JP7747599B2 - 基板収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハの他、レチクル用のレチクル収容容器を収納可能な基板収納容器に関するものである。

半導体製造ラインのリソグラフィ工程においては、半導体ウェーハに電子回路を形成するため、複数枚のレチクルが使用されるが、半導体ウェーハとレチクルとでは、一度に搬送できる枚数が異なり、１枚の半導体ウェーハに電子回路を形成するために複数枚のレチクルを何回も搬送する必要があるので、半導体ウェーハの搬送効率の向上に支障を来すことがある。また、半導体ウェーハ用の基板収納容器とレチクル用の収容容器とは、大きさや搬送形態が相違し、別々の搬送ラインが要求されるので、複数の搬送ラインを設置しなければならず、設備やコスト、スペース占有等の点で問題が生じる。

これらの問題を解消するため、従来においては、図示しないが、半導体ウェーハ用の基板収納容器の容器本体にレチクル用のレチクル収容容器を専用のアダプタを介して収納し、一種類の基板収納容器を用いて搬送する技術が提案されている(特許文献１、２、３、４参照)。

アダプタは、半導体ウェーハと略同じ大きさの円板に形成され、レチクル収容容器を搭載する。このアダプタのレチクル収容容器を搭載する搭載面の周縁部付近には、レチクル収容容器を前後左右から位置決めする複数の位置決めバーが矩形を描くよう間隔をおいて配設され、各位置決めバーが直線的な略Ｉ字形、あるいは平面略半円形に形成されている。

特開平７‐５８１９２号公報 特開２０１１‐３７２３号公報 特開２０１３‐２３９５０７号公報 特開２０１３‐２３９６４３号公報

しかしながら、アダプタにレチクル収容容器が単に搭載される場合、アダプタからレチクル収容容器が浮き上がって位置ずれしたり、脱落したりし、その結果、レチクル収容容器内のレチクルが損傷するおそれがある。このおそれを払拭する手段としては、例えば後部の位置決めバーを断面逆Ｌ字形に形成してレチクル収容容器の周縁後部に隙間なく位置決め係止させ、レチクル収容容器が浮き上がって位置ずれするのを防止する方法が考えられる。

しかし、この方法の場合には、レチクル収容容器の浮き上がりを防ぐことができるものの、後部の位置決めバーの隙間のないきつい係止により、レチクル収容容器を上方向に大きく傾斜させることが困難なので、アダプタからレチクル収容容器を取り外す作業に支障を来すという大きな問題が新たに生じるおそれがある。

本発明は上記に鑑みなされたもので、アダプタからレチクル収容容器が浮き上がるのを抑制し、レチクル収容容器を上方向に傾けてアダプタから容易に取り外すことのできる基板収納容器を提供することを目的としている。

本発明においては上記課題を解決するため、複数枚の半導体ウェーハを上下方向に並べて収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、容器本体に収納されるレチクル収容容器搭載用のアダプタと、このアダプタのレチクル収容容器用の搭載面に配設されてレチクル収容容器を位置決めする複数の位置決め部材とを含んでなるものであって、
容器本体の内部両側に、半導体ウェーハを略水平に支持可能な一対の支持片を対向させて設け、この一対の支持片を上下方向に所定の間隔で複数配列し、
アダプタを容器本体内の一対の支持片に支持される形状に形成し、このアダプタの搭載面後部に、レチクル収容容器の底面に隙間を介して対向する傾斜角拡大溝を形成し、
複数の位置決め部材は、レチクル収容容器の周縁前部に接近して位置決めする前部位置決め部材と、レチクル収容容器の周縁後部に接近して位置決め係止する後部位置決め部材と、レチクル収容容器の周縁側部に接近して位置決めする側部位置決め部材とを含み、後部位置決め部材を断面略逆Ｌ字形に形成して傾斜角拡大溝に接近させたことを特徴としている。

なお、アダプタの搭載面、前部位置決め部材、及び側部位置決め部材の少なくともいずれかに、レチクル収容容器の周縁部に上方から係止（係り合って止まる）するクランプ部材を回転可能に取り付けることができる。
また、アダプタと複数の位置決め部材の少なくともいずれかを、樹脂と導電フィラー含有の成形材料により成形することができる。

