JP7637116B2 - 測定装置、センサ出力監視方法及びセンサ出力監視プログラム - Google Patents

Description

本発明は、水質等のサンプルの性質を測定する測定装置等に関するものである。

例えば、水質を測定するセンサを搭載した特許文献１のような測定装置において、従来は、センサの出力値が振り切れている等の明らかな異常が発生すれば、そのセンサについてメンテナンスが必要であることがユーザにも判断できる。

しかしながら、センサに前述したような明らかな異常が発生していない場合であっても、センサの汚れやセンサの出力値に影響を与える部品の不具合などによって、センサから出力される測定値が、本来出力されるべき値からずれてしまっている場合がある。

このような場合、センサの出力値が、センサや他部品の汚れや不具合等によって変化しているのかどうかを、ユーザが判断することは難しい。

特開２０１５－２５７９４号公報

前述したような問題点について、本発明者は、相関関係にある他のセンサとの測定値の関係性の変化を監視することによって、各センサが本来出力されるべき測定値を出力しているかどうかを判断することができることに気が付いた。
そこで、本発明は、センサに明らかな異常が発生していない場合であっても、センサが出力する測定値が本来出力されるべき値からずれていることを検知でき、さらに複数のセンサのうち、どのセンサの出力値が本来の値からずれているのかを特定することができる測定装置を提供することを主な目的とするものである。

すなわち本発明に係る測定装置は、３つ以上のセンサと、これらセンサの出力値を監視する出力監視部とを備える測定装置であって、前記出力監視部が、前記センサのうち、第１のセンサ以外の少なくとも１つのセンサを含む第１センサ群の各センサの出力値に基づいて、前記第１のセンサの推定出力値を算出し、前記第１のセンサ以外の少なくとも１つのセンサを含むセンサ群であって、前記第１センサ群とは異なる第２センサ群の各センサの出力値に基づいて、前記第１のセンサの推定出力値を算出し、算出された複数の推定出力値のそれぞれと前記第１のセンサによって実際に測定された実測値とを比較して、各前記推定出力値と前記実測値との差又は比が予め定めた許容範囲内にあるかどうかを判断するものである。
ここで第１センサ群及び第２センサ群は、１つのセンサのみを含むものであっても良いし複数のセンサを含むものであっても良い。

このように構成された測定装置によれば、各前記推定出力値と前記実測値との差又は比が予め定めた許容範囲内にあるかどうかを判断することによって、各センサの出力値の間の相関関係がこれまでの相関関係から外れたかどうかを検知することができる。
前記相関関係がこれまでの相関関係を維持している場合には、センサやセンサの出力値に影響を与える部品などには問題がなく、各センサの出力値は本来出力されるべき値であると判断することができる。

一方、前記相関関係がこれまでの相関関係から外れた場合には、センサ又は部品の不具合により各センサの出力値が本来出力されるべき値からずれている、又はサンプルの処理条件や、測定条件、気象条件などの環境の変化により各センサの出力値の間の相関関係がこれまでの相関関係から外れたと判断することができる。前述したような環境変化がないにも関わらず、前記相関関係がこれまでの相関関係から外れた場合には、センサやセンサの出力値に影響を与える部品などに問題があり、各センサの出力値が本来出力されるべき値からずれている可能性があると判断することができる。
さらに、３つ以上のセンサを備えて、これらの相関関係を相互に調べることにより、３つ以上のセンサのうち、いずれのセンサの出力値が本来出力されるべき値からずれているのかを特定することが可能である。

過去の各センサの出力値に基づいて算出された相関関係式を記憶する記憶部をさらに備え、前記出力監視部が、前記相関関係式を用いて推定出力値を算出するものとすれば、より正確な推定出力値を算出することができる。
また、前記相関関係式は、例えば、回帰分析によって算出されるものとしてもよい。

本発明の具体的な実施態様としては、前記センサが、サンプルの導電率、比抵抗、ORP、濁度、色度、温度、圧力、油膜、及び前記サンプルに含まれる各種物質の濃度等の複数の指標のうちいずれか一種以上を測定するものを挙げることができる。

