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JP7653340B2 - Resin film, conductive laminate, and circuit board - Google Patents
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Description

本発明は、密着性や機械的強度等を向上させたり、エッチング後における寸法収縮率を低減することのできる樹脂フィルム、導電積層板、及び回路基板に関するものである。 The present invention relates to a resin film, a conductive laminate, and a circuit board that can improve adhesion, mechanical strength, etc., and reduce the dimensional shrinkage rate after etching.

近年、スーパーエンジニアリングプラスチックであるポリアリーレンエーテルケトン(PAEK)樹脂が注目されている。このポリアリーレンエーテルケトン樹脂は、電気絶縁性、耐熱性、耐薬品性等に優れる熱可塑性の結晶性樹脂である。この優れた性質に鑑み、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂は、自動車分野、エネルギー分野、医療分野等で使用されるが、フレキシブル基板(FPC)等からなる回路基板の製造にも利用される(特許文献1、2参照)。 In recent years, polyarylene ether ketone (PAEK) resin, a super engineering plastic, has been attracting attention. This polyarylene ether ketone resin is a thermoplastic crystalline resin that has excellent electrical insulation, heat resistance, chemical resistance, and the like. In view of these excellent properties, polyarylene ether ketone resin is used in the automotive, energy, and medical fields, and is also used in the manufacture of circuit boards made of flexible printed circuits (FPCs) and the like (see Patent Documents 1 and 2).

係るポリアリーレンエーテルケトン樹脂を用いて回路基板を製造する場合には図示しないが、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂フィルムを成形してベース基材として用意し、このポリアリーレンエーテルケトン樹脂フィルムに回路パターンとなる銅箔を直接接着してその露出した表面にエッチング用のフォトレジスト層をラミネートし、このラミネートされた中間体の所定の箇所に加工用の孔を穿孔し、フォトレジスト層に紫外線を照射して露光するとともに、現像して未感光部分のフォトレジスト層を溶かして回路パターンを浮き上がらせる。ポリアリーレンエーテルケトン樹脂フィルムを成形するとき、成形材料には、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂の他、必要に応じ、フッ素樹脂、タルク、マイカ等が添加される(特許文献3参照)。 In the case of manufacturing a circuit board using such a polyarylene ether ketone resin, although not shown in the figure, a polyarylene ether ketone resin film is formed and prepared as a base substrate, copper foil that will become a circuit pattern is directly bonded to this polyarylene ether ketone resin film, a photoresist layer for etching is laminated on the exposed surface, processing holes are drilled at predetermined locations of this laminated intermediate, the photoresist layer is exposed to ultraviolet light, and developed to dissolve the photoresist layer in the unexposed parts, thereby revealing the circuit pattern. When forming a polyarylene ether ketone resin film, in addition to the polyarylene ether ketone resin, fluororesin, talc, mica, etc. are added to the forming material as necessary (see Patent Document 3).

回路パターンを浮き上がらせたら、中間体の回路パターンをエッチングしてフォトレジスト層を剥離し、中間体を洗浄して乾燥させ、中間体の大部分にカバーフィルムを貼着して絶縁層を形成し、露出した端子部分等にメッキ等の表面処理を施す。こうして中間体にメッキ等の表面処理を施したら、中間体を外形加工して回路パターンの導通性を電気チェックし、最終検査を実施すれば、回路基板を製造することができる。 Once the circuit pattern has been raised, the circuit pattern on the intermediate is etched and the photoresist layer is peeled off, the intermediate is washed and dried, a cover film is attached to most of the intermediate to form an insulating layer, and exposed terminal parts etc. are subjected to surface treatment such as plating. Once surface treatment such as plating has been applied to the intermediate in this way, the intermediate is shaped, an electrical check is made for the continuity of the circuit pattern, and a final inspection is carried out, and the circuit board can be manufactured.

特開2021‐042294号公報JP 2021-042294 A 特開2007‐051256号公報JP 2007-051256 A 特開2016‐29164号公報JP 2016-29164 A

従来における回路基板は、以上のように製造され、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂フィルムの採用により、優れた電気絶縁性、耐熱性、耐薬品性を得ることができるものの、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂フィルムの密着性や機械的強度の向上とエッチング後におけるポリアリーレンエーテルケトン樹脂フィルムの寸法収縮率の低減とを並立することが容易ではないという問題がある。 Conventional circuit boards are manufactured as described above, and by using a polyarylene ether ketone resin film, excellent electrical insulation, heat resistance, and chemical resistance can be obtained. However, there is a problem in that it is not easy to simultaneously improve the adhesion and mechanical strength of the polyarylene ether ketone resin film and reduce the dimensional shrinkage rate of the polyarylene ether ketone resin film after etching.

係る問題を解消するため、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂フィルムの成形材料にタルクを配合した場合、中間体のエッチング後におけるポリアリーレンエーテルケトン樹脂フィルムの寸法収縮率を低減させることはできても、密着性の悪化を招くこととなる。また、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂フィルムの成形材料にマイカを配合した場合、マイカの特性に何ら配慮しない単なる配合では、引張強度が悪化することがあるので、機械的強度を向上させることは容易ではない。 When talc is added to the molding material of the polyarylene ether ketone resin film to solve this problem, the dimensional shrinkage rate of the polyarylene ether ketone resin film after etching of the intermediate can be reduced, but this leads to a deterioration in adhesion. Furthermore, when mica is added to the molding material of the polyarylene ether ketone resin film, simple addition without any consideration of the mica's properties can result in a deterioration in tensile strength, making it difficult to improve mechanical strength.

本発明は上記に鑑みなされたもので、密着性や機械的強度の向上とエッチング後における寸法収縮率の低減とを並立することのできる樹脂フィルム、導電積層板、及び回路基板を提供することを目的としている。 The present invention has been made in consideration of the above, and aims to provide a resin film, a conductive laminate, and a circuit board that can simultaneously improve adhesion and mechanical strength while reducing the dimensional shrinkage rate after etching.

本発明においては上記課題を解決するため、少なくともポリアリーレンエーテルケトン樹脂とマイカとを含有する成形材料により成形される樹脂フィルムであって、
成形材料の組成体積比率は、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂70体積%以上95体積%以下であるとともに、マイカ5体積%以上30体積%以下であり、
成形材料のマイカは、粒径1μm以上のマイカ粒子の占める量が全マイカ粒子の90%以上、粒径1μm未満のマイカ粒子の占める量が全マイカ粒子の0.1%以上10%以下であるとともに、マイカ粒子の比表面積が4.0m /g以上15m/g以下であり、メジアン径D50が2.0μm以上6.0μm以下、メジアン径D90が5.0μm以上9.2μm以下、メジアン径D95が6.0μm以上10μm以下のマイカ粒子を含むことを特徴としている。
In order to solve the above problems, the present invention provides a resin film formed from a molding material containing at least a polyarylene ether ketone resin and mica,
The composition volume ratio of the molding material is 70 volume % or more and 95 volume % or less of polyarylene ether ketone resin, and 5 volume % or more and 30 volume % or less of mica,
The mica molding material is characterized in that the amount of mica particles having a particle diameter of 1 μm or more is 90% or more of the total mica particles, the amount of mica particles having a particle diameter of less than 1 μm is 0.1% to 10% of the total mica particles, the specific surface area of the mica particles is 4.0 m2 /g to 15 m2 /g , the median diameter D50 is 2.0 μm to 6.0 μm, the median diameter D90 is 5.0 μm to 9.2 μm, and the median diameter D95 is 6.0 μm to 10 μm .

なお、樹脂フィルムは、JIS K 7127:1999に準拠して測定される引張強度が75N/mm以上125N/mm以下であることが好ましい。
また、樹脂フィルムは、JIS Z 0237:2009を参考にして測定される両面銅張積層板の密着性が7N/cm以上10N/cm以下であることが好ましい。
また、成形材料の組成体積比率は、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂が80体積%以上95体積%以下であるとともに、マイカが5体積%以上20体積%以下であることが好ましい。
また、マイカを、合成マイカとすることが好ましい。
The resin film preferably has a tensile strength of 75 N/mm 2 or more and 125 N/mm 2 or less, as measured in accordance with JIS K 7127:1999.
In addition, the resin film preferably has an adhesion to a double-sided copper-clad laminate of 7 N/cm or more and 10 N/cm or less, as measured with reference to JIS Z 0237:2009.
The composition volume ratio of the molding material is preferably 80 volume % or more and 95 volume % or less of polyarylene ether ketone resin and 5 volume % or more and 20 volume % or less of mica.
It is also preferable that the mica is synthetic mica.

また、本発明においては上記課題を解決するため、請求項1ないし5のいずれかに記載された樹脂フィルムの両面のうち、少なくとも片面に金属層を積層したことを特徴としている。
また、本発明においては上記課題を解決するため、請求項1ないし5のいずれかに記載された樹脂フィルムを含むことを特徴としている。
In order to solve the above problems, the present invention is characterized in that a metal layer is laminated on at least one of both sides of the resin film described in any one of claims 1 to 5 .
In order to solve the above problems, the present invention is characterized in that it includes a resin film as defined in any one of claims 1 to 5 .

ここで、特許請求の範囲における樹脂フィルムは、溶融押出成形法、カレンダー成形法、又はキャスティング法等の公知の製造法により、10μm以上350μm以下の厚さに製造することができる。溶融押出成形法で樹脂フィルムを製造する場合、押出成形機を使用して成形材料を溶融混練し、押出成形機のダイスから樹脂フィルムを押し出して冷却することにより、樹脂フィルムを製造することができる。また、回路基板には、少なくともプリント配線板、フレキシブル基板、高周波回路基板等が含まれる。 The resin film in the claims can be manufactured to a thickness of 10 μm or more and 350 μm or less by a known manufacturing method such as melt extrusion molding, calendar molding, or casting. When manufacturing a resin film by melt extrusion molding, the resin film can be manufactured by melt-kneading the molding material using an extrusion molding machine, extruding the resin film from the die of the extrusion molding machine, and cooling it. In addition, the circuit board includes at least a printed wiring board, a flexible board, a high-frequency circuit board, etc.

