JP7679706B2 - Visual Inspection Equipment - Google Patents
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Description
本発明は、外観検査装置に関する。 The present invention relates to an appearance inspection device.
WO2019/216031A1には、セラミックス体の欠陥検査装置および欠陥検査方法に関する発明が開示されている。ここで開示される装置は、テーブルと、撮像部と、低角度照明部、中角度照明部、および高角度照明部と、判定用画像生成部と、欠陥判定部とを備えている。 WO2019/216031A1 discloses an invention relating to a defect inspection device and a defect inspection method for ceramic bodies. The device disclosed here includes a table, an imaging unit, a low-angle illumination unit, a medium-angle illumination unit, and a high-angle illumination unit, a judgment image generation unit, and a defect judgment unit.
テーブルは、検査対象たるセラミックス体が載置されるテーブルである。撮像部は、テーブルに載置されたセラミックス体の検査対象面の少なくとも一部を撮像領域として検査対象面の法線方向から撮像する。低角度照明部、中角度照明部、および高角度照明部は、撮像部の周囲において互いに等角度間隔な相異なる照射方向からそれぞれが撮像領域に対して斜めに照明光を照射する4以上の複数の単位照明を各々に有している。判定用画像生成部は、撮像部によって取得された撮像データに基づいて撮像領域における欠陥の有無を判定するための判定用画像データを生成する。欠陥判定部は、判定用画像データに基づいて欠陥の有無を判定する。 The table is a table on which the ceramic body to be inspected is placed. The imaging unit images at least a portion of the inspection surface of the ceramic body placed on the table as an imaging area from the normal direction of the inspection surface. The low-angle illumination unit, the medium-angle illumination unit, and the high-angle illumination unit each have four or more unit illuminations that each irradiate the imaging area with illumination light obliquely from different irradiation directions equiangularly spaced from one another around the imaging unit. The judgment image generation unit generates judgment image data for judging the presence or absence of defects in the imaging area based on the imaging data acquired by the imaging unit. The defect judgment unit judges the presence or absence of defects based on the judgment image data.
ここで開示される装置では、低角度照明部、中角度照明部、および高角度照明部の各々において、複数の単位照明は、順次に点灯および消灯されるようになっている。撮像部は、低角度照明部、中角度照明部、および高角度照明部の各々の複数の単位照明が点灯される都度、撮像領域の撮像を行うことにより、複数の低角度照明時撮像データ、複数の中角度照明時撮像データ、および、複数の高角度照明時撮像データを生成する。 In the device disclosed herein, the multiple unit lights in each of the low-angle lighting unit, the medium-angle lighting unit, and the high-angle lighting unit are turned on and off in sequence. The imaging unit captures an image of the imaging area each time the multiple unit lights in each of the low-angle lighting unit, the medium-angle lighting unit, and the high-angle lighting unit are turned on, thereby generating multiple pieces of imaging data with low-angle lighting, multiple pieces of imaging data with medium-angle lighting, and multiple pieces of imaging data with high-angle lighting.
判定用画像生成部は、最大/最小輝度画像生成部と、除外領域特定部とを備えている。
最大/最小輝度画像生成部は、複数の低角度照明時撮像データ、複数の中角度照明時撮像データ、および、複数の高角度照明時撮像データを各々、各画素位置についての最大輝度値が当該画素位置についての輝度値となるように合成する。このことにより、低角度最大輝度画像データ、中角度最大輝度画像データ、および高角度最大輝度画像データを生成するとともに、各画素位置についての最小輝度値が当該画素位置についての輝度値となるように合成することにより、低角度最小輝度画像データ、中角度最小輝度画像データ、および高角度最小輝度画像データを生成する。
除外領域特定部は、低角度最大輝度画像データ、中角度最大輝度画像データ、高角度最大輝度画像データ、低角度最小輝度画像データ、中角度最小輝度画像データ、および高角度最小輝度画像データの少なくとも1つに基づき、低角度最小輝度画像データ、中角度最小輝度画像データ、および高角度最小輝度画像データのそれぞれによって表される像における除外対象画素領域を特定する。
The judgment image generating section includes a maximum/minimum brightness image generating section and an excluded region specifying section.
The maximum/minimum luminance image generating unit synthesizes the plurality of low-angle illumination image data, the plurality of medium-angle illumination image data, and the plurality of high-angle illumination image data such that the maximum luminance value for each pixel position becomes the luminance value for that pixel position, thereby generating low-angle maximum luminance image data, medium-angle maximum luminance image data, and high-angle maximum luminance image data, and synthesizes the plurality of low-angle illumination image data, the plurality of medium-angle illumination image data, and the plurality of high-angle illumination image data such that the minimum luminance value for each pixel position becomes the luminance value for that pixel position, thereby generating low-angle minimum luminance image data, medium-angle minimum luminance image data, and high-angle minimum luminance image data.
The exclusion area identification unit identifies an exclusion target pixel area in an image represented by each of the low-angle minimum luminance image data, the medium-angle maximum luminance image data, the high-angle maximum luminance image data, the low-angle minimum luminance image data, the medium-angle minimum luminance image data, and the high-angle minimum luminance image data, based on at least one of the low-angle maximum luminance image data, the medium-angle minimum luminance image data, and the high-angle minimum luminance image data.
除外対象画素領域は、撮像領域に含まれる検査対象外の領域に相当し、除外対象画素領域について不能化した低角度最小輝度画像データ、中角度最小輝度画像データ、および高角度最小輝度画像データに基づいて、判定用画像データとして、低角度判定用画像データ、中角度判定用画像データ、および高角度判定用画像データをそれぞれに生成する。
欠陥判定部は、低角度判定用画像データ、中角度判定用画像データ、および高角度判定用画像データに基づいて、除外対象画素領域以外の撮像領域における欠陥の有無を判定する。
The pixel area to be excluded corresponds to an area included in the imaging area that is not to be inspected, and based on the low-angle minimum luminance image data, medium-angle minimum luminance image data, and high-angle minimum luminance image data that have been disabled for the pixel area to be excluded, low-angle judgment image data, medium-angle judgment image data, and high-angle judgment image data are generated as judgment image data, respectively.