例えば、前述した複数の指標のうち、同じ指標について測定する複数のセンサを備えるものとしてもよいし、前述した複数の指標のうち互いに異なる種類の指標を測定するセンサを複数種類備えるものとしても良い。

前述したように、異なる種類の指標を測定するセンサを備えるものとすれば、メンテナンス対象とするべきセンサを特定できるだけでなく、その指標の出力値の変化に関わりそうな部品をより具体的に絞り込むことが可能である。

本発明の具体的な実施態様としては、前記測定装置が水質分析に用いられるものを挙げることができる。

３つ以上のセンサのうち、第１のセンサ以外の少なくとも１つのセンサを含む第１センサ群の各センサの出力値に基づいて、前記第１のセンサの推定出力値を算出し、前記第１のセンサ以外の少なくとも１つのセンサを含むセンサ群であって、前記第１センサ群とは異なる第２センサ群の各センサの出力値に基づいて、前記第１のセンサの推定出力値を算出し、算出された複数の推定出力値のそれぞれと前記第１のセンサによって実際に測定された実測値とを比較して、前記各推定出力値と前記実測値との差又は比が予め定めた許容範囲内にあるかどうかを判断することを特徴とするセンサ出力監視方法又はセンサ出力監視プログラムもまた本発明の１つの態様である。

本発明によれば、各センサの出力値の間の相関関係がこれまでの相関関係から外れたかどうかを検知することができる。その結果、各センサの出力値が、センサ又はセンサの出力値に影響を与える部品の劣化などによって変化しているのかどうかを簡単に見分けることができる。

このように、各センサの出力値が、センサ又はセンサの出力値に影響を与える部品の劣化などによって引き起こされたものである可能性があれば、次のメンテナンス予定がまだ先であっても、あるセンサ及びそのセンサに関連する部品についてのメンテナンスをユーザに勧めることができる。
また、３つ以上のセンサのうち、いずれのセンサの出力値が本来出力されるべき値からずれているのかを特定することができるので、メンテナンスをするべきセンサがどれであるのかをユーザに知らせることができる。

本発明の一実施形態に係る測定装置の構成を示す概略図。 同実施形態の情報処理装置の機能を示す機能ブロック図。 同実施形態の測定装置を用いて行うセンサの出力推定例を示す模式図。 同実施形態の測定装置を用いて行ったセンサの出力推定結果を示すグラフ。 同実施形態において表示部に表示される画像の一例。 本発明の他の実施形態に係るセンサの出力推定例を示す模式図。 本発明の他の実施形態に係る表示部の画像の一例。 本発明の他の実施形態に係る表示部の画像の一例。

１ ・・・測定装置
２ ・・・センサユニット
３ ・・・情報処理装置
３１ ・・・算出部
３２ ・・・表示部
３３ ・・・記憶部
３４ ・・・出力監視部

以下に本発明に係る測定装置の一実施形態について図面を参照して説明する。

本実施形態に係る測定装置１は、例えば、水処理施設などにおいて、上水や下水等の液体試料（サンプル）に含まれる、例えば、水素イオン、NH4-N、残留塩素、溶存酸素、塩分、フッ化物イオン、硝酸イオン、HF、KOH、TMAH、溶存オゾン、リン酸、クエン酸、窒素、りん、COD又はシリカ等の所定成分の濃度、サンプルの導電率、比抵抗、酸化還元電位（ＯＲＰ）、濁度、色度、温度、圧力等の水質に関する指標を測定するものであり、図１に示すように、前述したような種々の指標を測定する複数のセンサを備えているセンサユニット２と、センサユニット２から出力される情報を処理する情報処理装置３とを備えている。

センサユニット２は、サンプルについての前述したような種々の指標を測定するものである。
具体的にこのセンサユニット２は、上述したような種々の指標のうち複数種類の指標を測定するために、異なる種類の３つ以上のセンサを備えている。

本実施形態では、センサユニット２は、例えば、水処理施設の異なる曝気槽等にそれぞれ各一つ配置されて、サンプルである処理水の各種指標を複数種類測定するものであり、測定目的によって適宜変更することができるが、具体的には、例えば、酸化還元電位センサ２１ａ、ｐHセンサ２１ｂ、DOセンサ２１ｃ、汚泥濁度センサ（MLSS測定装置２１ｄ）、アンモニア濃度センサ２１ｅ、温度センサ２１ｆ等の各種センサ２１を備えるものである。

