JP7708632B2 - Visual inspection device and visual inspection method - Google Patents
Visual inspection device and visual inspection methodInfo
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Description
本発明の一態様は、部品の外観検査装置及び外観検査方法に関する。 One aspect of the present invention relates to an apparatus and method for visual inspection of parts.
特許文献1には、部品の外観を撮像して、部品の電極形状、表面の欠陥、キズ、汚れ、異物等の有無を検査する外観検査装置が記載されている。特許文献1の外観検査装置は、部品の底面に対向する位置に撮像面を向けた撮像手段と、部品の4側面に対応して設けられたミラーと、を備え、ミラーは、部品の4側面の像を、撮像手段の撮像面に向けて反射させ、撮像手段は、底面画像に加え、4側面の像を撮像している。 Patent Document 1 describes an appearance inspection device that captures the appearance of a component to inspect the electrode shape, surface defects, scratches, dirt, foreign matter, etc. of the component. The appearance inspection device in Patent Document 1 includes an imaging means with an imaging surface facing a position facing the bottom surface of the component, and mirrors provided corresponding to the four side surfaces of the component, and the mirror reflects images of the four side surfaces of the component toward the imaging surface of the imaging means, and the imaging means captures images of the four side surfaces in addition to the bottom surface image.
このような構成によれば、1つの撮像手段により部品の複数の面を撮像することができるので、例えば部品の面毎に撮像手段が設けられた構成と比較して、コストが低減されると共に、撮像手段の切り替え等が不要になることにより撮像処理の簡易化が図られる。 With this configuration, multiple faces of a component can be imaged with a single imaging means, which reduces costs compared to a configuration in which an imaging means is provided for each face of a component, and simplifies the imaging process by eliminating the need to switch between imaging means.
上述したような外観検査装置では、部品を撮像領域まで搬送すると共に、撮像領域において部品を停止させて撮像処理を行う。ここで、高解像度で撮像を行う観点からは、上述したミラーが部品に近接していることが好ましい。一方で、部品を適切に搬送する観点からは、部品の搬送が可能になる程度に部品からミラーを離間させる必要がある。このように、従来、部品の搬送性と高解像度での部品の撮像を両立することが困難である。 In the above-mentioned appearance inspection device, the part is transported to the imaging area and the part is stopped in the imaging area to perform imaging processing. Here, from the viewpoint of imaging at high resolution, it is preferable that the above-mentioned mirror is close to the part. On the other hand, from the viewpoint of properly transporting the part, it is necessary to separate the mirror from the part to an extent that allows the part to be transported. Thus, in the past, it was difficult to achieve both ease of transporting the part and imaging the part at high resolution.
本発明の一態様は上記実情に鑑みてなされたものであり、1つの撮像手段によって部品の複数の面を撮像する構成において、部品の搬送性を担保すると共に部品を高解像度で撮像することを可能にする外観検査装置及び外観検査方法に関する。 One aspect of the present invention has been made in consideration of the above-mentioned circumstances, and relates to an appearance inspection device and an appearance inspection method that ensures the transportability of a part and enables the part to be imaged at high resolution in a configuration in which multiple surfaces of the part are imaged by a single imaging means.
本発明の一態様に係る外観検査装置は、部品の表面状態を検査する外観検査装置であって、載置された部品を搬送経路に沿って撮像領域まで搬送可能に構成された搬送部と、撮像領域に搬送された部品に対して第1方向で対向し、部品を撮像する撮像部と、第1方向で見ると、撮像領域に搬送された部品を囲うように配置され、部品の像を撮像部の撮像面に向けて反射する複数のミラーと、複数のミラーを移動可能に構成された移動機構と、制御装置と、を備え、制御装置は、部品が撮像領域まで搬送されて撮像領域で停止するように搬送部を制御する第1制御と、第1制御後において複数のミラーが撮像領域の方向に移動するように移動機構を制御する第2制御と、第2制御後において部品を撮像するように撮像部を制御する第3制御と、第3制御後において複数のミラーが撮像領域を含む搬送経路から離れる方向に移動するように移動機構を制御する第4制御と、を実行するように構成されている。 The visual inspection device according to one aspect of the present invention is a visual inspection device that inspects the surface condition of a part, and includes a transport unit configured to transport a placed part along a transport path to an imaging area, an imaging unit that faces the part transported to the imaging area in a first direction and captures the part, a plurality of mirrors that are arranged to surround the part transported to the imaging area when viewed in the first direction and reflect an image of the part toward the imaging surface of the imaging unit, a movement mechanism configured to move the plurality of mirrors, and a control device, and the control device is configured to execute a first control that controls the transport unit so that the part is transported to the imaging area and stops at the imaging area, a second control that controls the movement mechanism so that the plurality of mirrors move toward the imaging area after the first control, a third control that controls the imaging unit to capture an image of the part after the second control, and a fourth control that controls the movement mechanism so that the plurality of mirrors move in a direction away from the transport path including the imaging area after the third control.
本発明の一態様に係る外観検査装置では、部品の像を撮像部の撮像面に向けて反射する複数のミラーが、撮像領域に搬送された部品を囲うように配置されているので、1つの撮像部により部品の複数の面を撮像することができ、例えば部品の面毎に撮像手段が設けられた構成と比較して、コストが低減されると共に、撮像手段の切り替え等が不要になることにより撮像処理の簡易化が図られる。そして、本発明の一態様に係る外観検査装置では、部品が撮像領域に停止した状態において、複数のミラーが撮像領域の方向に移動するように移動機構が制御され、その後に撮像部による部品の撮像が実施される。このように、複数のミラーが、撮像領域の方向に移動させられ、その状態で部品の撮像が実施されることにより、部品の撮像時において複数のミラーが部品に近接し撮像時フレーム枠が小さくされた状態で部品の撮像が実施されることとなるので、高解像度(高画素)での部品の撮像を実現することができる。更に、本発明の一態様に係る外観検査装置では、撮像後において、複数のミラーが撮像領域を含む搬送経路から離れる方向に移動させられるので、撮像時以外(撮像前及び撮像後)においては複数のミラーが搬送経路に配置されないこととなり、複数のミラーが部品の搬送の妨げにならない。以上のように、本発明の一態様に係る外観検査装置によれば、制御装置によって移動機構が複数のミラーを移動させることにより、部品の搬送性を担保すると共に部品を高解像度で撮像することができる。 In the appearance inspection device according to one aspect of the present invention, multiple mirrors that reflect the image of the part toward the imaging surface of the imaging unit are arranged to surround the part transported to the imaging area, so that multiple sides of the part can be imaged by one imaging unit. Compared to a configuration in which an imaging means is provided for each side of the part, for example, costs are reduced and the imaging process is simplified by eliminating the need to switch between imaging means. In the appearance inspection device according to one aspect of the present invention, when the part is stopped in the imaging area, the movement mechanism is controlled so that the multiple mirrors move toward the imaging area, and then the imaging unit images the part. In this way, the multiple mirrors are moved toward the imaging area and the imaging of the part is performed in that state, so that the multiple mirrors are close to the part when the part is imaged, and the imaging of the part is performed with the frame frame being small when the part is imaged, so that the imaging of the part can be achieved with high resolution (high pixel). Furthermore, in the visual inspection device according to one aspect of the present invention, after imaging, the multiple mirrors are moved in a direction away from the transport path including the imaging area, so that the multiple mirrors are not placed on the transport path except when imaging (before and after imaging), and the multiple mirrors do not interfere with the transport of parts. As described above, in the visual inspection device according to one aspect of the present invention, the control device causes the movement mechanism to move the multiple mirrors, ensuring the transportability of parts and allowing the parts to be imaged at high resolution.
上記外観検査装置は、撮像領域に搬送される部品を支持する支持部を更に備え、部品は、少なくともその下面がアーチ状に形成されており、支持部における部品を支持する面は、アーチ状に形成された部品の形状に対応するように中央部が下方に凹んだV字状に形成されていてもよい。このように、支持部における部品を支持する面が部品の形状に沿ってV字状に形成されていることにより、支持部が部品を受け取る際に、支持部の軸に対してθ方向に部品がズレた状態で支持部に載置されることが効果的に抑制される。 The visual inspection device further includes a support section that supports the component to be transported to the imaging area, and at least the underside of the component is formed in an arch shape, and the surface of the support section that supports the component may be formed in a V shape with a central portion concave downward to correspond to the shape of the arch-shaped component. In this way, the surface of the support section that supports the component is formed in a V shape that conforms to the shape of the component, which effectively prevents the component from being placed on the support section in a misaligned state in the θ direction relative to the axis of the support section when the support section receives the component.
