JP7666376B2 - 診断装置、診断方法および診断プログラム - Google Patents

Description

本発明は、診断装置、診断方法および診断プログラムに関する。

プラントで使用される流量計の一方式として、コリオリ質量流量計が知られている。コリオリ質量流量計は、流体が流れる振動管（Ｕ字管）をコイルの励磁により振動させ、振動管の内部を通過する流体により生ずるコリオリ力を振動管のねじれを介して計測するものである。流体の流量に応じてコリオリ力が増大するため、振動管のねじれの幅や位相を介して流量を計測することが可能となる。

コリオリ質量流量計では、振動管のねじれを利用して流量を計測するため、振動管の腐食等が進行すると、流量計測に誤差を生じさせる。また、振動管のメインテナンス上からも腐食等を把握することが望ましい。

特許第４９５２８２０号公報 特許第４４６９３３７号公報 特許第４８６６４２３号公報 特許第３５２３５９２号公報 特許第７０２４４６６号公報

しかしながら、上記の従来技術では、コリオリ質量流量計の振動管の状態を正確に診断する上で改善の余地がある。例えば、特許文献１では、振動管の腐食の判定に振幅情報を使うため、駆動回路や測定回路の増幅感度に影響される。また、特許文献１では、剛性により振動管の腐食を判定しており、肉厚変化を直接求めていない。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、コリオリ質量流量計の振動管の状態を正確に診断することを目的とする。

本発明は、振動させた振動管に作用するコリオリ力に基づいて前記振動管を流れる流体の流量および密度を計測するコリオリ質量流量計を校正することによって生成された前記流体の密度の校正に関する密度校正結果を取得する送受信部と、前記密度校正結果に基づいて前記振動管の肉厚および剛性のうち少なくとも１つに関する計算を実行し、前記振動管の変化に関する肉厚剛性診断結果を生成する肉厚剛性診断部と、を備える診断装置を提供する。

また、本発明は、コンピュータが、振動させた振動管に作用するコリオリ力に基づいて前記振動管を流れる流体の流量および密度を計測するコリオリ質量流量計を校正することによって生成された前記流体の密度の校正に関する密度校正結果を取得し、前記密度診断結果に基づいて前記振動管の肉厚および剛性のうち少なくとも１つに関する計算を実行し、前記振動管の変化に関する肉厚剛性診断結果を生成する、処理を実行する診断方法を提供する。

また、本発明は、コンピュータに、振動させた振動管に作用するコリオリ力に基づいて前記振動管を流れる流体の流量および密度を計測するコリオリ質量流量計を校正することによって生成された前記流体の密度の校正に関する密度校正結果を取得し、前記密度診断結果に基づいて前記振動管の肉厚および剛性のうち少なくとも１つに関する計算を実行し、前記振動管の変化に関する肉厚剛性診断結果を生成する、処理を実行させる診断プログラムを提供する。

本発明によれば、コリオリ質量流量計の振動管の状態を正確に診断することができるという効果がある。

実施形態に係る診断システムの構成例を示す図である。 実施形態に係るコリオリ質量流量計の構成例を示すブロック図である。 実施形態に係るコリオリ質量流量計の測定処理の一例を示す図である。 実施形態に係る診断システムの各装置の構成例を示すブロック図である。 実施形態に係る密度校正処理全体の処理の一例を示す図である。 実施形態に係る密度校正処理の一例を示す図である。 実施形態に係る密度誤差診断処理全体の処理の一例を示す図である。 実施形態に係る密度誤差診断処理１の一例を示す図である。 実施形態に係る密度誤差診断処理２の一例を示す図である。 実施形態に係る密度誤差診断処理３の一例を示す図である。 実施形態に係る肉厚剛性診断処理全体の処理の一例を示す図である。 実施形態に係る肉厚剛性診断処理１の一例を示す図である。 実施形態に係る肉厚剛性診断処理２の一例を示す図である。 実施形態に係る肉厚剛性診断処理３の一例を示す図である。 実施形態に係る肉厚剛性診断処理４の一例を示す図である。 実施形態に係る肉厚剛性診断処理５の一例を示す図である。 実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理全体の処理の一例を示す図である。 実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理１の一例を示す図である。 実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理２の一例を示す図である。 実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理３の一例を示す図である。 実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理４の一例を示す図である。 実施形態に係る時期予測診断処理全体の処理の一例を示す図である。 実施形態に係る時期予測診断処理１の一例を示す図である。 実施形態に係る時期予測診断処理２の一例を示す図である。 実施形態に係る時期予測診断処理３の一例を示す図である。 実施形態に係る時期予測診断処理４の一例を示す図である。 実施形態に係る密度診断結果の一例を示す図である。 実施形態に係る肉厚剛性診断結果１の一例を示す図である。 実施形態に係る肉厚剛性診断結果２を説明するための図である。 実施形態に係る肉厚剛性診断結果２の一例を示す図である。 実施形態に係る肉厚剛性診断結果３－１の一例を示す図である。 実施形態に係る肉厚剛性診断結果３－２の一例を示す図である。 実施形態に係る流量診断結果１の一例を示す図である。 実施形態に係る流量診断結果２－１の一例を示す図である。 実施形態に係る流量診断結果２－２の一例を示す図である。 実施形態に係る流量診断結果２－３の一例を示す図である。 実施形態に係る時期予測診断結果の一例を示す図である。 実施形態に係る診断処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。 実施形態に係る密度校正処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。 実施形態に係る密度誤差診断処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。 実施形態に係る肉厚剛性診断処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。 実施形態に係る流量診断・簡易補正処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。 実施形態に係る時期予測診断処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。 実施形態に係るハードウェア構成例を説明する図である。

以下に、本発明の一実施形態に係る診断装置、診断方法および診断プログラムを、図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明は、以下に説明する実施形態により限定されるものではない。

〔実施形態〕
以下に、本実施形態に係る診断システム（１０００）の構成、コリオリ質量流量計（１）の構成、診断システム（１０００）の各装置の構成、校正装置（３）および診断装置（２）の各処理の詳細、各処理の処理結果、各処理の流れを順に説明し、最後に本実施形態の効果を説明する。

〔１．診断システム（１０００）の構成〕
図１を用いて、本実施形態に係る診断システム（１０００）の構成を詳細に説明する。図１は、実施形態に係る診断システム（１０００）の構成例を示す図である。以下に、診断システム（１０００）全体の構成例、診断システム（１０００）の処理、コリオリ質量流量計（１）の基本動作、従来技術の課題を順に説明し、最後に診断システム（１０００）の効果について説明する。

（１－１．診断システム（１０００）全体の構成例）
診断システム（１０００）は、コリオリ質量流量計（１）、診断装置（２）および校正装置（３）を有する。ここで、コリオリ質量流量計（１）と、診断装置（２）と、校正装置（３）とは、図示しない所定の通信網を介して、有線または無線により通信可能に接続される。また、図１に示した診断システム（１０００）には、複数台のコリオリ質量流量計（１）、複数台の診断装置（２）、複数台の校正装置（３）が含まれてもよい。また、図２において後述するように、コリオリ質量流量計（１）は、診断装置（２）および校正装置（３）のうち少なくとも１つを内部装置として有してもよい。さらに、診断装置（２）および校正装置（３）は、外部装置（３１）として統合された構成であってもよい。

（１－２．診断システム（１０００）全体の処理）
上記のような診断システム（１０００）全体の処理について説明する。まず、校正装置（３）は、コリオリ質量流量計（１）が測定した測定値を取得する（ステップＳ１）。次に、校正装置（３）は、コリオリ質量流量計（１）の密度校正処理（ステップＳ２）を実行する。続いて、診断装置（２）は、校正装置（３）から密度校正結果（１５１）を取得し（ステップＳ３）、密度誤差診断処理（ステップＳ４）、肉厚剛性診断処理（ステップＳ５）、流量誤差診断・簡易補正処理（ステップＳ６）、時期予測診断処理（ステップＳ７）を順に実行する。そして、診断装置（２）は、コリオリ質量流量計（１）に対して、上記ステップＳ４～Ｓ７の処理による診断結果を送信する（ステップＳ８）。また、診断装置（２）は、校正装置（３）に対して、上記ステップＳ７の時期予測診断結果であるコリオリ質量流量計（１）の校正時期を送信する（ステップＳ９）。なお、上記のステップＳ１～Ｓ９は、異なる順序で実行することもできる。また、上記のステップＳ１～Ｓ９のうち、省略される処理があってもよい。

（１－３．コリオリ質量流量計（１）の基本動作）
図２～図３および数式を用いて、診断システム（１０００）におけるコリオリ質量流量計（１）の基本動作について説明する。以下では、コリオリ質量流量計（１）の基本構成、測定式、動作の順に説明する。

（１－３－１．コリオリ質量流量計（１）の基本構成）
図２を用いて、コリオリ質量流量計（１）の基本構成について説明する。図２は、実施形態に係るコリオリ質量流量計（１）の構成例を示すブロック図である。図２に示すように、コリオリ質量流量計（１）は、検出部（１０）、変換部（２０）および表示操作部（３０）を有する。また、コリオリ質量流量計（１）は、外部装置（３１）と接続される。

検出部（１０）は、１本以上の振動管（１１）、加振部（１２）、振動を測定する２個以上のセンサ（１３、１４）および温度センサ（１５）を有する。ここで、上流側センサ（１３）は、上流側信号Ｓ１（１３ａ）を変換部（２０）へ伝達する。また、下流側センサ（１４）は、下流側信号Ｓ２（１４ａ）を変換部（２０）へ伝達する。温度センサ（１５）は、振動管（１１）の温度および流体の温度のうち少なくとも１つを測定し、温度信号Ｔ（１５ａ）を変換部（２０）へ伝達する。加振部（１２）は、変換部（２０）から励振信号ドライブ（１２ａ）を受け取り、振動管（１１）を振動させる。

変換部（２０）は、駆動制御部（２１）、質量流量演算部（２２）および密度演算部（２３）を有する。駆動制御部（２１）は、上流側信号Ｓ１（１３ａ）の振幅および下流側信号Ｓ２（１４ａ）の振幅のうち少なくとも１つが目標の数値になるように、励振信号ドライブ（１２ａ）を変化させる。質量流量演算部（２２）は、上流側信号Ｓ１（１３ａ）および下流側信号Ｓ２（１４ａ）の位相差と周波数から、質量流量を算出する。また、質量流量演算部（２２）は、温度信号Ｔ（１５ａ）により温度補正を行う。密度演算部（２３）は、上流側信号Ｓ１（１３ａ）の周波数および下流側信号Ｓ２（１４ａ）の周波数のうち少なくとも１つから流体の密度を算出する。また、密度演算部（２３）は、温度信号Ｔ（１５ａ）により温度補正を行う。

変換部（２０）は、測定した数値を表示操作部（３０）へ状態値（３２ａ）として送信する。また、変換部（２０）は、測定した数値を外部装置（３１）へ状態値（３２ｂ）として送信する。一方、表示操作部（３０）は、操作量（３３ａ）を変換部（２０）に送信し、動作の設定や測定係数の設定を行う。また、外部装置（３１）は、操作量（３３ｂ）を変換部（２０）に送信し、動作の設定や測定係数の設定を行う。

ここで、変換部（２０）は、コリオリ質量流量計（１）に対して、質量流量および密度のうち少なくとも１つを測定するための校正処理を実行する校正制御部（４０ｂ）を有することもできる。また、変換部（２０）は、コリオリ質量流量計（１）に対して、診断処理を実行する診断制御部（６０ｂ）を有することもできる。

外部装置（３１）は、基準となる流量計を保持し、流体を流すことによって、コリオリ質量流量計（１）の校正を行う装置であって、校正制御部（４０ａ）および診断制御部（６０ａ）を有する。校正制御部（４０ａ）は、密度校正部（５１ａ）および質量流量校正部（４１ａ）を有する。密度校正部（５１ａ）は、密度が既知である複数の流体で周波数を測定することによって、密度の校正処理を実行する。質量流量校正部（４１ａ）は、質量流量の校正処理を実行する。また、診断制御部（６０ａ）は、後述する実施形態に係る診断装置（２）による診断処理を実行する。

一方、コリオリ質量流量計（１）の変換部（２０）が有する校正制御部（４０ｂ）も、上述した外部装置（３１）の校正制御部（４０ａ）と同様に、校正処理を実行することができる。また、コリオリ質量流量計（１）の変換部（２０）が有する診断制御部（６０ｂ）も、上述した外部装置（３１）の診断制御部（６０ａ）と同様に、後述する実施形態に係る診断装置（２）による診断処理を実行することができる。

上述してきたように、実施形態に係る診断システム（１０００）において、各種診断処理を実行する診断制御部（６０）は、外部装置（３１）が有する診断制御部（６０ａ）と、コリオリ質量流量計（１）内部の変換部（２０）が有する診断制御部（６０ｂ）との、両方または一方として構成される。

（１－３－２．コリオリ質量流量計（１）の測定式）
以下では、コリオリ質量流量計（１）の測定式について説明する。まず、ＪＩＳ Ｂ７５５５「コリオリメータによる流量計測方法（質量流量，密度及び体積流量計測） 解説」によると、質量流量Ｑｍは、下記（１）式で測定される。

ここで、変数Ｋｓは、振動管のねじれ方向の剛性（ばね定数）を示す。変数ωは、振動管の振動角速度を示す。変数ｄは、Ｕ字形をした振動管の横幅を示す。変数Ｌは、Ｕ字形をした振動管の振動方向の長さを示す。変数Ｋ１は、定数を示す。変数ωｓは、ねじれ方向の固有各周波数を示す。変数ωｕは、振動方向の固有角周波数を示す。変数θ０は、ねじれに相当する位相差を示す。

実際の質量流量の測定には、下記（２）式の測定式を用いる。

コリオリ質量流量計（１）では、振動管振動周波数ｆと位相差θ０とを測定し、流量測定係数Ｃｑを掛けて、質量流量Ｑｍを得る。このとき、流量測定係数Ｃｑを質量流量校正部（４１）により求め、流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）とする。また、位相差θ０を測定し、位相差θ（２８ｄ）とする。また、周波数ｆを測定し、周波数ｆ（２８ｃ）とする。そして、質量流量Ｑｍを上記（２）式で計算し、質量流量Ｑｍ（２８ａ）とする。

コリオリ質量流量計（１）の振動管（１１）の振動において、振動管（１１）の剛性（ばね定数）Ｋ、振動管（１１）の全質量Ｍ、振動管（１１）の振動角周波数ωの関係は下記（３）式で表される。ここで、変数ｆは、振動管（１１）の振動周波数を示す。

振動管（１１）の全質量Ｍは、振動管（１１）の質量Ｍｕ、２個以上のセンサ（１３、１４）や加振部（１２）等の振動管（１１）に接続された付属品の質量Ｍｄ、振動管（１１）内の流体の質量Ｍｆの総和であり、下記（４）で表わされる。

振動管（１１）内の流体の質量Ｍｆは、流体の体積、すなわち、振動管（１１）の内容積Ｖと、流体の密度ρより、下記（５）式で表わされる。

ここで、上記（３）式、（４）式および（５）式より、下記（６）式および（７）式が示される。

ここで、密度ρは、振動周波数ｆの関数となる。上記（７）式は、振動管（１１）の剛性Ｋ、振動管（１１）の内容積Ｖ、振動管（１１）自体の質量Ｍｕ、付属品の質量Ｍｄを含む。したがって、密度の測定には、これらの係数を求めておく必要がある。

密度ρが既知である流体を測定する。密度をρａ、振動周波数をｆａ、振動管（１１）の剛性をＫａとすると、上記（６）式より、下記（８）式が成り立つ。

また、振動管（１１）の剛性Ｋａは、測定時の振動管（１１）の剛性Ｋと等しいとすると、下記（９）式で表わされる。

なお、振動管（１１）の剛性は、温度等により変化をするため、厳密には上記（９）式が成立しない。したがって、温度等による補正が必要となる。

上記（６）式、（８）式および（９）式より、下記（１０）式が成り立つ。

ここで、密度測定係数Ｃｄを定義する。下記（１１）式で表わすように、密度測定係数Ｃｄは、振動管と付属品の質量の和を、振動管の内容積で割った値であり、密度と同じ単位となる。

また、上記（１０）式および（１１）式より、下記（１２）式および（１３）式が成り立つ。

コリオリ質量流量計（１）では、密度測定係数Ｃｄおよび周波数ｆａを、密度校正部（５１）により求め、それぞれ密度測定係数Ｃｄ（２８ｋ）および密度測定係数ｆａ（２８ｌ）とする。また、振動管（１１）の振動周波数ｆを測定し、周波数ｆ（２８ｃ）とする。そして、上記（１２）式より密度ρを計算し、密度ρ（２８ｂ）とする。

ここで、上記（１２）式は、密度測定係数Ｃｄと、流体密度ρａにおける周波数ｆａとをあらかじめ測定しておけば、周波数ｆから、未知の流体の密度ρを計算できることを示している。このとき、流体密度ρａおよび周波数ｆａは、温度や圧力が標準状態における空気または真空の値を用いる。また、液体を測定する場合は、水等の密度の近い液体の密度とすれば、スパン誤差が軽減される。

また、上記（１３）式は、密度ρが大きくなると、周波数ｆが小さくなることを示す。また、密度測定係数Ｃｄが大きいと、密度ρの変化に対する周波数ｆの変化が小さくなる。

以上より、密度測定係数Ｃｄと剛性Ｋとの関係は、下記（１４）式で表わされる。

（１－３－３．コリオリ質量流量計（１）の動作）
図３を用いて、コリオリ質量流量計（１）の動作について説明する。図３は、実施形態に係るコリオリ質量流量計（１）の測定処理の一例を示す図である。図３に示すように、コリオリ質量流量計（１）は、検出部（１０）および変換部（２０）を有する。また、検出部（１０）は、加振部（１２）、上流側センサ（１３）、下流側センサ（１４）および温度センサ（１５）を有する。また、変換部（２０）は、振幅演算部（２１ａ）と振幅制御部（２１ｂ）と乗算器（２１ｃ）と励振回路（２１ｄ）と電流振幅演算部（２１ｅ）とを含む駆動制御部（２１）、質量流量演算部（２２）、密度演算部（２３）、位相差演算部（２４ａ）、周波数演算部（２４ｂ）、振幅演算部（２４ｃ）、振幅演算部（２４ｄ）、温度演算部（２４ｅ）および圧力選択スイッチ（２４ｆ）を有する。

まず、検出部（１０）の上流側センサ（１３）は、上流側信号Ｓ１（１３ａ）を出力する。また、検出部（１０）の下流側センサ（１４）は、下流側信号Ｓ２（１４ａ）を出力する。

次に、変換部（２０）の駆動制御部（２１）は、上流側信号Ｓ１（１３ａ）の振幅が、振幅目標値（２７ｃ）になるように、励振信号ドライブ（１２ａ）を制御する。ここで、振幅演算部（２１ａ）は、上流側信号Ｓ１（１３ａ）の振幅を出力する。振幅制御部（２１ｂ）は、振幅演算部（２１ａ）で求めた振幅と、振幅目標値（２７ｃ）とから、ドライブゲイン（２７ｂ）を算出する。このとき、Ｐ制御やＰＩ制御等が使われる。乗算器（２１ｃ）は、上流側信号Ｓ１（１３ａ）とドライブゲイン（２７ｂ）を乗算して、制御信号を計算する。励振回路（２１ｄ）は、制御信号から励振信号ドライブ（１２ａ）を作成する。そして、検出部（１０）の加振部（１２）は、励振信号ドライブ（１２ａ）によって駆動する。このとき、加振部（１２）は、電流を力に変換する。また、電流振幅演算部（２１ｅ）は、励振回路（２１ｄ）が出力する電流値の振幅を、ドライブ電流（２７ａ）として出力する。

図３で示す例では、上流側信号Ｓ１（１３ａ）により振幅制御を行っているが、下流側信号Ｓ２（１４ａ）により振幅制御を行うこともできる。また、上流側信号Ｓ１（１３ａ）および下流側信号Ｓ２（１４ａ）両方を使用することもできる。

変換部（２０）の振幅演算部（２４ｃ）は、上流側信号Ｓ１（１３ａ）の振幅Ｓ１（２７ｄ）を出力する。また、振幅演算部（２４ｄ）は、下流側信号Ｓ２（１４ａ）の振幅Ｓ２（２７ｅ）を出力する。なお、振幅演算部（２４ｃ、２４ｄ）は、ヒルベルト変換等を用いて、位相差計算と同時に出力処理を行うこともできる。また、変換部（２０）の位相差演算部（２４ａ）は、上流側信号Ｓ１（１３ａ）および下流側信号Ｓ２（１４ａ）から位相差θ（２８ｄ）を算出する。また、変換部（２０）の周波数演算部（２４ｂ）は、上流側信号Ｓ１（１３ａ）および下流側信号Ｓ２（１４ａ）のうち少なくとも１つから周波数ｆ（２８ｃ）を算出する。また、変換部（２０）の温度演算部（２４ｅ）は、温度信号Ｔ（１５ａ）から温度Ｔ（２８ｅ）を算出する。

変換部（２０）の質量流量演算部（２２）は、位相差θ（２８ｄ）および周波数ｆ（２８ｃ）から、上述した（２）式により質量流量Ｑｍ（２８ａ）を算出する。質量流量演算部（２２）は、流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）を用いて、質量流量Ｑｍ（２８ａ）を算出する。ここで、質量流量Ｑｍ（２８ａ）は、温度や圧力、密度に依存する。コリオリ質量流量計（１）では圧力の測定ができないため、外部に圧力計（２９）を付けて外部入力圧力Ｐｉｎ（２８ｒ）の取得、または既定圧力Ｐｓ（２８ｑ）の設定を行う。圧力計（２９）が接続された場合は、圧力計接続信号（２８ｓ）がセットされる。圧力選択スイッチ（２４ｆ）は、圧力計接続信号（２８ｓ）により、外部入力圧力Ｐｉｎ（２８ｒ）または既定圧力Ｐｓ（２８ｑ）を出力し、圧力Ｐ（２８ｔ）とする。このとき、質量流量演算部（２２）は、流量測定補正係数（２８ｇ）と、温度Ｔ（２８ｅ）、密度ρ（２８ｂ）および圧力Ｐ（２８ｔ）のうち少なくとも１つとを用いて、質量流量Ｑｍ（２８ａ）を補正する。

