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JP7712601B2 - surface coated cutting tools - Google Patents
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JP7712601B2 - surface coated cutting tools - Google Patents

surface coated cutting tools

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JP7712601B2
JP7712601B2 JP2022032337A JP2022032337A JP7712601B2 JP 7712601 B2 JP7712601 B2 JP 7712601B2 JP 2022032337 A JP2022032337 A JP 2022032337A JP 2022032337 A JP2022032337 A JP 2022032337A JP 7712601 B2 JP7712601 B2 JP 7712601B2
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Description

本発明は、表面被覆切削工具(以下、被覆工具ということがある)に関する。 The present invention relates to a surface-coated cutting tool (hereinafter sometimes referred to as a coated tool).

従来、切削工具を高寿命とすべく、炭化タングステン(以下、WCということがある)基超硬合金等の基体の表面に、被覆層を被覆した被覆工具があり、この被覆工具は耐摩耗性等が向上している。
そして、被覆工具のより一層の切削性能を向上させるために、被覆層の組成や構造について、種々の提案がなされている。
Conventionally, in order to extend the life of cutting tools, there have been coated tools in which a coating layer is applied to the surface of a substrate such as a tungsten carbide (hereinafter sometimes referred to as WC)-based cemented carbide, and these coated tools have improved wear resistance and the like.
In order to further improve the cutting performance of the coated tool, various proposals have been made regarding the composition and structure of the coating layer.

例えば、特許文献1には、1以上の層により構成され、前記層のうち少なくとも1層は、Ti1-xAlxNからなる第1単位層と、Ti1-yAlyNからなる第2単位層とが交互に積層された多層構造を含み、前記第1単位層はfcc型結晶構造を有し、前記Ti1-xAlxNにおけるxは0<x<0.65を満たし、前記第2単位層はhcp型結晶構造を有し、前記Ti1-yAlyNにおけるyは0.65≦y<1を満たす被覆層を有する被覆工具が記載され、該被覆工具は硬度と耐酸化性に優れるとされている。 For example, Patent Document 1 describes a coated tool having a coating layer which is composed of one or more layers, at least one of which includes a multilayer structure in which a first unit layer made of Ti1 - xAlxN and a second unit layer made of Ti1- yAlyN are alternately laminated, the first unit layer having an fcc type crystal structure, x in the Ti1 - xAlxN satisfies 0<x<0.65, the second unit layer having an hcp type crystal structure, and y in the Ti1 - yAlyN satisfies 0.65≦y<1, and the coated tool is said to have excellent hardness and oxidation resistance.

特開2015-124407号公報JP 2015-124407 A

本発明は、前記事情や前記提案を鑑みてなされたもので、優れた耐摩耗性、耐熱亀裂性を有する表面被覆切削工具を得ることを目的とする。 The present invention was made in consideration of the above circumstances and proposals, and aims to obtain a surface-coated cutting tool with excellent wear resistance and thermal crack resistance.

本発明の実施形態に係る表面被覆切削工具は、
基体と該基体の表面に被覆層を有し、
(a)前記被覆層は、前記基体に接する下地層、該下地層に接する下部層、および、該下部層に接する上部層を有し、
(b)前記下地層は、その平均厚さが0.05~2.00μmであって、Tiの窒化物または炭窒化物を含み、
(c)前記下部層は、その平均厚さが0.5~13.5μmであって、
(AlXBTi1-XB)(CYB1-YB)である複合窒化物Bまたは複合炭窒化物B’を含み、前記XBの平均値であるXBAVG、前記YBの平均値であるYBAVGが、それぞれ、0.50≦XBAVG≦0.75、0.00≦YBAVG≦0.05であり、
(d)前記複合窒化物Bまたは複合炭窒化物B’は、前記被覆層の厚さ方向の断面において、80面積%以上のNaCl型面心立方構造の結晶粒Bを有し、
(e)前記結晶粒Bは前記厚さ方向に、前記XBの増減を繰り返す結晶粒を含み、前記XBの隣接する極大値と極小値の差の平均値ΔXBが、0.01~0.05であって、前記厚さ方向における繰返し変化の間隔が1~12nmであり、
(f)前記上部層は、その平均厚さが0.5~9.4μmであって、
(AlXCTi1-XC)(CYC1-YC)である複合窒化物Cまたは複合炭窒化物C’を含み、前記XCの平均値であるXCAVG、前記YCの平均値であるYCAVGが、それぞれ、0.50≦XCAVG≦0.75、0.00≦YCAVG≦0.05であり、
(g)前記複合窒化物Cまたは複合炭窒化物C’は、前記厚さ方向の断面において、80面積%以上のNaCl型面心立方構造の結晶粒Cを有し、
(h)前記結晶粒Cは前記厚さ方向に、前記XCの増減を繰り返す結晶粒を含み、前記XCの隣接する極大値と極小値の差の平均値ΔXCが、0.10~0.50であって、前記厚さ方向における繰返し変化の間隔が20~100nmであり、
(i)前記下部層および前記上部層は、0.00≦XBAVG-XCAVG≦0.10を満たす。
The surface-coated cutting tool according to an embodiment of the present invention comprises:
A substrate and a coating layer on the surface of the substrate,
(a) the coating layer has an underlayer in contact with the substrate, a lower layer in contact with the underlayer, and an upper layer in contact with the lower layer,
(b) the underlayer has an average thickness of 0.05 to 2.00 μm and contains a nitride or carbonitride of Ti;
(c) the lower layer has an average thickness of 0.5 to 13.5 μm;
The composite material includes a composite nitride B or a composite carbonitride B' having a structure of (Al XB Ti 1-XB )(C YB N 1-YB ), and the average value of XB, XB AVG , and the average value of YB, YB AVG , are 0.50≦XB AVG ≦0.75 and 0.00≦YB AVG ≦0.05, respectively;
(d) the composite nitride B or composite carbonitride B' has crystal grains B of an NaCl type face-centered cubic structure of 80% or more by area in a cross section in the thickness direction of the coating layer,
(e) the crystal grains B include crystal grains in which the XB repeatedly increases and decreases in the thickness direction, an average value ΔXB of the difference between adjacent maximum and minimum values of the XB is 0.01 to 0.05, and the interval of the repeated change in the thickness direction is 1 to 12 nm;
(f) the upper layer has an average thickness of 0.5 to 9.4 μm;
The present invention includes a complex nitride C or a complex carbonitride C' having a structure of (Al XC Ti 1-XC ) (C YC N 1-YC ), wherein XC AVG , which is an average value of XC, and YC AVG , which is an average value of YC, are 0.50≦XC AVG ≦0.75 and 0.00≦YC AVG ≦0.05, respectively;
(g) the composite nitride C or composite carbonitride C' has crystal grains C of NaCl type face-centered cubic structure of 80% or more by area in the cross section in the thickness direction,
(h) the crystal grains C include crystal grains in which the XC repeatedly increases and decreases in the thickness direction, an average value ΔXC of the difference between adjacent maximum and minimum values of the XC is 0.10 to 0.50, and the interval of the repeated changes in the thickness direction is 20 to 100 nm;
(i) The lower layer and the upper layer satisfy the relationship 0.00≦XB AVG −XC AVG ≦0.10.

さらに、前記実施形態に係る表面被覆切削工具は、次の(1)~(3)の少なくとも1つを満足してもよい。 Furthermore, the surface-coated cutting tool according to the above embodiment may satisfy at least one of the following (1) to (3).

(1)前記下部層において、ρB=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl])([Q]は、元素Qの原子数を表す)が0.001~0.050であり、
前記上部層において、ρC=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl])が0.001~0.010であること。
(2)前記被覆層において、NaCl型の面心立方晶構造の結晶粒の200回折線の強度値I(200)と同111回折線の強度値I(111)は、
1.0≦I(200)/I(111)の関係を満たすこと。
(3)隣り合う2つの前記結晶粒Bの粒界からそれぞれの粒内に25nm入り込んだ線lに囲まれた範囲を領域α、該線lと粒界に囲まれた範囲を領域βと定義したとき、
0.20≦xβ≦xα-0.10(ただし、xαは領域αにおける前記XBの平均値であり、xβは領域βにおける任意の位置の直径50nmの領域における前記XBの平均値)を満足する箇所が領域β内に5~20面積%で存在すること。
(1) in the lower layer, ρB=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl]), where [Q] represents the number of atoms of element Q, is 0.001 to 0.050;
In the upper layer, ρC=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl]) is 0.001 to 0.010.
(2) In the coating layer, the intensity value I(200) of the 200 diffraction line of the crystal grains having a face-centered cubic crystal structure of NaCl type and the intensity value I(111) of the 111 diffraction line of the same are:
The relationship 1.0≦I(200)/I(111) is satisfied.
(3) When the area surrounded by a line l extending 25 nm into each grain from the grain boundary between two adjacent crystal grains B is defined as area α, and the area surrounded by the line l and the grain boundary is defined as area β,
0.20≦xβ≦xα-0.10 (where xα is the average value of XB in region α, and xβ is the average value of XB in a region of 50 nm diameter at any position in region β) is present in 5 to 20% by area within region β.