また、傾斜角拡大溝を、アダプタの搭載面後部に連接（連なって接続している）されて徐々に下降する傾斜面と、この傾斜面に連接されて後部位置決め部材に隣接する平坦面とから形成することが可能である。
さらに、後部位置決め部材を、傾斜角拡大溝の平坦面に隣接してレチクル収容容器の周縁後部に横方向から対向する起立部と、この起立部に着脱自在に取り付けられてレチクル収容容器の周縁後部に上方から係止する係止被覆部とに分割することが可能である。

ここで、特許請求の範囲における半導体ウェーハには、少なくともφ３００ｍｍやφ４５０ｍｍのシリコンウェーハ等が含まれる。また、容器本体や蓋体の少なくとも一部は、透明、不透明、半透明のいずれでも良い。容器本体における支持片の表面の少なくとも前部には、半導体ウェーハやアダプタ用のストッパを形成することができる。また、レチクル収容容器は、５～７インチのレチクルを収容する平面多角形の箱型でも良いし、カセット型等でも良い。

アダプタは、平面円形、楕円形、矩形、多角形、正方形等に適宜形成することができる。また、後部位置決め部材の「断面略逆Ｌ字形」には、断面逆Ｌ字形と、おおよそ断面逆Ｌ字形と認められる類似形（例えば、断面逆Ｊ字形や断面逆Γ字形等）のいずれもが含まれる。クランプ部材の「回転」という用語には、回動や揺動が含まれる。さらに、基板収納容器は、半導体工場用のＦＯＵＰが主ではあるが、出荷・輸送用のＦＯＳＢでも良い。

本発明によれば、アダプタに搭載されるレチクル収容容器の周縁後部を後部位置決め部材に接近させて位置決めし、かつ係止させるので、アダプタからレチクル収容容器が浮き上がったり、がたつくのを防ぐことができる。また、傾斜角拡大溝にレチクル収容容器の底面が接触すれば、レチクル収容容器の周縁後部と後部位置決め部材との間に傾斜用の隙間を区画することができるので、レチクル収容容器を所定の角度で上方向に傾斜させ、アダプタからレチクル収容容器を比較的簡単に取り外すことができる。

本発明によれば、後部位置決め部材を断面略逆Ｌ字形に形成して傾斜角拡大溝に接近させるので、アダプタからレチクル収容容器が浮き上がるのを抑制し、レチクル収容容器を上方向に傾けてアダプタから容易に取り外すことができるという効果がある。

請求項２記載の発明によれば、アダプタと複数の位置決め部材の少なくともいずれかを、樹脂と導電フィラー含有の成形材料により成形するので、導電性を付与してレチクルの静電気破壊を防ぐことができる。

請求項３記載の発明によれば、傾斜角拡大溝を、アダプタの搭載面後部に連接されて徐々に下降する傾斜面と、この傾斜面に連接されて後部位置決め部材に隣接する平坦面とから形成するので、傾斜角拡大溝の平坦面にレチクル収容容器の底面が接触すれば、レチクル収容容器の周縁後部と後部位置決め部材との間に傾斜用の隙間を形成することができる。また、傾斜面にレチクル収容容器の底面が案内されつつアダプタの前方に上昇しながら移動すれば、レチクル収容容器の上方向への傾斜角を拡大させることが可能となる。

請求項４記載の発明によれば、後部位置決め部材を、傾斜角拡大溝の平坦面に隣接してレチクル収容容器の周縁後部に横方向から対向する起立部と、この起立部に着脱自在に取り付けられてレチクル収容容器の周縁後部に上方から係止する係止被覆部とに分割して組み立て可能としたので、複雑な形状の後部位置決め部材を容易に得ることができる。

