JP7635190B2 - 揺動テーブル - Google Patents

Description

本開示は、揺動テーブルに関するものである。

基体と摺動体からなる摺動装置が知られている（例えば特許文献１参照）。特許文献１に開示の摺動装置によると、駆動方式としてウォームやピニオン等の噛合体を用いている。そして、この噛合体と噛み合うラック歯は、基体に固着された第１摺動部材側または摺動体に固着された第２摺動部材側に形成されている。

特開２００１－９９２５４号公報

揺動テーブル（例えば、ゴニオステージ）において、従来のウォームギアを採用する駆動方式では、以下の点で問題があった。すなわち、ウォームギアを採用する駆動方式は、駆動に際しいわゆる滑り機構を利用しているため、装置の寿命の計算が難しい。また、装置として隙間が存在する構成であるため、バックラッシュが生じ、テーブル部の正確な位置決めが極めて困難である。さらに、高速で運転するにも限界がある。

そこで、寿命計算が容易であると共に、テーブル部の正確な位置決めを行うことができ、高速運転を適切に行うことができる揺動テーブルを提供することを目的の１つとする。

本開示に従った揺動テーブルは、ベース部と、ベース部に取り付けられるレールおよびレールに相対移動可能に取り付けられるスライダを含む直動機構と、スライダを直線往復運動させる駆動源と、スライダに取り付けられ、スライダと共に直線往復運動する第１支持部と、第１支持部に取り付けられる第１転がり軸受と、駆動源からの動力が伝達されて揺動運動可能なテーブル部と、テーブル部を支持する第２支持部と、第２支持部に取り付けられる第２転がり軸受と、第１軸部および第１軸部に対して偏心した位置に配置される第２軸部を含み、第１軸部が第１転がり軸受に支持され、第２軸部が第２転がり軸受に支持される偏心軸と、を備える。

上記揺動テーブルによれば、寿命計算が容易であると共に、テーブル部の正確な位置決めを行うことができ、高速運転を適切に行うことができる。

図１は、本開示の実施の形態１における揺動テーブルを示す概略斜視図である。 図２は、図１に示す揺動テーブルの概略平面図である。 図３は、図１に示す揺動テーブルの概略側面図である。 図４は、図１に示す揺動テーブルの概略正面図である。 図５は、後述するテーブル部を取り除き、一部の部材を破線で表した状態を示す実施の形態１における揺動テーブルを示す概略斜視図である。 図６は、図５に示す揺動テーブルの概略平面図である。 図７は、図５に示す揺動テーブルの概略側面図である。 図８は、図５に示す揺動テーブルの概略正面図である。 図９は、図５に示す揺動テーブルを後述するベース部を含み、Ｙ－Ｚ平面で切断した場合の概略断面図である。 図１０は、図９に示す揺動テーブルの概略平面図である。 図１１は、図９に示す揺動テーブルの概略側面図である。 図１２は、図９に示す揺動テーブルの概略正面図である。 図１３は、図１０に示す領域ＸＩＩＩの拡大図である。 図１４は、図１３に示す揺動テーブルの概略側面図である。 図１５は、後述するテーブル部を揺動により傾斜させた状態を示す揺動テーブルの概略側面図である。 図１６は、傾斜させる前、すなわち、後述するテーブル部が水平な状態を示す揺動テーブルの概略側面図である。

［実施形態の概要］
本開示の揺動テーブルは、ベース部と、ベース部に取り付けられるレールおよびレールに相対移動可能に取り付けられるスライダを含む直動機構と、スライダを直線往復運動させる駆動源と、スライダに取り付けられ、スライダと共に直線往復運動する第１支持部と、第１支持部に取り付けられる第１転がり軸受と、駆動源からの動力が伝達されて揺動運動可能なテーブル部と、テーブル部を支持する第２支持部と、第２支持部に取り付けられる第２転がり軸受と、第１軸部および第１軸部に対して偏心した位置に配置される第２軸部を含み、第１軸部が第１転がり軸受に支持され、第２軸部が第２転がり軸受に支持される偏心軸と、を備える。

