JP7637511B2

JP7637511B2 - 連結機構

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Publication number: JP7637511B2
Application number: JP2021000615A
Authority: JP
Inventors: ブレハトーマス
Original assignee: VAT Holding AG
Current assignee: VAT Holding AG
Priority date: 2020-01-29
Filing date: 2021-01-05
Publication date: 2025-02-28
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Description

本発明は、バルブブロッドを真空バルブの閉塞部材に連結するための連結機構であって、
前記バルブロッドに対して連結可能なもしくは連結されている、または、一体成形されている第１連結要素と、
前記閉塞部材に対して連結可能なもしくは連結されている、または、一体成形されている第２連結要素と、
前記第１連結要素および前記第２連結要素の間に配置された連結部材と、を備えている連結機構に関する。

また、本発明は、バルブロッドにより支持され、バルブ開口部を開放する開位置と、前記バルブ開口部を閉塞する閉位置と、の間で変位可能な閉塞部材を備え、
前記閉塞部材が前記バルブロッドに対して連結機構により連結されている真空バルブに関する。

通常は板状に形成された閉塞部材をバルブロッドに連結するために、閉塞部材とバルブロッドとを、ねじを用いて連結する方法が知られている。

真空バルブの閉状態における既存の許容誤差によらず、真空バルブの閉状態における閉塞部材とバルブシートとの間に配置された弾性シール部材の均一的な押圧を実現するため、弾性シール部材は一般的に閉塞部材に取り付けられ、閉塞部材がバルブロッドに対して可動であることが知られている。例えば、バルブロッドと、その中に力伝達部材が配置された弾性ブロックを有するプレート状の閉塞部材との間の連結機構が提案されている（例えば、特許文献１参照）。閉塞部材がバルブシートに押し付けられると、閉塞部材がバルブロッドに対してある程度は旋回することができる。

閉塞部材がバルブロッドに対して移動することを可能にする、閉塞部材とバルブロッドとの間のさらなる連結機構が提案されている（例えば、特許文献２および３参照）。

ねじれ可能な横梁部材を備えた、バルブロッドと閉塞部材との連結機構が提案されている（例えば、特許文献４参照）。横梁部材がねじられることにより、バルブロッドに対する閉塞部材の特定の旋回が可能になる。

米国特許公開公報ＵＳ２００２／０１３０２８８Ａ１米国特許公報ＵＳ７１３４６４２Ｂ２米国特許公報ＵＳ３８３７６１７米国特許公開公報ＵＳ２０１１／０１０８７５０Ａ１

本発明の目的は、閉塞部材を２つの相互に垂直な軸線のまわりでバルブロッドに対して位置を調整することができるような、バルブロッドを真空バルブの閉塞部材に連結するための有利な連結機構を提供することである。

本発明によれば、この目的は、請求項１に記載の特徴を有する連結機構によって達成される。本発明に係る真空バルブは、請求項１０に記載の特徴を有している。
本発明に係る連結機構は、２つの円筒によって構成される部材としての石工道具の基本形状を有する連結部材を備えている。したがって、連結部材は、第１軸線を取り囲む円筒面の一部により構成されている１次接触面と、第１軸線に対して垂直な第２軸線を取り囲む円筒面の一部により構成されている２次接触面と、を有している。

連結部材は、第１連結要素の第１アーム突起部の間隙および第２連結要素の第２アーム突起部の間隙に配置されている。第１連結要素の第１アーム突起部は、第１軸線を取り囲む円筒面の一部により構成されている１次対向接触面を有し、第２連結要素の第２アーム突起部は、第２軸線を取り囲む円筒面の一部により構成されている２次対向接触面を有している。１次対向接触面は連結部材の１次接触面と接触し、２次対向接触面は連結部材の２次接触面と接触している。

第１連結要素の第１アーム突起部は、当該第１アーム突起部の自由端に連続または隣接し、かつ、当該自由端に向かうにつれて相互に接近している部分を有している。第２連結要素の第２アーム突起部は、当該第２アーム突起部の自由端に連続または隣接し、かつ、当該自由端に向かうにつれて相互に接近している部分を有している。連結部材は、第１連結要素の軸線方向について当該第１連結要素から引き離される事態が確実に防止され、かつ、第２連結要素の軸線方向につい当該第２連結要素から引き離される事態が確実に防止される。

