JP7739145B2 - 加工薄ガラスの製造方法、粘着性フィルムおよび薄ガラス付き粘着性フィルム - Google Patents
加工薄ガラスの製造方法、粘着性フィルムおよび薄ガラス付き粘着性フィルムInfo
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Description
本発明は、加工薄ガラスの製造方法、粘着性フィルムおよび薄ガラス付き粘着性フィルムに関する。
スマートフォンやタブレットのカバーガラスとして、特に折り曲げ可能なフレキシブルディスプレイが注目されている。フレキシブルディスプレイ材料としては、特に極薄ガラス基板(薄ガラス)が、酸素透過性の低さや透明性において透明ポリイミドなどの有機材料に比べ、利点が大きく注目されている。
特許文献１には、厚さ１０～１５０μｍの薄ガラス基板を、基材層の少なくとも一方の側に真空蒸着温度より高い温度で膨張及び／又は発泡を開始する熱膨張性微小球を含有する熱剥離型粘着剤層を有する両面粘着テープを介して支持板に仮固定し、薄ガラス基板上に電極を形成する有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法が開示されている。
しかしながら、特許文献１において有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法で示されているように、上記のように薄ガラス基板は非常に脆いため、薄ガラス基板単体で搬送を行うと、搬送中に薄ガラス基板に「割れ」や「欠け」が発生して歩留まりが低下することがあった。
しかしながら、特許文献１において有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法で示されているように、上記のように薄ガラス基板は非常に脆いため、薄ガラス基板単体で搬送を行うと、搬送中に薄ガラス基板に「割れ」や「欠け」が発生して歩留まりが低下することがあった。
また、近年では該薄ガラス基板上に、割れ防止用のポリマー層の形成や、スマートフォン本体との接着性や他部品との接着性を付与するための機能層を形成する塗布やインクジェット加工が実施される事が増えてきている。しかしながら、このような工程においても、上述した薄ガラス基板単体で搬送を行うと、搬送中に薄ガラス基板に「割れ」や「欠け」が発生して歩留まりが低下する問題があった。
さらに、支持体上に、熱膨張性微小球を粘着層に含む自己剥離テープを介して薄ガラスを固定する場合、十分な熱剥離性を発現させるために、発泡球の大きさは粘着剤層の総厚に対して一定の比率が必要である。一方で、自己剥離テープは多少の厚みムラや硬さムラ、ウネリを有しているため、支持体と薄ガラスの間に空壁が発生し、均一に仮固定出来ない問題があった。さらに、空壁が存在することにより、塗工やインクジェット工程後のウェット洗浄時に、洗浄液がこの空壁に入りこみ薄ガラスが汚染されるという問題が有った。
すなわち、本発明は、両面テープを用いて支持体に薄ガラスを仮固定し、当該薄ガラスを加工や搬送するにあたり、支持体と薄ガラスとの間の空壁の発生を抑制し、薄ガラスを均一に仮固定することを目的とする。さらに、本発明は、薄ガラスにインクジェット加工や塗布などで機能層を形成する場合において、薄ガラスの汚染を防止すること、を目的とする。
本発明者らは鋭意検討の結果、熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層と基材層との間に中間層を設けた粘着性フィルムを用いることにより前記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、以下に示すことができる。
すなわち、本発明は、以下に示すことができる。
［１］ 基材層と、
前記基材層の第１面側に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、
前記基材層の第２面側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）と前記基材層との間および前記粘着性樹脂層（Ｂ）と前記基材層との間の少なくとも一方の間に設けられた中間層（Ｃ）と、を備え、
粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の少なくとも一方に熱膨張性微小球を含む粘着性フィルムを準備する工程と、
支持体上に、粘着性樹脂層（Ｂ）を介して前記粘着性フィルムを貼り付ける工程と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）の表面に薄ガラスを仮固定する工程と、
前記薄ガラスを加工する工程と、
を含む、加工薄ガラスの製造方法。
［２］ 前記粘着性フィルムを準備する前記工程は、
前記熱膨張性微小球を含む前記粘着性樹脂層と前記基材層との間に前記中間層（Ｃ）を備える粘着性フィルムを準備する工程である、［１］に記載の加工薄ガラスの製造方法。
［３］ 前記中間層（Ｃ）が、熱または／および光で架橋可能である［１］または［２］に記載の製造方法。
［４］ 前記薄ガラスの厚さが１μｍ～２００μｍである、［１］ないし［３］いずれかに記載の製造方法。
［５］ 前記薄ガラスを加工する前記工程が、前記薄ガラス上へのインクジェット加工、グラビア印刷、スクリーン印刷、スプレー塗布、ディスペンサ塗布、エアスプレー、静電塗装、ロールコーティング、はけ塗り、ローラーブラシ塗り、および浸漬塗装から選ばれる、［１］ないし［４］いずれかに記載の製造方法。
［６］ 前記熱膨張性微小球は、ガス化して膨張する物質を殻内に内包させた微小球を含む、［１］ないし［５］いずれかに記載の製造方法。
［７］ 薄ガラスを仮固定し、当該薄ガラスを加工する際に用いられる粘着性フィルムであって、
基材層と、
前記基材層の第１面側に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、
前記基材層の第２面側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）と前記基材層との間および前記粘着性樹脂層（Ｂ）と前記基材層との間の少なくとも一方の間に設けられた中間層（Ｃ）と、を備え、
粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の少なくとも一方に熱膨張性微小球を含む、粘着性フィルム。
［８］ 前記熱膨張性微小球を含む前記粘着性樹脂層と前記基材層との間に前記中間層（Ｃ）を備える、［７］に記載の粘着性フィルム。
［９］ 前記中間層（Ｃ）が、熱または／および光で架橋可能である、［７］または［８］に記載の粘着性フィルム。
［１０］ 前記薄ガラスの厚さが１μｍ～２００μｍである、［７］ないし［９］いずれかに記載の粘着性フィルム。
［１１］ 前記熱膨張性微小球は、ガス化して膨張する物質を殻内に内包させた微小球を含む、［７］ないし［１０］いずれかに記載の粘着性フィルム。
［１２］ 粘着性フィルム上に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラスを備える薄ガラス付き粘着性フィルムであって、
前記粘着性フィルムが、
基材層と、
前記基材層の第１面側に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、
前記基材層の第２面側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）と前記基材層との間および前記粘着性樹脂層（Ｂ）と前記基材層との間の少なくとも一方の間に設けられた中間層（Ｃ）と、を備え、
粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の少なくとも一方に熱膨張性微小球を含み、
粘着性樹脂層（Ａ）の表面に前記薄ガラスが仮固定されている、薄ガラス付き粘着性フィルム。
［１３］ 前記熱膨張性微小球を含む前記粘着性樹脂層と前記基材層との間に前記中間層（Ｃ）を備える、［１２］に記載の薄ガラス付き粘着性フィルム。
前記基材層の第１面側に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、
前記基材層の第２面側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）と前記基材層との間および前記粘着性樹脂層（Ｂ）と前記基材層との間の少なくとも一方の間に設けられた中間層（Ｃ）と、を備え、
粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の少なくとも一方に熱膨張性微小球を含む粘着性フィルムを準備する工程と、
支持体上に、粘着性樹脂層（Ｂ）を介して前記粘着性フィルムを貼り付ける工程と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）の表面に薄ガラスを仮固定する工程と、
前記薄ガラスを加工する工程と、
を含む、加工薄ガラスの製造方法。
［２］ 前記粘着性フィルムを準備する前記工程は、
前記熱膨張性微小球を含む前記粘着性樹脂層と前記基材層との間に前記中間層（Ｃ）を備える粘着性フィルムを準備する工程である、［１］に記載の加工薄ガラスの製造方法。
［３］ 前記中間層（Ｃ）が、熱または／および光で架橋可能である［１］または［２］に記載の製造方法。
［４］ 前記薄ガラスの厚さが１μｍ～２００μｍである、［１］ないし［３］いずれかに記載の製造方法。
［５］ 前記薄ガラスを加工する前記工程が、前記薄ガラス上へのインクジェット加工、グラビア印刷、スクリーン印刷、スプレー塗布、ディスペンサ塗布、エアスプレー、静電塗装、ロールコーティング、はけ塗り、ローラーブラシ塗り、および浸漬塗装から選ばれる、［１］ないし［４］いずれかに記載の製造方法。
［６］ 前記熱膨張性微小球は、ガス化して膨張する物質を殻内に内包させた微小球を含む、［１］ないし［５］いずれかに記載の製造方法。
［７］ 薄ガラスを仮固定し、当該薄ガラスを加工する際に用いられる粘着性フィルムであって、
基材層と、
前記基材層の第１面側に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、
前記基材層の第２面側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）と前記基材層との間および前記粘着性樹脂層（Ｂ）と前記基材層との間の少なくとも一方の間に設けられた中間層（Ｃ）と、を備え、
粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の少なくとも一方に熱膨張性微小球を含む、粘着性フィルム。
［８］ 前記熱膨張性微小球を含む前記粘着性樹脂層と前記基材層との間に前記中間層（Ｃ）を備える、［７］に記載の粘着性フィルム。
［９］ 前記中間層（Ｃ）が、熱または／および光で架橋可能である、［７］または［８］に記載の粘着性フィルム。
［１０］ 前記薄ガラスの厚さが１μｍ～２００μｍである、［７］ないし［９］いずれかに記載の粘着性フィルム。
［１１］ 前記熱膨張性微小球は、ガス化して膨張する物質を殻内に内包させた微小球を含む、［７］ないし［１０］いずれかに記載の粘着性フィルム。
［１２］ 粘着性フィルム上に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラスを備える薄ガラス付き粘着性フィルムであって、
前記粘着性フィルムが、
基材層と、
前記基材層の第１面側に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、
前記基材層の第２面側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）と前記基材層との間および前記粘着性樹脂層（Ｂ）と前記基材層との間の少なくとも一方の間に設けられた中間層（Ｃ）と、を備え、
粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の少なくとも一方に熱膨張性微小球を含み、
粘着性樹脂層（Ａ）の表面に前記薄ガラスが仮固定されている、薄ガラス付き粘着性フィルム。
［１３］ 前記熱膨張性微小球を含む前記粘着性樹脂層と前記基材層との間に前記中間層（Ｃ）を備える、［１２］に記載の薄ガラス付き粘着性フィルム。
本発明の加工薄ガラスの製造方法によれば、熱膨張性微小球を含む粘着性樹脂層と基材層とを備える粘着性フィルムにおいて、中間層を設けることにより、支持体と薄ガラスとの間の空壁の発生を抑制することができることから、当該薄ガラスを加工する際に支持体に薄ガラスを均一に仮固定することができ、さらに、加工薄ガラスの汚染を防止することができる。
以下、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。
すべての図面において、同様な構成要素には共通の符号を付し、適宜説明を省略する。また、図は概略図であり、実際の寸法比率とは必ずしも一致しない。
明細書中、数値範囲に関する「Ａ～Ｂ」との記載は、特に断りがなければ、Ａ以上Ｂ以下を表す。例えば、１～５％とは１％以上５％以下を表す。
明細書中、「（メタ）アクリル」とは、アクリル、メタクリルまたはアクリルおよびメタクリルの両方を意味する。
すべての図面において、同様な構成要素には共通の符号を付し、適宜説明を省略する。また、図は概略図であり、実際の寸法比率とは必ずしも一致しない。
明細書中、数値範囲に関する「Ａ～Ｂ」との記載は、特に断りがなければ、Ａ以上Ｂ以下を表す。例えば、１～５％とは１％以上５％以下を表す。
明細書中、「（メタ）アクリル」とは、アクリル、メタクリルまたはアクリルおよびメタクリルの両方を意味する。
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法は、基材層と、前記基材層の第１面側に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、前記基材層の第２面側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、前記粘着性樹脂層（Ａ）と前記基材層との間および前記粘着性樹脂層（Ｂ）と前記基材層との間の少なくとも一方の間に設けられた中間層（Ｃ）と、を備え、粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の少なくとも一方に熱膨張性微小球を含む粘着性フィルムを準備する工程と、
支持体上に、粘着性樹脂層（Ｂ）を介して前記粘着性フィルムを貼り付ける工程と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）の表面に薄ガラスを仮固定する工程と、
前記薄ガラスを加工する工程と、を含む。
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法によれば、支持体と薄ガラスとの間の空壁の発生を抑制することができることから、当該薄ガラスを加工する際に薄ガラスを支持体に均一に仮固定することができ薄ガラスの加工性に優れ、さらに、薄ガラスの汚染を防止することができる。
支持体上に、粘着性樹脂層（Ｂ）を介して前記粘着性フィルムを貼り付ける工程と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）の表面に薄ガラスを仮固定する工程と、
