JP7684223B2 - Method for adjusting particle crushing strength of boron nitride powder, boron nitride powder and its manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度を調整する方法、窒化ホウ素粉末及びその製造方法に関する。 The present invention relates to a method for adjusting the particle crushing strength of boron nitride powder, boron nitride powder, and a method for producing the same.
パワーデバイス、トランジスタ、サイリスタ、CPU等の電子部品においては、使用時に発生する熱を効率的に放熱することが課題となっている。この課題に対して、従来、電子部品を実装するプリント配線板の絶縁層の高熱伝導化や、電子部品又はプリント配線板を電気絶縁性の熱インターフェース材(Thermal Interface Materials)を介してヒートシンクに取り付けることが行われてきた。このような絶縁層及び熱インターフェース材には、熱伝導率が高いセラミックス粉末が用いられる。 Efficiently dissipating heat generated during use is an issue for electronic components such as power devices, transistors, thyristors, and CPUs. To address this issue, traditional approaches have been to increase the thermal conductivity of the insulating layer of the printed wiring board on which the electronic components are mounted, or to attach the electronic components or printed wiring board to a heat sink via electrically insulating thermal interface materials. Such insulating layers and thermal interface materials are made of ceramic powders with high thermal conductivity.
セラミックス粉末としては、高熱伝導率、高絶縁性、低比誘電率等の特性を有している窒化ホウ素粉末が注目されている。例えば、特許文献1には、凝集体の形状を一層球状化して充填性を高めると共に、粉末強度の向上を図り、更には高純度化により、当該粉末を充填した伝熱シート等の絶縁性の向上および耐電圧の安定化を達成した六方晶窒化ホウ素粉末として、一次粒子の長径と厚みの比が平均で5~10で、一次粒子の凝集体の大きさが平均粒径(D50)で2μm以上200μm以下で、嵩密度が0.5~1.0g/cm3であることを特徴とする六方晶窒化ホウ素粉末が開示されている。 As a ceramic powder, boron nitride powder, which has characteristics such as high thermal conductivity, high insulation, and low dielectric constant, has attracted attention. For example, Patent Document 1 discloses a hexagonal boron nitride powder in which the shape of the aggregates is made more spherical to improve packing properties and powder strength, and furthermore, the powder is highly purified to improve the insulation properties and stabilize the voltage resistance of heat transfer sheets and the like filled with the powder, the hexagonal boron nitride powder being characterized in that the ratio of the major axis to the thickness of the primary particles is 5 to 10 on average, the size of the aggregates of the primary particles is 2 μm or more and 200 μm or less in terms of average particle size (D50), and the bulk density is 0.5 to 1.0 g/ cm3 .
六方晶窒化ホウ素粒子は、面内方向(a軸方向)の熱伝導率が400W/(m・K)であるのに対して、厚み方向(c軸方向)の熱伝導率が2W/(m・K)であり、結晶構造と鱗片状に由来する熱伝導率の異方性が大きい。さらに、六方晶窒化ホウ素粉末を樹脂に充填すると、粒子同士が同一方向に揃って配向する。そのため、例えば、熱インターフェース材の製造時に、六方晶窒化ホウ素粒子の面内方向(a軸方向)と熱インターフェース材の厚み方向が垂直になり、六方晶窒化ホウ素粒子の面内方向(a軸方向)の高熱伝導率を十分に活かすことができなかった。Hexagonal boron nitride particles have a thermal conductivity of 400 W/(m·K) in the in-plane direction (a-axis direction) and 2 W/(m·K) in the thickness direction (c-axis direction), resulting in a large anisotropy in thermal conductivity due to the crystal structure and scale shape. Furthermore, when hexagonal boron nitride powder is filled into a resin, the particles are aligned in the same direction. Therefore, for example, when manufacturing a thermal interface material, the in-plane direction (a-axis direction) of the hexagonal boron nitride particles and the thickness direction of the thermal interface material become perpendicular, and the high thermal conductivity of the hexagonal boron nitride particles in the in-plane direction (a-axis direction) cannot be fully utilized.
一方、特許文献2では、窒化ホウ素一次粒子が凝集してなる窒化ホウ素凝集粒子において、所定の成形圧力でも凝集粒子の崩壊が抑制できる程度に強度を高めることにより、窒化ホウ素一次粒子が同一方向に揃って配向することを抑制する旨が記載されている。On the other hand, Patent Document 2 describes how, in boron nitride agglomerated particles formed by agglomeration of primary boron nitride particles, the strength is increased to a level that prevents the agglomerated particles from collapsing even at a specified molding pressure, thereby preventing the primary boron nitride particles from orienting in the same direction.
特許文献2に開示されるような、一次粒子が凝集した窒化ホウ素凝集粒子では、一次粒子が同一方向に配向して熱伝導率が低下するのを抑えるために、凝集粒子の強度を高めることが重要と考えられている。一方、本発明者らの検討によれば、所望の特性を有する窒化ホウ素凝集粒子を得るためには、強度(圧壊強度)が大きい凝集粒子のみならず、適度な強度の凝集粒子を組み合わせて用いることが有効であることが見いだされた。In boron nitride agglomerated particles formed by agglomerating primary particles as disclosed in Patent Document 2, it is considered important to increase the strength of the agglomerated particles in order to prevent the primary particles from orienting in the same direction and decreasing the thermal conductivity. Meanwhile, according to the studies of the present inventors, in order to obtain boron nitride agglomerated particles having the desired properties, it has been found that it is effective to use not only agglomerated particles with high strength (crushing strength), but also a combination of agglomerated particles with appropriate strength.
すなわち、従来は窒化ホウ素凝集粒子の強度を高めることを中心に検討されていたが、高強度の凝集粒子と組み合わせるための適度な強度の凝集粒子を得るための技術が必要であることが分かった。しかし、高強度の凝集粒子の強度に応じて、これと組み合わせる適度な強度の程度が変わるため、凝集粒子の強度を精度良く調整する技術が必要である。 In other words, while previous research had focused on increasing the strength of boron nitride agglomerated particles, it was found that a technology was needed to obtain agglomerated particles of appropriate strength to be combined with high-strength agglomerated particles. However, because the appropriate level of strength to be combined with the high-strength agglomerated particles varies depending on the strength of the high-strength agglomerated particles, a technology was needed to precisely adjust the strength of the agglomerated particles.
そこで本発明の一側面は、窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度を調整する新規な方法を提供することを目的とする。 Therefore, one aspect of the present invention aims to provide a novel method for adjusting the particle crushing strength of boron nitride powder.
本発明者らは、凝集粒子の圧壊強度に影響する多くの因子について検討したところ、炭酸カルシウムの存在下で炭窒化ホウ素粉末を加熱して窒化ホウ素粉末を得る場合において、炭酸カルシウムの添加量を調整することによって、製造される窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度の調整がしやすいことを見出し、本発明を完成させた。The inventors have investigated many factors that affect the crushing strength of agglomerated particles and have discovered that when boron nitride powder is obtained by heating boron carbonitride powder in the presence of calcium carbonate, the particle crushing strength of the boron nitride powder produced can be easily adjusted by adjusting the amount of calcium carbonate added, thereby completing the present invention.
本発明の一側面は、炭酸カルシウムの存在下で炭窒化ホウ素粉末を加熱して窒化ホウ素粉末を得る脱炭工程を備え、脱炭工程において、炭酸カルシウムの添加量を調整することにより、窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度を調整する方法を提供する。One aspect of the present invention provides a method for adjusting the particle crushing strength of the boron nitride powder, comprising a decarburization step of heating boron carbonitride powder in the presence of calcium carbonate to obtain boron nitride powder, by adjusting the amount of calcium carbonate added in the decarburization step.
本発明の他の一側面は、炭窒化ホウ素粉末に、粒子圧壊強度を調整するために炭酸カルシウムを添加する工程と、炭酸カルシウムの存在下で炭窒化ホウ素粉末を加熱して脱炭する工程と、を備える、窒化ホウ素粉末の製造方法を提供する。Another aspect of the present invention provides a method for producing boron nitride powder, comprising the steps of adding calcium carbonate to boron carbonitride powder to adjust the particle crushing strength, and heating the boron carbonitride powder in the presence of calcium carbonate to decarburize it.