変換部（２０）の密度演算部（２３）は、周波数ｆ（２８ｃ）から、上述した（１２）式により、密度ρ（２８ｂ）を算出する。密度演算部（２３）は、密度測定係数Ｃｄ（２８ｋ）および密度測定係数ｆａ（２８ｌ）を用いて、密度ρ（２８ｂ）を算出する。ここで、密度ρ（２８ｂ）は、温度や圧力に依存する。このとき、密度演算部（２３）は、密度測定補正係数（２８ｍ）と、温度Ｔ（２８ｅ）および圧力Ｐ（２８ｔ）のうち少なくとも１つとを用いて、密度ρ（２８ｂ）を補正する。なお、この補正は、測定対象の変化に対する補正ではなく、振動管（１１）の剛性等が変化することで、上述した（９）式が成立しない状況への補正である。密度演算部（２３）は、例えば２０℃、１気圧等の規定状態での周波数に補正する。

なお、変換部（２０）は、上述した演算で使用する係数や設定値、測定結果を、すべて、制御パラメータ（２７）およびパラメータ（２８）として記憶する。また、校正制御部（４０）や診断制御部（６０）は、このパラメータの値を読み、設定することで動作する。

（１－４．従来技術の課題）
以下では、従来技術の課題について、剛性減衰診断処理および腐食診断処理、密度校正処理、流量校正処理、メインテナンス等の予測処理の順に説明する。

（１－４－１．剛性減衰診断処理および腐食診断処理）
従来の剛性減衰診断処理および腐食診断処理では、振幅情報を使うため、駆動回路や測定回路の増幅感度に影響される。また、従来の処理では、変換器の入出力信号により診断を行うので、ドライバおよびピックオフの磁石の磁束密度や回路のゲインの変化等の測定できない特性を含んでいる。よって、従来の処理では、振動管の剛性の絶対値を測定できず、相対値を判定する。

また、従来の処理では、振幅を測定するので、振動や温度等の影響を受ける。ここで、コリオリ質量流量計の質量流量および密度の測定は、位相差と周波数から行っており、振幅測定の精度は低い。さらに、従来の処理では、ドライブゲインを固定し、振幅の変化率の測定等、変換器に特別な仕組みを要するために、通常の質量流量と密度の測定以外に、負荷の大きな演算が必要になる。また、従来の処理では、剛性により腐食を判定しており、肉厚変化を直接求めていない。ここで、剛性変化の要因は、腐食だけとは限らない。診断システム（１０００）で実行される密度誤差診断処理および肉厚剛性診断処理は、上記の課題の解決に寄与する。

（１－４－２．密度校正処理）
従来の密度校正処理では、パラメータを変えることで、測定結果に非連続性が生まれる。特に、頻繁に校正する場合は変動要因となる。また、従来の処理であっても、校正時に、校正に使用した流体の既知の密度との差から密度誤差を計算することは可能であるが、密度誤差は、測定対象の密度に依存する。ここで、コリオリ質量流量計の目的は、質量流量と密度とを測定することであるので、性能を保証するためには、密度誤差を把握する必要がある。診断システム（１０００）で実行される密度校正処理および密度誤差診断処理は、上記の課題の解決に寄与する。

（１－４－３．流量校正処理）
従来の流量校正処理は、既知の流量を与える装置、あるいは基準の質量流量計が必要であり、校正装置が大掛かりになる。また、従来の処理では、質量流量の校正は、装置を取り外し、校正設備まで輸送して校正することで、多額の費用と流量計を使用できない時間が生じる。なお、測定精度は重要であるため、定期修理中に校正が行われている。また、従来の処理では、コリオリ質量流量計の校正を使用現場で行う試みもあるが、コンパクトな流量校正装置が必要となる。ここで、コリオリ質量流量計の目的は、質量流量と密度とを測定することであるので、性能を保証するためには、流量誤差を把握する必要がある。診断システム（１０００）で実行される流量誤差診断・簡易補正処理は、上記の課題の解決に寄与する。

（１－４－４．メインテナンス等の予測処理）
従来のメインテナンスや交換時期の予測処理は、剛性または減衰から時期予測を行っている。これらのパラメータのみでは、メインテナンスを必要とする値を決定することが難しい。診断システム（１０００）で実行される時期予測診断処理は、上記の課題の解決に寄与する。

（１－５．診断システム（１０００）の効果）
以下では、診断システム（１０００）の効果について、密度誤差診断処理および肉厚剛性診断処理、流量誤差診断・簡易補正処理、時期予測診断処理の順に説明する。

（１－５－１．密度誤差診断処理および肉厚剛性診断処理）
上述してきたように診断システム（１０００）では、診断装置（２）は、振動させた振動管（１１）に作用するコリオリ力に基づいて振動管（１１）を流れる流体の流量および密度を計測するコリオリ質量流量計（１）を校正することによって生成された流体の密度の校正に関する密度校正結果に基づいて、密度の校正前後の流体の密度誤差に関する密度診断結果を生成し、密度診断結果に基づいて振動管（１１）の肉厚および剛性のうち少なくとも１つに関する計算を実行し、振動管（１１）の変化に関する肉厚剛性診断結果を生成する。また、診断装置（２）は、初期の密度測定係数と、密度校正結果が示す密度測定係数と、測定対象の密度とを用いて前記密度誤差を算出し、密度校正結果が示す密度測定係数の変化率と振動管（１１）の設計値とを用いて、振動管（１１）の肉厚変化および剛性変化に関する結果のうち少なくとも１つを含む肉厚剛性診断結果を生成し、肉厚剛性診断結果が閾値以上である場合に、振動管（１１）に関する異常を検出する。さらに、診断装置（２）は、振動管（１１）の内径、肉厚、肉厚変化、肉厚変化率、剛性変化率、腐食診断および付着診断のうち少なくとも１つを含む肉厚剛性診断結果を生成する。

このため、診断システム（１０００）では、駆動回路や測定回路の増幅感度に影響される振幅情報を用いることなく振動管の腐食を判定することができるので、コリオリ質量流量計（１）の振動管の状態を正確に診断することができる。また、診断システム（１０００）では、上記振動管の肉厚変化を直接求めることもできるので、コリオリ質量流量計（１）の故障や性能劣化を容易に診断することができる。

（１－５－２．流量誤差診断・簡易補正処理）
上述してきたように診断システム（１０００）では、診断装置（２）は、前記肉厚剛性診断結果に基づいて前記流体の流量に関する計算を実行し、前記流体の流量誤差に関する流量診断結果を生成する。また、診断装置（２）は、剛性変化率、肉厚変化率および前記密度測定係数の変化率のうち少なくとも１つを用いて流量補正係数を算出し、算出した流量補正係数に基づいて、コリオリ質量流量計（１）が流量の計測に用いる流量補正係数の更新制御を実行する。このため、診断システム（１０００）では、校正設備における質量流量の校正を行わずに、剛性変化、肉厚変化、密度測定係数の変化等から、質量流量を簡易補正することができる。

（１－５－３．時期予測診断処理）
上述してきたように診断システム（１０００）では、診断装置（２）は、密度校正結果、密度診断結果、肉厚剛性診断結果または流量診断結果に基づいて、コリオリ質量流量計（１）における障害の発生、メインテナンスもしくは機器の交換に関する所要時間、稼働時間または流体の積算流量を予測し、時期予測診断結果として生成する。このため、診断システム（１０００）では、校正処理の結果および各診断処理の結果のいずれかを用いることによって、メインテナンス等の時期をより正確かつ容易に予測することができる。

〔２．診断システム（１０００）の各装置の構成〕
図４を用いて、図１に示した診断システム（１０００）が有する各装置の機能構成について説明する。図４は、実施形態に係る診断システムの各装置の構成例を示すブロック図である。以下では、診断システム（１０００）全体の構成例および処理を説明した上で、診断装置（２）の構成例について説明する。なお、図４において、実線の矢印は信号等の情報であることを示し、破線の矢印は処理のトリガであることを示す。

（２－１．診断システム（１０００）全体の構成例）
図４に示すように、診断システム（１０００）は、コリオリ質量流量計（１）、診断装置（２）および校正装置（３）を有する。また、図４において、コリオリ質量流量計（１）、診断装置（２）および校正装置（３）は、別装置として示されているが、上記の３つの装置のうち、２つまたは３つの装置が統合された構成であってもよい。なお、コリオリ質量流量計（１）の構成および処理については、（１－３－１．コリオリ質量流量計（１）の基本構成）で説明したコリオリ質量流量計（１）の構成および処理と共通するので、説明を省略する。

また、校正装置（３）が有する校正制御部（４０）の構成および処理の概要については、（１－３－１．コリオリ質量流量計（１）の基本構成）で説明した外部装置（３１）またはコリオリ質量流量計（１）の変換部（２０）における校正制御部（４０）と共通するので、説明を省略するが、校正制御部（４０）の構成および処理の詳細については、〔３．校正装置（３）および診断装置（２）の各処理の詳細〕で後述する。

（２－２．診断システム（１０００）全体の処理）
図４に示すように、校正装置（３）は、密度校正部（５１）による密度校正処理を実行する。診断装置（２）は、密度誤差診断部（６１）による密度誤差診断処理、肉厚剛性診断部（７０）による肉厚剛性診断処理、流量誤差診断簡易補正部（８０）による流量誤差診断・簡易補正処理、時期予測診断部（９０）による時期予測診断処理の順に、診断処理を実行する。すなわち、診断システム（１０００）において、診断装置（２）は、以下に示すように、密度校正部（５１）で得られた密度測定係数の変化から各診断を行う。

（２－２－１．密度校正処理）
第１の処理として、密度校正処理について説明する。まず、校正装置（３）の密度校正部（５１）は、密度校正結果（１５１）を出力し、密度測定係数Ｃｄ（２８ｋ）および密度測定係数ｆａ（２８ｌ）を更新する。また、密度校正部（５１）は、密度が既知である測定対象において、周波数ｆ（２８ｃ）を測定し、密度測定係数を求める。また、密度校正部（５１）は、測定対象の密度と、コリオリ質量流量計（１）の周波数演算部（２４ｂ）により得られた周波数ｆ（２８ｃ）のみを用いる。そして、密度校正部（５１）は、実行終了時に、密度校正完了信号（１６０）をセットする。なお、校正装置（３）の質量流量校正部（４１）は、既知の流量で、周波数ｆ（２８ｃ）および位相差θ（２８ｄ）を測定し、流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）を求める。そして、質量流量校正部（４１）は、処理終了時に、流量校正完了信号（１２０）をセットする。

（２－２－２．密度誤差診断処理）
第２の処理として、密度誤差診断処理について説明する。まず、診断装置（２）の密度誤差診断部（６１）は、密度校正完了信号（１６０）がセットされたときに処理を実行する。このとき、密度誤差診断部（６１）は、密度校正結果（１５１）に含まれる密度測定係数の変化から、密度誤差診断処理を行う。また、密度誤差診断部（６１）は、処理結果を密度診断結果（２０１）に保存する。そして、密度誤差診断部（６１）は、処理終了時に、密度校正完了信号（１６０）をリセットし、密度診断完了信号（２１０）をセットする。

（２－２－３．肉厚剛性診断処理）
第３の処理として、肉厚剛性診断処理について説明する。まず、診断装置（２）の肉厚剛性診断部（７０）は、密度診断完了信号（２１０）がセットされたときに処理を実行する。このとき、肉厚剛性診断部（７０）は、密度測定係数の変化から、肉厚と剛性の変化率を求め、診断を行う。また、肉厚剛性診断部（７０）は、処理結果を肉厚剛性診断結果（３０１）に保存する。そして、肉厚剛性診断部（７０）は、処理終了時に、密度診断完了信号（２１０）をリセットする。肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットする。

（２－２－４．流量誤差診断・簡易補正処理）
第４の処理として、流量誤差診断・簡易補正処理について説明する。まず、診断装置（２）の流量誤差診断簡易補正部（８０）は、肉厚剛性診断完了信号（３１０）または流量校正完了信号（１２０）がセットされたときに処理を実行する。このとき、流量誤差診断簡易補正部（８０）は、密度測定係数の変化、肉厚の変化、剛性の変化等から、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を更新することで流量誤差を減らすとともに流量誤差を診断する。また、流量誤差診断簡易補正部（８０）は、処理結果を流量診断結果（５０１）に保存する。流量誤差診断簡易補正部（８０）は、処理終了時に、肉厚剛性診断完了信号（３１０）および流量校正完了信号（１２０）をリセットする。

（２－２－５．時期予測診断処理）
第５の処理として、時期予測診断処理について説明する。まず、診断装置（２）の時期予測診断部（９０）は、密度校正結果（１５１）密度診断結果（２０１）肉厚剛性診断結果（３０１）または流量診断結果（５０１）を使い、目標値に達する時期を予測する。このとき、時期予測診断部（９０）は、閾値を設定することで、障害が発生する、もしくはメインテナンスが必要になる状態になるまでに要する時間、稼働時間、または流体の積算流量を予測する。

（２－３．診断装置（２）の構成例）
以下では、実施形態に係る診断装置（２）の構成例について説明する。図４に示すように、診断装置（２）は、診断制御部（６０）、送受信部（２００）および通知部（３００）を有する。なお、診断装置（２）は、診断装置（２）の管理者等から各種操作を受け付ける入力部（例えば、キーボードやマウス等）や、各種情報を表示するための表示部（例えば、液晶ディスプレイ等）を有してもよい。

（２－３－１．診断制御部（６０））
診断制御部（６０）は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）やＭＰＵ（Micro Processing Unit）等によって、診断装置（２）内部の記憶装置に記憶されている各種プログラム（情報処理プログラムの一例に相当）がＲＡＭを作業領域として実行されることにより実現される。また、診断制御部（６０）は、例えば、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の集積回路により実現される。

図４に示すように、診断制御部（６０）は、密度誤差診断部（６１）、肉厚剛性診断部（７０）、流量誤差診断簡易補正部（８０）および時期予測診断部（９０）を有し、以下に説明する情報処理の機能や作用を実現または実行する。なお、診断制御部（６０）の内部構成は、図４に示した構成に限られず、後述する情報処理を行う構成であれば他の構成であってもよい。また、診断制御部（６０）が有する各処理部の接続関係は、図４に示した接続関係に限られず、他の接続関係であってもよい。

（２－３－１－１．密度誤差診断部（６１））
密度誤差診断部（６１）は、振動させた振動管（１１）に作用するコリオリ力に基づいて振動管（１１）を流れる流体の流量および密度を計測するコリオリ質量流量計（１）を校正することによって生成された流体の密度の校正に関する密度校正結果（１５１）に基づいて、密度の校正前後の流体の密度誤差に関する密度診断結果（２０１）を生成する。

例えば、密度誤差診断部（６１）は、初期の密度測定係数（Ｃｄ０、ｆａ０）と、密度校正結果が示す密度測定係数（Ｃｄｃ、ｆａｃ）と、測定対象の密度ρｔとを用いて密度誤差Δρ０を算出する。また、密度誤差診断部（６１）は、初期の密度測定係数（Ｃｄ０、ｆａ０）と、密度校正結果が示す密度測定係数（Ｃｄｃ、ｆａｃ）と、測定対象の密度ρｔとを用いて、密度測定係数の変化率（ａＣｄ、ａｆａ）を算出する。

さらに、密度誤差診断部（６１）は、変化前の密度測定係数（Ｃｄ０、ｆａ０）と、密度校正結果が示す密度測定係数（Ｃｄｃ、ｆａｃ）と、測定対象の密度ρｔとを用いて、密度測定係数を更新した際に生じる密度変動Δρ０を算出し、当該密度変動が許容値を超過した場合には、振動管（１１）に関する異常を検知する。

（２－３－１－２．肉厚剛性診断部（７０））
肉厚剛性診断部（７０）は、密度校正結果（１５１）に基づいて振動管（１１）の肉厚および剛性のうち少なくとも１つに関する計算を実行し、振動管（１１）の変化に関する肉厚剛性診断結果（３０１）を生成する。例えば、肉厚剛性診断部（７０）は、密度校正結果（１５１）または密度診断結果（２０１）が示す密度測定係数の変化率（ａＣｄ、ａｆａ）と振動管（１１）の設計値（振動管内径ｄ、振動管外径Ｄ）とを用いて、振動管（１１）の肉厚変化および剛性変化に関する結果のうち少なくとも１つを含む肉厚剛性診断結果（３０１）を生成し、肉厚剛性診断結果（３０１）が閾値以上である場合に、振動管（１１）に関する異常を検出する。また、肉厚剛性診断部（７０）は、振動管（１１）の内径ｄｃ、肉厚ｔｃ、肉厚変化ｄｔ、肉厚変化率ｒｔおよび剛性変化率ａＫのうち少なくとも１つを含む肉厚剛性診断結果（３０１）を生成する。

さらに、肉厚剛性診断部（７０）は、振動管（１１）の肉厚変化および剛性変化に関する結果を用いて、肉厚診断、剛性診断、腐食診断および付着診断のうち少なくとも１つを含むコリオリ質量流量計（１）の故障診断を実行し、上記の結果が警報値を超過した場合には、コリオリ質量流量計（１）の故障を検知する。

（２－３－１－３．流量誤差診断簡易補正部（８０））
流量誤差診断簡易補正部（８０）は、肉厚剛性診断結果（３０１）に基づいて流体の流量に関する計算を実行し、流体の流量誤差に関する流量診断結果（５０１）を生成する。例えば、流量誤差診断簡易補正部（８０）は、剛性変化率ａＫ、肉厚変化率ｄｔおよび密度測定係数の変化率ａｄｃのうち少なくとも１つを用いて流量補正係数ｆｋｑを算出し、算出した流量補正係数ｆｋｑに基づいて、コリオリ質量流量計（１）が流量の計測に用いる流量補正係数の更新制御を実行する。

このとき、流量誤差診断簡易補正部（８０）は、変化前の流量補正係数ｆｋ、算出した流量補正係数ｆｋｑを用いて、流量補正係数を更新した際の流量変動率ｒｑｄを算出し、当該流量変動率が許容値を超過した場合には、コリオリ質量流量計（１）が流量の計測に用いる流量測定係数の更新を実行する。また、流量誤差診断簡易補正部（８０）は、流量補正係数ｆｋｑの計算に使用する変化率の種類および重み係数を、シミュレーションまたは実験の結果から、あらかじめ決定することもできる。

（２－３－１－４．時期予測診断部（９０））
時期予測診断部（９０）は、密度校正結果（１５１）、密度診断結果（２０１）、肉厚剛性診断結果（３０１）または流量診断結果（５０１）に基づいて、コリオリ質量流量計（１）における障害の発生、メインテナンスもしくは機器の交換に関する所要時間、稼働時間または流体の積算流量を予測し、時期予測診断結果（６０３）として生成する。

例えば、時期予測診断部（９０）は、密度診断結果（２０１）として、算出した密度測定係数（Ｃｄｃ、ｆａｃ）、密度測定係数変化率（ａＣｄｃ、ａｆａｃ）および密度誤差Δρ０のうち少なくとも１つを用いて、時期予測診断結果（６０３）として出力する。また、時期予測診断部（９０）は、肉厚剛性診断結果（３０１）として、振動管（１１）の内径ｄｃ、肉厚ｔｃ、肉厚変化ｄｔおよび肉厚変化率ｒｔのうち少なくとも１つを用いて、時期予測診断結果（６０３）として出力する。また、時期予測診断部（９０）は、流量診断結果（５０１）として、流量補正係数ｆｋｑおよび流量誤差率ｒｑｅのうち少なくとも１つを用いて、時期予測診断結果（６０３）として出力する。

また、時期予測診断部（９０）は、密度校正結果（１５１）、密度診断結果（２０１）、肉厚剛性診断結果（３０１）または流量診断結果（５０１）に含まれるパラメータの時間に対する変化、当該パラメータの稼働時間に対する変化または当該パラメータの積算流量に対する変化を示す近似直線または近似曲線を求め、当該近似直線または近似曲線が、障害が発生メインテナンスもしくは機器の交換が必要になる状態として規定された診断目標値に達するまでの所要時間、稼働時間または流体の積算流量を予測し、時期予測診断結果（６０３）として出力する。

（２－３－２．送受信部（２００））
送受信部（２００）は、例えば、ＮＩＣ（Network Interface Card）等によって実現される。例えば、送受信部（２００）は、校正装置（３）から密度校正結果（１５１）を取得する。そして、送受信部（２００）は、所定の通信網（ネットワーク）と有線または無線で接続され、各種装置との間で情報の送受信を行う。

（２－３－３．通知部（３００））
通知部（３００）は、密度校正結果（１５１）、密度診断結果（２０１）、肉厚剛性診断結果（３０１）または流量診断結果（５０１）が所定の警報値を超過した場合には、振動管（１１）に関する異常を通知する。

〔３．校正装置（３）および診断装置（２）の各処理の詳細〕
図５～図２６および数式を用いて、実施形態に係る校正装置（３）および診断装置（２）の各処理の詳細を説明する。以下では、校正装置（３）の密度校正診断処理、診断装置（２）の肉厚剛性診断処理、流量誤差診断・簡易補正処理、時期予測診断処理の順に説明する。

（３－１．密度校正処理）
図５～図６および数式を用いて、実施形態に係る校正装置（３）の密度校正部（５１）が実行する密度校正処理について説明する。以下では、密度校正処理の理論式を説明した上で、密度校正処理全体の処理、密度校正係数演算処理の順に説明する。

（３－１－１．密度校正処理の理論式）
以下では、密度校正処理の理論式について説明する。密度測定係数Ｃｄ（２８ｋ）および密度測定係数ｆａ（２８ｌ）は、２点以上の密度が既知の流体を使って校正する。上述した（１２）式を一次式と考える。また、校正後の係数を、密度測定係数Ｃｄｃおよび密度測定係数ｆａｃとすると、下記（１５）式～（１８）式となる。