本発明の構成によれば、第２連結要素は、石工道具の一部により構成され、２つの円筒の軸線に対応する、相互に垂直な２つの軸線のまわりで第１連結要素に対して変位することができる。したがって、相互に垂直な当該２つの軸線のまわりでバルブロッドに対して閉塞部材の位置調節が可能になる。

本発明の有利な実施形態では、連結部材は、第１軸線に垂直な平面にある１次溝と、第２軸線に垂直な平面にある２次溝と、を有している。第１連結要素に対して固定された第１締結要素は１次溝に突き出され、第２連結要素に対して固定された第２締結要素は２次溝に突き出されている。

第１締結要素が１次溝に係合することにより、連結部材と第１連結要素との間に形状適合的な連結が実現され、第１連結要素が第１軸線に対して平行な方向について連結部材から引き離される事態が防止される。第２締結要素が第２溝に係合することにより、連結部材と第２連結要素との間に形状適合的な連結が実現され、第２連結要素が第２軸線に対して平行な方向について連結部材から引き離される事態が防止される。

第１締結要素および第２締結要素は、好ましくは、ピン形状に構成され、連結部材の穿孔部に配置されている。この場合、締結要素は、それらの縦軸線方向についての中央部分において、それらの全周の少なくとも一部にわたり、それぞれの溝に突き出される。第１締結要素が配置されている第１穿孔部は、第１軸線に対して垂直に延在し、第２締結要素が配置されている第２穿孔部は、第２軸線に対して垂直に延在していることが好ましい。

連結部材は、第１締結要素と第２締結要素との間で締結されることが好ましい。このようにして、適切ないわゆる重い歩行または摩擦係止が実現される。第１連結要素および第２連結要素の間に作用する係止力または摩擦力を超える力を作用させることによってのみ、第１連結要素が第２連結要素に対して動かされる。これにより、当該係止力を超える力を作用させて真空バルブが初めて閉じられた際に、閉塞部材がこれに応じて変位して新たな位置に維持される。したがって、その後の閉塞過程では、第２連結要素に対して第１連結要素がさらに変位することはなく、その結果として真空において望ましくないパーティクルの発生が回避される。

本発明のさらなる利点および詳細は、添付の図面を参照して以下に説明される。

バルブロッドと閉塞部材との本発明に係る連結機構を備えている、閉塞部材が開位置にある状態における真空バルブの斜視図。閉塞部材が閉位置にある状態における図１に対応する斜視図。真空バルブの側面図。真空バルブの正面図。図４の断面線Ａ－Ａに沿った（基体３および連結部材４のみが切断されている）断面図。連結機構、バルブロッド、バルブロッドを取り囲むベローズおよびベローズに取り付けられたフランジを備えている真空バルブの一部をバルブロッドに対して垂直な方向から臨む側面図。図６の断面線Ｂ－Ｂに沿った断面図。バルブロッドの縦軸線のまわりに９０°だけ回転した方向から臨む図６に示されている真空バルブの一部の側面図。図８の断面線Ｃ－Ｃに沿った断面図。図６に示されている真空バルブの一部の斜視図。第１方向から臨んだ連結機構を露出させた図６に示されている真空バルブの一部の分解図。第２方向から臨んだ連結機構を露出させた図６に示されている真空バルブの一部の分解図。第３方向から臨んだ連結機構を露出させた図６に示されている真空バルブの一部の分解図。第４方向から臨んだ連結機構を露出させた図６に示されている真空バルブの一部の分解図。第１連結要素に対して第２連結要素が旋回状態にある図６に対応する図。第１連結要素に対して第２連結要素が旋回状態にある図８に対応する図。スケールが異なり、かつ、部分的に簡略化されて示されている本発明の第２実施形態に関する説明図。

本発明に係る連結機構を備えている真空バルブの第１実施形態に関して図１～図１６を参照しながら以下に説明する。

真空バルブは、バルブプレートまたはバルブディスクとも呼ばれる平板状の閉塞部材１を有している。閉塞部材１は、開位置（図１参照）および閉位置（図２参照）の間で変位可能である。閉塞部材１の開位置ではバルブ開口部２が開放され、閉位置ではバルブ開口部２が閉塞部材１によって閉塞される。バルブ開口部２は基体３に配置されている。

