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JP7745446B2 - Polyimide film, metal-clad laminate, its manufacturing method, and circuit board - Google Patents
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JP7745446B2 - Polyimide film, metal-clad laminate, its manufacturing method, and circuit board - Google Patents

Polyimide film, metal-clad laminate, its manufacturing method, and circuit board

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Description

本発明は、電子材料、例えば回路基板等を形成するために用いられるポリイミドフィルム、金属張積層板及びこれを加工してなる回路基板に関する。 The present invention relates to electronic materials, such as polyimide films and metal-clad laminates used to form circuit boards, and circuit boards made from these.

フレキシブル回路基板(Flexible Printed Circuit Board:FPC)等の回路基板の製造に、ポリイミド絶縁層の片面又は両面に銅箔等の金属層が積層された金属張積層板が広く用いられている。このようなポリイミド絶縁層に対しては、一般に、回路の高周波伝送特性の改善を目的に比較的低い比誘電率と誘電正接とを示すことが求められている。 Metal-clad laminates, in which a metal layer such as copper foil is laminated on one or both sides of a polyimide insulating layer, are widely used in the manufacture of circuit boards such as flexible printed circuit boards (FPCs). Such polyimide insulating layers are generally required to exhibit relatively low dielectric constants and dielectric loss tangents in order to improve the high-frequency transmission characteristics of the circuits.

ところで、金属張積層板のポリイミド絶縁層の形成は、金属層にポリアミド酸溶液を塗布し乾燥した後、イミド化熱処理を施すという“キャスト法”により行われているが、イミド化熱処理の際に、金属層とポリイミド絶縁層との層間で、残存溶媒や生成イミド化水の体積膨張によりいわゆる“膨れ”や“剥がれ”の現象(以下、発泡現象と称する場合がある)が生ずることがあった。 The polyimide insulating layer of a metal-clad laminate is formed using a "casting method," in which a polyamic acid solution is applied to the metal layer, dried, and then subjected to an imidization heat treatment. However, during the imidization heat treatment, the volumetric expansion of the remaining solvent and the imidization water produced can sometimes cause so-called "blistering" or "peeling" (hereinafter sometimes referred to as "foaming") between the metal layer and the polyimide insulating layer.

このため、誘電特性を劣化させずに発泡現象が抑制された金属張積層板として、金属層に接するポリイミド絶縁層の貯蔵弾性率が所定数値以上となるように、ポリイミド絶縁層を構成する酸無水物残基の合計100モル部に対して、分子内に比較的高極性基であるケトン基を有するテトラカルボン酸二無水物残基を40モル部以上含有させた金属張積層板が提案されている(特許文献1)。 For this reason, a metal-clad laminate that suppresses foaming without degrading dielectric properties has been proposed. This metal-clad laminate contains 40 or more moles of tetracarboxylic dianhydride residues that have a ketone group, a relatively highly polar group, in the molecule per 100 moles of acid anhydride residues that make up the polyimide insulating layer, so that the storage modulus of the polyimide insulating layer in contact with the metal layer is a predetermined value or greater (Patent Document 1).

ところで、前述したように、金属張積層板として、ポリイミド絶縁層の両面に金属層が設けられている両面金属張積層板も広く使用されているが、両面金属張積層板は、一般に、2枚の片面金属張積層板のポリイミド絶縁層を互いに対向させ、その間に、ポリイミド系接着剤をシート状に成形した両面接着シート(以下、ボンディングシート(BS))でポリイミド絶縁層同士を貼り合わせて製造することが行われている。特許文献1の金属張積層板を両面金属張積層板とする場合にも同様の方法で作成することになる。 As mentioned above, double-sided metal-clad laminates, in which metal layers are provided on both sides of a polyimide insulating layer, are also widely used as metal-clad laminates. However, double-sided metal-clad laminates are generally manufactured by placing the polyimide insulating layers of two single-sided metal-clad laminates facing each other and bonding the polyimide insulating layers together with a double-sided adhesive sheet (hereinafter referred to as bonding sheet (BS)) made by forming a polyimide adhesive into a sheet. The metal-clad laminate of Patent Document 1 can also be manufactured in a similar manner when used as a double-sided metal-clad laminate.

特開2020-104340号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2020-104340

しかしながら、特許文献1の金属張積層板の場合、金属層とそれに隣接するポリイミド絶縁層との界面の密着性を確保することに着目しており、金属層と反対側のポリイミド絶縁層の極めて平坦な表面とボンディングシートとの間の界面の密着性について十分な検討はなされていない。また、ポリイミドを構成する酸無水物残基が、分子内に比較的高極性基であるケトン基を有するテトラカルボン酸二無水物残基を40モル部以上含有しているため、比誘電率のみならず誘電正接も上昇しがちであるという問題がある。このため、特許文献1からは、金属張積層板のポリイミド絶縁層について、その誘電特性を劣化させずに発泡現象を抑制できるだけでなく、ボンディングシートとの界面に良好な密着性をも実現できる具体的な構成を見出すことはできなかった。 However, in the case of the metal-clad laminate in Patent Document 1, the focus is on ensuring adhesion at the interface between the metal layer and the adjacent polyimide insulating layer, and sufficient consideration is not given to adhesion at the interface between the extremely flat surface of the polyimide insulating layer opposite the metal layer and the bonding sheet. Furthermore, because the acid anhydride residues that make up the polyimide contain 40 or more moles of tetracarboxylic dianhydride residues that have a ketone group, a relatively highly polar group, in the molecule, there is a problem in that not only the relative dielectric constant but also the dielectric loss tangent tend to increase. For this reason, Patent Document 1 fails to identify a specific configuration for the polyimide insulating layer of a metal-clad laminate that not only suppresses foaming without degrading its dielectric properties, but also achieves good adhesion at the interface with the bonding sheet.

本発明の目的は、ポリイミドフィルム又は金属張積層板において、誘電特性を劣化させずに、ポリイミドフィルム又はポリイミド絶縁層とボンディングシートとの界面の良好な密着性をも実現できる具体的な構成を提供することである。 The object of the present invention is to provide a specific configuration for a polyimide film or metal-clad laminate that can achieve good adhesion at the interface between the polyimide film or polyimide insulating layer and the bonding sheet without degrading the dielectric properties.

本発明者らは、ポリイミドフィルム又は金属張積層板のポリイミド絶縁層について膨大な数の特定要素を検討し、ごく限られた以下の(a)~(c)に示す特定要素をコントロールすることにより、本発明の目的を達成できることを見出し、本発明を完成させた。
(a)ポリイミドフィルム又はポリイミド絶縁層を複数のポリイミド層とし、露出面側に特定のポリイミド層を配置すること;
(b)ポリイミドフィルム又はポリイミド絶縁層全体の“酸素透過係数”と“熱膨張係数”と“誘電正接”と“層厚”とをそれぞれ所定範囲に設定すること;及び
(c)ポリイミドフィルム又はポリイミド絶縁層における露出面側のポリイミド層を構成するポリイミドがジアミン残基として、1,3-ビス(アミノフェノキシ)ベンゼンから誘導されるジアミン残基を所定以上の含有量で使用すること。
The present inventors have investigated a huge number of specific factors regarding polyimide films or polyimide insulating layers of metal-clad laminates, and have found that the object of the present invention can be achieved by controlling only a limited number of specific factors shown in (a) to (c) below, thereby completing the present invention.
(a) The polyimide film or polyimide insulating layer is made of a plurality of polyimide layers, and a specific polyimide layer is disposed on the exposed surface side;
(b) The "oxygen permeability coefficient,""thermal expansion coefficient,""dielectric loss tangent," and "layer thickness" of the entire polyimide film or polyimide insulating layer are set within predetermined ranges, respectively; and (c) the polyimide constituting the polyimide layer on the exposed surface of the polyimide film or polyimide insulating layer contains, as diamine residues, diamine residues derived from 1,3-bis(aminophenoxy)benzene in a content equal to or greater than a predetermined level.

即ち、本発明の第1の側面は、複数のポリイミド層を有するポリイミドフィルムであって、下記の条件(i)~(iv):
(i)酸素透過係数が2.0×10-18mol・m/m・s・Pa以下であること;
(ii)熱膨張係数が10~30ppm/Kの範囲内であること;
(iii)10GHzにおける誘電正接(Tanδ)が、0.004以下であること;及び
(iv)厚みが10μm~100μmの範囲内であること;
を満たし、
前記ポリイミドフィルムは、少なくとも一方の露出面側にポリイミド層(P)を有しており、
前記ポリイミド層(P)を構成するポリイミド(p)が、テトラカルボン酸二無水物成分から誘導される酸無水物残基と、ジアミン成分から誘導されるジアミン残基とを含有し、前記ジアミン残基は、下記一般式(1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を、全ジアミン残基に対し、少なくとも30モル%含有することを特徴とするポリイミドフィルムを提供する。
That is, a first aspect of the present invention is a polyimide film having a plurality of polyimide layers, which satisfies the following conditions (i) to (iv):
(i) an oxygen permeability coefficient of 2.0 × 10 −18 mol·m/m 2 ·s·Pa or less;
(ii) a thermal expansion coefficient in the range of 10 to 30 ppm/K;
(iii) a dielectric loss tangent (Tan δ) at 10 GHz of 0.004 or less; and (iv) a thickness within the range of 10 μm to 100 μm;
Fulfilling
the polyimide film has a polyimide layer (P) on at least one exposed surface side,
The polyimide film is characterized in that the polyimide (p) constituting the polyimide layer (P) contains an acid anhydride residue derived from a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine residue derived from a diamine component, and the diamine residues contain diamine residues derived from a diamine compound represented by the following general formula (1) in an amount of at least 30 mol % based on the total diamine residues:

また、本発明の第2の側面は、金属層と、複数のポリイミド層を有するポリイミド絶縁層と、を有する金属張積層板であって、
(a)前記ポリイミド絶縁層は、前記金属層と反対側の露出面側にポリイミド層(P)を有しており、
(b)ポリイミド絶縁層全体として下記の条件(i)~(iv):
(i)酸素透過係数が2.0×10-18mol・m/m・s・Pa以下であること;
(ii)熱膨張係数が10~30ppm/Kの範囲内であること;
(iii)10GHzにおける誘電正接(Tanδ)が、0.004以下であること;及び
(iv)層厚が10μm~100μmの範囲内であること;
を満たしており、
(c)前記ポリイミド層(P)を構成するポリイミド(p)が、テトラカルボン酸二無水物成分から誘導される酸無水物残基と、ジアミン成分から誘導されるジアミン残基とを含有し、前記ジアミン残基は、下記一般式(1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を、全ジアミン残基に対し、少なくとも30モル%含有していることを特徴とする金属張積層板を提供する。
A second aspect of the present invention is a metal-clad laminate having a metal layer and a polyimide insulating layer having a plurality of polyimide layers,
(a) the polyimide insulating layer has a polyimide layer (P) on an exposed surface side opposite to the metal layer,
(b) The polyimide insulating layer as a whole meets the following conditions (i) to (iv):
(i) an oxygen permeability coefficient of 2.0×10 −18 mol·m/m 2 ·s·Pa or less;
(ii) a thermal expansion coefficient in the range of 10 to 30 ppm/K;
(iii) a dielectric loss tangent (Tan δ) at 10 GHz of 0.004 or less; and (iv) a layer thickness within the range of 10 μm to 100 μm;
and
(c) A metal-clad laminate is provided, characterized in that the polyimide (p) constituting the polyimide layer (P) contains an acid anhydride residue derived from a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine residue derived from a diamine component, and the diamine residue contains diamine residues derived from a diamine compound represented by the following general formula (1) in an amount of at least 30 mol % relative to the total diamine residues:

また、本発明の第3の側面は、上述の金属張積層板を製造する金属張積層板の製造方法であって、
金属層上に、ポリアミド酸の溶液を塗布し、乾燥して単層又は複数層の第1のポリアミド酸層を形成する工程と、
前記第1のポリアミド酸層の上に、前記ポリイミド(p)の前駆体であるポリアミド酸の溶液を塗布し、乾燥して第2のポリアミド酸層を形成する工程と、
前記第1のポリアミド酸層に含まれるポリアミド酸及び前記第2のポリアミド酸層に含まれるポリアミド酸をイミド化することによって、前記ポリイミド絶縁層を形成する工程を有する製造方法を提供する。
A third aspect of the present invention is a method for manufacturing a metal-clad laminate, which manufactures the above-mentioned metal-clad laminate,
a step of applying a solution of polyamic acid onto the metal layer and drying it to form a first polyamic acid layer of one or more layers;
a step of applying a solution of polyamic acid, which is a precursor of the polyimide (p), onto the first polyamic acid layer and drying the solution to form a second polyamic acid layer;
The present invention provides a manufacturing method including a step of forming the polyimide insulating layer by imidizing the polyamic acid contained in the first polyamic acid layer and the polyamic acid contained in the second polyamic acid layer.

更に、本発明の第4の側面は、前述の金属張積層板の金属層が配線に加工されている回路基板を提供する。 Furthermore, a fourth aspect of the present invention provides a circuit board in which the metal layer of the aforementioned metal-clad laminate is processed into wiring.

本発明のポリイミドフィルム及び金属張積層板は、ポリイミドフィルムもしくはポリイミド絶縁層を複数のポリイミド層で構成し、ポリイミドフィルム全体もしくはポリイミド絶縁層全体の“酸素透過係数”と“熱膨張係数”と“誘電正接”と“層厚”とがそれぞれ所定範囲に設定されているので、寸法安定性に優れるとともに伝送損失を低減させることができる。また、本発明のポリイミドフィルム及び金属張積層板においては、露出面側に特定のポリイミド層を配置することで、ポリイミドフィルム又はポリイミド絶縁層全体の誘電特性を低下させることなく、例えばボンディングシート等の樹脂材料との界面に良好な密着性をも実現できる。よって、本発明の金属張積層板は、片面金属張積層板の良好な特性を損なわずに両面金属張積層板へと加工できる。また、本発明の金属張積層板から形成された回路基板は、寸法安定性及び耐熱性に優れ、しかも良好な高周波伝送特性を獲得することができる。 The polyimide film and metal-clad laminate of the present invention have a polyimide film or polyimide insulating layer composed of multiple polyimide layers, and the "oxygen permeability coefficient," "thermal expansion coefficient," "dielectric loss tangent," and "layer thickness" of the entire polyimide film or polyimide insulating layer are each set within a predetermined range, thereby achieving excellent dimensional stability and reduced transmission loss. Furthermore, by disposing a specific polyimide layer on the exposed surface of the polyimide film and metal-clad laminate of the present invention, good adhesion can be achieved at the interface with resin materials such as bonding sheets without degrading the dielectric properties of the entire polyimide film or polyimide insulating layer. Therefore, the metal-clad laminate of the present invention can be processed into a double-sided metal-clad laminate without compromising the excellent properties of a single-sided metal-clad laminate. Furthermore, circuit boards formed from the metal-clad laminate of the present invention have excellent dimensional stability and heat resistance, and can also achieve good high-frequency transmission characteristics.

本発明の実施の形態に係る金属張積層板の構成を示す模式的断面図である。1 is a schematic cross-sectional view showing a configuration of a metal-clad laminate according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明のポリイミドフィルム及び金属張積層板について、図面を参照しながら説明する。 The polyimide film and metal-clad laminate of the present invention will be described below with reference to the drawings.