上記外観検査装置は、搬送経路における撮像領域よりも上流側の位置決め領域に搬送された部品について上方から押さえ込むと共に前後方向の位置決めを行う押さえ治具を更に備え、制御装置は、第1制御前において部品が位置決め領域まで搬送されて位置決め領域で停止するように搬送部を制御する第5制御と、第5制御後且つ第1制御前において部品が押さえ込まれるように押さえ治具を制御する第6制御と、を更に実行するように構成されていてもよい。撮像領域に搬送された部品の位置(向き)が想定と異なっている場合には、撮像後の部品の検査を高精度に実施することができない場合がある。部品の位置補正については、例えば画像ソフトによる位置補正を行うことが考えられるが、このような位置補正を行っても、部品の検査精度を十分に担保することができない場合がある。この点、撮像領域よりも上流側の位置決め領域において、押さえ治具により部品が押さえ込まれると共に部品の前後方向の位置決めがなされる(すなわち、ソフト的な補正ではなく実際に部品の位置補正を実施する)ことにより、その後の撮像領域における撮像結果に基づく検査精度を向上させることができる。具体的には、押さえ治具によって上方から部品が押さえ込まれることにより部品のローリングズレ(アーチ状の部品が回転する方向のズレ)が補正されると共に、押さえ治具によって部品の前後方向の位置決めがなされることにより、部品の前後ズレが補正され、検査精度を向上させることができる。 The above-mentioned appearance inspection device further includes a holding jig that holds down the part transported to the positioning area upstream of the imaging area on the transport path from above and positions the part in the front-rear direction, and the control device may be configured to further execute a fifth control that controls the transport unit so that the part is transported to the positioning area and stops in the positioning area before the first control, and a sixth control that controls the holding jig so that the part is held down after the fifth control and before the first control. If the position (orientation) of the part transported to the imaging area is different from the expected position (orientation), it may not be possible to inspect the part after imaging with high accuracy. For example, it is possible to correct the position of the part by using image software, but even if such position correction is performed, the inspection accuracy of the part may not be sufficiently guaranteed. In this regard, in the positioning area upstream of the imaging area, the part is held down by the holding jig and the part is positioned in the front-rear direction (i.e., the position correction of the part is actually performed instead of software correction), thereby improving the inspection accuracy based on the imaging result in the imaging area. Specifically, the part is pressed down from above by the holding jig, correcting the rolling misalignment of the part (misalignment in the direction in which the arch-shaped part rotates), and the holding jig positions the part in the front-to-back direction, correcting the front-to-back misalignment of the part, improving inspection accuracy.
部品は、第1方向で見ると略矩形状とされており、複数のミラーは、第1方向で見た部品の4つの角部それぞれに配置されて該角部の像を反射する4つのミラーを含んで構成されていてもよい。このように各ミラーが角部に配置されることにより、各ミラーによって角部に近接する二辺(第1方向で見た二辺)について撮像することができるので、部品の各面を適切に撮像することができる。 The part may be substantially rectangular when viewed in the first direction, and the multiple mirrors may include four mirrors arranged at each of the four corners of the part when viewed in the first direction to reflect images of the corners. By arranging each mirror at a corner in this manner, each mirror can capture an image of two sides adjacent to the corner (two sides when viewed in the first direction), allowing each face of the part to be properly imaged.
制御装置は、第3制御における撮像部の撮像結果に基づき部品の良否を判定する第7制御を更に実行するように構成されており、第7制御では、部品における角部からの離間距離に応じた縮小率を掛け合わせて寸法を補正する補正処理を行った後に、部品の良品を判定してもよい。このような補正処理が実施されることにより、角部からの離間距離を考慮して実際の寸法を高精度に推定することができ、部品の良否判定精度を向上させることができる。 The control device is configured to further execute a seventh control for determining whether the part is good or bad based on the imaging results of the imaging unit in the third control, and in the seventh control, a correction process may be performed to correct the dimensions by multiplying the dimensions by a reduction rate according to the distance from the corner of the part, and then the quality of the part may be determined. By performing such a correction process, the actual dimensions can be estimated with high accuracy taking into account the distance from the corner, and the accuracy of the part quality determination can be improved.
上記外観検査装置は、撮像領域に搬送された部品の上方に配置され、部品に対して光を照射する第1照明と、撮像領域に搬送された部品の下方に配置され、部品に対して光を照射する第2照明と、を更に備えていてもよい。部品の上方から光を照射する第1照明に加えて、部品の下方から光を照射する第2照明が設けられることにより、第1照明のみの場合に光が照射されにくい部品の下面(底面)にも適切に光を照射し、より検査精度を向上させやすい撮像結果を得ることができる。 The above-mentioned appearance inspection device may further include a first light arranged above the part transported to the imaging area and irradiating light onto the part, and a second light arranged below the part transported to the imaging area and irradiating light onto the part. By providing a second light irradiating light from below the part in addition to the first light irradiating light from above the part, light can be appropriately irradiated onto the underside (bottom surface) of the part, which is difficult to irradiate with light when only the first light is used, and imaging results that are more likely to improve inspection accuracy can be obtained.
本発明の一態様に係る外観検査方法は、部品の表面状態を検査する外観検査方法であって、搬送部によって、部品を撮像領域まで搬送し該撮像領域で停止させる第1工程と、第1工程後において、移動機構によって、撮像領域に搬送された部品を囲うように配置された複数のミラーを撮像領域の方向に移動させる第2工程と、第2工程後において、撮像部によって、部品を撮像する第3工程と、第3工程後において、移動機構によって、複数のミラーを撮像領域から離れる方向に移動させる第4工程と、を含む。 The visual inspection method according to one aspect of the present invention is a visual inspection method for inspecting the surface condition of a part, and includes a first step of transporting the part to an imaging area by a transport unit and stopping the part in the imaging area, a second step of moving a plurality of mirrors arranged to surround the part transported to the imaging area toward the imaging area by a movement mechanism after the first step, a third step of capturing an image of the part by the imaging unit after the second step, and a fourth step of moving the plurality of mirrors away from the imaging area by the movement mechanism after the third step.
本発明の一態様によれば、1つの撮像手段によって部品の複数の面を撮像する構成において、部品の搬送性を担保すると共に部品を高解像度で撮像することを可能にする。 According to one aspect of the present invention, in a configuration in which multiple surfaces of a part are imaged using a single imaging device, it is possible to ensure the transportability of the part and to image the part with high resolution.
以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。 The following describes the embodiments in detail with reference to the drawings. In the description, the same elements or elements having the same functions are given the same reference numerals, and duplicate descriptions are omitted.
図1は、外観検査装置1の全体構成を示す模式図である。図1に示される外観検査装置1は、部品であるワークの表面状態を検査する装置である。外観検査装置1は、ワークの表面状態を検査することにより、ワークの良否を判定する。ワークの表面状態を検査するとは、ワークの表面に、所定の不良項目に該当する不良が生じているか否かを検査することをいう。所定の不良項目とは、例えば、カケ、クラック、汚れ(シミ)、スアナ、クロカワ、研磨不良、ガタ、カット不良等である。カケとは、ワークWの一部がカケ落ちて凹部分が生じる不良である。クラックとは、スジ状の凹部分が生じる不良である。汚れ(シミ)とは、例えば洗浄不足による汚れ残りの不良である。スアナとは、丸状の凹部分が生じる不良である。クロカワとは、研磨残りの部分(十分に研磨できていない部分)における変形・縮率の不良である。研磨不良とは、部分的に削りすぎた部分の不良である。ガタとは、アシ部の高さばらつきにより生じる不良である。カット不良とは、面取りバランスが悪化した不良である。具体的な検査方法については後述する。図1に示されるように、外観検査装置1は、検査ユニット10と、コントローラ90(制御装置)とを有する。 Figure 1 is a schematic diagram showing the overall configuration of an appearance inspection device 1. The appearance inspection device 1 shown in Figure 1 is a device that inspects the surface condition of a workpiece, which is a component. The appearance inspection device 1 judges the quality of the workpiece by inspecting the surface condition of the workpiece. Inspecting the surface condition of a workpiece means inspecting whether or not there is a defect corresponding to a predetermined defect item on the surface of the workpiece. The predetermined defect items are, for example, chips, cracks, dirt (stains), sand, black spots, polishing defects, rattles, cut defects, etc. A chip is a defect in which a part of the workpiece W is chipped off and a concave part is generated. A crack is a defect in which a streak-like concave part is generated. A stain (stain) is a defect in which dirt remains due to insufficient cleaning, for example. A sand is a defect in which a round concave part is generated. Black spots are a defect in deformation and shrinkage in the remaining polished part (part that has not been polished sufficiently). A polishing defect is a defect in a part that has been partially cut too much. A rattle is a defect caused by variation in the height of the foot part. A cut defect is a defect in which the chamfer balance is deteriorated. A specific inspection method will be described later. As shown in FIG. 1, the appearance inspection device 1 has an inspection unit 10 and a controller 90 (control device).
図1に示されるように、検査ユニット10は、コンベア11(搬送部)と、カメラ12(撮像部)と、複数のミラー13と、ミラー開閉機構14,15と、支持部16と、第1照明17と、第2照明18,19と、位置決め治具20(図3(b)及び図3(d)参照)と、を含んで構成されている。検査ユニット10に含まれる各構成は、コントローラ90に制御される。外観検査装置1は、コントローラ90の制御に応じて部品であるワークWの表面状態を検査する。ワークWは、例えば磁性部品である。 As shown in FIG. 1, the inspection unit 10 includes a conveyor 11 (transport section), a camera 12 (imaging section), multiple mirrors 13, mirror opening/closing mechanisms 14, 15, a support section 16, a first light 17, second lights 18, 19, and a positioning jig 20 (see FIG. 3(b) and FIG. 3(d)). Each component included in the inspection unit 10 is controlled by a controller 90. The appearance inspection device 1 inspects the surface condition of a workpiece W, which is a component, according to the control of the controller 90. The workpiece W is, for example, a magnetic component.