このように構成されたセンサユニット２から出力される各種出力値は、情報処理装置３により処理される。

情報処理装置３は、ＣＰＵ、メモリ、ＡＤコンバータ等を有する専用乃至汎用のコンピュータであり、前記メモリの所定領域に格納したプログラムに従って動作することで、図２に示すように、少なくとも各指標について、各センサ２１の出力値に基づいて各種成分濃度等の測定値を算出する算出部３１や各センサの出力値を表示する表示部３２、各センサの出力値や、算出部３１が算出した測定値等を記憶する記憶部３３としての機能を発揮するように構成されたものである。
表示部３２は、例えば、一方の軸が時間、他方の軸が出力値に設定されたグラフを画面上に表示して、このグラフに各センサ２１からの出力値の経時変化を表示するものである。この表示部３２は、情報処理装置に設けられたディスプレイであっても良いし、別途設けられたディスプレイ等であっても良い。

しかして、本実施形態の情報処理装置３は、前記メモリの所定領域に格納したプログラムに従って動作することで、図２に示すように、３つ以上のセンサから出力される出力値を監視する出力監視部３４としての機能をさらに発揮するように構成されている。

出力監視部３４は、前述した各センサ２１からの出力値の相関関係を監視するものである。
以下に出力監視部３４が、各センサ２１からの出力値の相関関係を監視する手順及び方法を説明する。

出力監視部３４は、互いに相関関係にある３つ以上の前述したようなセンサ２１からの出力値の相関関係を監視するものである。
ここでは、分かりやすく説明するために、図３に示すような、３つのセンサ２１について、その相関関係を監視する場合を例として挙げて説明する。

まず初めに、出力監視部３４は、これら３つのセンサ２１のうちの１つのセンサ（第１のセンサに相当する。これをセンサＡと呼ぶことにする。）の現在の出力値を、他のセンサ（センサＢと呼ぶことにする。センサＢは、第１センサ群に相当する。この実施形態では、第１センサ群は、図３に示すように、１つのセンサのみを含むものである。）の過去の出力値を用いて算出された相関関係と、現時点での他のセンサＢの出力値とを用いて推定する。このようにして推定された出力値のことを以下では、第１推定出力値と呼ぶことにする。なお、本実施形態では、出力値の推定に回帰分析を用いている。

前記第１推定出力値の算出方法について、以下に、一例を挙げて説明する。
過去の測定値等の出力値に基づいて、例えば、下記数１で表すような回帰式を求め、これを記憶部３３に記憶しておく。その上で、例えば、現在のセンサBの出力値をこの回帰式に代入して、センサAの第１推定出力値を求める。なお、数１中のaやbなどの定数は、例えば、最小二乗法によって各出力値からの差が最小になるような直線を算出することによって求めることができる。過去の出力値は、過去のある所定の期間における出力値であっても良いし、過去の全期間の出力値であっても良い。本実施形態では、一例として、一番最近の測定環境の変化があった時点以降の全ての時期の出力値を、前記回帰式を求めるために使用している。また、この回帰式は、人が手動で計算して入力するようにしても良いし、例えば、算出部３１や出力監視部３４等が自動で算出するようにしてもよい。

（数１）
（センサAの推定出力値）= a ×（センサBからの出力値）+ b

さらに、先程と同じ時点におけるセンサＡの出力値を、センサＡ及びセンサＢとは異なるセンサ（センサＣと呼ぶことにする。センサＣは第２センサ群に相当する。この実施形態では、第２センサ群は、図３に示すように、１つのセンサのみを含むものである。）の過去の出力値を用いて同様に推定する。このようにして推定された出力値を以下では第２推定出力値と呼ぶことにする。
次に、前述したようにして算出された第１推定出力値及び第２推定出力値のそれぞれと、同じ時点におけるセンサＡから実際に出力された出力値である実測値とを比較して、例えば、これらの差をそれぞれ算出する。
図３に示すように、センサBやセンサCを第１のセンサとした場合についても、センサB又はセンサCの推定出力値を算出し、これら推定出力値とセンサB又はセンサCの実測値との差をそれぞれ算出する。