[本発明のポリイミドフィルム及び本発明の金属張積層板]
本発明のポリイミドフィルムは、複数のポリイミド層を有する。また、本発明の金属張積層板は、金属層と、複数のポリイミド層を有するポリイミド絶縁層と、を有する。ここで、本発明のポリイミドフィルムは、金属層を必須に含んでいない点で本発明の金属張積層板と異なる。つまり、本発明のポリイミドフィルムは、本発明の金属張積層板における「ポリイミド絶縁層」と実質的に同じ構成である。
以下、重複した説明を避けるため、本発明の金属張積層板について詳細に説明する中で、本発明のポリイミドフィルムの構成についても明らかにする。以下の説明では、特に注記する場合を除き、金属張積層板における「ポリイミド絶縁層」を「ポリイミドフィルム」と読み替えることができる。
[Polyimide film of the present invention and metal-clad laminate of the present invention]
The polyimide film of the present invention has multiple polyimide layers. The metal-clad laminate of the present invention has a metal layer and a polyimide insulating layer having multiple polyimide layers. The polyimide film of the present invention differs from the metal-clad laminate of the present invention in that it does not necessarily include a metal layer. In other words, the polyimide film of the present invention has substantially the same configuration as the "polyimide insulating layer" in the metal-clad laminate of the present invention.
In the following, to avoid repetition, the configuration of the polyimide film of the present invention will be clarified in the detailed description of the metal-clad laminate of the present invention. In the following description, unless otherwise noted, the "polyimide insulating layer" in the metal-clad laminate can be read as the "polyimide film."

図1は、本発明の金属張積層板30の一態様の基本構成を示す模式的断面図である。この金属張積層板30は、金属層10の片面にポリイミド絶縁層20が設けられている構造を有し、構成(a)、(b)(i)~(vi)、(c)を有する。以下、構成毎に詳述する。
なお、上述のとおり、本発明のポリイミドフィルムは、金属張積層板30のポリイミド絶縁層20と同じ構成を有するものである。
1 is a schematic cross-sectional view showing the basic structure of one embodiment of a metal-clad laminate 30 of the present invention. This metal-clad laminate 30 has a structure in which a polyimide insulating layer 20 is provided on one side of a metal layer 10, and has the following components (a), (b), (i) to (vi), and (c). Each component will be described in detail below.
As described above, the polyimide film of the present invention has the same structure as the polyimide insulating layer 20 of the metal-clad laminate 30 .

<構成(a)>
(ポリイミド絶縁層20)
本発明において、ポリイミド絶縁層20は、単層又は複数のポリイミド層で構成されるポリイミド層21と、後述する特定のポリイミド(p)を含有するポリイミド層(P)23とを有し、ポリイミド層(P)23は金属層10と反対側のポリイミド絶縁層20の表面側にその一部分として設けられている。図1では、ポリイミド層(P)23が露出している。
なお、本発明のポリイミドフィルムの場合は、少なくとも一方の露出面側にポリイミド層(P)が設けられていればよい。
<Configuration (a)>
(Polyimide insulating layer 20)
In the present invention, the polyimide insulating layer 20 has a polyimide layer 21 composed of a single layer or multiple polyimide layers, and a polyimide layer (P) 23 containing a specific polyimide (p) described below, and the polyimide layer (P) 23 is provided as a part of the surface side of the polyimide insulating layer 20 opposite to the metal layer 10. In Fig. 1, the polyimide layer (P) 23 is exposed.
In the case of the polyimide film of the present invention, it is sufficient that the polyimide layer (P) is provided on at least one exposed surface side.

ポリイミド層21は、単層又は複数のポリイミド層で構成されており、その主たるポリイミド層は、高耐熱性及び高寸法安定性を担保するために、非熱可塑性ポリイミドで構成される非熱可塑性ポリイミド層であることが好ましいが、発明の効果を損なわない範囲で熱可塑性ポリイミドから構成される熱可塑性ポリイミド層を含有してもよい。ここで、主たるポリイミド層の合計の厚みは、ポリイミド層21の厚みに対して、50%以上とすることが好ましい。また、ポリイミド絶縁層20のポリイミド表面の接着性を向上させるために、ポリイミド層(P)23をポリイミド層21の露出面側に積層する。ポリイミド層(P)23を構成するポリイミドは、熱可塑性ポリイミド又は非熱可塑性ポリイミドに限定されず、他の材料との接着性を向上させることができるものである。 The polyimide layer 21 is composed of a single layer or multiple polyimide layers. The primary polyimide layer is preferably a non-thermoplastic polyimide layer composed of a non-thermoplastic polyimide to ensure high heat resistance and dimensional stability. However, a thermoplastic polyimide layer composed of a thermoplastic polyimide may also be included as long as the effects of the invention are not impaired. The total thickness of the primary polyimide layers is preferably 50% or more of the thickness of the polyimide layer 21. Furthermore, to improve the adhesiveness of the polyimide surface of the polyimide insulating layer 20, a polyimide layer (P) 23 is laminated on the exposed surface of the polyimide layer 21. The polyimide constituting the polyimide layer (P) 23 is not limited to thermoplastic or non-thermoplastic polyimide, and may be any polyimide that can improve adhesiveness with other materials.

非熱可塑性ポリイミド及び熱可塑性ポリイミドは、いずれもテトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分とをイミド化反応させたものであり、モノマー残基として、テトラカルボン酸二無水物成分から誘導された4価の酸無水物残基と、ジアミン成分から誘導された2価のジアミン残基を含むものである。これらのテトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分については、熱可塑性ポリイミド及び非熱可塑性ポリイミドに関連して後述する。 Both non-thermoplastic polyimides and thermoplastic polyimides are produced by the imidization reaction of a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component, and contain, as monomer residues, a tetravalent acid anhydride residue derived from the tetracarboxylic dianhydride component and a divalent diamine residue derived from the diamine component. These tetracarboxylic dianhydride components and diamine components will be described later in connection with thermoplastic polyimides and non-thermoplastic polyimides.

本発明において、「非熱可塑性ポリイミド」の「非熱可塑性」とは、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて測定された30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、かつ、ガラス転移温度+30℃以内の温度域での貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であることを意味する。また、「熱可塑性ポリイミド」の「熱可塑性」とは、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて測定された30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、かつ、ガラス転移温度+30℃以内の温度域での貯蔵弾性率が1.0×10Pa未満を示すことを意味する。 In the present invention, the term "non-thermoplastic" in "non-thermoplastic polyimide" means that the storage modulus at 30°C measured using a dynamic viscoelasticity measuring apparatus (DMA) is 1.0 x 109 Pa or more and the storage modulus in a temperature range within 30°C above the glass transition temperature is 1.0 x 108 Pa or more. Furthermore, the term "thermoplastic" in "thermoplastic polyimide" means that the storage modulus at 30°C measured using a dynamic viscoelasticity measuring apparatus (DMA) is 1.0 x 109 Pa or more and the storage modulus in a temperature range within 30°C above the glass transition temperature is less than 1.0 x 108 Pa.

また、非熱可塑性ポリイミド層は低熱膨張性のポリイミド層を構成し、熱可塑性ポリイミド層は高熱膨張性のポリイミド層を構成する。ここで、低熱膨張性のポリイミド層の「低熱膨張性」とは、熱膨張係数(CTE)が好ましくは1ppm/K以上25ppm/K以下、より好ましくは3ppm/K以上25ppm/K以下の範囲内であることを意味し、他方、高熱膨張性のポリイミド層の「高熱膨張性」とは、CTEが好ましくは35ppm/K以上80ppm/K以下、より好ましくは35ppm/K以上70ppm/K以下の範囲内であることを意味する。ポリイミド層の熱膨張性の調整は、ポリイミドのモノマー組成、ポリイミド絶縁層厚、ポリイミド層の形成条件(塗布、乾燥、硬化)等を適宜変更することで行うことができる。 The non-thermoplastic polyimide layer constitutes a low-thermal expansion polyimide layer, and the thermoplastic polyimide layer constitutes a high-thermal expansion polyimide layer. Here, "low thermal expansion" for a low-thermal expansion polyimide layer means that the coefficient of thermal expansion (CTE) is preferably in the range of 1 ppm/K to 25 ppm/K, more preferably 3 ppm/K to 25 ppm/K. On the other hand, "high thermal expansion" for a high-thermal expansion polyimide layer means that the CTE is preferably in the range of 35 ppm/K to 80 ppm/K, more preferably 35 ppm/K to 70 ppm/K. The thermal expansion of the polyimide layer can be adjusted by appropriately changing the polyimide monomer composition, the thickness of the polyimide insulating layer, the polyimide layer formation conditions (coating, drying, curing), etc.

<構成(b)>
本実施の形態の金属張積層板30は、ポリイミド絶縁層20が、全体として下記の条件(i)~(iv)を満たしている。
<Configuration (b)>
In the metal-clad laminate 30 of this embodiment, the polyimide insulating layer 20 as a whole satisfies the following conditions (i) to (iv).

(i)酸素透過係数が2.0×10-18mol・m/m・s・Pa以下であること。
本発明においては、ポリイミド絶縁層20の酸素透過係数を2.0×10-18mol・m/m・s・Pa以下に調整する。酸素透過係数の測定は、JIS K-7126-1の差圧法に準拠して行うことができる。酸素透過係数を2.0×10-18mol・m/m・s・Pa以下に調整することにより、ポリイミド絶縁層20を構成するポリイミドの分子の運動抑制により誘電正接を低下させることができる。また、金属張積層板30の金属層10を回路加工し、ポリイミド絶縁層20を回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合において、繰り返し高温に晒される環境であっても、長期間に亘って配線層との接着性が維持され、優れた長期耐熱接着性が得られる。ポリイミド絶縁層20の酸素透過係数が2.0×10-18mol・m/m・s・Paを超える場合は、ポリイミド絶縁層20を透過した酸素によって配線層の酸化が進み、配線層とポリイミド絶縁層20との接着性が低下することが懸念される。なお、ポリイミド絶縁層20の酸素透過係数は、主に、ポリイミド層21の厚みや厚み比率のほか、ポリイミド層21を構成するポリイミド中、好ましくは非熱可塑性ポリイミド中のビフェニル骨格含有残基の比率、脂肪族骨格残基の有無、ジアミン残基及び酸無水物残基の置換基の種類によって調節することができる。
(i) The oxygen permeability coefficient is 2.0×10 −18 mol·m/m 2 ·s·Pa or less.
In the present invention, the oxygen permeability coefficient of the polyimide insulating layer 20 is adjusted to 2.0×10 −18 mol m/m 2 s Pa or less. The oxygen permeability coefficient can be measured in accordance with the differential pressure method of JIS K-7126-1. By adjusting the oxygen permeability coefficient to 2.0×10 −18 mol m/m 2 s Pa or less, the dielectric loss tangent can be reduced by suppressing the molecular motion of the polyimide constituting the polyimide insulating layer 20. Furthermore, when the metal layer 10 of the metal-clad laminate 30 is processed into a circuit and the polyimide insulating layer 20 is used as an insulating resin layer of a circuit board, adhesion to the wiring layer is maintained for a long period of time, even in an environment where the polyimide insulating layer 20 is repeatedly exposed to high temperatures, and excellent long-term heat-resistant adhesion can be obtained. If the oxygen permeability coefficient of the polyimide insulating layer 20 exceeds 2.0×10 −18 mol m/m 2 s Pa, there is a concern that oxygen that has permeated the polyimide insulating layer 20 will accelerate oxidation of the wiring layer, resulting in a decrease in adhesion between the wiring layer and the polyimide insulating layer 20. The oxygen permeability coefficient of the polyimide insulating layer 20 can be adjusted mainly by the thickness and thickness ratio of the polyimide layer 21, as well as the ratio of biphenyl skeleton-containing residues in the polyimide constituting the polyimide layer 21, preferably in the non-thermoplastic polyimide, the presence or absence of aliphatic skeleton residues, and the types of substituents of the diamine residues and acid anhydride residues.

(ii)熱膨張係数(CTE)が10~30ppm/Kの範囲内であること。
本発明においては、ポリイミド絶縁層20全体の熱膨張係数(CTE)を、10ppm/K以上30ppm/K以下、好ましくは10ppm/K以上25ppm/K以下、より好ましくは15ppm/K以上25ppm/K以下に調整する。これにより、金属張積層板30において、反りの発生や寸法安定性の低下を防止することができる。ポリイミド絶縁層20全体のCTEが10~30ppm/Kの範囲外となると、反りの発生や寸法安定性の低下が懸念される。なお、ポリイミド絶縁層20の熱膨張係数(CTE)は、主たるポリイミド層を非熱可塑性ポリイミド層とし、主に、ポリイミド層21に含まれる非熱可塑性ポリイミド層の厚み比率のほか、非熱可塑性ポリイミド層を構成する非熱可塑性ポリイミド中のフェニル骨格含有残基やナフタレン骨格含有残基、ビフェニル骨格含有残基といった剛直モノマー残基の比率、イミド化工程における熱処理条件等によって調節することができる。
(ii) The coefficient of thermal expansion (CTE) is in the range of 10 to 30 ppm/K.
In the present invention, the coefficient of thermal expansion (CTE) of the entire polyimide insulating layer 20 is adjusted to 10 ppm/K or more and 30 ppm/K or less, preferably 10 ppm/K or more and 25 ppm/K or less, and more preferably 15 ppm/K or more and 25 ppm/K or less. This prevents warpage and a decrease in dimensional stability in the metal-clad laminate 30. If the CTE of the entire polyimide insulating layer 20 is outside the range of 10 to 30 ppm/K, warpage and a decrease in dimensional stability are likely to occur. The coefficient of thermal expansion (CTE) of the polyimide insulating layer 20 can be adjusted by, for example, using a non-thermoplastic polyimide layer as the main polyimide layer, the thickness ratio of the non-thermoplastic polyimide layer contained in the polyimide layer 21, the ratio of rigid monomer residues such as phenyl skeleton-containing residues, naphthalene skeleton-containing residues, and biphenyl skeleton-containing residues in the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer, and the heat treatment conditions in the imidization step.

(iii)10GHzにおける誘電正接(Tanδ)が、0.004以下であること。
本発明においては、ポリイミド絶縁層20全体の10GHzにおける誘電正接(Tanδ)を0.004以下に調整する。これにより、金属張積層板30のポリイミド絶縁層20を、例えば、回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合において、高周波信号の伝送時における誘電損失を低減することができる。ここで、誘電正接は、スプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定することができる。従って、ポリイミド絶縁層20を、例えば高周波回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合、伝送損失を効率よく低減できる。なお、10GHzにおける誘電正接が0.004を超えると、ポリイミド絶縁層20を回路基板の絶縁樹脂層として適用した際に、高周波信号の伝送経路上で電気信号のロスが大きくなるなどの不都合の発生が懸念される。10GHzにおける誘電正接の下限値については、特に制限されるものではないが、ポリイミド絶縁層20を回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合の要求特性に応じて決定することができる。なお、ポリイミド絶縁層20の誘電正接(Tanδ)は、主に、ポリイミド層21の厚み比率のほか、ポリイミド層21を構成するポリイミド中のビフェニル骨格含有残基の比率やイミド基割合によって調節することができる。
(iii) The dielectric loss tangent (Tan δ) at 10 GHz is 0.004 or less.
In the present invention, the dielectric loss tangent (Tan δ) of the entire polyimide insulating layer 20 at 10 GHz is adjusted to 0.004 or less. This allows the polyimide insulating layer 20 of the metal-clad laminate 30 to be used, for example, as an insulating resin layer in a circuit board, thereby reducing dielectric loss during high-frequency signal transmission. The dielectric loss tangent can be measured using a split post dielectric resonator (SPDR). Therefore, when the polyimide insulating layer 20 is used, for example, as an insulating resin layer in a high-frequency circuit board, transmission loss can be efficiently reduced. Note that if the dielectric loss tangent at 10 GHz exceeds 0.004, there is a concern that problems such as increased electrical signal loss may occur in the high-frequency signal transmission path when the polyimide insulating layer 20 is used as an insulating resin layer in a circuit board. The lower limit of the dielectric loss tangent at 10 GHz is not particularly limited, but can be determined depending on the required characteristics when the polyimide insulating layer 20 is used as an insulating resin layer in a circuit board. The dielectric loss tangent (Tan δ) of the polyimide insulating layer 20 can be adjusted mainly by the thickness ratio of the polyimide layer 21, as well as the ratio of biphenyl skeleton-containing residues and imide group ratio in the polyimide constituting the polyimide layer 21.