本発明によれば、マイカを用いるので、樹脂フィルムの強度を維持しながら、優れた密着性を得ることができる。また、成形材料の組成体積比率とマイカの粒度分布の範囲をそれぞれ特定し、粒径1μm未満のマイカ粒子の占有量を全マイカ粒子の10%以下に限定するとともに、メジアン径D50が2.0μm以上6.0μm以下のマイカ粒子を用いるので、優れた密着性や機械的強度を維持しつつ、樹脂フィルムが破損しない範囲でエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率を低減することができる。 According to the present invention, since mica is used, it is possible to obtain excellent adhesion while maintaining the strength of the resin film. In addition, by specifying the composition volume ratio of the molding material and the range of the particle size distribution of mica, the amount of mica particles with a particle size of less than 1 μm is limited to 10% or less of the total mica particles, and mica particles with a median diameter D50 of 2.0 μm to 6.0 μm are used, so that it is possible to reduce the dimensional shrinkage rate of the resin film after etching to a range where the resin film is not damaged while maintaining excellent adhesion and mechanical strength.

本発明によれば、樹脂フィルムの密着性や機械的強度を向上させることができるという効果がある。特に、成形材料の組成体積比率がポリアリーレンエーテルケトン樹脂70体積%以上95体積%以下であるとともに、マイカ5体積%以上30体積%以下なので、エッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率の悪化を防いだり、樹脂フィルムの密着性低下や樹脂フィルムが割れやすくなるのを防止することができる。また、粒径1μm未満のマイカ粒子の占める量が全マイカ粒子の0.1%以上10%以下なので、回路基板の製造時のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率を低減させることができる。加えて、マイカ粒子の比表面積が4.0m /g以上15m/g以下なので、回路基板の製造時のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率を低減させることが可能となる。
また、マイカ粒子の径の把握に平均径や最頻径ではなく、メジアン径を選択するので、マイカ粒子の粒度分布の代表的な値の把握に好適であり、複数のサンプルの粒度分布の大きさを比較する場合の便宜を図ることが可能となる。また、マイカ粒子のメジアン径D50が2.0μm以上6.0μm以下なので、樹脂フィルムの製膜性向上が期待できる。さらに、メジアン径D95が6.0μm以上10μm以下なので、樹脂フィルムの機械的強度の向上が期待できる。
According to the present invention, there is an effect that the adhesiveness and mechanical strength of the resin film can be improved. In particular, since the composition volume ratio of the molding material is 70% by volume or more and 95% by volume or less of polyarylene ether ketone resin and 5% by volume or more and 30% by volume or less of mica, it is possible to prevent deterioration of the dimensional shrinkage rate of the resin film after etching, and to prevent the adhesiveness of the resin film from decreasing and the resin film from becoming easily cracked. In addition, since the amount of mica particles having a particle size of less than 1 μm is 0.1% to 10% of the total mica particles, it is possible to reduce the dimensional shrinkage rate of the resin film after etching during the manufacture of the circuit board. In addition, since the specific surface area of the mica particles is 4.0 m 2 /g to 15 m 2 /g, it is possible to reduce the dimensional shrinkage rate of the resin film after etching during the manufacture of the circuit board.
In addition, since the median diameter is selected to grasp the diameter of the mica particles, rather than the average diameter or the most frequent diameter, it is suitable for grasping the representative value of the particle size distribution of the mica particles, and it is possible to facilitate the comparison of the particle size distribution of multiple samples. Furthermore, since the median diameter D50 of the mica particles is 2.0 μm or more and 6.0 μm or less, it is expected that the film formability of the resin film will be improved. Furthermore, since the median diameter D95 is 6.0 μm or more and 10 μm or less , it is expected that the mechanical strength of the resin film will be improved.

請求項4記載の発明によれば、成形材料の組成体積比率は、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂が80体積%以上95体積%以下であるとともに、マイカが5体積%以上20体積%以下であるので、樹脂フィルムの母材強度が向上し、密着性がより良好となる。
請求項5記載の発明によれば、マイカが合成マイカなので、吸湿による誘電特性の悪化を抑制し、樹脂フィルムの寸法安定性を向上させることができる。
According to the invention described in claim 4 , the composition volume ratio of the molding material is 80 volume % or more and 95 volume % or less of polyarylene ether ketone resin, and 5 volume % or more and 20 volume % or less of mica, so that the strength of the base material of the resin film is improved and the adhesion is better.
According to the fifth aspect of the present invention , since the mica is synthetic mica, deterioration of dielectric properties due to moisture absorption can be suppressed and the dimensional stability of the resin film can be improved.

請求項6又は7記載の発明によれば、請求項1ないし5のいずれかに記載された樹脂フィルムを用いるので、回路基板を製造する場合、樹脂フィルムの密着性や機械的強度の向上とエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率の低減とを並立することができるという効果がある。 According to the invention described in claim 6 or 7 , the resin film described in any one of claims 1 to 5 is used, so that when manufacturing a circuit board, it is possible to simultaneously achieve improved adhesion and mechanical strength of the resin film and a reduced dimensional shrinkage rate of the resin film after etching.

本発明に係る樹脂フィルムの実施形態を模式的に示す説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating an embodiment of a resin film according to the present invention. 本発明に係る樹脂フィルムと導電積層板の実施形態における樹脂フィルムの表面に銅箔が積層された状態を模式的に示す斜視説明図である。FIG. 2 is a perspective view illustrating a state in which a copper foil is laminated on the surface of a resin film in an embodiment of the resin film and the conductive laminate plate according to the present invention. 本発明に係る樹脂フィルムと導電積層板の第2の実施形態における樹脂フィルムの表裏両面に銅箔がそれぞれ積層された状態を模式的に示す斜視説明図である。10 is a perspective view illustrating a state in which copper foil is laminated on both the front and back sides of a resin film in a second embodiment of the resin film and conductive laminate plate according to the present invention; FIG.

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における樹脂フィルム1は、図1や図2に示すように、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂と、粒度分布範囲の特定されたマイカとを含有する成形材料により成形されるフィルムであり、片面に薄い金属層2である銅が形成されて導電積層板4とされ、この導電積層板4が能動素子や受動素子を電気的に接続する回路基板として利用されることで、国連サミットで採択されたSDGs(国連の持続可能な開発のための国際目標であり、17のグローバル目標と169のターゲット(達成基準)からなる持続可能な開発目標)の目標9の達成に貢献する。 A preferred embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. As shown in Figs. 1 and 2, the resin film 1 in this embodiment is a film formed from a molding material containing polyarylene ether ketone resin and mica with a specified particle size distribution range, and a thin metal layer 2 of copper is formed on one side to form a conductive laminate 4. This conductive laminate 4 is used as a circuit board that electrically connects active and passive elements, thereby contributing to the achievement of Goal 9 of the SDGs (the United Nations' international goals for sustainable development, consisting of 17 global goals and 169 targets (achievement criteria)) adopted at the United Nations Summit.

成形材料は、少なくともポリアリーレンエーテルケトン(PAEK)樹脂とマイカとを含有し、必要に応じ、他の樹脂や各種フィラーが選択的に含有されており、図1に示す薄膜の樹脂フィルム1を形成する。この成形材料の組成体積比率は、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂が70体積%以上95体積%以下の場合に、マイカが5体積%以上30体積%以下が良い。樹脂フィルム1の母材強度や密着性を向上させたいときには、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂が80体積%以上95体積%以下の場合に、マイカが5体積%以上20体積%以下が良い。 The molding material contains at least polyarylene ether ketone (PAEK) resin and mica, and optionally contains other resins and various fillers as necessary, to form the thin resin film 1 shown in Figure 1. The composition volume ratio of this molding material is preferably 5% to 30% by volume of mica when the polyarylene ether ketone resin is 70% to 95% by volume. When it is desired to improve the base material strength and adhesion of the resin film 1, it is preferable that the mica is 5% to 20% by volume when the polyarylene ether ketone resin is 80% to 95% by volume.

マイカの組成体積比率が5体積%以上30体積%以下なのは、5体積%未満の場合には、エッチング後における樹脂フィルム1の寸法収縮率が悪化するからである。これに対し、30体積%を越える場合には、樹脂フィルム1の密着性が低下したり、樹脂フィルム1の硬度が必要以上に上昇して割れやすくなるからである。 The reason why the composition volume ratio of mica is 5% to 30% by volume is that if it is less than 5% by volume, the dimensional shrinkage rate of the resin film 1 after etching deteriorates. On the other hand, if it exceeds 30% by volume, the adhesion of the resin film 1 decreases and the hardness of the resin film 1 increases more than necessary, making it more likely to crack.

成形材料のポリアリーレンエーテルケトン樹脂は、アリーレン基、エーテル基、及びカルボニル基からなる熱可塑性の結晶性樹脂で、例えば特許5709878号公報や特許第5847522号公報、あるいは文献〔株式会社旭リサーチセンター:先端用途で成長するスーパーエンプラ・PEEK(上)〕等に記載された樹脂があげられ、融点が300℃~360℃であり、電気絶縁性、機械的性質、耐熱性、耐薬品性、耐放射線性、耐加水分解性、低吸水性、リサイクル性等に優れる。 The molding material, polyarylene ether ketone resin, is a thermoplastic crystalline resin consisting of arylene groups, ether groups, and carbonyl groups, and examples of such resins include those described in Patent Publication No. 5709878 and Patent Publication No. 5847522, or in the literature (Asahi Research Center Co., Ltd.: PEEK, a super engineering plastic growing in cutting-edge applications (Part 1)). It has a melting point of 300°C to 360°C and is excellent in electrical insulation, mechanical properties, heat resistance, chemical resistance, radiation resistance, hydrolysis resistance, low water absorption, and recyclability.

ポリアリーレンエーテルケトン樹脂の具体例としては、例えばポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂、ポリエーテルケトンケトン(PEKK)樹脂、ポリエーテルケトン(PEK)樹脂、ポリエーテルケトンエーテルケトンケトン(PEKEKK)樹脂等があげられる。これらの中では、導電積層板4や回路基板の製造に最適な加工温度が得られ、しかも、安価に入手可能なポリエーテルエーテルケトン樹脂が最適である。 Specific examples of polyarylene ether ketone resins include polyether ether ketone (PEEK) resin, polyether ketone ketone (PEKK) resin, polyether ketone (PEK) resin, polyether ketone ether ketone ketone (PEKEKK) resin, etc. Among these, polyether ether ketone resin is the most suitable because it can obtain the optimal processing temperature for manufacturing the conductive laminate 4 and the circuit board, and is also inexpensively available.