この製造方法では、炭酸カルシウムを添加する工程において、炭酸カルシウムを、炭窒化ホウ素粉末100質量部に対して0.125~1質量部となるように添加してもよい。In this manufacturing method, in the step of adding calcium carbonate, calcium carbonate may be added in an amount of 0.125 to 1 part by mass per 100 parts by mass of boron carbonitride powder.
本発明の他の一側面は、粒子圧壊強度の標準偏差が3MPa以下である、窒化ホウ素粉末を提供する。Another aspect of the present invention provides boron nitride powder having a standard deviation of particle crush strength of 3 MPa or less.
本発明の他の一側面は、複数の集合体で構成されるセットであって、複数の集合体は、それぞれ互いに異なる製造ロットの窒化ホウ素粉末を有し、セットにおける窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度の標準偏差が3MPa以下である、セットを提供する。Another aspect of the present invention provides a set comprising a plurality of assemblies, each of which has boron nitride powder from a different production lot, and in which the standard deviation of particle crush strength of the boron nitride powder in the set is 3 MPa or less.
本発明の一側面によれば、窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度を調整する新規な方法を提供できる。 According to one aspect of the present invention, a novel method for adjusting the particle crush strength of boron nitride powder is provided.
以下、本発明の実施形態について説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。The following describes an embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to the following embodiment.
本明細書における窒化ホウ素粉末は、窒化ホウ素の一次粒子が凝集してなる凝集粒子(塊状粒子ともいう)の集まり(塊状窒化ホウ素粉末)であって、同一の製造ロット(詳細は後述する)で得られるものをいう。窒化ホウ素の一次粒子は、例えば鱗片状の六方晶窒化ホウ素粒子であってよい。In this specification, boron nitride powder refers to a collection of agglomerated particles (also called agglomerated particles) formed by the aggregation of primary particles of boron nitride (agglomerated boron nitride powder) obtained in the same production lot (details will be described later). The primary particles of boron nitride may be, for example, scaly hexagonal boron nitride particles.
本明細書において、粒子圧壊強度は、凝集粒子の圧壊強度をいう。粒子圧壊強度(σ:単位MPa)は、JIS R1639-5に準じて測定することができ、凝集粒子内の位置によって変化する無次元数(α=2.48)と圧壊試験力(P:単位N)と粒子径(d:単位μm)から、σ=α×P/(π×d2)という式を用いて算出できる。窒化ホウ素粉末の圧壊強度(粉末全体としての圧壊強度)は、20粒子の凝集粒子の粒子圧壊強度を測定して、累積破壊率が63.2%となる強度として得ることができる。粒子圧壊強度を得るための上記式において、圧壊試験力は、微小圧縮試験器(例えば株式会社島津製作所製のMCT-W500)を用いて測定できる。 In this specification, the particle crushing strength refers to the crushing strength of an agglomerated particle. The particle crushing strength (σ: unit MPa) can be measured according to JIS R1639-5, and can be calculated using the formula σ=α×P/(π×d 2 ) from the dimensionless number (α=2.48) that changes depending on the position in the agglomerated particle, the crushing test force (P: unit N), and the particle diameter (d: unit μm). The crushing strength of the boron nitride powder (crushing strength of the powder as a whole) can be obtained by measuring the particle crushing strength of 20 agglomerated particles and obtaining the strength at which the cumulative destruction rate is 63.2%. In the above formula for obtaining the particle crushing strength, the crushing test force can be measured using a microcompression tester (for example, MCT-W500 manufactured by Shimadzu Corporation).
一実施形態に係る窒化ホウ素粉末は、炭窒化ホウ素(B4CN4)に、粒子圧壊強度を調整するために炭酸カルシウムを添加する工程(添加工程)と、炭酸カルシウムの存在下で炭窒化ホウ素粉末を加熱して脱炭する工程(脱炭工程)と、を備える製造方法によって得られる。 The boron nitride powder according to one embodiment is obtained by a manufacturing method including a step of adding calcium carbonate to boron carbonitride (B 4 CN 4 ) to adjust the particle crushing strength (addition step), and a step of heating the boron carbonitride powder in the presence of calcium carbonate to decarburize it (decarburization step).
添加工程は、一実施形態において、炭化ホウ素(B4C)粉末を焼成して炭窒化ホウ素粉末を得る工程(窒化工程)を備える。 In one embodiment, the adding step includes a step of sintering boron carbide (B 4 C) powder to obtain boron carbonitride powder (nitriding step).
窒化工程において、炭化ホウ素粉末の平均粒径は、3μm以上、5μm以上、又は10μm以上であってよく、100μm以下、60μm以下、又は40μm以下であってよい。炭化ホウ素粉末の平均粒径は、ベックマンコールター社製レーザー回折散乱法粒度分布測定装置(LS-13 320)を用いて、測定処理の前に試料にホモジナイザーをかけずに測定したものであり、累積粒度分布の累積値50%の粒径(メジアン径、D50)である。In the nitriding process, the average particle size of the boron carbide powder may be 3 μm or more, 5 μm or more, or 10 μm or more, and may be 100 μm or less, 60 μm or less, or 40 μm or less. The average particle size of the boron carbide powder was measured using a Beckman Coulter Laser Diffraction Scattering Particle Size Distribution Measurement Device (LS-13 320) without applying a homogenizer to the sample before the measurement process, and is the particle size at 50% of the cumulative value of the cumulative particle size distribution (median diameter, D50).
炭化ホウ素粉末の炭素量は組成上のB4C(21.7質量%)より小さいことが望ましい。炭素量は、好ましくは18質量%以上、より好ましくは19質量%以上であり、20.5質量%以下であってよい。炭素量が18質量%以上であると、理論組成との乖離が小さいため安定となる。炭素量が20.5質量%以下であることにより、後述する脱炭工程の際に揮発する炭素量を小さくでき、緻密な凝集粒子を得られる。炭化ホウ素粉末の炭素量は、炭素分析装置(例えばLECO社製のIR-412型)にて測定できる。 The carbon content of the boron carbide powder is desirably smaller than that of B 4 C (21.7% by mass). The carbon content is preferably 18% by mass or more, more preferably 19% by mass or more, and may be 20.5% by mass or less. When the carbon content is 18% by mass or more, the deviation from the theoretical composition is small, and the composition is stable. When the carbon content is 20.5% by mass or less, the amount of carbon volatilized during the decarburization step described below can be reduced, and dense aggregated particles can be obtained. The carbon content of the boron carbide powder can be measured using a carbon analyzer (e.g., IR-412 model manufactured by LECO).
炭化ホウ素粉末は、公知の製造方法により得ることができる。例えば、ホウ酸とアセチレンブラックとを混合したのち、不活性ガス雰囲気下、1800~2400℃にて、1~10時間加熱し、炭化ホウ素塊を得ることができる。この炭化ホウ素塊を、粉砕後、篩分けし、洗浄、不純物除去、乾燥等を適宜行うことにより、炭化ホウ素粉末を得ることができる。炭化ホウ素粉末は、市販品を用いてもよい。Boron carbide powder can be obtained by known manufacturing methods. For example, boric acid and acetylene black can be mixed and then heated in an inert gas atmosphere at 1800 to 2400°C for 1 to 10 hours to obtain boron carbide blocks. The boron carbide blocks can be crushed, sieved, washed, impurities removed, dried, etc. to obtain boron carbide powder. Commercially available boron carbide powder may be used.
窒化工程では、炭化ホウ素粉末を窒素雰囲気下、かつ加圧条件下で加熱する。これにより、炭化ホウ素粉末を焼成し、炭窒化ホウ素粉末を得る。In the nitriding process, the boron carbide powder is heated under pressure in a nitrogen atmosphere. This sinters the boron carbide powder to obtain boron carbonitride powder.
窒化工程における雰囲気は、窒化反応を進行させる雰囲気であり、例えば、窒素ガス、アンモニアガス等であってよく、これらを一種単独で又は二種以上を組み合せて用いてよい。当該雰囲気は、窒化のしやすさとコストの観点から、好ましくは窒素ガスである。当該雰囲気中の窒素ガスの含有量は、好ましくは95体積%以上、より好ましくは99.9体積%以上である。The atmosphere in the nitriding step is an atmosphere that allows the nitriding reaction to proceed, and may be, for example, nitrogen gas, ammonia gas, etc., which may be used alone or in combination of two or more. From the viewpoints of ease of nitriding and cost, the atmosphere is preferably nitrogen gas. The content of nitrogen gas in the atmosphere is preferably 95% by volume or more, more preferably 99.9% by volume or more.
