JP7706891B2 - Vibration Device - Google Patents
Vibration Device Download PDFInfo
- Publication number
- JP7706891B2 JP7706891B2 JP2021011889A JP2021011889A JP7706891B2 JP 7706891 B2 JP7706891 B2 JP 7706891B2 JP 2021011889 A JP2021011889 A JP 2021011889A JP 2021011889 A JP2021011889 A JP 2021011889A JP 7706891 B2 JP7706891 B2 JP 7706891B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- viewed
- piezoelectric
- vibration plate
- diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Description
本発明は、振動デバイスに関する。 The present invention relates to a vibration device.
振動デバイスは、圧電素子と、圧電素子が配置された振動板と、を備えている（例えば、特許文献１参照）。 The vibration device includes a piezoelectric element and a vibration plate on which the piezoelectric element is arranged (see, for example, Patent Document 1).
本発明の一側面は、所望する特性が得られる振動デバイスを提供することを目的とする。 One aspect of the present invention aims to provide a vibration device that can achieve desired characteristics.
本発明の一側面に係る振動デバイスは、素体と、素体内に配置された内部電極と、内部電極と接続された外部電極と、を有する圧電素子と、互いに対向している第一主面及び第二主面を有していると共に可撓性を有しており、圧電素子が配置されている振動板と、を備え、振動板は、第一主面と第二主面との対向方向から見たときの第一方向に沿った曲げに対する第一曲げ弾性率と、第一方向に交差する第二方向に沿った曲げに対する第二曲げ弾性率とが異なる。 A vibration device according to one aspect of the present invention comprises a base body, a piezoelectric element having an internal electrode disposed within the base body and an external electrode connected to the internal electrode, and a vibration plate having a first principal surface and a second principal surface opposed to each other, being flexible and on which the piezoelectric element is disposed, the vibration plate having a first bending elastic modulus with respect to bending along a first direction when viewed from the opposing direction of the first principal surface and the second principal surface, which is different from a second bending elastic modulus with respect to bending along a second direction intersecting the first direction.
本発明の一側面に係る振動デバイスでは、圧電素子が配置される振動板の曲げ弾性率が第一方向と第二方向とにおいて異なっている。そのため、振動デバイスでは、振動板に対する圧電素子の配置方向（位置）を変えることにより、圧電素子の変位に対しての振動板における増幅率、変位量などが変化するため、得られる特性（歪みなど）が異なる。したがって、振動デバイスでは、所望する特性が得られる。 In a vibration device according to one aspect of the present invention, the bending elastic modulus of the vibration plate on which the piezoelectric element is arranged differs between a first direction and a second direction. Therefore, in the vibration device, by changing the arrangement direction (position) of the piezoelectric element relative to the vibration plate, the amplification factor and the amount of displacement in the vibration plate relative to the displacement of the piezoelectric element change, and the resulting characteristics (distortion, etc.) differ. Therefore, the vibration device can obtain the desired characteristics.
一実施形態においては、振動板は、フィラーを含んだ樹脂で形成されており、フィラーの長手方向が第一方向又は第二方向に沿っていてもよい。この構成では、フィラーの配向方向によって振動板の曲げ弾性率が異なるため、第一方向と第二方向とにおいて曲げ弾性率が異なる振動板とすることができる。 In one embodiment, the diaphragm is formed of a resin containing a filler, and the longitudinal direction of the filler may be along the first direction or the second direction. In this configuration, the bending modulus of the diaphragm differs depending on the orientation direction of the filler, so that the diaphragm can have a bending modulus that differs between the first direction and the second direction.
一実施形態においては、素体は、直方体形状を呈しており、振動板では、第一曲げ弾性率が第二曲げ弾性率よりも高く、圧電素子は、対向方向から見て、素体の長手方向が第二方向に沿うように振動板に配置されていてもよい。この構成では、振動板は、第一方向に沿って曲がり（撓み）難く、第二方向に沿って曲がり（撓み）易い。この構成において、圧電素子の素体の長手方向が第二方向に沿うように圧電素子を振動板に配置することにより、振動板の過度な撓みを抑えつつ、圧電素子の変位を振動板に伝えることができる。 In one embodiment, the base body has a rectangular parallelepiped shape, the diaphragm has a first bending modulus higher than the second bending modulus, and the piezoelectric element may be arranged on the diaphragm such that the longitudinal direction of the base body is along the second direction when viewed from the opposing direction. In this configuration, the diaphragm is difficult to bend (flex) along the first direction and easy to bend (flex) along the second direction. In this configuration, by arranging the piezoelectric element on the diaphragm such that the longitudinal direction of the base body of the piezoelectric element is along the second direction, it is possible to transmit the displacement of the piezoelectric element to the diaphragm while suppressing excessive flexure of the diaphragm.
一実施形態においては、素体は、直方体形状を呈しており、振動板では、第一曲げ弾性率が第二曲げ弾性率よりも高く、圧電素子は、対向方向から見て、素体の長手方向が第一方向に沿うように振動板に配置されていてもよい。この構成では、振動板は、第一方向に沿って曲がり（撓み）難く、第二方向に沿って曲がり（撓み）易い。この構成において、圧電素子の素体の長手方向が第一方向に沿うように圧電素子を振動板に配置することにより、圧電素子の変位を振動板に対して直接的に伝えることができる。 In one embodiment, the base body has a rectangular parallelepiped shape, the diaphragm has a first bending modulus higher than the second bending modulus, and the piezoelectric element may be arranged on the diaphragm such that the longitudinal direction of the base body is along the first direction when viewed from the opposing direction. In this configuration, the diaphragm is less likely to bend (flex) along the first direction and more likely to bend (flex) along the second direction. In this configuration, by arranging the piezoelectric element on the diaphragm such that the longitudinal direction of the base body of the piezoelectric element is along the first direction, the displacement of the piezoelectric element can be directly transmitted to the diaphragm.
