JP7635630B2 - 分析装置、表示制御方法、表示制御プログラム - Google Patents

Description

本開示は、試料を分析する分析装置、分析装置の表示部を制御する表示制御方法、および分析装置の表示部を制御する表示制御プログラムに関する。

従来、試料を分析する分析装置が公知である。たとえば、特許文献１には、探針が設けられたカンチレバーと呼ばれる片持ち梁を使用することで、試料表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡が開示されている。

国際公開第２０２０／０２１６９８号

特許文献１に開示された走査型プローブ顕微鏡のような分析装置では、試料を分析するための工程においてユーザが待機せざるを得ない時間が発生する場合がある。このような待機時間が発生すると、ユーザにストレスがかかるおそれがある。

本開示は、かかる問題を解決するためになされたものであり、その目的は、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせる技術を提供することである。

本開示のある局面に従う分析装置は、探針を備えたカンチレバーを試料の表面に沿って走査することによって試料の表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡である。分析装置は、光源と、表示部と、表示部を制御する表示制御部とを備える。表示制御部は、ユーザが試料をセットする工程の前のカンチレバーの動作を検出するための光源の光軸を調整する工程において、所定情報を表示部に表示させる。所定情報は、試料の分析のアドバイスに関する情報と、他の分析装置に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つを含む。

本開示の別の局面に従う表示制御方法は、探針を備えたカンチレバーを試料の表面に沿って走査することによって試料の表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡である分析装置の表示部を制御する方法である。表示制御方法は、ユーザが試料をセットする工程の前のカンチレバーの動作を検出するための光源の光軸を調整する工程であるか否かを判定するステップと、光軸を調整する工程において、所定情報を表示部に表示させるステップとを含む。所定情報は、試料の分析のアドバイスに関する情報と、他の分析装置に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つを含む。

本開示の別の局面に従う表示制御プログラムは、探針を備えたカンチレバーを試料の表面に沿って走査することによって試料の表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡である分析装置の表示部を制御するプログラムである。表示制御プログラムは、コンピュータに、ユーザが試料をセットする工程の前のカンチレバーの動作を検出するための光源の光軸を調整する工程であるか否かを判定するステップと、光軸を調整する工程において、所定情報を表示部に表示させるステップとを実行させる。所定情報は、試料の分析のアドバイスに関する情報と、他の分析装置に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つを含む。

本開示によれば、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

本実施の形態に係る分析装置による部品に関する情報提供の一例を示す図である。 本実施の形態に係る情報提供システムを示す図である。 本実施の形態に係る情報提供システムのハードウェア構成を示す図である。 本実施の形態に係る情報提供システムの機能構成を示す図である。 本実施の形態に係るサーバ装置が記憶する部品管理テーブルを説明するための図である。 本実施の形態に係るサーバ装置が記憶するユーザ管理テーブルを説明するための図である。 分析装置による試料を分析するための工程の一例を示す図である。 ソフト起動時における表示装置の画面の一例を示す図である。 光軸調整中における表示装置の画面の一例を示す図である。 アプローチ中における表示装置の画面の一例を示す図である。 パラメータ調整中における表示装置の画面の一例を示す図である。 本実施の形態に係る情報提供システムが実行するソフト起動時における表示制御のフローチャートである。 本実施の形態に係る情報提供システムが実行する自動調整時における表示制御のフローチャートである。 変形例に係る情報提供システムが実行するソフト起動時における表示制御のフローチャートである。 変形例に係る情報提供システムが実行する自動調整時における表示制御のフローチャートである。

本実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中の同一または相当部分については、同一の符号を付して、その説明は原則的に繰り返さない。

［分析装置による情報提供の一例］
図１は、本実施の形態に係る分析装置１による部品に関する情報提供の一例を示す図である。図１に示すように、本実施の形態に係る分析装置１は、制御装置１００と、観察装置２００とを備える。

観察装置２００は、試料を観察するとともに、観察結果を制御装置１００に出力する。制御装置１００は、観察装置２００を制御するとともに、観察装置２００から取得した観察結果に基づき、試料を分析する。

分析装置１では、試料を分析するための工程において、ユーザが待機せざるを得ない時間が発生する場合がある。このような待機時間が発生すると、ユーザが退屈してしまい、ユーザにストレスがかかるおそれがある。

そこで、本実施の形態に係る分析装置１は、試料を分析するための工程のうち、ユーザが待機中の工程において、所定情報を表示装置１０５に表示させる。

また、分析装置１では、試料の分析に少なくとも１つ以上の部品（たとえば、消耗品）が用いられるが、ユーザ自らが部品の交換有無を判断し、さらに、ユーザ自らが部品の発注先を調べるとなれば、ユーザにとっては利便性がよくない。部品メーカにおいては、部品の発注タイミングを予測し難く、他の部品メーカにおいてユーザと取引されるおそれもある。

そこで、本実施の形態に係る分析装置１は、部品の交換が必要である場合に、部品の発注先に関する情報（以下、「発注先情報」とも称する。）を表示装置１０５に表示させる。「部品」は、分析装置１の一部の部品であってもよいし、分析装置１の一部ではないが試料の分析に用いられる部品であってもよい。

図１では、「所定情報」として、発注先情報を例示するが、「所定情報」はその他の情報を含んでいてもよい。たとえば、「所定情報」は、試料の分析のアドバイスに関する情報と、部品に関する情報と、試料の分析の進捗に関する情報と、分析装置１以外の他の分析装置に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つを含む。

より具体的には、「部品に関する情報」は、部品の交換を促す情報と、上述した部品の発注先に関する発注先情報と、部品の消耗具合に関する情報と、部品の広告に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つを含む。たとえば、図１に示す例では、「部品の交換を促す情報」として、「部品の交換時期です。」というメッセージが表示装置１０５に表示される。

「発注先情報」は、発注先に対してユーザが部品を発注するためのアドレスを含む。たとえば、図１に示す例では、「発注先情報」として、「発注先はこちら」というメッセージとともに、発注先のアドレスが表示装置１０５に表示される。

なお、「試料の分析の進捗に関する情報」は、試料を分析するための工程を撮影した画像と、試料を分析するための工程をアニメーション化した画像とのうち、少なくともいずれか１つを含む。

このように、本実施の形態に係る分析装置１は、ユーザが待機中の工程において、所定情報を表示装置１０５に表示させるため、待機時間においてユーザに極力退屈させることがない。よって、分析装置１は、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

さらに、本実施の形態に係る分析装置１は、部品の交換が必要である場合に、発注先情報を表示装置１０５に表示させるため、ユーザ自らが部品の交換有無を判断したり、ユーザ自らが部品の発注先などを調べたりする必要がない。よって、分析装置１は、ユーザに利便性を提供しながら試料の分析を行わせることができる。

［情報提供システム１０００の全体構成］
図２は、本実施の形態に係る情報提供システム１０００を示す図である。図２に示すように、情報提供システム１０００は、ユーザ側に属する分析装置１と、分析装置１のメーカ（以下、「装置メーカ」とも称する。）側に属するサーバ装置３００と、部品の発注先である少なくとも１つ以上の部品メーカ側に属する発注先端末４００とを備える。図２に示す例では、情報提供システム１０００は、部品メーカＡ側に属する発注先端末４００Ａと、部品メーカＢ側に属する発注先端末４００Ｂと、部品メーカＣ側に属する発注先端末４００Ｃとを備える。

分析装置１の制御装置１００、装置メーカのサーバ装置３００、および、各部品メーカの発注先端末４００は、各々、ネットワーク２を介して通信可能に接続されている。

このように構成された情報提供システム１０００によれば、ユーザは、分析装置１の制御装置１００から、装置メーカまたは部品メーカに対して部品の発注を行うことができる。

［情報提供システム１０００のハードウェア構成］
図３は、本実施の形態に係る情報提供システム１０００のハードウェア構成を示す図である。図３には、情報提供システム１０００の一構成として、分析装置１と、サーバ装置３００とが示されている。本実施の形態においては、分析装置１として、走査型プローブ顕微鏡を例示する。なお、走査型プローブ顕微鏡は、ＳＰＭ（Scanning Probe Microscope）とも称される。図３に示す例では、分析装置１（ＳＰＭ）の接地面と並行にＸ軸およびＹ軸を規定するとともに、Ｘ軸およびＹ軸の各々に対して垂直にＺ軸を規定する。

分析装置１は、観察装置２００と、観察装置２００を制御する制御装置１００とを備える。

観察装置２００は、カンチレバー１０と、ホルダ１４と、光学系２０と、スキャナ５０と、試料保持部５２と、撮影部６０と、撮影部７０とを備える。

カンチレバー１０は、試料保持部５２に載置された試料Ｓの上方（図１に示す例ではＺ軸方向）に位置するように設けられている。ホルダ１４は、Ｚ軸方向に振動可能にカンチレバー１０を支持する。カンチレバー１０においてホルダ１４によって支持されていない側（先端側）には、探針１２が設けられている。カンチレバー１０およびホルダ１４は、試料Ｓの分析に使用される回数および期間が長くなればなるほど摩耗する消耗品である。このため、ユーザは、カンチレバー１０およびホルダ１４を使用状況に応じて定期的に交換する必要がある。カンチレバー１０の表面は、試料Ｓと対向する。カンチレバー１０の裏面は、光学系２０と対向する。

光学系２０は、レーザ光源２２と、ビームスプリッタ２４と、反射鏡２６と、検出器２８とを備える。

レーザ光源２２は、レーザ光ＬＡを発射するレーザ発振器などによって構成される。レーザ光源２２から発射されたレーザ光ＬＡは、ビームスプリッタ２４によって反射され、カンチレバー１０の裏面に照射される。カンチレバー１０に照射されたレーザ光ＬＡは、カンチレバー１０の裏面によって反射され、反射鏡２６によって反射される。反射鏡２６によって反射されたレーザ光ＬＡは、検出器２８によって検出される。検出器２８は、カンチレバー１０によって反射されたレーザ光ＬＡを検出し、その検出結果を制御装置１００に出力する。

