JP7670475B2 - Case Hanger - Google Patents
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Description
本発明は、切削ブレードを収容した、または収容するケースをつり下げるケースハンガーに関する。 The present invention relates to a case hanger that suspends a case that houses or will house a cutting blade.
ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、分割された各デバイスチップは携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。 The wafer, on whose surface multiple devices such as ICs and LSIs are formed and partitioned along planned division lines, is then divided into individual device chips by a dicing machine, and each of the divided device chips is used in electrical equipment such as mobile phones and personal computers.
ダイシング装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウエーハを切削する切削ブレードを回転可能に備えた切削手段と、チャックテーブルと切削手段とを相対的に加工送りする加工送り手段とを少なくとも備え、ウエーハの分割予定ラインを高精度に切削することができる（たとえば特許文献１参照）。 The dicing device is equipped with at least a chuck table that holds the wafer, cutting means equipped with a rotatable cutting blade that cuts the wafer held on the chuck table, and processing feed means that feeds the chuck table and the cutting means relative to each other, and can cut the planned dividing lines of the wafer with high precision (see, for example, Patent Document 1).
しかし、切削ブレードが破損した際、切削ブレードが保管されている場所まで新たな切削ブレードを取りに行き、破損した切削ブレードと新たな切削ブレードとを交換しなければならず、生産性が悪いという問題がある。 However, when a cutting blade is damaged, it is necessary to go to the place where the cutting blades are stored to get a new one and replace the damaged one with the new cutting blade, which results in poor productivity.
また、切削条件の変更に伴って切削ブレードを交換する場合も、交換すべき切削ブレードを切削ブレードの保管場所まで取りに行かなければならず生産性が悪いという問題がある。 In addition, when replacing cutting blades due to changes in cutting conditions, the cutting blade must be retrieved from the storage area, resulting in poor productivity.
上記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、切削ブレードの保管場所まで切削ブレードを取りに行く必要がなく生産性を向上させることができるケースハンガーを提供することである。 In light of the above, the objective of the present invention is to provide a case hanger that can improve productivity by eliminating the need to go to the cutting blade storage area to retrieve the cutting blade.
本発明によれば、上記課題を解決する以下のケースハンガーが提供される。すなわち、切削ブレードを収容した、または収容するケースをつり下げるケースハンガーであって、引っかけ部と、該引っかけ部から垂下するケース支持部と、を備え、該ケース支持部には下方に突出する突出片が付設され、該突出片には連結孔が形成されており、該ケース支持部の後面には、該連結孔に対応する連結棒が後方に突出し、該連結棒は該突出片よりも上方に位置しており、該ケース支持部の該連結孔には、他の該ケース支持部の該連結棒が挿入されることによって複数の該ケース支持部が互いに着脱自在に連結されるケースハンガーが提供される。 According to the present invention, there is provided the following case hanger that solves the above problems: That is, there is provided a case hanger for suspending a case that houses or will house a cutting blade, the case hanger comprising a hook portion and a case support portion hanging down from the hook portion, a protruding piece that protrudes downwardly is attached to the case support portion, a connecting hole is formed in the protruding piece, a connecting rod that corresponds to the connecting hole protrudes rearward from the rear surface of the case support portion, the connecting rod is located above the protruding piece, and the connecting rod of another case support portion is inserted into the connecting hole of the case support portion, thereby detachably connecting a plurality of the case support portions to one another .
好ましくは、該ケース支持部は、前かがみになるように部分的に重なるように２以上配設されている。該連結孔および該連結棒は、連結された該ケース支持部同士の相対的な回転を抑制するのが好適である。 Preferably, two or more of the case support parts are disposed so as to partially overlap each other so as to lean forward. It is preferable that the connecting hole and the connecting rod suppress relative rotation between the connected case support parts .
