JP7666538B2 - ベーン、ベーンを備えた圧縮機、およびベーンの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ベーン、ベーンを備えた圧縮機、およびベーンの製造方法に関する。

ロータリ圧縮機の圧縮部としては、シリンダと、シリンダの内周面に沿って公転するピストンと、シリンダの両端のそれぞれを塞ぐ一対の端板と、を備えており、シリンダの内周面とピストンの外周面と一対の端板とに囲われるシリンダ室が形成され、このシリンダ室を吸入室と圧縮室とに区画するベーンが、シリンダに形成されたベーン溝に配置されているものがある。この種のベーンの外周面は、ピストンの外周面に対して摺動する先端面と、ベーン溝の内面に対して摺動する側面と、端板に対して摺動する端面と、を有している。したがって、ベーンの摺動面（先端面、側面、端面）には、ピストンや端板に対して繰り返し摺動しても摩耗しにくい耐摩耗性と、摺動による摩擦熱でベーン自身の温度が上昇しても変質しにくい耐焼き付き性が求められる。特にベーンの先端面は、ピストンとの摺動時にピストンの外周面から受ける圧力が大きいため、これに耐えられる高い硬度（耐摩耗性）が求められる。

特開２０１３－１５５７４９号公報 特開昭６０－２６１９５号公報 特開平１１－２８０６４８号公報

特許文献１に記載される回転式圧縮機に搭載されるベーンの製造工程では、まず、高速度鋼を母材として形成されたベーンの外表面に窒化処理を施すことで、ベーンを形成する基材の表面全体の組成を窒化拡散層に変化させている。なお、高速度鋼自体はＣｒ含有量が少ない鋼材（例えば、Ｃｒ含有量が３．８［ｗｔ％］～４．５［ｗｔ％］程度）であるため、ベーンを形成する母材の表面を窒化処理するだけでは、ベーンの摺動面として必要な耐摩耗性、耐焼き付き性を十分に得られない。そこで、特許文献１に記載されるベーンの製造工程では、窒化拡散層が外表面に露出した母材の表面全体に、さらに高硬度コーティング層としてのＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）層を形成し、ベーンの摺動面として必要な耐摩耗性、耐焼き付き性を確保している。しかし、特許文献１に記載されるような、ベーンを形成する母材の表面全体に高硬度コーティング層を形成する場合、高硬度コーティング層を形成する粒子をベーンの表面全体に密着させるために、高硬度コーティング層の成膜装置内で、複数のベーン同士の距離を離して配置した状態でコーティング処理を行うことになる。このため、一度にコーティング処理できるベーンの個数が少なくなり、ベーンの製造コストが増大する問題がある。

一方、Ｃｒ含有量が多い鋼材を母材として形成されたベーンが開示される先行技術も知られている（特許文献２）。特許文献２に記載されるロータリコンプレッサでは、Ｃｒ含有量が多い鋼材を母材として形成されたベーンの表面全体に窒化処理を施すことによって窒化拡散層を形成し、このＣｒ含有量が多い窒化拡散層をベーンの摺動面とすることで、耐摩耗性、耐焼き付き性を確保している。しかし、特許文献２に記載されるようなベーンは、ベーンの摺動面のうち側面及び端面として必要な耐摩耗性、耐焼き付き性は十分に得られるが、ピストンによって大きな力を受け且つピストンとの摺動時に接触する面積が小さいために大きな面圧を受ける、ベーンの先端面として必要な硬度が不足し、先端面の摩耗が進行するおそれがある。また、このようなベーンは、Ｃｒ含有量が多い鋼材を窒化処理することで、ベーンを形成する母材の表面に形成された窒化拡散層の上に、硬く脆い窒化化合物層、いわゆる白層が厚く形成されてしまう。このため、仮にベーンの硬度をさらに高めるために窒化化合物層の上に高硬度コーティング層を形成しようとしても、窒化化合物層と共に高硬度コーティング層が剥離するおそれがあり、高硬度コーティング層の密着性が低い問題がある。

特許文献３には、窒化処理によって表面に窒化化合物層が形成されたベーンと高硬度コーティング層との密着性を高める技術が記載されている。特許文献３に記載される回転圧縮機では、ベーンを形成する母材の表面を窒化処理した後、高硬度コーティング層を形成する前に、窒化処理された母材の表面に高硬度コーティング層の構成分子のイオンを照射している。これにより、ベーンを形成する母材の表面に、高硬度コーティング層の構成分子とベーンの母材の構成分子とが結合した混合層が形成される。そして、混合層の上に高硬度コーティング層を形成することで、窒化化合物層が形成された母材と高硬度コーティング層との密着性を高められる。しかし、特許文献３のように混合層を形成する特殊な工程を追加すると、ベーンの製造コストが増大する問題がある。

開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであって、ベーンの先端面を形成する母材から硬質皮膜が剥離することを防止しつつ、ベーンの製造コストを低減するベーン、ベーンを備えた圧縮機、およびベーンの製造方法を提供することを目的とする。

本願の開示するベーンの一態様は、シリンダと、前記シリンダの内周面に沿って公転するピストンと、前記シリンダの端部を塞ぐ端板と、を備える圧縮機に用いられ、前記シリンダと前記ピストンと前記端板とに囲われるシリンダ室を、吸入室と圧縮室とに区画するベーンであり、前記ベーンは、クロムの含有量が４．５ｗｔ％を超える材料から形成される母材と、前記母材のうちの先端面を被覆する硬質皮膜と、を有し、前記母材には、基材層および窒化拡散層が、形成され、前記硬質皮膜は、前記母材の前記窒化拡散層の表面に単一の材料から形成されるとともに、前記先端面の外表面に露出し、前記母材は、前記シリンダに摺動する側面、および、前記端板に摺動する端面をさらに備え、前記母材の前記側面と前記端面とは、窒化拡散層が、前記側面と前記端面のそれぞれの外表面に露出している。

