JP7671850B2 - Heating device - Google Patents
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Description
本開示は、加熱装置に関するものである。加熱装置は、例えば金属、ガラスまたは樹脂等の加工用の金型等を加熱するために用いることができる。The present disclosure relates to a heating device. The heating device can be used, for example, to heat a mold for processing metal, glass, resin, or the like.
加熱装置として、例えば、特許文献1に記載の金属板の接合体の接合方法に係る加熱装置が知られている。特許文献1には、加熱板と、加熱板の側方から内部に挿入されたカートリッジヒータと、上側加熱板の上側に配置されている天板と、下側加熱板の下側に配置されている敷板と、上側加熱板と天板および下側加熱板と敷板の間に備えている断熱材と、を備えている加熱装置が記載されている。A known example of a heating device is a heating device relating to a method for joining a joint of metal plates described in
カートリッジヒータは、加熱板の加熱面に平行な一方向に沿って位置している。このように、加熱板の内部にあるカートリッジヒータの分布が均一でないため、加熱板の加熱面における温度のばらつきが生じてしまうおそれがあった。The cartridge heaters are positioned along one direction parallel to the heating surface of the heating plate. As such, the distribution of the cartridge heaters inside the heating plate is not uniform, which can lead to temperature variations on the heating surface of the heating plate.
本開示の加熱装置は、金属プレートと、複数のヒータと、を備える。金属プレートは、加熱面である第1面と、第1面の反対に位置して複数の凹部を有する第2面と、第1面と第2面とのそれぞれに繋がる第3面と、を有する。複数のヒータは、複数の凹部のそれぞれに位置する。さらに、本開示による加熱装置は、第1断熱部材を備える。第1断熱部材は、第3面に対向して金属プレートを囲っている。The heating device of the present disclosure includes a metal plate and a plurality of heaters. The metal plate has a first surface that is a heating surface, a second surface located opposite the first surface and having a plurality of recesses, and a third surface that is connected to each of the first surface and the second surface. The plurality of heaters are located in each of the plurality of recesses. Furthermore, the heating device according to the present disclosure includes a first insulating member. The first insulating member faces the third surface and surrounds the metal plate.
近年、加熱装置の均熱性を高めることが求められている。 In recent years, there has been a demand to improve the thermal uniformity of heating devices.
加熱装置100について詳細に説明する。
The
図1は、加熱装置100の一例を示す断面図である。図1に示すように、加熱装置100は、加熱面11である第1主面(第1面の一例)と複数の凹部12を有する第2主面(第2面の一例)とを有する金属プレート1と、複数の凹部12にそれぞれ位置している複数のヒータ2と、金属プレート1の側方に位置している第1断熱部材3と、を備えている。1 is a cross-sectional view showing an example of a
金属プレート1は、金型を支持するための部材である。金属プレート1は、第1主面および第2主面を有する板状または円柱状の部材であってもよい。図1に示す金属プレート1は、板状の部材である。The
金属プレート1は、金属材料を有する。金属プレート1は、例えばSUS(ステンレス)やKOVAR(コバール)、インバーなどの主に鉄からなる金属やインコネル等の主にニッケルからなる金属、あるいはTi(チタン)や銅、真鍮、クロム合金等の金属材料を有する。金属プレート1の寸法は、金属プレート1が板状の場合には、例えば、長さを10~500mm、厚さを1~100mmにすることができる。The