ポリエーテルエーテルケトン樹脂の製品例としては、ビクトレックス社製の製品名:Victrex Powderシリーズ、Victrex Granulesシリーズ、ダイセル・エボニック社製の製品名:ベスタキープシリーズ、ソルベイスペシャルティポリマーズ社製の製品名:キータスパイア PEEKシリーズがあげられる。また、ポリエーテルケトンケトン樹脂の製品例としては、アルケマ社製の製品名:KEPSTANシリーズがあげられる。ポリエーテルケトン樹脂の製品例としては、ビクトレックス社製の製品名:HT G22、HT G45があげられる。また、ポリエーテルケトンエーテルケトンケトン樹脂の製品例としては、ビクトレックス社製の製品名:ST G45が該当する。 Examples of polyether ether ketone resin products include Victrex's Victrex Powder series and Victrex Granules series, Daicel-Evonik's VestaKeep series, and Solvay Specialty Polymers' KetaSpire PEEK series. Examples of polyether ketone ketone resin products include Arkema's KEPSTAN series. Examples of polyether ketone resin products include Victrex's HT G22 and HT G45. Examples of polyether ketone ether ketone ketone resin products include Victrex's ST G45.

ポリアリーレンエーテルケトン樹脂は、1種単独でも良いし、2種以上を混合して使用しても良く、共重合体でも良い。また、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂は、通常、粉末、顆粒型、ペレット型等の成形加工に適した形態で使用される。ポリアリーレンエーテルケトン樹脂の製造方法としては、特に限定されるものではないが、例えば文献〔株式会社旭リサーチセンター:先端用途で成長するスーパーエンプラ・PEEK(上)〕に記載された製法が用いられる。 The polyarylene ether ketone resin may be used alone or in a mixture of two or more types, or may be a copolymer. The polyarylene ether ketone resin is usually used in a form suitable for molding, such as powder, granules, or pellets. There are no particular limitations on the method for producing the polyarylene ether ketone resin, but for example, the method described in the literature [Asahi Research Center Co., Ltd.: PEEK, a super engineering plastic growing in cutting-edge applications (Part 1)] is used.

成形材料のマイカ(雲母ともいう)は、タルクを主原料として人工的に製造される合成マイカ(カリウム4ケイ素フッ素雲母等)と、自然界で産出される天然マイカ(白雲母、黒雲母等)の2種類に分類されるが、吸湿による誘電特性の悪化を抑制し、樹脂フィルム1の密着性や寸法安定性に資する合成マイカが好ましい。合成マイカは、非膨潤性、膨潤性、親油性等に分類されるが、耐熱性に優れる非膨潤性が好ましい。合成マイカの具体的な製品としては、ミクロマイカMKシリーズ〔製品名:片倉コープアグリ株式会社製〕があげられる。 Mica (also called mica) used as a molding material is classified into two types: synthetic mica (potassium tetrasilicon fluoromica, etc.) artificially produced using talc as the main raw material, and natural mica (muscovite, black mica, etc.) produced in nature. Synthetic mica is preferred because it suppresses deterioration of dielectric properties due to moisture absorption and contributes to the adhesion and dimensional stability of the resin film 1. Synthetic mica is classified into non-swelling, swelling, lipophilic, etc., but non-swelling mica, which has excellent heat resistance, is preferred. A specific example of a synthetic mica product is the Micromica MK series (product name: manufactured by Katakura Coop Agri Co., Ltd.).

マイカは、粒径の異なる多数のマイカ粒子からなり、粒径1μm以上、例えば、平均粒径2μm以上13μm以下等のマイカ粒子の占める量が全マイカ粒子の80%以上とされ、粒径1μm以下のマイカ粒子の占める量が全マイカ粒子の20%以下、好ましくは0.1%以上20%以下、より好ましくは10%以下、特に好ましくは0.15%以上10%以下とされる。これは、粒径1μm以下のマイカ粒子の占有量が全マイカ粒子の20%を越える場合には、回路基板の製造時のエッチング後における樹脂フィルム1の寸法収縮率を低減させることができないからである。 The mica is composed of many mica particles of different particle sizes, with the amount of mica particles with a particle size of 1 μm or more, for example, an average particle size of 2 μm to 13 μm, being 80% or more of the total mica particles, and the amount of mica particles with a particle size of 1 μm or less being 20% or less of the total mica particles, preferably 0.1% to 20%, more preferably 10% or less, and particularly preferably 0.15% to 10%. This is because if the amount of mica particles with a particle size of 1 μm or less exceeds 20% of the total mica particles, it is not possible to reduce the dimensional shrinkage rate of the resin film 1 after etching during the manufacture of the circuit board.

この点について説明すると、マイカは板状粒子のため、樹脂フィルム1の面方向にマイカ粒子の面方向が平行に配列しているほど、面方向への収縮は小さくなると考えられる(無機粒子のマイカは樹脂と比べて収縮量が小さいため)。粒径1μm以下のマイカが20%以上含まれている場合には、樹脂フィルム1を成形する際に樹脂フィルム1の面方向と平行にマイカが配列しづらく、マイカが不均一な方向に配列している樹脂フィルム1になっていると推測される(1μm以下のマイカは、樹脂フィルム1の面方向に対して斜めや垂直等、角度が付いた状態で配列されやすいと考えられる)。 To explain this point, since mica is a plate-like particle, it is believed that the more the mica particles are aligned parallel to the surface direction of the resin film 1, the less shrinkage there will be in the surface direction (because mica is an inorganic particle and shrinks less compared to resin). If the resin film 1 contains 20% or more mica with a particle size of 1 μm or less, it is presumed that the mica is difficult to align parallel to the surface direction of the resin film 1 when it is molded, resulting in a resin film 1 in which the mica is aligned in non-uniform directions (mica with a particle size of 1 μm or less is believed to be easily aligned at an angle, such as diagonally or perpendicularly, to the surface direction of the resin film 1).

一方、粒径1μm以下のマイカが20%よりも少ない場合には、マイカが樹脂フィルム1の面方向に配列している配列量の多い樹脂フィルム1となる。銅箔等の金属と積層した後、エッチング後の収縮は面方向の収縮であるから、粒径1μm以下のマイカが20%以下の場合、収縮率が小さくなると予想される。 On the other hand, if the amount of mica with a particle size of 1 μm or less is less than 20%, the resin film 1 will have a high amount of mica oriented in the surface direction of the resin film 1. After lamination with a metal such as copper foil, the shrinkage after etching is in the surface direction, so if the amount of mica with a particle size of 1 μm or less is 20% or less, the shrinkage rate is expected to be small.

マイカ粒子の比表面積は、回路基板の製造時のエッチング後における樹脂フィルム1の寸法収縮率を低減させるため、3.0m/g以上、好ましくは3.0m/g以上15m/g以下、より好ましくは3.05m/g以上15m/g以下、さらに好ましくは4.00m/g以上15m/g以下、特に好ましくは4.00m/g以上9.71m/g以下が良い。マイカ粒子の比表面積が3.0m/g以上なのは、マイカ粒子の比表面積が3.0m/g未満の場合には、凝集体又は粗大な粒子を多く含むことになるからである。マイカ粒子の比表面積は、透過方法や各種の気体吸着法により測定することができるが、JIS Z 8830:2013に準拠して測定することが好ましい。 The specific surface area of the mica particles is 3.0 m 2 /g or more, preferably 3.0 m 2 /g to 15 m 2 /g, more preferably 3.05 m 2 /g to 15 m 2 /g, even more preferably 4.00 m 2 /g to 15 m 2 /g, and particularly preferably 4.00 m 2 /g to 9.71 m 2 / g, in order to reduce the dimensional shrinkage rate of the resin film 1 after etching during the manufacture of the circuit board. The specific surface area of the mica particles is 3.0 m 2 / g or more because if the specific surface area of the mica particles is less than 3.0 m 2 /g, it will contain a large amount of aggregates or coarse particles. The specific surface area of the mica particles can be measured by a permeation method or various gas adsorption methods, but it is preferable to measure it in accordance with JIS Z 8830:2013.

多数のマイカ粒子には、エッチング後における寸法収縮率の低減を図るため、メジアン径D50が2.0μm以上10μm以下のマイカ粒子が含まれる。平均径や最頻径ではなく、メジアン径(中央径)を選択するのは、マイカ粒子の粒度分布の代表的な値の把握に好適であり、複数のサンプルの粒度分布の大きさを比較する場合に便利だからである。 The majority of the mica particles contain mica particles with a median diameter D50 of 2.0 μm or more and 10 μm or less in order to reduce the dimensional shrinkage rate after etching. The median diameter (central diameter) is selected rather than the average diameter or the most frequent diameter because it is suitable for grasping a representative value of the particle size distribution of mica particles and is convenient when comparing the size of the particle size distribution of multiple samples.

マイカ粒子のメジアン径D50は、樹脂フィルム1の製膜性をも向上させるため、2.0μm以上10μm以下、好ましくは2.0μm以上6.0μm以下、より好ましくは2.8μm以上5.10μm以下が最適である。また、メジアン径D10は、2.6μm以下、好ましくは0.9μm以上2.6μm以下、より好ましくは0.97μm以上2.55μm以下が良い。メジアン径D90は、9.20μm以下、好ましくは5.00μm以上9.20μm以下、より好ましくは5.20μm以上9.15μm以下が良い。さらに、メジアン径D95は、樹脂フィルム1の機械的強度を向上させる観点から、16.2μm以下、好ましくは6.00μm以上16.2μm以下、より好ましくは6.00μm以上15μm以下、さらに好ましくは6.20μm以上14.20μm以下が最適である。 The median diameter D50 of the mica particles is optimally 2.0 μm to 10 μm, preferably 2.0 μm to 6.0 μm, more preferably 2.8 μm to 5.10 μm, in order to improve the film-forming properties of the resin film 1. The median diameter D10 is 2.6 μm or less, preferably 0.9 μm to 2.6 μm, more preferably 0.97 μm to 2.55 μm. The median diameter D90 is 9.20 μm or less, preferably 5.00 μm to 9.20 μm, more preferably 5.20 μm to 9.15 μm. Furthermore, from the viewpoint of improving the mechanical strength of the resin film 1, the median diameter D95 is optimally 16.2 μm or less, preferably 6.00 μm or more and 16.2 μm or less, more preferably 6.00 μm or more and 15 μm or less, and even more preferably 6.20 μm or more and 14.20 μm or less.

このような成形材料により樹脂フィルム1は成形されるが、この成形法は、溶融押出成形法、カレンダー成形法、又はキャスティング法等を特に問うものではない。しかしながら、ハンドリング性や製造設備の簡略化を考慮すると、溶融押出成形法が最適である。この溶融押出成形法で樹脂フィルム1を製造する場合、押出成形機を使用して成形材料を溶融混練し、押出成形機のTダイスから樹脂フィルム1を押し出して冷却すれば、薄膜の樹脂フィルム1を製造することができる。 The resin film 1 is formed from such molding materials, and the molding method can be any of melt extrusion, calendar molding, casting, etc. However, when considering ease of handling and simplification of manufacturing equipment, melt extrusion is optimal. When manufacturing the resin film 1 using this melt extrusion method, the molding material is melt-kneaded using an extrusion molding machine, and the resin film 1 is extruded from the T-die of the extrusion molding machine and cooled, thereby producing a thin resin film 1.

