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JP7722376B2 - Glass plate manufacturing method - Google Patents
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JP7722376B2 - Glass plate manufacturing method - Google Patents

Glass plate manufacturing method

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JP7722376B2
JP7722376B2 JP2022543340A JP2022543340A JP7722376B2 JP 7722376 B2 JP7722376 B2 JP 7722376B2 JP 2022543340 A JP2022543340 A JP 2022543340A JP 2022543340 A JP2022543340 A JP 2022543340A JP 7722376 B2 JP7722376 B2 JP 7722376B2
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Description

本発明は、ガラス板を製造する方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing glass sheets.

近年、ディスプレイパネルの分野では、画質の向上のために画素の高精細化が進展している。これに伴い、ディスプレイパネルに用いられるガラス板(ガラス基板)においても高い寸法精度が求められる。このため、ディスプレイパネルの製造工程中に、高温で熱処理されても寸法が変化しにくい、すなわち熱収縮率の小さなガラス板が必要となる。In recent years, in the field of display panels, pixel resolution has been increasing to improve image quality. Accordingly, high dimensional precision is also required for the glass sheets (glass substrates) used in display panels. For this reason, glass sheets that are resistant to dimensional change even when heat-treated at high temperatures during the display panel manufacturing process, i.e., glass sheets with a low thermal shrinkage rate, are required.

ガラス板の熱収縮率を小さくする方法としては、組成を調整することでガラスの歪点を高くすることや、成形工程後のガラスの冷却速度を低減することなどが挙げられる。 Methods of reducing the thermal shrinkage rate of glass sheets include adjusting the composition to increase the strain point of the glass or reducing the cooling rate of the glass after the forming process.

例えば特許文献1には、ダウンドロー法によって溶融ガラスをガラスリボン(シートガラス)に成形する成形工程と、ガラスリボンを冷却する冷却工程と、ガラスリボンを切断することによりガラス板を形成する切断工程と、を備えるガラス板の製造方法が開示されている。この製造方法では、冷却工程におけるガラスリボンの冷却速度を制御することにより、ガラス板の熱収縮率を低減させている。For example, Patent Document 1 discloses a method for manufacturing a glass sheet, which includes a forming step in which molten glass is formed into a glass ribbon (sheet glass) by the downdraw method, a cooling step in which the glass ribbon is cooled, and a cutting step in which the glass ribbon is cut to form a glass sheet. In this manufacturing method, the thermal shrinkage of the glass sheet is reduced by controlling the cooling rate of the glass ribbon in the cooling step.

国際公開第2014/157649号International Publication No. 2014/157649

しかしながら、ガラス板の熱収縮率は十分でなく、ディスプレイパネルの更なる高精細化に対応すべく、ガラス板の熱収縮率をより一層低下させることが求められている。However, the thermal shrinkage rate of glass sheets is insufficient, and there is a need to further reduce the thermal shrinkage rate of glass sheets in order to accommodate the ever-increasing resolution of display panels.

そこで本発明は、ガラス板の熱収縮率を低下させることを技術的課題とする。 Therefore, the technical objective of this invention is to reduce the thermal shrinkage rate of glass sheets.

本発明は上記の課題を解決するためのものであり、溶融ガラスを準備する準備工程と、前記溶融ガラスからガラスリボンを成形する成形工程と、前記ガラスリボンを搬送しながら徐冷する徐冷工程を含む熱処理工程と、を備えるガラス板の製造方法において、前記熱処理工程では、徐冷点から600℃までの平均冷却速度が、(前記徐冷点+100℃)から200℃までの平均冷却速度よりも小さいことを特徴とする。 The present invention is intended to solve the above-mentioned problems, and provides a method for manufacturing a glass sheet, comprising a preparation process for preparing molten glass, a forming process for forming a glass ribbon from the molten glass, and a heat treatment process including an annealing process for annealing the glass ribbon while transporting it, wherein the heat treatment process is characterized in that the average cooling rate from the annealing point to 600°C is smaller than the average cooling rate from (the annealing point + 100°C) to 200°C.

上記のように熱処理工程における徐冷点から600℃までの平均冷却速度を(徐冷点+100℃)から200℃までの平均冷却速度よりも小さくすることで、熱収縮率への影響が大きい徐冷点から600℃までの温度範囲におけるガラスリボンの滞在時間が長くなると共に、それ以外の温度範囲におけるガラスリボンの滞在時間が短くなる。これにより、熱処理に要する時間を増大させることなく、ガラス板の熱収縮率を可及的に低下させることが可能となる。As described above, by making the average cooling rate from the annealing point to 600°C in the heat treatment process slower than the average cooling rate from (annealing point + 100°C) to 200°C, the residence time of the glass ribbon in the temperature range from the annealing point to 600°C, which has a significant impact on the thermal shrinkage rate, is extended, while the residence time of the glass ribbon in other temperature ranges is shortened. This makes it possible to reduce the thermal shrinkage rate of the glass sheet as much as possible without increasing the time required for heat treatment.

前記熱処理工程では、前記徐冷点から600℃までの冷却時間が31秒以上であってもよい。これにより、ガラス板の熱収縮率をさらに改善することができる。 In the heat treatment process, the cooling time from the annealing point to 600°C may be 31 seconds or more. This can further improve the thermal shrinkage rate of the glass sheet.

前記熱処理工程では、前記徐冷点から500℃までの平均冷却速度が、(前記徐冷点+100℃)から200℃までの前記平均冷却速度よりも小さくてもよい。これにより、熱収縮率測定における熱処理温度にかかわらず、熱収縮率を改善することができる。 In the heat treatment process, the average cooling rate from the annealing point to 500°C may be smaller than the average cooling rate from (the annealing point + 100°C) to 200°C. This allows the heat shrinkage rate to be improved regardless of the heat treatment temperature in the heat shrinkage rate measurement.

前記熱処理工程では、前記徐冷点から500℃までの冷却時間が52秒以上であってもよい。これにより、ガラス板の熱収縮率をさらに改善することができる。 In the heat treatment process, the cooling time from the annealing point to 500°C may be 52 seconds or more. This can further improve the thermal shrinkage rate of the glass sheet.

前記熱処理工程では、前記徐冷点から熱収縮率測定温度までの前記平均冷却速度が、(前記徐冷点+100℃)から200℃までの前記平均冷却速度よりも小さくてもよい。これにより、熱収縮率測定温度を用いて測定されるガラス板の熱収縮率を効率良く改善することができる。 In the heat treatment process, the average cooling rate from the annealing point to the thermal shrinkage measurement temperature may be smaller than the average cooling rate from (the annealing point + 100°C) to 200°C. This allows for efficient improvement of the thermal shrinkage of the glass sheet measured using the thermal shrinkage measurement temperature.

前記熱処理工程では、前記徐冷点から前記熱収縮率測定温度までの冷却時間が52秒以上であってもよい。これにより、ガラス板の熱収縮率をさらに改善することができる。 In the heat treatment process, the cooling time from the annealing point to the thermal shrinkage measurement temperature may be 52 seconds or longer. This can further improve the thermal shrinkage of the glass sheet.