金属プレート1の第1主面は、加熱面11である。金属プレート1の加熱面11は、金型と接触可能な上面に位置している。金属プレート1の第2主面は、例えば、第1主面の反対側に位置していてもよい。金属プレート1の第1主面が例えば、上面に位置しているときに、金属プレート1の第2主面は、下面に位置していてもよい。金属プレート1の第2主面は、複数の凹部12を有する。複数の凹部12は、例えば、底面と側面とを有していてもよい。凹部12の底面は、例えば、円形状または四角形状であってもよい。凹部12の深さは、0.5mm~90mmにすることができる。また、凹部12の幅は、底面が円形であるときは、直径を0.5~100mmにすることができる。また、複数の凹部12の底面の形状は、例えば、同じであってもよい。また、複数の凹部12の底面の形状は、それぞれ異なっていてもよい。また、複数の凹部12の深さは、それぞれ異なっていてもよい。The first main surface of the
なお、本願明細書でいう「上面」とは、ヒータ2から見て加熱面11が位置する面を意味している。「下面」とは、加熱面11から見てヒータ2が位置する面を意味している。但し、本願明細書でいう「上面」、「下面」とは、位置関係の理解のし易さのために用いるものであって、実施形態を限定するものではない。例えば、図に示す加熱装置100を傾けた状態で実施することもできるものとする。In addition, the term "upper surface" in this specification means the surface on which the
また、金属プレート1は一体に形成されていてもよいし、別体に形成されたものが接合等により固定されたものであってもよい。つまり、金属プレート1は、複数の凹部12を有する第1部分と複数の貫通孔を有する第2部分とが、それぞれの凹部12および貫通孔が連続するように重なって固定されたものであってもよい。In addition, the
ヒータ2は、電流が流れることによって発熱するための部材である。ヒータ2は、図1に示すように、第2主面の複数の凹部12に位置している。加熱装置100は、複数のヒータ2を有している。また、複数のヒータ2は、複数の凹部12にそれぞれ位置している。ヒータ2は、例えば、内部に発熱抵抗体を有するセラミック体で構成されているセラミックヒータであってもよい。また、ヒータ2は金属管の中に発熱体とセラミック材料とを有するカートリッジヒータであってもよい。ヒータ2の形状は、例えば、丸棒状もしくは角棒状等の棒状または板状であってもよい。ヒータ2は、内部に発熱抵抗体を有しているとき、発熱抵抗体は、例えば、折返し形状を有していてもよい。また、発熱抵抗体は、折返し部の後端側においては一対の直線状部となっていてもよい。発熱抵抗体の発熱パターンは、例えば、繰り返して折り返されている折返し部が先端側だけにあるパターンではなく、先端側と後端側との間を繰り返して往復するパターンであってもよい。ヒータ2の後端側は、外部の電源に接続されている。ヒータ2の後端側は、例えば、支持体などの部材で固定されていてもよい。The
発熱抵抗体は、金属材料を有している。金属材料は、例えば、タングステン、モリブデンまたはレニウムを有する。発熱抵抗体は、絶縁性の部材を有していてもよい。これにより、発熱抵抗体の抵抗値を調整することができる。発熱抵抗体は、金属プレート1の加熱面11で最も発熱するように配置されていてもよい。発熱抵抗体は、例えば、折返し部が凹部12に位置していてもよい。The heating resistor has a metal material. The metal material has, for example, tungsten, molybdenum, or rhenium. The heating resistor may have an insulating member. This allows the resistance value of the heating resistor to be adjusted. The heating resistor may be arranged so that it generates the most heat on the
セラミック体は、絶縁性のセラミック材料を有していてもよい。セラミック体は、例えばアルミナ、窒化珪素または窒化アルミニウム等の絶縁性のセラミック材料を有していてもよい。ヒータ2がセラミック体で構成されているとき、セラミック体の寸法は、セラミック体が円柱状の場合には、例えば長さを1~200mmに、外径を0.5~100mmにすることができる。また、セラミック体の寸法は、セラミック体が円筒状の場合には、例えば長さを1~200mmに、外径を0.5~100mmに、内径を0.2~90mmにすることができる。
The ceramic body may have an insulating ceramic material. The ceramic body may have an insulating ceramic material such as alumina, silicon nitride, or aluminum nitride. When the
本開示の加熱装置100は、金属プレート1の第2主面が複数の凹部12を有し、複数の凹部12のそれぞれに複数のヒータ2が位置している。これにより、特許文献1に記載の加熱装置100のように加熱板に平行な方向にヒータ2が挿入されている場合と比較して、加熱面11における温度のばらつきを低減することができる。その結果、加熱装置100の均熱性を高めることができる。In the
