JP7733134B2 - 枠受けユニット及び印刷装置 - Google Patents

Description

本明細書では、枠受けユニット及び印刷装置を開示する。

従来、例えば、基板などの印刷対象物に対してスクリーンマスクを用いて粘性流体の印刷処理を行う印刷装置において、スクリーンマスクに形成された印刷領域の周囲をスクリーンマスクの下方から支持する一対のスクリーン支持部材を備え、このスクリーン支持部材が、基板を昇降する昇降テーブルとは独立して設けられているものが提案されている（例えば、特許文献１など参照）。この印刷装置では、一対のスクリーン支持部材が昇降テーブルとは別に設けられているため、昇降テーブルの負荷を軽減すると共にその昇降テーブルに搭載する部材や装置の設計の自由度を高くすることができる。

国際公開２０１７／１６３３６０号

しかしながら、上述した特許文献１に記載の印刷装置では、一対のスクリーン支持部材が印刷装置の筐体側に配設されており、スクリーンマスクと基板とを引き離す版離れ時に、スクリーンマスクがたわみ、印刷品質にばらつきが生じることがあった。

本開示は、このような課題に鑑みなされたものであり、印刷品質のばらつきをより抑制することができる枠受けユニット及び印刷装置を提供することを主目的とする。

本明細書で開示する枠受けユニット及び印刷装置は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

本開示の枠受けユニットは、
スクリーンマスクの上面に載せられた粘性流体をスキージを使って処理対象物上に印刷する印刷装置に用いられる枠受けユニットであって、
前記スクリーンマスクを取り外し可能に固定する固定部と、
前記スクリーンマスクの下面側から該スクリーンマスクを支持するマスクサポート部と、
を備えたものである。

この枠受けユニットでは、固定部がスクリーンマスクを固定すると共に、一体となってスクリーンマスクの下面側からマスクサポート部が支持する。即ち、スクリーンマスクは、常に固定部とマスクサポート部とにより一体となって固定及び支持される。このため、この枠受けユニットでは、スクリーンマスクと処理対象物とを引き離す版離れ時においてもスクリーンマスクのたわみをより抑制することができ、印刷品質のばらつきをより抑制することができる。

実装システム１０及び印刷装置１１の一例を示す概略説明図。 印刷部２２、マスク作業部２６及び基板処理部５０の一例を示す説明図。 枠受けユニット３０の一例を示す概略説明図。 印刷処理ルーチンの一例を示すフローチャート。 印刷処理での枠受けユニット３０の作業の一例を示す説明図。 別の枠受けユニット３０Ｂの一例を示す概略説明図。

本実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は、本開示の実装システム１０及び印刷装置１１の一例を示す概略説明図である。図２は、印刷部２２、マスク作業部２６及び基板処理部５０の一例を示す説明図である。図３は、枠受けユニット３０の一例を示す概略説明図である。実装システム１０は、印刷装置１１と、印刷検査装置１２と、保管装置１３と、実装装置１５と、実装検査装置１６と、ローダ１８と、図示しないリフロー装置と、管理コンピュータ（ＰＣ）１９と、を備えている。実装システム１０は、例えば、印刷装置１１の下流側に処理対象物としての基板Ｓに部品Ｐを実装処理する実装装置１５が基板Ｓの搬送方向に配列された生産ラインとして構成されている。なお、本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１～３に示した通りとする。

印刷検査装置１２は、印刷装置１１により基板Ｓに印刷されたはんだペーストなどの粘性流体の状態を検査する装置である。保管装置１３は、部品を保持したフィーダの一時保管場所である。実装装置１５は、基板Ｓに部品を配置する実装処理を実行する装置である。実装検査装置１６は、基板Ｓに実装された部品の状態などを検査する装置である。ローダ１８は、実装装置１５の前面側でＸ軸レール１７に沿って左右方向に移動し、フィーダなど実装装置１５に用いられる実装関連部材を自動着脱し、回収及び補給する装置である。リフロー装置は、はんだが印刷され部品Ｐが実装された基板をリフローする装置である。管理ＰＣ１９は、実装システム１０の各装置の情報を管理する装置である。この管理ＰＣ１９は、実装処理を行う生産ラインの各装置の進捗状況などを管理する。

