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JP7704516B2 - Varnish composition and method for producing polyimide film - Google Patents
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JP7704516B2 - Varnish composition and method for producing polyimide film - Google Patents

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Description

本発明は、ポリイミド樹脂と、当該ポリイミド樹脂を含むワニス組成物と、当該ワニス組成物を用いるポリイミド樹脂膜の製造方法に関する。 The present invention relates to a polyimide resin, a varnish composition containing the polyimide resin, and a method for producing a polyimide resin film using the varnish composition.

ポリイミド樹脂は、優れた耐熱性、機械的強度、及び絶縁性や、低誘電率等の特性を有するため、種々の素子や、多層配線基板等の電子基板のような電気・電子部品において、絶縁材や保護材として広く使用されている。一般に、ポリイミド樹脂は、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とを重合して得られるポリアミック酸の溶液を、高温で熱処理して形成される。 Polyimide resins have excellent heat resistance, mechanical strength, insulating properties, low dielectric constant, and other properties, and are therefore widely used as insulating and protective materials in various electrical and electronic components, such as electronic substrates, such as multilayer wiring boards, and various elements. In general, polyimide resins are formed by heat-treating at high temperatures a solution of polyamic acid, which is obtained by polymerizing a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component.

また、近年、携帯電話等の通信機器では、高周波数化が進んでいる。そのため、通信機器が有する金属配線を絶縁する絶縁部にも高周波数化への対応が求められる。
ここで、周波数が高いほど伝送損失が増加し、伝送損失が増加すると電気信号が減衰する。したがって、高周波数化への対応として、伝送損失を低減することが求められる。
この点、ポリイミド樹脂は、高周波帯域において低い誘電正接と、低い誘電率とを示し、高周波特性に優れる。このため、ポリイミド樹脂は、高周波帯域で使用される種々の基板や素子において、伝送損失を低減にし得る材料として注目されている。
In recent years, communication devices such as mobile phones have become increasingly higher in frequency, which has led to demand for insulating parts that insulate metal wiring in communication devices to be able to handle higher frequencies.
Here, the higher the frequency, the greater the transmission loss, and the increased transmission loss causes the electrical signal to attenuate. Therefore, in order to accommodate the increase in frequency, it is necessary to reduce the transmission loss.
In this regard, polyimide resins have excellent high-frequency characteristics, exhibiting a low dielectric tangent and a low dielectric constant in the high-frequency band, and therefore have been attracting attention as a material capable of reducing transmission loss in various substrates and elements used in the high-frequency band.

このような高周波特性に優れるポリイミド樹脂としては、特定の構造の芳香族テトラカルボン酸二無水物と、ジアミノクウォーターフェニルとを反応させて得られるポリアミック酸を、高温でイミド化させて得られるポリイミド樹脂が提案されている(特許文献1) As a polyimide resin with such excellent high-frequency characteristics, a polyimide resin obtained by imidizing at high temperature a polyamic acid obtained by reacting an aromatic tetracarboxylic dianhydride with a specific structure with diaminoquatphenyl has been proposed (Patent Document 1).

特開2018-080315号公報JP 2018-080315 A

しかしながら、特許文献1に記載されるようなポリイミド樹脂は、上記の通り、前駆体であるポリアミック酸を含むワニスを塗布した後に、塗布膜を高温で加熱して形成される。このため、ポリイミド樹脂を含む基板や素子を製造する際に、ポリイミド樹脂とともに用いる材料の選択に、耐熱性の観点から大きな制限がある。
また、基板や素子の設計によっては、微細な領域のみにポリイミド樹脂を形成することが要求される場合がある。
However, the polyimide resin described in Patent Document 1 is formed by applying a varnish containing a polyamic acid precursor and then heating the applied film at a high temperature, as described above. Therefore, when manufacturing a substrate or element containing a polyimide resin, there is a significant restriction in terms of heat resistance in the selection of materials to be used together with the polyimide resin.
Furthermore, depending on the design of the substrate or element, there are cases where it is required to form the polyimide resin only in a minute area.

上記の事情から、有機溶媒に可溶であって、感光性の硬化剤の作用により硬化し得る感光性を有するポリイミド樹脂が求められている。
このようなポリイミド樹脂を用いると、感光性のポリイミド樹脂が有機溶媒中に溶解した感光性のワニスが得られる。かかる感光性のワニスを用いると、ワニスを基板等に塗布し、次いで、塗布膜から有機溶媒を除去した後に、フォトリソグラフィー法により微細且つ精密な形状のポリイミド樹脂を形成できる。この方法によれば、高温での加熱を行うことなく、ポリイミド樹脂が形成される。
In view of the above circumstances, there is a demand for a polyimide resin that is soluble in an organic solvent and has photosensitivity that can be cured by the action of a photosensitive curing agent.
By using such a polyimide resin, a photosensitive varnish is obtained in which the photosensitive polyimide resin is dissolved in an organic solvent. By using such a photosensitive varnish, the varnish can be applied to a substrate or the like, and then the organic solvent can be removed from the applied film, after which a polyimide resin having a fine and precise shape can be formed by a photolithography method. According to this method, the polyimide resin can be formed without heating at a high temperature.

本発明は、上記の課題に鑑みなされたものであって、有機溶媒に可溶であって、感光性の硬化剤の作用により硬化し得る感光性を有し、高周波帯域における誘電特性に優れる硬化物を与えるポリイミド樹脂と、当該ポリイミド樹脂を含むワニス組成物と、当該ワニス組成物を用いるポリイミド膜の製造方法とを提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of the above problems, and aims to provide a polyimide resin that is soluble in an organic solvent, has photosensitivity that can be cured by the action of a photosensitive curing agent, and gives a cured product with excellent dielectric properties in the high frequency band, a varnish composition containing the polyimide resin, and a method for producing a polyimide film using the varnish composition.

本発明者らは、ポリイミド樹脂の主鎖上にラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を結合させるとともに、ポリイミド樹脂の主鎖を構成する構成単位中に、特定の構造のビスフェノール類に由来する骨格を含ませることにより上記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。より具体的には、本発明は以下のものを提供する。 The inventors discovered that the above problems can be solved by bonding a radically polymerizable group or a cationic polymerizable group to the main chain of a polyimide resin and by including a skeleton derived from a bisphenol having a specific structure in the structural units that make up the main chain of the polyimide resin, and thus completed the present invention. More specifically, the present invention provides the following.

本発明の第1の態様は、
下記式(A1a):

Figure 0007704516000001
(式(A1a)中、Xは、ジアミンに由来する2価の有機残基であり、Yは、テトラカルボン酸二無水物に由来する4価の有機残基である。)
で表される構成単位を含む分子鎖を有し、
としての有機残基、及びYとしての有機残基の少なくとも一方が、下記式(a1):
Figure 0007704516000002
(式(a1)中、Ra1及びRa2は、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、又はハロゲン原子であり、n1及びn2は、それぞれ独立に0以上4以下の整数であり、Ra3及びRa4は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のハロゲン化アルキル基、又はフェニル基であり、Ra3とRa4とは互いに結合して環を形成してもよい。)
で表される部分構造を有し、
分子鎖が、ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を含む、ポリイミド樹脂である。 The first aspect of the present invention is a method for producing a cellular membrane comprising the steps of:
The following formula (A1a):
Figure 0007704516000001
In formula (A1a), X1 is a divalent organic residue derived from a diamine, and Y2 is a tetravalent organic residue derived from a tetracarboxylic dianhydride.
The molecular chain includes a structural unit represented by
At least one of the organic residue represented by X1 and the organic residue represented by Y1 is represented by the following formula (a1):
Figure 0007704516000002
(In formula (a1), R a1 and R a2 each independently represent an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, or a halogen atom; n1 and n2 each independently represent an integer of from 0 to 4; R a3 and R a4 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, a halogenated alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, or a phenyl group; and R a3 and R a4 may be bonded to each other to form a ring.)
The partial structure represented by
The polyimide resin has a molecular chain containing a radically polymerizable group or a cationic polymerizable group.

本発明の第2の態様は、第1の態様にかかるポリイミド樹脂(A)と、有機溶媒(S)とを含む、ワニス組成物である。 The second aspect of the present invention is a varnish composition comprising the polyimide resin (A) according to the first aspect and an organic solvent (S).

本発明の第3の態様は、
第2の態様にかかるワニス組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成する塗布工程と、
塗布膜から有機溶媒(S)の少なくとも一部を除去する、有機溶媒除去工程と、
を含む、ポリイミド膜の製造方法である。
A third aspect of the present invention is a method for producing a composition comprising the steps of:
A coating step of coating the varnish composition according to the second aspect onto a substrate to form a coating film;
an organic solvent removing step of removing at least a part of the organic solvent (S) from the coating film;
The method for producing a polyimide film includes the steps of:

本発明によれば、有機溶媒に可溶であって、感光性の硬化剤の作用により硬化し得る感光性を有し、高周波帯域における誘電特性に優れる硬化物を与えるポリイミド樹脂と、当該ポリイミド樹脂を含むワニス組成物と、当該ワニス組成物を用いるポリイミド膜の製造方法とを提供することができる。 The present invention provides a polyimide resin that is soluble in an organic solvent, has photosensitivity that allows it to be cured by the action of a photosensitive curing agent, and gives a cured product that has excellent dielectric properties in the high frequency band, a varnish composition that contains the polyimide resin, and a method for producing a polyimide film that uses the varnish composition.

≪ポリイミド樹脂≫
ポリイミド樹脂は、下記式(A1a):

Figure 0007704516000003
(式(A1a)中、Xは、2価の有機基であり、Yは、4価の有機基である。)
で表される構成単位を含む分子鎖を有する。 <Polyimide resin>
The polyimide resin has the following formula (A1a):
Figure 0007704516000003
(In formula (A1a), X1 is a divalent organic group, and Y1 is a tetravalent organic group.)
The molecular chain includes a structural unit represented by the formula:

上記式(A1a)において、Xとしての2価の有機基、及びYとしての4価の有機基の少なくとも一方が、下記式(a1):

Figure 0007704516000004
(式(a1)中、Ra1及びRa2は、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、又はハロゲン原子であり、n1及びn2は、それぞれ独立に0以上4以下の整数であり、Ra3及びRa4は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のハロゲン化アルキル基、又はフェニル基であり、Ra3とRa4とは互いに結合して環を形成してもよい。)
で表される部分構造を有する。 In the above formula (A1a), at least one of the divalent organic group represented by X1 and the tetravalent organic group represented by Y1 is represented by the following formula (a1):
Figure 0007704516000004
(In formula (a1), R a1 and R a2 each independently represent an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, or a halogen atom; n1 and n2 each independently represent an integer of from 0 to 4; R a3 and R a4 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, a halogenated alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, or a phenyl group; and R a3 and R a4 may be bonded to each other to form a ring.)
It has a partial structure represented by the following formula:

ポリイミド樹脂が上記式(A1a)で表される構成単位を有することにより、ポリイミド樹脂は種々の有機溶媒に対して可溶である。
ポリイミド樹脂における、上記式(A1a)で表される構成単位の含有量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。ポリイミド樹脂における、上記式(A1a)で表される構成単位の含有量は、ポリイミド樹脂の質量に対して50質量%以上が好ましく、70質量%以上がより好ましく、80質量%以上がさらに好ましく、90質量%以上がより好ましく、95質量%以上が特に好ましい。
Since the polyimide resin has the constitutional unit represented by the above formula (A1a), the polyimide resin is soluble in various organic solvents.
The content of the structural unit represented by the above formula (A1a) in the polyimide resin is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention. The content of the structural unit represented by the above formula (A1a) in the polyimide resin is preferably 50 mass% or more, more preferably 70 mass% or more, even more preferably 80 mass% or more, more preferably 90 mass% or more, and particularly preferably 95 mass% or more, based on the mass of the polyimide resin.

上記のポリイミド樹脂の分子鎖は、ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を含む。このため、上記のポリイミド樹脂は、ラジカル重合開始剤やカチオン重合開始剤等の開始剤の作用により硬化し、有機溶媒に対して不溶化し得る。 The molecular chains of the polyimide resin contain radically polymerizable groups or cationic polymerizable groups. Therefore, the polyimide resin can be cured by the action of an initiator such as a radical polymerization initiator or a cationic polymerization initiator, and can become insoluble in organic solvents.

ポリイミド樹脂の分子鎖におけるラジカル重合性基、又はカチオン重合性基の結合位置は特に限定されない。
ラジカル重合性基としては、典型的には、エチレン性不飽和二重結合を含有する基が挙げられる。エチレン性不飽和二重結合含有基としては、ビニル基、及びアリル基等のアルケニル基を含むアルケニル基含有基が好ましく、(メタ)アクリロイル基含有基がより好ましい。
カチオン重合性基としては、典型的には、エポキシ基含有基、オキセタニル基含有基、ビニルオキシ基含有基等が挙げられる。これらの中では、エポキシ基含有基、及びビニルオキシ基含有基が好ましい。エポキシ基含有基としては、脂環式エポキシ基含有基や、グリシジル基が好ましい。なお、脂環式エポキシ基とは、脂肪族環式基において隣接する環構成原子としての2つの炭素原子が酸素原子を介して結合している脂肪族環式基である。つまり、脂環式エポキシ基は、脂肪族環上に、2つの炭素原子と1つの酸素原子とからなる3員環を含むエポキシ基を有する。
The bonding position of the radically polymerizable group or the cationic polymerizable group in the molecular chain of the polyimide resin is not particularly limited.
The radical polymerizable group typically includes a group containing an ethylenically unsaturated double bond. As the ethylenically unsaturated double bond-containing group, a vinyl group or an alkenyl group-containing group including an alkenyl group such as an allyl group is preferable, and a (meth)acryloyl group-containing group is more preferable.
The cationic polymerizable group typically includes an epoxy group-containing group, an oxetanyl group-containing group, a vinyloxy group-containing group, etc. Among these, the epoxy group-containing group and the vinyloxy group-containing group are preferred. As the epoxy group-containing group, an alicyclic epoxy group-containing group and a glycidyl group are preferred. Note that the alicyclic epoxy group is an aliphatic cyclic group in which two carbon atoms as adjacent ring constituent atoms in the aliphatic cyclic group are bonded via an oxygen atom. In other words, the alicyclic epoxy group has an epoxy group containing a three-membered ring consisting of two carbon atoms and one oxygen atom on the aliphatic ring.

ポリイミド樹脂中のラジカル重合性基、又はカチオン重合性基の量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。ポリイミド樹脂中のラジカル重合性基、又はカチオン重合性基の量は、例えば、ポリイミド樹脂の重量に対する官能基のモル数として、0.0001モル/g以上0.0500モル/g以下が好ましく、0.0002モル/g以上0.0100モル/g以下がより好ましく、0.0005mol/g以上0.0020モル/gがさらに好ましい。ポリイミド樹脂中のラジカル重合性基、又はカチオン重合性基の量は、典型的にはNMR分析により測定することができる。 The amount of radically polymerizable groups or cationic polymerizable groups in the polyimide resin is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention. The amount of radically polymerizable groups or cationic polymerizable groups in the polyimide resin is, for example, preferably 0.0001 mol/g or more and 0.0500 mol/g or less, more preferably 0.0002 mol/g or more and 0.0100 mol/g or less, and even more preferably 0.0005 mol/g or more and 0.0020 mol/g or less, in terms of the number of moles of functional groups relative to the weight of the polyimide resin. The amount of radically polymerizable groups or cationic polymerizable groups in the polyimide resin can typically be measured by NMR analysis.

上記のラジカル重合性基は、ポリイミド樹脂の分子鎖中の芳香環に結合しているのが好ましい。ポリイミド樹脂の分子鎖中の芳香環に結合するラジカル重合性基の好適な例としては、下記式(A1)又は下記式(A2)で表される基であって、ビニルオキシ基含有基に該当しない基が挙げられる。
-(A01na-R01・・・(A1)
-(A01na-R02-A02-R01・・・(A2)
The radical polymerizable group is preferably bonded to an aromatic ring in the molecular chain of the polyimide resin. Suitable examples of the radical polymerizable group bonded to an aromatic ring in the molecular chain of the polyimide resin include groups represented by the following formula (A1) or (A2), which do not fall under the category of vinyloxy group-containing groups.
-(A 01 ) na -R 01 ...(A1)
-(A 01 ) na -R 02 -A 02 -R 01 ...(A2)

式(A1)及び式(A2)において、R01は、炭素原子数2以上10以下のアルケニル基である。R02は、炭素原子数1以上10以下のアルキレン基である。
01は、-O-、-CO-、-CO-O-、-O-CO-、-CO-NH-、-NH-CO-、又は-NH-である。
02は、-O-、-CO-、-CO-O-、-O-CO-、-CO-NH-、-NH-CO-、又は-NH-である。
naは、0又は1である。
In formula (A1) and formula (A2), R 01 is an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, and R 02 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms.
A 01 is —O—, —CO—, —CO—O—, —O—CO—, —CO—NH—, —NH—CO—, or —NH—.
A 02 is -O-, -CO-, -CO-O-, -O-CO-, -CO-NH-, -NH-CO-, or -NH-.
na is 0 or 1.

主鎖中の芳香環に結合するラジカル重合性基の好適な具体例としては、
-O-R03
-O-CHCH-O-R03
-O-CHCHCH-O-R03
-O-CHCHCHCH-O-R03
-CO-O-CHCH-O-R03
-CO-O-CHCHCH-O-R03
-CO-O-CHCHCHCH-O-R03
-O-CHCH-NH-R03
-O-CHCHCH-NH-R03
-O-CHCHCHCH-NH-R03
-CO-O-CHCH-NH-R03
-CO-O-CHCHCH-NH-R03
-CO-O-CHCHCHCH-R03
-NH-R03
-NH-CHCH-O-R03
-NH-CHCHCH-O-R03
-NH-CHCHCHCH-O-R03
-CO-NH-CHCH-O-R03
-CO-NH-CHCHCH-O-R03
-CO-NH-CHCHCHCH-O-R03
-NH-CHCH-NH-R03
-NH-CHCHCH-NH-R03
-NH-CHCHCHCH-NH-R03
-CO-NH-CHCH-NH-R03
-CO-NH-CHCHCH-NH-R03、及び、
-CO-NH-CHCHCHCH-NH-R03で表される基が挙げられる。これらの基におけるR03は、アリル基、又は(メタ)アクリロイル基である。
Preferable specific examples of the radical polymerizable group bonded to the aromatic ring in the main chain include:
-O-R 03 ,
-O-CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-O-CH 2 CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-O-CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-CO-O-CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-CO-O-CH 2 CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-CO-O-CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-O-CH 2 CH 2 -NH-R 03 ,
-O-CH 2 CH 2 CH 2 -NH-R 03 ,
-O-CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 -NH-R 03 ,
-CO-O-CH 2 CH 2 -NH-R 03 ,
-CO-O-CH 2 CH 2 CH 2 -NH-R 03 ,
-CO-O-CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 -R 03 ,
-NH-R 03 ,
-NH-CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-NH-CH 2 CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-NH-CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-CO-NH-CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-CO-NH-CH 2 CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-CO-NH-CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 -O-R 03 ,
-NH-CH 2 CH 2 -NH-R 03 ,
-NH-CH 2 CH 2 CH 2 -NH-R 03 ,
-NH-CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 -NH-R 03 ,
-CO-NH-CH 2 CH 2 -NH-R 03 ,
-CO-NH- CH2CH2CH2 - NH - R03 , and
Examples of the groups include those represented by the formula: --CO--NH--CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 --NH--R 03. In these groups, R 03 is an allyl group or a (meth)acryloyl group.

カチオン重合性基は、ポリイミド樹脂の分子鎖中の芳香環に結合しているのが好ましい。ポリイミド樹脂の分子鎖中の芳香環に結合するカチオン重合性基の好適な例としては、ビニルオキシ基、及び下記式(A3)~式(A8)で表される基が挙げられる。
-(A01na-R04・・・(A3)
-(A01na-R02-R05・・・(A4)
-(A01na-R02-(CO)nb-A03-R04・・・(A5)
-(A01na-R02-(CO)nb-A03-R07-R05・・・(A6)
-(A01na-R02-O-R06・・・(A7)
-(A01na-R02-(CO)nb-A03-R07-O-R06・・・(A8)
The cationically polymerizable group is preferably bonded to an aromatic ring in the molecular chain of the polyimide resin. Suitable examples of the cationically polymerizable group bonded to an aromatic ring in the molecular chain of the polyimide resin include a vinyloxy group and groups represented by the following formulae (A3) to (A8).
-(A 01 ) na -R 04 ...(A3)
-(A 01 ) na -R 02 -R 05 ...(A4)
-(A 01 ) na -R 02 -(CO) nb -A 03 -R 04 ...(A5)
-(A 01 ) na -R 02 -(CO) nb -A 03 -R 07 -R 05 ...(A6)
-(A 01 ) na -R 02 -O-R 06 ...(A7)
-(A 01 ) na -R 02 -(CO) nb -A 03 -R 07 -O-R 06 ...(A8)

式(A3)~式(A8)において、R02は、炭素原子数1以上10以下のアルキレン基である。R04は、炭素原子数2以上20以下のエポキシアルキル基、又は炭素原子数3以上20以下の脂環式エポキシ基である。R05は、炭素原子数3以上20以下の脂環式エポキシ基である。R06は、ビニル基である。R07は、炭素原子数1以上10以下のアルキレン基である。
01は、-O-、-CO-、-CO-O-、-O-CO-、-CO-NH-、-NH-CO-、又は-NH-である。
03は、-O-又は-NH-である。
nbは0又は1である。
In formulae (A3) to (A8), R 02 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms. R 04 is an epoxyalkyl group having 2 to 20 carbon atoms, or an alicyclic epoxy group having 3 to 20 carbon atoms. R 05 is an alicyclic epoxy group having 3 to 20 carbon atoms. R 06 is a vinyl group. R 07 is an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms.
A 01 is —O—, —CO—, —CO—O—, —O—CO—, —CO—NH—, —NH—CO—, or —NH—.
A 03 is —O— or —NH—.
nb is 0 or 1.

主鎖中の芳香環に結合するカチオン重合性基の好適な具体例としては、
-R07
-O-CHCH-R07
-O-CHCHCH-R07
-O-CHCHCHCH-R07
-CO-O-CHCH-R07
-CO-O-CHCHCH-R07
-CO-O-CHCHCHCH-R07
-NH-CHCH-R07
-NH-CHCHCH-R07
-NH-CHCHCHCH-R07
-CO-NH-CHCH-R07
-CO-NH-CHCHCH-R07、及び、
-CO-NH-CHCHCHCH-R07で表される基が挙げられる。これらの基におけるR07は、ビニルオキシ基、グリシジルオキシ基、エポキシシクロペンチル基、エポキシシクロヘキシル基、又はエポキシシクロヘプチル基である。
Preferred specific examples of the cationically polymerizable group bonded to the aromatic ring in the main chain include:
-R 07 ,
-O-CH 2 CH 2 -R 07 ,
-O-CH 2 CH 2 CH 2 -R 07 ,
-O-CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 -R 07 ,
-CO-O-CH 2 CH 2 -R 07 ,
-CO-O-CH 2 CH 2 CH 2 -R 07 ,
-CO-O-CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 -R 07 ,
-NH-CH 2 CH 2 -R 07 ,
-NH-CH 2 CH 2 CH 2 -R 07 ,
-NH-CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 -R 07 ,
-CO-NH-CH 2 CH 2 -R 07 ,
-CO-NH-CH 2 CH 2 CH 2 -R 07 , and
Illustrative examples include groups represented by the formula -CO-NH-CH 2 CH 2 CH 2 CH 2 -R 07. In these groups, R 07 is a vinyloxy group, a glycidyloxy group, an epoxycyclopentyl group, an epoxycyclohexyl group, or an epoxycycloheptyl group.

上記式(A1a)中、Xは、2価の有機基である。2価の有機基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。2価の有機基は、典型的にはポリイミド樹脂の前駆体であるポリアミック酸の原料として使用されるジアミンに由来する2価の有機残基である。
上記式(A1a)中、Yは、4価の有機基である。4価の有機基は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。4価の有機基は、典型的にはポリイミド樹脂の前駆体であるポリアミック酸の原料として使用されるテトラカルボン酸二無水物に由来する4の有機残基である。
上記の通り、Xとしての有機基、及びYとしての有機基の少なくとも一方が、上記式(a1)で表される部分構造を有する。
In the above formula (A1a), X1 is a divalent organic group. The divalent organic group is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention. The divalent organic group is typically a divalent organic residue derived from a diamine used as a raw material for polyamic acid, which is a precursor of a polyimide resin.
In the above formula (A1a), Y1 is a tetravalent organic group. The tetravalent organic group is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention. The tetravalent organic group is typically an organic residue of 4 derived from a tetracarboxylic dianhydride used as a raw material for polyamic acid, which is a precursor of a polyimide resin.
As described above, at least one of the organic group as X1 and the organic group as Y1 has the partial structure represented by the above formula (a1).

式(a1)中、Ra1及びRa2としての炭素原子数1以上4以下のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、及びtert-ブチル基が挙げられる。これらのアルキル基の中では、メチル基及びエチル基が好ましく、メチル基がより好ましい。
式(a1)中、Ra1及びRa2としての炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、n-プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、n-ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、sec-ブチルオキシ基、及びtert-ブチルオキシ基が挙げられる。これらのアルコキシ基の中では、メトキシ基及びエトキシ基が好ましく、メトキシ基がより好ましい。
式(a1)中、Ra1及びRa2としてのハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子が挙げられる。これらのハロゲン原子の中では、塩素原子、及び臭素原子が好ましい。
In formula (a1), examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms as R a1 and R a2 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, and a tert-butyl group. Among these alkyl groups, a methyl group and an ethyl group are preferred, and a methyl group is more preferred.
In formula (a1), examples of the alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms as R a1 and R a2 include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propyloxy group, an isopropyloxy group, an n-butyloxy group, an isobutyloxy group, a sec-butyloxy group, and a tert-butyloxy group. Among these alkoxy groups, a methoxy group and an ethoxy group are preferred, and a methoxy group is more preferred.
In formula (a1), examples of the halogen atom represented by R a1 and R a2 include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom. Among these halogen atoms, a chlorine atom and a bromine atom are preferred.

