JP7645260B2 - 固体撮像装置及び撮像装置 - Google Patents
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Description
1.第1の実施形態
1.1 撮像装置の構成例
1.2 固体撮像装置の構成例
1.3 対数応答部の構成例
1.3.1 対数応答部の変形例
1.4 検出ブロックの構成例
1.4.1 微分器、セレクタおよびコンパレータの構成例
1.5 行駆動回路の制御例
1.6 検出画素および検出回路の構成例
1.6.1 固体撮像装置の動作例
1.7 検出画素および検出回路の変形例
1.7.1 変形例に係る行駆動回路の制御例
1.8 共有ブロックの構成例
1.9 共有ブロックのレイアウト例
1.10 動作例
1.10.1 タイミングチャート
1.10.2 フローチャート
1.11 作用・効果
2.第2の実施形態
2.1 共有ブロックの構成例
2.2 共有ブロックのレイアウト例
2.3 動作例(タイミングチャート)
2.4 作用・効果
3.第3の実施形態
3.1 共有ブロックの構成例
3.2 動作例(タイミングチャート)
3.3 作用・効果
4.第4の実施形態
4.1 共有ブロックの構成例
4.1.1 共有ブロックの変形例
4.2 読出し回路の構成例
4.3 検出チップの構成例
4.4 動作例
4.5 作用・効果
5.第5の実施形態
5.1 共有ブロックの構成例
5.1.1 共有ブロックの変形例
5.2 動作例
6.第6の実施形態
7.移動体への応用例
まず、第1の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本開示の第1の実施形態に係る撮像装置100の一構成例を示すブロック図である。この撮像装置100は、光学部110、固体撮像装置200、記録部120および制御部130を備える。撮像装置100としては、産業用ロボットに搭載されるカメラや、車載カメラなどが想定される。
(スタック構造例)
図2は、本実施形態に係る固体撮像装置200の積層構造の一例を示す図である。この固体撮像装置200は、検出チップ202と、その検出チップ202に積層された受光チップ201とを備える。これらのチップは、ビアなどの接続部を介して電気的に接続される。なお、ビアの他、Cu-Cu接合やバンプにより接続することもできる。例えば、受光チップ201は、請求の範囲における第1チップの一例であってよく、検出チップ202は、請求の範囲における第2チップの一例であってよい。
図3は、本実施形態に係る受光チップ201の平面図の一例である。受光チップ201には、受光部220と、ビア配置部211、212および213とが設けられる。
図4は、本実施形態に係る検出チップ202の平面図の一例である。この検出チップ202には、ビア配置部231、232および233と、信号処理回路240と、行駆動回路251と、列駆動回路252と、アドレスイベント検出部260とが設けられる。ビア配置部231、232および233には、受光チップ201と接続されるビアが配置される。
図5は、本実施形態に係るアドレスイベント検出部260の平面図の一例である。このアドレスイベント検出部260には、複数の検出ブロック320が配列される。検出ブロック320は、受光チップ201上の共有ブロック221ごとに配置される。共有ブロック221の個数がN(Nは、整数)である場合、N個の検出ブロック320が配列される。それぞれの検出ブロック320は、対応する共有ブロック221と接続される。
図6は、本実施形態に係る対数応答部の基本構成例を示す回路図である。この対数応答部310は、光電変換素子311と、nMOS(n-channel Metal Oxide Semiconductor)トランジスタ312および313とpMOS(p-channel MOS)トランジスタ314とを備える。これらのうち、2つのnMOSトランジスタ312および313は、例えば、光電変換素子311から流れ出した光電流をその対数値に応じた電圧信号に変換する対数変換回路を構成する。また、pMOSトランジスタ314は、この対数変換回路に対する負荷MOSトランジスタとして動作する。なお、光電変換素子311と、nMOSトランジスタ312および313とは、例えば、受光チップ201に配置され、pMOSトランジスタ314は、検出チップ202に配置され得る。
図6では、ソースフォロア型の対数応答部310について説明したが、このような構成に限定されない。図7は、本実施形態の変形例に係る対数応答部の基本構成例を示す回路図である。図7に示すように、対数応答部310Aは、例えば、図6に例示したソースフォロア型の回路構成に対し、nMOSトランジスタ312と電源線との間に直列接続されたnMOSトランジスタ315と、nMOSトランジスタ313とpMOSトランジスタ314との間に直列接続されたnMOSトランジスタ316とが追加された、所謂ゲインブースト型の回路構成を備える。4つのnMOSトランジスタ312、313、315及び316は、例えば、光電変換素子311から流れ出した光電流をその対数値に応じた電圧信号に変換する対数変換回路を構成する。
図8は、本実施形態に係る検出ブロック320の一構成例を示すブロック図である。この検出ブロック320は、複数のバッファ330と、複数の微分器340と、選択部400と、比較部500と、転送回路360とを備える。バッファ330および微分器340は、共有ブロック221内の対数応答部310ごとに配置される。例えば、共有ブロック221内の対数応答部310が4つである場合、バッファ330および微分器340は、4つずつ配置される。
図9は、本実施形態に係る微分器340の一構成例を示す回路図である。この微分器340は、コンデンサ341および343と、インバータ342と、スイッチ344とを備える。
Qinit=C1×Vinit ・・・(1)
Qafter=C1×Vafter ・・・(2)
Q2=-C2×Vout ・・・(3)
Qinit=Qafter+Q2 ・・・(4)
Vout=-(C1/C2)×(Vafter-Vinit) ・・・(5)