前記薄ガラスを加工する工程と、を含む。
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法によれば、支持体と薄ガラスとの間の空壁の発生を抑制することができることから、当該薄ガラスを加工する際に薄ガラスを支持体に均一に仮固定することができ薄ガラスの加工性に優れ、さらに、薄ガラスの汚染を防止することができる。
以下、本実施形態の加工薄ガラスの製造方法を、第１～第４実施形態により説明する。
［第１実施形態］
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法は、図１（ａ）～（ｃ）に示すように以下の工程を含む。
工程ａ：基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１４と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備える粘着性フィルム１０を準備する（図１（ａ））。
工程ｂ：支持体２０上に、粘着性樹脂層１６を介して粘着性フィルム１０を貼り付ける（図１（ａ））。
工程ｃ：粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラス３０を仮固定する（図１（ｂ））。
工程ｄ：薄ガラス３０を加工する（図１（ｃ））。
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法は、図１（ａ）～（ｃ）に示すように以下の工程を含む。
工程ａ：基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１４と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備える粘着性フィルム１０を準備する（図１（ａ））。
工程ｂ：支持体２０上に、粘着性樹脂層１６を介して粘着性フィルム１０を貼り付ける（図１（ａ））。
工程ｃ：粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラス３０を仮固定する（図１（ｂ））。
工程ｄ：薄ガラス３０を加工する（図１（ｃ））。
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法によれば、粘着性樹脂層１４と薄ガラス３０との間の空壁の発生を抑制することができることから、当該薄ガラスを加工する際に薄ガラスを支持体１２に均一に仮固定することができ、さらに、加工薄ガラスの汚染を防止することができる。
またさらに、中間層１８が存在することで、薄ガラス３０を層１４表面に均一に貼り付けることができ、薄ガラス３０を支持体２０に対して位置決めできることから、薄ガラス３０の加工性に優れる。さらに薄ガラス３０が層１４表面に貼り付けられており後工程において加工薄ガラスをストレスフリーではく離することができる。
またさらに、中間層１８が存在することで、薄ガラス３０を層１４表面に均一に貼り付けることができ、薄ガラス３０を支持体２０に対して位置決めできることから、薄ガラス３０の加工性に優れる。さらに薄ガラス３０が層１４表面に貼り付けられており後工程において加工薄ガラスをストレスフリーではく離することができる。
（工程ａ）
当該工程においては、図１（ａ）に示されるような積層構造を備える粘着性フィルム１０を準備する。本実施形態において、粘着性フィルム１０は、仮固定された薄ガラスを加工するために用いられる。
当該工程においては、図１（ａ）に示されるような積層構造を備える粘着性フィルム１０を準備する。本実施形態において、粘着性フィルム１０は、仮固定された薄ガラスを加工するために用いられる。
（基材層１２）
粘着性フィルム１０を構成する基材層１２は、粘着性フィルム１０の取り扱い性や機械的特性、耐熱性等の特性をより良好にすることを目的として設けられる層である。
基材層１２は特に限定されないが、例えば、樹脂フィルムが挙げられる。
粘着性フィルム１０を構成する基材層１２は、粘着性フィルム１０の取り扱い性や機械的特性、耐熱性等の特性をより良好にすることを目的として設けられる層である。
基材層１２は特に限定されないが、例えば、樹脂フィルムが挙げられる。
樹脂フィルムを構成する樹脂としては、公知の熱可塑性樹脂を挙げることができる。例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ（４－メチル－１－ペンテン）、ポリ（１－ブテン）等のポリオレフィン；ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル；ナイロン－６、ナイロン－６６、ポリメタキシレンアジパミド等のポリアミド；ポリアクリレート；ポリメタアクリレート；ポリ塩化ビニル；ポリ塩化ビニリデン；ポリイミド；ポリエーテルイミド；エチレン・酢酸ビニル共重合体；ポリアクリロニトリル；ポリカーボネート；ポリスチレン；アイオノマー；ポリスルホン；ポリエーテルスルホン；ポリフェニレンエーテル等から選択される一種または二種以上を挙げることができる。
これらの中でも、透明性や機械的強度、価格等のバランスに優れる観点から、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリアミド、ポリイミドから選択される一種または二種以上が好ましく、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートから選択される少なくとも一種がより好ましい。
基材層１２は、単層であっても、二種以上の層であってもよい。
また、基材層１２を形成するために使用する樹脂フィルムの形態としては、延伸フィルムであってもよいし、一軸方向または二軸方向に延伸したフィルムであってもよいが、基材層１２の機械的強度を向上させる観点から、一軸方向または二軸方向に延伸したフィルムであることが好ましい。
また、基材層１２を形成するために使用する樹脂フィルムの形態としては、延伸フィルムであってもよいし、一軸方向または二軸方向に延伸したフィルムであってもよいが、基材層１２の機械的強度を向上させる観点から、一軸方向または二軸方向に延伸したフィルムであることが好ましい。
基材層１２の厚さは、良好なフィルム特性を得る観点から、好ましくは１μｍ以上５００μｍ以下、より好ましくは５μｍ以上３００μｍ以下、さらに好ましくは１０μｍ以上２５０μｍ以下である。
基材層１２は、他の層との接着性を改良するために、表面処理を行ってもよい。具体的には、コロナ処理、プラズマ処理、アンダーコート処理、プライマーコート処理等を行ってもよい。
基材層１２は、他の層との接着性を改良するために、表面処理を行ってもよい。具体的には、コロナ処理、プラズマ処理、アンダーコート処理、プライマーコート処理等を行ってもよい。
（粘着性樹脂層１４）
本実施形態に係る粘着性フィルム１０は、基材層１２の第１面１２ａ側に粘着性樹脂層１４を備える。粘着性樹脂層１４は、例えば、薄ガラスの加工工程において薄ガラス３０の表面に接触して薄ガラス３０を仮固定するための層である。
粘着性樹脂層１４は、熱膨張性微小球ａを含んでおり、加熱剥離型の粘着性樹脂層である。これにより、加熱により粘着性フィルム１０から薄ガラス３０を容易に剥離することができる。
本実施形態に係る粘着性フィルム１０は、基材層１２の第１面１２ａ側に粘着性樹脂層１４を備える。粘着性樹脂層１４は、例えば、薄ガラスの加工工程において薄ガラス３０の表面に接触して薄ガラス３０を仮固定するための層である。
粘着性樹脂層１４は、熱膨張性微小球ａを含んでおり、加熱剥離型の粘着性樹脂層である。これにより、加熱により粘着性フィルム１０から薄ガラス３０を容易に剥離することができる。
熱膨張性微小球ａとしては、例えば、マイクロカプセル化されている発泡剤を用いることができる。このような熱膨張性の微小球としては、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタン等の加熱により容易にガス化して膨張する物質を、弾性を有する殻内に内包させた微小球等が挙げられる。上記殻を構成する材料として、例えば、塩化ビニリデン－アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホン等が挙げられる。熱膨張性の微小球は、例えば、コアセルベーション法や、界面重合法等により製造することができる。
熱膨張性微小球ａの含有量は、粘着性樹脂層１４の膨張倍率や粘着力の低下性等に応じて適宜設定することができ、特に限定されないが、例えば、粘着性樹脂層１４中の粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対して、例えば１質量部以上１５０質量部以下、好ましくは１０質量部以上１３０質量部以下、さらに好ましくは１２質量部以上１００質量部以下である。
気体が発生する温度や熱膨張性の微小球が熱膨張する温度が、１５０℃超または１７０℃超を超える温度になるように設計することが好ましい。
気体が発生する温度や熱膨張性の微小球が熱膨張する温度が、１５０℃超または１７０℃超を超える温度になるように設計することが好ましい。
粘着性樹脂層１４を構成する粘着性樹脂（Ａ１）としては、例えば、（メタ）アクリル系樹脂（ａ）、ウレタン系樹脂、シリコーン系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、フッ素系樹脂、スチレン－ジエンブロック共重合体系樹脂等を挙げることができる。これらの中でも（メタ）アクリル系樹脂（ａ）が好ましい。
粘着性樹脂層１４に使用される（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ａ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー単位（ａ２）を含む共重合体が挙げられる。
本実施形態において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとは、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル、またはこれらの混合物を意味する。
本実施形態において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとは、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル、またはこれらの混合物を意味する。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）は、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー（ａ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ａ２）を含むモノマー混合物を共重合することにより得ることができる。
（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ａ１）を形成するモノマー（ａ１）としては、炭素数１～１２程度のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。好ましくは炭素数１～８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルである。具体的には、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸－２－エチルヘキシル、メタクリル酸－２－エチルヘキシル等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ａ１）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１０質量％以上９８．９質量％以下であることが好ましく、５０質量％以上９７質量％以下であることがより好ましく、８５質量％以上９５質量％以下であることがさらに好ましい。
架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ａ２）を形成するモノマー（ａ２）としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、メサコン酸、シトラコン酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸モノアルキルエステル、メサコン酸モノアルキルエステル、シトラコン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステル、マレイン酸モノアルキルエステル、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド、ターシャル－ブチルアミノエチルアクリレート、ターシャル－ブチルアミノエチルメタクリレート等が挙げられる。好ましくは、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド等である。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、モノマー単位（ａ２）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１質量％以上４０質量％以下であることが好ましく、１質量％以上２０質量％以下であることがより好ましく、１質量％以上１０質量％以下であることがさらに好ましい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、モノマー単位（ａ２）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１質量％以上４０質量％以下であることが好ましく、１質量％以上２０質量％以下であることがより好ましく、１質量％以上１０質量％以下であることがさらに好ましい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）は、モノマー単位（ａ１）、モノマー単位（ａ２）以外に、２官能性モノマー単位（ａ３）や界面活性剤としての性質を有する特定のコモノマー（以下、重合性界面活性剤と称する）単位をさらに含んでもよい。
重合性界面活性剤は、モノマー（ａ１）、モノマー（ａ２）およびモノマー（ａ３）と共重合する性質を有すると共に、乳化重合する場合には乳化剤としての作用を有する。
重合性界面活性剤は、モノマー（ａ１）、モノマー（ａ２）およびモノマー（ａ３）と共重合する性質を有すると共に、乳化重合する場合には乳化剤としての作用を有する。
２官能性モノマー単位（ａ３）を形成するモノマー（ａ３）としては、メタクリル酸アリル、アクリル酸アリル、ジビニルベンゼン、メタクリル酸ビニル、アクリル酸ビニル、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレートや、例えば、両末端がジアクリレートまたはジメタクリレートで主鎖の構造がプロピレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製；商品名：ＰＤＰ－２００、同ＰＤＰ－４００、同ＡＤＰ－２００、同ＡＤＰ－４００）、テトラメチレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製；商品名：ＡＤＴ－２５０、同ＡＤＴ－８５０）およびこれらの混合型（例えば、日本油脂（株）製；商品名：ＡＤＥＴ－１８００、同ＡＤＰＴ－４０００）であるもの等が挙げられる。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、モノマー単位（ａ３）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下であることがさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下であることが特に好ましい。
