking agents, alcohol-based blocking agents, oxime-based blocking agents, mercaptan-based blocking agents, acid amide-based blocking agents, imide-based blocking agents, amine-based blocking agents, imidazole-based blocking agents, imine-based blocking agents, etc. can be mentioned.

熱硬化性樹脂は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。熱硬化性樹脂の配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂の固形分100質量部に対して20~60質量部であることが好ましく、30~50質量部であることがより好ましい。20質量部以上の場合、耐熱性に優れる。60質量部以下の場合、保存安定性向上につながる。 Thermosetting resins can be used alone or in combination of two or more. The amount of thermosetting resin is preferably 20 to 60 parts by mass, and more preferably 30 to 50 parts by mass, per 100 parts by mass of the solid content of (A) the alkali-soluble resin. When the amount is 20 parts by mass or more, the heat resistance is excellent. When the amount is 60 parts by mass or less, the storage stability is improved.

[(D)着色剤]
着色剤は、赤色着色剤、緑色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤、白色着色剤、黒色着色剤、その他の色の着色剤の一種又は二種以上を適宜組み合わせて含むことができる。顔料、染料、色素のいずれでもよい。具体的には、カラーインデックス(C.I.;ザ ソサイエティ オブ ダイヤーズ アンド カラリスツ(The Society of Dyers and Colourists)発行)番号が付されているものを挙げることができる。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しない着色剤であることが好ましい。
[(D) Colorant]
The colorant may include one or more of a red colorant, a green colorant, a blue colorant, a yellow colorant, a white colorant, a black colorant, and other colorants in appropriate combination. Any of pigments, dyes, and colorants may be used. Specifically, colorants having a Color Index (C.I.; published by The Society of Dyers and Colourists) number may be used. However, from the viewpoint of reducing the environmental load and the effect on the human body, it is preferable that the colorant does not contain halogen.

赤色着色剤としてはモノアゾ系、ジズアゾ系、アゾレーキ系、ベンズイミダゾロン系、ペリレン系、ジケトピロロピロール系、縮合アゾ系、アントラキノン系、キナクリドン系などが挙げられる。
緑色着色剤としては、同様に金属置換もしくは無置換のフタロシアニン系、アントラキノン系、ペリレン系がある。
青色着色剤は顔料、染料、色素のいずれでもよいが、中でもハロゲン原子を含有していないものが好ましい。青色着色剤としてはフタロシアニン系、アントラキノン系があり、顔料系はピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなものを挙げることができる:Pigment Blue 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 60。染料系としては、Solvent Blue 35, 63, 68, 70, 83, 87, 94, 97, 122, 136, 67, 70等を使用することができる。上記以外にも、金属置換もしくは無置換のフタロシアニン化合物も使用することができる。青色着色剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
黄色着色剤としてはモノアゾ系、ジスアゾ系、縮合アゾ系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、アントラキノン系等が挙げられる。
白色着色剤としては、ルチル型、アナターゼ型等の酸化チタン等が挙げられる。
黒色着色剤としては、チタンブラック系、カーボンブラック系、黒鉛系、酸化鉄系、アンスラキノン系、酸化コバルト系、酸化銅系、マンガン系、酸化アンチモン系、酸化ニッケル系、ペリレン系、アニリン系の顔料、硫化モリブデン、硫化ビスマス等が挙げられる。
その他、色調を調整する目的で紫、オレンジ、茶色などの着色剤を加えてもよい。
CZ処理後の銅上に形成された塗膜が、隠蔽性に優れることにより加熱後に色味の変化が少なく、かつ、解像性に優れたアルカリ現像可能な硬化性樹脂組成物とするには、着色剤は、赤色着色剤、黄色着色剤、青色着色剤、黒色着色剤を組み合わせるのが好ましい。
この場合の(D)着色剤の配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂の固形分100質量部に対して黒色着色剤が0.01~0.04質量部、青色着色剤が1.10~2.45質量部、黄色着色剤が0.01~0.08質量部、赤色着色剤が0.60~2.00質量部の範囲が好ましく、黒色着色剤が0.02~0.03質量部、青色着色剤が1.40~2.20質量部、黄色着色剤が0.03~0.06質量部、赤色着色剤が0.75~1.20質量部の範囲がより好ましい。
Examples of red colorants include monoazo-based, diazazol-based, azo lake-based, benzimidazolone-based, perylene-based, diketopyrrolopyrrole-based, condensed azo-based, anthraquinone-based, and quinacridone-based.
Green colorants include metal-substituted or unsubstituted phthalocyanines, anthraquinones, and perylenes.
The blue colorant may be any of pigments, dyes, and coloring matter, but among them, those not containing halogen atoms are preferred. Blue colorants include phthalocyanine-based and anthraquinone-based, and the pigment-based compounds are classified as pigments, specifically, the following: Pigment Blue 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 60. As the dye-based compounds, Solvent Blue 35, 63, 68, 70, 83, 87, 94, 97, 122, 136, 67, 70, etc. can be used. In addition to the above, metal-substituted or unsubstituted phthalocyanine compounds can also be used. The blue colorant may be used alone or in combination of two or more.
Yellow colorants include monoazo-based, disazo-based, condensed azo-based, benzimidazolone-based, isoindolinone-based, and anthraquinone-based agents.
Examples of the white colorant include rutile type and anatase type titanium oxide.
Examples of black colorants include titanium black, carbon black, graphite, iron oxide, anthraquinone, cobalt oxide, copper oxide, manganese oxide, antimony oxide, nickel oxide, perylene, and aniline pigments, molybdenum sulfide, and bismuth sulfide.
In addition, colorants such as purple, orange, brown, etc. may be added to adjust the color tone.
In order to obtain an alkali-developable curable resin composition in which the coating film formed on copper after the CZ treatment has excellent hiding property and thus changes little in color after heating, and also has excellent resolution, it is preferable to use a combination of a red colorant, a yellow colorant, a blue colorant, and a black colorant as the colorant.
In this case, the blending amounts of the colorant (D) relative to 100 parts by mass of the solid content of the alkali-soluble resin (A) are preferably within the ranges of 0.01 to 0.04 parts by mass of the black colorant, 1.10 to 2.45 parts by mass of the blue colorant, 0.01 to 0.08 parts by mass of the yellow colorant, and 0.60 to 2.00 parts by mass of the red colorant, and more preferably within the ranges of 0.02 to 0.03 parts by mass of the black colorant, 1.40 to 2.20 parts by mass of the blue colorant, 0.03 to 0.06 parts by mass of the yellow colorant, and 0.75 to 1.20 parts by mass of the red colorant.

[無機フィラー]
本発明の硬化性樹脂組成物は、無機フィラーを含むことが好ましい。無機フィラーは、特に限定されず、公知慣用の無機フィラー、例えばシリカ、結晶性シリカ、ノイブルグ珪土、水酸化アルミニウム、ガラス粉末、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、天然マイカ、合成マイカ、水酸化アルミニウム、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、酸化鉄、非繊維状ガラス、ハイドロタルサイト、ミネラルウール、アルミニウムシリケート、カルシウムシリケート、亜鉛華等の無機フィラーの一種又は二種以上を組み合わせて用いることができる。中でも、シリカが好ましく、表面積が小さく、応力が全体に分散するためクラックの起点になりにくいことから、球状シリカであることがより好ましい。
[Inorganic filler]
The curable resin composition of the present invention preferably contains an inorganic filler. The inorganic filler is not particularly limited, and may be one or more of known and commonly used inorganic fillers, such as silica, crystalline silica, Neuburg silica, aluminum hydroxide, glass powder, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, natural mica, synthetic mica, aluminum hydroxide, barium sulfate, barium titanate, iron oxide, non-fibrous glass, hydrotalcite, mineral wool, aluminum silicate, calcium silicate, and zinc oxide. Among them, silica is preferred, and spherical silica is more preferred because it has a small surface area and the stress is distributed throughout, making it less likely to become the starting point of cracks.