他方、ポリイミド絶縁層20は、例えば回路基板の絶縁樹脂層として適用する場合において、インピーダンス整合性を確保するために、ポリイミド絶縁層20全体として、スプリットポスト誘電体共振器(SPDR)により測定した10GHzにおける比誘電率が4.0以下であることが好ましい。10GHzにおける比誘電率が4.0を超えると、ポリイミド絶縁層20を回路基板の絶縁樹脂層として適用した際に、誘電損失の増大に繋がり、高周波信号の伝送経路上で電気信号のロスが大きくなるなどの不都合が生じやすくなることが懸念されるからである。また、ポリイミド絶縁層20の層厚を一定とした場合、比誘電率が高くなるほどインピーダンス整合した際の回路配線幅が狭くなるため、導体損失が増加する原因にもなりかねないからである。 On the other hand, when the polyimide insulating layer 20 is used, for example, as an insulating resin layer for a circuit board, it is preferable that the polyimide insulating layer 20 as a whole have a dielectric constant of 4.0 or less at 10 GHz, as measured using a split post dielectric resonator (SPDR), in order to ensure impedance matching. If the dielectric constant at 10 GHz exceeds 4.0, there is a concern that when the polyimide insulating layer 20 is used as an insulating resin layer for a circuit board, this will lead to increased dielectric loss, potentially resulting in problems such as increased electrical signal loss in the high-frequency signal transmission path. Furthermore, for a given thickness of the polyimide insulating layer 20, a higher dielectric constant will narrow the circuit wiring width when impedance matching is achieved, which could potentially lead to increased conductor loss.

(iv)層厚が10μm~100μmの範囲内であること。
本発明においては、ポリイミド絶縁層20全体の層厚を、10μm~100μmの範囲内とする。これは、その層厚が薄すぎると、ポリイミド絶縁層20の破れが生じやすくなり、他方、その層厚が厚すぎると、金属張積層板30を曲げた際に金属層10にクラックが生じることが懸念されるからである。なお、ポリイミド絶縁層20全体の層厚を、この10μm~100μmという範囲内において、金属張積層板30の使用目的に応じて、適切な層厚に設定することができる。例えば、金属張積層板30を回路基板に適用する場合には、好ましくは30~60μm、より好ましくは35~50μmの範囲内に設定することができる。
(iv) The layer thickness is in the range of 10 μm to 100 μm.
In the present invention, the overall thickness of the polyimide insulating layer 20 is set within the range of 10 μm to 100 μm. This is because if the layer thickness is too thin, the polyimide insulating layer 20 is prone to tearing, while if the layer thickness is too thick, there is a concern that cracks will occur in the metal layer 10 when the metal-clad laminate 30 is bent. The overall thickness of the polyimide insulating layer 20 can be set to an appropriate thickness within this range of 10 μm to 100 μm depending on the intended use of the metal-clad laminate 30. For example, when the metal-clad laminate 30 is used in a circuit board, the thickness can be set preferably within the range of 30 to 60 μm, more preferably within the range of 35 to 50 μm.

<構成(c)>
(ポリイミド層(P)23)
本発明において、ポリイミド層(P)23は、金属張積層板30の表面に露出し、例えばボンディングシートが直接貼り合わされる露出面を形成している。ポリイミド層(P)23を構成するポリイミド(p)は、テトラカルボン酸二無水物成分から誘導される酸無水物残基と、ジアミン成分から誘導されるジアミン残基とを含有し、前記ジアミン残基は、下記一般式(1)で表されるジアミン化合物(1,3-ビス(アミノフェノキシ)ベンゼン)から誘導されるジアミン残基を、全ジアミン残基に対し、少なくとも30モル%、好ましくは少なくとも50モル%含有している。
<Configuration (c)>
(Polyimide layer (P) 23)
In the present invention, the polyimide layer (P) 23 is exposed on the surface of the metal-clad laminate 30, forming an exposed surface to which, for example, a bonding sheet is directly attached. The polyimide (p) constituting the polyimide layer (P) 23 contains an acid anhydride residue derived from a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine residue derived from a diamine component, and the diamine residue contains diamine residues derived from a diamine compound (1,3-bis(aminophenoxy)benzene) represented by the following general formula (1) in an amount of at least 30 mol %, preferably at least 50 mol %, based on the total diamine residues.

一般式(1)で表されるジアミン化合物は、中央のベンゼン環のメタ位に二つのアミノフェノキシ基を有する。このため、メタ結合による回転運動が抑制されており、しかもジ(アミノフェニル)エーテル等の一般的なジアミン化合物よりも比較的分子量が大きいため、イミド基濃度の上昇を抑制でき、ポリイミド絶縁層20に低誘電率化並びに低誘電正接化を実現することができる。しかも、誘電特性を劣化させやすい高極性のテトラカルボン酸二無水物と反応させても、誘電特性を劣化させずにボンディングシートとの密着性を確保することができる。 The diamine compound represented by general formula (1) has two aminophenoxy groups at the meta position of the central benzene ring. This suppresses rotational motion due to the meta bond, and because it has a relatively larger molecular weight than common diamine compounds such as di(aminophenyl)ether, it is possible to suppress an increase in the imide group concentration, thereby achieving a low dielectric constant and low dielectric loss tangent in the polyimide insulating layer 20. Furthermore, even when reacted with highly polar tetracarboxylic dianhydrides, which tend to degrade dielectric properties, it is possible to ensure adhesion to the bonding sheet without degrading the dielectric properties.

一般式(1)で表されるジアミン化合物としては、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE-R)等が挙げられる。特に、メタ結合による良好な回転運動抑制効果が見込める点から1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE-R)が好ましい。 Examples of diamine compounds represented by general formula (1) include 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (APB) and 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R). 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R) is particularly preferred because of the expected favorable rotational motion suppression effect of the meta bond.

ポリイミド(p)のジアミン残基は、一般式(1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を、全ジアミン残基に対し、少なくとも30モル%、好ましくは少なくとも50モル%、より好ましくは少なくとも70モル%含有している。一般式(1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基の含有量が小さすぎると、ポリイミド絶縁層20に低誘電率化並びに低誘電正接化を実現できないことが懸念されるからである。 The diamine residues of polyimide (p) contain diamine residues derived from the diamine compound represented by general formula (1) in an amount of at least 30 mol %, preferably at least 50 mol %, and more preferably at least 70 mol % based on the total diamine residues. If the content of diamine residues derived from the diamine compound represented by general formula (1) is too small, there is a concern that the polyimide insulating layer 20 may not achieve a low dielectric constant and low dielectric loss tangent.

なお、ポリイミド層(P)23を構成するポリイミド(p)のジアミン残基は、本発明の効果を損なわない範囲で、公知のジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を含有することができる。そのような公知のジアミン化合物としては、例えば、1,4-ジアミノベンゼン(p-PDA;パラフェニレンジアミン)、4-アミノフェニル-4′-アミノベンゾエート(APAB)、3,3′-ジアミノジフェニルメタン、3,3′-ジアミノジフェニルプロパン、3,3′-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3′-ジアミノジフェニルスルホン、3,3′-ジアミノジフェニルエーテル、3,4′-ジアミノジフェニルエーテル、3,4′-ジアミノジフェニルメタン、3,4′-ジアミノジフェニルプロパン、3,4′-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3′-ジアミノベンゾフェノン、(3,3′-ビスアミノ)ジフェニルアミン、1,4-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、3-[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼンアミン、3-[3-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼンアミン、4,4′-[2-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、4,4′-[4-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、4,4′-[5-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、ビス[4,4′-(3-アミノフェノキシ)]ベンズアニリド、4-[3-[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]フェノキシ]アニリン、4,4′-[オキシビス(3,1-フェニレンオキシ)]ビスアニリン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル(BAPE)、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン(BAPS)、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ケトン(BAPK)、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、9,9-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、2,2-ビス-[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、3,3′-ジメチル-4,4′-ジアミノビフェニル、4,4′-メチレンジ-o-トルイジン、4,4′-メチレンジ-2,6-キシリジン、4,4′-メチレン-2,6-ジエチルアニリン、3,3′-ジアミノジフェニルエタン、3,3′-ジアミノビフェニル、3,3′-ジメトキシベンジジン、3,3′′-ジアミノ-p-テルフェニル、4,4′-[1,4-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4′-[1,3-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、ビス(p-アミノシクロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノペンチル)ベンゼン、1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジアミノトルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン-2,5-ジアミン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、ピペラジン、2′-メトキシ-4,4′-ジアミノベンズアニリド、4,4′-ジアミノベンズアニリド、1,3-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン、1,4-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)-2,5-ジ-tert-ブチルベンゼン、6-アミノ-2-(4-アミノフェノキシ)ベンゾオキサゾール、2,6-ジアミノ-3,5-ジエチルトルエン、2,4-ジアミノ-3,5-ジエチルトルエン、2,4-ジアミノ-3,3′-ジエチル-5,5′-ジメチルジフェニルメタン、ビス(4-アミノ-3-エチル-5-メチルフェニル)メタン等の芳香族ジアミン化合物、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級のアミノメチル基又はアミノ基に置換されてなるダイマー酸型ジアミン等の脂肪族ジアミン化合物などが挙げられる。 The diamine residues of the polyimide (p) constituting the polyimide layer (P) 23 may contain diamine residues derived from known diamine compounds, as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of such known diamine compounds include 1,4-diaminobenzene (p-PDA; paraphenylenediamine), 4-aminophenyl-4'-aminobenzoate (APAB), 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenylmethane, and 3,4'-diaminodiphenylpropane. benzophenone, 3,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminobenzophenone, (3,3'-bisamino)diphenylamine, 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene, 3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzenamine, 3-[3-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzenamine, 4,4'-[2-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[4-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[5-methyl-(1,3- 4,4'-[4-(4-aminophenoxy)phenyl] bisaniline, bis[4,4'-(3-aminophenoxy)]benzanilide, 4-[3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]phenoxy]aniline, 4,4'-[oxybis(3,1-phenyleneoxy)]bisaniline, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether (BAPE), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone (BAPS), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ketone (BAPK), 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)]benzanilide, 4-[3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]phenoxy]aniline, 4,4'-[oxybis(3,1-phenyleneoxy)]bisaniline, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether (BAPE), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone (BAPS), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ketone (BAPK), bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP), bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, 9,9-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]fluorene, 2,2-bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis- [4-(3-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xylidine, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 3,3'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 3,3''-diamino-p-terphenyl, 4,4'-[1,4-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, 4,4'-[1, 3-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, bis(p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl)ether, bis(p-β-methyl-δ-aminopentyl)benzene, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4-bis(β-amino-t-butyl)toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamino benzene, p-xylene-2,5-diamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, piperazine, 2'-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzanilide, 1,3-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)-2,5-di-tert-butyl ether Examples include aromatic diamine compounds such as t-butylbenzene, 6-amino-2-(4-aminophenoxy)benzoxazole, 2,6-diamino-3,5-diethyltoluene, 2,4-diamino-3,5-diethyltoluene, 2,4-diamino-3,3'-diethyl-5,5'-dimethyldiphenylmethane, and bis(4-amino-3-ethyl-5-methylphenyl)methane, and aliphatic diamine compounds such as dimer acid diamines in which the two terminal carboxylic acid groups of a dimer acid are substituted with primary aminomethyl groups or amino groups.

なお、ポリイミド(p)のテトラカルボン酸二無水物成分から誘導される酸無水物残基としては、ポリイミド絶縁層20の低誘電特性とボンディングシートに対する高密着性とを良好なバランスで実現できる種々の酸無水物残基を採用することができる。中でも、酸無水物残基は、高極性のカルボニル基を有する3,3′,4,4′-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)から誘導される酸無水物残基と、比較的低分子量であるので相対的にイミド基濃度が高いピロメリット酸二無水物(PMDA)から誘導される酸無水物残基とを合計で、全酸無水物残基に対し、好ましくは少なくとも60モル%、より好ましくは少なくとも90モル%で含有する。BTDAのみでもよく、PMDAのみでもよいが、それら双方を含有している場合、好ましい範囲は、全酸無水物残基に対し、BTDAが50~80モル%、PMDAが20~50モル%である。 The acid anhydride residues derived from the tetracarboxylic dianhydride component of polyimide (p) can be selected from a variety of acid anhydride residues that can achieve a good balance between the low dielectric properties of the polyimide insulating layer 20 and high adhesion to the bonding sheet. In particular, the acid anhydride residues preferably contain at least 60 mol%, more preferably at least 90 mol%, of the total acid anhydride residues, including acid anhydride residues derived from 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride (BTDA), which has a highly polar carbonyl group, and acid anhydride residues derived from pyromellitic dianhydride (PMDA), which has a relatively low molecular weight and therefore a relatively high imide group concentration. Either BTDA alone or PMDA alone may be used. However, when both are contained, the preferred ranges are 50-80 mol% BTDA and 20-50 mol% PMDA, based on the total acid anhydride residues.

なお、ポリイミド(p)の酸無水物残基は、本発明の効果を損なわない範囲で、公知のテトラカルボン酸二無水物から誘導される酸無水物残基を含有することができる。そのような公知の酸二無水物としては、1,4-フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル)二無水物(TAHQ)、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物(NTCDA)、3,3′,4,4′-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,4′-オキシジフタル酸無水物、2,2′,3,3′-又は2,3,3′,4′-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3′,3,4′-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、3,3′′,4,4′′-、2,3,3′′,4′′-又は2,2′′,3,3′′-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-又は3.4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,2,7,8-、1,2,6,7-又は1,2,9,10-フェナンスレン-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-アントラセンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)テトラフルオロプロパン二無水物、2,3,5,6-シクロヘキサン二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,6-又は2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-(又は1,4,5,8-)テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-(又は2,3,6,7-)テトラカルボン酸二無水物、2,3,8,9-、3,4,9,10-、4,5,10,11-又は5,6,11,12-ペリレン-テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4′-ビス(2,3-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルメタン二無水物、エチレングリコール ビスアンヒドロトリメリテート等の芳香族テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。 The acid anhydride residues of the polyimide (p) may contain acid anhydride residues derived from known tetracarboxylic dianhydrides, as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of such known acid dianhydrides include 1,4-phenylenebis(trimellitic acid monoester)dianhydride (TAHQ), 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride (NTCDA), 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 2,2',3,3'- or 2,3,3',4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3',3,4'-diphenylethertetracarboxylic dianhydride, bis(2,3-dicarboxyphenyl)ether dianhydride, 3,3'',4,4'' 2,3,3'',4''- or 2,2'',3,3''-p-terphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,2-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, 1,1-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,2,7,8-, 1,2,6,7- or 1,2,9,10-phenanthrenetetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,6,7-anthraquinone dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)tetrafluoropropane dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-(or 1,4,5,8-)tetrachloronaphthalene Examples of aromatic tetracarboxylic dianhydrides include 1,4,5,8-(or 2,3,6,7-) perylene tetracarboxylic dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11-, or 5,6,11,12-perylene tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane 1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine 2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine 2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene 2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(2,3-dicarboxyphenoxy)diphenylmethane dianhydride, and ethylene glycol bisanhydrotrimellitate.