窒化工程における圧力(雰囲気圧力)は、好ましくは0.6MPa以上、より好ましくは0.7MPa以上であり、好ましくは1.0MPa以下、より好ましくは0.9MPa以下である。当該圧力は、更に好ましくは0.7~1.0MPaである。窒化工程における焼成温度は、好ましくは1800℃以上、より好ましくは1900℃以上であり、好ましくは2400℃以下、より好ましくは2200℃以下である。焼成温度は、更に好ましくは1800~2200℃である。圧力条件及び焼成温度は、炭化ホウ素の窒化を更に好適に進行させ、工業的にも適切な条件であることから、好ましくは、1800℃以上かつ0.7~1.0MPaである。The pressure (atmospheric pressure) in the nitriding step is preferably 0.6 MPa or more, more preferably 0.7 MPa or more, and preferably 1.0 MPa or less, more preferably 0.9 MPa or less. The pressure is further preferably 0.7 to 1.0 MPa. The firing temperature in the nitriding step is preferably 1800°C or more, more preferably 1900°C or more, and preferably 2400°C or less, more preferably 2200°C or less. The firing temperature is further preferably 1800 to 2200°C. The pressure conditions and firing temperature are preferably 1800°C or more and 0.7 to 1.0 MPa, as these conditions further facilitate the nitridation of boron carbide and are industrially appropriate.
窒化工程における焼成時間(加熱時間)は、窒化が十分に進む範囲で適宜選定され、好ましくは6時間以上、より好ましくは8時間以上であり、好ましくは40時間以下、より好ましくは30時間以下であってよい。The firing time (heating time) in the nitriding process is appropriately selected within a range in which nitriding proceeds sufficiently, and is preferably 6 hours or more, more preferably 8 hours or more, and is preferably 40 hours or less, more preferably 30 hours or less.
炭窒化ホウ素粉末は、市販品を用いてもよい。すなわち、添加工程は、上述した窒化工程を備えなくてもよい。The boron carbonitride powder may be a commercially available product. In other words, the addition process does not have to include the nitriding process described above.
添加工程では、炭窒化ホウ素粉末に、粒子圧壊強度を調整するために炭酸カルシウムを添加する。In the addition process, calcium carbonate is added to the boron carbonitride powder to adjust the particle crushing strength.
添加工程において、炭酸カルシウムは、最終的に製造される窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度を調整するために添加される。すなわち、炭酸カルシウムは、従来から使用されてきた目的、例えば焼結助剤としての目的とは異なる目的で添加される。炭酸カルシウムを焼結助剤として用いる場合には、炭窒化ホウ素粉末を十分に焼結させられればよいため、粒子圧壊強度調整の目的で炭酸カルシウムを使用する場合とは異なり、添加量を1%以下のオーダーで正確に調整する必要はない。すなわち、この製造方法における添加工程では、炭酸カルシウムの添加量を1%以下のオーダーで調整する。炭酸カルシウムとしては、市販品を適宜用いることができる。In the addition step, calcium carbonate is added to adjust the particle crushing strength of the boron nitride powder that is finally produced. That is, calcium carbonate is added for a purpose different from the purpose for which it has been used conventionally, such as as a sintering aid. When calcium carbonate is used as a sintering aid, it is sufficient to sufficiently sinter the boron carbonitride powder, and therefore, unlike when calcium carbonate is used for the purpose of adjusting the particle crushing strength, it is not necessary to precisely adjust the amount of calcium carbonate added to the order of 1% or less. In other words, in the addition step in this manufacturing method, the amount of calcium carbonate added is adjusted to the order of 1% or less. As the calcium carbonate, a commercially available product can be used as appropriate.
添加工程では、炭酸カルシウムを炭窒化ホウ素粉末に均一に作用させるために、ボールミル、低周波共振音響ミキサー等を用いて、炭酸カルシウム及び炭窒化ホウ素粉末を混合してもよい。これにより、粒子圧壊強度をより正確に調整できる。In the addition process, in order to uniformly act the calcium carbonate on the boron carbonitride powder, the calcium carbonate and the boron carbonitride powder may be mixed using a ball mill, a low-frequency resonant acoustic mixer, or the like. This allows the particle crushing strength to be adjusted more accurately.
炭酸カルシウムの添加量は、所望の粒子圧壊強度を得るために調整される。炭酸カルシウムの添加量は特に限定されないが、炭窒化ホウ素100質量部に対して0.125~1質量部の範囲で設定してよい。この範囲に設定する場合、所望の粒子圧壊強度に応じて、0.125~1質量部の範囲から適切な添加量を設定する。ここでは、設定した添加量がばらつかないように調整することが、粒子圧壊強度調整のために重要である。設定した添加量がばらつかないとは、炭窒化ホウ素100質量部に対して、設定した添加量±0.05質量部の範囲で添加されることをいう。なお、適切な添加量は、炭酸カルシウムの添加量と粒子圧壊強度との関係を予め求めておいて決めてもよいし、過去の測定結果に基づいて定めてもよい。また、下記説明の通り、炭酸カルシウム添加量が少ないほど粒子圧壊強度が大きくなり、炭酸カルシウム添加量が多いほど粒子圧壊強度が小さくなる傾向から予測して決めてもよい。The amount of calcium carbonate added is adjusted to obtain the desired particle crushing strength. The amount of calcium carbonate added is not particularly limited, but may be set in the range of 0.125 to 1 part by mass per 100 parts by mass of boron carbonitride. When set in this range, an appropriate amount is set from the range of 0.125 to 1 part by mass according to the desired particle crushing strength. Here, it is important for particle crushing strength adjustment to adjust the set amount of addition so that it does not vary. The set amount of addition does not vary means that it is added within the range of the set amount of addition ±0.05 parts by mass per 100 parts by mass of boron carbonitride. The appropriate amount of addition may be determined by previously determining the relationship between the amount of calcium carbonate added and the particle crushing strength, or may be determined based on past measurement results. In addition, as described below, the smaller the amount of calcium carbonate added, the greater the particle crushing strength, and the greater the amount of calcium carbonate added, the smaller the particle crushing strength. It may also be determined by predicting the tendency.
炭酸カルシウムの添加量は、窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度を6MPa以上、6.5MPa以上、又は7MPa以上とするために、炭窒化ホウ素粉末100質量部に対して、0.025質量部以上、0.075質量部以上、又は0.125質量部以上であってよく、0.45質量部以下、0.375質量部以下、又は0.325質量部以下であってよい。The amount of calcium carbonate added may be 0.025 parts by mass or more, 0.075 parts by mass or more, or 0.125 parts by mass or more, and may be 0.45 parts by mass or less, 0.375 parts by mass or less, or 0.325 parts by mass or less, per 100 parts by mass of boron carbonitride powder, in order to achieve a particle crushing strength of the boron nitride powder of 6 MPa or more, 6.5 MPa or more, or 7 MPa or more.
炭酸カルシウムの添加量は、窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度を6MPa未満、5.5MPa以下、又は5MPa以下とするために、炭窒化ホウ素粉末100質量部に対して、0.375質量部以上、0.45質量部以上、又は0.5質量部以上であってよく、1質量部以下、0.95質量部以下、又は0.875質量部以下であってよい。The amount of calcium carbonate added may be at least 0.375 parts by mass, at least 0.45 parts by mass, or at least 0.5 parts by mass, and may be at most 1 part by mass, at most 0.95 parts by mass, or at most 0.875 parts by mass, per 100 parts by mass of boron carbonitride powder, in order to set the particle crushing strength of the boron nitride powder to less than 6 MPa, at most 5.5 MPa, or at most 5 MPa.