図10は、本実施形態に係る比較部500の一構成例を示す回路図である。この比較部500は、コンパレータ510および520を備える。
図11は、本実施形態に係る検出ブロック320における微分器340、セレクタ410およびコンパレータ510の一構成例を示す回路図である。
図12は、本実施形態に係る行駆動回路251の制御の一例を示すタイミングチャートである。タイミングT0において、行駆動回路251は、行駆動信号L1により、1行目を選択し、その行の微分器340を駆動する。この行駆動信号L1により1行目の微分器340内のコンデンサ343が初期化される。また、行駆動回路251は、選択信号SEL1により、共有ブロック221内の2行×2列のうち左上を一定期間に亘って選択し、選択部400を駆動する。これにより、1行目の奇数列においてアドレスイベントの有無が検出される。
図13は、本実施形態に係る検出画素300および検出回路305の一構成例を示すブロック図である。共有ブロック221内の複数の対数応答部310により共有される検出ブロック320のうち、選択部400、比較部500および転送回路360からなる回路を検出回路305とする。また、対数応答部310、バッファ330および微分器340からなる回路を、検出画素300とする。同図に例示するように、複数の検出画素300により検出回路305が共有される。
図14は、本実施形態に係る固体撮像装置200の動作の一例を示すフローチャートである。この動作は、例えば、アドレスイベントの有無を検出するための所定のアプリケーションが実行されたときに開始される。
上述の第1の実施形態では、固体撮像装置200は、検出画素300を1つずつ選択し、その検出画素についてオンイベントおよびオフイベントを同時に検出していた。しかし、固体撮像装置200は、検出画素を2つ選択し、それらの一方についてオンイベントを検出するとともに他方についてオフイベントを検出することもできる。この第1の実施形態の変形例の固体撮像装置200は、2つの検出画素の一方についてオンイベントを検出するとともに他方についてオフイベントを検出する点において第1の実施に形態と異なる。
図16は、本実施形態の変形例における行駆動回路251の制御の一例を示すタイミングチャートである。タイミングT0乃至T2において、微分信号Sin1を出力する検出画素300と、微分信号Sin2を出力する検出画素300の2つが選択されたものとする。タイミングT0乃至T1において、行駆動回路251は、選択信号SEL1pおよびSEL2nをハイレベルにし、選択信号SEL2pおよびSEL1nをローレベルにする。これにより、微分信号Sin1に対応する画素について、オンイベントが検出され、微分信号Sin2に対応する画素についてオフイベントが検出される。
次に、上述した説明における各共有ブロック221のより詳細な構成例について、以下に図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明では、対数応答部310として、図7に例示したゲインブースト型の対数応答部310Aを引用するが、これに限定されず、例えば、図6に例示したソースフォロア型の対数応答部310など、光電流の対数値に応じた電圧信号を生成する種々の回路が用いられてよい。また、以下の説明では、1つの共有ブロック221が2行×2列の計4つの対数応答部310Aを含む場合を例示するが、これに限定されず、各共有ブロック221は1又は2以上の対数応答部310Aを含んでよい。
次に、図17に例示した共有ブロック221のレイアウト例について説明する。図18は、本実施形態に係る共有ブロックのレイアウト例を示す平面図である。なお、図18には、説明の都合上、光電変換素子311が形成される半導体基板の素子形成面側の概略レイアウト例と、素子形成面上に形成された配線層の一部の概略レイアウト例とが示されている。また、図18では、明確化のため、ゲート電極の位置を以て各nMOSトランジスタ312、313、315及び316並びにスイッチングトランジスタ317及び318の配置が示されている。さらに、図18には、後述におけるビニングモードの際に形成される電流経路の概要が太線の矢印により示されている。
図18に示すように、受光チップ201において1つのレイアウト画素10がそれぞれ配置される画素エリアは、行方向及び列方向に延在する画素分離部12で区画されている。各レイアウト画素10は、略中央に配置された光電変換素子311と、画素エリアの外周部に沿って配置された、言い換えれば、光電変換素子311を少なくとも2方向(図18では3方向)から囲むように配置された複数のnMOSトランジスタ312、313、315及び316並びにスイッチングトランジスタ317および318、並びに、検出チップ202側に配置されたpMOSトランジスタ314との接続を形成するためのコンタクト314cとを含む。
一方、回路上では、あるレイアウト画素10における光電変換素子311と、この光電変換素子311の左側に配置された2つのnMOSトランジスタ312及び315と、このレイアウト画素10に対して左隣に隣接するレイアウト画素10における光電変換素子311の右側に配置された2つのnMOSトランジスタ313及び316とが、1つの回路画素(ここでは対数応答部310An)を構成する。すなわち、レイアウト上の回路画素(ここでは対数応答部310An)では、4つのnMOSトランジスタ312、313、315及び316で構成される対数変換回路が、画素分離部12を跨ぐ構成を有する。
次に、本実施形態に係る撮像装置100の動作例について説明する。上述したように、本実施形態では、スイッチングトランジスタ317及び318のオン/オフを制御することで、1つの対数応答部310(対数応答部310Aであってもよい)が1つの画素として動作するモード(以下、高解像度モードという)と、共有ブロック221における2以上の対数応答部310が1つの画素として動作するモード(以下、ビニングモードという)とを切り替えることが可能である。また、一部の共有ブロック221を高解像度モードで駆動し、残りの共有ブロック221をビニングモードで駆動するモード(以下、ROIモードという)を実現することも可能である。例えば、ビニングモード及びROIモードは、請求の範囲における第1モードの一例であってよく、高解像度モードは、請求の範囲における第2モードの一例であってよい。また、ビニングモードは、請求の範囲における第3モードの一例であってもよく、ROIモードは、請求の範囲における第4モードの一例であってもよい。