The defect determination unit determines the presence or absence of defects in the imaging region other than the exclusion target pixel region based on the low angle determination image data, the medium angle determination image data, and the high angle determination image data.
セラミックス体の欠陥検査装置によれば、正常なセラミックス面の凹凸を欠陥と誤検出することなく、本来検出すべき欠陥を確実に検出することができ、かつ、判定用画像データの生成に際し検査対象とする必要のない領域を除外することで、欠陥検査をより効率的に行うことが出来る、とされている。 The ceramic body defect inspection device is said to be able to reliably detect defects that should be detected without erroneously detecting irregularities on a normal ceramic surface as defects, and to perform defect inspection more efficiently by excluding areas that do not need to be inspected when generating image data for judgment.
ところで、弾性体で構成されるガスケットやキャップ等の円柱状の成形品では、表面に凹凸形状やクラックなどの成形不良が発生しうる。ここでは、かかる成形品の成形不良の発見により適した外観検査装置を提案する。 However, cylindrical molded products such as gaskets and caps made of elastic materials can have molding defects such as uneven surfaces and cracks. Here, we propose an appearance inspection device that is more suitable for discovering molding defects in such molded products.
ここで開示される外観検査装置は、被検査体が配置される検査ステージと、検査ステージに置かれた被検査体を、当該被検査体の側方から撮影する少なくとも1つのカメラと、検査ステージに置かれる被検査体の側周面に対し、上方から光を照射する第1照明と、検査ステージに置かれる被検査体の側周面に対し、下方から光を照射する第2照明と、処理装置とを備えている。処理装置は、以下の処理を実行するように構成されている。
第2照明が消され、かつ、第1照明が照射された状態で、カメラで前記検査ステージに置かれた被検査体を撮影した第1画像を取得する処理
第1照明が消され、かつ、第2照明が照射された状態で、カメラで検査ステージに置かれた被検査体を撮影した第2画像を取得する処理
第1画像と第2画像とに基づいて、撮影された被検査体の良否を判定する判定処理
The appearance inspection device disclosed herein includes an inspection stage on which an object to be inspected is placed, at least one camera that photographs the object to be inspected placed on the inspection stage from the side of the object to be inspected, a first illuminator that irradiates the side surface of the object to be inspected placed on the inspection stage with light from above, a second illuminator that irradiates the side surface of the object to be inspected placed on the inspection stage with light from below, and a processing device. The processing device is configured to execute the following processes.
A process of acquiring a first image of an object to be inspected placed on the inspection stage by a camera with the second illumination turned off and the first illumination turned on. A process of acquiring a second image of an object to be inspected placed on the inspection stage by a camera with the first illumination turned off and the second illumination turned on. A judgment process of judging the quality of the photographed object to be inspected based on the first image and the second image.
ここで開示される外観検査装置によれば、被検査体の側周面に生じた不良を精度よく抽出することができるので、安定した良否判定が行える。 The visual inspection device disclosed here can accurately extract defects that occur on the side surface of the object being inspected, allowing for stable pass/fail judgments.
以下、ここで開示される発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。各図面は模式的に描かれており、必ずしも実物を反映していない。また、各図面は、一例を示すのみであり、特に言及されない限りにおいて本発明を限定しない。また、同一の作用を奏する部材・部位には、適宜に同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 Below, one embodiment of the invention disclosed herein will be described with reference to the drawings. Note that the present invention is not limited to the following embodiment. Each drawing is drawn diagrammatically and does not necessarily reflect the actual product. Furthermore, each drawing shows only an example, and does not limit the present invention unless otherwise specified. Furthermore, the same reference numerals are appropriately used for components and parts that perform the same function, and duplicate explanations will be omitted.
図1は、外観検査装置10の模式的な側面図である。図2は、外観検査装置10の模式的な平面図である。外観検査装置10は、図1および図2に示されているように、検査ステージ11と、複数のカメラ12と、第1照明13と、第2照明14と、処理装置15とを備えている。