印刷装置１１は、図１、２に示すように、スキージ２５を用いてスクリーンマスクＭ上のはんだをスクリーンマスクＭに形成されたパターン孔に押し込むことによりそのパターン孔を介して下方の処理対象物としての基板Ｓに、粘性流体としてのはんだを塗布（印刷）する装置である。ここで「処理対象物」としては、例えば、部品を実装する基板Ｓや立体物である基材などが挙げられる。「粘性流体」としては、はんだペーストや導電性ペースト、接着剤などが挙げられる。ここでは、基板Ｓとはんだペーストとを一例として以下説明する。スクリーンマスクＭは、枠２９の内側に固定されている。印刷装置１１は、図２に示すように、制御部２０と、印刷部２２と、マスク作業部２６と、基板処理部５０とを備えている。

制御部２０は、ＣＰＵ２１を中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、印刷装置１１の全体を制御する。制御部２０は、印刷部２２、マスク作業部２６、基板処理部５０のほか、外部装置としての管理ＰＣ１９へ信号を出力する。また、制御部２０は、印刷部２２、マスク作業部２６、基板処理部５０のほか、外部装置としての管理ＰＣ１９から信号を入力する。この制御部２０は、印刷処理する基板Ｓの情報や、基板Ｓへ印刷処理を行う印刷処理プログラムなどが記憶されている記憶部を有している。制御部２０は、詳しくは後述するが、基板Ｓが搬送部５１に搬送されている搬送状態、基板ＳがスクリーンマスクＭに当接していない版離れ状態、及び基板ＳをスクリーンマスクＭに当接させる版合わせ状態のうちいずれかの状態でスクリーンマスクＭにスキージ２５を当接させるよう印刷ヘッド２３を制御する。また、制御部２０は、基板ＳがスクリーンマスクＭに当接していない状態で、スクリーンマスクＭの上でスキージ２５を用いて所定作業を実行させる。

印刷部２２は、印刷装置１１の上段に配設されており、スクリーンマスクＭを用いて粘性流体を基板Ｓ上に印刷処理するユニットである。印刷部２２は、図２に示すように、印刷ヘッド２３と、ヘッド移動部２４と、図示しないスキージ昇降部と、スキージ２５とを備えている。印刷ヘッド２３は、スキージ２５を上下動可能に配設したユニットである。ヘッド移動部２４は、印刷ヘッド２３を所定の印刷方向Ｂ（ここでは前後方向）に移動してスクリーンマスクＭの上面に載せられた粘性流体をスキージ２５を使って基板Ｓ上に印刷する。このヘッド移動部２４は、前後方向に形成されたガイドとガイドに沿って移動するスライダとスライダを駆動するモータとを備えている。スキージ２５は、印刷ヘッド２３の下面側に配設され、スキージ昇降部により昇降される。印刷部２２は、前後方向にそれぞれ用いられる２つのスキージ２５を有している。

マスク作業部２６は、図１、２に示すように、上下方向において印刷部２２と基板処理部５０との間に配設されており、スクリーンマスクＭを固定保持するユニットである。マスク作業部２６は、枠受けユニット３０と、圧力供給部４２とを備えている。マスク作業部２６は、スクリーンマスクＭを位置決めして水平な姿勢で支持固定する。枠受けユニット３０は、スクリーンマスクＭを配設した枠２９を受け入れて、取り外し可能に固定するユニットである。この枠受けユニット３０は、固定部３１と、マスクサポート部３３とを備えている。固定部３１は、スクリーンマスクＭを取り外し可能に固定する。固定部３１は、固定ロッド３２を有している。固定ロッド３２は、枠２９に当接してスクリーンマスクＭを固定する柱状の部材である。この固定ロッド３２は、図示しない直動部により昇降される。固定部３１は、図３に示すように、スライド部材３７の上側水平部の先端に配設されている。この固定部３１は、スライド部材３７と共にスライド方向Ｃに沿って移動する。