重合性界面活性剤の例としては、例えば、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルのベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＲＮ－１０、同ＲＮ－２０、同ＲＮ－３０、同ＲＮ－５０等）、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルの硫酸エステルのアンモニウム塩のベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＨＳ－１０、同ＨＳ－２０、同ＨＳ－１０２５等）、および分子内に重合性二重結合を持つ、スルホコハク酸ジエステル系（花王（株）製；商品名：ラテムルＳ－１２０Ａ、同Ｓ－１８０Ａ等）等が挙げられる。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）において、重合性界面活性剤の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下であることが好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下であることがより好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下であることがさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下であることが特に好ましい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）は、さらに必要に応じて、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の重合性２重結合を有するモノマーにより形成されたモノマー単位をさらに含有してもよい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）の重合反応機構としては、ラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合等が挙げられる。（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ａ）の製造コスト、モノマーの官能基の影響および電子部品表面へのイオンの影響等を考慮すればラジカル重合によって重合することが好ましい。
ラジカル重合反応によって重合する際、ラジカル重合開始剤として、ベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、３，３，５－トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、ジ－２－エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキシフタレート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ジ－ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－ヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－３，５，５－トリメチルヘキサノエート、アセチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキサイド、ジ－ｔ－アミルパーオキサイド等の有機過酸化物；過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物；２，２'－アゾ
ビスイソブチロニトリル、２，２'－アゾビス－２－メチルブチロニトリル、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等のアゾ化合物が挙げられる。
ラジカル重合反応によって重合する際、ラジカル重合開始剤として、ベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、３，３，５－トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、ジ－２－エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキシフタレート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ジ－ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－ヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－３，５，５－トリメチルヘキサノエート、アセチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキサイド、ジ－ｔ－アミルパーオキサイド等の有機過酸化物；過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物；２，２'－アゾ
ビスイソブチロニトリル、２，２'－アゾビス－２－メチルブチロニトリル、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等のアゾ化合物が挙げられる。
乳化重合法により重合する場合には、これらのラジカル重合開始剤の中で、水溶性の過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物、同じく水溶性の４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル基を持
ったアゾ化合物が好ましい。電子部品表面へのイオンの影響を考慮すれば、過硫酸アンモニウム、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル
基を有するアゾ化合物がさらに好ましく、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックア
シッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物が特に好ましい。
ったアゾ化合物が好ましい。電子部品表面へのイオンの影響を考慮すれば、過硫酸アンモニウム、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル
基を有するアゾ化合物がさらに好ましく、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックア
シッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物が特に好ましい。
本実施形態に係る粘着性樹脂層１４は、粘着性樹脂（Ａ１）に加えて、架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ａ２）をさらに含むことが好ましい。
架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ａ２）は、粘着性樹脂（Ａ１）が有する官能基と反応させ、粘着力および凝集力を調整するために用いる。
このような架橋剤（Ａ２）としては、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、レソルシンジグリシジルエーテル等のエポキシ系化合物；テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパンのトルエンジイソシアネート３付加物、ポリイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のイソシアネート系化合物；トリメチロールプロパン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ'－ジフェニルメタン－４，４'－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－ヘキサメチレン－１，６－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－トルエン－２，４－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン－トリ－β－（２－メチルアジリジン）プロピオネート等のアジリジン系化合物；Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ'－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等の４官能性エポキシ系化合物；ヘキサメトキシメチロールメラミン等のメラミン系化合物等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
これらの中でも、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物およびアジリジン系化合物から選択される一種または二種以上を含むことが好ましい。
架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ａ２）は、粘着性樹脂（Ａ１）が有する官能基と反応させ、粘着力および凝集力を調整するために用いる。
このような架橋剤（Ａ２）としては、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、レソルシンジグリシジルエーテル等のエポキシ系化合物；テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパンのトルエンジイソシアネート３付加物、ポリイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のイソシアネート系化合物；トリメチロールプロパン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ'－ジフェニルメタン－４，４'－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－ヘキサメチレン－１，６－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－トルエン－２，４－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン－トリ－β－（２－メチルアジリジン）プロピオネート等のアジリジン系化合物；Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ'－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等の４官能性エポキシ系化合物；ヘキサメトキシメチロールメラミン等のメラミン系化合物等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
これらの中でも、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物およびアジリジン系化合物から選択される一種または二種以上を含むことが好ましい。
架橋剤（Ａ２）の含有量は、通常、架橋剤（Ａ２）中の官能基数が粘着性樹脂（Ａ１）中の官能基数よりも多くならない程度の範囲が好ましい。しかし、架橋反応で新たに官能基が生じる場合や、架橋反応が遅い場合等、必要に応じて過剰に含有してもよい。
粘着性樹脂層１４中の架橋剤（Ａ２）の含有量は、粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対し、０．１質量部以上１０質量部以下であることが好ましく、０．５質量部以上５質量部以下であることがより好ましい。
粘着性樹脂層１４中の架橋剤（Ａ２）の含有量は、粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対し、０．１質量部以上１０質量部以下であることが好ましく、０．５質量部以上５質量部以下であることがより好ましい。
本実施形態に係る粘着性樹脂層１４は、支持基板への密着性を向上させる観点から、粘着性樹脂（Ａ１）に加えて、粘着付与樹脂を含むことが好ましい。粘着性樹脂層１４に粘着付与樹脂を含有させることが、常温付近における支持基板との密着性の調整が容易となるために好ましい。粘着付与樹脂としては、その軟化点が１００℃以上であるものが好ましい。粘着付与樹脂の具体例としては、エステル化等の処理をしたロジン系誘導体等のロジン系樹脂；α－ピネン系、β－ピネン系、ジペンテン系、テルペンフェノール系等のテルペン系樹脂；ガム系、ウッド系、トール油系等の天然系ロジン；これらの天然系ロジンに水素化、不均化、重合、マレイン化、石油樹脂；クマロン－インデン樹脂等を挙げることができる。
これらのなかでも、軟化点が１００～１６０℃の範囲内であるものがより好ましく、１２０～１５０℃の範囲であるものが特に好ましい。軟化点が上記範囲内である粘着付与樹脂を用いると、支持基板への汚染、糊残りが少ないばかりでなく、作業環境下における支持基板との密着性をさらに向上させることが可能となる。さらに、粘着付与樹脂として重合ロジンエステル系の粘着付与樹脂を用いると、支持基板への汚染、糊残りが少ないばかりか、８０～１３０℃の環境下での支持基板との粘着性が向上するとともに、熱膨張性の微小球を含む加熱膨張型粘着剤の場合には、熱膨張性微小球の膨張後は、支持基板からさらに容易に剥離可能となる。
粘着付与樹脂の配合割合は、粘着性樹脂層１４の弾性率を所望とする所定の数値範囲内に調整することができるように適宜選択すればよく、特に制限はない。ただし、粘着性樹脂層１４の弾性率と初期剥離力の面から、粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対して、１～１００質量部とすることが好ましい。粘着付与樹脂の配合割合が、粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対して、上記下限値以上であると、作業時の支持基板との密着性が良好になる傾向にある。一方、上記上限値以下であると、常温における支持基板との貼り付け性が良好になる傾向にある。支持基板との密着性、及び常温における貼り付け性の面から、粘着付与樹脂の配合割合を、粘着性樹脂（Ａ１）１００質量部に対して、２～５０質量部とすることがさらに好ましい。また、粘着付与樹脂の酸価は、３０以下であることが好ましい。粘着付与樹脂の酸価が上記上限値以下であると剥離時に支持基板に糊残りが生じ難くなる傾向にある。