ここで、２点での校正を考える。密度ρ１の物質における周波数をｆ１、密度ρ２の物質における周波数をｆ２とすると、下記（１９）式および（２０）式となる。ここで、周波数ｆ１および周波数ｆ２は、上述した（９）式が成り立つために補正されているとする。

係数ａと係数ｂを求めると、下記（２１）式および（２２）式となる。

密度測定係数Ｃｄｃおよび密度測定係数ｆａｃを求めると、下記（２３）式および（２４）式となる。

なお、３点以上で校正する場合は、各々の結果で上記（１５）式を作り、最小自乗法等を用いて係数を求める。

（３－１－２．密度校正処理全体の処理）
図５～図６を用いて、密度校正処理全体の処理について説明する。図５は、実施形態に係る密度校正処理全体の処理の一例を示す図である。以下では、校正装置（３）の密度校正部（５１）の構成および処理について説明する。

図５を用いて、密度校正部（５１）の構成および処理について説明する。図５に示すように、密度校正部（５１）は、密度測定係数演算部（５２）を有する。密度測定係数演算部（５２）は、パラメータ（２８）および密度校正設定値（１５２）から、密度校正結果（１５１）を出力する。また、密度測定係数演算部（５２）は、密度校正完了信号（１６０）をセットする。ここで、密度校正完了信号（１６０）は、密度誤差診断部（６１）の実行に使用され、診断装置（２）の密度誤差診断部（６１）内でリセットされる。

密度測定係数演算部（５２）は、密度校正結果（１５１）を、パラメータ（２８）に設定する。また、後述の密度誤差診断部（６１）は、設定の可否を判断し、パラメータ（２８）に設定する。密度誤差診断部（６１）を使用する場合は、ここでは設定しない。

（３－１－３．密度測定係数演算処理）
図６を用いて、密度校正部（５１）の密度測定係数演算部（５２）による密度測定係数演算処理について説明する。図６は、実施形態に係る密度校正処理の一例を示す図である。図６に示すように、密度測定係数演算部（５２）は、周波数補正部（５３）、物質選択スイッチ（５４）、標準密度演算部（５５）、密度選択スイッチ（５６）、物質選択スイッチ（５７）および密度測定係数演算実行部（５８）を有する。

ここで、手動入力密度ρｉｎ（１５２ａ）は、表示操作部（３０）または外部装置（３１）により手動で入力された密度値を示す。また、密度選択（１５２ｂ）は、密度選択スイッチ（５６）を制御する信号を示し、標準密度ρｃ（１５６）または手動入力密度ρｉｎ（１５２ａ）を選択する。係数ｎ（１５２ｃ）は、測定物質の番号を示す。

周波数補正部（５３）は、密度測定補正係数（２８ｍ）、温度Ｔ（２８ｅ）および圧力Ｐ（２８ｔ）により周波数ｆ（２８ｃ）を補正し、補正後周波数ｆｎ（１５３）を出力する。この補正は測定対象の変化に対する補正ではなく、振動管（１１）の剛性等が変化することで上述した（９）式が成立しない状況への補正である。周波数補正部（５３）は、２０℃、１ａｔｍ等の規定状態での周波数に補正する。この処理は、密度演算部（２３）に含まれる処理と同じである。

物質選択スイッチ（５４）は、係数ｎ（１５２ｃ）により、補正後周波数ｆ１（１５４）または補正後周波数ｆ２（１５５）を出力する。標準密度演算部（５５）は、温度Ｔ（２８ｅ）、圧力Ｐ（２８ｔ）および係数ｎ（１５２ｃ）から標準密度ρｃ（１５６）を算出する。標準密度演算部（５５）は、対象物質に対応した密度計算式が準備されているときに動作する。密度選択スイッチ（５６）は、密度選択（１５２ｂ）により、標準密度ρｃ（１５６）または手動入力密度ρｉｎ（１５２ａ）を選択し、密度ρｎ（１５７）とする。物質選択スイッチ（５７）は、係数ｎ（１５２ｃ）により、密度ρ１（１５８）、又は、密度ρ２（１５９）を出力する。

密度測定係数演算実行部（５８）は、補正後周波数ｆ１（１５４）、補正後周波数ｆ２（１５５）、密度ρ１（１５８）および密度ρ２（１５９）を用いて、上述した（２１）式～（２４）式により、密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）および密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）を算出する。

また、密度測定係数演算部（５２）は、日時（２８ｘ）を校正日時（１５１ｘ）に保存する。ここで、日時（２８ｘ）は、変換部（２０）または外部装置（３１）が保持している時刻で、校正を行った日時とする。また、密度測定係数演算部（５２）は、変換部駆動時間（２８ｙ）を駆動時間（１５１ｙ）に保存する。ここで、変換部駆動時間（２８ｙ）は、変換部（２０）が保持しており、変換部（２０）の駆動時間を積算した値を示す。また、密度測定係数演算部（５２）は、積算流量（２８ｚ）を積算流量（１５１ｚ）に保存する。ここで、積算流量（２８ｚ）は、変換部（２０）が保持しており、質量流量を積算した値を示す。

密度測定係数演算部（５２）は、密度測定係数演算処理を終了するときに、更新フラグ（１５１ｓ）と密度校正完了信号（１６０）をセットする。更新フラグ（１５１ｓ）は、時期予測診断部（９０）で用いられる。

（３－２．密度誤差診断処理）
図７～図１０および数式を用いて、実施形態に係る診断装置（２）の密度誤差診断部（６１）が実行する密度誤差診断処理について説明する。以下では、密度誤差診断処理の理論式を説明した上で、密度誤差診断処理全体の処理、初期化判定処理、密度誤差初期化処理、密度誤差演算判定処理の順に説明する。

（３－２－１．密度誤差診断処理の理論式）
以下では、密度誤差診断処理の理論式について説明する。まず、密度測定係数Ｃｄ（２８ｋ）および密度測定係数ｆａ（２８ｌ）の変化から、密度変動Δρ（２０１ｃ）を算出する。ここで、密度校正により得られた密度測定係数を、密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）および密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）とする。また、校正前の密度測定係数を、密度測定係数Ｃｄ（２８ｋ）および密度測定係数ｆａ（２８ｌ）とする。上述した（１３）式より、校正後の状態で測定対象密度ρｔ（２０２ｃ）の物質を測定した場合、周波数ｆは、下記（２５）式となる。

周波数ｆと、校正前の係数である、密度測定係数Ｃｄ（２８ｋ）および密度測定係数ｆａ（２８ｌ）を使い、密度を計算することで誤差を生じる。誤差を含んだ密度をρｅとすると、下記（２６）式となる。

密度測定係数を変更したときの密度変動Δρ（２０１ｃ）は、下記（２７）式で計算できる。

密度変動Δρ（２０１ｃ）は、測定対象密度ρｔ（２０２ｃ）に依存する。前回の密度校正以降に発生した密度誤差を示す。

密度測定係数を変更することは、密度の測定結果に不連続点を生む。密度変動Δρ（２０１ｃ）が許容範囲内であれば、測定値の連続性を優先する選択肢もある。密度変動許容値（２０２ｄ）を変数ρｌｉｍとし、密度変動Δρ（２０１ｃ）の絶対値と比較し、密度測定係数の置き換えの可否を判定することで、密度測定結果の変動を抑える。このとき、条件式は、下記（２８）式となる。

密度測定係数が置き換えられたときに、アラームをセットすることが可能である。また、密度変動Δρ（２０１ｃ）を表示操作部（３０）または外部装置（３１）に表示し、密度測定係数の置き換えの可否を入力することもできる。

出荷時等の初期状態の密度測定係数を記憶し、初期係数Ｃｄ０（２０２ａ）、初期係数ｆａ０（２０２ｂ）とする。初期状態からの密度誤差Δρ０（２０１ｄ）を算出すると、下記（２９）式となる。

密度誤差Δρ０（２０１ｄ）の絶対値が、密度誤差警報値（２０２ｈ）以上になったときに、密度誤差異常（２０１ｈ）をセットする。密度誤差警報値（２０２ｈ）を変数ρ０ｌｉｍとする。このとき、条件式は、下記（３０）式となる。

初期値からの誤差により密度誤差異常（２０１ｈ）を設定することで、使用者に装置の異常を伝える。密度誤差の発生は、質量流量の測定結果にも誤差が生じていることを示す。密度誤差異常（２０１ｈ）により、測定器として再調整が必要であることを通知する。

初期係数Ｃｄ０（２０２ａ）と密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）から係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）を求めると、下記（３１）式となる。

初期係数ｆａ０（２０２ｂ）と密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）とから係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）を求めると、下記（３２）式となる。

前回の校正時の密度測定係数Ｃｄ、密度測定係数ｆａを用いれば、前回からの変化を計算できる。

密度測定係数の変化率から異常診断を行う。係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）が、係数変化率ａＣｄ許容値（２０２ｉ）より大きいかを判定する。係数ａＣｄｌｉｍは、係数変化率ａＣｄ許容値（２０２ｉ）を示す。大きい場合に係数変化率ａＣｄ異常（２０１ｉ）をセットする。係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）は、変化がない場合に数値１．０となる。上限と下限を決めて判定することもできる。このとき、条件式は、下記（３３）式となる。

係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）が、係数変化率ａｆａ許容値（２０２ｊ）より大きいかを判定する。係数ａｆａｌｉｍは、係数変化率ａｆａ許容値（２０２ｊ）を示す。大きい場合に係数変化率ａｆａ異常（２０１ｊ）をセットする。係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）は、変化がない場合に数値１．０となる。上限と下限を決めて判定することもできる。このとき、条件式は、下記（３４）式となる。

（３－２－２．密度診断処理全体の処理）
図７を用いて、密度誤差診断処理全体の処理について説明する。図７は、実施形態に係る密度誤差診断処理全体の処理の一例を示す図である。以下では、診断装置（２）の密度誤差診断部（６１）の構成について説明する。

図７に示すように、密度誤差診断部（６１）は、診断制御部（６０）の一部であり、密度校正完了信号（１６０）がセットされたときに処理を実行する。また、密度誤差診断部（６１）は、初期化判定部（６２）、密度誤差初期化部（６３）および密度誤差演算判定部（６４）を有する。また、密度校正部（５１）では、計算後すぐにパラメータ（２８）を更新しているが、密度誤差診断部（６１）は、密度変動Δρ（２０１ｃ）により更新の判断を行う。

初期化判定部（６２）は、密度校正完了信号（１６０）および密度診断設定値（２０２）より、実行する処理を選択する。このとき、初期化判定部（６２）は、初期化が必要であるときは、密度誤差初期化部（６３）を実行するために、初期化信号（２０３）をセットする。一方、初期化判定部（６２）は、初期化が必要でない場合は、密度誤差演算判定部（６４）を実行するために、演算判定信号（２０４）をセットする。

密度誤差初期化部（６３）は、密度診断設定値（２０２）および密度診断結果（２０１）の初期化を行う。そして、密度誤差初期化部（６３）は、処理終了時に密度校正完了信号（１６０）をリセットし、密度診断完了信号（２１０）をセットする。

密度誤差演算判定部（６４）は、密度診断結果（２０１）を更新し、パラメータ（２８）の密度校正係数を更新する。そして、密度誤差演算判定部（６４）は、処理終了時に密度校正完了信号（１６０）をリセットし、密度診断完了信号（２１０）をセットする。

（３－２－３．初期化判定処理）
図８を用いて、密度誤差診断部（６１）の初期化判定部（６２）による初期化判定処理について説明する。図８は、実施形態に係る密度誤差診断処理１の一例を示す図である。図８に示すように、初期化判定部（６２）は、密度校正完了信号（１６０）がセットされたときに処理を実行する。また、初期化判定部（６２）は、密度診断設定値（２０２）として、初期係数Ｃｄ０（２０２ａ）、初期係数ｆａ０（２０２ｂ）、初期化実行命令（２０２ｕ）および初期日時（２０２ｘ）をもとに、初期化信号（２０３）および演算判定信号（２０４）を出力する。なお、初期化判定処理の流れについては、〔５．校正装置（３）および診断装置（２）の各処理の流れ〕で後述する。

（３－２－４．密度誤差初期化処理）
図９を用いて、密度誤差診断部（６１）の密度誤差初期化部（６３）による密度誤差初期化処理について説明する。図９は、実施形態に係る密度誤差診断処理２の一例を示す図である。

密度誤差初期化部（６３）は、以下に示すように、密度校正結果（１５１）をパラメータ（２８）に保存する。すなわち、密度誤差初期化部（６３）は、校正日時（１５１ｘ）の値を密度校正日時（２８ｎ）に代入し、駆動時間（１５１ｙ）の値を密度校正駆動時間（２８ｏ）に代入し、積算流量（１５１ｚ）の値を密度校正積算流量（２８ｐ）に代入し、密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）の値を密度測定係数Ｃｄ（２８ｋ）に代入し、密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）の値を密度測定係数ｆａ（２８ｌ）に代入する。

密度誤差初期化部（６３）は、以下に示すように、密度校正結果（１５１）を用いて、密度診断設定値（２０２）の初期値を設定する。すなわち、密度誤差初期化部（６３）は、校正日時（１５１ｘ）の値を初期日時（２０２ｘ）に代入し、駆動時間（１５１ｙ）の値を初期駆動時間（２０２ｙ）に代入し、積算流量（１５１ｚ）の値を初期積算流量（２０２ｚ）に代入し、密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）の値を初期係数Ｃｄ０（２０２ａ）に代入し、密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）の値を初期係数ｆａ０（２０２ｂ）に代入する。また、密度誤差初期化部（６３）は、初期化実行命令を（２０２ｕ）リセットする。

密度誤差初期化部（６３）は、以下に示すように、密度診断結果（２０１）を初期化する。すなわち、密度誤差初期化部（６３）は、校正日時（１５１ｘ）の値を診断日時（２０１ｘ）に代入し、駆動時間（１５１ｙ）の値を駆動時間（２０１ｙ）に代入し、積算流量（１５１ｚ）の値を積算流量（２０１ｚ）に代入し、密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）の値を密度測定係数Ｃｄ（２０１ａ）に代入し、密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）の値を密度測定係数ｆａ（２０１ｂ）に代入する。また、密度誤差初期化部（６３）は、密度変動Δρ（２０１ｃ）に数値０．０を設定し、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）に数値０．０を設定し、係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）に数値１．０を設定し、係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）に数値１．０を設定する。また、密度誤差初期化部（６３）は、密度誤差異常（２０１ｈ）をリセットし、係数変化率ａＣｄ異常（２０１ｉ）をリセットし、係数変化率ａｆａ異常（２０１ｊ）をリセットする。そして、密度誤差初期化部（６３）は、初期化フラグ（２０１ｔ）をセットし、密度診断結果（２０１）を初期化したことを示す。また、密度誤差初期化部（６３）は、更新フラグ（２０１ｓ）をセットし、密度診断結果（２０１）を更新したことを示す。

密度誤差初期化部（６３）は、密度校正完了信号（１６０）をリセットし、密度校正処理が次回に実行されるまで待つ。また、密度誤差初期化部（６３）は、密度診断完了信号（２１０）をセットする。

（３－２－５．密度誤差演算判定処理）
図１０を用いて、密度誤差診断部（６１）の密度誤差演算判定部（６４）による密度誤差演算判定処理について説明する。図１０は、実施形態に係る密度誤差診断処理３の一例を示す図である。図１０に示すように、密度誤差演算判定部（６４）は、密度誤差演算部（６５）、密度誤差比較器１（６６）、係数選択器（６７）および密度誤差比較器２（６８ａ、６８ｂ、６８ｃ）を有する。

密度誤差演算部（６５）は、以下に示すように、密度測定係数の変化から密度診断結果（２０１）を算出する。すなわち、密度誤差演算部（６５）は、上述した（２７）式を用いて密度変動Δρ（２０１ｃ）を算出し、上述した（２９）式を用いて密度誤差Δρ０（２０１ｄ）を算出し、上述した（３１）式を用いて係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）を算出し、上述した（３２）式を用いて係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）を算出する。

密度誤差比較器１（６６）は、上述した（２８）式を用いて、密度変動Δρ（２０１ｃ）の絶対値と密度変動許容値（２０２ｄ）とを比較する。このとき、密度誤差比較器１（６６）は、密度変動Δρ（２０１ｃ）の絶対値が密度変動許容値（２０２ｄ）より大きい場合は、係数選択信号（２０５）をセットする。一方、密度誤差比較器１（６６）は、密度変動Δρ（２０１ｃ）の絶対値が密度変動許容値（２０２ｄ）以下の場合は、係数選択信号（２０５）をリセットする。

係数選択器（６７）は、係数選択信号（２０５）がセットされているかを判定し、係数選択信号（２０５）がセットされている場合は、密度校正結果（１５１）をパラメータ（２８）に設定する。すなわち、係数選択器（６７）は、校正日時（１５１ｘ）の値を密度校正日時（２８ｎ）に代入し、駆動時間（１５１ｙ）の値を密度校正駆動時間（２８ｏ）に代入し、積算流量（１５１ｚ）の値を密度校正積算流量（２８ｐ）に代入し、密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）の値を密度測定係数Ｃｄ（２８ｋ）に代入し、密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）の値を密度測定係数ｆａ（２８ｌ）に代入する。

密度誤差比較器２（６８ａ、６８ｂ、６８ｃ）は、以下に示すような処理を実行する。すなわち、密度誤差比較器２（６８ａ）は、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）の変化と密度誤差警報値（２０２ｈ）とを比較し、上述した（３０）式を用いて密度誤差異常（２０１ｈ）を設定する。また、密度誤差比較器２（６８ｂ）は、係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）の変化と係数変化率ａＣｄ許容値（２０２ｉ）とを比較し、上述した（３３）式を用いて係数変化率ａＣｄ異常（２０１ｉ）を設定する。また、密度誤差比較器２（６８ｃ）は、係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）の変化と係数変化率ａｆａ許容値（２０２ｊ）とを比較し、上述した（３４）式を用いて係数変化率ａｆａ異常（２０１ｊ）を設定する。

密度誤差初期化部（６３）は、初期化フラグ（２０１ｔ）をリセットし、初期化されていないことを示す。また、密度誤差初期化部（６３）は、更新フラグ（２０１ｓ）をセットし、密度診断結果（２０１）を更新したことを示す。また、密度誤差初期化部（６３）は、密度校正完了信号（１６０）をリセットし、密度校正処理が次回に実行されるまで待つ。また、密度誤差初期化部（６３）は、密度診断完了信号（２１０）をセットする。

（３－３．肉厚剛性診断処理）
図１１～図１６および数式を用いて、実施形態に係る診断装置（２）の肉厚剛性診断部（７０）が実行する肉厚診断処理について説明する。以下では、肉厚剛性診断処理の理論式を説明した上で、肉厚剛性診断処理全体の処理、初期化判定処理、肉厚剛性診断初期化処理、肉厚剛性演算処理、肉厚剛性変化初期化処理、肉厚剛性変化判定処理の順に説明し、最後に密度校正結果（１５１）を用いた肉厚剛性診断処理について説明する。

（３－３－１．肉厚剛性診断処理の理論式）
以下では、肉厚剛性診断処理の理論式について説明する。まず、断面が円管で、外径Ｄ、内径ｄの振動管を考える。振動管の密度をρｕ、振動管の長さをｌｕ、振動管の本数をｍとすると、振動管自体の質量Ｍｕは、下記（３５）式で表される。

振動管の肉厚ｔは、下記（３６）式となる。

振動管の内容積Ｖは、下記（３７）式となる。

上述した（１１）式より係数Ｃｄを計算すると、下記（３８）式となる。

上記（３８）式において、第１項Ｃｄａは、振動管の質量と内容積による項目で、断面の形状と材質に依存する。また、第２項Ｃｄｂは、付属品の質量Ｍｕと振動管の内容積による項目を示す。すなわち、付属品が重いほどＣｄが大きくなることを示す。

コリオリ質量流量計（１）は先端に行くほど振幅が大きく、固定点からの距離により運動エネルギーが異なり、遠い位置の質量ほど振動への影響が大きい。正確な議論をするためには、等価質量を考える必要がある。上記（３８）式において、係数Ｃｄの第１項Ｃｄａは、振動管の形状が変化しなければ、位置の影響を受けない。また、第２項Ｃｄｂは、位置の影響を受ける。振動管長さｌｕと付属品の質量Ｍｄは、等価質量の考えを入れた値となる。

腐食等により、振動管の内径ｄが一様に増大して内径ｄｃとなった場合を考える。変化後の係数Ｃｄｃは、下記（３９）式となる。

コリオリ質量流量計（１）の振動状況が変わらなければ、等価質量に変化がなく、振動管長さｌｕと付属品の質量Ｍｄには変化が生じない。

変化後の係数Ｃｄｃと剛性Ｋｃとの関係は、下記（４０）式となる。密度ρａの物質を測定したときの周波数をｆａｃとする。

内径ｄｃにより、振動管の内容積Ｖｃを求めると、下記（４１）式となる。

内径が変化した場合、再度校正を行い、係数Ｃｄｃと周波数ｆａｃを更新することで測定誤差を無くすことができる。

上記（３８）式および（３９）式より、変化後の振動管（１１）の内径ｄｃ（３０１ｃ）を求めると、下記（４２）式となる。初期状態での密度測定係数Ｃｄを、初期係数Ｃｄ０（３０２ａ）とする。初期状態での振動管（１１）の内径ｄｃを初期内径ｄ０（３０２ｃ）とする。振動管密度ρｕ（３０３ｂ）は変わらないとする。変化後の密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）と初期係数Ｃｄ０（３０２ａ）とから、変化後の振動管（１１）の内径ｄｃ（３０１ｃ）を計算すると、下記（４２）式となる。

振動管（１１）の肉厚ｔｃ（３０１ｄ）は、下記（４３）式で求められる。

肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）は、下記（４４）式となる。

肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）は、下記（４５）式となる。肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）は、変化がない場合は１となる。１を引いて、変化分だけを計算することもできる。

初期状態の密度測定係数ｆａを、初期係数ｆａ０（３０２ｂ）とする。初期状態からの振動管（１１）の剛性変化率ａＫは、上述した（１４）および上記（４０）式から、下記（４６）式で計算できる。剛性Ｋ０は初期剛性を示す。剛性変化率ａＫは、変化がない場合は１となる。１を引いて、変化分だけを計算することもできる。剛性変化率ａＫを、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）と表記する。

