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JP7656216B2 - Wiring design device for semiconductor integrated circuits and wiring design program for semiconductor integrated circuits - Google Patents
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Wiring design device for semiconductor integrated circuits and wiring design program for semiconductor integrated circuits Download PDF

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Description

この発明は、半導体集積回路の配線設計装置及び半導体集積回路の配線設計用プログラムに関するものである。 This invention relates to a wiring design device for semiconductor integrated circuits and a wiring design program for semiconductor integrated circuits.

特許文献1には、マイグレーション防止が必要なコネクタ部におけるリード配線層相互間の狭ピッチ化対応に好適な配線基板及びその製造方法が開示されている。このために、配線基板は、外部コネクタへのコネクタ挿入方向と交わる方向の挿入端縁を有するコネクタ端子部を構成する可撓性の絶縁基板と、前記挿入方向と平行な配列パターンで前記コネクタ端子部の絶縁基板表面に形成された銀成分を有する細条の第1、第2リード配線層とを備える。また、前記挿入端縁側の各先端部の上表面及び側縁を覆ってそれぞれ被覆された第1、第2電極端子層と、前記各リード配線層の前記各先端部以外の上表面及び側縁を覆って被覆されたマイグレーション防止用の絶縁物保護層とを備えている。ここで、前記第1、第2電極端子層相互は前記挿入端縁に対して互いに遠近関係となる配置パターンである。 Patent Document 1 discloses a wiring board suitable for narrowing the pitch between lead wiring layers in a connector section where migration prevention is required, and a method for manufacturing the same. For this purpose, the wiring board includes a flexible insulating substrate constituting a connector terminal section having an insertion edge in a direction intersecting with the connector insertion direction into an external connector, and first and second lead wiring layers of thin strips having a silver component formed on the insulating substrate surface of the connector terminal section in an arrangement pattern parallel to the insertion direction. The wiring board also includes first and second electrode terminal layers respectively coated over the upper surface and side edge of each tip on the insertion edge side, and an insulating protective layer for migration prevention coated over the upper surface and side edge of each lead wiring layer other than each tip. Here, the first and second electrode terminal layers are arranged in a distant relationship with each other with respect to the insertion edge.

また、リード配線層相互間の一般的な電気的ショート回避或いは絶縁性の確保は、絶縁物保護層の存在により充分に得られ、前記間隔の設計の自由度が大きく、前記配線層幅はそれほどの寸法制約を受けることなく、前記ピッチが同一ピッチのもとに、従来技術と比較して、大きな幅を確保することができるものである。そのために、リード配線層の内部抵抗を低くし電流容量を大きくすることができると共に配線ピッチPの狭小化への対応が容易である。 In addition, the presence of an insulating protective layer sufficiently prevents electrical shorts between the lead wiring layers and ensures insulation, and the spacing can be designed with a large degree of freedom, and the wiring layer width is not subject to significant dimensional constraints, allowing a larger width to be secured for the same pitch compared to conventional techniques. As a result, the internal resistance of the lead wiring layer can be reduced and the current capacity increased, while also making it easy to accommodate narrower wiring pitches P.

特許文献2には、半導体集積回路をフリップチップ接続する配線基板において、フリップチップ接続の半導体集積回路と基板とのギャップを維持することができると共に、側壁でのショートを効果的に回避できる配線基板が開示されている。このものでは、フリップチップ接続部が、絶縁樹脂層面上に導体で形成された凸部と、凸部上に形成された電極パターンと、で形成され、凸部の全側面が絶縁材料で覆われ、絶縁樹脂層面上には、凸部よりも薄く絶縁材料が形成されている構成を採用している。 Patent Document 2 discloses a wiring board for flip-chip connecting a semiconductor integrated circuit, which can maintain a gap between the flip-chip connected semiconductor integrated circuit and the board, and can effectively avoid short circuits on the side walls. In this wiring board, the flip-chip connection part is formed of a convex part formed of a conductor on the insulating resin layer surface and an electrode pattern formed on the convex part, and the entire side surface of the convex part is covered with an insulating material, and an insulating material is formed on the insulating resin layer surface that is thinner than the convex part.

特許文献3には、まず配線対象となる信号の信号配線遅延を推定する機能、特にこの段階では実際の配線が行われていないため配置結果を基にして各信号の配線長を予測する機能を有する半導体集積回路の自動配線方法が開示されている。このものでは、更に配線長を基にして配線による遅延を計算する機能、特にこれらの予測、計算手法には様々な方法が考えられるが、最悪ケースを想定した遅延を計算する機能を有しているものである。 Patent Document 3 discloses an automatic wiring method for semiconductor integrated circuits that has a function to estimate the signal wiring delay of the signal to be wired, and in particular a function to predict the wiring length of each signal based on the placement results because actual wiring has not been performed at this stage. This method also has a function to calculate the delay due to wiring based on the wiring length, and in particular a function to calculate the delay assuming the worst case, although various methods are possible for these predictions and calculation methods.

特許文献3の方法では、また遅延を少なくする見地からみて困難度の大きな配線から順次処理をするため遅延量の大きい順に対象配線を取り出す機能、更に配線遅延を考慮した自動配線は考慮しない配線より多大の計算時間を要するために不必要な実行を抑止するため使用する自動配線方式を選択できるよう配線方式を切り替える機能を持っている。 The method of Patent Document 3 also has a function for extracting target wiring in descending order of delay in order to process wiring with the greatest difficulty from the viewpoint of reducing delay, and a function for switching between wiring methods to select the automatic wiring method to be used in order to prevent unnecessary execution, since automatic wiring that takes wiring delay into account requires a much longer calculation time than wiring that does not.