粘着性樹脂層１４は、その他の成分として、可塑剤等の添加剤を含んでもよい。粘着性樹脂層１４中の粘着性樹脂（Ａ１）、架橋剤（Ａ２）および粘着付与樹脂の含有量の合計は粘着性樹脂層１４の全体を１００質量％としたとき、好ましくは５０質量％以上、より好ましくは７０質量％以上、さらに好ましくは９０質量％以上、特に好ましくは９５質量％以上である。さらに粘着性樹脂層１４が加熱膨張型粘着剤により構成されている場合は、粘着性樹脂層１４中の粘着性樹脂（Ａ１）、架橋剤（Ａ２）、粘着付与樹脂、気体発生成分および熱膨張性の微小球の含有量の合計は、粘着性樹脂層１４の全体を１００質量％としたとき、好ましくは５０質量％以上、より好ましくは７０質量％以上、さらに好ましくは９０質量％以上、特に好ましくは９５質量％以上である。
粘着性樹脂層１４は単層であっても多層であってもよい。例えば、加熱による膨張の程度が異なる２層以上を積層して粘着性樹脂層１４とすることで、粘着性樹脂層１４の一方の面と他方の面とで、粘着性／熱剥離性を変えることもできる。
粘着性樹脂層１４の厚さは、例えば、５μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上１５０μｍ以下であることがより好ましい。
粘着性樹脂層１４の厚さは、例えば、５μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上１５０μｍ以下であることがより好ましい。
熱膨張性微小球ａの平均粒子径Ｄ５０は、例えば、１μｍ以上４７μｍ以下であることが好ましく、５μｍ以上２７μｍ以下であることがより好ましい。さらに、熱膨張性微小球ａの粒子径Ｄ９９．９は２０μｍ以上３００μｍ以下であることが好ましく、３０μｍ以上１８０μｍ以下であることがより好ましい。本実施形態においては、熱膨張性微小球ａの平均粒子径Ｄ５０が粘着性樹脂層１４の層厚よりも大きいか、あるいは粒子径Ｄ９９．９が粘着性樹脂層１４の層厚よりも大きい関係にある。
粘着性フィルム１０の両側に、硬度の高い支持体２０と硬度の高い薄ガラス３０を積層する場合においては、熱膨張性微小球ａの粒子径の影響は、薄ガラス３０と粘着性樹脂層１４との間に空壁の発生として現れる。本実施形態における粘着性フィルム１０は、基材層１２と粘着性樹脂層１４の間に中間層１８を備えているため、熱膨張性微小球ａの粒子径が粘着性樹脂層１４の厚さを超える場合であっても、薄ガラス３０と粘着性樹脂層１４との間に空壁の発生を抑制することができることから、薄ガラス３０を加工する際に薄ガラス３０を均一に仮固定することができ、さらに、薄ガラス３０の汚染を防止することができる。
粘着性樹脂層は、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４と、熱膨張性微小球ａを含まない以外は層１４と同様な組成の粘着性樹脂層との複数層から構成されていてもよい。この実施形態において、複数層である粘着性樹脂層全体の厚みＴに対し、熱膨張性微小球ａの平均粒子径Ｄ５０がＴ／２よりも大きいか、あるいは粒子径Ｄ９９．９がＴ／２よりも大きい関係にある場合であっても、中間層１８を設けることにより上述した効果を奏することができる。
熱膨張性微小球ａの平均粒子径は一般的な粒子形状・粒子径分析装置で測定することができ、例えばマイクロトラックＭＴ３０００IIやＦＰＩＡ－３０００、マスターサイザー３０００Ｅなどが挙げられる。
粘着性フィルム１０の両側に、硬度の高い支持体２０と硬度の高い薄ガラス３０を積層する場合においては、熱膨張性微小球ａの粒子径の影響は、薄ガラス３０と粘着性樹脂層１４との間に空壁の発生として現れる。本実施形態における粘着性フィルム１０は、基材層１２と粘着性樹脂層１４の間に中間層１８を備えているため、熱膨張性微小球ａの粒子径が粘着性樹脂層１４の厚さを超える場合であっても、薄ガラス３０と粘着性樹脂層１４との間に空壁の発生を抑制することができることから、薄ガラス３０を加工する際に薄ガラス３０を均一に仮固定することができ、さらに、薄ガラス３０の汚染を防止することができる。
粘着性樹脂層は、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４と、熱膨張性微小球ａを含まない以外は層１４と同様な組成の粘着性樹脂層との複数層から構成されていてもよい。この実施形態において、複数層である粘着性樹脂層全体の厚みＴに対し、熱膨張性微小球ａの平均粒子径Ｄ５０がＴ／２よりも大きいか、あるいは粒子径Ｄ９９．９がＴ／２よりも大きい関係にある場合であっても、中間層１８を設けることにより上述した効果を奏することができる。
熱膨張性微小球ａの平均粒子径は一般的な粒子形状・粒子径分析装置で測定することができ、例えばマイクロトラックＭＴ３０００IIやＦＰＩＡ－３０００、マスターサイザー３０００Ｅなどが挙げられる。
粘着性樹脂層１４は、例えば、中間層１８上に粘着剤塗布液を塗布する方法や、セパレータ上に形成した粘着性樹脂層１４を中間層１８上に移着する方法等により形成することができる。
粘着剤塗布液を塗布する方法としては、従来公知の塗布方法、例えば、ロールコーター法、リバースロールコーター法、グラビアロール法、バーコート法、コンマコーター法、ダイコーター法等が採用できる。塗布された粘着剤の乾燥条件には特に制限はないが、一般的には、８０～２００℃の温度範囲において、１０秒～１０分間乾燥することが好ましい。さらに好ましくは、８０～１７０℃において、１５秒～５分間乾燥する。架橋剤と粘着剤との架橋反応を十分に促進させるために、粘着剤塗布液の乾燥が終了した後、４０～８０℃において５～３００時間程度加熱してもよい。
粘着剤塗布液を塗布する方法としては、従来公知の塗布方法、例えば、ロールコーター法、リバースロールコーター法、グラビアロール法、バーコート法、コンマコーター法、ダイコーター法等が採用できる。塗布された粘着剤の乾燥条件には特に制限はないが、一般的には、８０～２００℃の温度範囲において、１０秒～１０分間乾燥することが好ましい。さらに好ましくは、８０～１７０℃において、１５秒～５分間乾燥する。架橋剤と粘着剤との架橋反応を十分に促進させるために、粘着剤塗布液の乾燥が終了した後、４０～８０℃において５～３００時間程度加熱してもよい。
また、基材層１２と粘着性樹脂層１４とは共押出成形によって形成してもよいし、フィルム状の基材層１２とフィルム状の粘着性樹脂層１４とをラミネート（積層）して形成してもよい。
基材層１２と中間層１８と粘着性樹脂層１４は共押出成形によって形成してもよいし、フィルム状の基材層１２とフィルム状の中間層１８とフィルム状の粘着性樹脂層１４とをラミネート（積層）して形成してもよい。
基材層１２と中間層１８と粘着性樹脂層１４は共押出成形によって形成してもよいし、フィルム状の基材層１２とフィルム状の中間層１８とフィルム状の粘着性樹脂層１４とをラミネート（積層）して形成してもよい。
（粘着性樹脂層１６）
粘着性樹脂層１６は、基材層１２の第１面１２ａとは裏面側の第２面１２ｂ側に設けられる層である。粘着性樹脂層１６は、例えば、薄ガラスの加工工程において、後述する支持体２０の表面に接触して、「薄ガラス付き粘着性フィルム」を仮固定するための層である。
粘着性樹脂層１６は、基材層１２の第１面１２ａとは裏面側の第２面１２ｂ側に設けられる層である。粘着性樹脂層１６は、例えば、薄ガラスの加工工程において、後述する支持体２０の表面に接触して、「薄ガラス付き粘着性フィルム」を仮固定するための層である。
粘着性樹脂層１６は、通常、粘着性樹脂（Ｂ１）を含む。
粘着性樹脂（Ｂ１）としては、例えば、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）、シリコーン系粘着性樹脂、ウレタン系粘着性樹脂、オレフィン系粘着性樹脂、スチレン系粘着性樹脂等が挙げられる。
これらの中でも、粘着力の調整を容易にする観点等から、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）が好ましい。
粘着性樹脂（Ｂ１）としては、例えば、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）、シリコーン系粘着性樹脂、ウレタン系粘着性樹脂、オレフィン系粘着性樹脂、スチレン系粘着性樹脂等が挙げられる。
これらの中でも、粘着力の調整を容易にする観点等から、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）が好ましい。
粘着性樹脂層１６は、放射線により粘着力を低下させることができる放射線架橋型粘着性樹脂層であることもできる。放射線架橋型粘着性樹脂層に放射線を照射すると、架橋して粘着力が著しく減少するため、薄ガラスから粘着性フィルム１０を剥離しやすくなる。放射線としては、紫外線、電子線、赤外線等が挙げられる。
放射線架橋型粘着性樹脂層としては、紫外線架橋型粘着性樹脂層が好ましい。
放射線架橋型粘着性樹脂層としては、紫外線架橋型粘着性樹脂層が好ましい。
粘着性樹脂層１６に使用される（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）としては、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ｂ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー単位（ｂ２）を含む共重合体が挙げられる。
本実施形態において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとは、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル、またはこれらの混合物を意味する。
本実施形態において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルとは、アクリル酸アルキルエステル、メタクリル酸アルキルエステル、またはこれらの混合物を意味する。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）は、例えば、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー（ｂ１）および架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ｂ２）を含むモノマー混合物を共重合することにより得ることができる。
（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ｂ１）を形成するモノマー（ｂ１）としては、炭素数１～１２程度のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルが挙げられる。好ましくは炭素数１～８のアルキル基を有する（メタ）アクリル酸アルキルエステルである。具体的には、アクリル酸メチル、メタクリル酸メチル、アクリル酸エチル、メタクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸ブチル、アクリル酸－２－エチルヘキシル、メタクリル酸－２－エチルヘキシル等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、（メタ）アクリル酸アルキルエステルモノマー単位（ｂ１）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１０質量％以上９８．９質量％以下であることが好ましく、５０質量％以上９７質量％以下であることがより好ましく、８５質量％以上９５質量％以下であることがさらに好ましい。
架橋剤と反応し得る官能基を有するモノマー（ｂ２）を形成するモノマー（ｂ２）としては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、メサコン酸、シトラコン酸、フマル酸、マレイン酸、イタコン酸モノアルキルエステル、メサコン酸モノアルキルエステル、シトラコン酸モノアルキルエステル、フマル酸モノアルキルエステル、マレイン酸モノアルキルエステル、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド、ターシャル－ブチルアミノエチルアクリレート、ターシャル－ブチルアミノエチルメタクリレート等が挙げられる。好ましくは、アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸－２－ヒドロキシエチル、メタクリル酸－２－ヒドロキシエチル、アクリルアミド、メタクリルアミド等である。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を使用してもよい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、モノマー単位（ｂ２）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１質量％以上４０質量％以下が好ましく、１質量％以上２０質量％以下がより好ましく、１質量％以上１０質量％以下がさらに好ましい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、モノマー単位（ｂ２）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、１質量％以上４０質量％以下が好ましく、１質量％以上２０質量％以下がより好ましく、１質量％以上１０質量％以下がさらに好ましい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）は、モノマー単位（ｂ１）、モノマー単位（ｂ２）以外に、２官能性モノマー単位（ｂ３）や界面活性剤としての性質を有する特定のコモノマー（以下、重合性界面活性剤と称する）単位をさらに含んでもよい。
重合性界面活性剤は、モノマー（ｂ１）、モノマー（ｂ２）およびモノマー（ｂ３）と共重合する性質を有すると共に、乳化重合する場合には乳化剤としての作用を有する。
重合性界面活性剤は、モノマー（ｂ１）、モノマー（ｂ２）およびモノマー（ｂ３）と共重合する性質を有すると共に、乳化重合する場合には乳化剤としての作用を有する。
２官能性モノマー単位（ｂ３）を形成するモノマー（ｂ３）としては、メタクリル酸アリル、アクリル酸アリル、ジビニルベンゼン、メタクリル酸ビニル、アクリル酸ビニル、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレートや、例えば、両末端がジアクリレートまたはジメタクリレートで主鎖の構造がプロピレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製、商品名；ＰＤＰ－２００、同ＰＤＰ－４００、同ＡＤＰ－２００、同ＡＤＰ－４００）、テトラメチレングリコール型（例えば、日本油脂（株）製、商品名；ＡＤＴ－２５０、同ＡＤＴ－８５０）およびこれらの混合型（例えば、日本油脂（株）製、商品名：ＡＤＥＴ－１８００、同ＡＤＰＴ－４０００）であるもの等が挙げられる。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、モノマー単位（ｂ３）の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下が好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下がより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下がさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下が特に好ましい。
