JP7762882B2

JP7762882B2 - モータ制御装置、モータ制御方法、および、プログラム

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Publication number: JP7762882B2
Application number: JP2022571605A
Authority: JP
Inventors: 健太村上; 篤紀久畑; 賢人吉野; 陽佑真島; 弁平木村
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2020-12-23
Filing date: 2021-12-23
Publication date: 2025-10-31
Anticipated expiration: 2041-12-23
Also published as: EP4270775A4; US12249941B2; WO2022138794A1; US20240022201A1; EP4270775A1; JPWO2022138794A1; CN116349422A

Description

本開示は、モータを制御するモータ制御装置に関する。

特許文献１、特許文献２には、モータを制御するモータ制御装置が開示されている。

上記従来のモータ制御装置では、モータに接続された可動部に取り付けられたセンサにより検知される情報に基づいて、モータを制御する。

特許第６８２４５９３号公報特開２００５―２６７１３８号公報

しかしながら、上記特許文献１、特許文献２に開示されたモータ装置には改善の余地がある。

そこで、本開示は、さらなる改善を図ることが可能なモータ制御装置等を提供することを目的とする。

本開示の一態様に係るモータ制御装置は、モータに接続された可動部を目標位置にするための指令信号と、エンコーダにより検出された前記モータの位置を示すエンコーダ信号と、に基づいて、前記モータを駆動する駆動信号を生成し、生成した前記駆動信号を前記モータに出力する制御部と、前記可動部に取り付けられた位置センサにより検出された前記目標位置の位置である検出目標位置を示す位置センサ信号に基づいて、前記制御部による前記駆動信号の生成方法を変更する生成方法変更部と、を備える。

本開示の一態様に係るモータ制御方法は、モータに接続された可動部を目標位置にするための指令信号と、エンコーダにより検出された前記モータの位置を示すエンコーダ信号と、に基づいて、前記モータを駆動する駆動信号を生成し、生成した前記駆動信号を前記モータに出力する制御ステップと、前記可動部に取り付けられた位置センサにより検出された前記目標位置の位置である検出目標位置を示す位置センサ信号に基づいて、前記制御ステップにおける前記駆動信号の生成方法を変更する生成方法変更ステップと、含む。

本開示の一態様に係るプログラムは、モータを制御するモータ制御装置に、モータ制御処理を実行させるためのプログラムであって、前記モータ制御処理は、前記モータに接続された可動部を目標位置にするための指令信号と、エンコーダにより検出された前記モータの位置を示すエンコーダ信号と、に基づいて、前記モータを駆動する駆動信号を生成し、生成した前記駆動信号を前記モータに出力する制御ステップと、前記可動部に取り付けられた位置センサにより検出された前記目標位置の位置である検出目標位置を示す位置センサ信号に基づいて、前記制御ステップにおける前記駆動信号の生成方法を変更する生成方法変更ステップと、含む。

本開示の一態様に係るモータ制御装置等は、さらなる改善を図ることができる。

図１は、実施の形態１に係るモータ制御システムの構成を示すブロック図である。図２は、実施の形態１に係る第１のモータ制御処理のフローチャートである。図３は、実施の形態１に係るモータ制御装置が行う第１の具体動作例を示す模式図である。図４は、実施の形態２に係るモータ制御システムの構成を示すブロック図である。図５は、実施の形態２に係る第２のモータ制御処理のフローチャートである。図６は、実施の形態３に係るモータ制御システムの構成を示すブロック図である。図７は、実施の形態３に係る第３のモータ制御処理のフローチャートである。

（本開示の一態様を得るに至った経緯）
モータを制御するモータ制御装置が、モータに接続された可動部を目標位置にするための指令信号と、エンコーダにより検出されたモータの位置を示すエンコーダ信号と、に基づいて、モータを駆動したとしても、可動部の位置が実際の目標位置からずれてしまうことがある。

発明者らは、上記課題を見出し、この課題を解決するための下記モータ制御装置等に想到した。

上記構成のモータ制御装置は、可動部に取り付けられた位置センサにより検出された検出目標位置に応じて、モータを駆動する駆動信号の生成方法を変更する。これにより、上記構成のモータ制御装置によると、可動部の位置を実際の目標位置とすることができる。

このように、上記構成のモータ制御装置によると、さらなる改善を図ることができるモータ制御装置が提供される。

また、さらに、前記生成方法変更部による前記生成方法の変更を、有効にするか無効にするかを切り替える切り替え部を備えるとしてもよい。

これにより、位置センサにより検出された検出目標位置に応じて、モータを駆動する駆動信号の生成方法の変更を、有効にするか無効にするかの切り替えを実現することができる。

また、前記生成方法変更部は、前記目標位置と前記検出目標位置とに差分がある場合に、（１）前記目標位置が前記差分だけ変更されるように前記指令信号を補正する補正値を生成し、（２）前記補正値により補正された前記指令信号と前記エンコーダ信号とに基づいて前記駆動信号を生成するように前記生成方法を変更するとしてもよい。

これにより、補正値により補正された指令信号を用いて、可動部の位置を目標位置とすることができる。

また、前記生成方法変更部は、さらに、前記補正値を、前記指令信号を生成するコントローラに出力するとしてもよい。

これにより、コントローラが、補正値を反映した指令信号を生成することができるようになる。

また、前記生成方法変更部は、前記目標位置と前記検出目標位置とに差分がある場合に、（１）前記モータを一旦停止させて、（２）前記モータを一旦停止させてから第１の所定時間経過した後に、前記目標位置が前記差分だけ変更されるように前記指令信号を補正する補正値を生成し、（３）前記補正値により補正された前記指令信号と前記エンコーダ信号とに基づいて前記駆動信号を生成するように前記生成方法を変更するとしてもよい。

上記構成のモータ制御装置によると、可動部の振動が収まった後に補正値を生成する。これにより、より精度よく、可動部の位置を目標位置とすることができる。

また、前記生成方法変更部は、第１の所定の条件が満たされる場合に、前記補正値をリセットするとしてもよい。

これにより、目標位置に対する可動部の位置ずれが累積されることにより補正値が大きくなりすぎることを抑制しつつ、補正値をリセットすることにより生じ得る悪影響の発生を抑制することができる。