前記実施形態に係る表面被覆切削工具は、優れた耐摩耗性、耐熱亀裂性を有する。 The surface-coated cutting tool according to the above embodiment has excellent wear resistance and thermal crack resistance.

本発明の一実施形態に係る表面被覆切削工具の縦断面模式図である。1 is a schematic vertical cross-sectional view of a surface-coated cutting tool according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る表面被覆切削工具の被覆層の縦断面において、Alの含有量の繰返し変化の一部を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a part of repeated changes in the Al content in a vertical cross section of a coating layer of a surface-coated cutting tool according to one embodiment of the present invention. 領域αおよび領域βを表す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing regions α and β.

本発明者は、被覆層にAlとTiとの複合炭化物、複合窒化物(以下、(AlTi)CNと表すことがある)を有する被覆工具において、より優れた耐摩耗性、耐熱亀裂性を有するための方策について鋭意検討した。
その結果、被覆工具の表面側に耐摩耗性に優れた組成の(AlTi)CN層を所定の平均厚さで設け、その下方(基体側)に耐熱亀裂性を有する組成の(AlTi)CN層を所定の平均厚さで設け、かつ、両(AlTi)CN層はAl含有量の所定の繰り返し変化を有することにより、被覆工具が優れた耐摩耗性、耐熱亀裂性を発揮するとの知見を得た。
The present inventors have intensively studied ways to provide a coated tool having a coating layer of a composite carbide or nitride of Al and Ti (hereinafter, sometimes referred to as (AlTi)CN) with better wear resistance and thermal cracking resistance.
As a result, it was discovered that a coated tool can exhibit excellent wear resistance and thermal cracking resistance by providing an (AlTi)CN layer of a prescribed average thickness having a composition with excellent wear resistance on the surface side of the coated tool, and providing an (AlTi)CN layer of a prescribed average thickness having a composition with thermal cracking resistance underneath (on the substrate side), and both (AlTi)CN layers have a prescribed repeated change in Al content.

以下では、本発明の実施形態の被覆工具について詳細に説明する。
なお、本明細書および特許請求の範囲において、数値範囲を「L~M」(L、Mは共に数値)で表現するときは、「L以上、M以下」と同義であって、その範囲は上限値(M)および下限値(L)を含んでおり、上限値のみに単位が記載されているときは、下限値の単位も同じである。
Hereinafter, a coated tool according to an embodiment of the present invention will be described in detail.
In this specification and claims, when a numerical range is expressed as "L to M" (L and M are both numerical values), this is equivalent to "greater than or equal to L and less than or equal to M", and the range includes an upper limit (M) and a lower limit (L). When a unit is stated only for the upper limit, the unit for the lower limit is also the same.

図1に、本発明の一実施形態に係る被覆工具の縦断面図(基体の表面の微小な凹凸を無視して基体の表面を水平面と扱いこの面に垂直方向の断面)を模式的に示す。この図1から明らかなように、この実施形態に係る被覆工具は、基体(1)の表面に下地層(2)が接し、該下地層(2)の工具表面側で該下地層(2)と接する下部層(3)と、さらに該下部層(3)の工具表面側で該下部層(3)と接する上部層(4)を有している。そして、下地層(2)、下部層(3)および上部層(4)は被覆層(5)を構成する。また、後述するように、最外層(6)を選択的に設けてもよい。
以下、順に各層を説明する。
FIG. 1 is a schematic longitudinal sectional view of a coated tool according to an embodiment of the present invention (a cross section perpendicular to the surface of the substrate, with the surface of the substrate treated as a horizontal plane, ignoring minute irregularities on the surface of the substrate). As is clear from FIG. 1, the coated tool according to this embodiment has a base layer (2) in contact with the surface of the substrate (1), a lower layer (3) in contact with the base layer (2) on the tool surface side of the base layer (2), and an upper layer (4) in contact with the lower layer (3) on the tool surface side of the lower layer (3). The base layer (2), the lower layer (3), and the upper layer (4) constitute a coating layer (5). In addition, an outermost layer (6) may be selectively provided, as described later.
Each layer will be described in turn below.

1.下地層
基体表面に接する下地層は、Tiの窒化物もしくは炭窒化物からなり、基材と下部層との密着性を与える層(密着層)として働くものである。
1. Underlayer The underlayer in contact with the substrate surface is made of Ti nitride or carbonitride, and serves as a layer (adhesion layer) that provides adhesion between the substrate and the lower layer.

(1)平均組成
下地層の組成は、Tiの窒化物もしくは炭窒化物であれば、特段の制約はない(化学量論的組成に限定されない)。例えば、組成式TiC1-Z(0≦Z≦0.5)であってよい。ここで、Zが、0.5より多く含まれると下地層の硬度が過度に上昇し、下地層が基材界面から剥離しやすくなることがある。
(1) Average composition The composition of the underlayer is not particularly limited (it is not limited to a stoichiometric composition) so long as it is a nitride or carbonitride of Ti. For example, it may have a composition formula TiC Z N 1-Z (0≦Z≦0.5). Here, if Z is more than 0.5, the hardness of the underlayer increases excessively, and the underlayer may be easily peeled off from the interface with the substrate.

また、Tiと(C1-Z)との比は特に限定されるものではないが、1:0.8~1:1.2が好ましい。その理由は、この範囲内であれば、確実に本発明の目的が達成できるためである。 The ratio of Ti to (C Z N 1-Z ) is not particularly limited, but is preferably 1:0.8 to 1:1.2, because the object of the present invention can be reliably achieved within this range.

(2)平均厚さ
下地層の平均厚さは、0.05~2.00μmであることが好ましい。その理由は、0.05μmより薄いと密着層としての働きが不十分であり、一方、2.00μm以上であると被覆層に占める密着層の厚さが過多となり、十分な耐摩耗性能が得られないためである。下地層の平均厚さは0.10~1.50μmであることがより好ましい。
(2) Average thickness The average thickness of the undercoat layer is preferably 0.05 to 2.00 μm. The reason is that if it is thinner than 0.05 μm, it will not function as an adhesive layer sufficiently, while if it is 2.00 μm or more, the thickness of the adhesive layer in the coating layer will be too large, and sufficient wear resistance will not be obtained. The average thickness of the undercoat layer is more preferably 0.10 to 1.50 μm.

2.下部層
下地層の表面に接し工具表面側に設ける下部層は、(AlTi)CN層であって、基材方向へ進展する熱亀裂の進展抑制層として働くものである。
2. Lower Layer The lower layer provided on the tool surface side in contact with the surface of the base layer is an (AlTi)CN layer, which acts as a layer for suppressing the propagation of thermal cracks propagating toward the base material.

(1)平均組成
下部層は、(AlXBTi1-XB)(CYB1-YB)において、XBの平均含有量であるXBAVG、YBの平均含有量であるYBAVGが0.50≦XBAVG≦0.75、0.00≦YBAVG≦0.05であることが好ましい。
(1) Average Composition In the lower layer, in (Al XB Ti 1-XB ) (C YB N 1-YB ), it is preferable that the average XB content, XB AVG , and the average YB content, YB AVG , satisfy 0.50≦XB AVG ≦0.75 and 0.00≦YB AVG ≦0.05.

その理由は、XBAVGが0.50未満であると、(AlTi)CN皮膜が本来持つ、高い耐酸化特性が十分に得られず、一方、XBAVGが0.75を上回ると隣接する上部層との良好な密着性が得られにくくなり、上部層が剥離しやすくなって耐久性が劣るためである。XBAVGの値は、0.65≦XBAVG≦0.75であることがより好ましい。
(AlTi)CNにおけるC成分には、硬さを向上させる作用があるため、含有してもよい。しかし、YBAVGが0.05を超えると、下部層の高温強度が低下するため、0.00≦YBAVG<0.05とすることが好ましい。
The reason is that if XB AVG is less than 0.50, the inherent high oxidation resistance of the (AlTi)CN coating cannot be fully obtained, while if XB AVG exceeds 0.75, it becomes difficult to obtain good adhesion with the adjacent upper layer, and the upper layer is easily peeled off, resulting in poor durability. It is more preferable that the value of XB AVG is 0.65≦XB AVG ≦0.75.
The C component in (AlTi)CN has the effect of improving hardness and may be contained. However, if YB AVG exceeds 0.05, the high temperature strength of the lower layer decreases, so it is preferable to set 0.00≦YB AVG <0.05.