第1断熱部材3は、ヒータ2による熱が外部に伝わることを防ぐための部材である。第1断熱部材3は、金属プレート1の側方に位置している。言い換えれば、第1断熱部材3は、金属プレート1の側面に対向して金属プレート1を囲っている。なお、金属プレート1の側面は、金属プレート1の第1面と第2面とのそれぞれに繋がる第3面の一例である。第1断熱部材3は、例えば、セラミック、ガラス、金属を有していてもよい。第1断熱部材3は、金属プレート1よりも熱伝導率の低いことが好ましい。第1断熱部材3は、例えば酸化アルミニウム、窒化珪素または窒化アルミニウム等のセラミック材料を有していてもよい。第1断熱部材3は、例えば、ポーラスまたは綿のように内部に隙間を有する繊維状のセラミック部材が好ましい。これにより、外部の温度変化によって部材を歪みにくくすることができる。その結果、耐久性を向上できる。第1断熱部材3は、例えば、加熱装置100を金属プレート1の加熱面11に垂直な方向から見たときに、金属プレート1との間に隙間を有していてもよい。また、第1断熱部材3は、接合材等の別の部材によって金属プレート1に固定されていてもよい。The first insulating
第1断熱部材3の形状は、例えば、板状、環状または膜状であってもよい。また、金属プレート1が、例えば主面が四角形状の板状であるときに、第1断熱部材3は、金属プレート1の側方を覆っていてもよい。これにより、金属プレート1から熱が逃げてしまうおそれをさらに低減できる。また、第1断熱部材3は、金属プレート1の4つの側面(第3面の一例)の全てを覆っていてもよい。これにより、金属プレート1から熱が逃げてしまうおそれをさらに低減できる。また、第1断熱部材3は、板状に成形された複数の部材であって、金属プレート1の側面の全体を覆うことで、全体として環状の構造体を有していてもよい。The shape of the first insulating
本開示の加熱装置100においては、第1断熱部材3は、金属プレート1の側方に位置している。これにより、金属プレート1の内周に有している凹部12にヒータ2が位置していることで、ヒータ2の熱を加熱面11に伝えつつ、金属プレート1の側方から逃げる熱を第1断熱部材3によって抑えることができる。これにより、金属プレート1の加熱面11における中央側と側面側との温度に、ばらつきが生じてしまうおそれを低減できる。その結果、金属プレート1の加熱面11の均熱性を高めることができる。In the
また、図2に示すように、第1断熱部材3の側方に位置し、第1断熱部材3を覆う枠部材4を有していてもよい。これにより、第1断熱部材3が露出している面積を小さくすることができる。そのため、第1断熱部材3が長期使用により経時劣化するおそれを低減できる。2, a
枠部材4は、第1断熱部材3を保護するための部材である。枠部材4は、図3に示すように、第1断熱部材3の側方に位置している。また、枠部材4は、第1断熱部材3を覆うように位置している。枠部材4は、例えば、セラミック、ガラス、金属を有していてもよい。また、枠部材4の形状は、例えば、板状、円筒状または角筒状であってもよい。また、例えば、金属プレート1の主面が四角形状で、第1断熱部材3が金属プレート1の側方を覆っている場合、枠部材4は、第1断熱部材3の側方に覆っていてもよい。枠部材4の寸法は、例えば、枠部材4が板状のとき、幅を10~500mm、厚さを0.3~20mmにすることができる。The
また、図3に示すように、凹部12は、金属プレート1の第2主面の長さに合わせて、均等に位置していると好ましい。また、凹部の数は、図3に示されている数よりも多くてもよい。3, it is preferable that the
また、図4に示すように、加熱装置100は、枠部材4および第1断熱部材3を貫通しており、枠部材4および金属プレート1を固定している第1固定部材5を有していてもよい。これにより、振動等の外力により、枠部材4、第1断熱部材3および金属プレート1とが接触する部分に応力を分散できる。その結果、第1断熱部材3と金属プレート1とが接触する部位にクラックが生じるおそれを低減できる。4, the
第1固定部材5は、枠部材4と第1断熱部材3とを金属プレート1に固定するための部材である。第1固定部材5の形状は、例えば、長手方向を有する棒状または筒状であってもよい。第1固定部材5は、例えば、ネジ状の部位を有しており、金属プレート1と第1固定部材5と第1断熱部材3とがネジ穴を有していてもよい。ネジ穴に第1固定部材5のネジ状の部位が挿入されることによって、枠部材4と第1断熱部材3とを金属プレート1に固定していてもよい。第1固定部材5は、例えば、セラミック、ガラス、金属等を有していてもよい。特に耐熱性のあるSUS(ステンレス)やKOVAR(コバール)、インバーなどの主に鉄からなる金属やインコネル等の主にニッケルからなる金属、あるいはTi(チタン)や銅、真鍮、クロム合金等の金属材料が好ましい。また、第1固定部材5は、例えば、ろう材などの接合材によって枠部材4および第1断熱部材3に固定されていてもよい。また、第1固定部材5は、例えば、枠部材4および第1断熱部材3に、かしめることによって固定されていてもよい。第1固定部材5が、長手方向を有する棒状である場合は、例えば、長さを3~100mmに、外径を1~10mmにすることができる。The
また、図4に示すように、第1固定部材5は、金属プレート1の側面に対して垂直に挿入されていてもよい。これにより、金属プレート1が熱膨張する向きに第1固定部材5が挿入されるため、第1固定部材5と金属プレート1との間に生じる応力を分散できる。4, the first fixing
また、図5に示すように、加熱装置100は、枠部材4と金属プレート1との間に位置するスペーサー6を有していてもよい。スペーサー6は、例えば、第1断熱部材3と金属プレート1との間に位置していてもよい。これにより、枠部材4と金属プレート1とを、所定の間隔をあけて固定することができる。そのため、枠部材4と金属プレート1との間隔のずれにより均熱性が悪化するおそれを低減できる。
As shown in Fig. 5, the