前記熱処理工程は、前記徐冷工程の前工程として、前記ガラスリボンを搬送しながら冷却する抜熱工程を含み、前記抜熱工程では、冷却器を備える温度調整部材を前記ガラスリボンに対向するように配置した状態で、前記温度調整部材によってガラスリボンを冷却してもよい。 The heat treatment process includes a heat removal process, which is a process preceding the slow cooling process, in which the glass ribbon is cooled while being transported. During the heat removal process, the glass ribbon may be cooled by a temperature adjustment member equipped with a cooler, with the temperature adjustment member positioned opposite the glass ribbon.

かかる構成によれば、徐冷点を上回る温度域において、冷却速度を小さくしても熱収縮率への寄与が小さいが、上記の抜熱工程により、徐冷点を上回る温度域において積極的にガラスリボンを冷却することで、熱収縮率を維持しながら、ガラスリボンの製造効率を向上させることができる。 According to this configuration, even if the cooling rate is reduced in the temperature range above the annealing point, the contribution to the thermal shrinkage rate is small. However, by actively cooling the glass ribbon in the temperature range above the annealing point through the above-mentioned heat removal process, the manufacturing efficiency of the glass ribbon can be improved while maintaining the thermal shrinkage rate.

また、本方法は、前記成形工程と前記抜熱工程の間に、冷却機構を有するローラによって前記ガラスリボンの両端部を挟持しながら搬送する端部冷却工程を備えてもよい。これにより、ガラスリボンの幅方向の収縮を抑制できる。 The method may also include an end cooling process between the forming process and the heat removal process, in which both ends of the glass ribbon are clamped and conveyed by rollers having a cooling mechanism. This can suppress shrinkage of the glass ribbon in the width direction.

前記準備工程では、前記ガラスリボンの水分含有量(β―OH)が0.30/mm以下となるように、前記溶融ガラスを準備してもよい。これにより、ガラス板の熱収縮率をさらに改善することができる。 In the preparation process, the molten glass may be prepared so that the water content (β-OH) of the glass ribbon is 0.30/mm or less. This can further improve the thermal shrinkage rate of the glass sheet.

本発明によれば、ガラス板の熱収縮率を低下させることができる。 According to the present invention, the thermal shrinkage rate of glass sheets can be reduced.

第一実施形態に係るガラス板の製造装置を示す概略図である。1 is a schematic view showing a glass sheet manufacturing apparatus according to a first embodiment. FIG. ガラス板の製造方法を示すフローチャートである。1 is a flowchart showing a method for manufacturing a glass plate. 熱処理工程におけるガラスリボンの温度と冷却時間の関係を示すグラフである。1 is a graph showing the relationship between the temperature of the glass ribbon and the cooling time in a heat treatment process. 第二実施形態に係るガラス板の製造装置を示す縦断側面図である。FIG. 4 is a vertical cross-sectional side view showing a glass sheet manufacturing apparatus according to a second embodiment. ガラス板の製造装置の縦断正面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional front view of the glass sheet manufacturing apparatus. 熱収縮率の測定方法を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a method for measuring a thermal shrinkage rate. 熱収縮率の測定方法を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a method for measuring a thermal shrinkage rate. 熱収縮率の測定方法を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a method for measuring a thermal shrinkage rate.

[第一実施形態]
以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら説明する。図1乃至図3は、本発明に係るガラス板の製造方法の第一実施形態を示す。
[First embodiment]
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Figures 1 to 3 show a first embodiment of a method for producing a glass plate according to the present invention.

図1は、本方法に使用される、ガラス板の製造装置を例示する。製造装置1は、オーバーフローダウンドロー法によってガラス板Gを製造するための装置である。製造装置1は、成形炉2と、徐冷炉3と、冷却室4と、切断室5と、を主に備えている。 Figure 1 illustrates an example of a glass sheet manufacturing apparatus used in this method. The manufacturing apparatus 1 is an apparatus for manufacturing glass sheet G by the overflow downdraw method. The manufacturing apparatus 1 mainly comprises a forming furnace 2, an annealing furnace 3, a cooling chamber 4, and a cutting chamber 5.

成形炉2には、図示しないガラス溶融炉において生成された溶融ガラスGMが供給される。ガラス溶融炉は、例えば完全電気溶融炉により構成されるが、この構成に限定されるものではない。完全電気溶融炉とは、バーナの燃焼炎による加熱を行わずに、加熱電極のみによる通電加熱でガラス原料を溶融させる溶融炉をいう。なお、完全電気溶融炉の立ち上げ時には、バーナの燃焼炎による加熱を用いてもよい。Molten glass GM produced in a glass melting furnace (not shown) is supplied to the forming furnace 2. The glass melting furnace may be, for example, a fully electric melting furnace, but is not limited to this configuration. A fully electric melting furnace is a melting furnace that melts glass raw materials by electrical heating using heating electrodes only, without heating using a burner combustion flame. Note that heating using a burner combustion flame may also be used when starting up a fully electric melting furnace.

成形炉2の内部には、横断面が略楔状の成形体6と、ローラ対7とが配置されている。成形炉2に供給された溶融ガラスGMは、成形体6の両側から溢れ出し、成形体6の下端部において合流する。これにより、ガラスリボンGRが成形される。Inside the forming furnace 2, a forming body 6 with a roughly wedge-shaped cross section and a pair of rollers 7 are arranged. The molten glass GM supplied to the forming furnace 2 overflows from both sides of the forming body 6 and merges at the lower end of the forming body 6. This forms the glass ribbon GR.

ローラ対7は、成形体6の下方に配置され、冷却機構を有している。ローラ対7は、ガラスリボンGRの幅方向の両端部を挟持するように構成される。このローラ対7は、ガラスリボンGRの両端部を冷却しながら、ガラスリボンGRを搬送する。 The roller pair 7 is positioned below the forming body 6 and has a cooling mechanism. The roller pair 7 is configured to clamp both widthwise ends of the glass ribbon GR. This roller pair 7 transports the glass ribbon GR while cooling both ends of the glass ribbon GR.

ガラスリボンGRの厚みは、0.1mm~1.5mmとされることが好ましいが、この範囲に限定されない。ガラスリボンGRの幅は、500mm以上であることが好ましいが、この範囲に限定されない。 The thickness of the glass ribbon GR is preferably 0.1 mm to 1.5 mm, but is not limited to this range. The width of the glass ribbon GR is preferably 500 mm or more, but is not limited to this range.

ガラスリボンGRの徐冷点Taは、600℃よりも高温であることが好ましい。熱収縮率を低下させる観点から、徐冷点Taは、650℃以上であることがより好ましく、700℃以上であることがさらにより好ましく、750℃であることが最も好ましい。徐冷点Taの上限は、1000℃であることが好ましい。また、溶融ガラスGMの液相温度における粘度(液相粘度)は、104.5dPa・s以上であることが好ましい。 The annealing point Ta of the glass ribbon GR is preferably higher than 600°C. From the viewpoint of reducing the thermal shrinkage rate, the annealing point Ta is more preferably 650°C or higher, even more preferably 700°C or higher, and most preferably 750°C. The upper limit of the annealing point Ta is preferably 1000°C. Furthermore, the viscosity of the molten glass GM at the liquidus temperature (liquidus viscosity) is preferably 104.5 dPa·s or higher.