また、前記第１の所定の条件には、前記モータが動作中であるという条件が含まれ、
前記生成方法変更部は、前記モータの動作中に、前記補正値が段階的にゼロに近づき最終的にゼロとなるように前記補正値をリセットするとしてもよい。

一般に、モータが停止中に補正値をリセットすることにより、モータが急に動き出すといった悪影響が生じ得る。

上記構成のモータ制御装置によると、このような悪影響の発生を抑制することができる。さらに、上記構成のモータ制御装置によると、一度に補正値をゼロにすることによって生じ得る悪影響の発生を抑制することができる。

また、前記生成方法変更部は、前記位置センサ信号に基づいて、前記指令信号に対する前記駆動信号のゲインを決定するためのゲインパラメータを変更して前記駆動信号を生成するように前記生成方法を変更するとしてもよい。

これにより、位置センサ信号に基づいてゲインパラメータを変更することができる。

また、前記生成方法変更部は、さらに、前記可動部に取り付けられた加速度センサにより検出された前記可動部の加速度を示す加速度センサ信号にも基づいて、前記生成方法を変更するとしてもよい。

これにより、より精度よく、可動部の位置を目標位置とすることができる。

これにより、位置センサにより検出された検出目標位置と、加速度センサにより検出された可動部の加速度とに応じて、モータを駆動する駆動信号の生成方法の変更を、有効にするか無効にするかの切り替えを実現することができる。

また、前記生成方法変更部は、前記目標位置と前記検出目標位置とに差分がある場合において、前記加速度センサ信号により示される前記可動部の加速度が所定の閾値以下で第２の所定時間以上経過したときに、（１）前記目標位置が前記差分だけ変更されるように前記指令信号を補正する補正値を生成し、（２）前記補正値により補正された前記指令信号と前記エンコーダ信号とに基づいて前記駆動信号を生成するように前記生成方法を変更するとしてもよい。

上記構成のモータ制御装置によると、可動部の振動が収まった後に補正値を生成することができる。これにより、より精度よく、可動部の位置を目標位置とすることができる。

また、前記生成方法変更部は、第２の所定の条件が満たされる場合に、前記補正値をリセットするとしてもよい。

また、前記第２の所定の条件には、前記モータが動作中であるという条件が含まれ、前記生成方法変更部は、前記モータの動作中に、前記補正値の絶対値が段階的にゼロに近づき最終的にゼロとなるように前記補正値をリセットするとしてもよい。

また、前記生成方法変更部は、前記位置センサ信号、および／または、前記加速度センサ信号に基づいて、前記指令信号に対する前記駆動信号のゲインを決定するためのゲインパラメータを変更して前記駆動信号を生成するように前記生成方法を変更するとしてもよい。

これにより、位置センサ信号、および／または、加速度センサ信号に基づいてゲインパラメータを変更することができる。

上記モータ制御方法は、可動部に取り付けられた位置センサにより検出された検出目標位置に応じて、モータを駆動する駆動信号の生成方法を変更する。これにより、上記モータ制御方法によると、可動部の位置を実際の目標位置とすることができる。

このように、上記モータ制御方法によると、さらなる改善を図ることができるモータ制御装置が提供される。

上記プログラムは、可動部に取り付けられた位置センサにより検出された検出目標位置に応じて、モータを駆動する駆動信号の生成方法を変更する。これにより、上記プログラムによると、可動部の位置を実際の目標位置とすることができる。

このように、上記プログラムによると、さらなる改善を図ることができるモータ制御装置が提供される。

以下、本開示の一態様に係るモータ制御装置の具体例について、図面を参照しながら説明する。ここで示す実施の形態は、いずれも本開示の一具体例を示すものである。従って、以下の実施の形態で示される数値、形状、構成要素、構成要素の配置および接続形態、ならびに、ステップ（工程）およびステップの順序等は、一例であって本開示を限定する趣旨ではない。また、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略または簡略化する。

（実施の形態１）
以下、実施の形態１に係るモータ制御システムについて説明する。このモータ制御システムは、モータを制御して、モータに接続された可動部を目標位置に移動させるシステムである。このモータ制御システムは、例えば、基板に部品を実装する生産装置であってもよい。

＜構成＞
図１は、実施の形態１に係るモータ制御システム１の構成を示すブロック図である。

図１に示すように、モータ制御システム１は、モータ制御装置１０と、モータ５０と、可動部６０と、コントローラ７０と、エンコーダ５１と、位置センサ６１と、対象物６５とを備える。

モータ５０は、モータ制御装置１０から出力される駆動信号によって駆動される。ここでは、モータ５０は、回転式モータであるとして説明する。しかしながら、モータ５０は、必ずしも回転式モータに限定される必要はなく、例えば、リニアモータであってもよい。

駆動信号は、例えば、モータ５０を回転させるための電流である。

エンコーダ５１は、モータ５０の位置を検出し、検出したモータ５０の位置を示すエンコーダ信号を、モータ制御装置１０へ出力する。

可動部６０は、モータ５０に接続される。可動部６０は、例えば、モータ制御システム１が、基板に部品を実装する生産装置である場合には、部品を実装位置に搬送するヘッダである。

コントローラ７０は、可動部６０を目標位置にするための指令信号を生成し、生成した指令信号をモータ制御装置１０へ出力する。指令信号は、例えば、可動部６０を目標位置にするための位置指令を示す位置指令信号であってもよいし、可動部６０を目標位置にするための速度指令を示す速度指令信号であってもよいし、可動部６０を目標位置にするための加速度指令を示す加速度指令信号であってもよいし、可動部６０を目標位置にするためのトルク指令を示すトルク指令信号であってもよい。

対象物６５は、目標位置に載置される。すなわち、対象物６５の位置が目標位置となる。

位置センサ６１は、可動部６０に取り付けられ、対象物６５の位置を検出し、検出した対象物６５の位置を示す位置センサ信号をモータ制御装置１０へ出力する。すなわち、位置センサ６１は、目標位置の位置である検出目標位置、すなわち、実際の目標位置を検出し、検出した検出目標位置を示すセンサ信号をモータ制御装置１０へ出力する。

位置センサ６１は、例えば、撮像装置により実現されてもよい。この場合、撮像装置は、例えば、撮像範囲の画像を撮像し、撮像範囲内に対象物６５がある場合に、撮像した画像に対して画像処理を行って目標位置に位置する対象物６５に対する可動部６０との位置偏差を算出し、検出目標位置としてもよい。