スペーサー6の形状は、例えば板状、棒状または環状である。また、スペーサー6は、例えば、第1固定部材5が長手方向を有する部材であるときに、第1固定部材5の外周の少なくとも一部を囲むように位置していてもよい。スペーサー6は、金属材料、セラミックまたはガラスを有していてもよい。金属材料は、例えば、SUS(ステンレス)やKOVAR(コバール)、インバーなどの主に鉄からなる金属やインコネル等の主にニッケルからなる金属、あるいはチタンや銅、真鍮、クロム合金等の金属材料を有していてもよい。スペーサー6は、例えば、第1固定部材5の外周を囲むような環状であるとき、外径を2~20mmに、内径を1~10mmに、厚みを0.5~5mmにすることができる。The shape of the
スペーサー6は、環状の部材であって、スペーサー6の内周面と第1固定部材5の外周面とが接触していてもよい。これにより、第1固定部材5が長手方向に垂直な方向に動くことを抑制できる。その結果、加熱装置100の耐久性を向上できる。The
また、図6に示すように、加熱面11は、第1断熱部材3よりも上方に位置していてもよい。これにより、第1断熱部材3と金型との間に、金属プレート1を位置することができる。これにより、金型を加熱するときに、第1断熱部材3が金型と直接触れることにより、第1断熱部材3および金型が劣化するおそれを低減できる。その結果、加熱装置100の信頼性を高めることができる。
Also, as shown in Figure 6, the
加熱面11が第1断熱部材3よりも上方に位置している例として、例えば、図6に示すように加熱面11に垂直な断面を見たときに、第1断熱部材3の上端(端部の一例)が、加熱面11よりも下方に位置していてもよい。また、金属プレート1は、加熱面11の面積よりも第2主面の面積が小さくなっており、第2主面を囲む位置に第1断熱部材3を有していてもよい。また、金属プレート1は、側面に凹部12またはザグリを有しており、凹部12またはザグリに第1断熱部材3を有していてもよい。また、金属プレート1は、それぞれ板状の第1部位と第2部位とを有しており、第1部位の下面が第2部位の上面の全体に接触しており、第1部位の下面と第2部位の側面とに挟まれた空間に、第1断熱部材3が位置していてもよい。このときに、第1断熱部材3は、第1部位の下面と第2部位の側面とにそれぞれ接触していてもよいし、第1部位の下面から隙間を空けて位置していてもよい。As an example of the
なお、本願明細書でいう「上方」とは、ヒータ2から見て加熱面11が位置する方向を意味している。本願明細書でいう「上方」は、直上であってもよい。「下方」とは、加熱面11から見てヒータ2が位置する方向を意味している。「側方」とは、加熱面11に平行であって、加熱装置100の内側から外側へ向かう方向を意味している。但し、本願明細書でいう「上方」、「下方」および「側方」とは、位置関係の理解のし易さのために用いるものであって、実施形態を限定するものではない。例えば、図に示す加熱装置100を傾けた状態で実施することもできるものとする。In addition, "above" in this specification means the direction in which the
また、図6に示すように、枠部材4の上端(端部の一例)は、第1断熱部材3の上端よりも上方に位置していてもよい。ここでいう「上端」では、第1断熱部材3の最も上方に位置している部分を意味している。6, the upper end (an example of an end portion) of the
また、図7に示すように、加熱面11は、枠部材4よりも外側まで伸びており、枠部材4の上方に位置していてもよい。これにより、枠部材4と金型との間に、金属プレート1を位置することができる。これにより、金型を加熱するときに、枠部材4が金型に直接触れてしまい、金型の熱が枠部材4に逃げるおそれを低減できる。その結果、加熱装置100の信頼性を高めることができる。
Also, as shown in Figure 7, the
また、図7に示すように、加熱装置100は、第2主面と接している第2断熱部材7を更に備えていてもよい。これにより、ヒータ2の熱が金属プレート1の下方に放出されてしまうおそれを低減できる。その結果、加熱の効率性を高めることができる。7, the
第2断熱部材7は、ヒータ2による熱が外部に伝わることを防ぐための部材である。第2断熱部材7は、金属プレート1の第2主面と接している。第2断熱部材7は、例えば、セラミック、ガラスまたは金属を有していてもよい。また、第2断熱部材7は、例えば、ポーラスまたは綿のように内部に隙間を有する繊維状のセラミック部材が好ましい。これにより、外部の温度変化によって部材を歪みにくくすることができる。その結果、耐久性を向上できる。また、第2断熱部材7は、加熱装置100を金属プレート1の加熱面11に垂直な方向から見たときに、金属プレート1と第2断熱部材7との間に隙間を有していてもよい。The second insulating
第2断熱部材7の形状は、例えば、板状であってもよい。第2断熱部材7の寸法は、例えば、板状の部材であるときに、幅を10~500mm、厚さを0.3~20mmにすることができる。The shape of the second insulating
また、図8に示すように、加熱装置100は、板状であって第2断熱部材7と接している支持プレート8を有していてもよい。
Also, as shown in FIG. 8, the
支持プレート8は、第2断熱部材7を固定するための部材である。支持プレート8は、金属材料を有している。また、支持プレート8の形状は、例えば、角板状、円板状であってもよい。支持プレート8は、例えば、セラミック、ガラス、金属を有していてもよい。支持プレート8の寸法は、板状の場合、縦の長さを10~500mmに、横の長さを10~500mmに、厚さを0.3~30mmにすることができる。