レーザ光源２２は、出力するレーザ光ＬＡの光軸と直交する面（図１に示す例ではＹＺ平面）に沿って移動可能である。制御装置１００は、レーザ光源２２を移動させることで、レーザ光ＬＡがカンチレバー１０で反射するようにレーザ光ＬＡの光軸を調整する。

検出器２８は、入射するレーザ光ＬＡの光軸と直交する面（図１に示す例ではＹＺ平面）に沿って移動可能である。制御装置１００は、検出器２８を移動させることで、カンチレバー１０で反射したレーザ光ＬＡが検出器２８の受光面の中央に入射するように検出器２８の位置を調整する。

スキャナ５０は、円筒形状を有する。試料Ｓは、スキャナ５０上に載置された試料保持部５２によって保持される。スキャナ５０は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に沿って試料Ｓを走査するＸＹスキャナと、Ｚ軸方向に沿って試料Ｓを微動させるＺスキャナとを含む。このように、スキャナ５０は、ＸＹスキャナおよびＺスキャナによって３次元方向に駆動する。

撮影部６０は、探針１２の上方に配置されており、カンチレバー１０の上部からカンチレバー１０を撮影する。撮影部６０は、撮影視野に存在する被写体を撮影して画像情報を取得する。撮影部６０は、主たる構成要素として、レンズおよび絞りなどの光学系と、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）イメージセンサおよびＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）イメージセンサなどの受光素子とを含む。撮影部６０は、取得した画像情報を制御装置１００に出力する。撮影部６０が取得した画像情報は、たとえば、レーザ光ＬＡの光軸を調整するために用いられる。

撮影部７０は、試料Ｓおよび探針１２を横方向（図１に示す例ではＸ軸方向）から撮影する。撮影部７０は、撮影視野に存在する被写体を撮影して画像情報を取得する。撮影部７０は、主たる構成要素として、レンズおよび絞りなどの光学系と、ＣＣＤイメージセンサおよびＣＭＯＳイメージセンサなどの受光素子とを含む。撮影部７０は、取得した画像情報を制御装置１００に出力する。

上述のように構成された観察装置２００は、ＳＰＭのうち、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Atomic Force Microscope）である。観察装置２００は、制御装置１００の制御に基づき、探針１２と試料Ｓの表面との間に働く原子間力（引力または斥力）を利用しながら、カンチレバー１０を上下方向に振動させる。制御装置１００は、振動中のカンチレバー１０によって反射するレーザ光ＬＡを検出することで、試料Ｓの表面の情報を得る。

制御装置１００は、一例として、汎用的なコンピュータアーキテクチャに従って構成されるコンピュータである。制御装置１００は、観察装置２００を構成する各部の動作を制御するとともに、分析装置１による試料Ｓの分析に用いられる部品に関する情報をユーザに提供する。制御装置１００は、一例として、汎用的なコンピュータアーキテクチャに従って構成される。なお、制御装置１００は、分析装置１に専用のハードウェアを用いて実装されてもよい。制御装置１００は、プロセッサ１０２と、通信装置１０３と、メモリ１０４と、表示装置１０５と、入力装置１０６とを備える。

プロセッサ１０２は、各種のプログラム（たとえば、後述する表示制御プログラム１４１、分析プログラム１４２）に従って各種の処理を実行する演算主体（コンピュータ）である。プロセッサ１０２は、たとえば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）、ＧＰＵ（Graphics Processing Unit）、およびはＭＰＵ（Multi Processing Unit）のうちの少なくともいずれか１つで構成されている。なお、プロセッサ１０２は、演算回路（Processing Circuitry）で構成されてもよい。

プロセッサ１０２は、分析プログラム１４２に従って、観察装置２００によって得られたレーザ光ＬＡの検出結果を分析することで、試料Ｓを分析する。プロセッサ１０２は、表示制御プログラム１４１に従って、表示装置１０５を制御することで、表示装置１０５に発注先情報などの所定情報（所定画像）を表示させる。プロセッサ１０２は、入力装置１０６から取得したユーザの入力に基づき、各種の処理を実行する。プロセッサ１０２は、通信装置１０３を制御することで、通信装置１０３にサーバ装置３００および発注先端末４００の各々との間でデータ（情報）の送受信を行わせる。

通信装置１０３は、有線接続または無線接続によって、サーバ装置３００および発注先端末４００の各々との間でデータ（情報）の送受信を行う。

メモリ１０４は、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）およびＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）などの揮発性メモリ、または、ＲＯＭ（Read Only Memory）などの不揮発性メモリで構成されている。メモリ１０４は、試料Ｓの分析に用いられる部品に関する情報をユーザに提供するための表示制御プログラム１４１、および、観察装置２００を制御するための分析プログラム１４２など、各種のプログラムおよびデータなどを格納する。

なお、制御装置１００が可読可能な形式で非一時的にプログラムおよびデータを記録することができれば、メモリ１０４は、ＣＤ－ＲＯＭ（Compact Disc-Read Only Memory）、ＤＶＤ－ＲＯＭ（Digital Versatile Disk-Read Only Memory）、ＵＳＢ（Universal Serial Bus）メモリ、メモリーカード、ＦＤ（Flexible Disk）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）、ＳＳＤ（Solid State Drive）、磁気テープ、カセットテープ、ＭＯ（Magnetic Optical Disc）、ＭＤ（Mini Disc）、ＩＣ（Integrated Circuit）カード、光カード、マスクＲＯＭ、またはＥＰＲＯＭであってもよい。

表示装置１０５は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイなどのディスプレイを含み、プロセッサ１０２の制御に基づき所定情報を表示する。たとえば、表示装置１０５は、観察装置２００による試料Ｓの観察結果に基づき得られた試料Ｓの分析結果を表示したり、部品の交換時期がきたときに部品の発注先情報を表示したりする。

入力装置１０６は、キーボードおよびマウスなど、ユーザによる入力を受け付ける入力インターフェースである。入力装置１０６は、受け付けたユーザの入力に基づく信号をプロセッサ１０２に出力する。なお、制御装置１００は、表示装置１０５と入力装置１０６とが一体となったタッチパネルを備えていてもよい。

サーバ装置３００は、一例として、汎用的なコンピュータアーキテクチャに従って構成されるコンピュータである。サーバ装置３００は、プロセッサ３０２と、通信装置３０３と、メモリ３０４とを備える。

プロセッサ３０２は、各種のプログラム（たとえば、後述する情報提供プログラム３４１）に従って各種の処理を実行する演算主体（コンピュータ）である。プロセッサ３０２は、たとえば、ＣＰＵ、ＦＰＧＡ、ＧＰＵ、およびはＭＰＵのうちの少なくともいずれか１つで構成されている。なお、プロセッサ３０２は、演算回路で構成されてもよい。

プロセッサ３０２は、情報提供プログラムなどの各種のプログラムに従って、通信装置３０３を制御することで、通信装置３０３に制御装置１００および発注先端末４００の各々との間でデータ（情報）の送受信を行わせる。

通信装置３０３は、有線接続または無線接続によって、分析装置１の制御装置１００および発注先端末４００の各々との間でデータ（情報）の送受信を行う。

メモリ３０４は、ＤＲＡＭおよびＳＲＡＭなどの揮発性メモリ、または、ＲＯＭなどの不揮発性メモリで構成されている。メモリ３０４は、試料Ｓの分析に用いられる部品に関する情報をユーザに提供するための情報提供プログラム３４１など、各種のプログラムおよびデータなどを格納する。

なお、サーバ装置３００が可読可能な形式で非一時的にプログラムおよびデータを記録することができれば、メモリ３０４は、ＣＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ－ＲＯＭ、ＵＳＢメモリ、メモリーカード、ＦＤ、ＨＤＤ、ＳＳＤ、磁気テープ、カセットテープ、ＭＯ、ＭＤ、ＩＣカード、光カード、マスクＲＯＭ、またはＥＰＲＯＭであってもよい。

［情報提供システム１０００の機能構成］
図４は、本実施の形態に係る情報提供システム１０００の機能構成を示す図である。図４に示すように、分析装置１の制御装置１００は、主な機能部として、演算部１１２と、装置側通信部１１３と、記憶部１１４と、表示部１１５と、入力部１１６とを備える。

演算部１１２は、プロセッサ１０２の機能部であり、分析装置１に関する各種の処理を実行する。具体的には、演算部１１２は、分析部１２１と、表示制御部１２２とを含む。分析部１２１は、分析プログラム１４２に従って、観察装置２００によって得られたレーザ光ＬＡの検出結果を分析することで、試料Ｓを分析する。表示制御部１２２は、表示制御プログラム１４１に従って、表示装置１０５（表示部１１５）を制御する。その他、演算部１１２は、入力部１１６から取得したユーザの入力に基づき、各種の処理を実行したり、装置側通信部１１３を制御することで、装置側通信部１１３にサーバ装置３００および発注先端末４００の各々との間でデータ（情報）の送受信を行わせたりする。

装置側通信部１１３は、通信装置１０３の機能部であり、サーバ装置３００および発注先端末４００の各々との間でデータ（情報）の送受信を行う。

記憶部１１４は、メモリ１０４の機能部であり、各種のプログラムおよびデータなどを記憶する。具体的には、記憶部１１４は、試料Ｓの分析に用いられる部品に関する情報をユーザに提供するための表示制御プログラム１４１と、試料Ｓを分析するための分析プログラム１４２とを記憶する。