ここで、前回の校正時の振動管（１１）の内径ｄを用いれば、前回からの変化を計算できる。

肉厚変化と剛性変化から肉厚剛性診断を行う。振動管（１１）の内径ｄｃ（３０１ｃ）と初期内径ｄ０（３０２ｃ）の差の絶対値が、内径許容値（３０２ｋ）より大きいかを判定する。係数ｄｃｌｉｍは、内径許容値（３０２ｋ）を示す。大きい場合に内径異常（３０１ｋ）をセットする。上限と下限を決めて判定することもできる。このとき、条件式は、下記（４７）式となる。

振動管（１１）の肉厚ｔｃ（３０１ｄ）と初期肉厚との差の絶対値が、肉厚許容値（３０２ｌ）より大きいかを判定する。係数ｔｃｌｉｍは、肉厚許容値（３０２ｌ）を示す。大きい場合に肉厚異常（３０１ｌ）をセットする。上限と下限を決めて判定することもできる。このとき、条件式は、下記（４８）式となる。

肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）の絶対値が、肉厚変化許容値（３０２ｍ）より大きいかを判定する。係数ｄｔｌｉｍは、肉厚変化許容値（３０２ｍ）を示す。大きい場合に肉厚変化異常（３０１ｍ）をセットする。上限と下限を決めて判定することもできる。このとき、条件式は、下記（４９）式となる。

肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）が、肉厚変化率許容値（３０２ｎ）より大きいかを判定する。係数ｒｔｌｉｍは、肉厚変化率許容値（３０２ｎ）を示す。大きい場合に肉厚変化率異常（３０１ｎ）をセットする。肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）は、変化がない場合に数値１．０となる。上限と下限を決めて判定することもできる。このとき、条件式は、下記（５０）式となる。

剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）が、剛性変化率許容値（３０２ｏ）より大きいかを判定する。係数ａＫｌｉｍは、剛性変化率許容値（３０２ｏ）を示す。大きい場合に剛性変化率異常（３０１ｏ）をセットする。剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）は、変化がない場合に数値１．０となる。上限と下限を決めて判定することもできる。このとき、条件式は、下記（５１）式となる。

肉厚と剛性の変化から、腐食判定が可能である。上記で求めた７パラメータのうち、複数を用いる。ここでは、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）と剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）を使った判定式の例を、下記（５２）式に示す。腐食が発生したときには、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）が１より小さくなる。剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）が１より小さくなる。

このとき、判定値ｒｔｃｏｒおよび判定値ａＫｃｏｒを、腐食判定値（３０２ｐ）とする。

肉厚と剛性の変化から、付着判定が可能である。肉厚が増加し、剛性の変化がない場合は、付着が考えられる。振動管内部に付着がある場合、付着部分の体積が、測定流体から付着物に置き換わる。付着物は空気より重いため、質量分だけ、密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）が低下し、密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）が増加する。流体で満たされている場合は、流体と付着物の密度差に影響される。やわらかい物質が付着した場合は、剛性に影響がない。

上記で求めた７パラメータのうち、複数を用いる。ここでは、係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）と係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）を使った判定式の例を、下記（５３）式に示す。

このとき、判定値ａＣｄａｄおよび判定値ａｆａａｄを、付着判定値（３０２ｑ）とする。

上述してきた理論式は、断面形状が円形の管についてのものであるが、楕円や矩形等の管でも式の展開が可能である。

（３－３－２．肉厚剛性診断処理全体の処理）
図１１を用いて、肉厚剛性診断処理全体の処理について説明する。図１１は、実施形態に係る肉厚剛性診断処理全体の処理の一例を示す図である。以下では、診断装置（２）の肉厚剛性診断部（７０）の構成について説明する。

図１１に示すように、肉厚剛性診断部（７０）は、診断制御部（６０）の一部であり、密度誤差診断処理の実行後、密度誤差診断部（６１）から得られた密度診断結果（２０１）を使って肉厚と剛性の診断を行う。また、肉厚剛性診断部（７０）は、初期化判定部（７１）、肉厚剛性診断初期化部（７２）、肉厚剛性演算部（７３）、肉厚剛性変化初期化部（７４）および肉厚剛性変化判定部（７５）を有し、それぞれ、初期化判定処理、肉厚剛性診断初期化処理、肉厚剛性演算処理、肉厚剛性変化初期化処理および肉厚剛性変化判定処理を実行する。

肉厚剛性診断部（７０）は、密度診断完了信号（２１０）がセットされたときに処理を実行する。また、肉厚剛性診断部（７０）は、処理終了時に密度診断完了信号（２１０）をリセットし、次の密度校正の実施を待つ。また、肉厚剛性診断部（７０）は、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットする。ここで、肉厚剛性診断完了信号（３１０）は、肉厚剛性診断部（７０）が行われたことを示す。また、後述する流量誤差診断簡易補正部（８０）は、肉厚剛性診断部（７０）により得られた剛性及び肉厚の変化を使用する。肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットすることにより、流量誤差診断簡易補正部（８０）は、処理を実行する。

初期化判定部（７１）は、肉厚剛性診断設定値（３０２）および密度診断完了信号（２１０）により、実行すべき処理を判断し、初期化信号（３０６）、診断初期化信号（３０７）または診断実行信号（３０８）を設定する。初期化判定部（７１）は、初回の実行時には、初期化信号（３０６）をセットし、肉厚剛性診断初期化処理が実行される。初期化判定部（７１）は、基準データの再設定が必要である場合は、診断初期化信号（３０７）をセットし、肉厚剛性演算処理および肉厚剛性変化初期化処理が実行される。初期化判定部（７１）は、通常の診断時は、診断実行信号（３０８）をセットし、肉厚剛性演算処理および肉厚剛性変化判定処理が実行される。

肉厚剛性診断初期化部（７２）は、関連パラメータの初期化処理を実行する。肉厚剛性診断初期化部（７２）は、初期化信号（３０６）がセットされた場合のみ初期化処理を実行する。肉厚剛性診断初期化部（７２）は、振動管設計値（３０３）および密度診断結果（２０１）により、肉厚剛性診断設定値（３０２）および肉厚剛性診断結果（３０１）を初期化する。また、肉厚剛性診断初期化部（７２）は、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットし、密度診断完了信号（２１０）をリセットする。

肉厚剛性演算部（７３）は、肉厚剛性変化率を算出し、肉厚剛性診断結果（３０１）に出力する処理を実行する。このとき、肉厚剛性演算部（７３）は、密度診断結果（２０１）、肉厚剛性診断設定値（３０２）および振動管設計値（３０３）を用いる。また、肉厚剛性演算部（７３）は、診断初期化信号（３０７）または診断実行信号（３０８）がセットされた場合に処理を実行する。

肉厚剛性変化初期化部（７４）は、初期値の再設定を行う処理を実行する。肉厚剛性変化初期化部（７４）は、肉厚剛性演算部（７３）によって得られた肉厚剛性診断結果（３０１）を初期値に設定する。肉厚剛性変化初期化部（７４）は、診断初期化信号（３０７）がセットされた場合に処理を実行する。肉厚剛性変化初期化部（７４）は、肉厚剛性診断結果（３０１）、密度診断結果（２０１）および肉厚剛性診断設定値（３０２）により、肉厚剛性診断設定値（３０２）および肉厚剛性診断結果（３０１）を初期化する。また、肉厚剛性変化初期化部（７４）は、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットし、密度診断完了信号（２１０）をリセットする。

肉厚剛性変化判定部（７５）は、肉厚剛性診断結果（３０１）を設定する処理を実行する。このとき、肉厚剛性変化初期化部（７４）は、肉厚剛性診断結果（３０１）および肉厚剛性診断設定値（３０２）を用いる。肉厚剛性変化初期化部（７４）は、診断実行信号（３０８）がセットされた場合のみ処理を実行する。また、肉厚剛性変化初期化部（７４）は、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットし、密度診断完了信号（２１０）をリセットする。

上述してきたように、肉厚剛性診断部（７０）は、肉厚変化および剛性変化の診断処理を実行することができ、どちらか一方のみを実行することもできる。

（３－３－３．初期化判定処理）
図１２を用いて、肉厚剛性診断部（７０）の初期化判定部（７１）による初期化判定処理について説明する。図１２は、実施形態に係る肉厚剛性診断処理１の一例を示す図である。図１２に示すように、初期化判定部（７１）は、密度診断完了信号（２１０）がセットされたときに処理を実行する。また、初期化判定部（７１）は、肉厚剛性診断設定値（３０２）として、初期内径ｄ０（３０２ｃ）、初期日時（３０２ｘ）および初期化実行命令（３０２ｕ）をもとに、初期化信号（３０６）、診断初期化信号（３０７）および診断実行信号（３０８）を出力する。なお、初期化判定処理の流れについては、〔５．校正装置（３）および診断装置（２）の各処理の流れ〕で後述する。

（３－３－４．肉厚剛性診断初期化処理）
図１３を用いて、肉厚剛性診断部（７０）の肉厚剛性診断初期化部（７２）による肉厚診断初期化処理について説明する。図１３は、実施形態に係る肉厚剛性診断処理２の一例を示す図である。図１３に示すように、肉厚剛性診断初期化部（７２）は、肉厚計算部（７６）を有する。

肉厚剛性診断初期化部（７２）は、以下に示すように、肉厚剛性診断設定値（３０２）に初期値を設定する。すなわち、密度測定係数Ｃｄ（２０１ａ）の値を初期係数Ｃｄ０（３０２ａ）に代入し、密度測定係数ｆａ（２０１ｂ）の値を初期係数ｆａ０（３０２ｂ）に代入し、診断日時（２０１ｘ）の値を初期日時（３０２ｘ）に代入し、駆動時間（２０１ｙ）の値を初期駆動時間（３０２ｙ）に代入し、積算流量（２０１ｚ）の値を初期積算流量（３０２ｚ）に代入する。また、肉厚剛性診断初期化部（７２）は、振動管内径ｄ（３０３ｃ）の値を初期内径ｄ０（３０２ｃ）に代入する。ここで、初回は肉厚の変化がない状態である。また、肉厚剛性診断初期化部（７２）は、初期化実行命令（３０２ｕ）をリセットする。

肉厚剛性診断初期化部（７２）は、以下に示すように、肉厚剛性診断結果（３０１）を初期化する。すなわち、診断日時（２０１ｘ）の値を診断日時（３０１ｘ）に代入し、駆動時間（２０１ｙ）の値を駆動時間（３０１ｙ）に代入し、積算流量（２０１ｚ）の値を積算流量（３０１ｚ）に代入し、振動管内径ｄ（３０３ｃ）を内径ｄｃ（３０１ｃ）に設定する。また、肉厚剛性診断初期化部（７２）は、肉厚計算部（７６）によって初期状態の肉厚を計算し、肉厚ｔｃ（３０１ｄ）に設定する。また、肉厚剛性診断初期化部（７２）は、振動管内径ｄ（３０３ｃ）と振動管外径Ｄ（３０３ａ）とを、上述した（３６）式に代入して、肉厚ｔを求め、肉厚ｔｃ（３０１ｄ）に代入する。さらに、肉厚剛性診断初期化部（７２）は、数値０．０を肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）に設定し、数値０．０を肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）に設定し、数値１．０を剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）に設定し、内径異常（３０１ｋ）をリセットし、肉厚異常（３０１ｌ）をリセットし、肉厚変化異常（３０１ｍ）をリセットし、肉厚変化率異常（３０１ｎ）をリセットし、剛性変化率異常（３０１ｏ）をリセットし、腐食異常（３０１ｐ）をリセットし、付着異常（３０１ｑ）をリセットする。また、肉厚剛性診断初期化部（７２）は、初期化フラグ（３０１ｔ）をセットし、肉厚剛性診断結果（３０１）を初期化したことを示す。また、肉厚剛性診断初期化部（７２）は、更新フラグ（３０１ｓ）をセットし、肉厚剛性診断結果（３０１）を更新したことを示す。

密度診断完了信号（２１０）をリセットし、密度誤差診断処理が次回に実行されるまで待つ。また、肉厚剛性診断初期化部（７２）は、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットし、肉厚剛性診断処理が終了したことを示す。

（３－３－５．肉厚剛性演算処理）
図１４を用いて、肉厚剛性診断部（７０）の肉厚剛性演算部（７３）による肉厚剛性演算処理について説明する。図１４は、実施形態に係る肉厚診断処理３の一例を示す図である。図１４に示すように、肉厚剛性演算部（７３）は、肉厚演算部（７７）および剛性演算部（７８）を有する。

肉厚剛性演算部（７３）は、以下に示すように、肉厚演算部（７７）によって肉厚変化率を計算する。すなわち、肉厚演算部（７７）は、上述した（４２）式～（４５）式を使って、肉厚剛性診断結果（３０１）を計算する。このとき、肉厚演算部（７７）は、密度診断結果（２０１）、肉厚剛性診断設定値（３０２）、振動管設計値（３０３）を使用し、内径ｄｃ（３０１ｃ）、肉厚ｔｃ（３０１ｄ）、肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）および肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）を計算する。なお、肉厚演算部（７７）は、上記の肉厚剛性診断結果（３０１）のうち、一部のみを計算することもできる。

肉厚剛性演算部（７３）は、以下に示すように、剛性演算部（７８）によって剛性変化率を計算する。すなわち、肉厚演算部（７７）は、上述した（４６）式を使って、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）を計算する。このとき、肉厚剛性演算部（７３）は、密度診断結果（２０１）、肉厚剛性診断設定値（３０２）および振動管設計値（３０３）を用いる。

肉厚剛性演算部（７３）は、以下に示すように、肉厚剛性診断結果（３０１）の診断情報を設定する。すなわち、肉厚剛性演算部（７３）は、診断日時（２０１ｘ）の値を診断日時（３０１ｘ）に代入し、駆動時間（２０１ｙ）の値を駆動時間（３０１ｙ）に代入し、積算流量（２０１ｚ）の値を積算流量（３０１ｚ）に代入する。

（３－３－６．肉厚剛性変化初期化処理）
図１５を用いて、肉厚剛性診断部（７０）の肉厚剛性変化初期化部（７４）による肉厚剛性変化初期化処理について説明する。図１５は、実施形態に係る肉厚剛性診断処理４の一例を示す図である。

肉厚剛性変化初期化部（７４）は、以下に示すように、肉厚剛性診断設定値（３０２）の初期値を設定する。すなわち、肉厚剛性変化初期化部（７４）は、密度測定係数Ｃｄ（２０１ａ）の値を初期係数Ｃｄ０（３０２ａ）に代入し、密度測定係数ｆａ（２０１ｂ）の値を初期係数ｆａ０（３０２ｂ）に代入し、診断日時（２０１ｘ）の値を初期日時（３０２ｘ）に代入し、駆動時間（２０１ｙ）の値を初期駆動時間（３０２ｙ）に代入し、積算流量（２０１ｚ）の値を初期積算流量（３０２ｚ）に代入し、内径ｄｃ（３０１ｃ）の値を初期内径ｄ０（３０２ｃ）に代入する。また、肉厚剛性変化初期化部（７４）は、初期化実行命令（３０２ｕ）をリセットする。

肉厚剛性変化初期化部（７４）は、以下に示すように、肉厚剛性診断結果（３０１）を初期化する。すなわち、肉厚剛性変化初期化部（７４）は、診断日時（２０１ｘ）の値を診断日時（３０１ｘ）に代入し、駆動時間（２０１ｙ）の値を駆動時間（３０１ｙ）に代入し、積算流量（２０１ｚ）の値を積算流量（３０１ｚ）に代入し、数値０．０を肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）に設定し、数値１．０を肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）に設定し、数値１．０を剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）に設定し、内径異常（３０１ｋ）をリセットし、肉厚異常（３０１ｌ）をリセットし、肉厚変化異常（３０１ｍ）をリセットし、肉厚変化率異常（３０１ｎ）をリセットし、剛性変化率異常（３０１ｏ）をリセットし、腐食異常（３０１ｐ）をリセットし、付着異常（３０１ｑ）をリセットする。

肉厚剛性変化初期化部（７４）は、初期化フラグ（３０１ｔ）をセットし、肉厚剛性診断結果（３０１）を初期化したことを示す。また、更新フラグ（３０１ｓ）をセットし、肉厚剛性診断結果（３０１）を更新したことを示す。また、肉厚剛性変化初期化部（７４）は、密度診断完了信号（２１０）をリセットし、密度誤差診断処理が次回に実行されるまで待つ。また、肉厚剛性変化初期化部（７４）は、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットし、肉厚剛性診断処理が終了したことを示す。

（３－３－７．肉厚剛性変化判定処理）
図１６を用いて、肉厚剛性診断部（７０）の肉厚剛性変化判定部（７５）による肉厚剛性変化判定処理について説明する。図１６は、実施形態に係る肉厚剛性診断処理５の一例を示す図である。図１６に示すように、肉厚剛性変化判定部（７５）は、異常判定部（７９）を有する。

肉厚剛性変化判定部（７５）は、以下に示すように、異常判定機能（７９）によって、肉厚剛性診断結果（３０１）および密度診断結果（２０１）と、肉厚剛性診断設定値（３０２）とを比較し、肉厚剛性診断結果（３０１）内の診断異常情報を設定し、診断異常を判定する。すなわち、肉厚剛性変化判定部（７５）は、肉厚剛性診断結果（３０１）の肉厚剛性変化率、密度診断結果（２０１）の係数変化率、肉厚剛性診断設定値（３０２）の許容値を比較し異常を判定する。

肉厚剛性変化判定部（７５）は、上述した（４７）式を用いて、内径ｄｃ（３０１ｃ）と、内径許容値（３０２ｋ）とを比較する。このとき、許容値外であれば、肉厚剛性変化判定部（７５）は、内径異常（３０１ｋ）をセットする。一方、許容値内であれば、肉厚剛性変化判定部（７５）は、内径異常（３０１ｋ）をリセットする。なお、腐食の場合は、内径ｄｃ（３０１ｃ）が大きくなる。

また、肉厚剛性変化判定部（７５）は、上述した（４８）式を用いて、肉厚ｔｃ（３０１ｄ）と肉厚許容値（３０２ｌ）とを比較する。このとき、許容値外であれば、肉厚剛性変化判定部（７５）は、肉厚異常（３０１ｌ）をセットする。一方、許容値内であれば、肉厚剛性変化判定部（７５）は、肉厚異常（３０１ｌ）をリセットする。なお、腐食の場合は、肉厚ｔｃ（３０１ｄ）が小さくなる。

また、肉厚剛性変化判定部（７５）は、上述した（４９）式を用いて、肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）と肉厚変化許容値（３０２ｍ）とを比較する。このとき、許容値外であれば、肉厚剛性変化判定部（７５）は、肉厚変化異常（３０１ｍ）をセットする。一方、許容値内であれば、肉厚剛性変化判定部（７５）は、肉厚変化異常（３０１ｍ）をリセットする。なお、腐食の場合は、肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）がマイナスになる。

また、肉厚剛性変化判定部（７５）は、上述した（５０）式を用いて、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）と肉厚変化率許容値（３０２ｎ）とを比較する。このとき、許容値外であれば、肉厚剛性変化判定部（７５）は、肉厚変化率異常（３０１ｎ）をセットする。一方、許容値内であれば、肉厚剛性変化判定部（７５）は、肉厚変化率異常（３０１ｎ）をリセットする。なお、腐食の場合は、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）が１より小さくなる。

また、肉厚剛性変化判定部（７５）は、上述した（５１）式を用いて、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）と剛性変化率許容値（３０２ｏ）とを比較する。このとき、許容値外であれば、肉厚剛性変化判定部（７５）は、剛性変化率異常（３０１ｏ）をセットする。一方、許容値内であれば、肉厚剛性変化判定部（７５）は、剛性変化率異常（３０１ｏ）をリセットする。なお、腐食の場合は、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）が１より小さくなる。

さらに、肉厚剛性変化判定部（７５）は、腐食判定を行う。このとき、上述した（５２）式が成立する場合は、肉厚剛性変化判定部（７５）は、腐食異常（３０１ｐ）をセットする。一方、上述した（５２）式が成立しない場合は、肉厚剛性変化判定部（７５）は、腐食異常（３０１ｐ）をリセットする。

また、肉厚剛性変化判定部（７５）は、付着判定を行う。このとき、上述した（５３）式が成立する場合は、肉厚剛性変化判定部（７５）は、付着異常（３０１ｑ）をセットする。一方、上述した（５３）式が成立しない場合は、付着異常（３０１ｑ）をリセットする。

肉厚剛性変化判定部（７５）は、初期化フラグ（３０１ｔ）をリセットし、肉厚剛性診断結果（３０１）が初期化されていないことを示す。また、肉厚剛性変化判定部（７５）は、更新フラグ（３０１ｓ）をセットし、肉厚剛性診断結果（３０１）を更新したことを示す。

肉厚剛性変化判定部（７５）は、密度診断完了信号（２１０）をリセットし、密度誤差診断処理が次回に実行されるまで待つ。また、肉厚剛性変化判定部（７５）は、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットし、肉厚剛性診断処理が終了したことを示す。

（３－３－８．密度校正結果（１５１）を用いた肉厚剛性診断処理）
上述してきたように、肉厚剛性診断部（７０）は、密度誤差診断部（６１）によって生成された密度診断結果（２０１）を用いて肉厚剛性診断結果（３０１）を生成する。一方、肉厚剛性診断部（７０）は、密度校正結果（１５１）を用いて肉厚剛性診断結果を生成することもできる。以下では、密度誤差診断処理を介さない肉厚剛性診断処理について説明する。

肉厚剛性診断部（７０）は、密度診断結果（２０１）である密度測定係数Ｃｄ（２０１ａ）に代えて、密度校正結果（１５１）である密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）を取得する。また、肉厚剛性診断部（７０）は、密度診断結果（２０１）である密度測定係数ｆａ（２０１ｂ）に代えて、密度校正結果（１５１）である密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）を取得する。

