JP7721382B2 - 研磨パッドの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、研磨パッドの製造方法に関する。

半導体製造工程においては、絶縁膜成膜後の平坦化や金属配線の形成過程で化学機械研磨（ＣＭＰ）が使用される。化学機械研磨に要求される重要な技術の一つとして、研磨プロセスが完了したかどうかを検出する研磨終点検出がある。例えば、目標とする研磨終点に対する過研磨や研磨不足は製品不良に直結する。そのため、化学機械研磨では、研磨終点検出により研磨量を厳しく管理する必要がある。

化学機械研磨は複雑なプロセスであり、研磨装置の運転状態や消耗品（スラリー、研磨パッド、ドレッサー等）の品質や研磨過程における経時的な状態のばらつきの影響によって、研磨速度（研磨レート）が変化する。さらに、近年半導体製造工程で求められる残膜厚の精度、面内均一性はますます厳しくなっている。このような事情から、十分な精度の研磨終点検出はより困難となってきている。

研磨終点検出の主な方法としては、光学式終点検出方式、トルク終点検出方式、渦電流終点検出方式などが知られており、光学式終点検出方式では、研磨パッド上に設けた透明な窓部材を通してウエハに光を照射し、反射光をモニタすることで終点検出を行う。

このような光学式終点検出方式を用いる研磨パッドの製造方法として、例えば、特許文献１には、金型の底面にライナーを設けて窓用ブロックを固定して、その後硬化性材料を金型に充填して、硬化させる研磨パッドの製造方法が開示されている。

特開2013-197597号公報

しかしながら、特許文献１のように金型の底面で窓用ブロックを固定する方法では、硬化の際の熱によってライナーが変形すると、金型に窓用ブロックを垂直に固定できないという問題が生じる。また、ライナーには窓用ブロックが直接固定されているため、再使用することが難しく、製造コストに問題がある。

さらに、特許文献１では、窓接着剤を使用して窓用ブロックとライナーの上面とを接着するが、このような接着方法では、金型キャビティに硬化性材料を装填した際に、その硬化性材料の流れによって、または、硬化性材料の硬化時における膨張又は収縮によって、窓用ブロックの傾倒や位置ずれ（以下、まとめて「位置ずれ等」ともいう）が生じたりする恐れがある。

また、比較的小さい終点検出窓用部材を正確な位置に配置する際には、窓の位置を微調整する必要があるが、窓接着剤を使用して固定した場合には、その後の位置を調整することができず、良品の製造歩留まりが低下する。

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、終点検出窓用部材の位置ずれ等を抑制できるようにしつつも、終点検出窓用部材の位置の調整も容易に行うことのできる研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。

すなわち、本発明は以下のとおりである。
〔１〕
終点検出窓付き研磨層を備える研磨パッドの製造方法であって、
金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、前記終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する硬化工程と、
前記樹脂シートをスライスして研磨層を形成するスライス工程と、を有し、
前記硬化工程において、前記終点検出窓用部材が、前記金型上部に設置した位置固定治具の挟持部により挟持されることで、吊り下げられて固定される、
研磨パッドの製造方法。
〔２〕
前記硬化工程において、前記金型内に硬化性樹脂を充填してから、前記終点検出窓用部材を前記硬化性樹脂に接触させて、前記硬化性樹脂を硬化する、
〔１〕に記載の研磨パッドの製造方法。
〔３〕
前記硬化工程において、前記金型内に前記終点検出窓用部材を固定してから、硬化性樹脂を充填して硬化する、
〔１〕に記載の研磨パッドの製造方法。
〔４〕
前記位置固定治具が、前記終点検出窓用部材が挿通される貫通孔を有し、
前記挟持部は、前記貫通孔に挿通された前記終点検出窓用部材を挟持する、
〔１〕～〔３〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔５〕
前記挟持部は、前記終点検出窓用部材を着脱可能に挟持する、
〔１〕～〔４〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔６〕
前記位置固定治具が、前記金型上部と嵌合する第１嵌合部を有する、
〔１〕～〔５〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔７〕
前記金型が、前記位置固定治具と嵌合する第２嵌合部を有する、
〔１〕～〔６〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔８〕
前記研磨層の研磨面に溝加工を施す溝形成工程を有し、
前記溝形成工程の前に前記終点検出窓用部材の露出している部分には、溝加工を行わない、
〔１〕～〔７〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔９〕
前記研磨層の研磨面と反対側の面に、基材層及び／又はクッション層を積層する積層工程を有する、
〔１〕～〔８〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。