Figure 1 is a schematic side view of the
〈被検査体2〉
被検査体2は、この実施形態では、略筒状の成形品である。被検査体2は、被検査体2は、ゴムやエラストマなどの弾性体で構成されている。被検査体2は、軸方向の上部と下部にそれぞれ外径方向に突出した出っ張り2a,2bが、周方向に連続して設けられている。このように、被検査体2には、外径方向に突出した出っ張りが予め定められた位置に形成されている場合がある。また、側周面には、周方向に沿っていくつかの面2cが形成されており、面2cの境界に稜線2dが設けられている。医療用ゴム部品としての注射器シリンジに挿入されるガスケットや注射器ノズルに装着されるキャップ等の円柱状の成形品には、このような出っ張りや稜線を有する製品が多くある。図1および図2に示された被検査体2は、その一例が示されたものである。外観検査装置10の検査対象となる被検査体の形状は、図1および図2に示された形状に限定されない。このように出っ張り2a,2bや稜線2dがあるような形状では、照明が当てられると、出っ張り2a,2bや稜線2dなどに起因して照明が当たった部分が明るくなり、かつ、その背後に影が生じて暗くなる。
<
In this embodiment, the
〈検査ステージ11〉
検査ステージ11は、被検査体2が配置されるステージである。この実施形態では、被検査体2は、ガスケットやキャップ等の円柱状の成形品であるので、検査ステージ11は、例えば、被検査体2が配置される円形の台座でありうる。この実施形態では、検査ステージ11は、被検査体2の底面と同じか、少し大きい程度の台座が用いられている。また、被検査体2が安定して置ければよく、検査ステージ11の上面11aは、被検査体2の底面よりも小さくてもよい。
<
The
〈カメラ12〉
カメラ12は、検査ステージ11に置かれた被検査体2を、当該被検査体2の側方から撮影するように配置されている。この実施形態では、図1および図2に示されているように、外観検査装置10は、複数のカメラ12を備えている。複数のカメラ12は、検査ステージ11に置かれた被検査体2を周方向に分割された複数の方向からそれぞれ撮影するように配置されている。複数(図2に示された例では、6台)のカメラ12は、検査ステージ11に置かれた被検査体2の周りに、所定の間隔で配置されている。ここで、カメラ12には、例えば、株式会社キーエンス社製のCA-H200Mが用いられうる。また、カメラ12に付随するレンズには、株式会社モリテックス社製のML-M3520URが用いられうる。また、レンズとカメラの受光部の間には、中間リングが用いられていてもよい。中間リングには、パナソニック株式会社製のANB84805が用いられうる。中間リングは、設備レイアウトの都合、カメラ-被写体の距離を十分に稼げない場合に使用されうる。中間リングは、接写リングとも称される。
<
The
〈第1照明13,第2照明14〉
第1照明13は、検査ステージ11に被検査体2が置かれる位置に対し、上方から光を照射する照明である。第2照明14は、検査ステージ11に被検査体2が置かれる位置に対し、下方から光を照射する照明である。第1照明13は、例えば、照明光または反射光を被検査体2の側面に対して上方から照射するように構成されているとよい。第2照明14は、例えば、照明光または反射光を被検査体2の側面に対して下方から照射するように構成されているとよい。
<
The
図1に示された形態では、第1照明13は、検査ステージ11に被検査体2が置かれる位置に対し、上方から光を照射する上リング照明41(ここでは、第1リング照明とも称される)で構成されている。第2照明14は、検査ステージ11に被検査体2が置かれる位置に対し、下方から光を照射する下リング照明42(ここでは、第2リング照明とも称される)で構成されている。上リング照明41と下リング照明42は、被検査体2が置かれる位置に対して大凡所定の角度で光を照射するように構成されているとよい。第1照明13と第2照明14にそれぞれリング照明41,42が採用されていることによって、検査ステージ11に置かれる被検査体2の側周面に対して周方向において均一な光が照射される。第1照明13と第2照明14は、それぞれ処理装置15に接続されているとよく、点灯および消灯されるタイミングが制御されるように構成されているとよい。
In the embodiment shown in FIG. 1, the
図3は、他の形態を示す外観検査装置10Aを模式的に示す側面図である。
Figure 3 is a schematic side view of a
図3に示された形態では、第2照明14は、反射面51と、照明器52とを有している。反射面51は、検査ステージ11の被検査体2が置かれる位置の周囲に、検査ステージ11に置かれる被検査体2よりも下側に設けられている。照明器52は、反射面51に光を反射させて、被検査体2の下方から光を照射する照明器具でありうる。この場合、照明器52の光を反射させて、被検査体2の下方から光が照射されるように、反射面51や照明器52が配置されているとよい。このように、反射面51は、検査ステージ11に置かれる被検査体2よりも下側に設けられているとよく、照明器52は、検査ステージ11よりも上方に配置されていてもよい。このように反射面51が用いられる場合、検査ステージ11の下に他の物が配置され、照明器が配置できないような場合でも、被検査体2の下方から光が照射されるように構成できる。
3, the
〈反射面51〉
図3に示された形態では、反射面51は、検査ステージ11の少なくとも被検査体2が置かれる位置の周囲に設けられている。この実施形態では、検査ステージ11は、全体的に反射率が高い白色の樹脂で構成されており、検査ステージ11の上面が反射面51を構成している。この場合、反射面51を備えた検査ステージ11は、例えば、樹脂製の台座で構成することができる。このため、比較的安価に構成されうる。なお、検査ステージ11の上面に、反射率が高いプレートからなる反射板が取り付けられてもよい。このように、検査ステージ11の上面に反射面51が構成されていてもよい。反射面51は、かかる形態に限定されない。反射面51は、照明器52からの光が被検査体2の側周面に向けて反射するように、適当な角度が設けられていてもよい。また、反射面51は、照明器52からの光が被検査体2の側周面に向けて反射するように、適当な位置に配置されているとよい。
<Reflecting
In the embodiment shown in FIG. 3, the
〈照明器52〉
照明器52は、検査ステージ11の上方に配置され、反射面51に光を反射させて、被検査体2の下方から光を照射するスポット照明61で構成されている。この場合、スポット照明61の光の中央部を遮光する遮光用のマスキング62をさらに備えている。図3に示された形態では、第1照明13を構成する第1リング照明41は、内側に透明板63が取り付けられている。スポット照明61は、透明板63の上方に設けられている。遮光用のマスキング62は、透明板63に設けられている。この場合、スポット照明61から照射される光は、中央部が遮光用のマスキング62で遮られる。遮光用のマスキング62の周りで透明板63を透過して、検査ステージ11の上面11aに設けられた反射面51で反射する。反射面51で反射した光は、検査ステージ11に置かれた被検査体2の側周面を下方から照らす。
<
The
この形態では、被検査体2の真上に遮光用のマスキング62が配置され、さらにその真上にスポット照明61が設けられている。スポット照明61の光は、中央部が遮光用のマスキング62で遮られ、遮光用のマスキング62の周りにおいて透明板63を透過する。透明板63を透過した光の一部は、反射面51で反射して、被検査体2の側周面に照射される。被検査体2の側周面には、周方向に大凡均一な光が照射される。マスキング62の位置や形状は、検査ステージ11の上に配置される被検査体2の位置や大きさや形状などに応じて適当に設定されるとよい。透明板63は、光を透過すればよく半透明の板でもよい。
In this embodiment, a light-shielding
図3に示された形態では、反射面51は、光の拡散が抑制されるような適当な表面処理が施されていても良い。図3に示された形態では、上方に設置されたスポット照明61には、シーシーエス株式会社製のLDR2-50SW2が用いられる。また、スポット照明61の下方に設置されたリング照明41には、シーシーエス株式会社製のHPR2-150SWが用いられうる。