また、位置センサ６１は、例えば、変位センサにより実現されてもよい。例えば、位置センサ６１は、透過型レーザ変位センサで実現され、対象物６５がレーザを遮光する位置にある場合において、対象物６５が所定の遮光量または遮光パターンとなる位置を目標位置として目標位置に対する可動部６０との位置偏差を算出し、検出目標位置としてもよい。

モータ制御装置１０は、指令信号と、エンコーダ信号と、位置センサ信号とが入力され、駆動信号を出力する。

モータ制御装置１０は、例えば、プロセッサとメモリと入出力インターフェースとを備えるコンピュータ装置において、メモリに記憶されたプログラムをプロセッサが実行することにより実現されてもよい。また、モータ制御装置１０は、例えば、専用ハードウエア回路により実現されてもよい。また、モータ制御装置１０は、メモリに記憶されたプログラムをプロセッサが実行するコンピュータ装置と、専用ハードウエア回路との組み合わせによって実現されてもよい。

モータ制御装置１０は、制御部２０と、生成方法変更部３０と、切り替え部４０とを備える。

制御部２０は、コントローラ７０から出力された指令信号と、エンコーダ５１から出力されたエンコーダ信号とに基づいて、モータ５０を駆動するモータ駆動信号を生成し、生成したモータ駆動信号を、モータ５０へ出力する。

制御部２０は、駆動信号生成部２１と、補正部２２とを備える。

補正部２２は、生成方法変更部３０から出力される補正値を記憶する。ここで、補正値とは、指令信号により示される目標位置と、位置センサ信号により示される検出目標位置とに差分がある場合において、目標位置が差分だけ変更されるように指令信号を補正するための信号である。ここでは、補正部２２は、初期状態において、指令信号を補正しない旨を示す補正値を記憶するとする。また、ここでは、指令信号を補正しない旨を示す補正値は、０（ゼロ）であるとして説明する。

補正部２２は、指令信号が入力されると、記憶する補正値に基づいて指令信号を補正し、補正した指令信号（以下、「補正後指令信号」とも称する）を駆動信号生成部２１に出力する。

補正部２２は、所定の条件が満たされる場合に、補正値をリセット（初期値に設定）するとしてもよい。ここで、所定の条件とは、補正値をリセットすることにより生じ得る悪影響の発生を抑制することができる条件であることが好ましい。所定の条件は、例えば、モータ５０が動作中であるという条件であってもよい。

一般に、モータ５０が停止中に補正値をリセットしてしまうと、モータ５０が急に動き出すといった悪影響が生じてしまう恐れがある。このため、補正部２２は、モータ５０の動作中に補正値をリセットすることで、上記悪影響の発生を抑制することができる。

また、補正部２２は、さらに、モータ５０の動作中に、補正値が段階的にゼロに近づき最終的にゼロになるように補正値をリセットするとしてもよい。これにより、一度に補正値をゼロにすることによって生じ得る悪影響の発生をさらに抑制することができる。

駆動信号生成部２１は、補正部２２から出力される補正後指令信号に対して、エンコーダ５１から出力されるエンコーダ信号をフィードバックするフィードバック制御を行うことで、駆動信号を生成し、生成した駆動信号をモータ５０へ出力する。

生成方法変更部３０は、位置センサ信号に基づいて、制御部２０による駆動信号の生成方法を変更する。

生成方法変更部３０は、補正値生成部３１と、ゲイン変更部３２とを備える。

補正値生成部３１は、指令信号により示される目標位置と、位置センサ信号により示される検出目標位置とに差分がある場合に、目標位置が差分だけ変更されるように指令信号を補正する補正値を生成し、生成した補正値を補正部２２へ出力する。

補正値生成部３１は、生成した補正値を補正部２２へ出力することで、補正部２２が記憶する補正値を更新させる。これにより、補正値生成部３１は、更新された補正値により補正された補正指令値とエンコーダ信号とに基づいて駆動信号を生成するように、制御部２０による駆動信号の生成方法を変更する。

補正値生成部３１は、生成した補正値をコントローラ７０へ出力するとしてもよい。これにより、コントローラ７０が、補正値を反映した指令信号を生成することができるようになる。

ゲイン変更部３２は、位置センサ信号に基づいて、駆動信号生成部２１のゲインパラメータであって、指令信号に対する駆動信号のゲインを決定するためのゲインパラメータを変更する。これにより、ゲイン変更部３２は、変更されたゲインパラメータにより決定されるゲインにより駆動信号を生成するように、制御部２０による駆動信号の生成方法を変更する。ゲイン変更部３２は、例えば、目標位置と、位置センサ信号により示される可動部６０の位置との差分が所定値以上である場合に、駆動信号生成部２１のゲインパラメータを変更するとしてもよい。

切り替え部４０は、生成方法変更部３０による、制御部２０による駆動信号の生成方法の変更を、有効にするか無効にするかを切り替える。

切り替え部４０は、例えば、コントローラ７０による指令に基づいて、上記切り替えを行うとしてもよいし、切り替え部４０は、例えば、モータ制御装置１０を利用するユーザによる操作を受け付ける機能を有し、受け付けたユーザによる操作に基づいて、上記切り替えを行うとしてもよい。

ここでは、一例として、生成方法変更部３０は、制御部２０による駆動信号の生成方法の変更を有効にする第１の動作モードと、無効にする第２の動作モードとのいずれかの動作モードで動作するとし、切り替え部４０は、生成方法変更部３０の動作モードを、第１の動作モードと第２の動作モードとの間で切り替えるとして説明する。これにより、切り替え部４０は、生成方法変更部３０による、制御部２０による駆動信号の生成方法の変更を、有効にするか無効にするかを切り替える。

＜動作＞
以下、上記構成のモータ制御装置１０が行う動作について説明する。

モータ制御装置１０は、指令信号と、エンコーダ信号と、位置センサ信号とに基づいてモータ５０を制御する第１のモータ制御処理を実行する。第１のモータ制御処理は、例えば、モータ制御装置１０を利用するユーザが、モータ制御装置１０に対して、第１のモータ制御処理を開始する旨の操作を行うことで開始される。