ディスプレイのガラス基板に好適なガラス板を得る観点から、ガラスの種類は、無アルカリガラスであることが好ましい。具体的なガラスの組成としては、モル%で、SiO2 60~75%、Al23 5~20%、B23 0~15%、Li2O+Na2O+K2O(Li2O、Na2O及びK2Oの合量) 0~1%未満、MgO 0~10%、CaO 0~15%、SrO 0~10%、BaO 0~10%を含有することが好ましく、その中でも、以下のガラス組成例が特に好ましい。 From the viewpoint of obtaining a glass plate suitable for a glass substrate of a display, the type of glass is preferably alkali-free glass. Specific glass compositions preferably contain, in mole percent, 60 to 75 % SiO2 , 5 to 20% Al2O3 , 0 to 15% B2O3 , 0 to less than 1 % Li2O + Na2O +K2O (total amount of Li2O , Na2O , and K2O ), 0 to 10% MgO, 0 to 15% CaO, 0 to 10% SrO, and 0 to 10% BaO, and among these, the following glass composition examples are particularly preferred.

第一のガラス組成の例としては、モル%で、SiO2 60~70%、Al23 9.5~17%(特に11~15%)、B23 0~9%(特に5~7%)、Li2O+Na2O+K2O 0~1%未満(特に0~0.5%)、MgO 0~8%(特に2~6%)、CaO 2~15%(特に6~11%)、SrO 0~10%(特に0.1~3%)、BaO 0.1~5%を含有することが好ましい。このようにすれば、液相粘度とヤング率を高めることができる。結果として、薄肉のガラス板Gを作製し易くなり、更にそのガラス板Gの撓み量を低減し易くなる。 An example of the first glass composition preferably contains, in mole percent, 60-70% SiO 2 , 9.5-17% Al 2 O 3 (particularly 11-15%), 0-9% B 2 O 3 (particularly 5-7%), 0% to less than 1% Li 2 O + Na 2 O + K 2 O (particularly 0-0.5%), 0-8% MgO (particularly 2-6%), 2-15% CaO (particularly 6-11%), 0-10% SrO (particularly 0.1-3%), and 0.1-5% BaO. This can increase the liquidus viscosity and Young's modulus. As a result, it becomes easier to produce a thin glass sheet G, and further, it becomes easier to reduce the amount of deflection of the glass sheet G.

第二のガラス組成の例としては、モル%で、SiO2 62~72%、Al23 9.5~16%(特に11~15%)、B23 1~8%(特に2~4%)、Li2O+Na2O+K2O 0~1%未満(特に0~0.5%)、MgO 1~9%(特に4~8%)、CaO 2~10%(特に3~8%)、SrO 0.1~5%(特に1~3%)、BaO 0.1~5%(特に1~3%)を含有することが好ましい。このようにすれば、液相粘度とヤング率を高めることができる。結果として、薄肉のガラス板Gを作製し易くなり、更にそのガラス板Gの撓み量を低減し易くなる。 An example of the second glass composition preferably contains, in mole percent, 62-72% SiO 2 , 9.5-16% (particularly 11-15%) Al 2 O 3 , 1-8% (particularly 2-4%) B 2 O 3 , 0% to less than 1% (particularly 0-0.5%) Li 2 O + Na 2 O + K 2 O , 1-9% (particularly 4-8%) MgO, 2-10% (particularly 3-8%) CaO, 0.1-5% (particularly 1-3%) SrO, and 0.1-5% (particularly 1-3%) BaO. This can increase the liquidus viscosity and Young's modulus. As a result, it becomes easier to produce a thin glass sheet G, and further, it becomes easier to reduce the amount of deflection of the glass sheet G.

第三のガラス組成の例としては、モル%で、SiO2 67~77%、Al23 9~14%、B23 0~3%(特に0~1%未満)、Li2O+Na2O+K2O 0~1%未満(特に0~0.5%)、MgO 0~5%(特に2~5%)、CaO 0~10%(特に6~9%)、SrO 0~5%、BaO 0~7%(特に3~6%)を含有することが好ましい。このようにすれば、歪点を730℃以上に高め易くなる。 An example of the third glass composition preferably contains, in mole percent, 67-77 % SiO , 9-14 % Al , 0-3% B (particularly 0-1%), 0-1 % Li + Na + K , 0-5 % MgO (particularly 2-5%), 0-10% CaO (particularly 6-9%), 0-5% SrO, and 0-7% BaO (particularly 3-6%). This makes it easier to raise the strain point to 730°C or higher.

徐冷炉3は、成形炉2の下方に配置されている。徐冷炉3は、複数のヒータ8と、複数のローラ対9とを備える。 The annealing furnace 3 is located below the forming furnace 2. The annealing furnace 3 is equipped with multiple heaters 8 and multiple roller pairs 9.

ヒータ8は、徐冷炉3内の温度を制御するためのものである。複数のヒータ8は、上流側(上側)に位置するものほど温度が高く、下流側(下方)に位置するものほど温度が低くなるように設定されている。上流側から下流側に向かって、ヒータ8の設定温度を徐々に低くしていくことにより、徐冷炉3内に温度勾配が形成される。 The heater 8 is used to control the temperature inside the annealing furnace 3. The heaters 8 are set so that the temperature is higher the more upstream (higher) they are located and lower the more downstream (lower) they are located. By gradually lowering the set temperature of the heaters 8 from the upstream side to the downstream side, a temperature gradient is formed inside the annealing furnace 3.

複数のローラ対9は、ガラスリボンGRにおける幅方向の端部を挟持するように構成される。このローラ対9によって、ガラスリボンGRが搬送される。 The multiple roller pairs 9 are configured to clamp the widthwise ends of the glass ribbon GR. The glass ribbon GR is transported by these roller pairs 9.

冷却室4は、徐冷炉3の下方に配置されている。徐冷炉3において徐冷されたガラスリボンGRは、この冷却室4において、自然冷却によって室温近くまで冷却される。 The cooling chamber 4 is located below the annealing furnace 3. The glass ribbon GR annealed in the annealing furnace 3 is cooled to near room temperature by natural cooling in this cooling chamber 4.

切断室5は、冷却室4の下方に配置されている。この切断室5において、ガラスリボンGRを幅方向に沿って切断することにより、所定寸法のガラス板Gが切り出される。なお、ガラスリボンGRの切断方法は特に限定されず、公知の各種の切断方法が採用される。The cutting chamber 5 is located below the cooling chamber 4. In this cutting chamber 5, the glass ribbon GR is cut along its width to cut out glass sheets G of a predetermined size. Note that the method for cutting the glass ribbon GR is not particularly limited, and various known cutting methods may be used.