そして、多層配線を行う場合、同一点で交差する配線に同一層を割当ててしまう状況を回避するために、ショートした配線層のどちらかを別の配線層に移す機能を持たせる。この配線層変更機能においては信号遅れに対する当該配線層変更の影響を評価して影響の少ない信号配線を別の層に切り替えるものである。 When performing multi-layer wiring, in order to avoid a situation where the same layer is assigned to wiring that intersects at the same point, a function is provided to move one of the shorted wiring layers to another wiring layer. This wiring layer change function evaluates the effect of the wiring layer change on signal delays and switches the signal wiring that will have the least effect to another layer.

また、特許文献3の発明では、第1に適当な2端子対を接続する径路を決定する段階と、第2に以前の段階で既に決定された径路上の1点と、他の端子あるいは他の既に決定された径路上の1点とを接続する径路を決定する段階とを、適宜繰り返して配線を完了させる手法を用いる。 The invention of Patent Document 3 uses a method of completing the wiring by appropriately repeating the steps of first determining a path that connects two appropriate terminal pairs, and second determining a path that connects a point on a path already determined in a previous step to another terminal or a point on another path already determined.

特に上記第2の段階では、既に決定された径路上の1点を分岐点として選ぶ際に、径路の中心点を算出し、中心点から一定距離以内の範囲で分岐点を選ぶ構成を採用する。あるいは、上記第2の段階で、既に決定された径路上の中心点から離れるに従って大きくなるコストを分岐点に設定し、コストが設定された分岐点間に新たに発生される配線径路の長さと該コストとの和が最小になるように分岐点を選ぶ構成を採用している。 In particular, in the second stage, when selecting a point on an already determined route as a branch point, a configuration is adopted in which the center point of the route is calculated, and a branch point is selected within a certain distance from the center point. Alternatively, in the second stage, a cost is set for the branch point that increases with distance from the center point on the already determined route, and a branch point is selected so that the sum of the length of a newly generated wiring route between the branch points with a set cost and the cost is minimized.

上記手段により、各信号の遅延量見積機能と遅延量の大きい順に配線対象ネットを取り出す機能は信号遅延に関する制約を守ることの難しい配線対象ネットを自由度の大きい初期の段階に配線可能となる。一方遅延量の予測見積を行う機能と見積配線遅延量の大きさにより配線方式を切り替える機能により信号遅延に関する特別な対処の必要な信号と必要ない信号を見分け処理時間のかかる信号遅延を考慮した配線の実行回数を減らして処理時間を節約する。 The above means allows the delay estimation function for each signal and the function of extracting the nets to be routed in order of the largest delay to route nets that are difficult to comply with constraints on signal delays at an early stage with a high degree of freedom. On the other hand, the function of predicting and estimating the delay and the function of switching the wiring method depending on the estimated wiring delay distinguish between signals that require special handling of signal delays and those that do not, reducing the number of times that wiring that takes into account signal delays, which takes a lot of processing time, is performed, thereby saving processing time.

一般に自動配線プログラムを用いて多層配線を行うときは、各配線層に対して割当てる配線方向が決まっている。3層以上の配線層が利用可能になると同一方向に対して複数の配線層を割り当てる事が可能になる。一方各配線層はそれぞれ固有の電気抵抗、容量などの電気特性を持っており信号伝搬遅延は異なる。そこで伝搬遅延の小さい配線層から割り当てていくことによって、配線の伝搬遅延を小さくすることができる。 When performing multi-layer wiring using an automatic wiring program, the wiring direction assigned to each wiring layer is generally fixed. When three or more wiring layers are available, it becomes possible to assign multiple wiring layers to the same direction. However, each wiring layer has its own electrical characteristics such as electrical resistance and capacitance, and the signal propagation delay is different. Therefore, by assigning wiring layers with small propagation delay first, the propagation delay of the wiring can be reduced.

配線層を優先的に使う方向を決める配線層の優先割当方向に従って配線する方式において、複数の割当可能な配線層があったときに信号遅延の小さい配線層を優先的に割り当てる機能は配線における遅れをなるべく小さくしておく作用がある。更に、これにより結果として得られた配線が遅れの制約を満足している確率を大きくすることができる。 In a method of wiring according to the priority allocation direction of wiring layers, which determines the direction in which wiring layers are preferentially used, the function of preferentially allocating wiring layers with small signal delays when there are multiple wiring layers that can be allocated has the effect of keeping delays in wiring as small as possible. Furthermore, this can increase the probability that the resulting wiring satisfies delay constraints.

また暫定的に行った配線におけるショートを解決するために配線層を変換するときには、当該両配線の配線層変更に対応する電気的パラメータの変化に対する信号遅延への影響を計算し、影響の少ない信号の配線を構成する配線層を変更して短絡を回避する機能はショート回避の作業によって増大する配線遅延を最小限に押さえることを可能とする。 In addition, when converting the wiring layers to resolve a short circuit in a temporary wiring, the function calculates the effect on signal delay of the change in electrical parameters corresponding to the wiring layer change of both wirings, and changes the wiring layer that constitutes the wiring of the signal that is least affected to avoid a short circuit, making it possible to minimize the wiring delay that increases due to the work of avoiding a short circuit.

特開2009-147130号公報JP 2009-147130 A 特開2015-018945号公報JP 2015-018945 A 特開平6-283602号公報Japanese Patent Application Publication No. 6-283602

以上のように半導体集積回路などの配線におけるショート回避の手法は様々開発されているものの、電源レールの部分におけるショート回避の設計については及んでいない。 As mentioned above, various methods have been developed to prevent short circuits in wiring of semiconductor integrated circuits, etc., but they do not cover the design of preventing short circuits in the power rails.

半導体集積回路においては、電源配線の抵抗値低減を目的として、各ブロックセル内に引かれている電源レールには、配線層とビアホールをスタックし、裏打ち配線を構成することがある。このとき、裏打ち配線と直交する信号線があった場合には、裏打ち配線側を分断し、配線ショートを回避する必要がある。しかしながら、このような作業は人が手作業により行っており、ビアセルを分割するなどの大きな手間と時間を要するという問題があった。 In semiconductor integrated circuits, in order to reduce the resistance of the power supply wiring, a wiring layer and via holes are stacked on the power supply rail laid in each block cell to form a backing wiring. In this case, if there is a signal line that intersects perpendicularly with the backing wiring, it is necessary to separate the backing wiring side to avoid wiring shorts. However, this work is done manually, and there is an issue that it takes a lot of time and effort to divide the via cells.