図２は、モータ制御装置１０が行う第１のモータ制御処理のフローチャートである。

図２に示すように、第１のモータ制御処理が開始されると、生成方法変更部３０は、生成方法変更部３０による、制御部２０による駆動信号の生成方法の変更が有効であるか否かを調べる（ステップＳ１０）。すなわち、生成方法変更部３０は、自身の動作モードが第１の動作モードであるか否かを調べる。

ステップＳ１０の処理において、生成方法変更部３０による、制御部２０による駆動信号の生成方法の変更が有効である場合に（ステップＳ１０：Ｙｅｓ）、補正値生成部３１は、指令信号により示される目標位置と、位置センサ信号により示される検出目標位置との差分に基づいて、補正値を生成する（ステップＳ２０）。すなわち、補正値生成部３１は、指令信号により示される目標位置と、位置センサ信号により示される検出目標位置とに差分がある場合に、目標位置が差分だけ変更されるように指令信号を補正する補正値を生成する。

ステップＳ２０の処理が終了した場合に、補正部２２は、生成された補正値を記憶し、ステップＳ１０の処理において、生成方法変更部３０による、制御部２０による駆動信号の生成方法の変更が有効でない場合に（ステップＳ１０：Ｎｏ）、補正部２２は、記憶する補正値をそのまま記憶する（ステップＳ３０）。そして、補正部２２は、記憶する補正値に基づいて指令信号を補正し、補正した補正後指令信号を駆動信号生成部２１に出力する（ステップＳ４０）。

次に、補正部２２は、（Ａ）記憶する補正値をリセットする条件が満たされているか、（Ｂ）記憶する補正値を、モータ５０の動作中に段階的にゼロに近づき最終的にゼロになるように補正値をリセットする条件が満たされているか、（Ｃ）記憶する補正値をリセットする条件も、記憶する補正値を、段階的にゼロに近づき最終的にゼロになるように補正値をリセットする条件も満たされていない、すなわち、記憶する補正値を保持する条件が満たされているか、のいずれであるかを調べる（ステップＳ５０）。

ステップＳ５０の処理において、記憶する補正値をリセットする条件が満たされている場合に（ステップＳ５０：Ａ）、補正部２２は、記憶する補正値をリセットする（ステップＳ６０）。

ステップＳ５０の処理において、記憶する補正値を、モータ５０の動作中に段階的にゼロに近づき最終的にゼロになるように補正値をリセットする条件が満たされている場合に、（ステップＳ５０：Ｂ）、補正部２２は、モータ５０が動作中であるか否かを調べる（ステップＳ７０）。

ステップＳ７０の処理において、モータ５０が動作中でない場合に（ステップＳ７０：Ｎｏ）、補正部２２は、モータ５０が動作中になるまで、ステップＳ７０の処理を繰り返す。

ステップＳ７０の処理において、モータ５０が動作中である場合に（ステップＳ７０：Ｙｅｓ）、補正部２２は、モータ５０の動作量に応じて、記憶する補正値を、段階的にゼロに近づき最終的にゼロになるように補正値をリセットする（ステップＳ８０）。

ステップＳ５０の処理において、記憶する補正値を保持する条件が満たされている場合に（ステップＳ５０：Ｃ）、補正部２２は、記憶する補正値をリセットせずに保持する（ステップＳ９０）。

ステップＳ６０の処理が終了した場合と、ステップＳ８０の処理が終了した場合と、ステップＳ９０の処理が終了した場合とに、モータ制御装置１０は、その第１のモータ制御処理を終了する。

＜具体例＞
以下、上記構成のモータ制御装置１０が行う具体的な動作の一例である第１の具体動作例について説明する。

図３は、モータ制御装置１０が行う第１の具体動作例を示す模式図である。

第１の具体動作例は、シーケンスＮｏ．１において、コントローラ７０から、コントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置を、初期状態の０（ゼロ）の位置から１００の位置へと移動させる制御指令が出力されたにもかかわらず、検出目標位置、すなわち、実際の目標位置が１１０の位置であり、シーケンスＮｏ．２において、コントローラ７０から、コントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置を１００の位置から１５０の位置へと移動させる制御指令が出力されるが、生成方法変更部３０による制御部２０による駆動信号の生成方法の変更が有効のため、可動部６０の位置を１１０に維持するように、駆動信号が生成され、シーケンスＮｏ．３において、切り替え部４０により、生成方法変更部３０による制御部２０による駆動信号の生成方法の変更が有効から無効に切り替えられ、補正部２２の補正値を０クリアされる一方で、コントローラ７０から、コントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置を１００の位置から１５０の位置へと移動させる制御指令が継続して出力され、シーケンスＮｏ．４において、コントローラ７０から、コントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置を、１５０の位置から２００の位置へと移動させる制御指令が出力されたにもかかわらず、検出目標位置が１９５の位置であった場合の動作例となっている。

また、第１の具体例では、位置センサ６１は、撮像装置または透過型レーザ変位センサであって、対象物６５の位置が、可動部６０に取り付けられている位置センサ６１の位置から±２０の範囲である場合に対象物６５の位置を検出することができる構成となっている。

図３に示すように、第１の具体動作例では、シーケンスＮｏ．１において、まず、（０）可動部６０の位置は０となっている。次に（１）切り替え部４０は、生成方法変更部３０による、制御部２０による駆動信号の生成方法の変更を、無効（以下、「ビジュアルＦＢ無効」とも称する）から有効（以下、「ビジュアルＦＢ有効」とも称する）へと変更する。

このとき、対象物６５の位置が、位置センサ６１の検出可能範囲外であるため、（２）位置センサ６１は、対象物６５の位置を検出しない。このため、（３）可動部６０の位置と、位置センサ６１が検出する検出目標位置との差分は、算出不能となる。このため、（４）補正部２２は、初期値０（ゼロ）の補正値を保持する。

次に、（５）コントローラ７０から、コントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置を、０の位置から１００の位置へと移動させる指令信号が出力される。すると、補正部２２は、保持する補正値が０であるため、（６）指令信号を補正することなく、そのままの指令信号を補正後指令信号として駆動信号生成部２１に出力する。これにより、駆動信号生成部２１は、補正部２２から出力される補正後指令信号に対して、エンコーダ５１から出力されるエンコーダ信号をフィードバックするフィードバック制御を行うことで、駆動信号を生成し、モータ５０を駆動する。その結果、（７）可動部６０は、コントローラ７０が想定する目標位置に移動する。