重合性界面活性剤の例としては、例えば、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルのベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＲＮ－１０、同ＲＮ－２０、同ＲＮ－３０、同ＲＮ－５０等）、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテルの硫酸エステルのアンモニウム塩のベンゼン環に重合性の１－プロペニル基を導入したもの（第一工業製薬（株）製；商品名：アクアロンＨＳ－１０、同ＨＳ－２０、同ＨＳ－１０２５等）、および分子内に重合性二重結合を持つ、スルホコハク酸ジエステル系（花王（株）製；商品名：ラテムルＳ－１２０Ａ、同Ｓ－１８０Ａ等）等が挙げられる。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、重合性界面活性剤の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下が好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下がより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下がさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下が特に好ましい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）において、重合性界面活性剤の含有量は、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）中の全モノマー単位の合計を１００質量％としたとき、０．１質量％以上３０質量％以下が好ましく、０．１質量％以上１５質量％以下がより好ましく、０．１質量％以上２０質量％以下がさらに好ましく、０．１質量％以上５質量％以下が特に好ましい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）は、さらに必要に応じて、酢酸ビニル、アクリロニトリル、スチレン等の重合性二重結合を有するモノマーにより形成されたモノマー単位をさらに含有してもよい。
本実施形態に係る（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）の重合反応機構としては、ラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合等が挙げられる。（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）の製造コスト、モノマーの官能基の影響および電子部品表面へのイオンの影響等を考慮すればラジカル重合によって重合することが好ましい。
ラジカル重合反応によって重合する際、ラジカル重合開始剤として、ベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、３，３，５－トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、ジ－２－エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキシフタレート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ジ－ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－ヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－３，５，５－トリメチルヘキサノエート、アセチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキサイド、ジ－ｔ－アミルパーオキサイド等の有機過酸化物；過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物；２，２'－アゾ
ビスイソブチロニトリル、２，２'－アゾビス－２－メチルブチロニトリル、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等のアゾ化合物が挙げられる。
ラジカル重合反応によって重合する際、ラジカル重合開始剤として、ベンゾイルパーオキサイド、ジ－ｔ－ブチルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、３，３，５－トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、ジ－２－エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、メチルエチルケトンパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキシフタレート、ｔ－ブチルパーオキシベンゾエート、ジ－ｔ－ブチルパーオキシアセテート、ｔ－ブチルパーオキシイソブチレート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－ヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－２－エチルヘキサノエート、ｔ－ブチルパーオキシ－３，５，５－トリメチルヘキサノエート、アセチルパーオキサイド、イソブチリルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ｔ－ブチルパーオキサイド、ジ－ｔ－アミルパーオキサイド等の有機過酸化物；過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物；２，２'－アゾ
ビスイソブチロニトリル、２，２'－アゾビス－２－メチルブチロニトリル、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等のアゾ化合物が挙げられる。
乳化重合法により重合する場合には、これらのラジカル重合開始剤の中で、水溶性の過硫酸アンモニウム、過硫酸カリウム、過硫酸ナトリウム等の無機過酸化物、同じく水溶性の４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル基を持
ったアゾ化合物が好ましい。電子部品表面へのイオンの影響を考慮すれば、過硫酸アンモニウム、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル
基を有するアゾ化合物がさらに好ましく、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックア
シッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物が特に好ましい。
ったアゾ化合物が好ましい。電子部品表面へのイオンの影響を考慮すれば、過硫酸アンモニウム、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックアシッド等の分子内にカルボキシル
基を有するアゾ化合物がさらに好ましく、４，４'－アゾビス－４－シアノバレリックア
シッド等の分子内にカルボキシル基を有するアゾ化合物が特に好ましい。
本実施形態に係る粘着性樹脂層１６は、粘着性樹脂（Ｂ１）に加えて、架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ｂ２）をさらに含むことが好ましい。
架橋性の官能基を１分子中に２個以上有する架橋剤（Ｂ２）は、粘着性樹脂（Ｂ１）が有する官能基と反応させ、粘着力および凝集力を調整するために用いることができる。
このような架橋剤（Ｂ２）としては、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、レソルシンジグリシジルエーテル等のエポキシ系化合物；テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパンのトルエンジイソシアネート３付加物、ポリイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のイソシアネート系化合物；トリメチロールプロパン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ'－ジフェニルメタン－４，４'－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－ヘキサメチレン－１，６－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－トルエン－２，４－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン－トリ－β－（２－メチルアジリジン）プロピオネート等のアジリジン系化合物；Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ'－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等の４官能性エポキシ系化合物；ヘキサメトキシメチロールメラミン等のメラミン系化合物等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
これらの中でも、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物およびアジリジン系化合物から選択される一種または二種以上を含むことが好ましい。
このような架橋剤（Ｂ２）としては、ソルビトールポリグリシジルエーテル、ポリグリセロールポリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールポリグリシジルエーテル、ジグリセロールポリグリシジルエーテル、グリセロールポリグリシジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、レソルシンジグリシジルエーテル等のエポキシ系化合物；テトラメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチロールプロパンのトルエンジイソシアネート３付加物、ポリイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等のイソシアネート系化合物；トリメチロールプロパン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、テトラメチロールメタン－トリ－β－アジリジニルプロピオネート、Ｎ，Ｎ'－ジフェニルメタン－４，４'－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－ヘキサメチレン－１，６－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、Ｎ，Ｎ'－トルエン－２，４－ビス（１－アジリジンカルボキシアミド）、トリメチロールプロパン－トリ－β－（２－メチルアジリジン）プロピオネート等のアジリジン系化合物；Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'－テトラグリシジル－ｍ－キシレンジアミン、１，３－ビス（Ｎ，Ｎ'－ジグリシジルアミノメチル）シクロヘキサン等の４官能性エポキシ系化合物；ヘキサメトキシメチロールメラミン等のメラミン系化合物等が挙げられる。これらは単独で使用してもよいし、２種以上を併用してもよい。
これらの中でも、エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物およびアジリジン系化合物から選択される一種または二種以上を含むことが好ましい。
架橋剤（Ｂ２）の含有量は、通常、架橋剤（Ｂ２）中の官能基数が粘着性樹脂（Ｂ１）中の官能基数よりも多くならない程度の範囲が好ましい。しかし、架橋反応で新たに官能基が生じる場合や、架橋反応が遅い場合等、必要に応じて過剰に含有してもよい。
粘着性樹脂層１６中の架橋剤（Ｂ２）の含有量は、粘着性樹脂層１６の耐熱性や密着力とのバランスを向上させる観点から、粘着性樹脂（Ｂ１）１００質量部に対し、０．１質量部以上１５質量部以下であることが好ましい。
粘着性樹脂層１６中の架橋剤（Ｂ２）の含有量は、粘着性樹脂層１６の耐熱性や密着力とのバランスを向上させる観点から、粘着性樹脂（Ｂ１）１００質量部に対し、０．１質量部以上１５質量部以下であることが好ましい。
粘着性樹脂層１６は、その他の成分として、可塑剤、粘着付与樹脂等の添加剤を含んでもよい。粘着性樹脂層１６が放射線架橋型粘着性樹脂層の場合は放射線架橋のための各種添加剤を含んでもよい。粘着性樹脂層１６中の粘着性樹脂（Ｂ１）および架橋剤（Ｂ２）の含有量の合計は、粘着性樹脂層１６の全体を１００質量％としたとき、好ましくは５０質量％以上、より好ましくは７０質量％以上、さらに好ましくは９０質量％以上、特に好ましくは９５質量％以上である。これにより、支持体２０から粘着性フィルム１０を剥離する際の支持体２０側の糊残りをより一層抑制することができる。
粘着性樹脂層１６は、単層であっても多層であってもよい。
粘着性樹脂層１６の厚さは特に制限されないが、例えば、１μｍ以上１００μｍ以下が好ましく、３μｍ以上５０μｍ以下がより好ましい。
粘着性樹脂層１６の厚さは特に制限されないが、例えば、１μｍ以上１００μｍ以下が好ましく、３μｍ以上５０μｍ以下がより好ましい。
粘着性樹脂層１６は、例えば、基材層１２上に粘着剤を塗布することにより形成することができる。粘着剤は溶剤に溶解して塗布液として塗布してもよいし、水系エマルジョンとして塗布してもよいし、液状の粘着剤を直に塗布してもよい。
中でも水系エマルジョン塗布液が好ましい。水系エマルジョン塗布液としては、例えば、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）、シリコーン系粘着性樹脂、ウレタン系粘着性樹脂、オレフィン系粘着性樹脂、スチレン系粘着性樹脂等を水に分散させた塗布液が挙げられる。
中でも水系エマルジョン塗布液が好ましい。水系エマルジョン塗布液としては、例えば、（メタ）アクリル系粘着性樹脂（ｂ）、シリコーン系粘着性樹脂、ウレタン系粘着性樹脂、オレフィン系粘着性樹脂、スチレン系粘着性樹脂等を水に分散させた塗布液が挙げられる。
有機溶剤に溶解した粘着剤塗布液を用いてもよい。有機溶剤は特に限定されず、溶解性や乾燥時間を鑑みて公知の中から適宜選択すればよい。有機溶剤としては、酢酸エチル、酢酸メチル等のエステル系；アセトン、ＭＥＫ等のケトン系；ベンゼン、トルエン、エチルベンゼン等の芳香族系；ヘプタン、ヘキサン、シクロヘキサン等の直鎖ないし環状脂肪族系；イソプロパノール、ブタノール等のアルコール系を例示することができる。有機溶剤として酢酸エチル、トルエンが好ましい。これらの溶剤は、１種単独で用いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。