本発明によれば、終点検出窓用部材の位置ずれ等を抑制できるようにしつつも、終点検出窓用部材の位置の調整も容易に行うことのできる研磨パッドの製造方法を提供することができる。

本実施形態の終点検出窓用部材が挟持部に挟持された一態様を示す斜視図である。 本実施形態の終点検出窓用部材が挟持部に挟持された別態様を示す斜視図である。 本実施形態において用いる樹脂シートを作製するための金型と位置固定治具が組み合わされた一態様を示す上面図である。 本実施形態において用いる樹脂シートを作製するための金型と位置固定治具が組み合わされた別態様を示す上面図である。 図３に記載の金型の硬化性樹脂を注入する前のＡ－Ａ’断面を示す断面図である。 図３に記載の金型の硬化性樹脂を注入した後のＡ－Ａ’断面を示す断面図である。 硬化工程後により得られた樹脂シートを示す上面図である。 硬化工程後により得られた樹脂シートの終点検出窓付近の断面図である。 本実施形態の研磨パッドの概略斜視図である。 本実施形態の研磨パッドの終点検出窓部分の概略断面図である。

以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の実施の形態（以下、「本実施形態」という。）について詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。なお、図面中、同一要素には同一符号を付すこととし、重複する説明は省略する。又上下左右などの位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。

１．研磨パッドの製造方法
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する硬化工程と、樹脂シートをスライスして研磨層を形成するスライス工程と、を有し、硬化工程において、終点検出窓用部材が、金型上部に設置した位置固定治具の挟持部により挟持されることで、吊り下げられて固定されることで、終点検出窓付き研磨層を備える研磨パッドを製造する方法である。

このように、終点検出窓用部材を金型上部に設置した位置固定治具の挟持部により挟持することで、接着剤等と比較して終点検出窓用部材をより強固に固定することができる。そのため、硬化性樹脂の流れによって、または、硬化性材料の硬化時における膨張又は収縮によって、終点検出窓用部材の位置ずれ等がより抑制される。さらに、接着剤等の固定では終点検出窓用部材が斜めに固定されることもあるが、終点検出窓用部材を挟持部により挟持することで、終点検出窓用部材を垂直に固定することができる。

また、金型底面に接着剤等で終点検出窓用部材を固定する場合には一度固定したらその位置を調整できないが、終点検出窓用部材を挟持部により吊り下げて固定することにより、終点検出窓用部材の取り外しが容易となり、硬化性樹脂が硬化するまでは挟持部を弛めて、終点検出窓用部材の埋設位置を微調整することができる。終点検出窓は通常は研磨能力を持たないため、研磨パッドに配置する窓の大きさはできるだけ小さいことが好ましく、小さい終点検出窓を介して、研磨装置の検出器部分に正確に透過光を届けるためには、いずれの研磨パッドにも同一箇所に正確に窓を配置する必要がある。そのため、上記のような微調整を可能とすることにより良品率を向上することもできる。また、硬化性樹脂が硬化した後には、挟持部を弛めて、挟持部から終点検出窓用部材を取り外すことにより、位置固定治具と得られた樹脂シートを分離することができる。

さらに、金型ではなく位置固定治具に終点検出窓用部材を取り付けるため、金型自体は加工する必要がなく、従来のものをそのまま使用することができる。さらに、位置固定治具も何度でも使用可能であるため、ライナーのように使い捨てにする必要はない。