マスクサポート部３３は、スクリーンマスクＭの下面側からこのスクリーンマスクＭを支持するものである。このマスクサポート部３３は、枠受けユニット３０側に配設されている。このため、印刷装置１１では、搬送部５１の位置にかかわらず、スクリーンマスクＭは、マスクサポート部３３によって常に支持される。マスクサポート部３３は、スクリーンマスクＭの印刷領域の外周側であって、搬送部５１の搬送レーンの外側に配置されてスクリーンマスクＭを支持する（後述図５Ｃ参照）。マスクサポート部３３は、図２、３に示すように、支持部材３４と、スライド部材３７と、クランプ部３８と、ガイド部３９と、スライド移動部４０とを有している。支持部材３４は、搬送方向Ａを長手方向としスクリーンマスクＭの下面に接触して支持する部材である。この支持部材３４は、長尺の板状部材である。支持部材３４は、スクリーンマスクＭに接触して支持する支持面３５に負圧を供給してこのスクリーンマスクＭを吸着、固定する吸着孔３６が形成されている。スライド部材３７は、支持部材３４の両端に接続されて支持部材３４を支持する１対の部材である。スライド部材３７は、上側の水平部、下側の水平部、両水平部が接続される垂直の接続部とを有するＣ字状の部材である。図３に示すように、スライド部材３７の上側の水平部は、ガイド部３９に挿入されている。また、スライド部材３７の接続部は、枠受けユニット３０の前後方向に沿って垂直に形成された壁部の外側に位置する。更に、スライド部材３７の下側の水平部は、壁部の下側に位置し、支持部材３４が配設されている。クランプ部３８は、支持部材３４のスライドを規制及び規制解除可能なものである。このクランプ部３８は、支持部材３４及び／又は支持部材３４に接続された部材を固定及び固定解除可能なロック機構としてもよい。マスクサポート部３３は、一対の支持部材３４を少なくとも有し、搬送部５１の両脇に支持部材３４がそれぞれクランプ部３８により固定される。ガイド部３９は、支持部材３４を搬送方向Ａと交差するスライド方向Ｃへスライド可能に構成されている。このガイド部３９は、枠受けユニット３０の前後方向に沿って垂直に形成された壁部に形成された貫通溝である。支持部材３４は、ガイド部３９に沿ってスライド方向Ｃ（前後方向）に移動する。スライド移動部４０は、支持部材３４をスライド方向Ｃに沿って移動させる駆動部である。このスライド移動部４０は、例えば、図３に示すように、駆動軸と、従動軸と、駆動軸及び従動軸の間に掛け渡されたベルトと、駆動軸を回転駆動するモータとを有するものとしてもよい。スライド部材３７は、このベルトに固定されており、ベルトの移動に伴って移動する。枠受けユニット３０では、１対の支持部材３４のそれぞれを移動させるスライド移動部４０を備える。スライド部材３７には、接続管４１が配設されている。接続管４１は、スライド部材３７を介して吸着孔３６に連通している。接続管４１には、圧力供給部４２が接続されている。圧力供給部４２は、例えば、負圧を生成するポンプなどとしてもよい。圧力供給部４２は、接続管４１、スライド部材３７を介して負圧を吸着孔３６側へ供給する。支持部材３４は、圧力供給部４２からの負圧により、スクリーンマスクＭをより強固に固定する。

基板処理部５０は、マスク作業部２６の下方に配設され、基板Ｓを搬入し、搬入した基板Ｓを位置決めして支持し、スクリーンマスクＭに接触，離間させるユニットである。基板処理部５０は、搬送部５１と、バックアップ部材５２と、昇降部とを備える。搬送部５１は、枠受けユニット３０に固定されたスクリーンマスクＭに基板Ｓを当接、離間可能なユニットである。この搬送部５１は、基板Ｓを所定の搬送方向Ａ（図１～３では左右方向）に沿って搬送し、あるいは固定する。バックアップ部材５２は、基板Ｓを下方から支持する部材である。このバックアップ部材５２は、平板状の部材であるバックアッププレートや、バックアッププレートに配設されるバックアップピンなどを含む。昇降部は、基板処理部５０の全体やバックアップ部材５２を昇降させる。

次に、こうして構成された印刷装置１１の印刷処理の概要について説明する。図４は、制御部２０のＣＰＵ２１によって委実行される印刷処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。図５は、印刷処理での枠受けユニット３０の作業の一例を示す説明図であり、図５Ａが支持部材３４の移動処理、図５Ｂが搬送状態などでのスキージ２５による作業、図５Ｃが版合わせ状態の説明図である。このルーチンは、印刷装置１１が起動されたあとＣＰＵ２１によって実行される。このルーチンを開始すると、ＣＰＵ２１は、まず、基板Ｓの幅、あるいは、搬送部５１の幅の情報を取得する（Ｓ１００）。ＣＰＵ２１は、印刷条件などが定められている印刷ジョブなどからこの情報を取得する。次に、ＣＰＵ２１は、取得した幅の情報に合わせて、マスクサポート部３３をスライド移動部４０に移動させ、クランプ部３８によって支持部材３４を固定させる（Ｓ１１０，図５Ａ）。

