JP7716748B2 - External illumination light passing through the lens barrel - Google Patents
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Description
本発明はレンズ鏡筒に関し、特に、レンズ鏡筒外部に装着する環状照明光を鏡筒内に導入してレンズ内側から観察物に照射できるようにしたコンパクトな外部照明光鏡筒内通過型レンズ鏡筒に関する。 The present invention relates to a lens barrel, and in particular to a compact lens barrel with external illumination light passing through the barrel, which is attached to the outside of the lens barrel and introduces annular illumination light into the barrel, allowing it to illuminate an object from inside the lens.
半導体素子や高密度実装プリント基板などの検査では、観察物からの反射光を撮像素子で取得し、各構成部品の位置、傷の有無、半田付けの状態といった検査情報を得るようにしている。このときに用いられる光源の種類や配置によって、取得される検査情報が大きく異なるため、検査対象に適した光源を用いて光学系を構成することが重要となる。 When inspecting semiconductor devices or high-density printed circuit boards, the light reflected from the object being inspected is captured by an image sensor to obtain inspection information such as the position of each component, the presence or absence of scratches, and the condition of the soldering. The inspection information obtained varies greatly depending on the type and placement of the light source used, so it is important to configure the optical system using a light source that is appropriate for the object being inspected.
従来、撮像用レンズ鏡筒の先端部に環状照明などの照明器具を配置して、検査対象物を照明していた。例えば特許文献1では、円周方向に略等間隔で光源を配置した環状照明をレンズの外側に配置して、レンズ外側から検査対象を照明する光学装置が提案されている。しかしながら、この技術は撮像用レンズ鏡筒の直径の外側にさらに大きい照明器具が取り付けられるため、撮像レンズ部が大きくなり、小型でコンパクトな設計が求められる環境に適さなかった。 Conventionally, an illumination device such as an annular light is placed at the tip of an imaging lens barrel to illuminate an inspection object. For example, Patent Document 1 proposes an optical device in which an annular light with light sources arranged at approximately equal intervals in the circumferential direction is placed outside the lens to illuminate the inspection object from outside the lens. However, this technology requires an even larger illumination device to be attached outside the diameter of the imaging lens barrel, which results in a larger imaging lens section and makes it unsuitable for environments requiring a small, compact design.
また、レンズ鏡筒側方より光軸に垂直に外部照明光を入射させ、内部光軸上にハーフミラープリズムを配し、そのハーフミラー面で照明光を光軸に平行に反射させて観察物に照射する同軸落射照明が利用されている(例えば特許文献2)。しかしながら、この技術の照明光は検査対象物に垂直となるため、検査対象に照明光を斜めから照射したいようなアプリケーションで最適な照明光にならない課題がある。 Also available is coaxial epi-illumination, in which external illumination light is incident from the side of the lens barrel perpendicular to the optical axis, a half-mirror prism is placed on the internal optical axis, and the illumination light is reflected parallel to the optical axis by the half-mirror surface to illuminate the object being observed (see, for example, Patent Document 2). However, because the illumination light with this technology is perpendicular to the object being inspected, it has the problem of not being optimal for applications where it is desired to illuminate the object being inspected with illumination light at an angle.
特許文献3では、円周方向にLED素子を配列した環状光源を内蔵したレンズ鏡筒が提案されている。しかしながら、環状光源を内蔵してレンズ鏡筒が組み上げられるため、検査対象ごとに光を変化させたり故障したLED素子を交換することができず、変更するにはレンズ全体を交換する必要があり可用性やコスト面での課題がある。 Patent Document 3 proposes a lens barrel with a built-in annular light source in which LED elements are arranged in a circumferential direction. However, because the lens barrel is assembled with the built-in annular light source, it is not possible to change the light source for each inspection object or replace faulty LED elements; changing the LED element requires replacing the entire lens, which poses issues in terms of availability and cost.