粘着剤塗布液を塗布する方法としては、従来公知の塗布方法、例えば、ロールコーター法、リバースロールコーター法、グラビアロール法、バーコート法、コンマコーター法、ダイコーター法等が採用できる。塗布された粘着剤の乾燥条件には特に制限はないが、一般的には、８０～２００℃の温度範囲において、１０秒～１０分間乾燥することが好ましい。さらに好ましくは、８０～１７０℃において、１５秒～５分間乾燥する。架橋剤と粘着剤との架橋反応を十分に促進させるために、粘着剤塗布液の乾燥が終了した後、４０～８０℃において５～３００時間程度加熱してもよい。
また、基材層１２と粘着性樹脂層１４や中間層１８とは共押出成形によって形成してもよいし、フィルム状の基材層１２とフィルム状の粘着性樹脂層１４とをラミネート（積層）して形成してもよい。後述の実施例においては、まず、セパレータ（剥離フィルム）の表面に粘着性樹脂層１４を形成し、その後、その粘着性樹脂層１４を、他の層と貼り合わせることで、粘着性フィルムを製造している。
（中間層１８）
本実施形態に係る粘着性フィルム１０は、基材層１２と粘着性樹脂層１４との間に、外部刺激により架橋可能な中間層１８を有する。
中間層１８は、熱膨張性微小球ａにより生じる粘着性樹脂層１４表面の凹凸を吸収し、支持体１２と薄ガラス３０との間の空壁の発生を抑制することができることから、当該薄ガラスを加工する際に薄ガラスを均一に仮固定することができ、さらに、薄ガラスの汚染を防止することができる。またさらに、中間層１８が存在することで、薄ガラス３０を支持体２０に対して位置決めでき、薄ガラス３０の加工性に優れる。
さらに、中間層１８は外部刺激によって架橋硬化することで、中間層１８の弾性率を高めることができる。これによって、薄ガラス３０の加工において、薄ガラス３０を支持体２０に対してより正確に位置決めすることができ、薄ガラス３０の加工性にさらに優れる。
外部刺激としては、例えば、熱または光が挙げられる。
中間層１８は、その作用から、凹凸吸収性樹脂層１８と記載することもできる。
本実施形態に係る粘着性フィルム１０は、基材層１２と粘着性樹脂層１４との間に、外部刺激により架橋可能な中間層１８を有する。
中間層１８は、熱膨張性微小球ａにより生じる粘着性樹脂層１４表面の凹凸を吸収し、支持体１２と薄ガラス３０との間の空壁の発生を抑制することができることから、当該薄ガラスを加工する際に薄ガラスを均一に仮固定することができ、さらに、薄ガラスの汚染を防止することができる。またさらに、中間層１８が存在することで、薄ガラス３０を支持体２０に対して位置決めでき、薄ガラス３０の加工性に優れる。
さらに、中間層１８は外部刺激によって架橋硬化することで、中間層１８の弾性率を高めることができる。これによって、薄ガラス３０の加工において、薄ガラス３０を支持体２０に対してより正確に位置決めすることができ、薄ガラス３０の加工性にさらに優れる。
外部刺激としては、例えば、熱または光が挙げられる。
中間層１８は、その作用から、凹凸吸収性樹脂層１８と記載することもできる。
中間層１８を構成する樹脂は、凹凸吸収性を示すものであれば特に限定されず、例えば、熱可塑性樹脂が好ましい。具体的には、ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、および（メタ）アクリル系樹脂からなる群から選択される一種または二種以上がより好ましい。別観点として、ＡＳＴＭ Ｄ－２２４０のＤ型ショアーによるショアーＤ型硬度が、好ましくは５０以下、より好ましくは４０以下の樹脂が好ましい。
中間層１８を構成する樹脂が熱可塑性樹脂でない場合でも、上記と同等の凹凸吸収性を有することが好ましい。
中間層１８を構成する樹脂が熱可塑性樹脂でない場合でも、上記と同等の凹凸吸収性を有することが好ましい。
中間層１８は、樹脂と、架橋剤と、外部刺激により活性化学種を発生する開始剤とを含むことが好ましい。中間層１８がこれら成分を含むことにより、外部刺激により中間層１８をより効果的に架橋させることができ、中間層１８の弾性率をより一層向上させることが可能となる。これにより、封止材により電子部品を封止する工程において、熱により中間層が軟化するのを抑制でき、その結果、封止材の圧力により電子部品が粘着性フィルム１０に沈みこむことをより一層抑制することができる。
なお、樹脂や架橋剤の化学構造や反応性によっては、中間層１８は、必ずしも開始剤を含まずとも、外部刺激により架橋（硬化）する場合がある。
なお、樹脂や架橋剤の化学構造や反応性によっては、中間層１８は、必ずしも開始剤を含まずとも、外部刺激により架橋（硬化）する場合がある。
中間層１８の形成に使用可能な樹脂は、特に限定されないが、例えば、前述の粘着性樹脂層１４における粘着性樹脂（Ａ１）として説明した樹脂などを好ましく挙げることができる。
その他、中間層１８の形成に使用可能な樹脂は、特に限定されず、例えば、エチレンおよび炭素数３～２０のα－オレフィンとを含むエチレン・α－オレフィン共重合体、高密度エチレン系樹脂、低密度エチレン系樹脂、中密度エチレン系樹脂、超低密度エチレン系樹脂、直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）系樹脂、プロピレン（共）重合体、１－ブテン（共）重合体、４－メチルペンテン－１（共）重合体、エチレン・環状オレフィン共重合体、エチレン・α－オレフィン・環状オレフィン共重合体、エチレン・α－オレフィン・非共役ポリエン共重合体、エチレン・α－オレフィン・共役ポリエン共重合体、エチレン・芳香族ビニル共重合体、エチレン・α－オレフィン・芳香族ビニル共重合体等のオレフィン系樹脂；エチレン・不飽和無水カルボン酸共重合体、エチレン・α－オレフィン・不飽和無水カルボン酸共重合体等のエチレン・無水カルボン酸系共重合体；エチレン・エポキシ含有不飽和化合物共重合体、エチレン・α－オレフィン・エポキシ含有不飽和化合物共重合体等のエチレン・エポキシ系共重合体；エチレン・（メタ）アクリル酸エチル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸メチル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸プロピル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸ブチル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸ヘキシル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸－２－ヒドロキシエチル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸－２－ヒドロキシプロピル共重合体、エチレン・（メタ）アクリル酸グリシジル共重合体等のエチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体；エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン・マレイン酸共重合体、エチレン・フマル酸共重合体、エチレン・クロトン酸共重合体等のエチレン・エチレン性不飽和酸共重合体；エチレン・酢酸ビニル共重合体、エチレン・プロピオン酸ビニル共重合体、エチレン・酪酸ビニル共重合体、エチレン・ステアリン酸ビニル共重合体等のエチレン・ビニルエステル共重合体；エチレン・スチレン共重合体等；（メタ）アクリル酸エステル（共）重合体等の不飽和カルボン酸エステル（共）重合体；エチレン・アクリル酸金属塩共重合体、エチレン・メタアクリル酸金属塩共重合体等のアイオノマー樹脂；ウレタン系樹脂；シリコーン系樹脂；アクリル酸系樹脂；メタアクリル酸系樹脂；環状オレフィン（共）重合体；α－オレフィン・芳香族ビニル化合物・芳香族ポリエン共重合体；エチレン・α－オレフィン・芳香族ビニル化合物；芳香族ポリエン共重合体；エチレン・芳香族ビニル化合物・芳香族ポリエン共重合体；スチレン系樹脂；アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン共重合体；スチレン・共役ジエン共重合体；アクリロニトリル・スチレン共重合体；アクリロニトリル・エチレン・α－オレフィン・非共役ポリエン・スチレン共重合体；アクリロニトリル・エチレン・α－オレフィン・共役ポリエン・スチレン共重合体；メタアクリル酸・スチレン共重合体；エチレンテレフタレート樹脂；フッ素樹脂；ポリエステルカーボネート；ポリ塩化ビニル；ポリ塩化ビニリデン；ポリオレフィン系熱可塑性エラストマー；ポリスチレン系熱可塑性エラストマー；ポリウレタン系熱可塑性エラストマー；１，２－ポリブタジエン系熱可塑性エラストマー；トランスポリイソプレン系熱可塑性エラストマー；塩素化ポリエチレン系熱可塑性エラストマー；液晶性ポリエステル；ポリ乳酸等から選択される一種または二種以上を用いることができる。
中間層１８は、１のみの樹脂を含んでもよいし、２以上の樹脂を含んでもよい。
中間層１８は、１のみの樹脂を含んでもよいし、２以上の樹脂を含んでもよい。
中間層１８が含むことができる架橋剤としては、開始剤から発生する化学種により架橋反応するものを特に制限なく挙げることができる。
好ましい架橋剤としは、多官能（メタ）アクリレート化合物を挙げることができる。より具体的には、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
好ましい架橋剤としは、多官能（メタ）アクリレート化合物を挙げることができる。より具体的には、ウレタン（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリストールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリストールモノヒドロキシペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート等が挙げられる。
また、架橋剤としては、ウレタン系、ポリエーテル系、ポリエステル系、ポリカーボネート系、ポリブタジエン系等、種々のモノマーまたはオリゴマーも挙げられる。
架橋剤の量は、（メタ）アクリル系重合体等の樹脂（ベースポリマー）１００質量部に対して、例えば５質量部以上５００質量部以下、好ましくは４０質量部以上１５０質量部以下である。
架橋剤の量は、（メタ）アクリル系重合体等の樹脂（ベースポリマー）１００質量部に対して、例えば５質量部以上５００質量部以下、好ましくは４０質量部以上１５０質量部以下である。
別観点として、中間層１８は、前述の粘着性樹脂層（Ａ）が含むことができる架橋剤（Ａ２）を１または２以上含んでもよい。具体的には、中間層１８は、イソシアネート系化合物を含んでもよい。このような架橋材を用いる場合、その量は、樹脂（ベースポリマー）１００質量部に対して、例えば０．０１質量部以上５質量部以下、好ましくは０．０１質量部以上３質量部以下である。
中間層１８が含むことができる開始剤（外部刺激により活性化学種を発生する開始剤）は、熱または光により、中間層１８中の樹脂および／または架橋剤を架橋させることが可能なものであれば、特に限定されない。他の層の光透過性が高くない場合があり得ることや、電子部品により光がさえぎられる可能性があることを考慮すると、開始剤は、熱により活性化学種を発生する開始剤であることが好ましい。
開始剤から発生する化学種は、樹脂および／または架橋剤が有する官能基に基づき適宜選択すればよい。開始剤から発生する化学種は、典型的には、ラジカルまたはカチオンである。
開始剤から発生する化学種は、樹脂および／または架橋剤が有する官能基に基づき適宜選択すればよい。開始剤から発生する化学種は、典型的には、ラジカルまたはカチオンである。
開始剤の例としては、芳香族ケトン類、オニウム塩化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、ケトオキシムエステル化合物、ボレート化合物、アジニウム化合物、メタロセン化合物、活性エステル化合物、炭素ハロゲン結合を有する化合物、アゾ系化合物等が挙げられる。これらを１種単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
これらのうち、入手容易性、取扱性、などの点で、アゾ系化合物または有機過酸化物が好ましく、有機過酸化物がより好ましい。
これらのうち、入手容易性、取扱性、などの点で、アゾ系化合物または有機過酸化物が好ましく、有機過酸化物がより好ましい。
開始剤の市販品としては、Ｖ－７０、Ｖ－６５、Ｖ－６０１、Ｖ－５９、Ｖ－４０、ＶＦ－０９６、Ｖ－３０、ＶＡｍ－１１０、ＶＡｍ－１１１（以上、富士フイルム和光純薬社製）、ナイパーＢＷ、ナイパーＢＭＴ、パーロイルＴＣＰ、パーロイルＬ、パーロイル３５５、パーロイルＳＡ、パーヘキサＨＣ、パーブチル３５５、パーブチルＤ、パーブチルＬ、パーブチルＮＤ、パーオクタＯ、パーヘキシルＤ、パーヘキシルＯ、パーヘキシルＰＶ（以上、日油製）、トリゴノックス３６－Ｃ７５、ラウロックス、パーカドックスＬ－Ｗ７５、パーカドックスＣＨ－５０Ｌ、トリゴノックスＴＭＢＨ、カヤクメンＨ、カヤブチルＨ－７０、パーカドックスＢＣ－ＦＦ、カヤヘキサＡＤ、パーカドックス１４、カヤブチルＣ、カヤブチルＤ、パーカドックス１２－ＸＬ２５、トリゴノックス２２－Ｎ７０（２２－７０Ｅ）、トリゴノックスＤ－Ｔ５０、トリゴノックス４２３－Ｃ７０、カヤエステルＣＮＤ－Ｃ７０、トリゴノックス２３－Ｃ７０、トリゴノックス２５７－Ｃ７０、カヤエステルＰ－７０、カヤエステルＴＭＰＯ－７０、トリゴノックス１２１、カヤエステルＯ、カヤエステルＨＴＰ－６５Ｗ、カヤエステルＡＮ、トリゴノックス４２、トリゴノックスＦ－Ｃ５０、カヤブチルＢ、カヤカルボンＥＨ、カヤカルボンＩ－２０、カヤカルボンＢＩＣ－７５、トリゴノックス１１７、カヤレン６－７０（以上、化薬アクゾ社製）などが挙げられる
中間層１８が開始剤を含む場合、その量は、（メタ）アクリル系重合体等の樹脂（ベースポリマー）１００質量部に対して、０．１質量部以上が好ましく、０．３質量部以上がより好ましく、０．５質量部以上がさらに好ましい。また、保存安定性向の点から、１５質量部以下が好ましく、５質量部以下がより好ましい。
本実施形態に係る粘着性フィルム１０において、架橋前の中間層１８の６０℃における貯蔵弾性率Ｅ'の下限は、電子部品の封止工程における電子部品の粘着性フ
ィルムへの沈みこみをより一層抑制することができる点から、１．０×１０３Ｐａ以上が好ましく、５．０×１０3Ｐａ以上がより好ましい。
また、本実施形態に係る粘着性フィルム１０において、架橋前の中間層１８の６０℃における貯蔵弾性率Ｅ'の上限は、チップ表面の凹凸を効果的に吸収し、更に
樹脂のスプリングバックによって経時で凹凸吸収が悪化することを防止できる点から、１．０×１０６Ｐａ以下が好ましく、５．０×１０５Ｐａ以下がより好ましい。
架橋前の中間層１８の６０℃における貯蔵弾性率Ｅ'は、例えば、凹凸吸
収性樹脂層（Ｃ）を構成する各成分の種類や配合割合を制御することにより上記範囲内に制御することができる。
ィルムへの沈みこみをより一層抑制することができる点から、１．０×１０３Ｐａ以上が好ましく、５．０×１０3Ｐａ以上がより好ましい。