１．１．硬化工程
硬化工程は、金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する工程である。

１．１．１．終点検出窓用部材
まず、硬化工程に先立って終点検出窓用部材を用意する。終点検出窓用部材１０の形状は、特に限定されないが、例えば、図１や図２に示すように、直方体状のものと、円柱状のものが挙げられる。

図１に示すように、直方体状の終点検出窓用部材１０は、挟持しやすい側面を有するため、より安定して位置固定治具３０に固定することができる。直方体状の終点検出窓用部材１０の形状は、必要とされる大きさの窓材として構成されたものであればその形状については、特に限定されないが、例えば、吊り下げ方向の端面が凸面形状を有していてもよい。このような凸面形状を有することにより、終点検出窓用部材１０の端面と金型２０の底面２１との間に硬化性樹脂が流入しやすくなり、硬化性樹脂が気泡を巻き込んだりすることが抑制できる。

図２に示すように、円柱状の終点検出窓用部材１０は、例えば、柱状部１１と台座部１２とを有するものとすることができる。ここで、柱状部１１は硬化工程後において、樹脂シート５０に埋設されて終点検出窓５１となる。柱状部１１の断面形状は特に制限されず、円形であっても多角形であってもよく、柱状部１１の先端は凸面形状を有していてもよい。また、台座部１２は、位置固定治具３０の挟持部３１の孔径よりも広く構成されていてもよい。これにより、位置固定治具３０の挟持部３１に上方から終点検出窓用部材１０を挿通したときに、台座部１２で係止され、円柱状の終点検出窓用部材１０が脱落せずに固定される。

このように、円柱状の終点検出窓用部材１０は、柱状部１１と台座部１２とを有する形状とすることで、柱状部１１は終点検出窓として必要な範囲で比較的小さくしつつ、台座部１２により脱落をより抑制することができる。これにより、硬化工程において注入された樹脂や硬化中の樹脂によって、終点検出窓用部材１０の位置がずれたり、終点検出窓用部材１０が斜めになったりすることが抑制される傾向にある。また、柱状部１１を終点検出窓として必要な範囲で比較的小さく構成できるため、終点検出窓を埋設したことによる研磨パッドの研磨特性への影響をより小さくすることができる。なお、終点検出窓用部材１０の形状は図２に限定されず、円柱状の終点検出窓用部材１０は、台座部１２がなく、柱状部１１のみを有するものであってもよい。

終点検出窓用部材１０は、特に限定されないが、例えば、金型（不図示）に樹脂を注入して硬化することで作製することができる。金型から取り出した終点検出窓用部材１０は、側面を、サンドペーパーで処理したり溶剤で処理したりすることが好ましい。これにより、終点検出窓用部材１０に離型剤が付着している場合には離型剤を除去することができ、また、サンドペーパーで側面が粗面化されることによって、樹脂シート５０に終点検出窓用部材１０を埋設したときに、樹脂シート５０と終点検出窓用部材１０（終点検出窓５１）との密着性がより向上する傾向にある。

１．１．２．位置固定治具
位置固定治具３０は、挟持部３１を有し、金型２０上部に設置可能であり、挟持部３１によって終点検出窓用部材１０を吊り下げて固定するものであれば特に制限されない。図５や図６に示すように、この位置固定治具３０の挟持部３１によって、終点検出窓用部材１０は吊り下げられて固定される。

例えば、金型２０の底面に終点検出窓用部材１０を固定する場合には、硬化性樹脂を金型に充填した後に、終点検出窓用部材１０の個数や位置を変更することは困難である。一方で、本実施形態のように終点検出窓用部材１０を吊り下げて固定する場合には、硬化性樹脂を金型２０に充填した後であっても硬化前であれば、終点検出窓用部材１０の位置を変更したり、終点検出窓用部材１０の個数を変更したりすることが容易となる。

また、その他、金型２０の底など金型自体に終点検出窓用部材１０を固定するための変更を施す必要がなく、金型２０としては終点検出窓を有しない研磨パッドの製造に用いるのと同様のものをそのまま用いることもできる。