表示部１１５は、表示装置１０５の機能部であり、演算部１１２の制御に基づき発注先情報などの所定情報（所定画像）を表示する。

入力部１１６は、入力装置１０６の機能部であり、ユーザによる入力を受け付けるとともに、受け付けたユーザの入力に基づく信号を演算部１１２に出力する。

サーバ装置３００は、演算部３１２と、サーバ側通信部３１３と、記憶部３１４とを備える。

演算部３１２は、プロセッサ３０２の機能部であり、サーバ装置３００に関する各種の処理を実行する。具体的には、演算部３１２は、判定部３２１を備える。判定部３２１は、情報提供プログラム３４１に従って、試料Ｓの分析に用いられる部品の交換が必要であるか否かを判定する。その他、演算部３１２は、サーバ側通信部３１３を制御することで、サーバ側通信部３１３に分析装置１の制御装置１００および発注先端末４００の各々との間でデータ（情報）の送受信を行わせる。

サーバ側通信部３１３は、通信装置３０３の機能部であり、分析装置１の制御装置１００および発注先端末４００の各々との間でデータ（情報）の送受信を行う。

記憶部３１４は、メモリ３０４の機能部であり、各種のプログラムおよびデータなどを記憶する。具体的には、記憶部３１４は、試料Ｓの分析に用いられる部品に関する情報をユーザに提供するための情報提供プログラム３４１と、部品を管理するための情報を含む部品管理テーブル３４２と、ユーザを管理するための情報を含むユーザ管理テーブル３４３とを記憶する。

［部品管理テーブル］
図５は、本実施の形態に係るサーバ装置３００が記憶する部品管理テーブル３４２を説明するための図である。部品管理テーブル３４２は、分析装置１の観察装置２００による試料Ｓの分析に用いられる部品を管理するための情報を格納する。ＳＰＭである本実施の形態に係る分析装置１は、試料Ｓの分析に用いられる部品として、カンチレバー１０と、ホルダ１４とを備える。本実施の形態においては、カンチレバー１０またはホルダ１４の交換が必要である場合に、制御装置１００の表示装置１０５によって、カンチレバー１０またはホルダ１４の発注先に関する発注先情報がユーザに提供される。

図５に示すように、部品管理テーブル３４２は、「部品」欄と、「発注先」欄と、「発注用アドレス」欄とを含む。「部品」欄は、部品の種類を特定するための情報を格納する。「発注先」欄は、発注先を特定するための情報を格納する。「発注用アドレス」欄は、発注先に対してユーザが部品を発注するためのアドレスを特定するための情報を格納する。

本実施例の形態においては、カンチレバーＡ～カンチレバーＥといったように、複数種類のカンチレバー１０がある。カンチレバー１０の発注先について、部品メーカＡ～部品メーカＣといったように複数種類の部品メーカがある。カンチレバー１０の種類に応じて、発注先が異なる。

たとえば、図５に示すように、カンチレバーＡの発注先としては、部品メーカＡおよび部品メーカＢといったように２種類の部品メーカがあり、カンチレバーＢの発注先としては、部品メーカＢといったように１種類の部品メーカのみがある。

さらに、本実施例の形態においては、ホルダＡ～ホルダＥといったように、複数種類のホルダ１４がある。ホルダ１４の発注先について、サーバ装置３００が設置された分析装置１の装置メーカと、部品メーカＡ～部品メーカＣといったように複数種類の部品メーカとがある。ホルダ１４の種類に応じて、発注先が異なる。

たとえば、図５に示すように、ホルダＡの発注先としては、装置メーカがあり、ホルダＤの発注先としては、部品メーカＡおよび部品メーカＣといったように２種類の部品メーカがある。

サーバ装置３００は、ユーザの分析装置１において用いられている部品（本実施の形態では、カンチレバーＡ～Ｅ、ホルダＡ～Ｅ）を特定することができれば、特定した部品に応じた発注先情報を、部品管理テーブル３４２に基づき取得することができる。

［ユーザ管理テーブル］
図６は、本実施の形態に係るサーバ装置３００が記憶するユーザ管理テーブル３４３を説明するための図である。ユーザ管理テーブル３４３は、分析装置１のユーザを管理するための情報を格納する。

図６に示すように、ユーザ管理テーブルは、「ユーザ」欄と、「部品」欄と、「購入履歴」欄と、「前回からの経過期間」欄と、「平均空き期間」欄と、「交換フラグ」欄と、「提案発注先」欄とを含む。

「ユーザ」欄は、ユーザを特定するための情報を格納する。ユーザを特定するための情報としては、ユーザを識別するユーザ固有のＩＤ（identification）、パスワード、ユーザの名前、住所、電話番号などが挙げられる。

「部品」欄は、ユーザが使用している部品の種類を特定するための情報を格納する。たとえば、「部品」欄は、ユーザＡについて、カンチレバーＡおよびホルダＡを使用していることを特定するための情報を格納する。「部品」欄は、ユーザＢについて、カンチレバーＡ、カンチレバーＢ、およびホルダＤを使用していることを特定するための情報を格納する。部品を特定するための情報としては、部品を識別する部品固有の製造番号、型式などが挙げられる。

「購入履歴」欄は、ユーザによる部品の購入履歴を特定するための情報を格納する。たとえば、「購入履歴」欄は、ユーザＡについて、部品メーカＡからカンチレバーＡを購入していることと、その購入日とを特定するための情報を格納する。「購入履歴」欄は、ユーザＡについて、装置メーカからホルダＡを購入していることと、その購入日とを特定するための情報を格納する。「購入履歴」欄は、ユーザＢについて、部品メーカＡおよび部品メーカＢからカンチレバーＡを購入していることと、その購入日とを特定するための情報を格納する。「購入履歴」欄は、ユーザＢについて、部品メーカＢからカンチレバーＢを購入していることと、その購入日とを特定するための情報を格納する。「購入履歴」欄は、ユーザＢについて部品メーカＣからホルダＤを購入していることと、その購入日とを特定するための情報を格納する。

「前回からの経過期間」欄は、ユーザが部品を前回購入してから経過した期間を特定するための情報を格納する。たとえば、「前回からの経過期間」欄は、ユーザＡについて、カンチレバーＡを前回購入してから７０日間経過したこと、および、ホルダＡを前回購入してから３１日間経過したことを特定するための情報を格納する。「前回からの経過期間」欄は、ユーザＢについて、カンチレバーＡを前回購入してから５０日間経過したこと、カンチレバーＢを前回購入してから７５日間経過したこと、および、ホルダＤを前回購入してから１６２日間経過したことを特定するための情報を格納する。

「平均空き期間」欄は、購入履歴から算出される前回購入時からの平均空き期間を特定するための情報を格納する。たとえば、「平均空き期間」欄は、ユーザＡについて、カンチレバーＡが前回購入されてから平均６３日間経過後に再びカンチレバーＡが購入されること、および、ホルダＡが前回購入されてから平均１６５日間経過後に再びホルダＡが購入されることを特定するための情報を格納する。「平均空き期間」欄は、ユーザＢについて、カンチレバーＡが前回購入されてから平均４２日間経過後に再びカンチレバーＡが購入されること、カンチレバーＢが前回購入されてから平均８５日間経過後に再びカンチレバーＢが購入されること、および、ホルダＤが前回購入されてから平均１５５日間経過後に再びホルダＤが購入されることを特定するための情報を格納する。

「交換フラグ」は、「前回からの経過期間」と「平均空き期間」とから算出される、部品の交換が必要であるか否かを特定するための情報を格納する。たとえば、「交換フラグ」は、「前回からの経過期間」が「平均空き期間」を超えていれば、部品の交換が必要であることを特定可能な「１」を格納し、「前回からの経過期間」が「平均空き期間」を超えていなければ、部品の交換が必要でないことを特定可能な「０」を格納する。

なお、本実施の形態においては、サーバ装置３００は、「前回からの経過期間」と「平均空き期間」とに基づき、部品の交換が必要であるか否かを判定しているが、その他の手法で部品の交換が必要であるか否かを判定してもよい。たとえば、サーバ装置３００は、前回購入日時から現在までの経過期間が、前々回購入日時と前回購入日時との間の経過期間を超えている場合に、部品の交換が必要であると特定してもよい。

「提案発注先」欄は、部品の購入履歴に基づき、サーバ装置３００がユーザに提案する発注先を特定するための情報を格納する。たとえば、「提案発注先」欄は、ユーザＡのカンチレバーＡについて、購入実績のある部品メーカＡを発注先として提案することを特定するための情報を格納する。「提案発注先」欄は、ユーザＡのホルダＡについて、購入実績のある装置メーカを発注先として提案することを特定するための情報を格納する。「提案発注先」欄は、ユーザＢのカンチレバーＡについて、購入実績のある部品メーカＡおよび部品メーカＢのうち、直近の購入実績のある部品メーカＢを発注先として提案することを特定するための情報を格納する。「提案発注先」欄は、ユーザＢのカンチレバーＢについて、購入実績のある部品メーカＢを発注先として提案することを特定するための情報を格納する。「提案発注先」欄は、ユーザＢのホルダＤについて、購入実績のある部品メーカＣを発注先として提案することを特定するための情報を格納する。

サーバ装置３００は、ユーザを特定することができれば、特定したユーザが使用する部品ごとに、交換が必要であるか否かと、交換が必要である場合に提案する発注先とを、ユーザ管理テーブル３４３に基づき特定することができる。さらに、サーバ装置３００は、図５に示した部品管理テーブル３４２を参照すれば、提案する発注先の発注用アドレスを取得することができる。

［分析に関する工程］
図７は、分析装置１による試料Ｓを分析するための工程の一例を示す図である。本実施の形態においては、ＳＰＭである分析装置１を用いて試料Ｓが分析される際に、図７に示すような工程が行われる。