図19は、本実施形態に係る高解像度モードとビニングモードとのそれぞれにおけるスイッチングトランジスタの制御例を示すタイミングチャートである。図19に示すように、区間T10~T11に示す高解像度モードでは、各対数応答部310A1~310A4において、スイッチングトランジスタ317がオン状態とされ、スイッチングトランジスタ318がオフ状態とされる。それにより、各対数応答部310A1~310A4の光電変換素子311から流出した光電流が各自の対数変換回路に流入する電流経路が形成される。
続いて、撮像装置100の動作例について説明する。図20は、本実施形態に係る撮像装置の一動作例であって、全画素がビニングモードで動作するモード(以下、全画素ビニングモードという)と、全画素が高解像度モードで動作するモード(以下、全画素高解像度モードという)と、ROIモードとを切り替える動作例を示すフローチャートである。なお、本説明では、撮像装置100における制御部130(図1参照)が固体撮像装置200の動作モードを制御する場合を例示するが、これに限定されず、例えば、固体撮像装置200内の信号処理回路240が動作モードを制御するように構成されてもよい。また、図20に例示する動作は、例えば、制御部130や固体撮像装置200に対する割り込み動作等で終了してもよい。
以上のように、本実施形態によれば、複数の光電変換素子311から流出した光電流を1つの対数変換回路に集約可能な構成とすることで、より多くの光電流量を確保することが可能となるため、光電流検出におけるダイナミックレンジを広げることが可能となる。それにより、低照度時などでも十分な広さのダイナミックレンジを確保することが可能となる。
次に、第2の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本実施形態では、第1の実施形態において図17を用いて説明した共有ブロック221の他の構成について、例を挙げて説明する。
図21は、本実施形態に係る共有ブロックの概略構成例を示す回路図である。なお、以下で例示する対数応答部310Bnは、図7に例示したゲインブースト型の対数応答部310Aをベースとした対数応答部の例であるが、これに限定されず、例えば、図6に例示したソースフォロア型の対数応答部310など、光電流の対数値に応じた電圧信号を生成する種々の回路をベースとして対数応答部310Bを構成することができる。また、以下の説明では、1つの共有ブロック621が2行×2列の計4つの対数応答部310Bnを含む場合を例示するが、これに限定されず、各共有ブロック621は1又は2以上の対数応答部310Bnを含んでよい。
次に、図21に例示した共有ブロック621のレイアウト例について説明する。図22は、本実施形態に係る共有ブロックのレイアウト例を示す平面図である。なお、図22には、説明の都合上、光電変換素子311が形成される半導体基板の素子形成面側の概略レイアウト例と、素子形成面上に形成された配線層の一部の概略レイアウト例とが示されている。また、図22では、明確化のため、ゲート電極の位置を以て各nMOSトランジスタ312、313、315及び316並びにスイッチングトランジスタ317~319の配置が示されている。さらに、図22には、後述におけるビニングモードの際に形成される電流経路の概要が太線の矢印により示されている。例えば、nMOSトランジスタ312は、請求の範囲における第4トランジスタの一例であってよく、nMOSトランジスタ313は、請求の範囲における第5トランジスタの一例であってよく、nMOSトランジスタ315は、請求の範囲における第6トランジスタの一例であってよく、nMOSトランジスタ316は、請求の範囲における第7トランジスタの一例であってよい。
続いて、対数応答部310Bnの動作例について説明する。図23は、本実施形態に係る高解像度モードとビニングモードとのそれぞれにおけるスイッチングトランジスタの制御例を示すタイミングチャートである。図23に示すように、区間T20~T21に示す高解像度モードでは、各対数応答部310B1~310B4において、スイッチングトランジスタ317及び319がオフ状態とされ、スイッチングトランジスタ318がオン状態とされる。それにより、各対数応答部310B1~310B4の光電変換素子311から流出した光電流が各自の対数変換回路に流入する電流経路が形成される。
以上のように、本実施形態によれば、ビニングモード時に、共通線3101を介して流入した光電流が、対数応答部310B1のスイッチングトランジスタ318、光電変換素子311のカソード及びスイッチングトランジスタ317を介さずに、対数応答部310B1のスイッチングトランジスタ319を介して、対数応答部310B1の対数変換回路に流入する電流経路が形成されるため、スイッチングトランジスタ318からスイッチングトランジスタ317までのポテンシャルデザインに対する制約を大幅に緩和することが可能となる。
次に、第3の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本実施形態では、第1の実施形態において図17を用いて説明した共有ブロック221のさらに他の構成について、例を挙げて説明する。
図24は、本実施形態に係る共有ブロックの概略構成例を示す回路図である。なお、以下で例示する対数応答部310Cnは、図7に例示したゲインブースト型の対数応答部310Aをベースとした対数応答部の例であるが、これに限定されず、例えば、図6に例示したソースフォロア型の対数応答部310など、光電流の対数値に応じた電圧信号を生成する種々の回路をベースとして対数応答部310Bを構成することができる。また、以下の説明では、1つの共有ブロック721が2行×2列の計4つの対数応答部310Cnを含む場合を例示するが、これに限定されず、各共有ブロック721は1又は2以上の対数応答部310Cnを含んでよい。