製造された樹脂フィルム1の厚さは、特に限定されるものではないが、回路基板のベースとしての強度や剛性、生産性、汎用性を考慮すると、10μm以上350μm以下、好ましくは10μm以上250μm以下、より好ましくは50μm以上100μm以下が最適である。この樹脂フィルム1の厚さは、専用のマイクロメータ等を使用して測定することができる。 The thickness of the produced resin film 1 is not particularly limited, but considering the strength, rigidity, productivity, and versatility as a base for a circuit board, it is optimal to have a thickness of 10 μm to 350 μm, preferably 10 μm to 250 μm, and more preferably 50 μm to 100 μm. The thickness of this resin film 1 can be measured using a dedicated micrometer, etc.

金属層2の銅は、例えば厚さ1μm以上50μm以下、好ましくは10μm以上13μm以下の薄い銅箔3、具体的には圧延銅箔又は電解銅箔からなり、図2に示すように、樹脂フィルム1の表面に熱圧着法により積層されて回路パターンを形成する。銅箔3の具体的な製品としては、例えば電解銅箔TQ‐M7VSP〔製品名:三井金属鉱業株式会社製〕、圧延銅箔HA‐V2タイプ〔製品名:JX金属株式会社製〕等があげられる。 The copper of the metal layer 2 is made of a thin copper foil 3, specifically rolled copper foil or electrolytic copper foil, having a thickness of, for example, 1 μm to 50 μm, preferably 10 μm to 13 μm, and is laminated on the surface of the resin film 1 by a thermocompression method to form a circuit pattern, as shown in FIG. 2. Specific examples of copper foil 3 products include electrolytic copper foil TQ-M7VSP [product name: manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.] and rolled copper foil HA-V2 type [product name: manufactured by JX Nippon Mining & Metals Corporation].

上記において、樹脂フィルム1を製造する場合には、先ず、溶融押出成形機の原料投入口に調製した成形材料を好ましくは不活性ガスを供給しながら投入し、成形材料を熱分解温度以下に加熱した溶融押出成形機中で溶融混練する。成形材料は、分散性や作業性の観点からすると、溶融したポリアリーレンエーテルケトン中にマイカを添加し、これらの溶融混練により調製されることが好ましい。また、溶融押出成形機は、特に限定されるものではないが、例えば単軸押出成形機、二軸押出成形機、三軸押出成形機等が使用される。 In the above, when the resin film 1 is manufactured, the prepared molding material is first fed into the raw material inlet of the melt extruder, preferably while supplying an inert gas, and the molding material is melt-kneaded in the melt extruder heated to a temperature below the thermal decomposition temperature. From the viewpoint of dispersibility and workability, it is preferable that the molding material is prepared by adding mica to molten polyarylene ether ketone and melt-kneading the two. The melt extruder is not particularly limited, but may be, for example, a single-screw extruder, a twin-screw extruder, or a triple-screw extruder.

成形材料を溶融押出成形機中で溶融混練したら、溶融押出成形機の先端部のTダイスから帯形の樹脂フィルム1を連続的に押出成形し、この樹脂フィルム1を、複数の冷却ロール、一対の圧着ロール、テンションロール、及び巻取機の巻芯に順次巻架するとともに、複数の冷却ロールに摺接させて冷却し、樹脂フィルム1の両側部をスリット刃でそれぞれカットして体裁を整えた後、巻取機の巻芯に順次巻き取って樹脂フィルム1の原反とすれば、樹脂フィルム1を製造することができる。 After the molding materials are melted and kneaded in a melt extrusion molding machine, a strip-shaped resin film 1 is continuously extruded from a T-die at the tip of the melt extrusion molding machine, and this resin film 1 is wound in sequence around multiple cooling rolls, a pair of pressure rolls, a tension roll, and a winding core of a winding machine, and cooled by sliding it against multiple cooling rolls. Both sides of the resin film 1 are cut with a slit blade to adjust the appearance, and then the resin film 1 is wound in sequence around the winding core of the winding machine to form the original roll of resin film 1, and the resin film 1 can be manufactured.

製造された樹脂フィルム1の引張強度は、実験結果から、75N/mm以上125N/mm以下、好ましくは80N/mm以上120N/mm以下が良い。この樹脂フィルム1の引張強度は、例えばJIS K 7127:1999に準拠して測定することができる。 From experimental results, the tensile strength of the produced resin film 1 is preferably 75 N/mm 2 or more and 125 N/mm 2 or less, and more preferably 80 N/mm 2 or more and 120 N/mm 2 or less. The tensile strength of this resin film 1 can be measured in accordance with, for example, JIS K 7127:1999.

樹脂フィルム1の周波数28GHz付近における誘電正接は、実験結果から、0.0020以上、好ましくは0.0040以上0.0080以下、より好ましくは0.0044以上0.0075以下が良い。この樹脂フィルム1の誘電正接は、特に限定されるものではないが、干渉計開放型を使用するファブリペロー法、空洞共振器摂動法により高周波数の比誘電率及び誘電正接を求める方法、相互誘導ブリッジ回路による3端子測定法等により測定することができる。これらの中では、高分解性に優れるファブリペロー法や空洞共振器摂動法の選択が最適である。 From experimental results, the dielectric loss tangent of the resin film 1 at a frequency of about 28 GHz is 0.0020 or more, preferably 0.0040 to 0.0080, and more preferably 0.0044 to 0.0075. The dielectric loss tangent of this resin film 1 is not particularly limited, but can be measured by the Fabry-Perot method using an open-type interferometer, a method for determining the relative dielectric constant and dielectric loss tangent at high frequencies by the cavity resonator perturbation method, a three-terminal measurement method using a mutual induction bridge circuit, etc. Among these, the Fabry-Perot method and the cavity resonator perturbation method, which have excellent high resolution, are the most suitable.

次に、樹脂フィルム1を用いて導電積層板4を製造する場合には、樹脂フィルム1の表面に導電性の銅を積層すれば、回路基板の中間体となる銅張積層板である導電積層板4を製造することができる。銅の積層方法としては、特に限定されるものではないが、例えば(1)樹脂フィルム1と銅箔3とを熱融着して積層する方法、(2)樹脂フィルム1に銅箔3を接着剤で接着して積層する方法、(3)樹脂フィルム1に銅箔3を蒸着して積層する方法、(4)樹脂フィルム1に銅をスパッタリングする方法等があげられる。 Next, when manufacturing the conductive laminate 4 using the resin film 1, by laminating conductive copper on the surface of the resin film 1, it is possible to manufacture the conductive laminate 4, which is a copper-clad laminate that serves as an intermediate for the circuit board. There is no particular limitation on the copper lamination method, but examples include (1) a method of laminating the resin film 1 and the copper foil 3 by heat fusion, (2) a method of laminating the copper foil 3 by adhering it to the resin film 1 with an adhesive, (3) a method of laminating the copper foil 3 by vapor deposition on the resin film 1, and (4) a method of sputtering copper onto the resin film 1.

(1)の方法は、樹脂フィルム1と銅箔3とを直接重ねてプレス成形機あるいはロール間に挟み、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂の融点やその前後の温度で加熱・加圧して樹脂フィルム1に銅箔3を熱融着する方法である。この方法を実施する場合、樹脂フィルム1又は銅箔3の対向面に、融着強度を向上させるため、微細な凹凸を形成することができる。また、樹脂フィルム1又は銅箔3の表面を、コロナ照射処理、紫外線照射処理、プラズマ照射処理、フレーム照射処理、イトロ照射処理、酸化処理、ヘアライン加工、サンドマッド加工等で処理することができる。さらに、樹脂フィルム1又は銅箔3の表面を、シランカップリング剤、シラン剤、チタンネート系カップリング剤、あるいはアルミネート系カップリング剤で処理することもできる。 Method (1) is a method in which the resin film 1 and the copper foil 3 are directly stacked and sandwiched between a press molding machine or rolls, and heated and pressurized at or near the melting point of the polyarylene ether ketone resin to heat-seal the copper foil 3 to the resin film 1. When carrying out this method, fine irregularities can be formed on the opposing surfaces of the resin film 1 or the copper foil 3 to improve the fusion strength. In addition, the surface of the resin film 1 or the copper foil 3 can be treated by corona irradiation treatment, ultraviolet irradiation treatment, plasma irradiation treatment, flame irradiation treatment, itro irradiation treatment, oxidation treatment, hairline processing, sand mud processing, etc. Furthermore, the surface of the resin film 1 or the copper foil 3 can also be treated with a silane coupling agent, a silane agent, a titanate-based coupling agent, or an aluminate-based coupling agent.

(2)の方法は、樹脂フィルム1と銅箔3との間に、エポキシ樹脂系接着剤、ウレタン樹脂系接着剤、アクリル樹脂系接着剤、メラミン樹脂系接着剤、フェノール樹脂系接着剤、シリコーン樹脂系接着剤、ポリイミド樹脂系接着剤、ポリスチレン樹脂系接着剤等の接着剤を配置し、プレス成形機あるいはロール間に挟んだ後、加熱・加圧して銅箔3を樹脂フィルム1上に形成する方法である。 Method (2) is a method in which an adhesive such as an epoxy resin adhesive, a urethane resin adhesive, an acrylic resin adhesive, a melamine resin adhesive, a phenol resin adhesive, a silicone resin adhesive, a polyimide resin adhesive, or a polystyrene resin adhesive is placed between the resin film 1 and the copper foil 3, and the resin film 1 and the copper foil 3 are then sandwiched in a press molding machine or between rolls, and then heated and pressed to form the copper foil 3 on the resin film 1.

樹脂フィルム1や銅箔3の表面は、上記同様、接着強度を向上させる観点から、微細な凹凸を形成することができる。また、樹脂フィルム1や銅箔3の表面を、コロナ照射処理、紫外線照射処理、プラズマ照射処理、フレーム照射処理、イトロ照射処理、酸化処理、ヘアライン加工、サンドマッド加工等で処理しても良い。また、樹脂フィルム1又は銅箔3の表面を、上記同様、シランカップリング剤、シラン剤、チタンネート系カップリング剤、あるいはアルミネート系カップリング剤で処理しても良い。 As described above, the surfaces of the resin film 1 and the copper foil 3 can be formed with fine irregularities in order to improve the adhesive strength. The surfaces of the resin film 1 and the copper foil 3 may also be treated with corona irradiation treatment, ultraviolet irradiation treatment, plasma irradiation treatment, flame irradiation treatment, itro irradiation treatment, oxidation treatment, hairline processing, sand mud processing, etc. As described above, the surfaces of the resin film 1 and the copper foil 3 may also be treated with a silane coupling agent, a silane agent, a titanate-based coupling agent, or an aluminate-based coupling agent.