図2は、検査対象であるワークWを模式的に示す斜視図である。図2に示されるように、ワークWはアーチ状に形成されている。図2に示されるように、ワークWは、アーチ状に形成された外R面Woと、外R面Woの裏面であってアーチ状に形成された内R面Wiと、ワークWの長さ方向の両端面であるA端面Waと、ワークWの幅方向の両端面であるB端面Wbと、A端面Waの下端と内R面Wiの端部とを連結するハネアゲ面Wy及びアシ部Wxと、を有する。外R面Woは、後述する支持部16に支持される面であり、X方向に沿ってアーチ状に形成されている(図3(b)等参照)。なお、ワークWは、図1に示されるように、上下方向(第1方向)で見ると略矩形状とされている。 2 is a perspective view showing a workpiece W to be inspected. As shown in FIG. 2, the workpiece W is formed in an arch shape. As shown in FIG. 2, the workpiece W has an outer R surface Wo formed in an arch shape, an inner R surface Wi which is the reverse side of the outer R surface Wo and formed in an arch shape, an A end surface Wa which is both end surfaces in the length direction of the workpiece W, a B end surface Wb which is both end surfaces in the width direction of the workpiece W, and a lifting surface Wy and a leg portion Wx which connect the lower end of the A end surface Wa and the end of the inner R surface Wi. The outer R surface Wo is a surface supported by a support portion 16 described later, and is formed in an arch shape along the X direction (see FIG. 3(b) and the like). As shown in FIG. 1, the workpiece W is approximately rectangular when viewed in the vertical direction (first direction).
図1に戻り、コンベア11は、作業者が検査ユニット10に投入したワークWを搬送するコンベアである。すなわち、コンベア11は、載置されたワークWを搬送経路に沿って撮像領域A2まで搬送可能に構成された搬送部である。コンベア11は、例えばタイミングベルト11aと、タイミングプーリ11b(図3(b)参照)とを有するタイミングベルトコンベアであってもよい。この場合、コンベア11の動力源は、例えばサーボモータ(不図示)とされてもよい。コンベア11は、コントローラ90からの制御信号を受信することにより、以下のように動作する。すなわち、コンベア11は、作業者によって投入されて投入領域A0に位置するワークWを、位置決め領域A1まで搬送して一時停止する。当該位置決め領域A1においては、ワークWの位置決め処理が実施される(詳細は後述)。つづいて、コンベア11は、位置決め領域A1に位置するワークWを撮像領域A2まで搬送して一時停止する。当該撮像領域A2では、ワークWの撮像処理が実施される(詳細は後述)。つづいて、コンベア11は、撮像領域A2に位置するワークWを排出領域A3まで搬送する。ワークWは、当該排出領域A3から検査ユニット10の外部に排出され、後工程に供給される。 Returning to FIG. 1, the conveyor 11 is a conveyor that conveys the workpiece W that the operator puts into the inspection unit 10. That is, the conveyor 11 is a conveying section configured to be able to convey the placed workpiece W along the conveying path to the imaging area A2. The conveyor 11 may be, for example, a timing belt conveyor having a timing belt 11a and a timing pulley 11b (see FIG. 3B). In this case, the power source of the conveyor 11 may be, for example, a servo motor (not shown). The conveyor 11 operates as follows by receiving a control signal from the controller 90. That is, the conveyor 11 conveys the workpiece W that is put in by the operator and located in the input area A0 to the positioning area A1 and temporarily stops. In the positioning area A1, a positioning process of the workpiece W is performed (details will be described later). Next, the conveyor 11 conveys the workpiece W located in the positioning area A1 to the imaging area A2 and temporarily stops. In the imaging area A2, an imaging process of the workpiece W is performed (details will be described later). Next, the conveyor 11 transports the workpiece W located in the imaging area A2 to the discharge area A3. The workpiece W is discharged from the discharge area A3 to the outside of the inspection unit 10 and supplied to a subsequent process.
支持部16は、撮像領域A2に搬送されるワークWを支持する構成である。支持部16は、投入領域A0において作業者によって投入されるワークWを受け取り、コンベア11によって搬送されるワークWを支持する。なお、図1、図3(a)、及び図3(b)においてはワークWを支持する前の、投入領域A0における支持部16が示されている。支持部16によってワークWが支持された状態で、支持部16がコンベア11に搬送されることにより、ワークWが、位置決め領域A1、撮像領域A2、及び排出領域A3に順次移動する。 The support section 16 is configured to support the workpiece W being transported to the imaging area A2. The support section 16 receives the workpiece W inserted by the worker in the input area A0, and supports the workpiece W being transported by the conveyor 11. Note that Figures 1, 3(a), and 3(b) show the support section 16 in the input area A0 before supporting the workpiece W. With the workpiece W supported by the support section 16, the support section 16 is transported to the conveyor 11, and the workpiece W moves sequentially to the positioning area A1, the imaging area A2, and the discharge area A3.
なお、以下では、上下方向をZ方向(第1方向)、コンベア11によるワークWの搬送方向をX方向、Z方向及びX方向に交差する方向をY方向として説明する場合がある。図1、図3(a)、及び図3(c)は、検査ユニット10の構成を上方から見た図(Z方向から見た図)を示している。図3(b)及び図3(e)は、検査ユニット10の構成をY方向から見た図を示している。図3(d)は、検査ユニット10の構成をX方向から見た図を示している。 In the following description, the vertical direction may be referred to as the Z direction (first direction), the direction in which the workpiece W is transported by the conveyor 11 as the X direction, and the direction intersecting the Z direction and the X direction as the Y direction. Figures 1, 3(a), and 3(c) show the configuration of the inspection unit 10 as viewed from above (as viewed from the Z direction). Figures 3(b) and 3(e) show the configuration of the inspection unit 10 as viewed from the Y direction. Figure 3(d) shows the configuration of the inspection unit 10 as viewed from the X direction.
図3(b)に示されるように、支持部16におけるワークWを支持する面である支持面16aは、アーチ状に形成されたワークWの形状(詳細には外R面Woの形状)に対応するように中央部が下方に凹んだV字状に形成されている。すなわち、支持面16aは、X方向における中央部分ほど下方に凹んでいる。支持面16aはその略全面がワークWの外R面Woに接していてもよいし、図3(b)に示されるように、X方向の両端部側の面において接しX方向の中央部分の面において外R面Woに接してなくてもよい。 As shown in FIG. 3(b), the support surface 16a, which is the surface of the support portion 16 that supports the workpiece W, is formed in a V-shape with the center recessed downward to correspond to the arched shape of the workpiece W (specifically, the shape of the outer rounded surface Wo). That is, the support surface 16a is recessed downward as it approaches the center in the X direction. The support surface 16a may be in contact with the outer rounded surface Wo of the workpiece W over substantially the entire surface, or as shown in FIG. 3(b), it may be in contact with the outer rounded surface Wo at both end sides in the X direction and not in contact with the outer rounded surface Wo at the center surface in the X direction.
位置決め治具20は、図3(b)及び図3(d)に示されるように、搬送経路における撮像領域A2よりも上流側の位置決め領域A1に搬送されたワークWについて、上方から押さえ込むと共にワークWの前後方向であるY方向の位置決めを行う押さえ治具である。図3(d)に示されるように、位置決め治具20は、平板状の本体部20aと、本体部20aにおけるY方向の両端部に設けられ下方に延びる突出部20b,20cとを有する。位置決め治具20は、コントローラ90の制御に応じて、位置決め領域A1に搬送されたワークWに対して上方から接近し、本体部20aでワークWを下方に押さえ込むと共に、突出部20b,20cによってY方向の両端部側からワークWを押さえ込む。図3(d)及び図3(e)に示されるように、位置決め治具20の本体部20aによってワークWが下方に押さえ込まれることによりワークWのローリングズレ(アーチ状のワークWが回転する方向のズレ)が補正されると共に、突出部20b,20cによってY方向の両端部側からワークWが押さえ込まれることによりワークWのY方向の位置ズレが補正される。 As shown in Fig. 3(b) and Fig. 3(d), the positioning jig 20 is a holding jig that holds down the workpiece W transported to the positioning area A1 upstream of the imaging area A2 on the transport path from above and positions the workpiece W in the Y direction, which is the front-rear direction. As shown in Fig. 3(d), the positioning jig 20 has a flat body 20a and protrusions 20b, 20c that are provided at both ends of the body 20a in the Y direction and extend downward. The positioning jig 20 approaches the workpiece W transported to the positioning area A1 from above in response to the control of the controller 90, holds down the workpiece W downward with the body 20a, and holds down the workpiece W from both ends in the Y direction with the protrusions 20b, 20c. As shown in Figures 3(d) and 3(e), the main body 20a of the positioning jig 20 presses the workpiece W downward, correcting the rolling misalignment of the workpiece W (misalignment in the direction in which the arch-shaped workpiece W rotates), and the protrusions 20b and 20c press the workpiece W from both ends in the Y direction, correcting the positional misalignment of the workpiece W in the Y direction.
図1に戻り、カメラ12は、撮像領域A2に搬送されたワークWに対してZ方向(第1方向)で対向し、ワークWを撮像する撮像部である。カメラ12は、コントローラ90からの制御信号を受信することにより、撮像を行う。カメラ12は、撮像結果をコントローラ90に送信する。 Returning to FIG. 1, the camera 12 is an imaging unit that faces the workpiece W transported to the imaging area A2 in the Z direction (first direction) and images the workpiece W. The camera 12 captures images by receiving a control signal from the controller 90. The camera 12 transmits the captured image to the controller 90.