本発明は上記のような従来における半導体集積回路の配線設計における問題点に鑑みなされたもので、その目的は、配線処理工程の工数削減につなげることが可能な半導体集積回路の配線設計装置及び半導体集積回路の配線設計用プログラムを提供することである。 The present invention has been made in consideration of the problems in the conventional wiring design of semiconductor integrated circuits as described above, and its purpose is to provide a wiring design device for semiconductor integrated circuits and a wiring design program for semiconductor integrated circuits that can reduce the number of steps in the wiring process.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計装置は、半導体集積回路の設計情報に基づき生成されたインスタンスセルの電源レールにビアパラメトリックセルを裏打ち配線し、配線されたビアパラメトリックセルのパラメータを設定する第一次パラメータ設定手段と、前記インスタンスセルの層の上位層の配線と、前記ビアパラメトリックセルがクロスするショート部位を検出するショート部位検出手段と、前記ショート部位検出手段により検出されたショート部位を除去すべく、ビアパラメトリックセルの設定値を更新して裏打ち配線を切断した新たな形状に変更する形状変更手段と、を具備することを特徴とする。 The wiring design device for a semiconductor integrated circuit according to this embodiment is characterized by comprising: a primary parameter setting means for back-wiring a via parametric cell to the power rail of an instance cell generated based on design information for the semiconductor integrated circuit, and setting parameters for the wired via parametric cell; a short circuit detection means for detecting short circuits where the via parametric cell crosses the wiring in a layer above the layer of the instance cell; and a shape modification means for updating the setting value of the via parametric cell and modifying it to a new shape by cutting the back-wiring in order to remove the short circuit detected by the short circuit detection means.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計装置では、前記ショート部位検出手段が検出したショート部位の座標値を検出するショート部位座標検出手段と、前記ショート部位座標検出手段により検出されたショート部位の座標値に基づき新たなビアパラメトリックセルのパラメータを設定する第二次パラメータ設定手段と、を具備し、前記形状変更手段は、前記第二次パラメータ設定手段により設定されたパラメータに基づき、前記裏打ち配線を切断した新たな形状に変更することを特徴とする。 The wiring design device for a semiconductor integrated circuit according to this embodiment includes a short circuit part coordinate detection means for detecting the coordinate values of the short circuit part detected by the short circuit part detection means, and a second parameter setting means for setting parameters of a new via parametric cell based on the coordinate values of the short circuit part detected by the short circuit part coordinate detection means, and the shape change means changes the backing wiring to a new shape by cutting the backing wiring based on the parameters set by the second parameter setting means.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計装置では、電源レールは、回路に電圧を与える第1の電源レールと、接地電位を与える第2の電源レールとにより構成され、前記インスタンスセルの層の上位層の配線は、前記第1の電源レールと前記第2の電源レールとに、クロスする配線であることを特徴とする。 In the wiring design device for a semiconductor integrated circuit according to this embodiment, the power rails are composed of a first power rail that provides a voltage to the circuit and a second power rail that provides a ground potential, and the wiring in the upper layer of the layer of the instance cell is characterized in that it crosses the first power rail and the second power rail.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計装置では、前記インスタンスセルの層の上位層が複数層であり、各層の配線に対し、前記ショート部位検出手段、前記形状変更手段、前記ショート部位座標検出手段、前記第二次パラメータ設定手段が、処理を行うことを特徴とする。 In the wiring design device for semiconductor integrated circuits according to this embodiment, the layer above the layer of the instance cell has multiple layers, and the short circuit part detection means, the shape modification means, the short circuit part coordinate detection means, and the secondary parameter setting means perform processing on the wiring of each layer.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計装置では、前記ビアパラメトリックセルのビアは複数行で複数列形成されることを特徴とする。 In the wiring design device for semiconductor integrated circuits according to this embodiment, the vias of the via parametric cell are formed in multiple rows and multiple columns.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計装置では、前記ビアパラメトリックセルとクロスする上位層の配線は、各層に1本以上配置可能であることを特徴とする。 The wiring design device for semiconductor integrated circuits according to this embodiment is characterized in that one or more upper layer wirings that cross the via parametric cell can be placed on each layer.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計用プログラムは、コンピュータを、半導体集積回路の設計情報に基づき生成されたインスタンスセルの電源レールにビアパラメトリックセルを裏打ち配線し、配線されたビアパラメトリックセルのパラメータを設定する第一次パラメータ設定手段、前記インスタンスセルの層の上位層の配線と、前記ビアパラメトリックセルがクロスするショート部位を検出するショート部位検出手段、前記ショート部位検出手段により検出されたショート部位を除去すべく、ビアパラメトリックセルの設定値を更新して裏打ち配線を切断した新たな形状に変更する形状変更手段、として機能させることを特徴とする。 The wiring design program for semiconductor integrated circuits according to this embodiment is characterized in that it causes a computer to function as a primary parameter setting means for back-wiring a via parametric cell to the power rail of an instance cell generated based on design information for the semiconductor integrated circuit and setting parameters for the wired via parametric cell, a short-circuit part detection means for detecting a short-circuit part where the via parametric cell crosses with wiring in a layer above the layer of the instance cell, and a shape modification means for updating the setting value of the via parametric cell and modifying it to a new shape by cutting the back-wiring in order to remove the short-circuit part detected by the short-circuit part detection means.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計用プログラムでは、前記コンピュータを、更に、前記ショート部位検出手段が検出したショート部位の座標値を検出するショート部位座標検出手段、前記ショート部位座標検出手段により検出されたショート部位の座標値に基づき新たなビアパラメトリックセルのパラメータを設定する第二次パラメータ設定手段、として機能させ、前記コンンピュータを前記形状変更手段として、前記第二次パラメータ設定手段により設定されたパラメータに基づき、前記裏打ち配線を切断した新たな形状に変更するように機能させることを特徴とする。 The wiring design program for semiconductor integrated circuits according to this embodiment is characterized in that the computer is further made to function as a short circuit part coordinate detection means for detecting the coordinate values of the short circuit part detected by the short circuit part detection means, and a second parameter setting means for setting parameters of a new via parametric cell based on the coordinate values of the short circuit part detected by the short circuit part coordinate detection means, and is made to function as the shape change means for changing the backing wiring to a new shape by cutting the backing wiring based on the parameters set by the second parameter setting means.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計用プログラムでは、電源レールは、回路に電圧を与える第1の電源レールと、接地電位を与える第2の電源レールとにより構成され、前記インスタンスセルの層の上位層の配線は、前記第1の電源レールと前記第2の電源レールとに、クロスする配線であることを特徴とする。 In the wiring design program for semiconductor integrated circuits according to this embodiment, the power rails are composed of a first power rail that provides a voltage to the circuit and a second power rail that provides a ground potential, and the wiring in the upper layer of the layer of the instance cell is characterized by being a wiring that crosses the first power rail and the second power rail.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計用プログラムでは、前記インスタンスセルの層の上位層が複数層であり、各層の配線に対し、前記ショート部位検出手段、前記形状変更手段、前記ショート部位座標検出手段、前記第二次パラメータ設定手段が、処理を行うことを特徴とする。 The semiconductor integrated circuit wiring design program according to this embodiment is characterized in that the layer above the instance cell has multiple layers, and the short circuit part detection means, shape modification means, short circuit part coordinate detection means, and secondary parameter setting means perform processing on the wiring of each layer.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計用プログラムでは、前記ビアパラメトリックセルのビアは複数行で複数列形成されることを特徴とする。 The wiring design program for semiconductor integrated circuits according to this embodiment is characterized in that the vias of the via parametric cell are formed in multiple rows and multiple columns.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計用プログラムでは、前記ビアパラメトリックセルとクロスする上位層の配線は、各層に1本以上配置可能であることを特徴とする。 The wiring design program for semiconductor integrated circuits according to this embodiment is characterized in that one or more upper layer wirings that cross the via parametric cell can be placed on each layer.