本願発明は、撮像レンズ鏡筒の外側に着脱可能な環状光源から鏡筒内の先端レンズを通して観察物に照明光を照射するコンパクトなレンズ鏡筒を提供することを目的とする。 The objective of this invention is to provide a compact lens barrel that irradiates illumination light from a detachable annular light source attached to the outside of the imaging lens barrel onto an object to be observed through a tip lens inside the barrel.
本発明は、レンズ鏡筒の対物側から、第1レンズ群、透明プラスチック導光体リング、第2レンズ群が順番に配置されたレンズ鏡筒であって、前記第1レンズ群、透明プラスチック導光体リング、第2レンズ群は共通の光軸を有し、前記透明プラスチック導光体リングは、その内縁部が鏡筒内部に延在し、外部からの光を観察物側に反射する反射面を有することを最も主要な特徴とする。 The most important feature of this invention is a lens barrel in which a first lens group, a transparent plastic light guide ring, and a second lens group are arranged in this order from the objective side of the lens barrel, with the first lens group, transparent plastic light guide ring, and second lens group sharing a common optical axis, and the transparent plastic light guide ring having an inner edge that extends into the barrel and has a reflective surface that reflects external light toward the object being viewed.
このレンズ鏡筒において、前記透明プラスチック導光体リングの外側から前記反射面に向けて照明光を発する着脱可能な環状LED光源本体をさらに具えることが好ましい。 It is preferable that this lens barrel further comprises a detachable annular LED light source body that emits illumination light from the outside of the transparent plastic light guide ring toward the reflective surface.
また、前記第1レンズ群と透明プラスチック導光体リングの間に、中央に穴の開いた円形の第1直線偏光板(偏光子)を具えるとともに、前記第2レンズ群と前記第1直線偏光板の間に、円形の第2直線偏光板(検光子)を具え、前記第1直線偏光板と前記第2直線偏光板の直線偏光方向が直交することが好ましい。 It is also preferable that a circular first linear polarizer (polarizer) with a hole in the center is provided between the first lens group and the transparent plastic light guide ring, and a circular second linear polarizer (analyzer) is provided between the second lens group and the first linear polarizer, with the linear polarization directions of the first linear polarizer and the second linear polarizer being orthogonal to each other.
本発明のレンズ鏡筒は、内縁部に反射面を有する透明プラスチック導光体リングによって、外部からの照明光をレンズ鏡筒内で観察物に向けて反射させることにより、観察物に最適な照明光を照射するコンパクトなレンズ鏡筒を提供することができる。 The lens barrel of the present invention uses a transparent plastic light guide ring with a reflective surface on its inner edge to reflect external illumination light toward the object being observed within the lens barrel, providing a compact lens barrel that irradiates the object with optimal illumination light.
また、透明プラスチック導光体リングの外側に着脱可能な、LEDを複数配列した薄い環状LED光源本体を具えることにより、必要に応じて光源のみ交換可能なレンズ鏡筒を提供することができる。 In addition, by providing a thin, annular LED light source body with multiple LEDs arranged inside that can be attached and detached to the outside of the transparent plastic light guide ring, it is possible to provide a lens barrel in which only the light source can be replaced as needed.
さらに、第1レンズ群と透明プラスチック導光体リングの間に、中央に穴の開いた円形の第1直線偏光板(偏光子)を具えるとともに、第2レンズ群と第1直線偏光板の間に、円形の第2直線偏光板(検光子)を具え、これらの偏光方向を直交させることにより、照明光がレンズ鏡筒内で内面反射し撮像素子に入射するのが阻止され、撮像画像の劣化を防止することができる。 Furthermore, a circular first linear polarizer (polarizer) with a hole in the center is provided between the first lens group and the transparent plastic light guide ring, and a circular second linear polarizer (analyzer) is provided between the second lens group and the first linear polarizer. By orthogonally orthogonalizing the polarization directions of these, illumination light is prevented from being internally reflected within the lens barrel and entering the imaging element, preventing degradation of the captured image.
