JP7681503B2

JP7681503B2 - 冷却構造及びそれを備えた装置

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Publication number: JP7681503B2
Application number: JP2021210110A
Authority: JP
Inventors: 将司清水
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 2021-12-24
Filing date: 2021-12-24
Publication date: 2025-05-22
Anticipated expiration: 2041-12-24
Also published as: JP2023094674A

Description

本発明は、冷却構造及びそれを備えた装置に関し、特に、非回転部材と回転部材とを熱的に接続する技術に関する。

収束イオンビーム加工装置は、集束イオンビーム（ＦＩＢ）を試料に照射することにより試料を加工する装置である。以下、集束イオンビーム加工装置をＦＩＢ加工装置と表現する。走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を備えたＦＩＢ装置も知られている。

ＦＩＢ加工装置は、試料を保持し試料の位置及び姿勢を変更する試料ステージを有している。例えば、試料ステージは、チルト機構、昇降機構（Ｚ機構）、スライド機構（ＸＹ機構）、回転機構、試料テーブル等を有する。試料テーブルによって試料が保持される。具体的には、試料テーブル上に試料又は試料を保持した試料台が取り付けられる。試料テーブルは、チルト運動、昇降運動、スライド運動、及び、回転運動する。試料テーブルは、それを回転可能に支持する部材から見て、回転部材である。試料加工過程において、試料テーブルの位置及び姿勢は大きく変化する。

ＦＩＢ加工装置では、場合により、冷却された試料が加工対象となる。そのような試料として生物試料が挙げられる。試料の冷却状態を維持するために、試料を保持した試料テーブルを冷却する必要がある。例えば、冷却設備を設け、冷却設備と試料テーブルとの間を柔軟な熱伝導部材で接続することが考えられる（特許文献１及び非特許文献１を参照）。しかし、その構成を採用する場合、試料テーブルの位置及び姿勢の大きな変化が許容されるように、熱伝導部材の全長をかなり長くする必要があり、また、試料テーブルが回転しても熱伝導部材が試料加工や試料観察を妨げないように熱伝導部材の配置を工夫する必要がある。特許文献２には、ローラー軸受けを有する多軸ステージが開示されている。ローラー軸受けは、熱伝導作用を発揮する複数のローラーを有している。

ＦＩＢ加工装置以外の試料加工装置や走査電子顕微鏡等の試料観察装置においても、ステージの冷却が求められる。なお、特許文献１、特許文献２及び非特許文献１には、非回転部材と回転部材との間のギャップに配置された柔軟な熱伝導部材は開示されていない。

特開平２－１４４８４３号公報特許６４１８７７号明細書

発明協会公開技報公技番号２００９－５０３２６１号

試料加工装置又は試料観察装置において、試料ステージは、一般に、試料テーブルとして機能する回転部材を有する。回転部材の近傍に配置された非回転部材が冷却されることを前提として、回転部材の回転運動を妨げることなく、非回転部材と回転部材とを熱的に接続することが求められている。

本発明の目的は、非回転部材と回転部材との間において良好な熱伝導を生じさせることにある。あるいは、本発明の目的は、相対的に回転する第１部材及び第２部材を有する試料ステージにおいて、第１部材を通じて第２部材を効果的に冷却することにある。

本発明に係る冷却構造は、回転中心軸に直交する非回転面を有し、冷却源に熱的に接続された非回転部材と、前記回転中心軸に直交する面であって前記非回転面に対してギャップを介して対向する回転面を有し、試料を保持する回転部材と、前記ギャップに配置された少なくとも１つの熱リンクを有する熱リンク部と、を含み、前記熱リンクは、前記非回転面に固定された非回転端部と、前記回転面に固定された回転端部と、前記非回転端部と前記回転端部との間の柔軟な部材により構成され、展開状態において、湾曲した帯状の形態を有する本体であって、前記非回転面上から前記回転面上にわたって湾曲したＵ字状の湾曲部分と、前記非回転端部と前記湾曲部分との間の第１平坦部分と、前記回転端部と前記湾曲部分との間の第２平坦部分と、を有する本体と、を含み、前記第１平坦部分及び前記第２平坦部分のそれぞれが前記回転中心軸の方向から見て円周方向に沿って湾曲している、ことを特徴とする。