以下、上記構成の製造装置1を使用することにより、ガラス板Gを製造する方法について説明する。図2に示すように、ガラス板Gの製造方法は、準備工程S1と、成形工程S2と、熱処理工程S3と、切断工程S4とを備える。 The following describes a method for manufacturing glass sheets G using the manufacturing apparatus 1 configured as described above. As shown in Figure 2, the method for manufacturing glass sheets G includes a preparation process S1, a forming process S2, a heat treatment process S3, and a cutting process S4.

準備工程S1では、ガラス溶融炉によってガラス原料を加熱することにより溶融ガラスGMを生成する溶解工程を含む。準備工程S1は、清澄工程、撹拌工程、状態調整工程をさらに含んでもよい。溶融ガラスGMは、ガラス供給路を通じて成形炉2に供給される。準備工程S1では、ガラスリボンGR(ガラス板G)の水分含有量β―OHが0.30/mm以下となるように、溶融ガラスGMを生成することが望ましい。水分含有量β―OHは0.25/mm以下とすることがより望ましく、0.18/mm以下とすることがさらにより望ましい。例えば、全電気溶融炉や水分の持ち込みの少ないガラス原料を用いて溶融ガラスGMを生成することで、ガラスリボンGR(ガラス板G)の水分含有量β―OHを0.30/mm以下にすることができる。The preparation process S1 includes a melting process in which glass raw materials are heated in a glass melting furnace to produce molten glass GM. The preparation process S1 may further include a fining process, a stirring process, and a condition adjustment process. The molten glass GM is supplied to the forming furnace 2 through a glass supply path. In the preparation process S1, it is desirable to produce molten glass GM so that the moisture content β-OH of the glass ribbon GR (glass sheet G) is 0.30/mm or less. The moisture content β-OH is more desirably 0.25/mm or less, and even more desirably 0.18/mm or less. For example, by producing molten glass GM using an all-electric melting furnace or glass raw materials with little moisture content, the moisture content β-OH of the glass ribbon GR (glass sheet G) can be reduced to 0.30/mm or less.

ここで、「β―OH」は、フーリエ変換赤外分光光度計(FT―IR)を用いてガラスの透過率を測定し、下記の式(1)を用いて求めた値を指す。
β―OH=(1/X)log10(T1/T2) ・・・(1)
X:ガラス板の厚み(mm)
1:参照波長3846cm-1における透過率(%)
2:水酸基吸収波長3600cm-1付近における最小透過率(%)
Here, "β-OH" refers to a value obtained by measuring the transmittance of glass using a Fourier transform infrared spectrophotometer (FT-IR) and using the following formula (1):
β-OH=(1/X)log 10 (T 1 /T 2 )...(1)
X: thickness of glass plate (mm)
T 1 : transmittance (%) at a reference wavelength of 3846 cm −1
T 2 : Minimum transmittance (%) at a hydroxyl group absorption wavelength of around 3600 cm −1

成形工程S2では、成形炉2に溶融ガラスGMを供給し、成形体6によって溶融ガラスGMからガラスリボンGRを成形する。成形されたガラスリボンGRは、縦姿勢で成形炉2から徐冷炉3へと連続的に搬送される。In the forming process S2, molten glass GM is supplied to the forming furnace 2, and the forming body 6 forms a glass ribbon GR from the molten glass GM. The formed glass ribbon GR is continuously transported in a vertical position from the forming furnace 2 to the annealing furnace 3.

熱処理工程S3は、成形炉2においてガラスリボンGRを冷却する第一冷却工程と、徐冷炉3においてガラスリボンGRを徐冷する第二冷却工程(徐冷工程)と、冷却室4においてガラスリボンGRを冷却する第三冷却工程と、を含む。この他、熱処理工程S3は、冷却機構を有するローラ対7によってガラスリボンGRの幅方向の両端部を挟持しながら搬送する端部冷却工程を含む。端部冷却工程は、第一冷却工程の前、第一冷却工程の途中、又は、第一冷却工程の後に実行される。本実施形態では、第一冷却工程の途中で端部冷却工程を実行する例を示す。The heat treatment process S3 includes a first cooling process in which the glass ribbon GR is cooled in the forming furnace 2, a second cooling process (slow cooling process) in which the glass ribbon GR is slowly cooled in the annealing furnace 3, and a third cooling process in which the glass ribbon GR is cooled in the cooling chamber 4. The heat treatment process S3 also includes an edge cooling process in which the glass ribbon GR is conveyed while being clamped at both widthwise ends by a pair of rollers 7 having a cooling mechanism. The edge cooling process is performed before, during, or after the first cooling process. This embodiment shows an example in which the edge cooling process is performed during the first cooling process.

第一冷却工程では、成形炉2内において、徐冷炉3に向かって下降するガラスリボンGRが冷却される。端部冷却工程では、成形体6の下方に位置するローラ対7によってガラスリボンGRの幅方向の両端部が冷却される。その後、第二冷却工程(徐冷工程)では、徐冷炉3内において、冷却室4に向かって下降するガラスリボンGRが徐冷される。第三冷却工程では、冷却室4内において、切断室5に向かって下降するガラスリボンGRが自然冷却される。In the first cooling process, the glass ribbon GR descending toward the annealing furnace 3 is cooled in the forming furnace 2. In the end cooling process, both widthwise ends of the glass ribbon GR are cooled by a pair of rollers 7 located below the forming body 6. Then, in the second cooling process (annealing process), the glass ribbon GR descending toward the cooling chamber 4 is annealed in the annealing furnace 3. In the third cooling process, the glass ribbon GR descending toward the cutting chamber 5 is naturally cooled in the cooling chamber 4.

図3は、熱処理工程S3におけるガラスリボンGRの温度(℃)と冷却時間(s)との関係を示すグラフである。 Figure 3 is a graph showing the relationship between the temperature (°C) of the glass ribbon GR and the cooling time (s) in the heat treatment process S3.

図3に示すように、熱処理工程S3では、(徐冷点Ta+100℃)から徐冷点Taまで(時間t1から時間t2まで)の平均冷却速度(以下、「第一平均冷却速度」という)と、徐冷点Taから熱収縮率測定温度Txまで(時間t2から時間t3まで)の平均冷却速度(以下、「第二平均冷却速度」という)と、熱収縮率測定温度Txから200℃まで(時間t3から時間t4まで)の平均冷却速度(以下、「第三平均冷却速度」という)とが異なる。 As shown in Figure 3, in the heat treatment process S3, the average cooling rate from (annealing point Ta + 100°C) to the annealing point Ta (from time t1 to time t2) (hereinafter referred to as the "first average cooling rate"), the average cooling rate from the annealing point Ta to the thermal shrinkage measurement temperature Tx (from time t2 to time t3) (hereinafter referred to as the "second average cooling rate"), and the average cooling rate from the thermal shrinkage measurement temperature Tx to 200°C (from time t3 to time t4) (hereinafter referred to as the "third average cooling rate") are different.