続いて、対数応答部310Cnの動作例について説明する。図25は、本実施形態に係る高解像度モードとビニングモードとのそれぞれにおけるスイッチングトランジスタの制御例を示すタイミングチャートである。図25に示すように、区間T30~T31に示す高解像度モードでは、各対数応答部310C1~310B4において、スイッチングトランジスタ317がオン状態とされ、スイッチングトランジスタ318がオフ状態とされる。それにより、各対数応答部310C1~310C4の光電変換素子311から流出した光電流が各自の対数変換回路に流入する電流経路が形成される。
以上のように、本実施形態によれば、例えば第2の実施形態と比較して、スイッチングトランジスタ319を省略することが可能となるため、対数応答部310Cnの画素エリアにおける占有面積を縮小することが可能となる。それにより、光電変換素子311の受光面の面積を増加することが可能となるため、固体撮像装置200の感度向上やダイナミックレンジ拡大を達成することが可能となる。また、スイッチングトランジスタ319が省略されたことで、駆動電流をより低減することも可能となる。
上述した実施形態では、固体撮像装置200が画素ごとのアドレスイベントの有無を示す検出信号よりなるフレームデータ(画像データに相当)を出力する構成を例示した。これに対し、第4の実施形態では、固体撮像装置200が、画素ごとの検出信号よりなる画像データの他に、画素ごとの露光量に応じた画素信号よりなる画像データ(以下、階調画像データともいう)をも出力し得る構成について、例を挙げて説明する。
図26は、本実施形態に係る共有ブロックの概略構成例を示す回路図である。なお、以下で例示する共有ブロック821は、図17に例示した共有ブロック221をベースとしているが、これに限定されず、例えば、第2の実施形態に係る共有ブロック621や第3の実施形態に係る共有ブロック721をベースとすることも可能である。
また、本実施形態に係る共有ブロック821は、例えば、第2の実施形態において図21を用いて説明した共有ブロック621をベースとすることも可能である。この場合でも、図27に示すように、共有ブロック821は、図21を用いて説明した共有ブロック621と同様の構成に、画素信号を読み出すための読出し回路370が共通線3101に接続された構成を備える。
図28は、本実施形態に係る読出し回路の概略構成例を示す回路図である。図28に示すように、本実施形態に係る読出し回路370は、リセットトランジスタ373と、増幅トランジスタ375と、選択トランジスタ376とを備える。
図29は、本実施形態に係る検出チップの平面図の一例である。本実施形態に係る検出チップ802は、第1の実施形態において図4を用いて説明した検出チップ202と同様の構成に、階調画素810から出力されたアナログの画素信号をデジタルの画素信号として読み出すためのカラムADC270が追加された構成を備える。
階調画像データの読出しは、例えば、いずれかの検出画素300においてアドレスイベントの発生が検出された場合に全ての階調画素810から画素信号を読み出すことで実行されてもよいし、アドレスイベントの発生が領域、言い換えれば、検出画素300によりオブジェクトが検出された領域に属する階調画素810から画素信号を読み出すことで実行されてもよい。図30に、本実施形態に係るオブジェクト検出モードと階調画像読出しモードとを切り替えて実行する動作例を示す。なお、本説明では、撮像装置100における制御部130(図1参照)が固体撮像装置200の動作モードを制御する場合を例示するが、これに限定されず、例えば、固体撮像装置200内の信号処理回路240が動作モードを制御するように構成されてもよい。また、図30に例示する動作は、例えば、制御部130や固体撮像装置200に対する割り込み動作等で終了してもよい。
以上のように、本実施形態によれば、アドレスイベントの有無に基づくオブジェクトの検出のみならず、オブジェクトが検出された領域若しくは全画素の階調画像データを取得することも可能となる。
上述した第4の実施形態では、オブジェクト検出の他に階調画像データの読出しが可能な構成において、読出し回路370が共通線3101に接続された構成を例示した。これに対し、第5の実施形態では、共通線3101とは別の共通線に読出し回路370を接続する場合について、例を挙げて説明する。
図31は、本実施形態に係る共有ブロックの概略構成例を示す回路図である。なお、以下で例示する共有ブロック921は、図17に例示した共有ブロック221をベースとしているが、これに限定されず、例えば、第2の実施形態に係る共有ブロック621や第3の実施形態に係る共有ブロック721をベースとすることも可能である。
また、本実施形態に係る共有ブロック921は、例えば、第2の実施形態において図21を用いて説明した共有ブロック621をベースとすることも可能である。この場合でも、図32に示すように、共有ブロック921は、図21を用いて説明した共有ブロック621と同様の構成において、2以上又はすべての対数応答部310Anにおける光電変換素子311のカソードが共通線3102により接続され、読出し回路370が共通線3102に接続され、読出し回路370と各対数応答部310Anの光電変換素子311との間にスイッチングトランジスタ377が設けられた構成を備える。
以上のような構成において、読出し回路370を含む階調画素からの画素信号の読出し時には、全ての対数応答部310Anのスイッチングトランジスタ317及び318がオフ状態とされ、対数応答部310Anそれぞれに対応する階調画素のスイッチングトランジスタ377が時分割で順番に読出し回路370に接続される。ただし、ビニング時には、低照度時などにダイナミックレンジを拡大して読出しを実行する際には、2以上のスイッチングトランジスタ318が同期間にオン状態とされることで、ダイナミックレンジが拡大された読出しが実行される。
