JP7730682B2 - Copper-based powder, its manufacturing method, and manufacturing method of optically modeled object using copper-based powder - Google Patents
Copper-based powder, its manufacturing method, and manufacturing method of optically modeled object using copper-based powderInfo
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Description
本発明は銅基粉に関し、より詳細には、レーザー光などのエネルギー線の照射により三次元形状の造形物を得る金属光造形法に使用される銅基粉に関する。 The present invention relates to copper-based powder, and more specifically to copper-based powder used in metal laser sintering, a method for producing three-dimensional objects by irradiating them with energy rays such as laser light.
三次元の造形物を簡単に成形することができる三次元造形装置、所謂3Dプリンターの普及が進んでいる。このような三次元造形装置を用いた造形物の製造方法のなかでも、金属造形物を得る方法として粉末床溶融結合(L-PBF)法が知られている。L-PBF法は、粉体を敷き詰めた層の表面に、高エネルギーのレーザー光を照射して粉体粒子どうしを焼結ないし溶融固化させ、それを数十ミクロンごとの層としたものを積層し、繰り返し接合することにより、三次元の造形物を得る方法である。金属基粉を用いたL-PBFの実用化も進み、Co-Cr合金、マルエージング鋼、ステンレス、ニッケル基超合金などの金属基粉を用いたL-PBFでは、得られる造形物の加工精度や製品としての完成度が高く、実用化され始めている。しかしながら、現状のL-PBF法では使用可能な金属基粉が限られており、得られる金属製品も一定の範囲のものに限られる。 Three-dimensional modeling devices, or 3D printers, that can easily create three-dimensional objects are becoming increasingly popular. Among the methods for manufacturing objects using these three-dimensional modeling devices, powder bed fusion (L-PBF) is known as a method for producing metal objects. In L-PBF, a high-energy laser beam is irradiated onto the surface of a layer of powder to sinter or melt and solidify the powder particles. These layers, each several tens of microns thick, are then stacked and repeatedly bonded to produce three-dimensional objects. L-PBF using metal-based powders is also becoming more practical, and L-PBF using metal-based powders such as Co-Cr alloys, maraging steels, stainless steels, and nickel-based superalloys has achieved high processing precision and a high level of product perfection, leading to its commercialization. However, the current L-PBF method is limited to the metal-based powders that can be used, and the metal products that can be produced are also limited to a certain range.
その主な理由として、原料とする金属基粉の光吸収性の問題が挙げられる。即ち、L-PBF法は金属基粉がレーザー光の光エネルギーを吸収し加熱されることで、金属基粉粒子どうしが焼結ないし溶融固化することを利用している。このため、金属基粉は光エネルギーを効率的に吸収できるものであることが必要である。L-PBF法で使用される汎用的なレーザー光の波長は近赤外ないし遠赤外領域であり、レーザー光の波長帯域での光吸収率が低い金属(例えば、アルミニウム、金、銀、銅など)はレーザー光等から十分な熱量を受け取ることができないため、得られた金属光造形物の焼結密度が低くなってしまう。また、熱伝導性の高い金属は、レーザー光のエネルギー線を熱として一旦吸収しても、十分な焼結や溶融固化がなされる前に短時間で放熱してしまうため、密度が高い金属光造形物を得ることが困難である。さらに、銅については、その融点が約1084℃と比較的高いことも、焼結を難しくする要因になっている。そのため、銅は、熱伝導性や電気伝導度が高く加工性にも優れた金属であるにもかかわらず、L-PBF法への適用が困難とされていた。 The main reason for this is the light absorption of the metal-based powder used as the raw material. Specifically, the L-PBF method utilizes the phenomenon in which metal-based powder absorbs the optical energy of a laser beam and heats up, causing the metal-based powder particles to sinter or melt and solidify. Therefore, the metal-based powder must be able to efficiently absorb optical energy. The wavelength of the laser beam typically used in the L-PBF method is in the near-infrared or far-infrared range. Metals with low optical absorption in this wavelength range (e.g., aluminum, gold, silver, copper, etc.) cannot absorb sufficient heat from the laser beam, resulting in low sintered densities of the resulting metal laser-sintered objects. Furthermore, metals with high thermal conductivity quickly dissipate the heat from the laser beam, even if they absorb it as heat, before sufficient sintering or melting and solidification occurs, making it difficult to obtain high-density metal laser-sintered objects. Furthermore, copper's relatively high melting point of approximately 1084°C also makes sintering difficult. For this reason, even though copper is a metal with high thermal and electrical conductivity and excellent workability, it has been considered difficult to apply to the L-PBF method.
そのため、銅基粉をL-PBF法に適用すべく、種々の検討が試みられている。例えば、レーザー光の吸収率を高めるために銅粒子の表面にガドリニウム(Gd)等の特定の金属被膜を形成すること(特許文献1)、酸化銅の被膜を形成すること(特許文献2、3)、さらには、銅粒子やアルミニウム粒子の表面に有機化合物由来の炭素被覆を形成すること(特許文献4)等が提案されている。 For this reason, various studies have been conducted to apply copper-based powder to the L-PBF method. For example, proposals have been made to form a specific metal coating, such as gadolinium (Gd), on the surface of copper particles to increase the laser light absorption rate (Patent Document 1), to form a copper oxide coating (Patent Documents 2 and 3), and even to form a carbon coating derived from an organic compound on the surface of copper or aluminum particles (Patent Document 4).