(3)、(4)の方法の場合には、専用の蒸着装置やスパッタリング装置を使用すれば、銅を積層形成することができる。これら(3)、(4)の方法の中でも、(3)の蒸着法を採用すれば、第五世代移動通信システム用の高周波回路基板を容易に得ることができる。また、(4)のスパッタリング法を採用すれば、様々な金属を金属層2として使用することができ、しかも、高い密着強度を得ることが可能となる。 In the case of methods (3) and (4), copper can be laminated by using a dedicated vapor deposition or sputtering device. Among these methods (3) and (4), the vapor deposition method (3) can be used to easily obtain a high-frequency circuit board for the fifth generation mobile communication system. In addition, the sputtering method (4) can be used to use various metals as the metal layer 2, and high adhesion strength can be obtained.

次に、銅張積層板である導電積層板4を用いてフレキシブル基板等の回路基板を製造する場合には、導電積層板4の露出した表面にエッチング用のフォトレジスト層をラミネートし、導電積層板4の所定の箇所に加工用の孔を穿孔し、フォトレジスト層に紫外線を照射して露光するとともに、現像して未感光部分のフォトレジスト層を溶かして回路パターンを浮き上がらせる。こうして回路パターンを浮き上がらせたら、導電積層板4の回路パターンをエッチングしてフォトレジスト層を剥離し、導電積層板4を洗浄して150℃~160℃の温度で乾燥させ、導電積層板4の大部分にカバーフィルムを貼着して絶縁層を形成し、露出した端子部分等にメッキ等の表面処理を施す。 Next, when manufacturing a circuit board such as a flexible board using the conductive laminate 4, which is a copper-clad laminate, a photoresist layer for etching is laminated on the exposed surface of the conductive laminate 4, holes for processing are drilled at predetermined locations on the conductive laminate 4, the photoresist layer is exposed to ultraviolet light, and developed to dissolve the photoresist layer in the unexposed areas and reveal the circuit pattern. Once the circuit pattern has been revealed in this way, the circuit pattern on the conductive laminate 4 is etched to peel off the photoresist layer, the conductive laminate 4 is washed and dried at a temperature of 150°C to 160°C, a cover film is attached to most of the conductive laminate 4 to form an insulating layer, and exposed terminal parts, etc. are subjected to surface treatment such as plating.

そして、導電積層板4を外形加工して回路パターンの導通性を電気チェックし、導電積層板4に補強材を圧着したり、部品実装した後、最終検査を実施すれば、回路基板を製造することができる。 Then, the conductive laminate 4 is contoured, the continuity of the circuit pattern is electrically checked, reinforcing material is crimped onto the conductive laminate 4, components are mounted, and a final inspection is carried out to manufacture the circuit board.

導電積層板4や回路基板のエッチング後における樹脂フィルム1の寸法収縮率は、実験結果から、0.03%以上0.20%以下、好ましくは0.04%以上0.18%以下が良い。この寸法収縮率は、JIS C 6481:1996に準拠し、二次元側長機を用いて樹脂フィルム1の押出方向や幅方向におけるエッチング前後の寸法を測定することで求めることができる。 Experimental results show that the dimensional shrinkage rate of the resin film 1 after etching of the conductive laminate 4 or the circuit board is 0.03% to 0.20%, preferably 0.04% to 0.18%. This dimensional shrinkage rate can be determined in accordance with JIS C 6481:1996 by measuring the dimensions of the resin film 1 in the extrusion direction and width direction before and after etching using a two-dimensional side length measuring machine.

導電積層板4や回路基板における樹脂フィルム1の密着性は、実験結果等から、7N/cm以上、好ましくは7N/cm以上10N/cm以下、より好ましくは7.2N/cm以上9.2N/cm以下が良い。樹脂フィルム1の密着性は、樹脂フィルム1に銅を積層した試験体をカットし、この試験体を用いてJIS Z 0237:2009(粘着テープ・粘着シート試験方法)を参考にして剥離試験を実施すれば、測定することができる。 From experimental results, the adhesion of the resin film 1 to the conductive laminate 4 or the circuit board is 7 N/cm or more, preferably 7 N/cm to 10 N/cm, and more preferably 7.2 N/cm to 9.2 N/cm. The adhesion of the resin film 1 can be measured by cutting a test piece in which copper is laminated onto the resin film 1, and using this test piece to perform a peel test with reference to JIS Z 0237:2009 (Test method for adhesive tapes and adhesive sheets).

上記によれば、タルクではなく、金属との密着性に優れるマイカを採用するので、母材である樹脂フィルム1の強度を維持しながら、優れた密着性を得ることができる。また、成形材料の組成体積比率とマイカの粒度分布の範囲をそれぞれ特定し、粒径1μm以下のマイカ粒子の占有量を全マイカ粒子の20%以下とするとともに、メジアン径D50が2.0μm以上10μm以下のマイカ粒子を用いるので、優れた密着性や機械的強度を維持しながら、回路基板の製造時に樹脂フィルム1が破損しない範囲でエッチングした後の樹脂フィルム1の寸法収縮率を低減することができる。 As described above, mica, which has excellent adhesion to metals, is used instead of talc, so that excellent adhesion can be obtained while maintaining the strength of the base material, the resin film 1. In addition, the composition volume ratio of the molding material and the range of the mica particle size distribution are specified, and the amount of mica particles with a particle size of 1 μm or less is set to 20% or less of the total mica particles, and mica particles with a median diameter D50 of 2.0 μm to 10 μm are used, so that the dimensional shrinkage rate of the resin film 1 after etching can be reduced to a range where the resin film 1 is not damaged during the manufacture of the circuit board while maintaining excellent adhesion and mechanical strength.

次に、図3は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、樹脂フィルム1の表裏両面に、薄い金属層2である銅箔3をそれぞれ積層して導電積層板4とし、この導電積層板4を回路基板の製造に利用するようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、配線を交差させて複雑な回路を形成可能な両面回路基板の製造に大いに資することができるのは明らかである。
3 shows a second embodiment of the present invention, in which a thin metal layer 2, a copper foil 3, is laminated on both sides of a resin film 1 to form a conductive laminate 4, which is used to manufacture a circuit board. The other parts are the same as those of the above embodiment, so a description thereof will be omitted.
The present embodiment is expected to provide the same advantageous effects as the above-described embodiment, and it is clear that the present embodiment can be of great use in the manufacture of double-sided circuit boards in which complex circuits can be formed by crossing wiring.

なお、上記実施形態では樹脂フィルム1を回路基板に使用したが、何らこれに限定されるものではなく、例えば音響機器等、他の用途に使用しても良い。また、上記実施形態では金属層2として銅箔3を熱融着により積層したが、何らこれに限定されるものではない。例えば、金属層2として、金、銀、クロム、アルミニウム、ニッケル合金、スズ等を熱融着により積層しても良い。 In the above embodiment, the resin film 1 is used for a circuit board, but the present invention is not limited to this and may be used for other purposes, such as audio equipment. In the above embodiment, the copper foil 3 is laminated as the metal layer 2 by thermal fusion, but the present invention is not limited to this. For example, the metal layer 2 may be laminated by thermal fusion of gold, silver, chromium, aluminum, nickel alloy, tin, etc.

以下、本発明に係る樹脂フィルムと導電積層板の実施例を比較例と共に説明する。
ポリアリーレンエーテルケトン樹脂と、マイカ又はタルクとを用いて成形材料を調製し、この調製した成形材料により、実施例1~10と比較例1~7に使用する16種類の樹脂フィルムをフィルム幅530mmに溶融押出成形することとした(表1、2参照)。成形材料のポリアリーレンエーテルケトン樹脂としては、融点が341℃、ガラス転移温度が147℃のポリエーテルエーテルケトン(PEEK)樹脂〔ビクトレックス社製:製品名 Victrex Granulesシリーズ 450G〕、又は融点が360℃、ガラス転移温度が165℃のポリエーテルケトンケトン(PEKK)樹脂〔アルケマ社製:製品名:KEPSTANシリーズ 8002〕を使用することとした。
Examples of the resin film and the conductive laminate plate according to the present invention will be described below together with comparative examples.
A molding material was prepared using polyarylene ether ketone resin and mica or talc, and the prepared molding material was melt extruded to produce 16 types of resin films used in Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 7 with a film width of 530 mm (see Tables 1 and 2). As the polyarylene ether ketone resin of the molding material, a polyether ether ketone (PEEK) resin having a melting point of 341°C and a glass transition temperature of 147°C (manufactured by Victrex: product name Victrex Granules series 450G), or a polyether ketone ketone (PEKK) resin having a melting point of 360°C and a glass transition temperature of 165°C (manufactured by Arkema: product name KEPSTAN series 8002) was used.

Figure 0007653340000001
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Figure 0007653340000002
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成形材料のマイカとしては、表3、4に示す8種類の合成マイカ〔片倉コープアグリ株式会社製:製品名 ミクロマイカMKシリーズ〕、又はメジアン径D50が4.38μmの天然マイカ〔株式会社ヤマグチマイカ:製品名 SJ‐005〕を使用することとした。8種類の合成マイカは、先ず、合成マイカ1をメジアン径D50が2.85μmのMK‐100DS〔片倉コープアグリ株式会社製:製品名〕、合成マイカ2をメジアン径D50が4.67μmのMK‐100PDS〔片倉コープアグリ株式会社製:製品名〕とした。合成マイカ3については、MK‐100P〔片倉コープアグリ株式会社製:製品名〕を高圧乾式ジェットミルにより粉砕し、メジアン径D50が5.01μmの合成マイカ3を得た。 As the mica for the molding material, eight types of synthetic mica shown in Tables 3 and 4 (manufactured by Katakura Coop Agri Co., Ltd.: product name Micromica MK series) or natural mica with a median diameter D50 of 4.38 μm (Yamaguchi Mica Co., Ltd.: product name SJ-005) were used. The eight types of synthetic mica were firstly synthetic mica 1, which was MK-100DS (manufactured by Katakura Coop Agri Co., Ltd.: product name) with a median diameter D50 of 2.85 μm, and synthetic mica 2, which was MK-100PDS (manufactured by Katakura Coop Agri Co., Ltd.: product name) with a median diameter D50 of 4.67 μm. For synthetic mica 3, MK-100P (manufactured by Katakura Coop Agri Co., Ltd.: product name) was pulverized by a high-pressure dry jet mill to obtain synthetic mica 3 with a median diameter D50 of 5.01 μm.