本発明の実施形態に係る半導体集積回路の配線設計装置を構成するコンピュータのブロック図。FIG. 1 is a block diagram of a computer constituting an apparatus for designing wiring for a semiconductor integrated circuit according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る半導体集積回路の配線設計用プログラムを実現するための各手段を示すブロック図。FIG. 2 is a block diagram showing each unit for realizing a wiring design program for a semiconductor integrated circuit according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係る半導体集積回路の配線設計装置の動作を示すフローチャート。4 is a flowchart showing an operation of the wiring design apparatus for a semiconductor integrated circuit according to the embodiment of the present invention. 本発明の本実施形態の半導体集積回路の設計情報に基づき生成されるインスタンスセルの一例を示す図。2 is a diagram showing an example of an instance cell generated based on design information of a semiconductor integrated circuit according to the embodiment of the present invention; 本発明の本実施形態の半導体集積回路の設計情報に基づき生成されるインスタンスセルの電源レールに対しビアパラメトリックセルを裏打ち配線したときの概略図。FIG. 1 is a schematic diagram showing a state where via parametric cells are back-wired to the power rails of instance cells generated based on design information of a semiconductor integrated circuit according to this embodiment of the present invention. 本発明の本実施形態の半導体集積回路の設計情報に基づき生成されるインスタンスセルの電源レールに対しビアパラメトリックセルを裏打ち配線したときの要部拡大図。FIG. 13 is an enlarged view of a main portion when a via parametric cell is backed with wiring for a power rail of an instance cell generated based on design information of a semiconductor integrated circuit according to this embodiment of the present invention. 図5の状態から上位層の配線がなされた状態を示す概略図。FIG. 6 is a schematic diagram showing a state in which upper layer wiring has been performed from the state shown in FIG. 5 . 図7の状態から、ショート部位検出手段により検出されたショート部位を除去すべく、ビアパラメトリックセルの設定値を更新して裏打ち配線を切断した新たな形状に変更した状態を示す概略図。FIG. 8 is a schematic diagram showing a state in which the setting values of the via parametric cell are updated and the backing wiring is cut to change the shape from the state shown in FIG. 7 to a new shape in order to remove the short circuit portion detected by the short circuit portion detection means. 図8の要部拡大図。FIG. 9 is an enlarged view of a main part of FIG. 8 .

以下添付図面を参照して、本発明の実施形態に係る半導体集積回路の配線設計装置及び半導体集積回路の配線設計用プログラムを説明する。各図において、同一の構成要素には、同一の符号を付して重複する説明を省略する。 The wiring design device for a semiconductor integrated circuit and the wiring design program for a semiconductor integrated circuit according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the attached drawings. In each drawing, the same components are given the same reference numerals and duplicated descriptions will be omitted.

以上の構成の本発明の実施形態に係る半導体集積回路の配線設計装置は、図1に示されるように、コンピュータを用いて構成することができる。即ち、CPU10が主メモリ11内のプログラムやデータを用いて半導体集積回路の配線設計装置を構成するものである。CPU10には、バス12を介して外部記憶インタフェース13、入力インタフェース14、表示インタフェース15、ネットワークインタフェース16が接続されている。 The wiring design device for a semiconductor integrated circuit according to the embodiment of the present invention having the above configuration can be configured using a computer, as shown in FIG. 1. That is, the CPU 10 configures the wiring design device for a semiconductor integrated circuit using programs and data in the main memory 11. The CPU 10 is connected to an external memory interface 13, an input interface 14, a display interface 15, and a network interface 16 via a bus 12.