上記のように、銅粉の表面にレーザー光吸収率の高い金属または金属酸化物を被覆した銅基粉を用いて得られた金属光造形物は、銅以外の物質(被覆物)が含有しているため、銅本来が備えている諸特性(例えば、熱伝導性、電気伝導性、加工適性)に加えて、純銅が備えていない特性を付与することも可能である。例えば、特許文献5には、銅に所定量のクロムを含有した銅合金基粉とすることで、レーザー光の吸収率を高めながら、熱伝導性、電気伝導性および強度に優れた銅合金造形物が得られることが提案されている。 As described above, metal laser-sintered objects obtained using copper-based powder in which the surface of the copper powder is coated with a metal or metal oxide with high laser light absorption contain substances (coatings) other than copper, and therefore can be endowed with properties not found in pure copper in addition to the various properties inherent to copper (e.g., thermal conductivity, electrical conductivity, and processability). For example, Patent Document 5 proposes that by using copper alloy-based powder containing a predetermined amount of chromium in copper, it is possible to obtain copper alloy-sintered objects with excellent thermal conductivity, electrical conductivity, and strength while increasing the laser light absorption rate.
上記のように、銅は優れた熱伝導性、電気伝導性、加工性を有する金属であり、種々の産業用途に用いられている。そのなかでも、例えば抵抗溶接用の電極材や射出成形用金型等のように硬度が要求される産業用途があり、このような用途にL-PBF法による銅造形物を適用したいという潜在的な希求がある。 As mentioned above, copper is a metal with excellent thermal conductivity, electrical conductivity, and workability, and is used in a variety of industrial applications. Among these, there are industrial applications that require hardness, such as electrode material for resistance welding and injection molding dies, and there is a potential demand for applying copper molded objects made using the L-PBF method to such applications.
したがって、本発明の目的は、L-PBF法に適したレーザー光吸収性と流動性を有するとともに、硬度の高い造形物が得られる銅基粉を提供することである。 Therefore, the object of the present invention is to provide a copper-based powder that has laser light absorption and fluidity suitable for the L-PBF method, and that can be used to produce shaped objects with high hardness.
本発明の発明者らは、銅粉を構成する銅粒子(一次粒子)の表面に炭化物を付着させることにより、L-PBF法に適したレーザー光吸収性と流動性を有するとともに、硬度の高い造形物が得られるとの知見を得た。本発明は係る知見に基づくものである。 The inventors of the present invention have discovered that by adhering carbide to the surfaces of the copper particles (primary particles) that make up the copper powder, it is possible to obtain a molded object that has high hardness and laser light absorption properties suitable for the L-PBF method. The present invention is based on this discovery.
本発明による銅基粉は、
平均粒径が1μm以上、100μm以下の粒子からなる銅基粉であって、
前記粒子は、
銅粒子と、
前記銅粒子の表面の少なくとも一部に付着した炭化物と
を含み、
波長1070nmにおける反射率が60%以下である。
The copper-based powder according to the present invention comprises:
A copper-based powder consisting of particles having an average particle size of 1 μm or more and 100 μm or less,
The particles are
Copper particles,
carbide adhered to at least a portion of the surface of the copper particles;
The reflectance at a wavelength of 1070 nm is 60% or less.
本発明によれば、銅基粉を構成する銅粒子の表面に、レーザー光の反射率が60%以下となる程度まで炭化物を付着させることにより、L-PBF法に適したレーザー光吸収性を備えるだけでなく、L-PBF法を実施する際に必要とされる銅基粉の流動性を改善しながら、硬度の高い造形物を得ることができる。 According to the present invention, by adhering carbide to the surfaces of the copper particles that make up the copper-based powder to the extent that the laser light reflectance is 60% or less, not only is the powder provided with laser light absorption properties suitable for the L-PBF method, but it is also possible to obtain highly hard shaped objects while improving the fluidity of the copper-based powder, which is necessary when carrying out the L-PBF method.
[定義]
本明細書において、「銅粒子」とは、銅または銅合金からなる粒子を示し、「銅粉」とは、該銅粒子が複数個集まったものを示す。また「銅基粉」とは、該銅粒子の表面の少なくとも一部に炭化物が付着した粒子が複数個集まったものを示す。
また、「付着」とは、炭化物が物理的に銅粒子の表面に接触している状態や固着している状態のみならず、化学的に結合した状態や、炭化物の一部が銅粒子に埋設して一体化(合金化)した状態も含むものとする。
[Definition]
In this specification, "copper particles" refers to particles made of copper or a copper alloy, "copper powder" refers to a collection of multiple copper particles, and "copper-based powder" refers to a collection of multiple copper particles having carbides attached to at least a portion of their surfaces.
In addition, "adhesion" refers not only to a state in which the carbide is physically in contact with or fixed to the surface of the copper particle, but also to a state in which the carbide is chemically bonded to the surface, or a state in which part of the carbide is embedded in the copper particle and integrated (alloyed).
[本発明の銅基粉]
本発明の銅基粉は、銅粒子と該銅粒子の表面の少なくとも一部に付着した炭化物とを含む粒子からなり、該粒子の平均粒径が1μm以上、100μm以下であり、波長1070nmにおける反射率が60%以下としたものである。本発明においては、銅基粉の波長1070nmにおける反射率が60%以下となるように、銅基粉を構成する粒子の表面に炭化物が付着していることによって、L-PBF法に適したレーザー光吸収性を有するものである。即ち、銅の光吸収率は、金属光造形法において使用される一般的なYbファイバーレーザー光の波長領域(1030nm以上、1070nm以下)において数%程度であり、レーザー光を吸収しにくい性質を持つ金属である。また、熱伝導度もチタン、鉄、ニッケル等と比較して非常に高いため、そのままではレーザー光の照射によって加熱することが容易でない。これに対し、本発明においては、波長1070nmにおける反射率が60%以下となるように、銅粒子の表面に炭化物を付着させることで、レーザー光吸収性を向上させたものである。本発明において、反射率の上限は60%であり、好ましくは55%以下、より好ましくは50%以下、さらに好ましくは45%以下である。一方、反射率の下限値は特に定めるものではなく、レーザー光吸収性の観点からは低い方が好ましいが、炭化物を付着させた銅基粉の実現可能性の観点から、典型的には10%以上であり、より典型的には15%以上であり、さらに典型的には20%以上である。
[Copper-based powder of the present invention]
The copper-based powder of the present invention comprises copper particles and carbide adhered to at least a portion of the surface of the copper particles, the particles having an average particle size of 1 μm or more and 100 μm or less, and a reflectance of 60% or less at a wavelength of 1070 nm. In the present invention, carbide is adhered to the surfaces of the particles constituting the copper-based powder so that the reflectance of the copper-based powder at a wavelength of 1070 nm is 60% or less, thereby providing laser light absorption suitable for the L-PBF method. Specifically, the light absorption of copper is on the order of a few percent in the wavelength range (1030 nm or more and 1070 nm or less) of Yb fiber laser light typically used in metal laser sintering, making it a metal that does not easily absorb laser light. Furthermore, its thermal conductivity is also significantly higher than that of titanium, iron, nickel, etc., making it difficult to heat by laser light irradiation as is. In contrast, in the present invention, carbide is adhered to the surfaces of the copper particles so that the reflectance at a wavelength of 1070 nm is 60% or less, thereby improving laser light absorption. In the present invention, the upper limit of the reflectance is 60%, preferably 55% or less, more preferably 50% or less, and even more preferably 45% or less. On the other hand, the lower limit of the reflectance is not particularly determined, and a lower value is preferable from the viewpoint of laser light absorption, but from the viewpoint of the feasibility of producing a copper-based powder having carbide adhered thereto, the lower limit is typically 10% or more, more typically 15% or more, and even more typically 20% or more.