In the embodiment shown in FIG. 3, the
なお、図示は省略するが、外観検査装置は、上述した実施形態に限定されない。検査ステージ11に置かれる被検査体2の側周面に対し、上方から光を照射する第1照明13と、検査ステージ11に置かれる被検査体2の側周面に対し、下方から光を照射する第2照明14の構成は、上述した実施形態に限定されず、種々の形態に変更されうる。例えば、第2照明14の照明器52は、パネル照明でもよい。この場合、パネル照明は、第1照明13を構成する第1照明13を構成する第1リング照明41の内側(内径側)において、下向きに光が照射されるように配置されていてもよい。第2照明14としてのパネル照明の中央部には、遮光用のマスキングが取り付けられていてもよい。あるいは、第2照明14としてのパネル照明は、リング状のパネル照明でもよい。パネル照明がリング状のパネル照明である場合には、遮光用のマスキングは無くてもよい。このような形態では、第2照明14としてのパネル照明の光が、検査ステージ11の反射面51で反射して検査ステージ11に置かれた被検査体2の側周面に照射される。この場合、パネル照明から反射面51で反射した光が、被検査体2の側周面に照射され、被検査体2の側周面には、周方向に大凡均一な光が照射される。
Although not shown, the appearance inspection device is not limited to the above-mentioned embodiment. The configuration of the
このように、外観検査装置10の第1照明13と第2照明14の構成について、種々例示した。第1照明13は、照明光または反射光を被検査体の側面に対して上方から照射するように構成されているとよい。第2照明14は、照明光または反射光を被検査体の側面に対して下方から照射するように構成されているとよい。かかる観点で、上述した実施形態に限定されない。ここで、第1照明13と第2照明14は、光の波長が異なるものでもよい。例えば、微小な凹凸を検査する場合には波長の短い照明(青色)が用いられるとよい。波長の短い照明(青色)が用いられると、解像度が高くなることが期待できる。他方で、被写体素地そのものが微細な凹凸を保有している場合には、その素地の凹凸の影響を小さくするために波長の長い照明(赤色)が使用されてよい。このように被検査体2の特徴に合わせて光の波長が異なる照明が用いられてもよい。また、第1照明13と第2照明14の発光面とカメラ12のレンズ先端の少なくとも何れか一方に偏光レンズが装着されていてもよい。この場合、被検査体2に映りこんだ照明の反射光が、偏光レンズを用いて除去される。偏光レンズを装着することは、例えば、表面がフィルムなどで覆われており、光が反射しやすい被検査体2の検査に有効でありうる。
In this way, various examples have been given of the configurations of the
〈処理装置15〉
処理装置15は、外観検査装置10の種々の処理を行う装置である。処理装置15は、予め定められたプログラムに沿って駆動するコンピュータによって具現化されうる。具体的には、処理装置15の各機能は、処理装置15を構成する各コンピュータの演算装置(プロセッサ、CPU(Central Processing Unit)、MPU(Micro-processing unit)とも称される)や記憶装置(メモリーやハードディスクなど)によって処理される。例えば、処理装置15の各構成は、コンピュータによって具現化されるデータを予め定められた形式で記憶するデータベース、データ構造、予め定められたプログラムに従って所定の演算処理を行う処理モジュールなどとして、または、それらの一部として具現化されうる。図示は省略するが、処理装置15は、複数の制御装置が協働するものでもよい。例えば、外観検査装置10の処理装置15が、LANケーブルやインターネットなどを通じて、外部のコンピュータとデータ通信可能に接続されている場合には、処理装置15の処理は、このような外部のコンピュータと協働で行われてもよい。例えば、処理装置15に記憶される情報または一部の情報は、外部のコンピュータによって記憶されてもよいし、処理装置15が実行する処理または処理の一部は、外部のコンピュータによって実行されてもよい。
The
処理装置15は、第1画像を取得する処理31と、第2画像を取得する処理32と、良否を判定する判定処理33とを実施されるように構成されている。この実施形態では、処理装置15は、カメラ12と、第1照明13と、第2照明14とが、予め定められたプログラムに沿って操作可能に構成されている。処理装置15は、カメラ12と、第1照明13と、第2照明14とを通信ネットワークを通じて電気的に接続されている。通信ネットワークは、有線または無線の何れのネットワークでもよい。第1画像と第2画像は、処理装置15によって、第1照明13と第2照明14とカメラ12とが適切に操作されることによって撮影される。
The
〈第1画像〉
第1画像は、第2照明14が消され、かつ、第1照明13が照射された状態で、カメラ12で検査ステージ11に置かれた被検査体2を撮影した画像である。第1画像を取得する処理31では、第2照明14が消され、かつ、第1照明13が照射された状態で、カメラ12によって検査ステージ11に置かれた被検査体2が撮影されるとよい。
<First image>
The first image is an image of the
図4は、第1画像の一例を示す写真である。図4の写真に写された被検査体2は、図1に示されたものと大凡同様の形状を有している。被検査体2は、略円筒形状の成形品である。被検査体2は、軸方向の上部と下部にそれぞれ外径方向に突出した出っ張り2a,2bが、周方向に連続して設けられている。側周面には、周方向に沿っていくつかの面2cが形成されており、面2cの境界に稜線2dが設けられている。図4に示されているように、第2照明14が消され、かつ、第1照明13が照射された状態で、カメラ12で検査ステージ11に置かれた被検査体2が撮影されると、被検査体2の側周面の出っ張りの上側に第1照明13の光が当たりやすい。また、第1照明13の光に対する影が出っ張りの下側に生じ易い。図4に示された第1画像の例では、被検査体2の下部の出っ張り2bの上側は、第1照明13の光が当たりやすく、輝度が高くなっている。また、被検査体2の上部の出っ張り2aの下側は、影が出来やすく、輝度が低くなっている。
Figure 4 is a photograph showing an example of the first image. The
〈第2画像〉
第2画像は、第1照明13が消され、かつ、第2照明14が照射された状態で、カメラ12で検査ステージ11に置かれた被検査体2を撮影した画像である。第2画像を取得する処理32では、第1照明13が消され、かつ、第2照明14が照射された状態で、カメラ12によって検査ステージ11に置かれた被検査体2が撮影されるとよい。
<Second image>
The second image is an image of the
図5は、第2画像の一例を示す写真である。図5の写真に写された被検査体2は、図4の被検査体2と同じである。図5に示されているように、第1照明13が消され、かつ、第2照明14が照射された状態で、カメラ12で検査ステージ11に置かれた被検査体2が撮影されると、被検査体2の側周面の出っ張りの下側に第2照明14の光が当たりやすい。また、第2照明14の光に対する影が出っ張りの上側に生じ易い。このため、図5に示された第2画像の例では、被検査体2の上部の出っ張り2bの下側は、第2照明14の光が当たりやすく、輝度が高くなっている。また、被検査体2の上部の出っ張り2aの下側は、影が出来やすく、輝度が低くなっている。
Figure 5 is a photograph showing an example of the second image. The
〈判定処理〉
判定処理は、第1画像と第2画像とに基づいて、撮影された被検査体の良否を判定する処理である。
<Determination Process>
The judgment process is a process for judging the quality of the photographed inspection object based on the first image and the second image.
