JP7637534B2

JP7637534B2 - Servo valve and fluid device

Info

Publication number: JP7637534B2
Application number: JP2021039502A
Authority: JP
Inventors: 英紀瀬畑; 優柴田; 慧太朗大塩
Original assignee: Nabtesco Corp
Current assignee: Nabtesco Corp
Priority date: 2021-03-11
Filing date: 2021-03-11
Publication date: 2025-02-28
Anticipated expiration: 2041-03-11
Also published as: JP2022139219A

Description

本発明は、サーボバルブ及び流体装置に関する。 The present invention relates to a servo valve and a fluid device.

特許文献１に記載のようなサーボバルブは、スリーブ内にスプールが配置され、スリーブとスプールとがスプリングで連結されている。スプリングは、スプールを閉位置に留めさせる。サーボバルブは、スプールが閉位置から移動することで作動流体の供給経路が開く装置である。 In a servo valve such as that described in Patent Document 1, a spool is disposed within a sleeve, and the sleeve and spool are connected by a spring. The spring holds the spool in a closed position. A servo valve is a device in which the supply path for the working fluid opens when the spool moves from the closed position.

米国特許第２８８４９０７号明細書U.S. Pat. No. 2,884,907

ところで、サーボバルブは、圧力及び流量の変動時に安定した動作が求められるため、スプールのスムーズな移動が必要である。一方で、スリーブとスプールとの隙間は、内部漏洩の要求を満足させるため広げることが難しい。 Since servo valves are required to operate stably when pressure and flow rate fluctuate, smooth movement of the spool is necessary. On the other hand, it is difficult to widen the gap between the sleeve and the spool in order to satisfy the requirements for internal leakage.

上記課題を解決するサーボバルブは、円筒状のスリーブと、前記スリーブの内部に位置して閉位置から移動することで流体の供給経路を開く円柱状のスプールと、前記スプールと連結して前記スプールを前記閉位置に留まらせるスプリングと、を備え、前記スリーブは、前記スプリングが貫通するための孔が形成された孔形成部と、前記スリーブが変形したときにおける前記スプールの中心軸に対して前記スリーブの中心軸の変位が前記スリーブと前記スプールとの隙間未満とする変形抑制部と、を備える。 The servo valve that solves the above problem comprises a cylindrical sleeve, a cylindrical spool that is located inside the sleeve and opens the fluid supply path by moving from a closed position, and a spring that connects to the spool to keep the spool in the closed position, and the sleeve comprises a hole forming portion in which a hole is formed for the spring to pass through, and a deformation suppression portion that prevents the displacement of the center axis of the sleeve relative to the center axis of the spool when the sleeve is deformed from being less than the gap between the sleeve and the spool.

上記構成によれば、スリーブにスプリングが貫通するための孔があることでスリーブの変形が円周上で同じではない。そのため、スリーブに変形抑制部を設けることで、スリーブの変形量をスリーブとスプールとの隙間未満とすることができる。よって、スリーブとスプールとの隙間を広げることなく、スプールをスムーズに移動させることができる。 According to the above configuration, the sleeve has a hole through which the spring passes, so the deformation of the sleeve is not uniform around the circumference. Therefore, by providing a deformation suppression section on the sleeve, the amount of deformation of the sleeve can be made less than the gap between the sleeve and the spool. This allows the spool to move smoothly without widening the gap between the sleeve and the spool.

上記サーボバルブについて、前記変形抑制部は、前記スリーブの軸方向の中央に設けられることが好ましい。
上記サーボバルブについて、前記変形抑制部は、前記孔が位置する側に設けられる溝を含むことが好ましい。 In the servo valve described above, it is preferable that the deformation suppression portion is provided at the center of the sleeve in the axial direction.
In the servo valve described above, it is preferable that the deformation suppression portion includes a groove provided on the side where the hole is located.

上記サーボバルブについて、前記変形抑制部は、前記孔が位置する側と反対側に設けられる補強部を含むことが好ましい。
上記課題を解決するサーボバルブは、円筒状のスリーブと、前記スリーブの内部に位置する円柱状のスプールと、前記スプールと連結して前記スプールを閉位置に留まらせるスプリングと、を備え、前記スプールは、前記スプリングを連結するための孔が形成された孔形成部と、前記スプールが変形したときにおける前記スリーブの中心軸に対する前記スプールの中心軸の変位を前記スリーブと前記スプールとの隙間未満とする変形抑制部と、を備える。 In the servo valve described above, it is preferable that the deformation suppression portion includes a reinforcing portion provided on a side opposite to the side on which the hole is located.
A servo valve that solves the above problem comprises a cylindrical sleeve, a cylindrical spool located inside the sleeve, and a spring that connects to the spool to keep the spool in a closed position, the spool comprising a hole forming portion having a hole for connecting the spring, and a deformation suppression portion that keeps the displacement of the central axis of the spool relative to the central axis of the sleeve when the spool is deformed to less than the gap between the sleeve and the spool.

上記構成によれば、スプールにスプリングを連結するための孔があることでスプールの変形が円周上で同じではない。そのため、スプールに変形抑制部を設けることで、スプールの変形量をスリーブとスプールとの隙間未満とすることができる。よって、スリーブとスプールとの隙間を広げることなく、スプールをスムーズに移動させることができる。 According to the above configuration, the spool has a hole for connecting the spring, so the deformation of the spool is not uniform around the circumference. Therefore, by providing a deformation suppression section on the spool, the amount of deformation of the spool can be made less than the gap between the sleeve and the spool. This allows the spool to move smoothly without widening the gap between the sleeve and the spool.

上記サーボバルブについて、前記変形抑制部は、前記スプールの軸方向の中央に設けられることが好ましい。
上記サーボバルブについて、前記変形抑制部は、前記孔が位置する側と反対側に設けられる凹部を含むことが好ましい。 In the servo valve described above, it is preferable that the deformation suppression portion is provided at the center of the spool in the axial direction.
In the servo valve described above, it is preferable that the deformation suppression portion includes a recess provided on the side opposite to the side on which the hole is located.

上記サーボバルブについて、前記変形抑制部は、前記孔が位置する側に設けられる補強部を含むことが好ましい。
上記サーボバルブについて、前記変形抑制部は、前記孔のある部分に接続されるシャフトの中心軸を前記孔のある側へ偏心させることが好ましい。 In the servo valve described above, it is preferable that the deformation suppression portion includes a reinforcing portion provided on the side where the hole is located.
In the servo valve described above, it is preferable that the deformation suppression portion offsets a central axis of the shaft connected to the portion having the hole toward the side having the hole.

上記課題を解決するサーボバルブは、円筒状のスリーブと、前記スリーブの内部に位置して閉位置から移動することで流体の供給経路を開く円柱状のスプールと、前記スプールと連結して前記スプールを前記閉位置に留まらせるスプリングと、を備え、前記スリーブは、前記スプリングが貫通するための第１孔が形成された第１孔形成部と、前記スリーブが変形したときにおける前記スプールの中心軸に対して前記スリーブの中心軸の変位が前記スリーブと前記スプールとの隙間未満とする第１変形抑制部と、を備え、前記スプールは、前記スプリングを連結するための第２孔が形成された第２孔形成部と、前記スプールが変形したときにおける前記スリーブの中心軸に対する前記スプールの中心軸の変位を前記スリーブと前記スプールとの隙間未満とする第２変形抑制部と、を備える。 The servo valve that solves the above problem comprises a cylindrical sleeve, a cylindrical spool that is located inside the sleeve and opens the fluid supply path by moving from a closed position, and a spring that connects to the spool to keep the spool in the closed position, the sleeve comprises a first hole forming portion having a first hole through which the spring passes, and a first deformation suppressing portion that prevents the displacement of the central axis of the sleeve relative to the central axis of the spool when the sleeve is deformed from being less than the gap between the sleeve and the spool, and the spool comprises a second hole forming portion having a second hole for connecting the spring, and a second deformation suppressing portion that prevents the displacement of the central axis of the spool relative to the central axis of the sleeve when the spool is deformed from being less than the gap between the sleeve and the spool.

上記構成によれば、スリーブにスプリングが貫通するための第１孔があることでスリーブの変形が円周上で同じではない。そのため、スリーブに第１変形抑制部を設けることで、スリーブの変形量をスリーブとスプールとの隙間未満とすることができる。また、スプールにスプリングを連結するための第２孔があることでスプールの変形が円周上で同じではない。そのため、スプールに第２変形抑制部を設けることで、スプールの変形量をスリーブとスプールとの隙間未満とすることができる。よって、スリーブとスプールとの隙間を広げることなく、スプールをスムーズに移動させることができる。 According to the above configuration, the sleeve has a first hole through which the spring passes, so the deformation of the sleeve is not uniform around the circumference. Therefore, by providing a first deformation suppression section on the sleeve, the amount of deformation of the sleeve can be made less than the gap between the sleeve and the spool. Furthermore, the spool has a second hole through which the spring is connected, so the deformation of the spool is not uniform around the circumference. Therefore, by providing a second deformation suppression section on the spool, the amount of deformation of the spool can be made less than the gap between the sleeve and the spool. Therefore, the spool can be moved smoothly without widening the gap between the sleeve and the spool.