なお、本明細書において「反射率」とは、積分球ユニットを備えた分光光度計を用いて測定される分光反射率を意味し、特定波長の光に対して測定された被測定面(銅基粉)における全反射光量をもとに、分光反射率等が既知の標準反射板(例えば硫酸バリウム標準反射板)の特定の波長領域における全反射光量を基準として算出された比率を意味する。通常使用されている銅粒子からなる基粉は、波長1070nmにおける反射率が70%~80%程度である。 In this specification, "reflectance" refers to the spectral reflectance measured using a spectrophotometer equipped with an integrating sphere unit, and refers to the ratio calculated based on the amount of total reflected light measured on the surface being measured (copper-based powder) for light of a specific wavelength, using as a reference the amount of total reflected light in a specific wavelength range of a standard reflector (such as a barium sulfate standard reflector) with known spectral reflectance. The reflectance of commonly used base powders made from copper particles at a wavelength of 1070 nm is approximately 70% to 80%.
また、本発明の銅基粉によれば、銅粒子の表面に炭化物が付着していることにより、銅粒子を使用して製造した造形物と比較して硬度の高い造形物を得ることができる。また、炭化物が微量含まれる銅造形物となるため、造形物が高温環境下に置かれた際の強度低下も抑制できるものと考えられる。そのため、抵抗溶接用の電極材や射出成形用金型等の用途に特に適した造形物を得ることができる。 Furthermore, with the copper-based powder of the present invention, carbides are attached to the surfaces of the copper particles, making it possible to obtain shaped articles that are harder than those made using copper particles. Furthermore, because the copper shaped articles contain trace amounts of carbides, it is believed that the loss of strength when the shaped articles are placed in high-temperature environments can be suppressed. Therefore, it is possible to obtain shaped articles that are particularly suitable for applications such as electrode materials for resistance welding and injection molding dies.
さらに、本発明によれば、銅粒子の表面に炭化物を付着させることにより粉体の流動性が向上する。この理由は定かではないが、銅粒子の表面に炭化物が付着していることにより、粒子表面に微小な凹凸が形成されるため流動性が向上するものと考えられる。銅基粉が優れた流動性を有することで、L-PBF法による光造形の際のスキージングが容易となり、均一で平坦な粉体床を準備することができる。なお、L-PBF法に適した基粉は、流動度が5秒/50g以上、30秒/50g以下とされているが、本発明の銅基粉によれば、30秒/50g以下の流動度とすることができる。なお、流動度は、JIS Z 2502に準拠して測定された値を意味する。 Furthermore, according to the present invention, the fluidity of the powder is improved by adhering carbide to the surfaces of the copper particles. While the reason for this is unclear, it is believed that the adhesion of carbide to the surfaces of the copper particles results in the formation of minute irregularities on the particle surfaces, improving fluidity. The excellent fluidity of copper-based powders facilitates squeegeeing during stereolithography using the L-PBF method, enabling the preparation of a uniform, flat powder bed. While base powders suitable for the L-PBF method are required to have a fluidity of 5 seconds/50 g or more and 30 seconds/50 g or less, the copper-based powder of the present invention can achieve a fluidity of 30 seconds/50 g or less. Note that fluidity refers to a value measured in accordance with JIS Z 2502.
銅基粉を構成する銅粒子は、一次粒子の平均粒径が1μm以上、100μm以下のものであれば特に制限なく使用することができる。例えば、ヒドラジン等の各種の還元剤を用い、酢酸銅や硫酸銅などの銅化合物を湿式で還元することで銅粒子を得ることができる。また、銅の溶湯を用い、アトマイズ法によっても銅粒子を得ることができる。 The copper particles that make up the copper-based powder can be any primary particle with an average particle size of 1 μm or more and 100 μm or less. For example, copper particles can be obtained by wet reduction of copper compounds such as copper acetate or copper sulfate using various reducing agents such as hydrazine. Copper particles can also be obtained by atomization using molten copper.
銅粒子の形状は特に制限されるものではないが、L-PBF法等の金属光造形法に使用する場合、スキージングによって粉体の充填密度の高い基粉床を形成する観点からは、球状に近い形状であることが好ましい。そのため、アトマイズ法によって得られた銅粒子を使用することが好ましい。アトマイズ法としては、ガスアトマイズ法と水アトマイズ法が挙げられるが、銅粒子をより球状に近いものとする簡単からは、ガスアトマイズ法が好ましい。高圧ガスアトマイズ法によれば、より一層、球形に近い粒子形状の揃った銅粒子を得ることができる。 There are no particular restrictions on the shape of the copper particles, but when used in metal laser sintering processes such as the L-PBF method, a nearly spherical shape is preferable from the perspective of forming a base powder bed with a high powder packing density by squeegeeing. Therefore, it is preferable to use copper particles obtained by atomization. Examples of atomization methods include gas atomization and water atomization, but gas atomization is preferred for the ease of making copper particles more nearly spherical. High-pressure gas atomization makes it possible to obtain copper particles with an even more uniform particle shape that is closer to a sphere.