なお、「平均冷却速度」とは、所定の温度領域をガラスリボンGRの幅方向中央部分が通過するのに要する時間を算出し、上記所定の温度領域内の温度差を通過に要した時間で除算して求めた速度である。 The "average cooling rate" is the rate obtained by calculating the time required for the widthwise central part of the glass ribbon GR to pass through a specified temperature region and dividing the temperature difference within the specified temperature region by the time required for passage.

熱収縮率測定温度Txは、熱収縮率の測定におけるガラス板Gの熱処理温度である。本実施形態における熱収縮率測定温度Txは、例えば500℃又は600℃である。The thermal shrinkage measurement temperature Tx is the heat treatment temperature of the glass sheet G when measuring the thermal shrinkage. In this embodiment, the thermal shrinkage measurement temperature Tx is, for example, 500°C or 600°C.

本実施形態において、第一平均冷却速度をCR1(CR1=100/(t2-t1))とし、第二平均冷却速度をCR2(CR2=(Ta-Tx)/(t3-t2))とし、第三平均冷却速度をCR3(CR3=(Tx-200)/(t4-t3))とすると、CR1>CR2、CR2<CR3とされている。 In this embodiment, if the first average cooling rate is CR1 (CR1 = 100/(t2-t1)), the second average cooling rate is CR2 (CR2 = (Ta-Tx)/(t3-t2)), and the third average cooling rate is CR3 (CR3 = (Tx-200)/(t4-t3)), then CR1 > CR2 and CR2 < CR3.

また、(徐冷点Ta+100℃)から200℃までの平均冷却速度をCR0(CR0=(Ta-100)/(t4-t1))とすると、CR2<CR0とされている。第二平均冷却速度CR2と、(徐冷点Ta+100℃)から200℃までの平均冷却速度CR0との比(平均冷却速度比:CR2/CR0)は、1未満であることが好ましく、より好ましくは0.9以下であり、最も好ましくは0.86以下である。一方、この比の下限は、例えば0.3以上とすることができる。 Furthermore, if the average cooling rate from (the annealing point Ta + 100°C) to 200°C is CR0 (CR0 = (Ta - 100) / (t4 - t1)), then CR2 < CR0. The ratio of the second average cooling rate CR2 to the average cooling rate CR0 from (the annealing point Ta + 100°C) to 200°C (average cooling rate ratio: CR2/CR0) is preferably less than 1, more preferably 0.9 or less, and most preferably 0.86 or less. Meanwhile, the lower limit of this ratio can be, for example, 0.3 or more.

なお、熱収縮率測定温度Txに拘わらず、第二平均冷却速度CR2を徐冷点Taから600℃までの平均冷却速度とすると共に、第三平均冷却速度CR3を600℃から200℃までの平均冷却速度としてもよい。或いは、熱収縮率測定温度Txに拘わらず、第二平均冷却速度CR2を徐冷点Taから500℃までの平均冷却速度とすると共に、第三平均冷却速度CR3を500℃から200℃までの平均冷却速度としてもよい。 Regardless of the thermal shrinkage measurement temperature Tx, the second average cooling rate CR2 may be the average cooling rate from the annealing point Ta to 600°C, and the third average cooling rate CR3 may be the average cooling rate from 600°C to 200°C. Alternatively, regardless of the thermal shrinkage measurement temperature Tx, the second average cooling rate CR2 may be the average cooling rate from the annealing point Ta to 500°C, and the third average cooling rate CR3 may be the average cooling rate from 500°C to 200°C.

特定の熱収縮率測定温度Txを用いて測定される熱収縮率を効率良く改善する観点では、第二平均冷却速度CR2を徐冷点Taから熱収縮率測定温度Txまでの平均冷却速度とすると共に、第三平均冷却速度CR3を熱収縮率測定温度Txから200℃までの平均冷却速度とすることが好ましい。例えば、第二平均冷却速度CR2を徐冷点Taから600℃までの平均冷却速度とすると共に、第三平均冷却速度CR3を600℃から200℃までの平均冷却速度として上述の関係を満足させれば、600℃の熱収縮率測定温度Txを用いて測定される熱収縮率を効率よく改善できる。熱収縮率測定温度Txを、ディスプレイパネルの製造工程での熱処理温度に基づいて設定すれば、ディスプレイパネルの製造工程での不良を効率よく改善できるので好ましい。From the perspective of efficiently improving the heat shrinkage measured using a specific heat shrinkage measurement temperature Tx, it is preferable to set the second average cooling rate CR2 as the average cooling rate from the annealing point Ta to the heat shrinkage measurement temperature Tx, and the third average cooling rate CR3 as the average cooling rate from the heat shrinkage measurement temperature Tx to 200°C. For example, by setting the second average cooling rate CR2 as the average cooling rate from the annealing point Ta to 600°C and the third average cooling rate CR3 as the average cooling rate from 600°C to 200°C, thereby satisfying the above relationship, the heat shrinkage measured using a heat shrinkage measurement temperature Tx of 600°C can be efficiently improved. Setting the heat shrinkage measurement temperature Tx based on the heat treatment temperature in the display panel manufacturing process is preferable, as this allows for efficient improvement of defects in the display panel manufacturing process.

熱収縮率測定温度Txは500℃~600℃が多用されるので、500℃~600℃の熱収縮率測定温度Txを用いて測定される熱収縮率を改善する観点では、第二平均冷却速度CR2を徐冷点Taから500℃までの平均冷却速度とすると共に、第三平均冷却速度CR3を500℃から200℃までの平均冷却速度とすることが好ましい。 Since the heat shrinkage measurement temperature Tx is often 500°C to 600°C, from the perspective of improving the heat shrinkage measured using a heat shrinkage measurement temperature Tx of 500°C to 600°C, it is preferable to set the second average cooling rate CR2 to the average cooling rate from the annealing point Ta to 500°C, and to set the third average cooling rate CR3 to the average cooling rate from 500°C to 200°C.

熱処理工程S3において、徐冷点Taから600℃までの冷却時間については、31秒以上であることが好ましく、より好ましくは40秒以上であり、最も好ましくは51秒以上である。一方、この冷却時間の上限は、例えば500秒以下とすることができる。また、600℃から200℃までの冷却時間については、90秒以下であることが好ましく、より好ましくは80秒以下である。一方、この冷却時間の下限は、例えば10秒以上とすることができる。In the heat treatment step S3, the cooling time from the annealing point Ta to 600°C is preferably 31 seconds or more, more preferably 40 seconds or more, and most preferably 51 seconds or more. The upper limit of this cooling time can be, for example, 500 seconds or less. The cooling time from 600°C to 200°C is preferably 90 seconds or less, more preferably 80 seconds or less. The lower limit of this cooling time can be, for example, 10 seconds or more.