炭酸カルシウムの添加量は、粒子圧壊強度がより大きな窒化ホウ素粉末を得やすくする観点、及び粒子圧壊強度のばらつきが小さい窒化ホウ素粉末を得やすくする観点から、炭窒化ホウ素粉末100質量部に対して、好ましくは0.125質量部以上、より好ましくは0.15質量部以上、更に好ましくは0.2質量部以上である。炭酸カルシウムの添加量は、粒子圧壊強度がより小さな窒化ホウ素粉末を得やすくする観点、及び圧壊強度のばらつきが小さい窒化ホウ素粉末を得やすくする観点から、炭窒化ホウ素粉末100質量部に対して、好ましくは1質量部以下、より好ましくは0.9質量部以下、更に好ましくは0.88質量部以下である。炭酸カルシウムの添加量を小さくすると粒子圧壊強度が大きい範囲で調整でき、添加量を大きくすると粒子圧壊強度が小さい範囲で調整できる傾向にある。The amount of calcium carbonate added is preferably 0.125 parts by mass or more, more preferably 0.15 parts by mass or more, and even more preferably 0.2 parts by mass or more, per 100 parts by mass of boron carbonitride powder, from the viewpoint of making it easier to obtain boron nitride powder with a larger particle crushing strength and from the viewpoint of making it easier to obtain boron nitride powder with a smaller variation in particle crushing strength. The amount of calcium carbonate added is preferably 1 part by mass or less, more preferably 0.9 parts by mass or less, and even more preferably 0.88 parts by mass or less, per 100 parts by mass of boron carbonitride powder, from the viewpoint of making it easier to obtain boron nitride powder with a smaller particle crushing strength and from the viewpoint of making it easier to obtain boron nitride powder with a smaller variation in crushing strength. By reducing the amount of calcium carbonate added, the particle crushing strength can be adjusted to a large range, and by increasing the amount added, the particle crushing strength tends to be adjusted to a small range.
添加工程では、炭窒化ホウ素粉末の他に、ホウ素源を更に添加してもよい。ホウ素源としては、ホウ酸、酸化ホウ素、又はこれらの混合物が挙げられる。In the addition step, in addition to the boron carbonitride powder, a boron source may be further added. The boron source may be boric acid, boron oxide, or a mixture thereof.
炭窒化ホウ素粉末の量に対するホウ素源の添加割合は、適宜選定されてよい。ホウ素源の割合は、炭窒化ホウ素粉末100質量部に対して、例えば100質量部以上であってよく、好ましくは150質量部以上であり、また、例えば300質量部以下であってよく、好ましくは250質量部以下である。The ratio of the boron source to the amount of boron carbonitride powder may be appropriately selected. The ratio of the boron source may be, for example, 100 parts by mass or more, preferably 150 parts by mass or more, and may be, for example, 300 parts by mass or less, preferably 250 parts by mass or less, relative to 100 parts by mass of boron carbonitride powder.
添加工程では、必要に応じて当該技術分野で用いられるその他の添加物を、炭窒化ホウ素粉末に更に添加してもよい。In the addition process, other additives used in the art may be further added to the boron carbonitride powder as necessary.
次に、上述した炭窒化ホウ素粉末(ホウ素源等が添加された炭窒化ホウ素粉末を含む)を、炭酸カルシウムの存在下で加熱することにより脱炭して、窒化ホウ素粉末を得る(脱炭工程)。脱炭工程では、脱炭され、更に結晶化された窒化ホウ素の一次粒子(一次粒子が鱗片状の六方晶窒化ホウ素)が凝集してなる窒化ホウ素の凝集粒子を得ることができる。Next, the above-mentioned boron carbonitride powder (including boron carbonitride powder to which a boron source or the like has been added) is decarbonized by heating in the presence of calcium carbonate to obtain boron nitride powder (decarbonization process). In the decarbonization process, agglomerated particles of boron nitride can be obtained, which are formed by agglomeration of decarbonized and further crystallized primary particles of boron nitride (primary particles of scaly hexagonal boron nitride).
脱炭工程における雰囲気は、例えば、窒素ガス及びアンモニアガス等であってよく、これらの一種単独又は二種以上の組合せであってよい。当該雰囲気は、脱炭のしやすさとコストの観点から、好ましくは窒素ガスである。当該雰囲気中の窒素ガスの含有量は、好ましくは95体積%以上、より好ましくは99.9体積%以上である。The atmosphere in the decarburization step may be, for example, nitrogen gas, ammonia gas, or the like, and may be one kind alone or a combination of two or more kinds. From the viewpoint of ease of decarburization and cost, the atmosphere is preferably nitrogen gas. The content of nitrogen gas in the atmosphere is preferably 95% by volume or more, more preferably 99.9% by volume or more.
脱炭工程における圧力(雰囲気圧力)は、常圧(大気圧)であってよく、常圧より加圧された圧力であってもよい。加圧された圧力である場合、圧力は、例えば0.5MPa以下、又は0.3MPa以下であってよい。The pressure (ambient pressure) in the decarburization process may be normal pressure (atmospheric pressure) or a pressure higher than normal pressure. If the pressure is higher than normal pressure, the pressure may be, for example, 0.5 MPa or less, or 0.3 MPa or less.
脱炭工程では、例えば、まず、所定の温度(脱炭開始可能な温度)まで炭窒化ホウ素粉末を昇温した後に、所定の温度で保持温度まで更に昇温する。所定の温度(脱炭開始可能な温度)は、系に応じて設定可能であり、例えば、1000℃以上であってよく、1500℃以下であってよく、好ましくは1200℃以下である。所定の温度(脱炭開始可能な温度)から保持温度へ昇温する速度は、例えば5℃/分以下であってよく、好ましくは、4℃/分以下、3℃/分以下、又は2℃/分以下であってもよい。In the decarburization process, for example, the boron carbonitride powder is first heated to a predetermined temperature (the temperature at which decarburization can begin), and then further heated to a holding temperature at the predetermined temperature. The predetermined temperature (the temperature at which decarburization can begin) can be set according to the system, and may be, for example, 1000°C or higher, 1500°C or lower, and preferably 1200°C or lower. The rate of heating from the predetermined temperature (the temperature at which decarburization can begin) to the holding temperature may be, for example, 5°C/min or lower, and may preferably be 4°C/min or lower, 3°C/min or lower, or 2°C/min or lower.
保持温度は、粒子成長が良好に起こりやすく、得られる窒化ホウ素粉末の熱伝導率を向上できる観点から、好ましくは1600℃以上、より好ましくは1800℃以上である。保持温度は、好ましくは2200℃以下、より好ましくは2100℃以下である。The holding temperature is preferably 1600°C or higher, more preferably 1800°C or higher, from the viewpoint of favorable particle growth and improving the thermal conductivity of the resulting boron nitride powder. The holding temperature is preferably 2200°C or lower, more preferably 2100°C or lower.
保持温度における保持時間は、結晶化が十分に進む範囲で適宜選定され、例えば、0.5時間超であってよく、粒子成長が良好に起こりやすい観点から、好ましくは1時間以上、より好ましくは3時間以上、更に好ましくは5時間以上である。保持温度における保持時間は、例えば40時間未満であってよく、粒子成長が進みすぎて圧壊強度が低下することを低減でき、また、工業的な不都合も低減できる観点から、好ましくは30時間以下、より好ましくは20時間以下である。The holding time at the holding temperature is appropriately selected within a range in which crystallization proceeds sufficiently, and may be, for example, more than 0.5 hours. From the viewpoint of favorable particle growth, it is preferably 1 hour or more, more preferably 3 hours or more, and even more preferably 5 hours or more. The holding time at the holding temperature may be, for example, less than 40 hours, and from the viewpoint of reducing the decrease in crushing strength due to excessive particle growth and reducing industrial inconveniences, it is preferably 30 hours or less, more preferably 20 hours or less.
脱炭工程では、炭窒化ホウ素の粒子にかかる熱が均一になるように、保持温度までの昇温速度は5℃/分以下の範囲内で設定し、かつ、保持時間は1時間以上30時間以下の範囲で設定することが好ましい。昇温速度を遅く、保持時間を長く設定すれば、より均一に熱がかかり、凝集粒子の粒子圧壊強度のばらつきを抑えることができる。In the decarburization process, it is preferable to set the heating rate up to the holding temperature within a range of 5°C/min or less and the holding time within a range of 1 hour to 30 hours so that the heat is applied uniformly to the boron carbonitride particles. Setting a slow heating rate and a long holding time allows heat to be applied more uniformly, suppressing variation in the particle crushing strength of the agglomerated particles.