肉厚剛性診断部（７０）は、初期係数Ｃｄ０（２０２ａ）と密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）から初期値との比として算出された密度診断結果（２０１）である係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）に代えて、初期係数Ｃｄ０（３０２ａ）と密度校正結果（１５１）である密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）とを用いて係数変化率ａＣｄを算出する。

肉厚剛性診断部（７０）は、初期係数Ｃｄ０（２０２ａ）と密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）から初期値との比として算出された密度診断結果（２０１）である係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）に代えて、初期係数ｆａ０（３０２ｂ）と密度校正結果（１５１）である密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）とを用いて係数変化率ａｆａを算出する。

肉厚剛性診断部（７０）は、密度診断結果（２０１）である診断日時（２０１ｘ）に代えて、密度校正結果（１５１）である校正日時（１５１ｘ）を取得する。また、肉厚剛性診断部（７０）は、密度診断結果（２０１）である駆動時間（２０１ｙ）に代えて、密度校正結果（１５１）である駆動時間（１５１ｙ）を取得する。また、肉厚剛性診断部（７０）は、密度診断結果（２０１）である積算流量（２０１ｚ）に代えて、密度校正結果（１５１）である積算流量（１５１ｚ）を取得する。

肉厚剛性診断部（７０）は、密度診断完了信号（２１０）に代えて、密度校正完了信号（１６０）と並列に密度校正完了信号２（１６１）を生成する。

（３－４．流量誤差診断・簡易補正処理）
図１７～図２１および数式を用いて、実施形態に係る診断装置（２）の流量誤差診断簡易補正部（８０）が実行する流量誤差診断・簡易補正処理について説明する。以下では、流量誤差診断・簡易補正処理の理論式を説明した上で、流量誤差診断・簡易補正処理全体の処理、初期化判定処理、流量初期化処理、剛性肉厚初期化処理、流量補正係数更新処理の順に説明する。

（３－４－１．流量誤差診断・簡易補正処理の理論式）
以下では、流量誤差診断・簡易補正処理の理論式について説明する。まず、密度校正結果から、下記（５４）式に含まれる流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を求め、質量流量を簡易補正する。

上記（５４）式において、流量測定係数Ｃｑは、流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）を示し、位相差θ０は、位相差θ（２８ｄ）を示し、周波数ｆは、周波数ｆ（２８ｃ）を示し、質量流量Ｑｍｃは、簡易補正後の質量流量Ｑｍ（２８ａ）を示し、補正係数ｆｋの値は、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を示す。

上述した（２）式に示す質量流量測定式の流量測定係数Ｃｑは、振動管のねじれ振動の剛性（ばね定数）ｋｓと、曲げ振動とねじれ振動の共振周波数の比を含んでいる。診断装置（２）が測定する剛性変化率は、振動方向の剛性であるが、ねじれ振動の剛性と似た変動をすると考えられる。肉厚変化は共振周波数の変化に関連する。診断装置（２）によって得られた変化率より補正係数ｆｋを求めることで、質量流量の簡易補正が可能となる。

上述してきた診断処理では、密度測定係数Ｃｄと密度測定係数ｆａから、剛性および肉厚を求める。ここで、密度測定係数Ｃｄと密度測定係数ｆａは、振動管の情報を含んでいる。そのため、密度測定係数自体または密度測定係数の変化率を使うことで、質量流量の簡易補正が可能となる。

剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）、密度測定係数の係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）および密度測定係数の係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）を使った流量補正係数ｆｋｑの計算式を、下記（５５）式に示す。ここで、流量補正係数ｆｋｑを流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）に代入することで簡易補正を行う。

上記（５５）式において、係数Ｃｋｘは、流量補正係数Ｃｋｘ（２８ｖ）を示し、コリオリ質量流量計（１）の検出部（１０）の特性に依存する値である。流量補正係数ｆｋｑの補正式は、近似直線または近似曲線でもよい。すべての変化率を使用しなくてもよい。使用するパラメータと補正係数は、重回帰分析、ＡＩ（Artificial Intelligence）による推論等を使い決定する。流量補正係数Ｃｋｘ（２８ｖ）は、検出器に依存するので、あらかじめ検出器ごとに設定しておく。実際に振動管を腐食させる手法、シミュレーションで腐食の影響を計算する手法等がある。

上記（５５）式では、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）を使用したが、内径ｄｃ（３０１ｃ）、肉厚ｔｃ（３０１ｄ）、肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）のいずれかによっても流量補正係数ｆｋｑの補正式を構成できる。

なお、本来の流量校正は、実際に水等を流して行う必要があり、別途装置が必要となる。密度の校正は、２つの密度が判明した流体、すなわち空気と水で測定すればよく、特別な装置を必要としない。流体を流す流量校正とは違い、誤差を伴う可能性が大きい。

質量流量校正を行うと、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）で補正していた誤差分が、流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）に吸収される。よって、質量流量校正後に、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を初期値１．０に設定する必要がある。（５５）式では、流量補正係数Ｃｋｘ（２８ｖ）は、検出部（１０）の特性に依存するため、固定である。よって、初期時または質量流量校正時には、変化率を初期化する必要がある。

各変化率は、肉厚剛性診断部（７０）内で計算される。肉厚剛性診断機能（７０）に初期化命令を出し、初期化する構成も可能であるが、流量誤差診断簡易補正機能（８０）内に初期値を記憶し、初期値からの変化率を用いた下記（５６）式を示す。

このとき、初期値として、初期剛性変化率ａＫ０（５０２ｇ）、初期肉厚変化率ｒｔ０（５０２ｆ）、初期係数変化率ａＣｄ０（５０２ａ）、初期係数変化率ａｆａ０（５０２ｂ）を用いる。

質量流量校正時には、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を初期値１．０にする。質量流量校正と密度校正が同期しているとは限らない。特に、前回の密度校正時から、剛性が変化している場合は、流量誤差が発生する。よって、流量測定係数の簡易補正の誤差を小さくするためには、質量流量校正と同じタイミングで、密度校正を行う必要がある。

流量測定係数を変更することは、流量の測定結果に不連続点を生む。流量の変動が許容範囲内であれば、測定値の連続性を優先する選択肢もある。簡易補正前の流量補正係数をｆｋ、簡易補正後の流量補正係数をｆｋｑとして、流量変動率ｒｑｄ（５０１ｃ）を定義すると、下記（５７）式となる。簡易補正前の質量流量を質量流量Ｑｍｃ、簡易補正後の質量流量を質量流量Ｑｍｃｑとする。

流量変動許容値（５０２ｈ）をｒｑｄｌｉｍとし、流量変化率ｒｑｄと比較する。流量補正係数ｆｋの置き換えの可否を判定することで、小さな変動を抑えることができる。このとき、条件式は、下記（５８）式となる。

流量変動許容比値ｒｑｄｌｉｍを０とすると、常に置き換える。流量補正係数ｆｋを更新しない場合、流量補正係数ｆｋは、前回更新した時の値を継続する。

簡易補正後の流量補正係数ｆｋｑを用いて、流量校正時からの質量流量測定の流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）を求めると、下記（５９）式となる。流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）は、流量誤差診断の判断材料となる。流量校正時の質量流量を質量流量Ｑｍとする。

流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）を、流量誤差警報値ｒｑｅｌｉｍと比較し、変動が大きくなった場合に、流量診断異常（５０１ｒ）を設定する。流量誤差警報値ｒｑｅｌｉｍは、流量誤差警報値（５０２ｒ）を示す。このとき、条件式は、下記（６０）式となる。

流量診断異常（５０１ｒ）を設定することで、使用者に装置の異常を伝えることができる。また、流量誤差率ｒｑｅを表示操作部（３０）または外部装置（３１）に表示し、係数更新の可否を入力することもできる。

上述してきた流量誤差診断・簡易補正処理には、流量誤差を監視して警報を発する診断処理と、流量補正係数ｆｋｑを更新して、密度誤差を小さくする簡易補正処理を含んでおり、一方のみを使用することも可能である。

（３－４－２．流量誤差診断・簡易補正処理全体の処理）
図１７を用いて、流量誤差診断・簡易補正処理全体の処理について説明する。図１７は、実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理全体の処理の一例を示す図である。以下では、診断装置（２）の流量誤差診断簡易補正部（８０）の構成について説明する。

図１７に示すように、流量誤差診断簡易補正部（８０）は、診断制御部（６０）の一部である。また、流量誤差診断簡易補正部（８０）は、初期化判定部（８１）、流量初期化部（８２）、剛性肉厚初期化部（８３）および流量補正係数更新部（８４）を有し、それぞれ、初期化判定処理、流量初期化処理、剛性肉厚初期化処理および流量補正係数更新処理を実行する。

流量誤差診断簡易補正部（８０）は、肉厚剛性診断完了信号（３１０）または流量校正完了信号（１２０）がセットされたときに処理を実行する。また、流量誤差診断簡易補正部（８０）は、肉厚剛性診断結果（３０１）および密度診断結果（２０１）により、流量診断結果（５０１）を更新し、パラメータ（２８）を更新する。

初期化判定部（８１）は、初期化実行信号１（５０７）、初期化実行信号２（５０８）または更新実行信号（５０９）を設定する。初期化判定部（８１）は、流量校正完了信号（１２０）、肉厚剛性診断結果（３０１）、肉厚剛性診断完了信号（３１０）および流量診断設定値（５０２）から判定する。

流量初期化部（８２）は、パラメータ（２８）、密度診断結果（２０１）および肉厚剛性診断結果（３０１）から、パラメータ（２８）、流量診断結果（５０１）および流量診断設定値（５０２）を設定し、流量校正完了信号（１２０）をリセットする。流量初期化部（８２）は、質量流量校正処理が実行されたときの初期化処理を実行する。また、流量初期化部（８２）は、初期化実行信号１（５０７）がセットされたときに処理を実行する。

剛性肉厚初期化部（８３）は、密度診断結果（２０１）および肉厚剛性診断結果（３０１）から、パラメータ（２８）、流量診断結果（５０１）および流量診断設定値（５０２）を設定し、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をリセットする。剛性肉厚初期化部（８３）は、肉厚剛性診断部（７０）が実行されたときの初期化処理を実行する。また、剛性肉厚初期化部（８３）は、初期化実行信号２（５０８）がセットされたときに処理を実行する。

流量補正係数更新部（８４）は、パラメータ（２８）、密度診断結果（２０１）、肉厚剛性診断結果（３０１）および流量診断設定値（５０２）から、パラメータ（２８）および流量診断結果（５０１）を設定し、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をリセットする。また、流量補正係数更新部（８４）は、更新実行信号（５０９）がセットされたときに処理を実行する。

（３－４－３．初期化判定処理）
図１８を用いて、初期化判定処理について説明する。流量誤差診断簡易補正部（８０）の初期化判定部（８１）による初期化判定処理について説明する。図１８は、実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理１の一例を示す図である。図１８に示すように、初期化判定部（８１）は、流量校正完了信号（１２０）または肉厚剛性診断完了信号（３１０）がセットされたときに処理を実行する。また、初期化判定部（８１）は、肉厚剛性診断結果（３０１）として、初期化フラグ（３０１ｔ）、流量診断設定値（５０２）として、初期日時（５０２ｘ）および初期化実行命令（５０２ｕ）をもとに、初期化実行信号１（５０７）、初期化実行信号２（５０８）および更新実行信号（５０９）を出力する。なお、初期化判定処理の流れについては、〔５．校正装置（３）および診断装置（２）の各処理の流れ〕で後述する。

（３－４－４．流量初期化処理）
図１９を用いて、流量誤差診断簡易補正部（８０）の流量初期化部（８２）による密度流量初期化処理について説明する。図１９は、実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理３の一例を示す図である。図１９に示すように、流量初期化部（８２）は、剛性肉厚選択部（８５）を有する。

流量初期化部（８２）は、以下に示すように、剛性肉厚選択部（８５）によって、流量診断設定値（５０２）を初期化する。すなわち、流量初期化部（８２）は、変化率の初期値を選択する。このとき、診断日時（３０１ｘ）が設定されていない場合は、流量初期化部（８２）は、初期係数変化率ａＣｄ０（５０２ａ）、初期係数変化率ａｆａ０（５０２ｂ）、初期肉厚変化率ｒｔ０（５０２ｆ）および初期剛性変化率ａＫ０（５０２ｇ）に、数値１．０を設定する。一方、診断日時（３０１ｘ）が設定されている場合は、流量初期化部（８２）は、初期係数変化率ａＣｄ０（５０２ａ）に係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）の値を代入し、初期係数変化率ａｆａ０（５０２ｂ）に係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）の値を代入し、初期肉厚変化率ｒｔ０（５０２ｆ）に肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）の値を代入し、初期剛性変化率ａＫ０（５０２ｇ）に剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）の値を代入し、初期日時（５０２ｘ）に流量校正日時（２８ｈ）の値を代入し、初期駆動時間（５０２ｙ）に流量校正駆動時間（２８ｉ）の値を代入し、初期積算流量（５０２ｚ）に流量校正積算流量（２８ｊ）の値を代入する。また、流量初期化部（８２）は、初期化実行命令（５０２ｕ）をセットし、次回の密度校正時に初期化を行う。さらに、流量初期化部（８２）は、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）に初期値１．０を設定する。

流量初期化部（８２）は、以下に示すように、流量診断結果（５０１）を初期化する。すなわち、流量初期化部（８２）は、流量補正係数ｆｋｑ（５０１ａ）に数値１．０を代入し、流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）に数値０．０を代入し、流量変動率ｒｑｄ（５０１ｃ）に数値０．０を代入し、補正日時（５０１ｘ）に流量校正日時（２８ｈ）の値を代入し、駆動時間（５０１ｙ）に流量校正駆動時間（２８ｉ）の値を代入し、積算流量（５０１ｚ）に流量校正積算流量（２８ｊ）の値を代入する。また、流量初期化部（８２）は、流量診断異常（５０１ｒ）をリセットする。また、流量初期化部（８２）は、初期化フラグ（５０１ｔ）をセットし、流量診断結果（５０１）が初期化されたことを示す。また、流量初期化部（８２）は、更新フラグ（５０１ｓ）をセットし、流量診断結果（５０１）が更新されたことを示す。さらに、流量初期化部（８２）は、流量校正完了信号（１２０）をリセットし、次回の流量校正処理の実行を待つ。

（３－４－５．剛性肉厚初期化処理）
図２０を用いて、流量誤差診断簡易補正部（８０）の剛性肉厚初期化部（８３）による剛性肉厚初期化処理について説明する。図２０は、実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理３の一例を示す図である。

剛性肉厚初期化部（８３）は、以下に示すように、流量診断設定値（５０２）を初期化する。すなわち、剛性肉厚初期化部（８３）は、初期係数変化率ａＣｄ０（５０２ａ）に係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）の値を代入し、初期係数変化率ａｆａ０（５０２ｂ）に係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）の値を代入し、初期肉厚変化率ｒｔ０（５０２ｆ）に肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）の値を代入し、初期剛性変化率ａＫ０（５０２ｇ）に剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）の値を代入し、初期日時（５０２ｘ）に診断日時（３０１ｘ）の値を代入し、初期駆動時間（５０２ｙ）に駆動時間（３０１ｙ）の値を代入し、初期積算流量（５０２ｚ）に積算流量（３０１ｚ）の値を代入する。また、剛性肉厚初期化部（８３）は、初期化実行命令（５０２ｕ）をリセットし、外部からの初期化命令を待つ。さらに、剛性肉厚初期化部（８３）は、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）に初期値１．０を設定する。

剛性肉厚初期化部（８３）は、以下に示すように、流量診断結果（５０１）を初期化する。すなわち、剛性肉厚初期化部（８３）は、流量補正係数ｆｋｑ（５０１ａ）に数値１．０を代入し、流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）に数値０．０を代入し、流量変動率ｒｑｄ（５０１ｃ）に数値０．０を代入し、補正日時（５０１ｘ）に診断日時（３０１ｘ）の値を代入し、駆動時間（５０１ｙ）に駆動時間（３０１ｙ）の値を代入し、積算流量（５０１ｚ）に積算流量（３０１ｚ）の値を代入する。また、剛性肉厚初期化部（８３）は、流量診断異常（５０１ｒ）をリセットする。また、剛性肉厚初期化部（８３）は、初期化フラグ（５０１ｔ）をセットし、流量診断結果（５０１）が初期化されたことを示す。また、剛性肉厚初期化部（８３）は、更新フラグ（５０１ｓ）をセットし、流量診断結果（５０１）が更新されたことを示す。さらに、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をリセットし、次回の肉厚剛性診断処理の実行を待つ。

（３－４－６．流量補正係数更新処理）
図２１を用いて、流量誤差診断簡易補正部（８０）の流量補正係数更新部（８４）による流量補正係数更新処理について説明する。図２１は、実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理４の一例を示す図である。図２１に示すように、流量補正係数演算部（８６）、流量変動比較器１（８７）、流量補正係数設定器（８８）および流量変動比較器２（８９）を有する。

流量補正係数更新部（８４）は、流量補正係数演算部（８６）を用いて、流量補正係数、流量誤差率および流量変動率を算出する。すなわち、流量補正係数更新部（８４）は、上述した（５６）式より流量補正係数ｆｋｑを算出し、流量補正係数ｆｋｑ（５０１ａ）に代入する。また、流量補正係数更新部（８４）は、上述した（５７）式より流量変動率ｒｑｄを計算し、流量変動率ｒｑｄ（５０１ｃ）に代入する。また、流量補正係数更新部（８４）は、上述した（５９）式より流量誤差率ｒｑｅを算出し、流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）に代入する。

流量補正係数更新部（８４）は、以下に示すように、流量診断結果（５０１）を設定する。すなわち、流量補正係数更新部（８４）は、補正日時（５０１ｘ）に診断日時（３０１ｘ）の値を代入し、駆動時間（５０１ｙ）に駆動時間（３０１ｙ）の値を代入し、積算流量（５０１ｚ）に積算流量（３０１ｚ）の値を代入する。

流量補正係数更新部（８４）は、流量変動比較器１（８７）によって、流量変動率ｒｑｄ（５０１ｃ）の絶対値と流量変動許容値（５０２ｈ）とを比較する。このとき、流量補正係数更新部（８４）は、上述した（５８）式を用いて判定する。流量変動率ｒｑｄ（５０１ｃ）の絶対値が流量変動許容値（５０２ｈ）より大きい場合に、流量補正係数更新部（８４）は、流量係数選択信号（５０４）をセットし、流量補正係数設定器（８８）によって、流量補正係数ｆｋｑ（５０１ａ）の値を流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）に設定する。

流量補正係数更新部（８４）は、流量変動比較器２（８９）によって、以下の処理を実行する。すなわち、流量補正係数更新部（８４）は、上述した（６０）式を用いて、流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）を流量誤差警報値（５０２ｒ）と比較する。このとき、流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）の絶対値が流量誤差警報値（５０２ｒ）より大きい場合に、流量補正係数更新部（８４）は、流量診断異常（５０１ｒ）をセットする。一方、流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）の絶対値が流量誤差警報値（５０２ｒ）以下である場合に、流量補正係数更新部（８４）は、流量診断異常（５０１ｒ）をリセットする。また、流量補正係数更新部（８４）は、初期化フラグ（５０１ｔ）をリセットするし、流量診断結果（５０１）が初期化されていないことを示す。また、剛性肉厚初期化部（８３）は、更新フラグ（５０１ｓ）をセットし、流量診断結果（５０１）が更新されたことを示す。さらに、流量補正係数更新部（８４）は、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をリセットし、次回の肉厚剛性診断処理の実行を待つ。

（３－５．時期予測診断処理）
図２２～図２６および数式を用いて、実施形態に係る診断装置（２）の時期予測診断部（９０）が実行する時期予測診断処理について説明する。以下では、時期予測診断処理の理論式を説明した上で、時期予測診断処理全体の処理、校正診断結果を用いた時期予測診断処理、密度診断結果を用いた時期予測診断処理、肉厚剛性診断結果を用いた時期予測診断処理、流量診断結果を用いた時期予測診断処理の順に説明する。

（３－５－１．時期予測診断処理の理論式）
以下では、時期予測診断処理の理論式について説明する。ここでは、時期予測診断で用いる式の一例として、肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）の例を示す。また、他の診断値においても同様の式を作ることができる。ここで、係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）、係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）、内径ｄｃ（３０１ｃ）、肉厚ｔｃ（３０１ｄ）、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）、流量補正係数ｆｋｑ（５０１ａ）、流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）とする。

ここで、多点のデータから近似直線または近似曲線で変化を近似し、時期予測診断を行う。使用するパラメータと補正係数は、重回帰分析、ＡＩによる推論等を使い決定する。複数のデータから変化率の最大値を使用することで、変化が最大の条件下での予測が可能となる。

ここでは、２点の診断結果から近似直線を作り、時期予測診断を行う例を示す。係数ｘを履歴情報の番号とし、ｘ＝１を開始、ｘ＝２を現在とし、日時をＴｍｘとし、駆動時間をＴｄｘとし、積算流量をＱｍｘとし、肉厚変化をｄｔｘとして、近似直線を作ると、下記（６１）式～（６３）式となる。

上記（６１）式において、係数ａｍは、日時あたりの肉厚変化を示す。また、係数ｂｍは、ｘ＝０における肉厚変化を示す。上記（６２）式において、係数ａｄは、駆動時間あたりの肉厚変化を示す。また、係数ｂｄは、ｘ＝０における肉厚変化を示す。上記（６３）式において、係数ａｑは、積算流量あたりの肉厚変化を示す。また、係数ｂｑは、ｘ＝０における肉厚変化を示す。ここで、上記（６１）式～（６３）式より、下記（６４）式～（６９）式となる。

ここで、肉厚変化の診断目標値ｄｔｓを設定する。診断目標値ｄｔｓまで達する予測値を求める。予測値を日時Ｔｍｅ、駆動時間Ｔｄｅ、質量流量Ｑｍｅで示すと、下記（７０）式～（７２）式となる。

流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）は発生している流量誤差を示している。流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を流量測定式に入れることで、流量誤差を補正できるが、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）は推定であるため、一定の誤差を含む。流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を使用して時期予測診断を行うことで、誤差の制限値に達する日時、駆動時間、質量流量を予測できる。