また、本実施形態に係る粘着性フィルム１０において、架橋前の中間層１８の６０℃における貯蔵弾性率Ｅ'の上限は、チップ表面の凹凸を効果的に吸収し、更に
樹脂のスプリングバックによって経時で凹凸吸収が悪化することを防止できる点から、１．０×１０６Ｐａ以下が好ましく、５．０×１０５Ｐａ以下がより好ましい。
架橋前の中間層１８の６０℃における貯蔵弾性率Ｅ'は、例えば、凹凸吸
収性樹脂層（Ｃ）を構成する各成分の種類や配合割合を制御することにより上記範囲内に制御することができる。
本実施形態に係る粘着性フィルム１０において、中間層１８を架橋して得られる中間層（Ｃ'）の１２５℃における貯蔵弾性率Ｅ'の下限は、電子部品の封止工程における電子部品の粘着性フィルムへの沈みこみをより一層抑制することができる点から、１．０×１０６Ｐａ以上が好ましく、５．０×１０６Ｐａ以上がより好ましい。
また、本実施形態に係る粘着性フィルム１０において、中間層（Ｃ'）の１
２５℃における貯蔵弾性率Ｅ'の上限は、封止工程における電子部品の位置ずれをより一
層抑制することができる点から、１．０×１０９Ｐａ以下が好ましく、１．０×１０８Ｐａ以下がより好ましい。
中間層（Ｃ'）の１２５℃における貯蔵弾性率Ｅ'は、例えば、中間層１８を構成する各成分の種類や配合割合を制御することにより上記範囲内に制御することができる。
ここで、中間層１８の架橋処理が完了しているか否かは、例えば、架橋処理をおこなっても中間層１８の貯蔵弾性率Ｅ'の増加が起きなくなった点を
架橋完了点と判断することができる。
また、本実施形態に係る粘着性フィルム１０において、中間層（Ｃ'）の１
２５℃における貯蔵弾性率Ｅ'の上限は、封止工程における電子部品の位置ずれをより一
層抑制することができる点から、１．０×１０９Ｐａ以下が好ましく、１．０×１０８Ｐａ以下がより好ましい。
中間層（Ｃ'）の１２５℃における貯蔵弾性率Ｅ'は、例えば、中間層１８を構成する各成分の種類や配合割合を制御することにより上記範囲内に制御することができる。
ここで、中間層１８の架橋処理が完了しているか否かは、例えば、架橋処理をおこなっても中間層１８の貯蔵弾性率Ｅ'の増加が起きなくなった点を
架橋完了点と判断することができる。
中間層１８の厚さは、粘着性樹脂層１４表面の凹凸を吸収することができる厚さであれば、特に制限されないが、例えば、１０μｍ以上１０００μｍ以下であることが好ましく、２０μｍ以上９００μｍ以下であることがより好ましく、３０μｍ以上８００μｍ以下であることがさらに好ましく、５０μｍ以上７００μｍ以下であることが特に好ましい。
中間層１８の形成方法は、特に限定されず、粘着性樹脂層（Ａ）や粘着性樹脂層（Ｂ）と同様の方法を採用することができる。
（その他の層）
本実施形態に係る粘着性フィルム１０は、本実施形態の効果を損なわない範囲で、各層の間に、例えば、易接着層等がさらに設けられていてもよい。
本実施形態に係る粘着性フィルム１０は、本実施形態の効果を損なわない範囲で、各層の間に、例えば、易接着層等がさらに設けられていてもよい。
（工程ｂ）
当該工程においては、図１（ａ）に示すように、支持体２０上に、粘着性樹脂層１６を介して粘着性フィルム１０を貼り付ける。
具体的には、まず、支持体２０上に、粘着性フィルム１０を、粘着性樹脂層１６が支持体２０側となるように貼着する。粘着性樹脂層１６上にはセパレータと称する保護フィルムが貼付けられていてもよく、当該保護フィルムを剥がし、粘着性樹脂層１６の露出面を支持体２０表面に貼着することができる。
支持体２０としては、例えば、石英基板、ガラス基板、ＳＵＳ基板等を使用することができる。
当該工程においては、図１（ａ）に示すように、支持体２０上に、粘着性樹脂層１６を介して粘着性フィルム１０を貼り付ける。
具体的には、まず、支持体２０上に、粘着性フィルム１０を、粘着性樹脂層１６が支持体２０側となるように貼着する。粘着性樹脂層１６上にはセパレータと称する保護フィルムが貼付けられていてもよく、当該保護フィルムを剥がし、粘着性樹脂層１６の露出面を支持体２０表面に貼着することができる。
支持体２０としては、例えば、石英基板、ガラス基板、ＳＵＳ基板等を使用することができる。
（工程ｃ）
当該工程においては、図１（ｂ）に示すように、粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラス３０を貼り付けて仮固定する。
薄ガラス３０は図１（ｂ）に示すように複数個に個片化されていてもよく、１枚の薄ガラスであってもよい。
当該工程においては、図１（ｂ）に示すように、粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラス３０を貼り付けて仮固定する。
薄ガラス３０は図１（ｂ）に示すように複数個に個片化されていてもよく、１枚の薄ガラスであってもよい。
１枚の薄ガラスを粘着性樹脂層１４の表面に貼り付ける方法としては、例えば、薄ガラスの巻回体から順次巻き出して、粘着性樹脂層１４の表面に載置して仮固定される。
複数個に個片化された薄ガラスを粘着性樹脂層１４の表面に貼り付ける方法としては、例えば、薄ガラスの巻回体から順次巻き出して、粘着性樹脂層１４の表面に載置し、次いで薄ガラスを個片化する方法、複数個に個片化された薄ガラスが貼り付けられた樹脂フィルム付き薄ガラスの巻回体から順次巻き出して、粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラスを載置し、次いで樹脂フィルム付き薄ガラスから樹脂フィルムを剥離する方法、または個片化された複数の薄ガラスを順次載置する方法等が挙げられる。
薄ガラスの厚さは、１μｍ以上２００μｍ以下が好ましく、１０μｍ以上１５０μｍ以下がより好ましい。
複数個に個片化された薄ガラスを粘着性樹脂層１４の表面に貼り付ける方法としては、例えば、薄ガラスの巻回体から順次巻き出して、粘着性樹脂層１４の表面に載置し、次いで薄ガラスを個片化する方法、複数個に個片化された薄ガラスが貼り付けられた樹脂フィルム付き薄ガラスの巻回体から順次巻き出して、粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラスを載置し、次いで樹脂フィルム付き薄ガラスから樹脂フィルムを剥離する方法、または個片化された複数の薄ガラスを順次載置する方法等が挙げられる。
薄ガラスの厚さは、１μｍ以上２００μｍ以下が好ましく、１０μｍ以上１５０μｍ以下がより好ましい。
（工程ｄ）
当該工程においては、図１（ｃ）に示すように、薄ガラス３０を加工し、加工薄ガラスを得る。
薄ガラス３０の加工方法としては、薄ガラス３０上へのインクジェット加工、グラビア印刷、スクリーン印刷、スプレー塗布、ディスペンサ塗布、エアスプレー、静電塗装、ロールコーティング、はけ塗り、ローラーブラシ塗り、および浸漬塗装から選ばれる
当該工程においては、図１（ｃ）に示すように、薄ガラス３０を加工し、加工薄ガラスを得る。
薄ガラス３０の加工方法としては、薄ガラス３０上へのインクジェット加工、グラビア印刷、スクリーン印刷、スプレー塗布、ディスペンサ塗布、エアスプレー、静電塗装、ロールコーティング、はけ塗り、ローラーブラシ塗り、および浸漬塗装から選ばれる
インクジェット加工においては、インクを直接薄ガラス３０上に噴きつけることで印刷をすることができる。
グラビア印刷は、微細な濃淡を精密・美麗に表現することができ、高速性に優れているため、一度に多量の薄ガラス３０上に印刷（塗布）することができる。
グラビア印刷は、微細な濃淡を精密・美麗に表現することができ、高速性に優れているため、一度に多量の薄ガラス３０上に印刷（塗布）することができる。
スクリーン印刷により、ポリエステルなどの合成繊維、またはステンレスや各種金属繊維で織った「スクリーンメッシュ」を用いたスクリーンマスクの精密な網目に対し、スキージなどによる圧力でインクを通過させ、薄ガラス３０上に印刷（塗布）することができる。
スプレー塗布により、所望のポリマー溶液やインク等に高圧力を加え特殊なノズルから噴射させて霧化して薄ガラス３０に塗布し、薄ガラス３０上に所望のポリマー層の形成や印刷等を行うことができる。
エアスプレーにより、圧縮空気で所望のポリマー溶液やインク等を霧化させて薄ガラス３０に塗布し、薄ガラス３０上に所望のポリマー層の形成や印刷等を行うことができる。
静電塗装においては、霧化したポリマー溶液やインク等をマイナスに帯電させ、薄ガラス３０をプラスに帯電させ電気的引力で吸着し、薄ガラス３０上に所望のポリマー層の形成や印刷等を行うことができる。
静電塗装においては、霧化したポリマー溶液やインク等をマイナスに帯電させ、薄ガラス３０をプラスに帯電させ電気的引力で吸着し、薄ガラス３０上に所望のポリマー層の形成や印刷等を行うことができる。
ロールコーティングにおいては、回転するロールから薄ガラス３０にポリマー溶液やインク等をコーティングし、薄ガラス３０上に所望のポリマー層の形成や印刷等を行うことができる。
はけ塗りにより、刷毛で所望のポリマー溶液やインク等を塗り広げることができ、薄ガラス３０上に所望のポリマー層の形成や印刷等を行うことができる。
ローラーブラシ塗りにより、ローラーブラシで所望のポリマー溶液やインク等を塗り広げることができ、薄ガラス３０上に所望のポリマー層の形成や印刷等を行うことができる。
浸漬塗装により、ポリマー溶液やインク等に薄ガラス３０を浸漬して、薄ガラス３０上に所望のポリマー層の形成や印刷等を行うことができる。
ローラーブラシ塗りにより、ローラーブラシで所望のポリマー溶液やインク等を塗り広げることができ、薄ガラス３０上に所望のポリマー層の形成や印刷等を行うことができる。
浸漬塗装により、ポリマー溶液やインク等に薄ガラス３０を浸漬して、薄ガラス３０上に所望のポリマー層の形成や印刷等を行うことができる。
各工程において塗膜等を所定の温度で乾燥し、樹脂等を硬化させるために加熱工程を実施してもよい。
中間層１８が光硬化性である場合は、薄ガラス３０を加工する工程ｄの前に１０の上方からＵＶ光を照射して、予め中間層１８を光硬化させることが好ましい。中間層１８が熱硬化性である場合は、薄ガラス３０を加工する工程ｄにおける乾燥工程等の加熱により中間層１８させることができる。
なお、工程ｄにおける乾燥工程等の加熱は、粘着性樹脂層１４の表面に仮固定された加工薄ガラスが剥離しない温度とすることが好ましい。
なお、工程ｄにおける乾燥工程等の加熱は、粘着性樹脂層１４の表面に仮固定された加工薄ガラスが剥離しない温度とすることが好ましい。
本実施形態においては、粘着性フィルム１０に中間層１８を設けることにより、支持体２０と薄ガラス３０との間の空壁の発生を抑制することができる。したがって、薄ガラス３０を加工する際に支持体２０に薄ガラス３０を均一に仮固定することができるため加工性に優れ、さらに、加工処理で用いられる洗浄液等による加工薄ガラスの汚染を防止することができる。
工程ｄの後、所定の温度で加熱し、粘着性樹脂層１４の表面から加工薄ガラスを剥離することができる。加工薄ガラスは上記のような加工により機能を付与されることから機能性薄ガラスと記載することもできる。
本実施形態においては、加工薄ガラスに熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４が貼り付けられているため、加工薄ガラスから粘着性フィルム１０を容易に剥離することができる。
工程ｄの後、所定の温度で加熱し、粘着性樹脂層１４の表面から加工薄ガラスを剥離することができる。加工薄ガラスは上記のような加工により機能を付与されることから機能性薄ガラスと記載することもできる。
本実施形態においては、加工薄ガラスに熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４が貼り付けられているため、加工薄ガラスから粘着性フィルム１０を容易に剥離することができる。
加工薄ガラスの用途としては、スマートフォンのカバーガラス、有機ＥＬ素子等むけの水蒸気、酸素バリア層、フレキシブル照明、各種センサーのカバーガラス等を挙げることができる。
なお、本実施形態において、支持体２０に粘着性フィルム１０を貼り付けることなく、粘着性フィルム１０上に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０を備える薄ガラス付き粘着性フィルムを得ることもできる。
薄ガラス付き粘着性フィルムは、具体的には、粘着性フィルム１０が、基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１４と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備え、
粘着性樹脂層１４の表面に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０が仮固定されている。
これにより、薄ガラス３０が搬送される際の「割れ」や「欠け」の発生が抑制され、搬入先で薄ガラス付き粘着性フィルムの粘着性樹脂層１６を支持体２０に貼り付け、薄ガラス３０の加工を行うことができる。
薄ガラス付き粘着性フィルムは、具体的には、粘着性フィルム１０が、基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１４と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備え、
粘着性樹脂層１４の表面に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０が仮固定されている。
これにより、薄ガラス３０が搬送される際の「割れ」や「欠け」の発生が抑制され、搬入先で薄ガラス付き粘着性フィルムの粘着性樹脂層１６を支持体２０に貼り付け、薄ガラス３０の加工を行うことができる。
［第２実施形態］
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法は、図２（ａ）～（ｃ）に示すように以下の工程を含む。
工程ａ：基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備える粘着性フィルム１０を準備する（図２（ａ））。
工程ｂ：支持体２０上に、粘着性樹脂層１６を介して粘着性フィルム１０を貼り付ける（図２（ａ））。
工程ｃ：粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラス３０を仮固定する（図２（ｂ））。
工程ｄ：薄ガラス３０を加工する（図２（ｃ））。
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法は、図２（ａ）～（ｃ）に示すように以下の工程を含む。
工程ａ：基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備える粘着性フィルム１０を準備する（図２（ａ））。
工程ｂ：支持体２０上に、粘着性樹脂層１６を介して粘着性フィルム１０を貼り付ける（図２（ａ））。
工程ｃ：粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラス３０を仮固定する（図２（ｂ））。
工程ｄ：薄ガラス３０を加工する（図２（ｃ））。
本実施形態においては、粘着性樹脂層１６が熱膨張性微小球ａを含み、さらに中間層１８が粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた以外は第１実施形態と同様であることから説明を省略する。