また、(AlXBTi1-XB)と(CYB1-YB)との比は特に限定されるものではないが、1:0.8~1:1.2が好ましい。その理由は、この範囲内であれば、確実に本発明の目的が達成できるためである。
このことは、上部層の(AlXCTi1-XC)と(CYC1-YC)においても同じである。
The ratio of (Al XB Ti 1-XB ) to (C YB N 1-YB ) is not particularly limited, but is preferably 1:0.8 to 1:1.2, because the object of the present invention can be reliably achieved within this range.
The same is true for the upper layers (Al XC Ti 1-XC ) and (C YC N 1-YC ).

(2)NaCl型面心立方構造の結晶粒
下部層では、NaCl型面心立方構造を有する結晶粒の割合が80面積%以上であることが好ましい。その理由は、80面積%未満であること、下部層中に(AlTi)CNの本来の安定相であり軟質なウルツ鉱型の六方晶構造の割合が増加し、被覆工具の十分な耐久性を得られないためである。NaCl型面心立方構造を有する結晶粒の割合は90面積%以上であることがより好ましい。100面積%であってもよい。
(2) Crystal grains with NaCl type face-centered cubic structure In the lower layer, the proportion of crystal grains with NaCl type face-centered cubic structure is preferably 80 area % or more. The reason is that if it is less than 80 area %, the proportion of the soft wurtzite type hexagonal structure, which is the inherent stable phase of (AlTi)CN, increases in the lower layer, and sufficient durability of the coated tool cannot be obtained. The proportion of crystal grains with NaCl type face-centered cubic structure is more preferably 90 area % or more. It may be 100 area %.

(3)平均厚さ
下部層の平均厚さは、0.5~13.5μmであることが好ましい。その理由は、0.5μm未満であると前述の熱亀裂進展の抑制が十分に得られず、一方、13.5μmを超えると下部層の結晶粒子が粗大化し、耐摩耗性は得られるものの、加工衝撃による結晶粒の脱落を伴う損傷が生じやすく、被覆工具の異常損傷につながるためである。下部層の平均厚さは、2.0~7.0μmであることがより好ましい。
(3) Average Thickness The average thickness of the lower layer is preferably 0.5 to 13.5 μm. The reason is that if it is less than 0.5 μm, the suppression of the thermal cracking cannot be sufficiently achieved, while if it exceeds 13.5 μm, the crystal grains of the lower layer become coarse, and although wear resistance is achieved, damage accompanied by the falling off of crystal grains due to processing shock is likely to occur, leading to abnormal damage to the coated tool. The average thickness of the lower layer is more preferably 2.0 to 7.0 μm.

(4)XBの増減の繰返し変化
下部層では、被覆層の厚さ方向に、XBの増減を繰り返す結晶粒の割合が60面積%以上であることが好ましい。その理由は、60面積%未満であると、前述の熱亀裂進展の抑制が十分に得られないためである。XBの増減を繰り返す結晶粒の割合は100面積%であってもよい。
(4) Repeated increase and decrease of XB In the lower layer, the proportion of crystal grains in which XB repeatedly increases and decreases in the thickness direction of the coating layer is preferably 60% or more by area. The reason is that if it is less than 60% by area, the above-mentioned suppression of thermal crack propagation cannot be sufficiently obtained. The proportion of crystal grains in which XB repeatedly increases and decreases may be 100% by area.

XBの増減の繰返し変化において、隣接する極大値と極小値との差の平均値ΔXBが0.01~0.05であることが好ましい。ΔXBをこの範囲とする理由は、0.01未満であるとクラック進展の抑制が十分ではなく耐チッピング性が低下し、一方、0.05を超えると、高いAl含有量の領域と低いAl含有量の領域の境界に生じる格子歪みが大きくなって、切削時の破壊起点となってチッピング等の異常損傷を生じるためである。ΔXBは0.01~0.03であることがより好ましい。 In the repeated increase and decrease of XB, it is preferable that the average value ΔXB of the difference between adjacent maximum and minimum values is 0.01 to 0.05. The reason for setting ΔXB in this range is that if it is less than 0.01, crack propagation is not sufficiently suppressed and chipping resistance decreases, while if it exceeds 0.05, the lattice distortion occurring at the boundary between the high Al content region and the low Al content region becomes large, which becomes the starting point of fracture during cutting and causes abnormal damage such as chipping. It is more preferable that ΔXB is 0.01 to 0.03.

また、隣接する極大値と極小値との間隔の平均値、すなわち、被覆層の厚さ方向における平均間隔が1~12nmであることが好ましい。平均間隔をこの範囲とする理由は、平均間隔が1nm未満であると、高いAl含有量の領域と低いAl含有量の領域の境界の数が増え、局所的な密着強度の低下や塑性変形が生じやすくなって耐チッピング性、硬さが低下し、一方、12nmを超えると、切削時のクラック進展抑制のための下部層の緩衝作用が十分でないためである。平均間隔は1~5nmであることがより好ましい。 In addition, it is preferable that the average value of the distance between adjacent maximum and minimum values, i.e., the average distance in the thickness direction of the coating layer, is 1 to 12 nm. The reason for setting the average distance within this range is that if the average distance is less than 1 nm, the number of boundaries between regions with high Al content and regions with low Al content increases, which leads to a local decrease in adhesion strength and a tendency for plastic deformation to occur, resulting in a decrease in chipping resistance and hardness, while if it exceeds 12 nm, the cushioning effect of the lower layer to suppress crack propagation during cutting is insufficient. It is more preferable that the average distance is 1 to 5 nm.

図2は、XBの増減の繰返し変化(Al含有量の繰返し変化)の一例の一部を模式的に示す図である。図2では、極大値、極小値のそれぞれが同じ値であり、隣接する極大値と極小値の間隔も同じであるが、XBの増減の繰返し変化とは、XBが極大値と極小値を交互にとるように変化すればよく、極大値および極小値が、それぞれ、同じ値であっても同じ値でなくてもよく、隣接する極大値と極小値の間隔も同じであっても、異なっていてもよい。 Figure 2 is a schematic diagram showing part of an example of repeated increase and decrease in XB (repeated change in Al content). In Figure 2, the maximum and minimum values are the same, and the interval between adjacent maximum and minimum values is also the same, but repeated increase and decrease in XB may be such that XB alternates between maximum and minimum values, and the maximum and minimum values may or may not be the same value, and the interval between adjacent maximum and minimum values may or may not be the same.

ここで、XBの増減の繰返し変化を有する下部層における極大値を与える位置とこれに隣接する極小値を与える位置の平均間隔は、NaCl型面心立方構造を有する結晶粒のそれぞれに対して、下部層の厚さ方向にAlの含有量を測定しXBの繰返し変化とは考えられないノイズをローパスフィルタ等の公知の手段による除去を行ってグラフ化することにより求められる。 Here, the average distance between the position of the maximum value in the lower layer where XB increases and decreases repeatedly and the adjacent position of the minimum value is determined by measuring the Al content in the thickness direction of the lower layer for each crystal grain having a NaCl-type face-centered cubic structure, removing noise that is not considered to be a repeated change in XB using a known means such as a low-pass filter, and graphing the result.

すなわち、図2に示すように、XBの増減の繰返し変化を示す曲線に対して、この曲線を横切る直線mを引く(図2では直線mは極大値、極小値をそれぞれ2つ横切る長さを示しているが、直線mの長さはこれに限らず、極大値および極小値の平均値、並びに平均間隔が精度よく求められる長さとする)。この直線mは、前記曲線に囲まれた領域の面積が直線mの上側と下側とで等しくなるように引いたものである(m=XBAVGである)。そして、この直線mがAl含有量の繰返し変化を示す曲線を横切る領域毎に、XBの極大値または極小値を求め、両者の間隔を測定し、複数箇所におけるこの測定値を平均することによって、下部層におけるNaCl型面心立方構造を有する結晶粒のそれぞれに対して、XBの増減の繰返し変化の平均間隔を求める。また、Al含有割合XBの増減の繰り返しにおける隣接する極大値と極小値との差の平均値を求め、ΔXBとして算出する。 That is, as shown in FIG. 2, a straight line m is drawn across the curve showing the repeated increase and decrease of XB (in FIG. 2, the straight line m shows the length crossing two maximum values and two minimum values, but the length of the straight line m is not limited to this, and is the length that allows the average value of the maximum value and the minimum value and the average interval to be obtained with high accuracy). This straight line m is drawn so that the area of the region surrounded by the curve is equal on the upper side and the lower side of the straight line m (m=XB AVG ). Then, for each region where the straight line m crosses the curve showing the repeated change of the Al content, the maximum value or the minimum value of XB is obtained, the interval between the two is measured, and the measured values at multiple points are averaged to obtain the average interval of the repeated increase and decrease of XB for each crystal grain having a NaCl type face-centered cubic structure in the lower layer. In addition, the average value of the difference between the adjacent maximum value and the minimum value in the repeated increase and decrease of the Al content ratio XB is obtained and calculated as ΔXB.