本開示の揺動テーブルによると、直動機構に含まれるスライダは、駆動源からの動力により直線往復運動する。スライダに取り付けられた第１支持部は、スライダと共に直線往復運動する。そうすると、偏心軸を介して第２支持部に取り付けられるテーブル部は、第１支持部の直線往復運動に伴って揺動運動する。ここで、偏心軸の第１軸部は、第１転がり軸受によって支持され、偏心軸の第２軸部は、第２転がり軸受によって支持されている。このような構成は、滑り機構と異なり、転動体の疲労等に基づく寿命計算が容易である。また、第１転がり軸受および第２転がり軸受を採用する構成であるため、ウォームギアを採用する駆動方式と異なり、隙間が生じないため、テーブル部の正確な位置決めを行うことができると共に、高速運転に適している。したがって、このような揺動テーブルによると、寿命計算が容易であると共に、テーブル部の正確な位置決めを行うことができ、高速運転を適切に行うことができる。ここで、テーブル部の正確な位置決めとは、揺動運動により傾斜するテーブル部の傾斜の角度を正確に決めることができることをいう。

上記揺動テーブルにおいて、直動機構は、直動案内ユニットを含んでもよい。このようにすることにより、円滑にテーブル部を揺動させることができると共に、さらに正確に位置決めを行うことができる。

上記揺動テーブルにおいて、第１転がり軸受および第２転がり軸受のうちの少なくともいずれか一方は、アンギュラベアリングを含んでもよい。このようにすることにより、偏心軸を適切に支持しながら、円滑にテーブル部を揺動させることができ、正確な寿命計算を行うことができる。

上記揺動テーブルにおいて、駆動源は、ねじ軸および第１支持部に取り付けられるボールねじナットを備えるボールねじと、ねじ軸を回転させるモータと、を含んでもよい。このようにすることにより、モータの回転運動をスライダの直動運動に変換して、より円滑にテーブル部を揺動させることができると共にモータの回転を制御して、高速運転および正確な位置決めを実施することができる。

上記揺動テーブルにおいて、水平方向に見て、テーブル部が水平であるとき、第１軸部の中心と第２軸部の中心とを結ぶ仮想線分の延びる方向は水平であってもよい。このようにすることにより、テーブル部の位置が水平であるときの揺動テーブルの安定性を確保することができる。

上記揺動テーブルにおいて、スライダは、複数設けられていてもよい。このようにすることにより、複数のスライダによって第１支持部の直線往復運動を正確に行うことができ、より正確な位置決めおよび高速運転を実施することができる。

上記揺動テーブルにおいて、テーブル部は、曲面から構成される摺動面を有する摺動部を含んでもよい。ベース部は、曲面から構成され、摺動面と接触する案内面を有し、テーブル部を案内する案内部を含んでもよい。このようにすることにより、摺動面を有する摺動部および案内面を有する案内部によって、テーブル部の揺動運動をより円滑にすることができる。

上記揺動テーブルにおいて、案内部は、レールを挟むように一対設けられていてもよい。このようにすることにより、より適切に揺動するテーブル部を案内することができる。

［実施形態の具体例］
次に、本開示の揺動テーブルの具体的な実施の形態の一例を、図面を参照しつつ説明する。以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰返さない。

（実施の形態１）
まず、本開示の実施の形態である実施の形態１について説明する。図１は、本開示の実施の形態１における揺動テーブルを示す概略斜視図である。図１および以下に示す図において、Ｙ方向は、後述するレールの延びる方向であり、揺動テーブルの長手方向を示し、Ｘ方向は、揺動テーブルの短手方向を示し、Ｚ方向は、揺動テーブルの厚さ方向（高さ方向）を示す。Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向はそれぞれ、直交している。図２は、図１に示す揺動テーブルの概略平面図である。図２は、図１に示す揺動テーブルを矢印ＩＩで示す向きに見た図である。図３は、図１に示す揺動テーブルの概略側面図である。図３は、図１に示す揺動テーブルを矢印ＩＩＩで示す向きに見た図である。図４は、図１に示す揺動テーブルの概略正面図である。図４は、図１に示す揺動テーブルを矢印ＩＶで示す向きに見た図である。