複数のミラー13は、4つのミラー13a,13b,13c,13dを含んで構成されている。各ミラー13a,13b,13c,13dは、例えばプリズム等の光学素子である。各ミラー13a,13b,13c,13dは、Z方向(第1方向)で見ると、撮像領域A2に搬送されたワークWを囲うように配置され、ワークWの像をカメラ12の撮像面に向けて反射する。各ミラー13a,13b,13c,13dは、Z方向で見ると略矩形状とされているワークWの4つの角部のそれぞれに配置され、該角部の像を反射する。図1に示されるように、Z方向で見ると、各ミラー13a,13b,13c,13dは、X方向及びY方向に対して45°となる位置に配置されている。このように各ミラー13a,13b,13c,13dが設けられることにより、ワークWの角部に近接する二辺(Z方向で見た二辺)に関して、ワークWの像がカメラ12の撮像面に向けて反射される。 The multiple mirrors 13 are composed of four mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d. Each mirror 13a, 13b, 13c, and 13d is an optical element such as a prism. When viewed in the Z direction (first direction), each mirror 13a, 13b, 13c, and 13d is arranged to surround the workpiece W transported to the imaging area A2, and reflects the image of the workpiece W toward the imaging surface of the camera 12. Each mirror 13a, 13b, 13c, and 13d is arranged at each of the four corners of the workpiece W, which is approximately rectangular when viewed in the Z direction, and reflects the image of the corners. As shown in FIG. 1, when viewed in the Z direction, each mirror 13a, 13b, 13c, and 13d is arranged at a position that is 45° with respect to the X direction and the Y direction. By providing mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d in this manner, the image of the workpiece W is reflected toward the imaging surface of camera 12 with respect to the two sides (two sides viewed in the Z direction) that are close to the corners of the workpiece W.
ミラー開閉機構14は、複数のミラー13a,13bを開閉移動可能に構成された移動機構である。ミラー開閉機構15は、複数のミラー13c,13dを開閉移動可能に構成された移動機構である。ミラー開閉機構14,15は、コントローラ90からの制御信号を受信することにより、開閉動作を行う。 The mirror opening/closing mechanism 14 is a moving mechanism configured to be able to move the multiple mirrors 13a and 13b to open and close. The mirror opening/closing mechanism 15 is a moving mechanism configured to be able to move the multiple mirrors 13c and 13d to open and close. The mirror opening/closing mechanisms 14 and 15 perform opening and closing operations by receiving control signals from the controller 90.
図4(a)及び図4(b)はミラー開閉機構14,15の動作を説明する図である。図4(a)及び図4(b)に示されるように、ミラー開閉機構14は、アクチュエータ等の動力源を有してY方向に沿って移動可能な駆動部14aと、駆動部14aに連結されると共にミラー13a,13bに連結される連結部14bと、を有する。ミラー開閉機構15は、アクチュエータ等の動力源を有してY方向に沿って移動可能な駆動部15aと、駆動部15aに連結されると共にミラー13c,13dに連結される連結部15bと、を有する。 Figures 4(a) and 4(b) are diagrams explaining the operation of the mirror opening and closing mechanisms 14 and 15. As shown in Figures 4(a) and 4(b), the mirror opening and closing mechanism 14 has a drive unit 14a that has a power source such as an actuator and is movable along the Y direction, and a connecting unit 14b that is connected to the drive unit 14a and is also connected to the mirrors 13a and 13b. The mirror opening and closing mechanism 15 has a drive unit 15a that has a power source such as an actuator and is movable along the Y direction, and a connecting unit 15b that is connected to the drive unit 15a and is also connected to the mirrors 13c and 13d.
図4(a)は、コントローラ90からの制御に応じて駆動部14a,15aが搬送経路から離れる方向に移動した状態を示している。このような状態では、複数のミラー13a,13b,13c,13dがワークWの搬送経路から離間して配置されているので、複数の13a,13b,13c,13dがワークWの搬送の妨げにならない。 Figure 4 (a) shows a state in which the drive units 14a and 15a have moved in a direction away from the transport path in response to control from the controller 90. In this state, the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d are positioned away from the transport path of the workpiece W, so that the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d do not interfere with the transport of the workpiece W.
図4(b)は、コントローラ90からの制御に応じて駆動部14a,15aが搬送経路の方向(具体的には撮像領域A2の方向)に移動した状態を示している。このような状態では、複数のミラー13a,13b,13c,13dがワークWに近接して配置されているので、撮像時フレーム枠を小さくして高解像度(高画素)でのワークWの撮像を実現することができる。 Figure 4 (b) shows a state in which the drive units 14a and 15a have moved in the direction of the transport path (specifically, in the direction of the imaging area A2) in response to control from the controller 90. In this state, multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d are arranged close to the workpiece W, so that the frame can be made small during imaging, enabling imaging of the workpiece W at high resolution (high pixel count).
図1に戻り、第1照明17は、撮像領域A2に搬送されたワークWの上方に配置され、ワークWに対して光を照射する照明である。第2照明18,19は、撮像領域A2に搬送されたワークWの下方に配置され、ワークWに対して光を照射する照明である。 Returning to FIG. 1, the first lighting 17 is disposed above the workpiece W transported to the imaging area A2 and is a lighting that irradiates light onto the workpiece W. The second lighting 18, 19 is disposed below the workpiece W transported to the imaging area A2 and is a lighting that irradiates light onto the workpiece W.
図5は、第1照明17及び第2照明18,19について説明する図である。図5に示されるように、第1照明17は、カメラ12の下方且つワークWの上方に配置されており、カメラ12とワークWとの間を遮らないようにリング状に形成されている。第2照明18は、複数のミラー13a,13bにて像が反射される側のワークWの面を下方から照らすように(図1参照)、ワークWの下方に配置されている(図5参照)。第2照明19は、複数のミラー13c,13dにて像が反射される側のワークWの面を下方から照らすように(図1参照)、ワークWの下方に配置されている(図5参照)。第2照明18,19については、例えば可変式照明を用い、拡散板を介してワークWの底面を全体的に照らすことにより、部分的なハレーションムラのない撮像が可能となっている。 Figure 5 is a diagram explaining the first lighting 17 and the second lighting 18, 19. As shown in Figure 5, the first lighting 17 is arranged below the camera 12 and above the workpiece W, and is formed in a ring shape so as not to block the space between the camera 12 and the workpiece W. The second lighting 18 is arranged below the workpiece W (see Figure 5) so as to illuminate the surface of the workpiece W on the side where the image is reflected by the multiple mirrors 13a, 13b from below (see Figure 1). The second lighting 19 is arranged below the workpiece W (see Figure 5) so as to illuminate the surface of the workpiece W on the side where the image is reflected by the multiple mirrors 13c, 13d from below (see Figure 1). For the second lighting 18, 19, for example, variable lighting is used, and the bottom surface of the workpiece W is entirely illuminated through a diffusion plate, making it possible to capture images without partial halation unevenness.
図6は、カメラ12による撮像結果の一例を示す図である。図6に示されるように、ワークWを囲うように、X方向及びY方向に対して45°となる位置に各ミラー13a,13b,13c,13dが配置され、ワークWの下方から第2照明18,19による光の照射が行われた状態で撮像が行われることにより、1つのカメラ12によって、ワークWの内R面Wiだけでなく、ワークWの角部に近接する二辺等についても適切に撮像することができる。 Figure 6 is a diagram showing an example of the image captured by the camera 12. As shown in Figure 6, the mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d are positioned at 45° to the X and Y directions so as to surround the workpiece W, and the image is captured with light irradiated from the second lights 18 and 19 from below the workpiece W. This allows the single camera 12 to properly capture images of not only the inner rounded surface Wi of the workpiece W, but also the two sides adjacent to the corners of the workpiece W.
図1に戻り、コントローラ90は、ワークWの所定の検査面を検査するために外観検査装置1に含まれる各構成を制御すること(制御処理)と、検査結果に基づきワークWの表面状態を判定すること(判定処理)とを実行可能に構成されている。以下、制御処理及び判定処理について詳細に説明する。 Returning to FIG. 1, the controller 90 is configured to be able to control each component included in the visual inspection device 1 to inspect a specified inspection surface of the workpiece W (control process), and to judge the surface condition of the workpiece W based on the inspection results (judgment process). The control process and judgment process will be described in detail below.
制御処理では、コントローラ90は、まず、支持部16に支持されたワークWが搬送経路に沿って位置決め領域A1まで搬送されて位置決め領域A1で停止するようにコンベア11を制御する(第5制御を実行する)。 In the control process, the controller 90 first controls the conveyor 11 so that the workpiece W supported by the support portion 16 is transported along the transport path to the positioning area A1 and stopped at the positioning area A1 (performing the fifth control).
コントローラ90は、上述した第5制御後、図3(b)及び図3(d)等に示されるように、位置決め領域A1においてワークWのY方向の位置決めがなされるよう、位置決め治具20を制御する(第6制御を実行する)。 After the fifth control described above, the controller 90 controls the positioning jig 20 so that the workpiece W is positioned in the Y direction in the positioning area A1 as shown in Figures 3(b) and 3(d) (executes the sixth control).