上述した実施形態では、各共有ブロック221等から出力された検出信号の読出しを要求するリクエストの調停を必要としない同期型のEVSを固体撮像装置200に適用した場合が例示されたが、このような構成に限定されるものではない。例えば、図33に例示する固体撮像装置のように、アドレスイベント検出部260の各行から出力されたリクエストを調停して検出信号の読出し行を順番付けする行アービタ280を備える非同期型のEVSが適用されてもよい。なお、図33には、本実施形態に係る固体撮像装置における検出チップ1002が示されている。
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
(1)
それぞれ入射光の輝度変化を出力する複数の検出画素と、
前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づきイベント信号を出力する検出回路と、
前記複数の検出画素間を接続する第1共通線と、
を備え、
前記検出画素それぞれは、
光電変換素子と、
前記光電変換素子から流出した光電流を当該光電流の対数値に応じた電圧信号に変換する対数変換回路と、
前記対数変換回路から出力された前記電圧信号に基づき前記光電変換素子に入射した入射光の輝度変化を出力する第一の回路と、
前記光電変換素子と前記対数変換回路との間に接続された第1トランジスタと、
前記光電変換素子と前記第1共通線との間に接続された第2トランジスタと、
を備え、
前記検出回路は、前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づき前記イベント信号を出力する第二の回路を備えた
固体撮像装置。
(2)
前記検出画素それぞれは、
前記第1トランジスタ及び前記対数変換回路を接続する第1ノードと、前記第2トランジスタ及び前記第1共通線を接続する第2ノードとの間に接続された第3トランジスタをさらに備える
前記(1)に記載の固体撮像装置。
(3)
前記第2トランジスタは、前記第1共通線と、前記光電変換素子及び前記第1トランジスタを接続するノードとの間に接続されている前記(1)に記載の固体撮像装置。
(4)
前記第1共通線に接続され、前記光電変換素子に蓄積された電荷に応じた電圧値の画素信号を生成する読出し回路をさらに備える前記(1)~(3)の何れか1つに記載の固体撮像装置。
(5)
前記読出し回路は、
前記第1共通線と電源線との間に接続されたリセットトランジスタと、
前記第1共通線にゲートが接続された増幅トランジスタと、
を含む前記(4)に記載の固体撮像装置。
(6)
前記複数の検出画素間を接続する第2共通線と、
前記検出画素それぞれにおける前記光電変換素子と前記第2共通線との間に接続された複数の第4トランジスタと、
前記第2共通線に接続され、前記光電変換素子に蓄積された電荷に応じた電圧値の画素信号を生成する読出し回路をさらに備える前記(1)~(3)の何れか1つに記載の固体撮像装置。
(7)
前記読出し回路は、
前記第2共通線と電源線との間に接続されたリセットトランジスタと、
前記第2共通線にゲートが接続された増幅トランジスタと、
を含む前記(6)に記載の固体撮像装置。
(8)
前記検出画素それぞれは、
前記対数変換回路から出力された前記電圧信号の変換量を示す微分信号を生成する微分器をさらに備える
前記(1)~(7)の何れか1つに記載の固体撮像装置。
(9)
前記検出回路は、
前記検出画素それぞれから出力された前記微分信号のいずれかを選択する選択部と、
前記微分信号に基づいて前記イベント信号を出力する比較器と、
を備える前記(8)に記載の固体撮像装置。
(10)
前記比較器は、
前記微分信号の電圧値が第1閾値を超えたことを検出して前記イベント信号を出力する第1比較器と、
前記微分信号の電圧値が前記第1閾値よりも低い電圧レベルの第2閾値を下回ったことを検出して前記イベント信号を出力する第2比較器と、
を含む前記(9)に記載の固体撮像装置。
(11)
複数の前記検出回路を備え、
前記検出回路それぞれは、前記複数の検出画素のうちの少なくとも1つでアドレスイベントを検出した場合に当該検出回路からの検出信号の読出しを要求するリクエストを出力し、
前記複数の検出回路のうちの少なくとも1つから出力された前記リクエストを調停することで前記リクエストを出力した検出回路に対する前記検出信号の読出し順序を決定するアービタをさらに備える
前記(1)~(10)の何れか1つに記載の固体撮像装置。
(12)
それぞれ前記光電変換素子と前記対数変換回路と前記第1トランジスタと前記第2トランジスタとを含む複数の対数応答部が2次元格子状に配列された受光部を備える第1チップをさらに備える前記(1)~(11)の何れか1つに記載の固体撮像装置。
(13)
前記対数変換回路は、
ソースが前記第1トランジスタに接続された第4トランジスタと、
ゲートが前記第4トランジスタの前記ソースに接続され、ソースが接地された第5トランジスタと、
を含み、
前記第4トランジスタのゲートは、前記第5トランジスタのドレインに接続されている
前記(12)に記載の固体撮像装置。
(14)
前記対数変換回路は、
ソースが前記第4トランジスタのドレインに接続され、ドレインが電源線に接続された第6トランジスタと、
ゲートが前記第4トランジスタの前記ドレインに接続され、ソースが前記第5トランジスタのドレインに接続された第7トランジスタと、
をさらに含み、
前記第6トランジスタのゲートは、前記第7トランジスタのドレインに接続されている
前記(13)に記載の固体撮像装置。
(15)
前記受光部は、格子状に延在する画素分離部をさらに備え、
前記対数応答部それぞれは、前記画素分離部により前記2次元格子状に区画された画素領域それぞれに設けられている
前記(12)に記載の固体撮像装置。
(16)
前記画素領域には、前記第1及び第2トランジスタと、前記第1及び第2トランジスタとは異なる少なくとも2つのトランジスタと、前記光電変換素子とが配置され、
前記少なくとも2つのトランジスタは、前記画素領域において前記光電変換素子を挟む位置に配置され、
前記対数変換回路は、互いに隣接する2つの前記画素領域それぞれにおける前記少なくとも2つのトランジスタのうちの少なくとも1つずつを用いて構成されている
前記(15)に記載の固体撮像装置。
