JP7647404B2

JP7647404B2 - クリーンルーム間の搬送物梱包用の梱包材、梱包方法及び搬送方法

Info

Publication number: JP7647404B2
Application number: JP2021115692A
Authority: JP
Inventors: 聖二佐藤
Original assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 2021-07-13
Filing date: 2021-07-13
Publication date: 2025-03-18
Anticipated expiration: 2041-07-13
Also published as: CN117480594A; WO2023286465A1; JP2023012191A; US20240262611A1; TW202317454A

Description

本発明は、クリーンルーム間で搬送するＦＯＵＰ又はＦＯＳＢを梱包する梱包材（カバー）、梱包方法及び搬送方法に関する。

半導体の製造工場において、例えば半導体ウェーハを製造する工程においては、パーティクルなどのごみ対策、また金属不純物の汚染については厳重な管理がなされている。これより最終的に検査や出荷する直前に行う包装、梱包工程は、パーティクルや金属汚染が厳重に管理されたクリーンルームで行う必要がある。

これらクリーンルームは、パーティクルや金属汚染が厳重に管理されており、クリーンルームで作業する作業者は、特別な無塵布で作製された、無塵衣（クリーンスーツ）を着用し、口、鼻をマスクで覆い、手には樹脂製の手袋を着用し、人体からの発塵を最小限に抑える対策を行い、最も厳しい作業エリアでは、クリーンルームに入る人数を制限、管理し、作業エリアについても、立ち入る人数を制限することで、パーティクル、金属汚染の管理を行っている。また、クリーンルームに持ち込む物品（ペンや紙）も専用のものを使用し、ＰＣやプリンターについても発塵対策を行っている。

半導体工場において、工程と工程とは必ずしもクリーンルームとして繋がっているとは限らず、エリアが異なることで部屋（クリーンルーム）間を跨いだり、階が異なることで階（クリーンルーム）間を跨いだり、建屋（クリーンルーム）間を跨いで、各種物品の搬送を行っている。例えば半導体ウェーハの場合には、工程間をＦＯＵＰ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＵｎｉｆｉｅｄＰｏｄ）に収納して搬送を行っており、ＦＯＵＰの寸法や材質はＳＥＭＩ（ＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＥｑｕｉｐｍｅｎｔａｎｄＭａｔｅｒｉａｌＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格によって詳細に規定されている。また、半導体材料メーカーから半導体デバイスメーカーに材料となる半導体ウェーハを出荷、輸送する場合には、ＦＯＳＢ（ＦｒｏｎｔＯｐｅｎｉｎｇＳｈｉｐｐｉｎｇＢｏｘ）に収納して搬送、輸送を行っており、ＦＯＳＢの詳細もＳＥＭＩ（ＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＥｑｕｉｐｍｅｎｔａｎｄＭａｔｅｒｉａｌＩｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ）規格によって詳細に規定されている。

半導体工場内のクリーンルーム間でＦＯＵＰやＦＯＳＢを搬送する場合には、クリーントンネルやクリーンエレベーターがある場合には特に問題が無いが、クリーントンネルやクリーンエレベーターが無い場合や、建屋（クリーンルーム）間を移動する場合は、ＦＯＵＰやＦＯＳＢを樹脂製の袋に包装する必要がある。