合成マイカ4は、メジアン径D50が3.36μmのMK‐100PGDS〔片倉コープアグリ株式会社製:製品名〕とした。また、合成マイカ5については、MK‐200〔片倉コープアグリ株式会社製:製品名〕を乾式分級機に投入し、粒径40μmよりも大きいマイカ粒子を取り除いたメジアン径D50が5.1μmのものを合成マイカ5とした。 Synthetic mica 4 was MK-100PGDS (product name, manufactured by Katakura Co-op Agri Co., Ltd.) with a median diameter D50 of 3.36 μm. Synthetic mica 5 was made by feeding MK-200 (product name, manufactured by Katakura Co-op Agri Co., Ltd.) into a dry classifier and removing mica particles with a particle size of more than 40 μm to obtain synthetic mica 5 with a median diameter D50 of 5.1 μm.

合成マイカ6は、メジアン径D50が1.4μmのFGMK80DS〔片倉コープアグリ株式会社製:製品名〕とした。また、合成マイカ7については、合成マイカ1を高圧乾式ジェットミルにより微粉砕したメジアン径D50が2.2μmのものを合成マイカ7とした。さらに、合成マイカ8は、メジアン径D50が11.72μmのMK‐300〔片倉コープアグリ株式会社製:製品名〕とした。 Synthetic mica 6 was FGMK80DS (product name, manufactured by Katakura Co-op Agri Co., Ltd.) with a median diameter D50 of 1.4 μm. Synthetic mica 7 was made by pulverizing synthetic mica 1 with a high-pressure dry jet mill to obtain synthetic mica 7 with a median diameter D50 of 2.2 μm. Synthetic mica 8 was MK-300 (product name, manufactured by Katakura Co-op Agri Co., Ltd.) with a median diameter D50 of 11.72 μm.

合成マイカ6、7は、粒径1μm以下のマイカ粒子の占める量が全マイカ粒子の20%を越える比較用である。また、合成マイカ8は、粒径1μm以下のマイカ粒子の占める量が0%であり、メジアン径D50が10μmを越えるマイカ粒子を含有する比較用である。また、成形材料として、マイカを使用しない場合、表4に示すメジアン径D50が5μmのタルク〔日本タルク株式会社:製品名 ミクロエースシリーズ SJ‐005〕を代わりの比較用に用いることとした。 Synthetic mica 6 and 7 are for comparison, in which mica particles with a particle size of 1 μm or less account for more than 20% of the total mica particles. Synthetic mica 8 is for comparison, in which the amount of mica particles with a particle size of 1 μm or less accounts for 0% and contains mica particles with a median diameter D50 of more than 10 μm. In addition, when mica is not used as a molding material, talc with a median diameter D50 of 5 μm shown in Table 4 (Nippon Talc Co., Ltd.: Product name Micro Ace Series SJ-005) was used instead for comparison.

なお、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂の比重を1.3、マイカの比重を2.7としてこれらの組成体積比率等を求めた。ポリアリーレンエーテルケトン樹脂100質量部に対し、マイカを45質量部添加したため、それぞれの比重から算出すると、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂の体積は76.9、マイカは16.7となる。よって、全体積100%内の組成体積比率を求めると、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂は82.1体積%、マイカは17.9体積%であった。 The composition volume ratios were calculated assuming that the specific gravity of the polyarylene ether ketone resin was 1.3 and that of the mica was 2.7. 45 parts by mass of mica was added to 100 parts by mass of polyarylene ether ketone resin, so the volume of the polyarylene ether ketone resin was 76.9 and that of the mica was 16.7, calculated from their respective specific gravities. Therefore, the composition volume ratios within a total volume of 100% were 82.1% by volume for the polyarylene ether ketone resin and 17.9% by volume for the mica.

マイカやタルクの粒子径分布は、JIS Z 8825:2013に準拠して測定した。分散液体としては水を使用し、粒子径分布測定装置〔マイクロトラック・ベル株式会社製:製品名:MT3300EXII〕を用いたレーザー回析・散乱法により、体積分布で評価して表3、4にまとめた。また、マイカやタルクの比表面積は、JIS Z 8830:2013に準拠して測定した。 The particle size distribution of mica and talc was measured in accordance with JIS Z 8825:2013. Water was used as the dispersion liquid, and the volume distribution was evaluated by laser diffraction/scattering using a particle size distribution measuring device (manufactured by Microtrac-Bell Co., Ltd.: product name: MT3300EXII), and the results are summarized in Tables 3 and 4. The specific surface area of mica and talc was measured in accordance with JIS Z 8830:2013.

Figure 0007653340000003
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Figure 0007653340000004
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成形材料を調製する場合、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂を、同方向回転二軸押出機〔φ25mm、L/D=41、製品名 TEX25αIII:日本製鋼所社製〕のスクリュー根元付近に設けられた第一供給口であるホッパーに投入した。また、マイカあるいはタルクを、同方向回転二軸押出機の大気圧に開放されたベント口のすぐ隣のサイドフィーダーの第二供給口より強制圧入した。 When preparing the molding material, polyarylene ether ketone resin was fed into a hopper, which was the first feed port located near the base of the screws of a co-rotating twin-screw extruder (φ25 mm, L/D=41, product name TEX25αIII, manufactured by Japan Steel Works, Ltd.). Mica or talc was forcibly fed into the co-rotating twin-screw extruder through the second feed port of the side feeder located immediately next to the vent port open to atmospheric pressure.

ポリアリーレンエーテルケトン樹脂を投入し、マイカあるいはタルクを強制圧入したら、これらを同方向回転二軸押出機のバレルの温度:200℃~380℃、スクリューの回転数:350rpm、時間当たりの吐出量:7.2kg/hrの条件下で溶融混練し、ストランド状に押出成形し、このストランド状の押出成形物を空冷固化した後にペレット形にカッティングすることにより、成形材料を調製した。 Polyarylene ether ketone resin was added, and mica or talc was forcibly added. The mixture was then melt-kneaded under the following conditions: barrel temperature of 200°C to 380°C, screw speed of 350 rpm, and output per hour of 7.2 kg/hr in a co-rotating twin-screw extruder. The mixture was then extruded into strands, and the strands were air-cooled to solidify, then cut into pellets to prepare the molding material.

樹脂フィルムを溶融押出成形する場合、成形材料をTダイスを備えたφ40mm単軸押出成形機にセットして溶融混練し、この溶融混練した成形材料を単軸押出成形機のTダイスから連続的に押し出し、その後、230℃の冷却ロールである金属ロールで冷却することにより、所定の厚さの樹脂フィルムを製造した。ここで、φ40mm単軸押出成形機の温度は360℃~400℃、Tダイスの温度は400℃、単軸押出成形機とTダイスとを連結する連結管の温度は400℃にそれぞれ調整した。 When melt extrusion molding a resin film, the molding material was set in a φ40 mm single screw extruder equipped with a T-die and melt-kneaded, and this melt-kneaded molding material was continuously extruded from the T-die of the single screw extruder, and then cooled with a metal roll, which was a cooling roll at 230°C, to produce a resin film of a specified thickness. Here, the temperature of the φ40 mm single screw extruder was adjusted to 360°C to 400°C, the temperature of the T-die to 400°C, and the temperature of the connecting pipe connecting the single screw extruder and the T-die to 400°C.

〔実施例1〕
先ず、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ1とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表1に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を82.1体積%、合成マイカ1を17.9体積%とした。
Example 1
First, a resin film having a thickness of 100 μm was melt-extruded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 1. As shown in Table 1, the composition volume ratio of the molding material was 82.1 volume % of polyether ether ketone resin and 17.9 volume % of synthetic mica 1.

こうして樹脂フィルムを溶融押出成形したら、この樹脂フィルムと用意した銅箔とを320mm×320mmにそれぞれカットして直接積層し、これらを厚さ1mmのSUS板で挟み、熱板を350℃に設定した熱プレス機で、面圧4MPa、5分間熱圧着してから取り出すことで、両面銅張積層板である導電積層板を作製した。銅箔は、厚さ12μmのTQ‐M7VSP〔製品名:三井金属鉱業株式会社製〕を使用した。 After the resin film was melt-extruded in this way, the resin film and the prepared copper foil were cut to 320 mm x 320 mm and directly laminated together, sandwiched between 1 mm thick SUS plates, and thermocompressed for 5 minutes at a surface pressure of 4 MPa using a heat press machine with a heat plate set to 350°C, before being removed to produce a conductive laminate that is a double-sided copper-clad laminate. The copper foil used was 12 μm thick TQ-M7VSP [product name: manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd.].

次いで、銅張積層板である導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率と密着性を測定し、その後、導電積層板の銅箔を全て除去した樹脂フィルムを用いて引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表5に記載し、評価した。 Next, the dimensional shrinkage rate and adhesion of the resin film after etching of the conductive laminate, which is a copper-clad laminate, were measured, and then the tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency were measured using the resin film from which all the copper foil of the conductive laminate had been removed, and the results were reported in Table 5 and evaluated.

・エッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率
エッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率については、JIS C 6481:1996に準拠して測定した。先ず、導電積層板を300mm(押出方向)×300mm(幅方向)の大きさにカットし、この導電積層板の端4点に穴を開け、穴の中心間の距離を押出方向と幅方向とで、エッチング前の導電積層板の長さを測定した後、積層された銅箔を塩化鉄水溶液で除去し、先に測定した同じ部分について樹脂フィルムの長さを測定した。
Dimensional shrinkage of resin film after etching The dimensional shrinkage of the resin film after etching was measured in accordance with JIS C 6481: 1996. First, the conductive laminate was cut to a size of 300 mm (extrusion direction) × 300 mm (width direction), holes were drilled at four ends of this conductive laminate, and the length of the conductive laminate before etching was measured by the distance between the centers of the holes in the extrusion direction and width direction. After that, the laminated copper foil was removed with an aqueous iron chloride solution, and the length of the resin film was measured at the same portion as previously measured.

寸法の測定に際しては、2次元測長機〔製品名:VMH600 ミノグループ社製〕を用いた。エッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率は、0.2%未満を目標値とし、0.2%以上の場合には収縮率が不良の×、0.2%未満~0.15%よりも大きい場合には収縮率が普通の△、0.15%未満~0.1%よりも大きい場合には収縮率が良好の○、0.1%以下の場合には収縮率がきわめて良好の◎と表記して評価することとした。 A two-dimensional length measuring machine (product name: VMH600, manufactured by Mino Group) was used to measure the dimensions. The target value for the dimensional shrinkage rate of the resin film after etching was less than 0.2%, with a shrinkage rate of 0.2% or more being evaluated as poor (X), shrinkage rates of less than 0.2% to greater than 0.15% being normal (△), shrinkage rates of less than 0.15% to greater than 0.1% being good (○), and shrinkage rates of 0.1% or less being extremely good (◎).