熱処理工程S3において、徐冷点Taから500℃までの冷却時間については、52秒以上であることが好ましく、より好ましくは60秒以上であり、最も好ましくは76秒以上である。一方、この冷却時間の上限は、例えば500秒以下とすることができる。また、500℃から200℃までの冷却時間については、70秒以下であることが好ましく、より好ましくは60秒以下である。一方、この冷却時間の下限は、例えば10秒以上とすることができる。In the heat treatment step S3, the cooling time from the annealing point Ta to 500°C is preferably 52 seconds or more, more preferably 60 seconds or more, and most preferably 76 seconds or more. The upper limit of this cooling time can be, for example, 500 seconds or less. The cooling time from 500°C to 200°C is preferably 70 seconds or less, more preferably 60 seconds or less. The lower limit of this cooling time can be, for example, 10 seconds or more.

熱処理工程S3において、(徐冷点Ta+100℃)から徐冷点Taまで(時間t1から時間t2まで)の冷却時間については、100秒以下であることが好ましく、より好ましくは70秒以下である。一方、この冷却時間の下限は、例えば5秒以上とすることができる。In the heat treatment step S3, the cooling time from (the annealing point Ta + 100°C) to the annealing point Ta (from time t1 to time t2) is preferably 100 seconds or less, and more preferably 70 seconds or less. On the other hand, the lower limit of this cooling time can be, for example, 5 seconds or more.

切断工程S4では、冷却室4を経て切断室5に導入されたガラスリボンGRの中途部を切断する。これにより、所定寸法のガラス板Gが形成される。In the cutting process S4, the glass ribbon GR is cut midway through the cooling chamber 4 and introduced into the cutting chamber 5. This forms a glass sheet G of the specified dimensions.

[第二実施形態]
図4及び図5は、本発明の第二実施形態を示す。本実施形態に係る製造装置1の成形炉2は、成形体6と、ガラスリボンGRに対向するように配置される温度調整部材10と、を備える。また、本実施形態に係る製造装置1において、冷却機構を有するローラ対7は、成形体6と温度調整部材10の間に設けられている。ローラ対7は、ガラスリボンGRの幅方向Wの各端部GRa,GRbを挟持するように、左右二組のローラ対を含む(図5参照)。
[Second embodiment]
4 and 5 show a second embodiment of the present invention. The forming furnace 2 of the manufacturing apparatus 1 according to this embodiment includes a forming body 6 and a temperature adjustment member 10 arranged to face the glass ribbon GR. In addition, in the manufacturing apparatus 1 according to this embodiment, a roller pair 7 having a cooling mechanism is provided between the forming body 6 and the temperature adjustment member 10. The roller pair 7 includes two sets of roller pairs, one on the left and one on the right, so as to sandwich each end GRa, GRb of the glass ribbon GR in the width direction W (see FIG. 5 ).

温度調整部材10は、成形体6と徐冷炉3との間に位置する。温度調整部材10は、ガラスリボンGRの厚さ方向に対して間隔をおいて配される一対の温度調整部材を含む。一対の温度調整部材10のうち、一方の温度調整部材10は、ガラスリボンGRの一方の主面に対向し、他方の温度調整部材10は、ガラスリボンGRの他方の主面に対向する。なお、本実施形態では、一対の温度調整部材10を用いるが、ガラスリボンGRの搬送方向に並べて配置された複数対の温度調整部材10を用いてもよい。 The temperature adjustment element 10 is located between the forming body 6 and the annealing furnace 3. The temperature adjustment element 10 includes a pair of temperature adjustment elements arranged at a distance in the thickness direction of the glass ribbon GR. Of the pair of temperature adjustment elements 10, one temperature adjustment element 10 faces one main surface of the glass ribbon GR, and the other temperature adjustment element 10 faces the other main surface of the glass ribbon GR. Note that while this embodiment uses a pair of temperature adjustment elements 10, multiple pairs of temperature adjustment elements 10 arranged side by side in the conveying direction of the glass ribbon GR may also be used.

温度調整部材10は、熱伝導性を有する材料、例えば、ステンレス鋼等の金属によって構成することができるが、炭化ケイ素(SiC)を含むセラミックによって構成されることが望ましい。炭化ケイ素は、硬度が高く、耐熱性に優れ(分解温度2545℃)、熱伝導率が高く(焼結体の場合で約270W/m・K)、熱膨張係数が低い(40~400℃において2.0~6.0×10-6/℃)などの特徴を有する。While the temperature adjustment member 10 can be made of a thermally conductive material, such as a metal such as stainless steel, it is preferable to make it from a ceramic containing silicon carbide (SiC). Silicon carbide is characterized by its high hardness, excellent heat resistance (decomposition temperature 2545°C), high thermal conductivity (approximately 270 W/m·K for sintered bodies), and low thermal expansion coefficient (2.0 to 6.0 x 10-6/°C at temperatures between 40 and 400°C).

図4に示すように、各温度調整部材10は、上壁部11と、下壁部12と、上壁部11と下壁部12とを連結する側壁部13とを備える。また、温度調整部材10は、その内部に設けられる冷却器14と、冷却器14を支持する耐火物(支持体)15とを備える。 As shown in Figure 4, each temperature adjustment member 10 comprises an upper wall portion 11, a lower wall portion 12, and a side wall portion 13 connecting the upper wall portion 11 and the lower wall portion 12. The temperature adjustment member 10 also comprises a cooler 14 provided therein and a refractory material (support) 15 that supports the cooler 14.

冷却器14は、その先端部が側壁部13の内面から離間された位置に配置されている。耐火物15は、冷却器14の先端部を露出させた状態で、この冷却器14を支持している。温度調整部材10の内部には、耐火物15、上壁部11、下壁部12及び側壁部13によって囲まれた空間が形成され、冷却器14の先端部がこの空間に配置されている。冷却器14は、例えば冷媒(冷却ガスや冷却液)が内部に流通する冷却管と、冷却管に冷媒を給排する給排システムとで構成できる。 The cooler 14 is positioned so that its tip is spaced from the inner surface of the side wall 13. The refractory material 15 supports the cooler 14 with its tip exposed. A space surrounded by the refractory material 15, upper wall 11, lower wall 12, and side wall 13 is formed inside the temperature adjustment member 10, and the tip of the cooler 14 is positioned in this space. The cooler 14 can be composed of, for example, a cooling pipe through which a refrigerant (cooling gas or cooling liquid) flows, and a supply and discharge system that supplies and discharges the refrigerant to the cooling pipe.

本実施形態に係るガラス板Gの製造方法において、熱処理工程の第一冷却工程は、徐冷工程の前工程として、ガラスリボンGRを搬送しながら温度調整部材10によって冷却する抜熱工程を含む。抜熱工程では、下方に搬送されるガラスリボンGRは、一対の温度調整部材10の間を通過することによって急冷される。In the manufacturing method of the glass sheet G according to this embodiment, the first cooling step of the heat treatment process includes a heat removal step, which is a step preceding the slow cooling step, in which the glass ribbon GR is cooled by a temperature adjustment member 10 while being transported. In the heat removal step, the glass ribbon GR being transported downward is rapidly cooled by passing between a pair of temperature adjustment members 10.