本発明のケースハンガーは、切削ブレードを収容した、または収容するケースをつり下げるケースハンガーであって、引っかけ部と、該引っかけ部から垂下するケース支持部と、を備え、該ケース支持部には下方に突出する突出片が付設され、該突出片には連結孔が形成されており、該ケース支持部の後面には、該連結孔に対応する連結棒が後方に突出し、該連結棒は該突出片よりも上方に位置しており、該ケース支持部の該連結孔には、他の該ケース支持部の該連結棒が挿入されることによって複数の該ケース支持部が互いに着脱自在に連結されるので、必要な切削ブレードをダイシング装置に置いておくことができ、切削ブレードの保管場所まで切削ブレードを取りに行く必要がなく生産性を向上させることができる。 The case hanger of the present invention is a case hanger for hanging a case that contains or will contain cutting blades, and comprises a hook portion and a case support portion hanging down from the hook portion , a protruding piece that protrudes downward is attached to the case support portion, a connecting hole is formed in the protruding piece, a connecting rod that corresponds to the connecting hole protrudes rearward from the rear surface of the case support portion, the connecting rod being positioned above the protruding piece, and the connecting rod of another case support portion is inserted into the connecting hole of one case support portion, thereby allowing the multiple case support portions to be detachably connected to each other , so that the required cutting blades can be left on the dicing device, eliminating the need to go to the cutting blade storage area to retrieve the cutting blades, and improving productivity.
以下、本発明に従って構成されたケースハンガーの好適実施形態について図面を参照しつつ説明する。 Below, a preferred embodiment of a case hanger constructed according to the present invention will be described with reference to the drawings.
図１を参照して説明すると、全体を符号２で示すケースハンガーは、引っかけ部４と、引っかけ部４から垂下するケース支持部６とを備える。図示の実施形態の引っかけ部４は、上端側が円弧状に折れ曲がった鉤状に形成されており、引っかけ部４とケース支持部６とは、矩形状の基板８を介して連結されている。 Referring to FIG. 1, the case hanger, generally designated by the reference numeral 2, comprises a hook portion 4 and a case support portion 6 that hangs down from the hook portion 4. In the illustrated embodiment, the hook portion 4 is formed in a hook shape with an upper end bent in an arc, and the hook portion 4 and the case support portion 6 are connected via a rectangular base plate 8.
図１および図２に示すとおり、ケース支持部６は、基板８の下端側部分に連結された半円状の後面板１２と、後面板１２と前後方向に間隔をおいて配置された半円状の前面板１４と、後面板１２の弧状周縁と前面板１４の弧状周縁とを接続する円弧状に折れ曲がった弧状板１６とを含む。なお、前後方向については、図１において「前」、「後」の文字および矢印で示す方向であり、紙面手前側を前方、紙面奥側を後方とする。 As shown in Figures 1 and 2, the case support section 6 includes a semicircular rear panel 12 connected to the lower end portion of the substrate 8, a semicircular front panel 14 spaced from the rear panel 12 in the front-to-rear direction, and an arc-shaped plate 16 bent in an arc shape connecting the arc-shaped periphery of the rear panel 12 with the arc-shaped periphery of the front panel 14. Note that the front-to-rear direction is the direction indicated by the letters "front" and "rear" and the arrow in Figure 1, with the front side of the page being the front and the back side being the rear.
ケース支持部６においては、後面板１２、前面板１４および弧状板１６によって、ケースを収容し支持する収容空間１８が規定されている。収容空間１８の上端側は開放され、収容空間１８の下端側は弧状板１６によって閉塞されている。そして、ケース支持部６においては、開放された上端側から収容空間１８にケースが収容されるようになっている。 In the case support section 6, a storage space 18 that stores and supports the case is defined by the rear panel 12, the front panel 14, and the arc-shaped plate 16. The upper end side of the storage space 18 is open, and the lower end side of the storage space 18 is closed by the arc-shaped plate 16. In the case support section 6, the case is stored in the storage space 18 from the open upper end side.