図７に示すように、分析に関する工程は、ソフト起動工程と、カンチレバー取付工程と、光軸調整工程と、試料セット工程と、観察工程と、データ解析工程とを含む。

最初にソフト起動工程が行われる。ソフト起動工程は、制御装置１００がユーザの入力に従って分析プログラム１４２を実行することで行われる。分析用のソフトが起動すると、後述する図８に示すように表示装置１０５にソフト起動時の画面が表示される。

分析用のソフトを起動した後、カンチレバー取付工程が行われる。カンチレバー取付工程において、ユーザは観察装置２００のホルダ１４にカンチレバー１０を取り付ける。

カンチレバー取付工程の後、光軸調整工程が行われる。光軸調整工程は、カンチレバー１０の動作を検出するための光軸を調整する工程である。光軸調整工程は、ユーザが関わることなく制御装置１００によって自動で行われる。具体的には、光軸調整工程においては、制御装置１００が観察装置２００を制御することで、カンチレバー１０に反射したレーザ光ＬＡの位置（受光量が最も大きい位置）が検出器２８の受光面の中央に入射するように、光学系２０が自動で調整される。

光学調整工程の後、試料セット工程が行われる。試料セット工程は、ユーザが試料をセットする工程に加えて、アプローチ工程と、パラメータ調整工程とを含む。アプローチ工程およびパラメータ調整工程は、ユーザが関わることなく制御装置１００によって自動で行われる。

アプローチ工程は、探針１２を試料Ｓの表面に近づける工程である。具体的には、アプローチ工程においては、ユーザによって予め設定された高さ（図３に示すＺ軸方向の高さ）から、探針１２が試料Ｓに向かってゆっくりとした速度（たとえば、１ｍｍ／分の速度）で近づけられる。探針１２が試料Ｓに所定範囲内にまで近づくと、探針１２と試料Ｓの表面との間に原子間力が発生する。制御装置１００が探針１２と試料Ｓの表面との間に発生した原子間力を検知すると、アプローチ工程が完了する。

アプローチ工程の後、パラメータ調整工程が行われる。パラメータ調整工程は、試料を分析するためのパラメータを調整するための工程である。たとえば、パラメータ調整工程においては、探針１２と試料Ｓとの間で距離制御を行うためのフィードバックゲインが自動で調整される。

試料セット工程の後、観察工程が行われる。観察工程においては、探針１２を備えたカンチレバー１０が試料Ｓの表面に沿って走査することによって試料Ｓの表面の情報が得られる。

試料セット工程の後、データ解析工程が行われる。データ解析工程においては、観察工程によって得られた観察装置２００の検出結果に基づき、制御装置１００によって試料Ｓが分析される。

上述したような工程においては、制御装置１００が表示制御プログラム１４１を実行することで、表示装置１０５に対する表示制御が行われる。具体的には、制御装置１００は、ソフト起動工程と、光軸調整工程と、試料セット工程（アプローチ工程、パラメータ調整工程）とにおいて、表示制御を行う。特に、試料Ｓを分析するための工程のうち、光軸調整工程、アプローチ工程、およびパラメータ調整工程は、制御装置１００および観察装置２００によって自動で行われる。このため、これらの工程においては、ユーザが待機せざるを得ない時間が発生する。このようなユーザにストレスがかかるおそれがある待機時間において、表示制御が行われる。

なお、上述した光軸調整工程、アプローチ工程、およびパラメータ調整工程のように、制御装置１００によって行われる自動調整の工程においては、これらの自動調整に要する時間が変動する。たとえば、アプローチ工程では、ユーザが設定した探針１２の高さと、試料Ｓの厚さ（図３に示すＺ軸方向の厚さ）とに応じて、探針１２が試料Ｓに所定範囲内に近づくまでの時間が決まる。このため、ユーザが設定した探針１２の高さおよび試料Ｓの厚さによっては、アプローチ工程においてユーザが待機する時間が長くなることがある。制御装置１００は、このような状況に応じて変動するなユーザの待機時間において、表示制御を行うように構成されている。

［表示制御の一例］
図８～図１１を参照しながら、制御装置１００による表示装置１０５に対する表示制御の一例について説明する。

（ソフト起動時における表示制御）
図８は、ソフト起動時における表示装置１０５の画面の一例を示す図である。図８に示すように、分析用のソフトが起動すると、表示装置１０５は、制御装置１００の制御に基づき、ソフト起動画面１５１を表示する。

表示装置１０５は、ソフト起動画面１５１の一部において、試料Ｓの分析に用いられる部品に関する情報を含む部品関連画像１６０を表示する。部品関連画像１６０は、部品の交換を促す情報と、部品の発注先に関する情報と、部品の消耗具合に関する情報とを含む。なお、図８に示す例は、図６に示すように、カンチレバーＡに関する情報をユーザＡに提供する例である。

たとえば、部品関連画像１６０は、部品の交換を促す情報として、「カンチレバーの交換時期です。」というメッセージを含む。部品関連画像１６０は、部品の発注先に関する情報として、「発注はこちら」というメッセージとともに発注先アドレスを含む。部品関連画像１６０は、部品の消耗具合に関する情報として、「前回発注から７０日間経過」というメッセージを含む。なお、部品関連画像１６０は、図８に示す例に限らず、部品の交換を促す情報、部品の発注先に関する情報、および部品の消耗具合に関する情報として、他の情報を含んでいてもよい。部品関連画像１６０は、カンチレバー１０に限らず、ホルダ１４などの他の部品（消耗品）の交換を促す情報を含んでいてもよい。

このように、分析装置１は、ソフト起動時において、部品の交換が必要である場合に、部品の発注先に関する発注先情報を表示装置１０５に表示する。これにより、ユーザ自らがカンチレバー１０のような部品の交換有無を判断し、部品の交換が必要である場合は、ユーザ自らが部品の発注先を調べる必要がない。よって、分析装置１は、ユーザに利便性を提供しながら試料Ｓの分析を行わせることができる。部品メーカにおいても、表示装置１０５に表示された発注先情報に基づきユーザが自ら部品を発注してくれることで、他の部品メーカにおいてユーザと取引されることなくスムーズに部品の受注を受けることができる。

（光軸調整中における表示制御）
図９は、光軸調整中における表示装置１０５の画面の一例を示す図である。図９に示すように、光軸調整工程において、表示装置１０５は、制御装置１００の制御に基づき、光軸調整画面１５２を表示する。

表示装置１０５は、光軸調整画面１５２の一部において、試料Ｓの分析のアドバイスに関する情報を含むアドバイス画像１７１を表示する。たとえば、アドバイス画像１７１は、カンチレバー１０がホルダ１４に正しく取り付けられていることの確認をユーザに促す旨のメッセージおよび図を含む。なお、アドバイス画像１７１は、図９に示す例に限らず、試料Ｓの分析のアドバイスに関する情報として、他の情報を含んでいてもよい。

このように、分析装置１は、光軸調整中のようなユーザが待機中の工程において、試料Ｓの分析のアドバイスに関する情報を表示装置１０５に表示する。これにより、ユーザが待機時間を極力退屈することがない。よって、分析装置１は、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

表示装置１０５は、光軸調整画面１５２の一部において、試料Ｓの分析の進捗に関する情報を含む進捗画像１７２を表示する。たとえば、進捗画像１７２は、現在進行中の工程を示す「光軸調整中」のメッセージとともに、進捗状態を示すプログレスバー１７５を含む。なお、進捗画像１７２は、図９に示す例に限らず、試料Ｓの分析の進捗に関する情報として、他の情報を含んでいてもよい。たとえば、進捗画像１７２は、試料Ｓの分析の進捗に関する情報として、図１０に示すようなスピナー画像１８５を含んでいてもよい。

このように、分析装置１は、光軸調整中のようなユーザが待機中の工程において、試料Ｓの分析の進捗に関する情報を表示装置１０５に表示する。これにより、分析装置１は、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

（アプローチ中における表示制御）
図１０は、アプローチ中における表示装置の画面の一例を示す図である。図１０に示すように、アプローチ工程において、表示装置１０５は、制御装置１００の制御に基づき、アプローチ画面１５３を表示する。

表示装置１０５は、アプローチ画面１５３の一部において、試料Ｓを分析するための工程を撮影したライブ画像１８１を表示する。たとえば、ライブ画像１８１は、アプローチ工程において探針１２が試料Ｓに近づく様子を撮影部７０が撮影した静止画または動画を含む。なお、ライブ画像１８１は、図１０に示す例に限らず、試料Ｓを分析するための工程を撮影した画像として、他の画像を含んでいてもよい。たとえば、ライブ画像１８１は、試料Ｓを分析するための工程（たとえば、アプローチ工程）をアニメーション化した画像を含んでいてもよい。

このように、分析装置１は、アプローチ中のようなユーザが待機中の工程において、試料Ｓを分析するための工程を撮影した画像を表示装置１０５に表示する。これにより、ユーザが待機時間を極力退屈することがない。よって、分析装置１は、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

表示装置１０５は、アプローチ画面１５３の一部において、試料Ｓの分析の進捗に関する情報を含む進捗画像１８２を表示する。たとえば、進捗画像１８２は、現在進行中の工程を示す「アプローチ中」のメッセージとともに、進捗状態を示すスピナー画像１８５を含む。なお、進捗画像１８２は、図１０に示す例に限らず、試料Ｓの分析の進捗に関する情報として、他の情報を含んでいてもよい。たとえば、進捗画像１８２は、試料Ｓの分析の進捗に関する情報として、図９に示すようなプログレスバー１７５を含んでいてもよい。

このように、分析装置１は、アプローチ中のようなユーザが待機中の工程において、試料Ｓの分析の進捗に関する情報を表示装置１０５に表示する。これにより、分析装置１は、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