また、挟持部３１は、終点検出窓用部材１０を挟持して固定するものであれば特に制限されない。このような挟持部３１により終点検出窓用部材１０の側面を挟持することにより、終点検出窓用部材１０をまっすぐ垂直に吊り下げて固定することができ、また、平面方向に対する力が付加された場合にも位置ずれ等が生じにくくなる。そのため、終点検出窓用部材１０がまっすぐ垂直に固定されず斜めに固定されてしまうことにより、終点検出窓として機能しなくなったり、硬化性材料の流れによって、または、硬化性材料の硬化時における膨張又は収縮によって、終点検出窓用部材１０が押されて位置ずれ等が生じたりすることが抑制される。特に、例えば接着剤などで一面だけで終点検出窓用部材１０を固定するような方法と比べて、このような効果は顕著となる。

また、挟持部３１を用いることにより、接着剤等の固定化手段を用いる必要がなく、終点検出窓用部材１０の着脱も容易となる。例えば、接着剤等を使用した場合には、接着力が弱い場合には位置ずれや脱落が生じることが懸念されるほか、接着力が強い場合には硬化工程後に位置固定治具３０から終点検出窓用部材１０を取り外すことが困難となる。これに対して、挟持部３１を用いる場合は、少なくとも一方向から終点検出窓用部材１０を挟み込めればよく、その挟み込みの力を弱めることで容易に着脱することができる。さらに、接着剤を用いる場合には、終点検出窓用部材１０の接着面をサンドペーパー等で削って平坦とするようにするなどの処理が必要となるが、挟持部３１を用いる場合にはそのような処置も不要となる。

挟持部３１は、上記のように終点検出窓用部材１０を挟持して固定するものであれば特に制限されず、終点検出窓用部材１０を挟み込む一又は複数の部材を有してもよいし、さらに挟持する力を調整するための調整部３２を有してもよい。このなかでも、着脱の容易性の点から、はめ込むだけで終点検出窓用部材１０を挟持できるように構成された挟持部３１が好ましく、固定の強度を調整できる点で、調整部３２を備える挟持部３１が好ましい。

このような調整部３２としては、例えば、図１のように終点検出窓用部材１０を挟み込む複数の部材（挟持部３１）を締め付けるネジやバネなどであってもよい。図１では、調整部３２（ネジ）を介して２つの部材からなる挟持部３１が接続されており、調整部３２によって、２つの部材からなる挟持部３１の間の距離が調整可能とされている。これにより調整部３２によって挟持部３１の間の距離が短くなるように締め付けることで、終点検出窓用部材１０の側面が押さえつけられ、挟持する力が調整される。

また、調整部３２としては、例えば、図２のように挟持部３１とともに終点検出窓用部材１０を締め付けるネジやバネなどであってもよい。図２では、挟持部３１の側面から貫通した調整部３２（ネジ）の底部が終点検出窓用部材１０の側面を押さえつけ、これにより、挟持部３１内壁と調整部３２（ネジ）の底部の押さえつける力によって、挟持する力が調整される。

なお、挟持部３１や調整部３２の形態は、上記に制限されることなく、その他にも挟持する力を強く又は弱くできるよう構成されたものであれば、任意の構造を有することができる。

位置固定治具３０は、終点検出窓用部材１０が挿通される貫通孔３３を有してもよく、この際、挟持部３１は、貫通孔３３に挿通された終点検出窓用部材１０を挟持してもよい。このように位置固定治具３０にあらかじめ設けられた貫通孔３３に対して終点検出窓用部材１０を挿通しこれを挟持することで、貫通孔３３に応じて容易に位置決めを行うことができる。

挟持部３１は終点検出窓用部材１０をより容易に着脱可能に挟持することができる。これにより、終点検出窓用部材１０の取り外しが容易となり、硬化性樹脂が硬化するまでは挟持部３１を弛めて、終点検出窓用部材１０の埋設位置を微調整することができる。そのため、そのような微調整により製造歩留まりを向上することもできる。また、硬化性樹脂が硬化した後には、挟持部３１を弛めて、挟持部３１から終点検出窓用部材１０を取り外すことにより、位置固定治具３０と得られた樹脂シート５０を分離することができる。