特許文献１には、クリーンルーム内に搬入する搬入物、具体的には半導体デバイスの製造装置の梱包方法及び梱包材について記載されている。

特許文献２には、クリーンルーム内で作業する際に着用する、無塵衣について記載されている。

特許文献３には、クリーンルーム内にて配管、配線工事を行う際に使用する仮設防塵テント及び工事方法が記載されている。

特許文献４には、クリーンルーム内に搬送物を搬送する際の２重クリーン搬送キャリアが記載されている。

特許文献５には、クリーンルーム内で着用する無塵衣に使用する繊維及び無塵衣の製造方法が記載されている。

特開平１１－２０８７０８号公報特開２００１－３０３３１４号公報特開２００３－００４２７４号公報特開２００４－１５０６７４号公報特開２０１４－０７０３０５号公報

半導体工場におけるクリーンルーム間のＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物の搬送において、これまでは、樹脂製の袋などで包装し、クリーンルームから一般外気の環境を経由して、クリーンルーム内に搬送、輸送を行っていた。これら樹脂製の袋は、クリーンルーム内で発塵しない樹脂材料をシート状に加工し、袋型に成形したもので、袋の開口部を加熱シール機によって搬送物を密閉シールすることにより包装用の袋としている。クリーンルーム外の一般外気の環境でも、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物は、樹脂製の袋に密閉包装されていることより、外気に含まれるパーティクル（粉塵）や金属不純物などの埃から保護された状態で搬送される。また、さらに厳密に管理を行う場合には、これら樹脂の袋を２重に包装し、クリーンルームに隣接する、クリーン（清浄）度がクリーンルームより低い部屋（クッションルーム）で、２重包装の１重（外側の包装）を破り、内側の１重の包装された搬送物をクリーンルームに持ち込み、このクリーンルーム内で搬送物を樹脂製の袋から取り出す方法を行っていた。この場合、搬送前のクリーンルームにおいて、１重以上の包装を行い、搬送後のクリーンルームにてこれら包装を破って搬送物を取り出す作業が必要である。また、包装材として１重以上の樹脂製の袋が必要であり、クリーンルームに持ち込むため、発塵量が低い材料や外気の湿度の影響を受けない透湿及び吸湿の両方を防ぐ防湿性の材料とするか、低発塵性及び防湿性を発揮するように塗付や積層などの特殊加工を行った材料を用いる必要があるが、これらは非常に高価な材料となっている。ここで用いる包装材は、非常に高価であるにもかかわらず、上記の通り搬送物を取り出す際に破るので、使用後に廃棄することになる。また、これら樹脂製の袋に搬送物を入れた後に、袋の開口部を加熱シールする装置や、これらをシールする作業エリアの確保など、高コスト化が問題となっていた。さらに、クリーンルーム間をつなげるためにクリーントンネルやクリーンエレベーターを設けることもできるが、さらに多額の設備投資が掛かる問題があった。

本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物の清浄度を高く保ったまま、クリーンルーム間において搬送物を搬送することを低コストで可能とする梱包材、梱包方法及び搬送方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明では、半導体工場の清浄雰囲気とされたクリーンルーム間において、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を搬送するにあたり、前記搬送物を梱包するための梱包材であって、防塵性及び防湿性を有する無塵布を含むものであることを特徴とするクリーンルーム間の搬送物梱包用の梱包材を提供する。

防塵性及び防湿性を有する無塵布で作製された本発明の梱包材は、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を発塵や外気に含まれるパーティクル（粉塵）や金属汚染物の埃や水分から守る梱包材（カバー）となることができる。それにより、本発明の梱包材をクリーンルーム間の搬送物梱包用の梱包材として使用することにより、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物の清浄度を高く保ったまま、クリーンルーム間でＦＯＵＰ又はＦＯＳＢを搬送することが可能となる。

また、無塵布で作製された本発明の梱包材は、洗浄可能であり、塵埃にて汚れた場合には洗浄を行い、繰り返し使用が可能である。これより、これまで使用後に廃棄する樹脂製の包装用の袋にて包装していた資材や作業のコストの削減が可能となり、場合によってはクッションルームやエアーシャワーの設備についても削減が可能となる。

つまり、本発明の梱包材であれば、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物の清浄度を高く保ったまま、クリーンルーム間において搬送物を搬送することを低コストで可能とすることができる。

また、本発明では、半導体工場の清浄雰囲気とされたクリーンルーム間において、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を搬送するにあたり、前記搬送物を防塵性及び防湿性を有する無塵布を含む梱包材を用いて梱包することを特徴とするクリーンルーム間の搬送物の梱包方法を提供する。