無機フィラーは表面処理されていてもよい。ここで、無機フィラーの表面処理とは、樹脂成分との相溶性を向上させるための処理のことを言う。無機フィラーの表面処理は、無機フィラーの表面に硬化性反応基を導入可能な表面処理でも導入しない表面処理でもどちらでもよい。ここで、硬化性反応基とは、(A)アルカリ可溶性樹脂や(C)熱硬化性樹脂などの硬化性化合物と硬化反応する基であれば特に限定されず、硬化性反応基でも熱硬化性反応基でもよい。硬化性反応基としては、メタクリル基、アクリル基、ビニル基、スチリル基等が挙げられ、熱硬化性反応基としては、エポキシ基、アミノ基、水酸基、カルボキシル基、イソシアネート基、イミノ基、オキセタニル基、メルカプト基、メトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシメチル基、エトキシエチル基、オキサゾリン基等が挙げられる。無機フィラーの表面に硬化性反応基を導入する方法は特に限定されず、公知慣用の方法を用いて導入すればよく、硬化性反応基を有する表面処理剤、例えば、硬化性反応基を有機基として有するカップリング剤等で無機フィラーの表面を処理すればよい。カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤、ジルコニウムカップリング剤、アルミニウムカップリング剤等を用いることができる。また、硬化性反応基を有しない表面処理された無機フィラーとしては、例えば、シリカ-アルミナ表面処理、チタネート系カップリング剤処理、アルミネート系カップリング剤処理、有機処理がされた無機フィラー等が挙げられる。 The inorganic filler may be surface-treated. Here, the surface treatment of the inorganic filler refers to a treatment for improving compatibility with the resin component. The surface treatment of the inorganic filler may be either a surface treatment capable of introducing a curable reactive group to the surface of the inorganic filler or a surface treatment that does not introduce a curable reactive group. Here, the curable reactive group is not particularly limited as long as it is a group that undergoes a curing reaction with a curable compound such as (A) an alkali-soluble resin or (C) a thermosetting resin, and may be a curable reactive group or a thermosetting reactive group. Examples of the curable reactive group include a methacrylic group, an acrylic group, a vinyl group, and a styryl group, and examples of the thermosetting reactive group include an epoxy group, an amino group, a hydroxyl group, a carboxyl group, an isocyanate group, an imino group, an oxetanyl group, a mercapto group, a methoxymethyl group, a methoxyethyl group, an ethoxymethyl group, an ethoxyethyl group, and an oxazoline group. The method for introducing a curable reactive group onto the surface of the inorganic filler is not particularly limited, and may be introduced using a known, commonly used method, and the surface of the inorganic filler may be treated with a surface treatment agent having a curable reactive group, for example, a coupling agent having a curable reactive group as an organic group. Examples of the coupling agent that can be used include a silane coupling agent, a titanium coupling agent, a zirconium coupling agent, and an aluminum coupling agent. Examples of surface-treated inorganic fillers that do not have a curable reactive group include inorganic fillers that have been subjected to silica-alumina surface treatment, titanate-based coupling agent treatment, aluminate-based coupling agent treatment, and organic treatment.

無機フィラーは、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。無機フィラーの配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂の固形分100質量部に対して80~450質量部であることが好ましく、100~200質量部であることがより好ましい。80質量部以上の場合、耐熱性に優れる。450質量部以下の場合、より解像性に優れる。 The inorganic filler may be used alone or in combination of two or more. The amount of inorganic filler to be added is preferably 80 to 450 parts by mass, and more preferably 100 to 200 parts by mass, per 100 parts by mass of the solid content of (A) the alkali-soluble resin. When the amount is 80 parts by mass or more, the heat resistance is excellent. When the amount is 450 parts by mass or less, the resolution is more excellent.

(エチレン性不飽和基を有する化合物)
本発明の硬化性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂と異なり、反応性希釈剤として機能するもの、具体的にはエチレン性不飽和基を有する化合物を含有することができる。エチレン性不飽和基を有する化合物としては、公知慣用の光硬化性モノマーである光重合性オリゴマー、光重合性ビニルモノマー等を用いることができる。
(Compound having an ethylenically unsaturated group)
The curable resin composition of the present invention may contain a substance that functions as a reactive diluent, specifically a compound having an ethylenically unsaturated group, unlike the alkali-soluble resin (A). As the compound having an ethylenically unsaturated group, a photopolymerizable oligomer, a photopolymerizable vinyl monomer, etc., which are known and commonly used photocurable monomers, may be used.

光重合性オリゴマーとしては、不飽和ポリエステル系オリゴマー、(メタ)アクリレート系オリゴマー等が挙げられる。(メタ)アクリレート系オリゴマーとしては、フェノールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラックエポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート等のエポキシ(メタ)アク
リレート、ウレタン(メタ)アクリレート、エポキシウレタン(メタ)アクリレート、ポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ポリブタジエン変性(メタ)アクリレート等が挙げられる。
Examples of the photopolymerizable oligomer include unsaturated polyester oligomers, (meth)acrylate oligomers, etc. Examples of the (meth)acrylate oligomer include epoxy (meth)acrylates such as phenol novolac epoxy (meth)acrylate, cresol novolac epoxy (meth)acrylate, and bisphenol type epoxy (meth)acrylate, urethane (meth)acrylate, epoxy urethane (meth)acrylate, polyester (meth)acrylate, polyether (meth)acrylate, and polybutadiene modified (meth)acrylate.

光重合性ビニルモノマーとしては、公知慣用のもの、例えば、スチレン、クロロスチレン、α-メチルスチレンなどのスチレン誘導体;酢酸ビニル、酪酸ビニルまたは安息香酸ビニルなどのビニルエステル類;ビニルイソブチルエーテル、ビニル-n-ブチルエーテル、ビニル-t-ブチルエーテル、ビニル-n-アミルエーテル、ビニルイソアミルエーテル、ビニル-n-オクタデシルエーテル、ビニルシクロヘキシルエーテル、エチレングリコールモノブチルビニルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルビニルエーテルなどのビニルエーテル類;アクリルアミド、メタクリルアミド、N-ヒドロキシメチルアクリルアミド、N-ヒドロキシメチルメタクリルアミド、N-メトキシメチルアクリルアミド、N-エトキシメチルアクリルアミド、N-ブトキシメチルアクリルアミドなどの(メタ)アクリルアミド類;トリアリルイソシアヌレート、フタル酸ジアリル、イソフタル酸ジアリルなどのアリル化合物;2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリール(メタ)アクリレート、イソボロニル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの(メタ)アクリル酸のエステル類;ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどのヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類;メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレートなどのアルコキシアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレート類;エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート類、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどのアルキレンポリオールポリ(メタ)アクリレート;ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレートなどのポリオキシアルキレングリコールポリ(メタ)アクリレート類;ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールエステルジ(メタ)アクリレートなどのポリ(メタ)アクリレート類;トリス[(メタ)アクリロキシエチル]イソシアヌレートなどのイソシアヌレート型ポリ(メタ)アクリレート類などが挙げられる。これらは、要求特性に合わせて、単独で、または、2種以上を組み合わせて用いることができる。 Examples of photopolymerizable vinyl monomers include known and commonly used ones, such as styrene derivatives such as styrene, chlorostyrene, and α-methylstyrene; vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl butyrate, and vinyl benzoate; vinyl ethers such as vinyl isobutyl ether, vinyl n-butyl ether, vinyl t-butyl ether, vinyl n-amyl ether, vinyl isoamyl ether, vinyl n-octadecyl ether, vinyl cyclohexyl ether, ethylene glycol monobutyl vinyl ether, and triethylene glycol monomethyl vinyl ether; acrylamide, methacrylamide, N-hydroxymethyl acrylamide, and the like. (Meth)acrylamides such as N-hydroxymethyl methacrylamide, N-methoxymethyl acrylamide, N-ethoxymethyl acrylamide, and N-butoxymethyl acrylamide; allyl compounds such as triallyl isocyanurate, diallyl phthalate, and diallyl isophthalate; (meth)acrylic acid esters such as 2-ethylhexyl (meth)acrylate, lauryl (meth)acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate, isobornyl (meth)acrylate, phenyl (meth)acrylate, and phenoxyethyl (meth)acrylate; hydroxyethyl (meth)acrylate, hyaluryl (meth)acrylate, and the like. Hydroxyalkyl(meth)acrylates such as hydroxypropyl(meth)acrylate and pentaerythritol tri(meth)acrylate; alkoxyalkylene glycol mono(meth)acrylates such as methoxyethyl(meth)acrylate and ethoxyethyl(meth)acrylate; ethylene glycol di(meth)acrylate, butanediol di(meth)acrylates, neopentyl glycol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol hexyl(meth)acrylate, Examples of the poly(meth)acrylate include alkylene polyol poly(meth)acrylates such as sa(meth)acrylate; polyoxyalkylene glycol poly(meth)acrylates such as diethylene glycol di(meth)acrylate, triethylene glycol di(meth)acrylate, ethoxylated trimethylolpropane triacrylate, and propoxylated trimethylolpropane tri(meth)acrylate; poly(meth)acrylates such as hydroxypivalic acid neopentyl glycol ester di(meth)acrylate; and isocyanurate-type poly(meth)acrylates such as tris[(meth)acryloxyethyl]isocyanurate. These can be used alone or in combination of two or more types depending on the required properties.