本発明に係る基板収納容器の実施形態を模式的に示す全体斜視図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体内に収納された複数のアダプタを模式的に示す断面説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態における容器本体内に収納されたアダプタを模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるアダプタに搭載されたレチクル収容容器を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるアダプタからレチクル収容容器を上方に傾けて取り外す作業状態を示す説明図である。 本発明に係る基板収納容器の実施形態におけるレチクル収容容器、アダプタとその傾斜角拡大溝、及び後部位置決めバーの関係を示す要部説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第２の実施形態における容器本体とアダプタの関係を模式的に示す斜視説明図である。 本発明に係る基板収納容器の第３の実施形態におけるアダプタに搭載されたレチクル収容容器の係止状態を模式的に示す斜視説明図である。

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における基板収納容器は、図１ないし図６に示すように、複数枚の半導体ウェーハＷを上下方向に整列収納可能な容器本体１と、この容器本体１の開口した正面に着脱自在に嵌合される蓋体１０と、容器本体１に必要数が収納されるレチクル収容容器３０搭載用のアダプタ４０と、このアダプタ４０のレチクル収容容器３０用の搭載面４１に配設されてレチクル収容容器３０を位置決めする複数の位置決めバー５０とを備えた半導体工場用のＦＯＵＰであり、アダプタ４０の搭載面４１に、レチクル収容容器３０の底面に隙間を介して対向する傾斜角拡大溝４３を形成し、複数の位置決めバー５０の後部位置決めバー５３を断面逆Ｌ字形に形成して傾斜角拡大溝４３に近接させることにより、国連サミットで採択されたＳＤＧｓ（国連の持続可能な開発のための国際目標であり、１７のグローバル目標と１６９のターゲット（達成基準）からなる持続可能な開発目標）の目標９の達成に貢献する。

複数枚の半導体ウェーハＷは、図１に示すように、例えばφ３００ｍｍの丸いシリコンウェーハからなり、容器本体１の内部に２５枚が上下方向に並べて整列収納され、各半導体ウェーハＷが水平に支持される。

容器本体１と蓋体１０とは、所定の樹脂を含有する成形材料により複数の部品がそれぞれ射出成形され、この複数の部品の組み合わせで構成される。この成形材料の樹脂としては、例えばポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等があげられる。熱可塑性樹脂には、導電性を付与するため、適量のカーボンブラック、カーボン繊維、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ、導電性高分子、金属繊維、金属酸化物等が添加される。

容器本体１は、図１ないし図３に示すように、正面が横長に開口した背の高いフロントオープンボックスに成形され、内部の両側、換言すれば、左右両側壁の内面に、半導体ウェーハＷの周縁側部を下方から水平に支持する一対の支持片２が対設されており、この一対の支持片２が上下方向に所定の間隔で複数配列される。この容器本体１は、例えば２５枚の半導体ウェーハＷを上下方向に並べて整列収納可能な大きさに形成される。また、各支持片２は、例えば容器本体１の前後方向に伸びる平坦な棚板に形成され、表面の前後部のうち、少なくとも前部に収納された半導体ウェーハＷが正面方向に位置ずれするのを防止するストッパ３が隆起して一体形成される。

容器本体１の底板下面にはボトムプレート４が選択的に装着され、容器本体１の天井中央部には、自動搬送用の搬送具である平面矩形のロボティックフランジ５が着脱自在に装着されており、このロボティックフランジ５が半導体工場の天井搬送装置に把持して吊持された後、半導体の製造ラインを搬送される。また、容器本体１の内部背面には、非常時に半導体ウェーハＷの周縁後部を挟持可能な複数のリアサポートが並設される。容器本体１の正面周縁部は幅方向外側に屈曲して膨出形成されており、この正面周縁部の内面における上部両側と下部両側とには、蓋体１０用の施錠穴６がそれぞれ凹み形成される。

容器本体１の両側壁の外面には、手動操作用の操作ハンドル７がそれぞれ着脱自在に装着され、各側壁の下部には、自動搬送具である搬送レール８が必要に応じ着脱自在に装着されて前後方向に水平に指向する。