(17)
複数の前記検出回路が配置された第2チップをさらに備え、
前記第1チップと前記第2チップとは、単一の積層チップを構成する
前記(12)~(16)の何れか1つに記載の固体撮像装置。
(18)
前記(1)~(17)の何れか1つに記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置を制御する制御部と、
を備える撮像装置。
(19)
前記固体撮像装置は、前記複数の検出画素を含む共有ブロックを複数備え、
前記制御部は、前記固体撮像装置の動作モードを、
前記複数の共有ブロックにおける少なくとも1つにおいて、前記複数の検出画素のうちの1つの検出画像における前記第1及び第2トランジスタをオン状態とし、前記複数の検出画素のうちの他の少なくとも1つの検出画像における前記第1トランジスタをオフ状態とするとともに前記第2トランジスタをオン状態とする第1モードと、
前記複数の共有ブロックの全てにおいて、前記複数の検出画素それぞれの前記第1トランジスタをオン状態とし、前記第2トランジスタをオフ状態とする第2モードと、
のうちのいずれかに切り替える
前記(18)に記載の撮像装置。
(20)
前記第1モードは、
前記複数の共有ブロックの全てにおいて、前記複数の検出画素のうちの1つの検出画像における前記第1及び第2トランジスタをオン状態とし、前記複数の検出画素のうちの他の少なくとも1つの検出画像における前記第1トランジスタをオフ状態とするとともに前記第2トランジスタをオン状態とする第3モードと、
前記複数の共有ブロックの一部において、前記複数の検出画素のうちの1つの検出画像における前記第1及び第2トランジスタをオン状態とし、前記複数の検出画素のうちの他の少なくとも1つの検出画像における前記第1トランジスタをオフ状態とするとともに前記第2トランジスタをオン状態とし、前記複数の共有ブロックのうちの残りの共有ブロックにおいて、前記複数の検出画素それぞれの前記第1トランジスタをオン状態とし、前記第2トランジスタをオフ状態とする第4モードと、
を含み、
前記制御部は、前記固体撮像装置の前記動作モードを、前記第2モードから前記第4モードのうちのいずれかに切り替える
前記(19)に記載の撮像装置。
12 画素分離部
100 撮像装置
110 光学部
120 記録部
130 制御部
200 固体撮像装置
201 受光チップ
202、802、1002 検出チップ
211、212、213、231、232、233 ビア配置部
220 受光部
221、621、721、821、921 共有ブロック
240 信号処理回路
251 行駆動回路
252 列駆動回路
260 アドレスイベント検出部
270 カラムADC
280 行アービタ
300 検出画素
305 検出回路
310、310A、310An、310Bn、310Cn 対数応答部
311 光電変換素子
312、313、315、316、512 nMOSトランジスタ
314、411、511 pMOSトランジスタ
314c コンタクト
317~319、377 スイッチングトランジスタ
320 検出ブロック
330 バッファ
340 微分器
341、343 コンデンサ
342 インバータ
344 スイッチ
360 転送回路
370 読出し回路
373 リセットトランジスタ
374 浮遊拡散領域
375 増幅トランジスタ
376 選択トランジスタ
400 選択部
410、420 セレクタ
500 比較部
510、520 コンパレータ
3101、3102 共通線
Claims (15)
- それぞれ入射光の輝度変化を出力する複数の検出画素と、
前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づきイベント信号を出力する検出回路と、
前記複数の検出画素間を接続する第1共通線と、
を備え、
前記検出画素それぞれは、
光電変換素子と、
前記光電変換素子から流出した光電流を当該光電流の対数値に応じた電圧信号に変換する対数変換回路と、
前記対数変換回路から出力された前記電圧信号に基づき前記光電変換素子に入射した入射光の輝度変化を出力する第1の回路と、
前記光電変換素子と前記対数変換回路との間に接続された第1トランジスタと、
前記光電変換素子と前記第1共通線との間に接続された第2トランジスタと、
前記第1トランジスタ及び前記対数変換回路を接続する第1ノードと、
前記第2トランジスタ及び前記第1共通線を接続する第2ノードとの間に接続された第3トランジスタと、
を備え、
前記検出回路は、前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づき前記イベント信号を出力する第2の回路を備える、
固体撮像装置。 - 前記第1共通線に接続され、前記光電変換素子に蓄積された電荷に応じた電圧値の画素信号を生成する読出し回路をさらに備える、請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記読出し回路は、
前記第1共通線と電源線との間に接続されたリセットトランジスタと、
前記第1共通線にゲートが接続された増幅トランジスタと、
を含む、請求項2に記載の固体撮像装置。 - それぞれ入射光の輝度変化を出力する複数の検出画素と、
前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づきイベント信号を出力する検出回路と、
前記複数の検出画素間を接続する第1共通線と、
前記複数の検出画素間を接続する第2共通線と、
を備え、
前記検出画素それぞれは、
光電変換素子と、
前記光電変換素子から流出した光電流を当該光電流の対数値に応じた電圧信号に変換する対数変換回路と、
前記対数変換回路から出力された前記電圧信号に基づき前記光電変換素子に入射した入射光の輝度変化を出力する第1の回路と、
前記光電変換素子と前記対数変換回路との間に接続された第1トランジスタと、
前記光電変換素子と前記第1共通線との間に接続された第2トランジスタと、
前記第2共通線に接続され、前記光電変換素子に蓄積された電荷に応じた電圧値の画素信号を生成する読出し回路と、