閉塞部材１は、バルブロッド４により支持されている。本実施形態では、バルブロッド４が軸線方向に変位することによって、閉塞部材１が開位置と閉位置との間で位置調節される。本発明の他の実施形態では、例えば、既知のように、バルブロッドの軸線方向への変位と、これに続くバルブロッドの傾動またはその縦軸線に対して垂直な方向へのバルブロッドの変位と、によって閉塞部材１が、Ｌ字形状軌道またはＪ字形状軌道に沿って開位置と閉位置との間で位置調整されてもよい。

本実施形態では、閉塞部材１を開位置と閉位置との間で位置調節するため、空気圧式のピストンシリンダユニットにより構成されている駆動機構５が用いられて、バルブロッド４が駆動される。バルブロッド４は、このピストンシリンダユニットのピストンロッドに連結され、または、ピストンロッドと一体的に形成されている。

バルブロッド４は、閉塞部材１が配置されている真空領域から密閉されている。本実施形態では、この目的のためにベローズ６が用いられている。ベローズ６の一端部が第１連結要素１０（後で説明する。）に対して連結され、ベローズ６の他端部が基体３に対して真空気密に連結可能なフランジ７に対して連結されている。

エラストマー材料で作製された環状のシール部材８が、真空バルブの閉状態において閉塞部材１および基体３の間を封止するために用いられる。本実施形態では、シール部材８が閉塞部材１に取り付けられている。バルブ開口部２が、シール部材８が閉塞部材１の閉位置においてシールシートを形成するシール面によって囲まれている。これとは逆の配置態様（基体３にシールリングが設けられ、閉塞部材１にシール面が設けられる態様）も可能である。

基体３は、図１～図５のそれぞれに部分的にのみ示されている真空チャンバであってもよい。連結部材９が、開口部の領域で真空チャンバに対して（図示されていないネジによって）取り付けられ、真空チャンバと連結部材９との真空気密な連結のために配置されたシール部材８が真空チャンバの開口部を取り囲んでいる。駆動機構５は連結部材９の外側に固定され、バルブロッド４は連結部材９のチャネルを通り、フランジ７は連結部材の内側に（シールリングを介在させて）固定されている。通気孔がチャネルに連通し、バルブロッド４を案内するためのガイドブッシング（図示略）がチャネルの内側に配置されている。

他の実施形態において、基体３は、閉塞部材１の開位置でバルブハウジングを通る貫通チャネルを構成するためのさらなる開口部を有する一部のみが示されているバルブハウジングであってもよい。このようなバルブハウジングは、例えば、２つの真空チャンバの間に連結されてもよい。

バルブ開口部２が真空チャンバの壁部の開口部に連通する（バルブ開口部２を取り囲むシールリングがチャンバの壁部と基体３との間に配置される）ように、基体３が真空チャンバに対して挿入部品として挿入されるバルブ本体の形態で設計されていてもよい。

連結機構は、バルブロッド４を閉塞部材１に対して連結するために用いられる。連結機構は、バルブロッド４に連結されている第１連結要素１０、閉塞部材１に連結されている第２連結要素１１および連結部材１２を含む。

第１連結要素１０は、例えば、螺着（ねじ込み）または溶接により、バルブロッド４に対して堅固に連結されている。第１連結要素１０およびバルブロッド４が一体的に成形され、同一の素材により作製されるように構成されてもよい。

第２連結要素１１は、本実施形態では、螺着（ねじ込み）により、閉塞部材１に対して堅固に連結されている。第２連結要素１１は閉塞部材１に対して溶接されてもよく、第２連結要素１１は閉塞部材１が一体的に成形され、同一の素材により作製されるように構成されてもよい。

連結部材１２は、２つの円筒（「バイシリンダ」）の一部により構成されている石工道具（角切ノミ（シュタインメッツケルパー））の基本形状を有している。連結部材１２は、第１軸線１７を取り囲む円筒面の一部によって構成されている一対の１次接触面１３および１４、ならびに、第１軸線１７に対して垂直に延在している第２軸線１８を取り囲む円筒面の一部によって構成されている一対の２次接触面１５および１６を有している。