次に、ＣＰＵ２１は、基板処理部５０の状態に関わらず、スクリーンマスクＭ上に、はんだ供給部からはんだを供給させ、印刷ヘッド２３にはんだの練り合わせ作業を実行させる（Ｓ１２０，図５Ｂ）。マスクサポート部３３が基板処理部５０側に配設されている印刷部２２では、この練り合わせ作業は、搬送部５１をスクリーンマスクＭに当接した版合わせ状態でしか実行できない。この印刷部２２では、マスクサポート部３３が常にスクリーンマスクＭを下支えするため、基板Ｓの搬送状態、版合わせ状態及び版離れ状態のいずれでもスキージ２５をスクリーンマスクＭへ下ろすことができる。

次に、ＣＰＵ２１は、基板処理部５０によって、基板Ｓを搬送し、印刷位置で固定させる（Ｓ１３０）。次に、ＣＰＵ２１は、基板処理部５０によって基板ＳをスクリーンマスクＭに位置決めして接触させる版合わせを行い、印刷ヘッド２３によって基板Ｓ上にはんだを塗布する印刷処理を実行させる（Ｓ１４０，図５Ｃ）。続いて、ＣＰＵ２１は、基板処理部５０によってスクリーンマスクＭから基板Ｓを離間させる版離れを行い、基板Ｓを搬出させる（Ｓ１５０）。そして、ＣＰＵ２１は、現在印刷処理を行っている基板種のすべてが完了したか否かを判定し（Ｓ１６０）、現在の基板種のすべてが完了していないときには、Ｓ１３０以降の処理を実行する。一方、ＣＰＵ２１は、現在の基板種のすべてが完了したときには、次の基板種の印刷処理があるか否かを判定し（Ｓ１７０）、次の基板種があるときには、Ｓ１００以降の処理を実行する。一方、次の基板種がないときには、ＣＰＵ２１は、このルーチンを終了する。

ここで、本実施形態の構成要素と本開示の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の枠受けユニット３０が本開示の枠受けユニットに相当し、固定部３１が固定部に相当し、マスクサポート部３３がマスクサポート部に相当し、支持部材３４が支持部材に相当し、支持面３５が支持面に相当し、吸着孔３６が吸着孔に相当し、クランプ部３８がクランプ部に相当し、ガイド部３９がガイド部に相当する。また、印刷装置１１が印刷装置に相当し、印刷ヘッド２３が印刷ヘッドに相当し、スキージ２５がスキージに相当し、ヘッド移動部２４がヘッド移動部に相当し、搬送部５１が搬送部に相当し、制御部２０が制御部に相当し、スクリーンマスクＭがスクリーンマスクに相当し、はんだが粘性流体に相当し、基板Ｓが処理対象物に相当する。

以上説明した本実施形態の枠受けユニット３０は、スクリーンマスクＭの上面に載せられた粘性流体をスキージ２５を使って処理対象物としての基板Ｓ上に印刷する印刷装置１１に用いられるものである。この枠受けユニット３０は、スクリーンマスクＭを取り外し可能に固定する固定部３１と、スクリーンマスクＭの下面側からこのスクリーンマスクＭを支持するマスクサポート部３３とを備える。この枠受けユニット３０では、固定部３１がスクリーンマスクＭを固定すると共に、一体となってスクリーンマスクＭの下面側からマスクサポート部３３が支持する。即ち、スクリーンマスクＭは、常に固定部３１とマスクサポート部３３とにより一体となって固定及び支持される。このため、この枠受けユニット３０では、スクリーンマスクＭと基板Ｓとを引き離す版離れ時においてもスクリーンマスクＭのたわみをより抑制することができ、印刷品質のばらつきをより抑制することができる。

また、印刷装置１１は、基板Ｓを所定の搬送方向Ａへ搬送する搬送部５１を備え、マスクサポート部３３は、搬送方向Ａを長手方向としスクリーンマスクＭに接触して支持する支持部材３４と、支持部材３４を搬送方向Ａと交差するスライド方向Ｃへスライド可能なガイド部３９と、支持部材３４のスライドを規制及び規制解除可能なクランプ部３８と、を有する。この枠受けユニット３０では、搬送部５１に合わせて支持部材３４の間隔を変更可能であるため、より好適な状態でスクリーンマスクＭを支持することができる。更に、マスクサポート部３３は、一対の支持部材３４を少なくとも有し、搬送部５１の両脇にこの支持部材３４がそれぞれクランプ部３８により固定される。この枠受けユニット３０では、搬送部５１の両脇から最適な状態でスクリーンマスクＭを支持することができる。更にまた、マスクサポート部３３は、スクリーンマスクＭに接触して支持する支持面３５に負圧を供給してこのスクリーンマスクＭを吸着する吸着孔３６が形成されている。この枠受けユニット３０では、スクリーンマスクＭを吸着して、より確実に支持することができる。