蓋体１０は、図１に示すように、容器本体１の正面に着脱自在に嵌合される断面略皿形の蓋本体１１と、この蓋本体１１の開口した表面を覆うカバープレート１４とを備え、これら蓋本体１１とカバープレート１４との間に施錠機構１６が内蔵される。蓋本体１１は、横長の略矩形に形成され、裏面の中央部に、半導体ウェーハＷの周縁前部を弾性片で弾発的に保持するフロントリテーナ１２が着脱自在に装着される。また、蓋本体１１の周壁には、容器本体１の正面内周に圧接変形する枠形のガスケットが嵌合され、蓋本体１１の周壁における上部両側と下部両側とには、施錠機構１６用の出没孔１３がそれぞれ貫通して穿孔される。

カバープレート１４は、透明、半透明、あるいは不透明の板に形成され、両側部に、施錠機構１６用の操作孔１５がそれぞれ貫通して穿孔されており、各操作孔１５を蓋体開閉装置の回転可能な操作キーが外部から貫通する。

施錠機構１６は、図１に示すように、カバープレート１４の操作孔１５を貫通した蓋体開閉装置の操作キーに回転操作される左右一対の回転プレート１７と、各回転プレート１７の回転に応じて上下方向にスライドする複数のスライドバー１９と、各スライドバー１９の先端部に連結軸支され、蓋本体周壁の出没孔１３を貫通して容器本体１の施錠穴６に嵌合係止する出没可能な複数の施錠爪２０とを備えて構成される。

施錠機構１６は、容器本体１や蓋体１０と同様の成形材料により成形される。複数の回転プレート１７とスライドバー１９とは、蓋本体１１内に設けられる支持リブを介して軸支されたり、支持されたりし、各回転プレート１７の周縁部寄りの一対の円弧溝孔１８にスライドバー１９の末端部がピンを介しそれぞれ遊嵌される。また、各施錠爪２０は、例えば断面略Ｌ字形に屈曲形成され、自由端部に摩擦軽減用のローラが回転可能に軸支される。

このような基板収納容器は、容器本体１内に複数枚の半導体ウェーハＷが順次収納され、容器本体１の正面に蓋体１０が蓋体開閉装置により圧入して嵌合されるとともに、各半導体ウェーハＷの周縁前部をフロントリテーナ１２が保持し、施錠機構１６が蓋体開閉装置に施錠操作されて蓋体１０を強固に固定する。蓋体１０が強固に固定されると、容器本体１のロボティックフランジ５が半導体工場の天井搬送装置に吊持され、次の加工処理工程に搬送されて各半導体ウェーハＷに加工と処理とが順次施され、半導体ウェーハＷの表面に電子回路が形成されることとなる。

レチクル収容容器３０は、特に限定されるものではないが、図４ないし図６に示すように、例えば６インチのレチクルを１枚収容してアダプタ４０に搭載される平面矩形の底板３１と、この底板３１にシールガスケットを介し上方から着脱自在に嵌合される平面略矩形の上蓋３２とを備えたレチクルＳＭＩＦポッド（ＲＳＰ）である。このレチクル収容容器３０の底板３１と上蓋３２とは、例えば静電気によるレチクルの損傷を防止する観点から、カーボン等の導電材料を含有する所定の成形材料（例えば、ポリカーボネート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂等の各種合成樹脂）によりそれぞれ成形される。

底板３１は、相対向する平面略矩形の上板と下板とを備え、これら上板と下板との間に隙間が区画形成されており、この隙間に施錠用のロック機構が内蔵される。上板の上面には、１枚のレチクルの周縁部を水平に支持する一対の支持部材が間隔をおいて敷設され、各支持部材がレールに形成されており、上板の上面周縁部付近には、弾性変形可能な平面枠形のシールガスケットが装着される。

上蓋３２は、例えば透明あるいは半透明の断面略ハット形に形成され、底板３１との嵌合時に幅方向外側に水平に突出するフランジにより、シールガスケットを圧接変形してシール性を確保する。この上蓋３２の内部天井には、レチクルの上面周縁部に接触して保持する一対の保持部材が間隔をおいて対設され、各保持部材が例えばレールに形成されて支持部材に上方から対向する。

上蓋３２の幅方向外側に突出するフランジは、その周縁部３３の先端が下方に短く屈曲形成されて底板３１の周面に対向し、この先端の内面に、ロック機構の出没バーの先端部に嵌合されるロック溝がそれぞれ凹み形成される。また、上蓋３２の外面天井には、搬送装置等に把持される搬送用フランジ３４が装着される。