エチレン性不飽和基を有する化合物は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。エチレン性不飽和基を有する化合物の配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂の固形分100質量部に対して3~25質量部であることが好ましく、5~20質量部であることがより好ましい。3質量部以上の場合、高感度化に寄与する。25質量部以下の場合、解像性が良好になる。 The compound having an ethylenically unsaturated group may be used alone or in combination of two or more. The amount of the compound having an ethylenically unsaturated group is preferably 3 to 25 parts by mass, and more preferably 5 to 20 parts by mass, per 100 parts by mass of the solid content of the alkali-soluble resin (A). When it is 3 parts by mass or more, it contributes to high sensitivity. When it is 25 parts by mass or less, the resolution is improved.

(熱硬化触媒)
本発明の硬化性樹脂組成物は、熱硬化触媒を含有することができる。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、4-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-(2-シアノエチル)-2-エチル-4-メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4-(ジメチルアミノ)-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メトキシ-N,N-ジメチルベンジルアミン、4-メチル-N,N-ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒド
ラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物等が挙げられる。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン、2-ビニル-2,4-ジアミノ-S-トリアジン、2-ビニル-4,6-ジアミノ-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4-ジアミノ-6-メタクリロイルオキシエチル-S-トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS-トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。また、熱硬化触媒として用いることができるものであれば、有機フィラーであってもよい。
(Thermal curing catalyst)
The curable resin composition of the present invention may contain a heat curing catalyst. Examples of such heat curing catalysts include imidazole derivatives such as imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, and 1-(2-cyanoethyl)-2-ethyl-4-methylimidazole; amine compounds such as dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4-(dimethylamino)-N,N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N,N-dimethylbenzylamine, and 4-methyl-N,N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; and phosphorus compounds such as triphenylphosphine. Also usable are S-triazine derivatives such as guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino-S-triazine·isocyanuric acid adduct, and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine·isocyanuric acid adduct, and it is preferable to use these compounds that also function as adhesion imparting agents in combination with the thermosetting catalyst. Also, any organic filler may be used as long as it can be used as a thermosetting catalyst.

熱硬化触媒としては、アミノ基を有する有機フィラーが好ましく、具体的にはメラミンおよびジシアンジアミド(DICY)のいずれか少なくとも1種が好ましい。 As the thermosetting catalyst, an organic filler having an amino group is preferred, and specifically, at least one of melamine and dicyandiamide (DICY) is preferred.

熱硬化触媒は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。熱硬化触媒の配合量は、(A)アルカリ可溶性樹脂の固形分100質量部に対して0.5~10質量部であることが好ましく、1~8質量部であることがより好ましい。0.5質量部以上の場合、耐熱性に優れる。10質量部以下の場合、保存安定性向上につながる。 Thermosetting catalysts can be used alone or in combination of two or more. The amount of thermosetting catalyst is preferably 0.5 to 10 parts by mass, and more preferably 1 to 8 parts by mass, per 100 parts by mass of the solid content of (A) the alkali-soluble resin. When the amount is 0.5 parts by mass or more, the heat resistance is excellent. When the amount is 10 parts by mass or less, the storage stability is improved.

(有機溶剤)
本発明の硬化性樹脂組成物は、組成物の調製や、基板やキャリアフィルムに塗布する際の粘度調整等の目的で、有機溶剤を含有させることができる。有機溶剤としては、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、炭酸プロピレン等のエステル類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素類;石油エーテル、石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤など、公知慣用の有機溶剤が使用できる。これらの有機溶剤は、1種を単独で、または2種類以上組み合わせて用いることができる。
(Organic Solvent)
The curable resin composition of the present invention may contain an organic solvent for the purpose of adjusting the viscosity when preparing the composition or when applying it to a substrate or a carrier film. Examples of the organic solvent include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and tetramethylbenzene; glycol ethers such as cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, butyl carbitol, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether acetate, and tripropylene glycol monomethyl ether; esters such as ethyl acetate, butyl acetate, butyl lactate, cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene carbonate; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; and petroleum-based solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, and solvent naphtha. Known and commonly used organic solvents can be used. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

(その他の任意成分)
さらに、本発明の硬化性樹脂組成物には、電子材料の分野において公知慣用の他の硬化成分や他の添加剤を配合してもよい。他の硬化成分としては、シアネートエステル樹脂、活性エステル樹脂、マレイミド化合物、脂環式オレフィン重合体が挙げられる。他の添加剤としては、熱重合禁止剤、紫外線吸収剤、シランカップリング剤、可塑剤、難燃剤、帯電防止剤、老化防止剤、抗菌・防黴剤、消泡剤、レベリング剤、増粘剤、密着性付与剤、チキソ性付与剤、光開始助剤、増感剤、熱可塑性樹脂、有機フィラー、離型剤、表面処理剤、分散剤、分散助剤、表面改質剤、安定剤、蛍光体等が挙げられる。
(Other optional ingredients)
Further, the curable resin composition of the present invention may contain other curing components and other additives that are well known and commonly used in the field of electronic materials. Examples of other curing components include cyanate ester resins, active ester resins, maleimide compounds, and alicyclic olefin polymers. Examples of other additives include thermal polymerization inhibitors, ultraviolet absorbers, silane coupling agents, plasticizers, flame retardants, antistatic agents, antiaging agents, antibacterial and antifungal agents, defoamers, leveling agents, thickeners, adhesion agents, thixotropy agents, photoinitiator assistants, sensitizers, thermoplastic resins, organic fillers, release agents, surface treatment agents, dispersants, dispersion assistants, surface modifiers, stabilizers, and phosphors.

本発明の硬化性樹脂組成物は、ドライフィルム化して用いても液状として用いても良い。液状として用いる場合は、1液性でも2液性以上でもよい。 The curable resin composition of the present invention may be used in the form of a dry film or in liquid form. When used in liquid form, it may be a one-component or two or more-component composition.

次に、本発明のドライフィルムは、キャリアフィルム上に、本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより得られる樹脂層を有する。ドライフィルムを形成する際には、まず、本発明の硬化性樹脂組成物を上記有機溶剤で希釈して適切な粘度に調整した上で、コンマコーター、ブレードコーター、リップコーター、ロッドコーター、スクイズコーター、リバースコーター、トランスファロールコーター、グラビアコーター、スプレーコーター等により、キャリアフィルム上に均一な厚さに塗布する。その後、塗布された組成物を、通常、40~130℃の温度で1~30分間乾燥することで、樹脂層を形成することができる。塗布膜厚については特に制限はないが、一般に、乾燥後の膜厚で、3~150μm、好ましくは5~60μmの範囲で適宜選択される。 Next, the dry film of the present invention has a resin layer obtained by applying the curable resin composition of the present invention onto a carrier film and drying it. When forming a dry film, first, the curable resin composition of the present invention is diluted with the organic solvent described above to adjust the viscosity to an appropriate level, and then coated onto the carrier film in a uniform thickness using a comma coater, blade coater, lip coater, rod coater, squeeze coater, reverse coater, transfer roll coater, gravure coater, spray coater, or the like. The applied composition is then dried for 1 to 30 minutes, usually at a temperature of 40 to 130°C, to form a resin layer. There is no particular restriction on the coating thickness, but it is generally selected appropriately within the range of 3 to 150 μm, preferably 5 to 60 μm, in terms of the film thickness after drying.

キャリアフィルムとしては、プラスチックフィルムが用いられ、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等を用いることができる。キャリアフィルムの厚さについては特に制限はないが、一般に、10~150μmの範囲で適宜選択される。より好ましくは15~130μmの範囲である。 As the carrier film, a plastic film is used, for example, a polyester film such as polyethylene terephthalate (PET), a polyimide film, a polyamideimide film, a polypropylene film, a polystyrene film, etc. can be used. There is no particular restriction on the thickness of the carrier film, but it is generally selected appropriately in the range of 10 to 150 μm. It is more preferably in the range of 15 to 130 μm.

キャリアフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を形成した後、樹脂層の表面に塵が付着することを防ぐ等の目的で、さらに、樹脂層の表面に、剥離可能なカバーフィルムを積層することが好ましい。剥離可能なカバーフィルムとしては、例えば、ポリエチレンフィルムやポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、表面処理した紙等を用いることができる。カバーフィルムとしては、カバーフィルムを剥離するときに、樹脂層とキャリアフィルムとの接着力よりも小さいものであればよい。 After forming a resin layer made of the curable resin composition of the present invention on the carrier film, it is preferable to further laminate a peelable cover film on the surface of the resin layer for the purpose of preventing dust from adhering to the surface of the resin layer. As the peelable cover film, for example, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, surface-treated paper, etc. can be used. The cover film may have a smaller adhesive force than that between the resin layer and the carrier film when the cover film is peeled off.

なお、本発明においては、上記カバーフィルム上に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布、乾燥させることにより樹脂層を形成して、その表面にキャリアフィルムを積層するものであってもよい。すなわち、本発明においてドライフィルムを製造する際に本発明の硬化性樹脂組成物を塗布するフィルムとしては、キャリアフィルムおよびカバーフィルムのいずれを用いてもよい。 In the present invention, the curable resin composition of the present invention may be applied to the cover film and dried to form a resin layer, and a carrier film may be laminated on the surface of the resin layer. In other words, when producing a dry film in the present invention, either a carrier film or a cover film may be used as the film to which the curable resin composition of the present invention is applied.

本発明のプリント配線板は、本発明の硬化性樹脂組成物またはドライフィルムの樹脂層から得られる硬化物を有するものである。本発明のプリント配線板の製造方法としては、例えば、本発明の硬化性樹脂組成物を、上記有機溶剤を用いて塗布方法に適した粘度に調整して、基材上に、ディップコート法、フローコート法、ロールコート法、バーコーター法、スクリーン印刷法、カーテンコート法等の方法により塗布した後、60~100℃の温度で組成物中に含まれる有機溶剤を揮発乾燥(仮乾燥)させることで、タックフリーの樹脂層を形成する。また、ドライフィルムの場合、ラミネーター等により樹脂層が基材と接触するように基材上に貼り合わせた後、キャリアフィルムを剥がすことにより、基材上に樹脂層を形成する。 The printed wiring board of the present invention has a cured product obtained from the resin layer of the curable resin composition or dry film of the present invention. The method for producing the printed wiring board of the present invention includes, for example, adjusting the viscosity of the curable resin composition of the present invention to a suitable viscosity for the coating method using the organic solvent described above, coating the composition on a substrate by a method such as dip coating, flow coating, roll coating, bar coating, screen printing, or curtain coating, and then evaporating and drying (temporarily drying) the organic solvent contained in the composition at a temperature of 60 to 100°C to form a tack-free resin layer. In the case of a dry film, the resin layer is attached to the substrate by a laminator or the like so that the resin layer is in contact with the substrate, and then the carrier film is peeled off to form a resin layer on the substrate.

上記基材としては、あらかじめ銅等により回路形成されたプリント配線板やフレキシブルプリント配線板の他、紙フェノール、紙エポキシ、ガラス布エポキシ、ガラスポリイミド、ガラス布/不繊布エポキシ、ガラス布/紙エポキシ、合成繊維エポキシ、フッ素樹脂・ポリエチレン・ポリフェニレンエーテル,ポリフェニレンオキシド・シアネート等を用いた高周波回路用銅張積層板等の材質を用いたもので、全てのグレード(FR-4等)の銅張積層板、その他、金属基板、ポリイミドフィルム、PETフィルム、ポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム、ガラス基板、セラミック基板、ウエハ板等を挙げることができる。 The above-mentioned substrates include printed wiring boards and flexible printed wiring boards with circuits formed in advance using copper or the like, as well as materials such as paper phenol, paper epoxy, glass cloth epoxy, glass polyimide, glass cloth/non-woven cloth epoxy, glass cloth/paper epoxy, synthetic fiber epoxy, copper-clad laminates for high-frequency circuits using fluororesin, polyethylene, polyphenylene ether, polyphenylene oxide, cyanate, etc., and include copper-clad laminates of all grades (FR-4, etc.), as well as metal substrates, polyimide films, PET films, polyethylene naphthalate (PEN) films, glass substrates, ceramic substrates, wafer plates, etc.

本発明の硬化性樹脂組成物を塗布した後に行う揮発乾燥は、熱風循環式乾燥炉、IR炉、ホットプレート、コンベクションオーブン等(蒸気による空気加熱方式の熱源を備えたものを用いて乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方法およびノズルより支持体に吹き付ける方式)を用いて行うことができる。 The volatilization drying carried out after application of the curable resin composition of the present invention can be carried out using a hot air circulation drying oven, an IR oven, a hot plate, a convection oven, etc. (a method in which hot air in the dryer is brought into countercurrent contact using a heat source of an air heating method using steam, or a method in which hot air is blown onto the support from a nozzle).

基材上に樹脂層を形成後、所定のパターンを形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギー線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液(例えば、0.3~3質量%炭酸ソーダ水溶液)により現像して硬化物のパターンを形成する。さらに、硬化物に活性エネルギー線を照射後加熱硬化(例えば、100~220℃)、もしくは加熱硬化後活性エネルギー線を照射、または、加熱硬化のみで最終仕上げ硬化(本硬化)させることにより、密着性、硬度等の諸特性に優れた硬化膜を形成する。
なお、本発明の硬化性樹脂組成物が、光塩基発生剤を含む場合、露光後現像前に加熱することが好ましく、露光後現像前の加熱条件としては、例えば、60~150℃で1~60分加熱することが好ましい。
After forming a resin layer on a substrate, the resin layer is selectively exposed to active energy rays through a photomask having a predetermined pattern formed thereon, and the unexposed areas are developed with a dilute alkaline aqueous solution (e.g., a 0.3 to 3 mass % aqueous solution of sodium carbonate) to form a pattern of a cured product. The cured product is then irradiated with active energy rays and then heat-cured (e.g., at 100 to 220° C.), or is irradiated with active energy rays after heat-curing, or is heat-cured only to form a final finish curing (main curing) to form a cured film having excellent properties such as adhesion and hardness.
In addition, when the curable resin composition of the present invention contains a photobase generator, it is preferable to heat the composition after exposure and before development. The heating conditions after exposure and before development are preferably, for example, heating at 60 to 150° C. for 1 to 60 minutes.

上記活性エネルギー線照射に用いられる露光機としては、高圧水銀灯ランプ、超高圧水銀灯ランプ、メタルハライドランプ、水銀ショートアークランプ等を搭載し、350~450nmの範囲で紫外線を照射する装置であればよく、さらに、直接描画装置(例えば、コンピューターからのCADデータにより直接レーザーで画像を描くレーザーダイレクトイメージング装置)も用いることができる。直描機のランプ光源またはレーザー光源としては、最大波長が350~450nmの範囲にあるものでよい。画像形成のための露光量は膜厚等によって異なるが、一般には10~1000mJ/cm、好ましくは20~800mJ/cmの範囲内とすることができる。 The exposure machine used for the above-mentioned active energy ray irradiation may be a machine equipped with a high pressure mercury lamp, an ultra-high pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a mercury short arc lamp, or the like, and capable of irradiating ultraviolet rays in the range of 350 to 450 nm, and further, a direct imaging machine (for example, a laser direct imaging machine that draws an image directly with a laser based on CAD data from a computer) may also be used. The lamp light source or laser light source of the direct imaging machine may have a maximum wavelength in the range of 350 to 450 nm. The exposure dose for forming an image varies depending on the film thickness, etc., but can generally be within the range of 10 to 1000 mJ/cm 2 , preferably 20 to 800 mJ/cm 2 .

上記現像方法としては、ディッピング法、シャワー法、スプレー法、ブラシ法等によることができ、現像液としては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等のアルカリ水溶液が使用できる。 The above-mentioned developing method can be a dipping method, a shower method, a spray method, a brush method, etc., and the developing solution can be an alkaline aqueous solution of potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, amines, etc.