本発明を実施するための形態を、添付の図面を参照しながら以下に詳細に説明する。図1は、本発明に係るレンズ鏡筒の実施形態の構成を示す断面図である。本発明のレンズ鏡筒は、例えば半導体素子や高密度実装プリント基板などの検査に用いるものであり、観察物に光を照射してその反射光を撮像素子で取得し、観察物における各構成部品の配置、傷の有無、半田付けの状態といった検査情報を得るものである。例えば平面構造の傷の有無を検査するには、レンズ光軸と平行でなく斜めに光を照射した方が影が出来やすく容易に検出することができる。ただし、本発明のレンズ鏡筒は精密部品の検査用に限るものではなく、他の様々な用途に用いることができる。したがって図1~図5は一実施例に過ぎず、本発明はこれに限定されるものではない。 Embodiments of the present invention are described in detail below with reference to the accompanying drawings. Figure 1 is a cross-sectional view showing the configuration of an embodiment of a lens barrel according to the present invention. The lens barrel of the present invention is used, for example, to inspect semiconductor devices and high-density printed circuit boards. It irradiates light onto an object under observation and captures the reflected light with an imaging element to obtain inspection information such as the arrangement of each component on the object, the presence or absence of scratches, and the condition of soldering. For example, to inspect the presence or absence of scratches on a planar structure, irradiating light obliquely rather than parallel to the lens optical axis creates a shadow that makes detection easier. However, the lens barrel of the present invention is not limited to the inspection of precision parts and can be used for a variety of other purposes. Therefore, Figures 1 to 5 are merely examples, and the present invention is not limited thereto.
本発明のレンズ鏡筒1は、対物側から、第1レンズ群12と、透明アクリル(プラスチック)導光体リング14と、第2レンズ群16とが順番に配置され、これらは共通の光軸18を有する。第1レンズ群12は第1鏡筒部20に保持され、第2レンズ群16は第2鏡筒部22に保持されており、第1鏡筒部20、透明アクリル導光体リング14、第2鏡筒部22はそれぞれ螺合によって一体化するように構成されている。透明アクリル導光体リング14の外周には、環状LED光源本体24が装着されている。第2鏡筒部22の撮像素子(カメラ)側端部は、例えばCマウント規格のカメラに装着できる雄ねじ構造を有する。第1レンズ群12、第2レンズ群16はそれぞれレンズ鏡筒1を用いて検査する観察物や必要な倍率等に応じて適宜設計されるものであり、通常は複数のレンズの組み合わせでなる。 The lens barrel 1 of the present invention comprises, from the objective side, a first lens group 12, a transparent acrylic (plastic) light guide ring 14, and a second lens group 16, arranged in this order and sharing a common optical axis 18. The first lens group 12 is held in a first lens barrel section 20, and the second lens group 16 is held in a second lens barrel section 22. The first lens barrel section 20, the transparent acrylic light guide ring 14, and the second lens barrel section 22 are each integrated by screwing together. An annular LED light source body 24 is attached to the outer periphery of the transparent acrylic light guide ring 14. The end of the second lens barrel section 22 on the imaging element (camera) side has a male thread structure that can be attached to, for example, a C-mount standard camera. The first lens group 12 and the second lens group 16 are each designed appropriately depending on the object to be inspected using the lens barrel 1, the required magnification, etc., and are typically composed of a combination of multiple lenses.