一実施形態においては、素体は、立方体形状を呈しており、振動板では、第一曲げ弾性率が第二曲げ弾性率よりも高く、圧電素子は、対向方向から見て、素体の各辺が第一方向又は第二方向に沿うように振動板に配置されていてもよい。この構成では、振動板の過度な撓みを抑えつつ、圧電素子の変位を振動板に直接的に伝えることができる。 In one embodiment, the element has a cubic shape, the diaphragm has a first bending elastic modulus higher than the second bending elastic modulus, and the piezoelectric element may be arranged on the diaphragm such that each side of the element is aligned along the first direction or the second direction when viewed from the opposing direction. In this configuration, the displacement of the piezoelectric element can be directly transmitted to the diaphragm while suppressing excessive deflection of the diaphragm.
一実施形態においては、素体は、直方体形状を呈しており、振動板では、第一曲げ弾性率が第二曲げ弾性率よりも高く、圧電素子は、対向方向から見て、素体の長手方向が第一方向及び第二方向に交差するように振動板に配置されていてもよい。 In one embodiment, the base body has a rectangular parallelepiped shape, the diaphragm has a first bending elastic modulus higher than the second bending elastic modulus, and the piezoelectric element may be arranged on the diaphragm such that the longitudinal direction of the base body intersects with the first direction and the second direction when viewed from the opposing direction.
一実施形態においては、素体は、立方体形状を呈しており、振動板では、第一曲げ弾性率が第二曲げ弾性率よりも高く、圧電素子は、対向方向から見て、素体の各辺が第一方向及び第二方向に交差するように振動板に配置されていてもよい。 In one embodiment, the base body has a cubic shape, the diaphragm has a first bending elastic modulus higher than the second bending elastic modulus, and the piezoelectric element may be arranged on the diaphragm such that each side of the base body intersects with the first direction and the second direction when viewed from the opposing direction.
本発明の一側面によれば、所望する特性が得られる。 According to one aspect of the present invention, desired characteristics can be obtained.
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。 A preferred embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to the attached drawings. In the description of the drawings, the same or corresponding elements are given the same reference numerals, and duplicate descriptions will be omitted.
図１は、一実施形態に係る振動デバイスを示す斜視図である。図２は、振動デバイスの分解斜視図である。図３は、振動デバイスの平面図である。図１、図２及び図３に示されるように、振動デバイス１は、圧電素子３と、振動板５と、を備えている。振動デバイス１は、たとえば、スピーカー、又は、ブザーとして用いられる音響デバイスである。振動デバイス１では、圧電素子３に配線部材５０が接続される。配線部材５０は、たとえば、フレキシブルプリント基板（ＦＰＣ）又はフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）である。配線部材５０は、後述する外部電極１３，１４，１５と電気的に接続される。
Fig. 1 is a perspective view showing a vibration device according to one embodiment. Fig. 2 is an exploded perspective view of the vibration device. Fig. 3 is a plan view of the vibration device. As shown in Figs. 1, 2, and 3, the vibration device 1 includes a
圧電素子３は、バイモルフ型であり、圧電素体１１と、複数の外部電極１３，１４，１５と、を有している。本実施形態では、圧電素子３は、三つの外部電極１３，１４，１５を有している。
The
圧電素体１１は、直方体形状を呈している。圧電素体１１は、互いに対向している一対の主面１１ａ，１１ｂ（第１主面及び第２主面）、互いに対向している一対の側面１１ｃ、互いに対向している一対の側面１１ｅを有している。直方体形状には、たとえば、角部及び稜線部が面取りされている直方体の形状、及び、角部及び稜線部が丸められている直方体の形状が含まれる。一対の側面１１ｃが対向している方向は、第一方向Ｄ１である。第一方向Ｄ１は、各側面１１ｅに直交する方向でもある。一対の側面１１ｃが対向している方向は、第二方向Ｄ２である。第二方向Ｄ２は、各側面１１ｃに直交する方向でもある。一対の主面１１ａ，１１ｂが対向している方向は、第三方向Ｄ３である。第三方向Ｄ３は、各主面１１ａ，１１ｂに直交する方向でもある。