(5)Cl含有量
下部層において、ρB=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl])([Q]は、元素Qの原子数を表す)が0.001~0.050であることがより好ましい。
ρBをこの範囲とする理由は、0.001未満では被覆層の潤滑性が十分でないことがあり、一方、0.050を超えると下部層の靭性がそこなわれて耐チッピング性が低下することがあるためである。
(5) Cl Content In the lower layer, it is more preferable that ρB=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl]) (where [Q] represents the number of atoms of element Q) is 0.001 to 0.050.
The reason for specifying this range for ρB is that if it is less than 0.001, the lubricity of the coating layer may be insufficient, while if it exceeds 0.050, the toughness of the lower layer may be impaired, resulting in reduced chipping resistance.

(6)XBの粒界近傍とそれ以外の関係
図3に示すように、下部層において、隣接するNaCl型面心立方構造の結晶粒について、両者の結晶粒界からそれぞれの結晶粒内に25nm離れた線l(10)に囲まれた範囲を領域α(8)、該線l(10)と粒界に囲まれた範囲を領域β(9)とするとき、
0.20≦XBβ≦XBα-0.10を満足する箇所が領域β内に5~20面積%含まれることがより一層好ましい。
ここで、XBαは、領域αにおけるXBの平均値であり、XBβは領域Bにおける任意の位置の直径50nmの領域におけるXBの平均値である。
(6) Relationship between the vicinity of the grain boundary of XB and other areas As shown in FIG. 3, in the lower layer, for adjacent crystal grains of NaCl type face-centered cubic structure, the area surrounded by a line l(10) 25 nm away from the grain boundary between the two crystal grains is defined as region α(8), and the area surrounded by the line l(10) and the grain boundary is defined as region β(9).
It is even more preferable that the areas satisfying 0.20≦XBβ≦XBα-0.10 account for 5 to 20% by area within region β.
Here, XBα is the average value of XB in region α, and XBβ is the average value of XB in a region of 50 nm diameter at an arbitrary position in region B.

その理由は、以下のとおりである。
前記関係式については、XBβ>XBα-0.10であると、転位の移動が抑制されてTiAlCN層の硬さの向上が十分でないことがあり、粒界近傍の格子定数が上がって(TiAl)CN層に圧縮応力が付与されることによる耐チッピング性向上の効果も小さいことがある。一方、XBβが0.20未満であると、(TiAl)CN層の耐高温酸化性が劣るため耐チッピング性が低下することがある。したがって、0.20≦XBβ≦XBα-0.10が成り立つことがより一層好ましい。
The reasons are as follows:
Regarding the above-mentioned relational expression, if XBβ>XBα-0.10, the movement of dislocations is suppressed, and the hardness of the TiAlCN layer may not be improved sufficiently, and the effect of improving chipping resistance due to the increase in the lattice constant near the grain boundary and the application of compressive stress to the (TiAl)CN layer may be small. On the other hand, if XBβ is less than 0.20, the high-temperature oxidation resistance of the (TiAl)CN layer may be poor, and the chipping resistance may be reduced. Therefore, it is even more preferable that 0.20≦XBβ≦XBα-0.10 is satisfied.

領域αと領域βの組成に関する前記関係式を満足する箇所が領域βに占める面積割合については、領域β内に存在する割合が5面積%未満であると、(TiAl)CN層の硬さ向上効果と耐チッピング性向上が十分でないことがあり、20面積%を超えると、(TiAl)CN層の耐高温酸化性が劣るため耐チッピング性が低下することがある。したがって、この面積割合は5~20面積%であることがより好ましいとしたが、より一層好ましくは10~20面積%である。 Regarding the area percentage of the area in region β that satisfies the above-mentioned relational formula regarding the composition of region α and region β, if the percentage present in region β is less than 5 area %, the effect of improving the hardness and chipping resistance of the (TiAl)CN layer may not be sufficient, and if it exceeds 20 area %, the high-temperature oxidation resistance of the (TiAl)CN layer may be poor, resulting in a decrease in chipping resistance. Therefore, it is more preferable that this area percentage be 5 to 20 area %, and even more preferably 10 to 20 area %.

ここで、領域αと領域βの組成の測定方法について説明する。
まず、次のようにして、(TiAl)CN層を構成する結晶粒の結晶粒界を求め、結晶粒を特定する。すなわち、透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscope:TEM)に付属する結晶方位解析装置を用いて、研磨された縦断面において、表面研磨面の法線方向に対して、例えば、0.5~1.0度に傾けた電子線をPrecession(歳差運動)照射しながら、電子線を任意のビーム径および間隔でスキャンし、連続的に電子回折パターンを取り込み、個々の測定点の結晶方位を解析する。観察視野としては、基体表面に平行な方向に幅50μm、縦は被覆層の厚さ(平均厚さ)分が例示できる。
Here, a method for measuring the compositions of the regions α and β will be described.
First, the grain boundaries of the crystal grains constituting the (TiAl)CN layer are obtained and the crystal grains are specified as follows. That is, using a crystal orientation analyzer attached to a transmission electron microscope (TEM), the polished longitudinal section is irradiated with an electron beam tilted, for example, at 0.5 to 1.0 degrees with respect to the normal direction of the polished surface in a precession motion, while the electron beam is scanned at any beam diameter and interval, and electron diffraction patterns are continuously captured to analyze the crystal orientation of each measurement point. The observation field can be exemplified as a width of 50 μm in the direction parallel to the substrate surface and a thickness (average thickness) of the coating layer in the vertical direction.

なお、本測定に用いた電子線回折パターンの取得条件は、例えば、加速電圧200kV、カメラ長20cm、ビームサイズ2.4nmで、測定ステップは5.0nmである。この時、測定した結晶方位は測定面上を離散的に調べたものであり、隣接測定点間の中間までの領域をその測定結果で代表させることにより、測定面全体の方位分布として求めるものである。なお、これら測定点で代表させた領域(以下、ピクセルということがある)として、正六角形状のものを例示できる。このピクセルのうち隣接するもの同士の間で5度以上の結晶方位の角度差がある場合、または隣接するピクセルの片方のみがNaCl型の面心立方構造を示す場合は、これらピクセルの接する前記領域の辺を粒界とする。そして、この粒界とされた辺により囲まれた部分を1つの結晶粒と定義する。ただし、隣接するピクセル全てと5度以上の方位差がある、あるいは、隣接するNaCl型の面心立方構造を有する測定点がないような、単独に存在するピクセルは結晶粒とせず、2ピクセル以上が連結しているものを結晶粒として取り扱う。このようにして、粒界判定を行い、結晶粒を特定する。 The conditions for obtaining the electron beam diffraction pattern used in this measurement are, for example, an acceleration voltage of 200 kV, a camera length of 20 cm, a beam size of 2.4 nm, and a measurement step of 5.0 nm. At this time, the measured crystal orientation is measured discretely on the measurement surface, and the measurement results are used to represent the area up to the middle between adjacent measurement points, thereby obtaining the orientation distribution of the entire measurement surface. An example of the area represented by these measurement points (hereinafter sometimes referred to as a pixel) is a regular hexagon. If there is an angle difference of 5 degrees or more in the crystal orientation between adjacent pixels, or if only one of the adjacent pixels shows a NaCl-type face-centered cubic structure, the side of the area where these pixels contact is considered to be a grain boundary. Then, the part surrounded by the side considered to be a grain boundary is defined as one crystal grain. However, a single pixel that has an orientation difference of 5 degrees or more with all adjacent pixels, or that does not have an adjacent measurement point with a NaCl-type face-centered cubic structure, is not considered to be a crystal grain, and a pixel that is connected to two or more pixels is treated as a crystal grain. In this way, grain boundaries are determined and crystal grains are identified.

次に、前述の手順により特定された少なくとも10個のNaCl型の面心立方構造を有する結晶粒を含む観察視野を定義する。結晶粒を特定するに当たって判定した粒界をもとにして、隣接するNaCl型面心立方構造の結晶粒について、両者の結晶粒界からそれぞれの結晶粒内に25nm離れた線l(10)をソフトウェア使って描き、領域αと領域βを画定する。そして、TEMを用いたエネルギー分散型X線分光法(Energy Dispersive X-ray Spectrometry:EDS)(例えば、ビーム径1nm)を用いて、面分析を行う。領域αについては、観察視野内のすべての領域αにおけるXBαを算出する。そして、領域βについて、観察視野内のすべての領域βを50nm間隔に分割し、分割した各範囲に対して面分析(直径50nmの円形)を行い、0.20≦XBβ≦XBα-0.10を満足する箇所が領域βに占める面積割合を求める。 Next, an observation field is defined that includes at least 10 crystal grains having a NaCl type face-centered cubic structure identified by the above procedure. Based on the grain boundaries determined when identifying the crystal grains, a line l (10) is drawn using software at a distance of 25 nm from the grain boundaries of adjacent NaCl type face-centered cubic crystal grains within each crystal grain, thereby defining regions α and β. Then, area analysis is performed using Energy Dispersive X-ray Spectrometry (EDS) using a TEM (e.g., beam diameter 1 nm). For region α, XBα is calculated for all regions α within the observation field. Then, for region β, all regions β within the observation field are divided into 50 nm intervals, and area analysis (circular shapes with a diameter of 50 nm) is performed for each divided range, and the area ratio of the areas that satisfy 0.20≦XBβ≦XBα-0.10 in region β is calculated.