本発明の硬化性樹脂組成物は、プリント配線板上に硬化膜を形成するために好適に使用され、より好適には、永久塗膜を形成するために使用され、さらに好適には、ソルダーレジスト、層間絶縁層、カバーレイを形成するために使用される。また、本発明の硬化性樹脂組成物によれば、薄膜でも外観および表面の平滑性に優れた硬化物を得ることができ、感度および解像性に優れることから、薄膜で高い信頼性が要求されるプリント配線板、例えばパッケージ基板、特にFC-BGA用の永久塗膜(特にソルダーレジスト)の形成に好適に用いることができる。 The curable resin composition of the present invention is preferably used to form a cured film on a printed wiring board, more preferably used to form a permanent coating, and even more preferably used to form a solder resist, an interlayer insulating layer, or a coverlay. Furthermore, the curable resin composition of the present invention can provide a cured product that is excellent in appearance and surface smoothness even when thin, and has excellent sensitivity and resolution, so it can be preferably used to form a permanent coating (particularly solder resist) for printed wiring boards that require high reliability in a thin film, such as package substrates, especially FC-BGA.

特に本発明の硬化性樹脂組成物は、薄膜、好ましくは厚さ3~40μm、より好ましくは5~30μmの硬化膜の形成に好適に用いることができる。 In particular, the curable resin composition of the present invention can be suitably used to form thin cured films, preferably having a thickness of 3 to 40 μm, and more preferably 5 to 30 μm.

以下に実施例および比較例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものではない。尚、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。 The present invention will be specifically explained below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples. Note that "parts" and "%" below are all based on mass unless otherwise specified.

(アルカリ可溶性樹脂A-1の合成)
温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置および撹拌装置を備えたオートクレーブに、クレゾールノボラック樹脂(アイカ工業社製ショウノールCRG-951、OH当量:119.4)119.4部、水酸化カリウム1.19部およびトルエン119.4部を導入し、撹拌しつつ系内を窒素置換し、加熱昇温した。次に、プロピレンオキシド63.8部を徐々に滴下し、125~132℃、0~4.8kg/cmで16時間反応させた。その後、室温まで冷却し、この反応溶液に89%リン酸1.56部を添加混合して水酸化カリウムを中和し、不揮発分62.1%、水酸基価が182.2mgKOH/g(307.9g/eq.)であるノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りプロピレンオキシドが平均1.08モル付加したものであった。得られたノボラック型クレゾール樹脂のプロピレンオキシド反応溶液293.0部、アクリル酸43.2部、メタンスルホン酸11.53部、メチルハイドロキノン0.18部およびトルエン252.9部を、撹拌機、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に導入し、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、110℃で12時間反応させた。反応により生成した水は、トルエンとの共沸混合物として、12.6部の水が留出した。その後、室温まで冷却し、得られた反応溶液を15%水酸化ナトリウム水溶液35.35部で中和し、次いで水洗した。その後、エバポレーターにてトルエンをジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート118.1部で置換しつつ留去し、ノボラック型アクリレート樹脂溶液を得た。次に、得られたノボラック型アクリレート樹脂溶液332.5部およびトリフェニルホスフィン1.22部を、撹拌器、温度計および空気吹き込み管を備えた反応器に導入し、空気を10ml/分の速度で吹き込み、撹拌しながら、テトラヒドロフタル酸無水物60.8部を徐々に加え、95~101℃で6時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして、固形分65%、固形分の酸価87.7mgKOH/gのアクリレート樹脂A-1の溶液を得た。
(Synthesis of alkali-soluble resin A-1)
In an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introduction device/alkylene oxide introduction device, and a stirrer, 119.4 parts of cresol novolac resin (Aica Kogyo Co., Ltd., Shounol CRG-951, OH equivalent: 119.4), 1.19 parts of potassium hydroxide, and 119.4 parts of toluene were introduced, and the system was replaced with nitrogen while stirring, and the temperature was raised by heating. Next, 63.8 parts of propylene oxide were gradually dropped, and the reaction was carried out for 16 hours at 125 to 132 ° C and 0 to 4.8 kg / cm 2. Thereafter, the reaction solution was cooled to room temperature, and 1.56 parts of 89% phosphoric acid was added and mixed to neutralize the potassium hydroxide, and a propylene oxide reaction solution of novolac type cresol resin with a nonvolatile content of 62.1% and a hydroxyl value of 182.2 mg KOH / g (307.9 g / eq.) was obtained. This was a product in which 1.08 moles of propylene oxide was added on average per equivalent of phenolic hydroxyl group. 293.0 parts of the resulting propylene oxide reaction solution of the novolac cresol resin, 43.2 parts of acrylic acid, 11.53 parts of methanesulfonic acid, 0.18 parts of methylhydroquinone, and 252.9 parts of toluene were introduced into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer, and an air-inlet tube, and the mixture was reacted at 110° C. for 12 hours while blowing air at a rate of 10 ml/min and stirring. 12.6 parts of water were distilled off as an azeotrope with toluene produced by the reaction. The mixture was then cooled to room temperature, and the resulting reaction solution was neutralized with 35.35 parts of a 15% aqueous sodium hydroxide solution, and then washed with water. The toluene was then replaced with 118.1 parts of diethylene glycol monoethyl ether acetate in an evaporator and distilled off to obtain a novolac acrylate resin solution. Next, 332.5 parts of the obtained novolac type acrylate resin solution and 1.22 parts of triphenylphosphine were introduced into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer, and an air-inlet tube, and 60.8 parts of tetrahydrophthalic anhydride were gradually added while blowing air at a rate of 10 ml/min and stirring, and the mixture was reacted at 95 to 101° C. for 6 hours, cooled, and then removed. In this way, a solution of acrylate resin A-1 with a solid content of 65% and an acid value of the solid content of 87.7 mgKOH/g was obtained.