・導電積層板における樹脂フィルムの密着性
導電積層板における樹脂フィルムの密着性については、導電積層板をカットして幅25mmの試験体とし、JIS Z 0237:2009を参考に、剥離速度0.3mm/min、剥離角180°にて、導電積層板を支持体に固定し、銅箔を引張治具に固定し、導電積層板から銅箔を引張った際の剥離強度を測定することにより、密着強度(密着性)を測定した。各実施例と各比較例の剥離面は、全て樹脂フィルム間である母材破壊であった。
Adhesion of resin film in conductive laminate Regarding the adhesion of the resin film in the conductive laminate, the conductive laminate was cut into a test specimen having a width of 25 mm, and the conductive laminate was fixed to a support and the copper foil was fixed to a pulling jig at a peel speed of 0.3 mm/min and a peel angle of 180°, and the adhesion strength (adhesion) was measured by measuring the peel strength when the copper foil was pulled from the conductive laminate, with reference to JIS Z 0237: 2009. The peeling surfaces in each Example and Comparative Example were all base material failure between the resin films.

・樹脂フィルムの引張強度
樹脂フィルムの引張強度は、エッチングで銅箔を除去した後の樹脂フィルムを用い、23℃における引張最大強度で評価した。引張強度は、樹脂フィルムの押出方向と幅方向(押出方向の直角方向)について測定した。測定は、JIS K 7127に準拠し、引張速度50mm/分、温度23℃の条件で実施した。測定した引張強度は、90N/mm以上を強度が良好の○、80N/mm以上90N/mm未満を強度が普通の△と表記して評価した。
Tensile strength of resin film The tensile strength of the resin film was evaluated by the maximum tensile strength at 23°C using the resin film after removing the copper foil by etching. The tensile strength was measured in the extrusion direction and width direction (perpendicular to the extrusion direction) of the resin film. The measurement was performed in accordance with JIS K 7127, at a pulling speed of 50 mm/min and a temperature of 23°C. The measured tensile strength was evaluated by indicating that 90 N/mm2 or more was good strength ○, and that 80 N/ mm2 or more and less than 90 N/ mm2 was normal strength △.

・樹脂フィルムの誘電正接
樹脂フィルムの誘電正接については、電子計測器〔製品名 コンパクトUSBベクトルネットワークアナライザ MS46122B:Anritsu社製〕を用い、開放型共振器法の一種であるファブリペロー法により、周波数28GHz付近の23℃×50RH%の常態と浸水24時間後の誘電正接をそれぞれ測定した。
Dielectric Loss Tangent of Resin Film The dielectric loss tangent of the resin film was measured using an electronic measuring instrument (product name: Compact USB Vector Network Analyzer MS46122B: manufactured by Anritsu Corporation) by the Fabry-Perot method, which is a type of open resonator method, at a frequency of around 28 GHz, at 23°C x 50 RH%, in a normal state and after immersion in water for 24 hours.

具体的には、銅箔を塩化鉄水溶液で溶かして除去した樹脂フィルムを100×100mmにカットし、このカットした試験片を23℃±2℃、50±10%RHの恒温恒湿室で10時間以上放置してから、ファブリペロー法により測定した値を浸水前の誘電正接とした。浸水24時間後の測定については、浸水前の誘電特性を測定した試験片をイオン交換水に24時間浸水させてから取り出し、ペーパーで樹脂フィルムの表面に付着した水を拭き取り、23±2℃、50±10%RHの環境下で5分間放置してから、ファブリペロー法により測定した。浸水前と浸水24時間後の測定は、全て23±2℃、50±10%RHの測定環境下で実施した。 Specifically, the resin film from which the copper foil had been removed by dissolving it in an aqueous iron chloride solution was cut to 100 x 100 mm, and the cut test pieces were left in a constant temperature and humidity room at 23°C ± 2°C and 50 ± 10% RH for at least 10 hours, after which the value measured using the Fabry-Perot method was taken as the dielectric tangent before immersion in water. For measurements 24 hours after immersion in water, the test pieces whose dielectric properties had been measured before immersion were immersed in ion-exchanged water for 24 hours, then removed, the water adhering to the surface of the resin film was wiped off with paper, and the pieces were left in an environment of 23 ± 2°C and 50 ± 10% RH for 5 minutes, after which measurements were made using the Fabry-Perot method. All measurements before and after 24 hours of immersion in water were performed in an environment of 23 ± 2°C and 50 ± 10% RH.

共振器は、開放型共振器〔製品名 ファブリペロー共振器 Model No.DPS03:キーコム社製〕を使用した。測定に際しては、開放型共振器冶具の試料台上に導電積層板を載せ、ベクトルネットワークアナライザー用いて開放型共振器法の一種であるファブリペロー法で測定した。具体的には、試料台の上に導電積層板を載せない状態と、導電積層板を載せた状態の共振周波数の差を利用する共振法により、誘電正接を測定した。測定に用いた具体的な周波数は、28GHzとした。浸水24時間後における誘電正接tanδの値は、0.0080未満を目標値とし、0.0075以下を良好値とした。 The resonator used was an open-type resonator (product name: Fabry-Perot resonator, Model No. DPS03, manufactured by Keycom). For the measurement, a conductive laminate was placed on the sample stage of the open-type resonator jig, and a vector network analyzer was used to perform the measurement using the Fabry-Perot method, which is a type of open-type resonator method. Specifically, the dielectric loss tangent was measured using a resonance method that utilizes the difference in resonance frequency between a state in which the conductive laminate was not placed on the sample stage and a state in which the conductive laminate was placed on the sample stage. The specific frequency used for the measurement was 28 GHz. The target value for the dielectric loss tangent tan δ after 24 hours of water immersion was less than 0.0080, and a good value was 0.0075 or less.

・樹脂フィルムの割れ性
樹脂フィルムの割れ性については、JIS P 8115に準拠したMIT試験より評価することとした。具体的には、MIT耐折度試験機を用い、4.9Nの荷重、折曲クランプのRを0.8mmとして樹脂フィルムの幅方向の試験片を繰返し折り曲げ、既定の荷重を加えて試験片を引張りながら、左右135°に175回/分の速さで折り曲げるとともに、試験片が破断するまで継続し、破断するまでの折り曲げ回数から、耐折強度を測定することとした。折り曲げ回数は、30回を基準とし、30回以上の場合には割れ性良好の○とし、30回未満の場合には割れ性不良の×として評価した。
-Crackability of resin film The crackability of the resin film was evaluated by the MIT test according to JIS P 8115. Specifically, using an MIT folding endurance tester, a test piece of the resin film was repeatedly folded in the width direction with a load of 4.9 N and a bending clamp R of 0.8 mm, and while pulling the test piece with a predetermined load, the test piece was folded left and right at 135° at a speed of 175 times/min, and continued until the test piece broke, and the folding endurance was measured from the number of times of folding until the test piece broke. The number of times of folding was based on 30 times, and when it was 30 times or more, it was evaluated as ○, which means good crackability, and when it was less than 30 times, it was evaluated as ×, which means poor crackability.

〔実施例2〕
基本的には実施例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ2とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表1に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を82.1体積%、合成マイカ2を17.9体積%とした。
Example 2
Basically, the procedure was the same as in Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 2. As shown in Table 1, the composition volume ratio of the molding material was 82.1 volume % polyether ether ketone resin and 17.9 volume % synthetic mica 2.

その他は実施例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表5に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, as shown in Table 5.

〔実施例3〕
基本的には実施例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ3とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表1に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を82.1体積%、合成マイカ3を17.9体積%とした。
Example 3
Basically, the procedure was the same as in Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 3. As shown in Table 1, the composition volume ratio of the molding material was 82.1 volume % polyether ether ketone resin and 17.9 volume % synthetic mica 3.

その他は実施例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表5に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, as shown in Table 5.

〔実施例4〕
基本的には実施例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ4とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表1に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を82.1体積%、合成マイカ4を17.9体積%とした。
Example 4
Basically, the procedure was the same as in Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 4. As shown in Table 1, the composition volume ratio of the molding material was 82.1 volume % polyether ether ketone resin and 17.9 volume % synthetic mica 4.

その他は実施例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表5に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, as shown in Table 5.

〔実施例5〕
基本的には実施例4と同様だが、樹脂フィルムの厚さを50μmに変更して溶融押出成形した。その他は実施例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表5に記載し、評価した。
Example 5
The melt extrusion molding was performed in the same manner as in Example 4, except that the thickness of the resin film was changed to 50 μm. A conductive laminate was produced in the same manner as in Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric loss tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, as shown in Table 5.

〔実施例6〕
基本的には実施例1と同様だが、ポリエーテルケトンケトン樹脂と合成マイカ4とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表1に示すように、ポリエーテルケトンケトン樹脂を82.1体積%、合成マイカ4を17.9体積%とした。
Example 6
Basically, the same as in Example 1, a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ketone ketone resin and synthetic mica 4. As shown in Table 1, the composition volume ratio of the molding material was 82.1 volume % of polyether ketone ketone resin and 17.9 volume % of synthetic mica 4.

樹脂フィルムを溶融押出成形したら、この樹脂フィルムと用意した銅箔とを320mm×320mmにそれぞれカットして直接積層し、これらを厚さ1mmのSUS板で挟み、熱板を370℃に設定した熱プレス機で、面圧4MPa、5分間熱圧着してから取り出すことで、両面銅張積層板である導電積層板を作製した。その他は実施例1と同様とし、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表5に記載し、評価した。 After the resin film was melt-extruded, the resin film and the prepared copper foil were cut to 320 mm x 320 mm and directly laminated together, sandwiched between 1 mm thick SUS plates, and thermocompressed for 5 minutes at a surface pressure of 4 MPa using a heat press machine with a heat plate set to 370°C, before being removed to produce a conductive laminate that is a double-sided copper-clad laminate. The rest of the experiment was the same as in Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric loss tangent at a frequency of around 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, as shown in Table 5.

〔実施例7〕
基本的には実施例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ4とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表1に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を76.2体積%、合成マイカ4を23.8体積%に変更した。
Example 7
The procedure was basically the same as in Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 4. As shown in Table 1, the composition volume ratio of the molding material was changed to 76.2 volume % of polyether ether ketone resin and 23.8 volume % of synthetic mica 4.