例えば、被検査体2の側周面に凹みがあると、第1画像では、凹みの上部に影が生じて輝度が低くなり、かつ、凹みの下部の輝度が高くなる傾向がある。また、第2画像では、凹みの下部に影が生じて輝度が低くなり、かつ、凹みの上部の輝度が高くなる傾向がある。また、被検査体2の側周面に盛り上がった部分があると、第1画像では、盛り上がった部分の上部の輝度が高くなり、盛り上がった部分の下部の輝度が低くなる。また、第2画像では、盛り上がった部分の下部の輝度が高くなり、盛り上がった部分の下部の輝度が低くなる。成形品の予め定められた位置にある凹みや盛り上がった部分は、正常であるが、予め定められた位置以外の部位に、凹みや盛り上がった部分があると成型不良である可能性がある。このように、第1画像と第2画像が取得され、予め定められた位置以外の部位に、凹みや盛り上がった部分があるか否かを判定することによって、撮影された被検査体の良否を判定することができる。
For example, if there is a dent on the side surface of the
図1に示された被検査体2の側周面には、周方向に沿っていくつかの面2cが形成されており、面2cの境界に稜線2dが設けられている。この実施形態では、図2に示されているように、検査ステージ11の周方向に分割された複数の方向からそれぞれ被検査体2が撮影されるように、複数のカメラ12が検査ステージ11の周りに所定の間隔で配置されている。複数のカメラ12は、全体として、検査ステージ11に置かれる被検査体2の側周面を全周にわたって撮影できるように配置されている。このため、被検査体2の側周面に形成された面2cや稜線2dも、何れかの画像で捉えられる。この場合、面2cや稜線2dに、凹みや盛り上がった部分があると、面2cに輝度が変化した部分が生じ、稜線2dは、歪んだ部分が生じる。
The side surface of the
このように、外観検査装置10は、図1および図2に示されているように、検査ステージ11に置かれた被検査体2の側方から撮影する複数のカメラ12と、被検査体2の側周面に対し、上方から光を照射する第1照明13と、被検査体2の側周面に対し、下方から光を照射する第2照明14とを備えている。処理装置15は、第2照明14が消され、かつ、第1照明13が照射された状態で被検査体2を撮影した第1画像と、第1照明13が消され、かつ、第2照明14が照射された状態で被検査体2を撮影した第2画像とに基づいて、被検査体2の良否を判定するように構成されている。この場合、第1照明13と第2照明14によって、被検査体2の側周面に上方および下方のそれぞれから光が当てられる。そして、第1照明13によって被検査体2の側周面に上方から光が当てられて得られた第1画像と、下方から光が当てられて得られた第2画像とが取得される。
1 and 2, the
これにより、被検査体2の側周面に凹凸状の成形不良や傷が生じている場合、上下方向の陰影を生じさせることができる。そして、製品固有の起伏によって生じる陰影部についても、起伏に光が当たっている側の画像が用いられることによって、検査できる。このように、第1照明13によって被検査体2の側周面に上方から光が当てられて得られた第1画像と、下方から光が当てられて得られた第2画像とに基づいて、撮影された被検査体2の側周面の良否を判定することができる。
As a result, if there is a concave-convex molding defect or a scratch on the side surface of the inspected
また、この実施形態では、上述のように第1照明13と第2照明14のそれぞれにおいて、被検査体2の側周面に周方向に均一な照度の光が当てられる。このため、第1画像と第2画像において、それぞれ光が当てられた箇所の輝度と、影になっている部分の影が大凡同じ程度の輝度になる。このため、撮影された被検査体2の側周面の良否を精度よく判定することができる。
In addition, in this embodiment, as described above, the
また、この実施形態では、検査ステージ11に置かれた被検査体2を周方向に分割された複数の方向からそれぞれ撮影するように、複数のカメラ12が配置されている。このため、検査ステージ11に置かれた被検査体2を回転させることなどなく、被検査体2の側周面の全周を撮影することができる。検査ステージ11に置かれた被検査体2を回転させることなどなく、被検査体2の側周面の全周を撮影することができるので、回転の芯ずれなども起こらない。このため、安定した検査が可能であり、不良箇所の特定も精度良く行える。また、複数のカメラ12が用いられるので、被検査体2の側周面の全周を撮影するのに要する時間も少なくて済む。
In addition, in this embodiment,
また、被検査体2の側周面に対して上下方向から第1照明13と第2照明14とによって光が照射される。カメラ12は、被検査体2の側周面に対して径方向から撮影する。このため、被検査体2が円筒形状である場合でも、周方向の輝度値のバラツキが小さく抑えられる。カメラ12の一台当たりの検査領域は、被検査体2の水平方向から光を当てる場合に比べて広くなる。このため、複数のカメラ12を検査ステージ11の周方向に沿って複数配置する場合でも、必要となるカメラ12の台数が少なくて済み、設備コストが小さく抑えられる。例えば、この実施形態では、6台のカメラ12で、被検査体2の周方向を6分割したエリアをカバーしている。カメラ12の台数は、6台に限定されず、5台、4台、3台などさらに少なくてもよい場合がある。
In addition, the
判定処理では、第1画像のうち撮影された被検査体の濃淡勾配を除去する処理と、第2画像のうち撮影された被検査体の濃淡勾配を除去する処理と、濃淡勾配が除去された第1画像と第2画像とに基づいて、撮影された被検査体の良否が判定されてもよい。例えば、図1に示されているように、被検査体2が略円筒形状の部材である場合、周方向に均等に光が当てられる場合でも、照明に近い部分ほど明るく写りやすく、照明から離れるにつれて暗く写りやすい。また、被検査体2に照射される光の照度が周方向にムラがあるような場合も、被検査体2の周方向において輝度にムラが生じうる。このような場合、被検査体2の周方向において、撮影された被検査体2には一定の濃淡の勾配が生じる傾向がある。このため、第1画像のうち撮影された被検査体の濃淡勾配を除去する処理と、第2画像のうち撮影された被検査体の濃淡勾配を除去する処理とが施されることで、かかる濃淡を除去できる。例えば、図4および図5は、濃淡が除去される前の写真である。この場合、濃淡勾配は、図4および図5に示されているように、周方向よりも高さ方向で強く出る傾向がある。濃淡勾配を除去する処理は、かかる傾向についても除去されうる。第1画像と第2画像において、被検査体2の濃淡勾配を除去する処理が施されることによって、被検査体2の高さ方向および周方向における濃淡勾配が除去されるので、撮影された被検査体2の良否判定の精度が向上しうる。
In the judgment process, the quality of the photographed test object may be judged based on a process of removing the shading gradient of the photographed test object in the first image, a process of removing the shading gradient of the photographed test object in the second image, and the first and second images from which the shading gradient has been removed. For example, as shown in FIG. 1, when the
ここで濃淡勾配を除去する処理は、例えば、株式会社キーエンス製のXG8500のような市販の画像処理ソフトでは、リアルタイム濃淡補正フィルターでシェーディングを除去する処理によって、実現されうる。かかる処理によれば、入力画像と、入力画像から作成された内部処理画像を差分演算することで、撮影された被検査体2の表面の緩やかな濃淡変化(シェーディング)が除去される。撮影された被検査体2の表面において濃淡変化が除去されることによって、急峻なコントラストの変化がある部分が強調されて抽出される。また、領域内の濃度の平均値や中央値を使用して撮影された被検査体2の側周面のコントラストを均一に補正してもよい。