The
また、図8に示すように、加熱装置100は、枠部材4および支持プレート8を固定する第2固定部材9を有していてもよい。これにより、枠部材4および支持プレート8を強固に固定することができる。これにより、振動等の外力により、枠部材4および支持プレート8が接触する部分に生じる応力を分散できる。その結果、枠部材4および支持プレート8が接触する部位にクラックが生じるおそれを低減できる。その結果、耐久性を向上できる。
As shown in FIG. 8, the
第2固定部材9は、枠部材4および支持プレート8を固定するための部材である。第2固定部材9の形状は、例えば、長手方向を有する棒状または筒状であってもよい。第2固定部材9は、例えば、ネジ状の部位を有しており、枠部材4および支持プレート8がネジ穴を有しており、ネジ穴に第2固定部材9のネジ状の部位が挿入されることによって、枠部材4および支持プレート8を固定していてもよい。第2固定部材9は、例えば、セラミック、ガラス、金属等を有していてもよい。また、第2固定部材9は、例えば、ろう材などの接合材によって枠部材4および支持プレート8に固定されていてもよい。また、第2固定部材9は、例えば、枠部材4および支持プレート8に、かしめることによって固定されていてもよい。第2固定部材9が、長手方向を有する棒状である場合は、例えば、長さを3~100mmに、外径を1~10mmにすることができる。The
また、図8に示すように、第1断熱部材3と第2断熱部材7とが接していてもよい。これにより、第1断熱部材3と第2断熱部材7とを連続してつなげることができる。これにより、金属プレート1の熱が支持プレート8に伝わるおそれを低減できる。その結果、加熱装置100の信頼性を高めることができる。
Also, as shown in Figure 8, the first insulating
また、図8に示すように、支持プレート8は、枠部材4と接していてもよい。これにより、支持プレート8と枠部材4とが接している部位において、支持プレート8から枠部材4を経由して加熱装置100の外部へ熱を伝えやすくすることができる。これにより、加熱の効率を高めつつ、加熱装置100の全体として熱引きを高めることができる。その結果、加熱装置100の耐久性を向上できる。
Also, as shown in Figure 8, the
また、図8に示すように、第1断熱部材3の下端は、支持プレート8よりも上方に位置していてもよい。これにより、金属プレート1の熱が第1断熱部材3を経由して支持プレート8よりも下方に逃げてしまうおそれを低減できる。その結果、加熱装置100の均熱性を向上できる。8, the lower end of the first insulating
1:金属プレート
11:加熱面
12:凹部
2:ヒータ
3:第1断熱部材
4:枠部材
5:第1固定部材
6:スペーサー
7:第2断熱部材
8:支持プレート
9:第2固定部材
100:加熱装置
1: Metal plate 11: Heating surface 12: Recess 2: Heater 3: First heat insulating member 4: Frame member 5: First fixing member 6: Spacer 7: Second heat insulating member 8: Support plate 9: Second fixing member 100: Heating device
Claims (8)
複数のヒータと、を備え、
前記金属プレートは、加熱面である第1面と、該第1面の反対に位置して複数の凹部を有する第2面と、前記第1面と前記第2面とのそれぞれに繋がる第3面と、を有し、
前記複数のヒータは、前記複数の凹部のそれぞれに位置し、
さらに、第1断熱部材を備え、
該第1断熱部材は、前記第3面に対向して前記金属プレートを囲っており、
さらに、
前記第1断熱部材の側方に位置し、前記第1断熱部材を覆う枠部材と、
前記枠部材および前記第1断熱部材を貫通しており、前記枠部材および前記金属プレートを固定している第1固定部材と、
前記枠部材と前記金属プレートとの間に位置するスペーサーと、を有し、
前記スペーサーは、前記第1固定部材の少なくとも一部を囲んでいる、加熱装置。 A metal plate;
a plurality of heaters;
The metal plate has a first surface which is a heating surface, a second surface located opposite the first surface and having a plurality of recesses, and a third surface which is connected to both the first surface and the second surface,
the heaters are located in the recesses,
Further, a first heat insulating member is provided,
the first heat insulating member faces the third surface and surrounds the metal plate ;
moreover,
A frame member located on a side of the first heat insulating member and covering the first heat insulating member;
a first fixing member penetrating the frame member and the first heat insulating member and fixing the frame member and the metal plate;