上記課題を解決する流体装置は、円筒状のスリーブと、前記スリーブの内部に位置して閉位置から移動することで流体の供給経路を開く円柱状のスプールと、前記スプールと連結して前記スプールを前記閉位置に留まらせるスプリングと、を備えるサーボバルブと、前記スプールが前記スリーブの内部で移動されることで供給される流体によって駆動するアクチュエータと、を備え、前記スリーブは、前記スプリングが貫通するための孔が形成された孔形成部と、前記スリーブが変形したときにおける前記スプールの中心軸に対して前記スリーブの中心軸の変位を前記スリーブと前記スプールとの隙間未満とする変形抑制部と、を備える。 The fluid device that solves the above problem includes a servo valve including a cylindrical sleeve, a cylindrical spool that is located inside the sleeve and opens a fluid supply path by moving from a closed position, and a spring that connects with the spool to keep the spool in the closed position, and an actuator that is driven by fluid supplied by moving the spool inside the sleeve, and the sleeve includes a hole forming portion in which a hole is formed for the spring to pass through, and a deformation suppression portion that suppresses the displacement of the center axis of the sleeve relative to the center axis of the spool when the sleeve is deformed to be less than the gap between the sleeve and the spool.

上記構成によれば、スリーブにスプリングが貫通するための孔があることでスリーブの変形が円周上で同じではない。そのため、スリーブに変形抑制部を設けることで、スリーブの変形量をスリーブとスプールとの隙間未満とすることができる。よって、スリーブとスプールとの隙間を広げることなく、スプールをスムーズに移動させることができる。ひいてはアクチュエータをスムーズに駆動することができる。 According to the above configuration, the sleeve has a hole through which the spring passes, so the deformation of the sleeve is not uniform around the circumference. Therefore, by providing a deformation suppression section on the sleeve, the amount of deformation of the sleeve can be made less than the gap between the sleeve and the spool. This allows the spool to move smoothly without widening the gap between the sleeve and the spool. This in turn allows the actuator to be driven smoothly.

上記課題を解決する流体装置は、円筒状のスリーブと、前記スリーブの内部に位置する円柱状のスプールと、前記スプールと連結して前記スプールを閉位置に留まらせるスプリングと、を備えるサーボバルブと、前記スプールが前記スリーブの内部で移動されることで供給される流体によって駆動するアクチュエータと、を備え、前記スプールは、前記スプリングを連結するための孔が形成された孔形成部と、前記スプールが変形したときにおける前記スリーブの中心軸に対する前記スプールの中心軸の変位を前記スリーブと前記スプールとの隙間未満とする変形抑制部と、を備える。 The fluid device that solves the above problem includes a servo valve including a cylindrical sleeve, a cylindrical spool located inside the sleeve, and a spring that connects to the spool to keep the spool in a closed position, and an actuator that is driven by fluid supplied as the spool moves inside the sleeve, and the spool includes a hole forming section in which a hole for connecting the spring is formed, and a deformation suppressing section that prevents the displacement of the central axis of the spool relative to the central axis of the sleeve when the spool is deformed from being less than the gap between the sleeve and the spool.

上記構成によれば、スプールにスプリングを連結するための孔があることでスプールの変形が円周上で同じではない。そのため、スプールに変形抑制部を設けることで、スプールの変形量をスリーブとスプールとの隙間未満とすることができる。よって、スリーブとスプールとの隙間を広げることなく、スプールをスムーズに移動させることができる。ひいてはアクチュエータをスムーズに駆動することができる。 According to the above configuration, the spool has a hole for connecting the spring, so the deformation of the spool is not uniform around the circumference. Therefore, by providing a deformation suppression section on the spool, the amount of deformation of the spool can be made less than the gap between the sleeve and the spool. This allows the spool to move smoothly without widening the gap between the sleeve and the spool. This in turn allows the actuator to be driven smoothly.

本発明によれば、スリーブとスプールとの隙間を広げることなく、スプールをスムーズに移動させることができる。 According to the present invention, the spool can be moved smoothly without widening the gap between the sleeve and the spool.

サーボバルブを備えた流体装置の概略構成を示す概略図。FIG. 1 is a schematic diagram showing a schematic configuration of a fluid device including a servo valve. サーボバルブのスリーブを示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view showing a sleeve of a servo valve. サーボバルブのスリーブを示す側面図。FIG. 4 is a side view showing a sleeve of the servo valve. サーボバルブのスプールを示す斜視図。FIG. 4 is a perspective view showing a spool of a servo valve. サーボバルブのスプールを示す側面図。FIG. 4 is a side view showing a spool of a servo valve. サーボバルブのスリーブにスプールを組み付け状態を示す軸方向断面図。FIG. 4 is an axial cross-sectional view showing a state in which a spool is assembled to a sleeve of a servo valve. サーボバルブのスリーブとスプールとの隙間を示す横断面図。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a gap between a sleeve and a spool of a servo valve. サーボバルブのスリーブの変形例を示す側面図。FIG. 13 is a side view showing a modified example of the sleeve of the servo valve. サーボバルブのスリーブの変形例を示す側面図。FIG. 13 is a side view showing a modified example of the sleeve of the servo valve. サーボバルブのスリーブの変形例を示す側面図。FIG. 13 is a side view showing a modified example of the sleeve of the servo valve. サーボバルブのスリーブの変形例を示す側面図。FIG. 13 is a side view showing a modified example of the sleeve of the servo valve. サーボバルブのスプールの変形例を示す側面図。FIG. 13 is a side view showing a modified example of the spool of the servo valve. サーボバルブのスプールの変形例を示す側面図。FIG. 13 is a side view showing a modified example of the spool of the servo valve. サーボバルブのスプールの変形例を示す側面図。FIG. 13 is a side view showing a modified example of the spool of the servo valve.

以下、図１～図７を参照して、サーボバルブを備えた流体装置の一実施形態について説明する。
図１に示すように、流体装置１は、サーボバルブ２と、アクチュエータ７０とを備えている。サーボバルブ２は、油圧によってアクチュエータ７０の駆動を無段階に制御可能である。サーボバルブ２は、ノズル１０と、レシーバ２０と、トルクモータ３０と、スプールバルブ４とを備えている。 Hereinafter, one embodiment of a fluid device including a servo valve will be described with reference to FIGS.
1, the fluid device 1 includes a servo valve 2 and an actuator 70. The servo valve 2 can steplessly control the drive of the actuator 70 by hydraulic pressure. The servo valve 2 includes a nozzle 10, a receiver 20, a torque motor 30, and a spool valve 4.

ノズル１０は、流入口１１及び吐出口１２を備えている。流入口１１には、作動流体を供給する供給源である第１ポンプ３が接続されている。ノズル１０は、供給された作動流体を吐出口１２からレシーバ２０に吐出する。 The nozzle 10 has an inlet 11 and an outlet 12. The inlet 11 is connected to a first pump 3, which is a supply source for supplying the working fluid. The nozzle 10 discharges the supplied working fluid from the outlet 12 to the receiver 20.

レシーバ２０には、左流入口２１及び右流入口２２が形成されている。左流入口２１及び右流入口２２には、ノズル１０の吐出口１２から作動流体が流入する。レシーバ２０には、左流路２３及び右流路２４が形成されている。左流路２３は、左流入口２１から左下方に延び、左流出口２５で終端する。右流路２４は、右流入口２２から右下方に延び、右流出口２６で終端する。左流出口２５及び右流出口２６は、レシーバ２０の外面に形成され、スプールバルブ４に接続される。 The receiver 20 is formed with a left inlet 21 and a right inlet 22. Working fluid flows into the left inlet 21 and the right inlet 22 from the discharge port 12 of the nozzle 10. The receiver 20 is formed with a left flow path 23 and a right flow path 24. The left flow path 23 extends downward and left from the left inlet 21 and terminates at the left outlet 25. The right flow path 24 extends downward and right from the right inlet 22 and terminates at the right outlet 26. The left outlet 25 and the right outlet 26 are formed on the outer surface of the receiver 20 and are connected to the spool valve 4.

