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JP7684112B2 - Film, manufacturing method thereof, and laminate - Google Patents
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Description

本開示は、フィルム及びその製造方法、並びに、積層体に関する。 This disclosure relates to a film, a method for producing the film, and a laminate.

近年、通信機器に使用される周波数は非常に高くなる傾向にある。高周波帯域における伝送損失を抑えるため、回路基板に用いられる絶縁材料の比誘電率と誘電正接とを低くすることが要求されている。 In recent years, the frequencies used in communication devices have tended to become very high. To reduce transmission loss in the high-frequency band, there is a demand for lowering the dielectric constant and dielectric tangent of insulating materials used in circuit boards.

従来の液晶フィルムの製造方法としては、例えば、特許文献1に記載された方法が知られている。
特許文献1には、液晶ポリエステル及び溶媒が含まれる液状組成物を基材に流延して乾燥することにより、上記溶媒が含まれた状態の液晶ポリエステル前駆体フィルムを調製する液晶ポリエステル前駆体フィルム調製工程と、上記液晶ポリエステル前駆体フィルムを上記基材から剥離した後、表面に離型層を有する金属基材に上記液晶ポリエステル前駆体フィルムを転写することにより、上記液晶ポリエステル前駆体フィルム及び上記金属基材からなる第1積層体を調製する第1積層体調製工程と、上記第1積層体を熱処理することにより、実質的に溶媒を含有しない液晶ポリエステルフィルム及び上記金属基材からなる第2積層体を調製する第2積層体調製工程と、上記液晶ポリエステルフィルムを上記金属基材から剥離するフィルム剥離工程とを含むことを特徴とする液晶ポリエステルフィルムの製造方法が記載されている。
As a conventional method for producing a liquid crystal film, for example, the method described in Patent Document 1 is known.
Patent Document 1 describes a method for producing a liquid crystal polyester film, which includes a liquid crystal polyester precursor film preparation step of preparing a liquid crystal polyester precursor film containing the solvent by casting a liquid composition containing a liquid crystal polyester and a solvent onto a substrate and drying it; a first laminate preparation step of preparing a first laminate consisting of the liquid crystal polyester precursor film and the metal substrate by peeling the liquid crystal polyester precursor film from the substrate and then transferring the liquid crystal polyester precursor film to a metal substrate having a release layer on its surface; a second laminate preparation step of preparing a second laminate consisting of a liquid crystal polyester film and the metal substrate that does not substantially contain a solvent by heat treating the first laminate; and a film peeling step of peeling the liquid crystal polyester film from the metal substrate.

特開2011-167847号公報JP 2011-167847 A

本発明の実施形態が解決しようとする課題は、剥離時のフィルム破断故障及びフィルム表面の荒れを抑制することができるフィルム及びその製造方法を提供することである。
また、本発明の他の実施形態が解決しようとする課題は、上記フィルムを用いた積層体を提供することである。
An object of the present invention is to provide a film and a method for producing the same that can suppress film breakage and roughness of the film surface during peeling.
Another object of the present invention is to provide a laminate using the above film.

上記課題を解決するための手段には、以下の態様が含まれる。
<1> 誘電正接が、0.01以下であり、少なくとも一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mであるフィルム。
<2> 誘電正接が、0.01以下であり、少なくとも一方の表面におけるフッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%であるフィルム。
<3> 上記フィルムが、上記フッ素原子含有化合物を含む<2>に記載のフィルム。
<4> 上記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が、フッ素樹脂及びシリコーン樹脂よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物である<2>又は<3>に記載のフィルム。
<5> 上記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が、界面活性剤を含む<2>~<4>のいずれか1つに記載のフィルム。
<6> 上記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が、共有結合可能な基を有する<2>~<5>のいずれか1つに記載のフィルム。
<7> 上記共有結合可能な基が、エポキシ基である<6>に記載のフィルム。
<8> 脱酸素剤を含む<1>~<7>のいずれか1つに記載のフィルム。
<9> 上記フィルムの少なくとも一方の表面の表面粗さRzが、10nm~10,000nmである<1>~<8>のいずれか1つに記載のフィルム。
<10> 上記フィルムの少なくとも一方の表面の25℃における弾性率が、100MPa以上である<1>~<9>のいずれか1つに記載のフィルム。
<11> ロール状のフィルムである<1>~<10>のいずれか1つに記載のフィルム。
<12> <1>~<11>のいずれか1つに記載のフィルムと、上記フィルムの少なくとも一方の表面に、金属層又は金属配線とを有する積層体。
<13> 上記金属層又は金属配線のフィルム側表面の表面粗さRaが、1.0μm以下である<12>に記載の積層体。
<14> ポリマーと、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物と、溶媒とが含まれる組成物を基材上に塗布し乾燥することによりフィルムを形成する形成工程と、上記フィルムを加熱する加熱工程とを含み、得られるフィルムの誘電正接が、0.01以下であり、上記加熱工程前の上記フィルムの一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mであるフィルムの製造方法。
<15> ポリマーと、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物と、溶媒とが含まれる組成物を基材上に塗布し乾燥することによりフィルムを形成する形成工程と、上記フィルムを加熱する加熱工程とを含み、得られるフィルムの誘電正接が、0.01以下であり、上記加熱工程前の上記フィルムの少なくとも一方の表面における上記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%であるフィルムの製造方法。
<16> 上記形成工程後に、上記基材より、上記フィルムを剥離する剥離工程を含む<14>又は<15>に記載のフィルムの製造方法。
<17> 上記形成工程後、かつ上記加熱工程前に、上記フィルムをロール状に巻き取る巻き取り工程を含む<14>~<16>のいずれか1つに記載のフィルムの製造方法。
<18> 得られるフィルムの上記表面被覆率が、上記形成工程後、かつ上記加熱工程前の上記フィルムの上記表面被覆率よりも小さい<15>に記載のフィルムの製造方法。
<19> 得られるフィルムの上記表面自由エネルギーが、上記形成工程後、かつ上記加熱工程前のフィルムの上記表面自由エネルギーよりも大きい<14>に記載のフィルムの製造方法。
<20> 上記巻き取り工程後に、ロール状のフィルムを巻き出す巻き出し工程を含み、上記巻き出し工程での上記フィルムを巻き出す際の剥離力が、1.0kN/m以下である<17>に記載のフィルムの製造方法。
Means for solving the above problems include the following aspects.
<1> A film having a dielectric loss tangent of 0.01 or less and a surface free energy of 15 mN/m to 36 mN/m on at least one surface.
<2> A film having a dielectric loss tangent of 0.01 or less, and a surface coverage of at least one surface of the film with at least one compound selected from the group consisting of fluorine-containing compounds and silicon-containing compounds of 30% to 100%.
<3> The film according to <2>, wherein the film contains the fluorine atom-containing compound.
<4> The film according to <2> or <3>, wherein the at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds is at least one compound selected from the group consisting of fluorine resins and silicone resins.
<5> The film according to any one of <2> to <4>, wherein the at least one compound selected from the group consisting of fluorine-containing compounds and silicon-containing compounds includes a surfactant.
<6> The film according to any one of <2> to <5>, wherein at least one compound selected from the group consisting of fluorine-atom-containing compounds and silicon-atom-containing compounds has a group capable of forming a covalent bond.
<7> The film according to <6>, wherein the covalently bondable group is an epoxy group.
<8> The film according to any one of <1> to <7>, further comprising an oxygen scavenger.
<9> The film according to any one of <1> to <8>, wherein at least one surface of the film has a surface roughness Rz of 10 nm to 10,000 nm.
<10> The film according to any one of <1> to <9>, wherein at least one surface of the film has a modulus of elasticity at 25° C. of 100 MPa or more.
<11> The film according to any one of <1> to <10>, which is a roll-shaped film.
<12> A laminate comprising the film according to any one of <1> to <11> and a metal layer or metal wiring on at least one surface of the film.
<13> The laminate according to <12>, wherein the surface roughness Ra of the film-side surface of the metal layer or metal wiring is 1.0 μm or less.
<14> A method for producing a film, comprising: a forming step of forming a film by applying, onto a substrate, a composition containing a polymer, at least one compound selected from the group consisting of a fluorine atom-containing compound and a silicon atom-containing compound, and a solvent, and drying the composition; and a heating step of heating the film, wherein the resulting film has a dielectric loss tangent of 0.01 or less, and one surface of the film before the heating step has a surface free energy of 15 mN/m to 36 mN/m.
<15> A method for producing a film, comprising: a forming step of forming a film by applying, onto a substrate, a composition containing a polymer, at least one compound selected from the group consisting of fluorine-atom-containing compounds and silicon-atom-containing compounds, and a solvent, and drying the composition; and a heating step of heating the film, wherein the resulting film has a dielectric loss tangent of 0.01 or less, and a surface coverage of at least one surface of the film with the at least one compound selected from the group consisting of fluorine-atom-containing compounds and silicon-atom-containing compounds before the heating step is 30% to 100%.
<16> The method for producing a film according to <14> or <15>, further comprising, after the forming step, a peeling step of peeling the film from the substrate.
<17> The method for producing a film according to any one of <14> to <16>, further comprising a winding step of winding the film into a roll after the forming step and before the heating step.
<18> The method for producing a film according to <15>, wherein the surface coverage of the obtained film is smaller than the surface coverage of the film after the forming step and before the heating step.
<19> The method for producing a film according to <14>, wherein the surface free energy of the obtained film is greater than the surface free energy of the film after the forming step and before the heating step.
<20> The method for producing a film according to <17>, further comprising, after the winding step, an unwinding step of unwinding a roll of the film, wherein a peel force when unwinding the film in the unwinding step is 1.0 kN/m or less.

本発明の実施形態によれば、剥離時のフィルム破断故障及びフィルム表面の荒れを抑制することができるフィルム及びその製造方法を提供することができる。
また、本発明の他の実施形態によれば、上記フィルムを用いた積層体を提供することができる。
According to the embodiments of the present invention, it is possible to provide a film that can suppress film breakage and roughness of the film surface when peeled off, and a method for producing the same.
According to another embodiment of the present invention, a laminate using the above film can be provided.

以下において、本開示の内容について詳細に説明する。以下に記載する構成要件の説明は、本開示の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本開示はそのような実施態様に限定されるものではない。
なお、本明細書において、数値範囲を示す「~」とはその前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用される。
本開示中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
また、本明細書における基(原子団)の表記において、置換及び無置換を記していない表記は、置換基を有さないものと共に置換基を有するものをも包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本明細書において、「(メタ)アクリル」は、アクリル及びメタクリルの両方を包含する概念で用いられる語であり、「(メタ)アクリロイル」は、アクリロイル及びメタクリロイルの両方を包含する概念として用いられる語である。
また、本明細書中の「工程」の用語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても、その工程の所期の目的が達成されれば本用語に含まれる。 また、本開示において、「質量%」と「重量%」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
更に、本開示において、2以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
また、本開示における重量平均分子量(Mw)及び数平均分子量(Mn)は、特に断りのない限り、TSKgel SuperHM-H(東ソー(株)製の商品名)のカラムを使用したゲルパーミエーションクロマトグラフィ(GPC)分析装置により、溶剤PFP(ペンタフルオロフェノール)/クロロホルム=1/2(質量比)、示差屈折計により検出し、標準物質としてポリスチレンを用いて換算した分子量である。
The contents of the present disclosure will be described in detail below. The following description of the components may be based on a representative embodiment of the present disclosure, but the present disclosure is not limited to such an embodiment.
In this specification, the use of "to" indicating a range of values means that the values before and after it are included as the lower limit and upper limit.
In the numerical ranges described in the present disclosure in stages, the upper or lower limit value described in one numerical range may be replaced with the upper or lower limit value of another numerical range described in stages. In addition, in the numerical ranges described in the present disclosure, the upper or lower limit value of the numerical range may be replaced with a value shown in the examples.
In addition, in the description of groups (atomic groups) in this specification, descriptions that do not indicate whether they are substituted or unsubstituted include those that have a substituent as well as those that have no substituent. For example, an "alkyl group" includes not only an alkyl group that has no substituent (an unsubstituted alkyl group) but also an alkyl group that has a substituent (a substituted alkyl group).
In this specification, "(meth)acrylic" is a term used as a concept including both acrylic and methacrylic, and "(meth)acryloyl" is a term used as a concept including both acryloyl and methacryloyl.
In addition, the term "step" in this specification includes not only an independent step, but also a step that cannot be clearly distinguished from other steps, as long as the intended purpose of the step is achieved. In addition, in this disclosure, "mass %" and "weight %" are synonymous, and "parts by mass" and "parts by weight" are synonymous.
Furthermore, in the present disclosure, combinations of two or more preferred aspects are more preferred aspects.
In addition, unless otherwise specified, the weight average molecular weight (Mw) and number average molecular weight (Mn) in the present disclosure are molecular weights detected by a gel permeation chromatography (GPC) analyzer using a column of TSKgel Super HM-H (product name of Tosoh Corporation) in a solvent of PFP (pentafluorophenol)/chloroform = 1/2 (mass ratio) and a differential refractometer, and converted using polystyrene as a standard substance.

(フィルム)
本開示に係るフィルムの第一の実施態様は、誘電正接が、0.01以下であり、少なくとも一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mである。
本開示に係るフィルムの第二の実施態様は、誘電正接が、0.01以下であり、少なくとも一方の表面におけるフッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%である。
(film)
A first embodiment of the film according to the present disclosure has a dielectric loss tangent of 0.01 or less, and a surface free energy on at least one surface of 15 mN/m to 36 mN/m.
A second embodiment of the film according to the present disclosure has a dielectric loss tangent of 0.01 or less, and a surface coverage of at least one surface with at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds is 30% to 100%.

なお、本明細書において、特に断りなく、単に「本開示に係るフィルム」又は「フィルム」という場合は、上記第一の実施態様及び上記第二の実施態様の両方について述べるものとする。 In this specification, when the term "film according to the present disclosure" or "film" is used without any particular specification, it refers to both the first embodiment and the second embodiment.

従来、誘電正接が、0.01以下であるフィルムを用い被接着部材(金属層、金属配線、樹脂層、他のフィルム、ロール状フィルムの場合はフィルム自身)へ接着した場合、上記フィルムと、隣接する被接着部材との接着が発生し、剥離時における破断発生が十分抑制できなかった。
本発明者が鋭意検討した結果、上記構成をとることにより、剥離時のフィルム破断故障及びフィルム表面の荒れを抑制することができるフィルムを提供できることを見出した。
上記効果が得られる詳細なメカニズムは不明であるが、以下のように推測される。
本開示に係るフィルムは、フィルムの一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mであるか、又は、フィルムの一方の表面におけるフッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%であることにより、誘電正接を低く保ちながら、表面における離型性に優れるため、被接着部材からの剥離時のフィルム破断故障及びフィルム表面の荒れを抑制することができるフィルムを提供することができる。
また、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が、隣接する被接着部材と共有結合する場合には、この化合物が弱境界層となり、上記フィルム表面から引き抜かれるために、被接着部材からの剥離時のフィルム破断故障及びフィルム表面の荒れを抑制することができるフィルムを提供することができる。
Conventionally, when a film with a dielectric tangent of 0.01 or less is used to adhere to an adherend (a metal layer, metal wiring, a resin layer, another film, or, in the case of a roll-type film, the film itself), adhesion occurs between the film and the adjacent adherend, and the occurrence of breakage during peeling could not be sufficiently suppressed.
As a result of extensive investigations, the present inventors have found that the above-mentioned configuration makes it possible to provide a film that can suppress film breakage and surface roughness during peeling.
Although the detailed mechanism by which the above effects are obtained is unclear, it is speculated as follows.
The film according to the present disclosure has a surface free energy of 15 mN/m to 36 mN/m on one surface of the film, or a surface coverage of 30% to 100% with at least one compound selected from the group consisting of fluorine-atom-containing compounds and silicon-atom-containing compounds on one surface of the film, and thus has excellent releasability on the surface while maintaining a low dielectric tangent, and can provide a film that can suppress film breakage and roughness of the film surface when peeled from an adherend.
Furthermore, when at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds is covalently bonded to an adjacent adherend, this compound forms a weak boundary layer and is pulled out from the film surface, making it possible to provide a film that can suppress film breakage and roughness of the film surface when peeled off from the adherend.

<表面自由エネルギー>
本開示に係るフィルムの第一の実施態様は、少なくとも一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mであり、剥離時の破断故障抑制の観点から、15mN/m~30mN/mであることが好ましく、15mN/m~25mN/mであることがより好ましく、15mN/m~20mN/mであることが特に好ましい。
本開示に係るフィルムの第二の実施態様は、剥離時の破断故障抑制の観点から、少なくとも一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mであることが好ましく、15mN/m~30mN/mであることがより好ましく、15mN/m~25mN/mであることが更に好ましく、15mN/m~20mN/mであることが特に好ましい。
<Surface free energy>
In a first embodiment of the film according to the present disclosure, the surface free energy on at least one surface is 15 mN/m to 36 mN/m, and from the viewpoint of suppressing breakage failure during peeling, it is preferably 15 mN/m to 30 mN/m, more preferably 15 mN/m to 25 mN/m, and particularly preferably 15 mN/m to 20 mN/m.
In the second embodiment of the film according to the present disclosure, from the viewpoint of suppressing fracture failure during peeling, the surface free energy on at least one surface is preferably 15 mN/m to 36 mN/m, more preferably 15 mN/m to 30 mN/m, even more preferably 15 mN/m to 25 mN/m, and particularly preferably 15 mN/m to 20 mN/m.

本開示におけるフィルム表面の表面自由エネルギーの測定方法は、以下の通りである。
Owensによる方法に基づき、表面自由エネルギーが既知である水及びヨウ化メチレンを用い、フィルム表面に水を滴下して水の接触角、及び、フィルム表面にヨウ化メチレンを滴下してヨウ化メチレンの接触角をそれぞれ測定し、表面自由エネルギー(mN/m)を算出する。
In the present disclosure, the method for measuring the surface free energy of a film surface is as follows.
Based on the method by Owens, water and methylene iodide, whose surface free energies are known, are used, and water is dropped onto the film surface to measure the contact angle of water, and methylene iodide is dropped onto the film surface to measure the contact angle of methylene iodide, and the surface free energy (mN/m) is calculated.

また、本開示に係るフィルムにおいて、上記表面自由エネルギーを満たす表面は、被接着部材に貼り付ける面であることが好ましい。
更に、本開示に係るフィルムは、本開示における効果をより発揮する観点から、ロール状のフィルムであることが好ましい。
ロール状のフィルムである場合、上記表面自由エネルギーの範囲を満たす表面と、上記表面とは反対側の表面とが貼り合わされる。ロール状のフィルムである本開示に係るフィルムは、ロール状のフィルムからフィルムを巻き出す際の剥離故障抑制性に優れると推定している。
In the film according to the present disclosure, the surface that satisfies the above surface free energy is preferably the surface that is attached to the adherend.
Furthermore, from the viewpoint of better exerting the effects of the present disclosure, the film according to the present disclosure is preferably a roll-shaped film.
In the case of a roll-shaped film, the surface satisfying the above-mentioned range of surface free energy is bonded to the surface opposite to the above-mentioned surface. It is presumed that the film according to the present disclosure, which is a roll-shaped film, is excellent in suppressing peeling failure when the film is unwound from the roll-shaped film.

<フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率>
本開示に係るフィルムの第二の実施態様は、少なくとも一方の表面におけるフッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%であり、剥離時の破断故障抑制の観点から、50%~100%であることが好ましく、80%~100%であることがより好ましく、90%~100%であることが特に好ましく、100%であることが最も好ましい。
本開示に係るフィルムの第一の実施態様は、剥離時の破断故障抑制の観点から、少なくとも一方の表面におけるフッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%であることが好ましく、50%~100%であることがより好ましく、80%~100%であることが更に好ましく、90%~100%であることが特に好ましく、100%であることが最も好ましい。
また、本開示に係るフィルムは、剥離時の破断故障抑制の観点から、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物の総含有量が、フィルムの厚さ方向において、フィルム中央部分よりもフィルムの上記表面部分のほうが多いことが好ましい。
<Surface Coverage by at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds>
In a second embodiment of the film according to the present disclosure, the surface coverage of at least one surface by at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds is 30% to 100%, and from the viewpoint of suppressing fracture failure upon peeling, it is preferably 50% to 100%, more preferably 80% to 100%, particularly preferably 90% to 100%, and most preferably 100%.
In the first embodiment of the film according to the present disclosure, from the viewpoint of suppressing fracture failure during peeling, the surface coverage of at least one surface by at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds is preferably 30% to 100%, more preferably 50% to 100%, even more preferably 80% to 100%, particularly preferably 90% to 100%, and most preferably 100%.
Furthermore, from the viewpoint of suppressing breakage failure during peeling, the film according to the present disclosure preferably has a total content of the fluorine atom-containing compound and the silicon atom-containing compound greater in the surface portion of the film than in the central portion of the film in the thickness direction of the film.

本開示におけるフィルム表面の上記表面被覆率の測定方法は、以下の通りである。
フィルムの接触角測定から表面自由エネルギーを算出し、官能基を有する化合物を含まないフィルムの表面自由エネルギー(被覆率0%)、及び、官能基を有する化合物単体の表面自由エネルギー(被覆率100%)と比較することで、表面被覆率を求める。
The method for measuring the surface coverage of the film surface in the present disclosure is as follows.
The surface free energy is calculated from the contact angle measurement of the film, and is compared with the surface free energy of a film that does not contain a compound having a functional group (coverage rate 0%) and the surface free energy of the compound having a functional group alone (coverage rate 100%) to determine the surface coverage.