The
各主面１１ａ，１１ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有している。各主面１１ａ，１１ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、圧電素子３（圧電素体１１）は、平面視で、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。長方形状には、たとえば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。本実施形態では、主面１１ａ，１１ｂの長辺方向は、第一方向Ｄ１と一致する。主面１１ａ，１１ｂの短辺方向は、第二方向Ｄ２方向と一致する。
Each of the
一対の側面１１ｃは、一対の主面１１ａ，１１ｂを連結するように第三方向Ｄ３に延在している。一対の側面１１ｃは、第二方向Ｄ２にも延在している。一対の側面１１ｅは、一対の主面１１ａ，１１ｂを連結するように第三方向Ｄ３に延在している。一対の側面１１ｅは、第一方向Ｄ１にも延在している。圧電素体１１の第一方向Ｄ１での長さは、たとえば、２０ｍｍである。圧電素体１１の第二方向Ｄ２での長さは、たとえば、１０ｍｍである。圧電素体１１の第三方向Ｄ３での長さは、たとえば、０．２５ｍｍである。各主面１１ａ，１１ｂと各側面１１ｃ，１１ｅとは、間接的に隣り合っていてもよい。この場合、各主面１１ａ，１１ｂと各側面１１ｃ，１１ｅとの間には、稜線部が位置する。
The pair of
圧電素体１１では、図４及び図５に示されるように、複数の圧電体層１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆが第三方向Ｄ３に積層されている。圧電体層１７ａは、主面１１ａを有している。圧電体層１８ｆは、主面１１ｂを有している。圧電体層１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅは、圧電体層１７ａと圧電体層１８ｆとの間に位置している。圧電体層１７ｂ，１７ｄ，１８ｂ，１８ｄ，１８ｆの分極の向きは、圧電体層１７ａ，１７ｃ，１８ａ，１８ｃ，１８ｅの分極の向きと反対である。すなわち、圧電素体１１では、第三方向Ｄ３において、分極の向きが反対の圧電体層が交互に配置されている。本実施形態では、圧電体層１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆの厚さは同じである。「同じ」には、製造誤差の範囲が含まれている。
In the
各圧電体層１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆは、圧電材料からなる。本実施形態では、各圧電体層１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆは、圧電セラミック材料からなる。圧電セラミック材料には、たとえば、ＰＺＴ［Ｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３］、ＰＴ（ＰｂＴｉＯ３）、ＰＬＺＴ［（Ｐｂ，Ｌａ）（Ｚｒ、Ｔｉ）Ｏ３］、又はチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）が用いられる。各圧電体層１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆは、たとえば、上述した圧電セラミック材料を含むセラミックグリーンシートの焼結体から構成される。実際の圧電素体１１では、各圧電体層１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆは、各圧電体層１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅ，１８ｆの間の境界が認識できない程度に一体化されている。
Each of the
各外部電極１３，１４，１５は、主面１１ａ上に配置されている。外部電極１３，１４，１５は、外部電極１３、外部電極１４、外部電極１５の順で第一方向Ｄ１に並んでいる。外部電極１３と外部電極１４とは、第一方向Ｄ１で隣り合っている。外部電極１４と外部電極１５とは、第一方向Ｄ１で隣り合っている。第一方向Ｄ１において、外部電極１４と外部電極１５との最短距離は、外部電極１３と外部電極１４との最短距離よりも長い。各外部電極１３，１４，１５は、第三方向Ｄ３から見て、主面１１ａの全ての縁（四辺）から離間している。
Each of the
各外部電極１３，１４は、第三方向Ｄ３から見て、長方形状を呈している。長方形状には、たとえば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。本実施形態では、長方形状の各角が丸められている。外部電極１５は、第三方向Ｄ３から見て、正方形状を呈している。正方形状には、たとえば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。本実施形態では、正方形状の各角が丸められている。各外部電極１３，１４，１５は、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、又はＡｇ－Ｐｄ合金が用いられる。各外部電極１３，１４，１５は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。
Each of the
圧電素子３は、図４及び図５に示されるように、圧電素体１１内に配置されている複数の内部電極２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９を備えている。各内部電極２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９は、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、又はＡｇ－Ｐｄ合金が用いられる。各内部電極２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。本実施形態では、各内部電極２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９の外形形状は、長方形状を呈している。長方形状には、たとえば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。