外部記憶インタフェース13には、外部記憶装置23が接続されている。外部記憶装置23には、この半導体集積回路の配線設計装置が動作を行うためのプログラムやデータが記憶されており、これらはCPU10が主メモリ11に適宜読み出して使用することができる。このため、外部記憶装置23には、半導体集積回路の配線設計装置の、後に説明する各手段を実現するプロブラムが記憶されているものである。入力インタフェース14には、キーボードやタッチパネル等の入力装置24とマウス等のポインティングデバイス22が接続されている。表示インタフェース15には、LCD等の画面を有する表示装置25が接続され、表示装置25は、半導体集積回路の配線設計装置において必要なイメージ等の表示を実現している。ネットワークインタフェース16には、ネットワークが接続されており、この半導体集積回路の配線設計装置が配線設計すべきデータ等を取り込むことができる。上記のように入力インタフェース14には、データやコマンドを入力するためのキーボード等の入力装置24とマウス等のポインティングデバイス22が接続されているので、入力装置24とマウス22を操作して、この半導体集積回路の配線設計装置に必要な動作と処理を行わせることができる。 The external storage interface 13 is connected to an external storage device 23. The external storage device 23 stores programs and data for the operation of the wiring design device for semiconductor integrated circuits, which can be read by the CPU 10 into the main memory 11 as appropriate for use. For this reason, the external storage device 23 stores programs for implementing each means of the wiring design device for semiconductor integrated circuits, which will be described later. The input interface 14 is connected to an input device 24 such as a keyboard or touch panel, and a pointing device 22 such as a mouse. The display interface 15 is connected to a display device 25 having a screen such as an LCD, which realizes the display of images and the like required for the wiring design device for semiconductor integrated circuits. The network interface 16 is connected to a network, and the wiring design device for semiconductor integrated circuits can import data and the like to be used for wiring design. As described above, the input interface 14 is connected to an input device 24 such as a keyboard for inputting data and commands, and a pointing device 22 such as a mouse, so that the wiring design device for semiconductor integrated circuits can perform the necessary operations and processes by operating the input device 24 and the mouse 22.

外部記憶装置23には、半導体集積回路の配線設計用プログラムを実現するための各手段が図2に示すように記憶されている。この各手段は、第一次パラメータ設定手段31、ショート部位検出手段32、形状変更手段33、ショート部位座標検出手段34、第二次パラメータ設定手段35により構成されている。 The external storage device 23 stores the various means for implementing a program for designing wiring for semiconductor integrated circuits, as shown in FIG. 2. These means are composed of a primary parameter setting means 31, a short circuit part detection means 32, a shape modification means 33, a short circuit part coordinate detection means 34, and a secondary parameter setting means 35.

本実施形態に係る半導体集積回路の配線設計装置は、図3に示されるフローチャートに対応するプログラムにより動作を行う。そこで、以下では、このフローチャートに基づいて動作説明を行う。最初に、設計対象に係る半導体集積回路の設計情報に基づき生成された素子の配置配線、レイアウトの情報を例えば、外部記憶装置23から取り出し、検証をスタートさせる(S11)。 The wiring design device for a semiconductor integrated circuit according to this embodiment operates according to a program corresponding to the flowchart shown in FIG. 3. Therefore, the operation will be explained below based on this flowchart. First, information on the placement and wiring of elements and layout generated based on design information for the semiconductor integrated circuit to be designed is retrieved, for example, from the external storage device 23, and verification is started (S11).

次に、半導体集積回路の設計情報に基づき生成されたインスタンスセルの電源レールにビアパラメトリックセルを裏打ち配線し、配線されたビアパラメトリックセルのパラメータを設定する(S12)。このステップS12は、第一次パラメータ設定手段31が実行することができる。本実施形態の半導体集積回路の設計情報は、記述の通り、予め外部記憶装置23に記憶しておくことができ、または、ネットワークインタフェース16を介して所定の装置等から得て、外部記憶装置23に記憶しておくことができる。 Next, via parametric cells are back-wired to the power rails of the instance cells generated based on the design information of the semiconductor integrated circuit, and the parameters of the wired via parametric cells are set (S12). This step S12 can be executed by the primary parameter setting means 31. The design information of the semiconductor integrated circuit of this embodiment can be stored in advance in the external storage device 23 as described above, or can be obtained from a specified device or the like via the network interface 16 and stored in the external storage device 23.

本実施形態の半導体集積回路の設計情報に基づき生成されるインスタンスセルは、例えば、図4に示すようである。つまり、図4には、PMOSトランジスタ41のドレイン42とNMOSトランジスタ43のソース44とが接続されたインバータが、2対配置された回路が示されている。PMOSトランジスタ41のソースに接続されたラインは有電位(VDD)の電源レール51に接続され、NMOSトランジスタ43のドレインに接続されたラインはアース電位(VSS)の電源レール52に接続されている。 The instance cell generated based on the design information of the semiconductor integrated circuit of this embodiment is, for example, as shown in FIG. 4. That is, FIG. 4 shows a circuit in which two pairs of inverters are arranged, each of which has the drain 42 of a PMOS transistor 41 and the source 44 of an NMOS transistor 43 connected to each other. The line connected to the source of the PMOS transistor 41 is connected to a power supply rail 51 with potential (VDD), and the line connected to the drain of the NMOS transistor 43 is connected to a power supply rail 52 with earth potential (VSS).