本願の開示するベーンの一態様によれば、ベーンの先端面を形成する母材から硬質皮膜が剥離することを防止しつつ、ベーンの製造コストを低減することができる。

図１は、実施例１のベーンを備える圧縮機を示す縦断面図である。 図２は、実施例１の圧縮機の圧縮部を示す分解斜視図である。 図３は、実施例１のベーンを示す斜視図である。 図４は、実施例１のベーンの硬質皮膜及び窒化層を示す断面図である。 図５は、実施例１のベーンの先端部を拡大して示す断面図である。 図６は、実施例１のベーンの製造方法を説明するための模式図である。 図７は、窒化処理直後の母材の表面を示す断面図である。 図８は、実施例１における硬質皮膜の形成工程の一例を説明するための模式図である。 図９は、実施例２のベーンの先端部を拡大して示す断面図である。 図１０は、実施例２における硬質皮膜の形成工程の一例を説明するための模式図である。

以下に、本願が開示する実施形態にかかるベーン、ベーンを備えた圧縮機、およびベーンの製造方法について図面を参照して説明する。なお、以下の記載により本開示の技術が限定されるものではない。また、以下の記載においては、同一の構成要素に同一の符号を付与し、重複する説明を省略する。

（圧縮機の構成）
図１は、実施例１のベーンを備える圧縮機を示す縦断面図である。図１に示すように、圧縮機１は、本体容器１０の内部に、冷媒をアキュムレータ２５から吸入して圧縮した冷媒を本体容器１０の内部に吐出する圧縮部１２と、圧縮部１２を駆動するモータ１１と、が収容され、圧縮部１２で圧縮された高圧冷媒を本体容器１０の内部に吐出し、さらに吐出管１０７を通して冷凍サイクルに吐出するロータリ圧縮機である。また、圧縮機１は、モータ１１の駆動力を圧縮部１２に伝える回転軸１５と、本体容器１０の外周面に固定されたアキュムレータ２５を備える。

本体容器１０には、冷凍サイクルの低圧冷媒を圧縮部１２に吸入するための上圧縮部吸入管１０２Ｔ及び下圧縮部吸入管１０２Ｓが本体容器１０を貫通して設けられている。詳しくは、本体容器１０に上ガイド管１０１Ｔが例えばろう付けによって固定され、上圧縮部吸入管１０２Ｔは上ガイド管１０１Ｔの内側を通って上ガイド管１０１Ｔに例えばろう付けによって固定されている。同様に、本体容器１０に下ガイド管１０１Ｓが例えばろう付けによって固定され、下圧縮部吸入管１０２Ｓは下ガイド管１０１Ｓの内側を通って下ガイド管１０１Ｓに例えばろう付けによって固定されている。

圧縮部１２で圧縮された高圧冷媒を本体容器１０の内部から冷凍サイクルに吐出するための吐出管１０７が本体容器１０における上部を貫通して設けられている。本体容器１０における下部には、圧縮機１全体を支持するベース部材３１０が溶接によって固定されている。

アキュムレータ２５は、アキュムレータ２５の内部に冷凍サイクルから冷媒を吸入するアキュムレータ吸入管２７と、気体冷媒を圧縮部１２に送るための上気液分離管３１Ｔ及び下気液分離管３１Ｓと、を備える。アキュムレータ吸入管２７は、アキュムレータ２５における上部に接続されている。上気液分離管３１Ｔは、上連絡管１０４Ｔを介して上圧縮部吸入管１０２Ｔと接続されている。下気液分離管３１Ｓは、下連絡管１０４Ｓを介して下圧縮部吸入管１０２Ｓと接続されている。

図２は、実施例１の圧縮機１の圧縮部１２を示す分解斜視図である。図１及び図２に示すように、圧縮部１２は、上シリンダ１２１Ｔと、下シリンダ１２１Ｓと、中間仕切板１４０と、上端板１６０Ｔと、下端板１６０Ｓと、を有しており、上端板１６０Ｔ、上シリンダ１２１Ｔ、中間仕切板１４０、下シリンダ１２１Ｓ、下端板１６０Ｓの順に積層され、複数のボルト１７５により固定されている。上端板１６０Ｔには主軸受部１６１Ｔが設けられている。下端板１６０Ｓには副軸受部１６１Ｓが設けられている。回転軸１５には主軸部１５３と、上偏心部１５２Ｔと、下偏心部１５２Ｓと、副軸部１５１と、が設けられている。回転軸１５は、圧縮部１２に支持される主軸部１５３及び副軸部１５１を有する。回転軸１５の主軸部１５３が上端板１６０Ｔの主軸受部１６１Ｔに嵌め込まれ、回転軸１５の副軸部１５１が下端板１６０Ｓの副軸受部１６１Ｓに嵌め込まれることにより、回転軸１５は主軸受部１６１Ｔ及び副軸受部１６１Ｓに回転自在に支持される。

モータ１１は、外側に配置されたステータ１１１と、内側に配置されたロータ１１２と、を有している。ステータ１１１は、本体容器１０の内周面１０ａに例えば焼嵌めや溶接によって固定されている。ロータ１１２は、回転軸１５に焼嵌めによって固定されている。

本体容器１０の内部には、圧縮部１２の摺動部材の潤滑、及びシリンダ室内の高圧部と低圧部とのシールのために、圧縮部１２がほぼ浸漬する量の潤滑油１８が封入されている。

次に、図２を用いて圧縮部１２を詳しく説明する。上シリンダ１２１Ｔには内部に円筒状の上中空部１３０Ｔが設けられ、上中空部１３０Ｔには上ピストン１２５Ｔが配置されている。上ピストン１２５Ｔは回転軸１５の上偏心部１５２Ｔに嵌め込まれている。下シリンダ１２１Ｓには内部に円筒状の下中空部１３０Ｓが設けられ、下中空部１３０Ｓには下ピストン１２５Ｓが配置されている。下ピストン１２５Ｓは回転軸１５の下偏心部１５２Ｓに嵌め込まれている。

上シリンダ１２１Ｔには上中空部１３０Ｔから外周側へ延びる上ベーン溝１２８Ｔが設けられており、上ベーン溝１２８Ｔに上ベーン１２７Ｔが配置されている。上シリンダ１２１Ｔには外周から上ベーン溝１２８Ｔに通じる上スプリング穴１２４Ｔが設けられており、上スプリング穴１２４Ｔに上スプリング１２６Ｔが配置されている。下シリンダ１２１Ｓには下中空部１３０Ｓから外周側へ延びる下ベーン溝１２８Ｓが設けられており、下ベーン溝１２８Ｓに下ベーン１２７Ｓが配置されている。下シリンダ１２１Ｓには外周から下ベーン溝１２８Ｓに通じる下スプリング穴１２４Ｓが設けられており、下スプリング穴１２４Ｓに下スプリング１２６Ｓが配置されている。