As shown in Figs. 4 and 5, the
各内部電極２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９は、第三方向Ｄ３において異なる位置（層）に配置されている。内部電極２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９の各々は、互いに、第三方向Ｄ３に間隔を有して対向している。各内部電極２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９は、圧電素体１１の表面には露出していない。すなわち、各内部電極２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９は、各側面１１ｃ，１１ｅには露出していない。各内部電極２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９は、第三方向Ｄ３から見て、主面１１ａ，１１ｂの全ての縁（四辺）から離間している。
The
内部電極２１は、圧電体層１７ａと圧電体層１７ｂとの間に位置している。内部電極２２は、圧電体層１７ｂと圧電体層１７ｃとの間に位置している。内部電極２３は、圧電体層１７ｃと圧電体層１７ｄとの間に位置している。内部電極２４は、圧電体層１７ｄと圧電体層１８ａとの間に位置している。内部電極２５は、圧電体層１８ａと圧電体層１８ｂとの間に位置している。内部電極２６は、圧電体層１８ｂと圧電体層１８ｃとの間に位置している。内部電極２７は、圧電体層１８ｃと圧電体層１８ｄとの間に位置している。内部電極２８は、圧電体層１８ｄと圧電体層１８ｅとの間に位置している。内部電極２９は、圧電体層１８ｅと圧電体層１８ｆとの間に位置している。
The
外部電極１３は、内部電極２１と内部電極２３と複数の接続導体３３とに複数のビア導体４３を通して電気的に接続されている。複数の接続導体３３は、それぞれ、内部電極２２，２４，２５，２６，２７，２８，２９と同じ層に位置している。具体的には、各接続導体３３は、各内部電極２２，２４，２５，２６，２７，２８，２９に形成された開口内に位置している。各開口は、第三方向Ｄ３から見て、外部電極１３に対応する位置に形成されている。すなわち、各接続導体３３は、第三方向Ｄ３から見て、各内部電極２２，２４，２５，２６，２７，２８，２９に囲まれている。各接続導体３３は、各内部電極２２，２４，２５，２６，２７，２８，２９と離間している。
The
各接続導体３３は、第三方向Ｄ３において外部電極１３と対向しており、第三方向Ｄ３から見て外部電極１３と重なる位置に配置されている。各接続導体３３は、第三方向Ｄ３において内部電極２１，２３と対向しており、第三方向Ｄ３から見て内部電極２１，２３と重なる位置に配置されている。複数のビア導体４３は、それぞれ、外部電極１３と内部電極２１と内部電極２３と複数の接続導体３３との間に位置しており、第三方向Ｄ３から見て外部電極１３と重なる位置に配置されている。複数のビア導体４３は、それぞれ、第三方向Ｄ３において、対応する圧電体層１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅを貫通している。
Each connecting
外部電極１４は、内部電極２５と内部電極２７と内部電極２９と複数の接続導体３４とに複数のビア導体４４を通して電気的に接続されている。複数の接続導体３４は、それぞれ、内部電極２１，２２，２３，２４，２６，２８と同じ層に位置している。具体的には、各接続導体３４は、各内部電極２１，２２，２３，２４，２６，２８に形成された開口内に位置している。各開口は、第三方向Ｄ３から見て、外部電極１４に対応する位置に形成されている。すなわち、各接続導体３４は、第三方向Ｄ３から見て、各内部電極２１，２２，２３，２４，２６，２８に囲まれている。各接続導体３４は、各内部電極２１，２２，２３，２４，２６，２８と離間している。各接続導体３４は、各接続導体３３と離間している。
The
内部電極２２と同じ層に位置している接続導体３３と接続導体３４は、同じ開口内に隣り合って位置している。内部電極２４と同じ層に位置している接続導体３３と接続導体３４は、同じ開口内に隣り合って位置している。内部電極２６と同じ層に位置している接続導体３３と接続導体３４は、同じ開口内で隣り合って位置している。内部電極２８と同じ層に位置している接続導体３３と接続導体３４は、同じ開口内で隣り合って位置している。
The
各接続導体３４は、第三方向Ｄ３において外部電極１４と対向しており、第三方向Ｄ３から見て外部電極１４と重なる位置に配置されている。各接続導体３４は、第三方向Ｄ３において内部電極２５，２７，２９と対向しており、第三方向Ｄ３から見て内部電極２５，２７，２９と重なる位置に配置されている。複数のビア導体４４は、それぞれ、外部電極１４と内部電極２５と内部電極２７と内部電極２９と複数の接続導体３４との間に位置しており、第三方向Ｄ３から見て外部電極１４と重なる位置に配置されている。複数のビア導体４４は、それぞれ、第三方向Ｄ３において、対応する圧電体層１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅを貫通している。
Each connecting
外部電極１５は、内部電極２２と内部電極２４と内部電極２６と内部電極２８と複数の接続導体３５とに複数のビア導体４５を通して電気的に接続されている。複数の接続導体３５は、それぞれ、内部電極２１，２３，２５，２７，２９と同じ層に位置している。具体的には、各接続導体３５は、各内部電極２１，２３，２５，２７，２９に形成された開口内に位置している。各開口は、第三方向Ｄ３から見て、外部電極１５に対応する位置に形成されている。すなわち、各接続導体３５の全縁は、第三方向Ｄ３から見て、各内部電極２１，２３，２５，２７，２９に囲まれている。各開口は、第三方向Ｄ３から見て、外部電極１５に対応する位置に形成されている。
The
各接続導体３５は、第三方向Ｄ３において外部電極１５と対向しており、第三方向Ｄ３から見て外部電極１５と重なる位置に配置されている。各接続導体３５は、第三方向Ｄ３において内部電極２２，２４，２６、２８と対向しており、第三方向Ｄ３から見て内部電極２２，２４，２６、２８と重なる位置に配置されている。複数のビア導体４５は、それぞれ、外部電極１５と内部電極２２と内部電極２４と内部電極２６と内部電極２８と複数の接続導体３５との間に位置しており、第三方向Ｄ３から見て外部電極１５と重なる位置に配置されている。複数のビア導体４５は、それぞれ、第三方向Ｄ３において、対応する圧電体層１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅを貫通している。