（パラメータ調整中における表示制御）
図１１は、パラメータ調整中における表示装置の画面の一例を示す図である。図１１に示すように、パラメータ調整工程において、表示装置１０５は、制御装置１００の制御に基づき、パラメータ調整画面１５４を表示する。

表示装置１０５は、パラメータ調整画面１５４の一部において、試料Ｓの分析に用いられる部品に関する情報を含む部品関連画像１９０を表示する。部品関連画像１９０は、部品の交換を促す情報と、部品の発注先に関する情報と、部品の消耗具合に関する情報とを含む。なお、図１１に示す例は、図６に示すように、カンチレバーＡに関する情報をユーザＡに提供する例である。

たとえば、部品関連画像１９０は、部品の交換を促す情報として、「カンチレバーの交換時期です。」というメッセージを含む。部品関連画像１９０は、部品の発注先に関する情報として、「発注はこちら」というメッセージとともに発注先アドレスを含む。部品関連画像１９０は、部品の消耗具合に関する情報として、「前回発注から７０日間経過」というメッセージを含む。なお、部品関連画像１９０は、図１１に示す例に限らず、部品の交換を促す情報、部品の発注先に関する情報、および部品の消耗具合に関する情報として、他の情報を含んでいてもよい。部品関連画像１９０は、カンチレバー１０に限らず、ホルダ１４などの他の部品（消耗品）の交換を促す情報を含んでいてもよい。

このように、分析装置１は、パラメータ調整中のようなユーザが待機中の工程において、部品の交換が必要である場合に、部品の発注先に関する発注先情報を表示装置１０５に表示する。これにより、ユーザ自らがカンチレバー１０のような部品の交換有無を判断し、部品の交換が必要である場合は、ユーザ自らが部品の発注先を調べる必要がない。よって、分析装置１は、ユーザに利便性を提供しながら試料Ｓの分析を行わせることができる。部品メーカにおいても、表示装置１０５に表示された発注先情報に基づきユーザが自ら部品を発注してくれることで、他の部品メーカにおいて取引されることなくスムーズに部品の受注を受けることができる。

表示装置１０５は、パラメータ調整画面１５４の一部において、試料Ｓの分析の進捗に関する情報を含む進捗画像１９２を表示する。たとえば、進捗画像１９２は、現在進行中の工程を示す「パラメータ調整中」のメッセージとともに、進捗状態を示すスピナー画像１９５を含む。なお、進捗画像１９２は、図１１に示す例に限らず、試料Ｓの分析の進捗に関する情報として、他の情報を含んでいてもよい。たとえば、進捗画像１９２は、試料Ｓの分析の進捗に関する情報として、図９に示すようなプログレスバー１７５を含んでいてもよい。

このように、分析装置１は、パラメータ調整中のようなユーザが待機中の工程において、試料Ｓの分析の進捗に関する情報を表示装置１０５に表示する。これにより、分析装置１は、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

［情報提供システムの表示制御に関する処理］
（ソフト起動時における表示制御に関する処理）
図１２は、本実施の形態に係る情報提供システム１０００が実行するソフト起動時における表示制御のフローチャートである。図１２に示される処理ステップ（以下、これを「Ｓ」と略す。）は、制御装置１００のプロセッサ１０２（演算部１１２）による表示制御プログラム１４１の実行、および、サーバ装置３００のプロセッサ３０２（演算部３１２）による情報提供プログラム３４１の実行によって実現される。

図１２に示すように、ソフト起動時において、制御装置１００は、判定用情報をサーバ装置３００に送信する（Ｓ１１）。判定用情報は、サーバ装置３００が部品の交換が必要であるか否かを判定するための情報である。たとえば、判定用情報は、分析装置１のユーザを特定するための情報（たとえば、ＩＤ、パスワード、ユーザの名前、住所、電話番号など）、および、ユーザが使用する部品を特定するための情報（たとえば、製造番号、型式など）の少なくともいずれか１つを含む。

サーバ装置３００は、判定用情報を受信したか否かを判定する（Ｓ３１）。サーバ装置３００は、判定用情報を受信していない場合（Ｓ３１でＮＯ）、本処理を終了する。サーバ装置３００は、判定用情報を受信した場合（Ｓ３１でＹＥＳ）、判定用情報からユーザおよび部品の少なくともいずれか１つを特定し、ユーザ管理テーブル３４３に基づき、対象となる部品の交換が必要であるか否かを判定する（Ｓ３２）。具体的には、サーバ装置３００は、ユーザ管理テーブル３４３に格納された交換フラグの情報に基づき、対象となる部品について、交換フラグに「１」が設定されている場合は部品の交換が必要であると特定し、交換フラグに「０」が設定されている場合は部品の交換が必要でないと特定する。

サーバ装置３００は、部品の交換が必要でない場合（Ｓ３２でＮＯ）、本処理を終了する。サーバ装置３００は、部品の交換が必要である場合（Ｓ３２でＹＥＳ）、部品管理テーブル３４２に基づき、発注先情報を特定し、特定した発注先情報を制御装置１００に送信する（Ｓ３３）。具体的には、サーバ装置３００は、部品管理テーブル３４２に基づき、対象となる部品について、発注用アドレスおよび前回発注からの経過期間を特定し、特定した発注用アドレスおよび前回発注からの経過期間を含む発注先情報を制御装置１００に送信する。その後、サーバ装置３００は、本処理を終了する。

制御装置１００は、Ｓ１１において判定用情報を送信した後、発注先情報を受信したか否かを判定する（Ｓ１２）。制御装置１００は、判定用情報を送信してから所定の制限時間内に発注先情報を受信しなかった場合（Ｓ１２でＮＯ）、本処理を終了する。制御装置１００は、判定用情報を送信してから所定の制限時間内に発注先情報を受信した場合（Ｓ１２でＹＥＳ）、発注先情報に基づき、表示装置１０５に対して表示制御を行う（Ｓ１３）。

具体的には、制御装置１００は、表示装置１０５に対して表示制御を行うことで、図８に示すように、ソフト起動画面１５１の一部において、部品関連画像１６０を表示する。その後、制御装置１００は、本処理を終了する。

このように、情報提供システム１０００（分析装置１の制御装置１００、サーバ装置３００）は、ソフト起動時において、部品の交換が必要である場合に、部品の発注先に関する発注先情報を表示装置１０５に表示する。これにより、情報提供システム１０００は、ユーザに利便性を提供しながら試料Ｓの分析を行わせることができる。

（自動調整時における表示制御に関する処理）
図１３は、本実施の形態に係る情報提供システム１０００が実行する自動調整時における表示制御のフローチャートである。図１３に示される処理ステップ（以下、これを「Ｓ」と略す。）は、制御装置１００のプロセッサ１０２（演算部１１２）による表示制御プログラム１４１の実行、および、サーバ装置３００のプロセッサ３０２（演算部３１２）による情報提供プログラム３４１の実行によって実現される。

図１３に示すように、制御装置１００は、自動調整中か否かを判定する（Ｓ１０１）。具体的には、制御装置１００は、現在実行中の工程が、光軸調整工程、アプローチ工程、およびパラメータ調整工程のいずれかであるか否かを判定する。制御装置１００は、自動調整中でない場合（Ｓ１０１でＮＯ）、本処理を終了する。

制御装置１００は、自動調整中である場合（Ｓ１０１でＹＥＳ）、光軸調整中か否かを判定する（Ｓ１０２）。制御装置１００は、光軸調整中である場合（Ｓ１０２でＹＥＳ）、メモリ１０４に予め格納されたアドバイス情報を取得する（Ｓ１０３）。アドバイス情報は、試料Ｓの分析のアドバイスに関する情報を含む。なお、このとき、制御装置１００は、光軸調整工程の進捗に関する情報も取得する。

制御装置１００は、取得したアドバイス情報および光軸調整工程の進捗に関する情報に基づき、表示装置１０５に対して表示制御を行う（Ｓ１０４）。具体的には、制御装置１００は、表示装置１０５に対して表示制御を行うことで、図９に示すように、光軸調整画面１５２の一部において、アドバイス画像１７１およびを進捗画像１７２を表示する。その後、制御装置１００は、本処理を終了する。

このように、情報提供システム１０００（分析装置１の制御装置１００、サーバ装置３００）は、光軸調整中のようなユーザが待機中の工程において、試料Ｓの分析のアドバイスに関する情報、および、試料Ｓの分析の進捗に関する情報を表示装置１０５に表示する。これにより、情報提供システム１０００は、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

制御装置１００は、Ｓ１０２において、光軸調整中でないと判定した場合（Ｓ１０２でＮＯ）、アプローチ中か否かを判定する（Ｓ１０５）。制御装置１００は、アプローチ中である場合（Ｓ１０５でＹＥＳ）、アプローチ情報を取得する（Ｓ１０６）。アプローチ情報は、撮影部７０によってアプローチ工程を撮影した画像に関する情報を含む。なお、このとき、制御装置１００は、アプローチ工程の進捗に関する情報も取得する。

制御装置１００は、取得したアプローチ情報およびアプローチ工程の進捗に関する情報に基づき、表示装置１０５に対して表示制御を行う（Ｓ１０４）。具体的には、制御装置１００は、表示装置１０５に対して表示制御を行うことで、図１０に示すように、アプローチ画面１５３の一部において、ライブ画像１８１およびを進捗画像１８２を表示する。その後、制御装置１００は、本処理を終了する。

このように、情報提供システム１０００は、アプローチ中のようなユーザが待機中の工程において、試料Ｓを分析するための工程を撮影した画像、および、試料Ｓの分析の進捗に関する情報を表示装置１０５に表示する。これにより、情報提供システム１０００は、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