上ベーン１２７Ｔの一端が上スプリング１２６Ｔによって上ピストン１２５Ｔに押し当てられることにより、上シリンダ１２１Ｔの上中空部１３０Ｔにおいて上ピストン１２５Ｔの外側の空間が、上シリンダ室である上吸入室１３１Ｔと上圧縮室１３３Ｔに区画される。上シリンダ１２１Ｔには、外周から上吸入室１３１Ｔに連通する上吸入穴１３５Ｔが設けられている。上吸入穴１３５Ｔには上圧縮部吸入管１０２Ｔが接続されている。下ベーン１２７Ｓの一端が下スプリング１２６Ｓによって下ピストン１２５Ｓに押し当てられることにより、下シリンダ１２１Ｓの下中空部１３０Ｓにおいて下ピストン１２５Ｓの外側の空間が、下シリンダ室である下吸入室１３１Ｓと下圧縮室１３３Ｓに区画される。下シリンダ１２１Ｓには、外周から下吸入室１３１Ｓに連通する下吸入穴１３５Ｓが設けられている。下吸入穴１３５Ｓには下圧縮部吸入管１０２Ｓが接続されている。

上端板１６０Ｔには、上端板１６０Ｔを貫通して上圧縮室１３３Ｔに連通する上吐出穴１９０Ｔが設けられている。上端板１６０Ｔには、上吐出穴１９０Ｔを開閉するリード弁である上吐出弁２００Ｔと、上吐出弁２００Ｔの反りを規制する上吐出弁押さえ２０１Ｔと、が上リベット２０２Ｔによって固定されている。上端板１６０Ｔの上側には、上吐出穴１９０Ｔを覆う上端板カバー１７０Ｔが配置され、上端板１６０Ｔと上端板カバー１７０Ｔとで閉塞される上端板カバー室１８０Ｔが形成される。上端板カバー１７０Ｔは、上端板１６０Ｔと上シリンダ１２１Ｔとを固定する複数のボルト１７５によって上端板１６０Ｔに固定される。上端板カバー１７０Ｔには、上端板カバー室１８０Ｔと本体容器１０の内部を連通する上端板カバー吐出穴１７２Ｔが設けられている。また、圧縮部１２が本体容器１０内に設けられる際、本体容器１０の内周面１０ａが上端板１６０Ｔの外周面１８２ａに焼き嵌めされると共に、本体容器１０と溶接された複数の溶接部によって接合される。本実施例１における上端板１６０Ｔの構造の詳細については後述する。

下端板１６０Ｓには、下端板１６０Ｓを貫通して下圧縮室１３３Ｓに連通する下吐出穴１９０Ｓが設けられている。下端板１６０Ｓには、下吐出穴１９０Ｓを開閉するリード弁である下吐出弁２００Ｓと、下吐出弁２００Ｓの反りを規制する下吐出弁押さえ２０１Ｓと、が下リベット２０２Ｓによって固定されている。下端板１６０Ｓの下側には、下吐出穴１９０Ｓを覆う下端板カバー１７０Ｓが配置され、下端板１６０Ｓと下端板カバー１７０Ｓとで閉塞される下端板カバー室１８０Ｓを形成する（図１参照）。下端板カバー１７０Ｓは、下端板１６０Ｓと下シリンダ１２１Ｓとを固定する複数のボルト１７５によって下端板１６０Ｓに固定される。

また、圧縮部１２には、下端板１６０Ｓ、下シリンダ１２１Ｓ、中間仕切板１４０、上端板１６０Ｔ及び上シリンダ１２１Ｔを貫通し、下端板カバー室１８０Ｓと上端板カバー室１８０Ｔとを連通する冷媒通路穴１３６（図２参照）が設けられている。

以下に、回転軸１５の回転による冷媒の流れを説明する。回転軸１５の回転によって、回転軸１５の上偏心部１５２Ｔに嵌め込まれた上ピストン１２５Ｔ、及び下偏心部１５２Ｓに嵌め込まれた下ピストン１２５Ｓが公転運動することにより、上吸入室１３１Ｔ及び下吸入室１３１Ｓが容積を拡大しながら冷媒を吸入する。冷媒の吸入路として、冷凍サイクルの低圧冷媒は、アキュムレータ吸入管２７を通してアキュムレータ２５の内部に吸入され、気体冷媒だけが上気液分離管３１Ｔ及び下気液分離管３１Ｓに吸入される。上気液分離管３１Ｔに吸入された気体冷媒は、上連絡管１０４Ｔと上圧縮部吸入管１０２Ｔとを通って上吸入室１３１Ｔに吸入される。同様に、下気液分離管３１Ｓに吸入された気体冷媒は、下連絡管１０４Ｓと下圧縮部吸入管１０２Ｓとを通って下吸入室１３１Ｓに吸入される。

次に、回転軸１５の回転による吐出冷媒の流れを説明する。回転軸１５の回転によって、回転軸１５の上偏心部１５２Ｔに嵌合された上ピストン１２５Ｔが公転運動することにより、上圧縮室１３３Ｔが容積を縮小しながら冷媒を圧縮し、圧縮した冷媒の圧力が上吐出弁２００Ｔの外側の上端板カバー室１８０Ｔの圧力よりも高くなったとき、上吐出弁２００Ｔが開いて上圧縮室１３３Ｔから上端板カバー室１８０Ｔへ冷媒を吐出する。上端板カバー室１８０Ｔに吐出された冷媒は、上端板カバー１７０Ｔに設けられた上端板カバー吐出穴１７２Ｔから本体容器１０内に吐出される。

また、回転軸１５の回転によって、回転軸１５の下偏心部１５２Ｓに嵌め込まれた下ピストン１２５Ｓが公転運動することにより、下圧縮室１３３Ｓが容積を縮小しながら冷媒を圧縮し、圧縮した冷媒の圧力が下吐出弁２００Ｓの外側の下端板カバー室１８０Ｓの圧力よりも高くなったとき、下吐出弁２００Ｓが開いて下圧縮室１３３Ｓから下端板カバー室１８０Ｓへ冷媒を吐出する。下端板カバー室１８０Ｓに吐出された冷媒は、冷媒通路穴１３６及び上端板カバー室１８０Ｔを通って上端板カバー１７０Ｔに設けられた上端板カバー吐出穴１７２Ｔから本体容器１０内に吐出される。