これら第１推定出力値と実測値との差又は第２推定出力値と実測値との差が、例えば、予め定めた許容範囲内にあるかどうかを調べる。
前記許容範囲は、例えば、推定出力値の±１０％の範囲として予め設定しておくこともできる。

前記許容範囲は、前記記憶部３３に各センサの出力値のデータが蓄積されるまでは、一律に推定出力値の±１０％の範囲としておいて、データが蓄積された後は、例えば、ベイズ推定等を用いて５０％の確率で出力される値の範囲を推定するなどして、各センサが測定する指標によって許容範囲の幅を適切な範囲に設定しなおすようにしても良い。
出力監視部３４は、前述した差が、前記許容範囲内であれば、各センサ間の相関関係は維持されていると判断する。
一方、前述した差が、例えば、図４中に丸で囲んだ部分のように、前記許容範囲を超えた場合には、各センサ間の相関関係がこれまでの相関関係から外れたものと判断する。なお、図４での許容範囲は、網掛けで示してある。

次に、この相関関係が、例えば、サンプルに対する処理条件や、測定条件、気象条件などの環境変化とともに起こっているかどうかを判断し、環境変化とは関係なく相関関係が変化した場合には、センサ又はセンサの出力値に影響を与える部品などに不具合があると判断する。
環境変化があったかどうかについては、例えば、記憶部に環境変化についての情報を記憶させておいても良い。この環境変化についての情報は、ユーザが入力するようにしても良いし、例えばユーザが測定条件を設定しなおした時にその入力日時や変更事項などが記憶部３３に自動で記憶されるようにしてもよい。

各センサ間の相関関係がこれまでの相関関係から外れたと判断した場合には、出力監視部３４は引き続き、いずれのセンサ２１が原因となって相関関係が外れたのかを判断する。
例えば、第１推定出力値と実測値との差が許容範囲を超えてしまっており、一方で、第２推定出力値と実測値との差が許容範囲内となっている場合には、センサＢからの出力値が本来出力されるべき値からずれてしまったことが原因で、第１推定出力値がうまく推定できなかったと判断する。
このように、いずれのセンサ２１からの出力値が原因であるのかを判断した後に、出力監視部は、例えば、センサＢの値がずれている旨の信号を出力する。

表示部３２は、出力監視部３４からセンサＢの値が原因で各センサ２１の出力値の相関関係がこれまでの相関関係から外れた旨の信号を受信した場合には、例えば、グラフ上にセンサＢ又はセンサＢの出力値に影響を与える可能性がある部品等に異常がないか調べる必要がある旨のアラートを表示するようにしてある。
例えば、図５に示すように、各センサの実測値と推定出力値との間の差が許容範囲を超えた場合には、グラフ上に異常を示すプロット（丸印）を表示するようにしても良い。
また、このグラフ上でクリックすることによって新たなウィンドウを表示し、そのウィンドウに測定日時、実測値、推定出力値及び該推定出力値を算出する基礎となったセンサの出力値などのうちいずれか１つ以上の情報を表示するようにしても良い。

このように構成した測定装置１によれば、各センサ２１からの出力値の相関関係を監視しているので、各センサ２１からの出力値の変化が、各センサ２１や各センサ２１の出力値に影響を与える部品などの不具合によるものであるのかを簡単に判断することができる。
その結果、例えば、次回のメンテナンス時期がまだ先である場合であっても、各センサ２１や各センサ２１の出力値に影響を与える部品等の不具合をいち早く検知することができる。

特に、本実施形態のように水質分析をする場合には、測定サンプルや測定環境によって、各センサ２１から出力される出力値がそれぞれ大きく異なることが予想される。一方、各センサ２１からの出力値の相関関係は、測定サンプルや測定環境によって固有のものであることが多い。そこで、各センサ２１からの出力値が正しい値であるのかどうかを、各センサ２１からの出力値の相関関係を基準にして判断することによって、各センサ２１又は各センサ２１の出力値に影響を与える部品などの不具合をより的確に検知することができる。