本発明の梱包方法では、防塵性及び防湿性を有する無塵布で作製された梱包材を用いてＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を梱包することにより、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を発塵や金属汚染物の埃や水分から守ることができる。このように梱包した搬送物を搬送することにより、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物の清浄度を高く保ったまま、クリーンルーム間でＦＯＵＰ又はＦＯＳＢを搬送することが可能となる。更に、無塵布で作製された本発明の梱包材は、洗浄可能であり、塵埃にて汚れた場合には洗浄を行い、繰り返し使用が可能である。

つまり、本発明の梱包方法により梱包して搬送物を搬送すれば、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物の清浄度を高く保ったまま、クリーンルーム間において搬送物を搬送することを低コストで可能とすることができる。

また、本発明では、半導体工場の清浄雰囲気とされたクリーンルーム間において、搬送物を搬送する搬送方法であって、
前記搬送物を本発明の梱包方法により梱包し、該梱包した搬送物を前記クリーンルーム間で搬送することを特徴とするクリーンルーム間の搬送物の搬送方法を提供する。

本発明の搬送方法では、本発明の梱包方法によりＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を梱包し、この梱包した搬送物をクリーンルーム間で搬送するので、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物の清浄度を高く保ったまま、クリーンルーム間でＦＯＵＰ又はＦＯＳＢを搬送することが低コストで可能となる。

以上のように、本発明によれば、これまで使用していた、使い捨ての高価な樹脂製の包装材や包装装置、包装及び包装袋を破く作業者、作業エリアもしくは高価なクリーントンネルやクリーンエレベーターなどの設備を使用しなくとも、クリーンルーム間で、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を梱包し、外気に含まれるパーティクルや金属不純物を含む埃、水分などから保護して、搬送物の清浄度を高く保ったまま低コストで搬送できる梱包材（カバー）、このような梱包材を用いた梱包方法、さらに搬送方法を提供することが可能となる。

本発明の梱包材の一例及びその使用例を示す概略図である。本発明の搬送方法の一例を含む、ウェーハの出荷準備のフロー図である。本発明の搬送方法の一例の一部を説明する概略図である。梱包材無し搬送台車の一例を示す概略図である。実施例及び比較例における搬送前後のパーティクル個数の差分を示すグラフである。従来のウェーハの出荷準備のフロー図である。

上述したように、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物についてクリーンルーム間を搬送する場合には、搬送物を個別に包装するか、クリーントンネルやクリーンエレベーターなどのクリーンな空間を設置する必要があったが、多大なコストと作業員の手間が掛かっており、搬送物の高い清浄度を保ったまま簡易的に且つ低コストで搬送物を搬送できることが望まれている。

そこで本発明者は、上記課題について鋭意検討を重ねた結果、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を梱包するための梱包材として、防塵性及び防湿性を有する無塵布を含むものを用いることにより、搬送物の高い清浄度を保ったまま、搬送物を簡易的に且つ低コストでクリーンルーム間を搬送できることを見出し、本発明を完成させた。

即ち、本発明は、半導体工場の清浄雰囲気とされたクリーンルーム間において、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を搬送するにあたり、前記搬送物を梱包するための梱包材であって、防塵性及び防湿性を有する無塵布を含むものであることを特徴とするクリーンルーム間の搬送物梱包用の梱包材である。

また、本発明は、半導体工場の清浄雰囲気とされたクリーンルーム間において、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を搬送するにあたり、前記搬送物を防塵性及び防湿性を有する無塵布を含む梱包材を用いて梱包することを特徴とするクリーンルーム間の搬送物の梱包方法である。

また、本発明は、半導体工場の清浄雰囲気とされたクリーンルーム間において、搬送物を搬送する搬送方法であって、
前記搬送物を本発明の梱包方法により梱包し、該梱包した搬送物を前記クリーンルーム間で搬送することを特徴とするクリーンルーム間の搬送物の搬送方法である。