ポリイミド(p)において、上記酸無水物残基及びジアミン残基の種類や、2種以上の酸無水物残基又はジアミン残基を適用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、熱膨張係数、引張弾性率、ガラス転移温度等を制御することができる。また、ポリイミド(p)において、ポリイミドの構造単位を複数有する場合は、ブロックとして存在しても、ランダムに存在していてもよいが、ランダムに存在することが好ましい。なお、ポリイミド(p)は、芳香族テトラカルボン酸二無水物から誘導される芳香族テトラカルボン酸無水物残基及び芳香族ジアミンから誘導される芳香族ジアミン残基を含むことが好ましい。ポリイミド(p)に含まれる酸無水物残基及びジアミン残基を、いずれも芳香族基とすることで、ポリイミド絶縁層20の高温環境下でのポリイミドの劣化を抑制することができる。 In polyimide (p), the thermal expansion coefficient, tensile modulus, glass transition temperature, and other properties can be controlled by selecting the types of acid anhydride residues and diamine residues, or by selecting the respective molar ratios when two or more types of acid anhydride residues or diamine residues are used. Furthermore, when polyimide (p) contains multiple polyimide structural units, they may exist as blocks or randomly, but random existence is preferred. Furthermore, polyimide (p) preferably contains aromatic tetracarboxylic acid anhydride residues derived from aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides and aromatic diamine residues derived from aromatic diamines. By making both the acid anhydride residues and diamine residues contained in polyimide (p) aromatic groups, degradation of the polyimide in the high-temperature environment of the polyimide insulating layer 20 can be suppressed.

ポリイミド(p)のイミド基濃度は、30重量%以下であることが好ましい。ここで、「イミド基濃度」は、ポリイミド中のイミド基部(-(CO)-N-)の分子量を、ポリイミドの構造全体の分子量で除した値を意味する。イミド基濃度が30重量%を超えると、ガラス転移温度以上の温度での弾性率が低下しにくくなり、また極性基の増加によって低吸湿性も悪化する。 The imide group concentration of the polyimide (p) is preferably 30% by weight or less. Here, "imide group concentration" means the value obtained by dividing the molecular weight of the imide group (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire polyimide structure. If the imide group concentration exceeds 30% by weight, it becomes difficult to reduce the elastic modulus at temperatures equal to or higher than the glass transition temperature, and the increase in polar groups also deteriorates the low moisture absorption property.

ポリイミド(p)の重量平均分子量は、例えば10,000~400,000の範囲内が好ましく、50,000~350,000の範囲内がより好ましい。重量平均分子量が10,000未満であると、フィルムの強度が低下して脆化しやすい傾向となる。一方、重量平均分子量が400,000を超えると、過度に粘度が増加して塗工作業の際にフィルム厚みムラ、スジ等の不良が発生しやすい傾向がある。 The weight-average molecular weight of polyimide (p) is preferably, for example, in the range of 10,000 to 400,000, and more preferably in the range of 50,000 to 350,000. If the weight-average molecular weight is less than 10,000, the film tends to have reduced strength and become brittle. On the other hand, if the weight-average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity increases excessively, and defects such as uneven film thickness and streaks tend to occur during the coating process.

なお、本発明のポリイミド絶縁層20において、ポリイミド層(P)23上にさらに金属層(図示せず)を積層することによりポリイミド層(P)23を接着層として機能させることができる。 In addition, in the polyimide insulating layer 20 of the present invention, by further laminating a metal layer (not shown) on the polyimide layer (P) 23, the polyimide layer (P) 23 can function as an adhesive layer.

(ポリイミド層21)
本発明においては、金属張積層板30のポリイミド絶縁層20を構成するポリイミド層21は、単層又は複数のポリイミド層で構成されており、その主たるポリイミド層が非熱可塑性ポリイミド層を含有し、該非熱可塑性ポリイミド層が下記の条件(イ)~(ハ)を満たしていることが好ましい。以下条件毎に説明する。
(Polyimide layer 21)
In the present invention, the polyimide layer 21 constituting the polyimide insulating layer 20 of the metal-clad laminate 30 is composed of a single layer or multiple polyimide layers, and it is preferable that the main polyimide layer contains a non-thermoplastic polyimide layer, and that the non-thermoplastic polyimide layer satisfies the following conditions (A) to (C). Each condition will be explained below.

(イ)非熱可塑性ポリイミド層を構成する非熱可塑性ポリイミドが、全モノマー成分から誘導される全モノマー残基中にビフェニル骨格を有するモノマー残基を50モル%以上含有していること;
(ロ)厚みが7μm~70μmの範囲内であること;及び
(ハ)ポリイミド絶縁層20全体の層厚に対する非熱可塑性ポリイミド層の厚みの比率が70%以上であること。
(A) The non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer contains 50 mol % or more of monomer residues having a biphenyl skeleton among all monomer residues derived from all monomer components;
(b) the thickness is within the range of 7 μm to 70 μm; and (c) the ratio of the thickness of the non-thermoplastic polyimide layer to the thickness of the entire polyimide insulating layer 20 is 70% or more.

(条件(イ))
ポリイミド絶縁層20において、非熱可塑性ポリイミド層はポリイミド層21の主たる層として含有する。ポリイミド絶縁層20の酸素透過係数、CTE及び誘電特性を制御しやすくするためである。ここで、「主たる層」とは、ポリイミド層21全体の厚みの50%超、好ましくは60~100%の厚みを占める層を意味する。また、非熱可塑性ポリイミド層を構成する非熱可塑性ポリイミドは、非熱可塑性ポリイミドを構成する全モノマー成分から誘導される全モノマー残基中にビフェニル骨格を有するモノマー残基(以下、「ビフェニル骨格含有残基」と記すことがある)を好ましくは50モル%以上、より好ましくは70モル%以上含有する。これにより、ポリイミド絶縁層20を構成するポリイミド全体におけるビフェニル骨格含有残基の含有比率を高め、酸素透過係数を下げ、低誘電正接化を図ることができる。一方、回路基板材料として用いられる金属張積層板30のポリイミド絶縁層20に必要な物性を維持するため、ビフェニル骨格含有残基の割合は、全モノマー残基に対し、80モル%以下とすることが好ましい。ここで、ビフェニル骨格とは、2つのフェニル基が単結合した骨格である。従って、ビフェニル骨格含有残基とは、例えば、ビフェニルジイル残基、ビフェニルテトライル残基などを挙げることができる。これらの残基に含まれる芳香環は、任意の置換基を有していてもよい。ビフェニルジイル基の代表例としては、ビフェニル-3,3′-ジイル残基、ビフェニル-4,4′-ジイル残基を挙げることができる。ビフェニルテトライル残基の代表例としては、ビフェニル-3,4、3′、4′-テトライル残基を挙げることができる。
(Condition (a))
In the polyimide insulating layer 20, the non-thermoplastic polyimide layer is contained as the main layer of the polyimide layer 21. This is to facilitate control of the oxygen permeability coefficient, CTE, and dielectric properties of the polyimide insulating layer 20. Here, "main layer" refers to a layer that accounts for more than 50%, preferably 60 to 100%, of the overall thickness of the polyimide layer 21. Furthermore, the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer preferably contains 50 mol% or more, more preferably 70 mol% or more, of monomer residues having a biphenyl skeleton (hereinafter sometimes referred to as "biphenyl skeleton-containing residues") among all monomer residues derived from all monomer components constituting the non-thermoplastic polyimide. This increases the content of biphenyl skeleton-containing residues in the entire polyimide constituting the polyimide insulating layer 20, thereby reducing the oxygen permeability coefficient and achieving a low dielectric loss tangent. Meanwhile, to maintain the physical properties required for the polyimide insulating layer 20 of the metal-clad laminate 30 used as a circuit board material, the proportion of biphenyl skeleton-containing residues relative to all monomer residues is preferably 80 mol% or less. Here, the biphenyl skeleton is a skeleton formed by two single-bonded phenyl groups. Therefore, examples of biphenyl skeleton-containing residues include biphenyldiyl residues and biphenyltetrayl residues. The aromatic rings contained in these residues may have any substituent. Representative examples of biphenyldiyl groups include biphenyl-3,3'-diyl residues and biphenyl-4,4'-diyl residues. Representative examples of biphenyltetrayl residues include biphenyl-3,4,3',4'-tetrayl residues.

また、非熱可塑性ポリイミド層は、ビフェニル骨格含有残基の占める割合が、全ジアミン残基及び全酸無水物残基のそれぞれに対して好ましくは20モル%以上、より好ましくは30モル%以上、更に好ましくは40モル%以上である。全ジアミン残基及び全酸無水物残基のそれぞれに対して、ビフェニル骨格含有残基を20モル%以上含むようにすることによって、ビフェニル骨格含有残基がジアミン残基又は酸無水物残基のいずれか片方に偏って存在する場合に比べて、ポリマー全体の秩序構造の形成がより促進され、酸素透過係数と誘電正接を低下させる効果が増大する。 Furthermore, the proportion of biphenyl skeleton-containing residues in the non-thermoplastic polyimide layer is preferably 20 mol % or more, more preferably 30 mol % or more, and even more preferably 40 mol % or more, based on each of all diamine residues and all acid anhydride residues. By containing 20 mol % or more biphenyl skeleton-containing residues based on each of all diamine residues and all acid anhydride residues, the formation of an ordered structure throughout the polymer is more promoted than when the biphenyl skeleton-containing residues are biased toward either diamine residues or acid anhydride residues, and the effect of reducing the oxygen permeability coefficient and dielectric loss tangent is enhanced.

なお、ビフェニル骨格含有残基は、原料モノマーに由来する構造であり、テトラカルボン酸二無水物から誘導されるものでもよいし、ジアミン化合物から誘導されるものでもよい。 The biphenyl skeleton-containing residue has a structure derived from the raw material monomer, and may be derived from a tetracarboxylic dianhydride or a diamine compound.

ビフェニル骨格を有する酸無水物残基の代表例としては、3,3′,4,4′-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、2,3′,3,4′-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、4,4′-ビフェノール-ビス(トリメリテート無水物)などの酸二無水物から誘導される残基を挙げることができる。これらの中でも、特に、BPDAから誘導される酸無水物残基(以下、「BPDA残基」ともいう。)は、ポリマーの秩序構造を形成しやすく、分子の運動抑制により誘電正接や吸湿性を低下させることができるため好ましい。また、BPDA残基は、ポリイミド前駆体のポリアミド酸としてのゲル膜の自己支持性を付与できる。 Representative examples of acid anhydride residues having a biphenyl skeleton include residues derived from acid dianhydrides such as 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 2,3',3,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and 4,4'-biphenol-bis(trimellitate anhydride). Among these, acid anhydride residues derived from BPDA (hereinafter also referred to as "BPDA residues") are particularly preferred because they facilitate the formation of an ordered polymer structure and can reduce dielectric tangent and moisture absorption by suppressing molecular motion. Furthermore, BPDA residues can impart self-supporting properties to the gel film of the polyimide precursor polyamic acid.

なお、非熱可塑性ポリイミド層を構成する非熱可塑性ポリイミドの酸無水物残基は、本発明の効果を損なわない範囲で、ビフェニル骨格を有する酸無水物残基のほかに、公知のテトラカルボン酸二無水物から誘導される酸無水物残基を含有することができる。そのような公知の酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物(PMDA)、1,4-フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル)二無水物(TAHQ)、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物(NTCDA)、3,3′,4,4′-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,4′-オキシジフタル酸無水物、2,2′,3,3′-、2,3,3′,4′-又は3,3′,4,4′-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3′,3,4′-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、3,3′′,4,4′′-、2,3,3′′,4′′-又は2,2′′,3,3′′-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-又は3.4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,2,7,8-、1,2,6,7-又は1,2,9,10-フェナンスレン-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-アントラセンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)テトラフルオロプロパン二無水物、2,3,5,6-シクロヘキサン二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,6-又は2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-(又は1,4,5,8-)テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-(又は2,3,6,7-)テトラカルボン酸二無水物、2,3,8,9-、3,4,9,10-、4,5,10,11-又は5,6,11,12-ペリレン-テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4′-ビス(2,3-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルメタン二無水物、エチレングリコール ビスアンヒドロトリメリテート等の芳香族テトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。 The acid anhydride residues of the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer may contain acid anhydride residues derived from known tetracarboxylic dianhydrides in addition to acid anhydride residues having a biphenyl skeleton, as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of such known acid dianhydrides include pyromellitic dianhydride (PMDA), 1,4-phenylenebis(trimellitic acid monoester) dianhydride (TAHQ), 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride (NTCDA), 3,3',4,4'-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 2,2',3,3'-, 2,3,3',4'-, or 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3',3,4'-diphenylethertetracarboxylic dianhydride, bis(2,3-dicarboxylate) dianhydride, and bis(2,3-dicarboxylate) dianhydride. phenyl) ether dianhydride, 3,3",4,4",-, 2,3,3",4", or 2,2",3,3"-p-terphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,2-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)-propane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)methane dianhydride, bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)sulfone dianhydride, 1,1-bis(2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl)ethane dianhydride, 1,2,7,8-, 1,2,6,7-, or 1,2,9,10-phenanthrenetetracarboxylic acid dianhydride Anhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis(3,4-dicarboxyphenyl)tetrafluoropropane dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-(or 1,4,5,8-)tetracarboxylic dianhydride Examples include aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as tetrachloronaphthalene-1,4,5,8- (or 2,3,6,7-) tetracarboxylic dianhydride, 2,3,8,9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11-, or 5,6,11,12-perylene tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(2,3-dicarboxyphenoxy)diphenylmethane dianhydride, and ethylene glycol bisanhydrotrimellitate.