レチクル収容容器３０の製品例としては、ＲＳＰ‐１５０、ＲＳＰ‐２００〔大日商事株式会社製：製品名〕、レチクルケース〔ナガセエンジニアリング株式会社製：製品名〕、レチクルカセット〔三洋マテリアル株式会社製：製品名〕等があげられる。

アダプタ４０は、図２ないし図６に示すように、容器本体１内の一対の支持片２に支持される略板形に成形され、レチクル収容容器３０を搭載する平坦な上面である搭載面４１の後部に、レチクル収容容器３０の底板後部に隙間を介して対向する逃げ（ｒｅｌｉｅｆ）が傾斜角拡大溝４３に凹み形成されており、この傾斜角拡大溝４３が左右横方向に伸長される。アダプタ４０は、所定の成形材料により、基本的には容器本体１の隣接する支持片２と支持片２との間に挿入可能な厚さと大きさを有する円板に成形され、容器本体１の正面側に位置する前部４２が位置方向を示す観点から左右方向に直線的に切り欠かれており、左右の両側部が容器本体１の一対の支持片２に水平に支持される。

アダプタ４０の所定の成形材料としては、例えば耐薬品性・耐摩耗性・耐衝撃性・汎用性等に優れる軽量のポリプロピレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂等の各種合成樹脂、ポリエステル系、ポリスチレン系、ポリオレフィン系等の熱可塑性エラストマーがあげられる。この成形材料には、導電性を付与してレチクルの静電気破壊を防止するため、適量のカーボンブラック、カーボン繊維、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ、導電性高分子、金属繊維、金属酸化物等が好ましくは添加される。

傾斜角拡大溝４３は、図５や図６に示すように、アダプタ４０の搭載面後部に連接されて徐々に下降しながら傾く傾斜面４４と、この傾斜面４４の端部に水平に連接されて後部位置決めバー５３に隣接する平坦面４５とから一体形成され、レチクル収容容器３０の取り外し時にレチクル収容容器３０を上方向に大きく傾斜させ、レチクル収容容器３０の取り外し作業に資するよう機能する。この傾斜角拡大溝４３は、例えば傾斜面４４が１０°程度の傾斜角度で傾斜してレチクル収容容器３０の底面後部に摺接され、平坦面４５がアダプタ４０の搭載面４１から１ｍｍ程度の深さで切り欠かれて傾斜面４４よりも低位に位置する。

複数の位置決めバー５０は、図２ないし図４に示すように、アダプタ４０の搭載面４１の周縁部付近に螺着されて平面矩形の搭載領域５１を描くよう間隔をおいて配列され、各位置決めバー５０が平面略半円形等に形成されており、レチクル収容容器３０の上蓋周縁部３３に前後左右から近接して位置決めするよう機能する。この複数の位置決めバー５０は、アダプタ４０と同様の成形材料により成形され、この成形材料には導電性を付与してレチクルの静電気破壊を防止するため、適量のカーボンブラック、カーボン繊維、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ、導電性高分子、金属繊維、金属酸化物等が好ましくは添加される。

複数の位置決めバー５０は、レチクル収容容器３０の上蓋の周縁前部に近接して位置決めする前部位置決めバー５２と、レチクル収容容器３０の上蓋３２の周縁後部に近接して位置決め係止する後部位置決めバー５３と、レチクル収容容器３０の上蓋３２の周縁側部に近接して位置決めする左右一対の側部位置決めバー５７とを備えてレチクル収容容器３０の四隅部以外の大部分を包囲し、前部位置決めバー５２にレチクル収容容器３０用のクランプ５８が回転可能に支持される。前部位置決めバー５２、後部位置決めバー５３、及び左右一対の側部位置決めバー５７の間には隙間がそれぞれ区画形成され、後部位置決めバー５３がやや背の高い断面逆Ｌ字形に屈曲形成される。