上記のようにして得られる銅粒子は、銅粒子の大きさを揃えるために必要に応じて分級することができる。 この分級は、目標とする平均粒径のものとなるように、適切な分級装置を用いて、得られた銅粉から粗粉や微粉を分離することにより容易に実施することができる。 The copper particles obtained as described above can be classified as needed to ensure uniform particle size. This classification can be easily carried out by using an appropriate classification device to separate coarse and fine particles from the obtained copper powder to achieve the desired average particle size.
本発明においては、上記したような一次粒子の平均粒径が1μm以上、100μm以下の銅粒子を使用することで、一次粒子の平均粒径が1μm以上、100μm以下である銅基粉とすることができる。一次粒子の平均粒径が上記範囲にある銅基粉を使用することで、L-PBF法等の金属光造形法において充填密度の高い粉体床を形成できるとともに、銅基粉を焼結または溶融固化させて得られた造形物の焼結密度も高くすることができる。なお、本明細書において平均粒径とは、レーザー回折散乱式粒度分布測定法による累積体積50容量%における体積累積粒径(D50)を意味する。精細で稠密な光造形物を得る観点、銅基粉の流動性の観点から、使用する銅粒子の平均粒径は、2μm以上、80μm以下であることが好ましく、3μm以上、64μm以下であることが特に好ましい。 In the present invention, by using copper particles having an average primary particle size of 1 μm or more and 100 μm or less as described above, a copper-based powder having an average primary particle size of 1 μm or more and 100 μm or less can be obtained. Using a copper-based powder having an average primary particle size within the above range makes it possible to form a powder bed with a high packing density in a metal laser-sintering method such as the L-PBF method, and also to increase the sintered density of a molded product obtained by sintering or melt-solidifying the copper-based powder. Note that, in this specification, the term "average particle size" refers to the volume-cumulative particle size (D 50 ) at 50% by volume of the cumulative volume as measured by a laser diffraction/scattering particle size distribution measurement method. From the viewpoint of obtaining a fine and dense stereolithographic product and the flowability of the copper-based powder, the average particle size of the copper particles used is preferably 2 μm or more and 80 μm or less, and particularly preferably 3 μm or more and 64 μm or less.
次に、上記した銅粒子の表面に、炭化物を付着させる方法について説明する。本発明の銅基粉に使用される炭化物としては、波長1070nmにおける光吸収性が高い金属炭化物であれば特に制限なく使用することができるが、これらの中でも、本発明の効果の観点からは、炭化ホウ素、炭化チタン、炭化バナジウム、炭化クロム、炭化マンガン、炭化コバルト、炭化ニッケル、炭化ジルコニウム、炭化ニオブ、炭化モリブデン、炭化ハフニウム、炭化タンタル、炭化タングステンが好ましく、特に、銅の導電性を維持しながら本発明の効果が得る観点からは、炭化クロムがより好ましい。 Next, a method for adhering carbide to the surface of the copper particles will be described. The carbide used in the copper-based powder of the present invention is not particularly limited, as long as it is a metal carbide with high light absorption at a wavelength of 1070 nm. However, from the perspective of achieving the effects of the present invention, boron carbide, titanium carbide, vanadium carbide, chromium carbide, manganese carbide, cobalt carbide, nickel carbide, zirconium carbide, niobium carbide, molybdenum carbide, hafnium carbide, tantalum carbide, and tungsten carbide are preferred. Chromium carbide is particularly preferred from the perspective of achieving the effects of the present invention while maintaining the electrical conductivity of copper.
炭化物の付着は、銅粒子に炭化物を接触さることにより行われる。具体的には、プラズマCVD法、原子層堆積法(ALD)等の化学気相堆積法、スパッタリング等の物理堆積法、炭化物含有ペーストを銅粒子表面に塗布して焼成する塗布法、ハイブリダイゼーション法等の種々の方法によって、銅粒子の表面に炭化物を付着させることができる。これらの方法のなかでも、真球度が高く流動性に富む銅基粉が得られる観点から、ハイブリダイゼーション法により炭化物を付着させることが好ましい。ハイブリダイゼーション法は、高速気流中衝撃法とも呼ばれ、高速気流中に複数種の粉体どうしを乾式で分散させながら、衝撃力を主体とする力によって、粒子の表面を他種の粒子を用いて改質または複合化する技術である。本発明においては、銅粒子と炭化物からなる粒子とを、高速気流中衝撃法により混合することによって、銅粒子の表面のすくなくとも一部に炭化物を付着させることができる。 Carbide deposition is achieved by contacting the copper particles with the carbide. Specifically, carbide can be deposited on the surfaces of copper particles by various methods, including chemical vapor deposition methods such as plasma CVD and atomic layer deposition (ALD), physical deposition methods such as sputtering, coating methods in which a carbide-containing paste is applied to the surfaces of copper particles and then fired, and hybridization methods. Among these methods, hybridization is preferred for depositing carbide, as it produces copper-based powder with high sphericity and excellent fluidity. The hybridization method, also known as high-velocity airflow impact deposition, is a technique in which multiple types of powders are dry-dispersed in a high-velocity airflow, and the surfaces of the particles are modified or composited with other types of particles primarily through impact forces. In the present invention, carbide can be deposited on at least a portion of the surfaces of the copper particles by mixing copper particles and carbide particles using the high-velocity airflow impact deposition method.