図2は、図1に示す透明アクリル導光体リング14を単独で示す断面図(a)および概念図(b)である。透明アクリル導光体リング14は、透明アクリル材料を成型してなり、第1鏡筒部20と第2鏡筒部22の間に位置する中央部が内周方向に突出しており、その内縁部に側方外部からの照射光を観察物側に反射する反射面14aが形成されている。この状態を図2(b)に示す。この反射面14aは、全反射の条件を満たすことにより鏡筒の外側からの照射光をすべて観察物側に反射するようにしてもよいし、透明アクリル導光体リング14の内面(反射面14aを含む上側のみ)に鏡面蒸着を施して光が反射するようにしてもよい。反射面14aの角度や位置、大きさなどは、照明する観察物や必要な画像情報に応じて適宜設計することができる。また、透明アクリル導光体リング14は、必要に応じて第1および第2の鏡筒部20、22から取り外して異なる反射面を有する別の導光体リングと交換することができる。 Figure 2 shows a cross-sectional view (a) and a conceptual diagram (b) of the transparent acrylic light guide ring 14 shown in Figure 1 . The transparent acrylic light guide ring 14 is molded from a transparent acrylic material. Its central portion, located between the first and second lens barrels 20 and 22, protrudes inward. A reflective surface 14a is formed on its inner edge, reflecting light incident from the lateral exterior toward the object of observation. This state is shown in Figure 2(b). This reflective surface 14a may satisfy the conditions for total reflection, thereby reflecting all light incident from outside the lens barrel toward the object of observation. Alternatively, the inner surface of the transparent acrylic light guide ring 14 (only the upper side, including the reflective surface 14a) may be mirror-coated to reflect light. The angle, position, and size of the reflective surface 14a can be appropriately designed depending on the object of observation to be illuminated and the required image information. Furthermore, the transparent acrylic light guide ring 14 can be removed from the first and second lens barrels 20 and 22 and replaced with another light guide ring having a different reflective surface, as needed.
図3は、図1に示す環状LED光源本体24を単独で示す概略図である。図3に示すように、本実施形態の環状LED光源本体24は、透明アクリル導光体リング14の外周とほぼ等しい(厳密には僅かに大きな)直径の内周24aを有する環状体の内周面に空洞を作り、そこにフレキシブル配線基板24b上に配設された複数の照明用チップLED光源24cを内側に向けて配置し、その上から透明アクリルリング24dで塞いで構成される。図1に示すように、第1鏡筒部20と透明アクリル導光体リング14の外面は同一面上となるように形成されており、これにより環状LED光源本体24をレンズ先端側(物体面側)からスライド嵌入することができる。本実施形態では、図1に示すように、環状LED光源本体24が止まるまでスライドさせると、LED照射光が鏡筒内に導入される定位置となるように構成されている。フレキシブル配線基板24bからは配線ケーブル24eがユニットの外側に延びており、これが電源(図示せず)に接続される。また、環状LED光源本体24を貫通するねじ穴に着脱固定ねじ24fを螺入して締めることにより、環状LED光源本体24を定位置で固定できるようになっている。このようにして、環状LED光源本体24は着脱可能(すなわち、交換可能)に構成される。また、鏡筒の外周に薄い環状LED本体を装着して照明することができるため、小型化やコンパクトが求められる環境に最適である。図5は、環状LED光源本体24を取り外したレンズ鏡筒1を示す参考図である。 Figure 3 is a schematic diagram showing the annular LED light source body 24 shown in Figure 1 alone. As shown in Figure 3, the annular LED light source body 24 of this embodiment is constructed by creating a cavity on the inner surface of an annular body having an inner periphery 24a with a diameter approximately equal to (strictly speaking, slightly larger than) the outer periphery of the transparent acrylic light guide ring 14. Multiple illumination chip LED light sources 24c mounted on a flexible wiring board 24b are positioned inward and covered with a transparent acrylic ring 24d. As shown in Figure 1, the outer surfaces of the first lens barrel section 20 and the transparent acrylic light guide ring 14 are flush with each other, allowing the annular LED light source body 24 to be slid into place from the lens tip side (object plane side). In this embodiment, as shown in Figure 1, the annular LED light source body 24 is configured so that sliding it to its stop position introduces LED light into the lens barrel. A wiring cable 24e extends from the flexible wiring board 24b to the outside of the unit and is connected to a power source (not shown). Additionally, the annular LED light source body 24 can be fixed in place by threading and tightening a detachable fixing screw 24f into a threaded hole that passes through the annular LED light source body 24. In this way, the annular LED light source body 24 is configured to be detachable (i.e., replaceable). Furthermore, since a thin annular LED body can be attached to the outer periphery of the lens barrel for illumination, it is ideal for environments where miniaturization and compactness are required. Figure 5 is a reference diagram showing the lens barrel 1 with the annular LED light source body 24 removed.