以下、本発明について図面を参照しながら詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

［梱包材］
まず、図１を参照しながら、本発明の梱包材の一例を説明する。

図１では、ＦＯＳＢ３が、本発明の梱包材１で梱包された状態で、梱包材（カバー）付搬送台車４に載せられている。

本発明の梱包材１は、防塵性及び防湿性を有する無塵布を含むものである。図１に示す梱包材１は、主部の無塵布と、係止部材２とからなる。

クリーンルーム内で人が作業する場合には、作業者は、発塵を極力まで低減した、無塵布によって作製した無塵作業衣を着用している。また、作業者が出した汗には塩化ナトリウムや塩化マグネシウムが含まれており、これらの汗が水蒸気となって無塵作業衣の外側に放出しないように、無塵作業衣に用いられる無塵布は、防塵布を透湿及び吸湿の両方を防ぐように防湿加工したものである。例えば、無塵作業衣は、防塵作業衣の内側に吸湿及び透湿を防ぐための防湿素材が塗付又は積層加工されている。これらの作用により、クリーンルーム内で人が作業しても、最低のパーティクル及び金属不純物の発塵に抑えることが出来る。

ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物３を半導体工場の清浄雰囲気とされたクリーンルーム間で搬送する際に、無塵作業衣で使用されている無塵布で作製した本発明の梱包材（カバー）１を、搬送物３を発塵や金属汚染物の埃や水分から守る梱包材（カバー）とすることにより、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物３の清浄度を高く保ったまま、クリーンルーム間を搬送することが可能となる。

無塵布として、例えば、ポリエステル系繊維、ポリアミド系繊維、ポリオレフィン系繊維、ポリアクリル系繊維にて布に加工したものとすることができる。さらにこれら繊維に帯電防止効果を持つ物質を含む繊維を混ぜることにより、梱包材（カバー）１全体の帯電を防止し、静電気による塵埃の付着を防止することができる。

梱包材（カバー）１を開閉する係止部材２は、特に限定されないが、ファスナーであれば、粘着力が低下するのを防ぐことができ且つ密閉性や防塵性に優れるので、粘着テープ及びマジックテープ（登録商標）よりも好適に使用できる。半導体製造工程の金属汚染の観点から、樹脂製のファスナーが最適である。

［梱包方法及び搬送方法］
次に、本発明の梱包方法及び搬送方法の例を、図２を参照しながらそれぞれ説明する。

図２に示すように、出荷容器ＦＯＳＢは、ＦＯＳＢ受入工程、ＦＯＳＢ洗浄工程、ＦＯＳＢ組立工程、ＦＯＳＢ検査工程及びＦＯＳＢ出荷工程の順で処理される。これらＦＯＳＢの受け入れから出荷までがクリーンルームＡで行われた後に、ウェーハ検査工程で合格となったウェーハをＦＯＳＢに収納する出荷編成工程へ搬送することとなる。出荷編成工程がクリーンルームＡ内にある場合には、クリーンルームＡ内でＦＯＳＢ出荷工程から出荷編成工程までＦＯＳＢを搬送するので問題ない。しかし、出荷編成工程がクリーンルームＡと異なるクリーンルームＢである場合には、ＦＯＳＢを一旦クリーンルームでない外気の環境を搬送する必要がある。

従来は、クリーンルームＡから出荷する前にＦＯＳＢを樹脂製の袋に１個ずつ包装し（ＦＯＳＢ包装工程）、搬送用台車に載せてクリーンルームＢまで搬送した後に、クリーンルームＢに入れる際に樹脂製の袋を破って、ＦＯＳＢを取り出してクリーンルームＢに入れていた（ＦＯＳＢ包装除去工程）。このフローを図６に示す。図６のフローでは、運ぶ距離に関係なく、ＦＯＳＢ１個に対して、樹脂製の袋が必ず１つ必要であり、クリーンルームＢにて使用後は廃棄処分となっていた。これより、多額のコストと作業員の手間が必要であった。また、クリーンルームＡとＢとが近い場合や、上下の階などの場合には、クリーントンネルやクリーンエレベーターで繋ぐことが可能であるが、清浄度の高いクリーンな空間と発塵しないＦＯＳＢ自動搬送設備などが必要であり、莫大な費用が掛かっていた。