Each connecting
各接続導体３３，３４は、第三方向Ｄ３から見て、長方形状を呈している。長方形状には、たとえば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。本実施形態では、長方形状の各角が丸められている。各接続導体３５は、第三方向Ｄ３から見て、正方形状を呈している。正方形状には、たとえば、各角が面取りされている形状、及び、各角が丸められている形状が含まれる。本実施形態では、正方形状の各角が丸められている。
Each of the
接続導体３３，３４，３５及びビア導体４３，４４，４５は、導電性材料からなる。導電性材料には、たとえば、Ａｇ、Ｐｄ、Ｐｔ、又はＡｇ－Ｐｄ合金が用いられる。接続導体３３，３４，３５及びビア導体４３，４４，４５は、たとえば、上記導電性材料を含む導電性ペーストの焼結体として構成されている。ビア導体４３，４４，４５は、対応する圧電体層１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ，１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅを形成するためのセラミックグリーンシートに形成された貫通孔に充填された導電性ペーストが焼結することにより形成される。
The
圧電素体１１の主面１１ｂには、内部電極２１，２３と電気的に接続されている導体と、内部電極２５，２７，２９と電気的に接続されている導体と、内部電極２２，２４，２６，２８と電気的に接続されている導体は、配置されていない。本実施形態では、主面１１ｂを第三方向Ｄ３から見たとき、主面１１ｂの全体が露出している。主面１１ａ，１１ｂは、自然面である。自然面とは、焼成により成長した結晶粒の表面により構成される面である。
On the
圧電素体１１の各側面１１ｃ，１１ｅにも、内部電極２１，２３と電気的に接続されている導体と、内部電極２５，２７，２９と電気的に接続されている導体と、内部電極２２，２４，２６，２８と電気的に接続されている導体は、配置されていない。本実施形態では、各側面１１ｃを第二方向Ｄ２から見たとき、各側面１１ｃの全体が露出している。各側面１１ｅを第一方向Ｄ１から見たとき、各側面１１ｅの全体が露出している。本実施形態では、各側面１１ｃ，１１ｅも、自然面である。
On each
複数の圧電体層１７ｂ，１７ｃ，１７ｄにおいて、外部電極１３に接続されている内部電極２１，２３と外部電極１５に接続されている内部電極２２，２４とに挟まれている領域は、圧電的に活性な第１活性領域１９を構成する。複数の圧電体層１８ａ，１８ｂ，１８ｃ，１８ｄ，１８ｅにおいて、外部電極１４に接続されている内部電極２５，２７，２９と外部電極１５に接続されている内部電極２４，２６，２８とに挟まれている領域は、圧電的に活性な第２活性領域２０を構成する。第１活性領域１９と第２活性領域２０は、主面１１ａと主面１１ｂとの間に配置されている。第２活性領域２０は、第１活性領域１９よりも主面１１ｂ側に配置されている。第１活性領域１９及び第２活性領域２０は、少なくとも１つの圧電体層によって構成される。
In the plurality of
本実施形態では、第１活性領域１９及び第２活性領域２０は、第三方向Ｄ３から見て、複数の外部電極１３，１４，１５を囲むように位置している。第１活性領域１９及び第２活性領域２０は、第三方向Ｄ３から見て外部電極１４と外部電極１５との間に位置している領域、及び、第一方向Ｄ１から見て外部電極１３，１４，１５が位置している領域の外側の領域を含んでいる。
In this embodiment, the first
圧電素子３では、第三方向Ｄ３において、圧電体層、外部電極１３に接続されている内部電極、圧電体層、外部電極１５に接続されている内部電極の順で構成されたパターンＰ１が、繰り返し配置されている。圧電素子３では、パターンＰ１に続いて、第三方向Ｄ３において、圧電体層、外部電極１４に接続されている内部電極、圧電体層、外部電極１５に接続されている内部電極の順で構成されたパターンＰ２が繰り返し配置されている。
In the
圧電素子３における第１活性領域１９及び第２活性領域２０に電界が印加された場合の動作について説明する。
The following describes the operation when an electric field is applied to the first
外部電極１３と外部電極１４とには、極性が異なる電圧が印加される。外部電極１５には、外部電極１３，１４に印加されるような電圧は印加されない。外部電極１５は、グラウンド電極として機能する。外部電極１３に上述した電圧が印加されると、内部電極２１と内部電極２２との間、内部電極２２と内部電極２３との間、内部電極２３と内部電極２４との間で電界が発生する。内部電極２１，２３と内部電極２２，２４との間で電界が発生すると、第１活性領域１９に電界が印加され、当該電界に応じて第１活性領域１９で力が発生する。この結果、当該力に応じた変位量だけ、第１活性領域１９が変位する。
Voltages of opposite polarity are applied to the
外部電極１４に上述した電圧が印加されると、内部電極２４と内部電極２５の間、内部電極２５と内部電極２６との間、内部電極２６と内部電極２７との間、内部電極２７と内部電極２８との間、内部電極２８と内部電極２９との間で電界が発生する。内部電極２５，２７，２９と内部電極２４，２６，２８との間で電界が発生すると、第２活性領域２０に電界が印加され、当該電界に応じて第２活性領域２０で力が発生する。この結果、当該力に応じた変位量だけ、第２活性領域２０が変位する。この際、第１活性領域１９と第２活性領域２０とは、互いに逆方向に変位する。このため、外部電極１３，１４に電圧が印加されると、圧電素子３に撓みが生じる。
When the above-mentioned voltage is applied to the
圧電素子３では、外部電極１３，１４に交流電圧が印加されると、第１活性領域１９及び第２活性領域２０は、印加された交流電圧の周波数に応じて伸縮を繰り返す。このため、第１活性領域１９と第２活性領域２０とは互いに逆方向に伸縮し、圧電素子３が撓み振動する。圧電素子３と振動板５とは接合されている。したがって、振動板５では、圧電素子３における撓み振動に応じて、圧電素子３と一体に撓み振動が生じる。