3.上部層
上部層は、(AlTi)CN層であって、切削加工中の耐摩耗層を向上させ、被削材に起因する溶着物の付着を抑制する層として働くものである。
3. Upper layer The upper layer is an (AlTi)CN layer, which improves the wear resistance during cutting and acts as a layer that suppresses adhesion of deposits originating from the work material.

(1)平均組成
上部層は、(AlXCTi1-XC)(CYC1-YC)において、XCの平均含有量であるXCAVG、YCの平均含有量であるYCAVGが0.50≦XCAVG≦0.75、0.00≦YCAVG≦0.05であることが好ましい。
(1) Average Composition In the upper layer, in (Al XC Ti 1-XC ) (C YC N 1-YC ), it is preferable that XC AVG , which is the average content of XC, and YC AVG , which is the average content of YC, satisfy 0.50≦XC AVG ≦0.75 and 0.00≦YC AVG ≦0.05.

その理由は、XCAVGが0.50未満であると、(AlTi)CNが有する高い耐酸化特性が十分に得られず、一方、XCAVGが0.75を上回ると、所望の耐摩耗性や所望の溶着抑制が得られないためである。XCAVGは、0.65≦XCAVG≦0.75であることがより好ましい。(AlTi)CNにおけるC成分には、硬さを向上させる作用があるため含有してもよい。しかし、YCAVGが0.05を超えると、高温強度が低下するためYCAVGは0.05未満であることが好ましい。 The reason is that if XC AVG is less than 0.50, the high oxidation resistance of (AlTi)CN cannot be obtained sufficiently, while if XC AVG is more than 0.75, the desired wear resistance and the desired suppression of adhesion cannot be obtained. It is more preferable that XC AVG is 0.65≦XC AVG ≦0.75. The C component in (AlTi)CN may be contained since it has the effect of improving hardness. However, if YC AVG exceeds 0.05, the high temperature strength decreases, so YC AVG is preferably less than 0.05.

(2)NaCl型面心立方構造の結晶粒
上部層では、NaCl型面心立方構造を有する結晶粒の割合が80面積%以上であることが好ましい。その理由は、80面積%未満であると、上部層中に(AlTi)CNの本来の安定相であり軟質なウルツ鉱型の六方晶構造の割合が増加し、十分な被覆工具の耐久性を得られないためである。NaCl型面心立方構造を有する結晶粒の割合は90面積%以上であることがより好ましい。100面積%であってもよい。
(2) Crystal grains with NaCl type face-centered cubic structure In the upper layer, the proportion of crystal grains with NaCl type face-centered cubic structure is preferably 80 area % or more. The reason is that if it is less than 80 area %, the proportion of the soft wurtzite type hexagonal structure, which is the inherent stable phase of (AlTi)CN, increases in the upper layer, and sufficient durability of the coated tool cannot be obtained. The proportion of crystal grains with NaCl type face-centered cubic structure is more preferably 90 area % or more. It may be 100 area %.

(3)平均厚さ
上部層の平均厚さは、0.5~9.4μmであることが好ましい。その理由は、0.5μm未満であると、十分な耐摩耗性や溶着抑制が得られず、一方、9.4μmを超えると、切削加工中の基材方向へ進展する熱亀裂を起点とした上部層中での損傷が大きくなり、工具の異常損傷の原因となり得るためである。上部層の平均厚さは、2.0~5.0μmであることがより好ましい。
(3) Average thickness The average thickness of the upper layer is preferably 0.5 to 9.4 μm. The reason is that if it is less than 0.5 μm, sufficient wear resistance and suppression of adhesion cannot be obtained, while if it exceeds 9.4 μm, damage in the upper layer originating from thermal cracks that progress toward the substrate during cutting processing becomes large, which may cause abnormal damage to the tool. The average thickness of the upper layer is more preferably 2.0 to 5.0 μm.

(4)XCの増減の繰返し変化
上部層では、被覆層の厚さ方向に、XCの増減を繰り返す結晶粒の割合が60面積%以上であることが好ましい。その理由は、60面積%未満であると、十分な耐摩耗性が得られないためである。XCの増減を繰り返す結晶粒の割合は100面積%であってもよい。
(4) Repeated increase and decrease of XC In the upper layer, the proportion of crystal grains in which XC repeatedly increases and decreases in the thickness direction of the coating layer is preferably 60% or more by area. The reason is that if it is less than 60% by area, sufficient wear resistance cannot be obtained. The proportion of crystal grains in which XC repeatedly increases and decreases may be 100% by area.

XCの増減の繰返し変化において、隣接する極大値と極小値との差の平均値ΔXCが0.10~0.50であることが好ましい。ΔXCをこの範囲とする理由は、0.10未満であると、下部層にXBの増減の繰返し変化が存在しても、上部層でのクラック進展の抑制が十分ではなく耐チッピング性が低下し、一方、0.50を超えると、上部層の高いAl含有量の領域と低いAl含有量の領域の境界に生じる格子歪みが大きくなって、結晶欠陥が増えて上部層の硬さが低下するためである。ΔXCは0.30~0.50であることがより好ましい。 In the repeated increase and decrease of XC, it is preferable that the average value ΔXC of the difference between adjacent maximum and minimum values is 0.10 to 0.50. The reason for setting ΔXC in this range is that if it is less than 0.10, even if there is repeated increase and decrease of XB in the lower layer, the crack propagation in the upper layer is not sufficiently suppressed and chipping resistance is reduced, while if it exceeds 0.50, the lattice distortion occurring at the boundary between the high Al content region and the low Al content region in the upper layer becomes large, increasing crystal defects and reducing the hardness of the upper layer. It is more preferable that ΔXC is 0.30 to 0.50.

また、隣接する極大値と極小値を与える間隔の平均値、すなわち、被覆層の厚さ方向における平均間隔が20~100nmであることが好ましい。平均間隔をこの範囲とする理由は、平均間隔が20nm未満であると、下部層にXBの増減の繰返し変化が存在しても、被覆層の靭性が十分に向上せず、一方、100nmを超えると、上部層が切削時のクラック進展を十分に抑制できず耐チッピング性、太白理性が低下するためである。平均間隔は60~100nmであることがより好ましい。 In addition, it is preferable that the average value of the intervals between adjacent maximum and minimum values, i.e., the average interval in the thickness direction of the coating layer, is 20 to 100 nm. The reason for setting the average interval in this range is that if the average interval is less than 20 nm, the toughness of the coating layer will not be sufficiently improved even if there are repeated increases and decreases in XB in the lower layer, while if it exceeds 100 nm, the upper layer will not be able to sufficiently suppress crack propagation during cutting, resulting in reduced chipping resistance and stiffness. It is more preferable that the average interval is 60 to 100 nm.

XCの増減の繰返し変化における隣接する極大値と極小値との差の平均値ΔXC、および、XCの増減の繰返し変化の平均間隔の定義、測定方法は、XBの増減の繰返し変化と同じである。 The definition and measurement method of the average value ΔXC of the difference between adjacent maximum and minimum values in the repeated increase and decrease of XC, and the average interval of the repeated increase and decrease of XC, are the same as those of the repeated increase and decrease of XB.

(5)Cl含有量
上部層において、ρC=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl])([Q]は、元素Qの原子数を表す)が0.001~0.010であることがより好ましい。
ρCをこの範囲とする理由は、0.001未満では被覆層の潤滑性が十分でないことがあり、一方、0.010を超えると上部層の靭性がそこなわれて耐チッピング性が低下することがあるためである。
(5) Cl Content In the upper layer, it is more preferable that ρC=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl]) (where [Q] represents the number of atoms of element Q) is 0.001 to 0.010.
The reason for specifying this range for ρC is that if it is less than 0.001, the lubricity of the coating layer may be insufficient, while if it exceeds 0.010, the toughness of the upper layer may be impaired, resulting in reduced chipping resistance.

4.XBAVGとXCAVGの関係式(0.00≦XBAVG-XCAVG≦0.10)
前記上部層および下部層は、0.00≦XBAVG-XCAVG≦0.10を満たすことが好ましい。XBAVG-XCAVG>0.1であると、Alの平均含有量の差が大きくなって、下部層と上部層の連続的な結晶成長が阻害されるためである。0.00≦XBavg-XCavg≦0.05であることがより好ましい。
4. Relationship between XB AVG and XC AVG (0.00≦XB AVG -XC AVG ≦0.10)
The upper and lower layers preferably satisfy 0.00≦XB AVG -XC AVG ≦0.10. If XB AVG -XC AVG >0.1, the difference in the average Al content becomes large, which inhibits continuous crystal growth between the lower and upper layers. It is more preferable that 0.00≦XB avg -XC avg ≦0.05.