一方、図２に示す本発明の梱包方法の例では、ＦＯＳＢ出荷工程において、ＦＯＳＢ検査工程に合格したＦＯＳＢを、防塵性及び防湿性を有する無塵布を含む梱包材を用いて梱包する。そして、図２に示す本発明の搬送方法の例では、このようにして梱包したＦＯＳＢをクリーンルームＡ及びＢ間で搬送する。

梱包材（カバー）による搬送方法は特に限定されないが、例えば図１に示すような梱包材（カバー）付搬送台車４を用いてＦＯＳＢ３をクリーンルーム間で搬送することができる。梱包材（カバー）付搬送台車４は、例えば、４本の支柱に天板、底板とその間に１枚以上の板を配置した棚状の台に、キャスターなどの移動手段を敷設した搬送台車である。図１の例では、搬送台車４の上面下面と側面４面が梱包材（カバー）１で被包された状態で梱包されている。梱包材１は、長手方向の側面の周縁に係止可能なファスナー２が具備されている。このファスナー２を開けて、搬送台車４の棚にＦＯＳＢ３を載置し、ファスナー２を閉めた状態でクリーンルームＡ及びＢ間を搬送する。

このような本発明の梱包方法及び搬送方法では、防塵性及び防湿性を有する無塵布を含む梱包材１でＦＯＳＢ３を梱包し、このようにして梱包したＦＯＳＢ３をクリーンルーム間で搬送するので、作業エリアもしくは高価なクリーントンネルやクリーンエレベーターなどの高価な設備を使用しなくとも、清浄度を高く保ったまま、ＦＯＳＢ３をクリーンルームＡ及びＢ間で搬送することが可能となる。

また、無塵布で作製された本発明の梱包材１は、洗浄可能であり、塵埃にて汚れた場合には洗浄を行い、繰り返し使用が可能である。つまり、梱包材１を使い捨てる必要がなく、従来廃棄にかかっていたコストや作業員の手間を省き、低コストでＦＯＳＢ３を搬送することが可能である。

また、図１では、搬送台車４に１つのＦＯＳＢ３を載置しているが、複数のＦＯＳＢ３を載置することもできる。本発明では、従来のようにＦＯＳＢ３を個別包装せずとも、各ＦＯＳＢ３の高い清浄度を保ったまま搬送することができるので、更に低コスト化が可能である。

クリーンルームＢに搬送されたＦＯＳＢ３は、このクリーンルーム内で、先に説明した出荷編成工程に搬送され、次いで、出荷包装工程及び出荷工程へと順に搬送される。

出荷包装工程は、前段の出荷編成工程にて編成されたＦＯＳＢ３に対し、顧客包装仕様に基づき、ＦＯＳＢ付属部品の貼付、ラベル貼付、包装を行い、最終的に、ラベルの枚数及び位置等、並びに包装の状態、例えば１重、２重、材質等の確認検査を行う工程である。

出荷工程は、出荷包装工程で包装、検査したＦＯＳＢ３を、顧客出荷仕様に基づき、梱包形態（段ボール、コンテナ、梱包ＦＯＳＢ個数等）を元に梱包し、梱包したＦＯＳＢ３をトラックに移載し、ウェーハを収容しているＦＯＳＢ３を出荷する工程である。

以下、実施例及び比較例を用いて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

（実施例）
図２のフローに基づき工程が進められる。図３に本発明の梱包材（カバー）を使用した搬送方法の一例の一部を示す。

図３には、クリーンルームＡ１０と、クッションルーム２０と、一般作業ルーム３０とを示している。クリーンルームＡ１０とクッションルーム２０とは、第１エアーシャワールーム４０を間に挟んで繋がっている。また、クッションルーム２０と一般作業ルーム３０とは、第２エアーシャワールーム５０を間に挟んで繋がっている。

図２のフローに従い、ＦＯＳＢ洗浄工程にて洗浄を行い、ＦＯＳＢ組み立て工程にて組み立てを行い、ＦＯＳＢ検査工程にて検査が終了したＦＯＳＢが、クリーンルームＡ１０内に準備されている。