本実施形態における抜熱工程では、例えば(徐冷点Ta+500℃)から(徐冷点Ta+100℃)までの平均冷却速度を1℃/秒以上とすることが望ましく、3℃/秒以上とすることがより望ましい。ガラス板の寸法精度を確保する観点から、(徐冷点Ta+500℃)から(徐冷点Ta+100℃)までの平均冷却速度を20℃/秒以下とすることが望ましい。In the heat removal process of this embodiment, for example, the average cooling rate from (annealing point Ta + 500°C) to (annealing point Ta + 100°C) is preferably 1°C/sec or more, and more preferably 3°C/sec or more. From the perspective of ensuring the dimensional accuracy of the glass sheet, the average cooling rate from (annealing point Ta + 500°C) to (annealing point Ta + 100°C) is preferably 20°C/sec or less.

また、本実施形態に係るガラス板Gの製造方法は、成形工程と抜熱工程の間に、冷却機構を有するローラ対7によってガラスリボンGRの幅方向Wにおける両端部GRa,GRbを挟持しながら搬送する端部冷却工程を備える。端部冷却工程では、一対の温度調整部材10の間を通過したガラスリボンGRの両端部GRa,GRbをローラ対7によって冷却する。 The manufacturing method for glass sheet G according to this embodiment also includes an edge cooling process between the forming process and the heat removal process, in which both end portions GRa, GRb of the glass ribbon GR in the width direction W are clamped and transported by a pair of rollers 7 having a cooling mechanism. In the edge cooling process, both end portions GRa, GRb of the glass ribbon GR that have passed between a pair of temperature adjustment members 10 are cooled by the pair of rollers 7.

本実施形態におけるその他の構成は、第一実施形態と同じである。本実施形態において、第一実施形態と共通する構成要素には共通の符号を付している。 The other configurations of this embodiment are the same as those of the first embodiment. In this embodiment, components that are common to the first embodiment are given the same symbols.

なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。 The present invention is not limited to the configuration of the above-described embodiment, nor is it limited to the above-described effects. Various modifications are possible to the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention.

上記の実施形態では、切断室5においてガラスリボンGRを切断することで、ガラス板Gを製造する例を示したが、本発明はこの態様に限定されるものではない。例えば、ガラスリボンGRをロール状に巻き取ることで、ガラスロールを形成してもよい。その後にガラスロールからガラスリボンを引き出して切断することで、ガラス板を製造してもよい。 In the above embodiment, an example was shown in which glass sheet G was manufactured by cutting glass ribbon GR in cutting chamber 5, but the present invention is not limited to this form. For example, glass ribbon GR may be wound into a roll to form a glass roll. The glass ribbon may then be pulled out from the glass roll and cut to manufacture a glass sheet.

以下、本発明に係る実施例について説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。 The following describes examples of the present invention, but the present invention is not limited to these examples.

本発明者らは、本発明の効果を確認するために、熱収縮率の測定試験を実施した。この試験では、実施例1~9及び比較例1に係る複数のガラス板を用意した。ガラス板としては、日本電気硝子株式会社製のOA-31(厚さ:0.5mm、徐冷点Ta:810℃)を使用した。試験では、各ガラス板を加熱し、950℃の温度で30分保持することで熱履歴をキャンセルした後、各ガラス板を異なる冷却条件(温度勾配)によって冷却した。 The inventors conducted a thermal shrinkage measurement test to confirm the effects of the present invention. For this test, multiple glass plates according to Examples 1 to 9 and Comparative Example 1 were prepared. OA-31 glass plates (thickness: 0.5 mm, annealing point Ta: 810°C) manufactured by Nippon Electric Glass Co., Ltd. were used as the glass plates. In the test, each glass plate was heated and held at a temperature of 950°C for 30 minutes to cancel the thermal history, and then each glass plate was cooled under different cooling conditions (temperature gradients).

各ガラス板の熱収縮率は、次の要領で測定した。まず、図6Aに示すように、直線状の二つのマークM1,M2を、ガラス板Gの所定の部位に間隔l0をおいて形成した。 The thermal shrinkage of each glass plate was measured as follows: First, as shown in Fig. 6A, two linear marks M1 and M2 were formed at predetermined positions on the glass plate G with a distance l 0 therebetween.

次に、図6Bに示すように、ガラス板Gを、マークM1,M2と垂直な方向に分断することにより、ガラス板片Gaと、ガラス板片Gbとを得た。その後、ガラス板片Gaを常温から熱収縮率測定温度(熱処理温度)500℃まで昇温し、この温度を1時間維持した後、常温まで冷却した。また、他のガラス板片Gaを熱収縮率測定温度(熱処理温度)600℃まで昇温し、この温度を1時間維持した後、常温まで冷却した。Next, as shown in Figure 6B, glass plate G was cut in a direction perpendicular to marks M1 and M2 to obtain glass plate pieces Ga and Gb. Glass plate piece Ga was then heated from room temperature to a thermal shrinkage measurement temperature (heat treatment temperature) of 500°C, maintained at this temperature for one hour, and then cooled to room temperature. Another glass plate piece Ga was heated to a thermal shrinkage measurement temperature (heat treatment temperature) of 600°C, maintained at this temperature for one hour, and then cooled to room temperature.

実施例1~9、比較例1の各例の冷却では、徐冷点Taである810℃から熱収縮率測定温度Tx(500℃,600℃)までの冷却時間(平均冷却速度)をそれぞれ異ならせている。また、各例の冷却では、徐冷点Ta+100℃である910℃から200℃までの冷却時間(平均冷却速度)をそれぞれ異ならせている。 In each of Examples 1 to 9 and Comparative Example 1, the cooling time (average cooling rate) from the annealing point Ta of 810°C to the thermal shrinkage measurement temperature Tx (500°C, 600°C) was varied. Furthermore, in each of the examples, the cooling time (average cooling rate) from 910°C, which is the annealing point Ta + 100°C, to 200°C was varied.

その後、図6Cに示すように、熱処理を施したガラス板片Gaと、熱処理を施していないガラス板片Gbとを並べて接着テープで固定した状態で、ガラス板片GaのマークM1,M2と、ガラス板片GbのマークM1,M2とのずれ量Δl1,Δl2を測定し、下記式(2)に基づいて熱収縮率Sを算出した。 Then, as shown in Figure 6C, the heat-treated glass plate Ga and the non-heat-treated glass plate Gb were lined up and fixed with adhesive tape, and the deviations Δl1 and Δl2 between the marks M1 and M2 on the glass plate Ga and the marks M1 and M2 on the glass plate Gb were measured, and the thermal shrinkage rate S was calculated based on the following formula (2).

S(ppm)=(Δl1(μm)+Δl2(μm))/l0(m)・・・(2)
0:ガラス板GにおけるマークM1とマークM2との間の距離
Δl1:ガラス板片GaのマークM1とガラス板片GbのマークM1との間の距離
Δl2:ガラス板片GaのマークM2とガラス板片GbのマークM2との間の距離
S (ppm) = (Δl 1 (μm) + Δl 2 (μm)) / l 0 (m)...(2)
l 0 : Distance between mark M1 and mark M2 on glass plate G. Δl 1 : Distance between mark M1 on glass plate piece Ga and mark M1 on glass plate piece Gb. Δl 2 : Distance between mark M2 on glass plate piece Ga and mark M2 on glass plate piece Gb.