本発明に係る装置は、試料加工及び試料観察の内の少なくとも一方を行うための装置であって、試料室内に設けられ、冷却構造を有する試料ステージと、冷却源と、前記試料室内に固定され、前記冷却源に熱的に接続された冷却部材と、前記試料ステージの位置及び姿勢の変化を許容しつつ、前記冷却部材と前記試料ステージとを熱的に接続する熱伝導部材と、を含み、前記冷却構造は、回転中心軸に直交する第１面を有し、前記熱伝導部材に熱的に接続された第１部材と、前記回転中心軸に直交する面であって前記第１面に対してギャップを介して対向する第２面を有し、前記第１部材に対して相対的に回転する第２部材と、前記ギャップに配置されて前記第１部材と前記第２部材とを熱的に接続する少なくとも１つの熱リンクを有する熱リンク部と、を含み、前記熱リンクは、前記第１面に固定された第１端部と、前記第２面に固定された第２端部と、前記第１端部と前記第２端部との間に設けられた柔軟な部材により構成され、展開状態において、湾曲した帯状の形態を有する本体であって、前記第１面上から前記第２面上にわたって湾曲したＵ字状の湾曲部分と、前記第１端部と前記湾曲部分との間の第１平坦部分と、前記第２端部と前記湾曲部分との間の第２平坦部分と、を有する本体と、を含み、前記第１平坦部分及び前記第２平坦部分のそれぞれが前記回転中心軸の方向から見て円周方向に沿って湾曲している、ことを特徴とする。

本発明によれば、非回転部材と回転部材との間において良好な熱伝導を生じさせることが可能となる。あるいは、本発明によれば、試料ステージにおいて、第１部材を通じて第２部材を効果的に冷却することが可能となる。

実施形態に係る試料加工装置を示す断面図である。実施形態に係る冷却構造を示す拡大断面図である。実施形態に係る熱リンクの配置状態を示す斜視図である。実施形態に係る熱リンクの展開状態を示す平面図である。実施形態に係る熱リンク部を示す平面図である。実施形態に係る冷却構造の具体例を示す斜視図である。熱リンク部の変形例を示す平面図である。

以下、実施形態を図面に基づいて説明する。

（１）実施形態の概要
実施形態に係る冷却構造は、非回転部材、回転部材、及び、熱リンクを有する。非回転部材は、回転中心軸に直交する非回転面を有し、冷却源に熱的に接続された部材である。回転部材は、回転中心軸に直交する面であって非回転面に対してギャップを介して対向する回転面を有し、試料を保持する部材である。熱リンク部は、ギャップに配置された少なくとも１つの熱リンクを有する。熱リンクは、非回転面に固定された非回転端部と、回転面に固定された回転端部と、本体と、を有する。本体は、非回転端部と回転端部との間の柔軟な部材により構成される。本体は、非回転面上から回転面上にわたって湾曲したＵ字状の湾曲部分を有する。また、本体は、回転中心軸の方向から見て円周方向に沿って湾曲している。

上記構成によれば、熱リンクにより非回転部材と回転部材とが熱的に接続される。これにより回転部材が冷却され、回転部材に保持された試料が冷却される。熱リンクにおいては、回転部材の回転時に、回転端部が円周方向に沿って運動し、これに伴って湾曲部分が円周方向に沿って運動する。このように、回転部材の回転時に、熱リンクの本体の形態が自然に変化するので、熱リンクが回転部材の回転運動を妨げることはない。