これらＦＯＳＢをクリーンルームＡ１０内搬送台車（図４に示す梱包材無し搬送台車５と同様）に載置する。第１エアーシャワールーム４０のクリーンルーム側ドア１１及び１２が開き、クリーンルームＡ１０から、第１エアーシャワールーム４０へとクリーンルーム内搬送台車５が移動する。第１エアーシャワールーム４０のドアにはクリーンルームＡ１０側のドア１１及び１２とクッションルーム２０側のドア２１及び２２とがあるが、これらは同時には開かないように設定されている。また、クリーンルームＡ１０側のドア１１及び１２が開いた場合は、第１エアーシャワールーム４０のエアーシャワーは動作せず、クッションルーム側のドア２１及び２２が開いた場合に、エアーシャワーが作動する設定となっている。

次に、クリーンルームＡ１０に繋がる一般作業ルーム３０に、図１に示すポリエステル製の無塵布から作られた梱包材１が取り付けられた梱包材（カバー）付搬送台車４を準備する。梱包材１は、長手方向の側面の周縁に係止可能なファスナー２を具備している。準備された梱包材（カバー）付搬送台車４は、中に何も載置されていない。第２エアーシャワールーム５０の一般作業ルーム３０側のドア３１及び３２が開いた状態で、梱包材（カバー）付搬送台車４を第２エアーシャワールーム５０の一般作業ルーム３０側のドア３１及び３２から第２エアーシャワールーム５０に移動する。一般作業ルーム３０側のドア３１及び３２が閉まると、第２エアーシャワールーム５０のエアーシャワーが作動する。エアーシャワーの動作が終了すると、第２エアーシャワールーム５０のクッションルーム側ドア２３及び２４が開く。次に梱包材（カバー）付搬送台車４を第２エアーシャワールーム５０からクッションルーム２０へ移動する。次に、移動が終了すると第２エアーシャワールーム５０のクッションルーム側ドア２３及び２４が閉まる。次にクッションルーム２０側から、第１エアーシャワールーム４０のクッションルーム２０側のドア２１及び２２を開く。クッションルーム２０に移動した梱包材（カバー）付搬送台車４を、図３に示すように、第１エアーシャワールーム４０のクッションルーム側ドア２１及び２２の開放部に横付けして密着させる。この状態で第１エアーシャワールーム４０のクッションルーム２０側のドア２１及び２２が解放した面は、梱包材（カバー）付搬送台車４の梱包材１のファスナー２がある面と密着した状態となる。この状態で、梱包材（カバー）付搬送台車４のファスナー２を開け、準備しておいたＦＯＳＢ出荷工程の、クリーンルーム内搬送台車５に載置されたＦＯＳＢを梱包材（カバー）付搬送台車４に移載する。

移載が終了した後に、梱包材（カバー）付搬送台車４のファスナー２を閉めて、梱包材（カバー）付搬送台車４を第１エアーシャワールーム４０のクッションルーム側ドア２１及び２２付近からクッションルーム２０の中央付近に退避させる。

次に、第１エアーシャワールーム４０のクッションルーム２０側の解放したドア２１及び２２を閉める。第１エアーシャワールーム４０には、移載後のクリーンルーム内搬送台車５のみが存在し、ドア２１及び２２が閉まると同時にエアーシャワーが作動し、第１エアーシャワールーム４０内がクリーンルームＡ１０と同等の清浄度の空気に置換される。

エアーシャワーの動作が終了後、第１エアーシャワールーム４０のクリーンルーム側ドア１１及び１２が開くので、第１エアーシャワールーム４０からクリーンルーム内搬送台車５をクリーンルームＡ１０内へ移動し、第１エアーシャワールーム４０のクリーンルーム側ドア１１及び１２が閉まる。

これにより、梱包材（カバー）付搬送台車４へのＦＯＳＢの移載作業が終了する。クッションルーム２０には、図１に示すようにＦＯＳＢ３が載置収納された梱包材（カバー）付搬送台車４がある。