トルクモータ３０は、左コイル３１と、右コイル３２と、上磁極片３３と、下磁極片３４と、磁性ロッド３５とを備えている。上磁極片３３は、略円筒状に形成されている。下磁極片３４は、上磁極片３３と同様に、略円筒状に形成されている。左コイル３１は、上磁極片３３と下磁極片３４とに収容される。右コイル３２は、上磁極片３３と下磁極片３４とに収容される。上磁極片３３の下縁は、下磁極片３４の上縁に対向する。磁性ロッド３５は、略水平に延びる。磁性ロッド３５の左端及び右端は、上磁極片３３の下縁と下磁極片３４の上縁との隙間に位置する。 The torque motor 30 includes a left coil 31, a right coil 32, an upper pole piece 33, a lower pole piece 34, and a magnetic rod 35. The upper pole piece 33 is formed in a substantially cylindrical shape. The lower pole piece 34 is formed in a substantially cylindrical shape, similar to the upper pole piece 33. The left coil 31 is housed in the upper pole piece 33 and the lower pole piece 34. The right coil 32 is housed in the upper pole piece 33 and the lower pole piece 34. The lower edge of the upper pole piece 33 faces the upper edge of the lower pole piece 34. The magnetic rod 35 extends substantially horizontally. The left and right ends of the magnetic rod 35 are located in the gap between the lower edge of the upper pole piece 33 and the upper edge of the lower pole piece 34.

左コイル３１及び右コイル３２には、電流が供給される。このため、上磁極片３３及び下磁極片３４は、磁石として機能する。磁性ロッド３５の左端が上磁極片３３に引きつけられる一方で、磁性ロッド３５の右端が下磁極片３４に引きつけられるように電流が左コイル３１及び右コイル３２に供給されると、磁性ロッド３５は時計回りに回転する。磁性ロッド３５の左端が下磁極片３４に引きつけられる一方で、磁性ロッド３５の右端が上磁極片３３に引きつけられるように電流が左コイル３１及び右コイル３２に供給されると、磁性ロッド３５は反時計回りに回転する。 Current is supplied to the left coil 31 and the right coil 32. Therefore, the upper pole piece 33 and the lower pole piece 34 function as magnets. When current is supplied to the left coil 31 and the right coil 32 so that the left end of the magnetic rod 35 is attracted to the upper pole piece 33 while the right end of the magnetic rod 35 is attracted to the lower pole piece 34, the magnetic rod 35 rotates clockwise. When current is supplied to the left coil 31 and the right coil 32 so that the left end of the magnetic rod 35 is attracted to the lower pole piece 34 while the right end of the magnetic rod 35 is attracted to the upper pole piece 33, the magnetic rod 35 rotates counterclockwise.

スプールバルブ４には、２つの第２ポンプ５Ａ及び第３ポンプ５Ｂと、タンク６とがそれぞれ接続されている。スプールバルブ４は、スリーブ４０と、スプール５０と、カンチレバースプリング６０とを備えている。 The spool valve 4 is connected to two pumps, a second pump 5A and a third pump 5B, and a tank 6. The spool valve 4 includes a sleeve 40, a spool 50, and a cantilever spring 60.

スリーブ４０は、両端が閉じられた円筒状の部材である。スプール５０は、円柱状の部材である。スプール５０は、スリーブ４０の内部に配置される。この結果、スリーブ４０の内部に作動流体が流動する流動経路が形成される。カンチレバースプリング６０は、ノズル１０に結合され、スリーブ４０の孔４７Ａを通って、スプール５０に連結される。カンチレバースプリング６０は、スプール５０を閉位置に留まらせる力をスプール５０に加える。スプール５０が閉位置にあるとき、スプールバルブ４は、第２ポンプ５Ａ及び第３ポンプ５Ｂからアクチュエータ７０への作動流体の供給経路を遮断する。スプール５０が閉位置から左側又は右側へ移動すると、スプールバルブ４は、第２ポンプ５Ａ及び第３ポンプ５Ｂからアクチュエータ７０への作動流体の供給経路を開く。 The sleeve 40 is a cylindrical member with both ends closed. The spool 50 is a columnar member. The spool 50 is disposed inside the sleeve 40. As a result, a flow path is formed inside the sleeve 40 through which the working fluid flows. The cantilever spring 60 is coupled to the nozzle 10 and is connected to the spool 50 through the hole 47A of the sleeve 40. The cantilever spring 60 applies a force to the spool 50 to keep the spool 50 in the closed position. When the spool 50 is in the closed position, the spool valve 4 blocks the supply path of the working fluid from the second pump 5A and the third pump 5B to the actuator 70. When the spool 50 moves from the closed position to the left or right, the spool valve 4 opens the supply path of the working fluid from the second pump 5A and the third pump 5B to the actuator 70.

スリーブ４０には、７つのポート６１～６７が形成される。第１ポート６１は、レシーバ２０の左流出口２５と接続され、左流出口２５との間で作動流体が流通する。第２ポート６２は、レシーバ２０の右流出口２６と接続され、右流出口２６との間で作動流体が流通する。第２ポンプ５Ａは、第３ポート６３に接続され、作動流体を供給する。第３ポンプ５Ｂは、第４ポート６４に接続され、作動流体を供給する。第５ポート６５は、アクチュエータ７０の左ポート７３と接続され、左ポート７３との間で作動流体が流通する。第６ポート６６は、アクチュエータ７０の右ポート７４と接続され、右ポート７４との間で作動流体が流通する。タンク６は、第７ポート６７に接続され、作動流体を貯留する。 Seven ports 61 to 67 are formed in the sleeve 40. The first port 61 is connected to the left outlet 25 of the receiver 20, and the working fluid flows between the left outlet 25. The second port 62 is connected to the right outlet 26 of the receiver 20, and the working fluid flows between the right outlet 26. The second pump 5A is connected to the third port 63, and supplies the working fluid. The third pump 5B is connected to the fourth port 64, and supplies the working fluid. The fifth port 65 is connected to the left port 73 of the actuator 70, and the working fluid flows between the left port 73. The sixth port 66 is connected to the right port 74 of the actuator 70, and the working fluid flows between the right port 74. The tank 6 is connected to the seventh port 67, and stores the working fluid.

スプール５０は、４つの隔壁５１，５２，５３，５４と、連結シャフト５５とを備える。連結シャフト５５は、隔壁５１，５２，５３，５４を連結するとともに、略水平に延びる。第１隔壁５１は、連結シャフト５５の左端に形成される。第２隔壁５２は、連結シャフト５５の右端に形成される。第３隔壁５３は、第１隔壁５１と第２隔壁５２との間に位置する。第４隔壁５４は、第２隔壁５２と第３隔壁５３との間に位置する。 The spool 50 includes four partitions 51, 52, 53, and 54, and a connecting shaft 55. The connecting shaft 55 connects the partitions 51, 52, 53, and 54 and extends substantially horizontally. The first partition 51 is formed at the left end of the connecting shaft 55. The second partition 52 is formed at the right end of the connecting shaft 55. The third partition 53 is located between the first partition 51 and the second partition 52. The fourth partition 54 is located between the second partition 52 and the third partition 53.

４つの隔壁５１，５２，５３，５４は、スリーブ４０の内部空間を５つのチャンバ４１，４２，４３，４４，４５に仕切る。第１チャンバ４１は、スリーブ４０の内部の最も左に形成される。第２チャンバ４２は、スリーブ４０の内部の最も右に形成される。第３チャンバ４３は、スリーブ４０の内部の第１隔壁５１と第３隔壁５３との間に形成される。第４チャンバ４４は、スリーブ４０の内部の第２隔壁５２と第４隔壁５４との間に形成される。第５チャンバ４５は、スリーブ４０の内部の第３隔壁５３と第４隔壁５４との間に形成される。 The four partitions 51, 52, 53, and 54 divide the internal space of the sleeve 40 into five chambers 41, 42, 43, 44, and 45. The first chamber 41 is formed at the leftmost part of the interior of the sleeve 40. The second chamber 42 is formed at the rightmost part of the interior of the sleeve 40. The third chamber 43 is formed between the first partition 51 and the third partition 53 inside the sleeve 40. The fourth chamber 44 is formed between the second partition 52 and the fourth partition 54 inside the sleeve 40. The fifth chamber 45 is formed between the third partition 53 and the fourth partition 54 inside the sleeve 40.

アクチュエータ７０は、筐体７１と、可動片７２とを備えている。筐体７１には、２つの左ポート７３及び右ポート７４が形成されている。アクチュエータ７０の左ポート７３は、スリーブ４０の第５ポート６５と接続され、第５ポート６５との間で作動流体が流通する。アクチュエータ７０の右ポート７４は、スリーブ４０の第６ポート６６と接続され、第６ポート６６との間で作動流体が流通する。 The actuator 70 includes a housing 71 and a movable piece 72. Two ports, a left port 73 and a right port 74, are formed in the housing 71. The left port 73 of the actuator 70 is connected to the fifth port 65 of the sleeve 40, and working fluid flows between the left port 73 and the fifth port 65. The right port 74 of the actuator 70 is connected to the sixth port 66 of the sleeve 40, and working fluid flows between the right port 74 and the sixth port 66.