環状LED光源本体24に内蔵するLEDは、本体24の内周全体にわたって高密度で配置してもよいし、数か所(例えば3~4箇所)のみ配置してもよい。このLEDは、R(赤)、B(青)、G(緑)、W(白)などの発光色を適宜選択することができる。また、配線基板24b上にICチップを設けたり配線ケーブル24eの先に制御ユニットを接続する等して、鏡筒内に照射する発光色や強度を変更できるようにしてもよい。そのような制御技術は公知であるため、本明細書での詳細な説明は省略する。 The LEDs built into the annular LED light source body 24 may be arranged in high density around the entire inner circumference of the body 24, or may be arranged in only a few locations (e.g., 3-4 locations). The LEDs can emit light in a variety of colors, such as R (red), B (blue), G (green), and W (white). The color and intensity of the light irradiated inside the lens barrel may also be changed by providing an IC chip on the wiring board 24b or connecting a control unit to the end of the wiring cable 24e. Such control technology is well known, so a detailed description will not be provided here.
さらに任意であるが、本実施形態のレンズ鏡筒1は、第1レンズ群12による照射光の内面反射が撮像素子に入射して画像劣化を招かないように、2つの直線偏光板(偏光子26と検光子28)を内蔵している。図1に示すように、レンズ鏡筒1は、第1レンズ群12と透明アクリル導光体リング14の間に第1直線偏光板26(偏光子)を具えるとともに、第2レンズ群16と前記第1直線偏光板26の間に第2直線偏光板28を具えている。図4は、これらの直線偏光板26、28を抜き出して示す概略図である。図4に示すように、第1直線偏光板26は中央に穴の開いた円形の偏光子であり、透明アクリル導光体リング14から出射した光を第1の方向(図4では横方向)に偏光する。これに対し、第2直線偏光板28は円形の検光子であり、第2レンズ群16を通過しようとする光を第2の方向(図4では縦方向)に偏光する。これら第1直線偏光板26と第2直線偏光板28の直線偏光方向を直交させることにより、偏光子を通過し、第1レンズ群などで反射し撮像素子に向かった内面反射光は検光子で遮られ、内面反射光が撮像素子に到達することがなく、画像劣化が防止される。 Optionally, the lens barrel 1 of this embodiment incorporates two linear polarizers (a polarizer 26 and an analyzer 28) to prevent internal reflection of light irradiated by the first lens group 12 from entering the imaging element and causing image degradation. As shown in FIG. 1, the lens barrel 1 includes a first linear polarizer 26 (polarizer) between the first lens group 12 and the transparent acrylic light guide ring 14, and a second linear polarizer 28 between the second lens group 16 and the first linear polarizer 26. FIG. 4 is a schematic diagram showing these linear polarizers 26 and 28. As shown in FIG. 4, the first linear polarizer 26 is a circular polarizer with a hole in its center, which polarizes light emitted from the transparent acrylic light guide ring 14 in a first direction (horizontal in FIG. 4). In contrast, the second linear polarizer 28 is a circular analyzer that polarizes light passing through the second lens group 16 in a second direction (vertical in FIG. 4). By orthogonally arranging the linear polarization directions of the first linear polarizer 26 and the second linear polarizer 28, internally reflected light that passes through the polarizer, is reflected by the first lens group, etc., and heads toward the image sensor is blocked by the analyzer, preventing the internally reflected light from reaching the image sensor and preventing image degradation.