When an AC voltage is applied to the
図１、図２又は図３に示されるように、振動板５は、互いに対向している主面（第一主面）５ａ及び主面（第二主面）５ｂを有している。本実施形態では、振動板５は、板状の部材である。振動板５は、樹脂で形成されている。振動板５は、フィラーを含んだ樹脂で形成されている。フィラーは、長手方向を有しており、たとえば、ガラス繊維、炭素繊維等であってもよい。振動板５は、たとえば、液晶ポリマー（ＬＰＣ：Liquid Crystal Polymer）で形成されている。各主面５ａ，５ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有している。各主面５ａ，５ｂは、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。すなわち、振動板５は、平面視で、一対の長辺と一対の短辺とを有する長方形状を呈している。本実施形態では、主面５ａ，５ｂの長辺方向は、第二方向Ｄ２と一致する。主面５ａ，５ｂの短辺方向は、第一方向Ｄ１方向と一致する。振動板５の第三方向Ｄ３での長さ（厚さ）は、たとえば、１．０ｍｍである。
1, 2 or 3, the
振動板５は、可撓性を有している。振動板５は、異方屈曲性を有している。振動板５は、主面５ａと主面５ｂとの対向方向（第三方向Ｄ３）から見て、第一方向Ｄ１に沿った曲げに対する第一曲げ弾性率（ヤング率）と、第一方向Ｄ１に交差する第二方向Ｄ２に沿った曲げに対する第二曲げ弾性率とが異なる。すなわち、振動板５は、第一方向Ｄ１に沿って振動板５を曲げたときの第一曲げ弾性率と、第二方向Ｄ２に沿って振動板を曲げたときの第二曲げ弾性率とが異なる。振動板５は、第一方向Ｄ１に沿って曲げたときの曲げ強度（曲げ剛性）と、第二方向のＤ２に沿って振動板５を曲げたときの曲げ強度とが異なるとも言える。本実施形態では、振動板５では、第一曲げ弾性率は、第二曲げ弾性率よりも高い。言い換えれば、振動板５では、第二曲げ弾性率は、第一曲げ弾性率よりも低い。つまり、振動板５は、第二方向Ｄ２に沿って曲げた場合の方が、第一方向Ｄ１に沿って曲げた場合よりも曲がり（撓み）易い。言い換えれば、振動板５は、第一方向Ｄ１に沿って曲げた場合の方が、第二方向Ｄ２に沿って曲げた場合よりも曲がり難い。振動板５では、フィラーは、その長手方向が第二方向Ｄ２に沿うように配列されている。
The
図６（ａ）は、振動板５を第一方向Ｄ１に沿って折り曲げたときの振動板５の状態を示す図である。図６（ｂ）は、振動板５を第二方向Ｄ２に沿って折り曲げたときの振動板５の状態を示す図である。図６（ａ）及び図６（ｂ）に示されるように、振動板５は、振動板５に対して同じ条件（温度等）で同じ力を加えた場合、第一方向Ｄ１に沿っている場合よりも、第二方向Ｄ２に沿っている場合の方が屈曲する（撓む）。
Figure 6(a) is a diagram showing the state of the
図２に示されるように、接合部材７は、圧電素子３と振動板５とを接合している。接合部材７は、たとえば、長方形状を呈している。接合部材７の外形は、圧電素子３の主面１１ｂの外形と同じ寸法を有している。接合部材７の第一方向Ｄ１での長さ（厚さ）は、たとえば、０．２ｍｍである。接合部材７を介して、圧電素体１１の主面１１ｂと振動板５の主面５ａとが互いに対向している。接合部材７は、主面１１ｂと主面５ａとの間に位置している。主面１１ｂと主面５ａとが、接合部材７によって接合されている。接合部材７は、たとえば、両面テープである。
2, the
上述のように、圧電素子３では、外部電極１３，１４に交流電圧が印加されると、第１活性領域１９及び第２活性領域２０は、印加された交流電圧の周波数に応じて伸縮を繰り返す。このため、第１活性領域１９と第２活性領域２０とは互いに逆方向に伸縮し、圧電素子３が撓み振動する。本実施形態では、図３に示されるように、このような振動を発生する圧電素子３は、圧電素体１１の長手方向（一対の側面１１ｅの対向方向）が振動板５の第二方向Ｄ２に沿うように、振動板５の主面５ａに配置されている。
As described above, in the
以上説明したように、本実施形態に係る振動デバイス１では、振動板５の曲げ弾性率が第一方向Ｄ１と第二方向Ｄ２とにおいて異なっている。そのため、振動デバイス１では、振動板５に対する圧電素子３の配置方向（位置）を変えることにより、圧電素子３の変位（撓み振動）に対しての振動板５における増幅率、変位量等が変化するため、得られる特性（歪みなど）が異なる。したがって、振動デバイス１では、所望する特性が得られる。
As described above, in the vibration device 1 according to this embodiment, the bending elastic modulus of the
本実施形態に係る振動デバイス１では、圧電素体１１は、直方体形状を呈している。振動板５では、第一曲げ弾性率が第二曲げ弾性率よりも高い。すなわち、振動板５は、第一方向Ｄ１に沿って曲げた場合の方が、第二方向Ｄ２に沿って曲げた場合よりも曲がり（撓み）難い。この構成において、圧電素子３は、第三方向Ｄ３から見て、圧電素体１１の長手方向が第二方向Ｄ２に沿うように振動板５に配置されていている。この構成では、圧電素子３の圧電素体１１の長手方向が第二方向Ｄ２に沿うように圧電素子３を振動板５に配置することにより、振動板５の過度な撓みを抑えつつ、圧電素子３の変位を振動板に伝えることができる。これにより、振動デバイス１が音響デバイスである場合、周波数変化による音圧の強弱の変化が抑制され、音質がシャープになり得る。
In the vibration device 1 according to this embodiment, the
本実施形態に係る振動デバイス１では、振動板５は、フィラーを含んだ樹脂で形成されており、フィラーの長手方向が第二方向Ｄ２に沿っている。この構成では、フィラーの配向方向によって振動板５の曲げ弾性率が異なるため、第一方向Ｄ１と第二方向Ｄ２とにおいて曲げ弾性率が異なる振動板５とすることができる。
In the vibration device 1 according to this embodiment, the
以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not necessarily limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible without departing from the spirit of the present invention.