（７）可動部６０の位置が９０になると、（８）対象物６５の位置が、位置センサ６１の検出可能範囲内となる。このため、位置センサ６１は、対象物６５の位置を検出する。（９）ここでは、位置センサ６１は、可動部６０の位置を、検出目標位置に対して２０足りない位置であると検出する。可動部６０の位置が、検出目標位置とコントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置とに到達していないため、コントローラ７０の指令信号に基づいて、（１０）可動部６０の位置が１００まで移動する。（１１）ここでは、位置センサ６１は、可動部６０の位置を、検出目標位置に対して１０足りない位置であると検出する。可動部６０の位置が検出目標位置に到達していないが、コントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置に到達しているため、補正値生成部３１は、検出目標位置とコントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置との差分である補正値１０を生成して補正部２２に出力する。すると、（１２）補正部２２は、補正値１０を保持する。すると、（１３）補正部２２は、可動部６０の位置を補正された目標位置１１０へ移動させるための補正後指令信号を出力する。これにより、駆動信号生成部２１は、補正部２２から出力される補正後指令信号に対して、エンコーダ５１から出力されるエンコーダ信号をフィードバックするフィードバック制御を行うことで、駆動信号を生成し、モータ５０を駆動する。（１４）その結果、可動部６０は、１１０の位置に移動する。（１５）このため、補正されたコントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置と、位置センサ６１が検出する対象物６５の位置である検出目標位置、すなわち、実際の目標位置との差分は、０となる。

シーケンスＮｏ．２において、まず、（０）可動部６０の位置は０となっている。次に、（１）切り替え部４０は、生成方法変更部３０による制御部２０による駆動信号の生成方法の切り替えを、有効のまま切り替えない。このとき、（２）対象物６５の位置が、位置センサ６１の検出可能範囲内である。このため、（３）補正されたコントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置と、位置センサ６１が検出する対象物６５の位置である検出目標位置との差分は、０となる。このとき、（４）補正部２２は、補正値１０を保持している。

次に、（５）コントローラ７０から、コントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置を、１００の位置から１５０の位置へと移動させる指令信号が出力される。しかしながら、補正値生成部３１は、対象物６５の検出目標位置を維持しようとするため、補正値－４０を生成して補正部２２に出力する。すると、（６）補正部２２は、補正値－４０を保持する。その結果、（７）補正部２２から出力される指令信号は１１０のままであるため、可動部６０の位置は、１１０のままである。

シーケンスＮｏ．３において、まず、（０）可動部６０の位置は０となっている。次に、（１）切り替え部４０は、生成方法変更部３０による、ビジュアルＦＢ有効から無効へと切り替える。この時点で可動部６０は移動しない。このとき、（２）位置センサ６１は、対象物６５の位置を検出しない。このため、（３）可動部６０の位置と、位置センサ６１が検出する検出目標位置との差分は、算出不能となる。このため、（４）補正部２２は、補正値－４０を保持する。また、（５）この時点における指令信号の目標位置は、１５０となっており、この時点における補正後指令信号の目標位置は、１１０となっている。

次に、補正部２２は、保持する補正値－４０をリセットする。これにより、（６）補正部２２は、補正値０を保持する。すると、（７）補正部２２は、可動部６０の位置を補正された目標位置１５０へ移動させるための補正後指令信号を出力する。これにより、駆動信号生成部２１は、補正部２２から出力される補正後指令信号に対して、エンコーダ５１から出力されるエンコーダ信号をフィードバックするフィードバック制御を行うことで、駆動信号を生成し、モータ５０を駆動する。その結果、（８）可動部６０は、１５０の位置に移動する。

シーケンスＮｏ．４において、まず、（０）可動部６０の位置は１５０となっている。次に、（１）切り替え部４０は、生成方法変更部３０により、ビジュアルＦＢ無効から有効へと変更する。このとき、対象物６５の位置が、位置センサ６１の検出可能範囲外であるため、（２）位置センサ６１は、対象物６５の位置を検出しない。このため、（３）可動部６０の位置と、位置センサ６１が検出する検出目標位置との差分は、算出不能となる。このため、（４）補正部２２は、初期値０（ゼロ）の補正値を保持する。

次に、（５）コントローラ７０から、コントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置を、１５０の位置から２００の位置へと移動させる指令信号が出力される。すると、補正部２２は、保持する補正値が０であるため、（６）指令信号を補正することなく、そのままの指令信号を補正後指令信号として駆動信号生成部２１に出力する。これにより、駆動信号生成部２１は、補正部２２から出力される補正後指令信号に対して、エンコーダ５１から出力されるエンコーダ信号をフィードバックするフィードバック制御を行うことで、駆動信号を生成し、モータ５０を駆動する。その結果、（７）可動部６０は、コントローラ７０が想定する目標位置に移動する。

（７）可動部６０の位置が１７５になると、（８）対象物６５の位置が、位置センサ６１の検出可能範囲内となる。このため、位置センサ６１は、対象物６５の位置を検出する。（９）ここでは、位置センサ６１は、可動部６０の位置を、検出目標位置に対して２０足りない位置であると検出する。可動部６０の位置が、検出目標位置とコントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置とに到達していないため、コントローラ７０の指令信号に基づいて、（１０）可動部６０の位置が１９５まで移動すると、（１１）位置センサ６１は、可動部６０の位置が、検出目標位置であると検出する。可動部６０の位置が検出目標位置に到達しているが、コントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置に到達していないため、補正値生成部３１は、検出目標位置とコントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置との差分である補正値－５を生成して補正部２２に出力する。すると、（１２）補正部２２は、補正値－５を保持する。すると、（１３）補正部２２は、可動部６０の位置を補正された目標位置１９５へ移動させるための補正後指令信号を出力する。これにより、駆動信号生成部２１は、補正部２２から出力される補正後指令信号に対して、エンコーダ５１から出力されるエンコーダ信号をフィードバックするフィードバック制御を行うことで、駆動信号を生成し、モータ５０を駆動する。その結果、可動部６０は、１９５の位置を維持する。このため、補正されたコントローラ７０が想定する可動部６０の目標位置と、位置センサ６１が検出する対象物６５の位置である検出目標位置、すなわち、実際の目標位置との差分は、０を維持する。

＜考察＞
上述した通り、上記構成のモータ制御装置１０によると、指令信号により示される目標位置通りに可動部６０を動かしてしまうと、可動部６０の位置が実際の目標位置とは異なる位置になってしまうような場合であっても、可動部６０を実際の目標位置に動かすことができる。