このようにして得られる窒化ホウ素粉末は、一次粒子が凝集した凝集粒子を有する粉末である。窒化ホウ素粉末に対して、必要に応じて篩によって所望の粒度分布を有する窒化ホウ素粉末が得られるように分級する工程(分級工程)を実施してもよい。The boron nitride powder thus obtained is a powder having agglomerated particles formed by agglomeration of primary particles. If necessary, the boron nitride powder may be subjected to a classification step (classification step) using a sieve to obtain boron nitride powder having a desired particle size distribution.
以上説明した製造方法によって得られる窒化ホウ素粉末においては、炭酸カルシウムの添加量が調整されていることによって、凝集粒子の粒子圧壊強度が調整されている。したがって、上述した製造方法によれば、所望の粒子圧壊強度を有する凝集粒子を得ることができ、更には、所望の圧壊強度を有する窒化ホウ素粉末を得ることができる。従来、粒子圧壊強度に影響する因子として、ホウ素源の添加量が知られているが、炭酸カルシウムの添加量を調整すれば、ホウ素源の添加量を調整するよりも、窒化ホウ素粉末中に炭素が残留しにくく、窒化ホウ素粉末の収率を高めることができる。In the boron nitride powder obtained by the manufacturing method described above, the particle crushing strength of the agglomerated particles is adjusted by adjusting the amount of calcium carbonate added. Therefore, according to the manufacturing method described above, agglomerated particles having the desired particle crushing strength can be obtained, and further, boron nitride powder having the desired crushing strength can be obtained. Conventionally, the amount of boron source added has been known to be a factor that affects particle crushing strength, but by adjusting the amount of calcium carbonate added, carbon is less likely to remain in the boron nitride powder than by adjusting the amount of boron source added, and the yield of boron nitride powder can be increased.
窒化ホウ素粉末の平均粒径は、特に限定されないが、2μm以上、4μm以上、6μm以上、又は8μm以上であってよく、40μm以下、30μm以下、20μm以下、又は15μm以下であってよい。平均粒径は、40μmより大きく、45μm以上、50μm以上、又は55μm以上であってもよく、100μm以下、80μm以下、又は75μm以下であってもよい。窒化ホウ素粉末の平均粒径は、ベックマンコールター社製レーザー回折散乱法粒度分布測定装置(LS-13 320)を用いて、測定処理の前に試料にホモジナイザーをかけずに測定したものであり、累積粒度分布の累積値50%の粒径(メジアン径、D50)である。The average particle size of the boron nitride powder is not particularly limited, but may be 2 μm or more, 4 μm or more, 6 μm or more, or 8 μm or more, and may be 40 μm or less, 30 μm or less, 20 μm or less, or 15 μm or less. The average particle size may be greater than 40 μm, 45 μm or more, 50 μm or more, or 55 μm or more, and may be 100 μm or less, 80 μm or less, or 75 μm or less. The average particle size of the boron nitride powder was measured using a Beckman Coulter Laser Diffraction Scattering Particle Size Distribution Measuring Device (LS-13 320) without applying a homogenizer to the sample before the measurement process, and is the particle size at 50% of the cumulative value of the cumulative particle size distribution (median diameter, D50).
窒化ホウ素粉末における粒子圧壊強度は、1MPa以上、1.5MPa以上、又は2MPa以上であってよく、20MPa以下、15MPa以下、又は10MPa以下であってよい。粒子圧壊強度は、窒化ホウ素粉末の平均粒径が40μm以下である場合には、1MPa以上、1.5MPa以上、又は2MPa以上であってもよく、10MPa以下、7MPa以下、又は5MPa以下であってもよい。粒子圧壊強度は、窒化ホウ素粉末の平均粒径が40μmを超える場合には、1MPa以上、3MPa以上、5MPa以上、又は7MPa以上であってもよく、20MPa以下、15MPa以下、又は10MPa以下であってもよい。The particle crushing strength of the boron nitride powder may be 1 MPa or more, 1.5 MPa or more, or 2 MPa or more, and may be 20 MPa or less, 15 MPa or less, or 10 MPa or less. When the average particle size of the boron nitride powder is 40 μm or less, the particle crushing strength may be 1 MPa or more, 1.5 MPa or more, or 2 MPa or more, and may be 10 MPa or less, 7 MPa or less, or 5 MPa or less. When the average particle size of the boron nitride powder is more than 40 μm, the particle crushing strength may be 1 MPa or more, 3 MPa or more, 5 MPa or more, or 7 MPa or more, and may be 20 MPa or less, 15 MPa or less, or 10 MPa or less.
窒化ホウ素粉末の圧壊強度(累積破壊率が63.2%となる強度)は、1MPa以上、1.5MPa以上、又は2MPa以上であってよく、20MPa以下、15MPa以下、又は10MPa以下であってよい。The crushing strength of the boron nitride powder (the strength at which the cumulative fracture rate is 63.2%) may be 1 MPa or more, 1.5 MPa or more, or 2 MPa or more, and may be 20 MPa or less, 15 MPa or less, or 10 MPa or less.
本発明の他の一実施形態は、炭酸カルシウムの存在下で炭窒化ホウ素粉末を加熱して窒化ホウ素粉末を得る脱炭工程を備え、脱炭工程において、炭酸カルシウムの添加量を調整することにより、窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度を調整する方法(粒子圧壊強度の調整方法)ということができる。脱炭工程の詳細な態様は上述したとおりである。この方法により、窒化ホウ素粉末における粒子圧壊強度を所望の範囲に調整することが容易となる。Another embodiment of the present invention includes a decarburization process in which boron carbonitride powder is heated in the presence of calcium carbonate to obtain boron nitride powder, and the amount of calcium carbonate added in the decarburization process is adjusted to adjust the particle crushing strength of the boron nitride powder (a method for adjusting particle crushing strength). The detailed aspects of the decarburization process are as described above. This method makes it easy to adjust the particle crushing strength of the boron nitride powder to a desired range.
また、上述した製造方法によれば、脱炭工程において炭酸カルシウムの添加量が調整されることにより、粒子圧壊強度のばらつきが抑制された窒化ホウ素粉末を得ることができる。窒化ホウ素粉末における粒子圧壊強度のばらつきとは、窒化ホウ素粉末に含まれる凝集粒子間における粒子圧壊強度の標準偏差が小さいことを意味する。Furthermore, according to the above-mentioned manufacturing method, by adjusting the amount of calcium carbonate added in the decarburization process, it is possible to obtain boron nitride powder with reduced variation in particle crushing strength. The variation in particle crushing strength in boron nitride powder means that the standard deviation of particle crushing strength between agglomerated particles contained in the boron nitride powder is small.
本明細書における窒化ホウ素粉末は、同一の製造ロットで得られるものを指すため、この窒化ホウ素粉末において粒子圧壊強度のばらつきが小さいということは、窒化ホウ素粉末の同一の製造ロット内での凝集粒子のばらつきが小さいことを意味する。なお、本明細書における製造ロットとは、上述した製造方法によって、同一設備で一連の工程により一度に製造された窒化ホウ素粉末をいう。In this specification, boron nitride powder refers to powder obtained from the same production lot, so the small variation in particle crushing strength of this boron nitride powder means that the variation in agglomerated particles within the same production lot of boron nitride powder is small. Note that the production lot in this specification refers to boron nitride powder produced at one time through a series of steps in the same facility using the above-mentioned production method.
本発明の他の一実施形態は、粒子圧壊強度の標準偏差が3MPa以下である、窒化ホウ素粉末ということができる。すなわち、この窒化ホウ素粉末は、同一の製造ロットである窒化ホウ素粉末であって、凝集粒子間の粒子圧壊強度の標準偏差が3MPa以下である。凝集粒子間の粒子圧壊強度の標準偏差は、上述した製造方法により得られる窒化ホウ素粉末から20粒子の凝集粒子を取り出し、各粒子の粒子圧壊強度を測定してからその標準偏差を算出することにより得られる。Another embodiment of the present invention can be said to be a boron nitride powder having a standard deviation of particle crushing strength of 3 MPa or less. In other words, this boron nitride powder is boron nitride powder from the same production lot, and the standard deviation of particle crushing strength between agglomerated particles is 3 MPa or less. The standard deviation of particle crushing strength between agglomerated particles is obtained by taking 20 agglomerated particles from the boron nitride powder obtained by the above-mentioned production method, measuring the particle crushing strength of each particle, and then calculating the standard deviation.