可動片７２は、隔壁７２Ａと、ロッド７２Ｂとを備えている。隔壁７２Ａは、筐体７１の内部空間を左チャンバ７５と右チャンバ７６とに仕切る。左ポート７３は、左チャンバ７５に繋がっている。右ポート７４は、右チャンバ７６に繋がっている。ロッド７２Ｂは、隔壁７２Ａから右方向に延び、筐体７１の外に突出している。ロッド７２Ｂは、筐体７１の外に配置された他の外部装置（図示略）に接続される。 The movable piece 72 includes a partition wall 72A and a rod 72B. The partition wall 72A divides the internal space of the housing 71 into a left chamber 75 and a right chamber 76. The left port 73 is connected to the left chamber 75. The right port 74 is connected to the right chamber 76. The rod 72B extends to the right from the partition wall 72A and protrudes outside the housing 71. The rod 72B is connected to another external device (not shown) disposed outside the housing 71.

次に、図２及び図３を参照して、スリーブ４０の構造を詳しく説明する。
図２及び図３に示すように、スリーブ４０は、孔４７Ａが形成された孔形成部４７を備えている。孔形成部４７は、スリーブ４０の軸方向の中央部４６に設けられている。カンチレバースプリング６０は、孔４７Ａを貫通する。孔形成部４７の孔４７Ａは、図中の上方向に開口している。このため、孔形成部４７は、スリーブ４０の中心軸Ｐ１よりも図中上側に位置している。スリーブ４０の軸方向の中央部４６の外径は、中央部４６以外の外径よりも短い。なお、孔４７Ａが第１孔に相当し、孔形成部４７が第１孔形成部に相当する。 Next, the structure of the sleeve 40 will be described in detail with reference to FIGS.
As shown in Figures 2 and 3, the sleeve 40 has a hole forming portion 47 in which a hole 47A is formed. The hole forming portion 47 is provided in the axial center portion 46 of the sleeve 40. The cantilever spring 60 passes through the hole 47A. The hole 47A of the hole forming portion 47 opens upward in the figure. Therefore, the hole forming portion 47 is located above the central axis P1 of the sleeve 40 in the figure. The outer diameter of the axial center portion 46 of the sleeve 40 is shorter than the outer diameter of the portion other than the central portion 46. The hole 47A corresponds to the first hole, and the hole forming portion 47 corresponds to the first hole forming portion.

スリーブ４０の外周部において、孔形成部４７と中央部４６以外との間には、溝４８が設けられている。すなわち、溝４８は、スリーブ４０の軸方向の中央部４６に設けられている。溝４８は、孔４７Ａが位置する側、言い換えれば中心軸Ｐ１よりも図中上側に設けられている。溝４８は、孔形成部４７よりも外径が短い部分である。ここで、孔形成部４７と孔形成部４７以外とが同じ外径で繋がっている場合、スリーブ４０の中央部４６は、孔形成部４７が設けられた側、言い換えれば中心軸Ｐ１の上側の剛性が中心軸Ｐ１の下側の剛性よりも高くなる。そこで、スリーブ４０の中心軸Ｐ１の上側の剛性が中心軸Ｐ１の下側の剛性に近づくように、溝４８が設けられている。これにより、スリーブ４０の中心軸Ｐ１の上下の剛性の差が小さくなることで、スリーブ４０の変形が抑制される。なお、溝４８が変形抑制部及び第１変形抑制部として機能する。剛性とは、力に対する変形（寸法変化）のしづらさの度合いである。 In the outer periphery of the sleeve 40, a groove 48 is provided between the hole forming portion 47 and the central portion 46 other than the central portion 46. That is, the groove 48 is provided in the central portion 46 in the axial direction of the sleeve 40. The groove 48 is provided on the side where the hole 47A is located, in other words, above the central axis P1 in the figure. The groove 48 is a portion having a shorter outer diameter than the hole forming portion 47. Here, when the hole forming portion 47 and the portion other than the hole forming portion 47 are connected with the same outer diameter, the central portion 46 of the sleeve 40 has a higher rigidity on the side where the hole forming portion 47 is provided, in other words, above the central axis P1, than the rigidity below the central axis P1. Therefore, the groove 48 is provided so that the rigidity of the upper side of the central axis P1 of the sleeve 40 approaches the rigidity of the lower side of the central axis P1. As a result, the difference in rigidity between the upper and lower sides of the central axis P1 of the sleeve 40 is reduced, thereby suppressing deformation of the sleeve 40. The groove 48 functions as a deformation suppressing portion and a first deformation suppressing portion. Rigidity is the degree to which something is difficult to deform (change in dimensions) when subjected to force.

次に、図４及び図５を参照して、スプール５０の構造を詳しく説明する。
図４及び図５に示すように、スプール５０は、孔５７Ａが形成された孔形成部５７を備えている。孔形成部５７は、スプール５０の軸方向の中央部５６に設けられている。カンチレバースプリング６０は、孔５７Ａに連結される。孔形成部５７の孔５７Ａは、図中の上方向に開口している。孔形成部５７の外径は、連結シャフト５５の外径よりも長い。なお、孔５７Ａが第２孔に相当し、孔形成部５７が第２孔形成部に相当する。 Next, the structure of the spool 50 will be described in detail with reference to FIGS.
As shown in Figures 4 and 5, the spool 50 has a hole forming portion 57 in which a hole 57A is formed. The hole forming portion 57 is provided in the axial center portion 56 of the spool 50. The cantilever spring 60 is connected to the hole 57A. The hole 57A of the hole forming portion 57 opens upward in the figure. The outer diameter of the hole forming portion 57 is longer than the outer diameter of the connecting shaft 55. The hole 57A corresponds to the second hole, and the hole forming portion 57 corresponds to the second hole forming portion.

孔形成部５７には、凹部５８が設けられている。すなわち、凹部５８は、スプール５０の軸方向の中央部５６に設けられている。凹部５８は、孔形成部５７の孔５７Ａが位置する側と反対側に設けられている。なお、凹部５８が変形抑制部及び第２変形抑制部として機能する。 The hole forming portion 57 has a recess 58. That is, the recess 58 is provided in the axial center portion 56 of the spool 50. The recess 58 is provided on the side opposite to the side where the hole 57A of the hole forming portion 57 is located. The recess 58 functions as a deformation suppressing portion and a second deformation suppressing portion.

図６に示すように、スプール５０は、スリーブ４０の内部に配置される。そして、図示しないカンチレバースプリング６０がノズル１０とスプール５０の孔５７Ａとに連結される。更に、スプール５０の中心軸Ｐ２の中央部分には、図示しない締結ねじが設けられている。締結ねじは、カンチレバースプリング６０を締結することで、カンチレバースプリング６０をスプール５０に固定する。なお、カンチレバースプリング６０をスプール５０に締結しなくてもよい。 As shown in FIG. 6, the spool 50 is disposed inside the sleeve 40. A cantilever spring 60 (not shown) is connected to the nozzle 10 and the hole 57A of the spool 50. Furthermore, a fastening screw (not shown) is provided in the center of the central axis P2 of the spool 50. The fastening screw fastens the cantilever spring 60, thereby fixing the cantilever spring 60 to the spool 50. Note that the cantilever spring 60 does not have to be fastened to the spool 50.

従来、スリーブ及びスプールは、外部荷重及び外部油圧力によって変形したり、締結ねじの締結によって変形したりする。スリーブ及びスプールの少なくとも一方の変形が大きくなると、スリーブに対してスプールが移動するときに干渉して抵抗が大きくなる。これを避けるためには、スリーブとスプールとの隙間を大きくすることが考えられるが、作動流体の漏洩を抑えるため、隙間の大きさを変えないことが望ましい。 Conventionally, the sleeve and spool are deformed by external loads and external hydraulic pressure, or by the tightening of the fastening screws. If the deformation of at least one of the sleeve and spool becomes large, interference occurs when the spool moves relative to the sleeve, resulting in increased resistance. One way to avoid this is to increase the gap between the sleeve and spool, but it is preferable not to change the size of the gap in order to prevent leakage of the working fluid.

そこで、スリーブ４０には、変形抑制部として溝４８を設けている。スリーブ４０の孔４７Ａが位置する側に溝４８を設けることで孔４７Ａが位置する側の剛性を下げることができる。孔形成部４７を補強していると孔４７Ａが位置する側の剛性が高くなるので、溝４８によって剛性を下げて、スリーブ４０の軸方向の中央における各位置の剛性の差を低減することができる。 Therefore, the sleeve 40 is provided with a groove 48 as a deformation suppression section. By providing the groove 48 on the side of the sleeve 40 where the hole 47A is located, the rigidity of the side where the hole 47A is located can be reduced. If the hole forming section 47 is reinforced, the rigidity of the side where the hole 47A is located increases, so by reducing the rigidity with the groove 48, the difference in rigidity between each position in the axial center of the sleeve 40 can be reduced.