次に、第２エアーシャワールーム５０及び一般作業ルーム３０へとこれまでの逆の順序でＦＯＳＢ３が載置収納された梱包材（カバー）付搬送台車４を移動する。

一般作業ルーム３０からは廊下を経て、出荷編成工程を有するクリーンルームＢへと繋がる一般作業ルーム及びクッションルームへと搬送する。実施例では、クリーンルームＢ、並びにこれに繋がる一般作業ルーム及びクッションルームは、図３に示すのと同じ配置とする。以下では、図３を再度参照しながら説明する。

クリーンルームＢ１０において、空のクリーンルーム内搬送台車（図４の梱包材無し搬送台車５と同様）を準備し、第１エアーシャワールーム４０のクリーンルーム側ドア１１及び１２が開き、クリーンルームＢ１０から第１エアーシャワールーム４０へとクリーンルーム内搬送台車５が移動し、第１エアーシャワールーム４０に空のクリーンルーム内搬送台車５が待機し、第１エアーシャワールーム４０のクリーンルーム側ドア１１及び１２が閉まる。

次に、クリーンルームＡからのＦＯＳＢを搬送するため、クリーンルームＢ側の第２エアーシャワールーム５０の一般作業ルーム３０側のドア３１及び３２が開いた状態で、クリーンルームＡからのＦＯＳＢ３が載置収納された梱包材（カバー）付搬送台車４を、一般作業ルーム側のドア３１及び３２から第２エアーシャワールーム５０に移動する。一般作業ルーム側のドア３１及びドア３２が閉まると、第２エアーシャワールーム５０のエアーシャワーが作動する。エアーシャワーの動作が終了すると、第２エアーシャワールーム５０のクッションルーム側ドア２３及び２４が開く。次に梱包材（カバー）付搬送台車４を第２エアーシャワールーム５０からクッションルーム２０へ移動する。次に、移動が終了すると第２エアーシャワールーム５０のクッションルーム側ドア２３及び２４が閉まる。

次に、クッションルーム２０側から、第１エアーシャワールーム４０のクッションルーム２０側のドア２１及び２２を開く。クッションルーム２０に移動した梱包材（カバー）付搬送台車４を、図３に示すように、第１エアーシャワールーム４０のクッションルーム側ドア２１及び２２の開放部に横付けして密着させる。この状態で第１エアーシャワールーム４０のクッションルーム２０側のドア２１及び２２が解放した面は、梱包材（カバー）付搬送台車４の梱包材１のファスナー２がある面と密着した状態となる。この状態で、梱包材（カバー）付搬送台車４のファスナー２を開け、クリーンルームＢ１０内に準備しておいたクリーンルーム内搬送台車５にＦＯＳＢ３を移載する。これらＦＯＳＢ３の移載が終了したら梱包材（カバー）付搬送台車４のファスナー２を閉め、第１エアーシャワールーム４０のクッションルーム側ドア２１及び２２付近からクッションルーム２０の中央付近に退避させる。

次に、第１エアーシャワールーム４０のクッションルーム２０側の解放したドア２１及び２２を閉める。第１エアーシャワールーム４０には、移載後のクリーンルーム内搬送台車５のみが存在し、ドア２１及び２２が閉まると同時にエアーシャワーが作動し、第１エアーシャワールーム４０内がクリーンルームＢ１０と同等の清浄度の空気に置換される。

エアーシャワーの動作が終了後、第１エアーシャワールーム４０のクリーンルーム側ドア１１及び１２が開くので、第１エアーシャワールーム４０からクリーンルーム内搬送台車５をクリーンルームＢ１０内へ移動し、第１シャワールーム４０のクリーンルーム側ドア１１及び１２が閉まる。

これにより、クリーンルーム内搬送台車５へのＦＯＳＢ３の移載作業が終了する。クッションルーム２０にはＦＯＳＢを移送し空になった梱包材（カバー）付搬送台車４があり、この梱包材（カバー）付搬送台車４を、再びＦＯＳＢを搬送するため、クリーンルームＡへと移動する。

（比較例）
図６のフローに基づき工程が進められる。図６のＦＯＳＢ包装工程にて、図４に示すようにポリエチレン製の袋６でＦＯＳＢ３を２重に包装し、ＦＯＳＢ包装除去工程として、図３のクッションルーム２０で外側の包装を破って除去し、クリーンルームＢ１０内で、内側の包装を破って除去し、クリーンルームＡ及びＢ間の搬送も図４の梱包材（カバー）が無い搬送台車５を使用すること以外は実施例と同じフローで搬送を行った。