このように、上記構成のモータ制御装置１０によると、さらなる改善をはかることができるモータ制御装置が提供される。

なお、第１の具体例のシーケンスＮｏ．３において、補正部２２は、可動部６０の位置を１１０の位置から１５０の位置へするためにモータ５０動作している最中に、補正値を段階的にゼロに近づき最終的にゼロになるように補正値をリセットするとしてもよい。

（実施の形態２）
以下、実施の形態１に係るモータ制御システム１の一部が変更されて構成される実施の形態２に係るモータ制御システムについて説明する。

以下では、実施の形態２に係るモータ制御システムについて、実施の形態１に係るモータ制御システム１の構成要素と同様の構成要素については、既に説明済みであるとして同じ符号を振ってその詳細な説明を省略し、モータ制御システム１との相違点を中心に説明する。

図４は、実施の形態２に係るモータ制御システム１Ａの構成を示すブロック図である。

図４に示すように、モータ制御システム１Ａは、実施の形態１に係るモータ制御システム１に対して、モータ制御装置１０がモータ制御装置１０Ａに変更されて構成される。また、モータ制御装置１０Ａは、モータ制御装置１０に対して、制御部２０が制御部２０Ａに変更され、生成方法変更部３０が生成方法変更部３０Ａに変更されて構成される。また、制御部２０Ａは、制御部２０に対して、駆動信号生成部２１が駆動信号生成部２１Ａに変更されて構成される。また、生成方法変更部３０Ａは、生成方法変更部３０に対して、補正値生成部３１が補正値生成部３１Ａに変更され、一旦停止部３３が追加されて構成される。

一旦停止部３３は、指令信号により示される目標位置と、位置センサ信号により示される検出目標位置とに差分が生じると、モータ５０を停止させるモータ停止信号を駆動信号生成部２１Ａに出力する。そして、一旦停止部３３は、差分が生じてから第１の所定時間Ｔ１経過すると、モータ停止信号の出力を終了する。ここで、第１の所定時間Ｔ１は、モータ５０を停止させてから可動部６０の振動が収まるまでの時間以上の時間であることが好ましい。

駆動信号生成部２１Ａは、実施の形態１に係る駆動信号生成部２１が有する機能に加えて、さらに、一旦停止部３３からモータ停止信号が出力されている期間、モータ５０を停止させるモータ制御信号を生成して、生成したモータ制御信号を、モータ５０へ出力する。これにより、モータ５０は、差分が生じてから第１の所定時間Ｔ１経過するまで停止する。

補正値生成部３１Ａは、目標位置と、位置センサ信号により示される可動部６０の位置とに差分が生じると、差分が生じてから第１の所定時間Ｔ１経過するまで待機し、第１の所定時間Ｔ１が経過した時点において、信号により示される目標位置と、位置センサ信号により示される検出目標位置とに差分がある場合に、目標位置が差分だけ変更されるように指令信号を補正する補正値を生成し、生成した補正値を補正部２２へ出力する。

補正値生成部３１Ａは、生成した補正値を補正部２２へ出力することで、補正部２２が記憶する補正値を更新させる。これにより、補正値生成部３１Ａは、更新された補正値により補正された補正指令値とエンコード信号とに基づいて駆動信号を生成するように、制御部２０Ａによる駆動信号の生成方法を変更する。

補正値生成部３１Ａは、生成した補正値をコントローラ７０へ出力するとしてもよい。これにより、コントローラ７０が、補正値を反映した指令信号を生成することができるようになる。

＜動作＞
以下、上記構成のモータ制御装置１０Ａが行う動作について説明する。

モータ制御装置１０Ａは、実施の形態１に係る第１のモータ制御処理から、一部の処理が変更された第２のモータ制御処理を行う。

図５は、モータ制御装置１０Ａが行う第２のモータ制御処理のフローチャートである。

第２のモータ制御処理において、ステップＳ１１０の処理、および、ステップＳ１２０の処理～ステップＳ１９０の処理は、それぞれ、実施の形態１に係る第１のモータ制御処置における、ステップＳ１０の処理、および、ステップＳ２０の処理～ステップＳ９０の処理と同様の処理である。すなわち、第１のモータ制御処置における、ステップＳ１０の処理、および、ステップＳ２０の処理～ステップＳ９０の処理に対して、制御部２０を制御部２０Ａに読み替え、生成方法変更部３０を生成方法変更部３０Ａに読み替え、補正値生成部３１を補正値生成部３１Ａに読み替え、駆動信号生成部２１を駆動信号生成部２１Ａに読み替えた処理である。このため、ここでは、ステップＳ１１１の処理とステップＳ１１２の処理とを中心に説明する。

ステップＳ１１０の処理において、生成方法変更部３０Ａによる、制御部２０Ａによる駆動信号の生成方法の変更が有効である場合に（ステップＳ１１０：Ｙｅｓ）、一旦停止部３３は、指令信号により示される目標位置と、位置センサ信号により示される検出目標位置とに差分が生じるまで待機し（ステップＳ１１１：Ｎｏを繰り返し）、指令信号により示される目標位置と、位置センサ信号により示される検出目標位置とに差分が生じると（ステップＳ１１１：Ｙｅｓ）、モータ５０を停止させるモータ停止信号を駆動信号生成部２１Ａに出力する。そして、一旦停止部３３は、差分が生じてから第１の所定時間Ｔ１経過すると、モータ停止信号の出力を終了する。これにより、一旦停止部３３は、モータ５０を、第１の所定時間Ｔ１経過するまで停止させる（ステップＳ１１２）。

ステップＳ１１２の処理が終了すると、すなわち、モータ５０が停止してから第１の所定時間Ｔ１が経過すると、第２のモータ制御処理は、ステップＳ１２０の処理に進む。

＜考察＞
モータ制御装置１０Ａは、上記構成により、指令信号により示される目標位置と、位置センサ信号により示される検出目標位置とに差分がある場合に、まず、モータ５０を一旦停止させて、次に、モータ５０を一旦停止させてから第１の所定時間Ｔ１経過した後に補正値を生成する。そして、生成した補正値により補正された指令信号に基づいて、モータ５０を駆動する。

このため、モータ制御装置１０Ａは、モータ５０が停止してから第１の所定時間Ｔ１経過することで、可動部６０の振動が収まった後に、補正値を生成することができる。これにより、モータ制御装置１０Ａによると、より精度よく、可動部６０を実際の目標位置に動かすことができる。

上記構成により、モータ制御装置１０Ａは、対象物６５の位置が位置センサ６１により検出可能な範囲になると、一旦可動部６０の移動を停止させて、可動部６０の振動が収まった後に、改めて可動部６０の位置を実際の目標位置に動かすという動作を行う。

（実施の形態３）
以下、実施の形態１に係るモータ制御システム１の一部が変更されて構成される実施の形態３に係るモータ制御システムについて説明する。

以下では、実施の形態３に係るモータ制御システムについて、実施の形態１に係るモータ制御システム１の構成要素と同様の構成要素については、既に説明済みであるとして同じ符号を振ってその詳細な説明を省略し、モータ制御システム１との相違点を中心に説明する。

図６は、実施の形態３に係るモータ制御システム１Ｃの構成を示すブロック図である。

図６に示すように、モータ制御システム１Ｃは、実施の形態１に係るモータ制御システム１に対して、モータ制御装置１０がモータ制御装置１０Ｃに変更され、加速度センサ６２が追加されて構成される。また、モータ制御装置１０Ｃは、モータ制御装置１０に対して、生成方法変更部３０が生成方法変更部３０Ｃに変更されて構成される。また、生成方法変更部３０Ｃは、生成方法変更部３０に対して、補正値生成部３１が補正値生成部３１Ｃに変更され、ゲイン変更部３２がゲイン変更部３２Ｃに変更されて構成される。

加速度センサ６２は、可動部６０に取り付けられ、可動部６０の加速度を検出し、検出した可動部６０の加速度を示す加速度センサ信号をモータ制御装置１０Ｃへ出力する。

生成方法変更部３０Ｃは、位置センサ信号と加速度センサ信号とに基づいて、制御部２０による駆動信号の生成方法を変更する。

補正値生成部３１Ｃは、加速度センサ信号により示される可動部６０の加速度が所定の閾値以下で第２の所定時間Ｔ２以上経過した場合において、指令信号により示される目標位置と、位置センサ信号により示される対象物６５の位置である検出目標位置とに差分があるときに、目標位置が差分だけ変更されるように指令信号を補正する補正値を生成し、生成した補正値を補正部２２へ出力する。ここで、第２の所定時間Ｔ２は、可動部６０の加速度が所定の閾値以下になってから可動部６０の振動が収まるまでの時間以上の時間であることが好ましい。

これにより、可動部６０の加速度が一定になってから第２の所定時間Ｔ２経過することで、可動部６０の振動が収まった後に、補正値を生成することができる。

なお、第２の所定時間Ｔ２は０であってもよい。

補正値生成部３１Ｃは、生成した補正値を補正部２２へ出力することで、補正部２２が記憶する補正値を更新させる。これにより、補正値生成部３１Ｃは、更新された補正値により補正された補正指令値とエンコーダ信号とに基づいて駆動信号を生成するように、制御部２０による駆動信号の生成方法を変更する。

補正値生成部３１Ｃは、生成した補正値をコントローラ７０へ出力するとしてもよい。これにより、コントローラ７０が、補正値を反映した指令信号を生成することができるようになる。

ゲイン変更部３２Ｃは、位置センサ信号、および／または、加速度センサ信号に基づいて、駆動信号生成部２１のゲインパラメータであって、指令信号に対する駆動信号のゲインを決定するためのゲインパラメータを変更する。これにより、ゲイン変更部３２Ｃは、変更されたゲインパラメータにより決定されるゲインにより駆動信号を生成するように、制御部２０による駆動信号の生成方法を変更する。ゲイン変更部３２Ｃは、例えば、目標位置と、位置センサ信号により示される可動部６０の位置との差分が所定値以上である場合に、駆動信号生成部２１のゲインパラメータを変更するとしてもよい。また、ゲイン変更部３２Ｃは、例えば、加速度センサ信号により示される可動部６０の加速度が所定値以上である場合に、駆動信号生成部２１のゲインパラメータを変更するとしてもよい。また、ゲイン変更部３２Ｃは、例えば、目標位置と、位置センサ信号により示される可動部６０の位置との差分が所定値以上であり、かつ、加速度センサ信号により示される可動部６０の加速度が所定値以上である場合に、駆動信号生成部２１のゲインパラメータを変更するとしてもよい。

＜動作＞
以下、上記構成のモータ制御装置１０Ｃが行う動作について説明する。

モータ制御装置１０Ｃは、指令信号と、エンコーダ信号と、位置センサ信号と、加速度センサ信号とに基づいてモータ５０を制御する第３のモータ制御処理を実行する。この第３のモータ制御処理は、実施の形態１に係る第１のモータ制御処理から、一部の処理が変更された処理である。

図７は、モータ制御装置１０Ｃが行う第３のモータ制御処理のフローチャートである。

第３のモータ制御処理において、ステップＳ２１０の処理、および、ステップＳ２２０の処理～ステップＳ２９０の処理は、それぞれ、実施の形態１に係る第１のモータ制御処置における、ステップＳ１０の処理、および、ステップＳ２０の処理～ステップＳ９０の処理と同様の処理である。すなわち、第１のモータ制御処置における、ステップＳ１０の処理、および、ステップＳ２０の処理～ステップＳ９０の処理に対して、生成方法変更部３０を生成方法変更部３０Ｃに読み替え、補正値生成部３１を補正値生成部３１Ｃに読み替えた処理である。このため、ここでは、ステップＳ２１１の処理を中心に説明する。

ステップＳ２１０の処理において、生成方法変更部３０による、制御部２０による駆動信号の生成方法の変更が有効である場合に（ステップＳ２１０：Ｙｅｓ）、補正値生成部３１は、加速度センサ信号により示される可動部６０の加速度が所定の閾値以下で第２の所定時間Ｔ２経過するまで待機し（ステップＳ２１１：Ｎｏを繰り返し）、加速度センサ信号により示される可動部６０の加速度が所定の閾値以下で第２の所定時間Ｔ２経過すると（ステップＳ２１１：Ｙｅｓ）、第３のモータ制御処理は、ステップＳ２２０の処理に進む。

＜考察＞
モータ制御装置１０Ｃは、上記構成により、加速度センサ信号により示される可動部６０の加速度にも基づいて補正値を生成する。そして、生成した補正値により補正された指令信号に基づいて、モータ５０を駆動する。

このため、上記構成のモータ制御装置１０Ｃによると、より精度よく、可動部６０を実際の目標位置に動かすことができる。

さらに、補正値生成部３１Ｃは、上述した通り、可動部６０の加速度が一定になってから第２の所定時間Ｔ２経過することで、可動部６０の振動が収まった後に、補正値を生成することができる。

（補足）
以上のように、本出願において開示する技術の例示として、実施の形態１～３に基づいて説明した。しかしながら、本開示は、これら実施の形態１～３に限定されるものではない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本開示の１つまたは複数の態様の範囲内に含まれてもよい。

本開示の一態様は、このようなモータ制御装置１０等だけではなく、モータ制御装置１０等に含まれる特徴的な構成部をステップとするモータ制御方法であってもよい。また、本開示の一態様は、モータ制御方法に含まれる特徴的な各ステップをコンピュータに実行させるコンピュータプログラムであってもよい。また、本開示の一態様は、そのようなコンピュータプログラムが記録された、コンピュータ読み取り可能な非一時的な記録媒体であってもよい。

本開示は、モータを制御するシステム等に広く利用可能である。

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃモータ制御システム
１０、１０Ａ、１０Ｃモータ制御装置
２０、２０Ａ制御部
２１、２１Ａ、２１Ｂ駆動信号生成部
２２補正部
３０、３０Ａ、３０Ｃ生成方法変更部
３１、３１Ａ、３１Ｃ補正値生成部
３２、３２Ｃゲイン変更部
３３一旦停止部
４０切り替え部
５０モータ
５１エンコーダ
６０可動部
６１位置センサ
６２加速度センサ
６５対象物
７０コントローラ

Claims

モータに接続された可動部を目標位置にするための指令信号と、エンコーダにより検出された前記モータの位置を示すエンコーダ信号と、に基づいて、前記モータを駆動する駆動信号を生成し、生成した前記駆動信号を前記モータに出力する制御部と、
前記可動部に取り付けられた位置センサにより検出された前記目標位置の位置である検出目標位置を示す位置センサ信号に基づいて、前記制御部による前記駆動信号の生成方法を変更する生成方法変更部と、を備え、
前記生成方法変更部は、さらに、前記可動部に取り付けられた加速度センサにより検出された前記可動部の加速度を示す加速度センサ信号にも基づいて、前記生成方法を変更し、
前記生成方法変更部は、前記目標位置と前記検出目標位置とに差分がある場合において、前記加速度センサ信号により示される前記可動部の加速度が所定の閾値以下で第２の所定時間以上経過したときに、（１）前記目標位置が前記差分だけ変更されるように前記指令信号を補正する補正値を生成し、（２）前記補正値により補正された前記指令信号と前記エンコーダ信号とに基づいて前記駆動信号を生成するように前記生成方法を変更する
モータ制御装置。
前記生成方法変更部は、第２の所定の条件が満たされる場合に、前記補正値をリセットする
請求項１に記載のモータ制御装置。
前記第２の所定の条件には、前記モータが動作中であるという条件が含まれ、
前記生成方法変更部は、前記モータの動作中に、前記補正値の絶対値が段階的にゼロに近づき最終的にゼロとなるように前記補正値をリセットする
請求項２に記載のモータ制御装置。
前記生成方法変更部は、さらに、前記補正値を、前記指令信号を生成するコントローラに出力する
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のモータ制御装置。
前記生成方法変更部は、前記位置センサ信号、および／または、前記加速度センサ信号に基づいて、前記指令信号に対する前記駆動信号のゲインを決定するためのゲインパラメータを変更して前記駆動信号を生成するように前記生成方法を変更する
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のモータ制御装置。
モータに接続された可動部を目標位置にするための指令信号と、エンコーダにより検出された前記モータの位置を示すエンコーダ信号と、に基づいて、前記モータを駆動する駆動信号を生成し、生成した前記駆動信号を前記モータに出力する制御ステップと、
前記可動部に取り付けられた位置センサにより検出された前記目標位置の位置である検出目標位置を示す位置センサ信号に基づいて、前記制御ステップにおける前記駆動信号の生成方法を変更する生成方法変更ステップと、含み、
前記生成方法変更ステップでは、さらに、前記可動部に取り付けられた加速度センサにより検出された前記可動部の加速度を示す加速度センサ信号にも基づいて、前記生成方法を変更し、
前記生成方法変更ステップでは、前記目標位置と前記検出目標位置とに差分がある場合において、前記加速度センサ信号により示される前記可動部の加速度が所定の閾値以下で第２の所定時間以上経過したときに、（１）前記目標位置が前記差分だけ変更されるように前記指令信号を補正する補正値を生成し、（２）前記補正値により補正された前記指令信号と前記エンコーダ信号とに基づいて前記駆動信号を生成するように前記生成方法を変更する
モータ制御方法。
モータを制御するモータ制御装置に、モータ制御処理を実行させるためのプログラムであって、
前記モータ制御処理は、
前記モータに接続された可動部を目標位置にするための指令信号と、エンコーダにより検出された前記モータの位置を示すエンコーダ信号と、に基づいて、前記モータを駆動する駆動信号を生成し、生成した前記駆動信号を前記モータに出力する制御ステップと、
前記可動部に取り付けられた位置センサにより検出された前記目標位置の位置である検出目標位置を示す位置センサ信号に基づいて、前記制御ステップにおける前記駆動信号の生成方法を変更する生成方法変更ステップと、含み、
前記生成方法変更ステップでは、さらに、前記可動部に取り付けられた加速度センサにより検出された前記可動部の加速度を示す加速度センサ信号にも基づいて、前記生成方法を変更し、
前記生成方法変更ステップでは、前記目標位置と前記検出目標位置とに差分がある場合において、前記加速度センサ信号により示される前記可動部の加速度が所定の閾値以下で第２の所定時間以上経過したときに、（１）前記目標位置が前記差分だけ変更されるように前記指令信号を補正する補正値を生成し、（２）前記補正値により補正された前記指令信号と前記エンコーダ信号とに基づいて前記駆動信号を生成するように前記生成方法を変更する
プログラム。