コントローラ90は、上述した第6制御後、図3(a)及び図3(b)等に示されるように、ワークWが撮像領域A2まで搬送されて撮像領域A2で停止するようコンベア11を制御する(第1制御を実行する)。 After the sixth control described above, the controller 90 controls the conveyor 11 so that the workpiece W is transported to the imaging area A2 and stopped there, as shown in Figures 3(a) and 3(b), etc. (executing the first control).
コントローラ90は、上述した第1制御後において、図4(b)に示されるように、複数のミラー13a,13b,13c,13dが撮像領域A2の方向に移動するようミラー開閉機構14,15を制御する(第2制御を実行する)。 After the first control described above, the controller 90 controls the mirror opening/closing mechanisms 14 and 15 so that the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d move toward the imaging area A2, as shown in FIG. 4(b) (performing the second control).
コントローラ90は、上述した第2制御後において、ワークWを撮像するようにカメラ12を制御する(第3制御を実行する)。 After the second control described above, the controller 90 controls the camera 12 to capture an image of the workpiece W (performing the third control).
コントローラ90は、上述した第3制御後において、複数のミラー13a,13b,13c,13dが撮像領域A2を含む搬送経路から離れる方向に移動するようミラー開閉機構14,15を制御する(第4制御を実行する)。 After the third control described above, the controller 90 controls the mirror opening/closing mechanisms 14 and 15 so that the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d move in a direction away from the transport path including the imaging area A2 (performing the fourth control).
判定処理では、コントローラ90は、上述した第3制御におけるカメラ12の撮像結果に基づき、ワークWの良否を判定する(第7制御を実行する)。コントローラ90は、例えば、カメラ12の撮像結果が示す寸法、面積、色の濃淡等の情報が所定の正常範囲内であるか否かを判定する。コントローラ90は、カメラ12の撮像結果と、ワークWの良品の画像であるマスタ画像とを比較することによって、寸法、面積、色の濃淡等の情報が正常であるか(マスタ画像と同様であるか)を判定してもよい。各不良項目のうち、例えばカケ、クラック、スアナ、バリについては、カメラ12の撮像結果が示す寸法に応じて判定が可能である。また、例えばシミについては、カメラ12の撮像結果が示す濃淡及び面積に応じて判定が可能である。また、例えばクロカワ、研磨不良、カット不良については、カメラ12の撮像結果を用いて判定が可能である。具体的には、クロカワについては撮像結果が示す面積から判定が可能であり、研磨不良については撮像結果が示す幅から判定が可能であり、カット不良については撮像結果が示す寸法から判定が可能である。 In the judgment process, the controller 90 judges whether the workpiece W is good or bad based on the image pickup result of the camera 12 in the third control described above (executes the seventh control). The controller 90 judges whether the information such as dimensions, area, and color shading shown in the image pickup result of the camera 12 is within a predetermined normal range. The controller 90 may judge whether the information such as dimensions, area, and color shading is normal (similar to the master image) by comparing the image pickup result of the camera 12 with a master image which is an image of a good workpiece W. Among the defective items, for example, chips, cracks, sand holes, and burrs can be judged according to the dimensions shown in the image pickup result of the camera 12. In addition, for example, stains can be judged according to the shading and area shown in the image pickup result of the camera 12. In addition, for example, black spots, polishing defects, and cutting defects can be judged using the image pickup result of the camera 12. Specifically, black spots can be judged from the area shown in the image pickup result, polishing defects can be judged from the width shown in the image pickup result, and cutting defects can be judged from the dimensions shown in the image pickup result.
コントローラ90は、各種良否判定を所定の順番で行い、いずれかの良否判定で不良となった時点で、その後の良否判定を行うことなくワークWを不良品であると判定してもよい。コントローラ90は、不良と判定したワークWについて、不良項目を特定し(例えばクロカワ等)、不良項目別の排出位置に不良と判定したワークWが排出されるように制御してもよい。 The controller 90 may perform various pass/fail judgments in a predetermined order, and when any of the pass/fail judgments result in a failure, may determine that the workpiece W is defective without performing any further pass/fail judgments. The controller 90 may specify the defective item for the workpiece W that is determined to be defective (e.g., black porosity, etc.), and may control the discharge of the workpiece W determined to be defective to a discharge position for each defective item.
なお、コントローラ90は、ワークWの良品を判定する際において、ワークWにおける角部からの離間距離に応じた縮小率を掛け合わせて寸法を補正する分割補正処理を行った後に、ワークWの良品を判定してもよい。 When determining whether the workpiece W is a quality product, the controller 90 may perform a division correction process to correct the dimensions by multiplying the reduction rate according to the distance from the corner of the workpiece W, and then determine whether the workpiece W is a quality product.
図7は、分割補正処理を説明する図である。ワークWの角部の周辺については、領域を5分割して、それぞれの領域毎に縮小率を掛け合わせることにより、実際の寸法が高精度に推定される。図7に示される例では、ワークWの角部の周辺の領域が5つに分割されている。具体的には、角部から延びる2辺について、ワークWの中心から3mm奥側(角部から見て奥側)までを検査エリアとして、ワークWの角部から3mm(二辺それぞれにおいて3mm)の領域と、二辺それぞれにおいて残りの検査エリアを二分割した各領域とを含む5つの領域に分割されている。なお、上記に分割した各領域については、例えば3mmほど領域がオーバーラップしていてもよい。このように5分割した領域について、それぞれ角部からの離間距離に応じた縮小率が掛け合わされて、寸法が推定される。具体的には、図7に示される例では、角部から3mmの領域については縮小率98%が掛け合わされ、上記二分割した領域のうち角部寄りの領域については縮小率94%が掛け合わされ、上記二分割した領域のうち中央寄りの領域については縮小率82%が掛け合わされて、それぞれ寸法が推定される。このような縮小率については、実際の検証結果に基づいて設定されてもよい。なお、領域がオーバーラップしている箇所で欠陥が検出された場合には、二分割した各領域の縮小率のうち小さい方の縮小率が掛け合わされてもよい。 Figure 7 is a diagram explaining the division correction process. For the periphery of the corner of the workpiece W, the area is divided into five and the reduction rate is multiplied for each area, so that the actual dimensions are estimated with high accuracy. In the example shown in Figure 7, the area around the corner of the workpiece W is divided into five areas. Specifically, for the two sides extending from the corner, the inspection area is set to 3 mm from the center of the workpiece W to the back side (the back side when viewed from the corner), and the area is divided into five areas including an area 3 mm (3 mm on each of the two sides) from the corner of the workpiece W and each area obtained by dividing the remaining inspection area in half on each of the two sides. Note that the divided areas may overlap by, for example, about 3 mm. For each of the five divided areas in this way, a reduction rate according to the distance from the corner is multiplied to estimate the dimensions. Specifically, in the example shown in FIG. 7, the area 3 mm from the corner is multiplied by a reduction rate of 98%, the area closer to the corner of the divided area is multiplied by a reduction rate of 94%, and the area closer to the center of the divided area is multiplied by a reduction rate of 82%, and the dimensions of each area are estimated. These reduction rates may be set based on actual verification results. If a defect is detected where the areas overlap, the smaller of the reduction rates of the divided areas may be multiplied.
コントローラ90のハードウェアは、例えば一つ又は複数の制御用のコンピュータにより構成される。コントローラ90は、ハードウェア上の構成として、例えば図8に示す回路900を有する。回路900は、プロセッサ901と、メモリ902と、ストレージ903と、入出力ポート904と、ドライバ905とを有する。ドライバ905は、検査ユニット10の各種アクチュエータを駆動するための回路である。入出力ポート904は、外部信号の入出力を行うのに加え、ドライバ905に対する信号の入出力も行う。プロセッサ901は、メモリ902及びストレージ903の少なくとも一方と協議してプログラムを実行し、入出力ポート904を介した信号の入出力を実行することで、上述した機能モジュールを構成する。 The hardware of the controller 90 is composed of, for example, one or more control computers. The controller 90 has, for example, a circuit 900 shown in FIG. 8 as a hardware configuration. The circuit 900 has a processor 901, a memory 902, a storage 903, an input/output port 904, and a driver 905. The driver 905 is a circuit for driving various actuators of the inspection unit 10. In addition to inputting and outputting external signals, the input/output port 904 also inputs and outputs signals to and from the driver 905. The processor 901 executes a program in consultation with at least one of the memory 902 and the storage 903, and inputs and outputs signals via the input/output port 904, thereby constituting the above-mentioned functional modules.
なお、コントローラ90のハードウェア上の構成は、必ずしもプログラムの実行により機能モジュールを構成するものに限られない。例えばコントローラ90は、専用の論理回路により、又はこれを集積したASIC(Application Specific Integrated Circuit)によりこれらの機能モジュールを構成するものであってもよい。 The hardware configuration of the controller 90 is not necessarily limited to configuring functional modules by executing a program. For example, the controller 90 may configure these functional modules using dedicated logic circuits or an ASIC (Application Specific Integrated Circuit) that integrates these circuits.
次に、外観検査装置1によるワークWの外観検査処理(外観検査方法)について、図9を参照して説明する。 Next, the appearance inspection process (appearance inspection method) of the workpiece W using the appearance inspection device 1 will be described with reference to FIG. 9.