また、３つ以上のセンサ２１のうち、どのセンサ２１からの出力値が変化したことによって、相関関係が崩れたのかを特定することができるので、ユーザにどのセンサ２１や部品をメンテナンスすればよいかをより具体的に知らせて、メンテナンスの手間を省くことができる。

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。
例えば、前記実施形態では、第１のセンサの推定出力値を、他の１つのセンサ（センサＢ又はセンサＣ）の出力値から算出する場合を説明したが、例えば、図６に示すように、第１のセンサの推定出力値を、他の２つ以上のセンサを含むセンサ群の各センサの出力値に基づいて算出してもよい。このように２つ以上のセンサを含むセンサ群の各センサの出力値に基づいて推定出力値を算出する場合には、重回帰分析の式を用いる。この場合の推定出力値の算出方法について、以下に説明する。

例えば、センサB及びセンサCの出力値に基づいてセンサAの推定出力値を算出する場合には、以下の数２のような重回帰分析の式を用いてセンサAの推定出力値を算出することができる。なお、数２中のc,d,eなどの定数は、例えば、最小二乗法によって各出力値からの差が最小になるような直線を算出することによって求めることができる。

（数２）
（センサAの推定出力値） = c ×（センサBの出力値）+ d × （センサCの出力値） + e

前記実施形態では、第１のセンサの推定出力値と実測値との差が予め定めた許容範囲内であるかどうかを判断していたが、推定出力値と実測値との比を求めてその値が許容範囲内であるかどうかを判断するようにしても良い。
例えば、前述したようにしてセンサB及びセンサCの出力値に基づいてセンサAの推定出力値を算出した場合に、センサAの実測値とセンサAの推定出力値との比が許容範囲内であるかどうかを調べるようにしても良い。より具体的には、例えば、許容範囲が±１０％と設定された場合には、センサAの推定出力値をセンサAの実測値で割った商又はセンサAの実測値をセンサAの推定出力値で割った商が、０．９以上１．１以下の範囲に入っているかどうか等を判断するようにしてもよい。

例えば、水処理施設など、１つのサンプルに一連の処理過程を施すような場合には、各処理工程におけるサンプルの各指標を一定の場所に配置されたセンサで経時的に順次測定するものとしても良いし、各処理工程を別々の場所で行う場合には、それぞれの処理工程を行う場所にそれぞれセンサ設置して、流れてくるサンプルの各指標を別々の場所で測定するようにしても良い。さらに、同じ場所で同時に同じサンプルを測定するものとしても良い。

前記センサは３つ以上あれば良く、前述したように別々の指標をそれぞれ測定する異なる種類のセンサを１つずつ３種類以上備えるようにしても良いし、同じ指標を測定する同じ種類のセンサを３つ以上備えるようにしても良い。
前述したように３つのセンサを用いる場合には、２つの推定出力値を算出すれば、いずれのセンサの出力値が本来の値からずれているのかを特定することができる。このように、３つ以上のｎ個のセンサを用いる場合には、（ｎ－１）個の推定出力値を算出すれば、より確実にいずれのセンサの出力値が本来の値からずれているのかを特定することができると考えられる。

センサユニット及び情報処理装置は、１つの装置として、一か所に配置されている必要はなく、複数のセンサユニットが空間的に離れた場所にそれぞれ配置されていて、これら複数のセンサユニットに備えられた複数のセンサの出力値が、有線又は無線で情報処理装置に送られるようにしても良い。

相関関係にあるセンサとしては、前述したような複数の指標を測定するもののうち、予め相関関係があることが分かっているものに限らず、実際に測定を続ける中で、相関関係があることが経験的に明らかになったものを含む。例えば、温度や圧力など、測定環境によって、各センサの出力値の間の相関関係は異なる場合があるからである。

本発明に係る測定装置は、前述したような、水質分析に用いられるもの等の液体サンプルを測定する場合に限られず、NOx、SO2、CO、CO2、O2、シリカ、などの気体のサンプルを測定するものにも適用することが可能である。

前記実施形態では、出力監視部がセンサの出力値に基づいて出力値を推定していたが、算出部によって算出された測定値に基づいて測定値を推定するようにしても良い。同様に、表示部が、算出部によって算出された測定値ではなく、例えば、センサから出力された電位などの出力値を表示するものとしても良い。