図５は、後述するテーブル部を取り除き、一部の部材を破線で表した状態を示す実施の形態１における揺動テーブルを示す概略斜視図である。図６は、図５に示す揺動テーブルの概略平面図である。図６は、図５に示す揺動テーブルを矢印ＶＩで示す向きに見た図である。図７は、図５に示す揺動テーブルの概略側面図である。図７は、図５に示す揺動テーブルを矢印ＶＩＩで示す向きに見た図である。図８は、図５に示す揺動テーブルの概略正面図である。図８は、図５に示す揺動テーブルを矢印ＶＩＩＩで示す向きに見た図である。

図９は、図５に示す揺動テーブルを後述するベース部を含み、Ｙ－Ｚ平面で切断した場合の概略断面図である。図１０は、図９に示す揺動テーブルの概略平面図である。図１０は、図９に示す揺動テーブルを矢印Ｘで示す向きに見た図である。図１１は、図９に示す揺動テーブルの概略側面図である。図１１は、図９に示す揺動テーブルを矢印ＸＩで示す向きに見た図である。図１２は、図９に示す揺動テーブルの概略正面図である。図１２は、図９に示す揺動テーブルを矢印ＸＩＩで示す向きに見た図である。図１３は、図１０に示す領域ＸＩＩＩの拡大図である。図１４は、図１３に示す揺動テーブルの概略側面図である。図１５は、後述するテーブル部を揺動により傾斜させた状態を示す揺動テーブルの概略側面図である。図１６は、傾斜させる前、すなわち、後述するテーブル部が水平な状態を示す揺動テーブルの概略側面図である。

図１～図１６を参照して、本開示の実施の形態１に係る揺動テーブル１０は、ベース部１１と、直動機構１２と、駆動源１３と、第１支持部１４と、第１転がり軸受１５と、テーブル部１６と、第２支持部１８と、第２転がり軸受１９と、偏心軸２０と、を含む。本実施形態においては、第１転がり軸受１５および第２転がり軸受１９は共に、アンギュラベアリングである。次に、各部材の構成について説明する。

ベース部１１は、厚さ方向であるＺ方向に見て矩形状である。ベース部１１は、揺動テーブル１０の土台となる部分であり、各部材が直接または間接的に取り付けられる。ベース部１１は、板状のベース板３４と、一対の案内部１７ａ、案内部１７ｂと、を含む。

一対の案内部１７ａ、案内部１７ｂは、ベース板３４と一体に構成されている。案内部１７ａおよび案内部１７ｂは、後述するレール２１を挟むようにＸ方向に間隔をあけて設けられている。案内部１７ａおよび案内部１７ｂはそれぞれ、ベース板３４から立ち上がるように設けられている。案内部１７ａは、曲面から構成され、後述する摺動面３８ａと接触する案内面２９ａを有する。案内部１７ｂは、曲面から構成され、後述する摺動面３８ｂと接触する案内面２９ｂを有する。案内面２９ａおよび案内面２９ｂはそれぞれ、案内部１７ａおよび案内部１７ｂそれぞれのＺ方向の端部に設けられている。案内面２９ａおよび案内面２９ｂはそれぞれ、Ｘ方向に見て円弧状である。案内面２９ａおよび案内面２９ｂの曲率は、同じである。案内面２９ａおよび案内面２９ｂは、テーブル部１６の揺動運動時において、テーブル部１６を案内する。