１次接触面１３、１４および２次接触面１５、１６には１次溝１９および２次溝２０が配置されている。１次溝１９は、１次接触面１３、１４を貫通し、第１軸線１７に垂直な平面において、第１連結要素１０に対向する連結部材１２の第１頂部２２に沿って延在している。２次溝２０は、２次接触面１５、１６を貫通し、第２軸線１８に対して垂直な平面において、第２連結要素１１に対向する連結部材１２の第２頂部２３に沿って延在している。本実施形態では、１次溝１９および２次溝２０のそれぞれは、連結部材１２の全周にわたって延在している。１次溝１９および２次溝２０のそれぞれは、第１頂部２２および第２頂部２３のそれぞれに連続または隣接するそれぞれの接触面１３～１６の領域においてのみ延在していてもよい。

本実施形態では、連結部材１２は、例えば第２軸線に平行に延在する、当該連結部材１２を貫通して延在する貫通孔２１を有している。当該貫通孔２１は省略されてもよい。

第１連結要素１０は、連結部材１２が配置される間隙を画定する一対の第１アーム突起部２４、２５を有している。第２連結要素１１は、連結部材１２が配置される間隙を画定する一対の第２アーム突起部２６、２７を有している。第１連結要素１８の第１アーム突起部２４、２５は、第１軸線１７を取り囲む円筒面の一部によって構成されている１次対向接触面２８、２９を有している。第２連結要素１１の第２アーム突起部２６、２７は、第２軸線１８を取り囲む円筒面の一部によって構成されている２次対向接触面３０、３１を有している。１次対向接触面２８、２９は、連結部材１２の１次接触面１３、１４に接触し、２次対向接触面３０、３１は、連結部材１２の２次接触面１５、１６に接触している。

一対の第１アーム突起部２４、２５のそれぞれの自由端に連続する部分は、一対の第１アーム突起部２４、２５の自由端に向かうにつれて徐々に接近している。すなわち、一対の第１アーム突起部２４、２５の間隙は、第１アーム突起部２４、２５の自由端に向かうにつれて狭くなる。同じことが、第２連結要素１１の第２アーム突起部２６、２７にも当てはまる。これにより、第１連結要素１０が、第１連結要素１０の第１縦軸線３２の方向について、連結部材１２および（第１軸線１７に対して垂直に延在する）バルブロッド４から引き離される事態が防止される。また、第２連結要素１１が、第２連結要素１１の（第２軸線１８に対して垂直に延在する）第２縦軸線３３の方向について、連結部材１２から引き離される事態が防止される。

ピン形状の第１締結要素３４は、第１連結要素１０が、第１軸線１７に平行な方向について連結部材１２から引き離される事態を防止する機能を発揮する。第１締結要素３４は、第１軸線１７に対して垂直に延在する第１連結要素１０の第１穿孔部３６に配置または収容されている。第１穿孔部３６は、その縦軸線方向の中央部分において、その全周の一部にわたり連結部材１２に対して開放されている。第１締結要素３４は、その縦軸線方向の中央部分において、その全周の一部にわたり連結部材１２の１次溝１９に突き出されている。

ピン状の第２締結要素３５は、第２連結要素１１が、第２軸線１８に平行な方向について、連結部材１２から引き離される事態を防止する機能を発揮する。第２締結要素３５は、第２軸線１８に対して垂直に延在する第２連結要素１１の第２穿孔部３７に配置または収容されている。第２穿孔部３７は、その縦軸線方向の中央部分において、その全周の一部にわたり連結部材１２に対して開放されている。第２締結要素３５は、その縦軸線方向の中央部分において、その全周の一部にわたり２次溝２０に突き出されている。

第１締結要素３４および第２締結要素３５のそれぞれの中央部分は、両端部に対して偏心または偏在している。したがって、各締結要素３４、３５が各穿孔部３６、３７に挿入された後、各締結要素３４、３５が回転されることによって連結部材１２に対して締結される。連結部材１２は、組み立てられた状態で第１締結要素３４および第２締結要素３５の間に締結される。

連結機構を組み立てるために、連結部材１２が、第１軸線１７に対して平行に第１連結要素１０の一対の第１アーム突起部２４、２５の間隙に挿通され、第１締結要素３４が第１穿孔部３６に挿入され、第１締結要素３４が回転されることにより当該間隙で固定される。その結果、第１連結要素１０に取り付けられた連結部材１２は、第２軸線１８に対して平行に第２連結要素１１の一対の第２アーム突起部２６、２７の間隙に挿通され、第２締結要素３５が第２穿孔部３７に挿入され、第２締結要素３５が回転されることにより連結部材１２に対して締結される。これとは逆の組み立て手順（最初に連結部材１２が第２連結要素１１に連結され、次に第１連結要素１０に連結されるような手順）も可能である。