熱リンクは非回転部材と回転部材との間のギャップに配置されるので、回転部材の周囲に熱リンク設置のための大きなスペースを確保する必要がない。実施形態においては、非回転部材に対して直接的又は間接的に柔軟な熱伝導部材が接続される。その熱伝導部材の配置に当たっては、回転運動を考慮する必要がないので、その配置が容易となる。実施形態においては、熱リンクの本体における一部分が非回転面に接し、他の一部分が回転面に接する。これにより、非回転部材と回転部材との間の熱伝導をより良好なものにできる。

実施形態において、回転部材の回転角度が０度の場合に、回転中心軸の方向から見て回転端部が非回転端部に重なる。この構成によれば、正回転方向の最大回転角度と逆回転方向の最大回転角度とが同一となる。

実施形態において、本体は、その展開状態において、湾曲した帯状の形態を有する。本体は、第１平坦部分、及び、第２平坦部分を有する。第１平坦部分は、非回転端部と湾曲部分との間の部分であって非回転面に平行に広がる部分である。第２平坦部分は、回転端部と湾曲部分との間の部分であって回転面に平行に広がる部分である。第１平坦部分が非回転面に接触し、第２平坦部分が回転面に接触する。実施形態において、回転部材の回転方向及び回転量に応じて、第１平坦部分の長さ及び第２平坦部分の長さが変化する。

実施形態において、熱リンク部は、ギャップ内において円周方向に沿って並ぶ複数の熱リンクを含む。各熱リンクが、非回転端部、回転端部、及び、本体を有する。この構成によれば、非回転部材と回転部材との間における熱伝導をより良好なものにできる。

実施形態において、複数の熱リンクは、円周方向に沿って同じ向きで並んでいる。この構成によれば、回転部材を均一に冷却し易くなる。実施形態において、本体は、非締結状態で積層された複数のシートより構成される。この構成によれば、回転部材の回転時に生じる負荷を軽減できる。また、両側の２枚の露出シートを除いて、各シートが剥き出しになっていないので、輻射の影響を受け難くなる。

実施形態に係る装置は、試料加工及び試料観察の内の少なくとも一方を行うための装置である。その装置は、試料ステージ、冷却源、冷却部材、及び、熱伝導部材、を有する。試料ステージは、試料室内に設けられ、冷却構造を有する。冷却部材は、試料室内に固定され、冷却源に熱的に接続される。熱伝導部材は、試料ステージの位置及び姿勢の変化を許容しつつ、冷却部材と試料ステージとを熱的に接続する。冷却構造は、第１部材、第２部材、及び、熱リンク部を有する。第１部材は、回転中心軸に直交する第１面を有し、熱伝導部材に熱的に接続された部材である。第２部材は、回転中心軸に直交する面であって第１面に対してギャップを介して対向する第２面を有し、第１部材に対して相対的に回転する部材である。熱リンク部は、ギャップに配置されて第１部材と第２部材とを熱的に接続する少なくとも１つの熱リンクを有する。熱リンクは、第１端部、第２端部、及び、本体を有する。第１端部は、第１面に固定される。第２端部は、第２面に固定される。本体は、第１端部と第２端部との間に設けられた柔軟な部材により構成される。本体は、第１面上から第２面上にわたって湾曲したＵ字状の湾曲部分を有する。また、本体は、回転中心軸の方向から見て円周方向に沿って湾曲している。

第１部材は、例えば、非回転部材である。第２部材は、例えば、回転部材である。その具体例として試料テーブルが挙げられる。非回転部材に対して熱伝導部材が接続される場合、熱伝導部材の配置に当たって回転部材の回転運動を考慮する必要がなくなる。熱リンクの配置に当たって回転運動以外の運動を考慮する必要がなくなる。なお、上記の冷却構造を試料加工装置及び試料観察装置以外の装置に組み込んでもよい。

（２）実施形態の詳細
図１には、実施形態に係る試料加工装置１０の断面が示されている。ｘ方向が第１水平方向であり、ｚ方向が垂直方向である。ｘ方向及びｚ方向に直交する方向が第２水平方向としてのｙ方向である。ｙ方向は図１において紙面貫通方向である。