上記した高速気流中衝撃法を採用する場合、炭化物は粒子の形態を有していることが好ましい。炭化物粒子は、炭化物の付着性の観点、および真球度の高い銅基粉を得る観点から、平均粒径は1nm以上、300nm以下であることが好ましく、50nm以上、150nm以下であることがより好ましい。上記したような平均粒径を有する炭化物を高速気流中衝撃法により銅粒子の表面に付着させると、銅表面は炭化物粒子の存在により微小な凹凸が形成されるものと考えられる。また、高速気流中衝撃法によれば、銅粒子自体の真球度も向上する。その結果、得られた銅基粉の流動性が向上するものと考えられる。上記した炭化物粒子は、従来公知の方法により得ることができ、例えば静的合成法、動的合成方、気相合成法等の方法により得ることができる。なお、本明細書において、炭化物粒子の平均粒径は、透過型電子顕微鏡を用いて、任意に選択した20個の粒子の粒子径を測定した、それらの平均値として定義される。 When using the high-velocity airflow impact method, the carbide preferably has a particulate form. From the perspective of carbide adhesion and obtaining copper-based powder with high sphericity, the carbide particles preferably have an average particle size of 1 nm or more and 300 nm or less, and more preferably 50 nm or more and 150 nm or less. When carbide having such an average particle size is adhered to the surface of copper particles using the high-velocity airflow impact method, it is believed that the presence of the carbide particles will form minute irregularities on the copper surface. Furthermore, the high-velocity airflow impact method also improves the sphericity of the copper particles themselves. As a result, it is believed that the fluidity of the resulting copper-based powder is improved. The carbide particles described above can be obtained by conventional methods, such as static synthesis, dynamic synthesis, and vapor-phase synthesis. In this specification, the average particle size of carbide particles is defined as the average value of particle sizes measured for 20 randomly selected particles using a transmission electron microscope.
銅基粉の流動性改善の観点からは、用いる銅粒子と炭化物粒子との粒子径比率(炭化物粒子の平均粒径に対する銅粒子の平均粒径の比)が、100~5000であることが好ましく、200~3000であることがより好ましい。 From the perspective of improving the fluidity of the copper-based powder, the particle size ratio between the copper particles and carbide particles used (the ratio of the average particle size of the copper particles to the average particle size of the carbide particles) is preferably 100 to 5,000, and more preferably 200 to 3,000.
炭化物は、銅基粉の波長1070nmにおける反射率が60%以下となるように、銅粒子の表面に付着させる。炭化物の付着量が多いほど反射率を低減させることができるが、銅本来の特性を維持しながら造形物の硬度を向上させる観点からは、銅基粉全体に対する炭化物の割合が、0.2質量%以上、5.0質量%以下であることが好ましく、0.4質量%以上、2.0質量%以下であることがより好ましい。炭化物の付着量は、銅粒子と炭化物粒子とを混同する際の両者の割合やハイブリダイゼーション時間によって調整することができる。なお、炭化物の付着の有無は、走査電子顕微鏡-エネルギー分散型X線分光法(SEM/EDX)やX線回折法(XRD)等によって確認することができ、炭化物の粒径や付着量に応じて、透過電子顕微鏡(TEM)、X線光電子分光法(XPS)、飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS)等を使用すればよい。また、炭化物の付着量の定量的な測定は、X線光電子分光(XPS)装置、誘導結合プラズマ(ICP)発光分光分析装置、炭素分析装置等の公知の手段を用いて行うことができる。 The carbide is attached to the surface of the copper particles so that the reflectance of the copper-based powder at a wavelength of 1070 nm is 60% or less. While the greater the amount of carbide attached, the greater the reduction in reflectance. From the perspective of improving the hardness of the molded product while maintaining the inherent properties of copper, the proportion of carbide relative to the total copper-based powder is preferably 0.2% by mass or more and 5.0% by mass or less, and more preferably 0.4% by mass or more and 2.0% by mass or less. The amount of carbide attached can be adjusted by the ratio of copper particles to carbide particles when mixing them and the hybridization time. The presence or absence of carbide attachment can be confirmed using scanning electron microscopy-energy dispersive X-ray spectroscopy (SEM/EDX) or X-ray diffraction (XRD), among other methods. Depending on the particle size and amount of carbide attached, transmission electron microscopy (TEM), X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), time-of-flight secondary ion mass spectroscopy (TOF-SIMS), and other methods may be used. Quantitative measurement of the amount of carbide adhesion can be performed using known means such as an X-ray photoelectron spectrometer (XPS), an inductively coupled plasma (ICP) emission spectrometer, or a carbon analyzer.
さらに、本発明においては、銅粒子の表面に炭化物が付着していることにより、銅粒子の経時安定性を向上させることができる。即ち、金属銅は空気や湿気により極めて酸化され易く、保管中に粉体物性が変動し易いことが知られている。同一ロットの銅粉を使用していても、保管によって銅粉の特性が経時変化してしまうため、光造形物の物性も変化してしまう可能性がある。本発明によれば、銅粒子の表面に炭化物が付着していることで、大気や湿気との酸化反応の進行が抑制されると考えられ、その結果、より安定的に光造形物を得ることが期待できる。 Furthermore, in the present invention, the adhesion of carbide to the surface of the copper particles improves the stability of the copper particles over time. It is known that metallic copper is extremely susceptible to oxidation by air and moisture, and that the powder properties are prone to change during storage. Even when using copper powder from the same lot, the properties of the copper powder change over time during storage, which can potentially result in changes in the properties of the stereolithography product. According to the present invention, the adhesion of carbide to the surface of the copper particles is thought to inhibit the progression of oxidation reactions with air and moisture, and as a result, it is expected that more stable stereolithography products can be obtained.
[銅基粉を用いた光造形物の製造方法]
上記したような銅基粉を用いた光造形物の製造方法について説明する。
先ず、造形用ステージに銅基粉を供給し、スキージング用ブレードを用いて粉体表面をスキージングすることで所定の厚さの粉体床を形成する(工程1)。なお、本発明におけるスキージングとは、金属光造形法において、基粉からなる粉体床の表面にブレードやヘラ、ローラー等を当てて移動させ、粉体床の表面を平滑にし、余剰の基粉を除去することである。
[Method of manufacturing a stereolithography object using copper-based powder]
A method for producing a stereolithography object using the copper-based powder described above will now be described.