前記検出画素それぞれにおける前記光電変換素子と前記第2共通線との間に接続された複数の第4トランジスタと、
を備え、
前記検出回路は、前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づき前記イベント信号を出力する第2の回路を備える、
固体撮像装置。 - 前記読出し回路は、
前記第2共通線と電源線との間に接続されたリセットトランジスタと、
前記第2共通線にゲートが接続された増幅トランジスタと、
を含む、請求項4に記載の固体撮像装置。 - それぞれ入射光の輝度変化を出力する複数の検出画素と、
前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づきイベント信号を出力する検出回路と、
前記複数の検出画素間を接続する第1共通線と、
を備え、
前記検出画素それぞれは、
光電変換素子と、
前記光電変換素子から流出した光電流を当該光電流の対数値に応じた電圧信号に変換する対数変換回路と、
前記対数変換回路から出力された前記電圧信号に基づき前記光電変換素子に入射した入射光の輝度変化を出力する第1の回路と、
前記光電変換素子と前記対数変換回路との間に接続された第1トランジスタと、
前記光電変換素子と前記第1共通線との間に接続された第2トランジスタと、
前記対数変換回路から出力された前記電圧信号の変換量を示す微分信号を生成する微分器と、
を備え、
前記検出回路は、前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づき前記イベント信号を出力する第2の回路を備え、
前記第2の回路は、前記検出画素それぞれから出力された前記微分信号のいずれかを選択する選択部と、前記微分信号に基づいて前記イベント信号を出力する比較器と、
を備える、
固体撮像装置。 - 前記比較器は、
前記微分信号の電圧値が第1閾値を超えたことを検出して前記イベント信号を出力する第1比較器と、
前記微分信号の電圧値が前記第1閾値よりも低い電圧レベルの第2閾値を下回ったことを検出して前記イベント信号を出力する第2比較器と、
を含む、請求項6に記載の固体撮像装置。 - 複数の前記検出回路を備え、
前記検出回路それぞれは、前記複数の検出画素のうちの少なくとも1つでアドレスイベントを検出した場合に当該検出回路からの検出信号の読出しを要求するリクエストを出力し、
前記複数の検出回路のうちの少なくとも1つから出力された前記リクエストを調停することで前記リクエストを出力した検出回路に対する前記検出信号の読出し順序を決定するアービタをさらに備える、
請求項1~7のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - それぞれ前記光電変換素子と前記対数変換回路と前記第1トランジスタと前記第2トランジスタとを含む複数の対数応答部が2次元格子状に配列された受光部を備える第1チップをさらに備える、請求項1~8のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記対数変換回路は、
ソースが前記第1トランジスタに接続された第4トランジスタと、
ゲートが前記第4トランジスタの前記ソースに接続され、ソースが接地された第5トランジスタと、
を含み、
前記第4トランジスタのゲートは、前記第5トランジスタのドレインに接続されている、
請求項9に記載の固体撮像装置。 - 前記対数変換回路は、
ソースが前記第4トランジスタのドレインに接続され、ドレインが電源線に接続された第6トランジスタと、
ゲートが前記第4トランジスタの前記ドレインに接続され、ソースが前記第5トランジスタのドレインに接続された第7トランジスタと、
をさらに含み、
前記第6トランジスタのゲートは、前記第7トランジスタのドレインに接続されている、
請求項10に記載の固体撮像装置。 - それぞれ入射光の輝度変化を出力する複数の検出画素と、
前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づきイベント信号を出力する検出回路と、
前記複数の検出画素間を接続する第1共通線と、
を備え、
前記検出画素それぞれは、
光電変換素子と、
前記光電変換素子から流出した光電流を当該光電流の対数値に応じた電圧信号に変換する対数変換回路と、
前記対数変換回路から出力された前記電圧信号に基づき前記光電変換素子に入射した入射光の輝度変化を出力する第1の回路と、
前記光電変換素子と前記対数変換回路との間に接続された第1トランジスタと、
前記光電変換素子と前記第1共通線との間に接続された第2トランジスタと、
を備え、
それぞれ前記光電変換素子と前記対数変換回路と前記第1トランジスタと前記第2トランジスタとを含む複数の対数応答部が2次元格子状に配列された受光部を備える第1チップと、
前記検出回路は、前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づき前記イベント信号を出力する第2の回路を備え、
前記受光部は、格子状に延在する画素分離部をさらに備え、
前記対数応答部それぞれは、前記画素分離部により前記2次元格子状に区画された画素領域それぞれに設けられており、
前記画素領域には、前記第1及び第2トランジスタと、前記第1及び第2トランジスタとは異なる少なくとも2つのトランジスタと、前記光電変換素子とが配置され、
前記少なくとも2つのトランジスタは、前記画素領域において前記光電変換素子を挟む位置に配置され、
前記対数変換回路は、互いに隣接する2つの前記画素領域それぞれにおける前記少なくとも2つのトランジスタのうちの少なくとも1つずつを用いて構成されている、
固体撮像装置。 - 複数の前記検出回路が配置された第2チップをさらに備え、
前記第1チップと前記第2チップとは、単一の積層チップを構成する
請求項9~12のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置を制御する制御部と、
を備える撮像装置であって、
前記固体撮像装置は、
それぞれ入射光の輝度変化を出力する複数の検出画素と、