また、スプール５０には、変形抑制部として凹部５８を設けている。スプール５０の孔５７Ａが位置する側と反対側に凹部５８を設けることで孔５７Ａが位置する側と反対側の剛性を下げることができる。孔５７Ａがあると孔５７Ａが位置する側の剛性が低くなるので、孔５７Ａが位置する側と反対側の凹部５８によって剛性を下げて、スプール５０の軸方向の中央における各位置の剛性の差を低減することができる。 The spool 50 is also provided with a recess 58 as a deformation suppression section. By providing the recess 58 on the side of the spool 50 opposite the side where the hole 57A is located, the rigidity of the side opposite the side where the hole 57A is located can be reduced. Since the presence of the hole 57A reduces the rigidity of the side where the hole 57A is located, the rigidity can be reduced by using the recess 58 on the side opposite the side where the hole 57A is located, thereby reducing the difference in rigidity between each position in the axial center of the spool 50.

その結果、図７に示すように、スリーブ４０が変形したときに、スプール５０の中心軸Ｐ２に対してスリーブ４０の中心軸Ｐ１の変位Ｄがスリーブ４０とスプール５０との隙間Ｗ未満となる（Ｄ＜Ｗ）。よって、スリーブ４０の溝４８が変形抑制部として機能する。また、スプール５０が変形したときに、スリーブ４０の中心軸Ｐ１に対するスプール５０の中心軸Ｐ２の変位Ｄをスリーブ４０とスプール５０との隙間Ｗ未満となる（Ｄ＜Ｗ）。よって、スプール５０の凹部５８が変形抑制部として機能する。ここで、スリーブ４０自体の変形量である中心軸Ｐ１の変位を「Ｄ１」とし、スプール５０自体の変形量である中心軸Ｐ２の変位を「Ｄ２」とすると、変位Ｄ１と変位Ｄ２との和が変位Ｄである。この変位Ｄは、スリーブ４０とスプール５０との隙間Ｗ未満となる（Ｄ＝Ｄ１＋Ｄ２＜Ｗ）。なお、図７における変位Ｄと隙間Ｗとは、説明のため拡大して表現している。 As a result, as shown in FIG. 7, when the sleeve 40 is deformed, the displacement D of the center axis P1 of the sleeve 40 relative to the center axis P2 of the spool 50 becomes less than the gap W between the sleeve 40 and the spool 50 (D<W). Therefore, the groove 48 of the sleeve 40 functions as a deformation suppressing portion. Also, when the spool 50 is deformed, the displacement D of the center axis P2 of the spool 50 relative to the center axis P1 of the sleeve 40 becomes less than the gap W between the sleeve 40 and the spool 50 (D<W). Therefore, the recess 58 of the spool 50 functions as a deformation suppressing portion. Here, if the displacement of the center axis P1, which is the deformation amount of the sleeve 40 itself, is "D1", and the displacement of the center axis P2, which is the deformation amount of the spool 50 itself, is "D2", the sum of the displacement D1 and the displacement D2 is the displacement D. This displacement D becomes less than the gap W between the sleeve 40 and the spool 50 (D=D1+D2<W). Note that the displacement D and the gap W in FIG. 7 are enlarged for the purpose of explanation.

次に、図１を参照して、上記のように構成されたサーボバルブ２を備えた流体装置１の作用について説明する。
図１に示すように、ノズル１０が左方向に移動すると、作動流体は、ノズル１０の吐出口１２からレシーバ２０の左流入口２１に主に流入する。左流入口２１に流入した作動流体は、その後、レシーバ２０の左流路２３、レシーバ２０の左流出口２５及びスプールバルブ４の第１ポート６１を通じて、第１チャンバ４１に流入する。この結果、第１チャンバ４１の内圧は増加し、スプール５０は、閉位置から右方向に移動する。この間、第２チャンバ４２内に存在していた作動流体は、スプールバルブ４の第２ポート６２、レシーバ２０の右流出口２６及びレシーバ２０の右流路２４を通じて、右流入口２２から噴出される。 Next, the operation of the fluid device 1 including the servo valve 2 configured as above will be described with reference to FIG.
As shown in Fig. 1, when the nozzle 10 moves leftward, the working fluid mainly flows from the discharge port 12 of the nozzle 10 into the left inlet 21 of the receiver 20. The working fluid that flows into the left inlet 21 then flows into the first chamber 41 through the left flow passage 23 of the receiver 20, the left outlet 25 of the receiver 20, and the first port 61 of the spool valve 4. As a result, the internal pressure of the first chamber 41 increases, and the spool 50 moves rightward from the closed position. During this time, the working fluid that was present in the second chamber 42 is ejected from the right inlet 22 through the second port 62 of the spool valve 4, the right outlet 26 of the receiver 20, and the right flow passage 24 of the receiver 20.

その後、ノズル１０が中立位置に復帰すると、ノズル１０の吐出口１２から吐出された作動流体は、レシーバ２０の左流入口２１と右流入口２２とに略均等に流入する。この間、スプール５０の左方向に作用する力は、スプール５０の右方向に作用する力よりもカンチレバースプリング６０の復元力の分だけ大きくなる。したがって、スプール５０は、左方向へ移動し、閉位置に復帰する。 After that, when the nozzle 10 returns to the neutral position, the working fluid discharged from the discharge port 12 of the nozzle 10 flows approximately evenly into the left inlet 21 and the right inlet 22 of the receiver 20. During this time, the force acting to the left of the spool 50 is greater than the force acting to the right of the spool 50 by the restoring force of the cantilever spring 60. Therefore, the spool 50 moves to the left and returns to the closed position.

ノズル１０が右方向に移動すると、作動流体は、ノズル１０の吐出口１２からレシーバ２０の右流入口２２に主に流入する。右流入口２２に流入した作動流体は、その後、レシーバ２０の右流路２４、レシーバ２０の右流出口２６及びスプールバルブ４の第２ポート６２を通じて、第２チャンバ４２に流入する。この結果、第２チャンバ４２の内圧は増加し、スプール５０は、閉位置から左方向に移動する。この間、第１チャンバ４１内に存在していた作動流体は、スプールバルブ４の第１ポート６１、レシーバ２０の左流出口２５及びレシーバ２０の左流路２３を通じて、左流入口２１から噴出される。 When the nozzle 10 moves to the right, the working fluid mainly flows from the discharge port 12 of the nozzle 10 into the right inlet 22 of the receiver 20. The working fluid that flows into the right inlet 22 then flows into the second chamber 42 through the right flow path 24 of the receiver 20, the right outlet 26 of the receiver 20, and the second port 62 of the spool valve 4. As a result, the internal pressure of the second chamber 42 increases, and the spool 50 moves leftward from the closed position. During this time, the working fluid that was in the first chamber 41 is ejected from the left inlet 21 through the first port 61 of the spool valve 4, the left outlet 25 of the receiver 20, and the left flow path 23 of the receiver 20.

その後、ノズル１０が中立位置に復帰すると、ノズル１０の吐出口１２から吐出された作動流体は、レシーバ２０の左流入口２１と右流入口２２とに略均等に流入する。この間、スプール５０に右方向に作用する力は、スプール５０に左方向に作用する力よりもカンチレバースプリング６０の復元力の分だけ大きくなる。したがって、スプール５０は、右方向へ移動し、閉位置に復帰する。 After that, when the nozzle 10 returns to the neutral position, the working fluid discharged from the discharge port 12 of the nozzle 10 flows into the left inlet 21 and the right inlet 22 of the receiver 20 approximately evenly. During this time, the force acting to the right on the spool 50 is greater than the force acting to the left on the spool 50 by the restoring force of the cantilever spring 60. Therefore, the spool 50 moves to the right and returns to the closed position.

スプール５０が閉位置にあるとき、第３隔壁５３は、第５ポート６５を閉じる。このとき、第４隔壁５４は、ポート６６を閉じる。第２ポンプ５Ａは、第３ポート６３を通じて、高圧の作動流体を第３チャンバ４３に供給する。第３ポンプ５Ｂは、第４ポート６４を通じて、高圧の作動流体を第４チャンバ４４へ供給する。スプール５０が閉位置から右方向に移動すると、第３チャンバ４３からアクチュエータ７０への作動流体の供給経路及びアクチュエータ７０から第５チャンバ４５への作動流体の排出経路が開かれる。スプール５０が閉位置から左方向に移動すると、第４チャンバ４４からアクチュエータ７０への作動流体の供給経路及びアクチュエータ７０から第５チャンバ４５への作動流体の排出経路が開かれる。したがって、第５ポート６５及び第６ポート６６からアクチュエータ７０への作動流体の流出量は、ノズル１０の左右の移動によって調整される。 When the spool 50 is in the closed position, the third partition 53 closes the fifth port 65. At this time, the fourth partition 54 closes the port 66. The second pump 5A supplies high-pressure working fluid to the third chamber 43 through the third port 63. The third pump 5B supplies high-pressure working fluid to the fourth chamber 44 through the fourth port 64. When the spool 50 moves rightward from the closed position, the supply path of the working fluid from the third chamber 43 to the actuator 70 and the discharge path of the working fluid from the actuator 70 to the fifth chamber 45 are opened. When the spool 50 moves leftward from the closed position, the supply path of the working fluid from the fourth chamber 44 to the actuator 70 and the discharge path of the working fluid from the actuator 70 to the fifth chamber 45 are opened. Therefore, the amount of working fluid flowing out from the fifth port 65 and the sixth port 66 to the actuator 70 is adjusted by the left-right movement of the nozzle 10.