また、印刷装置１１は、上述した枠受けユニット３０と、枠受けユニット３０に固定されたスクリーンマスクＭに基板Ｓを当接離間可能であり基板Ｓを所定の搬送方向Ａに沿って搬送及び固定する搬送部５１と、スキージ２５を上下動可能に配設した印刷ヘッド２３と、印刷ヘッド２３を所定の印刷方向Ｂに沿って移動してスクリーンマスクＭの上面に載せられた粘性流体をスキージ２５を使って基板Ｓ上に印刷するヘッド移動部２４と、を備える。この印刷装置１１では、上述した枠受けユニット３０を備えるため、基板Ｓの位置や状態にかかわらず、より確実にスクリーンマスクＭを支持することができ、ひいては印刷品質のばらつきをより抑制することができる。更に、印刷装置１１は、基板Ｓが搬送部５１に搬送されている搬送状態、基板ＳがスクリーンマスクＭに当接していない版離れ状態、及び基板ＳをスクリーンマスクＭに当接させる版合わせ状態のうちいずれかの状態で、スクリーンマスクＭにスキージ２５を当接させるよう印刷ヘッド２３を制御する制御部２０を備える。この印刷装置１１では、枠受けユニット３０が基板Ｓの位置や状態にかかわらずスクリーンマスクＭを支持することができる。このため、印刷装置１１は、基板Ｓの状態にかかわらず、スキージ２５をスクリーンマスクＭへ当接させることができる。更にまた、制御部２０は、基板ＳがスクリーンマスクＭに当接していない状態において、スクリーンマスクＭ上でスキージ２５を用いて所定作業としての練り合わせ作業などを実行させる。この印刷装置１１では、枠受けユニット３０が搬送部５１の位置や状態にかかわらずスクリーンマスクＭを支持することができるため、搬送部５１の状態にかかわらず、スクリーンマスクＭ上でスキージ２５を用いた作業を実行することができる。

なお、本開示の枠受けユニット及び印刷装置は、上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本開示の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

例えば、上述した実施形態では、マスクサポート部３３は、スライド移動部４０によって自動で移動するものとしたが、特にこれに限定されず、スライド移動部４０を省略し、手動でマスクサポート部３３の位置合わせを行い、手動でクランプ部３８により固定するものとしてもよい。また、マスクサポート部３３は、２つの支持部材３４がスライド方向Ｃに沿って移動するものとしたが、特にこれに限定されず、少なくとも一つの支持部材３４が所定の基準位置に固定されているものとしてもよい。また、上述した実施形態では、ガイド部３９は、貫通溝であり、スライド部材３７の上側水平部を挿入してスライド部材３７をスライド方向Ｃに導くものとしたが、支持部材３４をスライド方向Ｃに沿って移動させるものとすれば、特に貫通溝に限定されない。例えば、ガイド部３９は、スライド方向Ｃ方向に沿って形成された貫通していない溝部としてもよいし、レールとしてもよい。このようなガイド部３９であっても、支持部材３４をスライド方向Ｃに沿って導くことができる。また、上述した実施形態では、支持部材３４の支持面３５には、複数の円形の吸着孔３６が形成されているものとしたが、特にこれに限定されず、矩形状や多角形状の孔としてもよいし、溝状の孔としてもよい。なお、支持部材３４の支持面３５には、吸着孔３６が形成されているものとしたが、特にこれに限定されず、吸着孔３６を省略してもよい。

上述した実施形態では、１対の支持部材３４を備えるものとしたが、特にこれに限定されず、３以上の支持部材３４を備えるものとしてもよいし、２対以上の支持部材３４を備えるものとしてもよい。図６は、別の枠受けユニット３０Ｂの一例を示す概略説明図である。図６に示すように、枠受けユニット３０Ｂは、２つの基板処理部５０に応じて、２対の支持部材３４を有するマスクサポート部３３を備えている。この枠受けユニット３０Ｂにおいても、印刷品質のばらつきをより抑制することができる。