本実施形態においては、支持体２０上に熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１６が貼り付けられているため、支持体２０から薄ガラス付き粘着性フィルムを容易に剥離することができる。また、中間層１８により、熱膨張性微小球ａにより生じる粘着性樹脂層１６表面の凹凸を吸収し、粘着性樹脂層１６と支持体２０との間の空壁の発生を抑制することができる。さらに、中間層１８により、熱膨張性微小球ａの影響による粘着性樹脂層１４表面の凹凸を吸収し、粘着性樹脂層１４と薄ガラス３０との間の空壁の発生を抑制することができる。このように空隙の発生を抑制できることから、薄ガラス３０を加工する際に薄ガラス３０を均一に仮固定することができ加工性に優れ、さらに、洗浄液等による加工薄ガラスの汚染を防止することができる。
なお、本実施形態において、支持体２０に粘着性フィルム１０を貼り付けることなく、粘着性フィルム１０上に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０を備える薄ガラス付き粘着性フィルムを得ることもできる。
薄ガラス付き粘着性フィルムは、具体的には、粘着性フィルム１０が、基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備え、
粘着性樹脂層１４の表面に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０が仮固定されている。
これにより、薄ガラス３０が搬送される際の「割れ」や「欠け」の発生が抑制され、搬入先で薄ガラス付き粘着性フィルムの粘着性樹脂層１６を支持体２０に貼り付け、薄ガラス３０の加工を行うことができる。
薄ガラス付き粘着性フィルムは、具体的には、粘着性フィルム１０が、基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備え、
粘着性樹脂層１４の表面に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０が仮固定されている。
これにより、薄ガラス３０が搬送される際の「割れ」や「欠け」の発生が抑制され、搬入先で薄ガラス付き粘着性フィルムの粘着性樹脂層１６を支持体２０に貼り付け、薄ガラス３０の加工を行うことができる。
［第３実施形態］
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法は、図３（ａ）～（ｃ）に示すように以下の工程を含む。
工程ａ：基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備える粘着性フィルム１０を準備する（図３（ａ））。
工程ｂ：支持体２０上に、粘着性樹脂層１６を介して粘着性フィルム１０を貼り付ける（図３（ａ））。
工程ｃ：粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラス３０を仮固定する（図３（ｂ））。
工程ｄ：薄ガラス３０を加工する（図３（ｃ））。
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法は、図３（ａ）～（ｃ）に示すように以下の工程を含む。
工程ａ：基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備える粘着性フィルム１０を準備する（図３（ａ））。
工程ｂ：支持体２０上に、粘着性樹脂層１６を介して粘着性フィルム１０を貼り付ける（図３（ａ））。
工程ｃ：粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラス３０を仮固定する（図３（ｂ））。
工程ｄ：薄ガラス３０を加工する（図３（ｃ））。
本実施形態においては、中間層１８が粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた以外は第１実施形態と同様であることから説明を省略する。
本実施形態においては、中間層１８が、熱膨張性微小球ａ由来の粘着性樹脂層１４表面の凹凸を吸収し、粘着性樹脂層１４表面の平滑性を維持でき、粘着性樹脂層１４と薄ガラス３０との間の空壁の発生を抑制することができることから、薄ガラス３０を加工する際に薄ガラスを均一に仮固定することができ加工性に優れ、さらに、洗浄液等による加工薄ガラスの汚染を防止することができる。またさらに、薄ガラス３０が層１４表面に貼り付けられており後工程において加工薄ガラスをストレスフリーではく離することができる。
なお、本実施形態において、支持体２０に粘着性フィルム１０を貼り付けることなく、粘着性フィルム１０上に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０を備える薄ガラス付き粘着性フィルムを得ることもできる。
薄ガラス付き粘着性フィルムは、具体的には、粘着性フィルム１０が、基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備え、
粘着性樹脂層１４の表面に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０が仮固定されている。
これにより、薄ガラス３０が搬送される際の「割れ」や「欠け」の発生が抑制され、搬入先で薄ガラス付き粘着性フィルムの粘着性樹脂層１６を支持体２０に貼り付け、薄ガラス３０の加工を行うことができる。
薄ガラス付き粘着性フィルムは、具体的には、粘着性フィルム１０が、基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備え、
粘着性樹脂層１４の表面に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０が仮固定されている。
これにより、薄ガラス３０が搬送される際の「割れ」や「欠け」の発生が抑制され、搬入先で薄ガラス付き粘着性フィルムの粘着性樹脂層１６を支持体２０に貼り付け、薄ガラス３０の加工を行うことができる。
［第４実施形態］
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法は、図４（ａ）～（ｃ）に示すように以下の工程を含む。
工程ａ：基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備える粘着性フィルム１０を準備する（図４（ａ））。
工程ｂ：支持体２０上に、粘着性樹脂層１６を介して粘着性フィルム１０を貼り付ける（図４（ａ））。
工程ｃ：粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラス３０を仮固定する（図４（ｂ））。
工程ｄ：薄ガラス３０を加工する（図４（ｃ））。
本実施形態の加工薄ガラスの製造方法は、図４（ａ）～（ｃ）に示すように以下の工程を含む。
工程ａ：基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備える粘着性フィルム１０を準備する（図４（ａ））。
工程ｂ：支持体２０上に、粘着性樹脂層１６を介して粘着性フィルム１０を貼り付ける（図４（ａ））。
工程ｃ：粘着性樹脂層１４の表面に薄ガラス３０を仮固定する（図４（ｂ））。
工程ｄ：薄ガラス３０を加工する（図４（ｃ））。
本実施形態においては、粘着性樹脂層１６が熱膨張性微小球ａを含む以外は第１実施形態と同様であることから説明を省略する。
本実施形態においては、支持体２０上に熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１６が貼り付けられているため、支持体２０から薄ガラス付き粘着性フィルムを容易に剥離することができる。また、中間層１８により、熱膨張性微小球ａにより生じる粘着性樹脂層１６表面の凹凸を吸収し、粘着性樹脂層１６と支持体２０との間の空壁の発生を抑制することができる。さらに、中間層１８により、熱膨張性微小球ａの影響による粘着性樹脂層１４表面の凹凸を吸収し、粘着性樹脂層１４と薄ガラス３０との間の空壁の発生を抑制することができる。このように空隙の発生を抑制できることから、薄ガラス３０を加工する際に薄ガラスを均一に仮固定することができ加工性に優れ、さらに、洗浄液等による加工薄ガラスの汚染を防止することができる。
なお、本実施形態において、支持体２０に粘着性フィルム１０を貼り付けることなく、粘着性フィルム１０上に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０を備える薄ガラス付き粘着性フィルムを得ることもできる。
薄ガラス付き粘着性フィルムは、具体的には、粘着性フィルム１０が、基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備え、
粘着性樹脂層１４の表面に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０が仮固定されている。
これにより、薄ガラス３０が搬送される際の「割れ」や「欠け」の発生が抑制され、搬入先で薄ガラス付き粘着性フィルムの粘着性樹脂層１６を支持体２０に貼り付け、薄ガラス３０の加工を行うことができる。
薄ガラス付き粘着性フィルムは、具体的には、粘着性フィルム１０が、基材層１２と、基材層１２の第１面１２ａ側に設けられた粘着性樹脂層１４と、基材層１２の第２面１２ｂ側に設けられた、熱膨張性微小球ａを含む粘着性樹脂層１６と、粘着性樹脂層１６と基材層１２との間に設けられた中間層１８と、を備え、
粘着性樹脂層１４の表面に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラス３０が仮固定されている。
これにより、薄ガラス３０が搬送される際の「割れ」や「欠け」の発生が抑制され、搬入先で薄ガラス付き粘着性フィルムの粘着性樹脂層１６を支持体２０に貼り付け、薄ガラス３０の加工を行うことができる。
以上、本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、本発明の効果を損なわない範囲で、上記以外の様々な構成を採用することができる。
例えば、図１および図２において、基材層１２の第１面１２ａ側および第２面１２ｂ側のいずれにも中間層１８を設けることができる。
例えば、図１および図２において、基材層１２の第１面１２ａ側および第２面１２ｂ側のいずれにも中間層１８を設けることができる。
１０ 粘着性フィルム
１２ 基材層
１２ａ 第１面
１２ｂ 第２面
１４ 粘着性樹脂層
１６ 粘着性樹脂層
１８ 中間層
２０ 支持体
３０ 薄ガラス
ａ 熱膨張性微小球
１２ 基材層
１２ａ 第１面
１２ｂ 第２面
１４ 粘着性樹脂層
１６ 粘着性樹脂層
１８ 中間層
２０ 支持体
３０ 薄ガラス
ａ 熱膨張性微小球
Claims (13)
- 基材層と、
前記基材層の第１面側に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、
前記基材層の第２面側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）と前記基材層との間および前記粘着性樹脂層（Ｂ）と前記基材層との間の少なくとも一方の間に設けられた中間層（Ｃ）と、を備え、
粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の少なくとも一方に熱膨張性微小球を含む粘着性フィルムを準備する工程と、
支持体上に、粘着性樹脂層（Ｂ）を介して前記粘着性フィルムを貼り付ける工程と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）の表面に薄ガラスを仮固定する工程と、
前記薄ガラスを加工する工程と、
を含む、加工薄ガラスの製造方法であって、
前記中間層（Ｃ）は、樹脂と、架橋剤と、外部刺激により活性化学種を発生する開始剤とを含み、
前記架橋剤は多官能（メタ）アクリレート化合物を含む、加工薄ガラスの製造方法。 - 前記粘着性フィルムを準備する前記工程は、
前記熱膨張性微小球を含む前記粘着性樹脂層と前記基材層との間に前記中間層（Ｃ）を備える粘着性フィルムを準備する工程である、請求項１に記載の製造方法。 - 前記中間層（Ｃ）が、熱または／および光で架橋可能である請求項１または２に記載の製造方法。
- 前記薄ガラスの厚さが１μｍ～２００μｍである、請求項１ないし３いずれか１項に記載の製造方法。
- 前記薄ガラスを加工する前記工程が、前記薄ガラス上へのインクジェット加工、グラビア印刷、スクリーン印刷、スプレー塗布、ディスペンサ塗布、エアスプレー、静電塗装、ロールコーティング、はけ塗り、ローラーブラシ塗り、および浸漬塗装から選ばれる、請求項１ないし４いずれか１項に記載の製造方法。
- 前記熱膨張性微小球は、ガス化して膨張する物質を殻内に内包させた微小球を含む、請求項１ないし５いずれか１項に記載の製造方法。
- 薄ガラスを仮固定し、当該薄ガラスを加工する際に用いられる粘着性フィルムであって、
基材層と、
前記基材層の第１面側に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、
前記基材層の第２面側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）と前記基材層との間および前記粘着性樹脂層（Ｂ）と前記基材層との間の少なくとも一方の間に設けられた中間層（Ｃ）と、を備え、
粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の少なくとも一方に熱膨張性微小球を含み、
前記中間層（Ｃ）は、樹脂と、架橋剤と、外部刺激により活性化学種を発生する開始剤とを含み、
前記架橋剤は多官能（メタ）アクリレート化合物を含む、粘着性フィルム。 - 前記熱膨張性微小球を含む前記粘着性樹脂層と前記基材層との間に前記中間層（Ｃ）を備える、請求項７に記載の粘着性フィルム。
- 前記中間層（Ｃ）が、熱または／および光で架橋可能である、請求項７または８に記載の粘着性フィルム。
- 前記薄ガラスの厚さが１μｍ～２００μｍである、請求項７ないし９いずれか１項に記載の粘着性フィルム。
- 前記熱膨張性微小球は、ガス化して膨張する物質を殻内に内包させた微小球を含む、請求項７ないし１０いずれか１項に記載の粘着性フィルム。
- 粘着性フィルム上に、厚さが１μｍ～２００μｍの薄ガラスを備える薄ガラス付き粘着性フィルムであって、
前記粘着性フィルムが、
基材層と、
前記基材層の第１面側に設けられた粘着性樹脂層（Ａ）と、
前記基材層の第２面側に設けられた粘着性樹脂層（Ｂ）と、
前記粘着性樹脂層（Ａ）と前記基材層との間および前記粘着性樹脂層（Ｂ）と前記基材層との間の少なくとも一方の間に設けられた中間層（Ｃ）と、を備え、
粘着性樹脂層（Ａ）および粘着性樹脂層（Ｂ）の少なくとも一方に熱膨張性微小球を含み、
粘着性樹脂層（Ａ）の表面に前記薄ガラスが仮固定され、
前記中間層（Ｃ）は、樹脂と、架橋剤と、外部刺激により活性化学種を発生する開始剤とを含み、
前記架橋剤は多官能（メタ）アクリレート化合物を含む、薄ガラス付き粘着性フィルム。 - 前記熱膨張性微小球を含む前記粘着性樹脂層と前記基材層との間に前記中間層（Ｃ）を備える、請求項１２に記載の薄ガラス付き粘着性フィルム。
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