試料加工装置１０は、具体的には、ＦＩＢ／ＳＥＭ加工観察装置である。すなわち、試料加工装置１０は、集束イオンビーム（ＦＩＢ）によって試料を加工する機能、及び、電子線の走査によって試料を観察する機能を備えている。

試料加工装置１０は、ＳＥＭ鏡筒１２及びＦＩＢ鏡筒を備えている。図１にはＦＩＢ鏡筒が現れていない。ＳＥＭ鏡筒１２内において電子線１８が生成される。ＦＩＢ鏡筒内においてＦＩＢが生成される。ＳＥＭ鏡筒１２の下側にはハウジング１３が設けられ、その内部が試料室１４である。

試料室１４内には、対物レンズ１６の一部が入り込んでおり、また、試料室１４内には試料ステージ２０が設けられている。試料ステージ２０は、チルト機能、昇降機構（Ｚ機構）、スライド機構（ＸＹ機構）、回転機構、等を有する。試料ステージ２０における試料テーブル３６は、チルト運動、昇降運動、スライド運動、及び、回転運動を行う。図１において、符号２４は、チルト軸（チルト中心軸）を示しており、符号２２はチルト軸周りのチルト運動を示している。符号２６は、昇降運動を示している。符号２８はスライド運動を示している。符号３２は回転軸（回転中心軸）を視しており、符号３０は回転軸周りの回転運動を示している。

試料テーブル３６は、概ね円板状の形態を有する。試料テーブル３６によって試料４０が保持される。具体的には、試料テーブル３６上に試料４０が取り付けられ、あるいは、試料テーブル３６上に試料４０を保持した試料台３８が取り付けられる。符号３４は、試料テーブル３６を含む回転体を示している。回転体３４は、試料テーブル３６に連結された軸部材、軸部材を支持する回転ベース、等を有する。

試料テーブル３６の下側に、皿状のフレーム４２が設けられている。フレーム４２は、浮上した台座として機能する非回転部材である。フレーム４２の中央には開口が形成されており、その開口を軸部材が非接触で通過している。

フレーム４２には、Ｌ字状の形態を有する熱伝導部材４４の一端が接続されている。支持部材４８が熱伝導部材４４を支持している。熱伝導部材４４及びフレーム４２は、例えば、高い熱伝導率を有する金属により構成される。支持部材４８の全部又は一部は、低い熱伝導率を有する部材つまり断熱材により構成される。

試料加工装置１０は、冷却設備５０を有している。冷却設備５０は、図示の構成例において、冷媒タンク５２、連結板５４、冷却部材５６、及び、柔軟な熱伝導部材５８を含む。冷媒タンク５２内には、冷媒として、例えば液体窒素が入れられる。冷却部材５６は、試料室１４内に配置されており、それは、例えば、対物レンズ１６の周囲に設けられた環状の部材である。冷媒タンク５２と冷却部材５６とを熱的に接続するために連結板５４が設けられている。連結板５４及び冷却部材５６は、例えば、高い熱伝導率を有する金属により構成される。熱伝導部材５８は、例えば、高い熱伝導率を有する柔軟な平編み線により構成される。熱伝導部材５８は、試料ステージ２０のチルト動作、昇降動作、及び、スライド動作を許容する十分な弛みを有している。

熱伝導部材５８の上端が冷却部材５６に連結されている。熱伝導部材５８の下端が熱伝導部材４４の一端に連結されている。熱伝導部材４４の他端がフレーム４２に連結されている。冷却源である冷媒タンク５２が、複数の熱伝導部材を経由して、フレーム４２に熱的に接続されており、フレーム４２には冷熱が輸送されている。フレーム４２は冷却状態にある。

試料テーブル３６の回転運動を妨げることなく、フレーム４２と試料テーブル３６とを熱的に接続するために熱リンク部６０が設けられている。熱リンク部６０は、フレーム４２と試料テーブル３６との間に形成されたギャップＧに配置されている。フレーム４２、試料テーブル３６、及び、熱リンク部６０により、冷却構造が構築されている。