図示の実施形態のケース支持部６においては、弧状板１６の中央部から下方に突出する突出片２０が付設され、突出片２０には、前後方向に延びる断面矩形の連結孔２２が形成されている。連結孔２２は、突出片２０を貫通する貫通孔、または突出片２０を貫通しない非貫通孔のいずれでもよい。また、図２に示すとおり、後面板１２の外面には、連結孔２２に対応する断面矩形の連結棒２４が後方に突出している。 In the illustrated embodiment, the case support 6 is provided with a protruding piece 20 that protrudes downward from the center of the arc-shaped plate 16, and a connecting hole 22 that extends in the front-rear direction and has a rectangular cross section is formed in the protruding piece 20. The connecting hole 22 may be either a through hole that passes through the protruding piece 20, or a blind hole that does not pass through the protruding piece 20. Also, as shown in FIG. 2, a connecting rod 24 that has a rectangular cross section and corresponds to the connecting hole 22 protrudes rearward from the outer surface of the rear panel 12.
そして、ケース支持部６の連結孔２２に、他のケース支持部６の連結棒２４が挿入されることによって、図３に示すとおり、複数のケース支持部６が互いに着脱自在に連結される。連結孔２２および連結棒２４のそれぞれが断面矩形（非円形状）であるから、複数のケース支持部６が連結された状態において、ケース支持部６同士の相対的な回転が抑制される。 Then, by inserting the connecting rod 24 of one case support part 6 into the connecting hole 22 of the other case support part 6, the multiple case support parts 6 are detachably connected to each other as shown in FIG. 3. Since the connecting hole 22 and the connecting rod 24 each have a rectangular (non-circular) cross section, when the multiple case support parts 6 are connected, relative rotation between the case support parts 6 is suppressed.
なお、図示していないが、基板８にも連結孔が形成され、基板８の連結孔にケース支持部６の連結棒２４が挿入されていることにより、基板８とケース支持部６とが連結されていてもよい。あるいは、他の連結方法（たとえば接着、ネジを用いた連結）により、基板８とケース支持部６の後面板１２とが連結されていてもよい。 Although not shown, a connecting hole may also be formed in the substrate 8, and the connecting rod 24 of the case support part 6 may be inserted into the connecting hole of the substrate 8 to connect the substrate 8 and the case support part 6. Alternatively, the substrate 8 and the rear panel 12 of the case support part 6 may be connected by other connecting methods (for example, by gluing or connecting using screws).
図３を参照することによって理解されるとおり、２以上のケース支持部６が配設された状態においては、ケース支持部６のそれぞれが前かがみになるように部分的に重なるようになっている。すなわち、連結孔２２がケース支持部６の下端側に配置されていることによって、引っかけ部４の鉤状部分８がダイシング装置の任意の箇所に引っかけられた際には、連結された各ケース支持部６は下端から上端に向かって前方に傾斜していると共に、奥側のケース支持部６の下端側部分と手前側のケース支持部６の上端側部分とが前後方向に見て部分的に重なるようになっている。 As can be seen by referring to FIG. 3, when two or more case support parts 6 are arranged, the case support parts 6 are arranged to partially overlap each other so as to lean forward. In other words, by arranging the connecting hole 22 on the lower end side of the case support part 6, when the hook-shaped part 8 of the hook part 4 is hooked on any part of the dicing device, each connected case support part 6 is inclined forward from the lower end to the upper end, and the lower end part of the case support part 6 on the rear side and the upper end part of the case support part 6 on the front side are arranged to partially overlap when viewed in the front-to-rear direction.
図４には、切削ブレード２６と、切削ブレード２６を収容するケース２８とが示されている。図示の実施形態の切削ブレード２６は、環状の基台３０と、基台３０の外周部に固定された環状の切り刃３２とを有する。 Figure 4 shows a cutting blade 26 and a case 28 that houses the cutting blade 26. The cutting blade 26 in the illustrated embodiment has an annular base 30 and an annular cutting edge 32 fixed to the outer periphery of the base 30.
基台３０は、アルミニウム合金等の適宜の金属材料から形成され得る。基台３０の中央には、切削ブレード２６を回転させるための回転軸（スピンドル）が挿入される円形の挿入孔３０ａが設けられている。また、上記回転軸に切削ブレード２６を装着する際や、回転軸から切削ブレード２６を取り外す際に、オペレータによって把持される把持部３０ｂが基台３０の表面に設けられている。図示の実施形態の把持部３０ｂは、挿入孔３０ａの周縁から基台３０の表面側に突出する環状に形成されている。 The base 30 may be made of an appropriate metal material such as an aluminum alloy. A circular insertion hole 30a is provided in the center of the base 30, into which a rotating shaft (spindle) for rotating the cutting blade 26 is inserted. A gripping portion 30b is provided on the surface of the base 30, and is held by an operator when mounting the cutting blade 26 on the rotating shaft or removing the cutting blade 26 from the rotating shaft. The gripping portion 30b in the illustrated embodiment is formed in a ring shape that protrudes from the periphery of the insertion hole 30a toward the surface side of the base 30.