The process of removing the shading gradient here can be realized by, for example, a process of removing shading with a real-time shading correction filter in commercially available image processing software such as XG8500 manufactured by Keyence Corporation. With this process, the gradual change in shading (shading) on the surface of the photographed
判定処理は、例えば、濃淡勾配が除去された第1画像と濃淡勾配が除去された第2画像とにおいて、隣接する画素もしくは画素群の間で輝度値の差分を算出し、その差分が閾値以上となれば、不良個所として判定されるように構成してもよい。傷など成形不良がない場合には、上下や左右に隣接する画素もしくは画素群の間で輝度値の差分は、大凡一定である。濃淡勾配が除去された第1画像と濃淡勾配が除去された第2画像とにおいて、上下や左右に隣接する画素もしくは画素群の間で輝度値の差分を算出し、その差分が閾値以上とある箇所は、不良箇所である疑いがある。このため、不良個所として判定されるように構成されてもよい。 The judgment process may be configured, for example, to calculate the difference in luminance value between adjacent pixels or groups of pixels in a first image from which the grayscale gradient has been removed and a second image from which the grayscale gradient has been removed, and if the difference is equal to or greater than a threshold, it is judged to be a defective part. When there are no molding defects such as scratches, the difference in luminance value between adjacent pixels or groups of pixels vertically or horizontally is roughly constant. In a first image from which the grayscale gradient has been removed and a second image from which the grayscale gradient has been removed, the difference in luminance value between adjacent pixels or groups of pixels vertically or horizontally is calculated, and if the difference is equal to or greater than a threshold, it is suspected that the part is defective. For this reason, it may be configured to be judged to be a defective part.
なお、ここで、画素群は、任意に定められる領域の画素を1つの塊とみなした画素の一群を意味する。つまり、一画素毎に差分を評価するのではなく、複数の画素が集まった領域にある複数の画素を1つの画素群として、画素群で差分を評価してもよい。これにより、非常に小さく細分化されすぎず適当な大きさの領域で、被検査体2の表面状態を評価することができる。画素群を定める領域の大きさは、被検査体2の表面状態を評価する上で適当な大きさが定められるとよい。例えば、4(2×2)、9(3×3)、16(4×4)などの方形の画素領域が設定されるとよい。このように適当な大きさの画素群毎に輝度値の差分が算出されることによって、成形不良や傷などの誤検知の可能性が小さくなる。また、画素群の輝度値は、例えば、画素群に含まれる画素の輝度値の平均値で評価されてもよい。
Note that here, the pixel group means a group of pixels in an arbitrarily determined area that is regarded as one block. In other words, instead of evaluating the difference for each pixel, a plurality of pixels in an area where a plurality of pixels are gathered may be treated as one pixel group, and the difference may be evaluated for the pixel group. This allows the surface condition of the inspected
処理装置15は、濃淡勾配が除去された第1画像と濃淡勾配が除去された第2画像の輝度値を合成演算した画像を得る処理を含んでいてもよい。この場合、判定処理には、輝度値を合成演算した画像に基づいて、撮影された被検査体2の良否を判定する処理が含まれているとよい。傷など成形不良がない場合には、上下や左右に隣接する画素もしくは画素群の間で輝度値の差分は、大凡一定である。正常な製品では、濃淡勾配が除去された第1画像と濃淡勾配が除去された第2画像の輝度値を合成演算した画像では、大凡一定のパターンとなる。つまり、成形品の正常な固有の起伏や稜線や出っ張りなどは、輝度値の差が一定のパターンで得られる。このため、濃淡勾配が除去された第1画像と濃淡勾配が除去された第2画像の輝度値を合成演算した画像を得て、予め用意された正常品の輝度値の差のパターンとの差分を取ることで、一定以上の差分がある箇所が、不良の疑いのある箇所として抽出されうる。不良の疑いのある箇所が抽出された場合に、不良個所として判定されるように構成されてもよい。
The
ここで、「合成演算」には、濃淡勾配が除去された第1画像と濃淡勾配が除去された第2画像で、被検査体2の表面の状態を評価し、不良箇所を抽出する上で適当な演算方法が採用されるとよい。つまり、輝度値を合成演算することには、輝度値を所定の演算式によって合成する種々の処理が含まれる。ここで、合成演算では、例えば、輝度値が単純に足し合わされてもよい。また、合成演算は、輝度値を単純に足し合わせことに限らず、減算、平均、絶対値の加算や減算などでもよい。合成演算の演算方法は、予め試験を行ない、不良箇所を抽出する上で適当な演算方法が定められるとよい。
Here, the "composite operation" may employ an appropriate calculation method for evaluating the surface condition of the
例えば、図6は、輝度値が合成演算された画像である。図6では、図4に示された第1画像と、図5に示された第2画像の輝度値の差分によって得られた画像が示されている。図4に示された第1画像と、図5に示された第2画像では、それぞれ青色の囲いAの中になだらか膨らみを有する不良箇所がある。このような異常は、被検査体2の材質や光の当たり方によっては正常に見えるため、肉眼でも見分けにくい場合がある。この場合でも、上述したように上方からの照明が当てられた第1画像と、下方からの照明が当てられた第2画像が取得され、それぞれ濃淡勾配が除去される。さらに輝度値の差分が合成演算された画像によれば、図6に示されたように、コントラストが異なる部分が強調される。このため、コンピュータによる画像処理において、不良箇所の抽出が容易になる。