その他は実施例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表5に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, as shown in Table 5.

〔実施例8〕
基本的には実施例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ4とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表1に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を88.9体積%、合成マイカ4を11.1体積%に変更した。
Example 8
The procedure was basically the same as in Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 4. As shown in Table 1, the composition volume ratio of the molding material was changed to 88.9 volume % of polyether ether ketone resin and 11.1 volume % of synthetic mica 4.

その他は実施例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表5に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, as shown in Table 5.

Figure 0007653340000005
Figure 0007653340000005

〔実施例9〕
基本的には実施例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ5とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表1に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を82.1体積%、合成マイカ5を17.9体積%に変更した。
Example 9
The procedure was basically the same as in Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 5. As shown in Table 1, the composition volume ratio of the molding material was changed to 82.1 volume % of polyether ether ketone resin and 17.9 volume % of synthetic mica 5.

その他は実施例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表6に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, as shown in Table 6.

〔実施例10〕
基本的には実施例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と天然マイカとを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表1に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を82.1体積%、天然マイカを17.9体積%とした。
Example 10
The process was basically the same as in Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt-extruded from a molding material containing polyether ether ketone resin and natural mica. As shown in Table 1, the composition volume ratio of the molding material was 82.1 volume % polyether ether ketone resin and 17.9 volume % natural mica.

その他は実施例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表6に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, as shown in Table 6.

〔比較例1〕
基本的には実施例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ6とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表2に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を82.1体積%、合成マイカ6を17.9体積%に変更した。
Comparative Example 1
The procedure was basically the same as in Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 6. As shown in Table 2, the composition volume ratio of the molding material was changed to 82.1 volume % of polyether ether ketone resin and 17.9 volume % of synthetic mica 6.

その他は実施例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表6に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, as shown in Table 6.

〔比較例2〕
基本的には比較例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ6とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表2に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を76.2体積%、合成マイカ6を23.8体積%に変更した。
Comparative Example 2
The procedure was basically the same as in Comparative Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 6. As shown in Table 2, the composition volume ratio of the molding material was changed to 76.2 volume % of polyether ether ketone resin and 23.8 volume % of synthetic mica 6.

その他は比較例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表6に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Comparative Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, and the results are shown in Table 6.

〔比較例3〕
基本的には比較例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ7とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表2に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を82.1体積%、合成マイカ7を17.9体積%に変更した。
Comparative Example 3
The procedure was basically the same as in Comparative Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 7. As shown in Table 2, the composition volume ratio of the molding material was changed to 82.1 volume % of polyether ether ketone resin and 17.9 volume % of synthetic mica 7.

その他は比較例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表6に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Comparative Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, and the results are shown in Table 6.

〔比較例4〕
基本的には比較例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ8とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表2に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を82.1体積%、合成マイカ8を17.9体積%に変更した。
Comparative Example 4
The procedure was basically the same as in Comparative Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 8. As shown in Table 2, the composition volume ratio of the molding material was changed to 82.1 volume % of polyether ether ketone resin and 17.9 volume % of synthetic mica 8.

その他は比較例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表6に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Comparative Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, and the results are shown in Table 6.

〔比較例5〕
基本的には比較例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と本発明の範囲外のタルクとを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表2に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を82.1体積%、タルクを17.9体積%に変更した。
Comparative Example 5
The procedure was basically the same as in Comparative Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and talc outside the scope of the present invention. As shown in Table 2, the composition volume ratio of the molding material was changed to 82.1 volume % of polyether ether ketone resin and 17.9 volume % of talc.

その他は比較例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表6に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Comparative Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, and the results are shown in Table 6.

〔比較例6〕
基本的には比較例1と同様だが、ポリエーテルエーテルケトン樹脂と合成マイカ4とを含有した成形材料により、厚さ100μmの樹脂フィルムを溶融押出成形した。成形材料の組成体積比率は、表2に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を本発明の範囲外の67.9体積%、合成マイカ4を32.1体積%に変更した。
Comparative Example 6
The procedure was basically the same as in Comparative Example 1, but a resin film having a thickness of 100 μm was melt extrusion molded from a molding material containing polyether ether ketone resin and synthetic mica 4. As shown in Table 2, the composition volume ratio of the molding material was changed to 67.9 volume % of polyether ether ketone resin, which is outside the range of the present invention, and 32.1 volume % of synthetic mica 4.

その他は比較例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表6に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Comparative Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, and the results are shown in Table 6.

〔比較例7〕
基本的には比較例6と同様だが、成形材料の組成体積比率を変更した。この比較例7における成形材料の組成体積比率は、表2に示すように、ポリエーテルエーテルケトン樹脂を本発明の範囲外の96体積%、合成マイカ4を4体積%に変更した。
Comparative Example 7
The composition volume ratio of the molding material in Comparative Example 7 was changed to 96 volume % of polyether ether ketone resin, which is outside the range of the present invention, and 4 volume % of synthetic mica 4, as shown in Table 2.

その他は比較例1と同様にして導電積層板を作製し、乾燥させた導電積層板のエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性を測定して表6に記載し、評価した。 Otherwise, a conductive laminate was prepared in the same manner as in Comparative Example 1, and the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching of the dried conductive laminate were measured and evaluated, and the results are shown in Table 6.

Figure 0007653340000006
Figure 0007653340000006

〔評 価〕
各実施例の場合、エッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性に関し、良好な結果を得ることができた。実施例3、9、10の場合、引張強度がやや低下したが、実用上問題のない数値であった。これらの結果から、実施例の樹脂フィルムや導電積層板を用いて回路基板を製造すれば、樹脂フィルムの密着性や機械的強度の向上とエッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率の低減とを並立することができると推測される。
〔evaluation〕
In each example, good results were obtained in terms of the dimensional shrinkage rate, adhesion, tensile strength, dielectric loss tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency of the resin film after etching. In the cases of Examples 3, 9, and 10, the tensile strength was slightly reduced, but the value was not problematic in practical use. From these results, it is presumed that by manufacturing a circuit board using the resin film or conductive laminate of the examples, it is possible to simultaneously achieve improved adhesion and mechanical strength of the resin film and reduced dimensional shrinkage rate of the resin film after etching.

これに対し、各比較例の場合、エッチング後における樹脂フィルムの寸法収縮率、密着性、引張強度、周波数28GHz付近における誘電正接、及び割れ性に関し、良好な結果を得ることができなかった。特に、比較例2、5、6の場合、割れ性で大きな問題が発生したので、比較例の樹脂フィルムや導電積層板を用いて回路基板を製造した場合、実用性に深刻な疑義が生じるものと推測される。 In contrast, in the case of each comparative example, good results could not be obtained with respect to the dimensional shrinkage rate of the resin film after etching, adhesion, tensile strength, dielectric loss tangent at a frequency of about 28 GHz, and cracking tendency. In particular, in the case of comparative examples 2, 5, and 6, serious problems occurred with cracking tendency, so it is presumed that serious doubts will arise about the practicality of manufacturing circuit boards using the resin films and conductive laminates of the comparative examples.

本発明に係る樹脂フィルム、導電積層板、及び回路基板は、情報通信や自動車機器等の分野で使用される。 The resin film, conductive laminate, and circuit board of the present invention are used in fields such as information and communications and automotive equipment.

1 樹脂フィルム
2 金属層
3 銅箔
4 導電積層板
1 Resin film 2 Metal layer 3 Copper foil 4 Conductive laminate

Claims (7)

少なくともポリアリーレンエーテルケトン樹脂とマイカとを含有する成形材料により成形される樹脂フィルムであって、
成形材料の組成体積比率は、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂70体積%以上95体積%以下であるとともに、マイカ5体積%以上30体積%以下であり、
成形材料のマイカは、粒径1μm以上のマイカ粒子の占める量が全マイカ粒子の90%以上、粒径1μm未満のマイカ粒子の占める量が全マイカ粒子の0.1%以上10%以下であるとともに、マイカ粒子の比表面積が4.0m /g以上15m/g以下であり、メジアン径D50が2.0μm以上6.0μm以下、メジアン径D90が5.0μm以上9.2μm以下、メジアン径D95が6.0μm以上10μm以下のマイカ粒子を含むことを特徴とする樹脂フィルム。
A resin film formed from a molding material containing at least a polyarylene ether ketone resin and mica,
The composition volume ratio of the molding material is 70 volume % or more and 95 volume % or less of polyarylene ether ketone resin, and 5 volume % or more and 30 volume % or less of mica,
The mica molding material contains mica particles having a particle size of 1 μm or more that account for 90% or more of the total mica particles, and mica particles having a particle size of less than 1 μm that account for 0.1% to 10% of the total mica particles, and the mica particles have a specific surface area of 4.0 m2 /g to 15 m2 /g, a median diameter D50 of 2.0 μm to 6.0 μm, a median diameter D90 of 5.0 μm to 9.2 μm, and a median diameter D95 of 6.0 μm to 10 μm .
JIS K 7127:1999に準拠して測定される引張強度が75N/mm以上125N/mm以下である請求項1記載の樹脂フィルム。 The resin film according to claim 1, which has a tensile strength measured in accordance with JIS K 7127:1999 of 75 N/mm 2 or more and 125 N/mm 2 or less. JIS Z 0237:2009を参考にして測定される両面銅張積層板の密着性が7N/cm以上10N/cm以下である請求項1又は2記載の樹脂フィルム。 The resin film according to claim 1 or 2, wherein the adhesion to a double-sided copper-clad laminate measured with reference to JIS Z 0237:2009 is 7 N/cm or more and 10 N/cm or less. 成形材料の組成体積比率は、ポリアリーレンエーテルケトン樹脂が80体積%以上95体積%以下であるとともに、マイカが5体積%以上20体積%以下である請求項1、2、又は3記載の樹脂フィルム。 The resin film according to claim 1, 2, or 3, in which the composition volume ratio of the molding material is 80% by volume or more and 95% by volume or less of polyarylene ether ketone resin and 5% by volume or more and 20% by volume or less of mica. マイカを、合成マイカとした請求項1ないし4のいずれかに記載の樹脂フィルム。 The resin film according to any one of claims 1 to 4, in which the mica is synthetic mica. 請求項1ないし5のいずれかに記載された樹脂フィルムの両面のうち、少なくとも片面に金属層を積層したことを特徴とする導電積層板。 A conductive laminate comprising a resin film according to any one of claims 1 to 5, and a metal layer laminated on at least one of the two surfaces. 請求項1ないし5のいずれかに記載された樹脂フィルムを含むことを特徴とする回路基板。 A circuit board comprising the resin film described in any one of claims 1 to 5.
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