以上、本発明の一実施形態について詳細に説明したが、本発明は上述した実施形態または実施例のものに限定されず、様々な変形例として実現することができる。例えば上記実施形態は第1および第2の偏光板を有するが、別の実施形態ではこれらを有さなくてもよい。本発明の流通形態において、鏡筒レンズ1は必ずしも環状LED光源本体とセットで販売されなくてもよく、複数の異なる種類の環状LED光源本体のなかから必要な条件に適した光源を有するものを選択的に購入・使用することができる。その他、透明プラスチック導光体リングの材料はアクリルに限らずポリエチレンテレフタレート(PET)やポリカーボネート(PC)、シクロオレフィンポリマー(COP、例えばZEONEXやZEONOR(いずれも登録商標))といった他の透明プラスチックでもよい。また、この導光体リングの反射面14aの角度や大きさ等は、実際の検査対象となる観察物や所望の取得情報といった実施環境に応じて適宜決定することができる。さらに、本発明の鏡筒レンズは精密部品の光学検査用に限らず、他の接写用レンズなどの用途に設計することもできる。 While one embodiment of the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiment or examples and can be realized in various modified forms. For example, while the above embodiment includes first and second polarizing plates, these may not be included in other embodiments. In the distribution format of the present invention, the tube lens 1 does not necessarily have to be sold as a set with the annular LED light source body; instead, a user can selectively purchase and use one with a light source that best suits their needs from among several different types of annular LED light source bodies. Furthermore, the material of the transparent plastic light guide ring is not limited to acrylic; other transparent plastics such as polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), and cycloolefin polymer (COP, e.g., ZEONEX or ZEONOR (all registered trademarks)) can also be used. Furthermore, the angle and size of the reflective surface 14a of the light guide ring can be appropriately determined depending on the actual environment, such as the object to be inspected and the desired information to be acquired. Furthermore, the tube lens of the present invention is not limited to optical inspection of precision parts; it can also be designed for other applications, such as close-up lenses.
本発明の鏡筒レンズは、外部照明用光源として、撮像レンズ鏡筒の外側に厚さの薄い環状LED光源本体を着脱自在に取り付けることによりコンパクトな撮像用照明レンズ鏡筒を提供するものであり、半導体素子や高密度実装プリント基板などの検査用途に好適に用いることができる。 The lens barrel lens of the present invention provides a compact imaging illumination lens barrel by detachably attaching a thin, annular LED light source body to the outside of the imaging lens barrel as an external illumination light source, and is suitable for use in inspecting semiconductor elements, high-density printed circuit boards, etc.
1 レンズ鏡筒
12 第1レンズ群
14 透明アクリル(プラスチック)導光体リング
14a 反射面
16 第2レンズ群
18 光軸
24 環状LED光源本体
26 第1直線偏光板(偏光子)
28 第2直線偏光板(検光子)
REFERENCE SIGNS LIST 1 Lens barrel 12 First lens group 14 Transparent acrylic (plastic) light guide ring 14a Reflecting surface 16 Second lens group 18 Optical axis 24 Annular LED light source body 26 First linear polarizing plate (polarizer)
28 Second linear polarizer (analyzer)
Claims (4)
前記第1レンズ群、透明プラスチック導光体リング、第2レンズ群は共通の光軸を有し、前記透明プラスチック導光体リングは、その内縁部が鏡筒内部に延在し、外部からの光を観察物側に反射する反射面を有し、
前記第1レンズ群が第1鏡筒部に保持され、前記第2レンズ群が第2鏡筒部に保持され、前記第1鏡筒部および前記第2鏡筒部が前記透明プラスチック導光体リングに取り外し可能に連結されていることを特徴とするレンズ鏡筒。 A lens barrel in which a first lens group, a transparent plastic light guide ring, and a second lens group are arranged in this order from the objective side of the lens barrel,
the first lens group, the transparent plastic light guide ring, and the second lens group have a common optical axis, and the transparent plastic light guide ring has an inner edge portion extending into the lens barrel and a reflective surface that reflects light from outside toward an object to be observed;
a first lens group held in a first barrel portion, a second lens group held in a second barrel portion, and the first and second barrel portions removably connected to the transparent plastic light guide ring.
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