上記の電源レール51(52)に対しビアパラメトリックセル61(62)を裏打ち配線したときの概略図を図5に、要部拡大図を図6に示す。このときに設定されているパラメータ<1>~<8>を、図6上に示すと共に図6の右枠にその内容を示す。パラメータ<1>は行(Row)を示し、パラメータ<2>は列(Column)を示す。この図6の例では、ビア63が2行(Row)×4列(Column)を示しているが、実際には列の数は1000程度には達する。従って、1つ1つのビア63に対してショート回避を人手により行うことは極めて非効率であることが理解される。また、図5では、電源レール51(52)に対しビアパラメトリックセル61(62)の1行(Row)のみを示している。 Figure 5 shows a schematic diagram of the via parametric cell 61 (62) backing wiring for the power rail 51 (52), and Figure 6 shows an enlarged view of the main part. The parameters <1> to <8> set at this time are shown in the upper part of Figure 6, and their contents are shown in the right frame of Figure 6. Parameter <1> indicates row (Row), and parameter <2> indicates column (Column). In the example of Figure 6, the via 63 indicates 2 rows (Row) x 4 columns (Column), but in reality the number of columns reaches about 1000. Therefore, it is understood that it is extremely inefficient to manually avoid short circuits for each via 63. Also, in Figure 5, only one row (Row) of the via parametric cell 61 (62) is shown for the power rail 51 (52).

パラメータ<3>はホール幅(Hole Width)であり、パラメータ<4>はホール間隔(Hole Spacing)であり、パラメータ<5>はレイヤ1のX方向周囲幅(Leyer1 Enclosure X)であり、パラメータ<6>はレイヤ1のY方向周囲幅(Leyer1 Enclosure Y)であり、パラメータ<7>はレイヤ2のX方向周囲幅(Leyer2 Enclosure X)であり、パラメータ<8>はレイヤ2のY方向周囲幅(Leyer2 Enclosure Y)である。 Parameter <3> is the hole width, parameter <4> is the hole spacing, parameter <5> is the X-direction perimeter width of Layer 1 (Layer1 Enclosure X), parameter <6> is the Y-direction perimeter width of Layer 1 (Layer1 Enclosure Y), parameter <7> is the X-direction perimeter width of Layer 2 (Layer2 Enclosure X), and parameter <8> is the Y-direction perimeter width of Layer 2 (Layer2 Enclosure Y).

本実施形態に係る装置の次の処理では、次の図3のステップS13へ進み、上記インスタンスセルの層の上位層の配線47を行うと共に、上記ビアパラメトリックセル61、62のショート部位SR1、SR2を検出する(S13)。このステップS13は、ショート部位検出手段32が行う。図7に、図5の状態から上位層の配線47がなされた状態を示す。ショート部位SR1、SR2は、電源レール51、52に生じている。このとき、ショート部位座標検出手段34が、上記ショート部位検出手段32が検出したショート部位SR1、SR2の座標値を検出する。 In the next process of the device according to this embodiment, the process proceeds to step S13 in FIG. 3, where wiring 47 is performed on the upper layer of the layer of the above-mentioned instance cell, and short sites SR1 and SR2 of the above-mentioned via parametric cells 61 and 62 are detected (S13). This step S13 is performed by the short site detection means 32. FIG. 7 shows the state in which wiring 47 on the upper layer has been performed from the state in FIG. 5. The short sites SR1 and SR2 are generated on the power rails 51 and 52. At this time, the short site coordinate detection means 34 detects the coordinate values of the short sites SR1 and SR2 detected by the above-mentioned short site detection means 32.

ステップS13に続くステップS14のときに、上記で検出されたショート部位SR1、SR2の座標値に基づき図8に示すように、ビアパラメトリックセル61A、61B、62A、62Bのパラメータを設定する(S14)。つまり、第二次パラメータ設定手段35は、上記のショート部位座標検出手段34により検出されたショート部位SR1、SR2の座標値に基づき上記ショート部位を除去すべく、ビアパラメトリックセルの設定値を更新して裏打ち配線を切断した新たな形状(61A(62A)、61B(62B))になるようにパラメータを設定する。この処理は、第二次パラメータ設定手段35により行われる。本実施形態では、図9に示されるように、ビアパラメトリックセル61A(62A)と、ビアパラメトリックセル61B(62B)の分断した位置の座標(Leyer1 Cut Coords)のパラメータ<9>が設定される(図9)。 In step S14 following step S13, the parameters of the via parametric cells 61A, 61B, 62A, and 62B are set as shown in FIG. 8 based on the coordinate values of the short sites SR1 and SR2 detected above (S14). That is, the secondary parameter setting means 35 updates the setting values of the via parametric cells to remove the short sites based on the coordinate values of the short sites SR1 and SR2 detected by the short site coordinate detection means 34, and sets parameters so that the backing wiring is cut into a new shape (61A (62A), 61B (62B)). This process is performed by the secondary parameter setting means 35. In this embodiment, as shown in FIG. 9, the parameters <9> of the coordinates (Layer1 Cut Coords) of the cut positions of the via parametric cell 61A (62A) and the via parametric cell 61B (62B) are set (FIG. 9).

具体的には、設計対象に係る半導体集積回路を図7のXY座標により表しているものとして、ショート部位SR1、SR2の座標値は、このXY座標による座標値である。これに対し、ビアパラメトリックセル内の位置が図6、図9に示されているxy座標により表されているとする。このため、上記ステップS14においては、XY座標のショート部位SR1、SR2の座標値を、xy座標の座標値に変換するものである。本例における2本の電源レール51、52に裏打ち配線したビアパラメトリックセルの座標値は、異なる座標値により表記されることから、それぞれの座標による座標値への変換が行われる。なお、変換の式などはそれぞれのシステムで作成され、公知のものであるので、ここでは詳述しない。 Specifically, the semiconductor integrated circuit to be designed is represented by the XY coordinates in FIG. 7, and the coordinate values of the short sites SR1 and SR2 are based on these XY coordinates. In contrast, the positions within the via parametric cell are represented by the XY coordinates shown in FIG. 6 and FIG. 9. For this reason, in step S14, the coordinate values of the short sites SR1 and SR2 in the XY coordinates are converted to coordinate values in the XY coordinates. In this example, the coordinate values of the via parametric cells backed by wiring to the two power rails 51 and 52 are expressed by different coordinate values, so conversion to coordinate values based on the respective coordinates is performed. Note that the conversion formulas are created for each system and are publicly known, so they will not be described in detail here.