式(a1)において、n1及びn2は、それぞれ独立に0以上4以下の整数である。ポリイミド樹脂の前駆体であるポリアミック酸を製造するための単量体化合物の入手が容易であること等から、n1及びn2は、それぞれ。0以上2以下の整数が好ましく、0がより好ましい。 In formula (a1), n1 and n2 are each independently an integer of 0 to 4. Because of the ease of availability of monomer compounds for producing polyamic acid, which is a precursor of polyimide resin, n1 and n2 are each preferably an integer of 0 to 2, more preferably 0.

式(a1)中、Ra3及びRa4としての炭素原子数1以上4以下のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、及びtert-ブチル基が挙げられる。
式(a1)中、Ra3及びRa4としての炭素原子数1以上4以下のアルキル基としては、クロロメチル基、ジクロロメチル基、トリクロロメチル基、ブロモメチル基、ジブロモメチル基、トリブロモメチル基、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、1,1-ジフルオロエチル基、及び1,1,2,2,2-ペンタフルオロエチル基が挙げられる。
式(a1)中のRa3及びRa4としては、ポリイミド樹脂の有機溶媒への溶解性が良好であることや、ポリイミド樹脂の前駆体であるポリアミック酸を製造するための単量体化合物の入手が容易であること等から、水素原子、メチル基、エチル基、トリフルオロメチル基、及びフェニル基が好ましい。
また、Ra3及びRa4とが互いに結合して、シクロペンチリデン基、シクロヘキシリデン基、シクロヘプチリデン基、及びシクロオクチリデン基等の炭素原子数5以上8以下のシクロアルキリデン基を形成するのも好ましい。
In formula (a1), examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms as R a3 and R a4 include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, and a tert-butyl group.
In formula (a1), examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms as R a3 and R a4 include a chloromethyl group, a dichloromethyl group, a trichloromethyl group, a bromomethyl group, a dibromomethyl group, a tribromomethyl group, a fluoromethyl group, a difluoromethyl group, a trifluoromethyl group, a 1,1-difluoroethyl group, and a 1,1,2,2,2-pentafluoroethyl group.
As R a3 and R a4 in formula (a1), a hydrogen atom, a methyl group, an ethyl group, a trifluoromethyl group, and a phenyl group are preferable, because the polyimide resin has good solubility in an organic solvent and a monomer compound for producing a polyamic acid, which is a precursor of a polyimide resin, is easily available.
It is also preferred that R a3 and R a4 combine with each other to form a cycloalkylidene group having 5 to 8 carbon atoms, such as a cyclopentylidene group, a cyclohexylidene group, a cycloheptylidene group, or a cyclooctylidene group.

式(a1)で表される部分構造の好適な具体例としては、下記の構造が挙げられる。

Figure 0007704516000005
Preferred specific examples of the partial structure represented by formula (a1) include the following structures.
Figure 0007704516000005

ポリイミド樹脂の分子鎖は、式(A1a)で表される構成単位として、下記式(A1b):

Figure 0007704516000006
(式(A1b)中、X及びXは、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい2価の芳香族炭化水素基であり、Yは、式(a1)で表される部分構造を有さない4価の有機基であり、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4、n1、及びn2は、式(a1)中のこれらと同様である。)
で表される構成単位、下記式(A1c):
Figure 0007704516000007
(式(A1c)中、Xは、式(a1)で表される部分構造を有さない2価の有機基であり、Y及びYは、それぞれ独立に炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい3価の芳香族炭化水素基であり、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4、n1、及びn2は、式(a1)中のこれらと同様である。)
で表される構成単位、及び下記式(A1d):
Figure 0007704516000008
(式(A1d)中、X及びXは、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい2価の芳香族炭化水素基であり、Y及びYは、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい3価の芳香族炭化水素基であり、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4、n1、及びn2は、式(a1)中のこれらと同様である。)
で表される構成単位からなる群より選択される1種以上を含むのが好ましい。 The molecular chain of the polyimide resin contains, as a constituent unit represented by formula (A1a), the following formula (A1b):
Figure 0007704516000006
(In formula (A1b), X2 and X3 each independently represent a divalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom; Y2 represents a tetravalent organic group which does not have the partial structure represented by formula (a1); and R a1 , R a2 , R a3 , R a4 , n1, and n2 are the same as those in formula (a1).)
A structural unit represented by the following formula (A1c):
Figure 0007704516000007
(In formula (A1c), X4 is a divalent organic group not having the partial structure represented by formula (a1), Y3 and Y4 are each independently a trivalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom, and R a1 , R a2 , R a3 , R a4 , n1, and n2 are the same as those in formula (a1).)
and a structural unit represented by the following formula (A1d):
Figure 0007704516000008
(In formula (A1d), X5 and X6 are each independently a divalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom; Y5 and Y6 are each independently a trivalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom; and R a1 , R a2 , R a3 , R a4 , n1, and n2 are the same as those in formula (a1).)
It is preferable that the copolymer contains one or more structural units selected from the group consisting of structural units represented by the following formula:

式(A1b)におけるX及びXは、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい2価の芳香族炭化水素基である。
置換基としての炭素原子数1以上4以下のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、及びtert-ブチル基が挙げられる。これらのアルキル基の中では、メチル基及びエチル基が好ましく、メチル基がより好ましい。
置換基としての炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、n-プロピルオキシ基、イソプロピルオキシ基、n-ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、sec-ブチルオキシ基、及びtert-ブチルオキシ基が挙げられる。これらのアルコキシ基の中では、メトキシ基及びエトキシ基が好ましく、メトキシ基がより好ましい。
置換基としてのハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、及びヨウ素原子が挙げられる。これらのハロゲン原子の中では、塩素原子、及び臭素原子が好ましい。
In formula (A1b), X2 and X3 each independently represent a divalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom.
Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms as a substituent include a methyl group, an ethyl group, an n-propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, and a tert-butyl group. Among these alkyl groups, a methyl group and an ethyl group are preferred, and a methyl group is more preferred.
Examples of the alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms as a substituent include a methoxy group, an ethoxy group, an n-propyloxy group, an isopropyloxy group, an n-butyloxy group, an isobutyloxy group, a sec-butyloxy group, and a tert-butyloxy group. Among these alkoxy groups, a methoxy group and an ethoxy group are preferred, and a methoxy group is more preferred.
Examples of the halogen atom as a substituent include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, and an iodine atom. Among these halogen atoms, a chlorine atom and a bromine atom are preferred.

及びXとしての芳香族炭化水素基の炭素原子数は特に限定されず、例えば、6以上50以下が好ましく、6以上20以下がより好ましい。なお、前述の芳香族炭化水素基の炭素原子数は、置換基の炭素原子数を含まない。
及びXとしての芳香族炭化水素基としては、o-フェニレン基、m-フェニレン基、及びp-フェニレン基等のフェニレン基、ナフタレン-1,4-ジイル基、ナフタレン-1,3-ジイル基、ナフタレン-2,6-ジイル基、及びナフタレン-2,7-ジイル基等のナフタレンジイル基、ビフェニル-4,4’-ジイル基、ビフェニル-3,4’-ジイル基、及びビフェニル-3,3’-ジイル基等のビフェニルジイル基が好ましい。
The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group represented by X2 and X3 is not particularly limited, and is, for example, preferably from 6 to 50, and more preferably from 6 to 20. The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group does not include the number of carbon atoms of the substituent.
The aromatic hydrocarbon group represented by X2 and X3 is preferably a phenylene group such as an o-phenylene group, an m-phenylene group, or a p-phenylene group; a naphthalene-diyl group such as a naphthalene-1,4-diyl group, a naphthalene-1,3-diyl group, a naphthalene-2,6-diyl group, or a naphthalene-2,7-diyl group; or a biphenyldiyl group such as a biphenyl-4,4'-diyl group, a biphenyl-3,4'-diyl group, or a biphenyl-3,3'-diyl group.

及びXとしては、p-フェニレン基、m-フェニレン基、ナフタレン-1,4-ジイル基、及びビフェニル-4,4’-ジイル基が好ましく、p-フェニレン基、及びビフェニル-4,4’-ジイル基がより好ましく、p-フェニレン基がさらに好ましい。 X2 and X3 are preferably a p-phenylene group, an m-phenylene group, a naphthalene-1,4-diyl group, or a biphenyl-4,4'-diyl group, more preferably a p-phenylene group or a biphenyl-4,4'-diyl group, and even more preferably a p-phenylene group.

式(A1b)におけるYは、式(a1)で表される部分構造を有さない4価の有機基である。Yとしての4価の有機基は、典型的には、ポリイミド樹脂の前駆体であるポリアミック酸の原料として使用されるテトラカルボン酸二無水物に由来する4価の有機残基である。当該4価の有機残基を与える、テトラカルボン酸二無水物としては、下記式(a1-1)で表される化合物が挙げられる。テトラカルボン酸二無水物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。

Figure 0007704516000009
(式(a1-1)中、Aは炭素原子数6以上50以下の4価の有機基である。ただし、Aとしての4価の有機基は、式(a1)で表される部分構造を含まない。) Y2 in formula (A1b) is a tetravalent organic group that does not have the partial structure represented by formula (a1). The tetravalent organic group represented by Y2 is typically a tetravalent organic residue derived from a tetracarboxylic dianhydride used as a raw material for polyamic acid, which is a precursor of a polyimide resin. Examples of tetracarboxylic dianhydrides that provide the tetravalent organic residue include compounds represented by the following formula (a1-1). The tetracarboxylic dianhydrides may be used alone or in combination of two or more.
Figure 0007704516000009
(In formula (a1-1), A 1 is a tetravalent organic group having 6 to 50 carbon atoms. However, the tetravalent organic group represented by A 1 does not include a partial structure represented by formula (a1).)

式(a1-1)中、Aは、炭素原子数6以上50以下の4価の有機基であり、式(a1-1)における2個の-CO-O-CO-で表される酸無水物基の他に、1又は複数の置換基を有していてもよい。
置換基の好適な例としては、フッ素原子、炭素原子数1以上6以下のアルキル基、炭素原子数1以上6以下のアルコキシ基、炭素原子数1以上6以下のフッ素化アルキル基、炭素原子数1以上6以下のフッ素化アルコキシ基が好ましい。また、式(a1-1)で表される化合物は、酸無水物基の他にカルボキシ基、カルボン酸エステル基を含んでいてもよい。
置換基がフッ素化アルキル基又はフッ素化アルコキシ基である場合、パーフルオロアルキル基又はパーフルオロアルコキシ基であるのが好ましい。
以上の置換基については、後述の芳香族基が芳香環上に有していてもよい1又は複数の置換基についても同様のことがいえる。
In formula (a1-1), A 1 is a tetravalent organic group having from 6 to 50 carbon atoms, and may have one or more substituents in addition to the two acid anhydride groups represented by -CO-O-CO- in formula (a1-1).
Preferred examples of the substituent include a fluorine atom, an alkyl group having from 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 6 carbon atoms, a fluorinated alkyl group having from 1 to 6 carbon atoms, and a fluorinated alkoxy group having from 1 to 6 carbon atoms. The compound represented by formula (a1-1) may contain a carboxy group or a carboxylate group in addition to the acid anhydride group.
When the substituent is a fluorinated alkyl group or a fluorinated alkoxy group, it is preferably a perfluoroalkyl group or a perfluoroalkoxy group.
The same applies to the above-mentioned substituents for one or more substituents that the aromatic group described below may have on the aromatic ring.

を構成する炭素原子数は8以上がより好ましく、12以上がさらに好ましい。また、Aを構成する炭素原子数は40以下がより好ましく、30以下がさらに好ましい。Aは、脂肪族基であっても、芳香族基であっても、これらの構造を組み合わせた基であってもよい。Aは、炭素原子、及び水素原子の他に、ハロゲン原子、酸素原子、窒素原子、及び硫黄原子を含んでいてもよい。Aが酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子を含む場合、酸素原子、窒素原子、又は硫黄原子は、含窒素複素環基、-CONH-、-NH-、-N=N-、-CH=N-、-COO-、-O-、-CO-、-SO-、-SO-、-S-、及び-S-S-から選択される基として、Aに含まれてもよく、-O-、-CO-、-SO-、-SO-、-S-、及び-S-S-から選択される基として、Aに含まれることがより好ましい。 The number of carbon atoms constituting A 1 is more preferably 8 or more, and even more preferably 12 or more. The number of carbon atoms constituting A 1 is more preferably 40 or less, and even more preferably 30 or less. A 1 may be an aliphatic group, an aromatic group, or a group combining these structures. A 1 may contain a halogen atom, an oxygen atom, a nitrogen atom, and a sulfur atom in addition to a carbon atom and a hydrogen atom. When A 1 contains an oxygen atom, a nitrogen atom, or a sulfur atom, the oxygen atom, the nitrogen atom, or the sulfur atom may be included in A 1 as a group selected from a nitrogen-containing heterocyclic group, -CONH-, -NH-, -N=N-, -CH=N-, -COO-, -O-, -CO-, -SO-, -SO 2 -, -S-, and -S-S-, and is more preferably included in A 1 as a group selected from -O-, -CO-, -SO-, -SO 2 -, -S-, and -S-S-.

式(a1-1)で表されるテトラカルボン酸二無水物は、前述の所定の条件を満たす限りにおいて、従来からポリアミック酸の合成原料として使用されているテトラカルボン酸二無水物から適宜選択することができる。テトラカルボン酸二無水物は、脂肪族テトラカルボン酸二無水物であっても、芳香族テトラカルボン酸二無水物であってもよい。 The tetracarboxylic dianhydride represented by formula (a1-1) can be appropriately selected from tetracarboxylic dianhydrides that have been conventionally used as raw materials for synthesizing polyamic acids, so long as it satisfies the above-mentioned specified conditions. The tetracarboxylic dianhydride may be an aliphatic tetracarboxylic dianhydride or an aromatic tetracarboxylic dianhydride.

脂肪族テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシ)プロパン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシ)メタン二無水物等が挙げられる。また、脂肪族テトラカルボン酸二無水物は、脂環式構造を含有してもよい。該脂環式構造は多環式であってもよい。多環式の脂環式構造としては、例えば、ビシクロ[2.2.1]ヘプタン等の橋かけ脂環式構造等が挙げられる。例えば、橋かけ脂環式構造は、他の橋かけ脂環式構造及び/又は非橋かけ脂環式構造と縮合していてもよいし、橋かけ脂環式構造が他の橋かけ脂環式構造及び/又は非橋かけ脂環式構造とスピロ結合により連結していてもよい。脂肪族テトラカルボン酸二無水物を用いる場合、組成物を用いて透明性に優れる硬化物を得やすい傾向がある。 Examples of the aliphatic tetracarboxylic dianhydride include 2,2-bis(3,4-dicarboxy)propane dianhydride and bis(3,4-dicarboxy)methane dianhydride. The aliphatic tetracarboxylic dianhydride may also contain an alicyclic structure. The alicyclic structure may be polycyclic. Examples of the polycyclic alicyclic structure include bridged alicyclic structures such as bicyclo[2.2.1]heptane. For example, the bridged alicyclic structure may be condensed with another bridged alicyclic structure and/or a non-bridged alicyclic structure, and the bridged alicyclic structure may be linked to another bridged alicyclic structure and/or a non-bridged alicyclic structure by a spiro bond. When an aliphatic tetracarboxylic dianhydride is used, it is easy to obtain a cured product with excellent transparency using the composition.

また、式(a1-1)におけるAを構成する脂肪族基としては、例えば、以下の式(a2)で示される4価の基を採用することができる。このような基を用いた場合、透明性に優れるポリイミド樹脂を得やすい傾向がある。
なお、原料化合物の精製が容易である点から、式(a2)中のaは5以下が好ましく、3以下がより好ましい。また、式(a1)で表される構造単位を与える原料化合物の化学的安定性が優れることから、aは1以上が好ましく、2以上がより好ましい。
式(a2)中のaは、2又は3が特に好ましい。

Figure 0007704516000010
(式(a2)中、Ra11、Ra12、及びRa13は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1以上5以下のアルキル基及びフッ素原子からなる群より選択される1種であり、aは0以上12以下の整数である。) As the aliphatic group constituting A1 in formula (a1-1), for example, a tetravalent group represented by the following formula (a2) can be used. When such a group is used, a polyimide resin having excellent transparency tends to be obtained.
In view of ease of purification of the raw material compound, a in formula (a2) is preferably 5 or less, more preferably 3 or less. In view of excellent chemical stability of the raw material compound that gives the structural unit represented by formula (a1), a is preferably 1 or more, more preferably 2 or more.
In formula (a2), a is particularly preferably 2 or 3.
Figure 0007704516000010
(In formula (a2), R a11 , R a12 , and R a13 each independently represent one selected from the group consisting of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and a fluorine atom, and a represents an integer of 0 to 12.)

芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、1,4-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物、3,3’,4,4’-オキシビスフタル酸二無水物、3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。 Examples of aromatic tetracarboxylic dianhydrides include pyromellitic dianhydride, 1,4-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)benzene dianhydride, 3,3',4,4'-oxybisphthalic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3',4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, and 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride.

芳香族テトラカルボン酸二無水物としては、また、例えば、下記一般式(a1-2)~(a1-4)で表される化合物であってもよい。

Figure 0007704516000011
The aromatic tetracarboxylic dianhydride may also be, for example, a compound represented by the following general formulas (a1-2) to (a1-4).
Figure 0007704516000011

上記式(a1-2)及び式(a1-3)において、Ra01、Ra02及びRa03は、それぞれ、ハロゲンで置換されていてもよい脂肪族基、酸素原子、硫黄原子、1つ以上の2価元素を介した芳香族基のいずれかであるか、又はそれらの組み合わせによって構成される2価の基を示す。Ra02及びRa03は、同一であっても異なっていてもよい。
すなわち、Ra01、Ra02及びRa03は、炭素-炭素の一重結合、炭素-酸素-炭素のエーテル結合又はハロゲン元素(フッ素、塩素、臭素、ヨウ素)を含んでいてもよい。式(a1-2)で表される化合物としては、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)プロパン二無水物、及び1,4-ビス(3,4-ジカルボキシフェノキシ)ベンゼン二無水物等が挙げられる。
In the above formulae (a1-2) and (a1-3), R a01 , R a02 and R a03 each represent an aliphatic group optionally substituted with halogen, an oxygen atom, a sulfur atom, an aromatic group having one or more divalent elements bonded thereto, or a divalent group constituted by a combination thereof. R a02 and R a03 may be the same or different.
That is, R a01 , R a02 and R a03 may contain a carbon-carbon single bond, a carbon-oxygen-carbon ether bond or a halogen element (fluorine, chlorine, bromine, iodine). Examples of the compound represented by formula (a1-2) include 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)propane dianhydride and 1,4-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)benzene dianhydride.

また、上記式(a1-4)において、Ra04、Ra05はハロゲンで置換されていてもよい脂肪族基、1つ以上の2価元素を介した芳香族基、ハロゲンのいずれかであるか、又はそれらの組み合わせによって構成される1価の置換基を示す。Ra04、及びRa05は、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。式(a1-4)で表される化合物として、ジフルオロピロメリット酸二無水物、及びジクロロピロメリット酸二無水物等も用いることができる。 In the above formula (a1-4), R a04 and R a05 are either an aliphatic group which may be substituted with halogen, an aromatic group via one or more divalent elements, or a halogen, or a monovalent substituent constituted by a combination thereof. R a04 and R a05 may be the same or different. As the compound represented by formula (a1-4), difluoropyromellitic dianhydride, dichloropyromellitic dianhydride, etc. can also be used.

また、ポリイミド樹脂は、その分子鎖上にラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を有する。
このため、式(A1b)中の4価の有機基Yは、下記式(A1-1)~式(A1-3)で表される基であってもよい。

Figure 0007704516000012
式(A1-1)~式(A1-3)における、Ra01、Ra02、及びRa03は、前述の式(a1-1)、式(a1-2)、及び式(a1-3)における、Ra01、Ra02、及びRa03と同様である。
式(A1-1)、式(A1-2)、及び式(A1-3)における、Ra06は、ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基である。ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基としては、それぞれ前述の基が挙げられる。
テトラカルボン酸二無水物自体が反応性に富む。例えば、エポキシ基は、カルボン酸無水物基と容易に反応してしまう。このため、Yが、式(A1-1)、式(A1-2)、又は式(A1-3)で表される基である場合、ポリアミック酸、又はポリイミド樹脂を合成した後に、ポリアミック酸、又はポリイミド樹脂の分子鎖上に、ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基導入するのが好ましい。 Moreover, the polyimide resin has a radically polymerizable group or a cationic polymerizable group on its molecular chain.
For this reason, the tetravalent organic group Y2 in formula (A1b) may be a group represented by the following formulae (A1-1) to (A1-3).
Figure 0007704516000012
In formulae (A1-1) to (A1-3), R a01 , Ra 02 , and R a03 are the same as R a01 , Ra 02 , and R a03 in the above-mentioned formulae (a1-1), (a1-2), and (a1-3).
In formulae (A1-1), (A1-2), and (A1-3), Ra 06 is a radical polymerizable group or a cationically polymerizable group. Examples of the radical polymerizable group or the cationically polymerizable group include the groups described above.
Tetracarboxylic dianhydride itself is highly reactive. For example, an epoxy group easily reacts with a carboxylic anhydride group. For this reason, when Y2 is a group represented by formula (A1-1), formula (A1-2), or formula (A1-3), it is preferable to introduce a radical polymerizable group or a cationic polymerizable group onto the molecular chain of the polyamic acid or polyimide resin after synthesizing the polyamic acid or polyimide resin.

ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を導入するための反応としては、例えば、
1)ポリアミック酸、又はポリイミド樹脂の分子鎖中の芳香環に結合するハロゲン原子と、ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を有するアルコール化合物とのエーテル化反応、
2)ポリアミック酸、又はポリイミド樹脂の分子鎖中の芳香環に結合する水酸基と、ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を有するカルボン酸ハライドとのエステル化反応、
3)ポリイミド樹脂の分子鎖中の芳香環に結合するカルボキシ基と、ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を有する有機ハライドとのエステル化反応、及び、
4)ポリアミック酸、又はポリイミド樹脂の分子鎖中の芳香環に結合するアミノ基と、ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を有する有機ハライドとのN-置換反応等が挙げられる。ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を導入するための反応はこれらの反応に限定されない。
Examples of reactions for introducing a radical polymerizable group or a cationic polymerizable group include:
1) An etherification reaction between a halogen atom bonded to an aromatic ring in a molecular chain of a polyamic acid or a polyimide resin and an alcohol compound having a radical polymerizable group or a cationic polymerizable group;
2) An esterification reaction between a hydroxyl group bonded to an aromatic ring in the molecular chain of a polyamic acid or a polyimide resin and a carboxylic acid halide having a radical polymerizable group or a cationically polymerizable group;
3) an esterification reaction between a carboxy group bonded to an aromatic ring in the molecular chain of a polyimide resin and an organic halide having a radical polymerizable group or a cationic polymerizable group; and
4) N-substitution reaction between an amino group bonded to an aromatic ring in the molecular chain of a polyamic acid or polyimide resin and an organic halide having a radical polymerizable group or a cationic polymerizable group. The reaction for introducing a radical polymerizable group or a cationic polymerizable group is not limited to these reactions.

なお、例えばアセチル基のような保護基により保護された水酸基や、メトキシカルボニル基のようなカルボン酸エステル基、tert-ブトキシカルボニル基のような保護基で保護されたアミノ基等を芳香環上に有するポリアミック酸、又はポリイミド樹脂を合成した後、周知の方法で脱保護を行うことにより、水酸基、カルボキシ基、又はアミノ基等を芳香環上に有するポリアミック酸、又はポリイミド樹脂を得ることができる。 For example, a polyamic acid or polyimide resin having a hydroxyl group protected by a protecting group such as an acetyl group, a carboxylate group such as a methoxycarbonyl group, or an amino group protected by a protecting group such as a tert-butoxycarbonyl group on an aromatic ring can be synthesized, and then deprotected by a known method to obtain a polyamic acid or polyimide resin having a hydroxyl group, carboxyl group, or amino group on an aromatic ring.

式(A1c)におけるY及びYは、それぞれ独立に炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい3価の芳香族炭化水素基である。
置換基としての炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子の好適な例は、式(A1b)中のX及びXとしての芳香族炭化水素基が有してもよい置換基の好適な例と同様である。
In formula (A1c), Y3 and Y4 each independently represent a trivalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom.
Preferred examples of the alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, the alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and the halogen atom as the substituent are the same as the preferred examples of the substituent that may be possessed by the aromatic hydrocarbon group as X2 and X3 in formula (A1b).

及びYとしての芳香族炭化水素基の炭素原子数は特に限定されず、例えば、6以上50以下が好ましく、6以上20以下がより好ましい。なお、前述の芳香族炭化水素基の炭素原子数は、置換基の炭素原子数を含まない。
及びYとしての芳香族炭化水素基としては、ベンゼン-1,2,3-トリイル基、及びベンゼン-1,2,4-トリイル基等のベンゼントリイル基、ナフタレン-1,2,4-トリイル基、ナフタレン-2,3,6-トリイル基、及びナフタレン-1,3,8-トリイル基等のナフタレントリイル基、ビフェニル-3,4,4’-トリイル基、及びビフェニル-3,4,3’-トリイル基等のビフェニルトリイル基が挙げられる。
The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group represented by Y3 and Y4 is not particularly limited, and is, for example, preferably from 6 to 50, and more preferably from 6 to 20. The number of carbon atoms in the aromatic hydrocarbon group does not include the number of carbon atoms of the substituent.
Examples of the aromatic hydrocarbon group as Y3 and Y4 include benzenetriyl groups such as a benzene-1,2,3-triyl group and a benzene-1,2,4-triyl group, naphthalenetriyl groups such as a naphthalene-1,2,4-triyl group, a naphthalene-2,3,6-triyl group and a naphthalene-1,3,8-triyl group, and biphenyltriyl groups such as a biphenyl-3,4,4'-triyl group and a biphenyl-3,4,3'-triyl group.

及びYとしては、ベンゼン-1,2,3-トリイル基、ベンゼン-1,2,4-トリイル基、ビフェニル-3,4,4’-トリイル基、及びビフェニル-3,4,3’-トリイル基が好ましく、ベンゼン-1,2,4-トリイル基、及びビフェニル-3,4,4’-トリイル基がより好ましく、ベンゼン-1,2,4-トリイル基がさらに好ましい。 Y3 and Y4 are preferably a benzene-1,2,3-triyl group, a benzene-1,2,4-triyl group, a biphenyl-3,4,4'-triyl group, and a biphenyl-3,4,3'-triyl group, more preferably a benzene-1,2,4-triyl group and a biphenyl-3,4,4'-triyl group, and further preferably a benzene-1,2,4-triyl group.