連結機構が組み立てられた後で初めて閉塞部材１が閉位置に駆動された際、比較的大きい公差を補償するように、閉塞部材１はバルブシートとの角度ずれに適応することが可能である。これにより、第１連結要素１０と連結部材１２との間で作用する摩擦力にかかわらず、第１連結要素１０は、連結部材１２に対して第１軸線１７を中心に旋回することができる。付加的または代替的に、第２連結要素１１と連結部材１２との間で作用する摩擦力にかかわらず、連結部材１２は、第２連結要素１１に対して第２軸線１８を中心に旋回することができる。結果として、連結部材１２を現在位置に保持する摩擦により、第１連結要素１０に対する第２連結要素１１の位置が維持または保持される。

図１５には、第２連結要素１１が第１連結要素１０に対して第１軸線１７のまわりに第１角度３８だけ旋回した状態が示されている。図１６には、第２連結要素１１が第１連結要素１０に対して第２軸線１８のまわりに第２角度３９だけ旋回した状態が示されている。ここで、旋回角度は、実際よりも誇張されて示されている。

本発明の第２実施形態が図１７に示されている。第１実施形態との相違点は、第１締結要素３４および第２締結要素３５として、螺旋ピン（強力締結ピンとも呼ばれる。）が採用されている点である。螺旋ピンは鞘状であり、その縦軸線方向の全体に延在している軸線方向のスリットを有している。締結要素３４、３５が穿孔部３６、３７に押し込まれた後、連結部材１２は、締結要素３４、３５をそれらの軸線のまわりで回転させる必要なしに、締結要素３４、３５の間に締結されている。

本発明の実施形態は、本発明の技術的思想の範囲から逸脱することなく変更されてもよい。例えば、第１締結要素３４および第２締結要素３５は、ピン状とは異なる形状に形成されていてもよい。第１連結要素１０または第２連結要素１１との連結が異な形態であってもよい。例えば、球形の締結要素が、第１連結要素１０および第２連結要素１１のくぼみに配置され、それぞれのばね要素によってそれぞれの溝１９、２０の底部に押し付けられてもよい。

第１締結要素３４および／または第２締結要素３５がなくても、連結部材１２と第１連結要素１０および第２連結要素１１とが摩擦により安定に係止される場合、第１締結要素３４および／または第２締結要素３５が省略されてもよい。

１‥連結機構、２‥バルブ開口部、３‥基体、４‥バルブロッド、５‥駆動機構、６‥ベローズ、７‥フランジ、８‥シール部材、９‥コネクタ部材、１０‥第１連結要素、１１‥第２連結要素、１２‥連結部材、１３‥１次接触面、１４‥１次接触面、１５‥２次接触面、１６‥２次接触面、１７‥第１軸線、１８‥第２軸線、１９‥１次溝、２０‥２次溝、２１‥貫通孔、２２‥第１頂部、２３‥第２頂部、２４‥第１アーム突起部、２５‥第１アーム突起部、２６‥第２アーム突起部、２７‥第２アーム突起部、２８‥１次対向接触面、２９‥１次対向接触面、３０‥２次対向接触面、３１‥２次対向接触面、３２‥第１縦軸線、３３‥第２縦軸線、３４‥第１締結要素、３５‥第２締結要素、３６‥第１穿孔部、３７‥第２穿孔部、３８‥第１角度、３９‥第２角度。