（結果）
以上に説明した実施例と比較例との搬送方法に基づいて、搬送評価用にそれぞれ３００ｍｍφポリッシュドウェーハを２５枚準備し、搬送前後のパーティクルレベルを、ＫＬＡ製パーティクルカウンターＳＰ２を用いて、４６ｎｍサイズ以上の個数のウェーハ１枚当たりの平均値を算出した後に、搬送前後のパーティクル個数の差分を規格化して、実施例と比較例とで比較した。図５に、比較例でのパーティクル増加個数を１とした場合の、実施例及び比較例でのパーティクル増加個数を示す。図５のように実施例は比較例と比較して同等の結果であり問題無いレベルであった。また、以下の表１のようにウェーハ表面についてシミ、くもり、カスミについて面検査を行ったが、実施例と比較例共に外気環境の温度、湿度の変化に伴うウェーハ表面のシミ、くもりやカスミなどの異常は確認されなかった。

以上の結果から、本発明の梱包材を用いて梱包及び搬送を行った実施例では、クリーンルームＡ及びＢ間をつなげるための高清浄空間を更に設けなくとも、従来の梱包及び搬送方法である比較例と同様に高い清浄度を保ったままＦＯＳＢを搬送することができたことが分かる。また、比較例では、２重のポリエチレン製の袋を用いてＦＯＳＢを搬送し、搬送後に袋を破いて廃棄する必要があるため、実施例よりもコストがかかった。

また、搬送物をＦＯＳＢに替えてＦＯＵＰに替えたこと以外は上記実施例と同様に梱包及び搬送を行った。その結果、搬送物がＦＯＵＰであっても、本発明の梱包材を用いて梱包及び搬送を行うことにより、高い清浄度を保ったままＦＯＵＰを搬送することができた。

これらの事実から、本発明の梱包材を用いてＦＯＵＰ又はＦＯＳＢを梱包及び搬送することにより、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢの高い清浄度を保ったまま、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢを簡易的に且つ低コストでクリーンルーム間を搬送できることが分かる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

１…梱包材、２…係止部材（ファスナー）、３…搬送物（ＦＯＳＢ）、４…梱包材（カバー）付搬送台車、５…梱包材無し搬送台車（クリーンルーム内搬送台車）、６…樹脂製の袋、１０…クリーンルーム（クリーンルームＡ及びＢ）、１１及び１２…クリーンルーム側ドア、２０…クッションルーム、２１及び２２…第１エアーシャワールームのクッションルーム側ドア、２３及び２４…第２エアーシャワールームのクッションルーム側ドア、３０…一般作業ルーム、３１及び３２…一般作業ルーム側ドア、４０…第１エアーシャワールーム、５０…第２エアーシャワールーム。

Claims

半導体工場の清浄雰囲気とされたクリーンルーム間において、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を搬送するにあたり、前記搬送物を、移動可能な搬送台車に載置した状態で、前記搬送台車の一部と共に梱包するための梱包材であって、防塵性及び防湿性を有する無塵布を含むものであることを特徴とするクリーンルーム間の搬送物梱包用の梱包材。
半導体工場の清浄雰囲気とされたクリーンルーム間において、ＦＯＵＰ又はＦＯＳＢである搬送物を搬送するにあたり、前記搬送物を、移動可能な搬送台車に載置した状態で、防塵性及び防湿性を有する無塵布を含む梱包材を用いて、前記搬送台車の一部と共に梱包することを特徴とするクリーンルーム間の搬送物の梱包方法。
半導体工場の清浄雰囲気とされたクリーンルーム間において、搬送物を搬送する搬送方法であって、
前記搬送物を請求項２に記載の梱包方法により梱包し、該梱包した搬送物を前記クリーンルーム間で搬送することを特徴とするクリーンルーム間の搬送物の搬送方法。