後部位置決めバー５３は、製造作業や組立作業を容易にする観点から、図５や図６に示すように、上蓋３２の周縁後部に横方向から対向近接するブロック形の起立部５４と、この起立部５４に螺子等の複数の締結具５５を介し着脱自在に螺着されて上蓋３２の周縁後部に上方から係止する平面略半円形で略Ｌ字形の係止被覆部５６とに分割され、起立部５４が傾斜角拡大溝４３の平坦面４５に隣接しており、位置決め機能の他、係止機能を発揮する。

クランプ５８は、図２ないし図５に示すように、前部位置決めバー５２の中央部にボルト６０を介して支持され、水平横方向に回転する。このクランプ５８は、アダプタ４０や位置決めバー５０と同様の成形材料により略倒Ｌ字形に成形され、レチクル収容容器３０の上蓋周縁部３３に長片部を上方から係止してＺ方向への浮き上がりを防止したり、長片部の係止を解除してレチクル収容容器３０の取り外しを可能にするよう機能する。

クランプ５８の成形材料には、レチクルの静電気破壊を防止する観点から、好ましくは適量のカーボンブラック、カーボン繊維、カーボンナノファイバー、カーボンナノチューブ、導電性高分子、金属繊維、金属酸化物等が添加される。また、ボルト６０は、特に限定されるものではないが、例えば耐熱性や機械特性等に優れる高機能のポリエーテルエーテルケトン樹脂等により成形され、クランプ５８の短片筒部５９に上方から螺挿される。

上記構成において、基板収納容器の容器本体１にレチクルを収容したレチクル収容容器３０をアダプタ４０を介して収納する場合には、先ず、アダプタ４０を用意してそのクランプ５８の長片部を前部位置決めバー５２の左右長手方向に向け、アダプタ４０の搭載面４１に傾けたレチクル収容容器３０の後部を接触させ、このレチクル収容容器３０を後方にスライドさせてその上蓋３２の周縁後部を後部位置決めバー５３の係止被覆部５６に係止させる（図５参照）とともに、前部位置決めバー５２、後部位置決めバー５３、及び一対の側部位置決めバー５７の間の搭載領域５１にレチクル収容容器３０を嵌入して位置決めする。

レチクル収容容器３０を嵌入して搭載したら、クランプ５８の長片部をアダプタ４０の中心部方向に回転させ、クランプ５８の長片部をレチクル収容容器３０の周縁部に係止させてレチクル収容容器３０がＺ方向に浮き上がらないようにし（図４参照）、空の容器本体１内に複数のアダプタ４０を順次収納してその両側部を容器本体１の対向する一対の支持片２にそれぞれ支持させ、アダプタ４０の位置や姿勢を安定させた後、容器本体１の開口した正面に蓋体１０を圧入して嵌合すれば、容器本体１にレチクル収容容器３０をアダプタ４０を介し安全に収納することができる。この際、アダプタ４０とアダプタ４０の間隔を空け、アダプタ４０の下面にレチクル収容容器３０が衝突しないようにすることが好ましい。

次に、基板収納容器の容器本体１からアダプタ４０を引き抜いてレチクル収容容器３０を取り外す場合には、先ず、容器本体１の正面から蓋体１０を引き抜いて取り外し、容器本体１の開口した正面からアダプタ４０を引き抜く。こうして容器本体１からアダプタ４０を引き抜いたら、クランプ５８を回転させてその長片部をアダプタ４０の中心部方向から前部位置決めバー５２の左右長手方向に向けることにより、クランプ５８の長片部のレチクル収容容器３０に対する係止を解除し、レチクル収容容器３０の前部両側を摘まんで徐々に引き上げる（図５参照）とともに、このレチクル収容容器３０を前部４２方向に徐々にスライド（図５参照）させてその上蓋３２の周縁後部に対する後部位置決めバー５３の係止被覆部５６の係止を解除する。

この際、レチクル収容容器３０の底面後部は、傾斜角拡大溝４３の平坦面４５に落下してレチクル収容容器３０の周縁後部と後部位置決めバー５３の係止被覆部５６との間に動作用の隙間を形成した後、傾斜角拡大溝４３の傾斜面４４に案内されつつアダプタ４０の前部４２方向に上昇しながらスライドするので、係止被覆部５６の存在に拘わらず、係止被覆部５６の係止が円滑かつ確実に解除され、レチクル収容容器３０の上方向への傾斜角が拡大する。