5.I(200)/I(111)の値
下部層および上部層において、NaCl型の面心立方晶構造の結晶粒の200回折線の強度値I(200)と同111回折線の強度値I(111)は、1.0≦I(200)/I(111)の関係を満たすことがより好ましい。
5. Value of I(200)/I(111) In the lower and upper layers, it is more preferable that the intensity value I(200) of the 200 diffraction line and the intensity value I(111) of the 111 diffraction line of the crystal grains having a NaCl type face-centered cubic crystal structure satisfy the relationship 1.0≦I(200)/I(111).

前述の目的を達成するためには、あたかも下部層と上部層との界面において、下部層の結晶粒の先端に上部層の結晶粒がはめ込まれるように上部層が連続的に成長することが好ましい。上部層は<111>優先方向に成長するため、上部層がこの連続的な成長を行っていることを確認するため、I(200)/I(111)指標とした。
I(200)/I(111)が1.0未満であると、この連続的な成長が十分になされておらず、下部層での熱亀裂進展の抑制が十分でないことがある。
In order to achieve the above-mentioned object, it is preferable that the upper layer grows continuously as if the crystal grains of the upper layer are fitted into the tips of the crystal grains of the lower layer at the interface between the lower and upper layers. Since the upper layer grows in the <111> preferential direction, the I(200)/I(111) index was used to confirm that the upper layer is growing continuously.
If I(200)/I(111) is less than 1.0, this continuous growth is not sufficient, and the suppression of thermal crack propagation in the lower layer may be insufficient.

5.その他の層
(1)最外層
本実施形態では、Tiの窒化物層、炭化物層、炭窒化物層(これらは化学量論的組成に限定されない)のうちの1層または2層以上のTi化合物層からなり、0.1~4.00μmの合計平均層厚を有する最外層を上部層に接して設けてもよい(最外層はなくてもよい)。この最外層を設けると、これらの層が有する明瞭な色によって、被覆工具がインサートの場合は切削使用後のコーナー識別(使用済み部位の識別)が容易となる。ここで、合計平均層厚が0.1μm未満であると、最外層を設けた目的が十分に達成されず、一方、4.0μmを超えると、チッピングが発生しやすくなる。
5. Other layers (1) Outermost layer In this embodiment, an outermost layer consisting of one or more Ti compound layers selected from Ti nitride layers, carbide layers, and carbonitride layers (which are not limited to stoichiometric compositions) and having a total average layer thickness of 0.1 to 4.00 μm may be provided in contact with the upper layer (the outermost layer may not be provided). When this outermost layer is provided, the clear color of these layers makes it easy to identify corners (identify used parts) after cutting when the coated tool is an insert. Here, if the total average layer thickness is less than 0.1 μm, the purpose of providing the outermost layer is not fully achieved, while if it exceeds 4.0 μm, chipping is likely to occur.

(2)意図しない層
成膜ガスの切り換え時に、意図せずに、下地層であるTiCN層、Tiの炭化物、窒化物、炭酸化物および炭窒酸化物層、(AlTi)CN層、および、α-Al層とは違う層がごくわずかであるが製造されることがある。
(2) Unintended Layers When the deposition gas is switched, very small amounts of layers other than the underlying TiCN layer, Ti carbide, nitride, carbonate and oxycarbonitride layer, (AlTi)CN layer, and α-Al 2 O 3 layer may be produced unintentionally.

6.基体
(1)組成
本実施形態において、基体は、超硬合金(WC基超硬合金:WCの他、Coを含み、さらに、Ti、Ta、Nb等の炭窒化物を添加したものも含むもの等)、サーメット(TiC、TiN、TiCN等を主成分とするもの等)、セラミックス(窒化珪素、サイアロン、酸化アルミニウムなど)、または、cBN焼結体を用いることができるが、これらに限定されない。
6. Composition of Substrate (1) In this embodiment, the substrate may be made of, but is not limited to, cemented carbide (WC-based cemented carbide: containing Co in addition to WC, and further containing carbonitrides of Ti, Ta, Nb, etc.), cermet (containing TiC, TiN, TiCN, etc. as main components), ceramics (silicon nitride, sialon, aluminum oxide, etc.), or cBN sintered body.

(2)形状
基体の形状は、切削工具として用いられる形状であれば特段の制約はなく、インサートの形状、ドリルの形状が例示できる。
(2) Shape The shape of the substrate is not particularly limited as long as it is a shape that can be used as a cutting tool, and examples of the shape include the shapes of an insert and a drill.

7.組成の測定
下部層と上部層のAlの含有量XB、XCおよびCの含有量YB、YCは、オージェ電子分光法(Auger Electron Spectroscopy:AES)を用い、断面を研磨した試料において、電子線を縦断面に照射し、被覆層の厚さ方向に5本以上の線分析を行って得られたオージェ電子の解析結果を平均したものである。
7. Composition Measurement The Al contents XB, XC and C contents YB, YC in the lower and upper layers were determined by averaging the results of Auger electron analysis obtained by irradiating a vertical section of a polished cross-section of a sample with an electron beam and performing five or more line analyses in the thickness direction of the coating layer using Auger electron spectroscopy (AES).

8.NaCl型面心立方構造の結晶粒の割合の測定
NaCl型の面心立方晶構造を有する結晶粒の面積割合は、前述のとおり電子線後方散乱回折により、結晶粒界を画定した後、回折像に基づきNaCl型の面心立方晶構造を有する結晶粒個々の結晶構造を鑑別し、NaCl型の面心立方晶構造を有する結晶粒が占める面積割合を層毎に求める。
8. Measurement of the proportion of crystal grains having a NaCl type face-centered cubic structure The area proportion of crystal grains having a NaCl type face-centered cubic crystal structure is determined for each layer by defining the crystal grain boundaries by electron backscatter diffraction as described above, and then identifying the crystal structure of each crystal grain having a NaCl type face-centered cubic crystal structure based on the diffraction image.

9.平均厚の測定
被覆層を構成する各層の平均厚さは、例えば、集束イオンビーム装置(FIB:Focused Ion Beam system)、クロスセクションポリッシャー装置(CP:Cross section Polisher)等を用いて、被覆層を任意の位置の縦断面の観察用の試料を作製し、その縦断面を走査型電子顕微鏡(SEM)またはTEM、走査型透過電子顕微鏡(STEM:Scanning Transmission Electron Microscope)、あるいはSEMまたはTEM付帯のエネルギー分散型X線分析(EDX:Energy Dispersive X-ray spectrometry)を用いて複数箇所(例えば、5箇所)で観察して、厚さを求めこれらを平均することにより得ることができる。
9. Measurement of average thickness The average thickness of each layer constituting the coating layer can be obtained by, for example, preparing a sample for observing a vertical cross section of the coating layer at any position using a focused ion beam system (FIB), a cross section polisher (CP), or the like, observing the vertical cross section at multiple positions (e.g., 5 positions) using a scanning electron microscope (SEM) or TEM, a scanning transmission electron microscope (STEM), or an energy dispersive X-ray spectrometry (EDX) attached to the SEM or TEM, and averaging the thicknesses.

10.I(111)とI(200)の測定
下部層のみ、上部層のみのX線回折結果を得ることはできず、下地層、下部層、上部層(さらに選択的に設けられる最外層)のX線回折結果が一体となって(総括されて)示される。すなわち、被覆層のX線回折結果が示される。
10. Measurement of I(111) and I(200) It is not possible to obtain X-ray diffraction results for only the lower layer or only the upper layer, and the X-ray diffraction results for the underlayer, lower layer, and upper layer (and the outermost layer, which is optionally provided) are shown together (collectively). In other words, the X-ray diffraction results for the coating layer are shown.