（３－５－２．時期予測診断処理全体の処理）
図２２を用いて、時期予測診断処理全体の処理について説明する。図２２は、実施形態に係る時期予測診断処理全体の処理の一例を示す図である。以下では、診断装置（２）の時期予測診断部（９０）の構成について説明する。

時期予測診断部（９０）は、履歴部（９１）、変化傾向算出部（９２）および予測部（９３）を有し、密度校正部（５１）、密度誤差診断部（６１）、肉厚剛性診断部（７０）および流量誤差診断簡易補正部（８０）のいずれかの結果から時期予測を行う。

まず、時期予測診断部（９０）は、更新フラグがセットされているかを判定する。ここで、時期予測診断部（９０）は、各診断の結果に含まれる診断データの更新フラグをチェックする。すなわち、時期予測診断部（９０）は、密度校正部（５１）の校正結果である密度校正結果（１５１）に含まれる更新フラグ（１５１ｓ）をチェックし、肉厚剛性診断部（７０）の診断結果である肉厚剛性診断結果（３０１）に含まれる更新フラグ（３０１ｓ）をチェックし、密度誤差診断部（６１）の診断結果である密度診断結果（２０１）に含まれる更新フラグ（２０１ｓ）をチェックし、流量誤差診断簡易補正部（８０）の補正結果である流量診断結果（５０１）に含まれる更新フラグ（５０１ｓ）をチェックする。時期予測診断部（９０）は、上記の更新フラグのうちいずれもセットされていない場合は、処理を終了する。

次に、時期予測診断部（９０）は、履歴部（９１）によって、上記の診断結果を保存する。続いて、時期予測診断部（９０）は、変化傾向算出部（９２）によって、更新された履歴部（９１）のデータより、変化傾向値（６０１）を算出する。このとき、時期予測診断部（９０）は、上述した（６４）式～（６９）式に示された近似直線または近似曲線で変化を近似する。なお、時期予測診断部（９０）は、使用するパラメータと補正係数とは、重回帰分析、ＡＩによる推論等を使い決定する。

そして、時期予測診断部（９０）は、予測部（９３）によって、変化傾向値（６０１）と診断目標値（６０２）とから、予測値を算出し、時期予測診断結果（６０３）に出力する。このとき、時期予測診断部（９０）は、上述した（７０）式～（７２）式に示された演算を行う。時期予測診断部（９０）は、算出された時期予測診断結果（６０３）を、コリオリ質量流量計（１）の表示操作部（３０）または外部装置（３１）に送信する。最後に、時期予測診断部（９０）は、更新フラグをリセットする。

（３－５－３．密度校正結果を用いた時期予測診断処理）
図２３を用いて、密度校正結果を用いた時期予測診断処理について説明する。図２３は、実施形態に係る時期予測診断処理１の一例を示す図である。

時期予測診断部（９０）は、以下に示すように、密度校正部（５１）の密度校正結果（１５１）から時期予測診断を行う。すなわち、時期予測診断部（９０）は、密度校正結果（１５１）に含まれる更新フラグ（１５１ｓ）がセットされることで、時期予測診断処理を実行する。このとき、時期予測診断部（９０）の履歴部（９１）は、更新フラグ（１５１ｓ）がセットされたことをトリガとして、データを取り込む。なお、履歴部（９１）は、入力されたデータのうち、必要なデータを選択することも可能である。ここで、密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）および密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）は、時期予測の上で重要なパラメータである。履歴部（９１）は、取り込みが終了したときに、更新フラグ（１５１ｓ）をリセットする。

（３－５－４．密度診断結果を用いた時期予測診断処理）
図２４を用いて、密度診断結果を用いた時期予測診断処理について説明する。図２４は、実施形態に係る時期予測診断処理２の一例を示す図である。

時期予測診断部（９０）は、以下に示すように、密度誤差診断部（６１）の密度診断結果（２０１）から時期予測診断を行う。すなわち、時期予測診断部（９０）は、密度診断結果（２０１）に含まれる更新フラグ（２０１ｓ）がセットされることで、時期予測診断処理を実行する。このとき、時期予測診断部（９０）の履歴部（９１）は、更新フラグ（２０１ｓ）がセットされたことをトリガとして、データを取り込む。なお、履歴部（９１）は、入力されたデータのうち、必要なデータを選択することも可能である。ここで、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）、係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）および係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）は、時期予測の上で重要なパラメータである。履歴部（９１）は、取り込みが終了したときに、更新フラグ（２０１ｓ）をリセットする。

（３－５－５．肉厚剛性診断結果を用いた時期予測診断処理）
図２５を用いて、肉厚剛性診断結果を用いた時期予測診断処理について説明する。図２５は、実施形態に係る時期予測診断処理３の一例を示す図である。

時期予測診断部（９０）は、以下に示すように、肉厚剛性診断部（７０）の肉厚剛性診断結果（３０１）から時期予測診断を行う。すなわち、時期予測診断部（９０）は、肉厚剛性診断結果（３０１）に含まれる更新フラグ（３０１ｓ）がセットされることで、時期予測診断処理を実行する。このとき、時期予測診断部（９０）の履歴部（９１）は、更新フラグ（３０１ｓ）がセットされたことをトリガとして、データを取り込む。なお、履歴部（９１）は、入力されたデータのうち、必要なデータを選択することも可能である。ここで、内径ｄｃ（３０１ｃ）、肉厚ｔｃ（３０１ｄ）、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）および剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）は、時期予測の上で重要なパラメータである。履歴部（９１）は、取り込みが終了したときに、更新フラグ（３０１ｓ）をリセットする。

（３－５－６．流量診断結果を用いた時期予測診断処理）
図２６を用いて、流量診断結果を用いた時期予測診断処理について説明する。図２６は、実施形態に係る時期予測診断処理４の一例を示す図である。

時期予測診断部（９０）は、以下に示すように、流量誤差診断簡易補正部（８０）の流量診断結果（５０１）から時期予測診断を行う。すなわち、時期予測診断部（９０）は、流量診断結果（５０１）に含まれる更新フラグ（５０１ｓ）がセットされることで、時期予測診断処理を実行する。時期予測診断部（９０）の履歴部（９１）は、更新フラグ（５０１ｓ）がセットされたことをトリガとして、データを取り込む。なお、履歴部（９１）は、入力されたデータのうち、必要なデータを選択することも可能である。ここで、流量補正係数ｆｋｑ（５０１ａ）および流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）は、時期予測の上で重要なパラメータである。履歴部（９１）は、取り込みが終了したときに、更新フラグ（５０１ｓ）をリセットする。

〔４．診断装置（２）の各処理の処理結果〕
図２７～図３７を用いて、実施形態に係る診断装置（２）の各処理の処理結果およびその効果を説明する。以下では、密度診断結果、肉厚剛性診断結果、流量診断結果、時期予測診断結果の順に説明する。

（４－１．密度診断結果および効果）
図２７を用いて、密度診断結果および効果について説明する。図２７は、実施形態に係る密度診断結果の一例を示す図である。以下では、密度診断結果について説明した上で、密度診断処理の効果について説明する。

（４－１－１．密度診断結果）
図２７を用いて、密度診断結果について説明する。密度診断結果は、コリオリ質量流量計（１）に腐食流体を流し、腐食前後で密度校正を行い、密度校正とともに、特許文献１の方式で剛性変化を測定した結果を示す。

図２７（１）に、測定データを示す。Ｔｅｓｔ＃はテスト回数で、０は腐食前を示す。腐食前と腐食流体を一定時間流した後に密度校正を行った。Ｔｅｓｔ＃の数値は腐食の回数を示す。Ｔｅｓｔ＃が増えるに従い、腐食量が増加する。密度校正は、空気（Ａｉｒ）と水（Ｗａｔｅｒ）で行った。圧力は加えていない。数値ｆ１ｓおよび数値ｆ２ｓは、測定で得られた周波数ｆ（２８ｃ）を示す。数値Ｔ１ｓおよび数値Ｔ２ｓは、測定時の温度Ｔ（２８ｅ）を示す。数値ｆ１は、周波数ｆ１ｓを温度Ｔ１ｓで補正した、補正後周波数ｆ１（１５４）を示す。数値ｆ２は、周波数ｆ２ｓを温度Ｔ２ｓで補正した、補正後周波数ｆ２（１５５）を示す。密度ρ１（１５８）および密度ρ２（１５９）は、温度Ｔ１ｓおよび温度Ｔ２ｓを使用して求めた、標準状態での空気の密度、および標準状態での水の密度を示す。

図２７（２）に、密度校正結果（１５１）および密度診断結果（２０１）を示す。密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）および密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）は、図２７（１）の測定値を、上述した（２１）式～（２４）式に代入し計算した。密度変動Δρ（２０１ｃ）は、上述した（２７）式より計算した。測定対象密度ρｔ（２０２ｃ）として、空気と水の密度を用いた。また、前回の密度校正以降に発生した密度変動を示す。密度誤差Δρ０（２０１ｄ）は、上述した（２９）式より計算した。測定対象密度ρｔ（２０２ｃ）として、空気と水の密度を用いた。また、初期状態からの密度誤差を示す。上述した（２８）式により、密度変動Δρ（２０１ｃ）と密度変動許容値（２０２ｄ）を比較して変動を評価し、密度測定係数の置き換えを判定できる。また、上述した（３０）式により、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）と密度誤差警報値（２０２ｈ）とを比較して密度誤差異常（２０１ｈ）を設定できる。

図２７（３）に、腐食回数による、密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）および密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）の変化を示す。両者とも腐食量が増えると減少する。

図２７（４）に、腐食回数による密度誤差Δρ０（２０１ｄ）の変化を示す。測定対象密度ρｔ（２０２ｃ）として、空気と水の密度を用いた。密度変動Δρ（２０１ｃ）は、腐食量が増えると増加する。測定対象密度ρｔ（２０２ｃ）の設定により、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）が変化する。腐食流体を流し、強制的に腐食させているため、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）が大きく変化している。このように、密度校正により、実施形態に係る密度診断結果（２０１）として、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）を推定でき、密度誤差を監視することで、密度測定の精度を維持できる。

（４－１－２．効果）
上記のように、密度校正によって得られた、密度測定係数の変化から、発生している密度誤差を推定することができる。密度誤差は測定対象の密度に依存するため、測定対象の密度を考慮した密度誤差を計算する。密度誤差の許容値を設け、アラームを出すことで異常を通知することができる。密度誤差の発生は、質量流量の測定結果にも誤差が生じていることを示す。測定器として再調整が必要であることを通知することもできる。密度校正は、コリオリ質量流量計の精度を決定する重要な機能であり、安定した状況で行われる。よって、外乱に影響されずに精度のよい測定ができる。密度校正により、密度測定係数を変更することは、密度の測定結果に不連続点を生む。密度変動が許容範囲内であれば、測定値の連続性を優先する選択肢もある。密度変動許容値を設定することで、密度測定係数の置き換えの可否を判定し、密度測定結果の変動を抑える。コリオリ質量流量計は、精度よく測定できることが特徴である。密度測定は、コリオリ質量流量計の基本機能の一つであり、密度誤差を監視することで目標精度を維持できる。

（４－２．肉厚剛性診断結果および効果）
図２８～図３２を用いて、肉厚剛性診断結果および効果について説明する。以下では、肉厚剛性診断結果１、肉厚剛性診断結果２および肉厚剛性診断結果３について説明した上で、肉厚剛性診断処理の効果について説明する。

（４－２－１．肉厚剛性診断結果１）
図２８を用いて、肉厚剛性診断結果１について説明する。図２８は、実施形態に係る肉厚剛性診断結果１の一例を示す図である。

図２８（１）に、実施形態に係る計算式により計算した結果を示す。ここでは、密度校正結果である、上記図２７（１）および図２７（２）より、肉厚剛性診断を行った。“Ｄｅｎｓｉｔｙ Ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ”が、実施形態に係る計算式により計算した結果である。Ｔｅｓｔ＃０の値を基準として変化量を計算した。上述した（４２）式～（４６）式により、内径ｄｃ（３０１ｃ）、肉厚ｔｃ（３０１ｄ）、肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）および剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）を計算した。また、初回のＴｅｓｔ＃０からの変化を示した。変数ａＫｃは、特許文献１の方式で測定した剛性変化率ａＫｃを示す。剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）とほぼ同じ値となった。

図２８（２）に、腐食回数と、肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）および特許文献１の方式で測定した剛性変化率ａＫｃを示す。実施形態に係る剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）、特許文献１による剛性変化率ａＫｃが同一となる。また、肉厚の変化率も同じ傾向で減少した。このように、密度校正結果により、実施形態に係る肉厚剛性診断結果（３０１）として、肉厚変化率および剛性変化率を推定できる。

（４－２－２．肉厚剛性診断結果２）
図２９～図３０を用いて、肉厚剛性診断結果２について説明する。図２９は、実施形態に係る肉厚剛性診断結果２を説明するための図である。図３０は、実施形態に係る肉厚剛性診断結果２の一例を示す図である。

以下では、図２９に示すように、上流側センサ（１３）の感度の影響を検証する試験を行った。図２９に示すように、減衰器（１３ｂ）により、上流側信号Ｓ１（１３ａ）を検出部（１０）と変換部（２０）の間で減衰させた。上流側センサ（１３）の感度が低下することを模擬した。

図３０（１）に、減衰器（１３ｂ）のゲインを変え、密度校正を行った結果を示す。密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）と密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）のばらつきは０．０１％以下となった。密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）と密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）を、減衰器（１３ｂ）のゲインに関係なく求めることができる。

図３０（２）に、減衰器（１３ｂ）のゲインを変化させて、密度校正で求めた剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）および特許文献１の方式で求めた剛性変化率ａＫｃを示す。剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）は、減衰器（１３ｂ）のゲインに依存しない。剛性変化率ａＫｃは、減衰器（１３ｂ）のゲインに依存する。特許文献１の方式は、上流側センサ（１３）の感度が低下し、上流側信号Ｓ１（１３ａ）が小さくなると、振動管（１１）が硬くなったと解釈する。下流センサ（１４）、加振部（１２）でも同じ現象が発生する。

図３０（３）に、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）と肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）を示す。変動０．０１％以下で求められた。実施形態に係る肉厚剛性処理では、センサの振幅情報を使わないため、センサ（１３、１４）や加振部（１２）の感度変化に関係なく、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）と肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）を測定できる。

（４－２－３．肉厚剛性診断結果３）
図３１～図３２を用いて、肉厚剛性診断結果３について説明する。図３１～図３２は、実施形態に係る肉厚剛性診断結果３の一例を示す図である。以下では、肉厚剛性診断処理として、付着診断を検証する試験を行った。

図３１（１）に、振動管の外側に合計０．９７８ｇのビニールテープをつけて密度校正を行った結果を示す。“Ｎｏｒｍａｌ”は付けない場合、“Ｔａｐｅ”は付けた場合を示し、各々空気と水で周波数と温度を測定した。温度により周波数の補正と密度の計算を行った。各５回測定した。

図３１（２）および図３１（３）に、図３１（１）から、密度測定係数Ｃｄ（２８ｋ）および密度測定係数ｆａ（２８ｌ）を求めた結果を示す。測定対象密度ρｔ（２０２ｃ）を空気と水として、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）を計算した。テープを外部に付着することにより、密度測定係数ｆａが低下し、密度測定係数Ｃｄが増加した。密度誤差Δρ０（２０１ｄ）の単位は、ｇ／ｌである。テープを外部に付着することにより、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）が増加する。重量が増えたためと考えられる。

図３２に、肉厚診断結果を示す。Ｔｅｓｔ＃１の値を基準として変化量を計算した。内径ｄｃ（３０１ｃ）は、上述した（４２）式で計算した値であり、肉厚ｔｃ（３０１ｄ）は、上述した（４３）式で計算した値であり、肉厚変化ｄｔ（３０１ｅ）は、上述した（４４）式で計算した値であり、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）は、上述した（４５）式で計算した値であり、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）は、上述した（４６）式で計算した結果である。付着発生時に、密度測定係数Ｃｄ（２８ｋ）及び密度測定係数ｆａ（２８ｌ）が変動するため、密度校正により付着診断が可能である。

（４－２－４．効果）
上記のように、実施形態に係る肉厚剛性診断処理では、密度校正により得られた密度測定係数の変化と、振動管の設計情報とを用いることで、肉厚および剛性変化率を個別に求めることができる。肉厚情報と剛性変化率とを個別に求められるため、腐食診断と付着診断が可能となる。また、剛性変化から腐食を判断するのではなく、直接、肉厚変化を診断する。肉厚情報および剛性変化率の変動許容値を設け、アラームを出すことで異常を通知することができる。このとき、肉厚情報として、内径、肉厚、肉厚変化、肉厚変化率を含み、異常と直接関係した値で異常判定の許容値を設定する。

また、実施形態に係る肉厚剛性診断処理では、密度校正により得られた密度測定係数の変化と、振動管の設計情報とを用いて、肉厚情報および剛性変化率を求めるため、ドライブゲインを固定する、周波数応答を得る等の新たな仕組みが不要である。このとき、特別な動作と、解析を行うソフトウェアが不要となる。また、コリオリ質量流量計（１）の変換部（２０）だけでなく、外部装置（３１）または校正装置（３）で診断機能を実現できる。コリオリ質量流量計（１）の校正とともに診断が可能となる。密度校正手順の後に診断手順を追加することで、装置の健全性を診断する。

従来の剛性変化による診断では、周波数以外にセンサ信号の振幅を用いる。この場合、センサの感度等の影響を受ける。実施形態に係る肉厚剛性診断処理では、センサの振幅情報を使わないため、センサや加振部の感度変化、回路ゲインの変化に関係なく、個別に剛性変化率と肉厚変化を推定する。

（４－３．流量診断結果および効果）
図３３～図３６を用いて、流量診断結果および効果について説明する。以下では、流量診断結果１および流量診断結果２について説明した上で、流量誤差診断・簡易補正処理の効果について説明する。

（４－３－１．流量診断結果１）
図３３を用いて、流量診断結果１について説明する。図３３は、実施形態に係る流量診断結果１の一例を示す図である。

まず、腐食により、流量誤差が増大する状況を考える。腐食により、流量測定係数Ｃｑは減少し、位相差θ０と周波数ｆの比θ０／ｆが増大する。流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）が腐食前の値であるために誤差が発生する。

図３３に、誤差と簡易補正の関係を示す。回数当たりの誤差変動を－０．１％とした場合、１０回で－１．０％の誤差となる。流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）の初期値を使用し続けている場合、１０回目の流量測定値に＋１．０％の誤差を生む。

“Ｑｅ＝－０．１％”に、流量校正を行わない場合の流量誤差を示す。流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を更新した場合の流量誤差を計算した。流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）の変化率が、流量誤差に等しい場合の流量誤差を“ｆｋ＝－０．１％”に示す。この場合、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を用いることにより、流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）を補正できる。密度校正を行うことで、流量誤差はゼロに戻る。

流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）の変化率を－０．０５％／校正とした場合の誤差を、“ｆｋ＝－０．０５％”に示す。－０．１５％／校正とした場合を“ｆｋ＝－０．１５％”に示す。簡易補正により誤差は抑えられる。許容誤差を±０．５％とすると、簡易補正がない場合は、５回で許容誤差に達するが、簡易補正を行えば１０回となる。これは、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を使い、流量測定係数を簡易補正すれば、流量校正の間隔を伸ばせることを示す。

このように、密度校正結果により流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を更新することにより、流量の簡易補正が可能である。

（４－３－２．流量診断結果２）
図３４～図３６を用いて、流量診断結果２について説明する。図３４～図３６は、実施形態に係る流量診断結果２の一例を示す図である。

図３４（１）に、腐食を複数回繰り返した時の、密度測定係数の変化率、剛性変化率、肉厚変化率、流量誤差を示す。図２７（１）の密度校正の実験と同時に、水を流し、流量誤差率Ｑｅを測定した。係数変化率ａＣｄと係数変化率ａｆａは、図２７（２）で求めた密度測定係数の変化比率を示す。係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）は、密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）の変化率を示す。係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）は、密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）の変化率を示す。内径変化率ｒｔは、図２８（１）の肉厚剛性診断で計算した、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）を示す。剛性変化率ａＫは、図２８（１）の肉厚剛性診断で計算した、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）を示す。流量誤差率Ｑｅから、流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）の変化を計算し、変化率ａＣｑとした。

図３４（２）に、密度測定係数の変化率、肉厚変化率、剛性変化率と流量係数Ｃｑの変化の関係を示す。流量誤差Ｑｅは、流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）を更新せずに測定した場合の誤差率を示している。流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）が変化率ａＣｑと同じ傾向であれば、流量誤差を補正できる。変化率ａＣｑと各変化率の傾向が一致しているが、腐食が大きくなるにつれ差が出ている。係数変化率ａｆａは変化が小さい。係数変化率ａＣｄ、肉厚変化率ｒｔおよび剛性変化率ａＫのうち少なくとも１つにより、流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）の変化を簡易補正できる。

図３４（３）に、図３４（１）の結果を用いて、実施形態に係る流量誤差診断簡易補正処理を行った結果を示す。簡易補正を行わないときの流量誤差をＱｅに示す。剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）、係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）、係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）を使い、簡易補正を行ったときの流量誤差を示す。上述した（５６）式において、Ｃｋｘ（ｘ＝１～４）のいずれかを１、他を０とし、各変化率を流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）とした結果を示す。流量誤差Ｑｅ以外は、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を更新する前と後を示す。係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）を使用した場合は、影響が少ない。流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）の変化に比べ、係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）の変化が小さいためである。他の３パラメータを使った結果は、同等の結果となる。流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）に比べ変化率が大きいため、回数を追うごとに簡易補正後の流量誤差がマイナスになる。

図３４（４）に、流量測定係数Ｃｑ（２８ｆ）に対する、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）、係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）および係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）の関係を示す。すべての変数に相関がある。係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）の傾きは小さい。