For example, FIG. 6 shows an image in which the brightness values have been combined. FIG. 6 shows an image obtained by the difference in brightness values between the first image shown in FIG. 4 and the second image shown in FIG. 5. In the first image shown in FIG. 4 and the second image shown in FIG. 5, there is a defective part with a gentle bulge in the blue enclosure A. Such an abnormality may appear normal depending on the material of the
判定処理では、第1画像と第2画像の輝度値を合成演算した画像において、隣接する画素もしくは画素群の間で輝度値の差が予め定められた閾値以上となれば、不良個所として判定されてもよい。例えば、被検査体2の側周面に傷がついているような場合には、隣接する画素もしくは画素群の間で輝度値の差が明確に表れる。このため、例えば、上下または左右に隣接する画素もしくは画素群の間で輝度値の差が予め定められた閾値以上であるか否かを判定することによって、被検査体2の側周面に付いた傷を抽出することが容易になる。
In the determination process, if the difference in luminance value between adjacent pixels or groups of pixels in an image obtained by combining the luminance values of the first image and the second image is equal to or greater than a predetermined threshold value, the pixel or group of pixels may be determined to be a defective part. For example, if there is a scratch on the side surface of the
処理装置15は、被検査体2が正常である場合について、第1画像と第2画像の輝度値を合成演算した画像について、複数エリアにおける輝度値の分布が示された参照データが予め記憶されていてもよい。この場合、判定処理では、第1画像と第2画像の輝度値を合成演算した画像における輝度値の分布と、参照データとに基づいて、不良個所が抽出されるように構成されていてもよい。
The
また、処理装置15は、図1に示されているように、ディスプレイ40を備えていてもよい。第1画像と第2画像の輝度値を合成演算した画像における輝度値の分布と、参照データとの輝度値の差分に応じて、複数エリアの各画素の色が予め定められた色で表示されるように構成されていてもよい。この場合、ディスプレイ40に表示される画像を通じて、不良箇所がユーザーに分かりやすく示される。
The
さらに処理装置15は、ニューラルネットワークのような機械学習モデルが利用されて、撮影された被検査体2の良否が判定されるように構成されていてもよい。この場合、被検査体2の第1画像と第2画像と、第1画像と第2画像に写る撮影された被検査体2の傷などの不良箇所の位置が示されたデータが学習データとして予め用意されているとよい。そして、このような学習データを学習させることによって、被検査体2の第1画像と第2画像とに基づいて、撮影された被検査体2の良否判定が結果として出力されるように、学習済みの機械学習モデルが用意されているとよい。機械学習モデルには、ニューラルネットワークが用いられていてもよい。
The
良否判定の結果が、不良である場合には、さらに撮影された被検査体2の不良箇所が特定されてもよい。被検査体2の不良箇所は、例えば、位置情報が出力されたり、不良箇所がディスプレイ上で、色分けされたり、丸などの図形で囲まれるなどして特定されてもよい。これにより、不良箇所の位置が利用者に分かりやすくなる。
If the result of the pass/fail judgment is a defect, the defective part of the photographed
この場合、例えば、処理装置15は、第1画像と第2画像と、撮影された被検査体の傷の位置とを学習データとして学習し、第1画像と第2画像を基に、撮影された被検査体の良否が判定されるように構成された機械学習モデルを備えていてもよい。
In this case, for example, the
また、処理装置15は、濃淡勾配が除去された第1画像と第2画像と、撮影された被検査体の傷の位置とを学習データとして学習し、濃淡勾配が除去された第1画像と第2画像を基に、撮影された被検査体の良否を判定するように構成された機械学習モデルを備えていてもよい。
The
処理装置15は、輝度値を合成演算した画像と、撮影された被検査体の傷の位置とを学習データとして学習し、輝度値を合成演算した画像を基に、撮影された被検査体の良否を判定するように構成された機械学習モデルを備えていてもよい。機械学習モデルの例は、ここで例示されるものに限定されない。
The
外観検査装置10は、上述したように検査ステージ11と、カメラ12と、第1照明13と、第2照明14と、処理装置15とを備えている。検査ステージ11は、被検査体2が配置される台座である。カメラ12は、検査ステージ11に置かれた被検査体2を、当該被検査体2の側方から撮影する撮影装置である。第1照明13は、検査ステージ11に置かれる被検査体2の側周面に対し、上方から光を照射する照明である。前記検査ステージに置かれる被検査体2の側周面に対し、下方から光を照射する照明である。
As described above, the
かかる外観検査装置10では、以下の処理31~33が実行される(図1参照)。
処理31:第2照明14が消され、かつ、第1照明13が照射された状態で、カメラ12で検査ステージ11に置かれた被検査体2を撮影した第1画像を取得する処理
処理32:第1照明13が消され、かつ、第2照明14が照射された状態で、カメラ12で検査ステージ11に置かれた被検査体2を撮影した第2画像を取得する処理
処理33:第1画像と第2画像とに基づいて、撮影された被検査体2の良否を判定する判定処理
In the
Process 31: A process of acquiring a first image of the
かかる外観検査装置10によれば、被検査体2の側周面に生じた凹みや膨らみなどの凹凸不良や、亀裂やクラック、出っ張りのテーパー形状の歪み、反りなど、正常な製品の固有の起伏を除外した不良を被検査体の側周面に生じた不良を精度よく抽出することができるので、安定した良否判定が行える。
The
なお、第1画像と第2画像を得る処理において、上述した実施形態では、検査ステージ11に置かれた被検査体2を周方向に分割された複数の方向からそれぞれ撮影する複数のカメラ12を備えている(図1参照)。特に言及されない場合において、外観検査装置10では、カメラ12は、検査ステージ11に対して、相対的に移動可能としてもよい。この場合、カメラ12は、一台で構成してもよい。検査ステージ11は、検査ステージ11に回転するものでもよい。また、カメラ12が、検査ステージ11の周りで回転するように構成されていてもよい。
In the process of obtaining the first and second images, the above-described embodiment includes a plurality of
以上、ここで開示される発明について、種々説明したが、ここで開示される発明は、特に言及されない限りにおいて、上述した実施形態や変形例に限定されない。また、種々言及した実施形態や変形例の各構成は、互いに阻害しない関係であれば、適宜に組み合わせることができる。 Although the invention disclosed herein has been described in detail above, the invention disclosed herein is not limited to the above-mentioned embodiments and modifications unless otherwise specified. Furthermore, the configurations of the various embodiments and modifications mentioned above can be combined as appropriate as long as they do not interfere with each other.