スプール５０が、閉位置から右方向に移動すると、第２ポンプ５Ａから第３ポート６３を通じて第３チャンバ４３に供給された作動流体は、第５ポート６５及び左ポート７３を通じて、左チャンバ７５に流入する。左チャンバ７５の内圧は増加するので、可動片７２は右方向に移動する。この間、右チャンバ７６は、右ポート７４及び第６ポート６６を介して、第５チャンバ４５に連通する。右チャンバ７６内に存在していた作動流体は、右方向に移動する可動片７２によって、右チャンバ７６から押し出され、第５チャンバ４５に流入する。第５チャンバ４５に流入した作動流体は、その後、タンク６に貯留される。 When the spool 50 moves rightward from the closed position, the working fluid supplied from the second pump 5A to the third chamber 43 through the third port 63 flows into the left chamber 75 through the fifth port 65 and the left port 73. As the internal pressure of the left chamber 75 increases, the movable piece 72 moves rightward. During this time, the right chamber 76 communicates with the fifth chamber 45 through the right port 74 and the sixth port 66. The working fluid present in the right chamber 76 is pushed out of the right chamber 76 by the movable piece 72 moving rightward, and flows into the fifth chamber 45. The working fluid that flows into the fifth chamber 45 is then stored in the tank 6.

スプール５０が、閉位置から左方向に移動すると、第３ポンプ５Ｂから第４ポート６４を通じて第４チャンバ４４に供給された作動流体は、第６ポート６６及び右ポート７４を通じて、右チャンバ７６に流入する。右チャンバ７６の内圧は増加するので、可動片７２は左方向に移動する。この間、左チャンバ７５は、左ポート７３及び第５ポート６５を介して、第５チャンバ４５に連通する。左チャンバ７５内に存在していた作動流体は、左方向に移動する可動片７２によって、左チャンバ７５から押し出され、第５チャンバ４５に流入する。第５チャンバ４５に流入した作動流体は、その後、タンク６に貯留される。 When the spool 50 moves leftward from the closed position, the working fluid supplied from the third pump 5B to the fourth chamber 44 through the fourth port 64 flows into the right chamber 76 through the sixth port 66 and the right port 74. As the internal pressure of the right chamber 76 increases, the movable piece 72 moves leftward. During this time, the left chamber 75 communicates with the fifth chamber 45 through the left port 73 and the fifth port 65. The working fluid present in the left chamber 75 is pushed out of the left chamber 75 by the movable piece 72 moving leftward, and flows into the fifth chamber 45. The working fluid that flows into the fifth chamber 45 is then stored in the tank 6.

次に、本実施形態の効果について説明する。
（１）スリーブ４０にカンチレバースプリング６０が貫通するための孔４７Ａがあることでスリーブ４０の変形が円周上で同じではない。そのため、スリーブ４０に変形抑制部として溝４８を設けることで、スリーブ４０の変形量をスリーブ４０とスプール５０との隙間Ｗ未満とすることができる。よって、スリーブ４０とスプール５０との隙間Ｗを広げることなく、スプール５０をスムーズに移動させることができる。 Next, the effects of this embodiment will be described.
(1) The sleeve 40 has a hole 47A through which the cantilever spring 60 passes, so that the deformation of the sleeve 40 is not uniform along the circumference. Therefore, by providing the groove 48 as a deformation suppressing portion in the sleeve 40, the amount of deformation of the sleeve 40 can be made less than the gap W between the sleeve 40 and the spool 50. Therefore, the spool 50 can be moved smoothly without widening the gap W between the sleeve 40 and the spool 50.

（２）変形抑制部として溝４８をスリーブ４０の中央部４６に設けることによってスリーブ４０の軸方向の変形を中央から抑制することができ、スリーブ４０の軸方向全体の変形を効率よく抑制することができる。 (2) By providing a groove 48 in the center portion 46 of the sleeve 40 as a deformation suppression portion, the axial deformation of the sleeve 40 can be suppressed from the center, and the deformation of the entire axial direction of the sleeve 40 can be efficiently suppressed.

（３）スリーブ４０の孔４７Ａが位置する側に溝４８を設けることで孔４７Ａが位置する側の剛性を下げることができる。孔形成部４７を補強していると孔４７Ａが位置する側の剛性が高くなるので、溝４８によって剛性を下げて、スリーブ４０の軸方向の中央における各位置の剛性の差を低減することができる。 (3) By providing a groove 48 on the side of the sleeve 40 where the hole 47A is located, the rigidity of the side where the hole 47A is located can be reduced. If the hole forming portion 47 is reinforced, the rigidity of the side where the hole 47A is located increases, so by reducing the rigidity with the groove 48, the difference in rigidity between each position in the center of the axial direction of the sleeve 40 can be reduced.

（４）スプール５０にカンチレバースプリング６０を連結するための孔５７Ａがあることでスプール５０の変形が円周上で同じではない。このため、スプール５０に変形抑制部として凹部５８を設けることで、スプール５０の変形量をスリーブ４０とスプール５０との隙間Ｗ未満とすることができる。よって、スリーブ４０とスプール５０との隙間Ｗを広げることなく、スプール５０をスムーズに移動させることができる。 (4) The spool 50 has a hole 57A for connecting the cantilever spring 60, so the deformation of the spool 50 is not uniform around the circumference. For this reason, by providing the spool 50 with a recess 58 as a deformation suppression section, the amount of deformation of the spool 50 can be made less than the gap W between the sleeve 40 and the spool 50. Therefore, the spool 50 can be moved smoothly without widening the gap W between the sleeve 40 and the spool 50.

（５）変形抑制部として凹部５８をスプール５０の中央部５６に設けることによってスプール５０の軸方向の変形を中央から抑制することができ、スプール５０の軸方向全体の変形を効率よく抑制することができる。 (5) By providing a recess 58 in the center portion 56 of the spool 50 as a deformation suppression portion, the axial deformation of the spool 50 can be suppressed from the center, and the deformation of the entire axial direction of the spool 50 can be efficiently suppressed.

（６）スプール５０の孔５７Ａが位置する側と反対側に凹部５８を設けることで孔５７Ａが位置する側と反対側の剛性を下げることができる。孔５７Ａがあると孔５７Ａが位置する側の剛性が低くなるので、孔５７Ａが位置する側と反対側の凹部５８によって剛性を下げて、スプール５０の軸方向の中央における各位置の剛性の差を低減することができる。 (6) By providing a recess 58 on the side of the spool 50 opposite the side where the hole 57A is located, the rigidity of the side opposite the side where the hole 57A is located can be reduced. Since the presence of the hole 57A reduces the rigidity of the side where the hole 57A is located, the rigidity can be reduced by providing the recess 58 on the side opposite the side where the hole 57A is located, thereby reducing the difference in rigidity between each position in the center of the axial direction of the spool 50.

（他の実施形態）
上記実施形態は、以下のように変更して実施することができる。上記実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。 Other Embodiments
The above embodiment can be modified as follows: The above embodiment and the following modifications can be combined with each other to the extent that no technical contradiction occurs.

・上記実施形態において、スリーブ４０に設けた溝４８に代えて、変形抑制部として複数の穴をスリーブ４０に設けてもよい。図８に示すように、スリーブ４０の中央部４６に設けられる孔形成部４７は、中央部４６以外の外周部とつながっている。孔形成部４７の孔４７Ａが位置する側の孔４７Ａの両側には、周方向に複数の穴１４８が並んで設けられている。上記構成によれば、複数の穴１４８によって、剛性を下げて、スリーブ４０の軸方向の中央における各位置の剛性の差を低減することができ、スリーブ４０の変形量をスリーブ４０とスプール５０との隙間Ｗ未満とすることができる。 In the above embodiment, instead of the groove 48 provided in the sleeve 40, multiple holes may be provided in the sleeve 40 as a deformation suppression portion. As shown in FIG. 8, the hole forming portion 47 provided in the center portion 46 of the sleeve 40 is connected to the outer periphery other than the center portion 46. On both sides of the hole 47A on the side where the hole 47A of the hole forming portion 47 is located, multiple holes 148 are provided in a line in the circumferential direction. According to the above configuration, the multiple holes 148 can reduce the rigidity and reduce the difference in rigidity between each position in the axial center of the sleeve 40, and the amount of deformation of the sleeve 40 can be made less than the gap W between the sleeve 40 and the spool 50.