他方、ビフェニル骨格を有するジアミン化合物の代表例としては、芳香環を2つのみ有するジアミン化合物が挙げられ、2,2′-ジメチル-4,4′-ジアミノビフェニル(m-TB)、2,2′-ジエチル-4,4′-ジアミノビフェニル(m-EB)、2,2′-ジエトキシ-4,4′-ジアミノビフェニル(m-EOB)、2,2′-ジプロポキシ-4,4′-ジアミノビフェニル(m-POB)、2,2′-ジ-n-プロピル-4,4′-ジアミノビフェニル(m-NPB)、2,2′-ジビニル-4,4′-ジアミノビフェニル(VAB)、4,4′-ジアミノビフェニル、4,4′-ジアミノ-2,2′-ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル(TFMB)などを挙げることができる。これらのジアミン化合物から誘導される残基は、剛直構造を有しているため、ポリマー全体に秩序構造を付与する作用を有している。これらのジアミン化合物から誘導される残基を含有することによって、酸素透過係数が低く、低吸湿性のポリイミドが得られ、分子鎖内部の水分を低減できるため、誘電正接を下げることができる。中でも、m-TBが好ましい。 On the other hand, representative examples of diamine compounds having a biphenyl skeleton include diamine compounds having only two aromatic rings, such as 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-TB), 2,2'-diethyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-EB), 2,2'-diethoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-EOB), 2,2'-dipropoxy-4,4'-diaminobiphenyl (m-POB), 2,2'-di-n-propyl-4,4'-diaminobiphenyl (m-NPB), 2,2'-divinyl-4,4'-diaminobiphenyl (VAB), 4,4'-diaminobiphenyl, and 4,4'-diamino-2,2'-bis(trifluoromethyl)biphenyl (TFMB). Residues derived from these diamine compounds have a rigid structure and therefore have the effect of imparting an ordered structure to the entire polymer. By including residues derived from these diamine compounds, polyimides with low oxygen permeability and low moisture absorption can be obtained, and moisture content within the molecular chain can be reduced, resulting in a lower dielectric tangent. Of these, m-TB is preferred.

なお、非熱可塑性ポリイミド層を構成する非熱可塑性ポリイミドのジアミン残基は、本発明の効果を損なわない範囲で、ビフェニル骨格を有する上述のジアミン化合物のほかに、公知のジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を含有することができる。そのような公知のジアミン化合物としては、例えば、1,4-ジアミノベンゼン(p-PDA;パラフェニレンジアミン)、4-アミノフェニル-4′-アミノベンゾエート(APAB)、3,3′-ジアミノジフェニルメタン、3,3′-ジアミノジフェニルプロパン、3,3′-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3′-ジアミノジフェニルスルホン、3,3′-ジアミノジフェニルエーテル、3,4′-ジアミノジフェニルエーテル、3,4′-ジアミノジフェニルメタン、3,4′-ジアミノジフェニルプロパン、3,4′-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3′-ジアミノベンゾフェノン、(3,3′-ビスアミノ)ジフェニルアミン、1,4-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、3-[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼンアミン、3-[3-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]ベンゼンアミン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE-R)、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、4,4′-[2-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、4,4′-[4-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、4,4′-[5-メチル-(1,3-フェニレン)ビスオキシ]ビスアニリン、ビス[4,4′-(3-アミノフェノキシ)]ベンズアニリド、4-[3-[4-(4-アミノフェノキシ)フェノキシ]フェノキシ]アニリン、4,4′-[オキシビス(3,1-フェニレンオキシ)]ビスアニリン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル(BAPE)、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン(BAPS)、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ケトン(BAPK)、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、9,9-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、2,2-ビス-[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、3,3′-ジメチル-4,4′-ジアミノビフェニル、4,4′-メチレンジ-o-トルイジン、4,4′-メチレンジ-2,6-キシリジン、4,4′-メチレン-2,6-ジエチルアニリン、3,3′-ジアミノジフェニルエタン、3,3′-ジアミノビフェニル、3,3′-ジメトキシベンジジン、3,3′′-ジアミノ-p-テルフェニル、4,4′-[1,4-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4′-[1,3-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、ビス(p-アミノシクロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノペンチル)ベンゼン、1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジアミノトルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン-2,5-ジアミン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、ピペラジン、2′-メトキシ-4,4′-ジアミノベンズアニリド、4,4′-ジアミノベンズアニリド、1,3-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン、1,4-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)-2,5-ジ-tert-ブチルベンゼン、6-アミノ-2-(4-アミノフェノキシ)ベンゾオキサゾール、2,6-ジアミノ-3,5-ジエチルトルエン、2,4-ジアミノ-3,5-ジエチルトルエン、2,4-ジアミノ-3,3′-ジエチル-5,5′-ジメチルジフェニルメタン、ビス(4-アミノ-3-エチル-5-メチルフェニル)メタン等の芳香族ジアミン化合物、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級のアミノメチル基又はアミノ基に置換されてなるダイマー酸型ジアミン等の脂肪族ジアミン化合物などが挙げられる。 The diamine residues of the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer may contain diamine residues derived from known diamine compounds in addition to the above-mentioned diamine compounds having a biphenyl skeleton, as long as the effects of the present invention are not impaired. Examples of such known diamine compounds include 1,4-diaminobenzene (p-PDA; paraphenylenediamine), 4-aminophenyl-4'-aminobenzoate (APAB), 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 3,3'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl sulfone, 3,3'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenyl ether, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylpropane, 3,4'- Diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminobenzophenone, (3,3'-bisamino)diphenylamine, 1,4-bis(3-aminophenoxy)benzene, 3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzenamine, 3-[3-(4-aminophenoxy)phenoxy]benzenamine, 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene (TPE-R), 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene (APB), 4,4'-[2-methyl-(1,3-phenylene)bisoxy]bisaniline, 4,4'-[4-methyl bis[4,4'-(3-aminophenoxy)]benzanilide, 4-[3-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]phenoxy]aniline, 4,4'-[oxybis(3,1-phenyleneoxy)]bisaniline, bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]ether (BAPE), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone (BAPS), bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]sulfone (BAPS), 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ketone (BAPK), 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]propane, 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane (BAPP), bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]sulfone, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]methane, bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]ether, bis[4-(3-aminophenoxy)]benzophenone, 9,9-bis[4-(3-aminophenoxy)phenyl]fluorene, 2,2-bis-[4-(4-aminophenoxy)phenyl] 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-diethylaniline, 3,3'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 3,3''-diamino-p-terphenyl, 4,4'-[1,4-phenylenebis(1-methylphenyl)phenyl]hexafluoropropane, 2,2-bis-[4-(3-aminophenoxy)phenyl]hexafluoropropane, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xylidine, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 3,3'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 3,3''-diamino-p-terphenyl, 4,4'-[1,4-phenylenebis(1-methylphenyl)phenyl]hexafluoropropane 4,4'-[1,3-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, 4,4'-[1,3-phenylenebis(1-methylethylidene)]bisaniline, bis(p-aminocyclohexyl)methane, bis(p-β-amino-t-butylphenyl)ether, bis(p-β-methyl-δ-aminopentyl)benzene, p-bis(2-methyl-4-aminopentyl)benzene, p-bis(1,1-dimethyl-5-aminopentyl)benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4-bis(β-amino-t-butyl)toluene, 2,4-diaminotoluene , m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2,5-diamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, piperazine, 2'-methoxy-4,4'-diaminobenzanilide, 4,4'-diaminobenzanilide, 1,3-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)-2, Examples include aromatic diamine compounds such as 5-di-tert-butylbenzene, 6-amino-2-(4-aminophenoxy)benzoxazole, 2,6-diamino-3,5-diethyltoluene, 2,4-diamino-3,5-diethyltoluene, 2,4-diamino-3,3'-diethyl-5,5'-dimethyldiphenylmethane, and bis(4-amino-3-ethyl-5-methylphenyl)methane, and aliphatic diamine compounds such as dimer acid diamines in which the two terminal carboxylic acid groups of a dimer acid are substituted with primary aminomethyl groups or amino groups.

(条件(ロ))
本発明において、非熱可塑性ポリイミド層の厚みを、好ましくは7μm~70μmの範囲内とする。非熱可塑性ポリイミド層の厚みは、使用する目的に応じて、7μm~70μmの範囲内で適宜に設定することが可能であるが、より好ましくは25μm~49μm、更に好ましくは30μm~49μmの範囲である。非熱可塑性ポリイミド層の厚みが上述の範囲内であると、ポリイミド絶縁層20の誘電特性の改善効果が期待でき、しかも酸素透過係数が増大することを抑制でき、繰り返し高温に晒された場合に配線層と絶縁樹脂層との接着性の低下も抑制することができる。
(Condition (b))
In the present invention, the thickness of the non-thermoplastic polyimide layer is preferably within the range of 7 μm to 70 μm. The thickness of the non-thermoplastic polyimide layer can be appropriately set within the range of 7 μm to 70 μm depending on the purpose of use, but is more preferably within the range of 25 μm to 49 μm, and even more preferably within the range of 30 μm to 49 μm. When the thickness of the non-thermoplastic polyimide layer is within the above range, it is expected to have an effect of improving the dielectric properties of the polyimide insulating layer 20, and furthermore, it is possible to suppress an increase in the oxygen permeability coefficient and to suppress a decrease in adhesion between the wiring layer and the insulating resin layer when repeatedly exposed to high temperatures.

(条件(ハ))
本発明において、ポリイミド絶縁層20全体の層厚に対する非熱可塑性ポリイミド層厚みの比率を好ましくは70%以上とする。このため、ポリイミド絶縁層20の酸素透過係数が過度に増大することを抑制でき、CTE制御も容易となり、また、誘電正接の低下を考慮した際に使用できるポリイミド層(P)23の選択の自由度が増え、そのため、例えば回路基板に使用したときに、寸法変化率の制御や高速伝送への適応が容易となる。なお、この比率が大きくなるほど、酸素透過係数及び寸法変化率制御、誘電正接の低減が図りやすくなる傾向がある。
(Condition (C))
In the present invention, the ratio of the thickness of the non-thermoplastic polyimide layer to the total thickness of the polyimide insulating layer 20 is preferably 70% or more. This prevents the oxygen permeability coefficient of the polyimide insulating layer 20 from increasing excessively, facilitates CTE control, and increases the freedom of selection of the polyimide layer (P) 23 that can be used when considering a decrease in dielectric loss tangent. This makes it easier to control the dimensional change rate and adapt to high-speed transmission when used in, for example, a circuit board. Note that the larger this ratio, the easier it tends to be to control the oxygen permeability coefficient and dimensional change rate and reduce the dielectric loss tangent.

非熱可塑性ポリイミドにおいて、上記酸無水物残基及びジアミン残基の種類や、2種以上の酸無水物残基又はジアミン残基を適用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、酸素透過係数、誘電特性、熱膨張係数、貯蔵弾性率、引張弾性率等を制御することができる。また、非熱可塑性ポリイミドにおいて、ポリイミドの構造単位を複数有する場合は、ブロックとして存在しても、ランダムに存在していてもよいが、ランダムに存在することが好ましい。なお、非熱可塑性ポリイミドは、芳香族テトラカルボン酸二無水物から誘導される芳香族テトラカルボン酸無水物残基及び芳香族ジアミンから誘導される芳香族ジアミン残基からなることが好ましい。非熱可塑性ポリイミドに含まれる酸無水物残基及びジアミン残基を、いずれも芳香族基とすることで、ポリイミド絶縁層20の高温環境下での寸法精度を向上させることができる。 In non-thermoplastic polyimides, the oxygen permeability coefficient, dielectric properties, thermal expansion coefficient, storage modulus, tensile modulus, etc. can be controlled by selecting the types of acid anhydride residues and diamine residues, or by selecting the respective molar ratios when two or more types of acid anhydride residues or diamine residues are used. Furthermore, when non-thermoplastic polyimides contain multiple polyimide structural units, they may exist as blocks or randomly, but random existence is preferred. Preferably, non-thermoplastic polyimides are composed of aromatic tetracarboxylic acid anhydride residues derived from aromatic tetracarboxylic acid dianhydrides and aromatic diamine residues derived from aromatic diamines. By making both the acid anhydride residues and diamine residues contained in the non-thermoplastic polyimide aromatic groups, the dimensional accuracy of the polyimide insulating layer 20 in high-temperature environments can be improved.

非熱可塑性ポリイミドのイミド基濃度は、33重量%以下であることが好ましい。ここで、「イミド基濃度」は、ポリイミド中のイミド基部(-(CO)-N-)の分子量を、ポリイミドの構造全体の分子量で除した値を意味する。イミド基濃度が33重量%を超えると、極性基の増加によって吸湿性が増加する。なお、上記酸二無水物とジアミン化合物との組み合わせを選択することによって、非熱可塑性ポリイミド中の分子の配向性を制御でき、それによりイミド基濃度低下に伴うCTEの増加を抑制し、低吸湿性を担保することができる。 The imide group concentration of the non-thermoplastic polyimide is preferably 33% by weight or less. Here, "imide group concentration" refers to the value obtained by dividing the molecular weight of the imide group (-(CO) 2 -N-) in the polyimide by the molecular weight of the entire polyimide structure. If the imide group concentration exceeds 33% by weight, the moisture absorption increases due to the increase in polar groups. Note that by selecting the combination of the acid dianhydride and diamine compound, the molecular orientation in the non-thermoplastic polyimide can be controlled, thereby suppressing the increase in CTE that accompanies a decrease in the imide group concentration and ensuring low moisture absorption.

非熱可塑性ポリイミドの重量平均分子量は、例えば10,000~400,000の範囲内が好ましく、50,000~350,000の範囲内がより好ましい。重量平均分子量が10,000未満であると、フィルムの強度が低下して脆化しやすい傾向となる。一方、重量平均分子量が400,000を超えると、過度に粘度が増加して塗工作業の際にフィルム厚みムラ、スジ等の不良が発生しやすい傾向になる。 The weight-average molecular weight of the non-thermoplastic polyimide is preferably in the range of 10,000 to 400,000, and more preferably in the range of 50,000 to 350,000. If the weight-average molecular weight is less than 10,000, the film tends to have reduced strength and become brittle. On the other hand, if the weight-average molecular weight exceeds 400,000, the viscosity increases excessively, making the film more susceptible to defects such as uneven thickness and streaks during coating.

本実施の形態のポリイミド絶縁層20は、必要に応じて、ポリイミド層21又はポリイミド層(P)23中に、無機フィラーや有機フィラーを含有してもよい。具体的には、例えば二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ベリリウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、フッ化アルミニウム、フッ化カルシウム等の無機フィラーやフッ素系ポリマー粒子や液晶ポリマー粒子等の有機フィラーが挙げられる。これらは1種又は2種以上を混合して用いることができる。 The polyimide insulating layer 20 of this embodiment may contain inorganic fillers or organic fillers in the polyimide layer 21 or the polyimide layer (P) 23, as needed. Specific examples include inorganic fillers such as silicon dioxide, aluminum oxide, magnesium oxide, beryllium oxide, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, aluminum fluoride, and calcium fluoride, and organic fillers such as fluorine-based polymer particles and liquid crystal polymer particles. These can be used alone or in combination of two or more.

なお、本発明において、ポリイミド絶縁層20のポリイミド層21を、単層の非熱可塑性ポリイミド層とし、金属層10に直接積層してもよい。 In the present invention, the polyimide layer 21 of the polyimide insulating layer 20 may be a single non-thermoplastic polyimide layer that is laminated directly on the metal layer 10.

<金属層>
金属層10の材質としては、特に制限はないが、例えば、銅、ステンレス、鉄、ニッケル、ベリリウム、アルミニウム、亜鉛、インジウム、銀、金、スズ、ジルコニウム、タンタル、チタン、鉛、マグネシウム、マンガン及びこれらの合金等が挙げられる。この中でも、特に銅又は銅合金が好ましい。なお、後述する回路基板における配線層の材質も金属層10と同様である。
<Metal layer>
The material of the metal layer 10 is not particularly limited, but examples thereof include copper, stainless steel, iron, nickel, beryllium, aluminum, zinc, indium, silver, gold, tin, zirconium, tantalum, titanium, lead, magnesium, manganese, and alloys thereof. Among these, copper or copper alloys are particularly preferred. The material of the wiring layer in the circuit board, which will be described later, is also the same as that of the metal layer 10.