2 被検査体
2a,2b 出っ張り
2d 稜線
10,10A 外観検査装置
11 検査ステージ
12 カメラ
13 第1照明
14 第2照明
15 処理装置
31 第1画像を取得する処理
32 第2画像を取得する処理
33 判定処理
41 上リング照明(第1リング照明)
42 下リング照明(第2リング照明)
51 反射面
52 照明器
61 スポット照明
62 マスキング
63 透明板
42 Lower ring illumination (second ring illumination)
51
Claims (7)
前記検査ステージに置かれた被検査体を、当該被検査体の側方から撮影する少なくとも1つのカメラと、
前記検査ステージに置かれる被検査体の側周面に対し、上方から光を照射するリング照明である第1照明と、
前記検査ステージの上方に配置されたスポット照明からなり、前記反射面に光を反射させることによって、前記検査ステージに置かれる被検査体の側周面に対し、下方から光を照射する第2照明と、
処理装置と
を備え、
前記処理装置は、
前記第2照明が消され、かつ、前記第1照明が照射された状態で、前記カメラで前記検査ステージに置かれた被検査体を撮影した第1画像を取得する処理と、
前記第1照明が消され、かつ、前記第2照明が照射された状態で、前記カメラで前記検査ステージに置かれた被検査体を撮影した第2画像を取得する処理と、
前記第1画像と前記第2画像とに基づいて、撮影された被検査体の良否を判定する判定処理と
を実施するように構成された、外観検査装置。 an inspection stage on which an object to be inspected is placed and on which a reflecting surface is provided at least around the periphery of the position on which the object to be inspected is placed ;
At least one camera that captures an image of the object to be inspected placed on the inspection stage from a side of the object to be inspected;
a first illuminator which is a ring illuminator that irradiates a side peripheral surface of the inspection object placed on the inspection stage with light from above;
a second illumination device that includes a spot illumination device disposed above the inspection stage and that illuminates a side peripheral surface of the inspection object placed on the inspection stage from below by reflecting light on the reflecting surface ;
a processing device;
The processing device includes:
a process of acquiring a first image of an object to be inspected placed on the inspection stage by the camera in a state in which the second illumination is turned off and the first illumination is applied;
a process of acquiring a second image of an object to be inspected placed on the inspection stage by the camera in a state in which the first illumination is turned off and the second illumination is applied;
and performing a judgment process for judging the quality of the photographed inspection object based on the first image and the second image.
前記第1画像のうち撮影された被検査体の濃淡勾配を除去する処理と、
前記第2画像のうち撮影された被検査体の濃淡勾配を除去する処理と、
前記濃淡勾配が除去された第1画像と第2画像とに基づいて、撮影された被検査体の良否を判定する判定処理と
を実施する、請求項1から4までの何れか一項に記載された外観検査装置。 The determination process includes:
A process of removing a gray gradient of the photographed object from the first image;
A process of removing a gray gradient of the photographed object from the second image;
An appearance inspection device as described in any one of claims 1 to 4, which performs a judgment process to judge the quality of the photographed inspection object based on the first image and the second image from which the gradation gradient has been removed.
その差分が閾値以上となれば、不良個所として判定される、
請求項5に記載された外観検査装置。 The determination process calculates a difference in luminance between adjacent pixels or groups of pixels in a first image from which a gradient has been removed and a second image from which a gradient has been removed;
If the difference is equal to or greater than the threshold, it is determined to be a defective part.
6. The visual inspection apparatus according to claim 5 .
前記濃淡勾配が除去された第1画像と第2画像の輝度値を合成演算した画像を得る処理を含み、かつ、
前記判定処理は、
前記第1画像と前記第2画像の輝度値を合成演算した画像において、隣接する画素または画素群間で輝度値の差分が予め定められた閾値以上となれば、不良個所として判定される、
請求項5または6に記載された外観検査装置。 The processing device includes:
The method includes a process of obtaining an image by performing a synthesis operation on the luminance values of the first image and the second image from which the gray scale gradient has been removed, and
The determination process includes:
In an image obtained by synthesizing the luminance values of the first image and the second image, if a difference in luminance value between adjacent pixels or pixel groups is equal to or greater than a predetermined threshold value, the pixel or pixel group is determined to be a defective portion.
7. An appearance inspection apparatus according to claim 5 or 6 .
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