制御装置１００は、Ｓ１０５において、アプローチ中でないと判定した場合（Ｓ１０５でＮＯ）、パラメータ調整中であると特定し、判定用情報をサーバ装置３００に送信する（Ｓ１０７）。判定用情報は、サーバ装置３００が部品の交換が必要であるか否かを判定するための情報である。たとえば、判定用情報は、分析装置１のユーザを特定するための情報（たとえば、ＩＤ、パスワード、ユーザの名前、住所、電話番号など）、および、ユーザが使用する部品を特定するための情報（たとえば、製造番号、型式など）の少なくともいずれか１つを含む。

サーバ装置３００は、判定用情報を受信したか否かを判定する（Ｓ３０１）。サーバ装置３００は、判定用情報を受信していない場合（Ｓ３０１でＮＯ）、本処理を終了する。サーバ装置３００は、判定用情報を受信した場合（Ｓ３０１でＹＥＳ）、判定用情報からユーザおよび部品の少なくともいずれか１つを特定し、ユーザ管理テーブル３４３に基づき、対象となる部品の交換が必要であるか否かを判定する（Ｓ３０２）。具体的には、サーバ装置３００は、ユーザ管理テーブル３４３に格納された交換フラグの情報に基づき、対象となる部品について、交換フラグに「１」が設定されている場合は部品の交換が必要であると特定し、交換フラグに「０」が設定されている場合は部品の交換が必要でないと特定する。

サーバ装置３００は、部品の交換が必要でない場合（Ｓ３０２でＮＯ）、本処理を終了する。サーバ装置３００は、部品の交換が必要である場合（Ｓ３０２でＹＥＳ）、部品管理テーブル３４２に基づき、発注先情報を特定し、特定した発注先情報を制御装置１００に送信する（Ｓ３０３）。具体的には、サーバ装置３００は、部品管理テーブル３４２に基づき、対象となる部品について、発注用アドレスおよび前回発注からの経過期間を特定し、特定した発注用アドレスおよび前回発注からの経過期間を含む発注先情報を制御装置１００に送信する。その後、サーバ装置３００は、本処理を終了する。

制御装置１００は、Ｓ１０７で判定用情報を送信した後、発注先情報を受信したか否かを判定する（Ｓ１０８）。制御装置１００は、判定用情報を送信してから所定の制限時間内に発注先情報を受信しなかった場合（Ｓ１０８でＮＯ）、本処理を終了する。制御装置１００は、判定用情報を送信してから所定の制限時間内に発注先情報を受信した場合（Ｓ１０８でＹＥＳ）、さらに、パラメータ調整工程の進捗に関する情報も取得し、取得した発注先情報およびパラメータ調整工程の進捗に関する情報に基づき、表示装置１０５に対して表示制御を行う（Ｓ１０４）。

具体的には、制御装置１００は、表示装置１０５に対して表示制御を行うことで、図１１に示すように、パラメータ調整画面１５４の一部において、部品関連画像１９０およびを進捗画像１９２を表示する。その後、制御装置１００は、本処理を終了する。

このように、情報提供システム１０００（分析装置１の制御装置１００、サーバ装置３００）は、パラメータ調整中のようなユーザが待機中の工程において、部品の交換が必要である場合に、部品の発注先に関する発注先情報を表示装置１０５に表示する。これにより、情報提供システム１０００は、ユーザに利便性を提供しながら試料Ｓの分析を行わせることができる。さらに、情報提供システム１０００は、パラメータ調整中のようなユーザが待機中の工程において、試料Ｓの分析の進捗に関する情報を表示装置１０５に表示する。これにより、情報提供システム１０００は、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

［変形例］
以上、本実施の形態に係る分析装置１、サーバ装置３００、および情報提供システム１０００について説明したが、これらの構成においては、さらに種々の変形、応用が可能である。以下、変形例について説明する。

（分析装置の構成）
本実施の形態においては、分析装置１が、走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ）であったが、ＳＰＭに限らない。たとえば、分析装置１は、試料の分析に用いられる部品の交換が必要な他の分析装置であってもよい。分析装置１は、試料を分析するための工程として、ユーザが待機する工程が設けられた他の分析装置であってもよい。

本実施の形態においては、分析装置１が、制御装置１００と観察装置２００とが別体となって構成されているが、分析装置１は、制御装置１００と観察装置２００とが一体となって構成されてもよい。

（表示制御に関する処理）
本実施の形態においては、サーバ装置３００が部品の交換が必要であるか否かを判定する判定部３２１を備えていたが、分析装置１の制御装置１００が部品の交換が必要であるか否かを判定する判定部を備えていてもよい。

たとえば、図１４は、変形例に係る情報提供システムが実行するソフト起動時における表示制御のフローチャートである。図１４に示される処理ステップ（以下、これを「Ｓ」と略す。）は、変形例に係る制御装置１００Ａのプロセッサ１０２（演算部１１２）による表示制御プログラム１４１の実行、および、変形例に係るサーバ装置３００Ａのプロセッサ３０２（演算部３１２）による情報提供プログラム３４１の実行によって実現される。

図１４に示すように、ソフト起動時において、制御装置１００Ａは、部品の交換が必要であるか否かを判定する（Ｓ１１Ａ）。

具体的には、制御装置１００Ａは、カンチレバー１０およびホルダ１４などの部品（消耗品）を撮影部６０または撮影部７０などで撮影し、部品が映し出された撮影画像と、メモリ１０４に予め格納されたＮＧ品（交換が必要と判断された部品）が映し出された撮影画像とを画像認識などで比較する。制御装置１００Ａは、画像認識による比較によって、両者の類似度が所定の閾値以上であると判断した場合に、部品の交換が必要であると特定する。

別の手法として、制御装置１００Ａは、分析装置１による前回以前の分析時において、カンチレバー１０およびホルダ１４などの部品（消耗品）の使用期間を算出し、その使用期間が規定期間を超えているか否かを判定する。たとえば、前回以前の分析時において、カンチレバー１０を２４時間連続で使用していた場合、制御装置１００Ａは、そのカンチレバー１０の交換が必要であると特定する。制御装置１００Ａは、部品の使用期間が規定期間を超えていると判断した場合に、部品の交換が必要であると特定する。

制御装置１００Ａは、部品の交換が必要でない場合（Ｓ１１ＡでＮＯ）、本処理を終了する。制御装置１００Ａは、部品の交換が必要である場合（Ｓ１１ＡでＹＥＳ）、発注先情報を要求する要求情報をサーバ装置３００Ａに送信する（Ｓ１２Ａ）。要求情報は、分析装置１のユーザを特定するための情報（たとえば、ＩＤ、パスワード、ユーザの名前、住所、電話番号など）、および、ユーザが使用する部品を特定するための情報（たとえば、製造番号、型式など）の少なくともいずれか１つを含む。

サーバ装置３００Ａは、要求情報を受信したか否かを判定する（Ｓ３１Ａ）。サーバ装置３００Ａは、要求情報を受信していない場合（Ｓ３１ＡでＮＯ）、本処理を終了する。サーバ装置３００は、要求情報を受信した場合（Ｓ３１でＹＥＳ）、部品管理テーブル３４２に基づき、発注先情報を特定し、特定した発注先情報を制御装置１００Ａに送信する（Ｓ３２Ａ）。

制御装置１００Ａは、Ｓ１２Ａにおいて要求情報を送信した後、発注先情報を受信したか否かを判定する（Ｓ１３Ａ）。制御装置１００Ａは、要求情報を送信してから所定の制限時間内に発注先情報を受信しなかった場合（Ｓ１３ＡでＮＯ）、本処理を終了する。制御装置１００Ａは、要求情報を送信してから所定の制限時間内に発注先情報を受信した場合（Ｓ１３ＡでＹＥＳ）、発注先情報に基づき、表示装置１０５に対して表示制御を行う（Ｓ１４Ａ）。

具体的には、制御装置１００Ａは、表示装置１０５に対して表示制御を行うことで、図８に示すように、ソフト起動画面１５１の一部において、部品関連画像１６０を表示する。なお、部品関連画像１６０においては、部品の消耗具合に関する情報として、「使用期間が２４時間を超えています」というメッセージが含まれていてもよい。その後、制御装置１００Ａは、本処理を終了する。

このように、変形例に係る情報提供システムは、ソフト起動時において、部品の交換が必要である場合に、部品の発注先に関する発注先情報を表示装置１０５に表示する。これにより、情報提供システムは、ユーザに利便性を提供しながら試料Ｓの分析を行わせることができる。

図１５は、変形例に係る情報提供システムが実行する自動調整時における表示制御のフローチャートである。図１５に示される処理ステップ（以下、これを「Ｓ」と略す。）は、変形例に係る制御装置１００Ｂのプロセッサ１０２（演算部１１２）による表示制御プログラム１４１の実行、および、変形例に係るサーバ装置３００Ｂのプロセッサ３０２（演算部３１２）による情報提供プログラム３４１の実行によって実現される。なお、図１５に示すステップのうち、Ｓ１０１～Ｓ１０６は、図１３に示すＳ１０１～Ｓ１０６と同様の処理なので、ここではその説明を省略する。

図１５に示すように、制御装置１００Ｂは、アプローチ中か否かを判定し（Ｓ１０５）、アプローチ中でないと判定した場合（Ｓ１０５でＮＯ）、部品の交換が必要であるか否かを判定する（Ｓ１０７Ｂ）。

具体的には、制御装置１００Ｂは、カンチレバー１０およびホルダ１４などの部品（消耗品）を撮影部６０または撮影部７０などで撮影し、部品が映し出された撮影画像と、メモリ１０４に予め格納されたＮＧ品（交換が必要と判断された部品）が映し出された撮影画像とを画像認識などで比較する。制御装置１００Ｂは、画像認識による比較によって、両者の類似度が所定の閾値以上であると判断した場合に、部品の交換が必要であると特定する。