・上記実施形態において、スリーブ４０に設けた溝４８に代えて、変形抑制部として長穴をスリーブ４０に設けてもよい。図９に示すように、スリーブ４０の中央部４６に設けられる孔形成部４７は、中央部４６以外の外周部とつながっている。孔形成部４７の孔４７Ａが位置する側の孔４７Ａの両側には、周方向に延びる長穴２４８が設けられている。上記構成によれば、長穴２４８によって、剛性を下げて、スリーブ４０の軸方向の中央における各位置の剛性の差を低減することができ、スリーブ４０の変形量をスリーブ４０とスプール５０との隙間Ｗ未満とすることができる。 In the above embodiment, instead of the groove 48 provided in the sleeve 40, a long hole may be provided in the sleeve 40 as a deformation suppression portion. As shown in FIG. 9, the hole forming portion 47 provided in the center portion 46 of the sleeve 40 is connected to the outer periphery other than the center portion 46. On both sides of the hole 47A on the side where the hole 47A of the hole forming portion 47 is located, a long hole 248 extending in the circumferential direction is provided. According to the above configuration, the long hole 248 can reduce the rigidity and reduce the difference in rigidity between each position in the axial center of the sleeve 40, and the deformation amount of the sleeve 40 can be made less than the gap W between the sleeve 40 and the spool 50.

・上記実施形態において、スリーブ４０に設けた溝４８に代えて、変形抑制部として孔４７Ａを拡大してもよい。図１０に示すように、スリーブ４０の中央部４６に設けられる孔形成部１４７は、中央部４６以外の外周部とつながっている。中央部４６に相当する大きさ拡大した拡大孔１４７Ａを孔形成部１４７に設ける。上記構成によれば、拡大孔１４７Ａによって、剛性を下げて、スリーブ４０の軸方向の中央における各位置の剛性の差を低減することができ、スリーブ４０の変形量をスリーブ４０とスプール５０との隙間Ｗ未満とすることができる。 - In the above embodiment, instead of the groove 48 provided in the sleeve 40, the hole 47A may be enlarged as a deformation suppression portion. As shown in FIG. 10, the hole forming portion 147 provided in the center portion 46 of the sleeve 40 is connected to the outer periphery other than the center portion 46. An enlarged hole 147A enlarged to a size equivalent to the center portion 46 is provided in the hole forming portion 147. According to the above configuration, the enlarged hole 147A can reduce the rigidity and reduce the difference in rigidity between each position in the center of the axial direction of the sleeve 40, and the deformation amount of the sleeve 40 can be made less than the gap W between the sleeve 40 and the spool 50.

・上記実施形態において、スリーブ４０に設けた溝４８に代えて、変形抑制部として孔４７Ａが位置する側と反対側に補強部を設けてもよい。図１１に示すように、スリーブ４０の中央部４６に設けられる孔形成部４７は、中央部４６以外の外周部とつながっている。孔形成部４７は、スリーブ４０の図中上側寄りに設けられているので、スリーブ４０の図中下側寄りに補強部１４９を設ける。補強部１４９は、図中ドットで示している。補強部１４９は、中央部４６以外の外周部とつながっている。上記構成によれば、スリーブ４０の孔４７Ａが位置する側と反対側に補強部１４９を設けることで孔４７Ａが位置する側と反対側の剛性を上げることができる。孔形成部４７を補強していると孔４７Ａが位置する側の剛性が高くなるので、補強部１４９によって孔４７Ａが位置する側と反対側の剛性を下げて、各位置の剛性の差を低減することができる。 -In the above embodiment, instead of the groove 48 provided in the sleeve 40, a reinforcing portion may be provided on the side opposite the side where the hole 47A is located as a deformation suppressing portion. As shown in FIG. 11, the hole forming portion 47 provided in the center portion 46 of the sleeve 40 is connected to the outer periphery other than the center portion 46. Since the hole forming portion 47 is provided toward the upper side of the sleeve 40 in the figure, the reinforcing portion 149 is provided toward the lower side of the sleeve 40 in the figure. The reinforcing portion 149 is indicated by a dot in the figure. The reinforcing portion 149 is connected to the outer periphery other than the center portion 46. According to the above configuration, the stiffness of the side opposite the side where the hole 47A is located can be increased by providing the reinforcing portion 149 on the side opposite the side where the hole 47A is located of the sleeve 40. Since the stiffness of the side where the hole 47A is located is increased when the hole forming portion 47 is reinforced, the stiffness of the side opposite the side where the hole 47A is located can be reduced by the reinforcing portion 149, thereby reducing the difference in stiffness between each position.

・上記実施形態において、スプール５０に設けた凹部５８に代えて、変形抑制部として穴を設けてもよい。図１２に示すように、孔形成部５７の孔５７Ａが位置する側と反対側に凹部５８に代えて穴１５８を設ける。上記構成によれば、穴１５８によって、剛性を下げて、スプール５０の軸方向の中央における各位置の剛性の差を低減することができ、スプール５０の変形量をスリーブ４０とスプール５０との隙間Ｗ未満とすることができる。 - In the above embodiment, instead of the recess 58 provided in the spool 50, a hole may be provided as a deformation suppression portion. As shown in FIG. 12, a hole 158 is provided instead of the recess 58 on the side opposite to the side where the hole 57A of the hole forming portion 57 is located. According to the above configuration, the hole 158 can reduce the rigidity and reduce the difference in rigidity between each position in the axial center of the spool 50, and the amount of deformation of the spool 50 can be made less than the gap W between the sleeve 40 and the spool 50.

・上記実施形態において、スプール５０に設けた凹部５８に代えて、変形抑制部として孔５７Ａが位置する側に補強部を設けてもよい。図１３に示すように、孔形成部５７と第３隔壁５３との間の連結シャフト５５の図中上側に補強部１５５を設ける。補強部１５５は、連結シャフト５５と一体であるとともに、孔形成部５７と第３隔壁５３とつながっている。同様に、孔形成部５７と第４隔壁５４との間の連結シャフト５５の図中上側に補強部１５５を設ける。補強部１５５は、連結シャフト５５と一体であるとともに、孔形成部５７と第４隔壁５４とつながっている。上記構成によれば、スプール５０の孔５７Ａが位置する側に補強部１５５を設けることで孔５７Ａが位置する側の剛性を上げることができる。孔５７Ａがあると孔５７Ａが位置する側の剛性が低くなるので、補強部１５５によって剛性を上げて、各位置の剛性の差を低減することができる。 In the above embodiment, instead of the recess 58 provided in the spool 50, a reinforcing portion may be provided on the side where the hole 57A is located as a deformation suppression portion. As shown in FIG. 13, a reinforcing portion 155 is provided on the upper side of the connecting shaft 55 between the hole forming portion 57 and the third partition wall 53. The reinforcing portion 155 is integral with the connecting shaft 55 and is connected to the hole forming portion 57 and the third partition wall 53. Similarly, a reinforcing portion 155 is provided on the upper side of the connecting shaft 55 between the hole forming portion 57 and the fourth partition wall 54. The reinforcing portion 155 is integral with the connecting shaft 55 and is connected to the hole forming portion 57 and the fourth partition wall 54. According to the above configuration, the reinforcing portion 155 is provided on the side where the hole 57A of the spool 50 is located, thereby increasing the rigidity of the side where the hole 57A is located. The presence of hole 57A reduces the rigidity of the side where hole 57A is located, so the rigidity can be increased by reinforcing section 155, reducing the difference in rigidity between each position.

・上記実施形態において、スプール５０に設けた凹部５８に代えて、変形抑制部として孔５７Ａのある孔形成部５７に接続されるシャフトの中心軸を孔５７Ａのある側へ偏心させてもよい。図１４に示すように、孔形成部５７と第３隔壁５３との間の連結シャフト２５５を図中上側に偏心させる。連結シャフト２５５の中心軸は孔５７Ａのある図中上側に位置する。同様に、孔形成部５７と第４隔壁５４との間の連結シャフト２５５を図中上側に偏心させる。連結シャフト２５５の中心軸は孔５７Ａのある図中上側に位置する。上記構成によれば、スプール５０の孔５７Ａのある部分に接続される連結シャフト２５５を孔５７Ａが位置する側に偏心させることで孔５７Ａが位置する側の剛性を上げることができる。孔５７Ａがあると孔５７Ａが位置する側の剛性が低くなるので、連結シャフト２５５の偏心によって剛性を上げて、各位置の剛性の差を低減することができる。 In the above embodiment, instead of the recess 58 provided in the spool 50, the central axis of the shaft connected to the hole forming portion 57 having the hole 57A may be eccentric toward the side where the hole 57A is located as a deformation suppression portion. As shown in FIG. 14, the connecting shaft 255 between the hole forming portion 57 and the third partition wall 53 is eccentric to the upper side in the figure. The central axis of the connecting shaft 255 is located on the upper side in the figure where the hole 57A is located. Similarly, the connecting shaft 255 between the hole forming portion 57 and the fourth partition wall 54 is eccentric to the upper side in the figure. The central axis of the connecting shaft 255 is located on the upper side in the figure where the hole 57A is located. According to the above configuration, the rigidity of the side where the hole 57A is located can be increased by eccentrically connecting the connecting shaft 255 connected to the part of the spool 50 where the hole 57A is located to the side where the hole 57A is located. Since the rigidity of the side where the hole 57A is located is reduced when the hole 57A is located, the rigidity can be increased by eccentricity of the connecting shaft 255, thereby reducing the difference in rigidity between each position.

