JP7716944B2 - パネル収納容器 - Google Patents
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- lid
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/10—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP]
- H10P72/17—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] specially adapted for supporting large square shaped substrates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
- B65D85/38—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for delicate optical, measuring, calculating or control apparatus
-
- H—ELECTRICITY
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-
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- H10P72/1922—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof using carriers specially adapted therefor, e.g. front opening unified pods [FOUP] closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Closures For Containers (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Description
Claims (13)
- 開口を有し、複数のパネルを収納するための容器本体と、
前記開口を閉塞するための蓋体と、
を備え、
前記蓋体は、
前記蓋体が前記開口を閉塞している状態で、前記容器本体に収納される前記複数のパネルと第1方向において向かい合う蓋本体と、
前記蓋本体に設けられ、前記蓋本体と前記容器本体との間を封止する封止部材と、
前記蓋本体に設けられ、前記複数のパネルの前記第1方向における移動を規制するリテーナと、
を備え、
前記封止部材は、均一な断面形状で延びる弾性部材であり、
前記リテーナは、均一な断面形状で延びる弾性部材であり、
前記リテーナの前記断面形状は、前記封止部材の前記断面形状と同じであり、
前記リテーナの構成材料は、前記封止部材の構成材料と同じである、パネル収納容器。 - 開口を有し、複数のパネルを収納するための容器本体と、
前記開口を閉塞するための蓋体と、
を備え、
前記蓋体は、
前記蓋体が前記開口を閉塞している状態で、前記容器本体に収納される前記複数のパネルと第1方向において向かい合う蓋本体と、
前記蓋本体に設けられ、前記蓋本体と前記容器本体との間を封止する封止部材と、
前記蓋本体に設けられ、前記複数のパネルの前記第1方向における移動を規制するリテーナと、
を備え、
前記封止部材は、均一な断面形状で延びる弾性部材であり、
前記リテーナは、均一な断面形状で延びる弾性部材であり、
前記リテーナの前記断面形状は、前記封止部材の前記断面形状と同じである、パネル収納容器。 - 開口を有し、複数のパネルを収納するための容器本体と、
前記開口を閉塞するための蓋体と、
を備え、
前記蓋体は、
前記蓋体が前記開口を閉塞している状態で、前記容器本体に収納される前記複数のパネルと第1方向において向かい合う蓋本体と、
前記蓋本体に設けられ、前記蓋本体と前記容器本体との間を封止する封止部材と、
前記蓋本体に設けられ、前記複数のパネルの前記第1方向における移動を規制するリテーナと、
を備え、
前記封止部材は、均一な断面形状で延びる弾性部材であり、
前記リテーナは、均一な断面形状で延びる弾性部材であり、
前記リテーナの構成材料は、前記封止部材の構成材料と同じであり、
前記容器本体は、前記複数のパネルを前記第1方向と交差する第2方向に配列した状態で収納し、
前記リテーナは、前記蓋体が前記開口を閉塞している状態で、前記第1方向において前記複数のパネルと向かい合う第1規制部及び第2規制部を含み、
前記第1規制部及び前記第2規制部は、前記第2方向に延びるとともに、前記第1方向及び前記第2方向と交差する第3方向において並設されている、パネル収納容器。 - 前記容器本体は、前記複数のパネルを前記第1方向と交差する第2方向に配列した状態で収納し、
前記リテーナは、前記蓋体が前記開口を閉塞している状態で、前記第1方向において前記複数のパネルと向かい合う第1規制部及び第2規制部を含み、
前記第1規制部及び前記第2規制部は、前記第2方向に延びるとともに、前記第1方向及び前記第2方向と交差する第3方向において並設されている、請求項1又は請求項2に記載のパネル収納容器。 - 前記蓋本体は、前記第3方向における両端部である第1端部及び第2端部を含み、
前記第1規制部は、前記第1端部に設けられ、
前記第2規制部は、前記第2端部に設けられる、請求項3又は請求項4に記載のパネル収納容器。 - 前記リテーナは、前記第2方向に延びるとともに、前記第3方向において前記第1規制部と前記第2規制部との間に設けられる第3規制部を更に含む、請求項3~請求項5のいずれか一項に記載のパネル収納容器。
- 前記リテーナは、前記第1規制部の一端と前記第2規制部の一端とを連結する第1連結部を更に含む、請求項3~請求項6のいずれか一項に記載のパネル収納容器。
- 前記リテーナは、前記第1規制部の他端と前記第2規制部の他端とを連結する第2連結部を更に含む、請求項7に記載のパネル収納容器。
- 前記蓋本体は、前記封止部材を取り付けるための第1取付部と、前記リテーナを取り付けるための第2取付部と、を備える、請求項1~請求項8のいずれか一項に記載のパネル収納容器。
- 前記第1取付部は、蟻溝構造を有する、請求項9に記載のパネル収納容器。
- 前記第2取付部は、蟻溝構造を有する、請求項9又は請求項10に記載のパネル収納容器。
- 前記蓋体は、前記封止部材と前記蓋本体との間に設けられ、前記封止部材の硬度よりも低い硬度を有する第1緩衝材を更に備える、請求項1~請求項11のいずれか一項に記載のパネル収納容器。
- 前記蓋体は、前記リテーナと前記蓋本体との間に設けられ、前記リテーナの硬度よりも低い硬度を有する第2緩衝材を更に備える、請求項1~請求項12のいずれか一項に記載のパネル収納容器。
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|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021154476A JP7716944B2 (ja) | 2021-09-22 | 2021-09-22 | パネル収納容器 |
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|---|---|---|---|
| JP2021154476A Active JP7716944B2 (ja) | 2021-09-22 | 2021-09-22 | パネル収納容器 |
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-
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- 2021-09-22 JP JP2021154476A patent/JP7716944B2/ja active Active
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Patent Citations (4)
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