別の手法として、制御装置１００Ｂは、前回以前の分析時において、カンチレバー１０およびホルダ１４などの部品（消耗品）の使用期間を算出し、その使用期間が所定の上限期間を超えているか否かを判定する。制御装置１００Ｂは、部品の使用期間が所定の上限期間を超えていると判断した場合に、部品の交換が必要であると特定する。

制御装置１００Ｂは、部品の交換が必要でない場合（Ｓ１０７ＢでＮＯ）、本処理を終了する。制御装置１００Ｂは、部品の交換が必要である場合（Ｓ１０７ＢでＹＥＳ）、発注先情報を要求する要求情報をサーバ装置３００Ｂに送信する（Ｓ１０８Ｂ）。要求情報は、分析装置１のユーザを特定するための情報（たとえば、ＩＤ、パスワード、ユーザの名前、住所、電話番号など）、および、ユーザが使用する部品を特定するための情報（たとえば、製造番号、型式など）の少なくともいずれか１つを含む。

サーバ装置３００Ｂは、要求情報を受信したか否かを判定する（Ｓ３０１Ｂ）。サーバ装置３００Ｂは、要求情報を受信していない場合（Ｓ３０１ＢでＮＯ）、本処理を終了する。サーバ装置３００Ｂは、要求情報を受信した場合（Ｓ３０１ＢでＹＥＳ）、部品管理テーブル３４２に基づき、発注先情報を特定し、特定した発注先情報を制御装置１００Ｂに送信する（Ｓ３２Ａ）。

制御装置１００Ｂは、Ｓ１０８Ｂにおいて要求情報を送信した後、発注先情報を受信したか否かを判定する（Ｓ１０９Ｂ）。制御装置１００Ｂは、要求情報を送信してから所定の制限時間内に発注先情報を受信しなかった場合（Ｓ１０９ＢでＮＯ）、本処理を終了する。制御装置１００Ｂは、要求情報を送信してから所定の制限時間内に発注先情報を受信した場合（Ｓ１０９ＢでＹＥＳ）、発注先情報に基づき、表示装置１０５に対して表示制御を行う（Ｓ１０４Ｂ）。

具体的には、制御装置１００Ｂは、表示装置１０５に対して表示制御を行うことで、図１１に示すように、パラメータ調整画面１５４の一部において、部品関連画像１９０およびを進捗画像１９２を表示する。なお、部品関連画像１９０においては、部品の消耗具合に関する情報として、「使用期間が２４時間を超えています」というメッセージが含まれていてもよい。その後、制御装置１００Ｂは、本処理を終了する。

このように、変形例に係る情報提供システムは、パラメータ調整中のようなユーザが待機中の工程において、部品の交換が必要である場合に、部品の発注先に関する発注先情報を表示装置１０５に表示する。これにより、情報提供システムは、ユーザに利便性を提供しながら試料Ｓの分析を行わせることができる。

本実施の形態においては、図８に示すように、ソフト起動画面１５１において、部品の交換を促す情報と、部品の発注先に関する情報と、部品の消耗具合に関する情報とが表示されたが、その他の情報も表示されてもよい。たとえば、分析装置１は、ソフト起動画面１５１において、図９および図１０に示すように、試料Ｓの分析のアドバイスに関する情報、または、試料Ｓの分析の進捗に関する情報を表示装置１０５に表示してもよい。

本実施の形態においては、図９に示すように、光軸調整画面１５２において、試料Ｓの分析のアドバイスに関する情報と、試料Ｓの分析の進捗に関する情報とが表示されたが、その他の情報も表示されてもよい。たとえば、分析装置１は、光軸調整画面１５２において、図８および図１０に示すように、部品の交換を促す情報、部品の発注先に関する情報、部品の消耗具合に関する情報、または、試料Ｓを分析するための工程を撮影したライブ画像やアニメーション画像を表示装置１０５に表示してもよい。

本実施の形態においては、図１０に示すように、アプローチ画面１５３において、試料Ｓを分析するための工程を撮影したライブ画像１８１と、試料Ｓの分析の進捗に関する情報とが表示されたが、その他の情報も表示されてもよい。たとえば、分析装置１は、アプローチ画面１５３において、図８および図９に示すように、試料Ｓの分析のアドバイスに関する情報、部品の交換を促す情報、部品の発注先に関する情報、または、部品の消耗具合に関する情報を表示装置１０５に表示してもよい。

さらに、分析装置１は、「所定情報」として、ユーザが使用する当該分析装置１とは異なる他の分析装置に関する情報を表示装置１０５に表示してもよい。たとえば、分析装置１は、ソフト起動画面１５１、光軸調整画面１５２、およびアプローチ画面１５３の少なくともいずれか１つにおいて、装置メーカが販売する他の分析装置のコマーシャルメッセージなどを表示装置１０５に表示してもよい。

分析装置１は、「所定情報」として、部品の広告に関する情報を表示装置１０５に表示してもよい。たとえば、分析装置１は、ソフト起動画面１５１、光軸調整画面１５２、およびアプローチ画面１５３の少なくともいずれか１つにおいて、新しい部品のコマーシャルメッセージなどを表示装置１０５に表示してもよい。

分析装置１は、「所定情報」として、占い、天気予報、ゲームなど、待機中のユーザを退屈させない情報を表示装置１０５に表示してもよい。

（サーバ装置と発注先端末との間の処理）
装置メーカ側に属するサーバ装置３００は、図６に示すように、ユーザ管理テーブル３４３に基づき、部品の交換タイミングを概ね予測することができる。このため、サーバ装置３００は、部品メーカ側に属する発注先端末４００に対して、ユーザ管理テーブル３４３に含まれる情報を送信してもよい。このようにすれば、部品メーカは、部品の発注タイミングを予測し易くなり、ユーザに対して営業活動などを行うことができる。

［態様］
上述した複数の例示的な実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

（第１－１項） 一態様に係る試料を分析する分析装置は、表示部と、前記表示部を制御する表示制御部とを備える。前記表示制御部は、前記試料を分析するための工程のうち、ユーザが待機中の工程において、所定情報を前記表示部に表示させる。

第１－１項に記載の分析装置によれば、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

（第１－２項） 前記所定情報は、前記試料の分析のアドバイスに関する情報と、前記試料の分析に用いられる部品に関する情報と、前記試料の分析の進捗に関する情報と、他の分析装置に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つを含む。

第１－２項に記載の分析装置によれば、試料の分析のアドバイスに関する情報と、試料の分析に用いられる部品に関する情報と、試料の分析の進捗に関する情報と、他の分析装置に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つが表示されることによって、ユーザが待機時間を極力退屈することがない。

（第１－３項） 前記部品に関する情報は、前記部品の交換を促す情報と、前記部品の発注先に関する情報と、前記部品の消耗具合に関する情報と、前記部品の広告に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つを含む。

第１－３項に記載の分析装置によれば、部品の交換を促す情報と、部品の発注先に関する情報と、部品の消耗具合に関する情報と、部品の広告に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つが表示されることによって、ユーザに対して部品に関する情報を提供することができ、ユーザに利便性を提供しながら試料の分析を行わせることができる。

（第１－４項） 前記分析装置は、前記試料の分析に用いられる部品の交換が必要であるか否かを判定する判定部をさらに備える。前記表示制御部は、前記部品の交換が必要である場合に、前記部品に関する情報を前記表示部に表示させる。

第１－４項に記載の分析装置によれば、ユーザ自らが部品の交換有無を判断し、部品の交換が必要である場合は、ユーザ自らが部品の発注先などを調べる必要がない。よって、分析装置は、ユーザに利便性を提供しながら試料の分析を行わせることができる。

（第１－５項） 前記試料の分析の進捗に関する情報は、前記試料を分析するための工程を撮影した画像と、前記試料を分析するための工程をアニメーション化した画像とのうち、少なくともいずれか１つを含む。

第１－５項に記載の分析装置によれば、ユーザは、表示された撮影画像またはアニメーション画像によって、試料を分析するための工程を把握しながら待機することができ、ユーザが待機時間を極力退屈することがない。

（第１－６項） 前記分析装置は、探針を備えたカンチレバーを前記試料の表面に沿って走査することによって前記試料の表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡である。前記ユーザが待機中の工程は、前記カンチレバーの動作を検出するための光軸を調整する工程と、前記探針を前記試料の前記表面に近づける工程と、パラメータを調整する工程とのうち、少なくともいずれか１つを含む。

第１－６項に記載の分析装置によれば、光軸調整工程、アプローチ工程、およびパラメータ調整工程といったような、自動調整が行われるユーザ待機中の工程において、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

（第１－７項） 一態様に係る試料を分析する分析装置の表示部を制御する表示制御方法は、前記試料を分析するための工程のうち、ユーザが待機中の工程であるか否かを判定するステップと、前記ユーザが待機中の工程において、所定情報を前記表示部に表示させるステップとを含む。

第１－７項に記載の表示制御方法によれば、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

（第１－８項） 一態様に係る試料を分析する分析装置の表示部を制御する表示制御プログラムは、コンピュータに、前記試料を分析するための工程のうち、ユーザが待機中の工程であるか否かを判定するステップと、前記ユーザが待機中の工程において、所定情報を前記表示部に表示させるステップとを実行させる。

第１－８項に記載の表示制御プログラムによれば、ユーザに極力ストレスをかけることなく試料の分析を行わせることができる。

（第２－１項） 一態様に係る分析装置による試料の分析に用いられる部品に関する情報を提供する情報提供システムは、前記部品の交換が必要であるか否かを判定する判定部と、表示部と、前記表示部を制御する表示制御部とを備える。前記表示制御部は、前記部品の交換が必要である場合に、前記部品の発注先に関する発注先情報を前記表示部に表示させる。