次に、ステップS15において、上記ショート部位検出手段32により検出されたショート部位SR1、SR2を除去すべく、ビアパラメトリックセルの設定値を更新して裏打ち配線を切断した新たな形状61A(62A)、61B(62B)に変更する(S15)。この処理は、形状変更手段33により行われる。実際には、形状変更手段33は、上記第二次パラメータ設定手段35により設定されたパラメータに基づき、上記ショート部位を除去すべく、ビアパラメトリックセルの設定値を更新して裏打ち配線を切断した新たな形状61A(62A)、61B(62B)に変更する。この結果、ビアパラメトリックセルが図7または図6の状態から図8または図9の状態へ変更される。つまり、図8または図9に示されるように、パラメータ<9>により示される座標(Leyer1 Cut Coords)の位置によって、裏打ち配線が切断されて、ビアパラメトリックセル61A(62A)、61B(62B)へ分断される。斯くして、ビアパラメトリックセルを新たな形状に変更することにより、配線ショートが回避される。 Next, in step S15, in order to remove the short sites SR1 and SR2 detected by the short site detection means 32, the setting value of the via parametric cell is updated to change to a new shape 61A (62A), 61B (62B) in which the backing wiring is cut (S15). This process is performed by the shape modification means 33. In practice, the shape modification means 33 updates the setting value of the via parametric cell to change to a new shape 61A (62A), 61B (62B) in which the backing wiring is cut based on the parameters set by the secondary parameter setting means 35 in order to remove the short site. As a result, the via parametric cell is changed from the state shown in FIG. 7 or FIG. 6 to the state shown in FIG. 8 or FIG. 9. That is, as shown in FIG. 8 or FIG. 9, the backing wiring is cut and divided into via parametric cells 61A (62A), 61B (62B) according to the position of the coordinates (Layer1 Cut Coords) indicated by the parameter <9>. Thus, by changing the via parametric cell to a new shape, wiring shorts are avoided.

以上の処理が終了した後には、デザイン上の配線経路の変更が発生したかを検出し(S16)、ここでYESとなるとステップS13へ戻って処理を続ける。また、ステップS16においてNOへ分岐すると、エンドとなる。 After the above process is completed, it is checked whether any changes have been made to the wiring route in the design (S16), and if the answer is YES, the process returns to step S13 and continues. If the process branches to NO in step S16, the process ends.

10 CPU
11 主メモリ
12 バス
13 外部記憶インタフェース
14 入力インタフェース
15 表示インタフェース
16 ネットワークインタフェース
22 ポインティングデバイス
23 外部記憶装置
24 入力装置
25 表示装置
31 第一次パラメータ設定手段
32 ショート部位検出手段
33 形状変更手段
34 ショート部位座標検出手段
35 第二次パラメータ設定手段
41 PMOSトランジスタ
42 ドレイン
43 NMOSトランジスタ
44 ソース
47 配線
51 電源レール
52 電源レール
61 ビアパラメトリックセル
61A ビアパラメトリックセル
61B ビアパラメトリックセル
62 ビアパラメトリックセル
62A ビアパラメトリックセル
62B ビアパラメトリックセル
63 ビア
SR1、SR2 ショート部位
10 CPU
REFERENCE SIGNS LIST 11 Main memory 12 Bus 13 External storage interface 14 Input interface 15 Display interface 16 Network interface 22 Pointing device 23 External storage device 24 Input device 25 Display device 31 Primary parameter setting means 32 Shorted portion detection means 33 Shape modification means 34 Shorted portion coordinate detection means 35 Secondary parameter setting means 41 PMOS transistor 42 Drain 43 NMOS transistor 44 Source 47 Wiring 51 Power supply rail 52 Power supply rail 61 Via parametric cell 61A Via parametric cell 61B Via parametric cell 62 Via parametric cell 62A Via parametric cell 62B Via parametric cell 63 Via SR1, SR2 Shorted portion

Claims (12)