First, copper base powder is supplied to a modeling stage, and a squeegee blade is used to squeeze the powder surface to form a powder bed of a predetermined thickness (Step 1). Note that, in the present invention, squeegeeing refers to the metal laser sintering method in which a blade, spatula, roller, or the like is brought into contact with and moved against the surface of a powder bed made of base powder to smooth the surface of the powder bed and remove excess base powder.
次いで、レーザー光等の光ビームを粉体床の表層の任意の位置に照射する。この照射位置は、造形したい物品の三次元CADデータに基づいて作成された断層平面図から定めることができる。光ビームが照射された位置にある複数の銅粒子どうしが焼結または溶融固化し、第1層が形成される(工程2)。 Next, a light beam, such as a laser beam, is irradiated at any position on the surface of the powder bed. This irradiation position can be determined from a cross-sectional plan view created based on 3D CAD data of the product to be manufactured. Multiple copper particles at the position irradiated with the light beam sinter or melt and solidify together, forming a first layer (Step 2).
続いて、第1層の厚さに相当する深さ分だけ、造形用ステージの位置を移動させる(工程3)。この工程1~工程3を繰り返し、第1層に第2層、第3層と複数の層を順に積層させて、銅による光造形物が製造される。 Next, the position of the modeling stage is moved by a distance equivalent to the thickness of the first layer (Step 3). Steps 1 to 3 are repeated, and multiple layers are stacked on top of the first layer, in order, with the second and third layers stacked on top, to produce a copper stereolithography object.
このような金属光造形装置には、光ビームとして赤外線レーザーが一般的に搭載されており、波長が1064nmの赤外線を含む波長帯域である固体レーザー、950nm以上、1900nm以下の波長帯域のファイバーレーザー、10.6μmの波長帯域のCO2レーザー等が使用されている。ファイバーレーザーのガラスコアへの増幅媒質としては、Yb(1030nm以上、1070nm以下)、Nd(約950nm)、Tm(約1900nm)、Er(約1550nm)等の希土類元素が一般的である。本発明の銅基粉は波長1070nmにおける反射率が60%以下であることから、中心波長が1070nmのYb添加ファイバーレーザーを使用することが好ましい。レーザーの照射モードはビーム品質や集光性の違いがあるものの、シングルモードとマルチモードのどちらでもよい。また上記造形方法はあくまで光造形法を用いた場合の一例であり、これに限られるものではない。 Such metal laser sintering devices are typically equipped with an infrared laser as the light beam, and include solid-state lasers with wavelengths in a wavelength band including infrared light at 1064 nm, fiber lasers with wavelengths in the range of 950 nm to 1900 nm, and CO2 lasers with wavelengths in the range of 10.6 μm. Rare earth elements such as Yb (1030 nm to 1070 nm), Nd (approximately 950 nm), Tm (approximately 1900 nm), and Er (approximately 1550 nm) are commonly used as amplification media for the glass core of fiber lasers. Since the copper-based powder of the present invention has a reflectance of 60% or less at a wavelength of 1070 nm, it is preferable to use a Yb-doped fiber laser with a central wavelength of 1070 nm. The laser irradiation mode may be either single-mode or multimode, although differences in beam quality and focusing ability exist. Furthermore, the above-mentioned sintering method is merely an example of a case in which sintering is used, and is not limited thereto.
上記のようにして銅基粉から得られた光造形物は、銅粉からなる光造形物に近い電気伝導性や熱伝導性を備えながらも、レーザー光吸収による充分な焼結ないし溶融固化が行われているため、稠密で機械強度に優れている。また、造形物は炭化物が含まれることにより高い硬度を有している。具体的には、本発明の銅基粉を用いて得られた光造形物は、JIS Z 2244に準拠して測定されるビッカース硬度(Hv)を40Hv以上とすることができる。また、このようにして得られた光造形物は種々の用途に適用可能であるが、高温環境下において使用される用途(例えば抵抗溶接用の電極材や射出成形用金型等)に特に適している。純銅からなる造形物では、熱処理によって銅の結晶粒が成長するため硬度が低下することが知られているが、本発明においては、銅に炭化物が含まれていることから結晶粒の成長が阻害され、その結果、高温環境下に置かれるような用途であっても造形物の硬度が低下しにくいものと考えられる。 The stereolithography product obtained from the copper-based powder in the above manner possesses electrical and thermal conductivity similar to that of a stereolithography product made from copper powder, but is dense and has excellent mechanical strength due to sufficient sintering or melt-solidification caused by laser light absorption. Furthermore, the product has high hardness due to the inclusion of carbides. Specifically, the stereolithography product obtained using the copper-based powder of the present invention can achieve a Vickers hardness (Hv) of 40 Hv or more as measured in accordance with JIS Z 2244. Furthermore, the stereolithography product obtained in this manner is applicable to a variety of applications, but is particularly suitable for applications used in high-temperature environments (e.g., electrode materials for resistance welding, injection molding dies, etc.). It is known that the hardness of a pure copper product decreases due to the growth of copper crystal grains during heat treatment. However, in the present invention, the copper contains carbides, which inhibits crystal grain growth. As a result, the hardness of the product is less likely to decrease even when used in high-temperature environments.
次に本発明の実施形態について以下の実施例を参照して具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the following examples, but the present invention is not limited to these examples.
<銅粉の準備>
下記の2種類のガスアトマイズ製銅粉を準備した。
銅粉1:MA-CH-S、三井金属鉱業株式会社製(純銅、1次粒子の平均粒径D50:33μm)
銅粉2:MA-CCR25L、三井金属鉱業株式会社製(Cr1.2wt%含有銅、1次粒子の平均粒径D50:28μm)
<Preparing copper powder>
The following two types of gas atomized copper powder were prepared.