本体容器１０内に吐出された冷媒は、ステータ１１１の外周に設けられた上下を連通する切欠き（図示せず）、又はステータ１１１の巻線部の隙間（図示せず）、又はステータ１１１とロータ１１２との隙間１１５（図１参照）を通ってモータ１１の上方に導かれ、本体容器１０の上部に配置された吐出管１０７から吐出される。

次に、潤滑油１８の流れを説明する。本体容器１０の下部に封入されている潤滑油１８は、回転軸１５の遠心力により回転軸１５の内部（図示せず）を通って圧縮部１２に供給される。圧縮部１２に供給された潤滑油１８は、冷媒に巻き込まれ霧状となって冷媒と共に本体容器１０の内部に排出される。霧状となって本体容器１０の内部に排出された潤滑油１８はモータ１１の回転力によって遠心力で冷媒と分離され、油滴となって再び本体容器１０の下部に戻る。しかし一部の潤滑油１８は分離されずに冷媒と共に冷凍サイクルに排出される。冷凍サイクルに排出された潤滑油１８は冷凍サイクルを循環してアキュムレータ２５に戻り、アキュムレータ２５の内部で分離されアキュムレータ２５における下部に滞留する。アキュムレータ２５における下部に滞留した潤滑油１８は吸入冷媒と共に上吸入室１３１Ｔ、下吸入室１３１Ｓに吸入される。

（圧縮機１の特徴的な構成）
次に、実施例１のベーンの特徴的な構成について説明する。図３は、実施例１のベーンを示す斜視図である。上ベーン１２７Ｔと下ベーン１２７Ｓ（以下、ベーン１２７とも称する。）は構造が同一であるため、以下、上ベーン１２７Ｔについて説明し、下ベーン１２７Ｓの説明を省略する。上ベーン１２７Ｔは、上ピストン１２５Ｔの外周面に対して摺動する先端面１２９ａと、上ベーン溝１２８Ｔの内面に対して摺動する第１側面１２９ｂ及び第２側面１２９ｃと、を有する。また、上ベーン１２７Ｔは、上端板１６０Ｔの端面に対して摺動する第１端面１２９ｄと、端板としての中間仕切板１４０の端面に対して摺動する第２端面１２９ｅと、上スプリング１２６Ｔによって押圧される背面１２９ｆと、を有する。なお、下ベーン１２７Ｓについて補足すると、下ベーン１２７Ｓは、端板としての中間仕切板１４０の端面に対して摺動する第１端面１２９ｄと、下端板１６０Ｓの端面に対して摺動する第２端面１２９ｅと、を有する。第１側面１２９ｂ及び第２側面１２９ｃ、第１端面１２９ｄ及び第２端面１２９ｅは、それぞれ平坦な板状に形成されている。

上ベーン１２７Ｔの先端面１２９ａは、第１端面１２９ｄ及び第２端面１２９ｅに直交する方向から見たときに、円弧状に形成されている。上ベーン１２７Ｔの背面１２９ｆには、上スプリング１２６Ｔの端部が係合する係合部１３８が、平坦な背面１２９ｆの一部を切り欠いて形成されている。

上ベーン１２７Ｔは、母材２１０と硬質皮膜２２０とを備えている。母材２１０は、クロム（Ｃｒ）の含有量が４．５［ｗｔ％］を超える材料によって、後述する基材層２１１が形成されている。材料の一例としては、クロム（Ｃｒ）の含有量が１６［ｗｔ％］～１８［ｗｔ％］程度のＳＵＳ４４０Ｃ（マルテンサイト系ステンレス鋼の一種）、クロム（Ｃｒ）の含有量が４．８［ｗｔ％］～５．５［ｗｔ％］程度のＳＫＤ６１（ダイス鋼の一種）、クロム（Ｃｒ）の含有量１１．０［ｗｔ％］～１３．０［ｗｔ％］程度のＳＫＤ１１（ダイス鋼の一種）などが用いられている。このように上ベーン１２７Ｔは、クロム（Ｃｒ）の含有量が４．５［ｗｔ％］を超える材料によって母材２１０の基材層２１１が形成されることで耐摩耗性及び耐焼き付き性が適正に確保されている。また、上ベーン１２７Ｔは、クロム（Ｃｒ）の含有量が１０［ｗｔ％］を超えるステンレス鋼によって母材２１０の基材層２１１が形成される場合には、特に摺動面積が広い第１側面１２９ｂ及び第２側面１２９ｃの耐摩耗性、耐焼き付き性を十分に確保することができる。

図４は、実施例１のベーン１２７の硬質皮膜２２０を示す断面図である。図４は、ベーン１２７の第１端面１２９ｄ及び第２端面１２９ｅに直交する断面を示している。図５は、実施例１のベーン１２７の先端部を拡大して示す断面図である。図５は、ベーン１２７の第１側面１２９ｂ及び第２側面１２９ｃに直交する断面を示している。

図４に示すように、上ベーン１２７Ｔの先端面１２９ａには、硬質皮膜２２０が形成されている。また、母材２１０の外周面の全域には、基材層２１１を覆うように窒化拡散層２１２が形成されており、窒化拡散層２１２の上に、緻密層２１３が形成されている。

図５に示すように、上ベーン１２７Ｔの先端面１２９ａの全域には、硬質皮膜２２０が形成されている。硬質皮膜２２０は、母材２１０の緻密層２１３の表面の側に形成され、緻密層２１３に密着している。硬質皮膜２２０は、ビッカース硬さが１５００ＨＶ以上である材料から形成されている。硬質皮膜２２０は、ダイヤモンドライクカーボン（Ｄｉａｍｏｎｄ－Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ：ＤＬＣ、ダイヤモンド状炭素）、窒化クロム（ＣｒＮ）、窒化二クロム（Ｃｒ_２Ｎ）等が例示される。上ベーン１２７Ｔは、上ベーン１２７Ｔの先端面１２９ａに硬質皮膜２２０が設けられていることにより、先端面１２９ａの耐摩耗性が適正に確保されている。

（ベーンの製造方法）
実施例１のベーンの製造方法は、以上のように構成された実施例１のベーン１２７を製造する方法である。図６は、実施例１のベーンの製造方法を説明するための模式図である。図６は、実施例１のベーンの製造方法により、図６（ａ）～図６（ｄ）の順番でベーン１２７の性状が変化することを示している。

図６（ａ）に示すように、窒化処理前のベーン１２７の母材２１０は、クロム（Ｃｒ）の含有量が４．５［ｗｔ％］を超える材料によって母材２１０の全体が形成される。実施例では、母材２１０において、窒化処理前の母材２１０と同じ組成である領域を基材層２１１と称する。母材２１０の基材層２１１におけるクロム（Ｃｒ）の含有量が高いことにより、ベーン１２７の耐摩耗性及び耐焼き付き性が適正に確保される。実施例１のベーン１２７では、例えば、クロム（Ｃｒ）の含有量が１６［ｗｔ％］～１８［ｗｔ％］程度のマルテンサイト系ステンレス鋼によって母材２１０の基材層２１１が形成される。ベーン１２７は、クロム（Ｃｒ）の含有量が１０［ｗｔ％］を超えるステンレス鋼によって母材２１０の基材層２１１が形成されることで、特に摺動面積が広い第１側面１２９ｂ及び第２側面１２９ｃの耐摩耗性、耐焼き付き性を十分に確保することができる。

母材２１０が形成された後、母材２１０が焼き入れ（金属をオーステナイト組織になるまで加熱した後、急冷してマルテンサイト組織を得る熱処理）される。この焼き入れにより、母材２１０の耐摩耗性、機械的強度が向上する。母材２１０の焼き入れ後、母材２１０が焼き戻し（焼き入れ等により不安定となった組織を持つ金属を適切な温度に保持することで金属の組織を安定化させる熱処理）される。この焼き戻しにより、母材２１０の靭性が向上する。

母材２１０が焼き戻しされた後に、母材２１０は窒化処理される（ステップＳ１）。窒化処理は、ガス窒化やガス軟窒化、イオン窒化等が例示される。図６（ｂ）に示すように、窒化処理では、母材２１０の表面から内部に窒素原子Ｎが浸透して拡散し、母材２１０の表面に窒化層２１４が形成される。そのため、窒化層２１４は、基材層２１１を囲むように形成される。ここでの窒化層２１４は、窒化処理によって基材層２１１の組織が変化することで形成された層を指す。なお、母材２１０において、窒化処理される直前の段階での母材２１０の基材層２１１と同じ組成で形成されている箇所は、窒化処理の以後も基材層２１１と称する。

図７は、窒化処理された直後の母材２１０の表面を拡大して示す断面図である。窒化層２１４は、実施形態では、窒化拡散層２１２と窒化化合物層２１６（白層）とから形成されている。窒化拡散層２１２は、基材層２１１の外表面の側に形成されている。窒化拡散層２１２は、体心立方晶構造のα（アルファ）相から形成され、窒化拡散層２１２には、窒素原子Ｎが固溶している。窒化化合物層２１６（白層）は、緻密層２１３と多孔質層２１７とから形成されている。緻密層２１３は、窒化拡散層２１２の外表面の側に形成されている。緻密層２１３は、窒化鉄Ｆｅ_４Ｎを主成分とし、面心立方晶構造のγ’（ガンマプライム）相から形成されている。多孔質層２１７は、緻密層２１３の外表面の側に形成され、窒化処理された直後の母材２１０の外表面に露出するように形成されている。また多孔質層２１７は、窒化鉄Ｆｅ_２Ｎ、Ｆｅ_３Ｎを主成分とし、最密六方晶構造のε（イプシロン）相から形成されている。そのため、窒化処理された直後の母材２１０の表面には、多孔質層２１７、緻密層２１３、窒化拡散層２１２、基材層２１１が、外側から順にこの順番で並んでいる。

母材２１０が窒化処理された後に、母材２１０は表面が削られる（ステップＳ２）。この工程では、先端面１２９ａと第１側面１２９ｂと第２側面１２９ｃと第１端面１２９ｄと第２端面１２９ｅとに形成された窒化化合物層２１６の表層がそれぞれ削られる。これにより、窒化処理に伴って母材２１０の表面に生じた微少な膨らみや微小な凹部を有する表層を削り、第１側面１２９ｂと第２側面１２９ｃと第１端面１２９ｄと第２端面１２９ｅとを平坦化とすることで、上ベーン溝１２８Ｔ（下ベーン溝１２８Ｓ）の内面、上端板１６０Ｔ（下端板１６０Ｓ）及び中間仕切板１４０の端面に対して摺動するベーン１２７の寸法精度や面精度（平面度）を確保することができる。実施例１では、母材２１０の表面に緻密層２１３が露出するように、窒化化合物層２１６（白層）の少なくとも多孔質層２１７が除去される。

母材２１０の表面が削られた後に、母材２１０の先端面１２９ａに硬質皮膜２２０が形成される（ステップＳ３）。硬質皮膜２２０は、ビッカース硬さが１５００ＨＶ以上である材料から形成されている。その材料としては、例えば、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）、窒化クロム（ＣｒＮ）、窒化二クロム（Ｃｒ_２Ｎ）等が例示される。これにより、ベーン１２７の先端面１２９ａの耐摩耗性が向上する。実施例１では、先端面１２９ａの緻密層２１３に密着するように、硬質皮膜２２０が形成される。

硬質皮膜２２０の形成は、例えば、成膜装置に設けられる処理室で、真空蒸着、スパッタリングによって形成される。図８は、実施例１における硬質皮膜２２０の形成工程の一例を説明するための模式図である。硬質皮膜２２０を形成する形成工程（ステップＳ３）では、成膜装置に設けられた処理室に複数の母材２１０が配列される。このとき、複数の母材２１０は、隣り合わせに置かれた母材２１０の各側面１２９ｂ、１２９ｃ同士、すなわち、対向する第１側面１２９ｂと第２側面１２９ｃが接するように並べると共に、隣り合わせに置かれた母材２１０の各端面１２９ｄ、１２９ｅ同士、すなわち、対向する第１端面１２９ｄと第２端面１２９ｅが接するように、配列される。成膜装置は、このように並べられた複数の母材２１０の各先端面１２９ａに硬質皮膜２２０を一括して形成する。これにより、１度の形成工程で硬質皮膜２２０が形成される母材２１０の個数を増やせるので、ベーン１２７の製造コストを低減することができる。

さらに、隣り合う母材２１０の各側面１２９ｂ、１２９ｃ同士、端面１２９ｄ、１２９ｅ同士が接するように並べることで、側面１２９ｂ、１２９ｃ、端面１２９ｄ、１２９ｅに硬質皮膜２２０が形成されないように、側面１２９ｂ、１２９ｃ、端面１２９ｄ、１２９ｅをマスキングすることができる。このように、ベーン１２７へのコーティングのマスキング部材として他のベーン１２７を利用することで、母材２１０の硬質皮膜２２０を形成しない面をマスキングする工程を別途設ける必要がなく、マスキング工程を削減することができる。ベーンの製造方法は、マスキング工程が削減されることにより、ベーン１２７の製造コストを低減することができる。

硬質皮膜２２０が緻密層２１３に密着する場合の密着性は、硬質皮膜２２０が多孔質層２１７に密着する場合の密着性に比較して良好である。このため、硬質皮膜２２０を緻密層２１３に密着させるように作製された実施例１のベーン１２７は、多孔質層２１７を介して硬質皮膜２２０と母材２１０とが密着している他のベーンに比較して、硬質皮膜２２０を母材２１０により強く密着させることができ、先端面１２７ａから硬質皮膜２２０が剥離することを防止することができる。

また、多孔質層２１７は、硬度が高い一方で脆いという特性を有している。このため、多孔質層２１７を除去することで母材２１０の表面に緻密層２１３を露出させたのちに緻密層２１３に密着するように硬質皮膜２２０が形成された実施例１のベーン１２７は、多孔質層２１７を介して硬質皮膜２２０と母材２１０とが密着している他のベーンに比較して、高い面圧で摺動する際に多孔質層が脱落してしまうことによる異常摩耗を未然に防ぐことができる。

（実施例１のベーン１２７の効果）
実施例１のベーン１２７は、上シリンダ１２１Ｔ（下シリンダ１２１Ｓ）と、上シリンダ１２１Ｔ（下シリンダ１２１Ｓ）の内周面に沿って公転する上ピストン１２５Ｔ（下ピストン１２５Ｓ）と、上シリンダ１２１Ｔ（下シリンダ１２１Ｓ）の端部を塞ぐ上端板１６０Ｔ（下端板１６０Ｓ、中間仕切板１４０）とを備える圧縮機１に用いられ、上シリンダ１２１Ｔ（下シリンダ１２１Ｓ）と上ピストン１２５Ｔ（下ピストン１２５Ｓ）と上端板１６０Ｔ（下端板１６０Ｓ、中間仕切板１４０）とに囲われる上シリンダ室（下シリンダ室）を、上吸入室１３１Ｔ（下吸入室１３１Ｓ）と上圧縮室１３３Ｔ（下圧縮室１３３Ｓ）とに区画する。ベーン１２７は、クロム（Ｃｒ）の含有量が４．５ｗｔ％を超える材料から形成される母材２１０と、母材２１０のうちの先端面１２９ａを被覆する硬質皮膜２２０とを有している。母材２１０には、基材層２１１および窒化拡散層２１２、もしくは、基材層２１１および窒化拡散層２１２に加えて窒化拡散層２１２の上にＦｅ４Ｎを主成分とするガンマプライム相から成る緻密層２１３が、形成されている。硬質皮膜２２０は、母材２１０の窒化拡散層２１２、もしくは、母材２１０の緻密層２１３の、いずれかの層の表面に形成されている。これにより、ベーン１２７は、特に高い耐摩耗性が必要な先端面１２９ａの硬度を硬質皮膜２２０により確保する一方、硬質皮膜２２０が形成されていない（先端面１２９ａ以外の）摺動面の耐摩耗性と耐焼き付き性をも確保し、かつ先端面１２９ａから硬質皮膜２２０が剥離することを防止することができる。

また、実施例１のベーン１２７の母材２１０は、上シリンダ１２１Ｔ（下シリンダ１２１Ｓ）に摺動する第１側面１２９ｂおよび第２側面１２９ｃ、および、上端板１６０Ｔ（下端板１６０Ｓ、中間仕切板１４０）に摺動する第１端面１２９ｄ（第２端面１２９ｅ）をさらに備えている。母材２１０の第１側面１２９ｂおよび第２側面１２９ｃと第１端面１２９ｄ（第２端面１２９ｅ）とは、窒化拡散層２１２、もしくは、窒化鉄Ｆｅ_４Ｎを主成分とするガンマプライム相から成る緻密層２１３、もしくは、窒化鉄Ｆｅ_２Ｎ，Ｆｅ_３Ｎを主成分とする多孔質層２１７のうち、いずれかの層が外表面に露出している。これにより、ベーン１２７は、先端面１２９ａ以外の摺動面（第１側面１２９ｂと第２側面１２９ｃと第１端面１２９ｄと第２端面１２９ｅ）についても、耐摩耗性と耐焼き付き性を十分に確保することができる。

また、実施例１のベーン１２７の硬質皮膜２２０のビッカース硬さは、１５００ＨＶ以上である。これにより、ベーン１２７は、先端面１２９ａの耐摩耗性を適正に確保することができる。たとえば、硬質皮膜２２０は、ダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）から形成されている。これにより、ベーン１２７は、先端面１２９ａの耐摩耗性を特に適正に確保することができる。

また、実施例１のベーン１２７の母材２１０は、クロム（Ｃｒ）の含有量が１０．５ｗｔ．％以上であるステンレス鋼から形成されている。たとえば、母材２１０は、クロム（Ｃｒ）の含有量が１６［ｗｔ％］～１８［ｗｔ％］程度のマルテンサイト系ステンレス鋼から形成されている。このように、ベーン１２７は、母材２１０の基材層２１１におけるクロム（Ｃｒ）の含有量が高いことで、特に摺動面積が広い第１側面１２９ｂと第２側面１２９ｃと第１端面１２９ｄと第２端面１２９ｅとについても、耐摩耗性、耐焼き付き性を十分に確保することができる。

実施例１のベーンの製造方法は、実施例１のベーン１２７を製造するときに利用される製造方法であり、母材２１０を窒化処理することにより、母材２１０に、窒化処理によって基材層２１１の組織が変化することで形成された窒化層２１４（窒化拡散層２１２と、緻密層２１３と、窒化鉄Ｆｅ_２Ｎ，Ｆｅ_３Ｎを主成分とする多孔質層２１７とを含む）を形成する工程（ステップＳ１）と、母材２１０に窒化層２１４が形成された後に、先端面１２９ａの窒化層２１４のうちの少なくとも多孔質層２１７を除去して、窒化層２１４のうちの緻密層２１３を露出させる工程（ステップＳ２）と、緻密層２１３を露出させた後に、先端面１２９ａの緻密層２１３の表面に硬質皮膜２２０を形成する工程（ステップＳ３）とを備えている。このようなベーンの製造方法によれば、硬質皮膜２２０を母材２１０の先端面１２９ａの緻密層２１３に強く密着させることができるので、ベーン１２７の先端面１２９ａを形成する母材２１０から硬質皮膜２２０が剥離することを防止することができる。

また、母材２１０は、上シリンダ１２１Ｔ（下シリンダ１２１Ｓ）と摺動する第１側面１２９ｂおよび第２側面１２９ｃ、および、上端板１６０Ｔ（下端板１６０Ｓ、中間仕切板１４０）と摺動する第１端面１２９ｄ（第２端面１２９ｅ）をさらに備えている。実施例１のベーンの製造方法では、母材２１０に硬質皮膜２２０を形成する工程（ステップＳ３）において、隣り合う母材２１０の第１側面１２９ｂおよび第２側面１２９ｃ同士または第１端面１２９ｄ（第２端面１２９ｅ）同士を接触させるように、複数の母材２１０を配置し、複数の母材２１０の各先端面１２９ａに硬質皮膜２２０を一度に形成する。このようなベーンの製造方法によれば、例えば、１度の形成工程で硬質皮膜２２０が形成される母材２１０の個数を増やせるので、ベーン１２７の製造コストを低減することができる。また、例えば、ベーン１２７へのコーティングのマスキング部材として他のベーン１２７を利用することで、ベーン１２７の製造コストを低減することができる。

実施例２のベーンは、図９および図１０に示されているように、既述の実施例１のベーン１２７の緻密層２１３が省略される点を除いて、既述の実施例１のベーン１２７と同じである。図９は、実施例２のベーンを示す断面図である。図１０は、実施例２のベーンの製造方法を説明するための模式図である。図１０は、実施例２のベーンの製造方法により、図１０（ａ）～図１０（ｄ）の順番でベーン１２７の性状が変化することを示している。

図９に示すように、実施例２のベーンは、既述の実施例１のベーン１２７と同様に、先端面１２９ａの全域に硬質皮膜２２０が形成されている。硬質皮膜２２０は、母材２１０の窒化拡散層２１２の表面に形成され、窒化拡散層２１２に密着している。実施例２のベーンは、後述の母材２１０の表面を削る工程において、多孔質層２１７だけでなく緻密層２１３も除去された結果、硬質皮膜２２０が窒化拡散層２１２に密着している点で、実施例１のベーンと異なる。

実施例２のベーンの製造方法は、実施例２のベーン１２７を製造する方法であり、図１０に示されているように、実施例２のベーンの製造方法のステップＳ１は、既述の実施例１のベーンの製造方法のステップＳ１と同様である。一方、実施例２のベーンの製造方法では、既述の実施例１のベーンの製造方法のステップＳ２の工程が、他の工程であるステップＳ４に置換されている。また、実施例２のベーンの製造方法では、実施例１のベーンの製造方法のステップＳ３の工程が、他の工程であるステップＳ５に置換されている。実施例２のベーンの製造方法では、ステップＳ１で母材２１０が窒化処理された後に、母材２１０の表面が削られ、母材２１０の表面に窒化拡散層２１２が露出するように、緻密層２１３と多孔質層２１７とが除去される（ステップＳ４）。ステップＳ４で母材２１０の表面が削られた後に、母材２１０の先端面１２９ａの窒化拡散層２１２の上に、硬質皮膜２２０が形成される（ステップＳ５）。このようなベーンの製造方法によれば、硬質皮膜２２０が、母材２１０の窒化拡散層２１２の表面に形成されて窒化拡散層２１２に密着するように、実施例２のベーン１２７が適切に作製される。

硬質皮膜２２０が窒化拡散層２１２に密着する場合の密着性は、硬質皮膜２２０が緻密層２１３に密着する密着性と概ね同等であり、硬質皮膜２２０が多孔質層２１７に密着する場合の密着性に比較して良好である。このため、実施例２のベーンは、既述の実施例１のベーン１２７と同様に、多孔質層２１７を介して硬質皮膜２２０と母材２１０とが密着している他のベーンに比較して、硬質皮膜２２０を母材２１０の先端面１２９により強く密着させることができ、先端面１２７ａから硬質皮膜２２０が剥離することを防止することができる。

実施例２のベーンは、母材２１０の外表面のうち、第１側面１２９ｂと第２側面１２９ｃと第１端面１２９ｄと第２端面１２９ｅとにおいて、窒化拡散層２１２が外表面に露出するように形成されている。窒化拡散層２１２は、緻密層２１３と同様に、基材層２１１に比較して、耐摩耗性と耐焼き付き性が良好である。このため、実施例２のベーンは、硬質皮膜２２０が形成されていない摺動箇所（側面・端面）であっても、既述の実施例１のベーン１２７と同様に、十分な耐摩耗性と耐焼き付き性を確保することができる。

また、実施例２のベーンは、窒化処理により形成された白層である窒化化合物層２１６（緻密層２１３、多孔質層２１７）の全体が除去されている。そのため、実施例１のように緻密層２１３をベーン１２７の外表面に露出させる場合に比べ、緻密層２１３が窒化拡散層２１２の表面から脱落する可能性を排除できる。

これに対し、記述の実施例１のベーンは、窒化処理により形成された白層である窒化化合物層２１６（緻密層２１３、多孔質層２１７）のうち、多孔質層２１７のみを除去（例えば、白層の表層を数μｍ程度除去）すればよいため、実施例２のベーンに比べて加工が容易である。

ところで、既述の実施例２のベーンの製造方法では、ステップＳ４で緻密層２１３と多孔質層２１７との両方が除去されるように母材２１０の表面全体が削られているが、先端面１２９ａと異なる面（側面・端面）に緻密層２１３が残存するように、母材２１０の表面が削られてもよい。このようなベーンの製造方法により作製されたベーンも、既述の実施例のベーンと同様に、硬質皮膜２２０が窒化拡散層２１２に密着していることにより、硬質皮膜２２０が形成されていない面の耐摩耗性と耐焼き付き性を確保しつつ、先端面１２９ａから硬質皮膜２２０が剥離することを防止することができる。

ところで、既述の実施例のベーンの製造方法では、ステップＳ２またはステップＳ４で多孔質層２１７が除去されるように母材２１０の表面全体が削られているが、先端面１２９ａと異なる面（側面・端面）に多孔質層２１７が残存するように、削られてもよい。このようなベーンの製造方法により作製されたベーンも、既述の実施例のベーンと同様に、硬質皮膜２２０が緻密層２１３または窒化拡散層２１２に密着していることにより、硬質皮膜２２０が形成されていない面の耐摩耗性と耐焼き付き性を確保しつつ、先端面１２９ａから硬質皮膜２２０が剥離することを防止することができる。

ところで、既述の実施例のベーンの製造方法では、側面・端面同士が密着した状態で複数の母材２１０の先端面１２９ａに硬質皮膜２２０が形成されているが、側面・端面同士が密着していない状態で複数の母材２１０の先端面１２９ａに硬質皮膜２２０が形成されてもよい。このとき、複数の母材２１０の先端面１２９ａと異なる面（側面・端面）は、硬質皮膜２２０が形成されないように、マスキングされてもよい。

なお、既述の実施例では、圧縮機１として、上シリンダ１２１Ｔと下シリンダ１２１Ｓの２つのシリンダ１２１を備える２シリンダ式のロータリ圧縮機を例示したが、シリンダ１２１を１つだけ備える１シリンダ式のロータリ圧縮機であってもよい。

以上、実施例を説明したが、前述した内容により実施例が限定されるものではない。また、前述した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、前述した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。さらに、実施例の要旨を逸脱しない範囲で構成要素の種々の省略、置換及び変更のうち少なくとも１つを行うことができる。

１ 圧縮機
１２１Ｔ 上シリンダ（シリンダ）
１２１Ｓ 下シリンダ（シリンダ）
１２５Ｔ 上ピストン（ピストン）
１２５Ｓ 下ピストン（ピストン）
１２７ ベーン
１２７Ｔ 上ベーン（ベーン）
１２７Ｓ 下ベーン（ベーン）
１２９ａ 先端面
１２９ｂ 第１側面
１２９ｃ 第２側面
１２９ｄ 第１端面
１２９ｅ 第２端面
１６０Ｔ 上端板（端板）
１６０Ｓ 下端板（端板）
２１０ 母材
２１１ 基材層
２１２ 窒化拡散層
２１３ 緻密層
２１４ 窒化層
２１６ 窒化化合物層（白層）
２１７ 多孔質層
２２０ 硬質皮膜

Claims (9)

1. シリンダと、
   前記シリンダの内周面に沿って公転するピストンと、
   前記シリンダの端部を塞ぐ端板と、
   を備える圧縮機に用いられ、
   前記シリンダと前記ピストンと前記端板とに囲われるシリンダ室を吸入室と圧縮室とに区画するベーンであり、
   クロムの含有量が４．５ｗｔ％を超える材料から形成される母材と、
   前記母材のうちの先端面を被覆する硬質皮膜と、を有し、
   前記母材には、基材層および窒化拡散層が、形成され、
   前記硬質皮膜は、前記母材の前記窒化拡散層の表面に単一の材料から形成されるとともに、前記先端面の外表面に露出し、
   前記母材は、前記シリンダに摺動する側面、および、前記端板に摺動する端面をさらに備え、
   前記母材の前記側面と前記端面とは、窒化拡散層が、前記側面と前記端面のそれぞれの外表面に露出している、
   ことを特徴とする、ベーン。
2. 前記硬質皮膜のビッカース硬さは、１５００ＨＶ以上である
   請求項１に記載のベーン。
3. 前記硬質皮膜は、ダイヤモンド状炭素から形成される
   請求項２に記載のベーン。
4. 前記母材は、クロムの含有量が１０．５ｗｔ．％以上であるステンレス鋼から形成される
   請求項１に記載のベーン。
5. 前記母材は、マルテンサイト系ステンレス鋼から形成される
   請求項４に記載のベーン。
6. 請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のベーンと、
   前記シリンダと、
   前記ピストンと、
   前記端板と、
   を備える圧縮機。
7. シリンダと、
   前記シリンダの内周面に沿って公転するピストンと、
   前記シリンダの端部を塞ぐ端板と、
   を備える圧縮機に用いられ、
   前記シリンダと前記ピストンと前記端板とに囲われるシリンダ室を、吸入室と圧縮室とに区画するベーンの製造方法であり、
   前記ベーンは、
   クロムの含有量が４．５ｗｔ％を超える材料から形成される母材と、
   前記母材のうちの先端面を被覆する硬質皮膜と、を有し、
   前記母材には、基材層および窒化拡散層が、形成され、
   前記ベーンの製造方法は、
   前記母材の前記基材層を窒化処理することにより、前記母材に、前記窒化拡散層と、Ｆｅ_４Ｎを主成分とするガンマプライム相から成る緻密層と、Ｆｅ_２Ｎ，Ｆｅ_３Ｎを主成分とする多孔質層と、を含む窒化層を形成する工程と、
   前記母材に前記窒化層が形成された後に、前記窒化層のうちの前記多孔質層及び前記緻密層を除去して、前記窒化層のうちの前記窒化拡散層を露出させる工程と、
   前記窒化拡散層を露出させた後に、前記先端面の前記窒化拡散層の表面に単一の材料から形成される前記硬質皮膜を形成することで前記先端面の外表面に前記硬質皮膜を露出させる工程と、を備える、
   ベーンの製造方法。
8. 前記母材の先端面は、前記ベーンの幅方向の中心が前記ピストンに向かって突出する曲面状に形成され、
   前記硬質皮膜を形成する工程において、前記母材の前記先端面における前記曲面状の範囲に前記硬質皮膜を形成する、
   請求項７に記載のベーンの製造方法。
9. 前記母材は、前記シリンダと摺動する側面、および、前記端板と摺動する端面をさらに備え、
   前記母材に前記硬質皮膜を形成する工程において、隣り合う前記母材の前記側面同士または前記端面同士を接触させるように、複数の前記母材を配置し、複数の前記母材の各先端面に硬質皮膜を一度に形成する
   請求項７に記載のベーンの製造方法。

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