金属層10の厚みは特に限定されるものではないが、例えば銅箔に代表される金属箔を用いる場合、その厚みの上限は、好ましくは35μm以下であり、より好ましくは5~25μmの範囲内がよく、その厚みの下限は、生産安定性及びハンドリング性の観点から5μmとすることが好ましい。なお、金属層10として用いる銅箔としては、圧延銅箔でも電解銅箔でもよい。また、銅箔としては、市販されている銅箔を用いることができる。 The thickness of the metal layer 10 is not particularly limited, but when using a metal foil such as copper foil, the upper limit of the thickness is preferably 35 μm or less, and more preferably in the range of 5 to 25 μm. From the viewpoint of production stability and ease of handling, the lower limit of the thickness is preferably 5 μm. The copper foil used as the metal layer 10 may be rolled copper foil or electrolytic copper foil. Commercially available copper foil can also be used.

また、金属層10におけるポリイミド層21に接する面の十点平均粗さ(Rzjis)は、1.2μm以下であることが好ましく、1.0μm以下であることがより好ましい。金属層10が金属箔を原料とする場合、表面粗さRzjisを1.2μm以下にすることで、高密度実装に対応する微細配線加工が可能となり、また、高周波信号伝送時の導体損失を低減できるため、高周波信号伝送用の回路基板への適用が可能となる。表面粗さRzjisが1.2μmを超える場合、微細配線加工時の配線形状が悪化して加工が困難になり、また、導体損失が増大して高周波信号伝送に不向きとなる。 The ten-point average roughness (Rzjis) of the surface of the metal layer 10 that contacts the polyimide layer 21 is preferably 1.2 μm or less, and more preferably 1.0 μm or less. When the metal layer 10 is made from metal foil, achieving a surface roughness Rzjis of 1.2 μm or less enables fine wiring processing that supports high-density packaging and reduces conductor loss during high-frequency signal transmission, making it applicable to circuit boards for high-frequency signal transmission. If the surface roughness Rzjis exceeds 1.2 μm, the wiring shape during fine wiring processing deteriorates, making processing difficult, and conductor loss increases, making the material unsuitable for high-frequency signal transmission.

また、金属層10は、例えば、防錆処理や、接着力の向上を目的として、例えばサイディング、アルミニウムアルコラート、アルミニウムキレート、シランカップリング剤等による表面処理を施しておいてもよい。 The metal layer 10 may also be surface-treated with, for example, siding, aluminum alcoholate, aluminum chelate, or a silane coupling agent, for the purposes of rust prevention or improving adhesion.

[金属張積層板の製造方法]
本発明の金属張積層板30は、以下の工程(A)、(B)及び(C)を有する製造方法により製造することができる。
[Metal-clad laminate manufacturing method]
The metal-clad laminate 30 of the present invention can be produced by a production method including the following steps (A), (B), and (C).

<工程(A)>
金属層10となる金属箔の上に、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸の溶液を塗布し、乾燥して単層又は複数層の第1のポリアミド酸層を形成する。ポリアミド酸溶液を金属層10上に塗布する方法としては特に制限されず、例えばコンマ、ダイ、ナイフ、リップ等のコーターにて塗布することができる。なお、第1のポリアミド酸層を複数層とする場合、例えば、金属箔に、ポリアミド酸の溶液を塗布・乾燥することを複数回繰り返し行う方法や、多層押出により、金属箔の上に同時にポリアミド酸を多層に積層した状態で塗布・乾燥する方法などを採用できる。
<Process (A)>
A solution of polyamic acid, which is a polyimide precursor, is applied to a metal foil that will become the metal layer 10, and then dried to form a single or multiple first polyamic acid layers. The method for applying the polyamic acid solution to the metal layer 10 is not particularly limited, and application can be performed using a coater such as a comma coater, a die coater, a knife coater, or a lip coater. When the first polyamic acid layer is to be multiple layers, for example, a method in which the polyamic acid solution is repeatedly applied to the metal foil and dried, or a method in which multiple layers of polyamic acid are simultaneously applied to the metal foil by multilayer extrusion and then dried, can be used.

ポリアミド酸の溶液は、酸二無水物成分とジアミン成分とをほぼ等モルでN,N-ジメチルホルムアミド(DMF)等の有機溶媒中に溶解させて、0~100℃の範囲内の温度で30分~24時間撹拌し重合反応させることで得られる。通常、ポリアミド酸溶液のポリアミド酸濃度は5~30重量%程度になるような使用量に調整し、粘度を500cps~100,000cpsとすることが好ましい。 A polyamic acid solution can be obtained by dissolving approximately equimolar amounts of the acid dianhydride component and the diamine component in an organic solvent such as N,N-dimethylformamide (DMF), and then stirring at a temperature between 0 and 100°C for 30 minutes to 24 hours to cause a polymerization reaction. Typically, the amount used is adjusted so that the polyamic acid concentration of the polyamic acid solution is approximately 5 to 30% by weight, and the viscosity is preferably 500 cps to 100,000 cps.

<工程(B)>
次に、第1のポリアミド酸層の上に、工程(A)と同様の操作により、ポリイミド(p)の前駆体であるポリアミド酸の溶液を塗布し、乾燥させて第2のポリアミド酸層を形成する。なお、上記と同様にして、多層押出によって第1のポリアミド酸層及び第2のポリアミド酸層を同時に形成してもよい。
<Process (B)>
Next, a solution of polyamic acid, which is a precursor of polyimide (p), is applied to the first polyamic acid layer in the same manner as in step (A), and dried to form a second polyamic acid layer. Note that the first polyamic acid layer and the second polyamic acid layer may be simultaneously formed by multilayer extrusion in the same manner as above.

<工程(C)>
次に、第1のポリアミド酸層に含まれるポリアミド酸と第2のポリアミド酸層に含まれるポリアミド酸とを、イミド化することによって、ポリイミド層21とポリイミド層(P)23とに変化させ、ポリイミド絶縁層20を形成する。ポリアミド酸をイミド化させる方法は、特に制限されず、例えば、80~400℃の範囲内の温度条件で1~24時間かけて加熱するといった熱処理が好適に採用される。これにより、図1の金属張積層板30が得られる。
<Step (C)>
Next, the polyamic acid contained in the first polyamic acid layer and the polyamic acid contained in the second polyamic acid layer are imidized to form polyimide layer 21 and polyimide layer (P) 23, thereby forming polyimide insulating layer 20. The method for imidizing polyamic acid is not particularly limited, and a suitable method is, for example, heat treatment in which the polyamic acid is heated at a temperature in the range of 80 to 400°C for 1 to 24 hours. This results in metal-clad laminate 30 shown in FIG. 1.

なお、本発明のポリイミドフィルムは、上記金属張積層板30の製造方法において、金属張積層板30を製造した後にエッチング等の手段で金属層10を除去するか、あるいは、金属箔の代わりに剥離可能な基材(剥離可能な金属箔を含む)を用い、金属張積層板30を製造した後に金属層10とポリイミド絶縁層20とを剥離することによって、製造することができる。 The polyimide film of the present invention can be produced by the above-mentioned method for producing a metal-clad laminate 30, by removing the metal layer 10 by etching or other means after producing the metal-clad laminate 30, or by using a peelable substrate (including peelable metal foil) instead of metal foil, and peeling the metal layer 10 from the polyimide insulating layer 20 after producing the metal-clad laminate 30.

[回路基板]
本発明の金属張積層板30は、FPCなどの回路基板材料として有用であり、本発明の金属張積層板30を加工して作成した回路基板も本発明の一態様である。この回路基板は、本発明の金属張積層板30の金属層10が、常法により配線に加工されているものであり、その構成の特徴は、本発明の金属張積層板30の構成の特徴が引き継がれているものである。よって、この回路基板は、安定し且つ良好な高周波伝送特性を獲得することができる。
[Circuit board]
The metal-clad laminate 30 of the present invention is useful as a circuit board material for FPCs and the like, and a circuit board produced by processing the metal-clad laminate 30 of the present invention is also an aspect of the present invention. This circuit board is obtained by processing the metal layer 10 of the metal-clad laminate 30 of the present invention into wiring using a conventional method, and its structural features inherit the structural features of the metal-clad laminate 30 of the present invention. Therefore, this circuit board can achieve stable and good high-frequency transmission characteristics.

以下に実施例を示し、本発明の特徴をより具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、以下の実施例において、特にことわりのない限り各種測定、評価は下記によるものである。 The following examples are provided to more specifically explain the features of the present invention. However, the present invention is not limited to the following examples. In the following examples, various measurements and evaluations were performed as follows, unless otherwise noted.

[粘度の測定]
合成例1~16及びA~Cのポリアミド酸溶液について、E型粘度計(ブルックフィールド社製、商品名:DV-II+Pro)を用いて25℃における粘度を測定した。トルクが10%~90%になるよう回転数を設定し、測定を開始してから2分経過後、粘度が安定した時の値を読み取った。
[Viscosity measurement]
The viscosity of the polyamic acid solutions of Synthesis Examples 1 to 16 and A to C was measured at 25°C using an E-type viscometer (manufactured by Brookfield, trade name: DV-II+Pro). The rotation speed was set so that the torque was 10% to 90%, and the value was read when the viscosity stabilized 2 minutes after the start of the measurement.

[ガラス転移温度及び貯蔵弾性率の測定]
ポリイミドフィルムを5mm×70mmのサイズに切り出し、動的粘弾性測定装置(DMA:TAインスツルメント社製、商品名:RSA G2)を用いて、30℃から400℃まで昇温速度4℃/分、周波数10Hzで、ガラス転移温度及び貯蔵弾性率を測定した。弾性率変化(tanδ)が最大となる温度をガラス転移温度とした。これらの測定結果から、ポリイミドフィルムの「非熱可塑性」を判定した。30℃における貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上であり、かつ、ガラス転移温度+30℃以内の温度域での貯蔵弾性率が1.0×10Pa以上である場合を「非熱可塑性」とした。
[Measurement of glass transition temperature and storage modulus]
The polyimide film was cut into a size of 5 mm x 70 mm, and the glass transition temperature and storage modulus were measured using a dynamic viscoelasticity measuring device (DMA: manufactured by TA Instruments, product name: RSA G2) at a heating rate of 4°C/min from 30°C to 400°C and a frequency of 10 Hz. The temperature at which the change in modulus (tan δ) was maximum was taken as the glass transition temperature. From these measurement results, the polyimide film was judged to be "non-thermoplastic." A polyimide film was judged to be "non-thermoplastic" when its storage modulus at 30°C was 1.0 x 109 Pa or more and its storage modulus in a temperature range within the glass transition temperature + 30°C was 1.0 x 108 Pa or more.

[熱膨張係数(CTE)の測定]
実施例1~30及び比較例1~4の片面銅張積層板の銅箔を除去して得られたポリイミドフィルムを3mm×20mmのサイズに切り出し、サーモメカニカルアナライザー(日立ハイテクサイエンス社(旧セイコーインスツルメンツ社)製、商品名:TMA/SS6100)を用い、5.0gの荷重を加えながら一定の昇温速度で30℃から260℃まで昇温させ、更にその温度で10分保持した後、5℃/分の速度で冷却し、250℃から100℃までの平均熱膨張係数(熱膨張係数)として求めた。実用上、熱膨張係数が10~30ppm/Kの範囲内であることが望まれる。
[Measurement of coefficient of thermal expansion (CTE)]
The polyimide films obtained by removing the copper foil from the single-sided copper-clad laminates of Examples 1 to 30 and Comparative Examples 1 to 4 were cut into pieces measuring 3 mm x 20 mm. Using a thermomechanical analyzer (trade name: TMA/SS6100, manufactured by Hitachi High-Tech Science Corporation (formerly Seiko Instruments Inc.)), the films were heated from 30°C to 260°C at a constant rate while applying a load of 5.0 g, and then held at that temperature for 10 minutes. After cooling at a rate of 5°C/min, the average thermal expansion coefficient (thermal expansion coefficient) from 250°C to 100°C was determined. In practice, it is desirable that the thermal expansion coefficient be within the range of 10 to 30 ppm/K.

[ピール強度の測定]
実施例1~30及び比較例1~4の片面銅張積層板の銅箔を除去して得られたポリイミドフィルム2枚とボンディングシート(ポリイミド系、日鉄ケミカル&マテリアル社製、商品名:NB25A-M、厚み:25μm)とを、ポリイミドフィルムの銅箔が接していた面とは反対の面がボンディングシートと接するように積層し、真空プレス機を用いて温度160℃、面圧3.5MPaで60分間加熱圧着した。得られた積層シートを5mm幅にカットし、一方のポリイミドフィルムを、テンシロンテスター(商品名:ストログラフVE-1D、東洋精機製作所社製)を用いて、180°方向に50mm/分の速度で引っ張り、20mm剥離した時の中央値強度からピール強度を求めた。ピール強度は実用上0.7kN/m以上であることが望まれる。
[Peel Strength Measurement]
Two polyimide films obtained by removing the copper foil from the single-sided copper-clad laminates of Examples 1 to 30 and Comparative Examples 1 to 4 were laminated with a bonding sheet (polyimide-based, manufactured by Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd., product name: NB25A-M, thickness: 25 μm) so that the side of the polyimide film opposite to the side in contact with the copper foil was in contact with the bonding sheet, and the laminate was heated and pressed for 60 minutes at a temperature of 160 ° C and a surface pressure of 3.5 MPa using a vacuum press. The resulting laminated sheet was cut to a width of 5 mm, and one of the polyimide films was pulled in a 180 ° direction at a rate of 50 mm / min using a Tensilon tester (product name: Strograph VE-1D, manufactured by Toyo Seiki Seisakusho, Ltd.). The peel strength was determined from the median strength when peeled 20 mm. In practice, the peel strength is desired to be 0.7 kN / m or more.

[比誘電率及び誘電正接の測定]
実施例1~30及び比較例1~4の片面銅張積層板の銅箔を除去して得られたポリイミドフィルムについて、ベクトルネットワークアナライザ(Agilent社製、商品名:E8363C)及びスプリットポスト誘電体共振器(SPDR共振器)を用いて、周波数10GHzにおけるポリイミドフィルムの比誘電率および誘電正接を測定した。なお、測定に使用した材料は、温度:24~26℃、湿度:45~55%の条件下で、24時間放置したものである。実用上、比誘電率は3.5以下、誘電正接は0.004以下であることが望まれる。
[Measurement of relative permittivity and dielectric loss tangent]
The polyimide films obtained by removing the copper foil from the single-sided copper-clad laminates of Examples 1 to 30 and Comparative Examples 1 to 4 were measured for their dielectric constant and dielectric dissipation factor at a frequency of 10 GHz using a vector network analyzer (manufactured by Agilent, product name: E8363C) and a split post dielectric resonator (SPDR resonator). The materials used for the measurements were left for 24 hours under conditions of a temperature of 24 to 26°C and a humidity of 45 to 55%. For practical purposes, it is desirable for the dielectric constant to be 3.5 or less and the dielectric dissipation factor to be 0.004 or less.