Copper powder 1: MA-CH-S, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. (pure copper, average primary particle diameter D 50 : 33 μm)
Copper powder 2: MA-CCR25L, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. (copper containing 1.2 wt % Cr, average primary particle diameter D 50 : 28 μm)
<炭化物の準備>
下記の4種類の炭化物を準備した。
炭化物1:NP-SIC-8、イーエムジャパン株式会社製(炭化ケイ素(SiC)99%以上、粒径:<80nm)
炭化物2:NP-CR3C2、イーエムジャパン株式会社製(炭化クロム(Cr3C2)99.7%以上、粒径:30~120nm)
炭化物3:NP-ZRC-3、イーエムジャパン株式会社製(炭化ジルコニウム(ZrC)99%以上、粒径:80nm)
炭化物4:NP-WC-1、イーエムジャパン株式会社製(炭化タングステン(WC)99.9%以上、粒径:55nm)
<Preparation of carbide>
The following four types of carbides were prepared:
Carbide 1: NP-SIC-8, manufactured by EM Japan Co., Ltd. (silicon carbide (SiC) 99% or more, particle size: <80 nm)
Carbide 2: NP-CR3C2, manufactured by EM Japan Co., Ltd. (chromium carbide (Cr 3 C 2 ) 99.7% or more, particle size: 30 to 120 nm)
Carbide 3: NP-ZRC-3, manufactured by EM Japan Co., Ltd. (zirconium carbide (ZrC) 99% or more, particle size: 80 nm)
Carbide 4: NP-WC-1, manufactured by EM Japan Co., Ltd. (tungsten carbide (WC) 99.9% or more, particle size: 55 nm)
<銅基粉の調製>
上記した銅粉と炭化物とを、全量で1.5kgとなるように秤量し、両者を混合撹拌機(OMO-3、奈良機械製作所製)を用いて1000rpmで10分間撹拌し、次いで、混合撹拌物を150g秤量して、ハイブリダイザー(HYB-1、奈良機械製作所製)を用いて、6000rpmで5分間循環させて、銅基粉を得た。
なお、銅基粉を取り出した後の混合撹拌機及びハイブリダイザーには炭化物の残存は目視では確認できなかったことから、添加した炭化物のほぼ全量が銅粉に付着したものと推測できる。
<Preparation of copper-based powder>
The copper powder and carbide were weighed out so that the total amount was 1.5 kg, and the two were stirred at 1000 rpm for 10 minutes using a mixer (OMO-3, manufactured by Nara Machinery Works, Ltd.). Next, 150 g of the mixed and stirred product was weighed out and circulated at 6000 rpm for 5 minutes using a hybridizer (HYB-1, manufactured by Nara Machinery Works, Ltd.), thereby obtaining a copper-based powder.
Furthermore, since no carbide was visually observed remaining on the mixer and hybridizer after the copper-based powder was removed, it can be assumed that almost all of the added carbide adhered to the copper powder.
<平均粒径の測定>
得られた銅基粉について、レーザー回折・散乱式の粒子径分布測定装置(マイクロトラック・ベル株式会社、MT3300EXII)を用いて、平均粒子径(D50)を測定した。測定結果は下記の表1に示すとおりであった。
<Measurement of average particle size>
The average particle size (D50) of the obtained copper-based powder was measured using a laser diffraction/scattering particle size distribution analyzer (Microtrac Bell Co., Ltd., MT3300EXII). The measurement results are shown in Table 1 below.
<反射率の測定>
銅粉および各銅基粉の反射率は、分光光度計(U-4100、株式会社 日立ハイテクノロジーズ製)を用いて、銅粉を凹型のホルダーに充填し、石英カバーガラスで封じて、波長を1070nmとして積分球法により測定した。測定結果は下記の表1に示すとおりであった。
<Reflectance Measurement>
The reflectance of the copper powder and each copper-based powder was measured using a spectrophotometer (U-4100, manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation) by filling the copper powder into a concave holder, sealing it with a quartz cover glass, and using the integrating sphere method at a wavelength of 1070 nm. The measurement results are shown in Table 1 below.
<流動性の測定>
流動度測定器(筒井理化学器械株式会社)を用いて、銅粉および銅基粉の各50gをロートに投入し、JIS Z 2502に準拠した方法により、粉体の流動度(秒)の測定を行った。測定結果は下記表1に示すとおりであった。なお、表1中の「NG」は、粉体をロートから落下する際に引っかかりがあり、ロートに投入した粉体(銅粉または銅基粉)の全部が落下しなかったことを示す。また、実施例5および6の銅基粉においては、粉体がロートに引っかかり途中で止まることがあった。
<Measurement of liquidity>
Using a flowability measuring device (Tsutsui Scientific Instruments Co., Ltd.), 50 g of each of copper powder and copper-based powder was placed in a funnel, and the flowability (seconds) of the powder was measured according to JIS Z 2502. The measurement results are shown in Table 1 below. Note that "NG" in Table 1 indicates that the powder got stuck when falling from the funnel, and not all of the powder (copper powder or copper-based powder) placed in the funnel fell. Furthermore, with the copper-based powders of Examples 5 and 6, the powder sometimes got stuck in the funnel and stopped midway.
上記の表1からも明らかなように、銅粉に炭化物を付着させた銅基粉は、銅粉に比べて流動性が向上していることがわかる。 As is clear from Table 1 above, copper-based powder with carbide attached to copper powder has improved fluidity compared to copper powder.