前記実施形態では、過去の出力値を用いて、回帰分析を用いて推定出力値を算出するものを説明したが、出力監視部がニューラルネットワーク等の機械学習によって推定出力値を算出するようにしても良い。
また、前記実施形態では、センサの現時点で出力値を推定するようにしていたが、センサの、例えば、過去のある時点の出力値を推定出力値として算出して、その時点でのセンサの実測値と推定出力値とを比べるようにしてもよい。

前記実施形態で述べた情報処理装置の機能の一部は、情報処理装置とは別のコンピュータ等に備えさせても良い。その一例としては、センサユニットから出力された出力値等のデータを格納するデータ格納部としての機能を、情報処理装置とは別の例えばクラウドサーバ等に備えさせても良い。

前述した実施形態では、センサユニットが複数のセンサを備えるものとしたが、センサユニットが１つのセンサのみを備えるものとしても良い。また、例えば、１つの水処理施設などを１つのセンサユニットのように扱って、例えば、複数の水処理施設からの出力値を、クラウドサーバ上の情報処理装置によって処理するようにしても良い。

前記ディスプレイは、センサ毎、センサユニット毎、測定装置毎、測定施設毎に設けるようにしても良い。

相関関係にあるセンサは、測定条件や測定環境、サンプルの処理方法などによって変化する。そのため、例えば、表示部が相関関係にあるセンサの組み合わせを選択することができる図７のような画面を表示するようにしても良い。

前記記憶部に記憶されている回帰式などを利用して、例えば、その測定環境において化学的酸素要求量（COD）を目標値に近づけるためには、全リン（TP）又は全窒素（TN）のうちどちらを変化させれば良いのかなどといったシミュレーション機能を持たせても良い。

前述した回帰分析や機械学習などを用いて、各センサ間の相関関係を精度よく求めるためには、これまでの相関関係から外れる原因となった測定値を削除したり、削除した測定値の代わりに手分析など他の手法で求めた測定値などを入力したりするなど、過去のデータを編集できるように、例えば、図８に示すような入力画面を表示部に表示させるようにしても良い。

前記実施形態では、環境変化があったかどうかをユーザの入力によっていたが、例えば、サンプルに対して互いに異なる一連の処理を施したあと、そのサンプルに含まれる所定成分を測定する装置の場合には、記憶された過去の複数回の測定に亘る前記出力値を取得し、それらの出力値に基づいて新たな測定における１又は複数の前記分析用機器の閾値を設定する閾値設定部とを備えるようにして、例えば、突発的な異常時における分析用機器の出力値が閾値を超えるように、閾値の値を設定しておけば、その異常を検出できるので、以上が検出されない限りはセンサや部品には不具合は起こっていないと判断し、環境変化があったものと判断することもできる。

その他、本発明は前記実施形態に限られず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能であるのは言うまでもない。

センサに明らかな異常が発生していない場合であっても、センサが出力する測定値が本来出力されるべき値からずれていることを検知でき、さらに複数のセンサのうち、どのセンサの出力値が本来の値からずれているのかを特定することができる。

Claims (10)