a spacer positioned between the frame member and the metal plate;
The spacer surrounds at least a portion of the first fixing member .
複数のヒータと、を備え、
前記金属プレートは、加熱面である第1面と、該第1面の反対に位置して複数の凹部を有する第2面と、前記第1面と前記第2面とのそれぞれに繋がる第3面と、を有し、
前記複数のヒータは、前記複数の凹部のそれぞれに位置し、
さらに、第1断熱部材を備え、
該第1断熱部材は、前記第3面に対向して前記金属プレートを囲っており、
さらに、
前記第1断熱部材の側方に位置し、前記第1断熱部材を覆う枠部材を有し、
前記加熱面の少なくとも一部は、前記枠部材の直上に位置している、加熱装置。 A metal plate;
a plurality of heaters;
The metal plate has a first surface which is a heating surface, a second surface located opposite the first surface and having a plurality of recesses, and a third surface which is connected to both the first surface and the second surface,
the heaters are located in the recesses,
Further, a first heat insulating member is provided,
the first heat insulating member faces the third surface and surrounds the metal plate;
moreover,
a frame member located on a side of the first heat insulating member and covering the first heat insulating member;
At least a portion of the heating surface is located directly above the frame member.
複数のヒータと、を備え、
前記金属プレートは、加熱面である第1面と、該第1面の反対に位置して複数の凹部を有する第2面と、前記第1面と前記第2面とのそれぞれに繋がる第3面と、を有し、
前記複数のヒータは、前記複数の凹部のそれぞれに位置し、
さらに、第1断熱部材を備え、
該第1断熱部材は、前記第3面に対向して前記金属プレートを囲っており、
前記第1面は、前記第1断熱部材の端部よりも上方に位置している、加熱装置。 A metal plate;
a plurality of heaters;
The metal plate has a first surface which is a heating surface, a second surface located opposite the first surface and having a plurality of recesses, and a third surface which is connected to both the first surface and the second surface,
the heaters are located in the recesses,
Further, a first heat insulating member is provided,
the first heat insulating member faces the third surface and surrounds the metal plate;
A heating device, wherein the first surface is located above an end of the first insulating member.
板状であって、前記第2断熱部材と接している支持プレートと、を有しており、
前記支持プレートは、前記枠部材と接している、請求項6または請求項7に記載の加熱装置。 A frame member located on a side of the first heat insulating member and covering the first heat insulating member;
A support plate having a plate shape and in contact with the second insulating member,
The heating device according to claim 6 or 7 , wherein the support plate is in contact with the frame member.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021119802 | 2021-07-20 | ||
| JP2021119802 | 2021-07-20 | ||
| PCT/JP2022/026963 WO2023002855A1 (en) | 2021-07-20 | 2022-07-07 | Heating device |
Publications (3)
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