図３及び図４に、樹脂シートを作製するための金型２０の上面図を示し、図５に、金型２０に硬化性樹脂を注入する前の図３におけるＡ－Ａ’の断面図を示す。図３～５において示す金型２０は、図２で示す態様の終点検出窓用部材１０を図４で示す態様の調整部３２により固定する位置固定治具３０を備える。図３及び図５に示すように、位置固定治具３０は金型２０の上部に設置されており、終点検出窓用部材１０は位置固定治具３０の挟持部３１により挟持されることで、鉛直下向きに吊り下げられて固定されている。

また、金型２０の形状は、特に限定されないが、例えば、樹脂シートを形成するための扁平な金型とすることができ、樹脂シートを切り出すための樹脂ブロックを形成するような直方体状の金型であってもよい。位置固定治具３０は、その金型２０の上部を覆うように側壁２２に接して固定されている。

位置固定治具３０の金型２０と接触する場所は、金型２０の上部と嵌合可能な凹凸形状（第１嵌合部）を有していてもよい。また、金型２０の位置固定治具３０と接触する場所も、位置固定治具３０と嵌合可能な凹凸形状（第２嵌合部）を有していてもよい。これにより、金型２０に位置固定治具３０を設置する際において、位置固定治具３０の位置決めが容易になり、硬化工程ごとに終点検出窓用部材１０の埋設位置がずれたりすることを抑制できる傾向にある。

位置固定治具３０の素材は、特に限定されないが、例えば、硬化工程の熱でも変形しない程度の耐熱性の素材であればよく、例えば、アルミ合金やステンレス鋼が挙げられる。

１．１．３．硬化性樹脂
硬化工程では、上記のように金型２０内に終点検出窓用部材１０を固定し、該終点検出窓用部材１０と接触した状態で硬化性樹脂４０を硬化して、終点検出窓用部材１０（終点検出窓５１）が組み込まれた樹脂シート５０を形成する。図４に、金型２０に硬化性樹脂を注入した後の図２におけるＡ－Ａ’の断面図を示す。

本実施形態においては、終点検出窓用部材１０と接触した状態で硬化性樹脂４０を硬化する態様であれば特に限定されず、図３のように金型２０内に終点検出窓用部材１０を固定してから、金型２０に硬化性樹脂４０を充填して硬化性樹脂４０を硬化させてもよいし、金型２０内に硬化性樹脂４０を充填してから、終点検出窓用部材１０を硬化性樹脂に接触させて、その後に硬化性樹脂４０を硬化させてもよい。

硬化性樹脂としては、特に制限されないが、例えば、ポリエステル系ポリウレタン樹脂、ポリエーテル系ポリウレタン樹脂、及びポリカーボネート系ポリウレタン樹脂が挙げられる。これらは１種を単独で又は２種以上を組み合わせて用いてもよい。このようなポリウレタン樹脂としては、ポリイソシアネートとポリオールにより合成することができる。

１．２．スライス工程
スライス工程は、樹脂シートをスライスして研磨層を形成する工程である。図７～８に、硬化工程後に、金型２０から外して、台座部１２を除去して得られた樹脂シート５０の上面図と断面図を示す。図７～８に示されるように、樹脂シートは終点検出窓用部材が埋設されたものである。

スライス方法は、特に限定されないが、例えば、図７～８に示すような樹脂シートを、面方向に切断し、任意の厚さの研磨パッドとする方法が挙げられる。また、図９に示すように四角形上の研磨パッドは、円形状に切り出してもよい。

１．３．溝形成工程
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、必要に応じて、研磨層の研磨面に溝加工を施す溝形成工程を有していてもよい（図１０参照）。なお、光学終点検出に支障があるため、溝加工は、終点検出窓用部材の露出している部分には行わないことが好ましい。

１．４．その他の工程
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、必要に応じて、研磨層の研磨面と反対側の面に、基材層及び／又はクッション層を積層する積層工程を有していてもよい。