図３５（１）に、重回帰分析により流量補正係数Ｃｋｘ（２８ｖ）を求めた結果を示す。空白は、数値が０であることを示す。４パラメータを独立で使用する場合と、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）と肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）、係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）と係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）を組み合わせて補正係数を求めた結果を示す。すべての場合で相関が大きい。組み合わせとＦ値が小さくなるが、組み合わせも有効である。係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）、剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）および肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）、または、係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）および係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）を使用して、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を計算でき、質量流量の簡易補正が可能である。

図３５（２）に、図３５（１）の流量補正係数Ｃｋｘ（２８ｖ）を用いた場合の流量補正結果を示す。密度校正を行うことで誤差がほぼ０に戻る。密度校正結果により流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を更新することにより、流量の簡易補正が可能である。

図３６（１）に、流量誤差を推定した結果を示す。上述した（５６）式より流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を求め、上述した（５９）式により流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）を計算した。流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）は、４変数のうち１変数を使った。上述した（５６）式で、使用する変数に該当する流量補正係数Ｃｋｘ（２８ｖ）を数値１．０にした結果ｒｑｅｘ１と、流量補正係数Ｃｋｘ（２８ｖ）を相関により求めた数値を使用した結果ｒｑｅｘ２を示す。

図３６（２）に、流量誤差Ｑｅと流量誤差率ｒｑｅｘ１の変化を示す。係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）を使用した結果の変化は小さい。剛性変化率ａＫ（３０１ｇ）、肉厚変化率ｒｔ（３０１ｆ）および係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）により求めた流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）は、流量誤差Ｑｅと変化傾向が一致する。

図３６（３）に、流量誤差Ｑｅと流量誤差率ｒｑｅｘ２の変化を示す。各結果とも、流量誤差Ｑｅと変化傾向が一致した。

流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）に対し、流量誤差警報値（５０２ｒ）を設定することで、流流量診断異常（５０１ｒ）の判定を行うことができる。

（４－３－３．効果）
上記のように、実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理では、密度校正、密度診断処理および肉厚剛性診断処理から得られた剛性変化率、肉厚変化率および密度測定係数の変化率を使い、流量測定係数と流量誤差を求めることができる。これらを使い、流量測定係数を簡易補正することで、流量校正をすることなく、流量誤差を小さくする。

密度校正は、空気と水などの既知の流体での周波数と温度を測定すればよく、設置現場で実現できる。流量補正係数の簡易補正により、実際の校正周期を長くする。

質量流量の誤差と、剛性変化率、肉厚変化率、密度測定係数の変化率は高い相関があるが、傾きに差がある。質量流量の誤差と、各変化率の関係を、近似直線、又は、近似曲線で補正することにより、簡易補正の誤差を小さくする。使用するパラメータと補正係数は、重回帰分析、ＡＩによる推論等を使い決定する。

簡易補正の精度は、流量補正係数の補正式で使うパラメータの測定精度に依存する。密度校正は安定した環境で実施できるため、精度よく求めることができる。

流量補正係数の変化から、流量誤差を推定する。流量誤差の許容値を設け、アラームを出すことで異常を通知する。

流量補正係数を変更することは、質量流量の測定結果に不連続点を生む。流量補正係数の変更による流量変動が許容範囲内であれば、測定値の連続性を優先する選択肢もある。流量変動許容値を設定することで、流量補正係数の置き換えの可否を判定し、質量流量測定結果の変動を抑える。

コリオリ質量流量計は、精度よく測定できることが特徴である。質量流量測定は、コリオリ質量流量計の基本機能の一つであり、流量誤差を監視することで目標精度を維持する。

（４－４．時期予測診断結果）
図３７を用いて、時期予測診断結果および効果について説明する。以下では、時期予測診断結果について説明した上で、時期予測診断処理の効果について説明する。

（４－４－１．時期予測診断結果）
図３７に、時期予測診断の計算例を示す。図３７は、実施形態に係る時期予測診断結果の一例を示す図である。

日時、駆動時間、積算流量、密度誤差を各２点想定した。“Ｄａｔａ １”、及び、“Ｄａｔａ ２“に示す。上述した（６４）式～（６９）式により、近似直線の係数を求めた結果を、“Ｓｌｏｐｅ ａｘ”と“Ｉｎｔｅｒｃｅｐｔ ｂｘ”に示す。診断目標値ｄｔｓを－０．５ｍｍとする。上述した（７０）式～（７２）式により、予測値を求めた結果を、“Ｅｓｔｉｍａｔｉｏｎ”に示す。“Ｅｓｔｉｍａｔｉｏｎ － Ｄａｔａ ２”は、“Ｄａｔａ ２”からの予測値を示す。図３７では、“Ｄａｔａ ２”から、８日、駆動時間６０時間または積算流量７６０ｔで、診断目標値ｄｔｓに達する結果となる。

（４－４－２．効果）
上記のように、時期予測診断により、障害が発生するまたはメインテナンスや装置交換の時期を予測することができる。校正や診断の履歴を持つことで、機器の健全性を把握する。時刻以外に、変換器の駆動時間、積算流量を用いることで、現実に近い診断を行う。腐食は、腐食性流体を流したときに発生するため、積算流量が重要となる。変換部の故障は、駆動時間に影響されることが多い。密度誤差と流量誤差を評価することで、流量校正が必要となる時期を予想することができる。得られた診断結果を履歴に記憶することにより、状態変化の様子を把握する。これにより時期予測診断（寿命診断）が可能となる。複数のパラメータから、目的にあったパラメータを使用する。

利用者にとって、メインテナンスや交換時期の予測することは、設備の有効利用の上で重要である。メインテナンスは、設備の停止を伴い、校正の費用が発生する。腐食等の故障が発生しやすい設備では、交換を想定する必要がある。

〔５．校正装置（３）および診断装置（２）の各処理の流れ〕
図３８～図４３を用いて、実施形態に係る校正装置（３）および診断装置（２）の各処理の流れを説明する。以下では、実施形態に係る診断処理全体の流れについて説明した上で、校正装置（３）の処理の流れとして、密度校正処理の流れについて説明し、診断装置（２）の処理の流れとして、密度誤差診断処理の流れ、肉厚剛性診断処理の流れ、流量誤差診断・簡易補正処理の流れ、時期予測診断処理の流れの順に説明する。

（５－１．診断処理全体の流れ）
図３８を用いて、診断処理全体の流れについて説明する。図３８は、実施形態に係る診断処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。なお、下記のステップＳ１０１～Ｓ１０５の処理は、異なる順序で実行することもできる。また、下記のステップＳ１０１～Ｓ１０５の処理のうち、省略される処理があってもよい。

まず、校正装置（３）は、密度校正処理を実行する（ステップＳ１０１）。次に、診断装置（２）は、密度誤差診断処理を実行し（ステップＳ１０２）、肉厚剛性診断処理を実行し（ステップＳ１０３）、流量誤差診断・簡易補正処理を実行し（ステップＳ１０４）、時期予測診断処理を実行し（ステップＳ１０５）、処理を終了する。

（５－２．密度校正処理の流れ）
図３９を用いて、診断処理全体の流れについて説明する。図３９は、実施形態に係る密度校正処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。以下では、密度校正処理全体の流れについて説明した上で、各処理の流れについて説明する。なお、下記の各処理は、異なる順序で実行することもできる。また、下記の各処理のうち、省略される処理があってもよい。

（５－２－１．密度校正処理全体の流れ）
図３９に示すように、校正装置（３）は、密度測定係数演算処理を実行し（ステップＳ２０１～Ｓ２２３）、密度測定係数をパラメータ（２８）に保存し（ステップＳ２２４）、処理を終了する。

（５－２－２．密度測定係数演算処理全体の流れ）
校正装置（３）は、以下で示すように、密度測定の校正を行い、密度測定係数を更新する。まず、密度が既知である２種の物質において、周波数を測定する。このとき、係数ｎ（１５２ｃ）を使い、２回の測定を行い、初期値として係数ｎ（１５２ｃ）を１と置く（ステップＳ２０１）。次に、校正装置（３）は、振動管の物質が入れ替えられたことを判定するために、充填中をＯｎとする（ステップＳ２０２）。続いて、校正装置（３）は、充填中がＯｎであるかを判定する（ステップＳ２０３）。このとき、校正装置（３）は、振動管（１１）に物質ｎが充填されるまで待つ。校正装置（３）は、充填中がＯｎである場合（ステップＳ２０３：Ｙｅｓ）、ステップＳ２０４の処理に移行し、充填中がＯｎでない場合（ステップＳ２０３：Ｎｏ）、ステップＳ２０６の処理に移行する。

校正装置（３）は、振動管（１１）に物質ｎを充填する（ステップＳ２０４）。このとき、コリオリ質量流量計（１）とは異なる外部の機器は、空気の場合には振動管（１１）を空にし、真空の場合には真空ポンプ等で内部の物質を排出する。ここで、密度校正処理には、物質ｎの密度が必要となり、温度と圧力により密度が変化する場合は、温度と圧力に関した計算式または数表が必要となる。そして、表示操作部（３０）または外部装置（３１）は、充填が終了したことを示すため、充填中をＯｆｆとし（ステップＳ２０５）、ステップＳ２０３の処理に戻る。

校正装置（３）は、物質の入れ替えにより温度等が不安定になるため、測定値が安定するまで待つ（ステップＳ２０６）。このとき、校正装置（３）は、一定時間待ってもよいし、周波数ｆ（２８ｃ）や温度Ｔ（２８ｅ）の変動を監視してもよいし、変動が結果に影響しない場合は待たなくてもよい。そして、校正装置（３）は、周波数ｆ（２８ｃ）および温度Ｔ（２８ｅ）を取得し（ステップＳ２０７）、ステップＳ２０８の処理に移行する。

校正装置（３）は、圧力計接続信号（２８ｓ）により、圧力計（２９）が接続されているかを判定する（ステップＳ２０８）。このとき、校正装置（３）は、圧力計（２９）が接続されている場合（ステップＳ２０８：Ｙｅｓ）、外部入力圧力Ｐｉｎ（２８ｒ）を取得し、圧力Ｐ（２８ｔ）とし（ステップＳ２１０）、ステップＳ２１１の処理に移行する。一方、校正装置（３）は、圧力計（２９）が接続されていない場合（ステップＳ２０８：Ｎｏ）、既定圧力Ｐｓ（２８ｑ）を圧力Ｐ（２８ｔ）とし（ステップＳ２０９）、ステップＳ２１１の処理に移行する。

校正装置（３）は、周波数補正部（５３）を用いて、周波数ｆ（２８ｃ）を温度Ｔ（２８ｅ）および圧力Ｐ（２８ｔ）で補正し、補正後周波数ｆｎ（１５３）を計算する（ステップＳ２１１）。また、校正装置（３）は、物質選択スイッチ（５４）を用いて、係数ｎ（１５２ｃ）により、補正後周波数ｆｎ（１５３）を補正後周波数ｆ１（１５４）または補正後周波数ｆ２（１５５）に保存する（ステップＳ２１２）。また、校正装置（３）は、標準密度演算部（５５）を用いて、温度Ｔ（２８ｅ）、圧力Ｐ（２８ｔ）および係数ｎ（１５２ｃ）から、物質ｎの標準密度ρｃ（１５６）を算出し（ステップＳ２１３）、ステップＳ２１４の処理に移行する。

校正装置（３）は、密度選択スイッチ（５６）を用いて、密度選択（１５２ｂ）により、密度ρｎ（１５７）を手動で入力するかを判定する（ステップＳ２１４）。このとき、校正装置（３）は、手動で入力する場合（ステップＳ２１４：Ｙｅｓ）、表示操作部（３０）または外部装置（３１）が設定した手動入力密度ρｉｎ（１５２ａ）を密度ρｎ（１５７）とし（ステップＳ２１５）、ステップＳ２１７の処理に移行する。一方、校正装置（３）は、手動で入力しない場合（ステップＳ２１４：Ｎｏ）、標準密度ρｃ（１５６）を密度ρｎ（１５７）とし（ステップＳ２１６）、ステップＳ２１７の処理に移行する。

校正装置（３）は、物質選択スイッチ（５７）を用いて、係数ｎ（１５２ｃ）により、密度ρｎ（１５７）を密度ρ１（１５８）または密度ρ２（１５９）に保存する（ステップＳ２１７）。また、校正装置（３）は、係数ｎ（１５２ｃ）をｎ＋１とする（ステップＳ２１８）。また、校正装置（３）は、係数ｎ（１５２ｃ）が２以下の場合は（ステップＳ２１９：Ｙｅｓ）、ステップＳ２０８の処理に移行し、２番目の物質の測定を行う。一方、校正装置（３）は、係数ｎ（１５２ｃ）が２より大きい場合（ステップＳ２１９：Ｎｏ）、密度測定係数演算実行部（５８）を用いて、密度測定係数Ｃｄｃ（１５１ａ）および密度測定係数ｆａｃ（１５１ｂ）を計算する（ステップＳ２２０）。このとき、校正装置（３）は、補正後周波数ｆ１（１５４）、補正後周波数ｆ２（１５５）、密度ρ１（１５８）および密度ρ２（１５９）を、上述した（２１）式～（２４）式に代入することによって密度測定係数を算出する。

校正装置（３）は、日時、変換部駆動時間および積算流量を保存する（ステップＳ２２１）。このとき、校正装置（３）は、日時（２８ｘ）を校正日時（１５１ｘ）に保存し、変換部駆動時間（２８ｙ）を駆動時間（１５１ｙ）に保存し、積算流量（２８ｚ）を積算流量（１５１ｚ）に保存する。

校正装置（３）は、更新フラグ（１５１ｓ）をセットし（ステップＳ２２２）、密度校正完了信号（１６０）をセットし（ステップＳ２２３）、ステップＳ２２４の処理に移行する。

（５－３．密度誤差診断処理の流れ）
図４０を用いて、密度誤差診断処理の流れについて説明する。図４０は、実施形態に係る密度誤差診断処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。以下では、密度誤差診断処理全体の流れについて説明した上で、各処理の流れについて説明する。なお、下記の各処理は、異なる順序で実行することもできる。また、下記の各処理のうち、省略される処理があってもよい。

（５－３－１．密度誤差診断処理全体の流れ）
図４０に示すように、診断装置（２）は、初期化判定処理を実行し（ステップＳ３０１～Ｓ３０７）、初期化信号（２０３）がセットされている場合（ステップＳ３０８：Ｙｅｓ）、密度誤差初期化処理を実行し（ステップＳ３０９）、処理を終了する。一方、診断装置（２）は、初期化信号（２０３）がセットされていない場合（ステップＳ３０８：Ｎｏ）、ステップＳ３１０の処理に移行する。

診断装置（２）は、演算判定信号（２０４）がセットされている場合（ステップＳ３１０：Ｙｅｓ）、密度誤差演算判定処理を実行し（ステップＳ３１１）、処理を終了する。一方、診断装置（２）は、演算判定信号（２０４）がセットされていない場合（ステップＳ３１０：Ｎｏ）、処理を終了する。

（５－３－２．初期化判定処理の流れ）
図４０に示すように、診断装置（２）は、校正装置（３）による密度測定係数の密度校正処理（ステップＳ３０１）の実行後、密度校正完了信号（１６０）および密度診断設定値（２０２）より、実行する処理の選択を行う。

診断装置（２）は、初期化信号（２０３）および演算判定信号（２０４）をリセットする（ステップＳ３０２）。次に、診断装置（２）は、密度校正完了信号（１６０）がセットされているかを判定する（ステップＳ３０３）。このとき、診断装置（２）は、密度校正完了信号（１６０）がセットされている場合（ステップＳ３０３：Ｙｅｓ）、ステップＳ３０４の処理に移行する。一方、診断装置（２）は、密度校正完了信号（１６０）がセットされていない場合（ステップＳ３０３：Ｎｏ）、処理を終了する。

診断装置（２）は、初期化実行命令（２０２ｕ）がセットされているかを判定する（Ｓ３０４）。このとき、診断装置（２）は、初期化実行命令（２０２ｕ）がセットされている場合（ステップＳ３０４：Ｙｅｓ）、初期化信号（２０３）をセットし（ステップＳ３０５）、ステップＳ３０８以降の処理に移行する。一方、診断装置（２）は、初期化実行命令（２０２ｕ）がセットされていない場合（ステップＳ３０４：Ｎｏ）、ステップＳ３０５の処理に移行する。

診断装置（２）は、初期値の存在を判定する（ステップＳ３０５）。診断装置（２）は、初期値がない場合（ステップＳ３０５：Ｙｅｓ）、初期化信号（２０３）をセットし（ステップＳ３０６）、ステップＳ３０８以降の処理に移行する。一方、診断装置（２）は、初期値がある場合（ステップＳ３０５：Ｎｏ）、演算判定信号（２０４）をセットし（ステップＳ３０７）、ステップＳ３０８以降の処理に移行する。ここで、診断装置（２）は、初期係数Ｃｄ０（２０２ａ）が０であるとき、初期係数ｆａ０（２０２ｂ）が０であるとき、または初期日時（２０２ｘ）が設定されていないときのいずれかに該当する場合には、初期値がないと判定する。

（５－３－３．密度誤差初期化処理の流れ）
診断装置（２）は、密度校正結果（１５１）をパラメータ（２８）に保存し、密度診断設定値（２０２）の初期値を設定し、初期化実行命令を（２０２ｕ）リセットし、密度診断結果（２０１）を初期化し、初期化フラグ（２０１ｔ）をセットし、更新フラグ（２０１ｓ）をセットし、密度校正完了信号（１６０）をリセットし、密度診断完了信号（２１０）をセットし、処理を終了する。

（５－３－４．密度誤差演算判定処理の流れ）
診断装置（２）は、密度測定係数の変化から密度診断結果（２０１）として、密度変動Δρ（２０１ｃ）、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）、係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）および係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）を計算する。このとき、診断装置（２）は、密度変動Δρ（２０１ｃ）の絶対値が密度変動許容値（２０２ｄ）より大きい場合は、係数選択信号（２０５）をセットする。一方、診断装置（２）は、密度変動Δρ（２０１ｃ）の絶対値が密度変動許容値（２０２ｄ）以下の場合は、係数選択信号（２０５）をリセットする。

診断装置（２）は、係数選択信号（２０５）がセットされているかを判定する。このとき、係数選択信号（２０５）がセットされている場合は、密度校正結果（１５１）をパラメータ（２８）に設定する。一方、診断装置（２）は、係数選択信号（２０５）がセットされている場合は、次の処理に移行する。

診断装置（２）は、測定係数と測定情報とを密度診断結果（２０１）に設定する。また、診断装置（２）は、密度誤差Δρ０（２０１ｄ）の変化と密度誤差警報値（２０２ｈ）とを比較し、密度誤差異常（２０１ｈ）を設定し、係数変化率ａＣｄ（２０１ｅ）の変化と係数変化率ａＣｄ許容値（２０２ｉ）とを比較し、係数変化率ａＣｄ異常（２０１ｉ）を設定し、係数変化率ａｆａ（２０１ｆ）の変化と係数変化率ａｆａ許容値（２０２ｊ）とを比較し、係数変化率ａｆａ異常（２０１ｊ）を設定する。

診断装置（２）は、初期化フラグ（２０１ｔ）をリセットし、更新フラグ（２０１ｓ）をセットし、密度校正完了信号（１６０）をリセットし、密度診断完了信号（２１０）をセットし、処理を終了する。

（５－４．肉厚剛性診断処理の流れ）
図４１を用いて、肉厚剛性診断処理の流れについて説明する。図４１は、実施形態に係る肉厚剛性診断処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。以下では、肉厚剛性診断処理全体の流れについて説明した上で、各処理の流れについて説明する。なお、下記の各処理は、異なる順序で実行することもできる。また、下記の各処理のうち、省略される処理があってもよい。

（５－４－１．肉厚剛性診断処理全体の流れ）
図４１に示すように、診断装置（２）は、初期化判定処理を実行し（ステップＳ４０１～Ｓ４０７）、初期化信号（３０６）がセットされている場合（ステップＳ４０８：Ｙｅｓ）、肉厚剛性診断初期化処理を実行し（ステップＳ４０９）、処理を終了する。一方、診断装置（２）は、初期化信号（３０６）がセットされていない場合（ステップＳ４０８：Ｎｏ）、ステップＳ４１０の処理に移行する。

診断装置（２）は、診断初期化信号（３０７）がセットされている場合（ステップＳ４１０：Ｙｅｓ）、肉厚剛性演算処理を実行し（ステップＳ４１１）、肉厚剛性変化初期化処理を実行し（ステップＳ４１２）、処理を終了する。一方、診断装置（２）は、診断初期化信号（３０７）がセットされていない場合（ステップＳ４１０：Ｎｏ）、ステップＳ４１３の処理に移行する。

診断装置（２）は、診断実行信号（３０８）がセットされている場合（ステップＳ４１３：Ｙｅｓ）、肉厚剛性演算処理を実行し（ステップＳ４１４）、肉厚剛性変化判定処理を実行し（ステップＳ４１５）、処理を終了する。一方、診断装置（２）は、診断実行信号（３０８）がセットされていない場合（ステップＳ４１３：Ｎｏ）、処理を終了する。

（５－４－２．初期化判定処理の流れ）
図４１に示すように、まず、診断装置（２）は、初期化信号（３０６）、診断初期化信号（３０７）および診断実行信号（３０８）をリセットする（ステップＳ４０１）。次に、診断装置（２）は、密度診断完了信号（２１０）がセットされているかを判定する（ステップＳ４０２）。このとき、診断装置（２）は、密度診断完了信号（２１０）がセットされている場合（ステップＳ４０２：Ｙｅｓ）、ステップＳ４０３の処理に移行し、密度診断完了信号（２１０）がセットされていない場合（ステップＳ４０２：Ｎｏ）、処理を終了する。

診断装置（２）は、初期値の存在を判定する（ステップＳ４０３）。このとき、診断装置（２）は、初期値がない場合（ステップＳ４０３：Ｙｅｓ）、初期化信号（３０６）をセットする（ステップＳ４０４）。一方、診断装置（２）は、初期値がある場合（ステップＳ４０３：Ｎｏ）、ステップＳ４０５の処理に移行する。ここで、診断装置（２）は、初期内径ｄ０（３０２ｃ）が数値０であるとき、または初期日時（３０２ｘ）が設定されていないときのいずれかに該当する場合には、初期値がないと判定する。