第２－１項に記載の情報提供システムによれば、ユーザ自らが部品の交換有無を判断し、部品の交換が必要である場合は、ユーザ自らが部品の発注先などを調べる必要がない。よって、情報提供システムは、ユーザに利便性を提供しながら試料の分析を行わせることができる。

（第２－２項） 前記情報提供システムは、前記分析装置と、前記分析装置と通信するサーバ装置とを備える。前記分析装置は、前記サーバ装置と通信する装置側通信部と、前記表示部と、前記表示制御部とを含む。前記サーバ装置は、前記分析装置と通信するサーバ側通信部と、前記判定部とを含む。前記分析装置は、前記装置側通信部によって、前記部品の交換が必要であるか否かを判定するための判定用情報を前記サーバ装置に送信する。前記サーバ装置は、前記判定部によって、前記判定用情報に基づき、前記部品の交換が必要であるか否かを判定し、前記部品の交換が必要である場合に、前記サーバ側通信部によって、前記発注先情報を前記分析装置に送信する。前記分析装置は、前記表示制御部によって、前記発注先情報を前記表示部に表示させる。

第２－２項に記載の情報提供システムによれば、ユーザ自らが部品の交換有無を判断し、部品の交換が必要である場合は、ユーザ自らが部品の発注先などを調べる必要がない。よって、情報提供システムは、ユーザに利便性を提供しながら試料の分析を行わせることができる。

（第２－３項） 前記情報提供システムは、前記分析装置と、前記分析装置と通信するサーバ装置とを備える。前記分析装置は、前記サーバ装置と通信する装置側通信部と、前記判定部と、前記表示部と、前記表示制御部とを含む。前記サーバ装置は、前記分析装置と通信するサーバ側通信部を含む。前記分析装置は、前記判定部によって、前記部品の交換が必要であるか否かを判定し、前記部品の交換が必要である場合に、前記装置側通信部によって、前記発注先情報を要求する要求情報を前記サーバ装置に送信する。前記サーバ装置は、前記サーバ側通信部によって、前記要求情報に基づき、前記発注先情報を前記分析装置に送信する。前記分析装置は、前記表示制御部によって、前記発注先情報を前記表示部に表示させる。

第２－３項に記載の情報提供システムによれば、ユーザ自らが部品の交換有無を判断し、部品の交換が必要である場合は、ユーザ自らが部品の発注先などを調べる必要がない。よって、情報提供システムは、ユーザに利便性を提供しながら試料の分析を行わせることができる。

（第２－４項） 前記発注先情報は、前記発注先に対してユーザが前記部品を発注するためのアドレスを含む。

第２－４項に記載の情報提供システムによれば、ユーザに効率よく部品を発注させることができる。

（第２－５項） 前記表示制御部は、前記試料を分析するための工程のうち、ユーザが待機中の工程において、前記発注先情報を前記表示部に表示させる。

第２－５項に記載の情報提供システムによれば、ユーザが退屈しがちな待機時間を利用して部品の交換をユーザに促すことができる。

（第２－６項） 前記分析装置は、探針を備えたカンチレバーを前記試料の表面に沿って走査することによって前記試料の表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡である。前記ユーザが待機中の工程は、前記カンチレバーの動作を検出するための光軸を調整する工程と、前記探針を前記試料の前記表面に近づける工程と、パラメータを調整する工程とのうち、少なくともいずれか１つを含む。

第２－６項に記載の分析装置によれば、光軸調整工程、アプローチ工程、およびパラメータ調整工程といったような、自動調整が行われるユーザ待機中の工程において、部品の交換をユーザに促すことができる。

（第２－７項） 一態様に係る試料を分析する分析装置と通信するサーバ装置は、前記分析装置と通信するサーバ側通信部と、前記試料の分析に用いられる部品の交換が必要であるか否かを判定する判定部とを備える。前記サーバ側通信部は、前記部品の交換が必要である場合に、前記部品の発注先に関する発注先情報を前記分析装置に送信する。

第２－７項に記載のサーバ装置によれば、ユーザ自らが部品の交換有無を判断し、部品の交換が必要である場合は、ユーザ自らが部品の発注先などを調べる必要がない。よって、サーバ装置は、ユーザに利便性を提供しながら試料の分析を行わせることができる。

（第２－８項） 一態様に係る試料を分析する分析装置は、前記試料の分析に用いられる部品の交換が必要であるか否かを判定する判定部と、表示部と、前記表示部を制御する表示制御部とを備える。前記表示制御部は、前記部品の交換が必要である場合に、前記部品の発注先に関する発注先情報を前記表示部に表示させる。

第２－８項に記載の分析装置によれば、ユーザ自らが部品の交換有無を判断し、部品の交換が必要である場合は、ユーザ自らが部品の発注先などを調べる必要がない。よって、分析装置は、ユーザに利便性を提供しながら試料の分析を行わせることができる。

（第２－９項） 一態様に係る試料を分析する分析装置による試料の分析に用いられる部品に関する情報を提供する情報提供方法は、前記部品の交換が必要であるか否かを判定するステップと、前記部品の交換が必要である場合に、前記部品の発注先に関する発注先情報を表示部に表示させるステップとを備える。

第２－９項に記載の情報提供方法によれば、ユーザ自らが部品の交換有無を判断し、部品の交換が必要である場合は、ユーザ自らが部品の発注先などを調べる必要がない。よって、情報提供方法は、ユーザに利便性を提供しながら試料の分析を行わせることができる。

（第２－１０項） 一態様に係る試料を分析する分析装置による試料の分析に用いられる部品に関する情報を提供する情報提供方法は、前記部品の交換が必要であるか否かを判定するステップと、前記部品の交換が必要である場合に、前記部品の交換が必要であることを示す情報および前記分析装置を特定する情報のうちの少なくとも１つを、前記部品の発注先に通知するステップとを備える。

第２－１０項に記載の情報提供方法によれば、ユーザ自らが部品の交換有無を判断し、部品の交換が必要である場合は、ユーザ自らが部品の発注先に連絡する必要がない。よって、情報提供方法は、ユーザに利便性を提供しながら試料の分析を行わせることができる。

１ 分析装置、２ ネットワーク、１０ カンチレバー、１２ 針、１４ ホルダ、２０ 光学系、２２ レーザ光源、２４ ビームスプリッタ、２６ 反射鏡、２８ 検出器、５０ スキャナ、５２ 試料保持部、６０，７０ 撮影部、１００ 制御装置、１０２，３０２ プロセッサ、１０３，３０３ 通信装置、１０４，３０４ メモリ、１０５ 表示装置、１０６ 入力装置、１１２，３１２ 演算部、１１３ 装置側通信部、１１４，３１４ 記憶部、１１５ 表示部、１１６ 入力部、１２１ 分析部、１２２ 表示制御部、１４１ 表示制御プログラム、１４２ 分析プログラム、１５１ ソフト起動画面、１５２ 光軸調整画面、１５３ アプローチ画面、１５４ パラメータ調整画面、１６０，１９０ 部品関連画像、１７１ アドバイス画像、１７２，１８２，１９２ 進捗画像、１７５ プログレスバー、１８１ ライブ画像、１８５，１９５ スピナー画像、２００ 観察装置、３００，３００Ａ，３００Ｂ サーバ装置、３１３ サーバ側通信部、３２１ 判定部、３４１ 情報提供プログラム、３４２ 部品管理テーブル、３４３ ユーザ管理テーブル、４００，４００Ａ，４００Ｂ，４００Ｃ 発注先端末、１０００ 情報提供システム。

Claims (5)

1. 探針を備えたカンチレバーを試料の表面に沿って走査することによって前記試料の表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡である分析装置であって、
   光源と、
   表示部と、
   前記表示部を制御する表示制御部とを備え、
   前記表示制御部は、ユーザが前記試料をセットする工程の前の前記カンチレバーの動作を検出するための前記光源の光軸を調整する工程において、所定情報を前記表示部に表示させ、
   前記所定情報は、前記試料の分析のアドバイスに関する情報と、他の分析装置に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つを含む、分析装置。
2. 前記所定情報は、前記試料の分析に用いられる部品に関する情報をさらに含み、
   前記部品に関する情報は、前記部品の交換を促す情報と、前記部品の発注先に関する情報と、前記部品の消耗具合に関する情報と、前記部品の広告に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つを含む、請求項１に記載の分析装置。
3. 前記試料の分析に用いられる部品の交換が必要であるか否かを判定する判定部をさらに備え、
   前記所定情報は、前記試料の分析に用いられる部品に関する情報をさらに含み、
   前記表示制御部は、前記部品の交換が必要である場合に、前記部品に関する情報を前記表示部に表示させる、請求項１または請求項２に記載の分析装置。
4. 探針を備えたカンチレバーを試料の表面に沿って走査することによって前記試料の表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡である分析装置の表示部を制御する表示制御方法であって、
   ユーザが前記試料をセットする工程の前の前記カンチレバーの動作を検出するための光源の光軸を調整する工程であるか否かを判定するステップと、
   前記光軸を調整する工程において、所定情報を前記表示部に表示させるステップとを含み、
   前記所定情報は、前記試料の分析のアドバイスに関する情報と、他の分析装置に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つを含む、表示制御方法。
5. 探針を備えたカンチレバーを試料の表面に沿って走査することによって前記試料の表面の情報を得る走査型プローブ顕微鏡である分析装置の表示部を制御する表示制御プログラムであって、
   コンピュータに、
   ユーザが前記試料をセットする工程の前の前記カンチレバーの動作を検出するための光源の光軸を調整する工程であるか否かを判定するステップと、
   前記光軸を調整する工程において、所定情報を前記表示部に表示させるステップとを実行させ、
   前記所定情報は、前記試料の分析のアドバイスに関する情報と、他の分析装置に関する情報とのうち、少なくともいずれか１つを含む、表示制御プログラム。

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