半導体集積回路の設計情報に基づき生成されたインスタンスセルの電源レールにビアパラメトリックセルを裏打ち配線し、配線されたビアパラメトリックセルのパラメータを設定する第一次パラメータ設定手段と、
前記インスタンスセルの層の上位層の配線と、前記ビアパラメトリックセルがクロスするショート部位を検出するショート部位検出手段と、
前記ショート部位検出手段により検出されたショート部位を除去すべく、ビアパラメトリックセルの設定値を更新して裏打ち配線を切断した新たな形状に変更する形状変更手段と、
を具備することを特徴とする半導体集積回路の配線設計装置。
a first parameter setting means for backwiring a via parametric cell to a power rail of an instance cell generated based on design information of a semiconductor integrated circuit, and setting parameters of the wired via parametric cell;
a short circuit portion detection means for detecting a short circuit portion where a wiring in a layer above the layer of the instance cell and the via parametric cell cross each other;
a shape changing means for changing a setting value of a via parametric cell to a new shape by cutting a backing wiring in order to remove the short-circuit portion detected by the short-circuit portion detecting means;
1. A wiring design device for a semiconductor integrated circuit comprising:
前記ショート部位検出手段が検出したショート部位の座標値を検出するショート部位座標検出手段と、
前記ショート部位座標検出手段により検出されたショート部位の座標値に基づき新たなビアパラメトリックセルのパラメータを設定する第二次パラメータ設定手段と、
を具備し、
前記形状変更手段は、前記第二次パラメータ設定手段により設定されたパラメータに基づき、前記裏打ち配線を切断した新たな形状に変更することを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路の配線設計装置。
a short circuit part coordinate detection means for detecting a coordinate value of the short circuit part detected by the short circuit part detection means;
a second parameter setting means for setting parameters of a new via parametric cell based on the coordinate values of the short circuit portion detected by the short circuit portion coordinate detection means;
Equipped with
2. The wiring design device for a semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein said shape changing means changes said backing wiring to a new shape by cutting said backing wiring based on the parameters set by said secondary parameter setting means.
電源レールは、回路に電圧を与える第1の電源レールと、接地電位を与える第2の電源レールとにより構成され、前記インスタンスセルの層の上位層の配線は、前記第1の電源レールと前記第2の電源レールとに、クロスする配線であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体集積回路の配線設計装置。 The wiring design device for a semiconductor integrated circuit according to claim 1 or 2, characterized in that the power rails are composed of a first power rail that provides a voltage to the circuit and a second power rail that provides a ground potential, and the wiring in the upper layer of the layer of the instance cell is wiring that crosses the first power rail and the second power rail. 前記インスタンスセルの層の上位層が複数層であり、各層の配線に対し、前記ショート部位検出手段、前記形状変更手段、前記ショート部位座標検出手段、前記第二次パラメータ設定手段が、処理を行うことを特徴とする請求項2に記載の半導体集積回路の配線設計装置。 The wiring design device for a semiconductor integrated circuit according to claim 2, characterized in that the layer above the instance cell has multiple layers, and the short circuit detection means, the shape modification means, the short circuit coordinate detection means, and the secondary parameter setting means perform processing for the wiring of each layer. 前記ビアパラメトリックセルのビアは複数行で複数列形成されることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路の配線設計装置。 The wiring design device for a semiconductor integrated circuit according to claim 1, characterized in that the vias of the via parametric cell are formed in multiple rows and multiple columns. 前記ビアパラメトリックセルとクロスする上位層の配線は、各層に1本以上配置可能であることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路の配線設計装置。 The wiring design device for a semiconductor integrated circuit according to claim 1, characterized in that one or more upper layer wirings that cross the via parametric cell can be placed on each layer. コンピュータを、
半導体集積回路の設計情報に基づき生成されたインスタンスセルの電源レールにビアパラメトリックセルを裏打ち配線し、配線されたビアパラメトリックセルのパラメータを設定する第一次パラメータ設定手段、
前記インスタンスセルの層の上位層の配線と、前記ビアパラメトリックセルがクロスするショート部位を検出するショート部位検出手段、
前記ショート部位検出手段により検出されたショート部位を除去すべく、ビアパラメトリックセルの設定値を更新して裏打ち配線を切断した新たな形状に変更する形状変更手段、
として機能させることを特徴とする半導体集積回路の配線設計用プログラム。
Computer,
a first parameter setting means for back-wiring a via parametric cell to a power rail of an instance cell generated based on design information of the semiconductor integrated circuit, and setting parameters of the wired via parametric cell;
a short circuit portion detection means for detecting a short circuit portion where a wiring in a layer above the layer of the instance cell crosses the via parametric cell;
a shape changing means for changing a setting value of a via parametric cell to a new shape by cutting a backing wiring in order to remove the short-circuit portion detected by the short-circuit portion detecting means;
4. A wiring design program for a semiconductor integrated circuit, comprising:
前記コンピュータを、更に、
前記ショート部位検出手段が検出したショート部位の座標値を検出するショート部位座標検出手段、
前記ショート部位座標検出手段により検出されたショート部位の座標値に基づき新たなビアパラメトリックセルのパラメータを設定する第二次パラメータ設定手段、
として機能させ、
前記コンピュータを前記形状変更手段として、前記第二次パラメータ設定手段により設定されたパラメータに基づき、前記裏打ち配線を切断した新たな形状に変更するように機能させることを特徴とする請求項7に記載の半導体集積回路の配線設計用プログラム。
The computer further comprises:
a short circuit part coordinate detection means for detecting a coordinate value of the short circuit part detected by the short circuit part detection means;
a second parameter setting means for setting parameters of a new via parametric cell based on the coordinate values of the short circuit portion detected by the short circuit portion coordinate detection means;
Function as a
8. The wiring design program for a semiconductor integrated circuit according to claim 7, wherein the computer is caused to function as the shape changing means so as to change the backing wiring to a new shape by cutting the backing wiring based on the parameters set by the second parameter setting means.
電源レールは、回路に電圧を与える第1の電源レールと、接地電位を与える第2の電源レールとにより構成され、前記インスタンスセルの層の上位層の配線は、前記第1の電源レールと前記第2の電源レールとに、クロスする配線であることを特徴とする請求項7または8に記載の半導体集積回路の配線設計用プログラム。 The wiring design program for semiconductor integrated circuits according to claim 7 or 8, characterized in that the power rails are composed of a first power rail that provides a voltage to the circuit and a second power rail that provides a ground potential, and the wiring in the upper layer of the layer of the instance cell is wiring that crosses the first power rail and the second power rail. 前記インスタンスセルの層の上位層が複数層であり、各層の配線に対し、前記ショート部位検出手段、前記形状変更手段、前記ショート部位座標検出手段、前記第二次パラメータ設定手段が、処理を行うことを特徴とする請求項8に記載の半導体集積回路の配線設計用プログラム。 The wiring design program for semiconductor integrated circuits described in claim 8, characterized in that the layer above the instance cell has multiple layers, and the short circuit detection means, the shape modification means, the short circuit coordinate detection means, and the secondary parameter setting means perform processing for the wiring of each layer. 前記ビアパラメトリックセルのビアは複数行で複数列形成されることを特徴とする請求項7に記載の半導体集積回路の配線設計用プログラム。 The wiring design program for semiconductor integrated circuits according to claim 7, characterized in that the vias of the via parametric cell are formed in multiple rows and multiple columns. 前記ビアパラメトリックセルとクロスする上位層の配線は、各層に1本以上配置可能であることを特徴とする請求項7に記載の半導体集積回路の配線設計用プログラム。 The wiring design program for semiconductor integrated circuits described in claim 7, characterized in that one or more upper layer wirings that cross the via parametric cell can be placed on each layer.
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