I(200)/I(111)の値の求め方は、以下のとおりである。例えば、Cu-Kα1線をX線源として測定範囲(2θ):20~120度、スキャンステップ:0.013度、1ステップ辺り測定時間:0.48sec/stepの条件にて、基体表面に対して平行な被覆層表面において、X線回折を行い、JCPDS00-038-1420立方晶TiNとJCPDS00-046-1200立方晶AlN、各々に示される同一結晶面の回折角度の間(例えば、36.66~38.53°、43.59~44.77°、61.81~65.18°)に現れるX線回折ピークを確認する。そして、200回折線、および、111回折線におけるX線回折ピーク強度の測定値を測定し、111回折線の強度I(111)に対する200回折線の強度I(200)の比であるI(200)/I(111)を得る。 The value of I(200)/I(111) is calculated as follows. For example, X-ray diffraction is performed on the coating layer surface parallel to the substrate surface using Cu-Kα1 radiation as the X-ray source under the conditions of measurement range (2θ): 20 to 120 degrees, scan step: 0.013 degrees, and measurement time per step: 0.48 sec/step, and X-ray diffraction peaks that appear between the diffraction angles of the same crystal planes shown in JCPDS00-038-1420 cubic TiN and JCPDS00-046-1200 cubic AlN (for example, 36.66 to 38.53°, 43.59 to 44.77°, 61.81 to 65.18°) are confirmed. Then, the measured X-ray diffraction peak intensities for the 200 diffraction line and the 111 diffraction line are measured to obtain I(200)/I(111), which is the ratio of the intensity I(200) of the 200 diffraction line to the intensity I(111) of the 111 diffraction line.

11.製造方法
本実施形態の被覆工具の被覆層は、化学蒸着法によって、例えば、以下のような製造条件によって製造することができる。
11. Manufacturing Method The coating layer of the coated tool of this embodiment can be manufactured by a chemical vapor deposition method under the following manufacturing conditions, for example.

(1)下地層の製造
例えば、以下のような製造条件1)または2)を例示できる。
(1) Production of Underlayer For example, the following production conditions 1) or 2) can be exemplified.

1)製造条件1
TiN層の成膜
反応ガス組成(体積%)
TiCl:3.0~6.0%、N:25.0~35.0%、H:残
反応雰囲気圧力:4.0~12.0kPa
反応雰囲気温度:780~900℃
1) Manufacturing conditions 1
TiN layer deposition Reaction gas composition (volume %)
TiCl 4 : 3.0-6.0%, N 2 : 25.0-35.0%, H 2 : balance Reaction atmosphere pressure: 4.0-12.0 kPa
Reaction atmosphere temperature: 780 to 900°C

2)製造条件2
TiCN層の成膜
反応ガス組成(体積%)
TiCl:3.0~6.0%、N:15.0~30.0%
CHまたはCHCN:0.6~2.0%,H:残
反応雰囲気圧力:5.0~12.0kPa
反応雰囲気温度:780~900℃
2) Manufacturing conditions 2
TiCN layer deposition Reaction gas composition (volume %)
TiCl 4 : 3.0-6.0%, N 2 : 15.0-30.0%
CH4 or CH3CN : 0.6-2.0%, H2 : balance Reaction atmosphere pressure: 5.0-12.0 kPa
Reaction atmosphere temperature: 780 to 900°C

(2)下部層の製造
反応ガス組成(容量%)
ガス群B1:NH:4.0~5.5%、H:65~76%
ガス群B2:AlCl:0.45~0.90%、TiCl:0.20~0.55%、
:0.0~12.0%、C:0.0~0.5%、H:残
反応雰囲気圧力:4.0~5.0kPa
反応雰囲気温度:700~900℃
ガス供給周期:1.0~5.0秒
1周期当たりのガス供給時間:0.1~0.2秒
ガス群B1の供給とガス群B2の供給の位相差:0.1~0.2秒
(2) Production of the lower layer Reaction gas composition (volume %)
Gas group B1: NH3 : 4.0-5.5%, H2 : 65-76%
Gas group B2: AlCl 3 : 0.45 to 0.90%, TiCl 4 : 0.20 to 0.55%,
N2 : 0.0-12.0%, C2H4 : 0.0-0.5%, H2 : residual reaction atmospheric pressure: 4.0-5.0 kPa
Reaction atmosphere temperature: 700 to 900°C
Gas supply cycle: 1.0 to 5.0 seconds Gas supply time per cycle: 0.1 to 0.2 seconds Phase difference between the supply of gas group B1 and the supply of gas group B2: 0.1 to 0.2 seconds

(3)上部層の製造
反応ガス組成(容量%)
ガス群C1:NH:1.5~3.0%、H:65~76%
ガス群C2:AlCl:0.45~0.75%、TiCl:0.20~0.55%、
:0.0~12.0%、C:0.0~0.5%、H:残
反応雰囲気圧力:4.0~5.0kPa
反応雰囲気温度:700~900℃
ガス供給周期:6.0~10.0秒
1周期当たりのガス供給時間:0.3~0.5秒
ガス群C1の供給とガス群C2の供給の位相差:0.1~0.3秒
(3) Production of the upper layer Reaction gas composition (volume %)
Gas group C1: NH3 : 1.5-3.0%, H2 : 65-76%
Gas group C2: AlCl 3 : 0.45-0.75%, TiCl 4 : 0.20-0.55%,
N2 : 0.0-12.0%, C2H4 : 0.0-0.5%, H2 : residual reaction atmospheric pressure: 4.0-5.0 kPa
Reaction atmosphere temperature: 700 to 900°C
Gas supply cycle: 6.0 to 10.0 seconds Gas supply time per cycle: 0.3 to 0.5 seconds Phase difference between the supply of gas group C1 and the supply of gas group C2: 0.1 to 0.3 seconds

次に、実施例について説明する。
ここでは、実施例として、基体としてWC基超硬合金を用いたインサート切削工具に適用したものについて述べるが、基体として、前記したものを用いた場合であっても同様であるし、ドリル、エンドミルに適用した場合も同様である。
Next, an embodiment will be described.
Here, as an example, we will describe an application to an insert cutting tool using a WC-based cemented carbide as the substrate, but the same applies when the above-mentioned material is used as the substrate, and also when applied to drills and end mills.

原料粉末として、WC粉末、TiC粉末、TaC粉末、NbC粉末、Cr粉末およびCo粉末を用意し、これら原料粉末を、表1に示されるとおりに配合した。ワックスを加えてアセトン中で24時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、98MPaの圧力で所定形状の圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を5Paの真空中、1420℃に1時間保持の条件で真空焼結し、ISO規格のSEEN1203AFSN形状をもったWC基超硬合金製の基体A~Cをそれぞれ製造した。なお、各原料粉末には微量の不可避不純物が含まれていた。 As raw material powders, WC powder, TiC powder, TaC powder, NbC powder, Cr3C2 powder and Co powder were prepared, and these raw material powders were blended as shown in Table 1. Wax was added, and the mixture was mixed in acetone with a ball mill for 24 hours, dried under reduced pressure, and then pressed into a green compact of a predetermined shape at a pressure of 98 MPa. This green compact was vacuum sintered under conditions of holding at 1420°C in a vacuum of 5 Pa for 1 hour, to produce WC-based cemented carbide substrates A to C having the ISO standard SEEN1203AFSN shape. Note that each raw material powder contained a trace amount of unavoidable impurities.

次に、これら基体A~Cの表面に、下地層、下部層、上部層を、それぞれ、表2~4に示す製造条件に従って順に成膜し、表5に示す実施例の被覆工具1~8(以下、実施例1~8)を得た。なお、表2において、下地層の成膜ガスをガス群Aと称している。 Next, the undercoat layer, lower layer, and upper layer were formed on the surfaces of these substrates A to C in order according to the manufacturing conditions shown in Tables 2 to 4, respectively, to obtain coated tools 1 to 8 of the examples shown in Table 5 (hereinafter, Examples 1 to 8). In Table 2, the deposition gas for the undercoat layer is referred to as gas group A.

一方、比較のために、基体A~Cの表面に、下地層、下部層、上部層を、それぞれ、表2~4に示す製造条件に従って順に成膜し、表6に示す比較例の被覆工具1~8(以下、比較例1~8)を得た。 For comparison, a base layer, a lower layer, and an upper layer were formed on the surfaces of substrates A to C in that order according to the manufacturing conditions shown in Tables 2 to 4, respectively, to obtain comparative coated tools 1 to 8 (hereinafter, Comparative Examples 1 to 8) shown in Table 6.

実施例1~8、比較例1~8について、電子線回折によりTiAlCN層を構成する結晶粒の結晶粒界を求める際には、前記ピクセルを正六角形状とした。 For Examples 1 to 8 and Comparative Examples 1 to 8, when determining the grain boundaries of the crystal grains that make up the TiAlCN layer by electron beam diffraction, the pixels were made to have a regular hexagonal shape.

表5、6において、「1.0 ≦ I(200)/ I(111)を満足するか」の欄で「〇」は1.0 ≦ I(200)/ I(111)を満足することを、「×」は1.0 ≦ I(200)/ I(111)を満足しないこと(1.0 > I(200)/ I(111)であること)を表している。 In Tables 5 and 6, in the column "Does it satisfy 1.0 ≦ I(200)/I(111)?", "〇" indicates that it satisfies 1.0 ≦ I(200)/I(111), and "×" indicates that it does not satisfy 1.0 ≦ I(200)/I(111) (1.0 > I(200)/I(111)).