(アルカリ可溶性樹脂A-2の合成)
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、ビスフェノールA 456部、水228部、37%ホルマリン649部を仕込み、40℃以下の温度を保ち、25%水酸化ナトリウム水溶液228部を添加した、添加終了後50℃で10時間反応した。反応終了後40℃まで冷却し、40℃以下を保ちながら37.5%リン酸水溶液でpH4まで中和した。その後静置し水層を分離した。分離後メチルイソブチルケトン300部を添加し均一に溶解した後、蒸留水500部で3回洗浄し、50℃以下の温度で減圧下、水、溶媒等を除去した。得られたポリメチロール化合物をメタノール550部に溶解し、ポリメチロール化合物のメタノール溶液1230部を得た。得られたポリメチロール化合物のメタノール溶液の一部を真空乾燥機中室温で乾燥したところ、固形分が55.2%であった。
得られたポリメチロール化合物のメタノール溶液500部、2,6-キシレノール440部を仕込み、50℃で均一に溶解した。均一に溶解した後50℃以下の温度で減圧下メタノールを除去した。その後シュウ酸8部を加え、100℃で10時間反応した。反応終了後180℃、50mmHgの減圧下で溜出分を除去し、ノボラック樹脂A 550部を得た。更に、温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置及び撹拌装置を備えたオートクレーブに、上記のノボラック樹脂Aを130部、50%水酸化ナトリウム水溶液2.6部、トルエン/メチルイソブチルケトン(質量比=2/1)100部を仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、次に加熱昇温し、150℃、8kg/cmでエチレンオキシド45部を徐々に導入し反応させた。反応はゲージ圧0.0kg/cmとなるまで約4時間を続けた後、室温まで冷却した。この反応溶液に3.3部の36%塩酸水溶液を添加混合し、水酸化ナトリウムを中和した。この中和反応生成物をトルエンで希釈し、3回水洗し、エバポレーターにて脱溶剤して、水酸基価が175g/eq.であるノボラック樹脂Aのエチレンオキシド付加物を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りエチレンオキシドが平均1モル付加しているものであった。このように得られたノボラック樹脂Aのエチレンオキシド付加物175部、アクリル酸50部、p-トルエンスルホン酸3.0部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1部、トルエン130部を撹拌機、温度計、空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を吹き込みながら攪拌して、115℃に昇温し、反応により生成した水をトルエンと共沸混合物として留去しながら、さらに4時間反応させたのち、室温まで冷却した。得られた反応溶液を5%NaCl水溶液を用いて水洗し、減圧留去にてトルエンを除去したのち、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートを加えて、固形分68%のアクリレート樹脂溶液を得た。
次に、撹拌器及び還流冷却器の付いた4つ口フラスコに、得られたアクリレート樹脂溶液312部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1部、トリフェニルホスフィン0.3部を仕込み、この混合物を110℃に加熱し、テトラヒドロ無水フタル酸45部を加え、4時間反応させ、冷却後、取り出した。このようにして得られたカルボキシル基含有感光性樹脂は、不揮発分72%、固形分酸価65mgKOH/gであった。以下、このカルボキシル基含有感光性樹脂の溶液をA-2ワニスと称す。
(Synthesis of alkali-soluble resin A-2)
In a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, 456 parts of bisphenol A, 228 parts of water, and 649 parts of 37% formalin were charged, and the temperature was kept below 40°C, and 228 parts of 25% aqueous sodium hydroxide solution was added. After the addition was completed, the mixture was reacted at 50°C for 10 hours. After the reaction was completed, the mixture was cooled to 40°C, and neutralized to pH 4 with 37.5% aqueous phosphoric acid solution while keeping the temperature below 40°C. The mixture was then left to stand and the aqueous layer was separated. After the separation, 300 parts of methyl isobutyl ketone was added and dissolved uniformly, and the mixture was washed three times with 500 parts of distilled water, and water, solvent, etc. were removed under reduced pressure at a temperature below 50°C. The obtained polymethylol compound was dissolved in 550 parts of methanol to obtain 1230 parts of a methanol solution of the polymethylol compound. A part of the obtained methanol solution of the polymethylol compound was dried at room temperature in a vacuum dryer, and the solid content was 55.2%.
500 parts of the resulting methanol solution of the polymethylol compound and 440 parts of 2,6-xylenol were charged and uniformly dissolved at 50°C. After uniform dissolution, methanol was removed under reduced pressure at a temperature of 50°C or less. Then, 8 parts of oxalic acid was added and reacted at 100°C for 10 hours. After the reaction was completed, the distillate was removed under reduced pressure of 180°C and 50 mmHg to obtain 550 parts of novolak resin A. Furthermore, 130 parts of the above novolak resin A, 2.6 parts of a 50% aqueous sodium hydroxide solution, and 100 parts of toluene/methyl isobutyl ketone (mass ratio = 2/1) were charged into an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introducing device/alkylene oxide introducing device, and a stirring device, and the system was replaced with nitrogen while stirring, then heated to a temperature increase, and 45 parts of ethylene oxide were gradually introduced at 150°C and 8 kg/ cm2 to cause a reaction. The reaction was continued for about 4 hours until the gauge pressure reached 0.0 kg/ cm2 , and then cooled to room temperature. 3.3 parts of 36% aqueous hydrochloric acid solution was added and mixed to this reaction solution to neutralize the sodium hydroxide. This neutralized reaction product was diluted with toluene, washed with water three times, and desolvated with an evaporator to obtain an ethylene oxide adduct of novolak resin A having a hydroxyl value of 175 g/eq. This was a product in which ethylene oxide was added on average 1 mole per equivalent of phenolic hydroxyl group. 175 parts of the ethylene oxide adduct of novolak resin A obtained in this way, 50 parts of acrylic acid, 3.0 parts of p-toluenesulfonic acid, 0.1 parts of hydroquinone monomethyl ether, and 130 parts of toluene were charged into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer, and an air blowing tube, and stirred while blowing in air, and the temperature was raised to 115°C. The water generated by the reaction was distilled off as an azeotropic mixture with toluene, and the reaction was continued for another 4 hours, after which it was cooled to room temperature. The resulting reaction solution was washed with a 5% aqueous NaCl solution, and the toluene was removed by distillation under reduced pressure. Diethylene glycol monoethyl ether acetate was then added to obtain an acrylate resin solution with a solid content of 68%.
Next, 312 parts of the obtained acrylate resin solution, 0.1 parts of hydroquinone monomethyl ether, and 0.3 parts of triphenylphosphine were charged into a four-neck flask equipped with a stirrer and a reflux condenser, and the mixture was heated to 110°C, 45 parts of tetrahydrophthalic anhydride were added, reacted for 4 hours, cooled, and then removed. The carboxyl group-containing photosensitive resin thus obtained had a nonvolatile content of 72% and a solid acid value of 65 mgKOH/g. Hereinafter, this solution of the carboxyl group-containing photosensitive resin is referred to as A-2 varnish.

(アルカリ可溶性樹脂A-3の合成)
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、ビスフェノールA 456部、水228部、37%ホルマリン649部を仕込み、40℃以下の温度を保ち、25%水酸化ナトリウム水溶液228部を添加した、添加終了後50℃で10時間反応した。反応終了後40℃まで冷却し、40℃以下を保ちながら37.5%リン酸水溶液でpH4まで中和した。その後静置し水層を分離した。分離後メチルイソブチルケトン300部を添加し均一に溶解した後、蒸留水500部で3回洗浄し、50℃以下の温度で減圧下、水、溶媒等を除去した。得られたポリメチロール化合物をメタノール550部に溶解し、ポリメチロール化合物のメタノール溶液1230部を得た。得られたポリメチロール化合物のメタノール溶液の一部を真空乾燥機中室温で乾燥したところ、固形分が55.2%であった。
得られたポリメチロール化合物のメタノール溶液500部、2,6-キシレノール440部を仕込み、50℃で均一に溶解した。均一に溶解した後50℃以下の温度で減圧下メタノールを除去した。その後シュウ酸8部を加え、100℃で10時間反応した。反応終了後180℃、50mmHgの減圧下で溜出分を除去し、ノボラック樹脂A 550部を得た。更に、温度計、窒素導入装置兼アルキレンオキシド導入装置及び撹拌装置を備えたオートクレーブに、上記のノボラック樹脂Aを130部、50%水酸化ナトリウム水溶液2.6部、トルエン/メチルイソブチルケトン(質量比=2/1)100部を仕込み、撹拌しつつ系内を窒素置換し、次に加熱昇温し、150℃、8kg/cmでエチレンオキシド45部を徐々に導入し反応させた。反応はゲージ圧0.0kg/cmとなるまで約4時間を続けた後、室温まで冷却した。この反応溶液に3.3部の36%塩酸水溶液を添加混合し、水酸化ナトリウムを中和した。この中和反応生成物をトルエンで希釈し、3回水洗し、エバポレーターにて脱溶剤して、水酸基価が175g/eq.であるノボラック樹脂Aのエチレンオキシド付加物を得た。これは、フェノール性水酸基1当量当りエチレンオキシドが平均1モル付加しているものであった。このように得られたノボラック樹脂Aのエチレンオキシド付加物175部、メタクリル酸75部、p-トルエンスルホン酸3.0部、ハイドロキノンモノメチルエーテル0.1部、トルエン130部を撹拌機、温度計、空気吹き込み管を備えた反応器に仕込み、空気を吹き込みながら攪拌して、115℃に昇温し、反応により生成した水をトルエンと共沸混合物として留去しながら、さらに4時間反応させたのち、室温まで冷却した。得られた反応溶液を5%NaCl水溶液を用いて水洗し、減圧留去にてトルエンを除去したのち、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテートを加えて、固形分68%のアクリレート樹脂溶液を得た。以下、このアクリレート樹脂溶液を樹脂溶液A-3と称す。
(Synthesis of alkali-soluble resin A-3)
In a flask equipped with a cooling tube and a stirrer, 456 parts of bisphenol A, 228 parts of water, and 649 parts of 37% formalin were charged, and the temperature was kept below 40°C, and 228 parts of 25% aqueous sodium hydroxide solution was added. After the addition was completed, the mixture was reacted at 50°C for 10 hours. After the reaction was completed, the mixture was cooled to 40°C, and neutralized to pH 4 with 37.5% aqueous phosphoric acid solution while keeping the temperature below 40°C. The mixture was then left to stand and the aqueous layer was separated. After the separation, 300 parts of methyl isobutyl ketone was added and dissolved uniformly, and the mixture was washed three times with 500 parts of distilled water, and water, solvent, etc. were removed under reduced pressure at a temperature below 50°C. The obtained polymethylol compound was dissolved in 550 parts of methanol to obtain 1230 parts of a methanol solution of the polymethylol compound. A part of the obtained methanol solution of the polymethylol compound was dried at room temperature in a vacuum dryer, and the solid content was 55.2%.
500 parts of the resulting methanol solution of the polymethylol compound and 440 parts of 2,6-xylenol were charged and uniformly dissolved at 50°C. After uniform dissolution, methanol was removed under reduced pressure at a temperature of 50°C or less. Then, 8 parts of oxalic acid was added and reacted at 100°C for 10 hours. After the reaction was completed, the distillate was removed under reduced pressure of 180°C and 50 mmHg to obtain 550 parts of novolak resin A. Furthermore, 130 parts of the above novolak resin A, 2.6 parts of a 50% aqueous sodium hydroxide solution, and 100 parts of toluene/methyl isobutyl ketone (mass ratio = 2/1) were charged into an autoclave equipped with a thermometer, a nitrogen introducing device/alkylene oxide introducing device, and a stirring device, and the system was replaced with nitrogen while stirring, then heated to a temperature increase, and 45 parts of ethylene oxide were gradually introduced at 150°C and 8 kg/ cm2 to cause a reaction. The reaction was continued for about 4 hours until the gauge pressure reached 0.0 kg/ cm2 , and then cooled to room temperature. 3.3 parts of 36% aqueous hydrochloric acid solution was added and mixed to this reaction solution to neutralize sodium hydroxide. This neutralized reaction product was diluted with toluene, washed with water three times, and desolvated with an evaporator to obtain an ethylene oxide adduct of novolak resin A having a hydroxyl value of 175 g/eq. This was a product in which ethylene oxide was added on average 1 mole per equivalent of phenolic hydroxyl group. 175 parts of the ethylene oxide adduct of novolak resin A obtained in this way, 75 parts of methacrylic acid, 3.0 parts of p-toluenesulfonic acid, 0.1 parts of hydroquinone monomethyl ether, and 130 parts of toluene were charged into a reactor equipped with a stirrer, a thermometer, and an air blowing tube, and stirred while blowing in air, and the temperature was raised to 115°C. The water generated by the reaction was distilled off as an azeotropic mixture with toluene, and the reaction was continued for another 4 hours, after which it was cooled to room temperature. The resulting reaction solution was washed with a 5% NaCl aqueous solution, and the toluene was removed by distillation under reduced pressure. Diethylene glycol monoethyl ether acetate was then added to obtain an acrylate resin solution with a solid content of 68%. Hereinafter, this acrylate resin solution is referred to as resin solution A-3.