直動機構１２は、本実施形態においては、直動案内ユニットである。直動機構１２は、レール２１と、複数、本実施形態においては、２つのスライダ２２ａ、スライダ２２ｂと、を含む。レール２１は、ベース部１１、具体的には、ベース板３４のＸ方向の中央の領域に長手方向をＹ方向として載置するように取り付けられる。レール２１は、複数のボルトによりベース板３４に取り付けられ、固定される。レール２１には、転動体が転動するレール軌道面が長手方向に沿って凹むように設けられている。

スライダ２２ａ、スライダ２２ｂはそれぞれ、レール２１に取り付けられる。スライダ２２ａ、スライダ２２ｂにはそれぞれ、転動体が転動するスライダ軌道面が長手方向に沿って凹むように設けられている。スライダ２２ａのスライダ軌道面とレール軌道面との間には、複数の転動体、例えばボールが設けられる。同様に、スライダ２２ｂのスライダ軌道面とレール軌道面との間には、複数の転動体、例えば、ボールが設けられる。直動案内ユニットとしての直動機構１２は、スライダ２２ａ、スライダ２２ｂをレール２１の長手方向に円滑に直線往復運動させることができる。

駆動源１３は、スライダ２２ａ、スライダ２２ｂを直線往復運動させる。駆動源１３は、本実施形態においては、ボールねじ２３と、モータ２４と、を含む。ボールねじ２３は、ボールねじナット２５と、ねじ軸２６と、を含む。ねじ軸２６は、長手方向がＹ方向に延びるように設けられている。ねじ軸２６の外径面にはねじ溝が設けられている。ねじ軸２６は、モータ２４により回転する。ボールねじナット２５は、ねじ軸２６に取り付けられており、ねじ溝とボールねじナット２５に設けられた軌道面との間には、転動体（ボール）が配置されている。ねじ軸２６の回転により、ボールねじナット２５は、ねじ軸２６の長手方向であるＹ方向に直線往復運動を行う。

第１支持部１４は、ブロック状であり、ボールねじナット２５に取り付けられている。また、第１支持部１４は、スライダ２２ａおよびスライダ２２ｂの上に載置されるようにして取り付けられている。すなわち、ボールねじナット２５、第１支持部１４、スライダ２２ａおよびスライダ２２ｂはそれぞれ取り付けられて一体として動くように構成されている。ねじ軸２６の回転によりボールねじナット２５、ボールねじナット２５に取り付けられた第１支持部１４、第１支持部１４に取り付けられたスライダ２２ａおよびスライダ２２ｂが連動してＹ方向に直線往復運動を行う。第１支持部１４には、Ｘ方向に貫通する貫通孔が設けられており、この貫通孔内に第１転がり軸受１５が取り付けられている。本実施形態においては、第１支持部１４に設けられた貫通孔に第１転がり軸受１５の外輪が嵌め込まれるようにして取り付けられている。

テーブル部１６は、板状であって、Ｚ方向においてベース部１１を覆うようにして取り付けられている。テーブル部１６は、駆動源からの動力が伝達されて揺動可能である。テーブル部１６は、Ｘ－Ｙ平面に平行とすることが可能な平面３７を有する載置部２７を含む。載置部２７の平面３７は、Ｚ方向において露出する面となる。載置部２７の平面３７と厚さ方向において反対側に位置する面が、ベース部１１と対向することになる。テーブル部１６の揺動運動により、載置部２７の平面３７は、水平方向に対して傾斜することになる。載置部２７のＸ方向の両端には、ベース板３４側に突出する鍔部３５ａおよび鍔部３５ｂが設けられている。鍔部３５ａおよび鍔部３５ｂのＺ方向の端面は、曲面で構成されている。鍔部３５ａのＺ方向の端面および鍔部３５ｂのＺ方向の端面はそれぞれ、Ｘ方向に見て円弧状である。