診断装置（２）は、初期化実行命令（３０２ｕ）がセットされているかを判定する（ステップＳ４０５）。このとき、初期化実行命令（３０２ｕ）がセットされている場合（ステップＳ４０５：Ｙｅｓ）、診断初期化信号（３０７）をセットし（ステップＳ４０６）、ステップＳ４０８以降の処理に移行する。一方、診断装置（２）は、初期化実行命令（３０２ｕ）がセットされていない場合（ステップＳ４０５：Ｎｏ）、診断実行信号（３０８）をセットし（ステップＳ４０７）、ステップＳ４０８以降の処理に移行する。

（５－４－３．肉厚剛性診断初期化処理の流れ）
診断装置（２）は、肉厚剛性診断設定値（３０２）に初期値を設定し、初期化実行命令（３０２ｕ）をリセットし、肉厚剛性診断結果（３０１）を初期化し、初期化フラグ（３０１ｔ）をセットし、更新フラグ（３０１ｓ）をセットし、密度診断完了信号（２１０）をリセットし、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットし、処理を終了する。

（５－４－４．肉厚剛性演算処理の流れ）
診断装置（２）は、肉厚変化率を計算し、剛性変化率を計算し、肉厚剛性診断結果（３０１）の診断情報を設定し、処理を終了する。

（５－４－５．肉厚剛性変化初期化処理の流れ）
診断装置（２）は、肉厚剛性診断設定値（３０２）の初期値を設定し、初期化実行命令（３０２ｕ）をリセットし、肉厚剛性診断結果（３０１）を初期化し、初期化フラグ（３０１ｔ）をセットし、更新フラグ（３０１ｓ）をセットし、密度診断完了信号（２１０）をリセットし、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットし、処理を終了する。

（５－４－６．肉厚剛性変化判定処理の流れ）
診断装置（２）は、肉厚剛性診断結果（３０１）および密度診断結果（２０１）と、肉厚剛性診断設定値（３０２）とを比較し、肉厚剛性診断結果（３０１）内の診断異常情報を設定し、初期化フラグ（３０１ｔ）をリセットし、更新フラグ（３０１ｓ）をセットし、密度診断完了信号（２１０）をリセットし、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をセットし、処理を終了する。

（５－５．流量誤差診断・簡易補正処理の流れ）
図４２を用いて、流量誤差診断・簡易補正処理の流れについて説明する。図４２は、実施形態に係る流量誤差診断・簡易補正処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。以下では、流量誤差診断・簡易補正処理全体の流れについて説明した上で、各処理の流れについて説明する。なお、下記の各処理は、異なる順序で実行することもできる。また、下記の各処理のうち、省略される処理があってもよい。

（５－５－１．流量誤差診断・簡易補正処理全体の流れ）
図４２に示すように、まず、診断装置（２）は、初期化判定処理を実行し（ステップＳ５０１～Ｓ５０９）、初期化実行信号１（５０７）がセットされている場合（ステップＳ５１０：Ｙｅｓ）、流量初期化処理を実行し（ステップＳ５１１）、処理を終了する。一方、診断装置（２）は、初期化実行信号１（５０７）がセットされていない場合（ステップＳ５１０：Ｎｏ）、ステップＳ５１２の処理に移行する。

診断装置（２）は、初期化実行信号２（５０８）がセットされている場合（ステップＳ５１２：Ｙｅｓ）、剛性肉厚初期化処理を実行し（ステップＳ５１３）、処理を終了する。一方、診断装置（２）は、初期化実行信号２（５０８）がセットされていない場合（ステップＳ５１２：Ｎｏ）、ステップＳ５１４の処理に移行する。

診断装置（２）は、更新実行信号（５０９）がセットされている場合（ステップＳ５１４：Ｙｅｓ）、流量補正係数更新処理を実行し（ステップＳ５１５）、処理を終了する。一方、診断装置（２）は、更新実行信号（５０９）がセットされていない場合（ステップＳ５１４：Ｎｏ）、処理を終了する。

（５－５－２．初期化判定処理の流れ）
図４２に示すように、まず、診断装置（２）は、初期化実行信号１（５０７）、初期化実行信号２（５０８）、更新実行信号（５０９）をリセットする（ステップＳ５０１）。次に、診断装置（２）は、流量校正完了信号（１２０）がセットされているかを判定する（ステップＳ５０２）。ここで、流量校正完了信号（１２０）は、校正装置（３）の質量流量校正部（４１）による質量流量校正処理が実行された場合にセットされる。このとき、診断装置（２）は、流量校正完了信号（１２０）がセットされている場合（ステップＳ５０２：Ｙｅｓ）、初期化実行信号１（５０７）をセットし（ステップＳ５０３）、ステップＳ５１０以降の処理に移行する。一方、診断装置（２）は、流量校正完了信号（１２０）がセットされていない場合（ステップＳ５０２：Ｎｏ）、ステップＳ５０４の処理に移行する。

診断装置（２）は、肉厚剛性診断完了信号（３１０）がセットされているかを判定する（ステップＳ５０４）。このとき、肉厚剛性診断完了信号（３１０）がセットされている場合（ステップＳ５０４：Ｙｅｓ）、ステップＳ５０５の処理に移行し、肉厚剛性診断完了信号（３１０）がセットされていない場合（ステップＳ５０４：Ｎｏ）、処理を終了する。ここで、肉厚剛性診断完了信号（３１０）は、肉厚剛性診断部（７０）による肉厚剛性診断処理が実行された場合にセットされる。

診断装置（２）は、初期値の存在を判定する（ステップＳ５０５）。ここで、診断装置（２）は、初期日時（５０２ｘ）が設定されているかを判断する。このとき、診断装置（２）は、初期値が存在しない場合（ステップＳ５０５：Ｙｅｓ）、初期化実行信号２（５０８）をセットし（ステップＳ５０８）、ステップＳ５１０以降の処理に移行する。一方、診断装置（２）は、初期値が存在する場合（ステップＳ５０５：Ｎｏ）、ステップＳ５０６の処理に移行する。

診断装置（２）は、初期化フラグ（３０１ｔ）がセットされているかを判定する（ステップＳ５０６）。このとき、診断装置（２）は、初期化フラグ（３０１ｔ）がセットされている場合（ステップＳ５０６：Ｙｅｓ）、初期化実行信号２（５０８）をセットし（ステップＳ５０８）、ステップＳ５１０以降の処理に移行する。一方、診断装置（２）は、初期化フラグ（３０１ｔ）がセットされていない場合（ステップＳ５０６：Ｎｏ）、ステップＳ５０７の処理に移行する。

診断装置（２）は、初期化実行命令（５０２ｕ）がセットされているかを判定する（ステップＳ５０７）。このとき、診断装置（２）は、初期化実行命令（５０２ｕ）がセットされている場合（ステップＳ５０７：Ｙｅｓ）、初期化実行信号２（５０８）をセットし（ステップＳ５０８）、ステップＳ５１０以降の処理に移行する。一方、診断装置（２）は、初期化実行命令（５０２ｕ）がセットされていない場合（ステップＳ５０７：Ｎｏ）、更新実行信号（５０９）をセットし（ステップＳ５０９）、ステップＳ５１０以降の処理に移行する。

（５－５－３．流量初期化処理の流れ）
診断装置（２）は、流量診断設定値（５０２）を初期化し、初期化実行命令（５０２ｕ）をセットし、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）に初期値１．０を設定し、流量診断結果（５０１）を初期化し、流量診断異常（５０１ｒ）をリセットし、初期化フラグ（５０１ｔ）をセットし、更新フラグ（５０１ｓ）をセットし、流量校正完了信号（１２０）をリセットし、処理を終了する。

（５－５－４．剛性肉厚初期化処理の流れ）
診断装置（２）は、流量診断設定値（５０２）を初期化し、初期化実行命令（５０２ｕ）をリセットし、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）に初期値１．０を設定し、流量診断結果（５０１）を初期化し、流量診断異常（５０１ｒ）をリセットし、初期化フラグ（５０１ｔ）をセットし、更新フラグ（５０１ｓ）をセットし、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をリセットし、処理を終了する。

（５－５－５．流量補正係数更新処理の流れ）
診断装置（２）は、流量補正係数、流量誤差率、流量変動率を計算する。このとき、診断装置（２）は、流量変動率ｒｑｄ（５０１ｃ）の絶対値が流量変動許容値（５０２ｈ）より大きい場合に、流量係数選択信号（５０４）をセットし、流量補正係数ｆｋ（２８ｕ）を設定する。また、診断装置（２）は、流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）の絶対値が、流量誤差警報値（５０２ｒ）より大きい場合に、流量診断異常（５０１ｒ）をセットする。一方、診断装置（２）は、流量誤差率ｒｑｅ（５０１ｂ）の絶対値が流量誤差警報値（５０２ｒ）以下である場合に、流量診断異常（５０１ｒ）をリセットする。

診断装置（２）は、初期化フラグ（５０１ｔ）をリセットし、更新フラグ（５０１ｓ）をセットし、肉厚剛性診断完了信号（３１０）をリセットし、処理を終了する。

（５－６．時期予測診断処理の流れ）
図４３を用いて、時期予測診断処理の流れについて説明する。図４３は、実施形態に係る時期予測診断処理全体の流れの一例を示すフローチャートである。なお、下記のステップＳ６０１～Ｓ６０５の処理は、異なる順序で実行することもできる。また、下記のステップＳ６０１～Ｓ６０５の処理のうち、省略される処理があってもよい。

診断装置（２）は、更新フラグがセットされているかを判定する（ステップＳ６０１）。このとき、診断装置（２）は、更新フラグがセットされている場合（ステップＳ６０１：Ｙｅｓ）、ステップＳ６０２の処理に移行する。一方、診断装置（２）は、更新フラグがいずれもセットされていない場合（ステップＳ６０１：Ｎｏ）、処理を終了する。なお、診断データの更新フラグは、各診断の結果に含まれる。

診断装置（２）は、密度校正結果（１５１）、密度診断結果（２０１）、肉厚剛性診断結果（３０１）および流量診断結果（５０１）をチェックし、診断結果のデータを取り込み（ステップＳ６０２）、取り込んだデータから変化傾向値（６０１）を算出し（ステップＳ６０３）、変化傾向値（６０１）と診断目標値（６０２）とから時期予測診断結果（６０３）を算出し（ステップＳ６０４）、更新フラグをリセットし（ステップＳ６０５）、処理を終了する。

〔６．実施形態の効果〕
最後に、実施形態の効果について説明する。以下では、実施形態に係る処理に対応する効果１～７について説明する。

（６－１．効果１）
上述した実施形態に係る処理では、振動させた振動管（１１）に作用するコリオリ力に基づいて振動管（１１）を流れる流体の流量および密度を計測するコリオリ質量流量計（１）を校正することによって生成された流体の密度の校正に関する密度校正結果（１５１）に基づいて、密度の校正前後の流体の密度誤差に関する密度診断結果（２０１）を生成し、密度診断結果（２０１）に基づいて振動管（１１）の肉厚および剛性のうち少なくとも１つに関する計算を実行し、振動管（１１）の変化に関する肉厚剛性診断結果（３０１）を生成する。このため、本処理では、コリオリ質量流量計（１）の振動管（１１）の状態を正確に診断することができる。

（６－２．効果２）
上述した実施形態に係る処理では、初期の密度測定係数と、密度校正結果（１５１）が示す密度測定係数と、測定対象の密度とを用いて密度誤差を算出し、密度診断結果（２０１）が示す密度測定係数の変化率と振動管（１１）の設計値とを用いて、振動管（１１）の肉厚変化および剛性変化に関する結果のうち少なくとも１つを含む肉厚剛性診断結果（３０１）を生成し、肉厚剛性診断結果（３０１）が閾値以上である場合に、振動管（１１）に関する異常を検出する。このため、本処理では、密度診断結果（２０１）および肉厚剛性診断結果（３０１）を効果的に生成することにより、コリオリ質量流量計（１）の振動管（１１）の状態を正確に診断することができる。

（６－３．効果３）
上述した実施形態に係る処理では、振動管（１１）の内径、肉厚、肉厚変化、肉厚変化率、剛性変化率、腐食診断および付着診断のうち少なくとも１つを含む肉厚剛性診断結果（３０１）を生成する。このため、本処理では、肉厚剛性診断結果（３０１）を効果的に使用することにより、コリオリ質量流量計（１）の振動管（１１）の状態を正確に診断することができる。

（６－４．効果４）
上述した実施形態に係る処理では、肉厚剛性診断結果（３０１）に基づいて流体の流量に関する計算を実行し、流体の流量誤差に関する流量診断結果（５０１）を生成する。このため、本処理では、流量診断結果（５０１）を生成することにより、コリオリ質量流量計（１）の振動管（１１）の状態を正確に診断するとともに、流量に関する簡易補正を行うことができる。

（６－５．効果５）
上述した実施形態に係る処理では、剛性変化率、肉厚変化率および密度測定係数の変化率のうち少なくとも１つを用いて流量補正係数を算出し、算出した流量補正係数に基づいて、コリオリ質量流量計（１）が流量の計測に用いる流量補正係数の更新制御を実行する。本処理では、流量診断結果（５０１）を効果的に生成することにより、コリオリ質量流量計（１）の振動管（１１）の状態を正確に診断するとともに、流量に関する簡易補正を行うことができる。

（６－６．効果６）
上述した本実施形態に係る処理では、密度校正結果（１５１）、密度診断結果（２０１）、肉厚剛性診断結果（３０１）または流量診断結果（５０１）に基づいて、コリオリ質量流量計（１）における障害の発生、メインテナンスもしくは機器の交換に関する所要時間、稼働時間または流体の積算流量を予測し、時期予測診断結果として生成する。このため、本処理では、コリオリ質量流量計（１）の振動管（１１）の状態を正確に診断するとともに、診断結果を効果的に活用することができる。

（６－７．効果７）
上述した本実施形態に係る処理では、密度校正結果（１５１）、密度診断結果（２０１）、肉厚剛性診断結果（３０１）または流量診断結果（５０１）が所定の警報値を超過した場合には、振動管（１１）に関する異常を通知する。このため、本処理では、コリオリ質量流量計（１）の振動管（１１）の状態を正確に診断するとともに、診断結果を効果的に活用し、有益な情報を提供することができる。

〔システム〕
上記文書中や図面中で示した処理手順、制御手順、具体的名称、各種のデータやパラメータを含む情報については、特記する場合を除いて任意に変更することができる。

また、図示した各装置の各構成要素は機能概念的なものであり、必ずしも物理的に図示の如く構成されていることを要しない。すなわち、各装置の分散や統合の具体的形態は図示のものに限られない。つまり、その全部または一部を、各種の負荷や使用状況などに応じて、任意の単位で機能的または物理的に分散・統合して構成することができる。

さらに、各装置にて行なわれる各処理機能は、その全部または任意の一部が、ＣＰＵおよび当該ＣＰＵにて解析実行されるプログラムにて実現され、あるいは、ワイヤードロジックによるハードウェアとして実現され得る。

〔ハードウェア〕
次に、診断装置（２）のハードウェア構成例を説明する。なお、他の装置も同様のハードウェア構成とすることができる。図４４は、ハードウェア構成例を説明する図である。図４４に示すように、診断装置（２）は、通信装置（２ａ）、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）（２ｂ）、メモリ（２ｃ）、プロセッサ（２ｄ）を有する。また、図４４に示した各部は、バス等で相互に接続される。

通信装置（２ａ）は、ネットワークインタフェースカードなどであり、他のサーバとの通信を行う。ＨＤＤ（２ｂ）は、図４に示した機能を動作させるプログラムやＤＢを記憶する。

プロセッサ（２ｄ）は、図４に示した各処理部と同様の処理を実行するプログラムをＨＤＤ（２ｂ）等から読み出してメモリ（２ｃ）に展開することで、図４等で説明した各機能を実行するプロセスを動作させる。例えば、このプロセスは、診断装置（２）が有する各処理部と同様の機能を実行する。具体的には、プロセッサ（２ｄ）は、密度誤差診断部（６１）、肉厚剛性診断部（７０）、流量誤差診断簡易補正部（８０）、時期予測診断部（９０）等と同様の機能を有するプログラムをＨＤＤ（２ｂ）等から読み出す。そして、プロセッサ（２ｄ）は、密度誤差診断部（６１）、肉厚剛性診断部（７０）、流量誤差診断簡易補正部（８０）、時期予測診断部（９０）等と同様の処理を実行するプロセスを実行する。

このように、診断装置（２）は、プログラムを読み出して実行することで各種処理方法を実行する情報処理装置として動作する。また、診断装置（２）は、媒体読取装置によって記録媒体から上記プログラムを読み出し、読み出された上記プログラムを実行することで上記した実施形態と同様の機能を実現することもできる。なお、この他の実施形態でいうプログラムは、診断装置（２）によって実行されることに限定されるものではない。例えば、他のコンピュータまたはサーバがプログラムを実行する場合や、これらが協働してプログラムを実行するような場合にも、本発明を同様に適用することができる。

このプログラムは、インターネットなどのネットワークを介して配布することができる。また、このプログラムは、ハードディスク、フレキシブルディスク（ＦＤ）、ＣＤ－ＲＯＭ、ＭＯ（Magneto－Optical disk）、ＤＶＤ（Digital Versatile Disc）などのコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、コンピュータによって記録媒体から読み出されることによって実行することができる。

１ コリオリ質量流量計
２ 診断装置
３ 校正装置
１０ 検出部
１１ 振動管
２０ 変換部
２１ 駆動制御部
２２ 質量流量演算部
２３ 密度演算部
３０ 表示操作部
３１ 外部装置
４０ 校正制御部
４１ 質量流量校正部
５１ 密度校正部
６０ 診断制御部
６１ 密度誤差診断部
７０ 肉厚剛性診断部
８０ 流量誤差簡易補正部
９０ 時期予測診断部
２００ 送受信部
３００ 通知部
１０００ 診断システム

Claims (8)

1. 振動させた振動管に作用するコリオリ力に基づいて前記振動管を流れる流体の流量および密度を計測するコリオリ質量流量計を校正することによって生成された前記流体の密度の校正に関する密度校正結果を取得する送受信部と、
   前記密度校正結果に基づいて、前記密度の校正前後の前記流体の密度誤差に関する密度診断結果を生成する密度誤差診断部と、
   前記密度校正結果または前記密度診断結果に基づいて前記振動管の肉厚および剛性のうち少なくとも１つに関する計算を実行し、前記振動管の変化に関する肉厚剛性診断結果を生成する肉厚剛性診断部と、
   前記肉厚剛性診断結果に基づいて前記流体の流量に関する計算を実行し、前記流体の流量誤差に関する流量診断結果を生成する流量誤差診断簡易補正部と、
   を備える診断装置。
2. 密度誤差診断部は、
   初期の密度測定係数と、前記密度校正結果が示す密度測定係数と、測定対象の密度とを用いて前記密度誤差を算出し、
   前記肉厚剛性診断部は、
   前記密度校正結果または前記密度診断結果が示す密度測定係数の変化率と前記振動管の設計値とを用いて、前記振動管の肉厚変化、剛性変化、腐食および付着に関する結果のうち少なくとも１つを含む前記肉厚剛性診断結果を生成し、
   前記肉厚剛性診断結果が閾値以上である場合に、前記振動管に関する異常を検出する、
   請求項１に記載の診断装置。
3. 前記肉厚剛性診断部は、
   前記振動管の内径、肉厚、肉厚変化、肉厚変化率、剛性変化率、腐食診断および付着診断のうち少なくとも１つを含む前記肉厚剛性診断結果を生成する、
   請求項２に記載の診断装置。
4. 前記流量誤差診断簡易補正部は、
   前記振動管の剛性変化率、肉厚変化率および密度測定係数の変化率のうち少なくとも１つを用いて、流量補正係数および流量誤差のうち少なくとも１つを含む前記流量診断結果を生成し、
   前記流量補正係数に基づいて、前記コリオリ質量流量計が前記流量の計測に用いる流量補正係数の更新制御を実行する、
   請求項１に記載の診断装置。
5. 前記密度校正結果、前記密度診断結果、前記肉厚剛性診断結果または前記流量診断結果に基づいて、前記コリオリ質量流量計における障害の発生、メインテナンスもしくは機器の交換に関する所要時間、稼働時間または前記流体の積算流量を予測し、時期予測診断結果として生成する時期予測診断部、
   をさらに備える請求項１に記載の診断装置。
6. 前記密度校正結果、前記密度診断結果、前記肉厚剛性診断結果または前記流量診断結果が所定の警報値を超過した場合には、前記振動管に関する異常を通知する通知部、
   をさらに備える請求項５に記載の診断装置。
7. コンピュータが、
   振動させた振動管に作用するコリオリ力に基づいて前記振動管を流れる流体の流量および密度を計測するコリオリ質量流量計を校正することによって生成された前記流体の密度の校正に関する密度校正結果を取得し、
   前記密度校正結果に基づいて、前記密度の校正前後の前記流体の密度誤差に関する密度診断結果を生成し、
   前記密度校正結果または前記密度診断結果に基づいて前記振動管の肉厚および剛性のうち少なくとも１つに関する計算を実行し、前記振動管の変化に関する肉厚剛性診断結果を生成し、
   前記肉厚剛性診断結果に基づいて前記流体の流量に関する計算を実行し、前記流体の流量誤差に関する流量診断結果を生成する、
   処理を実行する診断方法。
8. コンピュータに、
   振動させた振動管に作用するコリオリ力に基づいて前記振動管を流れる流体の流量および密度を計測するコリオリ質量流量計を校正することによって生成された前記流体の密度の校正に関する密度校正結果を取得し、
   前記密度校正結果に基づいて、前記密度の校正前後の前記流体の密度誤差に関する密度診断結果を生成し、
   前記密度校正結果または前記密度診断結果に基づいて前記振動管の肉厚および剛性のうち少なくとも１つに関する計算を実行し、前記振動管の変化に関する肉厚剛性診断結果を生成し、
   前記肉厚剛性診断結果に基づいて前記流体の流量に関する計算を実行し、前記流体の流量誤差に関する流量診断結果を生成する、
   処理を実行させる診断プログラム。

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