[酸素透過係数の測定]
実施例1~30及び比較例1~4の片面銅張積層板の銅箔を除去して得られたポリイミドフィルムについて、温度23℃±2℃、湿度65%RH±5%RHの条件下でJIS K7126-1の差圧法に準拠し、その酸素透過係数を測定した。なお、蒸気透過率測定装置として、GTRテック社製、GTR-30XAD2及びヤナコテクニカルサイエンス社製、G2700T・Fを用いた。実用上、酸素透過係数は2.0×10-18mol・m/m・s・Pa以下であることが望まれる。
[Measurement of oxygen permeability coefficient]
The polyimide films obtained by removing the copper foil from the single-sided copper-clad laminates of Examples 1 to 30 and Comparative Examples 1 to 4 were measured for their oxygen permeability coefficients in accordance with the differential pressure method of JIS K7126-1 under conditions of a temperature of 23°C ± 2°C and a humidity of 65% RH ± 5% RH. The vapor permeability measuring devices used were a GTR-30XAD2 manufactured by GTR Tech Co., Ltd. and a G2700T F manufactured by Yanaco Technical Science Co., Ltd. For practical purposes, the oxygen permeability coefficient is desirably 2.0 × 10 -18 mol m/m 2 s Pa or less.

以下の合成例、実施例、比較例で用いた略号は、以下の化合物を示す。
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BTDA:3,3′,4,4′-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
BPDA:3,3′,4,4′-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
m‐TB:2,2′‐ジメチル-4,4′‐ジアミノビフェニル
TPE-R:1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン
TPE-Q:1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン
APB:1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン
BAPP:2,2-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
BAPB:4,4′-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル
4,4′-DAPE:4,4′-ジアミノジフェニルエーテル
ビスアニリン-P:1,4-ビス[2-(4-アミノフェニル)-2-プロピル]ベンゼン(三井化学ファイン社製、商品名:ビスアニリン-P)
DMAc:N,N‐ジメチルアセトアミド
The abbreviations used in the following synthesis examples, examples, and comparative examples represent the following compounds.
PMDA: pyromellitic dianhydride BTDA: 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride m-TB: 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl TPE-R: 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene TPE-Q: 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene APB: 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene BAPP: 2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane BAPB: 4,4'-bis(4-aminophenoxy)biphenyl 4,4'-DAPE: 4,4'-diaminodiphenyl ether Bisaniline-P: 1,4-bis[2-(4-aminophenyl)-2-propyl]benzene (manufactured by Mitsui Chemicals Fine Co., Ltd., trade name: Bisaniline-P)
DMAc: N,N-dimethylacetamide

(合成例1)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、20.670gのTPE-R(0.0707モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、15.330gのPMDA(0.0703モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液1を得た。ポリアミド酸溶液1の溶液粘度は4,600cpsであった。
(Synthesis Example 1)
Under a nitrogen stream, 20.670 g of TPE-R (0.0707 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt % were added to a 500 ml separable flask and dissolved by stirring at room temperature. Next, 15.330 g of PMDA (0.0703 mol) was added, and the mixture was allowed to polymerize with stirring at room temperature for 3 hours, yielding polyamic acid solution 1 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution 1 was 4,600 cps.

(合成例2)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、19.862gのTPE-R(0.0680モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、11.785gのPMDA(0.0540モル)及び4.353gのBTDA(0.0135モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液2を得た。表1の組成のポリアミド酸溶液2の溶液粘度は4,300cpsであった。
(Synthesis Example 2)
Under a nitrogen stream, 19.862 g of TPE-R (0.0680 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 11.785 g of PMDA (0.0540 mol) and 4.353 g of BTDA (0.0135 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain polyamic acid solution 2. The solution viscosity of polyamic acid solution 2, having the composition shown in Table 1, was 4,300 cps.

(合成例3)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、19.482gのTPE-R(0.0666モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、10.114gのPMDA(0.0464モル)及び6.404gのBTDA(0.0199モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液3を得た。表1の組成のポリアミド酸溶液3の溶液粘度は4,000cpsであった。
(Synthesis Example 3)
Under a nitrogen stream, 19.482 g of TPE-R (0.0666 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 10.114 g of PMDA (0.0464 mol) and 6.404 g of BTDA (0.0199 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain Polyamic Acid Solution 3. The solution viscosity of Polyamic Acid Solution 3, having the composition shown in Table 1, was 4,000 cps.

(合成例4)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、19.116gのTPE-R(0.0654モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、8.506gのPMDA(0.0390モル)及び8.378gのBTDA(0.0260モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液4を得た。表1の組成のポリアミド酸溶液4の溶液粘度は4,300cpsであった。
(Synthesis Example 4)
Under a nitrogen stream, 19.116 g of TPE-R (0.0654 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 8.506 g of PMDA (0.0390 mol) and 8.378 g of BTDA (0.0260 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain Polyamic Acid Solution 4. The solution viscosity of Polyamic Acid Solution 4, having the composition shown in Table 1, was 4,300 cps.

(合成例5)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、18.763gのTPE-R(0.0642モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、6.958gのPMDA(0.0319モル)及び10.279gのBTDA(0.0319モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液5を得た。表1の組成のポリアミド酸溶液5の溶液粘度は4,400cpsであった。
(Synthesis Example 5)
Under a nitrogen stream, 18.763 g of TPE-R (0.0642 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 6.958 g of PMDA (0.0319 mol) and 10.279 g of BTDA (0.0319 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain Polyamic Acid Solution 5. The solution viscosity of Polyamic Acid Solution 5, having the composition shown in Table 1, was 4,400 cps.

(合成例6)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、18.095gのTPE-R(0.0619モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、4.026gのPMDA(0.0185モル)及び13.879gのBTDA(0.0431モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液6を得た。表1の組成のポリアミド酸溶液6の溶液粘度は3,700cpsであった。
(Synthesis Example 6)
Under a nitrogen stream, 18.095 g of TPE-R (0.0619 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 4.026 g of PMDA (0.0185 mol) and 13.879 g of BTDA (0.0431 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain Polyamic Acid Solution 6. The solution viscosity of Polyamic Acid Solution 6, having the composition shown in Table 1, was 3,700 cps.

(合成例7)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、17.779gのTPE-R(0.0608モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、2.637gのPMDA(0.0121モル)及び15.584gのBTDA(0.0484モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、ポリアミド酸溶液7を得た。表1の組成のポリアミド酸溶液7の溶液粘度は3,400cpsであった。
(Synthesis Example 7)
Under a nitrogen stream, 17.779 g of TPE-R (0.0608 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 2.637 g of PMDA (0.0121 mol) and 15.584 g of BTDA (0.0484 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain Polyamic Acid Solution 7. The solution viscosity of Polyamic Acid Solution 7, having the composition shown in Table 1, was 3,400 cps.

(合成例8)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、17.178gのTPE-R(0.0588モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、18.822gのBTDA(0.0584モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液8を得た。ポリアミド酸溶液8の溶液粘度は3,800cpsであった。
(Synthesis Example 8)
Under a nitrogen stream, 17.178 g of TPE-R (0.0588 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt % were added to a 500 ml separable flask and dissolved by stirring at room temperature. Next, 18.822 g of BTDA (0.0584 mol) was added, and the mixture was allowed to polymerize with stirring at room temperature for 3 hours, yielding polyamic acid solution 8 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution 8 was 3,800 cps.

(合成例9)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、18.182gのTPE-R(0.0622モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、4.046gのPMDA(0.0185モル)、11.953gのBTDA(0.0371モル)及び1.819gのBPDA(0.0062モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液9を得た。ポリアミド酸溶液9の溶液粘度は4,100cpsであった。
(Synthesis Example 9)
Under a nitrogen stream, 18.182 g of TPE-R (0.0622 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 4.046 g of PMDA (0.0185 mol), 11.953 g of BTDA (0.0371 mol), and 1.819 g of BPDA (0.0062 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain polyamic acid solution 9 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution 9 was 4,100 cps.

(合成例10)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、18.270gのTPE-R(0.0625モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、4.065gのPMDA(0.0186モル)、10.009gのBTDA(0.0311モル)及び3.656gのBPDA(0.0124モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液10を得た。ポリアミド酸溶液10の溶液粘度は3,800cpsであった。
(Synthesis Example 10)
Under a nitrogen stream, 18.270 g of TPE-R (0.0625 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 4.065 g of PMDA (0.0186 mol), 10.009 g of BTDA (0.0311 mol), and 3.656 g of BPDA (0.0124 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain polyamic acid solution 10 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution 10 was 3,800 cps.

(合成例11)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、18.359gのTPE-R(0.0628モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、4.085gのPMDA(0.0187モル)、8.046gのBTDA(0.0250モル)及び5.510gのBPDA(0.0187モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液11を得た。ポリアミド酸溶液11の溶液粘度は4,300cpsであった。
(Synthesis Example 11)
Under a nitrogen stream, 18.359 g of TPE-R (0.0628 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 4.085 g of PMDA (0.0187 mol), 8.046 g of BTDA (0.0250 mol), and 5.510 g of BPDA (0.0187 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain polyamic acid solution 11 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution 11 was 4,300 cps.

(合成例12)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、14.476gのTPE-R(0.0495モル)、3.619gのAPB(0.0124モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、4.026gのPMDA(0.0185モル)及び13.879gのBTDA(0.0431モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液12を得た。ポリアミド酸溶液12の溶液粘度は3,100cpsであった。
(Synthesis Example 12)
Under a nitrogen stream, 14.476 g of TPE-R (0.0495 mol), 3.619 g of APB (0.0124 mol), and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 4.026 g of PMDA (0.0185 mol) and 13.879 g of BTDA (0.0431 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain polyamic acid solution 12 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution 12 was 3,100 cps.

(合成例13)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、8.348gのTPE-R(0.0286モル)、11.723gのBAPP(0.0286モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、4.953gのPMDA(0.0227モル)及び10.976gのBTDA(0.0341モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液13を得た。ポリアミド酸溶液13の溶液粘度は4,200cpsであった。
(Synthesis Example 13)
Under a nitrogen stream, 8.348 g of TPE-R (0.0286 mol), 11.723 g of BAPP (0.0286 mol), and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 4.953 g of PMDA (0.0227 mol) and 10.976 g of BTDA (0.0341 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain polyamic acid solution 13 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution 13 was 4,200 cps.

(合成例14)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、6.940gのTPE-R(0.0237モル)、13.120gのBAPB(0.0356モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、6.434gのPMDA(0.0295モル)及び9.505gのBTDA(0.0295モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液14を得た。ポリアミド酸溶液14の溶液粘度は3,700cpsであった。
(Synthesis Example 14)
Under a nitrogen stream, 6.940 g of TPE-R (0.0237 mol), 13.120 g of BAPB (0.0356 mol), and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 6.434 g of PMDA (0.0295 mol) and 9.505 g of BTDA (0.0295 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain polyamic acid solution 14 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution 14 was 3,700 cps.

(合成例15)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、15.417gのTPE-R(0.0527モル)、2.799gのm-TB(0.0132モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、4.288gのPMDA(0.0197モル)及び13.496gのBPDA(0.0459モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液15を得た。ポリアミド酸溶液15の溶液粘度は3,500cpsであった。
(Synthesis Example 15)
Under a nitrogen stream, 15.417 g of TPE-R (0.0527 mol), 2.799 g of m-TB (0.0132 mol), and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were added to a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 4.288 g of PMDA (0.0197 mol) and 13.496 g of BPDA (0.0459 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain polyamic acid solution 15 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution 15 was 3,500 cps.

(合成例16)
窒素気流下で、500mlのセパラブルフラスコに、13.848gの4,4′-DAPE(0.0692モル)及び重合後の固形分濃度が12wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、22.152gのBTDA(0.0687モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液16を得た。ポリアミド酸溶液16の溶液粘度は3,300cpsであった。
(Synthesis Example 16)
Under a nitrogen stream, 13.848 g of 4,4'-DAPE (0.0692 mol) and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 12 wt% were placed in a 500 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 22.152 g of BTDA (0.0687 mol) was added, and the mixture was stirred at room temperature for 3 hours to carry out a polymerization reaction, yielding polyamic acid solution 16 having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution 16 was 3,300 cps.

(合成例A)
窒素気流下で、3000mlのセパラブルフラスコに、120.612gのm-TB(0.5681モル)、9.227gのTPE-Q(0.0316モル)、10.873gのビスアニリン-P(0.0316モル)及び重合後の固形分濃度が15wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、67.814gのPMDA(0.3109モル)及び91.474gのBPDA(0.3109モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液Aを得た。ポリアミド酸溶液Aの溶液粘度は28,300cpsであった。
(Synthesis example A)
Under a nitrogen stream, 120.612 g of m-TB (0.5681 mol), 9.227 g of TPE-Q (0.0316 mol), 10.873 g of bisaniline-P (0.0316 mol), and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 15 wt% were added to a 3000 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 67.814 g of PMDA (0.3109 mol) and 91.474 g of BPDA (0.3109 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain polyamic acid solution A with the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution A was 28,300 cps.

基材上に、ポリアミド酸溶液Aを硬化後の厚みが約25μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。更に、120℃から360℃まで段階的な熱処理を10分以内で行い、イミド化を完結して得られたポリイミドフィルムは非熱可塑性であった。 Polyamic acid solution A was uniformly applied to the substrate so that the thickness after curing was approximately 25 μm, and then the solution was dried by heating at 120°C to remove the solvent. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was carried out within 10 minutes, completing the imidization, and the resulting polyimide film was non-thermoplastic.

(合成例B)
窒素気流下で、3000mlのセパラブルフラスコに、127.501gのm-TB(0.6006モル)、12.976gのBAPP(0.0316モル)及び重合後の固形分濃度が15wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、67.914gのPMDA(0.3114モル)及び91.609gのBPDA(0.3114モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液Bを得た。ポリアミド酸溶液Bの溶液粘度は25,600cpsであった。
(Synthesis example B)
Under a nitrogen stream, 127.501 g of m-TB (0.6006 mol), 12.976 g of BAPP (0.0316 mol), and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 15 wt% were added to a 3000 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 67.914 g of PMDA (0.3114 mol) and 91.609 g of BPDA (0.3114 mol) were added, and the polymerization reaction was continued with stirring at room temperature for 3 hours to obtain polyamic acid solution B having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution B was 25,600 cps.

基材上に、ポリアミド酸溶液Bを硬化後の厚みが約25μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。更に、120℃から360℃まで段階的な熱処理を10分以内で行い、イミド化を完結して得られたポリイミドフィルムは非熱可塑性であった。 Polyamic acid solution B was uniformly applied to the substrate to a thickness of approximately 25 μm after curing, and then heated and dried at 120°C to remove the solvent. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 10 minutes to complete the imidization, resulting in a non-thermoplastic polyimide film.