<光造形物の作製>
銅粉および銅基粉のそれぞれを、金属光造形機(Concept Laser M2、GEアディティブ社製)を用いて、出力370W、積層ピッチ0.03mmの条件にて光造形し、15mm×15mm×10mmの造形物を作製した。レーザー光による単位体積あたりのエネルギー密度は、銅粉1(純銅)を用いた場合は600J/mm3とし、銅粉2(銅クロム合金)を用いた場合は160J/mm3とした。
続いて、得られた造形物を、窒素気流中、700℃で3時間の熱処理を行った。
<Production of optically modeled objects>
The copper powder and copper-based powder were each subjected to laser lithography using a metal laser lithography machine (Concept Laser M2, manufactured by GE Additive) at an output of 370 W and a layer pitch of 0.03 mm to produce 15 mm x 15 mm x 10 mm objects. The energy density per unit volume of the laser beam was 600 J/ mm3 when copper powder 1 (pure copper) was used, and 160 J/ mm3 when copper powder 2 (copper-chromium alloy) was used.
The resulting shaped object was then heat treated in a nitrogen stream at 700° C. for 3 hours.
<光造形物の特性評価>
(1)ビッカース硬度
光造形物の熱処理前後でのビッカース硬度(Hv)をJIS Z 2244に準拠して測定した。また、炭化物が付着していない銅粉を用いた光造形物(熱処理後)に対して、各銅基粉を用いた光造形物(熱処理後)の硬度がどの程度増加したかを、下記式により求めた。
硬度増加率(%)=(銅基粉を用いた光造形物の硬度-銅粉を用いた光造形物の硬度)/銅粉を用いた光造形物の硬度×100
測定結果は下記の表2に示される通りであった。なお、実施例5および比較例2については熱処理後のビッカース硬度(Hv)のみ測定した。
<Evaluation of characteristics of stereolithography objects>
(1) Vickers Hardness The Vickers hardness (Hv) of the stereolithography objects before and after heat treatment was measured in accordance with JIS Z 2244. In addition, the degree of increase in hardness of the stereolithography objects (after heat treatment) using each copper-based powder compared to the stereolithography object (after heat treatment) using copper powder without carbide adhesion was calculated using the following formula.
Hardness increase rate (%) = (hardness of stereolithography object using copper-based powder - hardness of stereolithography object using copper powder) / hardness of stereolithography object using copper powder × 100
The measurement results are shown in the following Table 2. Note that for Example 5 and Comparative Example 2, only the Vickers hardness (Hv) after the heat treatment was measured.
(2)相対密度
熱処理後の各光造形物について、銅粉および炭化物の各密度から造形物の理論密度を算出し、嵩密度をJIS-R1634に準拠してアルキメデス法により算出し、理論密度に対する嵩密度の比率により相対密度を算出した。結果は下記の表2に示されるとおりであった。
(2) Relative Density For each stereolithography product after heat treatment, the theoretical density of the product was calculated from the densities of the copper powder and carbide, the bulk density was calculated by Archimedes' method in accordance with JIS-R1634, and the relative density was calculated from the ratio of the bulk density to the theoretical density. The results are shown in Table 2 below.
(3)導電率
熱処理後の各光造形物について、渦電流位相変位感応式測定装置(SIGMASCOPE・SMP350、株式会社フィッシャー・インストルメンツ製)を用いて、導電率(100%IACS)を測定した。結果は下記の表2に示されるとおりであった。
(3) Electrical Conductivity The electrical conductivity (100% IACS) of each of the stereolithographic objects after the heat treatment was measured using an eddy current phase displacement sensitive measuring device (SIGMASCOPE SMP350, manufactured by Fischer Instruments Co., Ltd.) The results are shown in Table 2 below.
表2からも明らかなように、銅粉に炭化物を付着させることにより、得られた光造形物の硬度が増加することがわかる。また、光造形物は熱処理により硬度が減少するものの、炭化物が付着していない銅粉(比較例1および比較例2)から得られた光造形物に比べて、炭化物を付着させた銅粉(即ち、銅基粉)から得られた光造形物は、硬度維持率が高いことがわかる。
また、炭化物を付着させた銅粉(即ち、銅基粉)から得られた光造形物であっても、炭化物が付着していない銅粉から得られた光造形物と同等の導電性を有していることがわかる。
As is clear from Table 2, the hardness of the resulting stereolithography product increases when carbide is attached to the copper powder. Furthermore, although the hardness of the stereolithography product decreases upon heat treatment, the stereolithography product obtained from the copper powder to which carbide is attached (i.e., the copper-based powder) has a higher hardness retention rate than the stereolithography product obtained from the copper powder to which carbide is not attached (Comparative Examples 1 and 2).
Furthermore, it can be seen that even stereolithography objects obtained from copper powder with carbide attached (i.e., copper-based powder) have electrical conductivity equivalent to that of stereolithography objects obtained from copper powder without carbide attached.
Claims (9)
前記粒子は、
銅粒子と、
前記銅粒子の表面の少なくとも一部に付着した金属炭化物と
を含み、
波長1070nmにおける反射率が60%以下である、銅基粉。 A copper-based powder consisting of particles having an average particle size of 1 μm or more and 100 μm or less,
The particles are
Copper particles,
and a metal carbide adhered to at least a portion of the surface of the copper particle,
A copper-based powder having a reflectance of 60% or less at a wavelength of 1070 nm.
銅粒子に金属炭化物を接触させて、前記銅粒子の表面に前記金属炭化物を付着させる、
ことを含む、方法。 A method for producing the copper-based powder according to any one of claims 1 to 5, comprising:
bringing a metal carbide into contact with copper particles to cause the metal carbide to adhere to the surfaces of the copper particles;
A method comprising:
前記銅粒子と前記金属炭化物からなる粒子との、高速気流中衝撃法による混合、
前記銅粒子への前記金属炭化物のスパッタリング、または
前記銅粒子表面への前記金属炭化物含有ペーストの塗布、
により行われる、請求項6に記載の方法。 The contact of the metal carbide with the copper particles is
mixing the copper particles and the metal carbide particles by impacting them in a high-velocity air stream;
sputtering the metal carbide onto the copper particles; or applying the metal carbide-containing paste onto the surfaces of the copper particles;
The method of claim 6, which is carried out by
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