前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づきイベント信号を出力する検出回路と、
前記複数の検出画素間を接続する第1共通線と、
を備え、
前記検出画素それぞれは、
光電変換素子と、
前記光電変換素子から流出した光電流を当該光電流の対数値に応じた電圧信号に変換する対数変換回路と、
前記対数変換回路から出力された前記電圧信号に基づき前記光電変換素子に入射した入射光の輝度変化を出力する第1の回路と、
前記光電変換素子と前記対数変換回路との間に接続された第1トランジスタと、
前記光電変換素子と前記第1共通線との間に接続された第2トランジスタと、
を備え、
前記検出回路は、前記検出画素それぞれから出力された前記輝度変化に基づき前記イベント信号を出力する第2の回路を備え、
前記固体撮像装置は、前記複数の検出画素を含む共有ブロックを複数備え、
前記制御部は、前記固体撮像装置の動作モードを、
前記複数の共有ブロックにおける少なくとも1つにおいて、前記複数の検出画素のうちの1つの検出画像における前記第1及び第2トランジスタをオン状態とし、前記複数の検出画素のうちの他の少なくとも1つの検出画像における前記第1トランジスタをオフ状態とするとともに前記第2トランジスタをオン状態とする第1モードと、
前記複数の共有ブロックの全てにおいて、前記複数の検出画素それぞれの前記第1トランジスタをオン状態とし、前記第2トランジスタをオフ状態とする第2モードと、
のうちのいずれかに切り替える、
撮像装置。 - 前記第1モードは、
前記複数の共有ブロックの全てにおいて、前記複数の検出画素のうちの1つの検出画像における前記第1及び第2トランジスタをオン状態とし、前記複数の検出画素のうちの他の少なくとも1つの検出画像における前記第1トランジスタをオフ状態とするとともに前記第2トランジスタをオン状態とする第3モードと、
前記複数の共有ブロックの一部において、前記複数の検出画素のうちの1つの検出画像における前記第1及び第2トランジスタをオン状態とし、前記複数の検出画素のうちの他の少なくとも1つの検出画像における前記第1トランジスタをオフ状態とするとともに前記第2トランジスタをオン状態とし、前記複数の共有ブロックのうちの残りの共有ブロックにおいて、前記複数の検出画素それぞれの前記第1トランジスタをオン状態とし、前記第2トランジスタをオフ状態とする第4モードと、
を含み、
前記制御部は、前記固体撮像装置の前記動作モードを、前記第2モードから前記第4モードのうちのいずれかに切り替える、
請求項14に記載の撮像装置。
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019146527A1 (ja) | 2018-01-23 | 2019-08-01 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置、および、固体撮像素子の制御方法 |
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| JP6436953B2 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-12-12 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置及びその駆動方法、並びに撮像システム |
| JP2018186478A (ja) * | 2017-04-25 | 2018-11-22 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置、および、固体撮像素子の制御方法 |
| JP2020053827A (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、および、撮像装置 |
| JP7489189B2 (ja) * | 2019-08-30 | 2024-05-23 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、撮像装置、および、固体撮像素子の制御方法 |
| CN111210771A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-05-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 像素电路及其驱动方法、显示装置 |
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| JP2022121991A (ja) * | 2021-02-09 | 2022-08-22 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | センシングシステム、信号処理装置 |
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| JP7559730B2 (ja) * | 2021-10-06 | 2024-10-02 | 株式会社デンソー | 固体撮像素子 |
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Patent Citations (4)
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| JP2019134202A (ja) | 2018-01-29 | 2019-08-08 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置および撮像素子の制御方法 |
| JP2020072317A (ja) | 2018-10-30 | 2020-05-07 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | センサ及び制御方法 |
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