図２には、冷却構造の断面が示されている。試料テーブル３６の上面（試料側の面）１０３上に試料台３８が取り付けられ、試料台３８が試料４０を保持している。フレーム４２は、円板としてのフレーム本体４２Ａと筒状の側壁４２Ｂとにより構成される。フレーム本体４２Ａの上面（試料側の面）１００と試料テーブル３６の下面（非試料側の面）との間の空間がギャップＧである。ギャップＧ内に、熱リンク部６０を構成する第１熱リンク６２－１及び第２熱リンク６２－２が設けられている。第１熱リンク６２－１及び第２熱リンク６２－２は、それぞれ、試料テーブル３６の回転運動を許容しつつ、フレーム４２と試料テーブル３６とを熱的に接続する部材である。第１熱リンク６２－１及び第２熱リンク６２－２は、互いに同じ形態を有している。

図３には、熱リンク６２が示されている。熱リンク６２は、フレーム本体の上面（非回転面）に固定される端部６６、試料プレートの下面（回転面）に固定される端部６８、及び、２つの端部６６，６８の間の本体６４を有する。端部６６は回転しない端部つまり非回転端部であり、端部６８は回転する端部つまり回転端部である。本体６４は、例えば、１００～２００枚の金属シートからなるシート束である。シート相互間は締結されておらず、本体６４それ全体として柔軟性を有する。各シートは例えば銀箔である。各シートの厚みは、例えば、０．００５ｍｍである。

端部６６及び端部６８がシート束の一端及び他端を挟持している。端部６６，６８は、例えば、高い熱伝導率を有する金属（銅等）により構成される。端部６６は２つのネジによってフレーム本体に固定され、端部６８も２つのネジによって試料テーブルに固定される。

本体６４は、フレーム本体の非回転面上から試料テーブルの回転面上へわたって湾曲するＵ字状の湾曲部分６４ａを有する。すなわち、回転中心軸に直交する方向から見て、湾曲した部分を有している。一方、回転中心軸の方向から見て、本体６４は、回転中心軸周りの円周方向に沿って湾曲した円弧状の形態を有している。

湾曲部分６４ａと端部６６との間が第１平坦部分６４ｂであり、湾曲部分６４ａと端部６８との間が第２平坦部分６４ｃである。第１平坦部分６４ｂ及び第２平坦部分６４ｃは回転中心軸に直交する方向に広がっており、フレーム本体が有する各面及び試料プレートが有する各面に対して平行である。

試料プレートが回転運動すると、端部６８が円弧状に運動する。これに伴って、本体６４における湾曲部分６４ａの位置が変化する。換言すれば、第１平坦部分６４ｂの長さ及び第２平坦部分６４ｃの長さが変化する。例えば、端部６８が＋θ方向に回転運動した場合、湾曲部分も＋θ方向へ回転運動する。その過程において、第１平坦部分６４ｂの長さが短くなり、第２平坦部分６４ｃの長さが長くなる。それとは逆に、端部６８が－θ方向に回転運動した場合、湾曲部分も－θ方向へ回転運動する。その過程において、第１平坦部分６４ｂの長さが長くなり、第２平坦部分６４ｃの長さが短くなる。

図３に示すように、回転中心軸の方向から見て、端部６６と端部６８とが重なった状態が回転角度０度の状態である。それを基準として、＋θ方向に１８０度の回転が許容されており、－θ方向にも１８０度の回転が許容されている。試料テーブルが回転可能な角度範囲は３６０度である。そのような回転が許容されるように、本体６４の長さやギャップの高さが定められている。例えば、ギャップの高さは、５～１２ｍｍの範囲内に定められる。本体６４の長さ（円弧状中心線の長さ）は、５００～９００ｍｍの範囲内に定められる。

第１平坦部分６４ｂの下面Ａは、フレーム本体に接し、第２平坦部分６４ｃの上面Ｂは、通常、試料テーブルに接する。そのような接触は、熱伝導率の向上に寄与するものである。下面Ａ及び上面Ｂは、本体６４における同じ外側面である。