２．研磨パッド
図９に、本実施形態の研磨パッドの概略斜視図を示し、図１０に、図９における終点検出窓５１の周辺の断面図を示す。図１０に示すように、本実施形態の研磨パッドは、樹脂シート５０（研磨層）と、終点検出窓５１と、を有し、必要に応じて、研磨面５０ａとは反対側に、クッション層５２を有していてもよい。

図１０に示すように、樹脂シート５０（研磨層）とクッション層５２の間には、接着層５３が設けられていてもよく、また、クッション層５２の表面には、接着層５４が設けられていてもよい。本実施形態の研磨パッドの研磨面５０ａは、平坦の場合の他、図１０に示すように、溝５５が形成された凹凸状であってもよい。溝55は複数の同心円状、格子状、放射状等の様々な形状の溝を単独又は併用して形成してもよい。

終点検出用窓５１は樹脂シート５０（研磨層）の開口に設けられた透明な部材であり、光学式の終点検出において、膜厚検出センサからの光の透過路となるものである。本実施形態において、終点検出用窓は円形であるが、必要に応じて、正方形、長方形、多角形、楕円形等の形状としてもよい。

樹脂シート５０（研磨層）としては、特に限定されないが、例えば、ポリウレタンシートを用いることができる。このポリウレタンシートは終点検出用窓が埋設される開口を有する。開口の位置は特に制限されないが、研磨装置のテーブルに設置された膜厚検出センサに対応する半径方向の位置に設けることが好ましい。また、開口の数は特に制限されないが、テーブルに貼られた研磨パッドが一回転する際に、窓が膜厚検出センサ上を複数回通過するように、同様の半径方向の位置に複数個有することが好ましい。

本発明の研磨パッドの製造方法は、光学式の終点検出法に適した研磨パッドの効率的な製造方法として、産業上の利用可能性を有する。

１０…終点検出窓用部材、１１…柱状部、１２…台座部、２０…金型、２１…底面、２２…側壁、３０…位置固定治具、３１…挟持部、３２…調整部、４０…硬化性樹脂、５０…樹脂シート、５０ａ…研磨面、５１…終点検出窓、５２…クッション層、５３…接着層、５４…接着層、５５…溝

Claims (8)

1. 終点検出窓付き研磨層を備える研磨パッドの製造方法であって、
   金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、前記終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する硬化工程と、
   前記樹脂シートをスライスして研磨層を形成するスライス工程と、を有し、
   前記硬化工程において、前記終点検出窓用部材が、前記金型上部に設置した位置固定治具の挟持部により挟持されることで、吊り下げられて固定され、
   前記位置固定治具が、前記終点検出窓用部材が挿通される貫通孔を有し、
   前記挟持部は、前記貫通孔に挿通された前記終点検出窓用部材を挟持する、
   研磨パッドの製造方法。
2. 前記硬化工程において、前記金型内に硬化性樹脂を充填してから、前記終点検出窓用部材を前記硬化性樹脂に接触させて、前記硬化性樹脂を硬化する、
   請求項１に記載の研磨パッドの製造方法。
3. 前記硬化工程において、前記金型内に前記終点検出窓用部材を固定してから、硬化性樹脂を充填して硬化する、
   請求項１に記載の研磨パッドの製造方法。
4. 前記挟持部は、前記終点検出窓用部材を着脱可能に挟持する、
   請求項１～３のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
5. 前記位置固定治具が、前記金型上部と嵌合する第１嵌合部を有する、
   請求項１～４のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
6. 前記金型が、前記位置固定治具と嵌合する第２嵌合部を有する、
   請求項１～５のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
7. 前記研磨層の研磨面に溝加工を施す溝形成工程を有し、
   前記溝形成工程の前に前記終点検出窓用部材の露出している部分には、溝加工を行わない、
   請求項１～６のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
8. 前記研磨層の研磨面と反対側の面に、基材層及び／又はクッション層を積層する積層工程を有する、
   請求項１～７のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。