上述した実施形態では、制御部２０は、基板処理部５０の状態に関わらずスキージ２５をスクリーンマスクＭに下ろすものとしたが、特にこれに限定されず、基板処理部５０が特定の状態でスキージ２５をスクリーンマスクＭへ下ろすものとしてもよい。また、上述した実施形態では、基板処理部５０の状態に関わらずにスクリーンマスクＭ上ではんだの練り合わせを行うものとしたが、特にこれに限定されず、この作業を省略してもよい。

上述した実施形態では、枠受けユニット３０を備えた印刷装置１１として説明したが、特にこれに限定されず。枠受けユニット３０のみの構成としてもよい。枠受けユニット３０では、印刷品質のばらつきをより抑制することができる。

本開示は、部品を実装処理する装置の技術分野に利用可能である。

、１０ 実装システム、１１ 印刷装置、１２ 印刷検査装置、１３ 保管装置、１４ 自動搬送車、１５ 実装装置、１６ 実装検査装置、１７ Ｘ軸レール、１８ ローダ、１９ 管理ＰＣ、２０ 印刷制御部、２１ ＣＰＵ、２２ 印刷部、２３ 印刷ヘッド、２４ 印刷移動部、２５ スキージ、２６ マスク作業部、２９ 枠、３０ 枠受けユニット、３１ 固定部、３２ 固定ロッド、３３ マスクサポート部、３４ 支持部材、３５ 支持面、３６ 吸着孔、３７ スライド部材、３８ クランプ部、３９ ガイド部、４０ スライド移動部、４１ 接続管、４２ 圧力供給部、５０ 基板処理部、５１ 搬送部、５２ バックアップ部材、Ａ 搬送方向、Ｂ 印刷方向、Ｃ スライド方向、Ｍ スクリーンマスク、Ｓ 基板、Ｗ 作業者。

Claims (7)

1. スクリーンマスクの上面に載せられた粘性流体をスキージを使って処理対象物上に印刷する印刷装置に用いられる枠受けユニットであって、
   前記スクリーンマスクを取り外し可能に固定する固定部と、
   前記スクリーンマスクの下面側から該スクリーンマスクを支持するマスクサポート部と、
   を備えた枠受けユニット。
2. 前記印刷装置は、前記処理対象物を所定の搬送方向へ搬送する搬送部を備え、
   前記マスクサポート部は、前記搬送方向を長手方向とし前記スクリーンマスクに接触して支持する支持部材と、前記支持部材を前記搬送方向と交差する方向へスライド可能なガイド部と、前記支持部材のスライドを規制及び規制解除可能なクランプ部と、を有する、請求項１に記載の枠受けユニット。
3. 前記マスクサポート部は、一対の前記支持部材を少なくとも有し、前記搬送部の両脇に該支持部材がそれぞれ前記クランプ部により固定される、請求項２に記載の枠受けユニット。
4. 前記マスクサポート部は、前記スクリーンマスクに接触して支持する支持面に負圧を供給して該スクリーンマスクを吸着する吸着孔が形成されている、請求項１～３のいずれか１項に記載の枠受けユニット。
5. 請求項１～４のいずれか１項に記載の枠受けユニットと、
   前記枠受けユニットに固定された前記スクリーンマスクに前記処理対象物を当接離間可能であり前記処理対象物を所定の搬送方向に沿って搬送及び固定する搬送部と、
   前記スキージを上下動可能に配設した印刷ヘッドと、
   前記印刷ヘッドを所定の印刷方向に沿って移動して前記スクリーンマスクの上面に載せられた粘性流体を前記スキージを使って処理対象物上に印刷するヘッド移動部と、
   を備えた印刷装置。
6. 請求項５に記載の印刷装置であって、
   前記処理対象物が前記搬送部に搬送されている搬送状態、前記処理対象物が前記スクリーンマスクに当接していない版離れ状態、及び前記処理対象物を前記スクリーンマスクに当接させる版合わせ状態のうちいずれかの状態で前記スクリーンマスクに前記スキージを当接させるよう前記印刷ヘッドを制御する制御部、を備えた印刷装置。
7. 前記制御部は、前記処理対象物が前記スクリーンマスクに当接していない状態において前記スクリーンマスク上で前記スキージを用いて所定作業を実行させる、請求項６に記載の印刷装置。