図４には、展開状態にある熱リンク６２Ａが示されている。本体６４は、円弧状の形態を有する。本体６４の両端に端部６６，６８が設けられている。本体６４の設置状況に応じて、本体６４における内側辺の曲率半径及び外側辺の曲率半径が定められる。符号６４ａは湾曲部分を示している。符号７２で示すように、試料テーブルの回転方向及び回転量に応じて、湾曲部分６４ａの回転方向及び回転量が定まる。

図５には、熱リンク部６０の上面が示されている。図５には、試料テーブルは示されていない。熱リンク部６０は、第１熱リンク６２－１及び第２熱リンク６２－２により構成される。第１熱リンク６２－１の向き及び第２熱リンク６２－２の向きは同一である。すなわち、第１熱リンク６２－１の端子６８－１と第２熱リンク６２－２の湾曲部分６４ａ－２が隣り合っており、第２熱リンク６２－２の端子６８－２と第１熱リンク６２－１の湾曲部分６４ａ－１が隣り合っている。

このような構成によれば、試料テーブルにおける温度勾配を抑制でき、つまり、試料テーブルそれ全体を均一に冷却することが可能となる。後述するように、３つ以上の熱リンクにより熱リンク部６０を構成してもよい。

図６には、冷却構造の具体例が示されている。円形の試料テーブル３６の上面に試料台３８が取り付けられている。試料台３８によって、試料を含む試料カセット７４が保持されている。試料テーブル３６の下側には、フレーム４２が設けられている。フレーム本体４２Ａと試料テーブル３６との間にギャップＧが形成されており、そのギャップＧに熱リンク部６０が配置されている。熱リンク部６０は、回転中心軸周りの円周方向に沿って配置された２つの熱リンク６２－１，６２－２により構成されている。

なお、図示の例では、Ｌ字状の熱伝導部材４４に対して接続された熱伝導部材５８が２つの平編み線により構成されている。

図７には、熱リンク部の変形例が示されている。熱リンク部７６は、回転中心軸周りの円周方向に沿って配置された３つの熱リンク７８－１，７８－２，７８－３により構成される。３つの熱リンク７８－１，７８－２，７８－３の向きは揃っている。例えば、隣接する２つの熱リンク７８－１，７８－２の間において、熱リンク７８－１の湾曲端部８０と熱リンク７８－２の端子８２とが非接触で近接している。

上記実施形態によれば、熱リンク部により、フレーム（非回転部材）と試料テーブル（回転部材）とが熱的に接続される。これにより試料テーブルが冷却され、試料テーブルに保持された試料が冷却される。試料テーブルの回転時に、各熱リンクにおける本体の形態が自然に変化するので、各熱リンクが試料テーブルの回転運動を妨げることはない。各熱リンクはフレームと試料テーブルとの間の小さなギャップに配置される。よって、試料テーブルの周囲に熱リンク設置のための大きなスペースを確保する必要がない。

上記実施形態においては、試料テーブルのチルト運動、昇降運動及びスライド運動を許容する柔軟な熱伝導部材と、試料テーブルの回転運動を許容する柔軟な熱伝導部材と、を分離したので、すべての運動を許容する長い柔軟な熱伝導部材を設ける場合に比べて、熱伝導の効率を高められ、また、柔軟な熱伝導部材が試料室内の構造物に接触してしまう問題を容易に回避できる。

２０試料ステージ、３６試料テーブル、４０試料、４２フレーム、６０熱リンク部、５０冷却設備、６２，６２－１，６２－２熱リンク、６６，６８端部、６４本体、６４ａ湾曲部分、６４ｂ第１平坦部分、６４ｃ第２平坦部分。