式(A1c)におけるXは、式(a1)で表される部分構造を有さない2価の有機基である。Xとしての2価の有機基は、典型的には、ポリイミド樹脂の前駆体であるポリアミック酸の原料として使用されるジアミンに由来する2価の有機残基である。
当該2価の有機残基を与えるジアミンとしては、下記式(a3-1)で表される化合物が挙げられる。下記式(a3-1)で表される化合物を典型的に用いることができる。ジアミン化合物は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
N-A-NH・・・(a3-1)
(式(a3-1)中、Aは2価の有機基を表す。ただし、Aとしての2価の有機基は、式(a1)で表される部分構造を含まない。)
X4 in formula (A1c) is a divalent organic group that does not have the partial structure represented by formula (a1). The divalent organic group represented by X4 is typically a divalent organic residue derived from a diamine used as a raw material for a polyamic acid, which is a precursor of a polyimide resin.
Examples of diamines that provide the divalent organic residue include compounds represented by the following formula (a3-1). The compound represented by the following formula (a3-1) can be typically used. The diamine compounds may be used alone or in combination of two or more.
H2NA2 - NH2 ... (a3-1)
(In formula (a3-1), A2 represents a divalent organic group. However, the divalent organic group represented by A2 does not include a partial structure represented by formula (a1).)

式(a3-1)中、Aは、2価の有機基であり、式(a3-1)における2つのアミノ基の他に、1又は複数の置換基を有していてもよい。
置換基の好適な例としては、フッ素原子、炭素原子数1以上6以下のアルキル基、炭素原子数1以上6以下のアルコキシ基、炭素原子数1以上6以下のフッ素化アルキル基、炭素原子数1以上6以下のフッ素化アルコキシ基又は水酸基が好ましい。
置換基がフッ素化アルキル基又はフッ素化アルコキシ基である場合、パーフルオロアルキル基又はパーフルオロアルコキシ基であるのが好ましい。
In formula (a3-1), A2 is a divalent organic group which may have one or more substituents in addition to the two amino groups in formula (a3-1).
Preferred examples of the substituent are a fluorine atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, a fluorinated alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, a fluorinated alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms, or a hydroxyl group.
When the substituent is a fluorinated alkyl group or a fluorinated alkoxy group, it is preferably a perfluoroalkyl group or a perfluoroalkoxy group.

式(a3-1)中、Aとしての有機基の炭素原子数の下限値は2が好ましく、6がより好ましく、上限値として50が好ましく、30がより好ましい。
は、脂肪族基であってもよいが、1以上の芳香環を含む有機基であることが好ましい。
In formula (a3-1), the lower limit of the number of carbon atoms in the organic group for A2 is preferably 2, more preferably 6, and the upper limit is preferably 50, more preferably 30.
A2 may be an aliphatic group, but is preferably an organic group containing one or more aromatic rings.

が1以上の芳香環を含む有機基である場合、当該有機基は、1の芳香族基そのものであってもよく、2以上の芳香族基が、脂肪族炭化水素基及びハロゲン化脂肪族炭化水素基や、酸素原子、硫黄原子、及び窒素原子等のヘテロ原子を含む結合を介して結合された基であってもよい。Aに含まれる、酸素原子、硫黄原子、及び窒素原子等のヘテロ原子を含む結合としては、-CONH-、-NH-、-N=N-、-CH=N-、-COO-、-O-、-CO-、-SO-、-SO-、-S-、及び-S-S-等が挙げられ、-O-、-CO-、-SO-、-SO-、-S-、及び-S-S-が好ましい。 When A2 is an organic group containing one or more aromatic rings, the organic group may be one aromatic group itself, or may be a group in which two or more aromatic groups are bonded via an aliphatic hydrocarbon group, a halogenated aliphatic hydrocarbon group, or a bond containing a heteroatom such as an oxygen atom, a sulfur atom, or a nitrogen atom. Examples of bonds containing a heteroatom such as an oxygen atom, a sulfur atom, or a nitrogen atom contained in A2 include -CONH-, -NH-, -N=N-, -CH=N-, -COO-, -O-, -CO-, -SO-, -SO 2 -, -S-, and -S-S-, and -O-, -CO-, -SO-, -SO 2 -, -S-, and -S-S- are preferred.

中のアミノ基と結合する芳香環はベンゼン環であることが好ましい。A中のアミノ基と結合する環が2以上の環を含む縮合環である場合、当該縮合環中のアミノ基と結合する環はベンゼン環であることが好ましい。
また、Aに含まれる芳香環は、芳香族複素環であってもよい。
The aromatic ring bonded to the amino group in A2 is preferably a benzene ring. When the ring bonded to the amino group in A2 is a condensed ring containing two or more rings, the ring bonded to the amino group in the condensed ring is preferably a benzene ring.
The aromatic ring contained in A2 may be an aromatic heterocycle.

が芳香族環を含む有機基である場合、樹脂組成物を用いて形成される硬化物の耐熱性の点から、当該有機基は下記式(21)~(24)で表される基のうちの少なくとも1種であることが好ましい。

Figure 0007704516000013
(式(21)~(24)中、R111は、水素原子、フッ素原子、水酸基、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、及び炭素原子数1以上4以下のハロゲン化アルキル基よりなる群から選択される1種を示す。式(24)中、Qは、9,9’-フルオレニリデン基、又は、式:-C-、-CONH-C-NHCO-、-NHCO-C-CONH-、-O-C-CO-C-O-、-OCO-C-COO-、-OCO-C-C-COO-、-OCO-、-O-、-S-、-CO-、-CONH-、-SO-、-C(CF-、-C(CH-、-CH-、-O-C-SO-C-O-、-C(CH-C-C(CH-、-O-C10-O-、-O-C-C-O-、及び-O-C-O-で表される基よりなる群から選択される1種を示す。
Qの例示における、-C-はフェニレン基であり、m-フェニレン基、及びp-フェニレン基が好ましく、p-フェニレン基がより好ましい。また、-C10-は、ナフタレンジイル基であり、ナフタレン-1,2-ジイル基、ナフタレン-1,4-ジイル基、ナフタレン-2,3-ジイル基、ナフタレン-2,6-ジイル基、及びナフタレン-2,7-ジイル基が好ましく、ナフタレン-1,4-ジイル基、及びナフタレン-2,6-ジイル基がより好ましい。) When A2 is an organic group containing an aromatic ring, from the viewpoint of the heat resistance of a cured product formed using the resin composition, the organic group is preferably at least one of the groups represented by the following formulas (21) to (24).
Figure 0007704516000013
In formulae (21) to (24), R 111 represents one selected from the group consisting of a hydrogen atom, a fluorine atom, a hydroxyl group, an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogenated alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms. In formula (24), Q represents a 9,9'-fluorenylidene group, or a group represented by the formula: -C 6 H 4 -, -CONH-C 6 H 4 -NHCO-, -NHCO -C 6 H 4 -CONH-, -O-C 6 H 4 -CO-C 6 H 4 -O-, -OCO-C 6 H 4 -COO-, -OCO-C 6 H 4 -C 6 H 4 -COO-, -OCO-, -O-, -S-, -CO-, -CONH-, -SO 2 -, -C(CF 3 ) 2 This represents one type selected from the group consisting of groups represented by -, -C(CH 3 ) 2 -, -CH 2 -, -O-C 6 H 4 -SO 2 -C 6 H 4 -O-, -C(CH 3 ) 2 -C 6 H 4 -C(CH 3 ) 2 -, -O-C 10 H 6 -O-, -O -C 6 H 4 -C 6 H 4 -O-, and -O-C 6 H 4 -O-.
In the examples of Q, -C 6 H 4 - is a phenylene group, preferably an m-phenylene group or a p-phenylene group, more preferably a p-phenylene group. Also, -C 10 H 6 - is a naphthalenediyl group, preferably a naphthalene-1,2-diyl group, a naphthalene-1,4-diyl group, a naphthalene-2,3-diyl group, a naphthalene-2,6-diyl group, or a naphthalene-2,7-diyl group, more preferably a naphthalene-1,4-diyl group or a naphthalene-2,6-diyl group.

式(21)~(24)中のR111としては、形成されるポリイミド樹脂の耐熱性の観点から、水素原子、水酸基、フッ素原子、メチル基、エチル基、又はトリフルオロメチル基がより好ましく、水素原子、水酸基、又はトリフルオロメチル基が特に好ましい。 In terms of the heat resistance of the polyimide resin to be formed, R 111 in formulas (21) to (24) is more preferably a hydrogen atom, a hydroxyl group, a fluorine atom, a methyl group, an ethyl group, or a trifluoromethyl group, and particularly preferably a hydrogen atom, a hydroxyl group, or a trifluoromethyl group.

式(24)中のQとしては、形成されるポリイミド樹脂の耐熱性の点から、9,9’-フルオレニリデン基、-O-C-O-、-C(CF-、-O-、-C(CH-、-CH-、又は-CONH-が好ましい。 In terms of the heat resistance of the polyimide resin formed, Q in formula (24) is preferably a 9,9'-fluorenylidene group, --O--C 6 H 4 --O--, --C(CF 3 ) 2 --, --O--, --C(CH 3 ) 2 --, --CH 2 --, or --CONH--.

式(a3-1)で表されるジアミン化合物として芳香族ジアミンを用いる場合、例えば、以下に示される芳香族ジアミンを好適に用いることができる。
すなわち、芳香族ジアミンとしては、p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、2,4-ジアミノトルエン、4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-ジアミノ-2,2’-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジアミノジフェニルエーテル、4,4’-ジアミノベンズアニリド、3,3’-ジアミノベンズアニリド、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、9,9-ビス(4-アミノフェニル)フルオレン、9,9-ビス(4-アミノ-3-メチルフェニル)フルオレン、及び4,4’-[1,4-フェニレンビス(1-メチルエタン-1,1-ジイル)]ジアニリン等が挙げられる。これらの中では、価格、入手容易性等から、p-フェニレンジアミン、m-フェニレンジアミン、2,4-ジアミノトルエン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、及び4,4’-ジアミノベンズアニリドが好ましい。
When an aromatic diamine is used as the diamine compound represented by formula (a3-1), for example, the aromatic diamines shown below can be suitably used.
That is, examples of aromatic diamines include p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, 4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis(trifluoromethyl)biphenyl, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,3'-diaminodiphenyl. aminobenzanilide, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, 9,9-bis(4-aminophenyl)fluorene, 9,9-bis(4-amino-3-methylphenyl)fluorene, and 4,4'-[1,4-phenylenebis(1-methylethane-1,1-diyl)]dianiline, etc. Among these, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, 4,4'-diaminodiphenyl ether, and 4,4'-diaminobenzanilide are preferred in terms of cost, availability, etc.

また、Aとしては、鎖状の脂肪族基及び/又は芳香族環を有していてもよいケイ素原子含有基を採用することができる。このようなケイ素原子含有基としては、典型的には、以下に示される基を用いることができる。

Figure 0007704516000014
A 2 may be a silicon-containing group which may have a chain-like aliphatic group and/or an aromatic ring. As such a silicon-containing group, the following groups can typically be used.
Figure 0007704516000014

また、得られるポリイミド樹脂の機械特性をさらに向上させる観点から、Aとして、以下の式(Si-1)で表される基も好ましく用いることができる。

Figure 0007704516000015
(式(Si-1)中、R112及びR113は、それぞれ独立に、単結合又はメチレン基、炭素原子数2以上20以下のアルキレン基、炭素原子数3以上20以下のシクロアルキレン基、又は炭素原子数6以上20以下のアリーレン基等であり、R114、R115、R116、及びR117は、それぞれ独立に、炭素原子数1以上20以下のアルキル基、炭素原子数3以上20以下のシクロアルキル基、炭素原子数6以上20以下のアリール基、炭素原子数20以下のアミノ基を含む基、-O-R118で表される基(R118は炭素原子数1以上20以下の炭化水素基)、炭素原子数2以上20以下の1以上のエポキシ基を含む有機基であり、lは、3以上50以下の整数である。) From the viewpoint of further improving the mechanical properties of the resulting polyimide resin, a group represented by the following formula (Si-1) can also be preferably used as A2 .
Figure 0007704516000015
(In formula (Si-1), R 112 and R 113 are each independently a single bond or a methylene group, an alkylene group having from 2 to 20 carbon atoms, a cycloalkylene group having from 3 to 20 carbon atoms, or an arylene group having from 6 to 20 carbon atoms, etc.; R 114 , R 115 , R 116 , and R 117 are each independently an alkyl group having from 1 to 20 carbon atoms, a cycloalkyl group having from 3 to 20 carbon atoms, an aryl group having from 6 to 20 carbon atoms, a group containing an amino group having from 20 to 20 carbon atoms, a group represented by -O-R 118 (R 118 is a hydrocarbon group having from 1 to 20 carbon atoms), or an organic group containing one or more epoxy groups having from 2 to 20 carbon atoms, and l is an integer of from 3 to 50.)

式(Si-1)中のR112及びR113における、炭素原子数2以上20以下のアルキレン基としては、耐熱性、残留応力の観点から炭素原子数2以上10以下のアルキレン基が好ましく、ジメチレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基等が挙げられる。 In R 112 and R 113 in formula (Si-1), the alkylene group having 2 to 20 carbon atoms is preferably an alkylene group having 2 to 10 carbon atoms from the viewpoint of heat resistance and residual stress, and examples of such groups include a dimethylene group, a trimethylene group, a tetramethylene group, a pentamethylene group, and a hexamethylene group.

式(Si-1)中のR112及びR113における、炭素原子数3以上20以下のシクロアルキレン基としては、耐熱性、残留応力の観点から炭素原子数3以上10以下のシクロアルキレン基が好ましく、シクロブチレン基、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基、シクロヘプチレン基等が挙げられる。
式(Si-1)中のR112及びR113における、炭素原子数6以上20以下のアリーレン基としては、耐熱性、残留応力の観点から炭素原子数6以上20以下の芳香族基が好ましく、フェニレン基、ナフチレン基等が挙げられる。
As the cycloalkylene group having 3 to 20 carbon atoms for R 112 and R 113 in formula (Si-1), from the viewpoints of heat resistance and residual stress, a cycloalkylene group having 3 to 10 carbon atoms is preferable, and examples thereof include a cyclobutylene group, a cyclopentylene group, a cyclohexylene group, and a cycloheptylene group.
In the formula (Si-1), the arylene group having 6 to 20 carbon atoms in R 112 and R 113 is preferably an aromatic group having 6 to 20 carbon atoms in terms of heat resistance and residual stress, and examples of such groups include a phenylene group and a naphthylene group.

式(Si-1)中のR114、R115、R116、及びR117における炭素原子数1以上20以下のアルキル基としては、耐熱性と残留応力の観点から炭素原子数1以上10以下のアルキル基が好ましく、具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられる。
式(Si-1)中のR114、R115、R116、及びR117における炭素原子数3以上20以下のシクロアルキル基としては、耐熱性、残留応力の観点から炭素原子数3以上10以下のシクロアルキル基が好ましく、具体的には、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等が挙げられる。
式(Si-1)中のR114、R115、R116、及びR117における炭素原子数6以上20以下のアリール基としては、耐熱性、残留応力の観点から炭素原子数6以上12以下のアリール基が好ましく、具体的には、フェニル基、トリル基、ナフチル基等が挙げられる。
式(Si-1)中のR114、R115、R116、及びR117における炭素原子数20以下のアミノ基を含む基としては、アミノ基、置換したアミノ基(例えば、ビス(トリアルキルシリル)アミノ基)等が挙げられる。
式(Si-1)中のR114、R115、R116、及びR117における-O-R118で表される基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロピルオキシ基、ブトキシ基、フェノキシ基、トリルオキシ基、ナフチルオキシ基、プロペニルオキシ基(例えば、アリルオキシ基)、及びシクロヘキシルオキシ基等が挙げられる。
中でも、R114、R115、R116、及びR117として、好ましくは、メチル基、エチル基、プロピル基、フェニル基である。
As the alkyl group having 1 to 20 carbon atoms for R 114 , R 115 , R 116 , and R 117 in formula (Si-1), an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is preferable from the viewpoint of heat resistance and residual stress, and specific examples thereof include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a tert-butyl group, a pentyl group, and a hexyl group.
As the cycloalkyl group having 3 to 20 carbon atoms for R 114 , R 115 , R 116 , and R 117 in formula (Si-1), a cycloalkyl group having 3 to 10 carbon atoms is preferable from the viewpoint of heat resistance and residual stress, and specific examples thereof include a cyclopentyl group, a cyclohexyl group, etc.
In the formula (Si-1), the aryl group having 6 to 20 carbon atoms for R 114 , R 115 , R 116 , and R 117 is preferably an aryl group having 6 to 12 carbon atoms from the viewpoints of heat resistance and residual stress, and specific examples thereof include a phenyl group, a tolyl group, and a naphthyl group.
Examples of the amino group-containing group having 20 or less carbon atoms for R 114 , R 115 , R 116 and R 117 in formula (Si-1) include an amino group and a substituted amino group (for example, a bis(trialkylsilyl)amino group).
Examples of the group represented by —O—R 118 in R 114 , R 115 , R 116 , and R 117 in formula (Si-1) include a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropyloxy group, a butoxy group, a phenoxy group, a tolyloxy group, a naphthyloxy group, a propenyloxy group (for example, an allyloxy group), and a cyclohexyloxy group.
Of these, R 114 , R 115 , R 116 and R 117 are preferably a methyl group, an ethyl group, a propyl group or a phenyl group.

式(Si-1)で表される基は、両末端にアミノ基を有するケイ素含有化合物を酸無水物に対して作用させることで導くことができる。このようなケイ素含有化合物の具体例としては、両末端アミノ変性メチルフェニルシリコーン(例えば信越化学社製の、X-22-1660B-3(数平均分子量4,400程度)及びX-22-9409(数平均分子量1,300程度))、両末端アミノ変性ジメチルシリコーン(例えば信越化学社製の、X-22-161A(数平均分子量1,600程度)、X-22-161B(数平均分子量3,000程度)及びKF8012(数平均分子量4,400程度);東レダウコーニング製のBY16-835U(数平均分子量900程度);並びにJNC社製のサイラプレーンFM3311(数平均分子量1000程度))等が挙げられる。 The group represented by formula (Si-1) can be derived by reacting a silicon-containing compound having amino groups at both ends with an acid anhydride. Specific examples of such silicon-containing compounds include methylphenyl silicone modified with amino groups at both ends (e.g., X-22-1660B-3 (number average molecular weight of about 4,400) and X-22-9409 (number average molecular weight of about 1,300) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), dimethyl silicone modified with amino groups at both ends (e.g., X-22-161A (number average molecular weight of about 1,600), X-22-161B (number average molecular weight of about 3,000) and KF8012 (number average molecular weight of about 4,400) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.; BY16-835U (number average molecular weight of about 900) manufactured by Dow Corning Toray; and Silaplane FM3311 (number average molecular weight of about 1000) manufactured by JNC Corporation).

ポリイミド樹脂は、その分子鎖上にラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を有する。
このため、式(A1c)中の2価の有機基Xは、例えば、上記の式(21)~(24)で表される芳香族基の芳香環上に、さらにラジカル重合性基、又はカチオン重合性基が結合した基であってよい。
The polyimide resin has radically polymerizable groups or cationic polymerizable groups on its molecular chain.
For this reason, the divalent organic group X4 in formula (A1c) may be, for example, an aromatic group represented by any one of the above formulae (21) to (24) to which a radical polymerizable group or a cationically polymerizable group is further bonded on the aromatic ring.

ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を有する有機基Xの好適な具体例としては以下の基が挙げられる。

Figure 0007704516000016
Specific preferred examples of the organic group X4 having a radical polymerizable group or a cationically polymerizable group include the following groups.
Figure 0007704516000016

Figure 0007704516000017
Figure 0007704516000017

Figure 0007704516000018
Figure 0007704516000018

式(A1d)において、X及びXは、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい2価の芳香族炭化水素基である。
及びXとしての2価の芳香族炭化水素基は、式(A1b)中の、X及びXとしての2価の芳香族炭化水素基と同様である。
In formula (A1d), X5 and X6 each independently represent a divalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom.
The divalent aromatic hydrocarbon groups represented by X5 and X6 are the same as the divalent aromatic hydrocarbon groups represented by X2 and X3 in formula (A1b).

式(A1d)において、Y及びYは、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい3価の芳香族炭化水素基である。
及びYとしての3価の芳香族炭化水素基は、式(A1c)中の、Y及びYとしての3価の芳香族炭化水素基と同様である。
In formula (A1d), Y5 and Y6 each independently represent a trivalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom.
The trivalent aromatic hydrocarbon group represented by Y5 and Y6 is the same as the trivalent aromatic hydrocarbon group represented by Y3 and Y4 in formula (A1c).

式(A1d)における、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4、n1、及びn2は、式(a1)中のこれらと同様である。 In formula (A1d), R a1 , R a2 , R a3 , R a4 , n1 and n2 are the same as those in formula (a1).

式(A1a)で表される構成単位としては、ポリイミド樹脂を合成するための原料の合成や入手が容易であったり、構成単位中へのラジカル重合性基、又はカチオン重合性基の導入が容易であったりすること等から、式(A1c)で表される構成単位が好ましい。
式(A1a)で表される構成単位の質量に対する、式(A1c)で表される構成単位の質量の比率は50質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましく、90質量%以上がさらに好ましく、100質量%が特に好ましい。
As the structural unit represented by formula (A1a), a structural unit represented by formula (A1c) is preferable, for example, because the raw materials for synthesizing the polyimide resin can be easily synthesized or obtained, and because it is easy to introduce a radically polymerizable group or a cationic polymerizable group into the structural unit.
The ratio of the mass of the structural unit represented by formula (A1c) to the mass of the structural unit represented by formula (A1a) is preferably 50 mass% or more, more preferably 80 mass% or more, even more preferably 90 mass% or more, and particularly preferably 100 mass%.

ポリイミド樹脂は、本発明の目的を阻害しない範囲で、下記式(A1e)で表される構成単位を含んでいてもよい。下記式(A1e)で表される構成単位は、前述の式(a1)で表される部分構造を有さない。

Figure 0007704516000019
(式(A1e)中、Xは、式(A1c)中のXと同様であり、Yは、式(A1b)中のYと同様である。) The polyimide resin may contain a structural unit represented by the following formula (A1e) within the scope of not impairing the object of the present invention. The structural unit represented by the following formula (A1e) does not have the partial structure represented by the above formula (a1).
Figure 0007704516000019
(In formula (A1e), X4 is the same as X4 in formula (A1c), and Y2 is the same as Y2 in formula (A1b).)

以上説明したポリイミド樹脂の製造方法は、特に限定されない。以上説明したポリイミド樹脂は、典型的には、上記の構成単位の構造に応じた構造を有するポリアミック酸と、テトラカルボン酸二無水物とを反応させてポリアミック酸を得た後、当該ポリアミック酸をイミド化させることにより製造され得る。
ポリアミック酸を製造する際に、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミンとは、それぞれ1種を単独で使用されても、2種以上を組み合わせて使用されてもよい。
ポリイミド樹脂は、前述の通り、ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を有する。ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基は、ポリアミック酸合成後、又はポリイミド樹脂合成後に分子鎖上に導入されてもよい。
ポリアミック酸合成後、又はポリイミド樹脂(A)の合成後にラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を、ポリアミック酸、又はポリイミド樹脂(A)の分子鎖上に導入する場合、その導入方法は特に限定されない。
カルボキシル基や、アミド結合と、ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基とが望まない副反応を起こしやすいことから、ポリアミック酸に対してラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を導入するよりも、ポリイミド樹脂(A)に対してラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を導入するほうが好ましい。
ラジカル重合性基、又はカチオン重合性基を分子鎖上に導入する方法の典型例としては、水酸基、アミノ基、カルボキシ基等の官能基を有するポリアミック酸、又はポリイミド樹脂(A)と、ラジカル重合性基を有するカルボン酸、ラジカル重合性基を有するカルボン酸ハライド、ラジカル重合性基を有するアルコール類、ラジカル重合性基を有するフェノール類、ラジカル重合性基を有するアミン類、ラジカル重合性基を有するハロゲン化化合物、カチオン重合性基を有するカルボン酸、カチオン重合性基を有するカルボン酸ハライド、カチオン重合性基を有するアルコール類、カチオン重合性基を有するフェノール類、カチオン重合性基を有するアミン類、又はカチオン重合性基を有するハロゲン化化合物とを、周知の縮合剤を用いた縮合反応や、ウィリアムソンのエーテル化反応等の公知の方法により反応させる方法が挙げられる。
The method for producing the polyimide resin described above is not particularly limited. The polyimide resin described above can typically be produced by reacting a polyamic acid having a structure corresponding to the structure of the above-mentioned structural unit with a tetracarboxylic dianhydride to obtain a polyamic acid, and then imidizing the polyamic acid.
When producing the polyamic acid, the tetracarboxylic dianhydride and the diamine may each be used alone or in combination of two or more kinds.
As described above, the polyimide resin has a radical polymerizable group or a cationic polymerizable group. The radical polymerizable group or the cationic polymerizable group may be introduced onto the molecular chain after synthesis of the polyamic acid or after synthesis of the polyimide resin.
When a radically polymerizable group or a cationic polymerizable group is introduced onto the molecular chain of the polyamic acid or the polyimide resin (A) after synthesis of the polyamic acid or the polyimide resin (A), the method of introduction is not particularly limited.
Since an undesired side reaction is likely to occur between a carboxyl group or an amide bond and a radically polymerizable group or a cationic polymerizable group, it is preferable to introduce a radically polymerizable group or a cationic polymerizable group into the polyimide resin (A) rather than introducing a radically polymerizable group or a cationic polymerizable group into the polyamic acid.
Typical examples of methods for introducing a radical polymerizable group or a cationically polymerizable group onto a molecular chain include a method of reacting a polyamic acid having a functional group such as a hydroxyl group, an amino group, or a carboxyl group, or a polyimide resin (A) with a carboxylic acid having a radical polymerizable group, a carboxylic acid halide having a radical polymerizable group, an alcohol having a radical polymerizable group, a phenol having a radical polymerizable group, an amine having a radical polymerizable group, a halogenated compound having a radical polymerizable group, a carboxylic acid having a cationically polymerizable group, a carboxylic acid halide having a cationically polymerizable group, an alcohol having a cationically polymerizable group, a phenol having a cationically polymerizable group, an amine having a cationically polymerizable group, or a halogenated compound having a cationically polymerizable group by a known method such as a condensation reaction using a known condensing agent or Williamson's etherification reaction.