切り刃３２は、ダイヤモンド等の砥粒と、金属や樹脂等の結合材とから所定の厚み（たとえば１０～３０μｍ程度）に形成されており、基台３０の外周縁から径方向外側に突出している。 The cutting blade 32 is formed to a predetermined thickness (for example, about 10 to 30 μm) from abrasive grains such as diamond and a binder such as metal or resin, and protrudes radially outward from the outer periphery of the base 30.
適宜の合成樹脂から形成され得るケース２８は、切削ブレード２６を収容する収容部３４と、ヒンジ部３６を介して開閉自在に収容部３４に連結された蓋部３８とを含む。収容部３４は、底板４０と、底板４０の周縁から上方に延びる側壁４２とを有する。底板４０の周縁は、直線部４０ａおよびＵ形状部４０ｂを有し、側壁４２は、直線部４０ａから上方に延びる平坦部４２ａと、Ｕ形状部４０ｂから上方に延びる弧状部４２ｂとを有する。 The case 28, which may be formed from an appropriate synthetic resin, includes a storage section 34 that stores the cutting blade 26, and a lid section 38 that is connected to the storage section 34 via a hinge section 36 so as to be freely opened and closed. The storage section 34 has a bottom plate 40 and a side wall 42 that extends upward from the periphery of the bottom plate 40. The periphery of the bottom plate 40 has a straight section 40a and a U-shaped section 40b, and the side wall 42 has a flat section 42a that extends upward from the straight section 40a and an arc-shaped section 42b that extends upward from the U-shaped section 40b.
底板４０の内面には、上方に突出する円柱部４４が設けられており、円柱部４４の直径は、切削ブレード２６の挿入孔３０ａの直径とほぼ同一である。円柱部４４の周囲には、底板４０の内面から上方に突出する環状突起４６が設けられている。環状突起４６の直径は、切削ブレード２６の切り刃３２の内径よりも小さい。また、側壁４２には、第一の爪４８が設けられ、蓋部３８には、第一の爪４８と噛み合う第二の爪５０が設けられている。 The inner surface of the bottom plate 40 is provided with a cylindrical portion 44 that protrudes upward, and the diameter of the cylindrical portion 44 is approximately the same as the diameter of the insertion hole 30a of the cutting blade 26. Around the cylindrical portion 44, an annular protrusion 46 that protrudes upward from the inner surface of the bottom plate 40 is provided. The diameter of the annular protrusion 46 is smaller than the inner diameter of the cutting edge 32 of the cutting blade 26. In addition, a first claw 48 is provided on the side wall 42, and a second claw 50 that meshes with the first claw 48 is provided on the cover portion 38.
切削ブレード２６を収容部３４に収容する際は、切削ブレード２６の挿入孔３０ａをケース２８の円柱部４４に嵌め込むと共に、基台３０の裏面（把持部３０ｂが設けられている表面とは反対側の面）を環状突起４６の上端に接触させる。これによって、切削ブレード２６を固定した状態で、切削ブレード２６を収容部３４に収容することができる。また、ヒンジ部３６を支点として蓋部３８を回転させて蓋部３８で収容部３４を閉塞し、第一の爪４８と第二の爪５０とを噛み合わせることにより、図４（ｂ）に示すとおり、蓋部３８によって収容部３４を閉塞した状態を保持することができる。 When the cutting blade 26 is stored in the storage section 34, the insertion hole 30a of the cutting blade 26 is fitted into the cylindrical section 44 of the case 28, and the back surface of the base 30 (the surface opposite to the surface on which the gripping section 30b is provided) is brought into contact with the upper end of the annular protrusion 46. This allows the cutting blade 26 to be stored in the storage section 34 while the cutting blade 26 is fixed. In addition, the lid section 38 is rotated around the hinge section 36 as a fulcrum to close the storage section 34 with the lid section 38, and the first claw 48 and the second claw 50 are engaged, so that the storage section 34 can be kept closed by the lid section 38, as shown in FIG. 4(b).