また、本開示に係るフィルムにおいて、上記表面被覆率を満たす表面は、被接着部材に貼り付ける面であることが好ましい。
更に、本開示に係るフィルムは、本開示における効果をより発揮する観点から、ロール状のフィルムであることが好ましい。
ロール状のフィルムである場合、上記表面被覆率の範囲を満たす表面と、上記表面とは反対側の表面とが貼り合わされる。ロール状のフィルムである本開示に係るフィルムは、ロール状のフィルムからフィルムを巻き出す際の剥離故障抑制性に優れると推定している。
In the film according to the present disclosure, the surface that satisfies the above surface coverage is preferably the surface that is attached to the adherend.
Furthermore, from the viewpoint of better exerting the effects of the present disclosure, the film according to the present disclosure is preferably a roll-shaped film.
In the case of a roll-shaped film, the surface satisfying the above-mentioned range of surface coverage is bonded to the surface opposite to the above-mentioned surface. It is presumed that the film according to the present disclosure, which is a roll-shaped film, is excellent in suppressing peeling failure when the film is unwound from the roll-shaped film.

<誘電正接>
本開示に係るフィルムは、誘電正接が、0.01以下であり、剥離時の破断故障抑制、及び、作製された基板の伝送損失低減の観点から、0.005以下であることが好ましく、0.004以下であることがより好ましく、0.0035以下であることが更に好ましく、0を超え0.003以下であることが特に好ましい。
<Dielectric tangent>
The film according to the present disclosure has a dielectric tangent of 0.01 or less, and from the viewpoints of suppressing fracture failure upon peeling and reducing transmission loss of the produced substrate, it is preferably 0.005 or less, more preferably 0.004 or less, even more preferably 0.0035 or less, and particularly preferably greater than 0 and 0.003 or less.

本開示におけるフィルム又はポリマーの誘電正接の測定方法は、以下の通りである。
誘電正接は周波数10GHzで共振摂動法により測定する。ネットワークアナライザ(Agilent Technology社製「E8363B」)に10GHzの空洞共振器((株)関東電子応用開発CP531)を接続し、空洞共振器にフィルムのサンプル(幅:2.0mm×長さ:80mmを挿入し、温度25℃、湿度60%RH環境下、96時間の挿入前後の共振周波数の変化からフィルムの誘電正接を測定する。なお、銅箔は、測定前に、塩化第二鉄で除去する。
The method for measuring the dielectric loss tangent of a film or polymer in the present disclosure is as follows.
The dielectric loss tangent is measured by the resonance perturbation method at a frequency of 10 GHz. A 10 GHz cavity resonator (Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. CP531) is connected to a network analyzer (Agilent Technology's "E8363B"), and a film sample (width: 2.0 mm x length: 80 mm) is inserted into the cavity resonator, and the dielectric loss tangent of the film is measured from the change in resonance frequency before and after insertion for 96 hours under a temperature of 25°C and a humidity of 60% RH environment. Note that the copper foil is removed with ferric chloride before the measurement.

<フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物>
本開示に係るフィルムの第二の実施態様は、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物を含む。
本開示に係るフィルムの第一の実施態様は、剥離時の破断故障抑制の観点から、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物を含むことが好ましい。
本開示に係るフィルムは、フッ素原子含有化合物を単独で含んでいても、ケイ素原子含有化合物を単独で含んでいても、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物の両方を含んでいても、フッ素原子及びケイ素原子の両方を含有する化合物を含んでいてもよい。
<At least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds>
A second embodiment of the film according to the present disclosure contains at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds.
From the viewpoint of suppressing breakage failure during peeling, the first embodiment of the film according to the present disclosure preferably contains at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds.
The film according to the present disclosure may contain a fluorine atom-containing compound alone, a silicon atom-containing compound alone, both a fluorine atom-containing compound and a silicon atom-containing compound, or a compound containing both a fluorine atom and a silicon atom.

本開示に係るフィルムは、剥離時の破断故障抑制、及び、表面偏在性の観点から、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物として、フッ素原子含有化合物を含むことが好ましい。
また、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物は、剥離時の破断故障抑制の観点から、フッ素樹脂及びシリコーン樹脂よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物であることが好ましく、フッ素樹脂であることがより好ましい。
From the viewpoints of suppressing fracture failure upon peeling and of uneven distribution on the surface, the film according to the present disclosure preferably contains a fluorine atom-containing compound as at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds.
Furthermore, from the viewpoint of suppressing fracture failure during peeling, the at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds is preferably at least one compound selected from the group consisting of fluororesin and silicone resin, and more preferably a fluororesin.

フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が樹脂である場合、その重量平均分子量Mwは、特に制限はないが、1,000以上1,000,000以下であることが好ましく、5,000以上200,000以下であることがより好ましく、10,000以上100,000以下であることが特に好ましい。 When at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds is a resin, its weight average molecular weight Mw is not particularly limited, but is preferably 1,000 or more and 1,000,000 or less, more preferably 5,000 or more and 200,000 or less, and particularly preferably 10,000 or more and 100,000 or less.

また、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物は、剥離時の破断故障抑制、及び、表面偏在性の観点から、界面活性剤を含むことが好ましく、フッ素系界面活性剤及びシリコーン系界面活性剤よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物を含むことがより好ましい。
本開示における「界面活性剤」とは、疎水部と親水部とを有する化合物であればよい。
例えば、フッ素系界面活性剤は、疎水部として、パーフルオロアルキル構造を有することが好ましい。
From the viewpoints of suppressing fracture failure during peeling and of uneven distribution on the surface, it is preferable that the at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds contains a surfactant, and it is more preferable that the at least one compound selected from the group consisting of fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants is contained.
In the present disclosure, a "surfactant" may be any compound having a hydrophobic portion and a hydrophilic portion.
For example, the fluorosurfactant preferably has a perfluoroalkyl structure as the hydrophobic portion.

更に、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物は、剥離時の破断故障抑制、及び、密着性の観点から、共有結合可能な基を有することが好ましく、貼り合わせる被接着部材の表面に存在する基と共有結合可能な基を有することがより好ましい。
共有結合可能な基は、貼り合わせる被接着部材、特にその表面に存在する基の種類に応じて適宜選択される。
共有結合可能な基としては、共有結合が形成可能な基であれば特に制限はなく、例えば、エポキシ基、オキセタニル基、イソシアネート基、酸無水物基、カルボジイミド基、N-ヒドロキシエステル基、グリオキサール基、イミドエステル基、ハロゲン化アルキル基、チオール基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アミノ基、アミド基、アルデヒド基、スルホン酸基等を挙げることができる。これらの中でも、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、エポキシ基、オキセタニル基、イソシアネート基、酸無水物基、カルボジイミド基、N-ヒドロキシエステル基、グリオキサール基、イミドエステル基、ハロゲン化アルキル基、及び、チオール基よりなる群から選ばれる少なくとも1種の官能基であることが好ましい。
貼り合わせる被接着部材の表面に存在する基が、例えば、カルボキシ基である場合、カルボキシ基と共有結合可能な基としては、ヒドロキシ基、エポキシ基等が挙げられる。
また、貼り合わせる被接着部材の表面に存在する基が、例えば、-NH(第一級アミノ基)である場合、-NHと共有結合可能な基としては、イソシアネート基、エポキシ基等が挙げられる。
中でも、上記共有結合可能な基としては、剥離時の破断故障抑制、及び、密着性の観点から、イソシアネート基、又は、エポキシ基であることが好ましく、エポキシ基であることが特に好ましい。
Furthermore, from the viewpoints of suppressing fracture failure during peeling and of adhesion, it is preferable that at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds has a group capable of forming a covalent bond, and it is more preferable that the compound has a group capable of forming a covalent bond with a group present on the surface of the adherend to be bonded.
The group capable of forming a covalent bond is appropriately selected depending on the type of adherend to be bonded, particularly depending on the type of groups present on the surface thereof.
The group capable of forming a covalent bond is not particularly limited as long as it is a group capable of forming a covalent bond, and examples thereof include an epoxy group, an oxetanyl group, an isocyanate group, an acid anhydride group, a carbodiimide group, an N-hydroxyester group, a glyoxal group, an imide ester group, a halogenated alkyl group, a thiol group, a hydroxy group, a carboxy group, an amino group, an amide group, an aldehyde group, a sulfonic acid group, etc. Among these, from the viewpoint of adhesion to a metal foil or a metal wiring, at least one functional group selected from the group consisting of an epoxy group, an oxetanyl group, an isocyanate group, an acid anhydride group, a carbodiimide group, an N-hydroxyester group, a glyoxal group, an imide ester group, a halogenated alkyl group, and a thiol group is preferable.
When the group present on the surface of the adherend to be bonded is, for example, a carboxy group, examples of the group capable of covalently bonding with the carboxy group include a hydroxy group and an epoxy group.
Furthermore, when the group present on the surface of the adherend to be bonded is, for example, --NH.sub.2 (primary amino group), examples of the group capable of forming a covalent bond with --NH.sub.2 include an isocyanate group and an epoxy group.
Among these, from the viewpoints of preventing breakage failure during peeling and adhesion, the covalently bondable group is preferably an isocyanate group or an epoxy group, and is particularly preferably an epoxy group.

上記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物は、1種単独で使用しても、2種以上を併用してもよい。
上記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物の含有量は、剥離時の破断故障抑制の観点から、上記フィルムの全質量に対し、0.01質量%~10質量%であることが好ましく、0.02質量%~2質量%であることがより好ましく、0.05質量%~1質量%であることが特に好ましい。
The at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds may be used alone or in combination of two or more kinds.
From the viewpoint of suppressing breakage failure during peeling, the content of at least one compound selected from the group consisting of the fluorine atom-containing compound and the silicon atom-containing compound is preferably 0.01 mass % to 10 mass %, more preferably 0.02 mass % to 2 mass %, and particularly preferably 0.05 mass % to 1 mass %, relative to the total mass of the film.

<ポリマー>
本開示に係るフィルムは、力学強度、及び、フィルムの誘電正接の観点から、ポリマーを含むことが好ましく、誘電正接が0.01以下であるポリマーを含むことが好ましい。
誘電正接が0.01以下であるポリマーの誘電正接は、フィルムの誘電正接、及び、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、0.005以下であることが好ましく、0.004以下であることがより好ましく、0を超え0.003以下であることが特に好ましい。
<Polymer>
From the viewpoints of mechanical strength and dielectric loss tangent of the film, the film according to the present disclosure preferably contains a polymer, and preferably contains a polymer having a dielectric loss tangent of 0.01 or less.
The dielectric tangent of a polymer having a dielectric tangent of 0.01 or less is preferably 0.005 or less, more preferably 0.004 or less, and particularly preferably greater than 0 and 0.003 or less, from the viewpoints of the dielectric tangent of the film and adhesion to a metal foil or metal wiring.

ポリマーの重量平均分子量Mwは、1,000以上であることが好ましく、2,000以上であることがより好ましく、5,000以上であることが特に好ましい。また、ポリマーの重量平均分子量Mwは、1,000,000以下であることが好ましく、300,000以下であることがより好ましく、100,000未満であることが特に好ましい。 The weight average molecular weight Mw of the polymer is preferably 1,000 or more, more preferably 2,000 or more, and particularly preferably 5,000 or more. The weight average molecular weight Mw of the polymer is preferably 1,000,000 or less, more preferably 300,000 or less, and particularly preferably less than 100,000.

ポリマーのガラス転移温度Tgは、フィルムの誘電正接、金属箔又は金属配線との密着性、及び、耐熱性の観点から、150℃以上であることが好ましく、200℃以上であることがより好ましく、200℃以上280℃未満であることが特に好ましい。
本開示におけるガラス転移温度Tgは、示差走査熱量分析(DSC)装置を用いて測定するものとする。
From the viewpoints of the dielectric tangent of the film, adhesion to a metal foil or metal wiring, and heat resistance, the glass transition temperature Tg of the polymer is preferably 150° C. or higher, more preferably 200° C. or higher, and particularly preferably 200° C. or higher but lower than 280° C.
The glass transition temperature Tg in this disclosure is measured using a differential scanning calorimetry (DSC) instrument.

本開示において、ポリマーの種類は特に限定されず、公知のポリマーを用いることができる。
例えば、誘電正接が0.01以下であるポリマーとしては、液晶ポリマー、フッ素樹脂、環状脂肪族炭化水素基とエチレン性不飽和結合を有する基とを有する化合物の重合物、ポリエーテルエーテルケトン、ポリオレフィン、ポリアミド、ポリエステル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンエーテル及びその変性物、ポリエーテルイミド等の熱可塑性樹脂;グリシジルメタクリレートとポリエチレンとの共重合体等のエラストマー;フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、シアネート樹脂等の熱硬化性樹脂が挙げられる。
これらの中でも、フィルムの誘電正接、金属箔又は金属配線との密着性、及び、耐熱性の観点から、液晶ポリマー、フッ素樹脂、環状脂肪族炭化水素基とエチレン性不飽和結合を有する基とを有する化合物の重合物、ポリエーテルエーテルケトンよりなる群から選ばれる少なくとも1種のポリマーであることが好ましく、液晶ポリマー及びフッ素樹脂よりなる群から選ばれる少なくとも1種のポリマーであることがより好ましく、フィルムの誘電正接の観点からは、液晶ポリマーであることが特に好ましく、耐熱性、及び、力学的強度の観点からは、フッ素樹脂が好ましい。
In the present disclosure, the type of polymer is not particularly limited, and any known polymer can be used.
For example, examples of polymers having a dielectric tangent of 0.01 or less include thermoplastic resins such as liquid crystal polymers, fluororesins, polymers of compounds having a cyclic aliphatic hydrocarbon group and a group having an ethylenically unsaturated bond, polyether ether ketone, polyolefin, polyamide, polyester, polyphenylene sulfide, polyether ketone, polycarbonate, polyether sulfone, polyphenylene ether and modified products thereof, and polyether imide; elastomers such as copolymers of glycidyl methacrylate and polyethylene; and thermosetting resins such as phenol resins, epoxy resins, polyimide resins, and cyanate resins.
Among these, from the viewpoints of the dielectric loss tangent of the film, adhesion to a metal foil or metal wiring, and heat resistance, it is preferable to use at least one polymer selected from the group consisting of a liquid crystal polymer, a fluororesin, a polymer of a compound having a cyclic aliphatic hydrocarbon group and a group having an ethylenically unsaturated bond, and polyether ether ketone, and it is more preferable to use at least one polymer selected from the group consisting of a liquid crystal polymer and a fluororesin. From the viewpoint of the dielectric loss tangent of the film, it is particularly preferable to use a liquid crystal polymer, and from the viewpoints of heat resistance and mechanical strength, it is preferable to use a fluororesin.

-液晶ポリマー-
誘電正接が0.01以下であるポリマーは、フィルムの誘電正接の観点から、液晶ポリマーであることが好ましい。
本開示において、誘電正接が0.01以下であるポリマーとして用いる液晶ポリマーは、誘電正接が0.01以下であれば、液晶ポリマーの種類は特に限定されず、公知の液晶ポリマーを用いることができる。
また、液晶ポリマーは、溶融状態で液晶性を示すサーモトロピック液晶ポリマーでもよく、溶液状態で液晶性を示すリオトロピック液晶ポリマーでもよい。また、サーモトロピック液晶の場合は、450℃以下の温度で溶融するものであることが好ましい。
液晶ポリマーとしては、例えば、液晶ポリエステル、液晶ポリエステルにアミド結合が導入された液晶ポリエステルアミド、液晶ポリエステルにエーテル結合が導入された液晶ポリエステルエーテル、液晶ポリエステルにカーボネート結合が導入された液晶ポリエ
ステルカーボネートなどを挙げることができる。
また、液晶ポリマーは、液晶性、及び、線膨張係数の観点から、芳香環を有するポリマーであることが好ましく、芳香族ポリエステル又は芳香族ポリエステルアミドであることがより好ましい。
更に、液晶ポリマーは、芳香族ポリエステル又は芳香族ポリエステルアミドに、更にイミド結合、カルボジイミド結合やイソシアヌレート結合などのイソシアネート由来の結合等が導入されたポリマーであってもよい。
また、液晶ポリマーは、原料モノマーとして芳香族化合物のみを用いてなる全芳香族液晶ポリマーであることが好ましい。
- Liquid crystal polymer -
From the viewpoint of the dielectric loss tangent of the film, the polymer having a dielectric loss tangent of 0.01 or less is preferably a liquid crystal polymer.
In the present disclosure, the liquid crystal polymer used as the polymer having a dielectric loss tangent of 0.01 or less is not particularly limited in type as long as it has a dielectric loss tangent of 0.01 or less, and any known liquid crystal polymer can be used.
The liquid crystal polymer may be a thermotropic liquid crystal polymer that exhibits liquid crystallinity in a molten state, or a lyotropic liquid crystal polymer that exhibits liquid crystallinity in a solution state. In the case of a thermotropic liquid crystal, it is preferable that the liquid crystal polymer melts at a temperature of 450° C. or less.
Examples of the liquid crystal polymer include liquid crystal polyester, liquid crystal polyester amide in which an amide bond is introduced into a liquid crystal polyester, liquid crystal polyester ether in which an ether bond is introduced into a liquid crystal polyester, and liquid crystal polyester carbonate in which a carbonate bond is introduced into a liquid crystal polyester.
From the viewpoints of liquid crystallinity and linear expansion coefficient, the liquid crystal polymer is preferably a polymer having an aromatic ring, and more preferably an aromatic polyester or an aromatic polyester amide.
Furthermore, the liquid crystal polymer may be a polymer in which an imide bond, a carbodiimide bond, or a bond derived from an isocyanate such as an isocyanurate bond is further introduced into an aromatic polyester or an aromatic polyester amide.
The liquid crystal polymer is preferably a wholly aromatic liquid crystal polymer made using only aromatic compounds as raw material monomers.

液晶ポリマーの例としては、例えば、以下が挙げられる。
1)(i)芳香族ヒドロキシカルボン酸と、(ii)芳香族ジカルボン酸と、(iii)芳香族ジオール、芳香族ヒドロキシアミン及び芳香族ジアミンよりなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物と、を重縮合させてなるもの。
2)複数種の芳香族ヒドロキシカルボン酸を重縮合させてなるもの。
3)(i)芳香族ジカルボン酸と、(ii)芳香族ジオール、芳香族ヒドロキシアミン及び芳香族ジアミンよりなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物と、を重縮合させてなるもの。
4)(i)ポリエチレンテレフタレート等のポリエステルと、(ii)芳香族ヒドロキシカルボン酸と、を重縮合させてなるもの。
ここで、芳香族ヒドロキシカルボン酸、芳香族ジカルボン酸、芳香族ジオール、芳香族ヒドロキシアミン及び芳香族ジアミンはそれぞれ独立に、その一部又は全部に代えて、その重縮合可能な誘導体が用いられてもよい。
Examples of liquid crystal polymers include, for example:
1) A compound obtained by polycondensation of (i) an aromatic hydroxycarboxylic acid, (ii) an aromatic dicarboxylic acid, and (iii) at least one compound selected from the group consisting of an aromatic diol, an aromatic hydroxyamine, and an aromatic diamine.
2) Those obtained by polycondensation of multiple types of aromatic hydroxycarboxylic acids.
3) (i) a polycondensation product of an aromatic dicarboxylic acid and (ii) at least one compound selected from the group consisting of an aromatic diol, an aromatic hydroxyamine and an aromatic diamine.
4) (i) Polyester such as polyethylene terephthalate and (ii) aromatic hydroxycarboxylic acid are polycondensed.
Here, the aromatic hydroxycarboxylic acid, aromatic dicarboxylic acid, aromatic diol, aromatic hydroxyamine and aromatic diamine may each independently be replaced in whole or in part by a polycondensable derivative thereof.

芳香族ヒドロキシカルボン酸及び芳香族ジカルボン酸のようなカルボキシ基を有する化合物の重合可能な誘導体の例としては、カルボキシ基をアルコキシカルボニル基又はアリールオキシカルボニル基に変換してなるもの(エステル)、カルボキシ基をハロホルミル基に変換してなるもの(酸ハロゲン化物)、及びカルボキシ基をアシルオキシカルボニル基に変換してなるもの(酸無水物)が挙げられる。
芳香族ヒドロキシカルボン酸、芳香族ジオール及び芳香族ヒドロキシアミンのようなヒドロキシ基を有する化合物の重合可能な誘導体の例としては、ヒドロキシ基をアシル化してアシルオキシ基に変換してなるもの(アシル化物)が挙げられる。
芳香族ヒドロキシアミン及び芳香族ジアミンのようなアミノ基を有する化合物の重合可能な誘導体の例としては、アミノ基をアシル化してアシルアミノ基に変換してなるもの(アシル化物)が挙げられる。
Examples of polymerizable derivatives of compounds having a carboxy group, such as aromatic hydroxycarboxylic acids and aromatic dicarboxylic acids, include those obtained by converting a carboxy group to an alkoxycarbonyl group or an aryloxycarbonyl group (esters), those obtained by converting a carboxy group to a haloformyl group (acid halides), and those obtained by converting a carboxy group to an acyloxycarbonyl group (acid anhydrides).
Examples of polymerizable derivatives of compounds having a hydroxy group, such as aromatic hydroxycarboxylic acids, aromatic diols and aromatic hydroxyamines, include those obtained by acylation of a hydroxy group into an acyloxy group (acylated products).
Examples of polymerizable derivatives of compounds having an amino group, such as aromatic hydroxyamines and aromatic diamines, include those obtained by acylation of the amino group to convert it into an acylamino group (acylated products).

液晶ポリマーは、液晶性、フィルムの誘電正接、及び、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、下記式(1)~式(3)のいずれかで表される構成繰り返し単位(以下、式(1)で表される構成繰り返し単位等を、繰り返し単位(1)等ということがある。)を有することが好ましく、下記式(1)で表される構成繰り返し単位を有することがより好ましく、下記式(1)で表される構成繰り返し単位と、下記式(2)で表される構成繰り返し単位と、下記式(2)で表される構成繰り返し単位とを有することが特に好ましい。
式(1) -O-Ar-CO-
式(2) -CO-Ar-CO-
式(3) -X-Ar-Y-
式(1)~式(3)中、Arは、フェニレン基、ナフチレン基又はビフェニリレン基を表し、Ar及びArはそれぞれ独立に、フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニリレン基又は下記式(4)で表される基を表し、X及びYはそれぞれ独立に、酸素原子又はイミノ基を表し、Ar~Arで表される上記基にある水素原子は、それぞれ独立に、ハロゲン原子、アルキル基又はアリール基で置換されていてもよい。
式(4) -Ar-Z-Ar
式(4)中、Ar及びArはそれぞれ独立に、フェニレン基又はナフチレン基を表し、Zは、酸素原子、硫黄原子、カルボニル基、スルホニル基又はアルキレン基を表す。
From the viewpoints of liquid crystallinity, dielectric tangent of the film, and adhesion to a metal foil or metal wiring, the liquid crystal polymer preferably has a repeating unit represented by any one of the following formulas (1) to (3) (hereinafter, the repeating unit represented by formula (1) etc. may be referred to as repeating unit (1) etc.), more preferably has a repeating unit represented by the following formula (1), and particularly preferably has a repeating unit represented by the following formula (1), a repeating unit represented by the following formula (2), and a repeating unit represented by the following formula (2).
Formula (1) -O-Ar 1 -CO-
Formula (2) -CO-Ar 2 -CO-
Formula (3) -X-Ar 3 -Y-
In formulas (1) to (3), Ar 1 represents a phenylene group, a naphthylene group, or a biphenylylene group; Ar 2 and Ar 3 each independently represent a phenylene group, a naphthylene group, a biphenylylene group, or a group represented by the following formula (4); X and Y each independently represent an oxygen atom or an imino group; and hydrogen atoms in the above groups represented by Ar 1 to Ar 3 may each independently be substituted by a halogen atom, an alkyl group, or an aryl group.
Formula (4) -Ar 4 -Z-Ar 5 -
In formula (4), Ar 4 and Ar 5 each independently represent a phenylene group or a naphthylene group, and Z represents an oxygen atom, a sulfur atom, a carbonyl group, a sulfonyl group, or an alkylene group.

上記ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。
上記アルキル基の例としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、s-ブチル基、t-ブチル基、n-ヘキシル基、2-エチルヘキシル基、n-オクチル基及びn-デシル基が挙げられ、その炭素数は、好ましくは1~10である。
上記アリール基の例としては、フェニル基、o-トリル基、m-トリル基、p-トリル基、1-ナフチル基及び2-ナフチル基が挙げられ、その炭素数は、好ましくは6~20である。
上記水素原子がこれらの基で置換されている場合、その数は、Ar、Ar又はArで表される上記基毎にそれぞれ独立に、好ましくは2個以下であり、より好ましくは1個である。
The halogen atom includes a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom.
Examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a s-butyl group, a t-butyl group, an n-hexyl group, a 2-ethylhexyl group, an n-octyl group, and an n-decyl group, and the number of carbon atoms is preferably 1 to 10.
Examples of the aryl group include a phenyl group, an o-tolyl group, an m-tolyl group, a p-tolyl group, a 1-naphthyl group, and a 2-naphthyl group, and the number of carbon atoms is preferably 6 to 20.
When the hydrogen atoms are substituted with these groups, the number thereof is preferably 2 or less, more preferably 1, for each of the groups represented by Ar 1 , Ar 2 or Ar 3 .

上記アルキレン基の例としては、メチレン基、1,1-エタンジイル基、1-メチル-1,1-エタンジイル基、1,1-ブタンジイル基及び2-エチル-1,1-ヘキサンジイル基が挙げられ、その炭素数は、好ましくは1~10である。 Examples of the alkylene group include a methylene group, a 1,1-ethanediyl group, a 1-methyl-1,1-ethanediyl group, a 1,1-butanediyl group, and a 2-ethyl-1,1-hexanediyl group, and the number of carbon atoms is preferably 1 to 10.

繰り返し単位(1)は、所定の芳香族ヒドロキシカルボン酸に由来する構成繰り返し単位である。
繰り返し単位(1)としては、Arがp-フェニレン基であるもの(p-ヒドロキシ安香酸に由来する構成繰り返し単位)、及びArが2,6-ナフチレン基であるもの(6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸に由来する構成繰り返し単位)、又は、4,4’-ビフェニリレン基であるもの(4’-ヒドロキシ-4-ビフェニルカルボン酸に由来する構成繰り返し単位)が好ましい。
The repeating unit (1) is a constituent repeating unit derived from a specific aromatic hydroxycarboxylic acid.
As the repeating unit (1), those in which Ar 1 is a p-phenylene group (constituent repeating unit derived from p-hydroxybenzoic acid), those in which Ar 1 is a 2,6-naphthylene group (constituent repeating unit derived from 6-hydroxy-2-naphthoic acid), or those in which Ar 1 is a 4,4'-biphenylylene group (constituent repeating unit derived from 4'-hydroxy-4-biphenylcarboxylic acid) are preferred.

繰り返し単位(2)は、所定の芳香族ジカルボン酸に由来する構成繰り返し単位である。
繰り返し単位(2)としては、Arがp-フェニレン基であるもの(テレフタル酸に由来する構成繰り返し単位)、Arがm-フェニレン基であるもの(イソフタル酸に由来する構成繰り返し単位)、Arが2,6-ナフチレン基であるもの(2,6-ナフタレンジカルボン酸に由来する構成繰り返し単位)、又は、Arがジフェニルエーテル-4,4’-ジイル基であるもの(ジフェニルエーテル-4,4’-ジカルボン酸に由来する構成繰り返し単位)が好ましい。
The repeating unit (2) is a constituent repeating unit derived from a specific aromatic dicarboxylic acid.
As the repeating unit (2), those in which Ar 2 is a p-phenylene group (constituent repeating unit derived from terephthalic acid), those in which Ar 2 is an m-phenylene group (constituent repeating unit derived from isophthalic acid), those in which Ar 2 is a 2,6-naphthylene group (constituent repeating unit derived from 2,6-naphthalenedicarboxylic acid), or those in which Ar 2 is a diphenylether-4,4'-diyl group (constituent repeating unit derived from diphenylether-4,4'-dicarboxylic acid) are preferred.

繰り返し単位(3)は、所定の芳香族ジオール、芳香族ヒドロキシルアミン又は芳香族ジアミンに由来する構成繰り返し単位である。
繰り返し単位(3)としては、Arがp-フェニレン基であるもの(ヒドロキノン、p-アミノフェノール又はp-フェニレンジアミンに由来する構成繰り返し単位)、Arがm-フェニレン基であるもの(イソフタル酸に由来する構成繰り返し単位)、又は、Arが4,4’-ビフェニリレン基であるもの(4,4’-ジヒドロキシビフェニル、4-アミノ-4’-ヒドロキシビフェニル又は4,4’-ジアミノビフェニルに由来する構成繰り返し単位)が好ましい。
The repeating unit (3) is a constituent repeating unit derived from a specific aromatic diol, aromatic hydroxylamine or aromatic diamine.
As the repeating unit (3), those in which Ar 3 is a p-phenylene group (constituent repeating units derived from hydroquinone, p-aminophenol or p-phenylenediamine), those in which Ar 3 is an m-phenylene group (constituent repeating units derived from isophthalic acid), or those in which Ar 3 is a 4,4'-biphenylylene group (constituent repeating units derived from 4,4'-dihydroxybiphenyl, 4-amino-4'-hydroxybiphenyl or 4,4'-diaminobiphenyl).

繰り返し単位(1)の含有量は、全構成繰り返し単位の合計量(液晶ポリマーを構成する各構成繰り返し単位の質量をその各繰り返し単位の式量で割ることにより、各繰り返し単位の物質量相当量(モル)を求め、それらを合計した値)に対して、好ましくは30モル%以上、より好ましくは30モル%~80モル%、更に好ましくは30モル%~60モル%、特に好ましくは30モル%~40モル%である。
繰り返し単位(2)の含有量は、全構成繰り返し単位の合計量に対して、好ましくは35モル%以下、より好ましくは10モル%~35モル%、更に好ましくは20モル%~35モル%、特に好ましくは30モル%~35モル%である。
繰り返し単位(3)の含有量は、全構成繰り返し単位の合計量に対して、好ましくは35モル%以下、より好ましくは10モル%~35モル%、更に好ましくは20モル%~35モル%、特に好ましくは30モル%~35モル%である。
繰り返し単位(1)の含有量が多いほど、耐熱性、強度及び剛性が向上し易いが、あまり多いと、溶媒に対する溶解性が低くなり易い。
The content of the repeating unit (1) is preferably 30 mol % or more, more preferably 30 mol % to 80 mol %, even more preferably 30 mol % to 60 mol %, and particularly preferably 30 mol % to 40 mol %, based on the total amount of all constituent repeating units (the mass of each constituent repeating unit constituting the liquid crystal polymer is divided by the formula weight of that repeating unit to determine the substance amount equivalent (mol) of each repeating unit, and the total value).
The content of the repeating unit (2) is preferably 35 mol % or less, more preferably 10 mol % to 35 mol %, even more preferably 20 mol % to 35 mol %, and particularly preferably 30 mol % to 35 mol %, based on the total amount of all constituent repeating units.
The content of the repeating unit (3) is preferably 35 mol % or less, more preferably 10 mol % to 35 mol %, even more preferably 20 mol % to 35 mol %, and particularly preferably 30 mol % to 35 mol %, based on the total amount of all constituent repeating units.
The greater the content of the repeating unit (1), the more likely it is that the heat resistance, strength and rigidity will improve. However, if the content is too high, the solubility in a solvent will tend to decrease.

繰り返し単位(2)の含有量と繰り返し単位(3)の含有量との割合は、[繰り返し単位(2)の含有量]/[繰り返し単位(3)の含有量](モル/モル)で表して、好ましくは0.9/1~1/0.9、より好ましくは0.95/1~1/0.95、更に好ましくは0.98/1~1/0.98である。 The ratio of the content of repeating unit (2) to the content of repeating unit (3), expressed as [content of repeating unit (2)]/[content of repeating unit (3)] (mol/mol), is preferably 0.9/1 to 1/0.9, more preferably 0.95/1 to 1/0.95, and even more preferably 0.98/1 to 1/0.98.

なお、液晶ポリマーは、繰り返し単位(1)~(3)をそれぞれ独立に、2種以上有してもよい。また、液晶ポリマーは、繰り返し単位(1)~(3)以外の構成繰り返し単位を有してもよいが、その含有量は、全繰り返し単位の合計量に対して、好ましくは10モル%以下、より好ましくは5モル%以下である。 The liquid crystal polymer may have two or more types of repeating units (1) to (3) independently. The liquid crystal polymer may also have a constituent repeating unit other than the repeating units (1) to (3), but the content of such a unit is preferably 10 mol % or less, more preferably 5 mol % or less, based on the total amount of all repeating units.

液晶ポリマーは、繰り返し単位(3)として、X及びYの少なくとも一方がイミノ基であるものを有すること、すなわち、所定の芳香族ヒドロキシルアミンに由来する構成繰り返し単位及び芳香族ジアミンに由来する構成繰り返し単位の少なくとも一方を有することが、溶媒に対する溶解性が優れるので、好ましく、繰り返し単位(3)として、X及びYの少なくとも一方がイミノ基であるもののみを有することが、より好ましい。 The liquid crystal polymer preferably has repeating units (3) in which at least one of X and Y is an imino group, i.e., at least one of a constituent repeating unit derived from a specific aromatic hydroxylamine and a constituent repeating unit derived from an aromatic diamine, since this has excellent solubility in a solvent, and more preferably has only repeating units (3) in which at least one of X and Y is an imino group.

液晶ポリマーは、それを構成する構成繰り返し単位に対応する原料モノマーを溶融重合させることにより製造することが好ましい。溶融重合は、触媒の存在下に行ってもよく、この触媒の例としては、酢酸マグネシウム、酢酸第一錫、テトラブチルチタネート、酢酸鉛、酢酸ナトリウム、酢酸カリウム、三酸化アンチモン等の金属化合物、4-(ジメチルアミノ)ピリジン、1-メチルイミダゾール等の含窒素複素環式化合物などが挙げられ、含窒素複素環式化合物が好ましく用いられる。なお、溶融重合は、必要に応じて、更に固相重合させてもよい。 The liquid crystal polymer is preferably produced by melt-polymerizing raw material monomers corresponding to the constituent repeating units that constitute the polymer. The melt polymerization may be carried out in the presence of a catalyst. Examples of the catalyst include metal compounds such as magnesium acetate, stannous acetate, tetrabutyl titanate, lead acetate, sodium acetate, potassium acetate, and antimony trioxide, and nitrogen-containing heterocyclic compounds such as 4-(dimethylamino)pyridine and 1-methylimidazole. Nitrogen-containing heterocyclic compounds are preferably used. The melt polymerization may be further subjected to solid-phase polymerization as necessary.

液晶ポリマーは、その流動開始温度が、好ましくは250℃以上、より好ましくは250℃以上350℃以下、更に好ましくは260℃以上330℃以下である。液晶ポリマーの流動開始温度が上記範囲であると、溶解性、耐熱性、強度及び剛性に優れ、また、溶液の粘度が適度である。 The liquid crystal polymer preferably has a flow initiation temperature of 250°C or higher, more preferably 250°C to 350°C, and even more preferably 260°C to 330°C. When the flow initiation temperature of the liquid crystal polymer is within the above range, the polymer has excellent solubility, heat resistance, strength, and rigidity, and the viscosity of the solution is appropriate.

流動開始温度は、フロー温度又は流動温度とも呼ばれ、毛細管レオメーターを用いて、9.8MPa(100kg/cm)の荷重下、4℃/分の速度で昇温しながら、液晶ポリマーを溶融させ、内径1mm及び長さ10mmのノズルから押し出すときに、4,800Pa・s(48,000ポイズ)の粘度を示す温度であり、液晶ポリエステルの分子量の目安となるものである(小出直之編、「液晶ポリマー-合成・成形・応用-」、株式会社シーエムシー、1987年6月5日、p.95参照)。 The flow initiation temperature is also called the flow temperature or fluidity temperature, and is the temperature at which a liquid crystal polymer exhibits a viscosity of 4,800 Pa·s (48,000 poise) when melted and extruded from a nozzle having an inner diameter of 1 mm and a length of 10 mm using a capillary rheometer while heating at a rate of 4°C/ min under a load of 9.8 MPa (100 kg/cm 2 ), and is an indicator of the molecular weight of liquid crystal polyester (see "Liquid Crystal Polymer - Synthesis, Molding, Application" edited by Koide Naoyuki, CMC Corporation, June 5, 1987, p. 95).

また、液晶ポリマーは、その重量平均分子量が1,000,000以下であることが好ましく、3,000~300,000であることがより好ましく、5,000~100,000であることが更に好ましく、5,000~30,000であることが特に好ましい。この液晶ポリマーの重量平均分子量が上記範囲であると、熱処理後のフィルムにおいて、厚さ方向の熱伝導性、耐熱性、強度及び剛性に優れる。 The liquid crystal polymer preferably has a weight average molecular weight of 1,000,000 or less, more preferably 3,000 to 300,000, even more preferably 5,000 to 100,000, and particularly preferably 5,000 to 30,000. When the weight average molecular weight of this liquid crystal polymer is within the above range, the film after heat treatment has excellent thermal conductivity in the thickness direction, heat resistance, strength, and rigidity.

-フッ素樹脂-
誘電正接が0.01以下であるポリマーは、耐熱性、及び、力学的強度の観点から、フッ素樹脂であることが好ましい。
本開示において、誘電正接が0.01以下であるポリマーとして用いるフッ素樹脂は、誘電正接が0.01以下であれば、フッ素樹脂の種類は特に限定されず、公知のフッ素樹脂を用いることができる。
フッ素樹脂としては、例えば、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、ペルフルオロアルコキシフッ素樹脂、四フッ化エチレン/六フッ化プロピレン共重合体、エチレン/四フッ化エチレン共重合体、エチレン/クロロトリフルオロエチレン共重合体等が挙げられる。
中でも、ポリテトラフルオロエチレンが好ましく挙げられる。
-Fluorine resin-
The polymer having a dielectric loss tangent of 0.01 or less is preferably a fluororesin from the viewpoints of heat resistance and mechanical strength.
In the present disclosure, the type of fluororesin used as the polymer having a dielectric dissipation factor of 0.01 or less is not particularly limited as long as the fluororesin has a dielectric dissipation factor of 0.01 or less, and any known fluororesin can be used.
Examples of fluororesins include polytetrafluoroethylene, polychlorotrifluoroethylene, polyvinylidene fluoride, polyvinyl fluoride, perfluoroalkoxy fluororesins, tetrafluoroethylene/hexafluoropropylene copolymers, ethylene/tetrafluoroethylene copolymers, and ethylene/chlorotrifluoroethylene copolymers.
Of these, polytetrafluoroethylene is preferred.

-環状脂肪族炭化水素基とエチレン性不飽和結合を有する基とを有する化合物の重合物-
誘電正接が0.01以下であるポリマーは、環状脂肪族炭化水素基とエチレン性不飽和結合を有する基とを有する化合物の重合物であってもよい。
環状脂肪族炭化水素基の環構造としては、単環であっても、2以上の環が縮合した縮合環であっても、橋掛け環であってもよい。
環状脂肪族炭化水素基の環構造としては、シクロペンタン環、シクロヘキサン環、シクロオクタン環、イソボロン環、ノルボルナン環、ジシクロペンタン環等が挙げられる。
環状脂肪族炭化水素基とエチレン性不飽和結合を有する基とを有する化合物は、単官能エチレン性不飽和化合物であっても、多官能エチレン性不飽和化合物であってもよい。
環状脂肪族炭化水素基とエチレン性不飽和結合を有する基とを有する化合物における環状脂肪族炭化水素基の数は、1以上であればよく、2以上有していてもよい。
環状脂肪族炭化水素基とエチレン性不飽和結合を有する基とを有する化合物の重合物は、少なくとも1種の環状脂肪族炭化水素基とエチレン性不飽和結合を有する基とを有する化合物を重合してなる重合体であればよく、2種以上環状脂肪族炭化水素基とエチレン性不飽和結合を有する基とを有する化合物の重合物であってもよいし、環状脂肪族炭化水素基を有しない他のエチレン性不飽和化合物との共重合体であってもよい。
また、環状脂肪族炭化水素基とエチレン性不飽和結合を有する基とを有する化合物の重合物は、シクロオレフィンポリマーであることが好ましい。
--Polymer of a compound having a cyclic aliphatic hydrocarbon group and a group having an ethylenically unsaturated bond--
The polymer having a dielectric loss tangent of 0.01 or less may be a polymer of a compound having a cyclic aliphatic hydrocarbon group and a group having an ethylenically unsaturated bond.
The ring structure of the cyclic aliphatic hydrocarbon group may be a monocyclic ring, a condensed ring in which two or more rings are condensed, or a bridged ring.
Examples of the ring structure of the cyclic aliphatic hydrocarbon group include a cyclopentane ring, a cyclohexane ring, a cyclooctane ring, an isoborone ring, a norbornane ring, and a dicyclopentane ring.
The compound having a cyclic aliphatic hydrocarbon group and a group having an ethylenically unsaturated bond may be a monofunctional ethylenically unsaturated compound or a polyfunctional ethylenically unsaturated compound.
The number of cycloaliphatic hydrocarbon groups in the compound having a cycloaliphatic hydrocarbon group and a group having an ethylenically unsaturated bond may be one or more, and may be two or more.
The polymer of a compound having a cyclic aliphatic hydrocarbon group and a group having an ethylenically unsaturated bond may be a polymer obtained by polymerizing a compound having at least one type of cyclic aliphatic hydrocarbon group and a group having an ethylenically unsaturated bond, and may be a polymer of a compound having two or more types of cyclic aliphatic hydrocarbon groups and a group having an ethylenically unsaturated bond, or may be a copolymer with another ethylenically unsaturated compound that does not have a cyclic aliphatic hydrocarbon group.
The polymer of a compound having a cyclic aliphatic hydrocarbon group and a group having an ethylenically unsaturated bond is preferably a cycloolefin polymer.

-ポリエーテルエーテルケトン-
誘電正接が0.01以下であるポリマーは、ポリエーテルエーテルケトンであってもよい。
ポリエーテルエーテルケトンは、芳香族ポリエーテルケトンの1種であり、エーテル結合、エーテル結合、カルボニル結合(ケトン)の順に結合が配置されたポリマーである。各結合間は、2価の芳香族基により連結されていることが好ましい。
本開示において、誘電正接が0.01以下であるポリマーとして用いるポリエーテルエーテルケトンは、誘電正接が0.01以下であれば、ポリエーテルエーテルケトンの種類は特に限定されず、公知のポリエーテルエーテルケトンを用いることができる。
-Polyetheretherketone-
The polymer having a dielectric loss tangent of 0.01 or less may be polyetheretherketone.
Polyetheretherketone is a type of aromatic polyetherketone, and is a polymer in which bonds are arranged in the following order: ether bond, ether bond, and carbonyl bond (ketone). Each bond is preferably linked by a divalent aromatic group.
In the present disclosure, the polyether ether ketone used as the polymer having a dielectric tangent of 0.01 or less is not particularly limited to a specific type as long as the polyether ether ketone has a dielectric tangent of 0.01 or less, and any known polyether ether ketone can be used.

誘電正接が0.01以下であるポリマーは、特定の有機溶媒に可溶性のポリマー(以下、「可溶性ポリマー」ともいう。)であることが好ましい。
具体的には、本開示における可溶性ポリマーは、25℃において、N-メチルピロリドン、N-エチルピロリドン、ジクロロメタン、ジクロロエタン、クロロホルム、N,N-ジメチルアセトアミド、γ-ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、エチレングリコールモノブチルエーテル及びエチレングリコールモノエチルエーテルよりなる群から選ばれる少なくとも1種の溶媒100gに、0.1g以上溶解するポリマーである。
The polymer having a dielectric loss tangent of 0.01 or less is preferably a polymer that is soluble in a specific organic solvent (hereinafter, also referred to as a "soluble polymer").
Specifically, the soluble polymer in the present disclosure is a polymer that dissolves in an amount of 0.1 g or more in 100 g of at least one solvent selected from the group consisting of N-methylpyrrolidone, N-ethylpyrrolidone, dichloromethane, dichloroethane, chloroform, N,N-dimethylacetamide, γ-butyrolactone, dimethylformamide, ethylene glycol monobutyl ether, and ethylene glycol monoethyl ether at 25° C.

本開示に係るフィルムは、ポリマーを1種のみ含んでいても、2種以上含んでいてもよい。
本開示に係るフィルムにおけるポリマーの含有量は、フィルムの誘電正接、及び、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、上記フィルムの全質量に対し、20質量%~99質量%であることが好ましく、30質量%~98質量%であることがより好ましく、40質量%~95質量%であることが特に好ましい。
The films according to the present disclosure may contain only one type of polymer or two or more types of polymer.
The polymer content in the film according to the present disclosure is preferably 20% by mass to 99% by mass, more preferably 30% by mass to 98% by mass, and particularly preferably 40% by mass to 95% by mass, relative to the total mass of the film, from the viewpoints of the dielectric tangent of the film and the adhesion to a metal foil or metal wiring.

<脱酸素剤>
本開示に係るフィルムは、フィルムの誘電正接、及び、熱処理時(例えば、後述する加熱工程)によるポリマーの結晶化抑制の観点から、脱酸素剤を含むことが好ましい。
脱酸素剤としては、酸素反応性化合物、及び、酸素吸着性化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物であることが好ましい。
<Oxygen absorber>
The film according to the present disclosure preferably contains an oxygen scavenger from the viewpoints of the dielectric tangent of the film and suppressing crystallization of the polymer during heat treatment (for example, the heating step described below).
The oxygen scavenger is preferably at least one compound selected from the group consisting of oxygen-reactive compounds and oxygen-adsorbing compounds.

酸素反応性化合物とは、酸素に対する反応性を有する化合物を意味する。酸素反応性化合物と酸素との反応生成物とは、酸素反応性化合物が酸素と反応することによって生成される化合物を意味する。 An oxygen-reactive compound means a compound that is reactive to oxygen. A reaction product of an oxygen-reactive compound with oxygen means a compound that is produced by reacting an oxygen-reactive compound with oxygen.

酸素反応性化合物としては、例えば、オキシム化合物、ヒドロキシルアミン化合物、及びN置換アミノ複素環式化合物が挙げられる。中でも、酸素との反応速度の観点から、酸素反応性化合物は、ヒドロキシルアミン化合物とN置換アミノ複素環式化合物の併用であることが好ましい。 Examples of oxygen-reactive compounds include oxime compounds, hydroxylamine compounds, and N-substituted aminoheterocyclic compounds. Among them, from the viewpoint of the reaction rate with oxygen, it is preferable that the oxygen-reactive compound is a combination of a hydroxylamine compound and an N-substituted aminoheterocyclic compound.

オキシム化合物としては、例えば、メチルエチルケトオキシム、ジメチルケトオキシム、メチルプロピルケトオキシム、及びメチルブチルケトオキシムが挙げられる。 Examples of oxime compounds include methyl ethyl ketoxime, dimethyl ketoxime, methyl propyl ketoxime, and methyl butyl ketoxime.

ヒドロキシルアミン化合物としては、例えば、ジエチルヒドロキシルアミン及びジイソプロピルヒドロキシルアミンが挙げられる。中でも、ヒドロキシルアミン化合物は、ジエチルヒドロキシルアミンであることが好ましい。 Examples of hydroxylamine compounds include diethylhydroxylamine and diisopropylhydroxylamine. Of these, the hydroxylamine compound is preferably diethylhydroxylamine.

N置換アミノ複素環式化合物としては、例えば、1-アミノ-4-メチルピペラジン、1-アミノピロリジン、1-アミノピペリジン、N-アミノモルホリン、N-アミノヘキサメチレンイミンが挙げられる。中でも、N置換アミノ複素環式化合物は、1-アミノ-4-メチルピペラジン又は1-アミノピロリジンであることが好ましい。 Examples of N-substituted amino heterocyclic compounds include 1-amino-4-methylpiperazine, 1-aminopyrrolidine, 1-aminopiperidine, N-aminomorpholine, and N-aminohexamethyleneimine. Of these, the N-substituted amino heterocyclic compound is preferably 1-amino-4-methylpiperazine or 1-aminopyrrolidine.

酸素吸着性化合物とは、酸素原子との間に化学的な結合を形成することなく酸素を存在させることができる性質を有する化合物を意味する。酸素吸着性化合物の酸素吸着物とは、酸素を吸着した状態にある酸素吸着性化合物を意味する。 An oxygen-adsorbing compound means a compound that has the property of allowing oxygen to exist without forming a chemical bond with the oxygen atom. An oxygen adsorbate of an oxygen-adsorbing compound means an oxygen-adsorbing compound in a state in which oxygen is adsorbed.

酸素吸着性化合物は、多孔質構造を有することが好ましい。酸素吸着性化合物としては、例えば、ゼオライト、多孔質珪酸カルシウム、及び多孔質シリカが挙げられる。 The oxygen-adsorbing compound preferably has a porous structure. Examples of oxygen-adsorbing compounds include zeolite, porous calcium silicate, and porous silica.

本開示に係るフィルムは、脱酸素剤を1種のみ含んでいても、2種以上含んでいてもよい。
脱酸素剤の含有量は、フィルムの誘電正接、及び、熱処理時によるポリマーの結晶化抑制の観点から、フィルムの全質量に対して、0.0001質量%~10質量%であることが好ましく、0.001質量%~1質量%であることがより好ましい。
The film according to the present disclosure may contain only one type of oxygen scavenger, or may contain two or more types.
From the viewpoints of the dielectric tangent of the film and suppressing crystallization of the polymer during heat treatment, the content of the oxygen scavenger is preferably 0.0001% by mass to 10% by mass, and more preferably 0.001% by mass to 1% by mass, relative to the total mass of the film.

<フィラー>
本開示に係るフィルムは、誘電特性、熱膨張係数、及び、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、フィラーを含むことが好ましい。
フィラーは、粒子状であっても、繊維状であってもよく、また、無機フィラーであっても、有機フィラーであってもよい。
本開示に係るフィルムにおいて、上記フィラーの数密度は、誘電特性、熱膨張係数、及び、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、上記フィルムの表面より内部の方が大きいことが好ましい。
<Filler>
The film according to the present disclosure preferably contains a filler from the viewpoints of dielectric properties, thermal expansion coefficient, and adhesion to metal foil or metal wiring.
The filler may be particulate or fibrous, and may be an inorganic filler or an organic filler.
In the film according to the present disclosure, the number density of the filler is preferably greater inside the film than on the surface thereof, from the viewpoints of dielectric properties, thermal expansion coefficient, and adhesion to metal foil or metal wiring.

無機フィラーとしては、公知の無機フィラーを用いることができる。
無機フィラーの材質としては、例えば、BN、Al、AlN、TiO、SiO、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、水酸化アルミニウム、炭酸カルシウム、及び、これらを2種以上含む材質が挙げられる。
中でも、無機フィラーとしては、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、金属酸化物粒子、又は、繊維が好ましく、シリカ粒子、チタニア粒子、又は、ガラス繊維がより好ましく、シリカ粒子、又は、ガラス繊維が特に好ましい。
無機フィラーの平均粒径は、特に制限されないが、フィラーを含有する層の厚みの約20%~約40%であることが好ましく、例えば、フィラーを含有する層の厚みの25%、30%又は35%にあるものを選択してもよい。粒子又は繊維が扁平状の場合には、短辺方向の長さを示す。
また、無機フィラーの平均粒径は、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、5nm~20μmであることが好ましく、10nm~10μmであることがより好ましく、20nm~1μmであることが更に好ましく、25nm~500nmであることが特に好ましい。
As the inorganic filler, a known inorganic filler can be used.
Examples of the inorganic filler material include BN, Al2O3 , AlN , TiO2 , SiO2 , barium titanate, strontium titanate, aluminum hydroxide, calcium carbonate, and materials containing two or more of these.
Among these, as the inorganic filler, from the viewpoint of adhesion to the metal foil or metal wiring, metal oxide particles or fibers are preferred, silica particles, titania particles or glass fibers are more preferred, and silica particles or glass fibers are particularly preferred.
The average particle size of the inorganic filler is not particularly limited, but is preferably about 20% to about 40% of the thickness of the layer containing the filler, and may be, for example, 25%, 30%, or 35% of the thickness of the layer containing the filler. In the case where the particles or fibers are flat, the length indicates the length in the direction of the short side.
Moreover, from the viewpoint of adhesion to the metal foil or metal wiring, the average particle size of the inorganic filler is preferably 5 nm to 20 μm, more preferably 10 nm to 10 μm, even more preferably 20 nm to 1 μm, and particularly preferably 25 nm to 500 nm.

有機フィラーとしては、公知の有機フィラーを用いることができる。
有機フィラーの材質としては、例えば、ポリエチレン、ポリスチレン、尿素-ホルマリンフィラー、ポリエステル、セルロース、アクリル樹脂、フッ素樹脂、硬化エポキシ樹脂、架橋ベンゾグアナミン樹脂、架橋アクリル樹脂、架橋スチレン、及び、これらを2種以上含む材質が挙げられる。
また、有機フィラーは、ナノファイバーのような繊維状であってもよく、中空樹脂粒子であってもよい。
中でも、有機フィラーとしては、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、フッ素樹脂粒子、若しくは、ポリエステル系樹脂粒子、又は、セルロース系樹脂のナノファイバーであることが好ましく、ポリテトラフルオロエチレン粒子であることがより好ましい。
有機フィラーの平均粒径は、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、5nm~20μmであることが好ましく、10nm~1μmであることがより好ましく、20nm~500nmであることが更に好ましく、25nm~90nmであることが特に好ましい。
As the organic filler, a known organic filler can be used.
Examples of the organic filler material include polyethylene, polystyrene, urea-formalin filler, polyester, cellulose, acrylic resin, fluororesin, hardened epoxy resin, crosslinked benzoguanamine resin, crosslinked acrylic resin, crosslinked styrene, and materials containing two or more of these.
The organic filler may be in the form of fibers such as nanofibers, or may be in the form of hollow resin particles.
Among these, from the viewpoint of adhesion to metal foil or metal wiring, the organic filler is preferably fluororesin particles, polyester-based resin particles, or nanofibers of cellulose-based resin, and more preferably polytetrafluoroethylene particles.
From the viewpoint of adhesion to the metal foil or metal wiring, the average particle size of the organic filler is preferably 5 nm to 20 μm, more preferably 10 nm to 1 μm, even more preferably 20 nm to 500 nm, and particularly preferably 25 nm to 90 nm.

本開示に係るフィルムは、フィラーを1種のみ含んでいても、2種以上含んでいてもよい。
本開示に係るフィルムにおけるフィラーの含有量は、熱膨張係数、及び、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、フィルムの全体積に対し、5質量%~80質量%であることが好ましく、10質量%~70質量%であることがより好ましく、20質量%~70質量%であることが更に好ましく、25質量%~60質量%であることが特に好ましい。
The films according to the present disclosure may contain only one type of filler or two or more types of fillers.
From the viewpoints of the thermal expansion coefficient and adhesion to a metal foil or metal wiring, the content of the filler in the film according to the present disclosure is preferably 5% by mass to 80% by mass, more preferably 10% by mass to 70% by mass, even more preferably 20% by mass to 70% by mass, and particularly preferably 25% by mass to 60% by mass, relative to the total volume of the film.

-その他の添加剤-
本開示に係るフィルムは、その他の添加剤を含んでいてもよい。
その他の添加剤としては、公知の添加剤を用いることができる。具体的には、例えば、レベリング剤、消泡剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、難燃剤、着色剤等が挙げられる。
-Other additives-
The films according to the present disclosure may also contain other additives.
As the other additives, known additives can be used, specifically, for example, a leveling agent, a defoaming agent, an antioxidant, an ultraviolet absorbing agent, a flame retardant, a colorant, etc.

また、その他の添加剤として、上述した成分以外の樹脂を含んでいてもよい。
誘電正接が0.01以下であるポリマー以外の樹脂の例としては、ポリオレフィン、シクロオレフィンポリマー、ポリアミド、ポリエステル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレンエーテル及びその変性物、ポリエーテルイミド等の熱可塑性樹脂;グリシジルメタクリレートとポリエチレンとの共重合体等のエラストマー;フェノール樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、シアネート樹脂等の熱硬化性樹脂が挙げられる。
Furthermore, as other additives, resins other than the above-mentioned components may be contained.
Examples of resins other than polymers having a dielectric tangent of 0.01 or less include thermoplastic resins such as polyolefins, cycloolefin polymers, polyamides, polyesters, polyphenylene sulfide, polyether ketones, polycarbonates, polyether sulfones, polyphenylene ethers and modified products thereof, and polyether imides; elastomers such as copolymers of glycidyl methacrylate and polyethylene; and thermosetting resins such as phenol resins, epoxy resins, polyimide resins, and cyanate resins.

その他の添加剤の総含有量は、ポリマーの含有量100質量部に対して、好ましくは25質量部以下であり、より好ましくは10質量部以下であり、更に好ましくは5質量部以下である。 The total content of other additives is preferably 25 parts by mass or less, more preferably 10 parts by mass or less, and even more preferably 5 parts by mass or less, per 100 parts by mass of the polymer content.

<熱膨張係数>
本開示に係るフィルムの熱膨張係数は、熱安定性の観点から、-20ppm/K~50ppm/Kであることが好ましく、-10ppm/K~40ppm/Kであることがより好ましく、0ppm/K~35ppm/Kであることが更に好ましく、10ppm/K~30ppm/Kであることが特に好ましい。
<Thermal expansion coefficient>
From the viewpoint of thermal stability, the thermal expansion coefficient of the film according to the present disclosure is preferably −20 ppm/K to 50 ppm/K, more preferably −10 ppm/K to 40 ppm/K, even more preferably 0 ppm/K to 35 ppm/K, and particularly preferably 10 ppm/K to 30 ppm/K.

本開示における熱膨張係数の測定方法は、以下の方法により測定するものとする。
熱機械分析装置(TMA)を用いて、幅5mm、長さ20mmのフィルムの両端に1gの引張荷重をかけ、5℃/分の速度で25℃~200℃まで昇温した後、2℃/分の速度で30℃まで冷却し、再び5℃/分の速度で昇温したときの、30℃~150℃の間のTMA曲線の傾きから熱膨張係数を算出する。なお、銅箔は、測定前に、塩化第二鉄で除去する。
The thermal expansion coefficient in the present disclosure is measured by the following method.
Using a thermomechanical analyzer (TMA), a tensile load of 1 g is applied to both ends of a film having a width of 5 mm and a length of 20 mm, the film is heated from 25° C. to 200° C. at a rate of 5° C./min, cooled to 30° C. at a rate of 2° C./min, and then heated again at a rate of 5° C./min. The thermal expansion coefficient is calculated from the slope of the TMA curve between 30° C. and 150° C. Note that the copper foil is removed with ferric chloride before the measurement.

<表面粗さ>
本開示に係るフィルムは、少なくとも一方の表面における表面粗さRzが、10nm~10,000nmであることが好ましく、10nm~5,000nmであることがより好ましく、20nm~1,000nmであることがより好ましく、50nm~500nmであることが更に好ましい。
また、上記表面粗さRzの範囲を満たす表面は、上記表面自由エネルギーの範囲を満たす面であるか、上記表面被覆率の範囲を満たす面であるか、又は、上記表面自由エネルギーの範囲及び上記表面被覆率の範囲を満たす面であることが好ましい。
<Surface roughness>
The film according to the present disclosure preferably has a surface roughness Rz of at least one surface of 10 nm to 10,000 nm, more preferably 10 nm to 5,000 nm, even more preferably 20 nm to 1,000 nm, and even more preferably 50 nm to 500 nm.
Furthermore, it is preferable that a surface that satisfies the above-mentioned range of surface roughness Rz is a surface that satisfies the above-mentioned range of surface free energy, a surface that satisfies the above-mentioned range of surface coverage, or a surface that satisfies the above-mentioned range of surface free energy and the above-mentioned range of surface coverage.

本開示において「表面粗さRz」とは、基準長さにおける粗さ曲線で観察される山の高さの最大値と谷の深さの最大値との合計値をナノメートルで表した値を意味する。
本開示において、フィルムの表面の表面粗さRzは、以下の方法により測定するものとする。
非接触表面・層断面形状計測システムVertScan((株)菱化システム製)を用い、縦465.48μm、横620.64μm四方を測定して、測定対象物(液晶ポリマーフィルム)の表面における粗さ曲線及び上記粗さ曲線の平均線を作成する。粗さ曲線から基準長さに相当する部分を抜き取る。抜き出した粗さ曲線で観察される山の高さ(すなわち、平均線から山頂までの高さ)の最大値と谷の深さ(すなわち、平均線から谷底までの高さ)の最大値との合計値を求めることで、測定対象物の表面粗さRzを測定する。
In this disclosure, "surface roughness Rz" refers to the sum of the maximum peak height and the maximum valley depth observed on a roughness curve over a reference length, expressed in nanometers.
In the present disclosure, the surface roughness Rz of the film surface is measured by the following method.
A non-contact surface/layer cross-sectional shape measurement system, VertScan (manufactured by Ryoka Systems Co., Ltd.), is used to measure an area of 465.48 μm long and 620.64 μm wide, and a roughness curve and an average line of the roughness curve are created on the surface of the object to be measured (liquid crystal polymer film). A portion corresponding to the reference length is extracted from the roughness curve. The surface roughness Rz of the object to be measured is measured by calculating the sum of the maximum peak height (i.e., the height from the average line to the peak) and the maximum valley depth (i.e., the height from the average line to the valley bottom) observed on the extracted roughness curve.

表面の表面粗さRzが10nm~10,000nmであるフィルムを形成する方法としては、例えば、製膜中にベナードセルを生じさせる方法、フィラー及び液晶ポリマーを含む溶液を用いる方法、製膜中に液晶ポリマーと混合した材料を相分離させる方法、製膜過程で表面に皮張りを形成し内部との収縮量差を用いる方法(レチキュレーション)、溶液製膜中に表面凹凸のある型でレプリカ処理を行う方法、及び、製膜後のフィルムをスパッタ等の表面処理で荒らす方法が挙げられる。 Methods for forming a film with a surface roughness Rz of 10 nm to 10,000 nm include, for example, a method of generating Benard cells during film formation, a method of using a solution containing a filler and a liquid crystal polymer, a method of phase-separating a material mixed with a liquid crystal polymer during film formation, a method of forming a skin on the surface during the film formation process and using the difference in the amount of shrinkage with the inside (reticulation), a method of performing a replica process using a mold with an uneven surface during solution film formation, and a method of roughening the film after film formation by surface treatment such as sputtering.

<弾性率>
本開示に係るフィルムの少なくとも一方の表面の25℃における弾性率は、力学強度、及び、剥離時の破断故障抑制の観点から、100MPa以上であることが好ましい。
また、上記弾性率の範囲を満たす表面は、上記表面自由エネルギーの範囲を満たす面であるか、上記表面被覆率の範囲を満たす面であるか、又は、上記表面自由エネルギーの範囲及び上記表面被覆率の範囲を満たす面であることが好ましい。
<Elastic modulus>
The elastic modulus at 25° C. of at least one surface of the film according to the present disclosure is preferably 100 MPa or more from the viewpoints of mechanical strength and suppression of fracture failure during peeling.
Furthermore, it is preferable that a surface that satisfies the above elastic modulus range is a surface that satisfies the above surface free energy range, a surface that satisfies the above surface coverage range, or a surface that satisfies the above surface free energy range and the above surface coverage range.

本開示において、フィルム表面の弾性率は、以下の方法により測定するものとする。
フィルム表面の弾性率は、微小表面硬度計((株)フィッシャー・インスツルメンツ製「フィッシャースコープH100VP-HCU」)を用いて求める。具体的には、ダイヤモンド製の四角錐圧子(先端対面角度:136°)を使用し、押し込み深さが1μmを超えない範囲で、適当な試験荷重下での押し込み深さを25℃において測定し、除荷重時の荷重と変位の変化から、貯蔵弾性率を算出する。
In the present disclosure, the elastic modulus of a film surface is measured by the following method.
The elastic modulus of the film surface is determined using a micro-surface hardness tester (Fisherscope H100VP-HCU, manufactured by Fisher Instruments, Inc.). Specifically, a diamond pyramidal indenter (tip facing angle: 136°) is used to measure the indentation depth under an appropriate test load at 25° C. within a range not exceeding 1 μm, and the storage elastic modulus is calculated from the change in load and displacement when the load is removed.

本開示に係るフィルムは、単層構造であってもよく、多層構造であってもよい。 The film according to the present disclosure may have a single layer structure or a multilayer structure.

本開示に係るフィルムは、金属基材等の基材に設ける膜として用いられてもよい。
本開示に係るフィルムは、例えば、金属基材との密着性の観点から、ポリマー、並びに、上記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物を含む層Aと、層A上に配置され、ポリマー、後述する硬化性化合物を含む層Bとを含むことが好ましい。例えば、フィルムの層A側を金属基材と貼り合わせることにより、密着性に優れた積層体を得ることができる。
The film according to the present disclosure may be used as a membrane provided on a substrate such as a metal substrate.
From the viewpoint of adhesion to a metal substrate, for example, the film according to the present disclosure preferably includes a layer A containing a polymer and at least one compound selected from the group consisting of the above-mentioned fluorine atom-containing compound and silicon atom-containing compound, and a layer B disposed on the layer A and containing a polymer and a curable compound described later. For example, a laminate having excellent adhesion can be obtained by bonding the layer A side of the film to a metal substrate.

層Aに含まれるポリマーの含有量は、層Aの全質量に対して、25質量%~99質量%であることが好ましく、40質量%~60質量%であることがより好ましい。 The content of the polymer in Layer A is preferably 25% by mass to 99% by mass, and more preferably 40% by mass to 60% by mass, based on the total mass of Layer A.

層Aの平均厚みは特に限定されないが、5μm~100μmであることが好ましく、10μm~80μmであることがより好ましく、20μm~70μmであることが更に好ましい。 The average thickness of layer A is not particularly limited, but is preferably 5 μm to 100 μm, more preferably 10 μm to 80 μm, and even more preferably 20 μm to 70 μm.

層Bに用いられるポリマーの好ましい態様は、上述した以外、上述したポリマーの好ましい態様と同様である。 The preferred aspects of the polymer used in layer B are the same as the preferred aspects of the polymer described above, except as described above.

層Bにおける硬化性化合物の含有量は、層Bの全質量に対して、5質量%~75質量%であることが好ましく、10質量%~50質量%であることがより好ましい。 The content of the curable compound in Layer B is preferably 5% by mass to 75% by mass, and more preferably 10% by mass to 50% by mass, based on the total mass of Layer B.

層Bの平均厚みは特に限定されないが、1μm~10μmであることが好ましく、1μm~5μmであることがより好ましい。 The average thickness of layer B is not particularly limited, but is preferably 1 μm to 10 μm, and more preferably 1 μm to 5 μm.

本開示に係るフィルムにおける各層の平均厚みは、以下の方法を用いて測定される。
配線基板をミクロトームで切削し、断面を光学顕微鏡で観察して、各層の厚みを評価する。断面サンプルは3ヶ所以上切り出し、各断面において、3点以上厚みを測定し、それらの平均値を平均厚みとする。
The average thickness of each layer in the film according to the present disclosure is measured using the following method.
The wiring board is cut with a microtome, and the cross section is observed under an optical microscope to evaluate the thickness of each layer. Cross-sectional samples are cut out from three or more places, and the thickness is measured at three or more points on each cross section, and the average of these measurements is taken as the average thickness.

層A及び層Bはそれぞれ独立、その他の添加剤を含んでいてもよい。
層A又は層Bに用いられるその他の添加剤の好ましい態様は、上述したその他の添加剤の好ましい態様と同様である。
Layer A and Layer B may each independently contain other additives.
The preferred embodiments of the other additives used in Layer A or Layer B are the same as those of the other additives described above.

-硬化性化合物-
層Bは、硬化性化合物を含むことが好ましく、上記硬化性化合物が、オリゴマー又はポリマーである硬化性化合物Aを含むことがより好ましい。
本開示における硬化性化合物は、硬化性基を有する化合物であり、モノマー、オリゴマー、ポリマーのいずれであってもよい。
また、上記硬化性化合物Aは、オリゴマー又はポリマーであり、力学強度の観点から、ポリマーであることが好ましい。
本開示においては、オリゴマーは、重量平均分子量1,000以上2,000未満の重合体であり、ポリマーは、重合平均分子量2,000以上の重合体であるものとする。
また、上記硬化性化合物Aとしては、金属箔又は金属配線との密着性及び偏在性の観点から、重量平均分子量が1,000以上のオリゴマー又はポリマーであることが好ましく、重量平均分子量が2,000以上のポリマーであることがより好ましく、重量平均分子量が3,000以上200,000以下のポリマーであることが更に好ましく、重量平均分子量が5,000以上100,000以下のポリマーであることが特に好ましい。
更に、上記硬化性化合物Aの重量平均分子量は、配線歪み抑制の観点から、100,000以下であることが好ましく、50,000以下であることがより好ましく、10,000以下であることが特に好ましい。
なお、誘電正接が0.01以下であるポリマーは、硬化性基を有していてもよいが、上記硬化性化合物Aとは、異なる化合物であるものとする。上記硬化性化合物Aは、誘電正接が0.01を超えることが好ましく、また、液晶ポリマーでないことが好ましい。
-Curable compound-
Layer B preferably contains a curable compound, and more preferably the curable compound contains a curable compound A which is an oligomer or a polymer.
The curable compound in the present disclosure is a compound having a curable group, and may be any of a monomer, an oligomer, and a polymer.
The curable compound A is an oligomer or a polymer, and is preferably a polymer from the viewpoint of mechanical strength.
In the present disclosure, an oligomer is a polymer having a weight average molecular weight of 1,000 or more and less than 2,000, and a polymer is a polymer having a weight average molecular weight of 2,000 or more.
From the viewpoints of adhesion and uneven distribution to the metal foil or metal wiring, the curable compound A is preferably an oligomer or polymer having a weight-average molecular weight of 1,000 or more, more preferably a polymer having a weight-average molecular weight of 2,000 or more, even more preferably a polymer having a weight-average molecular weight of 3,000 or more and 200,000 or less, and particularly preferably a polymer having a weight-average molecular weight of 5,000 or more and 100,000 or less.
Furthermore, from the viewpoint of suppressing wiring distortion, the weight average molecular weight of the curable compound A is preferably 100,000 or less, more preferably 50,000 or less, and particularly preferably 10,000 or less.
The polymer having a dielectric loss tangent of 0.01 or less may have a curable group, but is a compound different from the curable compound A. The curable compound A preferably has a dielectric loss tangent of more than 0.01 and is preferably not a liquid crystal polymer.

また、本開示に係るフィルムは、配線歪み抑制の観点から、上記硬化性化合物Aの含有量が、上記フィルムの内部より少なくとも一方の表面の方が多いことが好ましい。
更に、配線歪み抑制の観点から、層Aは、粒子を含み、上記粒子の内部又は表面に、上記硬化性化合物を含むことが好ましい。
上記粒子としては、上記硬化性化合物を内部又は表面に有するマイクロカプセル又はミクロゲル等が挙げられる。
中でも、上記硬化性化合物を内部に有するマイクロカプセル又はミクロゲルが好ましく挙げられる。
また、上記粒子は、有機樹脂粒子であることが好ましい。
In addition, from the viewpoint of suppressing wiring distortion, the film according to the present disclosure preferably has a higher content of the curable compound A on at least one surface of the film than in the interior thereof.
Furthermore, from the viewpoint of suppressing wiring distortion, it is preferable that Layer A contains particles, and the particles contain the curable compound inside or on the surface thereof.
The above particles include microcapsules or microgels having the above curable compound inside or on the surface thereof.
Among these, preferred examples include microcapsules or microgels having the above-mentioned curable compound therein.
The particles are preferably organic resin particles.

硬化性化合物における硬化性基の数は、1以上であればよく、2以上であってもよいが、2以上であることが好ましい。
また、硬化性化合物は、1種のみの硬化性基を有していても、2種以上の硬化性基を有していてもよい。
The number of curable groups in the curable compound may be one or more, and may be two or more, but is preferably two or more.
The curable compound may have only one type of curable group, or may have two or more types of curable groups.

上記硬化性基としては、硬化可能であれば、特に制限はないが、例えば、エチレン性不飽和基、エポキシ基、オキセタニル基、イソシアネート基、酸無水物基、カルボジイミド基、N-ヒドロキシエステル基、グリオキサール基、イミドエステル基、ハロゲン化アルキル基、チオール基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、アミノ基、アミド基、アルデヒド基、スルホン酸基等を挙げることができる。
上記硬化性化合物Aを後述するハーフキュアにより形成する場合、上記硬化性基としては、エチレン性不飽和基が好ましい。また、その場合、硬化性化合物は、多官能エチレン性不飽和化合物を用いることが好ましい。
The curable group is not particularly limited as long as it is curable, and examples thereof include an ethylenically unsaturated group, an epoxy group, an oxetanyl group, an isocyanate group, an acid anhydride group, a carbodiimide group, an N-hydroxyester group, a glyoxal group, an imide ester group, a halogenated alkyl group, a thiol group, a hydroxy group, a carboxy group, an amino group, an amide group, an aldehyde group, and a sulfonic acid group.
When the curable compound A is formed by half curing, which will be described later, the curable group is preferably an ethylenically unsaturated group. In this case, the curable compound is preferably a polyfunctional ethylenically unsaturated compound.

上記硬化性化合物Aとしては、熱硬化性樹脂が好適に挙げられる。
熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和イミド樹脂、シアネート樹脂、イソシアネート樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、オキセタン樹脂、アミノ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、アリル樹脂、ジシクロペンタジエン樹脂、シリコーン樹脂、トリアジン樹脂及びメラミン樹脂等が挙げられる。また、熱硬化性樹脂としては、特にこれらに制限されず、公知の熱硬化性樹脂を使用できる。これらの熱硬化性樹脂は、単独で、又は複数種を併用して用いることができる。
また、上記硬化性化合物Aとしては、市販の接着剤(いわゆる、ワニス、又は、ホットメルト接着剤など)を用いることもできる。
The curable compound A is preferably a thermosetting resin.
Examples of the thermosetting resin include epoxy resin, phenol resin, unsaturated imide resin, cyanate resin, isocyanate resin, benzoxazine resin, oxetane resin, amino resin, unsaturated polyester resin, allyl resin, dicyclopentadiene resin, silicone resin, triazine resin, and melamine resin. The thermosetting resin is not particularly limited to these, and any known thermosetting resin can be used. These thermosetting resins can be used alone or in combination.
As the curable compound A, a commercially available adhesive (so-called varnish or hot melt adhesive, etc.) can also be used.

また、上記硬化性化合物Aとしては、モノマーをハーフキュアさせてなる硬化性化合物が好適に挙げられる。
モノマーとしては、エチレン性不飽和化合物であることが好ましく、多官能エチレン性化合物であることがより好ましい。
また、エチレン性不飽和化合物としては、(メタ)アクリレート化合物、(メタ)アクリルアミド化合物、(メタ)アクリル酸、スチレン化合物、ビニルアセテート化合物、ビニルエーテル化合物、オレフィン化合物等が挙げられる。
中でも、(メタ)アクリレート化合物が好ましい。
また、モノマーの分子量としては、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、分子量50以上1,000未満であることが好ましく、分子量100以上1,000未満であることがより好ましく、分子量200以上800以下であることが特に好ましい。
As the curable compound A, a curable compound obtained by half-curing a monomer is preferably used.
The monomer is preferably an ethylenically unsaturated compound, more preferably a polyfunctional ethylenic compound.
Examples of the ethylenically unsaturated compound include a (meth)acrylate compound, a (meth)acrylamide compound, a (meth)acrylic acid, a styrene compound, a vinyl acetate compound, a vinyl ether compound, and an olefin compound.
Of these, (meth)acrylate compounds are preferred.
From the viewpoint of adhesion to metal foil or metal wiring, the molecular weight of the monomer is preferably 50 or more and less than 1,000, more preferably 100 or more and less than 1,000, and particularly preferably 200 or more and 800 or less.

また、上記硬化性化合物として、エチレン性不飽和化合物を含む場合、本開示に係るフィルムは、重合開始剤を含むことが好ましい。重合開始剤としては、熱重合開始剤又は光重合開始剤であることが好ましい。
熱重合開始剤又は光重合開始剤としては、公知のものを用いることができる。
熱重合開始剤としては、熱ラジカル発生剤が挙げられる。具体的には、ベンゾイルパーオキサイド、及びアゾビスイソブチロニトリル等のような過酸化物開始剤、並びにアゾ系開始剤等が挙げられる。
光重合開始剤としては、光ラジカル発生剤が挙げられる。具体的には、(a)芳香族ケトン類、(b)オニウム塩化合物、(c)有機過酸化物、(d)チオ化合物、(e)ヘキサアリールビイミダゾール化合物、(f)ケトオキシムエステル化合物、(g)ボレート化合物、(h)アジニウム化合物、(i)活性エステル化合物、(j)炭素ハロゲン結合を有する化合物、及び(k)ピリジウム類化合物等が挙げられる。
重合開始剤は、1種のみを添加しても、2種以上を併用してもよい。
重合開始剤の含有量は、硬化性化合物の全質量に対し、0.01質量%~30質量%が好ましく、0.05質量%~25質量%がより好ましく、0.1質量%~20質量%が更に好ましい。
In addition, when the curable compound contains an ethylenically unsaturated compound, the film according to the present disclosure preferably contains a polymerization initiator. The polymerization initiator is preferably a thermal polymerization initiator or a photopolymerization initiator.
As the thermal polymerization initiator or photopolymerization initiator, known initiators can be used.
The thermal polymerization initiator may be a thermal radical generator, specifically, a peroxide initiator such as benzoyl peroxide or azobisisobutyronitrile, or an azo-based initiator.
Examples of the photopolymerization initiator include photoradical generators. Specific examples of the photopolymerization initiator include (a) aromatic ketones, (b) onium salt compounds, (c) organic peroxides, (d) thio compounds, (e) hexaarylbiimidazole compounds, (f) ketoxime ester compounds, (g) borate compounds, (h) azinium compounds, (i) active ester compounds, (j) compounds having a carbon-halogen bond, and (k) pyridium compounds.
The polymerization initiator may be added alone or in combination of two or more kinds.
The content of the polymerization initiator is preferably 0.01% by mass to 30% by mass, more preferably 0.05% by mass to 25% by mass, and further preferably 0.1% by mass to 20% by mass, based on the total mass of the curable compound.

層Bは、硬化性化合物を1種のみ、例えば、硬化性化合物Aを1種のみ含んでいても、硬化性化合物を2種以上含んでいてもよい。
また、層Bは、硬化性化合物Aを1種のみ含んでいても、2種以上含んでいてもよい。
層Bにおける硬化性化合物の含有量は、フィルムの誘電正接、及び、配線歪み抑制性の観点から、層Bの全質量に対し、0.1質量%~70質量%であることが好ましく、1質量%~60質量%であることがより好ましく、5質量%~60質量%であることが更に好ましく、10質量%~55質量%であることが特に好ましい。
また、層Bにおける硬化性化合物Aの含有量は、フィルムの誘電正接、及び、配線歪み抑性の観点から、層Bの全質量に対し、0.1質量%~70質量%であることが好ましく、1質量%~60質量%であることがより好ましく、5質量%~60質量%であることが更に好ましく、10質量%~55質量%であることが特に好ましい。
Layer B may contain only one type of curable compound, for example, only one type of curable compound A, or may contain two or more types of curable compounds.
Furthermore, the layer B may contain only one type of the curable compound A, or may contain two or more types of the curable compound A.
The content of the curable compound in Layer B is preferably 0.1% by mass to 70% by mass, more preferably 1% by mass to 60% by mass, even more preferably 5% by mass to 60% by mass, and particularly preferably 10% by mass to 55% by mass, relative to the total mass of Layer B, from the viewpoints of the dielectric tangent of the film and the wiring distortion suppression property.
From the viewpoints of the dielectric tangent of the film and the wiring distortion suppression property, the content of the curable compound A in Layer B is preferably 0.1% by mass to 70% by mass, more preferably 1% by mass to 60% by mass, even more preferably 5% by mass to 60% by mass, and particularly preferably 10% by mass to 55% by mass, relative to the total mass of Layer B.

また、層Bにおける上記硬化性化合物Aの含有量は、配線歪み抑制性の観点から、上記硬化性化合物の全質量に対し、30質量%~100質量%であることが好ましく、50質量%~100質量%であることがより好ましく、70質量%~100質量%であることが特に好ましい。 In addition, from the viewpoint of suppressing wiring distortion, the content of the curable compound A in layer B is preferably 30% by mass to 100% by mass, more preferably 50% by mass to 100% by mass, and particularly preferably 70% by mass to 100% by mass, based on the total mass of the curable compound.

-硬化阻害剤-
層Bは、硬化状態の制御、及び、配線歪み抑制性の観点から、硬化阻害剤を含むことが好ましい。
硬化阻害剤としては、重合禁止剤、熱安定剤等が挙げられ、それぞれ公知のものを用いることができる。
重合禁止剤としては、p-メトキシフェノール、キノン類(例えば、ハイドロキノン、ベンゾキノン、メトキシベンゾキノン等)、フェノチアジン、カテコール類、アルキルフェノール類(例えば、ジブチルヒドロキシトルエン(BHT)等)、アルキルビスフェノール類、ジメチルジチオカルバミン酸亜鉛、ジメチルジチオカルバミン酸銅、ジブチルジチオカルバミン酸銅、サリチル酸銅、チオジプロピオン酸エステル類、メルカプトベンズイミダゾール、ホスファイト類、2,2,6,6-テトラメチルピペリジン-1-オキシル(TEMPO)、2,2,6,6-テトラメチル-4-ヒドロキシピペリジン-1-オキシル(TEMPOL)、トリス(N-ニトロソ-N-フェニルヒドロキシルアミン)アルミニウム塩(別名:クペロンAl)などが挙げられる。
上記熱安定剤としては、トリス(2,4-ジ-tert-ブチルフェニル)フォスファイト、ビス[2,4-ビス(1,1-ジメチルエチル)-6-メチルフェニル]エチルエステル亜リン酸、テトラキス(2,4-ジ-tert-ブチルフェニル)[1,1-ビフェニル]-4,4’-ジイルビスホスフォナイト、および、ビス(2,4-ジ-tert-ブチルフェニル)ペンタエリスリトールジフォスファイト等のリン系熱安定剤、8-ヒドロキシ-5,7-ジ-tert-ブチル-フラン-2-オンとo-キシレンとの反応生成物等のラクトン系熱安定剤を挙げることができる。
- Hardening inhibitor -
From the viewpoints of controlling the curing state and suppressing wiring distortion, it is preferable that Layer B contains a curing inhibitor.
Examples of the curing inhibitor include a polymerization inhibitor and a heat stabilizer, each of which may be a known agent.
Examples of the polymerization inhibitor include p-methoxyphenol, quinones (e.g., hydroquinone, benzoquinone, methoxybenzoquinone, etc.), phenothiazine, catechols, alkylphenols (e.g., dibutylhydroxytoluene (BHT)), alkylbisphenols, zinc dimethyldithiocarbamate, copper dimethyldithiocarbamate, copper dibutyldithiocarbamate, copper salicylate, thiodipropionic acid esters, mercaptobenzimidazole, phosphites, 2,2,6,6-tetramethylpiperidine-1-oxyl (TEMPO), 2,2,6,6-tetramethyl-4-hydroxypiperidine-1-oxyl (TEMPOL), tris(N-nitroso-N-phenylhydroxylamine) aluminum salt (also known as Cupferron Al), and the like.
Examples of the heat stabilizer include phosphorus-based heat stabilizers such as tris(2,4-di-tert-butylphenyl)phosphite, bis[2,4-bis(1,1-dimethylethyl)-6-methylphenyl]ethyl ester phosphorous acid, tetrakis(2,4-di-tert-butylphenyl)[1,1-biphenyl]-4,4'-diylbisphosphonite, and bis(2,4-di-tert-butylphenyl)pentaerythritol diphosphite, and lactone-based heat stabilizers such as a reaction product of 8-hydroxy-5,7-di-tert-butyl-furan-2-one and o-xylene.

硬化阻害剤は、1種を単独で用いてよく、2種以上を併用してもよい。
硬化阻害剤の含有量は、特に限定されないが、層Bの全質量に対して、0.0001質量%~2.0質量%であることが好ましい。
The curing inhibitor may be used alone or in combination of two or more kinds.
The content of the curing inhibitor is not particularly limited, but is preferably 0.0001% by mass to 2.0% by mass relative to the total mass of Layer B.

本開示に係るフィルムの平均厚みは、強度、熱膨張係数、及び、金属箔又は金属配線との密着性の観点から、6μm~200μmであることが好ましく、12μm~100μmであることがより好ましく、20μm~60μmであることが特に好ましい。 The average thickness of the film according to the present disclosure is preferably 6 μm to 200 μm, more preferably 12 μm to 100 μm, and particularly preferably 20 μm to 60 μm, from the viewpoints of strength, thermal expansion coefficient, and adhesion to metal foil or metal wiring.

フィルムの平均厚みは、任意の5箇所について、接着式の膜厚計、例えば、電子マイクロメータ(製品名「KG3001A]、アンリツ社製)を用いて測定し、それらの平均値とする。 The average thickness of the film is determined by measuring any five points using an adhesive film thickness gauge, such as an electronic micrometer (product name "KG3001A", manufactured by Anritsu Corporation), and averaging these values.

<用途>
本開示に係るフィルムは、種々の用途に用いることができる、中でも、プリント配線板などの電子部品用フィルムに好適に用いることができ、フレキシブルプリント回路基板により好適に用いることができる。
また、本開示に係るフィルムは、金属接着用フィルムとして好適に用いることができる。
<Application>
The film according to the present disclosure can be used for various applications, and among others, can be suitably used as a film for electronic components such as printed wiring boards, and can be even more suitably used for flexible printed circuit boards.
Moreover, the film according to the present disclosure can be suitably used as a film for bonding metals.

(フィルムの製造方法)
本開示に係るフィルムの製造方法の第一の実施態様は、ポリマーと、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物と、溶媒とが含まれる組成物を基材上に塗布し乾燥することによりフィルムを形成する形成工程と、上記フィルムを加熱する加熱工程とを含み、得られるフィルムの誘電正接が、0.01以下であり、上記加熱工程前の上記フィルムの一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mである。
本開示に係るフィルムの製造方法の第二の実施態様は、ポリマーと、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物と、溶媒とが含まれる組成物を基材上に塗布し乾燥することによりフィルムを形成する形成工程と、上記フィルムを加熱する加熱工程とを含み、得られるフィルムの誘電正接が、0.01以下であり、上記加熱工程前の上記フィルムの少なくとも一方の表面における上記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%である。
(Film manufacturing method)
A first embodiment of the method for producing a film according to the present disclosure includes a forming step of forming a film by applying a composition containing a polymer, at least one compound selected from the group consisting of a fluorine atom-containing compound and a silicon atom-containing compound, and a solvent onto a substrate and drying the composition, and a heating step of heating the film, wherein the dielectric tangent of the obtained film is 0.01 or less, and the surface free energy of one surface of the film before the heating step is 15 mN/m to 36 mN/m.
A second embodiment of the method for producing a film according to the present disclosure includes a forming step of forming a film by applying a composition containing a polymer, at least one compound selected from the group consisting of a fluorine atom-containing compound and a silicon atom-containing compound, and a solvent onto a substrate and drying the composition, and a heating step of heating the film, wherein the dielectric tangent of the obtained film is 0.01 or less, and the surface coverage of at least one compound selected from the group consisting of the fluorine atom-containing compound and the silicon atom-containing compound on at least one surface of the film before the heating step is 30% to 100%.

なお、本明細書において、特に断りなく、単に「本開示に係るフィルムの製造方法」又は「フィルムの製造方法」という場合は、上記第一の実施態様及び上記第二の実施態様の両方について述べるものとする。 In this specification, when the term "film manufacturing method according to the present disclosure" or "film manufacturing method" is used without any particular specification, it refers to both the first embodiment and the second embodiment.

本開示に係るフィルムの製造方法において、使用する各成分のうち上述した成分、並びに、得られるフィルムに含まれる各成分及び含有量の好ましい態様はそれぞれ、上述した本開示に係るフィルムにおける好ましい態様と同様である。
また、本開示に係るフィルムの製造方法において、使用する各成分の使用量は、上記本開示に係るフィルムにおける各成分の含有量の好ましい態様に対応する好ましい量と同様である。
In the manufacturing method of the film according to the present disclosure, the preferred aspects of the components used, as well as the preferred aspects of the components and contents contained in the obtained film, are the same as the preferred aspects of the film according to the present disclosure described above.
In addition, in the film manufacturing method according to the present disclosure, the amount of each component used is the same as the preferred amount corresponding to the preferred embodiment of the content of each component in the film according to the present disclosure.

本開示に係るフィルムの製造方法において、得られるフィルムの好ましい各物性値はそれぞれ、上述した本開示に係るフィルムにおける好ましい態様と同様である。
本開示に係るフィルムの製造方法の第一の実施態様は、上記加熱工程前の上記フィルム少なくとも一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mであり、剥離時の破断故障抑制の観点から、15mN/m~30mN/mであることが好ましく、15mN/m~25mN/mであることがより好ましく、15mN/m~20mN/mであることが特に好ましい。
本開示に係るフィルムの製造方法の第二の実施態様は、剥離時の破断故障抑制の観点から、上記加熱工程前の上記フィルムの少なくとも一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mであることが好ましく、15mN/m~30mN/mであることがより好ましく、15mN/m~25mN/mであることが更に好ましく、15mN/m~20mN/mであることが特に好ましい。
本開示に係るフィルムの製造方法は、剥離時の破断故障抑制の観点から、得られるフィルムの少なくとも一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mであることが好ましく、15mN/m~30mN/mであることがより好ましく、15mN/m~25mN/mであることが更に好ましく、15mN/m~20mN/mであることが特に好ましい。
In the film production method according to the present disclosure, the preferred physical property values of the film obtained are the same as those of the preferred aspects of the film according to the present disclosure described above.
In a first embodiment of the method for producing a film according to the present disclosure, the surface free energy of at least one surface of the film before the heating step is 15 mN/m to 36 mN/m, and from the viewpoint of suppressing breakage failure during peeling, it is preferably 15 mN/m to 30 mN/m, more preferably 15 mN/m to 25 mN/m, and particularly preferably 15 mN/m to 20 mN/m.
In a second embodiment of the film manufacturing method according to the present disclosure, from the viewpoint of suppressing breakage failure during peeling, the surface free energy of at least one surface of the film before the heating step is preferably 15 mN/m to 36 mN/m, more preferably 15 mN/m to 30 mN/m, even more preferably 15 mN/m to 25 mN/m, and particularly preferably 15 mN/m to 20 mN/m.
In the film manufacturing method according to the present disclosure, from the viewpoint of suppressing breakage failure during peeling, the surface free energy of at least one surface of the resulting film is preferably 15 mN/m to 36 mN/m, more preferably 15 mN/m to 30 mN/m, even more preferably 15 mN/m to 25 mN/m, and particularly preferably 15 mN/m to 20 mN/m.

本開示に係るフィルムの製造方法の第二の実施態様は、上記加熱工程前の上記フィルムの少なくとも一方の表面におけるフッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%であり、剥離時の破断故障抑制の観点から、50%~100%であることが好ましく、80%~100%であることがより好ましく、90%~100%であることが特に好ましく、100%であることが最も好ましい。
本開示に係るフィルムの製造方法の第一の実施態様は、剥離時の破断故障抑制の観点から、上記加熱工程前の上記フィルムの少なくとも一方の表面におけるフッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%であることが好ましく、50%~100%であることがより好ましく、80%~100%であることが更に好ましく、90%~100%であることが特に好ましく、100%であることが最も好ましい。
本開示に係るフィルム製造方法は、剥離時の破断故障抑制の観点から、得られるフィルムの少なくとも一方の表面におけるフッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%であることが好ましく、50%~100%であることがより好ましく、80%~100%であることが更に好ましく、90%~100%であることが特に好ましく、100%であることが最も好ましい。
In a second embodiment of the method for producing a film according to the present disclosure, the surface coverage of at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds on at least one surface of the film before the heating step is 30% to 100%, and from the viewpoint of suppressing fracture failure during peeling, it is preferably 50% to 100%, more preferably 80% to 100%, particularly preferably 90% to 100%, and most preferably 100%.
In a first embodiment of the method for producing a film according to the present disclosure, from the viewpoint of suppressing fracture failure during peeling, the surface coverage of at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds on at least one surface of the film before the heating step is preferably 30% to 100%, more preferably 50% to 100%, even more preferably 80% to 100%, particularly preferably 90% to 100%, and most preferably 100%.
In the film production method according to the present disclosure, from the viewpoint of suppressing breakage failure during peeling, the surface coverage of at least one surface of the obtained film with at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds is preferably 30% to 100%, more preferably 50% to 100%, even more preferably 80% to 100%, particularly preferably 90% to 100%, and most preferably 100%.

また、本開示に係るフィルムの製造方法において、得られるフィルムの上記表面自由エネルギーは、フィルムの誘電正接の観点から、上記形成工程後、かつ上記加熱工程前のフィルムの上記表面自由エネルギーよりも大きいことが好ましい。
更に、本開示に係るフィルムの製造方法において、得られるフィルムの上記表面被覆率は、フィルムの誘電正接の観点から、上記形成工程後、かつ上記加熱工程前の上記フィルムの上記表面被覆率よりも小さいことが好ましい。
Furthermore, in the film manufacturing method according to the present disclosure, the surface free energy of the obtained film is preferably greater than the surface free energy of the film after the forming step and before the heating step, from the viewpoint of the dielectric tangent of the film.
Furthermore, in the film manufacturing method according to the present disclosure, the surface coverage of the obtained film is preferably smaller than the surface coverage of the film after the forming step and before the heating step, from the viewpoint of the dielectric tangent of the film.

<形成工程>
本開示に係るフィルムの製造方法は、ポリマーと、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物と、溶媒とが含まれる組成物を基材上に塗布し乾燥することによりフィルムを形成する形成工程を含む。
フィルムの形状に形成する方法としては、特に制限はなく、公知の方法を参照することができ、例えば、流延法、塗布法、押出法等が好適に挙げられ、中でも、流延法が特に好ましい。また、上記フィルムが、多層構造を有する場合には、例えば、共流延法、重層塗布法、共押出法等が好適に挙げられる。中でも、比較的薄手の製膜には共流延法が特に好ましく、厚手の製膜には共押出法が特に好ましい。
ポリマーフィルムにおける多層構造を共流延法及び重層塗布法により製造する場合、液晶ポリマー等の各層の成分をそれぞれ溶媒に溶解又は分散した層A形成用組成物、層B形成用組成物等を用いて、共流延法又は重層塗布法を行うことが好ましい。
<Formation process>
The method for producing a film according to the present disclosure includes a formation step of forming a film by applying a composition containing a polymer, at least one compound selected from the group consisting of a fluorine atom-containing compound and a silicon atom-containing compound, and a solvent onto a substrate and drying the composition.
The method for forming the film is not particularly limited, and known methods can be referred to, and for example, the casting method, coating method, extrusion method, etc. are preferably mentioned, and among them, the casting method is particularly preferred. In addition, when the film has a multilayer structure, for example, the co-casting method, multi-layer coating method, co-extrusion method, etc. are preferably mentioned. Among them, the co-casting method is particularly preferred for the production of a relatively thin film, and the co-extrusion method is particularly preferred for the production of a thick film.
When a multilayer structure in a polymer film is produced by the co-casting method or the multi-layer coating method, it is preferable to carry out the co-casting method or the multi-layer coating method using a composition for forming layer A, a composition for forming layer B, etc., in which the components of each layer, such as a liquid crystal polymer, are dissolved or dispersed in a solvent.

溶媒としては、例えば、ジクロロメタン、クロロホルム、1,1-ジクロロエタン、1,2-ジクロロエタン、1,1,2,2-テトラクロロエタン、1-クロロブタン、クロロベンゼン、o-ジクロロベンゼン等のハロゲン化炭化水素;p-クロロフェノール、ペンタクロロフェノール、ペンタフルオロフェノール等のハロゲン化フェノール;ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、1,4-ジオキサン等のエーテル;アセトン、シクロヘキサノン等のケトン;酢酸エチル、γ-ブチロラクトン等のエステル;エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート等のカーボネート;トリエチルアミン等のアミン;ピリジン等の含窒素複素環芳香族化合物;アセトニトリル、スクシノニトリル等のニトリル;N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチルピロリドン等のアミド、テトラメチル尿素等の尿素化合物;ニトロメタン、ニトロベンゼン等のニトロ化合物;ジメチルスルホキシド、スルホラン等の硫黄化合物;ヘキサメチルリン酸アミド、トリn-ブチルリン酸等のリン化合物等が挙げられ、それらを2種以上用いてもよい。 Examples of solvents include halogenated hydrocarbons such as dichloromethane, chloroform, 1,1-dichloroethane, 1,2-dichloroethane, 1,1,2,2-tetrachloroethane, 1-chlorobutane, chlorobenzene, and o-dichlorobenzene; halogenated phenols such as p-chlorophenol, pentachlorophenol, and pentafluorophenol; ethers such as diethyl ether, tetrahydrofuran, and 1,4-dioxane; ketones such as acetone and cyclohexanone; esters such as ethyl acetate and γ-butyrolactone; and ethylene carbonate. Examples of the organic solvent include carbonates such as propylene carbonate and propylene carbonate; amines such as triethylamine; nitrogen-containing heterocyclic aromatic compounds such as pyridine; nitriles such as acetonitrile and succinonitrile; amides such as N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, and N-methylpyrrolidone, and urea compounds such as tetramethylurea; nitro compounds such as nitromethane and nitrobenzene; sulfur compounds such as dimethyl sulfoxide and sulfolane; and phosphorus compounds such as hexamethylphosphoramide and tri-n-butylphosphoric acid, and two or more of these may be used.

溶媒としては、腐食性が低く、取り扱い易いことから、非プロトン性化合物、特にハロゲン原子を有しない非プロトン性化合物を主成分とする溶媒が好ましく、溶媒全体に占める非プロトン性化合物の割合は、好ましくは50質量%~100質量%、より好ましくは70質量%~100質量%、特に好ましくは90質量%~100質量%である。また、上記非プロトン性化合物としては、液晶ポリマーを溶解し易いことから、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、テトラメチル尿素、N-メチルピロリドン等のアミド又はγ-ブチロラクトン等のエステルを用いることが好ましく、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、及びN-メチルピロリドンがより好ましい。 As the solvent, a solvent mainly composed of an aprotic compound, particularly an aprotic compound having no halogen atoms, is preferred because it is less corrosive and easier to handle, and the ratio of the aprotic compound to the entire solvent is preferably 50% by mass to 100% by mass, more preferably 70% by mass to 100% by mass, and particularly preferably 90% by mass to 100% by mass. As the aprotic compound, it is preferred to use amides such as N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, tetramethylurea, and N-methylpyrrolidone, or esters such as γ-butyrolactone, because they easily dissolve the liquid crystal polymer, and N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, and N-methylpyrrolidone are more preferred.

また、溶媒としては、液晶ポリマーを溶解し易いことから、双極子モーメントが3~5である化合物を主成分とする溶媒が好ましく、溶媒全体に占める双極子モーメントが3~5である化合物の割合は、好ましくは50質量%~100質量%、より好ましくは70質量%~100質量%、特に好ましくは90質量%~100質量%である。
上記非プロトン性化合物として、双極子モーメントが3~5である化合物を用いることが好ましい。
As the solvent, a solvent mainly composed of a compound having a dipole moment of 3 to 5 is preferred because it easily dissolves the liquid crystal polymer, and the proportion of the compound having a dipole moment of 3 to 5 in the entire solvent is preferably 50% by mass to 100% by mass, more preferably 70% by mass to 100% by mass, and particularly preferably 90% by mass to 100% by mass.
As the aprotic compound, it is preferable to use a compound having a dipole moment of 3 to 5.

また、溶媒としては、除去し易いことから、1気圧における沸点が220℃以下である化合物を主成分とするとする溶媒が好ましく、溶媒全体に占める1気圧における沸点が220℃以下である化合物の割合は、好ましくは50質量%~100質量%、より好ましくは70質量%~100質量%、特に好ましくは90質量%~100質量%である。
上記非プロトン性化合物として、1気圧における沸点が220℃以下である化合物を用いることが好ましい。
In addition, the solvent is preferably a solvent mainly composed of a compound having a boiling point of 220° C. or lower at 1 atmospheric pressure, because it is easy to remove. The proportion of the compound having a boiling point of 220° C. or lower at 1 atmospheric pressure in the entire solvent is preferably 50% by mass to 100% by mass, more preferably 70% by mass to 100% by mass, and particularly preferably 90% by mass to 100% by mass.
As the aprotic compound, it is preferable to use a compound having a boiling point of 220° C. or lower at 1 atmospheric pressure.

また、上記フィルムの製造方法は、上記流延法、共流延法、塗布法、重層塗布法、押出法、及び共押出法等により製造する場合、支持体を使用してもよい。また、後述する積層体に用いる金属層(金属箔)等を支持体として使用する場合、剥離せずそのまま使用してもよい。
支持体としては、例えば、金属ドラム、金属バンド、ガラス板、樹脂フィルム又は金属箔が挙げられる。中でも、金属ドラム、金属バンド、樹脂フィルムが好ましい。
樹脂フィルムとしては、例えばポリイミド(PI)フィルムを挙げることができ、市販品の例としては、宇部興産(株)製U-ピレックスS及びU-ピレックスR、東レデュポン(株)製カプトン、並びに、SKCコーロンPI社製IF30、IF70及びLV300等が挙げられる。
また、支持体は、容易に剥離できるように、表面に表面処理層が形成されていてもよい。表面処理層は、ハードクロムメッキ、フッ素樹脂等を用いることができる。
樹脂フィルム支持体の平均厚みは、特に制限はないが、好ましくは25μm以上75μm以下であり、より好ましくは50μm以上75μmである。
In addition, the film may be produced using a support when produced by the casting method, co-casting method, coating method, multilayer coating method, extrusion method, co-extrusion method, etc. In addition, when a metal layer (metal foil) or the like used in a laminate described later is used as a support, it may be used as it is without peeling it off.
Examples of the support include a metal drum, a metal band, a glass plate, a resin film, and a metal foil. Among these, a metal drum, a metal band, and a resin film are preferred.
An example of the resin film is a polyimide (PI) film. Examples of commercially available products include U-PIREX S and U-PIREX R manufactured by Ube Industries, Ltd., Kapton manufactured by DuPont-Toray Co., Ltd., and IF30, IF70, and LV300 manufactured by SKC Kolon PI.
The support may have a surface treatment layer formed on its surface so that it can be easily peeled off. The surface treatment layer may be made of hard chrome plating, fluororesin, or the like.
The average thickness of the resin film support is not particularly limited, but is preferably from 25 to 75 μm, and more preferably from 50 to 75 μm.

また、流延、又は、塗布された膜状の組成物(流延膜又は塗膜)から溶媒の少なくとも一部を除去する方法としては、特に制限はなく、公知の乾燥方法を用いることができる。 The method for removing at least a portion of the solvent from the cast or coated film-like composition (cast film or coating film) is not particularly limited, and any known drying method can be used.

<延伸工程>
本開示に係るフィルムの製造方法は、上記フィルムを延伸する延伸工程を含むことが好ましく、形成工程と加熱工程との間に、上記フィルムを延伸する延伸工程を含むことがより好ましい。
本開示に係るフィルムの製造方法においては、得られるフィルムの分子配向を制御し、線膨張係数や力学物性を調整する観点で、適宜、延伸を組み合わせることができる。延伸の方法は、特に制限はなく、公知の方法を参照することができ、溶媒を含んだ状態で実施してもよく、乾膜の状態で実施してもよい。溶媒を含んだ状態での延伸は、フィルムを把持して伸長してもよく、伸長せずに乾燥によるウェブの自己収縮力を利用して実施してもよく、それらの組み合わせでもよい。延伸は、無機フィラー等の添加によってフィルム脆性が低下した場合に、破断伸度や破断強度を改善する目的で特に有効である。
<Stretching process>
The method for producing a film according to the present disclosure preferably includes a stretching step of stretching the film, and more preferably includes a stretching step of stretching the film between the forming step and the heating step.
In the film manufacturing method according to the present disclosure, stretching can be appropriately combined from the viewpoint of controlling the molecular orientation of the obtained film and adjusting the linear expansion coefficient and mechanical properties. The stretching method is not particularly limited, and known methods can be referred to. It may be performed in a state containing a solvent or in a dry film state. Stretching in a state containing a solvent may be performed by gripping the film and stretching it, or by using the self-shrinking force of the web due to drying without stretching it, or a combination thereof. Stretching is particularly effective for the purpose of improving the breaking elongation and breaking strength when the brittleness of the film is reduced by the addition of inorganic fillers, etc.

<加熱工程>
本開示に係るフィルムの製造方法は、上記フィルムを加熱する加熱工程を含む。
加熱工程を行うことにより、フィルム中にてポリマーの結晶化が進行し、フィルムの誘電正接を低くすることができると推定している。
本開示に係るフィルムの製造方法では、フィルムの加熱開始時において、溶存酸素量が500ppm以下であることが好ましく、300ppm以下であることがより好ましい。溶存酸素量が上記範囲であると、誘電正接のより低いフィルムが得られる。
なお、上記加熱開始時とは、フィルムに対して熱の付与を開始した時点のことをいう。
<Heating process>
The method for producing a film according to the present disclosure includes a heating step of heating the film.
It is believed that the heating step promotes crystallization of the polymer in the film, thereby lowering the dielectric tangent of the film.
In the film manufacturing method according to the present disclosure, the amount of dissolved oxygen is preferably 500 ppm or less, more preferably 300 ppm or less, at the start of heating the film. When the amount of dissolved oxygen is within the above range, a film with a lower dielectric loss tangent can be obtained.
The above-mentioned heating start time refers to the time when application of heat to the film begins.

本開示において、溶存酸素量は、溶存酸素計を用いて測定され、例えば、ハック・ウルトラ社製のポータブル酸素アナライザー「ORBISPHERE 3650」を用いて測定される。 In this disclosure, the amount of dissolved oxygen is measured using a dissolved oxygen meter, for example, the portable oxygen analyzer "ORBISPHERE 3650" manufactured by Hack Ultra.

加熱工程における加熱温度は、100℃~400℃であることが好ましい。また、加熱時間は0.1分~10時間であることが好ましい。加熱温度及び加熱時間は、ポリマーの種類に応じて適宜変更することができ、触媒の添加等の別の手段によって、低温化又は短時間化することもできる。 The heating temperature in the heating step is preferably 100°C to 400°C. The heating time is preferably 0.1 minutes to 10 hours. The heating temperature and heating time can be changed appropriately depending on the type of polymer, and can also be lowered or shortened by other means such as the addition of a catalyst.

加熱工程は、不活性ガス雰囲気下で実施されてもよく、酸素を含む雰囲気下で実施されてもよい。製造効率の観点からは、加熱工程は、酸素濃度が500ppm以上の雰囲気下で実施されることが好ましく、大気(空気)雰囲気下で実施されることがより好ましい。 The heating step may be carried out in an inert gas atmosphere or in an atmosphere containing oxygen. From the viewpoint of production efficiency, the heating step is preferably carried out in an atmosphere having an oxygen concentration of 500 ppm or more, and more preferably in an atmospheric (air) atmosphere.

<巻き取り工程>
本開示に係るフィルムの製造方法は、上記フィルムをロール状に巻き取る巻き取り工程を含むことが好ましく、形成工程の後、かつ加熱工程の前に、上記フィルムをロール状に巻き取る巻き取り工程を含むことがより好ましい。
ロール状に巻き取る工程は、窒素雰囲気下で実施されることが好ましい。窒素雰囲気下で実施することにより、フィルムの加熱開始時において、フィルム中の溶存酸素量をより低下させることができる。
<Winding process>
The method for producing a film according to the present disclosure preferably includes a winding step of winding the film into a roll, and more preferably includes a winding step of winding the film into a roll after the forming step and before the heating step.
The step of winding the film into a roll is preferably carried out under a nitrogen atmosphere, which can further reduce the amount of dissolved oxygen in the film at the start of heating the film.

<巻き出し工程>
本開示に係るフィルムの製造方法は、上記巻き取り工程後に、ロール状のフィルムを巻き出す巻き出し工程を含むことが好ましい。
また、上記巻き出し工程での上記フィルムを巻き出す際の剥離力が、1.0kN/m以下であることが好ましい。
<Unwinding process>
The film manufacturing method according to the present disclosure preferably includes, after the winding step, an unwinding step of unwinding the rolled film.
In addition, it is preferable that the peel force when unwinding the film in the unwinding step is 1.0 kN/m or less.

<剥離工程>
本開示に係るフィルムの製造方法は、形成工程後、又は、加熱工程後に、上記基材より、上記フィルムを剥離する剥離工程を含むことが好ましく、形成工程後、上記基材より、上記フィルムを剥離する剥離工程を含むことがより好ましく、形成工程の後、かつ加熱工程の前に、上記基材より、上記フィルムを剥離する剥離工程を含むことが特に好ましい。基材からフィルムを剥離することにより、フィルムとして得られ、他の用途へ適用することができる。
<Peeling process>
The method for producing a film according to the present disclosure preferably includes a peeling step of peeling the film from the substrate after the forming step or the heating step, more preferably includes a peeling step of peeling the film from the substrate after the forming step, and particularly preferably includes a peeling step of peeling the film from the substrate after the forming step and before the heating step. By peeling the film from the substrate, a film is obtained and can be applied to other uses.

<その他の工程>
本開示に係るフィルムの製造方法は、上述した以外のその他工程を含んでいてもよい。
その他の工程としては、公知の工程を含むことができる。
<Other processes>
The method for producing a film according to the present disclosure may include other steps in addition to those described above.
Other steps may include known steps.

(積層体)
本開示に係る積層体は、本開示に係るフィルムが積層したものであればよいが、本開示に係るフィルムと、上記フィルムの少なくとも一方の面に配置された金属層又は金属配線とを有することが好ましく、本開示に係るフィルムと、上記フィルムの少なくとも一方の面に配置された銅層又は銅配線とを有することがより好ましい。
また、上記フィルムにおける金属層又は金属配線が配置された面は、上記表面自由エネルギーの範囲を満たす面であるか、上記表面被覆率の範囲を満たす面であるか、又は、上記表面自由エネルギーの範囲及び上記表面被覆率の範囲を満たす面であることが好ましい。
(Laminate)
The laminate according to the present disclosure may be any laminate in which the film according to the present disclosure is laminated, but it preferably has the film according to the present disclosure and a metal layer or metal wiring arranged on at least one surface of the film, and it is more preferable that the laminate has the film according to the present disclosure and a copper layer or copper wiring arranged on at least one surface of the film.
In addition, it is preferable that the surface of the film on which the metal layer or metal wiring is arranged is a surface that satisfies the above-mentioned surface free energy range, a surface that satisfies the above-mentioned surface coverage range, or a surface that satisfies the above-mentioned surface free energy range and the above-mentioned surface coverage range.

上記金属層又は金属配線のフィルム側表面の表面粗さRaが、1.0μm以下であることが好ましく、0.5μm以下であることがより好ましい。表面粗さRaが1.0μm以下であると、フィルムと金属基材との界面における表面抵抗が低下する。 The surface roughness Ra of the film side surface of the metal layer or metal wiring is preferably 1.0 μm or less, and more preferably 0.5 μm or less. If the surface roughness Ra is 1.0 μm or less, the surface resistance at the interface between the film and the metal substrate decreases.

本開示における表面粗さRaは、表面粗さ計を用いて算出され、例えば、(株)小坂研究所製の触針式表面粗さ計「サーフコーダSE3500」を用い、JIS B0601:2013の算術平均表面粗さRaの算出方法に基づいて算出される。
また、上記表面粗さRaの測定においては、積層体における金属層又は金属配線を、塩化鉄溶液を用いたエッチングで除去した後、金属層又は金属配線の表面粗さが転写されている金属層又は金属配線と接していたフィルム表面の表面粗さRaを測定し、上記金属層又は金属配線のフィルム側表面の表面粗さRaとするものとする。
The surface roughness Ra in the present disclosure is calculated using a surface roughness meter, for example, a stylus-type surface roughness meter "SURFCORDER SE3500" manufactured by Kosaka Laboratory Ltd., based on the calculation method for arithmetic mean surface roughness Ra of JIS B0601:2013.
In measuring the surface roughness Ra, the metal layer or metal wiring in the laminate is removed by etching using an iron chloride solution, and then the surface roughness Ra of the film surface that was in contact with the metal layer or metal wiring to which the surface roughness of the metal layer or metal wiring has been transferred is measured, and this is regarded as the surface roughness Ra of the film side surface of the metal layer or metal wiring.

また、本開示に係る積層体としては、金属層又は金属配線と、本開示に係るフィルムと、金属層又は金属配線とをこの順で有することが好ましく、銅層又は銅配線と、本開示に係るフィルムと、銅層又は銅配線とをこの順で有することがより好ましい。
更に、本開示に係る積層体としては、本開示に係るフィルムと、銅層又は銅配線と、本開示に係るフィルムと、金属層又は金属配線と、本開示に係るフィルムとをこの順で有することが好ましい。上記積層体に用いる2つの本開示に係るフィルムは、同じものであっても、異なるものであってもよい。
上記金属層及び金属配線は、特に制限はなく、公知の金属層及び金属配線であればよいが、例えば、銀層、銀配線、銅層又は銅配線であることが好ましく、銅層又は銅配線であることがより好ましい。
また、上記金属層及び金属配線は、金属配線であることが好ましい。
更に、上記金属層及び金属配線における金属は、銀、又は、銅であることが好ましく、銅であることがより好ましい。
本開示に係るフィルムは、例えば、金属層又は金属配線の貼り付け後に、更に硬化させることが可能であるため、本開示に係る積層体は、耐久性の観点から、上記硬化性化合物Aが硬化してなる硬化物を含むことが好ましい。
Moreover, the laminate according to the present disclosure preferably has a metal layer or metal wiring, a film according to the present disclosure, and a metal layer or metal wiring, in that order, and more preferably has a copper layer or copper wiring, a film according to the present disclosure, and a copper layer or copper wiring, in that order.
Furthermore, the laminate according to the present disclosure preferably comprises, in this order, a film according to the present disclosure, a copper layer or copper wiring, a film according to the present disclosure, a metal layer or metal wiring, and a film according to the present disclosure. The two films according to the present disclosure used in the laminate may be the same or different.
The metal layer and metal wiring are not particularly limited and may be any known metal layer and metal wiring. For example, a silver layer, silver wiring, a copper layer or copper wiring is preferable, and a copper layer or copper wiring is more preferable.
The metal layer and metal wiring are preferably metal wiring.
Furthermore, the metal in the metal layer and metal wiring is preferably silver or copper, and more preferably copper.
Since the film according to the present disclosure can be further cured, for example, after attachment of a metal layer or metal wiring, the laminate according to the present disclosure preferably contains a cured product obtained by curing the curable compound A from the viewpoint of durability.

本開示に係るフィルムと金属層又は金属配線とを貼り付ける方法としては、特に制限はなく、公知のラミネート方法を用いることができる。 There are no particular limitations on the method for attaching the film according to the present disclosure to the metal layer or metal wiring, and any known lamination method can be used.

上記フィルムと上記銅層との剥離強度は、0.5kN/m以上であることが好ましく、0.7kN/m以上であることがより好ましく、0.7kN/m~2.0kN/mであることが更に好ましく、0.9kN/m~1.5kN/mであることが特に好ましい。 The peel strength between the film and the copper layer is preferably 0.5 kN/m or more, more preferably 0.7 kN/m or more, even more preferably 0.7 kN/m to 2.0 kN/m, and particularly preferably 0.9 kN/m to 1.5 kN/m.

本開示において、フィルムと金属層(例えば、銅層)との剥離強度は、以下の方法により測定するものとする。
フィルムと金属層との積層体から1.0cm幅の剥離用試験片を作製し、フィルムを両面接着テープで平板に固定し、JIS C 5016(1994)に準じて180°法により、50mm/分の速度で金属層からフィルムを剥離したときの強度(kN/m)を測定する。
In the present disclosure, the peel strength between a film and a metal layer (e.g., a copper layer) is measured by the following method.
A peel test piece having a width of 1.0 cm is prepared from a laminate of a film and a metal layer, and the film is fixed to a flat plate with double-sided adhesive tape. The strength (kN/m) is measured when the film is peeled from the metal layer at a rate of 50 mm/min by the 180° method in accordance with JIS C 5016 (1994).

金属層は、銀層又は銅層であることが好ましく、銅層であることがより好ましい。銅層としては、圧延法により形成された圧延銅箔、又は、電解法により形成された電解銅箔が好ましく、耐屈曲性の観点から、圧延銅箔であることがより好ましい。 The metal layer is preferably a silver layer or a copper layer, and more preferably a copper layer. As the copper layer, rolled copper foil formed by a rolling method or electrolytic copper foil formed by an electrolytic method is preferable, and from the viewpoint of flex resistance, rolled copper foil is more preferable.

金属層、好ましくは銅層の平均厚みは、特に限定されないが、2μm~20μmであることが好ましく、3μm~18μmであることがより好ましく、5μm~12μmであることが更に好ましい。銅箔は、支持体(キャリア)上に剥離可能に形成されているキャリア付き銅箔であってもよい。キャリアとしては、公知のものを用いることができる。キャリアの平均厚みは、特に限定されないが、10μm~100μmであることが好ましく、18μm~50μmであることがより好ましい。 The average thickness of the metal layer, preferably the copper layer, is not particularly limited, but is preferably 2 μm to 20 μm, more preferably 3 μm to 18 μm, and even more preferably 5 μm to 12 μm. The copper foil may be a copper foil with a carrier that is formed releasably on a support (carrier). Any known carrier can be used. The average thickness of the carrier is not particularly limited, but is preferably 10 μm to 100 μm, and more preferably 18 μm to 50 μm.

また、上記金属層は、本開示における効果をより発揮する観点から、上記フィルムに接する側の面に上記フィルムと相互作用可能な基を有することが好ましい。また、上記相互作用可能な基は、例えば、アミノ基とエポキシ基、ヒドロキシ基とエポキシ基のように、上記フィルムが含有する官能基を有する化合物の官能基に対応する基であることが好ましい。
相互作用可能な基としては、上記官能基を有する化合物において官能基をして挙げた基が挙げられる。
中でも、密着性、及び、処理容易性の観点から、共有結合可能な基であることが好ましく、アミノ基、又は、ヒドロキシ基であることがより好ましく、アミノ基であることが特に好ましい。
In order to further exert the effects of the present disclosure, the metal layer preferably has a group capable of interacting with the film on the surface in contact with the film, and the group capable of interacting with the film is preferably a group corresponding to a functional group of a compound having a functional group contained in the film, such as an amino group and an epoxy group, or a hydroxyl group and an epoxy group.
Examples of the group capable of interacting with another molecule include the groups exemplified as functional groups in the compound having the above functional group.
Among these, from the viewpoints of adhesion and ease of processing, a group capable of forming a covalent bond is preferred, an amino group or a hydroxy group is more preferred, and an amino group is particularly preferred.

本開示に係る積層体における金属層を、例えば、エッチングにより所望の回路パターンに加工し、フレキシブルプリント回路基板することも好ましい。エッチング方法としては、特に制限はなく、公知のエッチング方法を用いることができる。 It is also preferable to process the metal layer in the laminate according to the present disclosure into a desired circuit pattern, for example, by etching, to produce a flexible printed circuit board. There are no particular limitations on the etching method, and any known etching method can be used.

本開示に係る積層体の製造方法は、上記フィルムと、金属層又は金属配線とを積層させる積層工程を含むことが好ましく、上記フィルムと、上記添加剤の融点-30℃以上融点+30℃以下の温度で銅層又は銅配線と積層させる積層工程、又は、上記フィルムと、上記層Bの弾性率が変化する圧力-5MPa以上上記層Bの弾性率が変化する圧力+10MPa以下の圧力で銅層又は銅配線と積層させる積層工程を含むことがより好ましく、上記フィルムであり、かつ上記層Bが、上記フィルムと、上記添加剤の融点-30℃以上融点+30℃以下の温度で銅層又は銅配線と積層させる工程、及び、上記層Bの弾性率が変化する圧力-5MPa以上上記層Bの弾性率が変化する圧力+10MPa以下の圧力で銅層又は銅配線と積層させる工程を含むことが特に好ましい。 The method for producing a laminate according to the present disclosure preferably includes a lamination step of laminating the film with a metal layer or metal wiring, and more preferably includes a lamination step of laminating the film with a copper layer or copper wiring at a temperature of from −30° C. to +30° C. (the melting point of the additive) or a lamination step of laminating the film with a copper layer or copper wiring at a pressure of from −5 MPa to +10 MPa (the pressure at which the elastic modulus of the layer B changes). It is particularly preferable that the film and layer B include a lamination step of laminating the film with a copper layer or copper wiring at a temperature of from −30° C. to +30° C. (the melting point of the additive) and a lamination step of laminating the film with a copper layer or copper wiring at a pressure of from −5 MPa to +10 MPa (the pressure at which the elastic modulus of the layer B changes).

また、上記積層工程においては、金属配線を貼り合わせることが好ましい。
上記積層工程における積層方法は、特に制限はなく、公知のラミネート方法を用いることができる。
上記積層工程における貼り合わせ圧力は、特に制限はないが、0.1MPa以上であることが好ましく、0.2MPa~10MPaであることが好ましい。
また、上記積層工程における貼り合わせ圧力は、配線歪み抑制性の観点から、上記層Bの弾性率が変化する圧力-5MPa以上上記層Bの弾性率が変化する圧力+10MPa以下の圧力であることが好ましく、上記層Bの弾性率が変化する圧力-5MPa以上上記層Bの弾性率が変化する圧力+5MPa以下の圧力であることがより好ましい。
上記積層工程における貼り合わせ温度は、使用するフィルム等に応じて適宜選択することができるが、150℃以上であることが好ましく、280℃以上であることがより好ましく、280℃以上420℃以下であることが特に好ましい。
また、上記積層工程における貼り合わせ温度は、配線歪み抑制性の観点から、上記添加剤の融点-30℃以上融点+50℃以下の温度であることが好ましく、上記添加剤の融点-30℃以上融点+30℃以下の温度であることがより好ましく、上記添加剤の融点-20℃以上融点+20℃以下の温度であることが特に好ましい。
In the lamination step, it is preferable to attach metal wiring.
The lamination method in the lamination step is not particularly limited, and any known lamination method can be used.
The lamination pressure in the lamination step is not particularly limited, but is preferably 0.1 MPa or more, and more preferably 0.2 MPa to 10 MPa.
From the viewpoint of suppressing wiring distortion, the bonding pressure in the lamination process is preferably a pressure of not less than the pressure at which the elastic modulus of the layer B changes -5 MPa and not more than the pressure at which the elastic modulus of the layer B changes +10 MPa, and more preferably a pressure of not less than the pressure at which the elastic modulus of the layer B changes -5 MPa and not more than the pressure at which the elastic modulus of the layer B changes +5 MPa.
The lamination temperature in the lamination step can be appropriately selected depending on the film to be used, etc., but is preferably 150°C or higher, more preferably 280°C or higher, and particularly preferably 280°C or higher and 420°C or lower.
From the viewpoint of suppressing wiring distortion, the lamination temperature in the lamination step is preferably a temperature of not less than the melting point of the additive -30°C and not more than the melting point +50°C, more preferably a temperature of not less than the melting point of the additive -30°C and not more than the melting point +30°C, and particularly preferably a temperature of not less than the melting point of the additive -20°C and not more than the melting point +20°C.

以下に実施例を挙げて本開示を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本開示の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。したがって、本開示の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。 The present disclosure will be explained in more detail below with reference to examples. The materials, amounts used, ratios, processing contents, processing procedures, etc. shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the spirit of this disclosure. Therefore, the scope of this disclosure is not limited to the specific examples shown below.

実施例及び比較例で用いた材料の詳細は、以下の通りである。 Details of the materials used in the examples and comparative examples are as follows:

<液晶ポリマー>
LC-A:下記製造方法に従って作製した液晶ポリマー
<Liquid Crystal Polymer>
LC-A: Liquid crystal polymer prepared according to the following manufacturing method

-LC-Aの製造-
撹拌装置、トルクメータ、窒素ガス導入管、温度計及び還流冷却器を備えた反応器に、6-ヒドロキシ-2-ナフトエ酸940.9g(5.0モル)、4-アミノフェノール272.8g(2.5モル)、イソフタル酸415.3g(2.5モル)及び無水酢酸1123.0g(11モル)を入れ、反応器内のガスを窒素ガスで置換した後、窒素ガス気流下、撹拌しながら、室温(23℃、以下同様)から150℃まで15分かけて昇温し、150℃で3時間還流させた。
次いで、副生酢酸及び未反応の無水酢酸を留去しながら、150℃から320℃まで3時間かけて昇温し、増粘が認められた時点で、反応器から内容物を取り出し、室温まで冷却した。得られた固形物を、粉砕機で粉砕して、粉末状の液晶ポリエステル(B1)を得た。
-Production of LC-A-
Into a reactor equipped with a stirrer, a torque meter, a nitrogen gas inlet tube, a thermometer, and a reflux condenser, 940.9 g (5.0 mol) of 6-hydroxy-2-naphthoic acid, 272.8 g (2.5 mol) of 4-aminophenol, 415.3 g (2.5 mol) of isophthalic acid, and 1123.0 g (11 mol) of acetic anhydride were placed, and the gas in the reactor was replaced with nitrogen gas. After that, the temperature was raised from room temperature (23° C., the same applies hereinafter) to 150° C. over 15 minutes while stirring under a nitrogen gas stream, and the mixture was refluxed at 150° C. for 3 hours.
Next, while distilling off by-product acetic acid and unreacted acetic anhydride, the temperature was raised from 150° C. to 320° C. over 3 hours, and when an increase in viscosity was observed, the contents were removed from the reactor and cooled to room temperature. The obtained solid was pulverized with a pulverizer to obtain a powdered liquid crystal polyester (B1).

上記で得た液晶ポリエステル(B1)を、窒素雰囲気下、250℃で3時間保持することにより、固相重合させた後、冷却して、粉末状の液晶ポリエステル(LC-A)を得た。得られたLC-Aを窒素雰囲気下、280℃3時間加熱したサンプルの誘電正接は0.01以下であった。 The liquid crystal polyester (B1) obtained above was solid-phase polymerized by holding it at 250°C for 3 hours in a nitrogen atmosphere, and then cooled to obtain a powdered liquid crystal polyester (LC-A). The resulting LC-A was heated at 280°C for 3 hours in a nitrogen atmosphere, and the dielectric tangent of the sample was 0.01 or less.

<フッ素原子含有化合物又はケイ素原子含有化合物>
S-1:下記製造方法に従って作製したポリマー(フッ素原子含有化合物(フッ素系界面活性剤)、Mw 10,000)
<Fluorine Atom-Containing Compound or Silicon Atom-Containing Compound>
S-1: Polymer prepared according to the following production method (fluorine atom-containing compound (fluorine-based surfactant), Mw 10,000)

-S-1の製造-
100mLナスフラスコに、1,1-ジメトキシシクロヘキサン5.0g、2-ヒドロキシメタクリレート9.0g、1H,1H,2H,2H-パーフルオロオクタノール25.0g、ピリジニウムパラトルエンスルホナート0.87g、及びトルエン30mLを量りとり、40℃で1時間撹拌し、次いで、100mmHgの減圧下、40℃で4時間撹拌した。得られた反応液を室温(23℃)まで冷却した後、飽和炭酸水素ナトリウム水で分液洗浄し、得られた有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥し、濃縮し、シリカゲルカラムクロマトグラフィーを行うことにより、下記式で表されるモノマー1を無色液体として8.0g得た。
-Production of S-1-
In a 100 mL recovery flask, 5.0 g of 1,1-dimethoxycyclohexane, 9.0 g of 2-hydroxymethacrylate, 25.0 g of 1H,1H,2H,2H-perfluorooctanol, 0.87 g of pyridinium p-toluenesulfonate, and 30 mL of toluene were weighed and stirred at 40° C. for 1 hour, and then stirred under a reduced pressure of 100 mmHg at 40° C. for 4 hours. The resulting reaction liquid was cooled to room temperature (23° C.), and then separated and washed with saturated aqueous sodium bicarbonate. The resulting organic layer was dried over anhydrous magnesium sulfate, concentrated, and subjected to silica gel column chromatography to obtain 8.0 g of Monomer 1 represented by the following formula as a colorless liquid.

撹拌羽、温度計、滴下ロートを備えた2,000mL三口フラスコに、2-ヒドロキシエチルメタクリレート100g、N,N-ジメチルアセトアミド(DMAc)240mLを添加し、氷浴で冷却した。次いで、3-クロロプロピオニルクロリド126.8gを滴下し、氷冷下3時間撹拌した。得られた反応液を室温まで冷却した後、酢酸エチル1,000mLを1mol/L塩酸、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液、水で分液洗浄し、得られた有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥し、濃縮することにより目的のモノマー2を淡黄色液体として85g得た。 100 g of 2-hydroxyethyl methacrylate and 240 mL of N,N-dimethylacetamide (DMAc) were added to a 2,000 mL three-neck flask equipped with a stirring blade, a thermometer, and a dropping funnel, and cooled in an ice bath. Next, 126.8 g of 3-chloropropionyl chloride was added dropwise, and the mixture was stirred for 3 hours under ice cooling. After the resulting reaction liquid was cooled to room temperature, 1,000 mL of ethyl acetate was separated and washed with 1 mol/L hydrochloric acid, a saturated aqueous solution of sodium bicarbonate, and water, and the resulting organic layer was dried over anhydrous magnesium sulfate and concentrated to obtain 85 g of the target monomer 2 as a pale yellow liquid.