試験結果を表1及び表2に示す。
The test results are shown in Tables 1 and 2.

表1及び表2に示すように、実施例1~9において、徐冷点Taから熱収縮率測定温度Tx(500℃、600℃)までの平均冷却速度(第二平均冷却速度CR2)を、(徐冷点Ta+100℃)から200℃までの平均冷却速度(CR0)よりも小さくする(CR2<CR0)ことで、比較例1(CR2>CR0)よりも熱収縮率Sを低下させることができた。 As shown in Tables 1 and 2, in Examples 1 to 9, by making the average cooling rate (second average cooling rate CR2) from the annealing point Ta to the thermal shrinkage measurement temperature Tx (500°C, 600°C) smaller than the average cooling rate (CR0) from (annealing point Ta + 100°C) to 200°C (CR2 < CR0), the thermal shrinkage rate S could be reduced more than in Comparative Example 1 (CR2 > CR0).

実施例1~9と、比較例1とを比較すると、徐冷点Taから600℃までの冷却時間は、31秒以上とされることが好ましい。また、徐冷点Taから500℃までの冷却時間は、52秒以上とされることが好ましい。 Comparing Examples 1 to 9 with Comparative Example 1, it is preferable that the cooling time from the annealing point Ta to 600°C be 31 seconds or longer. Furthermore, it is preferable that the cooling time from the annealing point Ta to 500°C be 52 seconds or longer.

また、徐冷点Taから熱収縮率測定温度Tx(500℃、600℃)までの平均冷却速度(CR2)と、(徐冷点Ta+100℃)から200℃までの平均冷却速度(CR0)との比(平均冷却速度比:CR2/CR0)は、1未満であることが好ましい。 Furthermore, it is preferable that the ratio (average cooling rate ratio: CR2/CR0) between the average cooling rate (CR2) from the annealing point Ta to the thermal shrinkage measurement temperature Tx (500°C, 600°C) and the average cooling rate (CR0) from (annealing point Ta + 100°C) to 200°C is less than 1.

7 ローラ
10 温度調整部材
14 冷却器
CR0 (徐冷点+100℃)から200℃までの平均冷却速度
CR2 徐冷点から熱収縮率測定温度までの平均冷却速度
G ガラス板
GM 溶融ガラス
GR ガラスリボン
GRa ガラスリボンの端部
GRb ガラスリボンの端部
S1 準備工程
S2 成形工程
S3 熱処理工程
Ta 徐冷点
Tx 熱収縮率測定温度
W ガラスリボンの幅方向
7 Roller 10 Temperature adjusting member 14 Cooler CR0 Average cooling rate from (annealing point + 100°C) to 200°C CR2 Average cooling rate from annealing point to thermal shrinkage measurement temperature G Glass sheet GM Molten glass GR Glass ribbon GRA End of glass ribbon GRb End of glass ribbon S1 Preparation step S2 Forming step S3 Heat treatment step Ta Annealing point Tx Thermal shrinkage measurement temperature W Width direction of glass ribbon

Claims (8)

溶融ガラスを準備する準備工程と、
前記溶融ガラスからガラスリボンを成形する成形工程と、
前記ガラスリボンを搬送しながら徐冷する徐冷工程を含む熱処理工程と、を備えるガラス板の製造方法において、
前記熱処理工程では、徐冷点から600℃までの平均冷却速度が、(前記徐冷点+100℃)から200℃までの平均冷却速度よりも小さいと共に、前記徐冷点から熱収縮率測定温度までの前記平均冷却速度が、(前記徐冷点+100℃)から200℃までの前記平均冷却速度よりも小さいことを特徴とするガラス板の製造方法。
a preparation step of preparing molten glass;
a forming step of forming a glass ribbon from the molten glass;
a heat treatment step including a slow cooling step of slowly cooling the glass ribbon while transporting it,
In the heat treatment step, an average cooling rate from the annealing point to 600°C is smaller than an average cooling rate from (the annealing point + 100°C) to 200°C , and the average cooling rate from the annealing point to a thermal shrinkage measurement temperature is smaller than the average cooling rate from (the annealing point + 100°C) to 200°C .
前記熱処理工程では、前記徐冷点から600℃までの冷却時間が31秒以上である請求項1に記載のガラス板の製造方法。 The method for manufacturing a glass sheet according to claim 1, wherein the cooling time from the annealing point to 600°C in the heat treatment step is 31 seconds or longer. 前記熱処理工程では、前記徐冷点から500℃までの平均冷却速度が、(前記徐冷点+100℃)から200℃までの前記平均冷却速度よりも小さい請求項1又は2に記載のガラス板の製造方法。 The method for manufacturing a glass sheet according to claim 1 or 2, wherein in the heat treatment step, the average cooling rate from the annealing point to 500°C is smaller than the average cooling rate from (the annealing point + 100°C) to 200°C. 前記熱処理工程では、前記徐冷点から500℃までの冷却時間が52秒以上である請求項3に記載のガラス板の製造方法。 The method for manufacturing a glass sheet according to claim 3, wherein the cooling time from the annealing point to 500°C in the heat treatment step is 52 seconds or longer. 前記熱処理工程では、前記徐冷点から前記熱収縮率測定温度までの冷却時間が52秒以上である請求項1から4のいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。 The method for manufacturing a glass plate according to claim 1 , wherein in the heat treatment step, a cooling time from the annealing point to the thermal shrinkage measurement temperature is 52 seconds or more. 前記熱処理工程は、前記徐冷工程の前工程として、前記ガラスリボンを搬送しながら冷却する抜熱工程を含み、
前記抜熱工程では、冷却器を備える温度調整部材を前記ガラスリボンに対向するように配置した状態で、前記温度調整部材によってガラスリボンを冷却する請求項1からのいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。
the heat treatment step includes, as a pre-step of the annealing step, a heat removal step of cooling the glass ribbon while conveying it,
The method for manufacturing a glass sheet according to any one of claims 1 to 5 , wherein in the heat removal step, the glass ribbon is cooled by a temperature adjustment member including a cooler, the temperature adjustment member being arranged so as to face the glass ribbon.
前記成形工程と前記抜熱工程の間に、冷却機構を有するローラによって前記ガラスリボンの両端部を挟持しながら搬送する端部冷却工程を備える請求項に記載のガラス板の製造方法。 The method for manufacturing a glass sheet according to claim 6 , further comprising, between the forming step and the heat removal step, an end cooling step of conveying the glass ribbon while nipping both end portions of the glass ribbon with rollers having a cooling mechanism. 前記準備工程では、前記ガラスリボンの水分含有量(β―OH)が0.30/mm以下となるように、前記溶融ガラスを準備する請求項1からのいずれか一項に記載のガラス板の製造方法。 The method for manufacturing a glass sheet according to any one of claims 1 to 5 , wherein in the preparing step, the molten glass is prepared so that the water content (β-OH) of the glass ribbon is 0.30/mm or less.
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