また、図４（ｂ）に示すとおり、蓋部３８の外面には、ケース２８に収容される切削ブレード２６の型式を示す記号５２（図４においては「ＺＨ０５」として示されている。）と、ケース２８に収容される切削ブレード２６を識別するための識別コード５４（たとえば、バーコードや二次元コード）とが付されている。 Also, as shown in FIG. 4(b), the outer surface of the lid portion 38 is provided with a symbol 52 (shown as "ZH05" in FIG. 4) indicating the type of cutting blade 26 housed in the case 28, and an identification code 54 (e.g., a bar code or a two-dimensional code) for identifying the cutting blade 26 housed in the case 28.
そして、上述したとおりのケースハンガー２においては、図５に示すとおり、ケース２８の側壁４２の平坦部４２ａが上を向き、蓋部３８が前を向いた状態で、各ケース支持部６にケース２８が収容される。また、ケース２８がケース支持部６に収容された状態において、蓋部３８に付された記号５２および識別コード５４が露出しており、オペレータは、ケース支持部６内のケース２８に収容されている切削ブレード２６の型式および識別コード５４を確認することができるようになっている。 In the case hanger 2 described above, as shown in FIG. 5, the case 28 is stored in each case support part 6 with the flat part 42a of the side wall 42 of the case 28 facing upward and the lid part 38 facing forward. In addition, when the case 28 is stored in the case support part 6, the symbol 52 and the identification code 54 attached to the lid part 38 are exposed, so that the operator can check the type and identification code 54 of the cutting blade 26 stored in the case 28 in the case support part 6.
図６には、ケースハンガー２が装着され得るダイシング装置５６が示されている。ダイシング装置５６は、ウエーハＷ等の被加工物を吸引保持するチャックテーブル５８と、チャックテーブル５８に吸引保持された被加工物を切削する切削ブレード２６を回転可能に装着した切削手段６０と、チャックテーブル５８と切削手段６０とを相対的に加工送りする加工送り手段（図示していない。）とを少なくとも備え、回転する切削ブレード２６によって被加工物を高精度に切削することができる。なお、図６に示すウエーハＷは、周縁が環状フレームＦに固定されたダイシングテープＴに貼り付けられており、ダイシングテープＴを介して環状フレームＦに支持されている。 Figure 6 shows a dicing device 56 to which the case hanger 2 can be attached. The dicing device 56 includes at least a chuck table 58 that suction-holds a workpiece such as a wafer W, a cutting means 60 to which a cutting blade 26 that cuts the workpiece suction-held on the chuck table 58 is rotatably attached, and a processing feed means (not shown) that feeds the chuck table 58 and the cutting means 60 relatively, and can cut the workpiece with high precision using the rotating cutting blade 26. The wafer W shown in Figure 6 has its periphery attached to a dicing tape T fixed to an annular frame F, and is supported by the annular frame F via the dicing tape T.
図示のダイシング装置５６の外面カバー６２には、外面カバー６２から実質上水平に突出するＶ形状のフック６４が設けられている。そして、ケース支持部６にケース２８を収容したケースハンガー２をフック６４に引っかけることにより、必要な切削ブレード２６をダイシング装置５６に置いておくことができる。したがって、ケースハンガー２によれば、切削ブレード２６が破損した場合、切削ブレード２６が消耗したため新たな切削ブレード２６に交換する場合、または切削条件の変更に伴って切削ブレード２６を交換する場合に、切削ブレード２６の保管場所まで切削ブレード２６を取りに行く必要がなく生産性を向上させることができる。また、ケースハンガー２には、ダイシング装置５６に装着されている切削ブレード２６を収容するための空のケース２８を収容してもよい。 The outer cover 62 of the illustrated dicing device 56 is provided with a V-shaped hook 64 that protrudes substantially horizontally from the outer cover 62. The case hanger 2, which houses the case 28 on the case support section 6, can be hung on the hook 64 to store the necessary cutting blade 26 on the dicing device 56. Therefore, when the cutting blade 26 is damaged, when the cutting blade 26 is worn out and needs to be replaced with a new cutting blade 26, or when the cutting blade 26 is replaced due to a change in cutting conditions, the case hanger 2 does not require a trip to the storage location of the cutting blade 26 to retrieve the cutting blade 26, thereby improving productivity. The case hanger 2 may also store an empty case 28 for storing the cutting blade 26 attached to the dicing device 56.