Claims

回転中心軸に直交する非回転面を有し、冷却源に熱的に接続された非回転部材と、
前記回転中心軸に直交する面であって前記非回転面に対してギャップを介して対向する回転面を有し、試料を保持する回転部材と、
前記ギャップに配置された少なくとも１つの熱リンクを有する熱リンク部と、
を含み、
前記熱リンクは、
前記非回転面に固定された非回転端部と、
前記回転面に固定された回転端部と、
前記非回転端部と前記回転端部との間の柔軟な部材により構成され、展開状態において、湾曲した帯状の形態を有する本体であって、前記非回転面上から前記回転面上にわたって湾曲したＵ字状の湾曲部分と、前記非回転端部と前記湾曲部分との間の第１平坦部分と、前記回転端部と前記湾曲部分との間の第２平坦部分と、を有する本体と、
を含み、
前記第１平坦部分及び前記第２平坦部分のそれぞれが前記回転中心軸の方向から見て円周方向に沿って湾曲している、ことを特徴とする冷却構造。
請求項１記載の冷却構造において、
前記回転部材の回転時に、前記回転端部が前記円周方向に沿って運動し、これに伴って前記湾曲部分が前記円周方向に沿って運動する、
ことを特徴とする冷却構造。
請求項２記載の冷却構造において、
前記回転部材の回転角度が０度の場合に、前記回転中心軸の方向から見て前記回転端部が前記非回転端部に重なる、
ことを特徴とする冷却構造。
請求項１記載の冷却構造において、
前記本体は、
前記非回転端部と前記湾曲部分との間の部分であって前記非回転面に平行に広がる前記第１平坦部分と、
前記回転端部と前記湾曲部分との間の部分であって前記回転面に平行に広がる前記第２平坦部分と、
を含み、
前記第１平坦部分が前記非回転面に接触し、
前記第２平坦部分が前記回転面に接触する、
ことを特徴とする冷却構造。
請求項４記載の冷却構造において、
前記回転部材の回転方向及び回転量に応じて、前記第１平坦部分の長さ及び前記第２平坦部分の長さが変化する、
ことを特徴とする冷却構造。
請求項１記載の冷却構造において、
前記熱リンク部は、前記ギャップ内において前記円周方向に沿って並ぶ複数の熱リンクを含み、
前記各熱リンクが、前記非回転端部、前記回転端部、及び、前記本体を有する、
ことを特徴とする冷却構造。
請求項６記載の冷却構造において、
前記複数の熱リンクは、前記円周方向に沿って同じ向きで並んでいる、
ことを特徴とする冷却構造。
請求項１記載の冷却構造において、
前記本体は、非締結状態で積層された複数のシートより構成される、
ことを特徴とする冷却構造。
試料加工及び試料観察の内の少なくとも一方を行うための装置であって、
試料室内に設けられ、冷却構造を有する試料ステージと、
冷却源と、
前記試料室内に固定され、前記冷却源に熱的に接続された冷却部材と、
前記試料ステージの位置及び姿勢の変化を許容しつつ、前記冷却部材と前記試料ステージとを熱的に接続する熱伝導部材と、
を含み、
前記冷却構造は、
回転中心軸に直交する第１面を有し、前記熱伝導部材に熱的に接続された第１部材と、
前記回転中心軸に直交する面であって前記第１面に対してギャップを介して対向する第２面を有し、前記第１部材に対して相対的に回転する第２部材と、
前記ギャップに配置されて前記第１部材と前記第２部材とを熱的に接続する少なくとも１つの熱リンクを有する熱リンク部と、
を含み、
前記熱リンクは、
前記第１面に固定された第１端部と、
前記第２面に固定された第２端部と、
前記第１端部と前記第２端部との間に設けられた柔軟な部材により構成され、展開状態において、湾曲した帯状の形態を有する本体であって、前記第１面上から前記第２面上にわたって湾曲したＵ字状の湾曲部分と、前記第１端部と前記湾曲部分との間の第１平坦部分と、前記第２端部と前記湾曲部分との間の第２平坦部分と、を有する本体と、
を含み、
前記第１平坦部分及び前記第２平坦部分のそれぞれが前記回転中心軸の方向から見て円周方向に沿って湾曲している、ことを特徴とする、冷却構造を備えた装置。