1. ３つ以上のセンサと、これらセンサの出力値を監視する出力監視部とを備える測定装置であって、
   前記出力監視部が、前記センサのうち、第１のセンサ以外の少なくとも１つのセンサを含む第１センサ群の各センサの出力値に基づいて、前記第１のセンサの推定出力値を算出し、
   前記第１のセンサ以外の少なくとも１つのセンサを含むセンサ群であって、前記第１センサ群とは異なる第２センサ群の各センサの出力値に基づいて、前記第１のセンサの推定出力値を算出し、
   第１のセンサについて算出された複数の推定出力値のそれぞれと前記第１のセンサによって実際に測定された実測値とを比較して、第１のセンサについての各前記推定出力値と前記実測値との差又は比が予め定めた許容範囲内にあるかどうかを判断し、
   前記第１のセンサの出力値に基づいて、前記第１センサ群に含まれるセンサである第２のセンサの推定出力値を算出し、
   前記第２センサ群の各センサの出力値に基づいて、前記第２のセンサの推定出力値を算出し、
   第２のセンサについて算出された複数の推定出力値のそれぞれと前記第２のセンサによって実際に測定された実測値とを比較して、第２のセンサについての各前記推定出力値と前記実測値との差又は比が予め定めた許容範囲内にあるかどうかを判断するものであることを特徴とする測定装置。
2. 前記第１のセンサ及び前記第２のセンサが互いに異なる種類のセンサであることを特徴とする請求項１に記載の測定装置。
3. 前記各推定出力値と前記実測値との差又は比が予め定めた許容範囲内にあるかどうかを判断することによって、各センサの出力値の間の現在の相関関係がこれまでの相関関係から外れたかどうかを判断するものである請求項１又は２に記載の測定装置。
4. 各センサの出力値の間の現在の相関関係がこれまでの相関関係から外れた場合に、その原因がセンサ又は部品の不具合により各センサの出力値が本来出力されるべき値からずれたことが原因であるのか否かを判断するものである請求項３記載の測定装置。
5. 前記センサが、サンプルの導電率、比抵抗、ORP、濁度、色度、温度、圧力、油膜、及び前記サンプルに含まれる各種物質の濃度のうちいずれか一種以上を測定するものであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の測定装置。
6. 前記センサが、サンプルの導電率、比抵抗、ORP、濁度、色度、温度、圧力、油膜、及び前記サンプルに含まれる各種物質の濃度のうちいずれか一種以上を測定するものであり、異なる種類の前記センサを複数備えることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の測定装置。
7. 前記推定出力値を回帰分析によって算出することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載の測定装置。
8. 水質分析に使用されるものである請求項１乃至７のいずれか一項に記載の測定装置。
9. ３つ以上のセンサのうち、第１のセンサ以外の少なくとも１つのセンサを含む第１センサ群からの出力値に基づいて、前記第１のセンサの推定出力値を算出し、
   前記第１のセンサ以外の少なくとも１つのセンサを含むセンサ群であって、前記第１センサ群とは異なる第２センサ群からの出力値に基づいて、前記第１のセンサの推定出力値を算出し、
   第１のセンサについて算出された複数の推定出力値のそれぞれと前記第１のセンサによって実際に測定された実測値とを比較して、第１のセンサについての各前記推定出力値と前記実測値との差又は比が予め定めた許容範囲内にあるかどうかを判断し、
   前記第１のセンサの出力値に基づいて、前記第１センサ群に含まれるセンサである第２のセンサの推定出力値を算出し、
   前記第２センサ群の各センサの出力値に基づいて、前記第２のセンサの推定出力値を算出し、
   第２のセンサについて算出された複数の推定出力値のそれぞれと前記第２のセンサによって実際に測定された実測値とを比較して、第２のセンサについての各前記推定出力値と前記実測値との差又は比が予め定めた許容範囲内にあるかどうかを判断することを特徴とするセンサ出力監視方法。
10. ３つ以上のセンサのうち、第１のセンサ以外の少なくとも１つのセンサを含む第１センサ群の各センサの出力値に基づいて、前記第１のセンサの推定出力値を算出し、
    前記第１のセンサ以外の少なくとも１つのセンサを含むセンサ群であって、前記第１センサ群とは異なる第２センサ群の各センサの出力値に基づいて、前記第１のセンサの推定出力値を算出し、
    第１のセンサについて算出された複数の推定出力値のそれぞれと前記第１のセンサによって実際に測定された実測値とを比較して、第１のセンサについての各前記推定出力値と前記実測値との差又は比が予め定めた許容範囲内にあるかどうかを判断し、
    前記第１のセンサの出力値に基づいて、前記第１センサ群に含まれるセンサである第２のセンサの推定出力値を算出し、
    前記第２センサ群の各センサの出力値に基づいて、前記第２のセンサの推定出力値を算出し、
    第２のセンサについて算出された複数の推定出力値のそれぞれと前記第２のセンサによって実際に測定された実測値とを比較して、第２のセンサについての各前記推定出力値と前記実測値との差又は比が予め定めた許容範囲内にあるかどうかを判断することを特徴とするセンサ出力監視プログラム。

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