上記実施形態では、圧電素子３は、第三方向Ｄ３から見て、圧電素体１１の長手方向が第二方向Ｄ２に沿うように振動板５に配置されていている形態を一例に説明した。しかし、図７に示されるように、圧電素子３は、第三方向Ｄ３から見て、圧電素体１１の長手方向が第一方向Ｄ１に沿うように振動板５に配置されていてもよい。この構成では、圧電素子３の変位を振動板５に対して直接的に伝えることができる。これにより、振動デバイス１が音響デバイスである場合、最大音圧を向上されることができると共に、位相のずれを抑制できるため歪みを抑制できる。
In the above embodiment, an example was described in which the
上記実施形態では、圧電素子３の圧電素体１１が、直方体形状である形態を一例に説明した。しかし、図８に示されるように、圧電素子３Ａの圧電素体１１Ａは、立方体形状を呈していてもよい。圧電素子３Ａは、第三方向Ｄ３から見て、圧電素体１１Ａの各辺が第一方向Ｄ１又は第二方向Ｄ２に沿うように振動板５に配置されている。この構成では、振動板５の過度な撓みを抑えつつ、圧電素子３の変位を振動板に直接的に伝えることができる。これにより、振動デバイス１が音響デバイスである場合、第一方向Ｄ１と第二方向Ｄ２とにおいて共振周波数が異なるため、音圧のピークが分散し、周波数の変化による音圧の強弱の変化が抑制され、かつ、位相のずれを抑制できるため歪みを抑制できる。
In the above embodiment, the
上記実施形態では、振動板５は、第一方向Ｄ１に沿った曲げに対する第一曲げ弾性率（ヤング率）と、第一方向Ｄ１に交差する第二方向Ｄ２に沿った曲げに対する第二曲げ弾性率とが異なる形態を一例に説明した。しかし、図９及び図１０に示されるように、振動板５Ａは、第三方向Ｄ３から見たときの第一方向（図９，１０の実線の矢印方向）に沿った曲げに対する第一曲げ弾性率と、第一方向に交差する第二方向（図９，１０の破線の矢印方向）に沿った曲げに対する第二曲げ弾性率とが異なってもよい。この構成において、圧電素子３は、第三方向Ｄ３から見て、圧電素体１１の長手方向が第一方向及び第二方向に交差するように振動板５Ａの主面５Ａａに配置されている。
In the above embodiment, the
また、図１１に示されるように、振動板５Ａは、第三方向Ｄ３から見たときの第一方向（図１１の実線の矢印方向）に沿った曲げに対する第一曲げ弾性率と、第一方向に交差する第二方向（図１１の破線の矢印方向）に沿った曲げに対する第二曲げ弾性率とが異なってもよい。この構成において、圧電素子３Ａは、第三方向Ｄ３から見て、圧電素体１１Ａの各辺が第一方向及び第二方向に交差するように振動板５Ａに配置されている。
Also, as shown in FIG. 11, the
上記実施形態では、圧電素子３がバイモルフ型である形態を一例に説明した。しかし、圧電素子３は、たとえば、ユニモルフ型であってもよいし、その他の態様の圧電素子であってもよい。
In the above embodiment, the
上記実施形態では、振動板５が液晶ポリマーで形成されている形態を一例に説明した。しかし、振動板５は、他の樹脂で形成されていてもよい。
In the above embodiment, an example was described in which the
上記実施形態では、振動板５がフィラーを含んだ樹脂で形成されている形態を一例に説明した。しかし、振動板５は、他の態様であってもよい。たとえば、振動板５は、木材であってよい。また、振動板５は、一方向に沿って延在する第一部材と第二部材とが交互に配置されていてもよい。この場合、第一部材と第二部材との硬度が異なっており、それぞれが第一方向Ｄ１又は第二方向Ｄ２に沿って配置されている。これにより、振動板５は、第一方向Ｄ１に沿って曲げたときの第一曲げ弾性率と、第二方向Ｄ２に沿って曲げたときの第二曲げ弾性率とが異なる。
In the above embodiment, the
１…振動デバイス、３，３Ａ…圧電素子、５，５Ａ…振動板、５ａ…主面（第一主面）、５ｂ…主面（第二主面）、１１，１１Ａ…圧電素体、１３，１４，１５…外部電極、２１，２２，２３，２４，２５，２６，２７，２８，２９…内部電極、Ｄ１…第一方向、Ｄ２…第二方向。 1...vibration device, 3, 3A...piezoelectric element, 5, 5A...vibration plate, 5a...principal surface (first principal surface), 5b...principal surface (second principal surface), 11, 11A...piezoelectric body, 13, 14, 15...external electrodes, 21, 22, 23, 24, 25, 26, 27, 28, 29...internal electrodes, D1...first direction, D2...second direction.
Claims (3)
互いに対向している一対の主面を有している素体と、前記素体内に配置された内部電極と、前記内部電極と接続された外部電極と、を有する圧電素子と、
互いに対向している第一主面及び第二主面を有していると共に可撓性を有しており、前記圧電素子が配置されている振動板と、を備え、
前記素体の一対の主面のそれぞれは、一対の前記主面の対向方向から見て、正方形形状を呈しており、
前記振動板では、前記第一主面と前記第二主面との対向方向から見たときの第一方向に沿った曲げに対する第一曲げ弾性率が、前記第一方向に交差する第二方向に沿った曲げに対する第二曲げ弾性率よりも高く、
前記圧電素子は、前記第一主面と前記第二主面との前記対向方向から見て、前記素体の各辺が前記第一方向又は前記第二方向に沿うように前記振動板に配置されている、振動デバイス。 A vibration device that is an acoustic device,
a piezoelectric element including an element body having a pair of main surfaces facing each other, an internal electrode disposed within the element body, and an external electrode connected to the internal electrode;
a vibration plate having a first main surface and a second main surface facing each other and having flexibility, the vibration plate having the piezoelectric element disposed thereon;
each of a pair of main surfaces of the element body has a square shape when viewed from a direction in which the pair of main surfaces face each other;
In the diaphragm, a first bending elastic modulus with respect to bending along a first direction when viewed from a direction in which the first principal surface and the second principal surface face each other is higher than a second bending elastic modulus with respect to bending along a second direction intersecting the first direction,
A vibration device in which the piezoelectric element is arranged on the vibration plate so that each side of the body is aligned along the first direction or the second direction when viewed from the opposing direction between the first main surface and the second main surface.