続いて、前記本発明被覆工具1~8および比較被覆工具1~8について、前記各種の工具基体A~C(ISO規格SEEN1203AFSN形状)をいずれもカッタ径80mmの合金鋼製カッタ先端部に固定治具にてクランプした状態で、以下に示す、Ti合金の湿式高速正面フライス、センターカット切削試験を実施し、切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。表7に、切削試験の結果を示す。なお、比較被覆工具1~8については、チッピング発生が原因で切削時間終了前に寿命に至ったため、寿命に至るまでの時間を示す。 Next, for the coated tools 1-8 of the present invention and the comparative coated tools 1-8, the various tool bases A-C (ISO standard SEEN1203AFSN shape) were all clamped to the tip of an alloy steel cutter with a cutter diameter of 80 mm using a fixture, and the following wet high-speed face milling and center cut cutting tests of Ti alloys were carried out to measure the flank wear width of the cutting edge. Table 7 shows the results of the cutting tests. Note that for the comparative coated tools 1-8, chipping occurred, causing them to reach the end of their life before the end of the cutting time, so the time until the end of their life is shown.

切削試験:湿式高速正面フライス、センターカット切削試験
カッタ径:80mm
被削材:JIS・Ti-6Al-4V合金(60種)のブロック材
切削速度:100m/min
切り込み:2.5mm
送り:0.25mm/刃
切削時間:10分
Cutting test: Wet high-speed face milling, center cut cutting test Cutter diameter: 80 mm
Workpiece: JIS Ti-6Al-4V alloy (60 types) block Cutting speed: 100 m/min
Cut: 2.5mm
Feed: 0.25 mm/tooth Cutting time: 10 minutes

表7において、比較例の寿命に至る切削時間(分)とはチッピング発生が原因で寿命に至るまでの切削時間(分)を示している。 In Table 7, the cutting time (min) until the end of life for the comparative example indicates the cutting time (min) until the end of life is reached due to chipping.

表7から明らかなように、実施例はいずれも刃先が欠損に至るまでの加工時間である最大加工時間が長く、優れた耐久性を有していた。 As is clear from Table 7, all of the examples had a long maximum machining time, which is the time it takes for the cutting edge to break, and had excellent durability.

1 基体
2 下地層
3 下部層
4 上部層
5 被覆層
6 最外層
7 粒界
8 領域α
9 領域β
10 線l
1 Substrate 2 Base layer 3 Lower layer 4 Upper layer 5 Covering layer 6 Outermost layer 7 Grain boundary 8 Area α
9 Area β
10 line l

Claims (4)

基体と該基体の表面に被覆層を有する表面被覆切削工具であって、
(a)前記被覆層は、前記基体に接する下地層、該下地層に接する下部層、および、該下部層に接する上部層を有し、
(b)前記下地層は、その平均厚さが0.05~2.0μmであって、Tiの窒化物または炭窒化物を含み、
(c)前記下部層は、その平均厚さが0.5~13.5μmであって、
(AlXBTi1-XB)(CYB1-YB)である複合窒化物Bまたは複合炭窒化物B’を含み、前記XBの平均値であるXBAVG、前記YBの平均値であるYBAVGが、それぞれ、0.50≦XBAVG≦0.75、0.00≦YBAVG≦0.05であり、
(d)前記複合窒化物Bまたは複合炭窒化物B’は、前記被覆層の厚さ方向の断面において、80面積%以上のNaCl型面心立方構造の結晶粒Bを有し、
(e)前記結晶粒Bは前記厚さ方向に、前記XBの増減を繰り返す結晶粒を含み、前記XBの隣接する極大値と極小値の差の平均値ΔXBが、0.01~0.05であって、前記厚さ方向における繰返し変化の間隔が1~12nmであり、
(f)前記上部層は、その平均厚さが0.5~9.4μmであって、
(AlXCTi1-XC)(CYC1-YC)である複合窒化物Cまたは複合炭窒化物C’を含み、前記XCの平均値であるXCAVG、前記YCの平均値であるYCAVGが、それぞれ、0.50≦XCAVG≦0.75、0.00≦YCAVG≦0.05であり、
(g)前記複合窒化物Cまたは複合炭窒化物C’は、前記厚さ方向の断面において、80面積%以上のNaCl型面心立方構造の結晶粒Cを有し、
(h)前記結晶粒Cは前記厚さ方向に、前記XCの増減を繰り返す結晶粒を含み、前記XCの隣接する極大値と極小値の差の平均値ΔXCが、0.10~0.50であって、前記厚さ方向における繰返し変化の間隔が20~100nmであり、
(i)前記下部層および前記上部層は、0.00≦XBAVG-XCAVG≦0.10を満たす
ことを特徴とする表面被覆切削工具。
A surface-coated cutting tool having a substrate and a coating layer on a surface of the substrate,
(a) the coating layer has an underlayer in contact with the substrate, a lower layer in contact with the underlayer, and an upper layer in contact with the lower layer,
(b) the underlayer has an average thickness of 0.05 to 2.0 μm and contains a nitride or carbonitride of Ti;
(c) the lower layer has an average thickness of 0.5 to 13.5 μm;
The composite material includes a composite nitride B or a composite carbonitride B' having a structure of (Al XB Ti 1-XB )(C YB N 1-YB ), and the average value of XB, XB AVG , and the average value of YB, YB AVG , are 0.50≦XB AVG ≦0.75 and 0.00≦YB AVG ≦0.05, respectively;
(d) the composite nitride B or composite carbonitride B' has crystal grains B of an NaCl type face-centered cubic structure of 80% or more by area in a cross section in the thickness direction of the coating layer,
(e) the crystal grains B include crystal grains in which the XB repeatedly increases and decreases in the thickness direction, an average value ΔXB of the difference between adjacent maximum and minimum values of the XB is 0.01 to 0.05, and the interval of the repeated change in the thickness direction is 1 to 12 nm;
(f) the upper layer has an average thickness of 0.5 to 9.4 μm;
The present invention includes a complex nitride C or a complex carbonitride C' having a structure of (Al XC Ti 1-XC ) (C YC N 1-YC ), wherein XC AVG , which is an average value of XC, and YC AVG , which is an average value of YC, are 0.50≦XC AVG ≦0.75 and 0.00≦YC AVG ≦0.05, respectively;
(g) the composite nitride C or composite carbonitride C' has crystal grains C of NaCl type face-centered cubic structure of 80% or more by area in the cross section in the thickness direction,
(h) the crystal grains C include crystal grains in which the XC repeatedly increases and decreases in the thickness direction, an average value ΔXC of the difference between adjacent maximum and minimum values of the XC is 0.10 to 0.50, and the interval of the repeated changes in the thickness direction is 20 to 100 nm;
(i) The lower layer and the upper layer satisfy 0.00≦XB AVG −XC AVG ≦0.10.
前記下部層において、ρB=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl])([Q]は、元素Qの原子数を表す)が0.001~0.050であり、
前記上部層において、ρC=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl])が0.001~0.010であること
を特徴とする請求項1に記載された表面被覆切削工具。
In the lower layer, ρB=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl]) (where [Q] represents the number of atoms of element Q) is 0.001 to 0.050;
2. The surface-coated cutting tool according to claim 1, characterized in that in the upper layer, ρC=[Cl]/([Ti]+[Al]+[C]+[N]+[Cl]) is 0.001 to 0.010.
前記被覆層において、NaCl型の面心立方晶構造の結晶粒の200回折線の強度値I(200)と同111回折線の強度値I(111)は、
1.0≦I(200)/I(111)の関係を満たすこと
を特徴とする請求項1または2に記載された表面被覆切削工具。
In the coating layer, the intensity value I(200) of the 200 diffraction line of the crystal grains having a face-centered cubic crystal structure of NaCl type and the intensity value I(111) of the 111 diffraction line of the same are:
3. The surface-coated cutting tool according to claim 1, wherein the relationship: 1.0≦I(200)/I(111) is satisfied.
隣り合う2つの前記結晶粒Bの粒界からそれぞれの粒内に25nm入り込んだ線lに囲まれた範囲を領域α、該線lと粒界に囲まれた範囲を領域βと定義したとき、
0.20≦xβ≦xα-0.10(ただし、xαは領域αにおける前記XBの平均値であり、xβは領域βにおける任意の位置の直径50nmの領域における前記XBの平均値)を満足する箇所が領域β内に5~20面積%で存在すること
を特徴とする請求項1~3のいずれかに記載された表面被覆切削工具。

When the area surrounded by a line l extending 25 nm into each grain from the grain boundary between two adjacent crystal grains B is defined as area α, and the area surrounded by the line l and the grain boundary is defined as area β,
4. The surface-coated cutting tool according to claim 1, wherein areas satisfying 0.20≦xβ≦xα-0.10 (where xα is an average value of XB in the area α, and xβ is an average value of XB in an area of 50 nm diameter at an arbitrary position in the area β) are present in an area β at 5 to 20% by area.

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