ポリアミック酸を合成する際の、テトラカルボン酸二無水物及びジアミン化合物の使用量は特に限定されないが、テトラカルボン酸二無水物1モルに対して、ジアミン化合物を0.50モル以上1.50モル以下用いることが好ましく、0.60モル以上1.30モル以下用いることがより好ましく、0.70モル以上1.20モル以下用いることが特に好ましい。
また、得られるポリアミック酸の重量平均分子量は、その用途にあわせて適宜設定すればよい。ポリアミック酸の重量平均分子量は、例えば5000以上であり、7500以上が好ましく、10000以上がより好ましい。一方、得られるポリアミック酸の重量平均分子量は、例えば100000以下であり、80000以下が好ましく、75000以下がより好ましい。
この重量平均分子量は、テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物の配合量や、溶媒や反応温度等の反応条件を調整して、上述の値とすればよい。
The amounts of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound used in synthesizing the polyamic acid are not particularly limited, but the amount of the diamine compound used is preferably 0.50 mol or more and 1.50 mol or less, more preferably 0.60 mol or more and 1.30 mol or less, and particularly preferably 0.70 mol or more and 1.20 mol or less, per 1 mol of the tetracarboxylic dianhydride.
The weight average molecular weight of the polyamic acid obtained may be appropriately set depending on the application. The weight average molecular weight of the polyamic acid is, for example, 5,000 or more, preferably 7,500 or more, and more preferably 10,000 or more. On the other hand, the weight average molecular weight of the polyamic acid obtained is, for example, 100,000 or less, preferably 80,000 or less, and more preferably 75,000 or less.
The weight average molecular weight can be adjusted to the above-mentioned value by adjusting the amounts of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound mixed together, and reaction conditions such as the solvent and reaction temperature.

テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物との反応は、通常、有機溶媒中で行われる。テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物との反応に使用される有機溶媒は、テトラカルボン酸二酸無水物及びジアミン化合物を溶解させることができ、テトラカルボン酸二無水物及びジアミン化合物と反応しない有機溶媒であれば特に限定されない。有機溶媒は単独で又は2種以上を混合して用いることができる。 The reaction between the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound is usually carried out in an organic solvent. The organic solvent used for the reaction between the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound is not particularly limited as long as it can dissolve the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound and does not react with the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound. The organic solvent can be used alone or in combination of two or more kinds.

テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物との反応に用いる有機溶媒の例としては、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N-メチルカプロラクタム、及びN,N,N’,N’-テトラメチルウレア等の含窒素極性溶媒;ジメチルスルホキシド;アセトニトリル;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジオキサン、及びテトラヒドロフラン等のエーテル類が挙げられる。 Examples of organic solvents used in the reaction between tetracarboxylic dianhydride and diamine compound include nitrogen-containing polar solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone, N,N-dimethylacetamide, N,N-diethylacetamide, N,N-dimethylformamide, N,N-diethylformamide, N-methylcaprolactam, and N,N,N',N'-tetramethylurea; dimethyl sulfoxide; acetonitrile; and ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, dioxane, and tetrahydrofuran.

これらの有機溶剤の中では、生成するポリアミック酸、及びポリイミド樹脂の溶解性から、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N-メチルカプロラクタム、及びN,N,N’,N’-テトラメチルウレア等の含窒素極性溶剤が好ましい。 Among these organic solvents, nitrogen-containing polar solvents such as N-methyl-2-pyrrolidone, N,N-dimethylacetamide, N,N-diethylacetamide, N,N-dimethylformamide, N,N-diethylformamide, N-methylcaprolactam, and N,N,N',N'-tetramethylurea are preferred from the viewpoint of the solubility of the resulting polyamic acid and polyimide resin.

テトラカルボン酸二無水物と、ジアミン化合物とを反応させる際の温度は、反応が良好に進行する限り特に限定されない。典型的には、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミン化合物との反応温度は、-5℃以上150℃以下が好ましく、0℃以上120℃以下がより好ましく、0℃以上70℃以下が特に好ましい。テトラカルボン酸二無水物と、ジアミン化合物とを反応させる時間は、反応温度によっても異なるが、典型的には、1時間以上50時間以下が好ましく、2時間以上40時間以下がより好ましく、5時間以上30時間以下が特に好ましい。 The temperature at which the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound are reacted is not particularly limited as long as the reaction proceeds smoothly. Typically, the reaction temperature between the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound is preferably from -5°C to 150°C, more preferably from 0°C to 120°C, and particularly preferably from 0°C to 70°C. The time for reacting the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound varies depending on the reaction temperature, but typically, it is preferably from 1 hour to 50 hours, more preferably from 2 hours to 40 hours, and particularly preferably from 5 hours to 30 hours.

以上説明した方法により、ポリアミック酸を含む溶液が得られる。
得られたポリアミック酸を、閉環させてイミド化することによりポリイミド樹脂(A)が生成する。
イミド化の方法は特に限定されない。イミド化は、加熱により行われてもよく、イミド化剤を用いて行われてもよい。
By the method described above, a solution containing a polyamic acid is obtained.
The resulting polyamic acid is imidized by ring closure to produce a polyimide resin (A).
The method of imidization is not particularly limited. The imidization may be performed by heating or using an imidizing agent.

加熱によりイミド化を行う場合、加熱は、ポリアミック酸の溶液又は懸濁液に対して行われてもよく、固体状のポリアミック酸に対して行われてもよい。上記のポリイミド樹脂(A)は有機溶媒に対して優れた溶解性を示すため、イミド化のための加熱は、ポリアミック酸の溶液に対して行われるのが好ましい。
ポリアミック酸の溶液を加熱してイミド化を行う場合、イミド化の際に副生する水を除去しながら加熱を行うのが好ましい。
イミド化のための加熱の条件は、ポリアミック酸又はポリイミド樹脂(A)が分解せず、良好にイミド化が進行する限り特に限定されない。
ポリアミック酸溶液に対して加熱を行う場合、典型的には、加熱温度として150℃以上280℃以下が好ましく、160℃以上250℃以下がより好ましく、170℃以上230℃以下が特に好ましい。固体状のポリアミック酸に対して加熱を行う場合、典型的には、加熱温度として、180℃以上400℃以下が好ましく、200℃以上350℃以下がより好ましい。
加熱時間は、加熱温度にもよるが、典型的には、1時間以上24時間以下が好ましく、2時間以上12時間以下がより好ましい。
When the imidization is performed by heating, the heating may be performed on a solution or suspension of the polyamic acid, or on a solid polyamic acid. Since the polyimide resin (A) exhibits excellent solubility in organic solvents, it is preferable to heat the polyamic acid solution for the imidization.
When the polyamic acid solution is heated to carry out the imidization, it is preferable to carry out the heating while removing water generated as a by-product during the imidization.
The heating conditions for imidization are not particularly limited as long as the polyamic acid or polyimide resin (A) is not decomposed and the imidization proceeds satisfactorily.
When the polyamic acid solution is heated, the heating temperature is typically preferably from 150° C. to 280° C., more preferably from 160° C. to 250° C., and particularly preferably from 170° C. to 230° C. When the solid polyamic acid is heated, the heating temperature is typically preferably from 180° C. to 400° C., and more preferably from 200° C. to 350° C.
The heating time varies depending on the heating temperature, but is typically preferably from 1 hour to 24 hours, more preferably from 2 hours to 12 hours.

イミド化剤により、ポリアミック酸をイミド化する場合、通常、ポリアミック酸の溶液又は懸濁液に対してイミド化剤を加えてイミド化が実施される。イミド化剤によるイミド化を行う場合に用いることができる有機溶媒としては、例えば、ポリアミック酸の調製に用いることができる有機溶媒と同様の有機溶媒を用いることができる。
イミド化剤によるイミド化を行う場合に、ポリアミック酸の溶液又は懸濁液におけるポリアミック酸の濃度は特に限定されない。典型的には、ポリアミック酸の溶液又は懸濁液におけるポリアミック酸の濃度は、5質量%以上50質量%以下が好ましく、10質量%以上30質量%以下がより好ましい。
イミド化剤の使用量は特に限定されない。イミド化剤の使用量は、イミド化剤の種類に応じて、ポリアミック酸が所望する程度にイミド化されるように選択される。
イミド化剤によるイミド化を行う場合の反応温度は、特に限定されない。反応温度は、例えば、0℃以上100℃以下が好ましく、5℃以上50℃以下がより好ましい。
イミド化剤を用いる場合のイミド化反応の時間は、特に限定されない。イミド化反応は、イミド化剤の種類に応じて、例えば、30分以上24時間程度行われるのが好ましく、1時間以上12時間以下行われるのがより好ましく、2時間以上6時間以上行われるのがさらに好ましい。
When imidizing a polyamic acid with an imidizing agent, the imidization is usually carried out by adding the imidizing agent to a solution or suspension of the polyamic acid. As an organic solvent that can be used when imidizing with an imidizing agent, for example, the same organic solvent that can be used for preparing the polyamic acid can be used.
When imidization is performed using an imidizing agent, the concentration of the polyamic acid in the solution or suspension of the polyamic acid is not particularly limited. Typically, the concentration of the polyamic acid in the solution or suspension of the polyamic acid is preferably 5% by mass or more and 50% by mass or less, more preferably 10% by mass or more and 30% by mass or less.
The amount of the imidizing agent used is not particularly limited, and is selected depending on the type of the imidizing agent so that the polyamic acid is imidized to a desired degree.
The reaction temperature when imidization is performed using an imidizing agent is not particularly limited. The reaction temperature is, for example, preferably 0° C. or higher and 100° C. or lower, and more preferably 5° C. or higher and 50° C. or lower.
The time for the imidization reaction when an imidizing agent is used is not particularly limited. The imidization reaction is preferably carried out for about 30 minutes to 24 hours, more preferably for 1 hour to 12 hours, and even more preferably for 2 hours to 6 hours, depending on the type of the imidizing agent.

イミド化剤としては、無水酢酸、無水プロピオン酸、無水安息香酸、無水トリフルオロ酢酸、アセチルクロライド、トシルクロライド、メシルクロライド、クロルギ酸エチル、トリフェニルホスフィンとジベンゾイミダゾリルジスルフィド、ジシクロヘキシルカルボジイミド、カルボジイミダゾール、2-エトキシ-1-エトキシカルボニル-1,2-ジヒドロキノリン、及びシュウ酸N,N’-ジスクシンイミジルエステル等の脱水剤や、ピリジン、ピコリン、2,6-ルチジン、コリジン、トリエチルアミン、N-メチルモルフォリン、4-N,N’-ジメチルアミノピリジン、イソキノリン、トリエチルアミン、1,4-ジアザビシクロ〔2.2.2〕オクタン、及び1,8-ジアザビシクロ〔5.4.0〕-7-ウンデセン等の塩基性化合物が挙げられる。 Imidizing agents include dehydrating agents such as acetic anhydride, propionic anhydride, benzoic anhydride, trifluoroacetic anhydride, acetyl chloride, tosyl chloride, mesyl chloride, ethyl chloroformate, triphenylphosphine and dibenzimidazolyl disulfide, dicyclohexylcarbodiimide, carbodiimidazole, 2-ethoxy-1-ethoxycarbonyl-1,2-dihydroquinoline, and oxalic acid N,N'-disuccinimidyl ester, and basic compounds such as pyridine, picoline, 2,6-lutidine, collidine, triethylamine, N-methylmorpholine, 4-N,N'-dimethylaminopyridine, isoquinoline, triethylamine, 1,4-diazabicyclo[2.2.2]octane, and 1,8-diazabicyclo[5.4.0]-7-undecene.

≪ワニス組成物≫
ワニス組成物は、有機溶媒(S)中に、前述のポリイミド樹脂をポリイミド樹脂(A)として含む。前述の通り、ポリイミド樹脂(A)は、有機溶媒(S)に可溶である。このため、ワニス組成物において、ポリイミド樹脂(A)の少なくとも一部が有機溶媒(S)に溶解している。ワニス組成物において、20℃にて、ポリイミド樹脂(A)の80質量%以上が有機溶媒(S)に溶解しているのが好ましく、ポリイミド樹脂(A)の90質量%以上が有機溶媒(S)に溶解しているのがさらに好ましく、ポリイミド樹脂(A)の100質量%以上が有機溶媒(S)に溶解しているのが特に好ましい。
つまり、ワニス組成物は、ポリイミド樹脂(A)が有機溶媒(S)に完全に溶解した溶液であるのが好ましい。
<Varnish composition>
The varnish composition contains the polyimide resin as the polyimide resin (A) in the organic solvent (S). As described above, the polyimide resin (A) is soluble in the organic solvent (S). Therefore, in the varnish composition, at least a part of the polyimide resin (A) is dissolved in the organic solvent (S). In the varnish composition, at 20° C., it is preferable that 80% by mass or more of the polyimide resin (A) is dissolved in the organic solvent (S), more preferably 90% by mass or more of the polyimide resin (A) is dissolved in the organic solvent (S), and particularly preferably 100% by mass or more of the polyimide resin (A) is dissolved in the organic solvent (S).
In other words, the varnish composition is preferably a solution in which the polyimide resin (A) is completely dissolved in the organic solvent (S).

ワニス組成物の質量に対する、ポリイミド樹脂(A)の質量の比率は、塗布方法や塗布膜の膜厚を考慮したうえでワニス組成物の粘度を勘案して適宜定められる。ワニス組成物の質量に対するポリイミド樹脂(A)の質量の比率は、典型的には、5質量%以上50質量%以下が好ましく、10質量%以上40質量%以下がより好ましい。 The ratio of the mass of the polyimide resin (A) to the mass of the varnish composition is appropriately determined taking into consideration the viscosity of the varnish composition, taking into account the coating method and the thickness of the coating film. The ratio of the mass of the polyimide resin (A) to the mass of the varnish composition is typically preferably 5% by mass or more and 50% by mass or less, and more preferably 10% by mass or more and 40% by mass or less.

ポリイミド樹脂(A)が、ラジカル重合性基を有する場合、ワニス組成物は、ポリイミド樹脂(A)とともに、モノマー化合物(B)として、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマー化合物を含んでいてもよい。かかるモノマー化合物は、単官能モノマー化合物であっても、多官能モノマー化合物であってもよく、多官能モノマー化合物が好ましい。 When the polyimide resin (A) has a radical polymerizable group, the varnish composition may contain, in addition to the polyimide resin (A), a monomer compound having an ethylenically unsaturated double bond as the monomer compound (B). Such a monomer compound may be a monofunctional monomer compound or a polyfunctional monomer compound, and a polyfunctional monomer compound is preferred.

単官能モノマー化合物としては、例えば、(メタ)アクリルアミド、メチロール(メタ)アクリルアミド、メトキシメチル(メタ)アクリルアミド、エトキシメチル(メタ)アクリルアミド、プロポキシメチル(メタ)アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N-メチロール(メタ)アクリルアミド、N-ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、2-アクリルアミド-2-メチルプロパンスルホン酸、tert-ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2-フェノキシ-2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2-(メタ)アクリロイルオキシ-2-ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノ(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、2,2,2-トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの単官能光重合性モノマーは、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。 Examples of monofunctional monomer compounds include (meth)acrylamide, methylol (meth)acrylamide, methoxymethyl (meth)acrylamide, ethoxymethyl (meth)acrylamide, propoxymethyl (meth)acrylamide, butoxymethoxymethyl (meth)acrylamide, N-methylol (meth)acrylamide, N-hydroxymethyl (meth)acrylamide, (meth)acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, crotonic acid, 2-acrylamido-2-methylpropanesulfonic acid, tert-butylacrylamidosulfonic acid, methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, Examples of the monomers include 2-ethylhexyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, 2-hydroxybutyl (meth)acrylate, 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth)acrylate, 2-(meth)acryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, glycerin mono(meth)acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate, dimethylamino (meth)acrylate, glycidyl (meth)acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl (meth)acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth)acrylate, and half (meth)acrylate of phthalic acid derivatives. These monofunctional photopolymerizable monomers can be used alone or in combination of two or more.

多官能モノマー化合物としては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、2,2-ビス(4-(メタ)アクリロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-(メタ)アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパン、2-ヒドロキシ-3-(メタ)アクリロイルオキシプロピル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ(メタ)アクリレート、グリセリントリアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート(すなわち、トリレンジイソシアネート)、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートとヘキサメチレンジイソシアネートと2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートとの反応物、メチレンビス(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとN-メチロール(メタ)アクリルアミドとの縮合物等の多官能モノマー化合物や、トリアクリルホルマール等が挙げられる。これらの多官能モノマー化合物は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。 Examples of polyfunctional monomer compounds include ethylene glycol di(meth)acrylate, diethylene glycol di(meth)acrylate, tetraethylene glycol di(meth)acrylate, propylene glycol di(meth)acrylate, polypropylene glycol di(meth)acrylate, butylene glycol di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, 1,6-hexane glycol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, glycerin di(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, 2,2-bis(4-(meth)acryloxydiethoxyphenyl)propane, 2,2-bis Examples of polyfunctional monomer compounds include (4-(meth)acryloxypolyethoxyphenyl)propane, 2-hydroxy-3-(meth)acryloyloxypropyl (meth)acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate, phthalic acid diglycidyl ester di(meth)acrylate, glycerin triacrylate, glycerin polyglycidyl ether poly(meth)acrylate, urethane (meth)acrylate (i.e., tolylene diisocyanate), a reaction product of trimethylhexamethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, and 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, methylene bis(meth)acrylamide, (meth)acrylamide methylene ether, and a condensation product of a polyhydric alcohol and N-methylol (meth)acrylamide, and triacrylformal. These polyfunctional monomer compounds can be used alone or in combination of two or more.

これらのエチレン性不飽和二重結合を有するモノマー化合物の中でも、硬化物の基板への密着性、硬化物の強度を高める傾向にある点から、3官能以上の多官能モノマー化合物が好ましく、4官能以上の多官能モノマー化合物がより好ましく、5官能以上の多官能モノマー化合物がさらに好ましい。 Among these monomer compounds having an ethylenically unsaturated double bond, polyfunctional monomer compounds having three or more functionalities are preferred, polyfunctional monomer compounds having four or more functionalities are more preferred, and polyfunctional monomer compounds having five or more functionalities are even more preferred, because they tend to increase the adhesion of the cured product to the substrate and the strength of the cured product.

ポリイミド樹脂(A)が、カチオン重合性基としてビニルオキシ基含有基を有する場合、ワニス組成物は、ポリイミド樹脂(A)とともに、モノマー化合物(B)として、ビニルエーテル化合物を含んでいてもよい。かかるビニルエーテル化合物は、単官能化合物であっても、多官能化合物であってもよい。 When the polyimide resin (A) has a vinyloxy group-containing group as a cationic polymerizable group, the varnish composition may contain a vinyl ether compound as a monomer compound (B) together with the polyimide resin (A). Such a vinyl ether compound may be a monofunctional compound or a polyfunctional compound.

ビニルエーテル化合物の好適な具体例としては、ビニルフェニルエーテル、4-ビニロキシトルエン、3-ビニロキシトルエン、2-ビニロキシトルエン、1-ビニロキシ-4-クロロベンゼン、1-ビニロキシ-3-クロロベンゼン、1-ビニロキシ-2-クロロベンゼン、1-ビニロキシ-2,3-ジメチルベンゼン、1-ビニロキシ-2,4-ジメチルベンゼン、1-ビニロキシ-2,5-ジメチルベンゼン、1-ビニロキシ-2,6-ジメチルベンゼン、1-ビニロキシ-3,4-ジメチルベンゼン、1-ビニロキシ-3,5-ジメチルベンゼン、1-ビニロキシナフタレン、2-ビニロキシナフタレン、2-ビニロキシフルオレン、3-ビニロキシフルオレン、4-ビニロキシ-1,1’-ビフェニル、3-ビニロキシ-1,1’-ビフェニル、2-ビニロキシ-1,1’-ビフェニル、6-ビニロキシテトラリン、及び5-ビニロキシテトラリン等の芳香族モノビニルエーテル化合物;1,4-ジビニロキシベンゼン、1,3-ジビニロキシベンゼン、1,2-ジビニロキシベンゼン、1,4-ジビニロキシナフタレン、1,3-ジビニロキシナフタレン、1,2-ジビニロキシナフタレン、1,5-ジビニロキシナフタレン、1,6-ジビニロキシナフタレン、1,7-ジビニロキシナフタレン、1,8-ジビニロキシナフタレン、2,3-ジビニロキシナフタレン、2,6-ジビニロキシナフタレン、2,7-ジビニロキシナフタレン、1,2-ジビニロキシフルオレン、3,4-ジビニロキシフルオレン、2,7-ジビニロキシフルオレン、4,4’-ジビニロキシビフェニル、3,3’-ジビニロキシビフェニル、2,2’-ジビニロキシビフェニル、3,4’-ジビニロキシビフェニル、2,3’-ジビニロキシビフェニル、2,4’-ジビニロキシビフェニル、及びビスフェノールAジビニルエーテル等の芳香族ジビニルエーテル化合物が挙げられる。
これらの、ビニルエーテル化合物は、2種以上組み合わせて用いられてもよい。
Specific examples of suitable vinyl ether compounds include vinyl phenyl ether, 4-vinyloxytoluene, 3-vinyloxytoluene, 2-vinyloxytoluene, 1-vinyloxy-4-chlorobenzene, 1-vinyloxy-3-chlorobenzene, 1-vinyloxy-2-chlorobenzene, 1-vinyloxy-2,3-dimethylbenzene, 1-vinyloxy-2,4-dimethylbenzene, 1-vinyloxy-2,5-dimethylbenzene, and 1-vinyloxy-2,6-dimethylbenzene. Aromatic monovinyl ethers such as methylbenzene, 1-vinyloxy-3,4-dimethylbenzene, 1-vinyloxy-3,5-dimethylbenzene, 1-vinyloxynaphthalene, 2-vinyloxynaphthalene, 2-vinyloxyfluorene, 3-vinyloxyfluorene, 4-vinyloxy-1,1'-biphenyl, 3-vinyloxy-1,1'-biphenyl, 2-vinyloxy-1,1'-biphenyl, 6-vinyloxytetralin, and 5-vinyloxytetralin. Compound: 1,4-divinyloxybenzene, 1,3-divinyloxybenzene, 1,2-divinyloxybenzene, 1,4-divinyloxynaphthalene, 1,3-divinyloxynaphthalene, 1,2-divinyloxynaphthalene, 1,5-divinyloxynaphthalene, 1,6-divinyloxynaphthalene, 1,7-divinyloxynaphthalene, 1,8-divinyloxynaphthalene, 2,3-divinyloxynaphthalene, 2,6-divinyloxynaphthalene, 2,7-divinyloxy aromatic divinyloxy ether compounds such as divinyloxynaphthalene, 1,2-divinyloxyfluorene, 3,4-divinyloxyfluorene, 2,7-divinyloxyfluorene, 4,4'-divinyloxybiphenyl, 3,3'-divinyloxybiphenyl, 2,2'-divinyloxybiphenyl, 3,4'-divinyloxybiphenyl, 2,3'-divinyloxybiphenyl, 2,4'-divinyloxybiphenyl, and bisphenol A divinyl ether.
These vinyl ether compounds may be used in combination of two or more kinds.

ポリイミド樹脂(A)がカチオン重合性基としてエポキシ基含有基を有する場合、ワニス組成物はモノマー化合物(B)として、種々のエポキシ化合物を含んでいてもよい。
エポキシ化合物の例としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAD型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、及びビフェニル型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂;フェノールノボラック型エポキシ樹脂、臭素化フェノールノボラック型エポキシ樹脂、オルソクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、及びビスフェノールADノボラック型エポキシ樹脂等のノボラックエポキシ樹脂;ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂のエポキシ化物等の環式脂肪族エポキシ樹脂;ナフタレン型フェノール樹脂のエポキシ化物等の芳香族エポキシ樹脂;ダイマー酸グリシジルエステル、及びトリグリシジルエステル等のグリシジルエステル型エポキシ樹脂;テトラグリシジルアミノジフェニルメタン、トリグリシジル-p-アミノフェノール、テトラグリシジルメタキシリレンジアミン、及びテトラグリシジルビスアミノメチルシクロヘキサン等のグリシジルアミン型エポキシ樹脂;トリグリシジルイソシアヌレート等の複素環式エポキシ樹脂;フロログリシノールトリグリシジルエーテル、トリヒドロキシビフェニルトリグリシジルエーテル、トリヒドロキシフェニルメタントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、2-[4-(2,3-エポキシプロポキシ)フェニル]-2-[4-[1,1-ビス[4-(2,3-エポキシプロポキシ)フェニル]エチル]フェニル]プロパン、及び1,3-ビス[4-[1-[4-(2,3-エポキシプロポキシ)フェニル]-1-[4-[1-[4-(2,3-エポキシプロポキシ)フェニル]-1-メチルエチル]フェニル]エチル]フェノキシ]-2-プロパノール等の3官能型エポキシ樹脂;テトラヒドロキシフェニルエタンテトラグリシジルエーテル、テトラグリシジルベンゾフェノン、ビスレゾルシノールテトラグリシジルエーテル、及びテトラグリシドキシビフェニル等の4官能型エポキシ樹脂;2,2-ビス(ヒドロキシメチル)-1-ブタノールの1,2-エポキシ-4-(2-オキシラニル)シクロヘキサン付加物が挙げられる。2,2-ビス(ヒドロキシメチル)-1-ブタノールの1,2-エポキシ-4-(2-オキシラニル)シクロヘキサン付加物は、EHPE-3150(ダイセル社製)として市販される。
When the polyimide resin (A) has an epoxy group-containing group as the cationically polymerizable group, the varnish composition may contain various epoxy compounds as the monomer compound (B).
Examples of the epoxy compound include bifunctional epoxy resins such as bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AD type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, and biphenyl type epoxy resin; novolac epoxy resins such as phenol novolac type epoxy resin, brominated phenol novolac type epoxy resin, orthocresol novolac type epoxy resin, bisphenol A novolac type epoxy resin, and bisphenol AD novolac type epoxy resin; cyclic aliphatic epoxy resins such as epoxidized products of dicyclopentadiene type phenol resin; aromatic epoxy resins such as epoxidized products of naphthalene type phenol resin; glycidyl ester type epoxy resins such as dimer acid glycidyl ester and triglycidyl ester; glycidyl amine type epoxy resins such as tetraglycidylaminodiphenylmethane, triglycidyl-p-aminophenol, tetraglycidylmeta-xylylenediamine, and tetraglycidylbisaminomethylcyclohexane; triglycidyl heterocyclic epoxy resins such as phenylmethyl isocyanurate; phloroglucinol triglycidyl ether, trihydroxybiphenyl triglycidyl ether, trihydroxyphenylmethane triglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, 2-[4-(2,3-epoxypropoxy)phenyl]-2-[4-[1,1-bis[4-(2,3-epoxypropoxy)phenyl]ethyl]phenyl]propane, and 1,3-bis[4-[1-[4-(2,3-epoxypropoxy)phenyl]-1-[4- trifunctional epoxy resins such as [1-[4-(2,3-epoxypropoxy)phenyl]-1-methylethyl]phenyl]ethyl]phenoxy]-2-propanol; tetrafunctional epoxy resins such as tetrahydroxyphenylethane tetraglycidyl ether, tetraglycidylbenzophenone, bisresorcinol tetraglycidyl ether, and tetraglycidoxybiphenyl; and 1,2-epoxy-4-(2-oxiranyl)cyclohexane adduct of 2,2-bis(hydroxymethyl)-1-butanol. The 1,2-epoxy-4-(2-oxiranyl)cyclohexane adduct of 2,2-bis(hydroxymethyl)-1-butanol is commercially available as EHPE-3150 (manufactured by Daicel Corporation).