互いに対向している一対の主面を有している素体と、前記素体内に配置された内部電極と、前記内部電極と接続された外部電極と、を有する圧電素子と、
互いに対向している第一主面及び第二主面を有していると共に可撓性を有しており、前記圧電素子が配置されている振動板と、を備え、
前記素体の一対の主面のそれぞれは、一対の前記主面の対向方向から見て、正方形形状を呈しており、
前記振動板では、前記第一主面と前記第二主面との対向方向から見たときの第一方向に沿った曲げに対する第一曲げ弾性率が、前記第一方向に交差する第二方向に沿った曲げに対する第二曲げ弾性率よりも高く、
前記圧電素子は、前記第一主面と前記第二主面との前記対向方向から見て、前記素体の各辺が前記第一方向及び前記第二方向に交差するように前記振動板に配置されている、振動デバイス。 A vibration device that is an acoustic device,
a piezoelectric element including an element body having a pair of main surfaces facing each other, an internal electrode disposed within the element body, and an external electrode connected to the internal electrode;
a vibration plate having a first main surface and a second main surface facing each other and having flexibility, the vibration plate having the piezoelectric element disposed thereon;
each of a pair of main surfaces of the element body has a square shape when viewed from a direction in which the pair of main surfaces face each other;
In the diaphragm, a first bending elastic modulus with respect to bending along a first direction when viewed from a direction in which the first principal surface and the second principal surface face each other is higher than a second bending elastic modulus with respect to bending along a second direction intersecting the first direction,
A vibration device, wherein the piezoelectric element is arranged on the vibration plate so that each side of the body intersects with the first direction and the second direction when viewed from the opposing direction of the first main surface and the second main surface.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021011889A JP7706891B2 (en) | 2021-01-28 | 2021-01-28 | Vibration Device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021011889A JP7706891B2 (en) | 2021-01-28 | 2021-01-28 | Vibration Device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2022115339A JP2022115339A (en) | 2022-08-09 |
| JP7706891B2 true JP7706891B2 (en) | 2025-07-14 |
Family
ID=82747827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021011889A Active JP7706891B2 (en) | 2021-01-28 | 2021-01-28 | Vibration Device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7706891B2 (en) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007266468A (en) | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Kyocera Corp | Multilayer piezoelectric element |
| WO2012132261A1 (en) | 2011-03-31 | 2012-10-04 | Ｎｅｃカシオモバイルコミュニケーションズ株式会社 | Oscillator and electronic device |
| JP2016086405A (en) | 2014-10-24 | 2016-05-19 | 太陽誘電株式会社 | Electroacoustic conversion device |
| WO2017056819A1 (en) | 2015-09-30 | 2017-04-06 | ヤマハ株式会社 | Sensor unit and musical instrument |
| JP2017069998A (en) | 2015-09-28 | 2017-04-06 | セイコーエプソン株式会社 | Piezoelectric drive device and manufacturing method thereof, motor, robot, and pump |
| JP2017092097A (en) | 2015-11-04 | 2017-05-25 | セイコーエプソン株式会社 | Piezoelectric element, ultrasonic probe, ultrasonic measuring device and manufacturing method of piezoelectric element |
| JP2018046532A (en) | 2016-09-16 | 2018-03-22 | アルパイン株式会社 | Speaker |
| JP2018207660A (en) | 2017-06-02 | 2018-12-27 | Tdk株式会社 | Piezoelectric drive device |
| JP2020191492A (en) | 2019-05-20 | 2020-11-26 | Tdk株式会社 | Vibration device and acoustic device |
-
2021
- 2021-01-28 JP JP2021011889A patent/JP7706891B2/en active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007266468A (en) | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Kyocera Corp | Multilayer piezoelectric element |
| WO2012132261A1 (en) | 2011-03-31 | 2012-10-04 | Ｎｅｃカシオモバイルコミュニケーションズ株式会社 | Oscillator and electronic device |
| JP2016086405A (en) | 2014-10-24 | 2016-05-19 | 太陽誘電株式会社 | Electroacoustic conversion device |
| JP2017069998A (en) | 2015-09-28 | 2017-04-06 | セイコーエプソン株式会社 | Piezoelectric drive device and manufacturing method thereof, motor, robot, and pump |
| WO2017056819A1 (en) | 2015-09-30 | 2017-04-06 | ヤマハ株式会社 | Sensor unit and musical instrument |
| JP2017092097A (en) | 2015-11-04 | 2017-05-25 | セイコーエプソン株式会社 | Piezoelectric element, ultrasonic probe, ultrasonic measuring device and manufacturing method of piezoelectric element |
| JP2018046532A (en) | 2016-09-16 | 2018-03-22 | アルパイン株式会社 | Speaker |
| JP2018207660A (en) | 2017-06-02 | 2018-12-27 | Tdk株式会社 | Piezoelectric drive device |
| JP2020191492A (en) | 2019-05-20 | 2020-11-26 | Tdk株式会社 | Vibration device and acoustic device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2022115339A (en) | 2022-08-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6933054B2 (en) | Vibration device | |
| JP6822380B2 (en) | Vibration device | |
| JP7367494B2 (en) | Fixtures and vibration devices | |
| JP7268477B2 (en) | acoustic device | |
| WO2020100828A1 (en) | Vibration device and electronic device | |
| WO2020153289A1 (en) | Piezoelectric element | |
| JP7706891B2 (en) | Vibration Device | |
| KR101493014B1 (en) | Piezoelectric speaker and electronic device having the same | |
| JP7200796B2 (en) | Piezoelectric element | |
| WO2019167805A1 (en) | Vibration device and piezoelectric element | |
| JP7354575B2 (en) | Piezoelectric elements, vibration devices and electronic equipment | |
| JP7641083B2 (en) | Vibration Device | |
| JP7663415B2 (en) | Acoustic Devices | |
| JP7163592B2 (en) | vibration device | |
| JP2022186216A (en) | acoustic device | |
| JP7415400B2 (en) | Audio devices and speaker equipment | |
| JP2025091027A (en) | Acoustic Devices | |
| JP7405042B2 (en) | vibration device | |
| JP7294006B2 (en) | vibration device | |
| JP2022181587A (en) | vibration device | |
| JP7455533B2 (en) | acoustic device | |
| JP7679320B2 (en) | Piezoelectric Actuator | |
| WO2020100825A1 (en) | Vibration device and electronic device | |
| JP7550066B2 (en) | Vibration Device | |
| JP7671163B2 (en) | Acoustic Devices |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230810 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20240328 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240507 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20240708 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240906 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20250107 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20250307 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20250425 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20250610 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20250702 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7706891 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |