JP7749998B2 - ヒートシンク及びヒートシンクの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ヒートシンク及びヒートシンクの製造方法に関する。

ヒートシンクとして、板状のベース部と、このベース部の一方の表面に設けられた複数のピンフィンとを含む構造のものが知られている。このような構造のヒートシンクを製造する方法として、鍛造法が知られている。鍛造法としては、複数の孔を有するダイスの上に、ヒートシンクの原料である金属材料を配置し、パンチを用いて金属材料をダイスに向けて加圧することによって、金属材料をダイスの外周方向に延伸させてベース部を形成させると共に、複数の孔のそれぞれに流入させてピンフィンを形成させる方法が知られている。ダイスを用いた鍛造法には、バリ出し工法（半密閉工法ともいう）と密閉工法とが知られている。バリ出し工法は、パンチとダイスとの間に隙間が設けられていて、複数の孔に流入しなかった金属材料をその隙間から外部に流出させる工法である。密閉工法は、パンチとダイスとの間に隙間を設けずに、金属材料をパンチとダイスとの間に密閉する工法である。

ピンフィンの高さが均一なヒートシンクを、鍛造法を用いて製造するためには、ダイスの複数の孔に均一に金属材料を流入させることが必要となる。しかしながら、バリ出し工法の場合、ダイスの中央に配置された孔は金属材料が流入しやすく、その外周に配置された孔は金属材料が流入しにくい傾向がある。鍛造法では、ダイスの中央に配列された孔に金属材料が充填されると、パンチで金属材料を加圧できなくなるため、外周の孔に金属材料を流入させることができなくなる。このため、バリ出し工法を用いて、ダイスの複数の孔に金属材料を均一に充填させて、高さが均一なピンフィンを形成することが可能なヒートシンクの製造方法が検討されている。バリ出し工法を用いて、ダイスの複数の孔に金属材料を均一に充填させる方法として、ダイスの中央側に位置する孔の金属材料の流入抵抗を、外側に位置する孔の金属材料の流入抵抗よりも大きくすることが検討されている（特許文献１）。特許文献１には、ダイスの中央側に位置する孔の金属材料の流入抵抗を高める方法としては、ダイスの中央側に位置する孔の金属材料の流入口（肩部）の表面に凹凸を設ける方法が記載されている。

特開２０１７－２２８６１８号公報

ダイスの中央側に位置する孔の金属材料の流入口の表面に凹凸を設ける方法は、ダイスの長期間の継続的な使用により、凹凸が摩耗して、金属材料の流入口がなだらかになり、孔の金属材料の流入抵抗が低下するおそれがある。このため、長期間にわたって継続的に、ピンフィンの高さが均一なヒートシンクを製造することが難しい。

この発明は、前述した事情に鑑みてなされたものであって、ピンフィンの高さを均一にしやすい構造のヒートシンク及びピンフィンの高さが均一なヒートシンクを長期間にわたって継続的に製造することができる方法を提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。

（１）板状のベース部と、前記ベース部の一方の表面に設けられた複数のピンフィンとを含み、複数の前記ピンフィンはそれぞれ、第１方向と、第１方向に対して垂直な第２方向に間隔をあけて配置されていて、前記第１方向および前記第２方向の少なくとも一つの方向において、中央側に位置する前記ピンフィンの断面積よりも、外側に位置する前記ピンフィンの断面積が小さいことを特徴とするヒートシンク。

（２）前記第１方向および前記第２方向の二つの方向において、中央側に位置する前記ピンフィンの断面積よりも、外側に位置する前記ピンフィンの断面積が小さい上記（１）に記載のヒートシンク。

（３）複数の前記ピンフィンは、隣り合う前記ピンフィンの中心間距離がそれぞれ同一となるように配置されている上記（１）または（２）に記載のヒートシンク。

（４）中央側に位置する前記ピンフィンから外側に位置する前記ピンフィンに向かって、前記ピンフィンの断面積が段階的に小さくなる上記（１）～（３）に記載のヒートシンク。

（５）中央側に位置する前記ピンフィンから外周側に位置する前記ピンフィンに向かって、前記ピンフィンの断面積が連続的に小さくなる上記（１）～（３）に記載のヒートシンク。

（６）複数の前記ピンフィンの断面形状がそれぞれ相似形である上記（１）～（５）に記載のヒートシンク。

（７）複数の前記ピンフィンの断面形状がそれぞれ円である上記（１）～（６）に記載のヒートシンク。

（８）鍛造品である上記（１）～（７）に記載のヒートシンク。

（９）複数の孔を有し、複数の前記孔は、第１方向と、第１方向に対して垂直な第２方向に間隔をあけて配置されていて、前記第１方向および前記第２方向の少なくとも一つの方向において、中央側に位置する前記孔の断面積よりも、外側に位置する前記孔の断面積が小さいダイスを用意する工程と、金属材料を前記ダイスの前記第１方向および前記第２方向の中央側に配置し、前記金属材料を前記ダイスに向けて加圧することによって、前記金属材料を前記ダイスの外周方向に延伸させると共に、前記孔に流入させる工程と、を含むヒートシンクの製造方法。

本発明によれば、ピンフィンの高さを均一にしやすい構造のヒートシンク及びピンフィンの高さが均一なヒートシンクを長期間にわたって継続的に製造することができる方法を提供することが可能となる。

本発明の第１実施形態に係るヒートシンクの斜視図である。 図１に示すヒートシンクの平面図である。 本実施形態のヒートシンクの製造方法で用いることができる鍛造装置の断面図である。 実施例１で使用したダイスに形成されている孔の直径を示す概念図である。

以下、本発明の実施形態に係るヒートシンク及びヒートシンクの製造方法について、図面を適宜参照しながら詳細に説明する。以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などは実際とは異なっていることがある。以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。

［ヒートシンク］
図１は、本発明の第１実施形態に係るヒートシンクの斜視図であり、図２は、図１に示すヒートシンクの平面図である。
図１及び図２に示すように、本実施形態のヒートシンク１は、板状のベース部２と、ベース部２の一方の表面に設けられた複数のピンフィン３とを含む。

ベース部２は、ピンフィン３の土台となる部分である。ベース部２の形状は特に制限はない。ベース部２の平面形状は、例えば、円や楕円形などの丸みを有する形状であってもよいし、四角形（長方形、正方形）、六角形、八角形などの多角形状あってもよい。ベース部２の厚さは、例えば、０．５ｍｍ以上２０ｍｍ以下の範囲内にあってもよい。ベース部２のピンフィン３側の面は平坦であることが好ましい。ベース部２のピンフィン３側と反対側の面は、平坦であってもよいし、段差があってもよい。例えば、ベース部２のピンフィン３側と反対側の面は、中央に凸部あるいは凹部を設けてもよい。

複数のピンフィン３はそれぞれ、ベース部２の表面に対して垂直な方向（Ｚ方向）に延びている。複数のピンフィン３はそれぞれ、ベース部２の表面に沿う第１方向（Ｘ方向、行方向ともいう）と、第１方向に対して垂直な第２方向（Ｙ方向、列方向ともいう）に間隔をあけて配置されている。本実施形態では、第１方向には１１個のピンフィン３が配置され、第２方向には１０個のピンフィン３が配置されている。複数のピンフィン３は第１方向に交互にずれた千鳥状に配置されている。

第２方向に配列されたピンフィン３は、中央側に位置するピンフィン３の断面積よりも、外側に位置するピンフィン３の断面積が小さくなるようにされている。また、第２方向に配列された複数のピンフィン３中の最大の断面積は、第１方向における中央側よりも、外側の方が小さくなるようにされている。すなわち、第１方向および第２方向の二つの方向において、中央側に位置するピンフィン３の断面積よりも、外側に位置するピンフィン３の断面積が小さくなるようにされている。なお、本明細書において「ピンフィン３の断面」は、特に断らない限り、ピンフィン３をベース部２の表面に沿って切断したときに現れる面であり、「ピンフィン３の断面積」は、その断面の面積を意味する。複数のピンフィン３の中で、断面積が最大のものは、断面積が例えば、１ｍｍ^２以上３０ｍｍ^２以下の範囲内にあってもよい。例えば、ピンフィン３の断面形状が円の場合、断面積が最大のピンフィンは、直径が１ｍｍ以上６ｍｍ以下の範囲内にあってもよい。中央側に位置するピンフィン３とその内側のピンフィン３に隣り合う外側のピンフィン３の断面積の比は、中央側のピンフィン３の断面積に対する外側のピンフィン３の断面積の比として７０／１００以上９０／１００以下の範囲内にあってもよい。また、中央側に位置するピンフィン３とその内側のピンフィン３に隣り合う外側のピンフィン３の直径の比は、中央側のピンフィン３の直径に対する外側のピンフィン３の直径の比として８５／１００以上９５／１００以下の範囲内にあってもよい。

ピンフィン３の断面積の変化は、段階的であってもよいし、連続的であってもよい。段階的とは、中央側に位置するピンフィン３から外側に向かってピンフィン３が複数個（例えば、２～３個）の間隔で断面積が小さくなることを意味する。連続的とは、中央側から外側に向かってピンフィン３の断面積が１個ずつ小さくなることを意味する。ピンフィン３の断面積は、段階的に変化する部分と連続的に変化する部分とがあってもよい。

複数のピンフィン３は、１つのピンフィン３が最大で６つのピンフィン３と隣り合うように構成されている。隣り合うピンフィン３は、中心間距離がそれぞれ同一となるように配置されている。中心間距離は、ピンフィン３の断面における中心と中心の間の距離である。例えば、ピンフィン３ａとピンフィン３ｂの距離Ｌ_ａｂと、ピンフィン３ａとピンフィン３ｃの距離Ｌ_ａｃと、ピンフィン３ａとピンフィン３ｄの距離Ｌ_ａｄとは、それぞれ同一である（図２参照）。中心間距離は、例えば、断面積が最大のピンフィンの直径に対して１．２倍から２倍の範囲内にある。中心間距離は、例えば、１．２ｍｍ以上１０ｍｍ以下の範囲内にあってもよい。

複数のピンフィン３の断面形状はそれぞれ、相似形であることが好ましい。また、ピンフィン３の断面形状に制限はない。ピンフィン３の断面形状は、や楕円形などの丸みを有する形状であってもよいし、四角形（長方形、正方形、ひし形）、六角形、八角形などの多角形状あってもよいし、羽翼形状のような異形状であってもよい。

複数のピンフィン３の高さはそれぞれ、同じであってもよい。ピンフィン３の高さは、例えば、３ｍｍ以上１０ｍｍ以下の範囲内にあってもよい。

ヒートシンク１の材料としては、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金、鉄、鉄合金などを用いることができる。だたし、ヒートシンク１の材料は、これらの金属や合金に限定されるものではなく、ヒートシンクの材料として利用されている各種の金属材料を用いることができる。

［ヒートシンクの製造方法］
本実施形態のヒートシンクの製造方法は、ダイスを用意する用意工程と、金属材料をダイスに向けて加圧する加圧工程とを有する。加圧工程は鍛造装置を用いて実施することができる。

用意工程で用意するダイスは、複数の孔を有する。この複数の孔に金属材料を流入させることによって、ヒートシンクのピンフィンが形成される。よって、ダイスの複数の孔は、製造目的であるヒートシンクのピンフィンに対応する位置に配置されている。すなわち、ダイスの複数の孔は、第１方向と、第１方向に対して垂直な第２方向に間隔をあけて配置されていて、第１方向および第２方向の少なくとも一つの方向において、中央側に位置する孔の断面積よりも、外側に位置する孔の断面積が小さくなるように形成されている。

図３は、本実施形態のヒートシンクの製造方法で用いることができる鍛造装置の断面図である。
図３に示すように、鍛造装置１０は、パンチ１１と、ダイス１２と、ダイスホルダ１４とを有する。ヒートシンクの材料である金属材料１００は、パンチ１１とダイス１２との間に配置される。パンチ１１とダイス１２との間には、不要な金属材料１００を外部に流出可能とする隙間２１が設けられていて、バリ出し工法が可能とされている。

パンチ１１は、金属材料１００をダイス１２に向けて加圧する。ダイス１２は、用意工程で用意されたダイスである。ダイス１２は、複数の孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃを有する。複数の孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃは、中央側に位置する孔の断面積よりも、外側に位置する孔の断面積が小さくなるように配置されている。すなわち、孔１３ｃが最も断面積が大きく、孔１３ｂが次に断面積が大きく、孔１３ａが最も断面積が小さい。

ダイスホルダ１４は、アンビル１５と、ノックピン１８と、ノックアウトプレート１９と、エジェクタ２０と、を有する。アンビル１５は、底板１６と、底板１６の周囲に配置された筒状のダイス支持体１７とを有する。底板１６は中央にエジェクタ２０が挿入される開口を有する。ノックピン１８は、ダイス１２の複数の孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃに挿入されている。ノックピン１８はノックアウトプレート１９に支持されている。ノックアウトプレート１９は底板１６とエジェクタ２０との上に配置されている。エジェクタ２０は上下方向に移動可能とされている。エジェクタ２０の上下方向の移動に合わせて、ノックアウトプレート１９を介してノックピン１８が上下方向に移動する。

鍛造装置１０を用いたヒートシンクの製造は次のようにして行われる。
まず、ダイス１２を、ダイスホルダ１４のダイス支持体１７の上に配置する。次いで、ダイス１２の孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃに、ノックピン１８を挿入し、ノックピン１８をノックアウトプレート１９の接触するまでに押し込む。次いでノックアウトプレート１９の位置を調整して、ノックピン１８の上側端部の位置、すなわち孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃの深さを設定する。

次に、金属材料１００をダイス１２の中央（第１方向および第２方向の中央）に配置する。金属材料１００は、ダイス１２のキャビティに収納可能であれば、その形状に制限はない。金属材料１００の形状は、角板形状(六面体)であってもよいし、丸板形状であってもよいし、異形状であってもよい。金属材料１００は、ダイス１２のキャビティ内での位置ずれを抑えるために、キャビティの形状に近い形状であることが好ましい。また、金属材料１００は面取りがなされていてもよい。金属材料１００は、圧延材からトリミングや機械加工にて切出されたものであってもよい。また、金属材料１００は、フラット形状や丸形状の押出材あるいは角形状や丸形状の連鋳棒を切断あるいは切出して製造したものであってもよい。金属材料１００は、展延性を向上させるために、焼きなまし処理（Ｏ処理）が施されていてもよい。また、金属材料１００は表面に潤滑剤を付着させる潤滑処理が施されていてもよい。

次に、パンチ１１を用いて、金属材料１００をダイス１２に向けて加圧する。加圧によって金属材料１００をダイス１２の外周方向に延伸させると共に、孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃに流入させる。鍛造装置１０は、バリ出し鍛造装置でありパンチ１１とダイス１２との間に不要な金属材料を外部に流出可能な隙間を有する。このバリ出し鍛造装置では、加圧によって金属材料１００はダイス１２の外周方向に流動しやすくなるため、ダイス１２の中央側から外周側に向けて孔への金属材料１００の流入が起こりにくくなる。ダイス１２の孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃは、内側から外側に向けて断面積が小さく、内部に充填できる金属材料１００の量が少なくなるようにされているので、内側から外側に向けて金属材料１００の流入量は少なくなっても、孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃの金属材料１００の充填率は同等なる。このため、均一な高さのピンフィンを形成することができる。

鍛造中、金属材料１００を加熱してもよい。例えば、金属材料１００がアルミニウムあるいはアルミニウム合金の場合、金属材料１００を４００℃以上６００℃以下の温度で加熱してもよい。また、金属材料１００を加熱せずに鍛造（冷間鍛造）してもよい。

鍛造によって、複数のピンフィンを有するヒートシンクが形成された後は、エジェクタ２０を上方に移動して、ノックアウトプレート１９を介して、ノックピン１８を上方に移動させ、ヒートシンクのピンフィンを押しさせる。これによって、ダイス１２からヒートシンクが取り出される。

以上のような構成とされた本実施形態のヒートシンク１は、第１方向（行方向）および第２方向（列方向）の二つの方向において、中央側に位置するピンフィン３の断面積よりも、外側に位置するピンフィン３の断面積が小さくなる構造とされている。すわなち、単位空間あたりのピンフィン３の体積が中央側よりも外側の方が小さい構造とされているこのため、本実施形態のヒートシンク１の製造において、ダイスの外側の孔に充填させる金属材料の量を少なくできる。このため、ダイスの中央側の孔に金属材料が流入しやすく、外側の孔に金属材料が流入しにくい場合でも、孔全体に均一に金属材料を充填でき、ピンフィンの高さが均一となり易くなる。また、本実施形態のヒートシンク１は、単位空間あたりのピンフィン３の体積が中央側よりも外側の方が小さい構造であるため、ヒートシンク１の中央側の熱を外側に放出させやすい。

また、本実施形態のヒートシンク１は、複数のピンフィン３は、隣り合うピンフィン３の中心間距離がそれぞれ同一となるように配置されているので、中央側に位置するピンフィン３の断面積よりも、外側に位置するピンフィン３の断面積を小さくなることよって、単位空間あたりのピンフィン３の体積が、中央側よりも外側の方が少ない構造とすることができる。

本実施形態のヒートシンク１において、中央側に位置するピンフィン３から外側に位置するピンフィン３に向かって、ピンフィンの断面積が段階的に小さくなる場合は、断面積が同じピンフィン３が複数あり、ノックピン１８を共用できるので、鍛造装置１０を管理しやすくなる。

本実施形態のヒートシンク１において、中央側に位置するピンフィン３から外側に位置するピンフィン３に向かって、ピンフィンの断面積が連続的に小さくなる場合は、中央側の熱が外側に向かってより均一に放出されやすくなる。

複数の前記ピンフィンの断面形状がそれぞれ相似形である場合は、ピンフィン３の間に冷却水を流して冷却する場合、冷却水が均一に流れやすく、また冷却水の流れを調整しやすいため、ピンフィン３をより均一に冷却することができる。

本実施形態のヒートシンクの製造方法において使用するダイス１２が複数の孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃを有し、中央側に位置する孔１３ｃが最も断面積が大きく、外側に位置する孔１３ａが最も断面積が小さい構造とされているので、孔全体に均一に金属材料１００を充填することができる。このため、本実施形態のヒートシンクの製造方法によれば、ピンフィンの高さが均一なヒートシンクを製造することが可能となる。また、ダイス１２は表面に凹凸を有しないので、長期間の継続的な使用による摩耗が起こりにくい。このため、本実施形態のヒートシンクの製造方法によれば、ピンフィンの高さが均一なヒートシンクを長期間にわたって継続的に製造することが可能となる。特に、ダイス１２の孔の断面形状が円である場合（すなわち、ヒートシンク１の複数のピンフィン３の断面形状がそれぞれ円である場合）、鍛造法でヒートシンク１を製造する際に、高荷重を負荷しても、ダイス１２の孔に局所的な応力集中が発生しにくい。このため、長期間にわたってダイス１２が破損しにくくなり、ピンフィンの高さが均一なヒートシンクをより長期間にわたって継続的に製造することが可能となる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

例えば、本実施形態のヒートシンク１では、複数のピンフィン３が第１方向に交互にずれた千鳥状に配置されていたが、ピンフィン３の配置はこれに限定されるものではない。例えば、複数のピンフィン３は並列状に配置されていてもよい。また、本実施形態のヒートシンク１では、第１方向および第２方向の二つの方向において、中央側に位置するピンフィン３の断面積よりも、外側に位置するピンフィン３の断面積が小さい構造とされていたが、第１方向および第２方向の少なくとも一つの方向において、中央側に位置するピンフィン３の断面積よりも、外側に位置するピンフィン３の断面積が小さい構造であってもよい。

また、本実施形態のヒートシンク１は、鍛造品とされているが、鋳造品であってもよい。鋳造品の場合は、金属材料の溶湯をダイス１２の中央側に供給して、金属材料の溶湯をダイス１２の外周方向に延伸させると共に、孔１３ａ、１３ｂ、１３ｃに流入させる。さらに、本実施形態のヒートシンク１は、また、切削やレーザ加工によって作製されたものであってもよい。

［実施例１］
行方向に１０個、列方向に１１個の孔が列方向に千鳥配列となるように形成されたダイスを用意した。孔の断面形状は円形とした。隣り合う孔の中心間距離は３ｍｍと、孔の深さを７ｍｍとした。
図４に、ダイスに形成されている孔の直径を示す。図４において、四角内の数値が孔の直径（単位：ｍｍ）である。６列目（Ｘ方向の左から６個目）×５行目（Ｙ方向の上から５個目）の位置にある孔の直径は２．００ｍｍである。６列目の１０個の孔の直径は、５行目の孔が最大で、行方向（Ｘ方向）の外側に向かって、０．９倍ずつ連続的に小さくなっている。また、５行目の１１個の孔の直径は、６列目の孔が最大で、列方向（Ｙ方向）の外側に向かって、０．９倍ずつ連続的に小さくなっている。さらに、６列目×５行目の位置にある孔から斜め方向に対しても０．９倍ずつ連続的に小さくなっている。すなわち、ダイスに形成されている孔は、６列目×５行目の位置にある孔に対して放射状に直径が小さくなっている。

上記のダイスを用いて、鍛造法により、ヒートシンクを製造した。
ダイスをダイスホルダの上に設置した。次いで、ダイスの列方向と行方向の中央側に、金属材料として、縦：４０ｍｍ、横：４０ｍｍ、厚さ：２０ｍｍの立方形状のアルミニウム合金材（Ａ６０６３）を配置した。次いで、パンチを用いて金属材料を前記ダイスに向けて加圧して鍛造した。パンチとダイスには、予め水溶性潤滑剤を塗布した。ダイスの温度は２００℃とし、金属材料の温度は４５０℃とした。パンチのプレス速度は２００ｍｍ／秒とした。

中央の孔に形成されたピンフィンの高さが７ｍｍとなった時点で鍛造を止めて、形成されたヒートシンクをダイスから取り出した。得られたヒートシンクを室温まで放冷した後、ヒートシンクの最外周のピンフィンの高さを計測した。その結果、最外周のピンフィンの最低高さは６．９８ｍｍであり、中央のピンフィンの高さ（７ｍｍ）と実質的に同じであった。

［比較例１］
アルミニウム合金材に、行方向に１０個、列方向に１１個の孔を、直径がすべて１．３ｍｍとなるように形成してダイスを作製した。そして、このダイスを用いたこと以外は、実施例１と同様にして、鍛造法により、ヒートシンクを製造した。ヒートシンクの最外周のピンフィンの高さを計測した。その結果、最外周のピンフィンの最低高さは３．６６ｍｍであり、中央のピンフィンの高さ（７ｍｍ）と比較して約２．３４ｍｍも差があった。

１ ヒートシンク
２ ベース部
３、３ａ、３ｂ、３ｃ ピンフィン
１０ 鍛造装置
１１ パンチ
１２ ダイス
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ 孔
１４ ダイスホルダ
１５ アンビル
１６ 底板
１７ ダイス支持体
１８ ノックピン
１９ ノックアウトプレート
２０ エジェクタ
２１ 隙間
１００ 金属材料

Claims (9)

1. 板状のベース部と、前記ベース部の一方の表面に設けられた複数のピンフィンとを含み、
   複数の前記ピンフィンはそれぞれ、第１方向と、第１方向に対して垂直な第２方向に間隔をあけて配置されていて、
   前記第１方向および前記第２方向の少なくとも一つの方向において、中央側に位置する前記ピンフィンの断面積よりも、外側に位置する前記ピンフィンの断面積が小さく、
   中央側に位置するピンフィンから放射状に、断面積が小さいピンフィンが配置しており、
   断面積が同じ複数のピンフィンが、中央側に位置する前記ピンフィンを囲むように六角形の形状に配置し、その配置の外側に順に、断面積がより小さい複数のピンフィンが六角形、七角形の形状に配置する、ことを特徴とするヒートシンク。
2. 前記第１方向および前記第２方向の二つの方向において、中央側に位置する前記ピンフィンの断面積よりも、外側に位置する前記ピンフィンの断面積が小さい請求項１に記載のヒートシンク。
3. 複数の前記ピンフィンは、隣り合う前記ピンフィンの中心間距離がそれぞれ同一となるように配置されている請求項１または２に記載のヒートシンク。
4. 中央側に位置する前記ピンフィンから外側に位置する前記ピンフィンに向かって、前記ピンフィンの断面積が段階的に小さくなる請求項１～３のいずれか１項に記載のヒートシンク。
5. 中央側に位置する前記ピンフィンから外周側に位置する前記ピンフィンに向かって、前記ピンフィンの断面積が連続的に小さくなる請求項１～３のいずれか１項に記載のヒートシンク。
6. 複数の前記ピンフィンの断面形状がそれぞれ相似形である請求項１～５のいずれか１項に記載のヒートシンク。
7. 複数の前記ピンフィンの断面形状がそれぞれ円である請求項１～６のいずれか１項に記載のヒートシンク。
8. 鍛造品である請求項１～７のいずれか１項に記載のヒートシンク。
9. 請求項１～８のいずれか１項に記載のヒートシンクの製造方法であって、
   複数の孔を有し、複数の前記孔は、第１方向と、第１方向に対して垂直な第２方向に間隔をあけて配置されていて、前記第１方向および前記第２方向の少なくとも一つの方向において、中央側に位置する前記孔の断面積よりも、外側に位置する前記孔の断面積が小さいダイスを用意する工程と、
   金属材料を前記ダイスの前記第１方向および前記第２方向の中央側に配置し、前記金属材料を前記ダイスに向けて加圧することによって、前記金属材料を前記ダイスの外周方向に延伸させると共に、前記孔に流入させる工程と、を含むヒートシンクの製造方法。