後部位置決めバー５３の係止を解除したら、レチクル収容容器３０の前部両側を掴んで前部位置決めバー５２、後部位置決めバー５３、及び一対の側部位置決めバー５７の間の搭載領域５１から持ち上げれば、アダプタ４０からレチクル収容容器３０を取り外し、このレチクル収容容器３０からレチクルを取り出すことができる。

上記構成によれば、アダプタ４０に搭載されたレチクル収容容器３０の周縁後部と後部位置決めバー５３の起立部５４とを近接させて位置決めするとともに、後部位置決めバー５３の係止被覆部５６を係止させるので、レチクル収容容器３０がアダプタ４０の前後方向にずれるのを抑制することができ、しかも、アダプタ４０からレチクル収容容器３０がＺ方向に浮き上がって位置ずれしたり、がたついたり、脱落するのを防ぐことができる。また、別体の起立部５４と係止被覆部５６とを組み立てて後部位置決めバー５３を構成するので、形状が複雑な後部位置決めバー５３を容易に組み立てて使用することができる。

また、レチクル収容容器３０に後部位置決めバー５３を係止させる他、クランプ５８をも係止させ、レチクル収容容器３０を前後二箇所で係止するので、例え基板収納容器が衝突して外力が作用しても、アダプタ４０からレチクル収容容器３０が浮き上がって位置ずれしたり、がたついたり、脱落するのを有効に防止することができる。したがって、レチクル収容容器３０内のレチクルの損傷防止が大いに期待できる。

また、傾斜角拡大溝４３の平坦面４５にレチクル収容容器３０の底面後部が接触すれば、レチクル収容容器３０の周縁後部と後部位置決めバー５３の係止被覆部５６との間に揺動用の隙間を区画形成することができるので、係止被覆部５６の存在に拘わらず、レチクル収容容器３０を上方向に大きく傾斜させることが可能となる。したがって、アダプタ４０からレチクル収容容器３０を取り外す作業に何ら支障を来すことがない。さらに、アダプタ４０、複数の位置決めバー５０、及びクランプ５８を樹脂と導電フィラー含有の成形材料によりそれぞれ成形すれば、導電性の付与によりレチクルの静電気破壊を防止することが可能となる。

次に、図７は本発明の第２の実施形態を示すもので、この場合には、前部位置決めバー５２に、水平横方向に回転可能な左右一対のクランプ５８をボルト６０を介しそれぞれ支持させるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、一対のクランプ５８を用いるので、例え一方のクランプ５８が外れても、他方のクランプ５８により、レチクル収容容器３０の位置ずれやがたつき、脱落等を確実に防止することができる。

次に、図８は本発明の第３の実施形態を示すもので、この場合には、前部位置決めバー５２と一対の側部位置決めバー５７の中央部にクランプ５８をボルト６０を介しそれぞれ回転可能に支持させるようにしている。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、クランプ５８の数を増やして後部位置決めバー５３と共に前後左右の四箇所で係止するので、レチクル収容容器３０が浮き上がって位置ずれしたり、がたついたり、脱落するのを確実に防止することができるのは明らかである。

なお、上記実施形態ではアダプタ４０、複数の位置決めバー５０、及びクランプ５８を樹脂と導電フィラー含有の成形材料により成形したが、これらの少なくともいずれかを樹脂と導電フィラー含有の成形材料により成形しても良い。また、アダプタ４０の径方向に、複数の位置決めバー５０用の取付孔を複数穿孔し、レチクル収容容器３０の大きさに応じ、複数の取り付け孔に位置決めバー５０を選択的に螺着しても良い。また、アダプタ４０の下面における両側部周縁に、支持片のストッパ３に近接する切り欠きを他の部分よりも厚さが薄くなるようそれぞれ形成し、各切り欠きを支持片のストッパ３に接触させてアダプタ４０が前後方向、特に前方向に位置ずれしたり、がたつくのを防止するようにしても良い。