図9に示されるように、外観検査処理では、最初に、コンベア11にワークWが流される(ステップS1)。ワークWは、コンベア11上の支持部16に支持された状態でコンベア11によって搬送され、位置決め領域A1に到達する(ステップS2)。そして、位置決め領域A1において、位置決め治具20が、ワークWを上方から押さえ込むと共にワークWの前後方向であるY方向の位置決めを行う(ステップS3)。 As shown in FIG. 9, in the visual inspection process, first, the workpiece W is conveyed on the conveyor 11 (step S1). The workpiece W is supported by the support portion 16 on the conveyor 11 and is transported by the conveyor 11 until it reaches the positioning area A1 (step S2). Then, in the positioning area A1, the positioning jig 20 holds down the workpiece W from above and positions the workpiece W in the Y direction, which is the front-to-rear direction (step S3).
その後、ワークWは、コンベア11によって搬送され、撮像領域A2にまで搬送されて停止する(ステップS4,第1工程)。そして、ミラー開閉機構14,15によって、複数のミラー13a,13b,13c,13dが搬送経路の方向(具体的には撮像領域A2の方向)に移動するミラー閉脚移動が実施される(ステップS5,第2工程)。 Then, the workpiece W is transported by the conveyor 11 to the imaging area A2 where it stops (step S4, first process). Then, the mirror opening/closing mechanisms 14 and 15 perform a mirror closing movement in which the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d move in the direction of the transport path (specifically, in the direction of the imaging area A2) (step S5, second process).
そして、カメラ12によってワークWが撮像されるカメラ検査が実施される(ステップS6,第3工程)。その後、ミラー開閉機構14,15によって、複数のミラー13a,13b,13c,13dが搬送経路から離れる方向(撮像領域A2から離れる方向)に移動するミラー開脚移動が実施される(ステップS7,第4工程)。 Then, a camera inspection is performed in which the workpiece W is imaged by the camera 12 (step S6, third process). After that, the mirror opening/closing mechanisms 14 and 15 perform a mirror leg movement in which the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d move in a direction away from the transport path (direction away from the imaging area A2) (step S7, fourth process).
そして、カメラ検査に基づくワークWの良否判定が実施され(ステップS8)、不良品であるワークWについては不良品として排出され(ステップS9)、良品であるワークWについては良品として排出される(ステップS10)。 Then, a quality judgment of the workpiece W is performed based on camera inspection (step S8), and the defective workpiece W is rejected as a defective product (step S9), and the good workpiece W is rejected as a good product (step S10).
次に、本実施形態に係る外観検査装置1の作用効果について説明する。 Next, we will explain the effects of the visual inspection device 1 according to this embodiment.
本実施形態に係る外観検査装置1は、ワークWの表面状態を検査する外観検査装置であって、載置されたワークWを搬送経路に沿って撮像領域A2まで搬送可能に構成されたコンベア11と、撮像領域A2に搬送されたワークWに対してZ方向で対向し、ワークWを撮像するカメラ12と、Z方向で見ると、撮像領域A2に搬送されたワークWを囲うように配置され、ワークWの像をカメラ12の撮像面に向けて反射する複数のミラー13a,13b,13c,13dと、複数のミラー13a,13b,13c,13dを移動可能に構成されたミラー開閉機構14,15と、コントローラ90と、を備え、コントローラ90は、ワークWが撮像領域A2まで搬送されて撮像領域A2で停止するようにコンベア11を制御する第1制御と、第1制御後において複数のミラー13a,13b,13c,13dが撮像領域A2の方向に移動するようにミラー開閉機構14,15を制御する第2制御と、第2制御後においてワークWを撮像するようにカメラ12を制御する第3制御と、第3制御後において複数のミラー13a,13b,13c,13dが撮像領域A2を含む搬送経路から離れる方向に移動するようにミラー開閉機構14,15を制御する第4制御と、を実行するように構成されている。 The appearance inspection device 1 according to this embodiment is an appearance inspection device that inspects the surface condition of a workpiece W, and includes a conveyor 11 configured to transport the placed workpiece W along a transport path to an imaging area A2, a camera 12 that faces the workpiece W transported to the imaging area A2 in the Z direction and captures an image of the workpiece W, a plurality of mirrors 13a, 13b, 13c, 13d that are arranged to surround the workpiece W transported to the imaging area A2 when viewed in the Z direction and reflect an image of the workpiece W toward the imaging surface of the camera 12, mirror opening and closing mechanisms 14, 15 configured to move the plurality of mirrors 13a, 13b, 13c, 13d, and a controller 90. The controller 90 is configured to execute a first control for controlling the conveyor 11 so that the workpiece W is transported to the imaging area A2 and stopped in the imaging area A2, a second control for controlling the mirror opening/closing mechanisms 14 and 15 so that the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d move toward the imaging area A2 after the first control, a third control for controlling the camera 12 so that the workpiece W is imaged after the second control, and a fourth control for controlling the mirror opening/closing mechanisms 14 and 15 so that the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d move in a direction away from the transport path including the imaging area A2 after the third control.
本実施形態に係る外観検査装置1では、ワークWの像をカメラ12の撮像面に向けて反射する複数のミラー13a,13b,13c,13dが、撮像領域に搬送されたワークWを囲うように配置されているので、1つのカメラ12によりワークWの複数の面を撮像することができ、例えばワークWの面毎に撮像手段が設けられた構成と比較して、コストが低減されると共に、撮像手段の切り替え等が不要になることにより撮像処理の簡易化が図られる。そして、本実施形態に係る外観検査装置1では、ワークWが撮像領域A2に停止した状態において、複数のミラー13a,13b,13c,13dが撮像領域A2の方向に移動するようにミラー開閉機構14,15が制御され、その後にカメラ12によるワークWの撮像が実施される。このように、複数のミラー13a,13b,13c,13dが、撮像領域A2の方向に移動させられ、その状態でワークWの撮像が実施されることにより、ワークWの撮像時において複数のミラー13a,13b,13c,13dがワークWに近接し撮像時フレーム枠が小さくされた状態でワークWの撮像が実施されることとなるので、高解像度(高画素)でのワークWの撮像を実現することができる。更に、本実施形態に係る外観検査装置1では、撮像後において、複数のミラー13a,13b,13c,13dが撮像領域A2を含む搬送経路から離れる方向に移動させられるので、撮像時以外(撮像前及び撮像後)においては複数のミラー13a,13b,13c,13dが搬送経路に配置されないこととなり、複数のミラー13a,13b,13c,13dがワークWの搬送の妨げにならない。以上のように、本実施形態に係る外観検査装置1によれば、コントローラ90によってミラー開閉機構14,15が複数のミラー13a,13b,13c,13dを移動させることにより、ワークWの搬送性を担保すると共にワークWを高解像度で撮像することができる。 In the appearance inspection device 1 according to this embodiment, multiple mirrors 13a, 13b, 13c, 13d that reflect the image of the workpiece W toward the imaging surface of the camera 12 are arranged to surround the workpiece W transported to the imaging area, so that multiple surfaces of the workpiece W can be imaged with one camera 12. Compared to a configuration in which an imaging means is provided for each surface of the workpiece W, for example, costs are reduced and the imaging process is simplified by eliminating the need to switch the imaging means. In the appearance inspection device 1 according to this embodiment, when the workpiece W is stopped in the imaging area A2, the mirror opening/closing mechanisms 14, 15 are controlled so that the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, 13d move in the direction of the imaging area A2, and then the camera 12 images the workpiece W. In this way, the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d are moved toward the imaging area A2, and the workpiece W is imaged in this state, so that the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d are close to the workpiece W when the workpiece W is imaged, and the image of the workpiece W is imaged in a state in which the image frame is made small, so that the image of the workpiece W can be imaged with high resolution (high pixel count). Furthermore, in the appearance inspection device 1 according to this embodiment, after the image is captured, the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d are moved in a direction away from the transport path including the imaging area A2, so that the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d are not placed on the transport path except when the image is captured (before and after the image is captured), and the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d do not interfere with the transport of the workpiece W. As described above, according to the visual inspection device 1 of this embodiment, the mirror opening and closing mechanisms 14 and 15 move the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d using the controller 90, ensuring transportability of the workpiece W and enabling the workpiece W to be imaged at high resolution.
上記外観検査装置1は、撮像領域A2に搬送されるワークWを支持する支持部16を更に備え、ワークWは、少なくともその下面がアーチ状に形成されており、支持部16におけるワークWを支持する面は、アーチ状に形成されたワークWの形状に対応するように中央部が下方に凹んだV字状に形成されていてもよい。このように、支持部16におけるワークWを支持する面が部品の形状に沿ってV字状に形成されていることにより、支持部16がワークWを受け取る際に、支持部16の軸に対してθ方向にワークWがズレた状態で支持部16に載置されることが効果的に抑制される。 The above-mentioned visual inspection device 1 further includes a support part 16 that supports the workpiece W transported to the imaging area A2, and at least the lower surface of the workpiece W is formed in an arch shape, and the surface of the support part 16 that supports the workpiece W may be formed in a V shape with the center concave downward to correspond to the shape of the workpiece W that is formed in an arch shape. In this way, since the surface of the support part 16 that supports the workpiece W is formed in a V shape along the shape of the part, when the support part 16 receives the workpiece W, it is effectively prevented that the workpiece W is placed on the support part 16 in a state where it is misaligned in the θ direction with respect to the axis of the support part 16.