図示の実施形態のケースハンガー２においては、複数のケース支持部６が、前かがみになるように部分的に重なるように配設されているので、ケース支持部６へのケース２８の出し入れが容易である。また、図示の実施形態のケースハンガー２においては、複数のケース支持部６が互いに着脱自在に連結され得るので、ケース２８の個数に応じたケース支持部６を連結させることにより、任意の数量のケース２８を収容することが可能となる。 In the illustrated embodiment of the case hanger 2, the multiple case support parts 6 are arranged to partially overlap as if leaning forward, making it easy to insert and remove the cases 28 into the case support parts 6. Also, in the illustrated embodiment of the case hanger 2, the multiple case support parts 6 can be detachably connected to each other, so by connecting the case support parts 6 according to the number of cases 28, it is possible to store any number of cases 28.
なお、図示の実施形態のケースハンガー２の引っかけ部４は鉤状に形成され、ダイシング装置５６のフック６４は、外面カバー６２から実質上水平に突出するＶ形状に形成されているが、引っかけ部４およびフック６４のそれぞれの形状は、上述の形状に限定されるものではなく、引っかけ部４をフック６４に引っかけることができればよい。たとえば、ケースハンガー２の引っかけ部が環状に形成され、ダイシング装置５６のフックが外面カバー６２から実質上水平に突出し次いで上方に延びるＬ形状に形成されていてもよく、あるいは、ケースハンガー２の引っかけ部が基板８に形成された開口であり、ダイシング装置５６のフックが基板８の開口に挿入可能な突起であってもよい。 In the illustrated embodiment, the hook portion 4 of the case hanger 2 is formed in a hook shape, and the hook 64 of the dicing device 56 is formed in a V shape that protrudes substantially horizontally from the outer cover 62, but the shapes of the hook portion 4 and the hook 64 are not limited to the above shapes, and it is sufficient that the hook portion 4 can be hooked onto the hook 64. For example, the hook portion of the case hanger 2 may be formed in a ring shape, and the hook of the dicing device 56 may be formed in an L shape that protrudes substantially horizontally from the outer cover 62 and then extends upward, or the hook portion of the case hanger 2 may be an opening formed in the substrate 8, and the hook of the dicing device 56 may be a protrusion that can be inserted into the opening of the substrate 8.
２：ケースハンガー
４：引っかけ部
６：ケース支持部
２６：切削ブレード
２８：ケース
2: Case hanger 4: Hook part 6: Case support part 26: Cutting blade 28: Case
Claims (3)
引っかけ部と、該引っかけ部から垂下するケース支持部と、を備え、
該ケース支持部には下方に突出する突出片が付設され、該突出片には連結孔が形成されており、
該ケース支持部の後面には、該連結孔に対応する連結棒が後方に突出し、該連結棒は該突出片よりも上方に位置しており、
該ケース支持部の該連結孔には、他の該ケース支持部の該連結棒が挿入されることによって複数の該ケース支持部が互いに着脱自在に連結されるケースハンガー。 A case hanger for hanging a case that contains or will contain a cutting blade,
A hook portion and a case support portion that hangs down from the hook portion ,
A protruding piece that protrudes downward is attached to the case support portion, and a connecting hole is formed in the protruding piece,
A connecting rod corresponding to the connecting hole protrudes rearward from a rear surface of the case support portion, and the connecting rod is located above the protruding piece.
A case hanger in which a plurality of case support parts are detachably connected to one another by inserting the connecting rods of the other case support parts into the connecting holes of the case support parts .
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