(球状シリカの合成)
球状シリカ(デンカ製SFP-30M)を70gと、溶剤としてPMA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート)を30gとを混合分散させて無機フィラーを得た。
(Synthesis of spherical silica)
An inorganic filler was obtained by mixing and dispersing 70 g of spherical silica (SFP-30M manufactured by Denka) and 30 g of PMA (propylene glycol monomethyl ether acetate) as a solvent.

[実施例および比較例]
表1に示す処方にて各成分を、表1に示す割合(質量部)にて配合し、攪拌機にて予備混合した後、ビーズミルで混練し、硬化性樹脂組成物を調製した。尚、表中の配合量は固形分量(不揮発分)を示す。
[Examples and Comparative Examples]
The components were mixed in the ratios (parts by mass) shown in Table 1, premixed in a stirrer, and then kneaded in a bead mill to prepare curable resin compositions. The amounts in the table indicate the solid content (non-volatile content).

(ドライフィルムの作製)
上記の調製した硬化性樹脂組成物をPETフィルム上にアプリケーターにより乾燥後の樹脂層の膜厚が所定の膜厚になるよう塗布し、80℃30分乾燥させてドライフィルムを得た。
(Preparation of dry film)
The curable resin composition prepared above was applied onto a PET film with an applicator so that the resin layer would have a predetermined thickness after drying, and then dried at 80° C. for 30 minutes to obtain a dry film.

(透過率)
上記(ドライフィルムの作製)に記載の方法に従って、乾燥後の樹脂層の膜厚が20μmのドライフィルムを作製した。厚さ2mmのガラス基板に上記樹脂層の膜厚が20μmのドライフィルムをラミネートし、PETフィルムを剥離した。その後、分光光度計V-670を用いて吸光度を測定した。
(Transmittance)
According to the method described in the above (Preparation of Dry Film), a dry film having a resin layer thickness of 20 μm after drying was prepared. The dry film having a resin layer thickness of 20 μm was laminated on a glass substrate having a thickness of 2 mm, and the PET film was peeled off. Thereafter, the absorbance was measured using a spectrophotometer V-670.

(隠蔽性)
上記(ドライフィルムの作製)に記載の方法に従って、乾燥後の樹脂層の膜厚が20μm、25μmのドライフィルムをそれぞれ作製した。次に、メック社製メックエッチボンドCZ-8101を用いて18μmの銅箔をエッチングレート1μmでCZ処理(粗化処理)され、さらにメック社製メックエッチボンドCL-8300を用いて防錆処理されたCu厚が17μmでL/S=12μm/13μmの櫛形パターンが形成されたプリント配線板に各ドライフィルムをラミネートした。これに対して、オーク製作所製HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)により、最適露光量:800mJにて全面露光を行った。PETフィルムを剥離した後、更に積算露光量を1000mJとして紫外線を照射した後、熱循環式ボックス炉で、160℃、60分加熱して硬化した(ポストキュア)。
得られた硬化膜を有するプリント配線板について、回路の隠蔽性を目視で評価した。
◎:20μm、25μmの硬化膜が、共にCu回路がまったく見えない。
○:20μmの硬化膜ではCu回路が透けて見えるが、25μmの硬化膜ではCu回路がまったく見えない。
×:20μm、25μmの硬化膜が、共にCu回路が透けて見える。
(Concealment)
According to the method described in the above (preparation of dry film), dry films with resin layer thicknesses of 20 μm and 25 μm after drying were prepared. Next, 18 μm copper foil was CZ-treated (roughening treatment) at an etching rate of 1 μm using MEC Etch Bond CZ-8101 manufactured by MEC Co., Ltd., and further anti-rust-treated using MEC Etch Bond CL-8300 manufactured by MEC Co., Ltd. Each dry film was laminated on a printed wiring board with a Cu thickness of 17 μm and a comb pattern of L/S = 12 μm/13 μm. On this, an optimal exposure amount: 800 mJ was exposed to the entire surface using Oak Seisakusho HMW680GW (metal halide lamp, scattered light). After peeling off the PET film, the film was further irradiated with ultraviolet light with an integrated exposure amount of 1000 mJ, and then cured by heating at 160 ° C. for 60 minutes in a heat circulation box furnace (post cure).
The printed wiring board having the resulting cured film was visually evaluated for its concealment of the circuit.
⊚: The Cu circuits are not visible at all in both the 20 μm and 25 μm cured films.
◯: The Cu circuit is visible through the 20 μm cured film, but the Cu circuit is completely invisible through the 25 μm cured film.
×: The Cu circuit was visible through both the 20 μm and 25 μm cured films.

(解像性)
上記(ドライフィルムの作製)に記載の方法に従って、乾燥後の樹脂層の膜厚が20μmのドライフィルムを作製した。メック社製メックエッチボンドCZ-8101を用いて35μmの銅箔をエッチングレート1μmでCZ処理(粗化処理)され、さらにメック社製メックエッチボンドCL-8300を用いて防錆処理された34μmの銅箔を有する基板上に上記樹脂層の膜厚が20μmのドライフィルムをラミネートし、i線より長波長側をカットした投影露光機UFX-2223M-APU01を用いて、直径40~350nmの開口パターンを有するように露光した。PETフィルムを剥離し1.0wt%炭酸ナトリウム水溶液で現像し、形成できる最小の開口径をSEM確認した。
○:最小径が40μm以下
×:最小径が40μm超
(Resolution)
According to the method described in (Preparation of Dry Film) above, a dry film having a resin layer thickness of 20 μm after drying was prepared. A 35 μm copper foil was CZ-treated (roughening treatment) at an etching rate of 1 μm using MEC Etch Bond CZ-8101 manufactured by MEC Co., Ltd., and furthermore, a 34 μm copper foil was rust-proofed using MEC Etch Bond CL-8300 manufactured by MEC Co., Ltd. A dry film having a resin layer thickness of 20 μm was laminated on a substrate, and exposed to light so as to have an opening pattern with a diameter of 40 to 350 nm using a projection exposure machine UFX-2223M-APU01 that cuts off the longer wavelength side than i-line. The PET film was peeled off and developed with a 1.0 wt % sodium carbonate aqueous solution, and the minimum opening diameter that could be formed was confirmed by SEM.
○: Minimum diameter is 40 μm or less ×: Minimum diameter is more than 40 μm

(色調変化の確認試験)
上記(ドライフィルムの作製)に記載の方法に従って、乾燥後の樹脂層の膜厚が20μmのドライフィルムを作製した。メック社製メックエッチボンドCZ-8101を用いて35μmの銅箔をエッチングレート1μmでCZ処理(粗化処理)され、さらにメック社製メックエッチボンドCL-8300を用いて防錆処理された34μmの銅箔を有する基板上に上記樹脂層の膜厚が20μmのドライフィルムをラミネートした。これに対して、オーク製作所製HMW680GW(メタルハライドランプ、散乱光)により、最適露光量:800mJにて全面露光を行った。PETフィルムを剥離した後、更に積算露光量を1000mJとして紫外線を照射した。
色調変化の確認試験は、この紫外線を照射した後の基板に対して、熱循環式ボックス炉で、150℃、60分のポストキュアの場合と、170℃、60分のポストキュアの場合との2条件で行い、色度測定器コニカミノルタ社製CM-2600dによりSCIモードでCIE L方式にて測定した。
(Color change confirmation test)
According to the method described in (Preparation of Dry Film) above, a dry film having a resin layer thickness of 20 μm after drying was prepared. A 35 μm copper foil was CZ-treated (roughening treatment) at an etching rate of 1 μm using MEC Etch Bond CZ-8101 manufactured by MEC Co., Ltd., and further treated with anti-rust using MEC Etch Bond CL-8300 manufactured by MEC Co., Ltd. A dry film having a resin layer thickness of 20 μm was laminated on a substrate having a 34 μm copper foil. This was exposed to light over the entire surface with an optimal exposure dose of 800 mJ using an HMW680GW (metal halide lamp, scattered light) manufactured by Oak Seisakusho. After peeling off the PET film, ultraviolet light was irradiated with an integrated exposure dose of 1000 mJ.
Tests to confirm color change were performed on the substrate after irradiation with UV light in a heat circulation box furnace under two conditions: post-cure at 150°C for 60 minutes, and post-cure at 170°C for 60 minutes. Color change was measured using a Konica Minolta CM-2600d colorimeter in SCI mode using the CIE L * a * b * method.

Figure 0007634345000004
Figure 0007634345000004

表1の見出し欄における注釈は次のとおり。
*1:上記で合成したアルカリ可溶性樹脂A-1
*2:上記で合成したアルカリ可溶性樹脂A-2
*3:上記で合成したアルカリ可溶性樹脂A-3
*4:三洋化成工業社製ネオマーDA-600
*5:BASFジャパン社製ラロマーLR8863
*6:DIC社製N-870-75EA
*7:日本化薬社製NC-3000H
*8:DIC社製HP-7200L
*9:C.I.Pigment red 149
*10:C.I.Pigment yellow 147
*11:フタロシアニンブルー(C.I.Pigment blue 15)
*12:カーボンブラック
*13:堺化学工業社製B-30
*14:上記で合成した球状シリカ
*15:IGM Resins社製Omnirad TPO H、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤
*16:DKSHジャパン社製JMT-784、チタノセン系光重合開始剤
*17:メラミン
*18:DICY(ジシアンジアミド)
*19:川崎化成社製キノパワーQS-30
The notes in the headings of Table 1 are as follows:
*1: Alkali-soluble resin A-1 synthesized above
*2: Alkali-soluble resin A-2 synthesized above
*3: Alkali-soluble resin A-3 synthesized above
*4: Neomer DA-600 manufactured by Sanyo Chemical Industries, Ltd.
*5: BASF Japan Laromer LR8863
*6: N-870-75EA manufactured by DIC Corporation
*7: NC-3000H manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
*8: DIC HP-7200L
*9:C. I. Pigment red 149
*10:C. I. Pigment yellow 147
*11: Phthalocyanine Blue (C.I. Pigment Blue 15)
* 12: Carbon black * 13: Sakai Chemical Industry Co., Ltd. B-30
* 14: Spherical silica synthesized above * 15: Omnirad TPO H manufactured by IGM Resins, acylphosphine oxide-based photopolymerization initiator * 16: JMT-784 manufactured by DKSH Japan, titanocene-based photopolymerization initiator * 17: Melamine * 18: DICY (dicyandiamide)
*19: Kawasaki Kasei Kinopower QS-30

上記表中に示す結果から、本発明の硬化性樹脂組成物は、隠蔽性および解像性に優れることがわかる。これに対して、比較例1は隠蔽性の評価結果が悪かった。比較例2、3は解像性の評価結果が悪かった。比較例4は隠蔽性の評価結果が悪かった。比較例5、6、7は解像性の評価結果が悪かった。また、実施例1~4、比較例3は、加熱前後での色調変化を見た。尚、比較例1、4は隠蔽性の評価結果が悪く、比較例2、5、6、7は解像性の評価結果が悪いため、色調変化は確認しなかった。
その結果、実施例1~4は、加熱前後での色調変化が少なかったのに対して、比較例3は実施例1~4と比較して色調変化が大きかった。
また、表には示さないが、比較例8として、顔料以外の成分は比較例2と同量配合し、顔料については、黒色、黄色及び赤色を含まず、青色のみ1.89質量部として配合した組成物を調製した。この比較例8につき、解像性を評価したところ30μmと改善されるものの、隠蔽性の評価結果が×となったため他の評価は実施しなかった。
From the results shown in the above table, it can be seen that the curable resin composition of the present invention is excellent in hiding power and resolution. In contrast, Comparative Example 1 had a poor hiding power evaluation result. Comparative Examples 2 and 3 had a poor resolution evaluation result. Comparative Example 4 had a poor hiding power evaluation result. Comparative Examples 5, 6, and 7 had a poor resolution evaluation result. In addition, in Examples 1 to 4 and Comparative Example 3, changes in color tone were observed before and after heating. Note that Comparative Examples 1 and 4 had poor hiding power evaluation results, and Comparative Examples 2, 5, 6, and 7 had poor resolution evaluation results, so no changes in color tone were observed.
As a result, in Examples 1 to 4, the color change before and after heating was small, whereas in Comparative Example 3, the color change was greater than in Examples 1 to 4.
Furthermore, although not shown in the table, a composition was prepared as Comparative Example 8 in which the components other than the pigment were blended in the same amounts as in Comparative Example 2, but the pigment did not contain black, yellow, or red, and only blue was blended in at 1.89 parts by mass. When the resolution of this Comparative Example 8 was evaluated, it was improved to 30 μm, but the evaluation result of the hiding power was x, so no other evaluations were performed.

Claims (4)

(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)熱硬化性樹脂、および(D)着色剤を含有し、表面をCZ処理した銅上に形成される硬化性樹脂組成物であって、
前記(D)着色剤として、赤色着色剤、青色着色剤、黄色着色剤および黒色着色剤を含有し、
厚さ2mmのガラス基板上に形成した前記硬化性樹脂組成物の乾燥塗膜(膜厚20μm)の透過率が、波長365nmにて5%以上、波長430nmにて30~50%、波長530nmにて28~45%、波長720nmにて12%以下であることを特徴とする硬化性樹脂組成物。
A curable resin composition comprising (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a thermosetting resin, and (D) a colorant, the curable resin composition being formed on copper having a CZ-treated surface,
The (D) colorant contains a red colorant, a blue colorant, a yellow colorant and a black colorant,
A curable resin composition, characterized in that a dry coating film (film thickness 20 μm) of the curable resin composition formed on a glass substrate having a thickness of 2 mm has a transmittance of 5% or more at a wavelength of 365 nm, 30 to 50% at a wavelength of 430 nm, 28 to 45% at a wavelength of 530 nm, and 12% or less at a wavelength of 720 nm.
請求項1記載の硬化性樹脂組成物から得られる樹脂層を有することを特徴とするドライフィルム。 A dry film having a resin layer obtained from the curable resin composition according to claim 1. 請求項1記載の硬化性樹脂組成物または請求項2記載のドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とする硬化物。 A cured product obtained by curing the curable resin composition according to claim 1 or the resin layer of the dry film according to claim 2. 請求項3記載の硬化物を有することを特徴とするプリント配線板。 A printed wiring board comprising the cured product according to claim 3.
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