(合成例C)
窒素気流下で、3000mlのセパラブルフラスコに、114.972gのm-TB(0.5416モル)、39.580gのTPE-R(0.1354モル)及び重合後の固形分濃度が15wt%となる量のDMAcを投入し、室温で撹拌して溶解させた。次に、145.447gのPMDA(0.6668モル)を添加した後、室温で3時間撹拌を続けて重合反応を行い、表1の組成のポリアミド酸溶液Cを得た。ポリアミド酸溶液Cの溶液粘度は27,200cpsであった。
(Synthesis example C)
Under a nitrogen stream, 114.972 g of m-TB (0.5416 mol), 39.580 g of TPE-R (0.1354 mol), and an amount of DMAc such that the solids concentration after polymerization would be 15 wt% were added to a 3000 ml separable flask and stirred at room temperature to dissolve. Next, 145.447 g of PMDA (0.6668 mol) was added, and the polymerization reaction was carried out by continuing to stir at room temperature for 3 hours, yielding polyamic acid solution C having the composition shown in Table 1. The solution viscosity of polyamic acid solution C was 27,200 cps.

基材上に、ポリアミド酸溶液Cを硬化後の厚みが約25μmとなるように均一に塗布した後、120℃で加熱乾燥し溶媒を除去した。更に、120℃から360℃まで段階的な熱処理を10分以内で行い、イミド化を完結して得られたポリイミドフィルムは非熱可塑性であった。 Polyamic acid solution C was uniformly applied to the substrate to a thickness of approximately 25 μm after curing, and then heated and dried at 120°C to remove the solvent. Further, stepwise heat treatment from 120°C to 360°C was performed within 10 minutes to complete the imidization, resulting in a non-thermoplastic polyimide film.

[実施例1]
銅箔上に、銅箔と接する第1層としてポリアミド酸溶液Aを硬化後の厚みが23μmとなるように均一に塗布した後、120℃で2分間加熱乾燥して溶媒を除去した。第1層上に第2層であるポリアミド酸溶液1を硬化後の厚みが2μmとなるように均一に塗布した後、130℃で30秒間加熱乾燥して溶媒を除去した。続いて、140℃から360℃までの段階的な熱処理によりイミド化を完結させて、銅張積層板を作製した。その後、塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔をエッチング除去し、ポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムの物性を表2に示す。
[Example 1]
Polyamic acid solution A was uniformly applied to the copper foil as the first layer, which would contact the copper foil, to a thickness of 23 μm after curing, and then heated and dried at 120°C for 2 minutes to remove the solvent. Polyamic acid solution 1, which would form the second layer, was uniformly applied to the first layer to a thickness of 2 μm after curing, and then heated and dried at 130°C for 30 seconds to remove the solvent. Subsequently, imidization was completed by stepwise heat treatment from 140°C to 360°C, producing a copper-clad laminate. The copper foil was then etched away using an aqueous ferric chloride solution to obtain a polyimide film. The physical properties of the resulting polyimide film are shown in Table 2.

[実施例2]~[実施例15]及び[比較例1]~[比較例2]
表2に示すように、第1層及び第2層のポリアミド酸溶液を変えた以外は、実施例1と同様にしてポリイミドフィルムを得た。
[Examples 2] to [Example 15] and [Comparative Examples 1] to [Comparative Examples 2]
Polyimide films were obtained in the same manner as in Example 1, except that the polyamic acid solutions for the first and second layers were changed as shown in Table 2.

[実施例16]
銅箔上に、銅箔と接する第1層としてポリアミド酸溶液Aを硬化後の厚みが47μmとなるように均一に塗布した後、120℃で4分間加熱乾燥して溶媒を除去した。第1層上に第2層であるポリアミド酸溶液1を硬化後の厚みが3μmとなるように均一に塗布した後、130℃で1分間加熱乾燥して溶媒を除去した。続いて、140℃から360℃までの段階的な熱処理によりイミド化を完結させて、銅張積層板を作製した。その後、塩化第二鉄水溶液を用いて銅箔をエッチング除去し、ポリイミドフィルムを得た。得られたポリイミドフィルムの物性を表3に示す。
[Example 16]
Polyamic acid solution A was uniformly applied to the copper foil as the first layer, which would be in contact with the copper foil, to a thickness of 47 μm after curing, and then heated and dried at 120°C for 4 minutes to remove the solvent. Polyamic acid solution 1, which would be the second layer, was uniformly applied to the first layer to a thickness of 3 μm after curing, and then heated and dried at 130°C for 1 minute to remove the solvent. Subsequently, imidization was completed by stepwise heat treatment from 140°C to 360°C, producing a copper-clad laminate. The copper foil was then etched away using an aqueous ferric chloride solution to obtain a polyimide film. The physical properties of the resulting polyimide film are shown in Table 3.

[実施例17]~[実施例30]及び[比較例3]~[比較例4]
表3に示すように、第1層及び第2層のポリアミド酸溶液を変えた以外は、実施例16と同様にしてポリイミドフィルムを得た。
[Examples 17] to [Examples 30] and [Comparative Examples 3] to [Comparative Examples 4]
Polyimide films were obtained in the same manner as in Example 16, except that the polyamic acid solutions for the first and second layers were changed as shown in Table 3.

実施例1~30の銅張積層板から作製したポリイミドフィルムは、第2層のポリイミド層のジアミン残基の30モル%以上が、1,3-ビス(アミノフェノキシ)ベンゼン残基であり、しかも第1層と第2層とが積層したポリイミド絶縁層の酸素透過係数が(i)2.0×10-18mol・m/m・s・Pa以下であり、(ii)熱膨張係数が10~30ppm/Kの範囲内であり、(iii)10GHzにおける誘電正接(Tanδ)が、0.004以下であり、しかも層厚が10μm~100μmの範囲内であるので、誘電特性が劣化することなく、ピール強度が0.7kN/m以上となっている。よって、片面銅張積層板の良好な特性を損なわずに両面銅張積層板へと加工できる。また、本発明の銅張積層板から形成された回路基板は、安定し且つ良好な高周波伝送特性を獲得することができる。 In the polyimide films prepared from the copper-clad laminates of Examples 1 to 30, 30 mol % or more of the diamine residues in the second polyimide layer are 1,3-bis(aminophenoxy)benzene residues. Furthermore, the polyimide insulating layer formed by laminating the first and second layers has an oxygen permeability coefficient of (i) 2.0 x 10-18 mol m/ m2 s Pa or less, (ii) a thermal expansion coefficient within the range of 10 to 30 ppm/K, (iii) a dielectric loss tangent (Tan δ) at 10 GHz of 0.004 or less, and a layer thickness within the range of 10 μm to 100 μm. Therefore, the dielectric properties are not deteriorated and the peel strength is 0.7 kN/m or more. Therefore, the films can be processed into double-sided copper-clad laminates without impairing the excellent properties of single-sided copper-clad laminates. Furthermore, circuit boards formed from the copper-clad laminates of the present invention can achieve stable and excellent high-frequency transmission characteristics.

一方、比較例1、3の結果から、第1層が低誘電性であっても、第2層に1,3-ビス(アミノフェノキシ)ベンゼン残基を含有していないと、本来の低誘電性を損ねてしまうことが分かる。 On the other hand, the results of Comparative Examples 1 and 3 show that even if the first layer has low dielectric properties, if the second layer does not contain 1,3-bis(aminophenoxy)benzene residues, the inherent low dielectric properties will be impaired.

また、比較例2、4の銅張積層板から作製したポリイミドフィルムは、第2層のポリイミドフィルムのジアミン残基が、1,3-ビス(アミノフェノキシ)ベンゼン残基のみからなっているので、ピール強度は満足するものであったが、第1層の影響により、酸素透過係数が2.0×10-18mol・m/m・s・Paを超えており、誘電正接が0.004を超えてしまっていた。なお、比較例4の場合、比較例2におけるポリイミドフィルムに比べて厚みが2倍となっていたが、誘電正接の改善は見られなかった。 In addition, the polyimide films produced from the copper-clad laminates of Comparative Examples 2 and 4 had satisfactory peel strength because the diamine residues in the polyimide film second layer consisted only of 1,3-bis(aminophenoxy)benzene residues, but due to the influence of the first layer, the oxygen permeability coefficient exceeded 2.0 × 10 -18 mol m/m 2 s Pa and the dielectric loss tangent exceeded 0.004. Note that in the case of Comparative Example 4, the thickness was twice that of the polyimide film in Comparative Example 2, but no improvement in the dielectric loss tangent was observed.

以上の結果から、実施例の構成をとることにより、低誘電性を維持したままボンディングシートとの密着性に優れた銅張積層板を得られることがわかる。 These results show that by adopting the configuration of the example, it is possible to obtain a copper-clad laminate that has excellent adhesion to the bonding sheet while maintaining low dielectric properties.

以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはなく、種々の変形が可能であることは言うまでもない。 The above describes in detail an embodiment of the present invention for illustrative purposes, but it goes without saying that the present invention is not limited to the above embodiment and various modifications are possible.

10…金属層、20…ポリイミド絶縁層、21…ポリイミド層、23…ポリイミド層(P)、30…金属張積層板


10...metal layer, 20...polyimide insulating layer, 21...polyimide layer, 23...polyimide layer (P), 30...metal-clad laminate


Claims (8)

複数のポリイミド層を有するポリイミドフィルムであって、下記の条件(i)~(iv):
(i)酸素透過係数が2.0×10-18mol・m/m・s・Pa以下であること;
(ii)熱膨張係数が10~30ppm/Kの範囲内であること;
(iii)10GHzにおける誘電正接(Tanδ)が、0.004以下であること;及び
(iv)厚みが10μm~100μmの範囲内であること;
を満たし、
前記ポリイミドフィルムは、少なくとも一方の露出面側にポリイミド層(P)を有しており、
前記ポリイミド層(P)を構成するポリイミド(p)が、テトラカルボン酸二無水物成分から誘導される酸無水物残基と、ジアミン成分から誘導されるジアミン残基とを含有し、前記ジアミン残基は、下記一般式(1)で表されるジアミン化合物から誘導されるジアミン残基を、全ジアミン残基に対し少なくとも30モル%含有し、
前記複数のポリイミド層が非熱可塑性ポリイミド層を含有し、前記非熱可塑性ポリイミド層が、下記の条件(イ)~(ハ):
(イ)前記非熱可塑性ポリイミド層を構成する非熱可塑性ポリイミドが、全モノマー成分から誘導される全モノマー残基中にビフェニル骨格を有するモノマー残基を50モル%以上含有していること;
(ロ)厚みが7μm~70μmの範囲内であること;及び
(ハ)前記ポリイミドフィルム全体の厚みに対する厚みの比率が70%以上であること;
を満たしていることを特徴とするポリイミドフィルム。
A polyimide film having a plurality of polyimide layers, which meets the following conditions (i) to (iv):
(i) an oxygen permeability coefficient of 2.0 × 10 −18 mol·m/m 2 ·s·Pa or less;
(ii) a thermal expansion coefficient in the range of 10 to 30 ppm/K;
(iii) a dielectric loss tangent (Tan δ) at 10 GHz of 0.004 or less; and (iv) a thickness within the range of 10 μm to 100 μm;
Fulfilling
the polyimide film has a polyimide layer (P) on at least one exposed surface side,
the polyimide (p) constituting the polyimide layer (P) contains an acid anhydride residue derived from a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine residue derived from a diamine component, and the diamine residue contains a diamine residue derived from a diamine compound represented by the following general formula (1) in an amount of at least 30 mol % based on the total diamine residues,
The plurality of polyimide layers include a non-thermoplastic polyimide layer, and the non-thermoplastic polyimide layer satisfies the following conditions (A) to (C):
(A) the non-thermoplastic polyimide constituting the non-thermoplastic polyimide layer contains 50 mol % or more of monomer residues having a biphenyl skeleton among all monomer residues derived from all monomer components;
(b) the thickness is in the range of 7 μm to 70 μm; and
(c) the ratio of the thickness of the polyimide film to the total thickness of the polyimide film is 70% or more;
A polyimide film characterized by satisfying the above .
前記一般式(1)で表されるジアミン化合物が、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼンである請求項1記載のポリイミドフィルム。 The polyimide film according to claim 1, wherein the diamine compound represented by general formula (1) is 1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene. 前記ポリイミド(p)における全酸無水物残基に対し、ピロメリット酸二無水物から誘導される酸無水物残基と3,3′、4,4′-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物から誘導される酸無水物残基とを合計で少なくとも60モル%含有する請求項2記載のポリイミドフィルム。 The polyimide film according to claim 2, wherein the polyimide (p) contains at least 60 mol% in total of acid anhydride residues derived from pyromellitic dianhydride and acid anhydride residues derived from 3,3',4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride. 前記非熱可塑性ポリイミド層において、前記非熱可塑性ポリイミドを構成するジアミン成分から誘導されるジアミン残基が、ビフェニル骨格を有するジアミン残基を全ジアミン残基に対し20モル%以上含有し、テトラカルボン酸二無水物成分から誘導される酸無水物残基がビフェニル骨格を有する酸無水物残基を全酸無水物残基に対し20モル%以上含有している請求項記載のポリイミドフィルム。 2. The polyimide film according to claim 1, wherein in the non-thermoplastic polyimide layer, diamine residues derived from the diamine component constituting the non-thermoplastic polyimide contain diamine residues having a biphenyl skeleton in an amount of 20 mol % or more relative to all diamine residues, and acid anhydride residues derived from the tetracarboxylic dianhydride component contain acid anhydride residues having a biphenyl skeleton in an amount of 20 mol % or more relative to all acid anhydride residues. ビフェニル骨格を有するモノマー残基が、2,2′-ジメチル-4,4′-ジアミノビフェニルから誘導されるジアミノ残基及び3,3′-4,4′-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物から誘導される酸無水物残基である請求項1又は4記載のポリイミドフィルム。 5. The polyimide film according to claim 1 , wherein the monomer residue having a biphenyl skeleton is a diamino residue derived from 2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl and an acid anhydride residue derived from 3,3'-4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. 金属層と、ポリイミド絶縁層と、を有する金属張積層板であって、前記ポリイミド絶縁層が、請求項1~5のいずれか1項に記載のポリイミドフィルムからなる金属張積層板。 A metal-clad laminate having a metal layer and a polyimide insulating layer, wherein the polyimide insulating layer is made of the polyimide film according to any one of claims 1 to 5 . 請求項記載の金属張積層板を製造する金属張積層板の製造方法であって、
金属層上に、ポリアミド酸の溶液を塗布し、乾燥して単層又は複数層の第1のポリアミド酸層を形成する工程と、
前記第1のポリアミド酸層の上に、前記ポリイミド(p)の前駆体であるポリアミド酸の溶液を塗布し、乾燥して第2のポリアミド酸層を形成する工程と、
前記第1のポリアミド酸層に含まれるポリアミド酸及び第2のポリアミド酸層に含まれるポリアミド酸をイミド化することによって、前記ポリイミド絶縁層を形成する工程
を有する金属張積層板の製造方法。
A method for producing the metal-clad laminate according to claim 6 , comprising:
a step of applying a solution of polyamic acid onto the metal layer and drying it to form a first polyamic acid layer of one or more layers;
a step of applying a solution of polyamic acid, which is a precursor of the polyimide (p), onto the first polyamic acid layer and drying the solution to form a second polyamic acid layer;
A method for producing a metal-clad laminate, comprising the step of forming the polyimide insulating layer by imidizing the polyamic acid contained in the first polyamic acid layer and the polyamic acid contained in the second polyamic acid layer.
請求項に記載の金属張積層板の金属層が配線に加工されている回路基板。 A circuit board in which the metal layer of the metal-clad laminate according to claim 6 is processed into wiring.
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