上記外観検査装置1は、搬送経路における撮像領域A2よりも上流側の位置決め領域A1に搬送されたワークWについて上方から押さえ込むと共に前後方向の位置決めを行う位置決め治具20を更に備え、コントローラ90は、第1制御前においてワークWが位置決め領域A1まで搬送されて位置決め領域A1で停止するようにコンベア11を制御する第5制御と、第5制御後且つ第1制御前においてワークWが押さえ込まれるように位置決め治具20を制御する第6制御と、を更に実行するように構成されていてもよい。撮像領域A2に搬送されたワークWの位置(向き)が想定と異なっている場合には、撮像後のワークWの検査を高精度に実施することができない場合がある。ワークWの位置補正については、例えば画像ソフトによる位置補正を行うことが考えられるが、このような位置補正を行っても、ワークWの検査精度を十分に担保することができない場合がある。この点、撮像領域A2よりも上流側の位置決め領域A1において、位置決め治具20によりワークWが押さえ込まれると共にワークWの前後方向の位置決めがなされる(すなわち、ソフト的な補正ではなく実際にワークWの位置補正を実施する)ことにより、その後の撮像領域A2における撮像結果に基づく検査精度を向上させることができる。具体的には、位置決め治具20によって上方からワークWが押さえ込まれることによりワークWのローリングズレ(アーチ状のワークWが回転する方向のズレ)が補正されると共に、位置決め治具20によってワークWの前後方向の位置決めがなされることにより、ワークWの前後ズレが補正され、検査精度を向上させることができる。 The above-mentioned appearance inspection device 1 further includes a positioning jig 20 that holds down the workpiece W transported to the positioning area A1 upstream of the imaging area A2 on the transport path from above and positions it in the front-rear direction, and the controller 90 may be configured to further execute a fifth control for controlling the conveyor 11 so that the workpiece W is transported to the positioning area A1 and stopped at the positioning area A1 before the first control, and a sixth control for controlling the positioning jig 20 so that the workpiece W is held down after the fifth control and before the first control. If the position (orientation) of the workpiece W transported to the imaging area A2 is different from the expected position (orientation), it may not be possible to inspect the workpiece W after imaging with high accuracy. For example, position correction of the workpiece W may be performed using image software, but even if such position correction is performed, the inspection accuracy of the workpiece W may not be sufficiently guaranteed. In this regard, in the positioning area A1 upstream of the imaging area A2, the positioning jig 20 holds down the workpiece W and positions the workpiece W in the front-to-rear direction (i.e., actually corrects the position of the workpiece W rather than performing software correction), thereby improving the inspection accuracy based on the imaging results in the imaging area A2. Specifically, the positioning jig 20 holds down the workpiece W from above, correcting the rolling misalignment of the workpiece W (misalignment in the direction in which the arch-shaped workpiece W rotates), and the positioning jig 20 positions the workpiece W in the front-to-rear direction, correcting the front-to-rear misalignment of the workpiece W, thereby improving the inspection accuracy.
ワークWは、Z方向で見ると略矩形状とされており、複数のミラー13a,13b,13c,13dは、Z方向で見たワークWの4つの角部それぞれに配置されて該角部の像を反射する4つのミラー13a,13b,13c,13dを含んで構成されていてもよい。このように各ミラー13a,13b,13c,13dが角部に配置されることにより、各ミラー13a,13b,13c,13dによって角部に近接する二辺(Z方向で見た二辺)について撮像することができるので、ワークWの各面を適切に撮像することができる。 The workpiece W is approximately rectangular when viewed in the Z direction, and the multiple mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d may be configured to include four mirrors 13a, 13b, 13c, and 13d that are arranged at each of the four corners of the workpiece W when viewed in the Z direction and reflect images of the corners. By arranging each mirror 13a, 13b, 13c, and 13d at the corners in this manner, each mirror 13a, 13b, 13c, and 13d can capture images of two sides close to the corners (two sides when viewed in the Z direction), so that each surface of the workpiece W can be properly imaged.
コントローラ90は、第3制御におけるカメラ12の撮像結果に基づきワークWの良否を判定する第7制御を更に実行するように構成されており、第7制御では、ワークWにおける角部からの離間距離に応じた縮小率を掛け合わせて寸法を補正する補正処理を行った後に、ワークWの良品を判定してもよい。このような補正処理が実施されることにより、角部からの離間距離を考慮して実際の寸法を高精度に推定することができ、ワークWの良否判定精度を向上させることができる。 The controller 90 is further configured to execute a seventh control for determining whether the workpiece W is good or bad based on the image capturing result of the camera 12 in the third control. In the seventh control, the quality of the workpiece W may be determined after performing a correction process for correcting the dimensions by multiplying the reduction rate according to the distance from the corner of the workpiece W. By performing such a correction process, the actual dimensions can be estimated with high accuracy taking into account the distance from the corner, and the accuracy of the quality determination of the workpiece W can be improved.
上記外観検査装置1は、撮像領域A2に搬送されたワークWの上方に配置され、ワークWに対して光を照射する第1照明17と、撮像領域A2に搬送されたワークWの下方に配置され、ワークWに対して光を照射する第2照明18,19と、を更に備えていてもよい。ワークWの上方から光を照射する第1照明17に加えて、ワークWの下方から光を照射する第2照明18,19が設けられることにより、第1照明17のみの場合に光が照射されにくいワークWの下面(底面)にも適切に光を照射し、より検査精度を向上させやすい撮像結果を得ることができる。 The above-mentioned appearance inspection device 1 may further include a first illuminator 17 arranged above the workpiece W transported to the imaging area A2 and irradiating light onto the workpiece W, and second illuminators 18, 19 arranged below the workpiece W transported to the imaging area A2 and irradiating light onto the workpiece W. By providing the second illuminators 18, 19 that irradiate light from below the workpiece W in addition to the first illuminator 17 that irradiates light from above the workpiece W, light can be appropriately irradiated onto the underside (bottom surface) of the workpiece W, which is difficult to irradiate with light when only the first illuminator 17 is provided, and imaging results that tend to improve inspection accuracy can be obtained.
1…外観検査装置、11…コンベア(搬送部)、12…カメラ(撮像部)、13a,13b,13c,13d…ミラー、14,15…ミラー開閉機構(移動機構)、16…支持部、17…第1照明、18,19…第2照明、20…位置決め治具(押さえ治具)90…コントローラ(制御装置)、A1…位置決め領域、A2…撮像領域、W…ワーク(部品)。 1...visual inspection device, 11...conveyor (transport section), 12...camera (imaging section), 13a, 13b, 13c, 13d...mirror, 14, 15...mirror opening/closing mechanism (movement mechanism), 16...support section, 17...first lighting, 18, 19...second lighting, 20...positioning jig (holding jig), 90...controller (control device), A1...positioning area, A2...imaging area, W...work (component).
Claims (5)
載置された前記部品を搬送経路に沿って撮像領域まで搬送可能に構成された搬送部と、
前記撮像領域に搬送された前記部品に対して第1方向で対向し、前記部品を撮像する撮像部と、
前記第1方向で見ると、前記撮像領域に搬送された前記部品を囲うように配置され、前記部品の像を前記撮像部の撮像面に向けて反射する複数のミラーと、
前記複数のミラーを移動可能に構成された移動機構と、
制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記部品が前記撮像領域まで搬送されて前記撮像領域で停止するように前記搬送部を制御する第1制御と、前記第1制御後において前記複数のミラーが前記撮像領域の方向に移動するように前記移動機構を制御する第2制御と、前記第2制御後において前記部品を撮像するように前記撮像部を制御する第3制御と、前記第3制御後において前記複数のミラーが前記撮像領域を含む前記搬送経路から離れる方向に移動するように前記移動機構を制御する第4制御と、を実行するように構成されており、
前記撮像領域に搬送される前記部品を支持する支持部を更に備え、
前記部品は、少なくともその下面がアーチ状に形成されており、
前記支持部における前記部品を支持する面は、アーチ状に形成された前記部品の形状に対応するように中央部が下方に凹んだV字状に形成されており、
前記搬送経路における前記撮像領域よりも上流側の位置決め領域に搬送された前記部品について上方から押さえ込むと共に前後方向の位置決めを行う押さえ治具を更に備え、
前記制御装置は、前記第1制御前において前記部品が前記位置決め領域まで搬送されて前記位置決め領域で停止するように前記搬送部を制御する第5制御と、前記第5制御後且つ前記第1制御前において前記部品が押さえ込まれるように前記押さえ治具を制御する第6制御と、を更に実行するように構成されている、外観検査装置。 A visual inspection device for inspecting a surface condition of a part, comprising:
a conveying unit configured to convey the placed part along a conveying path to an imaging area;
an imaging unit that faces the component conveyed to the imaging area in a first direction and images the component;
a plurality of mirrors that are arranged to surround the component transported to the imaging area when viewed in the first direction, and that reflect an image of the component toward an imaging surface of the imaging unit;
a moving mechanism configured to be able to move the plurality of mirrors;
A control device,
The control device includes:
a first control for controlling the transport unit so that the component is transported to the imaging area and stopped at the imaging area; a second control for controlling the moving mechanism so that the multiple mirrors move toward the imaging area after the first control; a third control for controlling the imaging unit so that the component is imaged after the second control; and a fourth control for controlling the moving mechanism so that the multiple mirrors move in a direction away from the transport path including the imaging area after the third control ,
a support unit that supports the component to be transported to the imaging area;
At least a lower surface of the component is formed in an arch shape,
a surface of the support portion that supports the component is formed in a V-shape with a central portion concave downward so as to correspond to a shape of the component that is formed in an arch shape,
a pressing tool that presses down the part conveyed to a positioning area upstream of the imaging area on the conveying path from above and positions the part in a front-rear direction,
The control device is configured to further execute a fifth control of controlling the transport section so that the part is transported to the positioning area and stopped at the positioning area before the first control, and a sixth control of controlling the pressing jig so that the part is pressed down after the fifth control and before the first control .