また、オリゴマー又はポリマー型の多官能エポキシ化合物も好ましく用いることができる。
オリゴマー又はポリマー型の多官能エポキシ化合物の典型的な例としては、フェノールノボラック型エポキシ化合物、臭素化フェノールノボラック型エポキシ化合物、オルソクレゾールノボラック型エポキシ化合物、キシレノールノボラック型エポキシ化合物、ナフトールノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化合物、ビスフェノールADノボラック型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂のエポキシ化物、ナフタレン型フェノール樹脂のエポキシ化物等が挙げられる。
Furthermore, oligomer or polymer type polyfunctional epoxy compounds can also be preferably used.
Typical examples of oligomer or polymer type polyfunctional epoxy compounds include phenol novolac type epoxy compounds, brominated phenol novolac type epoxy compounds, orthocresol novolac type epoxy compounds, xylenol novolac type epoxy compounds, naphthol novolac type epoxy compounds, bisphenol A novolac type epoxy compounds, bisphenol AD novolac type epoxy compounds, epoxidized products of dicyclopentadiene type phenolic resins, and epoxidized products of naphthalene type phenolic resins.

好適なエポキシ化合物の他の例として、脂環式エポキシ基を有する多官能の脂環式エポキシ化合物が挙げられる。 Other examples of suitable epoxy compounds include polyfunctional alicyclic epoxy compounds having alicyclic epoxy groups.

脂環式エポキシ化合物の具体例としては、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル-5,5-スピロ-3,4-エポキシ)シクロヘキサン-メタ-ジオキサン、ビス(3,4-エポキシシクロヘキシルメチル)アジペート、ビス(3,4-エポキシ-6-メチルシクロヘキシルメチル)アジペート、3,4-エポキシ-6-メチルシクロヘキシル-3’,4’-エポキシ-6’-メチルシクロヘキサンカルボキシレート、ε-カプロラクトン変性3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3’,4’-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、トリメチルカプロラクトン変性3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3’,4’-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、β-メチル-δ-バレロラクトン変性3,4-エポキシシクロヘキシルメチル-3’,4’-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、メチレンビス(3,4-エポキシシクロヘキサン)、エチレングリコールのジ(3,4-エポキシシクロヘキシルメチル)エーテル、エチレンビス(3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシレート)、エポキシシクロヘキサヒドロフタル酸ジオクチル、及びエポキシシクロヘキサヒドロフタル酸ジ-2-エチルヘキシル、トリシクロデセンオキサイド基を有するエポキシ樹脂や、下記式(b01-1)~(b01-5)で表される化合物が挙げられる。 Specific examples of alicyclic epoxy compounds include 2-(3,4-epoxycyclohexyl-5,5-spiro-3,4-epoxy)cyclohexane-meta-dioxane, bis(3,4-epoxycyclohexylmethyl)adipate, bis(3,4-epoxy-6-methylcyclohexylmethyl)adipate, 3,4-epoxy-6-methylcyclohexyl-3',4'-epoxy-6'-methylcyclohexanecarboxylate, ε-caprolactone-modified 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3',4'-epoxycyclohexanecarboxylate, trimethylcaprolactone-modified 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3',4'-epoxycyclohexanecarboxylate, Examples of epoxycyclohexane carboxylate, β-methyl-δ-valerolactone modified 3,4-epoxycyclohexylmethyl-3',4'-epoxycyclohexane carboxylate, methylene bis(3,4-epoxycyclohexane), di(3,4-epoxycyclohexylmethyl)ether of ethylene glycol, ethylene bis(3,4-epoxycyclohexane carboxylate), dioctyl epoxycyclohexahydrophthalate, and di-2-ethylhexyl epoxycyclohexahydrophthalate, epoxy resins having tricyclodecene oxide groups, and compounds represented by the following formulas (b01-1) to (b01-5) are included.

これらの脂環式エポキシ化合物の具体例の中では、高硬度の硬化物を与えることから、下記式(b01-1)~(b01-5)で表される脂環式エポキシ化合物が好ましい。 Among these specific examples of alicyclic epoxy compounds, the alicyclic epoxy compounds represented by the following formulas (b01-1) to (b01-5) are preferred because they give cured products with high hardness.

Figure 0007704516000020
(式(b01-1)中、Z01は単結合又は連結基(1以上の原子を有する2価の基)を示す。Rb01~Rb018は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、及び有機基からなる群より選択される基である。)
Figure 0007704516000020
(In formula (b01-1), Z 01 represents a single bond or a linking group (a divalent group having one or more atoms). R b01 to R b018 each independently represent a group selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, and an organic group.)

連結基Z01としては、例えば、2価の炭化水素基、-O-、-O-CO-、-S-、-SO-、-SO-、-CBr-、-C(CBr-、-C(CF-、及び-Rb019-O-CO-からなる群より選択される2価の基及びこれらが複数個結合した基等を挙げることができる。 Examples of the linking group Z 01 include divalent groups selected from the group consisting of divalent hydrocarbon groups, -O-, -O-CO-, -S-, -SO-, -SO 2 -, -CBr 2 -, -C(CBr 3 ) 2 -, -C(CF 3 ) 2 -, and -R b019 -O-CO-, and groups in which a plurality of these are bonded together.

連結基Z01である2価の炭化水素基としては、例えば、炭素原子数が1以上18以下の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基、2価の脂環式炭化水素基等を挙げることができる。炭素原子数が1以上18以下の直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基としては、例えば、メチレン基、メチルメチレン基、ジメチルメチレン基、ジメチレン基、トリメチレン基等を挙げることができる。上記2価の脂環式炭化水素基としては、例えば、1,2-シクロペンチレン基、1,3-シクロペンチレン基、シクロペンチリデン基、1,2-シクロヘキシレン基、1,3-シクロヘキシレン基、1,4-シクロヘキシレン基、シクロヘキシリデン基等のシクロアルキレン基(シクロアルキリデン基を含む)等を挙げることができる。 Examples of the divalent hydrocarbon group which is the linking group Z01 include a linear or branched alkylene group having from 1 to 18 carbon atoms and a divalent alicyclic hydrocarbon group. Examples of the linear or branched alkylene group having from 1 to 18 carbon atoms include a methylene group, a methylmethylene group, a dimethylmethylene group, a dimethylene group, and a trimethylene group. Examples of the divalent alicyclic hydrocarbon group include a cycloalkylene group (including a cycloalkylidene group) such as a 1,2-cyclopentylene group, a 1,3-cyclopentylene group, a cyclopentylidene group, a 1,2-cyclohexylene group, a 1,3-cyclohexylene group, a 1,4-cyclohexylene group, and a cyclohexylidene group.

b019は、炭素原子数1以上8以下のアルキレン基であり、メチレン基又はエチレン基であるのが好ましい。 R b019 is an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms, and is preferably a methylene group or an ethylene group.

Figure 0007704516000021
(式(b01-2)中、Rb01~Rb018は、水素原子、ハロゲン原子、及び有機基からなる群より選択される基である。Rb02及びRb010は、互いに結合してもよい。Rb013及びRb016は互いに結合して環を形成してもよい。ma1は、0又は1である。)
Figure 0007704516000021
(In formula (b01-2), R b01 to R b018 are groups selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, and an organic group. R b02 and R b010 may be bonded to each other. R b013 and R b016 may be bonded to each other to form a ring. m a1 is 0 or 1.)

上記式(b01-2)で表される脂環式エポキシ化合物としては、上記式(b01-2)におけるma1が0である化合物に該当する、下記式(b01-2-1)で表される化合物が好ましい。

Figure 0007704516000022
(式(b01-2-1)中、Rb01~Rb012は、水素原子、ハロゲン原子、及び有機基からなる群より選択される基である。Rb02及びRb010は互いに結合して環を形成してもよい。) As the alicyclic epoxy compound represented by the above formula (b01-2), a compound represented by the following formula (b01-2-1), which corresponds to the compound in which m a1 in the above formula (b01-2) is 0, is preferable.
Figure 0007704516000022
(In formula (b01-2-1), R b01 to R b012 are groups selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, and an organic group. R b02 and R b010 may be bonded to each other to form a ring.)

Figure 0007704516000023
(式(b01-3)中、Rb01~Rb010は、水素原子、ハロゲン原子、及び有機基からなる群より選択される基である。Rb02及びRb08は、互いに結合してもよい。)
Figure 0007704516000023
(In formula (b01-3), R b01 to R b010 are groups selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, and an organic group. R b02 and R b08 may be bonded to each other.)

Figure 0007704516000024
(式(b01-4)中、Rb01~Rb012は、水素原子、ハロゲン原子、及び有機基からなる群より選択される基である。Rb02及びRb010は、互いに結合してもよい。)
Figure 0007704516000024
(In formula (b01-4), R b01 to R b012 are groups selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, and an organic group. R b02 and R b010 may be bonded to each other.)

Figure 0007704516000025
(式(b01-5)中、Rb01~Rb012は、水素原子、ハロゲン原子、及び有機基からなる群より選択される基である。)
Figure 0007704516000025
(In formula (b01-5), R b01 to R b012 are groups selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, and an organic group.)

式(b01-1)~(b01-5)中、Rb01~Rb018が有機基である場合、有機基は本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、炭化水素基であっても、炭素原子とハロゲン原子とからなる基であっても、炭素原子及び水素原子とともにハロゲン原子、酸素原子、硫黄原子、窒素原子、ケイ素原子のようなヘテロ原子を含むような基であってもよい。ハロゲン原子の例としては、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子、及びフッ素原子等が挙げられる。 In formulae (b01-1) to (b01-5), when R b01 to R b018 are organic groups, the organic group is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention, and may be a hydrocarbon group, a group consisting of carbon atoms and halogen atoms, or a group containing heteroatoms such as halogen atoms, oxygen atoms, sulfur atoms, nitrogen atoms, and silicon atoms in addition to carbon atoms and hydrogen atoms. Examples of halogen atoms include chlorine atoms, bromine atoms, iodine atoms, and fluorine atoms.

有機基としては、炭化水素基と、炭素原子、水素原子、及び酸素原子からなる基と、ハロゲン化炭化水素基と、炭素原子、酸素原子、及びハロゲン原子からなる基と、炭素原子、水素原子、酸素原子、及びハロゲン原子からなる基とが好ましい。有機基が炭化水素基である場合、炭化水素基は、芳香族炭化水素基でも、脂肪族炭化水素基でも、芳香族骨格と脂肪族骨格とを含む基でもよい。有機基の炭素原子数は1以上20以下が好ましく、1以上10以下がより好ましく、1以上5以下が特に好ましい。 As the organic group, a hydrocarbon group, a group consisting of carbon atoms, hydrogen atoms, and oxygen atoms, a halogenated hydrocarbon group, a group consisting of carbon atoms, oxygen atoms, and halogen atoms, and a group consisting of carbon atoms, hydrogen atoms, oxygen atoms, and halogen atoms are preferred. When the organic group is a hydrocarbon group, the hydrocarbon group may be an aromatic hydrocarbon group, an aliphatic hydrocarbon group, or a group containing an aromatic skeleton and an aliphatic skeleton. The number of carbon atoms in the organic group is preferably 1 to 20, more preferably 1 to 10, and particularly preferably 1 to 5.

炭化水素基の具体例としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、n-ペンチル基、n-ヘキシル基、n-ヘプチル基、n-オクチル基、2-エチルヘキシル基、n-ノニル基、n-デシル基、n-ウンデシル基、n-トリデシル基、n-テトラデシル基、n-ペンタデシル基、n-ヘキサデシル基、n-ヘプタデシル基、n-オクタデシル基、n-ノナデシル基、及びn-イコシル基等の鎖状アルキル基;ビニル基、1-プロペニル基、2-n-プロペニル基(アリル基)、1-n-ブテニル基、2-n-ブテニル基、及び3-n-ブテニル基等の鎖状アルケニル基;シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、及びシクロヘプチル基等のシクロアルキル基;フェニル基、o-トリル基、m-トリル基、p-トリル基、α-ナフチル基、β-ナフチル基、ビフェニル-4-イル基、ビフェニル-3-イル基、ビフェニル-2-イル基、アントリル基、及びフェナントリル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基、α-ナフチルメチル基、β-ナフチルメチル基、α-ナフチルエチル基、及びβ-ナフチルエチル基等のアラルキル基が挙げられる。 Specific examples of hydrocarbon groups include chain alkyl groups such as methyl, ethyl, n-propyl, isopropyl, n-butyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl, n-pentyl, n-hexyl, n-heptyl, n-octyl, 2-ethylhexyl, n-nonyl, n-decyl, n-undecyl, n-tridecyl, n-tetradecyl, n-pentadecyl, n-hexadecyl, n-heptadecyl, n-octadecyl, n-nonadecyl, and n-icosyl; vinyl, 1-propenyl, 2-n-propenyl (allyl), and 1-n-butenyl. , 2-n-butenyl, and 3-n-butenyl; cycloalkyl groups such as cyclopropyl, cyclobutyl, cyclopentyl, cyclohexyl, and cycloheptyl; aryl groups such as phenyl, o-tolyl, m-tolyl, p-tolyl, α-naphthyl, β-naphthyl, biphenyl-4-yl, biphenyl-3-yl, biphenyl-2-yl, anthryl, and phenanthryl; and aralkyl groups such as benzyl, phenethyl, α-naphthylmethyl, β-naphthylmethyl, α-naphthylethyl, and β-naphthylethyl.

ハロゲン化炭化水素基の具体例は、クロロメチル基、ジクロロメチル基、トリクロロメチル基、ブロモメチル基、ジブロモメチル基、トリブロモメチル基、フルオロメチル基、ジフルオロメチル基、トリフルオロメチル基、2,2,2-トリフルオロエチル基、ペンタフルオロエチル基、ヘプタフルオロプロピル基、パーフルオロブチル基、及びパーフルオロペンチル基、パーフルオロヘキシル基、パーフルオロヘプチル基、パーフルオロオクチル基、パーフルオロノニル基、及びパーフルオロデシル基等のハロゲン化鎖状アルキル基;2-クロロシクロヘキシル基、3-クロロシクロヘキシル基、4-クロロシクロヘキシル基、2,4-ジクロロシクロヘキシル基、2-ブロモシクロヘキシル基、3-ブロモシクロヘキシル基、及び4-ブロモシクロヘキシル基等のハロゲン化シクロアルキル基;2-クロロフェニル基、3-クロロフェニル基、4-クロロフェニル基、2,3-ジクロロフェニル基、2,4-ジクロロフェニル基、2,5-ジクロロフェニル基、2,6-ジクロロフェニル基、3,4-ジクロロフェニル基、3,5-ジクロロフェニル基、2-ブロモフェニル基、3-ブロモフェニル基、4-ブロモフェニル基、2-フルオロフェニル基、3-フルオロフェニル基、4-フルオロフェニル基等のハロゲン化アリール基;2-クロロフェニルメチル基、3-クロロフェニルメチル基、4-クロロフェニルメチル基、2-ブロモフェニルメチル基、3-ブロモフェニルメチル基、4-ブロモフェニルメチル基、2-フルオロフェニルメチル基、3-フルオロフェニルメチル基、4-フルオロフェニルメチル基等のハロゲン化アラルキル基である。 Specific examples of halogenated hydrocarbon groups include halogenated chain alkyl groups such as chloromethyl, dichloromethyl, trichloromethyl, bromomethyl, dibromomethyl, tribromomethyl, fluoromethyl, difluoromethyl, trifluoromethyl, 2,2,2-trifluoroethyl, pentafluoroethyl, heptafluoropropyl, perfluorobutyl, perfluoropentyl, perfluorohexyl, perfluoroheptyl, perfluorooctyl, perfluorononyl, and perfluorodecyl; halogenated cyclohexyl groups such as 2-chlorocyclohexyl, 3-chlorocyclohexyl, 4-chlorocyclohexyl, 2,4-dichlorocyclohexyl, 2-bromocyclohexyl, 3-bromocyclohexyl, and 4-bromocyclohexyl. Chloroalkyl groups; halogenated aryl groups such as 2-chlorophenyl, 3-chlorophenyl, 4-chlorophenyl, 2,3-dichlorophenyl, 2,4-dichlorophenyl, 2,5-dichlorophenyl, 2,6-dichlorophenyl, 3,4-dichlorophenyl, 3,5-dichlorophenyl, 2-bromophenyl, 3-bromophenyl, 4-bromophenyl, 2-fluorophenyl, 3-fluorophenyl, and 4-fluorophenyl groups; halogenated aralkyl groups such as 2-chlorophenylmethyl, 3-chlorophenylmethyl, 4-chlorophenylmethyl, 2-bromophenylmethyl, 3-bromophenylmethyl, 4-bromophenylmethyl, 2-fluorophenylmethyl, 3-fluorophenylmethyl, and 4-fluorophenylmethyl groups.

炭素原子、水素原子、及び酸素原子からなる基の具体例は、ヒドロキシメチル基、2-ヒドロキシエチル基、3-ヒドロキシ-n-プロピル基、及び4-ヒドロキシ-n-ブチル基等のヒドロキシ鎖状アルキル基;2-ヒドロキシシクロヘキシル基、3-ヒドロキシシクロヘキシル基、及び4-ヒドロキシシクロヘキシル基等のハロゲン化シクロアルキル基;2-ヒドロキシフェニル基、3-ヒドロキシフェニル基、4-ヒドロキシフェニル基、2,3-ジヒドロキシフェニル基、2,4-ジヒドロキシフェニル基、2,5-ジヒドロキシフェニル基、2,6-ジヒドロキシフェニル基、3,4-ジヒドロキシフェニル基、及び3,5-ジヒドロキシフェニル基等のヒドロキシアリール基;2-ヒドロキシフェニルメチル基、3-ヒドロキシフェニルメチル基、及び4-ヒドロキシフェニルメチル基等のヒドロキシアラルキル基;メトキシ基、エトキシ基、n-プロポキシ基、イソプロポキシ基、n-ブチルオキシ基、イソブチルオキシ基、sec-ブチルオキシ基、tert-ブチルオキシ基、n-ペンチルオキシ基、n-ヘキシルオキシ基、n-ヘプチルオキシ基、n-オクチルオキシ基、2-エチルヘキシルオキシ基、n-ノニルオキシ基、n-デシルオキシ基、n-ウンデシルオキシ基、n-トリデシルオキシ基、n-テトラデシルオキシ基、n-ペンタデシルオキシ基、n-ヘキサデシルオキシ基、n-ヘプタデシルオキシ基、n-オクタデシルオキシ基、n-ノナデシルオキシ基、及びn-イコシルオキシ基等の鎖状アルコキシ基;ビニルオキシ基、1-プロペニルオキシ基、2-n-プロペニルオキシ基(アリルオキシ基)、1-n-ブテニルオキシ基、2-n-ブテニルオキシ基、及び3-n-ブテニルオキシ基等の鎖状アルケニルオキシ基;フェノキシ基、o-トリルオキシ基、m-トリルオキシ基、p-トリルオキシ基、α-ナフチルオキシ基、β-ナフチルオキシ基、ビフェニル-4-イルオキシ基、ビフェニル-3-イルオキシ基、ビフェニル-2-イルオキシ基、アントリルオキシ基、及びフェナントリルオキシ基等のアリールオキシ基;ベンジルオキシ基、フェネチルオキシ基、α-ナフチルメチルオキシ基、β-ナフチルメチルオキシ基、α-ナフチルエチルオキシ基、及びβ-ナフチルエチルオキシ基等のアラルキルオキシ基;メトキシメチル基、エトキシメチル基、n-プロポキシメチル基、2-メトキシエチル基、2-エトキシエチル基、2-n-プロポキシエチル基、3-メトキシ-n-プロピル基、3-エトキシ-n-プロピル基、3-n-プロポキシ-n-プロピル基、4-メトキシ-n-ブチル基、4-エトキシ-n-ブチル基、及び4-n-プロポキシ-n-ブチル基等のアルコキシアルキル基;メトキシメトキシ基、エトキシメトキシ基、n-プロポキシメトキシ基、2-メトキシエトキシ基、2-エトキシエトキシ基、2-n-プロポキシエトキシ基、3-メトキシ-n-プロポキシ基、3-エトキシ-n-プロポキシ基、3-n-プロポキシ-n-プロポキシ基、4-メトキシ-n-ブチルオキシ基、4-エトキシ-n-ブチルオキシ基、及び4-n-プロポキシ-n-ブチルオキシ基等のアルコキシアルコキシ基;2-メトキシフェニル基、3-メトキシフェニル基、及び4-メトキシフェニル基等のアルコキシアリール基;2-メトキシフェノキシ基、3-メトキシフェノキシ基、及び4-メトキシフェノキシ基等のアルコキシアリールオキシ基;ホルミル基、アセチル基、プロピオニル基、ブタノイル基、ペンタノイル基、ヘキサノイル基、ヘプタノイル基、オクタノイル基、ノナノイル基、及びデカノイル基等の脂肪族アシル基;ベンゾイル基、α-ナフトイル基、及びβ-ナフトイル基等の芳香族アシル基;メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、n-プロポキシカルボニル基、n-ブチルオキシカルボニル基、n-ペンチルオキシカルボニル基、n-ヘキシルカルボニル基、n-ヘプチルオキシカルボニル基、n-オクチルオキシカルボニル基、n-ノニルオキシカルボニル基、及びn-デシルオキシカルボニル基等の鎖状アルキルオキシカルボニル基;フェノキシカルボニル基、α-ナフトキシカルボニル基、及びβ-ナフトキシカルボニル基等のアリールオキシカルボニル基;ホルミルオキシ基、アセチルオキシ基、プロピオニルオキシ基、ブタノイルオキシ基、ペンタノイルオキシ基、ヘキサノイルオキシ基、ヘプタノイルオキシ基、オクタノイルオキシ基、ノナノイルオキシ基、及びデカノイルオキシ基等の脂肪族アシルオキシ基;ベンゾイルオキシ基、α-ナフトイルオキシ基、及びβ-ナフトイルオキシ基等の芳香族アシルオキシ基である。 Specific examples of groups consisting of carbon atoms, hydrogen atoms, and oxygen atoms include hydroxyl chain alkyl groups such as hydroxymethyl groups, 2-hydroxyethyl groups, 3-hydroxy-n-propyl groups, and 4-hydroxy-n-butyl groups; halogenated cycloalkyl groups such as 2-hydroxycyclohexyl groups, 3-hydroxycyclohexyl groups, and 4-hydroxycyclohexyl groups; 2-hydroxyphenyl groups, 3-hydroxyphenyl groups, 4-hydroxyphenyl groups, 2,3-dihydroxyphenyl groups, 2,4-dihydroxyphenyl groups, 2,5-dihydroxyphenyl groups, hydroxyaryl groups such as 2-hydroxyphenylmethyl group, 3-hydroxyphenylmethyl group, and 4-hydroxyphenylmethyl group; hydroxyaralkyl groups such as 2-hydroxyphenylmethyl group, 3-hydroxyphenylmethyl group, and 4-hydroxyphenylmethyl group; methoxy group, ethoxy group, n-propoxy group, isopropoxy group, n-butyloxy group, isobutyloxy group, sec-butyloxy group, tert-butyloxy group, n-pentyloxy group, n-hexyloxy group, n-heptyloxy group, n-octyloxy group, chain alkoxy groups such as an oxy group, a 2-ethylhexyloxy group, an n-nonyloxy group, an n-decyloxy group, an n-undecyloxy group, an n-tridecyloxy group, an n-tetradecyloxy group, an n-pentadecyloxy group, an n-hexadecyloxy group, an n-heptadecyloxy group, an n-octadecyloxy group, an n-nonadecyloxy group, and an n-icosyloxy group; a chain alkoxy group such as a vinyloxy group, a 1-propenyloxy group, a 2-n-propenyloxy group (allyloxy group), a 1-n-butenyloxy group, a 2-n-butenyloxy group, and a 3-n-butenyloxy group; chain alkenyloxy groups such as a phenyloxy group; aryloxy groups such as a phenoxy group, an o-tolyloxy group, an m-tolyloxy group, a p-tolyloxy group, an α-naphthyloxy group, a β-naphthyloxy group, a biphenyl-4-yloxy group, a biphenyl-3-yloxy group, a biphenyl-2-yloxy group, an anthryloxy group, and a phenanthryloxy group; aralkyloxy groups such as a benzyloxy group, a phenethyloxy group, an α-naphthylmethyloxy group, a β-naphthylmethyloxy group, an α-naphthylethyloxy group, and a β-naphthylethyloxy group; alkoxyalkyl groups such as an alkoxymethyl group, an ethoxymethyl group, an n-propoxymethyl group, a 2-methoxyethyl group, a 2-ethoxyethyl group, a 2-n-propoxyethyl group, a 3-methoxy-n-propyl group, a 3-ethoxy-n-propyl group, a 3-n-propoxy-n-propyl group, a 4-methoxy-n-butyl group, a 4-ethoxy-n-butyl group, and a 4-n-propoxy-n-butyl group; a methoxymethoxy group, an ethoxymethoxy group, an n-propoxymethoxy group, a 2-methoxyethoxy group, a 2-ethoxyethoxy group, a 2-n-propoxyethoxy group, Alkoxyalkoxy groups such as 3-methoxy-n-propoxy group, 3-ethoxy-n-propoxy group, 3-n-propoxy-n-propoxy group, 4-methoxy-n-butyloxy group, 4-ethoxy-n-butyloxy group, and 4-n-propoxy-n-butyloxy group; alkoxyaryl groups such as 2-methoxyphenyl group, 3-methoxyphenyl group, and 4-methoxyphenyl group; alkoxyaryloxy groups such as 2-methoxyphenoxy group, 3-methoxyphenoxy group, and 4-methoxyphenoxy group; formyl group, acetyl group, propionyl group, aliphatic acyl groups such as butanoyl, pentanoyl, hexanoyl, heptanoyl, octanoyl, nonanoyl, and decanoyl groups; aromatic acyl groups such as benzoyl, α-naphthoyl, and β-naphthoyl groups; methoxycarbonyl, ethoxycarbonyl, n-propoxycarbonyl, n-butyloxycarbonyl, n-pentyloxycarbonyl, n-hexylcarbonyl, n-heptyloxycarbonyl, n-octyloxycarbonyl, n-nonyloxycarbonyl, and n-decyloxycarbonyl groups. chain alkyloxycarbonyl groups such as the group; aryloxycarbonyl groups such as the phenoxycarbonyl group, the α-naphthoxycarbonyl group, and the β-naphthoxycarbonyl group; aliphatic acyloxy groups such as the formyloxy group, the acetyloxy group, the propionyloxy group, the butanoyloxy group, the pentanoyloxy group, the hexanoyloxy group, the heptanoyloxy group, the octanoyloxy group, the nonanoyloxy group, and the decanoyloxy group; and aromatic acyloxy groups such as the benzoyloxy group, the α-naphthoyloxy group, and the β-naphthoyloxy group.

b01~Rb018は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、炭素原子数1以上5以下のアルキル基、及び炭素原子数1以上5以下のアルコキシ基からなる群より選択される基が好ましく、特に機械的特性に優れる硬化膜を形成しやすいことから、Rb01~Rb018が全て水素原子であるのがより好ましい。 It is preferable that R b01 to R b018 are each independently a group selected from the group consisting of a hydrogen atom, a halogen atom, an alkyl group having from 1 to 5 carbon atoms, and an alkoxy group having from 1 to 5 carbon atoms. It is more preferable that R b01 to R b018 are all hydrogen atoms, as this makes it easier to form a cured film having particularly excellent mechanical properties.

式(b01-2)~(b01-5)中、Rb01~Rb018は、式(b01-1)におけるRb01~Rb018と同様である。式(b01-2)及び式(b01-4)において、Rb02及びRb010が、互いに結合する場合、式(b01-2)において、Rb013及びRb016が、互いに結合する場合、及び式(b01-3)において、Rb02及びRb08が、互いに結合する場合に形成される2価の基としては、例えば、-CH-、-C(CH-が挙げられる。 In formulas (b01-2) to (b01-5), R b01 to R b018 are the same as R b01 to R b018 in formula (b01-1). Examples of the divalent group formed when R b02 and R b010 are bonded to each other in formula (b01-2) and formula (b01-4), when R b013 and R b016 are bonded to each other in formula (b01-2), and when R b02 and R b08 are bonded to each other in formula (b01-3) include -CH 2 - and -C(CH 3 ) 2 -.

式(b01-1)で表される脂環式エポキシ化合物のうち、好適な化合物の具体例としては、下記式(b01-1a)、式(b01-1b)、及び式(b01-1c)で表される脂環式エポキシ化合物や、2,2-ビス(3,4-エポキシシクロヘキサン-1-イル)プロパン[=2,2-ビス(3,4-エポキシシクロヘキシル)プロパン]等を挙げることができる。

Figure 0007704516000026
Among the alicyclic epoxy compounds represented by formula (b01-1), specific examples of suitable compounds include alicyclic epoxy compounds represented by the following formulas (b01-1a), (b01-1b), and (b01-1c), 2,2-bis(3,4-epoxycyclohexyl-1-yl)propane [=2,2-bis(3,4-epoxycyclohexyl)propane], and the like.
Figure 0007704516000026

式(b01-2)で表される脂環式エポキシ化合物のうち、好適な化合物の具体例としては、下記式(b01-2a)及び下記式(b01-2b)で表される脂環式エポキシ化合物が挙げられる。

Figure 0007704516000027
Among the alicyclic epoxy compounds represented by formula (b01-2), specific examples of suitable compounds include alicyclic epoxy compounds represented by the following formulas (b01-2a) and (b01-2b).
Figure 0007704516000027

式(b01-3)で表される脂環式エポキシ化合物のうち、好適な化合物の具体例としては、Sスピロ[3-オキサトリシクロ[3.2.1.02,4]オクタン-6,2’-オキシラン]等が挙げられる。 Of the alicyclic epoxy compounds represented by formula (b01-3), specific examples of suitable compounds include S spiro[3-oxatricyclo[3.2.1.0 2,4 ]octane-6,2′-oxirane].

式(b01-4)で表される脂環式エポキシ化合物のうち、好適な化合物の具体例としては、4-ビニルシクロヘキセンジオキシド、ジペンテンジオキシド、リモネンジオキシド、1-メチル-4-(3-メチルオキシラン-2-イル)-7-オキサビシクロ[4.1.0]ヘプタン等が挙げられる。 Specific examples of suitable compounds among the alicyclic epoxy compounds represented by formula (b01-4) include 4-vinylcyclohexene dioxide, dipentene dioxide, limonene dioxide, 1-methyl-4-(3-methyloxiran-2-yl)-7-oxabicyclo[4.1.0]heptane, etc.

式(b01-5)で表される脂環式エポキシ化合物のうち、好適な化合物の具体例としては、1,2,5,6-ジエポキシシクロオクタン等が挙げられる。 Among the alicyclic epoxy compounds represented by formula (b01-5), specific examples of suitable compounds include 1,2,5,6-diepoxycyclooctane, etc.

さらに、下記式(b1-I)で表される化合物をエポキシ化合物として好適に使用し得る。

Figure 0007704516000028
(式(b1-I)中、Xb1、Xb2、及びXb3は、それぞれ独立に、水素原子、又はエポキシ基を含んでいてもよい有機基であり、Xb1、Xb2、及びXb3が有するエポキシ基の総数が2以上である。) Furthermore, a compound represented by the following formula (b1-I) can be suitably used as the epoxy compound.
Figure 0007704516000028
(In formula (b1-I), X b1 , X b2 , and X b3 each independently represent a hydrogen atom or an organic group which may contain an epoxy group, and the total number of epoxy groups contained in X b1 , X b2 , and X b3 is 2 or more.)

上記式(b1-I)で表される化合物としては、下記式(b1-II)で表される化合物が好ましい。

Figure 0007704516000029
(式(b1-II)中、Rb20~Rb22は、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基、アリーレン基、-O-、-C(=O)-、-NH-及びこれらの組み合わせからなる基であり、それぞれ同一であってもよいし、異なっていてもよい。E~Eは、エポキシ基、オキセタニル基、エチレン性不飽和基、アルコキシシリル基、イソシアネート基、ブロックイソシアネート基、チオール基、カルボキシ基、水酸基及びコハク酸無水物基からなる群より選択される少なくとも1種の置換基又は水素原子である。ただし、E、E、及びEが有するエポキシ基の総数が2以上である。) As the compound represented by the above formula (b1-I), a compound represented by the following formula (b1-II) is preferable.
Figure 0007704516000029
(In formula (b1-II), R b20 to R b22 each represent a linear, branched or cyclic alkylene group, an arylene group, -O-, -C(=O)-, -NH-, or a group consisting of a combination thereof, and may be the same or different. E 1 to E 3 each represent at least one substituent selected from the group consisting of an epoxy group, an oxetanyl group, an ethylenically unsaturated group, an alkoxysilyl group, an isocyanate group, a blocked isocyanate group, a thiol group, a carboxy group, a hydroxyl group, and a succinic anhydride group, or a hydrogen atom, provided that the total number of epoxy groups owned by E 1 , E 2 , and E 3 is 2 or more.)

式(b1-II)中、Rb20とE、Rb21とE、及びRb22とEで示される基は、例えば、少なくとも2つが、それぞれ、下記式(b1-IIa)で表される基であることが好ましく、いずれもが、それぞれ、下記式(b1-IIa)で表される基であることがより好ましい。1つの化合物に結合する複数の式(b1-IIa)で表される基は、同じ基であることが好ましい。
-L-C (b1-IIa)
(式(b1-IIa)中、Lは直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基、アリーレン基、-O-、-C(=O)-、-NH-及びこれらの組み合わせからなる基であり、Cはオキシラニル基(エポキシ基)である。式(b1-IIa)中、LとCとが結合して環状構造を形成していてもよい。)
In formula (b1-II), for example, at least two of the groups represented by R b20 and E 1 , R b21 and E 2 , and R b22 and E 3 are preferably groups represented by the following formula (b1-IIa), and it is more preferable that all of them are groups represented by the following formula (b1-IIa). It is preferable that multiple groups represented by formula (b1-IIa) bonded to one compound are the same group.
-LC a (b1-IIa)
(In formula (b1-IIa), L is a linear, branched or cyclic alkylene group, an arylene group, -O-, -C(=O)-, -NH- or a group consisting of a combination thereof, and C a is an oxiranyl group (epoxy group). In formula (b1-IIa), L and C a may be bonded to form a cyclic structure.)

式(b1-IIa)中、Lとしての直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキレン基としては、炭素原子数1以上10以下であるアルキレン基が好ましく、また、Lとしてのアリーレン基としては、炭素原子数5以上10以下であるアリーレン基が好ましい。式(b1-IIa)中、Lは、直鎖状の炭素原子数が1以上3以下であるアルキレン基、フェニレン基、-O-、-C(=O)-、-NH-及びこれらの組み合わせからなる基であることが好ましく、メチレン基等の直鎖状の炭素原子数が1以上3以下であるアルキレン基及びフェニレン基の少なくとも1種、又は、これらと、-O-、-C(=O)-及びNH-の少なくとも1種との組み合わせからなる基が好ましい。 In formula (b1-IIa), the linear, branched or cyclic alkylene group represented by L is preferably an alkylene group having 1 to 10 carbon atoms, and the arylene group represented by L is preferably an arylene group having 5 to 10 carbon atoms. In formula (b1-IIa), L is preferably a linear alkylene group having 1 to 3 carbon atoms, a phenylene group, -O-, -C(=O)-, -NH-, or a group consisting of a combination thereof, and is preferably at least one of a linear alkylene group having 1 to 3 carbon atoms, such as a methylene group, and a phenylene group, or a group consisting of a combination of these with at least one of -O-, -C(=O)-, and NH-.

式(b1-IIa)中、LとCとが結合して環状構造を形成している場合としては、例えば、分岐鎖状のアルキレン基とエポキシ基とが結合して環状構造(脂環構造のエポキシ基を有する構造)を形成している場合、下記式(b1-IIb)~(b1-IId)で表される有機基が挙げられる。

Figure 0007704516000030
(式(b1-IIb)中、Rb23は、水素原子又はメチル基である。) In formula (b1-IIa), examples of the case where L and C a are bonded to form a cyclic structure include, for example, the case where a branched alkylene group and an epoxy group are bonded to form a cyclic structure (a structure having an epoxy group of an alicyclic structure), organic groups represented by the following formulas (b1-IIb) to (b1-IId) can be mentioned.
Figure 0007704516000030
(In formula (b1-IIb), R b23 is a hydrogen atom or a methyl group.)

以下、式(b1-II)で表される化合物の例としてオキシラニル基、又は脂環式エポキシ基を有するエポキシ化合物の例を示すが、これらに限定されるものではない。

Figure 0007704516000031
Examples of the compound represented by formula (b1-II) include, but are not limited to, epoxy compounds having an oxiranyl group or an alicyclic epoxy group.
Figure 0007704516000031

Figure 0007704516000032
Figure 0007704516000032

また、分子内に2以上のグリシジル基を有するシロキサン化合物(以下、単に「シロキサン化合物」とも記す。)をエポキシ化合物として好適に使用し得る。 In addition, a siloxane compound having two or more glycidyl groups in the molecule (hereinafter, simply referred to as a "siloxane compound") can be suitably used as the epoxy compound.

シロキサン化合物は、シロキサン結合(Si-O-Si)により構成されたシロキサン骨格と、2以上のグリシジル基とを分子内に有する化合物である。 A siloxane compound is a compound that has a siloxane skeleton composed of siloxane bonds (Si-O-Si) and two or more glycidyl groups in the molecule.

シロキサン化合物におけるシロキサン骨格としては、例えば、環状シロキサン骨格やかご型やラダー型のポリシルセスキオキサン骨格を挙げることができる。 Examples of the siloxane skeleton in the siloxane compound include a cyclic siloxane skeleton and a cage-type or ladder-type polysilsesquioxane skeleton.

シロキサン化合物としては、なかでも、下記式(b1-III)で表される環状シロキサン骨格を有する化合物(以下、「環状シロキサン」という場合がある)が好ましい。

Figure 0007704516000033
As the siloxane compound, a compound having a cyclic siloxane skeleton represented by the following formula (b1-III) (hereinafter, sometimes referred to as "cyclic siloxane") is preferable.
Figure 0007704516000033

式(b1-III)中、Rb24、及びRb25は、エポキシ基を含有する1価の基又はアルキル基を示す。ただし、式(b1-III)で表される化合物におけるx1個のRb24及びx1個のRb25のうち、少なくとも2個はエポキシ基を含有する1価の基である。また、式(b1-III)中のx1は3以上の整数を示す。尚、式(b1-III)で表される化合物におけるRb24、Rb25は同一であってもよいし、異なっていてもよい。また、複数のRb24は同一であってもよいし、異なっていてもよい。複数のRb25も同一であってもよいし、異なっていてもよい。
上記アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基等の炭素原子数が1以上18以下である(好ましくは炭素原子数1以上6以下、特に好ましくは炭素原子数1以上3以下)直鎖状又は分岐鎖状のアルキル基を挙げることができる。
In formula (b1-III), R b24 and R b25 represent a monovalent group or alkyl group containing an epoxy group. However, of the x1 R b24s and the x1 R b25s in the compound represented by formula (b1-III), at least two are monovalent groups containing an epoxy group. Furthermore, x1 in formula (b1-III) represents an integer of 3 or more. Note that R b24 and R b25 in the compound represented by formula (b1-III) may be the same or different. Furthermore, multiple R b24s may be the same or different. Multiple R b25s may also be the same or different.
Examples of the alkyl group include linear or branched alkyl groups having 1 or more and 18 or less carbon atoms (preferably 1 or more and 6 or less carbon atoms, particularly preferably 1 or more and 3 or less carbon atoms), such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, or an isopropyl group.

式(b1-III)中のx1は3以上の整数を示し、なかでも、硬化膜を形成する際の架橋反応性に優れる点で3以上6以下の整数が好ましい。
シロキサン化合物が分子内に有するエポキシ基の数は2個以上であり、硬化膜を形成する際の架橋反応性に優れる点から2個以上6個以下が好ましく、特に好ましくは2個以上4個以下である。
In formula (b1-III), x1 represents an integer of 3 or more, and in particular, an integer of 3 or more and 6 or less is preferred in terms of excellent crosslinking reactivity when forming a cured film.
The number of epoxy groups contained in the siloxane compound in the molecule is 2 or more, and from the viewpoint of excellent crosslinking reactivity when forming a cured film, 2 to 6 is preferable, and 2 to 4 is particularly preferable.

上記エポキシ基を含有する1価の基としては、脂環式エポキシ基、及び-D-O-Rb26で表されるグリシジルエーテル基[Dはアルキレン基を示し、Rb26はグリシジル基を示す]が好ましく、脂環式エポキシ基がより好ましく、下記式(b1-IIIa)又は下記式(b1-IIIb)で表される脂環式エポキシ基がさらに好ましい。上記D(アルキレン基)としては、例えば、メチレン基、メチルメチレン基、ジメチルメチレン基、ジメチレン基、トリメチレン基等の炭素原子数が1以上18以下である直鎖状又は分岐鎖状のアルキレン基等を挙げることができる。

Figure 0007704516000034
(上記式(b1-IIIa)及び式(b1-IIIb)中、D及びDは、それぞれ独立にアルキレン基を表し、msは0以上2以下の整数を表す。) The monovalent group containing an epoxy group is preferably an alicyclic epoxy group or a glycidyl ether group represented by -D A -O-R b26 [D A represents an alkylene group and R b26 represents a glycidyl group], more preferably an alicyclic epoxy group, and even more preferably an alicyclic epoxy group represented by the following formula (b1-IIIa) or (b1-IIIb). Examples of D A (alkylene group) include linear or branched alkylene groups having 1 to 18 carbon atoms, such as a methylene group, a methylmethylene group, a dimethylmethylene group, a dimethylene group, and a trimethylene group.
Figure 0007704516000034
(In the above formula (b1-IIIa) and formula (b1-IIIb), D1 and D2 each independently represent an alkylene group, and ms represents an integer of 0 to 2.)

ワニス組成物はエポキシ化合物として、式(b1-III)で表されるシロキサン化合物以外にも、脂環式エポキシ基含有環状シロキサン、特開2008-248169号公報に記載の脂環式エポキシ基含有シリコーン樹脂、及び特開2008-19422号公報に記載の1分子中に少なくとも2個のエポキシ官能性基を有するオルガノポリシルセスキオキサン樹脂等のシロキサン骨格を有する化合物を含有していてもよい。 In addition to the siloxane compound represented by formula (b1-III), the varnish composition may contain, as an epoxy compound, a compound having a siloxane skeleton, such as an alicyclic epoxy group-containing cyclic siloxane, an alicyclic epoxy group-containing silicone resin described in JP-A-2008-248169, and an organopolysilsesquioxane resin having at least two epoxy functional groups in one molecule described in JP-A-2008-19422.

シロキサン化合物としては、より具体的には、下記式で表される、分子内に2以上のグリシジル基を有する環状シロキサン等を挙げることができる。また、シロキサン化合物としては、例えば、商品名「X-40-2670」、「X-40-2701」、「X-40-2728」、「X-40-2738」、「X-40-2740」(以上、信越化学工業社製)等の市販品を用いることができる。 Specific examples of siloxane compounds include cyclic siloxanes having two or more glycidyl groups in the molecule, as represented by the following formula. In addition, examples of siloxane compounds that can be used include commercially available products under the trade names "X-40-2670", "X-40-2701", "X-40-2728", "X-40-2738", and "X-40-2740" (all manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).

Figure 0007704516000035
Figure 0007704516000035

Figure 0007704516000036
Figure 0007704516000036

ワニス組成物におけるモノマー化合物(B)の含有量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。ワニス組成物におけるモノマー化合物(B)の含有量は、後述する溶媒(S)の質量を除いたワニス組成物の質量を100質量部としたときに、0.1質量部以上50質量部以下が好ましく、0.5質量部以上40質量部以下がより好ましく、1質量部以上25質量部以下が特に好ましい。 The content of the monomer compound (B) in the varnish composition is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention. The content of the monomer compound (B) in the varnish composition is preferably 0.1 parts by mass or more and 50 parts by mass or less, more preferably 0.5 parts by mass or more and 40 parts by mass or less, and particularly preferably 1 part by mass or more and 25 parts by mass or less, when the mass of the varnish composition excluding the mass of the solvent (S) described below is taken as 100 parts by mass.

ワニス組成物は、光開始剤(C)を含むのが好ましい。ポリイミド樹脂(A)が、ラジカル重合性基を有する場合、光開始剤(C)として、光ラジカル重合開始剤(C1)が使用されえる。ポリイミド樹脂(A)が、カチオン重合性基を有する場合、光開始剤(C)として、光カチオン重合開始剤(C2)が使用される。
光開始剤(C)としては、特に限定されず、従来公知の光重合開始剤を用いることができる。
The varnish composition preferably contains a photoinitiator (C). When the polyimide resin (A) has a radical polymerizable group, a photoradical polymerization initiator (C1) may be used as the photoinitiator (C). When the polyimide resin (A) has a cationic polymerizable group, a photocationic polymerization initiator (C2) may be used as the photoinitiator (C).
The photoinitiator (C) is not particularly limited, and any conventionally known photopolymerization initiator can be used.

光ラジカル重合開始剤(C1)として具体的には、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、1-〔4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル〕-2-ヒドロキシ-2-メチル-1-プロパン-1-オン、1-(4-イソプロピルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、1-(4-ドデシルフェニル)-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、ビス(4-ジメチルアミノフェニル)ケトン、2-メチル-1-〔4-(メチルチオ)フェニル〕-2-モルフォリノプロパン-1-オン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)-ブタン-1-オン、O-アセチル-1-[6-(2-メチルベンゾイル)-9-エチル-9H-カルバゾール-3-イル]エタノンオキシム、(9-エチル-6-ニトロ-9H-カルバゾール-3-イル)[4-(2-メトキシ-1-メチルエトキシ)-2-メチルフェニル]メタノンO-アセチルオキシム、2-(ベンゾイルオキシイミノ)-1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-1-オクタノン、2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、4-ベンゾイル-4’-メチルジメチルスルフィド、4-ジメチルアミノ安息香酸、4-ジメチルアミノ安息香酸メチル、4-ジメチルアミノ安息香酸エチル、4-ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4-ジメチルアミノ-2-エチルヘキシル安息香酸、4-ジメチルアミノ-2-イソアミル安息香酸、ベンジル-β-メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、1-フェニル-1,2-プロパンジオン-2-(O-エトキシカルボニル)オキシム、o-ベンゾイル安息香酸メチル、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン、2,4-ジメチルチオキサントン、1-クロロ-4-プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、2-クロロチオキサンテン、2,4-ジエチルチオキサンテン、2-メチルチオキサンテン、2-イソプロピルチオキサンテン、2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンヒドロペルオキシド、2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)-イミダゾリル二量体、ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、4,4’-ジクロロベンゾフェノン、3,3-ジメチル-4-メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン-n-ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノアセトフェノン、p-tert-ブチルトリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルジクロロアセトフェノン、α,α-ジクロロ-4-フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、2-メチルチオキサントン、2-イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル-4-ジメチルアミノベンゾエート、9-フェニルアクリジン、1,7-ビス-(9-アクリジニル)ヘプタン、1,5-ビス-(9-アクリジニル)ペンタン、1,3-ビス-(9-アクリジニル)プロパン、p-メトキシトリアジン、2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(5-メチルフラン-2-イル)エテニル]-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(フラン-2-イル)エテニル]-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(4-ジエチルアミノ-2-メチルフェニル)エテニル]-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-[2-(3,4-ジメトキシフェニル)エテニル]-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-エトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-(4-n-ブトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(3-ブロモ-4-メトキシ)フェニル-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(2-ブロモ-4-メトキシ)フェニル-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(3-ブロモ-4-メトキシ)スチリルフェニル-s-トリアジン、2,4-ビス-トリクロロメチル-6-(2-ブロモ-4-メトキシ)スチリルフェニル-s-トリアジン等が挙げられる。これらの光重合開始剤は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。 Specific examples of the photoradical polymerization initiator (C1) include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)phenyl]-2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 1-(4-isopropylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1-(4-dodecylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, bis(4-dimethylaminophenyl)ketone, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]- 2-Morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butan-1-one, O-acetyl-1-[6-(2-methylbenzoyl)-9-ethyl-9H-carbazol-3-yl]ethanone oxime, (9-ethyl-6-nitro-9H-carbazol-3-yl)[4-(2-methoxy-1-methylethoxy)-2-methylphenyl]methanone O-acetyl oxime, 2-(benzoyloxyimino)-1-[4-(phenylthio)phenyl]-1-octanone, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 4-benzoyl-4'- Methyl dimethyl sulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylamino-2-ethylhexylbenzoic acid, 4-dimethylamino-2-isoamylbenzoic acid, benzyl-β-methoxyethyl acetal, benzyl dimethyl ketal, 1-phenyl-1,2-propanedione-2-(O-ethoxycarbonyl)oxime, methyl o-benzoylbenzoate, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone , thioxanthene, 2-chlorothioxanthene, 2,4-diethylthioxanthene, 2-methylthioxanthene, 2-isopropylthioxanthene, 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, cumene hydroperoxide, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, 2-(o-chlorophenyl)-4,5-di(m-methoxyphenyl)-imidazolyl dimer, benzophenone, 2-chlorobenzophenone , p,p'-bisdimethylaminobenzophenone, 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone, 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzil, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin butyl ether, acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butylacetophenone tophenone, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert-butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, α,α-dichloro-4-phenoxyacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, 9-phenylacridine, 1,7-bis-(9-acridinyl)heptane, 1,5-bis-(9-acridinyl)pentane, 1,3-bis-(9-acridinyl)propane, p-methoxytriazine, 2,4,6-tris(trichloromethyl)-s-triazine, 2-methyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-[2-(5-methylfuran-2-yl)ethenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-[2-(furan-2-yl)ethenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-[2-(4-diethylamino-2-methylphenyl)ethenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-[2-(3,4-dimethoxyphenyl)ethenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(4-methoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, Examples include 2-(4-ethoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(4-n-butoxyphenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6-(3-bromo-4-methoxy)phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6-(2-bromo-4-methoxy)phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6-(3-bromo-4-methoxy)styrylphenyl-s-triazine, and 2,4-bis-trichloromethyl-6-(2-bromo-4-methoxy)styrylphenyl-s-triazine. These photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more.

光カチオン重合開始剤(C2)としては、典型的にはオニウム塩類が挙げられる。光カチオン重合開始剤(C2)としては、オキソニウム塩、アンモニウム塩、ホスホニウム塩、スルホニウム塩、及びヨードニウム塩が挙げられ、スルホニウム塩、及びヨードニウム塩が好ましく、スルホニウム塩がより好ましい。 Typical examples of the cationic photopolymerization initiator (C2) include onium salts. Examples of the cationic photopolymerization initiator (C2) include oxonium salts, ammonium salts, phosphonium salts, sulfonium salts, and iodonium salts, with sulfonium salts and iodonium salts being preferred, and sulfonium salts being more preferred.

ワニス組成物における、光開始剤(C)の含有量は、ワニス組成物が所望するフォトリソグラフィー特性を有する限り特に限定されない。ワニス組成物における光開始剤(C)の含有量は、典型的には、ポリイミド樹脂(A)の質量と、モノマー化合物(B)の質量との合計100質量部に対して、0.01質量以上20質量部以下が好ましく、0.1質量部以上15質量部以下がより好ましく、1質量部以上10質量部以下がさらに好ましい。 The content of the photoinitiator (C) in the varnish composition is not particularly limited as long as the varnish composition has the desired photolithography properties. The content of the photoinitiator (C) in the varnish composition is typically preferably 0.01 to 20 parts by mass, more preferably 0.1 to 15 parts by mass, and even more preferably 1 to 10 parts by mass, per 100 parts by mass of the total of the mass of the polyimide resin (A) and the mass of the monomer compound (B).

ワニス組成物は、有機溶媒(S)を含む。有機溶媒(S)の種類は、ポリイミド樹脂(A)やその他の成分が良好に溶解する限り特に限定されない。
ポリイミド樹脂(A)の溶解性が良好である点から、有機溶媒(S)が、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N-メチルカプロラクタム、N,N,N’,N’-テトラメチルウレア、シクロペンタノン、及びシクロヘキサノンからなる群より選択される1種以上を含むのが好ましい。
有機溶媒(S)における、これらの好ましい有機溶媒の含有量は、70質量%以上が好ましく、80質量%以上がより好ましく、90質量%以上がさらに好ましく、100質量%が特に好ましい。
The varnish composition contains an organic solvent (S). The type of organic solvent (S) is not particularly limited as long as it satisfactorily dissolves the polyimide resin (A) and other components.
In view of good solubility of the polyimide resin (A), the organic solvent (S) preferably contains one or more selected from the group consisting of N-methyl-2-pyrrolidone, N,N-dimethylacetamide, N,N-diethylacetamide, N,N-dimethylformamide, N,N-diethylformamide, N-methylcaprolactam, N,N,N',N'-tetramethylurea, cyclopentanone, and cyclohexanone.
The content of these preferable organic solvents in the organic solvent (S) is preferably 70% by mass or more, more preferably 80% by mass or more, even more preferably 90% by mass or more, and particularly preferably 100% by mass.

ワニス組成物は、必要に応じて、以上説明した成分以外の種々の添加剤を含有していてもよい。添加剤としては、着色剤、分散剤、増感剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、消泡剤、界面活性剤等が挙げられる。また、ワニス組成物は、必要に応じて、種々の充填材、又は強化材を含んでいてもよい。
各種添加剤の使用量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。ワニス組成物の固形分の質量に対して、例えば、0.001質量%以上60質量%以下の範囲内で適宜調整すればよく、好ましくは0.05質量%以上5質量%以下である。
充填材又は強化材の使用量は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。充填材又は強化材の使用量は、典型的には、ポリアミック酸(A)の質量に対して、1質量%以上300質量%以下が好ましく、5質量%以上200質量%以上がより好ましく、10質量%以上100質量%以下がさらに好ましい。
The varnish composition may contain various additives other than the components described above, as necessary. Examples of additives include colorants, dispersants, sensitizers, adhesion promoters, antioxidants, UV absorbers, anti-aggregation agents, defoamers, surfactants, etc. In addition, the varnish composition may contain various fillers or reinforcing materials, as necessary.
The amount of each additive used is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention. It may be appropriately adjusted within a range of, for example, 0.001% by mass to 60% by mass, preferably 0.05% by mass to 5% by mass, based on the mass of the solid content of the varnish composition.
The amount of the filler or reinforcing material used is not particularly limited as long as it does not impair the object of the present invention. The amount of the filler or reinforcing material used is typically preferably 1 mass% or more and 300 mass% or less, more preferably 5 mass% or more and 200 mass% or more, and even more preferably 10 mass% or more and 100 mass% or less, based on the mass of the polyamic acid (A).

≪ポリイミド膜の製造方法≫
以上説明したワニス組成物を、所望する基板上に塗布して塗布膜を形成した後に、塗布膜から有機溶媒(S)の少なくとも一部を除去することにより、ポリイミド膜が形成される。
つまり、前述のワニス組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成する塗布工程と、
塗布膜から前記有機溶媒(S)の少なくとも一部を除去する、有機溶媒除去工程と、
を含む方法によりポリイミド膜が製造される。
<Production method of polyimide film>
The varnish composition described above is applied onto a desired substrate to form a coating film, and then at least a portion of the organic solvent (S) is removed from the coating film to form a polyimide film.
That is, a coating step of applying the varnish composition onto a substrate to form a coating film;
an organic solvent removing step of removing at least a part of the organic solvent (S) from the coating film;
The polyimide film is produced by a method comprising the steps of:

基材上にワニス組成物を塗布する方法は、特に限定されない。例えば、ロールコーター、リバースコーター、バーコーター、スリットコーター等の接触転写型塗布装置や、スピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて、ワニス組成物を基板上に、所望の膜厚となるよう塗布して塗布膜を形成できる。 The method for applying the varnish composition onto the substrate is not particularly limited. For example, the varnish composition can be applied to the substrate to a desired thickness using a contact transfer type application device such as a roll coater, reverse coater, bar coater, or slit coater, or a non-contact type application device such as a spinner (rotary application device) or curtain flow coater, to form a coating film.

上記の方法によりワニス組成物からなる塗布膜を形成した後、塗布膜をベークして有機溶媒(S)を除去することによりポリイミド膜が形成される。ベーク温度は、有機溶媒(S)の沸点や、ポリイミド樹脂の耐熱性等を勘案して適宜定められる。ベークは、減圧条件下に低温で行われてもよい。 After forming a coating film made of the varnish composition by the above method, the coating film is baked to remove the organic solvent (S) to form a polyimide film. The baking temperature is appropriately determined taking into consideration the boiling point of the organic solvent (S) and the heat resistance of the polyimide resin. Baking may be performed at a low temperature under reduced pressure.

ベークの方法としては、特に限定されず、例えば(i)ホットプレートを用いて80℃以上120℃以下(好ましくは85℃以上100℃以下、より好ましくは85℃以上95℃以下)の温度において60秒以上500秒以下の時間乾燥する方法、(ii)室温において数時間以上数日間以下の範囲内放置する方法、(iii)温風ヒーターや赤外線ヒーター中に数十分以上数時間以下の範囲内の時間、基板を入れて有機溶媒(S)を除去する方法、のいずれでもよい。 The baking method is not particularly limited, and may be, for example, any of the following: (i) drying using a hot plate at a temperature of 80°C to 120°C (preferably 85°C to 100°C, more preferably 85°C to 95°C) for 60 to 500 seconds; (ii) leaving at room temperature for several hours to several days; or (iii) placing the substrate in a hot air heater or infrared heater for several tens of minutes to several hours to remove the organic solvent (S).

上記のように形成された塗布膜は、有機溶媒(S)の除去後に、ポストベークされてもよい。ポストベークについて温度の上限は、例えば、300℃以下が好ましく、280℃以下が好ましい。温度の下限は、120℃以上が好ましく、130℃以上がより好ましい。 The coating film formed as described above may be post-baked after removing the organic solvent (S). The upper limit of the temperature for post-baking is, for example, preferably 300° C. or less, and more preferably 280° C. or less. The lower limit of the temperature is preferably 120° C. or more, and more preferably 130° C. or more.

以上のようにして形成されるポリイミド膜の膜厚は特に限定されず、用途に応じて適宜決定される。ポリイミド膜の膜厚は、典型的には、2μm以上100μm以下が好ましく、5μm以上50μm以下がより好ましい。 The thickness of the polyimide film formed in the above manner is not particularly limited and is determined appropriately depending on the application. The thickness of the polyimide film is typically preferably 2 μm or more and 100 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 50 μm or less.

ワニス組成物が、光開始剤(C)を含む場合、上記の方法により塗布膜を形成した後、塗布膜に対して露光、及び現像を行うことにより、パターン化されたポリイミド膜を得ることができる。
つまり、光開始剤(C)を含むワニス組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成する塗布工程と、
塗布膜から前記有機溶媒(S)の少なくとも一部を除去する、有機溶媒除去工程と、
有機溶媒(S)の少なくとも一部を除去された塗布膜に対して、露光、及び現像を行う、パターニング工程と、
を含む方法により、パターン化されたポリイミド膜が製造される。
When the varnish composition contains a photoinitiator (C), a patterned polyimide film can be obtained by forming a coating film by the above-mentioned method, and then exposing and developing the coating film.
That is, a coating step of coating a substrate with a varnish composition containing a photoinitiator (C) to form a coating film;
an organic solvent removing step of removing at least a part of the organic solvent (S) from the coating film;
a patterning step of exposing and developing the coating film from which at least a portion of the organic solvent (S) has been removed;
A patterned polyimide film is produced by a method comprising:

上記のパターン化されたポリイミド膜の製造方法において、ワニス組成物の塗布と、有機溶媒(S)を除去するための塗布膜の加熱とは、上記の方法に従って行われる。 In the above-mentioned method for producing a patterned polyimide film, the application of the varnish composition and the heating of the applied film to remove the organic solvent (S) are carried out according to the above-mentioned method.

ワニス組成物を露光する条件は、硬化が良好に進行する限り特に限定されない。露光は、例えば、紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射することにより行われる。照射するエネルギー線量は特に制限はないが、例えば30mJ/cm以上5000mJ/cm以下が挙げられる。 露光後には塗布後の加熱と同様の方法により、露光された塗布膜をベークしてもよい。 The conditions for exposing the varnish composition are not particularly limited as long as the curing proceeds well. The exposure is carried out by irradiating with active energy rays such as ultraviolet rays and excimer laser light. The amount of energy radiation to be irradiated is not particularly limited, but may be, for example, 30 mJ/ cm2 or more and 5000 mJ/ cm2 or less. After exposure, the exposed coating film may be baked by the same method as heating after coating.

現像方法は特に限定されず、例えば浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、ワニス組成物が含んでいてもよい有機溶剤(S)が挙げられる。 The developing method is not particularly limited, and for example, a dipping method, a spray method, etc. can be used. A specific example of the developing solution is an organic solvent (S) that may be contained in the varnish composition.

現像後、必要に応じて、現像された塗布膜に対して、純水等によるリンスや、ベークを施すことにより、パターン化されたポリイミド膜が得られる。
現像後のベーク条件としては、例えば、150℃以上280℃以下が好ましく、180℃以上230℃以下がより好ましい。現像後のベーク時間は、例えば、5分以上12時間以下が好ましく、10分以上6時間以下がより好ましく、30分以上1時間以上が特に好ましい。
After development, the developed coating film is rinsed with pure water or baked, if necessary, to obtain a patterned polyimide film.
The post-development baking conditions are, for example, preferably from 150° C. to 280° C., and more preferably from 180° C. to 230° C. The post-development baking time is, for example, preferably from 5 minutes to 12 hours, more preferably from 10 minutes to 6 hours, and particularly preferably from 30 minutes to 1 hour.

以下、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例に限定されない。 The present invention will be described in detail below with reference to examples, but the scope of the present invention is not limited to these examples.

〔実施例1〕
三口フラスコに、ジアミン成分としての4,4’-(4-アミノフェニルオキシ)ビフェニル(下記BPAB)15.57gと、3,5-ジアミノ安息香酸(下記DABA)6.43gと、NMP250gとを加えた。次いで、フラスコの内容物を撹拌して、BPAB及びDABAをNMPに溶解させた。その後、フラスコ内の溶液に、テトラカルボン酸二無水物成分としての2,2-ビス[4-(3,4-ジカルボキシフェニルオキシ)フェニル]プロパン二無水物(下記BPADA)40gを加え、フラスコ内の反応液を室温で24時間撹拌した。その後、反応液に、末端封止剤として5-ノルボルネン-2,3-ジカルボン酸無水物0.88gを加えて、室温で4時間反応液を撹拌して、ポリアミック酸を得た。
なお、下記式中のカッコの右下の数値は、樹脂中の各構成単位のモル比率(モル%)である。
Example 1
Into a three-neck flask, 15.57 g of 4,4'-(4-aminophenyloxy)biphenyl (hereinafter referred to as BPAB) as a diamine component, 6.43 g of 3,5-diaminobenzoic acid (hereinafter referred to as DABA), and 250 g of NMP were added. Next, the contents of the flask were stirred to dissolve BPAB and DABA in NMP. Then, 40 g of 2,2-bis[4-(3,4-dicarboxyphenyloxy)phenyl]propane dianhydride (hereinafter referred to as BPADA) as a tetracarboxylic dianhydride component was added to the solution in the flask, and the reaction solution in the flask was stirred at room temperature for 24 hours. Then, 0.88 g of 5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride was added to the reaction solution as an end-capping agent, and the reaction solution was stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid.
In addition, the numerical values in the parentheses to the right of the following formulas indicate the molar ratios (mol %) of each structural unit in the resin.

<ポリアミック酸生成>

Figure 0007704516000037
<Polyamic acid production>
Figure 0007704516000037

ポリアミック酸を含む反応液にカルボジイミダゾール33gを加えて、室温で4時間反応液を撹拌して、ポリアミック酸をポリイミド樹脂に変換した。
撹拌後の反応液を、5kgの水中に滴下して沈殿物を生成させた。生成した沈殿物をろ過により回収した。回収した沈殿物を2kgの水で3回洗浄した後、50℃で減圧乾燥して、下記式中の構成単位からなる、カルボキシ基を有するポリイミド樹脂を得た。
33 g of carbodiimidazole was added to the reaction solution containing the polyamic acid, and the reaction solution was stirred at room temperature for 4 hours to convert the polyamic acid into a polyimide resin.
The reaction solution after stirring was dropped into 5 kg of water to generate a precipitate. The generated precipitate was collected by filtration. The collected precipitate was washed three times with 2 kg of water and then dried under reduced pressure at 50° C. to obtain a polyimide resin having a carboxy group, which is composed of a structural unit in the following formula:

<イミド化>

Figure 0007704516000038
<Imidization>
Figure 0007704516000038

三口フラスコ内に、得られたカルボキシ基を有するポリイミド樹脂と、2-ヒドロキシエチルメタクリレート8.25gと、1-エチル-3-(3-ジメチルアミノプロピル)カルボジイミド塩酸塩(WSC-HCl)25.0gと、4-ジメチルアミノピリジン(DMAP)5.15gとを、NMP250g中に加えた後、反応液を室温で6時間撹拌した。
撹拌後の反応液を、2kgのメタノール中に滴下して沈殿物を生成させた。生成した沈殿物をろ過により回収した。回収した沈殿物を2kgのメタノールで3回洗浄した後、50℃で減圧乾燥して、下記式中の構成単位からなる、側鎖末端にメタクリロイル基を有するポリイミド樹脂を得た。
得られたポリイミド樹脂についてH-NMR測定を行い、アミド結合に相当するピークの消失によりイミド化を確認し、全芳香族の積分比と二重結合の積分比とから理論量のメタクリロイル基がポリイミド樹脂に導入されたことを確認した。
The obtained polyimide resin having a carboxy group, 8.25 g of 2-hydroxyethyl methacrylate, 25.0 g of 1-ethyl-3-(3-dimethylaminopropyl)carbodiimide hydrochloride (WSC-HCl), and 5.15 g of 4-dimethylaminopyridine (DMAP) were added to 250 g of NMP in a three-neck flask, and the reaction solution was stirred at room temperature for 6 hours.
The reaction solution after stirring was dropped into 2 kg of methanol to generate a precipitate. The generated precipitate was collected by filtration. The collected precipitate was washed three times with 2 kg of methanol and then dried under reduced pressure at 50°C to obtain a polyimide resin having a methacryloyl group at the side chain end, which is composed of the structural unit shown in the following formula.
The obtained polyimide resin was subjected to 1 H-NMR measurement. The imidization was confirmed by the disappearance of the peak corresponding to the amide bond, and the introduction of the theoretical amount of methacryloyl groups into the polyimide resin was confirmed from the integral ratio of all aromatics and the integral ratio of double bonds.

<メタクリロイル基導入>

Figure 0007704516000039
<Introduction of methacryloyl group>
Figure 0007704516000039

〔実施例2〕
BPABの使用量を21.80gに変更することと、DABAの使用量を3.86gに変更することと、2-ヒドロキシエチルメタクリレートの使用量を4.95gに変更することとの他は実施例1と同様にして、下記式の構造のポリイミド樹脂を合成した。
得られたポリイミド樹脂についてH-NMR測定を行い、アミド結合に相当するピークの消失によりイミド化を確認し、全芳香族の積分比と二重結合の積分比とから理論量のメタクリロイル基がポリイミド樹脂に導入されたことを確認した。

Figure 0007704516000040
Example 2
A polyimide resin having the following structure was synthesized in the same manner as in Example 1, except that the amount of BPAB used was changed to 21.80 g, the amount of DABA used was changed to 3.86 g, and the amount of 2-hydroxyethyl methacrylate used was changed to 4.95 g.
The obtained polyimide resin was subjected to 1 H-NMR measurement. The imidization was confirmed by the disappearance of the peak corresponding to the amide bond, and the introduction of the theoretical amount of methacryloyl groups into the polyimide resin was confirmed from the integral ratio of all aromatics and the integral ratio of double bonds.
Figure 0007704516000040

〔実施例3〕
BPABの使用量を24.19gに変更することと、DABAの使用量を2.57gに変更することと、2-ヒドロキシエチルメタクリレートの使用量を3.30gに変更することとの他は実施例1と同様にして、下記式の構造のポリイミド樹脂を合成した。
得られたポリイミド樹脂についてH-NMR測定を行い、アミド結合に相当するピークの消失によりイミド化を確認し、全芳香族の積分比と二重結合の積分比とから理論量のメタクリロイル基がポリイミド樹脂に導入されたことを確認した。

Figure 0007704516000041
Example 3
A polyimide resin having the following structure was synthesized in the same manner as in Example 1, except that the amount of BPAB used was changed to 24.19 g, the amount of DABA used was changed to 2.57 g, and the amount of 2-hydroxyethyl methacrylate used was changed to 3.30 g.
The obtained polyimide resin was subjected to 1 H-NMR measurement. The imidization was confirmed by the disappearance of the peak corresponding to the amide bond, and the introduction of the theoretical amount of methacryloyl groups into the polyimide resin was confirmed from the integral ratio of all aromatics and the integral ratio of double bonds.
Figure 0007704516000041

〔実施例4〕
BPAB15.57gを、2,2’-ジトリフルオロメチル-4,4’-ジアミノビフェニル(下記TFDB)19.18gに変更することと、DABAの使用量を3.86gに変更することと、2-ヒドロキシエチルメタクリレートの使用量を4.95gに変更することと、WSC-HClの使用量を13.62gに変更することとの他は実施例1と同様にして、下記式の構造のポリイミド樹脂を合成した。
得られたポリイミド樹脂についてH-NMR測定を行い、アミド結合に相当するピークの消失によりイミド化を確認し、全芳香族の積分比と二重結合の積分比とから理論量のメタクリロイル基がポリイミド樹脂に導入されたことを確認した。

Figure 0007704516000042
Example 4
A polyimide resin having the structure shown below was synthesized in the same manner as in Example 1, except that 15.57 g of BPAB was changed to 19.18 g of 2,2'-ditrifluoromethyl-4,4'-diaminobiphenyl (hereinafter referred to as TFDB), the amount of DABA used was changed to 3.86 g, the amount of 2-hydroxyethyl methacrylate used was changed to 4.95 g, and the amount of WSC-HCl used was changed to 13.62 g.
The obtained polyimide resin was subjected to 1 H-NMR measurement. The imidization was confirmed by the disappearance of the peak corresponding to the amide bond, and the introduction of the theoretical amount of methacryloyl groups into the polyimide resin was confirmed from the integral ratio of all aromatics and the integral ratio of double bonds.
Figure 0007704516000042

Figure 0007704516000043
Figure 0007704516000043

〔実施例5〕
BPAB15.57gを、2,2-ビス[4-(4-アミノフェニルオキシ)フェニル]-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロフェニルプロパン(下記HF-BPAA)30.68gに変更することと、DABAの使用量を3.86gに変更することと、2-ヒドロキシエチルメタクリレートの使用量を4.95gに変更することと、WSC-HClの使用量を13.62gに変更することとの他は実施例1と同様にして、下記式の構造のポリイミド樹脂を合成した。
得られたポリイミド樹脂についてH-NMR測定を行い、アミド結合に相当するピークの消失によりイミド化を確認し、全芳香族の積分比と二重結合の積分比とから理論量のメタクリロイル基がポリイミド樹脂に導入されたことを確認した。

Figure 0007704516000044
Example 5
A polyimide resin having the structure of the following formula was synthesized in the same manner as in Example 1, except that 15.57 g of BPAB was changed to 30.68 g of 2,2-bis[4-(4-aminophenyloxy)phenyl]-1,1,1,3,3,3-hexafluorophenylpropane (HF-BPAA below), the amount of DABA used was changed to 3.86 g, the amount of 2-hydroxyethyl methacrylate used was changed to 4.95 g, and the amount of WSC-HCl used was changed to 13.62 g.
The obtained polyimide resin was subjected to 1 H-NMR measurement. The imidization was confirmed by the disappearance of the peak corresponding to the amide bond, and the introduction of the theoretical amount of methacryloyl groups into the polyimide resin was confirmed from the integral ratio of all aromatics and the integral ratio of double bonds.
Figure 0007704516000044

Figure 0007704516000045
Figure 0007704516000045

〔実施例6〕
BPADA40gを、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン二無水物(下記6FDA)40gに変更することと、BPAB15.57gを、HF-BPAA35.94gに変更することと、DABAの使用量を4.52gに変更することと、カルボジイミダゾールの使用量を28.17gに変更することと、2-ヒドロキシエチルメタクリレートの使用量を5.80gに変更することと、WSC-HClの使用量を15.95gに変更することとの他は実施例1と同様にして、下記式の構造のポリイミド樹脂を合成した。

Figure 0007704516000046
Example 6
40 g of BPADA was changed to 40 g of 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride (hereinafter referred to as 6FDA), 15.57 g of BPAB was changed to 35.94 g of HF-BPAA, the amount of DABA used was changed to 4.52 g, the amount of carbodiimidazole used was changed to 28.17 g, the amount of 2-hydroxyethyl methacrylate used was changed to 5.80 g, and the amount of WSC-HCl used was changed to 15.95 g. A polyimide resin having the structure of the following formula was synthesized in the same manner as in Example 1.
Figure 0007704516000046

Figure 0007704516000047
Figure 0007704516000047

〔実施例7〕
BPADA40gを、3,3’,4,4’-テトラカルボキシジフェニルエーテル二無水物(下記ODPA)40gに変更することと、BPAB15.57gを、HF-BPAA51.47gに変更することと、DABAの使用量を6.47gに変更することと、カルボジイミダゾールの使用量を28.17gに変更することと、2-ヒドロキシエチルメタクリレートの使用量を5.80gに変更することと、WSC-HClの使用量を15.95gに変更することとの他は実施例1と同様にして、下記式の構造のポリイミド樹脂を合成した。

Figure 0007704516000048
Example 7
A polyimide resin having the structure of the following formula was synthesized in the same manner as in Example 1, except that 40 g of BPADA was changed to 40 g of 3,3',4,4'-tetracarboxydiphenylether dianhydride (hereinafter referred to as ODPA), 15.57 g of BPAB was changed to 51.47 g of HF-BPAA, the amount of DABA used was changed to 6.47 g, the amount of carbodiimidazole used was changed to 28.17 g, the amount of 2-hydroxyethyl methacrylate used was changed to 5.80 g, and the amount of WSC-HCl used was changed to 15.95 g.
Figure 0007704516000048

Figure 0007704516000049
Figure 0007704516000049

〔実施例8〕
三口フラスコに、ジアミン成分としてのBPAB24.91gと、2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)-1,1,1,3,3,3-ヘキサフルオロプロパン5.89gと、NMP250gとを加えた。次いで、フラスコの内容物を撹拌して、ジアミン成分をNMPに溶解させた。その後、フラスコ内の溶液に、BPADA40gを加え、フラスコ内の反応液を室温で24時間撹拌して、ポリアミック酸を生成させた。
Example 8
24.91 g of BPAB as a diamine component, 5.89 g of 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)-1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, and 250 g of NMP were added to a three-neck flask. The contents of the flask were then stirred to dissolve the diamine component in the NMP. Thereafter, 40 g of BPADA was added to the solution in the flask, and the reaction solution in the flask was stirred at room temperature for 24 hours to produce a polyamic acid.

<ポリアミック酸生成>

Figure 0007704516000050
<Polyamic acid production>
Figure 0007704516000050

ポリアミック酸を含む反応液にカルボジイミダゾール33gを加えて、室温で4時間反応液を撹拌して、ポリアミック酸をポリイミド樹脂に変換した。
撹拌後の反応液を、5kgの水中に滴下して沈殿物を生成させた。生成した沈殿物をろ過により回収した。回収した沈殿物を2kgの水で3回洗浄した後、50℃で減圧乾燥して、下記式中の構成単位からなる、フェノール性水酸基を有するポリイミド樹脂を得た。
33 g of carbodiimidazole was added to the reaction solution containing the polyamic acid, and the reaction solution was stirred at room temperature for 4 hours to convert the polyamic acid into a polyimide resin.
The reaction solution after stirring was dropped into 5 kg of water to generate a precipitate. The generated precipitate was collected by filtration. The collected precipitate was washed three times with 2 kg of water and then dried under reduced pressure at 50° C. to obtain a polyimide resin having a phenolic hydroxyl group, which is composed of the structural unit in the following formula:

<イミド化>

Figure 0007704516000051
<Imidization>
Figure 0007704516000051

三口フラスコ内に、得られたフェノール性水産基を有するポリイミド樹脂と、メタクリル酸クロリド5.30gと、トリエチルアミン4.50gと、NMP300gとを加え、フラスコ内の反応液を室温で6時間撹拌した。
撹拌後の反応液を、2kgのメタノール中に滴下して沈殿物を生成させた。生成した沈殿物をろ過により回収した。回収した沈殿物を2kgのメタノールで3回洗浄した後、50℃で減圧乾燥して、下記式中の構成単位からなる、側鎖末端にメタクリロイル基を有するポリイミド樹脂を得た。
得られたポリイミド樹脂についてH-NMR測定を行い、アミド結合に相当するピークの消失によりイミド化を確認し、全芳香族の積分比と二重結合の積分比とから理論量のメタクリロイル基がポリイミド樹脂に導入されたことを確認した。
The obtained polyimide resin having a phenolic hydroxyl group, 5.30 g of methacrylic acid chloride, 4.50 g of triethylamine, and 300 g of NMP were added to a three-neck flask, and the reaction solution in the flask was stirred at room temperature for 6 hours.
The reaction solution after stirring was dropped into 2 kg of methanol to generate a precipitate. The generated precipitate was collected by filtration. The collected precipitate was washed three times with 2 kg of methanol and then dried under reduced pressure at 50°C to obtain a polyimide resin having a methacryloyl group at the side chain end, which is composed of the structural unit shown in the following formula.
The obtained polyimide resin was subjected to 1 H-NMR measurement. The imidization was confirmed by the disappearance of the peak corresponding to the amide bond, and the introduction of the theoretical amount of methacryloyl groups into the polyimide resin was confirmed from the integral ratio of all aromatics and the integral ratio of double bonds.

<メタクリロイル基導入>

Figure 0007704516000052
<Introduction of methacryloyl group>
Figure 0007704516000052

〔比較例1〕
BPADA40gを、6FDA40gに変更することと、BPAB15.57gを、TFDB22.48gに変更することと、DABAの使用量を4.52gに変更することと、カルボジイミダゾールの使用量を28.17gに変更することと、2-ヒドロキシエチルメタクリレートの使用量を5.80gに変更することと、WSC-HClの使用量を15.95gに変更することとの他は実施例1と同様にして、下記式の構造のポリイミド樹脂を合成した。
Comparative Example 1
A polyimide resin having the structure shown below was synthesized in the same manner as in Example 1, except that 40 g of BPADA was changed to 40 g of 6FDA, 15.57 g of BPAB was changed to 22.48 g of TFDB, the amount of DABA used was changed to 4.52 g, the amount of carbodiimidazole used was changed to 28.17 g, the amount of 2-hydroxyethyl methacrylate used was changed to 5.80 g, and the amount of WSC-HCl used was changed to 15.95 g.

Figure 0007704516000053
Figure 0007704516000053

〔比較例2〕
国際公開第2018/003726号に記載され合成例1と同様の方法により、下記構成単位からなる感光性ポリアミド樹脂を得た。下記ポリアミド樹脂は、加熱により2-ヒドロキシエチルメタクリレートの脱離をともなう閉環によってポリイミド樹脂を生成させる。

Figure 0007704516000054
Comparative Example 2
A photosensitive polyamide resin consisting of the following structural units was obtained by the same method as in Synthesis Example 1 described in WO 2018/003726. The following polyamide resin generates a polyimide resin by ring closure accompanied by elimination of 2-hydroxyethyl methacrylate when heated.
Figure 0007704516000054

〔実施例9~19、比較例3、又は比較例4〕
表1に記載の種類のポリイミド樹脂、又はポリアミド樹脂100質量部を、濃度20質量%となるようにNMP中に溶解させた。得られた溶液に、オキシムエステル系光重合開始剤であるIrgacure OXE01(BASFジャパン社製)5質量部と、連鎖移動剤であるペンタエリスリトールテトラキス(3-メルカプトブチレート)(カレンズMT PE1(昭和電工株式会社製))0.5質量部とを加えて、各実施例の感光性組成物を得た。
実施例12~14の感光性組成物には、さらに表1に記載の種類及び量の光重合性モノマーを加えた。表1に記載の光重合性モノマーは以下の通りである。
M1:ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート
M2:ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
[Examples 9 to 19, Comparative Example 3, or Comparative Example 4]
100 parts by mass of a polyimide resin or polyamide resin of the type shown in Table 1 was dissolved in NMP to a concentration of 20% by mass. 5 parts by mass of Irgacure OXE01 (manufactured by BASF Japan Ltd.), which is an oxime ester-based photopolymerization initiator, and 0.5 parts by mass of pentaerythritol tetrakis(3-mercaptobutyrate) (Karenz MT PE1 (manufactured by Showa Denko K.K.)), which is a chain transfer agent, were added to the obtained solution to obtain a photosensitive composition of each Example.
To the photosensitive compositions of Examples 12 to 14, photopolymerizable monomers of the types and amounts shown in Table 1 were further added. The photopolymerizable monomers shown in Table 1 are as follows.
M1: Dimethyloltricyclodecane diacrylate M2: Dipentaerythritol hexaacrylate

得られた感光性組成物を用いて、下記方法に従って、フィルム化時のイミド化率の評価と、感光性評価と、誘電特性の測定による誘電特性の評価とを行った。感光性評価の結果と、誘電特性の評価の結果とについて表1に記す。 Using the obtained photosensitive composition, the imidization rate when made into a film, the photosensitivity, and the dielectric properties were evaluated by measuring the dielectric properties according to the following methods. The results of the photosensitivity evaluation and the dielectric properties evaluation are shown in Table 1.

<フィルム化、及びイミド化率評価>
実施例9~19、及び比較例3については、感光性組成物をシリコンウエハー上にスピンコーターにより塗布した後、形成された塗布膜を、高圧水銀灯で露光量2000mJ/cmにて露光した。露光後の塗布膜を180℃で1時間加熱してポリイミド樹脂フィルムを形成した。濃度1質量%のフッ化水素酸水溶液を用いて、形成されたポリイミド樹脂フィルムをシリコンウエハーから剥離させてポリイミド樹脂フィルムを得た。得られたポリイミド樹脂フィルムの膜厚は、20μmであった。
<Film Formation and Imidization Rate Evaluation>
For Examples 9 to 19 and Comparative Example 3, the photosensitive composition was applied onto a silicon wafer by a spin coater, and the formed coating film was then exposed to a high-pressure mercury lamp at an exposure dose of 2000 mJ/ cm2 . The exposed coating film was heated at 180°C for 1 hour to form a polyimide resin film. The formed polyimide resin film was peeled off from the silicon wafer using an aqueous solution of hydrofluoric acid with a concentration of 1% by mass to obtain a polyimide resin film. The film thickness of the obtained polyimide resin film was 20 μm.

なお、実施例9~19、及び比較例3で得たポリイミド樹脂のNMP溶液を用いて上記の方法により得たポリイミド樹脂フィルムのイミド化率は、いずれも95%以上であった。
比較例2で得た感光性のポリアミド樹脂を含む比較例4の感光性組成物については、上記条件での露光と、180℃1時間の加熱では95%以上のイミド化率を達成できず、さらに350℃で1時間加熱することにより95%以上のイミド化率が達成された。
イミド化率は、以下の方法により測定した。まず、上記方法で得られたフィルムを350℃4時間加熱した後、加熱されたフィルムについてFT-IRスペクトルを測定した。次に上記方法で得られた、350℃で加熱されていないフィルムについてFT-IRスペクトルを測定した。
350℃で加熱されたフィルムのFT-IRスペクトルにおける、波数1380cm-1でのイミド伸縮振動のピークの高さH01と、芳香族ピークの高さH02とから、両者の比であるH01/H02の値を求めた。
次に、350℃で加熱されていないフィルムのFT-IRスペクトルにおける、波数1380cm-1でのイミド伸縮振動のピークの高さH11と、芳香族ピークの高さH12とから、両者の比であるH11/H12の値を求めた。
01/H02の値と、H11/H12の値とから、下式に従い、イミド化率を測定した。
イミド化率(%)=(H11/H12)/(H01/H02)×100
The imidization rate of the polyimide resin films obtained by the above-mentioned method using the NMP solutions of the polyimide resins obtained in Examples 9 to 19 and Comparative Example 3 was 95% or more.
For the photosensitive composition of Comparative Example 4 containing the photosensitive polyamide resin obtained in Comparative Example 2, an imidization rate of 95% or more could not be achieved by exposure under the above conditions and heating at 180°C for 1 hour, but an imidization rate of 95% or more was achieved by further heating at 350°C for 1 hour.
The imidization rate was measured by the following method. First, the film obtained by the above method was heated at 350°C for 4 hours, and then the FT-IR spectrum of the heated film was measured. Next, the FT-IR spectrum of the film obtained by the above method that was not heated at 350°C was measured.
The FT-IR spectrum of the film heated at 350° C. showed that the imide stretching vibration peak height H 01 at a wave number of 1380 cm −1 and the aromatic peak height H 02 were both measured, and the ratio H 01 /H 02 was calculated from these values.
Next, the ratio H 11 /H 12 was calculated from the height H 11 of the imide stretching vibration peak at a wave number of 1380 cm -1 and the height H 12 of the aromatic peak in the FT-IR spectrum of the film not heated at 350 ° C.
The imidization rate was calculated from the value of H 01 /H 02 and the value of H 11 /H 12 according to the following formula.
Imidization rate (%)=(H 11 /H 12 )/(H 01 /H 02 )×100

<感光性評価>
銅ウエハ上に、感光性組成物をスピンコートして形成された塗布膜を、80℃で300秒ベークした。スピンコート時の回転数は、ベーク後の塗布膜の膜厚が10μmとなるように調整した。
ベーク後の塗布膜を、50μm×50μmのサイズの略正方形の開口を有するホール形成用のネガ型マスクを介して、露光量100mJ/cmから4000mJ/cmまでフォーカス0μmで露光した。
露光された塗布膜を、シクロペンタノンに60秒間浸漬して現像を行った。
現像後の塗布膜を、走査型電子顕微鏡(SEM)により観察し、50μm×50μmのサイズの略正方形の開口を有するホールを形成できた場合を○と判定し、○判定以外の場合を×と判定した。
<Photosensitivity Evaluation>
The coating film formed on the copper wafer by spin-coating the photosensitive composition was baked for 300 seconds at 80° C. The rotation speed during spin-coating was adjusted so that the coating film after baking had a thickness of 10 μm.
The baked coating film was exposed to light through a negative mask for hole formation having a substantially square opening of 50 μm×50 μm at a dose of 100 mJ/cm 2 to 4000 mJ/cm 2 with a focus of 0 μm.
The exposed coating film was developed by immersing it in cyclopentanone for 60 seconds.
The coating film after development was observed with a scanning electron microscope (SEM). If a hole having an approximately square opening measuring 50 μm × 50 μm was formed, it was judged as ◯, and if not, it was judged as ×.

<誘電特性測定>
膜厚を10μmに変えることの他は、前述のフィルム化と同様の方法で得られたフィルムをサンプルとして、サンプルの誘電率(ε)及び誘電正接(tanδ)を、電子情報通信学会の信学技報 vol. 118, no. 506, MW2018-158, pp. 13-18, 2019年3月 「感光性絶縁フィルムの円筒空洞共振器法によるミリ波複素誘電率評価に関する検討」(高萩耕平(宇都宮大学)、海老澤和明(東京応化工業株式会社)、古神義則(宇都宮大学)、清水隆志(宇都宮大学))に記載された方法で測定した。ネットワークアナライザーHP8510C(キーサイト社製)を使用し、空洞共振器法で、室温25℃、湿度50%、周波数36GHz、サンプル厚さ10μmの条件で測定した。
誘電率値が3.00未満であった場合を○と判定し、3.00以上であった場合を×と判定した。
誘電正接値が、0.01未満であった場合を○と判定し、0.01以上であった場合を×と判定した。
<Dielectric property measurement>
The film obtained in the same manner as the above-mentioned film formation except for changing the film thickness to 10 μm was used as a sample, and the dielectric constant (ε) and dielectric tangent (tan δ) of the sample were measured by the method described in "Study on evaluation of millimeter-wave complex dielectric constant of photosensitive insulating film by cylindrical cavity resonator method" (Takahagi Kohei (Utsunomiya University), Ebisawa Kazuaki (Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.), Kogami Yoshinori (Utsunomiya University), Shimizu Takashi (Utsunomiya University)) in IEICE Technical Report vol. 118, no. 506, MW2018-158, pp. 13-18, March 2019. Using a network analyzer HP8510C (Keysight Corporation), the measurement was performed by the cavity resonator method under the conditions of room temperature 25 ° C, humidity 50%, frequency 36 GHz, and sample thickness 10 μm.
The dielectric constant value was judged as ◯ when it was less than 3.00, and was judged as x when it was 3.00 or more.
A dielectric loss tangent value of less than 0.01 was judged as ◯, and a dielectric loss tangent value of 0.01 or more was judged as x.

Figure 0007704516000055
Figure 0007704516000055

実施例9~11によれば、前述の式(A1a)で表される特定の構造の構成単位を含み、且つメタアクリロイル基のような重合性基を有するポリイミド樹脂はNMP等の有機溶媒に良好に溶解し、且つ良好な感光性を示し、誘電特性に優れるポリイミド樹脂フィルムを与えることがわかる。
他方、比較例3、及び比較例4によれば、重合性基を有していても、前述の式(A1)で表される特定の構造の構成単位を含まないポリイミド樹脂は、誘電特性に劣るポリイミド樹脂フィルムを与えることがわかる。
According to Examples 9 to 11, it can be seen that a polyimide resin containing a structural unit of a specific structure represented by the above-mentioned formula (A1a) and having a polymerizable group such as a methacryloyl group dissolves well in an organic solvent such as NMP, exhibits good photosensitivity, and gives a polyimide resin film having excellent dielectric properties.
On the other hand, according to Comparative Examples 3 and 4, it is seen that a polyimide resin that does not contain a structural unit having the specific structure represented by the above-mentioned formula (A1), even if it has a polymerizable group, gives a polyimide resin film having inferior dielectric properties.

Claims (13)

ポリイミド樹脂(A)と、有機溶媒(S)と、を含むワニス組成物であって、
前記ポリイミド樹脂(A)が、
下記式(A1a):
Figure 0007704516000056
(式(A1a)中、Xは、2価の有機基であり、Yは、4価の有機基である。ただし、Xは、ポリオルガノシロキサン構造およびダイマージアミンに由来する構造を有する2価の有機基を含まず、Yはスルホニル基(-SO-)を有する4価の有機基を含まない。)
で表される構成単位を含む分子鎖を有し、
前記Xとしての前記2価の有機基、及び前記Yとしての前記4価の有機基の少なくとも一方が、下記式(a1):
Figure 0007704516000057
(式(a1)中、Ra1及びRa2は、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、又はハロゲン原子であり、n1及びn2は、それぞれ独立に0以上4以下の整数であり、Ra3及びRa4は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のハロゲン化アルキル基、又はフェニル基であり、Ra3とRa4とは互いに結合して環を形成してもよい。)
で表される部分構造を有するか、
又は
前記式(A1a)で表される構成単位を含む分子鎖と、
下記式(A1e):
Figure 0007704516000058
(式(A1e)中、Xは、前記式(a1)で表される部分構造を有さない2価の有機基であり、Yは、前記式(a1)で表される部分構造を有さない4価の有機基である。ただし、Xは、ポリオルガノシロキサン構造およびダイマージアミンに由来する構造を有する2価の有機基を含まず、Yはスルホニル基(-SO-)を有する4価の有機基を含まない。)
で表される構成単位を含む分子鎖と、
を有し、
前記式(A1e)で表される構成単位は、前記式(a1)で表される部分構造を有さず、
前記分子鎖が、ラジカル重合性基を含む、パターン形成用ワニス組成物。
A varnish composition comprising a polyimide resin (A) and an organic solvent (S),
The polyimide resin (A) is
The following formula (A1a):
Figure 0007704516000056
(In formula (A1a), X1 is a divalent organic group, and Y1 is a tetravalent organic group. However, X1 does not include a divalent organic group having a polyorganosiloxane structure or a structure derived from dimer diamine, and Y1 does not include a tetravalent organic group having a sulfonyl group (—SO 2 —).)
The molecular chain includes a structural unit represented by
At least one of the divalent organic group as X1 and the tetravalent organic group as Y1 is represented by the following formula (a1):
Figure 0007704516000057
(In formula (a1), R a1 and R a2 each independently represent an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, or a halogen atom; n1 and n2 each independently represent an integer of from 0 to 4; R a3 and R a4 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, a halogenated alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, or a phenyl group; and R a3 and R a4 may be bonded to each other to form a ring.)
or
or a molecular chain including a structural unit represented by formula (A1a)
The following formula (A1e):
Figure 0007704516000058
(In formula (A1e), X4 is a divalent organic group not having the partial structure represented by formula (a1), and Y2 is a tetravalent organic group not having the partial structure represented by formula (a1). However, X4 does not include a divalent organic group having a polyorganosiloxane structure or a structure derived from dimer diamine, and Y2 does not include a tetravalent organic group having a sulfonyl group (—SO 2 —).)
A molecular chain including a constitutional unit represented by
having
The constitutional unit represented by the formula (A1e) does not have a partial structure represented by the formula (a1),
The varnish composition for pattern formation, wherein the molecular chain contains a radically polymerizable group.
前記分子鎖が、前記式(A1a)で表される構成単位として、下記式(A1b):
Figure 0007704516000059
(式(A1b)中、X及びXは、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい2価の芳香族炭化水素基であり、Yは、前記式(a1)で表される部分構造を有さない4価の有機基であり、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4、n1、及びn2は、式(a1)中のこれらと同様である。)
で表される構成単位、下記式(A1c):
Figure 0007704516000060
(式(A1c)中、Xは、前記式(a1)で表される部分構造を有さない2価の有機基であり、Y及びYは、それぞれ独立に炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい3価の芳香族炭化水素基であり、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4、n1、及びn2は、式(a1)中のこれらと同様である。)
で表される構成単位、及び下記式(A1d):
Figure 0007704516000061
(式(A1d)中、X及びXは、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい2価の芳香族炭化水素基であり、Y及びYは、それぞれ独立に、炭素原子数1以上4以下のアルキル基、炭素原子数1以上4以下のアルコキシ基、及びハロゲン原子からなる群より選択される1以上の基で置換されていてもよい3価の芳香族炭化水素基であり、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4、n1、及びn2は、式(a1)中のこれらと同様である。)
で表される構成単位からなる群より選択される1種以上を含む、請求項1に記載のパターン形成用ワニス組成物
The molecular chain contains, as the constitutional unit represented by formula (A1a), the constitutional unit represented by the following formula (A1b):
Figure 0007704516000059
(In formula (A1b), X2 and X3 each independently represent a divalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom; Y2 represents a tetravalent organic group which does not have the partial structure represented by formula (a1); and R a1 , R a2 , R a3 , R a4 , n1, and n2 are the same as those in formula (a1).)
A structural unit represented by the following formula (A1c):
Figure 0007704516000060
(In formula (A1c), X4 is a divalent organic group not having the partial structure represented by formula (a1), Y3 and Y4 are each independently a trivalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom, and R a1 , R a2 , R a3 , R a4 , n1, and n2 are the same as those in formula (a1).)
and a structural unit represented by the following formula (A1d):
Figure 0007704516000061
(In formula (A1d), X5 and X6 are each independently a divalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom; Y5 and Y6 are each independently a trivalent aromatic hydrocarbon group which may be substituted with one or more groups selected from the group consisting of an alkyl group having from 1 to 4 carbon atoms, an alkoxy group having from 1 to 4 carbon atoms, and a halogen atom; and R a1 , R a2 , R a3 , R a4 , n1, and n2 are the same as those in formula (a1).)
2. The pattern-forming varnish composition according to claim 1, comprising at least one structural unit selected from the group consisting of structural units represented by the following formula:
前記ポリイミド樹脂が、前記式(A1c)で表される構成単位を含み、前記Xが前記ラジカル重合性基を有する、請求項2に記載のパターン形成用ワニス組成物 The varnish composition for pattern formation according to claim 2, wherein the polyimide resin contains a constitutional unit represented by the formula (A1c), and the X4 has the radical polymerizable group. 前記ラジカル重合性基として(メタ)アクリロイル基含有基を有する、請求項1~3のいずれか1項に記載のパターン形成用ワニス組成物 4. The pattern-forming varnish composition according to claim 1, wherein the radical polymerizable group is a (meth)acryloyl group-containing group. モノマー化合物(B)をさらに含み、Further comprising a monomer compound (B),
前記モノマー化合物(B)がエチレン性不飽和二重結合を有するモノマー化合物である、請求項1~4のいずれか1項に記載のパターン形成用ワニス組成物。5. The varnish composition for pattern formation according to claim 1, wherein the monomer compound (B) is a monomer compound having an ethylenically unsaturated double bond.
前記モノマー化合物(B)が、多官能モノマー化合物である、請求項5項に記載のパターン形成用ワニス組成物。The varnish composition for pattern formation according to claim 5 , wherein the monomer compound (B) is a polyfunctional monomer compound. 前記モノマー化合物(B)の含有量が、有機溶媒(S)の質量を除いたワニス組成物の質量を100質量部としたときに、0.1質量部以上50質量部以下である、請求項5または6に記載のパターン形成用ワニス組成物。7. The varnish composition for pattern formation according to claim 5 or 6, wherein the content of the monomer compound (B) is 0.1 parts by mass or more and 50 parts by mass or less when the mass of the varnish composition excluding the mass of the organic solvent (S) is 100 parts by mass. 前記ワニス組成物の質量に対する、前記ポリイミド樹脂(A)の質量の比率が5質量%以上50質量%以下である、請求項1~7のいずれか1項に記載のパターン形成用ワニス組成物。 8. The pattern-forming varnish composition according to claim 1 , wherein a ratio of the mass of the polyimide resin (A) to the mass of the varnish composition is 5 mass% or more and 50 mass% or less. 20℃において、前記ポリイミド樹脂(A)の80質量%以上が、前記有機溶媒(S)に溶解している、請求項1~8のいずれか1項に記載のパターン形成用ワニス組成物。 9. The varnish composition for pattern formation according to claim 1, wherein 80% by mass or more of the polyimide resin (A) is dissolved in the organic solvent (S) at 20° C. 前記有機溶媒(S)が、N-メチル-2-ピロリドン、N,N-ジメチルアセトアミド、N,N-ジエチルアセトアミド、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N-メチルカプロラクタム、N,N,N’,N’-テトラメチルウレア、シクロペンタノン、及びシクロヘキサノンからなる群より選択される1種以上を含む、請求項のいずれか1項に記載のパターン形成用ワニス組成物。 The varnish composition for pattern formation according to any one of claims 1 to 9, wherein the organic solvent (S) comprises one or more selected from the group consisting of N-methyl-2-pyrrolidone, N,N-dimethylacetamide, N,N-diethylacetamide, N,N-dimethylformamide, N,N- diethylformamide , N-methylcaprolactam, N, N, N ',N'-tetramethylurea, cyclopentanone, and cyclohexanone. 光開始剤(C)を含む、請求項10のいずれか1項に記載のパターン形成用ワニス組成物。 The pattern-forming varnish composition according to any one of claims 1 to 10 , further comprising a photoinitiator (C). 請求項11のいずれか1項に記載のパターン形成用ワニス組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成する塗布工程と、
前記塗布膜から前記有機溶媒(S)の少なくとも一部を除去する、有機溶媒除去工程と、
を含む、ポリイミド膜の製造方法。
A coating step of coating a substrate with the varnish composition for pattern formation according to any one of claims 1 to 11 to form a coating film;
an organic solvent removing step of removing at least a part of the organic solvent (S) from the coating film;
A method for producing a polyimide film, comprising:
請求項11に記載のパターン形成用ワニス組成物を基板上に塗布して塗布膜を形成する塗布工程と、
前記塗布膜から前記有機溶媒(S)の少なくとも一部を除去する、有機溶媒除去工程と、
前記有機溶媒(S)の少なくとも一部を除去された前記塗布膜に対して、露光、及び現像を行う、パターニング工程と、
を含む、パターン化されたポリイミド膜の製造方法。
A coating step of applying the varnish composition for pattern formation according to claim 11 onto a substrate to form a coating film;
an organic solvent removing step of removing at least a part of the organic solvent (S) from the coating film;
a patterning step of exposing and developing the coating film from which at least a portion of the organic solvent (S) has been removed;
A method for producing a patterned polyimide film, comprising:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20250321481A1 (en) * 2022-06-02 2025-10-16 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. Photosensitive resin composition
JP2025041542A (en) * 2023-09-13 2025-03-26 荒川化学工業株式会社 (Meth)acryloyl group-containing polyimide, photosensitive composition, cured product and article
WO2025079919A1 (en) * 2023-10-10 2025-04-17 주식회사 엘지화학 Photosensitive resin precursor composition, photosensitive resin composition, insulating film, and semiconductor device
TW202600620A (en) * 2024-01-31 2026-01-01 日商富士軟片股份有限公司 Resin composition, cured material, laminate, method for manufacturing cured material, method for manufacturing laminate, method for manufacturing semiconductor device, and semiconductor device.
WO2026071165A1 (en) * 2024-09-30 2026-04-02 富士フイルム株式会社 Resin composition, cured product, layered product, method for producing cured product, method for producing layered product, method for producing semiconductor device, semiconductor device, and polyimide
WO2026070763A1 (en) * 2024-09-30 2026-04-02 富士フイルム株式会社 Resin composition, cured product, laminate, method for producing cured product, method for producing laminate, method for producing semiconductor device, and semiconductor device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000273303A (en) 1999-03-25 2000-10-03 Sumitomo Bakelite Co Ltd Resin composition
JP2006119513A (en) 2004-10-25 2006-05-11 Kaneka Corp Photosensitive resin composition and photosensitive dry film resist, and printed wiring board using same
JP2008050401A (en) 2006-08-22 2008-03-06 Shin Etsu Chem Co Ltd Photosensitive polyimide resin soluble in alkaline aqueous solution, composition containing the resin, and film obtained from the composition
CN109485851A (en) 2018-11-06 2019-03-19 中国科学院兰州化学物理研究所 A kind of preparation method and applications of 3D printing photocurable polyimide ink
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Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000273303A (en) 1999-03-25 2000-10-03 Sumitomo Bakelite Co Ltd Resin composition
JP2006119513A (en) 2004-10-25 2006-05-11 Kaneka Corp Photosensitive resin composition and photosensitive dry film resist, and printed wiring board using same
JP2008050401A (en) 2006-08-22 2008-03-06 Shin Etsu Chem Co Ltd Photosensitive polyimide resin soluble in alkaline aqueous solution, composition containing the resin, and film obtained from the composition
CN109485851A (en) 2018-11-06 2019-03-19 中国科学院兰州化学物理研究所 A kind of preparation method and applications of 3D printing photocurable polyimide ink
WO2021070623A1 (en) 2019-10-11 2021-04-15 積水化学工業株式会社 Adhesive composition, adhesive tape, and method for producing electronic component

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