テーブル部１６は、曲面から構成される摺動面３８ａを有する摺動部２８ａを含む。テーブル部１６は、曲面から構成される摺動面３８ｂを有する摺動部２８ｂを含む。摺動部２８ａおよび摺動部２８ｂはそれぞれ、載置部２７のうち、ベース板３４と対向する面にボルトにより取り付けられている。本実施形態においては、摺動部２８ａおよび摺動部２８ｂはそれぞれ、載置部２７に着脱自在に取り付けられている。摺動部２８ａは、鍔部３５ａと接触するように配置されている。摺動部２８ｂは、鍔部３５ｂに接触するように配置されている。摺動面３８ａおよび摺動面３８ｂはそれぞれ、Ｘ方向に見て円弧状である。摺動面３８ａおよび摺動面３８ｂの曲率は、同じである。

第２支持部１８はテーブル部１６に取り付けられており、テーブル部１６を支持する。第２支持部１８は、テーブル部１６の載置部２７のうち、ベース板３４と対向する面に取り付けられている。第２支持部１８もブロック状である。具体的には、第２支持部１８は、Ｘ方向に見て、Ｙ方向の幅がベース部１１に近づくにしたがって狭くなるテーパー状部分を有する。第２支持部１８には、Ｘ方向に貫通する貫通孔が設けられており、この貫通孔内に第２転がり軸受１９が取り付けられている。本実施形態においては、第２支持部１８に設けられた貫通孔に第２転がり軸受１９の外輪が嵌め込まれるようにして取り付けられている。

偏心軸２０は、軸方向がＸ方向となるように取り付けられる。偏心軸２０は、第１軸部３１と、第２軸部３２と、連結部３３と、を含む。連結部３３は、板状であって、第１軸部３１と第２軸部３２とを連結するように設けられる。第２軸部３２は、第１軸部３１に対して偏心した位置に配置される。具体的には、第１軸部のＸ方向の端部と第２軸部３２のＸ方向の端部とをそれぞれの軸部の中心をずらした状態、すなわち、偏心した状態で連結する。偏心軸２０は、第２軸部３２の中心３６ｂを回転中心として回転する。この場合、第２軸部３２は、自転運動となる。第２軸部３２は、第１軸部３１に対して偏心した位置に配置されているため、第１軸部３１は、第２軸部３２の中心３６ｂを回転中心とした公転運動となる。なお、第１軸部３１の中心３６ａおよび第２軸部３２の中心３６ｂについては、図１５および図１６において図示している。

偏心軸２０は、第１転がり軸受１５および第２転がり軸受１９によって支持されている。具体的には、偏心軸２０の第１軸部３１が、第１転がり軸受１５に支持されている。また、偏心軸２０の第２軸部３２が、第２転がり軸受１９に支持されている。本実施形態においては、第１転がり軸受１５に含まれる内輪の内側に第１軸部３１が嵌め込まれる。また、第２転がり軸受１９に含まれる内輪の内側に第２軸部３２が嵌め込まれる。ここで、水平方向に見て、テーブル部１６、具体的には、載置部２７の平面３７が水平であるとき、第１軸部３１の中心３６ａと第２軸部３２の中心３６ｂとを結ぶ仮想線分３９の延びる方向は水平であるように構成される。なお、仮想線分３９については、図１５および図１６において、一点鎖線で図示している。また、テーブル部１６が揺動し、平面３７が傾斜するとこの仮想線分３９も傾斜する。

次に、揺動テーブル１０の動作について説明する。モータ２４からの回転力の伝達により、ボールねじ２３のねじ軸２６が回転する。そうすると、ねじ軸２６に取り付けられたボールねじナット２５がＹ方向に直線運動を行う。このボールねじナット２５の直線運動に連動して、第１支持部１４も直線運動を行う。この第１支持部１４の直線運動に応じて、偏心軸２０が回転する。この偏心軸２０の回転により、一対の案内部１７ａの案内面２９ａおよび案内部１７ｂの案内面２９ｂに案内されて、第２支持部１８と共に、テーブル部１６が揺動する。テーブル部１６の揺動により、載置部２７の平面３７が傾斜する。

このような構成の揺動テーブル１０によると、直動機構に含まれるスライダ２２ａおよびスライダ２２ｂは、駆動源１３からの動力により直線往復運動する。スライダ２２ａおよびスライダ２２ｂに取り付けられた第１支持部１４は、スライダ２２ａおよびスライダ２２ｂと共に直線往復運動する。そうすると、偏心軸２０を介して第２支持部１８に取り付けられるテーブル部１６は、第１支持部１４の直線往復運動に伴って揺動運動する。ここで、偏心軸２０の第１軸部３１は、第１転がり軸受１５によって支持され、偏心軸２０の第２軸部３２は、第２転がり軸受１９によって支持されている。このような構成は、滑り機構と異なり、転動体の疲労等に基づく寿命計算が容易である。また、第１転がり軸受１５および第２転がり軸受１９を採用する構成であるため、ウォームギアを採用する駆動方式と異なり、隙間が生じないため、テーブル部１６の正確な位置決めを行うことができると共に、高速運転に適している。したがって、このような揺動テーブル１０によると、寿命計算が容易であると共に、テーブル部１６の正確な位置決めを行うことができ、高速運転を適切に行うことができる。

本実施形態においては、直動機構１２は、直動案内ユニットを含む。よって、円滑にテーブル部１６を揺動させることができると共に、さらに正確に位置決めを行うことができる。

本実施形態においては、第１転がり軸受および第２転がり軸受は共に、アンギュラベアリングである。よって、偏心軸２０を適切に支持しながら、円滑にテーブル部１６を揺動させることができ、正確な寿命計算を行うことができる。

本実施形態においては、駆動源１３は、ねじ軸２６および第１支持部１４に取り付けられるボールねじナット２５を備えるボールねじ２３と、ねじ軸２６を回転させるモータ２４と、を含む。よって、モータ２４の回転運動をスライダ２２ａおよびスライダ２２ｂの直動運動に変換して、より円滑にテーブル部１６を揺動させることができると共にモータ２４の回転を制御して、高速運転および正確な位置決めを実施することができる。

本実施形態においては、水平方向に見て、テーブル部１６が水平であるとき、第１軸部３１の中心３６ａと第２軸部３２の中心３６ｂとを結ぶ仮想線分３９の延びる方向は水平である。よって、テーブル部１６の位置が水平であるときの揺動テーブル１０の安定性を確保することができる。

本実施形態においては、スライダ２２ａおよびスライダ２２ｂは、複数、具体的には、２つ設けられている。よって、複数のスライダ２２ａおよびスライダ２２ｂによって第１支持部１４の直線往復運動を正確に行うことができ、より正確な位置決めおよび高速運転を実施することができる。

本実施形態においては、テーブル部１６は、曲面から構成される摺動面３８ａを有する摺動部２８ａおよび曲面から構成される摺動面３８ｂを有する摺動部２８ｂを含む。ベース部１１は、曲面から構成され、摺動面３８ａと接触する案内面２９ａを有し、テーブル部１６を案内する案内部１７ａおよび曲面から構成され、摺動面３８ｂと接触する案内面２９ｂを有し、テーブル部１６を案内する案内部１７ｂを含む。よって、摺動面３８ａ、摺動面３８ｂをそれぞれ有する摺動部２８ａおよび摺動部２８ｂ、および案内面２９ａおよび案内面２９ｂをそれぞれ有する案内部１７ａおよび案内部１７ｂによって、テーブル部１６の揺動運動をより円滑にすることができる。

本実施形態においては、案内部１７ａおよび案内部１７ｂは、レール２１を挟むように一対設けられている。よって、より適切に揺動するテーブル部１６を案内することができる。

（他の実施の形態）
なお、上記実施の形態においては、案内部１７ａおよび案内部１７ｂは、レール２１を挟むように一対設けられていることとしたが、これに限らず、いずれか一方を設けることとしてもよい。

また、上記実施の形態においては、スライダ２２ａおよびスライダ２２ｂは、複数設けられることとしたが、これに限らず、スライダは１つであってもよい。

なお、上記実施の形態においては、駆動源１３は、ねじ軸２６および第１支持部１４に取り付けられるボールねじナット２５を備えるボールねじ２３と、ねじ軸２６を回転させるモータ２４と、を含むこととしたが、これに限らず、駆動源１３は、直線往復運動を行うことができる他の機構、例えばリニアモータを用いてもよい。また、上記実施の形態において、直動機構として直動案内ユニットを用いることとしたが、これに限らず、他の直動機構を採用することとしてもよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、どのような面からも制限的なものではないと理解されるべきである。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって規定され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１０ 揺動テーブル、１１ ベース部、１２ 直動機構、１３ 駆動源、１４ 第１支持部、１５ 第１転がり軸受、１６ テーブル部、１７ａ，１７ｂ 案内部、１８ 第２支持部、１９ 第２転がり軸受、２０ 偏心軸、２１ レール、２２ａ，２２ｂ スライダ、２３ ボールねじ、２４ モータ、２５ ボールねじナット、２６ ねじ軸、２７ 載置部、２８ａ，２８ｂ 摺動部、２９ａ，２９ｂ 案内面、３１ 第１軸部、３２ 第２軸部、３３ 連結部、３４ ベース板、３５ａ，３５ｂ 鍔部、３６ａ，３６ｂ 中心、３７ 平面、３８ａ，３８ｂ 摺動面、３９ 仮想線分。

Claims (8)

1. ベース部と、
   前記ベース部に取り付けられるレールおよび前記レールに相対移動可能に取り付けられるスライダを含む直動機構と、
   前記スライダを直線往復運動させる駆動源と、
   前記スライダに取り付けられ、前記スライダと共に直線往復運動する第１支持部と、
   前記第１支持部に取り付けられる第１転がり軸受と、
   前記駆動源からの動力が伝達されて揺動運動可能なテーブル部と、
   前記テーブル部を支持する第２支持部と、
   前記第２支持部に取り付けられる第２転がり軸受と、
   第１軸部および前記第１軸部に対して偏心した位置に配置される第２軸部を含み、前記第１軸部が前記第１転がり軸受に支持され、前記第２軸部が前記第２転がり軸受に支持される偏心軸と、を備え、
   前記第１軸部は、前記第２軸部の自転運動により公転運動を行う、揺動テーブル。
2. 前記直動機構は、直動案内ユニットを含む、請求項１に記載の揺動テーブル。
3. 前記第１転がり軸受および前記第２転がり軸受のうちの少なくともいずれか一方は、アンギュラベアリングを含む、請求項１または請求項２に記載の揺動テーブル。
4. 前記駆動源は、
   ねじ軸および前記第１支持部に取り付けられるボールねじナットを備えるボールねじと、
   前記ねじ軸を回転させるモータと、を含む、請求項１または請求項２に記載の揺動テーブル。
5. 水平方向に見て、前記テーブル部が水平であるとき、前記第１軸部の中心と前記第２軸部の中心とを結ぶ仮想線分の延びる方向は水平である、請求項１または請求項２に記載の揺動テーブル。
6. 前記スライダは、複数設けられている、請求項１または請求項２に記載の揺動テーブル。
7. 前記テーブル部は、曲面から構成される摺動面を有する摺動部を含み、
   前記ベース部は、曲面から構成され、前記摺動面と接触する案内面を有し、前記テーブル部を案内する案内部を含む、請求項１または請求項２に記載の揺動テーブル。
8. 前記案内部は、前記レールを挟むように一対設けられている、請求項７に記載の揺動テーブル。

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