載置された前記部品を搬送経路に沿って撮像領域まで搬送可能に構成された搬送部と、
前記撮像領域に搬送された前記部品に対して第1方向で対向し、前記部品を撮像する撮像部と、
前記第1方向で見ると、前記撮像領域に搬送された前記部品を囲うように配置され、前記部品の像を前記撮像部の撮像面に向けて反射する複数のミラーと、
前記複数のミラーを移動可能に構成された移動機構と、
制御装置と、を備え、
前記制御装置は、
前記部品が前記撮像領域まで搬送されて前記撮像領域で停止するように前記搬送部を制御する第1制御と、前記第1制御後において前記複数のミラーが前記撮像領域の方向に移動するように前記移動機構を制御する第2制御と、前記第2制御後において前記部品を撮像するように前記撮像部を制御する第3制御と、前記第3制御後において前記複数のミラーが前記撮像領域を含む前記搬送経路から離れる方向に移動するように前記移動機構を制御する第4制御と、を実行するように構成されており、
前記部品は、前記第1方向で見ると略矩形状とされており、
前記複数のミラーは、前記第1方向で見た前記部品の4つの角部それぞれに配置されて該角部の像を反射する4つのミラーを含んで構成されており、
前記制御装置は、前記第3制御における前記撮像部の撮像結果に基づき前記部品の良否を判定する第7制御を更に実行するように構成されており、
前記第7制御では、前記部品における前記角部からの離間距離に応じた縮小率を掛け合わせて寸法を補正する補正処理を行った後に、前記部品の良品を判定する、外観検査装置。 A visual inspection device for inspecting a surface condition of a part, comprising:
a conveying unit configured to convey the placed part along a conveying path to an imaging area;
an imaging unit that faces the component conveyed to the imaging area in a first direction and images the component;
a plurality of mirrors that are arranged to surround the component transported to the imaging area when viewed in the first direction, and that reflect an image of the component toward an imaging surface of the imaging unit;
a moving mechanism configured to be able to move the plurality of mirrors;
A control device,
The control device includes:
a first control for controlling the transport unit so that the component is transported to the imaging area and stopped at the imaging area; a second control for controlling the moving mechanism so that the multiple mirrors move toward the imaging area after the first control; a third control for controlling the imaging unit so that the component is imaged after the second control; and a fourth control for controlling the moving mechanism so that the multiple mirrors move in a direction away from the transport path including the imaging area after the third control,
The component has a substantially rectangular shape when viewed in the first direction,
the plurality of mirrors include four mirrors that are disposed at four corners of the component as viewed in the first direction and that reflect images of the corners;
The control device is configured to further execute a seventh control for determining whether the component is good or bad based on an imaging result of the imaging unit in the third control,
In the seventh control, a correction process is performed to correct the dimensions by multiplying the dimensions by a reduction rate according to the distance from the corner of the component, and then the component is judged to be a non-defective product.
前記撮像領域に搬送された前記部品の下方に配置され、前記部品に対して光を照射する第2照明と、を更に備える、請求項1又は2記載の外観検査装置。 a first illuminator that is disposed above the component transported to the imaging area and irradiates the component with light;
3. The visual inspection apparatus according to claim 1, further comprising: a second illuminator arranged below the component transported to the imaging area and configured to irradiate the component with light.
搬送部によって、部品を搬送経路に沿って撮像領域まで搬送し該撮像領域で停止させる第1工程と、
前記第1工程後において、移動機構によって、前記撮像領域に搬送された前記部品を囲うように配置された複数のミラーを前記撮像領域の方向に移動させる第2工程と、
前記第2工程後において、撮像部によって、前記部品を撮像する第3工程と、
前記第3工程後において、前記移動機構によって、前記複数のミラーを前記撮像領域から離れる方向に移動させる第4工程と、を含み、
前記部品は、少なくともその下面がアーチ状に形成されており、
前記撮像領域に搬送される前記部品を支持する支持部における前記部品を支持する面は、アーチ状に形成された前記部品の形状に対応するように中央部が下方に凹んだV字状に形成されており、
前記第1工程前において、前記搬送部によって、前記部品を前記搬送経路における前記撮像領域よりも上流側の位置決め領域まで搬送し前記位置決め領域で停止させる第5工程と、
前記第5工程後且つ前記第1工程前において、前記位置決め領域に搬送された前記部品について上方から押さえ込むと共に前後方向の位置決めを行う押さえ治具によって、前記部品を押さえ込む第6工程と、を更に含む、外観検査方法。 A visual inspection method for inspecting a surface condition of a part, comprising the steps of:
a first step of conveying the part along a conveying path to an imaging area by a conveying unit and stopping the part in the imaging area;
a second step of moving, by a moving mechanism after the first step, a plurality of mirrors arranged to surround the component transported to the imaging area toward the imaging area;
a third step of capturing an image of the component by an imaging unit after the second step;
a fourth step of moving the plurality of mirrors in a direction away from the imaging area by the moving mechanism after the third step ,
At least a lower surface of the component is formed in an arch shape,
a surface of a support part for supporting the component to be transported to the imaging area is formed in a V-shape with a central portion concave downward so as to correspond to a shape of the component which is formed in an arch shape,
a fifth step of conveying the part by the conveying unit to a positioning area upstream of the imaging area on the conveying path and stopping the part in the positioning area before the first step;
The visual inspection method further includes a sixth step of holding down the part transported to the positioning area with a holding jig that holds down the part from above and positions it in the front-to-back direction after the fifth step and before the first step .
搬送部によって、部品を搬送経路に沿って撮像領域まで搬送し該撮像領域で停止させる第1工程と、a first step of conveying the part along a conveying path to an imaging area by a conveying unit and stopping the part in the imaging area;
前記第1工程後において、移動機構によって、前記撮像領域に搬送された前記部品を囲うように配置された複数のミラーを前記撮像領域の方向に移動させる第2工程と、a second step of moving, by a moving mechanism after the first step, a plurality of mirrors arranged to surround the component transported to the imaging area toward the imaging area;
前記第2工程後において、撮像部によって、前記部品を撮像する第3工程と、a third step of capturing an image of the component by an imaging unit after the second step;
前記第3工程後において、前記移動機構によって、前記複数のミラーを前記撮像領域から離れる方向に移動させる第4工程と、を含み、a fourth step of moving the plurality of mirrors in a direction away from the imaging area by the moving mechanism after the third step,
前記部品は、前記部品と前記撮像部とが対向する第1方向で見ると略矩形状とされており、The component has a substantially rectangular shape when viewed in a first direction in which the component and the imaging unit face each other,
前記複数のミラーは、前記第1方向で見た前記部品の4つの角部それぞれに配置されて該角部の像を反射する4つのミラーを含んで構成されており、the plurality of mirrors include four mirrors that are disposed at four corners of the component as viewed in the first direction and reflect images of the corners;
前記第3工程における前記撮像部の撮像結果に基づき前記部品の良否を判定する第7工程を更に含み、A seventh step of determining whether the component is good or bad based on the imaging result of the imaging unit in the third step,
前記第7工程では、前記部品における前記角部からの離間距離に応じた縮小率を掛け合わせて寸法を補正する補正処理を行った後に、前記部品の良品を判定する、外観検査方法。In the seventh step, a correction process is performed to correct the dimensions by multiplying the dimensions by a reduction rate according to the distance from the corner of the component, and then the component is judged to be a non-defective product.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021158899A JP7708632B2 (en) | 2021-09-29 | 2021-09-29 | Visual inspection device and visual inspection method |
| CN202211136709.5A CN115876117A (en) | 2021-09-29 | 2022-09-19 | Appearance inspection device and appearance inspection method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021158899A JP7708632B2 (en) | 2021-09-29 | 2021-09-29 | Visual inspection device and visual inspection method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023049256A JP2023049256A (en) | 2023-04-10 |
| JP7708632B2 true JP7708632B2 (en) | 2025-07-15 |
Family
ID=85769884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021158899A Active JP7708632B2 (en) | 2021-09-29 | 2021-09-29 | Visual inspection device and visual inspection method |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7708632B2 (en) |
| CN (1) | CN115876117A (en) |
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2021
- 2021-09-29 JP JP2021158899A patent/JP7708632B2/en active Active
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- 2022-09-19 CN CN202211136709.5A patent/CN115876117A/en active Pending
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| JP2021148593A (en) | 2020-03-19 | 2021-09-27 | 株式会社Screenホールディングス | Inspection system, inspection result display method and display program |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2023049256A (en) | 2023-04-10 |
| CN115876117A (en) | 2023-03-31 |
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