この窒化ホウ素粉末において、粒子圧壊強度の標準偏差は、3MPa以下であり、また、2.9MPa以下、2.5MPa以下、2.3MPa以下、又は2MPa以下であってもよい。窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度の標準偏差は、窒化ホウ素粉末の平均粒径が40μm以下である場合には、3MPa以下、2.5MPa以下、2MPa以下、又は1.7MPa以下であってもよい。窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度の標準偏差は、窒化ホウ素粉末の平均粒径が40μmを超える場合には、3MPa以下、2.9MPa以下、又は2.5MPa以下であってもよい。炭酸カルシウムの添加量を多くすると、上記標準偏差を小さくできる傾向にある。In this boron nitride powder, the standard deviation of the particle crushing strength is 3 MPa or less, and may be 2.9 MPa or less, 2.5 MPa or less, 2.3 MPa or less, or 2 MPa or less. When the average particle size of the boron nitride powder is 40 μm or less, the standard deviation of the particle crushing strength of the boron nitride powder may be 3 MPa or less, 2.5 MPa or less, 2 MPa or less, or 1.7 MPa or less. When the average particle size of the boron nitride powder is more than 40 μm, the standard deviation of the particle crushing strength of the boron nitride powder may be 3 MPa or less, 2.9 MPa or less, or 2.5 MPa or less. Increasing the amount of calcium carbonate added tends to reduce the standard deviation.
さらに、上述した製造方法によれば、脱炭工程において炭酸カルシウムの添加量が調整されることにより、互いに異なる製造ロットの窒化ホウ素粉末同士においても、粒子圧壊強度のばらつきを抑制することができる。Furthermore, according to the above-mentioned manufacturing method, by adjusting the amount of calcium carbonate added in the decarburization process, it is possible to suppress variation in particle crushing strength even between boron nitride powders from different production lots.
本発明の他の一実施形態は、複数の集合体で構成されるセットであって、複数の集合体は、それぞれ互いに異なる製造ロットの窒化ホウ素粉末を有し、セットにおける窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度の標準偏差が3MPa以下である、セットということができる。Another embodiment of the present invention is a set composed of a plurality of assemblies, each of which has boron nitride powder from a different production lot, and the standard deviation of the particle crushing strength of the boron nitride powder in the set is 3 MPa or less.
一実施形態に係るセットは、複数の集合体から構成されている。複数の集合体は、それぞれ上述した製造方法により得られる窒化ホウ素粉末を有しており、かつ、複数の集合体は、それぞれ互いに異なる製造ロットの窒化ホウ素粉末を有する。The set according to one embodiment is composed of a plurality of assemblies. Each of the plurality of assemblies contains boron nitride powder obtained by the manufacturing method described above, and each of the plurality of assemblies contains boron nitride powder from different manufacturing lots.
このセットにおいて、セットを構成する複数の集合体中の第1の集合体は、上述した製造方法で得られる、一の製造ロットの窒化ホウ素粉末を有する。In this set, a first aggregate among the multiple aggregates that make up the set contains boron nitride powder from one production lot obtained by the manufacturing method described above.
一実施形態において、第1の集合体は、一の製造ロット(ロットAと呼ぶ)の窒化ホウ素粉末のみから構成されていてよい。この場合、第1の集合体は、一の包装袋等に入れられたロットAの窒化ホウ素粉末で構成されていてよく、複数の包装袋等に分けて入れられたロットAの窒化ホウ素粉末の群で構成されていてもよい。In one embodiment, the first aggregate may be composed of only boron nitride powder from one production lot (referred to as lot A). In this case, the first aggregate may be composed of boron nitride powder from lot A contained in one packaging bag or the like, or may be composed of a group of boron nitride powder from lot A divided and contained in multiple packaging bags or the like.
他の実施形態において、第1の集合体は、ロットAの窒化ホウ素粉末と、ロットAとは異なる一以上の製造ロットの窒化ホウ素粉末との混合物(混合物Aと呼ぶ)であってもよい。この場合、第1の集合体は、一の包装袋等に入れられた混合物Aの窒化ホウ素粉末で構成されていてよく、複数の包装袋等に分けて入れられた混合物Aの窒化ホウ素粉末の群で構成されていてもよい。In another embodiment, the first assembly may be a mixture (referred to as mixture A) of boron nitride powder from lot A and boron nitride powder from one or more production lots different from lot A. In this case, the first assembly may be composed of the boron nitride powder from mixture A contained in one packaging bag or the like, or may be composed of groups of the boron nitride powder from mixture A divided and contained in multiple packaging bags or the like.
各実施形態において、複数の集合体中の第2の集合体は、少なくともロットAとは異なるロット(ロットB)の窒化ホウ素粉末を有する。「ロットAとは異なる製造ロット」とは、製造条件をロットAと同様に設定し、同様の設備等で製造されるものの、ロットAとは異なる時期に製造されるロットを意味する。「ロットBとは異なる製造ロット」等の表現においても同様の意味である。In each embodiment, the second aggregate of the multiple aggregates has boron nitride powder from at least a lot (lot B) different from lot A. "A production lot different from lot A" means a lot that is produced under the same production conditions as lot A and using similar equipment, etc., but is produced at a different time than lot A. The same meaning is also applied to expressions such as "a production lot different from lot B."
第2の集合体は、ロットBの窒化ホウ素粉末のみから構成されていてよい。この場合、第2の集合体は、一の包装袋等に入れられたロットBの窒化ホウ素粉末で構成されていてよく、複数の包装袋等に分けて入れられたロットBの窒化ホウ素粉末の群で構成されていてもよい。The second aggregate may be composed only of boron nitride powder of lot B. In this case, the second aggregate may be composed of boron nitride powder of lot B contained in one packaging bag or the like, or may be composed of a group of boron nitride powder of lot B divided and contained in multiple packaging bags or the like.
あるいは、第2の集合体は、ロットBの窒化ホウ素粉末と、ロットBとは異なる一以上の製造ロットの窒化ホウ素粉末との混合物(混合物B)であってもよい。この場合、第2の集合体は、一の包装袋等に入れられた混合物Bで構成されていてよく、複数の包装袋等に入れられた混合物Bの群で構成されていてもよい。第1の集合体と第2の集合体が全く同一にならない限り、混合物BにはロットAの窒化ホウ素粉末が含まれていてもよい。Alternatively, the second assembly may be a mixture (mixture B) of boron nitride powder from lot B and boron nitride powder from one or more production lots different from lot B. In this case, the second assembly may be composed of mixture B contained in one packaging bag or the like, or may be composed of a group of mixture B contained in multiple packaging bags or the like. Mixture B may contain boron nitride powder from lot A, so long as the first assembly and the second assembly are not exactly the same.
この実施形態において、セットが更に他の集合体(第3の集合体、第4の集合体等)を備えてもよい。このとき、各集合体同士の関係は、上述した第1の集合体及び第2の集合体の関係と同様である。In this embodiment, the set may further include other assemblies (a third assembly, a fourth assembly, etc.). In this case, the relationship between the assemblies is the same as the relationship between the first assembly and the second assembly described above.
以上説明したセットにおいては、上述した製造方法により製造される窒化ホウ素粉末を有するため、複数の集合体間における窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度のばらつきを小さくすることができる。すなわち、このセットでは、各集合体間の粒子圧壊強度の標準偏差を3MPa以下にすることができる。The set described above contains boron nitride powder manufactured by the above-mentioned manufacturing method, so that the variation in particle crushing strength of the boron nitride powder between multiple aggregates can be reduced. In other words, in this set, the standard deviation of particle crushing strength between each aggregate can be made 3 MPa or less.
セットにおける粒子圧壊強度は、セットを構成する集合体のそれぞれから、窒化ホウ素粉末の凝集粒子を20粒子ずつ取り出し、全ての粒子の粒子圧壊強度を測定してからその標準偏差を算出することにより得られる。The particle crushing strength of a set is obtained by taking 20 agglomerated particles of boron nitride powder from each of the aggregates that make up the set, measuring the particle crushing strength of all the particles, and then calculating the standard deviation.
セットにおける粒子圧壊強度の標準偏差は、3MPa以下であり、2.9MPa以下、2.5MPa以下、2.3MPa以下、又は2MPa以下であってもよい。The standard deviation of particle crushing strength in the set is 3 MPa or less, and may be 2.9 MPa or less, 2.5 MPa or less, 2.3 MPa or less, or 2 MPa or less.
セットにおける粒子圧壊強度の標準偏差は、窒化ホウ素粉末の平均粒径が40μm以下である場合には、3MPa以下、2.5MPa以下、2MPa以下、又は1.7MPa以下であってもよい。セットにおける粒子圧壊強度の標準偏差は、窒化ホウ素粉末の平均粒径が40μmを超える場合には、3MPa以下、2.9MPa以下、又は2.5MPa以下であってもよい。The standard deviation of the particle crushing strength in the set may be 3 MPa or less, 2.5 MPa or less, 2 MPa or less, or 1.7 MPa or less when the average particle size of the boron nitride powder is 40 μm or less. The standard deviation of the particle crushing strength in the set may be 3 MPa or less, 2.9 MPa or less, or 2.5 MPa or less when the average particle size of the boron nitride powder is more than 40 μm.
なお、セットは、例えば、同一製品の窒化ホウ素粉末について、複数の包装体の状態で存在するものであり、倉庫等で複数の包装体が場所的に近接して存在して保管される状態はセットにあたる。また、時間的に同時に複数の集合体が存在する状況がなくても、同一の製造主体が複数の集合体を製造し、製造後に各集合体を直ちに搬出する場合もセットの製造にあたる。また、倉庫や製造工場等から搬出された包装体がその後に、例えば、同一製品の原料として保管される場合もセットにあたる。また、時間的に同時でなくても、同一製品の製造のために、複数の包装体を購入等すればセットの購入等にあたる。 A set is, for example, when the same product of boron nitride powder exists in the form of multiple packages, and multiple packages stored in close proximity in a warehouse or the like constitutes a set. Even if multiple assemblies do not exist simultaneously in time, the same manufacturing entity may manufacture multiple assemblies and immediately transport each assembly after production, which also constitutes the manufacture of a set. Packages that are transported out of a warehouse or manufacturing plant and then stored, for example, as raw materials for the same product, also constitute a set. Even if they do not exist simultaneously in time, the purchase of multiple packages for the manufacture of the same product constitutes the purchase of a set.
上述した窒化ホウ素粉末、及び窒化ホウ素粉末を有する複数の集合体からなるセットを用いて、窒化ホウ素粉末が充填された樹脂組成物を製造することができる。粒子圧壊強度が調整され、所定の粒子圧壊強度を有する窒化ホウ素粉末を、より粒子圧壊強度の強い窒化ホウ素粉末と組み合わせて樹脂に充填し樹脂組成物として使用すると、所望の特性を有する樹脂組成物を安定して製造できる。A resin composition filled with boron nitride powder can be produced using the above-mentioned boron nitride powder and a set of multiple aggregates containing boron nitride powder. When boron nitride powder with a predetermined particle crushing strength, which has been adjusted in particle crushing strength, is combined with boron nitride powder with a stronger particle crushing strength and filled into a resin to be used as a resin composition, a resin composition with desired properties can be stably produced.
以下、実施例に基づき本発明を更に具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。The present invention will be explained in more detail below with reference to examples, but the present invention is not limited to the following examples.
<実施例1>
[炭窒化ホウ素粉末の作製]
オルトホウ酸(日本電工株式会社製、以下単に「ホウ酸」という。)100質量部と、アセチレンブラック(HS100、デンカ株式会社製)35質量部とをヘンシェルミキサーを用いて混合したのち、黒鉛ルツボ中に充填した。この黒鉛ルツボをアーク炉に入れ、アルゴン雰囲気で、2200℃にて5時間加熱し、塊状の炭化ホウ素(B4C)粉末を合成した。合成した塊状の炭化ホウ素粉末をボールミルで1時間粉砕し、篩網を用いて粒径75μm以下に篩分けした。篩分け後の炭化ホウ素粉末を更に硝酸水溶液で洗浄して鉄分等の不純物を除去し、濾過及び乾燥させることによって、平均粒径39.9μmの炭化ホウ素粉末(B4C粉末)を作製した。
Example 1
[Preparation of boron carbonitride powder]
100 parts by mass of orthoboric acid (manufactured by Nippon Denko Co., Ltd., hereinafter simply referred to as "boric acid") and 35 parts by mass of acetylene black (HS100, manufactured by Denka Co., Ltd.) were mixed using a Henschel mixer, and then filled into a graphite crucible. The graphite crucible was placed in an arc furnace and heated at 2200°C for 5 hours in an argon atmosphere to synthesize a lump of boron carbide (B 4 C) powder. The synthesized lump of boron carbide powder was pulverized in a ball mill for 1 hour and sieved into particles of 75 μm or less using a sieve. The sieved boron carbide powder was further washed with an aqueous nitric acid solution to remove impurities such as iron, and filtered and dried to produce a boron carbide powder (B 4 C powder) with an average particle size of 39.9 μm.
作製した炭化ホウ素粉末を窒化ホウ素ルツボに充填した。抵抗加熱炉を用い、窒素ガスの雰囲気で、2000℃、0.85MPaの条件で炭化ホウ素粉末を20時間加熱することにより、炭窒化ホウ素(B4CN4)粉末を得た。 The produced boron carbide powder was filled into a boron nitride crucible and heated in a resistance heating furnace under conditions of 2000° C. and 0.85 MPa in a nitrogen gas atmosphere for 20 hours to obtain boron carbonitride (B 4 CN 4 ) powder.
[窒化ホウ素粉末の作製]
炭窒化ホウ素粉末40質量部及びホウ酸60質量部に、炭窒化ホウ素粉末100質量部に対して0.125質量%となる量の炭酸カルシウムを添加して、これらをヘンシェルミキサーにより混合した。この混合物を窒化ホウ素ルツボに充填し、抵抗加熱炉を用いて加熱することにより脱炭して、一次粒子が凝集した凝集粒子を有する窒化ホウ素粉末を合成した。加熱条件としては、常圧の窒素ガスの雰囲気で、室温から1000℃までの昇温速度を10℃/分、1000℃からの昇温速度を0.5℃/分で昇温し、保持温度2000℃、保持時間5時間とした。合成した窒化ホウ素粉末を乳鉢により10分解砕した後、篩目75μmのナイロン篩にて分級を行った。これにより、平均粒径55.8μmの窒化ホウ素粉末(「BN粉末」ともいう。)を得た。
[Preparation of boron nitride powder]
40 parts by mass of boron carbonitride powder and 60 parts by mass of boric acid were added with calcium carbonate in an amount of 0.125% by mass relative to 100 parts by mass of boron carbonitride powder, and mixed by a Henschel mixer. This mixture was filled into a boron nitride crucible and decarbonized by heating using a resistance heating furnace to synthesize boron nitride powder having aggregated particles in which primary particles were aggregated. The heating conditions were a normal pressure nitrogen gas atmosphere, a heating rate from room temperature to 1000°C of 10°C/min, a heating rate from 1000°C of 0.5°C/min, a holding temperature of 2000°C, and a holding time of 5 hours. The synthesized boron nitride powder was crushed into 10 pieces in a mortar, and then classified using a nylon sieve with a sieve mesh of 75 μm. As a result, boron nitride powder (also called "BN powder") with an average particle size of 55.8 μm was obtained.
<別ロットの作製>
実施例1の方法により別ロットの窒化ホウ素粉末を作製した。合計で3ロットの窒化ホウ素粉末を得た。
<Production of a different lot>
Another lot of boron nitride powder was produced by the method of Example 1. A total of three lots of boron nitride powder were obtained.
<実施例2~7>
原料である炭化ホウ素粉末(B4C粉末)の平均粒径、及び/又は炭酸カルシウムの添加量を表1に記載したとおりに変更した以外は、実施例1と同様の方法によって窒化ホウ素粉末を作製した。実施例2~7のいずれにおいても、3ロットずつ窒化ホウ素粉末を作製した。
<Examples 2 to 7>
Boron nitride powders were produced in the same manner as in Example 1, except that the average particle size of the raw material boron carbide powder (B 4 C powder) and/or the amount of calcium carbonate added were changed as shown in Table 1. In each of Examples 2 to 7, three lots of boron nitride powder were produced.
[粒子圧壊強度の測定]
実施例に係る窒化ホウ素粉末について、JIS R1639-5:2007に準じて粒子圧壊強度を測定した。測定装置としては、微小圧縮試験器(MCT-W500、株式会社島津製作所製)を用いた。粒子圧壊強度(σ:単位MPa)は、粒子内の位置によって変化する無次元数(α=2.48)と圧壊試験力(P:単位N)と粒子径(d:単位μm)から、σ=α×P/(π×d2)の式を用いて測定した。各実施例の1ロットについて、20粒子ずつの凝集粒子について粒子圧壊強度を測定した。また、測定した20粒子の粒子圧壊強度から、累積破壊率63.2%の時点での値を窒化ホウ素粉末の圧壊強度として算出した。
[Measurement of particle crushing strength]
The particle crushing strength of the boron nitride powder according to the embodiment was measured in accordance with JIS R1639-5:2007. A microcompression tester (MCT-W500, manufactured by Shimadzu Corporation) was used as the measuring device. The particle crushing strength (σ: unit MPa) was measured using the equation σ=α×P/(π×d2) from the dimensionless number (α=2.48) that changes depending on the position in the particle, the crushing test force (P: unit N), and the particle diameter (d: unit μm). For one lot of each embodiment, the particle crushing strength was measured for agglomerated particles of 20 particles each. In addition, from the particle crushing strengths of the measured 20 particles, the value at the time when the cumulative destruction rate was 63.2% was calculated as the crushing strength of the boron nitride powder.
累積破壊率63.2%の時点での窒化ホウ素粉末の圧壊強度の値を表1に示す。表1に示すように、窒化ホウ素粉末の製造において、炭酸カルシウムの添加量を調整することによって、粒子圧壊強度が調整でき、これにより窒化ホウ素粉末の圧壊強度を調整できることが分かった。The crushing strength value of the boron nitride powder at a cumulative destruction rate of 63.2% is shown in Table 1. As shown in Table 1, it was found that in the production of boron nitride powder, the particle crushing strength can be adjusted by adjusting the amount of calcium carbonate added, thereby adjusting the crushing strength of the boron nitride powder.
次に、各実施例において、同一ロットの凝集粒子20粒子分の粒子圧壊強度の標準偏差を算出した。その結果を表1に示す。各実施例において、3つのロットにおける各ロット内の標準偏差はそれぞれ同等(±0.2)といえる値であったため、代表値を1つ示した。表1に示すように、実施例に係る窒化ホウ素粉末では、同一の製造ロット内の窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度のばらつきが小さかった。実施例1と実施例2は、窒化ホウ素粉末の圧壊強度は同等であるが、炭酸カルシウムの添加量を増やした実施例2においては、実施例1よりも標準偏差が小さくなり、粒子圧壊強度のばらつきが更に小さくなることが分かった。Next, in each example, the standard deviation of particle crushing strength for 20 agglomerated particles of the same lot was calculated. The results are shown in Table 1. In each example, the standard deviation within each of the three lots was equivalent (±0.2), so one representative value is shown. As shown in Table 1, the boron nitride powder according to the example had small variation in particle crushing strength within the same production lot. The boron nitride powders of Examples 1 and 2 had the same crushing strength, but Example 2, in which the amount of calcium carbonate added was increased, had a smaller standard deviation than Example 1, and it was found that the variation in particle crushing strength was even smaller.
また、各実施例において、1ロット目の窒化ホウ素粉末を第1の集合体とし、2ロット目の窒化ホウ素粉末を第2の集合体とし、3ロット目の窒化ホウ素粉末を第3の集合体として、3つの集合体からなる窒化ホウ素粉末のセットを構成した。各集合体のそれぞれから凝集粒子を20粒子ずつ取り出し、粒子圧壊強度の標準偏差(計60粒子の標準偏差)をセットにおける標準偏差(集合体間の標準偏差)として算出した。その結果、各実施例における集合体間の標準偏差は、上述したロット内における標準偏差と同等(±0.2)といえる値であった。In each example, a set of boron nitride powder consisting of three aggregates was constructed, with the first lot of boron nitride powder as the first aggregate, the second lot of boron nitride powder as the second aggregate, and the third lot of boron nitride powder as the third aggregate. 20 particles of agglomerated particles were taken from each aggregate, and the standard deviation of the particle crushing strength (standard deviation of a total of 60 particles) was calculated as the standard deviation in the set (standard deviation between aggregates). As a result, the standard deviation between aggregates in each example was a value that could be said to be equivalent (±0.2) to the standard deviation within the above-mentioned lot.
一方、実施例2の方法で製造された1ロット分の窒化ホウ素粉末を第1の集合体とし、実施例3の方法で製造された1ロット分の窒化ホウ素粉末を第2の集合体とし、実施例4の方法で製造された1ロット分の窒化ホウ素粉末を第3の集合体として、3つの集合体からなる窒化ホウ素粉末のセットを構成した。各集合体のそれぞれから凝集粒子を20粒子ずつ取り出し、粒子圧壊強度の標準偏差(計60粒子の標準偏差)をセットにおける標準偏差(集合体間の標準偏差)として算出したところ、3.3であった。すなわち、窒化ホウ素粉末の製造において、炭酸カルシウムの添加量を細かく調整することにより、互いに異なる製造ロットの窒化ホウ素粉末を有する複数の集合体から構成されるセットにおいて、粒子圧壊強度のばらつきを小さくできることが分かった。On the other hand, a set of boron nitride powder consisting of three aggregates was constructed, with one lot of boron nitride powder produced by the method of Example 2 as the first aggregate, one lot of boron nitride powder produced by the method of Example 3 as the second aggregate, and one lot of boron nitride powder produced by the method of Example 4 as the third aggregate. 20 aggregate particles were taken out from each aggregate, and the standard deviation of the particle crushing strength (standard deviation of a total of 60 particles) was calculated as the standard deviation in the set (standard deviation between aggregates), which was 3.3. In other words, it was found that by finely adjusting the amount of calcium carbonate added in the production of boron nitride powder, the variation in particle crushing strength can be reduced in a set consisting of multiple aggregates having boron nitride powder from different production lots.
実施例1について、上記3つの製造ロットの窒化ホウ素粉末を別々に用いて樹脂組成物を製造したところ、同様の製造条件で所望の特性を有する樹脂組成物が得られた。一方、実施例5においては同様に3つの製造ロットの窒化ホウ素粉末を用いて樹脂組成物を得ることができたが、実施例1とは粒子圧壊強度が異なるため、製造条件は異なっていた。製造条件を細かく変更しながら樹脂組成物を製造することは実質的に非常に困難であることからすると、炭酸カルシウムの添加量により粒子圧壊強度を調整することで、所望の特性を有する樹脂組成物を安定して製造できるといえる。In Example 1, the resin composition was produced using the boron nitride powder from the above three production lots separately, and a resin composition having the desired properties was obtained under similar production conditions. On the other hand, in Example 5, a resin composition was obtained using the boron nitride powder from the three production lots in the same way, but the production conditions were different from those in Example 1 because the particle crushing strength was different. Since it is practically very difficult to produce a resin composition while minutely changing the production conditions, it can be said that a resin composition having the desired properties can be stably produced by adjusting the particle crushing strength by the amount of calcium carbonate added.
Claims (4)
前記脱炭工程において、前記炭酸カルシウムの添加量を調整することにより、前記窒化ホウ素粉末の粒子圧壊強度を調整する方法。 A decarburization step of heating the boron carbonitride powder in the presence of calcium carbonate to obtain boron nitride powder,
A method for adjusting the particle crushing strength of the boron nitride powder by adjusting the amount of calcium carbonate added in the decarburization step.
前記炭酸カルシウムの存在下で前記炭窒化ホウ素粉末を加熱して脱炭する工程と、を備える、窒化ホウ素粉末の製造方法。 adding calcium carbonate to the boron carbonitride powder to adjust particle crush strength;
and heating the boron carbonitride powder in the presence of the calcium carbonate to decarburize the boron carbonitride powder.
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