・上記実施形態では、変形抑制部をスプール５０の軸方向の中央に設けたが、変形抑制部をスプール５０の軸方向の中央以外に設けてもよい。
・上記実施形態では、変形抑制部をスリーブ４０の軸方向の中央に設けたが、変形抑制部をスリーブ４０の軸方向の中央以外に設けてもよい。 In the above embodiment, the deformation suppression portion is provided at the center of the spool 50 in the axial direction. However, the deformation suppression portion may be provided at a position other than the center of the spool 50 in the axial direction.
In the above embodiment, the deformation suppression portion is provided at the center of the sleeve 40 in the axial direction. However, the deformation suppression portion may be provided at a position other than the center of the sleeve 40 in the axial direction.

・上記実施形態では、スリーブ４０に変形抑制部を設けるとともに、スプール５０に変形抑制部を設けたが、スリーブ４０とスプール５０とのいずれかのみに変形抑制部を設けてもよい。 In the above embodiment, the sleeve 40 is provided with a deformation suppression portion, and the spool 50 is provided with a deformation suppression portion, but the deformation suppression portion may be provided only on either the sleeve 40 or the spool 50.

・上記実施形態において、タンク６を孔４７Ａに接続してもよい。
・上記実施形態のサーボバルブを、フライトコントロールアクチュエータに用いるコントロールバルブに適用してもよい。 In the above embodiment, the tank 6 may be connected to the hole 47A.
The servo valve of the above embodiment may be applied to a control valve used in a flight control actuator.

・上記実施形態において、複数の物体で構成されているものは、当該複数の物体を一体化してもよく、逆に一つの物体で構成されているものを複数の物体に分けることができる。一体化されているか否かにかかわらず、発明の目的を達成することができるように構成されていればよい。 - In the above embodiment, if something is made up of multiple objects, the multiple objects may be integrated, and conversely, if something is made up of a single object, it may be divided into multiple objects. Regardless of whether they are integrated or not, it is sufficient that the object of the invention can be achieved.

１流体装置
２サーボバルブ
３第１ポンプ
４スプールバルブ
５Ａ第２ポンプ
５Ｂ第３ポンプ
６タンク
１０ノズル
１１流入口
１２吐出口
２０レシーバ
２１左流入口
２２右流入口
２３左流路
２４右流路
２５左流出口
２６右流出口
３０トルクモータ
３１左コイル
３２右コイル
３３上磁極片
３４下磁極片
３５磁性ロッド
４０スリーブ
４１第１チャンバ
４２第２チャンバ
４３第３チャンバ
４４第４チャンバ
４５第５チャンバ
４６中央部
４７孔形成部
４７Ａ孔
４８溝（変形抑制部）
５０スプール
５１第１隔壁
５２第２隔壁
５３第３隔壁
５４第４隔壁
５５連結シャフト
５６中央部
５７孔形成部
５７Ａ孔
５８凹部（変形抑制部）
６０カンチレバースプリング
６１第１ポート
６２第２ポート
６３第３ポート
６４第４ポート
６５第５ポート
６６第６ポート
６７第７ポート
７０アクチュエータ
７１筐体
７２可動片
７２Ａ隔壁
７２Ｂロッド
７３左ポート
７４右ポート
７５左チャンバ
７６右チャンバ LIST OF SYMBOLS 1 Fluid device 2 Servo valve 3 First pump 4 Spool valve 5A Second pump 5B Third pump 6 Tank 10 Nozzle 11 Inlet 12 Outlet 20 Receiver 21 Left inlet 22 Right inlet 23 Left flow path 24 Right flow path 25 Left outlet 26 Right outlet 30 Torque motor 31 Left coil 32 Right coil 33 Upper pole piece 34 Lower pole piece 35 Magnetic rod 40 Sleeve 41 First chamber 42 Second chamber 43 Third chamber 44 Fourth chamber 45 Fifth chamber 46 Central portion 47 Hole forming portion 47A Hole 48 Groove (deformation suppression portion)
50 Spool 51 First partition wall 52 Second partition wall 53 Third partition wall 54 Fourth partition wall 55 Connecting shaft 56 Center portion 57 Hole forming portion 57A Hole 58 Recessed portion (deformation suppressing portion)
60 Cantilever spring 61 First port 62 Second port 63 Third port 64 Fourth port 65 Fifth port 66 Sixth port 67 Seventh port 70 Actuator 71 Housing 72 Movable piece 72A Partition wall 72B Rod 73 Left port 74 Right port 75 Left chamber 76 Right chamber

Claims

A cylindrical sleeve;
a cylindrical spool located inside the sleeve and configured to open a fluid supply path by moving from a closed position;
a spring coupled to the spool to cause the spool to remain in the closed position;
The sleeve is
a hole forming portion having a hole through which the spring passes;
A servo valve comprising: a deformation suppression section provided on at least one of the side where the hole is located and the side opposite to the side where the hole is located, the deformation suppression section suppressing the displacement of the central axis of the sleeve relative to the central axis of the spool when the sleeve is deformed to be less than the gap between the sleeve and the spool.

The servo valve according to claim 1 , wherein the deformation suppression portion is provided at a center in an axial direction of the sleeve.

The servo valve according to claim 2 , wherein the deformation suppression portion includes a groove provided on a side where the hole is located.

The servo valve according to claim 2 or 3, wherein the deformation suppression portion includes a reinforcing portion provided on a side opposite to a side on which the hole is located.

A cylindrical sleeve;
a cylindrical spool located inside the sleeve;
a spring coupled to the spool to cause the spool to remain in a closed position;
The spool is
a hole forming portion having a hole for connecting the spring;
A servo valve comprising: a deformation suppression section provided on at least one of the side opposite to the side where the hole is located and the side where the hole is located, the deformation suppression section suppressing displacement of the central axis of the spool relative to the central axis of the sleeve when the spool is deformed to be less than the gap between the sleeve and the spool.

The servo valve according to claim 5 , wherein the deformation suppression portion is provided at a center in an axial direction of the spool.

The servo valve according to claim 6 , wherein the deformation suppression portion includes a recess provided on a side opposite to a side on which the hole is located.

The servo valve according to claim 6 or 7, wherein the deformation suppression portion includes a reinforcing portion provided on a side where the hole is located.

The servo valve according to claim 6 or 7, wherein the deformation suppression portion offsets a central axis of a shaft connected to a portion having the hole toward a side having the hole.

A cylindrical sleeve;
a cylindrical spool located inside the sleeve and configured to open a fluid supply path by moving from a closed position;
a spring coupled to the spool to cause the spool to remain in the closed position;
The sleeve is
a first hole forming portion having a first hole through which the spring passes;
a first deformation suppressing portion provided on at least one of the side where the hole is located and the side opposite to the side where the hole is located, the first deformation suppressing portion suppressing a displacement of the center axis of the sleeve with respect to the center axis of the spool when the sleeve is deformed to be less than a gap between the sleeve and the spool;
The spool is
a second hole forming portion having a second hole for connecting the spring;
a second deformation suppression portion provided on at least one of the side opposite to the side where the hole is located and the side where the hole is located, and configured to keep the displacement of the central axis of the spool relative to the central axis of the sleeve when the spool is deformed to less than the gap between the sleeve and the spool.

a servo valve including a cylindrical sleeve, a cylindrical spool located inside the sleeve and configured to open a fluid supply path by moving from a closed position, and a spring connected to the spool to hold the spool in the closed position;
an actuator that is driven by a fluid supplied by moving the spool inside the sleeve;
The sleeve is
a hole forming portion having a hole through which the spring passes;
A fluid device comprising: a deformation suppression section provided on at least one of the side where the hole is located and the side opposite to the side where the hole is located, and which limits the displacement of the central axis of the sleeve relative to the central axis of the spool when the sleeve is deformed to less than the gap between the sleeve and the spool.

a servo valve including a cylindrical sleeve, a cylindrical spool located inside the sleeve, and a spring coupled to the spool to maintain the spool in a closed position;
an actuator that is driven by a fluid supplied by moving the spool inside the sleeve;
The spool is
a hole forming portion having a hole for connecting the spring;
A fluid device comprising: a deformation suppression section provided on at least one of the side opposite to the side where the hole is located and the side where the hole is located, and which suppresses the displacement of the central axis of the spool relative to the central axis of the sleeve when the spool is deformed to be less than the gap between the sleeve and the spool.