モノマー1を2.34g、サイクロマーM100((株)ダイセル製)を3.60g、モノマー2を4.05g、メチルエチルケトン(MEK)を18.57g、2,2’-アゾビス(イソ酪酸)ジメチル(重合開始剤、富士フイルム和光純薬(株)製)を3.760g量りとり、70℃で6時間撹拌した。
反応後、メタノール500mLを用いて再沈殿した。得られた固体をMEK15gで溶解させ、トリエチルアミン5.57g、p-メトキシフェノール0.01gを添加後、60℃で4時間撹拌した。反応液を室温に戻した後、メタノール500mLを用いて再沈殿し、MEK25gで溶解することによりポリマーS-1を5.1g得た。
下記反応式中、「M100」はサイクロマーM100を表す。また、ポリマー中の各構成単位の含有量(含有比率)の単位は「モル%」である。
2.34 g of Monomer 1, 3.60 g of Cyclomer M100 (manufactured by Daicel Corporation), 4.05 g of Monomer 2, 18.57 g of methyl ethyl ketone (MEK), and 3.760 g of dimethyl 2,2'-azobis(isobutyrate) (polymerization initiator, manufactured by Fujifilm Wako Pure Chemical Industries, Ltd.) were weighed out and stirred at 70°C for 6 hours.
After the reaction, reprecipitation was performed using 500 mL of methanol. The obtained solid was dissolved in 15 g of MEK, and 5.57 g of triethylamine and 0.01 g of p-methoxyphenol were added thereto, followed by stirring at 60° C. for 4 hours. The reaction liquid was returned to room temperature, and then reprecipitation was performed using 500 mL of methanol, and the resulting mixture was dissolved in 25 g of MEK, thereby obtaining 5.1 g of polymer S-1.
In the following reaction formula, "M100" represents CYCLOMER M100. The unit of the content (content ratio) of each structural unit in the polymer is "mol %".

S-2:下記製造方法に従って作製したポリマー(ケイ素原子及びフッ素原子含有化合物(シリコーン系界面活性剤)、Mw 20,000) S-2: Polymer produced according to the following manufacturing method (silicon and fluorine atom-containing compound (silicone surfactant), Mw 20,000)

-S-2の製造-
(3-メルカプトプロピル)トリメトキシシランと2-(パーフルオロヘキシル)エチルビニルエーテル(CHEMINOX FAVE-6(ユニマテック社)を用い、Tetrahedron,1991,47,4927-4940に記載の方法に準じてモノマー3を合成した。下記構造式中、Etはエチル基を表す。
-Production of S-2-
Monomer 3 was synthesized using (3-mercaptopropyl)trimethoxysilane and 2-(perfluorohexyl)ethyl vinyl ether (CHEMINOX FAVE-6 (Unimatec Co., Ltd.) according to the method described in Tetrahedron, 1991, 47, 4927-4940. In the following structural formula, Et represents an ethyl group.

モノマー3を3.90g、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(富士フイルム和光純薬(株)製)を6.59g、3-メタクリルオキシプロピルトリメトキシシラン(富士フイルム和光純薬(株)製)を6.93g、アセトンを50g、5%炭酸カリウム水溶液を1.38g、純水を9.0g量りとり、50℃で5時間撹拌した。得られた反応液を室温に冷まし、メチルイソブチルケトン(MIBK)を50g、5%食塩水を50g添加し、有機層を抽出した。有機層を更に5%食塩水50gで1回、純水50gで2回洗浄後、硫酸マグネシウム10g、p-メトキシフェノール0.01gを添加した。硫酸マグネシウムを濾別した後、50℃35mmHgにて溶媒を減圧留去することにより、ポリマーS-2を60.5質量%MIBK溶液として20.2g得た。
下記構造式中、Meはメチル基を表し、Etはエチル基を表す。また、ポリマー中の各構成単位の含有量(含有比率)の単位は「モル%」である。
3.90 g of Monomer 3, 6.59 g of 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (manufactured by FUJIFILM Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), 6.93 g of 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane (manufactured by FUJIFILM Wako Pure Chemical Industries, Ltd.), 50 g of acetone, 1.38 g of 5% aqueous potassium carbonate solution, and 9.0 g of pure water were weighed out and stirred at 50 ° C. for 5 hours. The resulting reaction liquid was cooled to room temperature, and 50 g of methyl isobutyl ketone (MIBK) and 50 g of 5% saline were added to extract the organic layer. The organic layer was further washed once with 50 g of 5% saline and twice with 50 g of pure water, and then 10 g of magnesium sulfate and 0.01 g of p-methoxyphenol were added. After filtering off the magnesium sulfate, the solvent was distilled off under reduced pressure at 50 ° C. and 35 mmHg to obtain 20.2 g of Polymer S-2 as a 60.5 mass % MIBK solution.
In the following structural formula, Me represents a methyl group, and Et represents an ethyl group. The content (content ratio) of each structural unit in the polymer is expressed in "mol %".

S-3:下記構造のポリマー(フッ素原子含有化合物(フッ素系界面活性剤)、Mw 20,000) S-3: Polymer with the following structure (fluorine atom-containing compound (fluorine-based surfactant), Mw 20,000)

<添加剤>
-無機フィラー-
F-1:平均一次粒径20nmの疎水性シリカ(NX90S(ヘキサメチルジシラザンで表面処理、日本アエロジル(株)製)を用い、固形分量が表1に記載の量となるように用いた。)
F-2:平均一次粒径16nmの疎水性シリカ(R972(ジメチルジクロロシランで表面処理、日本アエロジル(株)製)を用い、固形分量が表1に記載の量となるように用いた。)
-酸素反応性化合物-
A-1:ジエチルヒドロキシルアミン及び1-アミノ-4-メチルピペラジンを、質量比が4:3になるようにし、合計添加量が表1に記載の量となるように用いた。
-酸素吸着性化合物-
B-1:ジャイロライト型珪酸カルシウムと無定型二酸化珪素とからなる花冠状の湾曲板状結晶からなる珪酸カルシウム系化合物粉体(フローライトR、(株)トクヤマ製)を用いた。
-硬化性化合物-
M-1:低誘電接着剤(ポリマー型の硬化性化合物を主として含むSLKシリーズ(信越化学工業(株)製の熱硬化性樹脂)のワニス)
<Additives>
- Inorganic filler -
F-1: Hydrophobic silica having an average primary particle size of 20 nm (NX90S (surface treated with hexamethyldisilazane, manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.) was used so that the solid content was the amount shown in Table 1).
F-2: Hydrophobic silica having an average primary particle size of 16 nm (R972 (surface treated with dimethyldichlorosilane, manufactured by Nippon Aerosil Co., Ltd.) was used so that the solid content was the amount shown in Table 1).
-Oxygen-reactive compounds-
A-1: Diethylhydroxylamine and 1-amino-4-methylpiperazine were used in a mass ratio of 4:3, with the total amount added being the amount shown in Table 1.
-Oxygen-adsorbing compound-
B-1: A calcium silicate compound powder (Fluorite R, manufactured by Tokuyama Corp.) consisting of corolla-like curved plate-like crystals made of gyrolite-type calcium silicate and amorphous silicon dioxide was used.
-Curable compound-
M-1: Low dielectric adhesive (SLK series varnish (thermosetting resin manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) mainly containing polymer-type curable compounds)

以下に、実施例1~12、並びに、比較例1及び2の詳細を示す。 Details of Examples 1 to 12 and Comparative Examples 1 and 2 are provided below.

(実施例1~実施例12、及び、比較例2)
共流延法を用いて、片面銅張積層板の作製を行った。
(Examples 1 to 12 and Comparative Example 2)
Single-sided copper-clad laminates were fabricated using the co-casting method.

〔共流延(溶液製膜)〕
-ポリマー溶液の調製-
LC-Aを、N-メチルピロリドンに加え、窒素雰囲気下、120℃で加熱撹拌し、溶解させた。公称孔径10μmの焼結繊維金属フィルターを通過させた後、更に上記と同じ公称孔径10μmの焼結繊維金属フィルターを通過させた。続いて表1に記載の添加剤を加えて撹拌し、層A用の液晶ポリマー溶液と層B用の液晶ポリマー溶液をそれぞれ調製した。LC-Aと添加剤は、表1に記載の質量比率で添加し、固形分濃度はそれぞれ10質量%とした。
[Co-casting (solution casting)]
- Preparation of polymer solution -
LC-A was added to N-methylpyrrolidone, and dissolved by heating and stirring at 120° C. under a nitrogen atmosphere. The mixture was passed through a sintered fiber metal filter having a nominal pore size of 10 μm, and then passed through the same sintered fiber metal filter having a nominal pore size of 10 μm as above. The additives shown in Table 1 were then added and stirred to prepare a liquid crystal polymer solution for layer A and a liquid crystal polymer solution for layer B. LC-A and the additives were added in the mass ratios shown in Table 1, and the solid content concentration was 10 mass% for each.

-片面銅張積層板の作製-
<形成工程、及び、フィルム巻き取り工程>
層A用のポリマー溶液と、層B用のポリマー溶液とを、共流延用に調整したマルチマニホールドを装備した流延ダイに送液し、銅箔(福田金属箔粉工業(株)製、CF-T9DA-SV-12、平均厚み12μm;金属基材(金属層))の処理面上に、層Bが銅箔に接するように流延した。110℃にて乾燥することにより、流延膜から溶媒を除去し、銅箔上に、層B及び層Aをこの順に有するフィルムを得た。次に、得られたフィルムを窒素雰囲気下、銅箔が巻き外側になるように、15m/分の速度で、長さ2,000mだけ巻き取ってロールを作製した。
- Fabrication of single-sided copper-clad laminate -
<Forming process and film winding process>
The polymer solution for Layer A and the polymer solution for Layer B were sent to a casting die equipped with a multi-manifold adjusted for co-casting, and cast onto the treated surface of a copper foil (manufactured by Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd., CF-T9DA-SV-12, average thickness 12 μm; metal substrate (metal layer)) so that Layer B was in contact with the copper foil. The solvent was removed from the cast film by drying at 110° C., and a film having Layer B and Layer A in this order on the copper foil was obtained. Next, the obtained film was wound up to a length of 2,000 m at a speed of 15 m/min under a nitrogen atmosphere, with the copper foil on the outside of the winding, to prepare a roll.

<表面自由エネルギーの測定>
得られたロールから、フィルムを有する積層体をサンプリングし、層A側表面について、水の接触角、及び、ヨウ化メチレンの接触角を測定し、表面自由エネルギー(mN/m)を算出した。
<Measurement of surface free energy>
A laminate having a film was sampled from the obtained roll, and the contact angle of water and the contact angle of methylene iodide on the surface of the Layer A side were measured, and the surface free energy (mN/m) was calculated.

<加熱工程>
得られたロールを、表1に記載の雰囲気下、室温から300℃まで10時間かけて昇温することで熱処理し、続けて室温まで冷却した。銅箔と、層Bと、層Aとをこの順に有する積層体(片面銅張積層板)を得た。層A及び層Bの平均厚みは表1に記載した。
なお、片面銅張積層板における銅箔(金属層)は、酸素透過係数が0.01cm/m・day未満であり、熱膨張係数が16ppm/Kであった。
<Heating process>
The obtained roll was heat-treated by increasing the temperature from room temperature to 300° C. over 10 hours in an atmosphere shown in Table 1, and then cooled to room temperature. A laminate (single-sided copper-clad laminate) having copper foil, Layer B, and Layer A in this order was obtained. The average thicknesses of Layer A and Layer B are shown in Table 1.
The copper foil (metal layer) in the single-sided copper-clad laminate had an oxygen permeability coefficient of less than 0.01 cm 3 /m 2 ·day and a thermal expansion coefficient of 16 ppm/K.

得られた片面銅張積層板を用いて、フィルムの誘電正接及び熱膨張係数を測定した。測定方法は、以下の通りである。 The dielectric tangent and thermal expansion coefficient of the film were measured using the obtained single-sided copper-clad laminate. The measurement method is as follows.

<誘電正接>
誘電正接は周波数10GHzで共振摂動法により測定した。ネットワークアナライザ(Agilent Technology社製「E8363B」)に10GHzの空洞共振器((株)関東電子応用開発CP531)を接続し、空洞共振器にフィルムのサンプル(幅:2.0mm×長さ:80mmを挿入し、温度25℃、湿度60%RH環境下、96時間の挿入前後の共振周波数の変化からフィルムの誘電正接を測定した。なお、銅箔は、測定前に、塩化第二鉄で除去した。
<Dielectric tangent>
The dielectric loss tangent was measured by the resonance perturbation method at a frequency of 10 GHz. A 10 GHz cavity resonator (Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. CP531) was connected to a network analyzer (Agilent Technology's "E8363B"), and a film sample (width: 2.0 mm x length: 80 mm) was inserted into the cavity resonator, and the dielectric loss tangent of the film was measured from the change in resonance frequency before and after insertion for 96 hours under a temperature of 25°C and a humidity of 60% RH environment. The copper foil was removed with ferric chloride before the measurement.

<熱膨張係数>
熱機械分析装置(TMA)を用いて、幅5mm、長さ20mmのフィルムの両端に1gの引張荷重をかけ、5℃/分の速度で25℃~200℃まで昇温した後、20℃/分の速度で30℃まで冷却し、再び5℃/分の速度で昇温したときの、30℃~150℃の間のTMA曲線の傾きから熱膨張係数を算出した。なお、銅箔は、測定前に、塩化第二鉄で除去した。
<Thermal expansion coefficient>
Using a thermomechanical analyzer (TMA), a tensile load of 1 g was applied to both ends of a film having a width of 5 mm and a length of 20 mm, and the film was heated from 25° C. to 200° C. at a rate of 5° C./min, cooled to 30° C. at a rate of 20° C./min, and then heated again at a rate of 5° C./min. The thermal expansion coefficient was calculated from the slope of the TMA curve between 30° C. and 150° C. Note that the copper foil was removed with ferric chloride before the measurement.

<剥離性評価>
フィルムと隣接する被接着部材との間の剥離強度は、フィルムと被接着部材の複層体が積層された試料から、複層体を90°方向に剥がす試験で測定することができる。剥離強度が0.35kN/mを越えた試料では、剥離工程において、ライン速度を上げた場合等に、フィルムの破断や、フィルム表面の荒れが散発的に生じた。
<Evaluation of peelability>
The peel strength between a film and an adjacent adherend can be measured by a test in which the laminate of the film and the adherend is peeled off in a 90° direction from a sample in which the laminate is laminated. In samples with a peel strength exceeding 0.35 kN/m, the film broke or the film surface became rough sporadically when the line speed was increased in the peeling process.

表1に、測定結果を示す。 The measurement results are shown in Table 1.

(比較例1)
特開2011-167847号公報の実施例1に記載の液晶ポリエステル粉末を、LC-Aに代えた以外は、特開2011-167847号公報の実施例1と同様に実施し、フィルムを作製した。また、実施例1と同様にして評価を行った。評価結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
A film was produced in the same manner as in Example 1 of JP-A-2011-167847, except that the liquid crystal polyester powder described in Example 1 of JP-A-2011-167847 was replaced with LC-A. Evaluation was also performed in the same manner as in Example 1. The evaluation results are shown in Table 1.

表1に示すように、実施例1~実施例12のフィルムは、ポリマーと、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物と、を含み、フィルムの表面エネルギーが低いため、剥離強度が低く、熱処理後のロールから、積層体を抵抗なく巻きだすことができ、剥離時のフィルム破断故障及びフィルム表面の荒れを抑制するが抑制された。 As shown in Table 1, the films of Examples 1 to 12 contain a polymer and at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds, and because the surface energy of the film is low, the peel strength is low, allowing the laminate to be unwound from the roll after heat treatment without resistance, and film breakage during peeling and roughening of the film surface are suppressed.

一方、比較例1又は比較例2のフィルムには、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が含まれていないか、又は、少なく、また、フィルムの表面エネルギーも高いため、熱処理後にブロッキングし、積層体を巻きだす際に、クニック(表面がロール等に接触して擦れることにより生じる凹凸欠陥)が生じたり、散発的に破断が生じたりすることが分かった。
On the other hand, the films of Comparative Example 1 and Comparative Example 2 did not contain at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds, or contained only a small amount of the compound. Also, the surface energy of the film was high. Therefore, blocking occurred after the heat treatment, and when the laminate was unwound, knicks (uneven defects caused by the surface coming into contact with a roll or the like and rubbing against the roll) or sporadic breakage occurred.

Claims (18)

誘電正接が、0.01以下であり、
フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物、及び、フィラーを含み、
前記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が、エポキシ基を有し、
少なくとも一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mである
フィルム。
The dielectric loss tangent is 0.01 or less,
The composition comprises at least one compound selected from the group consisting of a fluorine atom-containing compound and a silicon atom-containing compound, and a filler,
at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds has an epoxy group,
A film having a surface free energy of 15 mN/m to 36 mN/m on at least one surface.
誘電正接が、0.01以下であり、
フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物、及び、フィラーを含み、
前記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が、エポキシ基を有し、
少なくとも一方の表面における前記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%である
フィルム。
The dielectric loss tangent is 0.01 or less,
The composition comprises at least one compound selected from the group consisting of a fluorine atom-containing compound and a silicon atom-containing compound, and a filler,
at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds has an epoxy group,
A film, wherein a surface coverage rate of at least one surface of the film with at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds is 30% to 100%.
前記フィルムが、前記フッ素原子含有化合物を含む請求項1又は請求項2に記載のフィルム。 The film according to claim 1 or 2, comprising the fluorine atom-containing compound. 前記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が、フッ素樹脂及びシリコーン樹脂よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物である請求項1~請求項3のいずれか1項に記載のフィルム。 The film according to any one of claims 1 to 3, wherein the at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds is at least one compound selected from the group consisting of fluorine resins and silicone resins. 前記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が、界面活性剤を含む請求項~請求項4のいずれか1項に記載のフィルム。 The film according to any one of claims 1 to 4, wherein the at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds includes a surfactant. 脱酸素剤を含む請求項1~請求項のいずれか1項に記載のフィルム。 The film according to any one of claims 1 to 5 , further comprising an oxygen scavenger. 前記フィルムの少なくとも一方の表面の表面粗さRzが、10nm~10,000nmである請求項1~請求項のいずれか1項に記載のフィルム。 The film according to any one of claims 1 to 6 , wherein the surface roughness Rz of at least one surface of the film is from 10 nm to 10,000 nm. 前記フィルムの少なくとも一方の表面の25℃における弾性率が、100MPa以上である請求項1~請求項のいずれか1項に記載のフィルム。 The film according to any one of claims 1 to 7 , wherein at least one surface of the film has an elastic modulus of 100 MPa or more at 25°C. ロール状のフィルムである請求項1~請求項のいずれか1項に記載のフィルム。 The film according to any one of claims 1 to 8, which is in the form of a roll. 請求項1~請求項のいずれか1項に記載のフィルムと、
前記フィルムの少なくとも一方の表面に、金属層又は金属配線とを有する
積層体。
The film according to any one of claims 1 to 9 ,
A laminate comprising the film and a metal layer or metal wiring on at least one surface of the film.
前記金属層又は金属配線のフィルム側表面の表面粗さRaが、1.0μm以下である請求項10に記載の積層体。 11. The laminate according to claim 10 , wherein the surface roughness Ra of the film-side surface of the metal layer or metal wiring is 1.0 μm or less. ポリマーと、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物と、フィラーと、溶媒とが含まれる組成物を基材上に塗布し乾燥することによりフィルムを形成する形成工程と、
前記フィルムを加熱する加熱工程とを含み、
得られるフィルムの誘電正接が、0.01以下であり、
前記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が、エポキシ基を有し、
前記加熱工程前の前記フィルムの一方の表面における表面自由エネルギーが、15mN/m~36mN/mである
フィルムの製造方法。
a forming step of forming a film by applying a composition containing a polymer, at least one compound selected from the group consisting of a fluorine atom-containing compound and a silicon atom-containing compound, a filler, and a solvent onto a substrate and drying the composition;
and a heating step of heating the film,
The dielectric loss tangent of the obtained film is 0.01 or less,
at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds has an epoxy group,
the surface free energy of one surface of the film before the heating step is 15 mN/m to 36 mN/m.
ポリマーと、フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物と、フィラーと、溶媒とが含まれる組成物を基材上に塗布し乾燥することによりフィルムを形成する形成工程と、
前記フィルムを加熱する加熱工程とを含み、
得られるフィルムの誘電正接が、0.01以下であり、
前記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物が、エポキシ基を有し、
前記加熱工程前の前記フィルムの少なくとも一方の表面における前記フッ素原子含有化合物及びケイ素原子含有化合物よりなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物による表面被覆率が、30%~100%である
フィルムの製造方法。
a forming step of forming a film by applying a composition containing a polymer, at least one compound selected from the group consisting of a fluorine atom-containing compound and a silicon atom-containing compound, a filler, and a solvent onto a substrate and drying the composition;
and a heating step of heating the film,
The dielectric loss tangent of the obtained film is 0.01 or less,
at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds has an epoxy group,
a surface coverage of at least one surface of the film with the at least one compound selected from the group consisting of fluorine atom-containing compounds and silicon atom-containing compounds is 30% to 100% before the heating step.
前記形成工程後に、前記基材より、前記フィルムを剥離する剥離工程を含む請求項12又は請求項13に記載のフィルムの製造方法。 The method for producing a film according to claim 12 or 13 , further comprising, after the forming step, a peeling step of peeling the film from the substrate. 前記形成工程後、かつ前記加熱工程前に、前記フィルムをロール状に巻き取る巻き取り工程を含む請求項12~請求項14のいずれか1項に記載のフィルムの製造方法。 The method for producing a film according to any one of claims 12 to 14 , further comprising a winding step of winding the film into a roll after the forming step and before the heating step. 得られるフィルムの前記表面被覆率が、前記形成工程後、かつ前記加熱工程前の前記フィルムの前記表面被覆率よりも小さい請求項13に記載のフィルムの製造方法。 The method of claim 13 , wherein the surface coverage of the resulting film is less than the surface coverage of the film after the forming step and before the heating step. 得られるフィルムの前記表面自由エネルギーが、前記形成工程後、かつ前記加熱工程前のフィルムの前記表面自由エネルギーよりも大きい請求項12に記載のフィルムの製造方法。 The method of claim 12 , wherein the surface free energy of the resulting film is greater than the surface free energy of the film after the forming step and before the heating step. 前記巻き取り工程後に、ロール状のフィルムを巻き出す巻き出し工程を含み、
前記巻き出し工程での前記フィルムを巻き出す際の剥離力が、1.0kN/m以下である請求項15に記載のフィルムの製造方法。
a winding step of winding a roll-shaped film after the winding step,
The method for producing a film according to claim 15 , wherein a peel force when the film is unwound in the unwinding step is 1.0 kN/m or less.
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