また、アダプタ４０の搭載面４１に必要数の凹凸を配列形成してレチクル収容容器３０の底面との間に僅かな隙間を形成可能とし、レチクル収容容器３０の取り付け取り外しを容易にしても良い。また、段差である傾斜角拡大溝４３の傾斜面４４を後方に延長し、平坦面４５を省略しても良い。また、上記実施形態では前部位置決めバー５２と一対の側部位置決めバー５７のうち、少なくとも前部位置決めバー５２にクランプ５８を支持させたが、一対の側部位置決めバー５７のみに必要数のクランプ５８を回転可能に支持させることができる。

また、特に支障を来さなければ、アダプタ４０の搭載面４１に必要数のクランプ５８を回転可能に支持させることができる。また、各位置決めバー５０に可撓性やバネ性を付与してレチクル収容容器３０の周縁部に密接させ、レチクル収容容器３０の位置ずれや脱落を防止することもできる。また、後部位置決めバー５３の係止被覆部５６のレチクル収容容器３０に対向する起立面を傾斜させてレチクル収容容器３０の上方への傾斜角を拡大させることが可能である。さらに、後部位置決めバー５３の締結具５５は、クランプ５８のボルト６０と同様でも良いし、異なる結合具とすることも可能である。

本発明に係る基板収納容器は、半導体やレチクルを取り扱う分野で使用することができる。

１ 容器本体
２ 支持片
５ ロボティックフランジ
８ 搬送レール
１０ 蓋体
１１ 蓋本体
１４ カバープレート
１６ 施錠機構
３０ レチクル収容容器
３１ 底板
３２ 上蓋
３３ 周縁部
４０ アダプタ
４１ 搭載面
４２ 前部
４３ 傾斜角拡大溝
４４ 傾斜面
４５ 平坦面
５０ 位置決めバー（位置決め部材）
５１ 搭載領域
５２ 前部位置決めバー（位置決め部材、前部位置決め部材）
５３ 後部位置決めバー（位置決め部材、後部位置決め部材）
５４ 起立部
５６ 係止被覆部
５７ 側部位置決めバー（位置決め部材、側部位置決め部材）
５８ クランプ（クランプ部材）
Ｗ 半導体ウェーハ

Claims (4)

1. 複数枚の半導体ウェーハを上下方向に並べて収納可能な容器本体と、この容器本体の開口した正面に着脱自在に嵌め合わされる蓋体と、容器本体に収納されるレチクル収容容器搭載用のアダプタと、このアダプタのレチクル収容容器用の搭載面に配設されてレチクル収容容器を位置決めする複数の位置決め部材とを含んでなる基板収納容器であって、
   容器本体の内部両側に、半導体ウェーハを略水平に支持可能な一対の支持片を対向させて設け、この一対の支持片を上下方向に所定の間隔で複数配列し、
   アダプタを容器本体内の一対の支持片に支持される形状に形成し、このアダプタの搭載面後部に、レチクル収容容器の底面に隙間を介して対向する傾斜角拡大溝を形成し、
   複数の位置決め部材は、レチクル収容容器の周縁前部に接近して位置決めする前部位置決め部材と、レチクル収容容器の周縁後部に接近して位置決め係止する後部位置決め部材と、レチクル収容容器の周縁側部に接近して位置決めする側部位置決め部材とを含み、後部位置決め部材を断面略逆Ｌ字形に形成して傾斜角拡大溝に接近させたことを特徴とする基板収納容器。
2. アダプタと複数の位置決め部材の少なくともいずれかを、樹脂と導電フィラー含有の成形材料により成形した請求項１記載の基板収納容器。
3. 傾斜角拡大溝を、アダプタの搭載面後部に連接されて徐々に下降する傾斜面と、この傾斜面に連接されて後部位置決め部材に隣接する平坦面とから形成した請求項１又は２記載の基板収納容器。
4. 後部位置決め部材を、傾斜角拡大溝の平坦面に隣接してレチクル収容容器の周縁後部に横方向から対向する起立部と、この起立部に着脱自在に取り付けられてレチクル収容容器の周縁後部に上方から係止する係止被覆部とに分割した請求項３記載の基板収納容器。