Claims

バルブロッド（４）を真空バルブの閉塞部材（１）に連結するための連結機構であって、
前記バルブロッド（４）に対して連結可能なもしくは連結されている、または、一体成形されている第１連結要素（１０）と、
前記閉塞部材（１）に対して連結可能なもしくは連結されている、または、一体成形されている第２連結要素（１１）と、
前記第１連結要素（１０）および前記第２連結要素（１１）の間に配置された連結部材（１２）と、を備え、
前記連結部材（１２）が、２つの円筒により構成されている石工道具の一部をなす基本形状を有し、第１軸線（１７）を取り囲む円筒面の一部により構成されている１次接触面（１３）（１４）と、前記第１軸線（１７）に対して垂直に延在する第２軸線（１８）を取り囲む円筒面の一部により構成されている２次接触面（１５）（１６）と、を有し、
前記第１連結要素（１０）が、前記連結部材（１２）が配置される間隙をおいて配置されている第１アーム突起部（２４）（２５）を有し、
前記第２連結要素（１１）が、前記連結部材（１２）が配置される間隙をおいて配置されている第２アーム突起部（２６）（２７）を有し、
前記第１連結要素（１０）の前記第１アーム突起部（２４）（２５）が、前記第１軸線（１７）を取り囲む円筒面の一部により構成され、かつ、前記連結部材（１２）の前記１次接触面（１３）（１４）に接触する１次対向接触面（２８）（２９）を有し、
前記第２連結要素（１１）の前記第２アーム突起部（２６）（２７）が、前記第２軸線（１８）を取り囲む円筒面の一部により構成され、かつ、前記連結部材（１２）の前記２次接触面（１５）（１６）に接触する２次対向接触面（３０）（３１）を有し、
前記第１連結要素（１０）の前記第１アーム突起部（２４）（２５）が、その自由端に連続する部分において、当該自由端に向かって相互に近接し、
前記第２連結要素（１１）の前記第２アーム突起部（２６）（２７）が、その自由端に連続する部分において、当該自由端に向かって相互に近接し、
前記連結部材（１２）が、前記第１軸線（１７）に対して垂直な平面において延在する１次溝（１９）を有し、前記第１連結要素（１０）に対して固定されている第１締結要素（３４）が前記１次溝（１９）に突き出され、
前記連結部材（１２）が、前記第２軸線（１８）に対して垂直な平面において延在する２次溝（２０）を有し、前記第２連結要素（１１）に対して固定されている第２締結要素（３５）が前記２次溝（２０）に突き出され、
前記連結部材（１２）が、前記第１締結要素（３４）および前記第２締結要素（３５）の間で締結されている
連結機構。
請求項１に記載の連結機構において、
ピン状に形成された前記第１締結要素（３４）が、前記第１連結要素（１０）の第１穿孔部（３６）に配置され、ピン状に形成された前記第２締結要素（３５）が、前記第２連結要素（３７）の第２穿孔部（３７）に配置されている
連結機構。
請求項２に記載の連結機構において、
前記第１締結要素（３４）が、その縦軸線方向の中央部分において少なくともその全周の一部にわたり前記１次溝（１９）に突き出され、
前記第２締結要素（３５）が、その縦軸線方向の中央部分において少なくともその全周の一部にわたり前記２次溝（２０）に突き出されている
連結機構。
請求項２または３に記載の連結機構において、
前記第１連結要素（１０）の前記第１穿孔部（３６）が、前記第１軸線（１７）に対して垂直に延在し、
前記第２連結要素（１１）の前記第２穿孔部（３７）が、前記第２軸線（１８）に対して垂直に延在している
連結機構。
請求項１に記載の連結機構において、
前記１次溝（１９）が、前記第１連結要素（１０）に対向する前記連結部材（１２）の第１頂部（２２）に沿って延在し、かつ、少なくとも前記連結部材（１２）の前記第１頂部（２２）の反対側に連続する、前記１次接触面（１４）の領域において延在し、
前記２次溝（２０）が、前記第２連結要素（１１）に対向する前記連結部材（１２）の第２頂部（２３）に沿って延在し、かつ、少なくとも前記連結部材（１２）の前記第２頂部（２３）の反対側に連続する、前記２次接触面（１５）（１６）の領域において延在している
連結機構。
請求項１～５のうちいずれか１項に記載の連結機構において、
前記第１締結要素（３４）および前記第２締結要素（３５）のそれぞれの中央部分が、前記第１締結要素（３４）および前記第２締結要素（３５）のそれぞれの両端部に対して偏在している
連結機構。
請求項１～５のうちいずれか１項に記載の連結機構において、
前記第１締結要素（３４）および前記第２締結要素（３５）のそれぞれが、螺旋ピンとして構成されている
連結機構。
バルブロッド（４）により支持され、バルブ開口部（２）を開放する開位置と、前記バルブ開口部（２）を閉塞する閉位置と、の間で変位可能な閉塞部材（１）を備え、
前記閉塞部材（１）が前記バルブロッド（４）に対して連結機構により連結され、
前記連結機構が、請求項１～７のうちいずれか１項に記載の連結機構により構成されている
真空バルブ。